Brevet FR2627592A1 — publié le 19890825

ecceléromètre Pendulaire non asservi à poutre résonante. La présente invention concerne les accéléromè- tres pendulaires non asservis du type comportant une masse sismique pendulaire reliée à un-socle par une articulation lui permettant de débattre dans la direc- tion d'un axe sensible et un capteur de force à poutre résonante reliant la masse au socle et munie d'électro- des de mise en vibration. On connait déjà de nombreux accéléromètres com- portant une masse simisque pendulaire et un capteur de force constitué par une poutre reliant la masse à un socle, les variations de la fréquence de résonance de la poutre constituant une représentation de l'accélération appliquée le long de la direction sensible. On connaît en particulier un tel accéléromètre (US-A-4 517 841 SUNDSTRAND DATA CONTROL) dont la poutre vibrante est placée de façon que les accélérations suivant l'axe sensible se traduisent par des contraintes de compres- sion ou de traction dans la poutre placée parallèlement à cette direction. On connaît également (KASS et autres, Double-ended tuning fork quartz accelerometer, CH2330- 9/86/0000-0230, 1986 IEEE) un accéléromètre dans lequel une masse simisque est reliée à un socle uniquement par deux poutres qui l'encadrent. Ces accéléromètres ont l'intérêt d'être robustes et de coût modéré. La présente invention vise à fournir un accélé- romètre qui, tout en conservant et même en renforçant ces qualités, ait une sensibilité accrue, un volume réduit, une résistance élevée à des accélérations dépas- sant largement la plage de mesure et un coût faible. Elle propose dans ce but un accéléromètre du type ci-dessus défini, caractérisé en ce que le capteur comporte au moins deux poutres vibrantes en matériau piézo-électrique fixées à une extrémité au socle, munies d'électrodes de mise en vibration à fréquence de résonance, l'une au moins des poutres étant fixée à la masse à son extrémité opposée au socle pour que l'application d'une accélération suivant l'axe sensible crée des contraintes de traction dans la poutre et étant orientée perpendiculairement à l'axe sensible. Les électrodes sont reliées à un circuit compor- tant un oscillateur s'accordant sur la fréquence de ré- sonance de la poutre et des moyens permettant de mesurer cette fréquence de résonance. Ces moyens fournissent avantageusement en sortie un signal numérique représen- tatif de la fréquence et donc de l'accélération. L'invention trouve de nombreuses applications, notamment chaque fois que l'on souhaite disposer d'un accéléromètre ayant un encombrement faible, réalisable en série à bas prix, capable de fournir des mesures significatives dans une plage d'accélération importante et pouvant supporter des accélérations très supérieures aux accélérations à mesurer. Parmi les domaines d'appli- cation de tels dispositifs on peut notamment citer les engins et obus guidés ou auto-guidés dans lesquels l'accéléromètre est utilisé une seule fois et o une condition essentielle à remplir est la résistance aux accélérations élevées subies lors du tir, et l'industrie automobile o le coût est un critère dominant. Suivant la condition à remplir en priorité, on adoptera l'un ou l'autre de divers modes de réalisation possibles. Dans un premier mode de réalisation, le capteur comprend, en plus d'une poutre fixée à la masse sismique à son extrémité opposée au socle, une seconde poutre, identique à la première, mais à extrémité libre. La seconde poutre oscille à une fréquence de référence et la mesure de la différence des fréquences de résonance des deux poutres, associées à des oscillateurs dis- tincts, fournit une indication sur l'accélération appliquée. Dans un autre mode de réalisation, deux poutres sont placées de part et d'autre de la masse dans la direction de l'axe sensible, & une distance mutuelle dans la direction de l'axe sensible très inférieure & la largeur et à la longueur de la masse. Cette dernière solution permet de constituer un accéléromètre extrême- ment plat et de faible volume. Dans tous les cas, on peut obtenir une amplifi- cation mécanique favorable à la sensibilité du système. