Brevet FR2635410A1 — publié le 19900216

j- La présente invention concerne les mémoires à semicon- ducteur, et plus particulièrement les mémoires non-volatiles électriquement programmables, plus couramment appelées mémoires EPROM; la fabrication des mémoires à grille flottante est plus précisément concernée. Pour obtenir des mémoires de grande capacité de stoc- kage, par exemple des mémoires capables de stocker jusqu'à 16 mégabits, on doit réduire le plus possible la dimension de chacune des cellules constituant la mémoire. Mais on est évidemment limité par des considérations physiques, et notamment par la finesse des motifs que permettent les étapes de photolithographie; on est limité aussi par les paramètres électriques parasites qui sont dus au processus de fabrication et qui perturbent le fonctionnement de la mémoire. Un point-mémoire élémentaire de mémoire classique est représenté sur les figures lA et lB, la figure lA étant une repré- sentation sous forme de schéma électrique et la figure lB étant une vue en coupe schématique du point-mémoire élémentaire. La figure lA représente un transistor T d'un point- mémoire à grille flottante. Ce transistor possède une grille flottante 1 et une grille de commande 2, ainsi que deux régions semiconductrices d'un premier type de conductivité (source 3 et drain 4) séparées par une région de canal d'un type de conducti- vité opposé recouverte par la grille flottante 1 et la grille de. commande 2. La grille de commande 2 est reliée à une ligne de mot LM. Le drain 4 est relié à une ligne de bit LB. Pour programmer, ou écrire, un tel point-mémoire, on charge sa grille flottante 1 par injection de porteurs chauds, en appliquant à la grille de commande 2, pendant que le transistor conduit un courant entre ses régions de source 3, mises à la mas- se, et de drain 4, un potentiel suffisamment élevé pour que les porteurs de charge (électrons) soient attirés et piégés dans la grille flottante. Cette opération d'écriture a pour effet d'augmenter le seuil de conduction du transistor qui, une fois programme, ne conduira le courant que pour des valeurs de poten- tiel appliqué sur la grille de commande plus élevées qu'en l'absence de programmation. Lors de la lecture de l'information contenue dans un point-mémoire, on applique à la grille de commande du transistor de ce point-mémoire une tension à la fois supérieure à la tension de seuil de déclenchement de conduction à l'état non-programmé et inférieure à la tension de seuil de déclenchement de conduction à l'état programmé. Si le transistor conduit le courant quand une différence de potentiel adaptée est appliquée entre la source et le drain, le point-mémoire est à l'état non-programmé. Si le tran- sistor ne conduit pas le courant, le point-mémoire est à l'état programmé. Le potentiel appliqué à la grille de commande lorsqu'on programme le point-mémoire, ou potentiel de programmation Vpp, est par exemple de 15 volts. Le potentiel de drain Vcc est alors par exemple de 10 volts, et le potentiel de source Vss est par exemple zéro volt, ou la masse. Le potentiel appliqué à la grille de commande lors de la lecture du pointmémoire est par exemple de 5 volts. Le potentiel de drain Vcc est alors par exemple de 1,5 volts, et le potentiel de source Vss est par exemple zéro volt, ou la masse. Sur la figure lB, qui représente une vue en coupe d'un point-mémoire implanté sur une tranche de silicium, on retrouve la grille flottante 1 et la grille de commande 2 du transistor. On voit également la source 3 et le drain 4, qui sont deux régions semiconductrices d'un premier type de conductivité, par exemple N+, séparées par une région de canal 7 d'un type de conductivité opposé, par exemple P-. La grille flottante 1 du transistor est réalisée par un premier niveau de silicium polycristallin (poly 1). Elle est sépa- rée du substrat par une couche de dioxyde de silicium 5, également appelée couche d'oxyde de grille. Au-dessus de la grille flottante 1, on trouve une couche de dioxyde de silicium 6. Cette couche est située entre la grille flottante 1 et la grille de commande 2, cette dernière étant réalisée par un deuxième niveau de silicium polycristallin (poly 2). La couche de dioxyde de silicium 6 porte ainsi également le nom de couche d'oxyde interpoly. Dans la mémoire, la grille de commande 2 du transistor est reliée à une ligne de mot LM. La source 3 est reliée à la masse, et le drain 4 à une ligne de bit LB. Avec l'architecture de mémoire classique et le mode de programmation associé, il est impératif que le drain d'un tran- sistor soit électriquement isolé, par de l'oxyde de silicium épais (comparativement ' l'oxyde de grille des transistors), du drain des transistors adjacents de la même ligne de mot, faute de quoi on ne pourrait programmer un point-mémoire particulier sans programmer ou déprogrammer en même temps les autres. Mais cet oxyde épais qui isole deux points adjacents oc- cupe beaucoup de place, surtout lorsqu'il est réalisé par la tech- nique dite d'oxydation localisée. 