Brevet FR2666853A1 — publié le 19920320

"PomPe à vide et système de pompage comprenant au moins une telle pomPe" La présente invention concerne les pompes à vide sèches utilisées dans le domaine industriel, et plus particulièrement une pompe à vide du type alternatif adaptée aux environnements dans lesquels un niveau élevé de propreté est nécessaire, par exemple, dans lesquels la diffusion inverse de l'huile de lubrification issue de la pompe à vide et la production d'une poudre fine ou analogue provenant d'une partie d'étanchéité coulissante sont hautement indésirables, ou à un environnement pour lequel une fuite d'un gaz toxique, d'un gaz corrosif, d'un gaz radioactif, ou analogue, vers l'extérieur est hautement indésirable, pompe à vide dont la structure et le fonctionnement sont relativement simples, et dont les vibrations sont considérablement réduites. Dans les usines chimiques et dans le domaine industriel, des pompes à vide de différentes structures sont utilisées en fonction du niveau de vide requis. Classiquement, les pompes à vide à balayage sont des pompes rotatives à huile. Dans ce type de pompes, une huile de lubrification est utilisée pour lubrifier les pièces mécaniques coulissantes. Comme le carter de cette pompe à vide rotative est empli d'une huile de lubrification, se posent des problèmes de diffusion inverse de l'huile vers le dispositif sous vide, ce qui entraîne que le rendement du produit fabriqué dans l'environnement sous vide chute, et que le gaz du processus et l'huile de lubrification réagissent pour entraîner la détérioration de l'huile, ou qu'une poudre fine est introduite dans la réaction entre l'huile diffusée et le gaz du processus et pénètre à l'intérieur de la pompe, ce qui entraîne des pannes. De plus, dans l'industrie, apparaissent actuellement des domaines qui nécessitent une absence d'huile, un degré d'étanchéité à l'air élevé, et une grande propreté. Des exemples de tel domaines sont la production de semiconducteurs, l'énergie atomique, les accélérateurs de particules élémentaires, les équipements liés au traitement médical, et ceux liés à l'ingénierie spatiale. Par exemple, dans les systèmes de production de semiconducteurs, on cherche à ce que la diffusion inverse d'huile de lubrification ne puisse pas se produire, parce qu'une telle diffusion influence directement la production des produits semiconducteurs, et également à ce que ne puisse pas se produire de poudre fine de matière étrangère, ou analogue.Afin de satisfaire une telle demande, une pompe à vide qui n'utilise pas d'huile de lubrification, c'est-à-dire une pompe à vide sèche, est souhaitable. Des pompes à vide alternatives décrites dans les demandes de brevet Japonais N" 12903/1984 et 24347/1985, destinées à résoudre les problèmes antérieurs mentionnés ci-dessus, adoptent une technique dans laquelle sont utilisés des soufflets pour séparer complètement le côté gaz et le côté où sont logées des pièces mécaniques coulissant dans un carter, de manière à interdire la diffusion inverse de l'huile de lubrification vers le côté gaz du processus. Dans ces techniques antérieures, il reste cependant encore des problèmes à résoudre. En particulier, dans une pompe à vide alternative, la structure comprend une partie moteur, une partie manivelle (partie volant), et une partie piston. En raison de leur forme et de leur structure, les pompes deviennent inévitablement de grandes dimensions et engendrent des vibrations accrues. Pour éliminer ou réduire les vibrations, la demande de brevet Japonais N" 122450/1990 propose une pompe dans laquelle des pistons se font face, mais comme une partie moteur et une partie manivelle sont associées, leur taille devient défavorablement grande par comparaison avec la partie piston. En outre, comme le mouvement de rotation du moteur est converti en un déplacement rectiligne, il est inévitablement accompagné d'une perte mécanique, qui est un facteur de réduction du rendement global. En outre, dans le cas d'une pompe du type alternatif, afin d'effectuer l'aspiration et le refoulement par le déplacement du piston, une partie étanchéité, représentée par un segment de piston, est nécessaire. Dans le cas d'une