Brevet FR2644797A1 — publié le 19900928

PFMXÉD ET SYSTE DE MESURE ET CONTROLE DE TE RATURE POUR DES PROCESSUS PHCOIHEfIQUES La présente invention concerne la détermination de la température de surface pendant des processus associés à des rayonements et provoqués thermiquement et l'utilisation de oette mesure pour commander le processus, et plus particulièrement l 'utilisation d'une émission thermique de courte longueur d'onde pour mesurer et contrôler urne température pendant un processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Dans le cadre de dépits chimiques en phase vapeur provoqués par un laser (LCVD) foncrtionnant en impulsion ou en continu, dans des applications o le dépôt est provoqué par un chauffage laser de la surfaoe, la quantité de chauffage ne peut être calculée en raison des charngements d'absorption et d'émis- sivité de la surface tandis qu'elle est modifiée par le dépôt. De mume, en raisn de la variation inconnue de l'émissivité avec la longueur d'onde, une tuan mgraie infrarouge classique ne peut fournir de mesure précise de temréature. De nombreux autres moyens de détermination de température, tels par exople oeux qui utilisent des tierm ples sont rendus imrrécis par les fortes variations de propriétés spatiales et/ou temporelles dans le faisceau laser. Des mesures de température sont néarxnmoins souhai- tables, car il apparait qu'elles fournissent le paramètre de commuiande le plus sensible pour de noarmbreux prooessus CVD. La littérature et l'art antérieur connus dans le domaine du LCVD ne dcrivent pas de tentatives pour orntrôler la te ature de surfaoe de la pièoe en cours de traitement. De façon typique, les gaz sont introduits à une température connue et la chambre de réaction est maintenue à une température cons- tante pendant le LCVD. Des systèmes de LCVD classiques comprennent une fenitre dans un réacteur scellé à travers laquelle le faisceau laser est transmis vers une pièce à traiter dans la chambre. La fourniture du faisceau laser par une fibre optique présente de nombreux avantages. Le gaz réactif peut être introduit au voisinage de la pièce au moyen d'une buse de gaz sur le coupleur de sortie de la fibre optique. La plage des ourtes longueurs d'onde de l'émission de Planck, vers le bleu, est utilisée pour déterminer la température de surfaose d'une pièce perndant un processus provoqué thermique- ment à l'aide d'une réaction dont un-exemple est un dépôt chi- mique en phase vapeur (CVD) provoqué par un laser. On sait que cette composante de la répartition spectrale de l'émission thaermique varie beaucoup plus fortement avec la température qu'une émission de plus grande longueur d'onde davantage du oôté du rouge. En conséquence, des variations inconnues d'émissivité introduiront une plus petite erreur dans la température résul- tante. Toutefois, le signal de détecteur reçu devient rapidement plus fhaible quand la longueur d'onde chDisie est déplacée vers le bleu, c'està-dire vers de plus courtes locngueurs d'onde, et des photodétecteurs à état solide classiques moins sensibles ne peuvent être utilisés. Un élénment de l'invention réside dans l'utilisation d'un système détecteur à comptage de photons pour tirer avantage de la sensibilité réduite dans les mesures de temaprature sur la base de l'observation de l'émissicn thermique au voisinage des plus courtes longueurs d'onde possibles. L'invention se caractérise de façon générale comme un procdé de contrôle d'un processus CVD provoqué par rayonnement comprenant les étapes consistant à fournir un raycnnement vers 264479? une partie de la surface d'une pièce pour provoquer le dépôt d'un gaz chimique réactif sur la pièce par chauffage par rayonnement de la surface, à détecter la température de surfaoe de la pièce résultant de oe rayonnement, et à utiliser la température détectée pour contrôler le rayonnement et le proessus de dépôt. Un appareil perfectionné pour un processus thermique provoqué par un rayonerment est constitué d'une source de rayon- nement et de moyens pour fournir le rayonnement à la surface de la piace, d'un systèe de mesure de température pour déterminer la température d'une partie de la surface en détectant l'émission thermique à partir de cette partie et en fournissant un signal de température de surfaoe, et de moyens sensibles au signal de température pour oenmder la souroe de rayornnement et produire une température de surface de pièce prédterminée. Un mode de réalisation constituant un exemple de l'invention réside dans un appareil perfectionrné pour réaliser un dépôt chimique en phase vapeur provoqué par un laser d'un réactif chimique