Brevet FR2676023A1 — publié le 19921106

_ TETE DE DEFLEXION MULTIJET MODULAIRE ET PROCEDE DE FABRICATION L'invention concerne les dispositifs d'impression à jet dtencre continu défléchi et, plus particulièrement dans de tels dispositifs, la partie qui a pour fonction d'agir électriquement sur le jet d'encre. Les dispositifs d'impression à jet d'encre continu défléchi sont connus et l'un d'entre eux a été décrit dans la demande de brevet français N O 8913719 déposée le 16 octobre 1989 et intitulée "Tête d'impression à jet d'encre et procédé de mise en oeuvre de cette tête destinée notamment à l'impression de caractères de grandes dimensions". Dans la demande de brevet précitée, la tête comporte, dans un boîtier unique, au moins deux corps de modulation comportant des buses d'éjection alimentées par un circuit d'encre unique et un module de récupération des gouttes non utilisées, commun à tous les jets, avec une seule sortie de récupération. Le boîtier unique présente une embase qui sert de support aux corps de modulation, à des électrodes de charge, à des électrodes de détection de phase et à des électrodes de déflexion, ces différents éléments devant être alignés avec précision, de l'ordre du centième de millimètre. Or une telle précision est très difficile à obtenir lorsque ces éléments sont fabriqués séparément et montés ensuite sur l'embase et elle est d'autant plus difficile à maintenir que le nombre de jets d'encre de la tête d'impression est élevé En outre, le nombre de réglages à effectuer, notamment d'alignement, lors du montage et de la maintenance est élevé. Par ailleurs, on comprend qu'une tête d'impression de ce type se prête mal à une réalisation d'une rangée de plusieurs dizaines de jets d'encre car son coût de fabrication et d'entretien sera très élevé. Le but de la présente invention est donc de réaliser, dans un dispositif d'impression multijet, une tête de déflexion dont la fabrication est considérablement simplifiée tout en ayant une grande précision de positionnement des différents éléments. Un autre but de la présente invention est de réaliser une tête de déflexion du type modulaire qui peut facilement être associée à une ou plusieurs têtes du même type. Un autre but de la présente invention est de mettre en oeuvre un procédé de fabrication de têtes de déflexion du type modulaire. L'invention concerne une tête de déflexion multijet modulaire pour dispositif d'impression à m jets d'encre parallèles comprenant par jet d'encre une paire d'électrodes de charge, une paire d'électrodes de détection de phase et une paire d'électrodes de déflexion, caractérisée en ce qu'elle comprend: une première pluralité d'éléments comportant chacun m électrodes, soit de charge, soit de détection, soit de déflexion; une deuxième pluralité d'éléments de séparation des éléments de la première pluralité qui sont intercalés entre les éléments de la, première pluralité pour séparer ces derniers électriquement les uns des autres, les éléments de la première et de la deuxième pluralité étant alignés et empilés pour former un ensemble compact. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'une tête de déflexion multijet modulaire caractérisé en ce qutil comprend les opérations principales suivantes: (a) fabrication de sept éléments portant les m électrodes de charge, les m électrodes de détection de phase, les couches métalliques de blindage à partir de plaques identiques en matériau isolant et leur assemblage pour former un premier sous-ensemble; (b) fabrication des éléments portant les électrodes de déflexion à partir d'un bloc en matériau isolant dans lequel sont réalisées m cloisons métallisées pour former un deuxième sous-ensemble; (c) assemblage des premier et deuxième sous- ensembles pour obtenir la tête de déflexion. D'autres buts, caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront à la lecture