Brevet FR2626078A1 — publié le 19890721

CAPTEUR D'ACCELERATION ET SON PROCEDE DE FABRICATION L'invention concerne un capteur d'accélération pour la mesure d'une accélération dans plus d'une direction des coordonnées, équipé d'une masse qui peut être déviée dans un plan, et qui est pourvue d'un premier élément de contact électrique et entourée dans le plan de plusieurs autres éléments de contact électriques, de sorte que, en cas de dépassement d'un seuil prédéterminé, le premier élément de contact électrique actionne un ou plusieurs des autres éléments de contact, en fonction de la direction de l'accélération à mesurer dans le plan. Un capteur d'accélération de ce type a déjà été décrit dans la DE OS 21 22 471. L'invention concerne en outre un procédé de fabrication d'un capteur d'accélération du type précité. Il existe de nombreux développements de capteurs d'accélération. La plupart des capteurs d'accélération fonctionnent avec un système Masse- Ressort, dans lequel la masse est déviée par l'accélération qui s'exerce, la déviation étant à son tour convertie en un signal électrique analogique. Il existe, en outre, des capteurs d'accélération à sortie binaire qui indiquent uniquement si un seuil d'accélération prédéterminé a été dépassé ou non. A cet effet, d'une part on connecte des capteurs analogiques avec des - 2 - dirEositifs de commutation électroniques, en pcrticulicr, un comparateur et on détecte ainsi le dépassement d'un scuil; d'un autre côté, il existe également des capteurs d'accélération qui, en raison de leur conception, sont déjà employés en mesures physiques, de telle sorte qu'ils produisent uniquement un signal logique déterminé en cas de dépassement d'un seuil donné. Dans la DE-OS 21 22 471 a déjà été décrit un dispositif de détection dans lequel une sphère métallique est disposée sur un disque support conducteur. Le support est pourvu en son centre d'un trou de diamètre inférieur à celui de la sphère. Sous le trou se trouve un aimant. Au repos, la sphère se trouve dans l'orifice du perçage et est' en outre figée dans cette position de repos par l'aimant. Au- dessus de la sphère se trouve une couronne à symétrie de révolution constituée d'éléments de contact répartis sur une surface tronconique. Au repos, ces éléments de contact se trouvent à distance de la sphère. Si, maintenant, la sphère est déviée de sa position de repos sous l'effet d'une accélération, l'attraction entre la sphère et l'aimant est rompue et la sphère roule sur le support conducteur dans la direction de l'accélération ou de la décélération. Après avoir parcouru un certain trajet, la partie supérieure de la sphère vient prendre appui contre un des éléments de contact, fermant ainsi un circuit électrique entre l'élément de contact et le support conducteur, étant donné que la sphère est également conductrice. On peut ainsi, d'après l'élément de contact touché, déterminer la direction du trajet de la sphère et par-là même la direction de l'accélération. -3- L'inconvénient de ce dispositif de détection connu conciste néanmoins en cc que la sphere n'est pas guidée sur son trajet entre la position de rcpos, ot elle est figée par l'aimant, et la position de contact, de sorte qu'on ne peut exclure des intGrférences si la sphère est soumise sur son trajet & d'autres forces, qui exercent alors une influence relativement importante sur la trajectoire de la sphère, parce que celle- ci n'est plus entravée sur son trajet par aucune sorte de force d'arrêt. De plus, la position de repos de la sphère est relativement instable et, pour finir, le dispositif de détection connu ne permet qu'une seule position de montage, dans laquelle le support conducteur se trouve dans un plan horizontal. Un capteur décrit dans la EP-OS 251 048 utilise un pendule formé par une fibre optique et une masse. Le point d'impact du rayon lumineux émis par la fibre optique est surveillé dans un plan pour sa- voir s'il se trouve à l'intérieur d'une surface cir- culaire (mesure isotrope) ou & l'intérieur d'une sur- face elliptique (mesure anisotrope). Il existe, en outre, des capteurs d'accélération à système mécanique Ressort-Masse, dans lesquels la masse est reliée