gazeux. Un laser pour produire un faisoeau laser est prévu ainsi que des moyens pour fournir l'énergie laser et chauffer la surfaoe de la pièce. Un systèm de rmesure de tempéra- ture est onstitué de moyens pour focaliser l'énission thermique en proveanor de la pièoe, d'un spectrcrtre pour séparer la lumière de plus courte longueur d'onde du coté du bleu du spectre des autres oamposantes spectrales de l'émission thermique, et d'un détecteur à comptage de photons pour détecter l'émission à plus ourte longueur d'onde et produire un signal de température de surfaoe. Des moyens sont prévus pour utiliser oe dernier signal pour cmmarnder le laser et la puissanoe du faiseau laser et produire une température de surface de pièce prédéterminée. Un autre aspect de la présente invention réside dans un système de mesure de teiérature de surface de piece comprenant des moyens pour focaliser le rayonnement thermique émis pendant un prooessus de dépôt chimique en phase vapeur, et définir un champ de visée; des moyens de spetratre pour séparer la lumière de plus courte longueur d'onde des autres composantes du spectre d'émission thermique; et un systèm à comptage de photons qui détecte l'émission thermique de plus courte lcrçueur d'onde et produit un signal représentatif de la température de surface. Le détecteur à comptage de photons comprend typiquement plusieurs canaux et est constitué d'un intensificateur d'image et d'un réseau photodétecteur lirnaire ou bidimensionnel, le premier quand des points de mesure sont pris, et le deuxième pour fournir des mesures de points multiples le long d'une ligne. Un autre mode de réalisation à canal unique oomprend un photomultipli- cateur pour détecter, par une technique de coanptage de photon, la lumière de plus courte longueur d'onde transmise par un filtre interférentiel. Des modes de réalisation particuliers du systèm de détermination de température de surfaoe onrennent: des moyens pour focaliser l'émission thermique et définir l'emplacement de la source d'émission thermique ou définir le champ de visée; des moyens pour collimater et disperser l'émission thermique en longueurs d'cnde- et couleurs composantes, par exemple en uti- lisant un prisme ou un réseau optique; un système photodétecteur multicanal constitué d'un intensificateur d'image et d'un réseau photodétecteur à état solide pour produire dans chaque canal un signal dépendant de l'intensité de la ccmposante reçue de la répartition spectrale; et des moyens pour sélectionner le ou les canaux recevant l'émission de plus courte longueur d'onde et fournir le signal de détecteur respectif qui est indicatif de la température de surface de la pièe. Le photodétecteur est une barrette ou un réseau bidimensionnel dans des appareils pour déterminer respectivemrent la température d'une tache lumineuse et d'une ligne sur la surface de la pièce. Ces objets, caractéristiques et avantages ainsi que d'autres de la présente invention seront expliqués plus en détail dans la description suivante de nmdes de réalisation particuliers faite en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: la figure 1 représente la variation du facteur G déter- minant la précision de mesure de température à partir du produit de la longueur d'crnde et de la température; la figure 2 est un schéma d'un systè de mesure de tbçérature de taches utilisant une barrette phoçtodétectrioe intensifiée; la figure 3 représente schnatiquaement un systèm à coptage de photons d'un intensificateur d'image et d'une barrette photodétectrice; la moitié supérieure du premier comprerd un intensificateur à plaque à micro-canaux et la moitié inférieure représente un simple intensificateur électrostatique; la figure 4 représente un système de mesure de tempé- rature de ligne utilisant un réseau détecteur bidimensionnel; la figure 5 représente un autre système de mesure de temperature pnctuelle coeprenant un filtre interférentiel pour laisser passer le rayorent thermique de courte longueur d'onde vers un photcmultiplicateur; la figure 6 représente un appareil de dépôt chimique en phase vapeur à laser et une commande de température améliorée utilisant l'némission thermique de courte longueur d'onde. La figure 1 illustre le fait qu'une plus petite erreur de température se produit s'il existe des variations inconnues d'émissivité quand la région de courte longueur d'onde de l'émis- sion thermique est observée pour déterminer la température. La figure 1 est extraite de la figure 4 de l'article de D.P. DeWitt, Optical Engineering, Volume 25, N 4, 596-601. La figure illustre un facteur appelé ici G qui est le rapport