Brevet FR2693799A1 — publié le 19940121

i Capteur de vitesses angulaires, notamment destiné à des véhicules automobiles" La présente invention concerne un capteur de vitesses angulaires comportant au moins des capteurs d'accélération se déplaçant sur une trajectoire circu- laire autour d'un premier axe, le capteur d'accéléra- tion mesurant la force de Coriolis engendrée par la rotation autour de deux autres axes les trois axes étant perpendiculaires Selon le document EP-A 2 405 152, on connaît déjà un tel capteur de vitesses angulaires dans lequel deux capteurs d'accélération se déplacent sur une tra- jectoire circulaire autour d'un axe Lors de la rota- tion d'autres axes perpendiculaires au premier axe, cela génère des forces de Coriolis agissant sur les capteurs d'accélération Ces capteurs d'accélération sont en forme de poutres flexibles piézo- électriques dont une extrémité est fixée à l'axe de rotation Par des procédés de montage et d'alignement, il est possi- ble de fixer et d'aligner les éléments piézo- électriques de manière particulièrement exacte sur l'axe de rotation. On connaît en outre différents capteurs d'accélération selon le document EP-A 1 369 552; ces capteurs d'accélération sont en partie réalisés dans25 des plaquettes en silicium. La présente invention a pour but de dévelop- per de tels capteurs pour améliorer la précision de la mesure A cet effet l'invention concerne un capteur de vitesses angulaires correspondant au type défini ci- dessus, caractérisé en ce que le capteur d'accéléra- tion est réalisé en partie dans une structure en sili- cium. Le capteur de vitesses angulaires selon l'invention offre l'avantage que les capteurs d'accé- lération qui sont partiellement réalisés dans du sili- cium améliorent fortement la précision de la mesure du capteur de vitesses angulaires Cela provient de la sensibilité plus réduite vis-à- vis des accélérations transversales En outre, on peut aligner d'une manière particulièrement précise par rapport à l'axe de rota- tion et entre eux, des capteurs d'accélération en si- licium, réalisés en micro mécanique La simplification du montage réduit en outre le coût de fabrication du capteur de vitesses angulaires. Suivant une autre caractéristique de l'in- vention, les capteurs d'accélération sont montés sur une plaque plane tournant autour du premier axe. Suivant une autre caractéristique de l'in- vention, la plaque plane est un disque en verre, en silicium ou en céramique. Suivant une autre caractéristique de l'in- vention, la plaque comporte les premiers moyens pour traiter les signaux du capteur d'accélération. Ainsi, de manière particulièrement simple, le capteur d'accélération se monte sur une plaque pla- ne Cela permet sans nécessité de moyens importants d'assurer un alignement et un ajustage particulière- ment exacts du capteur d'accélération par rapport à l'axe Il convient notamment d'utiliser des plaques en verre, en silicium ou en céramique Un premier traite- ment des signaux du capteur d'accélération peut être fait par des moyens prévus au voisinage immédiat du capteur d'accélération L'ensemble du capteur de vi- tesses angulaires présente ainsi une construction très compacte et la sensibilité des signaux parasites est très réduite. D'autres moyens pour traiter les signaux, notamment des montages plus coûteux et qui présentent un encombrement important peuvent ainsi exister à l'extérieur de la plaque. On arrive à une transmission particulière- ment insensible aux parasites par des éléments de transmission qui sont de préférence des éléments photo émetteurs L'application d'énergie électrique à la plaque tournante se fait d'une manière particulière- ment favorable par un transformateur tournant, car cette forme de transmission de puissance est particu- lièrement sûre et n'est soumise à aucune usure. Une partie