Brevet FR2680277A1 — publié le 19930212

La présente invention se rapporte à un procédé pour supporter une plaquette, à un dispositif support et à un appareil de montage des plaquettes possédant le dispositif, qui sont utilisés quand une bande plastique est appliquée à la plaquette. Une certain nombre d'éléments semi- conducteurs sont découpés à partir d'une plaquette en longueur et en largeur Quand les éléments semiconducteurs sont partagés à partir de la plaquette, une bande plastique est appliquée au revers de la plaquette avant le partage de la plaquette afin d'éviter aux éléments semi- conducteurs du partage d'être séparés sans nécessité Cette opération de pose de bande est réalisée automatiquement en utilisant ce qu'on appelle un appareil de montage de table. Normalement, l'appareil de montage de table est construit cormme suit Un dispositif de prise de plaquette prend une plaquette une par une à partir d'un gabarit de stock de plaquettes et après ajustement d'une direction de la plaquette au moyen d'un dispositif de détermination de la direction d'une plaquette, la plaquette est transférée vers une étape d'application de la bande au moyen d'un dispositif de transfert de plaquette dans un état tel que la plaquette soit tournée de façon inversée. Par ailleurs, un dispositif de détermination de de direction du cadre extérieur prend un cadre extérieur à partir d'un gabarit de stock de cadres extérieurs et ajuste une direction du cadre extérieur et après cela le cadre extérieur est transféré vers l'étape d'application de bande au moyen d'un dispositif de transfert de cadre extérieur Après cela, un dispositif d'application de bande presse et applique une bande sur la plaquette qui est supportée par un dispositif de support de plaquette au niveau de l'étape d'application de bande, et également sur le cadre extérieur qui est supporté par le dispositif de support de cadre extérieur à l'étape d 'application de bande Ensuite, les parties inutiles de la bande appliquée à la plaquette et au cadre extérieur sont découpées et enlevées par un dispositif de coupe, et la plaquette, le cadre extérieur et la bande qui adhèrent l'un à l'autre, sont transférés par un dispo- sitif de convoyage de l'étape d'application de bande vers un gabarit prédéterminé tel que le gabarit de stock de cadre extérieur. Le transfert de la plaquette et le transfert du cadre extérieur vers l'étape d'application de bande peuvent être réalisés en même temps afin de réduire une durée de cycle De plus, les transferts peuvent être réalisés séquentiellement étape par étape afin d'éviter des opérations de croisement du dispositif de transfert de plaquette et du dispositif de transfert de cadre extérieur. Par exemple, conmme montré en Figure 8, un dispositif de support de plaquette 100 comme cité ci-dessus comprend un plateau de table 101, un récepteur 102 sensiblement en forme d'un anneau qui est en saillie à partir de la surface supérieure du plateau de table 101 pour corres- pondre à une bordure périphérique d'une plaquette W, une ouverture pour le vide 103 formée à la surface supérieure du récepteur 102 et reliée à une source de vide, un espace de pression 104 formé entre le plateau de table 101 et la plaquette W qui est placée de façon inversée sur le récepteur 102, et une ouverture pour fourniture d'air comprimé 105 formée à la surface supérieure du plateau de table 101 et à l'intérieur du récepteur 102 et reliée à une source d'ali- mentation en air comprimé. La partie périphérique de la plaquette W est aspirée contre le récepteur 102 imrmédia- tement après que la plaquette est installée à l'envers sur le récepteur 102 et immédiatement avant de l'enlever Quand un dispositif d'appli- cation de bande applique une bande sur la plaquette, l'air comprimé dont la pression est contrôlée par un microrégulateur, est fourni à partir de la source d'alimentation en air comprimé afin de supporter la plaquette W. Dans l'art antérieur, o la pression agissant sur la plaquette W à partir de l'espace de pression 104 est portée à une valeur plus élevée que la pression d'aspiration sur le récepteur 102 pour aspirer la partie périphérique de la plaquette W, elle devient instable pour assurer la plaquette W sur le récepteur 102, et conmme résultat elle risque de produire un déplacement de la plaquette W Par conséquent, la pression de support agissant sur la plaquette W ne peut pas être portée à une valeur supérieure à la pression d'aspiration pour aspirer la partie périphérique de la plaquette W contre le récepteur 102. De plus, la force d'aspiration agissant sur la partie périphérique de la plaquette W correspond à une surface d'ouverture de l'ouverture d'aspiration 103, mais la surface d'ouverture de l'ouverture d'aspiration 103 correspond sensi- blement à une taille de la plaquette W Par conséquent, la force d'aspiration agissant sur la partie périphérique de la plaquette W est limitée selon la taille de la plaquette W et cela signifie que la pression de support agissant sur la plaquette W est également limitée selon la taille de la plaquette W De plus, une valeur de la surface d'ouverture