Brevet FR2689642A1 — publié le 19931008

CAPTEUR D ' ACCELERATION DU TYPE CAPACITIF OMNIDIRECTIONNEZ DANS UN PLAN PRINCIPAL La présente invention se rapporte d'une manière générale au domaine des accéléromètres capacitif s qui sont des appareils permettant de mesurer une accélération à partir du déplacement d'électrodes capacitives dont l'une au moins est portée par une masse inertielle. La réaction de déplacement de cette masse inertielle à l'application d'un champ d'accélération provoque une modification de la distance interélectrodes de la capacité précédente. Un étalonnage de ces appareils permet de relier directement la valeur de l'accélération appliquée à la masse inertielle à celle de la capacité que l'on mesure par ailleurs à l'aide de moyens électriques connus. Un des objets de la présente invention est de réaliser un tel capteur d'accélération capacitif qui soit omnidirectionnel dans un plan dit principal, c'est-à-dire qui soit susceptible de mesurer des accélérations de direction quelconque dans ce plan. De façon plus précise encore, la présente invention se rapporte à un capteur d'accélération capacitif de très petite taille, par exemple de l'ordre de 1 mm de côté, et réalisable par les technologies de la microélectronique telles que le micro-usinage massif et/ou de surface. On commencera d'abord par rappeler le principe physique général de fonctionnement de ces appareils et les principaux types d'accéléromètres capacitif s actuellement connus. Ces capteurs comportent généralement une masse inertielle qui est, d'une manière ou d'une autre, liée à un support fixe par un élément souple apte à subir une déformation ou un déplacement tel qu'une extension, une flexion ou une rotation. Lorsque l'ensemble du support et de la masse est soumis à un champ d'accélération extérieur, il s'ensuit un déplacement de la masse par rapport au support et par conséquent une variation de la capacité électrique existant entre deux électrodes d'un condensateur, dont l'une est portée par exemple par le support et l'autre par la masse. On va décrire maintenant, en se référant aux figures 1 à 6 ci-jointes, plusieurs exemples connus de réalisations d'accéléromètres capacitifs. L'application la plus simple du principe général de l'accélérométrie par détection capacitive rappelée précédemment, conduit à l'appareil des figures 1 et 2, la figure 1 montrant l'appareil au repos et la figure 2 son évolution sous l'action d'un champ d'accélération g. Sur la figure 1 on a représenté une masse inerte 2 reliée à un cadre support 4 par un ressort souple 6. Sur leur partie en regard, la masse inerte 2 et le cadre 4 comportent des électrodes 8a et 8b qui définissent entre elles une relation capacitive. Lorsqu'on applique au système, de l'extérieur, un champ d'accélération g marqué sur la figure 2 par une flèche, on provoque ainsi un déplacement relatif de la masse 2 par rapport au cadre 4 et des électrodes 8a et 8b du condensateur occupent alors les positions espacées représentées sur la figure 2. Un simple étalonnage de l'appareil permet de relier la valeur de la capacité constituée par les électrodes 8a et 8b à celles du champ d'accélération g. Un autre mode de mise en oeuvre d'accéléromètre capacitif fait appel à une poutre fléchissante 10 dans une structure comportant par ailleurs un support 4 et une masse inerte 2 que la poutre 10 relie l'un à l'autre. On voit une telle structure d'accéléromètre sur la figure 3 où l'on retrouve les mêmes électrodes 8a et 8b que sur les figures 1 et 2. Lorsqu'on applique au système de la figure 3, un champ d'accélération g représenté par la flèche de la figure 4, la poutre fléchissante 10 se déforme comme représenté et un déplacement relatif intervient entre la masse inertielle 2 et le support 4 de l'accéléromètre. I1 en résulte, comme dans l'exemple 2 de la figure 2 précédente, une variation de distance entre les électrodes 8a et 8b du condensateur qui permet, de la même façon que précédemment, une mesure du champ d'accélération par mesure de la capacité. Dans une variante possible des dispositifs des figures I et 2 d'une part et 3 et 4 de l'autre, les deux électrodes 8a et 