Brevet FR2681463A1 — publié le 19930319

La présente invention concerne un support d'enregistrement magnétique, un procédé pour fabriquer un support d'enregistrement magnétique, un dispositif pour fabriquer un support d'enregistrement magnétique, et un appareil d'enregistrement magnétique. De façon plus particulière, l'invention concerne un support d'enregistrement magnétique possédant une pellicule protectrice présentant une excellente résistance au glissement contre des têtes magnétiques, un procédé de fabrication du support d'enregistrement magnétique, un dispositif pour fabriquer le support d'enregistrement magnétique et un appareil d'enregistrement magnétique équipé du support d'enregistrement magnétique. Dans le domaine des supports d'enregistrement magnétique, avec la tendance récente à accroître la densité de l'enregistrement magnétique, les supports d'enregistrement équipés d'une pellicule mince de métaux magnétiques à base de Co-Ni ou de Co-Cr, dans lesquels le Co est le constituant principal, et formés par pulvérisation ou placage, sont de plus en plus largement utilisés dans la pratique à la place de supports d'enregistrement antérieurs qui utilisaient de l'oxyde de fer. Un tel support d'enregistrement plus récent possède une structure formée de pellicules comprenant habituellement sur un substrat en alliage d'aluminium, une pellicule de placage de NiP, une pellicule sous-jacente de Cr, la pellicule mince magnétique mentionnée précédemment et une pellicule amagnétique protectrice, formées dans l'ordre mentionné précédemment. Lorsque la surface de la pellicule est trop lisse, une force d'adsorption apparaît entre la pellicule et la tete magnétique à l'arrêt, ce qui implique le risque que ceci puisse empêcher le démarrage et la rotation d'un moteur à broche, sur lequel le support d'enregistrement a été monté, ou de provoquer une rupture du système de support de la tête magnétique. C'est pourquoi, on met en oeuvre habituellement ce qu'on appelle une finition texturée, lors de laquelle on rend délibérément rugueuse la surface de manière à lui conférer une certaine rugosité. Selon un procédé pour réaliser une telle finition texturée, tel que décrit dans la demande de brevet japonais mise à l'inspection publique sous le n" 2-208827 par exemple, on soumet la pellicule à une corrosion à sec moyennant l'application d'une tension de polarisation continue dans un gaz inerte, un traitement de finition étant de ce fait appliqué uniquement à la pellicule protectrice pour l'obtention d'une rugosité de surface uniforme, alors que la pellicule magnétique reste lisse comme auparavant. Selon un autre procédé tel que décrit dans la demande de brevet japonais mise à l'inspection publique sous le N" 1-263913, on dispose des protubérances en forme d'îlots de nitrure sur la pellicule magnétique et on forme en outre une pellicule de carbone, par exemple en diamant. Le traitement de corrosion à sec sous l'application d'une tension de polarisation continue dans un gaz inerte pose des problèmes consistant en ce que, lors de la corrosion de surface, certaines des structures de la surface sont corrodées de façon sélective, ou même lorsque la structure superficielle obtenue est initialement bonne, la caractéristique superficielle est aisément altérée par abrasion. D'autre part, le traitement qui consiste à disposer des substances sous la forme d'îlots, sur la pellicule magnétique pose les problèmes consistant en ce qu'il est difficile d'obtenir une adhérence fiable entre le substrat, qui forme les îlots, et la pellicule de carbone protectrice et que ceci complique les étapes de traitement. La présente invention a été mise au point compte tenu des indications mentionnées précédemment. Un but de la présente invention est de former une structure de surface tout en maintenant l'adhérence et la résistance de la pellicule protectrice, ce qui permet d'obtenir un support d'enregistrement magnétique possédant une résistance élevée, très fiable, au glissement. Un autre but de la présente invention est de fournir un procédé pour fabriquer un support d'enregistrement magnétique qui présente une résistance extrêmement fiable au glissement, et un dispositif utilisé pour fabriquer ce support d'enregistrement. Un autre but de la présente invention est de fournir un appareil d'enregistrement magnétique dans lequel est installé le support d'enregistrement magnétique qui présente une excellente résistance au glissement. Le premier but mentionné précédemment peut être atteint au moyen de la projection, sur la surface de la pellicule protectrice, d'ions qui ont été accélérés par une haute tension de 4 kV ou plus ou d'atomes formés par neutralisation électrique des ions, de manière à obtenir une fine rugosité de surface de taille atomique. On peut atteindre un autre objectif mentionné précédemment