Brevet FR2629475A1 — publié le 19891006

Procédé d'obtention d'une couche monocristalline ternaire hé- téro-épitaxiée sur une couche binaire et creuset pour sa mise en oeuvre'. La présente invention a pour objet un procédé d'ob- tention par hétéro-épitaxie d'au moins une couche monocristal- line d'un composé ternaire sur au moins un substrat monocris- tallin de composition binaire, dans lequel une première solu- tion saturée du composé ternaire est amenée en contact avec ledit substrat, l'ensemble étant porté de manière homogène à une première température, puis refroidi avec une première vi- tesse décroissante donnée jusqu'à une deuxième température de manière à réaliser ladite épitaxie. Selon l'art antérieur, ce procédé classique permet d'obtenir une épaisseur de couche épitaxiée d'environ 100 mi- crons. Un creuset correspondant à ce procédé a été décrit dans le brevet FR 1600341 déposé par la Demanderesse. La technique utilisée consiste à disposer un ou plu- sieurs substrats en GaAs dans un creuset et à les recouvrir d'une solution ternaire saturée (GaAlAs). L'épaisseur de la croissance est limitée en raison du fait que la solution s'ap- pauvrit localement en Al au fur et à mesure de la croissance et du refroidissement. Or la réalisation de diodes à substrat GaAlAs transparent combinant un haut rendement et faible con- sommation nécessite une couche de substrat ternaire d'au moins microns d'épaisseur. Plusieurs articles publiés récemment, dont notamment celui paru dans 'Electronique Industrielle' n 133 novembre 1987 p.27-28 notamment, mentionnent explicitement que les pro- blèmes technologiques relatifs à la réalisation d'une couche de 150 microns de GaAlAs ne sont pas résolus. Or les débouchés potentiels des diodes électroluminescentes à substrat transpa- rent apparaissent très importants. Il est par ailleurs patent que les procédés actuel- lement connus et qui ont pour objet d'améliorer les condi- tions de croissance épitaxiale relèvent de techniques de labo- ratoire, non extrapolables à une fabrication industrielle dans des conditions de coût satisfaisants. Un premier procédé connu améliorant la croissance de couches de composition binaire, en l'occurence en GaAs, a été proposé par J.T. DALY et al dans le Journal of Cristal Growth 78 (1986) North Holland p.291-302. Il consiste à réaliser une circulation laminaire permanente de la solution sur le subs- trat de manière à assurer que la solution soit constamment sa- turée à l'interface avec le substrat. Ce procédé est compliqué de mise en oeuvre et son coût le destine plus à des travaux de laboratoire qu'à une fabrication idustrielle. En outre, son efficacité éventuelle pour la crois- sance de couches ternaires n'a pas été évaluée. L.E. STONE et al dans "Growth of thick GaxAllxAs layers by liquid phase epitaxy" (Texas Instru- ments Inc) ont suggéré un procédé pour réaliser des couches épaisses de GaAlAs, dans lequel un substrat en GaAs est amené à la surface d'une solution saturée, l'ensemble étant placé dans un four produisant non pas une température homogène de l'ensemble, mais un gradient de température vertical, assurant le transport de matériau ternaire en phase liquide et le main- tien de la croissance. La croissance s'opére à température constante ou tout du moins avec une légère décroissance de température au cours du temps. Ce deuxième procédé connu impose de traiter les substrats un à un, et il ne se prête ni au traitement collec- tifs de substrats, ni à la réalisation successive, sans re- froidissement complet des substrats, de plusieurs couches épi- taxiées. En outre, la stabilisation du gradient thermique est relativement longue. Ce procédé'ne convient donc pas non plus à une mise en oeuvre industrielle. La présente invention a alors pour objet un procédé de fabrications de substrats ternaires, par exemple GaAlAs, par hétéroépitaxie sur un substrat binaire, par exemple GaAs, de manière à atteindre des épaisseurs plus grandes, de l'ordre de 200 microns et plus pour le GaAlAs. L'idée de base de l'invention vient de la mise à profit de l'existence à la surface du bain, à la fin d'une épitaxie classique réalisée dans un creuset, avec refroidis- sement par décroissance thermique entre deux températures, d'une croûte polycristalline. La Demanderesse a constaté que cette croûte était de composition ternaire, donc contenant 50% d'arsenic, et a émis l'hypothèse qu'elle provenait de micro- germes de GaAlAs qui se forment spontanément au cours de la décroissance thermique et qui, moins denses que la solution, viennent