Brevet FR2650602A1 — publié le 19910208

PROCEDE DE REALISATION DE CAGES POUR LE DEPOT, DANS UN REACTEUR DE DEPOT EN PHASE VAPEUR, DE COUCHES MINCES SUR DES SUBSTRATS, ET CAGES OBTENUES PAR LA MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE L'invention concerne un procédé de réalisation de cages pour le dépôt, dans un réacteur de dépot en phase vapeur, de couches minces sur des substrats et s'étend aux cages obtenues par la mise en oeuvre de ce procédé. Les techniques -de dépôt en phase vapeur destinées à revêtir des substrats de matériaux divers sont couramment utilisées à l'heure actuelle, notamment, dans le secteur électronique,. pour la fabrication de composants biectroniques ou de cIrcuits intéqrés : revêtement' de plaquettes de films minces conducteurs, semi-conducteurs ou isolants. Cette opération est réalisée dans des réacteurs de dépôt en phase vapeur comportant une enceinte à l'intérieur de laqueile est introduit une nacelle supportant une pluralité de substrats, qénéralement constitués de minces plaouettes circulaires, rangés côte 9 côte. A l'intérieur de cette enceinte, une phase gazeuse constituée par un gaz vecteur c.ontenant le ou les composés réactifs est amenée à circuler au contact des substrats à revêtit portés à une température précise appropriée. Dans certains cas, ces techniques utilisées, comme indiqué ci-dessus, pour revêtir les plaquettes de films minces conducteurs, semi-conducteurs ou isolants, permettent d'obtenir des dépota uniformes. Mais dans la majorité des cas le dépôt présente des hétérogénéités. Ceci est notamment le cas lorsqu'on désire réaliser un dopage de la couche mince, ce qui oblige à réaliser .ce dopage ultérieurement par diffusion ou implantation dans un appareil différent; Cette solution présente toutefois un inconvénient majeur du fait qu'au moins deux opérations nécessitant au moins deux appareils différents sont nécessaires pour effectuer le dépôt du film mince puis le dopage de ce film. Pour ces raisons, de nombreuses expérimentations ont été menées, notamment, dans le but de procéder au dépôt de couches minces de conducteurs, semiconducteurs ou isolants, par pyrolyse ou réaction simultanée de plusieurs gaz libérant à la fois le constituant solide essentiel et le dopant. Toutefois, à l'heure actuelle, bien que ce procédé soit de pratique courante au niveau des laboratoires, sa transposition à l'échelle industrielle soulève encore des difficultés importantes. En effet, les expérimentations effectuées ont conduit à la réalisation de plaquettes revêtues d'un film présentant des hétérogénéités importantes aussi bien en ce qui concerne l'épaisseur de la couche que la composition du dopant.De telles hétérogénéités ont en particulier été relevées lors de l'expérimentation de ce procédé en vue du dépôt de films très importants dans le secteur électronique, tels que le silicium polycristallin dopé au phosphore, la siiice dite LTO (oxyde basse température) ou la sIlice dopée au phosphore. Ii convient toutefois de noter qu'une solution a été découverte empiriquement. Cette solution consiste à enfermer les plaquettes supportées par une nacelle dans une cage constituée principalement d'une enveloppe cylindrique perforée sur sa périphérie et présentant un diamètre sensibiement supérieur à celui des plequettes. Bien que de nombreux types de cages soient proposés et commercialisés sur la base de ce principe, cette solution présente néanmoins plusieurs inconvénients. En premier lieu, les cages sont génératrices de particules. En effet, les dépôts qui se forment sur les parois de ces cages sont rapidement fissurés par les dilatations différentielies et émettent des particules. Or la présence de ces particules s'avère particulièrement gênante dans -un secteur où les impératifs de propreté prennent de plus en plus d'importance. En effet, l'insertion de teiles particules dans les couches d é p o s é e s p r o v o q u e n t d e s c o n t a m i n a t i o n- s e t des dysfonctionnements des composants. D'autre part, ces cages ne permettent généralement pas le charqement, ni le déchargement automatiques des plaquettes, de même que l'enfournement et le défournement automatiques. Enfin, elles sont conçues empiriquement, sans que le principe de fonctionnement ne soit réellement compris, de sorte que chaque nouvelle réaiisation nécessite une mise au point longue et coûteuse. La présente invention