Brevet FR2673333A1 — publié le 19920828

Laser semiconducteur à absorbeur saturable. La présente invention a pour objet un laser constitué d'un matériau semiconducteur et comportant un absorbeur optique saturable Un tel absorbeur présente une capacité d'absorption d'énergie lumineuse qui est limitée et appelée absorbance Cette absorbance peut être commandée électriquement Elle fait apparaître, sur le diagramme qui relie la puissance lumineuse émise par un tel laser à l'intensité d'un courant électrique alimentant ce laser, un cycle d'hystérésis dont la largeur est liée à cette absorbance et peut donc être, elle aussi, commandée électriquement. Un laser présentant un tel cycle est parfois dit bistable. Les lasers semiconducteurs à absorbeurs saturables ont déjà fait l'objet de nombreuses publications et leurs utilisations potentielles pour le traitement de signaux optiques a suscité régulièrement de l'intérêt. Un document Lasher (G J Lasher "Analysis of a proposed bistable injection laser", Solid-state Electronics, Pergamon press 1964, vol 7, p 707) décrit un premier laser connu de ce genre Dans ce laser, qui est du type Fabry-Perot, deux électrodes supérieures se succèdent au-dessus d'un guide de lumière L'une injecte un courant d'alimentation à travers un amplificateur constitué par une section de ce guide Ce courant traverse une jonction semiconductrice dans laquelle ce guide est inséré Il injecte ainsi dans ce guide des porteurs de charges de types opposés, ce qui permet à cet amplificateur de réaliser l'amplification nécessaire à la croissance d'une oscillation lumineuse L'autre électrode supérieure injecte un courant de commande d'absorbance dans un absorbeur saturable qui est constitué par une autre section de ce guide Ce courant commande l'absorbance de cet absorbeur Il est de sens direct, ce sens étant repéré par rapport à la jonction semiconductrice dans laquelle le guide de lumière est inséré. Un document Harder Ch HARDER; K Y LAU: A YARIV. "Bistability and negative résistance in semiconductor lasers", Appl Phys lett 40 ( 2), 124, 1982) décrit un laser qui est analogue au précédent mais dans lequel un tel courant de commande -2- d'absorption est de sens inverse. Un document KONDO (K KONDO; H NOBUHARA; S YAMAKOSHI. "Giga-bit opération of wavelength conversion laser" Paper 13 D-9, Conférence "Photonic Switching 90 ", 12-14 Avril 1990, KOBE, Japon) décrit un deuxième laser connu dans lequel un absorbeur saturable est inséré entre deux sections d'amplificateur Chacune de ces deux sections est traversée par un courant d'alimentation injecté par une électrode supérieure surmontant cette section En raison de la résistivité limitée des matériaux l'absorbeur saturable est10 traversé par un courant qui est dérivé de ces courants d'alimentation Le guide de lumière de ce laser comporte en outre deux sections qui sont transparentes mais présentent des indices de réfraction commandés pour la lumière du laser, c'est-à-dire pour celle qui est amplifiée par les amplificateurs et absorbée par1 l'absorbeur saturable Ces deux sections transparentes sont l'une une section de décalage de phase qui est traversée par un courant d'accord de phase, l'autre une section d'accord de fréquence qui comporte un réflecteur de Bragg distribué et qui est traversée par un courant de commande de fréquence. La présente invention vise à atteindre, notamment, certains au moins des buts suivants: -.Rapidité de la commande de l'absorbance de l'absorbeur d'un laser semiconducteur. Possibilité de commander cette absorbance à l'aide d'un faible courant. Possibilité de commander cette absorbance par un faisceau lumineux. Facilité de réalisation d'un tel laser. Facilité d'intégration d'un tel laser sous la forme d'un ensemble optique éventuellement monolithique et éventuellement plus complexe. Et, dans ces buts, elle a pour objet un laser semiconducteur dans lequel deux sections successives d'un guide de lumière constituent un amplificateur de lumière et un absorbeur saturable,35 ce laser étant caractérisé par le fait qu'une section passive de ce -3- guide suit cet absorbeur. A l'aide des figures schématiques ci-jointes, on va décrire ci-après comment la présente invention peut être mise en