Brevet FR2655762A1 — publié le 19910614

L'invention a pour objet les fusibles utilisés dans les circuits intégrés en technologie MOS. Des fusibles sont utilisés dans de tels circuits pour les configurer C'est à dire, pour définir à un moment donné, leurs fonctions, leurs ressources et les modes ou chemins d'accès à ces ressources Par exemple, dans les cartes à mémoire, de tels fusibles permettent de partitionner un plan mémoire initial EPROM ou EEPROM en zones accessibles en lecture /écriture et d'autres en lecture uniquement. Plusieurs configurations successives sont parfois nécessaires Elles correspondent chacunes à un niveau d'utilisation particulier, cette utilisation étant plus restreinte, plus spécialisée à chaque nouvelle configuration Par exemple, on peut définir trois niveaux d'utilisation pour une carte à puces ou à mémoire Le premier étant celui obtenu après fabrication de la carte, que l'on peut appeler le mode usine, c'est le plus ouvert, le moins spécialisé Il se caractérise par peu de restrictions ou d'interdictions de chemin d'accès La carte à puces peut- être utilisée en vue de diverses applications: téléphonie, banque On opère donc une première configuration qui particularise la carte: par exemple on configure la carte en mode usine en vue d'une application bancaire Elle peut alors être fournie à une banque C'est un mode intermédiaire Les fonctions et modes d'accès ont été limités, configurés pour correspondre aux formalités propres à une carte bancaire consignées dans un cahier de charges de la banque Celle-ci peut alors programmer ses informations propres, secrètes comme: un numéro d'identification, de compte, les opérations autorisées, dans une zone donnée Elle doit ensuite interdire toute reprogrammation ultérieure de cette zone Elle effectue donc une deuxième configuration, qui amène la carte en mode intermédiaire à un mode final, utilisateur Elle peut alors la transmettre à un utilisateur. Cet exemple d'utilisation non exhaustif rend cependant bien compte de l'intérêt des fusibles qui permettent la configuration, mais aussi du caractère fiable et sécuritaire dont ces fusibles doivent être pourvus, pour assurer le caractère irréversible des configurations successives ou non d'un circuit intégré: une fonctionnalité ne peut être modifiée d'aucunes façons En effet, pour ne citer qu'un exemple, il ne doit pas être possible à l'utilisateur de modifier les informations secrètes. On connait différents fusibles utilisables dans les circuits intégrés, réalisés par exemple sous forme d'une très fine couche de silicium polycristallin et alimentés en courant, par exemple par un transistor Quand un courant circule pendant un certain temps, un échauffement local se produit à cause de la section très fine du fusible Cet échauffement suffit à volatiliser le métal: le fusible est claqué En fait, il arrive que le fusible ne claque pas En pratique, un tel fusible n'est pas fiable. Il convient par ailleurs de noter l'utilisation très répandue des mémoires EPROM et surtout EEPROM dans les cartes à puces La nécessité en effet de garder trace de certaines informations, opérations dans une carte à puces tantôt sous-tension (dans le lecteur), tantôt hors-tension, a exclu l'utilisation des mémoires RAM, volatiles et ROM, non volatiles mais programmables par masque, à la fabrication. La non-nécessité de garder en permanence la trace de toutes les opérations, mais pour certaines, comme le solde du compte pour une application bancaire, seulement d'une utilisation à l'autre de la carte à puces, a donné un certain avantage à la mémoire EEPROM, effaçable électriquement dans le lecteur L'impossibilité d'effacer sur le site du lecteur une mémoire EPROM conduit en effet à une consommation de toute la mémoire programmable qui oblige à changer de carte quand cette mémoire a été entièrement programmée Or si la notion de carte jetable est encore de mise, on lui préfère la notion de carte rechargeable sur le site, en particulier, pour