Brevet FR2685126A3 — publié le 19930618

FR 2685126 A3 19930618 FR 9204707 A 19920416 L'invention concerne un manomètre d'ionisation à cathode chaude. Un manomètre d'ionisation à cathode chaude comportant les électrodes suivantes disposées, le long d'un axe, dans l'ordre suivant, à distance les unes des autres, a) un filament de cathode thermoionique, présentant une partie centrale active et des parties latérales de fixation, b) une électrode de commande plane et en forme de diaphragme, c) une électrode d'accélération plane, et d) une électrode plane de captage des ions, et comportant une plaque de base, sur laquelle sont montées l'électrode de commande, l'électrode d'accélération et l'électrode de captage des ions, chacune par l'intermédiaire d'une attache ou d'un pied dirigé à angle droit par rapport à la partie principale de l'électrode concernée et par l'intermédiaire d'un boulon de fixation relié au pied de fixation, est décrit dans le brevet GB 2195 495 B (figure 7). L'électrode de commande, l'électrode d'accélération et l'électrode de captage des ions ont chacune, sur leur bord inférieur, une attache ou un pied de fixation dirigé à angle droit, qui est vissé sur un boulon de fixation servant également au raccordement électrique Les boulons de fixation passent au travers d'une plaque de base en métal, par rapport à laquelle ils sont isolés par des douilles de céramique. Cette construction est compliquée et on doit procéder à un montage très soigné car les douilles de céramique se cassent facilement. Un but de la présente invention est de créer un manomètre d'ionisation à cathode chaude, comportant les caractéristiques indiquées ci-dessus, qui soit plus robuste et plus simple à fabriquer et à monter, et qui soit de construction plus petite. L'invention a pour objet un manomètre d'ionisation à cathode chaude, comportant un système d'électrodes comprenant les électrodes suivantes disposées, le long d'un axe, dans l'ordre suivant, à des distances relatives les unes par rapport aux autres, a) un filament de cathode thermoionique, présentant une partie centrale active et des parties latérales de fixation, b) une électrode de commande, plane et en forme de diaphragme, c) une électrode d'accélération plane, et d) une électrode plane de captage des ions, et comportant une plaque de base, sur laquelle sont montées l'électrode de commande, l'électrode d'accélération et l'électrode de captage des ions, chacune par l'intermédiaire d'un moyen support ou de fixation s'étendant à angle droit par rapport à la partie principale de l'électrode concernée et par l'intermédiaire d'un boulon de fixation relié au moyen support. Suivant un aspect général de la présente invention les électrodes sont supportées par des moyens d'isolation plats, tels que des moyens céramiques. Suivant un autre aspect particulier de l'invention les boulons de fixation sont maintenus, dans chaque cas, sur la plaque de base au moyen de barres céramiques en forme de bandes, la plaque de base étant constituée de métal. Suivant un second aspect particulier de l'invention, la plaque de base est constituée d'un matériau céramique et elle est pourvue, sur l'une au moins de ses surfaces principales opposées, d'une couche métallique qui se termine à distance des bords des trous recevant les boulons de fixation. Les moyens céramiques plats peuvent comporter des barres céramiques disposées à angle droit par rapport à l'axe du système d'électrodes et fixées, en ce qui les concerne, sur une plaque de base, métallique ou bien ils peuvent être réalisés au moyen d'une plaque de céramique intégrale en une seule pièce, métallisée en partie sur au moins une de ses surfaces principales opposees. L'électrode d'accélération et l'électrode de captage des ions peuvent présenter chacune un pied coudé qui est relié à un goujon de fixation, de préférence par soudage, l'électrode de captage des ions et l'électrode d'accélération sont maintenues, au moyen de pieds tournés l'un vers l'autre, sur, un premier ensemble à barre en céramique ou sur la plaque de base en céramique, et elles sont réalisées de façon que le pied de fixation de l'une de ces