Brevet FR2638847A1 — publié le 19900511

DISPOSITIF OPTIQUE INTEGRE POUR LA MESURE D'INDICE DE REFRACTION D'UN FLUIDE. DESCRIPTION L'invention se rapporte à un dispositif du type interférométrique pour la mesure d'indices de ré- fraction de Liquides ou de gaz, destiné à fonctionner dans des structures optiques intégrées. L'invention trouve une application dans tous les domaines o l'on désire connaître l'indice de réfrac- tion d'un fluide. En particulier, la mesure de l'indice de réfraction d'un gaz peut permettre de déterminer la nature de ce gaz et La concentration de ce gaz; ceci est particulièrement intéressant dans le cas d'un gaz dangereux ou toxique mélangé à d'autres gaz. De même, la mesure de l'indice de réfraction d'un liquide peut permettre de déterminer La nature et La densité de ce liceAce, ce cui permet de remonter à ces paramètres connmme Le pH, la oilution ou la concen- tration; le pH et la ailution permettent en particulier La oétermination de l'état de charge d'une batterie. L'une des meilleures façons de mesurer un indice de réfraction d'un fluide est bien entendu l'utilisation d'une méthode optique. Actuellement, les mesures d'un indice de réfrac- tion d'un fluide sont basées sur les modifications des conditions de réflexion à l'interface entre le fluide d'indice inconnu et un milieu d'indice connu. Cette méthode présente un certain nombre d'in- convénients. En particulier, le coefficient de réflexion entre deux milieux d'indice de réfraction varie relati- vement peu avec l'indice de réfraction de l'un des deux milieux, en particulier celui à mesurer, le second milieu étant supposé fixe. Cette méthode est donc peu précise, sauf dans deux cas particuliers d'utilisation énoncés ci-après. Soit deux milieux n1 et n2, comme représenté sur la figure 1 annexée, avec n2 l'indice de réfraction à mesurer et n1 l'indice de réfraction supposé fixe. Sur cette figure, A représente l'angle d'incidence, par rapport à la normale N à l'interface des deux milieux n1-n2, de la lumière. Lorsque l'angle d'incidence A est élevé, parti- culièrement dans le cas o La lumière est polarisée dans le plan d'incidence, du fait de l'existence de l'angle de Brewster pour lequel le coefficient de ré- flexion Rp correspondant au coefficient de réflexion selon une polarisation de la Lumière parallèle au plan d'incidence est nul, la méthode ci-dessus est utilisable. Cette méthode est aussi utilisable au voisinage de la réflexion totale si cette dernière a lieu, c'est- a-dire si nI est supérieur à n2 et si A est supérieur à l'angle de réfraction total. Cet angle limite Al est égal à Arsin(n2/nl). Dans ce second cas, la méthode ne peut donc marcher que si n1>n2 et que si n2 varie relativement peu étant donné que les variations du coefficient de réflexion ne sont importantes qu'au voisinage de l'angle limite. En effet, au voisinage de l'angle limite, la variation d'un indice de réfraction même faible induit une grande variation du coefficient de réflexion. Cette méthode est donc très limitée et ne permet pas la mesure de n'importe quel type d'indice de réfrac- tion, sur n'importe quelle plage de variation, et dans n'importe quelle condition d'éclairement. Aussi, l'invention a pour objet un dispositif pour la mesure d'indice de réfraction d'un fluide, utili- sable de façon beaucoup plus générale, dans n'importe quelle condition d'éclairement, et de plage de variation de cet indice. Dans le cadre de l'invention, on entend par mesure de l'indice de réfraction d'un fluide, aussi bien la mesure de son indice de réfraction relatif que celle de son indice absolu. L'indice de réfraction relatif d'un fluide correspond à la variation de l'indice de ce fluide par rapport à un indice de réfraction de référence. Cet indice de référence peut être l'indice de ce fluide dans un état connu ou l'indice d'un fluide quelconque dans un état connu. La mesure de l'indice absolu du fluide est obtenue soit à partir de l'indice de réfraction relatif et de l'indice de référence soit directement (uniquement dans le cas d'une demi frange d'interférence). Le principe du dispositif de l'invention est basé sur les variations de phase apportées par le change- ment d'indice de réfraction d'un milieu inconnu par rapport à un milieu connu, ces variations de phase étant mesurées par un système interférométrique. Cette méthode de mesure peut être réalisée soit avec un circuit optique classique, soit avec un circuit optique integré. Pour des raisons de compacité, de dimensions du circuit, de compatibilité avec les fibres optiques et, finalement, de faible coût, l'optique intégrée est de très loin la technologie de réalisation la plus pro- metteuse pour un dispositif de mesure de l'indice de réfraction d'un fluide. Aussi, l'invention a pour objet un dispositif optique intégré du type interféromètre permettant la mesure de l'indice de réfraction d'un milieu dans lequel peut être plongé le dispositif de mesure; ceci fait que ce dernier ne peut être utilisé que pour des gaz ou des liquides. De façon plus précise, l'invention a pour objet un dispositif optique intégré servant à mesurer l'indice de réfraction d'un fluide comprenant (a) un guide de Lumière correspondant à un indice effectif n1 du mode guidé, formé sur un substrat et comportant une couche guidante destinée à véhicuLer des faisceaux Lumineux, intercalée entre une couche inférieure et une couche supérieure ayant des indices de réfraction inférieurs à celui de la couche guidante, (b) une zone de mesure d'interaction du guide de lumière -destinée à être au contact du fluide, la couche supérieure au niveau de La zone de mesure présentant une épaisseur inférieure à La distance de pénétration de l'onde évanescente du faisceau lumineux guidé et en dehors de cette zone d'interaction une épaisseur