du changement frac- tionnel de l'intensité de rayonnement spectral résultant d'un changement fractionnel de température, en fonction de la longueur d'onde (pour une température donnée). La signification de oe rapport peut être obtenue de la façon suivante; la relation de base entre l'intensité de signal S dans un canal de longueur d'onde particulier à partir d'une surfae à une température T est: S>, = Kx>, ex Lx,b(T) (1 ou, en supprimant les indices, S = KeL(T) (1') o L(T) est le spectre de rayonnement du corps noir pour une laongueur d'onde X et une tepérature T, e est l'émissivité, et K est une fonction de la lcrongueur d'onde décrivant les performances du système optique qui est connue à partir de mesures d'étalon- nage. Le rayonnement thermique est typiquement séparé en couleurs composantes et il existe alors une pluralité de canaux de longueurs d' ondes. Une mesure de tempAérature typique fournira un signal SX pour chaque canal de longueur d'onde mais les signaux en pro- venance de canaux situés du oté du bleu de la répartition spec- trale détectée peuvent être trop faibhles pour une détermination précise en raison du bruit intrinsèque ou bruit de fond. On appelle S le signal en provenance du premier canal en allant du bleu au rouge le long du spectre d'émission thermique qui comprend un signal résultant de cette émission qui est notable- ment au-dessus du niveau du bruit. Une valeur de la température peut être calculée à partir de ce signal si l'émissivité est connue, puisque e et L sont les seuls quantités non mesurées dans l'équation et L est connu à partir de la théorie en fonction de X et T. Dans oet exemple, on suppose qu'aucune valeur précise de l'émissivité n'est disponible. En conséquence, on souhaite rexndre la détermination de température aussi insensible que possible à l'émissivité. La détermination est effectuée en prenant par hypo- thase une valeur d'émissivité e% qui est placée dans l'équation (1'). S = KegL(Tg) (2) Cette équation est résolue pour obtenir la valeur approchée de la température estimée Tg. Pour obtenir l'erreur fractionnelle dans oe résultat (T-Tg/T) résultant d'une erreur dans la valeur de e, De = e - eg (3) l'expression de S en provenance de l'équation (1') peut être placée dans l'équation (2): eL(T) = eL(Tg) (4) et un développement de Taylor du premier ordre peut être utilisé L(T) = L(tg) + wDT (5) o w = 1dL/dT1T et DT = T - Tg. Alors, à partir des équations (3), (4) et (5), (T-Tg)/Tg = (De/e) (1/G) (6) o les petits termes d'ordres plus élevés ont été rnégligés comme cela est usuel dans une analyse linéarisée. Ainsi, le pouroentage d'erreur de température est égal au pouroentage d'erreur d'émnissivité divisé par G qui a été prééedmnt défini. Il s'ensuit qu'une grande valeur de G est souhaitable car cela fournit la plus petite erreur de moesure de tampérature. A partir de la figure 1, il est clair que la valeur de G augmente constanmment tandis que l'on fait des mesures vers le bleu (valeur décroissante de >T dans la gamme de 500 à 1000 àm.K). Toutefois, le signal devient également rapidement plus faible tandis que la longueur d'onde se déplace vers le bleu. Les appareils de mesure de température de l'art antérieur basés sur l'observation de 1'émission thermique ont typiquement utilisé des détecteurs à état solide qui étaient enviroi mille fois moins sensibles que les détecteurs à aomptage de photons proposés ici. L'utilisation de détecteurs moins sensibles emp&che de tirer uomplètement avantage de la sensibilité réduite à l'émissivité dans les mesures de température. En conséquence, un aspect de l'invention réside dans l'utilisation de détecteurs multi-canaux à comptage de photons pour accroître la précision et la vérification de la mesure de température. Un autre aspect de l'invention réside dans l'utilisation de réseaux détecteurs à xomptage de phDtons bidimensionnels pour tirer avantage de mesures multiples de température le long d'une ligne. Des confi- gurations propres à atteindre oes buts sont illustrées en figures 2 et 5 pour une mesure ponctuelle et en figure 4 pour des mesures ponctuelles multiples le long d'une ligne. Les réseaux détecteurs optiques à comptage de photons linéaires et bidimensionnels requis pour oes mesures sont actuellement disponibles oommercia- lement. Un exemple de l'avantage que 1' on peut tirer à utiliser des appareils à comptage de photons peut être donrn en consi- dérant un problème typique d'une application proposée: des mesures de température sont requises sur une surfaoe d'emissivité inxonnue avec une résolution temporelle d'une millisecode et une résolution spatiale