Brevet FR2633674A1 — publié le 19900105

26336?4 La présente invention concerne des pompes à rotor du type pompes-à déplacement non positif des gaz et a notamment pour objet des pompes moléculaires à vide à flux axial de gaz, pour la création d'un vide poussé et se rap- porte, en particulier, à une pompe turbomoléculaire à vide. La pompe turbomoléculaire à vide selon l'inven- tion peut être utilisée dans différentes installations technologiques pour la création et le maintien du vide -1 - avec une pression résiduelle du gaz de 10 à 10 ' Pa, par exemple, en électronique pour la fabrication des micro- circuits, pour la croissance des cristaux artificiels ainsi que dans différentes installations et divers appa- reils qui sont utilisés pour les recherches et fonction- nent avec l'utilisation du vide, par exemple dans des ac- célérateurs de particules fondamentales, dans des spectro- mètres de masse ou dans des microscopes électroniques. Le développement de la science et de la technique nécessite à l'heure actuelle un grand nombre de dimensions types de pompes moléculaires à vide ayant différentes caractéristiques de pompage, en particulier la rapidité d'action et le taux de compression du gaz qui déterminent les cotes d'encombrement des éléments constitutifs princi- paux de ces pompes. En fonction des caractéristiques de pompage, on classe des pompes en pompes moléculaires à vide proprement dites n'ayant qu'un étage de pompage moléculaire du gaz et pompes turbomoléculaires ou pompes combinées à vide ayant,en supplément,un étage de pompage turbomoléculaire du gaz compcrtant un rotor et un stator, qui sont montés sur un même axe que le rotor et le stator de l'étage de pompage moléculaire du gaz,du côté de l'aspiration de celui-ci. Des roues à ailettes et des disques à ailettes, dont les ailettes forment un angle l'une par rapport à l'autre, sont montées et fixées alternativement sur le rotor et le stator de l'étage de pompage turbomoléculaire du gaz. Dans ce cas, les ailettes des roues sont inclinées par rapport aux plans perpendiculaires à l'axe de rotation du rotor, dans la direction de cette rotation, tandis que les sections de passage des canaux entre les ailettes diminuent de la roue à ailettes disposée du côté de l'as- piration du gaz vers la roue à ailettes qui se trouve du côté refoulement du gaz. Les pompes turbomoléculaires à vide sont caractérisées par une haute rapidité d'action mais toutefois leur réalisation constructive est assez compliquée. Le principe de fonctionnement d'une pompe turbo- moléculaire à vide consiste en ce qu'une impulsion de force est communiquée aux molécules d'un gaz lorsqu'elles parviennent aux ailettes de la roues à ailettes en rota- tion. En conséquence, une composante tangentielle de la vitesse s'additionne à leur propre vitesse thermique dans la direction de la rotation de la roue à ailettes. A la suite des collisions repétées contre les ailettes des roues du rotor, le mouvement en désordre des molécules du gaz se transforme en un mouvement orienté de l'aspira- tion du gaz vers le refoulement du gaz, autrement dit, il se produit un processus d'évacuation des molécules du gaz. En régime moléculaire de l'écoulement du gaz, la longueur moyenne du parcours libre des molécules d'un gaz est plus grande que la distance entre des ailettes voisi- nes et le pompage se produit grâce à ce que les molécules du gaz se heurtent contre les ailettes du rotor sensible- ment plus fréquemment que les unes contre les autres. L'efficacité du fonctionnement ou la rapidité d'action de la pompe turbomoléculaire à vide dépend de la partie des molécules du gaz passant à travers les roues à ailettes et les disques àailettes du côté aspiration du gaz vers son côté refoulement. Il existe une pompe