Brevet FR2636177A1 — publié le 19900309

Source laser à semi-conducteur modulée à fréquence élevée La présente invention concerne l'obtention d'une onde lumineuse modulée à fréquence élevée. Diverses sources sont connues dans ce but et les éléments essentiels de l'une d'entre elles vont d'abord être indiqués. Certains de ces éléments sont communs, au moins partiellement, à cette source connue et à une source selon la présente invention. Ces éléments communs sont: une plaquette semi-conductrice monolithique s'étendant selon une direction longitudinale entre deux faces extrêmes et comportant elle même: - un canal de guidage qui s'étend selon cette direction de l'une à l'autre de ces deux faces et qui est entouré dans le volume de cette plaquette par des régions d'indices de réfraction moins élevés afin de guider des ondes lumineuses se propageant selon cette direction, - et au moins deux couches de types de conductivité opposés qui sont disposées de part et d'autre de ce canal pour que, si un courant électrique de polarisation (Ip) va de l'une à l'autre de ces deux couches en traversant ce canal, ce courant provoque dans ce canal une inversion de population faisant apparaître un gain positif représentatif d'une amplification desdites ondes lumineuses, ce gain apparaissant seulement quand les fréquences de ces ondes sont situées dans un domaine spectral de gain qui présente une largeur spectrale de gain, - cette source comportant en outre: - un moyen de polarisation pour injecter dans ladite plaquette un courant unidirectionnel propre à constituer ledit courant de polarisation (Ip), deux réflecteurs pour constituer entre eux une cavité optique incluant ledit canal de guidage et présentant une longueur optique de cavité L, de sorte que cette cavité est résonante selon une succession de modes pour des ondes lumineuses présentant une succession correspondante de fréquences propres, ces fréquences étant séparées par des intervalles égaux à une fréquence intermode fi= c/2L, c étant la vitesse de la lumière, de manière que cette cavité constitue 263 6 1 77 un oscillateur laser pouvant produire des ondes lumineuses à diverses fréquences permises, ces dernières étant au moins sensiblement égales à celles desdites fréquences propres qui sont situées dans ledit domaine spectral de gain, et un couplage de modes étant possible entre les ondes produites, - et un moyen de modulation pour injecter aussi dans ladite plaquette un courant de modulation alternatif (IHF) présentant une fréquence de modulation (f) et traversant aussi ledit canal de guidage pour m faire apparaître un gain modulé à cette fréquence et représentatif d'une amplification ou d'une atténuation desdites ondes lumineuses, cette fréquence de modulation étant proche de ladite fréquence intermode, de manière que ce courant de modulation réalise un dit couplage de modes en imposant à des ondes lumineuses produites par ledit oscillateur de présenter une succession de fréquences qui sont desdites fréquences permises séparées par des intervalles égaux à cette fréquence de modulation, et que l'ensemble de ces ondes produites constitue une onde porteuse modulée (OP) dont au moins une composante de modulation est un signal de modulation de sortie présentant ladite fréquence de modulation. Cette première source connue a été décrite dans un article (J.P. van der ZIEL, Semiconductors and Semimetals, vol. 22, B, p. 1, 1985, Academic Press). Sa cavité optique est essentiellement extérieure à la plaquette semi-conductrice. Elle fournit des impulsions lumineuses de faible durée (de l'ordre de quelques picosecondes) à une cadence de répétition qui est typiquement de 100 MHz et a pu atteindre 9,4 GHz. Dans le cas des cadences supérieures à 1 GHz environ la cohérence de l'onde porteuse obtenue est mauvaise ce qui limite d'ailleurs la cadence maximale aux environs de 10 Ghz. Dans le cas des cadences plus basses l'onde porteuse modulée ne transporte qu'une faible puissance dans chacune des nombreuses raies spectrales de modulation qu'elle comporte. D'autres possibilités sont connues pour constituer une source laser à semi-conducteur modulée à fréquence élevée. Une possibilité est offerte par la modulation directe du 2636 177 - 3 - laser: La puissance du courant de modulation est choisie suffisante pour assurer par elle-même la modulation souhaitée de l'onde lumineuse, sans l'aide du phénomène de couplage de modes. En plus d'autres inconvénients, les fréquences accessibles à l'aide d'une source ainsi constituée sont limitées par la fréquence des oscillations de relaxation, c'est-à-dire à environ 10 GHz pour les lasers à semi-conducteurs actuels et vraisemblablement à un maximum de 20 GHz à l'avenir (G.P. AGRAWAL and N.K. DUTTA, Long wavelength semiconductor lasers, Van Nostrand, 1986). Une autre possibilité est offerte par les modulateurs externes pour lesquels les bandes passantes atteignent actuellement 40 GHz (K. UHDE, Electronic letters n 23, p. 1156, 1987). Un autre possibilité connue consiste à faire battre deux lasers de fréquences différentes ou deux modes d'un même laser. Cette possibilité a été appliquée à des lasers à semi-conducteurs par injection de lasers "esclaves" par un laser "maitre" modulé (L. GOLDBERG, A.M. YUREK, J.F. WELLER and H.F. TAYLOR, Electronic Letters n 21, p.814, 1985). Mais sa mise en oeuvre