Brevet FR2670321A1 — publié le 19920612

-1 2670321 TUBE HYPERFREQUENCE A CAVITE MUNIE D'UNE STRUCTURE DIELECTRIQUE ET PROCEDE DE REALISATION D'UNE CAVITE DU TUBE. La présente invention se rapporte aux tubes hyperfréquences à faisceaux d'électrons linéaires traversant au moins une cavité résonante Ces tubes sont dits de type "O". Ces tubes sont notamment de la famille des klystrons La présente invention vise à réduire l'encombrement, le poids et le coût de tels tubes. Un klystron classique est un tube hyperfréquence à modulation de vitesse d'un faisceau d'électrons Son principe est basé sur l'interaction entre un faisceau d'électrons linéaire dirigé suivant un axe, et une onde électromagnétique induite dans des cavités résonantes La composante électrique de l'onde électromagnétique est parallèle à l'axe du faisceau d'électrons Un dispositif de focalisation entoure les cavités. Les cavités généralement au nombre de quatre ou cinq sont placées à la suite les unes des autres, le long de l'axe du faisceau d'électrons Elles sont séparées par des tubes de glissement qui sont généralement des tubes de faible diamètre par rapport à la longueur de l'onde électromagnétique Le faisceau d'électrons formé dans un canon traverse successivement cavités et tubes de glissement Il est recueilli dans un collecteur On introduit dans la première cavité l'onde hyperfréquence; la dernière cavité est reliée à un organe d'utilisation. Généralement le canon, le pourtour des cavités, une partie des tubes de glissement et le collecteur délimitent une enceinte dont l'intérieur est soumis au vide Toutes ces pièces comportent des parties métalliques, elles sont reliées entre elles, au niveau de ces parties métalliques, pour assurer la continuité et l'étanchéité de l'enceinte à vide Cette liaison est de préférence une brasure ou toute méthode connue de l'homme de l'art Les cavités font partie intégrante de l'enceinte à vide Elles ont généralement la forme de cylindres ou de parallélépipèdes et sont construites avec des parois métalliques brasées entre elles pour tenir le vide. Dans d'autres configurations le tube comporte une enceinte à vide distincte Les cavités sont disposées à l'intérieur de l'enceinte à vide et l'extérieur des cavités est aussi soumis au vide Les tubes de glissement sont aussi placés à l'intérieur de l'enceinte à vide et ces tubes de glissement sont baignés intérieurement et extérieurement par le vide. La fréquence de résonance d'une cavité est fonction de ses dimensions géométriques et de la constante diélectrique relative du milieu interne à la cavité La constante diélectrique relative du vide est égale à un. Une cavité de klystron est souvent utilisée sur son mode fondamental TM 01 Par mode fondamental on entend celui qui résonne le plus bas en fréquence La cavité peut toutefois résonner sur de nombreux autres modes Les cavités des klystrons classiques sont encombrantes Dans de nombreuses applications, il serait souhaitable de réduire leur encombrement afin de réduire celui des klystrons. La présente invention propose un tube hyperfréquence à au moins un faisceau d'électrons traversant au moins une cavité résonante faisant partie du tube, cette cavité présentant, pour une même fréquence de résonance, des dimensions réduites par rapport à celles des cavités de l'art connu La réduction des dimensions peut entraîner une réduction de poids importante ce qui est un avantage non négligeable Une cavité d'un tube hyperfréquence selon l'invention comporte une structure en matériau diélectrique solide Ce matériau diélectrique a une constante diélectrique relative supérieure à celle du vide. Pour une même fréquence de résonance, la cavité à des dimensions inférieures à celle d'une cavité équivalente mais sans structure diélectrique. Un tube selon l'invention comprendra, de préférence, au moins un faisceau d'électrons traversant au moins une cavité résonante faisant partie du tube, la cavité comportant une structure en matériau diélectrique solide, de constante diélectrique relative supérieure à un. De préférence, la structure diélectrique comporte un évidement pour laisser passer le faisceau d'électrons. Dans certaines configurations, le pourtour de la cavité peut être formé par une enveloppe conductrice. Dans d'autres configurations, le pourtour de la cavité peut être formé par au moins une partie de la structure diélectrique. Au moins une zone de la structure diélectrique est reliée à un élément conducteur Cet élément peut être externe ou être matérialisé par au moins un dépôt conducteur sur au moins