de simples motifs économiques Un avantage d'un fusible selon l'invention est de faire partie d'un tel plan mémoire EEPROM. Dans l'invention, on réalise un fusible en utilisant les propriétés connues des cellules mémoires EEPROM Selon l'invention les fusibles non claqués sont semblables a une cellule mémoire: ils font partie du plan mémoire Ce ne sont pas des ressources supplémentaires, différentes, et leur mode d'accès est celui des cellules mémoires du plan mémoire C'est par une programmation d'une cellule mémoire que celle-ci pourra être l'équivalent d'un fusible dit claqué. En effet, l'invention a pour objet un fusible MOS programmable caractérise en ce qu'il comporte une cellule mémoire EEPROM à oxyde tunnel d'un plan mémoire composé de cellules semblables, un régulateur de tension de programmation /effacement Vpp fournissant, par programmation d'une commande de commutation, une tension de programmation /effacement Vpp à front lent ou à front raide, un front lent permettant une programmation/effacement normale de la cellule mémoire, un front raide claquant l'oxyde tunnel et mettant alors la cellule mémoire dans un état irréversible. L'invention sera mieux comprise et d'autres caractéristiques apparaîtront à l'aide de la description qui suit, donnée à titre d'exemple indicatif et nullement limitatif de l'invention et en référence aux figures annexées, dans lesquelles: la figure 1 est un schéma en coupe d'une cellule MOS programmable à grille flottante, la figure 2 est un schéma électrique correspondant à la programmation normale ou en fusible d'une cellule mémoire EEPROM, selon l'invention, la figure 3 est un schéma-bloc d'un exemple de réalisation d'un générateur de tension de programmation à front raide ou lent, les figures 4 a et 4 b sont des diagrammes temporels de signaux électriques correspondant à la figure 3. La figure 1 est un schéma en coupe d'une cellule MOS EEPROM C connue Elle comporte une zone source S, une zone drain D, qui sont des diffusions par exemple N+ dans un substrat P Elle comporte en outre une grille de contrôle GC qui recouvre une grille flottante GF, toutes deux en silicium polycristallin La grille flottante GF est noyée dans de l'oxyde de silicium 100 qui l'isole en particulier de la grille de contrôle GC et du substrat. En fait, l'oxyde de silicium se comporte comme un diélectrique, d'une part entre la grille de contrôle GC et la grille flottante GF et d'autre part entre la grille flottante GF et le drain D ou la source S, ou encore le substrat On parle de couplage capacitif. D'une manière préférée, une région d'oxyde tunnel O est réalisée au niveau du drain D C'est une région d'oxyde de silicium plus mince au niveau du drain et qui facilite le transfert des charges entre le drain D et la grille flottante GF et inversement, sous l'effet d'un champ électrique L'oxyde tunnel facilite donc la programmation et l'effacement d'une telle cellule mémoire. En effet, effacer la cellule C consiste à porter sa grille de contrôle GC à un potentiel très positif Vpp, de l'ordre de 20 volts, et son drain D à la masse électrique Vss du circuit Par couplage capacitif entre la grille de contrôle GC et la grille flottante GF, on porte également la grille flottante GF à un potentiel très positif, de l'ordre de 10 volts On crée ainsi un champ électrique intense entre la grille flottante et le drain D, la source S de la cellule n'étant pas connectée, c'est-à-dire "en l'air": des électrons sont alors piégés sous la grille flottante GF Ils induisent une barrière de potentiel qui s'oppose à la conduction de la cellule mémoire: la tension de seuil de la cellule est élevée, de l'ordre de 5 volts On rappelle que la tension de seuil est la tension minimale qu'il faut appliquer sur la grille de contrôle GC, pour que la cellule mémoire C se mette à conduire. Programmer une cellule EEPROM effacée consiste à faire partir les électrons stockés sous la grille flottante GF on inverse le sens du champ électrique