turbomoléculaire à vide SU, A, 335443 qui comporte un stator creux dans le trou axial duquel est monté un rotor portant au moins deux roues à ailettes entre lesquelles sont disposés des dis- ques à ailettes fixés sur le stator. dont les ailettes plates sont orientées à un angle par rapport aux ailettes plates des roues du rotor. et disposés suivant une circon- férence sur le moyeu d'une roue à ailettes correspondante de façon que les sections de passage des canaux formés entre les plans orientés l'un vers l'autre d'ailettes voi- sines diminuent de la roue à ailettes disposée du côté aspiration du gaz vers la roue à ailettes située du côté refoulement du gaz,et dont les plans sont inclinés par rapport aux plans perpendiculaires à l'axe de rotation du rotor, dans la direction de sa rotation. Les ailettes de roues sont disposées sur le moyeu de façon que les lignes d'intersection des plans de cha- cune des ailettes avec les plans perpendiculaires à l'axe de rotation du rotor soient disposées radialement suivant la circonférence du moyeu. La relation entre la vitesse de pompage du gaz et le taux de compression influe d'une manière décisive sur les caractéristiques de la pompe turbomoléculaires à vide. Cette relation dépend des paramètres géométriques des roues à ailettes et des disques à ailettes, ainsi que des cotes d'encombrement des élément constitutifs de la pompe. Dans la pompe turbomoléculaire à vide connue, les molé- cules se déplaçant avec une loi de reflexion spéculaire dans des plans tangentiels aux circonférences, qui sont coaxiales aux circonférences du moyeu et croissantes, les plans et les ailettes reçoivent, à la suite de la colli- sion avec celles-ci, une composante tangentielle de la vitesse, reviennent partiellement dans le volume à pomper et subissent partiellement des collisions réitératives dans les mêmes plans et par conséquent la même impulsion de force est communiquée à celles-ci. Cet inconvénient diminue la rapidité d'action de la pompe. En outre, un contre-courant de la dispersion des molécules du gaz se forme dans le jeu entre le rotor et le stator. On s'est donc proposé de mettre au point une pom- pe turbomoléculaire à vide, dans laquelle les plans des ailettesdes roues seraient disposés de façon à assurer l'augmentation des caractéristiques de pompage de la pompe tubomoléculaire à vide sans augmentation de ses cotes d'en- combrement. Le problème ainsi posé est résolu du fait que la pompe turbomoléculaire à vide, comportant un stator creux dans le trbu axial duquel est monté un rotor ayant au moins deux roues à ailettes entre lesquelles sont dispo- sés des disques à ailettes fixés sur le stator, dont les ailettes plates sont disposées sous un angle par rapport aux ailettes plates des roues du rotor disposées suivant une circonférence sur le moyeu de la roue à ailettes cor- respondante de sorte que les sections de passage des ca- naux, formés entre les plans opposés l'un à l'autre des ailettes, diminuent à partir de la roue à ailettes, si- tuée du côté de l'aspiration du gaz,vers la roue à ailet- tes située du côté refoulement du gaz, et dont les plans sont inclinés par rapport aux plans perpendiculaires à l'axe de rotation du rotor dans le sens de rotation de celui-ci, est caractérisée en ce que chaque ailette, au moins de l'une des roues à ailettes, est disposée de fa- çon que les lignes d'intersection de ses plans avec les plans perpendiculaires à l'axe de rotation du rotor soient disposées sous un angle par rapport au rayon de la cir- conférence du moyeu au point d'intersection de ces lignes avec les circonférences du moyeu et soient orientées,au moins, sur une roue à ailettes située du côté du refou- lement du gaz, dans la direction de la rotation du rotor et en ce qu'au