supérieure à ladite distance de pénétration de cette même onde évanescente, et (c) un système optique du type interféromètre, formé au moins en partie dans le guide de lumière et comportant un circuit optique de référence et un circuit optique de mesure incluant la zone de mesure, pour mesurer le déphasage introduit par un changement d'indice effectif n2 du mode guidé dû au fluide. Ce dispositif utilise le fait que, en optique intégrée, l'indice effectif d'un mode guidé dépend de tous les paramètres de la structure du guide et en par- ticulier de l'épaisseur et des indices de réfraction des différentes couches constituant ce guide. Aussi, la modification de l'un de ces paramètres, et en par- ticulier de l'indice de réfraction de l'une de ces cou- ches, modifie l'indice effectif du mode guidé considéré et introduit donc localement une modification de phase de la lumière qui peut être détectée par interférométrie. Il est préférable que la zone de mesure ou d'interaction du guide avec le fluide dont on désire connaître L'indice de réfraction ait une structure telle que La lumière guidée continue d'être guidée. En outre, elle doit être protégée de toute influence des milieux autres que Le milieu inconnu sur la zone d'interaction. Dans le dispositif de l'invention; l'utilisation d'une couche supérieure au niveau de la zone d'interac- tion de mesure ayant une épaisseur inférieure à la dis- tance de pénétration de l'onde évanescente associée au mode guidé fait que ce dernier "voit" le milieu d'in- dice à mesurer; dans la mesure o cet indice à mesurer reste inférieur à l'indice effectif de la lumière guidée dans cette zone d'interaction de mesure, la lumière reste guidée dans toute La structure. Cette condition constitue un mode de fonctionnement avantageux du dispo- sitif. A l'inverse, dans les zones o l'épaisseur de la couche supérieure est supérieure à la distance de pénétration de ce même mode guidé, ce mode guidé ne voit pas le milieu extérieur d'indice à mesurer. Lorsque le milieu extérieur d'indice inconnu est corrosif, ce qui est le cas dans les électrolytes de batterie, pour lequel le dispositif de l'invention permet une mesure de L'état de charge, il est nécessaire que la zone de mesure d'interaction comporte comme couche supérieure un matériau qui ne soit pas attaqué par le milieu extérieur dont on veut connaître l'indice de réfraction. Aussi, si le matériau de la couche supérieure risque d'être attaqué, on utilise une couche protectrice supplémentaire disposée sur la couche supérieure du guide, dont l'épaisseur, au niveau de la zone de mesure, est telle que la somme des épaisseurs de la couche supé- rieure et de la couche protectrice additionnelle, au niveau de la zone d'interaction, soit inférieure à la distance de pénétration de l'onde évanescente du mode guidé lorsque la couche protectrice a un indice de ré- fraction inférieur à l'indice effectif du mode guidé. Lorsque l'indice de réfraction de la couche protectrice est supérieur ou égal à L'indice effectif du mode guidé, l'onde guidée voit toujours Le milieu extérieur dans la zone d'interaction. Cependant, il est avantageux dans ce dernier cas d'avoir une couche protectrice d'épaisseur "h" telle que le guide de lumière reste bien monomôde. Seule La zone d'interaction doit être protégée du milieu extérieur à mesurer lorsqu'un système de protection équipé de joints d'étanchéité est prévu pour isoler la zone de mesure du reste du circuit et, en particulier, des circuits de mesure et de référence. Le dispositif de l'invention peut être réalisé en technologie silicium ou en technologie III-V (GaAs ou InP), technologies bien maîtrisées en électronique intégrée. De préférence, on utilise une technologie sili- cium. Dans ce cas, La couche guidante est réalisée en nitrure de silicium ou en silice dopée au phosphore ou au titane et les couches inférieures et supérieures du guide optique réalisées par exemple en silice pure ou en verre. La silice ou les verres ont des indices de réfraction variant de l'ordre de 1,45 à 1,9 pour une longueur d'onde de 800 nm alors que La silice dopée au phosphore a un indice compris entre 1,45 et 1,5 en fonction du pourcentage de phosphore introduit, pour une longueur d'onde de 800 nm. Le nitrure de silicium a quant à lui un indice de réfraction éLevé voisin de 2 pour une Longueur d'onde de 800 nm. Dans le cas d'un acide comme L'acide sulfurique, le matériau de protection résistant à cet acide est, en particulier, l'alumine, d'indice de réfraction de 1,61 environ (toujours pour 800 nm), ou le nitrure de silicium. Dans ce dernier cas, la couche supérieure du guide de lumière peut présenter dans la zone de mesure d'interaction une épaisseur nulle. Selon un premier mode de réalisation, le dispo- sitif interférométrique permettant la mesure du déphasage introduit par le milieu d'indice de réfraction à mesurer comporte: - une source de lumière émettant un faisceau principal de lumière, - des moyens de collimation du faisceau prin- cipal, - des premiers moyens séparateurs pour séparer le faisceau principal collimaté en un faisceau de mesure et en un faisceau principal de référence, et pour diriger le faisceau de mesure sur la zone de mesure, - un premier miroir pour renvoyer le faisceau de mesure provenant de la zone de mesure sur les premiers moyens séparateurs, - des moyens déphaseurs pour introduire au moins un déphasage constant sur une partie du faisceau principal de référence afin de former au moins deux faisceaux secondaires de référence déphasés, - un second miroir pour renvoyer les deux fais- ceaux secondaires de référence sur les premiers moyens séparateurs afin de les faire respectivement interférer avec le faisceau de mesure et former ainsi au moins deux premiers signaux lumineux distincts