Brevet FR2658290A1 — publié le 19910816

i La présente invention a pour objet un pro- cédé et un dispositif de mesure, à l'aide d'au moins un thermocouple et d'appareils de mesure, de la température de pièces contenues dans une enceinte sous atmosphère contrôlée et soumises à un traitement thermochimique, par exemple par plasma. On connait un procédé de mesure qui consiste à disposer dans une enceinte, lors du chargement des pièces à traiter, au moins un thermocouple préalable- ment isolé électriquement, ladite enceinte étant reliée à un potentiel anodique alors que les pièces à traiter sont reliées à un potentiel cathodique. Généralement, l'isolation du thermocoupe est formée d'une enveloppe constituée d'éléments en un matériau tel que de l'alumine, l'enveloppe du thermocouple étant au contact de la pièce dont on veut mesurer la température Le thermocouple traverse la paroi de l'enceinte par un passage assurant l'étanchéité de ladite enceinte et la neutralité électrique du thermocouple. Mais, ce procédé présente de nombreux inconvénients. En effet, l'enveloppe d'alumine formée par exemple par un assemblage de perles se métallise lors des traitements thermochimiques et devient en surface conductrice de l'électricité ce qui dégrade l'isola- tion électrique du thermocouple. Le thermocouple placé dans l'enceinte, sous atmosphère d'un gaz à basse pression, se déplace fréquemment de manière incontrôlée dans son enveloppe d'alumine Ce déplacement entraine des variations aléatoires sensibles de la valeur de la mesure de la température. De plus, le thermocouple est continuellement déplacé notamment au moment de l'introduction ou du retrait de l'enceinte des pièces à traiter ou encore sous l'effet des vibrations ou des dilatations dues au chauffage pendant les opérations de traitement. Par ailleurs, dans le cas de l'utilisation d'un thermocouple de grande longueur, l'enveloppe formée de perles d'alumine assemblées et fréquemment soumise à des vibrations, entraine, par son propre poids, la rupture du thermocouple dans l'enceinte sous atmosphère contrôlée, en cours de traitement Il s'avère alors impossible de remplacer le thermocouple défaillant sans l'arrêt complet du cycle de traitement et l'ouverture de l'enceinte. D'autre part, il est impossible de faire passer un thermocouple entre deux pièces adjacentes à traiter sans risquer de perturber le traitement de celles-ci lorsqu'il est suffisamment prêt d'une des pièces ou de rompre par contact la neutralité électrique du dispositif de traitement. L'expérience sur plusieurs traitements suc- cessifs de pièces a mis en évidence que l'accumulation des inconvénients mentionnés ci-dessus ne permet pas de garantir la précision de la mesure de la tempéra- ture, sa reproductibilité et sa fiabilité dans le temps Par conséquent les exigences de qualité requi- ses par exemple pour un traitement thermochimique par plasma avec le procédé connu sont difficilement remplies. La présente invention a pour but de remédier à ces inconvénients et de proposer un procédé et un dispositif pour une mesure précise et fiable, à l'aide d'au moins un thermocouple, de la température des pièces contenues dans une enceinte sous atmosphère contrôlée et soumises à un traitement thermochimique par exemple par plasma. La présente invention a donc pour objet un procédé de mesure, à l'aide d'au moins un thermocouple et d'appareils de mesure, de la température de pièces contenues dans une enceinte sous atmosphère contrôlée et soumises à un traitement thermochimique, par exemple par plasma, ladite enceinte étant reliée à un potentiel anodique et lesdites pièces à traiter étant reliées à un potentiel cathodique, caractérisé en ce que: on place à proximité ou directement au contact des pièces à traiter ledit thermocouple traversant la paroi de l'enceinte en coulissant et étant isolé électriquement de ladite paroi, on applique au thermocouple le potentiel des pièces à traiter, on isole ledit thermocouple par rapport à la terre et aux appareils de mesure de la tension du couple thermoélectrique pour effectuer la mesure de la température desdites pièces à traiter. L'invention concerne également un dispositif de mesure pour la mise en oeuvre du procédé et comprenant au