est délicate et ne permet pas d'envisager facilement des possibilités d'intégration. Une telle intégration apparait cependant souhaitable sous la forme d'un oscillateur laser monolithique quand la source à réaliser doit constituer un composant d'un système (de télécommunica- tion par exemple). C'est pourquoi un couplage de modes d'un laser à semi-conduc- teurs monolithique à cavité courte par injection de courant a été réalisé (K.Y. LAU, I. URY and A. YARIV, Appl. Phys. Lett. n 46, p. 1117, 1985). Mais il ne l'a été que partiellement et le composant ainsi constitué ne permettait pas de définir la phase du signal de modulation de sortie, ni d'obtenir une émission optique très cohérente pour constituer l'onde porteuse. Les auteurs ont utilisé des courants de modulation très importants sans réaliser pour autant un couplage de modes complet. Il en résulte que ce composant n'a pas été considéré comme permettant de constituer une source optique modulable. Une dernière possibilité connue est donnée par la génération 2636 1 7 7 _4 d'impulsions lumineuses picosecondes qui occupent un large domaine de fréquences en raison de la faible durée des impulsions. Ces impulsions peuvent être obtenues par commutation du gain (K.Y. LAU and A. YARIV, Semiconductors and Semimetals, vol. 22, B, p. 69, 1985, Academic Press) ou par couplage des modes longitudinaux d'une cavité externe, comme réalisé dans ladite première source connue. Dans les deux cas, comme précédemment indiqué, la cadence de répétition des impulsions étant faible, l'énergie transportée dans une bande de fréquences étroite est elle aussi faible. La présente invention a notamment les buts suivants concernant la modulation d'une onde porteuse optique: - Elever la fréquence de modulation, dans le domaine de hyperfré- quences; - Réaliser une modulation transportant une proportion majoritaire de sa puissance dans une bande très étroite, c'est-à-dire sous la forme d'une onde fondamentale éventuellement elle-même modulée, mais à fréquence beaucoup plus basse, les harmoniques de cette onde fondamentale ne transportant qu'une proportion petite, inférieure de préférence à 20 % de la puissance; - Diminuer le courant de modulation, de préférence bien au- dessous de 50 % du courant de polarisation; - Lorsque les deux buts précédents ne sont pas utiles, et lorsqu'un courant de modulation important peut être utilisé, réaliser, une modulation sous la forme d'impulsions se succédant à une cadence accrue; - Moduler le signal de modulation de sortie lui-même en amplitude et/ou phase et/ou fréquence; Réaliser la modulation à l'aide d'une source monolithique et compacte. La présente invention a notamment pour objet une source laser à semiconducteur monolithique comportant une section de modulation couplée à une section guide avec, de préférence, un filtrage addition- nel, cette source étant pilotée par un courant de polarisation conti- nu et un courant de modulation hyperfréquence de plus faible amplitude. - 5 - Elle a plus particulièrement pour objet une source comportant les éléments communs précédemment mentionnés, cette source étant caractérisée, par rapport à la première source connue précédemment mentionnée, par le fait que ladite plaquette porte lesdits réflecteurs aux extrémités dudit canal de guidage pour que ce canal constitue ladite cavité optique et que ladite longueur optique de cavité (L) soit limitée à la longueur optique de ce canal, de manière à situer ladite fréquence intermode (fi) et ladite fréquence de modulation (fm) dans le domaine des hyperfréquences, ledit signal de modulation constituant un signal hyperfréquence de sortie (SHF), - cette plaquette comportant en outre un moyen de limitation de dispersion disposé dans ladite cavité optique pour limiter la dispersion des temps de propagation de groupe desdites ondes lumineuses sur la longueur de cette cavité, - et un filtre additionel inclus dans ladite cavité optique pour ne laisser subsister lesdites fréquences permises qu'à l'intérieur d'un domaine spectral de filtrage limité, ce domaine présentant une largeur de filtrage supérieure à ladite fréquence intermode, cette largeur étant une fraction minoritaire de ladite largeur spectrale de gain de manière à éviter des instabilités des fréquences desdites ondes produites par ledit oscillateur laser, - et ladite modulation de gain étant réalisée seulement dans une section de la longueur de cette cavité, cette section étant une section de gain modulé et s'étendant sur une fraction minoritaire de ladite longueur de cavité à une extrémité de celle-ci, de manière à assurer ledit couplage de modes en imposant une phase prédéterminée audit signal hyperfréquence de sortie par rapport audit courant de modulation. Selon la présente invention on peut adopter de plus les disposi- tions suivantes qui sont préférées dans certains cas: Les deux dites couches de types de conductivité opposés sont disposées de part et d'autre d'une section de gain qui occupe une fraction inférieure au quart de ladite longueur optique de cavité (L), de manière que ladite amplification des ondes lumineuses soit 2636 177 -6 - entièrement réalisée dans cette section, cette section constituant en même temps ladite section de gain modulé. Le reste de la longueur de la cavité peut alors constituer une section guide passive dans laquelle le