Brevet FR2675574A1 — publié le 19921023

CAPTEUR OPTIQUE APTE A FOURNIR UNE INFORMATION REPRESENTATIVE DE L'ETAT D'UNE SURFACE. La présente invention se rapporte à un capteur optique destiné à fournir une information, visuelle ou non, représentative de l'état existant sur au moins une portion définie de la surface d'un objet. Pour surveiller l'état en surface d'un objet, par exemple pour contrôler l'état de surface d'un tuyau fabriqué et défilant en continu, il est actuellement nécessaire de positionner autour du tuyau un nombre de caméras optiques suffisant pour pouvoir couvrir toute la section circulaire Au minimum, il convient de prévoir trois caméras optiques placées à 120 degrés l'une par rapport à l'autre, mais le nombre peut être supérieur à trois si une très bonne définition est exigée Dans le dernier cas, il convient en outre d'utiliser des caméras de grande précision, comportant un système de lentilles extrêmement soigné et sophistiqué Si les dispositifs connus procurent des résultats techniques satisfaisants, ils ont pour inconvénients d'être extrêmement lourds, complexes, et donc onéreux, et d'être souvent exagérément encombrants. Les inconvénients existent pour la plupart des dispositifs, industriels ou non, qui font appel à la représentation optique de l'état existant en un endroit déterminé de la surface d'un objet. Par exemple, pour aligner, en vue de la fabrication de circuits intégrés à semi-conducteurs, un grand masque de microélectronique avec la couche qu'il doit recouvrir avec très grande précision, on peut utiliser, quatre caméras optiques de haute définition, ce qui est bien entendu là aussi très lourd en prix de revient et encombrement. L'invention vise à remédier à ces inconvénients Elle se rapporte à cet effet à un capteur optique apte à fournir une information représentative de l'état existant sur au moins une portion définie de la surface d'un objet, le capteur comportant au moins une tête optique comportant des microguides optiques réalisés dans un substrat, une tranche de substrat, qui porte les points de départ des microguides, ayant une forme en corrélation avec la portion de surface d'objet à examiner, tandis que les points d'arrivée des microguides convergent sur une barrette de photodétecteurs, la barrette de photodétecteurs étant connectée à un dispositif électronique de traitement. L'invention sera mieux comprise, et ses avantages et autres caractéristiques ressortiront, lors de la description suivante de quelques exemples non limitatifs de réalisation et d'utilisation du capteur optique, en référence aux dessins schématiques annexés dans lesquels: La figure 1 est un schéma synoptique d'une installation de surveillance optique de l'état de surface d'un tube défilant en continu, l'installation utilisant deux capteurs optiques conformes à l'invention; La figure 2 montre une variante du capteur utilisé pour l'installation de la figure 1; La figure 3 montre une application de l'invention à l'alignement de plaques, en particulier de masques pour la réalisation de circuits intégrés à semi-conducteurs; La figure 4 illustre de la même façon l'application de l'invention pour le centrage d'une pièce cylindrique; La figure 5 montre comment l'invention est applicable à l'examen optique de l'état de surface d'un perçage, cylindrique ou non; et La figure 6 montre une application de l'invention à la surveillance de la fabrication de plaques dont la tranche a une forme tourmentée et prédéterminée. En se reportant à la figure 1, la référence 1 désigne un tube ou tuyau, vu en section transversale, qui est classiquement fabriqué en continu et dont on désire surveiller l'état de surface. On utilise dans ce but deux têtes optiques accolées 2 et 3, qui sont chacune constituées d'un substrat formé, par exemple, par une plaque de verre, respectivement 4 et 5, à la surface de laquelle est réalisé, un faisceau de microguides lumineux, respectivement 6 et 7 Les microguides peuvent être réalisés par toute technologie d'optique intégrée appropriée, par exemple par échange d'ions, par dépôt de couches sur silicium, par dopage sur du niobate de lithium, par diffusion A titre indicatif, l'épaisseur du substrat peut être de l'ordre du millimètre. Chacun de ces faisceaux part d'une portion semi-circulaire 8,9 d'une première tranche 10,11 du substrat 4,5 correspondant, et il aboutit, sur la tranche opposée 12,13, sur une barrette de photodétecteurs classique, respectivement 14 et 15 Une telle barrette comporte un ensemble de photodétecteurs testés électroniquement par balayage ou par multiplexage Selon un mode de réalisation préférentiel, on utilise des barrettes CCD, testées par balayage électronique. Par construction des faisceaux 6,7 de microguides, chacun des microguides aboutit sur au moins un point photodétecteur associé de la barrette de photodétecteurs correspondante, ce qui est actuellement réalisable (avec précision) par des procédés de photolithographie, chaque barrette 14,15 étant fixée sur la tranche correspondante 12,13 du substrat 4,5 qui lui est associé. Le tube 1 étant uniformément éclairé par un dispositif externe (classique non représenté), chaque microguide du faisceau 6,7 transmet aux points photodétecteurs de la barrette 14,15 qui lui sont associés un niveau d'intensité lumineuse qui est représentative de la réflectivité, et donc de l'état