du transformateur de rotation peut être réalisée d'une façon très simple sous la forme d'une bobine en film épais ou films mince appli- quée sur la face inférieure de la plaque Ce moyen permet de fabriquer la plaque rotative selon des pro- cédés de fabrication en série particulièrement avanta- geux L'utilisation de deux capteurs d'accélération décalés de 1800 permet d'éliminer différents effets parasites à la mesure de la vitesse angulaire Il est alors particulièrement avantageux que les deux cap- teurs d'accélération fabriqués en micro mécanique pré- sentent pratiquement les mêmes propriétés d'amortisse- ment et de dérive en température En particulier, en formant la différence des deux signaux, on réduit for- tement l'influence des accélérations parallèlement à l'axe de rotation De plus, par un filtrage dépendant de la phase, on peut distinguer entre deux axes de ro- tation différents. Dessins Des exemples de réalisation de l'invention sont représentés dans les dessins et seront décrits ci-après de manière plus détaillée Ainsi: La figure 1 est une vue de côté d'une pla- que plane. La figure 2 est une vue de dessus de la plaque plane. La figure 3 est une coupe d'un capteur d'accélération. La figure 4 est une autre vue de côté d'u- ne plaque plane. La figure 5 montre le traitement des si- gnaux. Description des exemples de réalisation Les figures 1 et 2 montrent un premier exem- ple de capteur de vitesses angulaires La figure 1 est une vue de côté, la figure 2 une vue de dessus Un mo- teur 12 entraîne en rotation une plaque plane 6 autour d'un premier axe 3 (dans la direction x) Cette rota- tion se fait à une vitesse angulaire W indiquée par une flèche à la figure 2 La plaque plane 6 porte deux capteurs d'accélération 1, 2 qui décrivent du fait de la rotation de la plaque plane 6, une trajectoire cir- culaire autour du premier axe 3 La plaque plane 6 comporte également des circuits 29 et un élément de transmission 8 Les circuits 29 assurent un premier traitement des signaux des capteurs d'accélération 1, 2; ces signaux sont alors transmis à un élément ré- cepteur 9 par l'élément de transmission 8 L'élément de transmission 8 peut être par exemple une diode lu- mineuse et l'élément de réception 9 une photodiode. Les circuits 9 et les traitements des si- gnaux seront explicités à la figure 5 L'alimentation en puissance des circuits 29 et de la diode lumines- cente 8 se fait par l'intermédiaire d'un transforma- teur tournant 10 Le transformateur tournant 10 com- porte un ou plusieurs bobines fixes 13 et une ou plu- sieurs bobines rotatives 14 En appliquant un courant alternatif à la bobine fixe 13, on induit un courant correspondant dans la bobine rotative 14 Le transfor- mateur rotatif 10 garantit ainsi l'alimentation élec- trique des circuits 29 et de la diode luminescente 8. Il est particulièrement avantageux que le transforma- teur rotatif 10 soit très fiable et sans usure Le capteur de vitesses angulaires représenté ici peut ainsi s'utiliser dans les applications nécessitant une fiabilité particulièrement longue comme dans le domai- ne automobile. A la figure 1 et à la figure 2, on définit un système de coordonnées xyz La figure 2 montre en outre deux vecteurs r et q qui représentent la projec- tion de la vitesse de rotation sur les axes z et y. Ces vecteur r et q sont définis par les relations sui- vantes p = t cos a cos 8 8 Sin xa q = cos a + Y Sin a cos B Les angles de rotation a, B, Y sont définis par rapport à un système de coordonnées non rectangu- laire; a est l'angle par rapport à l'axe x représenté à la figure 1 " est l'angle par rapport à l'axe y dé- calé de l'angle a et y est l'angle par rapport à l'axe z décalé de l'angle a et de l'angle 8 Pour le capteur de vitesses angulaires tel que celui représenté ici avec un système rotatif et mesurant les accélérations