Brevet FR2669128A1 — publié le 19920515

La présente invention concerne un procédé de duplication de disques mettant en ceuvre, au lieu de la copie par contact d'une matrice avec le matériau à imprimer, le report holographique global de l'image de cette matrice sur un film photosensible déposé au préalable sur la surface du dit matériau. La présente invention concerne plus particulièrement un procédé de duplication de disques optiques, du type Vidéodisque, Compact-Disc ou dérivés, réalisés sur un substrat solide non susceptible d'être injecté (moulage) ou thermoformé (estampage), comme peuvent l'être les PVC, PMMA, Polycarbonates ou autres substances plastiques actuellement utilisées en ce domaine. Il est connu que les disques optiques réalisés par les procédés classiques de moulage ou d'estampage de tels matériaux sont loin de posséder les propriétés de longévité de leurs ancêtres phonographiques "noirs": 78 tours/minute ou microsillons. La raison est est que, à l'échelle de la fraction de micron qui caractérise la précision de gravure d'un disque "optique", l'accrochage sur les supports plastiques ci-dessus mentionnés du film métallique indispensable à sa lecture par réflexion tend à se détériorer au bout d'un de laps de temps que les spécialistes évaluent actuellement à 15 ou 20 ans dans les conditions courantes de stockage de ces produits. Quoique suffisantes pour satisfaire les exigences d'un grand nombre d'applications domestiques, des durées de vie de cet ordre sont néanmoins incompatibles avec l'utilisation que l'on cherche à faire de ces supports pour l'archivage en général et la conservation du patrimoine en particulier. Elles sont également incompatibles avec l'idée que se fait un mélomane ou un cinéphile de la pérennité d'une collection d'enregistrements. C'est pour cette raison que de nombreuses recherches ont été entreprises en vue d'améliorer la stabilité du film métallique déposé sur le substrat; encore qu'un gain de 10 à 50 sur les durées de vie actuelles semble difficile à atteindre par de simples perfectionnements des technologies du moment. Une solution prometteuse à ce problème a été annoncée par la Société DIGIPRESS en mars 1988 et présentée sous le nom de CENTURY DISC en juin de la même année. On trouvera une bonne description des principes mis en oeuvre à cet effet dans le numéro 74, daté de mai 1989, de la revue Mémoires Optiques. Rappelons seulement ici qu'il s'agit d'un procédé de gravure directe et individuelle de disques de verre, par bombardement ionique de ce substrat au travers d'un masque délimitant chacune des milliards de microcuvettes significatives de l'enregistrement désiré. Ce masque est obtenu par insolation sélective et développement chimique classique d'un film de photoresist déposé au préalable sur le disque de verre; exactement comme pour la réalisation des flans nécessaires à l'élaboration des matrices de nickel utilisées pour le formage de copies produites par injection. Une fois le substrat de verre gravé par bombardement ionique à la profondeur désirée, typiquement 115 nanomètres, sa surface est débarrassée de son masque par voie chimique, puis métallisée exactement comme les disques plastiques conventionnels. Selon les promoteurs de ce procédés l'accrochage du film métallique sur le verre serait à ce point énergique que la durée de vie d'un tel enregistrement serait supérieur à 100 ans. En outre, une remétallisation du disque de verre gravé est toujours possible après nettoyage chimique de sa surface, ce qui est est inenvisageable avec les substrats plastiques cidessus mentionnes. L'inconvénient de cette solution est qu'elle ne se prête pas, par principe, à la duplication économique d'un grand nombre de copies. De fait, le prix de revient unitaire actuel des disques produits de cette façon est voisin de 6.000 francs, contre une dizaine de francs seulement pour chacune des milliers de copies d'un même programme obtenues par injection. C'est sans importance si le nombre d'exemplaires demandé est faible, ce qui est typiquement le cas des usages d'archivage