Brevet FR2645981A1 — publié le 19901019

i La présente invention concerne un dispositif perfectionné de commande en déplacement d'un mobile tel qu'un élément optique d'un système d'interférométrie stellaire, ou plus généralement d'un dispositif inter- férométrique, tel qu'un spectromètre à transformée de FOURIER. Elle a pour objet de stabiliser dynamiquement un mobile au cours d'un mouvement programmé, de façon à éliminer l'effet des vibrations. Un tel déplacement programmé sans vibration est nécessaire, par exemple pour contrôler une ligne à retard optique prévue au sein d'un interféromètre stellaire à recombinaison cohérente. Dans un tel cas, lorsque la distance (appelée base) séparant les télescopes est de l'ordre de 100 mètres, l'égalisation des chemins optiques, malgré la rotation de la Terre, nécessite un déplacement du dispositif rétro-réflecteur de la ligne à retard optique sur une distance de plusieurs mètres, avec une vitesse de quelques dizaines de millimètres par seconde, et une précision de positionnement, en valeur moyenne de quelques microns, et en valeur instantanée (pendant un temps de pose de quelques centièmes de seconde) de quelques nanomètres (amplitude des vibrations): les contraintes sont donc plus sévères sur l'erreur dynamique que sur l'erreur statique. De telles caractéristiques de déplacement sont également nécessaires dans le cas o l'on chercherait à réaliser l'égalite des chemins optiques est realisée par le déplacement des télescopes eux-mêmes. Dans la thèse de Doctorat d'Etat soutenue par L. KOECHLIN le 15 Novembre 1985 à l'Université de Nice sur "Exploitation astrophysique de l'interféromètre à deux télescopes du CERGA" il a déjà été décrit une table optique de recombinaison des faisceaux de l'interféromètre, jouant le rôle de ligne à retard. Cette table se déplace sur des rails rectifiés. Elle est mue par un moteur couple asservi en position et vitesse. La transmission est réalisée par une liaison vis- écrou de précision. Ce type de dispositif de déplacement présente l'inconvénient d'engendrer des vibrations, surtout à vitesse élevée (quelques millimètres par seconde) qui proviennent à la fois du système de guidage et de la transmission. Ces vibrations détériorent la précision des mesures de contraste des franges. Un guidage sur coussins d'air apporte une amélioration, mais des instabilités d'écoulement génèrent souvent des vibrations non négligeables à hautes fré- quences. - Par la publication de R.W. HOLM: thèse MIT 1986 "A high Speed High-Resolution Optical Delay Line For Stellar Interferometry Applications", on connait un dispositif de déplacement d'un "oeil de chat" dans une ligne à retard, constitué par un chariot de type esclave se déplaçant sur des rails, ledit chariot comportant un châssis, mobile sur des pivots flexibles et sur lequel est fixé l'oeil de chat. Le miroir secondaire.de l'oeil de chat y est porté par un actionneur piézoélectrique. La position du châssis mobile par rapport au chariot est contrôlée par un détecteur de déplacement et un actionneur-linéaire du type Haut-Parleur ("voice coil"). Enfin, le déplacement du chariot est assuré par un moteur pas-à-pas. Le chemin optique introduit par la ligne à retard y est mesuré par un interféromètre laser. Le signal d'erreur est injecté dans la boucle d'asservissement de l'actionneur piézo-électrique. La saturation de cet actionneur est évitée par l'action de l'actionneur linéaire, et la saturation de l'actionneur linéaire est évitée par l'action du moteur pasà-pas (d'o appellation d'esclave). Il y a pour cela trois boucles d'asservissement imbriquées l'une dans l'autre. Ce dispositif de déplacement permet de réaliser un déplacement sans vibrations de l'oeil de chat, assimi- lable à un déplacement sans frottements. Il a de bonnes performances car le signal d'erreur correspond directement à la grandeur à asservir, c'est-à-dire au chemin optique. Cependant, il est mal adapté aux grandes vitesses du fait que la métrologie laser devrait alors avoir une résolution de quelques nanomètres alors que le rapport vitesse maximale de variation de chemin optique du chariot sur résolution est limité par l'électronique pour des raisons de faisabilité. De plus, l'actionneur piézo-électrique ne peut pas délivrer une force