électrodes dépasse en dessous du bord inférieur de l'autre électrode, sans toucher ce bord. Dans le cas de la fixation au moyen de barres en céramique, l'électrode de commande et le filament sont maintenus sur un deuxième ensemble à barre en céramique, qui est fixé, à une certaine distance axiale du premier ensemble à barre en céramique, sur la plaque de base Chaque ensemble à barre en céramique comporte, de préférence, une barre en vitrocéramique et une deuxième barre en céramique d'oxyde d'aluminium. Avec la partie active du filament sont alignées des ouvertures ou fenêtres de l'électrode de commande et de l'électrode d'accélération, et l'électrode de captage des ions est assez grande pour s' étendre, vu depuis la partie active du filament, sur tout le "champ de vision" défini par les ouvertures des électrodes d'accélération et de commande. Le présent manomètre d'ionisation à cathode chaude est de construction simple et d'un montage robuste et facile Il peut être réalisé très petit de façon non seulement à pouvoir être installé dans des conditions d'étroitesse, mais aussi de façon à présenter un temps de réponse plus court que le manomètre d'ionisation connu, cité ci-dessus Il s'est avéré, de plus, que la zone angulaire ("angle d'ouverture"), à l'intérieur de laquelle peut varier la direction d'un champ magnétique dans lequel le manomètre d'ionisation est en service, sans compromettre le fonctionnement du manomètre d'ionisation, est nettement plus grande que dans le cas de l'appareil connu. On décrira ci après, à titre d'exemples non limitatifs, diverses formes d'exécution de la présente invention et on présentera, à cette occasion, d'autres caractéristiques et avantages de l'invention, en référence au dessin annexé sur lequel: La figure 1 est une vue simplifiée, à grande échelle, d'un système d'électrodes, avec le support associé d'un manomètre d'ionisation à cathode chaude, suivant une première forme d'exécution de l'invention. La figure 2 est une vue en plan du système d'électrodes suivant la figure 1. La figure 3 est une vue de face et une vue de côté du filament du manomètre d'ionisation suivant les figures 1 et 2. La figure 4 est une vue en plan et une vue de côté de l'électrode de commande du manomètre d'ionisation suivant les figure 1 et 2. Les figures 5 a et 5 b sont respectivement des vues de face et de côté d'une première partie de cadre de l'électrode d'accélération. La figure 5 c est une vue de face d'une deuxième partie de cadre de l'électrode d'accélération. La figure 5 d est une vue de face d'un insert de grille de l'électrode d'accélération. La figure 6 est une vue de face et une vue de côté de l'électrode de captage des ions du manomètre d'ionisation suivant les figures 1 et 2. La figure 7 est une vue en perspective du manomètre d'ionisation suivant les figures 1 à 6, comportant un boîtier. La figure 8 est une vue en plan d'une plaque de base en céramique pour un manomètre d'ionisation suivant une autre forme d'exécution de l'invention. La figure 9 est une vue en coupe faite suivant un plan 9 9 de la figure 8, dans laquelle sont encore figurées d'autres parties du manomètre d'ionisation. L'exemple d'exécution du présent manomètre d'ionisation à cathode chaude, représenté sur les figures 1 à 7, comporte un filament 10, fait d'un fil de tungstène thorié, épais d'environ 0,4 à 0,8 mm, en particulier de 0,6 mm Il comporte, de plus, une électrode de commande plane 12, une électrode d'accélération plane 14 et une électrode plane de captage des ions 16, qui sont disposées, dans l'ordre indiqué, le long d'un axe A. Comme le montre plus exactement la figure 3, le filament 10 comporte une partie centrale active rectiligne l O a, à laquelle se raccordent deux parties latérales l Ob formant une boucle, servant à l'isolation thermique et qui se poursuivent suivant des parties rectilignes 1 Oc, qui sont chacune respectivement solidement soudées à un pied métallique 18. L'électrode de commande 12, représentée plus précisément sur la figure 4, comporte une pièce plane, en forme de plaque, 12 a et une partie formant pied 12 b, formant une seule pièce en L avec la plaque 12 