Brevet FR2635411A1 — publié le 19900216

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La grille de commande 2 est reliée à une ligne de mot LM. Le drain 4 est relié à une ligne de bit LB. Pour programmer, ou écrire, un tel point-mémoire, on charge sa grille flottante 1 par injection de porteurs chauds, en appliquant à la grille de commande 2, pendant que le transistor conduit un courant entre ses régions de source 3, mises à la mas- se, et de drain 4, un potentiel suffisamment élevé pour que les porteurs de charge (électrons) soient attirés et piégés dans la grille flottante. Cette opération d'écriture a pour effet d'augmenter le seuil de conduction du transistor qui, une fois programmé, ne conduira le courant que pour des valeurs de poten- tiel appliqué sur la grille de commande plus élevées qu'en l'absence de programmation. Lors de la lecture de l'information contenue dans un point-mémoire, on applique à la grille de commande du transistor de ce point-mémoire une tension à la fois supérieure à la tension de seuil de déclenchement de conduction à l'état non-programmé et inférieure à la tension de seuil de déclenchement de conduction à l'état programmé. Si le transistor conduit le courant quand une différence de potentiel adaptée est appliquée entre la source et le drain, le point-mémoire est à l'état non-programmé. Si le tran- sistor ne conduit pas le courant, le point-mémoire est à l'état programmé. Le potentiel appliqué à la grille de commande lorsqu'on programme le point-mémoire, ou potentiel de programmation Vpp, est par exemple de 15 volts. Le potentiel de drain Vcc est alors par exemple de 10 volts, et le potentiel de source Vss est par exemple zéro volt, ou la masse. Le potentiel appliqué à la grille de commande lors de la lecture du pointmémoire est par exemple de 5 volts. Le potentiel de drain Vcc est alors par exemple de 1,5 volts, et le potentiel de source Vss est par exemple zéro volt, ou la masse. Sur la figure lB, qui représente une vue en coupe d'un point-mémoire implanté sur une tranche de silicium, on retrouve la grille flottante 1 et la grille de commande 2 du transistor. On voit également la source 3 et le drain 4, qui sont deux régions semiconductrices d'un premier type de conductivité, par exemple N+, séparées par une région de canal 7 d'un type de conductivité opposé, par exemple P-. La grille flottante 1 du transistor est réalisée par un premier niveau de silicium polycristallin (poly 1). Elle est sépa- rée du substrat par une couche de dioxyde de silicium 5, également appelée couche d'oxyde de grille. Au-dessus de la grille flottante 1, on trouve une couche de dioxyde de silicium 6. Cette couche est située entre la grille flottante 1 et la grille de commande 2, cette dernière étant réalisée par un deuxième niveau de silicium polycristallin (poly 2). La couche de dioxyde de silicium 6 porte ainsi également le nom de couche d'oxyde interpoly. Dans la mémoire, la grille de commande 2 du transistor est reliée à une ligne de mot LM. La source 3 est reliée à la masse, et le drain 4 à une ligne de bit LB. Avec l'architecture de mémoire classique et le mode de programmation associé, il est impératif que le drain d'un tran- sistor soit électriquement isolé, par de l'oxyde de silicium épais (comparativement à l'oxyde de grille des transistors), du drain des transistors adjacents de la même ligne de mot, faute de quoi on ne pourrait programmer un point-mémoire particulier sans programmer ou déprogrammer en même temps les autres. Mais cet oxyde épais qui isole deux points adjacents oc- cupe beaucoup de place, surtout lorsqu'il est réalisé par la tech- nique dite d'oxydation localisée. On a essayé- de remplacer l'oxydation localisée par une isolation par tranchées remplies d'oxyde, pour réduire l'encombre- ment global de la cellule, mais cette technologie n'est pas indus- triellement au point. - Pour réduire l'encombrement des points-mémoire et ainsi augmenter la capacité de stockage de la mémoire, on a proposé dans la demande de brevet français 86/12938 des structures o les zones d'oxyde épais et les contacts multiples vers les drains ou sources sont supprimés. Ces structures sont appelées structures de type damier. La figure 2 représente une vue de dessus de neuf points- mémoire adjacents dans une telle