Brevet FR2638020A1 — publié le 19900420

26380U0 Réacteur d'épitaxie à collecteur de gaz amélioré* L'invention concerne un réacteur d'épitaxie fait d'une enceinte contenant un plateau support de plaquettes se- miconductrices, avec une circulation de gaz entre le centre et la périphérie du plateau, enceinte fermée par un couvercle es- sentiellement plat et qui, lors du fonctionnement, est paral- lèle au plateau, tandis qu'une couronne collectrice de gaz comporte une cloison qui entoure le plateau, et est munie d'o- rifices régulièrement répartis le long de la périphérie du plateau. Un tel réacteur est connu du document FR-A-88 03 688. Dans le réacteur décrit par ce document, la couronne est une couronne circulaire en quartz, constituant une cloison verticale qui entoure le plateau, est munie de fentes réguliè- remfent espacées, et est posée sur le fond de l'enceinte du réacteur. Une telle couronne en une matière rigide présente l'inconvénient que, plus on choisit de réaliser un espace im- portant entre la couronne et le couvercle, plus la possibilité est grande que des gaz passent par cet espace et y laissent des dépôts salissants, et au contraire plus on choisit un es- pace étroit, plus il y a risque de bris si un corps étranger dur et plus large que ledit espace tombe malencontreusement sur la couronne avant le serrage du couvercle. Il n'y a pas de compromis satisfaisant. Bien entendu l'utilisation d'un joint en une sorte de caoutchouc est tout à fait exclu dans cette position à cause de la température. L'invention se propose de fournir une couronne col- lectrice qui assure une bonne étanchéité vis à vis du couver- cle, qui ne risque pas d'exercer d'efforts excessifs sur le couvercle, qui supporte la température présente dans le réacteur au niveau des plaquettes semiconductices à traiter, et enfin résiste chimiquement aux gaz employés. Ce résultat est obtenu du fait que la cloison est faite d'une partie haute et d'une partie basse, le bord infé- rieur de la partie haute étant appliqué avec coulissement pos- sible contre le bord supérieur de la partie basse, tandis que des moyens élastiques tendent à faire monter la partie haute par rapport à la partie basse, afin d'appliquer cette partie haute contre le couvercle. Dans un mode de réalisation très avantageux, les moyens élastiques sont constitués par le fait que la couronne est un conduit faisant le tour du plateau, fait en une tôle élastique avec, du côté du plateau, deux bords de tôle qui se rejoingnent sans être fixés l'un à l'autre et constituent le susdit bord inférieur de la partie haute et le susdit bord su- périeur de la partie basse de la cloison. Ainsi, ce sont certaines parties de paroi du con- duit qui jouent le rôle de ressort vis à vis d'autres parties constituant la susdite cloison. - Pour réaliser ce conduit, il est avantageux de par- tir d'une tôle unique, le-conduit étant formé des parties de cette tôle repliée sur elle-même d'une part le long de lignes de pliage horizontales afin de constituer un conduit de sec- tion polygonale fermé, et d'autre part le long de lignes de pliage verticales régulièrement espacées, le conduit ayant ainsi la forme générale d'un polygone entourant le plateau. La tôle est de préférence une tôle de molybdène. Afin de réduire la zone de contact des gaz avec le couvercle, le conduit possède avantageusement un toit incliné dont le faite est situé du côté du plateau. Dans un mode de réalisation particulier, la couron- ne comporte une partie horizontale liée à la partie basse de la cloison et elle est posée, au moyen de cette partie hori- zontale, sur le bord du plateau. Ainsi, le ligne le long de laquelle la couronne est posée sur le plateau constitue une ligne de joint à peu près étanche, qui évite que des gaz ne pénètrent entre le bord du plateau et la couronne. La description qui va suivre, en regard des-dessins annexés décrivant des exemples non limitatifs fera bien com- prendre comment l'invention peut être réalisée. La figure 1 est une coupe diamétrale dans un réac- teur globalement cylindrique. La figure 2 est une vue