moins un thermocouple et des appareils de mesure de la température de pièces contenues dans une enceinte sous atmosphère contrôlée et soumises à un traitement thermochimique par exemple par plasma, caractérisé en ce qu'il comprend une gaine étanche contenant ledit thermocouple et traversant par coulis- sement la paroi de l'enceinte par l'intermédiaire d'un passage étanche isolant ladite gaine de ladite paroi de l'enceinte. Selon d'autres caractéristiques de l'invention: ledit thermocouple est relié à la gaine de façon étanche, la gaine est fermée à une de ses extrémi- tés et forme un puits pour ledit thermocouple, dont l'espace intérieur est en communication avec l'espace extérieur de l'enceinte, la gaine est de forme sensiblement cylindrique, ledit thermocouple disposé dans la gaine est isolé par rapport, d'une part, à la terre et, d'autre part, aux appareils de mesure du couple thermoélectrique par un moyen d'isolation électronique, le moyen d'isolation est formé par une isolation électronique galvanique constituée d'un circuit RLC formant un quadripôle, comprenant d'une part, un circuit LC composé d'une self et d'une capacité montées en série et reliées aux deux bornes d'entrée dudit quadripôle, la borne reliée à la capacité étant en outre à la masse, et d'autre part, une résistance de limitation en courant connectée au point milieu du circuit LC et à une borne de sortie dudit quadripôle, l'autre borne de sortie étant placée également à la masse, le moyen d'isolation est formé par un transformateur d'isolement dont le rapport du nombre de spires des enroulements primaire et secondaire est égal à 1. L'invention sera mieux comprise à l'aide de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple non limitatif et faite en se référant aux dessins annexés, sur lesquels: la Fig 1 est une vue schématique en coupe dans un plan vertical d'une enceinte d'un bâti à vide pour le traitement thermochimique de pièces et comportant un dispositif de mesure selon l'invention, la Fig 2 est une vue en coupe à plus grande échelle d'un premier mode de réalisation du passage étanche dans la paroi de l'enceinte pour le dispositif de mesure selon l'invention, la Fig 3 est une vue en coupe et à plus grande échelle d'un second mode de réalisation du passage étanche dans la paroi de l'enceinte pour le dispositif de mesure selon l'invention, la Fig 4 est un schéma, selon un premier mode de réalisation, du moyen d'isolation électronique d'un thermocouple du dispositif de mesure, la Fig 5 est un schéma, selon un second mode de réalisation, du moyen d'isolation électroni- que d'un thermocouple du dispositif de mesure. La Fig 1 représente une enceinte 1 d'un bâti à vide 2 dans laquelle sont disposées des pièces 3 devant subir un traitement thermochimique par exemple par plasma, le plasma étant réalisé sous atmosphère d'un gaz à basse pression. Les pièces 3 reposent sur une sole 4. La tension d'ionisation du gaz dans l'enceinte 1 est appliquée entre la sole 4 portant les pièces 3 et une électrode 5 disposée dans ladite enceinte 1 et liée électriquement à la paroi 6 de l'enceinte 1 La sole 4 et les pièces 3 sont placées au potentiel cathodique tandis que la paroi 6 de l'enceinte 1 est au potentiel anodique. Le dispositif de mesure de la température des pièces 3 à traiter se compose d'au moins un thermocouple 10 disposé dans une gaine 11 traversant en coulissant la paroi 6 de l'enceinte 1 par l'intermédiaire d'un passage isolant 12. Le thermocouple 10 est donc isolé électri- quement de ladite paroi 6 par le passage isolant 12 et se trouve au potentiel des pièces 3 à traiter. D'autre part, l'isolement du thermocouple 10 par rapport à la terre et aux appareils de mesure, non représentés, de la tension du couple thermoélectrique est assuré par un moyen d'isolation électronique 30 qui sera décrit ultérieurement. Le passage isolant 12 représenté à plus grande échelle sur les Figs 2 et 3 ménagé dans la paroi 6 de l'enceinte 1 est formé par un organe d'iso- lation électrique désigné dans son ensemble par la référence 20 séparant la gaine 11 de ladite paroi 6. Cet organe 20 se compose d'une vis 21 dont la tête 21 a est placée à l'intérieur de l'enceinte 1. Cette vis 21 est percée longitudinalement de façon