courants. C'est au contraire un obstacle insurmontable à la diffusion commerciale de tels disques, même si on peut leur garantir une durée de vie sans commune mesure avec celle de leurs homologues commerciaux produits actuellement. La seule façon de tourner cette difficulté consiste à effectuer, au lieu du tracé séquentiel de chacune des microcuvettes d'un masque, le report global d'un masque "maître" sur chacun des disques de verres à graver. Un report optique conventionnel est malheureusement impossible ici, du fait que la résolution requise, inférieure partout au micromètre, doit être assurée à l'intérieur d'une couronne dont le diamètre peut atteindre 30 centimètre et la surface utile plusieurs centaines de centimètres carrés. Ce qu'aucun assemblage de lentilles ne peut réaliser. Aussi les tentatives en cours actuellement de copie globale font-elles appel à la copie-contact d'un masque maître" sur le photoresist déposé sur le disque à graver. La difficulté pratique ce cette opération est qu'il faut réaliser, en tout point de l'interface, un contact quasi parfait à, disons, quelques centièmes de micron près. Bien que difficile à obtenir, cette performance est actuellement du domaine du possible, au moins sur des diamètres inférieurs à 15 centimetres, par les techniques classiques de polissage (de verre) et d'enduction (de photorésist). Le risque subsiste néanmoins qu'une poussière} même de l'ordre du dixième de micron, ne se trouve prise en sandwich entre ces deux disques. Car son effet sur le report des motifs du flan sur le "masque" du disque à graver fait apparaître des anneaux de Newton incompatibles, du fait de leur étendue avec la rigueur du transfert en question.A fortiori si l'on veut, de cette façon, étendre le principe du CENTURY DISC à des disques de 30 centimètres de diamètre qui sont le format type des disques optiques vecteurs d'un programme de télévision. La présente invention a pour objet un dispositif de transfert holographique, c'est à dire capable d'effectuer un transfert optique sans contact et néanmoins sans lentilles; donc aussi. sous certaines conditions, dépourvu d'aberrations. Si les schémas généraux de l'holographie sont maintenant classiques depuis longtemps, leur mise en oeuvre peut s'avérer néanmoins difficile, voire impossible, lorsque les spécifications de telle application donnée se heurtent aux limites inhérentes aux schémas en question. Ainsi en est-il ici de l'exigence d'un pouvoir de résolution très élevé (proche de la limite imposée par la diffraction) combiné avec un très grand champ. Des montages spécifiques sont donc nécessaires à la mise en oeuvre des principes de l'holographie à ce cas particulier. C'est là le premier objet de la présente invention. Une autre exigence du problème posé par la duplication en moyenne ou grande série de disques optiques gravés par ablation directe du substrat a trait au temps nécessaire à l'obtention physique des masques en question. Là encore, l'invention se propose d'apporter une solution. L'invention sera mieux comprise au moyen de la description ci-après et des figures annexées parmi lesquelles: - Les figure 1, 2 et 3 sont un rappel élémentaire des principes qui sont à la base de l'holographie. - La figure 4 est une figure explicative. - La figure 5 représente schématiquement la mise en oeuvre de ces principes, appliqués au cas précis de l'enregistrement holographique du flan d'un disque optique. - La figure 6 est une figure explicative. - La figure 7 est relative à la restitution de l'hologramme enregistré sur le montage de la figure 5. - La figure 8 décrit un mode préférentiel d'enregistrement. - La figure 9 est relative à la restitution de l'hologramme enregistré sur Je montage de la figure 8. - La figure 10 est une figure explicative. - La figure il est relative à un second mode préférentiel d'enregistrement. - La figure 12, à la restitution de l'hologramme enregistré sur le montage de la figure 11. - La figure 13 décrit un mode de réalisation de couche photosensible spécialement adaptée au transfert rapide de l'image holographique