26 35 4 10 On a essayé de remplacer l'oxydation localisée par une isolation par tranchées remplies d'oxyde, pour réduire l'encombre- ment global de la cellule, mais cette technologie n'est pas indus- triellement au point. Pour réduire l'encombrement des points-mémoire et ainsi augmenter la capacité de stockage de la mémoire, on a proposé dans la demande de brevet français 86/12938 des structures o les zones d'oxyde épais et les contacts multiples vers les drains ou sources sont supprimés. Ces structures sont appelées structures de type damier. La figure 2 représente une vue de dessus de neuf points- mémoire adjacents dans une telle structure de type damier. On désigne par Tij les différents transistors à grille flottante constituant le réseau de points-mémoire, o i est un indice de rangée et j un indice de colonne. Ainsi, les transistors Tll à T13 sont ceux de la premiè- re rangée, les transistors T21 à T23 sont ceux de la deuxième ran- gée, et les transistors T31 à T33 sont ceux de la troisième rangée. De même, les transistors Tll à T31 sont ceux de la premiè- re colonne, les transistors T12 à T32 sont ceux de la deuxième co- lonne et enfin les transistors T13 à T33 sont ceux de la troisième colonne. Les grilles de commande des transistors d'une même ran- gée sont toutes reliées à une meme ligne de mot, LM1 à LM3 pour les rangées 1 à 3, respectivement. Les lignes de mot sont des conducteurs (en pratique en silicium polycristallin) s'étendant selon une direction horizon- tale (direction des rangées). Chaque transistor partage avec les deux transistors ad- jacents sur la même rangée une région réalisée par une diffusion du premier type de conductivité qui se prolonge suivant une colon- ne pour former une ligne de bit, que l'on désigne par LB1, LB2, LB3 et LB4 pour les colonnes 1 à 4, respectivement, et par LBj - 2 6 3 5 4 10 d'une façon générale. Ces lignes LBJ peuvent ainsi faire, à l'emplacement des transistors, soit office de source, soit office de drain. La figure 3 représente une vue en coupe suivant l'axe YY' de la figure 2. Les dispositifs sont situés sur un substrat 10. Les grilles flottantes 11 des transistors sont réalisées par un pre- mier niveau de silicium polycristallin (poly 1) et situées entre deux lignes de bit. Les grilles de commande 12 des transistors sont formées par les parties de la ligne de mot LM2 situées à l'emplacement des transistors. Les lignes de mot, et ainsi les grilles de commande des transistors, sont réalisées par un deuxiè- me niveau de silicium polycristallin (poly 2). Une couche d'oxyde de grille 13 est située sous la grille flottante des transistors. Une couche d'oxyde 14 est située entre les grilles flot- tantes des transistors. De façon classique, un procédé de planari- sation est utilisé pour que les surfaces supérieures de cette couche 14 et du premier niveau de silicium polycristallin soient au même niveau. Cette couche 14 est par exemple constituée de té- traéthyle ortho silicate ou TEOS. Une couche d'oxyde interpoly 15 recouvre les grilles flottantes 11 et les couches d'oxyde 14. Le mode de programmation de cette architecture est par- ticulier. Il est exposé dans la demande de brevet français préci- tée. Cela est dû au fait que chaque point-mémoire partage avec chacun des deux points-mémoire adjacents de la même rangée une ré- gion qui peut être soit région de source soit région de drain. Ainsi, la programmation d'un point-mémoire doit tenir compte des pointsmémoire adjacents. Cela rend le système d'adressage complexe. La figure 4 représente un schema des capacités existant à l'emplacement d'un transistor, par exemple le transistor T22. Si l'on applique une tension VM à la ligne de mot L,12, on obtient la tension VF sur la grille flottante 11 en calculant le facteur de couplage y qui relie ces deux tensions par la rela- tion: VF = Y I et qui est défini par le rapport entre la capacité au niveau de la couche d'oxyde interpoly et la somme de toutes les capacités pré- sentes. Si l'on considère la figure 4, on observe la capacité au niveau de la couche d'oxyde interpoly 15 notée C0I et située entre la ligne de mot LM2 et la grille flottante 11. On a aussi une ca- pacité COG au niveau de la couche d'oxyde de grille 13 située en- tre la grille flottante 1I et le substrat 10. Le facteur de couplage y s'écrit: Y = COi/(Coi + COG) On peut calculer une valeur numérique représentative du facteur