structure de type damier. On désigne par Tij les différents transistors à grille flottante constituant le réseau de points-mémoire, o i est un indice de rangée et j un indice de colonne. Ainsi, les transistors Tll à T13 sont ceux de la premiè- re rangée, les transistors T21 à T23 sont ceux de la deuxième ran- gée, et les transistors T31 à T33 sont ceux de la troisième rangée. De même, les transistors Tll à T31 sont ceux de la premiè- re colonne, les transistors T12 à T32 sont ceux de la deuxième co- - lonne et enfin les transistors T13 à T33 sont ceux de la troisième colonne. Les grilles de commande des transistors d'une même ran- gée sont toutes reliées à une même ligne de mot, LM1 à LM3 pour les rangées 1 à 3, respectivement. Les lignes de mot sont des conducteurs (en pratique en silicium polycristallin) s'étendant selon une direction horizon- tale (direction des rangées). Chaque transistor partage avec les deux transistors ad- jacents sur la même rangée une région réalisée par une diffusion du premier type de conductivité qui se prolonge suivant une colon- ne pour former une ligne de bit, que l'on désigne par LB1, LB2, LB3 et LB4 pour les colonnes 1 à 4, respectivement, et par LBj d'une façon générale. Ces lignes LBJ peuvent ainsi faire, à l'emplacement des transistors, soit office de source, soit office de drain. La figure 3 représente une vue en coupe suivant l'axe YY' de la figure 2. Les dispositifs sont situés sur un substrat 10. Les grilles flottantes 11 des transistors sont réalisées par un pre- mier niveau de silicium polycristallin (poly 1) et situées entre deux lignes de bit. Les grilles de commande 12 des transistors sont formées par les parties de la ligne de mot LM2 situées à l'emplacement des transistors. Les lignes de mot, et ainsi les grilles de commande des transistors, sont réalisées par un deuxiè- me niveau de silicium polycristallin (poly 2). Une couche d'oxyde de grille 13 est située sous la grille flottante des transistors. Une zone d'isolement 14 est située entre les grilles flottantes des transistors. De façon classique, un procédé de pla- narisation est utilisé pour que les surfaces supérieures de cette zone d'isolement 14 et du premier niveau de silicium polycristal- lin soient au même niveau. Cette zone d'isolement 14 est par exem- ple constituée de tEtraéthyle ortho silicate ou TEOS. Une couche d'oxyde interpoly 15 recouvre les grilles flottantes 11 et les zones d'isolement 14. Le mode de programmation de cette architecture est par- ticulier. Il est exposé dans la demande de brevet français préci- tée. Cela est dû au fait que chaque point-mémoire partage avec chacun des deux points-mémoire adjacents de la même rangée une ré- gion qui peut être soit région de source soit région de drain. La figure 4 représente un schéma des capacités existant à l'emplacement d'un transistor, par exemple le transistor T22. Si l'on applique une tension VM à la ligne de mot LM2, on obtient la tension VF sur la grille flottante 11 en calculant le facteur de couplage y qui relie ces deux tensions par la rela- tion: VF = Y 1 et qui est défini par le rapport entre la capacité au niveau de la couche d'oxyde interpoly et la somme de toutes les capacités pré- sentes. Si l'on considère la figure 4, on observe la capacité au niveau de la couche d'oxyde interpoly 15 notée C0i et située entre la ligne de mot LM2 et la grille flottante 11. On a aussi une ca- pacité COG au niveau de la couche d'oxyde de grille 13 située en- tre la grille flottante 11 et le substrat 10. Le facteur de couplage y s'écrit: y = CO,/(C0I + COG) On peut calculer une valeur numérique représentative du facteur de couplage en utilisant des valeurs usuelles pour les dimensions des éléments concernés: - longueur de la grille flottante suivant la direction des rangées: 0,5 micromètre; épaisseur de la couche d'oxyde interpoly: 20 nm; - épaisseur de la couche d'oxyde de grille: 20 nm; La valeur numérique du facteur de couplage est alors égale au rapport entre les quantités 0,5/20 et 0,5/20 + 0,5/20, soit seulement 0,5. La présente invention propose une nouvelle structure qui permet d'améliorer le facteur de couplage. De plus, cette nouvelle structure ne présente pas de zone d'oxyde épais, ce qui permet à la mémoire d'occuper un encombrement réduit. Selon