Brevet FR2644180A1 — publié le 19900914

DISPOSITIF POUR RECOUVRIR UNE SURFACE PLANE D'UNE COUCHE D'EPAISSEUR UNIFORME DESCRIPTION La présente invention se rapporte à un dispo- sitif pour recouvrir une surface plane d'une couche d'épaisseur uniforme formée de particules émises par une source. Les techniques de dépôts superficiels de matériaux sur des substrats au moyen de l'évaporation ou de la vaporisation d'une source qui émet des parti- cules suivant un faisceau divergent en direction du substrat sont bien connues. Diverses méthodes pour uniformiser l'épaisseur des dépôts ont été proposées. Par exemple, on peut placer les substrats sur la face interne d'un appui en forme de dome dont le centre de courbure est proche de la source. Cette solution n'est toutefois envisageable que pour le dépôt simul- tané sur un grand nombre de petits substrats et non pour des substrats plans de grande taille. La technique la plus proche de l'invention consiste à faire tourner le substrat autour d'un axe parallèle à la direction médiane d'émission du fais- ceau, l'axe pouvant Itre confondu ou non avec cette direction. Un bras radial porte à son extrémité le substrat dont la normale sortante est soit parallèle à l'axe soit dirigée vers celui-ci. La surface à revé- tir est dans ce cas tournée vers l'intérieur du dispo- sitif. IL est alors avantageux de faire tourner le substrat sur lui-même simultanément à une vitesse de rotation normalement nettement supérieure à la vitesse de rotation de l'axe. On réalise ainsi ce qu'on appelle un mouvement planétaire du substrat. Il n'est cependant pas possible d'obtenir des dépôts présentant des variations d'épaisseur de moins de 2 Z sur des substrats de grandes dimensions (300 mm de diamètre par exempLe). Le but essentieL de L'invention est d'obtenir des résultats bien meiLLeurs. La solution retenue consiste à incliner le substrat par rapport à l'axe de rotation pour orien- ter sa face recevant Le dépôt vers L'extérieur. Quoique cette disposition aiLle à L'encontre de techniques de l'art antérieur décrites auparavant o on s'effor- çait d'orienter -Le substrat en direction de La source, eLLe améliore grandement l'uniformité des dépôts, ce qui peut être considéré comme surprenant. L'uniformité obtenue reste d'ailleurs excel- lente pour toutes Les caractéristiques d'émissivité de La source: des simulations sur ordinateur ont été effectuées en faisant varier les coefficients du développement en série de puissances de cosinus O, série par laqueLLe on peut caractériser L'intensité du rayonnement pour toute direction d'émission en fonction de L'angLe O qu'il fait avec la direction d'émission médiane du faisceau. Une grande stabilité des résultats a été obtenue. L'invention concerne donc un dispositif pour recouvrir une surface plane d'une couche d'épais- seur uniforme de particules émises par une source, comprenant un axe tournant autour de Lui-mime et muni d'un bras radial, Le bras radial étant muni à son extrémité opposée à L'axe de moyens de support tournant de La surface plane imprimant à la surface plane un mouvement de rotation dans son plan, caractérisé en ce que les moyens de support tournant sont constitués de sorte que La surface plane est-orientée vers L'ex- térieur du dispositif et La normale sortante issue de la surface plane fait un angle, supérieur à dix degrés avec L'axe. 26 44180 On va maintenant décrire pour plus de clarté L'invention à L'aide des figures suivantes annexées à titre iLLustratif et non limitatif: - La figure 1 représente schématiquement un dispositif de mise en oeuvre de L'invention; et - La figure 2 représente Les résultats obte- nus. Le substrat 1 plan à recouvrir est dans ce cas particulier un disque de rayon r. IL est fixé sur un porte-substrat 8 situé à une extrémité d'un bras radial 2 de Longueur L. Le bras 2 est assujetti à son autre extrémité à un axe vertical 3. La normale à La surface 4 à revêtir du substrat I fait un angle avec La direction parallèle à l'axe 3. D'après L'invention, La face 4 du substrat 1 qu'il faut recouvrir est orientée vers L'extérieur du dispositif. Des dispositifs moteurs non représentés assurent La rotation de L'axe 3 et d'un autre axe 7 porté par Le bras 2 et auquel Le porte-substrat 8 est attaché. La seconde vitesse de rotation est nettement supérieure à La première. Tout en tournant. sur Lui-mime, Le substrat 1 suit donc une trajectoire circuLaire. Le centre du substrat I est espacé du plan horizontal contenant La source 5 d'une hauteur h et ceLtle-ci présente un axe d'émission médiane 6 (axe du cône d'émission) paraLLèle à L'axe 3 dont iL est excentré