Brevet FR2691404A1 — publié le 19931126

L'invention concerne un dispositif pour une tête d'impres- sion à encre électrothermique, selon un mode de réalisation en couches, dans laquelle la direction d'extension des bulles de vapeur engendrées de façon électrothermique est opposée à la direction d'éjection de l'encre. Des têtes d'impression à encre électrothermiques connues (principe à jet de bulles) présentent une multitude de buses individuelles, desquelles buses, sous l'effet d'une commande électronique, des gouttes individuelles sont engendrées selon une taille définie, et sont éjectées selon un modèle défini en direction d'un support d'enregistrement. Les signes devant être imprimés sont, à chaque fois, engen- drés par plusieurs gouttes d'encre qui sont agencées en forme de matrice. De façon pratique, une colonne d'une telle matrice relative aux signes est imprimée, à chaque fois, simultanément, afin de satisfaire aux exigences de vitesse d'impression élevée et d'image uniforme. Une tête d'impression à encre, qui est appropriée pour le procédé d'impression décrit, doit donc réunir plusieurs éléments (identiques) qui sont en mesure d'éjecter des gouttes d'encre à l'instant exigé (principe "à la demande"). Dans cette technologie, est caractéristique le fait qu'une résistance électrique réalisée en tant qu'élément de chauffage se trouve dans un tube capillaire rempli de fluide d'impression, par exemple de l'encre, et, à savoir, près de son ouverture Lorsqu'une énergie thermique déterminée est amenée à cet élément de chauffage, au moyen d'une impulsion électrique courte, se crée, par un transfert de chaleur extrêmement rapide sur le fluide d'encrage, tout d'abord une bulle de vapeur d'encre qui se dilate rapidement, qui ensuite s'affaisse relativement rapidement par la fin de l'alimentation en énergie et par refroidissement par le fluide d'encrage L'onde de pression créée à l'intérieur du tube capillaire, par la bulle de vapeur, laisse sortir une5 goutte d'encre par l'ouverture de la buse sur la surface d'un support d'enregistrement proche. Un avantage de ce principe à jet de bulles est que, par l'exploitation du changement de phase liquide-gaz-liquide du fluide d'encrage, le changement de volume nécessaire pour10 l'éjection de l'encre, relativement important et rapide, est engendré au moyen d'une surface transductrice très petite. Les petites surfaces transductrices permettent, quant à elles, par l'utilisation de procédés de réalisation mo- dernes, comme des processus photolithogaphiques extrêmement15 précis dans la technique par couches, une réalisation relativement simple et peu coûteuse de têtes d'impression à encre, qui se caractérisent par une densité d'écriture élevée et des dimensions faibles. Par la demande internationale PCT-DE-91 00364, on connaît une tête d'impression à encre, qui est constituée pour l'essentiel d'une plaquette et d'un réservoir à encre, la plaquette étant fixée mécaniquement au moyen de pinces de montage au réservoir à encre Cette plaquette comporte des canaux d'encre fermés sur trois côtés et ouverts sur le25 quatrième côté, qui sont séparés les uns des autres par des parois intermédiaires minces pour l'essentiel de forme trapézoïdale Dans la direction d'éjection de l'encre, la fermeture du canal d'encre correspondant est constituée d'une membrane mince qui, quant à elle, est pourvue des30 buses d'éjection du canal d'encre associé Une surface du réservoir à encre forme la fermeture externe des canaux d'encre du quatrième côté ouvert, du côté de la plaquette. Lorsqu'un élément de chauffage pour la génération d'une goutte est amorcé, son échauffement entraîne, en plus de la formation de bulles de vapeur, une surpression locale dans le canal à encre correspondant Cette surpression conduit, 5 en plus de l'éjection de gouttes recherchée, au fait qu'une quantité d'encre déterminée est renvoyée en direction des canaux d'alimentation Ceci signifie que, en plus de la quantité d'énergie nécessaire pour l'éjection des gouttes, une quantité d'énergie de perte doit encore être apportée,10 qui est, entre autres, utilisée pour le retour de l'encre. Cette quantité d'énergie de perte abaisse l'efficacité globale de la tête d'impression à encre. De plus, la quantité d'encre rejetée vers l'arrière entraîne une surpression locale dans les canaux d'alimentation et,15 ainsi, influence les canaux à encre adjacents