de l'ouverture d'aspi- ration 103 est en proportion de la dimension d'un diamètre de la plaquette W ou la largeur d'ouverture de l'ouverture d'aspiration dans sa direction radiale est la même indépendamment de la valeur de la surface de l'ouverture d'aspiration Par ailleurs, la surface de l'espace de pression 104 en contact avec la plaquette W est en proportion du diamètre de la plaquette W par automultiplication et c'est pourquoi la pression de support pour une surface de plaquette devient plus petite lorsque le diamètre de la plaquette devient plus grand Il en résulte que, quand le diamètre de la plaquette devient grand, la pression de support devient insuffisante de sorte que la plaquette W ne peut pas être suffisamment pressée contre la bande et des bulles peuvent parfois se former entre la plaquette W et la bande. Pratiquement, selon l'art classique ci-dessus, la bande ne peut pas être appliquée à la plaquette W ayant un diamètre de vingt cen- timètres sans formation de bulles entre la plaquette W et la bande, et les bulles peuvent parfois se produire dans le cas d'application de la bande sur la plaquette W ayant un diamètre de 12,7 cm. Là o les bulles se forment entre la plaquette W et la bande, peut se produire un problème tel que les éléments semiconducteurs soient mis hors d'usage à cause de l'éclatement des bulles au moment du partage en morceaux, et tel que les éléments semiconducteurs supportés par la bande puissent être détériorés par les éléments semiconducteurs qui sont hors d'usage. La présente invention a été réaliséea la vue des circonstances mentionnées ci-dessus et comporte comme objectif de fournir un procédé pour supporter une plaquette, un dispositif de support de plaquette et un appareil de montage de plaquette possédant le dispositif qui sont capables d'appliquer une bande sur une plaquette de grand diamètre. Afin d'atteindre le but, le procédé pour supporter une plaquette selon la présente invention est d'abord fondé sur la méthode comprenant les étapes de placer la plaquette et un cadre extérieur sur un plateau de table de façon renversée, de presser et d'appliquer une bande contre l'envers de chaque plaquette et cadre extérieur au moyen d'un rouleau tout en aspirant une partie périphérique de la plaquette, et en faisant agir une pression de support (pression de soutien) sur une surface de la plaquette au moyen d'air comprimé, et considère ensuite les moyens suivants. A savoir que le procédé comprend de plus les étapes de partage d'un espace de pression formé entre le plateau de table et la plaquette en un premier espace de pression d'une partie centrale du plateau de table et un second espace de pression d'une partie périphérique du plateau de table au moyen d'une paroi d'ajus- tement des pressions qui s'avance à partir du plateau de table vers une position dans le voisinage de la plaquette, établissant une pression de support (pression de soutien) d'air comprimé qui est fourni à partir d'une source d'air comprime au premier espace de pression, au moyen d'une action d'étranglement d'un passage à étranglement formé entre la paroi d'ajustement de pression et la plaquette, et établissant une pression de support supplémentaire d'air comprimé, qui est fourni à partir du premier espace de pression vers le second espace de pression à travers le passage à étranglement, au moyen d'une action d'étranglement d'une ouverture à étranglement pour faire cormmuniquer le second espace de pression avec l'atmosphère - Dans le procédé de support de la plaquette selon la présente invention il est suffisant d'utiliser une bande telle qu'elle adhère à la plaquette sous pression et elle peut comprendre une bande de base dont un côté prévoit une couche adhésive ou collante. Con-me bande de base, on peut lister une bande qui comprend une résine thermoplastique ou thermodurcissable, et pratiquement pour exemple cellophane, acétate de cellulose, polyéthylène, polypropylène, chlorure de polyvinyle, polystyrène, polyester tel que polyéthylène-téréphtalate, polycarbonate, polyamide ou polyîmide. Corrme couche collante formée sur un côté de la bande de base, on peut utiliser un agent adhésif collant qui peut adhérer à une céramique qui est normalement utilisé comme un matériau de la plaquette, et au métal que comprend le cadre extérieur L'agent adhésif collant peut comprendre, par exemple, résine époxy, acétate de vinyle, alcool polyvinylique, polyvinyle acétal, chlorure de vinyle, polyamide, polyéthylène, cellulose, résine acrylique, chloroprène (néoprène), caoutchouc nitrile,caoutchouc au styrène _, polysulfure, caoutchouc à l'isobutylènq ou caoutchouc silicone. Comme agent adhésif utilisé dans la présente invention, on peut utiliser un agent adhésif (thermoplastique) thermofusible qui peut adhérer à une céramique qui est normalement utilisée comme un matériau de la plaquette, et àa un métal que comprend le cadre extérieur. Par exemple, on peut lister un agent adhésif de copolymère éthylène/acétate de vinyle, de polyéthylène, de polyamide, de polyester ou de résine de pétrole. De plus, dans le procédé de support de la plaquette selon