en disposant, dans une chambre à vide, des moyens de projection d'ions servant à projeter des ions sur la surface d'une pellicule protectrice formée par pulvérisation. Un autre objectif mentionné précédemment peut être atteint moyennant le montage d'un support d'enregistrement magnétique possédant une surface rugueuse formée sur la surface de la pellicule protectrice au moyen d'une projection d'ions, à l'aide d'un arbre rotatif sur une base. Lorsque des atomes sont ionisés, puis accélérés dans un champ électrique de quelques kV ou plus et projetés sur la surface d'un solide, il frappent des atomes situés dans le solide. Bien qu'une partie des atomes soit réfléchie au niveau de la surface, le reste des atomes s'arrête dans certaines positions après des collisions et des dispersions répétées. Par conséquent, les atomes sont implantés dans le matériau. On sait que les ions accélérés par une telle haute tension peuvent provoquer une dislocation d'atomes en raison de la collision réciproque de noyaux atomiques, ce qui améliore la résistance et la dureté du matériau solide luimême. Les auteurs à la base de la présente invention ont trouvé, sur la base d'observations précises de la surface, qu'il se forme alors des parties surélevées et des creux de l'ordre de quelques nm. C'est pourquoi, en optimisant les conditions de projection, on peut introduire des textures dans la surface de la pellicule et obtenir simultanément un durcissement de la pellicule protectrice et une amélioration de l'adhérence de cette pellicule à la pellicule magnétique, etc. Il en résulte que l'on peut obtenir une résistance de surface nettement améliorée vis-à-vis du glissement. D'autres buts, caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront de la description donnée ciaprès, prises en référence aux dessins annexés, sur lesquels la figure 1 représente une vue en coupe d'un support d'enregistrement magnétique correspondant à un premier exemple de l'invention; la figure 2 représente un dessin d'ensemble montrant un dispositif de fabrication du support d'enregistrement du premier exemple la figure 3 représente une vue en coupe montrant l'intérieur de la source de projection d'ions représentée sur la figure 2; la figure 4 est un graphique montrant les résultats de la détermination de la rugosité de surface en rapport avec les conditions de traitement par projection dans le cas du premier exemple; la figure 5 est un graphique montrant le résultat de l'analyse de la composition dans le sens de la profondeur, du support d'enregistrement magnétique du premier exemple; la figure 6 représente une vue en perspective d'un appareil d'enregistrement magnétique, dans lequel est monté le support d'enregistrement magnétique du premier exemple; la figure 7 représente une vue en plan montrant un dispositif de fabrication d'un second exemple de l'invention; la figure 8 est un diagramme montrant la structure en forme de pellicules du support d'enregistrement magnétique du second exemple; la figure 9 est un graphique montrant le résultat de l'analyse de la composition, dans le sens de la profondeur, du support d'enregistrement magnétique du second exemple; et la figure 10 représente un schéma montrant la configuration fine formée au niveau de la surface dans le second exemple. On va décrire ci-après le premier exemple de la présente invention en se référant aux figures 1,2,3,4,5 et 6 et aux tableaux 1,2 et 3. La figure 6 représente une vue en perspective d'un appareil d'enregistrement magnétique dans lequel est monté le support d'enregistrement magnétique selon la présente invention. Un disque magnétique 20, qui est un support d'enregistrement magnétique servant à enregistrer et lire des données, est monté sur une broche entraînée en rotation et est installé sur une base 21. D'autre part, une tête magnétique servant à réaliser l'enregistrement et la lecture des données est fixée à l'extrémité arrière d'un curseur 22 appliquant une pression dynamique. La tête magnétique est fixée à l'extrémité d'un actionneur de type oscillant 23 apte à positionner la tête en n'importe quel point désiré sur le rayon du disque. Etant donné que la tête est susceptible d'être affectée par une très fine poussière en flottement, il est prévu un capot 24 possédant une structure presque fermée et équipé d'un filtre à poussière. Dans cet appareil, bien que la tête magnétique soit en contact avec le disque magnétique à l'arrêt, la tête flotte au-dessus du disque après un contact glissant pendant un moment au démarrage. La tête glisse en contact avec le disque également lors de l'arrêt du fonctionnement. Ce système est habituellement désigné sous le sigle CSS (c'est-à-dire contact au démarrage et à l'arrêt). C'est pourquoi, il est souhaitable que la surface du disque magnétique possède une résistance élevée au glissement. C'est