a, s'étend à partir du milieu du côté longitudinal de la pièce en forme de plaque 12 a et présente, dans sa partie coudée, un trou de montage 12 c La pièce en forme de plaque 12 a possède un perçage 12 d, en forme de fente, entouré d'un creux fraisé, de façon que la zone entourant la fente soit relativement mince, de sorte qu'elle ne se déforme pas aussi facilement lors de l'échauffement se produisant, pendant le fonctionnement, du fait de la chaleur provenant du filament. L'électrode d'accélération 14 est construite en trois parties, ainsi qu'il est représenté sur les figures Sa à 5 d. Elle comporte un premier élément de cadre 14 a, en forme de plaque, qui présente, sur l'un de ses côtés longitudinaux, une partie de fixation 14 b coudée et d'une seule pièce avec le premier élément de cadre L'électrode d'accélération comporte, de plus, un deuxième élément de cadre rectangulaire 14 d (figure 5 c), ainsi qu'un insert de grille 14 e (figure 5 d) Les deux éléments de cadre ont chacun une fenêtre rectangulaire 14 f, 14 g et l'insert de grille 14 e possède, dans une zone centrale correspondant aux fenêtres 14 f et 14 g, une fenêtre de grille 14 h, comportant une certain nombre de fentes verticales parallèles, dont le nombre et la largeur peuvent être différents, suivant l'application du manomètre d'ionisation, ainsi qu'il sera décrit plus loin plus en détail. Lors de la fabrication de l'électrode d'accélération, le premier élément de cadre 14 a (figure 5 a), l'insert de grille 14 e (figure 5 d) et le deuxième élément de cadre 14 d (figure 5 c) sont placés les uns sur les autres de telle façon que les fenêtres 14 f, 14 g et 14 h se recouvrent, et les trois éléments sont ensuite reliés entre eux par des points de soudure. L'électrode de captage des ions 16, représentée de façon plus précise sur la figure 6, présente une partie massive 16 a, en forme de plaque, et une partie de fixation intégrale, courte, en forme de L, qui se raccorde à une extrémité du bord longitudinal inférieur de la partie en forme de plaque 16 a et présente, dans sa branche horizontale, un trou de montage 16 a Le branche verticale 16 b de la partie de fixation, alignée avec la partie en forme de plaque 16 a, est assez haute pour que la branche horizontale de la partie de fixation 14 b de la grille d'accélération 14 puisse s'étendre sous le bord inférieur de la pièce 16 a, sans la toucher Ceci permet de disposer l'électrode de captage des ions plus près de l'électrode d'accélération que dans le cas du manomètre d'ionisation connu, cité au début, ce qui permet non seulement de réduire les dimensions, mais aussi d'assurer que l'électrode de captage des ions couvre la totalité du "champ de vision" de la partie active du filament, délimitée par les ouvertures de l'électrode de commande et de l'électrode d'accélération. Comme le montrent les figures 1 et 2, les électrodes décrites sont montées sur une plaque de base 20 en métal au moyen de paires de barres en céramique respectivement 22, 24 et 26, 28 Les barres en céramique 22, 24 sont constituées de vitrocéramique; les barres en céramique 26, 28 sont constituées de céramique du type oxyde d'aluminium. Les parties coudées de fixation des électrodes 12, 14 et 16 sont respectivement rivées avec un goujon de fixation 36, 30 ou 32, dont la tête passe au travers de chaque trou de montage concerné 12 c, 14 c ou 16 c Les pieds métalliques 18 des raccordements du filament sont, de même, reliés avec des goujons de fixation correspondants 34, ou bien sont réalisés par ceux-ci. Les goujons de fixation 30, 32 de la grille d'accélération 14 et de l'électrode de captage des ions 16 sont placées dans la première paire 22, 24 de barres en céramique, tandis que les goujons de fixation 34, 36 du filament et de l'électrode de commande sont placées dans les deux autres barres en céramique 26, 28 Entre les goujons de fixation 30, 32 se trouve une vis 38 de mise à la terre. Les barres en céramique 24, 28, constituées d'A 1203, présentent simplement trois trous Les barres en vitrocéramique 22, 26 présentent, en plus, sur leurs faces inférieures tournées vers la plaque de base 30, des saillies en