mécaniquement à l'environnement sur la totalité du trajet de l'élément mobile du capteur. La masse est ainsi gui- dée mécaniquement sur son trajet entre la position de repos et une position déviée. Dans les capteurs de ce type' la direction de déviation de l'élément de dé- tection est cependant prédéterminée par construction. C'est la raison pour laquelle il a déjà été proposé, pour mesurer une accélération dans plus -4- d'une direction des coordonnées, d'utiliser deux ou trois coptcurs, la masse de chaque système ressort- masse pouvant être déviée dans une direction des coordonnées. Les signaux électriques analogiques ainci produits sont additionnes vectoriellement dans ce capteur vectoriel connu, au moyen d'un dispositif de commutation, ce qui permet d'afficher et d'évaluer l'intensité et la direction. Des capteurs pour mesures unidimensionnelles ou pluridimensionnelles trouvent une application dans les domaines d'activités les plus divers. Les capteurs d'accélération à sortie binaire servent essentiellement à détecter des situations extrêmes, par exemple dans les systèmes de sécurité des passagers, c'est-à-dire pour déclencher un sac pneumatique (air bag) ou un tendeur de ceinture. Il est également courant d'utiliser des capteurs d'accélération à sortie binaire de ce type pour la surveillance de machines et d'installations, afin par exemple de détecter lorsque les machines ou les installations entrent en résonance propre de façon dangereuse. Dans bien des cas d'application du type précité, il est nécessaire de surveiller si un seuil d'accélération déterminé a été dépassé dans une direction donnée ou bien dans quelle direction s'est manifestée une accélération dont l'intensité a dépassé un seuil. En règle générale, les capteurs d'accélération doivent être constitués d'un nombre réduit de composants aussi simples que possible et présenter un encombrement minimal, afin de permettre des mesures fiables et sans interférences même lorsque l'on ne dispose que de peu de place. -5 - Dénc l& DE-OS 35 20 383 a été encore décrit un indiccteur de collisicn, qui trouve son application lors d'accrochages de véhicules. L'indicateur de col- lision connu utilise également un élément de contact sphérique, qui est disposé au milieu d'une coupelle remontant vers l'extérieur. Sous l'effet d'une accé- lération ou d'une décélération, la sphère roule dans la direction de l'accélération ou de la décélération vers 1'e.t6rieur et vers le haut. La coupelle est pourvue d'un grand nombre de pistes de contact annu- laires et réparties en secteurs, ce qui permet de de- terminer la direction et le déplacement de la sphère. Par ailleurs, cet indicateur de collision connu présente également les inconvénients qui ont été cités ci-dessus dans le cas du dispositif de détection décrit dans la DE-OS 21 22 471. Enfin, on connait également des procédés de fabrication de capteurs d'accélération, suivant lesquels le système de mesure proprement dit n'est pas composé d'éléments mécaniques discrets, mais est plutôt formé par procédés chimiques. La US-Z-IEEE "transactions on electron devices", VOL. ED-26, N' 12, décembre 1979, Pages 1911 & 1917 décrit l'obtention d'un capteur d'accélération par procédé d'attaque d'un substrat de silicium. Toutefois, ces procédés connus permettent uniquement de produire des capteurs d'accélération en technique silicium. Le-silicium, en tant que matériau céramique, présente cependant une très haute rigidité, de sorte que le mode de réponse doit être - 6 - étudié en conséquence. En outre, du fait de la rigidité du matériau céramique, le capteur d'accélération risque d'entrer en vibrations. Cette invention vise à mettre au point un capteur d'accélération du type précité, ainsi qu'un proc6dé de fabrication de ce dernier, permettant de réaliser des capteurs d'accélération qui présentent une sécurité de fonctionnement maximale pour un encombrement très réduit, qui peuvent fonctionner dans n'importe quelle position de montage, et qui, enfin, sont de fabrication facile. On obtient le capteur d'accélération cité au début, conformément à l'invention, en faisant en sorte que la masse fasse partie d'un système Ressort- Masse se