Brevet FR2634061A1 — publié le 19900112

EVAPORATEUR A BOMBARDEMENT ELECTRONIQUE MUNI DE MOYENS DE RECUPERATION DES ELECTRONS RETRODIFFUSES. Description La présente invention a pour objet un évapo- rateur à bombardement électronique muni de moyens de récupération des électrons rétrodiffusés. Dans un évaporateur à bombardement électro- nique, une cible (du métal le plus souvent) est chauf- fée sous l'impact d'un faisceau d'électrons. Comme on le voit sur la figure 1, un évapo- rateur comporte un canon à électrons 10 émettant un jet d'électrons 12 accélérés sous quelques dizaines de kilovolts. Une alimentation continue 18 engendre sur une sortie S1 une différence de potentiel appli- quée entre la cathode 20 et l'anode 22 du canon à électrons 10. La trajectoire du faisceau 12 est cour- bée par un champ magnétique B de quelques dizaines de Gauss. Le faisceau 12 ainsi dirigé frappe la cibLe 14 contenue dans un creuset 16 et ainsi l'échauffe jusqu'à sa température d'évaporation. Dans des conditions usuelles d'utilisation, l'alimentation 18 fournit un courant Io de 10A pour une tension Vo de -30 kV entre cathode 20 et anode 22 par exemple. Le faisceau d'électrons 12 irradiant la cible 14 possède alors une puissance incidente Po de 300 kW. Mais cette puissance incidente Po n'est pas entièrement consommée pars l'échauffement de la cible 14. En particulier, une partie de la puissance Po est perdue sous forme de réémission par la cible 14 d'électrons dits secondaires 24. Ces électrons secondaires sont de deux types: - les électrons secondaires vrais, formant une émission de surface caractérisée par une faible énergie (inférieure à 50 eV), - les électrons rétrodiffusés, dûs à des chocs élastiques à l'intérieur de la cible 14; ils sont comparables à des électrons réf échis par la cible 14. Les trajectoires 24 de ces électrons secon- daires sont eLLes aussi courbées par Le champ magné- tique t Le spectre en énergie et La répartition dans l'espace de ces électrons secondaires dépendent essentiellement de trois paramètres: l'énergie du faisceau incident 12, l'angle incident et le numéro atomique de la cible 14. Le but de la présente invention est de récupérer une fraction de L'énergie portée par ces électrons secondaires de type rétrodiffusés afin de la réutiliser dans le processus de bombardement. De manière plus précise, La présente inven- tion concerne un évaporateur à bombardement électro- nique muni de moyens de -récupération des électrons rétrodiffusés par une cible soumise à un bombardement par un faisceau électronique, ce dernier provenant d'un canon à électrons dont une électrode est reliée à une sortie S1 d'une première alimentation continue, cette première alimentation fournissant un potentiel Vo négatif par rapport au potentiel de la cible sur sa sortie S1, caractérisé en ce qu'il comprend: -des moyens pour collecter lesdits électrons rétrodiffusés, ces moyens étant portés à un potentiel Vc négatif inférieur en valeur absolue à Vo, - une seconde alimentation continue reliée par une première-sortie S2 aux moyens pour collecter tes électrons rétrodiffusés, cette première sortie S2 étant portée au potentiel Vc, la seconde alimenta- tion étant en outre reliée par une seconde sortie S3 à la sortie S1 de la première alimentation, la seconde sortie S3 étant portée au potentiel Vo. De manière préférée, Les moyens pour col- lecter lesdits électrons rétrodiffusés consistent en une cage de piégeage métallique récupérant tout électron dû à une rétrodiffusion survenant à L'inté- rieur de Ladite cage. La forme de cette cage de piégeage est adaptée à la forme du jet des électrons rétrodiffusés par la cibLe. Elle peut être cylindrique ou paraLLéLé- pipédique. De manière préférée, pour un canon à élec- trons linéaire la cage de piégeage est paraLLélépipé- dique, une ouverture étant ménagée dans la cage pour permettre l'introduction du jet d'électrons rétrodif- fusés. Les caractéristiques et avantages de l'in- vention apparaîtront mieux après la description qui suit, donnée à titre explicatif et nullement limi- tatif. Cette description se réfère à des dessins annexés sur Lesquels: - La figure 1, déjà décrite, représente schématiquement un évaporateur à bombardement éLectro- nique, - la figure 2 représente schématiquement ce même évaporateur muni d'un dispositif conforme à L'invention, - La figure 3 représente schématiquement les variations de La puissance Pc récupérée par un dispositif selon l'invention en fonction du poten- tieL Vc, - la figure 4 représente schématiquement une cage de piégeage vue en perspective. La figure 2 représente schématiquement un évaporateur muni d'un dispositif conforme à L'in- vention. Les trajectoires 24 des électrons secondai- res émis par la cible 14 sont courbés sous l'effet du champ magnétique appliqué t. Sur ces trajectoires 24, on place des moyens 26 pour colLecter Les éLec- trons "secondaires". PréférentielLement, ces moyens 26 sont formés d'une cage de piégeage 28 métallique portée à un potentiel Vc. On peut utiliser par exem- pLe, une cage en cuivre refroidie par une circulation d'huile. La figure 3 représente schématiquement les variations de la puissance Pc récupérée par un dispositif selon l'invention en fonction de la valeur de Vc. On constate que cette puissance Pc présente