8b ne sont pas perpendiculaires mais parallèles au sens du déplacement relatif de la masse 2 du support 4. Dans ce cas, la variation de capacité provient d'une modification des surfaces capacitives effectivement en regard, ce qui conduit d'une manière différente au même résultat que celui que l'on obtient par les structures des figures 1 à 4. Les figures 5 et 6 représentent enfin une structure d'accéléromètre capacitif spécialement adaptée à la détection d'une accélération perpendiculaire au plan du support. En effet, sur la figure 5 on a représenté en coupe un support 4 et une masse inertielle 2 reliée par une poutre déformable souple 10 à l'état de repos sur la figure 5 et à l'état fléchi sur la figure 6, sous l'effet du champ d'accélération extérieur appliqué g. Dans cet exemple, la variation d'écartement des deux électrodes 8a et 8b du condensateur se produit en sens inverse de celui des exemples précédents, en ce sens que la capacité augmente lorsqu'on applique le champ de l'accélération. Les exemples précédents d'accéléromètres capacitifs connus ne sont pas limitatifs et l'on pourra se reporter en particulier à la littérature suivante pour illustrer tout ou partie de l'art antérieur - "Vibration Rectification in Silicon Micromachined Accelerometers", L.A. Christel, M. Bernstein, Proceedings of the International Conference on Solid State Sensors and Actuators, San-Francisco, Juin 1991, pp. 89-92. - "Motion Investigations of Electrostatic Servo-accelerometers, by Means of Transparent ITO Fixed Electrodes", B. Kloeck et al, Proceedings of the International Conference on Solid State Sensors and Actuators, San-Francisco, Juin 1991, pp. 108-111. - "A Review of Low Cost Accelerometers for Vehicle Dynamics", G.A. MacDonald, Sensors and Actuators, A21-A23 (1990), pp. 303-307. - "A Novel Silicon Accelerometer With a Surrounding Mass Structure", K. Yamada et al. Sensors and Actuators, A21-A23, 1990, pp. 308-311. Tous les accéléromètres connus dans l'état de la technique actuelle, et en particulier ceux qui viennent d'être décrits, présentent la caractéristique d'être intentionnellement le plus directif possible, c'est-à-dire qu'ils sont conçus pour n'être sensibles qu'à des accélérations de direction déterminée ou, ce qui revient au même, à l'une seule des composantes d'une accélération de direction quelconque. Pour tous ces appareils, une absence de directivité est en général perçue comme un défaut qu'il faut éviter. Le problème technique que résout la présente invention est précisément de réaliser un accéléromètre capacitif, omnidirectionnel dans un plan, c'est-à-dire qui soit capable, dans ce plan dénommé plan principal, d'être réceptif et si possible de manière isotrope, à une accélération ou à une composante de l'accélération pouvant être parallèle à n'importe quelle direction de ce plan. Ce capteur d'accélération du type capacitif et omnidirectionnel dans un plan principal, comprenant un support et une masse inertielle en relation capacitive l1un avec l'autre, se caractérise en ce que la masse et le support sont reliés par une hampe en un matériau souple apte à la flexion en toutes directions, le plan principal précédent étant défini comme étant perpendiculaire à l'axe longitudinal de la hampe. Le moyen fondamental de l'invention réside, comme on l'aura compris de ce qui précède, en la présence de cette hampe en un matériau souple qui pouvant fléchir en toutes directions azimutales par rapport à son axe longitudinal, permet de réagir à toute accélération de quelque direction qu'elle soit, dès lors qu'elle est parallèle au plan principal perpendiculaire à son axe longidutinal. Selon une première caractéristique de l'invention, la relation capacitive entre la masse et le support résulte du fait que ces deux composants sont réalisés en matériaux conducteurs de l'électricité. En d'autres termes, si la masse et le support sont des matériaux conducteurs de l'électricité, ils peuvent constituer eux-mêmes les armatures de la capacité dont la valeur sera caractéristique de l'intensité du champ d'accélération appliqué. Bien entendu, le support de la hampe doit être isolé électriquement de la