se propose de fournir une nouvelle cage pour le dépôt de couches minces apportant une solution aux problèmes ci-dessus évoqués. L'objectif essentiel de l'invention est de permettre un dépôt homogène de couches minces au moyen d'une cage pouvant, dans chaque cas particulier, être conçue et optimise sans tâtonnements empiriques longs et coûteux. Un autre objectif est de fournir une cage ne générant pas de production de particules. Un autre objectif est de fournir une cage de conception adaptée pour permettre la réalisation soit d'un premier mode de réalisation où les substrats sont supportés par une nacelle classique lors de l'introduction dans cette caqe, soit d'un deuxième mode de réalisation où cette cage joue éqaiement ie rôle de nacelle. A cet effet, itinvention concerne un procédé de réalisation d'une caque pour le dépôt sur des substrats d'une couche mince, caractérisée en ce qu'il consiste - à amener, préliminairement, une phase gazeuse à circuler au contact de substrats-tests de dimensions cerEitltment enl::quts 8 celle des substrats à traiter, - à relever sur la périphérie desdits substrats-tests la largeur de ia zone de dépôt hétérogène, - à réaliser des plaques, dites de dépôt radi-ai, de dimensions supérieures à celles des substrats, déterminant, seules ou en combinaison avec un substrat, une surface correspondant à celle dudit substrat additionnée d'une surface périphérique de largeur au moins égale à celle de la zone hétérogène déterminée préliminairement, - et à réaliser une cage constituée d'une pluralité de plaques de dépôt radial espacées, maintenues à distance les unes des autres, et adaptées pour former chacune, sur ia périphérie d'un substrat et sensiblement dans le même plan que celui-ci, une surface de dépôt radiale de largeur au moins égale à celle de la zone hétérogène déterminée préliminairement. Le principe à la base de l'invention consiste donc à réaliser une cage constituée de plaques de dépôt radial destinées à former avec chaque substrat l'équivalent d'un substrat de dimensions supérieures conçu de telle sorte que la zone hétérogène du dépôt, d'épaisseur non uniforme, se dépose sur la périphérie. de la plaque et que la zone homogène se dépose sur le substrat. En outre, selon le procédé de l'invention, les caractéristiques géométriques des plaques de dépôt radial sont déterminées, non pas par des tâtonnements empiriques lonqs et coûteux, mais simplement par le biais d'une expérimentation préliminaire et d'un relevé précis des résultats de cette expérimentation. Ces caractéristiques qéométriques peuvent donc être déterminées et optimisées à moindres frais dans chaque cas particulier. En outre, les plaques de dépôt radial sont préférentiellement dimensionnées de façon à former autour des substrats une zone de dépôt de largeur comprise entre 1,1 et 1,2 fois la larqeur de la zone de dépôt hétérogène déterminée préiíminairement. Cette précaution constitue un coefficient de sécurité permettant de s'affranchir de t ou t aléa de fonctionnement et tenant compte d'une marge d'erreur lors de la détermination des dimensions des plaques. Par ailleurs, il est à noter que par l'expression "sensiblement dans le même plan que le substrat" on entend définir que les substrats sont positionnés soit dans le même plan que la plaque, soit au voisinage immédiat de ceile-ci, la distance entre plaques et substrats étant au maximum égale à 2 mm, soit environ 4 à S fois l'épaisseur de ces substrats. En effet, selon le procédé de l'invention décrit ci-dessus, deux types de conception principaux peuvent être envisagés pour la réalisation des plaques de dépôt radial. Un premier mode de mise en oeuvre consiste à réaliser des plaques de dépôt radial constitués de disques pleins, et une cage comportant des organes de maintien adaptés pour positionner un substrat au voisinage immédiat d'un disque. Cette cage est en outre préférentiellement réalisée en reliant les disques entre eux au moyen d'un premier jeu de tiges longitudinales disposées dans la zone périphérique des disques, et d'un deuxième jeu de tiges lonqitudinales dotées d'encoches transversales ménagées de façon à assurer le positionnement et le maintien d'un substrat a proximité immédiate de chaque disque, de façon que la distance entre lesdits disque et substrat soit supérieure à 0,1 mm, afin d'éviter les risques de pontage, et inférieure à 2 mm. Le premier