Brevet FR2658530A2 — publié le 19910823

FR 2658530 A2 19910823 FR 9002194 A 19900222 DESCRIPTION ENDUIT ABSORBANT, SON PROCEDE DE FABRICATION ET REVETEMENT OBTENU A L'AIDE DE CET ENDUIT Le présent certificat d'addition a pour objet un enduit absorbant, son procédé de fabrication et un revêtement obtenu à L'aide de cet enduit. Dans le brevet principal, il est décrit et revendiqué un enduit absorbant, qui est caractérisé par le fait qu'il comprend un liant et une charge constituée de copeaux constitués d'au moins une couche mince apte à absorber un rayonnement électromagnétique. Lorsqu'il s'agit d'absorber un rayonnement qui tombe dans la plage des micro-ondes, chaque copeau est constitué d'un empilement de couches alternativement magnétiques amorphes et électriquement isolantes. De préférence, le matériau magnétique amorphe est un matériau ferromagnétique à forte perméabilité magnétique. Les couches magnétiques peuvent avoir une épaisseur comprise entre 100 et 1000 nm. Les couches isolantes peuvent avoir une épaisseur comprise entre 1 et 200 nm. Dans le cas de l'absorption d'une onde électromagnétique hyperfréquence, c'est-à-dire dans La gamme allant de 50 MHz à plusieurs dizaines de Gigahertz, le copeau peut être d'une structure particulière, qui est L'objet du présent certificat d'addition. Afin de permettre La propagation de l'onde électromagnétique dans L'enduit avec un taux de réflexion faible, Les copeaux devraient être électriquement isolés dans le liant. Pour se libérer de cette contrainte et des aspects dimensionnels du copeau vis-à-vis de la fréquence, on peut fabriquer un copeau à L'aide d'un matériau amorphe de forte résistivité. On s'affranchit alors des impératifs dimensionnels relatifs aux copeaux. Une couche magnétique amorphe de forte résistivité peut être obtenue en utilisant un matériau magnétique amorphe en couche ultramince d'épaisseur de L'ordre de quelques nanomètres ou moins ; ce type de couche ultramince présente une perméabilité très élevée, plus élevée que celle des couches minces classiques d'épaisseur supérieure à 100 nm. On superpose alors à cette couche magnétique une couche ultramince d'isoLant, par exempLe d'epaisseur de L'ordre de quelques nanomètres. On redépose ensuite une couche ultramince magnétique, etc. On obtient ainsi ce qu'on peut appeler un "sous-empilement" (par opposition à l 'empilement principal) formé de centaines ou plus de couches ultraminces. Le composite ainsi obtenu jouera le rôle de couche mince magnétique au sens du brevet principal. Il est également possible d'avoir une très forte épaisseur de couches ultraminces, puisque la résistivité de ce composite est suffisamment élevée pour qu'on puisse se passer des couches d'isolant "épais". Le sous-empiLement de couches ultraminces constitue alors à lui seul la couche mince du brevet principal. La résistivité du composite doit être supérieure à quelques Ohms-cm (5 par exemple). Des couches ultraminces d'alliage de cobalt avec de la silice ont fait gagner un facteur 10 sur La résistivité de l'alliage seul. Le gain en résistivité supplémentaire sera obtenu par un compromis judicieux entre L'épaisseur de l'alliage et celle de l'isolant. Il est également possible d'utiliser d'autres isolants, par exemple le carbone (en dépôt très fin et uniforme) ou des matériaux organiques. Il est aussi possible d'utiliser des artifices de dépôt (inclinaison du substrat, rugosité, etc.) On peut enfin déposer simultanément Les matériaux magnétique et isolant si Les couches obtenues sont formées en microdomaines magnétiques et isolants séparés, conduisant dès lors à une structure équivalente au sous-empilement alterné de couches ultraminces. De façon plus précise, le présent certificat d'addition a pour objet un enduit selon la revendication 3 du brevet principal, caractérisé par le fait que chaque couche magnétique amorphe de l'empilement est constituée d'un sous-empilement de couches magnétiques amorphes ultraminces et de couches isolantes ultraminces. Selon une autre variante et conformément à la revendication 1 du brevet principal, la couche mince constituant chaque copeau est constituée intégralement par un tel sous-empiLement de