présentant sous forme d'une tige de flexion fixée d'un seul côté et dont l'extrémité libre est équipée d'un élément de contact électrique. L'objectif de l'invention est ainsi parfaitement atteint; en effet l'utilisation d'un système Masse-Ressort garantit un guidage fiable de l'élément de contact sur la totalité de son domaine de déplacement, car la masse mobile est guidée en permanence. Il en va de même lorsque, conformément à l'invention, ceci est obtenu par utilisation d'une micropoutre de flexion, dont l'extrémité libre déviée est en permanence reliée mécaniquement à la plaque dans laquelle la micro-poutre de flexion est fixée. De plus, le capteur d'accélération qui fait l'objet de cette invention, peut être installé dans n'importe quelle position, étant donné que le dispositif de micro-poutre de flexion fonctionne indépendamment du fait que la micro-poutre soit montée horizontalement, verticalement ou dans - 7 - n'importe quelle direction par rapport au centre de la terre. Bien que, normalement, on préfère disposer les seconds éléments de contact électrique en cercle tout autour du premier élément de contact électrique, il est recommandé, dans un autre exemple d'exécution de l'invention, de disposer les seconds éléments de contact électrique sur une ellipse autour du premier élément de contact électrique. Cette disposition présente l'avantage de permettre, d'ores et déjà dans le capteur lui-même, une pondération librement fixée des seuils d'accélération en fonction de leur direction dans le plan, lorsqu'il est nécessaire de fermer des entre- contacts différents dans les diverses directions, afin de relier entre eux les éléments de contact électrique. Il va de soi que la forme elliptique de la piste ne constitue ici qu'un exemple, car il est naturellement possible d'installer, au lieu d'une piste elliptique, d'autres pistes quelconques non- circulaires. Dans un autre version particulièrement recommandée de l'invention, le système Masse-Ressort se compose d'une tige de flexion fixée d'un seul côté, dont l'extrémité libre est équipée du premier élément de contact. Cette disposition présente l'avantage de permettre une construction extrêmement simple, dans laquelle la tige de flexion, seul élément mobile, est -8- actif. La rigidité à la flexion peut être réglée selon chaque cas d'application, en particulier pour des dimensions extrêmement faibles, en déterminant de façon appropriée le dimensionnement, le façonnage et le matériau. Dans un des perfectionnements de la version citée ci-dessus, la tige de flexion est fabriquée en un matériau à friction interne élevée, en particulier en matière plastique, et est entourée, au moins à son extrémité libre, d'une métallisation. Cette disposition présente l'avantage de ré- duire considérablement les résonances propres de la tige de flexion, en raison de la friction interne élevée du matériau employé. La métallisation présente l'avantage d'assurer, par des techniques de fabrica- tion simples, un contact de tous les côtés, bien que le matériau employé pour la tige de flexion ne soit pas un conducteur électrique. Dans certaines versions de l'invention, la tige de flexion est constituée d'un cylindre circulaire. Cette disposition présente à son tour l'avantage de permettre un mode de réponse aniso- trope, car la tige de flexion cylindrique à symétrie de révolution fixée à une extrémité présente la même rigidité dans toutes les directions de déviation. La tige de flexion cylindrique à section elliptique constitue une autre alternative. Cette disposition permet également d'atteindre une anisotropie donnée du mode de réponse; la - 9 - section elliptique ne constitue là encore qu'un exemple parmi une multitude de façonncages non- cylindriques à symétrie de révolution. Dans une version particulièrement recommandée de l'invention, les seconds éléments de contact électrique se présentent sous forme de micro-poutres rigides qui sont disposées sur le même substrat que la tige de flexion. Cette disposition présente à son tour l'avantage de permettre une construction extrêmement simple et même dans certains cas monolithique, qui, en raison de sa structure simple, est particulièrement