oeuvre, étant entendu que les éléments et dispositions mentionnés et représentés ne le sont qu'à titre d'exemples non limitatifs. La figure 1 représente une vue en coupe longitudinale d'un dispositif incluant un laser et réalisant une mise en oeuvre de la présente invention. La figure 2 représente une vue d'une plaquette semiconductrice de ce laser en coupe par un plan horizontal passant par une couche de guidage de lumière de ce laser. Les figures 3 à 6 représentent des diagrammes de variation de la puissance optique émise par cette plaquette semiconductrice en fonction de l'intensité d'un courant d'alimentation injecté dans un15 amplificateur de cette plaquette, pour quatre valeurs de l'intensité d'un courant de commande d'absorption injecté dans un absorbeur de cette plaquette. Le dispositif donné en exemple est un dispositif à rétroaction positive pour le traitement d'un signal optique Il inclut un laser semiconducteur à absorbeur saturable On va considérer d'abord ce laser et décrire de manière générale certaines dispositions adoptées pour sa réalisation Ces dispositions sont analogues, quant à leurs fonctions indiquées, à des dispositions connues décrites dans le document Lasher (G J LASHER "Analysis of a25 proposed bistable injection laser", Solid-state Electronics, Pergamon press 1964, vol 7, p 707). Selon ces dispositions un laser comporte un empilement des couches suivantes, ces couches se succédant selon une direction verticale Z définie par rapport à cet empilement:30 une couche d'électrode inférieure 2 sous une face inférieure 3 d'une plaquette semiconductrice 4, une couche de confinement inférieure 6 appartenant à cette plaquette semiconductrice et présentant un premier type de conductivité électrique et un indice de réfraction,35 une couche de guidage de lumière 8 comportant un guide de lumière -4- Sl, 52, 53 constitué au moins partiellement d'un matériau semiconducteur en continuité cristalline avec cette couche de confinement inférieure et présentant un indice de réfraction supérieur à celui de cette couche de confinement inférieure pour permettre de réaliser un confinement optique vertical dans cette couche de guidage, une couche de confinement supérieure 10 appartenant à ladite plaquette semiconductrice et présentant une continuité cristalline avec ce guide de lumière, un deuxième type de conductivité électrique opposé au premier, et un indice de réfraction inférieur à celui de ce guide de lumière pour réaliser ledit confinement optique vertical, et une couche d'électrodes supérieures 12 sur une face supérieure 14 de ladite plaquette semiconductrice. Le guide de lumière Si, 52, 53 s'étend selon une direction longitudinale X dans la couche de guidage de lumière entre deux zones de confinement latérales 16, 18 dont les indices de réfraction sont choisis inférieurs à celui de ce guide pour réaliser un confinement optique transversal en confinant une lumière dans ce guide entre ces deux zones de confinement latérales Il comporte une succession de sections selon la direction longitudinale d'arrière en avant: Une première section est un amplificateur de lumière Sl Une deuxième section est un absorbeur saturable 52 et constitue avec cet amplificateur un ensemble actif Si, 52 Cet ensemble actif est constitué d'un matériau actif semiconducteur choisi pour agir sur une lumière d'émission qui se propage avec une longueur d'onde d'émission selon cette direction longitudinale Ce matériau est apte à être traversé par des courants électriques passant entre les deux couches de30 confinement inférieure et supérieure, l'intensité de tels courants étant comptée algébriquement dans un sens direct par rapport aux types de conductivité de ces deux couches Ce matériau amplifie cette lumière dans cet amplificateur lorsqu'un tel courant électrique traversant cet amplificateur présente une densité de courant supérieure à un seuil d'amplification Ce courant constitue -5- alors un courant d'alimentation Il Ce matériau absorbe cette lumière dans cet absorbeur lorsqu'un courant électrique traversant cet absorbeur présente une densité de courant inférieure à ce seuil d'amplification Ce courant constitue alors un courant de commande5 d'absorbance I 2 Cet absorbeur absorbe