Brevet FR2689201A1 — publié le 19931001

Dispositif de vanne perfectionné L'invention concerne les dispositifs de vanne, notamment mais non exclusivement ceux propres à être traversés par des gaz de haute pureté. On connait déjà (FR-A-8806582 ou DE-A-2338912) un tel dispositif. Celui-ci comprend: - un corps central traversé longitudinalement par un passage interne, - un flasque fixé à une extrémité du corps central et comportant intérieurement un conduit annexe propre à déboucher à l'extérieur du dispositif et dans ledit passage interne, - un piston guidé longitudinalement à translation sous rappel élastique à l'intérieur du passage interne entre une position de dégagement, dans laquelle le piston est à distance du flasque pour autoriser la circulation d'un fluide principal dans le conduit annexe et le passage interne, et une position d'obturation dans laquelle un premier élément de paroi du piston est en contact avec le flasque pour obturer le conduit annexe, et - une chambre étanche d'admission d'un fluide auxiliaire de commande du déplacement du piston, située dans le passage interne et limitée par un deuxième élément de paroi du piston ainsi que par un soufflet élastique dont une première extrémité est liée audit deuxième élément de paroi. Cette vanne antérieure ne donne toutefois pas entière satisfaction et l'invention vise à proposer un dispositif de vanne amélioré. Un but de l'invention est de fournir une vanne facilement réalisable industriellement et présentant un encombrement réduit. Un autre but de l'invention est de proposer une vanne capable de véhiculer aussi bien des fluides de basse pression que des fluides de haute pression sans nécessiter de modifications majeures de structure. L'invention a également pour but d'offrir une vanne présentant des volumes morts extrêmement réduits. Le dispositif proposé est du type de celui évoqué ci-avant. Selon la principale caractéristique de l'invention, il comprend, en outre, une cloison transversale possédant des première et deuxième parois s'étendant à l'intérieur dudit passage interne, une zone de fixation périphérique sur le corps central, et un orifice de guidage longitudinal débouchant aux deux parois pour guider le piston à coulissement; par ailleurs, une première partie de la première paroi de ladite cloison limite également ladite chambre étanche, tandis que ladite cloison possède sur- cette première paroi une première zone de fixation intermédiaire pour une deuxième extrémité du soufflet, située entre l'orifice de guidage et la zone de fixation périphérique; en outre ladite cloison comporte un premier conduit auxiliaire débouchant à l'extérieur du corps central et à 1 'in- térieur de la chambre étanche pour admettre le fluide auxiliaire dans cette chambre étanche, tandis que la portion de cloison située entre la première zone de fixation intermédiaire et la zone de fixation périphérique est traversée longitudinalement par au moins un orifice périphérique pour permettre une circulation du fluide principal dans ledit passage interne. D'autres avantages et caractéristiques de l'invention apparaitront à l'examen de la description détaillée ci-après et des dessins annexés sur lesquels - la figure 1 est une vue schématique en perspective d'un mode de réalisation du dispositif selon l'invention, - la figure 2 est une coupe transversale partielle du dispositif de la figure 1, - la figure 3 est la coupe selon la ligne III-III de la figure 2, - la figure 4 est une coupe analogue à celle de la figure 3 pour un autre mode de réalisation du dispositif selon l'invention, et, - la figure 5 est une coupe partielle schématique analogue à celle de la figure 3 pour un autre mode de réalisation du dispositif selon l'invention. Les dessins comportent pour l'essentiel des éléments géométriques de caractère certain. A ce titre ils font partie intégrante de la description et pourront non seulement servir à mieux faire comprendre la description détaillée ciaprès, mais aussi contribuer le cas échéant à la définition de l'invention. Sur les figures 1 à 3, la référence 1 désigne le corps central du dispositif de vanne, plus simplement vanne. Celui-ci est subdivisé en deux parties identiques 10a et 10b comportant respectivement des régions de forme générale cylindri que 100a et 100b raccordées entre elles par l'intermédiaire d'une cloison 4. Ces régions cylindriques 100a et 100b sont respectivement prolongées par des régions de forme générale prismatique 101a et 101b