l'invention, la mémoire dont les points-mémoire sont constitués de transistors MOS à grille flottante est composée d'un réseau de lignes de mot s'étendant suivant une première di- rection dite de rangée, et de lignes de bit s'étendant suivant une deuxième direction dite de colonne. Dans cette mémoire, chaque transistor comprend deux régions faisant chacune office soit de source, soit de drain, chacune des deux régions est constituée par une diffusion d'un premier type de conductivité qui se prolonge suivant une colonne pour former une ligne de bit dans un substrat du deuxième type de conductivité, la grille flottante de chaque transistor est réalisée par un premier niveau de silicium poly- cristallin, et une zone d'isolement est située entre chaque paire de grilles flottantes d'une même rangée. Une zone conductrice réa- lisée par un deuxième niveau de silicium polycristallin contacte et recouvre suivant la direction des rangées la grille flottante de chaque transistor en débordant dans la direction des rangées. Les zones conductrices sont recouvertes sur leur surface supérieu- re d'une couche d'oxyde interpoly, et elles sont recouvertes à leurs deux extrémités, suivant la direction des rangées, par une zone d'oxyde de coin. Les lignes de mot, de dimensions suivant la direction des colonnes sensiblement égales à celles de la grille flottante des transistors et réalisées par un troisième niveau de silicium polycristallin, recouvrent les couches d'oxyde interpoly, les zones d'oxyde de coin et les parties de zones d'isolement non- recouvertes par les zones d'oxyde de coin. La zone conductrice dans chaque transistor est en regard de la ligne de mot connectée au transistor, cette ligne de mot correspondant, à l'emplacement des zones conductrices, à la grille de commande. Ces objets, caractéristiques et avantages ainsi que d'autres de la présente invention seront exposes plus en détail dans la description suivante d'un mode de réalisation particulier faite en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: les figures 1A et lB, déjà décrites, représentent un point-mémoire élémentaire de mémoire classique, la figure lA étant une représentation sous forme de schéma électrique et la figure lB étant une vue en coupe schématique du point-mémoire élémentaire; la figure 2, déjà décrite, représente une vue de dessus de l'implantation de neuf points-mémoire adjacents sur une tranche de silicium dans une architecture classique de type damier; la figure 3, déjà décrite, représente une vue en coupe suivant l'axe YY' de la figure 2; la figure 4, déjà décrite, représente un schéma des ca- pacités existant a l'emplacement d'un transistor dans une archi- tecture telle que celle de la figure 2; la figure 5 représente une vue de dessus d'une structure selon la présente invention; la figure 6 représente une vue en coupe suivant l'axe YY' de la figure 5 la figure 7 représente une vue en coupe suivant l'axe ZZ' de la figure 5; la figure 8 représente un schéma des capacités existant à l'emplacement d'un point- mémoire de la structure de la figure ; et la figure 9 représente selon une coupe analogue à celle de la figure 6 une variante de réalisation de la présente inven- tion. De façon générale, comme cela est classique dans la représentation des circuits intégrés, on notera que les diverses figures ne sont pas représentées à l'échelle ni d'une figure à l'autre, ni à l'intérieur d'une même figure, et notamment que les épaisseurs des couches sont dessinées arbitrairement dans le but de faciliter la lecture des figures. La figure 5 représente une vue de dessus d'un mode de réalisation de la structure selon la présente invention. Comme dans le cas de la figure 2, les transistors sont disposés en ré- seau de rangées et colonnes. Les grilles de commande des transistors de la rangée i sont encore toutes reliées à des lignes de mot Li. Les lignes de bit LBJ sont situées entre chaque paire de colonnes de transistors et peuvent faire, à l'emplacement des tran- sistors, soit office de source, soit office de drain. Une zone conductrice 25 est en contact avec la grille flottante de chaque transistor de la mémoire. La figure 6 représente une vue en coupe suivant l'axe YY' de la figure 5. On voit sur cette figure deux transistors désignés par T22 et T23. Les