de Coriclis, les angles de rotation a, B, y et les vi tesses angulaires a, ", t ne peuvent se mesurer di- rectement mais seulement sous la forme de projections sur le système de coordonnées xyz, c'est-à-dire sous la forme des vecteurs r et q La signification des vecteurs r et q est particulièrement claire si l'on considère que tous les angles a, ", Y sont égaux à O ou prennent des valeurs très faibles pour ces angles. Dans ce cas, on a en effet: r = y, Ainsi, on détermine la vitesse angulaire uniquement par la mesure de q et r. Les accélérations dans les capteurs d'accé- lération 1 et 2 sont les suivants X 1 =X + RA (t) Sin W t + RB (t) cos W t 2 X O RA (t) Sin X t RB (t) cos X t A (t) = r 2 q W, B (t) = q + 2 r w Dans ces formules R représente le rayon de montage des capteurs d'accélération 1, 2 par rapport à l'axe de rotation 3 X O représente l'accélération de l'ensemble des systèmes des capteurs dans la direction x qui correspond néanmoins à une grandeur parasite. Les signaux de mesure Vi, V 2 des capteurs d'accéléra- tion 1, 2 sont proportionnels à cette accélération suivant un facteur S dans leur largeur de bande Pour former la différence des deux signaux V 2 et Vi, on peut éliminer la composante gênante de l'accélération dans la direction x: V 2 V, = 2 RS l A(t) Sin wt + B (t) cos ct l Le traitement de ces signaux sera décrit à l'aide de la figure 5. La figure 3 montre un capteur d'accélération 1, 2 comme ceux montés sur la plaque plane 6 De tels capteurs d'accélération sont connus de manière généra- le et sont par exemple décrits dans le document EP-Al 369 352 Le capteur d'accélération 1, 2 se compose de trois plaquettes de silicium 15 empilées en couche. Dans la plaquette de silicium 15 intermédiaire, on a formé par enlèvement de matière une partie de capteur mobile formée d'une languette flexible 16 à laquelle est suspendue une masse sismique 17 La position de la masse sismique 17 par rapport à la plaquette de sili- cium 15 supérieure et à la plaquette de silicium 15 inférieure, dépend de l'accélération dans la direction x Comme les trois plaquettes de silicium 15 sont iso- lées électriquement l'une de l'autre, la capacité électrique entre les plaquette de silicium 15 change du fait du mouvement de la masse sismique 17. On peut également envisager d'autres modes de réalisation des capteurs d'accélération 1, 2; ain- si, on peut envisager une plaque de silicium comprise entre deux plaques de verre-sur lesquelles on a déposé des électrodes à la vapeur; cette technique est éga- lement connues selon le document EP-A 1 369 352. Les capteurs d'accélération 1, 2 utilisés ici conviennent tout particulièrement dans les appli- cations aux capteurs de vitesses angulaires travail- lant suivant l'accélération de Coriolis Cela permet avec les capteurs d'accélération 1, 2 représentés ici d'obtenir des sensibilités de mesure beaucoup plus im- portantes avec une sensibilité transversale plus rée duite que dans le cas de convertisseur de flexion à effet piézorésistif Toutefois, il est beaucoup plus important dans le cas de capteurs de vitesses angulai- res que les capteurs d'accélération 1, 2 représentés ici puissent se monter avec des moyens simples et sui- vant une précision élevée Le procédé de montage et de tarage coûteux pour les éléments flexibles piézo- électriques comme cela a par exemple été décrit dans le document EP-A 2 405 152 est fortement simplifié dans le cas des capteurs d'accélération décrits ici Des plaques planes 6 telles que celles utilisées pour les capteurs de vitesses angulaires peuvent se fabriquer avec une mise en oeuvre relativement réduite et en grande série, d'une manière peu coûteuse Grâce à la précision élevée de la structure micro mécanique des capteurs d'accélération 1, 2, on arrive à des axes de mesure définis clairement pour les capteurs