aux extrémités desquelles sont fixés deux flasques 8a et 8b. Bien que l'invention n'y soit pas limitée, ces deux flasques sont solidarisés des régions prismatiques du corps central par quatre vis 81b, l'étan- chéité entre le flasque et le corps central étant obtenue à l'aide de moyens d'étanchéité de liaison, tels que des joints métalliques 9a et 9b. Le corps central 1 est traversé longitudinalement par un passage interne 11 tandis que les deux flasques 8a et 8b comportent respectivement intérieurement deux conduits annexes 80a et 80b débouchant à l'extérieur du dispositif et dans le passage interne 11. La cloison transversale 4 possède des première 41a et deuxième 41b parois s'étendant à l'intérieur du passage interne 11, ainsi qu'une zone 43 de fixation périphérique sur le corps central 1. A titre d'exemple, la cloison transversale peut être solidarisée du corps central par l'intermédiaire d'une soudure périphérique réalisée sur le pourtour des deux parois 41a et 41b. Il est également prévu que la cloison transversale 4 comprenne un orifice de guidage longitudinal 40 débouchant aux deux parois pour guider à coulissement un piston 2. La face interne de l'orifice de guidage cylindrique 40 définit une portée de guidage pour la partie avant 20 de ce piston, et fait partie d'une portion centrale 47 de la cloison 4, de forme générale externe cylindrique. La première paroi 41a de la cloison 4 comporte, dans ladite portion centrale, au voisinage de la première extrémité de l'orifice de guidage, un premier évidement 470a logeant des premiers moyens d'étanchéité 6a, tels qu'un joint torique, propres à assurer l'étanchéité entre cette première paroi et le piston. I1 est également avantageux, comme on le verra après, que la deuxième paroi 41b de la cloison comporte un deuxième évidement 470b, homologue de l'évidement 470a, situé dans la portion centrale de la cloison et au voisinage de la deuxième extrémité de l'orifice de guidage, pour loger des deuxièmes moyens d'étanchéité 6b analogues aux premiers moyens d'étanchéité 6a. La paroi de la partie cylindrique 20 du piston se prolonge vers l'avant par un élément de paroi 22b comportant deux épaulements successifs aboutissant à une face d'extrémité avant 23b comportant en son centre un clapet de fermeture 23b. Le matériau constitutif de ce clapet 23b peut être par exemple du polytétrafluoroéthylène (plus connu sous la Marque Téflon) ou bien encore ses dérivés comme par exemple un élastomère fluoré plus connu sous la dénomination KEL-F, ou bien encore d'autres matériaux synthétiques utilisés en connectique de gaz. La zone arrière de la partie 20 du piston, située à l'extérieur de l'orifice de guidage 40, comporte un filetage 28 propre à coopérer avec un filetage homologue d'une pièce 21 formant une partie arrière du piston 2. Cette pièce 21 comporte un élément de paroi périphérique 22a, analogue à l'élément de paroi 22b et aboutissant également à une face d'extrémité arrière du piston 23a, ayant une surface identique à la face d'extrémité avant 23b et comportant également un clapet de fermeture 23a analogue au clapet 23b. La cloison 4 comporte également une portion de forme générale annulaire 49 raccordée transversalement sur le pourtour de la portion centrale 47 et portant la zone de fixation périphérique 43. k Cette portion annulaire 49 comporte, entre l'orifice de guidage 40 et la zone de fixation périphérique 43, deux couronnes faisant respectivement saillie des deux parois 41a et 41b et possédant, au voisinage de leurs extrémités respectives, des zones de fixation intermédiaires 48a, 48b sur lesquelles sont fixées les extrémités respectives de deux soufflets annulaires élastiques 3a et 3b. Les extrémités opposées respectives de ces soufflets 3a et 3b sont fixées sur les éléments de paroi 22a et 22b du piston. La partie 44a de la première paroi 41a de la cloison 4, située entre la zone de fixation intermédiaire 48a et l'orifice de guidage, limite, avec le soufflet 3a, l'élément de paroi 22a du piston et les premiers moyens d'étanchéité 6a, une première chambre étanche annulaire 5a. D'une façon analogue, l'élément de paroi homologue 44b de la paroi 41b, situé entre la zone de fixation intermédiaire 48b et l'orifice de guidage 40, limite, avec le soufflet annulaire 3b, lrélément de paroi 22b du piston et les deuxièmes moyens d'étanchéité 6b, une deuxième chambre étanche annulaire 5b. Cette deuxième chambre étanche 5b contient des moyens de rappel élastique 