forme de baguettes, respectivement 22 a et 26 a, qui s'engagent chacune respectivement dans une fente 20 a ou 20 b de la plaque de base Comme on l'expliquera ci-dessous, d'une façon analogue, à l'aide de la figure 8, de courtes fentes latérales (ou une fente continue) sont prévues sur la face supérieure des barres en vitrocéramique, à droite et à gauche des trous pour les goujons de fixation Dans ces fentes s'engagent des goupilles transversales placées dans des trous transversaux des goujons de fixation et empêchant une rotation des goujons de fixation quand des écrous 40 (figure 7), qui maintiennent l'agencement, sont vissés sur les goujons de fixation Avec la disposition décrite, on reprend des couples de rotation dus aux câbles (non représentés) qui sont montés sur les goujons de fixation au moyen de cosses de câbles, de douilles, ou similaires, enfilées ou vissées, soudées aux câbles de raccordement etc La vis 38, qui est mise à la terre par l'intermédiaire de la plaque de base 20 et qui est placée dans un trou central des barres en céramique 22, 24, évite des courants de fuite depuis le support de la grille d'accélération vers l'électrode de captage des ions. L'agencement décrit est simple à monter, très fiable et également d'un encombrement réduit, car, pour le raccordement des câbles, aucun moyen additionnel n'est nécessaire en dessous de la plaque de base Comme le montre la figure 7, la plaque de base 20 en métal présente un prolongement 20 d, sensiblement en forme de L, servant au montage et comportant des trous de montage 20 e Elle possède, de plus, sur chacune de ses faces droite, gauche et supérieure, une saillie de positionnement 20 c pour un boîtier métallique 42, qui présente au moins un orifice d'entrée de gaz 42 a et qui est soudé sur la plaque de base La plaque de base 20 peut également, sur chacun de deux côtés opposés, présenter chaque fois une bride repliée pour fixer le boîtier avec des vis ou organes similaires La fixation peut avantageusement se faire également au moyen d'une bride, ou similaire, prévue sur le boîtier. Dans le cas d'une forme d'exécution pratique de l'invention, chacune des électrodes 12 et 16 et des cadres 14 a et 14 d de l'électrode d'accélération étaient constituées d'un feuillard d'acier inoxydable, épais d'un millimètre. L'électrode de commande 12 avait une ouverture en forme de fente, d'une hauteur de 2,5 mm et d'une largeur de 16 mm Dans la zone fraisée, qui avait pour dimensions 8 x 16 mm, l'épaisseur était d'environ 0,2 mm Les fenêtres de la grille d'accélération étaient hautes de 6 mm et large de 16 mm Les distances libres entre la partie active du filament et l'électrode de commande, et entre cette dernière et la grille d'accélération, étaient chacune d'environ 1 mm La distance entre l'électrode d'accélération 14 et l'électrode de captage des ions 16 était de 7,5 mm, et le filament 10, ainsi que les ouvertures de l'électrode de commande 12 et de la grille d'accélération étaient disposées, par rapport à l'électrode de captage d'ions 16, de telle façon que cette dernière s'étend sur toute la hauteur de la zone d'un secteur angulaire (figure 1) qui, dans le cas du présent exemple d'exécution, a une grandeur de 250 par rapport à l'axe A et est limité par des droites partant de la partie active du filament et passant par il le bord supérieur ou inférieur de l'ouverture 12 d en forme de fente de l'électrode de commande 12 ainsi que respectivement par le bord supérieur ou inférieur de la fenêtre résultante de l'électrode d'accélération 14. Dans des formes d'exécution préférées les fentes et les barres de l'électrode d'accélération 14 peuvent, par exemple, avoir les dimensions suivantes: Type I: 2 fentes/mm, largeur de fente 0,4 mm, largeur de barre 0,1 mm. Type II: 2 fentes/mm, largeur de fente 0,1 mm, largeur de barre 0,4 mm. Type III: 2 fentes/mm, largeur de fente 0,15 mm, largeur de barre 0,1 mm. L'insert de grille 14 e peut, par exemple, être constitué d'une feuille de molybdène, de bronze au béryllium ou d'acier inoxydable, d'une épaisseur de 50 micromètres. Le boîtier 42 entoure le système d'électrodes à une faible distance, par