Brevet FR2641529A1 — publié le 19900713

La présente invention concerne un générateur d'ozone et un procédé de production d'ozone, et plus particulièrement un appareil et un procédé de production d'ozone par décharge silencieuse par application d'un champ électrique à haute fréquence. Au cours des dernières années l'ozonea été utilisé largement pour purifier les eaux industrielles ou les eaux d'égout et les déchets liquides. Afin de répondre à la demande dans ces domaines, il est souhaitable de disposer d'un générateur d'ozone à grande capacité capable de produire de l'ozone de façon stable. Un générateur d'ozone conventionnel comprend un tube à décharge (électrode à haute tension diélectrique) constituée par un tube par exemple en verre recouvert d'une couche d'aluminium ou analogue. En réalisant une décharge entre le tube à décharge et une électrode reliée à la masse l'oxygène contenu dans un gaz d'alimentation est activé et transformé en ozone. Lors de la production de l'ozone 03, il se produit également une faible quantité d'oxyde d'azote NO. Cet oxyde x d'azote réagit avec l'humidité contenue dans le gaz pour produire de l'acide nitrique. L'acide nitrique corrode le tube à décharge, l'électrode reliée à la masse etc. Afin d'empêcher la production d'acide nitrique, on peut utiliser de l'oxygène pur comme gaz d'alimentation. Cependant, dans ce procédé, il est nécessaire de préparer de l'oxygène pur. En outre, il est possible d'éliminer 26 l'humidité contenue dans le gaz d'alimentation pour envoyer un gaz d'alimentation sec dans un générateur d'ozone. Il est alors nécessaire de prévoir un sécheur indépendant du générateur d'ozone. Pourtant, même s'il est possible d'éliminer l'humidité contenue dans le gaz d'alimentation, du NOx se produit, bien qu'en très faible quantité. Le NO ainsi produit adhère sur les tubes. Lorsque X l'on procède à une révision ou à une réparation sur le générateur d'ozone, de l'air pénètre à l'intérieur et le NOx réagit avec X l'humidité de l'air pour former de façon inévitable de l'acide nitrique. Afin de résoudre les problèmes cidessus, la demande de brevet japonais examinée et publiée n 57-47 124 propose une technique selon laquelle le tube à décharge, l'électrode reliée à la masse et les autres pièces du générateur d'ozone sont constituées par un matériau tel que l'acier inoxydable oui présente une résistance à l'ozone et une résistance à l'acide nitrique. L'acier inoxydable présente une bonne résistance à l'ozone et à l'acide nitrique. Pour cette raison, selon la technique décrite dans cette demande de brevet japonais examinée et publiée, le générateur d'ozone peut fonctionner de façon stable pendant une longue durée même si de l'acide nitrique se produit en même temps que l'ozone. On connaît une technique destinée à augmenter la quantité d'ozone produit par unité de volume du générateur d'ozone. Selon cette méthode, la fréquence de l'énergie apportée au tube à décharge est augmentée jusqu'à une valeur comprise entre environ 500 et 2 000 Hz (fréquence supérieure à celle du réseau basse tension (en général 50 ou 60 Hz)). Lorsque l'on augmente la fréquence pour obtenir une haute fréquence, l'énergie électrique de décharge augmente de sorte que la quantité d'ozone produite par unité de volume du générateur d'ozone augmente également. Cependant, si l'on fait fonctionner un générateur d'ozone qui comprend un tube à décharge présentant une couche d'acier inoxydable en appliquant une énergie à haute fréquence, il est possible que la couche conductrice formée sur le tube de verre se sépare de celui-ci. La présente invention a pour objet de surmonter les inconvénients cidessus en proposant un générateur d'ozone qui comprend un tube à décharge présentant une couche conductrice qui a une bonne résistance à l'ozone et à l'acide nitrique et qui ne se sépare pas facilement du tube à décharge. Pour atteindre l'objet ci-dessus, on a réalisé des essais et on a constaté que la séparation de la couche d'acier inoxydable d'un tube à décharge peut être empêchée si l'on règle l'épaisseur de la couche d'acier inoxydable à une valeur comprise entre 2 000 et 5 000 x 10-10 m. Ainsi, selon la présente invention et sur la base de ce résultat expérimental, dans un générateur d'ozone dans lequel une couche d'acier inoxydable est formée sur la surface interne d'un tube diélectrique, et dans lequel une tension à haute fréquence est appLiquée à la couche d'acier