moins sur une roue à ailettes, qui se trou- ve du côté de l'aspiration du gaz, elles sont orientées en direction inverse. Dans une pompe turbomoléculaires à vide, dans le cas o l'angle d'inclinaison des plans des ailettes de toutes les roues à ailettes par rapport aux plans perpen- diculaires à l'axe de rotation du rotor et les nombres d'ailettes sont identiques sur toutes les roues à ai- lettes, il est avantageux que le rotor ait un plan perpen- diculaire à son axe de rotation, que, d'un côté de ce plan, les angles d'inclinaison des lignes d'intersection des plans des ailettes augmentent avec l'augmentation de la distance à partir de ce plan et que les lignes d'intersec- tion des plans des ailettes se trouvant de différents côtés de ce plan, soient inclinées dans différentes direc- tions par rapport à la direction de rotation du rotor, chaque roue à ailettes étant décalée par rapport aux au- tres d'un angle auquel il y a, pour chaque ailette de chaque roue, une ailette de chaque autre roue à ailettes avec laquelle ses plans, orientés dans une direction, se trouvent dans un plan commun. Ce mode de réalisation de la pompe turbomrolécu- laire à vide permet d'augmenter ses caractéristiques de pompage. La rapidité d'action augmente du fait que les vitesseslinéaires des molécules du gaz augmentent à la suite de la collision contre les surfaces des ailettes de la roue.à ailettes qui est disposée du côté de l'aspi- ration du gaz, du fait que la composante radiale de la vitesse est communiquée aux molécules en plus d'une compo- sante tangentielle de cette vitesse. Quant au taux de compression du gaz, il est aug- menté grâce à l'augmentation de l'éventualité du passage des molécules du côté de l'aspiration du gaz vers le côté refoulement et à la dimunition du contre-courant de la dispersion du gaz du fait qu'à la suite de la collision contre les ailettes de la roue qui est disposée du côté de refoulement du gaz, une composante radiale est commu- niquée aux molécules du gaz dans la direction de l'extré- mité libre de l'ailette vers le centre de la roue. Pratiquement, la rapidité d'action de la pompe turbomolécutlaire à vide selon l'invention, comparée avec les pompes turbomoléculaires à vide connues, est augmen- tée d'au moins 20%, les cotes d'encombrement étant les mêmes et le taux de compression du gaz étant augmenté alors de moins 5 fois. L'invention sera mieux comprise et d'autres buts, détails et avantages de celle-ci apparaîtront mieux à la lumière de la description explicative qui va suivre d'un mode de réalisation donné uniquement à titre d'exemple non limitatif avec référence aux dessins non limitatifs annexés dans lesquels - la figure 1 représente une tue d'ensemble d'une pompe turbomoléculaire à vide, en coupe longitudinale, se- lonr l'intention - la figure 2 représente un rotor de pompe turbo- moléculaire à vide avec quatre roues à ailettes d'un étage de pompage turbomoléculaire du gaz et avec des rainures, disposées suivant une ligne hélicoïdale, de l'étage de pom- page moléculaire du gaz, selon l'invention; - la figure 3 représente une vue faite suivant la flèche A de la figure 2, montrant une partie de la pre- mière roue à ailettes du côté de l'aspiration du gaz; - la figure 4 est une vue faite suivant la flèche - A de la figure 2. représentant une partie de la deuxième roue à ailettes du côté de l'aspiration du gaz; - la figure 5 est une vue faite suivant la flèche A de la figure 2. représentant une partie de la troisième roue à ailettes du côté de l'aspiration du gaz; - la figure 6 est une vue faite suivant la flèche A de la figure 2. représentant une partie de la quatrième roue à ailettes du côté de l'aspiration du gaz; - la figure 7 est une vue en coupe faite dans la direction de la ligne