Lorsque les canaux à encre adjacents d'un canal à encre non activé sont activés, il peut néanmoins se produire une éjection de gouttes non souhaitée, par la superposition de pressions créée dans le canal non activé. Selon le fait que des canaux d'encre adjacents sont activés ou non, les conditions de pression se modifient dans le canal à encre correspondant et, ainsi, la masse de gouttes résultante et la qualité d'impression varient. L'invention se fixe comme but de fournir une tête d'impres- sion à encre qui conserve les avantages, du point de vue de la réalisation, de la tête d'impression à encre décrite et qui présente, de plus, une meilleure efficacité et est appropriée pour permettre une qualité d'impression élevée et uniforme, indépendante du mode de fonctionnement. A cet effet, selon l'invention, le dispositif pour une tête d'impression à encre électrothermique, selon un mode de réalisation en couches, comportant une multitude de canaux d'encre, présentant des ouvertures de sortie d'encre, dans laquelle tête d'impression les éléments de chauffage, les liaisons d'amenée électriques, les zones de contact, et les ouvertures d'éjection d'encre sont réunis sur une seule plaquette, dans laquelle tête d'impression la direction d'extension de chaque bulle de vapeur engendrée de façon électrothermique est opposée à la direction d'éjection d'encre et qui est reliée, par l'intermédiaire de canaux d'alimentation, à un réservoir à encre dont le côté supé- rieur se trouve en regard de la plaquette, est remarquable en ce que chaque canal d'encre de la tête d'impression à encre est relié, par l'intermédiaire d'au moins une zone d'étranglement de courant séparée à section transversale définie, au canal d'alimentation formé à chaque fois dans la face supérieure du réservoir à encre, en ce qu'une couche de matériau est prévue entre la plaquette et le réservoir à encre, et en ce que la zone d'étranglement de courant est formée à partir des éléments plaquette et couche de maté- riau, l'importance de l'étranglement étant déterminée par le nombre et la taille des ouvertures de passage. De préférence, la couche de matière est constituée d'un masque de décapage perforé qui présente des ouvertures. De façon avantageuse, le dispositif, dans lequel la plaquette est constituée de silicium, et est munie d'un masque de décapage pour structurer les canaux d'encre, est remarquable en ce que le masque de décapage présente, pour chaque canal d'encre, une multitude d'ouvertures qui libèrent l'accès de l'agent de décapage à la plaquette, pendant le processus de décapage, et au moins une partie des ouvertures d'un canal d'encre est agencée dans la zone d'alimentation en encre. Par ailleurs, la couche de matériau peut être une plaque de fermeture comportant des ouvertures, les ouvertures étant associées aux canaux d'alimentation De plus, la face supérieure de la plaque de fermeture est constituée de l'un des matériaux verre ou silicium. De façon avantageuse, les évidements sont gravés dans la plaquette constituée essentiellement de silicium. Ainsi, conformément à l'invention, le but recherché est atteint en ce que, à partir d'une section longitudinale de canal d'encre en forme de trapèze, dans les angles aigus de laquelle section l'alimentation en encre est prévue avec des1 o canaux d'alimentation agencés symétriquement, chaque canal d'encre de la tête d'impression à encre est relié, par l'intermédiaire de zones d'étranglement du courant séparées, au canal d'alimentation correspondant. A cet effet, la plaquette est recouverte par une plaque de fermeture séparée du côté du réservoir à encre, plaque qui présente des ouvertures entre les canaux d'alimentation en encre du réservoir à encre et les canaux d'encre de la plaquette Dans l'un des éléments plaquette ou plaque de fermeture, sont prévus des évidements dans la face qui se20 trouve en regard de l'autre élément, évidements qui sont à chaque fois recouverts par l'autre élément, de sorte que des éléments d'espace en forme de canaux sont créés Ces élé- ments d'espace en forme de canaux présentent une section transversale plus faible que tous les autres éléments25 d'espace à travers lesquels circule l'encre, de sorte qu'ils agissent en tant que canaux d'étranglement, en raison de leur résistance au courant. La plaque de fermeture est constituée, de préférence, de verre ou d'une feuille de matière