Brevet FR2628223A1 — publié le 19890908

(j) RÉPUBLIQUE FRAN CAISE N de.publication: 2 628 223 (à n'utiliser que pour les INSTITUT NATIONAL commandes de reproduction) DE LA PROPRIETÉ: INDUSTRIELLE DE LA PROPRIÉTÉ INDUSTRIELLE N d'enregistrement national 89 02726 PARIS ( Int CI'4: G 02 F 1/13; G 01 S 13/00; H 01 Q 3/26. @ DEMANDE DE BREVET D'INVENTION A1 ) Date de dépôt: 2 mars 1989. Q Demandeur(s): Société dite: RAYTHEON COMPANY. - us. ) Priorité: US, 2 mars 1988, no 162.992. ( Inventeur(s): Wayne H. Keene; Terry A. Dorschner: James M. Howell. 4 Date de la mise à disposition du public de la demande: BOPI " Brevets " n 36 du 8 septembre 1989. Références à d'autres documents nationaux appa- rentés Q Titulaire(s): Q Mandataire(s): Cabinet Lavoix. Appareil de temporisation optique et dispositif de formation d'un faisceau optique à réseau en phase en comportant application, ( Ce dispositif comprend: - une source 30 destinée à engendrer un faisceau de lumière à peu près collimatée d'une polarisation prédéterminée: et - plusieurs moyens 32 destinés à fournir des temporisa- - - tions sélectives du faisceau lumineux, chacun desdits moyens " étant sensible à un secteur distinct de la section du faisceau rI lumineux, lesdits moyens recombinant les secteurs temporisés! V= de manière sélective du faisceau lumineux en un faisceau de " le secteur correspondant destinés à diriger le secteur corres- pondant du faisceau lumineux le long de l'un desd[ts plusieurs trajets. N La présente invention se rapporte de manière générale à des systèmes optiques, et plus particuliè- rement à un appareil adapté pour fournir des longueurs de trajets optiques sélectionnables, destiné à être utilisé comme unité de temporisation optique dans un système de guidage de faisceau à réseau en phase opti- que. Des systèmes de radar à hyperfréquences ont été utilisés depuis plusieurs années pour la détection de cibles dans le but d'éviter des obstacles, de rele- ver une cartographie de terrain ou de détecter des in- trusions. Plus récemment, des systèmes de radar à lon- gueurs d'ondes infrarouges ont utilisé avantageusement des longueurs d'ondes substahtiellement plus courtes de la lumière pour fournir une définition à haute ré- solution des surfaces de cibles pour une cartographie et une identification d'objets de haute précision. Dans le but d'utiliser la technologie établie des sys- tèmes de radar à hyperfréquences dans les systèmes optiques, il a été nécessaire de développer des sous- systèmes analogues. Dans de récentes années, des systèmes d'an- tenne de radar à hyperfréquences ont reposé de plus en plus sur le guidage électronique, employant des ré- seaux en phase pour un mouvement rapide de faisceau, par contraste avec le mouvement lent obtenu par les antennes rotatives à guidage mécanique. Les réseaux en phase reposent en ce qui concerne la direction de leurs faisceaux, sur la variation de la temporisation ou retard entre la source d'un signal commun et chacun des éléments rayonnants du réseau. La temporisation de chaque élément est ac- cordée électroniquement de manière que le front d'onde rayonné vers une cible hors du trou de visée, simule en direction, amplitude et phase, les rayons paral- lèles qui seraient'engendrés le long de l'axe du trou de visée. Des réseaux à décalage de phase à diodes sont souvent utilisés en combinaison avec chaque élé- ment pour fournir la temporisation ou retard nécessai- re et ainsi commander la direction du faisceau rayonné et le profil de l'impulsion. Les technologies actuellement disponibles ne sont pas suffisamment avancées pour répondre au besoin de balayage et de pointage rapides sur des angles importants de faisceaux optiques et, en particulier, de faisceaux radar au laser à C02 à diffraction limitée, de grand diamètre. Dafs beaucoup de systèmes, le guidage du faisceau optique est réalisé en utilisant la rotation d'éléments optiques. Il existe un besoin pressant pour une version optique des antennes à réseau en phase polyvalentes maintenant largement utilisées pour les systèmes de radar à hyperfréquences. Un élément fondamental dans un dispositif de décalage de phase optique accordable électriquement est une unité de temporisation ou de retard par la- quelle une courte impulsion d'énergie de lumière infrarouge, ayant par exemple une durée d'une nano- seconde, peut être retardée par exemple d'un quart de nanoseconde, de manière qu'un composé d'impulsions retardées et non retardées, sur la surface du réseau d'antenne, soit un front d'onde qui est guidé sous un angle hors du trou de visée. La temporisation d'une telle unité doit être sélectionnable électriquement de manière à réaliser un guidage du faisceau. Un but principal de la présente invention est donc de fournir une unité de temporisation optique destinée à être utilisée dans un dispositif de déca- lage de phase optique accordable électriquement. Un autre but de l'invention est de fournir une unité de temporisation optique qui présente des trajets sélectionnables électriquement pour le passage de lumière. Ces buts et d'autres sont obtenus, de maniè- re générale, en réalisant un appareil sensible à un -faisceau de lumière d'une source pour fournir des temporisations sélectionnables du faisceau de lumière entre la source et des moyens d'utilisation. L'appareil comprend des moyens pour modifier sélectivement la polarisation du faisceau de lumière, des moyens pour fournir plusieurs trajets optiques entre la source et les moyens d'utilisation, chacun de ces plusieurs trajets ayant une longueur différente et des moyens sensibles à la polarisation du faisceau de lumière pour diriger le faisceau de lumière le long de l'un desdits plusieurs trajets. Selon un mode préféré de réalisation de la présente invention, les moyens de modification com- prennent une cellule à cristaux liquides en phase nématique qui réalise une rotation de 90 de la polarisation du faisceau de lumière entrant lorsqu'une première valeur d'un signal de commande électrique est appliquée aux fenêtres de la cellule et qui fournit une rotation de O' en réponse à une seconde valeur dudit signal. Dans le mode préféré de réalisation, les moyens de guidage comprennent deux lames sous incidence Brewsterienne placées en oblique par rapport au faisceau de lumière, les lames sous incidence Brewsterienne réfléchissant à peu près totalement la lumière d'une première polarisation les frappant et laissant passer à peu près toute la lumière d'une seconde polarisation, les frappant. Dans le mode préféré, les moyens pour four- nir plusieurs trajets optiques comprennent des pre- miers moyens de réflexion pour fournir un premier trajet optique'pour la lumière réfléchie par les lames sous incidence Brewsterienne et des seconds moyens de réflexion pour fournir un second trajet optique pour la lumière passant à travers lesdites lames sous incidence Brewsterienne, l'un desdits premiers et se- conds moyens de réflexion étant monté fixe et l'autre étant monté mobile de manière que la longueur diffé- rentielle des deux trajets optiques soit réglable. De plus, selon les principes de base de la présente invention, un système de guidage de faisceau optique à réseau en phase comprend une source pour engendrer un faisceau de lumière à peu près collimatée d'une polarisation prédéterminée, et plusieurs moyens pour fournir des temporisations ou retards sélection- nables du faisceau de lumière, chacun de ces moyens étant sensibles à un secteur distinct de la section du faisceau de lumière, les moyens recombinant les sec- teurs de section retardés de manière sélectionnable du faisceau de lumière en un faisceau de sortie, chacun de ces moyens comprenant un appareil selon le mode préféré de réalisation de la présente invention. Selon d'autres caractéristiques de la présente invention, les fenêtres de la cellule à cris- taux liquides comprennent les électrodes de cellule. Les fenêtres de cellule sont rendues conduc- trices de l'électricité-bien que demeurant transparen- tes optiquement dans le spectre infrarouge, en utili- sant une implantation d'ions. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront -au cours de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple et faite en se référant aux dessins annexés, sur les- quels: - la Fig.1 représente un schéma synoptique d'un système de guidage de faisceau à réseau en phase optique dans lequel la présente invention trouve une application; - la Fig.2 est un schéma synoptique simpli- fié d'un premier mode de réalisation de l'invention; - les Fig.3A à 3E représentent des cellules à cristaux liquides utilisables dans le mode de réali- sation représenté sur la Fig.2; - la Fig.4 est un schéma synoptique simpli- fié d'un second mode de réalisation de la présente invention; - la Fig.5 représente-le mode de réalisation de la Fig.4, tel qu'il peut être conformé pour être utilisé dans un réseau en phase optique; - la Fig.6 représente plusieurs appareils de temporisation montés en cascade; - la Fig.7 est un schéma synoptique simpli- fié représentant un agencement vu en bout des éléments du mode de réalisation de la Fig.4, dans un réseau 2 x 2; et - les Fig.8A à 8C représentent des chrono- grammes illustrant les capacités de guidage de fais- ceau d'un réseau en phase. En se référant à la Fig.1, il est représenté un dispositif de guidage de faisceau optique ayant une architecture de base qui est analogue à une architec- ture de réseau en phase à hyperfréquences. Le dispo- 26282-23 sitif de guidage de faisceau optique de la Fig.1 com-prend une source de lumière et un réseau de formation de faisceau 30 qui fournit un faisceau de lumière col- limatée, de manière caractéristique dans le spectre infrarouge, ayant une. longueur d'onde caractéristique dans la plage de 9 à 11,5y m, par exemple de 10,6y m. Le faisceau de lumière est dirigé vers plusieurs uni- tés de temporisation ou de retard 32 dans lesquelles la présente invention réside. Les unités de tempori- sation 32 fournissent chacune une temporisation ou retard sélectionnable du faisceau reçu du réseau 30. La lumière passant à travers chacune des unités de temporisation 32 est couplée à un sous-réseau 34 comprenant plusieurs dispositifs de décalage de phase 36. Chaque dispositif de décalage de phase 36 engendre un décalage de phase entre O et 2 i radians de maniè- re à fournir un guidage de faisceau à travers la sous-ouverture 38. Ainsi, il peut être constaté que la totalité des sous-ouvertures 38 des sousréseaux 34, lorsqu'elles sont attaquées par des unités de tempori- sation individuelles 32, peuvent émuler une ouverture unique de diamètre important, pour le guidage rapide de faisceaux radar à laser de haute puissance. Le dispositif de guidage de faisceau optique de la Fig.1 est représenté comme ayant quatre unités de temporisation 32 chacune alimentant un sousréseau 34 comprenant quatre dispositifs de décalage de phase 36. Il sera compris bien entendu que ces détails sont uniquement donnés dans le but de faciliter la compré- hension. En fait, chaque sous-réseau 34 peut compren- dre, de manière caractéristique, des milliers de dispositifs de décalage de phase 36, par exemple 2000 par cm linéaire, le diamètre du sous-réseau illustré par l'envergure 38 de la sous-ouverture pouvant être de l'ordre de 30 cm pour des guidages modérés par exemple de plus ou moins 30', et de largeur de bande de signaux pouvant attendre 1 GHz. En se reportant maintenant à la figure 2, il est représenté une unité de temporisation optique 10 qui peut être du type représenté par l'unité de tempo- risation 32 de la Fig.1, selon la présente invention. L'unité de temporisation 10 comprend des rotateurs de polarisation commutables 12 et 14, des lames sous incidence Brewsterienne 16 et 18, des miroirs 20 et 22 et un circuit 24 pour la commande des rotateurs de polarisation 12 et 14. Un signal de commande 26 est engendré par le circuit de commande 24 pour les rotateurs de polarisation 12 et 14. Dans un premier état, le signal 26 entraîne une rotation de la polarisation de la lumière passant à travers les deux éléments 12 et 14 et, dans un second état du signal 26, la polarisation de la lumière passant à travers les éléments 12 et 14 n'est pas affectée. Un faisceau d'entrée de lumière représenté par un rayon central 11, et ayant un vecteur de pola- risation choisi arbitrairement comme sortant de la feuille de la figure 2 (représenté par une flèche sortante) est présenté au rotateur de polarisation 12. En fonction de l'état du signal de commande 26, la lu- mière sortant du rotateur 12 a ce vecteur de polarisa- tion sortant tourné (représenté comme étant une flèche vers le haut dans le plan de cette figure) ou le vec- teur de polarisation n'est pas affecté. Des-éléments qui peuvent être utilisés en tant que rotateurs de polarisation 12 et 14 sont représentés sur les Fig.3A à 3E et sont décrits en détail dans la suite de la description. En se reportant à la Fig.2, la lumière sor- tant du rotateur de polarisation 12 est incidente sur la lame sous incidence Brewsterienne 16, qui. est placée eri oblique par rapport à la lumière entrante, de manière caractéristique à un angle d'incidence Brewsteriennep pour le matériel de la lame 16. La lame sous incidence Brewsterienne 16 peut être constituée de séléniure. de zinc pour lequel l'angle d'incidence Brewsterienne est à peu près de 67,4*. En variante, la lame sous incidence Brewsterienne 16 peut être d'un type amélioré comprenant un ou plusieurs revêtements en film mince tel qu'un polariseur en film mince vendu par Two-Six, Inc., Saxonburg, Pennsylvania. Les.lames sous incidence Brewsterienne sont des dispositifs optiques qui sont sensibles-à la polarisation d'une lumière les frappant. Dans l'exemple, le faisceau de lumière de vecteur polarisé vers le haut (dans le plan d'incidence) passe à travers la lame 16, tandis que le faisceau de lumière de vecteur polarisé vers l'exté- rieur (perpendiculairement au plan d'incidence) se ré- fléchit sur la surface 16a. Dans la mesure o elle n'est pas nécessaire à la compréhension de l'inven- tion, la réfraction de la lumière passant à travers les lames sous incidence Brewsterienne 16 et 18 n'est pas représentée sur ces figures. 25. La lumière réfléchie par la lame sous incidence Brewsterienne 16 est dirigée sur une surface de réflexion 20a d'un miroir 20 et, de là, sur une surface de réflexion 22a d'un miroir 22 sur laquelle elle est à nouveau réfléchie vers une surface 18a de la lame sous incidence Brewsterienne 18. Les miroirs et 22 sont placées en oblique par rapport à la direction de propagation de la lumière, de manière caractéristique de telle sorte que les surfaces 20a et 22a soient parallèles aux surfaces 16a et 18a, res- pectivement, pour que la lumière réfléchie par le miroir 22 sur la lame sous incidence Brewsterienne 18 coincide avec le faisceau passant à travers la lame 18. La lame sous incidence Brewsterienne 18 est similaire à la lame 16 et peut comprendre des revête- ments en film mince sur la surface 18a qui transmet- tent la lumière avec le vecteur de polarisation dirigé vers le haut, bien que réfléchissant mieux de la lu- mière avec un vecteur de polarisation vers l'exté- rieur. La lame 18 est placée en oblique par rapport aux deux faisceaux de lumière incidents sur celle-ci, de manière caractéristique à l'angle d'incidence Brewsterienne 9 pour le matériel de la lame 18, et la lumière venant de la surface 18a est coaxiale à la lu- mière dirigée sur la lame sous incidence Brewsterienne 16. Enfin, la lumière venant de la lame 18 passe à travers le rotateur de polarisation 14 qui est similaire au rotateur de polarisation 12 et est sensi- ble au même signal de commande 26. En résultat, le faisceau de lumière de sortie sortant du rotateur 14 a la même polarisation que le faisceau d'entrée. Il est à noter que la seule fonction du rotateur de pôla- risation 14 est de redonner le vecteur de polarisation initial à la lumière. Si cette fonction n'est pas né- cessaire pour l'application particulière dans la pré- sente invention, le rotateur de polarisation 14 peut être supprimé. En résumé, on voit que pour un premier état du signal de commande 26, qui provoque la rotation de la polarisation de la lumière traversant les éléments 12 et 14, la lumière appliquée à l'unité de tempori- sation 10 parcourt un premier trajet dans les éléments ' 12, 16, 18 et 14. Pour un second état du signal de commande 26, qui n'affecte pas la polarisation de la lumière traversant les éléments 12 et 14, la lumière appliquée à l'unité de temporisation 10 parcourt un second trajet à travers l'élément 12, réfléchi par' les éléments 16, 20, 22 et 18, et à travers l'élément 14. La différence de longueur de trajet entre le second trajet plus long et le premier trajet plus court est la mesure de la. temporisation assurée par l'unité 10. A la figure 2, cette temporisation est équivalente à la somme des longueurs des trajets 28a, 28b et 28c moins la longueur du trajet 29. Les figures 3A et 3B montrent des vues latérales d'une cellule 40 électrooptique à cristaux liquides, qui peut être d'un type utilisé comme les éléments rotatifs 12 et 14 de polarisation commutables de