de 20 x 20 micromètres. La température approchée de la surface est de 1000 C. En utilisant le mode de réalisation de la figure 2, le nombre N de photons détectés dans un canal à analyseur optique multi-canal est donné par: N = (nqTrT/4(hc/X)) (Ax2yD2/F3) L (7) o Y est le rendement quantique du détecteur (comptages par photons incidents sur le canal du détecteur), T est la durée d'exposition, h est la constante de Planck, c est la vitesse de lumière, D est le diamrtre effectif du collimateur du spectro- mètre, F est la distance focale du collimateur de mise au point, A est la dispersion inverse du prisme (ou réseau dans un spectro- mètre à réseau), x est la dimension d'un détecteur individuel dans la direction de la dispersion, y est la dimension orthogo- nale correspondante, T est le rendement optique, et les autres quantités sont telles que définies précdement. Des suppositions techniques raisonnables pour un canal spectral proche de 600 nm sont x = y = 20 pm = 2 x 10-l3an n = 0,1 hc/X = 3 x 10-'9joules e = 0,2 D = 2,5 cn F = 10 an A = 5 x 103 nm/radian T = 0,2 Bien que le niveau de signal dépende de la résolution spatiale, cette dépendance n'apparait pas explicitement dans l'équation car la résolution spatiale est finalement déterminée par la dimension du point image du détecteur et le grandissement de l'optique d'entrée. Avec les valeurs cidessus, une résolution de 0,2 millimètre est obtenue pour une distanoe de travail d'enviro 1 métre. De mne, le niveau de signal dépend de faço inverse de la résolution spectrale de chaque canal, mais cette quantité n'est pas représentée explicitement. La résolution spec- trale R est donnée par R = A x/F (8) et dans oe cas est de 1 nm. En utilisant les valeurs ci-dessus et l'émission spectrale pour un orps noir à 1000 C, on trouve que N = 10 pour X = 600 rnm. En supposant que oes comptages sont des potons détectés selon la statistique de Poisson, la variation moyene dans oette mesure est S.D. = i0/10 = 31 %, et il sera raisonnable de s'attendre à une erreur oenparable ou plus grande due à l'irnoertitude sur 1 'émissivité. Toutefois, on notera que, à 1000 C et pour une longueur d'onde de 0,6 pm, XT est égal à 0,76 et, à partir de la figure 1, que le facteur G est approximati- vement égal à 20. Ainsi, une mesure effectuée avec une sensibi- lité de comptage de photons du obté du bleu de la courbe de Planck est caractérisée par une mesure de temperature seulement fois plus faible que l'inrtitude totale, ou 1,5 % dans oe cas. Au contraire, une mesure effectuée avec un réseau détecteur à état solide non intensifié qui est d'envircon 1000 fois moins sensible que le dispositif à oaomptage de photons, serait limitée à des longueurs d'onde supérieures à 1,6 micromtre dans ces conditions de mesure. En oe cas, selon la figure 1, G=7 et l'erreur sur la température sera trois fois plus grande. Des appareils du type à filtre à comptage de photons à un ou quelques canaux, tels que oeux représentés en figure 5, peuvent étre rendus beaucoup plus sensibles qu'un spectroitre et fournir des avantages comparables par rapport aux appareils or dants moins sensibles qui sont actuellement couramment utilisés pour des mesures de température. Les canaux multiples dans un détecteur à canaux multi- ples peuvent être utilisés pour augmnenter encore la précision de la mesure de température. Par exemple, l'émissivité ne peut être supérieure à 1, de sorte que toute bande d'erreur du coté du bleu qui comprend des valeurs de te ature pour lesquelles l'émis- sivité devrait être supérieure à 1 pour une longueur plus grande pour tenir compte du signal observe, pourrait être rétrécie pour éliminer ces températures. Toutefois, un autre avantage des canaux multiples, en nombre supérieur à deux ou trois canaux actuelle.rt utilisés dans certains appareils est de permeLLttre des mesures de température sur une large gamme. Cet avantage est atteint car l'indication de température plus précise est obtenue à partir des quelques premiers canaux du côte du bleu pour voir un signal, et ce groupe de canaux se decale rapidement avec la temprature. Par exemple, si la température de surfaoe est réduite à 900 C, les premiers canaux à fournir un signal utile seront proches de 670 rnm plutôt que de 600 nm. On notera que pour une résolution supposée de 1 rn par canal, oe décalage est presque de 70 canaux. Un autre avantage de l'utilisation d'un détecteur multicanal résulte de sa capacité à confirmer que le spectre observé est caractéristique de 1 'émission thermique. Cette capacité permet d'éviter des erreurs qui seraient intro- duites en utilisant des données