Brevet FR2632361A1 — publié le 19891208

La présente invention concerne des pompes à rotor du type pompe à déplacement non positif des gaz et se rapporte aux pompes à flux axial de gaz, destinées à créer un vide poussé et a notamment pour objet une pompe turbo- 5 moléculaire à vide. La pompe turbomoléculaire à vide revendiquée peut être utilisée dans différentes installations technologiques pour la création et le maintien du vide à une pression résiduelle des gaz de 101 Pa à 10-7 Pa, par exemple, en 10 électronique pour la fabrication des microcircuits, dans la croissance des Cristaux artificiels ainsi que dans dif- férents appareils et installations utilisés pour des recher- ches, qui fonctionnement avec l'utilisation du vide, par exemple, dans les accélérateurs de particules fondamenta- 15 les et dans des spectromètres de masse ou encore dans les microscopes électroniques. A l'heure actuelle, le développement de la science. et de la technique nécessite un grand nombre de dimensions de pompes turbomoléculaires à vide, ayant différentes 20 caractéristiques de pompage, en particulier la rapidité d'action et le taux de compression du gaz-qui déterminent les cotes d'encombrement des éléments constitutifs princi- paux de ces pompes. Une pompe turbomoléculaire à vide comprend un 25 stator creux dans le trou axial duquel est logé un rotor creux, lié rigidement à un arbre qui l'entraîne en rota- tion. Les surfaces opposées du rotor et du stator forment des canaux d'unétage de pompage turbomoléculaire et d'un étage de pompage moléculaire du gaz. 30 L'étage de pompage moléculaire du gaz permet d'éléver, du côté refoulement, la pression du gaz évacué à 100 Pa, et pour assurer l'augmentation ultérieure de la pression du gaz évacué, à la pression atmosphérique, il faut faire appel à un étage de pompage à prévide du 35 gaz qui est réalisé, dans les constructions classiques des pompes turbomoléculaires à vide, sous la forme d'une pompe indépendante à prévide branchée sur la pompe turbo- moléculaire à vide. Toutefois, dans ce cas, les molécules 2632361 2 des hydrocarbures migrent des cavités intérieures des pompes à prévide vers le volume à évacuer de la chambre technologique, ce qui abaisse notablement la pureté du vide et diminue, en définitive , la qualité du produit ob- 5 tenu. Pour rémedier aux migrations des hydrocarbures, on a recours, par exemple, aux pièges à azote qui compliquent sensiblement la conception et élèvent le coût de la réali- sation constructive de la pompe turbomoléculaire à vide. On connaît également des pompes turbomoléculaires 10 à vide dans lesquelles la fonction de l'étage de. pompage à prévide du gaz est remplie par un joint d'étanchéité dynamique, dont les canaux sont disposés entre deux sur- faces cylindriques ou coniques des éléments de la construc- tion de la pompe turbomoléculaire à vide, dont l'un est 15 entraîné en rotation. Le jeu formé entre ces surfaces est habituellement compris entre 0,015 et 0,03 mm. Les canaux du joint d'étanchéité dynamique sont formés par des rainures pratiquées ordinairement sur la surface de l'élément entraîné en rotation, sous la forme d'un file- 20 tage hélicoidal à plusieurs filets rectangulaires. La pro- fondeur des rainures diminue progressivement du côté de l'aspiration du gaz dans la direction du refoulement du gaz, de 0,1 mm à 0, 03 mm. Dans ce cas, la largeur de la rainure est égale à la largeur d'une ailette entre deux 25 rainures voisines et est déterminée, selon un mode connu, par le calcul, en fonction des caractéristiquessouhaitées de pompage de la pompe turbomoléculaire à vide. On connaît une pompe turbomoléculaire à vide (FR, B, 222409) comportant un stator creux à l'intérieur 30 duquel est monté un rotor creux,entre lesquels se trouvent des canaux d'un étage de pompage turbomoléculaire du gaz et des canaux d'un étage de pompage moléculaire du gaz, liés auxdits canaux et aux canaux d'un joint d'étanchéité dynamique,qui sont mis en communication avec l'atmosphère 35 et formés par la surface intérieure d'un palier placé à l'intérieur du rotor creux dans lequel est montée une ex- trémité de l'arbre du rotor et par des rainures, prati- quées sur un tronçon