avantage d'une telle cage réside dans le fait qu'elle remplit non seulement sa fonction spécifique consistant à obtenir un dépôt homogène sur les substrats, mais forme également une nacelle support des substrats. En outre, les disques pleins, dont l'épaisseur peut être facilement adaptée en vue d'obtenir des caractéristiques mécaniques satisfaisantes, peuvent être produits industrieilement à des coûts de revient relative-ment faibies. Enfin, une telle caqe ouvre toutes les possibiiités d'automatisatlon des opérations. de chargement et de déchargement. Le deuxième mode de réalisation consiste à réaliser des plaques de dépôt radial présentant la forme de couronnes de section interne conjuguée et sensiblement supérieure à celle des substrats, apte à entourer au moi-ns un desdits substrats, et de largeur correspondant à la largeur de la zone de dépôt hétérogène déterminée préiiminairement. L'avantage essen-tiel d'une telle cage réside dans le fait que les substrats sont disposés dans le même plan que les couronnes, c'est-à-dire dans les mêmes conditions opératoires que celles mises en oeuvre lors des essais préliminaires. De ce fait, la marge d'erreur lors de la détermination de la largeur de la couronne se trouve notablement diminuée. Par ailleurs, bien que l'épaisseur de chaque couronne puisse être adaptée pour qu'à chacune de ces couronnes corresponde un substrat, cette épaisseur est préférentiellement déterminée pour que chaque couronne entoure deux substrats disposés côte à côte.Les substrats n'ayant qu'une face utile à revêtir, une telle disposition permet en effet, au niveau de chaque couronne, de placer les substrats dos à dos, ctest-à-dire avec leurs faces arrières en regard de façon qu'ils définissent deux types de compartiments : un compartiment correspondant à l'espacement entre deux couronnes et dans lequel les surfaces utiles sont suffisamment distantes pour obtenir une vitesse de dépôt appréciable (cette vitesse de dépôt augmentant généralement avec la distance séparant deux substrats) et un second compartiment, fonction de l'épaisseur de la couronne, dans lequel les faces arrières sont en regard. - Une telle solution présente p1 us i e u r s avantages. En premier lieu, le nombre de couronnes nécessaires est réduit de moitié et ces dernières sont beaucoup plus robustes et bon marché. De plus, un plus grand nombre de substrats peut être traité dans un réacteur car la distance moyenne entre ces substrats est réduite. Par ailleurs, selon ce deuxième mode de mise en oeuvre de cage, plusieurs modes de réalisation peuvent être envisagés. Un premier mode de réalisation consiste à réaliser une cage constituée de couronnes d'un seul tenant dotées d'une tranche interne comportant des encoches, et à disposer les substrats sur une nacelle comportant des tiges support longitudinales disposées en position conjuguée des encoches des couronnes. La cage ainsi réalisée est donc destinée à être utilisée avec une nacelle supportant les substrats, cette nacelle et cette cage étant en outre conçues pour que l'espace interstitiel entre les substrats et les couronnes les entourant soit le plus réduit possible. Un deuxième mode de réalisation consiste à réaliser une cage constituée d'au moins deux coquilles comportant chacune une pluralité d'ailettes reliées entre elles par des tiges longitudinales, lesdites coquilles étant adaptées pour venir s'assembler autour d'une nacelle support de substrats de façon à former une couronne autour de chacun desdits substrats. Cette conception est particulièrement adaptée pour permettre un montage rapide de la cage sur les nacelles actuelles sans modification de ces dernières. Enfin, un troisième mode de réalisation consiste à réaliser une cage constituée d'au moins deux coquilles comportant chacune une pluralité d'ailettes reliées entre elles par des tiges longitudinales, disposées au niveau d'une tranche desdites ailettes et dotées -d'encoches transversales ménagées de façon à assurer le positionnement et le maintien des substrats dans la position assemblée des coquilles. Cette cage remplit donc non seulement sa fonction spécifique permettant un dépôt homogène sur'les substrats, mais forme également une nacelle supportant ces substrats En outre, une telle cage ouvre toutes les possibilités d'automatisation des opérations de chargement et de déchargement des substrats. Par ailleurs, les plaques de