de la description suivante d'un exemple particulier de réalisation, ladite description étant faite en relation avec les dessins joints dans lesquels: la figure 1 est une vue éclatée d'une tête de déflexion multijet modulaire selon l'invention, la figure 2 est une vue en perspective de la tête de déflexion multijet modulaire selon l'invention après assemblage des éléments de la figure 1. la figure 3 est une vue de face de la tête de déflexion multijet modulaire après assemblage des différents éléments de la figure 1, la figure 4 est une vue de côté de la tête de déflexion multijet modulaire suivant la flèche A de la figure 3 la figure 5 est une vue de la tête de déflexion multijet modulaire suivant la flèche B de la figure 3 la figure 6 est un premier ensemble de vues montrant différentes étapes du procédé de fabrication selon l'invention, la figure 7 est un deuxième ensemble de vues montrant d'autres étapes du procédé de fabrication, la figure 8 est un troisième ensemble de vues montrant d'autres étapes du procédé de fabrication. la figure 9 est un ensemble de vues montrant une variante du procédé selon l'invention, et la figure 10 est une vue en perspective d'une électrode de charges ou de détection réalisée selon la variante du procédé selon l'invention. Une tête de diffusion multijet modulaire, objet de la présente invention, prévue pour dévier m = 8 jets d'encre est constituée (figures 1 à 5) d'un empilage de onze éléments 35 à 45 dans le sens de déplacement des jets d'encre non déviés, certains éléments référencés 37, 41, 43, 44 et 45 constituant chacun des électrodes tandis que les autres éléments 35, 36, 38, 39, 40 et 42 constituent des cloisons de séparation aux fonctions particulières Ces onze éléments présentent chacun deux trous tels que ceux référencés 50 et 51 sur l'élément 35 pour servir d'alignement lors de l'assemblage desdits éléments. Dans le sens de déplacement du jet d'encre, le premier élément 35 est une cale en matériau isolant qui sert de référence pour l'empilage des autres éléments et leur positionnement par rapport au dispositif qui fournit les mêmes jets d'encre. Le deuxième élément 36 est une première plaque de blindage qui est réalisée en matériau isolant dont la face du côté de la butée 35 est métallisée sauf autour des trous d'alignement. Le troisième élément 37 est une plaque de support de m = 8 électrodes de charge telles que celle référencée 46 et de leurs conducteurs d'alimentation tels que celui référencé 47 Ces conducteurs se prolongent sur la tranche arrière de la plaque pour permettre leur connexion à des cordons souples. Le quatrième élément 38 est une deuxième plaque de blindage qui est réalisée en matériau isolant dont la face du côté opposé à celui de la plaque d'électrodes de charge 37 est métallisée sauf autour des trous d'alignement. Le cinquième élément 39 est une entretoise d'isolement électrique réalisée par une plaque en matériau isolant. Le sixième élément 40 est une troisième plaque de blindage qui est réalisée en matériau isolant dont la face du côté de la butée 35 est métallisée sauf autour des trous d'alignement. Le septième élément 41 est une plaque de support m = 8 électrodes de détection telles que celle référencée 48 et de leurs conducteurs de liaison tels que celui référencé 49 Ces conducteurs se prolongent sur la tranche arrière de la plaque pour permettre leur connexion des cordons souples. Le huitième élément 42 est une quatrième plaque de blindage qui est réalisée en matériau isolant dont la face du côté opposé à celui de la plaque d'électrodes de détection 41 est métallisée sauf autour des trous d'alignement. Les éléments 36 à 42 sont percés de fentes parallèles au trajet du jet d'encre non dévié, les unes 53 de profondeur suffisante pour traverser partiellement les électrodes 46 et 48 et permettre ainsi le passage des jets d'encre, et les