pour cette raison que dans le présent exemple, on installe un disque magnétique, sur la surface duquel on a formé une fine rugosité optimale, ce qui permet d'obtenir un appareil d'enregistrement magnétique possédant une résistance élevée et fiable au glissement. La structure en forme de pellicule du disque magnétique 20, support d'enregistrement, est représentée sur la figure 1. Cette pellicule comprend, sur un substrat 1 en Al, une pellicule formant sous-couche 2 constituée par un placage en NiP d'une épaisseur de 10-20 pm, sur laquelle est disposée une pellicule intermédiaire 3 en Cr possédant une épaisseur de 40-300 nm, sur laquelle est disposée une pellicule magnétique 4 à base de Co-Cr possédant une épaisseur de 30-60 nm, sur laquelle est placée une pellicule protectrice 5 à base de carbone possédant une épaisseur de 10-50 nm, formées respectivement par dépôt par pulvérisation, cette pellicule étant en outre recouverte par un lubrifiant 6 à base de polyéther perfluorique. La structure et l'agencement d'un dispositif pour fabriquer un support d'enregistrement magnétique vont être décrites en référence à la figure 2. Sur le côté gauche du dessin on a représenté une chambre 1 de formation d'une pellicule par pulvérisation, servant à former des pellicules jusqu a y compris la pellicule de carbone protectrice du support d'enregistrement magnétique représenté sur la figure 1. Il est prévu une chambre de projection d'ions 16 destinée à être raccordée directement à la chambre 1, et en outre sur le côté droit de la chambre 16, il est prévu une chambre de sortie 17 permettant de prélever un échantillon. Ici, la projection d'ions accélérés par une haute tension est quelquefois désignée sous l'expression "implantation ionique" au regard de sa fonction de modification de la matière. Des disques magnétiques 20a, 20b et 20c, qui possèdent chacun un diamètre de 13,34 cm et sont des supports d'enregistrement, peuvent être, à volonté, fixés à ou détachés d'une palette 12 qui agit en tant que moyen de support et peut être déplacée, par des moyens de déplacement, sur un rail 11 traversant ces chambres. L'échantillon est amené de la chambre de gauche 15 servant à former des pellicules par pulvérisation, dans la chambre de projection d'ions 16, dans laquelle un degré de vide d'environ 133.10-5 Pa est maintenu, puis est transféré dans la chambre de sortie 17 utilisée pour prélever l'échantillon. Lorsque la palette 12 portant l'échantillon vient se placer en face des sources d'ions 13 et 14, des ions azote sont accélérés et projetés à partir des deux côtés. Les ions devant être projetés peuvent être, outre des ions azote, des ions Ar, O, B, C, F, Ne ou Si. La structure des sources d'ions 13 et 14 va être décrite ci-après en référence à la figure 3. Dans la chambre de projection d'ions 16, qui est raccordée à une pompe à vide 38, est disposé le disque magnétique 20 qui est fixé à la palette 12 du type à déplacement rectiligne, et la source d'ions 13 est agencée de telle sorte que des ions peuvent être projetés sur l'ensemble de la surface du disque magnétique à partir de la source d'ions 13 au moyen de l'ouverture d'une soupape de traversée 25. Dans la source d'ions, le gaz situé dans un réservoir de gaz 27 est envoyé par l'intermédiaire d'un dispositif 26 de commande du gaz et est ionisé par une source d'énergie à filament 28. Les ions formés sont accélérés par une source d'énergie accélératrice 29. Ce dispositif est agencé de telle sorte que, lorsque des types d'ions différents doivent être projetés successivement, on peut projeter des types désirés d'ions en modifiant l'ouverture d'admission du dispositif 26 de commande du gaz. En outre, il est prévu un dispositif 30 de refroidissement utilisant de l'eau pure pour empêcher l'établissement d'une charge étant donné que la source d'ions dégage une grande quantité de chaleur. Lorsque l'on ouvre la soupape de traversée 25, les ions peuvent être projetés par la source d'ions 13 en direction du disque magnétique 20. L'échantillon est soumis au traitement de projection tout en étant déplacé à une vitesse d'environ 1 mm/s. Les conditions de traitement dans le premier exemple sont les suivantes : projection d'atomes d'azote, tension accélératrice égale à 10 kV, temps de séjour égal à 100 s, courant dans l'électrode de projection des ions égal à 100 mA, degré de vide avant le traitement égal à 133,3 x 10-5 Pa. Bien qu'une chaleur soit dégagée pendant la projection, l'accroissement de température est d'environ 1200C et n'a en définitive aucun effet sur la caractéristique magnétique de la pellicule magnétique. Après formation de la pellicule, on dépose, sur la surface de la pellicule, un lubrifiant à base de polyéther perfluorique. On a analysé la composition du support d'enregistrement ainsi préparé, dans le sens de la profondeur, et les