suffisante pour que ce dispositif soit applicable au déplacement de grosses masses telles que des télescopes; Enfin, ce dispositif est onéreux en raison de la présence de trois boucles d'asservissement et en raison de la nécessité d'avoir une métrologie laser performante laquelle ne peut fonctionner bien que dans une enceinte sous vide. Un dispositif de ce type avait déjà été décrit précédemment dans la publication: P. CONNES 1975 Applied Optics, Vol 14 n 9.p 2067 - 2084. Le but de la présente invention est de décrire un dispositif de déplacement programmé d'un chariot portant, par l'intermédiaire d'une liaison flexible, une charge utile dont le déplacement doit s'effectuer sans vibration sur une grande course et à grande vitesse, tel que ceux utilisés pour les lignes à retard d'un inter- féromètre stellaire et ne présentant pas les inconvénients cités ci-dessus. L'invention propose un dispositif de commande en déplacement sans vibrations destiné au contrôle statique et dynamique d'un élément optique mobile, au sein d'un dispositif interférométrique, suivant une direction, comportant une voie de guidage, un chariot portant une charge utile comportant cet élément optique et mobile le long de la voie de guidage, un moteur pour l'entraînement de ce chariot le long de cette voie de guidage, un élément de commande en entraînement connecté à ce moteur d'entrai- nement pour déplacer ce chariot selon une loi de consigne prédéterminée, cette charge utile étant liée au chariot par des éléments de liaison flexible autorisant parallèlement à ladite direction un débattement relatif entre le chariot et la charge utile, et au moins un actionneur étant prévu pour agir sur au moins une partie de l'élément optique sous le contrIôle d'au moins une boucle d'asservissement en stabilisation connectée à au moins un second capteur, ce dispositif étant caractérisé en ce que cette boucle d'asservissement en stabilisation est unique et indépen- dante de l'élément de commande en entraînement, en ce que le second capteur, unique, est un accéléromètre porté par la charge utile et sensible à l'accélération de la charge utile parallèlement à ladite direction, en ce que l'action- neur agit sur l'ensemble de la-charge utile en prenant appui sur le chariot, en ce que cette boucle d'asservisse- ment en stabilisation comporte un étage de filtrage du signal de l'accéléromètre, et en ce que l'élément de commande en entraînement comporte une boucle d'asservisse- ment connectée à un capteur de position adapté à détecter la position du chariot sur la voie de guidage. S En pratique, la charge utile est munie d'un accéléromètre mesurant Ies accélérations dans le sens du déplacement du chariot et porte un élément primaire d'un actionneur linéaire électromagnétique dont l'élément secondaire est fixé sur le chariot et la force fournie par le moteur linéaire est contrôlée par le signal issu de l'accéléromètre de façon à ce que les vibrations du chariot ne soient pas transmises à l'élément utile. Selon des dispositions préférées: - l'étage de filtrage de la boucle d'asservissement en stabilisation est du deuxième ordre, admettant une fonction de transfert F(p) de la forme: S F(p) =amp + alp + a. pm + b1p + bo - l'accéléromètre est du type piézo-électrique, l'actionneur est du type "haut-parleur", - la voie de guidage est à rouleaux croisés, - le moteur d'entraînement est un moteur linéaire sans balais, - le capteur de position est du type incrémental, - la boucle d'asservissement en entraînement est du type numérique position/vitesse, l'élément optique est un rétroréflecteur du type "oeil de chat" prévu dans une ligneà & retard, - l'élément optique est l'un des télescopes de l'inter- féromètre stellaire, mobile en direction d'une station de recombinaison. L'invention propose également un interféromètre stellaire comportant un ou plusieurs dispositifs de commande en déplacement du type précité. En fait, la boucle d'asservissement en stabilisation que préconise l'invention pourrait sembler présenter en elle-même des analogies avec des dispositifs anti-vibrations qui ont déjà été proposés dans des domaines tout à fait différents de celui concerné par l'invention, mais ces dispositifs se placent le plus souvent dans un domaine technique o l'on ne cherche