Brevet FR2626194A1 — publié le 19890728

Chambre notamment pour installations sous vide re- liée à d'autres chambres sous vide, comportant des moyens d'étanchéité sans vannes ni tiroirs ". L'invention concerne une chambre notamment pour des installations sous vide servant de traite- ment, au stockage et/ou au passage de pièces et autres produits, au moins une paroi de cette chambre étant sous vide comportant au moins un orifice à travers lequel on introduit ou on extrait les pièces ou les produits dans la chambre, cet orifice pouvant être fermé par un organe-obturateur muni d'un moyen d'étan- chéité coopérant avec une surface d'étanchéité, la surface d'étanchéité étant prévue à l'intérieur de la chambre et latéralement par rapport à l'orifice, un moyen d'étanchéité périphérique fermé prévu sur l'or- gane-obturateur, venant s'appliquer contre la surface d'étanchéité lorsque l'organe-obturateur est en posi- tion de fermeture. Dans de nombreux procédés de fabrication ou de technique, le vide joue un rôle important et déci- sif. Les produits, les pièces et objets sont mis dans le vide et y sont traités pour leur fabrication ou leur usinage. A titre d'exemple, on citera que la technologie des semi-conducteurs. Pour l'usinage et le traitement de ces produits, pièces et objets, on pré- voit des chambres dans les installations sous vide ou sous vide poussé; ces chambres sont mises sous vide et elles comportent des orifices et des sas pour l'introduction des pièces ou leur extraction. Pour faire le vide dans ces chambres, on les relie par des conduites à des pompes. Les chambres doivent pouvoir se séparer des pompes. De telles chambres peuvent en outre être prévues en série ou en parallèle et les chambres peuvent se séparer les unes des autres par des sas. Cette condition a été satisfaite jusqu'à pré- sent du fait que les chambres sont reliées à des con- duites équipées de vannes ou de tiroirs. Les différents composants sont reliés par des brides bien qu'à la place de telles liaisons, on puisse également relier les éléments par des cordons de soudure. Or, de tels ensembles sont non seulement très encombrants mais avant tout très coûteux; cela résulte notamment du fait que de tels moyens de ferme- ture à l'intérieur d'installations sous vide ou sous vide poussé doivent satisfaire à des conditions extrê- mement strictes quant à l'étanchéité et de plus dans de telles réalisations, il faut toujours veiller à ce que des pièces métalliques ne glissent pas les unes sur les autres sous une pression élevée dans le vide, car dans le vide, on ne peut avoir de moyens de lubri- fication. Cela nécessite en outre des constructions compliquées et par suite encombrantes et coûteuses. Une installation du type ci-dessus est dé- crite et représentée au brevet US-A 3 568 632. Pour l'essentiel, il s'agit dans ce cas de trois chambres sous vide susceptibles d'être séparées les unes des autres par des organes de fermeture en forme de tiroirs et qui sont montés directement l'un sur l'au- tre; dans cette installation, on traite par vaporisa- tien des lentilles optiques. Les organes de fermeture en forme de tiroirs utilisés dans ce cas travaillent et coopèrent avec des surfaces d'étanchéité et on a également prévu dans ce cas des joints périphériques dont la structure et le montage ne sont pas décrits de manière explicite, si bien que les problèmes d'étan- chéité ne découlent nullement de cette publication an- térieure et à plus forte raison cette publication an- térieure ne décrit pas de solution particulièrement avantageuse. Les organes de fermeture en forme de tiroirs munis de moyens d'étanchéité sont également connus en relation avec d'autres récipients (US-A 4 003 714, US- A 3 142 410 et US-A 2 2277 712) pour lesquels les con- ditions d'étanchéité ne sont pas aussi strictes que pour des installations sous vide; pour cette raison, les constructions ainsi connues ne comportent pas de moyens particuliers pour réduire au minimum la solli- citation du joint d'étanchéité ou de protéger de ma- nière toute particulière les surfaces d'étanchéité, car dans de telles constructions connues antérieure- ment, il n'est pas nécessaire de prévoir de tels moyens à cause des conditions très réduites concernant l'étanchéité. Dans tous ces organes