d'interférence, ces premiers signaux d'interférence étant représentatifs de l'indice de réfraction du fluide au contact de la zone de mesure, - des seconds moyens séparateurs pour séparer les deux premiers signaux d'interférence, et - au moins deux détecteurs pour détecter chacun un premier signal d'interférence, les moyens de coLlimation, les premiers et seconds moyens séparateurs et les moyens déphaseurs étant formés respec- tivement par une modification locale appropriée de l'in- dice effectif du guide de lumière, et les miroirs étant formés par une gravure locale et au moins partielle du guide de lumière. Selon un second mode de réalisation, le disposi- tif interférométrique permettant la mesure du déphasage introduit par le milieu d'indice de réfraction à mesurer comporte: - une source de lumière émettant un faisceau incident principal de lumière, - des moyens de collimation du faisceau princi- pal, - des premiers moyens séparateurs pour séparer le faisceau principal coLLimaté en un faisceau de mesure et en un faisceau principal de référence, et pour diriger le faisceau de mesure sur la zone de mesure, un premier miroir pour envoyer le faisceau de mesure provenant de la zone de mesure sur des seconds moyens séparateurs, - des moyens déphaseurs pour introduire au moins un déphasage constant sur une partie du faisceau principal de référence afin de former au moins deux faisceaux secondaires de référence déphasés, - un second miroir pour envoyer les deux faisceaux secondaires de référence sur les seconds moyens séparateurs afin de les faire respectivement interférer avec le faisceau de mesure et former ainsi au moins deux premiers signaux lumineux distincts d'interférence, ces premiers signaux d'interférence étant représentatifs de l'indice de réfraction du fluide au contact de la zone de mesure, - des troisièmes moyens séparateurs pour séparer les deux premiers signaux d'interférence, et - au moins deux détecteurs pour détecter chacun un premier signal d'interférence, les moyens de colLimation, les premiers, seconds et troisièmes moyens séparateurs et les moyens déphaseurs étant formés respectivement par une modification locale appropriée de L'indice effectif du guide de Lumière, et Les miroirs étant formés par une gravure locale et au moins partielle du guide de lumière. Lorsque les moyens déphaseurs du second mode de réalisation sont sit.ués entre les premiers moyens séparateurs et le second miroir, ce dernier reçoit effectivement les deux faisceaux secondaires de référence et envoie directement ces deux faisceaux secondaires de référence sur les seconds moyens séparateurs. Lorsque, ces moyens déphaseurs sont situés entre le second miroir et les seconds moyens séparateurs, ce second miroir reçoit en réalité, le faisceau principal de référence qu'il envoie directement sur les moyens déphaseurs; ce faisceau principal est alors séparé en deux faisceaux secondaires de référence par les moyens déphaseurs qui assurent alors l'envoi direct de ces deux faisceaux secondaires de référence sur les seconds moyens séparateurs. Afin de récupérer toute l'énergie lumineuse sortant des premiers moyens séparateurs, et donc la totalité des signaux d'interférence, formée sur ces premiers moyens pour le premier mode de réalisation du dispositif interférométrique et formée sur les seconds moyens séparateurs pour le second mode de réalisation du dispositif interférométrique, des moyens supplémen- taires séparateurs associés à des seconds détecteurs sont prévus pour séparer et détecter des seconds signaux d'interférence, formés simultanément aux premiers signaux d'interférence. L'utilisation d'au moins deux systèmes d'inter- férence permet d'obtenir le déphasage introduit par les variations d'indice du fluide inconnu avec un maximum de-sensibilité et d'éviter toute ambiguïté sur la valeur de l'indice à mesurer lorsque ce dernier augmente puis rediminue entraînant un changement de signe sur le dépha- sage qui est indétectabLe si ce déphasage est proche de k s. L'existence d'un changement de phase au voisinage de 2k r ne peut exister à la fois sur les deux systèmes d'interférence puisque ceux-ci sont déphasés d'une valeur différente de Â. En particulier, le déphasage introduit est de préférence égal à 7/2. En général, la Lumière fournie par La source est véhiculée par une fibre optique d'entrée afin d'amé- liorer le couplage entre la source de lumière et le reste du dispositif optique intégré. Cette fibre d'entrée est généralement monomode et, dans certains cas, à main- tien de polarisation; ceci est nécessaire dans Le cas d'un guide optique formé sur un substrat en silicium de structure SiO2/Si3N4/SiO2. Avec un guide d'onde de structure différente et en particulier du type Si/SiO2/SiO2 dopée/SiO2, la fibre d'entrée peut être multimode. Dans ces conditions, une optique de colLimation en sortie de la fibre multi- mode doit être prévue pour assurer l'injection de la lumière dans le guide d'onde. Les détecteurs des signaux d'interférence, comme la source, sont situés hors du guide de Lumière. Aussi, des fibres de sortie peuvent être prévues entre le guide optique et les détecteurs, ces fibres pouvant être des fibres multimodes ou monomodes. D'autres caractéristiques et avantages de L'in- vention ressortiront mieux de la description qui va suivre, donnée à titre ilLustratif et non limitatif, en référence aux figures 2 à 8, la figure 1 ayant déjà été décrite. - la figure 2 représente schématiquement, en perspective, un premier mode de réalisation du dispositif optique conforme à l'invention, - la figure 3 illustre, en coupe, un premier mode de réaLisation de la zone d'interaction de mesure du dispositif de la figure 2, - la figure 4 représente, en coupe, un second mode de réalisation de la zone de mesure d'interaction