Brevet FR2633401A1 — publié le 19891229

2633401' - 1 - Descri pt-ion "Dispositif semiconducteur comprenant un guide de lumière intégré qui présente au moins une partie rectiligne et une partie courbe" L'invention concerne un dispositif semiconducteur comprenant un guide de lumière intégré, lequel présente au moins une partie rectiligne et une partie courbe et comprenant des moyens pour obtenir le confinement de la lumière dans le guide dans la partie courbe, lesquelles incluent une rainure disposée le long du flanc du guide dans la région de la courbe. L'invention concerne également un procédé de réa- lisation d'un tel dispositif. L'invention trouve son application dans la réali- sation de dispositifs optiques intégrés, comme par exemple des modulateurs Mach-Zehnder, ou des commutateurs optiques qui comprennent des guides de courbures différentes, chaque guide présentant successivement des parties rectilignes et des par- ties courbes. Il est connu de la publication intitulée "Probleme der Topographie integriet Optischer Schaltungen" par Karl-Heinz TIET GEN dan "2213Frequenz Vol.35 (1981) Sept.N"9, Berlin- Deutschland" p.248, de réaliser des guides enterrés, présentant une partie courbe. Le guide enterré est simplement constitué par un ruban d'indice supérieur à celui du substrat, ce ruban étant réalisé par implantation de titane dans le substrat en LiNbO3, et il affleure de ce fait la surface supérieure plane de ce substrat. Un tel guide complètement enterré présente toujours beaucoup de pertes. Pour diminuer les pertes par diffusion radiale dans la partie courbe du guide, ce document enseigne à former un sillon par exemple par gravure, qui suit exactement le flanc du guide enterré de plus grand rayon de courbure et est -2 de même hauteur que ce dernier. Ce sillon gravé permet d'aug- menter le saut d'indice entre le guide et Je milieu extérieur au guide du côté du flanc du guide de plus grand rayon de courbure. Par cette méthode selon le document cité, on peut atteindre des rayons de courbure de l'ordre de 0,5 mm, avec des pertes n'excédant pas 3dB. Ce document enseigne aussi que l'on se trouve con- fronté dans la réalisation de tels guides courbes à des pertes causées par la diffusion due à la rugosité des flancs du guide vis-à-vis du milieu externe et que ces pertes sont d'autant plus grandes que le saut d'indice est plus grand; et qu'il faut encore compter avec d'autres problèmes liés à ce saut d'indice, s'il est important, tels que la réflexion, le rayon- nement et la conversion du mode. C'est pour diminuer ces inconvénients que le sillon gravé présente à ses extrémités coïncidents avec l'en- trée et la sortie du virage ou partie courbe du guide, un fond qui remonte en pente douce vers la surface supérieure du substrat, de manière telle que le guide enterré est seulement confiné latéralement, par le substrat d'indice inférieur, dans les parties rectilignes. Les pertes optiques par radiation dans les guides courbes ont d'autre part aussi été étudiées et décrites dans la publication de *MARCATILI et MILLER" dans 'Bell Syst. Techn. 48, 2161 (1969)'. Lorsqu'une onde optique aborde la partie courbe d'un guide de lumière, cette onde doit s'adapter. A cet effet, une partie de l'énergie véhiculée est alors convertie en modes radiatifs. L'énergie rayonne alors d'une manière dispersive parallèlement au plan de guidage. Ces pertes par radiation sont une conséquence du fait que, pour conserver la même vitesse de phase dans la ré- gion courbe, à l'extérieur du virage, le champ électromagné- tique devrait se déplacer à une vitesse supérieure à la vi- tesse de la lumière dans le milieu. En effet, pour que le - 3- front d'onde soit préservé et se déplace suivant des plans d'onde à une vitesse angu]aire constante, il est nécessaire que la vitesse de phase tangentielle soit proportionnelle à la distance qui sépare le point considéré, du centre de courbure du guide. Il existe une certaine distance D repérée à partir du bord extérieur du ruban constituant le guide d'onde, au- delà de laquelle la vitesse de propagation se trouve infé- rieure à la vitesse de phase nécessaire pour préserver le front d'onde. Par conséquent, à partir de cette distance, le mode ne peut plus se propager et la lumière subit une radia- tion dans le substrat situé dans la convexité de la courbe. La conversion du mode guidé en mode de radiation est très pénalisante pour les guides monomodes lorsqu'ils pré- sentent des rayons de courbures de longueur insuffisante. Une formule établie par MARCATILI et publiée par T.TAMIR dans "Topics in Applied Physics - Volume 7" sous le titre 'Integrated Optics' p.133, donne le rayon de courbure R critique en fonction du confinement latéral D du mode, ou plus précisément en fonction de l'extension latérale des ondes évanescentes, et aussi en fonction de la longueur d'onde A utilisée. Les pertes radiatives ne sont plus négligeables lorque le rayon de courbure du guide satisfait à l'inégalité suivante: r courbure sans augmenter les pertes qui ont lieu vers l'exté- rieur de la courbure. Pour des guides monomodes, on déduit de cette for- mule que le rayon critique est de l'ordre de 10 mm. Il en ré- sulte que pour des rayons de courbure inférieurs à 20 mm les pertes par radiation commencent à devenir importantes. D'après cette formule, on tire l'enseignement qu'il est nécessaire d'augmenter le confinement latéral au - 4 - niveau