la réalisation de la Fig.2. La cellule 40 comporte des fenêtres 42 de cellule incluant des couches électriquement conductrices 44 et des couches anti- réfléchissantes 46 et 47. Les fenêtres 42 (et leur couche revêtue) sont espacées par des entretoises 48.' Les molécules 50 de cristaux liquides dans'la cellule sont des molécules organiques longues, minces ressemblant à une tige, de la phase dite "nématique". Les fenêtres de cellule 42 doivent présenter une faible absorption de la lumière infrarouge ayant la longueur d'onde émise par un laser à C02, par exemple à 10,6 m. Des éléments typiques pour le choix de la fenêtre de cellule 42 comprennent des semiconducteurs tels que le séléniure de zinc, l'arséniure de germanium et de gallium, et des sels halogénures tels que le chlorure de potassium, tous étant relativement transparents à la lumière du laser à CO2. En outre, les couches 44, qui assurent la conductibilité électrique à travers les fenêtres de cellule 42, doivent également être optiquement trans- parentes à la longueur d'onde mentionnée ci-dessus. Il est connu de l'homme du métier de former -une électrode optiquement transparente par dépôt d'un- conducteur à couche mince, tel que l'oxyde d'étain et d'indium (ITO) ou l'oxyde d'indium (In203), sur une surface d'une plaque d'un matériau transparent. De tels films conducteurs ont de manière inhérente beau- coup de pertes dans la région infrarouge, c'est-à-dire qu'ils absorbent l'énergie infrarouge, en raison de leur concentration électronique élevée et de leur faible mobilité de porteur. Un film d'oxyde d'étain et d'indium ayant une épaisseur de quelques milliers d'kngstroms transmet approximativement 80 à 90% dans le spectre visible, et un film de 200 Rngstroms d'é- paisseur transmet approximativement 50% à une longueur d'ondes de 10,6y m. Il a été indiqué que l'oxyde d'in- dium assure 60 à 80%.de transmission aux longueurs d'ondes comprises entre 8 et 12 m avec des résistan- ces de feuilles de film de 20 à 50 ohm/unite de surface. Il est également connu de l'homme du métier que certains matériaux semi-conducteurs, tel que le germanium, peuvent être utilisés comme substrat transparent à l'infrarouge pour établir un champ électrique uniforme à travers la cellule à cristaux liquides. L'absorption de l'énergie infrarouge dans le germanium intrinsèque est considérablement inférieure à l'absorption dans un film comprenant de l'oxyde d'indium. Le germanium intrinsèque peut par exemple avoir un coefficient d'absorption de l'énergie infrarouge de 0,03 cm1; ainsi une fenêtre 2 de cellule au germanium de 2 millimètres d'épaisseur absorberait donc seulement 0,6% de l'énergie incidente. Un inconvénient de cette électrode transparente est la difficulté de fabrication d'un type d'électrode, ou d'un type d'électrodes multiples, ou d'un substrat unique. La résistivité superficielle de la matière autorise de manière inacceptable des courants de fuite élevés à travers la surface. Dans le cas d'électrodes multiples, l'isolation électrique peut être réalisée par la technique habituelle des diodes mises dos-à-dos pour isoler les électrodes l'une de l'autre, par exemple l'implantation d'électrodes du type n dans un substrat du type p. Dans cet exemple particulier, cette approche est problématique du fait que les potentiels requis pour polariser en inverse les diodes de manière sûre provoqueraient, des réactions indésirables dans les cristaux liquides. De plus, les dopants requis pour former les jonctions introduiraient une absorption supplémentaire de l'énergie lumineuse. Par ailleurs, on pourrait déposer une matière semiconductrice transparente sur un substrat transparent isolant, tel que KC1, dans le modèle d'électrode requis. Des difficultés s'élèvent alors pour revêtir le substrat d'une matière anti-réflé- chissante, en raison d'une désadaptation presque certaine de l'indice de réfraction optique entre les électrodes semiconductrices et le substrat. En accord.avec le mode de réalisation préféré de l'invention, les électrodes transparentes optiquement sont prévues sur les fenêtres de cellule 42 par un procédé d'implantation ionique. A titre d'exemple, une fenêtre de cellule peut être fabriquée à partir d'une petite plaque de matériau cristallin semi-isolant et transparent optiquement, tel que l'arséniure de gallium, par exemple ayant un diamètre de 2,54cm (1 pouce) et une épaisseur d'un millimètre. Une telle épaisseur d'arséniure de gallium présente une très faible absorption de l'énergie lumineuse dans la bande infrarouge ici considérée. L'arséniure de gallium présente une résistivité élevée, de l'ordre de 107 ohm/cm. Les propriétés semi-isolantes de la plaquette cristalline peuvent être obtenues par des techniques d'expansion connues, par exemple la technique Czochralski de liquide encapsulé (LEC), ou cette plaquette peut être dopée au chrome en utilisant des techniques connues en soi. La plaquette est polie mécaniquement et chimiquement avant les étapes suivantes. Une surface de la plaque est ensuite revêtue par un photorésist, qui peut être un polymère photosensible. Dans l'exemple décrit, un photorésist positif, du type 1400-31, vendu par la firme Shipley Co., Newton, Mass., est appliqué à la plaque, suivi par une étape de chauffage à 90'C pendant trois minutes. La plaque revêtue est ensuite hydratée pendant au moins dix minutes, pendant lesquelles la pièce se refroidit et absorbe la vapeur d'eau. Un photomasque occulte la partie de la surface revêtue qui est destinée à comprendre l'électrode, et la surface est ensuite exposée à la lumière ultraviolette pendant approximativement 3,5 secondes. Après l'exposition, il peut y-avoir une étape de chauffage à 90'C pendant 20 à 30 minutes, suivi par le développement du modèle de photorésist dans une solution alcaline pendant approximativement une minute, étape durant laquelle lephotorésist exposé (non recouvert par le masque) est dissout. La plaque est ensuite rinçée dans l'eau pendant appro- ximativement une minute. L'étape suivante est le procédé d'implan- tation ionique durant laquelle des'.ions, par exemple des ions Si29, bombardent la surface préparée avec une énergie de 100 KeV et un dosage de 5 x 1013 cm 2 Comme cela est bien connu, les ions de bombardement vont s'implanter seulement dans les régions qui ne sont pas revêtues du photorésist. Le dosage ci-dessus fournirait une résistivité de feuille de sensiblement à 300 ohms/unité de surface, après un processus de recuit. Après l'implantation, le photorésist restant est enlevé dans l'acétone, cette opération étant suivie d'une élimination par lé plasma à l'oxygène. Une étape de recuit, qui suit l'implantation ionique, active électriquement les ions implantés de façon à créer de la conductivité. Dans le présent exemple, la plaque à ions implantés de matière semi- conductrice est portée -à une température maximum de 900'C pendant une période d'environ deux heures, puis autorisée à se refroidir. Le processus de recuit prend place dans un récipient étanche contenant une surpres- sion d'arsenic. L'étape finale du procédé de fabrication d'une électrode destinée à être utilisée sur une fenêtre de cellule à cristal liquide par implantation ionique, comprend une opération de métallisation, dans laquelle du métal est déposé sur la plaque, en contact électrique avec la région implantée d'ions, pour produire un coussin.de liaison pour une connexion électrique vers une source de'potentiel électrique, par exemple par liaison ultrasonique. L'étape de métallisation est accomplie en utilisant des matières conventionnelles, par exemple du nickel, de l'or/ger- manium et de l'or, et en utilisant des procédés bien connjus dans la technique. En utilisant le procédé ci-dessus, on réa- lise une électrode transparente optiquement sur une feuille de matière cristalline semi-isolante et opti- quement transparente, mettant en oeuvre l'implantation d'ions pour former l'électrode. Ainsi la région de l'électrode, qui peut comprendre moins que la surface totale de la feuille de matière cristalline, présente des caractéristiques de transmission sensiblement identiques comme les régions non implantées de la feuille, en ce qui concerne l'énergie radiante dans la gamme des longueurs d'ondes infrarouges considérées, par exemple entre 9 et l1> mètres. Le procédé ci-dessus a été décrit-à titre d'exemple et n'est pas limitatif. On notera que des ions germanium peuvent être utilisés pour l'implan- tation. De plus, le procédé de recuit peut ne pas être nécessaire, car, pour des matériaux cristallins semiconducteurs et des ions implantés, il