de dessus du réacteur de la figure 1, couvercle enlevé. La figure 3 est une vue en perspective et à plus grande échelle d'un morceau de la couronne collectrice de gaz. La figure 4 représente une tôle à partir de laquel- le le conduit est réalisé par pliage. Le réacteur représenté sur les figures 1 et 2 est globalement cylindrique d'axe vertical. Seuls les éléments es- sentiels pour la présente invention sont représentés. Le réacteur est muni d'un plateau 4 circulaire fixe d'un diamètre d'environ 25 cm, qui supporte à son tour un sys- tème de disques tournants non représentés, sur lesquels sont posées les plaquettes semiconductrices, et pour la description desquels on peut consulter le document déjà mentionné ou bien le document FR-A-2 596 070. Ce plateau 4 est placé à l'intérieur d'une enceinte dans laquelle des gaz réactifs sont en contact avec les pla- quettes. L'enceinte est constituée d'un corps cylindrique 19 d'axe vertical qui entoure le plateau support 4. Sur les sec- tions inférieure et supérieure de ce corps cylindrique sont appliqués respectivement un fond 7 constitué d'une plaque, et un couvercle 8 globalement plat. L'étanchéité-est assurée par des.joints toriques 20. Le couvercle 8 peut être soulevé pour mettre en place des plaquettes semiconductrices à traiter sur le plateau 4. Il est pratiquement parallèle au plateau, dans la position représentée, pendant le fonctionnement, au cours duquel des gaz réactifs sont introduits dans l'enceinte par un orifice 1 (pour le détail duquel on peut à nouveau se reporter au document mentionné en préambule) et se déplacent radiale- ment au-dessus du plateau 4 vers la périphérie de celui-ci, o ils sont recueillis par une couronne collectrice de gaz 17, 18, munie de trous 12 régulièrement espacés. Une partie A (figure 2} de cette couronne est re- présentée en détail sur la figure 3. Elle est faite d'une tôle de molybdène élastique repliée de façon à constituer une enve- loppe fermée. A partir d'un des bords 2 de la tôle, on trouve des parties de tôle plane référencées successivement 17, 5, 18, 9, 3, 10, reliées l'une à l'autre à chaque fois le long d'une ligne de pliage horizontale 13. Les bords de tôle 2 et 3 se rejoignent du côté du plateau sans être fixés l'un à l'au- tre. Tout ceci constitue donc un conduit. L'élément essentiel de cette couronne est la cloi- son verticale constituée par les parties 17 et 3, le bord in- férieur 2 de la partie haute 17 étant appliqué avec coulisse- ment possible contre le bord supérieur 3 de la partie basse. La partie 10 horizontale liée à la partie basse 3 sert à poser la couronne sur le bord du plateau 4. En outre la partie supé- rieure 5, c'est-à-dire le toit du conduit, est inclinée et son faite 6 est situé du côté du plateau. Grâce à des lignes de pliage verticales 14, le con- duit est divisé en portions successives qui font un angle en elles, le tout constituant ainsi un polygone qui entoure le plateau (sur la figure 2 le polygone partiellement représenté est un polygone à 24 côtés). Lorsque la couronne est posée sur le plateau dans le réacteur dont le couvercle 8 n'est pas encore en place, la partie la plus haute 6 de la couronne est un peu plus haute que la surface supérieure du corps cylindrique 19 du réac- teur. Ainsi lorsqu'on met en place le couvercle 8, ce dernier appuie sur le faite 6 du toit 5. La partie 10 étant posée sur le plateau fixe, les parties de tôle 3, 9, 18, 5 constituent un ressort qui tend à faire monter la partie haute 17 par rapport à la partie basse 3, afin d'appliquer cette partie haute contre le couvercle. On peut remarquer d'ailleurs que la force vers le bas appliquée au conduit est reportée sur la partie horizon- 26380 20 tale 10, assurant aussi un ferme contact de cette partie 10 sur le plateau 4. La coupe de la figure 1 montre clairement que le gaz introduit par l'orifice 1 ne peut pas passer entre le fai- te de la couronne et le couvercle 8 ni entre le rebord hori- zontal 10 et le plateau 4. Il passe donc exclusivement par les orifices 12 et ne provoque pas de dépôt salissant, ni sur le couvercle, ni