7, tels qu'un ressort hélicoidal, s'appuyant d'une part sur un élément de la partie 44b de la paroi 41b de la cloison, et, d'autre part, sur la portion de l'élément de paroi 22b du piston en regard dudit élément de la partie 44b. La cloison 4 comporte également un premier conduit auxiliai re 490 dont la direction générale est sensiblement orthogonale à l'axe longitudinal du corps central, débouchant à l'extérieur du corps central et à l'intérieur de la première chambre étanche 5a pour permettre l'admission dans cette chambre étanche d'un fluide auxiliaire. L'écoulement du fluide principal à travers le passage interne 11 du corps central s'effectue par l'intermédiaire d'une pluralité d'orifices périphériques longitudinaux 460 ménagés à travers la portion 46 de la cloison située entre les zones de fixation intermédiaires 48a et 48b et la zone de fixation périphérique 43. Si l'on suppose, dans le cas présent, que le flasque 8a constitue le flasque d'entrée, la circulation du fluide principal s'effectue selon les flèches P. I1 est alors particulièrement avantageux que la somme des surfaces individuelles respectives de ces orifices périphériques 460 soit sensiblement égale à la surface de l'extrémité du conduit annexe 80a débouchant dans le passage interne et au travers duquel le fluide principal pénètre dans le passage interne. Ceci permet d'éviter une perturbation du débit de fluide. En pratique, la somme des surfaces individuelles de ces orifices périphériques est sensiblement égale à la surface de l'extrémité du conduit 80a ayant le diamètre maximum utilisable. Ainsi, un changement de flasque donc un changement de conduit annexe ne nécessite pas une modification de la cloison 4. La vanne peut être ainsi raccordée à des tuyaux de diamètres différents en modifiant simplement le diamètre des conduits annexes des flasques. Le piston 2 est ici guidé longitudinalement à translation sous rappel élastique à l'intérieur du passage interne 11 entre une position de dé4gagement, dans laquelle le piston est à distance des deux flasques 8a et 8b pour autoriser la circulation du fluide principal à travers les deux conduits annexes et le passage interne, et une position d'obturation dans laquelle un premier élément de paroi du piston (ici le clapet 23b) est en contact avec l'un des flasques pour interdire la circulation du fluide principal. La vanne illustrée sur la figure 3 est représentée dans une première configuration, dite normalement fermée, dans laquelle le piston 2 est dans sa position d'obturation en l'absence de fluide auxiliaire dans la première chambre étanche 5a. Le clapet 23b est alors en contact avec l'extrémité du conduit annexe 80b du flasque 8b sous l'action des moyens de rappel élastique 7. Lorsque le fluide auxiliaire de commande, par exemple de l'air, est admis dans la première chambre étanche 5a, par exemple à l'aide d'une électrovanne de commande, le piston se déplace vers l'arrière, comprimant les moyens de rappel élastique, et dégageant le clapet de fermeture 23b de l'extrémité du conduit annexe 80b pour autoriser la circulation du fluide principal à travers la vanne. Le retour du piston en position d'obturation s'effectue par l'échappement commandé par l'électrovanne du fluide auxiliaire à l'intérieur du conduit 490, et sous l'action des moyens de rappel élastiques. I1 est alors particulièrement avantageux que la surface latérale du soufflet annulaire 3a soit sensiblement égale ou légèrement inférieure à la surface latérale du soufflet annulaire supplémentaire 3b diminuée de la surface de ltex- trémité du conduit annexe 80b en contact avec le clapet de fermeture 23b du piston. Ceci permet de sensiblement équilibrer longitudinalement le piston en pression, quelle que soit la pression du fluide principal véhiculé à l'intérieur de la vanne. Néanmoins, plus la pression du fluide principal est importante, plus forte sera la force d'application du clapet de fermeture 23b sur le flasque 8b. Par ailleurs, la chambre étanche supplémentaire 5b, bien que n'étant en théorie pas nécessaire au fonctionnement du dispositif, permet notamment d'éviter la présence de volumes morts trop importants (comme ceux définis par les cavités et recoins créés par les formes de l'élément de paroi 22b, de la partie 44b, de l'évidement 470b), ce qui s'avère particulièrement utile pour des gaz de grande pureté. Il est également prévu que la cloison 4 comporte un deuxième conduit auxiliaire 491a, distinct du premier conduit