matériau interne du canal de guidage est intrinsèquement transparent. On peut noter cependant qu'une telle section guide passive pourrait être remplacée par une section guide neutre dans laquelle ce matériau ne serait pas intrinsèquement transparent et serait interposé entre des couches semi-conductrices de types de conductivité opposés de manière à permettre un gain mais qui serait traversée par un courant choisi pour lui donner en fait un gain nul. Ladite largeur de filtrage est comprise entre 2 fois et 100 fois ladite fréquence intermode (fi) de manière que ledit couplage de modes se réalise sur plusieurs modes longitudinaux. Ledit filtre additionnel est un réflecteur de Bragg distribué occupant une section de filtrage à une extrémité de ladite cavité optique. Un tel réflecteur est connu internationalement, sous le sigle DBR correspondant à "Distributed Bragg Reflector". Il permet de rétrécir la largeur du filtrage à une valeur de l'ordre du nanomè- tre, afin d'obtenir un composant de grande dynamique (c'est-à-dire permettant de réaliser de grandes variations de la puissance optique modulée). La largeur spectrale du filtre DBR doit néanmoins rester assez large par rapport à f pour ne pas nécessiter un courant m IHF trop important (ce qui nécessite d'obtenir de forts coefficients de couplage K de l'ordre de 100 ou 200 cm-1). Quoique cela ne semble pas préférable, ce filtre pourrait être constitué autrement, notamment par un empilement de couches diélectriques constituant un dit réflecteur à une extrémité de ladite cavité optique. Ledit domaine spectral de filtrage est choisi pour coincider avec un domaine de fréquences dans lequel un paramètre de dispersion présente une valeur négative dans ladite section de gain alors qu'il présente une valeur positive dans une autre partie dudit canal de guidage, cette valeur négative étant supérieure en valeur absolue à trois fois cette valeur positive, ce paramètre étant la dérivée seconde (d n/d lambda2) de l'indice de réfraction (n) -7- dans ledit canal de guidage par rapport à la longueur d'onde (lambda) desdites ondes lumineuses, de manière que l'association de cette section de gain et de ladite autre partie du canal de guidage réalise une compensation de dispersion pour constituer ledit moyen de limitation de dispersion. Cependant, de manière plus générale, ladite compensation peut être réalisée par le fait que la longueur de ladite cavité comporte des sections présentant des valeurs de dispersion de signes opposés, ces valeurs étant représentatives de la dispersion de la vitesse de propagation de groupe desdites ondes lumineuses dans ces sections, respectivement. De préférence enfin l'un au moins des deux dits réflecteurs est semi transparent pour laisser sortir une onde de sortie constituée par ladite onde porteuse (OP) modulée par ledit signal hyperfréquence de sortie (SHF). Les dispositions ci-dessus permettent de réaliser une source laser qui est modulée dans le domaine des hyperfréquences par couplage des modes d'une cavité de longueur millimétrique, et dans laquelle les différents paramètres de fonctionnement sont découplés par la construction de la cavité résonante sous la forme de sections successives. Par rapport aux sources connues, les fréquences de modulation ne sont plus limitées par les oscillations de relaxation contrairement au cas de la modulation directe, et l'énergie de modulation de sortie est essentiellement transportée à la fréquence de modulation contrairement au cas o l'onde de sortie est constituée par la succession d'impulsions brèves à basse cadence. Une telle source est particulièrement apte à constituer un composant d'un système de télécommunication. Et on va maintenant préciser les conditions du fonctionnement d'un tel composant. Comme précédemment exposé, la base de ce fonction- nement est le couplage des modes longitudinaux (G.H.C. NEW, Rep. Prog. Phys. n 46, p. 877, 1983) d'une source laser à semi-conducteur à cavité résonante étendue, ce couplage étant obtenu par modulation du gain à une fréquence fm proche de la fréquence intermode propre à cette cavité. La modulation du gain est obtenue par injection 263 6 1 7 7 - 8 d'un courant sinusoïdal IHF à la fréquence fm ' superposé a un courant de polarisation I continu plaçant le laser au-dessus du P seuil d'oscillation. La fréquence fm est donnée par le temps d'aller et retour de la lumière sur la longueur optique L de la cavité étendue: 1/f = 2L/c m o c est la vitesse de la lumière dans le vide et o la longueur L prend en compte l'indice de groupe de chacune des sections de la cavité étendue. Pour un indice moyen n = 4, une fréquence f m de 20 GHz est obtenue avec une cavité de longueur L voisine de 1,9 mm et une fréquence de 100 GHz avec une longueur L voisine de 0,37 mm. L'émission optique de ce composant est constituée d'un faisceau lumineux modulé en intensité à la fréquence fm. La puissance moyenne dépend approximativement linéairement du courant de polarisation Ip et est voisine de celle qui serait obtenue en l'absence du courant de modulation. Le taux de modulation (composante de puissance à la fréquence fs, cette composante étant rapportée à la puissance totale moyenne) dépend approximativement linéairement du courant de modulation IHF. Une modulation sinusoïdale à la fréquence fm est obtenue par le couplage de quelques