Brevet FR2679653A1 — publié le 19930129

i VACUMETRE A IONISATION La présente invention se rapporte à un vacu- mètre à ionisation et concerne d'une façon générale la mesure des très basses pressions dans les enceintes o règne un ultravide (l'ultra- vide incluant l'extrême ultra-vide). D'une manière connue, les vacumètres utilisés à cet effet sont des jauges à -ionisation qui mesurent la pression de l'ultravide à partir de la densité des particules que contient l'atmosphère d'ultravide contenu dans un récipient déterminé Le principe connu de fonctionnement de ces jauges consiste à ioniser une proportion des molécules ou des atomes du gaz constituant cette atmosphère par choc avec des élec- trons qui proviennent d'une source dont le débit est connu Les ions du gaz ainsi formé sont ensuite recueillis par une électrode de mesure du système et le courant d'ions ainsi obtenu est une mesure analo- gique de la pression de l'ultravide régnant dans l'en- ceinte. De façon également connue, la formation des ions précédemment mentionnés a lieu de deux ma- nières différentes Dans les vacumètres d'ionisation dits à cathode froide ou jauges de Penning, les ions se forment dans une décharge électrique entretenue et à haute intensité en présence d'un champ magnétique homogène Dans une autre catégorie de vacumètres, l'ionisation est produite par collision avec des élec- trons émis par un filament chauffé et ce sont les vacumètres d'ionisation à cathode chaude La présente invention a pour objet un vacumètre qui dérive des vacumètres à cathode chaude du type connu sous le nom de vacumètres Bayard-Alpert dont on commencera d'abord à rappeler le principe en se référant à la figure I qui décrit par conséquent un dispositif de l'art connu. La Jauge Bayard-A Lpert décrite sur la figure 1, qui est un schéma de principe en vue éclatée com- prend essentiellement une enceinte 1 dans laquelle est située l'atmosphère à ultravide dont on veut déter- miner la pression Dans cette enceinte 1 se trouvent situées les trois électrodes du système, à savoir, la cathode chaude ou filament 2 destinée à l'émission d'un flux d'électrons, la grille-anode 3 et selon l'axe de la chambre 1, le collecteur d'ions 4 Dans l'exemple représenté, la grille-anode entoure le col- lecteur qui est disposé selon l'axe de la chambre 1, mais ceci n'est pas forcément le cas pour toutes les jauges de type Bayard-Alpert Cette jauge travaille à faible tension et en l'absence de champ magnétique. Les électrons thermoélectroniques émis par la cathode 2 sont accélérés dans le champ électrique créé par la polarisation de l'anode 3 et y acquièrent une éner- gie suffisante pour ioniser le gaz compris dans le système inter-électrodes Les ions positifs créés par chocs sont attires par le collecteur 4 qui se trouve à un potentiel proche de celui de l'enceinte et le courant ainsi produit permet d'obtenir une mesure de la pression Les électrons sont finalement captes par l'anode 3 qui se présente le plus souvent sous l'aspect d'un fil hélico 7 dal La cathode chaude est une source d'électrons très productive qui permet d'obtenir une bonne sensibilité, en particulier à très faible pression De plus, les jauges à cathodes chaudes présentent par rapport à celles à cathodes froides un effet de pompage plus faible d'un ordre de grandeur. La limite supérieure de pression mesurable par ce système se situe à quelques 10-3 mbar; elle est essentiellement due au fait qu'à de plus hautes pressions des arcs électriques ou des décharges lumi- neuses peuvent se produire Il arrive alors que te filament puisse griller Vers les basses pressions, la mesure est limitée par deux effets physiques qui sont: l'effet de désorption de l'anode sous l'influence des électrons venant La frapper Cet effet est indé- pendant de la pression mais est proportionnel au courant d'émission étectronique. l'effet Rântgen: lorsque les électrons viennent frapper l'anode, ils libèrent des photons (rayon- nement X mou) qui vont à leur