contenant, par exemple des raies d'absorption ou d'émission. Le système de mesure de t rature de la figure 2 détermine la température d'une tache 10 sur une surface observée 11 en utilisant un photodétecteur à barrette intensifié. La surfaoe peut être sur une pièce se trouvant dans un réacteur scellé dans lequel est réalisé un processus de CVD ou un processus de CVD provoqué par laser. L'émnissivité de la surface chaude n'est pas connue et change tandis qu'elle est mondifiée par le dépôt. Le rayoeent thermique émis par la pièce, en particu- lier à partir de la tache 10 sur la surface 11 est recueilli et focalisé par un objectif de caméra 12. Pour définir l'emplacemrent de la source pour l'émission thermique ou la limite de champ de visée du système, un diaphragme en trou d'épingle 13 dans une plaque 14 est localisé au point focal de la lentille. L'émission thermique focalisée passant par le trou d'épingle est collimatée par un objectif de collimation 15 et le faisceau lumineux paral- lèle sortant tombe sur un prisme optique 16 qui disperse et sépare la lumière en longueurs d'ondes et couleurs composantes. Puisque l'indioe de réfraction des matériaux optiques varie avec la longueur d'onde, les diverses lrongueurs d'cnde présentes dans la lumière sont déviées d'angles différents. L'émission thermique vers le bleu est déviée seulement d'une petite quantité par rapport à l'émission thermique vers le rouge du spectre d'émis- sion thermique. Les longueurs d'cnde composantes sortant du prisme 16 sonat transmises par un objectif de focalisation 17 et focalisées sur différents canaux d'un système à omTptage de phDtons multi- canal, dans oe cas une barrette photodétectrice intensifiée 18 constituée d'un intensificateur d'image 19 et d'une barrette photodétectrioe à état solide 20. La lumière focalisée du côté du bleu du spectre est reçue par un groupe connu de canaux du détec- teur à barrette 18 et la lumière se trouvant plus du cDté du rouge est détectée par un autre groupe de canaux, comme oela est indiqué dans la figure. La barrette photodétectrioe 20 est ana- lysée à intervalles donnés et la forme d'ncde de tension lue 21 est envoyée à un module électronique 22 pour analyse. Chaque canal du détecteur à barrette intensifié 18 produit un signal de détecteur dont l'amplitude dépend de 1 'intensité de la orpxosante reçue du spectre d'émission thermique. Le module électronique sélectionne le ou les canaux recevant de la lumière de plus courte longueur d'cnde du côté du bleu et fournit le signal de détecteur respectif qui est indicatif de la temperature de surfaoe de la pièce. D'autres fonctions du module électronique ont été décrites. Le détecteur à barrette intensifié 18 et l'intensifi- cateur d'image 19 sont représentés plus en détail en figure 3. Un intensificateur d'image est également appelé amplificateur de lumière et est un dispositif qui, quarnd il reçDit une image lumineuse, reproduit une image similaire de luminosité accrue et peut fonctionner à de très faibles niveaux lumineux sans intro- duire de variations parasites de luminosité dans l'inmage repro- duite. Deux types d'intensificateur d'image sont repsntés; d'autres types peuvent être utilisés pour mettre en oeuvre l'invention. La moitié inférieure de la figure représente un simple intensificateur d'image foealisé électrostatiquement. La lumière frappe une photocathoxxe senitransparente 23 qui émet:des électrons 24 de répartition de densité proportionnelle à la répartiticn d'intensité lumineuse incidente. Un écran pho- rescent chargé positivement 25 de l'autre c5té de l'/ntensifi- cateur convertit l'énergie électronique en lumière visible. La moitié supérieure représente un intensificateur d'image a plaque à microcanaux qui comprend un faisceau parallèle de petits cylindres de verre creux 26, o les parois internes des cylindres sont revêtues d'un matériau à énission sec ie. Les électrons émis à partir de la photocathode 23 frappent les parois internes des cylindres 26, provoquant une génération d'électrons secon- daires. Les électrons seondaires continuent eux-mêmes à se transittre en cascade le long des parois internes des cylindres vers l'écran phosphoresoent 25 d'o il résulte un gain élevé en courant total. Le réseau détecteur à circuit intégré 20 est constitué d'un grand rombre de lignes paralleles de zones photo- sensibles individuelles et des circuits rnoessaires pour lire irdividuellement les cellules. Des dispositifs à transfert de charge (CED) , des dispositifs à injection de charge (CID) et des technologies à photodiodes bipolaires peuvent être utilisés. En gros, environ 1000 