Brevet FR2668091A1 — publié le 19920424

Dispositif de fixation de substrats sur un support pour gravure chimique de couches métalliques L'invention concerne un dispositif de fixation de substrats sur un support pour gravure chimique de couches métalliques à l'aide d'une machine de gravure par pulvérisation. L'évolution des fonctions hybrides microélectriques hyperfréquences conduit à intégrer de nombreux isolateurs et circulateurs. On réalise, actuellement, de tels isolateurs et de tels circulateurs avec des substrats ferrites dorés par des dépôts en couches minces. Leurs motifs peuvent être obtenus par gravure de la couche d'or à l'aide d'une machine à graver par pulvérisation. Pour réaliser une telle gravure, il faut positionner lesdits substrats sur un support à l'aide de fixations mécaniques ; le type du support devant être adapté aux dimensions du substrat. Une telle opération se révèle longue et délicate car les substrats sont très fragiles. L'invention a pour objet de pallier ces inconvénients. Elle propose, à cet effet, un dispositif de fixation de substrats sur un support pour gravure chimique de couches métalliques dans une machine à graver par pulvérisation, caractérisé en ce que ledit dispositif comprend un disque en matériau amagnétique dans lequel est disposée, parallèlement aux faces du disque, au moins une plaque aimantée. Un tel dispositif permet de faciliter le montage des substrats sur leur support, et en obtenant un gain de temps et de qualité de la gravure. De plus un tel dispositif permet d'obtenir des résultats reproductifs. Les caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description qui va suivre, à titre d'exemple non limitatif, en référence aux dessins annexés sur lesquels - les figures 1 et 2 illustrent un dispositif de fixation de l'art antérieur, - les figures 3, 4, 5 et 6 illustrent le dispositif de fixation de l'invention. La figure 1 représente schématiquement une machine à graver par pulvérisation de l'art connu qui comporte une cuve de rétention 10 dans laquelle sont disposées des buses d'émission 11, par exemple au nombre de quatre, disposées sur une paroi 12 de ladite cuve 10. Un disque 13 muni d'une gorge périphérique 14 est solidaire d'un axe horizontal 15, mobile en rotation 16. L'axe de symétrie 6' de ce disque 13 est décentré par rapport à celui 6 de l'axe 15 en rotation. Un dispositif 17 de fixation des supports ayant la forme d'une roue est disposé au dessus de cette gorge 14, et maintenu dans deux glissières 18. Il est entraîné en rotation par friction avec la gorge 14 du disque 13 ; il est donc muni d'un mouvement de rotation 19 et de translation 20 de bas en haut.Les buses 11 sont reliées à une pompe 21 au travers d'une électrovanne 22 recevant un signal de commande Vc. Il est également possible de disposer un second jeu de buses sur la face opposée 34 de la cuve 10, ce qui permet d'effectuer une gravure sur des substrats 24 positionnés sur chacune des faces du dispositif de fixation 17. Dans la cuve de rétention 10, le réactif, par exemple de type iode-iodure, est projeté par l'intermédiaire des buses 11 et grave un substrat 24, par exemple doré, fixé sur le disque de fixation 17 qui est donc animé d'un mouvement de rotation 19 associé à un mouvement de translation 20. Comme représenté sur la figure 2, le substrat 24 à graver, est monté dans un support 25 et maintenu par six vis 26. Ensuite, ce support est monté sur une roue 17 au moyen de patins 27 déplaçables autour des corps de vis 28. Ces vis, une fois le support 25 bloqué par les 27 patins, permet le blocage du support 25. Avec un tel support à six vis on peut fixer trois substrats de chaque côté du dispositif de fixation soient six substrats. Comme représenté sur la figure 3, l'invention consiste à remplacer le système support 25 + roue 17 par un disque 30 en matériau amagnétique, par exemple en plexiglass, sur lequel, sont placées des plaques aimantées 31, protégées éventuellement par des couches de protection 32, par exemple en époxy. Ainsi, dans le cas de substrats 24 en ferrite, il suffit de les placer sur les deux faces du disque 30 ; ils sont alors maintenus par effet magnétique. On peut obtenir alors une configuration des substrats 24 sur le dispositif de l'invention, commme représenté sur la figure 4. Avantageusement, on peut disposer une feuille, par exemple en matière plastique, entre les substrats et chaque face du dispositif de l'invention de manière à faciliter la récupération des substrats en fin de pulvérisation, en tirant sur les bords de ladite feuille. Pour un disque 30 d'un diamètre de 20 centimètres environ et d'épaisseur environ un centimètre, on peut avoir, par exemple, des couches aimantées 31 et de protection 32 d'épaisseur proche du millimètre. Comme représenté sur la figure 5, dans le cas de substrats 24 non magnétiques on peut utiliser des cales 33 en matériau magnétique pour maintenir ces substrats. Une telle cale 33, telle que représentée sur la figure 6, comporte par exemple de chaque côté d'un élément en forme de croix 34, deux éléments carrés de tailles différentes, le premier 35 plus petit servant à bloquer le substrat 24 et le second 36 de forme plus importante ayant comme rôle la fixation de l'ensemble (substrat 24 + cale 33). Le dispositif de l'invention ainsi décrit présente un grand nombre d'avantages - Facilité de montage des substrats - Réduction du temps de préparation : classiquement d'environ 1 heure 40 à 20 minutes - Augmentation du nombre de substrats gravés en une opération de gravure : 34 substrats (2 fois 17) sur les deux faces au lieu de 6 (2 fois 6) (voir figure 4) - Gravure simultanée possible de substrats 24 de différentes dimensions; - Meilleure protection de la face arrière (plan de masse) des substrats 24 ; cette face arrière étant en contact avec la face extérieure du disque 30 - Disparition de l'opération de grattage d'or + gravure aux quatre coins de chaque substrat (défaut dû aux vis 26 qui existaient dans le dispositif de l'art connu). Il est bien entendu que la présente invention n'a été décrite et représentée qu'à titre d'exemple préférentiel et que l'on pourra remplacer ses éléments constitutifs par des éléments équivalents sans, pour autant, sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1/ Dispositif de fixation de substrats sur un support pour gravure chimique de couches métalliques dans une machine à graver par pulvérisation, caractérisé en ce que ledit dispositif comprend un disque (30) en matériau amagnétique dans lequel est disposée, parallèlement aux faces du disque, au moins une plaque aimantée (31). 2/ Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte une plaque aimantée (31) disposée sur chacune de ses deux faces. 3/ Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que chaque plaque aimantée (31) est recouverte d'une couche de protection (32). 4/ Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que dans le cas de substrats (24) non magnétiques, on utilise des cales magnétiques (33) pour les maintenir. 5/ Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que ces cales (33) comportent respectivement un élément en forme de croix (34) fixé entre deux éléments carrés de tailles différentes (34, 35). 6/ Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la machine à graver comporte une cuve de rétention (10) dans laquelle sont disposées des buses d'émission (11) disposées sur une paroi (12), un disque (13) muni d'une gorge périphérique (14) solidaire d'un axe horizontal (15) mobile en rotation (16), l'axe de symétrie (6') de ce disque (13) étant décentré par rapport à celui (6) dudit axe (15) ; le dispositif (17) de fixation des supports étant disposé au dessus de cette gorge (14), maintenu dans deux glissières (18) étant muni d'un mouvement de rotation (19) et de translation (20) de bas en haut.