Brevet FR2660436A1 — publié le 19911004

La présente invention a pour objet un microscope acoustique permettant l'analyse échographique d'un objet en surface ou en profondeur, notamment pour former une image point par point dudit objet. L'utilisation d'ondes acoustiques à hautes fréquences focalisées sur un objet permet l'étude des propriétés mécaniques locales de celui-ci aussi bien en surface qu'en profondeur. Les microscopes acoustiques connus sont constitués, entre autres, d'un générateur haute fréquence (typiquement 50 MHz à 1 GHz), d'un dispositif de conversion du signal électrique haute fréquence en onde plane acoustique, d'une lentille acoustique permettant de focaliser l'onde acoustique (onde sphérique) sur l'objet, d'une chaîne de réception permettant de traiter le signal acoustique réfléchi, ou transmis, suivant les cas, par l'objet, et d'un calculateur permettant la visualisation des résultats, l'objet pouvant bien entendu etre déplacé sur trois axes afin de pouvoir choisir les zones d' investigation. Il est connu par les brevets FR-A-2 261 527 et FR-A2 570 199 de former point par point une image de l'objet analysé en déplaçant celui-ci suivant deux directions perpendiculaires dans le plan focal de la lentille. Dans les dispositifs micro-acoustiques décrits dans ces documents, l'information utile est constituée par l'amplitude crête ou l'énergie de l'onde acoustique transmise ou réfléchie par l'objet. I1 est cependant possible, avec un dispositif microacoustique travaillant en mode échographique, d'obtenir deux informations, à savoir l'amplitude de l'écho, qui est proportionnelle au module du coefficient de réflexion de l'objet, et la phase de l'écho, qui est liée au temps ôt qui s'écoule avant que celui-ci ne revienne. La mesure de la phase est extrêmement intéressante pour analyser un matériau dans sa masse et permet de mettre en lumière certains phénomènes qui sont inaccessibles par la seule mesure de l'amplitude. Le brevet US-A-4 503 708 décrit un microscope acoustique à réflexion permettant de mesurer les caractéristiques de la surface d'un objet en établissant la différence de phase entre le signal réfléchi par l'objet à la focale et un signal de référence réfléchi sur une zone annulaire non focalisée. Cette mesure de phase est utilisée pour corréler l'information d'amplitude afin de mesurer la vitesse des ondes à la surface de l'objet, et non pour analyser celui-ci dans sa masse. Le circuit électronique de mesure de phase fait appel à un amplificateur à verrouillage de phase à 100 kHz, qui demande un temps d'intégration non négligeable. En pratique, le microscope connu par ce document nécessite des temps de traitement trop élevés pour envisager l'acquisition simultanée des informations amplitude et phase en vue de la formation en temps réel d'une image point par point. Dans une communication à "IEEE 87 ULTRASONICS SYMPOSIUM" intitulée "Quantitative Acoustic Microscopy using Amplitude and Phase Imaging", P.A. Reinholdsten, C.H. Chou et B.T. Khuri-Yahub décrivent un microscope permettant l'acquisition de l'amplitude et de la phase d'un écho acoustique grâce à une horloge fonctionnant à 64 fois la fréquence du signal acoustique émis. Toutefois cette technique ne convient pas lorsque la fréquence du signal acoustique est très élevée : par exemple, si cette fréquence est de 1 GHz, l'horloge devrait avoir une fréquence de 64 GHz, ce qui est difficilement concevable, au moins avec les technologies classiques. L'invention vise donc à fournir un microscope acoustique fonctionnant à très haute fréquence et permettant l'acquisition très rapide et simultanée des informations amplitude et phase d'un écho du signal acoustique émis. A cet effet, l'invention a pour objet un microscope acoustique pour analyser un objet en surface ou en profondeur, comportant - un transducteur pour appliquer un train d'onde acoustique alternative de haute fréquence à l'objet, - des moyens de focalisation de ladite onde acoustique incidente, et - une chaîne de réception de l'onde acoustique réfléchie par ledit objet, comportant des moyens de mesure de l'amplitude de l'onde acoustique réfléchie et de son déphasage par rapport à l'onde incidente, caractérisé en ce que ladite chaîne de réception comprend - des moyens de traitement analogique pour déphaser de 90 , mélanger et filtrer des signaux électriques images de l'onde incidente et de l'onde réfléchie, et délivrer sur une première et une deuxième voies respectivement des signaux impulsionnels d'amplitude C = K sinX et D = K cosX où K est proportionnel à l'amplitude k de l'onde acoustique réfléchie et représente ledit déphasage, - des moyens associés à chaque voie pour intégrer et convertir sous forme numérique lesdits signaux impulsionnels C = K sinX et D = K cosy, et - des moyens de conversion des valeurs numériques CN, DN desdits signaux impulsionnels C et D en valeurs de l'amplitude k et de la phase de ladite onde acoustique réfléchie. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description qui va suivre, faite en se référant aux dessins annexés sur lesquels - la figure 1 est un schéma synoptique d'un microscope acoustique selon l'invention, - la figure 2 est un diagramme illustrant les différentes catégories d'écho rencontrées dans un tel microscope, - la figure 3 est un schéma bloc détaillé des différents étages du microscope de la figure 1, - la figure 4 est un schéma de principe d'un type d'intégrateur pouvant être utilisé dans l'étage de traitement numérique de la figure 3, - la figure 5 est un schéma électrique d'une forme de réalisation de l'intégrateur de la figure 4, - la figure 6 est un chronogramme illustrant différents signaux présents dans le schéma-bloc de la figure 3, et - la figure 7 est un schéma-bloc d'un microscope travaillant a focale constante. En se référant au schéma synoptique de la figure 1, un microscope acoustique comprend un ensemble 1 de circuits électroniques comportant une chaîne d'émission 2 et une chaîne de réception 3 susceptibles d'être couplées sélectivement à un transducteur ultra-sonore 4 par l'intermédiaire d'un dispositif d'aiguillage 5. Le transducteur 4 comprend un élément piezoélectrique 4a qui assure, à l'émission, la conversion du signal électrique reçu de la chaîne d'émission 2 en onde ultrasonore et, à la réception, la conversion d'une onde ultrasonore en un signal électrique. L'élément piezo-électrique 4a est solidaire d'un barreau 6, par exemple en saphir, qui a pour rôle de véhiculer l'onde plane ultrasonore 7 produite par l'élément 4a et qui se termine à son extrémité opposée à l'élément 4a par une lentille acoustique 8 constituée par un dioptre sphérique concave taillé en bout de barreau. Un milieu liquide 9, tel que par exemple de l'eau ou du mercure, est interposé entre l'extrémité du transducteur 4 équipé de la lentille acoustique 8 et un objet 10 qu'il convient d'analyser. L'objet 10 est porté par une platine 11. La lentille acoustique 8 permet de focaliser l'onde ultrasonore émise en un point ci-après appelé tache ou point focal 12, situé à la surface ou dans la masse de l'objet 10. L'onde ultrasonore focalisée au point 12 est réfléchie par celui-ci et l'écho recueilli par le transducteur 4 est converti en un signal électrique qui est appliqué à la chaîne de réception 3 par l'intermédiaire du dispositif d'aiguillage 5. Le transducteur 4 est porté par un mécanisme 13 de type conventionnel qui permet de le déplacer, d'une part parallèlement au plan de la platine il suivant deux directions X et Y et, d'autre part, perpendiculairement au plan de cette platine suivant une direction Z. Le déplacement du transducteur 4 par rapport à l'objet 10 permet d'effectuer une analyse point par point de celui-ci et de former sur un dispositif de visualisation 14 une image élaborée à partir des informations recueillies pour chaque point analysé de l'objet 10. En variante, le transducteur 4 peut être fixe, au moins suivant les directions X et Y, et c'est l'objet 10 qui est déplacé par le mécanisme 13 parallèlement au plan de la platine 11. Le dispositif de visualisation 14 peut être constitué par un micro-ordinateur ou tout dispositif équivalent permettant de former point par point une image sur un écran. En fonctionnement, la chaîne d'émission 2 génère un signal électrique de fréquence élevée comprise de préférence entre 50 MHz environ et 1 à plusieurs Gigahertz. A titre d'exemple, on supposera dans la suite que cette fréquence est de 200 MHz. Etant donné que le microscope fonctionne en mode échographique, la chaîne d'émission 2 émet périodiquement des trains de signaux alternatifs, par exemple sinusoïdaux, à la fréquence d'émission. Ces trains, ciaprès appelés trains d'impulsions, doivent être séparés les uns des autres d'une durée suffisante pour