Brevet FR2661256A1 — publié le 19911025

Composant modulateur électro-optique intégré La présente invention concerne un composant modulateur électro-optique intégré. Elle peut s'appliquer de façon générale, sauf indication contraire, à tous les composants de ce type, qui sont principalement les modulateurs de phase, les interféromètres de Mach-Zehnder, les coupleurs COBRA (Coupleur Optique Binaire RApide) et les coupleurs à jonction Y. De la même façon, le composant de l'invention peut être utilisé pour réaliser les différents types de modulation que l'on sait réaliser avec ces divers composants, à savoir les modulations de phase, d'amplitude ou de fréquence, ces différentes modulations pouvant d'ailleurs avoir pour effet de réaliser une fonction de commutation logique. Ces différents aspects de l'art antérieur sont exposés dans un article de Y. Bourbin, A. Énard, C. Moronvalle, M. Werner et M. Papuchon intitulé Modulation hyperfréquence en optique intégrée, paru dans la Revue Technique Thomson-CSF, Vol. 19, n" 3-4, septembre-décembre 1987, pages 519 à 550. De façon générale, un tel composant comporte essentiellement un guide d'onde optique recevant une onde lumineuse à moduler, ainsi qu'une ligne de transmission électrique alimentée par un signal électrique hyperfréquence modulant. Pour réaliser la modulation, on applique sur une certaine longueur (dite longueur d'interaction ) du guide d'onde un champ électrique qui sera l'image du signal présent sur la ligne de transmission et qui, par interaction électro-optique, va provoquer entre l'onde électrique et l'onde optique un transfert d'énergie ayant pour effet une modulation de cette dernière. Dans un type particulier de composant, auquel appartient le composant de l'invention, on utilise une configuration dans laquelle on propage le signal hyperfréquence modulant sur la ligne de transmission sous forme d'une onde progressive, et on applique le champ de modulation électro-optique par une pluralité d'électrodes modulatrices localisées réparties le long du guide d'onde et réunies à des points localisés correspondants sur la ligne de transmission. L'utilisation d'une ligne hyperfréquence à onde progressive procure une importante largeur de bande de modulation, et les électrodes multiples réparties constituent des éléments suffisamment courts pour qu'il n'y ait pas propagation en leur sein, tout en recouvrant efficacement le guide pour obtenir la meilleure modulation. Une telle configuration est par exemple décrite dans un article de U. Langmann et D. Hoffmann intitulé Capacitively Loaded Transmission Line for Subnanosecond Stepped ss Operation of an Integrated Optical Directional Coupler Switch, paru dans le 1982 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest, Dallas, Texas, USA, 15-17 juin 1982, pages 110 à 112. Cependant, les composants de ce type présentent un fonctionnement limité en haute fréquence. Cette limitation est due à deux causes principales: la capacité du système d'électrodes et le temps de transit de l'onde optique sous ces électrodes. En premier lieu, les électrodes servant à appliquer le champ électrique de commande constituent électriquement une capacité, avec une valeur linéique qui est typiquement de plusieurs centaines de picofarads au mètre, ce qui aboutit à une capacité de l'ordre de 10 pF avec les longueurs d'interaction actuelles de l'ordre de quelques centimètres. Cette capacité contribue à former un filtre passe-bas avec la résistance de charge, typiquement de 50 Q, que requièrent la plupart des générateurs de signaux. On se heurte ainsi à une première limitation en fréquence, avec des fréquences de coupure voisines de quelques centaines de mégahertz, qui atteignent, selon l'état de l'art actuel, un maximum de 3 GHz pour des composants dont on peut penser qu'une compensation inductive a lieu. La seconde limitation provient du temps que met la lumière à parcourir le guide sous les électrodes. En effet, l'effet électro-optique résulte d'une interaction entre deux phénomènes propa gatifs (lumineux et électrique), et