exemple 1 mm. La désignation "vitrocéramique" représentera ici tous les matériaux céramiques relativement facile à usiner, par exemple les matériaux céramiques fraisables. Dans le cas d'une deuxième forme d'exécution de l'invention, qui sera exposée en se référant aux figures 8 et 9, on utilise une plaque de base en céramique 120 à la place de la plaque de base en métal 20 et des barres en céramique 22 à 28. La plaque de base en céramique 120 possède six trous 151 à 156, correspondant aux trous des barres en céramique et recevant les goujons de fixation des électrodes La surface supérieure de la plaque de base est recouverte d'une couche métallique 140, par exemple d'or, qui se termine à une distance du bord des trous telle, à l'exception du trou recevant la vis de mise à la terre, que les goujons de fixation 30,32 ne fassent pas contact, avec leur têtes et avec, le cas échéant, les rondelles de calage placées en dessous, avec la couche métallique mise à la terre Une couche 142 correspondante est également prévue sur la face inférieure de la plaque en céramique La surface supérieure de la plaque en céramique est, de plus, munie de deux rainures 144, 146, qui passent respectivement par les trous 151 à 153 et 154 à 156 et qui maintiennent des goupilles transversales 148 qui ont été mentionnées précédemment et qui servent à éviter une rotation Par ailleurs, la construction correspond à celle des figures 1 à 7 La fixation peut être réalisée, par exemple, au moyen du boîtier non représenté ou de la vis de mise à la terre 38. La construction exposée au moyen des figures 8 et 9 peut encore être simplifiée en fixant les goujons de fixation , dans les trous correspondants 151 à 156, avec une colle céramique, un brasage céramique, un brasage fort, ou similaire, résistant à la chaleur Les écrous 40 peuvent alors être supprimés et le montage en est simplifié d'autant. Une troisième forme d'exécution de l'invention, laquelle constitue la forme d'exécution actuellement préférée comprend une plaque de base La plaque de base est réalisée en un matériau céramique, telle qu'une céramique A 1203, et elle constitue un élément carré qui est pourvu d'une première paire, d'une deuxième paire, d'une troisième paire et d'une quatrième paire de trous traversants et d'un trou unique additionnel La plaque de base est pourvue d'un revêtement métallique (non représenté) ainsi qu'il a été décrit en référence aux figures 8 et 9 Un trou traversant de chacune des deuxième, troisième et quatrième paires de trous est fraisé coniquement dans la surface inférieure de la plaque de base Les trous à embouchures fraisées des deuxième et quatrième paires de trous sont décalés latéralement par rapport au trou fraisé de la troisième paire de trous La première paire de trous reçoivent des boulons supports d'un filament cathodique, ainsi qu'il est représenté sur la figure 3 La deuxième paire de trous reçoivent des branches d'un élément support d'une électrode de commande, la troisième paire de trous reçoivent des branches d'un élément support d'une électrode d'accélération et la quatrième paire de trous reçoivent des branches d'un élément support d'une électrode de captage des ions Le trou additionnel reçoit une vis qui sert à une mise à la masse et qui peut être aussi utilisée en tant que support mécanique du manomètre. L'élément support de l'électrode de commande est un étrier ou un morceau de fil approximativement en forme de U inversé, ayant une longue branche et une courte branche. L'électrode de commande comprend en outre une plaque d'un feuillard métallique qui présente une fente allongée et qui est soudée par points à l'élément support. L'élément support de l'électrode d'accélération est semblable à l'élément support de l'électrode de commande, à l'exception toutefois que les longues branches des éléments supports de l'électrode de commande et de l'électrode d'accélération sont situées sur des côtés opposés L'électrode d'accélération comprend en outre un élément en forme de cadre en feuillard métallique et une mince feuille lesquels sont soudés par points sur les côtés opposés de l'élément support. La feuille mince