assurer que les différents échos engendrés par l'émission d'un train d'impulsions soient sensiblement amortis au moment de 1 'émission du train suivant. Ces différents échos comprennent l'écho objet EO, à savoir l'écho résultant de la réflexion de l'onde incidente au point focal 12, et des échos parasites divers qui se produisent, dans le temps, après ou avant l'écho objet. Le diagramme de la figure 2 illustre ces différentes catégories d'échos. On distingue tout d'abord un écho électrique EE qui résulte de la désadaptation électrique du matériau de l'élément piezo-électrique 4a et se produit instantanement, à savoir à l'instant t, où un train d'impulsions est généré par la chaîne d'émission 2. On rencontre ensuite des échos lentille EL1, EL2... qui résultent de la désadaptation acoustique entre la lentille 8 et le liquide 9. Les échos lentille EL1 et EL2 sont séparés dans le temps par la durée d'un aller-retour d'un train d'impulsions dans le barreau 6 et, généralement, l'écho objet EO apparaît après le premier écho lentille EL1 et avant le deuxième écho lentille EL2. Le temps variable ôtv qui sépare l'émission d'un train d'impulsions de la réception de l'écho objet fait intervenir la vitesse de propagation dans le milieu de couplage 9 et la distance entre l'objet 10 et la lentille 8. Ce temps ôtv est également fonction de la vitesse de propagation de l'onde ultrasonore dans l'objet 10 si la tache focale 12 est disposée dans la masse de l'objet 10. L'écho objet est le seul écho utile pour l'analyse de l'objet 10. Enfin, il existe des échos divers qui peuvent intervenir à n'importe quel instant et interfèrent avec les autres échos. Après de multiples réflexions dans le barreau 6, ces échos divers peuvent revenir fortement atténués à l'élément piezo-électrique 4a, mais en pratique ils peuvent s'avérer fort gênants, surtout si l'objet est peu réfléchissant. Comme cela sera décrit dans la suite, le microscope objet de la présente demande permet de s'affranchir de l'influence de ces échos divers. Ces différentes considérations impliquent que le signal reçu par la chaîne de réception 3 doit être filtré temporellement afin de ne traiter que l'écho objet, même si celui-ci se déplace dans le temps en fonction de la mise au point, c'est- & dire de la position de la tache focale 12. Ces contraintes conduisent également à travailler avec des échos objets étroits, ce qui conduit à émettre des trains d'impulsions de courte durée. L'écho objet contient deux informations essentielles, à savoir l'amplitude de l'écho qui est proportionnelle au module du nombre complexe caractérisant le coefficient de réflexion de l'objet 10, et le temps ôtv qui s'écoule avant que l'écho objet ne revienne, temps qui est lié à la phase 9 du coefficient de réflexion. Il est extrêmement intéressant de mesurer la phase pour analyser les caractéristiques mécaniques d'un matériau. Si l'on considère par exemple que la longueur d'onde du signal ultrasonore émis est de l'ordre de 10 et que l'on sait mesurer la phase avec une incertitude de 5 , il est possible de détecter des différences d'épaisseur de 10 x 5 = 0,14 pm seulement. 360 En outre, le fait d'accéder à l'information de phase f offre, entre autres, la possibilité de réaliser des mesures complexes de V(Z). de l'interférométrie acoustique, de la mise au point automatique, etc... Toutefois la mesure temporelle de la phase nécessite une précision extreme : à 200 MHz, une période dure 5 ns ; si l'on veut obtenir une précision de 5 , il faut avoir une résolution temporelle de 5 x 5 = 70 ps, et 360 ce quelle que soit l'amplitude de l'écho. Or, une telle précision temporelle est virtuellement impossible à obtenir, au moins avec des circuits électroniques classiques. Le microscope acoustique selon l'invention permet de résoudre ce problème grâce à ces circuits électroniques 1 qui sont représentés plus en détail à la figure 3, à laquelle on se reportera maintenant. Les circuits électroniques de la figure 3 comprennent essentiellement un étage haute fréquence d'émission-reception 15, une tête haute fréquence 16 couplée à l'étage 15 et a l'élément piezo-électrique 4a du transducteur 4, un étage 17 de traitement analogique des signaux haute fréquence reçus de l'étage 15, et un étage 18 de traitement numérique des signaux reçus de l'étage 17. Les circuits électroniques du microscope sont complétés par un étage de