de la partie courbe des guides, ce qui est parfaitement conforme à l'enseignement du premier document cité. Mais selon le premier document cité au titre d'état de la technique, ce problème est difficile à résoudre pour les guides monomodes du fait que les pertes par diffusion et le taux de conversion de modes augmentent en même temps que la différence d'indice avec le milieu de confinement. Ainsi, les problèmes restent posés de réaliser des guides de lumière intégrés, présentant des parties courbes de beaucoup plus petits rayons de courbure que dans les publica- tions citées, typiquement 500 pm, et présentant de très faibles pertes aussi bien dans les parties courbes que dans les parties rectilignes, notamment inférieures à 1 dB/cm. Ces problèmes sont résolus par les moyens de l'in- vention qui permettent d'obtenir un confinement des parties courbes des guides tel qu'il supprime les pertes radiatives sans pour autant augmenter les pertes par diffusion ou conver- sion de mode, moyens qui s'appliquent en outre à une structure de guide à ruban qui présente beaucoup moins de pertes, en soi, que la structure de guide complètement enterrée connue de l'état de la technique. Selon l'invention ce but est atteint au moyen d'un dispositif intégré muni des éléments constitutifs du préambule de la revendication 1 en combinaison avec les éléments consti- tutifs de la partie caractérisante de cette revendication 1, ainsi caractérisé en ce que ces moyens incluent aussi une structure de guide comprenant une couche guidante, et surplom- bant la couche guidante, un ruban en relief pour déterminer le chemin optique suivi par la lumière dans la couche guidante, et en ce que ces moyens incluent en outre une structure de rainure telle que: - elle présente une profondeur constante, - sa partie centrale suit exactement le flanc du ruban de guidage dans la partie courbe, - ses extrémités s'écartent du flanc de ce ruban à l'entrée et à la sortie de la partie courbe, - 5 - - son fond est disposé dans la couche guidante à un niveau qui n'atteint pas la partie inférieure de cette couche guidante. L'invention sera mieux comprise au moyen de la description suivante illustrée par les figures annexées dont: - la figure la qui montre la forme de l'onde dans un guide courbe monomode, - la figure lb qui montre, vu du dessus la trace d'un faisceau lumineux dans un guide courbe non muni des moyens de Confinement selon l'invention, - la figure lc qui montre, vu du dessus la trace d'un faisceau lumineux dans un guide courbe muni des moyens de confinement selon l'invention, - la figure 2 qui montre ces moyens de confinement de la lumière dans un guide courbe selon l'invention, - la figure 3 qui montre la partie P2 de la figure 2, en perspective dans un premier mode de réalisation, - la figure 4 qui montre la partie P1 de la figure 2, en perspective dans ce même mode de réalisation, - les figures 5a à 5c qui sont des coupes trans- versales schématiques de la partie P1 de la figure 4 selon des plans différents, - la figure 6 qui montre la partie P1 de la figure 2, en perspective dans un autre mode de réalisation, - les figures 7a à 7c qui sont des coupes trans- versales schématiques de la partie P1 de la figure 6, selon des plans différents, - les figures 8 qui montrent deux dispositions re- latives possibles des masques, pour mettre en oeuvre le pro- cédé de réalisation, - les figures 9 qui illustrent la première étape du procédé de réalisation dans deux exemples de réalisation décrits, - les figures 10 qui illustrent la seconde et la troisième étape du procédé de réalisation dans le premier exemple de réalisation décrit, 263340 1 6- - les figures 11 qui illustrent la seconde et la troisième étape du procédé de réalisation dans le second exemple de réalisation décrit. La figure la illustre le fait que dans un guide de lumière courbe G, le rayon de courbure r, il existe une cer- taine distance D, repérée à partir du bord externe convexe du guide, au-delà de laquelle la vitesse de propagation est infé- rieure à la vitesse de phase nécessaire pour préserver le front d'onde (Région hachurée). Par conséquent, à partir de cette distance D la lumière subit une radiation dans le subs- trat comme il est montré vu du dessus, par le relevé de la trace lumineuse, sur la figure lb. On constate à la vue de la figure lb que pratiquement toute l'énergie du mode guidé est perdue par radiation dans le substrat. Cependant, si l'on applique l'enseignement de l'état de la technique, qui consiste à réaliser un sillon gravé appliqué le long du flanc du guide dans la partie con- vexe, alors il apparaît un autre problème consistant dans le fait que le guide devient multimode d'un point de vue trans- verse, la différence d'indice effectif entre la région de gui- dage et la région adjacente de confinement ne devant pas excéder quelques 10-2. De plus, on introduit des pertes par dispersion due à la diffraction produite par la rugosité laté- rale. Selon l'invention, ces problèmes sont résolus par le dispositif montré vu du dessus sur la figure 2. Ce dispositif comprend un guide de lumière G déli- mité en surface par le ruban R, qui présente au moins une par- tie courbe de rayon moyen r, et des parties rectilignes. Ce dispositif comprend en outre des moyens pour maintenir le tra- jet de l'onde lumineuse dans le guide G. Ces moyens incluent deux sillons S1 et S2 prati- qués le long des flancs