Brevet FR2688425A1 — publié le 19930917

PLATEAU GENTRIFUGEUR POUR TRAITER, DE PREFERENCE REVETIR,DES PLAQUETTES DE SUBSTRAT. Domaine technique L' invention concerne l'amélioration de plateaux centrifugeurs pour revetir des plaquettes de substrat. Etat de la technique Les plateaux centrifugeurs pour revêtir des plaquettes de substrat sont connus de façon générale dans I'état de la technique. Pour fixer les plaquettes de substrat sur le plateau récepteur des plateaux centrifugeurs, on connaît essentiellement trois dispositifs. Selon le premier dispositif, des perçages sont usinés dans le plateau récepteur planparallèle. Lorsque lton pose une plaquette de substrat sur le plateau récepteur, l'orientation et la fixation de la plaquette de substrat résultent du fait que lton oriente tout d'abord la plaquette de substrat par rapport au centre du plateau récepteur puis qu'on la fixe dans cette position au moyen de broches enfichées dans les perçages. Comme on peut facilement le voir, lorsque l'on doit soumettre successivement des plaquettes de substrat de différentes dimensions à un traitement sur le dispositif à plateau centrifugeur, cette technique est très coûteuse puisque l'on doit exécuter la procédure d'orientation et de fixation pour chaque format de plaquette de substrat. Un dispositif connu par ailleurs simplifie la procédure d'orientation et de fixation en ce sens que dans le plateau récepteur sont pr évu prévues de fines ouvertures dont I'extrémité opposée au plateau récepteur est reliée à une pompe à vide. Ce dispositif simplifie la situation de la plaquette de substrat qu'il faut également orienter sur le plateau récepteur en ce sens qu'après que l'on a orienté la plaquette de substrat celle-ci est aspirée sous l'action de la dépression régnant aux ouvertures. Mais ces techniques présentent l'inconvénient que, dans le cas de plaquettes de substrat très minces, cellesci s'impriment facilement dans les ouvertures sous l'action de la dépression. La conséquence en est que, de ce fait, ltépaisseur de couche à rapporter sur la plaquette de substrat devient irrégulière. Un troisième dispositif connu présente un plateau récepteur qui, en fonction de la conformation de la plaquette de substrat à revêtir, présente dans la surface du plateau récepteur un creux dans lequel on dépose la plaquette de substrat à revêtir. Des plateaux récepteur de ce type simplifient l'orientation et la fixation des plaquettes de substrat sur le plateau récepteur, mais présentent l'inconvénient que pour chaque format de plaquette de substrat il faut disposer de l'un de ces très coûteux plateaux récepteurs. L'invention a donc pour but d'indiquer un dispositif qui évite les inconvénients des services connus et qui simplifie l'orientation et la fixation de plaquettes de substrat de différentes dimensions sur le plateau récepteur. Présentation de l'invention Le plateau centrifugeur conforme à l'invention comporte un plateau récepteur, de préférence rond, disposé sur un axe de rotation et un dispositif pour fixer la plaquette de substrat sur le plateau récepteur. Ce plateau est caractérisé - par le fait que, pour centrer et fixer la plaquette de substrat sur le plateau récepteur, ce plateau récepteur présente deux fentes de guidage allongées dont les axes longitudinaux passent par le centre du plan du plateau récepteur et dont les axes longitudinaux font l'un avec 11 autre un angle de 180 , - par le fait que sur la face inférieure du plateau récepteur sont prévues deux rainures de guidage allongées dont les axes longitudinaux passent également par le milieu du plan du plateau récepteur et font avec les axes longitudinaux des fentes de guidage un angle de 900, - par le fait que dans chaque rainure de guidage est disposé, avec liberté de coulissement, un pivot dont l'extrémité libre est reliée à une masse centrifuge, - par le fait que dans chaque fente de guidage est disposée, avec liberté de coulissement, une broche dont une première extrémité, qui déborde depuis la face supérieure du plateau récepteur, est reliée à un mors de bridage, - par le fait que, sur les axes longitudinaux des pivots et des broches, dans la zone dans laquelle ceux-ci débordent sous la face inférieure du plateau récepteur, sont chaque fois enfilées, de façon imperdable, deux rondelles disposées avec liberté de rotation autour de l'axe longitudinal des pivots