dispositifs sont situés sur un substrat 20. Chacun des deux transistors T22 et T23 comprend deux régions 21 constituées par une diffusion d'un premier type de conductivité qui se prolonge suivant une colonne pour former une ligne de bit. Ces lignes de bit sont désignés par LB2, LB3 et LB4 sur la figure. Les grilles flottantes 23 des transistors sont réalisées par un premier niveau de silicium polycristallin (poly 1). Une couche d'oxyde de grille 24 est située sous les grilles flottantes des transistors. Une zone conductrice 25 contacte et recouvre suivant la direction des rangées la grille flottante de chacun des deux transistors T22 et T23. Elle est réalisée par un deuxième niveau de silicium polycristallin (polyP2). Cette zone conductrice 25 est recouverte sur sa surface supérieure par une couche d'oxyde interpoly 26, et elle est recou- verte à ses extrémités, suivant la direction des rangées, par une zone d'oxyde 27 qui est appelée zone d'oxyde de coin. Une zone d'isolement 29 est située entre les grilles flottantes des transistors. Comme dans le cas de la structure re- présentée sur la figure 3, un procédé de planarisation est utilisé pour que les surfaces supérieures de cette zone 29 et du premier niveau de silicium polycristallin soient au même niveau. Cette zo- ne 29 est par exemple constituée de TEOS. La ligne de mot LM2 recouvre l'ensemble. La couche d'oxyde interpoly 26 et les zones d'oxyde de coin 27 permettent d'isoler la zone conductrice 25 de la ligne de mot LM2. La ligne de mot LM2 fait office de grille de commande 28 à l'emplacement des zones conductrices 25. 26 3541 1 La figure 7 représente une vue en coupe suivant l'axe ZZ' de la figure 5. On voit sur cette figure des transistors dési- gnés par T13, T23 et T33. Les transistors possèdent chacun une grille flottante 23 située au-dessus de la couche d'oxyde de gril- le 24. La zone conductrice 25 est placée au-dessus des grilles flottantes 23 et au-dessous de la couche d'oxyde interpoly 26. On observe également les lignes de mot LMil, LE2 et LM3, situées au- dessus des couches d'oxyde interpoly 26, qui font office de grille de commande 28 a l'emplacement des zones conductrices. La figure 8 représente un schéma des capacités existant à l'emplacement d'un point-mémoire de la structure selon la présente invention, par exemple le point-mémoire comprenant le transistor T22. On observe sur cette figure la capacité au niveau de la couche d'oxyde interpoly 26 notée COi et située entre la ligne de mot LM2 et la zone conductrice 25. On a aussi une capa- cita COG1 au niveau de la couche d'oxyde de grille 24 située entre les grilles flottantes 23 et le substrat 20. Il existe également, puisque la zone conductrice 25 déborde de la grille flottante des transistors dans la direction des rangées, une capacité CODl et une capacité COD2 au niveau de la zone d'isolement de type TEOS, chacune de ces deux capacités correspondant au débordement selon un côté. Le facteur de couplage s'écrit: Y = COI1/(COI1 + COD1 + COG1 + COD2) On peut calculer une valeur numérique représentative du facteur de couplage en utilisant les valeurs usuelles suivantes: - longueur de la grille flottante suivant la direction des rangées: 0,5 micromètre; longueur totale de débordement de la zone conductrice 25 (on regroupe ainsi les débordements de chaque côté de la grille flottante): 0,2 micromètre; - épaisseur de la couche d'oxyde interpoly: 20 nm; - épaisseur de la couche d'oxyde de grille: 20 nm; - épaisseur de la zone d'isolement de type TEOS: 200 nm. La valeur numérique du facteur de couplage est alors égale au rapport entre les quantités (0,5 + 0,2)/20 et (0,5 + 0,2)/20 + 0,5/20 + 0,2/(200 + 20). Le facteur de couplage est alors égal à 0,58. La structure selon l'invention permet ainsi d'améliorer le facteur de couplage. Cette structure présente également de bonnes conditions de planarisation du fait de l'absence de zone d'oxyde épais. Cependant, dans une telle structure, la programmation d'un point-mémoire doit tenir compte des points-mémoire adjacents. Cela rend le système d'adressage complexe. La figure 9 représente, selon une coupe analogue à celle de la figure 6, et avec les mêmes références numériques chaque fois que cela était possible, une variante de réalisation de l'in- vention qui permet