tour créer des photo- électrons en frappant les différentes surfaces, dont le collecteur Les photoétectrons libérés par le collecteur s'écoulent à l'anode, créant ainsi un courant de même sens que le courant ionique. Cet effet devient prépondérant dans la gamme des -1 mbar pour les jauges Bayard-Alpert. La cathode chaude 2 est constituée d'un filament qui se trouve à l'extérieur du volume délimité par la grille Les électrons émis par la cathode font des allers et retours à travers ta grille jusqu'à être piégés A titre d'exemple, pour un vide de -8 mbar et un courant électronique de 1 m A, on obtient un courant ionique de 10 p A (pour un facteur de jauge de 10 mbar-1). Le principal défaut des jauges à cathodes chaudes provient de l'utilisation systématique d'un filament à incandescence en tant que source d'étec- trons. Ce type de source thermoélectronique est en effet isotrope, alors que la directivité du faisceau d'électrons est un paramètre important pour la sensi- bilité de la jauge On a en effet montré que la Lon- gueur moyenne des trajectoires électroniques est d'autant plus grande que celles-ci sont radiales, c'est-à-dire dirigées vers le collecteur 4 et l'on sait que la probabilité d'ionisation du gaz à l'inté- rieur de la zone délimitée par la grille 3 est direc- tement proportionnelle à cette longueur moyenne (la probabilité d'ionisation augmente avec la longueur). C'est alors seulement dans la mesure o le champ est bien homogène autour du filament 2 que le faisceau est refocalisé par la grille; c'est pourquoi la sensi- bilité de la jauge est très dépendante de la position du filament 2, qui peut par surcroît bouger au cours du temps ou s'affaisser sous l'effet de la chaleur (environ 20000 C), d'autant plus que les électrons émis par le filament quittent celui-ci avec une énergie cinétique quasiment nulle et sans directivité Dans le même ordre d'idées, le fait que la source soit relativement étendue et que tous ses points n'émettent pas de manière semblable, rend plus difficile la refo- calisation du faisceau d'électrons et nuit à sa réguta- rité Ces deux raisons font que la sensibilité de la jauge est un paramètre instable dans le temps et dans une certaine mesure non reproductible En outre, le phénomène d'émission électronique étant d'origine thermique est coûteux en énergie, a un temps de réponse très long et est dans certaines applications un pol- luant non négligeable. La présente invention a pour objet un vacu- mètre à ionisation dérivé des jauges du type Bayard-Alpert qui permet de s'affranchir des incon- vénients précédents de façon simple. Ce vacumètre à ionisation est caractérisé essentiellement en ce que la source d'électrons est une cathode froide à micropointes. Comme on le verra dans la suite du texte, le fait de remplacer le filament chaud par une cathode froide à micropointes du type à émission par effet de champ ne doit pas faire penser que le vacumètre à ionisation, objet de l'invention, fait partie de la catégorie des jauges à cathode froide Comme on l'a rappela précédemment, cette dénomination est habi- tuellement réservée aux jauges de Penning qui sont relativement rustiques, peu sensibles et qui fonctionnent sur un principe d'émission totalement différent (décharge électrique dans un champ magné- tique). Des cathodes froides à micropointes sont d'un type parfaitement connu dans la technique et la production d'électrons par effet de champ à partir de cathodes émissives à micropointes est parfaitement décrite, notamment par les brevets français n 2,593,953 et 2,623,013. Lorsque l'on met l'invention en oeuvre dans une structure de base du type jauge Bayard-Alpert, on remplace le filament par une cathode à micropointes ayant par exemple 1 mm de largeur et une hauteur suffi- sante pour que la surface émissive permette d'obtenir un courant comparable à celui qu'on aurait eu avec un filament Sachant que l'émissivité moyenne d'une cathode à micropointes est de 1 m A/mm 2, on voit qu'une hauteur