tII-VII de la figure 2, selon l'invention; et - la figure 8 est une vue en coupe faite suivant la ligne \III-T III de la figure 2, selon l'invention. La pompe turbomoléculaire à vide comprend un bol- tier creux 1 'figure 1,, dans le trou axial 2 duquel est monté un rotor 3. Le jeu 4, alors formé entre la surface cylindrique extérieur 5 du rotor-3 et la surface cylindri- que intérieure 6 du boitier 1 est assez petit et varie, comme on le sait, de 0,15 à 0,3 mm et crée une résistance relativement grande au contrecourant du gaz, c'est-à-dire qu'il empêche le gaz de s'écouler du côté N (désigné par une flèche sur le dessin' durefoulement du gaz vers son côté V d'aspiration.indiqué par une flèche sur le dessin). La pompe turbomoléculaire à vide est du type pom- pe combinée à vide et comporte un étage de pompage turbomo- léculaire et un étage de pompage moléculaire du gaz. 26336?4 L'étage de pompage turbomoléculaire du gaz com- porte au moins deux roues à ailettes entre lesquelles est monté un disque à ailettes. Comme dans les autres construc- tions des pompes turbomoléculaires à vide connues, le nom- bre de roues à ailettes peut varier. Ce nombre peut varier de deux à vingt et davantage et dépend, comme on le sait, des paramètres géométriques des éléments constitutifs de la pompe, en particulier, de la surface de la section de passage des canaux- entre les ailettes des roues et desca- ractéristiques de pompage imposées à la pompe turbomolé- culaire à vide. Dans la variante de la pompe turbomoléculaire à vide représentée au dessin, il y a quatre roues à ailet- tes 7, 8, 9 et 10 et trois disques à ailettes 11, 12, 13. L'étage de pompage moléculaire du gaz est consti- tué de rainures pratiquées sur la surface cylindrique ex- térieure 5 du rotor 3, suivant une ligne hélicoidale,sous la forme d'un filetage à plusieurs filets rectangulaires qui forment, avec la surface intérieure cylindrique 6 du stator 1, des canaux de pompage du gaz dont la section de passage diminue dans la direction de l'aspiration V du gaz vers le refoulement N du gaz. Le rotor 3 est monté sur un arbre 15 et est fixé, à l'une de ses extrémités, par une vis 16. L'autre extrémité de l'arbre 15 est liée à un mo- teur électrique (non représenté sur le dessin). Le sta- tor 1 comporte un corps 17, fixé par un assemblage fileté, sur une bride 18. Une bague d'étanchéité 19 est prévue pour assurer l'étanchéité de la cavité du stator 1 entre la bride 18 et la face extrême inférieure du corps 17. Un trou 20 est prévu sur la bride 18 et une tubulure 21 est fixée coaxialement à ce trou, sur la bride 18, du côté refoulement N du gaz pour le raccordement à une conduite non représentée sur le dessin) pour le pompage à prévide du gaz. Les disques à ailettes 11, 12 et 13 sont fixés sur la surface intérieure du corps 17 de façon que leurs extrémités soient serrées entre l'épaulement 22 du corps 17 du stator 1 et les bague 23, 24 et 25. Des ressorts de compression 27 sont montés entre la bague 25 et un épaule- ment 26 du corps 10 du stator 1. Une bride 28, disposée sur le corps 17, du côté aspiration t du gaz, est destinée au raccordement d'une chambre à étanchéifier (non repré- sentée sur le dessins) d'une installation technologique correspondante. Les ailettes plates 29, 30, 31 et 32 des premiè- re, deuxième, troisième et quatrième roues sont inclinées, si l'on regarde du côté aspiration t du gaz des roues à ailettes 7, 8, 9 et 10, à des angles aigus l (figure 2), gaz, orientée dans la direction de cette aspiration. L'angle J> 2 est angngle formé entre le plan de l'ailette et la surface frontale de la deuxième roue à ailettes 8, si l'on regarde du côté aspiration V du gaz. L'angle >3 est l'angle formé entre le plan de l'ailette 31 et la surface frontale de