d'étanchéité en forme de tiroirs, connus, les joints sont sollicités par des force transversales et des forces de cisaille- ment lorsqu'on actionne ces moyens. De plus, ces orga- nes de fermeture connus sont construits pour que les éléments de construction qui reçoivent les forces d'étanchéité glissent les uns sur les autres sous une pression considérable. La présente invention se propose de créer des moyens permettant de réaliser des chambres du type ci-dessus rendant inutiles les moyens coûteux tels que ceux décrits et permettant néanmoins de relier en sé- curité des chambres entre elles ou des conduites ou des unités et permettant de les séparer de manière permanente pour qu'à l'intérieur des chambres, on puisse exercer les fonctions qui ont été réalisées jusqu'à présent par les vannes ou les tiroirs prévus à l'extérieur des chambres et nécessitant des construc- tions coûteuses; de plus, les composants ou ensembles servant à réaliser ces fonctions ne doivent exécuter que de simples mouvements linéaires. En outre, il faut veiller à ce que l'organe de fermeture soit d'une construction simple. Il doit comporte un nombre aussi réduit que possible de pièces mobiles les unes par rapport aux autres pour que cet organe de fermeture puisse être utilisé dans des moyens de fermeture rapi- des et de secours à accélération très importante. Ce problème complexe est résolu selon l'in- vention par un dispositif caractérisé en ce que les génératrices droites de la surface d'étanchéité sont parallèles à l'axe de l'orifice et la surface d'étan- chéité comporte au moins deux segments de surface d'étanchéité qui sont décalés latéralement par rapport à l'axe de l'orifice et les zones en regard se rejoi- gnent et le moyen d'étanchéité monobloc, périphérique fermé comporte des segments de longueur et/ou de forme différente qui sont situés dans des plans différents et deux segments principaux du moyen d'étanchéité pé- riphérique fermé étant situés dans des plans perpendi- culaires à l'axe de l'orifice et distants l'un de l'autre et les deux segments principaux du moyen d'étanchéité sont reliés par les segments latéraux et l'organe-obturateur possède une surface à tracé cor- respondant à celui de la surface d'étanchéité et por- tant le moyen d'étanchéité périphérique fermé et est coulissant dans son plan et parallèlement au plan de l'orifice dans la paroi de la chambre. Selon une autre caractéristique de l'inven- tion, la surface d'étanchéité fait partie d'un corps fabriqué séparément de la chambre, placé dans cette chambre et soudé de manière étanche à celle-ci. Selon une autre caractéristique de l'inven- tion, l'organe-obturateur est en forme de plaque plane et le moyen d'étanchéité périphérique fermé est prévu sur les faces frontales de décrochement en forme de gradins. Selon une autre caractéristique de l'inven- tion, les deux segments principaux du moyen d'étan- chéité périphérique fermé ont un tracé différent sur leur longueur et par exemple l'un des segments princi- paux est droit et l'autre segment principal est cour- be. Selon une autre caractéristique de l'inven- tion, l'organe-obturateur comporte au niveau de son bord inférieur, au moins d'un côté du segment du moyen d'étanchéité basse, un bord protecteur en saillie par rapport au moyen d'étanchéité dans la direction de translation de l'organe-obturateur, et dans la surface d'étanchéité inférieure, une rainure pour recevoir le bord protecteur lorsque l'organe-obturateur est en po- sition rentrée (figure 8). Selon une autre caractéristique de l'inven- tion, les segments de côté du moyen d'étanchéité péri- phérique fermé sont en forme de U et chaque fois les branches de ces segments latéraux en forme de U sont situées dans un plan et les segments disposés l'un derrière l'autre dans la direction axiale de l'orifice de la surface d'étanchéité possèdent l'appui des seg- ments principaux du moyen d'étanchéité, dans chaque zone dans laquelle ils ont une génératrice commune, droite parallèle à l'axe, et une transition latérale vers l'extérieur vers un segment de surface d'étan- chéité plan et ces segments de surface d'étanchéité plans sont situés dans des plans, parallèles entre eux et par rapport à l'axe de l'orifice du tiroir. Selon une autre caractéristique