Brevet FR2626261A1 — publié le 19890728

Appareil élévaeur de plaquettes de silicium notamment. L'invention se rattache au secteur technique de la micro-électronique. Dans le cadre d'un traitement de plaquettes d-= sili- çium contenues dans n panier prévu a cet effet, il est néces- saire de procéder à un échantillonage de certaines plaquettas Pour cela, les plaquettes devant être échantillonnées sont très légèrement soulevées du panier les contenant pour les décaler en hauteur par rapport aux autres afin de pouvoir les saisir facilement.Cette opération est délicate car il convient d'évitar tout risque de contamination En utre. il convient ce sélec- tionner rapidement les plaquettes devant être échantillonnés Les appareils proposés pour remplir cette fonction ne donnent pas entièrement satisfaction, car ils sont d'une conception relativement compliquées et d'une manipulation délicate. L'invention s'est fixée pour but de remédier à ces inconvénients en réalisant Lin appareil dont le fonctionnement et la manipulation sont sûrs, efficaces et simplifiés. Pour résoudre ce problème, l'appareil est conforme pour permettre le positionnement et le centrage dun paner oe- cevant les plaquettes d'une manière ordonée, de sorte qu'une partie de la base desdites plaquettes est susceptible de cooperer avec un organe mobile apte t ?tre déplacé en translation angulairement an étant agencé pour sueélever certaines plaq tes seulement, sous un effet de pivotement angulaire dudit @: ne. Le probème posé est aussi avantageusement réspl@ per les caractéristiques suivantes considérées séparément ou en combinaison. L'organe mobile de surélévation est constitué par ou peigne présentant une série de deigts latéraux indépendants qui présentant en bout au moins une encoche apte à coopérer aven la tranche de la ou des p1 plaquettes correspondantes pour permettre leur décalage en hauteur sous un effet de pivotement angulaire dudit peigne. En regard du peigne mobile et d'une manière parallèà ce dernier, est monté un peigne fixe dont la denture est en correspondance avec celle dudit peigne mobile et selon le meme pas en étant apte a copérer avec une partie de la Case des plaquettes. Le peigne mobile est assujetti a un axe apte h ètre déplace en translation et angulairement à partir de l'extérieur du corps de l'appareil. L'axe supportant le peigne mobile est agencé pour coopérer avec des moyens de blocage en position de translation selon differents intevalles pré-établis. Le fond de l'intervalle séparant chaque dent du peigne et apte à coopérer avec le trache d'une plaquette correspondante, présente un joint silicone. L'apareil est très légèrement incliné de sorte que la face arrière des plaquettes non activée touche l'un ces bords de la denture. L'invention est exposée ci-après plus en détail à l'aide des dessins annexés donnés titre d'exemple et dans lesquels : - la figure 1 est une vue en perspective de l'appareil, - la Igure 2 est Te vue en coupe longitudinale con- sidérée selon la ligne 2.2. de la figure ; de l'appareil å l'intérieur duquel est monté et centré le panier recevrant la plaquette, - la figure 3 est une vue en coupe transversale considérée selon la ligne 3.3. de la figure 2. L'appareil comprend une embase support (1) réalisée dans une matière plastique non contaminante. L'embase (1) pré sents deux flasques latéraux (1a) et (1b) et deux flasques transversaux (ic) et (1d). Les flasques (1a) (1b) et (1c) (1d) sont positionnés et conformés en combinaison, pour assure le centraçe et le guidage parfait du panier (P) recevrant les plaquettes (PL), à l'intérieur de l'appareil. Après positionnement du panier (P), les nervures que présente le fond de ce dernier,, peuvent coopérer avec des rainures ou autres agencements complémantaire formés sur l'embase à l'intérieur du plan délimité par les quatre ques. Le panier (P) garni des plaquettes (PL) étant ainsi centré à l'intérieur des flasques (1a) (1b) et (1c) (1d), une partie de la base de certaines desdites plaquettes est pérer avec un organe mobile (2) conformé pour assurer leur surélévation. Cet organe (2) est constutié par un peigne monté avec capacité de déplacement e translation et ce pivotement angulai- re. Le peigne (2) présente une série de doits latéraux indépendants (2b) qui présentent en bout au moins une encache (2b1) apte à coopérer avec la tranche de la ou des plaqettes correspondantes pour permettre leur décalage en hauteur sous un effet de pivotement angulaire dudit peigne. Le f-ond de l'intervalle séparant chaque dent ou enco- ches (2b1) du peigne (2) et apte à coopérer avec la d'une plaquette correspondante présente un oint silicone L'ensemble du peigne mobile (2) est disposé dans une ouvertur centrale (le) de l'embase (I). Le peigne (2) est solidaire directement ou d'une maniére rapportée d'un axe mobile (2c) apte à être déplacé en translation et angulairement à partir de l'extérieur du corps