du dispositif de la figure 2, - la figure 5 illustre, en coupe, le couplage de la fibre optique d'entrée avec le guide d'onde du dispositif de la figure 2, - la figure 6 représente schématiquement, vue de dessus, une variante de réalisation du dispositif conforme à l'invention représentée figure 2, - la figure 7 représente, schématiquement vu de dessus, un second mode de réalisation du dispositif optique conforme à l'invention, et - la figure 8 représente des courbes donnant les variations dn2 de l'indice effectif du guide de lumière dans la zone d'interaction en fonction de l'in- dice absolu de réfraction à déterminer, N. Le dispositif intégré selon l'invention com- prend, comme représenté sur la figure 2, un guide de lumière 2 réalisé de façon avantageuse sur un substrat monocristallin 4 en silicium. Le guide optique 2 est constitué de trois cou- ches superposées, respectivement 6, 8, 10 en partant du substrat 4, la couche 8 constituant la couche guidante du guide optique. Cette couche 8 présente un indice de réfraction supérieur à celui des couches 6 et 10. En particulier, les couches 6 et 10 sont réalisées en silice pure et la couche 8 en nitrure de silicium. L'épaisseur de la couche guidante 8 est comprise entre 10 et 250 nm environ pour que le guide 2 soit monomode. Les épaisseurs de silice des couches 6 et dépendent de celle de la couche de nitrure; elles sont comprises entre 1 et 5 pm pour assurer un bon isole- ment de la lumière respectivement du substrat absorbant 4 pour la couche 6 et du milieu extérieur pour La couche 10. La couche de silice 6 peut être obtenue par oxydation thermique du substrat suivie d'un dépôt chimi- que en phase vapeur (CVD), ce qui permet d'obtenir des qualités optiques meilleures que si cette couche 6 avait été obtenue par dépôt direct CVD sur le substrat. La couche de nitrure 8 est obtenue par dépôt chimique en phase vapeur basse pression ou assistée plasma (LPCVD ou PECVD). La couche supérieure 10 du guide 2 est obtenue par PECVD. La majeure partie des composants optiques du dispositif selon l'invention est définie dans ce guide de lumière. Le dispositif optique de la figure 2 comporte, à l'extérieur du guide 2, une source de lumière 12 telle qu'un Laser. Une fibre d'entrée de préférence monomode 13 collecte la lumière issue de la source et assure son injection dans la couche guidante 8 par l'intermé- diaire d'un microguide 14. Le faisceau lumineux 16 véhiculé par la fibre 13 puis le microguiae 14 est recu par une lentille inté- grée de collimation 18 qui permet de transformer la lumière issue du microguide 14, assimilée à un point lumineux, en un faisceau de lumière parallèle 20. Pour ce faire, l'extrémité du microguide 14 en regard de la lentille 18 doit être située au foyer F de cette lentille. Le faisceau de lumière collimaté 20 attaque alors une lame séparatrice 22 constituée ici par un simple sillon gravé dans la couche supérieure 10 du guide optique. Cette lame 22 permet la formation d'un faisceau de mesure 24 et d'un faisceau de référence 26, obtenus respectivement par transmission et réflexion du faisceau incident sur la lame 22. Un déphaseur 28 placé sur le faisceau de réfé- rence 26 permet de partager ce dernier en deux faisceaux de référence déphasés de 7/2 ou de (2k+1)Â /2. Une zone d'interaction 32, destinée à être placée au contact du fluide 31 dont on désire mesurer l'indice de réfraction, est formée dans le guide 2 et est traversée par le faisceau de mesure 24. Un miroir plan 30 permet de renvoyer les deux lu faisceaux de référence déphasés sur la lame séparatrice 22. De même, un miroir plan 34 permet de renvoyer le faisceau de mesure 24, via la zone d'interaction 32, sur la lame séparatrice 22 de façon à ce que le faisceau de mesure 24 et les deux faisceaux de référence inter- fèrent et forment deux signaux lumineux d'interférence représentatifs de l'indice de réfraction du fluide 31 situé au contact de la zone d'interaction 32. Dans l'exemple représenté, les miroirs 30 et 34 sont disposés perpendiculairement aux faisceaux de référence 26 et de mesure 24; les faisceaux réfléchis par ces deux miroirs sont donc confondus avec les fais- ceaux incidents correspondants. Les deux systèmes d'interférence formés sur la lame séparatrice 22 sont déphasés de w/2 ou de (2k+1)Â /2. Ils sont reçus par un miroir séparateur 36, comportant une phase d'entrée formée de deux parties 36a et 36b paraboliques dont les tangentes au point de rencontre R forment entre elles un angle compris entre 120 et 180 , donnant naissance à deux signaux distincts d'interférence 38 et 40 détectés respectivement par deux photodétecteurs 42 et 44 qui peuvent être accolés au guide de lumière 2 ou bien, comme représenté sur la figure 2, disposés hors du guide et connectés au guide à l'aide de respectivement deux fibres optiques de sortie 45 et 47 de préférence multimodes. Si a représente L'amplitude des deux signaux de référence et b l'amplitude du signal de mesure, Les deux détecteurs 42 et 44 reçoivent un signal lumineux respectivement d'iniensité I1 et I2 égal à: 11 = a2 + b2 + 2abcos (P + Po) 12 = a2 + b2 + 2abcos (P + Po - Pd) avec Po = 2 n1(L2 - L1)/I 2 X n1 L/ À et P = 2 v n2L/ À Dans ces équations, PO est le déphasage constant introduit entre le faisceau de mesure et chaque faisceau de référence et est indépendant de l'indice absolu N du fluide 31 inconnu; n1 représente l'indice effectif du guide de lumière en dehors de la zone d'interaction 32; L2 et L1 les chemins parcourus par la lumière selon le faisceau de mesure et les faisceaux de référence; L est la longueur de la zone d'interaction 32; À est la longueur d'onde de la lumière guidée; P est le dépha- sage inconnu qui dépend de N (indice de réfraction absolu à connaître) via l'indice effectif n2 du mode