Brevet FR2655501A1 — publié le 19910607

La présente invention concerne un filtre couleur utilisé dans un dispositif de détection d'image à l'état soiide et dans un dispositif d'affichaqe et, particulièrement, un filtre couleur ainsi que son procédé de fabrication pour un filtre couleur améliorant le facteur de transmission optique et diminuant le phénomène de dispersion, d G à la diffraction et à la réflexion des lumières incident'es. La coloration d'un système de détection d'image à 11 état solide considéré comme le dispositif de détection d'image de la nouvelle génération et qui depuis un temps récent remplace le tube électronique ou le tube électronique de détection d'image est réalisée en formant un filtre couleur dans la partie supérieure d'une région de conversion photoélectrique. La coloration d'un dispositif d'affichage tel qu'un dispositif deaffichage à cristaux liquides est également réalisée en formant un filtre couleur dans la partie supérieure d'une région de conversion photoélectrique. 2.0 Les genres de filtres couleur sont classés en filtre organique coloré, comportant une matière organique telle qu'une gélatine comprenant un agent colorant et en filtre inorganique appliquant l'interférence optique Parmi ces filtres, le filtre organique est davantage utilisé que le filtre inorganique en raison de son faible coût. La figure 1 est un schéma en coupe d'un filtre couleur utilisé dans le Système à Transfert de Charge (STC) de la technique antérieure. A la figure 1 dans le substrat au silicium i dont la -1-O O surface est à la fois concave et convexe, des réseaux de photodiodes 2,, 4 sont formés à la surface de la région concave, une couche conductrice 5 et une couche isolante 6 étant formées à la surface de la région convexe. Parmi les couches conductrices 5 indiquées préec-demment, une section est utilisée en pastille pour réaliser la connexion électrique entre le dispositif à semiconducteur et le boîtier et les couches isolantes 6 sont utilisées pour 1 'isolement électrique du réseau de photodiodes 2, 3 4. La couche de planérisation 7 et les couches intermédiaires 11, 17 sont formées sur le substrat au silicium I dont la surface est à la fois concave et convexe. LE réseau de filtres couieur 8, 13, 19 sur la surface duquel sont formées les couches de coloration 9, , 21 qui correspondent aux réseaux de photodiodes 2, 3, 4 sont éqalement formes respectivement Les couches de filtre couleur respectives 8, 13, 19 sont ensuite placées dans la région présentant une longueur verticale respectivement différente des réseaux de photodiodes 2, -, 4. Le procédé de fabrication s'appliquant au mode de réalisation de la structure précédente est brièvement exposé ci-aprés. Sur la surface à la fois concave et convexe du substrat au silicium 1, les réseaux de photodiodes 2, 3, 4 sont formés à la surface de la région concave, et une couche conductrice 5 et une couche isolante 6 étant formées à la surface de la région convexe Une couche de planérisation 7 est appliquée à la surface du substrat au silicium i par un agent