temporisation 19. L'étage 15 comprend un synthétiseur de fréquence 20 qui génère sur deux sorties distinctes respectivement une fréquence réglable F et une fréquence F + FI, FI étant fixée. Les fréquences F et FI ont par exemple pour valeur 400 MHz et 200 MHz. Le signal à la frequence F produit par le synthétiseur 20 est appliqué, par l'intermédiaire d'un séparateur 21, d'une part à un commutateur rapide 22, et d'autre part à un mélangeur 23. Le commutateur rapide 22 est piloté par un signal PEN produit par l'étage de temporisation 19. Le signal PEN détermine la durée des trains d'impulsions à la fréquence F qui sont appliqués à un amplificateur 24. La sortie de l'amplificateur 24 est connectée à une borne 261 d'un circulateur 26 dont la borne 262 est connectée à l'élément piezo-electrique 4a, et la troisième borne 263 à un préamplificateur 27. Le circulateur 26 assure la transmission de signaux entre deux de ses bornes consécutives dans le sens indiqué par la flèche F et il permet ainsi de séparer le signal émis du signal refléchi par l'objet à analyser (non représenté). En variante, le circulateur 26 peut être remplacé par un commutateur rapide piloté par l'étage de temporisation 19 pour appliquer le signal d'émission au transducteur 4 et transmettre le signal écho reçu de celui-ci au pré-amplificateur 27. La sortie du pré-amplificateur 27 constitue celle de la tête haute fréquence 16 et elle est connectée à l'entrée d'un amplificateur 28 de la voie réception de l'étage 15. Cet amplificateur 28 est pourvu d'une entrée G de réglage de gain afin de rendre compatible le niveau des signaux reçus avec les composants de l'ensemble de la chaîne de traitement située en aval de l'amplificateur 28. La sortie de l'amplificateur 28 est connectée à une entrée d'un mélangeur 29 qui reçoit sur son autre entrée, par l'intermédiaire d'un séparateur 30, le signal à la fréquence F + FI produit par le synthétiseur 20. La sortie du mélangeur 29 véhicule donc un signal à la fréquence 2F + FI d'une part et FI d'autre part qui est appliqué à un filtre passe-bas 31 qui a pour rôle d'éliminer la composante à la fréquence 2F + FI. Le filtre 31 applique donc à la sortie A de l'étage 15 un signal écho de fréquence FI qui est déphasé de la valeur par rapport au signal de référence présent sur la sortie B de ce même étage 15. Ce signal de référence est obtenu en appliquant au mélangeur 23 les signaux de sortie du synthétiseur 20 aux fréquences F et F + FI, via les séparateurs 21 et 30 respectivement. La sortie du mélangeur 23 est appliquée, par l'intermédiaire d'un commutateur rapide 32, à l'entrée d'un filtre passe-bas 33 qui a les mêmes caractéristiques que le filtre 31. Le commutateur rapide ou porte 32 est piloté par un signal PoB généré par l'étage de temporisation 19. Ce signal P0,, détermine une fenêtre de sélection d'écho qui est retardée d'un temps fixé a priori ôtF par rapport au front avant du signal PE M constituant la fenêtre d'émission.Ce temps ôtF, ainsi que la durée de la fenêtre de sélection d'écho (signal Pou ) sont réglés en fonction des paramètres précités du microscope et de l'objet à analyser de manière à assurer que l'écho objet se trouve bien à l'intérieur de la fenêtre temporelle de sélection d'écho. La sortie B de l'étage 15, qui est celle du filtre passe-bas 33, fournit donc un signal de référence à la fréquence FI dans une fenêtre temporelle déterminée par le signal P0,, Dans l'étage de traitement 17, le signal écho présent en A est appliqué aux entrées RF de deux mélangeurs 34 et 35 respectivement, par l'intermédiaire d'un séparateur 36. L'étage 17 comprend également un déphaseur de 90 37 qui reçoit en entrée le signal de référence présent à la sortie B de l'étage 15.Le déphaseur 37 comporte une sortie non déphasée connectée å l'entrée LO du mélangeur 35 et une sortie déphasée de 90" qui est appliquée à l'entrée LO du mélangeur 34. Le signal de référence présent à la sortie B étant de la forme k costOt et le signal écho présent en A de la forme k cos(bJt + f), on trouve - à la sortie du mélangeur 35, un signal de la forme ksos(D)t t + ).cos t = k/2 cos(2Utt + ) + k/2 cos" - à la sortie du mélangeur 34, un signal de la forme kcos(Q0t + ).sinbJt = k/2 sin(2t + ) + k/2sin t. Ces signaux en sortie des mélangeurs 34 et 35 sont respectivement amplifiés par des amplificateurs 38 et 39 et filtrés par des filtres passe-bas 40 et 41. Les