du guide dans la partie courbe de ce dernier. Selon l'invention, ces sillons sont de profondeur constante par rapport à la face supérieure du dispositif, ou 6 3 340 1 - 7 - par rapport à un autre plan de référence, par exemple le subs- trat. Ils présentent une dimension transversale constante Ws dans la partie courbe du guide, mais leurs extrémités respec- tivement Ell, E12 pour S1 et E21, E22 pour S2, présente une dimension transversale qui diminue de plus en plus lorsque l'on approche de l'extrémité du sillon; si bien que, les flancs extérieurs des sillons restant parallèles aux flancs du guide, les flancs des sillons les plus proches des flancs du guide se séparent de ces derniers pour laisser entre eux une bande Qi, Q2 formant un coin d'angle ". Les extrémités E11, E12, E21, E22 s'allongent sur une longueur 2 de part et d'autre de la sortie de la partie courbe du guide. Ces moyens incluent aussi le fait que, comme il est montré en perspective sur les figures 3 et 4, ou en coupe sur les figures 5a, 5b, 5c, le guide de lumière est constitué d'au moins deux couches el et CG surmontées d'un ruban R en relief sur la dernière couche. La couche C1 est une couche de confinement, de plus faible indice de réfraction que la couche CG qui la re- couvre. La couche CG est la couche guidante, c'est-à-dire celle dans laquelle se propage l'onde. Le ruban R réalisé en surface de la couche guidante délimite le chemin optique suivi par l'onde dans la couche guidante. Ce ruban R est favorablement d'une dimension transversale WG plus grande que la hauteur h dont il est érigé au-dessus du dispositif. Dans ces conditions, la conversion de mode peut être évitée par deux moyens qui coopèrent: d'une part, du fait que les sillons s'écartent d'un angle a de la région guidée dès que le guide devient rectiligne. D'autre part du fait que, les. sillons ne sont pas creusés sur toute l'épais- seur de. la couche guidante, mais seulement sur une partie p qui ne dépasse pas, en général, 20 % de l'épaisseur eG de la couche guidante CG. Cette proportion est calculée en fonction de la Z633401 longueur d'onde véhiculée, ainsi que des indices des matériaux pour obtenir à la fois le confinement du faisceau dans la par- tie courbe du guide, et éviter les conversions de mode. Donc à 1 'aide des moyens de l'invention, à savoir: - une couche guidante surmontée d'un mince ruban de guidage montrant une partie courbe, - des sillons creusés contre les flancs du ruban de guidage dans la partie courbe, - qui s'en écartent d'un angle a dès les sorties de courbe, - qui sont creusés sur une profondeur inférieure à l'épaisseur de la couche guidante, a) le faisceau présente de très faibles pertes dans les par- ties rectilignes du fait qu'il n'y a pas de diffusion laté- rale, b) en même temps ce faisceau peut être facilement couplé la- téralement avec un autre faisceau dont l'onde se propage dans la même couche guidante, c) le faisceau présente de très faibles pertes dans la par- tie courbe, le rayon de courbure peut être extrêmement petit, de l'ordre de 50 pm, d) comme le sillon n'atteint pas la base de la couche gui- dante toute conversion de mode peut être évitée, e) comme la profondeur du sillon est relativement faible, les pertes dues à la diffusion latérale par diffraction sur les parois sont très faibles. Ainsi un dispositif doté des moyens de l'invention est particulièrement performant. Exemple I: les figures 3, 4 et 5 illustrent un mode de réali- sation d'un dispositif à guide d'onde intégré muni des moyens de l'invention. La structure de guide est une homostructure qui peut être formée par exemple sur un substrat en InP semi-iso- lant 10, d'une couche de confinement C1 de faible indice en 9 - InP de type n+, surmontée d'une couche guidante CG en InP de type n-, et d'un mince ruban R du même matériau. D'autres matériaux binaires du groupe III-V du méme type de conductivité et de résistivité différente peuvent aussi convenir pour réaliser l'homostructure précédente. La structure globale du dispositif est celle de la figure 2 vue du dessus. La partie P2 de cette figure 2 est re- présentée en détail en perspective sur la figure 3. Cette fi- gure montre le ruban de guidage R en relief sur la couche gui- dante CG, laquelle est étendue sur la couche de confinement C1 et sur le substrat 10. De part et d'autre du ruban R, et en coïncidence avec ses flancs, sont disposés les sillons St et S2, dont le fond n'atteint pas la partie inférieure de la cou- che guidante CG. Dès la sortie de la partie courbe, les sillons S1 et S2 s'écartent des flancs du ruban R pour laisser apparaître les coins Q21 et QI, en matériau de la couche gui- dante CG. Les sillons SI et S2 dans ces parties E21 et Ell, ont alors une dimension transverse plus faible que dans la ré- gion de la courbe. La partie Pi du dispositif de la figure 2 est re- présentée en détail en perspective sur la figure 4. On re- connaît les mêmes éléments que sur la figure 3 précédente. Pour une meilleure compréhension du phénomène de propagation de l'onde dans la couche guidante, les figures 5a à Sc représentent des coupes du dispositif représenté figure 4, respectivement selon les plans AA, BB, CC. La figure 5a correspond à la coupe AA par un plan perpendiculaire au guide dans une partie rectiligne. Aucun sillon n'est'creusé dans cette région, la couche CG présente une épaisseur eG. Le ruban R présente une dimension