on démontre que l'efficacité de la modulation est étroitement reliée au désaccord de phase que présentent les deux ondes guidées. C'est donc la différence entre les indices de propagation optique et électrique qui fixera la limitation en fréquence. A cet égard, on distingue le comportement du dispositif selon que les ondes sont co-propagatives (c'est-à-dire que l'onde électrique se propage dans le même sens que l'onde optique) ou contrapropagatives (c'est-à-dire que l'onde électrique se propage en sens inverse de l'onde optique) : dans le premier cas, l'efficacité de modulation est d'autant plus grande que les indices respectifs sont proches et, dans le second cas, elle est d'autant plus grande que les indices sont grands. En particulier, dans le cas du niobate de lithium qui est l'un des matériaux les plus avantageux pour la réalisation de composants modulateurs compte tenu de ses coefficients électro-optiques très importants pour son activité Pockels (c'est-à-dire sa forte variation d'indice en fonction du champ électrique appliqué), la dispersion des constantes diélectriques, qui conditionne les vitesses des ondes aux fréquences optiques ou aux fréquences électriques de modulation, est relativement importante. Avec un tel matériau, et dans le cas de lignes sans pertes, la limite ultime de modulation, rapportée à la longueur d'interaction, est de l'ordre de 6 à 9 GHz.cm, en fonction de la structure guidante utilisée. Dans le cas d'une configuration co-propagative (qui est la plus fréquemment utilisée), diverses solutions ont été proposées pour réduire ce désaccord de phase, par exemple par emploi de structures d'électrodes apériodiquement renversées, par intervention de phénomènes résonnants, par réduction de l'épaisseur du substrat et utilisation de matériaux d'indices judicieusement choisis (ce qui complique beaucoup la fabrication), ou par interposition entre les électrodes et le substrat d'un matériau, lui aussi judicieusement choisi, ce qui en général détériore le guidage ou l'efficacité de la modulation. Aucune solution satisfaisante n'a été jusqu'à présent trouvée pour contrôler ce désaccord de phase, puisqu'actuellement les meilleures performances de bande passante sont de l'ordre de 40 GHz, et avec des longueurs d'interaction très courtes (de l'ordre de 2 mm) impliquant des puissances de modulation très élevées, typiquement de plusieurs watts. À ces problèmes de limitation de la bande passante vient s'ajouter une difficulté de conception tenant à la nécessaire adaptation d'impédance de la ligne de transmission électrique, qui doit avoir pour conséquence d'éviter des réflexions d'énergie et donc de mélanger des interactions co-propagatives ou contra-propagatives, selon le cas, entre l'onde optique et l'onde électrique de commande. En effet, lorsque l'on rajoute des éléments discrets capacitifs (les électrodes modulatrices localisées) régulièrement répartis le long d'une ligne, on change l'impédance de cette dernière et, dans le cadre d'une approximation quasi-statique (approximation dite des modes TEM), l'impédance caractéristique est inversement proportionnelle à la racine carrée de la capacité linéique de la ligne.Par ailleurs, on montre aussi, notamment par l'utilisation de transformations conformes telles que la transformation de Schwartz Kristoffel, que l'impédance de la ligne est inversement proportionnelle à l'indice de tonde électrique : de la sorte, le fait de charger une ligne par des capacités revient à augmenter l'indice de l'onde de commande, ce qui contribue à accroître le désaccord de phase et pénalise donc le fonctionnement du modulateur dans le cas figure d'une interaction co-propagative. La présente invention a pour but de remédier à ces limitations en proposant une structure de composant modulateur électro-optique intégré dans laquelle on puisse ajuster la vitesse de phase de l'onde hyperfréquence de manière à optimiser le désaccord de phase en fonction du mode d'interaction mis en jeu dans le composant. Plus précisément, l'invention vise un composant du type connu exposé