précédemment appliqué Ainsi le drain D est porté au potentiel Vpp et la grille de contrôle GC au potentiel Vss, la source S étant toujours non connectée (nc): les électrons piégés sont alors évacués Pour être sûr de la programmation, on maintient le champ électrique suffisamment longtemps Ce faisant, on fait également partir de la grille flottante des électrons libres qui contribuaient à la neutralité électrique du matériau de la grille flottante De cette manière, on importe en quelque sorte des trous dans la grille flottante. Lire la cellule mémoire C consiste à appliquer une tension de lecture Vl sur la grille de contrôle GC et une tension Vcc de l'ordre de 5 volts sur le drain D Vl vaut typiquement 1,5 volts Enfin, un circuit de lecture (figure 2), centré sur une tension de seuil comprise entre O et 5 volts, en général 2,5 volts, a son entrée 201 reliée au drain D, en un point A Ce circuit de lecture va par exemple détecter un " 1 "' si la cellule est programmée, un " O " si elle est effacée La cellule programmée se comporte en effet comme un circuit fermé, puisque la tension Vl sur sa grille de contrôle GC est supérieure à sa tension de seuil de l'ordre de -2 volts. La tension au point A chute et c'est cette chute qui est détectée par le circuit de lecture. La cellule effacée se comporte, elle, comme un circuit ouvert, la tension Vl étant alors inférieure à sa tension de seuil de l'ordre de 5 volts: la tension au point A ne chute pas. Cependant la programmation et l'effacement, qui sont des opérations d'écriture de la cellule, sont des opérations délicates L'oxyde tunnel O est en effet fragile, du fait de sa faible épaisseur ( 90 Angstr 8 ms). Aussi utilise t'on un régulateur de tension RG qui calibre le potentiel Vpp Ainsi on peut éviter tous pics ou surtensions qui pourraient endommager l'oxyde et réduire alors le nombre d'opérations de programmation et d'effacement possibles; en pratique, on assure de plus une commutation lente du potentiel Vpp le temps de montée typique est de l'ordre de 2 ms Ces conditions de programmation/ effacement permettent de réaliser de l'ordre de 100 000 opérations de programmation/ effacement, avant que la cellule ne soit déclarée "morte". Dans l'invention, par une commande de commutation Ccom, le régulateur de tension RG délivre un signal Vpp soit à front lent fl(z 2 ms), soit à front raide fr(loogs) et bien calibré (pas de surtensions) Un tel signal va alors claquer l'oxyde tunnel, c'est-à-dire le percer, court-circuitant ainsi le drain D et la grille flottante GF, sans endommager le reste de la cellule ou la circuiterie associée Et ceci étant donc causé par l'application brutale (front raide) du potentiel Vpp. Le court-circuit crée entre le drain D et la grille flottante GF est irréversible Il n'est possible d'aucunes manières de reconstituer l'oxyde tunnel O: c'est un état irréversible Mais quel est donc cet état? Le court-circuit entre le drain D et la grille flottante GF ne permet plus de stockage de charges positives ou négatives sur cette grille flottante GF: la tension de seuil correspondante est alors sensiblement nulle. Une lecture de la cellule "claquée" avec un circuit tel que décrit précédemment, donne donc une sortie logique " 1 ", soit un état dit programmé En effet, dans ce circuit de lecture, la tension de lecture Vl appliquée à la grille vaut environ 1,5 volts: VL est supérieure à la tension de seuil nulle de la cellule claquée La cellule C claquée va donc conduire et la tension au point A, chuter (figure 2). Avec un autre type de circuit de lecture, utilisant par exemple une valeur de Vl de l'ordre de -1 volts, on lirait alors une cellule dite effacée (qui ne conduit pas). Dans tous les cas, on obtient un état irréversible et "distinguable" par lecture, d'un précédent état on a un fusible à claquage d'oxyde tunnel programmable par une commande de commutation Ccom front lent/front raide. Il est donc programmable à tout moment dans une application. De plus, c'est un