autres 54 de profondeur plus grande que les précédentes pour délimiter des espaces d'égale largeur entre les inserts et réduire la diaphonie entre les jets. Les fentes 53 correspondant aux électrodes ne sont métallisées qu'à l'endroit des électrodes tandis que les fentes 54 sont métallisées sur toute leur profondeur. Les neuvième, dixième et onzième éléments ( 43, 44 et 45) constituent ensemble les électrodes de déflexion des gouttes des jets d'encre et sont réalisées chacune par des blocs en matériau isolant dans lesquels des rainures profondes séparent des cloisons dont les parois sont métallisées Les parois métallisées du dixième élément 44 sont connectées à des conducteurs d'alimentation tels que celui référencé 52. Le matériau isolant des différents éléments est, par exemple, de la céramique dont les caractéristiques permettent son usinage notamment en épaisseur avec une précision de l'ordre de quelques microns. Les quatre plaques de blindage 36, 38, 40 et 42 ont chacune une épaisseur de 0,5 millimètre par exemple et la couche métallique est en un matériau noble, un alliage d'or par exemple, qui permet d'éviter l'électro-érosion et qui a une épaisseur de 2 à 10 microns environ, de préférence 2 à 4 microns. L'entretoise 39 a une épaisseur d'un millimètre environ. Dans l'élément 37, les électrodes de charge sont réalisées par exemple par des inserts métalliques qui sont collés dans des trous percés dans la plaque de support ayant une épaisseur de deux millimètres par exemple Les conducteurs d'alimentation sont réalisés par des pistes métalliques ayant une épaisseur de quatre microns environ qui sont connectées aux inserts. Dans l'élément 41, les électrodes de détection sont également réalisées par des inserts métalliques qui sont collés dans des trous percés dans la plaque de support ayant une épaisseur de deux millimètres par exemple Les conducteurs de liaison sont réalisés par des pistes métalliques ayant une épaisseur de quatre microns environ qui sont connectées aux inserts Le reste de la plaque de support du côté des conducteurs métalliques, est métallisé sauf sur des zones de part et d'autre des inserts et des pistes métalliques L'épaisseur de la métallisation est de 4 à 15 microns environ. Les inserts métalliques doivent être réalisés en un matériau qui doit présenter les caractéristiques suivantes: un coefficient de dilatation voisin de celui de la plaque du support, une facilité de métallisation pour les connexions avec les conducteurs d'alimentation et une facilité d'usinage pour le perçage des fentes Ce matériau est par exemple obtenu par frittage d'au moins une poudre métallique. Comme on l'a indiqué ci-dessus, les électrodes de déflexion proprement dites sont constituées par les trois éléments 43, 44 et 45 qui, contrairement aux autres éléments 35 à 42, ne sont pas des plaques isolantes mais des blocs isolants, l'un central 44 dont les parois métallisées reçoivent la haute tension de déflexion par les conducteurs tels que celui référencé 52 et les deux autres 43 et 45 disposés respectivement en amont et en aval dans le sens du jet d'encre Ces électrodes constituées par les parois métallisées des blocs 43 et 45 servent à réduire les risques de claquage. Les conducteurs d'alimentation 52 sont réalisés, pour moitié, sur la face d'entrée du bloc 40 et, pour l'autre moitié, sur la face de sortie du bloc, en faisant en sorte que deux électrodes successives soient alimentées l'une par un conducteur sur la face d'entrée et l'autre par un conducteur sur la face de sortie. La fabrication de la tête de déflexion multijet modulaire telle que décrite en relation avec les figures 1 à 5 sera maintenant décrite en relation avec les différentes vues des figures 6, 7 et 8. Pour les besoins de la description, cette fabrication s'articule en trois opérations principales: (a) la fabrication de manière similaire