Brevet FR2638047A1 — publié le 19900420

Transducteur interdigité pour filtre à ondes de surface La présente invention conce:le un transducteur à électrodes métalliques interdigitées en forme de peigne et déposées sur un substrat piézoélectrique. Le transducteur est inclus particulièrement dans un filtre à ondes de surface. Dans un tel filtre, on cherche à réduire au maximum les pertes par insertion qui sont assez importantes. Les transducteurs interdigités doivent être désadaptés très fortement afin de réduire l'influence d'échos parasites de l'onde acoustique se propageant dans le filtre o les pertes excèdent généralement 20 dB. Pour réduire les pertes d'insertion, il est connu de réaliser des filtres à transducteurs imbriqués à admittances conjuguées. Ce type de filtre est décrit dans l'article de M. HIRITA et al., "HIGH PERFORMANCE SAW FILTERS WITH SEVERAL NEW TECEHNOLOGIES FOR CELLULAR RADIO", IEEE Trans. Microwave Theory Tech., vol. 33, N 6, pages 510 à 517, 1985. En se reportant à la Fig. I annexée, analogue à la Fig. 8a de l'article précité, ce type de filtre comporte, sur une surface principale du substrat, deux voies acoustiques parallèles d'entrée et de sortie VE et VS ayant en commun plusieurs cellules de couplage juxtaposées, par exemple deux cellules CE et CE, selon la réalisation illustrée. Chaque cellule CE1, CE2 comprend deux transducteurs interdigités d'entrée TE reliés à une borne d'entrée BE du filtre, deux transducteurs interdigités de sortie TS reliés à une borne de sortie BS du filtre, et deux transducteurs interdigités intermédiaires, dits transducteurs de couplage TC (en Anglais "image-impedance connected IDT"), respectivement dans- les voies VE et VS. Les deux transducteurs de couplage TC sont disposés respectivement entre les deux transducteurs d'entrée TE et les deux transducteurs de sortie TS et sont reliés en série. Deux cellules consécutives du filtre comprennent en commun un transducteur d'entrée et un transducteur de sortie. Le filtre comprend également des lignes à réseaux réfléchissants RE et RS aux extrémités de chacune des voies VE et VS. -2- Les transducteurs de couplage TC contribuent à réduire les pertes dues à la bidirectionnalité. Comme montré à la Fig. 2 annexée, chaquetransducteur de couplage comporte deux peignes métallisés périodiques en regard pel et pe2 ayant des électrodes en forme de doigts Iarallèles et alternés dl et d2. Le pas de métallisation p entre deux doigts adjacents dl et d2 est égal à la demi-longueur d'onde acoustique X/2, ce qui correspond à une périodicité de doigt égale à X dans chacun des peignes pel et pe2, comme cela est connu dans les transducteurs - à électrodes interdigitées. La largeur a de chacun des doigts dl et d2 est constante et égale ou inférieure à 1/4. Dans ces conditions, les électrodes du transducteur de couplage sont équivalentes à des sources acoustiques dont les vibrations s'ajoutent en phase pour des fréquences correspondant à des longueurs d'onde voisines du double du pas de métallisation p. La bande de fréquence d'arrêt du transducteur est alors donnée par: 2r-2A désigne le coefficient de réflexion d'un doigt. Pour assurer à un tel filtre un comportement satisfaisant dans sa bande passante, l'article précité (Fig. 4) recommande que le nombre de doigts actifs dans chacun des transducteurs de couplage soit sensiblement égal à 1,5/k2, o k2 désigne le coefficient de couplage électromagnétique du substrat. Lorsque cette condition est réalisée, la susceptance de rayonnement B(f) du transducteur reste proche de zéro dans une bande de fréquence dont la largeur relative est de l'ordre de k2. Cette bande offre des flancs très raides et pratiquement pas d'ondulation. Toutefois, le niveau des lobes secondaires reste élevé, de l'ordre de 20 dB, et il est nécessaire de pondérer les transducteurs de couplage pour abaisser le niveau de ces lobes. Selon l'art antérieur, deux techniques sont recommandées pour effectuer cette pondération. Selon une première technique, dite "apodization", et illustrée à la Fig. 3a de l'article précité, la longueur des doigts des peignes diminue progressivement de part et --3- d'autre du doigt actif central du transducteur. Selon une seconde technique, dite "en escalier", et illustrée à la Fig. 3b de l'article précité, les doigts actifs de largeur uniforme ont des configurations- en marche d'escalier qui sont symétriques deux à deux de part et d'autre du o igt actif central rectiligne du transducteur. Par ailleurs, une troisième technique de pondération peut être envisagée selon l'article de Clinton S. HARTMANN, intitulé "WEIGHTING INTERDIGITAL SURFACE WAVE TRLNSDUCERS BY SELECTIVE WITHDRAWAL OF ELECTRODES", Ultrasonics Symposium Proceedings; IEEE, 1973, p. 423 à 426. Cette technique consiste à retirer sélectivement des doigts dans le premier peigne et/ou le second peigne du transducteur. La présente invention vise à réduire la largeur de la bande de fréquence d'un transducteur