transparent du type polyimide. Un agent photosensible tel qu'une caséine ou une gélatine est ensuite appliqué à la région supérieure de la couche de planérisation 7 et un schéma de filtre couleur 8 est formé par photolithographie. Un agent colorant est ensuite appliqué à la couche de planérisation 7 et au schéma de filtre couleur 8 Puis une couche de coloration 9 est formée par coloration du seul schéma de filtre couleur 8. -5 % La couche de coloration 9 est colorée au moyen de l'un quelconque des agents colorants tels que magenta, cyan ou jaune afin de filtrer l'une quelconque des lumières colorées telles que magenta, cyan ou iaune. Une couche milieu it est ensuite formée en appliquant r:; un polyimide à la surface de la structure précédente. Les schémas de filtre couleur 13 19, les couches de coloration 15, 21 qui peuvent filtrer la couleur respective souhaitée à la surface de ces schémas de filtre couleur 13-, 19 et couches intermédiaires 17 sont n formés dlune manière similaire à celle indiquée ci- dessus Les couches intermédiaires 11, 17 empëchent les couches de coloration déià formées de se mélanger entre elles lors de la formation des couches de coloration 15, 1,r 5 Une couche protectrice 23 est ensuite formée sur la surface entière de la structure précédente par application du polyimide et une partie de la pastille 5 est exposée en fermant une ouverture 25 permettant la formation de l'électrode. S Un autre filtre couleur de la technique antérieure est décrit dans la publication du brevet de la République de Corée 83-1454. Le filtre couleur de la technique antérieure décrit Ci dessus présente le problème que sa qualité d'image est inférieure du fait du phénomène de dispersion entrainé par la diffraction et la réflexion des lumières incidentes et de la réduction du facteur de transmission optique par les couches intermédiaires, les couches de filtre couleur qui correspondent au réseau de cellules l photoélectriques étant formées à une hauteur respectivement différente et les couches intermédiaires étant épaissies par laminage et présentent en outre des difficultés d'aménagement de l'ouverture pour la formation d 7 une électrode. :;'-i C'est un but de la présente invention de créer un 4. filtre couieur amélioré qui surmonte l'insuffisance des dispositifs de la technique antérieure teis que décrits ci-dessus et permet d'obtenir une bonne qualité d'image. C'est un a utre but de la présente invention de créer un procédé de fabrication s'appliquant au filtre couleur décrit ci-dessus. Pour accomplir ce but, la présente invention, en ce qui concerne le filtre couleur présentant au moins deux caractéristiques de filtrage mutuellement différentes correspondant respectivement à la pluralité de pixels placs dans l'orientation matricielie du substrat de base est caractérisée en ce qu'elle comprend une couche de planérisation qui transmet les lumières formées sur eniére surface du substrat de base, un schéma de filtre couleur formé à la hauteur correspondant à chaque pixel dans la région supérieure de la couche de planérisation, une