une énergie nouvelle de cette lumière seulement dans la mesure o l'énergie de cette lumière qu'il a déjà absorbée et accumulée pendant une période de conservation d'énergie est inférieure à son absorbance, cette période de conservation d'énergie ayant une durée limitée et10 précédant et incluant l'instant o cet absorbeur reçoit cette énergie nouvelle Cette absorbance est commandée par ce courant de commande. La couche d'électrodes supérieures comporte une électrode d'alimentation El localisée pour transmettre un dit courant d'alimentation Il vers la couche d'électrode inférieure 2 à travers l'amplificateur Sl, et une électrode de commande d'absorbance E 2 localisée pour transmettre un dit courant de commande d'absorbance I 2 vers la couche d'électrode inférieure à travers l'absorbeur 52. Ce laser comporte encore: une source d'alimentation 20 pour fournir ce courant d'alimentation à cette électrode d'alimentation, et une source de commande d'absorbance 22, 23, 24, 26 pour fournir ce courant de commande d'absorption à l'électrode de commande E 2. Des moyens de réflexion de lumière 27, 28 sont disposés de part et d'autre longitudinalement de l'ensemble actif Sl, 52 pour que la plaquette semiconductrice 4 constitue un émetteur de lumière émettant ladite lumière d'émission Ils sont constitués, dans le dispositif donné en exemple, par les faces arrière 27 et avant 28 de la plaquette 4, ces faces étant partiellement réfléchissantes pour constituer un résonateur Fabry-Perot Ils pourraient aussi être constitués par des miroirs externes ou par un réflecteur de Bragg distribué interne à cette plaquette. De manière habituelle les électrodes d'alimentation El et de -6- commande d'absorbance E 2 présentent la forme de rubans ayant, selon une direction transversale Y, des longueurs supérieures à la largeur du guide de lumière Si, 52, 53, des moyens de confinement électrique latéral étant prévus pour empêcher, au moins s partiellement lesdits courants d'alimentation Il et de commande d'absorption I 2 de passer à travers lesdites zones de confinement latérales 16, 18 Ces moyens de confinement électrique peuvent être notamment constitués par une composition ou structure interne convenable de ces zones de confinement. On peut adopter en outre certaines au moins des dispositions avantageuses qui vont être maintenant décrites de manière générale et qui, sauf indication contraire, sont adoptées dans le mode de mise en oeuvre donné en exemple. Selon une telle disposition dont les avantages apparaîtront ci-après, le guide de lumière SI, 52, 53 comporte, au sein de la plaquette semiconductrice 4 et à l'avant de l'absorbeur 52, une troisième section constituée d'un matériau passif choisi pour transmettre ladite lumière d'émission sans agir sensiblement ni sur son intensité ni sur sa vitesse de propagation, cette section20 constituant une section passive 53. Ce guide peut être simple, chacune de ses sections étant en continuité géométrique avec les précédentes Les couplages entre sections sont alors longitudinaux Ce guide peut aussi être composite, par exemple constitué de deux sous couches superposées. Le couplage entre l'absorbeur et la section passive peut alors être un couplage vertical couplant mutuellement ces deux couches. De plus ce guide peut comporter d'autres sections qui peuvent être, par exemple, une section de décalage de phase et une section d'accord de fréquence telles que décrites dans un document KONDO pour réaliser un laser à fréquence commandée (K KONDO; H NOBUHARA; S. YAMAKOSHI "Giga-bit opération of wavelength conversion laser". Paper 13 D-9, Conférence "Photonic Switching 90 ", 12-14 Avril 1990, KOBE, Japon) Par ailleurs certains composants non représentés pourraient être intégrés à la plaquette semiconductrice Tel pourrait être, -7- notamment le cas d'une photodiode appartenant à la source de commande d'absorbance ou d'un amplificateur de lumière supplémentaire externe à la cavité résonante du laser. Selon une autre disposition avantageuse, qui est rendue possible par la présence de la section passive 53, l'électrode de commande d'absorbance E 2 s'étend au moins partiellement au-dessus de cette section passive Cette disposition permet à cette électrode de