d'utiliser une section d'adressage classique. Dans cette variante, on désigne par T1, T2 un couple de transistors adjacents qui vont être connectés par le système d'adressage pour constituer un point-mémoire PM unique. La mémoire a alors une structure dite en demi-damier. Les diffusions en colonnes sont alors spécialisées. Les transistors T1 et T2 partagent une région de drain commune 40. Chacun des deux transistors Tl et T2 comprend une région de source 41, 42 partagée avec un transistor d'un point-mémoire adjacent de la même rangée. Les grilles flottantes 23, 25 des transistors Tl,T2 sont adressées simultanément par le système d'adressage de la mémoire. La structure en demi-damier présente une redondance. En effet, si la grille flottante de l'un des transistors perd sa charge, on pourra encore lire la charge présente sur la grile flottante de l'autre. La structure observée sur la figure 9 présente d'autres avantages en plus de la grande sécurité résultant de la redondan- ce. En effet, si l'on adopte la configuration représentée en figure 9 avec un décalage (1) entre les portions de silicium poly- cristallin du deuxième niveau (poly 2) 25 et les grilles flottantes proprement dites 23, on peut former des régions de source 41, 42 plus larges que les régions de drain 40. Une augmentation de la largeur des régions de source entraîne une diminution de la résis- tance, ce qui a pour effet d'améliorer les caractéristiques de programmation. Enfin, une ligne conductrice (non-représentée sur les figures), par exemple en aluminium, est classiquement située au- dessus de chaque ligne de bit. Dans le cas de la structure repré- sentée sur la figure 6, une telle ligne conductrice est située entre chaque paire de colonnes de transistors. Dans le cas de la structure représentée sur la figure 9, deux colonnes de transis- tors séparent deux lignes conductrices adjacentes. L'élaboration des lignes conductrices sera ainsi plus facile à réaliser dans le deuxième cas. REVENDICATIONS 1. Mémoire dont les points-mémoire sont constitués de transistors MOS à grille flottante, compos&e d'un réseau de lignes de mot (LM1 à LM3) s'étendant suivant une première direction dite de rangée, et de lignes de bit (LB1 à LB5) s'étendant suivant une deuxième direction dite de colonne, dans laquelle: chaque transistor comprend deux régions (21) faisant chacune office soit de source, soit de drain, chacune des deux régions (21) est constituée par une diffusion d'un premier type de conductivité qui se prolonge sui- vant une colonne pour former une ligne de bit dans un substrat (20) du deuxième type de conductivité, la grille flottante (23) de chaque transistor est réali- sée par un premier niveau de silicium polycristallin, une zone d'isolement (29) est située entre chaque paire de grilles flottantes d'une même rangée, caractérisée en ce que: une zone conductrice (25) réalisée par un deuxième ni- veau de silicium polycristallin contacte et recouvre suivant la direction des rangées la grille flottante de chaque transistor en débordant dans la direction des rangées, les zones conductrices sont recouvertes sur leur surface supérieure d'une couche d'oxyde interpoly (26), et elles sont re- couvertes à leurs deux extrémités, suivant la direction des ran- gées, par une zone d'oxyde de coin (27), les lignes de mot, de dimensions suivant la direction des colonnes sensiblement égales à celles de la grille flottante des transistors et réalisées par un troisième niveau de silicium polycristallin, recouvrent les couches d'oxyde interpoly, les zones d'oxyde de coin et les parties de zones d'isolement non- recouvertes par les zones d'oxyde de coin; et la zone conductrice dans chaque transistor est en regard de la ligne de mot connectée au transistor, cette ligne de mot correspondant, à l'emplacement des zones conductrices, à la grille de commande (28). 2. Mémoire selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle est connectée à une partie logique d'adressage de mémoire de type demi-damier. 3. Mémoire selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisée en ce que les diffusions constituant les régions de source à l'emplacement des transistors ont une largeur plus impor- tante que la largeur des diffusions constituant les régions de drain à l'emplacement des transistors.