synthétique. L'effet avantageux de cet agencement consiste en ce que des processus d'écoulement lents, comme il en existe lors du remplissage du canal d'encre, peuvent être effectués de façon pratiquement non gênée, mais qu'une résistance élevée est opposée à des pointes de pression élevées, comme il en est créé lors de la formation des bulles de vapeur. L'onde de pression, engendrée par l'activation des éléments de chauffage dans le canal d'encre, reste, pour l'essentiel, limitée au canal d'encre correspondant et est transformée, pour une grande part, en énergie d'éjection des gouttes De ce fait, d'une part, on augmente considérablement l'effica-10 cité du canal d'encre correspondant et, d'autre part, on réduit de façon avantageuse l'influence des canaux d'encre adjacents Ainsi, la dépendance de la masse des gouttes et de la vitesse des gouttes, de l'activation de canaux d'encre adjacents, est minimisée. Les figures du dessin annexé feront bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. La figure 1 est une représentation de principe d'une tête d'impression à encre particulièrement appropriée pour la mise en oeuvre de l'invention. La figure 2 est une représentation en coupe d'une plaquette d'une telle tête d'impression à encre 3. La figure 3 est une représentation éclatée d'un mode de réalisation du dispositif conforme à l'invention. La figure 4 représente une plaquette comportant un masque de décapage structuré conformément à l'invention. La figure 5 illustre des étapes de processus successives pour la réalisation de canaux d'étranglement dans la pla- quette. La figure 6 représente d'autres étapes de processus succes- sives pour la réalisation de canaux d'étranglement dans la plaquette. La figure 7 a montre le masque de décapage pour un canal d'encre. La figure 7 b est une représentation en coupe d'une plaquette gravée, selon la ligne II-II de la figure 7 a. La figure 7 c est une vue d'un canal d'encre gravé dans la direction d'éjection des gouttes. La figure 8 est une coupe d'une unité de plaquette et de plaque de recouvrement jointes, comportant des évidements dans la plaque de recouvrement. La figure 9 est une coupe d'une unité de plaquette et de plaque de recouvrement jointes, comportant des évidements dans la plaquette. La figure l Oa est une représentation d'un masque de décapage pour un canal d'encre. La figure l Ob montre des structures, partiellement gravées, pour un canal d'encre. La figure Il est une coupe transversale d'un autre mode de réalisation de l'invention. La figure l montre en perspective la réalisation d'une tête d'impression à encre Celle-ci est constituée, pour l'es- sentiel, de seulement deux parties devant être reliées ensemble, à savoir une plaquette hl qui comporte aussi bien les éléments de chauffage, les liaisons électriques et les zones de contact pour le raccord électrique, que les ouvertures de sortie (buses) et qui est fixée, en tant que fermeture, sur un réservoir à encre et qui est contactée. Les éléments de chauffage non représentés sur cette figure de principe, les liaisons électriques, les zones de contact et les ouvertures de sortie 10 peuvent, ainsi, être formés dans une plaquette unique 11 constituée de préférence de silicium, en tirant profit d'étapes d'usinage planaires. Le réservoir à encre 12 présente une structure de forme parallélépipèdique, dans laquelle est introduit un milieu, par exemple une éponge 13, rempli de fluide d'encrage La face supérieure du réservoir à encre 12 en regard de la plaquette 11 est munie d'ouvertures de sortie, en forme de deux canaux d'alimentation 15, munies de filtres 14 Ces canaux d'alimentation 15 s'étendent parallèlement l'un par rapport à l'autre, en direction longitudinale du réservoir à encre 12, de sorte qu'ils sont reliés, pour une plaquette Il montée, aux ouvertures de sortie 10, par l'intermédiaire des canaux d'encre 16 Le montage de la plaquette 11 sur le -réservoir à encre est effectué, de manière simple, par des pinces de montage 17 agencées sur les côtés longitudinaux du réservoir à encre 12, pinces de montage qui permettent, aussi bien la liaison mécanique, qu'également, par l'inter- médiaire des zones de contact 9, le contact électrique. La figure 2 est une coupe d'une plaquette selon la ligne I-I de la figure 1 En particulier, on reconnaît ici la confi- guration géométrique d'un canal d'encre 16 qui présente des parois parallèles