présenter, selon la direction longitudinale, une dimension supérieure à la longueur de l'absorbeur Lorsque, ce qui est souvent le cas, cette longueur est plus petite que la largeur d'un ruban métallique que l'on sait former facilement pour réaliser cette électrode, cette diposition permet de réaliser facilement cette électrode Elle permet en même temps de réaliser un absorbeur plus court que la largeur de cette électrode, ceci permettant au15 laser de répondre rapidement aux variations du courant de commande d'absorbance. Une autre disposition peut être adoptée grâce à la présence de la section passive 53 Elle l'est avec avantage lorsque l'on souhaite que la plaquette 4 présente une face avant clivée 28.20 Selon cette disposition cette face avant est formée à une extrémité avant de la section passive 53 Cette disposition permet de réaliser la face avant de la plaquette par une opération de clivage habituelle dont on sait qu'elle entraine une imprécision sur la position de la face ainsi réalisée Cette imprécision est25 acceptable parce qu'elle affecte seulement la longueur de la section passive, alors qu'en l'absence de cette section, cette imprécision affecterait la longueur de l'absorbeur et empêcherait donc d'obtenir de manière reproductible une grande vitesse de réponse du laser au courant de commande d'absorbance. Selon une autre disposition avantageuse l'amplificateur Si et l'absorbeur 52 sont connectés optiquement à un composant optique 26 par l'intermédiaire de la section passive 53 Cette disposition facilite la réalisation d'un circuit optique incluant la plaquette 4 Ce composant est par exemple une photodiode 26 qui constitue un récepteur de lumière et fait partie de la source de commande -8- d'absorbance 22, 23, 24, 26. La présence de la section passive 53 pourrait présenter l'inconvénient de dévier une partie du courant de commande d'absorbance C'est pourquoi selon une autre dispositions avantageuse le laser comporte un obstacle au courant électrique sur au moins certains des trajets qui vont de l'électrode de commande d'aborbance E 2 à la couche d'électrode inférieure 2 en passant à travers la section passive 53 Cette disposition permet de réaliser une commande efficace en utilisant une source de commande10 d'absorbance fournissant un courant de relativement faible intensité, ceci parce qu'une fraction efficace relativement importante de ce courant passe à travers l'absorbeur alors que la condition à remplir relativement à ce courant pour réaliser une commande efficace est que cette fraction efficace ait une intensité suffisante. Une disposition particulière de réalisation dudit obstacle au courant électrique résulte du fait que la résistivité électrique du matériau passif de la section 53 est sensiblement supérieure à celle du matériau actif des sections Si et 52 Cette dernière20 disposition constitue un mode de réalisation de la disposition précédente Elle peut être particulièrement efficace Elle n'est pas appliquée dans le dispositif donné en exemple alors que la disposition qui va être maintenant indiquée et qui est particulièrement facile à réaliser y est appliquée. Selon cette autre disposition avantageuse des canaux d'isolation électrique sont formés dans la plaquette semiconductrice 4 à partir de sa dite face supérieure 14 Un canal d'isolation arrière Cl est localisé longitudinalement entre l'électrode d'alimentation El et l'absorbeur 52 Un canal30 d'isolation avant C 2 est localisé longitudinalement au voisinage du bord avant de l'électrode de commande E 2 et il constitue ledit obstacle au courant électrique. Le laser dont diverses dispositions viennent d'être décrites émet ladite lumière d'émission, sous la forme d'un faisceau P 3, en réponse à un signal d'entrée de nature électrique tel que le -9- courant de commande d'absorbance I 2 Par contre le dispositif de traitement de signal optique qui inclut ce laser émet cette lumière en réponse à un signal d'entrée de nature optique Ce signal d'entrée est constitué par un faisceau lumineux Pl reçu par la5 photodiode 26 qui constitue un récepteur de lumière inclus dans la source de commande d'absorbance Ce faisceau commande un courant qui traverse cette photodiode et qui constitue, pour partie, le