la troisième roue à ailettes 9, si l'on regarde du côté aspiration V du gaz. L'angle Ad 4 est l'angle formé entre le plan de l'ailette 32 et la surface frontale de la quatrième roue à ailettes 10, si l'on regarde du côté aspiration, ou bien celle de la première roue à ailettes, si l'on regarde du côté refoulement N. Comme dans les autres constructions connues de pompes turbomoléculaires à vide, les angle Z1' '2' Z3 et peuvent aussi bien être égaux pour toutes les roues à ailet- tes 7, 8, 9 et 10 que différents. Dans le cas o l'on a '- 1= --]' 4pour toutes les roues à ailettes 7, 8, 9 et 10, il doit diminuer de la roue à ailettes 7 côté aspiration V du gaz vers la roue à ailettes 10 côté refoulement N du gaz, c'est-à-dire qu'il faut 1l>2 > les sont identiques, c'est-à-dire si 1 = 2 = 3 =4 il est avantageux, comme on le sait, pour assurer un pro- cédé efficace de pompage du gaz, que le nombre d'ailettes 29, 30, 31 et 32 augmente de la première roue à ailettes, côté aspiration V,vers la roue à ailettes 10, côté refou- lement N du gaz, ou que la largeur des roues à ailettes 7, 8, 9, 10 augmente ou bien de les diminuer et les aug- menter simultanément. Les nombres d'ailettes 29, 30, 31 et 32 sur cha- cune des roues à ailettes 7, 8, 9 et 10 respectivement peuvent être égaux ou différents comme dans les autres constructions connues de pompes turbomoléculaires à vide. Dans la variante décrite de la pompe turbomolécu- laire à vide, les nombres d'ailettes 29, 30, 31 et 32 de toutes les roues à ailettes 7, 8, 9 et 10 sont identiques et égaux à trente six. Les angles d'inclinaison ' 2' 1'' ' 2' Às 3J des ailettes 29, 30, 31, 32,respectivement sont 3' 4 identiques et sont de 45 , c'est-à-dire que l'on a 02 = 3 = = 450. Les ailettes plates 29 (figure 3) de la première roue à ailettes 7, côté aspiration V du gaz, sont dispo- sées régulièrement suivant la circonférence du rayon R1 du moyeu 33 et forment des canaux 34 entre les plans orientés l'un vers l'autre. Les ailettes plates 30 (figure 4) de la deuxième roue à ailettes 8, côté aspiration V du gaz, sont régulièrement disposées suivant la circonférence de rayons R2du moyeu 35 et forment des canaux 36. Les ailet- tes plates 31 (figure 5) de la troisième roue à ailettes 9,côté aspiration V' du gaz, sont disposées suivant la circonférence de rayon R3 du moyeu 37 et forment des ca- naux 38. Les ailettes plates 32 (figure 6) de la quatrième roue à ailettes 10, côté aspiration V du gaz, sont dispo- sées régulièrement suivant la circonférence du rayon R4 du moyeu 39 et forment des canaux 40 entre elles. Dans ce cas, les largeurs a1 (figure 2), a2, a3 et a4des roues à ailettes 7, 8, 9 et lO,respectivement, augmentent de la première roue à ailettes 7, côté aspira- tion t du gaz, vers la roue à ailettes 10, côté refoulement \ du gaz, c'est-à-dire al passage des canaux 3'L figure 3. 36 figure 4:, 38 (figu- re 5., et 40 'figure 6, diminuent de la roue à ailettes 7, côté aspiration t du gaz vers la roue à ailettes 10, côté refoulement \ du gaz, à la suite de la diminution de la longueur des ailettes 30, 31 et 32 c'est-à-dire que l'on a 2t figure 7 t 2 3 4, o est la longueur des ailettes 29 de la roue 7 /1 2 est la longueur des ailettes 30 de la roue 8: /3 est la longueur des ailettes 31 de la roue 92 /4 est la longueur des ailettes 32 de la roue 10. est la longueur des ailettes 32 de la roue 10. les rayons R2, R= et R4 des moyeux 35, 37. 