à délimiter un logement par exemple cylindrique pour le passage de la gaine 11 Un joint d'étanchéité 22 est interposé entre le corps de la vis 21 et de gaine 11. La vis 21 est maintenue en position sur la paroi 6 de l'enceinte 1 par un écrou 23 disposé par exemple à l'extérieur de ladite enceinte. Un manchon cylindrique 24 isolant est monté entre la vis 21 et la paroi 6 et comporte une colle- rette 24 a séparant la tête 21 a de la vis 21 de ladite paroi 6 de l'enceinte Une rondelle 25 isolante est également montée entre l'écrou 23 et la paroi 6 de l'enceinte. Selon un premier mode de réalisation représenté à la Fig 2, le thermocouple 10 traverse l'extrémité de la gaine 11 située dans l'enceinte 1 de telle sorte que ledit thermocouple soit directement au contact des pièces 3 à traiter. L'extrémité de la gaine 11 située à l'extérieur de l'enceinte est en communication avec l'extérieur de ladite enceinte et le thermocouple 10 est lié à ladite gaine 11 de façon étanche par exemple par brasage 15. Cette disposition présente l'avantage de pouvoir ajuster la position du thermocouple 10 par rapport aux pièces 3 et cela grâce au coulissement de la gaine 11 dans le passage étanche 12. Selon un deuxième mode de réalisation représenté à la Fig 3, l'extrémité de la gaine 11 située à l'intérieur de l'enceinte 1 est placée directement au contact des pièces 3 Dans ce cas, cette extrémité de la gaine 11 est fermée et ladite gaine forme un puits dans lequel est inséré le thermo- couple 10 L'espace intérieur de la gaine 11 est en communication avec l'espace extérieur de l'enceinte 1. Cette disposition présente l'avantage de pouvoir ajuster la position de la gaine 11 et du thermocouple 10 par rapport aux pièces et de pouvoir retirer ledit thermocouple sans avoir à ouvrir l'enceinte 1. Un ou plusieurs thermocouples 10 peuvent être insérés dans la gaine 11 en les plaçant de façon à pouvoir mesurer des températures en certains points bien déterminés. Dans le cas d'un traitement notamment de tubes, la gaine 11 peut avoir une géométrie voisine des tubes à traiter et occuper la place d'une pièce dans le chargement. Lors du traitement des pièces, le thermo- couple 10 et son blindage sont au potentiel de la gaine 11 qui est elle même au potentiel cathodique des pièces 3 dont on veut mesurer la température. De plus, le thermocouple 10 doit être lui mêne isolé afin d'éviter les mesures éronées, son blindage ne pouvant pas être relié à la terre sans isolation. Afin d'éviter tous les parasites et un retour du potentiel cathodique sur les appareils se situant après le thermocouple 10, il est nécessaire d'utiliser un moyen d'isolation électronique 30 entre ledit thermocouple et le reste de la chaine de mesure. Ce moyen d'isolation électronique est indispensable notamment dans le cas de l'utilisation de générateurs à courants pulsés pour l'ionisation du gaz contenu dans l'enceinte 1, et dans le cas d'une alimentation électrique o le neutre est à la terre. L'isolation du thermocouple 10 par rapport à la terre et aux appareils de mesure de la tension thermoélectrique est assurée, selon un premier mode de réalisation représenté à la Fig 4, au moyen d'une isolation électronique galvanique constituée d'un circuit RLC formant un quadripôle comprenant, d'une part, un circuit LC 31 composé d'une self 32 et d'une capacité 33 montées en série et réliées aux bornes d'entrée respectivement 34 et 36 du quadripôle, la borne 36 reliée à la capacité 33 étant à la masse, et, d'autre part, une résistance 38 connectée au point milieu du circuit LC 31 et à une borne 35 de sortie du quadripôle, l'autre borne de sortie 37 étant placée à la masse. Selon un autre mode de réalisation repré- senté à la Fig 5, l'isolation du thermocouple 10 est assurée par un transformateur d'isolement 40 dont le rapport nl/n 2 du nombre N de spires des enroulements primaire 41 et secondaire 42 est égal à 1, ce qui entraine un rapport des tensions d'entrée et de sortie égale aussi à 1 La tension de sortie du transforma- teur d'isolement 40 est égale à la tension thermoélec- trique formée par le thermocouple 10. Le procédé et le dispositif selon l'inven- tion sont particulièrement adaptés à la mesure de températures de pièces longilignes tel