Brevet FR2696947A1 — publié le 19940422

Module de filtration, de séparation, de purification de aaz ou de liquide, ou de transformation catalytipue La présente invention concerne un module de filtration, de séparation, de purification de gaz ou de liquide, ou de transformation catalytique, comportant, dans un carter, au moins un élément de traitement rigide pour la purification ou à membrane de séparation, de filtration, ou de transformation catalytique Un tel module peut être destiné à la filtration, à la séparation, ou à la10 purification des liquides, mais il s'applique tout particulièrement à la filtration ou à la purification des gaz utilisés par exemple dans la fabrication des semi- conducteurs. Ce type de module comprend: une enveloppe métallique, ou carter, généralement cylindrique, comportant une ou plusieurs pièces assemblées par soudage; un ou plusieurs éléments de traitement rigides, de géométrie tubulaire ou du type multicanal telle que décrite dans le brevet US-4,069,157, ou encore du type nid d'abeille tel que décrit dans le brevet US-4,781,831; Pour les applications de filtration ou purification des gaz destinés notamment à la fabrication des semi- conducteurs, l'ensemble du module doit pouvoir résister:25 aux contraintes thermiques liées à l'utilisation (cyclage thermique et dégazage par exemple), aux contraintes mécaniques de tenue en pression, comme par exemple pour le traitement d'un gaz pouvant être à plusieurs centaines de bars30 à la corrosion par le fluide traité, qui peut être par exemple HC 1, un chlorure, un bromure ou un autre gaz corrosif utilisé en production, et en particulier pour la gravure des circuits intégrés. De plus les exigences d'ultra-propreté de l'industrie électronique notamment imposent qu'il n'y ait aucun risque de relargage de particules polluantes par le module. Un tel module doit pouvoir fonctionner à des températures allant de la température ambiante à plusieurs centaines de degrés Celsius, soit pour le traitement du fluide, soit pour le nettoyage ou la régénération du ou des éléments de traitement Sous l'effet des variations de température, il apparait des différences de dilatation entre l'élément et le carter qui peuvent atteindre plusieurs millimètres quand l'élément de traitement a une longueur de l'ordre du mètre La liaison élément-carter doit être assez flexible pour pouvoir se déformer de manière à compenser ces écarts de dilatation. Dans certains montages connus, la liaison élément- carter peut être réalisée par l'intermédiaire d'un joint polymérique ou élastomérique, par exemple en PTFE, EPDM, silicone, etc Dans ce cas, on utilise l'élasticité du joint pour compenser les écarts de dilatation entre20 l'élément et le carter. Cette solution ne convient pas pour les utilisations à haute température, pour des raisons évidentes de dégradation physico-chimique et mécanique du polymère ou de l'élastomère De plus avec le temps, ces composés25 vieillissent et fluent. Par ailleurs, on connaît des modules dans lesquels la liaison du ou des éléments avec le carter se fait par l'intermédiaire d'une ou plusieurs pièces métalliques, ou viroles, placées aux extrémités de l'élément Chacune de ces30 pièces est solidement fixée d'une part à l'enveloppe métallique, d'autre part à l'extrémité d'un élément de traitement par une brasure ou par un verre (ou émail) Ces solutions présentent des inconvénients majeurs. D'une part, les brasures n'offrent pas en général une bonne résistance à la corrosion par des gaz tels que HC 1, chlorures, bromures, etc, qui sont couramment utilisés pour la gravure des circuits intégrés. D'autre part, les verres qui ont une bonne résistance à la corrosion sont d'une manière générale ceux qui ne comprennent pas dans leur composition de composant fusible à basse température Ces verres fondent donc à haute température L'assemblage du module au moyen de ces verres10 nécessite donc de porter l'ensemble du module à haute température, ce qui n'est pas toujours possible car on risque d'endommager l'élément de traitement (couche filtrante, catalyseur, etc), ou le métal de la virole De plus, pour obtenir une bonne liaison entre le verre et le15 métal du carter ou de la virole, il est en général nécessaire d'oxyder au préalable la surface métallique, ce qui n'est pas compatible avec les exigences d'ultra-propreté imposées par exemple dans les applications à la fabrication des semi- conducteurs Enfin, cette solution verre est20 coûteuse, car elle met en jeu des moyens de cuisson importants et un procédé complexe. Le but de l'invention consiste à réaliser un module de filtration utilisable à température élevée sans risque de pollution, et capable de résister aux contraintes d'ordre25 thermique, mécanique, et chimique qui lui sont appliquées. L'objet de la présente invention est un module de filtration, de séparation, de purification de gaz ou de liquide, ou de transformation catalytique, comprenant: une enveloppe métallique, ou carter, sensiblement cylindrique, au moins un élément de traitement rigide constitué d'un matériau dense ou poreux choisi parmi la céramique, le carbone, le verre fritté, et un métal fritté, dont au moins une des extrémités est sensiblement cylindrique, et