Brevet FR2623820A1 — publié le 19890602

La présente invention concerne les dispositifs de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser en géné- ral et, plus spécialement, une technique pour exécuter le dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser en uti- lisant la fourniture d'un faisceau par fibre optique. Le procédé classique de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique est, généralement, le procédé dans lequel un réactif gazeux chimique.est déposé sur un substrat et lié à celui-ci. Les techniques permettant d'exécuter le procédé chimique classique de dépôt en phase gazeuse sont' bien connues et utilisées avec succès dans la technique de fabri- cation des puces à semi-conducteur, par exemple, à titre d'étape de la microfabrication des circuits à intégration à très grande échelle, ainsi que dans la métallurgie o elles sont employées pour déposer une couche de matériau ayant des propriétés souhaitables sur le substrat. Un exemple d'une telle application métallurgique est le dépôt d'oxydes ou de nitrures sur un substrat en acier ou en titane dans le but d'améliorer ses propriétés de surface. Le dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser est un procédé dans lequel un faisceau laser facilite le dépôt du réactif chi- -- 2 -- mique sur le substrat et est également bien connu dans la technique. La figure 1 illustre un dispositif 100 de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser à titre d'exemple des techniques antérieures pour l'exécution de ce type de dépôt. On place une pièce 102 à l'intérieur d'une chambre de réaction étanche 104. La chambre comporte un orifice 106 d'admission du réactif gazeux, un orifice 108 de sortie du gaz et un manomètre 110 pour indiquer la pression régnant dans la chambre. La chambre comprend en outre une fenêtre 112 permettant la transmission d'un faisceau laser et une fenêtre d'observation 114 pour examiner la pièce alors qu'elle est soumise au processus de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique & laser. Un laser 116 produit un fais- ceau 118 qui est collimaté par un moyen non représenté. Le faisceau collimaté est dirigé et focalisé, par l'intermédiaire de la fenêtre 112. par un moyen optique approprié représenté schématiquement par un miroir 120 et une lentille de focalisation 122. La partie focalisée 124 du faisceau laser est dirigée sur la pièce. Pendant le fonc- tionnement, la chambre 104 est mise sous vide, via l'orifice de sortie 108, et le réactif chimique gazeux devant être déposé sur la surface de la pièce 102 est ensuite introduit par l'intermédiaire de l'orifice d'entrée 106. En général, on introduit dans la chambre du dispositif de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser un volume du réactif gazeux suffisant pour établir une atmosphère statique ayant une concentration suffisante pour supporter le processus de dépôt, la pression enregistrée par le manomètre 110 fournis- sant une indication de la concentration du réactif gazeux à l'intérieur de la chambre. Le faisceau laser focalisé 124 est dirigé sur les parties de la surface de la pièce (sub- strat) o l'on souhaite procéder au dépôt du réactif gazeux. La redirection du faisceau laser focalisé sur des parties différentes du substrat peut s'effectuer en déplaçant les -3- composants optiques, par exemple le miroir 120. Comme cela est connu dans la technique, le dépôt effectué sur le sub- strat a lieu soit sous l'effet d'un processus de photolyse dans lequel le faisceau laser provoque la dissociation des molécules du réactif gazeux et leur réaction avec le maté- riau du substrat soit au moyen d'un processus de pyrolyse dans lequel le faisceau laser échauffe le substrat et le réactif gazeux réagit directement avec lui. La technique de l'art antérieur de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser illustrée en figure 1 et venant d'être décrit souffre d'un certain nombre d'inconvénients. Un inconvénient principal provient de la limitation due à l'introduction du faisceau laser focalisé par l'intermédiaire de la fenêtre 112. Des fenêtres de ce type sont chères car elles doivent être fabriquées avec un matériau qui présente un pouvoir de transmission élevé vis à vis du faisceau laser employé dans le but de minimiser l'atténuation du faisceau. En outre, la fenêtre doit avoir une résistance mécanique suffisante pour supporter la pres- sion (positive ou négative) régnant dans la chambre. Dans la pratique, on sait que le réactif chimique se dépose sur de telles fenêtres et par conséquent altère leur pouvoir de transmission. Une technique connue dans l'art pour minimiser un tel dépôt sur la fenêtre consiste à la chauffer. Cepen- dant, on a constaté que ce chauffage de la fenêtre peut pro- voquer sa distorsion et par conséquent celle du faisceau laser focalisé par l'intermédiaire de laquelle il est trans- mis. Il serait par conséquent souhaitable d'avoir un dispo- sitif pour exécuter le dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser qui ne nécessite pas l'utilisation d'une telle fenêtre pour permettre l'introduction du faisceau laser dans la chambre de réaction. Un second inconvénient principal qu'on rencontre avec la technique de dépôt en phase gazeuse par procédé chi- mique à laser de l'art antérieur qu'on vient de décrire et d'illustrer est l'aptitude limitée à contrôler la concentra- tion du réactif gazeux à proximité du substrat sur lequel il se dépose. Les deux techniques classiques de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique et le dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser sont fondées sur le contrôle du débit ou de la pression du réactif gazeux dans la chambre de réaction de manière à avoir un effet sur la concentration du réactif dans la zone de dépôt. De tels procédés de contrôle de la concentration du réactif gazeux dans la chambre sont imprécis par inhérence car ils ne servent qu'à maintenir une certaine concentration gazeuse moyenne à l'intérieur de la chambre. Un contrôle étroit de la concentration du réactif gazeux dans le voisinage immédiat de la zone de dépôt est très difficile à obtenir en utilisant de telles méthodes. Il serait donc souhaitable d'avoir un dispositif permettant d'exécuter le dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser dans lequel la concentration du réactif gazeux dans la zone de dépôt puisse être étroitement contrôlée. Un inconvénient supplémentaire de la technique de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser de l'art antérieur est la souplesse limitée dans la re-direction du faisceau laser focalisé sur différentes parties du substrat. Comme on l'a indiqué ci-dessus, cette re-direction est exé- cutée dans le dispositif 100 de dépôt en phase gazeuse de l'art antérieur en manipulant le dispositif optique situé à l'extérieur de la chambre. En clair, le degré de liberté dans une telle re-direction est limité par la surface en coupe de la fenêtre 112 et l'aptitude à focaliser effective- ment le faisceau laser sur des surfaces différentes du sub- strat. Il serait donc encore souhaitable d'avoir un disposi- tif de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser présentant une liberté importante pour le mouvement relatif entre le faisceau laser focalisé et la pièce. Un autre inconvénient de la technique de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser de l'art anté- rieur a pour origine le profil non uniforme de l'intensité qu'on trouve dans le spot focalisé du faisceau laser. On peut attribuer un tel manque d'uniformité du profil de l'intensité à des variations dans le résonateur laser lui- même, lesquelles sont dues à des fluctuations de la puis- sance d'entrée et du débit de l'eau de refroidissement, aux vibrations des éléments optiques, etc... Dans le cas o le dépôt en phase gazeuse par procédé à laser s'effectue au moyen du mécanisme de pyrolyse qu'on a cité ci-dessus, un chauffage non uniforme de la partie du substrat sur laquelle le faisceau laser est dirigé se traduit par un manque d'uniformité du profil de l'intensité du spot du faisceau focalisé. Ce manque d'uniformité du chauffage a l'inconvénient de se traduire par des variations de la vitesse de réaction à l'intérieur du spot du faisceau chauffé et donc par un manque d'uniformité de l'épaisseur du matériau déposé sur le substrat. En outre, dans le cas o l'on emploi un faisceau laser pulsé pour exécuter le dépôt en phase gazeuse par procédé à laser, la différence dans les profils d'intensité des impulsions laser successives peut provoquer un manque d'uniformité correspondant dans le maté- riau déposé. Il serait donc souhaitable d'avoir un disposi- tif de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser dans lequel le manque d'uniformité du profil de l'intensité du faisceau et les différences des profils d'intensité entre impulsions laser successives soient minimisés. La présente invention a pour objet principal un dispositif de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser qui ne souffre pas des problèmes et inconvénients venant d'être exposés. La présente invention a pour autre objet un dispo- sitif de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser qui ne nécessite pas la transmission du faisceau laser par l'intermédiaire d'une fenêtre pour entrer dans une chambre de réaction. La présente invention a encore pour objet un dis- positif de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser dans lequel la concentration du réactif gazeux à proximité du substrat sur lequel il est déposé puisse être étroitement contrôlée. Un objet supplémentaire de la présente invention est de proposer un dispositif de dépôt en phase gazeuse par procédé à laser dans lequel il y ait une souplesse impor- tante dans le re-direction du faisceau laser sur des parties différentes du substrat sur lequel le réactif gazeux doit être déposé. La présente invention a encore pour objet un dis- positif de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser dans lequel le manque