guidé de lumière dans là zone d'interaction 32, et Pd le dépha- sage constant introduit par le déphaseur 28. L'utilisation de deux systèmes d'interférence permet lorsque le déphasage P+Po est multiple de kr pour l'un des deux systèmes de ne pas l'être pour l'autre système d'interférence. Lorsque l'indice N varie d'une valeur dN (indice relatif), l'indice effectif du guide de lumière dans la zone d'interaction 32 varie de dn2 et par conséquent le déphasage P varie de dP = 2xw dn2 L/ l, x étant le nombre de passages du faisceau de mesure dans la zone de mesure (x=2 dans les figures 2 et 6) La longueur L est choisie en fonction de la valeur dn2 maximum possible (dn2max) de deux façons: a) telle que dP voisin de 7/2, ce qui donne L voisin de X/4xdn2max. Dans ce cas, les intensités I1 et 12 varient entre (a + b)2 et (a - b)2 tout en restant dans la même frange d'interférence. b) Lorsque L est choisi grand devant À/2xdn2max, on observe un défilement des franges d'interférence du fait que dP peut être très supérieur à 2i. On doit alors effectuer un comptage des franges d'interférences qui défilent. Si pour une raison quelconque les mesures ne peuvent plus être faites (arrêt momentané du disposi- tif), il peut y avoir perte de l'information antérieure car on ne sait jamais de combien de franges entières le système d'interférence a pu se déplacer durant la période d'arrêt; ceci est dO au fait qu'un déphasage optique n'est défini qu'à 2k T près (ce qui conduit à des solutions multiples pour dN et N) et que sa valeur n'est jamais connue dans l'absolu mais par comparaison avec une situation antérieure. Aussi est-il préférable de choisir un déphasage dP voisin de 1T/2 pour déterminer L. A partir de la mesure des intensités I1 et 12 et pour le cas b), en comptant en outre le nombre de franges d'interférence des deux systèmes on obtient on2. A partir de dn2, on peut déterminer dN soit par un étalonnage préalable du dispositif, soit par les équations de propagation. Un étalonnage préalable du dispositif est la méthode préférée du fait de sa simpli- cité et de son faible taux d'erreur. La valeur de l'indi- ce absolu peut être ob-tenue soit directement (uniquement dans le cas d'une demi-frange, lorsque les extrêmes des indices au milieu 31 sont connues), soit à partir de l'indice relatif dN et de l'indice de référence. A l'aide d'un dispositif de traitement électro- nique 46 approprié, connecté aux deux photodétecteurs 42 et 44, il est possible d'apprécier une fraction de frange d'interférence. Ce dispositif permet de déterminer dn2 et donc dN et N. De plus dans le cas b), ce disposi- tif assure le comptage des franges. Ce système électroni- que 46 est en particulier celui dans l'article "Liquid Level InterferometerT' de S.S. JACOBS et J.G. SMALL, applied Optics, vol. 20, NO 20, pp. 3508-3513, d'Octobre 1981. Sur la figure 3, on a représenté un mode de réalisation de la zone d'interaction 32 avec le liquide 31 d'indice inconnu, conforme à l'invention. Dans la zone 32, l'épaisseur h' de la couche supérieure 10 en silice doit être plus petite que la distance de pénétra- tion de l'onde évanescente associée au mode guidé. h' peut être nul. En outre, l'indice de réfraction inconnu N doit rester inférieur à l'indice effectif du mode guidé pour que l'onde lumineuse reste guidée. En dehors de la zone 32 d'interaction, l'épais- seur h de la couche 10 de silice doit être plus grande que la distance de pénétration de l'onde évanescente associée au mode guidé. En particulier, pour une longueur d'onde de 800 nm guidée, h doit être supérieur à environ 1 Mm pour une couche guidante 8 en Si3N4 d'environ 160 nm d'épaisseur. Conformément à l'invention, seule la zone d'in- teraction 32 a besoin d'être placée au contact du fluide 31 inconnu. Aussi, afin d'éviter la détérioration du capteur, il est possible de protéger ce dernier, en dehors de la zone 32, par un film protecteur 48 par exemple en téflon ou en un autre matériau résistant au fluide à mesurer dans le cas d'un électrolyte dont on veut mesurer l'indice de réfraction; des joints d'étanchéité 50 sont prévus tout autour de la zone 32 afin d'empêcher que le milieu corrosif 31 ne vienne au contact des autres zones du circuit optique. Il est aussi possible, comme représenté sur la figure 4, de recouvrir l'ensemble du dispositif d'une couche protectrice 52 d'épaisseur h" telle que par exem- pie h" + h' soit inférieur à la distance de pénétration de l'onde évanescente du mode guidé. L'aLumine est un bon matériau de protection dans le cas d'un liquide acide. Avec un guide d'onde utilisant une structure Si/SiO2/SiO2 dopée/SiO2, la fibre d'entrée 13a, comme représenté sur la figure 5, peut être multimode. Dans ce cas, une lentille de collimation 54 en bout de la fibre optique 13a doit être prévue pour assurer l'injec- tion de la lumière dans la couche guidante 8 du guide d'onde 2, via éventuellement un microguide. Le dispositif optique selon l'invention repré- senté sur la figure 2, peut être modifié comme représenté sur la figure 6. Les composants de ce dispositif, identi- ques à ceux de la figure 2, portent les mêmes références. Dans cette variante, le déphaseur 28a situé sur le faisceau de référence 26 est un déphaseur à trois voies, ce qui permet en particulier de s'affranchir des fluctuations dans l'intensité de la source lumineuse 12. Les déphasages Pd utilisés entre Les trois voies sont avantageusement 0, (2k+1) r/2 et (2k+1) 7. Pour k=O, l'utilisation d'un déphaseur trois voies permet d'obtenir trois systèmes de franges d'interférence d'intensité I1, I2, 13 satisfaisant aux équations suivantes: I1 = a2 + b2 + 2abcos(P'-P'O) 12 = a2 + b2 + 2absin(P'-P'O) 13 = a2 + b2 - 2abcos(P'-P'o) o P' est le déphasage variable dû au fluide 31 inconnu et P'O est un déphasage constant