courant de commande d'absorbance I 2 Il commande ainsi un signal de sortie de nature optique constitué par le faisceau P 3. Ce dispositif de traitement comporte les éléments suivants un récepteur de lumière constitué par la photodiode 26 pour recevoir d'une part un signal d'entrée Pl de nature optique d'autre part un signal optique interne P 2, et pour fournir, en réponse à l'ensemble de ces deux signaux, un signal électrique interne15 constitué par le courant de commande d'absorbance I 2, et un émetteur de lumière constitué par la plaquette semiconductrice 4 pour fournir, en réponse à ce signal électrique interne, d'une part ledit signal optique interne en constituant une boucle de rétroaction d'autre part un signal de sortie P 3 de nature optique. Un tel dispositif permet de modifier la forme, la puissance et éventuellement la fréquence d'un signal optique. Selon une disposition avantageuse ledit gain de boucle est voisin de l'unité ou modérément supérieur à l'unité Il est apparu que le choix d'un tel gain de boucle permettait d'obtenir une variation fortement non linéaire de la puissance du signal de sortie en fonction de celle du signal d'entrée Une courbe caractéristique du dispositif représente cette variation Elle peut être en forme de S ou, dans le cas d'un gain de boucle supérieur à un, présenter un cycle d'hystérésis, c'est-à- dire une bistabilité. Cette dernière peut notamment permettre de restituer la forme d'une impulsion initialement rectangulaire qui a été déformée au cours de sa transmission Bien entendu le gain total de l'amplificateur de traitement peut être choisi très supérieur au gain de boucle si on35 souhaite obtenir un signal de sortie de puissance sensiblement -10- supérieure à celle du signal d'entrée. L'obtention d'une bistabilité souhaitée dans la courbe caractéristique du dispositif est facilitée par la présence de l'absorbeur saturable 52 dont l'absorbance est convenablement5 choisie. Le courant de commande d'absorbance I 2 commande l'absorbance de l'absorbeur saturable 52, la source de commande d'absorbance comportant le récepteur de lumière 26 de manière que ce courant constitue ledit signal électrique interne Cette disposition10 présente l'avantage que l'intensité du signal électrique interne fourni par le récepteur de lumière peut être très petite Cette petitesse facilite la réalisation du dispositif D'autre part elle permet d'utiliser un récepteur 26 à réponse rapide tel qu'une photodiode rapide du type PIN polarisée en inverse L'emploi d'une15 telle polarisation de cette photodiode est rendu possible, sans créer un risque de détérioration de la plaquette 4, par le fait que le courant I 2 est de sens direct Cette polarisation est par exemple réalisée par une source de potentiel 24 Le courant I 2 est constitué par la somme du courant traversant cette photodiode et20 d'un courant de prépolarisation fourni par une autre source de potentiel 22 à travers une résistance 23 Ces deux sources de potentiels et cette photodiode constituent ensemble la source de commande d'absorbance. Par ailleurs il peut être avantageux que la longueur d'onde du signal de sortie P 3 soit commandée Ceci pourrait être par exemple réalisé à l'aide d'un réflecteur de Bragg distribué qui serait formé dans une section de commande de fréquence du guide de lumière et qui serait complété par une section d'accord de phase, les indices de réfraction de ces deux sections étant commandés comme30 connu par des courants électriques injectant des porteurs de charge dans ces sections. La longueur d'onde d'émission peut par ailleurs être différente de celle du signal d'entrée Pl Cette disposition réalise un découplage optique entre le laser constitué par la35 plaquette 4 et une source optique amont non représentée fournissant -11- le signal d'entrée constitué par le faisceau Pl Ce découplage élimine tout effet perturbateur de rétroaction optique parasite sur cette source amont. On va maintenant donner de manière plus particulière diverses indications sur les éléments précédemment mentionnés. La plaquette 4 a été réalisée à partir d'un substrat de phosphure d'indium In P dopé N par épitaxie en phase liquide Les matériaux actif (sections Sl et 52) et passif (section 