fusible à deux états de fonctionnement: avant d'être claqué, il est une cellule mémoire indifférenciée d'un plan mémoire non représenté. Ceci permet de valider la circuiterie associée à la cellule (accès, décodage, programmation/effacement, lecture), et d'augmenter la fiabilité d'un tel fusible selon l'invention En effet les fusibles classiques ont un état initial, et un état final irréversible Dans l'invention, un fusible a d'abord un état initial et un état final réversibles, puis par programmation (ou commutation) d'un front raide, un état final irréversible On peut aussi dire que l'on dispose alors, dans le plan mémoire, de cellules qui peuvent être dans trois états effacées, programmées ou claquées On a conjugué les qualités de programmation et d'effacement électriques d'une cellule mémoire EEPROM et celle d'irréversibilité d'un fusible, pour obtenir un fusible programmable à la demande et très fiable. Il est en pratique possible qu'un seul front raide ne suffise pas à claquer le fusible de l'invention Il suffit alors de relire l'état de la cellule, et de réappliquer un front raide, si la cellule n'est pas claquée Ceci suppose bien sûr de partir de l'état différent de celui dans lequel la cellule se trouve après claquage, cet état étant celui lu par le circuit de lecture Dans l'exemple d'une tension de lecture Vl de 1,5 volts, il faut que la cellule soit effacée avant de procéder à la commutation du front raide. On peut ainsi avoir jusqu'à 10 applications successives d'un front raide du signal Vpp, soit 10 boucles par exemple d'une programmation suivie d'une lecture Cet "algorithme de claquage" peut aisément être géré par micro-processeur Ou bien, on peut choisir d'appliquer systématiquement 10 fronts raides successifs en utilisant par exemple un compteur. Les figures 3, 4 a et 4 b décrivent un exemple de régulateur de tension RG qui permet d'obtenir un signal Vpp à front lent ou raide selon l'invention, par programmation On a vu que les circuits de programmation/effacement utilisent un régulateur de tension Vpp pour bien calibrer ce signal De manière connue, ce régulateur est alimenté par une tension externe ou de préférence par un élévateur de tension (pompe de charge) qui reçoit la tension Vcc du circuit (k 5 volts) et établit une tension VH supérieure de manière rapide (par exemple 20 gs), et qui est intégré au circuit La tension VH fournie par la pompe de charge est égale ou supérieure à la tension Vpp Par exemple elle peut valoir 25 volts. Classiquement un régulateur est constitué, dans un ler étage, d'une chaîne de transistors montés en diodes (grille et drain court-circuités) pour établir chacun entre sa source et son drain, une tension égale à sa tension de seuil Selon la technologie mise en oeuvre, la tension de seuil varie et le nombre de transistors en série permet de définir la tension régulée en sortie du régulateur. Par exemple, pour une tension de seuil de l'ordre de 1 volt des transistors en série montés en diode, il faut 20 transistors pour établir une tension régulée Vpp de l'ordre de 20 volts. En sortie du 1 er étage on a un circuit analogique qui constitue le 2 ème étage du régulateur. Ce circuit reçoit la tension de sortie du ler étage et fournit une tension en forme de rampe croissante de O à une valeur Vpp. La pente de croissance est d'environ 1 à 2 millisecondes pour aller à Vpp: c'est le signal Vpp à front lent. Pour obtenir un front raide, il suffit alors d'utiliser un deuxième circuit analogique, dont les paramètres seraient calculés pour fournir une pente de croissance d'environ 10 O Os pour aller de O à Vpp. Il suffit alors d'actionner un commutateur par la commande de commutation Ccom pour sélectionner un front raide ou un front lent Mais ces circuits analogiques sont complexes (typiquement plusieurs dizaines de transistors) , encombrants (ils utilisent des capacités) et ils sont très dépendants des paramètres de réalisation technologiques et de la température. Aussi propose-t'on