couche de coloration colorée sélectivement avec au moins deux couleurs mutuellement différentes à la surface de la couche de filtre couleur respective, et une couche protectrice qui transmet les lumières formées que la couche planrisation et sur les couches de col orati on Pour accomplir un autre but, la présente invention, dans le procédé de fabrication du filtre couleur présentant au moins deux caractéristiques de filtrage mutuellement différentes qui correspondent respectivement à la pluralité de pixels placés dans l'orientation matricielle sur le substrat de base, est caractérisée en ce qu'elle comprend unepremiere opération qui consiste à former une couche de planérisation transmettant les lumières formées sur la surface entière de la surface de base, uneseconde opération qui consiste à former des schémas de filtre couleur correspondant à chaque pixel placé sur ue T; 9 ú auetlosl aq Dno D e T elja T Tioq ne ina_Dnpuo Dw-as:: s? +I So I Jd Sp a T -Uawanb IJ:i Bai T ia 3 Ouuo J Ilnod sa-s FIT Fn quos gú sa J Tj 4 Dnpuo D saq Dno 3 sap sau 14 eja 3 a Xa AUOD UOî 5 i J el ap a De+Jns el V sagwaoj q UOS 92 a 4 Uel O Si aqnoi D aun 4 a uoixauuo D V que^Aas g 2 a 1:2 l:npuom at Dno D aun tanba I suep 4 a ' - Ae DU 03 Uuoxfii el ap ave+Jns el e sewao+ 4 Uo S slaxrd sel i Dae uoiqela J ua eú s 2 s' sapoipoqoqd ap xneasgi sep allanbe 1 suep 14 F Xa AUOD ap 4 a ^T Ae Duo D ap a Fn 2 n_ S aun aquasg Jd 12 wn Ti Tlls ne je Jsqns un e Z a Jnf 5 i 4 el v ab 2 xq 3 F Aje;p si TI Tsodsip qa ap T Ios ie I, a 5 wewp uoi 4 Da 4 pp ap sjli 4 isodsip sm Jqnep V uoiqua Aui a 4 uased el ap mnalno D a JI ml S a janbtldde;p elqssocd 4 sa I Tnb Ja::ou ap;uepuada D e Jpu 5 i Auo D II ( 31 S) 5 J Leq 3 ap 4 JO+SUCJ ap aw Qs s ne uo Tqua Au T a;uasqd el ap inmln OD at s Tj np uo T;r)D Tddie;l 7 ue-jsn IIT O O adno D ua 4 uawaie D I 14:a A eweq Ds un -sa Z a Jn 5 lt e- I a Jnl: el ap uo T 3; t I-Jqel ap ?psmo Jd ai 4 u=uas Jdai J adno D ua sweqs sap;Uos 3 e Vú s Jinbi T sa- uo 14 u A^ui T a 3 uasid e I 4 ue_ 4 snt IT Jna Tnon aa I T+ np adno D ue e Ywv 4 Ds un zsa a in B 5 ij i T: -amnai m u E enbbuqip 3 a e T ap mna Tno D a GJI T+ np adnoz ue ewgqz S un;sa T ranfi e- : stanbsai tins 4 sgxauue sulssap xnie e Uaejd ua uoique Au. aquasgid e ap _j 1 cd uo T 4 eslte 9 J ap apow np uoi-dii Dsap ol et az>d 5 S 4 uaiedde sn Id 4 uojpua T Aap snssap l sabeque Ae sa Jqne 4 Uo T 4 Ua Au T aquasgid e I ap sqnq sa-1 u Toeo 14 o D 2 p S 54 nol D se I -ns 4 a uo qesi Tjuelîd ap aqeno l S smzugwo 4 sea Ji Twn- se I 4 ut;eawsu Le-i a DJ 3:3 a 4 qo Jd aqz 4 no D aun jaw Jd-o aqs Tsuo D ' Tni uo T:etiado awsi s-o-Jquan 4 e _Inalno Dr ajfi J ap S 3 Dewpqs sa 3 D ap a Dejdns el V saqua Jij-+Tp -muawatlanniw smrnalnoi 3 xnap suiom nu De Ae a AT 4 D 3 a Iis uo 4 ej Doo TD _ed uo DT e Jo D-o_ ap seaqno D sap iamol JO V 4 a u Otes t=Iue Id L ap au Dnon el TOGG 099 Z ap aq 3 no D el ap a 3 ejns e T S uorye-DT Tdde si jd V sy- -axa^UOD U 59 J l T a P _-:eq el ins 000 ú ap adp Jo DI 3 p inassi Ted aun p uo T Te 3 Tidde Jed aewijo 4 sa Zú uo T Ies Tiiueld ap aq 3 