39 res- pectiement.des roues à ailettes 8, 9, 10 sont comme suit: R 1 2 3 4 Chaque ailette d'au moins l'une des roues est disposée de façon que les lignes d'intersection de ses plans aiec les plans perpendiculaires à l'axe de rotation du rotor. soient disposées sous un angle par rapport aux 2O ra\ons de son mo}eu, tracés aux points d'intersection de ces lignes avec les circonférences des noyaux et orientées, au moins pour une roue à ailettes, côté refoulement du gaz, dans la direction de rotation du rotor et, au moins sur une roue à ailettes, côté aspiration du gaz dans la direc- tion opposée. Dans la variante décrite de la pompe turbomolécu- laire à vide. l'ailette 29 'figure 3) de la première roue à ailettes 7. côté aspiration t du gaz, est disposée de manière que la ligne "m" d'intersection de l'un de ses plans avec la surface frontale de cette même roue 7, orien- tée 'ers le côté aspiration V du gaz, soit disposée sous un angle.' 1=300 par rapport au rayon R de la circonfé- rence du mo\eu 33. tracé au point d'intersection S de la ligne "m" avec la circonférence du mo\eu 33 et soit incli- née dans la direction opposée à la direction\s de la rota- tion du rotor 3. Chaque ailette 30 (figures 2 et 8) de la deuxième roue à ailettes 8, côté aspiration V du gaz, est dispo- sée de façon que les lignes d'intersection "n" de ses plans, si l'on ne tient pas compte de son épaisseur, avec un plan K perpendiculaire à l'axe 0 de rotation du rotor 3 passant par la section médiane de la roue à ailette 8, soient disposées radialement. Dans ce cas, les angles d'inclinaison / des lignes d'intersection de l'ailette 30 avec les autres plans perpendiculaires à l'axe de rotation du rotor 3 sont relativement petits et augmentent avec l'augmentation de la distance mesurée à partir du plan K. En outre, les lignes "n" de l'intersection des plans de l'ailette 30 avec les plans disposés de part et d'autre du plan K sont orientées dans des directions différentes, à partir des rayons correspondants aux rayons R1 sur les circonférences du moyeu 35. Cnaque ailette 31 (figure 5) de la troisième roue à ailettes, côté aspiration V du gaz, ou de la deu- xième roue à ailettes 9, côté refoulement N du gaz, est dis- posée de manière que la ligne d'intersection "p" de l'un de ses plans avec la surface frontale de la roue 9, orien- tée vers le côté aspiration V du gaz, forme un angle aigu 3 = 200 par rapport au rayon R3 de la circonférence du moyeu 37. tracé au point d'intersection S3 de la ligne "p" avec la circonférence- du moyeu 37 et inclinée dans la di- rection de rotation D du rotor 3. Chaque ailette 32 (figure 6) de la quatrième roue à ailettes, côté aspiration V du gaz, ou de la. pre- mière roue à ailettes 10, côté refoulement N du gaz, est disposée de manière que la ligne d'intersection "If" de l'un de ses plans avec la surface frontale de la roue à ailettes 10, orientée dans la direction V de la d'aspira- tion du gaz, forme un angle 4 = 30 par rapport au rayon R de la circonférence du moyeu 39, tracé au point d'in- tersection S de la ligne "f" avec la circonférence du moyen 39 et inclinée dans la direction de rotation du rotor 3. Dans ce cas, lors de l'augmentation de la dis- tance du plan K. les angles d'inclinaisonj de la ligne d'intersection des plans des ailettes 29, 30, 31 et 32 augmentent également. Ces angles peuvent augmenter jusqu'à 600. La \aleur maximale de ces angles dépend de l'angle d'inclinaison " des ailettes ainsi que des caractéristi- ques requises de pompage de la pompe turbomoléculaire à vide. Dans la variante représentée à la figure 2, le plan K est disposé dans la section médiane de la deuxième roue à ailettes 8, dont les ailettes 30 sont disposées pratiquement radialement. Les ailettes 29, 31 et 32 de ces autres roues à ailettes 7, 9 et 10, disposées de part et d'autre de ce plan K, sont inclinées dans des sens diffé- rents par rapport à la direction radiale. Dans chaque construction concrète de la pompe turbomoléculaire à vide, l'endroit de la disposition de ce plan K doit être calculé et dépend des paramètres géo- métriques requis des roues à ailettes, du nombre d'ailet- tes, de la surface de la section de passage des canaux entre les ailettes, ainsi que des angles d'inclinaison / -\)des ailettes. Dans la variante décrite, toutes les roues à ai- lettes 7, 8. 