dont l'axe est parallèle à celui de l'enveloppe, au moins une pièce métallique en forme de virole élastiquement déformable, d'une part fixée au carter, et d'autre part reliée à ladite extrémité dudit élément, module caractérisé en ce que la liaison entre ladite virole et ladite extrémité dudit élément est un f rettage thermique ou mécanique, ladite virole étant frettée sur ladite extrémité ou l'inverse (frettage inverse). Le frettage consiste à réaliser l'emmanchement d'une pièce dans une frette, le diamètre intérieur de la frette étant inférieur au diamètre extérieur de la pièce à fretter d'une quantité appelée serrage Ce mode de liaison par frettage, ou serrage, a l'avantage d'être exempt de tout15 agent de liaison organique ou inorganique. Le frettage thermique consiste par exemple à emmancher l'élément dans la virole après dilatation de celle-ci par chauffage Le frettage mécanique, ou emmanchement en force, consiste par exemple à enfoncer à froid l'élément dans la20 virole à l'aide d'une presse. L'avantage du frettage thermique de l'élément dans la virole est qu'il y a serrage tant que la température d'utilisation du module reste en dessous de la température de relaxation du métal (c'est à dire la température en-25 dessous de laquelle il reste élastique) et de la température (s'il y en a une) à laquelle la dilatation thermique du métal et de l'extrémité de l'élément annulerait le serrage. Selon une variante, la liaison entre ledit élément et ladite virole est réalisée par frettage mécanique, ou emmanchement en force, de cônes Morses L'élément actif dont la géométrie de l'extrémité est faiblement conique, du type cône Morses (conicité De préférence, ladite virole est déformable de façon élastique, de telle sorte qu'elle peut se déformer légèrement parallèlement à l'axe longitudinal du module en se comportant comme un soufflet métallique Dans le cas o5 l'élément de traitement est constitué d'un matériau à comportement mécanique fragile (céramique, verre, carbone,), le montage avec la virole en forme de soufflet protège par son élasticité l'élément contre les chocs éventuels reçus par le carter. Ladite virole est fabriquée dans un matériau choisi parmi un acier inoxydable, un alliage de titane du type TA 6 V de la société PECHINEY, un alliage riche en nickel tel que le N 42 ou le Dilver (PO ou Pi) de la société IMPHY, ou le Kovar de la société WESTINGHOUSE, ou bien encore un alliage15 connu sous la marque déposée "HASTELLOY" Ces alliages sont choisis en raison de leur coefficient de dilatation, de leur température élevée de relaxation des contraintes, et de leur résistance à la corrosion. Selon un premier mode de réalisation, ladite virole est fixée sur ledit carter par une soudure réalisée par emboîtement du bord externe de ladite virole dans un logement usiné dans la paroi dudit carter, et fusion partielle de l'épaisseur de la paroi dudit carter et du bord externe de ladite virole sans qu'il apparaisse de zone de25 métal fondu à la surface interne dudit carter. De préférence, la virole et la ou les pièces du carter sont assemblées par soudage T I G (Tungsten Inert Gas). L'électrode de tungstène et l'ensemble des pièces à souder sont animées l'un par rapport à l'autre d'un mouvement de30 rotation autour de l'axe du carter à assembler, ce qui permet de maîtriser la profondeur de la zone fondue (de l'ordre de 4 mm) par rapport à l'épaisseur de la paroi ( 5 à 7 mm) On obtient un cordon de soudure large ( 0,5 mm environ). Selon un second mode de réalisation, ladite virole est fixée sur ledit carter par une soudure réalisée par emboîtement du bord externe de ladite virole dans un logement usiné dans la paroi dudit carter, et fusion5 partielle de l'épaisseur de la paroi dudit carter sans fusion du bord externe de ladite virole mais avec pincement dudit bord par retrait de la zone fondue, et sans qu'il apparaisse de zone de métal fondu à la surface interne dudit carter. Le pincement par le retrait de la soudure assure entre le carter et la virole une liaison qui est à la fois mécaniquement très solide et absolument étanche. Ce procédé présente l'avantage que pour assembler le module, il suffit de deux soudures s'il y a deux viroles, ou d'une seule soudure s'il n'y a qu'une seule virole. La liaison entre la virole et le carter pourrait aussi être réalisée par dudgeonnage, ou bien par frettage du carter sur la virole. Selon une variante, au moins une des extrémités dudit élément est relié à ladite virole par l'intermédiaire d'un embout fixé sur ledit élément, ledit embout étant de forme sensiblement cylindrique et constitué d'un matériau choisi selon la fonction dudit embout, parmi un matériau poreux et un matériau dense. La présence d'un embout est nécessaire dans les cas suivants: lorsque l'extrémité de l'élément de traitement ne ne peut pas être mise directement en communication avec l'orifice de sortie du module: soit parce qu'on souhaite30 boucher totalement l'élément par un embout plein, soit parce que l'élément doit être partiellement obturé afin de créer un passage préférentiel du fluide à travers les parois latérales et on utilise par exemple un embout microporeux, soit encore pour adapter la géométrie intérieure de l'élément afin