no D l e% Z 6 ap Vlap-ne saquaplc Iui sji Twn sl a JT aw-suedq ap u TI " "ap TwrÀlod al anb la 4 4 ua Jedsue LJ O): qua 6 e unep uo T 4:T Di Tdde Jed Tú wn Til T Ts ne 4 Jesqns al Ins agw Jo aTnsua 4 sa rú uoles Ti-ueld ap aymno D aun -axa^uo Uo T 15 J et ap ale J-ns e T e sae W Jo:f luos ZOTS enb atlaq 92 aeuelos T aqnnom aun 4 a TV anb j: lie 4,w ap aen 4 Tsuo 3 gú a DT)4 npuo D aq Dno D aun allanbe suep su,- qa a Ae Duo D uo TD Bd el ap meDns el i seifdoj -uos t 'Z sepo Tpo 4 oqd ap xneasq sap allanbel suep 43- a Auo D-^o- e 3 uo D ajn Dnss el ap aen 4 T 4 suo D -sa ITú wni Dil Ts nine 4 elsqns np a 3 eJns e T e Vú ain 5 iz el ap deqa 1 suer -Z ain 5 Tl el ap uol Tesl Ie J ap O 7 _. apom ne urenb Tldders uo TaeT Ie ap epemoad al ue ',n TI adno D ua se UJ 4 Ds Sap quos B V V' sajn 5 T: sa "'-' a I Tsed el ns apo -I aun iao nod aenb T 4-e-d qu:e ain-4 a A-no aiun ei T e-t 6 A uo Iq-Jo Io D a P saq Dnoa sep qe Lú uoi T-ei S Tueld ap aq Dno D e T ap aoenins l Gl iel e anbildde sn Idm P)si:D Ij:Da-oid:ynno D a Un '-' sapolpoqoqd ap xnease J sl Jinod jn 8)lnlq ew,:w el: s 9 w IO q Uo S 6 t 'úzt e 8 ú Jna Ino D ad Jq Ti ap sew 9 qs sa-t lz úú 5 s}poipoqoqd ap 1 xnen Ysg xne 4 uepuodsaio D /_ú q UO si 4 Teued ap aumnom el ap aina Jipdns uoib@ el suep S 5 ?Wjo+ ai 4 no ua 4 uos Ig est et u O Tqe Yo IOD 3 p saq Dno D sa T jed adnoqua 4 se me_+ns el iuop 6 t -tú e 82 inajno D a J 4 l Tj ap swqDs sal -'a XAU^D o a a AIDDU^ 3 o i sio: el V qsa a 3 eJns el quop Iú 55 wnz DTITS ne qeu Jsqns al ans aew J O _ qsa Zú 5 uo T O esleue Td 2 p au Dno 3 aun S 5;v Saplpotp:oud sal quawanbi TD-al jaeiedps inod asili T N sinal IT e jed TOGG 09 Z planërisation 37 de caséine mélangé à du bichromate acide ou de la gélatine avec une épaisseur de l'ordre de 40-100 & 100 t-00, un premier schéma de filtre couleur 38 est alors formé par photolithographie. Le premier schéma de filtre couleur 38 correspond alors à une première photodiode 32. Par une application continue d'un agent colorant à la surface de la structure mentionnée ci-dessus, la surface du premier schéma de filtre couleur 38 est colorée et il est ainsi formée une première couche de coloration 39 et f ormée. L:agent colorant appliqué à la couche de planérisation 37 est ensuite éliminé avec de l'eau déminéral isée. ' L:un quelconque des agents tels que magenta cyan et jaune est utilisé comme agent colorant de façon à filtrer l'une quelconque des lumières colorées telles que magenta, cyan ou jaune. Le magenta est par exemple utilisé comme agent 2 t.l colorant de fagon que la première couche de coloration 39 puisse filtrer la dernière colorée en magenta. Dans l'opération 3 B, après application à la région supérieure de la couche de planrisation 37 et à la première couche de coloration 39 de polyimide d'une bépaisseur d'environ i pmi, la couche de planérisation 37 située sur la seconde photodiode 33 S est exposée par le procédé de photolithographie de façon a former une première couche milieu 41. La couche de planérisation 37 et la première couche -'0 milieu 41 sont formées dans l'agent