Brevet FR2649568A1 — publié le 19910111

Cette invention concerne les scanneurs à balayage laser récurrent et, plus particulièrement, un procédé et un appareil utilisés avec des scanneurs à balayage laser récurrent pour la reproduction asynchrone d'images avec saut de lignes. Les systèmes de balayage optique à haute vitesse, tels que des traceurs de précision, des impri- mantes et analogues, sont bien connus dans l'art. Ces dispositifs sont des systèmes de reproduction directe d'images et sont utilisés notamment pour fabriquer des cartes de circuits imprimés et des planches d'impression en conférant à un faisceau d'exposition un mouvement de balayage récurrent en travers d'une émulsion photogra- phique qui est transformée ensuite en un outil photo- graphique ou "photo-outil" ou en un dessin-modèle sur planche d'impression. Un système typique, commercialisé par la Gerber Scientific Instrument Company, la cession- naire de la présente demande, consiste en un terminal graphique dialoguant avec un ordinateur, à dérouleur de bande magnétique et disque dur, une unité de traitement d'images et une table optique possédant un scanneur. Le système peut également comporter des dispositifs op- tiques, un chariot pour le déplacement d'un support et l'électronique nécessaires pour transférer directement des données de CAO (conception assistée par ordinateur) à un photo-outil pour la fabrication de cartes de circuits imprimés ou pour transférer des polices, des éléments graphiques et des images en demi-teintes dans un dessin-modèle sur planche d'impression. Un tel système d'imagerie directe est confi- gurée pour, pendant le fonctionnement, recevoir sur un plateau d'enregistrement, un substrat plan de film qui porte sur sa surface un support optiquement sensible. L'ordinateur délivre des signaux à un générateur de faisceau d'exposition qui module l'intensité d'un faisceau d'exposition optique, fourni habituellement par un laser, qui est animé d'un mouvement de balayage, en vue de l'exposition de parties sélectées du substrat. Typiquement, un faisceau de référence est animé d'un mouvement de balayage sur un masque de référence et un détecteur, en même temps que le faisceau d'exposition, en vue de la délivrance d'un signal de synchronisation de balayage servant à indiquer de façon précise la position du faisceau d'exposition (ou faisceau d'ins- cription) sur le substrat. Un système de balayage "à plat" est utilisé parfois pour concentrer les faisceaux et produire le balayage simultané d'un masque de réfé- rence et du substrat par les faisceaux respectifs. Des paliers pneumatiques de précision sont employés souvent pour guider le plateau d'enregistrement pendant que le substrat est balayé ou "impressionné". Dans les systèmes de balayage connus à laser et à balayage récurrent, o le dispositif déflecteur optique est un miroir à multiples facettes, le miroir est animé d'une rotation à une vitesse fixe choisie, de manière que le faisceau d'exposition soit avancé à une vitesse constante. Cependant, il est possible, avec ces systèmes connus, que le rythme de calcul de signaux de pixels ou "pixels" par l'ordinateur prenne du retard par rapport à la vitesse de reproduction d'image du faisceau d'exposition. Lorsque. cela se produit, une partie seulement de la ligne de balayage sera exposée. Il serait avantageux de disposer d'un système de balayage récurrent, à laser, qui compense automati- quement des différences inacceptables entre la cadence à laquelle l'ordinateur génère des signaux pour moduler le faisceau d'exposition et la vitesse ou cadence de balayage ou de reproduction d'image du système. L'objet de la présente invention est un tel système. L'un des buts de la présente inventon est de procurer un appareil, destiné à être utilisé avec un système de balayage à laser, qui assure la compensation Ode différences entre la cadence de génération de signaux de pixels et la cadence à laquelle ces signaux de pixels peuvent être impressionnés sur un substrat. Selon la présente invention, un scanneur à balayage récurrent, à laser, comporte un générateur de faisceau d'exposition, générateur qui est adressable et comporte un modulateur, de même qu'un miroir à multiples facettes, présentant une pluralité de facettes réflé- chissantes, qui tournent à une vitesse choisie. Le scanneur déplace de façon répétitive un faisceau d'ex- position modulé le long d'une ligne de balayage s'éten- dant suivant une direction donnée sur un substrat. Le substrat est porté par un plateau d'enregistrement qui déplace le substrat à une vitesse choisie dans une direction perpendiculaire à la direction de balayage. Un contrôleur comporte un ordinateur destiné à recevoir des signaux de données d'entrée et à générer à partir d'eux des signaux d'exposition. Les signaux d'exposition sont groupés dans des suites séquentielles mémorisées qui sont coordonnées chacune à une ligne de balayage sé- lectée. L'ordinateur génère en outre des signaux pour avancer à une vitesse choisie le plateau d'enregistre- ment à partir d'une position instantanée correspondant au balayage en cours, à des positions successives correspondant à des lignes de balayage qui se suivent. Chacune des suites de signaux d'exposition correspond à un faisceau d'exposition modulé présenté à l'une des facettes réfléchissantes du miroir pendant que la facette en question tourne d'une première à une seconde position, correspondant respectivement au début et à la fin d'une ligne de balayage. Un tampon associé au générateur de faisceau d'exposition mémorise une suite de signaux d'exposition correspondant à la ligne de balayage suivante devant être inscrite ou "impres- sionnée". Un capteur détermine si tous les pixels coordonnés à cette ligne de balayage suivante ont été chargés dans le tampon. Un ordinateur détermine