fréquences de coupure des filtres 40 et 41 sont inférieures à FI/2 pour éliminer les composantes de pulsation 2 # et ne conserver que les composantes de fréquence centrale 0 Hz, de sorte que ces filtres produisent des signaux impulsionnels dont l'amplitude représente Ksin# à la sortie C du filtre 40 et Kcos# à la sortie D du filtre 41, avec K = k/2. Les signaux impulsionnels présents en C et D sont appliqués, dans l'étage de traitement numérique 18, respectivement à des modules intégrateurs 42 et 43 qui seront décrits plus en détail ci-après à propos des figures 4 et 5. Les modules intégrateurs 42 et 43 comportent respectivement des bornes OFC et OFD permettant d'ajuster dans chacune des voies C et D le décalage (offset) qui résulte de l'intégration des échos divers ED dus aux réflexions multiples des rayons divergents dans le barreau 6. Le réglage des entrées OFC et OF, permet d'annuler sur chacune des voies C et D l'énergie intégrée de ces échos parasites, selon une méthode qui sera explicitée dans la suite. Les modules intégrateurs 42 et 43 sont connectés par leur sortie à des convertisseurs analogique/numerique rapides 44 et 45 respectivement. L'acquisition par les convertisseurs analogique/numérique du signal présent à leur entrée est commandée par un signal SOC généré par l'étage de temporisation 19. Les valeurs intégrées de Ksin# et Kcos# sont, par exemple, codées sur 8 bits par les convertisseurs 44 et 45. Les sorties des convertisseurs 44 et 45 sont connectées à une mémoire 46 contenant une table de conversion (LUT) adressable respectivement par les valeurs intégrées et numérisées C R = Ksinf et DN = Kcos. A chaque adresse C N et DN, la mémoire 46 contient des données k N et La mémoire 46 est programmée de telle sorte que kKN représente c'est-à-dire l'amplitude de l'écho, et FN représente arctg DM/CRI à savoir le déphasage.Les valeurs de l'amplitude k" et de la phase #N sont donc directement disponibles en sortie de la mémoire 46 et peuvent être utilisées, soit directement sous forme numérique, soit sous forme analogique après conversion par des convertisseurs numériques/analogiques 47 et 48 respectivement. A titre d'exemple, si C N et DR ainsi que kN et fN sont codés sur 8 bits, la mémoire 46 peut être une EPROM de 1 Mbit possédant 16 bits d'adresse. Enfin, des convertisseurs numérique/analogique 49 et 50 sont connectés directement aux sorties des convertisseurs analogique/numérique 44 et 45 respectivement. Les convertisseurs 49 et 50 permettent, entre deux points d'analyse consécutifs, de disposer sous la forme analogique C NA et DNA des valeurs stabilisées de C et D, car les valeurs numériques correspondantes C N et DN sont maintenues à la sortie des convertisseurs 44 et 45 entre deux acquisitions de signal consécutives. Les valeurs analogiques C NA et DRA peuvent être ainsi visualisées sur un oscilloscope afin d'assurer le réglage d'offset des modules intégrateurs 42 et 43 selon la méthode qui sera décrite plus avant. Le fonctionnement du microscope acoustique sera maintenant décrit en se référant également au chronogramme de la figure 6. A un instant to, l'étage de temporisation 19 génère un créneau TRIG dont le front montant déclenche un processus d'analyse. Après une durée prédéterminée, l'étage de temporisation 19 génère à l'instant te le signal PEN qui est appliqué au commutateur 22. Ce signal PEM détermine une fenêtre d'émission de durée W1 (par exemple 20 ns).Pendant cette fenêtre d'émission, un train d'impulsions à la fréquence F est appliqué au transducteur 4 comme représenté par le signal SE Comme décrit ci-dessus à propos de la figure 2, le signal SR réfléchi par l'objet analysé comporte typiquement un écho électrique EE, un premier écho lentille EL1, un écho objet EO auquel se superposent éventuellement des échos divers ED, et un deuxième écho lentille EL2. A l'instant t1 tel que t1 - t e = StFr l'étage de temporisation 19 applique le signal PQ Po8 au commutateur 32. Comme indiqué précédemment, le temps ôtF est réglé en fonction des caractéristiques des différents composants du microscope et de celles du matériau de l'objet à analyser de manière à assurer que l'écho objet EO se trouve à l'intérieur de la fenêtre temporelle définie par le signal La . La fenêtre t1 -t2 de sélection d'écho du signal P0,, peut avoir une durée de, par exemple, 200 ns.Le signal de référence B à la fréquence FI est