53) utilisés seront dits ci-après de type l et 2 Ce sont des alliages quaternaires non intentionnellement dopés Ils sont constitués d'indium, de gallium, d'arsenic et de phosphore du type In Ga As P et accordés en maille avec le substrat Ces 1-x x y 1-y matériaux présentent, respectivement des bandes interdites correspondant à des longueurs d'onde de 1 530 nm et i 300 nm La15 première de ces deux longueurs constitue ladite longueur d'onde d'émission Les matériaux de confinement, c'est-à-dire ceux des couches de confinement, sont le substrat d'In P dopé N pour la couche de confinement inférieure 6 et une couche épitaxiée d'In P dopé p pour la couche de confinement supérieure 10 Une couche de contact épitaxiée n'est pas représentée Son épaisseur est 200 nm. Elle est constituée d'un matériau de contact quaternaire de type 2 et fortement dopée p Elle est présente sous les électrodes El et E 2. La plaquette 4 a été réalisée selon la filière technologique dite du phosphure d'indium, mais son principe de réalisation peut être transféré à tout système de matériaux semiconducteurs tel que celui de la filière arséniure de gallium, Ga As Les matériaux de type i et 2 peuvent également être remplacés par des structures plus complexes telles que des structures à multi-puits quantiques,30 à super réseaux, ou à empilement de couches de matériaux différents, dopés ou non Il suffit que la structure mise en place du matériau i présente un gain optique à la longueur d'onde d'émission désirée et que la structure mise en place du matériau de type 2 soit transparente pour cette même longueur d'onde.35 Les matériaux actif et passif doivent être entourés de part et -12- d'autre par des matériaux de confinement également transparents à la longueur d'onde d'émission, afin de constituer un guide d'onde monomode Un matériau sera dit transparent si son absorption linéique est typiquement inférieure à 50 cm Les différents éléments de la plaquette 4 réalisée peuvent être précisés comme suit: Amplificateur Sl et absorbeur 52 constitués de matériau de type 1, dit actif présentant un gain optique maximal à la longueur d'onde d'émission et non-intentionnellement dopé N à 101 cm 3 Section passive 53 constituée de matériau de type 2, dit passif, transparent pour la longueur d'onde d'émission, présentant un gain optique maximal à la longueur d'onde de 1 300 nm, dopé N à 17 cm 3 Couche de confinement supérieure 10 de type In P dopée p avec une 17 18 -3 concentration comprise entre 10 et 2 10 cm, d'épaisseur typiquement supérieure à 1000 nm. Couche de confinement inférieure 6 de type In P, dopée N avec une concentration comprise entre 101 et 5 1018 cm 3, d'épaisseur supérieure à 1000 nm.20 Absorbeur 52 non directement alimenté par l'électrode El Il présente une absorbance saturable à la longueur d'onde d'émission. Sa longueur typique peut varier entre 0,005 et 0,025 mm Sa longueur réalisée est, par exemple, de 0,01 mm. La dimension de l'électrode El selon ladite direction longitudinale peut typiquement varier entre 0,1 et 0,6 mm, par exemple 0,4 mm. L'électrode de commande d'absorbance E 2 est typiquement située au voisinage de la transition (à une distance inférieure à 0,01 mm) entre les matériaux actif et passif et donc de l'absorbeur30 saturable Sa dimension, selon la direction X peut varier entre 0,001 et 0,1 mm Elle détermine directement la valeur du courant de commande I 2 Il y a intérêt à rendre cette électrode la plus étroite possible, une valeur réalisée étant de 0,085 mm. Les canaux d'isolement Cl et C 2 sont creusés dans le matériau de contact (non-représenté) et la couche de confinement supérieure 10 -13- afin de déterminer les valeurs des résistances entre sections ou entre électrodes Ces canaux peuvent typiquement avoir une largeur de 0,005 mm et une profondeur égale au 3/4 de l'épaisseur totale du matériau de contact et du matériau de confinement supérieur.5 La résistance électrique entre l'électrode d'alimentation El et l'absorbeur saturable 52 peut varier entre 100 ohms et 10 000 ohms. On a testé les valeurs 200 ohms et 1 400 ohms. La résistance électrique entre l'électrode de commande d'absorbance E 2 et l'absorbeur saturable 52 a été testée avec une valeur de 20 ohms. Les figures 3, 