de façon recurrente quand la facette de miroir à utiliser se trouve à la première position. Si, à ce moment, le capteur indique que le chargement du tampon de signaux n'est pas complet, des signaux de commande sont délivrés par l'ordinateur pour arrêter la présentation des signaux venant du tampon au générateur de faisceau d'exposition et pour changer le mouvement du plateau d'enregistrement en conséquence. Selon un autre aspect de la présente inven- tion, un scanneur à balayage récurrent, à laser, com- porte un générateur de faisceau d'exposition, générateur qui est adressable et possède un modulateur, de même qu'un miroir à multiples facettes, présentant une pluralité de facettes réfléchissantes qui tournent à une vitesse choisie. Le scanneur déplace un faisceau d'expo- sition modulé le long d'une ligne de balayage d'un substrat. Le substrat est porté par un plateau d'enre- gistrement qui déplace le substrat à une vitesse choisie dans une direction perpendiculaire à la direction de balayage. Un contrôleur comporte un ordinateur destiné à recevoir des signaux de données d'entrée et à générer à partir d'eux des signaux d'exposition. Les signaux d'exposition sont groupées en suites séquentielles qui correspondent chacune à une ligne de balayage sélectée. L'ordinateur génère en outre des signaux pour faire avancer le plateau d'enregistrement en douceur, à une vitesse choisie, à partir d'une position instantanée correspondant à la ligne de balayage en cours, à des positions successives correspondant à des lignes de balayage qui se suivent. Chacune des suites de signaux d'exposition correspond à un faisceau d'exposition modulé présenté à l'une des facettes réfléchissantes du miroir pendant que cette facette tourne d'une première à une seconde position, correspondant respectivement au début et à la fin d'une ligne de balayage. Un premier tampon coordonné au générateur de faisceau d'exposition mémorise une suite de signaux d'exposition correspondant à la ligne de balayage suivante à inscrire. Un premier capteur détermine si tous les pixels de la ligne de balayage suivante sont présents dans le premier tampon. Un second tampon coordonné à l'ordinateur est prévu pour mémoriser un certain nombre de suites de signaux d'ex- position avant la présentation au générateur de faisceau d'exposition. Un second capteur détermine le nombre de suites de signaux d'exposition contenues dans le second tampon et qui sont prêtes à être reproduites dans le premier tampon. Si le nombre de suites de signaux d'exposition mémorisées dans le second tampon correspond à une valeur présélectée, l'ordinateur délivre des signaux de commande pour changer la cadence de présen- tation des suites de signaux de faisceau d'exposition au tampon du générateur de faisceau d'exposition, ainsi que des signaux pour modifier en conséquence le mouvement du plateau d'enregistrement. L'ordinateur détermine de façon récurrente quand la facette à utiliser du miroir occupe la première position. Si le premier capteur indique que le premier tampon ne contient pas tous les signaux d'exposition pour la ligne de balayage suivante, l'ordinateur délivre des signaux de commande pour arrêter la présentation au générateur de faisceau d'exposition des signaux venant du premier tampon et pour ajuster le mouvement du plateau d'enregistrement. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront plus clairement de la descrip- tion qui va suivre d'un exemple de réalisation non limitatif, ainsi que des dessins annexés, sur lesquels: - la figure 1 est une représentation schéma- tique simplifiée d'un scanneur à laser pour la repro- duction asynchrone d'images avec saut de lignes selon la présente invention; - la figure 2 est une vue de dessus d'un générateur de faisceau d'exposition utilisé dans le scanneur selon la figure 1; - la figure 3 est une représentation schéma- tique du contrôleur selon la figure 1; - la figure 4 est une représentation schéma- tique d'un algorithme utilisé par le contrôleur selon la figure 3; - la figure 5 est une représentation schéma- tique d'un contrôleur selon une variante de celui de la figure 3; et - la figure 6 est une représentation schéma- tique d'un algorithme utilisé par le contrôleur selon la figure 5. La figure 1 montre schématiquement un scanneur à balayage récurrent, à laser, selon la présente invention. Ce scanneur comporte un générateur 12 de faisceau d'exposition, qui sera décrit en détail ci- après en référence à la figure 2. Le générateur 12 délivre sélectivement, à sa sortie, un faisceau d'expo- sition 14 dirigé sur une surface photosensible sur un support ou substrat 16 placé sur un moyen d'avancement, tel qu'un plateau d'enregistrement 18 déplaçable. Le plateau d'enregistrement et le générateur 12 reçoivent tous deux des signaux d'un contrôleur 20. Comme décrit ci-après en détail en référence à la figure 3, le contrôleur reçoit des signaux d'une unité de saisie de données 22 et génère à partir d'eux des signaux de pixels pour moduler le faisceau d'exposition en conformité avec les signaux reçus. Comme noté précé- demment, le débit auquel le contrôleur génère des signaux de pixels ou signaux de modulation (correspon- dant à des pixels individuels dans le faisceau d'expo- sition animé d'un mouvement de balayage) peut diminuer à une valeur inferieure à la vitesse de balayage ou vitesse "image", c'est-à-dire à la vitesse à laquelle le faisceau d'exposition est déplacé le long d'une seule ligne de balayage. De plus, il est possible également que le débit de données du contrôleur diminue à une valeur telle que la vitesse à laquelle le plateau d'enregistrement est déplacé ou indexé d'une ligne de balayage à l'autre, devient trop grande par rapport au débit du contrôleur. L'élément essentiel de la présente invention est constitué par