inoxydable pour réaliser une décharge silencieuse et pour produire ainsi de l'ozone, on règle l'épaisseur de La couche d'acier inoxydable à une valeur comprise entre 2 000 et, 5 000 x 10-10 m. La présente invention concerne également un procédé de production d'ozone qui comprend: l'étape de revêtir un tube diélectrique d'une couche métallique ayant une épaisseur comprise entre 2 000 et 000 x 10 10 m pour former ainsi un tube à décharge, l'étape de faire circuler un gaz d'alimentation contenant de l'oxygène autour du tube à décharge, l'étape de production d'une énergie électrique ayant une fréquence supérieure à la fréquence du réseau basse tension, et l'étape d'appliquer l'énergie obtenue grâce à l'étape de production au tube à décharge pour produire une décharge silencieuse et pour produire ainsi de l'ozone. Ainsi, la présente invention propose un générateur d'ozone comprenant un tube à décharge présentant une couche d'acier inoxydable qui n'est pas facilement séparée du tube de verre par des influences électriques ou thermiques, et un procédé de production d'ozone à l'aide de ce générateur. D'autres objets et avantages de la présente invention apparaitront à la lecture de la description suivante de différents modes de réalisation non limitatifs illustrés par les dessins annexes dans lesquels: - la figure I est une courbe qui représente le pourcentage de défauts en fonction de l'épaisseur de la couche conductrice formée sur la surface interne d'un tube à décharge, au cours d'un essai de fonctionnement en continu, - la figure 2 est une courbe qui représente le pourcentage de défauts en fonction de l'épaisseur de la couche conductrice formée sur la surface interne d'un tube à décharge, au cours d'un essai de choc thermique, - la figure 3 est une vue en coupe d'un générateur d'ozone selon le premier mode de réalisation de la présente invention, et - les figures 4 et 5 sont des vues en coupe représentant des générateurs d'ozone selon le second et le troisième mode de réalisation de la présente invention. Les présents inventeurs ont étudié la relation entre le mode de fonctionnement d'un générateur d'ozone et la séparation d'une couche d'acier inoxydable d'une électrode à décharge. Il est résulté de cette étude qu'au cours du fonctionnement normal d'un générateur d'ozone (la fréquence de l'énergie électrique appliquée au tube à décharge étant égale à la fréquence du réseau basse tension), il se confirme qu'il n'apparaît sensiblement aucune séparation de la couche d'acier inoxydable. Cependant, si l'on règle la fréquence de l'énergie électrique appliquée au tube à décharge à une valeur (en général de 500 à 2 000 Hz) supérieure à celle de la fréquence du réseau basse tension pour augmenter l'énergie de décharge afin de faire croître la quantité d'ozone produit par tube à décharge, il se confirme qu'il apparaît fréquemment une séparation de la couche aux endroits o celle-ci est mince et au niveau du contact entre la couche d'acier inoxydable et un contacteur (contact ou plot de contact) . En outre, lorsque la décharge électrique provoquée par l'énergie à haute fré- quence dure longtemps, il se confirme qu'il se produit une sépa- ration de la couche sur toute la surface du tube à décharge. D'après les résultats d'essai ci-dessus, on suppose que lorsque l'on applique une énergie élevée à la couche conductrice, des étincelles éclatent aux endroits o la couche conductrice est mince et au niveau du contact entre la couche et le contacteur, étant donné que les résistances sont élevées à ces endroits, ce qui provoque une séparation de la couche. En outre, lorsque le générateur d'ozone est mis sous tension et arrêté de façon répétée, la température du tube à décharge varie depuis la température normale à l'arrêt du générateur jusqu'à une température plus élevée au cours de la décharge. De ce fait, on suppose que même une couche appliquée par pulvérisation cathodique et présentant une force d'adhésion élevée se sépare du fait d'une différence entre les coefficients de dilation thermique du verre et du métaL après un fonctionnement de Longue durée. Sur la base des hypothèses ci-dessus, on a réalisé les deux essais suivants afin d'étudier la relation entre l'épaisseur et la stabilité de la couche d'acier inoxydable. Essai 1 Cet essai a permis d'étudier la relation entre l'épaisseur d'une couche d'acier inoxydable formée par pulvérisation cathodique et la stabilité de cette couche d'acier