4, 5 et 6 représentent le comportement du laser réalisé décrit ci-dessus par quatre valeurs du courant de commande I 2 respectivement 0-0,1-0,5 et 1 MA Elles montrent le cycle d'hystérésis de la puissance optique émise (en ordonnée) en15 fonction de l'intensité du courant (en abscisse) injecté dans le laser à travers l'électrode d'alimentation El. Il est remarquable qu'une intensité du courant I 2 aussi faible que 0, 1 m A permette de commander l'absorbance de l'absorbeur saturable Une fermeture complète du cycle d'hystérésis est obtenue20 pour une variation de I 2 inférieure à 1 m A Une augmentation de I 2 réduit principalement la valeur du courant Il provoquant l'émission lumineuse, mais il est important de constater que la valeur du courant Il provoquant l'extinction est également réduite. Un intérêt important de la présente invention réside donc dans le fait que l'on peut commander la largeur du cycle d'hystérésis d'un laser à semiconducteur bistable par des courants de commande très faibles typiquement inférieurs au m A et qu'en plus cette commande se fait avec une polarisation directe de la jonction semiconductrice qui reçoit ce courant au sein de ce laser Ceci30 permet de réaliser plus facilement un dispositif de traitement à rétroaction dans lequel le signal électrique interne 12 est fourni par une photodiode polarisée en inverse telle que 26. -14- REVENDICATIONS 1) Laser semiconducteur à absorbeur saturable dans lequel deux sections successives d'un guide de lumière constituent un amplificateur de lumière (Si) et un absorbeur saturable ( 52), ce laser étant caractérisé par le fait qu'une section passive ( 53) de ce guide suit cet absorbeur. 2) Laser selon la revendication 1, ce laser comportant un empilement des couches suivantes, ces couches se succédant selon une direction verticale définie par rapport à cet empilement:10 une couche d'électrode inférieure ( 2) sous une face inférieure ( 3) d'une plaquette semiconductrice ( 4), une couche de confinement inférieure ( 6) appartenant à ladite plaquette semiconductrice et présentant un premier type de conductivité électrique et un indice de réfraction,15 une couche de guidage de lumière ( 8) comportant un guide de lumière (Sl, 52, 53) constitué au moins partiellement d'un matériau semiconducteur en continuité cristalline avec cette couche de confinement inférieur et présentant un indice de réfraction supérieur à celui de cette couche de confinement inférieure, pour20 permettre de réaliser un confinement optique vertical dans cette couche de guidage, une couche de confinement supérieure ( 10) appartenant à ladite plaquette semiconductrice et présentant une continuité cristalline avec ce guide de lumière, un deuxième type de conductivité25 électrique opposé au premier, et un indice de réfraction inférieur à celui de ce guide de lumière pour réaliser ledit confinement optique vertical, et une couche d'électrodes supérieures ( 12) sur une face supérieure ( 14) de ladite plaquette semiconductrice, ledit guide de lumière ( 51, 52, 53) s'étendant selon une direction longitudinale (X) dans ladite couche de guidage de lumière entre deux zones de confinement latérales ( 16, 18) dont des indices de réfraction sont choisis inférieurs à celui de ce guide pour réaliser un confinement optique transversal en confinant35 une lumière dans ce guide entre ces deux zones de confinement -15- latérales, ce guide de lumière comportant une succession de sections selon ladite direction longitudinale d'arrière en avant, une première section étant un amplificateur de lumière ( 51), une deuxième section étant un absorbeur saturable ( 52) et constituant5 avec cet amplificateur un ensemble actif (Si, 52), cet ensemble actif étant constitué d'un matériau actif semiconducteur choisi pour agir sur une lumière d'émission qui se propage avec une longueur d'onde d'émission selon ladite direction longitudinale, ce matériau étant apte à être traversé par des courants électriques10 passant entre les deux dites couches de confinement inférieure et supérieure, une intensité de ce courant étant comptée algébriquement dans un sens direct par rapport aux types de conductivité de ces deux couches, ce matériau amplifiant cette lumière dans cet