traversale WG et est érigé d'une hauteur h. La couche de confinement présente un indice de réfraction ni in- férieur à l'indice nG de la couche guidante. La figure 5c correspond à la coupe CC par un plan perpendiculaire au guide, à l'amorce de la région courbe. Les - 10 - sillons Si et S2 sont gravés par prolongement des flancs du ruban de guidage R. La profondeur des sillons SI, S2 par rap- port au niveau supérieur de la couche guidante est p. la lar- geur des sillons de part et d'autre de R1 est WS. On constate que, bien que les sillons ne soient pas gravés sur toute l'épaisseur de la couche guidante, cette gravure est suffisante pour provoquer la compression adia- batique du faisceau, dont la section prend alors la forme mon- trée par les courbes iso-énergie sur cette coupe 5c. La figure Sb correspond à la coupe BB par un plan perpendiculaire au guide, dans une région intermédiaire à la coupe AA et à la coupe CC. Les parties E12 et E22 des sillons Si et 52 mon- trent la compression du faisceau pour faire passer sa section de la forme montrée par les iso-énergie de la figure 5a, à la forme montrée par les isoénergies de la figure 5c. On notera que la profondeur p gravée des parties E12, E22 est la même que celle des sillons St, S2. La longueur des parties E12, E22, E11, E21 est 2. Exemple II: les figures 6 et 7 illustrent un second mode de réalisation de l'invention. La structure de guide est une hétérostructure qui peut être formée par exemple, sur un substrat en InP semi-iso- lant 10, d'une couche de confinement C1 de faible indice en InP, puis d'une couche guidante en GaInAsP d'indice légère- ment supérieur, puis d'une nouvelle couche de confinement C2 en surface de laquelle est formé le mince ruban de guidage R du même matériau. D'autres matériaux II-V peuvent être utilisés pour réaliser cette double hétérostructure. Par exemple un substrat et des couches de confinement en un matériau binaire, et une couche guidante en un matériau ternaire ou quaternaire d'indice requis, et de largeur de bande interdite appropriée pour être transparent au rayonnement utilisé. La figure 6 est une vue en perspective de la par- tie P1 de la figure 2. - 11 - Les figures 7a à 7c sont des coupes selon AA, BB, CC respectivement de la figure 6. La seconde couche de confinement C2, d'épaisseur e2 très faible présente une légère amélioration des perfor- mances par rapport au dispositif de l'exemple I, à mettre en balance avec une étape technologique supplémentaire pour la réalisation de cette couche. Le reste du dispositif est substantiellement le même que celui de l'exemple I. On propose ci-dessous en outre un procédé de réa- lisation avantageux pour mettre en oeuvre l'invention. En effet, comme le but visé par l'invention est l'intégration de dispositifs incluant des guides d'onde, dans un matériau semi- conducteur, avec de hautes performances et notamment de très faibles pertes dans une courbe de très petit rayon de cour- bure, le procédé de réalisation doit être particulièrement étudié à cet effet tout en permettant la réalisation du dispo- sitif en synergie avec la réalisation d'autres éléments inté- grés. Procédé de réalisation Le procédé de réalisation selon l'invention com- prendra donc, d'une part la formation d'un guide externe de lumière enterré, à ruban de guidage, montrant au moins une partie courbe, à petit rayon de courbure, et d'autre part la formation de sillons de confinement de la lumière pour maintenir le guidage suivant l'axe du ruban, dans la partie courbe. Ce procédé sera mise en oeuvre en trois étapes successives, nécessitant respectivement pour les deux der- nières, deux masques de nature différente, c'est-à-dire en ma- tériaux différents permettant des gravures sélectives. A/ Première étape Dans la première étape, on élaborera la structure de couches superposées à partir desquelles seront réalisés les dispositifs selon l'invention, c'est-à-dire une structure com- portant au moins une couche de faible indice surmontée d'une - 12 - couche d'indice légèrement plus élevé et comportant éventuel- lement une couche supérieure d'indice plus faible (voir les figures 9a à 9c). Ainsi pour réaliser l'homostructure de l'exemple I, on réalise d'abord le substrat 10 par tronçonnage d'une plaquette à partir d'un lingot massif d'InP semi-isolant ob- tenu par tirage Czochralski sous encapsulation liquide par exemple (voir la figure 9b). Puis, par une méthode d'épitaxie telle que MOVPE ou VPE, on élabore une couche 11 d'InP de type n+, obtenu par exemple par dopage à l'aide d'ions S+ à une concentration d'environ 4.1018 par cm3, couverte d'une couche 12 d'InP de type n- obtenu sans dopage intentionnel (voir la figure 9b). L'épaisseur de la couche 11 n'est pas critique. Elle peut être par exemple de el = 3pm. La couche 11 sera uti- lisée comme couche de confinement C1. L'épaisseur de la couche 12 est favorablement de 3 pm. En effet, dans cette couche 12, qui par son type de conductivité n- présente un indice de ré- fraction légèrement supérieur à celui de la couche 11, servira à l'élaboration de la couche guidante CG d'épaisseur eG et du ruban R d'épaisseur h. A partir d'une couche 12 d'épaisseur 3 pm, on obtiendra par le procédé selon l'invention, une couche guidante CG d'épaisseur: eG = 2,5 pm et un ruban de hauteur h = 0,5 pm D'une manière générale, on cherchera à obtenir: 1,5 à partir d'une couche 12 d'épaisseur comprise entre 2 et 