de l'appareil. Cet axe (2c) est monté coulissant dans l'épaisseur de l'embase (1) en étant conformé et assujeti à des movens de blocage temporaire en position de translation. selon différents intervalles pré-établis. Dans l'exemple illustré, une partie ou la totalité de la périphérie de l'axe (2c) peut présenter des aspérités en creux (2c1) coopérant avec une bille (4) assujettie a un ressort (5), pour assurer un effet de crantages succesifs. La partie de l'axe (2c) débordant de l'embase (1) présente un doigt (6) faisant office de poignée de manoeuvre pour assurer d'une part, le déplacement en translation de l'axe et, d'autre part, son pivotement angulaire. Le doigt (6) coopeère en outre avec un élèment de butée (7) formé en débordement de l'embase (1) pour assurer le blocage en position angulaire du peigne mobile. Suivant une caractéristique, en regard du peigne mobile (2) et d'une manière parallèle à ce dernier, l'embasse (1) présents un peigne fixe (B) dont la denture (8a), disposée verticalement, est en correspondance avec celle du peigne mobile (2) et selon le meme pas. Le peigne fi, (8) est disposé entre les flasques transversaux (1c) et (1d) puor coopérer avec les plaquettes contenues dans le panier (P) pour assurer leur positionnement corect par rapport au peigne mobile (2). De la même façon que pour le peigne mobile (2), le fond de l'intervalle séparant chaque dent du peigne fixe (8) présente un joint an silicone. l'embase (1) est équipée d'élements (1c) faisant office de piétement en étant conformé pour lui conférer un position inclinée de sorte que la face arriére non activée des plaquettes (PL) touche l'un des bords de la denture évitant ainsi toute contamination lors de l'élèvation de la ou des plaquettes. L'utilisation de l'appareil tel que décrit est très simple et rationnelle. Après avoir positionné le panier (P) garni de plaquettes (PL) à l'intérieur des flasques de guidage et de centrage (1a) (1b) et (1c) (1d), on déplace en translation le peigne mobile (2) pour positionner correctement les doigts déportés (1b), en fonction des plaquettes à soulever. Il suffit alors d agir angulairement sur le peigne (2) pour provoquer décalage en hauteur correspondant des plaquettes, en combinaison avec le peigne fixe (8). Les avantages ressortent bien de la description. REVENDICATIONS - 1 - Appareil élèvateur de plaquettes de slici; notamment caractérisé en ce qu'il est conformé pour permettre le positionnement et le centrage dun panier- recevant les plaquettes c- 'ne manière ordonnée, de sorte quune partie de la base desdites plaquettes est succeptible de coopérer avec un orgene mobile (2) apte a être déplacé en translation et angulairement en étant agencé pour surélever certaines plaquettes seul tant sous un effet de pivotement angulaire dudit organe. - 2 - Apareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'organe mobile de surélévation (2) est constitué par un peigne présentant une série de doigts latéraux indépendants (2b) qui présentent an bout a moins une encoche (2b1) ote à coopérer avec la tranche de la ou des plaquettes correspondantes pour permettre leur décalage en hauteur sous un effet de pivotament angulaire dudit peigne. - 3 - Appareil selon l'une quelconque des revendications 1 et : caractérisé en ce qu'en regard du peigne mobile (2; et d'une manière parallèle a ce dernier, est monta un dont la denture est en correspondance avec celle dudi mobile (2) et selon le même pas en étant apte è coopéune partie de la bas des plaquettes. - 4 - Appareil selon l'une quelconque des revendications 1 2, caractérisé en ce que le peigne mobile (2) est assujetti à axe (2c) apte à être déplacé en translation et angulairement partir de l'extérieur du corps de l'appareil. - 5 - Appareil selon la revendication 4, caractérisé en ce : l'axe (2c) supportant la peigne mobile est agencé pour coopérer avec des moyans de blocage en position de translation selon différentes intervalles pré-établis. - 6 - Appareil selon la revendication 2 caractérisé an ce que le fond de l'intervalle séparant chaque dent du peigne (2) et apte a coopérer aveo la tranche d'une plaquette correspondante présente un oit silicone - Apareil selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé an ce qu'il est très légèrement incliné de sorte que la face arrière des plaquettes non activée touche l'un des bords de la denture. - 3 - Appareil selon la revendication ., caractérisé en ce que le fond de l'intervalle séparant chaque dent du peigne (8) et apte à coopérer avec la tranche d'une plaquette correspondante présente un joint silicone. - 9 - Appareil selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'une partie de l'axe (2a) supportant le peigne mobile, débordé dudit appareil et présente un doigt (6) apte à coopérer avec un élément de butée (7) formé en débordement d'une partie dudit appareil pour assurer le blocage en position angulaire dudit peigne.