la présente invention, on peut librement choisir de considérer une étape de fourniture d'air comprime au premier espace de pression après chauffage de l'air comprimé Si l'air comprimé chaud est fourni, il est avantageux que l'adhérence de la bande et de la plaquette puisse être réalisée facilement et sûrement pendant un temps bref. La température de l'air comprimé peut être déterminée selon le matériau de la bande qui est réellement utilisé Normalement, la température peut être déterminée dans une gam-me de 450 C, 150 'C, considérant le matériau de la bande de base et sa couche d'adhésif. Par exemple, si la bande comprend une bande de base en chlorure de vinyle et un agent adhésif collant de résine époxy, la température est établie dans la gamme de 60 'C -130 'C. La surface du premier espace de pression et l'espace entre la paroi d'ajustement de pression et la plaquette peut être conçue selon une pression de fourniture d'air comprimé et une pression de support requise pour la plaquette. Ensuite, afin de réaliser le but mentionné ci-dessus, un dispositif support de plaquette selon la présente invention comprend un plateau de table, un récepteur sensiblement en forme d'anneau faisant saillie à partir d'une surface supérieure du plateau de table corres- pondant à une partie périphérique de la plaquette, une ouverture d'aspiration formée à la surface supérieure du récepteur et reliée à une source de vide, un espace de pression formé à l'intérieur du récepteur et entre le plateau de table et la plaquette qui est placée sur le récepteur de façon inversée, et des moyens d'ouverture de fourniture dl-air comprimé formés à l'intérieur du récepteur et avec la surface supérieure du plateau de table connectée à la source d'air comprimé, et se présentent alors les moyens suivants. A savoir quele dispositif comprend en outre une paroi d'ajustement de pression en forme d'anneau disposée à la partie centrale du plateau de table pour s'avancer du plateau de table vers une position située dans le voisinage de la plaquette placée sur le récepteur et pour diviser l'espace de pression en un premier espace de pression situé à l'intérieur de la paroi d'ajustement de pression et un second espace de pression situé a l'extérieur de cette paroi, ledit premier espace de pression étant en communication avec les moyens d'ouverture fournissant l'air comprimé et les moyens d'ouverture à étranglement formés avec le plateau de table pour faire communiquer le second espace de pression avec l'atmosphère. Dans le dispositif support de plaquette de la présente invention, afin de réaliser l'adhérence de la plaquette et de la bande de façon facile et sûre pendant un bref moment en fournissant de l'air comprimé au premier espace de pression après chauffage de l'air il est préférable de fournir par exemple un élément de chauffage pour s'adapter au côté envers du plateau de table et de placer à l'intérieur de l'élément de chauffage une partie terminale d'un passage de fourniture d'air comprimé pour faire communiquer la source d'air comprimé avec l'ouverture fournissant Plair comprimé, de façon à évacuer l'air comprimé chauffé qui est chauffé dans la partie terminale, vers le premier espace de pression. De plus, un appareil de montage de plaquette de la présente invention est muni du dispositif support de plaquette afin de réaliser le but mentionné ci-dessus. La fonction essentielle de la présente invention sera décrite corme suit: L'air comprimé est fourni au premier espace de pression qui est entouré par la paroi d'ajustement de pression et ensuite le centre de la plaquette est soutenu par ses pressions dynamiques et statiques. Pour produire la pression dynamique, il est mieux de réaliser la surface du premier espace de pression plus petite, mais la pression support nécessaire ne peut être obtenue par la seule pression dynamique Par conséquent, afin d'obtenir la pression de support nécessaire pour appliquer une bande à la plaquette, il est requis d'agrandir la surface du premier espace de pression d'une certaine grandeur La pression statique à l'intérieur du premier espace de pression est déterminée par une fonction d'étranglement du passage à étranglement en forme d'anneau formé entre le bord supérieur de la paroi d'ajustement de pression et la plaquette Par conséquent, la plaquette peut être supportée par une pression souhaitée pour placer la plaquette au niveau d'une position laissant une certaine distance à partir du bord de la paroi d'ajustement de pression en déter- mlinant de façon souhaitable une pression de fourniture de l'air comprimé et la surface du premier espace de pression. En outre, puisque le second espace de pression, vers lequel l'air comprimé est soufflé depuis le premier espace de pression, est en communication avec l'atmosphère via une ouverture ou des ouvertures à étranglement, la pression de support agissant sur la plaquette entière peut être de façon suffisante plus petite que la pression d'aspiration pour aspirer la partie périphérique de la plaquette de façon que la plaquette puisse être aspirée de façon sûre sur le récepteur. Les avantages du procédé