dépôt radial, disques ou couronnes, peuvent être réalisées dans des matériaux divers teis que quartz, carbure, carbure de silicium, carbone, qraphite... présentant des propriétés d'inertie chimique. Elles peuvent aussi être réalisées en silicium nonocristal lin, c'est-à-dire le même matériau que les substrats les oius utilisés pour fabriquer les composants électroniques, en choisissant une moins bonne qual-ité de matériau au point de vue des défauts cristallins. et 4ìe^tr qurs. Une telle solution constitue une possibilité de réemploI des rejets de fabrication des plaquettes. De plus, ce matériau n'introduit pas de phénomène de dilatation différentielle et n'est pas générateur de production de particules. L'invention s'étend à des cages susceptibles d'être mises en oeuvre par le procédé décrit ci-dessus et comprenant - une pluralité de plaques, dites de dépôt radial, présentant chacune des dimensions supérieures à celle de substrats à traiter; déterminant, seules ou en combinaison avec un substrat, une surface correspondant à celle dudit substrat additionnée d'une surface périphérique de largeur AR, - des moyens de liaison des plaques de dépôt radial adaptés pour les maintenir à distance les unes des autres, - et des organes-support des substrats adaptés pour. positionner chacun de ceux-ci sensiblement dans un même plan qutune plaque de dépôt radial de façon que chacune desdites plaques forme, sur la périphérie dudit substrat, une surface de dépôt radiale largeur AR. D'autres caractéristiques, buts et avantages de l'invention ressortiront de la description détaillée qui suit en référence aux dessins annexés qui en représentent à titre d'exemples non limitatifs quatre modes de réalisation préférentiels, et une variante de réalisation commune à trois desdits modes de réalisation.Sur ces dessins qui font partie intégrante de la présente description - la figure 1 est une vue de côté longitudinale d'un mode de réalisation de cage conforme à l'invention, comportant des plaques de dépôt radial constitués de disques pleins, - la figure 2 en est une coupe transversale par un plan vertical D;; - la figure 3 est une vue en perspective d'un premier mode de réalisation de cage conforme à I l'invention, comportant des plaques de dépôt radial en forme de couronnes et constituée d'une coque cEiindrique d'un seui tena-nt adaptée pour ioqer une nacelle supportant les plaquettess - la figure 4. est une vue schématique de face, à écheile agrandie, d'une couronne de cette cage enserrant une plaquette circulaire, - la figure 5 est un diagramme représentan.t le profil de l'épaisseur du dépôt sur un ensembie couronneplaquette conforme à la figure 4, - la figure 6 est une coupe longitudinale partielle à échelle agrandie d'une variante de réalisation de cage comportant des plaques de dépôt radial en forme de couronnes, - la figure 7 est une coupe transyersale d'un deuxième mode de réalisation de cage comportant des plaques de dépôt radial en forme de couronnes et constituée de trois coquilles adaptées pour venir se positionner sur une nacelle, - la figure 8 est une vue en perspective d'un troisièmé mode de réalisation de cage conforme à l'inventIon comportant des plaques de dépôt radial en forme de couronnes et constituée de deux coquilles hé-micylindriques, représentées en position séparée, - la figure 9 est une coupe longitudinale par un plan vertical A de la figure 10 de cette cage, dans la position assemblée des coquilles, - la figure 10 en est une coupe transversale par un plan vertical B de la figure 9, dans la position assemblée des coquilles. Les cages représentées aux figures sont destinées à être introduites dans des enceintes de réacteurs de dépôt en phase vapeur en vue de permettre le dépôt homogène d'un film sur les plaquettes renfermées à l'intérieur de ces cages. Les plaquettes représentées à ces figures sont des plaquettes circuiaires telles que notamment utilisées de façon classiaue dans le domaine électronique. Il est à noter toutefois que cette forme de plaquette n'est pas limitative, et que de telles cages peuvent être adaptées à d'autres formes de plaquettes (carrées, rectangulaires...) moyennant une modification adéquate de la forme des plaques de dépôt radial. La cage 1 représentée en premier lieu aux fiqures 1 et 2 est réalisée à partir de plaques de dépit radial constituées de disques pleins 2 à proximité de chacun desquels