de quelques centimètres est largement suffi- sante pour obtenir un niveau d'émission important. La cathode est disposée de telle manière que les micropointes soient en regard du collecteur afin que l'émission soit bien radiale Son éloignement par rapport à la grille est calculé de manière à ce qu'elle trouble Le moins possible le champ qui existe entre la grille d'anode et l'enceinte à vide généra- lement reliée à la terre, à l'intérieur de laquelle est montée la jauge. L'utilisation d'une cathode froide à micro- pointes qui est une source d'électrons éminemment directive, permet par conséquent, en l'orientant cor- rectement en direction de l'anode et du collecteur d'ions, de s'affranchir des inconvénients rappeltés précédemment provenant du caractère isotrope de l'émis- sion d'une cathode chaude sous forme de filament. L'invention utilise donc une cathode à micro- pointes qui peut être ou non matricielle avec N élec- trodes cathodiques (n étant entier tel que n> 1) dispo- sées selon des lignes et alimentant des micropointes et m grilles extractrices (m étant entier tel que m> 1) disposées selon des colonnes et isolées des élec- trodes cathodiques. Dans le cas de l'utilisation de plusieurs électrodes cathodiques, cette redondance permet d'avoir toujours une émission d'électrons même si certaines de ces électrodes sont hors service. La source d'électrons utilisée peut être une cathode émissive à micropointes d'un type quel- conque tel que par exemple celle que décrit le document FR-A-87 15432 Toutefois, pour obtenir un faisceau d'électrons stable dans le temps à quelques pourcents près, il est spécialement avantageux de choisir une cathode à micropointes munie d'une couche résistive comme c'est le cas précisément dans le document FR-A-87 15432 Cette couche résistive qui est intermé- diaire entre les électrodes cahtodiques et les micro- pointes proprement dites, joue ainsi le rôle de résis- tance tampon et permet d'associer à chaque micropointe une résistance particulière conduisant ainsi à une très bonne homogénéisation de l'émission électronique. Selon l'invention, la couche résistive peut être choisie en un matériau choisi dans le groupe comprenant l'oxyde d'indium, l'oxyde d'étain, l'oxyde de fer et le silicium dope. L'un des intérêts complémentaires de l'utili- sation d'une cathode émissive à micropointes réside dans le fait que tous les matériaux constitutifs d'une telle cathode tels que verre, molybdène, silice, ITO (Indium Tin Oxyde) sont compatibles avec une utilisa- tion en ultravide Notons également que si l'on dépose la cathode sur substrat de silicium, on pourra augmen- ter la température d'étuvage (nécessaire à la réalisa- tion de l'ultra-vide) jusqu'à 600 C, ce qui serait impossible sur substrat verre Cependant, la plupart des étuvages ne dépassant pas 350 C, la question ne se posera pas la plupart du temps. De façon avantageuse, les électrodes catho- diques sont portées à un potentiel Vc, les grilles d'extraction à un potentiel Vg et la grille-anode à un potentiel Va, tels que les électrons émis par la source possèdent tous une énergie cinétique initiale égale à -e (Vg-Vc) pouvant aller d'une valeur minimum nécessaire à l'extraction des électrons à une valeur maximum inférieure ou égale à -e (Va-Vc), e étant la charge électronique. L'utilisation d'électrons possédant de telles énergies initiales permet une bonne sensibilité du vacumètre, compte tenu du fait qu'une grande partie des électrons ne sont pas piégés lors de leur premier passage à travers la grille, contrairement au cas des électrons émis avec une énergie quasiment nulle par les filaments chauffés. De préférence, le rapport des distances entre d'une part grilles d'extraction et enceinte et d'autre part grille-anode et enceinte est égal au rapport des tensions entre d'une part grilles d'ex- traction et enceinte et d'autre part grille-anode et enceinte. Cette égalité permet d'obtenir un champ dont la norme est homogène dans le vacumètre entre