et des broches, - par le fait que chaque rondelle disposée sur un pivot n'est reliée qu'avec une seule rondelle disposée sur une broche, étant précisé que les deux tringles de liaison qui partent de chacun des pivots sont reliées avec des rondelles disposées sur des broches différentes, par le fait que l'on peut échanger les masses centrifuges, par le fait que l'on peut échanger les mors de bridage, par le fait que chaque mors de bridage présente au moins un évidement qui correspond au contour latéral de la plaquette de substrat aux points contre lesquels le mors de bridage pousse lors de la rotation du plateau récepteur, par le fait que les surfaces des mors de bridage qui, lors de la rotation du plateau récepteur, poussent contre la plaquette de substrat, sont munies d'une couche antiglissement. L'invention repose sur l'vidée de l'utilisation de la force centrifuge. Si l'on ne dépose une plaquette de substrat sur la face supérieure du plateau récepteur qu'en l'orientant grossièrement et si l'on fait alors coulisser l'un des deux mors de bridage le long des formes de guidage, en direction du centre du plateau récepteur, ce mouvement de coulissement se poursuit sur l'autre mors de bridage par l'intermédiaire des tringles de liaison; Dès que les deux mors de bridage s'appuient parfaitement contre la plaquette de substrat, celle-ci est orientée sur le plateau récepteur. Si alors on met le plateau récepteur en rotation, la force centrifuge créée par la masse des masses centrifuges fait que les masses centrifuges disposées sur les pivots tendent, dans les rainures de guidage, en direction du bord du plateau récepteur. Etant donné que, par l'intermédiaire des rondelles qui y sont enfilées et des tringles de liaison, les pivots sont reliés avec les rondelles disposées sur les broches, les mors de bridage, également reliés avec les broches, sont davantage poussés contre la plaquette de substrat. De ce fait, la plaquette de substrat est fixée dans cette position pendant la rotation du plateau récepteur. Si l'on peut échanger les masses centrifuges, on peut régler la force de pression des mors de bridage. Il est ainsi exclu de rendre inutilisables ces plaquettes de substrat sous l'action d'une force de pression trop élevée. Des mors de bridage pouvant s'échanger présentent l'avantage de permettre de revêtir, sans problèmes et avec une épaisseur de couche régulière, même des plaquettes de substrat d'épaisseur différente. Si en effet les mors de bridage débordaient l'épaisseur des plaquettes de substrat qui y sont placées, on pourrait en arriver, en cas d'application à la tournette, à des écarts d'épaisseur de la couche de revêtement au voisinage des mors de bridage, puisque là, les matériaux de revêtement ne peuvent pas être centrifugés librement et sans obstacle. Si les mors de bridage présentent au moins un évidement qui correspond au contour latéral des plaquettes de substrat au point contre lequel les mors de bridage poussent lors de la rotation du plateau récepteur, on obtient une fixation particulièrement solide des plaquettes de substrat sur le plateau récepteur. I1 est très particulièrement avantageux que les mors de bridage soient disposés avec liberté de rotation sur les broches et présentent plusieurs évidements de forme différente. Dans ce cas, une simple rotation des mors de bridage permet d'obtenir une adaptation très facile du dispositif aux différentes formes des plaquettes de substrat. Si les surfaces des évidements des mors de bridage, qui, lors de la rotation du plateau récepteur, poussent contre les plaquettes de substrat sont munies d'une couche antiglissement, la fixation des plaquettes de substrat sur le plateau récepteur s'améliore largement. Brève description des figures La figure 1 est une vue de dessus d'un plateau centrifugeur ; et la figure 2 est une vue perspective, de dessous, d'un plateau centrifugeur. Mise en oeuvre de l'invention On va maintenant expliquer l'invention en détail à l'aide des deux figures. La figure 1 représente un plateau centrifugeur 10 sur le plateau récepteur 11 duquel repose une plaquette de substrat rectangulaire 12. Cette plaquette de substrat 12 est orientée et fixée sur le plateau récepteur 11 aux deux angles, diagonalement opposés, de chacun des mors de bridage 13. L'orientation de la plaquette de substrat 12 résulte du fait que l'on pose la plaquette