se trouve positionnée une plaquette 3. Cette cage 1 est donc constituée d'une pluralité de disques pleins équidistants 2, disposés parallèlement les uns par rapport aux autres. Ces disques pleins 2 présentent un diamètre supérieur à celui des plaquettes 3, déterminé à partIr d'essais préliminaires, de façon à former une surface de dépôt périphérique radial autour des plaquettes 3. Ces disques pleins 2 réalisés à partir de matériaux tels que quartz, silicium monocristallin, carbure, carbure de silicium, carbone; graphite... sont portés par trois tiges longitudinales telles que 4 s'étendant au travers d'orifices ménagés en regard dans la zone périphérique desdits dIsques. Le maintien à distance de ces disques 2 est en outre réalisé au moyen de manchons 5 disposés autour des tiges longitudinales 3. Par ailleurs, cette cage 1 comporte trois autres tiges longitudinales 6 s'étendant également au travers d'orifices ménagés dans les disques pleins 2 et disposées de façon à constituer une nacelle support des plaquettes 2. Ces trois tiges 6 sont, en outre, dotées au voisinage de chaque disque 2, c'est-à-dire à une distance de ces disques supérieure à 0,1 mm et inférieure à 2 mn, d'une encoche transversale 7 destinée à assurer le positionnement et le maintien des plaquettes 3. Ainsi, outre sa fonction spécifique de cage, cette cage 1 sert également de nacelle pour le support des plaquettes 3, cette nacelle étant de plus compatible avec l'utilisation de tout système d'automatisation de charaement et de déchargement. Enfin, chaque disque d'extrémité 8 présente une section supérieure conjuguée de celle des autres disques 2 et une section inférieure trapézoldale faisant office de pied pour la cage 1. Les cages représentées aux figures 3, 6, 7, 8, 9 et 10 sont quant à elles réalisées à partir de plaques de dépôt radial présentant ia forme de couronnes de section interne adaptée pour entourer au moins une plaquette 2 et- de largeur, déterminée à partir d'essais préiiminaires, adaptée pour former une surface de dépôt périphérique radial autour des plaquettes 3. Selon un premier mode de réalise t ion représenté à la figure 3, la cage 9 présente la forme d'un cylindre constitué d'une pluralité d'ailettes équidistantes 10 de forme annulaire. Ces ailettes 10 sont portées par des tiges longitudinales 11 s'étendant au travers d'orifices ménagés en regard dans lesdites ailettes. Le maintien à distance des ailettes 10 les unes par rapport aux autres est, en outre, assuré au moyen de manchons 12 disposés autour des tiges longitudinales 11. Cette cage 9 est adaptée pour loger une nacelle 13 support de plaquettes 3 sur laquelle ces plaquettes sont disposées à une distance l'une de l'autre équivalente à celle séparant les ailettes 10. En l'exemple, cette nacelle 13 est constituée de trois barres longitudinales 14 disposées selon les sommets d'un triangle inversé et solidarisées entre elles au niveau de chacune de leurs extrémités par des traverses 15. Ces barres longitudinales 14 sont en outre dotées classiquement d'encoches 16 pour le positionnement et le maintien des plaquettes 3. Par ailleurs, en vue de permettre l'introduction de la nacelle à l'intérieur de la cage tout en minimisant l'espace interstitiel entre la face périphérique des plaquettes et les ailettes 10, ces ailettes 10 sont dotées d'encoches en position conjuguée des barres longitudinales 14 pour le guidage de ces barres. Par ailleurs, et tel que représenté aux figures 4 et 5, chaque ensemble plaquette 3 - ailette 10 présente un rayon total R + bR tel que le zone homogène du dépôt intéresse la surface de rayon R de la plaquette 3 et la zone hétérogène de ce dépôt intéresse la largeur AR de l'ailette. S e 1 o n u n e v a r i e n t e r e p r é s en t.