de support de la plaquette selon la présente invention seront décrits comme suit. La pression de support souhaitée peut être donnée au centre de la plaquette de façon concentrée en utilisant l'air comprimé fourni au premier espace de pression et la pression de support supplémentaire donnée à la plaquette à partir du second espace de pression est ajustée pour être proche de la pression atmos- phérique de façon que la pression de support agissant sur la plaquette entière de grand diamètre puisse être commandée pour être plus petite que la pression d'aspiration pour fixer la plaquette. Par conséquent, la courbure ou la flexion de la plaquette due à une pression d'un rouleau compresseur peut être évitée de façon certaine pour presser et appliquer une bande à la plaquette de grand diamètre avec sécurité et on peut empêcher des bulles de s'intercaler entre la plaquette et la bande et ensuite la plaquette peut être aspirée et maintenue sur le plateau de table de façon sûre de façon à empêcher la plaquette de glisser ou de se déplacer. De plus, puisque la pression de support e Ft réglée au moyen d'un espace entre la plaquette et la paroi d'ajustement de pression, elle peut éliminer la diffusion ou la dispersion de la pression de support de sorte que la bande peut être appliquée à la plaquette de façon stable-, et qu'il n'est pas nécessaire de réaliser un service de maintenance pour régler la pression de support de sorte que son coût d'entretien peut être grandement réduit. De plus, dans le procédé de support de plaquette, là o l'air comprimé chauffé est fourni à partir d'une source d'air comprimé au premier espace de pression, il est possible d'appliquer la bande à la plaquette et au cadre extérieur de façon plus facile et plus sûre. Le dispositif support de plaquette ou l'appareil de montage de plaquette selon la présente invention peut influencer la pression de support souhaitée à agir sur le centre de la plaquette de façon concentrée en utilisant l'air corrpr inoe fourni au premier espace de pression, et la pression de support supplémentaire agissantâ partir du second espace de pression sur la plaquette est réglée pour être proche de la pression atmosphérique de façon que la pression support agissant sur toute la plaquette puisse être cormmandée pour être plus petite que la pression d'aspiration pour fixer la plaquette. Par conséquent, une courbure ou une flexion de la plaquette due à la pression d'un rouleau compresseur peut être évitée certainement afin de presser et d'appliquer une bande à la plaquette de grand diamètre de façon sûre et il est possible d'empêcher des bulles de s'intercaler entre la plaquette et la bande, et ensuite la plaquette peut être aspirée et maintenue sur le plateau de table de façon sûre afin d'empêcher la plaquette de glisser ou de se déplacer. Dans le dispositif support de plaquette ou dans l'appareil de montage de plaquette selon la présente invention, à l'endroit o le dispositif comprend en outre un élément de chauffage ajusté au côté opposé du plateau de table et ou une partie terminale d'un passage pour fourniture d'air comprimé est disposé à l'intérieur de l'élément de chauffage pour faire communiquer la source d'air comprimé avec l'ou- verture de fourniture d'air comprimé, afin d'évacuer l'air comprimé chauffé, qui est chauffé dans la partie terminale, vers le premier espace de pression, la plaquette peut être chauffée avec l'air comprimé de sorte qu'il peut élever la température de la plaquette à une température prédéterminée pendant un bref moment de façon à appliquer la bande à la plaquette de façon sûre. Les autres avantages de la présente invention seront apparents à partir de la description du mode de réalisation avec référence aux dessins. Les dessins montrent un mode de réalisation de la présente invention dans lequel La Figure 1 est une vue en plan d'un appareil de montage de plaquette selon la présente invention. La Figure 2 est une vue de face de l'appareil de montage de plaquette. La Figure 3 est une vue de face d'une étape d'application de bande en partie explosée. La Figure 4 est une vue en perspective éclatée d'une partie essentielle de l'étape d'appli- cation de bande. La Figure 5 est une vue en perspec- 1 rr tive d'un plateau de table, éclatée. La Figure 6 est une vue latérale en coupe du plateau de table. La Figure 7 est une vue en plan du plateau de table, et La Figure 8 est une vue latérale en coupe d'un plateau de table conventionnel Corrme montré en Figure 1, un appareil de montage de plaquette est construit comme suit: Une plaquette prise dans le dispositif 2 se présente en tant que plaquette W une à une depuis un gabarit de stockage de plaquettes 1 et une direction de la plaquette W est réglée au moyen d'un dispositif de détermination de direction de plaquette 3 Ensuite, la plaquette W est inversée et transférée vers une étape d'application de bande 5 au moyen d'un dispositif de transfert de plaquette 4 D'autre part, un dispositif de détermination de direction de -cadre extérieur 6, qui fonctionne aussi comme un gabarit de stockage de cadres extérieurs inverse un cadre extérieur