résultats vont être décrits ci-après en référence à la figure 4. Lorsque des ions sont projetés, ils se subdivisent fondamentalement en des atomes qui sont éjectés par pulvérisation et des atomes qui pénètrent à l'intérieur du matériau. Par conséquent, alors que des atomes créent une fine configuration à la surface, les atomes, qui ont pénétré à l'intérieur du matériau, y restent. Ainsi on va expliquer en référence à la figure 4 les résultats de l'analyse du support d'enregistrement dans le sens de la profondeur. Habituellement, une analyse élémentaire est exécutée au moyen d'une spectroscopie d'électrons Auger (AES) ou au moyen d'une spectroscopie de masse d'ions secondaires (SIMS), moyennant une corrosion à sec de la surface. Sur la figure 4, on a représenté en ordonnées les intensités de détection des éléments respectifs et en abscisses on a représenté les durées de corrosion à partir de la surface, c' est-à-dire les profondeur à partir de la surface. La profondeur de concentration maximale (c'est-à-dire la profondeur moyenne de distribution) des éléments constituant les pellicules respectives sont désignés par A,B,C et D. A désigne la profondeur de concentration maximale (profondeur moyenne de distribution) de l'élément constituant une pellicule protectrice 5, et B1, B2 et B3 désignent respectivement des profondeurs de concentration maximale du cobalt, du chrome et d'autres éléments additifs constituant une pellicule magnétique 4, tandis que C désigne la profondeur de concentration maximale du chrome de la pellicule intermédiaire 3. D désigne l'élément projeté, qui n'a pas été réfléchi au niveau de la surface et a pénétré à l'intérieur et y est resté. C'est pourquoi, dans le cas d'une pellicule magnétique B, qui est formée par une couche d'alliage, les courbes B1, 32 et B3 possèdent des formes qui se ressemblent et ont des profondeurs de concentration maximale identiques (profondeurs moyennes de distribution), bien que les concentrations elles-mêmes puissent différer les unes des autres. Au contraire, la distribution de l'élément utilisé pour la projection appliquée à la pellicule protectrice se caractérise en ce qu'elle est différente de la distribution initiale des éléments constituant la pellicule protectrice. Ci-après, on a représenté sur la figure 5 les résultats de la détermination de la rugosité superficielle d'un support obtenue lorsqu'on modifie la quantité de projection d'ions (c'est-à-dire les doses). La rugosité de surface moyenne au niveau de la ligne centrale, déterminée au moyen du procédé STM, est représentée en ordonnées et la quantité (dose) de projection d'ions est représentées en abscisses. Lors de la projection, l'épaisseur de la pellicule de carbone est réduite de plusieurs dizaines de pour cent compte tenu de l'effet de pulvérisation, par rapport à la pellicule présente avant le traitement de projection, et une fine structure de l'ordre de quelques nm est introduite dans la surface. La rugosité de surface, qui est initialement égale à environ 1,5 nm, augmente, lorsque la dose augmente, jusqu'à environ 3 nm pour une dose de 1015 ions/cm2 et atteint une valeur maximale pour une dose voisine de 1017 ions/cm2. Lorsqu'on accroît de façon supplémentaire la dose, inversement la rugosité de surface tend à diminuer et tombe à nouveau à 3 nm ou moins, pour une dose voisine de 1018 ions/cm2. Une rugosité de surface, qui présente une bonne caractéristique de glissement, se situe dans la gamme de 3 nm ou plus. Dans une pellicule mince possédant approximativement cette épaisseur, la rugosité de surface de la pellicule formée est correspond habituellement à la rugosité de la pellicule sous-jacente et est presque du même ordre que cette dernière. Cependant, sous l'effet de l'application d'une projection d'ions comme mentionné précédemment, il se forme des pellicules, qui possèdent une rugosité de surface meme lorsque la pellicule sous-jacente est lisse. Bien que le résultat de la détermination de la rugosité de surface varie dans une large mesure en fonction de l'appareil de mesure, de la zone de mesure et d'autres conditions, dans le cas de la présente détermination on a représenté des valeurs obtenues au moyen du procédé STM. On a testé la fiabilité du support d'enregistrement magnétique ainsi préparé et on va indiquer ci-après les résultats obtenus. En ce qui concerne le problème de la résistance au glissement en rapport avec une tête magnétique, il est nécessaire qu'à la fois le frottement et l'abrasion du support d'enregistrement au départ et à l'arrêt et son adsorption (ou collage) contre la tête pendant la période d'arrêt soient respectivement faibles. Etant donné que l'opération CSS est habituellement exécutée de façon répétée dans un dispositif à disque magnétique, il est souhaitable que le coefficient de frottement soit faible et ne varie