de la surface extérieure de l'arbre 2632361 3 en forme de filetage hélicoidal à plusieurs filets rectan- gulaires, dont la profondeur diminue progressivement du côté de l'aspiration du gaz vers son refoulement. Dans ce cas, l'étendue du tronçon de la surface 5 extérieure de l'arbre o sont pratiquées les rainures du joint d'étanchéité dynamique ne doit pas être inférieure au diamètre de l'arbre. Toutefois, on augmente ainsi-la longueur de l'arbre en augmentant la charge en porte-à-faux sur le palier et le moment équatorial de l'inertie de 10 l'arbre tournant conjointement avec le rotor, ce qui limite la vitesse de rotation de l'arbre et, par conséquent, les carac- téristiques de la pompe turbomoléculaire à-vide et en par- ticulier le taux de compression et la rapidité d'action de cette pompe, qui dépend de sensiblement de la vitesse de 15 rotation de l'arbre. On s'est donc proposé de mettre au point une pompe turbomoléculaire à vide dans laquelle le joint d'étanchéité dynamique assurerait l'augmentation des caractéristiques de pompage de la pompe turbomoléculaire à vide sans aug- 20 mentation de ses cotes d'encombrement. Le problème ainsi posé est résolu à l'aide d'une pompe turbomoléculaire à vide comportant un stator creux à l'intérieur duquel est monté un rotor creux entre-les- quels sont formés des canaux d'un étage de pompage tubo- 25 moléculaire du gaz et des canaux d'un étage de pompage moléculaire du gaz, liésauxdits canaux, et mis en commu- nication avec des canaux d'un joint d'étanchéité dynami- que qui sont liés à l'atmosphère et formés par la sur- face intérieure d'un palier du rotor creux, palier dans 30 lequel est monté un bout de l'arbre du rotor,et par les rainures pratiquées sur un tronçon de la surface exté- rieure de l'arbre en forme de filetage hélicoidal à plu- sieurs filets rectangulaires, dont la profondeur diminue progressivement du côté de l'aspiration du gaz-vers celui 35 de son refoulement, caractérisée, selon l'invention, en ce -que des canaux supplémentaires du joint d'étanchéité dyna- mique sont prévus, qui sont mis en communication avec les canaux principaux de ce joint et avec les canaux de l'étage 2632361 4 de pompage moléculaire du gaz et qui sont formés par des rainures, pratiquées sur un tronçon de la surface inté- rieure du rotor sur la forme d'un filetage hélicoidal à plusieurs filets rectangulaires et, par la surface exté- 5 rieure du palier orientée vers ledit tronçon. Afin d'augmenter la rapidité d'action et le taux de compression du gaz dans la pompe turbomoléculaire à vide, dans le cas o les rainures des canaux principaux et supplémentaires du joint d'étanchéité dynamique sont 10 réalisées avec des sens inverses du filetage hélicoidal, il est avantageux que la profondeur des rainures des ca- naux supplémentaires diminue progressivement du côté de l'aspiration du gaz vers le côté de son refoulement. Pour l'amélioration de la fiabilité du fonction- 15 nement de la pompe turbomoléculaire à vide, dans le cas o les rainures principales et supplémentaires du joint d' étanchéité dynamique ont la forme de filetageshélicoIdaux dirigés dans le même sens, il est avantageux que la pro- fondeur des rainures des canaux supplémentaires diminue 20 progressivement dans le sens allant de l'aspiration du gaz vers son refoulement. La présente des canaux supplémentaires du joint d'étanchéité dynamique, formés par des rainures pratiquées sur la surface cylindrique intérieure du rotor, dont le 25 diamètre est égal à au moins deux fois le diamètre de l'arbre sur lequel sont pratiquées les rainures des ca- naux principaux de ce joint d'étanchéité dynamique,permet d'augmenter la section de passage des canaux supplémentai- res du joint d'étanchéité dynamique comparativement à la 30 section de passage des canaux principaux de ce joint, ce qui permet d'augmenter, à son tour, les caractéristiques de pompage de la pompe turbomoléculaire à vide. En outre, cela permet de diminuer la longueur des canaux principaux du joint d'étanchéité dynamique, 35 c'est-à-dire la longueur de l'arbre, ce qui réduit le moment équatorial de l'inertie de l'arbre avec le rotor et permet d'augmenter, grâce à l'augmentation