Brevet FR2685964A1 — publié le 19930709

- Capteur accélérométrique miniature à lames vibrant en flexion La présente invention concerne, de manière générale, un capteur accélérométrique miniature pouvant être utilisé par exemple pour le guidage de missiles ou de satellites et dans le secteur automobile pour des applications telles que l'assistance améliorée au freinage, et la suspension active. Plus particulièrement, l'invention a trait à un capteur comprenant une partie massive fixe, une partie massive mobile, deux lames vibrantes en matériau piézoélectrique travaillant en flexion, et deux articulations. Ce capteur met à profit la grande sensibilité de la fréquence des deux lames vibrant en flexion, à des forces de compression ou d'extension qui s'exercent longitudinalement aux lames lorsque la partie massive mobile constituant la masse d'épreuve du capteur est soumise à une accélération transversale La compression de l'une des lames et l'extension de l'autre lame sont converties sous formes de signaux électriques qui sont captés par deux paires d'électrodes supportées par les lames vibrantes et reliées à deux circuits oscillateurs. En sortie des circuits oscillateurs est produit un signal à fréquence différentielle dont les variations sont représentatives de celles de l'accélération. Un tel capteur accélérométrique est décrit dans la demande de brevet français FR-A-2650895 au nom du demandeur et est représenté à la figure 1 avec des moyens de mesure de fréquence associés. Le corps de ce capteur CA est obtenu par usinage chimique d'une plaque de cristal piézoélectrique, tel que quartz, ayant une épaisseur 2 - uniforme E, et est donc monolithique Selon la représentation montrée à la figure 1, le corps du capteur CA a la forme générale d'un parallélépipède et comprend une partie massive fixe 1 solidaire d'une embase BA, une partie massive mobile 2, deux lames vibrantes 31 et 32 et deux articulations flexibles 41 et 42 Le corps de capteur CA présente une symétrie par rapport à l'axe longitudinal central Z'Z. La lame 31 est une poutre, à petite section rectangulaire, excitée électriquement par deux électrodes linéaires 311 et 312 imprimées sous la forme de deux rubans conducteurs s'étendant parallèlement et symétriquement par rapport à l'axe médian longitudinal du chant externe de la lame 31 et ce, sur sensiblement la moitié de sa longueur contig Ue à la partie massive fixe 1 Sur la face correspondante de la partie fixe, les électrodes 311 et 312 sont terminées par deux plaques conductrices 321 et 322 reliées à deux premières bornes d'un circuit oscillateur 51 au moyen de deux fils conducteurs 391 et 392 Une disposition identique d'électrodes et de plaques est prévue sur la lame 32 et la face opposée de la partie fixe 1, en relation avec un second circuit oscillateur 52. Les sorties des deux circuits oscillateurs 51 et 52 sont reliées à un dispositif de mesure de fréquence différentielle incluant un circuit de soustraction de fréquence 6 et un fréquencemètre 7, la fréquence mesurée (f 1-f 2) par le fréquencemètre 7 étant représentative de l'accélération à mesurer. Au sein d'une lame piézoélectrique, telle que la lame 31, les variables électriques (champ électrique) sont couplées aux variables mécaniques (contraintes). Ce couplage piézoélectrique, qui résulte de la séparation des charges de polarisation opposées lors 3 - de la déformation de la lame 31, permet d'entretenir la vibration de résonance de la lame par application d'un champ électrique alternatif produit par le circuit oscillateur 51 La lame 31 vibre ainsi en flexion parallèlement au plan médian PM du corps du capteur qui est perpendiculaire à la direction DS du capteur sensible à l'accélération Selon la disposition des électrodes montrée à la figure 1, un faible couplage est seulement obtenu, ce qui affecte alors la résolution de la mesure de la fréquence différentielle (fl-f 2), et donc l'accélération qui en est déduite. S'agissant de la conception mécanique du capteur connu CA, celle-ci présente également des inconvénients particulièrement au sujet de la forme des articulations flexibles 41 et 42. Il est rappelé que ces deux articulations sont constituées par deux poutres de préférence alignées dans le plan médian PM du capteur et flexibles suivant leur épaisseur e 4 lorsque le capteur est soumis à une accélération suivant la direction transversale sensible DS Le capteur CA constitue ainsi un capteur mono-axe, suivant la direction sensible DS perpendiculaire au plan PM. Afin d'exploiter au maximum la sensibilité des lames vibrantes et d'assurer un bon maintien de la masse d'épreuve du capteur constituée par la partie massive mobile 2, la raideur en flexion des articulations 41 et 42 est nettement plus grande que celle des lames vibrantes 31 et 32 En d'autres termes, la section transversale X 4 e 4 des articulations 41 et 42 est nettement plus grande que celle X 3 e 3 des lames vibrantes 31 et 32 afin que ces lames ne subissent pratiquement que les seules forces utiles d'extension et de compression. Comme montré à la figure 1, les lames et articulations sont sensiblement disposées en croix entre les deux parties massives 1 et 2 Toutefois, le