un contrôleur et un dispo- sitif de reproduction d'images qui compensent les différences possibles entre ces deux valeurs de débit ou de vitesse. La figure 2 montre de façon simplifiée le générateur 12 de faisceau d'exposition selon la figure 1. Un boîtier 24 contient une source optique 26, de préférence un laser à argon de 3 mW de la firme Cyonics, qui émet un faisceau 28 reçu par un premier miroir tournant 30 et présenté à partir de là à une optique formatrice de faisceau 32. Cette optique est conven- tionnelle et peut être constituée par une lentille à bande passante, une lentille divergente, un trou de visée et un ensemble à lentilles de transformation, selon les besoins de l'application spécifique. Le faisceau formé est reçu par un premier séparateur de faisceau 34 qui en sépare un faisceau de référence 36. Le faisceau 28 est présenté à un modula- teur àcousto-optique 38 conventionnel qui module l'in- tensité du faisceau en réponse aux signaux de pixels reçus sur une ligne 40 du contrôleur 20. Les signaux de pixels sont mémorisés dans un tampon 39 coordonné au modulateur 38 avant leur présentation à ce dernier. Le tampon 39 est représenté schématiquement sur la figure 2 et est constitué par un tampon de ligne (ou de multiples tampons de lignes) de type connu, destiné à recevoir la suite de signaux de pixels correspondant à la ligne de balayage suivante. De façon analogue, le faisceau de référence est tourné par un second miroir tournant 44 et présenté à une optique 46 formatrice de faisceau de référence, laquelle comporte typiquement des lentilles et d'autres composants optiques semblables aux compo- sants formateurs de faisceau qui viennent d'être indi- qués. Le faisceau de référence est envoyé à travers une ouverture dans une cloison 48, tandis que le faisceau 28 est envoyé à travers un orifice 50. Le faisceau de référence est reçu par un miroir tournant 52 et présenté à un combinateur de faisceaux 54. Celui-ci reçoit également le faisceau 28 et il présente un faisceau combiné à une lentille 56 pour paralléliser le faisceau, contenue dans un ensemble à prismes 50. Le faisceau combiné 59 est reçu par un en- semble optique 60 comprenant un miroir polygonal 62 présentant une pluralité de facettes de miroir 64 et qui est tourné autour d'un axe 66 en réponse à des signaux reçus du contrôleur sur la ligne 68. Le faisceau de référence 36 et un faisceau d'exposition 69 sont reçus par une lentille de balayage F thêta 70 conventionnelle. Le faisceau d'exposition est reçu par un miroir final de repliage 72 et présenté en dehors du plan du scanneur au plateau d'enregistrement. Le faisceau de référence est présenté simultanément à un masque de référence 74 et reçu finalement par un photodétecteur à mosaïque 76. Celui-ci délivre au contrôleur, par la ligne 78, un signal représentatif du faisceau de référence reçu pour contrôler la synchronisation et par suite la modulation des faisceaux animés de mouvements de balayage. Le contrôleur comprend les moyens de traitement et de mémoire nécessaires pour exécuter les fonctions décrites en détail dans le présent mémoire. La figure 3 est une représentation simplifiée du contrôleur 20 du scanneur à laser selon la figure 1. Le contrôleur reçoit des signaux de l'unité de saisie de données 22 et calcule, au moyen de l'ordinateur 80, les signaux de pixels à présenter sur la ligne 82 au tampon 39 du modulateur acousto-optique (Fig. 2), faisant partie du générateur 12 de faisceau d'exposition. Ces signaux de pixels sont groupés en suites de signaux, correspondant chacune à une seule ligne de balayage. Ainsi qu'il a été mentionné plus haut, le débit de données du contrôleur est variable et dépend en partie du contenu en information des signaux de données d'entrée. Le débit de données le plus rapide du contrô- leur se produit avec des données peu complexes, autori- sant le débit maximal du générateur de faisceau d'expo- sition. Le plus faible débit se produit lorsqu'une suite de signaux de données d'une ligne de balayage comprend des signaux dont la valeur alterne entre un "1" logique et un "0" logique. Le débit de données du générateur de faisceau d'exposition dans le mode de réalisation selon la figure 3 est fonction de la vitesse de rotation fixe du miroir à multiples facettes, ainsi que du débit avec lequel des signaux sont reçus dans le tampon 39. L'homme de métier notera que le débit avec lequel les données quittent le tampon 39 doit correspondre à la vitesse à laquelle le faisceau d'exposition avance sur une ligne de balayage (c'est-à-dire à la vitesse de balayage ou vitesse image). Donc, le débit maximal du générateur de faisceau d'exposition est choisi pour être supérieur au débit de données du contrôleur. En d'autres termes, le débit des données fournies ne peut jamais dépasser le débit maximal de consommation, de sorte que des données ne peuvent pas être perdues. Le générateur de faisceau d'exposition a typiquement un débit maximal de données (ou débit auquel des signaux de pixels sont consommés) de 33 millions de pixels par seconde. La présente invention assure la compensation pour les moments o le débit de l'ordinateur est en retard par rapport à celui du générateur d'exposition et elle est notamment caractérisée par un capteur 84 coordonné au modulateur et déterminant de manière connue si le tampon 39 a reçu tous les signaux de pixels coordonnés à la ligne de balayage suivante. L'ordinateur reçoit également, sur une ligne 87, des signaux d'un capteur 86 qui détermine la position angulaire des facettes du miroir. Si, à l'instant o le miroir occupe la position correspondant au début d'une ligne de balayage et est prêt à commencer l'exposition du sub- strat au balayage suivant, tous les signaux de pixels correspondants pour la suite concernée n'ont pas été reçus dans le