pas un aussi haut niveau d'amortissement (FR-2.593.455, W0-81/00237, FR- 2.415.330, ou EP-0.222.329) et sont généralement complexes, faisant parfois intervenir la mesure de plusieurs paramè- tres tels que des positions et des efforts ou moments. On connait par ailleurs, de par le document EP-0.202.880 un dispositif anti-vibrations de hautes performances, mais celui-ci est le seul élément d'asservissement intervenant puisque la source de vibrations est fixe (c'est le sol lui- meme). En outre, les amplitudes des accélérations pertur- batrices à éliminer sont beaucoup plus faibles que dans le domaine de l'invention du fait que le déplacement à haute vitesse du chariot s'accompagne inévitablement de pertur- bations importantes (irrégularités du guidage, frotte- ments...). Enfin, les lois de contrôle décrites ne permettent pas de s'affranchir des biais éventuels présents dans le signal accélérométrique. En fait, l'originalité de l'invention réside notamment dans le fait que, pour amortir très efficacement les vibrations d'un élément optique mobile suivant une trajectoire donnée selon une cinétique donnée, elle enseigne, à l'encontre du préjugé de l'homme de métier en la matière, de renoncer à toute interconnexion entre les asservissements en entraînement et ceux en stabilisation; de manière surprenante la grande simplicité (et la grande fiabilité) qui en résulte a pu être combinée avec un excellent amortissement. Des objets, caractéristiques et avantages de l'invention ressortent de la description qui suit, donnee à titre d'exemple non limitatif, en regard des dessins annexes sur lesquels: - la figure 1 est une vue schématique générale d'un système d'interferométrie stellaire incorporant un dispositif de commande en déplacement programmé sans vibrations conforme à l'invention; - la figure 2 est une vue schématique de ce dispositif; - la figure 3 en est une vue en élévation latérale; - la figure 4 en est une vue de gauche; - la figure 5 est une vue partielle montrant en élévation latérale le chassis de ce dispositif; - la figure 6 est une vue de droite de ce châssis: - la figure 7 en est une vue de gauche 3t - la figure 8 est une vue schématique en plan d'un système d'interférométrie stellaire comprenant trois télescopes montés chacun sur un dispositif de commande en déplacement programmé sans vibrations, conformément à l'invention; et - la figure 9 est un graphique illustrant les performances de la loi de. commande préconisée par l'inven- tion. La figure 1 montre un interféromètre stellaire 14 comportant deux télescopes 30A et 30B recevant respec- tivement des rayonnements R1 et R2 provenant d'un même objet du ciel (non représenté). Ces télescopes comportent des miroirs 31 A et 31B qui renvoient ces rayonnements incidents vers une station 13 de recombinaison d'ondes dans laquelle se forment des franges d'interférences caractéris- tiques du rayonnement émis par cet objet. Le problème est d'ajuster, à chaque instant, le chemin optique dans l'un 14A des bras de l'interféromètre stellaire afin de compenser en permanence des différences de marche d liées aux variations de la position, dans le ciel, de l'objet observé. La figure 1 montre la différence de marche à compenser. Cette différence de marche vaut B sin Z ou B est la distance séparant les télescopes 30A et B et Z est l'angle zenithal de l'objet. L'ajustement du chemin optique peut se faire soit par le déplacement des télescopes par rapport à la station de recombinaison 13, soit par l'introduction, dans un des bras de l'inter- férometre, d'un dispositif *11 appelé "ligne à retard" constitué d'un rétroréflecteur optique mobile selon une direction D. La première solution présenterait l'avantage d'offrir la ma trise à tout instant de la configuration géométrique de l'interféromètre, ce qui permettrait d'optimiser la couverture du plan des fréquences spatiales mesurées (plan (u. v)), ainsi que de minimiser le nombre de surfaces réfléchissantes sur le trajet optique. La seconde solution qui est ici décrite présente l'avantage d'être plus simple de réalisation et de mise en oeuvre. Les spécifications techniques de besoins pour un dispositif de ligne à retard dépendent essentiellement de la distance séparant les télescopes, de l'orientation de la ligne joignant les