de la vi- tesse de rotation du rotor, la rapidité d'action de la 5 pompe turbomoléculaire à vide au moins de 20% sans changer ses cotes d'encombrement. L'invention sera mieux comprise et d'autres buts, détails et avantages de celle-ci apparaîtront mieux à la 5 lumière de la description explicative qui va suivre d'un mode de réalisation donné à titre d'exemple non limitatif avec référence aux dessins non limitatifs annexés,dans lesquels : - la figure 1 représente une vue d'ensemble d'une 10 pompe turbomoléculaire à vide en coupe longitudinale, se- lon l'invention ; - la figure 2 représente un ensemble A de la fi- gure 1 à échelle agrandie, avec des rainures-formant des canaux supplémentaires du joint d'étanchéité dynamique, 15 dont le sens du filetage hélicoidal est l'inverse de celui formant les canaux principaux de ce joint, selon l'inven- tion ; et - la figure 3 représente un ensemble analogue à celui de la figure 2 avec des rainures qui forment des 20 canaux supplémentairesdu joint d'étanchéité dynamique dont le sens du filetage hélicoidal coincide avec celui des rainures qui forment les canaux principaux de ce joint, se- lon l'invention. La pompe turbomoléculaire à vide selon l'inven- 25 tion comporte un stator 1 (figure 1) à l'intérieur duquel est monté un rotor creux 2 et entre lesquels sont formés des canaux 3 de l'étage de pompage turbomoléculaire du gaz et des canaux 4 de l'étagède pompage moléculaire du gaz, qui sont mis en communication. 30 Le stator 1 comporte un corps 5 d'étage de pompage turbomoléculaire du gaz et un corps 6 d'étage de pompage moléculaire du gaz, qui sont liés l'un à l'autre au moyen d'un assemblage fileté. Dans le corps 5 'de l'étage de pompage turbomol.é- 35 culaire du gaz est monté un moyen 7 portant trois disques à ailettes 8, qui sont disposés entre quatre roues à ai- lettes 9, liées rigidement au rotor 2 et entre lesquelles sont formés les canaux 3 de l'étage de pompage turbomolé2632361 6 culaire. Le nombre de roues à ailettes 9 et le nombre des disques 8 peuvent être différents, comme dans les autres constructions connues de pompe turbomoléculaire à vide. 5 Ce nombre peut varier de deux jusqu'à vingt et davantage, et, comme on le sait, dépend des paramètres géométriques des éléments constitutifs, en particulier de la surface de la section de passage des canaux formés entre les ailettes des roues à ailettes 9 et des caractéristiques 10 requises de la pompe turbomoléculaire à vide. Les canaux 4 de l'étage de pompage moléculaire du gaz sont formés par des rainures 11, pratiquées sur la surface cylindrique intérieure 10 du corps 6 du stator 1 , ayant la forme d'un filetage hélicoïdal à plusieurs filets 15 rectangulaires et par la surface cylindrique extérieure 12 du rotor 2. La profondeur des rainures ll diminue progres- sivement dans le direction (indiquée sur le dessin par la flèche) du côté de l'aspiration V vers le côté de refou- lement N du gaz (indiquée sur le dessin par la flèche), et 20 ce de 3,0 à 0,5 mm. Le jeu 13 entre la surface cylindri- que extérieure 12 du rotor 2 et la surface cylindrique intérieure 10 du corps 6 du stator 1 est assez petit et, comme on le sait, est de 0,15 à 0,03 mm et crée une résis- tance relativement grande au contre-courant de gaz, c'est- 25 à-dire qu'il empêche le gaz de s'écouler du refoulement N du gaz vers l'aspiration V du gaz. Le rotor 2 est monté sur un arbre 14 et y est immobilisé à l'aide d'une vis 15 . L'arbre 14 est monté sur deux paliers aérostatiques 16 et 17 ayant des gorges annu- 30 laires 18 et 19 respectivement mises en communication avec les canaux (non représentés sur le dessin) d'un sys- tème d'amenée et de distribution d'air comprimé pour les pa- liers aérostatique 16 et 17. Les paliers 16 et 17 sont montés dans un corps 20. 35 Une crapaudine 21, montée dans un boîtier 22 avec une ba- gue 23,'est rendue solidaire du corps 20, par exemple à l'aide d'un assemblage fileté . 