dans l'article précité de Langmann et Hoffinann, c'est à-dire comprenant: - un guide d'onde optique, recevant une onde lumineuse à moduler, - une ligne de transmission électrique, alimentée par un signal hyperfréquence modulant et propageant celui-ci sous forme d'une onde progressive, et - des moyens d'interaction électro-optique, comprenant une pluralité d'électrodes modulatrices localisées réparties le long du guide d'onde et réunies à des points localisés correspondants sur la ligne de trans mission, ces électrodes appliquant au guide d'onde un champ électrique de modulation propre à provoquer une interaction électro-optique entre l'onde optique et l'onde progressive électrique de commande. Selon l'invention, ce composant est caractérisé en ce que, ladite interaction étant co-propagative ou bien contra-propagative selon les sens respectifs de propagation de l'onde optique et de l'onde électrique, on détermine le matériau de la zone d'interaction électrooptique et la configuration des électrodes modulatrices de manière à réduire, dans le cas d'une interaction co-propagative, ou à accroître, dans le cas d'une interaction contra-propagative, l'écart entre, d'une part, l'indice électrique corrigé par la capacité linéique des électrodes modulatrices et, d'autre part, l'indice optique dans la zone d'interaction électro-optique. Dans un premier mode de réalisation, correspondant au cas de l'interaction co-propagative, le substrat du composant est un substrat composite constitué d'un premier matériau dans la zone portant la ligne de transmission et d'un second matériau, différent du premier, dans la zone d'interaction électro-optique, la constante diélectrique du premier matériau étant plus faible que celle du second matériau, de manière que, dans la zone d'interaction électrooptique, l'indice électrique, corrigé par la capacité linéique des électrodes modulatrices, présente une valeur essentiellement égale à celle de l'indice optique dans cette même zone. En d'autres termes, on distingue le problème de la propa gation de l'onde hyperfréquence (impédance et pertes) de celui de l'efficacité de modulation, ce qui amène à déterminer les paramètres du composant de la manière suivante: - choix d'un matériau optique; - compte tenu de la nature de ce matériau et de la structure d'électrodes choisie, détermination des dimensions des électrodes pour obtenir l'efficacité de modulation électro-optique voulue; - une fois déterminées les caractéristiques de ces élec trodes, calcul du facteur correctif que l'on devra appli quer à l'indice électrique, puis à l'impédance caracté ristique d'une ligne non chargée pour obtenir l'impé dance de la ligne chargée; et - choix du matériau électrique et de la configuration de la ligne de manière à obtenir l'impédance voulue. Dans le second mode de réalisation de l'invention, l'interaction électro-optique est une interaction contra-propagative et ledit composant est un coupleur à jonction Y fonctionnant en mode de résonance intrinsèque. On utilise dans ce cas le phénomène, exposé plus haut, par lequel les éléments capacitifs contribuent à augmenter le désaccord de phase, pour accroître l'efficacité de modulation qui, dans le cas d'une interaction contra-propagative, sera d'autant meilleure que l'écart entre les indices électriques et optiques sera important. Dans ce cas, le composant peut être réalisé soit sur un substrat unique, soit sur un substrat hybride, comme pour le premier mode de réalisation, c'est-à-dire que le substrat du composant sera un substrat composite constitué d'un premier matériau dans la zone portant la ligne de transmission et d'un second matériau, différent du premier, dans la zone d'interaction électro-optique, la constante diélectrique du premier matériau étant plus élevée que celle du second matériau, de manière à maximiser, dans la zone d'interaction électro-optique, l'écart entre la valeur de l'indice électrique, corrigé par la capacité linéique des électrodes modulatrices, et celle de l'indice optique dans cette même zone. Lorsque, dans l'un ou