couches ultraminces. Le présent certificat d'addition a également pour objet un procédé de fabrication d'un tel enduit selon la revendication 10 du brevet principal, caractérisé par le fait que chaque couche magnétique amorphe de l'empilement est obtenue par dépôt d'un sous-empilement de couches magnétiques amorphes ultraminces et de couches isolantes ultraminces. Le présent certificat d'addition a encore pour objet un revêtement, qui est caracterisé par le fait qu'il comprend au moins une couche d'enduit tel qu'il a été défini plus haut. De toute façon, Les caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront mieux à la Lumière de la description qu suit. Cette description porte sur des exemples de réalisation donnés à titre explicatif et nullement limitatif et se réfère à des dessins annexés sur lesquels - la figure 1 montre le sous-empilement de couches ultraminces constituant chaque couche magnétique mince ; - la figure 2 montre un empilement de couches ultraminces sur un substrat. Sur la figure 1, on voit, sur la partie (a), la structure déjà décrite et illustrée dans le brevet principal avec son alternance de couches magnétiques amorphes 14, 18 et de couches isolantes 16, 20. Selon une première variante du présent certificat d'addition, chaque couche magnétique amorphe telle que 18 est formée d'un sous-empilement de couches magnétiques amorphes 50 et de couches isolantes 60. Par exemple, l'épaisseur des couches magnétiques est de 3 nm (ou moins) et celle des couches isolantes de 5 nm (ou moins). Sur la figure 2, on voit la seconde variante dans laquelle la couche unique il déposée sur le substrat 10 selon Le brevet principal (partie a) est constituée dans sa totalité d'un sous-empilement de couches ultraminces alternativement magnétiques (50) et isolantes (60). REVENDICATIONS 1. Enduit absorbant selon la revendication du brevet principal, caractérisé par le fait que chaque couche magnétique amorphe (14, 18, 22) de L'empilement est constituée d'un sous-empilement de couches magnétiques amorphes ultraminces (50) et de couches isolantes ultraminces (60). 2. Enduit absorbant selon La revendication 1 du brevet principal, caractérisé par le fait que La couche mince (11) constituant chaque copeau est constituée d'un sous-.pmpi Lement de couches magnétiques amorphes ultraminces (50) et de couches isoLantes ultraminces (60). 3. Enduit absorbant selon L'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé par Le fait que Les couches magnétiques amorphes ultraminces (50) ont unç épaisseur de L'ordre de queLques nanomètres et de préférence d'environ 3 nm. 4. Enduit absorbant selon l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé par Le fait que Les couches isolantes ultraminces (60) ont une épaisseur de L'ordre de queLques nanomètres et de préférence d'environ 5 nm. 5. Enduit selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé par Le fait que l'isoLant est du carbone. 6. Enduit selon L'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé par Le fait que L'isolant est un matériau organique. 7. Procédé de fabrication d'un enduit absorbant selon l'une au moins des revendications 1 à 6, caractérisé par, Le fait que chaque couche magnétique amorphe (14, 18, 22) de l'empilement est obtenue par dépôt d'un sous-empilement de couches magnétiques amorphes ultraminces (50) et de couches isolantes ultraminces (60). 8. Procédé de fabrication d'un enduit absorbant selon la revendication 9 du brevet principal, caractérisé par le fait que ledit empilement (11) déposé sous vide sur le substrat (10) est un sous-empilement de couches magnétiques amorphes ultraminces (50) et de couches isolantes ultraminces (60). 9. Procédé de fabrication d'un enduit absorbant selon la revendication 9 du brevet principal, caractérisé par le fait que ledit empilement (11) déposé sous vide sur le substrat (10) est un empilement de couches obtenues en déposant simultanément un matériau magnétique et un matériau isolant, Les couches obtenues étant formées de microdomaines magnétiques et isolants séparés. 10. Revêtement, caractérisé par le fait qu'il comprend au moins une couche d'enduit selon L'une quelconque des revendications 1 à 6.