inoxydable au cours du fonctionnement du générateur d'ozone pendant une longue durée. Pour cet essai, on a préparé des couches métalliques sur la surface interne de tubes de verre suivant six épaisseurs différentes comprises entre 500 et 3 800 x 1010 m, en préparant dix échantillons pour chaque épaisseur. En utilisant ces soixante échantillons, on a produit de l'ozone en continu pendant un mois, en maintenant la fréquence de l'énergie appliquée au tube à décharge et la densité de décharge aux valeurs de I kHz et 2 kW/m2 respectivement. Les résultats sont Les suivants: Dans le cas des échantillons ayant une épaisseur de couche de 500 x 10-10 m, une séparation s'est produite sur les dix échantillons. Dans le cas des échantillons ayant une épaisseur de couche de I 400 x 10- 10 m, une séparation de la couche s'est produite sur six des dix échantillons. Dans le cas des échantillons présentant une épaisseur de couche de 1 800 x 10-10 m, une séparation de la couche s'est produite sur l'un des dix échantillons. Pour ces trois types d'échantillons, la séparation de la couche s'est produite au niveau du contact entre la couche et le contacteur. Dans le cas des échantillons ayant des épaisseurs de couche de 2 000, 3 000 et 3 800 x 10-10 m, aucune séparation de la couche ne s'est produite. Ces résultats sont représentés dans la figure 1 dans laquelle l'épaisseur de la couche est portée en abaisses et le pourcentage de défauts est porté en ordonnées (pro- portion des échantillons qui ont subi une séparation de la couche). Selon les résultats expérimentaux ci-dessus, on comprend qu'une couche ayant une épaisseur de 2 000 x 10-10 m ou plus est nécessaire pour une électrode à décharge d'un générateur d'ozone à grande capacité en vue d'effectuer une décharge grâce à l'application au tube à décharge d'une énergie électrique ayant une haute fréquence de 500 Hz ou plus. On suppose que les résultats ci-dessus sont obtenus parce que, dans un tube à décharge comportant une couche métallique mince, la résistance électrique de la couche augmente ce qui provoque des étincelles. Essai 2 Sur la base de l'hypothèse ci-dessus, on a préparé des tubes à décharge ayant des couches d'acier inoxydable de différentes épaisseurs pour réaliser un essai de choc thermique. Ces tubes à décharge étant obtenus, on a appliqué une bande adhésive (bande de cellophane) sur la surface de chaque couche puis on l'a retirée pour examiner si la couche se séparait. Pour réaliser l'essai, on a préparé des échantillons de couches métalliques sur la surface interne de tubes de verre suivant cinq épaisseurs différentes de couches comprises entre 2 400 et 8 000 x 10-10 m, en préparant cinq échantillons pour chaque épaisseur. On a réalisé l'essai de choc thermique en laissant chaque échantillon tour à tour à -60 C et à 125 C pendant 30 min, et en répétant cinq fois ce cycle. Puis, on a appliqué une bande adhésive sur la surface de la couche et on l'a retirée pour examiner si la couche se séparait. On a constaté que, dans le cas des échantillons présentant des couches épaisses de 2 400 x 1010 m et de 5 000 x 10-10 m, il ne se produisait aucune séparation de la couche dans les échantillons. Dans le cas des échantillons ayant des couches épaisses de 6 000 x 10-10 m, on a observé une séparation de la couche dans l'un des cinq échantillons. Dans le cas des échantillons ayant des couches épaisses de 7 000 x 10-10 m, on a observé un décollement de la couche dans trois des cinq échantillons. Dans le cas des échantillons ayant des couches épaisses de 8 000 x 10 10 m, on a observé une séparation de ta couche dans deux des cinq échantillons. Ces résultats sont représentés dans ta figure 2 dans laouelle l'épaisseur de' la couche est portée en abcisses et te pourcentage de défauts est porté en ordonnées. Selon Les résultats expérimentaux ci-dessus, on constate qu'un générateur d'ozone dans lequeL L'épaisseur de la couche conductrice formée par pulvérisation cathodique est comprise dans -la gamme de 2 000 à 5 000 x 10-10 m est résistant vis-à-vis d'un choc thermique et est capable de produire de l'ozone de façon stable pendant une Longue durée. 