peut n'être pas nécessaire d'effectuer un recuit car le dommage provoquépar le bombardement de la plaque par les ions implantés peut être suffisant pour créer une conducti- vité. Alors que l'invention telle que décrite ne nécessite que des électrodes uniques sur chaque fenêtre de cellule, on comprendra aisément que le procédé décrit ci-dessus est utilisable pour un nombre quelconque d'électrodes et de modèles. Des géométries d'électrodes complexes peuvent être formées avec une résolution caractéristique limitée seulement par la lithographie des semiconducteurs de l'état de la technique. Dans la plupart des cas, il est nécessaire seulement de fabriquer une électrode non implantée sur l'une des fenêtres de cellule, et la fenêtre de cellule restante peut comporter une matière conductrice, telle que le germanium intrinsèque. Un modèle d'électrode non implantée par des ions d'une fenêtre de cellule est par exemple suffisant pour établir le champ électrique approprié entre les deux fenêtres de cellule. Les couches anti-réfléchissantes 46 et 47 réduisent les réflexions lorsque la lumière passe d'un milieu optiquement transmetteur à un autre. Des revêtements à couche unique et à couches multiples anti- réfléchissantes sont bien connus dans la technique et sont utilisés pour éliminer effectivement des réflexions. De manière idéale, un revêtement à couche unique anti-réfléchissante comporte un matériau dont l'indice de réfraction est la moyenne géométrique des indices de réfraction des deux milieux. Par exemple, les couches 46 anti-réfléchissantes sur les surfaces extérieures des fenêtres de cellule 42 de germanium (n=4,0) peuvent comprendre des revêtements quart de longueur d'onde de sulfure de zinc (n=2,2). A titre également d'exemple, les couches anti- réfléchissantes 47 sur les surfaces intérieures des fenêtres de cellule 42 peuvent comprendre du séléniure de zinc (n=,4) pour s'adapter au film de cristal liquide (n=1,7). Dans certains cas, comme avec les fenêtres d'halogénure, les indices de réfraction des fenêtres 42 et des molécules de cristal liquide 50 peuvent être suffisamment voisins pour que les couches anti-réfléchissantes 47 ne soient pas nécessaires. Les molécules organiques de la phase nématique de cristal liquide présentent un ordre moléculaire à long développement à l'état liquide. Cette orientation ordonnée est illustrée par les molécules 50 de la cellule 40 des Fig.3A et 3B. A la Fig.3A, le faisceau lumineux 52 se propage le long de l'axe Z transversalement aux longs axes moléculaires des molécules 50, et à la Fig.3B, le faisceau lumineux 54 se propage le long de la direction longitudinale des longs axes moléculaires. La disposition moléculaire à long dévelop- pement conjointe à leur forme en tige donne naissance à des caractéristiques optiques anisotropiques. La lumière se propageant le long de la direction longitudinale longue des axes moléculaires, comme dans la Fig.3B, voit un index no, appelé index ordinaire, indépendamment de la polarisation. La lumière se * propageant transversalement aux longs axes molécu- laires, comme dans la Fig.3A, voit également l'index no si la polarisation est normale jusqu'aux longs axes moléculaires; cependant, elle voit l'index ne, l'index extraordinaire, si la polarisation se produit suivant les longs axes moléculaires. Pour des polarisations intermédiaires, l'index effectif est intermédiaire entre nO et ne- La différence entre ne et nO est appelée biréfringence, ' = n - nO La lumière de longueur e O' d'onde A se propageant à travers une mince couche de cristal liquide d'épaisseur t subit un déplacement de phase donné par = (2 l/fI)nt, o n est l'index approprié à la polarisation et à la direction de pro- pagation particulières. La différence dans les dépla- cements de phase entre la lumière polarisée ordinaire et extraordinaire se propageant à travers une couche de cristal liquide aligné est ainsià7 = (21r/A)nt. La quantité 5 est souvent appelée "retard". On voit que ce type de cristal liquide agit comme un retardateur optique, ou plaque d'ondes, ayant un retard ( "L'axe rapide" du retardateur, c'està-dire l'orientation de polarisation ayant l'indice de réfraction plus faible et par conséquent la vitesse d'ondes la plus rapide, est déterminée par la direction d'orientation des molécules de cristal liquide. Pour de nombreux cristaux liquides néma- tiques, n est supérieur à no, et l'axe rapide est orthogonal à l'axe d'orientation moléculaire. Si l'épaisseur de cellule et la biréfringence sont choisis de façon que 0 = (2i + l), o i est tout nombre entier, la cellule est une plaque demi-onde et peut être utilisée pour faire tourner le plan de polarisation de la lumière polarisée linéairement. Les cellules 12 et 14 de la Fig.2 peuvent être choisies avec cette configuration pour fonctionner comme des rotateurs de polarisation. En se référant à nouveau aux Fig.3A et 3B, les cristaux liquides doivent être alignés de manière appropriée et uniformément pour présenter les biré- fringences souhaitées dans les dispositifs volumineux. Ceci est fait habituellement par un traitement spécial des surfaces intérieures extrêmes 47a des revêtements des fenêtres de cellule 42. Si les surfaces inté- rieures extrêmes 47a des revêtements sur les fenêtres 42 ont été "préparées" ou striées par, à titre d'exemple, frottement unidirectionnel par une fine poudre de broyage pour produire des stries extrêmement fines et parallèles,, les molécules 50 de cristal liquide voisines des surfaces intérieures extrêmes 47a vont tendre à s'aligner le long et dans ces minuscules rainures, et par conséquent vont être alignées de manière préférentielle. Si la cellule 40 est mince, comme cela est le cas habituel, et si les rainures sur les surfaces intérieures extrêmes 47a des revêtements des fenêtres 42 sont parallèles, comme dans l'exemple décrit, cette orientation en position est transférée à travers la cellule par les tendances naturelles des molécules 50 pour s'aligner- parallèlement l'une à l'autre. Des profondeurs typiques des stries sont de quelques Xngstroms seulement, pour concorder avec les diamètres effectifs des molécules 50 de cristal liquide. En variante un autre moyen possible de préparation des surfaces 47a est un dépôt de diélec- triques à un angle presque rasant pour créer des petites ondulations parallèles sur la surface 47a. Cette technique de dépôt angulaire peu profond est habituellement le procédé préféré. Avec toutes autres méthodes, les stries sont si considérablement plus petites qu'une longueur d'onde qu'elles donnent une dispersion négligeable, même dans le spectre visible; par conséquent la dispersion dans l'infrarouge est tout à fait insignifiante. L'application d'un champ électrique aux molécules 50 du cristal liquide produit un moment à dipôle électrique, et les molécules 50 tendent à se réaligner avec le champ, soit parallèlement soit perpendiculairement, en fonction de la structure interne des molécules 50 de cristal liquide. Si une surface de chacune des fenêtres de cellule 42 est revêtue par une matière 44 transparente et électri- quement conductrice, et qu'une tension provenant d'une source 56 est appliquée à travers la cellule 40, les molécules 50 tendent à s'aligner perpendiculairement aux faces de cellule 42 pour les cristaux liquides nématiques du présent exemple. Cela détruit l'anisotropie imprimée par la préparation des surfaces 47a. Les molécules 50 sont contrairement à cela alignées suivant la direction de propagation et aucune différence de l'indice de réfraction n'est observée pour les polarisations x, y, le retard étant débranché. L'application d'une tension de quelques volts à travers une cellule ayant une épaisseur de 50 m est de manière typique suffisante pour réduire le retard à partir de sa valeur nominale jusqu'à zéro. Lorsque la tension est supprimée de la source 56, des forces visco-élastiques dans le liquide tendent à réaligner les molécules 50 sur la structure de surface 47a et la biréfringence est rétablie. Les propriétés optiques peuvent facilement être répétées par une itération cyclique de la tension. Des temps de commutation typiques d'un cycle entier sont de l'ordre de quelques à plusieurs millisecondes, en fonction de la matière des cristaux liquides et de la géométrie de la cellule. Le vecteur de polarisation des faisceaux de lumière entrant et sortant selon les exemples des Fig.3A et 3B illustrent la rotation de polarisation de la cellule à cristaux liquides 40. Dans l'exemple de la Fig.3A le faisceau de lumière entrant 52 se propage suivant l'axe Z et a un vecteur de