auxiliaire 490, et débouchant également dans la première chambre étanche 5a. La fonction de ce deuxième conduit auxiliaire peut être double. I1 peut en effet permettre le contrôle de l'admission du fluide auxiliaire de commande dans la chambre étanche puisque celui-ci peut s'échapper par ce deuxième conduit auxiliaire lorsque ce dernier est ouvert. Le deuxième conduit auxiliaire peut également servir à contrôler le caractère étanche du soufflet 3a. En effet, en l'absence d'admission d'un fluide auxiliaire de commande dans cette chambre étanche, la sortie d'un gaz par le deuxième conduit auxiliaire ne peut être que le fluide principal qui a pénétré dans la chambre 5a en raison de la crevaison du soufflet 3a. Bien entendu, en régime normal, ce deuxième conduit auxiliaire comporte des moyens de fermeture, non représentés ici, permettant de l'isoler de l'extérieur. D'une façon analogue, un autre conduit auxiliaire 491b est ménagé dans la cloison 4 et débouche à l'extérieur du corps central et à l'intérieur de la chambre étanche supplémentaire 5b. Un tel conduit auxiliaire permet de contrôler également une crevaison éventuelle du soufflet supplémentaire 3b. En effet, un fluide sous pression s'échappant du conduit 491b ne peut être que le fluide principal ayant pénétré dans la chambre supplémentaire 5b par l'intermédiaire d'un trou dans le soufflet. Le piston 2 comporte également une cavité longitudinale 23 ménagée dans la partie 2, et reliée à l'extérieur du piston par un premier orifice de liaison 24 débouchant, en l'absence de fluide auxiliaire dans la chambre étanche 5a, d'un côté des premiers moyens d'étanchéité 6a et en dehors de cette chambre étanche. Par contre, en présence d'un fluide auxiliaire de commande dans la chambre 5a ayant provoqué le déplacement du piston vers l'arrière, l'orifice de liaison 24 débouche de l'autre côté des moyens d'étanchéité 6a à l'intérieur de la chambre étanche. I1 est également prévu que cette cavité interne 23 soit reliée à l'extérieur du piston par un deuxième orifice de liaison 25 situé à une distance choisie du premier orifice de liaison 24. Ce deuxième orifice de liaison 25 débouche ainsi, au moins en présence du fluide auxiliaire dans ladite chambre 5a, entre les premiers et deuxièmes moyens d'étanchéité 6a et 6b en regard d'un troisième conduit auxiliaire 492 ménagé dans la cloison 4 et débouchant à l'extérieur du corps central. Il est préférable que le piston comporte un évidement périphérique 26 dans lequel débouche le deuxième orifice de liaison 25 afin de faciliter, comme on le verra ci-après, l'échappement d'un fluide depuis la cavité vers l'extérieur par l'intermédiaire du conduit auxiliaire 492. Bien entendu, les agencements mutuels des deux orifices de liaison 24 et 25 ont,été choisis pour que l'évidement périphérique 26 vienne effectivement en regard du conduit auxiliaire 492 lors du déplacement du piston. Un tel agencement permet de contrôler l'ouverture effective de la vanne. En effet, une fois que le fluide auxiliaire a été admis dans la chambre étanche 5a, le piston se déplace vers l'arrière amenant l'orifice de liaison 24 à déboucher dans la chambre étanche. Par conséquent, une partie du fluide auxiliaire s'échappe par l'intermédiaire de cet orifice de liaison 24 dans la cavité interne 23 puis est évacué vers l'extérieur du corps central par l'intermédiaire de l'orifice de liaison 25, de l'évidement périphérique 26 et du conduit auxiliaire 492. L'échappement d'une partie de ce fluide auxiliaire signifie donc bien le déplacement du piston, et par conséquent l'ouverture de la vanne (dans le cas présent de la première configuration). Ce conduit 492 peut être obstrué par des moyens étanches de détection pneumatiques propres à détecter l'échappement du fluide auxiliaire. I1 peut être également mis en relation avec le conduit 490 d'une autre vanne dont le conduit 492 est lui-même obstrué. Ainsi, dans ce dernier cas, l'échappement du fluide de commande par le conduit 492 de la première vanne peut constituer un signal de commande pour la deuxième vanne. A titre d'exemple non limitatif, la longueur totale d'une telle vanne est de l'ordre de 57 millimètres. Par ailleurs, le corps central peut s inscrire dans un cylindre ayant un diamètre de 25,4 millimètres avec des conduits annexes de flasque ayant un diamètre de l'ordre de 12,7 mm. Les diamètres des orifices périphériques autorisant la cir culation du fluide principal à travers la vanne sont de l'ordre