photons sont nécessaires pour fournir un signal mesurable. Ainsi, un intensificateur d'image fournissant un gain utile de 1000 perBttra de détecter des photons isolés. La figure 4 représente un système de mesure de tempé- rature pour effectuer des masures de toEmérature de ligne en utilisant un réseau détecteur intensifié bidimensionnel. Les ta,_ratures de surface de points multiples le long d'une ligne 27 sur la surface observée 11 sont détemnires. L'énissicn ther- mique en provenanc de la pluralité de points sur la surfaoe chaude est focalisée par un objectif photographique 28 sur une fente 29 dans une plaque 30 qui définit le champ du système. L'émission thermique focalisée passant par la fente est présentée à un objectif collimateur 31. Le faisoeau lnumineux parallèle est dispersé en lcogueurs d'onde et couleurs composantes par un prisme optique 32, et les diverses couleurs sont focalisées par un objectif 33 sur un détecteur à réseau bidimensionnel inten- sifié 34 qui est constitué d'un intensificateur d'image 35 et d'un réseau phtodtecteur bidimensionnel à état solide 36. Le système optique est tel que le rayonnement optique provenant de points se trouvant sur la ligne 27 dans la direction x est détecté au niveau de canaux séparés selon la dimension x du réseau détecteur bidimensionnel intensifié 34. Les longrueurs d'ondce coposantes x de 1 'émission thermique s'étalent le long des canaux dans la direction orthogonale comme oela est repré- senté dans la figure. Le système électronique 37 analyse des signaux lus du détecteur, canal vertical par canal vertical, et sélectionne le canal recevant la plus courte longueur d'onde du côté du bleu, et fournit oe signal de détecteur qui est une indi- cation de la température de surface de la piece en un point donrné de la ligne 27. Cei est effectué pour chaque point de la ligne. Dans les modes de réalisation des figures 2 et 4, un spectra, tre à prisme est utilisé pour séparer le faisceau lumi- neux en ses couleurs composantes et séparer les longueurs d'onde qui sont présentes dans le faisceau lumineux. Un réseau de diffraction peut être utilisé comme spectroemtre au lieu d'un prisme en tant que moyen pour disperser le faisceau lumineux en son spectre. Si le pas du réseau est connu, alors, à partir d'une mesure de l'angle de déviation de toute longueur d'onde, la valeur de cette lorngueur d'onde peut être calculée. Le système de mesure de température ponctuelle de la figure 5 comprend un spectrattre à un seul canal sous forme d'un filtre interfé- rentiel, et un système de omptage de photons à un seul canal est constitué d'un tube multiplicateur. L'émission thernmique en provenanoe d'un point 10 sur la surface observée 11 est focalisée par un objectif photographique 38 et passe par un trou d'épingle 39 dans un diaphragme 40 qui sert à définir et à limiter le champ du système de mesure de tep. érature. Des rayons parallèles en provenance d'un objectif de collimation 38' frappent un filtre interférentiel 41 qui laisse passer une lumière de langueur d'onde particulière, du côté du bleu. Un photamultiplicateur 42 détecte les photons lumineux incidents et a une tension de sortie qui dépend du nombre de photons et de l'intensité de la lumière reçue. Pour fournir une version multicanal de ce système (non representée ici), le filtre interférentiel peut être inclirn pour isoler les canaux de couleur o il peut y avoir plus d'un filtre. Il existe une pluralité de détecteurs à photcmultiplicateur, un pour chaque canal de couleur. On se référera au brevet des Etats-Unis d'Amérique 4 081 215 dont la description sera onsidérée ici comme connue. Le ontrôle de température pour le dépôt chimique en phase vapeur provoquépar laser en utilisant une émission thermique dans le domaine des courtes longueurs d'onde est illustré en figure 6. Il s'agit d'un processus dans lequel un faisceau laser chauffe la surface et facilite le dépôt de réactifs chimiques gazeux sur la pièce. Un système LCVD typique de l'art antérieur est représenté ici. Une pièce 43 est disposée dans un réacteur scellé 44 ocnprenant une entrée de gaz réactif , une sortie 46 et une jauge de pression 47. Une fernêtre 48 propre à la transmission d'un faisceau laser et une ferntre d'observation 49 pour observer la pièce sont prévues. Un laser 50 produit un faisceau laser ccllimaté 51 qui est réfléchi par un miroir 52 et focalisé par un objectif 53. Le faisceau laser passe par la ferntre 48 et est focalisé en une tache sur la surface de la pièce 43. Le dépôt assisté par laser des réactifs chimiques gazeux sur la pièce prend place ou bien par un prcssus de photolyse