l'autre des modes de réalisation, on prévoit un substrat hybride, il est avantageux de prévoir un certain nombre de caractéristiques préférentielles selon lesquelles, notamment: - ledit premier matériau est l'alumine; - ledit second matériau est un matériau du groupe com prenant le niobate de lithium et les semiconducteurs 111-V; - le second matériau est juxtaposé et collé au premier matériau ou, en variante, il est superposé et collé au premier matériau ou, selon une autre variante encore, le premier matériau et le second matériau sont dispo sés selon un empilement de couches obtenu au cours d'étapes successives d'un même processus de fabrica tion. Par ailleurs, dans tous les cas, on peut avantageusement choisir de réaliser la partie électrique hyperfréquence en technologie microruban (technologie microstrip) sur un substrat portant, sur l'une de ses faces, une métallisation formant plan de masse et, sur la face opposée, la ligne de transmission et les électrodes modulatrices. Cette technologie présente, par rapport à la technologie à électrodes coplanaires asymétriques utilisée pour la quasi-totalité des composants de l'art antérieur, l'avantage d'une beaucoup plus grande compacité et d'un très bon recouvrement du champ optique et du champ électrique. # On va maintenant décrire en détail l'invention, en référence aux figures annexées. La figure 1 est une vue en plan d'un composant modulateur de phase réalisé conformément au premier mode de réalisation précité de l'invention. La figure 2 est une vue en coupe, selon II-II de la figure 1, de ce même composant. La figure 3 est une vue en plan d'un composant modulateur de phase réalisé conformément au second mode de réalisation précité de l'invention. La figure 4 illustre une variante de réalisation de la figure 1. La figure 5 est une vue en coupe du composant de la figure 4, prise selon la ligne V-V de la figure 4. # La figure I illustre le cas d'un modulateur de phase simple réalisée selon les enseignements de l'invention. L'homme du métier comprendra que l'on peut extrapoler les enseignements de l'invention à la réalisation de composants plus complexes tels que des interféromètres de Mach-Zehnder, des coupleurs COBRA et des coupleurs à jonction Y, composants qui comprennent tous au moins une branche fonctionnant sur le principe de la modulation de phase. Ce composant comporte essentiellement un guide d'onde optique 1 recevant en entrée (flèche 2) une onde optique à moduler et délivrant en sortie (flèche 3) une onde optique modulée, ainsi qu'une ligne de transmission électrique 4 alimentée par une source 5 délivrant un signal hyperfréquence modulant et propageant celui-ci sous forme d'une onde progressive dans le sens indiqué par la flèche 6. La référence 7 désigne l'impédance de charge sur laquelle est fermée la ligne, qui utilise également, comme on peut le voir sur la figure 2, un plan de masse 8 situé sur la face opposée du substrat (technologie microruban). Pour réaliser l'interaction électro-optique, on prévoit audessus du guide d'onde 1 une pluralité d'électrodes modulatrices localisées 9 qui, prises ensemble, recouvrent le guide 1 sur une longueur d'interaction Lc. Pour éviter qu'une onde progressive ne se propage à l'intérieur de chacune de ces électrodes, on donne à chacune de celles-ci une longueur notablement inférieure à la longueur d'onde du signal hyperfréquence, typiquement une longueur de l'ordre d'un dixième de la longueur d'onde du signal électrique transmis par la ligne 4. Chacune de ces électrodes est reliée à un point homologue 10 de la ligne 4 par l'intermédiaire d'une liaison électrique 11. De façon caractéristique de l'invention, le composant de ce mode de réalisation est réalisé sur un substrat composite formé de deux matériaux différents 12 et 13, la ligne de transmission 4 étant réalisée sur le substrat du matériau 12 (qui, pour cette raison, sera désigné matériau électrique ) et le guide d'onde 1 étant réalisé sur le substrat en matériau 13 (qui, pour cette raison, sera désigné matériau optique ). De préférence, mais de façon