modes de la cavité laser. Dans ce type de fonctionnement, la modulation d'intensité est due à la superposition de l'émission du laser sur plusieurs modes et peut avoir lieu à des fréquences très supérieures à la fréquence des oscillations de relaxation, ces fréquences étant limitées seulement par la largeur de gain et l'efficacité de la modulation du gain (soit un maximum envisageable aux environs de fm = 100 GHz). La modulation optique (c'est-à-dire celle de ladite onde porteuse) est formée au cours d'un grand nombre d'allers et retours de la lumière dans le composant (100 à 1000 typiquement). Ceci entraîne une bonne cohérence spectrale de l'émission optique, (c'est-à-dire de ladite onde porteuse), cette cohérence étant voisine de celle qui serait obtenue pour le fonctionnement monofréquence du même composant laser (D.W. RUSH, G.L. BURDGE and P.T. HO, IEEE J. Quant. Elec. Q.E. 22, p. 2088, 1986). -9 - Les points importants pour le bon fonctionnement de ce composant sont indiqués ci-après. Pour sa réalisation et son utilisation une aide peut cependant être apportée par certains résultats qui ont été précédemment obtenus expérimentalement et théoriquement et qui concernent le couplage de modes dans une source laser par injection de courant dans un laser à semi-conducteur placé dans une cavité externe (H.A. HAUS, Jpn J. Appl. Phys. n 20, p. 1007, 1981). La section à gain modulé doit être à une extrémité du composant afin de fixer la phase de la modulation d'intensité lumineuse par rapport à celle du courant de modulation IHF. Elle doit être de faible longueur par rapport à la longueur optique totale de la cavité résonante laser, afin que la modulation de ga-in imposée par ce courant soit limitée à une fraction temporelle précise de l'intensité lumineuse circulant dans cette cavité. Par ailleurs la faible longueur de la section de gain qui coincide avec cette section de gain modulé limite aussi un effet défavorable connu qui est une destabilisation spectrale du gain. Cet effet est du à des appauvrissements locaux en états quantiques excités propres à amplifier lesdites ondes lumineuses. Ces appauvrissements sont localisés aux ventres de l'onde optique stationnaire oscillant dans la cavité résonante et sont connus sous l'appelation interna- tionale "spatial hole burning". La cavité doit être étendue par une section guide afin de déterminer par sa longueur la fréquence de modulation f. Il est m important que le couplage optique entre sections successives ne soit pas perturbé par des rétroréflexions parasites. On choisit donc des structures permettant une bonne adaptation d'impédance optique avec des rétroréflexions limitées à un ou quelques pour- cent au maximum. La largeur spectrale optique permise par la cavité (cette largeur étant celle qui contient toutes lesdites fréquences permises et étant donnée par la courbe de gain et par le filtrage additionnel) doit être supérieure (en fréquences) à fm, largeur limite 2636 177 - 10 - de l'onde lumineuse émise. Le courant IHF nécessaire pour obtenir une modulation donnée pour une cavité donnée est inversement proportion- nel à cette largeur spectrale. On obtient donc une plus grande sensibilité de la commande de modulation en augmentant la largeur spectrale permise par la cavité. Néanmoins, une trop grande largeur spectrale permise amène une destabilisation de l'émission optique principalement à cause de la saturation du gain (spectrale, spatiale et temporelle). Ainsi, la largeur naturelle du gain des sources lasers à semi-conducteurs actuellement disponibles ne permet pas d'obtenir une émission de bonne cohérence dans les conditions indiquées ci-dessus. Un filtrage additionnel limité permet d'obtenir un composant sensible (commandé par un courant IHF de l'ordre du milliampère), mais fragile vis- à-vis des changements de conditions extérieures et donc de faible dynamique. Un filtrage étroit (quelques fois fm) donne un composant moins sensible (IHF nécessaire de l'ordre de la dizaine de milliampères), mais plus robuste face aux perturba- tions extérieures et donc de grande dynamique de fonctionnement. On peut obtenir le filtrage par dépôt d'un filtre multidiélectrique sur l'une des faces du composant. Mais ce type de filtre semble trop peu sélectif. Un filtrage plus sélectif est obtenu en complétant le guide par un réflecteur de Bragg à réseau distribué DBR. Il convient d'avoir, là encore, une bonne adaptation optique avec le reste de la section guide et aussi de tenir compte du réseau de ce réflecteur DBR dans le calcul de la longueur optique de la cavité résonante. Un paramètre important, déterminant l'efficacité de la modulation par le courant IHF, est la dispersion des temps de propagation de groupe à l'intérieur du composant. La valeur de cette dispersion pourrait être calculée par l'intégration dudit paramètre de dispersion sur la longueur géométrique de la cavité. Les valeurs typiques de la dispersion dans les semi-conducteurs diminuent de façon considé- rable l'efficacité de la modulation lumineuse par rapport à ce que permettrait une dispersion nulle. Si l'on veut avoir la possibilité de piloter le composant par un courant IHF faible (quelques milliamè- res), il convient d'ajuster la dispersion des temps de propagation de groupe à une valeur proche de zéro. Cette possibilité est offerte 2636 1 77 - 11 - par la présence sur le flanc haute fréquence de la courbe de gain (gain en fonction de la fréquence) d'une plage de dispersion "anormale" élevée, o ledit paramètre est négatif, ( J.P. van der ZIEL and R.A. LOGAN, IEEE J. Quant. Elec, QE 19, p 164, 1983). La valeur absolue de cette dispersion "anormale" est suffisante pour compenser la dispersion "normale" des autres sections pour lesquelles ce même paramètre est positif, à condition bien entendu que les longueurs relatives des différentes sections soient correctement ajustées. Il convient, pour obtenir cette compensation, de placer la plage de fréquences du filtre additionnel autant que possible dans la plage de dispersion anormale. Cette position spectrale du filtre sur le flanc haute fréquence de la courbe de gain améliore aussi l'efficacité de la modulation par augmentation du gain différentiel (C.H. HENRY, R.A. LOGAN and K.A. BERTNESS, J. Appl Phys. n 52, p. 4457, 1981). Une modulation d'amplitude de l'émission optique est possible par commande du courant de polarisation. Un désaccord de la longueur optique est tolérable s'il ne dépasse pas une valeur relative de 10'2 ou 10-3 (comme dans le cas des lasers à cavité externe: J.C. GOODWIN and B.K. GARSIDE, IEEE J. Quant. Elec. QE 19, p. 1068, 1983). Ce désaccord de fréquence amène un déphasage du signal hyperfréquence de sortie par rapport au courant de modulation et donne une possibilité de modulation de phase de ce signal. Les bandes passantes des modulations d'amplitude ou de phase hyperfréquence sont limitées par le temps de construction du couplage de modes à 10-2 ou 10-3 f. Elles sont approximativement proportionnel- m les à IHF. Elles valent au maximum quelques centaines de mégahertz. La conversion d'1nergie électronique en énergie optique est améliorée par une adaptation d'impédance électrique du courant de modulation IHF (il suffit de réaliser cette adaptation en bande étroite). La structure semiconductrice de la source selon l'invention peut être du même type que celles qui ont été décrites pour réaliser des lasers monomodes accordables (L.A. COLDREN and S.W. SCOTT, - 12 - IEEE J. Quant. Elec. QE 23, p.903, 1987). Les propriétés électriques et optiques des sources lasers à semi-conducteurs connues étant voisines, le choix du matériau constitutif peut se faire en fonction de la longueur d'onde optique recherchée et la mise en oeuvre du couplage de modes sur des lasers constitués de GaAs ou d'InP, par exemple, est possible. On peut par ailleurs noter qu'une compensation de dispersion a déjà été décrite, mais dans des lasers à cavité externe et donc pour des fréquences de modulation très éloignées de celles qui sont considérées ici (J. KUHL, M. SERENYI, E.O. GOBEL, Optics Letters, 12, p. 334 - 1987). Les moyens utilisés étaient de plus très différents. Le composant constitué comme indiqué ci-dessus peut être modulé par action sur différentes grandeurs commandables: le courant de polarisation Ip, le courant de modulation IHF, et éventuellement des signaux agissant sur la longueur de cavité L et sur la fréquence centrale du filtre additionnel. Divers dispositifs peuvent être réalisés par association à d'autres éléments tels qu'un détecteur optique ou une fibre optique. Un avantage de ce composant est d'être commandable en amplitude et en phase par des courants modulables à une fréquence beaucoup plus basse que celle du signal hyperfréquence de sortie obtenu, le courant IHF restant de préférence constant. Une autre particularité de ce composant est de constituer une source à une haute fréquence, mais à bande spectrale étroite. Dans certains cas il peut être cependant avantageux de réaliser de manière différente une source selon l'invention et d'adopter la disposition parfois préférée suivante: Le courant de modulation (IHF) est choisi suffisamment grand pour faire apparaître dans ladite onde de sortie des composantes de modulation constituant des harmoniques présentant des fréquences multiples de ladite fréquence de modulation (f) de manière à constituer une source d'impulsions m lumineuses à haute cadence de répétition. A l'aide des figures schématiques ci-jointes on va décrire plus particulièrement ci-après, à titre d'exemple non limitatif, comment la présente invention peut être mise en oeuvre dans le - 13 - cadre de l'exposé qui en a été donné ci-dessus. Lorsqu'un même élément est représenté sur plusieurs figures il y est désigné par le même signe de référence. Les modes de mise en oeuvre décrits comportent les dispositions mentionnées ci-dessus comme préférées selon la présente invention. Il doit être compris que les éléments mentionnés peuvent être remplacés par d'autres élements assurant les mêmes fonctions techniques. La figure 1 représente une vue de côté d'une source selon la présente invention. La figure 2 représente une vue de cette source en coupe transver- sale. La figure 3 représente un diagramme temporel d'une onde de sortie émise par cette source. Les figures 4, 7 et 10 représentent des courants de commande appliqués à cette source pour diverses applications de celle-ci. Les figures 5, 8, 11 et 13 représentent cette source dans ces diverses applications. Les figures 6, 9, 12 et 14 représentent des ondes ou signaux de sortie de cette source dans ces diverses applications. Sur les figures 1 et 2, ladite plaquette semi-conductrice