Brevet FR2681738A1 — publié le 19930326

LASERS DE PUISSANCE A FILTRE SEMICONDUCTEUR L'invention concerne les sources optiques cohérentes et notamment les lasers à l'état solide. Ces lasers comportent une cavité dans laquelle peuvent être insérés des matériaux solides tels que des verres ou des cristaux dopés avec des ions terres rares qui photoexcités génèrent des émissions radiatives dont l'efficacité varie avec la fréquence d'émission Certaines applications s'intéressent à des fréquences bien déterminées et peuvent alors être gênées par les autres émissions radiatives de plus forte efficacité C'est pourquoi, lorsqu'une source émet au moins deux émissions radiatives à des fréquences f 1 et f 2, la fréquence f 2 se situant dans la bande spectrale à laquelle on s'intéresse, la cavité doit comprendre un dispositif de filtrage pour ne générer que l'émission recherchée à la fréquence f 2 Ce type de problème se pose notamment dans des domaines tels que la désignation d'objectif ou la télémétrie ou bien encore le façonnage industriel utilisant des lasers qui doivent répondre à des critères de sécurité oculaire En effet le seuil de dommage optique en énergie de l'oeil est plus élevé sur la fenêtre 1,4-1,6 pm Pour cela on doit disposer de sources optiques cohérentes émettant dans cette fenêtre spectrale; cependant si ce type de sources émet à d'autres fréquences il devient indispensable de supprimer ces dernières Parmi les sources émettant dans la fenêtre spectrale 1,4 um-2 pm, il existe des sources optiques cohérentes comprenant un matériau tel que le cristal YAG dopé avec des ions Nd 3 + qui présente l'intérêt d'être un système à plus de trois niveaux d'énergie, niveaux entre lesquels les émissions radiatives à plusieurs fréquences sont favorisées par la présence d'une émission non radiative de plus faible énergie qui évite la saturation entre les états excités Cependant, les longueurs d'ondes d'émission d'un cristal YAG (Y 3 AI 5012) dopé Nd 3 + sont nombreuses: L 1 = 0,946 pim, L 2 = 1, 06 lum, L 3 = 1,318 pim, L 4 = 1,8 pm et plus précisément chaque niveau énergétique correspondant à ces longueurs d'onde est en fait constitué par un ensemble de sous-niveaux dûs à l'effet du champ cristallin sur les états électroniques de l'ion Nd 3 + (effet Starck) Ainsi, il existe plusieurs longueurs d'ondes d'émission radiative voisines de L 3 qui sont plus précisément les longueurs d'onde L 3 i indiquées en micromètres dans le tableau I ci-dessous, avec leur efficacité respective observée lors d'un pompage par lampe sur les différentes raies d'émission L'efficacité est indiquée en valeur relative, et plus précisément en pourcentage d'énergie globalement émise sur l'ensemble des niveaux L 3 i. L 31 1,3188 1,3200 1,3338 1,3350 1,3382 1,3410 1,3564 1,4140 1, 4440 1 = 1 1 = 2 1 = 3 i= 4 i= 5 1 = 6 i= 7 î= 8 1 = 9 Effic 34 9 13 15 24 9 14 1 0,2 TABLEAU 1 Pour résoudre le problème de sélection de longueurs d'onde d'émission et notamment celui qui se pose dans le domaine de la sécurité oculaire, l'invention propose, lorsque l'on dispose d'un laser comportant une cavité dans laquelle est placé un matériau dopé susceptible d'émettre des transitions radiatives à au moins deux fréquences f 1 et f 2, d'insérer dans la cavité sur le trajet du faisceau une couche de matériau semiconducteur ayant une largeur de bande interdite (entre bande de valence et bande de conduction) telle que hf 2 est inférieure à la largeur de bande interdite et hf 1 est supérieure à cette largeur, h étant la constante de Planck, pour disposer d'un laser émettant à la fréquence f 2. De plus la couche de matériau semiconducteur peut être inclinée par rapport à la direction du faisceau avec une incidence de Brewster de manière à disposer d'un faisceau laser polarisé. Lorsque l'on s'intéresse aux longueurs d'onde supérieures à 1,4 lum, le matériau semiconducteur peut être un alliage In P As Ga ayant une largeur de bande interdite G située à 0,888 e V Plus précisément, lorsqu'on utilise un matériau actif YAG dopé Nd 3 + on peut employer un matériau semiconducteur ayant une largeur de bande interdite comprise entre 0,888 et 0,916 e V En effet