é e schématiquement à la fiqure 6, le cage 9 peut également être constituée d'ailettes 10 d'épaisseur adaptée pour loger chacune deux plaquettes circulaires 3 disposées côte à côte. Dans cette version, le nombre d'ailettes 10 est réduit de moitié, une seule ailette servant pour deux plaquettes 3, et le nombre (e plaquettes j 3 pouvant être traites darus un même réacteur se trouve donc augmenté. A l'intérieur d'une ailette ld, les plaquettes 3 sont, en outre, disposées avec leur face arrière en regard (faces non destinées à être traitées), de façon que la tranche interne de cette ailette recouvre la tranche des deux plaquettes 3 et ferme périphériquement l'espace compris entre ces dernières. Selon le mode de réalisation représenté à la figure 7, la cage 17 est constituée de trois coquilles : une coquille supérieure 18 de forme semi-cylindrique et deux coquillas inférieures 19, 20 présentant sensiblement la forme d'un quart de cylindre. Comme précédemment, chacune de ces coquilles 18, 19, 20 comporte une pluralité d'ailettes équidistantes solidarisées à des tiges support longitudinales telles que 21. Cette cage 17 est particulièrement adaptée pour être disposée autour de nacelles de types connus n'autorisant pas la mise en place de deux coquilles semicylindriques supérieure et inférieure. La nacelle représentée à la figure 7 comporte ainsi quatre barres longitudinales 22 dotées d'encoches pour le maintien des plaquettes 3. Ces quatre barres sont disposées selon les sommets d'un trapèze inversé dont la largeur de la petite base inférieure, vu l'encombrement des deux barres inférieures 22 n'autorise pas la mise en place d'une coquille inférieure d'un seul: tenant. La division de la cage 17 en trois coquilles 18, 19, 20 permet d'adapter le principe de l'invention à divers t y p e s de nacelies existantes, tout en autorisant une mise en place et un retrait rapides de cette cage. Le maintien de chaque coquille 18, 19, 20 sur la nacelle peut, en outre, être assuré par i'intermédiaire d'encoches ménagées dans les ailettes en position conjuguée des barres 22. Enfin, la cage 23 représentée aux figures 8 à 10 est constituée de deux coquilles hémicpiindriques supérieure 24 et inférLeure 25 adaptées pour venir se juxtaposer l'une sur i'autre de façon à former une cage cylindrique. Chaque coquiiie 24, 25 est composée d-'une pluralIté d'ailettes 26 de formes semi-annulaires. Les aIlettes 26 de chaque coquille 24, 25 sont en outre disposées de façon à se superposer deux à deux de façon à former une couronne de diamètre interne sensiblement supérieur à celui d'une plaquette circulaire de façon à éviter d'éventuels effets de pontage. Ces ailettes 26 équidistantes entre elles sont portées par trois tiges longitudinaies telles -que 27 sur lesquelles elles sont assembiées soit de façon rigide, notamment par soudage, soit de façon démontahle par insertion de la tranche interne de ces ailettes à l'intérieur d'encoches ménagées sur les tiges, et maintien desdites ailettes par tout moyen de serrage adéquat. En outra, chacune des tiges 27 est dotée à l'aplomb de chaque ailette 26, d'une encoche transversale 28 assurant le positionnement et le maintien d'une plaquette circulaire 3. Ainsi, outre sa fonction spécifique de cage, cette cage sert également de nacelle pour le support des plaquettes 3, cette nacelle étant de plus compatible avec l'utilisation de tout système d'autornatisation de chargement et de déchargement. Enfin, chaque extrémité longitudinale des tiges 27 est solidarisée à une paroi d'about telle que 29 ou 30. La paroi d'about 29 de la coquille supérieure 24 présente une forme semi-circulaire conjuguée de celle des ailettes 26. La paroi d'about 30 de la coquille inférieure 25 présente quant à elle une section supérieure de forme semi-circulaire adaptée pour coopérer avec la paroi d'about 29 et une section inférieure de forme trapézoldale destinée à faire office de pied pour la cage. I1 .est à noter, enfin que les cages représentées respectivement aux figures 7, 8, 9 et 10 peuvent également être réalisées selon le principe de la figure 6, c'est-à-dire avec une seule ailette pour deux plaquettes 6. Enfin, bien que toutes les cages représentées aux figures soient constituées de plaques de dépôt radial paraiièies les unes par rapport aux autres et soient destinées à être utilisées dans un réacteur de dépôt doté d!une enceinte allongée, des cages réalisées selon le même principe peuvent également être utilisées dans des réacteurs dotés d'une enceinte de forme annulaire. A cet effet, la seule modification consiste à disposer les plaques de dépôt radial, de façon radiale le long d'une courbe circulaire. REVENDICATIONS 1/ - Procédé de réalisation d'une cage pour le dépôt, dans un réacteur de dépôt en phase vapeur, d'une couche mince sur des substrats (3), caractérisé en ce qu'il consiste - à amener, préliminairement, une phase gazeuse à circuler au contact de substrats-tests de dimensions sensiblement identiques à celles des substrats à traiter, - à relever sur la périphérie