amplificateur lorsqu'un courant électrique15 traversant cet amplificateur présente une densité de courant supérieure à un seuil d'amplification et constitue alors un courant d'alimentation (Il), ce matériau absorbant cette lumière dans cet absorbeur lorsqu'un courant électrique traversant cet absorbeur présente une densité de courant inférieure à ce seuil20 d'amplification et constitue alors un courant de commande d'absorbance ( I 2), cet absorbeur absorbant une énergie nouvelle de cette lumière seulement dans la mesure o l'énergie de cette lumière qu'il a absorbée et accumulée pendant une période de conservation d'énergie est inférieure à une absorbance de cet25 absorbeur, cette période de conservation d'énergie ayant une durée limitée et précédant et incluant l'instant o cet absorbeur reçoit cette énergie nouvelle, cette absorbance étant commandée par ce courant de commande, ladite couche d'électrodes supérieures comportant une électrode d'alimentation (El) localisée pour transmettre un dit courant d'alimentation (Il) vers ladite couche d'électrode inférieure ( 2) à travers ledit amplificateur (Sî), et une électrode de commande d'absorbance (E 2) localisée pour transmettre un dit courant de commande d'absorbance (I 2) vers ladite couche d'électrode inférieure à travers ledit absorbeur -16- ( 52), ledit laser comportant encore une source d'alimentation ( 20) pour fournir ledit courant d'alimentation à cette électrode d'alimentation, une source de commande d'absorbance ( 22, 23, 24, 26) pour fournir ledit courant de commande d'absorbance à ladite électrode de commande d'absorbance, et des moyens de réflexion de lumière ( 27, 28) disposés de part et d'autre longitudinalement dudit ensemble actif (Sî, 52) pour que ladite plaquette semiconductrice ( 4) constitue un émetteur de lumière émettant ladite lumière d'émission, ledit laser étant caractérisé par le fait que ledit guide de lumière (S, 52, 53) comporte, au sein de ladite plaquette semiconductrice ( 4) et à l'avant dudit absorbeur ( 52), une15 troisième section constituée d'un matériau passif choisi pour transmettre ladite lumière d'émission sans agir sensiblement ni sur son intensité ni sur sa vitesse de propagation, cette section constituant une section passive ( 53). 3) Laser selon la revendication 2 caractérisé par le fait que ladite électrode de commande d'absorption (E 2) est au moins partiellement localisée au-dessus de ladite section passive ( 53). 4) Laser selon la revendication 3 caractérisé par le fait qu'il comporte un obstacle (C 2) au courant électrique sur au moins certains des trajets qui vont de ladite électrode de commande25 d'absorbance (E 2) à ladite couche d'électrode inférieure ( 2) en passant à travers ladite section passive ( 53). ) Laser selon la revendication 4 caractérisé par le fait que la résistivité électrique du dit matériau passif ( 53) est sensiblement supérieure à celle dudit matériau actif ( 51, 52).30 6) Laser selon la revendication 4 caractérisé par le fait que des canaux d'isolation électrique arrière (Cl) et avant (C 2) sont formés dans ladite plaquette semiconductrice ( 4) à partir de sa dite face supérieure ( 14), ledit canal d'isolation arrière étant localisé longitudinalement au voisinage d'un bord avant de ladite35 électrode de commande d'absorbance (E 2). -17- 7) Laser selon la revendication 2 caractérisé par le fait que ladite plaquette semiconductrice ( 4) présente une face avant clivée ( 28) formant une extrémité avant de ladite section passive ( 53). 8) Laser selon la revendication 2 caractérisé par le fait que s lesdits amplificateur (Si) et absorbeur ( 52) sont connectés optiquement à un composant optique ( 26) par l'intermédiaire de ladite section passive ( 53). 9) Laser selon la revendication 2 dans lequel lesdites électrodes d'alimentation (El) et de commande d'absorption (E 2) présentent la forme de rubans ayant, selon une direction transversale (Y), des longueurs supérieures à la largeur dudit guide de lumière (Si, 52, 53), des moyens de confinement électrique latéral étant prévus pour empecher, au moins partiellement lesdits courants d'alimentation (Il) et de commande d'absorbance (I 2) de passer à travers lesdites zones de confinement latérales ( 16, 18).