est représentée en 2 et constitue une diode laser. La direction longitudinale est représentée par une double flèche 4. Le canal de guidage est représenté en 6. Les faces extrêmes 8 et 10 de cette plaquette constituent lesréflecteurs aux extrémités de la cavité optique constituée par ce canal. Les deux dites couches de types de conductibilité opposés sont représentées en 12 et 14. La structure interne de la diode constituée par la plaquette est en fait plus complexe, conformément aux dispositions connues pour la réalisation des diodes laser à semi-conducteurs. Les moyens de polarisation et de modulation sont représentés par deux conducteurs CP et CM. Ils réalisent l'injection des courants de polarisation Ip et de modulation IHF par l'intermédiaire d'une électrode localisée 16 et d'une électrode générale 18 pouvant être mise à la masse. La section de gain 20 s'étend en regard de l'électrode 16. 2636 1 77 - 14 - La section de filtrage est représentée en 24, le filtre additionnel étant représenté en 33. La section intermédiaire restante 22 constitue, avec cette section de filtrage, la section guide précédemment mention- née. L'onde de sortie est représentée par une flèche 26. Conformément à la figure 3 elle est constituée par une onde porteuse à fréquence optique OP modulée en amplitude par un signal hyperfréquence SHF, le temps t étant porté en abscisses et le champ électrique E en ordonnées. Le composant ainsi réalisé constitue un convertisseur et/ou un amplificateur hyperfréquence car il fournit en sortie un signal hyperfréquence optique de puissance comparable ou supérieure à celle du courant de modulation électrique IHE qu'il reçoit en entrée à la même fréquence. Conformément à une disposition parfois préférée selon l'invention le moyen de polarisation CP permet de commander à basse fréquence le courant de polarisation Ip, de manière à permettre de moduler à basse fréquence l'onde de sortie portant le signal hyperfréquence de sortie AHF. On constitue ainsi un modulateur d'amplitude pour cette onde de sortie et pour ce signal hyperfréquence. Le composant utilisé pour cela est celui qui a été précédemment décrit sauf que le courant de polarisation IP varie comme indiqué sur la figure 4. Ce composant est symbolisé sur la figure 5, le signal hyperfréquence de sortie étant représenté en AHF sur la figure 6. Sur la figure 5 comme sur celles des figures suivantes qui symbolisent des composants selon l'invention, des traits forts représentent les conducteurs par lesquels est amené un courant de commande. Un tel courant traverse l'une des trois sections telles que 20, 22, 24 au besoin par l'intermédiaire de l'une des électrodes supplémentaires 30 et 32 qui sont disposées sur les sections intermé- diaire 22 et de filtrage 24 et qui portent des conducteurs CK et CF, respectivement. Conformément à une autre disposition parfois préférée illustrée par les figures 7 et 8 la source comporte en outre un moyen de - 15 - modulation de phase recevant un signal de modulation de phase à basse fréquence (IK) et commandant de manière correspondante la longueur de cavité L de manière à moduler la phase d'un signal hyperfréquence de sortie BHF représenté de manière très symbolique à la figure 9. Conformément à une autre disposition préférée ce moyen de modulation de phase comporte: - une section de modulation de phase (constituée par la section intermédiaire 22) s'étendant sur au moins une fraction de ladite longueur de cavité, l'indice de réfraction dans ledit canal de guidage 6 dans cette section étant sensible à la densité de porteurs de charge, - et un moyen d'injection de modulation de phase (constitué par le conducteur CK) pour injecter un courant électrique de modulation de phase I à travers ce canal dans cette section de manière à K y commander la densité de porteurs de charge, ce courant constituant ledit signal de modulation de phase. On peut cependant noter que la longueur de la section de modulation de phase peut aussi être accordée par l'effet électro- optique, qui est plus rapide que la commande par injection de porteurs. Une autre disposition parfois préférée est illustrée par les figures 10 et 11. Elle est applicable lorsque le filtre additionnel 23 est un réflecteur de Bragg distribué occupant la section de filtrage 22 à une extrémité de la cavité optique 6, 8, 10, et l'indice de réfraction dans le canal de guidage 6 dans cette section est sensible à la densité des porteurs de charge. Selon cette disposition, la source comporte un moyen d'injection de modulation de fréquence (constitué par le conducteur CF) pour injecter un courant de modulation de fréquence IF à travers ce canal dans cette section de manière à y commander la densité de porteurs de charge pour moduler ainsi la fréquence de l'onde porteu- se AP représenté de manière très symbolique à la figure 12. Conformément à une autre disposition parfois préférée illustrée par les figures 13 et 14, la source comporte en outre: - un photodétecteur 40 pour recevoir une onde de sortie et pour fournir en réponse un courant de détection représentatif du signal 2636 177 - 16 - hyperfréquence de sortie CHF porté par cette onde, - et un moyen de liaison (constitué par le conducteur CM qui peut être muni d'un amplificateur non représenté) pour engendrer le courant de modulation IHF à partir de ce courant de