d'une distance d. Les particules émises par la source 5 se déplacent suivant des trajectoires rayonnantes que L'on peut définir par L'angLe O qu'eLLes font avec L'axe d'émission médiane 6. L'indicatrice d'émission de La source 5 en fonction de L'angle Q peut être définie par un déveLoppement en série de puissances de cos O. La figure 2 représente, sous forme d'abaque & deux entrées d et 4, Les pourcentages maximaux de défauts d'homo- généité d'épaisseur obtenus sur Le substrat 1 quels que soient les coefficients du développement en série de puissance de cos O Limité à La puissance 7. On avait h = 60-cm, L = 23 cm et r = 15 cm. IL existe une zone préférentielle o l'homogénéité des épaisseurs déposées est particulièrement bonne et qui correspond, pour cet exemple, à de faibles distances d, inférieures à 20 cm environ, et à des angles d'inclinaison du substrat 1 assez prononcés, de plus de 10 environ. L'endroit le plus intéressant de cette zone correspond à une distance d comprise entre 9 cm et 12,5 cm environ et à un angle b compris entre 21 et 23 . Les dispa- rités d'uniformité y sont comprises entre 0,2 X et 0,5 %. Ces résultats montrent que l'invention permet de réaliser des dépôts d'uniformité satisfaisante même si la forme de l'indicatrice d'émission de la source varie avec le temps, ce qui est notamment le cas des canons à électrons o la charge se creuse relativement rapidement. D'autres essais ont été menés: ils font apparaître la persistance d'une plage de bonne unifor- mité d'épaisseur de recouvrement du substrat 1 pour des angles 5 proches de ceux mentionnés, encore orien- tés vers l'extérieur et généralement compris entre et 25 . On peut considérer qu'avec des configura- tions plausibles l'angle 4 optimal sera compris entre et 300 . Le tableau I indique, en fonction de r, h et L, les meiLLeures valeurs des paramètres d et A. Les longueurs sont toutes données en centimètres. TABLEAU I r h L d 60 30 18 18 60 26 14 ou 15 20 60 23 10 22 15 60 20 4 25 50 20 10 22 40 20 12 20 L'invention peut être utilisée avec une seule source située dans le prolongement de l'axe 3 (d = O); cette configuration permet d'utiliser une source dite "étendue" de rayon supérieur à I cm. Ainsi, de bonnes uniformités de recouvrement ont été obtenues avec par exemple h = 60 cm, L = 20 cm, r = 15 cm et = 24 , la source ayant un rayon de 6 cm. Le bras 2 peut être remplacé par une roue ou une structure analogue pour recouvrir simultanément plusieurs substrats. Pour augmenter la vitesse de dépôt, on peut utiliser une source annulaire de rayon d ou une pluralité de sources, dont une 5' est représentée figure 1, disposées sur un cercle de rayon d. Une application intéressante du dispositif concerne la fabrication de filtres optiques éventuel- Lement de grand diamètre. On remarquera que les dimen- sions du substrat I peuvent être assez importantes par rapport à son éloignement de la source 5, comme dans l'exemple décrit, ce qui fait qu'une partie non négligeable du rayonnement est interceptée. REVENDICATIONS 1. Dispositif pour recouvrir une surface plane (4) d'une couche d'épaisseur uniforme de particules émises par une source (5), comprenant un axe (3) tournant autour de lui-même et muni d'un bras radial (2), le bras radial étant muni à son extrémité opposée à l'axe de moyens de support tournant (8) de la surface plane (4) imprimant à la surface plane (4) un mouvement de rotation dans son plan, caractérisé en ce que les moyens de support tournant (8) sont constitués de sorte que la surface plane est orientée vers L'extérieur du dispositif et la normale sortante issue de la surface plane (4) fait un angle (4) supérieur à dix degrés avec l'axe (3). 2. Dispositif pour recouvrir une surface plane (4) selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'angle de la normale et de L'axe est compris entre quinze et trente degrés. 3. Dispositif pour recouvrir une surface plane (4) seLon la revendication 2, caractérisé en ce que l'angle de la normale et de L'axe est compris entre dix-huit et vingt-cinq degrés. 4. Dispositif pour recouvrir une surface plane selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la source est ponctuelle et excentrée d'une distance Cd) de l'axe (3). 5. Dispositif pour recouvrir une surface plane selon l'une quelconque des revendications 1 à 3 caractérisé en ce que la source (5) est centrée sur l'axe (3) et a un rayon supérieur à un centimètre. 6. Dispositif pour recouvrir une surface plane selon L'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la source est composée de plusieurs sources élémentaires (5, 5') disposées sur un cercle.