1er mode de réalisation Un générateur d'ozone selon le premier mode de réalisa- tion de ta présente invention constitué sur la base des résultats expérimentaux ci-dessus va être décrit en référence à la figure 3. Comme le montre la figure 3, deux cloisons 2 présentant des ouvertures et situées dans un récipient métallique 1 délimitent deux chambres vides 3 et 3'. La chambre vide 3 comporte une intro- duction de gaz 4 pour injecter un gaz d'alimentation dans cette chambre. L'autre chambre vide 3' comporte une sortie d'ozone 5 pour extraire l'ozone (ou un gaz contenant de l'ozone) de cette chambre. Un tube métallique cylindrique (tube en acier inoxydable) 6 servant d'électrode reliée à la masse est disposé entre les ouvertures des deux cloisons 2 pour former ainsi une chambre vide 7 (chambre de refroidissement). Les deux chambres vides 3 et 3' sont reliées par le tube métallique cylindrique 6. Une introduction d'eau de refroidissement 8 est formée sur la partie inférieure de ta chambre de refroidissement 7, et une évacuation d'eau de refroidissement 9 est formée sur sa partie supérieure. Un tube à décharge 10 cylindrique est fixé de façon concentrique dans le tube métallique cylindrique 6 par une pièce d'écartement (non représentée) . Le tube à décharge 10 est un élément cylindrique qui est constitué par un matériau diélectrique tel que le verre et qui présente deux parties extrêmes. Une partie extrême du tube 10 est ouverte tandis que l'autre partie extrême est fermée. Une couche conductrice 11 est formée sur la surface interne du tube à décharge 10. Un contacteur 12 est relié à la cau- che conductrice11. Un conducteur 13 est relié au centre du contacteur 12. Le conducteur 13 est relié à une source d'énergie à haute fréquence 15 par l'intermédiaire d'une douille isolante 14. L'ensemble formé par le récipient 1, les cloisons 2 et le tube métallique cylindrique 6 est conducteur et est relié à la masse. Dans le dispositif ci-dessus, la couche conductrice 11 est formée par pulvérisation cathodique d'acier inoxydable et a une épaisseur comprise entre 2 000 et 5 000 x 10-10 m; La couche conductrice 11 est formée comme cela est décrit ci-dessous et dans la demande de brevet japonais examinée et publiée n 55-38 030. C'est-à-dire qu'une électrode en acier inoxydable en forme de barreau est insérée en tant que cible dans un tube de verre. Le tube de verre et l'électrode sont situés dans un cadre relié à la masse. De l'argon est enfermé hermétiquement dans le cadre pour constituer une atmosphère gazeuse. Une tension est appliquée à l'électrode en acier inoxydable. Il en résulte que certains des atomes constituant l'électrode en acier inoxydable sont dispersés de façon à former une couche d'acier inoxydable sur la surface interne du tube de verre. Le fonctionnement du générateur d'ozone va être décrit ci-dessous. La source d'énergie à haute fréquence 15 transforme le courant électrique du réseau basse tension qui a une fréquence de ou 60 Hzou un courant continu, en une énergie électrique à haute fréquence et l'applique à la couche conductrice 11. Cette énergie électrique à haute fréquence provoque une décharge silencieuse entre le tube à décharge 10 et l'électrode reliée à la masse 6 (tube métallique cylindrique). De préférence, la source d'énergie applique une énergie électrique qui a une fréquence de 500 Hz ou plus à la couche métallique. Un gaz contenant de l'oxygène, tel que l'air, est injecté par l'introduction 4 dans la chambre vide 3 et circule entre l'électrode cylindrique 6 et le tube à décharge 10. Les molécules d'oxygène contenues dans le gaz qui circule entre l'électrode 6 et le tube à décharge 10 sont excitées par la décharge pour produire de l'ozone. Le gaz qui contient l'ozone produit est évacué à l'extérieur du générateur par la chambre vide 3'. Ce générateur d'ozone est refroidi par une injection d'eau de refroidissement depuis l'introduction 8 de façon à remplir la chambre 7, cette eau étant évacuée par la sortie 9. Dans le générateur d'ozone selon Le premier mode de réalisation, étant donné que la source d'énergie 15 applique une énergie électrique à haute fréquence au tube à décharge 10, la quantité d'ozone produite par unité de volume du générateur d'ozone augmente. En outre, étant donné que l'électrode cylindrique 6 et la couche conductrice 11 sont constituées par de l'acier inoxydable, on obtient des résistances très élevées contre l'ozone produit, et contre le NOx et l'acide nitrique produits en plus de l'ozone. En outre, la couche conductrice 11 a une épaisseur comprise entre 2 000 et 5 000 x 10=10 m. De ce fait, même si le générateur d'ozone fonctionne de façon intermittente si bien que le tube à décharge est chauffé puis refroidi de façon répétée et même si une énergie électrique à haute fréquence est appliquée par la source d'énergie 15, la couche 11 ne se sépare pas du tube et la durée de vie du tube à décharge augmente. Ainsi, le générateur d'ozone selon le premier mode de réalisation de l'invention peut produire une grande quantité d'ozone de façon stable pendant une longue durée avec un entretien réduit. 