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui suit de modes particuliers de réalisation, donnés à titres d'exemples non limitatifs. La description se réfère aux dessins qui l'accompagnent, dans lesquels: - la figure 1 est un schéma de principe, en perspective, montrant une constitution possible de la partie mécanique d'un accéléromètre suivant un premier mode de réalisation de l'invention; - la figure 2 est une vue en coupe suivant la ligne II-II de la figure 1; - la figure 3, similaire à la figure 1, montre une variante de réalisation; la figure 4, similaire à la figure 2, montre un autre mode de réalisation de l'invention; - la figure 5 est une vue en perpespective de la plaque médiane de l'accéléromètre de la figure 4, com- portant la masse sismique, munie de son capteur; - la figure 6 est un schéma montrant la consti- tution de principe d'un demi-capteur & poutres vibrantes utilisable dans l'accéléromètre de la figure 4, et des circuits électriques associés; - la figure 7 représente l'ensemble de l'accélé- romètre montré sur la figure 4, en perspective et en coupe partielle; - la figure 8, similaire à la figure 4, montre un autre mode encore de réalisation; - la figure 9 est une vue en perspective de la plaque centrale de l'accéléromètre de la figure 8; - la figure 10 est une vue en coupe suivant la ligne X-X de la figure 8, montrant l'ensemble de la partie mécanique de l'accéléromètre; - la figure 11 est une vue éclatée de la partie active d'une variante des figures 8 à 10. Le mode de réalisation montré en figures 1 et 2 est notamment intéressant lorsqu'on recherche une grande simplicité de fabrication, un prix de revient faible et une aptitude à pouvoir subir des accélérations et chocs violents. L'accéléromètre comprend une masse sismique 12 reliée par une articulation 14 autour d'un axe x, à un socle 16. L'axe sensible est l'axe y, perpendiculaire à x. Le socle 16 est porté par un support 18. Ce socle peut appartenir au boîtier de l'accéléromètre, générale- ment étanche pour permettre d'y faire un vide partiel. Dans le mode de réalisation montré en figures 1 et 2, deux charnières sont placées de part et d'autre de la masse 12, dont la partie centrale est évidée. Du fait de la faible longueur des charnières, elles n'opposent pratiquement aucun couple résistant au débattement de la masse. Mais, du fait de leur écartement, elles ont une bonne résistance aux efforts et aux chocs dans la direction x. Une caractéristique importante de l'accéléro-_ mètre est le fait qu'il comporte un capteur à poutre vibrante orientée perpendiculairement à la direction y et à la direction de l'articulation x, ce qui permet, comme on le verra, d'obtenir une amplification mécanique. Le capteur montré en figures 1 et 2 comporte deux poutres vibrantes 20 et 22 en forme de lames, identiques, disposées parallèlement l'une à l'autre. L'une des extrémités de chaque poutre est fixée à plat au socle 16 de façon à présenter avec lui une liaison assimilable à un encastrement. L'autre extrémité de la poutre 22 est libre. Au contraire l'autre extrémité de la poutre 20 est fixée à la masse sismique 12 par une liaison également assimilable à un encastrement. Pour permettre la fixation de la lame 20 sur la masse 12 sans gêner les vibrations de la poutre 20, la masse 12 présente une excroissance 23 de réception de la poutre 20. L'articulation 14 est décalée par rapport à la zone de fixation des poutres sur le socle 16 pour restreindre les risques de déformation. Pour expliquer l'effet d'amplification mécanique de façon simple on supposera tout d'abord que l'accélé- romètre est orienté de façon que la direction sensible y soit parallèle à l'accélération terrestre +g. La masse sismique m est alors soumise, au repos, à un moment mgL = FL (L désignant la distance entre le centre de gravité de la masse 12 et l'axe d'articulation x). Ce moment est équilibré par la force F' exercée par la poutre 20 qu'on appelera par la suite poutre active. Pour équilibrer le couple mgL, la poutre est soumise à un effort de traction F' = FL/h (h désignant la distance entre le centre de gravité et la poutre en forme de lame plate). L pouvant être très supérieur à h, on obtient une amplification importante. Les poutres 20 et 22 seront généralement réali- sées en quartz, qui a l'avantage de propriétés piézo- électriques bien connues et stables, d'être facilement disponible et de pouvoir être mis en forme par des pro- cédés de prix de revient faible, tels que la photolitho- gravure. Les poutres présenteront généralement une forme de lame d'épaisseur comprise entre 127 et 500 Um et de longueur totale comprise entre 5 et 15 mm. La mise en vibration des poutres 20 et 22 et la mesure de la différence entre les fréquences de résonan- ce s'effectuent à l'aide d'un circuit 24 relié à des électrodes déposées sur les poutres, par exemple en chrome recouvert d'or. On donnera plus loin plusieurs constitutions possibles de poutres vibrantes permettant d'atteindre des précisions élevées. Il faut simplement remarquer ici que la fréquence moyenne des deux poutres et 22 étant proche, la différence entre leurs fré- quences de résonance est pratiquement nulle en l'absence d'accélération. La différence résiduelle éventuelle peut être compensée de façon électronique par le circuit 24 ou par ajustement de la masse