pompe à vide qui n'est pas du type sèche, l'étanchéité est réalisée en amenant une huile de lubrification à la partie segment de piston, et souvent, l'huile de lubrification est amenée par des projections effectuées par des lames dans le carter. Dans une pompe sèche, l'amenée d'huile de lubrification à cette partie est évitée, et il est fait usage d'une manière générale d'un matériau ayant une caractéristique auto-lubrifiante, comme une résine fluorée. Dans ce cas, à cause du coulissement d'un anneau de résine fluorée, il est difficile d'éliminer le risque de production d'une poudre résultant de l'usure de l'anneau, et par conséquent une telle pompe n'est pas adaptée aux environnements dans lesquels une telle poudre fine est indésirable, et bien que des études de développement d'un matériau pour le segment de piston et des études de développement pour la structure du segment de piston aient été menées, le problème n'est pas résolu pratiquement. En outre, a été proposée une pompe d'un type alternatif ayant une structure ne nécessitant pas de piston et de segment de piston. La figure 2 en montre un exemple avec un soufflet 15 réalisant une liaison étanche entre une tête de piston 11 et un bloc cylindre 13. L'intérieur du soufflet constitue un espace de balayage 17 correspondant à l'intérieur d'un cylindre, et pour l'isolation de l'extérieur, le soufflet 15 est fixé de manière étanche d'un seul tenant à la périphérie extérieure du piston. La tête de piston 11 est fixée à sa partie inférieure à une tige d'entraînement 19 formant tige de piston. La tige est reliée à une partie constituée d'un roulement 21 et d'une came à excentrique 23, laquelle partie est appelée "partie manivelle" en termes de mécanique automobile.La came à excentrique 23 est reliée à un arbre moteur 25, et un volant (non représenté) est utilisé pour réaliser un mouvement de rotation régulier. Ce mouvement de rotation fait en sorte que le soufflet s'expanse et se contracte. Le soufflet est déplacé vers le haut et vers le bas tout en ayant, comme composantes de déplacement, une composante verticale oscillatoire et une composante horizontale oscillatoire simultanément. La partie supérieure du soufflet est reliée de manière étanche au bloc cylindre 13 fixe qui réalise l'aspiration et le refoulement par la mise en oeuvre de clapets disposés dans une boîte à clapets. Les repères 27A et 27B indiquent, respectivement, un clapet d'aspiration et un clapet de refoulement. Dans ce cas, comme cela a été établi cidessus, puisqu'il n'y a pas de partie dite partie cylindre (servant de glissière) comme pour réaliser une conversion complète en mouvement rectiligne, le mouvement oscillant est également transmis au soufflet 15. Bien que le soufflet 15 soit bien adapté à des déformations dans la direction axiale, il ntest en revanche pas adapté à absorber des déformations importantes dans une direction perpendiculaire à la direction axiale ; également il est bien connu qu'à mesure que la longueur augmente dans la direction axiale, cette tendance s'accroît, et l'on parvient à un état dans lequel le soufflet est tordu, et le fonctionnement souhaité n'est pas obtenu. Par conséquent, la pompe utilise un soufflet 15 de faible longueur.En outre, puisque seulement un clapet d'aspiration et seulement un clapet de refoulement sont utilisés, le niveau maximal de vide qui peut être atteint est de l'ordre de 13.000 Nom 2 (100 torrs). De plus, il existe une possibilité que la fréquence propre du soufflet 15 ne corresponde pas à la vitesse du déplacement vertical de la tête de piston 11, ce qui conduit à la rupture du soufflet 15. Par conséquent, il est nécessaire de limiter la contrainte engendrée dans le soufflet par son balancement ou son oscillation de sorte que sa durée de vie puisse être étendue, et ainsi la fréquence de l'oscillation du soufflet, c'est-à-dire, la fréquence de rotation de la source de puissance, est limitée. Comme cela a été établi ci-dessus, comme la fréquence de rotation de la source de puissance ne peut être augmentée et la course est courte, il y a une limite au volume qui peut être balayé, et il est difficile d'obtenir une pompe ayant une grande capacité. En outre, dans le