pas même dans le cas d'un nombre élevé d'opérations CSS. C'est pourquoi, la performance de résistance au glissement peut être évaluée au moyen d'une modification du coefficient de frottement correspondant au nombre de fois où se produit un glissement. On a déterminé le coefficient de frottement dynamique muni d'une tête en utilisant un curseur de tête magnétique de type Winchester possédant une charge de poussée réglée à 98.10-3 N, les résultats étant indiqués dans le tableau 1 donné ci-après. Dans un support sur lequel aucune projection n'est effectuée, le coefficient p est égal initialement à 0,26, puis augmente lorsque le nombre d'opérations CSS augmente, et ce jusqu'à 0,58 pour 10000 opérations et jusqu'à une valeur aussi élevée que 0,92 pour 50000 opérations. Dans un support, dans lequel une structure a été introduite mécaniquement dans la pellicule sous-jacente de Cr, le coefficient de frottement dynamique p est égal à 0,23 ou moins jusqu'aux premières 1000 opérations, mais ensuite augmente rapidement et atteint 0,70 pour 50000 opérations. Contrairement à cela, dans un support dans lequel une fine structure a été introduite au moyen d'une projection d'ions, le coefficient de frottement dynamique est égal initialement à 0,21 et n'atteint pas une valeur supérieure à 0,24 même au bout de 50000 opérations CSS. Par conséquent, il n'apparat réellement aucun accroissement du coefficient de frottement p à partir de sa valeur initiale et le support possède une propriété de glissement stable. On peut imaginer que ceci est dû au fait que la résistance au glissement est améliorée et que simultanément la résistance et la dureté sont accrues sous l'effet de la projection d'ions. Tableau 1 Nombre d'opérations CSS Valeur Initiale 100 1000 10000 30000 50000 Coefficent de Support non soufriction mis à une projecdynamique ( ) tion 0,26 0,35 0,42 0,58 0.79 0,92 Support non soumis à une projecstructure mécanique sur la pellicule sous-jacente de Cr 0,20 0,21 0,23 0,35 0,40 0,70 Support soumis à une projection d'ions 0,21 0,21 0,23 0,23 0,23 0,24 Pour étudier la propriété d'adsorption (ou de collage) d'une tête dans un environnement à teneur élevée en humidité, on a déterminé le coefficient de frottement statique ps après un séjour dans une humidité relative de 90% à 25"C pendant 1 semaine, les résultats étant indiqués dans le tableau 2, donné ci-après. Bien que le coefficient ps augmente par rapport à la valeur initiale, le degré d'accroissement est plus faible dans le support sur lequel des ions ont été projetés, ce qui indique une propriété supérieure de collage. On peut considérer que ceci est dû principalement au fait que l'introduction d'une fine rugosité dans la surface de la pièce de contact a un effet important de l'état collant. On peut en outre considérer que la surface a été rendue hydrophobe par la projection d'ions, ce qui contribue de façon supplémentaire à produire cet effet Tableau 2 Valeur Au bout de initiale 7 jours à 25"C x hu midité re lative 90% Coefficient Support non soumis à 0,60 1,30 friction une projection statique (ps) Support non soumis à une projection sr ture mécanique sur la pellicule sous-jacen- 0,22 0,59 te de Cr Support soumis à une projection d'ions 0,23 0,33 On a alors déterminé la quantité d'abrasion de la pellicule protectrice d'un support d'enregistrement magnétique sous l'effet du glissement d'une tête magnétique, les résultats sont indiqués dans le tableau 3 donné ciaprès. Tableau 3 Profondeur moyenne dans la partie située au-dessous de la tête 1000 10000 50000 css css Css Support non soumis à une 0,2 1,1 8,2 projection d'ions Support soumis à une 0,2 0,8 1,1 projection d'ions Il s'est avéré que, bien que le support non soumis à la projection représente une profondeur moyenne d'abrasion de 8,2 nm au bout de 50000 opérations CSS, le support non soumis à une projection d'ions présente une valeur égale à 1,1 nm, ce qui révèle une résistance nettement améliorée à l'abrasion. On peut imaginer que ceci est dû au fait que, étant donné que des nitrures se sont formés d'une manière assez profonde dans la pellicule protectrice sous l'effet de la projection d'ions, les propriétés superficielles varient difficilement même lorsque la surface la plus extérieure est érodée à un certain degré, ce qui retarde la progression de 1' abrasion. Conformément au premier exemple, on peut former une structure dans la surface d'une pellicule protectrice et obtenir directement un durcissement de la pellicule protectrice et une amélioration de sa propriété d'adhérence à une pellicule magnétique, etc; il en résulte que l'on peut réaliser des surfaces présentant une excellente résistance au glissement. Par conséquent, la présente invention fournit d'excellents effets de réduction du coefficient de frottement, ce qui réduit la quantité d'abrasion et l'état