Brevet FR2682253A1 — publié le 19930409

SOLE CHAUFFANTE DESTINEE A ASSURER LE CHAUFFAGE D'UN OBJET DISPOSE A SA SURFACE ET REACTEUR DE TRAITEMENT CHIMIQUE MUNI DE LADITE SOLE. Description La présente invention concerne une sole chauffante destinée à assurer le chauffage d'un objet tel qu'un substrat, de préférence mince, disposé à sa surface ainsi qu'un réacteur de traitement chimique comprenant une telle sole. Les réacteurs de traitement chimique permettent notamment de réaliser des dépôts de matières, par exemple par la technique connue sous le terme anglais de dépôt CVD, (c'est-à-dire dépôt chimique en phase vapeur), sur un substrat. Ce substrat est généralement une plaquette de silicium utilisée dans la fabrication de composants électroniques. Ce type de traitement chimique nécessite le chauffage du substrat à des températures comprises entre 20 et 10000C. Les réacteurs de traitement chimique présentent la possibilité de chauffer le substrat soit indirectement par des radiations émises par une source lumineuse telle que des lampes à halogène, (voir en particulier le réacteur de la Société Spectrum), soit directement par contact de ce substrat avec une sole chauffante, (voir en particulier le réacteur de la Société Varian). Dans le cas ou le substrat est déposé sur une sole chauffante, la distribution des températures au niveau du substrat correspond directement à la distribution des températures sur la sole. Or, dans les réacteurs, ce substrat est parfois maintenu au contact de la sole par un anneau périphérique de clampage qui exerce une pression à la périphérie de ce substrat. Cet anneau étant généralement un bon conducteur thermique, il apparait souvent localement une baisse de température du substrat. Par ailleurs, dans les soles connues d'après l'art antérieur, la semelle métallique de celles-ci ne contient qu'une unique résistance chauffante disposée selon une distribution spatiale particulière, adaptée à son utilisation. Cette résistance chauffante étant parcourue par un courant unique, les seules variations possibles de température à la surface de la sole sont dûes aux différences de répartition surfacique de la résistance chauffante dans la semelle. Il est donc difficile pour des raisons d'encombrement stériques de surchauffer une zone précise afin de rattraper une baisse locale de la température. En conséquence, il serait souhaitable de réaliser une sole chauffante dont la température de surface puisse être ajustée plus précisément et dont les quantités de chaleur fournies par deux zones de surface de la sole puissent être différentes même si ces zones sont petites et contigues. A cet effet, l'invention concerne une sole chauffante destinée à assurer le chauffage d'un objet disposé à sa surface, cette sole comprenant une semelle réalisée dans un matériau ayant une bonne conductibilité thermique. Selon les caractéristiques de l'invention, la semelle comprend n zones, à l'intérieur de chacune desquelles est disposé un élément conducteur d'électricité de longueur Ln, traversé par un courant d'intensité In et destiné à assurer le chauffage de la zone de semelle correspondante, n+1 capteurs de mesure de la température de la surface de la semelle, ces capteurs de mesure étant disposés aux extrémités de chaque zone, n étant un nombre entier supérieur à 1, des moyens de traitement deux à deux des données fournies par les capteurs de mesure entourant la zone à chauffer correspondante, des moyens de comparaison des valeurs fournies par les moyens de traitement avec au moins une valeur de référence et des moyens de régulation de L'intensité du courant In circulant dans chaque élément conducteur d'électricité, ces moyens de régulation étant asservis aux moyens de comparai son. Ainsi, grâce à L'invention, on peut diviser la surface de la sole chauffante en plusieurs zones à chauffer. Le nombre de zones sera déterminé en fonction de la précision du chauffage que l'on souhaite obtenir. Deux capteurs de mesure de température sont associés à chaque zone à chauffer. Les valeurs mesurées par ces capteurs sont transmises aux moyens de traitement qui fournissent une valeur calculée. Celle-ci est ensuite comparée à une valeur de référence correspondant à la température souhaitée dans cette zone. Cette valeur de référence peut être la même pour toutes les zones ou différente. Lorsque cette valeur de référence est unique, le profil de température de la semelle est plat. Au contraire, lorsque les valeurs de référence sont différentes, on obtient un profil de température différent, par exemple une courbe croissante à partir du centre de la semelle. Par ailleurs, on voit que même pour maintenir un profil plat de température, compte-tenu des pertes thermiques locales, deux zones contigues peuvent recevoir des quantités de chaleur différentes par l'intermédiaire des éléments conducteurs. En effet, ces éléments conducteurs peuvent avoir une répartition surfacique et une longueur L différentes. Enfin, on peut également n grâce aux moyens de régulation/ faire varier de façon différente l'intensité des courants In traversant ces éléments conducteurs. De préférence, la semelle est circulaire et les différentes zones de semelle