grille-anode et enceinte. L'invention a également pour objet un vacu- mètre à ionisation comportant une source d'électrons à cathode émissive à micropointes, une grille-anode de collection de ces électrons et un collecteur des ions caractérisé en ce qu'il comporte en outre: une première alimentation en courant continu pour polariser positivement à Vc les électrodes catho- diques de la source électronique par rapport à l'enceinte; une deuxième alimentation en courant continu pour polariser à Vg les grilles d'extraction des électrons à un potentiel variable, positif par rapport aux électrodes cathodiques; une troisième alimentation en courant continu pour polariser à Va la grille d'anode de collection des électrons, positivement par rapport à la grille d'extraction des électrons, les trois alimentations précédentes étant montées en série entre l'enceinte et la grille d'anode de collection des électrons; un premier moyen de mesure de courant monté entre la deuxième alimentation et la troisième alimentation pour mesurer le courant électronique; un second moyen de mesure de courant monté entre le collecteur des ions et l'enceinte pour mesurer le courant ionique; des moyens de traitement reliés aux premier et second moyens de mesure de courant pour calculer la pression de l'ultravide régnant dans l'enceinte à partir des valeurs lues du courant électronique et du courant ionique. Les moyens de mesure de courant sont par exemple des ampèremètres. Selon un mode de mise en oeuvre particu- lièrement intéressant du vacumètre, objet de l'inven- tion, ce dernier comporte en outre un circuit de synchronisation de la deuxième alimentation qui peut alors être pulsée et des deux moyens de mesure de10 courant qui sont également pulsables pour réaliser le fonctionnement de l'appareil selon un mode d'échan- tillonnage dans le temps. Ce circuit de synchronisation permet alors un fonctionnement en régime intermittant selon un mode d'échantillonnage pulsé dans le temps. De toute façon l'invention sera mieux comprise en se référant à la description d'exemples de mise en oeuvre donnés à titre illustratif et non limitatif et qui seront fait en se référant aux figures20 2 à 4 suivantes sur lesquelles: la figure 2 est le schema d'un mode de réalisation préférentiel d'une cathode émissive à micropointes utilisée dans le vacumètre objet de l'invention;25 la figure 3 est un schéma de principe général d'un vacumètre à ionisation selon l'invention; la figure 4 est un schéma général du montage pratique du vacumètre de la figure 3 assorti de ses moyens d'alimentation et de traitement de30 signal. La cathode émissive à effet de champ de la figure 2 comprend essentiellement sur un substrat , une couche de silice 6 recouverte d'une couche résistive 7 Sur la couche résistive 7, sont situées les électrodes cathodiques 8 (avec N entier tel que n> 1) destinées à l'alimentation des micropointes 9. Une couche isolante 10 sépare les électrodes catho- diques 8 des N électrodes de grille d'extraction des électrons 11 (avec m entier tel que m> 1) Les grilles d'extraction d'électrons 11 sont ajourées au-dessus de chaque micropointe 9 de façon à permettre l'émission des électrons. L'intérêt de la couche résistive 7 concernant l'homogénéisation du flux d'électrons a déjà été expli- qué précédemment. En se référant maintenant à la figure 3 qui est un schéma général d'un vacumètre à ionisation selon l'invention, on retrouve, comme dans la figure 1, l'enceinte à vide 1, la cathode émissive 2, la grille d'anode 3 et le collecteur d'ions 4 Toutefois et conformément à l'invention, la cathode émissive 2 n'est plus un filament chauffé, mais une cathode à micropointes conforme par exemple au schéma de la figure 2 et dont la direction priviliègée d'émission est située vers la grille d'anode 3 et le collecteur d'ions 4. Afin que les électrons ne soient pas piégés par l'importante surface de l'enceinte, le potentiel de référence Vc (potentiel des micropointes ou poten- tiel des