facile à fabriquer et à l'abri de perturbations. Dans une autre version du capteur d'accélération décrit ci-dessus, les micro-poutres sont fabriquées en un matériau métallique. Cette disposition présente l'avantage de pouvoir détecter un contact entre la tige de flexion et les micro-poutres par une chute de tension quelconque au niveau de la micro-poutre sans ajouter d'éléments de contact, de cAbles conducteurs ou autres au niveau des micro-poutres. Dans une autre version de l'invention, les seconds éléments de contact électrique sont disposés sous forme de pistes conductrices situées sur la face interne d'un tube entourant la tige de flexion. Cette disposition présente l'avantage que les seconds éléments de contact électrique sont disposés - 10 - sur une structure particulièrement rigide quant à elle, qui s'oppose particulièrement bien aux accélé- rations qui s'exercent. L'installation do pistes conductrices sur la face interne du tube présente l'avantage de permettre un échelonnement très précis gr&ce à des pistes conductrices très fines, de sorte que la résolution de l'angle est particulièrement élevée lors de la mesure du vecteur accélération. Dans une autre version de l'invention, une unité électrique de traitement des valeurs convertit la mise en contact entre le premier élément de contact électrique et les seconds éléments de contact électrique en un signal électrique correspondant à un angle de déviation du système Masse-Ressort. Cette disposition présente l'avantage, grâce à un décodage correspondant immédiat, de produire un signal numérique, qui peut être exploité dans des ordinateurs courants, par exemple à bord d'un véhicule. Dans un perfectionnement de cette variante, l'unité électrique de traitement des valeurs produit un signal correspondant à une valeur intermédiaire, en cas de contact avec au moins deux éléments de contact électrique voisins. Cette disposition présente l'avantage d'augmenter la précision de la résolution de l'angle avec des moyens simples. Dans le cadre de l'invention présente sont particulièrement recommandés des capteurs d'accélération dans le domaine subminiature, dans - il - lesquels la longueur de la tige de flexion 12 est égele & 200 à 1000 fois, en particulier 500 fois son épaisseur, cette épaisseur étant comprise entre 1 et 10.&m, de préférence 5jum. Dans le cas de capteurs d'accélération du type décrit ci-dessus, le problème fondamental de l'invention a été résolu par le fait que la tige de f 1cfle.ion, les micro-poutres rsp. le tube ainsi que le substrat sont fabriqués suivant un procédé de formage lithographo-galvanotechnique (LIGA). Des détails sur le procédé LIGA sont par exemple décrits dans le rapport "KfK-Bericht" N' 3995 de novembre 1985:" Herstellung von Mikrostrukturen.. " (Fabrication de microstructures), du Kernforschungs- zentrum (Centre de recherche nucléaire) de Karlsruhe. Ces procédés présentent l'avantage de permettre de fabriquer la structure décrite ci-dessus avec une haute précision et cependant pratiquement n'importe quelle forme, et ce, à partir d'une multitude de matériaux d'origine, en particulier le métal, la matière plastique ou la céramique. La multitude des façonnages possibles permet, dans ce cas, de prédéterminer certaines caractéristiques; de sorte qu'il est possible de faire varier pratiquement & souhait le mode de réponse du capteur d'accélération ainsi fabriqué, en fonction des exigences des cas particuliers. La description et les dessins ci-joints indiquent d'autres avantages. Il va de soi que les caractéristiques citées ci-dessus et celles qui restent encore à expliquer - 12 - peuvent non seulement être utilisées dans chaque combinaison indiqu6e, mais également dans d'autres combinaisons ou encore seules, sans quitter le cadre de l'invention faisant l'objet du brevet. Les dessins montrent des exemples d'exécution de l'invention, qui sont expliqués plus en détail dans la description suivante, notamment: Fig.1 une vue en perspective d'un exemple d'exécution d'un capteur d'accélération conforme à l'invention; Fig.2 une vue du dessus du capteur d'accélération représenté sur la Fig.1, équipé du cablage nécessaire; Fig. 3 une représentation