qui dépend de la forme du capteur et qui est déterminé par étalonnage du capteur. Dans ces conditions, la variation du déphasage dP' introduit par le fluide 31 d'indice inconnu satisfait à l'équation dP' = d(Arctg (B)) o B est égal à (2I2 - I1 - I3)/(I1 - I3)=+ tg(P'-P'O) avec P'-P'o= ArctgB. L'utilisation d'un déphaseur trois voies néces- site alors l'utilisation en sortie du dispositif optique d'un miroir séparateur 66 triple voie comportant trois parties 66a, 66b et 66c de forme parabolique séparant les trois signaux d'interférence 68, 70, 72 formés sur la lame 22. Les faisceaux d'interférence séparés sont alors envoyés via des microguides de sortie 78, 80, 82 dans trois fibres de sortie multimodes connectées à trois photodétecteurs de façon similaire à celle des faisceaux d'interférence (figure 2). Il est possible de remplacer la lentille de collimation d'entrée 18 (figure 2) par un miroir parabo- Lique 84 qui est un moyen de collimation. En outre, on peut introduire dans le dispositif de mesure de l'in- vention des miroirs plans 86 et 88 pour former des bras de référence 26 et de mesure 24 paralLèLes entre eux. Les fibres optiques d'entrée 13 et de sortie 45, 47 et 49 sont alors coupLées au guide de lumière 2 par la même face E et non sur deux faces perpendiculaires E et S (figure 2); le miroir 84 renvoie Le faisceau incident 16 vers la lame séparatrice 22, le miroir 86 renvoie le faisceau de référence, formé sur la lame séparatrice 22, vers le déphaseur 28a et le miroir 88 renvoie le faisceau de mesure, formé sur la lame sépara- trice 22, vers la zone de mesure 32. Si nécessaire, les miroirs plans 86 et 88 peu- vent être utilisés dans un système à deux signaux d'interférence utilisant comme optique d'entrée de coLLimation une Lentille (figure 2). Dans les systèmes interférométriques représentés sur Les figures 2 et 6, les miroirs 30 et 34 sont respec- * tivement perpendiculaires aux faisceaux de référence 26 et de mesure 24, et ils renvoient donc nécessairement ces faisceaux sur La Lame séparatrice 22. Conformément à L'invention, les faisceaux de mesure 24 et de référence 26 sortant de la lame séparatrice 22 peuvent attaquer respectivement les miroirs 34 et 30 selon une incidence oblique, comme représenté sur la figure 7. Les composants optiques de l'interféromètre de la figure 7, identiques à ceux de la figure 2, portent les mêmes références. Dans ce mode de réalisation, les faisceaux lumineux réfléchis par les miroirs 30 et 34 sont alors reçus par une autre lame séparatrice 74, formée par un sillon gravé dans le guide de lumière 2, sur laquel- le se forment les systèmes d'interférence. Ces systèmes d'interférence, dans le cas d'un déphaseur 28b à deux voies, sont au nombre de quatre. La détection de deux de- ces signaux, par exemple les signaux 38 et 40 issus du miroir séparateur 36 suffit à la détermination de l'indice N du fluide au contact de la zone de mesure 32. Toutefois, il peut être intéres- sant, dans certains cas, de détecter les deux autres systèmes d'interférence. A cet effet, un miroir séparateur supplémentaire 76, placé en aval de la Lame séparatrice 74 doit être prévu pour donner naissance à deux autres signaux dis- tincts d'interférence 71 et 73 détectés respectivement par deux photodétecteurs 75 et 77 qui peuvent être ac- colés au guide 2, comme les détecteurs 42 et 44 ou bien disposés hors du guide 2 et connectés à ce dernier via des fibres optiques de sortie (figure 2). Le miroir séparateur 76 est identique en tout point au miroir séparateur 36. Des microguides de sortie 79, 81, 83, 85 peuvent être prévus pour améliorer la focalisation des signaux d'interférence sur les détecteurs 75, 77, 42, 44. Le déphaseur 28b, responsable des deux faisceaux secondaires de référence et donnant naissance aux quatre signaux d'interférence 38, 40, 71 et 73 peut être pLacé entre Le miroir 30 et La lame séparatrice, comme repré- senté sur La figure 7 ou bien être pLacé en amont du miroir 30, c'est-àdire entre la lame séparatrice 22 et le miroir 30. L'agencement des miroirs 30 et 34 de la figure 7 et l'utilisation conjointe d'une seconde lame sépara- trice 74, d'un second miroir séparateur 76 et de deux détecteurs supplémentaires 75 et 77 peuvent bien entendu être combinés au mode de réalisation de La figure 6 utilisant l'ensemble de miroirs 84-86-88. Pour un déphasage constant de n/2 introduit par le déphaseur deux voies 28b, on obtient Les quatre systèmes d'interférence d'intensité I1, I2, 13 et 14 satisfaisant aux équations suivantes: Il=a2+b2 + 2abcos (P+Po) 12=a2+b2 + 2abcos (P+Po+n/2) I3=a2+b2 - 2abcos (P+P0) I4=a2+b2 - 2abcos (P+Po+n/2) P et PO ayant les mêmes significations que précédemment (figure 2). Conformément à l'invention, Les miroirs 84, 86, 88, 30, 34, 36, 66, 76, la lentille 18, les lames séparatrices 22, 74, Les déphaseurs 28, 28a ou 28b sont définis dans le guide 2 afin de modifier localement la valeur de l'indice effectif du mode guidé. La lentille peut être réalisée, comme schématisé sur la figure 2, par simple gravure anisotrope de toute la couche 10, les dimensions et la forme définissant respectivement les dimensions et les propriétés optiques de cette lentille. Il est possible de réaliser les lames séparatrices 22 et 74 par une gravure anisotrope partieLLe du guide de lumière ou bien sous forme d'un réseau fonctionnant en régime de Bragg et les déphaseurs 28, 28a en gravant partiellement le guide de lumière de façon anisotrope. En particulier, dans le cas d'un guide de lumière en SiO2/Si3N4/SiO2, les lames séparatrices 22 et 74 ainsi que les déphaseurs 28, 28a ou 28b sont réalisés par gravure anisotrope totale de la couche 10. Les miroirs 30, 34, 36, 66, 76, 84 et 86 peuvent être réalisés, comme schématisé sur La figure 2, par une gravure complète