tampon, l'ordinateur empêchera la présen- tation de la suite concernée au modulateur acousto- optique et l'exposition du faisceau d'exposition à la facette à utiliser du miroir, "sautant" ainsi la facette en question. La décision relative à ce saut est faite de façon récurrente pour chacune des facettes du miroir qui se suivent au cas o l'écart entre les débits de données le justifie, ce dont la preuve est fournie par une suite de signaux incomplète dans le tampon 39. De plus, le contrôleur doit changer le mouve- ment du plateau d'enregistrement en conformité avec la décision qui vient d'être décrite au sujet de la présen- tation des signaux de pixels. Dans le mode de réalisa- tion selon la figure 3, le contrôleur arrête le mouve- ment du plateau d'enregistrement au moyen de signaux de commande présentés sur la ligne 88 au cas o une ou plusieurs facettes seraient "sautées", et maintient le faisceau à une intensité de non-exposition, pendant toute la durée du balayage concerné, afin de préserver l'intégrité du dessin-modèle, et de permettre au tampon de se remplir d'une suite complète, et fait ensuite avancer le plateau d'enregistrement en conséquence. Si, en variante, le plateau d'enregistrement est déplacé de façon continue, le contrôleur ajuste également la vitesse du plateau d'enregistrement en conformité avec le débit de données désiré. Dans ce cas, le scanneur à il laser comporterait également un générateur, comme décrit en détail dans ce qui va suivre, de type connu, pour déplacer par voie optique le faisceau d'exposition d'une quantité proportionnelle au changement de la vitesse du plateau d'enregistrement. Le fonctionnement du contrôleur peut être décrit en référence à l'ordinogramme montré par la figure 4. Au départ, en "A", le contrôleur 20 détermine la position angulaire du miroir tournant (case 89). Lorsque le miroir a tourné de manière que la facette à utiliser occupe une première position correspondant au début de la ligne de balayage suivante, le contrôleur 20 interroge le tampon 39 pour déterminer si tous les signaux de pixels pour la ligne de balayage suivante ont été reçus (case 90). Si le tampon 39 contient tous les signaux nécessaires, le contrôleur valide le modulateur (case 91), inscrit la ligne de balayage et produit l'indexage du plateau d'enregistrement (case 92). Si le tamponi ne contient pas tous les signaux de pixels, la facette mentionnée est sautée (case 93). Lorsqu'on se reporte maintenant à la figure 5, celle-ci montre schématiquement un contrôleur préféré 94 qui est sensiblement identique au contrôleur 20, mais est caractérisé par un tampon 96, de type connu, qui mémorise approximativement 500 à 1000 suites de signaux, correspondant chacune à une ligne de balayage, avant la présentation au tampon 39 du modulateur. Le contrôleur reçoit également, sur la ligne 98, des signaux représen- tatifs de la position du miroir, fournis par un capteur de position de miroir 99, de même que, sur la ligne 100, l'indication du contenu du tampon du modulateur, fournie par le capteur de tampon 84. L'ordinateur 102 génère au départ des suites de signaux de lignes de balayage, en réponse à des signaux de données d'entrée, de la manière décrite précédemment en référence à la figure 3. Le tampon 39 comprend de préférence trois éléments de tampon de données de type circulaire, adressables séquentiellement et mémorisant l'information pour des lignes de balayage complètes, éléments qui sont capables de lire et d'écrire. A un moment donné, le premier élément de tampon reçoit une suite de signaux de pixels, le deuxième élément a mémorisé en lui des suites de signaux de pixels, tandis que le troisième élément présente au modulateur une suite de signaux de pixels avec le débit des données d'exposition. Le tampon 39 reçoit des données du tampon de suites 96 à un débit de données choisi, appelé débit de communication tampon à tampon. Le tampon 96 du mode de réalisation préféré est divisé en 16 bandes à séquencement circulaire et à 32 suites par bande. Le contrôleur obtient la différence d'adresse entre la bande en cours d'inscription et la bande en cours de lecture afin de déterminer le nombre de suites mémorisées, et commande en conséquence le débit de communication tampon à tampon. Le fonctionnement du contrôleur préféré peut être compris en examinant les figures 4 et 6. La déci- sion d'impressionner ou balayer la ligne de balayage suivante ou de "sauter" la facette de miroir qui se présente à ce moment, est basée, dans le mode de réali- sation préféré, sur les mêmes critères que dans le cas de l'exemple selon la figure 3. Autrement dit, la décision est basée sur la présence ou non de tous les signaux pour la ligne de balayage suivante dans le tampon 39 du générateur d'exposition à l'instant o une facette du miroir occupe la première position ou posi- tion de départ. Cependant, le contrôleur préféré com- porte également un capteur 104 qui détermine le nombre de suites de signaux mémorisées dans le tampon 96 et ajuste, en fonction de ce nombre, le débit de communi- cation tampon à -tampon. Ce débit de communication est changé pour compenser le débit de génération de pixels du contrôleur. En fin de compte, le débit de communica- tion variable permet de varier la vitesse de balayage ou vitesse image, laquelle est la vitesse ou cadence globale à laquelle le générateur de faisceau d'exposi- tion consomme des signaux de pixels et imprime des données au substrat. La limite supérieure de la cadence à laquelle le générateur de faisceau d'exposition imprime des données au substrat (correspondant à la cadence de o10 consommation de signaux de pixels ou à la vitesse image) est déterminée par la vitesse de rotation du miroir et est donc fixée à une valeur maximale pour n'importe quelle ligne de balayage individuelle. La