Brevet FR2625600A1 — publié le 19890707

La présente invention concerne un procédé pour ajuster un condensateur plan, procédé dans lequel on focalise une émission laser sur une électrode d'un conden- sateur formé sur un substrat transparent à l'émission laser et comportant une électrode supérieure, une couche isolante et une électrode inférieure, pour obtenir un effet de pas- sivation sur l'électrode. On connaît d'après le US-A-3 597 579, un procédé d'ajustement des condensateurs dans lequel l'aire de l'élec- trode du condensateur est modifiée par l'emploi d'une éner- gie de rayonnement et dans lequel, pour éviter l'apparition de courts-circuits, on applique une tension entre les élec- trodes du condensateur. Le procédé décrit ci-dessus a l'inconvénient de n'être applicable qu'à un choix restreint de matériaux. L'opération d'ajustement s'effectue sur l'électrode supérieure du condensateur, laissant ainsi la zone ajustée sujette à la contamination et à la dégradation, en parti- culier dans le cas de 1' utilisation en détecteur d'humidité. Le but de la présente invention est de surmon- ter les inconvénients de l'art antérieur mentionné ci- dessus et de proposer un procédé entièrement nouveau pour ajuster un condensateur plan. L'idée qui est à la base de l'invention est d'ajuster le condensateur en oxydant l'électrode infé- rieure en la chauffant à travers le substrat, en utilisant par exemple un laser. De façon spécifique, le procédé conforme à l'invention se caractérise en ce que l'on focalise l'émission laser localement sur l'électrode inférieure à travers le substrat pour obtenir un effet de chauffage sur l'électrode inférieure, de façon à oxyder la matière de l'électrode, de sorte que l'électrode inférieure passe localement à un état électriquement non conducteur, tout en étant protégée par le substrat et par la couche isolante. L'invention apporte des avantages significatifs. On peut ajuster le condensateur avec précision à une valeur désirée de sa capacité, et cette valeur restera stable, puisque cette électrode inférieure reste protégée sous la couche isolante. On va expliquer ci-dessous l'invention plus en détail au moyen de réalisations prises à titre d'exemples et conformément aux dessins annexés, dans lesquels: - la figure 1 est une vue latérale, en coupe longitudinale, d'une structure typique de condensateur subissant le procédé conforme à l'invention; - la figure 2 est une vue de dessus d'une autre structure typique de condensateur qui est compatible avec l'emploi du procédé conforme à l'invention. Selon la figure 1, le condensateur comporte un substrat 1, qui est généralement en verre. En variante, on peut utiliser comme substrat d'autres matériaux trans- parents à l'émission laser. Sur le substrat 1 est fabriquée une électrode inférieure 2 dont le matériau peut être par exemple de l'aluminium. Une couche isolante 3 est adjacente à l'électrode inférieure et couvre celleci. Lorsqu'il s'agit par exemple de réaliser un détecteur d'humidité, la couche 3 est en un polymère convenable absorbant l'eau. Une électrode supérieure 4, déposée sur la couche isolante 3, est fabriquée, dans le cas du détecteur d'humidité, en un matériau perméable à l'humidité. L'ajustement du condensateur se fait en focalisant un faisceau 6 d'un laser 5 à travers le substrat 1 sur l'électrode infé- rieure 2, de façon à échauffer localement l'électrode inférieure sous l'action du faisceau 6, ce qui conduit à une oxydation de l'électrode inférieure 2 pour la faire passer à un état électriquement non conducteur. Par ce procédé l'aire efficace du condensateur se réduit et la capacité du condensateur diminue pour atteindre la valeur désirée. Le laser 5 peut être, par exemple, un laser Nd:YAG à modulation du facteur Q, le courant d'alimenta- tion correct étant de, par exemple, 20 A. En variante, on peut fabriquer l'électrode infé- rieure 2 en tantale. Un condensateur conforme à la figure 2 comporte des électrodes inférieures 8 couvertes par une couche isolante (non représentée) déposéespar vaporisation sous vide sur le substrat en verre 7. Une électrode de surface 9 est en outre déposée, par électrolyse, sur la couche iso- lante. Le procédé d'oxydation décrit ci-dessus en liaison avec la figure 1 s'effectue sur la zone de l'électrode inférieure qui, conformément à la figure 2, subsiste sous l'électrode de surface 9. REVENDICATIONS 1. Procédé pour ajuster un condensateur plan, procédé dans lequel - on focalise une émission laser sur une élec- trode (2) d'un condensateur formé sur un substrat (1) transparent à l'émission laser et comportant une élec- tode supérieure (4), une couche isolante (3) et une électrode inférieure (2), pour obtenir un effet de passi- vation sur l'électrode, caractérisé en ce que - on focalise l'émission laser localement sur l'électrode inférieure (2) à travers le substrat (1) pour obtenir un effet de chauffage sur l'électrode inférieure (2), de façon à oxyder la matière de l'électrode de sorte que l'électrode inférieure (2) passe localement à un état électriquement non conducteur, tout en étant protégée par le substrat (1) et par la couche isolante (3). 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la matière oxydable de l'électrode inférieure est de l'aluminium. 3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la matière oxydable de l'électrode inférieure est du tantale.