de l'inven- tion, les deux segments de surface d'étanchéité plans, s'étendant latéralement vers l'extérieur se trouvent dans un plan commun. Selon une autre caractéristique de l'inven- tion, les segments essentiellement cylindriques de la surface d'étanchéité passent suivant des courbures continues en des segments plans de la surface d'étan- chéité pour l'appui des segments principaux du moyen d'étanchéité. La présente invention sera décrite de maniè- re plus détaillée à l'aide de différents exemples de réalisation représentés schématiquement dans les des- sins annexés, dans lesquels: - la figure 1 est une coupe longitudinale d'une cham- bre d'une installation à vide poussé. - la figure 2 montre la structure de principe de l'or- gane prévu dans la chambre montrant les surfaces d'étanchéité, selon une vue en perspective. - la figure 3 montre l'organe de fermeture correspon- dant aux figures précédentes. - la figure 4 montre également l'organe de fermeture qui est toutefois vu dans le cas présent dans la di- rection de la flèche A selon la figure 3. - la figure 5 montre une partie du joint périphérique. - les figures 6 et 7 représentent respectivement une coupe transversale et une coupe longitudinale d'un au- tre mode de réalisation. - la figure 8 est une vue analogue à celle de la figu- re 1 correspondant à une autre disposition. La figure 1 est une coupe longitudinale d'une chambre 41 qui est reliée par un ajutage tubu- laire 42 à une installation de mise sous vide non re- présentée, ni décrite de manière plus détaillée ici. Une garniture 43 sert à l'usinage ou au traitement d'une pièce que l'on introduit dans la chambre par l'orifice 1 réalisée dans la paroi latérale 44 de la chambre 41. Un organe 45 comportant une surface d'étanchéité 3 et qui est prévu sur la paroi latérale 44 à l'intérieur de la chambre 41 à côté de l'orifice 1 est relié solidairement à cette paroi latérale 44 par exemple par vissage ou par soudure. Perpendiculai- rement à l'axe 2 de l'orifice 1, on a un organe de fermeture 9 portant le joint 8 et qui peut coulisser de manière linéaire; cet organe de fermeture est ac- tionné par une tige de piston 13 et un ensemble à vé- rin 12. Cette tige de piston 13 traverse un orifice 46 prévue dans la chambre 41. Le vérin 12 est entouré de manière étanche par un boîtier 47 fixé par bride à la paroi supérieure du boîtier 41 avec interposition d'un joint non représenté. La figure 2 montre à échelle agrandie par rapport à la figure 1, l'organe 45 qui est fixé contre la paroi latérale 44 à l'intérieur de la chambre 41. L'orifice 1 dont l'axe 2 est représenté par une ligne en traits mixtes est entouré par une surface d'étanchéité 3 qui présente des segments 4, 5 et 6 de profils différents. Les segments 4 et 5 sont formés par des surfaces cylindriques; les segments 6 par des surfaces planes; les segments cylindriques 4, 5 et les segments-plans 6 se rejoignent par des courbes continues. Les deux segments latéraux 6 qui vont vers l'extérieur des surfaces d'étanchéité 3 se trouvent ainsi dans un même plan E; à la figure 2, ce plan est représenté par un trait mixte mince. Indépendamment de la forme différente et du profil respectif des seg- ments 4, 5 et 6 de la surface d'étanchéité 3, il y a en commun que leurs génératrices imaginaires qui sont indiquées par G et G' sont des droites qui sont paral- lèles à l'axe de l'orifice. La ligne en traits mixtes 7 qui est tracée sur la surface d'étanchéité 3 à la figure 2 correspond à la ligne d'application du joint 8 lorsque l'organe de fermeture est en position ren- trée. Les segments 4 et 5 de la surface d'étanchéité 3 se situent (comme cela est également représenté à la figure 2) lorsqu'on regarde suivant l'axe 2 de l'ou- verture 1, l'un derrière l'autre c'est-à-dire décalés latéralement par rapport à l'axe 2. L'organe de fermeture 9 qui est représenté à la figure 3 dans une position correspondant à la vue de la figure 2 et qui est représenté en vue du côté opposé à la figure 4, comporte un segment actif sur le plan de l'étanchéité muni d'une surface 30 qui corres- pond à la forme de la surface d'étanchéité 3 de l'or- gane 45; cette surface 30 porte et soutient un joint périphérique 8; ce joint peut par exemple être vulca- nisé sur la surface 30. Les