dans lequel le faisceau laser amène les molécules du réactif gazeux à se dissocier et à réagir avec le matériau du substrat ou bien par un processus de pyrolyse dans lequel le faisceau laser chauffe le substrat et le réactif gazeux réagit directement avec le substrat. Le oontrôle de température est réalisé en utilisant un système de mesure de température 54 selon l'invention pour déter- miner en crntinu la teTpérature de surface de la pièce. Le signal de température provoqué par le syst* est fourni aux crnnandes 55 du laser qui oen,,indent le laser 50 et la puissance du fais- ceau pour régler la température de surface a une valeur pr5édter- minée. A titre de variante, le faisoeau laser peut être fourni à la pièce par une fibre optique. Certaines des nrmbreuses applications de l'invention ornsistent en la détermination et le contrôle de température perdant le dépôt cimique en phase vapeur assisté par laser en im3pulsions d'oxyde, de nitrure ou de carbure sur des surfaoes d ' aier. L'invention s' applique à d'autres processus thermiques assistés par rayonnement qui sont également appelés processus pbotothermiques. Des exeTples en snt le traitement thermique d'une surface pour amener les omposants de la surface à diffuser dans le matériau et des processus pour recristalliser une surf aoe. Bien que la présente invention ait été décrite dans le cadre de modes de réalisation particuliers et d'applications spécifiques, l'home de l'art pourra envisager diverses variantes et modifications. REVENDICATIONS 1. Procédé de contrôle d'un prooessus de dépôt chimique en phase vapeur assisté par un rayonnaent, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: fournir un rayonnemet sur une partie de la surfaoe d'une pièce (11) pour provoquer le dépôt de réactif chimique gazeux sur la pièce par chauffage par rayonneet; détecter la temTérature de surfaoe de la pièce résul- tant de oe rayonne t; et utiliser la température de surface détectée pour oentrôler le rayonnement et le processus de dépôt. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en oe que la détection comprend la détection de l'émission thermique en provenance de la pièce du côté des courtes lonaueurs d' onde du spectre d'énission thermique et la fourniture à partir de là d'un signal de température de surface. 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que le rayonnement est un rayonnement laser et en oe que l'étape d'utilisation oensiste à utiliser le signal de texpérature pour oewiander un laser et la puissance d'un faisoeau laser pour produire une teTpérature de surfaoe prédétermir e de la pièce. 4. Appareil pour réaliser un processus thermique assisté par rayonnexent sur une pièce, caractérisé en oe qu'il cmped: une source de rayoerant (50) et des ooyens pour fournir le rayonnanent à la surface de la pièce (43); un système de mesure de terpérature (54) pour déter- miner la température de surfaoe d'une partie de la pièce en détectant l'émission thermique en provenar de cette partie et en fournissant à partir de là un signal de tepérature; et des moyens (55) sensibles au signal de température pour ouandarer la source de raycnarnent pour produire une température de surfae de piéce prédéterminée. 5. Appareil selon la revendication 4, caractérisé en ce que la souroe de rayonrement est un laser et le système de mesure de température est onstitué de moyens pour séparer l'némission thermique de plus courte longueur d'onde des autres composantes spectrales et des moyens détecteurs à comptage de photons pour détecter l'émission thermique de plus courte longueur d'onde et produire le signal de température. 6. Appareil pour réaliser un dépôt chimique en phase vapeur assisté par laser d'un réactif chimique gazeux sur une pice, conprenant un laser pour produire un faisceau laser et des mo:yens pour fournir l'énergie laser de façon à chauffer la surfaoe de la pièce, caractérisé en oe qu'il comprend en outre: un système de mesure de température constitué de moyens pour focaliser l'émission thermique en provena de la pièoe et définissant un champ de visée pour le système, un spectr'utre (16) pour séparer la lumière de plus courte longueur d'onde du CDté du bleu du spectre d'émission thermique des autres ompo- santes spectrales, et un détecteur à oeaptage de photons pour détecter l'émission thermique de plus ourte longueur d'onde et produire un signal de température de surface; et des moyens sensibles au signal de température pour contrôler le laser et la puissance du faisceau laser pour produire une température de surface de pièce prédétermine. 