d'un masque sur un disque. Sur la figure 1, on a représenté schématiquement un mode d'arrangement très général des principaux organes impliqués par l'enregistrement d'un hologramme: une source de lumière cohérente 1, un objet 2, une lame séparatrice 3 et une surface photosensible 4 dont on va voir qu'elle doit posséder un pouvoir de résolution très élevé, La source 1 délivre un faisceau délimité par les rayons 11 et 12. Le faisceau réfléchi par la lame 3 est délimité, lui, par les rayons 13 et 14. il éclaire l'objet 2 dont chacun des points, tel celui noté 5 devient à son tour une source de lumière cohérente dont le diagramme de rayonnement est en général extrêmement complexe mais que l'on a symbolisé ici, pour la clarté du schéma, par le tracé de seulement deux rayons notés respectivement 57 et 58. Dans ces conditions, la surface 4 est le siège d'interférences qui résultent de l'addition, en amplitude et phase, de la surface d'onde diffractée par l'objet 2 avec celle, dite "de référence", issue directement de la source 1. Ces interférences donnent naissance à un réseau très complexe de franges alternativement brillantes et sombres, dont l'enregistrement sur la surface photosensible 4 constitue I'hologramme de l'objet en question. A un objet donné, on peut donc associer autant d'hologrammes que de conditions de saisie de cet enregistrement. En outre, le pas moyen des franges étant de l'ordre de grandeur de la longueur d'onde de la radiation émise par le source cohérente, il est bien sûr indispensable que la surface photosensible 4 possède un pouvoir de résolution suffisant. Après développement et séchage, l'hologramme 4 est placé a nouveau dans le champ de l'onde de référence, comme il est représenté sur les figures 2 et 3; c'est à dire dans les mêmes conditions que précédemment à ceci près qu'il n'y a plus d'objet 2, donc plus nécessité de lame séparatrice pour en assurer l'éclairement. L'usage veut que l'on désigne alors le faisceau de référence sous le nom de faisceau de restitution, et l'onde de référence (dans le plan de l'hologramme) sous le nom d'onde de restitution. Ceci pour permettre l'analyse de configurations plus générales où ces deux faisceaux, d'écriture et de lecture, sont différents. La théorie montre que la lumière diffractée par l'hologramme se compose de 3 "ordres" distincts où l'on peut distinguer, comme dans la modulation d'amplitude d'une onde sinusoïdale, 3 composantes désignées habituellement (par analogie avec les 3 raies du spectre de cette modulation) sous les noms de "porteuse", de "bande latérale" numéro I et de "bande latérale" numéro 2. La "porteuse" est, pour ce qui nous intéresse ici, sans signification particulière. Elle représente, en gros, le résidu du faisceau de restitution après sa traversée de l'hologramme. Les "bandes latérales" au contraire méritent de retenir l'attention. Elles reproduisent respectivement en effet: - la première, le rayonnement de l'objet 2 lorsqu'il était éclairé par la lumière réfléchie sur lui par la lame séparatrice 3 (figure 1); - la seconde, l'onde "conjuguée" de ce rayonnement. La signification pratique de ces deux ordres de diffraction est donnée sur les figure 2 et 3. La figure 2 est relative à la "bande latérale" numéro 1 de l'onde diffractée par l'hologramme. Elle porte en elle l'image virtuelle 21 de l'objet 2 présent lors de ltenregistrement, image représentée ici entourée d'un rectangle pointillé faute de pouvoir user de pointillés pour son tracé sur la figure en question. Un observateur situé en face de l'hologramme, à droite sur le dessin, verra alors cette image virtuelle exactement comme il aurait vu l'objet réel dans les conditions de son enregistrement. La figure 3 est relative à la "bande latérale" numéro 2 de l'onde diffractée par l'hologramme. Elle porte en elle l'image réelle 22 de cet objet. Sa restitution peut être faite en interposant un écran dans le plan de focalisation des rayons tels que 527 et 528 > qui convergent ici vers le point 52, image du point 5 de l'objet 2 présent lors de la prise de vue. S'il s'agit d'un objet