un autre mode de réalisation préféré, qui comporte un moyen de commande numérique. Le régulateur RG (figure 3) comprend dans un premier étage un ensemble de k transistors en série, chaque transistor étant monté en diode, avec sa grille reliée à son drain, de manière à ce que s'établisse entre drain et source de chaque transistor une tension égale à la tension de seuil de ce transistor; il s'établit donc aux bornes de l'ensemble en série des k transistors, dès lors que la tension aux bornes de cet ensemble les met en régime de saturation, une tension égale à la somme des tensions de seuil de tous les transistors, c'est-à-dire égale à k fois la tension de seuil des transistors s'ils ont tous la même tension de seuil Vtp. Dans l'exemple représenté, l'ensemble en série comprend k transistors à canal P pour une réalisation sur substrat P, chacun des transistors étant réalisé dans un caisson séparé des autres pour avoir une tension de seuil plus stable (suppression de l'effet dit "de substrat" sur la tension de seuil) Une extrémité de il l'ensemble en série des transistors P est reliée au potentiel de masse Vss L'autre extrémité est reliée à la tension de sortie VH de la pompe de charge PC. Le régulateur, ainsi constitué d'un ensemble de transistors en série monté entre la tension VH et la masse Vss, limite la tension VH à une tension k Vtp. Selon la valeur de tension Vpp désirée et selon la valeur des tensions de seuil des transistors P, on choisit le nombre k de transistors nécessaire. On pourrait éventuellement avoir k transistors P et k' transistors N Toutefois on aurait une moins bonne stabilité de tension régulée. Dans un exemple numérique, la tension de seuil Vtp est de l'ordre de 1 volt Une vingtaine de transistors P sont nécessaires pour avoir une tension Vpp d'une vingtaine de volts. Le temps de montée du signal Vpp est obtenu par commande numérique de ces transistors Cette commande numérique utilise un compteur CT pour fournir un temps de montée selon un profil désiré C'est le 2 ème étage du régulateur. Le compteur CT a k sorties Si, 52, 53 Sk Le compteur est commandé par une horloge H 1. Les sorties du compteur commandent des interrupteurs Il, I 2, Ik, capables de court-circuiter ou décourt-circuiter chacun des transistors de l'ensemble en série de k transistors du régulateur Ce compteur fonctionne en comptage/décomptage, la sélection du sens de comptage étant commandée par la commande de commutation du régulateur, Ccom. Quand c'est le front lent qui est sélectionné par Ccom et de préférence, c'est le front lent qui est sélectionné à la mise sous tension, le compteur fonctionne en comptage Ainsi, la sortie Si permet de courtcircuiter le transistor P le plus proche de Vpp, la sortie 52 le suivant, etc, et la sortie Sk permet de court-circuiter le transistor P relié à la masse Tes niveaux logiques présents sur les sorties 51, 52 Sk, sont entre O volt et la haute tension Vpp, le compteur étant par conséquent alimenté par la tension Vpp produite. Le comptage se déclenche lors de l'ordre de production d'une tension Vpp, ordre fourni par exemple par un signal d'écriture W de la cellule mémoire Le compteur a initialement toutes ses sorties dans un état logique tel qu'elles court-circuitent tous les transistors Dans l'exemple représenté, les interrupteurs commandés par les sorties du compteur sont des transistors à canal N et sont courtcircuités par une tension de niveau haut sur leur grille On supposera donc qu'au départ les sorties du compteur fournissent toutes un état logique haut. Le signal W autorise alors le comptage par le compteur Le compteur n'est pas un compteur binaire (ou s'il l'est il est suivi d'un décodeur); il établit au premier coup d'horloge un état bas sur la sortie Si, puis, au deuxième coup d'horloge, un état bas sur la sortie 52 sans modifier l'état bas de Si, et ainsi de suite, il établit un état bas sur chacune des sorties successives jusqu'à Sk en laissant à chaque fois la sortie précédente