desdits substrats-tests la largeur de la zone de dépôt hétérogène, - à réaliser des plaques (2 ; 10 ; 18, 19, 20 ; 26), dites de dépôt radial, de dimensions supérieures à celles des substrats (3), déterminant, seuies ou en combinaison avec un substrat, une sur face correspondant à celle dudit substrat addItionnée d'une surface périphérique de largeur au moins égale à celle de la zone hétérogène déterminée préiiminairement, - et à réaliser une cage (1 ; 9 ; 17 ; 23) constituée d'une pluralité de plaques de dépôt radial (2 ; 10 ; 18, 19, 20 ; 26) espacées, maintenues à distance les unes des autres, et adaptées pour former chacune sur la périphérie d'un substrat (3) et sensiblement dans le mena plan que celui-ci, une surface de dépit radiale de largeur au moins égaie à celle de la zone hétérogène déterminée préiiminairement. 2/ - Procédé selon la revendication 1 caractérisé en ce que i'on dimensionne les plaques- de dépôt radial (2 ; 10 ; 18, 19, 20 ; 26) de façon qu'elles forment sur la périphérie des substrats (3), -une surface de dépôt radiale de largeur comprise entre 1,1 et 1,2 fois la largeur de la zone hétérogène déterminée préliminairement. 3/ - Procédé selon l'une des revendications 1 ou 2 caractérisé en ce que l'on réalise une cage pour réacteur de dépôt doté d'une enceinte allongée, constituée d'une pluralité de plaques de dépôt radial espacées, maintenues parallèlement les unes par rapport aux autres. 4/ - Procédé selon l'une des revendications 1 ou 2 caractérisé en ce que l'on réalise une cage pour réacteur de dépôt doté d'une enceinte annulaire, constituée d'une pluralité de plaques de dépat radial espacées, disposées de façon radiale de façon à former une cage de forme annulaire. 5/ - Procédé selon l'une des revendications 1, 2, 3 ou 4 caractérisé en ce que l'on réalise des plaques de dépôt radial constituées de disques pleins (2), et une cage (1) comportant une pluralité de disques (2) espacés, maintenus à distance les uns des autres, et des organes de positionnement et de maintien (6, 7) adaptés pour positionnner un substrat (3) au voisinage immédiat de chaque disque (2). 6/ - Procédé selon la revendication 5 caractérisé en ce que l'on maintient les disques (2) à distance les uns des autres au moyen d'un premier jeu de tiges longItudinales (4) relient lesdits disques dans-une zone périphérique de ceux-ci, et en ce que l'on assure le positionnement et le maintien des substrats (9) au moyen d'un deuxième jeu de tiges longitudinales (6) dotées d'encoches transversales (7) au voisinage immédiat de chaque disque (2), à une distance supérieure à 0,1 mm et inférieure à 2 mm dudit disque. 7/ - Procédé selon l'une des revendications 1 à 4 caractérisé en ce que l'on réalise des plaques de dépôt radial présentant la forme de couronnes (10 ; 18, 19, 20 ; 26) de section interne conjuguée et sensiblement supérieure à celle des substrats (3), apte à entourer au moins un desdits substrats, et de largeur correspondant à la largeur de la zone de dépôt hétérogène déterminée préliminairement. 8/ - Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'on réalise une cage (9) constituée de couronnes (10) d'un seui tenant dotées d'une tranche interne comportant des encoches, et en ce que l'on dispose les substrats (3) sur une nacelle (13) comportant des tiges support longitudinales (14) disposées en position conjuguée des encoches des couronnes (10). 9/ - Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'on réalise une cage (17) constituée d'au moins deux coquilles comportant chacune une pluralité d'ailettes (18, 19, 20) reliées entre elles par des tiges longitudinales (21), lesdites coquilles étant adaptées pour venir s'assembler autour d'une nacelle (22) support de substrats(3) de façon à former une couronne autour de chacun desdits substrats. 10/ - Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'on réalise une cage (23) constituée d'au moins deux coquilles (24, 25) comportant chacune une pluralité d'ailettes (26) reliées entre elles par des tiges longitudinales (27) disposées au niveau d'une tranche desdites ailettes et dotées d'encoches transversales (28) ménagées de façon à assurer le positionnement et le maintien des substrats (3) dans la position assemblée des coquilles. 