Brevet FR2665699A1 — publié le 19920214

dj 2665699 CERAMIQUE PIEZOELECTRIQUE A POROSITE CONTROLEE La présente invention concerne la réalisation de céramique piézoélectrique à porosité contrôlée présentant des propriétés intéressantes dans le domaine de l'acoustique sous marine (sonars actifs et passifs), de la détection médicale (échographie) et du traitement du signal (filtres, lignes à retard). De manière générale, les matériaux ferroélectriques polarisés par une tension appliquée préalablement à leur utilisation possèdent des coefficients de charge piézoélectrique élevés traduisant la création de charge en réponse à une pression. Ces matériaux ferroélectriques peuvent être de type céramique tels que le titanate de baryum ou le titano-zirconate de plomb (PZT) ou bien de type polymère comme le polyfluorure de vinylidène (PVDF). Les différentes caractéristiques physiques illustrant les performances de ces matériaux, dans les applications citées précédemment, sont: le coefficient de charge hydrostatique dh défini comme la combinaison des coefficients d 33 et d 31 caractérisant l'efficacité des modes respectivement transverse et longitudinal: dh = d 33 2 d 31 le coefficient de couplage Kh, traduisant l'efficacité du matériau piézoélectrique dans la conversion du signal électrique en ultrasons et inversement kh =dh / S o constante diélectrique S compliance élastique le coefficient de tension gh (dans le mode de fonctionnement passif détection d'ondes sonores) gh = d E/d P = dh /E o E champ électrique induit par la pression P. Les matériaux céramiques à faible compliance car très rigides présentent des coefficients de couplage Kh plus intéressants que les polymères tels que le PVDF, néanmoins leur constante diélectrique très élevée (de l'ordre de 1700 pour le PZT) et leur forte densité nuisent à l'adaptation de l'impédance acoustique avec celle de l'eau ainsi qu'au facteur de mérite gh. Des travaux ont donc été menés pour améliorer les performances des matériaux céramiques, plus précisément pour en diminuer la constante diélectrique et en augmenter les différents coefficients dh, K h et gh Les céramiques telles que le PZT sont des matériaux très denses que l'on peut alléger en réalisant des matériaux composites à deux phases: une phase 1 céramique et une phase 2, résine ou air Il existe plusieurs structures possibles dans lesquelles les phases 1 et 2 sont différemment connectées (figure 1) Lorsqu'une poudre, phase 1, (grains non interconnectés) est dispersée dans un matériau élastique, phase 2, interconnecté dans les trois directions, il s'agit d'un composite 0-3. Dans ce type de structure la permittivité se trouve abaissée mais au détriment du coefficient Kh puisque la compliance S est augmentée. Une connectivité ( 1, 3) obtenue en disposant des barres de PZT perpendiculairement aux électrodes, permet un meilleur transfert des contraintes et des polarisations dans la céramique, que celui obtenu avec une connectivité ( 0,3). Une connection complète au niveau de la céramique. améliore encore d'avantage les performances Cette connection peut être réalisée par la méthode dite cie la cire perdue utilisant un matériau extrêmement poreux: le corail Par ce procédé le matériau PZT est bien interconnecté dans les trois directions de l'espace et les interstices sont remplis avec de la résine On obtient environ 50 % du volume occupé par la céramique Les performances de ces différents types de matériaux composites sont donnés dans le tableau ci-dessous. PZT Camposition ( 0,3) Corposition ( 1,3) Ccrroposition ( 3,3) pur PZT chloroprène PZT epoxy réplique corail F-33 1 700 31 500 400 dh ( 10-12 C/N) 50 34 20 100 gh( 10-3 V nm/N) 3 1 080 40 250 dn. gh(l O'1-/N) 150 36 800 25 000 Le facteur de mérite dh gh est une caractéristique prépondérante pour un matériau piézoélectrique puisqu'il traduit les performances globales en émission et en réception (bon rendement en émission et bonne sensibilité en réception). Malgré l'intérêt que représente le PZT réplique corail, il s'agit d'un matériau fragile, difficile à mettre en oeuvre et dont l'architecture des pores est figée, alors qu'un modèle tel que le modèle de Banno (Jpn J of Applled Phys 24 ( 1985), suppl 24-2, 445-7) montre l'incidence de la forme des pores sur différents coefficients (d 31, d 33, 33) Les figures 2 à 5 illustrent les variations de ces coefficients avec la porosité et la forme des pores Ce modèle montre qu'il est intéressant de réaliser des céramiques à forte porosité et d'induire des pores de forme allongée. C'est pourquoi la présente invention propose un procédé de fabrication de céramique piézoélectrique dont la porosité est contrôlée et peut être très élevée contrairement au procédé de synthèse de céramiques poreuses par brûlage de liants durant le frittage de la poudre, qui ne permet d'atteindre des porosités que de 15 6 Le procédé selon