similaire à la Fig.2, montrant cependant un autre exemple d'exécution d'un capteur d'accélération; Fig.4 une autre représentation similaire à la Fig.2, montrant cependant encore un autre exemple d'exécution d'un capteur d'accélération; Fig.5 un synoptique modulaire extrêmement schéma- tisé d'une unité de traitement de valeurs installée conformément à l'invention; Fig.6 une table de vérité permettant d'exploiter les signaux de mesure du capteur d'accélération conformément à la Fig.2; Dans la Fig.1, 10 désigne l'ensemble du cap- teur d'accélération, tel qu'il peut être utilisé pour - 13 - mesurer vectoriellement une accélération b. dans un plan défini par les coordonnées cartésiennes x et y. Le capteur d'accélération 10 présente un substrat commun 11, dans lequel. une tige de flexion 12 de forme cylindrique circulaire est fixée à une extrémité. Des micro-poutres de contact 13 à 20 sont disposées sur une piste circulaire autour de la tige de flexion 12; ces micro-poutres présentent approximativement la même longueur que la tige 12 et huit d'entre elles, par exemple, peuvent être réparties sur une circonférence de 360'. Il va cependant de soi que, selon le cas d'application et la résolution désirée, il est possible de disposer, en conséquence, plus ou moins de micro-poutres de contact autour de la tige de flexion 12. La flèche 21 montre que, lorsqu'elle est soumise à une accélération b, la tige de flexion 12 est déviée dans la direction du vecteur d'accélération. Le module de la déviation de l'extrémité libre de la tige de flexion 12 correspond alors au module de l'accélération b. Si ce module de l'accélération b dépasse un seuil, qui dépend du dimensionnement et du choix du matériau de la tige de flexion 12 ainsi que des micro-poutres 13 à 20, la tige de flexion 12 est déviée de sorte que son extrémité libre touche une ou deux micro-poutres de contact 13 à 20. S'il se trouve que le contact entre la tige de flexion 12 et une ou deux des micro- poutres de contact 13 à 20 provoque la fermeture d'un contact électrique, alors il est possible de détecter cet état de façon sélective. Il va de soi que les micro-poutres de contact 13 à 20 sont convenablement rigides par rapport à la - 14 - tire de flexion élastique 12, de sorte qu'elles ne se déforment pas également de leur côté lorsqu'elles sont soumises à une accélération. La Fig.2 montre, sous forme d'une vue du dessus du dispositif de la Fig.l, que la tige de f2exion 12 est de préférence en matière plastique et qu'elle est- entourée d'une métallisation 28. Les mr.cro-poutres de contact 13 à 20, en revanche, comme il est montré pour la micro-poutre 15, sont de préférence métalliques, de sorte que le contact de la métallisation 28 et d'une ou de deux des micro- poutres de contact 13 à 20 permet de détecter facilement la fermeture d'un contact électrique. De plus, la métallisation 28 est reliée à une des premières bornes de raccord 30 du capteur d'accélération 10, tandis que les micro-poutres 13 à sont reliées aux bornes de raccord 31 à 38, comme le montre en détail la Fig.2. La Fig.2 illustre, en outre, le cas o la tige de flexion 12 est soumise à une accélération b oblique dirigée vers le bas et vers la droite et dont le module est si grand que la tige de flexion 12 est déviée en une position 12', o elle vient s'appuyer contre la micro-poutre de contact 15. Dans ce cas, il est donc possible de détecter un contact ente les bornes 30 et 35. La Fig.3 illustre un capteur d'accélération modifié 10 a, dans lequel la tige de flexion 12a n'est pas de forme cylindrique circulaire mais cylindrique de section elliptique. Cela signifie que, dans le dispositif représenté sur la Fig.3, une - 15 - acc4l6ration b dirig&e vers le haut ne doit dépasser qu'un faible seuil afin de provoquer un contact, par exemple au niveau de la micro-poutre de contact 20a, comme il est indiqué avec une tige de flexion déviée 12a' sur la Fig.3, tandis que dans le cas d'une déviation vers la droite ou vers la gauche sur la Fig.3, le seuil d'accélération à dépasser, avant de parvcnir & un contact, est considérablement plus élevé. Cela est lié tu fait que, comme on le sait, dans le cas d'une tige de flexion