flotter à la surface du bain y former une masse soli- de. Or, pour remédier au phénomène d'appauvrissement de la solution en As au niveau de l'interface de croissance cris- talline, il est justement recherché de provoquer une circula- tion apte à enrichir localement la solution en As. La Demanderesse a constaté qu'en disposant le subs- trat à épitaxier en contact avec la surface de la solution, ce qui pourrait être considéré a priori comme déconseillé en rai- son précisément de la formation sur cette surface d'une croûte indésirable en fin d'épitaxie, on pouvait obtenir des épais- seurs épitaxiées plus grandes, toutes choses égales par ail- leurs, que dans le cas o le substrat est recouvert par la so- lution. La Demanderesse interprète ce phénomène surprenant par le fait que les germes riches en As qui viennent flotter au niveau de l'interface de cristallisation, se redissolvent dans la couche d'interface de solution appauvrie en As et l'enri- chissent en As ce qui permet de poursuivre plus avant la croissance. Le procédé selon l'invention est ainsi caractérisé en ce que ladite mise en contact de la première solution du composé ternaire, par exemple GaAlAs, notamment dopé, avec le substrat, par exemple en GaAs, notamment dopé, du type opposé est réalisée en disposant une face inférieure dudit substrat en contact avec la surface de ladite solution. Selon une variante préférée, le procédé comporte une étape ultérieure de mise en contact du substrat épitaxié avec la surface d'une deuxième solution saturée du composé ternaire, l'ensemble étant refroidi avec une deuxième vitesse de décroissance donnée jusqu'à une troisième température, no- tamment de manière à créer une jonction entre deux couches épitaxiées. On évite ainsi d'avoir à refroidir jusqu'à la tem- pérature ambiante le substrat épitaxié entre les deux épita- xies. La première température est avantageusement compri- se entre 850 et 880 C, la deuxième température est de 700 C et la première vitesse de décroissance, comprise entre 0,6 et 1,20C/mn. Le procédé peut comporter, notamment en vue de réa- liser des diodes électro-luminescentes à substrat GaAlAs transparent, une étape d'enlèvement du substrat de composition binaire. L'invention concerne également un creuset pour épi- taxie à deux bains dans lequel des substrats à épitaxier sont disposés dans un porte-substrats disposé dans un corps de creuset, et comportant au moins une tirette dont le déplace- ment permet de mettre les substrats successivement en contact avec les deux bains d'épitaxie. Un tel creuset est connu en particulier du brevet français FR1600341 déposé par la Demanderesse. La titette est dans ce cas constituée par le porte-substrat lui-même, et les solutions viennent baigner les substrats disposés sur le fond de la tirette porte-substrats. Pour les raisons indiquées ci-dessus, il est sou- haité réaliser l'épitaxie en plaçant les substrats en contact avec la surface du liquide, et en outre de réaliser deux épi- taxies à la suite l'une de l'autre ce qui évite d'avoir à re- froidir entre temps le substrat épitaxié et donc de subir les inconvénients de l'oxydation éventuelle de Al. Dans ce but le creuset selon l'invention est carac- térisé en ce que le porte-substrat est fixe en translation par rapport au corps de creuset, en ce qu'il présente une région centrale dans laquelle est ménagé un réceptacle ayant un fond présentant au moins une ouverture dégageant une majeure partie de la face inférieure des substrats lorsqu'ils y sont dispo- sés, en ce qu'il présente une première et une deuxième fente disposées sur des rebords bordant de part et d'autre ladite région centrale, en ce qu'il comporte au-dessus du porte subs- trat un dispositif porte-solutions fixe en translation par rapport au corps du creuset et comprenant un premier et un deuxième réservoirs destinés à recevoir respectivement une première et une deuxième solutions d'épitaxie, dont le fond présente respectivement une troisième et une quatrième fente disposées immédiatement au-dessus des première et deuxième fentes, en ce qu'il comporte, en-dessous du porte-substrats, une première tirette présentant dans une partie centrale, un rebord présentant une face supérieure de dimension au moins égale à celle des première et deuxième fentes et une première et une deuxième partie de part et d'autre du rebord, en ce qu'il comporte une deuxième tirette se superposant à la pre- mière partie de la première tirette, la deuxième tirette ayant une épaisseur sensiblement égale à celle dudit rebord et pré- sentant