tridimensionnel, l'image réelle ainsi restituée sera éventuellement brouillée par la représentation floue des autres points de l'objet non situé dans ce plan. Mais s'il s'agit d'une image bidimensionnelle, comme c'est le cas des masques nécessaires à la gravure d'un disque de verre, l'obtention d'une l'image réelle à partir de la "bande latérale" numéro 2 est alors possible avec toute la netteté désirée. Tout se passe en somme comme au travers d'une optique conventionnelle (profondeur de champ), à ceci près que, ici, il s'agit d'une optique sans lentille et dépourvue d'aberrations. Le problème se pose pourtant d'obtenir sur cette image holographique un piqué suffisant. Comme en optique conventionnelle et pour les mêmes raisons, la dimension minimale de chacun des points de l'image sera fonction de la dimension de la tache de diffraction, qui est sensiblement égale à la longueur d'onde de la lumière divisée par l'Ouverture Numérique de l'instrument. En optique instrumentale traditionnelle, l'Ouverture Numérique d'un objectif est égale, par définitions au sinus du demi angle sous lequel, du point focal F on voit la pupille de sortie de l'objectif en question. Si l'on désigne par a cet angle, on a alors, conformément aux notations de la figure 4: N=sin(#/2) En optique holographique, le même raisonnement reste valable; à ceci près que l'on peut définir à présent une Ouverture Numérique pour tous les points du plan image et que la pupille de sortie se confond alors avec la surface de l'hologramme éclairé par l'onde de restitution. Ainsi, sur la figure 3, l'angle Q relatif au point 52 est celui formé par les rayons 521 et 522. Tout cela pour dire que, si l'on veut restituer par voie holographique une image de masque sans perte de resolution, il faudra que l'Ouverture Numérique en tous les points du plan objet soit au moins égale à celle de l'objectif utilisé pour l'élaboration point par point du masque en question. Sur la plupart des machines utilisées actuellement pour la gravure de disques optiques, l'Ouverture Numérique de l'objectif d'écriture est typiquement de 0 > 75 correspondant à un angle or égal à 970, Une valeur qui, de toute évidence, ne peut être atteinte par un montage du type représenté sur la figure 1. Certains modèles de graveurs ont néanmoins été commercialisés qui utilisent des objectifs moins ouverts (typiquement 0 > 45) > et qui compensent la surface relativement importante de leur tache de diffraction par un processus particulier de développement de la résine insolée. Compte tenu de la nature bien particulière des motifs constitutifs d'un hologramme, il n'en sera pas question ici. La figure 5 montre comment il est possible de mettre à profit la géométrie caractéristique d'un disque pour réaliser un hologramme satisfaisant à l'exigence d'une Ouverture Numérique élevée. Les organes homologues participants aux figures 1 et 5 sont désignés par des numéros identiques, Sur la figure 5, on peut voir à titre d'exemple non limitatif un dispositif d'enregistrement comprenant entre autres: une source de lumière cohérente I délivrant un pinceau de rayons parallèles 10, une lame séparatrice 3 et, vus par leur tranche, deux disques de verre 20 et 40 d'axe commun z' z, Ces disques servent de support: - le premier à l'objet 2 dont se propose de faire l'hologramme, - le second à la surface photosensible 4 sur laquelle le dit hologramme va être enregistré. Le mot "objet" doit être compris ici dans son acceptation traditionnelle de l'optique géométrique. il ne présume rien sur sa nature ni sur sa structure ou sur ses dimensions. L'objet 2 considéré ici étant, par principe, limité à une couronne d'axe Z z, le centre du disque, évidé ou non, est utilisé pour introduire le faisceau de référence dans cette sorte de cavité cylindrique comprise entre les disques 20 et 40. Une optique 101 transforme le pinceau incident en un faisceau divergent limité par les rayons 11 et 12 et capable, de ce fait, de fournir l'onde de référence nécessaire à l'enregistrement Le même dispositif est utilisé pour former, au travers-du