masse. Dans le cas où les matériaux constitutifs de la masse de la hampe et du support sont des isolants électriques, la relation capacitive entre la masse et le support est obtenue à l'aide d'électrodes placées en regard respectivement sur l'une et l'autre de ces pièces. Dans un mode de réalisation préféré de l'invention, on constitue l'accéléromètre de façon que le centre de gravité de la masse soit situé sur l'axe de la hampe, de manière à rendre aussi faible que possible la sensibilité du capteur à une composante de l'accélération qui serait perpendiculaire au plan principal. On comprend en effet, que dans ce mode de mise en oeuvre, la force résultant d'une composante de l'accélération perpendiculaire au plan principal, s'exerçant dans l'axe de la hampe, ne participe nullement à l'obtention d'une flexion quelconque de celle-ci. Dans un mode de mise en oeuvre également intéressant de la présente invention, la hampe et au moins l'électrode portée par la masse ont une symétrie de révolution par rapport à l'axe longitudinal de la hampe, ce qui confère ainsi au capteur une équisensibilité dans toutes les directions du plan principal. En effet, lorsque la condition précédente est réalisée, toutes les directions azimutales autour de l'axe longitudinal de la hampe sont rigoureusement équivalentes vis-à-vis de l'appareil, ce qui confère à celui-ci strictement la même sensibilité dans toutes les directions du plan principal. Selon l'invention également, les électrodes de la capacité de l'accéléromètre placées en regard l'une de l'autre respectivement sur la masse et sur le support, peuvent être soit parallèles, soit inclinées l'une par rapport à l'autre en l'absence d'une accélération à mesurer. En d'autres termes, il n'est pas nécessaire que le condensateur ainsi réalisé par les deux électrodes en présence, soit un condensateur plan à électrodes parallèles, puisque de toute façon seules les variations de la capacité sont utilisées sous forme analogique pour mesurer l'intensité du champ d'accélération appliquée à l'appareil. Dans la plupart des réalisations, ces électrodes ont une forme annulaire, centrée sur l'axe de la hampe. Dans la plupart des modes de mise en oeuvre de l'invention, la masse inertielle est distincte de la hampe par le fait que celle-ci subit en elle-même un effort de flexion, alors que la masse ne présente pas de flexion propre sous l'effet de l'accélération. La distinction entre ces deux composants résulte d'une différence de raideur, au sens de la théorie de la flexion, raideur qui dépend en partie des caractéristiques géométriques. En d'autres termes, la masse présente une raideur élevée, alors que la hampe est souple. On peut donc si l'on veut, décrire l'accéléromètre, objet de l'invention, comme étant la combinaison d'un pendule vertical et d'un condensateur variable dont une électrode est portée par la masse du pendule. La mise en oeuvre de l'invention ne nécessite aucune forme particulière concernant la masse inertielle. La seule exigence est qu'elle permette la formation d'une électrode, par exemple par dépôt métallique, si elle n'est pas elle-même conductrice. C'est donc seulement pour faciliter la compréhension de l'invention que dans la plupart des figures illustrant les modes de mise en oeuvre qui seront décrits ultérieurement, la masse est représentée avec une symétrie de révolution et qu'elle est munie d'électrodes. A plus forte raison, il n'est pas nécessaire que la masse et la hampe aient le même type de symétrie géométrique. On peut par exemple envisager d'associer une hampe cylindrique à base circulaire avec une masse conique à base rectangulaire. La masse n'est pas non plus forcément une pièce rapportée sur la hampe. A la limite, la masse peut n'être formée que par une variation de géométrie de la hampe, par exemple par une augmentation de sa section à son extrémité. Ceci veut donc dire qu'à la limite la masse peut être confondue avec la hampe (section et matériau identiques), la hampe jouant alors indistinctement le rôle d'élément fléchissant de masse d'inertie et de support d'électrode. L'invention présente aussi l'intérêt de ne pas être limitée quant