de section elliptique fixée & une seule extrémité, la déviation dépend du moment d'inertie géométrique de celle-ci, qui, dans le cas d'une tige de flexion & section elliptique dans les directions des deux axes principaux, est fonction du cube de la longueur des axes principaux. La fig.4 représente une autre variante d'un capteur d'accélération à mode de mesure anisotrope. Cette variante comprend également une tige de flexion cylindrique circulaire 12b située au centre d'un tube 40 de section elliptique, dont la face interne est équipée de pistes conductrices 41. Si, dans ce cas, la tige de flexion 12b est soumise, par exemple, à une accélération oblique dirigée vers le haut et vers la droite (Fig.4), elle vient en position de contact 12b' après avoir atteint une certaine flexion, qui est fonction de l'angle, comme le montre clairement la Fig.4. Il va de soi alors que les formes décrites jusqu'à présent, à savoir cylindrique circulaire et elliptique ne sont citées qu'a titre d'exemple. Il est naturellement possible de choisir d'autres - 16 - forr.a$, tant en cc qui concerne la section de la tige de floxion 12 qu'on ce qui concerne le dispositif des contacts électriques périphériques, afin de procéder à une pondération des valeurs d'accélération dans l'une des directions par rapport à de telles valeurs dans d'autres directions. La Fig.5 illustre de façon extrêmement zchézatiquc une unité de traitement des voleurs 50 avec des entrées 51 et des sorties 52. Une des entrées 51 est reliée à une source de tension 53, qui peut, par exemple, être reliée à la borne de raccord du dispositif conforme à la Fig.2. Dans ce cas, la métallisation 28 de la tige de flexion 12 conduit une tension électrique positive, qui apparaît alors au niveau d'une ou deux autres bornes de raccord 31 à 38, selon la micro-poutre de contact 13 à 20 touchée par la tige de flexion 12. Il apparaît alors un signal au niveau des sorties 52, s'il s'établit un contact entre la tige de flexion 12 et des micro-poutres de contact 13 à , lorsque, donc, un des seuils d'accélération prédéterminés a été dépassé; ce signal est donné au niveau des sorties 52 dans un code courant, par exemple un code BCD, une séquence binaire, qui est une mesure de l'angle d dont la tige de flexion 12 a été déviée et qui coïncide avec la direction de l'accélération b qui s'exerce. La Fig.6, enfin, montre encore une table de vérité, dans laquelle sont inscrits les états des bornes 31 et suivantes. Dans la première ligne de la table de vérité de la Fig.6, l'état inscrit indique que toutes les - 17 - bornes de raccord 31... présentent un signal logique négatif. Cela signifie qu'il ne s'est établi aucun contact entre la tige de flexion 12 dc tension positive et une des micro-poutres de contact 13 à 20; c'est-Adire que la tige de flexion 12 n'est pas déviée ou alors qu'ellc est déviée dans une direction non mesurable. Lorsque un signal logique positif n'apparait qu'au niveau de la borne de raccord 31, cela signifie, dans la définition de l'angle conforme à la Fig.1, qu'il existe un angle de déviation de 0' par rapport à l'axe des y. Lorsque l'angle augmente et atteint la valeur de 22,5, il s'établit un contact avec deux micro-poutres de contact voisines, à savoir les micropoutres 19 et 20, de sorte que les bornes de raccord 31 et 32 présentent un signal logique positif. Lorsque l'angle ( augmente, ce phénomène se poursuit; un signal logique positif apparait ensuite au niveau de la borne de raccord 32 seule, puis des bornes 32 et 33, puis de la borne 34 seule etc. Il est possible ainsi de repérer des angles de 45*, 67.5-, 90' etc. Cela correspond au cas ot la tige de flexion 12 est entourée de seulement huit micro- poutres de contact 13 à 20. Il est naturellement possible d'augmenter la résolution des mesures angulaires en augmentant le nombre de contacts grace & l'utilisation de très fines pistes conductrices 41, comme le montre la Fig.4. Des capteurs d'accélération du type décrit ci- dessus peuvent être avantageusement fabriqués selon un procédé lithographo-galvanotechnique (LIGA) ou selon un procédé d'attaque chimique en technologie silicium. Ces procédés permettent de produire