plan médian contenant les axes médians longitudinaux Z'1 Zl et Z'2 Z 2 des lames 31 et 32 est situé dans un plan oblique au plan médian PM des parties massives Il apparaît ainsi en section transversale du corps du capteur, un décalage ô entre les deux lames qui autorise la réalisation du corps du capteur par usinage chimique, sans cependant modifier le fonctionnement du capteur grâce à la raideur élevée des articulations. Les figures 2 A et 2 B montrent deux sections rectangulaires transversales égales à celle E A des parties massives 1 et 2, et relatives à une plaque en matériau piézoélectrique à partir de laquelle est obtenu le corps du capteur CA Ces deux sections correspondent à la fin de deux étapes successives d'usinage chimique pratiqué perpendiculairement aux grandes faces Fl et F 2 du matériau, confondues avec celles des parties massives 1 et 2. A la première étape (figure 2 A), un usinage chimique est effectué entre les emplacements des futures articulations et des futures lames afin de creuser deux séries de deux puits ayant une profondeur Pl sur les deux faces Fl, F 2. A la seconde étape (figure 2 B), un usinage de profondeur P 2 est effectué dans les deux séries de deux puits précités et devant les emplacements des articulations 41 et 42 sur chacune des faces Fl et F 2 de manière à obtenir le corps du capteur définitif. La profondeur d'usinage P 2 de la seconde étape est égale à (E-e 4)/2, o E et e 4 sont les épaisseurs des parties massives 1 et 2 et des articulations 41 et 42 respectivement, et la profondeur d'usinage Pl de la première étape est telle que: - Pl = E P 2 23, o M 3 est la longueur de section transversale des lames 31 et 32 prise perpendiculairement aux faces Fl et F 2. Un tel usinage en deux étapes distinctes contribue au coût de fabrication relativement élevé du capteur. La présente invention vise principalement à augmenter le couplage piézoélectrique dans un capteur accélérométrique comprenant une partie massive fixe, une partie massive mobile et deux lames en matériau piézoélectrique vibrant en flexion, chacune des lames ayant des extrémités solidaires des parties massives et un côté longitudinal qui supporte des première et seconde électrodes. A cette fin, le capteur est caractérisé en ce qu'une partie de longueur de la lame supporte d'une part, une bande conductrice de la première électrode chevauchant un axe longitudinal sensiblement médian dudit côté, et d'autre part une bande conductrice latérale de la seconde électrode s'étendant à proximité de l'un des bords longitudinaux dudit côté. Ainsi, grâce à ces configurations à "deux ou trois pistes" ou bandes des électrodes sur chacune des lames, ces dernières sont soumises principalement à des contraintes d'extension et de compression, et non à des contraintes de cisaillement comme dans celles du capteur connu précité La résolution de la mesure fournie par le capteur est ainsi améliorée Ainsi, au moins l'un des deux quarts de longueur du côté de la lame contigus aux parties massives, de préférence celui contigu à la partie fixe, peut supporter ces 6 - configurations à deux ou trois pistes. Plus efficacement, une autre configuration de pistes analogue aux précédentes peut s'étendre sur sensiblement la moitié centrale, seule ou associée à la configuration de pistes s'étendant sur au moins l'un des deux quarts de longueur contigus aux portions massives Dans ce dernier cas, la première électrode comprend au moins une bande latérale supportée par la partie centrale dudit côté, s'étendant à proximité de l'un des bords longitudinaux dudit côté et reliée à la bande de première électrode qui chevauche l'axe longitudinal et qui est supportée par au moins l'un des deux quarts de longueur contigus aux parties massives, et la seconde électrode comprend une bande conductrice supportée par la partie centrale dudit côté chevauchant 1 'axe longitudinal et reliée à au moins la bande latérale de seconde électrode qui est supportée par au moins l'un des deux quarts de longueur contigus aux parties massives. Pour un certain nombre de configurations d'électrodes, et en particulier pour la configuration optimale à neuf bandes, une structure monocouche peut être insuffisante Dans ce cas, les électrodes peuvent être réalisées dans une structure multicouche, supportée par le côté de la lame. Des première et seconde plages de contact d'électrode peuvent être supportées par une face de la partie fixe et respectivement reliées à une bande de première électrode et à une bande de seconde électrode. Un second objectif de l'invention est de fournir un corps de capteur accélérométrique à deux articulations dont le coût de fabrication est plus faible que celui du capteur connu précité, et en particulier qui peut être usiné chimiquement en une seule étape. Pour atteindre ce second objectif, les articulations du capteur comprennent chacune deux premiers tronçons sensiblement parallèles aux lames et respectivement solidaires des parties fixe et mobile, et un tronçon intermédiaire perpendiculaire aux premiers tronçons. De préférence, les articulations sont disposées de part et d'autre des lames et sont symétriques l'une de l'autre par rapport à un axe