collant. En outre, elle présente l'avantage de permettre la fabrication de produits d'une qualité uniforme et stable sur la base du traitement simultané appliqué sur les deux faces du disque, une simplification du procédé et une réduction du coût. Ci-après, on va décrire le second exemple en référence aux figures 7, 8, 9 et 10 et au tableau 4, indiqué plus loin, principalement en ce qui concerne les différences par rapport au premier exemple. La figure 7 représente une vue en plan montrant un dispositif pour fabriquer le second exemple. La figure 8 est un schéma montrant . la structure de la pellicule du support d'enregistrement amagnétique fabriqué. La figure 9 représente un graphique montrant les résultats de l'analyse de la composition dans le sens de la profondeur du support d'enregistrement magnétique. La figure 10 est un schéma montrant la structure fine de la surface du support d'enregistrement. Le support d'enregistrement, c' est-à-dire le disque magnétique conforme au présent exemple possède la structure de pellicule suivante. Comme représenté sur la figure 8, sur un substrat en verre 34 on forme une pellicule intermédiaire 35 de Cr possédant une épaisseur de 40-300 nm, sur laquelle on dépose une pellicule magnétique à base de Co-Cr-Pt possédant une épaisseur de 30-60 nm, et ce respectivement au moyen d'un dépôt par pulvérisation, et on forme sur cette pellicule une pelliculé protectrice 37 possédant une épaisseur de quelques nm. La figure 7 représente un dispositif pour appliquer un traitement de projection d'ions à la pellicule protectrice. Le dispositif de projection d'ions utilisé ici est constitué par plusieurs dispositifs désignés habituellement sous le terme de "dispositifs d'implantation ionique". Sur le côté gauche du dessin, on a représenté une chambre 15 de formation de pellicules par pulvérisation, qui sert à former les pellicules jusqu'à y compris la pellicule de carbone protectrice du support d'enregistrement magnétique. Il est prévu qu'une chambre de projection d'ions 16 soit raccordée en ligne avec la chambre 15 et en outre, sur le côté droit de la chambre, il est prévu une chambre de sortie 17 servant à prélever un échantillon. Des disques magnétiques 20a, 20b et 20c, possédant chacun un diamètre de 13,34 cm, qui sont des supports d'enregistrement, peuvent être fixés ou détachés comme on le désire à ou à partir d'une palette 12 apte à se déplacer sur un rail 11 traversant ces chambres. L'échantillon est envoyé depuis la chambre 15 de formation de pellicules par pulvérisation, dans la chambre de projection d'ions 16, qui est maintenue à un degré de vide d'environ 133.10-5 Pa,et est ensuite transféré à la chambre de sortie utilisée pour prélever l'échantillon. I1 est prévu six sources d'ions, qui peuvent émettre à partir des deux côtés de la palette 12 qui porte l'échantillon, et ce sous un angle d'environ 45". Les sources d'ions 31a, 31b, 32a, 32b, 33a, et 33b sont réglées sur 3 ensembles respectifs de conditions de projection. La source 31 sert à projeter des ions oxygène avec une tension accélératrice de 15 kV, la source 32 sert à projeter des ions azote avec une tension accélératrice de 10 kV, et la source 33 sert à projeter des ions silicium avec une tension accélératrice de 5 kV. Dans le présent exemple, grâce à une projection sous un certain angle d'inclinaison, on peut s'attendre à obtenir un effet plus efficace de pulvérisation de la surface et en outre, moyennant la mise en oeuvre de plusieurs implantations avec des tensions accélératrices différentes, on donne initialement à la surface une configuration rugueuse, puis on lui applique une rugosité plus fine; on peut ainsi obtenir des configurations de surface présentant une excellente caractéristique de collage et une résistance élevée au glissement. La figure 10 représente schématiquement la configuration de la structure formée dans le cas où on exécute plusieurs projections d'ions. En effectuant la projection avec une haute tension accélératrice, on forme une rugosité de surface comportant des cycles d'intervalles étendus; lorsqu'on exécute ensuite une projection d'ions avec une tension accélératrice relativement faible, ceci entraîne un rabotage des protubérances possédant des tailles particulièrement importantes qui existent avec la rugosité initiale, et il s'y superpose une structure correspondant à une fine rugosité superficielle. De ce fait, on peut obtenir une configuration plus efficace. La figure 8 représente le résultat de l'analyse de la structure de la pellicule, qui résulte d'un traitement par projection d'ions. Après la projection, une partie des atomes sont implantés dans la pellicule protectrice à des profondeurs qui varient en fonction de la tension accélératrice. Par conséquent, dans la partie qui est limitrophe de la couche magnétique existent des atomes d'oxygène