d'uniformité du profil de l'intensité dans le spot focalisé soit minimisé. La présente invention a pour autre objet un dispo- sitif de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser dans lequel les variations du profil de l'intensité qu'on observe dans les impulsions successives du faisceau produit par laser pulsé soient minimisées. On atteint les objets précédents de la présente invention avec un dispositif perfectionné permettant d'exécuter le dépôten phase gazeuse par procédé chimique à laser d'un réactif chimique gazeux sur une pièce en utilisant un fais- ceau laser. Le dispositif comprend une fibre optique pour transmettre le faisceau laser et des composants optiques appropriés pour injecter le faisceau laser dans une extré- mité d'entrée de la fibre optique afin de le transmettre par l'intermédiaire de celle-ci. Le dispositif comprend en outre un moyen pour déployer le réactif gazeux dans le voisinage d'une zone prédéterminée de la pièce o l'on souhaite dépo- ser le réactif gazeux et un coupleur de sortie pour focali- ser le faisceau laser émis à l'extrémité de sortie de la fibre. Dans un mode de réalisation dans lequel le dépôt du réactif gazeux est effectué par le processus de pyrolyse, le faisceau est focalisé sur au moins une partie d'une zone prédéterminée de la pièce de sorte que le réactif gazeux est déposé sur celle-ci. Dans un autre mode de réalisation dans lequel on souhaite déposer le réactif au moyen du processus de photolyse, le coupleur de sortie est orienté de façon que le faisceau soit focalisé sur une partie du réactif gazeux à proximité de la zone prédéterminée de la pièce. Dans plusieurs modes de réalisation, le moyen de déploiement du gaz comprend une buse, reliée au coupleur de sortie, pour faire circuler le réactif gazeux dans le voisi- nage immédiat de la zone prédéterminée de la pièce. Le contrôle du débit du réactif gazeux vers la buse permet le propre contrôl61e de la concentration du réactif à déposer. Dans plusieurs modes de réalisation illustrés de la présente invention, le dispositif comprend, en outre, une chambre de réaction hermétique pour renfermer la pièce et le coupleur de sortie. La fibre optique pénètre une paroi de la chambre par l'intermédiaire d'une première ouverture de sorte que les extrémités d'entrée et de sortie de la fibre se trouvent respectivement à l'extérieur et à l'intérieur de la chambre. La première ouverture ménagée dans la paroi est scellée autour de la fibre optique de manière à former un environnement dans la chambre étanche. La chambre comprend une seconde ouverture ménagée dans la paroi pour l'introduction du réactif gazeux et une troisième ouverture pratiquée dans la paroi pour mettre la chambre sous vide ou pour en extraire le réactif gazeux. Dans le cas o le moyen de déploiement du gaz comprend la buse, un moyen tel qu'un tube est prévu pour diriger le réactif gazeux entre la seconde ouverture et la buse. Dans un mode de réalisation dans lequel le coupleur de sortie, placé & l'intérieur de la chambre, ne comporte pas la buse, on peut établir une concentration appropriée du réactif gazeux dans le voisinage de la zone prédéterminée de la pièce, à la suite de la mise sous vide de la chambre, en faisant traverser la chambre par le gaz réactif via les seconde et troisième ouvertures ména- gées dans la paroi ou en établissant une atmosphère statique du réactif par introduction par l'intermédiaire de la seconde ouverture alors que la troisième est fermée. On pré- fère ici que le dispositif de la présente invention com- prenne en plus un moyen mécanique pour déplacer de façon contrôlée le coupleur de sortie et la pièce l'un par rapport à l'autre de façon que le réactif gazeux puisse être déposé de façon contrôlée sur des parties différentes de la surface de la pièce. Dans un autre mode de réalisation illustré de la présente invention, le faisceau laser est fractionné en un premier et un second faisceau qui sont transmis par l'intermédiaire de première et seconde fibres optiques à des premier et second coupleurs de sortie, respectivement, à l'intérieur de la chambre de réaction. De cette façon, le processus de dépôt en phase gazeuse par procédé à laser peut être simultanément conduit à deux emplacements différents de la pièce. On remarquera que dans tous les modes de réalisa- tion de la présente invention, l'utilisation de la fibre optique pour transmettre le faisceau laser jusqu'à un en- droit proche de la pièce élimine les problèmes de l'art antérieur, mentionnés ci-dessus, qui sont dus à l'introduction du faisceau par l'intermédiaire d'une fenêtre ménagée dans la paroi de la chambre de réaction. La description qui va suivre se réfère aux figures annexées qui représentent respectivement: figure 1, un dispositif de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser donné à titre d'exemple d'une telle technique de dépôt de l'art antérieur; figure 2, un dispositif de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser selon un premier mode de