comportant des zones de sortie inclinées 30. Comme on peut également le voir sur la figure 2, ce canal d'encre 16 est fermé, du côté de la buse, uniquement par une couche mince du matériau de substrat de la plaquette, en forme de membrane Dans cette membrane 3, est prévue l'ouverture de sortie 10 Sur la face de la membrane 3 opposée au canal d'encre 16, sont agencés les éléments de chauffage. Selon un premier mode de réalisation de l'invention repré- senté sur la figure 3, la plaquette 11 de la tête d'impres- sion à encre 24 qui présente les canaux d'encre 16 com- portant les ouvertures de sortie 10 est munie d'une plaque de fermeture 1, qui limite les canaux d'encre 16 du côté du réservoir à encre La plaque de fermeture 1 présente des évidements 25 qui sont, à chaque fois, reliés à une ouver- ture traversante 2 Les évidements 25 sont agencés de façon longitudinale, en forme de canaux et parallèlement, et une partie de leur extension longitudinale est recouverte par la plaquette 11 La partie restante de leur extension longitu-15 dinale est coïncidente à une partie de la plaque de ferme- ture dans les canaux d'encre ouverts 16 Les évidements 25 peuvent avoir une largeur moindre que les canaux d'encre 16. Les ouvertures 2 sont reliées, dans l'état monté, aux canaux d'alimentation 15 dans le réservoir à encre 12. La plaque de fermeture est constituée, de préférence, de verre ou d'une feuille de matière synthétique Les évide- ments 25 sont réalisés par décapage ou gravure au sable. Selon un autre mode de réalisation de l'invention représenté sur la figure 4, la plaquette 11 est munie, dans la prépa-25 ration au processus de décapage, pour la réalisation des canaux d'encre 16, d'un masque de décapage 18 Ce masque de décapage 18, résistant à l'agent de gravure, présente des ouvertures 19 De façon pratique, pour chaque canal d'encre 16, est prévue exactement une ouverture 19 qui présente la géométrie de base du canal d'encre 16, le masque de décapage 18 étant enlevé après le processus de décapage. Conformément à l'invention, pour chaque canal d'encre 16, est prévue une multitude d'ouvertures 19 Les mécanismes de décapage anisotrope dans le silicium 110 entraînent que les canaux d'encre 16 présentent quand même la même géométrie, comme lors du procédé de décapage usuel. Conformément à l'invention, le masque de décapage 18 reste sur la plaquette 11 Au moins une partie des ouvertures 19 associées à un canal d'encre 16 est agencée dans la zone d'alimentation en encre. Selon une première variante, l'alimentation en encre est effectuée à partir des canaux d'alimentation 15 dans le réservoir à encre 12 L'importance de l'effet d'étranglement est déterminée par la largeur des canaux d'alimentation 15, ainsi que par le nombre et la taille des ouvertures 19 agencées dans la zone des canaux d'alimentation 15. Selon une seconde variante, une plaque de fermeture 1, tel que représenté sur la figure 3, est prévue, pour l'alimen- tation en encre, entre la plaquette 11 et le réservoir à encre 12 La plaque de fermeture présente des ouvertures 2 qui sont associées aux canaux d'alimentation 15 dans le réservoir à encre 12 Aux ouvertures 2, sont rattachés des évidements 25 qui sont associés aux canaux d'encre 16 dans la plaquette 11 L'importance de l'effet d'étranglement est déterminée par le nombre et la taille des ouvertures 19 se trouvant dans la zone des évidements 25. Sur les figures 5 a à 5 c, sont représentées les étapes d'usinage successives de la plaquette 11 La figure 5 a est une représentation en coupe de la plaquette 11, selon la direction longitudinale du canal d'encre devant être struc- turé, qui est munie d'un masque de décapage constitué d'une couche de dioxyde de silicium 28 et d'une couche de nitrure de silicium 29 Dans la zone du canal d'encre devant être il structuré, la couche de nitrure 29 et la couche d'oxyde 28 sont ouvertes Sur le côté de la plaquette opposé au masque de décapage, est introduite une couche anticorrosion 27. Ensuite, est effectuée une première étape de décapage anisotrope, pour la structuration partielle des canaux d'encre 16 Les canaux d'encre 16 sont libérés jusqu'à une profondeur prédefinie xl Dans une étape suivante, le masque de décapage est ouvert aux zones des évidements 25 devant être structurés A cet effet, la couche de nitrure 29 et la couche d'oxyde 28 sont éliminées aux endroits prévus, à l'aide