la zone de la structure diélectrique Cette liaison peut être étanche Un métal actif peut contribuer à assurer cette liaison étanche Le matériau diélectrique est choisi, de préférence, avec des pertes diélectriques aussi faibles que possible. Le métal actif peut être typiquement soit du titane, soit du zirconium, soit du manganèse, soit un alliage d'au moins deux de ces métaux. Dans certaines réalisations, le métal actif peut être inclus dans une brasure, l'élément conducteur étant brasé sur la structure diélectrique Dans d'autres réalisations, le métal actif recouvre la zone de la structure diélectrique L'élément conducteur peut être fixé sur le métal actif directement ou par l'intermédiaire d'une ou plusieurs couches d'un métal auxiliaire De préférence le métal auxiliaire est du cuivre ou du nickel. L'élément matérialisé par le dépôt conducteur peut être constitué de métal actif recouvert d'un métal complémentaire le métal actif étant en contact avec le matériau diélectrique. La structure diélectrique peut être monobloc ou être constituée de plusieurs blocs. L'invention concerne aussi un procédé de réalisation d'une cavité d'un tube hyperfréquence selon l'invention. Il comprend au moins les étapes suivantes enrobage d'une structure diélectrique comprenant un évidement, avec une résine durcissable et usinable en remplissant l'évidement; usinage de la résine de manière à mettre à nu au moins une partie de la structure diélectrique; dépôt de métal sur le matériau diélectrique et la résine restante pour matérialiser l'élément conducteur; perçage de deux orifices, en vis-à-vis, dans le métal, au niveau de la partie évidée de la structure diélectrique élimination de la résine. Le dépôt de métal peut se faire en plusieurs temps dépôt d'une couche mince d'un métal actif suivi du dépôt d'au moins une couche plus épaisse d'un métal complémentaire. L'invention sera mieux comprise et d'autres caractéristiques et avantages apparaîtront à la lecture de la description suivante, illustrée par les figures annexées qui représentent: la figure 1: une coupe longitudinale d'une cavité d'un tube hyperfréquence selon l'invention; la figure 2: une coupe longitudinale d'une première variante d'une cavité d'un tube hyperfréquence selon l'invention; la figure 3: une coupe longitudinale d'un tube hyperfréquence selon l'invention; la figure 4: une coupe transversale d'une deuxième variante d'une cavité d'un tube hyperfréquence selon l'invention; la figure 5: une coupe longitudinale d'une troisième variante d'une cavité d'un tube hyperfréquence selon l'invention; les figures 6 a à 6 e des coupes longitudinales d'une cavité d'un tube hyperfréquence selon l'invention, au cours des différentes étapes de sa réalisation. La figure 1 représente en coupe longitudinale une cavité d'un tube hyperfréquence selon l'invention Ce tube est un klystron Il comporte une succession de cavités séparées par des tubes de glissement Cette succession peut contribuer à délimiter une enceinte à vide ou être contenue dans une enceinte à vide Un faisceau d'électrons, dirigé selon un axe XX', traverse la succession de cavités La cavité représentée est une cavité intermédiaire, elle est comprise entre deux autres cavités Elle est limitée par une enveloppe 3 conductrice en métal Elle est fermée et possède deux tubes de glissement 1 adjacents Ces tubes de glissement 1 sont conducteurs et sont parcourus par le faisceau d'électrons Ils pénètrent dans la cavité en se faisant face A l'intérieur de la cavité, ils sont séparés par un espace d'interaction 2 On suppose, dans l'exemple décrit, que l'enveloppe de la cavité et que les portions de tubes de glissement extérieurs à la cavité contribuent à délimiter l'enceinte à vide La cavité comporte une structure en matériau diélectrique solide Dans l'exemple décrit, c'est un bloc qui possède un évidement de préférence central La cavité représentée est un cylindre de révolution d'axe XX' Le bloc 4 de matériau diélectrique peut avoir la forme d'un tube coaxial avec l'axe XX' Son évidement central laisse passer le faisceau d'électrons Sur la figure 1, le bloc 4 de matériau diélectrique n'occupe pas tout le volume de l'enveloppe 3 Il pourrait en occuper une plus grande partie A l'intérieur de la cavité et des tubes de glissement 1 règne un vide poussé, à l'extérieur il y a une atmosphère ambiante car la cavité contribue à délimiter l'enceinte à vide. Le bloc 4 de matériau diélectrique est fixé mécaniquement à l'enveloppe 3 de la cavité Il aurait pu être fixé mécaniquement aux tubes de glissement 1 La