segments 40, 50 et 60 de la surface 30 qui portent le joint d'étanchéité 8 et qui sont situés au voisinage immédiat des segments évoqués ci-dessus en premier lieu c'est-à-dire les segments 4, 5, 6 de la surface d'étanchéité 3 lorsque l'organe de fermeture 9 est en position rentrée, por- tent les mêmes chiffres de référence auxquels on a toutefois ajouté un 0 pour les distinguer des précé- dents. Cet organe de fermeture est fixé à la tige de piston 13. On voit selon ces figures que le joint 8 en une seule pièce, fermé de manière périphérique compor- te des segments de formes différentes qui (rapportés au plan de l'orifice 1) se trouvent dans différents plans; deux segments principaux 8', 8" du joint péri- phérique fermé 8 se trouvent dans des plans qui sont perpendiculaires à l'axe 2 de l'orifice 1 et sont dé- calés l'un par rapport à l'autre dans la direction de cet axe; il apparaît en outre que les deux segments principaux 8' et 8" du joint 8 sont reliés par des segments latéraux 80 présentant une forme de U; les branches 10 de chaque segment latéral 80 du joint 8 se situent dans des plans 60. Les segments 4 et 5 de la surface d'étanchéité 3 qui sont l'un derrière l'autre dans la direction axiale de l'orifice 1 servant d'ap- puis aux segments principaux 8' et 8" du moyen d'étan- chéité 8 se poursuivent dans chaque zone dans laquelle elle possède une génératrice commune, G', droite, pa- rallèle à l'axe, en des segments-plans 6, latéraux, dirigés vers l'extérieur; ces segments sont eux-mêmes situés dans un plan E, couché, commun, parallèle à l'axe 2 de l'orifice i de passage du tiroir. La figure 8 est une vue analogue à la figure i; elle montre également une chambre sous vide 41 mais présente toutefois les modifications suivantes par rapport au premier mode de réalisation ci-dessus: cette vue montre que l'organe-obturateur 9 présente au niveau de son bord inférieur 18, des deux côtés du segment du moyen d'étanchéité 8 qui y passe chaque fois un bord de protection 17 qui est légèrement écar- té du moyen d'étanchéité 8, latéralement (lorsqu'on regarde dans la direction axiale) et qui vient en saillie dans la direction de translation (flèche 16) de l'organe-obturateur 9 par rapport au moyen d'étan- chéité 8. Dans le segment 5 de la surface d'étanchéité 3, on a des rainures 14 et 15 qui, lorsque l'organe- obturateur 9 est en place, regoivent les deux bords de protection 17 de l'organe-obturateur. -L'organe- obturateur 9 est relié directement à la tige de piston 13 d'un vérin 12. Le vérin 12 est à action rapide, si bien qu'il permet de réaliser des vitesses d'obtura- tion extrêmement élevées et le dispositif décrit peut s'utiliser comme disque de fermeture rapide ou disque de fermeture de secours. Comme cela découle de ce qui précède, l'organe-obturateur 9 est pratiquement en une seule pièce; cela signifie qu'il ne comporte pas de pièces mobiles les unes par rapport aux autres et pour cette raison, il peut être soumis à des forces d'accé- lération très grandes. Les bords de protection 17 pro- tègent le moyen d'étanchéité 8 contre un courant qui traverse éventuellement l'orifice 1. L'organe- obturateur 9 peut ainsi passer par exemple dans un faisceau d'électrons très puissant sans que le moyen d'étanchéité 8 ne soit lui-meme directement frappé par ce faisceau très énergique et risque d'être endommagé ou du moins de voir sa durée de vie réduite. Alors que les exemples de réalisation dé- crits ci-dessus comportent un orifice 1 de forme cir- culaire, les figures 6 et 7 montrent un disque en vue en coupe, transversale et longitudinale, munie d'un orifice i de section rectangulaire. Les segments 4, 5, 6 de la surface d'étanchéité du corps 45 portent les références correspondant à la figure 7. Cette figure montre que les deux segments principaux 8' et 8" du moyen d'étanchéité périphérique fermé 8 ont un tracé différent sur leur longueur; ainsi, l'un des segments principaux 8' est droit et l'autre segment principal 8" est courbe. Dans tous les modes de réalisation décrits, le moyen d'étanchéité 8 est prévu sur l'organe- obturateur 9. Il serait fondamentalement possible sans sortir du cadre de la présente invention d'inverser cette disposition; cela signifie que l'on peut pré- voir le moyen d'étanchéité 8 