longitudinal de symétrie du capteur qui est parallèle aux lames afin que le comportement mécanique global des articulations en marche d'escalier selon l'invention soit similaire à celui des articulations du capteur connu. Comme dans le capteur connu, les parties massives, les lames et les articulations constituent de préférence un corps monolithique usiné dans une même plaque de matériau piézoélectrique d'épaisseur uniforme Toutefois, afin que l'usinage soit chimique et soit effectué en une seule étape avec une même profondeur d'usinage à partir des faces de la plaque, il est prévu d'une part, que le côté longitudinal de lame supportant des électrodes soit coplanaire à l'une des faces des parties massives et d'autre part, que la largeur de section des lames prise perpendiculaire auxdits côtés longitudinaux des lames soit égale à l'épaisseur des premiers tronçons des articulations. D'autres avantages et caractéristiques de la présente invention apparaîtront plus clairement à la lecture de la description suivante de plusieurs réalisations préférées de l'invention en référence aux dessins annexés correspondants dans lesquels: 8 - la figure 1 montre une vue en perspective d'un capteur accélérométrique à lames vibrant en flexion avec des moyens de mesure de fréquence associés, selon la technique antérieure; les figures 2 A et 2 B montrent deux coupes transversales d'un capteur accélérométrique selon la technique antérieure, prises le long du plan transversal de trace II-II dans la figure 1 et correspondant respectivement à deux étapes d'usinage chimique successives; la figure 3 est une vue en perspective d'un capteur accélérométrique avec des moyens de mesure de fréquence associés, selon une première réalisation préférée de l'invention; la figure 4 montre une vue en perspective à plus grande échelle d'une paire d'électrodes disposées sur une lame du capteur accélérométrique selon la figure 3; la figure 5 est une vue en perspective montrant les contraintes s'exerçant sur un élément de volume d'une lame en flexion; les figures 6 A et 6 B montrent respectivement des modèles de répartition de contrainte de cisaillement et de contrainte d'extension/compression sur une lame en flexion; les figures 7 A et 7 B montrent des répartitions surfaciques d'électrodes imprimées sur une lame, pour un couplage électro-mécanique optimal, respectivement pour une configuration "deux pistes" déduite de la technique antérieure et pour une configuration "trois pistes" selon l'invention; les figures 8 A et 8 B sont des vues de dessus respectivement de deux électrodes superposées selon la variante de la figure 7 B; les figures 9 A et 9 B montrent deux coupes 9 - transversales du capteur accélérométrique selon l'invention, prises le long des plans transversaux de traces IXA-IXA et IXB-IXB dans la figure 3, pour expliquer l'optimisation de l'usinage chimique; et la figure 10 montre une seconde réalisation préférée d'un capteur accélérométrique selon l'invention. Dans la description ci-après d'un capteur accélérométrique CA' selon l'invention, les parties du corps du capteur CA' et celles du corps du capteur connu CA qui sont respectivement analogues, sont désignées par les mêmes repères. En référence à la figure 3, le capteur accélérométrique CA' comprend un corps de capteur et des moyens de mesure de fréquence associés. Afin de montrer les perfectionnements apportés par l'invention, le capteur CA' est supposé être identique au capteur connu CA en ce qui concerne les parties massives fixe 1 et mobile 2, les lames vibrantes 31 et 32 et les moyens de mesure de fréquence associés A cet égard, les diverses variantes décrites dans la demande de brevet FR-A-2650895 sont intégrées à la présente description. Les moyens de mesure sont constitués par les deux circuits oscillateurs 51 et 52, le circuit de soustraction de fréquence 6 et le fréquencemètre 7, comme décrit précédemment Chaque circuit oscillateur, par exemple le circuit 51, possède deux premières bornes reliées respectivement à deux plaques de contact d'électrode 331 et 332 supportées par une grande face de la partie massive 1. Le corps du capteur constitue un corps monolithique usiné dans une même plaque de matériau - piézoélectrique, tel que quartz, d'épaisseur uniforme E, de largeur X et de hauteur Hl + L 3 + H 2 Selon la réalisation illustrée à la figure 3, le corps du capteur CA' a la forme générale d'un parallélépipède qui s' étend verticalement suivant le sens de la hauteur matérialisé par un axe longitudinal central de symétrie Z'Z Cet axe Z'Z est contenu dans un plan médian PM de la plaque parallèle aux faces de celles-ci Le corps du capteur CA' comprend la partie massive fixe 1, une partie massive mobile 2, deux lames 31 et 32, ainsi que deux articulations 441 et 442 selon l'invention La partie massive fixe 1 et la partie massive mobile 2 constituent des pavés parallélépipédiques disposés aux extrémités longitudinales du corps du capteur et ayant donc des épaisseur et largeur égales à celles E et X du corps. La partie fixe est destinée à être solidaire de la structure d'un engin (non représenté) par l'intermédiaire d'une embase de boîtier BA et est par exemple fixée à cette