7. Appareil selon la revendication 6, caractérisé en oe que le spectur, ctre comprend des moyens pour séparer l'éiission thermique en longueurs d'onde omposantes, et le détecteur à comptage de photons comprend des canaux multiples pour détecter une pluralité de composantes spectrales. 8. Appareil selon la revendication 6, caractérisé en ce que le speutrcutre est constitué d'un prisme optique (16) et sépare l'émission thermique en lncrgueurs d'onde et couleurs oomosantes et le détecteur à optage de photons est constitué d'un intensificateur d'image (19) et d'un réseau photoétecteur à état solide. 9. Appareil selon la revendication 6, caractérisé en oe que la température d'un tache sur la surface de la pièce est mesurée, en ce que les moyens pour définir le champ de visée sont constitués d'une plaque (14) munie d'un trou d'épirxle (13) à travers lequel l'émission thermique focalisée passe, le spectro- mstre est constitué de moyens (15) pour collimater l'énission thermique et d'un prisme optique (16), et le détecteur de comptage de photons est oaonstitué d'un intensificateur d'image (19) et d'une barrette photodétectrice (20). 10. Appareil selon la revendication 6, caractérisé en ce que la temérature de plusieurs points en ligne sur la surface de la pièce est mesurée, en ce que les moyens pour définir le champ de visée conmprenrent une plaque (30) munie d'une fente (29) à travers laquelle passe l'émission thermique focalisée, le spec- trèLmtre est constitué de moyens (31) pour collimater l'énission thermique et d'un prisme optique (32), et le détecteur à conptage de photons est constitué d'un intensificateur d'image (35) et d'un réseau photodétecteur bidimensionnel (36). 11. Appareil selon la revendication 6, caractérisé en ce que le spectr tre oenprend un filtre interférentiel (41) qui laisse passer la lumière de plus courte longueur d'onde, et en ce que le détecteur à comptage de photons est un photcmultiplicateur (42). 12. Système de mesure de la température de surface d'une pièce dans un réacteur, caractérisé en ce qu'il ompre: des moyens pour focaliser le rayonnement thermique émis par la pièce (43) perdant un processus de dépôt chimique en phase vapeur, et pour définir le champ de visée du systè; des moyens de spetoetre pour séparer la lumière de plus courte longueur d'ande des autres oDposantes du spectre d'émission thermique; et un système à comptage de photons pour détecter l'émis- sion thermique de plus ourte longueur d'onde et produire un signal représentatif de la température de surface de la pièce. 13. Système selon la revendication 12, caractérisé en ce que le système de comptage de photons cxirend plusieurs canaux et est constitué d'un intensificateur d'image et, d'un réseau photodétecteur à état solide. 14. Système selon la revendication 12, caractérisé en oe que le système à omptage de photons comprend un photomulti- plicateur. 15. Système selon la revendication 12, caractérisé en oe que les moyens pour séparer la lumière de plus courte longueur d'onde sont un filtre interférentiel et le système de comptage de photons comprend un photcmultiplicateur. 16. Système de mesure de la température de surfaoe d'une pièce pendant un processus de dépôt chimique en phase vapeur assisté par laser, caractérisé en oe qu'il comprend: des moyens pour focaliser l'émission thermique de la pieoe et définir le champ du système; des nmoyens pour ocllimater et disperser l'émission thermique en longueurs d'onde et ouleurs composantes; un systèe à cormptage de photons multicanal constitué d'un intensificateur d'image et d'un réseau photodétecteur à état solide pour produire dans chaque canal un signal de détecteur qui dépend de l'intensité de la oomposante reçue du spectre d'émis- sion thermique; et des moyens pour sélectionner le canal reoevant la lumière de plus courte lrongueur d'cnde du côté du bleu et fournir le signal de détecteur respectif qui est indicatif de la tempéra- ture de surface de la pièce. 17. Système selon la revendication 16, caractérisé en oe que les moyens pour disperser l'émission thermique sont un prisme optique. 18. Système selon la revendication 16, caractérisé en oe que la température d'un point de la surfaoe de la pièce est mesurée, les moyens pour définir le champ de visée étant une plaque comprenant un trou d'épingle et le pholtètecteur étant une barrette. 19. Système selon la revendication 16, caractérisé en oe que la température d'une ligne à la surface de la pièce est mesurée, les moyens pour définir le champ de visée sont une plaque définissant une fente à travers laquelle passe l'émission thermique focalisée, et le photodétecteur est un réseau bidimen- sicnnel.