type de pompe représenté sur la figure 2, une liaison directe est réalisée sur l'arbre d'un moteur, et la vitesse de fonctionnement est imposée nécessairement par la fréquence de rotation de celui-ci, de sorte que si l'on souhaite modifier la vitesse de fonctionnement, il n'y a pas d'autre possibilité que de changer le nombre de pôles du moteur, pour changer la fréquence, ou d'utiliser un mécanisme d'engrenage à vitesse variable. Si la vitesse doit être modifiée pendant le fonctionnement, comme le nombre de pôles ne peut pas être changé, la fréquence est commandée par un onduleur pour modifier la fréquence de rotation, ou bien la vitesse de fonctionnement est modifiée par un mécanisme d'engrenage à vitesse variable pour augmenter ou diminuer le volume balayé par unité de temps.Dans ce cas, pour une pompe dans laquelle le balayage pour une course est petit et pour laquelle la limite supérieure de la fréquence de rotation est faible, un dispositif supplémentaire, comme un onduleur ou un mécanisme d'engrenage à vitesse variable, est nécessaire, ce qui est globalement défavorable. Par conséquent, d'une manière générale, le volume de balayage de la pompe est imposé par la longueur du soufflet et ainsi le volume de balayage par unité de temps, et la pression, etc., sont nécessairement imposés. En outre, comme cela est représenté sur la figure 3, une pompe à vide alternative du type à déplacement rectiligne, dite à piston libre, a été proposée. Dans ce cas, la structure est telle qu'un électro-aimant 31 est placé autour d'un piston 29 ; le piston 29, comportant une pièce magnétique 33 logée à l'intérieur, est attiré par l'application d'une tension pulsée (par exemple, une source de courant alternatif qui a été soumise à un redressement demi-onde), et lorsque l'application de la tension disparaît, le piston est rappelé à son état d'origine par une force de rappel imposée, par exemple par un ressort hélicoïdal 35. Ici, si la tension pulsée est appliquée de façon continue, se produisent des oscillations alternatives.Sur une partie correspondant à un cylindre, il est prévu une partie d'étanchéité coulissante (par exemple, il est fait usage d'un segment d'étanchéité en résine fluorée ou d'un cylindre qui est lui-même réalisé en une résine fluorée) autour de la tête de piston 29A. Dans certains cas, la surface de la tête de piston 29A est revêtue d'une résine fluorée ou analogue. Les repères 37A et 37B indiquent un clapet d'aspiration et un clapet de refoulement, respectivement. Dans la pompe à vide ayant une telle structure, comme de la poudre fine est produite à partir du matériau d'étanchéité (par exemple, une résine fuorée) de la partie coulissante, en fonction de l'état de coulissement, et comme elle se mélange avec les gaz refoulés, la pompe à vide n'est pas adaptée à des conditions d'environnement et de fonctionnement dans lesquels un degré élevé de propreté est requis. En outre, la tension pulsée appliquée à l'électro-aimant est généralement fournie en soumettant un courant alternatif à un redressement demi-onde. De plus, comme, dans bien des cas, un matériau organique tel qu'une résine fluorée est utilisé, et comme de la chaleur produite par le coulissement, ou encore de la chaleur de compression résultant de l'opération de compression, ou de la chaleur produite dans l'électro-aimant, fait en sorte que la partie cylindre est amenée à une température élevée, ce matériau résine organique est susceptible d'être déformé, ce qui influence directement la durée de vie de la pompe. D'autre part, pour empêcher un tel phénomène et pour augmenter la durée de vie de la pompe, il serait très défavorable d'installer un moyen de refroidissement forcé extérieur. L'objectif de la présente invention est de créer une pompe à vide du type alternatif sèche ne nécessitant pas de piston et de segment de piston, dont la structure et le fonctionnement sont relativement simples, et dont les vibrations sont considérablement réduites. A cet effet, la présente invention concerne une pompe à vide à deux étages de refoulement, caractérisée en ce qu'elle comprend un plongeur, des moyens d'entraînement imposant un mouvement de va-et vient au plongeur, des parties