détection, de manière que cette source constitue un oscillateur hyperfréquence. Dans l'exemple représenté deux ondes optiques de sortie sortent en même temps de la source par deux réflecteurs 44 et 46 qui remplacent les réflecteurs 8 et 10, l'une 42 vers le photodétecteur 40 qui est par exemple une diode photosensible, l'autre 43 pour constituer une onde de sortie de l'oscillateur hyperfréquence. La fréquence de ce dernier peut être commandée par un courant de modulation de fréquence qui est appliqué et agit comme le courant de modulation de phase précédemment mentionné. Le courant de modulation est constitué par le courant de détection, après amplification et/ou filtrage et/ou correction de phase éventuels. - 17 _ REVENDICATIONS 1/ Source laser à semi-conducteur modulée à fréquence élevée et comportant - une plaquette semi-conductrice monolithique (2) s'étendant selon une direction longitudinale (4) entre deux faces extrêmes (8, 10), et comportant elle même: - un canal de guidage (6) qui s'étend selon cette direction de l'une à l'autre de ces deux faces et qui est entouré dans le volume de cette plaquette par des régions (12, 14) d'lindices de réfraction moins élevé afin de guider des ondes lumineuses se propageant selon cette direction, - et au moins deux couches (12, 14) de types de conductivité opposés qui sont disposées de part et d'autre de ce canal pour que, si un courant électrique de polarisation (Ip) va de l'une à l'autre de ces deux couches en traversant ce canal, ce courant provoque dans ce canal une inversion de population faisant apparaître un gain positif représentatif d'une amplification desdites ondes lumi- neuses, ce gain apparaissant seulement quand les fréquences de ces ondes sont situées dans un domaine spectral de gain qui présente une largeur spectrale de gain, - cette source comportant en outre: - un moyen de polarisation (CP) pour injecter dans ladite plaquette un courant unidirectionnel propre à constituer ledit courant de polarisation (Ip), deux réflecteurs (8, 10) pour constituer entre eux une cavité optique incluant ledit canal de guidage et présentant une longueur optique de cavité L, de sorte que cette cavité est résonante selon une succession de modes pour des ondes lumineuses présentant une succession correspondante de fréquences propres, ces fréquences étant séparées par des intervalles égaux à une fréquence intermode fi= c/2L, c étant la vitesse de la lumière, de manière que cette cavité constitue un oscillateur laser pouvant produire des ondes lumineuses à diverses fréquences permises, ces dernières étant au moins sensiblement égales à celles desdites fréquences propres qui sont situées dans - 18 - ledit domaine spectral de gain, et un couplage de modes étant possible entre les ondes produites, - et un moyen de modulation (CM) pour injecter dans ladite plaquette un courant de modulation alternatif (IHF) présentant une fréquence de modulation (fm) et traversant aussi ledit canal de guidage (6) pour faire apparaître un gain modulé à cette fréquence et représentatif d'une amplification ou d'une attenuation desdites ondes lumineuses, cette fréquence de modulation étant proche de ladite fréquence intermode de manière que ce courant de modulation réalise un dit couplage de modes en imposant à des ondes lumineuses produites par ledit oscillateur de présenter une succession de fréquences qui sont desdites fréquences permises séparées par des intervalles égaux à cette fréquence de modulation, et que l'ensemble de ces ondes produites constitue une onde porteuse modulée (OP) dont au moins une composante de modulation est un signal de modulation de sortie présentant ladite fréquence de modulation, - cette source étant caractérisée par le fait que ladite plaquette porte lesdits réflecteurs (8, 12) aux extrémités dudit canal de guidage (6) pour que ce canal constitue ladite cavité optique et que ladite longueur optique de cavité L soit limitée à la longueur optique de ce canal, de manière à situer ladite fréquence intermode (fi) et ladite fréquence de modulation (f m) dans le domaine des hyperfréquences, ledit signal de modulation constituant un signal hyperfréquence de sortie (SHF), - cette plaquette comportant en outre un moyen de limitation de dispersion (20, 22, 23, 24) disposé dans ladite cavité optique pour limiter la dispersion des temps de propagation de groupe desdites ondes lumineuses sur la longueur de cette cavité, - et un filtre additionel (23) inclus dans ladite cavité optique (6, 8, 10) pour ne laisser subsister lesdites fréquences permises qu'à l'intérieur d'un domaine spectral de filtrage limité, ce domaine présentant une largeur de filtrage supérieure à ladite fréquence intermode, cette largeur étant une fraction minoritaire de ladite largeur spectrale de gain de manière à éviter des instabilités des fréquences desdites ondes produites par ledit oscillateur laser, 636 177 - 19 - - et ladite modulation de gain étant réalisée seulement dans une section de la longueur de cette cavité, cette section étant une section de gain modulé (20) et s'étendant sur une fraction minoritaire de ladite longueur de cavité à une extrémité de celle-ci, de manière à assurer le dit couplage de modes en imposant une phase prédéterminée audit signal hyperfréquence de sortie par rapport audit courant de modulation. 