appliqué pendant la fenêtre de sélection d'écho à l'étage de traitement analogique 17 avec le signal écho à la fréquence FI, et cet étage produit sur ses sorties C et D des signaux complémentaires Ksinf et Kcosf, dont l'un est représenté en trait plein et l'autre en trait interrompu. Le signe de ces signaux dépend naturellement de la valeur de 9. Les signaux C = Kcos et D = Kcost sont intégrés par les modules intégrateurs 42 et 43 qui produisent les signaux Ic et I,,. Etant donné que C et D peuvent être positifs ou négatifs, un décalage Vref/2 valant la moitié de la pleine échelle des convertisseurs 44 et 45 est ajouté avant ceux-ci au niveau des modules intégrateurs 42 et 43, ce qui revient à travailler en complément à deux. L'acquisition de Ic et I, par les convertisseurs analogique/numérique 44 et 45 a lieu sur le front arrière du signal SOC d'acquisition de signal, a l'instant t3, 150 ns après t2. Le signal C NA représente la sortie du convertisseur numérique/analogique 49 et l'on constate que la valeur précédente de Ksinf est maintenue jusqu'à l'instant t4 d'acquisition de la nouvelle valeur par le convertisseur 44 et de sa conversion sous forme analogique par le convertisseur 49. I1 en va de même du signal DNA représentant la valeur stabilisée de Kcosf, qui n' a pas été représenté sur la figure 6 dans un but de clarté. Enfin, les deux diagrammes en bas de la figure 6 montrent les valeurs de kNA et FN A obtenues par lecture de la mémoire 46 et conversion sous forme analogique en 47 et 48 respectivement. I1 résulte de ce qui précède que 1 t acquisition simultanee des informations amplitude et phase est très rapide, les temps de calcul étant de l'ordre de grandeur du temps d'accès à la mémoire 46 (200 ns au maximum), c'est-à-dire négligeables. Sachant que l'analyse d'un point peut être faite en moins de 1 Ps, une image de résolution élevée, par exemple de 512 x 512 pixels, peut être formée en un temps très court. Cependant, ceci suppose que les modules intégrateurs 42 et 43 soient capables de fournir la valeur moyenne des signaux impulsionnels C et D, qui sont de courte durée (de l'ordre de 100 ns), et de maintenir cette valeur moyenne suffisamment longtemps (de l'ordre de 400 ns) pour permettre son acquisition par les convertisseurs analogiques/numériques 44 et 45.La figure 4 illustre un type d'intégrateur permettant d'obtenir ces résultats. Cet intégrateur comprend essentiellement en entrée un filtre passe-bas 51 (filtre passe-bas 40 ou 41 de la figure 3),suivi d'une ligne å retard 52 présentant des prises intermédiaires définissant deux a deux n cellules CL1, CL2, CLn introduisant chacune un retard t t. Ces cellules sont connectées en parallèle à un sommateur rapide 53.Si on applique à l'entrée de cet intégrateur un signal v(t) pendant une fenêtre temporelle symbolisée par un interrupteur FN (durée t2 -t1 du signal Pou ), on obtient en sortie une valeur intégrée V du signal v(t) Le filtre passe bas 51 est nécessaire pour filtrer les composantes spectrales v(t) afin que le théorème de Shannon soit vérifie (Fmax Un exemple de réalisation d'un tel intégrateur est illustré par la figure 5. Sur cette figure, le signal d'entrée est supposé être filtré, et le filtre 51 n'a pas été représenté. L'intégrateur comporte en entrée un amplificateur 54 dont la sortie attaque la ligne à retard 52 par l'intermédiaire d'une résistance R1. Chaque cellule CL de la ligne à retard 52 comprend deux condensateurs de même capacité C1 connectés en parallèle respectivement entre la masse et les bornes opposées d'une inductance L1. Les paires de cellules contiguës ayant un condensateur en commun, celui-ci C2 a une capacite telle que C2 = 2C1. L'entrée de la ligne à retard (borne commune de la résistance R1 avec le condensateur C1 et l'inductance L1 de la première cellule CL1), ainsi que chaque cellule CL11 CL2 t . . . CLn est connectée à l'entrée inverseuse du sommateur rapide 53 par l'intermédiaire d'une résistance R2. La sortie de la ligne à retard 52 (point commun du condensateur C1 et de l'inductance L1 de la dernière cellule CL avec la dernière résistance R2) est connectée à la masse par l'intermédiaire d'une résistance R3 de même valeur que R1. Toutes les cellules CL1, CL2 . . * . . CL sont donc bien connectées en parallèle au sommateur rapide 53 comme decrit à propos de la figure 4. La sortie du sommateur rapide 53 attaque l'entrée