à la valeur au repos de la capacité que l'accélération va faire varier. Une application envisagée nécessite par exemple une capacité nominale d'environ 10 picofarads ; cependant il est loisible de redimensionner l'accéléromètre de façon à obtenir une capacité de valeur plus ou moins élevée. De même la sensibilité de l'accéléromètre, qui peut s'écrire par exemple en notation relative (l/c)(dc/dg) peut être largement modifiée en jouant sur le dimensionnement du capteur. Dans une des applications de l'invention, cette variation de capacité est de l'ordre de 10% pour une accélération de l'ordre de la valeur de la pesanteur, mais rien n'empêche d'envisager des variations plus fortes ou plus faibles pour répondre à d'autres besoins métrologiques. La valeur nominale de la capacité et la sensibilité à l'accélération sont des grandeurs qui, dans l'invention, ne sont quasiment pas corrélées : ceci montre sa généralité, et la gamme étendue de problèmes d'accélérométrie qu'elle permet de résoudre. Un autre point avantageux de l'invention concerne son encombrement. En effet, sa multidirectionnalité permet de n'utiliser qu'un accéléromètre, alors qu'il était jusqu'alors nécessaire, pour concilier précision et omidirectionnalité, d'en utiliser un pour chaque composante spatiale de l'accélération, quitte ensuite à sommer ces composantes. Ainsi l'invention peut se substituer avantageusement à deux accéléromètres traditionnels agencés de manière à mesurer la valeur de l'accélération dans un plan. Dans les applications comme l'aéronautique, où l'encombrement est un handicap majeur, l'avantage de l'accéléromètre décrit ici est manifeste. Cet avantage se confirme aussi dans le cas où il est nécessaire de distinguer les composantes de l'accélération, puisqu'il est aisé, dans une variante, de rendre l'accéléromètre directif, de telle sorte qu'il permette, à lui seul, de distinguer la composante de l'accélération dans une direction déterminée. En se référant aux figures 7 à 18 ci-jointes, on va maintenant donner à titre indicatif et non limitatif, un certain nombre d'exemples de mise en oeuvre de l'accéléromètre capacitif selon l'invention. Les figures schématiques représentent - les figures 7a, 7b et 7c un premier exemple de mise en oeuvre - les figures 8a, 8b, un second exemple de mise en oeuvre dans lequel la hampe a une section carrée - les figures 9a, 9b et 9c, un exemple de mise en oeuvre, dans lequel les électrodes de la capacité ne sont pas parallèles au plan principal du support - la figure 10, un exemple de mise en oeuvre dans lequel les électrodes de la capacité ne sont pas parallèles - la figure 11, un mode de mise en oeuvre dans lequel le centre de gravité de la masse n'est pas sur l'axe de la hampe - les figures 12a, 12b et 12c, un mode de mise en oeuvre dans lequel le support entoure complètement la masse - la figure 13, un mode de mise en oeuvre dans lequel la hampe et le support ont une forme particulière - les figures 14, 15a, 15b, 16a et 16b, montrent - sur des cas particuliers -, des exemples de branchement des connexions électriques reliant la capacité au système de mesure - la figure 17 un mode de mise en oeuvre particulier en ce qui concerne la forme et les dispositions réciproques de la hampe et du support - la figure 18 un mode de mise en oeuvre de l'accéléromètre omnidirectionnel dans lequel des moyens sont en outre prévus pour recueillir l'information sur la direction de l'accélération dans le plan principal. La figure 7 qui se compose des figures 7a vue de dessus, 7b, vue en coupe selon AA' de la figure 7a, et 7c montrant l'appareil de la figure 7b lorsqu'il est soumis à un champ d'accélération g permettent de voir sur l'exemple le plus simple, les éléments constitutifs de l'accéléromètre, objet de l'invention. On retrouve dans cet accéléromètre comme dans ceux de l'art antérieur, un support 4 et une masse 2, réunies ici selon l'invention par une hampe souple 12. Dans l'exemple des figures 7 à 12, la hampe 12 et la masse 2 sont concentriques, c'est-à-dire que le centre de gravité de la masse 2 est situé sur l'axe de la hampe 12. Les électrodes 8, 8a et 8b sont situées, comme dans