au voisinage d'un bord jouxtant ledit rebord, un trou dans lequel est susceptible de s'engager un pion de blocage, -reposant par son poids sur la surface supérieure de la deuxième tirette, le pion de blocage étant disposé à une première extrémité du corps du creuset jouxtant le deuxième réservoir, de telle sorte que la première tirette est transla- table entre une position arrière o elle vient en butée sur une deuxième extrémité du corps du creuset jouxtant le premier réservoir et une position avant o, d'une part, le rebord de la première tirette n'obturant plus la première fente, la pre- mière solution s'étant écoulée sur la première partie de la première tirette vient lécher la face inférieure des substrats et o, d'autre part, le pion de déblocage est retombé par gra- vité dans le trou de la deuxième tirette, ce qui fait que le retour de la première tirette vers la position arrière provo- que le reflux de la première solution vers le premier réser- voir, et l'écoulement de la deuxième solution sur la deuxième partie de la première tirette de manière à venir lécher la fa- ce inférieure des substrats. Selon un mode de réalisation préféré, l'ouverture du porte-substrats présente des nervures espacées de manière à recevoir les bords des substrats, et les substrats sont recou- verts d'une plaque de mêmes dimensions que le réceptacle. Ceci permet d'assurer que la solution ne vienne pas mouiller la face supérieure des substrats, et limite son écou- lement. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, donnée à titre d'exemple non limi- tatif, en liaison avec les dessins qui représentent: - les figures 1 et 2 illustre deux procédés de l'art anté- rieur, respectivement à circulation laminaire continue de so- lution et à gradient thermique vertical. - les figures 3a et 3b représentent respectivement en coupe verticale et en vue de dessus un creuset pour la mise en oeu- vre du procédé selon l'invention, et la figure 3c une vue de dessus du porte-substrats. - les figures 4a à 4d illustrant le fonctionnement du creuset des figures 3a et 3b. - les figures 5a à 5c représentent des courbes de croissance épitaxiale de GaAlAs sur substrat GaAs, respectivement d'é- paisseur de couche en fonction de la vitesse de descente en température à une température de départ donnée, d'épaisseur de couche en fonction de la hauteur de solution à une température de départ donnée, et l'épaisseur de la couche épitaxiale en fonction de la température de départ à vitesse de descente en température donnée. La figure 1 illustre la technique de croissance épitaxiale à flot laminaire de solution utilisé par J.T. DALY et al pour la croissance de GaAs. Une solution saturée 5 de température To contenue dans un réservoir 3 situé à gauche sur la figure est connecté par l'intermédiaire d'un canal rectan- gulaire étroit 4 à un réservoir 7 situé à droite sur la figu- re. Une injection de gaz en 8 cause une surpression entraînant une circulation de la solution 5 à travers le canal 4, vers le réservoir 7. Un porte substrat 2 maintient un substrat 1 en contact avec la solution en un pont du canal 4 o le flux de solution est laminaire. Le substrat 1 est refroidi jusqu'à une température T' inférieure à To tout au long du processus d'é- pitaxie, grâce à une circulation de gaz 10. Cette technique n'a été évaluée que pour des croissances de couche de composi- tion binaire et en tout état de cause, elle nécessite la mise en oeuvre d'un appareillage compliqué, de grandes dimensions en raison de la quantité de solution requise (100cm3) et de ce fait difficile à réguler en température. Le traitement d'une quantité importante de substrats apparaît difficile à réali- ser. Pour toutes ces raisons, ce procédé n'est pas industria- lisable dans de bonnes conditions. La figure 2 correspond au procédé de croissance d'une couche de composition ternaire tel que décrit par STONE et al dans l'article précité. Un creuset 23 rempli d'une solution 24 de Ga est placé dans un four 25 et un substrat 20 est mis en contact avec la surface 26 de la solution 24. Le principe de croissan- ce est le transport de matériau ternaire mettant en oeuvre un gradient thermique. A cet effet, une source ternaire solide est disposé dans la solution à un niveau de celle-ci qui est de 10iC plus chaud que le substrat 20. En raison de la diffé- rence de solubilité dûe au gradient thermique, une migration et un transport de matière se produit et maintient la crois- sance. La croissance est réalisée uniquement à partir de matière circulant par thermo-migration. La