de fixation de soufflet opposées aux faces du plongeur sur les côtés opposés dans la direction de va-et-vient du plongeur, des soufflets reliant de manière étanche le plongeur et les parties de fixation de soufflet d'une façon telle qu'ils permettent au plongeur d'effectuer un mouvement de va-et-vient et de façon à former des chambres de gaz en coopération avec le plongeur et les parties de fixation de soufflet, et des mécanismes de clapets d'aspiration/refoulement disposés sur le plongeur et sur les parties de fixation de soufflet, de telle sorte que lorsque ledit plongeur est animé d'un mouvement de va-et-vient par les moyens d'entraînement, pour contracter le soufflet entourant l'une des chambres de gaz afin que ladite chambre de gaz soit amenée à l'état comprimé, le mécanisme de clapet dudit plongeur soit fermé et le mécanisme de clapet de ladite partie de fixation de soufflet soit ouvert, tandis que lorsque le soufflet entourant l'autre chambre de gaz est contracté, pour amener ladite autre chambre de gaz à l'état comprimé, le mécanisme de clapet du plongeur soit ouvert et les mécanismes de clapet des parties de fixation de soufflet soient fermés, afin que le refoulement soit effectué par le cycle constitué par les courses de l'une des chambres de gaz, du plongeur et de l'autre chambre de gaz. La pompe à vide de la présente invention est ainsi une pompe à vide exempte de toute huile et n'ayant pas de partie dite coulissante, de manière à éliminer complètement la possibilité de production de poudre fine à partir d'un joint coulissant, de sorte qu'elle peut être employée dans des conditions d'utilisation dans lesquelles un haut degré de propreté est nécessaire. Pour éliminer tout joint coulissant, les soufflets sont installés de manière à isoler complètement la structure de l'extérieur, réalisant une structure complètement étanche. De plus, toute fuite de gaz à travers un joint coulissant de piston est éliminée, ce qui ameliore le rendement de compression. Enfin, pour entraîner la partie plongeur, correspondant à un piston, par exemple, une structure comportant un électro-aimant en face du plongeur est disposée à la partie périphérique extérieure de celui-ci, et est utilise la force magnétique de l'electro-aimant. La partie plongeur est pourvue d'un clapet d'aspiration et d'un clapet de refoulement constitués typiquement de clapets plats (du type obturateur). Ainsi une structure simple, dans laquelle la partie plongeur classique et la partie piston sont intégrees, devient possible. Dans ce cas, il va sans dire que peuvent être utilisés, pour entrainer le plongeur, de l'air, ou des moyens divers connus tels que des moyens mécaniques. Les caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront d'ailleurs de la description qui va suivre donnée à titre d'exemple en référence aux dessins annexés, sur lesquels - la figure 1 est une vue en coupe d'une forme de réalisation d'une pompe à vide selon la présente invention - les figures 2 et 3 sont des vues en coupe de pompes à vide classiques ; et - les figures 4 à 7 sont des vues en coupe d'autres formes de réalisation d'une pompe à vide selon la présente invention. La forme de réalisation de la présente invention va maintenant être décrite en détail en se référant aux dessins. La figure 1 est une coupe verticale de l'une des formes de réalisation (le second étage étant en série) d'une pompe à vide 100 selon la présente invention. Dans cette forme de réalisation, un plongeur 10 est situé entre des parois d'extrémité 18 et 18, qui servent de parties de fixation de soufflet, et qui ont un clapet 20A et un clapet 20C respectivement ; le plongeur et les parois d'extrémité sont reliés de manière étanche au moyen de soufflets 12 et 12, pour définir des chambres de gaz gauche et droite 22 et 22. Un clapet 20B du plongeur ouvre et ferme une ouverture 26, ce qui permet aux chambres de gaz d'entrer en communication. Le plongeur 10 est appuyé contre un ressort de rappel 14 fixé à la paroi d'extrémité gauche 18. Au lieu du ressort hélicoïdal représenté, d'autres moyens formant ressort, comme un ressort plat, peuvent être utilisés comme appui. De plus, une partie de guidage coulissant peut être