disque 40, le faisceau divergent nécessaire à l'éclairement de l'objet 2. Dans ce but, le pinceau de lumière parallèle réfléchi par la lame séparatrice 3 est acheminé au dessus du disque 40 par 3 miroirs plans notés 6, 7 et 8, puis transformé par une optique 102 en un faisceau divergent limité par les rayons t 3 et 14. Comme sur la figure I, on a représenté en 5 un point courant de objet) et limité à deux flèches la représentation de deux rayons arbitraires diffractés par ce point vers la surface photosensible 4. Dans le cas qui nous occupe ici, le couple (support-objet) 20-2 représente très exactement Te flan d'un disque optique après insolation et développement du photoresist sur une machine de gravure. De même, le couple (support-hologramme) 40-4 représente très exactement ce flan vierge. Les optiques 101 et 102 sont des optiques à très grande ouverture, qui ne sont soumises à aucune exigence en matière de stigmatisme ou d'aberrations. On les a schématisé ici par des lentilles mais de simples systèmes réflecteurs de révolution, d'axe z' z, comme celui représenté sur la figure 6, sont capables de jouer le même rôle (qui est d'éclairer de façon à peu près uniforme les couronnes 2 et 4) dans de bien meilleures conditions. Ils permettent d'éviter, en particulier: a) de rayonner en pure perte une part notable de l'énergie incidente dans la région centrale des disques, b) de créer sur le faisceau 10 des ondes stationnaires qui pourraient perturber le bon fonctionnement de la source 1 de rayonnement cohérent. La restitution de l'hologramme sera effectuée conformément au schéma de la figure 7. Après développement et séchage, l'hologramme 4 est replacé vis à vis du faisceau de restitution dans l'exacte position qu'il occupait vis à vis du faisceau de référence. L'image réelle véhiculée par l'ordre diffractée dans la "bande latérale" n0 2 se forme alors dans un plan 100 parallèle au disque 40 et situé en avant de l'hologramme à une distance égale à celle qui, lors de l'enregistrement, séparait l'objet 2 de la surface photosensible 4. La surface photosensible 22 portée par le disque 60 est alors placée dans le plan 100 et insolée le temps nécessaire à la formation de l'image latente s'il s'agit d'une émulsion photographique, à la photoréticulation des molécules de cette surface photosensible s'il s'agit d'un photorésist ou de toute autre substance analogue (gélatine bichromatée, photopolymères etc. Dans le cas qui nous occupe ici, le couple (support-film photosensible) 40-4 joue très exactement le rôle du flan sur lequel sont inscrites, les unes après les autres, les milliards de microcuvettes qui matérialiseront, sur de disque le signal enregistré. Les figures 5 et 7 si elles peuvent être considérées comme dérivées, pour l'essentiel, des montages théoriques classiques rappelés sur les figures 1 et 3, n'en comportent pas moins des éléments physiques nouveaux aux effets non négligeables dès lors que l'on se propose de restituer des images pratiquement dépourvues d'aberrations. C'est le cas notamment du disque de verre 40, support de l'hologramme 4, qui introduit sur la propagation des ondes diffractées par cet hologramme un phénomène de réfraction supplémentaire dont il importe de tenir compte avec la plus extrême attention On sait que, dans l'approximation des "petits angles" de l'optique géométrique, ce phénomène se traduit seulement par un raccourcissement de la "longueur électrique" du trajet optique normal à la plaque égal à: 3.