comprend une partie ajourée formant une pluralité de fentes verticales allongées ainsi qu'il a été décrit en référence à la figure 5 d. L'élément support de l'électrode de captage des ions est semblable à l'élément support de l'électrode de commande. L'électrode de captage des ions comprend en outre une plaque collectrice en feuillard métallique, laquelle est soudée par points à l'élément support. Le filament est monté sur la plaque de base au moyen d'écrous et de rondelles, ainsi qu'il est représenté par exemple sur la figure 1 Les autres électrodes sont montées en engageant la longue branche de l'élément support de l'électrode respective à travers le trou à embouchure fraisée de la paire de trous respective jusqu'à ce que la courte branche s'engage dans l'autre trou de la paire de trous La longue branche est ensuite fixée dans le trou fraisé au moyen d'un matériau de soudure céramique actif, disponible dans le commerce La courte branche s'étend librement dans l'autre trou de la paire Les longues branches servent également de conducteurs électriques pour les électrodes respectives Un boîtier (non représenté), tel que celui décrit en référence à la figure 7, est attaché à la plaque de base Les électrodes sont alignées ainsi qu'il a été décrit à propos des première et deuxième formes d'exécution Les parties ajourées des électrodes de commande et d'accélération ont des bords supérieur et inférieur qui forment un angle d'environ 250 par rapport à la partie active du filament, ainsi qu'il est représenté sur la figure 1. Dans une forme d'exécution pratique, la plaque de base a été réalisée en matière connue sous le nom de "SHAPAL" Les éléments supports ont été réalisés en fil d'acier inoxydable d'un diamètre de 1 millimètre La plaque de l'électrode de commande, l'élément en forme de cadre de l'électrode d'accélération et la plaque de l'électrode de captage des ions ont été réalisés en un feuillard d'acier inoxydable d'une épaisseur de 0,2 millimètre La feuille est une feuille d'acier inoxydable ayant une épaisseur de 50 micromètres. N'importe quelle épaisseur comprise entre 50 micromètres et micromètres donne des résultats satisfaisants. REVEND I CAT IONS 1 Manomètre d'ionisation à cathode chaude, comportant un système d'électrodes comprenant les électrodes suivantes disposées, le long d'un axe (A), dans l'ordre suivant, à des distances relatives les unes par rapport aux autres, a) un filament de cathode thermoionique ( 10), présentant une partie centrale active (l Oa) et des parties latérales de fixation (lob, l Oc), b) une électrode de commande ( 12), plane et en forme de diaphragme, c) une électrode d'accélération plane ( 14), et d) une électrode plane de captage des ions ( 16), et comportant une plaque de base ( 20), sur laquelle sont montées l'électrode de commande, l'électrode d'accélération et l'électrode de captage des ions, chacune par l'intermédiaire d'un moyen support ou de fixation s'étendant à angle droit par rapport à la partie principale de l'électrode concernée et par l'intermédiaire d'un boulon de fixation relié au moyen support, caractérisé en ce que les boulons de fixation sont chacun fixés, par l'intermédiaire de barres en céramique ( 22, 24, 26, 28) en forme de bande, sur la plaque de base ( 20), constituée de métal. 2 Manomètre d'ionisation à cathode chaude, comportant un système d'électrodes comprenant les électrodes suivantes disposées, le long d'un axe (A), dans l'ordre suivant, à des distances relatives les unes par rapport aux autres, a) un filament de cathode thermoionique ( 10), présentant une partie centrale active (l Oa) et des parties latérales de fixation (lob, 1 Oc), b) une électrode de commande ( 12), plane et en forme de diaphragme, c) une électrode d'accélération plane ( 14), et d) une électrode plane de captage des ions ( 16), et comportant une plaque de base ( 20), sur laquelle sont montées l'électrode de commande, l'électrode d'accélération et l'électrode de captage des ions, chacune par l'intermédiaire d'un moyen support ou de fixation s'étendant à angle droit par rapport à la partie principale de l'électrode concernée et par l'intermédiaire d'un boulon de fixation relié au moyen support, caractérisé en ce que la plaque de base ( 120) est constituée de céramique et est munie, sur au moins une de ses faces, d'une couche métallique, qui se termine à une certaine distance des bords des trous ( 151,153-156) recevant les boulons de fixation. 