réali- sation de la présente invention; figure 3, un dispositif de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser selon un second mode de réali- sation de la présente invention; figure 4, un dispositif de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser.selon un troisième mode de réa- lisation de la présente invention; et figure 5, un dispositif de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser selon un quatrième mode de réa- lisation de la présente invention. En liaison maintenant avec les dessins, la figure 2 illustre un dispositif 200 de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser selon un premier mode de réalisa- tion de la présente invention. Le dispositif 200 est plus particulièrement destiné à exécuter le dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser par le processus de pyrolyse, c'est-à-dire par le chauffage du substrat sur lequel on doit déposer le réactif gazeux. Le dispositif 200 comprend un laser de puissance 202 pour produire un faisceau laser 204 permettant d'exécuter le dépôt. Les lasers de puissance produisant des faisceaux laser ayant une puissance moyenne comprise entre 5 watts et 1 500 watts conviennent en général dans de telles applications. Les types de laser per- mettant l'exécution du dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser comprennent les lasers à néodymium: grenat yttrium-aluminium (Nd:YAG), les lasers à verre dopé au néo- dymium, les lasers à rubis, les lasers à ions d'argon entre autres. Le dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser peut s'effectuer avec succès, tant dans l'art anté- rieur que selon la présente invention, en utilisant un laser pulsé ou à ondes entretenues. Le faisceau laser 204 est col- limaté par un dispositif, non représenté, à l'intérieur du laser 202. Le faisceau 204 est focalisé par une lentille 206, qui, pour rendre la figure plus claire, est représentée partiellement en coupe, sur une extrémité d'entrée 208 d'une fibre optique 210. Le faisceau est focalisé sur l'extrémité d'entrée de la fibre dans le but de l'injecter dans la fibre pour que celle-ci le transmette. L'extrémité d'entrée de la - 10 -2 fibre optique est maintenue en alignement avec le faisceau laser focalisé par un coupleur d'entrée 212. La partie du coupleur 212 qui maintient réellement la fibre est de préfé- rence constituée d'un bloc fendu d'un matériau qui est sen- siblement transparent au faisceau laser focalisé sur l'extrémité d'entrée de la fibre. Par exemple, des matériaux tels que le quartz ou le matériau dit Lucite sont transpa- rents pour utilisation avec le laser Nd:YAG ou le laser en verre dopé au néodymium. Le bloc est de préférence maintenu dans un dispositif mécanique de positionnement avec trois degrés de liberté linéaire et deux degrés d'inclinaison. Un support de fibre qu'on trouve dans le commerce, permettant son utilisation avec les lasers Nd:YAG, est fabriqué par la société Melles-Grist Corporation d'Irvine, Californie, sous le modèle n 07-HFO-002. La fibre 210 a de préférence une âme en quartz et peut avoir un diamètre aussi faible que 0,2 mm. La technique qu'on préfère ici pour injecter le faisceau laser de puis- sance dans l'extrémité d'entrée d'une fibre optique afin que celle-ci le transmette est décrite dans les brevets des Etats-Unis d'Amérique 4 676 586 et 4 681 396 qu'on incorpore ici à titre de référence. Alors que les techniques d'injection de faisceau qu'on enseigne dans ces brevets ont principalement pour but d'injecter un faisceau laser de haute puissance (d'une puissance moyenne de 250 watts ou plus), elles conviennent également à l'injection d'un fais- ceau laser de faible puissance dans une fibre optique pour sa transmission. Selon les techniques enseignées dans les deux brevets venant d'être cités, on suppose ici que l'extrémité d'entrée 208 de la fibre 210 a été correctement préparée pour l'injection du faisceau, que la distance focale de la lentille 206 a été choisie de manière appro- priée pour obtenir un angle du cône inférieur au double de l'ouverture numérique de la fibre et que le spot focalisé du faisceau laser 204 sur l'extrémité d'entrée 208 de la fibre - 11 - a un diamètre inférieur à celui de son âme. Le dispositif 200 comprend en outre une chambre de réaction 214 construite de manière à renfermer une atmo- sphère étanche. Un plateau 216 est placé à l'intérieur de la chambre 214 pour supporter une pièce ou substrat 218 sur la surface 220 duquel on doit déposer un réactif chimique gazeux. La fibre optique 210 pénètre dans la chambre 214 par l'intermédiaire d'une ouverture 222 ménagée dans sa paroi, l'ouverture étant scellée autour de la fibre de manière à maintenir l'environnement étanche à l'intérieur de la chambre. On préfère ici enfermer la partie de la fibre optique située à l'intérieur de la chambre dans une chemise de protection (non représentée), tel qu'un tube en caout- chouc ou en matériau dit Polyflow, de manière à protéger la fibre contre les effets éventuels de