des électrodes de charge 37 et de détection 41 et leur assemblage pour obtenir un premier sous-ensemble (figures 6 et 7); (b) la fabrication des électrodes de déflexion 43, 44 et 45 et leur assemblage pour obtenir un deuxième sous-ensemble (figure 8); (c) l'assemblage des premier et deuxième sous-ensembles pour obtenir une tête de déflexion selon l'invention (figure 2). L'opération (a) se décompose en plusieurs sous- opérations élémentaires qui sont les suivantes: (el) obtention de sept plaques de base identiques 37 ', 38 ', 39 ', 40 ', 41 ', et 42 ', en matériau isolant tel qu'une céramique ayant une épaisseur adaptée à la fonction à réaliser fonction d'électrodes pour les plaques 37 ' et 41 ', de blindage pour les plaques 36 ', 38 ', 40 ' et 42 ' et d'isolation pour la plaque 39 '; il est à noter que chaque plaque comporte des trous de centrage 50 et 51; (e 2) perçage des trous 46 ' et 48 ' dans les plaques 37 ' et 41 ' correspondant respectivement aux électrodes de charge et de détection; (e 3) mise en place des inserts métalliques 46 " et 48 " dans les trous 46 ' et 48 ' respectivement; (e 4) métallisation des pistes sur les plaques 37 ' et 41 ' pour obtenir les conducteurs 47 et 49 et le blindage entre les conducteurs 49 de la plaque 41 ', les trous 50 et 51 n'étant pas métallisés; (e 5) assemblage par collage des plaques 36 ', 37 ' et 38 ', d'une part et des plaques 40 ', 41 ' et 42 ', d'autre part, l'alignement étant obtenu par les trous 50 et 51 pour obtenir respectivement les blocs 60 et 61; (e 6) usinage des grandes fentes 54 sur chaque bloc 60 et 61 résultant de l'opération précédente ainsi que sur une plaque isolante 39 '; (e 7) métallisation de chaque bloc 60 et 61 pour recouvrir d'une couche métallique la face externe des plaques 36, 38 et 40, 42 ainsi que les grandes fentes 54; (e 8) assemblage des blocs 60 et 61 en interposant la plaque isolante 39 '; (e 9) usinage des petites fentes 53. L'opération (b) se décompose en plusieurs sous- opérations élémentaires qui sont les suivantes: (f 1) obtention de trois blocs de base identiques 43 ', 44 ' et 45 ', en matériau isolant tel qu'une céramique, ayant une épaisseur adaptée à la fonction à réaliser un bloc 44 ' ayant une épaisseur de 15 millimètres environ pour la déflexion et deux blocs 43 ' et 45 ' ayant une épaisseur de 2 à 5 millimètres pour réduire les risques de claquage Ces blocs peuvent provenir d'un bloc unique qui est scié ou par trois blocs obtenus séparément Ce bloc unique ou ces trois blocs présentent une base 55 qui se prolongent d'un côté par des cloisons, dents ou pattes, référencées 56 î à 568, qui forment un peigne Ils peuvent être obtenus soit par moulage soit par un premier usinage rudimentaire. (f 2) métallisation pour obtenir les pistes 52 sur la face amont et la face aval du bloc central 44 ', les différentes pointes d'une face étant connectées à une borne d'entrée commune pour la face amont 59 ou pour la face aval; (f 3) assemblage par collage des trois blocs 43 ', 44 ' et 45 '; (f 4) usinage précis des cloisons; (f 5) métallisation des pattes 561 à 568 sur une profondeur de 5 à 10 millimètres et sur toute leur longueur. Lorsque ces deux opérations (a) et (b) sont terminées, l'opération (c) d'assemblage des deux sous-ensembles peut être effectuée par collage et alignement grâce aux trous 50 et 51. Bien entendu, les trous d'alignement 50 et 51 ne sont pas nécessaires car d'autres procédés d'alignement bien connus peuvent être mis en oeuvre. Le procédé qui vient d'être décrit peut présenter plusieurs variantes et l'une d'entre elles sera décrite en relation avec les figures 9 et 10. Cette variante consiste essentiellement à ne pas utiliser d'inserts métalliques 46 " et 48 " mais à obtenir les électrodes 46 et 48 par dépôts métalliques à l'endroit des petites fentes 53 y compris à l'intérieur desdites fentes comme le montre