variabilité de la vitesse image est obtenue de préférence par suite du saut de facettes de miroir, donc de lignes de balayage potentielles, provoqué par le changement dans le débit de communication tampon à tampon. Le nombre de facettes à sauter dépend donc automatiquement du débit de communication. Par exemple, si le débit du contrôleur s'est ralenti à partir d'une valeur initiale (case 106, figure 6), le nombre de suites mémorisées commencera à dé- croître. Le capteur 104 mesure le nombre de suites de données mémorisées et ajuste le débit de communication vers le bas dans une mesure correspondante (case 108). Une diminution du débit de communication entraînera des moments o le tampon 39 du modulateur ne contiendra pas tous les signaux correspondant à la ligne de balayage suivante quand la facette suivante est en position d'inscrire des données, de sorte qu'un certain nombre de facettes sera sauté. Le contrôleur doit également ajuster la vitesse du plateau d'enregistrement (case ). Sur la figure 6, les cases 112-114 illustrent les actions du contrôleur lorsque le nombre de suites dans le tampon est supérieur au nombre choisi. En variante, le nombre de suites de signaux mémorisées dans le tampon, peut être ajusté en choisissant le nombre de facettes sautées pour qu'il y ait approximativement correspondance avec le débit de génération de signaux de pixels de l'ordinateur et pour maintenir ainsi un nombre choisi de suites de signaux dans le tampon du contrôleur. Pour le contrôleur préféré, le débit maximal de reproduction d'image est ajusté à 33 millions pixels par seconde (Mp/s). Si le débit de génération de signaux de pixels de l'ordinateur (débit de données du contrô- leur) devait tomber à la moitié de cette valeur (16,5 Mp/s), le contrôleur délivrera des signaux pour réduire de moitié à la fois le débit de communication et la vitesse du plateau d'enregistrement. L'ordinateur de cet exemple ajuste la vitesse du plateau d'enregistrement par des incréments correspondant à des huitièmes de la valeur totale de la vitesse, proportionnellement au nombre de suites de signaux préparées dans le tampon, si bien que la reproduction d'image se produit à toute la vitesse, aux sept huitièmes, six huitièmes, cinq hui- tièmes, quatre huitièmes, trois huitièmes, deux huitièmes ou un huitième de la vitesse. Bien entendu, la reproduction d'image à une vitesse inférieure laisse davantage de temps à la génération de signaux de pixels par l'ordinateur, ce qui aura tendance à accroître le nombre de suites de signaux disponible. 1 Le fonctionnement du plateau d'enregistrement est de préférence variable en continu, comme décrit précédemment. Cependant, le réglage de la vitesse dans la direction de balayage "rapide" (c'est-à-dire le long de la ligne de balayage), n'est pas réalisable très facilement puisque le mouvement du miroir est continu et régulier. Ainsi qu'il a été noté précédemment, la vitesse du plateau d'enregistrement dépend du nombre de suites de signaux dans le tampon. Le débit de présenta- tion de signaux de pixels au générateur de faisceau d'exposition est rendu dépendant du nombre de suites de signaux dans le tampon de données et adapté pour corres- pondre à la vitesse du plateau. Il est évident que, comme le débit dedonnées de l'ordinateur est plus lent que (ou égal au) le débit maximal de consommation de signaux de pixels, il y aura des moments o le nombre de suites de signaux dans le tampon est trop petit à l'instant o une facette du miroir occupe la première position, correspondant au début de la ligne à balayer. Dans ce cas, la facette en question du miroir sera sautée de la manière déjà décrite. Cette "décision de saut" est effectuée de façon répétitive à la première position de chaque facette, de préférence seulement en fonction de la présence d'une suite de signaux complète dans le tampon du modulateur ou, en variante, en fonc- tion du nombre de suites de signaux dans le tampon du contrôleur par exemple. Comme décrit précédemment, le mouvement du plateau d'enregistrement dans le mode de réalisation préféré est variable en continu et doit être réglé en conformité avec le débit moyen de consommation de données. Par conséquent, une erreur de ligne de balayage est introduite dans la position du plateau d'enregis- trement lorsqu'une facette est sautée, avec le résultat que la position effective d'une ligne de balayage présente un écart par rapport à la position désirée. Un contrôleur conçu conformément à la présente invention détermine de façon connue la position de la ligne balayée au moyen de signaux reçus sur la ligne 116 d'un mécanisme déflecteur optique 118 et fournit à ce méca- nisme des signaux pour le déplacement adéquat du fais- ceau d'exposition dans la direction de mouvement du plateau afin de supprimer cette erreur (case 120, figure 6). Le mécanisme déflecteur optique peut être de n'im- porte quel type connu dans l'art. De même, il suffit normalement que lorsqu'une ligne de balayage est sautée, des signaux correspondant à tous les "0" ou " 1" soient envoyés au modulateur pour cette ligne, en fonction des besoins quant à la polarité du support. Bien que l'invention ait été représentée et décrite pour un mode de réalisation préféré, l'homme de l'art comprendra que différents autres changements, omissions et additions sont possibles sans sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Appareil de commande (20) destiné à être utilisé dans un scanneur (10) à balayage récurrent, à laser, qui, en réponse à des signaux de données d'en- trée, anime un faisceau d'exposition (14) d'un mouvement de balayage en travers d'un substrat (16) monté sur un plateau d'enregistrement mobile (18), selon une séquence de lignes de balayage, au moyen d'un générateur (12) de faisceau d'exposition qui comporte un miroir