de couplage en utilisant des valeurs usuelles pour les dimensions des éléments concernés: - longueur de la grille flottante suivant la direction des rangées: 0,5 micromètre; épaisseur de la couche d'oxyde interpoly: 20 nm; - épaisseur de la couche d'oxyde de grille: 20 nm; La valeur numérique du facteur de couplage est alors égale au rapport entre les quantités 0,5/20 et 0,5/20 + 0,5/20, soit seulement 0,5. La présente invention propose une nouvelle structure qui permet d'améliorer le facteur de couplage et qui utilise un systè- me d'adressage classique. De plus, cette nouvelle structure ne présente pas de zone d'oxyde épais, ce qui permet à la mémoire d'occuper un encombrement réduit. Selon l'invention, la mémoire est composée d'un réseau de lignes de mot s'étendant suivant une première direction dite de rangée, et de lignes de bit s'étendant suivant une deuxième direc- 2 6 3 5 4 1 0 tion dite de colonne, dans laquelle chaque point-mémoire est cons- titué par un couple de transistors MOS à grille flottante, les deux transistors de ce couple ayant une région de drain commune constituée par une diffusion d'un premier type de conductivité qui se prolonge suivant une colonne pour former une ligne de bit dans un substrat du deuxième type de conductivité, chaque transistor d'un couple a une région de source qui est constituée par une dif- fusion du premier type de conductivité se prolongeant suivant une colonne et qui est située de chaque côté, suivant la direction des rangées, de la région de drain commune, ces régions de source étant toutes reliées à un même potentiel constant et, en outre, dans laquelle une zone conductrice est reliée aux grilles flottan- tes des deux transistors de chaque couple et est en regard de la ligne de mot connectée au point-mémoire constitué par le couple de transistors et correspondant, à l'emplacement de ce couple, à la grille de commande. Ces objets, caractéristiques et avantages ainsi que d'autres de la présente invention seront exposés plus en détail dans la description suivante d'un mode de réalisation particulier faite en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: les figures 1A et lB, déjà décrites, représentent un point-mémoire élémentaire de mémoire classique, la figure lA étant une représentation sous forme de schéma électrique et la figure 1B étant une vue en coupe schématique du point-mémoire élémentaire; la figure 2, déjà décrite, représente une vue de dessus de l'implantation de neuf points-mémoire adjacents sur une tranche de silicium dans une architecture classique de type damier; la figure 3, déjà décrite, représente une vue en coupe suivant l'axe YY' de la figure 2; la figure 4, déjà décrite, représente un schéma des ca- pacités existant à l'emplacement d'un transistor dans une archi- tecture telle que celle de la figure 2; la figure 5 représente une vue de dessus d'une structure selon la présente invention; la figure 6 représente une vue en coupe suivant l'axe' YY' de la figure 5; la figure 7 représente une vue en coupe suivant l'axe ZZ' de la figure 5; et la figure 8 représente un schéma des capacités existant à l'emplacement d'un point-mémoire de la structure de la figure 5. De façon générale, comme cela est classique dans la représentation des circuits intégrés, on notera que les diverses figures ne sont pas représentées à l'échelle ni d'une figure à l'autre, ni à l'intérieur d'une même figure, et notamment que les épaisseurs des couches sont dessinées arbitrairement dans le but de faciliter la lecture des figures. La figure 5 représente une vue de dessus d'un mode de réalisation de la structure selon la présente invention. Comme dans le cas de la figure 2, les transistors sont disposés en ré- seau de rangées et colonnes. Les grilles de commande des transistors de la rangée i sont encore toutes reliées à des lignes de mot LMi. Mais dans cette structure, chaque point-mémoire est constitué par un couple de transistors. Deux points-mémoire sont par exemple délimités sur la figure par des traits hachurés et désignés par Pè1 et PM2. Une zone conductrice 25 est reliée aux grilles flottan- tes des deux transistors de chaque couple. Les lignes de bit LBj ne sont plus situées entre chaque colonne de transistors, mais el- les sont séparées par deux colonnes de transistors. La figure 6 permet d'examiner un point-mémoire suivant une coupe YY' de la figure 5. Ce point-mémoire, par exemple le point-mémoire PMl, est également délimité sur la figure par des traits hachurés. Les dispositifs sont situés sur un substrat 20. Deux transistors T22 et T23, qui forment un couple de transistors cons- tituant un point-mémoire, partagent une région de drain commune 21. La région de drain commune 21 est