d'un processus de décapage à sec L'état d'usinage suivant est représenté sur la figure 5 b Pour une profondeur xl, est montré le canal d'encre 16, dont l'environnement est libéré, en direction longitudinale, de la couche de nitrure15 29 et de la couche d'oxyde 28 La profondeur xl du canal d'encre 16, n'a pas encore atteint la couche anticorrosion 27. Ensuite, est effectuée une seconde étape de décapage aniso- trope, avec une profondeur de décapage x 2 pour la zone non20 masquée globale de la plaquette 11 Les canaux d'encre 16 sont structurés jusqu'à la couche 27 La profondeur de décapage x 2 détermine, pour une largeur prédéterminée des ouvertures dans le masque de décapage, la surface de la section transversale des évidements 25. L'état d'usinage de la plaquette 11, après la deuxième étape de décapage anisotrope, est représenté sur la figure 5 c La structuration du canal d'encre 16 arrive jusqu'à la couche 27 et les évidements 25 présentent une profondeur x 2. Dans un perfectionnement du processus d'usinage conforme aux figures 5 a à 5 c, la couche de nitrure 29 est ouverte, en préparation à la première étape de décapage anisotrope, aussi bien pour les canaux d'encre 16 que pour les évidements 25, tel que représenté sur la figure 6 a La couche d'oxyde 28 est seulement ouverte pour les canaux d'encre 16 Sur le côté opposé au masque de décapage de la plaquette 11, est agencée la couche anticorrosion 27 - Pendant la première étape de décapage anisotrope, le canal d'encre 16 est structuré avec une profondeur de décapage xl, tel que représenté sur la figure 6 b, et simultanément la -couche d'oxyde est enlevée dans la zone des évidements 25 jusqu'à une couche d'oxyde résiduelle 31. La couche d'oxyde résiduelle 31 est enlevée avant une deuxième étape de gravure anisotrope. Dans la deuxième étape de gravure anisotrope, les évidements sont structurés à une profondeur de gravure x 2 et les canaux d'encre 16, selon la figure 6 c, lorsque ceux-ci n'ont pas encore atteint la couche d'anticorrosion 27 dans la première étape de décapage, sont agrandis jusqu'à la couche anticorrosion 27. Selon un autre mode de réalisation de l'invention, dans le masque de décapage, conformément à la figure 7 a, constitué20 d'une couche d'oxyde 28 et d'une couche de nitrure 29, une ouverture 19 est pratiquée de sorte que sont libérées, aussi bien la surface pour le canal d'encre 16 devant être struc- turé, que la surface pour les évidements 25. La figure 7 b est une coupe de la plaquette 11, selon la ligne II-II de la figure 7 a, qui montre la position de la couche de nitrure 29 et de la couche d'oxyde 28 sur la plaquette 11 Sur la face opposée au masque de décapage de la plaquette 11, est disposée la couche anticorrosion 27. L'état de traitement de la plaquette 11, après le décapage anisotrope, est représenté sur la figure 7 c selon une vue du côté du masque de décapage Le canal d'encre 16 et les évidements 25 présentent la même profondeur En direction longitudinale, les deux sont limités par des zones de sortie inclinées. L'effet de réduction du courant de passage de l'encre est dimensionné par la largeur des évidements 25. Selon un autre mode de réalisation de l'invention, le masque de décapage, tel que représenté sur la figure l Oa, est muni de trois ouvertures 19 par canal d'encre, ouvertures qui sont séparées les unes des autres par des nervures 20 Les ouvertures 19 sont agencées les unes derrière les autres en direction longitudinale L'ouverture centrale 19 est plus large que les deux ouvertures voisines et sert à la struc- turation du canal d'encre Par les ouvertures étroites voi- sines 19, les évidements sont structurés dans la plaquette 11. Par un décapage anisotrope, on crée simultanément les canaux d'encre 16 et les évidements 25 dans la plaquette 11 Sur la figure l Ob, est représenté un état de traitement, pendant le processus de décapage Par la gravure des nervures 20, avec des zones de sortie 30 inclinées, l'écartement réel du canal d'encre 16 aux évidements 25 est réduit, au cours de la gravure. La largeur des nervures 20 est dimensionnée, de sorte que, juste avant la fin du processus de décapage, elles sont gravées de manière qu'une liaison est créée entre le canal d'encre 16 et les ouvertures associées 25. La plaquette 11 préparée selon l'un des procédés conforme aux figures 5, 6, 7 ou 10, est, ensuite, conformément à la figure 9, reliée