électrodes cahtodiques) par rapport auquel ils sont émis est toujours supérieur à celui (Ve) de l'enceinte Une valeur standard de Vc-Ve est par exemple de 45 V pour une enceinte portée à la masse. Les grilles d'extraction 11 sont alors pola- risées à une tension variable (Vg-Vc) par rapport aux électrodes cahtodiques suivant l'intensité d'ex- traction que l'on veut obtenir On peut avoir une tension moyenne de l'ordre de 90 V, ce qui revient à polariser les grilles d'extraction 11 à une tension Vg-Ve de 135 V par rapport à l'enceinte généralement à la masse. Il a été démontré que la probabilité de collision des électrons sur les atomes et molécules de gaz en fonction de leur énergie passe par un maximum qui se trouve pour la plupart des gaz entre 100 et e V C'est pourquoi il est avantageux de polariser la grille d'anode 3 à un potentiel (Va-Vc) égal à V par rapport aux électrodes -cathodiques 8, c'est- à-dire à 175 V par rapport à l'enceinte 1. Le rapport des distances enceinte 1-grille d'extraction 11 à enceinte 1-grille d'anode 3 doit alors être à peu près de 135/175. D'une manière plus générale, on peut dire que les rapports des distances et des tensions enceinte l-grille d'extraction 11 à enceinte 1- grille d'anode 3 doivent être égaux Cette précaution doit être prise car toute discontinuité du champ a tendance à augmenter le moment cinétique des électrons qui y sont soumis, et ainsi à les détourner d'une trajec- toire strictement radiale dont on a expliqué plus haut la nécessité. Le collecteur 4 est un fil vertical centré dans ce mode de réalisation sur l'axe de la jauge étant bien entendu que ceci n'est pas toujours le cas La grille d'anode est par exemple un fil enroulé en hélicolde autour du collecteur 4; pour une jauge Bayard-Alpert montée sur une bride classique, elle a généralement un diamètre de 20 mm, une hauteur de quelquess centimètres (entre 2 et 5) avec un pas de quelques millimètres ( 10 à 20 spires) La distance séparant la grille 3 de la cathode 2 à micropointes doit alors être, avec les valeurs de potentiels donnés précédemment, de 1,7 mm L'utilisation d'une cathode à micropointes permet d'augmenter le volume interne à la grille 3 par rapport à une jauge classique et donc la probabilité d'ionisation du gaz résiduel. Cette augmentation de volume est possible du fait de la possibilité du rapprochement de la cathode à micropointes qui ne chauffe pas, à l'inverse des fila- ments. La cathode à micropointes peut être par exemple fixée directement à L'aide des contacts élec- triques 13 rigides qui permettent aussi sa polari- sation La fixation peut être faite par soudure avec les plots de contacts gravés sur la cathode ou par pression à l'aide de lames ressorts. En se référant maintenant à la figure 4, on va décrire un exemple de montage du vacumètre objet de l'invention permettant son exploitation dans les meilleures conditions et selon deux modes de fonction- nement, l'un en continu, l'autre en échanti Llonnage selon un mode pulse. Sur la figure 4, on retrouve dessiné schéma- tiquement, les éléments essentiels du vacumètre à ionisation de la figure 3, ainsi que de la cathode émissive à micropointes de la figure 2, Les éLéments communs à cette figure 4 et aux figures 2 et 3 portant les mêmes nombres de références L'appareil de La figure 4 comprend en outre, trois alimentations élec- triques à courant continu 14, 15 et 16 montées en série entre la masse reliée à l'enceinte et la grille d'anode collectrice d'électrons 3 de la façon suivante: L'alimentation 14 permet de polariser positi- vement à Vc les électrodes cathodiques 8 par rapport à la masse L'alimentation 15 permet de polariser à Vg la ou les grilles d'extraction 11 à un potentiel variable positif par rapport aux électrodes cathodiques 8, la différence de potentiel Vg-Vc est par exemple 90 V. L'alimentation 16 permet de polariser à Va la grille d'anode 3 positivement par rapport aux grilles d'extraction 11 de façon que la différence de potentiel