polarisation trans- versal 53. Le vecteur 53 est sélectionné de manière ' que l'angle d i soit de 45', le composant de vecteur 53x suivant l'axe X et le composant de vecteur 53y suivant l'axe Y étant ainsi égaux. En l'absence d'un champ électrique entre les fenêtres des cellules 42, des molécules 50 tendent à être alignées de façon préférentielle, ce qui a pour conséquence que l'axe X devient l'axe lent alors que l'axe Y devient l'axe rapide. Une longueur d'onde présélectionnée du faisceau de lumière 52 et une épaisseur présélectionnée de la cellule 40 (la longueur des pièces intercalaires 58) donne ainsi pour résultat que le composant X du vecteur de sortie 55x est égal au composant X du vecteur d'entrée 53x. Si l'épaisseur de la cellule 40 est la même, le composant Y du vecteur 55y est égale au composant Y du vecteur d'entrée 53y, mais déphasé de 180' par rapport à celui-ci. Etant donné que le composant de sortie X, x et le composant de sortie Y, 55y sont égaux en grandeur, on comprend facilement que levecteur de sortie composé 55 a un angle OI de 135' et est égal en grandeur au vecteur d'entrée composé 53. Ainsi dans la lame demi-onde de cet exemple pour laquelle la polarisation transversale 53 du faisceau d'entrée 52 est décalée de 45 par rapport à l'alignement pré- férentiel des molécules 50, la polarisation trans- versale 55 du faisceau de lumière sortant 52' est tournée de 90' par rapport à la polarisation trans- versale 53 du faisceau d'entrée 52 par l'action de la cellule à cristaux liquides 40 en l'absence d'un champ électrique quelconque à travers les molécules 50. Une épaisseur typique d'une cellule d'une telle lame demionde peut être de 26 ym pour être utilisée dans la plage infrarouge pour une composition typique de cristaux liquides comme par exemple BHD E7, commer- cialisée par British Drug House. En se référant à la figure 3B, la source de tension 56 applique une tension entre les couches électriquement conductrices 44 ce qui crée un champ électrique E entre les fenêtres des cellules 42 pro- voquant l'alignement des.molécules 50 dans la direc-- tion du champ E comme illustré. Comme décrit plus haut il n'y a pas de retard dans cette configuration desmolécules 50. Ainsi pour un faisceau d'entrée 54 ayant un vecteur de polarisation transversale 57 (comprenant un composant X, 57x égal à un composant Y, 57y) la même longueur d'onde présélectionnée du faisceau de lumière 54 et la même épaisseur présélec- tionnée de la cellule 40 auront pour résultat un faisceau de lumière de sortie 54-' ayant un vecteur de polarisation 59 (comportant un composant X, 59x et un composant Y, 59y) qui en grandeur et orientation de polarisation est égal au faisceau d'entrée 54. Ainsi dans cet exemple la polarisation transversale 59 du faisceau de lumière de-sortie 54' n'est pas influée en ce qui concerne la polarisation transversale 57 du faisceau de lumière d'entrée 54 par l'action de la cellule à cristaux liquides 40 en présence d'un champ électrique E provoquant l'alignement des molécules 50 le long de la direction de propagation du faisceau de lumière 54. En résumé, en regardant la figure 2 et les figures 3A et 3B, on peut dire que pour un signal de commande de polarisation 26 issu du circuit 24 qui n'a pas pour résultat un champ électrique à travers les molécules de la cellule 12 (et de la cellule 14), la polarisation du faisceau de lumière d'entrée 11 est tournée de 90' par la cellule 12, et le faisceau de lumière résultant est transmis à travers les lames sous incidence brewstérienne 16 et 18 vers la cellule 14 dans laquelle la polarisation est tournée davantage jusqu'à son état initial. Pour un signal de commande 26 qui provoque un champ électrique à travers les molécules de la cellule 12 (et de la cellule 14), la polarisation du faisceau de lumière d'entrée 11 n'est pas influée par,la cellule 12 et le faisceau de lu- mière résultant est réfléchi par les lames sous incidence brewstérienne 16 et 18 vers la cellule 14 à travers laquelle la lumière repasse sans modifier sa polarisation. En dehors des cristaux liquides nématiques décrits ci-dessus, dans lesquels n > n, et désignés e o comme "homogènes", d'autres cristaux liquides némati- ques, dans lesquels n alignement préférentiel perpendiculaire aux surfaces. Un champ appliqué oriente ensuite les cristaux pa- rallèlement aux surfaces. On voit facilement que la rotation de polarisation par les cristaux orientés de façon homéotropique est analogue à la rotation de polarisation par l'alignement homogène. Une autre forme de cellule à cristaux li- quides adaptée pour être utilisée dans l'unité de temporisation optique de la présente invention est illustrée sur la Fig.3C..Cette cellule est une cellule connue à cristaux liquides torsadés nématiques souvent utilisée dans les unités d'affichage à cristaux li- quides. Dans cette configuration, les stries d'ali- gnement sur la structure intérieure 142a de la fenêtre de cellule 142 sont perpendiculaires aux stries d'ali- gnement sur la surface intérieure 144a de la fenêtre de cellule 144. Dans le mode de réalisation représenté sur la Fig.3C on attire l'attention plus particulièrement sur les Fig.3D et 3E-qui présentent des vues de face des surfaces 142a et 144a. Dans la Fig.3D des stries d'alignement verticales 148 sont montrées- sur la surface 142a de la fenêtre de cellule 142, et la Fig.3E illustre des stries d'alignement horizontales sur la surface 144a de la fenêtre de la cellule 144. L'orientation "torsadée" des rainures d'-ali- gnement a pour effet de provoquer l'alignement des molécules 146 de la cellule 140 comme montré sur la Fig.3C. Les molécules 146 adjacentes à la surface 142a sont alignées verticalement et les molécules 146 adjacentes à la surface 144a sont alignées horizon- talement (normalement au plan de la feuille du des- sin). Les molécules intermédiaires 146 effectuent des orientations intermédiaires uniformes entre les deux orientations extrêmes. Il est bien connu que la direction de polarisation de lumière polarisée dans une direction quelconque transversale à sa direction de propagation suit la torsion successive des molé- cules des cristaux liquides et ont ainsi une pola- risation qui est tournée de 90' par une cellule à cristaux liquides nématiques torsadés 140 du type montré sur la Fig.3C. La cellule 140 de la.Fig.3C correspond à un potentiel de tension -entre ces fenêtres de cellules 142 et 144 de la même façon que la cellule 40 de la Fig.3A. Cela veut dire qu'en présence d'un champ élec- trique entre les fenêtres, les molécules 146 dans le mode de réalisation illustré sur la Fig.3C s'alignent elles-mêmes exactement de la même façon que les mo- lécules 50 de la Fig.3B. On comprend ainsi facilement qu'en présence d'un potentiel de tension entre les fenêtres 142 et 144, de la lumière polarisée dans une direction transversale à la direction de propagation ne subisse aucun changement de polarisation lors- qu'elle se propage à travers la cellule 140. Il a été montré que lorsqu'il n'y a pas de tension électrique entre les fenêtres de cellules 142, 144, la polari- sation transversale de la lumière est tournée de 90' dans la cellule 140 alors que s'il y a une tension électrique entre les fenêtres de cellules 142 et 144 aucune rotation de polarisation n'a lieu.'On voit ainsi que la cellule 140 fonctionne comme un rotateur de polarisation commutable et elle est ainsi adaptée pour être utilisée comme éléments 12, 14 du mode de réalisation de la Fig.i. Un inconvénient du mode de réalisation de base d'une unité de temporisation 10 illustrée schéma- tiquement sur la Fig.2 est qu'il n'est pas adapté à régler la temporisation différentielle entre les deux longueurs de trajets jusqu'à environ zéro. On comprend facilement que pour une largeur de faisceau déterminée il y a une limite inférieure pour la longueur des trajets 28a et 28c, de sorte que les faisceaux seront détournés des lames sous incidence brewstérienne 16 et 18. Un mode de réalisation préféré montré comme l'uni- té de temporisation 60, est schématiquement illustré sur la Fig.4. L'unité de temporisation 60 utilise les mêmes éléments que l'unité de temporisation 10 de la Fig.2, mais est complétée par des éléments assurant des réglages de la longueur optique des trajets de transmission à travers les lames à incidence brews- térienne 16 et 18. Les éléments de la Fig.4 qui sont du type de ceux décrits en référence à la Fig.2 portent les mêmes numéros de référence. La Fig.4 montre deux miroirs 62 et 64 in- terposés dans le trajet optique comprenant une pola- risation comportant un vecteur dirigé vers le haut entre des lames sous incidence brewstérienne 16 et 18. Les deux miroirs 66 et 68 sont montés sur un étage de translation 70 qui est réglable dans les directions indiquées par la flèche 72. La lumière passant à travers la lame sous incidence brewstérienne. 