de faire communiquer les canaux internes avec l'un des orifices d'entrée ou de sortie du module à l'aide d'un embout tubulaire;5 lorsque les caractéristiques mécaniques de l'élément sont insuffisantes pour la réalisation d'un frettage: l'embout est alors constitué d'un matériau dense ou poreux, de même nature ou différent de celui de l'élément, possédant une tenue mécanique suffisante pour permettre le frettage;10 lorsque la géométrie extérieure de l'élément n'est pas compatible avec l'opération de frettage: dans ce cas l'embout doit présenter une portée cylindrique ou faiblement conique correspondant à la géométrie de la virole. L'embout est fixé sur l'élément de traitement soit par une liaison dépourvue de tout liant (frettage thermique, emmanchement en force, dudgeonnage,), soit à l'aide d'un verre, ou émail, fusible à haute température Dans ce cas l'utilisation d'un verre est possible sans endommager l'élément car la liaison entre l'élément et l'embout est en20 général réalisée avant le revêtement du support de l'élément par une membrane ou un matériau catalytique par exemple. Seul le verre haute température possède des propriétés qui le rendent utilisable à température élevée sans risque de pollution, et capable de résister aux contraintes d'ordre25 thermique, mécanique, et chimique qui sont appliquées au module. Selon un perfectionnement, ledit élément contient des composés pouvant réagir chimiquement avec certains constituants (par exemple des impuretés) du fluide à traiter30 pour les fixer, ou les dénaturer. Selon un premier mode de réalisation, ledit module comporte un élément de traitement multicanal à membrane du type stérilisant, à surface hydrophobe, et dont le diamètre moyen des pores est inférieur ou égal à 0,8 micromètre. Selon un second mode de réalisation, ledit module comporte un élément de traitement constitué d'un matériau poreux, portant à chaque extrémité un embout en matériau dense constitué d'un matériau de même nature que ledit5 élément, ledit embout étant lié par frettage à une virole en alliage choisi parmi les alliages riches en nickel, et ladite virole étant soudée audit carter en acier inoxydable dont l'intérieur est électropoli. Selon un troisième mode de réalisation, ledit module comporte un élément de traitement, choisi parmi le type nid d'abeille ou le type multicanal, en matériau dense dont les parois sont revêtues d'un matériau catalytique. Un module suivant la présente invention a l'avantage de pouvoir être utilisé dans une large gamme de température, et en particulier à des températures élevées (plusieurs centaines de degrés Celsius), avec ou sans cyclage thermique Il a également l'avantage d'être exempt de tout agent de liaison organique ou inorganique, susceptible de se dégrader au cours du temps ou sous l'effet des contraintes20 thermiques, mécaniques, ou chimiques induites par les conditions d'utilisation. Enfin un autre avantage du module selon la présente invention est que sa surface intérieure est dépourvue de matériau susceptible de fixer puis de restituer des25 impuretés gênantes, telles que des matières organiques, de la vapeur d'eau, ou des micro-particules solides pouvant être éventuellement contenues dans le gaz à traiter Cet avantage se révèle particulièrement précieux dans les applications o le module doit traiter des gaz très purs. Un module selon l'invention est susceptible de nombreuses applications dans l'industrie électronique, chimique, pharmaceutique, et agro-alimentaire. D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront au cours de la description suivante et à la lecture des exemples, donnés à titre illustratif mais nullement limitatif, et dans le dessin annexé. Dans le dessin annexé: la figure 1 représente de manière schématique un module selon l'invention; la figure 2 est un agrandissement de la jonction carter-virole-élément du module représenté sur la figure 1; la figure 3 montre le positionnement de la virole et des pièces du carter du module de la figure 1 avant soudage; la figure 4 montre les mêmes pièces que la figure 3 après soudage; la figure 5, analogue à la figure 4, représente une variante de la soudure de la liaison carter- virole de la figure 3 après soudage; les figures 6 et 7, analogues à la figure 2, montrent deux variantes de la jonction carter-virole- élément; la figure 8 représente une variante de réalisation d'un module de séparation selon l'invention utilisant le principe de la filtration tangentielle; la figure 9 montre une variante de la liaison carter-virole-élément de la figure 8; les figure 10 et il représentent deux variantes de réalisation d'un module de purification des gaz selon l'invention dans le cas o l'élément de traitement comporte un composé réactif; la figure 12 a est une vue agrandie d'une jonction virole-élément dans le cas o il y a deux viroles; la figure 12 b est une vue agrandie de la même jonction virole-élément dans le cas o il n'y a qu'une seule virole; la figure 13 a représente une liaison virole-élément par frettage inverse; la figure 13 b représente une autre variante d'une liaison virole- élément par frettage inverse; la figure 14 montre schématiquement une liaison virole-élément par emmanchement en force de cônes