2/ Source selon la revendication 1, caractérisée par le fait que les deux dites couches de types de conductivité opposés (12, 14) sont disposées de part et d'autre d'une section de gain (20) qui occupe une fraction inférieure au quart de ladite longueur optique de cavité (L), de manière que ladite amplification des ondes lumineuses soit entièrement réalisée dans cette section, cette section constituant en même temps ladite section de gain modulé, la fraction restante de cette longueur constituant une section guide (22, 24). 3/ Source selon la revendication 1, caractérisée par le fait que ladite largeur de filtrage est comprise entre 2 fois et 100 fois ladite fréquence intermode (fi) de manière que ledit couplage de modes se réalise sur plusieurs modes longitudinaux. 4/ Source selon la revendication 1, dans laquelle ledit filtre additionnel (23) est un réflecteur de Bragg distribué occupant une section de filtrage (24) à une extrémité de ladite cavité optique (6, 8, 10). / Source selon la revendication 1, caractérisée par le fait que la longueur de ladite cavité (6, 8, 10) comporte des sections présen- tant des valeurs de dispersion de signes opposés, ces valeurs étant représentatives de la dispersion de la vitesse de propagation de groupe desdites ondes lumineuses dans ces sections, respectivement, de manière que l'association de ces sections réalise une compensation de dispersions pour constituer ledit moyen de limitation de dispersion. 6/ Source selon la revendication 2, caractérisée par le fait que ledit domaine spectral de filtrage est choisi pour coincider avec un domaine de fréquences dans lequel un paramètre de dispersion présente une valeur négative dans ladite section de gain alors - qu'il présente une valeur positive dans une autre partie (22, 24) 2636 1 7 7 -20 - dudit canal de guidage (6), cette valeur négative étant supérieure en valeur absolue à trois fois cette valeur positive, ce paramètre étant la dérivée seconde (d2n/d lambda2) de l'indice de réfraction (n) dans ledit canal de guidage par rapport à la longueur d'onde (lambda) desdites ondes lumineuses, de manière que l'association de cette section de gain et de ladite autre partie du canal de guidage réalise une compensation de dispersion pour constituer ledit moyen de limitation de dispersion. 7/ Source selon l'une quelconque des revendications précédentes dans laquelle l'un (10) au moins des deux dits réflecteurs est semi transparent pour laisser sortir une onde de sortie (26) constituée par ladite onde porteuse (OP) modulée par ledit signal hyperfréquence de sortie (SHF). 8/ Source selon la revendication 7, caractérisée par le fait que ledit moyen de polarisation (CP)permet de commander à basse fréquence ledit courant de polarisation (Ip), de manière à permettre de moduler à basse fréquence ladite onde de sortie portant ledit signal hyper- fréquence de sortie (AHF). 9/ Source selon la revendication 7, caractérisée par le fait qu'elle comporte en outre un moyen de modulation de phase (CK) recevant un signal de modulation de phase à basse fréquence (IK) et commandant de manière correspondante ladite longueur de cavité L de manière à moduler la phase dudit signal hyperfréquence de sortie (BHF). / Source selon la revendication 9, caractérisée par le fait que ledit moyen de modulation de phase comporte: - une section de modulation de phase (22) s'étendant sur au moins une fraction de ladite longueur de cavité, l'indice de réfraction dans ledit canal de guidage (6) dans cette section étant sensible à la densité de porteurs de charge, - et un moyen d'injection de modulation de phase (CK) pour injecter un courant électrique de modulation de phase (IK) à travers ce canal dans cette section de manière à y commander la densité de porteurs de charge, ce courant constituant ledit signal de modulation de phase. 11/ Source selon la revendication 7, caractérisée par le fait que 2636 177 -21 - ledit filtre additionnel (23) est un réflecteur de Bragg distribué occupant une section de filtrage (24) à une extrémité de ladite cavité optique (6, 8, 10), l'indice de réfraction dans ledit canal de guidage (6) dans cette section étant sensible à la densité des porteurs de charge, cette source comportant en outre un moyen d'injection de modulation de fréquence (CF) pour injecter un courant de modulation de fréquence (IF) à travers ce canal dans cette section de manière à y commander la densité de porteurs de charge pour moduler ainsi la fréquence de ladite onde porteuse (AP). 12/ Source selon la revendication 7, caractérisée par le fait qu'il comporte en outre: - un photodétecteur (40) pour recevoit une dite onde de sortie et pour fournir en réponse un courant de détection (IHF) représentatif dudit signal hyperfréquence de sortie (CHF) porté par cette onde, - et un moyen de liaison (CM) pour engendrer ledit courant de modula- tion à partir de ce courant de détection, de manière que cette source constitue un oscillateur hyperfréquence. 13/ Source selon la revendication 7, caractérisée par le fait que ledit courant de modulation (IHF) est choisi suffisamment grand pour faire apparaître dans ladite onde de sortie des composantes de modulation constituant des harmoniques présentant des fréquences multiples de ladite fréquence de modulation (fm) de manière à consti- tuer une source d'impulsions lumineuses à haute cadence de répétition.