du guide optique 2, jusqu'au subs- trat 4, une gravure anisotrope du guide permet l'obten- tion de flancs gravés parfaitement abrupts. Afin d'amé- liorer leurs caractéristiques de réflexion, il est pos- sible de recouvrir les flancs gravés d'une couche d'or ou d'aluminium. Pour de plus amples détails sur la fabrication des différents composants intégrés du capteur de l'inven- tion, on peut se référer à la demande de brevet français 87 04877, déposée au nom du Demandeur. On donne ci-après deux exemples de détermination de l'indice de réfraction N d'un liquide inconnu (élec- trolyte par exemple), en référence à La figure 8 qui donne les variations de l'indice effectif du guide dans la zone 32 en fonction des variations de l'indice N. La courbe 1 correspond à un capteur formé dans une structure Si/SiO2/Si3N4/AL203, les couches de SiO2, Si3N4 et AL203 ayant un indice de réfraction respecti- vement de 1,453, 1,996 et 1,61 et une épaisseur respecti- vement de 2 pm, 165 nm et 150 nm. La courbe 2 correspond à un capteur formé dans une structure ne se différenciant de la précédente que par l'épaisseur de la couche d'alumine qui vaut 400 nm au lieu de 150 nm. On voit donc clairement que l'indice effectif n2 de la zone d'interaction 32 varie avec l'indice N de l'électrolyte (qui varie ici de 1,35 à 1,38). Les valeurs n2 pour Les courbes 1 et 2 se Lisent respecti- vement sur Les axes des ordonnées à gauche et à droite de La figure. Le déphasage Lumineux P varie donc aussi avec L'indice N de la vaLeur dP. On a: dP = x.21. (n2(N) - n2(NO)) L avec X La Longueur d'onde optique utiLisée; L La Lon- gueur d'interaction de la structure avec L'éLectroLyte; n2(N) l'indice effectif du mode guidé pour une valeur N de l'indice de réfraction de l'éLectrolyte; n2(NO) l'indice effectif du mode guidé pour une valeur N0 de l'indice de réfraction de l'électrolyte (par exemple NO = 1,35). Le facteur x dans cette équation correspond au nombre de passages de la Lumière dans la zone d'inter- action 32 (x=l sur la figure 7 et x=2 sur Les figures 2 et 6). En général pour assurer une bonne linéarité de la mesure de P on choisit le déphasage maximal noté dPmax tel que: dPmax = x. 2I.dn2max L est voisin de 2' ce qui donne comme valeur de L: L Dans notre exemple: dn2max = n2(1,38) - n2(1,35). On voit que suivant les structures utilisées pour la zone d'interaction 32 (courbe 1 ou 2) dn2max peut être très différent: dn2max Z 5.10-4 pour la structure correspondant à la courbe 1 et dn2max = 2,5.10-5 pour La structure correspondant à la courbe 2. On choisit donc pour la structure de la cour- be 1: L "J200 pm, pour la structure de la courbe 2: L -4.m avec x = 0,8 hm et x=2. Ceci permet de moyenner plus ou moins fortement Les valeurs de l'indice N à mesurer sur une longueur d'interaction plus ou moins grande. ?4 REVENDICATIONS 1. Dispositif optique intégré servant à mesurer l'indice de réfraction d'un fluide comprenant (a) un guide de lumière (2) correspondant à un indice effectif n1 au mode guidé, formé sur un substrat (4) et comportant une couche guidante (8) destinée à véhiculer des fais- ceaux lumineux (16, 24, 26, 38, 40), intercalée entre une couche inférieure (6) et une couche supérieure (10) ayant des indices de réfraction inférieurs à celui de la couche guidante (8), (b) une zone de mesure d'inter- action (32) du guide de lumière destinée à être au con- tact du fluide (31), la couche supérieure (10) au niveau de la zone de mesure présentant une épaisseur (h') infé- rieure à la distance de pénétration de l'onde évanescente du faisceau Lumineux guidé et en dehors de cette zone d'interaction une épaisseur Ch) supérieure à ladite distance de pénétration de cette mime onde évanescente, et (c) un système optique du type interféromètre, formé au moins en partie dans le guide de lumière et comportant un circuit optique de référence (22, 28, 28a, 30) et un circuit optique de mesure (22, 32, 34) incluant la zone de mesure (32), pour mesurer le déphasage introduit par un changement d'indice effectif n2 du mode guidé dO au fluide. 2. Dispositif optique selon La revendication 1, caractérisé en ce que la couche supérieure (10) du guide est revêtue d'une couche protectrice (52) dont l'épaisseur (h") au niveau de la zone de mesure (32) est telle que la somme des épaisseurs (h' + h") de la couche supérieure (10) et de la couche protectrice (52) au niveau de la zone d'interaction (32) est inférieure à la distance de pénétration de l'onde évanescente lorsque La couche protectrice a un indice de réfraction inférieur à l'indice effectif du mode guidé. 3. Dispositif optique seLon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce qu'un système de protection (48) équipé de joints d'étanchéité (50) est prévu pour isoler la zone de mesure (32) des circuits optiques de mesure et de référence. 4. Dispositif optique selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la couche guidante (8) est en nitrure de silicium ou en silice dopée et les couches inférieure (6) et supérieure (10) en silice pure. 5. Dispositif optique selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que la couche protectrice (52) est en alumine. 