croissance propre- ment dite n'est pas rapide (moins d'un micron par minute). Un inconvénient est la stabilisation du gradient thermique qui prend quatre heures environ pour un four traitant un seul sub- strat. En outre, il est pratiquement impossible de réali- ser des fours à gradient thermique permettant de traiter une pluralité de substrats en raison des problèmes d'homogénéité de température qui se poseraient avec de telles géométries. Selon l'invention au contraire, l'épitaxie de la couche ternaire s'effectue dans des conditions qui sont très proches des méthodes traditionnelles de l'épitaxie liquide. En effet, ainsi qu'on va le montrer dans la suite de la descrip- tion, il n'est besoin ni de provoquer une circulation laminai- re dans la solution, ni de mettre en oeuvre un gradient ther- mique, mais d'utiliser un-phénomène secondaire jusque là cons- taté mais non analysé. Ce phénomène est l'apparition d'une croûte poly- cristalline de composition thernaire que l'on recueille à la surface du bain en fin d'épitaxie. Plus particulièrement, l'a- nalyse de la composition de cette croûte montre qu'il ne s'a- git pas de la cristallisation sur place de la solution, mais qu'elle provient d'éléments qui ont migré à cet endroit. Comme la solution ne présente pas de gradient thermique qui, d'ail- leurs seulement dans des conditions très précises, aurait pu entraîner une migration, la Demanderesse a émis l'hypothèse qu'il s'agissait de micro-germes solides se produisant locale- ment et spontanément dans le bain d'épitaxie et venant flotter à la surface. L'invention repose alors sur l'idée que, si on dis- pose les substrats à épitaxier à la surface du bain d'épita- xie, ces micro-germes, loin de perturber l'épitaxie comme on aurait pu le penser, la favorisent au contraire car il se re- dissolvent à l'interface d'épitaxie appauvri en As et le réen- chérissent ainsi en As ce qui permet de poursuivre plus loin la croissance. On va maintenant décrire, à titre d'exemple un creuset permettant de réaliser une épitaxie selon l'inven- tion. Ce creuset est prévu pour contenir deux solutions, ce qui permet si on le désire, de réaliser deux épitaxies à la suite l'une de l'autre sans avoir à refroidir le substrat et le sortir du four d'épitaxie. En effet, un tel refroidissement, outre un rallon- gement des temps de fabrication, peut causer des inconvénients en raison des risques d'oxydation de l'Al de la couche de GaAlAs, gênante pour réaliser des épitaxies ultérieures. Le creuset comporte un corps de creuset 40 présen- tant une première extrémité 41 comportant un alésage 42 sus- ceptible de recevoir un pion 43, et une deuxième extrémité 44 et un fond 45. Un porte substrats 70 fixe en translation par rapport au corps du creuset 40 est pris en sandwich entre, à sa partie supérieure, un porte-solutions 80 et un système mo- bile en translation et comportant deux tirettes 50 et 60. Le porte-solutions 80 comporte deux réservoirs 85 et 86 séparés par un rebord 83 et présentant chacun sur son fond une fente, respectivement 81 et 82, destinée à l'écoule- ment de la solution à travers des fentes correspondantes, dis- posées juste en dessous, respectivement 71 et 72, qui sont mé- nagés à deux extrémités sur des rebords du porte-substrats 70. La première tirette 50 présente une partie centrale comportant un rebord 54 dont la face supérieure a une dimen- sion au moins égale à celle des fentes 71 et 72, de manière à pouvoir alternativement obturer l'une ou l'autre lorsque la tirette 50 est actionnée entre ses positions extrêmes. La par- tie centrale de la tirette 50 présente également un sabot 53 coulissant le long du fond 45 du corps de creuset 40. La première tirette présente une première 51 et une deuxième partie 52 disposées de part et d'autre de la partie centrale, et traversant les extrémités respectivement 44 et 41 du corps de creuset 40. La deuxième tirette 51 est une simple plaque d'é- paisseur sensiblement égale au dépassement en hauteur du re- bord 54 par rapport à la deuxième partie 52 de la tirette 50, et elle comporte, au voisinage de son extrémité proche du re- bord 54 une ouverture 61 propre à coopérer avec le pion 43. Plus particulièrement selon la figure 3c, le porte- substrats comporte un réceptacle 73 présentant en son fond une ouverture 74 bordée par des mesures 75 sur lesquelles reposent les bords des substrats 90, l'ouverture 74 dégageant la majeu- re partie de la face inférieure des substrats 90. Une plaque rectangulaire 76 de même dimensions que le réceptacle 73 vient