tournant (62) à multiples facettes, l'appareil de commande (20) comportant un moyen de calcul (80) destiné à recevoir les signaux de données d'entrée et à générer, à partir d'eux, des signaux d'exposition groupés en suites séquentielles coordonnées chacune à une ligne de ba- layage sélectée, le moyen de calcul (80) générant en outre des signaux pour avancer le plateau d'enregistre- ment (18) d'une position instantanée, correspondant à la ligne à balayer à ce moment, à des positions successives correspondant à des lignes de balayage consécutives, chacune des suites de signaux d'exposition correspondant à un faisceau d'exposition (14) modulé, présenté à l'une des facettes (64) du miroir pendant que cette facette (64) tourne d'une première position à une seconde position, correspondant respectivement au début et à la fin d'une ligne de balayage, caractérisé par un tampon (39) pour recevoir une suite de signaux destinée à la ligne de balayage suivante, un moyen détecteur (86) pour produire des signaux indiquant la position angulaire de la facette du miroir, ainsi qu'un capteur (84) pour générer des signaux indiquant les signaux d'exposition reçus par le tampon, le moyen de calcul (80) déterminant de façon récurrente, sur la base de signaux venant du capteur (84) et de signaux venant du moyen détecteur (86) et qui indiquant la position du miroir (62), quand la facette de miroir (64) à utiliser se trouve à la première position, et délivrant des signaux de commande au générateur (12) de faisceau d'exposition pour empê- cher la présentation de la suite de signaux pour la ligne de balayage suivante et pour changer le mouvement du plateau d'enregistrement (18) si le tampon (39) n'a pas reçu tous les signaux d'exposition correspondant à cette ligne de balayage suivante. 2. Appareil (20) selon la revendication 1, dans lequel le scanneur (10) à balayage récurrent, à laser, comporte un moyen pour avancer le plateau d'enregistre- ment (18) de façon continue et l'appareil de contrôle (94) est caractérisé en outre par un moyen (74, 76) pour mesurer une erreur de déplacement du faisceau d'exposi- tion, définie comme la différence de déplacement entre une position effective du faisceau d'exposition sur le substrat et une position commandée du faisceau d'expo- sition, ainsi qu'un moyen déflecteur optique (118) pour produire de façon sélective un déplacement du faisceau d'exposition depuis ladite ligne de balayage dans la direction de mouvement du plateau d'enregistrement, le moyen de calcul (80) comprenant en outre un moyen pour déterminer quand le moyen de calcul a autorisé, la présentation de la suite de signaux d'exposition conte- nue dans le tampon, de même qu'un moyen pour fournir des signaux au moyen déflecteur optique (118) pour déplacer le faisceau d'exposition d'une quantité sélectée à partir de ladite ligne de balayage, de manière à cor- riger ainsi l'erreur de déplacement du faisceau d'expo- sition. 3. Appareil (20) selon la revendication 1, dans lequel le scanneur (10) à balayage récurrent, à laser, comporte un moyen pour indexer le plateau d'enregistre- ment à des positions correspondant à une séquence de lignes de balayage et le moyen de calcul (80) est en outre caractérisé par un moyen pour arrêter seulement l'avance du plateau d'enregistrement (18) à la position d'une ligne de balayage suivante si le moyen de calcul (80) arrête la présentation de la suite de signaux destinée à la ligne de balayage suivante. 4. Scanneur (10) à balayage récurrent, à laser, comportant un moyen générateur de faisceau d'exposition (12) adressable, possédant un miroir tournant (62) à multiples facettes et un modulateur (38) de faisceau d'exposition, le moyen générateur (12) étant conçu pour déplacer un faisceau d'exposition (14) en travers d'un substrat (16) dans une séquence de lignes de balayage, un plateau d'enregistrement mobile (18) destiné à recevoir ce substrat, un appareil de commande (94) comportant un moyen de calcul (102) pour recevoir des signaux de données d'entrée et générer à partir d'eux des signaux d'exposition à un débit de génération de signaux, les signaux d'exposition étant groupés en suites séquentielles coordonnées chacune à une ligne de balayage sélectée, le moyen de calcul (102) générant en outre des signaux pour avancer le plateau d'enregistre- ment (18) d'une position instantanée, correspondant à la ligne à balayer à ce moment, à des positions successives correspondant à des lignes de balayage consécutives, chacune des suites de signaux d'exposition correspondant à un faisceau d'exposition (14) modulé, présenté à l'une des facettes réfléchissantes (64) du miroir lorsque cette facette (64) tourne d'une première à une seconde position, correspondant respectivement au début et à la - fin d'une ligne de balayage, caractérisé en ce qu'il comprend un moyen détecteur (99) pour délivrer des signaux indiquant la position angulaire de la facette de miroir, un premier tampon (96) pour recevoir et mémo- riser une pluralité de suites de signaux venant de l'appareil de commande (94), un second tampon (39) coordonné au moyen générateur de faisceau d'exposition (12) pour recevoir séquentiellement du premier tampon (96) chacune des suites de signaux mémorisées, à un débit de communication tampon à tampon, avant qu'elle ne soit présentée au modulateur, un premier capteur (104) pour générer des signaux indiquant le nombre de suites de signaux mémorisées par le premier tampon (96), ainsi qu'un second capteur (84) pour générer des signaux indiquant le nombre de signaux de faisceau d'exposition d'une suite de signaux présente dans le second tampon (39), l'appareil de commande, recevant les signaux du premier et du second capteur, de même que des signaux du moyen détecteur indiquant la position du miroir, étant conçu pour ajuster le débit de communication en fonction du nombre de suites de signaux mémorisées dans le premier tampon et pour déterminer de façon récurrente quand une facette de miroir (64) occupe la première position, ainsi que pour fournir des signaux de commande au générateur de faisceau d'exposition (12) afin d'em- pêcher la présentation de la suite de signaux contenue dans le second tampon et destinée à une ligne de ba- layage et pour changer le mouvement du plateau d'enre- gistrement (18) si le second tampon (39) n'a pas reçu tous les signaux correspondant à la suite de signaux suivante. 