dans cet exemple un maximurr pour une vaLeur de Vc égale sensiblement à 0,65 Vo. Dans Les conditions usuelles de fonction- nement, cette valeur est telle que seuls les électrons rétrodiffusés sont captés par la cage de piégeage 28. Les électrons "secondaires vrais" de faibLe éner- gie sont repoussés par La cage de piégeage 28. GénéraLement, dans un évaporateur, Le bom- bardement électronique est effectué sous forme de nappe. Le faisceau 12 d'électrons frappe donc La cibLe 14 le long d'une bande; l'efficacité de l'échauffement est alors accrue puisque les électrons sont répartis sur la cible 14. Les électrons secondaires sont aussi renvoyés.sous la forme d'une nappe. La cage de piégeage 28, pour capturer tous les électrons de La nappe, a La forme d'un parallélépipède rectangle par exemple. La figure 4 représente schématiquement ta cage de piégeage 28 en perspective. La nappe des électrons rétrodiffusés est attirée alors que les électrons secondaires vrais sont repoussés. Pour en revenir à La figure 2, on voit la cage de piégeage 28 en coupe suivant le plan A. Une aLimentation 30 est reliée par une première sortie S2 à la cage de piégeage 28. Cette sortie S2 est portée au potentiel Vc. Une seconde sortie S3 de cette alimentation 30 est reliée à la sortie S1 de l'alimentation 18. Cette seconde sortie S3 est donc portée au potentiel Vo qui fait office de potentiel de référence. La puissance récupérée Pc par le dispositif selon l'invention n'est pas égale à la puissance effective Pe des électrons rétrodiffusés capturés par la cage de piégeage. De cette dernière on doit soustraire la puissance de freinage Pf dépensée par les électrons à l'arrivée dans la cage de piégeage 28. La puissance récupérée Pc par le dispositif est donc égaLe à Pe-Pf. A L'intérieur même de la cage de piégeage 28, il se produit aussi une émission d'électrons secondaires. Mais tous ces électrons sont piégés à l'intérieur de la cage de piégeage 28, d'une part sous L'effet du champ magnétique appliqué B, d'autre part grâce à la géométrie de la cage de piégeage 28. ExempLe: Puissance incidente sur la cible Po = 300 kW. Puissance des électrons rétrodiffusés (perdue pour l'échauffement de la cible) PR = 111 kW. Cette puissance correspond à un coefficient de rétrodiffusion CR = 0,5. Intensité des électrons rétrodiffusés IR- 5A. Puissance des électrons non collectés par le disposi- tif = 17 kW. Puissance incidente efficace des électrons capturés par la cage de piégeage Pe = 94 kW. Puissance de freinage perdue par les électrons piégés Pf = 22 kW. Puissance récupérée PC = 72 kW. Intensité correspondant à La puissance récupérée: IC = 3,7 A Puissance fournie par l'alimentation 30: 39 kW Puissance débitée sur la seccnde sortie S3 de l'ali- mentation 30 sur la sortie S1 de l'aLimentation 18 reliée à la cathode du canon à électrons: PC + 39 kW = 111 kW Intensité délivrée par la seconde sortie S3 de l'ali- mentation 30: IC = 3,7A. Sortie S2 de l'aLimentation 30 portée au potentiel: Vc = -19,5 kV. Sortie S3 de l'alimentation 30 portée au potentiel: Vo = -30 kV. On constate sur cet exemple que 72 kW des 111 kW perdus pour l'échauffement de La cible peuvent être récupérés. L'aLimentation 30 fournissant Le complément (39 kW), on peut réutiliser la puissance totale (111 kW) perdue dans Le orocessus d'évapora- tion. Si l'alimentation 30 doit fournir de la puissance, seule l'intensité récupérée par la cage de piégeage (IC = 3,7A) est renvoyée sur la sortie S1 de l'alimentation principale 18. Cet apport d'in- tensité permet de soulager l'alimentation principale qui ne doit fournir que 6,3A pour que 10A environ soient délivrés sur la cathode 20. L'alimentation principale 18 ne doit dépenser que 189 kW pour qu'un faisceau d'électrons 12 d'une puissance Po = 300 kW soit envoyé sur la cible. L'intérêt d'un dispositif selon l'invention apparaît donc clairement. Revendications 1. Evaporateur à bombardement électronique muni de moyens de récupération des électrons rétrodif- fusés par une cible (14) soumise à un bombardement par un faisceau électronique (12), ce dernier prove- nant d'un canon à électrons (10) dont une électrode (20) est reliée à une sortie S1 d'une première alimen- tation continue (18), cette première alimentation (18) fournissant un potentiel Vo négatif sur sa sortie S1, caractérisé en ce qu'il comprend: des moyens (26) pour collecter lesdits électrons rétrodiffusés, ces moyens (26) étant portés à un potentiel Vc tel que les électrons rétrodiffusés par la cible (14) sont attirés par lesdits moyens (26), - une seconde alimentation continue (30) reliée par une première sortie S2 aux moyens (26) pour collecter les électrons rétrodiffusés, cette première sortie S2 étant portée au potentiel Vc, la seconde alimentation (30) étant en outre reliée par une seconde sortie S3 à la sortie S1 de la pre- mière alimentation (18), la seconde sortie S3 étant portée au potentiel Vo. 2. Evaporateur selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens (26) pour collecter lesdits électrons rétrodiffusés consistent en une cage de piégeage (28) métallique récupérant tout électron dû à une rétrodiffusion survenant à l'inté- rieur de ladite cage. 3. Evaporateur selon la revendication 2, caractérisé en ce que la cage de piégeage (28) est parallélépipédique.