dernière par collage. Les deux lames 31 et 32 sont des parallélépipèdes rectangles minces solidaires des deux parties massives et ayant une section rectangulaire transversale horizontale définie par une épaisseur e 3 et une largeur X 3 prises suivant la largeur K et l'épaisseur E du corps du capteur CA respectivement. Les côtés des lames 31 et 32 tournés vers l'extérieur du corps, selon la réalisation illustrée à la Fig 3, sont coplanaires aux grandes faces des parties massives 1 et 2 du corps du capteur CA'. Comme dans le capteur connu CA, un décalage ô entre les deux lames 31 et 32 est prévu pour faciliter l'usinage chimique et particulièrement retirer de la matière entre les deux lames à partir des faces Fl et F 2 des parties massives Ce décalage des lames apparaît de part et d'autre d'un plan perpendiculaire au plan il - médian PM et contenant l'axe longitudinal central Z'Z. Les deux articulations 441 et 442 s'étendent entre les extrémités longitudinales des parties massives 1 et 2 et de chaque côté de l'ensemble des lames 31 et 32 Cependant, les articulations 441 et 442 ne sont pas linéaires, comme les poutres 41 et 42 selon la technique antérieure, mais présentent un profil en marche d'escalier droit, en vue de côté perpendiculaire au plan PM La forme et les avantages des articulations seront présentés ultérieurement. Selon la réalisation illustrée à la figure 3 et détaillée à la figure 4, la résonance de chacune des lames, par exemple la lame 31, est entretenue par l'intermédiaire de deux électrodes métalliques 341 et 342 ayant des polarités opposées Ces électrodes sont imprimées par photolithographie sur le côté longitudinal externe de la lame, et ne sont pas identiques. La première électrode 341 est composée de trois bandes conductrices 3411, 3421 et 3431 s'étendant longitudinalement et ayant respectivement des longueurs sensiblement supérieure à L 3/4, et sensiblement supérieure et inférieure à L 3/2, o L 3 dénote la longueur des lames 31 et 32 La première bande 3411 s'étend le long de l'axe longitudinal central du côté externe de la lame et est prolongée jusqu'à la plaque 331 formant une région de contact de l'électrode 341 sur la partie fixe 1 Les deux autres bandes 3421 et 3431 longent les bords longitudinaux du côté externe, sensiblement sur la moitié centrale de la lame Ainsi, les bandes 3411 et 3421 sont reliées par un double coude conducteur à angles droits opposés, et les extrémités des bandes 3421 et 3431 situées vers la partie massive mobile 2 sont reliées par un coude en U conducteur. 12 - La seconde électrode 342 comprend deux bandes conductrices 3412 et 3422 qui sont parallèles et analogues aux bandes 341 î et 342 î de la première électrode La première bande 3412 s'étend longitudinalement à partir de la plaque de contact 332 sur la partie massive 1, principalement le long du bord du côté externe de la lame 31, dans le prolongement de la bande 3431 La seconde bande 3422 s'étend le long de l'axe longitudinal central du côté externe de la lame 31, entre les bandes 3421 et 3431, sur une longueur sensiblement inférieure à L 3/2, et est reliée à la bande 3412 par un double coude conducteur à angles droits opposés. Les avantages de la disposition particulière des électrodes 341 et 342 sont maintenant présentés en référence aux figures 5, 6 A et 6 B. Lorsqu'une lame 31 est fléchie, une section S de cette lame est soumise à deux principales contraintes mécaniques, comme montré à la figure 5 Ce sont la contrainte de cisaillement t et la contrainte d'extension-compression d Les fibres du matériau piézoélectrique sont en compression dans les parties concaves de la lame et en extension dans les parties convexes L'intégration de ces deux contraintes dans la section de la lame S aboutit aux efforts connus dans le domaine de la flexion: l'effort tranchant f 5 r d S et le moment fléchissant f S C y d S. Suivant la longueur de lame 31, la répartition de la contrainte de cisaillement t montrée à la figure 6 A est différente de la répartition de la contrainte d'extension- compression î montrée à la figure 6 B, lorsque les extrémités de la lame 31 sont encastrées dans deux parties massives 1 et 2 La contrainte de 13 - cisaillement change de signe au milieu M de la lame, tandis que la contrainte d'extension-compression le long de chacun des côtés longitudinaux de la lame change de signe aux deux sections d'inflexion Il et I 2 de la lame, situées approximativement à L 3/4 des extrémités de la lame Selon la figure 6 B, les fibres localisées à gauche et à droite dans les tronçons d'extrémité de la lame 31 ayant la longueur approximative L 3/4 sont soumises à une compression et une extension respectivement, tandis que les fibres localisées à gauche et à droite dans le tronçon central de la lame ayant la longueur approximative L 3/2 sont soumises à une extension et une compression respectivement Lorsque le sens du champ électrique est inversé, la flexion de lame est située à droite dans les figures 6 A et 6 B La lame oscille ainsi de part et d'autre de la verticale lorsque le champ électrique est alternatif, tel que celui généré par le circuit oscillant associé 51 via les deux électrodes. Le rôle des