non exclusive, le matériau optique est le niobate de lithium LiNbO3 et le matériau électrique est l'alumine AI2O3, ces matériaux étant choisis l'un pour ses excellentes propriétés optiques et l'autre pour ses excellentes propriétés électriques. L'impédance d'une ligne, dans le cas de l'approximation des modes TEM (approximation quasi-statique mentionnée plus haut) est reliée à sa capacité par les relations suivantes: Zo= Za [Ca/COlll2, avec Za =Ca/é, c étant la vitesse de la lumière dans le vide, CO étant la capacité de la ligne, et Za et C a étant l'impédance et Ia capacité de cette même ligne dans le cas où le diélectrique serait remplacé par de l'air. Lorsqu'on la charge par des éléments, tels que les électrodes de modulation 9, qui sont petits devant la longueur d'onde et peuvent être assimilées à une capacité linéique C P son impédance devient: Z = Z0 / [1+(C 0p/C0) = Za / [((1+#r)/2)(1+C0p/C0)], sur étant la constante diélectrique relative du substrat sur lequel est formé la ligne (ici, le substrat électrique 12). On voit ainsi, comme on l'a indiqué au début de la présente description, que l'impédance de la ligne va diminuer lorsque C va augmenter. L'indice électrique nel de l'onde hyperfréquence, quant à lui, va être multiplié par le facteur (1+C0p/C0). Du fait que l'indice électrique propre de la ligne vaut [(1+erY2J112 (la propagation ayant lieu moitié dans l'air, moitié dans le substrat, puisqu'il s'agit d'une ligne formée en surface du substrat), l'indice électrique corrigé par la capacité linéique des électrodes modulatrices devient: nel = [((1+#r)/(1+C0p/C0) ]1/2 Ces relations établies, on calcule isolément chaque électrode 9 de manière à moduler efficacement la lumière guidée, ce qui va déterminer le paramètre C0p. Ce paramètre étant ainsi déterminé, si l'on veut satisfaire les conditions d'accord de phase et d'adaptation d'impédance sur une charge ZL, on doit vérifier les relations: nel = nOp, Z=ZL, et ZL = Za/n0P. Ce qui peut s'écrire sous la forme: ((1+#r)/2)(1+C0p /(Ca(1+#r)/2)) = n0p Ce qui entraîne: er =2(n0p-cC0pZLn0p)-1 On choisira le matériau électrique (qui détermine er), le matériau optique (qui détermine n0p), la géométrie des électrodes (qui détermine C0p) et l'impédance de charge (ZL) pour que cette relation se trouve vérifiée ou approchée au mieux. On veillera cependant, puisqu'il faut que r soit toujours supérieur à l'unité, à ce que la condition: C0p soit toujours vérifiée, ce qui revient à dire que, si la capacité des électrodes modulatrices placées sur le matériau optique est trop forte, on ne pourra pas réaliser l'accord de phase ou l'adaptation d'impédance. ll faudra dans ce cas soit modifier la configuration des électrodes pour réduire Cop > soit choisir une impédance de charge ZL plus faible si l'on veut pouvoir trouver un matériau de permittivité ex satisfaisant. A titre d'exemple, on peut considérer un guide formé dans un matériau semiconducteur III-V tel que InGaAsP/InP, propageant un mode unique, d'indice effectif n0p 3,3. La ligne sera chargée sur ZL = 25 # et fabriqué sur un substrat en alumine de permit tivité r = 9,7). Les capacités de charge constituées par les électrodes modulatrices vaudront alors C0p =1 nF/m. On peut montrer que, dans un tel exemple, il est possible de moduler à 4 GHz un coupleur directionnel à jonction Y utilisant ces guides mis en interaction sur une longueur de 1 cm, donc avec des puissances de commande modérées. On pourrait également utiliser comme matériau optique le niobate de lithium LiNbO3, qui présente un indice optique effectif nOp = 2,2 et dont les propriétés optiques avantageuses sont bien connues de l'homme du métier. La figure 3 illustre le second mode de réalisation de l'invention, dans lequel on utilise une interaction non plus co-propagative mais contra-propagative, c'est-à-dire que, pour un même sens de propagation de l'onde lumineuse (flèches 2, 3), l'onde progressive électrique de commande se propage en sens inverse de l'onde optique, comme indiqué par la flèche 14 (dont le sens est inversé par rapport à celui