télescopes par rapport à l'axe Nord- Sud, de la position, dans le ciel, des objets à observer, du temps de pose pendant lequel l'image des franges d'interférence est intégrée et de la précision requise sur la mesure du contraste des franges. Les spécifications essentielles sont: 1. la course linéaire de l'équipage mobile de la ligne à retard (quelques mètres), 2. la vitesse de déplacement du rétroréflecteur (variable de zéro à quelques dizaines de millimètres/- seconde), 3. la précision de positionnement de l'équipage mobile (rétroréflecteur) en valeur moyenne (quelques micromètres), 4. le niveau de vibration du rétroréflecteur autour de sa position moyenne, en cours de déplacement. Ce niveau de vibration constitue le point le plus critique car il conditionne la précision (quelques pour cents) sur la mesure du contraste des franges. Il s'exprime en écart quadratique moyen de position (quelques nanomètres) sur une fenêtre temporelle correspondant au temps de pose (quelques dizaines de millisecondes}. La difficulté réside dans la satisfaction simultanée des spécifications 2 et 4. Ces contraintes sont satisfaites grâce au dispositif de la figure 2. Il faut tout d'abord noter à propos de la figure 1 que, pour des raisons de lisibilité du dessin, la direction D a été représentée dans le même plan que celui des rayons Rl et R2, c'est-à-dire dans un plan sensiblement vertical. Toutefois, en pratique, cette direction est horizontale; il suffit pour cela d'orienter convenablement les miroirs de renvoi 33 prévus à l'entrée et à la sortie de la ligne à retard 11. De préférence, mais pas néces- sairement, la direction D est perpendiculaire à la direction commune des rayons entrant et sortant de cette ligne de retard. De meme à la figure 2, qui correspond pour l'essentiel à une vue dans un plan vertical, le trajet optique a été représenté dans ce plan pour des raisons de commodité alors qu'en pratique il est situé dans un plan horizontal. Cette ligne à retard Il comporte, outre les miroirs de renvoi 33 précités, un dispositif de commande en déplacement que l'on peut décomposer en une unité de translation et, porté par celle-ci, un étage de stabilisa- tion. L'unité de translation comporte un socle S portant un dispositif de guidage 4, un chariot mobile 1, un moteur 3 muni d'une transmission, et un capteur de position 5 relié à un asservissement A (avec un étage de puissance) contrôlant le moteur 3 en fonction des signaux de sortie du capteur de position et d'une loi de consigne élaborée à l'avance. Pour des raisons de coût, cette unité de translation est constituée à partir de matériels dis- ponibles sur le marché. Différentes technologies existent: guidage par galets sur rails rectifiés, par billes recirculantes, par friction, par rouleaux croisés, par coussin d'air (etc...), transmission par courroie, par tige entraînée par galet à friction, par vis de précision et écrou à recirculation de billes, (etc...), entraînement par moteur continu, moteur couple, moteur pas à pas, moteur linéaire (etc...). L'exigence principale du dispositif étant un faible niveau de vibration en cours de déplacement, le choix entre ces différentes technologies est dicté par le niveau de vibration généré par chacun des éléments. Un guidage par galets sur rails rectifiés est une bonne solution mais rarement commercialisée. Un guidage par billes recirculantes ou friction est générateur de vibrations, à haute vitesse notamment. Un guidage par rouleaux croisés non recirculants est meilleur qu'un guidage à billes recirculantes mais il est mal adapté aux grandes courses (supérieures à lm). Un guidage sur coussin d'air peut apporter une amélioration bien que des insta- bilités de l'écoulement de l'air puissent parfois générer des vibrations importantes dans des gammes de fréquence entre 100 et 1000 Hz. Une transmission par courroie fait en général apparaltre des vibrations longitudinales engendrées par la souplesse de la courroie. Une transmission- par tige et galet n'est - applicable qu'à de faibles courses. Une transmission par vis-écrou est mal adaptée aux déplacements à haute vitesse et ne convient pas aux grandes courses. Un moteur couple donne de bonnes performances à basse vitesse et permet un entraînement direct éliminant les vibrations