pour sélectionner les émissions radiatives se produisant aux longueurs d'ondes supérieures à L = 1,41 um il est nécessaire que les autres longueurs d'onde d'émission soient telles qu'elles génèrent des transitions possibles entre bande de valence et bande de conduction aux dépens d'émissions radiatives Dans le cas du cristal YAG dopé Nd 3 + les transitions L 31, L 32,, L 37 doivent donc répondre au critère (A) suivant: hc/L 3 i > G (A) o G est la largeur de bande interdite du matériau, encore appelée énergie de "gap" c est la vitesse de la lumière (c = 3 1010 cm/s) h est la constante de Planck (h = 4,14 1015 e V/s) La condition (A) détermine ainsi le gap du matériau à sélectionner. Pour éviter l'émission radiative à la plus grande de ces longueurs d'ondes soit à la longueur d'onde L 37 il faut donc que le gap G soit inférieur à 0,916 e V. Des composés quaternaires de type lnl-x Gax Asy Pi-y sont susceptibles de convenir pour des valeurs de x et y déterminées. L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre, donnée à titre d'exemple non limitatif et grâce à la figure unique annexée qui représente un exemple de laser selon l'invention, comprenant dans sa cavité une couche de matériau semiconducteur déposée sur un substrat et placée sur le trajet du faisceau laser. Le laser selon l'invention comprend un matériau (m) actif susceptible d'être le siège d'émission radiative cohérente, ce matériau pouvant être photopompé par des modules de pompage (P) tels que des diodes lasers, deux miroirs M 1 et M 2 permettant de constituer une cavité résonante, un des miroirs étant suffisamment semi-transparent de façon à permettre la sortie du rayonnement incident Le laser selon l'invention comprend en outre une couche de matériau semiconducteur (SC) placée sur le trajet du faisceau lumineux (figure 1) de manière à sélectionner certaines longueurs d'onde De plus, cette couche peut elle-même servir d'élément polarisant à la longueur d'onde de la transition laser si l'on ajuste son inclinaison par rapport à l'axe optique de la cavité En effet, on exploite dans ce cas, la sélectivité de la transmission en polarisation liée aux conditions de Brewster qui n'entraîne un maximum de transmission que pour une polarisation particulière de la lumière incidente C'est pourquoi après une multitude de passages dans la cavité résonante seule cette lumière polarisée se retrouve en sortie de la cavité. Cette propriété peut être particulièrement intéressante si le laser comporte de plus dans sa cavité un module de déclenchement à effet pockels permettant d'interrompre ou de laisser passer le faisceau polarisé, réalisant ainsi un laser commandable en impulsions. Dans le cadre d'applications concernant la fenêtre spectrale 1,4 pim-2 pum, voici un exemple de réalisation de laser selon l'invention: Le matériau (m) est un barreau de cristal YAG dopé Nd 3 +, pompé par des diodes lasers. Le matériau semiconducteur placé sur le trajet du faisceau lumineux doit présenter des pertes importantes aux longueurs d'ondes inférieures à l A,4 pm et une excellente transmission au-delà Les composés semiconducteurs 111-V de type Ga In As P répondent particulièrement bien à ces exigences De plus en jouant sur la composition de cet alliage quaternaire on peut très précisément ajuster la fenêtre de transmission de l'échantillon Ce matériau peut être déposé sur un substrat In P en utilisant les techniques classiques de dépôt par epitaxie et ce avec une excellente homogénéité sur de grandes surfaces (compatibles avec la dimension du mode d'un laser Nd: YAG) Par ailleurs afin de minimiser les pertes sur la transition laser recherchée qui se trouve au-delà de 1 i,4 lum, il est nécessaire d'employer un substrat le plus intrinsèque possible En effet si le substrat comporte une forte densité d'électrons Cela se traduit par une absorption liée au plasma d'électrons dont la fréquence de coupure finit par atteindre le domaine des fréquences optiques Le composé quaternaire Ga In As P déposé sur In P doit avoir une composition telle qu'il présente une énergie de "Gap" supérieure à 0,888 et une énergie de "Gap" inférieure à 0,916 e V, de préférence