3 pm. Dans cette réalisation, le matériau InP-n- est transparent aux rayonnements de longueurs d'onde A = 1,3 p et A = 1,55 pm. Dans une variante de l'homostructure de l'exemple I on réalise le substrat 10 de type de conductivité n+. Il servira alors au confinement de la lumière, si l'on réalise 2 6 3 4 *- 13 - directement à sa surface une couche épitaxiale 12 de type de conductivité n- comme il a été décrit précédemment (voir la figure 9a). Pour réaliser la double hétérostructure de l'exem- ple II on réalise d'abord un substrat 10 par une méthode iden- tique à celle employée dans l'exemple I. Puis, toujours par épitaxie du type MOVPE ou VPE, on élabore une couche 21 d'InP sans dopage intentionnel des- tinée à constituer la couche de confinement Ci, dont l'épais- seur n'est pas critique et peut être de l'ordre de el = 3 pm. En surface de la couche 21, on élabore ensuite une couche épitaxiale 22 de GaInAsP. L'épaisseur de la couche 22 est favorablement comprise entre 1,5 et 2,5 pm (voir la figure 9c). En effet, cette couche quaternaire 22 sera utili- sée comme couche guidante CG d'épaisseur eG. Dans cette réalisation, le matériau quaternaire GaInAsP est transparent au rayonnement de longueur d'onde A = 1,3 pm ou A = 1,55 pm utilisés actuellement en télécommu- nications. En surface de la couche quaternaire 22, on élabore enfin une nouvelle couche 23 binaire d'InP, dont l'épaisseur sera favorablement de 1 pm. C'est dans cette couche 23 que se- ra élaboré le ruban R de hauteur h = 0,5 pm et largeur WG 2 4 pm identiquement à l'exemple I. L'épaisseur restante de la couche 23 en surface de la couche 22 sera alors e3 comprise entre 0,25 et 0,5 pm selon la hauteur h (voir la figure 9c) (0,5 La différence d'indice entre le matériau binaire (de plus faible indice) et le matériau quaternaire permet le confinement de la lumière dans la couche CG 22. B/ Seconde étape A l'issue de la formation de l'une ou l'autre de ces structures de couches épitaxiales planes, on commence la seconde étape du procédé selon l'invention dont les opérations sont illustrées par les figures 10 et 11 respectivement pour 2 633 01 - 14 - les structures I et II. Dans cette seconde étape, on élabore le ruban R en relief sur la couche supérieure de matériau se- miconducteur, respectivement 12 ou 23. A cet effet, on réalise d'abord un système de mas- quage M1, M2. On peut par exemple réaliser ce système au moyen d'une couche 31 en un diélectrique tel que SiO2, d'épaisseur 500 à 700 nm, densifiée par recuit à 420 C pendant 30mn. Cette couche 31 de silice est ensuite couverte d'une couche 32, de photorésist, d'épaisseur 0,7 à 1 pm, qui est recuite une pre- mière fois à 90 pendant 30 mn (voir les figures 10a et 11a). Une fois insolée et dissoute, cette couche 32 laisse persister un masque M2 en surface de l'emplacement prévu pour le ruban R. Puis, le dispositif est porté par pallier jusqu'à 180'C pour durcir la couche de photorésist M2 (voir les figures 10b et 11b). La couche de silice 31, protégée à l'emplacement du masque M2 est gravée par la méthode dite ionique réactive, jusqu'à atteindre la surface supérieure de la structure semi- conductrice, au moyen de gaz CHF3, formant alors sous le mas- que M2, le masque M1 de même forme et surface (voir les fi- gures 10c et 11c). Lorsque la surface supérieure de la structure semiconductrice est atteinte, la gravure ionique réactive est poursuivie autour du système de masquage M1, M2, par exemple au moyen de gaz tels que CH4/H2 en mélange. L'utilisation de ce mélange pour la gravure des composés III-V contenant l'élé- ment In, est connue de la publication intitulée 'A Novel process for reactive ion etching on InP, using CH4/H2" par U.NIGGEBRUGGE, M.KLUG, G. GARUS, dans "Int.Symp.GaAs and related compounds, karuizawa, Japan 1985" de 'l'Inst.Phys. Conf.serv.N 79, Chapter 6", pages 367-372. Le système de masquage décrit plus haut est choisi pour pouvoir supporter, lors de la gravure des matériaux semi- conducteurs, l'utilisation d'autres gaz, notamment des com- posés chlorés. *2615 -3340 La profondeur de gravure voulue dans la structure semiconductrice est la hauteur h du ruban R. Cette gravure est donc pratiquée, selon lastructure, dans la couche 12 ou dans la couche 23, qui dans les deux exemples décrits précédemment est en matériau InP. Le contrôle de la profondeur gravée peut être fait en temps réel, en utilisant la méthode décrite dans la demande de brevet français enregistrée sous le N'87 07 796 (voir les figures 10d et 11d). Le ruban R de hauteur h étant ainsi élaboré reste couvert des masques M1 en silice (SiO2) et M2 en photorésist, alors que commence la troisième étape du procédé selon l'in- vention. C/ Troisième étape Pour mettre en oeuvre cette troisième étape, qui consiste en la réalisation des sillons S1 et S2, de largeur W5 = 1 à 4 pm dans les parties courbes du guide, c'est-à- dire le long des flancs du ruban R dans les parties courbes du guide, on réalise d'abord une couche 33 de photoresist, cou- vrant tout l'ensemble du dispositif sur une épaisseur de 2 à 4 "m. Par insolation puis dissolution, on ouvre dans cette couche de photorésist 33 des fenêtres coïncidant avec les surfaces des futurs sillons S1 et S2 (voir les figures 10e et 11e) formant ainsi un masque M3. La figure 8a montre, vue du dessus, une disposi- tion particulière du masque M3 vis-à-vis des masques M1i. et M2 superposés, selon laquelle on