recouvrir les substrats 90 en les maintenant sur les nervures , et limite également l'écoulement des solutions en les em- pêchant notamment de baigner la face supérieure des substrats 90. Selon les figures 4a à 4d, les différentes opéra- tions relatives à une épitaxie double sont les suivantes. Les réservoirs 85 et 86 sont remplis de solutions saturées ternaires A et B, par exemple du Ga dans lequel a été dissout à saturation du GaAs et de l'Al avec addition d'au moins un dopant correspondant aux caractéristiques désirées pour les couches épitaxiées. A la figure 4a, le sabot 53 de la tirette 50 est en butée contre l'extrémité 44 du corps de creuset 40, et son re- bord 54 obture la fente 71, empêchant l'écoulement de la solu- tion A. La deuxième tirette 60 obture quant à elle la fente 72 empêchant l'écoulement de la solution B. L'ensemble est porté au premier palier de température. A la figure 4b, la tirette 50 est poussée en direc- tion de l'extrémité 41 du corps de creuset 40 jusqu'à venir en butée sur celle-ci. La solution A peut ainsi s'écouler sur le dessus de la première partie de la tirette 51 et venir lécher la face inférieure des substrats 90. On réalise alors la dé- croissance de la température selon la vitesse choisie jusqu'à arriver à la deuxième température. On retire ensuite la tirette 50 de manière que le sabot 53 revienne en butée contre l'extrémité 44 du corps de creuset 40. La deuxième tirette 60 reste en position, le pion 43 étant descendu par gravité dans l'ouverture 61, ce qui fait que la solution B vient recouvrir la deuxième partie 52 de la première tirette 50, et baigner la face inférieure des subs- trats 90. La solution B est saturée de manière à se trouver à l'équilibre à la deuxième température. La descente en température est poursuivie avec la vitesse choisie (éventuellement en maintenant la même vitesse) jusqu'à arriver à la troisième température. Si aucune autre épitaxie n'est prévue, la troisième température peut être la température ambiante (la croissance épitaxiale s'arrête d'elle-même vers 550 C). * Les figures 5a à 5c représentent les courbes carac- OS téristiques de l'épaisseur maximale E exprimée en microns d'une couche épitaxiée de GaAlAs en fonction respectivement de la vitesse de variation de la température dS/dt exprimée en OC par minute, pour une température de départ de 880 C, de la hauteur de la solution exprimée en mm pour une température de départ de 880"C, et en fonction de la température de départ exprimée en C pour un hauteur h la solution de 8mm et une vi- tesse de variation de température de/dt de 0,6 C/mn. La deu- xième température est de l'ordre de 700 C. Par exemple, pour T = 880"C, h = 8mm et d9/dt = 0,6"C/mm, on obtient une couche épitaxiée de GaAlAs d'un peu plus de 200 microns d'épaisseur au bout de 5 heures, soit une vitesse de croissance de 0,7 microns/mm. Dans le cas o on envisage de fabriquer des diodes électro-luminescentes à substrat transparent, lesquelles né- cessitent ainsi qu'on l'a mentionné ci-dessus, une couche de GaAlAs d'au moins 150 microns d'épaisseur, une étape ultérieu- re connue en soi consiste à enlever par des moyens connus (at- taque chimique sélective) le substrat initial de GaAs qui a servi à la croissance. Du fait que ces diodes présentent un substrat transparent, la lumière émise par la diode est très peu absorbée dans celle-ci, et les rendements lumineux sont bien supérieurs à celui des diodes à substrat non transparent (GaAs). REVENDICATIONS 1. Procédé d'obtention par hétéro-épitaxie liquide d'au moins une couche monocristalline d'un composé ternaire sur au moins un substrat monocristallin de composition binai- re, dans lequel une première solution saturée du composé ter- naire est amenée en contact avec ledit substrat, l'ensemble étant porté de manière homogène à une première température, puis refroidi avec une première vitesse de décroissance donnée jusqu'à une deuxième température de manière à réaliser ladite épitaxie caractérisé en ce que ladite mise en contact est réa- lisée en disposant une face inférieure dudit substrat en con- tact avec la surface de ladite solution. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le substrat est en GaAs d'un premier type de conductivité et la première solution est constituée par du Ga dans lequel est dissout de l'Al et du GaAs, et au moins un dopant de ma- nière à réaliser une couche épitaxiée dopée. 