respectivement difféerent ou dans le même agent. Dans le cas du m 8 me agent lors de la formation de la première couche milieu 41, l'énergie thermique est alors appliquée après formation de la couche de planrisation _: 3-7 dans une proportion telle que la couche de unec ia Be JQTOJ a aa rwny UT;JJ:t 1 Bs Cs Ti Ié Tg uf-eltw Jul D) Bp BDQ 2 o D a WT Tiso J 4 i el anb uo Se 4 ap UQ Te JD To Z p lua 5 ue B l su E Lp gs Ti T Wn 4 Ua BW Bl Te E 4 Bsa eune C 21 ú apo Dipo Cio 4 d ew U i Tsio 4 el ? seole puodsa J Jon 6 Jneno D eopt+ p EW 9 t 4 Ds awi 1 Ts Toi a '-snssep-Tn qir Dmp enb epçnod awaw ea Jed 59 WJ Do a B Tnsua quos Tg uo T 4 e Jolo D ap aq Bno I awuso si CI; aun 4 a 65 Jnalno D a B 4 ET+ ap e U Jqs mawisirjo un -4-UE 5 -eoap el no 4 uen Il Tp al ed aeutiw It no B 9 ddol BA Ap 4 sa nal I Tw Baq Dno D aj Twajd el e 9 sife ig UT Wp nee Bl Bp DB Ae 9 UTWT Iw j 49 E l TT N 111 TW Bq Dno ID am Q Twaid el ins 4 u Bs? 3 d uo 014 e Joo D Bp 4 U Bae;t anb se-de G 2 ú d,I sdue, SU E wu-e n ua a Bej 30 T aji Q Twny Bl ja-Al Tl+ ass Tnd r I UDT 4 Ei Of OD Bp B 14 ',Dn O N a Bw U Txflp ef anb uo 5 E+ Bp ueo To D 4 ua Be e su Ep psi IT 4 n V 4 s UE-/D a i 82 UO Duo ieo D op I 4 Dno D 2 B 3 TWB 3 id el i 3 BLûue-TW as Bp gt UOT 4 e JD Oo D 2 p 4 ULB 5 e puo Das a T Ja WJO} F IU Il Sp P 5 uoe I 4 JO Ilo D Bp Ubfiue 1 siofe oq D_ dôwa Tr na BT W Bq Dnou D 3 JQ Twi B 3 d el '87 uo Tue J-To DJ Bp Bifa Dno J BJQ Tw Jd ET p uoi Tie Wi D o+ l Tf 3 p nle V Vnb 4 up T pp Dooid np UB Ao W n-e út inm Tflo D Be I Z 1 Bp ew q LS p U Dos np De±lns ET ns aew onj Ba I Tlnsua S 5 gt u-i D Eeiolo Di Bp BI 4-Jno I 1 D B Wxn Bp B Ufl P T a po poqoqjd aw Txnap e 1 S of E puodsai Jo D L t 3 in Blno D 314 i T sp we W 9 UD S puo Das o- -4 uaww Bp D Jid a BU Uo T 4 Uu W Bfin 4 fnj 4 S el p aj B Ti 4 u Bu e 3 e+ns el ins 82 nalnlfo a B 4 T+Z Bp Ew Ie 4 Js DJ 21 ai d ne alnb Upi p T 4 u B 5 e un jed ep 9 Doid a D suep o 1 S ú-3 c 2-0 nalno 2 O T 2 d J 3 T+ Bp We WL Zs puo D Bs un U D '3 Uo Tlr do, 1 su Ea Ba WJ+B 4 aq In S Ua BJ 4;UEA Bp a U Dn O 3 ET 3 BS Ti JU Eld Jnod apsodxa 4 u Bwwes Ti++ns V S 4 ú uo T 4 es T 3 ue T Id ap a 4 q Dno D e 's B 4 UBJ++P Up q 4 UB ATA 4 D Bds Bd 3 puop 3 nanfuo 3 i Bp saj Biwnl sep jed saqsodxa Bi 4 g -,e sa Bua We a 20 no ua 4 uos Tt na 2 TW r q 4 no O B 3 Q Tf J Bd el 4 T Zú uotwesiueld Bp aq 4 no 1 El & 4 uaj B++TP U Bp Wu 2 a ATB Id Ja S 4 Ua EJE 1 J Ed sa Wi 3 Dj 4 uos Tt nm TI Tw 4 q Zno 1 3 aw J 3 jd el 4 B ú 2 uo T 4 Es T Jueld B p at Dno O el fo se 2 ef sue Basodx B sed 4 s Bm U /ú 2 uo 01 es 1 i 3 ue Td TOGG 099 Z Dans l'etare 3 E, après élimination de l'agent de coloration present sur la deuxième couche milieu 4 à 7 avec de l'eau d 4 minéralisée, la deuxieme couche milieu 47 est é-imîinée par un procédé identique au procédé d'élimination de la première couche milieu 41 Après qu'une couche protectrice 53 ait été appliquée par application de polyimide sur la surface entière de la -structure décrite précédemment avec une épaisseur de l'ordre de I Um, une ouverture 55 est pratiquée pour O former l'électrode et une