fixation mécanique peut se faire par des agrafes, des pinces, des ressorts ou tout autre moyen connu Il n'y a pas de contrainte d'étanchéité à respecter. L'expérience et la théorie des cavités montrent que si l'on augmente la constante diélectrique relative du milieu interne d'une cavité résonante, on peut réduire ses dimensions sans changer sa fréquence de résonance On peut ainsi réduire son encombrement Sur l'exemple décrit, la cavité est limitée par l'enveloppe métallique 3, la structure diélectrique réduit de façon significative les dimensions de la cavité mais en définitive le poids de la cavité change peu. On choisit de préférence, un matériau diélectrique solide dont la constante diélectrique relative est très supérieure à un Le matériau diélectrique peut être, par exemple, une céramique telle que de l'alumine, de l'oxyde de béryllium, du nitrure d'aluminium ou un matériau tel que du titanate de barium dont la constante diélectrique est d'environ 400 Lorsque la valeur de la constante diélectrique relative du matériau diélectrique est élevée, il devient même possible de supprimer l'enveloppe conductrice limitant la cavité Si en outre, les pertes hyperfréquences du matériau diélectrique sont faibles, la présence ou l'absence de métal en limite du matériau diélectrique ne change pas sensiblement le niveau d'énergie présent dans la cavité. La figure 2 représente une cavité formée d'une structure diélectrique 20 mais sans enveloppe conductrice Elle est traversée par un faisceau d'électrons dirigé selon un axe XX'. La cavité représentée est aussi une cavité intermédiaire La structure diélectrique 20 comporte un bloc de matériau diélectrique, en forme de tube coaxial avec l'axe XX', dont les deux extrémités sont fermées par une paroi 21 diélectrique sensiblement transversale à l'axe XX' Chaque paroi est percée d'un orifice 22 laissant passer le faisceau d'électrons Le faisceau d'électrons n'est pas représenté Les orifices 22 sont alignés Avant d'entrer dans la cavité et en en sortant le faisceau d'électrons est contenu dans un tube de glissement 23. L'intérieur des tubes de glissement 23 et de la cavité est soumis au vide On suppose que les portions de tubes de glissement extérieurs à la cavité et le pourtour de la cavité contribuent à délimiter une enceinte à vide Dans cette configuration, la cavité et les tubes de glissement doivent être reliés de façon étanche, pour assurer la continuité et l'étanchéité de l'enceinte à vide Au moins une zone de la structure diélectrique 20 est reliée de façon étanche à un tube de glissement 23 Les tubes de glissement 23 sont métalliques, par exemple en cuivre. Pour réaliser la liaison étanche entre la structure diélectrique 20 et les tubes de glissement 23, on peut utiliser un métal actif Ce métal actif réduit les oxydes du matériau diélectrique et réalise un accrochage chimique Il se fixe intimement sur le matériau diélectrique. De façon non limitative, le métal actif peut être du titane, du zirconium, du manganèse ou un alliage d'au moins deux de ces métaux Ces métaux assurent une continuité de liaison compatible avec le vide. Dans certaines réalisations, le tube de glissement 23 peut être brasé à la structure diélectrique 20 avec une brasure au métal actif. Dans d'autres réalisations, le métal actif est déposé sur la structure diélectrique 20 Ce dépôt peut se faire en phase vapeur ou à partir d'une suspension contenant le métal actif Le tube de glissement 23 peut être rapporté, par brasure ou toute autre méthode sur le métal actif On peut être amené, à déposer sur le métal actif une ou plusieurs couches superposées d'un métal auxiliaire tel que du cuivre ou du nickel De préférence, la couche externe de métal auxiliaire est déposée par électrolyse Lorsqu'il y a plusieurs couches, la ou les couches intermédiaires peuvent être déposées en phase vapeur Le tube de glissement est rapporté par brasure sur la couche externe de métal auxiliaire La brasure est facilitée Le tube peut aussi être fixé par tout autre moyen connu. La structure diélectrique 20 comporte au moins une partie qui est en regard direct avec le faisceau d'électrons et qui est exempte de métallisation. La présence de la structure diélectrique permet de réduire l'encombrement de la cavité En supprimant l'enveloppe métallique on a réduit considérablement son poids. La figure 3 représente, en coupe longitudinale, une réalisation d'un klystron selon l'invention. Ce klystron comporte un canon à électrons 31 qui produit un faisceau d'électrons 32 linéaire dirigé selon un axe XX'. Le faisceau