d'un amplificateur de trans impedance 54. Cette entrée est polarisée par une tension de réglage d'offset appliquée en OF (entrées OFC et OFD de la figure 3). En se référant également à la figure 3, le réglage de l'offset de chacun des modules intégrateurs 42 et 43 peut être effectué de la manière suivante. Les sorties C NA = Ksin # et DNA = Kcos # de l'étage 18 sont connectées respectivement aux entrées X et Y d'un oscilloscope réglé en mode de balayage XY. Lorsque le microscope est défocalisé, en principe K = 0 et un simple point lumineux est affiché sur l'écran de l'oscilloscope. Le réglage d'offset des modules intégrateurs 42 et 43 consiste alors à appliquer les tensions voulues sur les entrées OFC et OFD (entrée OF figure 5) jusqu'a ce que le point lumineux soit parfaitement centré sur l'écran de l'oscilloscope. Lorsqu'un tel réglage est obtenu, ceci signifie que la tension résultant de 1 l'intégration des divers échos parasites sur chacune des voies C et D est ajustée à Vref/2 Ce réglage d'offset permet de s'affranchir des interférences des échos parasites divers qui viennent fréquemment créer des artefacts sur les images des microscopes acoustiques à détection classique d'amplitude des échos. La figure 7 illustre une application particulière du microscope selon l'invention. Selon la disposition représentée, un dispositif d'asservissement 60 reçoit, d'une part la phase 9 mesurée par les circuits 1, d'autre part une phase de référence FR générée en 61. Le dispositif d'asservissement 60 commande le mécanisme de déplacement 13 suivant la direction Z de manière que la phase instantanée mesure reste égale à la phase de référence Si Si Un dispositif 62 commande le mécanisme de déplacement 13 suivant les directions X et Y et l'information de position en X et Y du transducteur 4 est envoyée au dispositif 14 de stockage et d'affichage d'images avec la valeur mesurée de l'amplitude de l'écho de manière à former point par point une image en amplitude et à distance focale constante de l'objet analysé 10. Dans les deux exemples d'application de la figure 1 et de la figure 7, la largeur du champ balayé peut varier, par exemple, entre 100 um et 5 mm, et la fréquence de balayage en X peut atteindre 50 Hz ce qui correspond à une vitesse linéaire de déplacement du transducteur 4 pouvant atteindre 0.9 m/s, compte tenu des rampes d'accélération et de décélération du mouvement. Selon l'axe Y, la vitesse de déplacement est beaucoup plus lente et plus régulière (environ 512 fois plus lente pour l'acquisition d'images au format 512*512). Dans ces conditions, la période de récurrence des émissions de trains d'onde par le transducteur 4 peut être inférieure à 10 ps. On cherchera alors à minimiser le temps de traitement du signal (mesure d'amplitude et de phase) afin que celui-ci soit terminé avant le début de l'émission suivante. La technique exposee dans le présent mémoire permet un traitement en moins de 1 ps. L'agencement de la figure 7 est particulièrement adapté au contrôle de traitements ou de dépôts en surface: la surface de l'objet contrôlé n'est pas toujours plane, et l'asservissement de la position du transducteur 4 permet dans ce cas de maintenir la mise au point. I1 va de soi que les modes de réalisation décrits ne sont que des exemples et l'on pourrait les modifier, notamment par substitution d'équivalents techniques, sans sortir pour cela du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Microscope acoustique pour analyser un objet en surface ou en profondeur, comportant : - un transducteur pour appliquer un train d'onde acoustique alternative de haute fréquence à l'objet, - des moyens de focalisation de ladite onde acoustique incidente, et - une chaîne de réception de l'onde acoustique réfléchie par ledit objet, comportant des moyens de mesure de l'amplitude de l'onde acoustique réfléchie et de son déphasage par rapport à l'onde incidente, caractérisé en ce que ladite chaîne de réception comprend - des moyens (17) de traitement analogique pour dephaser de 90 , mélanger et filtrer des signaux électriques images de l'onde incidente et de l'onde réfléchie, et délivrer sur une première et une deuxième voies respectivement des signaux impulsionnels d'amplitude C = K sinX et D = K cosf où K est proportionnel à l'amplitude k de l'onde acoustique réfléchie et d représente ledit déphasage, - des moyens (42-45) associés à chaque voie pour intégrer et convertir sous forme numérique lesdits signaux impulsionnels C = K sinX et D = K cosy, et - des moyens (46) de conversion des valeurs numériques CR, DN desdits signaux impulsionnels C et D en valeurs de l'amplitude k et de la phase f de ladite onde acoustique réfléchie. 