2632361 7 Le boîtier 22 abrite le stator 24 d'un moteur électrique, dont le rotor est posé sur l'extrémité infé- rieure 26 de l'arbre 14. Un capot 27 est fixé au boîtier 22. Pour le refroidissement de la pompe turbomoléculaire 5 à vide, le capot 27 est relié à des bagues28 et 29 et à une persienne 30. Un verrou 31 est monté entre le boîtier 22 et la bague 28 pour la fixation des bagues 28 et 29. Un trou 32 est pratiqué sur le corps 6 du stator 1 et une tubulure 33 est fixée sur ce corps, coaxialement au trou, 10 à laquelle est raccordée une conduite (non représentée sur le dessin) de pompage de gaz à prévide, destinée à l'évacuation préalable du gaz de la chambre à étanchéi- fier (non représentée). Pour que le courant pompé de gaz soit évacué 15 directement vers l'atmosphère lors du maintien du vide dans la chambre, la construction de la pompe turbomQlécu- laire à vide est munie d'un joint d'étanchéité dynamique qui assure une augmentation de la pression du gaz pompé à partir de la pression à la sortie des canaux 4 de l'étage 20 de pompage moléculaire du gaz jusqu'à la pression atmosphérique. Le joint d'étanchéité dynamique comporte des canaux principaux 34, disposés entre un tronçon 35 de la surface intérieure 14 et la surface extérieure du palier 16 qui est orientée vers ledit tronçon 35. 25 Du côté de l'aspiration V-du gaz, les canaux principaux 34 du joint d'étanchéité dynamique sont liés aux canaux supplémentaires 36 de ce joint, qui se trou- vent entre un tronçon 37 de la surface intérieure du rotor 2 et la surface extérieure, orientée vers ledit 30 tronçon 37, du palier 16, à travers le jeu 38 entre la face supérieure du palier 16 et la surface du rotor 2 qui est orientée vers ladite face. Du côté du refouelement N du gaz, les canaux principaux 34 du joint d'étanchéité dynamique sont liés 35 à l'atmosphère à travers un canal radial 39 et un canal longitudinal 40 qui sont pratiqués dans le palier 16, un jeu 41 formé entre l'arbre 14 et une douille 42 et des canaux radiaux coaxiaux 43 et 44 pratiqués dans la douille 2632361 8 41 et dans le corps 20 respectivement. - Les canaux supplémentaires 36 du joint d'étan- chéité dynamique sont mis en communication avec les canaux 4 de l'etage de pompage moléculaire du gaz par des jeux 45, 5 46 formés entre la surface intérieure du rotor 2 et les surfaces extérieures du palier 16 et du corps 20 et une cavité annulaire 47 formée par la surface intérieure 10 du corps 6 du stator 1 et la surface extérieure du corps 20. 10 Les canaux principaux 34 du joint d'étanchéité dynamique sont formés par des rainures 48 (figures 2 et 3) pratiquées sur le tronçon 35 de la surface extérieure de l'arbre 14 du rotor 2, sous la forme d'un filetage héli- coldal à plusieurs filets rectangulaires. La profondeur 15 "1" des rainures 48 diminue progressivement de l'aspira- tion V du gaz vers son refoulement N de 0,1 à 0,03 mm. Le nombre de filets du filetage hélicoidal et la longueur"L" (figure 2) ou "'L1'" (figure 3) du tronçon 35 (figure 2 ou 3) dépendent du diamètre de l'arbre 14. La 20 largeur "b" des rainures 48 est identique sur toute la longueur "L" du tronçon 35 et est égale à 2 mm, et la largeur "a" des ailettes 49 entre des rainures voisines 48 est égale à la largeur "b" des rainures 48. les canaux supplémentaires 36 du joint d'étan- 25 chéité dynamique sont formés par des rainures 50 (figure 2) ou 51 (figure 3) réalisées sur le tronçon 37 (figure 2 ou 3) de la surface intérieure du rotor 2 sur la forme d'un file- tage hélicoidal à plusieurs filets rectangulaires. La pro- fondeur '"Ll" des rainures 50 et 51 diminue progressivement 30 suivant la longueur "H" (figure 2) ou "Hl" (figure 3) du tronçon 37 (figure 2 ou 3) pour assurer la différence des pressions du gaz à l'entrée et à la sortie des canaux 36 et 34 du joint d'étanchéité dynamique. La direction de la variation de la profondeur "'11" des rainures 50 et 51 dé- 35 pend du sens du filetage hélicoidal des rainures 48. Pour augmenter la rapidité d'action et le taux de compression du gaz, le sens du filetage.hélicoidal des rainures 50 (figure 2) formant les canaux supplémentaires 2632361 9 36 du joint d'étanchéité est. l'inverse du sens du filetage hélicoïdal des rainures 48 formant les canaux principaux 34 du joint d'étanchéité dynamique. La profondeur "11i" des rainures 50 diminue progressivement du refoulement N du 5 gaz vers son aspiration V, de 0,07 à 0,03 mm. La largeur "'il' de