d'électrons 32 est émis vers un collecteur 33. Entre le canon 31 et le collecteur 33 se succèdent des cavités 34,35,36 reliées entre elles par des tubes de glissement 37 Le faisceau d'électrons 32 traverse successivement les cavités 34,35,36 et les tubes de glissement 37 Sur la figure 3, on a représenté trois cavités; une cavité d'entrée 34 qui est la plus proche du canon 31, une cavité de sortie 36 qui est la plus proche du collecteur 33 et une cavité intermédiaire 35 disposée entre la cavité d'entrée 34 et la cavité de sortie 36 Le canon 31, le pourtour les cavités 34,35,36, les portions de tubes de glissement 37 situées entre les cavités et le collecteur 33 sont reliés entre eux de façon étanche et délimitent une enceinte à vide 30 Les cavités 34, 35, 36 comportent chacune une structure en matériau diélectrique 38 solide et deux armatures conductrices 39 Les armatures 39 sont en métal Le matériau diélectrique a une constante diélectrique relative supérieure à un et a des pertes hyperfréquences aussi faibles que possible. Les cavités sont exemptes d'enveloppe conductrice. La structure diélectrique 38 est un bloc évidé afin de laisser passer le faisceau d'électrons 32 Le bloc, dans l'exemple décrit, a la forme d'un tube coaxial à l'axe XX', ayant ses deux extrémités ouvertes. La structure diélectrique 38 et les armatures métalliques 39 réalisent le pourtour des cavités Pour assurer l'étanchéité et la continuité de l'enceinte à vide, au moins une zone de la structure diélectrique 38 est reliée de façon étanche à une armature 39 On peut utiliser un métal actif comme on l'a décrit précédemment Ce métal actif est intimement fixé sur le matériau diélectrique. Sur la figure 3, chaque armature 39 métallique est fixée, de façon étanche, d'un côté sur une base d'un des tubes de matériau diélectrique Ces armatures 39 sont percées d'un orifice 40 de manière à laisser passer le faisceau d'électrons 32. L'autre côté des armatures 39 est fixé, de façon étanche, soit sur un des tubes de glissement 37, soit sur le collecteur 33, soit sur le canon 31 Cela dépend à la fois de la position de l'armature sur la cavité et de la position de la cavité dans le tube Les formes des armatures 39 sont ajustées pour donner aux cavités, les fréquences de résonance désirées ainsi que pour assurer un niveau de champ électrique suffisant au niveau du faisceau d'électrons 32 L'encombrement et le poids du klystron ont été réduits de façon significative par rapport aux klystrons classiques. On introduit dans la cavité d'entrée 34 une onde hyperfréquence à amplifier par l'intermédiaire d'une ligne de transmission 41 La ligne de transmission 41 représentée est une ligne coaxiale Ce n'est qu'un exemple Cette ligne coaxiale traverse de façon étanche une des armatures 37 de la cavité d'entrée 34. L'onde hyperfréquence est extraite de la cavité de sortie 36 Cette cavité est connectée à une ligne de transmission Sur la figure 3, pour des raisons de clarté, on n'a pas représenté la ligne de transmission en sortie. Les dimensions de la zone de la structure diélectrique reliée à l'élément conducteur peuvent varier dans des proportions importantes Sur la figure 2, cette zone est peu importante On pourrait envisager sur la figure 3, que les surfaces latérales externes des tubes diélectriques soient aussi reliées à un élément métallique. Au lieu d'être formée d'un seul bloc de matériau diélectrique, la structure diélectrique peut comporter une pluralité de blocs côte à côte Cette réalisation est représentée sur la figure 4 C'est une coupe transversale d'une cavité cylindrique La cavité est traversée par un faisceau d'électrons 40 Il est contenu dans un tube de glissement 41 avant de pénétrer dans la cavité La structure diélectrique comporte quatre blocs 42 de diélectrique en secteur de cylindre qui sont côte à côte de manière à former un tube On peut envisager que le tube ait ses deux bases fermées chacune par une armature comme on l'a décrit précédemment à la figure 3. Ces armatures ne sont pas visibles sur la figure 4 Le pourtour de la cavité contribue à délimiter une enceinte à vide. Pour assurer l'étanchéité de la cavité, les blocs 42 peuvent être fixés de façon étanche à l'intérieur d'une couronne métallique 43, elle-même reliée de façon étanche aux armatures. Les armatures peuvent être reliées de façon étanche au reste de l'enceinte. La figure 5 représente, en coupe longitudinale, une autre variante d'une cavité d'un tube hyperfréquence selon l'invention Cette cavité 50 est contenue à l'intérieur d'une enceinte à vide 51 