(n-l ).e/x; où n est l'indice du verre dans lequel est taillé le disque 40, e son épaisseur et x la longueur d'onde utilisée.Si c'était là le seul effet parasite, il ne serait pas difficile à compenser: il suffirait de rapprocher d'autant le plan 100 du disque 40 sur la figure 7. I1 se trouve malheureusement que, pour les incidence d'émergences moyennes et fortes des rayons tels que 527 sur la figure 3, ce phénomène se double, sur chacun des points (tel 52) de l'image restituée, d'un astigmatisme incompatible avec les exigences d'une reproduction rigoureuse du masque d'un disque optique. il ne servirait à rien de retourner le disque 40, car ce serait alors l'onde de restitution de l'hologramme (comprise entre les rayons il et 12) qui serait affectée. il ne servirait à rien non plus, lors de ltenregistrement, de disposer la surface photosensible 4 sur la face supérieure du disque 40, car c'est alors l'hologramme de l'objet 2 qui serait affecté par la présence du dioptre à faces parallèles 40. Conformément à l'invention, la correction rigoureuse de ces phénomènes peut être obtenue en disposant la surface photosensible 4 en sandwich entre deux disques de verre aussi identiques que possibles, de telle sorte que les perturbations induites par de disque 40 sur l'onde diffractée lors de la lecture de l'hologramme aient été par avance compensées par un dioptre plan identique lors de son enregistrement. La figure 8 est relative au montage utilisé à cet effet lors de l'enregistrement. Par rapport à la figure 5, on notera que la couche photosensible 4 se trouve maintenant prise en sandwich entre les disques 40 et 41. Ainsi les franges d'interférences enregistrées sur l'hologramme prennent-elles à présent en compte les distorsions introduites par la plaque 41 et qui affectent aussi bien l'onde de référence issue de l'optique 101 que l'onde diffractée par l'objet 2 dans les mêmes conditions d'éclairement que précédemment. Pour ne pas compliquer inutilement le schéma les rayons 11, 12, 13 et 14 ont été représentés par des traits rectilignes, alors que la prise en compte des phénomènes de réfraction intervenant au passage de ces rayons dans des milieux de propagation d'indice différents aurait conduit à leur substituer des lignes brisées en accord avec la loi de Descartes. La figure 9 est relative au montage utilisé lors de la restitution. Après développement et séchage, l'hologramme solidaire du disque 40 est de nouveau pris en sandwich entre les disques 40 et 41, puis placé dans le champ de l'onde de restitution de façon à se trouver éclairé exactement comme il l'avait été lors de la phase d'enregistrement. Par suite de la symétrie du sandwich (40-4-41) > l'onde diffractée par l'hologramme 4 dans la bande latérale numéro 2 reproduira donc, dans le plan 100, l'image rigoureuse de l'objet 2, sans distorsions ou aberrations d'aucune sorte si: a) le sandwich (40-4-41) contenant l'hologramme est effectivement repositionné dans le faisceau de lecture dans l'exacte configuration qui était la sienne lors de l'enregistrement; b) l'ouverture numérique en tout point de l'hologramme 4 est suffisante pour reproduire l'objet 2 avec toute la finesse désirée. La figure 10 permet d'évaluer l'écartement maximal pour réaliser cette dernière condition, On voit que si D est le diamètre de la couronne objet 2, h la distance entre l'objet 2 et l'hologramme 4, et a l'angle de convergence correspondant à l'ouverture numérique N imposée, on a: h = D/tg(a) = D/tg [ 2.arc sin(N) ] Dans le cas d'une Ouverture Numérique égale à Os 75 > cette condition ne peut être satisfaite, du fait que l'angle a correspondant est alors égal à 97c il est néanmoins possible d'arranger les choses en substituant à la propagation en air libre une propagation dans un milieu dont l'indice de réfraction est sensiblement supérieur à 1. La solution la plus simple est de donner aux disques 40 et 41 une épaisseur égale à la distance qui sépare l'objet 2 de,l'hologramme 4. Dans ces conditions en effet, la longueur d'onde x de la radiation utilisé, donc la dimension de la tache de diffraction, est divisée par l'indice n du verre Ce qui revient à diviser aussi par n l'Ouverture Numérique effective considérée. Ainsi, dans le cas du verre où n est voisin de 1s5,1 > 5 > le pouvoir séparateur correspondant à une optique d'Ouverture Numérique de 0,75 dans l'air peut être obtenu avec un angle a égal à 2 arc sin(O,75/ 1 ,5) = 2 arc sin (0,5) = 60O Dans ces conditions, on trouve une distance h = D/1,73 conduisant à des distances maximales de 17 et 7 centimètres pour des disques de 30 et de 12 centimètres de diamètre respectivement. Naturellement, si l'épaisseur est plus