la rainure 50 est identique sur toute sa longueur et est égale à 2 mm. La largeur de l'ailette 52 entre des rainures voisines 50 est égale à la largeur '"bt de la rai- nure 50. La longueur "L" du tronçon 35 de la surface 10 extérieure de l'arbre 14 sur laquelle sont pratiquées les rainures 48 fait approximativement 0,3 à 0,5 fois le dia- mètre de l'arbre 14 tandis que la longueur "H" du tronçon 37 de la surface intérieure du rotor 2 représente à peu près 2/3 L. Le choix des valeursde "L" et "H" et de leurs 15 rapports dépend des caractéristiques requises de pompage et est réalisé par calcul selon un mode connu. Dans ce cas, la valeur de "L" est toujours inférieure au diamètre de l'arbre 14 et celle "H" est toujours inférieure à "L",ce qui permet de diminuer le moment équatorial de l'iner- 20 tie de l'arbre 14 avec le rotor 16. Pour conserver la capacité de fonctionnement de la pompe turbomolécualire à vide dans le cas d'une augmen- tation occasionnelle de la pression jusqu'à la pression atmosphérique dans la cavité annulaire 47 (figure 1) mise 25 en communication avec la conduite de prévide (non repré- sentée sur le dessin), les rainures 51 (figure 3) formant les canaux supplémentaires 36 du joint d'étanchéité dyna- mique sont réalisées avec un filetage hélicoîdal dont le sens coincide avec celui des rainures 48 formant les ca- 30 naux principaux 34 du joint d'étanchéité dynamique. Dans ce cas, la profondeur "11"' des rainures 51 diminue pro- gressivement de l'aspiration V du gaz vers son refoule- ment N de 0,007 à 0,03 mm. La largeur des rainures 51 et la largeur des ailettes 53 sont de 2 mm comme dans la 35 variante représentée à la figure 2. La longueur "'L1" du tronçon 35 de la surface extérieure de l'arbre 14 est de 0,5 à 0,8 fois le diamètre de l'arbre 14 tandis que la longueur '"Hi" du tronçon 37 de la surface intérieure du 2632361 10 rotor 2 est comprise entre 1/2 et 2/3 "L1". Le choix des valeurs concrètes de "'L1 "et '"H"' et 1 de leur rapport dépend lui aussi des caractéristiques sou- haitées du pompage de la pompe turbomoléculaire à vide et 5 est déterminé par voie de calcul selon un mode connu. La pompe turbomolécualire à vide fonctionne à la manière suivante. Lors du montage de la pompe, on relie le corps 5 (figure 1) du stator à une chambre à étanchéi- fier (non représentée au dessin) d'une installation techno- 10 logique correspondante. La tubulure 33 est reliée à une conduite de pompage de gaz à prévide (non représentée au dessin). Après l'évacuation du gaz de la chambre étan- chéifiée jusqu'à création du prévide, la conduite de pom- page de gaz de prévide est fermée par une soupape (non 15 représentée au dessin). Ceci fait, on refoule l'air sans une pression de 0,59 MPa dans les jeux entre l'arbre 14 et les paliers aérostatiques 16 et 17 à travers les gor- ges 18 et 19 et l'arbre 14 tl s emerge " dans les paliers aérostatique 16 et 17. 20 Ensuite, après application de la tension au sta- tor 24 du moteur électrique, son rotor 25 entraîne l'ar- bre 14 en rotation conjointement avec le rotor 2. A la rotation du rotor 2, les molécules de gaz sont entraînées du volume évacué de la chambre à étanchéifier par les ai- 25 lettes des roues à ailettes 9 et sont refoulées dans les canaux 3 de l'étage de pompage turbomoléculaire du gaz qui assure une valeur requise cal-culée de l'augmentation de la pression du gaz à la sortie. Des canaux 3 de l'étage de pompage turbomoléculaire, les molécules du gaz parviennent aux canaux 4 de l'étage de pompage moléculaire à la sortie desquels la pression croit dans le courant de gaz pompé de 10-2Pa à 10l1Pa. Ensuite, les molécules du courant pompé de gaz arrivent, par la cavité annulaire 47, les jeux 46 et 45, 35 dans les canaux supplémentaires 36 du joint d'étanchéité dynamique. Après cela, ayant passé par le jeu 38, elles parviennent dans les canaux principaux 34 du joint d'étan- chéité dynamique, à la sortie desquels la pression du gaz 2632361 1l à pomper atteint la pression atmosphérique. Après cela, le gaz à pomper débouche à l'atmosphère, ayant passé par les canaux 39 et 40 du palier 16, le jeu 41.et l'orifice 43 de la douille 42 et le canal 44 du corps 22. Le joint 5 d'étanchéité dynamique fait fonction, dans ce cas, de pompe à prévide en assurant l'augmentation de la pression jus- qu'à la pression atmosphérique. Il convient de noter que le volume évacué de la chambre à étanchéifier n'test pas pollué par des hydrocarbures. 