de la flèche 6 de la figure 1 correspondant au premier mode de réalisation). Cette interaction contra-propagative est en particulier caractéristique des coupleurs à jonction Y fonctionnant en mode de résonance intrinsèque. On se reportera à ce sujet à un article de Y. Bourbin, M. Papuchon, O. Prat, A. Énard et C. Moronvalle intitulé Principes de résonance intrinsèque aux hyperfréquences en optique intégrée, paru dans la Revue Technique Thomson-CSF, Vol. 19, no 3-4, septembre-décembre 1987, pages 575 à 596, qui explique les aspects théoriques aussi bien que pratiques du fonctionnement et de la réalisation d'un tel composant, qui fait par ailleurs l'objet du FR-A2 618 273 intitulé Modulateur/commutateur électro-optique intégré à réponse passe-bande, au nom de Thomson-CSF. La structure du composant est comparable, dans son ensemble à celle du composant de la figure 1 (les mêmes références numériques désignant des éléments semblables), les électrodes modulatrices 9 étant disposées au-dessus de l'un des deux guides 1, 1' constituant les deux branches du coupleur en Y. Contrairement au cas précédent, il est possible de réaliser la ligne 4 et les guides optiques 1,1' sur un même substrat 12 qui sera le substrat optique (typiquement, le niobate de lithium), dont le matériau sera le siège de l'interaction contra-propagative entre les phénomènes optique et électrique. Si l'on suppose par exemple une capacité de 250 pF/m pour les électrodes modulatrices 9, une fréquence de résonance de 10 GHz et une largeur de bande de 1 GHz, il est possible, par la présence des électrodes localisées répartie, d'augmenter le désaccord de phase de manière à renforcer le phénomène de résonance intrinsèque. Pour le niobate de lithium, qui présente déjà un indice électrique propre (de l'ordre de 4,2) plus élevé que l'indice optique propre (de l'ordre de 2,2) on peut accroître encore cet écart d'indices, en faisant passer, par l'effet de la capacité linéique des électrodes modulatrices, l'indice électrique effectif à une valeur de l'ordre de 7,3. Bien qu'il soit évidemment plus simple d'utiliser un seul et même matériau (le matériau optique) pour le substrat 12, on pourrait néanmoins utiliser deux matériaux différents pour la partie électrique et pour la partie optique, comme cela est symbolisé par la ligne en trait interrompu 15. On choisira alors, dans ce dernier cas, la constante diélectrique du matériau électrique 12 pour qu'elle soit supérieure (et non plus inférieure, comme dans le cas du premier mode de réalisation de la figure 1) à celle du matériau optique, ceci afin de pouvoir maximiser l'écart entre l'indice optique et l'indice électrique. Lorsque, dans l'un ou l'autre des modes de réalisation, on utilise deux matériaux différents pour le substrat optique et pour le substrat électrique, plusieurs configurations relatives de ces deux substrats peuvent être envisagés. Une première configuration est celle illustrée figures 1 et 2, dans laquelle le substrat en matériau optique 13 est juxtaposé au substrat en matériau électrique 12, avec par exemple collage entre ces deux matériaux dans leur zone de contact. Une autre configuration possible est celle illustrée figures 4 et 5, dans laquelle les deux matériaux 12 et 13 ne sont plus juxtaposés mais superposés, le matériau optique 13 constituant un bloc posé par-dessus le substrat de matériau électrique 12 et collé (par exemple) à celui-ci, les électrodes modulatrices 9 étant formées sur ce second bloc 13. Cette disposition permet notamment d'utiliser pour la ligne hyperfréquence une structure classique d'électrodes coplanaires asymétriques, c'est-à-dire avec un plan de masse 16 formé sur la même face du substrat 12 que la ligne de transmission proprement dite 4. Dans une autre configuration (non représentée), on pourrait également former, au cours d'une même série d'étapes de pro cessus, un empilement de couches en matériaux différents, de manière à obtenir une structure semblable à celle des figures 4 et 5, mais sous forme monolithique. Cet empilement peut notamment être obtenu