électrodes d'excitation piézoélectrique est de créer des composantes du champ électrique dans la lame qui induisent l'une ou l'autre des deux contraintes T et a. Dans le capteur connu CA montré à la figure 1, les deux électrodes 311 et 312 s'étendent approximativement au plus sur la moitié L 3/2 du chant longitudinal externe de la lame, ou selon une variante montrée à la figure 7 A, deux paires d'électrodes parallèles 311 et 312 s'étendent respectivement sur les deux moitiés de la lame approximativement Dans cette configuration à "deux pistes", le champ électrique entre les électrodes d'une moitié de longueur de la lame génère de manière prépondérante la contrainte de cisaillement Dans la figure 7 A, les électrodes sont disposées afin que les champs électriques soient opposés 14 - dans les deux moitiés de longueur de la lame et génèrent des contraintes de cisaillement opposées, comme montré à la figure 6 A. Dans le capteur CA' selon l'invention, montré à la figure 3, la zone active d'excitation est située principalement dans la moitié centrale de la lame o la bande centrale 3422 appartenant à la seconde électrode 342 est encadrée longitudinalement par les deux bandes 3421 et 3431 de la première électrode 341 ayant une même polarité qui est opposée à celle de la bande 3422. Dans ces conditions, cette configuration à "trois pistes" crée deux composantes opposées de champ électrique suivant l'épaisseur e 3 de la lame qui induisent respectivement des contraintes d'extension et de compression, comme montré à la figure 6 B Pour que les bandes 3411 et 3412 reliant cette configuration à trois pistes aux plaques de contact 331 et 332 génèrent également un champ électrique correspondant aux sens des contraintes d'extension et de compression dans le tronçon d'extrémité L 3/4 jouxtant la partie fixe 1 selon la figure 6 B, les bandes 3411 et 3412 sont respectivement décalées sensiblement de e 3/2 par rapport aux bandes 3421 et 3422- Afin d' accroître 1 ' efficacité des électrodes, la configuration à trois pistes est réalisée sur toute la longueur de la lame 31 selon une autre variante montrée à la figure 7 B Dans cette variante sont retrouvées les cinq bandes précitées des électrodes et sont ajoutées quatre autres bandes conductrices Une quatrième bande de première électrode 3441 est située le long de 1 ' axe longitudinal du quart de la lame contigu à la partie mobile 2 Une troisième bande de seconde électrode 3432 est située dans le quart de la lame contigu à la partie fixe 1 et est symétrique de la bande 3412 Des quatrième et cinquième bandes de seconde - électrode 3442 et 3452 sont situées symétriquement le long des bords du quart de la lame contigu à la partie mobile 2. L' implantation de ces neuf bandes conductrices est réalisée en structure multicouche, c'est-à-dire par des dépôts classiques de matière conductrice et de matière isolante de manière à superposer des premiers ponts conducteurs de liaison entre les extrémités des bandes 3411 à 3441 de la première électrode 341 et des seconds ponts conducteurs de liaison entre les extrémités des bandes 3412 à 3452 de la seconde électrode 342 Les premiers et seconds ponts de liaison se croisent sensiblement aux quarts de longueur L 3/4 de la lame à partir des parties massives 1 et 2 Ainsi, la première électrode 341 est située dans un premier plan d'implantation, comme montré à la figure 8 A, et est superposée à la seconde électrode dans un second plan d'implantation montré à la figure 8 B, à travers une couche isolante Dans la figure 7 B, les ponts conducteurs sont schématisés par des segments doublement fléchés. Toutefois, il est à noter que cette structure multicouche des électrodes est plus onéreuse que la structure monocouche montrée à la figure 4. Les plages de contact d'électrode 331 et 332 sur la face Fl de la partie fixe sont respectivement reliées à une extrémité de la bande 3411 de la première électrode 341 et à des extrémités des bandes 3412 et 3432 de la seconde électrode 342, ces trois bandes étant situées principalement sur le quart d'extrémité de longueur de la lame 31 contigu à la partie fixe 1. L'invention concerne ainsi, d'une manière plus générale, une configuration de deux électrodes "à deux ou trois bandes conductrices", qui s'étendent sensiblement sur un quart de la longueur d'un côté d'une lame, telles que les bandes 3411, 3412 et/ou 3432, 16 - ou de préférence qui s'étendent sensiblement sur la moitié centrale de la longueur d'un côté d'une lame, telles que les bandes 3422, 3421 et/ou 3432. L'expérience a montré que la configuration à trois pistes selon l'invention, du type de celles illustrées aux figures 4 et 7 B, procure un couplage piézoélectrique entre le champ électrique et les contraintes mécaniques supérieur à celui de la configuration connue à deux pistes Cela se traduit par un accroissement notable de la résolution et des performances du capteur. S'agissant de la réalisation de la configuration monocouche à trois pistes, celle-ci n'apporte aucune difficulté supplémentaire comparativement à la configuration à deux pistes, ces deux configurations étant obtenues par des procédés photolithographiques classiques mis en oeuvre notamment