constituée par une diffusion d'un premier type de conductivité qui se prolonge suivant une co- lonne pour former une ligne de bit LB1. Chacun des deux transistors T22 et T23 comprend une ré- gion de source 22 qui est constituée par une diffusion du premier type de conductivité. Ces diffusions se prolongent suivant une co- lonne et sont situées de chaque c8té, suivant la direction des rangées, de la région de drain commune. Chaque région de source est elle-même partagée avec un transistor d'un point-mémoire adja- cent de la même rangée. Les grilles flottantes 23 des transistors sont réalisées par un premier niveau de silicium polycristallin (poly 1). Une couche d'oxyde de grille 24 est située sous les grilles flottantes des transistors. Une zone conductrice 25 est reliée aux grilles flottantes des deux transistors T22 et T23. Elle est réalisée par un deuxième niveau de silicium polycristallin (poly 2). Cette zone conductrice 25 est recouverte sur sa surface supérieure par une couche d'oxyde interpoly 26, et elle est recouverte à ses deux extrémités, suivant la direction des rangées, par une zone d'oxyde 27 qui est appelée zone d'oxyde de coin. Une couche d'oxyde 29 est située entre les grilles flot- tantes des transistors. Comme dans le cas de la structure de type damier, un procédé de planarisation est utilisé pour que les sur- faces supérieures de cette couche 29 et du premier niveau de sili- cium polycristallin soient au même niveau. Cette couche 29 est par exemple constituée de TEOS. La ligne de mot LM2 recouvre l'ensemble. La couche d'oxyde interpoly 26 et les zones d'oxyde de coin 27 permettent d'isoler la zone conductrice 25 de la ligne de 2 6 3 5 4 1 0 mot LM2. La ligne de mot LM2 fait office de grille de commande 28 à l'emplacement des points-mémoire. La figure 7 représente une vue en coupe suivant l'axe ZZ' de la figure 5. On retrouve sur cette figure les transistors T13, T23 et T33. Les transistors possèdent chacun une grille flot- tante 23 située au-dessus de la couche d'oxyde de grille 24. La zone conductrice 25 est placée audessus des grilles flottantes 23 et au-dessous de la couche d'oxyde interpoly 26. On observe égale- ment les lignes de mot LM1, LM2 et LM3, situées au-dessus des cou- ches d'oxyde interpoly 26, qui font office de grille de commande 28 à l'emplacement des points-mémoire. La figure 8 représente un schéma des capacités existant à l'emplacement d'un point-mémoire de la structure selon la pré- sente invention. On observe sur cette figure la capacité au niveau de la couche d'oxyde interpoly 26 notée C'Oi et située entre la ligne de mot LM:2 et la zone conductrice 25. On a aussi une capa- cité C'OG au niveau de la couche d'oxyde de grille 24 située entre les grilles flottantes 23 et le substrat 20. Cette capacité C'OG - apparait deux fois dans un point-mémoire. Ii existe également une capacité COD au niveau de la couche d'oxyde de type TEOS séparant les grilles flottantes 23. Le facteur de couplage y s'écrit: y = C'OI/(C'oI + C'OG + COD + C'OG) On peut calculer une valeur numérique représentative du facteur de couplage en utilisant les valeurs usuelles suivantes: - longueur de la grille flottante suivant la direction des rangées: 0,5 micromètre; - longueur de la couche d'oxyde de type TEOS suivant la direction des rangées: 0,6 micromètre; - épaisseur de la couche d'oxyde interpoly: 20 nm; - épaisseur de la couche d'oxyde de grille: 20 nm; - épaisseur de la couche d'oxyde de type TEOS: 200 nm. Il La valeur numérique du facteur de couplage est alors égale au rapport entre les quantités (0,5 + 0,6 + 0,5)/20 et (0,5 + 0,6 + 0,5)/20 + 0,5/20 + 0,6/(200 + 20) + 0,5/20. Le facteur de couplage est alors égal à 0,61. La structure selon l'invention permet ainsi d'améliorer le facteur de couplage. Cette structure présente également de bonnes conditions de planarisation du fait de l'absence de zone d'oxyde épais. Enfin, des lignes conductrices (non représentées sur les figures) constituées par exemple en aluminium sont situées chacune au-dessus d'une ligne de bit. Elles sont connectées à des lignes de bit d'autres blocs mémoire permettant ainsi d'appliquer le po- tentiel désiré à ces lignes de bit et aux drains des transistors auxquels les lignes de bit sont reliées. Dans le cas de la struc- ture de type damier, une telle ligne conductrice est située entre chaque paire de colonnes de transistors. Dans le cas de la struc- ture selon l'invention, deux colonnes de transistors séparent deux lignes conductrices adjacentes. L'élaboration des lignes conduc- trices sera ainsi plus facile à réaliser dans le deuxième cas. REVENDICATIONS 1. Mémoire composée d'un réseau de lignes de mot (LM1 à LM3) s'étendant suivant une première direction