Va-Vc soit la valeur voulue définie précé- demment Entre ces deux alimentations 15 et 16, l'am- pèremètre 17 permet de mesurer le courant électro- nique recueilli par la grille 3 L'ampèremètre 18 relié au collecteur 4 permet de mesurer le courant d'ions s'écoulant à la masse La mesure de ces deux courants électronique et ionique permet la mesure de la pression à l'aide d'une unité de traitement 19 classique. Dans le cas o l'on veut un fonctionnement en échantillonnage, c'est-àdire o la mesure ne se fait pas en continu, mais seulement pendant une courte période de temps, on peut synchroniser l'alimentation qui doit être alors pulsable et les deux ampère- mètres 17 et 18 qui doivent l'être également par une synchronisation extérieure 20 Par exemple, on peut limiter la mesure à 1 ms avec une fréquence de répé- tition variable suivant les besoins, l'ionisation n'ayant lieu que pendant le temps utile de la mesure. Ceci permet dans un système très sensible de faire une mesure de pression et de garder la maîtrise de la connaissance du vide sans perturber ce dernier Certaines expériences de physique requièrent par exemple l'arrêt des jauges car les courants électroniques perturbent les détecteurs. Avec le mode de réalisation de la figure 4, pour un fonctionnement en mode continu, on obtient un coefficient de jauge compris entre 25 et 30 mbar 1 (pour l'azote), ce qui est environ deux fois meilleur que la plupart des jauges Bayard-Alpert classiques. L'intérêt particulier du montage de la figure 4 est de posséder les qualités des jauges Bayard-Alpert en s'affranchissant des problèmes propres à l'utili- sation d'une cathode chaude Ses principaux avantages par rapport aux performances d'une jauge Bayard-Alpert peuvent se résumer comme suit: directivité naturelle de l'émission dans un angle solide de 11/3 centré sur la normale au plan de la cathode et émission d'électrons avec une vitesse initiale élevée (énergie environ de 100 e V) Il en résulte que la focalisation du faisceau dépend net- tement moins du positionnement de la source dans le champ. Par ailleurs, du fait de leur haute vitesse initiale, les électrons pénètrent dans la zone déli- mitée par la grille sans être piégés par celle-ci, ce qui augmente la longueur moyenne des trajectoires des électrons et donc la sensibilité de la jauge. La bonne rigidité du réseau de micropointes assure de plus une stabilité mécanique excellente et la cathode utilisée assure une bonne régularité de l'émission Toutes ces caractéristiques contribuent à une nette amélioration de la stabilité et la repro- ductibilité des mesures; amélioration de l'émissivité par unité de surface et bonne rigidité naturelle Donc à courant d'émission équivalent, la surface de la cathode est plus faible que celle du filament, ce qui permet d'avoir une source mieux localisée; outre le fonctionnement en échantillonnage, la rapidité de réaction de la source permet de stopper la mesure en cas de problème (par exemple brusque remontée de pression) avec efficacité dans un temps très court. On peut enfin citer un certain nombre d'avan- tages directement liés au remplacement d'une cathode chaude par une cathode froide: pas de rayonnement infrarouge de la source, ce qui permet une utilisation dans une ambiance cryo- génique; pas de rayonnement ultraviolet de la source et donc diminution de l'effet Rôntgen; pas de création d'espèces filles par échauffement Les ions sont donc créés uniquement par choc avec les électrons; la mesure est alors plus exacte; pas de dégazage de filament, et donc possi- bilité d'une mesure précise juste après allumage; pas d'évaporation de tungstène ou de polluants comme le monoxyde de carbone. Tous ces phénomènes sont directement liés au chauffage du filament dans les jauges Bayard-Alpert classiques; suppression du thorium, êlement (faible- ment) radioactif et chimiquiement dangereux utilisé pour la fabrication des filaments à faible travail20 de sortie, c'est-à- dire nécessitant un travail