vibrante de l'une des pou- tres par un tir au laser sur une surcharge en or dispo- sée sur la poutre. En cas d'accélération positive, met- tant en tension la poutre 20, la fréquence de la poutre 20 devient supérieure à la fréquence de la poutre 22. Les deux poutres présentant sensiblement la même loi de variation de la fréquence de résonance en fonc- tion de la température et étant situées à proximité immédiate l'une de l'autre, l'influence de la tempéra- ture est pratiquement nulle, surtout si les deux poutres ont été découpées dans une même tranche. Les poutres 20 et 22 peuvent être fixées par collage, thermocompression, soudure composite ou tout autre procédé de solidarisation évitant les risques de séparation. Les fils de liaison avec le circuit 24 peuvent être fixés aux électrodes déposées sur les poutres par collage à la colle conductrice ou par thermocompression. Le support 18 et le socle 16 peuvent être cons- titués par une plaque en matériau à coefficient de dilatation linéique très proche de celui du quartz dans la direction longitudinale des poutres, par exemple en alliage NiCu30Al connu sous la référence Monel K500. Dans le mode de réalisation montré en figure 1, cette plaque présente un évidement de quelques microns, réalisé par exemple par usinage chimique, qui définit l'amplitude maximale e du débattement de la masse 12 dans le sens des accélérations positives. Le support 18 peut être complété par un boiter de protection ou déborder du socle et être muni d'un couvercle. Pour pallier les erreurs de premier ordre dues aux variations de température et liées à la légère dif- férence entre les coefficients de dilatation thermique du quartz de la poutre et du métal de la cellule sismi- que (masse et support), on peut choisir la coupe cris- tallographique de la poutre de référence de façon à faire glisser la température d'inversion de cette pou- tre, par rapport à la poutre active 20, pour compenser les variations du biais de l'accéléromètre en température. Dans la variante de réalisation montrée en figu- re 3 (o les éléments correspondant à ceux des figures 1 et 2 sont désignés par le même numéro de référence) les deux poutres 20 et 22 constituent un ensemble monobloc et sont reliées par une base commune 26. L'ensemble socle-masse 12 n'est plus monobloc, mais en quatre par- ties 16, 12a, 12b, 12c'réunies par collage. Ces quatre parties comportent deux joues 12a et 12b en quartz qui peuvent être réalisées par photolitho- graphie dans une même tranche de quartz, avec la même coupe cristallographique que les poutres vibrantes 20 et 22. L'essentiel de la masse sismique est constitué par une masselotte métallique 12c collée entre les joues 12a et 12b. La partie arrière des joues est collée sur le socle 16. Cette solution réduit les variations relatives de dilatation linéique. Un accéléromètre du type montré en figures 1 et 2 permet des mesures dans une plage qui, suivant la valeur choisie pour la masse m, peut aller de quelques dizaines à quelques centaines de fois l'accélération de la pesanteur g. En dehors des périodes de mesure, l'accéléromètre peut résister à des surcharges extrêmes de plusieurs fois 1000 g quelque soit l'axe d'applica- tion de la force, à condition que le jeu e soit faible. Un jeu de quelques microns peut être facilement obtenu par attaque chimique à l'acide. Si l'accéléromètre com- porte un boîtier étanche contenant un gaz inerte (hélium ou argon) sous pression réduite, le jeu faible e joue un rôle d'amortisseur gazeux et limite l'amplitude des déplacements et le facteur de surtension à la résonance propre de l'ensemble constitué par la poutre 20 et la masse 12. Lorsque l'accéléromètre des figures 1 à 3 est soumis à une accélération négative, tendant à éloigner la masse sismique du support 18, la lame 20 est mise en compression. Dans ces conditions, sa résistance à la rupture est 4 à 5 fois supérieure à celle qu'elle présente en traction de sorte que la présence d'une butée est moins utile. Toutefois, si nécessaire, une butée peut être prévue pour limiter le débattement également dans ce sens. L'accéléromètre dont la constitution de principe est montrée en figures 4 à 6 a l'avantage d'une grande simplicité de réalisation car, comme on le verra, sa partie mécanique se limite à trois pièces pouvant être usinées en mode collectif à partir de tranches de quartz, par photolithographie. Sur les figures 4 à 6, o les organes correspon- dant à ceux montrés en figures 1 à 3 portent le même numéro de référence, on voit que l'accéléromètre com- porte encore une masse sismique 12 reliée à un socle 16 par deux charnières constituant une articulation 14. Le socle appartient à un cadre entourant complètement la masse et destiné à s'appliquer contre