16 est réfléchie par la surface de réflexion 62a du miroir 62 sur la surface de réflexion 66a du miroir 66; sur la surface de réflexion 68a du miroir 68 et finalement sur la surface de réflexion 64a du miroir 64. Le faisceau réfléchi par-la surface 64a vers l'intérieur de la lame sous incidence brewstérienne 18 est coaxial avec le faisceau sortant de la lame sous incidence brewstérienne 16. Dans ce mode de réalisation la temporisation différentielle entre les deux trajets est égale à la différence entre la somme des trajets 28a, 28b et 28c et la somme des trajets 74a, 74b, 74c, 74d et 74e. Ainsi on comprend facilement que les réglages de la position de l'étage de translation 70 suivant les di- rections de la flèche 72 donnent une plage de tempori- sations différentielles des longueurs de trajets, po- sitives et négatives, incluant aussi zéro. La Fig.5 montre une configuration parti- culière des éléments du mode de réalisation de la Fig.4 qui est bien adaptée pour être utilisée dans un réseau de formation de faisceaux comme par exemple le réseau illustré sur la Fig.7. La configuration de la Fig.5 comporte un laser à C02, 82, comportant une ouverture 84 émettant un faisceau de lumière 86. La Fig.5 montre en outre des rotateurs de polarisation commutables 12 et 14, des lames sous incidence brewstérienne 16 et 18, des miroirs 20, 22 et 62-68, un étage de translation 70, et un circuit de commande de polarisation 24 gé.nérant un signal de commande 26.. Ces éléments sont du même type que ceux portant les mêmes numéros de référence sur les figures précé- dentes. Les flèches représentant des vecteurs de polarisation sont montrées de façon périodique le long du faisceau de lumière. Dans la configuration de la Fig. 5 le miroir 62 est disposé suivant unangle tel qu'il réfléchit la lumière dans un plan différent de celui de la lu- mière réfléchie par les éléments 16, 20, 22 et 18. De plus, le miroir 64 est disposé suivant un angle tel que la lumière réfléchie par le miroir 68 est renvoyée vers le plan de l'autre trajet. Dans la Fig. 5, les plans des deux trajets de temporisation sont repré- sentés comme étant orthogonaux mais ceci n'est pas une limitation nécessaire de l'invention. La Fig. 6 représente une configuration en cascade d'unités de temporisation optique qui four- nissent une sélection de plusieurs temporisations. Un appareil 151 comprend plusieurs (dont 3 sont représen- tées) unités de temporisation 152a, b, et c qui sont alignées avec le faisceau de lumière entrant 154. Les unités de temporisation 152a, b et c sont chacune analogues à l'unité de temporisation 10 de l'exemple de réalisation de la Fig. 2. Une unité de temporisation caractéristique 152a comprend un rotateur de polarisation 156a ana- logue au rotateur de polarisation 12 de la Fig. 2 et un dispositif optique de trajet de temporisation 158a qui peut comprendre des éléments optiques analogues aux éléments 16, 18, 20 et 22 du mode de réalisation de la Fig. 2. L'unité de temporisation 10 de la Fig. 2 comprend un rotateur de polarisation 14 pour redonner le vecteur de polarisation d'origine à la sortie du faisceau de lumière; mais dans la configuration en cascade de la Fig. 6, uniquement un seul rotateur de polarisation de restauration est nécessaire et il est placé après l'étage final 152c. Le circuit de commande de polarisation 162 fournit plusieurs signaux de commande 162a, b, c et d respectivement aux rotateurs, de polarisation 156a-, b, c et 160 pour établir la longueur de trajet optique totale à travers l'appareil de. temporisation en cas- cade 151. En utilisant des applications appropriées de signaux de commande 162a, b et c aux unités de tempo- risation 152a, b et c, l'une quelconque des 2n tempo- risations différentes caractéristiques peut être éta- blie à travers l'appareil 151, dans lequel n est le nombre d'unités de temporisation. Etant donné que les unités de temporisation individuelle 152a, b et c du mode de réalisation de. la Fig. 6 ne comprennent pas chacune un rotateur de polarisation de restauration, les fonctions fournies par les signaux de commande 162b, c et d dependent de l'état des signaux de com- mande précédents, et l'état du signal de commande 162d doit être une fonction de la parité des signaux 162a, b et c. La Fig. 7 est une représentation simplifiée d'une configuration comprenant 4 unités de tempori- sation 80 du mode de réalisation préférée de la Fig: 5. La Fig. 7 représente un système de guidage de faisceaux optiques agencés en un réseau 2 par 2. L'é- lément désigné comme étant le groupe axial A 102 com- prend tous les éléments optiques d'une unité de tempo- risation qui sont coaxiaux avec la source et le fais- ceau de sortie, c'est-à-dire les rotateurs de polari- sation commutables 12 et 14, les lames sous incidence brewsterienne 16 et 18 et les miroirs 62 et 64 comme représentés sur la Fig. 5. L'élément désigné comme étant le trajet de temporisation fixe A 110, dans la Fig. 7, comprend les miroirs 20 et 22 du mode de réalisation de la Fig. 5. Enfin l'élément désigné comme étant le trajet de temporisation réglable A 112 dans la Fig. 7 comprend les miroirs 66 et 68 montés sur l'étage de translation 70, comme représenté-dans le mode de réalisation de la Fig. 5. De manière similaire les groupes axiaux B, C et D 104 à 108 et les trajets de temporisation de la' Fig. 7 comprennent les éléments optiques correspondant de trois autres unités de temporisation 80 comme re- présentés sur la Fig. 5. Pour que l'agencement de la Fig. 7 fonctionne comme un système de guidage de fais- ceau à partir d'une source, de manière caractéristique à laser au CO2, et dirigé le long d'un axe normal au plan de la feuille de la Fig. 7 de manière à illuminer les éléments 102 à 108, chacun de ces éléments étant illuminé par un secteur distinct d'une zone 114 de la section du faisceau. Après avoir passé à travers les éléments comprenant les groupes axiaux de même que les trajets de temporisation réglables et/ou fixes corres- pondants, les secteurs de faisceaux sont dirigés indi- viduellement vers des sous-réseaux de dispositifs de décalage de phase du type représenté sur la Fig. 1 comme les sous-réseaux 34. La sélection appropriée des signaux de commande de polarisation associés aux quatre groupes axiaux 102 à 108, le faisceau de sortie composé des sous-réseaux 34 (comme dans la Fig. 1) peut être dirigé vers le haut, vers le bas, vers la gauche, vers la droite ou perpendiculairement à la feuille. Les Figs. 8A à 8C représentent un exemple simplifié de dispositif de guidage de faisceaux uti- lisant un réseau à une dimension avec trois sous-ré- seaux dans lequel chaque sous-réseau comprend trois dispositifs de décalage de phase. Dans chacune des Figs. 8A, 8B et 8C les dispositifs de décalage de phase (non représentés) de chaque sous-réseau peuvent fournir des décalages de phase sélective entre 0et2Â radians. Chaque sous-réseau est alimenté par une unité de temporisation (non représentée) qui fournit une temporisation sélectionnable au faisceau. Dans les Figs. 8A, 8B et 8C les impulsions de lumière sont émises à partir de trois sources cohérentes ayant des centres de faisceau écartés d'une distance D. Dans l1 Fig. 8 les faisceaux des trois sous-réseaux 120, 121 et 122 sont engendrés simultanément et les fronts d'onde de chaque impulsion arrivent simultanément sur une cible qui est perpendiculaire à la surface du réseau ou directement sur le trou de visée. Dans la Fig. 8B les impulsions des faisceaux sont temporisées de t1secondes par rapport aux im- pulsions correspondantes des faisceaux 124 et les im- pulsions des faisceaux 126 sont temporisées de t1se- condes additionnelles par rapport aux impulsions des faisceaux 125. Dans ce cas les fronts d'onde de chaque impulsion arrivent simultanément sur la cible qui est disposée à un angle i = sin-1 (ct1/D), au-dessus du trou de visée, dans laquelle c est la vitesse de la lumière dans les unités, compatible avec t1 et D. De manière similaire la Fig. 8C représente les impulsions des faisceaux 129 temporisées d'une valeur t2secondes par rapport aux impulsions corres- pondantes des faisceaux 128, et les impulsions des faisceaux 130 sont temporisées d'une valeur t2secondes additionnelle par rapport aux impulsions des faisceaux 129. Dans ce cas, les fronts d'onde de chaque