l'art antérieur, sur la masse et sur le support, en regard les unes des autres. La différence essentielle par rapport aux accéléromètres de l'art antérieur est que dans le cas de l'appareil de la figure 7, le champ d'accélération g (figure 7c) a pour effet de faire fléchir la hampe 12 qui est entraînée par inertie en sens inverse du champ d'accélération 9 appliqué et bascule en entrainant avec elle l'électrode supérieure 8a qui lui est solidaire. La modification de capacité résultant ici de l'application du champ d'accélération découle d'une modification de la forme du condensateur dont les électrodes initialement parallèles (8a, 8b, fig. 7b) deviennent inclinées l'une par rapport à l'autre (8a, 8b, fig. 7c). Un accéléromètre conforme au modèle des figures 7a, 7b, 7c, est omnidirectionnel et si la symétrie de révolution des formes des électrodes est complétée par celles de la hampe et de la masse, il est également équisensible dans toutes les directions perpendiculaires au plan principal qui est le plan perpendiculaire à l'axe de la hampe 12 à l'état de repos. C'est la symétrie de révolution qui rend la sensibilité de l'accéléromètre équi-directionnelle dans le plan principal. I1 est clair que si, dans certaines applications, il est impossible ou difficile de faire une hampe cylindrique à base circulaire, mais que l'on sache, en revanche, faire une hampe cylindrique à base polygonale (triangulaire, carrée, hexagonale ou autre), l'accéléromètre demeure omnidirectionnel, mais pas équi-directionnel. Une telle variante peut être souhaitable dans certaines applications, le défaut d'équi-directionnalité pouvant être accusé ou réduit par le concepteur, par exemple en jouant sur la géométrie de la hampe. Un exemple d'accéléromètre non équi-directionnel est représenté sur les figures 8a et 8b qui dérivent directement de l'accéléromètre de la figure 7 dans lequel toutefois, la hampe 12 et la masse 2 ont une section carrée. Dans l'exemple des figures 9a, 9b et 9c, on retrouve pour la masse 2 et la hampe 12, la forme circulaire autour de l'axe de la hampe 12 comme on le voit sur la vue de dessus de la figure 9a. Toutefois dans cet exemple, les électrodes du support 4 et de la masse 2 ne sont plus perpendiculaires au repos mais parallèles à l'axe de cette hampe 12. A cet effet, le support 4 adopte à sa partie supérieure la forme d'une cage circulaire supportant l'électrode 8b, l'électrode 8a, également circulaire, étant portée par le pourtour de la masse 2. La fig. 9c montre l'effet sur un tel système de l'application du champ d'accélération g qui, en faisant basculer la masse inertielle 2 autour de l'axe de la hampe 12, modifie les dispositions réciproques des électrodes 8a et 8b, c'est-à-dire finalement encore la valeur de la capacité. Le mode de mise en oeuvre de la figure 10, montre qu'il est également parfaitement possible de réaliser un accéléromètre conforme à l'invention, dans lequel les électrodes en regard 8a et 8b portées respectivement par la masse 2 et le support 4, ne sont plus parallèles, mais inclinées l'une par rapport à l'autre. Dans ce mode de mise en oeuvre, la hampe 12 est toujours un élément souple reliant le support 4 à la masse inertielle 2. L'exemple particulier de la figure 11 montre une réalisation possible de l'accéléromètre, objet de l'invention, dans laquelle la masse 2 est excentrée par rapport à l'axe de la hampe 12. I1 en résulte d'une part un défaut d'équi-sensibilité directionnelle de l'appareil et également une sensibilité de celui-ci à une composante éventuelle d'accélération qui serait parallèle à l'axe de la hampe 12. I1 existe néanmoins des cas d'application particuliers où les caractéristiques précédentes qui sont généralement ressenties comme des défauts, peuvent être au contraire recherchées. Dans le mode de mise en oeuvre des figures 12a (vue de dessus), 12b (coupe de 12a, selon AA') et 12c (effet de l'accélération 9), la structure de l'accéléromètre est toujours circulaire et symétrique, mais le support 4a constituant la base 4 de l'appareil est complété ou prolongé par un deuxième support 4b surmontant le premier et entourant complètement la masse