Brevet FR2634051A1 — publié le 19900112

DISPOSITIF EN MATERIAU MAGNETIQUE A COUCHE ANTI-USURE ET APPLICATIONS A UNE TETE D'ENREGISTREMENT-LFECTURE ET A UN DISQUE D'ENREGISTREMENT L'invention concerne un dispositif en matériau magnétique à couche antiusure et des applications à une tête d'enregistrement-lecture, et un disque d'enregistrement magnétique. Dans la technique des têtes magnétiques réalisées en couches minces, le problème de l'usure est crucial notamment pour les appareils d'enregistrement-lecture à bandes magnétiques. Une tête type VHS s'use de 20 micromètres en 2000 heures d'utilisation de bande circulant à 5 mètres par seconde. Pour protéger ces têtes, on peut déposer un revêtement très mince (quelques centaines d'Angstroems) de carbone, CSi, Zr par exemple. Vu l'hétérogénéité des têtes: ferrite - sendust ou permalloy - A12 03 Verre, il est rare qu'un type de matériau accroche sur toute une surface pour les mêmes conditions de dépôt (plasma par exemple). Il convient donc de protéger ces têtes magnétiques par une couche d'un matériau présentant une bonne résistance à l'usure. Un matériau qui conviendrait parfaitement pour assurer cette protection contre l'usure est le carbone. Cependant, il a été constaté qu'une couche mince de carbone (250 Angstroems) adhère difficilement sur des matériaux type ferrite. Ceci a été prouvé en laboratoire, par des tests d'usure sur tête carbone. ferrite. C'est pourquoi, l'invention fournit une solution permettant de résoudre ce problème. L'invention concerne donc un dispositif en matériau magnétique comportant au moins un matériau magnétique fritté affleurant une les faces du dispositif, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une couche de protection en matériau à base d'un carbure métallique protégeant ladite face contre.une usure. Plus particulièrement, l'invention concerne un dispositif dans lequel le matériau fritté est un matériau en ferrite et dans lequel la couche de protection comporte une couche d'accrochage à base de silicium recouvrant ladite face, cette couche d'accrochage à base d'un constituant ayant un bas coefficient d'accrochage sur le matériau en ferrite et recouvrant ladite face, cette couche d'accrochage étant ellemême recouverte d'une couche anti-usure à base de carbone protégeant ladite face contre une usure. L'invention concerne également une tête magnétique d'enregistrementlecture comprenant au moins deux couches en matériau ferrite encadrant une couche d'entrefer en matériau non magnétique, ces trois couches affleurant une surface active d'enregistrement-lecture de la tête, appliquant le dispositif précédent et dans lequel la couche de protection recouvre la surface active de la tête. Les différents objets et caractéristiques de l'invention apparaîtront de façon plus détaillée dans la description qui va suivre faite à titre d'exemple en se reportant aux figures annexées qui représentent: - la figure 1, un exemple de réalisation du dispositif de l'invention - la figure 2, un exemple de réalisation d'une tête magnétique d'enregistrement-lecture selon l'invention; - la figure 3, un autre exemple de réalisation d'une tête magnétique d'enregistrement-lecture selon l'invention; - la figure 4, un exemple de réalisation d'un disque d'enregistrement magnétique. En se reportant à la figure 1, on va tout d'abord décrlre un dispositif magnétique selon l'invention dans lequel le dispositif comporte au moins une couche 1 en matériau magnétique, telle que de la ferrite, que l'on veut protéger contre l'usure. Il a été démontré en laboratoire que le carbone type adiamentin accrochait parfaitement sur une surface en silice. Par ailleurs, la silice adhère parfaitement sur des matériaux type ferrite. Le dispositif de l'invention comporte donc sur la couche 1, une couche 2 en silice (SiO2), laquelle est revêtue d'une couche 3 en carbone adiamentin. Il a été prouvé qu'un très léger dépôt de C ( 30 A), c'est à dire un temps de dépôt de quelques secondes, est suffisant pour rendre la surface de silice très dure. De façon plus générale, la couche 2 est à base d'un matériau qui accroche au substrat et plus particulièrement à base de silicium (sans être précisément de la silice ou du titane). De même, la couche 3 peut être un matériau à base de carbone. * Selon une variante de réalisation, les couches 2 et 3 peuvent être réallsées en une seule couche et leur composition, en silicium et en carbone, est choisie de façon d'une part à obtenir un bon accrochage sur la couche 1 et à fournir une bonne protection contre l'usure. La figure 2, représente un exemple de réalisation d'une tête magnétique mettant en application le dispositif de protection selon l'invention. Cette tête magnétique comporte deux couches 4 et 5 en matériau magnétique tel qu'un matériau à base de ferrite. Les deux couches 4 et 5 sont séparées par un matériau non magnétique d'entrefer 6. De plus, dans certaines têtes magnétiques telles que celle de la figure 2, entre la couche d'entrefer 6 et les couches 4 et 5, ont été prévues deux couches 7 et 8 en matériau magnétique du type Sendust (alliage de Fer-SiliciumAluminium). Selon l'invention, l'ensemble de la tête soumise à une usure est recouverte par une couche 2 d'oxyde de silicium (silice) SiO2. La couche 2 est recouverte par une couche 3 de carbone. Ces couches protègent ainsi la