dans l'industrie de l'horlogerie, compte tenu des faibles dimensions des lames et notamment de leur épaisseur e 3 de l'ordre de 50 lNm. En se référant à nouveau à la figure 3, l'une 441 des articulations est décrite en détail ci-après, puisque les articulations 441 et 442 sont symétriques par rapport à l'axe central longitudinal de symétrie Z'Z du capteur CA'. L'articulation 441 est de préférence symétrique par rapport à l'axe Y'Y, contenu dans le plan PM et perpendiculaire à l'axe Z'Z L'articulation en marche d'escalier 441 comporte deux tronçons linéaires 4411 et 4431 formant contre-marche et un petit tronçon linéaire intermédiaire 4421 formant marche Les longueurs LT des tronçons 4411 et 4431 sont de préférence égales entr'elles et supérieures à la longueur E-2 e 4 du tronçon intermédiaire 4421 Les tronçons 4411 et 17 - 4431 ont des chants de largeur e 4 sensiblement parallèles aux lames 31 et 32 Ils se dressent perpendiculairement aux petits côtés en regard des parties massives 1 et 2 et sont symétriques par rapport à l'axe Y'Y Le petit tronçon 442 j s'étend perpendiculairement aux lames 31 et 32 et a l'axe Y'Y comme axetransversal La section de chaque tronçon est constante et rectangulaire La largeur d'articulation M 4 est prise suivant la longueur k des parties massives, et est inférieure typiquement à X/3 De préférence, les sections e 4 X 4 des tronçons 4411 et 4431 sont égales entr'elles et inférieures à la section (L 4-2 LT) X 4 du tronçon intermédiaire 4421. L'épaisseur e 4 des tronçons 4411 et 4431 est prise suivant l'épaisseur E des parties massives et est typiquement de l'ordre de E/3 à E/10 Comme selon la technique antérieure, les sections des tronçons des articulations 441 et 442 sont nettement plus grandes que celles e 3 M 3 des lames vibrantes 31 et 32 Ainsi, la longueur LT des tronçons 4411 et 4431 est inférieure à (L 3-e 4)/2, en supposant L 3 =L 4. Comme cela apparaît dans la figure 3, les tronçons 4411 et 4431 se dressent normalement sur deux coins voisins des faces en regard des parties massives 1 et 2 Les tronçons 4411 et 4431 de l'articulation 441 et les tronçons correspondants 4412 et 4432 de l'articulation 442 sont diagonalement opposés entre les parties massives. Le profil en marche d'escalier des articulations autorise avantageusement l'usinage chimique en une seule étape pour fabriquer le corps du capteur CA' Toutefois, afin qu'une seule profondeur de gravure P = E-X 3 soit nécessaire et suffisante, la largeur de section M 3 des lames vibrantes 31 et 32 est égale à l'épaisseur de section e 4 des articulations 441 18 - et 442 Comme montré en coupe suivant deux plans transversaux horizontaux de part et d'autre de l'axe transversal Y'Y central au capteur CA', aux figures 9 A et 9 B, l'usinage chimique de profondeur P creuse notamment deux "puits" sur une largeur ((X-ô)/2)-e 3 respectivement au-dessus des tronçons de marche 4421 et 4422 (Fig 9 A), et deux autres "puits" sur une largeur (X+ 5)/2 respectivement au dessous des tronçons 4421 et 4422 (figure 9 B) de manière à atteindre directement les faces des tronçons de contre-marche 4431 et 4432 4411 et 4412, les gravures des puits de chacune des paires précitées étant réalisées à partir des faces Fl et F 2 respectivement Simultanément, au cours de gravure les contours des lames 31 et 32 sont dégagées grâce au décalage È de celles-ci et en imposant une égalité M 3 =e 4 entre la largeur des lames et l'épaisseur des tronçons de contre-marche. Du point de vue de la fonction mécanique de l'ensemble des articulations 441 et 442 selon l'invention, celle-ci ne diffère pratiquement pas des articulations 41 et 42 du capteur connu CA. En effet, les "encastrements" aux extrémités des tronçons verticaux des articulations 441 et 442 sont solidaires de la partie fixe 1 d'une part, et de la masse d'épreuve 2 d'autre part Ces parties 1 et 2 étant massives, elles établissent un lien rigide entre les encastrements des articulations 441 et 442 sur chacune de ces parties. Le comportement mécanique de l'articulation globale 441 + 442 du capteur CA' est ainsi relativement proche de celui des poutres linéaires d'articulation 41 et 42 situées dans le plan médian PM du corps du capteur CA selon la technique antérieure, grâce aux 19 - dispositions inverses des articulations en marche d'escalier 441 et 442. Cela ne serait pas le cas si les articulations en marche d'escalier étaient disposées dans le même sens, c'est-à-dire si l'articulation 442 se déduisait de l'articulation 441 par une translation parallèle au plan PM En effet, il en découlerait des inconvénients lorsque le capteur est soumis à des accélérations perpendiculaires à la direction sensible DS, et en particulier à une accélération parallèle à l'axe Z'Z: la partie massive mobile 2 subirait une rotation dont l'axe serait voisin de l'axe Y'Y l'amenant dans l'un des demi-espaces situés de part et d'autre du plan PM. Ceci provoquerait une variation fréquentielle indésirable du signal de sortie délivré par le capteur, puisque celui-ci est un capteur monoaxe, c'est-à-dire ne doit être sensible qu'à la seule composante de l'accélération parallèle à DS. Pour le capteur CA' suivant l'invention, cet