a ouvert deux fenêtres O1 et 02 en coïncidence avec les futurs sillons S1 et S2, en prenant cependant la précaution de réaliser l'intervalle d entre O1 et 02, au dessus de MI, M2 inférieur à la dimension WG du ruban R (ou des masques M1, M2). De cette manière, les flancs des sillons les plus éloignés du ruban R sont délimités par le masque M3, tandis que les flancs des sillons les plus proches du ruban R sont délimités par les masques superposés M1, M2. La figure 8b montre, vue du dessus, une 2 63 3-4 O - 16 - disposition particulièrement avantageuse du masque M3, selon laquelle les ouvertures O1 et 02 se rejoignent au-dessus de M1, M2 de manière à ne faire qu'une seule ouverture, présentant une forme de queue d'aronde à chaque extrémité pour former les parties Ell, E12, E21, E22 des sillons S1 et S2. Ces parties Ell, E12, E21 et E22 auront favorablement une dimension: 2 50 vm (voir la figure 2) Dans ces conditions, les flancs de S1 et S2 les plus éloignés de R sont délimités par M3 et les flancs les plus proches de R sont délimités par M1, M2, comme il est mon- tré sur les figures 10e, 11e et 10g, 11g, qui sont des coupes de la figure 8a selon les plans I-I et II-II respectivement. Dans les ouvertures 01, 02, selon la configuration choisie, on pratique alors la gravure de la ou des couches de matériau semiconducteur, c'est-àdire de la couche 12 dans le cas de l'homostructure de l'exemple I et des couches 23, 22 dans le cas de l'hétérostructure de l'exemple II, jusqu'à ce que la couche CG de matériau 12 ou 22 soit attaquée sur une faible épaisseur, en tout cas inférieure à 20 % de son épaisseur totale. Une gravure sur une profondeur p de l'ordre de 5 à 16 % de son épaisseur totale sera préférée. Par exemple pour une épaisseur totale eG de 1,5 pm de la couche 22, on pourra choisir une profondeur p pour les sillons dans cette 22, d'environ 0,2 pm. La gravure des couches 12, ou 23, 22 se fait par gravure ionique réactive comme décrite précédemment, par les mêmes gaz CH4/H2, dans les mêmes conditions. On notera que le choix des matériaux pour réaliser les deux systèmes de masquage nécessaires à la réalisation du dispositif, a été fait de telle sorte que les masques M1, M2 sont conservés intacts lors de l'élaboration du masque m3. D'autres matériaux sont possibles pour réaliser ces deux sys- tèmes de masquage pourvu qu'ils procurent d'une part ce résul- tat et que d'autre part, les masques ainsi constitués, ne se déforment pas et notamment ne se gravent pas, au moyen des 2633 40 1 - 17 - mêmes gaz que ceux qui sont utilisés pour la gravure des structures semiconductrices. Les figures 10f et 10h montre le résultat de la gravure dans les ouvertures O1, 02, selon les coupes I-I et II pour la structure de l'exemple I, et les figures 11f et 11h montre ce même résultat, selon les mêmes coupes pour la struc- ture de l'exemple II. La disposition des masques les uns par rapport au autres telle que montrée figure 8a et plus spécialement figure 8b est aussi particulièrement avantageuse. En effet, du fait que les flancs des sillons sont délimités par M1, M2 le long du ruban, la gravure des sillons le long du ruban R dans la troisième étape se fait parfaitement à l'alignement de la gra- vure donnant naissance au ruban R dans la deuxième étape. La disposition de la figure 8a, quoi qu'un peu moins simple que celle de la figure 8b conduit au même résul- tat. Le procédé selon l'invention permet, avec des mas- ques réalisés d'une façon simple, c'est-à-dire alignés les uns vis-à-vis des autres de façon non critique, d'obtenir l'auto- alignement parfait des flancs des sillons sur les flancs des rubans. On minimise ainsi les effets néfastes de la rugosité des flancs du guide. En fin de procédé, le masque M2 (couche 32) en photorésist est éliminé par dissolution dans l'acétone, et le masque M1 (couche 31) en silice est éliminé au moyen d'acide fluorhydrique (HF). Le masque M3 en photorésist s'élimine éga- lement à l'acétone. On notera enfin que la réalisation d'un sillon (ou rainure) dans la partie concave de la courbe du guide n'est pas absolument indispensable. Mais cette réalisation rend la mise en oeuvre plus aisée, plus performante et améliore aussi le confinement de la lumière dans le guide. - 18 -2633401 Revendications 1. Dispositif semiconducteur comprenant un guide de lumière intégré, lequel présente au moins une partie rectiligne et une partie courbe et comprenant des moyens pour obtenir le confinement de la lumière dans le guide dans la partie courbe, lesquelles incluent une rainure disposée le long du flanc du guide dans la région de la courbe, caractérisé en ce que ces moyens incluent aussi une structure de guide comprenant une couche guidante, et surplombant la couche guidante, un ruban en relief pour déterminer le chemin optique suivi par la lumière dans la couche guidante, et en ce que ces moyens incluent en outre une structure de rainure telle que: - elle présente une profondeur constante, - sa partie centrale suit exactement le flanc du ruban de guidage dans la partie courbe, - ses extrémités s'écartent du flanc de ce ruban à l'entrée et à la sortie de la partie courbe, - son fond est disposé dans la couche guidante à un niveau qui n'atteint pas la partie inférieure de cette couche guidante. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il présente une rainure de même structure respecti- vement de part et d'autre du guide dans sa partie courbe. 3. Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que les extrémités de la rainure s'écartent du ruban de guidage d'un angle de 2 à 5*. 4. Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'angle est de 3'. 5. Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'angle est de 4 . 6. Dispositif selon l'une des revendications précé- dentes, caractérisé en ce que la rainure présente une profon- deur pratiquée dans l'épaisseur de la couche guidante infé- rieure en valeur à 20 % de l'épaisseur de cette couche gui- dante. - 19 - 7. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la structure du guide est du type à deux couches, telles que la couche guidante est réalisée en surface d'une couche de confinement d'indice inférieur et que le ruban de guidage est formé en surface de la couche guidante dans le même matériau. 8. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que la structure de guides à deux couches est du type homostructure telle que la couche de confinement est en un ma- tériau III-V d'un type de conductivité d'un premier niveau de résistivité et la couche guidante est du même matériau III-V du même type de conductivité d'un second niveau de résisti- vité, réalisées sur un substrat du groupe III-V. 9. Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que la couche de confinement est en InP de type n+ et la couche guidante et le ruban en InP de type n-, réalisées sur un substrat en InP semi-isolant. 10. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la structure du guide est du type à trois couches telle que la couche guidante est réalisée entre deux couches de confinement d'indice inférieur, le ruban de guidage étant réalisé dans le matériau de la couche supé- rieure. 11. Dispositif selon la revendication 12, caractérisé en ce que la structure de guide à trois couches est du type heterostructure, les deux couches de confinement étant d'un matériau III-V binaire et la couche guidante étant d'un maté- riau III-V ternaire ou quaternaire, le substrat étant d'un ma- tériau III-V binaire. 12. Dispositif selon la revendication 11, caractérisé en ce que les couches de confinement sont en InP et la couche guidante est en GaInAsP, réalisées sur un substrat en InP semi-isolant. 13. Dispositif selon l'une des revendications précé- dentes, caractérisé en ce que la couche guidante présente une - 20 - épaisseur d'environ 1,5 pm, la couche supérieure de confi- nement lorsqu'elle existe une épaisseur de 0,25 pm, le ruban de guidage forme un relief d'épaisseur environ 0,75 pm et de dimension transversale environ 4 pm, la rainure a une profon- deur telle que son fond est disposé à environ 0,2 pm de la surface supérieure de la couche guidante. 14. Procédé de réalisation d'un dispositif selon l'une des revendications 1 à 6, comprenant au moins la succession d'étapes suivantes: a) Formation d'une structure d'au moins deux couches de matériau semiconducteur du groupe III-V, la couche inférieure (11,21) présentant un faible indice pour constituer une couche de confinement C1, la couche qui la recouvre (12,22) présentant un indice plus élevé et étant transparente au rayonnement de longueur d'onde A envisagé pour le fonction- nement du dispositif, pour constituer la couche guidante CG. b) Réalisation en relief sur la couche guidante CG, d'un ruban R, de hauteur h et de largeur WG, présen- tant une partie courbe, ruban R destiné à délimiter le chemin de guidage dans la couche sous-jacente CG, cette réalisation étant obtenue par la mise en oeuvre d'un système de masque M1, M2, d'une première sorte couvrant uniquement la région du ru- ban R, suivie de la mise en oeuvre d'une gravure, par la mé- thode dite ionique réactive, des régions semiconductrices autour du système de masque M1, M2 sur une profondeur h, au moyen de gaz rendant cette gravure sélective vis-à-vis du sys- tème de masques, la couche guidante sous le ruban R présentant alors une épaisseur eG. c) Réalisation en surface du dispositif ainsi ob- tenu de deux sillons respectivement S1 et S2, présentant une profondeur p dans la couche guidante CG, formés dans la région courbe du ruban R, de part et d'autre de ce dernier sur une largeur Ws, et s'écartant de ce dernier dans les sorties de la courbe d'un angle a, pour confiner la lumière latéra- lement dans la couche guidante CG, cette réalisation étant - 21 - obtenue par la mise en oeuvre d'un système de masquage M3, d'une seconde sorte, présentant des ouvertures 01 et 02 en coïncidence avec les régions des sillons S1 et S2 respecti- vement,. ouvertures dont la distance d au-dessus du ruban R est telle que 0 vure, par la méthode dite ionique réactive, des régions semi- conductrices dans les ouvertures 01, 02 jusqu'à atteindre une profondeur de gravure p dans la couche guidante CG d'épais- seur eG, telle que p 15. Procédé selon la revendication 14, caractérisé en ce que dans l'étape a), on forme une homostructure de deux couches (11,12) de matériaux du groupe III-V. 16. Procédé selon la revendication 15, caractérisé en ce que dans l'étape b) le ruban R est formé dans le matériau de la seconde couche (12) de l'homostructure. 17. Procédé selon la revendication 16, caractérisé en ce que l'homostructure en deux couches est formée d'un substrat (11) en InP de type de conductivité n+ sur lequel est réalisé par croissance épitaxiale, une couche en InP de type de conductivité n-. 