sont annulaires et concentriques. Dans la mesure où les objets traités tels que les substrats sont généralement circulaires puisqu'il s'agit le plus souvent de plaquettes de silicium, la forme circulaire de la semelle et les formes concentriques des zones de chauffage sont particulièrement bien adaptées à ce type d'application. Toutefois, il est bien évident que pour des objets de formes différentes on pourrait envisager d'autres formes de semelle ou de zones, sans pour autant sortir du cadre de l'invention. De façon avantageuse, l'élément conducteur est disposé à l'intérieur de chaque zone selon une spirale. Cette disposition particulière est avantageuse car lorsque l'élément conducteur est particulièrement rigide, on évite les lignes coudées qui pourraient entrainer la rupture de cet élément. De préférence, les capteurs de mesure de la température comprennent respectivement un thermocouple. En effet, celui-ci est aisément disponible sur le marché. Toutefois, on pourrait également envisager d'utiliser d'autres capteurs de mesure de la température tels que par exemple, des pyromètres optiques disposés à l'extérieur de la semelle. De façon avantageuse, les moyens de traitement des données fournies par deux capteurs de mesure encadrant une zone à chauffer permettent de calculer la moyenne des deux températures fournies. Toutefois, on pourrait également envisager d'effectuer un autre calcul sur la base des deux températures fournies par les capteurs de mesure. Ce calcul dépend du profil de température voulu sur la semelle. Enfin, les moyens de régulation comprennent n moyens d'alimentation variable en courant, chacun d'eux étant relié aux deux extrémités d'un des éléments conducteur d'électricité. Ces moyens sont faciles à mettre en oeuvre et peu coûteux. En fonction des écarts entre la valeur calculée et la valeur de référence, les moyens de régulation, asservis aux moyens de comparaison, réagissent en faisant varier l'intensité du courant aux bornes de chaque élément conducteur. Enfin, L'invention concerne également un réacteur de traitement chimique d'un substrat mince comprenant la sole chauffante telle que celle qui vient d'être décrite, cette dernière étant destinée à recevoir sur sa surface ledit substrat. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description suivante d'un mode préférentiel de réalisation donné à titre d'exemple illustratif et non limitatif, cette description étant faite en faisant référence aux dessins joints dans lesquels : - la figure 1 illustre un schéma de principe de l'invention, la sole étant représentée en vue de dessus, et - la figure 2 est une vue en coupe de La sole chauffante selon l'invention. Pour plus de clarté dans la description, on prendra comme exemple d'objet disposé sur la sole chauffante, un substrat. Comme illustrée en figure 2, la sole chauffante selon l'invention est destinée à assurer le chauffage d'un substrat (non représenté) disposé sur sa surface 2. La sole comprend une semelle 4 réalisée dans un matériau ayant une bonne conductibilité thermique. Ce matériau doit également avoir une bonne tenue mécanique compatible avec la température d'utilisation. A titre d'exemple, on peut utiliser certains métaux, le nitrure de bore ou le graphite. Cette semelle 4 présente intérieurement une gorge 6, de préférence continue, en forme de spirale plane, à l'intérieur de laquelle sont disposés et brasés n éléments conducteurs 8, n étant un nombre entier supérieur à 1. Ces éléments conducteurs 8 sont représentés uniquement schématiquement en figure 1. Dans le mode de réalisation préféré de l'invention, la semelle 4 de la sole chauffante est circulaire, puisque le substrat traité l'est aussi. Les éléments conducteurs 8 sont donc de préférence disposés selon un enroulement en spirale suivant la gorge 6. Les n éléments conducteurs d'électricité 8 sont chacun d'une longueur Ln variable. Chaque conducteur d'électricité 8 définit à la surface de la semelle 4 une zone correspondante 10. Plus précisément, chaque zone est définie par l'encombrement et l'enroulement d'un élément conducteur 8. En conséquence, en fonction de la longueur Ln de l'élément conducteur et de sa répartition surfacique, la zone 10 sera plus ou moins large. Les zones 10 sont annulaires et concentriques. Par ailleurs, la sole chauffante comprend également n+1 capteurs de mesure 12 de la température. Ces capteurs 12 sont disposés de préférence, sensiblement au niveau de deux extrémités de chaque élément conducteur d'électricité 8. En d'autres termes, chaque capteur de mesure 12 est placé entre les extrémités de deux enroulements d'éléments 8 voisins. Ces capteurs sont de préférence des thermocouples. En conséquence, comme on peut le voir sur la figure 1, on peut également considérer qu'un thermocouple est disposé d'une part sur le rebord annulaire intérieur d'une zone 10 et que le thermocouple suivant est disposé sur le rebord extérieur de cette même zone. Ces thermocouples sont classiques et ne seront donc pas décrits plus en détail. Comme illustré en figure 2, ils permettent de relever la température en un point, référencé 13, situé sur la surface 2 de la semelle 4, au-dessus dudit thermocouple 