de surface et de la forme du petit élément du tube 1 qui se trouve en face de l'extrémité amont (située sur la portion semi-circulaire 8,9 précitée) de ce microguide. A chaque barrette 14 et 15 est classiquement associée une broche de connexion électrique, respectivement 16 et 17, électriquement connectée à une carte électronique 18,19 de commande de balayage, d'alimentation, et de relevé et mise en forme des informations, la carte et la broche étant normalement fournies par le constructeur. Les données que constituent ces informations sont transmises, par des liaisons bidirectionnelles 20 et 21, à un organe central de traitement 22, par exemple à microprocesseur, éventuellement relié à des moyens de visualisation, constitués par exemple par un écran 23, et/ou un afficheur alpha-numérique 24. Les caractéristiques d'un tube standard en bon état ayant été préalablement enregistrées dans une mémoire du microprocesseur compris dans l'organe de traitement 22, tout défaut de surface du tube 1, qui défile en continu à travers le cercle 8,9 réalisé par l'aboutement des deux tranches 10,11 des substrats 4 et 5, sera détecté par le ou les microguides qui lui font face et pourra, par comparaison, être visualisé, au moins en position, sur les moyens de visualisation 23 et/ou 24. Dans l'exemple de réalisation qui vient d'être décrit, la barrette ainsi que sa broche et sa carte associées sont assez proches de la tête optique et de l'objet qu'elle surveille Ceci peut être gênant dans certains cas, et à ce sujet la figure 2 montre une variante de réalisation dans laquelle la barrette de photodétecteurs est déportée par l'emploi d'une nappe de fibres optiques. Comme on le voit sur la figure 2, chaque tête optique à microguides, telle que la tête 5 de la figure 1, est séparée en deux substrats 5 'et 5 ", chacun porteur d'un faisceau de microguides, respectivement le faisceau 7 ' et le faisceau 7 " comportant chacun un même nombre N de microguides. Ces deux substrats 5 'et 5 " sont reliés par N fibres optiques placées entre la tranche amont 13 ' du substrat 5 ' et la tranche amont 11 " du substrat 5 ". Comme on le voit sur le dessin, le faisceau 7 ' relie les N points de captage lumineux situés sur le demi-cercle 9 aux extrémités amont des N fibres optiques 25 correspondantes, tandis que le faisceau 7 " relie les extrémités aval de ces N fibres optiques 25 aux N photodétecteurs de la barrette de photodétecteurs 15 Les figures 7 ' et 7 " ont une forme adaptée pour permettre leur connexion aux fibres optiques de liaison 25 En effet, le diamètre et l'écartement des fibres optiques est généralement très supérieur à l'écartement des microguides à leur liaison avec la barrette ou sur la tranche 9 de détection Les faisceaux 7 ' et 7 " ont donc une forme divergente en direction des fibres optiques de liaison On obtient finalement un résultat optique équivalent à celui du circuit selon la figure 1, avec report à distance de la partie traitement électronique constituée par la barrette de photodétecteurs et la carte électronique qui lui est associée. La figure 3 montre une application de l'invention au positionnement précis d'une plaque 26, pouvant être par exemple un masque de fabrication de circuit intégré, par rapport à un repère fixe constitué ici par quatre croix 27 A à 27 D. On utilise, pour réaliser ce genre d'alignement, quatre têtes optiques linéaires à microguides 28 A à 28 D, toutes identiques, semblables à celles précédemment décrites, et bien entendu chacune associée à une barrette de photodétecteurs (non représentées). Chacune de ces têtes optiques est positionnée de manière définie, et judicieusement choisie, par exemple tel que représenté au dessin, au dessus de la croix, respectivement 27 A à 27 D, qui lui correspond Chacune de ces croix correspond donc, sur la tête optique qui lui est associée, à une graduation (donc à un microguide) bien déterminée de cette tête optique. Comme chaque bord de la plaque 26 donne aussi, lorsque la plaque est glissée sous les têtes optiques 28 A à 28 D, une indication optique qui correspond à la graduation correspondante de chaque tête, on comprend aisément que la plaque sera correctement centrée lorsque les écarts entre les graduations relevées par les barrettes 28 A, 28 C et respectivement 28 B,28 D seront identiques On obtient ainsi un alignement très précis et réalisé à moindre coût. Ce même genre de dispositif est applicable, comme montré sur la figure 4, au centrage de l'axe O d'une pièce cylindrique 29, par exemple d'une pièce tubulaire, par rapport à un point déterminé C On utilise alors trois têtes optiques linéaires 30 A à 30 C, à microguides, que l'on positionne comme représenté, par exemple à degrés l'une de l'autre et toutes trois dirigées vers le point C, à une distance de celui-ci sensiblement égale au rayon R de la section droite de la pièce cylindrique circulaire 29 (supposée vue en bout sur le dessin) Le centrage sera alors acquis lorsque les graduations (données chacune par la tranche circulaire de la pièce 29) des trois têtes 30 A à 30 C seront égales. A noter que le dispositif est d'une souplesse appréciable, puisqu'il est indépendant du rayon R de la pièce 29 à centrer: pour un rayon plus ou moins grand, il suffit de rapprocher ou d'éloigner les trois têtes optiques 30 A à 30 C. Une autre application de l'invention est