18. Procédé selon la revendication 17, caractérisé en ce que, l'homostructure en deux couches est formée d'une pre- mière couche épitaxiale (11) en InP de type de conductivité n+ et d'une couche supérieure (12) en InP de type de conductivité n- disposées en surface d'un substrat massif monocristallin semi-isolant (10) en InP. 19. Procédé selon la revendication 14, caractérisé en ce que dans l'étape a) on forme une hétérostructure en deux couches (21,22) de matériau du groupe III-V. 20. Procédé selon la revendication 19, caractérisé en ce que, dans l'étape b) le ruban R est formé dans le matériau de la couche supérieure (22) de l'hétérostructure en deux couches. 21. Procédé selon la revendication 19, caractérisé en ce que dans l'étape a) on forme une double hétérostructure par le moyen d'une troisième couche (23) de matériau du groupe - 22 - III-V disposée en surface des deux premières couches (21,22), telle qu'elle présente un indice inférieur à l'indice de la seconde couche (22) de manière telle que cette seconde couche (22) est la couche guidante CG. 22. Procédé selon la revendication 21, caractérisé en ce que, dans l'étape b) le ruban R est formé dans la troisième couche (23). 23. Procédé selon l'une des revendications 19 à 22, caractérisé en ce que, dans la ou les hétérostructures (21,22) ou (21,22,23), la première couche (21) est une couche épi- taxiale binaire d'InP de type de conductivité n-, la seconde couche (22) est une couche épitaxiale quaternaire de GaInAsP, et la troisième couche (23), lorsqu'elle existe, est une couche épitaxiale binaire d'InP de type de conductivité n-, cette succession de couches étant disposée sur un substrat massif en InP monocristallin semi-isolant. 24. Procédé selon l'une des revendications 17, 18 ou 23, caractérisé en ce que le matériau InP est obtenu de type de conductivité n- par son seul dopage résiduel, de type de conductivité n+ par dopage au moyen d'ions S+ à une concentra- tion de 4.1018, en ce que le substrat massif en InP semi- isolant lorsqu'il existe est obtenu par tirage par la méthode Czochralski sous encapsulation de l'ordre de 14.1016, et en ce que les couches épitaxiales sont obtenues par l'une des mé- thodes dites MOVPE ou VPE. 25. Procédé selon l'une des revendications 14 à 24, caractérisé en ce que: 0,5 mm ( h ( 0,75 pm WG 4 Pm p 26. Procédé selon l'une des revendications 14 à 25, caractérisé en ce que le premier système de masqpage est formé d'une superposition d'une couche 31 de silice (SiO2) et d'une couche 32 de photoresist. 27. Procédé selon la revendication 26, caractérisé en - 23 - ce que dans l'étape h l'épaisseur de la couche 31 de silice est de l'ordre de 500 à 700 nm, en ce que l'épaisseur de la couche 32 de photoresist est de l'ordre de 0,7 à 1 pm, en ce que la couche de silice est cuite après son dépôt et avant le dépôt de la couche de photoresist à 420'C pendant 30 mn, en ce que la couche 32 de photoresist est cuite après son dépôt à une température d'environ 90'C pendant environ 30 mn, en ce que le ruban R est délimité par une étape de photolithographie de la couche de photoresist 32, formant ainsi un masque M2, suivie d'une cuisson de la couche 32 de photoresist à 180'C par paliers, puis en ce que la couche 31 de silice (SiO2) est gravée autour du masque M2, par gravure ionique réactive au moyen du gaz CHF3, jusqu'à découvrir la surface supérieure de la couche supérieure de matériau semiconducteur, formant ainsi sous le masque M2, un masque M1. 28. Procédé selon la revendication 27, caractérisé en ce que le ruban R est formé par gravure dans les couches semi- conductrices autour du système de masquage M1, M2 et au moyen d'un mélange de gaz contenant au moins les gaz CH4/H2. 29. Procédé selon l'une des revendications 26 à 28, - caractérisé en ce que le second système de masquage est formé d'une couche 33 de photorésist, d'épaisseur de 2 à 4 pm. 30. Procédé selon la revendication 29, caractérisé en ce que dans l'étape c, les ouvertures O1, 02 sont pratiquées dans la couche 33 par une étape de lithographie connue en soi formant ainsi le masque M3, puis les sillons 51, S2 sont for- més par gravure des couches semiconductrices découvertes dans les ouvertures O1, 02 jusqu'à atteindre la profondeur de gra- vure p dans la couche CG, cette gravure étant pratiquée au moyen d'un mélange de gaz comprenant au moins les gaz CH4/H2 et en ce que les deux systèmes de masquage M1, M2 et M3 sont éliminés par dissolution dans l'acétone en ce qui concerne la photorésist et l'acide fluorhydrique (HF) pour la silice (SiO2). 31. Procédé selon la revendication 30, caractérisé en - 24 - ce que lors de la réalisation du masque M3, les ouvertures 01 et 02 sont formées de manière a être séparées au-dessus du ruban R encore couvert du système de masques M1,M2, par un distance d 32. Procédé selon la revendication 30, caractérisé en ce que, lors de la réalisation du masque M3, les ouvertures O1, 02 sont formées de manière à se rejoindre au-dessus du ruban R encore couvert du système de masque M1, M2, pour former une seule ouverture, présentant une forme de queue d'aronde à chaque extrémité pour former les extrémités des sillons S1 et 52. 33. Procédé selon l'une des revendications 30 à 33, caractérisé en ce que les extrémités des ouvertures 01, 02 s'écartent du ruban R de l'angle a sur une longueur 2 50 pm pour permettre la formation des extrémités E11, E12, E21 et E22 des sillons S1 et S2.