inconvénient n'est pas à craindre: lorsqu'une accélération est appliquée parallèlement à l'axe Z'Z, le centre de gravité de la partie massive 2 faisant office de masse d'épreuve reste situé sur l'axe Z'Z, et donc a fortiori dans le plan PM, ce qui ne provoque pas de variation du signal de sortie Ceci est dû au fait que les articulations 441 et 442 se déduisent l'une de l'autre par une rotation de 1800 autour de l'axe Z'Z Autrement dit, elles sont symétriques l'une de l'autre par rapport à l'axe Z'Z. Ainsi, la fonction mécanique globale des articulations 441 et 442 est semblable à celle des articulations 41 et 42 selon la technique antérieure. Selon une seconde réalisation montrée à la figure 10, un capteur CA'a comporte une partie fixe la, - une partie mobile 2 a, deux lames 3 a 1 et 3 a 2 et deux articulations en marche d'escalier 44 a 1 et 44 a 2, ainsi que des configurations d'électrodes 34 a, et 34 a 2 à trois pistes, similaires à celles du capteur CA'. Comparativement au capteur CA' de la figure 3, le capteur CA'a en diffère principalement par la forme discoïde du corps de capteur et par la forme en U de la partie fixe la. Cette partie fixe comporte un segment discoïde de base l Oa qui forme la partie fixe proprement dite comme la partie 1 dans le capteur CA', deux portions minces lia, et lla 2 dressées verticalement aux extrémités du segment l Oa et situées à la hauteur des tronçons de contre-marche inférieurs 441 a 1 et 441 a 2, et deux branches 12 a 1 et 12 a 2 en forme de demi-segments discordes prolongeant les portions minces et s'étendant sensiblement jusqu'à l'extrémité de la partie massive mobile 2 a Ainsi, les ensembles de portion mince et branche 11 a 1-12 a, et 11 a 2-12 a 2 longent les articulations 44 a 1 et 44 a 2 et la partie mobile 2 a par l'intermédiaire de fentes longitudinales étroites 13 a, et 13 a 2, et des encoches 14 a 1 et 14 a 2 sont menagées sur le pourtour circulaire du capteur, au niveau des portions minces et sous les branches. Les branches semi-discoïdes 12 a 1 et 12 a 2 sont fixées, par exemple par collage, sur l'embase B Aa d'un boîtier cylindrique de faible encombrement, par exemple de 0,5 cm 3. Ainsi, les portions minces la 1 et lla 2, intermédiaires entre le segment de base et les branches, réalisent un découplage mécanique entre la partie centrale active du capteur CA'a et les branches fixées sur l'embase, ce qui réduit l'influence parasite des contraintes mécaniques du boîtier. Dans le même esprit, des connexions 21 - électriques entre les électrodes 34 a, et 34 a 2 et des traversées étanches de l'embase du boîtier sont réalisées au niveau des branches fixées 12 a, et 12 a 2, par soudure sur des plages de contact métalliques de forme rectangulaire Comme illustré à la figure 10, les plages métalliques 33 a, et 33 a 2 relatives à l'une 3 a, des lames vibrantes sont situées sur l'une 12 a 2 des branches et sont reliées aux électrodes correspondantes 34 a, et 34 a 2 par deux rubans métalliques 38 a 1 et 38 a 2 supportés par la face visible du segment de base l Oa et de la portion mince lla 2 Les plages métalliques relatives à l'autre lame 3 a 2 ne sont pas visibles dans la figure 10 et sont supportées de préférence par la face arrière de l'autre branche 12 a 1 de manière à conserver la symétrie par rapport à l'axe médian Z'Z, y compris relativement aux électrodes et aux rubans de liaison électrique. Les électrodes, les rubans de liaison et les plages de contact peuvent être simultanément obtenus par gravure d'une couche métallique adhérente au matériau piézoélectrique à partir de procédés photolithographiques classiques. 22 - REVENDICATIONS 1 Capteur accélérométrique comprenant une partie massive fixe ( 1), une partie massive mobile ( 2) et deux lames en matériau piézoélectrique vibrant en flexion ( 31; 32), chacune ( 31) des lames ayant des extrémités solidaires des parties massives et un côté longitudinal qui supporte des première et seconde électrodes ( 341; 342) caractérisé en ce qu'une partie de longueur de la lame ( 31) supporte d'une part une bande conductrice ( 3411; 3422; 3441) de la première électrode ( 341; 342) chevauchant un axe longitudinal sensiblement médian dudit côté, et d'autre part une bande conductrice latérale ( 3412 ou 3432; 3431 ou 3421; 3442 ou 3452) de la seconde électrode ( 342; 341) s'étendant à proximité de l'un des bords longitudinaux dudit côté. 2 Capteur accélérométrique conforme à la revendication 1, caractérisé en ce que la partie de longueur de la lame ( 31) supporte une deuxième bande conductrice latérale ( 3432 ou 3412; 3421 ou 3431; 3452 ou 3442) s'étendant symétriquement à la première bande latérale par rapport à l'axe longitudinal médian dudit côté et appartenant à la seconde électrode. 3 Capteur accélérométrique conforme à la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la partie de longueur de la lame ( 31) comprend au moins l'un des deux quarts (L 3/4) de longueur contigus aux parties massives ( 1,2). 