prévue à la partie périphérique extérieure du plongeur, et le plongeur peut être supporté par un support rectiligne, par exemple par une boîte de glissement rectiligne. Bien entendu, pour la lubrification de cette partie, il peut être fait usage d'un moyen habituel, comme une graisse, et la formation d'un film lubrifiant solide, puisque l'intérieur de la pompe par lequel passe un gaz est isolée de l'extérieur par les soufflets.En outre, en utilisant un matériau organique à faible coefficient de frottement, comme une résine fluorée, la partie périphérique exterieure du plongeur peut être realisée exempte d'huile. Un électro-aimant 16 est disposé autour de la partie périphérique exterieure du plongeur 10 de manière à attirer vers la gauche ce plongeur, qui sert également de pièce magnétique, sous l'action d'un signal de tension pulsé. Lorsque le signal pulsé devient nul, cette force d'attraction disparaît, et par conséquent le plongeur est ramené à la position d'origine par le ressort de rappel 14. En actionnant les clapets en conformité avec ce déplacement horizontal, ce mecanisme peut servir comme pompe à vide ou comme compresseur. Sur la figure 1, chacun des clapets 20A, 20B et 20C est mis en oeuvre d'une manière telle que le clapet soit ouvert lorsque le gaz passe de la droite vers la gauche, et que le clapet soit ferme lorsque le gaz passe de la gauche vers la droite. Ainsi, la figure 1 montre un cas qui va être décrit, dans lequel un seul plongeur 10 est utilisé. Lorsque ce plongeur 10 est deplacé vers sa position la plus à gauche, puisque la chambre 22 de gauche, entourée par le soufflet 12 sur la gauche du plongeur, est amenée à l'état comprimé, le clapet 20A est ouvert et le clapet 20B est fermé, pour refouler le gaz. Comme l'espace dans la chambre 22, entouré par le soufflet 12 sur la droite du plongeur 10, est expansée, en maintenant le clapet 20C ouvert, le gaz provenant de l'extérieur est aspiré à l'intérieur. Dans ce cas, les soufflets 12 sont utilisés pour l'isolation de l'extérieur ou pour l'étanchéité, et le déplacement se produit seulement dans la direction axiale, ce qui est un mode d'utilisation souhaitable pour les soufflets. A cette fin, les soufflets ondulés en forme de U communément utilisés ne sont pas appropriés, puisque leur longueur de déformation est réduite, mais sont préférables des soufflets de métal plié dans lesquels la longueur de déformation est grande ; ainsi la course peut être grande, puisque l'espace peut être réduit lorsque les soufflets sont comprimés. Puis, lorsqu'il n'y a plus de tension appliquée et que la force d'attraction disparaît, le plongeur 10 est ramené à sa position d'origine par le ressort. Dans ce cas, la chambre 22 sur la droite du plongeur 10 est amenée à l'état comprimé, et en fermant le clapet 20A, en ouvrant le clapet 20B, et en fermant le clapet 20C, le gaz, dans la chambre située sur la droite du plongeur 10, qui a été aspiré dans l'étape précédente, est refoulé dans la chambre de gauche. Différents mecanismes de clapet utilisés dans différentes pompes à vide et compresseurs peuvent être utilisés, mais des clapets à lame souple sont appropries puisqu'ils peuvent suivre le mouvement de va-et-vient à vitesse élevee et qu'ils sont simples à réaliser. Un clapet à lame souple est une pièce mince élastique appliquée contre un orifice de clapet s'ouvrant sur une face plane, l'une des extrémités de la pièce étant fixée par une vis. Plus simplement, un orifice de clapet est recouvert par lune des extrémités d'une lame souple rectangulaire dont l'autre extrémité est fixe. Le clapet à lame souple est une sorte de clapet de non retour pour permettre le passage du gaz dans le sens allant de l'orifice de clapet vers la lame souple tout en se fermant dans le sens opposé. D'autres exemples typiques de clapets à lame souple sont constitués par des lames souples de forme rectangulaire allongée ou similaire dont le centre est fixe et dont les extrémités à peu près opposées recouvrent un orifice de clapet ; ils comprennent une lame souple ayant une conformation du type pétale qui couvre des orifices de clapet correspondants disposés de manière circonférentielle, le centre de la lame souple