du tiers du diamètre maximum utilisable du conduit annexe 80a pour une cloison présentant 8 orifices périphériques. L'agencement et la structure des différents éléments du dispositif rend leur réalisation industrielle particulièrement aisée. I1 est ainsi possible d'usiner aisément de telles pièces de sorte que les différentes parois des éléments en contact avec le fluide principal présente un état de surface dont le coefficient Ra de rugosité de surface soit inférieur ou égal à 0,4 micron, en principe inférieur ou égal à 0,2 micron. Ce coefficient Ra est un critère statistique, défini selon la norme française NFE 05-015/05-018, et représentant l'écart moyen arithmétique par rapport à la ligne moyenne de rugosité. Un tel usinage contribue ainsi à permettre la circulation de gaz de grande pureté, tel que l'hydrogène, l'argon, l'oxygène, l'anhydride chlorhydrique et d'autres gaz utiles, par exemple en fabrication de semi-conducteurs, tels que le chlorure de phosphoryle (PoCL3), le tribromure de bore (BBr3), le trichloréthylène, l'arsine (AsH3), le silane (SiH4). Une telle vanne est ainsi notamment particulièrement bien adaptée non seulement dans la fabrication des semi-conducteurs mais également en connectique de fabrication pharmaceutique. La figure 4 illustre une deuxième configuration du dispositif de vanne, dite normalement ouverte. Dans cette deuxième configuration, le piston est amené dans sa position d'obturation lors de l'admission du fluide auxiliaire dans la chambre étanche 5a et est rappelé dans sa position de déga gement par les moyens de rappel élastique en l'absence de fluide auxiliaire dans la chambre étanche. La vanne est représentée sur la figure 4 dans sa position de dégagement. I1 convient de remarquer que la vanne peut être configurée très aisément dans l'une ou l'autre de ces configurations en interchangeant simplement les deux flasques d'extrémité. Il est possible de prévoir des flasques comportant une pluralité de conduits annexes de façon à réaliser des vannes à plusieurs entrées et plusieurs sorties. I1 peut également être envisagé que ces flasques comportent également des conduits annexes non obturables par le piston pour permettre un passage direct entre l'entrée et la sortie du dispositif. On peut ainsi réaliser des vannes multi-voies dont un exemple est illustré schématiquement sur la figure 5. A des fins de simplification, ne sont représentés sur cette figure que les flasques et les clapets 523a et 523b du piston. Le flasque 508a est analogue au flasque 8b de la figure 3. Le flasque 508b présente un premier conduit annexe 582b obturable par le clapet 523b du piston, ainsi qu'un deuxième conduit annexe 581b en communication directe avec le passage interne du corps central, c'est-à-dire non obturable par le clapet 523b. Dans sa position d'obturation, le piston obture le conduit 582b et permet la communication du conduit 580a avec le passage interne du corps central, et avec le conduit 581b. Dans sa position de dégagement, (par exemple sous l'action du fluide auxiliaire de commande), le clapet 523a obture le conduit 580a tandis que le clapet 523b est à distance du flasque 508b autorisant la communication du conduit 582b avec le passage interne du corps central et donc avec le conduit 581b. Ainsi, il est possible de faire circuler sélectivement un premier fluide principal . depuis le conduit 580a vers le conduit 581b selon les flèches P1, et un deuxième fluide principal depuis le conduit 582b vers le conduit 581b selon les flèches P2. L'invention n'est pas limitée au mode de réalisation cidessus décrit mais en embrasse toutes les variantes contenues dans le cadre des revendications ci-après. Bien entendu, certains des moyens décrits ci-avant peuvent être omis dans les variantes où ils ne servent pas. Revendications. 1. Dispositif de vanne, comprenant - un corps central (1) traversé longitudinalement par un passage interne, - un flasque (8b) fixé à une extrémité du corps central et comportant intérieurement un conduit annexe (80b) propre à déboucher à l'extérieur du dispositif et dans ledit passage interne, - un piston (2) guidé longitudinalement à translation sous rappel élastique (7) à l'intérieur du passage interne (11) entre une position de dégagement, dans laquelle le piston est à distance dudit flasque pour autoriser la circulation d'un fluide principal dans ledit conduit annexe et le passage interne, et une position d'obturation dans laquelle un premier élément de paroi (23b) du piston (2) est en contact avec ledit flasque (8b) pour obturer ledit conduit annexe, et - une chambre étanche (5a) d'admission d'un fluide auxiliaire de commande du déplacement du piston, située dans le passage interne et limitée par un deuxième élément de paroi (22a) du piston ainsi que par un soufflet élastique (3a) dont une première extrémité est liée audit deuxième élément de paroi (22a), caractérisé en ce qu'il comprend, en outre, une cloison transversale (4) possédant des première (41a) et deuxième (41b) parois s'détendant à l'intérieur dudit passage interne, une zone (43) de fixation périphérique sur le corps central (1), et un orifice de guidage longitudinal (40) débouchant aux deux parois pour guider le piston à coulissement, en ce qu'une première partie (44a) de la première paroi (41a) de ladite cloison (4) limite également ladite chambre étanche (5a), tandis que ladite cloison possède sur cette première paroi une première zone de fixation intermédiaire (48a) pour une deuxième extrémité du soufflet (3a), située entre l'orifice de guidage (40) et la zone de fixation périphérique (43), et en ce que ladite cloison comporte un premier conduit auxiliaire (490) débouchant à l'extérieur du corps central (1) et à l'intérieur de la chambre étanche (5a) pour admettre le fluide auxiliaire dans cette chambre étanche, tandis que la portion (46) de cloison située entre la première zone de fixation intermédiaire (48a) et la zone de fixation périphérique (43) est traversée longitudinalement par au moins un orifice périphérique (460)pourpermettre une circulation (P) du fluide principal dans ledit passage interne (11). 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce la cloison (4) comporte un deuxième conduit auxiliaire (491a), distinct du premier conduit auxiliaire, débouchant à l'extérieur du corps central et à l'intérieur de ladite chambre étanche. 3. Dispositif selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la première paroi de la cloison comporte un premier évidement (470a), situé au voisinage de la première extrémité de l'orifice de guidage (40), logeant des premiers moyens d'étanchéité (6a) propres à assurer l'étanchéité entre cette première paroi et le piston et limiter également ladite chambre étanche. 4. Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce que la deuxième paroi de la cloison comporte un deuxième évidement (470b), situé au voisinage de la deuxième extrémité de l'orifice de guidage (40), logeant des deuxièmes moyens d'étanchéité (6b) propres à assurer l'étanchéité entre cette deuxième paroi et le piston, en ce que le piston comporte une cavité interne (23) reliée à l'extérieur du piston par un premier orifice de liaison (24) débouchant, en l'absence de fluide auxiliaire dans la chambre étanche, d'un côté des premiers moyens d'étanchéité (3a) et en dehors de cette chambre étanche (Sa), et, en présence d'un fluide auxiliaire dans ladite chambre ayant provoqué le déplacement du piston, de l'autre côté des premiers moyens d'étanchéité (3a) et à l'intérieur de ladite chambre étanche (5a), et en ce que ladite cavité interne (23) est relié à l'extérieur du piston par un deuxième orifice de liaison (25) situé à une distance choisie du premier orifice de liaison (24) pour déboucher, au moins en présence du fluide auxiliaire dans ladite chambre, entre les premiers et deuxièmes moyens d'étanchéité en regard d'un troisième conduit auxiliaire (492) ménagé dans la cloison et débouchant à l'extérieur du corps central. 5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que le piston comporte un évidement périphérique (26) dans lequel débouche le deuxième orifice de liaison (25). 6. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens de rappel élastique (7) s'appuient d'une part sur une deuxième partie (44b) de la deuxième paroi de la cloison, et, d'autre part sur un troisième élément de paroi (22b) du piston situé en regard de ladite deuxième partie de la deuxième paroi. 7. Dispositif selon l'une des revendications 4 et 5 prise en combinaison avec la revendication 6, caractérisé en ce que ladite cloison (4) possède sur sa deuxième paroi (41b) une deuxième zone de fixation intermédiaire (48b) homologue de la première zone de fixation intermédiaire (48a), située entre l'orifice de guidage et la zone de fixation périphérique, en ce qu'il est prévu un soufflet supplémentaire (3b) lié d'une part à la deuxième zone de fixation intermédiaire (48b) et d'autre part audit troisième élément de paroi (22b) du piston, homologue du deuxième élément de paroi, et en ce que ce soufflet supplémentaire (3b), ladite deuxième partie (44b) de la deuxième paroi de la cloison ce troisième élément de paroi (22b) du piston et les deuxièmes moyens d'étanchéité (3b) limitent une chambre étanche supplémentaire (5b) contenant les moyens de rappel élastiques (7). 8. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que la cloison comporte un quatrième conduit auxiliaire (491b) débouchant à l'extérieur du corps central et à l'intérieur de ladite chambre étanche supplémentaire (5b). 9. Dispositif selon l'une des revendications 6 à 8, caractérisé en ce qu'il possède une première configuration dans laquelle le piston est dans ladite position d'obturation en l'absence de fluide auxiliaire dans ladite chambre étanche, ledit premier élément de paroi du piston étant en contact avec l'extrémité du conduit annexe du flasque sous l'action des moyens de rappel élastiques, et dans laquelle le piston est amené dans sa position de dégagement lors de l'admission du fluide auxiliaire dans la chambre étanche. 10. Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que la surface latérale du soufflet (3a) de ladite chambre étanche (5a) est sensiblement égale à la surface latérale du soufflet supplémentaire (3b) diminuée de la surface de l'extrémité du conduit annexe (80b) susceptible d'être en contact avec ledit premier élément de paroi du piston (23b). 11. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il possède une deuxième configuration dans laquelle le piston est amené dans sa position d'obturation lors de l'admission du fluide auxiliaire dans la chambre étanche, et dans laquelle le piston est rappelé dans ladite position de dégagement par les moyens de rappel élastiques en l'absence de fluide auxiliaire dans ladite chambre étanche. 12. Dispositif selon l'une des revendications 9 à 11, caractérisé en ce qu'il comprend un deuxième flasque (8a) fixé à l'autre extrémité du corps central et comportant un deuxième conduit annexe (80a) propre à déboucher à l'extérieur du dispositif et dans ledit passage interne. 13. Dispositif selon la revendication 12, caractérisé en ce que l'un au moins des flasques comporte au moins un conduit annexe supplémentaire débouchant dans le passage interne. 14. Dispositif selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'un au moins des conduits annexes supplémentaires est non obturable par le piston, permettant un passage direct du fluide principal à travers le dispositif. 15. Dispositif selon l'une des revendications 12 à 14, caractérisé en ce que, dans ladite position de dégagement, le piston est à distance des deux flasques pour autori ser la circulation du fluide principal dans les deux conduits annexes respectifs des deux flasques ainsi que dans ledit passage interne, tandis que, dans ladite position d'obturation, ledit premier élément de paroi du piston est en contact avec l'un des flasques pour interdire la circulation dudit fluide principal. 16. Dispositif selon la revendication 15, caractérisé en ce que les deux flasques (8a, 8b) sont interchangeables pour conférer au dispositif sa première ou sa deuxième configuration. 17. Dispositif selon la revendication 14, caractérisé en ce que, dans la position d'obturation, le piston est au contact de l'un des flasques (508b) pour obturer le conduit annexe correspondant (582b), et à distance de l'autre flasque (508a), et en ce que dans la position de dégagement, le piston est à distance dudit autre flasque (508a) pour obturer le conduit annexe correspondant (580a) et à distance du premier flasque (508b). 18. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ladite portion de cloison (46) comporte une pluralité d'orifices périphériques (460), et en ce que la somme des surfaces individuelles respectives de ces orifices périphériques est sensiblement égale à la surface de l'extrémité du conduit annexe débouchant dans le passage interne et au travers duquel le fluide principal pénètre dans le passage interne. 19. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le fluide principal est un gaz de haute pureté. 20. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les différentes parois des éléments constitutifs du dispositif en contact avec le fluide principal présentent un état de surface dont le coefficient de rugosité de surface (Ra) est inférieur ou égal à 0,4 micron, en principe inférieur ou égal à 0,2 micron.