2. Microscope selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de traitement analogiques comprennent - des premier et second mélangeurs (34, 45) à chacun desquels est appliqué un signal d'écho image de ladite onde acoustique réfléchie (SR ) - un déphaseur (37) pour appliquer à l'un (34) desdits mélangeurs, un signal déphasé de 90" par rapport à un signal de référence (B) image de l'onde acoustique incidente (SE ) et, à l'autre (35) desdits mélangeurs, un signal non déphasé par rapport à ladite onde acoustique incidente (S), et - des premier (40) et second (41) moyens pour filtrer les signaux de'sortie desdits mélangeurs (34, 35) et délivrer respectivement lesdits signaux C - K sinX et D = K cors. 3. Microscope selon l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que lesdits premiers et seconds moyens intégrateurs (42, 43) comprennent chacun une ligne å retard (52) constituée de n cellules (CL1, CL,....CL, ) connectées en parallèle à un sommateur rapide (53) et introduisant chacun un retard t. 4. Microscope selon la revendication 3, caractérisé en ce que la sortie de chacun des moyens intégrateurs est connectée à l'entrée d'un amplificateur de sortie (54) et à une borne (OF) d'application d'une tension de décalage réglable pour annuler, en sortie dudit amplificateur de sortie (54), les composantes résultant de l'intégration de signaux d'écho parasites non significatifs. 5. Microscope selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que lesdits moyens de conversion sont constitués d'une table de conversion (LUT) mémorisée dans une mémoire (46) adressable respectivement par lesdites valeurs numériques C N et DR desdits signaux impulsionnels et contenant à chaque adresse C et D des valeurs numériques kN et FN de N N l'amplitude et de la phase de ladite onde acoustique réfléchie. 6. Microscope selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'il comprend un convertisseur numérique/analogique (49, 50) connecté à la sortie de chacun desdits moyens (42, 43) de conversion sous forme numérique desdits signaux impulsionnels C et D, et délivrant un signal analogique C NA' DN représentant la valeur stabilisée desdits signaux impulsionnels C, D. 7. Microscope selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il comprend un étage de temporisation (19) adapté pour appliquer, d'une part, & une chaîne d'émission (20, 21, 22, 24), un signal (P,) commandant l'application dudit train d'onde audit transducteur (4) et, d'autre part, a une chaîne de réception (21, 23, 29-33), un signal (Pon) de sélection d'écho commandant l'application, dans une fenêtre temporelle prédéterminée, dudit signal image de l'onde incidente auxdits moyens de traitement analogiques (17). 8. Microscope selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens (20) pour générer un premier signal d'excitation du transducteur (4) à la fréquence F et un second signal à la fréquence F + FI, FI étant fixée, un troisième mélangeur (29) pour mélanger ledit second signal avec le signal électrique (SR ) produit par ledit transducteur (4) en réponse à la réflexion sur ledit objet de ladite onde acoustique, un quatrième mélangeur (23) pour mélanger lesdits premier et second signaux, et des troisième (31) et quatrième (33) moyens de filtrage connectés respectivement à la sortie desdits troisième (29) et quatrième (23) mélangeurs pour délivrer auxdits moyens de traitement analogiques (17) des signaux de fréquence FI constituant lesdits signaux électriques images respectivement de l'onde incidente et de l'onde réfléchie. 9. Microscope selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce quVil est associé à un mécanisme (13) de déplacement relatif dudit transducteur (4) par rapport audit objet (10) pour l'analyse point par point dudit objet, et à des moyens (14) de visualisation d'une image élaborée à partir de ladite analyse. 10. Microscope selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens d'asservissement (60) commandant la position verticale (Z) dudit transducteur (4) par rapport audit objet (10) de manière à maintenir constant ledit déphasage .