étant fixe. Cependant, comme ce type de clapet est un clapet plat automatique (du type obturateur) et n'est pas d'un type qui est ouvert et ferme de manière force à partir de l'extérieur, il y a parfois une limitation dans le rendement d'aspiration/refoulement. Dans un tel cas, préférentiellement, il est prévu un mécanisme pour ouvrir et fermer le clapet de manière forcée à partir de l'extérieur, et si au moins les clapets 20A et 20C, qui sont situés aux deux extrémités, sont manoeuvres à force, le rendement de l'aspiration et du refoulement peuvent être ameliores. Pour effectuer l'ouverture et la fermeture du clapet à force de cette façon, il est préférable d'utiliser, par exemple, un actionneur utilisant un solénoïde, tel que décrit dans le brevet Japonais publié sous le N" 22764/1988. Dans la mise en pratique de la présente invention, ce qui est représenté sur la figure 1 peut être utilisé seul, ou bien plusieurs éléments similaires peuvent être utilises en combinaison. Ainsi, en principe, bien que le mouvement de va-et-vient du seul plongeur 10 effectue l'aspiration et le refoulement du gaz, lorsque deux plongeurs de ce type 10 sont disposés de manière symétrique en équilibre, ils constituent une pompe de type opposée, et lorsqu'il est fait en sorte que les sens de déplacement de celui de gauche et de celui de droite soient opposés, c'està-dire, symetriques, les vibrations disparaissent et le volume du refoulement peut être double (fonctionnement parallèle (symétrique) à deux etages de compression, par exemple tel que représenté sur la figure 4). Une autre forme de réalisation est représentée sur la figure 4. Sur la figure 4, le repère 101 désigne un système de pompe à vide comprenant des unités de pompe à vide 100. Sur cette figure 4, pour entraîner le plongeur 10, des unités d'entraînement, chacune constituée d'un jeu de ressorts de rappel 14 et drun électro-aimant 16, sont disposées respectivement à gauche et à droite. Les repères identiques désignent les moyens identiques à ceux de la figure 1. Sur la figure 4, le gaz est introduit par un orifice d'entrée de gaz 40 dans une chambre d'entrée 400, puis il est divisé en deux courants pour passer à travers les clapets 20C, 20B et 20A, et pour pénétrer dans un orifice de sortie de gaz 44 par l'intermédiaire des conduits 42 et 30, mais si le sens de fonctionnement des clapets est inversé, le gaz peut s'écouler dans le sens allant de l'orifice de sortie 44 à l'orifice d'entrée 40. Si le gaz doit simplement être refoulé à partir du clapet 20A, les conduits 42 et 30 et l'orifice de sortie 44 peuvent être omis. La figure 5 représente encore une autre forme de réalisation d'un système de pompe à vide 102, dans laquelle des unités 100 et 100 disposées sur la gauche et sur la droite sont mises en oeuvre symétriquement et sont placées en série par l'intermédiaire d'un conduit 46 (tuyau de communication) pour réaliser un fonctionnement à quatre étages en série. Sur la figure 5, les repères identiques à ceux de la figure 4 designent les moyens identiques à ceux de cette figure 4. Dans ce cas, bien que la vitesse d'écoulement soit la même que celle de la pompe à deux étages en série, le degré de vide qui sera obtenu peut être encore amélioré. Dans les formes de réalisation représentées sur les figures 4 et 5, les deux pompes sont disposées symétriquement et mises en oeuvre de façon à ne produire que de faibles vibrations. La figure 6 représente une coupe verticale d'une autre forme de réalisation de la pompe 103 de la présente invention. Cette forme de réalisation est lamême que la forme de réalisation montrée sur la figure 1 dans laquelle il y a un seul plongeur 10, mais des ensembles, chacun constitué d'une combinaison d'un électro-aimant 16 et d'un ressort 14, sont disposés sur la gauche et sur la droite du plongeur, respectivement. Ainsi, après que le plongeur 10 ait été attire par 1'électro-aimant 16L, lorsque l'alimentation en courant de l'électro-aimant est coupée, le plongeur 10 est rappelé vers sa position d'origine par la force du ressort 14L, puis il est davantage attiré par l'électro-aimant opposé 16R, et il est ramene vers sa position d'origine par la force du ressort 