métallique de forme cylindrique A l'intérieur de l'enceinte 51 règne un vide poussé L'extérieur et l'intérieur de la cavité sont baignés par le vide La cavité représentée est une cavité intermédiaire Elle comporte deux tubes de glissement 52 adjacents Elle est traversée par un faisceau d'électrons dirigé selon un axe XX' Le faisceau n'est pas représenté La cavité comporte une structure diélectrique 53 monobloc, en forme de tube coaxial à l'axe XX' Le bloc de diélectrique 53 est fixé mécaniquement à l'enceinte à vide 51 et aux tubes de glissement 52 Il n'y a pas de contrainte d'étanchéité à respecter dans cette configuration On a gagné sur le volume et aussi sur le poids du tube hyperfréquence. Les figures Ga à Ge représentent, en coupe longitudinale, les différentes étapes d'un procédé de réalisation, d'une cavité d'un tube hyperfréquence selon l'invention Ce procédé s'applique particulièrement dans le cas o la structure diélectrique comporte un évidement qui est important La structure diélectrique est reliée de façon étanche à au moins un élément conducteur Ici on va recouvrir partiellement la structure diélectrique de métal et former en même temps des armatures Le procédé permet de réaliser directement les armatures sans avoir à utiliser d'éléments extérieurs rapportés il sur le matériau diélectrique Le pourtour de la cavité obtenue contribue à délimiter l'enceinte à vide d'un klystron. On part d'un bloc 60 d'un matériau diélectrique comportant un évidement 62 Ce matériau peut être de la céramique Ici le bloc 60 a la forme d'un anneau, de section radiale carrée ou rectangulaire avec deux angles intérieurs chanfreinés Ce n'est qu'un exemple non limitatif. La première étape consiste à enrober le bloc 60 dans une résine 61 durcissable et usinable On remplit entièrement l'évidement 62 du bloc 60 La résine employée peut être du méthylmétacrylate Cette étape est représentée sur la figure 6 a. Après solidification de la résine 61, la deuxième étape consiste à usiner cette dernière et à mettre à nu au moins une zone de la structure diélectrique Cette étape est représentée sur la figure 6 b On réalise dans la résine 61, deux creux 63 tronconiques en vis à vis, au niveau de l'évidement central 62 et l'on met à nu le diélectrique sur les deux bases et sur la surface latérale externe de l'anneau La forme donnée à la résine dans l'évidement central est fonction de celle que l'on veut donner à l'élément conducteur qui sera solidaire de la structure diélectrique Il s'agit ici d'armatures en métal Le volume de résine 61 restant dans l'évidement central 62 correspond au volume intérieur de la cavité qui sera soumis au vide. La troisième étape, représentée sur la figure Gc, consiste à déposer sur l'ensemble diélectrique-résine, du métal pour matérialiser les armatures Cette étape peut se faire en plusieurs temps On peut d'abord déposer, en phase vapeur, par exemple, une couche mince 64 d'un métal actif On peut utiliser comme métal actif un métal cité précédemment. Cette couche mince 64 peut être recouverte ensuite d'une ou plusieurs couches plus épaisses, d'un métal complémentaire tel que du cuivre ou du nickel Sur les figures Gc à 6 e il n'y a qu'une couche 65 de métal complémentaire. L'épaisseur de la couche 64 de métal actif est typiquement de l'ordre de quelques dizaines de nanomètres L'épaisseur de la couche 65 externe de métal complémentaire est typiquement comprise entre 0,5 et plusieurs millimètres S'il y a une ou plusieurs autres couches de métal complémentaire, leurs épaisseurs sont de l'ordre de quelques micromètres. De préférence, la couche 64 de métal actif peut être déposée en phase vapeur. La couche externe 65 de métal complémentaire est de préférence déposée par voie électrolytique Les autres couches peuvent être déposées en phase vapeur ou par voie électrolytique. L'étape suivante consiste à percer un orifice 66, dans chaque armature de manière à ce que la cavité puisse être traversée par un faisceau d'électrons Les orifices sont placés en vis-à-vis au niveau de l'évidement de la structure diélectrique. La dernière étape consiste à éliminer la résine se trouvant à l'intérieur de la cavité Cette élimination peut se faire par chauffage ou par dissolution chimique La figure 6 e représente la cavité à l'issue de la dernière étape Elle peut alors être reliée de façon étanche à deux tubes de glissement ou à un collecteur ou à un canon. La présente invention n'est pas limitée aux exemples décrits Le tube hyperfréquence selon l'invention peut être un klystron multifaisceaux, une klystrode, un