Morses; Un module de filtration à élément rigide selon l'invention est représenté sur la figure 1; il comporte: un carter cylindrique 13, composé de plusieurs pièces 1, 2, et 3, assemblées par soudage; un élément de traitement 4, de géométrie tubulaire, présentant un canal intérieur 16 limité par une paroi poreuse 18 Les extrémités 14 et 15 de l'élément sont munies d'embouts 5 et 8 comportant une portée cylindrique 9; l'embout 5 est plein et bouche le canal intérieur 16 de l'élément 4, alors que l'embout 8 possède un orifice 17 dans15 l'axe du canal intérieur 16; deux pièces métalliques 6 et 7, ou viroles, chacune de ces pièces étant solidement fixée selon l'invention d'une part par frettage aux embouts 5 et 8 de l'élément de traitement et d'autre part par soudage au carter 13 L'une20 des deux viroles 6 comporte un orifice 10 permettant le passage du fluide. L'entrée et la sortie du fluide à traiter se font par des orifices il et 12 situés dans l'axe du canal 16, à chaque extrémité du module. Dans ce type de module, le passage du fluide à traiter se fait de la surface latérale extérieure de l'élément de traitement 4 vers la surface intérieure du canal 16 La circulation du fluide a lieu de la manière suivante: entrée du fluide par l'orifice 12 à l'extrémité du module, passage30 par l'orifice 10 dans la virole 6, circulation le long de la surface latérale extérieure de l'élément 4, traversée de la paroi 18 de l'élément 4, circulation dans le canal intérieur 16 vers l'extrémité 14 de l'élément 4, et sortie par il l'orifice 17 puis l'orifice il à l'autre extrémité du module. La figure 2 est un agrandissement de la liaison carter-virole-élément de traitement de la figure 1. L'élément de traitement 4 comprend une partie centrale active qui porte, à son extrémité 15, l'embout 5 La virole 6 vient serrer par frettage la portée cylindrique 9 située sur l'embout 5 La jonction virole-carter est située sur la surface latérale du carter 13, à la jonction des pièces 2 et10 3. On réalise la fixation de la virole 6 sur le carter 13 de la manière suivante (voir figures 3 et 4) Un logement 19 est usiné dans les pièces 2 et 3 du carter 13 de façon à ce que le bord externe GEFH de la virole 6 s'y emboîte15 exactement comme le montre la figure 3, qui représente les pièces avant soudage. Ainsi qu'il est visible sur la figure 4, le soudage est réalisé par l'extérieur de manière à fondre une partie seulement de l'épaisseur des pièces 2 et 3 du carter 13 et à20 fondre uniquement le bord externe EF de la virole 6; la zone fondue est représentée en JMNK. La solidification de la zone fondue se fait avec un retrait qui pince fortement le rebord de la virole 6, l'épaisseur MN, ou PQ, devenant alors nettement plus faible25 que l'épaisseur initiale EF, ou GH, de la virole 6 Le pincement par le retrait de la soudure assure entre le carter 13 et la virole 6 une liaison qui est à la fois mécaniquement très solide et absolument étanche. La liaison virole-carter est réalisée de telle sorte qu'il n'apparaît pas de surface libre 20 de métal en fusion à l'intérieur du carter 13 pendant l'opération de soudage. Cette méthode présente l'avantage d'empêcher d'une part l'émission de particules de métal pendant cette opération et le relargage ultérieur de particules piégées, d'autre part la modification de l'état de surface autour de la zone de soudure par condensation de métal vaporisé pendant l'opération; enfin cette méthode permet de limiter la zone5 fondue à la partie externe de l'épaisseur de la paroi du carter 13, soit environ 4 mm pour une épaisseur totale de paroi de 5 à 7 mm. Dans le cas o la surface intérieure du carter 13 doit présenter des caractéristiques particulières (surface électropolie, passivée, chromée, etc), on peut réaliser ces traitements sur les pièces avant soudage Après soudage, la totalité de la surface intérieure du carter 13 présentera encore ces caractéristiques, alors que les carters des modules connus, qui sont assemblés suivant d'autres procédés15 ne comportant pas cette virole 6, ont sur leur surface intérieure une bande de métal fondu puis resolidifié A l'exception de l'élément de traitement 4, tous les autres composants du module peuvent être réalisés de façon à ce que toute la surface intérieure du module soit polie, et pour20 les parties métalliques électropolie, pour ne pas relarguer de particules solides, ou encore passivée pour résister à la corrosion. Selon un mode de réalisation de ce module: le carter 13 est en acier inoxydable 316 L électropoli à l'intérieur; l'élément de traitement 4 monotube est du type filtre à gaz, d'une longueur de 2 à 20 cm, en céramique (alumine A 1203) revêtue d'une couche d'alumine de diamètre moyen de pores de 0,lm (Membralox P 19-40 de SCT), et comporte à chaque extrémité un embout 5 et 8 en alumine dense collé au moyen d'un verre; chaque virole 6 et 7 en forme de soufflet, est composée d'un alliage comportant 41 % de nickel et 59 % de fer (N 42 de la société IMPHY), et soudée sur le carter 13 suivant la variante représentée figure 2. Les principales caractéristiques sont: * diamètre externe de la portée cylindrique de l'embout en céramique: 22,084 mm 0,002 mm * coefficient de dilatation de l'alumine: 7 