section de la pastille 35 est ainsi exposée. Comme décrit ci-dessus, du fait que toutes les couches de coloration correspondant au réseau de dispositif photoélectrique sont placées à la meme hauteur, le phénomène de dispersion du à la diffraction et die réflexion des lumières incidentes peut &tre emp Qché et du fait qu'il n'existe pas de couche milieu pour empacher les couleurs de se mélanger entre elles lors de l'application de l'agent de coloration, le facteur de )-: transmission optique peut en outre etre amélioré et le procêdé d'ouverture pour la formation de l'électrode peut Ltre facilité. La présente invention est ainsi avantageuse en ce qu'elle améliore le facteur de transmission optique en c améliorant la qualité d'image d'une image de filtre couleur et facilite en outre le procédé de fabrication en éliminant le phénomène de dispersion dû à la diffraction et à la réflexion des lumières incidentes. slaxid ap,Tte Jnld el, 4 uawa^ 4 a Ddsai 4 uepuodsai Ja o t: sauai-j-j-Tp -uwaallanqnw ae Je I^T ap sanbp;s Te Je xnap suxow ne a 4 uasgid I Tnb am ua slJe De inalnoz a J 4 IT} np uo D Te 3 qe ap tp DOJ g launer no ue AD ie 4 ua 6 ew Jnajno 3 el T a Ae 4 uawa ATI 4 D Ts sajolo D C% 4 uos uoi 4 ejolon ap saq 4 znon sa B Tpsal anb am ua es Tii 3 eje T uo Ten D Tpua^aj el uolas Jnalnol af d l Tj + -alq Tsuasooqad 4 ua 5 e I jed agwo" 4 Sa UO Tqe S Ti 9 Ueld 3 p ea 4 non a BT Pe I anb a D ua es Ie Je z uol e Dlpua^Ji el U Otas inf In Ol D J 41 tj:', auf Tqe Il e Iap no p To Le ae 4 oo;iqo Tq np u Ba U Eluew a U Tise:D Dnu Dn ^ Si U w o 1 q U Ds ( 6 vt 42 út e S-) inalno D a J It IF 3 p svewq J Bs s Tpsa T anb am u}fa Bs Ti Bel Je 4 D IT uo Te DZ Ipua^J ell u O Ta S dn Bl In OD eq ITA -' ( 2 ú) UO Te JOTOD dp a 4 Pno 2 OOD el 4 a (JLú) uo Tes Tiueld 3 p aqnno D sa 4 Tpsal Ins saeiwo+ saj Twn T sa I awsue J 4 I Tnb (ú 2) a D Jq D 3 acoad aq Dno D aun 4 a eea I 1 zadsai Inm Tno D aj II+ Bp aq Dno 3 D Ba 1 P Lt Bp a D-e+,Jns el E S Ba 1 u Bii Tp uawa Iian 4 nw sinelnon xnap suio W ne Da^e Iua J^Iw A D Be IS a 9 J Ojo D (Tg et e 6 ú U) uoie JO OD p a P 4 no D Bun S (f,-) uo Itesl Juetd ap a 4 Dno a B 4 T Pe TI ap a Jnali Bdns uo 01 qj el suep uesgid Ta X Td anbe'4 D V 4 Ue Lpuodsaij Jot i'na 4 neq el E? WJOJ ( 6 t it b 8 ú) f Jnailn OD Bt TT Bp ewq Ds un O '1 E aseq Bp a De+_,ns a:Tpel ap B Je Tqua D Uei+ens el ans saewoj D sa JQ Twnl Sal 4 WS Ued:} Tnib (LE) uo T Wesi Ti Ue Td ap a,4 no 3 aun p Ua B Jd WOD IT;nhb a D ua esiie 43 eje 3 qa as E Lq ap 4 EJ 4 sqn S np al Iai D Ti Tew Uo Ti U Be Tijo I suep seel Id sl Baxd Bp e 4 t Ieinld el V 4 U^B Wa Aniadsad B uepuodsaj J Do saqua B+Tp ua Bwiialn 4 nw e 1 e Jq IT+ Bp sanbti;s D Te 1 ea xnap su Tow nte afua Bsed inb J Ineino D adl TI 'I :SNOI d VI 3 IN 3 BA 3. 