Brevet FR2675272A1 — publié le 19921016

La présente invention a pour objet un dispositif permettant le transfert optique d'une image de très haute définition - eu égard a la longueur d'onde utilisée - sur un support dont l'état de surface est incompatible avec la profondeur de champ de l'optique considérée. Elle s'applique plus particulièrement au cas où l'image en question possède, sur l'un de ses axes au moins, les caractéristiques d'un réseau. Il est connu que plus le diamètre de la tache de diffraction est petit, plus rigoureuse doit être la précision de positionnement du substrat. Ainsi, si la résolution souhaitée est voisine de la longueur d'onde de la lumière utilisée, la profondeur de champ est également voisine de cette longueur d'onde. Ceci est valable aussi bien dans le cas d'optiques conventionnelles: objectifs de microscopes, miroirs sphériques ou simples lentilles que dans le cas d'optiques holographiques, du type par exemple de celles objet du brevet français déposé par le demandeur le 13 novembre 1990 et enregistré sous le numéro 9O#l4O23. C'est lå une contrainte sévère lorsque la dimension de l'image dépasse quelques centimètres carrés, car le polissage au micromètre près tordre de grandeur) du substrat est une opération dont le coût croît très rapidement avec la surface considérée. il est possible de tourner cette difficulté en mettant a profit l'effet de seuil de certains matériaux photosensibles. Selon le procédé décrit dans le brevet français déposé par le demandeur le 18 février 1991 et enregistré sous le numéro 91#O1888, il suffit alors de déplacer, pendant l'insolation, le support du film photosensible de part et d'autre du plan nominal image, sur une distance suffisante pour couvrir les corrections de focalisations exigées par la planéité imparfaite du substrat. Cette méthode qui permet d'enregistrer des détails inférieurs au micromètre sur un disque de verre dont la planéité est typiquement de plus ou moins 10 micromètres peut néanmoins donner lieu a problème lorsque l'image considérée est celle d'un réseau optique. A condition en effet que le réseau objet soit éclairé par une surface d'onde plane, cette structure particulière donne lieu a' des images fantômes dans des plans parallèles au plan image considéré. Par exemple, à la longueur d'onde de 0,4579 micromètre d'un laser à l'argons la distance du premier plan fantôme au plan objet nominal d'un réseau de pas égal à 1,6 micromètre est voisine de 11 micromètres. Limitant d'autant le déplacement du substrat, donc la tolérance de son état de surface. Telle est en effet le cas du transfert optique de tout ou partie de la gravure typique d'un disque optique où l'information est distribuée sur une spirale au pas de 1,6 micromètre. La présente invention propose de tourner cette difficulté en éclairant l'objet par une onde aussi différente que possible d'une onde plane, mais d'intensité néanmoins sensiblement constante en chacun des points dudit objet. Un moyen simple d'obtenir ce résultat consiste à éclairer l'objet au travers d'un diffuseur, un verre dépoli par exemple, ou de tout autre dispositif réalisant a peu près la condition précitée. L'invention s'applique aussi bien à la formation d'image au travers d'une optique conventionnelle qu'au travers d'un procédé holographique. Elle s'applique en particulier aux montages décrits par les brevets français enregistrés sous les numéros 90.14023 et 91.01888 ainsi qu'aux autres montages utilisés pour la duplication optique d'objets exigeant de travailler au voisinage de la limite imposée par la diffraction. Tel, en particulier, celui décrit par John Brook et René Dandliker dans le numéro de novembre 1989 de la revue Solid State Technology sous le titre: Submicrometer Holographic Photolithography. REVENDICATIONS 1) Procédé optique d'enregistrement d'images sensiblement planes caractérisé en ce que l'onde d'éclairage du motif objet diffère notablement d'une onde plane sans toutefois présenter des fluctuations importantes d'intensité il s'applique en particulier au cas où la structure de l'objet présente une structure de quasi réseau. 2) Procédé optique d'enregistrement selon la revendication precédente, caractérisé en outre par le fait que l'image en question est obtenue a partir de l'éclairement d'un hologramme. Auquel cas l'invention concerne les conditions d'enregistrement de l'hologramme. 3) Procédé optique d'enregistrement selon la revendication 1, caractérisée par le fait que l'objet est éclairé au travers d'un diffuseur du type verre dépoli.