10-6/@C * rugosité de surface de la céramique sur la surface de portée cylindrique: Ra = 1,1 à 1,3 gm (Ra écart moyen arithmétique des aspérités)10 * largeur de la portée cylindrique: 3 mm * température d'assemblage de l'embout en alumine: 200 C * diamètre interne à froid avant assemblage de la portée cylindrique de la virole en N 42: 22,050 mm 0,003 mm * diamètre interne à chaud au moment de l'assemblage de la virole en N 42: 22,090 mm * rugosité de surface de la portée cylindrique de la virole: Ra = 1, 75 gm * coefficient de dilatation de l'alliage N 42: 5 10-6/OC * température de relaxation des contraintes de l'alliage N 42: supérieure à 500 C * température d'assemblage de la virole: 3500 C * température de fonctionnement du module: environ 4500 C * diamètre interne de la partie cylindrique du carter: 43 mm * diamètre externe de la partie cylindrique du carter: 53 mm * diamètre externe de la virole avant soudage: 44,6 mm Les pièces 2 et 3 du carter 13 et la virole 6 sont assemblées en vue du soudage comme le montre la figure 3, avec GE=HF= 0,8 mm et EF=GH= 0,45 mm Après soudage (figure 4), ces valeurs deviennent PM=QN= 0,6 mm et MN=PQ= 0,37 mm. Le module a été soumis à des tests d'évaluation dont les résultats sont les suivants: * force d'arrachement à 200 C de la virole par rapport à l'embout: 3700 Newtons * test de fuite à l'air: l'intérieur du carter étant sous vide, le module est soumis à un cyclage thermique de 50 cycles entre 200 C et 4000 C; on obtient: avant cyclage thermique: 5 106 atm cm 3 S 1 après cyclage thermique: 6 107 atm cm 3 sl cette différence entre les valeurs de fuite avant et après cyclage thermique n'est pas significative. * test de rétention de particules, cette mesure est faite au compteur de particules à noyau de condensation (CNC type 3022 de la société TSI): pas de passage de particules supérieures à 0,Olgm pendant un test d'une durée de minutes, avec un débit d'air dans le filtre de 9 cm 3/seconde. Un module selon l'invention tel que représenté sur la figure 1 peut être utilisé pour réaliser: des filtres pour les gaz, en particulier pour les gaz corrosifs, ou pour les liquides utilisés pour la fabrication des semi-conducteurs, notamment des circuits intégrés; des purificateurs de gaz ou de liquides; des séparateurs, des purificateurs ou des filtres à gaz de plus grande dimension, comportant plusieurs éléments d'une longueur de l'ordre du mètre; des évents de fermenteur permettant une communication étanche aux micro- organismes entre le gaz situé au-dessus du liquide dans le fermenteur, et l'atmosphère extérieure Dans ce cas, l'élément actif est du30 type multicanal et la membrane doit être du type stérilisant (diamètre moyen des pores ces catalyseurs, en particulier pour purifier ces gaz ou ces liquides. Ces filtres ou ces éléments poreux peuvent être du type à membrane, c'est-à-dire composés d'un support à porosité grossière et d'une ou plusieurs couches à porosité fine. La figure 5 représente une autre variante de la liaison carter-virole Le soudage est réalisé par l'extérieur de manière à fondre une partie seulement de l'épaisseur des pièces 2 et 3 du carter 13, sans qu'il y ait fusion du bord externe EF de la virole 6; la zone fondue est représentée en JKL La virole est maintenue par le pincement dû au retrait de la zone fondue qui entraîne le resserrement20 du logement 19. Sur les figures 6 et 7, on a représenté des variantes de la position de la jonction virole-carter. Selon une première variante, la virole 66 est soudée sur la surface transversale du carter 613, à l'extrémité du module, à la jonction des pièces 62 et 63 (figure 6). Selon une seconde variante, la virole 76 est soudée à l'intersection des surfaces transversale et latérale du carter 713, à la jonction des pièces 72 et 73 (figure 7). La figure 8 représente un module comportant un élément de traitement 84 muni d'un canal intérieur 816 limité par une paroi 818; chaque extrémité 814 et 815 est reliée respectivement à chacune des viroles 87 et 86 Le frettage des viroles 86 et 87 est effectué directement sur la portée cylindrique 89 de l'élément de traitement 84 Les viroles 86 et 87 sont d'autre part soudées sur la surface transversale du carter 813 au niveau des orifices d'entrée 811 et de sortie 812 dans l'axe du module Par ailleurs, le carter 813 5 possède un deuxième orifice de sortie 800 placé sur sa face latérale. Ce type de module fonctionne suivant le principe de la filtration tangentielle Le fluide suit le chemin représenté sur la figure 8 par des flèches: le fluide à traiter entre10 dans le module par l'orifice 811 qui communique avec l'extrémité 814 de l'élément 84, et pénètre dans le canal intérieur 816 dont la surface est recouverte ou imprégnée d'une membrane de séparation Il y a alors séparation du fluide en deux courants Une fraction du fluide effectue le15 trajet suivant: circulation tangentielle à la surface interne du canal intérieur 816 de l'élément 84, traversée de la paroi 818 de l'élément 84 après échange avec la membrane, circulation le long de la surface latérale extérieure de l'élément 84, sortie par l'orifice 800 dans la paroi du20 carter 813 Une autre partie du fluide circule vers l'autre extrémité 815 de l'élément 