de substrat 12 sur la face supérieure du plateau récepteur 11 en l'orientant grossièrement et que l'un des deux mors de bridage 13 se déplace selon la direction de la flèche F1. Etant donné que chaque mors de bridage 13 est disposé sur une broche 14 avec liberté de rotation et que cette broche 14 est guidée, par rapport à la face inférieure 16 du plateau récepteur 11, par les fentes de guidage 15 usinées dans le plateau récepteur 11, alors, par l'intermédiaire des tringles de liaison 17 avec lesquelles la broche 14 portant l'autre mors de bridage 13 est reliée, cet autre mors de bridage 13 coulisse selon la direction de la flèche F1 en direction du centre du plateau récepteur 11 si un seul mors de bridage 13 s'est déplacé selon la direction de cette flèche. Du fait que, dans cet exemple de réalisation, la longueur de toutes les tringles de liaison 17 est égale, le trajet de coulissement que décrivent les mors de bridage 13 est égal. Grâce à l'égalité de ces trajets de coulissement des deux mors de bridage 13, le milieu de la plaquette de substrat 12 s'oriente en direction du milieu du plateau récepteur 11. La façon dont la construction est réalisée à la face inférieure 16 du plateau récepteur 11 et le mode de fonctionnement de cette construction ne sont que signalés sur la figure 1 et on les explique en détail ci-dessous à l'aide de la figure 2. Les mors de bridage 13, représentés sur la figure 1, présentent deux évidements 18.1, 18.2. Les évidements 18.1 ont une conformation rectangulaire et s'appuient directement contre deux angles, diagonalement opposés l'un à l'autre, de la plaquette de substrat 12. Etant donné que les mors de bridage 13 sont disposés sur les broches 14 avec liberté de rotation, en faisant tourner les mors de bridage 13 d'un angle de 180 , il est également possible d'orienter et de fixer une plaquette de substrat ronde au moyen des évidements 18.2 (cas non représenté). Dans ce dernier cas, il est recommandé de munir de garniture antiglissement (non représentée) les surfaces des évidements 18.2 qui ont un contact direct avec la plaquette de substrat. La figure 2 représente en perspective la face inférieure 16 du plateau récepteur 11. On peut y voir que les broches 14 débordent de la face inférieure 16 du plateau récepteur 11. Sur chacune des broches 14 sont chaque fois enfilées, de façon imperdable, sur la face inférieure 16 du plateau récepteur 11, deux rondelles 19.1, 19.2. Chacune de ces rondelles 19.1, 19.2 peut tourner autour de l'axe longitudinal des broches 14. Comme le montre également la figure 2, les axes longitudinaux des fentes de guidage 15 passent par le milieu du plateau récepteur 11, les axes faisant entre eux un angle de 1800. En outre, dans la face inférieure 16 du plateau récepteur 11 sont usinées des rainures de guidage 20 dont les axes longitudinaux passent également par le milieu du plateau récepteur 11. Les axes longitudinaux des rainures de guidage 20 font avec les axes longitudinaux des fentes de guidage 15 un angle de 90". Dans chacune des rainures de guidage 20 est inséré, de façon imperdable, un pivot coulissant 21. L'axe longitudinal de chacun des pivots 21 déborde la face inférieure 16 du plateau récepteur 11. Sur l'axe longitudinal de chacun des pivots 21 sont également enfilées deux rondelles 22.1, 22.2. Ces rondelles 22.1, 22.2 peuvent également tourner autour de l'axe longitudinal des pivots 21. A l'extrémité, opposée à la face inférieure 16 du plateau récepteur 11, de chacun des pivots 21 est fixée, de façon imperdable, une masse centrifuge 23. Chacune des rondelles 22.1, 22.2, disposée sur un pivot 21 n'est chaque fois reliée que par une tringle de liaison 17 avec l'une des rondelles 19.1, 19.2 disposée sur une broche 14, en ce sens que chacune des deux tringles de liaison 17 qui partent d'un pivot 21 va vers des broches 14 différentes. C'est ainsi que la rondelle 19.1 de la broche 14, disposée à gauche sur la figure 2, est reliée avec la rondelle 22.1 du pivot supérieur 21, et la rondelle 19.1, avec la rondelle 22.2 du pivot inférieur 21, tandis que la rondelle 19.1 de la broche de droite 14 est reliée avec la rondelle 22.1 du pivot inférieur 21 et la rondelle 19.2, avec la rondelle 22.2 du pivot supérieur 21. Si maintenant, à l'aide de l'arbre 24 rapporté sur la face inférieure 16, on met en rotation le plateau récepteur 11 dans le sens