inertielle 2. Dans ce mode de mise en oeuvre, les électrodes 8a et 8b sont situées, la première sur la masse inertielle 2 et la seconde sur la partie supérieure interne du deuxième support 4b. Comme on le voit sur la figure 12c, le champ d'accélération provoque une flexion de la hampe 12 et une inclinaison l'une par rapport à l'autre des électrodes 8a et 8b. Le mode de mise en oeuvre de la figure 13 montre qu'il est possible d'apporter une modification aux formes respectives de la hampe 12 et du support 4 qui, en augmentant le rapport longueur/diamètre de celle-ci, augmente la sensibilité globale de l'appareil. La figure 13 est décrite en se référant à un support 4 qui est une plaque plane, mais il est bien évident que les formes réciproques de la hampe 12 et de la masse 2 vis-à-vis du support 4 pourraient être réalisées avec les autres formes de support 4 qui ont été décrites antérieurement. Les figures 14 à 16 permettent maintenant de fournir quelques explications sur les problèmes liés à la nécessité d'établir des interconnexions électriques entre l'extérieur de l'appareil où se situent les dispositifs de mesures électriques et les électrodes elles-mêmes. D'une manière générale, la réalisation de telles interconnexions est à la portée de l'homme de métier qui sera à même, dans chaque cas particulier, en fonction du caractère conducteur ou isolant des pièces en présence, de savoir si des électrodes indépendantes sont nécessaires, si des isolements locaux sont également utiles et comment on doit réaliser les connexions électriques avec les électrodes. A titre d'exemple toutefois, trois problèmes particuliers seront évoqués maintenant. Sur la figure 14, si la masse 2 est conductrice et si la hampe 12 et le support 4 sont isolants, il est possible de placer les connexions 14 et 16 comme indiqué sur la figure avec des électrodes 8b rapportées sur le support 4. Dans l'exemple de la figure 14, la connexion 14 est fixée directement sur la masse conductrice 2 alors que la connexion 16 est fixée sur l'électrode 8b, elle-même placée à la surface du support 4. Une autre solution peut consister, comme représenté sur les figures 15a et 15b en vue de dessus et en vue de face, à utiliser la hampe comme support d'un conducteur métallique. Dans ce cas, les connexions 14 et 16 se font respectivement pour la connexion 14 à la base de la hampe où le potentiel de l'électrode 8a est véhiculé par le conducteur 18 porté par la hampe et la connexion 16 se fait directement sur l'électrode 8b située à la surface du support 4. Dans le cas où la hampe 12 et le support 4 sont électriquement conducteurs et sont en contact électrique, une solution peut consister à les utiliser comme conducteurs pour amener la tension sur l'électrode 8a de la masse, il est alors nécessaire bien entendu d'isoler les électrodes 8b reposant sur le support de façon à ce que la capacité formée entre ces électrodes 8b et le support ne perturbe pas la mesure. Dans le cas des figures 16a et 16b où l'on utilise un deuxième support 4b surmontant le premier 4a et entourant complètement la masse 2, le support 4b est utilisé pour véhiculer un conducteur 20. Une isolation est alors nécessaire en 22 entre les supports 4a et 4b, et les connexions, 14 avec la masse et 16 avec le support sont réalisées, la première sur le support lui-même supposé conducteur ainsi que la masse 2 et pour la seconde sur le conduit 20 précédent. De toute façon, il est bien entendu qu'un grand nombre de modes de mise en oeuvre peuvent être imaginés par l'homme de métier sans qu'il lui soit nécessaire pour autant de faire un effort inventif, et ce dernier saura, muni de ses connaissances normales, trouver dans chaque cas particulier, des solutions aux problèmes de la connexion électrique des électrodes de la capacité avec l'extérieur. La figure 17 montre un cas limite, mais malgré tout parfaitement possible de mise en oeuvre de l'invention dans lequel il n'y a ni planéité du suport 2, ni perpendicularité de la hampe 12 par rapport à ce support 2, ni symétrie de la masse 4. Dans ce cas, l'accéléromètre décrit reste omnidirectionnel, mais il n'est plus équi-directionnel et sa