Brevet FR2631265A1 — publié le 19891117

Procédé de fabrication d'une pièce métallique destinée à être utilisé au sein d'une atmosphère gazeusé de pression très faible La présente invention concerne un procédé de fabrication d'une pièce métallique destinée à être utilisée au sein d'une atmosphère gazeuse de pression très faible. En particulier, l'invention s'applique aux pièces statiques ou dynamiques des pompes à vide permettant de descendre à des pressions inférieures à 10 mbar. Actuellement, ces pièces sont constituées de métaux laminés ou étirés à froid ou à chaud. Les pièces sont, soit usinées de façon classique par enlèvement de copeaux pour les étirés, soit mécanosoudées, et polies lorsqu'elles proviennent de métaux laminés. Cependant, ces procédés sont onéreux et ne permettent pas d'abaisser les prix au-dessous d'un certain niveau. Les pièces fondues sont évidemment beaucoup plus économiques, mais sont inutilisabies dans les applications du vide. En effet, un métal fondu comporte en son sein des gaz occlus et dissous. Ils se manifestent à la solidification sous la forme d'une myriade de microporosités fermées ou ouvertes reliées par de petits canaux. Ces porosités ouvertes peuvent donner lieu à des fuites de l'atmosphère vers la partie vide. En outre, l'ensemble des microbulles d'air à la pression atmosphèrique se vident lentement de leur air par les microcanaux pendant des temps très longs. Ainsi, le fait d'utiliser une pièce fondue, donne lieu à une source interne de gaz, analogue à un bruit de fond. Cette source vient en diminution de la masse de gaz qui peut être évacuée et ainsi affaiblir d'une façon appréciable les caractéristiques d'une pièce fondue par rapport à une pièce fabriquée dans un étiré ou une tôle. La présente invention a pour but de pallier ces inconvénients et de permettre d'utiliser des pièces fondues, donc économiques, dans les applications du vide poussé. L'invention a ainsi pour objet un procédé de fabrication d'une pièce métallique destinée à être utilisée au sein d'une atmosphère gazeuse de pression très faible, caractérisée en ce qu'elle est réalisée en fonderie et ensuite recouverte d'une pellicule étanche, métallique ou organique ayant un faible taux de dégazage à la pression considérée. L'invention s'applique-à toute pièce destinée à être soumise à un vide poussé par exemple inférieur à 10 0 mbar. En particulier, l'invention s'applique aux pompes à vide. On constitue ainsi à la surface de la pièce, une pellicule étanche qui empeche le dégazage de la pièce. Cette pellicule métallique ou organique peut être réalisée a) par un dépôt chimique métallique ou de matière plastique, b) par un dépôt galvanoplastique de métal, c) par évaporation ou par pulvérisation cathodique. L'invention permet ainsi d'utiliser pour les pièces statiques et dynamiques d'une pompe à vide, un moyen de production peu onéreux qui est la fonderie, actuellement inutilisable à cause des dégagements gazeux dans le vide. REVENDICATIONS -1/ Procédé de fabrication d'une pièce métallique destinée à être utilisée au sein d'une atmosphère gazeuse de pression très faible, caractérisée en ce qu'elle est réalisée en fonderie et ensuite recouverte d'une pellicule étanche, métallique ou organique ayant un faible taux de dégazage à la pression considérée. 2/ Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite pression est inférieure à 10 mbar. 3/ Procédé selon l'une des revendications I ou 2, caractérisé en ce que ladite pellicule étanche est réalisée par dépôt chimique, métallique ou de matière plastique. 4/ Procédé selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce queladite pellicule étanche est réalisée par dépôt galvanoplastique de métal. 5/ Procédé selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que ladite pellicule étanche est déposée par évaporation ou pulvérisation cathodique 6/ Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ladite pièce s'applique à une pompe à vide.