la dégradation due au réactif gazeux. L'extrémité de sortie 224 de la fibre optique se termine dans un coupleur de sortie 226. Une par- tie de focalisation 228 du coupleur de sortie comporte un bloc 230 de support de fibre de manière à maintenir l'extrémité de sortie de la fibre en alignement avec une lentille 232 montée dans le coupleur de sortie afin de col- limater une partie divergente 234 du faisceau laser 204 émis par l'extrémité de la fibre. Une lentille 236 est montée dans le coupleur de sortie et alignée avec la lentille 232 et la fibre 224 de manière à recevoir la partie collimatée 238 du faisceau laser et focaliser cette partie dans une portion focalisée 240. La portion focalisée peut être diri- gée de manière à tomber sur une partie de la surface 220 de la pièce o l'on souhaite déposer le réactif gazeux. Le bloc 228 a seulement besoin d'être construit de manière à maintenir rigidement l'extrémité de la fibre pour qu'elle soit en alignement avec les lentilles 232 et 236 et ne doit pas être transparent au faisceau laser, comme cela était préféré pour le coupleur d'entrée 212. La portion de focalisation 228 est construite de manière à maintenir les - 12 - 2623820 - 12 - composants en alignement rigide et est réalisée avec un matériau, tel que l'acier inoxydable ou l'aluminium, non enclin à des dégradations par le réactif gazeux qu'on dépose sur la pièce. Le réactif gazeux est déployé dans le voisinage d'une zone prédéterminée de la surface 220 de la pièce, là o l'on souhaite procéder au dépôt du réactif, par la buse 242 du coupleur de sortie 226. La buse 242 et la portion de focalisation 228 du coupleur 226 peuvent former un même ensemble ou être construits en unités séparées pouvant être vissées entre elles comme cela est illustré en figure 2. La buse 242 reçoit le réactif gazeux via des raccords, par exemple un raccord en caoutchouc, montés sur les ouvertures de la paroi de la chambre 214. S'agissant de la buse du coupleur de sortie, les buses utilisées dans les techniques standard de soudage telles que le soudage en gaz inerte à électrode de tungstène (TIG) et le soudage oxyacétylénique peuvent être facilement adaptées pour être utilisées ici afin de constituer la buse du coupleur de sortie. Alors que le réactif gazeux peut être constitué d'un certain nombre de gaz différents, on suppose que deux gaz différents consti- tuent le réactif gazeux dans le dispositif 200 et que la buse 242 est connectée à deux ouvertures 244 et 246 de la paroi de la chambre via des tubes flexibles 248 et 250 de fourniture de gaz. Les gaz sont délivrés par l'intermédiaire des tubes via des soupapes 252 et 254 de manière à permettre le contrôle du débit de chacun d'eux et, par conséquent, la concentration du réactif gazeux à proximité de la surface 220. On remarquera que plusieurs gaz peuvent être prémélan- gés à l'extérieur de la chambre de réaction et que le mélange gazeux peut être introduit par l'intermédiaire de l'un des tubes. La buse permet ainsi de diriger le réactif gazeux sur la partie de la surface 220 de la pièce sur laquelle tombe le faisceau laser focalisé. La chambre 214 comprend en outre une ouverture Z6Z38ZO - 13 -2623820 256, commandée par une soupape 258, pour la mettre sous vide ou extraire les réactifs gazeux qui ont été introduits par la buse via les ouvertures 244 et 246. En figure 2, on a placé des flèches à proximité des ouvertures 244, 246 et 256 pour indiquer le sens d'écoulement envisagé pour le gaz au droit de chaque ouverture. Un manomètre 260 est monté dans la chambre 214 pour mesurer et indiquer la pression régnant dans cette chambre. La chambre 214 est également munie d'une porte d'accès étanche, non représentée, afin de permettre l'insertion/enlèvement d'une pièce et du coupleur de sortie 226. Bien que non représenté en figure 2, le dispositif 200 comporte en outre un moyen pour déplacer mécaniquement, d'une façon contrôlée, le coupleur de sortie et le plateau l'un par rapport à l'autre. En fonction des dimensions de la chambre 214, on peut obtenir un mouvement convenable en per- mettant un simple mouvement du coupleur de sortie tout en maintenant le plateau à l'état rigide. En fonctionnement, on met tout d'abord sous vide la chambre 214 par l'intermédiaire de l'ouverture 256 alors que les soupapes 252 et 254 sont fermées. Alors, le laser 202 produit un faisceau 204 qui est focalisé sur l'extrémité d'entrée de la fibre optique 210 et transmis par celle-ci. Le faisceau divergent émis par l'extrémité de sortie de la fibre est collimaté et focalisé par la portion de focalisa- tion du coupleur. Le coupleur est placé de façon que le faisceau focalisé tombe sur au moins une partie de la zone prédéterminée de la surface 220 de la pièce o l'on souhaite déposer le réactif gazeux. Le réactif gazeux est déployé dans le voisinage de la zone prédéterminée par l'intermédiaire de la buse 242 qui reçoit les gaz consti- tuant le réactif gazeux, via les soupapes 252 et 254, par l'intermédiaire de la paroi de la chambre