12. En outre, comme on peut le voir en figure 1, la sole chauffante selon l'invention comprend des moyens de traitement 14 des données fournies par les capteurs de mesure 12. Ces moyens de traitement 14 comprennent un calculateur permettant de traiter deux par deux, les données fournies par deux capteurs de mesure 12 situés aux deux extrémités d'une même zone 10. Les moyens de traitement 14 permettent, par exemple, de faire la moyenne des deux températures relevées des deux côtés de la zone 10 et d'en déduire la température moyenne régnant au niveau de la surface de la sole, dans cette zone. La sole comprend également des moyens de comparaison 16 reliés au moyen de traitement 14 des données et permettant de comparer la valeur fournie et calculée par les moyens de traitement 14 avec une valeur de référence 18 correspondant à la zone traitée. Enfin, Les moyens de comparaison 16 sont reliés à des moyens de régulation de l'intensité du courant In circulant dans chaque élément conducteur 8, ces moyens étant référencés de manière générale 20. Ces moyens de régulation 20 comprennent en fait n moyens d'alimentation variable en courant 22, dont un seulement a été représenté schématiquement en figure 1. Chaque moyen 22 est relié aux deux extrémités d'un élément conducteur 8. L'invention permet de réaliser une sole où les températures de chauffage peuvent être ajustées, lors de sa fabrication, et/ou Lors de son fonctionnement. Lors de la fabrication, la longueur L n de chaque élément conducteur 8 peut être ajustée de façon à avoir une répartition surfacique correspondant à la quantité de chaleur que l'on souhaite obtenir dans une zone donnée. La longueur Ln de chaque élément conducteur 8 est également conditionnée par les dimensions de la sole. Lors du fonctionnement, les moyens d'alimentation 22 permettent de faire varier les intensités injectées dans les éléments conducteurs 8, ce qui a pour effet également de faire varier la température à la surface 2 correspondante de la semelle 4. Enfin, le nombre de chaque élément conducteur 8 sera déterminé en fonction de la précision du profil de température demandé à la surface de la semelle 4. Cette sole selon l'invention est plus particulièrement destinée à être utilisée dans un réacteur de traitement chimique, toutefois elle pourrait également être utilisée dans une autre application nécessitant le chauffage précis d'un objet. Revendications 1. Sole chauffante destinée à assurer le chauffage d'un objet tel qu'un substrat disposé à sa surface (2), cette sole comprenant une semelle (4) réalisée dans un matériau ayant une bonne conductibilité thermique, caractérisée en ce que la semelle (4) comprend n zones (10), à l'intérieur de chacune desquelles est disposé un élément conducteur d'électricité (8) de longueur (Ln) traversé par un courant d'intensité (In) et destiné à assurer le chauffage de la zone de semelle (10) correspondante, n+1 capteurs (12) de mesure de la température de la surface (2) de la semelle (4), ces capteurs de mesure (12) étant disposés aux extrémités de chaque zone (10), n étant un nombre entier supérieur à 1, des moyens de traitement deux à deux des données (14) fournies par les capteurs de mesure (12) encadrant la zone (10) à chauffer correspondante, des moyens de comparaison (16) des valeurs fournies par les moyens de traitement (14) avec au moins une valeur de référence (18) et des moyens de régulation (20) de l'intensité du courant (In) circulant dans chaque élément conducteur d'électricité (8), ces moyens de régulation (20) étant asservis aux moyens de comparaison (16). 2. Sole chauffante selon la revendication 1, caractérisée en ce que la semelle (4) est cirulaire et en ce que les différentes zones (10) de semelle sont annulaires et concentriques. 3. Sole chauffante selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que L'élément conducteur (8) est disposé à l'intérieur de chaque zone (10) selon une spirale. 4. Sole chauffante selon la revendication 3, caractérisée en ce que la semelle (4) présente intérieurement une gorge (6) en forme de spirale à l'intérieur de laquelle sont brasés Lesdits éléments conducteurs (8). 5. Sole chauffante selon la revendication 1, caractérisée en ce que les capteurs de mesure (12) de la température comprennent respectivement un thermocouple. 6. Sole chauffante selon la revendication 1, caractérisée en ce que les moyens de traitement (14) des données fournies par deux capteurs de mesure (12) entourant une zone (10) à chauffer permettent de calculer la moyenne des deux températures fournies. 7. Sole chauffante selon la revendication 6, caractérisée en ce que les moyens de comparaison (16) comparent la moyenne des températures avec une température de référence (18). 8. Sole chauffante selon la revendication 1, caractérisée en ce que les moyens de régulation (20) comprennent n moyens d'alimentation variable en courant (22), chacun d'eux étant relié aux deux extrémités de l'élément conducteur d'électricité (8). 9. Réacteur de traitement chimique d'un substrat, caractérisé en ce qu'il comprend la sole chauffante selon l'une des revendications 1 à 8, cette sole étant destinée à recevoir sur sa surface (2) ledit substrat.