9 et 10 sont orientées autour de l'axe de - rotation du rotor de manière que chacune ait au moins une ailette 29, 30, 31 et 32. dont le plan orienté dans un sens. se trouve dans un plan L. Ce mode de réalisation de la pompe turbomolécu- * laire à vide permet de fabriquer son rotor 3 de manière monolithique et de simplifier notablement le procédé technologique de sa fabrication, de réduire le temps nécessaire à cette fabrication d'au moins 5 fois et aug- mente les caractéristique d'utilisation de la pompe turbo- moléculaire à vide. La pompe turbomoléculaire à vide fonctionne dela manière suivante. Lors du montage de la pompe, on relie sa bride 28 'figure 1t à une chambre à étanchéifier non représentée sur le dessin) d'une installation techno- logique correspondante. La tubulure 21 est alors reliée à la conduite de pompage à prévide du gaz (non représen- tée au dessin_. On effectue le pompage à prévide du gaz depuis la chambre étanche jusqu'à la pression de 1 à Ensuite, en appliquant la tension au stator du moteur électrique (non représenté au dessin), on met la roue 15 conjointement avec le rotor 3 en rotation et par conséquent, on met les roues à ailettes 7, 8, 9 et 10 en rotation dans la direction us. Lors de la rotation du rotor 3, les molécules de gaz parviennent du volume de la chambre à étanchéifier dans la cavité de la pompe et sont entraînées par les ai- lettes 29 de la première roue à ailettes 7, côté aspira- tion V du gaz. Une impulsion de la vitesse résultant de la collision contre les ailettes 29 en rotation s'additionne à la vitesse thermique propre des molécules du gaz. Après s'être refléchies plusieurs fois sur les ailettes 29 de la roue 7, les molécules arrivent au disque 11 puis aux ailettes 30 de la deuxième roue à ailettes 8. Les molé- cules, se réfléchissant selon la loi de réflexion spécu- laire, se déplacent dans des plans tangents aux circonfé- rences qui sont coaxiales à la circonférence du moyeu et, croisant les plans des ailettes 29 en arrivant à la première roue à ailettes 7, acquièrent, en plus de la com- posante tangentielle de la vitesse, une composante radiale ce qui contribue à leur déplacement vers la périphérie des ailettes 29 o les vitesses linéaires de ces dernières aug- mentent. De ce fait, une plus haute impulsion de vitesse est communiquée aux molécules et celles-ci s'éloignent plus vite du côté de l'aspiration V du gaz vers le côté refoulement N du gaz. On assure ainsi l'augmentation de la rapidité d'action de la pompe turbomoléculaire. Ayant tra- versé le disque à ailettes 11, les molécules du gaz arri- vent à la deuxième roue à ailettes 8, dont les ailettes 30 ont des lignes d'intersection de leursplansqui sont dispo--sées presque radialement. En se heurtant aux ailettes 30 de la roue 8, les molécules de gaz ne reçoivent que la composante tangen- tielle et le pompage du gaz se fait d'une manière analogue aux autres constructions connues des pompes turbomolécu- laires à vide. Après s'être réfléchies à plusieurs repri- ses des ailettes 30 de la roue à ailettes 8, les molécules de gaz parviennent au disque à ailettes 12 et, ensuite, à la roue à ailettes 9, o les lignes d'intersection "p" des plans de leurs ailettes 31 sont inclinées dans le sens de rotation du rotor 3. A la suite de la collision contre la surface latérale des ailettes 31 de la roue 9, une impul- sion de force orientée de la périphérie des ailettes 9 vers l'axe de rotation "0" du rotor 3 est communiquée aux molécules de gaz. assurant l'évacuation de ses molécules du jeu 4 et