d'accélé- ration 1, 2 et les surfaces de montage 18 perpendicu- laires, sur la face supérieure et la face inférieure des capteurs d'accélération 1, 2. La figure 4 montre un autre exemple de ré- alisation d'un capteur de vitesses angulaires selon l'invention qui tient compte de la précision élevée suivant laquelle les capteurs d'accélération 1, 2 peu- vent se monteur sur une plaque plane 7 Sur la face supérieure de la plaque plane 7, on a monté deux cap- teurs d'accélération 1, 2, les circuits 29 et une dio- de luminescente 9 La liaison électrique entre les capteurs d'accélération et les circuits 29 ainsi que la diode luminescente 8 est réalisée par des fils de liaison 19 ou des chemins conducteurs 20 rapportés sur la plaque La plaque plane 7 est mise en rotation par l'axe 21 autour de l'axe géométrique x L'alimentation en tension des circuits 29 et de la diode électro lu- minescente 8 se fait également par l'intermédiaire d'un transformateur tournant 10 comprenant une ou plu- sieurs bobines fixes 13 et une ou plusieurs bobines rotatives 11. La plaque plane 7 est notamment constituée par une plaquette de silicium, une plaquette de verre ou un substrat en céramique Ces substrats peuvent re- cevoir d'une manière particulièrement simple une sur- face rugueuse Sur tous ces substrats il est possible d'appliquer la bobine rotative il du transformateur tournant 10 en utilisant la technique des fils épais ou des fils minces La fabrication de la bobine mobile 11 peut se faire d'une manière particulièrement avan- tageuse, directement sur la plaque plane 7; cela évi- te toute liaison ultérieure entre la bobine mobile 11 et la plaque plane 7 Cela réduit au minimum le tra- vail de montage du capteur de vitesses angulaires et diminue ainsi le coût de fabrication Si la plaque plane est en silicium ou en verre, on peut également relier les capteurs d'accélération 1, 2 par un procédé de liaison avec la plaque plane 7 Dans le cas d'un tel procédé de liaison, on place simplement les cap- teurs d'accélération 1, 2 à la surface de la plaque plane 7 et on les relie solidairement par un traite- ment thermique Comme tous ces procédés ne nécessitent aucune couche épaisse comme par exemple de la colle, on peut répondre par ce procédé à des exigences de précision particulièrement strictes quant à l'ajustage des capteurs d'accélération 1, 2 Cela permet d'at- teindre des tolérances angulaires inférieures à 5 mi- nutes De plus, les circuits 29 et la diode électrolu- minescente 8 peuvent être appliqués directement avec des procédés connus à la surface de la plaque plane 7. Dans le cas d'une plaquette de silicium, on peut même envisager d'intégrer complètement les circuits 29 dans la plaque plane 7. La figue 5 montre schématiquement l'exploi- tation des signaux du capteur de vitesses angulaires. Les capteurs d'accélération 1, 2 sont reliés chaque fois aux entrées de deux amplificateurs de mesure 30, 31 Les sorties des amplificateurs de mesure 30, 31 sont reliées aux entrées d'un codeur 32 La sortie du codeur 32 est reliée à une diode luminescente 8 La lumière émise par la diode 8 est reçue par la photo- diode 9 Cette photodiode 9 est reliée à l'entrée d'un décodeur 50 Le décodeur 50 est en outre relié à une horloge 56 Une des sorties du décodeur 50 est reliée aux circuits de traitement de signal 51 et l'autre sortie du décodeur 50 est reliée aux circuits de trai- tement de signaux 52 Les circuits de traitement de signaux 51, 52 sont suivis d'un additionneur 54 et d'un soustracteur 53 Une entrée de l'additionneur 54 est reliée aux circuits de traitement de signal 51; l'autre entrée de l'additionneur 54 est reliée aux circuits de traitement de signal 52 L'entrée positive du soustracteur 53 est reliée aux circuits de traite- ment de signal 52 et son entrée négative est reliée aux circuits de traitement de