interdigité destiné notamment à servir de transducteur de couplage dans un filtre à ondes de surface à faibles pertes d'insertion. A cette fin, un transducteur interdigité symétrique propre à propager une onde acoustique ayant une longueur d'onde centrale prédéterminée ÀO, et comprenant des premiers doigts d'un premier peigne et des seconds doigts d'un second peigne disposés alternativement sur un substrat est caractérisé en ce qu'au moins l'entraxe entre un premier doigt central au transducteur et un second doigt adjacent au doigt central est égal à RIO/2, o R est un entier strictement supérieur à 1, les entraxes entre les autres premiers doigts et les autres seconds doigts étant au moins égaux à RI0/2. Ainsi, comparativement à la technique antérieure, l'invention préconise une augmen ation de la longueur optimale de chaque transducteur de couplage en réduisant le nombre de doigts actifs par unité de longueur. En fonction du facteur de réduction choisi, la bande de fréquence des transducteurs sera d'autant moins large. D'autres caractéristiques de l'invention apparaîtront plus clairement à la lecture de la description suivante en référence auX dessins annexés correspondants dans lesquels: -4- - la Fig. 1 est une vue schématique de dessus d'un filtre à ondes de surface à transducteurs de couplage selon la technique antérieure, déjà commenté ci-avant; - la Fig. 2 montre une portion de la structure d'un transducteur de couplage connu, déjà commenté ci-avant; - la Fig. 3 montre une portion, de préférence centrale, de la structure d'un transducteur selon l'invention; - la Fig. 4 est une vue de dessus d'un transducteur connu obtenu selon la technique de "retrait de doigts"; - les Figs. 5 et 6 montrent respectivement des variations des conductance et susceptance de rayonnement et la réponse en fonction de la fréquence pour le transducteur connu montré à la Fig. 4; la Fig. 7 est une vue de dessus d'un transducteur du type à "retrait de doigts" selon l'invention; et - les Figs. 8 et 9 montrent respectivement des variations de conductance et susceptance de rayonnement et la réponse en fonction de la fréquence pour-le transducteur selon l'invention, montré à la Fig. 7. En référence à la Fig. 3, un groupe périodique de paires de doigts situé de préférence au centre d'un transducteur interdigital symétrique selon l'invention présente un pas de métallisation égal à Rp. Le pas est défini par l'entraxe entre un doigt Dl d'un premier peigne PEi, tel que le peigne actif du transducteur, et un doigt D2 d'un second peigne PE2, tel que le peigne de masse du transducteur. La longueur p=X/2 est égale au pas dans le transducteur connu, montré à la Fig. 2. Le facteur R est un entier strictement supérieur à 1, et égal à 2 selon la réalisation illustrée à la Fig. 3. Ainsi, comparativement à la structure connue de la Fig. 2, la- structure selon la Fig. 3 en est déduite en supprimant périodiquement R-I doigts du peigne actif. Au moins la structure centrale des peignes selon l'invention a donc une périodicité égale à 2Ep, et une longueur optimale R fois plus grande que celle selon la Fig. 2. En d'autres termes, le nombre de doigts par unité de longueur de la structure est réduite du facteur R. Les premiers doigts D1 ont une largeur a inférieure à t/2, de préférence de l'ordre de i/4, et égale à celle à des doigts dl et -5- d2 dans les premier et second peignes selon la technique antérieure; de même, l'espace interélectrode entre deux côtés en regard de premier et second doigts adjacents DI et D2 demeurent inchangé et est égal à (p-a). En conséquence la largeur d'un second doigt D2 est égale à: 2Rp-2(p-a)-2a/2 = 2(R-1)p+a et est nettement plus grande que la largeur a des seconds doigts.d2 selon la Fig. 2. La bande de fréquence d'arrêt de cette structure "réduite" est approximativement donnée par: 2Rr - 2A La largeur de bande d'tarrêt se trouve ainsi réduite dans un rapport voisin de 1/R par rapport à une structure "non réduite" selon la Fig. 2. S'agissant de l'abaissement du niveau des lobes secondaires de la fonction de transfert d'un transducteur selon l'invention, celui-ci est obte-.u par l'une quelconque des techniques antérieures évoquées précédemment, à savoir par des longueurs des doigts dans chacun des peignes variables (apodization), ou par des conformations en "marches d'escalier" des doigts, ou par "retrait" de doigts. A titre d'exemple, des résultats expérimentaux sont indiqués ci-après pour un transducteur TA selon la technique antérieure et un transducteur TI selon l'invention, tous deux du type à "retrait de doigts". Le substrat piézoélectrique de ces transducteurs est en niobate de lithium LiNbO3, coupe Y.128', ayant un coefficient de couplage électromagnétique k2=O,056. La fréquence centrale du transducteur est égale à 902,5 MHz qui correspond à une longueur d'onde Xo=2,16 mm et uae ouverture acoustique OU égale à I50 pm. Comme montré à la Fig. 4, le transducteur TA selon la technique antérieure