84, et sort du module par l'orifice 812. L'élément de traitement 84 est de type cylindrique en carbone poreux, revêtu d'une membrane microporeuse (diamètre moyen de pores: 1 nanomètre); ses extrémités 814 et 815 sont recouvertes de carbone vitrifié et reliées par frettage respectivement aux viroles 87 et 86 Les viroles 86 et 87, enforme de soufflet, sont en alliage de titane du type TA 6 V de PECHINEY avec addition de 6 % d'aluminium et 4 % de30 vanadium; ce matériau est choisi pour ses caractéristiques thermomécaniques et sa bonne résistance à la corrosion dans les milieux ne comportant pas de Na Cl Le carter 813 est de composition identique, ce qui résout le problème de corrosion et facilite l'assemblage virole-carter par35 soudure. Les principales caractéristiques de chaque virole et de l'élément sont: * diamètre externe sur la portée cylindrique en carbone vitreux de l'élément à 200 C: 32,000 mm + 0,003 mm * coefficient de dilatation du carbone: 5 10-6/o C * rugosité de surface de la portée cylindrique en carbone vitreux rectifié: Ra = 0,2 gm * largeur de la portée cylindrique en carbone vitreux: 4 mm * température d'assemblage de l'extrémité en carbone vitreux: 20 'C * diamètre interne de la portée cylindrique de la virole en TA 6 V à 200 C: 31,930 mm 0,003 mm * rugosité de surface de la portée cylindrique de la virole avant assemblage: Ra = 0,5 gm * coefficient de dilatation de l'alliage TA 6 V: 10 10-6/o C * limite élastique: 900 M Pa * température de relaxation des contraintes: 7300 C * température d'assemblage de la virole: 270 'C Et les caractéristiques principales de cette liaison sont: * force d'arrachement à 20 'C de la liaison embout-virole: supérieure à 5000 Newtons * température maximale d'utilisation: 400 C; au-dessus de cette valeur la contrainte de serrage devient insuffisante pour remplir les fonctions requises concernant l'étanchéité et la tenue mécanique. Ce mode de liaison par frettage réalisé à une température relativement basse comparée à la température de frittage de la membrane, présente l'avantage de ne pas30 entraîner de modification des couches ou membranes dont est revêtu l'élément De telles modifications peuvent se produire lorsqu'on utilise des procédés commme la projection de matière en fusion, du type schoopage métallique ou céramique, à cause du transfert de chaleur produit par la flamme. Avec ce type de module, on peut réaliser des séparateurs à membrane destinés à séparer des gaz ou des liquides Ce module est plus particulièrement applicable, suivant le principe de la filtration tangentielle, à l'extraction d'asphaltènes du fuel lourd ou des résidus dans des conditions supercritiques de température (environ 230 QC)10 et de pression (environ 25 bars) Ce module peut être également utilisé pour la récupération de catalyseurs de cracking suivant le même principe de filtration tangentielle par un élément revêtu d'une membrane de 0,2 gm Les conditions de fonctionnement en température et pression sont15 sensiblement plus élevées que dans le cas précédent. Sur la figure 9, on a représenté une variante de la liaison cartervirole-élément o l'assemblage est réalisé par une virole 96 frettée sur la portée cylindrique 99 à l'extrémité 915 de l'élément de traitement 94 Cette virole20 96 est elle-même soudée sur la pièce 92, constituant la surface transversale du carter 913, au niveau de l'orifice 912 placé dans l'axe du module Suivant d'autres variantes de la liaison représentée sur la figure 9 o la virole 96 est reliée au carter 913 sur la surface transversale au niveau de l'orifice 912, l'assemblage entre le carter et plusieurs éléments de traitement est réalisé par des viroles frettées sur des embouts portés par les extrémités des éléments, ces viroles étant elles-mêmes soudées ou dudgeonnées sur une plaque perforée servant de section transversale au carter Cette liaison est applicable à des séparateurs, des purificateurs ou des filtres à gaz de grande dimension, comportant plusieurs éléments d'une longueur de l'ordre du mètre. Sur la figure 10, on a représenté un purificateur de gaz comportant un élément tubulaire 104 à paroi poreuse 118 dont le canal intérieur 116 contient des constituants 100 qui réagissent chimiquement avec certaines impuretés du gaz5 pour les fixer ou les dénaturer Chaque extrémité 114 et 115 de l'élément 104 comporte une portée cylindrique 109 sur laquelle sont fixées par frettage des viroles 107 et 106 en forme de soufflet en Hastelloy C 22 La virole 107 possède un orifice 119 pour le passage du gaz Ces viroles 106 et 10710 sont elles-mêmes soudées au carter 113 constitué du même matériau C 22 Dans l'axe du module se trouve un orifice d'entrée 112 et un orifice de sortie 111 du gaz La circulation du gaz dans le module est représentée par des flèches. Dans cette variante de conception d'un module selon l'invention, le gaz à traiter pénètre dans le module par l'orifice 112, balaye le milieu réactif 100 situé dans le canal interne 116 de l'élément 104, traverse la paroi poreuse 118 de l'élément 104, puis le gaz traité ressort du20 module par l'orifice 111, directement ou après avoir traversé la virole 107 par l'orifice 119. Les principales caractéristiques de chaque virole et de