signal 51 La sortie du soustracteur 53 est reliée à l'entrée d'un autre élé- ment de traitement de signaux 55 La sortie de l'élé- ment de traitement de signaux 55 est reliée aux en- trées de deux démodulateurs synchrones 62, 63 Les au- tres entrées des démodulateurs synchrones 62, 63 sont reliées à l'élément de commande 61 La sortie du démo- dulateur synchrone 62 est reliée à une entrée de l'ad- ditionneur 64 La sortie du démodulateur synchrone 63 est reliée à une entrée de l'additionneur 65 La sor- tie de l'additionneur 64 est reliée à l'entrée d'un intégrateur 67 La sortie de l'additionneur 65 est re- liée à l'entrée d'un intégrateur 66 La sortie de l'intégrateur 66 constitue une sortie de l'ensemble du il circuit; cette sortie est également reliée à un mul- tiplicateur 68 La sortie de l'intégrateur 67 forme une sortie du circuit d'exploitation; cette sortie est également reliée à un multiplicateur 69 La sortie du multiplicateur 68 est reliée à une entrée de l'ad- ditionneur 64 La sortie du multiplicateur 69 est re- liée à une entrée de l'additionneur 65 La sortie de l'horloge 56 est en outre reliée à la commande de mo- teur 57 et l'unité de commande 61 pour les démodula- teurs synchrones 62, 63 La ligne 60 est en outre re- liée à une entrée de l'unité de commande 61 La plaque plane 7 porte les capteurs d'accélération 1, 2, une diode luminescente 8 et des premiers moyens 30 32 pour traiter les signaux des capteurs d'accélération 1, 2 Pour traiter les signaux des capteurs d'accélé- ration 1, 2 on a un amplificateur de mesure 30, 31 as- socié à chacun des deux capteurs Les amplificateurs de mesure 30, 31 convertissent les variations de capa- cité des capteurs d'accélération des signaux corres- pondants qui sont alors fournis au codeur 32 Le co- deur 32 transforme les signaux des capteurs d'accélé- ration 1, 2 en des signaux de commande pour la diode luminescente 8; comme cela est indiqué par des flè- ches 33, la diode transmet les signaux à l'élément de réception 9 par exemple une photodiode pour leur transmission Les amplificateurs de mesure 30, 31 gé- nèrent par exemple une tension proportionnelle à la capacité des capteurs d'accélération 1, 2 La tension est transformée par le codeur 32 en une fréquence qui commande comme signal modulé en fréquence le flux lu- mineux de la diode électro-luminescente 8 Ce mode de transmission de signaux est particulièrement avanta- geux à cause de sa grande sécurité La transmission de la diode photo-émissive 8 vers la diode photo- réceptrice 9 n'est pratiquement pas influencée par les champs parasites électromagnétiques qui existent par exemple à bord des véhicules automobiles. Le codeur 32 code les signaux des capteurs d'accélération 1, 2 pour qu'ils puissent de nouveau être décomposés par le décodeur 50 pour obtenir de nouveau les deux signaux distincts des capteurs d'ac- célération 1,2 Pour cela, on prévoit par exemple une fréquence porteuse propre pour chacun des signaux mo- dulaires en fréquence des deux capteurs pour que par un filtrage approprié dans le décodeur 50, on puisse de nouveau séparer les signaux des deux capteurs d'ac- célération 1, 2 Par un convertisseur fréquence/ten- sion, on génère de nouveau les tensions correspondant aux signaux des capteurs Pour la transmission, on peut transmettre par exemple ce signal codé par une modulation en fréquence de la diode luminescente 8 Le décodeur 50 rétablit les signaux des deux capteurs d'accélération à partir des signaux que lui fournit la photodiode 9 Ces signaux sont transmis à des circuits de traitement de signaux 51, 52 assurant une éventuel- le amplification ou un filtrage pour éliminer les im- pulsions parasites De plus, le décodeur reçoit un si- gnal d'horloge de l'horloge 56 qui synchronise les opérations de l'ensemble du circuit Après les cir- cuits de traitement de signaux 