et des tubes de fourniture de gaz. La partie de la surface 220 de la pièce sur laquelle tombe le faisceau laser focalisé est chauffée suffisamment pour provoquer la liaison, et par conséquent le - 14 - 2623820 - 14 - dépôt, du réactif gazeux. La possibilité de manipuler les soupapes 252 et 254 ainsi que la fourniture du réactif gazeux à proximité du foyer du faisceau laser permettent un contrôle étroit de la concentration du réactif gazeux dans la zone prédéterminée de la surface de la pièce. La soupape 258 peut rester fermée afin d'établir une certaine concen- tration du réactif gazeux à l'intérieur de la chambre ou bien peut être ouverte pour extraire le réactif après son introduction par la buse du coupleur de sortie. La pression lue sur le manomètre 260 fournit une indication de la concentration du réactif gazeux à l'intérieur de la chambre. La figure 3 représente un dispositif 300 de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser selon un second mode de réalisation de la présente invention dans lequel le dépôt est effectué par photolyse. Le dispositif 300 est semblable dans ses grandes lignes au dispositif 200 et comporte des numéros de référence identiques. Le disposi- tif 300 est différent du système 200 quant à l'orientation du coupleur de sortie 226 par rapport à la surface 220 de la pièce et au choix d'une lentille de focalisation 302, pour utilisation dans le coupleur de sortie, dont la distance focale est inférieure à celle de la lentille 236 décriteen liaison avec le dispositif 200. Comme représenté en figure 3, le coupleur de sortie est placé de façon que l'axe 304 du faisceau laser focalisé soit disposé en étant presque paral- lèle à la surface 220. Comme on l'a décrit brièvement ci- dessus et comme cela est connu dans la technique antérieure, le dépôt par un processus de photolyse s'effectue par la dissociation des molécules composant le réactif gazeux. Cette dissociation est due à l'absorption par les molécules du gaz d'une énergie laser suffisante pour la provoquer. L'énergie laser permettant de provoquer une telle dissocia- tion des molécules est présente au foyer du faisceau foca- lisé et sur une certaine distance de part et d'autre de celui-ci sur l'axe 304, en fonction de la nature du réactif - 15 - gazeux et de la puissance du faisceau laser. Le choix d'une longue distance focale pour la lentille 302 permet de placer le foyer du faisceau à proximité d'une plus grande partie de la surface 220 de la pièce. Dans le fonctionnement du dispositif 300, le réac- tif gazeux est déployé à proximité du foyer du faisceau laser par l'intermédiaire de la buse du coupleur de sortie. Le réactif gazeux absorbe suffisamment d'énergie dans le voisinage du foyer du faisceau pour qu'il y ait dissocia- tion. Une partie des molécules dissociées se lie à la partie de la surface 220 de la pièce se trouvant à proximité. Ainsi, en déplaçant le coupleur de sortie 226 sur la surface 220, le processus de dépôt peut s'effectuer d'une façon contrôlée. Le technicien remarquera que la distance optimale du foyer du faisceau focalisé par rapport à la surface de la pièce dépendra, dans le but de soutenir le processus de photolyse, de la nature du dépôt qu'on effectue, c'est-à- dire de la composition du réactif gazeux, du matériau du substrat, des propriétés du faisceau laser, etc... En outre, et là aussi en fonction de la nature du dépôt, on peut faire varier l'angle auquel l'axe 304 du faisceau 3 est disposé par rapport à la surface de la pièce pour obtenir des résul- tats différents. La figure 4 présente un dispositif 400 de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser selon un troi- sième mode de réalisation de la présente invention, dans lequel la buse du coupleur optique est supprimée. Comme dans le cas du dispositif 200, le dispositif 400 est destiné à exécuter un dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser par le processus de pyrolyse. Ainsi, le dispositif 400 comprend les mêmes éléments que le dispositif 200, avec les mêmes numéros de référence qu'en figure 2, pour la généra- tion du faisceau laser et sa transmission via la fibre optique 210 au coupleur de sortie. Comme le coupleur de sor- tie ne comprend que la portion de focalisation, il a le même - 16 - 2623820 - 16 - Z3 U numéro de référence 228. Le coupleur de sortie est placé à l'intérieur de la chambre de réaction 402 qui est par ail- leurs identique à la chambre 214 du dispositif 200 à l'exception du fait qu'à la place des ouvertures 244 et 246, la chambre 402 présente une ouverture 404 de préférence pla- cée à un endroit contigu à la pièce 218 montée sur le pla- teau 216. L'ouverture 404 est équipée d'une soupape 406 de manière à contrôler le débit du réactif gazeux entrant dans la chambre 402. Dans le fonctionnement du dispositif 400, la sou- pape 406 est fermée au départ et la chambre 402 est mise sous vide par l'intermédiaire de l'ouverture 256 via la sou- pape 258. Alors, le dispositif de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser est actionné dans l'un de deux modes. Dans le premier mode, on ferme la soupape 258 et, la soupape 406 étant ouverte, on introduit le réactif gazeux dans la chambre par l'intermédiaire de l'ouverture 404 jusqu'à ce qu'une atmosphère statique de concentration suf- fisante en réactif gazeux y soit établie pour soutenir le dépôt. Le manomètre 260 peut servir d'indicateur de la concentration relative du réactif gazeux à l'intérieur de la chambre. Alors, en focalisant le faisceau laser sur la zone prédéterminée de la surface 220 de la pièce, le dépôt se produit. Dans le second mode de fonctionnement du dispositif 400, à la suite de la mise sous vide de la chambre 402, on introduit le réactif gazeux par l'intermédiaire de l'ouverture 404 tout en l'extrayant simultanément par l'intermédiaire de l'ouverture 256, de sorte qu'un débit forcé du réactif gazeux est établi dans la chambre. En pla- çant les ouvertures 256 et 404 de manière appropriée, on peut diriger ce débit forcé dans le voisinage de la zone prédéterminée de la surface 220 de la pièce là o l'on sou- haite déposer le réactif. L'emplacement de l'ouverture 404 à proximité de la pièce, en figure 4, est destiné à illustrer schématiquement un emplacement approprié pour l'introduction - 17 - 2623820 - 17 - du réactif gazeux de façon que son écoulement soit dirigé sur la pièce. On suppose, s'agissant du dispositif 400, que le coupleur de sortie et le plateau peuvent être déplacés l'un par rapport à l'autre de manière à obtenir une certaine souplesse dans la direction du faisceau laser sur la surface de la pièce. On notera que, alors qu'une ouverture 404 est pratiquée dans le dispositif 400 pour l'introduction du réactif gazeux, le fonctionnement du dispositif 400 n'est pas limité à l'introduction d'un seul gaz comme réactif gazeux. Plusieurs gaz constituant un réactif gazeux peuvent être combinés à l'extérieur de l'ouverture 404 avant leur introduction. En variante, d'autres ouvertures peuvent être placées à proximité de l'ouverture 404 pour permettre l'introduction séparée des autres réactifs gazeux. Un quatrième mode de réalisation de la présente invention est représenté en figure 5, dans laquelle un dis- positif 500 de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser emploie un fractionneur de faisceau 502 de manière à fractionner un faisceau laser collimaté 504 produit par un dispositif laser 506. Le faisceau 504 est fractionné en deux parties 508 et 510 qui sont respectivement focalisées par des lentilles 512 et 514 sur les extrémités d'entrée de fibres optiques 516 et 518 pour transmission. Les extrémités d'entrée des fibres sont respectivement maintenues par des coupleurs 519 et 520 qui sont semblables au bloc 212 du dis- positif 200. Les fibres 516 et 518 pénètrent dans une chambre de réaction étanche 521 par l'intermédiaire d'ouvertures 522 et 524, ces ouvertures étant scellées de façon appropriée autour des fibres les traversant de manière à maintenir un environnement étanche dans la chambre. A l'intérieur de la chambre, une pièce 526 est montée sur un plateau de support 528. L'extrémité de sortie de chaque fibre 516 et 518 se termine respectivement dans un coupleur de sortie 530 et 532. La construction de chaque coupleur 530, 532 est sensiblement identique à celle du cou- - 18 - pleur de sortie 226 du dispositif 200. Le coupleur de sortie 530 est connecté via des tubes de fourniture de gaz 534 et 536 à des ouvertures 538 et 540 ménagées dans la paroi de la chambre, respectivement, pour recevoir le réactif gazeux. * Des soupapes 542 et 544 contrôlent le débit du gaz introduit par l'intermédiaire des ouvertures 538 et 540. D'une façon similaire, le coupleur de sortie 532 est connecté à des ouvertures 546 et 548 pratiquées dans la paroi de la chambre, via des tubes de fourniture de gaz 550 et 552, res- pectivement, de manière à recevoir le réactif gazeux. Des soupapes 554 et 556 contrôlent le débit du gaz introduit par l'intermédiaire des ouvertures 546 et 548, respectivement. Une ouverture supplémentaire 558, munie d'une soupape 560, est montée dans la paroi de la chambre de manière à faire le vide dans la chambre et extraire le réactif gazeux. Dans le fonctionnement du dispositif 500, à la suite de la mise sous vide de la chambre 521, le faisceau 504 est fractionné en deux faisceaux 508 et 510 qui sont respectivement transmis par les fibres 516 et 518 de manière à être focalisés sur des zones prédéterminées de la surface 562 de la pièce 526. Grâce à un moyen non représenté, les deux coupleurs de sortie peuvent être déplacés indépendam- ment et de façon contrôlée par rapport à la surface 562 de façon que le réactif gazeux introduit par la buse de chaque coupleur de sortie soit déposé en étant contrôlé sur la sur- face par le processus de pyrolyse. Bien que non illustré en figure 5, l'un des deux coupleurs, ou les deux coupleurs de sortie, peuvent être orientés par rapport à des zones prédé- terminées de la pièce pour provoquer le dépôt sur