14R, et est ensuite attiré par l'électro-aimant 16L, ce cycle étant répété par la suite. La permutation de l'alimentation en courant est réalisée par la commutation d'un circuit électrique, par exemple. Cette forme de réalisation est la-même que celle montree sur la figure 1 excepte en ce qui concerne ce qui vient d'être decrit. Sur la figure 6, les-mêmes repères que ceux de la figure 1 désignent les-mêmes moyens que ceux de cette figure 1. Dans la présente invention, comme dispositif utilise pour entraîner le plongeur, il peut être utilisé non seulement un simple électro-aimant mais également un moteur linéaire à courant continu, un moteur linéaire à courant alternatif, ou analogues. De plus, lorsque les soufflets sont amenes à l'état comprimé dans lequel leur longueur est raccourcie, la valeur du volume de l'espace pose parfois un problème ; en effet, dans certains cas, un espace mort est formé, et le rendement de refoulement est limité lors de la compression des soufflets. Dans un tel cas, par exemple, un élément composé d'un cylindre creux se conformant à la dimension de l'espace mort au moment de la compression, comme une saillie du côte de l'espace de balayage 17 de la tête de plongeur 11 de la forme de réalisation antérieure montrée sur la figure 2, est disposé du côte du clapet de refoulement, de sorte que le volume de l'espace mort puisse être reduit, pour améliorer le rendement de refoulement. Bien que les formes de réalisation ci-dessus aient été décrites dans le cas dans lequel une extrémité des soufflets est fixée au plongeur et où l'autre extrémité est fixee à la paroi d'extrémité, la partie de fixation des soufflets n'est pas limite à ceux-ci, et les soufflets peuvent être fixés à la paroi intérieure de la partie de cylindre pour former une chambre de gaz étanche, tandis que la paroi intérieure peut être pourvue d'un mécanisme de clapet d'aspiration/refoulement, qui est montré, par exemple, par la forme de réalisation de la figure 7. Ainsi, la figure 7 représente une forme de réalisation d'un système de pompe à vide 104 qui réalise un fonctionnement parallèle à deux étages dans lequel un clapet d'aspiration est utilisé et des premiers soufflets 12 du premier etage sont reliés en série pour simplifier la construction. Une chambre intérieure 220, en même temps qu'un barillet 222, servent de combinaison de la chambre d'entrée 400 avec les chambres 22 sur les côtés opposes de la chambre d'entrée 400 montrée sur la figure 4, et au lieu des deux clapets 20C situés entre la chambre d'entrée 400 et les chambres opposées à l'intérieur, un seul clapet 20C est utilisé pour le conduit d'entrée 224 de la chambre intérieure 220. La forme de réalisation de la figure 7 est la-même que celle représentée sur la figure 4 excepté en ce qui concerne les points cidessus. Selon la présente invention décrite ci-dessus en détail, les résultats suivants peuvent être obtenus 1. Comme la structure est relativement simple, les dimensions peuvent être convenablement réduites. Différents systèmes (des systèmes en série et des systèmes en parallèle) peuvent être utilisés en combinaison. 2. Puisque le passage d'un gaz peut être rendu totalement hermétique, isolé de l'extérieur par les soufflets, un gaz dont la fuite vers l'extérieur du système serait extrêmement indésirable, peut être convenablement utilisé. 3. Puisqu'il n'y a aucune partie de frottement coulissant dans le trajet du gaz, une contamination par de la poudre fine résultant du coulissement dans le courant gazeux ne peut se produire et par conséquent l'invention peut être utilise dans un environnement dans lequel une grande propreté est requise. 4. Si un moyen d'entraînement électromagnétique est utilisé, la fréquence de vibration peut être modifiée en fonction de la fréquence de la source de courant ou de la modulation de la fréquence, t elle peut être commandée en fonction du volume requis. 5. Comme le plongeur, correspondant à un piston, est lui-même équipe d'un clapet d'aspiration et de refoulement incorpore, une structure multi-etages peut être réalisée avec une structure qui reste simple, et un niveau de vide elevé peut être facilement obtenu. 