51, 52, les signaux des 2 deux capteurs sont transmis d'une part à l'addition- neur 54 et d'autre part au soustracteur 53. L'additionneur 54 additionne les deux si- gnaux des capteurs d'accélération 1, 2 Comme résultat l'additionneur 54 fournit un signal proportionnel à * l'accélération dans la direction x Ce signal est pra- tiquement un sous produit du capteur de vitesses angu- laires Comme résultat du soustracteur 53, on obtient la différence des signaux des deux capteurs d'accélé- ration 1, 2; ce signal est indépendant de l'accéléra- tion dans la direction x On peut filtrer ou amplifier ce signal à l'aide d'un autre circuit de traitement 55 et le transmettre aux démodulateurs de synchronisation 62, 63 Les démodulateurs de synchronisation 62, 63 sont des filtres commandés sur lesquels on agit pour séparer du signal de différence des deux capteurs d'accélération, la composante A modulée en sinus et la composante B modulée en cosinus Les signaux de com- mande des démodulateurs 62, 63 sont fournis par un élément de commande 61 Cet élément de commande 61 re- çoit le signal de l'horloge 56 ainsi qu'un signal d'angle transmis par une ligne 60 du moteur entraînant la plaque plane 7 vers la commande de moteur 57. La commande de moteur elle-même reçoit éga- lement le signal d'horloge de l'horloge 56 et est ain- si synchronisée sur le reste du système d'exploita- tion La commande de moteur 57 transmet également par la ligne 58 des signaux au moteur et reçoit par la li- gne 59 les données concernant la vitesse du moteur Le moteur lui-même n'est pas représenté ici pour des rai- sons de simplification A partir du signal d'angle et du signal d'horloge, on forme des impulsions de com- mande pour les démodulateurs synchrones 62, 63 pour toujours commander le démodulateur synchrone 62 lors- que l'élément cosinus de la différence des deux si- gnaux de capteur est égal à O Par contre, on commande le démodulateur synchrone 63 lorsque l'élément sinus de la différence des signaux de capteur est égal à 0. A la sortie du démodulateur synchrone 62, on obtient ainsi la composante A et à la sortie du démo- dulateur synchrone 63 la composante B de la différence des deux signaux des capteurs d'accélération 1, 2 A partir de ces deux composantes, le circuit de calcul formé par les éléments 64 69 permet de déterminer les projections des capteurs de vitesses d'angle r et q et leurs dérivés. Dans l'additionneur 64, on additionne ainsi la composante A du signal à la valeur 2 wq. A la sortie de l'additionneur 64, on dispose ainsi de la dérivée de r Cette dérivée r est intégrée dans l'intégrateur 67 et donne le signal r recherché qui est la projection de la vitesse de rotation sur l'axe z Dans l'additionneur 65 on additionne la com- posante B à la partie -2 r de façon à obtenir à la sortie de l'additionneur 65 la dérivée de q Par inté- gration dans l'élément intégrateur 66, on en obtient q, c'est-à-dire la projection des vitesses angulaires sur l'axe y Les composantes qui sont additonnées dans les éléments additionneurs 64, 65 chaque fois aux com- posantes de signal A et B sont formées par des boucles de calcul fermées en multipliant les signaux de sortie r, q des intégrateurs 66, 67 par les multiplicateurs 68 avec plus le coefficient 2 Le circuit de calcul ainsi formé des éléments 64 à 69 fournit après une courte période de stabilisation après le branchement des résultats stables pour le calcul de r et q. La figure 6 montre une autre forme de trans- mission des signaux des capteurs d'accélération 1, 2 de la plaque plane 7 L'élément de transmission 8 et l'élément de réception 9 sont tous deux constitués par des bobines qui sont proches-l'une de l'autre dans l'espace pour que le signal puisse se transmettre par induction L'élément de transmission 8 est réalisé ici sous la forme d'une bobine en film mince