11/ - Procédé selon l'une des revendications 7 à 10, caractérisé en ce que l'on réalise des couronnes d'épaisseur adaptée pour entourer chacune deux substrats (3) disposés côte à côte. 12/ - Cage susceptible d'être mise en oeuvre selon un procédé conforme à l'une des revendications précédentes caractérisée en ce qu'elle comprend - une pluralité de plaques (2 ; 10 ; 18-20 ; 26), dites de dépôt radial, présentant chacune des dimensions supérieures à celle de substrats (3) à traiter, déterminant, seules ou en combinaison avec un substrat, une surface correspondant à celle dudit substrat additionnée d'une surface périphérique de largeur 8E, - des moyens de liaison (4 ; 11 ; 21 ; 27) des plaques de dépôt radial adaptés pour les maintenir à distance les unes des autres, - et des organes-support (6, 7 ; 13 ; 22 ; 28) des substrats (3) adaptés pour positionner chacun de ceuxci sensiblement dans un même plan qu'une plaque de dépôt radial (2 ; 10 ; 18-20 ; 26) de façon que chacune desdites plaques forme, sur la périphérie dudit substrat, une surface de dépôt radial de largeur BR. 13/ - Cage selon la revendIcation 12 caractérisée en ce que les moyens de liaison (4 ; -11 ; 21 ; 27) sont adaptés pour maintenir les plaques de dépôt radial (2 ; 10 ; 18-20 ; 26) parallélément les unes par rapport aux autres. 14/ - Caqe selon la revendication 12 caractérisé en ce que ies moyens de liaison sont adaptés pour maintenir les plaques de façon radiale le long d'une courbe circulaire. 15/ - Cage selon l'une des revendications 12 à 14 caractérisée en ce que les plaques de dépôt radial sont constituées de disques pleins (2), et les organes support (6, 7) adaptés pour positionner chaque substrat (3) au voisinage immédiat de chaque disque (2). 16/ - Cage selon la revendication 15 caractérisée en ce que - les organes de liaison sont constitués d'un premier jeu de tiges longitudinales (4) reliant les disques (2) dans une zone périphérique de ces derniers, - les organes-support sont constitués d'un deuxième jeu de tiges longitudinales (6) reliant les disques (2) et dotées d'encoches transversales (7) au voisinage immédiat de chaque disque, à une distance supérieure à 0,1 mm et inférieure à 2 mm dudit disque. 17/ - Cage selon l'une des revendicatIons 12 à 14 caractérisée en ce que les plaques de dépôt radial sont constituées d'une pluralité de couronnes (10 ; 18, 19, 20 ; 26 > de diamètre interne conjuqué des substrats (3) à traiter, adapté pour entourer lesdits substrats. 18/ - C age sel on la r ev en di c a tion 17 caractérisée en ce qu'elle comprend une pluralité de couronnes (10) d'un seule tenant dotées d'une tranche interne comportant des encoches pour le guidage d'une nacelle support (13) de substrats (3), les moyens de liaison étant constitués de tiges longitudinales (14) reliant lesdites couronnes. 19/ - C ag e selon 1 a reve n di c ation 17, caractérisée en ce qu'elle est constituée d'au moins deux coquilles aptes à être montées autour d'une nacelle support (22) de substrats (3) et comportant chacune une pluralité d'ailettes (18, 19, 20) de formes adaptées pour former une pluralité de couronnes dans la position assemblée desdites coquilles, les moyens de liaison étant constitués de tiges longitudinales (14) reliant les ailettes de chaque coauiile. 207 - Cage selon la revendication 17, caractérisée en ce qu'elle est constituée d'au moins deux coquilles (24, 25) comportant chacune une pluralité d'ailettes (26) de formes adaptées pour former une pluralité de couronnes dans la position assemblée desdites coquilles, les moyens de liaison étant constitués de tiges longitudinales (27) solidarisées à une tranche, dite interne, des ailettes (26) de chaque coquille (24, 25), et les organes de support constitués d'encoches transversales (28) ménagées sur lesdites tiges de façon à assurer le positionnement et le maintien des substrats (3) dans la position assemblée desdites coquilles. 21/ - Cage selon l'une des revendications 17 à 20, caractérisée en ce que chaque couronne présente une épaisseur adaptée poirr entourer deux substrats (3) disposés côte à côte. 22/ - Cage selon l'une des revendIcations 12 à 21, caractérisée en ce que chaque plaque de dépôt radial est réalisée en un matériau, tel que quartz, carbure, carbure de sIlIcium, carbone, graphite, présentant des propriétés d'inertie chimique. 23/ - Cage selon l'une des revendications 12 à 21, caractérisé en ce que chaque plaque de dépôt radial est réalisée en un matériau similaire à celui des substrats(3), notamment en silicium monocristallin.