3 Manomètre d'ionisation suivant la revendication 1, caractérisé en ce que le filament ( 10) et l'électrode de commande ( 12) sont maintenus sur la plaque de base ( 20) au moyen d'un premier agencement commun à barre céramique ( 26, 28), et en ce que l'électrode d'accélération ( 14) et l'électrode de captage des ions ( 16) sont fixées sur la plaque de base ( 20) par l'intermédiaire d'un deuxième agencement commun à barre céramique ( 22, 24). 4 Manomètre d'ionisation suivant la revendication 3, caractérisé en ce que chaque agencement à barre céramique comporte respectivement une barre ( 22, 26) en vitrocéramique et une barre ( 24, 28) en céramique du type oxyde, qui sont disposées sur les faces opposées de la plaque de base ( 20). Manomètre d'ionisation suivant l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les moyens supports ou de fixation ( 14 b, 16 b) de l'électrode d'accélération ( 14) et de l'électrode de captage des ions ( 16) sont disposés suivant des directions axiales opposées l'une à l'autre, caractérisé en ce que le moyen support ( 14 b) de l'une des électrodes arrive jusque sous le bord inférieur de l'autre électrode, sans toucher ce bord. 6 Manomètre d'ionisation suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'une pièce conductrice ( 38), reliée électriquement à la masse, est disposée entre les boulons de fixation ( 30, 32) de l'électrode d'accélération ( 14) et de l'électrode de captage des ions ( 16). 7 Manomètre d'ionisation suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend, en outre, un boîtier ( 42) entourant étroitement le système d'électrodes, et présentant au moins un orifice ( 42 a) pour l'admission de gaz. 8 Manomètre d'ionisation suivant la revendication 7, caractérisé en ce que le boîtier ( 42) présente un dispositif de fixation du manomètre d'ionisation. 9 Manomètre d'ionisation suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la plaque de base ( 20) présente un prolongement ( 20 a) servant à la fixation du manomètre d'ionisation. 10 Manomètre d'ionisation à cathode chaude, comportant un système d'électrodes comprenant les électrodes suivantes disposées, le long d'un axe, dans l'ordre suivant, à des distances relatives les unes par rapport aux autres: a) un filament de cathode thermoionique, présentant une partie centrale active et des parties latérales de fixation, b) une électrode de commande ( 112), essentiellement plane et en forme de diaphragme, c) une électrode d'accélération essentiellement plane ( 14), percée d'une ouverture, et d) une électrode plane de captage des ions ( 16), essentiellement plane, e) une plaque de base ( 20), sur laquelle sont montés le filament, l'électrode de commande, l'électrode d'accélération et l'électrode de captage des ions, caractérisé en ce que f) la plaque de base est constituée en matériau céramique et est percée d'une pluralité de trous traversants, et g) chacune des électrodes de commande, d'accélération et de captage des ions comprend un élément support ayant essentiellement la forme d'un U "inversé" comportant des première et seconde branches, l'une des branches de chaque élément support d'électrodes s'étendant à travers un trou correspondant de la plaque de base et étant fixée dans ce trou. 11 Manomètre d'ionisation suivant la revendication 10 caractérisé en ce que la branche qui s'étend à travers la plaque de base est plus longue que l'autre branche de l'élément support, cette autre branche s'étendant dans un trou de la plaque de base qui est aligné latéralement avec le trou à travers lequel s'étend la longue branche. 12 Manomètre d'ionisation suivant la revendication 10 caractérisé en ce que les électrodes de commande et d'accélération ont des ouvertures définies par des bords supérieur et inférieur, ces bords formant un angle d'environ 250 avec la partie active du filament cathodique.