l'invention comporte les étapes suivantes synthèse d'un gel à forte porosité en présence de solvant et d'agents orientant la gélification synthèse de l'aérogel par séchage dans des conditions pour le solvant de pression et de température hypercritiques pour maintenir la taille et la forme des pores obtenus dans le gel obtention de la céramique par calcination de l'aérogel pour induire la structure désirée à haute température. La présente invention a aussi pour objet la céramique piézoélectrique fabriquée selon le procédé de l'invention. Cette céramique poreuse est de préférence du titanate de baryum ou du titano zirconate de plomb Les molécules orientant la gélification sont de préférence des molécules d'acétyl-acétone (acac) ou d'acide acétique. La présente invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre et des figures annexées parmi lesquelles: la figure 1 représente des structures de matériaux composites de connectivité variable; la figure 2 montre l'évolution du coefficient de charge en fonction de la porosité selon le modèle de Banno. (Ks = 1 pore cubique, k = 0,8 pore parallélépipèdique); la figure 3 montre l'évolution du coefficient dh en fonction de la porosité selon le modèle de Banno; la figure 4 montre l'évolution de la permittivité en fonction de la la porosité selon le modèle de Banno; la figure 5 montre l'évolution du facteur de mérite dh gh en fonction de la porosité selon le modèle de Banno. On sait que la structure de gels obtenus à partir d'alcoxydes organiques est très poreuse Cependant ces gels se rétractent fortement lors du séchage à la pression atmosphérique entraînant une forte diminution de la porosité. Pour éviter ce retrait la présente invention propose de sécher dans des conditions de température et de pression hypercritiques o l'équilibre liquide-vapeur n'existe plus. Par une détente adiabatique le fluide à éliminer passe des pores au volume libre situé au-dessus du gel sans changement d'état donc sans dilatation, les contraintes dues aux suppressions à l'intérieur du gel sont ainsi annulées Les aérogels obtenus peuvent alors avoir les porosités atteignant % Par calcination à température modérée de cet aérogel, on obtient une céramique poreuse, de porosité contrôlée pouvant aller jusqu'à 70 % La porosité est gouvernée lors de la synthèse du gel par la présence de molécules chélatantes qui bloquant certaines fonctions des précurseurs, orientent l'architecture du gel en empêchant la création de certaines liaisons. On va donner un exemple de synthèse de PZT à forte porosité: On synthétise un gel de PZT en mélangeant du plomb sous forme de carboxylate (acétate, 2 - éthyl-hexanoate), du titane et du zirconium sous forme d'alcoxyde (iso ou n propoxyde ou butoxyde) dans un alcool comme le propanol 1 Après réaction dans un reflux, d'alcoxyde complexe est hydrolysé avec environ entre 1 et 10 moles d'eau par mole de plomb, par addition d'un mélange eau-propanol Le gel obtenu est placé dans un autoclave possédant une vanne de détente On monte la température à plus de 263, 50 C (température critique du propanol) de façon à ce que la pression dépasse 51 atm (pression critique), le volume étant choisi pour répondre à cette condition, selon l'isotherme de Van der Waals On détend alors dans un volume plus grand tout en restant dans l'état hypercritique et, au refroidissement, on récupère l'aérogel à 70 % de porosité et le solvant, séparés l'un de l'autre. L'aérogel est alors cuit dans un four de façon à cristalliser la phase PZT sans la densifier pour préserver la même porosité, à une température comprise entre 300 et 5000 C. REVENDICATIONS 1 Procédé d'obtention d'une céramique piézoélectrique à porosité contrôlée caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: synthèse d'un gel en présence d'un solvant synthèse d'un l'aérogel par séchage du gel dans des conditions de pression et de température hypercritiques pour le solvant obtention de la céramique par calcination de l'aérogel. 2 Procédé d'obtention piézoélectrique selon la revendication 1, que la forme des pores obtenus dans le orientant la gélification avec des molécules cl 3 Procédé d'obtention piézoélectrique selon la revendication 2, que les molécules chélatantes sor d'acétyl-acétone ou d'acide acétique. 4 Procédé d'obtention piézoélectrique selon l'une des rever d'une céramique caractérisé en ce gel est contrôlée en hélatantes. d'une céramique caractérisé en ce it des molécules d'une ldications céramique 1 à 3 caractérisé en ce que la synthèse du gel est obtenue en mélangeant du plomb sous forme de carboxylate, du titane et du zirconium sous forme d'aleoxyde, dans un aleool. Procédé d'obtention d'une céramique piézoélectrique selon l'une des revendications 1 à 3 caractérisé en ce que la synthèse du gel est obtenue en mélangeant du baryum sous forme carboxylate et du titane sous forme d'alcoxyde dans un alcool.