2ème mode de réalisation Un générateur d'ozone selon le deuxième mode de réalisation de la présente invention va être décrit ci-dessous en référence à la figure 4. Il est à noter que dans la figure 4, les mèmes signes de référence que ceux de la figure 3 désignent des parties identiques, de sorte qu'une description détaillée de celle-ci sera omise. Dans ce mode de réalisation, deux tubes à décharge 10 et 10' sont disposés dans une électrode cylindrique 6. De préférence ces tubes à décharge sont disposés de teLle façon que l'extrémité ouverte de l'un d'entre eux est tournée vers l'arrivée du gaz d'alimentation et que l'extrémité fermée de l'autre tube à décharge est dirigée aussi vers L'arrivée du gaz d'alimentation. Avec cette disposition, il est possible de produire de l'ozone de façon efficace grâce au fonctionnement des deux tubes à décharge. Dans le dispositif de la figure 4, étant donné que le tube à décharge ' du côté aval de l'écoulement de gaz est exposé à un gaz présentant une concentration élevée d'ozone et une faible quantité d'oxyde d'azote même en fonctionnement continu, une dégradation de la couche conductrice, une décharge locale et une détérioration du tube à décharge ont tendance à se produire. Cependant, selon ce mode de réalisation, étant donné que la couche conductrice est constituée par de l'acier inoxydable et a une épaisseur comprise entre 2 000 et 5 000 x 010 m, il est possible de produire de l'ozone de façon stable. 3me mode de réalisation Afin d'augmenter la quantité d'ozone produit, il est possible de monter un certain nombre d'électrodes cylindriques 6 sur les cloisons 2 montrées dans la figure 1 afin d'augmenter le nombre de tubes à décharge 10. Un générateur d'ozone ayant une telle disposition est montré dans la figure 5. Il est à noter que dans la figure 5, les mêmes signes de référence que ceux de la figure 3 désignent des parties identiques, de sorte qu'une description détaillée de celle-ci va être omise. Egalement, dans cette disposition, étant donné qu'une couche d'acier inoxydable a une épaisseur comprise entre 2 000 et 5 000 x 10-10 m, il est possible de produire de l'ozone de façon stable. IL n'est pas nécessaire que l'électrode cylindrique 6 soit en acier inoxydable; elle peut être constituée par un tube de verre qui présente sur sa surface interne une couche d'acier inoxydable ou analogue. Le matériau constituant la couche métallique du tube à décharge est un matériau présentant une résistance à l'ozone et une résistance à l'acide nitrique. Ce peut être, outre l'acier inoxydable, par exemple un all aLLiInconel, un alliage Hastelioy, de l'or, du platine ou des alliages de ceux-ci. En outre, il n'est pas nécessaire que te matériau constituant le tube à décharge soit du verre (par exemple un verre au borosilicate ou un verre de plomb), mais ce peut être un autre matériau diélectrique tel qu'une céramique ou un émail. Même si la fréquence de l'énergie appliquée au tube à décharge est la fréquence du réseau basse tension, les générateurs d'ozone selon les modes de réalisation ci-dessus peuvent fonctionner de façon stable pendant une longue durée. Bien entendu, la présente invention n'est pas limitée aux modes de réalisation ci-dessus qui n'ont été donné qu'à titre d'exemple. D'autres avantages apparaîtront à l'homme du métier. En outre, iL est possible d'apporter différentes modifications à t'invention sans sortir de son cadre. REVENDICATIONS 1. Générateur d'ozone caractérisé en ce qu'il comprend: une chambre de gaz d'alimentation (3) destinée à recevoir un gaz d'alimentation, une chambre d'ozone (3') destinée à recevoir l'ozone produit, une électrode tubulaire (6) destinée à relier ces deux chambres, un tube à décharge (10) constitué par un tube de verre et par une couche métallique (11) recouvrant la surface interne dudit tube de verre, et inséré dans ladite électrode tubulaire (6), et une source d'énergie (15) destinée à appliquer une tension de fréquence supérieure à la fréquence du réseau basse tension entre ladite couche métallique (11) et ladite électrode tubulaire (6) pour produire une décharge silencieuse, ladite couche métallique étant une couche d'acier inoxydable dont l'épaisseur est comprise entre 2 000 et 5 000 x 10-10 m. 2. Générateur selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite source d'énergie (15) fournit à ladite couche métallique (11) une tension dont la fréquence est de 500 Hz ou plus. 3. Générateur selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite couche métallique (11) est formée par pulvérisation cathodique. 