engendrées par un réducteur. Un moteur pas à pas est mal adapté car le passage successif des pas se traduit par des vibrations longitudinales du chariot mobile. Un moteur linéaire présente l'avantage d'engendrer directement une force, sans contact, entre le socle et le chariot mobile éliminant ainsi la source de vibration que représente tout mécanisme de transmission. La solution retenue est une unité de transla- tion de course 1 m, comprenant un socle 5 en acier, un 230 guidage par rouleaux croisés 4, un moteur linéaire 3 sans balais, un capteur de position incrémental 5 de type règle optique et un asservissement numérique de position/vitesse. Ce matériel est fabriqué par exemple par la Société ANORAD (USA) sous les références ANORIDE 14-40 et IAC-186. L'étage de stabilisation porté par le chariotri comprend une liaison flexible 7 reliant un chassis 6 au il chariot, une charge utile 2 solidaire du chAssis, un capteur inertiel 21, un actionneur linéaire 8, et une boucle d'asservissement B. La liaison flexible 7 a pour rôle de permettre des déplacements relatifs dans la direction (D) entre le chariot 1 et le châssis 6. Cette liaison est ici réalisée par deux jeux décalés axialement de trois lames flexibles disposées à 120 comme indiqué sur la figure 4. Cette liaison présente l'avantage d'être sans jeu et sans frottement. La fréquence propre naturelle de la liaison se situe autour de 5 Hz pour une masse de (châssis + charge utile) de 15 kg. En variante de réalisation non représen- tée, cette liaison peut être constituée par seulement la lame supérieure de chaque jeu, en tirant partie de la gravité. Pour des raisons de lisibilité de la figure 4, la partie couvercle du chariot a été réduite à deux portions portant les liaisons flexibles 7, ce qui rend visible le châssis 6 et les éléments associés. Ainsi qu'il ressort notamment des figures 5 & 7. le châssis 6 est un tube en "invar" (par exemple de 250 mm. de diamètre, 600 mm de long, de masse 3 kg), fermé à une extrémité par un barillet 40 portant un miroir primaire 41 et à l'autre extrémité par une plaque de fermeture 42. Sur la face arrière du barillet se trouve une vis 43 de type M8 de longueur 7 mm située au centre de la surface destinée à recevoir le capteur inertiel 21 (un accéléromé- tre) et un alésage fileté 44 de type M3 et de profondeur 5 mm situe 65 mm en dessous de la vis 43, et destiné à recevoir la partie mobile de l'actionneur linéaire 8. La plaque de fermeture comporte deux ouvertures circulaires destinées à recevoir deux fenêtres 45 de fermeture de l'enceinte constituée par le châssis. La charge utile 2 est un dispositif optique rétroréflecteur de type "oeil de chat" constitué du miroir primaire 41, d'un miroir secondaire 46 et des deux fenêtres de fermeture 45. Ce dispositif permet de renvoyer le faisceau lumineux incident dans la direction opposée, tout en étant très peu sensible aux mouvements latéraux et angulaires dus aux imperfections du système 4 de guidage. Les fenêtres (ou lames) de fermeture assurent l'étanchéité aux poussières de l'intérieur du chas7sis afin d'éviter la dégradation des qualités optiques qui résulteraient d'un dépôt de poussières sur les miroirs. Le miroir primaire 41 est un miroir parabolique en "zérodur" de diamètre 200 mm et d'épaisseur environ 20 mm, de poids 3 kg; le miroir secondaire 46 est un miroir plan de diamètre 10 mm, les lames ou fenêtres 45 de fermeture sont en verre BK7, d'épaisseur 3 mm, de diamètre 80 mm, traité antireflet. Le miroir primaire est relié au barillet, le secondaire et les lames de fermeture sont fixés sur la plaque 42 de fermeture du chassis 6. Le capteur inertiel 21 est un capteur qui détecte l'accélération du chAssis dans une large bande de fréquence et à des niveaux très faibles. Les capteurs accélérométriques piézoélectriques conviennent parfaitement à ce type d'application. L'accéléromètre retenu est un BRUEL et KJAER 8318 avec son amplificateur associé BRUEL et KJAER 2813. Il vient se. fixer au centre de la face arrière du barillet à l'extrémité du chassis 6. Il pèse 500 g. Y-' L'actionneur linéaire 8 est destiné à appliquer une force entre le chariot 1 et le chassis 6. Cette force déterminée par l'asservissement B sert à annuler les vibrations du châssis 6 mesurées par le capteur 