deux flasques 26 et 30 pour.constituer une cellule accélérométrique qui peut être étanche. Sous l'action d'une accélération g, la masse 12 est encore soumise à un moment par rapport à l'axe x égal & mgL (L étant la distance entre l'articulation et le centre de gravité de la masse). Le capteur est constitué par une paire de pou- tres 20a et 20b encadrant la masse 12 dans la direction de l'axe sensible y. Chaque poutre a une extrémité fixée à plat sur le socle 16 et une autre extrémité fixée à plat sur la masse 12. Un évidement 32 ménagé dans cette masse, par attaque chimique par exemple, permet à chaque poutre de vibrer sans être gênée par la masse. La force antagoniste f que doit exercer chaque poutre pour main- tenir la masse sismique pendulaire 12 en équilibre est reliée à l'accélération g appliquée à l'accéléromètre par la relation 2fh = mgL, h étant le bras de levier du couple de rappel, sensiblement égal à la demiépaisseur de la masse. On voit que ce montage réalise encore une amplification de force, de gain égal au rapport L/2h, ce qui augmente considérablement la sensibilité de l'appareil. Du fait de cette sensibilité accrue, il est possible de substituer, aux masses métalliques couramment utilisées jusqu'ici, une masse en quartz à faible densité. Les poutres peuvent avoir diverses constitu- tions. Dans le mode de réalisation montré en figures 5 et 6, chaque poutre, 20a par exemple, a une constitution de double diapason du genre décrit par exemple dans les documents antérieurs US-A-3 238 789 (SERA) ou 4 215 570 (EER NISSE). Chaque poutre est associée à un oscillateur 34. Un circuit 36 de mesure de différence de fréquence, par exemple par battements, prélève un signal sur chacun des deux oscillateurs et fournit en sortie 38 un signal numérique de différence de fréquence. Du fait que l'une des poutres est endcompression lorsque l'autre est en traction, on double le décalage de fréquence par rapport à la valeur au repos et au surplus le fonctionnement en différentiel permet d'éliminer divers défauts en parti- culier ceux liés à la réponse thermique des lames et aux non-linéarités. Il faut remarquer que la structure montrée en figures 4 et 5 est très différente de celle décrite dans l'article de KASS mentionné ci-dessus, du fait que cette dernière n'a pas de masse pendulaire à un seul degré de liberté (oscillation autour de l'axe x). Du fait de l'absence de charnière, la masse sismique agit sur les deux lames sous n'importe quel angle d'application de l'accélération et des termes d'erreur apparaissent, du-s à la dissymétrie de réponse des deux poutres du capteur. On voit que l'ensemble mécanique qui vient d'être décrit peut être extrêmement plat et de plus est susceptible d'être fabriqué par des procédés photolitho- graphiques, y compris les poutres, ce qui constitue un ensemble très homogène et élimine les problèmes de dilatation thermique différentielle. La partie mécanique de l'accéléromètre qui vient d'être décrit peut avoir la constitution réelle montrée en figure 7. Les deux flasques 26 et 30 constituent avec le cadre un boîtier. La partie centrale regroupant le cadre et la masse pendulaire 12 peut être usinée dans une tranche de quartz. Une fois les poutres 20a et 20b fixées au socle et à la masse pendulaire, l'ensemble peut être enserré entre les deux flasques et l'ensemble peut être collé. Il est très facile d'usiner des évide- ments de quelques microns de profondeur dans les flasques par usinage chimique, pour ménager l'intervalle nécessaire au débattement de la masse sismique. A titre d'exemple, on peut indiquer qu'un accéléromètre du type montré en figure 7 a été réalisé pour mesurer des accélérations dans la plage allant de +100 g à -100 g. L'encombrement plan était de l'ordre de 7 mm x 7 mm et la partie mécanique pouvait supporter sans dommage des accélérations de plusieurs milliers de fois l'accélération de la pesanteur. Le mode de réalisation montré en figures 8 à 10 se différencie du précédent essentiellement en ce que l'axe d'articulation x est perpendiculaire aux grandes faces de la masse pendulaire 12 de forme plate. Les deux poutres 20a et 20b encadrant la masse 12 peuvent alors être réalisées d'une seule pièce avec le cadre compor- tant le socle 16 et avec la masse 12 par découpe d'une même tranche de matériau piézoélectrique, généralement le quartz. Les poutres représentées schématiquement sur les figures 8 à 10 sont, comme dans le cas précédent, du type en double diapason. Deux flasques 26 et 30 dans lesquelles ont été usinés des évidements de profondeur e délimitent une chambre o le débattement dans un sens ou dans l'autre de la masse pendulaire 12 est limité à la valeur e. La masse sismique pendulaire, en forme de T et limitée par