dite de rangée, et de lignes de bit (LB1 à LB4) s'étendant suivant une deuxième di- rection dite de colonne, dans laquelle: chaque point-mémoire est constitué par un couple de transistors MOS à grille flottante, les deux transistors de ce couple ont une région de drain commune (21) constituée par une diffusion d'un premier type de conductivité qui se prolonge suivant une colonne pour former une ligne de bit dans un substrat (20) du deuxième type de conduc- tivité, chaque transistor d'un couple a une région de source (22) qui est constituée par une diffusion du premier type de conductivité se prolongeant suivant une colonne et qui est située de chaque côté, suivant la direction des rangées, de la région de drain commune, ces régions de source étant toutes reliées à un mê- me potentiel constant, caractérisée en ce qu'une zone conductrice (25) est re- liée aux grilles flottantes (23) des deux transistors de chaque couple et est en regard de la ligne de mot connectée au point- mémoire constitué par le couple de transistors, cette ligne de mot correspondant, à l'emplacement de ce couple, à la grille de com- mande (28). 2. Mémoire selon la revendication 1, caractérisée en ce que, suivant la direction des rangées, une première couche d'oxyde (29) est située entre les grilles flottantes (23) des transistors, et en ce que les dimensions suivant la direction des rangées de la zone conductrice (25) sont sensiblement égales à la somme des di- mensions suivant la direction des rangées des grilles flottantes (23) comptées deux fois et de la première couche d'oxyde (29), les dimensions suivant la direction des colonnes de la zone conductri- ce (25) étant sensiblement égales à celles de la ligne de mot et des grilles flottantes des transistors. 3. Mémoire selon l'une des revendications 1 ou 2, carac- térisée en ce que les grilles flottantes (23), les zones conduc- trices (25) et les lignes de mot (LMi) sont réalisées respective- ment par des premier, deuxième et troisième niveaux de silicium polycristallin. 4. Mémoire selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que la zone conductrice (25) est recouverte sur sa surface supérieure par une deuxième couche d'oxyde (26) et est recouverte à ses extrémités, suivant la direction des rangées, par une zone d'oxyde de coin (27), pour assurer l'isolation entre ladite zone conductrice (25) et la ligne de mot recouvrant ladite deuxième couche d'oxyde (26) et lesdites zones d'oxyde de coin (27). 5. Procédé de fabrication de mémoire de type MOS à tran- sistors à grille flottante disposés selon des rangées et des co- lonnes sur un substrat d'un premier type de conductivité, mémoire dans laquelle chaque point-mémoire est constitué par un couple de transistors disposés suivant une rangée, comprenant les étapes suivantes: - déposer et graver un premier niveau de silicium poly- cristallin pour former selon des colonnes des bandes dans lesquel- les seront définies ultérieurement les grilles flottantes (23) des transistors, - réaliser une implantation du deuxième type de conduc- tivité en utilisant le premier niveau de silicium polycristallin comme masque, pour former des colonnes alternées de drains (21) et de sources (22) desdits transistors, - former des bandes d'isolement entre les différentes bandes du premier niveau de silicium polycristallin, caractérisé en ce qu'il comprend en outre les étapes suivantes: - déposer un deuxième niveau de silicium polycristallin (25) et l'isoler superficiellement (26), - graver le deuxième niveau de silicium polyeristallin (25) pour qu'il recouvre selon des colonnes les couples de bandes adjacentes à partir desquelles seront formées les grilles flottan- tes des transistors d'un couple de transistors, - isoler latéralement les régions apparentes du deuxième niveau de silicium polycristallin (27), - déposer un troisième niveau de silicium polycristal- lin, - graver par un même masque, selon des rangées, les trois niveaux de silicium polycristallin, - former une couche isolante, et - établir des contacts avec les bandes restantes du troisième niveau de silicium polycristallin (lignes de mot), avec les colonnes de drains (lignes de bit), et avec les colonnes de sources. 6. Procédé de fabrication de mémoire selon la revendica- tion 5, caractérisé en ce que les bandes d'isolement entre les bandes du premier niveau de silicium polycristallin sont réalisées par un procEdé de planarisation qui permet d'amener les surfaces supérieures de cette couche (29) et du premier niveau de silicium polycristallin au même niveau. 7. Procédé de fabrication de mémoire selon la revendica- tion 6, caractErisé en ce que les bandes d'isolement sont consti- tuées de tétraéthyle ortho silicate ou TEOS.