F et règle une direction _de cadre extérieur Le cadre extérieur F est transféré à l'étape d'application de bande 5 un par un au moyen d'un dispositif de transfert de cadre extérieur 7. A l'étape d'application de bande 5, un dispositif support de plaquette 10 pour supporter la plaquette inversée W et un dispo- sitif support de cadre extérieur 11 pour supporter le cadre extérieur inversé F, sont disposés coaxialement. Conmme montré dans les Figures 1 et 2, un dispositif d'application de bande 36 et un dispositif de coupe 37 sont disposés au-dessus de l'étare d'application de bande 5 Après le transfert de la plaquette W et d" cadre extérieur F à l'étape d'application de bande 5, 1 ' étape d'application de bande s'étend vers le haut de façon à élever la plaquette W et le cadre extérieur F vers une position d'application prédéterminée. Le dispositif d'application de bande 36 est construit comme suit: Après que la plaquette W et le cadre extérieur F sont élevés vers une position d'application, un cylindre de récupération 39 enroule une partie inutile d'une bande T à partir d'une bobine d'alimentation 38 pour la bande T, de façon à ce que la bande T puisse être retirée d'une bobine d'alimentation 38 et développée sur la surface supérieure de chacune des plaquettes W et des cadres extérieurs F au moyen d'un dispositif de développement 36 a. Le dispositif de développement 36 a et un rouleau compresseur 36 b sont déplacés d'une position au-dessus de l'étape d'applicationde bande 5 vers une autre position de façon à ce que la bande T puisse être -pressée et appliquée au côté inverse de chacune des plaquettes W et des cadres extérieurs F au moyen d'un rouleau compresseur 36 b. Le dispositif de coupe 37 est construit coimne suit: Quand la bande T a été appliquée à la plaquette W et au cadre extérieur F, un moteur 37 b et un couteau rotatif 37 c sont abaissés au moyen d'un cylindre 37 a vers une position de coupe o le couteau rotatif 37 c entre en contact avec le cadre extérieur F, et alors le moteur 37 b tourne de plus d'une rotation de façon à couper la bande T pour devenir une partie nécessaire et une partie inutile autour de la partie nécessaire Après quoi, le cylindre 37 a se retire de façon à élever le moteur 37 b et le couteau rotatif 37 c vers la première position d'attente. De plus, le dispositif d'application de bande 36 est ainsi construit afin de séparer la partie inutile de la bande T du cadre extérieur F en renvoyant le dispositif de développement 36 a et le rouleau compresseur 36 c 38 de leurs positions aux premières positions au-dessus de l'étape d'application de bande 5 lorsque la bande T est coupée et divisée en partie nécessaire et en partie inutile autour de la partie nécessaire. A propos, la bande T comprend un ruban plastique comnne matériau de base et une couche adhésive collante formée d 1 un côté du ruban Une bande de séparation est préparée pour que la couche collante de la bande T n'adhère pas contre son autre surface lorsque la bande T est enroulée La bande de séparation est séparée après que la bande T est retirée du rouleau d'alimentation 38 et enroulée ensuite sur une bobine de bande de séparation 40. Les plastiques en tant que matériau de la bande Tne sont pas particulièrement limités mais il est préférable de choisir un matériau qui est facile pour contrôler une épaisseur de la bande et qui comporte une faible variation de son épaisseur en fonction d'un effort de tension. Comme matériau, on peut lister par exemple cellophane, acétate de cellulose, polyéthylène, polypropylène, chlorure de polyvinyle, polystyrène, polyester tel que téréphtalate de polyéthylène, polycarbonate, polyamide ou polyimide Dans ce mode de réalisation, la bande T comprend du chlorure de polyvinyle qui est peu coûteux parmi les matériaux listés. Cormme agent adhésif collant de la bande T, on peut utiliser ces agents adhésifs qui sont normalement utilisés corrme agent adhésif collant ou cormne agent adhésif Il est possible d'utiliser par exemple des agents adhésifs thermofusibles ou des résines thermoplastiques. Cependant, il est préférable d'utiliser un agent adhésif collant qui est facile pour contrôler son épaisseur de dépôt et ne rend pas inégale l'adhérj-ce De ce point de vue, ce mode de réalisation emploie une résine thermoplastique comme agent adhésif collantlaquelle comporte une résine époxy comme composant principal. De plus, comne montré dans les Figures 1 et 2, l'appareil de montage de plaquette est construit pour enlever la plaquette W, le cadre extérieur F et la bande T, qui sont réunis en un corps,à partir de l'étape d'application de bande tout en les remettant face à face au moyen d'un dispositif convoyeur 8, et ceux-ci sont alors transférés vers un gabarit de stockage de cadres extérieurs 9. Corme montré dans les Figures 3 et 4, une paire d'arbres 14 et 14 sont supportés par une structure 13 de l'appareil de montage de plaquette à l'étape d'application de plaquette pour pouvoir monter et descendre Une base d'élévation 15 est fixée aux extrémités supé- rieures des arbres 14 et 14. La structure 13 soutient un cylindre à air 