la figure 10. Sur cette figure 10, les bords intérieurs de la fente 53 à l'endroit du fond sont métallisés et ces bords métallisés se raccordent à des couches métalliques 53 ' de forme plus ou moins circulaire qui sont connectées au conducteur d'alimentation 47 Une telle disposition permet une réalisation deux électrodes et de leur conducteur d'alimentation en une seule opération de métallisation. Le procédé de fabrication est modifié en conséquence mais cette modification n'affecte que la réalisation du bloc d'électrodes de charge et du bloc d'électrodes de il détection, le reste concernant la réalisation des électrodes de déflexion restant inchangé; A cet effet, l'opération (a) se décompose en plusieurs sous-opérations qui sont les suivantes: (gi) obtention de sept plaques de base identiques 36 ", 37 ", 38 ", 39 ", 40 ", 41 " et 42 ", en matériau isolant tel qu'une céramique ayant une épaisseur adaptée à la fonction à réaliser: fonction d'électrodes pour les plaques 37 " et 41 ", de blindage pour les plaques 36 ", 38 ", 40 " et 42 " et d'isolation pour la plaque 39 "; (g 2) assemblage des sept plaques 36 " à 42 " pour usinage des petites fentes 53 et des grandes fentes 54. (g 3) métallisation de chaque plaque 37 " et 41 " pour obtenir en une seule opération les électrodes 53 ' proprement dites, leur conducteur d'alimentation 47 et 49 et la métallisation de blindage entre les conducteurs 49 et les électrodes 53 ' de la plaque 41 "; il est à noter que les bords intérieurs des fentes 53 ne sont pas métallisés à leur entrée; (g 4) assemblage par collage des plaques 36 ", 37 " et 38 ", d'une part, et des plaques 40 ", 41 " et 42 " d'autre part pour obtenir respectivement les blocs 60 ' et 611; (g 5) métallisation de chaque bloc 60 ' et 61 ' pour recouvrir d'une couche métallique la face externe des plaques 36 ", 38 " et 40 "t, 42 "; (g 6) assemblage des blocs 60 et 61 ' en interposant la plaque isolante 39 ". Comparée au procédé décrit en relation avec les figures 6 à 8, cette variante comporte donc une réduction du nombre d'opérations ainsi que leur simplification. La tête de diffusion multijet modulaire qui a été décrite se prête aisément à un assemblage côte à côte d'une pluralité N de têtes de manière à réaliser une rangée de m x N têtes permettant de dévier m x N jets d'encre Bien entendu, à cet effet, les bords latéraux5 de chaque module doivent être prévus en conséquence, notamment pour respecter l'écartement des électrodes d'un module au suivant et au précédent. REVENDICATIONS 1 Tête de déflexion multijet modulaire pour dispositif d'impression à m jets d'encre parallèles comprenant par jet d'encre une paire d'électrodes de charge, une paire d'électrodes de détection et une paire d'électrodes de déflexion, caractérisée en ce qu'elle comprend: une première pluralité d'éléments ( 37, 41, 43, 44, 45) comportant chacun m électrodes, une deuxième pluralité d'éléments ( 36, 38, 39, 40, 42) de séparation des éléments de la première pluralité qui sont intercalés certains éléments de la première pluralité pour séparer ces derniers électriquement les uns des autres les éléments de la première et de la deuxième pluralité étant alignés et empilés pour former un ensemble compact. 2 Tête de déflexion selon la revendication 1, caractérisée en chaque élément de la première pluralité est constitué d'un bloc en matériau isolant dans lequel sont réalisées les m électrodes ( 46, 48, 57, 58, 59) et leur conducteur d'alimentation ( 47, 49, 52). 3 Tête de déflexion selon la revendication 2, caractérisée en ce que, pour les électrodes de charge ( 46) et de détection ( 48), le bloc isolant est une plaque dans l'épaisseur de laquelle sont insérées les m électrodes sous forme de pastilles conductrices, l'une des faces de la plaque comportant les m conducteurs d'alimentation. 