de la flèche, les pivots 21 vont vers le bord du plateau récepteur 11 dans le sens de la flèche F2. Etant donné que les pivots 21 sont reliés, par l'intermédiaire des rondelles 22.1 et 22.2 et des tringles de liaison 17, avec les rondelles 19.1, 19.2 et donc également avec les broches 14, pendant le mouvement des pivots 21, les broches 14 se déplacent le long des fentes de guidage 15 en direction du centre du plateau récepteur 11. Ceci est signalé sur les deux figures par les flèches F1. Etant donné que - comme déjà expliqué en relation avec la figure I - les broches 14 sont reliées avec les mors de bridage 13 du côté supérieur du plateau récepteur 11, les mors de bridage 13 se déplacent également dans le sens de la flèche F1 en direction du centre du plateau récepteur 11. Si une plaquette de substrat 12 est disposée entre les mors de bridage 13, lorsque les mors de bridage 13 s'appuient contre la plaquette de substrat 12 par les évidements 18, le trajet de coulissement des broches 14 est limité. La force ainsi créée pousse alors contre la plaquette de substrat 12 de sorte que celle-ci est fixée en position sur le plateau récepteur en rotation 11. I1 convient d'attirer l'attention sur le fait que la hauteur des mors de bridage 13 les amène juste en dessous de l'épaisseur de la plaquette de substrat 12, de sorte que les mors de bridage 13 ne s'opposent pas au processus de revêtement dans le procédé d'application à la tournette. REVENDICATIONS 1. Plateau centrifugeur pour traiter de préférence revêtir,des plaquettes de substrat, - avec un plateau récepteur, de préférence rond, disposé sur un axe de rotation et - avec un dispositif pour fixer la plaquette de substrat sur le plateau récepteur plateau caractérisé - par le fait que, pour centrer et fixer la plaquette de substrat (12) sur le plateau récepteur (11), ce plateau récepteur (11) présente deux fentes de guidage allongées (15) dont les axes longitudinaux passent par le centre du plan du plateau récepteur (11) et dont les axes longitudinaux font l'un avec l'autre un angle de 1800, - par le fait que sur la face inférieure (16) du plateau récepteur (11) sont prévues deux rainures de guidage allongées (20) dont les axes longitudinaux passent également par le milieu du plan du plateau récepteur (11) et font avec les axes longitudinaux des fentes de guidage (15) un angle de 90 , - par le fait que dans chaque rainure de guidage (20) est disposé, avec liberté de coulissement, un pivot (21) dont ltextrémité libre est reliée à une masse centrifuge (23), par le fait que dans chaque fente de guidage (15) est disposée, avec liberté de coulissement, une broche (14) dont une première extrémité, qui deborde depuis la face supérieure du plateau récepteur (11), est reliée à un mors de bridage (13), - par le fait que, sur les axes longitudinaux des pivots (21) et des broches (14), dans la zone dans laquelle ceux-ci débordent sous la face inférieure (16) du plateau récepteur (11), sont chaque fois enfilées, de façon imperdable, deux rondelles (19.1, 19.2; 22.1, 22.2) disposées avec liberté de rotation autour de l'axe longitudinal des pivots (21) et des broches (14), et - par le fait que chaque rondelle (22.1, 22.2) disposée sur un pivot (21) n'est reliée qu'avec une seule rondelle (19.1, 19.2) disposée sur une broche (14), étant précisé que - les deux tringles de liaison (17) qui partent de chacun des pivots (21) sont reliées avec des rondelles (19.1, 19.2) disposées sur des broches différentes (14). 2. Plateau centrifugeur selon la revendication 1, caractérisé par le fait que l'on peut échanger les masses centrifuges (23). 3. Plateau centrifugeur selon l'une des revendications précédentes, caractérisé par le fait que l'on peut échanger les mors de bridage (13). 4. Plateau centrifugeur selon l'une des revendications précédentes, caractérisé par le fait que chaque mors de bridage (13) présente au moins un évidement (18.1, 18.2) qui correspond au contour latéral de la plaquette de substrat (12) aux points contre lesquels le mors de bridage (13) pousse lors de la rotation du plateau récepteur (11). 5. Plateau centrifugeur selon l'une des revendications précédentes, caractérisé par le fait que les surfaces des mors de bridage (13), qui, lors de la rotation du plateau récepteur (11), poussent contre la plaquette de substrat (12), sont munies d'une couche antiglissement.