désignés par E3 sur la figure, tandis que des atomes désignés par E2 sont présents dans la partie un peu moins profonde, tandis que des atomes de silicium désignés par E1 sont présents dans la partie la moins profondeur, et ce respectivement avec une certaine répartition. En outre, un lubrifiant 6 à base de polyétherperfluorique est déposé sur le disque magnétique. Le tableau 4 montre le résultat de la détermination de variations du coefficient de friction du disque magnétique du présent exemple. Le coefficient de friction obtenu est non seulement plus faible que dans un disque non soumis à la projection d'ions, mais également est plus faible que dans le premier exemple et peut conserver une faible valeur égale à 0,2 même au bout de 50000 opérations CSS. Tableau 4 Nombre d'opérations CSS Valeur 100 1000 10000 30000 50000 initiale Coefficient Support non soumis à de friction une projection 0,26 0,35 0,42 0,58 0,79 0,92 ( ) Support soumis à une projection 0,15 0,17 0,17 0,19 0,20 0,20 Conformément au second exemple, on peut introduire une structure à la surface d'une pellicule protectrice et simultanément durcir cette pellicule et améliorer sa propriété d'adhérence à une pellicule magnétique; de ce fait, on peut former des surfaces ayant une excellente résistance au glissement. En outre, la couche désignée par E1 a pour effet d'améliorer l'adhérence entre la pellicule magnétique et la pellicule protectrice, la couche désignée par E2 a pour effet de former des composés d'azote agissant en tant que couche empêchant le passage de l'humidité et de ce fait améliorant la résistance à la corrosion, et la couche désignée par E3 a pour effet d'améliorer la dureté superficielle. Bien que l'on ait décrit les exemples indiqués précédemment en spécifiant les éléments constituant le support et les éléments non soumis à une projection d'ions, l'essentiel de l'invention réside dans la projection d'ions accélérés par une haute tension afin de provoquer une collision de noyaux atomiques avec des atomes constituant la pellicule protectrice, de sorte que les éléments utilisés pour la mise en oeuvre de la présente invention ne sont pas limités à ceux spécifiés ci-dessus. En outre, on peut obtenir un dispositif d'enregistrement magnétique avec une haute fiabilité pour les données en montant dans le dispositif d'enregistrement le support d'enregistrement magnétique présentant une excellente résistance au glissement pour l'enregistrement magnétique et une excellente résistance aux intempéries, décrites précédemment. Conformément à la présente invention, on peut former une structure superficielle mince par projection d'ions, et on peut obtenir un support d'enregistrement magnétique possédant une résistance élevée fiable au glissement. En outre, conformément à la présente invention, on peut fabriquer en continu et d'une manière stable des supports d'enregistrement magnétique possédant une bonne caractéristique de résistance au glissement. En outre, conformément à la présente invention, on peut obtenir un dispositif d'enregistrement magnétique possédant une haute fiabilité, qui présente une adhérence réduite du support d'enregistrement magnétique à la tête magnétique pendant l'arrêt du support d'enregistrement. REVENDICATIONS 1. Support d'enregistrement magnétique comprenant une pellicule magnétique pour l'enregistrement de données, formé sur un substrat amagnétique, et une pellicule amagnétique protectrice disposée sur la pellicule magnétique, caractérisé en ce que la couche superficielle de la pellicule protectrice (5;37) possède une surface rugueuse formée par projection d'ions atomiques. 2. Support d'enregistrement magnétique selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite surface rugueuse est formée par projection d'ions d'au moins un élément non métallique choisi parmi N, Ar, 0, B, C, F, Ne et Si. 3. Support d'enregistrement magnétique selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'une couche de lubrification (6) à base d'éther perfluorique est disposée sur la pellicule protectrice (5;37). 4. Support d'enregistrement magnétique selon l'une quelconque des revendications 1, 2 et 3, caractérisé en ce que la rugosité de surface de la pellicule protectrice est non inférieure à 3 nm et non supérieure à 10 nm, en termes de rugosité moyenne de la ligne centrale. 5. Support d'enregistrement magnétique selon l'une quelconque des revendications 1, 2 et 3, caractérisé en ce que la rugosité de surface de la couche superficielle de la pellicule protectrice est différente de celle de la couche de la pellicule magnétique sous-jacente et de la couche limite de cette couche. 6. Support d'enregistrement magnétique selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la rugosité de la couche superficielle est formée par la présence d'au moins un type différent d'élément introduit sous la forme d'ions, mélangé au(x) élément(s) constituant la surface la plus extérieure. 