0 T TOGG 099 Z nal TIW a 43 no D a 4 Tpe I suep squsg Jd sle Xid S 4 Tp Sap a 4 sai ' el Tw Jed slaxld ap adn D Jb un V 4 uepuodsa Jo D sa Jn 4 la Ano sap JBWJ Oj V 4 ue 4 sis U Do ade W 4 awe Txnap aun (Z) (Tcz &i 562) U Do Te-olo ap sam 4 n On sap;a (Lú) uo 01 esl Aueld ap a Bqno D al Tpel ap a JQT 4 ua a De Jins el Jns (Ti) na 1 TI Tw O aq Dno D eun Jawio+ l 4 ue 4 sisuo D adeq a Fi Twa Jd aun ( l Ba 4 ( 617 h 2 jn e Sú) in Bn OD e J:l ITJ- ap se'W 4 S sram ap Dej-lns el V sazuei lj-Tp 4 u Bwall Bn-nw s.nelno D xn Bp sulow ne Ba Ae X^ld BalS uoteiolo D O I Jed (Tg 9 t 1 S 62) uol'e IDOIO ap Sa 4 Dno D sal Ja WJ Do V a (L_ú) uolqes Tlueld ap am 4 no D aqlpi L ins Iaxtd anbe 4 D V 4 uepuodsiaj Jo D ( 6-74 ú, e 82 ç) J Atd n OD d-lkl}TA a P Sewe DS sl ja BW Jo+ v aesisuoz -nib (CIú) Uof 4 E Wdo apuo Dasaun aseq Bp 4 ej sqnls: pnp al 4 ua aeJns el ins sajitlwn T sal aw Bsuej qnb (Lú) uolies Teu L Id ap aq 4 no D aun u JQW Jo V 4 ueqstsuo 3 (DE) u Or T-O-do a Ial B Tw-daitn : puaidw Do tjlnb am ua esi'ni 'asaeq ap 4 e.v 4 sqns el ins S Tla Bi D 4 eow suo 4 e 4 ualijo sel suep s@e D Id Tl TOGG 099 Z ( 41); ( 3) une troisième étape consistant à former des schémas de filtre couleur ( 38, 43, 49) dans la région supérieur d'une couche de planérisation ( 37) exposée par F 5 lesdites ouvertures; ( 4) une quatrième étape consistant à former une couche de coloration ( 39, 45, 51) colorée avec des couleurs différentes de ladite couleur souhaitée à la surface desdites couches de filtre couleur, et ( 5) une cinquième étape consistant à éliminer ladite couche milieu ( 41). 7 Procédé de fabrication du filtre couleur selon la revendication 6, caractérisé en ce que lesdites couches de schémas de filtre couleur sont formées soit par une caséine mélangée à du bichromate acide ou à de la gélatine. 8 Procédé de fabrication du filtre couleur selon la revendication 7, caractérisé en ce que lesdites couche de planérisation ( 37) et couches intermédiaires ( 41) sont formées par l'agent photosensible. 9 Procédé de fabrication du filtre couleur selon la revendication 8 S caractérisé en ce que lesdites couche de planérisation et couches intermédiaires sont formées par les m 8 mes agents. :25 10 Procédé de fabrication du filtre couleur selon la revendication 9, caractérisé en ce que ladite couche de planérisation ( 37) est formée en lui appliquant de l'énergie thermique. 11 procédé de fabrication du filtre couleur selon la revendication 8, caractérisé en ce que lesdites couche de planérisation et couche milieu sont formées par l'agent photosensible aux lumières de longueurs dlonde respectivement différentes. 12 Procédé de fabrication du filtre couleur selon la = * revendication 8, caractérisé en ce que lesdites couches intermédiaires sont éliminées par développement après irradiation de la surface entière. 13 Procédé de fabrication du filtre couleur selon la revendication A, caractérisé en ce que lesdites couches intermédiaires sont éliminées soit par dilution soit par décapaoe; 14 Procédé de fabrication du filtre couleur selon la revendication S, caractérisé en ce que lesdites couches de coloration sont formées par coloration sélective d'une couleur magenta, cyan ou jaune. 1 '5 Procédé de fabrication du filtre couleur selon la revendication 14 q caractérisé en ce que lesdites couches de coloration sont formées par coloration sélective de magenta cyan ou jaune.