l'élément sont: * diamètre moyen de pores de l'élément: 12 gm * diamètre externe sur la portée cylindrique de l'élément: 32,000 mm 0,003 mm * coefficient de dilatation de l'alumine: 7 10-6/o C * rugosité de surface de la portée cylindrique: Ra = 0,8 gm * largeur de la portée cylindrique: 5 mm * température d'assemblage de l'élément en céramique: 200 C * diamètre interne de la virole en Hastelloy C 22 à 20 C: 31,910 mm 0,003 mm * rugosité de surface de la portée cylindrique de la virole avant assemblage: Ra = 0,4 gm * coefficient de dilatation du C 22: 14 10-6/OC * température d'assemblage de la virole: 250 C * température d'utilisation au-dessus de laquelle la contrainte de serrage devient insuffisante: 3500 C Un purificateur de gaz d'une conception différente est représenté sur la figure 11 Les constituants réactifs 500 se trouvent à l'extérieur de l'élément poreux 504 qui a la10 forme d'un cylindre creux ayant une paroi poreuse 518 et un canal intérieur 516 Chaque extrémité 514 et 515 de l'élément 504 est munie d'un embout 508 et 505 L'embout 505 sert de bouchon au canal 516, alors que l'embout 508 possède un orifice 517 mettant en communication le canal 516 avec15 l'orifice de sortie 511 placé dans l'axe du module L'entrée dans le module s'effectue par l'orifice 512, placé également dans l'axe du module, à l'autre extrémité Chaque embout 505 et 508 comporte une portée cylindrique 509 sur laquelle est frettée une virole 506 et 507 La virole 506 possède un20 orifice 510 permettant le passage du gaz Les viroles 506 et 507 sont d'autre part soudées sur la surface transversale du carter 513 à la jonction des pièces 51 et 53 et des pièces 52 et 53. Dans ce cas, le gaz à traiter pénètre par l'orifice 512 du module, traverse la virole 506 par l'orifice 510, balaye le milieu réactif 500 situé dans l'intervalle 50 séparant l'élément de traitement 504 du carter 513, traverse la paroi poreuse 518 de l'élément 504, circule dans le canal intérieur 516 de l'élément 504, et sort par l'orifice 517 de30 l'embout 508 qui communique avec l'orifice 511 de sortie du module. L'élément de traitement 504 est en céramique poreuse, les embouts 505 et 508 sont en céramique dense, les viroles 506 et 507 sont en Hastelloy C 22 Le carter 513 est constitué du même matériau que les viroles 506 et 507 Ce module comporte en outre un produit réactif 500 qui est composé de particules d'alumine recouvertes de platine se5 trouvant dans l'espace 50 situé entre l'élément 504 et le carter 513. Les principales caractéristiques de chaque virole et de l'élément sont: * diamètre externe sur la portée cylindrique de l'élément à 200 C: 20,O 000 mm + 0,003 mm * coefficient de dilatation de l'alumine: 7 10- 6/o C * rugosité de surface de la portée cylindrique en céramique: Ra = 0,15 gm * largeur de la portée cylindrique: 5 mm * température d'assemblage de l'embout en céramique: 200 C * diamètre interne de la portée cylindrique de la virole à C: 19,940 mm 0,003 mm * rugosité de surface de la portée cylindrique de la virole avant assemblage: Ra = 0,25 gm * coefficient de dilatation du C 22: 14 10-6/,C * largeur de la portée cylindrique: 5 mm * température d'assemblage de la virole: 270 C Les caractéristiques principales de cette liaison sont: * force d'arrachement à 20 'C de la liaison embout-virole: supérieure à 5000 Newtons * température d'utilisation au-dessus de laquelle la contrainte de serrage devient insuffisante: 3500 C Un tel module de séparation utilisant une membrane poreuse de retenue d'un lit de catalyseur est utilisable dans le cas de réaction catalytique de gaz, comme l'hydrogénation du benzène qui s'effectue aux environs de 2600 C, température à laquelle le taux de conversion est de l'ordre de 100 %. Les figures 12 a et 12 b montrent une vue agrandie d'une jonction virole-élément dans le cas d'un élément 24 dont une des extrémités 214 porte un embout 28. Sur la figure 12 a, l'élément 24 est relié à deux viroles 26 et 27, l'une des viroles 26 est frettée directement sur l'extrémité 215 de l'élément 24, l'autre10 virole 27 est frettée sur l'embout 28 porté par l'extrémité 214 de l'élément 24. Sur la figure 12 b, une seule virole 26 est frettée directement sur l'extrémité 215 de l'élément 24. Les figures 13 a et 13 b représentent un type de liaison virole-élément par frettage inverse suivant deux variantes de réalisation. Sur la figure 13 a, des embouts 35 et 38, situés à chacune de ses extrémités 314 et 315 d'un élément 34, sont frettées sur la portée cylindrique 39 située sur chacune des20 viroles 36 et 37 Dans le frettage dit inverse, on réalise l'emmanchement d'une pièce, les viroles 36 et 37, dans une frette représentée ici par les embouts 35 et 38 Les viroles 36 et 37 sont d'autre part fixées suivant une direction perpendiculaire à l'axe de l'élément. La figure 13 b représente le frettage inverse de deux viroles 336 et 337 dans les embouts 35 et 38 possédant une portée cylindrique 39 placés aux extrémités 314 et 315 de l'élément 34 Les viroles 336 et 337 sont d'autre part fixée suivant une direction parallèle à l'axe de l'élément. La figure 14 représente un module qui comporte un élément de traitement 44 tubulaire, possédant un canal intérieur 416 et une paroi