7. Support d'enregistrement magnétique selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la couche superficielle possède une structure en forme de pellicule, dans laquelle le ou les éléments constituant la surface la plus extérieure et au moins ledit type différent d'élément introduit sont répartis respectivement selon des distributions en profondeur différentes et en particulier au moins ledit type différent d'élément introduit possède une distribution de concentration proche de la distribution gaussienne dans le sens de la profondeur. 8. Procédé pour fabriquer un support d'enregistrement magnétique caractérisé en ce qu'il consiste à fabriquer une pellicule magnétique (4;36) pour l'enregistrement de données sur un substrat amagnétique, déposer une pellicule amagnétique protectrice (5;37) sur la pellicule magnétique, puis placer le substrat possédant la pellicule magnétique et la pellicule protectrice dans une chambre (16) de projection d'ions et projeter des ions atomiques sur la surface de la pellicule protectrice pour former une rugosité sur cette surface. 9. Procédé pour fabriquer un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 8, caractérisé en ce que lesdits ions atomiques sont accélérés dans un champ électrique de 4-40 kV, à une dose de 1015 1018 ions/cm2 moyennant le maintien de la température du substrat à 100-240"C. 10. Procédé pour fabriquer un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 8 ou 9, caractérisé en ce que les ions atomiques sont projetés alors que le support d'enregistrement magnétique lui-même se déplace. 11. Procédé pour fabriquer un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 8 ou 9, caractérisé en ce que les ions atomiques sont projetés sous un certain angle d'inclinaison par rapport au support d'enregistrement magnétique lui-même. 12. Procédé pour fabriquer un support d'enregistrement magnétique selon l'une des revendications 8 ou 9, caractérisé en ce que des ions d'atomes différents sont projetés à plusieurs reprises dans des conditions de projection différentes. 13. Dispositif pour fabriquer un support d'enregistrement magnétique caractérisé en ce qu'il comporte, en propre, des moyens de retenue (12) servant à retenir un substrat du support d'enregistrement magnétique, des moyens de déplacement servant à déplacer les moyens de support d'un côté à l'autre, une chambre (15) de formation d'une pellicule par pulvérisation pour former une pellicule magnétique et une pellicule protectrice sur le substrat, disposée dans le trajet de déplacement des moyens de déplacement, et des moyens (13,14,16) de projection d'ions servant à projeter des ions accélérés par une haute tension en direction de la couche superficielle de la pellicule protectrice formée sur le substrat de manière à former une rugosité superficielle sur la surface de la pellicule protectrice. 14. Dispositif pour fabriquer un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 13, caractérisé en ce que les moyens de projection comprennent une chambre (16) de projection d'ions, dans laquelle est maintenue un degré prédéterminé de vide, et des sources d'ions (13,14) servant à projeter des ions sur le substrat et déplacées simultanément des deux côtés du substrat, dans la chambre de projection d'ions. 15. Dispositif pour fabriquer un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 13, caractérisé en ce que les moyens de projection d'ions comprennent une chambre (16) de projection d'ions, maintenue à un degré prédéterminé de vide, et plusieurs sources d'ions (31a, 32a, 33a, 31b, 32b, 33b) servant à projeter des ions sous un angle prédéterminé par rapport au substrat déplacé à l'intérieur de la chambre de projection d'ions. 16. Dispositif pour fabriquer un support d'enregistrement magnétique selon la revendication 15, caractérisé en ce que différentes conditions de projection des ions sont réglées respectivement dans les différentes sources d'ions. 17. Appareil d'enregistrement magnétique caractérisé en ce qu'il comporte un support d'enregistrement magnétique monté sur un arbre rotatif supporté par une base, une tête magnétique servant à enregistrer et lire des données et disposée en vis-à-vis du support d'enregistrement, et un actionneur servant à déplacer la tête magnétique pour l'amener dans une position prédéterminée, caractérisé en ce que le support d'enregistrement magnétique comprend une pellicule magnétique (4;36) pour l'enregistrement des données, qui est formée sur un substrat magnétique, et une pellicule amagnétique protectrice (5;37) disposée sur la pellicule magnétique, la pellicule protectrice possédant, au niveau de sa couche superficielle, une surface rugueuse formée par projection d'ions atomiques sur cette couche superficielle.