couche active de la tête magnétique sur laquelle frotte le support magnétique d'enregistrement telle qu'une bande magnétique. Elles peuvent également recouvrir les flancs de la tête. La couche 2 permet l'accrochage efficace sur la ferrite des couches 4 et 5 et sur les couches 7 et 8 (Sendust). Son épaisseur peut être de 100 à 200 Angstroems. La couche 3 s'accroche bien sur la couche 2 et permet une protection efficace contre l'usure. Son épaisseur peut être de 20 à 50 Angstroems, par exemple, selon le temps d'utilisation que l'on désire obtenir. La figure 3, représente une tête magnétique dans laquelle l'entrefer 6 de la tête est réalisé par les deux couches 7 et 8 de sendust situées à plat sur deux parties en ferrite 4 et 5 séparées par du matériau Isolant 10 du type verre. Ces couches 7 et 8 constituent alors une partie essentielle de la surface active de la tête. Comme la tête magnétique de la figure 2, la tête magnétique de la figure 3 comporte une couche d'accrochage 2 en oxyde de silicium (SiO2) et une couche anti-usure 3 en carbone adamentin. Les épaisseurs de ces couches peuvent être celles indiquées précédemment par la tête magnétique de la figure 2. La figure 4, représente un disque magnétique d'enregistrement de données informatiques appelé usuellement disque dur. Il comporte le disque magnétique proprement dit recouvert sur sa face active 19 d'une couche d'accrochage 2 (en oxyde de silicium ou silicium amorphe polycristallin ou monocristallin) laquelle est recouverte d'une couche anti-usure 3 (en carbone adamentin). A titre d'exemple, la couche d'accrochage peut avoir 100 à 200 Angstroems d'épaisseur et la couche anti-usure 3 peut avoir 20 à 50 Angstroems d'épaisseur. Pour la réalisation de telles couches de protection, si l'on considère un dépôt de type plasma, les dispositifs à protéger telles que les têtes magnétiques sont dans la même enceinte et on dépose le sillcium, par l'intermédiaire de gaz tel que le silane, ou la silice par silane et oxygène. On peut régler les conditions de dépôt pour obtenir un type donné de silice. Le dépôt peut atteindre une épaisseur de 200 Angstroems environ. Ensuite sans détruire le vide, de l'enceinte, on dépose pendant un temps très court (quelques secondes) la couche de carbone adiamentin. Cette méthode s'applique aussi au Sputtering, il suffit de disposer des cibles appropriées de silicium et de graphite. Ceci s'effectue dans la même étape de dépôt. On peut aussi effectuer ce dépôt par tout autre dépôt d'épitaxle connu. On peut aussi faire des mélange des deux composants (silicium et carbone) en utilisant le Dual Ion Beam Sputtering (une cible Si, une cible C). Il est bien évident que la description qui précède n'a été faite qu'à titre d'exemple non limitatif. D'autre variantes peuvent être envisagées sans sortir du cadre de l'invention. Notamment les exemples numériques n'ont été fournis que pour illustrer la description. REVENDICATIONS 1. Dispositif en matériau magnétique comportant au moins un matériau magnétique fritté (1) affleurant une des faces (10) du dispositif, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une couche de protection en matériau à base d'un carbure métallique protégeant ladite face contre une usure. 2. Dispositif en matériau magnétique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le matériau magnétique fritté (1) est un matériau en ferrite, la couche de protection comporte une couche d'accrochage (2) à base d'un constituant ayant un bon coeffient d'accrochage sur le matériau en ferrite et recouvrant ladite face, cette couche d'accrochage (2) étant elle-même recouverte d'une couche (3) anti-usure à base de carbone protégeant ladite face contre une usure. 3. Dispositif en matériau magnétique selon la revendication 2, caractérisé en ce que le constituant d'accrochage de la couche d'accrochage (2) est du silicium. 4. Dispositif en matériau magnétique selon la revendication 2, caractérisé en ce que le constituant d'accrochage de la couche d'accrochage (2) est du titane. 5. Dispositif en matériau magnétique selon la revendication 3, caractérisé en ce que la couche à base de silicium (2) est de la silice (SiO2 ou SiOx). 6. Dispositif en matériau magnétique selon la revendication 2, caractérlsé en ce que la couche anti-usure (3) à base de carbone est en carbone adamentin ou carbone à structure diamant. 7. Tête magnétique d'enregistrement-lecture comprenant au moins deux couches en matériau ferrite (4, 5) encadrant une couche d'entrefer (6) en matériau non magnétique, ces trois couches affleurant une surface active (10) d'enregistrement-lecture de la tête, appliquant le dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisée en ce que la couche de protection recouvre la surface active (10) de la tête. 8. Tête magnétique d'enregistrement-lecture selon la revendication 7, caractérisée en ce que la couche de protection comporte une couche d'accrochage (2) & base de silicium qui recouvre la surface active (10) de la tête et une couche anti-usure (3) à base de carbone qui recouvre la couche d'accrochage (2). 9. Tête magnétique d'enregistrement-lecture selon la revendication 7, caractérisée en ce qu'elle comporte, affleurant la surface active (10) de la tête, un matériau métallique (7, 8) située entre chaque couche (4, 5) en matériau à base de ferrite et la couche d'entrefer (6).