schématisée sur la figure 5 Il s'agit alors d'inspecter l'état en surface d'un perçage 31, cylindrique ou non, borgne ou non On utilise pour ceci une tête optique à microguides 32, toujours construite sur le même principe, mais dont le substrat de verre 33 a une forme plate et longiligne, de dimensions transversales inférieures à celles du trou 31 Les embouchures amont 34 des microguides 35 sont alors régulièrement réparties sur les deux bords latéraux 36,37 de la plaque de verre allongée 33. Afin d'éclairer l'intérieur du trou 31, un microguide 35 sur deux peut être alimenté en intensité lumineuse d'éclairement, et n'est donc pas utilisé pour le captage optique (système non représenté sur la figure 5) A noter bien entendu que la disposition alternée "microguide d'éclairage microguide de détection optique" du faisceau est aussi utilisable dans toutes les réalisations précédemment décrites D'une manière générale, certains microguides du faisceau peuvent être affectas à l'éclairage de la surface à examiner, tandis que les autres sont affectés à la détection. Enfin, la figure 6 montre l'utilisation d'une tête de capteur optique, comportant une plaque de verre sensiblement rectangulaire 38 avec faisceau de microguides 39, pour la surveillance du profil prédéfini 41 de la tranche d'une pièce de fabrication 40 en grande ou petite série Dans ce cas, les informations transmises par les microguides sont comparées à des informations de référence, correspondant au profil, mises en mémoire dans l'organe central de traitement. A noter que, pour l'exécution de certaines réalisations conformes à l'invention, il convient de découper et polir avec précision la tranche amont du substrat de verre qui contient les embouchures amont des microguides, c'est à dire les points de captage de la tête optique qui fait partie de la présente invention Avantageusement, la découpe peut être effectuée par jet d'eau chargé de microparticules abrasives, par exemple de microparticules de diamant: on obtient ainsi une tranche nette, bien polie, et d'un profil précis, pouvant notamment être curviligne. L'invention n'est nullement limitée aux exemples de réalisation qui viennent d'être décrits Bien au contraire, d'autres variantes et formes d'exécution sont envisageables, dans le cadre d'applications semblables ou différentes Il est, par exemple, possible de former des microguides sur les faces supérieure et inférieure du substrat d'une tête de captage, les microguides de l'une des faces étant affectés à l'éclairage de la surface à examiner et les microguides de l'autre face étant affectés à la détection. REVENDICATIONS 1 Capteur optique apte à délivrer une information représentative de l'état existant sur au moins une portion définiedela surfaced'unobjet ( 1,26,29,31,41), caractériséen ce qu'il comporte au moins une tête optique comportant des microguides optiques ( 6,7,35,39) réalisés dans un substrat, une tranche ( 8,9) du substrat, qui porte les points de départ des microguides ( 6,7), ayant une forme en corrélation avec la portion de surface d'objet ( 1) à examiner, tandis que les points d'arrivée des microguides ( 6,7) convergent sur une barrette de photodétecteurs ( 14,15), la barrette de photodétecteurs étant connectée à un dispositif électronique ( 18 à 24) de traitement. 2 Capteur optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la tête optique à microguides est scindée en deux parties ( 5 ',5 ") éloignées l'une de l'autre et comportant chacune un faisceau ( 7 '7 ") de microguides, deux faisceaux ( 7 ',7 ") de microguides étant reliés entre eux par un nombre correspondant de fibres optiques ( 25), et ayant une forme adaptée pour pouvoir réaliser leur aboutement au faisceau de fibres optiques de liaison ( 25). 3 Capteur selon l'une des revendications 1 et 2, appliqué à l'alignement d'une plaque ( 26) par rapport à des repères fixes ( 27 A à 27 D), caractérisé en ce qu'il comporte au moins une tête optique à microguides ( 28 A à 28 D), associée à chaque repère ( 27 A à 27 D) et apte à fournir une première indication fixe relative à la position du repère et une autre indication variable et relative à la position du bord correspondant de la plaque ( 26). 4 Capteur selon l'une des revendications 1 et 2, appliqué au centrage d'une pièce ( 29), caractérisé en ce qu'il comporte plusieurs têtes optiques à microguides ( 30 A à 30 B) orientées vers le point de centrage désiré (C), et placées de manière à être à hauteur du bord de la pièce à centrer ( 29), de façon à fournir chacun une indication représentative de sa position par 1 O rapport au bord. Capteur selon l'une des revendications 1 et 2, appliqué à l'examen de l'état en surface d'un perçage ( 31), caractérisé en ce que la tête optique à microguides ( 32) a une forme allongée lui permettant d'être introduite dans le perçage ( 31). 6 Capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que certains microguides de la tête optique sont connectés à une source lumineuse de manière à éclairer une portion de la surface à examiner. 7 Capteur selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'un microguide sur deux est connecté à ladite source lumineuse. 8 Capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que le substrat de la tête optique à microguides est au moins partiellement découpée par jet d'eau chargé de microparticules abrasives.