21. L'actionneur 8 doit fournir une force de faible niveau dans une large bande de fréquence. Les actionneurs linéaires - de type "haut-parleur" (à bobine mobile) conviennent parfaitement à cette application. L'actionneur retenu est un PRODERA EX6 et son amplificateur associé PRODERA 647/30 W. Le corps de l'actionneur est fixé sur le chariot 1 et la partie mobile contenant la bobine est fixé sur la face arrière du barillet à l'extrémité du chassis 6. L'asservissement B reçoit le signal de mesure 22 provenant de l'amplificateur de mesure associé à l'accéléromètre 21. Il calcule à partir du signal de mesure 22 un signal de commande 23 qui est envoyé à l'amplificateur de commande associé à l'actionneur linéaire 8. La force délivrée par l'actionneur linéaire 8 engendre une accélération du chassis 6 en opposition de phase avec l'accélération mesurée par le capteur 21 permettant ainsi de contrôler l'amplitude des vibrations du chassis 6. L'asservissement B est du type filtre du deuxième ordre: signal de commande (p) = a2p2 + azp + a. signal de mesure pT + bmp + bo o p = jw est la variable de Laplace. Ce filtre est aisément réglé grace à une formulation de type filtre de Kalman. Il est équivalent à un retour en accélération filtrée et intégrale de l'accé- lération filtrée, laquelle accélération filtrée provient du signal de mesure 22 après passage dans un filtre passe- haut du premier ordre. L'avantage du filtre passe-haut est d'éliminer l'effet des éventuels biais sur le signal de mesure. L'avantage du retour en accélération filtrée est de pouvoir modifier la fréquence propre naturelle de la liaison flexible 7 afin d'obtenir une fréquence propre en boucle fermée adaptée aux besoins de filtrage des vibrations provenant du chariot 1. L'avantage du retour en intégrale de l'accélération filtrée est de pouvoir générer un terme d'amortissement. Ce filtre est réalisé en analogique. - La formulation de type filtre de Kalman revient à construire un estimateur de la vitesse de la charge utile à partir de la mesure d'accélération de cette dernière. Cette estimation de vitesse est alors considérée comme le terme "intégrale de l'accélération filtrée" ci-dessus évoqué. L'élaboration du filtre est basée sur le modèle mathématique suivant représentant le mouvement de la charge utile 2: d=X= M2. _= - KX + Fm (I) dtm o M2 est la masse de la charge 2 dmXm est l'accélération de la charge 2 dt2 K est la raideur de la liaison flexible 7 F2 est la force appliquée par l'actionneur 8 sur la charge 2. Cette équation s'écrit également: D=-X X D +X wo=X = u (II) dt= KF= avec wo = K et U3 = F M= M3 Le signal de mesure 22 délivré par l'ac- célérometre est représentatif de l'accélération de la charge 2, soit d2X3. Ce signal de mesure est noté Y_ dt= = dX = u - Wo X2 (III) dt= L'équation dynamique du filtre est alors de la forme: -r dX 2 0 + L U2 -+LY- -1_WO2 d+ L(Ya 2 + 01) x2i soit: [ 2 d 1w0 1 -g l g À - X =[x + 2 + Ya en ayant posé X =iX et L 2. dt2 En imposant,pour la commandeU3 un terme proportionnel à l'accélération et à la vitesse estimée, on obtient: u-=K. d -X_Ke Y. dt et le correcteur final: - 9wo 1 + ggK _ 9(1 K5)+ =X X y + CE [g2_1)WO2 K4(92_1) 92(1 + Ks)-K a U2 = [0 -K43 X - K5 Ya Les gains gi, g=,K.4 etK= sont réglés de la façon suivante: 2 "KalKal g1 w02 WKal g2 = - '-"- 2 >d wO2 K4 = d 2wo K5 =-- - 1 wd o z,- (I) mais il ne le sont pas dans la solution (K). La figure 8 correspond à- une configuration d'interférométrie stellaire 14' comportant des télescopes non plus fixes mais mobiles (ici au nombre de trois 30'A, 30'B, 30'C) pointés sur le meme objet dans le ciel, ainsi qu'une station de recombinaison 13' recevant les trois faisceaux renvoyés par ces télescopes pour en élaborer des franges. Pour éliminer l'influence de la rotation de la Terre, on pourrait prévoir comme précédemment des lignes à retard (en nombre au moins égal à deux); au plus l'un des "bras" de l'interféromètre renverrait alors directement son rayonnement vers la station de recombinaison 13'. Toutefois, il peut être avantageux dans certains cas, pour des raisons astrophysiques, de rendre mobiles les télescopes sauf au plus un d'entre eux. Dans la configuration de la figure 8, ces télescopes sont mobiles selon une direction dirigée vers la station de