des - 18 - tigcs de flexion de dimensions extrêmement petites, de sorte qu'il n'est pas nécessaire de disposer à l'extrémité libre de la tige de flexion dcc masses sismiques supp1émcntaires, qui à la fois réduiraient la vitesse de répcnse et augmenteraient la tendance à entrer en résonance propre. Le procédé LIGA permet de chci._ir q la.i librcmrcnt le matUriau et de fabriquer les structures souhait6es en métal, matière plastique ou céramique. - 19 - Revendications 1/ Capteur d'acc6élértion permettant- de mesurer une accélération (b) dans plus d'une direction des coordonnées (xéy), équipé d'une masse qui peut 6tre déviée dans un plan (x/y), dans lequel la masse est munie d'un przm.ier élément de contact électricae et entourée, dans le plan, de plusieurs seconds éléments de contact électrique, de sorte que, lcrs du dépassement d'un seuil d'accélération prédéterminé, le premier élément de contact électrique touche un ou plusieurs des seconds éléments de contact électrique en fonction de la direction de l'accélération à mesurer (b) dans le plan (x/y), caractérisé en ce que la masse fait partie d'un système mécanique Masse-Ressort, constitué d'une tige de flexion (12) fixée d'un seul côté, dont l'extrémité libre est équipée du premier élément de contact électrique. 2/ Capteur d'accélération, selon la revendica- tion 1, caractérisé en ce que les seconds éléments de contact électrique sont disposés sur une piste non circulaire, en particulier sur une piste elliptique tout autour du premier élément de contact électrique. 3/ Capteur d'accélération, selon la revendica- tion 1 ou 2, caractérisé en ce que la tige de flexion (12) est fabriquée en un matériau à friction interne élevée, en particulier en matière plastique, et en ce que l'extrémité libre de la tige de flexion au moins est entourée d'une métallisation (28). 4/ Capteur d'accélération, selon une ou plusieurs des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la tige de flexion (12) a la forme d'un cylindre circulaire. - 20 - / Capteur d'accélération, selon une ou plusieurs des revendications 1 & 3, caractérisé en ce que la tige de flexion (12a) a la forme d'un cylindre de section non circulaire, en rarticu]ier de secticn elliptique. 6/ Capteur d'accél6ération, selon une ou plusieurs des revendications i à 5, caractérisé en ce quc les seconds 6éléments de contact électrique se présentent sous forme de micro-poutres rigides (13 à ), qui sont disposées sur le même substrat (11) que la tige de flexion (12) 7/ Capteur d'accélération, selon la revendication 6, caractérisé en ce que les micro- poutres (13 à 20) sont fabriquées en un matériau métallique. 8/ Capteur d'accélération, selon une ou plusieurs des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que les seconds éléments de contact électrique sont disposés sous forme de pistes conductrices (41) sur la face interne d'un tube entourant la tige de flexion. 9/ Capteur d'accélération, selon une ou plusieurs des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'une unité électrique de traitement des valeurs (50) produit un signal électrique correspondant à un angle de déviation (a) du système MasseRessort lorsqu'un contact s'est établi entre le premier élément de contact électrique et un des seconds éléments de contact électrique. 10/ Capteur d'accélération, selon la revendication 9, caractérisé en ce que l'unité - 21 - électricue de traitement des valeurs (50) produit un signal correspondant & une valeur intermrdiaire, lorsque s'est établi un contact avec au moins deux 616ments de contact électrique voisins. 11/ Capteur d'accélération, selon une ou plucieurs des revendications 1 " 10, caractérisé en ce que la longueur de la tige de flexion (12) est tçale à 200 L 1000 fois, de prCférence 500 fois, son épaisseur et en ce que cette épaisseur est comprise entre 1 et 10,m, de préférence 5,m. 12/ Procédé de fabrication d'un capteur d'accélération (10), selon une ou plusieurs des revendications 6 à 11, caractérisé en ce que la tige de flexion (12), le substrat (11) ainsi que les micro-poutres rigides (13 à 20) resp. le tube (40) sont fabriqués d'après un procédé de formage lithographo-galvanotechnique (LIGA).