par épitaxie. REVENDICATIONS 1. Un composant modulateur électro-optique intégré, comprenant: - un guide d'onde optique (1), recevant une onde lumi neuse à moduler, - une ligne de transmission électrique (4), alimentée par un signal hyperfréquence modulant et propageant celui-ci sous forme d'une onde progressive, et - des moyens d'interaction électro-optique, comprenant une pluralité d'électrodes modulatrices localisées (9) réparties le long du guide d'onde et réunies à des points localisés correspondants (10) sur la ligne de transmission, ces électrodes appliquant au guide d'onde un champ électrique de modulation propre à provoquer une interaction électro-optique entre l'onde optique et l'onde progressive électrique de commande, composant caractérisé en ce que, ladite interaction étant co-propagative ou bien contra-propagative selon les sens respectifs de propagation de l'onde optique et de l'onde électrique, on détermine le matériau (13) de la zone d'interaction électro-optique et la configuration des électrodes modulatrices (9) de manière à réduire, dans le cas d'une interaction co-propagative, ou à accroître, dans le cas d'une interaction contra-propagative, l'écart entre, d'une part, l'indice électrique corrigé par la capacité linéique des électrodes modulatrices et, d'autre part, l'indice optique dans la zone d'interaction électro-optique. 2. Le composant modulateur électro-optique de la revendication 1, dans lequel, l'interaction électro-optique est une interaction co-propagative et le substrat du composant est un substrat composite constitué d'un premier matériau (12) dans la zone portant la ligne de transmission et d'un second matériau (13), différent du premier, dans la zone d'interaction électro-optique, la constante dié lectrique du premier matériau étant plus faible que celle du second matériau, de manière que, dans la zone d'interaction électro-optique, l'indice électrique, corrigé par la capacité linéique des électrodes modulatrices, présente une valeur essentiellement égale à celle de l'indice optique dans cette même zone. 3. Le composant modulateur électro-optique de la revendication 1, dans lequel l'interaction électro-optique est une interaction contra-propagative et ledit composant est un coupleur à jonction Y (1, 1') fonctionnant en mode de résonance intrinsèque. 4. Le composant modulateur électro-optique de la revendication 3, dans lequel le substrat du composant est un substrat composite constitué d'un premier matériau (12) dans la zone portant la ligne de transmission et d'un second matériau (13), différent du premier, dans la zone d'interaction électro-optique, la constante diélectrique du premier matériau étant plus élevée que celle du second matériau, de manière à maximiser, dans la zone d'interaction électro-optique, l'écart entre la valeur de l'indice électrique, corrigé par la capacité linéique des électrodes modulatrices, et celle de l'indice optique dans cette même zone. 5. Le composant de l'une des revendications 2 ou 4, dans lequel ledit premier matériau (12) est l'alumine. 6. Le composant de l'une des revendications 2 ou 4, dans lequel ledit second matériau (13) est un matériau du groupe comprenant le niobate de lithium et les semiconducteurs III-V. 7. Le composant de l'une des revendications 2 ou 4, dans lequel le second matériau (13) est juxtaposé et collé au premier matériau (12). 8. Le composant de l'une des revendications 2 ou 4, dans lequel le second matériau (13) est superposé et collé au premier matériau (12). 9. Le composant de l'une des revendications 2 ou 4, dans lequel le premier matériau et le second matériau sont disposés selon un empilement de couches obtenu au cours d'étapes successives d'un même processus de fabrication. 10. Le composant de l'une des revendications précédentes, dans lequel la partie électrique hyperfréquence est réalisée en technologie microruban sur un substrat (12) portant, sur l'une de ses faces, une métallisation (8) formant plan de masse et, sur sa face opposée, la ligne de transmission (4) et les électrodes modulatrices (9).