5. Scanneur (10) à balayage récurrent, à laser, selon la revendication 4, caractérisé en outre par un moyen (74, 76) pour mesurer une erreur de déplacement du faisceau d'exposition, définie comme la différence de déplacement entre une position effective du faisceau d'exposition sur le substrat et une position commandée de ce faisceau, ainsi qu'un moyen déflecteur optique (118) pour produire de façon sélective un déplacement du faisceau d'exposition depuis la ligne de balayage dans une direction du mouvement du plateau d'enregistrement, le moyen de calcul (102) comprenant en outre un moyen pour déterminer quand le moyen de calcul (102) a empêché et a ensuite autorisé la présentation de la suite de signaux d'exposition contenue dans le tampon, ainsi qu'un moyen pour fournir des signaux au moyen déflecteur optique (118) en vue du déplacement du faisceau d'expo- sition d'une quantité sélectée à partir de ladite ligne de balayage, de manière à corriger ainsi l'erreur de déplacement du faisceau d'exposition. 6. Scanneur (10) à balayage récurrent, à laser, selon la revendication 4, caractérisé en outre en ce que le moyen de calcul (102) comprend un moyen pour sélecter un nombre de facettes de miroir (64) à sauter en fonc- tion du nombre de suites de signaux mémorisées dans le premier tampon (96). 7. Scanneur à balayage récurrent, à laser, selon la revendication 4, caractérisé en outre par un moyen pour indexer le plateau d'enregistrement (18) à des positions correspondant à une séquence de lignes de balayage, et en ce que le moyen de calcul (102) comporte un moyen pour arrêter seulement l'avance du plateau d'enregistrement (18) à une position de ligne de ba- layage suivante si le moyen de calcul (102) arête la présentation de la suite de signaux pour la ligne de balayage suivante. 8. Procédé pour animer un faisceau laser (28) d'un mouvement de balayage récurrent en travers d'un substrat (16) configuré sur un plateau d'enregistrement (18) mobile, comportant les étapes consistant à mettre à disposition un moyen générateur de faisceau d'exposition (12) adressable, possédant un modulateur (38) de fais- ceau d'exposition et un miroir (62) à multiples fa- cettes, tournant à une vitesse choisie, déplaçant ainsi un faisceau d'exposition modulé (14) le long d'une ligne de balayage sur le substrat (16), à déplacer le plateau d'enregistrement (18) à une vitesse choisie dans une direction approximativement perpendiculaire à la direc- tion de la ligne de balayage et en conformité avec des signaux reçus, à calculer des signaux de faisceau d'exposition au moyen d'un appareil de commande (12) qui reçoit des signaux de données d'entrée, les signaux de faisceau d'exposition étant groupés en suites séquen- tielles correspondant chacune à une ligne de balayage sélectée, ainsi qu'à générer des signaux pour avancer le plateau d'enregistrement (18) d'une position instanta- née, correspondant à la ligne à balayer à ce moment, à des positions successives correspondant à des lignes de balayage consécutives, chacune des suites de signaux d'exposition correspondant à un faisceau d'exposition modulé (14) présenté à l'une des facettes réfléchis- santes (64) du miroir lorsque cette facette (64) tourne d'une première position à une seconde position, corres- pondant respectivement au début et à la fin d'une ligne de balayage, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes consistant à mémoriser dans un premier tampon (39) l'une des suites de signaux d'exposition, avant la présenta- tion au modulateur (38) de faisceau d'exposition, à détecter le nombre de signaux de faisceau d'exposition dans le premier tampon (39), à déterminer de façon récurrente quand la facette (64) à utiliser du miroir occupe la première position, ainsi qu'à fournir des signaux de commande au générateur de faisceau d'exposi- tion (12) pour empêcher la présentation de la suite de signaux mémorisée dans le tampon et destinée à une ligne de balayage, de même qu'à changer le mouvement du plateau d'enregistrement (18), si le premier tampon (39) n'a pas reçu tous les signaux de faisceau d'exposition coordonnés à ladite suite de signaux mémorisée. 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en outre en ce qu'il comprend les étapes consistant à mémoriser dans un second tampon (96), coordonné à un moyen de calcul (102), une pluralité de suites de signaux de faisceau d'exposition, à détecter le nombre de suites de signaux mémorisées dans le second tampon (96), à délivrer les suites de signaux mémorisées au premier tampon à un débit de communication tampon à tampon, ainsi qu'à ajuster ce débit de communication en fonction du nombre de suites de signaux de faisceau d'exposition mémorisées dans le second tampon (96). I0. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en outre par les étapes consistant à déterminer quand une facette (64) a été sautée et à déterminer une valeur d'erreur de déplacement optique définie comme la diffé- rence entre une position effective du faisceau d'ex- position sur le substrat et une position commandée du faisceau sur lui, ainsi qu'à déplacer optiquement le faisceau d'exposition (14) le long du substrat (18) pour supprimer ladite erreur de déplacement optique. 11. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en outre par les étapes consistant à indexer le plateau d'enregistrement (18) à des positions correspondant à une séquence de lignes de balayage et à arrêter seule- ment l'avance du plateau d'enregistrement (18) vers la position correspondant à une ligne de balayage suivante si le moyen de calcul (102) arrête la présentation de la suite de signaux destinée à la ligne de balayage sui- vante. 12. Scanneur (10) à balayage récurrent, à laser, comportant un générateur (12) de faisceau d'exposition, générateur qui est adressable et possède un miroir tournant (62) à multiples facettes et un modulateur (38) de faisceau d'exposition, le moyen générateur (12) étant conçu pour déplacer un faisceau d'exposition (14) en travers d'un substrat (16) selon une séquence de lignes de balayage, un plateau d'enregistrement (18) mobile, destiné à recevoir le substrat (16), un appareil de commande (12) comportant un moyen de calcul (102) pour recevoir des signaux de données d'entrée et générer à partir d'eux des signaux d'exposition à un débit de génération de signaux, les signaux d'exposition étant groupés dans des suites séquentielles correspondant - chacune à une ligne de balayage sélectée, le moyen de calcul (102) générant en outre des signaux de commande pour faire avancer le plateau d'enregistrement (18) de façon correlée d'une position instantanée, correspondant à la ligne à balayer à ce moment, à des positions successives correspondant à des lignes de balayage consécutives, chacune des suites de signaux d'exposition correspondant à un faisceau d'exposition modulé (14) présenté à l'une des facettes (64) du miroir lorsque cette facette (64) tourne d'une première à une seconde position, correspondant respectivement au début et à la fin d'une ligne de balayage, caractérisé par un moyen détecteur (96) destiné à fournir des signaux indiquant la position angulaire de la facette (64) du miroir, un premier tampon (96) pour recevoir et mémoriser une pluralité de suites de signaux venant de l'appareil de commande (12), un second tampon (39) coordonné au moyen générateur de faisceau d'exposition (12) pour recevoir séquentiellement, du premier tampon, chacune des suites de signaux mémorisées, à un débit de communication tampon à tampon, avant la présentation au modulateur (38), un premier capteur (104) pour générer des signaux indiquant le nombre de suites de signaux mémorisées par le premier tampon (96), ainsi qu'un second capteur (84) pour générer des signaux indiquant le nombre de signaux de faisceau d'exposition faisant partie d'une suite de signaux consécutive et sont présents dans le second tampon (39), l'appareil de commande (12) recevant les signaux des premier et second capteurs et des signaux venant du moyen détecteur et qui indiquent la position de la facette du miroir, en vue de l'ajustement du débit de communication en fonction du nombre de suites de signaux mémorisées dans le premier tampon (96) et pour déterminer de façon récurrente quand une facette (64) du miroir occupe la première position, ainsi que pour fournir des signaux de commande au générateur de fais- ceau d'exposition (12) afin d'empêcher la présentation de ladite suite de signaux destinée à une ligne de balayage et contenue dans le second tampon, de même que des signaux de commande pour changer le mouvement du plateau d'enregistrement (18), si le nombre de suites de signaux mémorisées dans le premier tampon (96) est inférieur à une valeur sélectée pour ce nombre. 13. Scanneur (10) à balayage récurrent, à laser, servant à exposer des images sur un support, scanneur qui comporte un organe de maintien (18) pour tenir un support (16) présentant une surface photosensible, un moyen de balayage (60) pour animer un faisceau d'expo- sition de façon répétitive d'un mouvement de balayage le long d'une ligne de base fixe par rapport au moyen de balayage (12) et s'étendant en travers de la surface photosensible d'un support (16) tenu par l'organe de maintien (18), un moyen d'avancement (20) pour déplacer le moyen de balayage (60) et l'organe de maintien (18) de façon progressive l'un par rapport à l'autre suivant une ligne généralement perpendiculaire à la ligne de base afin de permettre au faisceau de balayer des lignes de balayage successives sur la surface photosensible, un moyen (80) pour générer des signaux de pixels (80) groupés dans des suites séquentielles coordonnées chacune à une ligne de balayage respective, un moyen (38) pour moduler l'intensité du faisceau (14) pendant son mouvement le long de la ligne de base en conformité avec l'une des suites de signaux de pixels, caractérisé par un tampon (39) pour recevoir une suite de signaux de pixels destinée au balayage suivant du faisceau (14), un détecteur (84) fournissant un signal indiquant le début de chaque balayage du faisceau (14) le long de la ligne de base, un capteur (84) fournissant un signal indiquant que la suite de signaux de pixels dans le tampon (39) est complète, ainsi qu'un moyen sensible à ce détecteur et ce capteur pour rendre inopérants le moyen de modu- lation et le moyen d'avancement si, au début du balayage suivant du faisceau (14) le long de la ligne de base, le tampon (39) ne contient pas une suite complète de signaux de pixels, si bien que, pendant le balayage suivant du faisceau (14), le mouvement du moyen de balayage (62) par rapport à l'organe de maintien (18) est interrompu et le faisceau (14) est maintenu à une intensité de non-exposition, pendant toute la durée dudit balayage, afin de permettre au tampon de se remplir d'une suite complète de signaux de pixels avant que le moyen de modulation (38) et le moyen d'avancement (20) ne soient de nouveau rendus actifs au début d'un autre balayage de ladite ligne de base par le faisceau (14).