16, qui est disposé entre les arbres 14 et 14, de façon à entrainer la base d'élévation à monter et à descendre Un dispositif de support de plaquette 10 est disposé au-dessus d'une partie centrale de la base d'élévation 15 et un dispositif support de cadre extérieur Il est positionné autour du dispositif support de plaquette 10. Corrme montré en Figure 3, le dispositif support de plaquette 10 comprend une base support de l'élément de chauffage 18, une unité d'élément de chauffage 19 montée sur la base support d'élément de chauffage 18 et un plateau de table monté sur l'unité d'élément de chauffage 19. L'unité d'élément de chauffage 19 comprend un bloc d'élément de chauffage 19 a dans lequel un dispositif électrique chauffant 21, conmme montré en Figure 4, est inséré, une vis de réglage de hauteur 19 c fixée au côté opposé du bloc d'élément de chauffage l 9 a via un élément d'isolation thermique 16 b, un écrou réglable 19 d vissé avec la vis de réglage de hauteur 19 c et monté sur un bord périphérique 18 a du bloc de l'élément de chauffage 19 a pouvant coulisser et tourner, et une paire d'axes de guidage 19 e fixés sur le côté opposé du bloc de l'élément de chauffage 19 a et insérés dans la base support de l'élément de chauffage 18 pourpouvoir se déplacer vers l'avant et vers l'arrière. De plus, comme montré en Figure 3, un passage d'air comprimé 23 est formé dans le bloc de l'élément de chauffage 19 a pour circuler de sa périphérie vers une partie au centre de sa surface supérieure à travers l'intérieur de celui-ci Le passage d'air comprimé est relié à une source de fourniture d'air comprimé qui n'est pas montrée. A ce propos, une paire d'ouvertures de guidage 18 b et 18 b sont formées -à la base du support de l'élément de chauffage 18 pour insérer les arbres de guidage 19 e, comme montré dans les Figures 3 et 4 De plus, une bague 22 qui est engagée de façon à coulisser avec l'arbre de guidage 19 e, est ajustée dans chacune des ouvertures de guidage 18 b afin de réaliser l'élévation et l'abaissement des arbres de guidage 19 e d'une manière souple et précise. Le plateau de table 20 est disposé de façon coaxiale avec la base d'élévation 15 et l'unité d'élément de chauffage 19 et fixé sur la surface supérieure de l'unité d'élément de chauffage 19 au moyen, par exemple, de 2 à 4 boulons 24, coeme montre en Figure 4. Corrme montré dans les Figures de 5 à 7, le plateau de table 20 comprend un corps prin- cipal 20 a de forme circulaire, un élément central 20 b fait, par exemple, de fluororésine et fixé à une surface supérieure d'une partie centrale du corps principal 20 a, un élément périphérique c fait par exemple de fluororésine et fixé à une périphérie du corps principal 20 a, et une paire de structure de soutien intérieure et extérieure 20 d et 20 e pour fixer l'élément périphérique 20 c. Corrme montré en Figure 5, l'élément périphérique 20 c fournit un récepteur 25 en forme d'anneau qui s'étend vers le haut corres- pondant à la périphérie de la plaquette W Une ouverture d'aspiration 26 est formée à -la surface supérieure du récepteur 25 pour réaliser une rainure continue qui correspond à la péri- phérie de la plaquette W Un passage d'aspiration 27 dans la forme d'anneau est formé entre la surface de dessous de l'élément périphérique 20 b et le corps principal 20 a L'ouverture d'aspiration 26 est reliée à une source de vide, qui n'est pas montrée, via le passage d'aspiration 27 et un passage de co Tmnunication 28 qui pénètre verticalement dans l'élément périphérique 20 b. Uie paroi d'ajustement de pression 29 en forme d'anneau est disposée pour s'étendre à partir d'une périphérie de l'élément central b, paroi qui comporte une hauteur légèrement plus basse que celle du récepteur 25 Une ouverture de fourniture d'air comprimé 30 est formée à la surface supérieure d'une partie centrale de l'élément central ' 20 b De plus, un passage d'air comprimé 31 est formé sur une partie centrale de chaque corps principal a et deîrélément central 20 b, passage qui corrmu- nique avec un passage d'air comprimé 23 du bloc de l'élément de chauffage 19 a. A ce propos, con-me montré dans les Figures 4 et 5, des éléments d'étanchéité 32 sont disposés entre le plateau de table 20 et l'unité d'élément de chauffage 19 pour isoler à la fois les passages d'air comprimé 23 et 31 de l'atmosphère par une double construction étanche afin de maintenir la précision de cormmande de pression. De plus, un certain nombre d'ouvertures à étranglement 33 est formé à une partie intermédiaire du corps principal 20 a dans une direction radiale de ce corps pour pénétrer dans le corps principal 20 a. En construisant le plateau de table comme mentionné ci-dessus, un espace de pression 34 peut être formé entre le plateau de table et la plaquette W posée sur le plateau de table, dans une situation telle qu'il est divisé à l'intérieur du récepteur 25 En outre, l'espace de pression 34 est divisé par la paroi d'ajustement de pression 29 en un premier espace de pression 34 a situé à l'intérieur et un second espace de pression 34 b à l'extérieur de la paroi d'ajustement de pression 29. De plus, le