4 Tête de déflexion selon la revendication 2, caractérisé en ce que, pour les électrodes de charge ( 46) et de détection ( 48), le bloc isolant est une plaque comportant au moins m fentes ( 53) parallèles dont le fond des bords intérieurs ainsi qu'une zone ( 53 ') en surface sont métallisés, ladite zone étant connectée au conducteur d'alimentation correspondant et à la couche métallique des bords intérieurs de la fente ( 53). Tête de déflexion selon la revendication 3 ou 4, caractérisée en ce que pour les électrodes de déflexion ( 57, 58, 59), le bloc isolant est constitué d'une base ( 55)se prolongeant d'un côté par des cloisons parallèles ( 561 à 568) entre elles et au trajet du jet d'encre non dévié, lesdites cloisons étant revêtues de part et d'autre d'une couche conductrice qui est reliée à un conducteur d'alimentation disposé sur l'une des tranches de chaque cloison. 6 Tête de déflexion selon la revendication 5, caractérisée en ce que le bloc isolant ( 55) des électrodes de déflexion est divisé en trois parties dans le sens du trajet du jet d'encre, une partie centrale ( 44) comportant les conducteurs d'alimentation ( 52) ainsi qu'une partie amont ( 43) et une partie aval ( 45) sans conducteur d'alimentation qui sont disposées de part et d'autre de la partie centrale ( 44). 7 Tête de déflexion selon l'une quelconque des revendications précédentes 3 à 6, caractérisée en ce que la plaque ( 37) portant les électrodes de charge et la plaque ( 41) portant les électrodes de détection sont disposées en sandwich entre au moins deux éléments ( 36, 38, 40, 42) de la deuxième pluralité, chacun des deux éléments de la deuxième pluralité étant constitué par une plaque dont la face opposée à celle en contact avec la plaque d'électrodes est revêtue d'une couche métallique. 8 Tête de déflexion selon la revendication 7, caractérisée en ce que la plaque de blindage ( 38) aval associée à la plaque ( 37) d'électrodes de charge est séparée de la plaque de blindage ( 40) associée à la plaque ( 41) de détection par une plaque isolante ( 39) de la deuxième pluralité. 9 Tête de déflexion selon l'une des revendications 6, 7 ou 8, caractérisée en ce que la plaque de blindage ( 42) associée à la plaque ( 41) d'électrodes de détection est séparée de la partie centrale ( 44) des électrodes de déflexion par ladite partie amont ( 43) desdites électrodes de déflexion. Tête de déflexion selon la revendication 8, caractérisée en ce que l'ensemble constitué par la plaque ( 37) portant les électrodes de charge, la plaque ( 41) portant les électrodes de détection, les plaques de blindage ( 36, 37, 40, 42) et la plaque d'isolation ( 39) comportent au moins m premières fentes parallèles entre elles et perpendiculaires au plan de trajet des jets, chaque fente correspondant au trajet de chaque jet d'encre. 11 Tête de déflexion selon la revendication 10, caractérisée en ce que l'ensemble constitué par la plaque ( 37) comportant les électrodes de charge, la plaque ( 41) portant les électrodes de détection, les plaques de blindage ( 36, 38, 40, 42) et la plaque d'isolation ( 39) comportent, en outre, des secondes fentes parallèles entre elles et aux premières fentes. 12 Tête de déflexion selon la revendication 11, caractérisée en ce que les secondes fentes sont plus profondes que les premières fentes. 13 Procédé de fabrication d'une tête de déflexion multijet modulaire pour dispositif d'impression à m jets d'encre parallèles qui sont déviés dans un plan selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend les opérations principales suivantes: (a) fabrication de sept éléments portant les m électrodes de charge ( 37), les m électrodes de détection ( 41), les couches métalliques de blindage à partir de plaques identiques en matériau isolant et leur assemblage pour former un premier sous-ensemble; (b) fabrication des éléments portant les électrodes de déflexion à partir d'un bloc en matériau isolan dans lequel sont réalisées m cloisons métallisées pour former un deuxième sous-ensemble; (c) assemblage des premier et deuxième sous-ensembles pour obtenir la tête de déflexion. 