4 Capteur accélérométrique conforme à la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la partie de longueur de la lame ( 31) comprend sensiblement la 23 - moitié centrale (L 3/2). Capteur accélérométrique conforme à la revendication 3, caractérisé en ce que la première électrode ( 341) comprend au moins une bande latérale ( 3421, 3431) supportée par la partie centrale dudit côté, s'étendant à proximité de l'un des bords longitudinaux dudit côté et reliée à la bande de première électrode ( 3411, 3441) qui chevauche l'axe longitudinal et qui est supportée par au moins l'un des deux quarts de longueur contigus aux parties massives, et la seconde électrode comprend une bande conductrice ( 3422) supportée par la partie centrale dudit côté chevauchant l'axe longitudinal et reliée à au moins la bande latérale de seconde électrode ( 3412 ou 3432; 3442 ou 3452) qui est supportée par au moins l'un des deux quarts de longueur contigus aux parties massives. 6 Capteur accélérométrique conforme à l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que les électrodes ( 341, 342) sont sur des couches superposées d'une structure multicouche supportée par ledit côté de la lame. 7 Capteur accélérométrique conforme à l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que chaque électrode a une bande conductrice reliée à une plage de contact d'électrode ( 331 332) supportée par une face (Fl) de la partie fixe ( 1). 8 Capteur accélérométrique conforme à l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé par deux articulations ( 441 î 442) comprenant chacune deux premiers tronçons ( 4411, 4431; 4412, 4432) sensiblement parallèles aux lames ( 31 t 32) et respectivement 24 - solidaires des parties fixe et mobile ( 1, 2), et un tronçon intermédiaire ( 4421; 4422) perpendiculaire aux premiers tronçons. 9 Capteur accélérométrique conforme à la revendication 8, caractérisé en ce que les articulations ( 441, 442) sont disposées de part et d'autre des lames ( 31, 32) et sont symétriques l'une de 1 'autre par rapport à un axe longitudinal de symétrie (Z'Z) du capteur qui est parallèle aux lames. Capteur accélérométrique conforme à la revendication 8 ou 9, caractérisé par des longueurs (LT) des premiers tronçons ( 4411, 4431; 4412, 4432) qui sont égales entr'elles et supérieures à la longueur du tronçon intermédiaire ( 4421; 4422). 11 Capteur accélérométrique conforme à l'une quelconque des revendications 8 à 10, caractérisé par des sections (e 4 14) des premiers tronçons ( 4411, 4431; 4412, 4432) qui sont égales entr'elles et inférieures à la section ((L 4-2 LT) 4) du tronçon intermédiaire ( 4421; 4422). 12 Capteur accélérométrique conforme à l'une quelconque des revendications 8 à 11, caractérisé par des sections des tronçons ( 4411, 4421, 4431; 4412, 4422, 4432) des articulations ( 441; 442) supérieures à la section (e 3 13) des lames ( 31; 32). 13 Capteur accélérométrique conforme à l'une quelconque des revendications 8 à 12, caractérisé par des faces des deux premiers tronçons de chacune des articulations ( 4411, 4431; 4412, 4432) respectivement coplanaires à des faces opposées des parties massives - fixe et mobile ( 1, 2). 14 Capteur accélérométrique conforme à l'une quelconque des revendications 8 à 13, caractérisé en ce que ledit côté longitudinal de lame supportant les électrodes ( 341, 342) est coplanaire à l'une (F 1) des faces de la partie fixe ( 1). Capteur accélérométrique conforme à la revendication 14, caractérisé par une largeur de section ( 13) des lames ( 31, 32) prise perpendiculaire auxdits côtés longitudinaux des lames, égale à l'épaisseur (e 4) des premiers tronçons ( 4411, 4431; 4412, 4432) des articulations. 16 Capteur accélérométrique conforme à l'une quelconque des revendications 8 à 15, caractérisé en ce que les parties massives ( 1, 2), les lames ( 31, 32) et les articulations ( 441, 442) constituent un corps monolithique usiné dans une même plaque de matériau piézoélectrique d'épaisseur uniforme (E). 17 Capteur accélérométrique conforme aux revendications 15 et 16, caractérisé en ce que l'usinage du corps est chimique et est effectué en une seule étape avec une même profondeur d'usinage (P) à partir des faces (F 1, F 2) de ladite plaque. 18 Capteur accélérométrique conforme à l'une quelconque des revendications 8 à 17, caractérisé en ce que la partie fixe (la) comprend deux ensembles composés chacun d'une branche ( 12 al; 12 a 2) pour fixer le capteur sur une embase (B Aa), et d'une portion mince ( 11 al; 11 a 2) reliant ladite branche à une base ( 10 a) de la partie fixe qui est solidaire des lames ( 3 al, 26 - 3 a 2) et des articulations ( 44 a 1, 44 a 2) pour découpler mécaniquement la branche et la base. 19 Capteur accélérométrique conforme à la revendication 18, caractérisé en ce que les ensembles à branche et portion mince ( 12 a 1, 11 al; 12 a 2, 11 a 2) sont séparés des articulations ( 44 a 1; 44 a 2) et de la partie mobile ( 2 a) par des fentes longitudinales ( 13 a 1, 13 a 2). Capteur accélérométrique conforme à la revendication 18 ou 19, caractérisé par des paires de plages de contact ( 33 a 1, 33 a 2) disposées respectivement sur les faces opposées des branches ( 12 a 1, 12 a 2) et reliées aux paires d'électrodes ( 34 a 1, 34 a 2) des lames ( 3 a 1, 3 a 2) par des paires de rubans conducteurs ( 38 a 1, 38 a 2) supportées par les portions minces ( 11 a 1; 11 a 2) et la base ( 10 a).