diminuant leur courant de dispersion. En pas- sant par la roue à ailettes 9, les molécules parviennent au disque à ailettes 13, puis aux ailettes 32 de la roue 10. La roue à ailettes 10 fonctionne d'une manière identi- que à la roue à ailettes 9. Toutefois, étant donné que l'angle '4 est plus petit que l'angle,g, l'efficacité de l'évacuation des molécules de gaz hors du jeu 4 dimi- nue par suite de la dimunition du contre-courant de la dispersion du gaz ce qui aboutit à une augmentation du taux de compression du gaz. Ensuite, les molécules de gaz arrivent, des ailet- tes 32 de la roue 10,aux rainures 14 de l'étage de pompage moléculaire du gaz qui fonctionne selon un mode connu. Il s'ensuit que, pendant le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire à vide, l'inclinaison des lignes d'intersection des plans des ailettes à partir de la direc- tion radiale, dans la direction de la rotation du rotor, se traduit par une augmentation du taux de compression tandis que l'inclinaison en sens inverse provoque une aug- mentation de la rapidité d'action. Tous ces avantages aug- mentent par conséquent les caractéristiques de pompage de la pompe turbomoléculaire à vide, sans augmenter ses cotes d'encombrement. R E V E N D I C A T I 0 N S 1. Pompe turbomoléculaire à vide du type compor- tant un stator creux dans le trou axial duquel est monté un rotor ayant au moins deux roues à ailettes entre les- quelles sont disposés des disques à ailettes qui sont fi- xés sur le stator, dont les ailettes plates forment un an- gle avec les ailettes plates des roues à ailettes du rotor, qui sont disposées suivant une circonférence sur le moyeu de la roue à ailettes correspondante de manière que les sections de passage des canaux formés entre des plans oppo- sés des ailettes diminuent de la roue à ailettes côté as- piration du gaz vers la roue à ailettes côté refoulement du gaz, et dont les plans sont inclinés par rapport aux plans perpendiculaires à l'axe de rotation du rotor dans le sens de sa rotation,caractérisée en ce que chaque ai- lette (29, 30, 31, 32),au moins, de l'une des roues à ai- lettes (7, 8, 9, 10) est disposée de façon que les lignes d'intersection de ses plans avec des plans perpendiculai- *res à l'axe de rotation du rotor (3) soient disposés sous un angle par rapport aux rayons de la circonférence du mo- yeu au point d'intersection de ces lignes avec les circon- férences du moyeu et soient orientées, au moins pour une roue à ailettes (10), côté refoulement (N) du gaz, dans la direction du rotor (3) et en ce qu'au moins, sur une roue à ailettes, côté aspiration (V) du gaz, elles sont orien- tées en sens inverse. 2. Pompe selon la revendication 1, caractérisée en ce que dans le cas o l'angle d'inclinaison des plans des ailettes (29, 30, 31, 32) de toutes les roues (7, 8, 9, 10) par rapport aux plans perpendiculaires à l'axe de rotation du rotor (3) et o les nombres des ailettes (29, , 31, 32) sont identiques sur toutes les roues à ailet- tes (7, 8, 9, 10), le rotor (3) a un plan perpendiculaire à son axe de rotation, en ce que les angles d'inclinaison des lignes d'intersection des ailettes (29, 30, 31, 32) se trouvant d'un côté de ce plan augmentent avec l'augmenta- tion de la distance à ce plan et en ce que, de différents côtés de ce plan, les lignes d'intersection des plans des ailettes (29, 30, 31, 32) sont inclinées dans différentes directions par rapport à la direction de rotation du rotor (3), en ce que chaque roue à ailettes (7, 8, 9, 10) est décalée par rapport aux autres d'un angle auquel il y a, pour chaque ailette (29, 30, 31, 32) de chaque roue (7, 8, 9, lO),une ailette d'une autre roue à ailettes avec les- quelles ses plans orientés dans une seule direction se trouvent dans un plan commun.