4. Générateur d'ozone comprenant un tube à décharge (10) obtenu par formation d'une couche de revêtement métallique (11) sur la surface d'un substrat diélectrique et produisant *de l'ozone par décharge, caractérisé en ce que ladite couche de revêtement (11) a une épaisseur comprise entre 2 000 et 5 000 X 10-10 m. 5. Générateur selon la revendication 4, caractérisé en ce que ladite couche de revêtement (11) est constituée par au moins l'un des métaux ou alliages suivants: acier inoxydable, Inconel Hastelloy d or et platine et leurs alliages. 6. Générateur selon la revendication 4, caractérisé en ce que ladite couche de revêtement (11) est formée par pulvérisation cathodique. 7. Générateur seLon la revendication 4, caractérisé en ce que ledit substrat diélectrique est constitué par un tube de verre, de céramique ou d'émail, et en ce que ladite couche de revêtement (11) est formée sur la surface interne dudit tube. 8. Générateur selon la revendication 4, caractérisé en ce que Ledit substrat diélectrique est constitué par du verre, une céramique ou un émail. 9. Générateur selon la revendication 4, caractérisé en ce que ledit substrat diélectrique est constitué par un tube ayant une extrémité fermée et une extrémité ouverte. 10. Générateur selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une source d'énergie (15) qui reçoit une énergie électrique ayant la fréquence du réseau basse tension, qui transforme l'énergie électrique reçue en une énergie électrique ayant une fréquence supérieure à la fréquence du réseau basse tension et qui applique l'énergie électrique transformée audit tube à décharge (10), pour produire ainsi une décharge silencieuse. 11. Générateur selon la revendication 10, caractérisé en ce que ladite source d'énergie (15) fournit une énergie électrique ayant une fréquence de 500 Hz ou plus à ladite couche de revêtement métallique. 12. Générateur selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un autre tube à décharge, lesdits tubes à décharge étant disposés de telle façon que l'extrémité ouverte de l'un d'entre eux est dirigée vers l'arrivée du gaz d'alimentation et que l'extrémité fermée de L'autre tube à décharge est dirigée aussi vers l'arrivée du gaz d'alimentation. 13. Procédé de production d'ozone caractérisé en ce qu'il comprend: l'étape d'application d'une couche métallique (11) sur un tube diélectrique en une épaisseur comprise entre 2 000 et 000 x 10-10 m, pour former ainsi un tube à décharge (10), L'étape de faire circuler un gaz d'alimentation contenant de l'oxygène autour dudit tube à décharge, L'étape de produire une énergie électrique ayant une fréquence supérieure à la fréquence du réseau basse tension, et l'étape d'appliquer audit tube à décharge l'énergie obtenue grâce à ladite étape de production pour produire une décharge silencieuse, et pour produire ainsi de l'ozone. 14. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que ladite couche métallique (11) est formée sur la surface interne dudit tube diélectrique. 15. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que ledit tube diélectrique est constitué par du verre, une céramique ou un émail. 16. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que ladite couche métallique (11) est constituée par l'un des métaux ou alliages suivants: acier inoxydable, Inconel, Hastelloy, or et platine et leurs alliages. 17. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que ladite étape de formation du tube à décharge est constituée par une étape de pulvérisation cathodique et d'application de ladite couche métallique (11) sur ledit tube diélectrique. 18. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que ladite étape de production produit une tension ayant une fréquence de 500 Hz ou plus. 19. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que ladite étape de production reçoit une énergie électrique ayant une fréquence supérieure à la fréquence du réseau basse tension.