sensibilité est donc variable en fonction de la direction du champ d'accélération dans le plan principal perpendiculaire à l'axe de la hampe 12. Sur la figure 18, on a représenté de façon très schématique, les électrodes 8a et 8b situées respectivement sur la masse non représentée et le support également non représenté, l'axe de la hampe 12 étant figuré sur ce dessin en pointillé selon la ligne 24. La caractéristique propre du mode de mise en oeuvre de cette figure 18 réside dans le fait que les électrodes capacitives 8a et 8b sont sectorisées dans le cas particulier en quatre secteurs a, b, c et d pour l'électrode 8a et a', b', c' , d' pour l'électrode 8b. Cette sectorisation, et le fait qu'il est possible de repérer les variations de capacité dues à l'action du champ d'accélération en associant deux par deux, l'un quelconque des secteurs a, b, c, d avec l'un quelconque des secteurs a', b', c', d', permettent, tout en maintenant l'omnidirectionnalité et l'équi-sensibilité de l'accéléromètre, de recevoir en plus une information sur la direction de l'accélération dans le plan principal perpendiculaire à l'axe 24 de la hampe. En effet, l'étude des différentes capacités constituées ainsi par l'association d'un secteur du groupe 8a avec un secteur du groupe 8b, permet de savoir dans quel sens a lieu la flexion de l'axe 24 de la hampe. On peut enfin envisager de se passer de la masse, et d'utiliser l'extrémité de la hampe comme support d'électrode, à condition que la capacité ainsi formée ait une valeur jugée suffisante, et que la variation de capacité en fonction de l'accélération soit, elle aussi satisfaisante. Dans cette configuration, la hampe joue, à elle seule, le rôle de masse inerte, d'élément fléchissant et de support d'électrode. Cette variante peut paraître contradictoire avec la distinction qui a été établie entre la masse et la hampe, fondée sur leur raideurs respectives. Cependant, du fait que la flexion d'une poutre cantilever est nulle à son extrémité libre, rien n'empêche de voir cette variante comme une hampe dont l'extrémité est assimilée à une masse de section identique à la poutre, et de longueur infiniment petite. REVENDICATIONS 1. Capteur d'accélération du type capacitif et omnidirectionnel dans un plan principal, comprenant un support (4) et une masse inertielle (2) en relation capacitive l'un avec l'autre, caractérisé en ce que la masse et le support sont reliés par une hampe (12) en un matériau souple apte à la flexion en toutes directions, le plan principal précédent étant défini comme étant perpendiculaire à l'axe longitudinal de la hampe (12). 2. Capteur d'accélération selon la revendication 1, dans lequel la relation capacitive entre la masse (2) et le support (4) résulte du fait que ces deux composants sont réalisés en matériaux conducteurs de l'électricité. 3. Capteur d'accélération selon la revendication 1, dans lequel la relation capacitive entre la masse et le support est obtenue à l'aide d'électrodes (8a, 8b)placées en regard respectivement sur l'une et l'autre de ces pièces. 4. Capteur d'accélération selon l'une quelconque des revendications 1 à 3 précédentes, caractérisé en ce que le centre de gravité de la masse (2) est situé sur l'axe de la hampe (12), de manière à rendre aussi faible que possible la sensibilité du capteur à une composante de l'accélération qui serait perpendiculaire au plan principal. 5. Capteur d'accélération selon l'une quelconque des revendications 1 à 4 précédentes, caractérisé en ce que la hampe (12) et la masse (2) ont une symétrie de révolution par rapport à l'axe longitudinal de la hampe, conférant ainsi au capteur une équisensibilité dans toutes les directions du plan principal. 6. Capteur d'accélération selon la revendication 3, caractérisé en ce que les électrodes (8a, 8b) placées en regard sur la masse (2) et sur le support (4) sont parallèles en l'absence d'une accélération à mesurer. 7. Capteur d'accélération selon la revendication 3, caractérisé en ce que les électrodes (8a, 8b) placées en regard sur la masse (2) et sur le support (4) sont inclinées l'une par rapport à l'autre en l'absence d'une accélération à mesurer.