14 Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'opération (a) comprend les sous-opérations suivantes: (el) réalisation de sept plaques de base en matériau isolant de forme identique mais d'épaisseurs différentes, (e 2) perçage de m trous équidistants dans deux des sept plaques pour placer les électrodes de charge sur l'une et les électrodes de détection sur l'autre; (e 3) mise en place de m inserts métalliques dans les deux plaques résultant de l'opération précédente; (e 4) dépôt des pistes connectées auxdits inserts ainsi que de la couche métallique autour des inserts et pistes de la plaque portant les électrodes de détection; (e 5) assemblage de chaque plaque d'électrodes ainsi obtenu avec deux plaques ne comportant aucun dépôt métallique et disposer de part et d'autre de ladite plaque d'électrode de manière à obtenir des premier et deuxième blocs; (e 6) réalisation de fentes dans chaque bloc obtenu par l'opération précédente de manière à séparer les inserts métalliques adjacents par un espace; (e 7) métallisation des deux blocs résultant de l'opération précédente pour recouvrir d'une couche métallique la face externe desdits blocs; (e 8) assemblage des deux blocs résultant de l'opération (e 7) en interposant une plaque isolante entre eux, de manière à obtenir le premier sous-ensemble, et (e 9) réalisation de m fentes dans le premier sous-ensemble de manière à séparer en deux parties m inserts métalliques. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'opération (a) comprend les sous-opérations suivantes: (gl) obtention de sept plaques de base identiques ( 36 ", 37 ", 38 ", 39 ", 40 ", 41 " et 42 "), en matériau isolant tel qu'une céramique ayant une épaisseur adaptée à la fonction à réaliser: fonction d'électrodes pour les plaques ( 37 " et 41 ") de blindage pour les plaques ( 36 ", 38 ", 40 " et 42 ") et d'isolation pour la plaque ( 39 "); (g 2) assemblage des sept plaques ( 36 " et 42 ") pour usinage des petites fentes ( 53) et des grandes fentes ( 54). (g 3) métallisation de chaque plaque ( 37 " et 41 ") pour obtenir en une seule opération les électrodes ( 53 ') proprement dites, leur conducteur d'alimentation ( 47 et 49) et la métallisation de blindage entre les conducteurs ( 49) et les électrodes ( 53 ') de la plaque ( 41 "); (g 4) assemblage par collage des plaques ( 36 ", 37 " et 38 "), d'une part, et des plaques ( 40 ", 41 " et 42 ") d'autre part pour obtenir respectivement les blocs ( 60 ' et 61 '); (g 5) métallisation de chaque bloc ( 60 ' et 61 ') pour recouvrir d'une couche métallique la face externe des plaques ( 36 ", 38 " et 40 ", 42 "); (g 6) assemblage des blocs ( 60 et 61 ') en interposant la plaque isolante ( 39 "). 16 Procédé selon les revendications 13 ou 14 ou 15, caractérisé en ce que l'opération (b) comprend les sous-opérations suivantes: (fi) réalisation de trois blocs de base ( 43, 44, 45), un bloc central et deux blocs latéraux en matériau isolant comportant chacun m cloisons parallèles ( 561 à 568) séparées par un espace identique; (f 2) dépôt de m pistes conductrices ( 52) sur les tranches des cloisons de plus grande longueur, (f 3) assemblage des trois blocs ( 43, 44, 45) de manière que les cloisons soient alignées et que le bloc central ( 44) soit disposé entre les deux autres blocs latéraux ( 43, 45); (f 4) dépôt d'une couche conductrice sur les deux faces des cloisons des trois blocs assemblés. 17 Tête de diffusion multijet ayant une pluralité de têtes de déflexion multijet modulaires selon l'une quelconque des revendications 1 à 12 qui sont disposées côte à côte. 18 Tête de diffusion multijet modulaire obtenue par le procédé selon l'une quelconque des revendications 13 à 17.