un amincissement 36 constituant charnière, peut être alourdie par dépôt de métal lourd, par exemple par un dépôt galvanique d'or de quelques microns à quelques dizaines de microns d'épaisseur. La solution montrée en figures 8 à 10 permet de réaliser un accéléromètre de forme extrêmement plate et peu coûteux, se prêtant particulièrement bien à une uti- lisation dans des munitions ou dans l'industrie automo- bile pour les centrales de guidage ou de surveillance de trajet. Lorsque l'accéléromètre est susceptible d'être soumis à des accélérations ou à des chocs pouvant faire travailler la charnière 36 en torsion, il peut être avantageux d'utiliser la variante de réalisation montrée en figure 11 sous forme éclatée. Dans ce cas la pièce centrale monobloc des figures 9 à 11 est remplacée par un empilement de trois feuilles, -les deux feuilles extrêmes étant identiques et portant une fraction de masselotte reliée par une charnière 36 à un cadre tandis que la feuille centrale comporte une fraction de masse sismique 12 démunie de charnière et le capteur, consti- tué des poutres 20a et 20b. Les capteurs constitués d'une ou plusieurs pou- tres en double diapason décrites jusqu'ici peuvent être remplacés par des capteurs à poutres travaillant en ten- sion ou en compression d'un genre différent. Par exem- ple, il est possible de substituer aux poutres en double diapason une poutre à deux fentes longitudinales du genre montré dans le document EP-A-O 130 705. On peut également utiliser des structures de poutre réalisables par des techniques autres que la photolithogravure, telles que celles décrites dans le document FR-A-2 574 209 au moins dans le cas du mode de réalisation des figures 4 à 7. Il doit être entendu que la portée du présent brevet s'étend à de telles variantes ainsi plus généralement qu'à toutes autres restant dans le cadre des équivalences. REVENDICATIONS 1. Accéléromètre pendulaire non asservi compor- tant une masse sismique pendulaire (12) reliée à un socle (16), une articulation (14) lui permettant de débattre dans la direction d'un axe sensible et un capteur de force à poutres résonantes (12,12a,12b) reliant la masse au socle et munie d'électrodes de mise en vibration destinées à être couplées à un oscillateur et à un circuit de mesure de fréquence, caractérisé en ce que le capteur comporte au moins deux poutres vibran- tes en matériau piézoélectrique, fixées à une extrémité au socle (16) munies d'électrodes de mise en vibration à fréquence de résonance, l'une au moins des poutres (20, a,20b) étant fixée à la masse à son extrémité opposée au socle pour que l'application d'une accélération suivant l'axe sensible crée des contraintes de traction dans la poutre et étant orientée perpendiculairement à l'axe sensible. 2. Accéléromètre selon la revendication 1, ca- ractérisé en ce que l'articulation est définie par des charnières placées de chaque côté de la masse pendulaire. 3. Accéléromètre selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le capteur comprend, en plus d'une poutre (20) fixée à la masse sismique à son extrémité opposée au socle, une seconde poutre (22) identique à la première mais à extrémité libre, le circuit de mesure de fréquence fournissant un signal représentatif de la - différence des fréquences de résonance des deux poutres. 4. Accéléromètre selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce qu'il comporte deux poutres (20a,20b) placées de part et d'autre de la masse sismique pendu- laire à une distance mutuelle, dans la direction de l'axe sensible, très inférieure à la largeur et à la longueur de la masse. 5. Accéléromètre selon la revendication 4, caractérisé en ce que la masse sismique et le socle constituent une même pièce, le socle étant complété par un cadre entourant la masse sismique. 6. Accéléromètre suivant la revendication 4 ou , caractérisé en ce qu'il comporte un boîtier constitué de deux flasques (26,30) appliquées sur le cadre de part et d'autre de la masse sismique (12) dans lesquelles sont ménagés des évidements de débattement de la masse. 7. Accéléromètre selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la masse sismique pendulaire est de forme plate et reliée au support par une charnière d'articulation suivant un axe perpendiculaire aux grandes surfaces de la masse et en ce qu'il comporte deux poutres placées de part et d'autre de la masse dans le sens de la largeur de cette dernière. 8. Accéléromètre selon la revendication 7, caractérisé en ce que les poutres, la masse sismique et le socle sont constitués par usinage d'une même tranche de quartz. 9. Accéléromètre selon l'une quelconques des revendications 6 à 8, caractérisé en ce que la masse sismique porte un revêtement de métal lourd, tel que l'or.