premier espace de pression 34 a est relié à une source de fourniture d'air comprimé via le passage d'air comprimé 31 du plateau de table 20, le passage d'air comprimé 23 du bloc d'élément de chauffage 19 a et un micro-régulateur qui n'est pas montré Le premier espace de pression 34 a et le second espace de pression 34 b sont en communication l'un avec l'autre via un très petit passage à étranglement formé entre la plaquette W et le bord supérieur de la paroi d'ajustement de pression 29 En outre, le second espace de pression 34 b est en communication avec l'atmosphère via des ouvertures à étranglement 33. La surface du premier espace de pression 34 a et la dimension du passage à étranglement 35 peuvent être conçues selon une pression de fourniture en air comprimé et une pression support requise pour la plaquette W Par exemple, là o la force de pression d'un rouleau compresseur 36 e d'un dispositif d'appli- cation de bande 36, auquel on fera référence ci-après, se situe entre 12 Pa et 20 Pa, il est mieux de faire d'une telle manière que la pression de fourniture de l'air comprimé au premier espace de pression 34 a se situe aux environ de 12 Pa et 20-Pa, qu'un diamètre du premier espace de pression 34 a soit déterminé pour être d'environ 20 mm, et qu'une hauteur ou une largeur du passage à étranglement 34 puisse être d'environ 3 pm. Le dispositif de support de cadre extérieur Il comprend deux montants 10 a se tenant sur la partie périphérique de la base d'élévation 15, et une structure de réception l Ob en forme d'anneau fixée sur les extrémités supérieures des montants et ayant un diamètre plus grand que celui du plateau de table 20. La hauteur de la surface supérieure de la structure de réception l Ob est placée plus bas que la hauteur de la surface supérieure du récepteur 25 du plateau de table 20 correspon- dant à une différence d'épaisseur de chacune des plaquettes W et des cadres extérieurs F. Bientôt, un procédé de montage d'une plaquette en utilisant l'appareil de montage de plaquette du mode de réalisation sera décrit ci-dessous. Dans le procédé de montage de la plaquette, toutes les étapes antérieures au transfert de la plaquette W au dispositif support de plaquette 9, et aussi l'étape pour transférer la plaquette W et le cadre exté- rieur F, auxquels la bande T est appliquée, à partir de l'étape d'application de bande 5, peuvent être réalisées selon le procédé classique. A avoir que, par conséquent, les descriptions détaillées de ces étapes seront omises ici. Le procédé de support de plaquette selon le mode de réalisation de cette invention est utilisé tandis que la plaquette W est transférée dans le dispositif support de plaquette 9 et transféré depuis celui- ci En particulier, le procédé est adopté pour l'étape de pression et d'application de la bande T à la plaquette W et au cadre extérieur F après que la plaquette W a été transférée au dispositif support de plaquette 9. A savoir que la partie périphérique de la plaquette placée de façon inversée W est posée sur le récepteur 25 d'un plateau de table et aspirée sur le récepteur 25 par com- mande d'une source de vide Après cela, le rouleau compresseur 36 c du dispositif d'application de bande 36 est déplacé d'une position à une autre dans l'étape d'application de bande 5 Tandis que la pression du rouleau compresseur agit sur la plaquette W via la bande T, de l'air comprimé est fourni depuis une source de fourniture d'air comprimé au premier espace de pression 34 a par le passage d'air comprimé 23 du bloc de l'élément de chauffage 19 a et le passage d'air comprimé 31 de la table 20 L'air comprimé est réglé et contrôlé au moyen d'un micro-régulateur pour avoir une pression d'environ 12 Pa-et 20 Pa. L'air comprimé est chauffé à une température de 45 1500 C et de préférence à environ 60 130 'C, tout en passant par le passage d'air comprimé 23 du bloc de l'élément de chauffage l 9 a, et fourni ensuite au premier espace de pression 34 a La plaquette W peut être supportée par une pression dynamique de l'air comprimé et une pression statique produite par une fonction d'étranglement de l'ouverture à étranglement 35. La pression de support pour la plaquette peut être déterminée par les facteurs d'une pression de fourniture de l'air comprimé, 3 Q la surface du premier espace de pression 34 a et la hauteur (largeur) de l'ouverture à étran- glement 35, et elle agit sur une partie centrale de la plaquette W de façon concentrée En d'autres termes, une pression support souhaitée peut être obtenue sans tenir compte de la grandeur radiale de la plaquette W en déterminant de façon souhaitée la surface du premier espace de pression 34 a, la hauteur de l'ouverture à étran- glement 35 et la pression de fourniture de l'air comprimé Il en résulte qu'on peut empêcher la plaquette W de se plier vers le bas à cause de la pression du rouleau compresseur 36 c et aussi empêcher des bulles de s'intercaler entre la bande T et la plaquette W. De plus, la pression support peut être réglée automatiquement pour donner une valeur prédéterminée à un espace entre la plaquette W et la paroi d'ajustement de