6. Si un système de type opposé est réalisé et équilibre, les vibrations peuvent s'annuler les unes les autres et être totalement éliminées. REVENDICATIONS 1. Pompe à vide (100) à deux étages de refoulement, caractérisée en ce qu'elle comprend un plongeur (10), des moyens d'entraînement (16), (14) imposant un mouvement de va-et-vient au plongeur, des parties de fixation de soufflet (18), (18) opposees aux faces du plongeur sur les côtés opposés dans la direction de va-et-yient du plongeur, deux soufflets (12), (12) reliant de manière étanche le plongeur et les parties de fixation de soufflet d'une façon telle qu'ils permettent au plongeur d'effectuer un mouvement de va-et-vient et de façon à former des chambres de gaz (22), (22) en coopération avec le plongeur (10) et les parties de fixation de soufflet (18), (18), et des mecanismes de clapets d'aspiration/refoulement (20A), (20B), (20C) disposés sur le plongeur et sur les parties de fixation de soufflet, de telle sorte que lorsque ledit plongeur (10) est anime d'un mouvement de va-et-vient par les moyens d'entraînement (16), (14), pour contracter le soufflet (12) entourant l'une des chambres de gaz (22) afin que ladite chambre de gaz soit amenee à l'état comprimé, le mécanisme de clapet (20B) dudit plongeur soit fermé et le mécanisme de clapet (20A) de ladite partie de fixation de soufflet soit ouvert, tandis que lorsque le soufflet (12) entourant l'autre chambre de gaz est contracté, pour amener ladite autre chambre de gaz à l'état comprimé, le mécanisme de clapet (20B) du plongeur soit ouvert et les mécanismes de clapet (20C) des parties de fixation de soufflet soient fermés, afin que le refoulement soit effectué par le cycle constitué par les courses de l'une des chambres de gaz, du plongeur (10) et de l'autre chambre de gaz. 2. Pompe à vide selon la revendication 1, caractérisée en ce que la partie de fixation de soufflet des deux côtes du plongeur (10) est une paroi d'extrémité (18) opposée au plongeur (10) ou une partie de paroi de cylindre. 3. Pompe à vide selon la revendication 1, caractérisée en ce que les moyens d'entraînement en un mouvement de va-et-vient du plongeur (10) sont des moyens (16) utilisant une force magnétique. 4. Pompe à vide (103) selon la revendication 1, caractérisée en ce que les moyens d'entraînement en un mouvement de va-et-vient (16), (14) du plongeur (10) comprennent deux ensembles, chacun constitué d'une combinaison d'un électro-aimant (16L), (16R) et d'un ressort (14L), (14R). 5. Système de pompage comprenant au moins une pompe à vide à refoulement à deux étages selon la revendication 1. 6. Système de pompage selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'un nombre pair de pompes à vide sont disposées de manière symétrique. 7. Système de pompage selon la revendication 5, caractérisé en ce que plusieurs pompes à vides (100), (100) sont agencées en série pour réaliser un nombre d'étages de refoulement pair, de quatre etages ou davantage. 8. Système de pompage selon la revendication 5, caractérisé en ce que plusieurs pompes à vide sont agencées en parallèle. 9. Système de pompage selon la revendication 5, caractérisé en ce que deux pompes à vide sont agencées avec chacun des plongeurs (10) desdites deux pompes à vide disposés symétriquement pour constituer une structure de travail en parallèle à deux étages. 10. Système de pompage selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il est équipe d'une chambre (400) entre les deux pompes à vide pour introduire un gaz issu d'un orifice d'entrée (40) dans la chambre (400) et pour diviser le fluide en deux courants traversant les clapets (20C), (20B) et (20A) des deux pompes à vide et pour aller vers un orifice de sortie (44) par l'intermédiaire de conduits (42) et (30). 11. Système de pompage selon la revendication 5, caractérisé en ce que les pompes à vide sont disposées en série de manière à constituer une structure de travail à quatre étages en série. 12. Système de pompage selon la revendication 9, caractérisé en ce que des premiers soufflets (12) d'un premier étage sont reliés par l'intermédiaire d'une chambre d'entrée (220), et en ce qu'un orifice d'entrée (224) est formé dans un barillet (222) de la chambre (220).