3. Procédé selon la revendication 1 caractérisé en ce qu'il comporte une étape ultérieure de mise en contact du sub- strat ainsi épitaxié avec la surface d'une deuxième solution du composé ternaire, l'ensemble étant refroidi avec une deu- xième vitesse de décroissance donnée jusqu'à une troisième température. 4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que le substrat est en GaAs d'un premier type de conductibili- té, la première solution est constituée par du Ga dans lequel est dissout de l'Al et du GaAs et au moins un dopant du pre- mier type de conductivité de manière à réaliser une couche épitaxiée du premier type de conductivité et la deuxième solu- tion est constituée par du Ga dans lequel est dissout de l'Al et du GaAs et au moins un dopant d'un deuxième type de conduc- tivité opposé au premier de manière à réaliser une couche épi- taxiée d'un deuxième type de conductivité. 5. Procédé selon une des revendications 3 ou 4 carac- térisé en ce qu'il comporte une étape ultérieure d'enlèvement du substrat de composition binaire. 6. Procédé selon une des revendications précédentes caractérisé en ce que la première température est comprise en- tre 850 et 880"C, en ce que la deuxième température est de sensiblement 7000C et en ce que la première vitesse de dé- croissance est comprise entre 0,6 et 1,20C/mm. 7. Creuset pour épitaxie à deux bains dans lequel des substrats à épitaxier sont disposés dans un porte-substrats disposé dans un corps de creuset, et comportant au moins une tirette dont le déplacement permet de mettre les substrats successivement en contact avec les deux bains d'épitaxie, ca- ractérisé en ce que le porte-substrats (70) est fixe en trans- lation par rapport au corps de creuset (40), en ce qu'il pré- sente une région centrale dans laquelle est ménagé un récepta- cle (73) ayant un fond présentant au moins une ouverture (74) dégageant une majeure partie de la face inférieure des sub- strats (90) lorsqu'ils y sont disposés, en ce qu'il présente une première (71) et une deuxième (72) fentes disposées sur des rebords (77) bordant de part et d'autre la dite région centrale, en ce qu'il comporte au- dessus du porte-substrats (70), un dispositif porte-solutions (80) fixe en translation par rapport au corps de creuset (40) et comprenant un premier (85) et un deuxième (86) réservoirs destinés à recevoir res- pectivement une première (A) et une deuxième (B) solution d'é- pitaxie, et dont le fond présente respectivement une troisième (81) et une quatrième (82) fente disposées immédiatement au dessus des première (71) et deuxième (72) fentes, en ce qu'il comporte, en dessous du porte-substrats (70) une première ti- rette (50) présentant dans une partie centrale, un rebord (54) présentant une face supérieure de dimension au moins égale à celle des première (71) et deuxième (72) fentes, et une pre- mière (51) et une deuxième (52) partie de part et d'autre du rebord, en ce qu'il comporte une deuxième tirette (60) se su- perposant à la deuxième partie (52) de la première tirette, la deuxième tirette ayant une épaisseur sensiblement égale à celle dudit rebord (54) et présentant au voisinage d'un bord (62) jouxtant ledit rebord (54), un trou (61) dans lequel est susceptible de s'engager un pion de blocage (43) reposant par son poids sur la surface supérieure de la deuxième tirette (60), le pion de blocage (43) étant disposé à une première ex- trémité (41) du corps du creuset jouxtant le deuxième réser- voir (86), de telle sorte que la première tirette (50) est translatable entre une position arrière o elle vient en butée sur une deuxième extrémité (44) du corps du creuset (40) joux- tant le premier réservoir (85) et une position avant o, d'une part, le rebord (54) de la première tirette (50) n'obturant plus la première fente, la première solution (A) s'étant écou- lée sur la première partie (51) de la première tirette vient lécher la face inférieure des substrat (90) et o, d'autre part, le pion de blocage (43) est retombé par gravité dans le trou (61) de la deuxième tirette (60), ce qui fait que le re- tour de la première tirette (50) vers la position arrière pro- voque le reflux de la première solution (A) vers le premier réservoir (85) , et l'écoulement de la deuxième solution (B) sur la deuxième partie (52) de la première tirette (50) de ma- nière à venir lécher la face inférieure des substrats (90). 8. Creuset selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'ouverture (74) du porte-substrats (70) présente des.ner- vures (75) espacées de manière à recevoir les bords des subs- trats (90), et en ce que les substrats (90) sont recouverts d'une plaque (76) de même dimension que le réceptacle (73).