tube à ondes progressives Les réalisations décrites ne sont que des exemples Le matériau diélectrique sera choisi pour sa constante diélectrique relative supérieure à un, ses faibles pertes diélectriques, son coût abordable De plus il sera de préférence facile à braser et/ou à métalliser. REVENDICATIONS 1 Tube hyperfréquence à au moins un faisceau ( 32) d'électrons traversant au moins une cavité ( 34) résonante faisant partie intégrante du tube, caractérisé en ce que la cavité comporte une structure ( 38) en matériau diélectrique solide, de constante diélectrique relative supérieure à un. 2 Tube hyperfréquence selon la revendication 1, caractérisé en ce que la structure ( 38) diélectrique comporte un évidement pour laisser passer le faisceau d'électrons ( 32). 3 Tube hyperfréquence selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que la structure diélectrique ( 38) comporte au moins une partie qui est en regard direct avec le faisceau d'électrons ( 32) et qui est exempte de métallisation. 4 Tube hyperfréquence selon l'une des revendications 1 à 3 caractérisé en ce que le pourtour de la cavité est formé d'une enveloppe conductrice ( 3) entourant la structure diélectrique ( 4). Tube hyperfréquence selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le pourtour de la cavité est formé par au moins une partie de la structure diélectrique ( 20). 6 Tube hyperfréquence selon la revendication 5, caractérisé en ce que le matériau diélectrique a des pertes diélectriques aussi faibles que possible. 7 Tube hyperfréquence selon l'une des revendication 1 à G, caractérisé en ce qu'au moins une zone de la structure diélectrique ( 38) est solidaire d'un élément conducteur ( 39), cet élément étant soit un élément externe, soit un élément matérialisé par un dépôt conducteur sur au moins la zone de la structure diélectrique ( 38). 8 Tube hyperfréquence selon la revendication 7, caractérisé en ce que la liaison entre la structure diélectrique ( 38) et l'élément conducteur ( 39) est étanche. 9 Tube hyperfréquence selon la revendication 8 caractérisé en ce qu'un métal actif contribue à assurer la liaison étanche en se fixant chimiquement au matériau diélectrique. Tube hyperfréquence selon la revendication 9, caractérisé en ce que le métal actif est soit du titane, soit du zirconium, soit du manganèse, soit un alliage d'au moins deux des métaux précédents. 11 Tube hyperfréquence selon l'une des revendications 9 ou 10, caractérisé en ce que le métal actif est inclus dans une brasure, l'élément conducteur externe étant brasé à la structure diélectrique. 12 Tube hyperfréquence selon l'une des revendications 9 ou 10, caractérisé en ce que la zone de la structure diélectrique est recouverte au moins partiellement du métal actif et en ce que l'élément conducteur externe est fixé sur le métal actif directement ou par l'intermédiaire d'une ou plusieurs couches d'un métal auxiliaire. 13 Tube hyperfréquence selon la revendication 12, caractérisé en ce que le métal auxiliaire est du cuivre ou du nickel. 14 Tube hyperfréquence selon l'une des revendications 9 à 10, caractérisé en ce que l'élément matérialisé par le dépôt conducteur comporte du métal actif ( 64) recouvert d'un métal complémentaire ( 65), le métal actif ( 64) étant en contact avec le matériau diélectrique. Tube hyperfréquence selon la revendication 14, caractérisé en ce que le métal complémentaire est du cuivre ou du nickel. 16 Tube hyperfréquence selon l'une des revendications -1 à 15, caractérisé en ce que la structure diélectrique ( 38) est monobloc. 17 Tube hyperfréquence selon l'une des revendications 1 à 15, caractérisé en ce que la structure diélectrique est constituée de plusieurs blocs ( 42). 18 Procédé de réalisation d'une cavité d'un tube hyperfréquence selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comprend au moins les étapes suivantes: enrobage d'une structure diélectrique comprenant un évidement, avec une résine durcissable et usinable en remplissant l'évidement; usinage de la résine de manière à mettre à nu une partie de la structure diélectrique; dépôt de métal sur la résine restante et la structure diélectrique pour matérialiser l'élément conducteur; perçage de deux orifices, en vis-à-vis, dans le métal au niveau de la partie évidée de la structure diélectrique élimination de la résine. 19 Procédé de réalisation selon la revendication 18, caractérisé en ce que le dépôt de métal consiste en un dépôt d'une couche mince d'un métal actif, puis en un dépôt d'au moins une couche plus épaisse d'un métal complémentaire.