pression 29 Il en résulte que la pression support devient stable et par conséquent l 'application de la bande T peut être réalisée de façon stable De plus, toute perturbation peut être évitée en ce qui concerne l'appareil et il n'est pas nécessaire de réaliser des opérations de maintenance telles que des réglages de pression. En outre, l'air comprimé soufflé dans le second espace de pression par le passage à étranglement 35 depuis le premier espace de pression 34 a, est évacué dans l'atmosphère par les 2.5 ouvertures à étranglement 33 de sorte que l'air comprimé du second espace de pression devient proche de la pression atmosphérique. Par conséquent, la pression support agissant sur la plaquette W depuis le second espace de pression 34 b devient petite et alors la pression support agissant sur toute la plaquette W peut être plus petite que la pression d'aspiration agissant sur la partie périphérique de la plaquette W, de sorte que la plaquette W peut être supportée de 3-i façon sûre sur le récepteur 25. De plus, dans ce mode de réalisation, puisque l'air comprimé est évacué dans le premier espace de pression 34 a quand il est chauffé dans le bloc d'élément de chauffage 19 a, la plaquette W peut être chauffée de façon efficace à une température prédéterminée pendant un court moment et il devient facile de faire adhérer la bande T à la plaquette W et également au cadre extérieur de façon sûre. REVENDICATIONS l Procédé de support d'une plaquette comprenant les étapes de mettre la plaquette et un cadre extérieur sur un plateau de table de façon inversée, presser et appliquer une bande aux côtés inversés de chaque plaquette et de chaque cadre extérieur au moyen d'un rouleau tout en aspirant une partie périphérique de la plaquette, et faire agir une pression support (pression de soutien) sur une surface de la plaquette au moyen d'air comprimé, caractérisé par les étapes de: diviser un espace de pression formé entre le plateau de table et la plaquette en un premier espace de pression d'une partie centrale du plateau de table et un second espace de pression d'une partie périphérique du plateau de table au moyen d'une paroi d'ajustement de pression qui s'étend du plateau de table vers une position dans le voisinage de la plaquette, ajuster une pression support d'air comprimé, qui est fournie à partir d'une source d'air comprimé au premier espace de pression, au moyen d'une fonction d'étranglement d'un passage à étranglement formé entre la paroi d'ajustement de pression et la plaquette, et ajuster une autre pression support d'air comprimé, qui est amené du premier espace de pression au second espace de pression par le passage à étranglement, au moyen d'une fonction d'étranglement d'une ouverture à étranglement pour faire communiquer le second espace de pression avec l'atmosphère. 2 Procédé de support d'une plaquette selon la revendication 1, comprenant de plus l'étape de chauffage de l'air comprimé et ensuite la fourniture de celui-ci dans le premier espace de pression depuis la source d'air comprimé. 3 Dispositif support de plaquette comprenant un plateau de table ( 20), un récepteur ( 25) de forme sensiblement annulaire s'étendant à partir d'une surface supérieure du plateau de table correspondant à une partie périphérique de la plaquette (W), une ouverture d'aspiration ( 26) formée avec une surface supérieure du récepteur reliée à une source de vide, un espace de pression ( 34) formé à l'intérieur du récepteur et entre le plateau de table et la plaquette qui placée sur le récepteur de façon inversée, et des moyens d'ouverture de fourniture d'air comprimé ( 30) formés à l'intérieur du récepteur et avec la surface supérieure du plateau de table et reliés à la source d'air comprimé, caractérisé en ce que ledit dispositif comprend en outre une paroi d'ajustement de pression ( 29) de forme annulaire disposée au niveau de la partie centrale du plateau de table pour s'étendre du plateau de table à une position au voisinage de la plaquette posée sur le récepteur et diviser l'espace de pression ( 34) en un premier espace de pression ( 34 a) situé à l'intérieur de la paroi d'ajustement de pression et un second espace de pression ( 34 b) situé à l'extérieur de celle-ci, ledit premier espace de pression ( 34 a) étant en cormmunication avec les moyens d'ouverture de l'alimentation en air comprimé, et les moyens d'ouvertures à étranglement ( 33) formé avec le plateau de table pour mettre en communication le second espace de pression ( 34 b) avec l'atmosphère. 4 Dispositif support de plaquette selon la revendication 3, comprenant de plus un élément de chauffage ( 19) disposé, pour s'adapter étroitement à une surface de dessous du plateau de table ( 20), et un passage de fourniture d'air comprimé ( 31) mettant en commnunication la source d'air comprimé avec les moyens d'ouverture de d'alimentation en air comprimé, ledit passage de fourniture d'air comprimé comportant une extrémité terminale placée dans l'élément de chauffage, de façon à ce que l'air comprimé chauffé dans l'extrémité terminale soit évacué directement dans le premier espace de pression ( 34 a).