dans l'état o il l'a mise au coup d'horloge précédent En vingt coups d'horloge, dans un exemple avec vingt transistors P, les sorties sont toutes passées à l'état bas et tous les transistors du régulateur sont décourt-circuités. Lorsque la dernière sortie Sk passe à l'état bas elle bloque le comptage (par exemple en bloquant l'horloge Hi), de sorte que le régulateur reste dans cette configuration, jusqu'à la fin de l'ordre de production de Vpp, ou même, en pratique, jusqu'à un nouvel ordre d'élaboration de Vpp (nouveau signal d'écriture W). Il en résulte que même si la pompe de charge produit très rapidement une tension élevée, ce qui est le cas en pratique ( 20 S par exemple), le régulateur va limiter cette tension à une valeur qui sera O puis Vtp, puis 2 Vtp, etc, jusqu'à k Vtp c'est-à- dire la tension Vpp finale désirée. La tension Vpp ainsi limitée par le régulateur à seuil variable va monter en escalier au rythme de l'horloge Hi (qu'il est facile de contrôler précisément). Quand c'est le front raide qui est sélectionné par Ccom, le compteur fonctionne en décomptage Ainsi, les sorties Si à Sk décourt-circuitent tous les transistors P en même temps. Le décomptage se déclenche lui aussi lors de l'ordre de production d'une tension Vpp, fourni dans l'exemple par le signal W Le compteur a initialement toutes ses sorties dans un état logique haut: elles courtcircuitent tous les transistors N (interrupteurs Il, Ik). Le signal W autorise alors le décomptage par le compteur. Le décomptage est stoppé après le premier coup d'horloge H 1 En effet, le premier décomptage fait passer toutes les sorties du compteur au niveau logique bas Or, on a prévu que lorsque la dernière sortie Sk passe à l'état bas elle bloque l'horloge Hi: elle bloque donc le décomptage De cette manière, le régulateur reste dans cette configuration, jusqu'à la fin de l'ordre de production de Vpp, ou même, en pratique, jusqu'à un nouvel ordre d'élaboration de Vpp (nouveau signal d'écriture W) On pourrait bloquer le décomptage sur le passage à l'état bas d'une quelconque sortie Si à Sk, puisqu'elles changent toutes d'état en même temps. Les figure 4 a et 4 b représentent cette croissance de la tension limite du régulateur (donc la croissance de Vpp) en relation avec les commutations successives (figure 4 a) ou simultanées (figure 4 b) de l'état logique des sorties Si à Sk du compteur CT. Si on a 20 transistors à canal P, les tensions de seuil étant de 1 volt environ, le compteur aura 20 sorties En comptage, pour obtenir une tension passant de O à 20 volts environ en un peu moins de 2 millisecondes, il faudra prendre une horloge HI de 10 kilohertz En décomptage, le temps de montée qui est de une période d'horloge, sera alors de i 00 gs. Plus généralement, pour obtenir un temps de montée lent Tm avec un compteur à k sorties et un régulateur ayant k tensions limites possibles, on utilisera une horloge de fréquence k/Tm La fréquence pourra être entre k/2 et k kilohertz pour un temps de montée de 1 à 2 millisecondes Le temps de montée rapide est lui de Tm/k. L'expérience montre que les échelons de la tension Vpp obtenus par le comptage (front lent), ne sont pas très gênants; d'une part ils n'existent que pendant la phase transitoire de montée de Vpp; d'autre part les nombreuses résistances et capacités parasites des circuits que Vpp est destinée à alimenter atténuent très fortement ces échelons. Par ailleurs, un régulateur RG à commande numérique tel que décrit permet d'utiliser pour le claquage une tension Vpp à front raide, de valeur supérieure à celle à front lent Par exemple, la tension Vpp à front raide peut être supérieure de quelques Vtp à la tension Vpp à front lent Il suffit en effet de disposer dans le premier étage de k+n transistors P en série, montés en diode, et d'un compteur à n+k sorties ( Si à Sk+n) En comptage (obtention d'un front lent), seuls les k premiers transistors sont successivement décourt-circuités selon le principe déjà décrit Par