entre 0,893 et 0,916 e V Les composés suivants répondent particulièrement bien à ces critères: les composés lnlix Gax Asy Pl-y avec y compris entre 0,70 et 0,73 et x compris entre 0,324 et 0,338 En pratique, sur un substrat In P intrinsèque, x est défini par la relation x = 0,1894 y/0,4184 0,013 y, n'importe quelle combinaison de x et y ne pouvant permettre la croissance de l'alliage sur In P Ces composés ont en effet des énergies de "Gap" comprises entre 0,893 e V et 0,906 e V. Notamment, la couche de matériau semiconducteur peut donc être une couche d'alliage In O,662 Ga O,338 As O,73 PO,27 déposée sur un substrat In P La sélection en longueur d'onde d'une telle couche est d'autant plus efficace que les pertes introduites dans la cavité, sont plus importantes. Or en jouant sur l'épaisseur de matériau semiconducteur, on peut contrôler ces pertes, puisque l'absorption de la plaque dépend de l'épaisseur de matériau déposé Ainsi l'insertion d'une plaque de matériau semiconducteur In Ga As P d'épaisseur comprise entre 2 et 10 pm déposé sur un substrat In P permet d'introduire des pertes suffisantes pour les transitions correspondant à l'émission des longueurs d'ondes inférieures à 1,4,pm A titre d'exemple, la variation du coefficient d'absorption entre 1,4 grm et 1,32 lum est de l'ordre de 1000 cm-1 Les dimensions de la plaque de matériau semiconducteur sont imposées par l'incidence de Brewster à laquelle on a placé la plaque par rapport à l'axe optique de la cavité En utilisant le quaternaire 1 n O,662 Gao,338 As O,73 PO,27 d'indice optique 3,477 à la longueur d'onde 1,44 pum, l'angle de Brewster défini entre l'axe optique de la cavité et la normale à la plaque est de 73,960 Ce qui impose, si l'on utilise un faisceau laser cylindrique de diamètre initial 1 mm, une projection sur l'interface air-couche, définie par une ellipse dont le plus grand axe a une dimension de 3,477 mm Ainsi, la dimension minimale de la couche de matériau semiconducteur est de 3,477 mm. Afin d'augmenter les performances au niveau de la sélectivité en longueurs d'ondes, on peut multiplier le nombre de couches de matériau semiconducteur sur le trajet du faisceau incident augmentant ainsi l'épaisseur du milieu absorbant Plusieurs substrats portant chacun une couche semiconductrice sont alors joints les uns aux autres. REVENDICATIONS 1 Laser comportant une cavité dans laquelle est placée un matériau dopé susceptible d'émettre des transitions radiatives à au moins deux fréquences différentes f 1 et f 2, caractérisé en ce qu'on place dans la cavité sur le trajet du faisceau, une couche de matériau semiconducteur ayant une largeur de bande interdite (entre bande de valence et bande de conduction) telle que hf 2 est inférieure à la largeur de bande interdite et hf 1 est supérieure à cette largeur, h étant la constante de Planck, le laser émettant ainsi à la fréquence f 2. 2 Laser selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche est inclinée par rapport à la direction du faisceau avec une incidence de Brewster pour polariser le faisceau laser. 3 Laser selon l'une des revendications 1 ou 2, destiné à émettre une longueur d'onde supérieure à 1,41 um, caractérisé en ce que le matériau semiconducteur est un alliage quaternaire In P As Ga ayant une largeur de bande interdite supérieure à 0,888 e V. 4 Laser selon la revendication 3, caractérisé en ce que matériau laser est un cristal YAG dopé Nd 3 + et que le matériau semiconducteur a une largueur de bande interdite inférieure à 0,916 e V. Laser selon la revendication 4, caractérisé en ce que le matériau semiconducteur a une largeur de bande interdite comprise entre 0,893 et 0,916 e V. 6 Laser selon la revendication 5, caractérisé en ce que le matériau semiconducteur est un composé quaternaire lnl x Gax Asy Pl-y déposé sur un substrat In P avec y compris entre 0,70 et 0,73 et x compris entre 0,324 et 0,338. 7 Laser selon la revendication 6, caractérisé en ce que le substrat In P est aussi intrinsèque que possible. 8 Laser selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que dans la cavité sont insérées plusieurs substrats recouverts d'une couche semiconductrice.