6. Dispositif optique selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'il com- prend: - une source de lumière (12) émettant un fais- ceau incident principal (16) de lumière, - des moyens de collimation (18, 84) du faisceau principal, - des premiers moyens séparateurs (22) pour séparer le faisceau principal collimaté en un faisceau de mesure (24) et en un faisceau principal de référence (26), et pour diriger le faisceau de mesure (24) sur la zone de mesure (32), - un premier miroir (34) pour renvoyer le fais- ceau de mesure (24) provenant de la zone de mesure sur les premiers moyens séparateurs (22), - des moyens déphaseurs (28, 28a, 28b) pour introduire au moins un déphasage constant sur une partie du faisceau principal de référence (26) afin de former au moins deux faisceaux secondaires de référence dépha- sés, - un second miroir (30) pour renvoyer les deux faisceaux secondaires de référence sur les premiers moyens séparateurs (22) afin de Les faire respectivement interférer avec Le faisceau de mesure et former ainsi au moins deux premiers signaux lumineux distincts d'interférence (38, 40; 68, 70, 72), ces premiers signaux d'interférence étant représentatifs de l'indice de réfraction du fluide (31) au contact de La zone de mesure, des seconds moyens séparateurs (36, 66) pour séparer les deux premiers signaux d'interférence, et - au moins deux premiers détecteurs (42, 44) pour détecter chacun un premier signaL d'interférence, les moyens de coLLimation (18, 84), les premiers et seconds moyens séparateurs (22, 36, 66) et les moyens déphaseurs étant formés respectivement par une modification locale appropriée de l'indice effectif du mode guidé, et les miroirs (30, 34) étant formés par une gravure locale et au moins partielle du guide de lumière. 7. Dispositif optique selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'il com- prend: - une source de Lumière (12) émettant un faisceau incident principal (16) de lumière, - des moyens de cotimation (18, 84) du faisceau principal, - des premiers moyens séparateurs (22) pour séparer le faisceau principal coLlimaté en un faisceau de mesure (24) et en un faisceau principal de référence (26), et pour diriger le faisceau de mesure (24) sur la zone de mesure (32), - un premier miroir (34) pour envoyer le fai- sceau de mesure (24) provenant de la zone de mesure sur des seconds moyens séparateurs (74), - des moyens déphaseurs (28, 28a, 28b) pour introduire au moins un déphasage constant sur une partie du faisceau principal de référence (26) afin de former au moins deux faisceaux secondaires de référence dépha- sés, - un second miroir (30) pour envoyer les deux faisceaux secondaires de référence sur Les seconds moyens séparateurs (74) afin de les faire respectivement inter- férer avec le faisceau de mesure et former ainsi au moins deux premiers signaux Lumineux distincts d'inter- férence (38, 40; 68, 70, 72), ces premiers signaux d'interférence étant représentatifs de l'indice de réfraction du fluide (31) au contact de la zone de mesure, - des troisièmes moyens séparateurs (36, 66) pour séparer les deux premiers signaux d'interférence, et - au moins deux détecteurs (42, 44) pour détec- ter chacun un premier signal d'interférence, les moyens de collimation (18, 84), les premiers, seconds et troisièmes moyens séparateurs (22, 36, 66, 74) et les moyens déphaseurs étant formés respectivement par une modification locale appropriée de l'indice effectif du mode guidé, et les miroirs (30, 34) étant formés par une gravure locaLe et au moins partieLle du guide de lumière. 8. Dispositif optique selon la revendication 6 ou 7, caractérisé en ce qu'une fibre optique d'entrée (13, 13a), éventueLLement associée à un micro-guide d'entrée (14) formé sur le substrat (4), est intercalée entre la source (12) de lumière et les moyens (18, 84) de collimation, afin de diriger le faisceau principal sur les moyens de collimation. 9. Dispositif optique selon l'une quelconque des revendications 6 à 8, caractérisé en ce que des moyens supplémentaires séparateurs (76) associés à des seconds détecteurs (75, 77) sont prévus pour séparer et détecter des seconds signaux d'interférence (71, 73) représentatifs de l'indice de réfraction du fluide (31). 10. Dispositif optique selon l'une quelconque des revendications 6 ou 9, caractérisé en ce que des fibres optiques (45, 47, 49) de sortie, éventuellement associées à des micro-guides (78, 80, 82, 79, 81, 33, ) de sortie formés sur le substrat, sont prévues en amont des premiers et/ou seconds détecteurs (42, 44, , 77) afin de diriger les signaux d'interférence sur les détecteurs. 11. Dispositif optique selon l'une quelconque des revendications 6 à 10, caractérisé en ce qu'un troi- sième miroir de renvoi (86) est intercalé entre Les premiers moyens séparateurs (22) et les moyens déphaseurs (28a) et en ce que ce miroir est formé par une gravure locale et au moins partielle du guide de lumière (2). 12. Dispositif optique selon l'une quelconque des revendications 6 à 11, caractérisé en ce qu'un quatrième miroir (88) de renvoi est intercalé entre les premiers moyens séparateurs (22) et la zone de mesure (32) et est formé par une gravure locale et au moins partielle du guide de lumière. 13. Dispositif selon l'une quelconque des reven- dications 6 à 12, caractérisé en ce que les moyens dépha- seurs (28a) sont constitués de trois déphaseurs formant ainsi trois faisceaux secondaires de référence interfé- rant avec le faisceau de mesure pour former trois pre- miers signaux d'interférence (68, 70, 72). 14. Dispositif optique selon la revendication 12, caractérisé en ce que les premier, second, troisiè- me, et quatrième miroirs sont formés par un flanc gravé du guide de lumière, s'étendant jusqu'au substrat (4). 15. Dispositif optique selon la revendication 9. caractérisé en ce que les premiers (22), seconds (36, 66) et troisièmes (74) moyens séparateurs et/ou les moyens séparateurs supplémentaires (76) sont formés par un flanc gravé du guide de lumière, s'étendant jusqu'au substrat (44). 16. Dispositif optique selon l'une quelconque des revendications 1 à 15, caractérisé en ce que la zone de mesure (32) a une longueur L égale à environ A/4x.dn2max avec À la longueur d'onde du mode guidé, dn2max les variations maximales possibles de l'indice effectif du mode guidé dans la zone de mesure et x le nombre de passages du faisceau de mesure (24) dans la zone de mesure.