recombinaison, la charge utile 2 de la figure 2 étant alors remplacée -par le télescope lui-meme en changeant bien sur les dimensions des éléments constitutifs du dispositif de support de cette charge utile. Il va de soi que la description qui précède n'a été proposée qu'à titre d'exemple non limitatif et que de nombreusesvariantes peuvent etre proposées par l'homme de l'art sans sortir du cadre de l'invention. Ainsi notamment, l'invention peut etre mise en oeuvre dans les lignes à retard de dispositifs de spectroscopie par transformée de FOURIER. REVENDICATIONS 1. Dispositif de commande en déplacement sans vibrations destiné au contrôle statique et dynamique d'un élément optique (2, 30'A-30'C) mobile, au sein d'un dispositif interférométrique (14, 14'), suivant une direction (D, Di, D2, D3), comportant une voie de guidage (4), un chariot (1) portant une charge utile comportant cet élément optique et mobile le long de la voie de guidage, un moteur (3) pour l'entraînement de ce chariot le long de cette voie de guidage, un élément de commande en entratne- ment (A) connecté & ce moteur d'entraînement pour déplacer ce chariot selon une loi de consigne prédéterminée, cette charge utile étant liée au chariot (1) par des éléments (7) de liaison flexible autorisant parallèlement à ladite direction (D, D1, D2) un débattement relatif entre le chariot et la charge utile, et au moins un actionneur (8) étant prévu pour agir sur au moins une partie de l'élément optique sous le contrôle d'au moins une boucle d'asservis- sement en stabilisation (B) connectée à au moins un second capteur (21), ce dispositif étant caractérisé en ce que cette boucle d'asservissement en stabilisation (B) est - unique et indépendante de l'élément (A) de commande en entraînement, en ce que le second capteur (21), unique, est un accélérométre porté par la charge utile et sensible à l'accélération de la charge utile parallèlement à ladite direction (D, Dl, D2). en ce que l'actionneur (8), unique, agit sur l'ensemble de la charge utile en prenant appui sur le chariot, en ce que cette boucle d'asservissement en stabilisation comporte un étage de filtrage du signal (22) de l'accéléromètre, et en ce que l'élément de commande en entraînement (A) comporte une boucle d'asservissement connectée à un capteur de position (5) adapté à détecter la position du chariot sur La voie de guidage. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'étage de filtrage de la boucle d'asservissement en stabilisation est du deuxième ordre, admettant une fonction de transfert F(p) de la forme: F(p) = a2pz + a1p + a.o p2 + bip + bo 3. Dispositif selon la revendication 1 ou la revendication 2, caractérisé en ce que l'accéléromètre (21) est du type piézo-électrique. 4. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'actionneur (8) est-du type "haut-parleur". 5. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la voie de guidage (4) est à rouleaux croisés. 6. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le moteur d'entraînement (3) est un moteur linéaire sans balais. 7. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le capteur de position (5) est du type incrémental. 8. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que la boucle d'asservissement en entraînement est du type numérique position/vitesse. 9. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que l'élément optique (2) est un rétroréflecteur du type "oeil de chat". 10. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que l'élément optique est un télescope. 11. Interféromètre stellaire comportant au moins deux télescopes, une station de recombinaison interférométrique et un dispositif de commande en déplace- ment sans vibrations selon l'une quelconque des revendica- tions 1 à 10, pour la commande en déplacement d'un élément optique de cet interféromètre, mobile selon une direction. 12. Interféromètre stellaire selon la reven- dication 11, caractérisé en ce que ce dispositif porte un rétroréflecteur du type "oeil de chat" dans une ligne & retard associé à l'un des télescopes. 13. Interféromètre stellaire selon la reven- dication 11, caractérisé en ce que ce dispositif porte l'un des télescopes, lequel est mobile selon une direction passant par la station de recombinaison interférométrique..