sur la périphérie du plateau. Si une particule dure, par exemple un morceau de semiconducteur cassé, tombe sur le haut de la couronne, du fait de l'élasticité des parois 9, 18, 6, cela ne risque pas d'entraîner le bris du couvercle (qui est réalisé en quartz et est donc à la fois fragile et coûteux). Deux tubes 29 diamétralement opposés débouchent à l'intérieur du conduit 16 pour évacuer les gaz vers l'exté- rieur. Au lieu du trou 12, on pourrait imaginer, comme le montre l'élément dessiné en bas à droite de la figure 3, que la partie de paroi 17 soit munie de saillies inférieures re- pliées 15 écartant le bord mobile 2 du bord fixe 3 et laissant ainsi une fente entre les bords 2 et 3, par laquelle le gaz peut alors passer. La figure 4 montre comment on peut réaliser tout le conduit à partir d'une tôle d'une seule pièce découpée. Il y a par exemple 24 portions identiques dont seules les portions d'extrémité sont représentées ici. Les lignes de pliage indi- quées en pointillé ont les mêmes références 13, 14 que sur la figure 3, ainsi que les parties de conduit 10, 3, 9, 18, 5, 6, 17, ce qui permet de comprendre immédiatement comment le con- duit est réalisé. Les lignes de pliage sont marquées par exem- ple d'un pointillé de trous faits au moyen d'un laser. De ce fait, en opérant à la main, la tôle se plie d'elle-même le long des lignes prévues. Le trou 21 est destiné au passage d'un tube (29) d'évacuation de gaz. Pour refermer le conduit autour du plateau, ses deux extrémités peuvent être fixées l'une à l'autre au moyen de pinces ou de tout autre moyen mé- canique connu. Des variantes de réalisation différentes de celles décrites ci-dessus, peuvent être imaginées, correspondant tou- jours au moins à la première revendication. Par exemple, le conduit peut être fait de bandes métalliques circulaires sou- dées entre elles; le fond 9 du conduit peut aussi être posé sur le fond 7 du réacteur, avec toutefois les inconvénients signalés plus haut. REVENDICATIONS 1. Réacteur d'épitaxie fait d'une enceinte contenant un plateau support de plaquettes semiconductrices, avec une circulation de gaz entre le centre et la périphérie du pla- teau, enceinte fermée par un couvercle essentiellement plat et qui, lors du fonctionnement, est parallèle au plateau, tandis qu'une couronne collectrice de gaz comporte une cloison qui entoure le plateau et est munie d'orifices régulièrement répartis le long de la périphérie du plateau, caractérisé en ce que la cloison est faite d'une partie haute et d'une partie basse, le bord inférieur de la partie haute étant appliqué avec coulissement possible contre le bord supérieur de la partie basse, tandis que des moyens élastiques tendent à faire monter la partie haute par rapport à la partie basse, afin d'appliquer cette partie haute contre le couvercle. 2. Réacteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couronne est un conduit faisant le tour du plateau, fait en une tôle élastique avec, du côté du plateau, deux bords de tôle qui se rejoingnent sans être fixés l'un à l'au- tre et constituent le susdit bord inférieur de la partie haute et le susdit bord supérieur de la partie basse de la cloison. 3. Réacteur selon la revendication 2, caractérisé en ce que le conduit est formé à partir d'une tôle unique repliée sur elle-même d'une part le long de lignes de pliage horizon- tales afin de constituer un conduit de section polygonale fer- mé, et d'autre part le long de lignes de pliage verticales ré- gulièrement espacées, le conduit ayant ainsi la forme générale d'un polygone entourant le plateau. 4. Réacteur selon l'une quelconque des revendications 2 ou 3, caractérisé en ce que le conduit possède un toit in- cliné dont le faite est situé du côté du plateau. 5. Réacteur selon l'une quelconque des revendications 2 à 4 caractérisé en ce que la tôle est une tôle de molybdène. 7. Réacteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la couronne comporte une partie horizontale liée à la partie basse de la cloison et elle est posée, au moyen de cette partie horizontale, sur le bord du plateau.