ou film épais, car cela permet une fabrication particulière- ment simple L'homme du métier connaît un grand nombre de modes de réalisation de telles bobines L'alimenta- tion électrique de la plaque plane 7 rotative se fait également par l'intermédiaire d'un transformateur ro- tatif qui est constitué des bobines 11 et 13. R E V E N D I C A T I O N S 1) Capteur de vitesses angu- laires comportant au moins des capteurs d'accélération ( 1, 2) se déplaçant sur une trajectoire circulaire au- tour d'un premier axe ( 3), le capteur d'accélération ( 1, 2) mesurant la force de Coriolis engendrée par la rotation autour de deux autres axes ( 4, 5), les trois axes étant perpendiculaires, capteur caractérisé en ce que le capteur d'accélération ( 1, 2) est réalisé en partie dans une structure en silicium. 2) Capteur de vitesses angu- laires selon la revendication 1, caractérisé en ce que les capteurs d'accélération ( 1, 2) sont montés sur une plaque plane ( 6, 7) tournant autour du premier axe ( 3). 3) Capteur de vitesses angu- laires selon la revendication 2, caractérisé en ce que la plaque plane ( 7) est un disque ( 7) en verre, en si- licium ou en céramique. 4) Capteur de vitesses angu- laires selon la revendication 2 ou la revendication 3, caractérisé en ce que la plaque ( 6, 7) comporte les premiers moyens ( 30, 31, 32) pour traiter les signaux du capteur d'accélération ( 1, 2). 5) Capteur de vitesses angu- laires selon la revendication 4, caractérisé en ce que d'autres moyens ( 50 69) sont prévus à l'extérieur de la plaque ( 6, 7) pour traiter les signaux du capteur d'accélération ( 1, 2). 6) Capteur de vitesses angu- laires selon la revendication 5, caractérisé par un élément de transmission ( 8) prévu sur la plaque ( 6, 7) qui transmet le signal du capteur d'accélération ( 1, 2) à un élément récepteur ( 9) relié aux autres moyens ( 50 69) pour le traitement des signaux. 7) Capteur de vitesses angu- laires selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'élément de transmission ( 8) est un élément photo- émetteur et l'élément récepteur ( 9) est une photodio- de. 8) Capteur de vitesses angu- laires selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'élément de transmission ( 8) et l'élément récepteur ( 9) sont des bobines. 9) Capteur de vitesses angu- laires selon l'une des revendications 4 à 6, caracté- risé en ce que les premiers moyens ( 30, 31, 32) pour le traitement des signaux sont alimentés en puissance électrique par l'intermédiaire d'un transformateur tournant ( 10). ) Capteur de vitesses angu- laires selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'une bobine rotative ( 11) du transformateur rotatif ( 10) est réalisée sous la forme d'une bobine en film mince ou film épais sur la face inférieure de la pla- que plane ( 6, 7). 11) Capteur de vitesses angu- laires selon l'une des revendications précédentes, ca- ractérisé en ce qu'il comporte deux capteurs d'accélé- ration ( 1, 2) décalés de 1800 sur la trajectoire cir- culaire - 12) Capteur de vitesses angu- laires selon la revendication 11, caractérisé en ce que: les moyens de traitement des signaux comprennent un soustracteur ( 63) formant la différence des signaux des deux capteurs d'accélération ( 1, 2), des moyens de traitement des signaux du filtre en fonction de la phase ( 62, 63) qui, à partir de la différence des signaux des deux capteurs d'accélé- ration ( 1, 2), forment l'accélération appliquée aux capteurs d'accélération ( 1, 2) en fonction de la position sur la trajectoire circulaire, et les moyens pour traiter les signaux comportent des éléments de calcul ( 64 à 69) qui forment à par- tir des accélérations appliquées aux capteurs d'ac- célération ( 1, 2), en fonction de la position sur la trajectoire circulaire, par approximation la vi- tesse de rotation autour des autres axes ( 4, 5).