10 La pression du courant pompé de gaz croit d'au moins 5 fois après passage à travers les canaux supplé- mentaires 36 du joint d'étanchéité dynamique en assurant ainsi la réduction de la différence des pressions du cou- rant pompé de gaz dans les canaux principaux 34 du joint 15 d'étanchéité dynamique ce qui permet de réduire, grâce à la réduction de la longueur des canaux principaux 34 de ce joint, le moment équatorial de l'inertie de l'arbre 14 tournant conjointement avec le rotor 2 et d'augmenter la vitesse de rotation de ce dernier. Cela assure l'améliora- 20 tion des caractéristiquesde pompage de la pompe turbomolé- culaire à vide sans changement de ses cotes d'encombre- ment, au moins de 20,o. La pression du courant de gaz passant par les canaux supplémentaires 36 du joint d'étanchéité dynamique, 25 formés par les rainures 50 (figure 2), dont la profondeur diminue progressivement du côté du refoulement N du gaz vers le côté aspiration V croît approximativement d'un ordre de grandeur, ce qQi permet d'améliorer les caracté- ristiques de pompage dtUle pompe turbomoléculaire à vide 30 d'au moins 30%. La pression du courant de-gaz passant par les canaux supplémentaires 36 du joint d'étanchéité dynamique,- formés par les rainures 52 (figure 3), dont la profondeur diminue progressivement du côté de l'aspiration V du gaz 35 vers le côté du refoulement N du gaz, croît approximati- vement de 5 fois ce qui permet d'élever les caractéris- tiques de pompage de la pompe turbomoléculaire à vide au 2632361 12 moins de 20 % Toutefois, le grand avantage de ce mode de réalisation des canaux supplémentaires 36 du joint d'étanchéité dynamique réside dans le fait que ces canaux permettent 5 de prévenir la détérioration de la pompe turbomoléculaire à vide dans le cas d'une augmentation spontanée de la pression dans la cavité 47, grâce à ce qu'une résistance opposée du courant de gaz est créée dans ces canaux 36. 2632361 13 - RE V E N D I C A T I 0 N S 1. Pompe turbomoluculaire à vide du type compre- nant un stator creux, à l'intérieur duquel est monté un rotor creux entre lesquels sont formés des canaux d'un étage turbomoléculaire de pompage du gaz et des canaux, 5 liés aux premiers, d'un étage de pompage moléculaire du gaz et mis en communication avec des canaux d'un joint d'étanchéité dynamique qui sont liés à l'atmosphère et formés par la surface intérieure d'un palier dans lequel est monté un bout d'un arbre du rotor et par des rainures i0 pratiquées sur un tronçon de la surface extérieure en forme de filetage hélicoïdal à plusieurs filets rectan- gulaire dont la profondeur diminue progressivement du côté de l'aspiration du gaz vers son refoulement,caracté- risée en ce qu'elle comporte des canaux supplémentaires 15 (36) du joint d'étanchéité dynamique, mis en communication avec les canaux principaux (34) de ce joint et les canaux (4) de l'étage de pompage moléculaire du gaz et qui sont formés par des rainures, pratiquées sur un tron- çon (37) de la surface intérieure du rotor (2),sans la 20 forme d'un filetage hélicoidal à plusieurs filets rectangulaire et par la surface extérieure du palier (16) qui est orientée vers -ledit. tronçon (37). 2. Pompe selon la revendication 1, caractérisée en ce que dans le cas o l'on réalise les rainures (48 et 25 50) des canaux principaux (34) et supplémentaires (36) du joint d'étanchéité dynamique avec des sens inverses du filetage hélicoïdal, la profondeur des rainures (50) des canaux supplémentaires (36> diminue progressivement du côté du refoulement du gaz vers son aspiration. 30 3. Pompe selon la revendication 1, caractérisée en ce que dans le cas o les rainures (48 et 51) des ca- naux principaux (34) et supplémentaires (36) du joint d'étanchéité dynamique sont pratiquées dans le même sens, la profondeur des rainures (51) des canaux supplementaires 35 (36) diminue progressivement du côté refoulement du gaz vers son côté aspiration.