faible, l'acuité du report holographique des masques n'en sera que plus grande.Un bon compromis devra être trouvé entre l'influence de ce paramètre et la facilité de réaliser sur les surfaces 2 et 4 une densité à peu près uniforme d'éclairement. Les figures il et i12, directement déduites des figures 8 et 9, sont typiques d'une telle configuration. Un autre problème pratique à considérer pour effectuer le report holographique d'un masque sur un disque de verre destiné à être gravé directement (par bombardement ionique ou autre procédé équivalent) est relatif au temps de pose nécessaire à l'obtention du masque-image sur chacun des exemplaires du disque à dupliquer. De tels masques sont actuellement réalisés sur des photoresists dits "positifs" (caractérisés par le fait que ce sont les parties insolées qui sont dissoutes par traitement chimique). Le principal inconvénient de ces résines est leur sensibilité relativement faible à la lumière, comparée à celle des émulsions photographiques même à fort pouvoir de résolution comme la 649 F de Kodak ou la 10 E 70 de Gevaert. C'est ainsi que l'énergie nécessaire à sensibiliser un photorésist est voisine de 0,3 Joule par centimètre carré alors qu'elle n'est que de quelques microjoules pour une émulsion photographique type 649 F. Ce n'est pas très grave dans la mesure où, la gravure d'un disque optique se faisant point par points ou plutôt microcuvette après microcuvette, une puissance de 5 à 18 milliwatts utiles (c'est à dire sur la couche sensible) délivrée par les lasers courants à l'Hélium-Cadmium, à l'Argon ou au Krypton, permet des enregistrements en temps réel de vidéodisques au format CAV, c'est à dire 30 minutes sur un disque de 30 centimètres de diamètre, Dans un processus de duplication globale, la même énergie sera nécessaire aussi à l'insolation de la même surface.Ou plus exactement la moitié, si l'on tient compte de l'économie réalisée par l'élimination du modulateur optique qui consomme, en moyenne, la moitié de la puissance continue qu'il reçoit du laser avec pour mission de la découper. il se trouve malheureusement que le rendement des hologrammes minces lus par transmission (du type de ceux qui ont été considérés ici) ne dépasse pas 10% s'il s'agit d'hologrammes d'amplitude et 30% s'il s'agit d'hologrammes de phase. De sorte que, dans ces conditions, la méthode holographique qui vient d'être décrite pour permettre le report global d'un masque sur un substrat de verre risque d'exiger un temps de pose supérieur à une demi heure, incompatible avec la duplication de masques capables de donner lieu à une véritable production de série. L'invention objet du présent brevet a donc également pour objet de tourner cette difficulté en utilisant en phase finale, et au lieu de la couche photosensible notée 22 sur les figures 7, 9, 10 et 12, deux couches photosensibles de nature et de caractéristiques différentes disposées comme il est indiqué sur la figure 13. Ce sera par exemple, en contact avec le support 60, une couche de photorésist 22 d'une centaine de manomètres d'épaisseur, recouverte d'un film 23 de quelques microns d'épaisseur d'une émulsion photographique à très haut pouvoir de résolution, telle que la 649 de Kodak ou la 10 E 70 de Oevaert ou toute autre dite justement "holographique" en raison de leur utilisation préférentielle dans ce type d'applications.Dans ces conditions, et en admettant: a) un rendement de l'hologramme 4 égal à 10%, bl une puissance disponible au niveau de cet hologramme voisine de 10 milliwatts sur la raie à 441,6 nanomètres d'un laser Hélium-Cadmium un temps de pose inférieur à une seconde environ sera alors suffisant pour former dans l'émulsion photographique 23 l'image latente d'un masque strictement identique, en principe, à l'objet 2 sur le montage d'enregistrement (figures 5 ou 8). Après developpement, l'image formée dans la gélatine (des grains d'argents opaques en suspension dans un milieu transparent) pourra être utilisée à son tour comme masque pour insoler le photoresist 22. L'insolation devra être faite par un faisceau de