solidairement sur le corps 45 et d'avoir les surfaces d'étanchéité corres- pondantes sur l'organe-obturateur 9. Dans le cas o des différences de pression importantes s'appliquent à l'organe-obturateur 9 en position de fermeture, il est possible de guider cet organe-obturateur par les bords. Pour cela, on peut prévoir des rails de guidage correspondants dans la chambre 41; on peut également réaliser des rainures de guidage dans les faces internes des parois de la chambre 41 dans lesquelles les bords de l'organe- obturateur 9 glissent directement ou roulent sur des organes de roulement montés libres en rotation aux bords de l'organe-obturateur 9 et pénétrant dans ces rainures de guidage. Pour des raisons de simplifica- tion, de tels moyens de guidage latéraux n'ont pas été représentés dans le dessin. A la place d'un tel appui marginal de l'organe-obturateur 9, on pourrait égale- ment protéger celui-ci d'une autre manière contre la pression. A titre d'exemple, sur les surfaces 6 (figu- re 2), on peut prévoir des goujons en saillie. Un tel goujon 19 est indiqué par un tracé en traits pleins à la figure 2. Lorsque l'organeobturateur 9 est rentré, le goujon 19 vient dans un perçage 20 correspondant qui est réalisé dans le segment 60 de l'organe- obturateur 9 (figures 3 et 4). Tant pour la surface d'étanchéité 3 de la figure 2 que pour la surface d'étanchéité de l'exemple de réalisation des figures 6 et 7, les segments 4 et 5 respectifs rejoignent les segments-plans latéraux 6; cela est également vrai pour les segments correspon- dants 40, 50, 60 qui portent le moyen d'étanchéité 8 comme le montre la réalisation du moyen d'étanchéité selon la figure 5. Il est également possible en prin- cipe de supprimer les segments plans 6 et les segments correspondants, si les conditions relatives à l'étanchéité ne sont pas trop strictes. Dans ce cas, la surface d'étanchéité 3 (figure 2) est limitée par la génératrice G'. Dans ce cas également, les branches du moyen d'étanchéité 8 (figure 5) disparaîtraient, si bien que le segment latéral 80 se raccorderait di- rectement aux segments principaux 8' et 8" du moyen d'étanchéité 8 ou aurait une transition directe. Dans les modes de réalisation de l'inven- tion, la tige de piston 13 du vérin 12 est avantageu- sement enfermée de manière étanche par un soufflet mé- tallique comme cela est usuel pour les organes- obturateurs d'installations sous vide. Le soufflet mé- tallique qui est traversé par la tige de piston 13 peut pénétrer à l'intérieur de la chambre 41. Ce souf- flet métallique est avantageusement soudé par une ex- trémité à la tige de piston 13 ou est relié à celle-ci par une-soudure et son autre extrémité est serrée de manière étanche contre la surface frontale du vérin 12. Grâce à l'invention, on a une chambre pré- sentant une possibilité de fermeture qui comporte un organe-obturateur, un moyen d'étanchéité et des surfa- ces d'étanchéité, mais vis-à-vis des installations connues, de ce type, il n'y a pas de boîtier au sens d'un boîtier de tiroir ou d'un boîtier de soupape for- mant un tout. Les organes-obturateurs selon l'inven- tion s'utilisent dans des chambres sous vide, des sas, des fenêtres d'observation ou analogues. La forme de l'orifice 1 peut être choisie de manière quelconque; elle peut être ronde ou polygonale. A la place d'un vérin constituant l'organe de manoeuvre assurant la fermeture, on peut également prévoir des moyens à com- mande manuelle, électromagnétique, à moteur électri- que, des moyens pneumatiques ou des moyens hydrauli- ques. LISTE DES REFERENCES 1 orifice 17 bord protecteur 2 axe 18 bord inférieur 3 surface d'étanchéité 19 goujon 4 segment 20 perçage segment 40 perçage 6 segment 41 chambre 7 ligne en trait mixte 42 raccord de tube 8 joint d'étanchéité 43 garniture 8' joint principal 44 paroi latérale 8" segment principal 45 corps 9 organe-obturateur 46 orifice branche 47 boîtier 12 vérin 50 segment 13 tige de piston 60 segment 14 rainure 80 segment latéral rainure E plan 16 direction de translation G,G' génératrice REVENDICATIONS le) Chambre notamment pour des installations sous vide servant au traitement, au stockage et/ou au passage de pièces ou autres produits, au moins une pa- roi de cette chambre étant sous vide comportant au