contre, en décomptage, les n+k transistors sont tous décourt-circuités en même temps: dans le premier cas Vpp vaut k Vtp, dans le second cas Vpp vaut (k+n)Vtp. Si k vaut 20 et N vaut 5, on a par exemple une tension Vpp égale à environ 20 volts pour la programmation et l'effacement, et égale à environ 25 volts pour le claquage de la cellule mémoire Ceci est possible à condition toutefois que la valeur VH fournie à l'entrée du régulateur soit au moins égale à la valeur recherchée, 25 volts dans l'exemple Le régulateur ne peut délivrer en effet en sortie qu'une tension au maximum égale à VH. Une telle tension de claquage supérieure combinée à un front raide permet d'améliorer le claquage de l'oxyde tunnel L'arrêt du comptage et du décomptage peut toujours se faire sur le passage à l'état bas de la sortie Sk du compteur puisque pour le décomptage, les états sur les sorties Si à Sk+n sont établis tous en même temps. De même, un compteur pour lequel on peut initialiser une valeur, par programmation par exemple d'un registre du compteur, dans un régulateur selon l'invention, est du domaine de l'invention Cette possibilité permet par exemple de choisir par programmation du compteur, la valeur de Vpp pour le claquage Par exemple cette valeur peut être égale à k Vtp, ou (k+ l)Vtp et initialisée par programmation dans le compteur Par exemple, la valeur de claquage peut être déterminée par l'algorithme de claquage. REVENDICATIONS 1 Fusible MOS programmable caractérisé en ce qu'il comporte une cellule mémoire EEPROM (C) à oxyde tunnel (O) d'un plan mémoire composé de cellules semblables, un régulateur de tension (RG) de programmation /effacement (Vpp) fournissant, par programmation d'une commande de commutation (Ccom), une tension de programmation /effacement (Vpp) à front lent (f 1) ou à front raide (fr), un front lent permettant une programmation/effacement normale de la cellule mémoire (C), un front raide claquant l'oxyde tunnel et mettant alors la cellule mémoire dans un état irréversible. 2 Fusible selon la revendication 1, caractérisé en ce que le régulateur de tension (RG) comprend un ensemble de transistors en série, montés en diode et établissant entre source et drain une tension égale à leur tension de seuil (Vtp) et en ce qu'un moyen de commande numérique comprend un compteur (CT) apte à établir un état logique déterminé sur chacunes de ses sorties, soit successivement pour une commande de commutation (Ccom) d'un front lent (f 1), soit en même temps pour une commande de commutation d'un front raide (fr), et un moyen (Il à IK) commandé par les sorties du compteur pour initialement court-circuiter les transistors montés en diode, puis les décourt-circuiter soit progressivement les uns après les autres au fur et à mesure du comptage pour avoir un front lent, soit tous en même temps par décomptage pour avoir un front raide. 3 Fusible selon la revendication 2, caractérisé en ce que le compteur est un circuit à k sorties, qui, en comptage, établit à chaque coup d'horloge un niveau logique déterminé sur une nouvelle sortie, en laissant à chaque fois le niveau établi sur la sortie précédente et qui, en décomptage, établit à chaque coup d'horloge un niveau logique déterminé sur toutes les sorties, et en ce qu'il est prévu un moyen pour arrêter le comptage et le décomptage lorsque la dernière sortie a été mise au niveau déterminé. 4 Fusible selon la revendication 2, caractérisé en ce que le compteur est un circuit à k+n sorties, qui, en comptage, établit sur les k premières sorties (Sl, Sk) de rangs 1 à k, les unes après les autres, à chaque coup d'horloge un niveau logique déterminé sur une nouvelle sortie, en laissant à chaque fois le niveau établi sur la sortie précédente et qui, en décomptage, établit à chaque coup d'horloge un niveau logique déterminé sur toutes les k+n sorties (Sl à Sk+n), et en ce qu'il est prévu un moyen pour arrêter le comptage et le décomptage lorsque la sortie de rang k a été mise au niveau déterminé.