assez faible pour extraire les électrons Ce composé est souvent utilisé pour améliorer la trop faible émissi- vité des filaments en tungstène pur; faible consommation (réduction de la consommation d'un facteur 10 à 100). REVENDICATIONS 1 Vacumxre a ionisation comportant, à la manière des jauges du type Bayart-Alpert, dans une enceinte ( 1) renfermant une atmosphère à très basse pression dont on veut mesurer le degré d'ultra vide, une cathode ( 2) source d'électrons, une grittlle-anode ( 3) de collection de ces électrons asso- ciée elle-même à un collecteur ( 4) des ions résultant du choc des électrons sur les molecules de gaz de l'atmosphère à très basse pression, caractérisé en ce que la source d'électrons est une cathode froide à micropointes. 2 Vacumètre selon la revendication 1, carac- térisé en ce que la cathode à micropointes comprend n électrodes cathodiques (n étant entier) disposées15 selon des lignes et alimentant des micropointes et m grilles d'extraction (m étant entier) disposées selon des colonnes et isolées des électrodes catho- diques. 3 Vacumètre selon la revendication 2, carac- térisé en ce que les électrodes cathodiques sont portées à un potentiel Vc, les grilles d'extraction à un potentiel Vg et la grillte-anode à un potentiel Va, tels que les électrons émis par la source possèdent tous une énergie cinétique initiale égale à -e (Vg-Vc) pouvant aller d'une valeur minimum nécessaire à l'ex-25 traction des électrons à une valeur maximum inférieure ou égale à -e (Va-Vc), e étant la charge électronique. 4 Vacumètre selon la revendication 2, carac- térisé en ce que le rapport des distances entre, d'une part, grilles d'extraction et enceinte et, d'autre30 part, grille-anode et enceinte, est égal au rapport des tensions entre, d'une part, grilles d'extraction et enceinte et d'autre part, grille-anode et enceinte. 5 Vacumètre à ionisation selon la revendi- cation 1, caractérisé en ce que les électrodes catho- diques ( 8) d'alimentation des micropointes sont au contact d'une couche résistive ( 7) alimentant les micropointes.5 6 Vacumètre à ionisation selon la revendi- cation 5, caractérisé en ce que La couche résistive ( 7) est en un matériau choisi dans le groupe comprenant l'oxyde d'indium, l'oxyde d'étain, l'oxyde de fer et le silicium dopé.10 7 Vacumètre à ionisation selon l'une quel- conque des revendications I à 6 précédentes, caracté- risé en ce qu'il comporte: une première alimentation en courant continu ( 14) pour polariser positivement à Vc les électrodes cathodiques ( 8) de la source électronique; une deuxième alimentation ( 15) en courant continu pour polariser à Vg les grilles ( 11) d'extraction des électrons à un potentiel variable, positif par rapport aux électrodes cathodiques ( 8); une troisième alimentation ( 16) en courant continu pour polariser à Va la grille d'anode ( 3) de collec- tion des électrons, positivement par rapport à la grille ( 11) d'extraction des électrons, les trois alimentations précédentes étant montées en série entre L'enceinte et la grille ( 3) d'anode de collec- tion des électrons; un premier moyen de mesure de courant ( 17) monté entre la deuxième alimentation ( 15) et la troisième alimentation ( 16) pour mesurer le courant étectro- nique; un second moyen de mesure de courant ( 18) monté entre le collecteur des ions ( 4) et l'enceinte pour mesurer le courant ionique; des moyens de traitement ( 19) reliés aux premier ( 17) et second ( 18) moyens de mesure de courant pour calculer la pression de l'ultravide régnant dans l'enceinte ( 1) à partir des valeurs lues du courant électronique et du courant ionique. 8 Vacumètre à ionisation selon la revendi- cation 7, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un circuit de synchronisation ( 20) de la deuxième alimentation ( 15) qui est pulsable et des deux moyens de mesure de courant ( 17, 18) qui sont également pul- sables pour réaliser te fonctionnement de l'appareil selon un mode d'échantittllonnage dans le temps.