que des faisceaux de tubes traités par plasma dans une technique de nitruration ionique. Le fait de laisser l'intérieur d'un tube formant une gaine à la pression atmosphérique tout en maintenant ledit tube au potentiel cathodique permet d'envisager une nitruration ionique, partielle ou totale et de façon séquencée de pièces profilées de dimensions supérieures à celles de l'enceinte, lesdites pièces pouvant être positionnées dans et de part et d'autre de ladite enceinte tout en conservant une mesure fiable et précise des températures et une mesure insensible aux instabilités dues au plasma, par exemple de nitruration ionique. Par ailleurs, le procédé et le dispositif selon l'invention permettent de pouvoir utiliser des thermocouples standards et d'un prix de revient bas et de pouvoir augmenter la durée de vie des thermocouples sans aucune influence des différentes polarités électriques existantes sur le bâti, tout en supprimant les différentes polarités électriques existantes, dans un four. REVENDICATIONS 1 Procédé de mesure, à l'aide d'au moins un thermocouple ( 10) et d'appareils de mesure, de la tempéraure de pièces ( 3) contenues dans une enceinte ( 1) sous atmosphère contrôlée et soumises à un traitement thermochimique par exemple par plasma, ladite enceinte ( 1) étant reliée à un potentiel anodique et lesdites pièces ( 3) à traiter étant reliées à un potentiel cathodique, caractérisé en ce que: on place à proximité ou directement au contact des pièces ( 3) à traiter le thermocouple ( 10) traversant la paroi ( 6) de l'enceinte ( 1) en coulis- sant et étant isolé électriquement de ladite paroi ( 6), on applique au thermocouple ( 10) le potentiel des pièces ( 3) à traiter, on isole ledit thermocouple ( 10) par rapport à la terre et aux appareils de mesure de la tension du couple thermoélectrique, pour effectuer la mesure de la température desdites pièces ( 3) à traiter. 2 Dispositif de mesure pour la mise en oeuvre du procédé selon la revendication 1, comprenant au moins un thermocouple ( 10) et des appareils de mesure de la température de pièces ( 3) contenues dans une enceinte ( 1) sous atmosphère contrôlée et soumises à un traitement thermochimique par exemple par plasma, caractérisé en ce qu'il comprend une gaine ( 11) étanche contenant ledit thermocouple ( 10) et traver- sant par coulissement une paroi ( 6) de l'enceinte ( 1) par l'intermédiaire d'un passage étanche ( 12) isolant ladite gaine ( 11) de ladite paroi ( 6) de l'enceinte ( 1). 1 1 3 Dispositif de mesure selon la revendication 2, caractérisé en ce que ledit thermocouple ( 10) est relié à la gaine ( 11) de façon étanche. 4 Dispositif de mesure selon la revendica- tion 2, caractérisé en ce que la gaine ( 11) est fermée à une de ses extrémités et forme un puits pour ledit thermocouple ( 10), l'espace intérieur dudit puits étant en communication avec l'espace extérieur de l'enceinte ( 1). Dispositif de mesure selon l'une quelcon- que des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que la gaine ( 11) est de forme cylindrique. 6 Dispositif de mesure selon l'une quelcon- que des revendications 2 à 5, caractérisé en ce que ledit thermocouple ( 10) disposé dans la gaine ( 11) est isolé par rapport, d'une part à la terre, et, d'autre part, aux appareils de mesure du couple thermoélec- trique par un moyen d'isolation électronique ( 30). 7 Dispositif de mesure selon la revendica- tion 6, caractérisé en ce que le moyen d'isolation ( 30) est une isolation électronique galvanique formée d'un circuit RLC constituant un quadripôle, comprenant d'une part, un circuit LC ( 31) composé d'une self ( 32) et d'une capacité ( 33) montées en série et reliées aux bornes d'entrée ( 34, 36) dudit quadripôle, la borne ( 36) reliée à la capacité ( 33) étant à la masse et d'autre part, d'une résistance ( 38) de limitation en courant connectée au point milieu du circuit ( 31) et à une borne de sortie ( 35) dudit quadripôle, l'autre borne de sortie ( 37) étant placée également à la masse. 8 Dispositif de mesure selon la revendica- tion 6, caractérisé en ce que le moyen d'isolation ( 30) est formé par un transformateur d'isolement ( 40) dont le rapport du nombre de spires des enroulements primaire et secondaire est égale à 1.