impul- sion arrivent simultanément sur la cible qui est dis- posée à un angle Q2 = sin-1 (ct2/D) au-dessous du trou de visée. En considérant un exemple numérique, s'ii est souhaité atteindre un faisceau composé 10 degrés hors du trou de visée et les centres des éléments de sous-réseaux étant écartés de 1Ocm, alors le faisceau approprié peut être formé en temporisant les impul- sions de l'un par rapport à l'autre par t = D sinG/c = 0,06 nanoseconde. Ceci correspond à une différence de longueur de trajet différentielle d'à peu près 1,7cm (0,7 pouces). Bien que les principes de la présente inven- tion aient été décrits plus particulièrement en regard des structures représentés sur les dessins, d'autres - modes de réalisation de structure peuvent être réali- sés dans la présente invention. Ainsi par exemple, il est considéré comme faisant partie des capacités d'un homme de métier de faire varier l'angle entre les plans des deux trajets optiques dans le mode de réali- sation de la Fig. 5 pour permettre une variation des configurations dans un réseau dont un exemple est représenté dans la Fig. 7, et de permettre des réseaux plus larges que des éléments deux par deux. De plus il est également considéré comme faisant partie des at- tributions normales d'un homme de métier d'agencer les dispositifs de manière à diviser le faisceau 114 (com- me représenté sur la Fig. 7), par exemple par réfle- xion ou réfraction, en plusieurs sous-faisceaux, pour fournir des temporisations sélectionnables à chaque sous-réseau en utilisant les principes décrits ci-des- sus, et pour diriger les sous-faisceaux pour leur application à plusieurs sous-réseaux respectifs. La portée de l'invention n'est donc pas limitée à la structure décrite mais par les revendications anne- xées. REVENDICATIONS 1. Appareil sensible à un faisceau lumineux émis par une source destiné à engendrer des tempori- sations pouvant être choisies du faisceau lumineux entre la source et des moyens d'utilisation, l'appareil comprenant: - des moyens pour modifier de manière sélective la polarisation du faisceau lumineux; - des moyens pour fournir plusieurs trajets optiques, entre la source et les moyens d'utilisation, les trajets ayant des longueurs différentes; et - des moyens sensibles à la: polarisation du faisceau lumineux pour diriger le faisceau lumineux le long de l'un desdits plusieurs trajets. 2. Appareil selon la revendication 1 carac- térisé en ce que les moyens modificateurs comportent une cellule à cristaux liquides pour modifier de manière sélective la polarisation du faisceau lumineux émis par les moyens formant source. 3. Appareil selon la revendication 2 caractérisé en ce que les moyens modificateurs comportent en outre une seconde cellule à cristaux liquides destinée à modifier la polarisation du faisceau lumineux émis par la première cellule à cristaux liquides, ladite seconde cellule à cristaux liquides restituant au faisceau lumineux sortant de celle-ci une polarisation égale à la polarisation du faisceau lumineux émis par la source. 4. Appareil selon la revendication 3 caractérisé en ce que.les cellules à cristaux liquides' comportent des molécules de cristaux liquides en phase nématique. 5. Appareil selon la revendication 4 caractérisé en ce que les cellules à cristaux liquides comportent des première et seconde surfaces conductrices, telles que lorsqu'un potentiel électrique est appliqué entre les surfaces, les molécules de cristaux liquides s'alignent dans la direction de propagation du faisceau lumineux. 6. Appareil selon la revendication 5 caractérisé en ce que les trajets optiques sont au nombre de deux. 7. Appareil selon la revendication 6 caractérisé en ce que la dimension des cellules à cristaux liquides à travers lesquelles le faisceau lumineux passe et l'orientation des molécules de cristaux liquides par rapport au faisceau lumineux d'entrée sont choisies pour entrainer une rotation de 90 de la polarisation du faisceau lumineux d'entrée lorsque le potentiel électrique est appliqué entre les surfaces. 8. Appareil selon la revendication 6 caractérisé en ce que les cellules à cristaux liquides comportent des cellules à cristaux liquides nématique torsadées. 9. Appareil selon la revendication 1 caractérisé en ce que les moyens directionnels comportent deux lames sous incidence brewstérienne disposées obliquement par rapport au faisceau lumineux, les lames sous incidence brewstérienne réfléchissant à peu près toute la lumière ayant une première polarisation et frappant celles-ci -et laissant passer à peu près toute la lumière ayant une seconde polarisation et les frappant. - 10. Appareil selon la revendication 9 caractérisé en ce que chacune des surfaces des lames sous incidence brewstérienne sur lesquelles le faisceau lumineux frappe comportent un revêtement en film mince. 11. Appareil selon la revendication 9 caractérisé en ce que les lames sous incidence brewstérienne sont positionnées de façon telle que l'angle d'incidence du faisceau lumineux est à peu près égal à l'angle d'incidence brewstérienne. 12. Appareil selon' la revendication 9 caractérisé en ce que les moyens destinés à fournir plusieurs trajets optiques comportent des premiers moyens réflecteurs destinés à fournir un trajet optique pour la lumière réfléchie par les lames sous incidence brewstérienne. 13. Appareil selon la revendication 12 caractérisé en ce que les moyens destinés à fournir plusieurs trajets optiques comportent en outre des seconds moyens réflecteurs pour produire un trajet optique pour la lumière passant à travers les lames sous incidence brewstérienne. 14. Appareil selon la revendication 13 caractérisé en ce que l'un des premier et second moyens réflecteurs est monté fixe et l'autre des premier et second moyens réflecteurs est monté mobile de façon telle que la longueur différentielle des deux trajets optiques est ajustable. 15. Appareil destiné à fournir un faisceau lumineux de sortie ayant une temporisation pouvant être choisie, l'appareil comprenant: - des moyens formant source pour engendrer un faisceau de lumière à peu près collimatée de polarisation prédéterminée, - des moyens pour modifier de manière sélective la polarisation du faisceau lumineux émis par la source; - des moyens pour fournir plusieurs trajets optiques entre les moyens formant source et le faisceau de sortie, les trajets ayant des longueurs différentes; et - des moyens sensibles à la polarisation du faisceau lumineux émis par les moyens modificateurs de polarisation pour diriger le faisceau lumineux selon l'un des plusieurs trajets. 16. Appareil selon la revendication 15 caractérisé en ce que les moyens formant source comportent un laser à dioxyde de carbone émettant de la lumière infrarouge. 17. Appareil selon la revendication 16 caractérisé en ce que le laser émet une lumière infrarouge ayant une longueur d'onde de l'ordre de 9 à 11,5 Ymètres. 18. Appareil selon la revendication 15 caractérisé en ce que les moyens modificateurs comportent une cellule à cristaux liquides pour modifier de manière sélective la polarisation du faisceau lumineux émis par les moyens formant source. 19. Appareil selon la revendication 18 caractérisé en ce que les moyens modificateurs comportent en outre une seconde cellule à cristaux liquides destinée à modifier la polarisation du faisceau lumineux émis par la première cellule à cristaux liquides, la seconde cellule à cristaux liquides restituant au faisceau lumineux sortant de celle-ci une polarisation égale à la polarisation du faisceau lumineux émis par la source. 20. Appareil selon la revendication 19 caractérisé en ce que les cellules à cristaux liquides comportent des molécules de cristaux liquides en phase nématique. 21. Appareil selon la revendication 20 caractérisé en ce que les cellules à cristaux liquides comportent des première et seconde surfaces conductrices, telles que lorsqu'un potentiel électrique est appliqué entre les surfaces, les molécules de cristaux liquides s'alignent avec la direction de propagation du faisceau lumineux. 22. Appareil selon la revendication P1 caractérisé en ce que les trajets sont au nombre de deux. 23. Appareil selon la revendication 22 caractérisé en ce que la dimension des cellules à cristaux liquides à travers lesquelles le faisceau lumineux émis par la source passe et l'orientation des molécules de cristaux liquides par rapport audit faisceau lumineux entrant sont choisies pour fournir un décalage de 90' de la polarisation du faisceau lumineux entrant lorsque le potentiel électrique est appliqué entre les surfaces. 