lumière parallèle d'assez forte puissance pour permettre l'insolation du photoresist dans un temps lui aussi inférieur à une seconde. Ce pourra être par exemple un laser à gaz du type Argon ionisé, capable de délivrer 5 watts toutes raies confondues; ou encore des Laser solides type verre-Néodyme ou YAG (a = i > 06 #m) suivis de doubleurs de fréquence car il est impératif, pour sensibiliser le photoresist, que la longueur d'onde de la radiation utilisée à cet effet soit comprise entre 0 > 35 et 0,55 micromètres; ou encore un flash de rayons Ultra-violets issus d'une source non cohérente mais soigneusement collimatée (lampe à vapeur de mercure par exemple). Une fois le photoresist insolé, il faudra, avant de le développer, éliminer de sa surface le film argentique, ce qui pourra être fait soit par dissolution chimique, soit par pelliculage (striping). Contrairement au mode opératoire basé sur l'insolation directe d'un photorésist, le transfert indiqué ci-dessus via une émulsion argentique conduira à utiliser un photoresist négatif, afin que le développement qui en sera fait ensuite dégage les parties non insolées qui seront justement celles représentatives des microcuvettes. Références Sur l'holographie en général: Optoélectronique (G. Broussaud; Masson éditeur, 1974) - chapitres 1 (pp 21-25) et 7 (pp 212-248) Sur les disques optiques gravés à l'unité: Brevet français n0 2.608.589 (Glaverbell) Brevet américain n0 4.544.443 (Sharp) Optical Data Storage Typical Mastering (SPIE; 1989. p 204) REVEND I CATIONS I) Procédé holographique d'enregistrement d'objets plans d'amplitude ou de phase caractérisé en ce qu'il permet de disposer le dit objet et le film photosensible dans deux plans parallèles sépares par une distance sensiblement inférieure a leurs dimensions respectives. 2) Procédé holographique de restitution d'images planes d'amplitude ou de phase selon la revendication précédente, caractérisé en ce qu'il permet de disposer le plan de l'hologramme et le plan de restitution à une distance sensiblement inférieure à leurs dimensions respectives. 3) Procédé holographique de duplication d'images planes d'amplitude ou de phase selon la revendication 1, caractérisé en ce que la surface photosensible destinée à recevoir et à mémoriser l'hologramme est prise en sandwich entre deux supports symétriques par rapport à cette surface, au moins dans la partie de ces supports parcourus par les rayons utiles a l'enregistrement et a la restitution. 4) Procédé holographique de duplication d'images planes d'amplitude ou de phase suivant les revendications précédentes, caractérisé en ce que les dits supports sont des disques de verre de même épaisseur et de même indice de réfraction. 5) Procédé holographique de duplication d'images planes d'amplitude ou de phase suivant la revendication précédente, caractérisé en ce que l'épaisseur de ces disques est égale à la distance objet-hologramme. 6) Procédé holographique d'enregistrement et/ou de restitution selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que objet, image et hologramme sont constitués de couronnes coaxiales. 7) Procédé holographique d'enregistrement et/ou de restitution suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les faisceaux de référence, d'éclairement de l'obJet, et de restitution sont injectés dans ce montage suivant l'axe commun de ces couronnes et que leurs diagrammes de rayonnement sont également de révolution autour de cet axe. 8) Procédé holographique de restitution d'images planes d'amplitude au de phase selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérise en ce que le film photosensible destine a recevoir la dite image est constitué de deux strates photosensibles dont l'une est faite d'une émulsion photographique et l'autre d'un film de photorésist de moindre sensibilite. 9) Procédé d'insolation et de développement selon la revendication précédente, caractérisé en ce que l'image d'amplitude créée sur la première strate lors de la restitution de l'hologramme pré-enregistré est transférée sous la forme d'un masque sur la seconde strate.