à une plaque de fermeture 1 par une liaison électrolytique La plaque de fermeture 1 présente des ouvertures 2 qui se terminent du côté de la plaquette dans la zone des évidements 25 Les évidements 25 sont reliés au canal d'encre 16 qui est structuré jusqu'à la couche anticorrosion 27. La figure 8 montre un autre mode de réalisation de l'inven- tion Une plaquette 11 préparée conformément au procédé de la figure 2 est assemblée avec une plaque de fermeture 1 par une liaison électrolytique La plaque de fermeture 1 pré- sente des ouvertures 2, qui sont prolongées dans des évide- ments 25 pour chaque canal d'encre 16 et qui sont recou- vertes par la surface de la plaquette 11 Les évidements 25 sont pratiqués par des coupes à la scie dans la plaque de fermeture 1 constituée de verre, sont partiellement recou- verts par la surface de la plaquette 11 et alimentent tous les canaux d'encre 16. Dans un autre mode de réalisation de l'invention, tel que représenté sur la figure 11, chaque canal d'encre 16 est élargi des deux côtés de son extension longitudinale d'une zone 33 essentiellement de forme triangulaire, zone qui est, à chaque fois, reliée au canal d'encre 16 correspondant, par l'intermédiaire d'un élément d'espace comportant une section transversale faible, désigné comme zone d'étranglement 32. Les zones d'étranglement 32 et les zones 33 sont structurées comme les canaux d'encre 16 dans la plaquette 11 La pla- quette 11 est recouverte du côté du réservoir à encre par une plaque de fermeture 1 La plaque de fermeture 1 présente des ouvertures 2 qui sont associées aux canaux d'alimenta- tion 15, ainsi qu'aux zones élargies 33 Les zones d'étran- glement 32 sont recouvertes par la plaque de fermeture 1. L'importance de l'effet d'étranglement est déterminée par la section transversale des zones d'étranglement 32. REVENDICATIONS 1 Dispositif pour une tête d'impression à encre électro- thermique, selon un mode de réalisation en couches, com- portant une multitude de canaux d'encre présentant des ouvertures de sortie d'encre, dans laquelle tête d'impres- sion les éléments de chauffage, les liaisons d'amenée électriques, les zones de contact, et les ouvertures d'éjection d'encre sont réunis sur une seule plaquette, dans laquelle tête d'impression la direction d'extension de chaque bulle de vapeur engendrée de façon électrothermique est opposée à la direction d'éjection d'encre et qui est reliée, par l'intermédiaire de canaux d'alimentation, à un réservoir à encre dont le côté supérieur se trouve en regard de la plaquette, caractérisé en ce que chaque canal d'encre ( 16) de la tête d'impression à encre ( 24) est relié, par l'intermédiaire d'au moins une zone d'étranglement de courant séparée à section transversale définie, au canal d'alimentation ( 15) formé à chaque fois dans la face supérieure du réservoir à encre ( 12), en ce qu'une couche de matériau est prévue entre la plaquette et le réservoir à encre ( 12), et en ce que la zone d'étranglement de courant est formée à partir des éléments plaquette ( 11) et couche de matériau, l'importance de l'étranglement étant déterminée par le nombre et la taille des ouvertures de passage. 2 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche de matière est constituée d'un masque de décapage perforé ( 18) qui présente des ouvertures ( 19). 3 Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, dans lequel la plaquette ( 11) est constituée de silicium et est munie d'un masque de décapage ( 18) pour structurer les canaux d'encre ( 16), caractérisé en ce que le masque de décapage ( 18) présente, pour chaque canal d'encre ( 16), une multitude d'ouvertures ( 19) qui libèrent l'accès de l'agent de décapage à la plaquette ( 11), pendant le processus de décapage et au moins une partie des ouvertures ( 19) d'un canal d'encre ( 16) est agencée dans la zone d'alimentation en encre. 4 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche de matériau est une plaque de fermeture ( 1) comportant des ouvertures ( 2), les ouver-10 tures ( 2) étant associées aux canaux d'alimentation ( 15). Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que la face supérieure de la plaque de fermeture ( 1) est constituée de l'un des matériaux verre ou silicium. 6 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les évidements ( 25,33) sont gravés dans la plaquette ( 11) constituée essentiellement de sili- cium.