24. Appareil selon la revendication 22 caractérisé en ce que les cellules à cristaux liquides comportent des cellules à cristaux liquides nématiques torsadés. 25. Appareil selon la revendication 15 caractérisé en ce que les moyens directeurs comportent deux lames sous incidence brewstérienne positionnées obliquement par rapport au faisceau lumineux émis par la source, les lames sous incidence brewstérienne réfléchissant à peu près toute la lumière ayant une première polarisation et les frappant, et laissant passer à peu près toute la lumière ayant une seconde polarisation qui les frappe. 26. Appareil selon la revendication 25 caractérisé en ce que chacune des surfaces des lames sous incidence brewstérienne sur lesquelles le faisceau vient frapper comporte un revêtement en film mince. 27. Appareil selon la revendication 25 caractérisé en ce que les lames sous incidence brewstérienne sont positionnées de façon telle que l'angle d'incidence du faisceau lumineux les frappant est à peu près égal à l'angle d'incidence brewstérienne. 28. Appareil selon la revendication 25 caractérisé en ce que les moyens destinés à fournir plusieurs trajets optiques comportent des premiers moyens réflecteurs destinés à fournir un trajet optique à la lumière réfléchie par les lames sous incidence brewstérienne. 29. Appareil selon la revendication 28 caractérisé en ce que les moyens destinés à fournir plusieurs trajets optiques comportent en outre des seconds moyens réflecteurs destinés à fournir un trajet optique pour la lumière passant à travers les lames sous incidence brewstérienne. 30. Appareil selon la revendication 29 caractérisé en ce que l'un des premier et second moyens réflecteurs est monté fixe et l'autre des premier et second moyens réflecteurs est monté mobile de façon telle que la longueur différentielle des deux trajets optiques est ajustable. 31. Dispositif de formation d'un faisceau optique à réseau en phase comprenant: - des moyens formant source destinés à engendrer un faisceau de lumière à peu près collimatée d'une polarisation prédéterminée; et plusieurs moyens destinés à fournir des temporisations sélectives du faisceau lumineux, chacun desdits plusieurs moyens étant sensible à un secteur distinct de la section transversale du faisceau lumineux, lesdits moyens recombinant les secteurs. transversaux temporisés de manière sélective du faisceau lumineux en un faisceau de sortie, chacun desdits plusieurs moyens comprenant: i) des moyens pour modifier de manière sélective la polarisation du secteur correspondant du faisceau lumineux; ii) des moyens pour fournir plusieurs trajets optiques entre les moyens formant source et le faisceau de sortie, les trajets ayant des longueurs différentes; et iii) des moyens sensibles à-la polarisation de la lumière dans le secteur'correspondant destinés à diriger le secteur correspondant du faisceau lumineux le long de l'un desdits plusieurs trajets. 32. Dispositif selon la revendication 31 caractérisé en ce que les moyens formant source comportent un laser à dioxyde de carbone émettant une lumière infrarouge. 33. Dispositif selon la revendication 32 caractérisé en ce que ie laser émet une lumière infrarouge ayant une longueur d'onde de l'ordre de 9 à 11,5 ymètres. 34. Dispositif selon la revendication 31 caractérisé en ce que chacun des moyens modificateurs comporte une cellule à cristaux liquides destinée à modifier de manière sélective la polarisation du faisceau lumineux émis par les moyens formant source. 35. Dispositif selon la revendication 34 caractérisé en ce que les moyens modificateurs comportent en outre une seconde cellule à cristaux liquides, destinée à modifier la polarisation du faisceau lumineux émis par la première cellule à cristaux liquides, la seconde cellule à cristaux liquides restituant au faisceau lumineux sortant de celle-ci une polarisation égale à la polarisation du faisceau lumineux émis par la source. 36. Dispositif selon la revendication 35 caractérisé en ce que les cellules à cristaux liquides comportent des molécules de cristaux liquides en phase nématique. 37. Dispositif selon la revendication 36 caractérisé en ce que les cellules à cristaux liquides comportent des première et seconde surfaces conduc- trices, telles que lorsqu'un potentiel électrique est appliqué entre les surfaces, les molécules de cristaux liquides s'alignent avec la direction de propagation du secteur correspondant du faisceau lumineux. 38. Dispositif selon la revendication 37 caractérisé en ce que lesdits trajets optiques sont au nombre de deux. 39. Dispositif selon la revendication 38 caractérisé en ce que la dimension des cellules à cristaux liquides à travers lesquelles le secteur correspondant du faisceau lumineux passe et l'orientation des molécules de cristaux liquides par rapport audit faisceau lumineux entrant sont choisies dé manière à engendrer un décalage de 90 de la polarisation du faisceau lumineux entrant lorsque le potentiel électrique est appliqué entre les surfaces. 40. Dispositif selon la revendication-38 caractérisé en ce que les cellules à cristaux- liquides comportent des cellules à cristaux liquides nématiques torsadés. 41. Dispositif selon la revendication 31 caractérisé en ce que les moyens directeurs comportent deux lames sous incidence brewstérienne positionnées obliquement par rapport au secteur correspondant-du faisceau lumineux, les lames sous incidence brewsté- rienne réfléchissant à peu près toute la lumière ayant une première polarisation et les frappant, et laissant passer -à peu près toute là lumière ayant une seconde polarisation et les frappant. 42. Dispositif selon la revendication 41 caractérisé en ce que chacune des surfaces des lames sous incidence brewstérienne sur lesquelles le faisceau lumineux frappe comportent un revêtement en film mince. 43. Dispositif selon la revendication 41 caractérisé en ce que les lames sous incidence brewstérienne sont positionnées de façon telle que l'angle d'incidence du faisceau les frappant est à peu près égal à l'angle d'incidence brewstérienne. 44. Dispositif selon la revendication 41 caractérisé en ce que les moyens destinés à produire plusieurs trajets optiques comportent des premiers moyens réflecteurs destinés à produire un trajet optique pour la lumière réfléchie par les lames sous incidence brewstérienne. 45. Dispositif selon la revendication 44 caractérisé en ce que les moyens destinés à produire plusieurs trajets optiques comportent en outre des seconds moyens réflecteurs destinés à fournir un trajet optique pour la lumière passant à travers les lames sous incidence brewstérienne. 46. Dispositif selon la revendication 45 caractérisé en ce que l'un des premier et second moyens réflecteurs est monté de manière fixe et l'autre des premier et second moyens réflecteurs est monté de manière mobile de façon telle que la longueur différentielle des deux trajets optiques est ajustable. 47. Dispositif selon la revendication 46 caractérisé en ce que les moyens fournisseurs de trajet optique sont au nombre de quatre. 48. Dispositif selfon la revendication 47 caractérisé en ce que les plans des premier et second trajets optiques sont orthogonaux. 36 >38 UNITEDEt 38 ------------ WMIERE ET. 3436- -_________ 36 j3 OURCE DE ILUMIERE ET 34 IRESEAU DE 32 3 FORMATION DE FATSCAI\ UNITg DE36 TEll po51%t3 -TION' 34- 36 - 0, NITEDE rM _36 38 o -Tl On'6 F/G. 1 r',t GO qSZ A \ /H:^oSg-.-',,/t _ \-._ >" ' " _|| éS o @ +t 6'Z 3;o SU8NS |'o * '1yNOI VSI UV*O 3/9 2628223 F/G.à. I1 ,5 /5353 x 55 46 -47a 47a-4 48 i/I46 464 44 \47 47 44 42 FIG 3A 56 40 x 4px // // /5757x -59x 54 4 I1 57y 59y y / '"470 47oA y Y 46424447 4744 6 FIG. 38 4/9 142 144 ' "146 F/G. 3C 1420o 1 1 144a -142 144 F/. 30 F/G. 3E FIG. 3'0 FIG. 3'E Co t D'U GO no C(. z DU DOe QZ j7I - I DI-t9 7Lz T3.N Dez osOL I I h _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ N O LL V SI UIV 1O d 9z aciNvwwoD 6/9 COMMANDE DE POLARISATION 24 -82 2 6 0- FAISCEAU DE SORTIE COMMANDE DE| 1(5 POLARAo iTiON| I \- \ \ 162, 1620 -162b -162c -162d i II UNITE DE,1 52a UNITE DE,152b |UNITE DE,5c RRT 156aaI 156b58b OT 156C 158cROT 54D DE TRITDE TAJETsl D.-6 154 POL.TRAJETS TRAJET POL T ETS ENTREE DE LUMIERE TEHPOP-IIHP I IPOEE__I ^T10Nt i SRION I STIO' I I L_ _ __I L__ _ L_ _ _.__ o, ro Co FIG. 6 8/9 A B FIXE FIXE 102 4 -. _104 112 o' u / TRAJET A DE T-eH PORSATIOUI GROUPE AXIAL GROUPE AXIAL B VARIABLE REGLABLE I _ _ _ TRAJET C DE\, GROUPE AXIAL GROUPE AXIAL D REGLABLE REGLABLE 106 108 TRAJET C TRAJET D DE DE TEMPoRP - TEH PO P4 $RTIoW SArrONi FIG. 7 9/9 2628223 T D 12 D) f122 FIG 8AI F/G. sa 126 ft25 T, ô==--'2 F/G. 8B i F/G. 8C