comporte 1,5/k2-27 premiers doigts dl actifs qui sont répartis en un groupe central ayant 13 doigts espacés régulièrement de A0, deux premiers groupes symétriques ayant chacun trois doigts espacés régulièrement de X0, deux seconds groupes symétriques ayant chacun trois doigts espacés régulièrement de 210, et deux doigts symétriques extrémaux. Comme cela apparaît, dans la Fig. 4, un doigt actif a été retiré entre le groupe central et - 6 - chaque premier groupe, un doigt actif a été retiré entre chaque premier groupe et le second groupe voisin, et quatre doigts actifs ont été retirés entre chaque second groupe et le doigt extrémal voisin. La longueur active du transducteur TA est ainsi égale à LA=420. Pour le transducteur TA, les variations de la conductance GA et de la susceptance BA en fonction de la fréquence sont montrées à la Fig. 5. La réponse en fréquence de deux transducteurs TA couplés pour former une cellule élémentaire à deux transducteurs de couplage TC dans un filtre tel que montré à la Fig. 1 est montré à la Fig. 6. La largeur de bande à - 3dB pour cette cellule est égale à AfA=30,6 MHz. En référence à la Fig. 7, le transducteur TI selon l'invention constitue un transducteur de couplage TC également selon la technique de "retrait de doigts", c'est-à-dire dans lequel les entraxes entre des premiers et seconds doigts adjacents D1 et D2, et/ou entre des groupes de premiers et seconds doigts alternés augmentent progressivement et symétriquement à partir du centre du transducteur. Le transducteur TI comporte 31 doigts actifs qui sont répartis en un groupe central ayant Il doigts espacés régulièrement de RX0=2k0, deux premiers groupes symétriques ayant chacun trois doigts espacés régulièrement de 2 O deux seconds groupes symétriques ayant chacun quatre doigts espacés régulièrement de 3t0, et deux groupes symétriques extrémaux ayant trois doigts qui sont respectivement espacés de 410, 6t0 et 910 à partir du second groupe voisin. L'espace entre le groupe central et chaque premier groupe est égal à 3A0, et l'espace entre chaque premier groupe-et le second groupe voisin est égal à 3t. La longueur active LI du transducteur TI est ainsi égale à 9710. D'une manière analogue aux Figs. 5 et 6, mais pour une bande de fréquence réduite d'un facteur 2, les Figs. 8 et 9 indiquent respectivement les variations des conductance GI et susceptance eI du transducteur TI en fonction de la fréquence, et la réponse en fréquence de deux transducteurs TI formant une cellule de couplage TC+TC dans le filtre de la Fig. 1. La largeur de bande LfI à -3dB d'atténuation pour la cellule à deux transducteurs TI est égale à 13,5 MHz. Cette largeur 263Q047 - 7- correspond donc à une réduction de 30,6/13,5=2,3 par rapport à la largeur de bande de la paire de transducteurs TA, réduction qui est proche du rapport d'augmentation des longueurs des transducteurs, soit LI/LA=97/42=2,3. R E V E N D I C A T I ON S 1 - Transducteur interdigité symétrique propre à propager une onde acoustique ayant une longueur d'onde centrale prédéterminée À., et comprenant des premiers doigts (DI) d'un premier peigne (PEI) et des seccids doigts d'un second peigne (PE2) disposés alternativement sur un substrat, caractérisé en ce qu'au moins l'entraxe entre un premier doigt (Dl) central au transducteur (TI) et un second doigt (D2) adjacent au doigt central est égal à RI0/2, o R est un entier strictement supérieur à 1, les entraxes entre les autres premiers doigts (D1) et les autres seconds doigts (D2) étant au moins égaux à RX0/2. 2 - Transducteur conforme à la revendication 1, caractérisé en ce que la largeur des seconds doigts (D2) est au moins égale à (R-1)M0+a, o a désigne la largeur des premiers doigts (D1) inférieure à À0/2 I5 3 Transducteur conforme à la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la longueur des premiers et seconds doigts (D1, D2) diminue progressivement à partir du doigt central. 4 - Transducteur conforme à la revendication I ou 2, caractérisé en ce que les premiers et seconds doigts (D1, D2) de part et d'autre du doigt central ont des configurations en marches d'escalier. - Transducteur conforme à la revendication I ou 2, caractérisé en ce que les entraxes entre des premiers et seconds doigts adjacents (Dl, D2) et/ou les écarts entre des groupes de premiers et seconds doigts alternés augmentent progressivement et symétriquement à partir du centre du transducteur, chacun desdits entraxes ou écarts étant égal à MI0/2, o M est un entier égal ou supérieur à R. 6 - Filtre à ondes de surface, caractérisé en ce qu'il comprend au moins un transducteur conforme à l'une quelconque des revendications I à 5. 7 - Filtre à ondes de surface, caractérisé en ce qu'il comprend au moins une cellule à transducteurs d'entrée et de sortie (TE, TS) qui sont couplés par un ou deux transducteurs de couplage (TC), caractérisé en ce que le ou les transducteurs de couplage sont conformes à l'une quelconque des revendications I à 5.