poreuse 418, relié par frettage mécanique à des viroles 46 et 47 de forme légèrement conique La virole 46 possède un orifice 410 permettant le passage du fluide Les extrémités 414 et 415 de l'élément 44 sont munies chacune d'un embout 45 et 48 dont l'alésage est de même géométrie que les viroles 46 et 47 L'embout 45 sert de bouchon au canal intérieur 416 de l'élément 44, alors que5 l'embout 48 est muni d'un orifice 417 qui met en communication le canal intérieur 416 avec l'orifice 411 de sortie du module Le frettage des embouts 45 et 48 sur la portée conique 409 des viroles 46 et 47 est réalisée par emmanchement en force de deux cônes, du type cônes Morses,10 c'est-à- dire avec un demi-angle au sommet d'environ 1,5 degré Les viroles 45 et 48 sont d'autre part soudées sur le carter 413 au niveau des orifices d'entrée 412 et de sortie 411 situés dans l'axe du module. Le fluide, dont la circulation est représentée par des flèches, entre par l'orifice 412, traverse la virole 46 par l'orifice 410, circule le long de la surface latérale extérieure de l'élément 44, traverse la paroi 418 et se dirige vers l'extrémité 414 en empruntant le canal intérieur 416, enfin, en passant par l'orifice 417 de l'embout 48, sort par l'orifice 411 à l'autre extrémité du module. Bien entendu la présente invention n'est pas limitée aux modes de réalisation décrits et représentés, mais elle est susceptible de nombreuses variantes accessibles à l'homme de l'art sans que l'on ne s'écarte de l'esprit de25 l'invention. REVENDICATIONS 1./ Module de filtration, de séparation, de purification de gaz ou de liquide, ou de transformation catalytique, comprenant: 5 une enveloppe métallique, ou carter, sensiblement cylindrique, au moins un élément de traitement rigide constitué d'un matériau dense ou poreux choisi parmi la céramique, le carbone, le verre fritté, et un métal fritté, dont au moins10 une des extrémités est sensiblement cylindrique, et dont l'axe est parallèle à celui de l'enveloppe, au moins une pièce métallique en forme de virole élastiquement déformable, d'une part fixée au carter, et d'autre part reliée à ladite extrémité dudit élément, module caractérisé en ce que la liaison entre ladite virole et ladite extrémité dudit élément est un frettage thermique ou mécanique, ladite virole étant frettée sur ladite extrémité ou l'inverse. 2./ Module selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite virole est fixée sur ledit carter par une soudure réalisée par emboîtement du bord externe de ladite virole dans un logement usiné dans la paroi dudit carter, et fusion partielle de l'épaisseur de la paroi dudit carter et du bord externe de ladite virole sans qu'il apparaisse de zone de25 métal fondu à la surface interne dudit carter. 3./ Module selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite virole est fixée sur ledit carter par une soudure réalisée par emboîtement du bord externe de ladite virole dans un logement usiné dans la paroi dudit carter, et fusion30 partielle de l'épaisseur de la paroi dudit carter sans fusion du bord externe de ladite virole mais avec pincement dudit bord par retrait de la zone fondue, et sans qu'il apparaisse de zone de métal fondu à la surface interne dudit carter. 4./ Module selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que au moins une des extrémités dudit élément est relié à ladite virole par l'intermédiaire d'un embout fixé sur ledit élément, ledit embout étant de forme sensiblement cylindrique et constitué d'un matériau choisi parmi un matériau poreux et un matériau dense. 5./ Module selon la revendication 4, caractérisé en ce que ledit embout est relié audit élément par un verre fusible à haute température. 6 / Module selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la liaison entre ladite virole et ledit élément est réalisée par frettage mécanique de cônes Morses. 7./ Module selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ladite virole est fabriquée dans un matériau choisi parmi un acier inoxydable, un alliage de titane, un alliage riche en nickel, et un alliage connu sous la marque déposée "HASTELLOY". 8./ Module selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit élément contient des composés pouvant réagir chimiquement avec certains constituants du fluide à traiter. 9./ Module selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il comporte un élément de traitement multicanal à membrane du type stérilisant, à surface hydrophobe, et dont le diamètre des pores est inférieur ou égal à 0,8 micromètre. 10./ Module selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il comporte un élément de traitement constitué d'un matériau poreux, portant à chaque extrémité un embout en matériau dense constitué d'un matériau de même5 nature que ledit élément, ledit embout étant lié par frettage à une virole en alliage choisi parmi les alliages riches en nickel, et ladite virole étant soudée audit carter en acier inoxydable dont l'intérieur est électropoli. 1 l./ Module selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il comporte un élément de traitement, choisi parmi le type nid d'abeille et le type multicanal, en matériau dense dont les parois sont revêtues d'un matériau catalytique.