moins un orifice à travers lequel on introduit ou on extrait les pièces ou les produits dans la chambre, cet orifice pouvant être fermé par un organe- obturateur muni d'un moyen d'étanchéité coopérant avec une surface d'étanchéité, la surface d'étanchéité étant prévue à l'intérieur de la chambre et latérale- ment par rapport à l'orifice, un moyen d'étanchéité périphérique fermé prévu sur l'organe-obturateur, ve- nant s'appliquer contre la surface d'étanchéité lors- que l'organe-obturateur est en position de fermeture, chambre caractérisée en ce que les génératrices droi- tes (G, G') de la surface d'étanchéité (3) sont paral- lèles à l'axe (2) de l'orifice (1) et la surface d'étanchéité (3) comporte au moins deux segments de surface d'étanchéité (4, 5) qui sont décalés latérale- ment par rapport à l'axe (2) de l'orifice (1) et les zones en regard se rejoignent et le moyen d'étanchéité (8) monobloc, périphérique fermé comporte des segments (8', 8") de longueur et/ou de forme différentes qui sont situés dans des plans différents et deux segments principaux (8', 8") du moyen d'étanchéité périphérique fermé (8) étant situés dans des plans perpendiculaires à l'axe (2) de l'orifice (1) et distants l'un de l'au- tre et les deux segments principaux (8', 8") du moyen d'étanchéité (8) sont reliés par les segments latéraux (80) et l'organe-obturateur (9) possède une surface (30) à tracé correspondant à celui de la surface d'étanchéité (3) et portant le moyen d'étanchéité pé- riphérique fermé (8) et est coulissant dans son plan 3-5 et parallèlement au plan de l'orifice (1) dans la pa- roi de la chambre (41). 2') Chambre selon la revendication 1, carac- térisée en ce que la surface d'étanchéité (3) fait partie d'un corps (45) fabriqué séparément de la cham- bre (41), placé dans cette chambre (41) et soudé de manière étanche à celle-ci. 3 ) Chambre selon la revendication 1, carac- térisée en ce que l'organe-obturateur (9) est en forme de plaque plane et le moyen d'étanchéité périphérique fermé (8) est prévu sur les faces frontales (40, 50, ) de décrochement en forme de gradins. 4 ) Chambre selon la revendication 1, carac- térisée en ce que les deux segments principaux (8', 8") du moyen d'étanchéité périphérique fermé (8) ont un tracé différent sur leur longueur et par exemple l'un des segments principaux (8') est droit et l'autre segment principal (8") est courbe. ) Chambre selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisée en ce que l'organe-obturateur (9) comporte au niveau de son bord inférieur, au moins d'un côté du segment du moyen d'étanchéité (8), un bord protecteur (17) en saillie par rapport au moyen d'étanchéité (8) dans la direction de translation (16) de l'organe-obturateur (9), et dans la surface d'étan- chéité inférieure (3), une rainure (14, 15) pour rece- voir le bord protecteur (17) lorsque l'organe- obturateur (9) est en position rentrée (figure 8). 6 ) Chambre selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisée en ce que les segments de côté (80 du moyen d'étanchéité périphérique fermé (8) sont en forme de U et chaque fois les branches de ces segments latéraux (80) en forme de U sont situées dans un plan (60) et les segments (4, 5) disposés l'un derrière l'autre dans la direction axiale de l'orifice (1) de la surface d'étanchéité (3) possèdent l'appui des seg- ments principaux (8', 8") du moyen d'étanchéité (8), dans chaque zone dans laquelle ils ont une génératrice (G'), commune, droite parallèle à l'axe, et une transition latérale vers l'extérieur vers un segment de surface d'étanchéité plan (6) et ces segments de surface d'étanchéité plans (6) sont situés dans des plans (E), parallèles entre eux et par rapport à l'axe (2) de l'orifice (1) du tiroir. ) Chambre selon la revendication 6, carac- térisée en ce que les deux segments de surface d'étan- chéité (6), plans, s'étendant latéralement vers l'ex- térieur se trouvent dans un plan (E) commun. ) Chambre selon la revendication 6 ou la revendication 7, caractérisée en ce que les segments (4, 5) essentiellement cylindriques de la surface d'étanchéité (3) passent suivant des courbures conti- nues en des segments plans (6) de la surface d'étan- chéité (3) pour l'appui des segments principaux (8', 8") du moyen d'étanchéité (8).