celle-ci par le processus de photolyse. S'agissant de chaque mode de réalisation de la présente invention qu'on a illustré et décrit ci-dessus, le faisceau laser utilisé pour effectuer le dépôt en phase gazeuse est introduit dans la chambre de réaction par l'intermédiaire d'une fibre optique. Il en résulte que la - 19 - présente invention ne nécessite pas l'introduction du fais- ceau laser par l'intermédiaire d'une fenêtre pratiquée dans la paroi de la chambre comme cela est le cas dans la tech- nique de l'art antérieur et par conséquent ne souffre pas des problèmes qu'on a exposés ci-dessus et qui concernent la fenêtre. Les modes de réalisation de la présente invention employant la buse du coupleur de sortie permettent de contrôler avec soin le dépôt et la concentration du réactif gazeux à proximité de la partie du substrat sur laquelle on doit déposer le réactif. S'agissant de tous les modes de réalisation de la présente invention décrits précédemment, la possibilité de déplacer le coupleur de sortie par rapport à la pièce à l'intérieur de la chambre confère une souplesse importante pour re-diriger le faisceau laser focalisé sur des zones différentes de la surface de la pièce. Un tel mou- vement peut être obtenu tout en maintenant de manière appro- priée le foyer du faisceau dans une orientation désirée par rapport à la surface de la pièce. Cette souplesse qui permet de donner une nouvelle direction au faisceau focalisé constitue un perfectionnement important du système de dépôt de l'art antérieur qu'on a décrit précédemment dans lequel la fenêtre et le système optique extérieur limitent grande- ment la possibilité de re-diriger le faisceau laser sur la surface de la pièce. Comme on l'a indiqué ci-dessus, un problème ren- contré dans les systèmes de dépôt en phase gazeuse par pro- cédé chimique à laser de l'art antérieur est l'irrégularité du dépôt du réactif gazeux par suite du manque d'uniformité du profil de l'intensité se produisant dans le spot du fais- ceau focalisé. Grâce à la transmission par l'intermédiaire d'une fibre optique, le profil de l'intensité du faisceau est rendu sensiblement plus uniforme. On en a en outre remarqué précédemment que là o l'on emploie un faisceau laser pulsé, les différences dans le profil de l'intensité entre impulsions peut se traduire par un manque d'uniformité 63SZ0 - 20 - 2623820 du dépôt. Une propriété de la transmission par une fibre optique est également que de telles différences sont minimi- sées. Les effets de la transmission d'un faisceau par une fibre optique sur le manque d'uniformité du profil de l'intensité dans un spot de faisceau focalisé et sur les différences entre profils d'intensité d'une impulsion à l'autre sont décrits dans un article intitulé "Observed Intensity Profiles of a 400 Watt Nd:YAG Laser Beam Transmit- ted Through an Optical Fiber" de T. Chande et al., Procee- dings of the 1987 International Congress on the Application of Lasers and Electro-Optics, 9-11 Novembre 1987, publié par le Laser Institute of America, cet article étant ici incor- poré à titre de référence. Ainsi, dans tous les modes de réalisation de la présente invention qu'on a décrits précé- demment, la transmission du faisceau laser par l'intermédiaire d'une fibre optique élimine ces problèmes de l'art antérieur liés au profil de l'intensité du faisceau. Alors que le coupleur de sortie utilisé dans le dispositif qu'on vient de décrire est représenté schémati- quement comme étant constitué de simples lentilles plano- convexes pour collimater et focaliser le faisceau laser émis par la fibre optique, la présente invention n'est pas ainsi limitée. Le coupleur de sortie peut être constitué d'autres types et combinaisons de lentilles, bien connus dans la techniques, permettant de collimater et focaliser le fais- ceau émis par la fibre. En outre, on peut choisir les len- tilles pour qu'elles forment un spot de faisceau focalisé ayant une forme prédéterminée qui peut présenter de l'utilité dans une application particulière de dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser. Alors que le fonctionnement du coupleur de sortie dans les dispositifs 200, 300 et 500 s'effectue dans une chambre de réaction, la présente invention n'est pas ainsi limitée. On peut introduire par l'intermédiaire de la buse du coupleur de sortie un débit suffisant du réactif gazeux - 21 - pour purger l'espace volumétrique, à proximité de la zone prédéterminée de la pièce, et éliminer les autres éléments gazeux. Il en résulte que le dépôt du réactif gazeux sur la zone prédéterminée de la pièce peut s'effectuer à l'extérieur de l'environnement scellé d'une chambre de réaction. Une telle pratique -de la présente invention à l'extérieur d'une chambre de réaction peut être améliorée par l'utilisation d'une buse sur le coupleur de sortie qui permet l'introduction d'un gaz inerte de protection tel que ceux utilisés dans les techniques classiques de soudage. Une telle buse permettrait l'écoulement du réactif gazeux à proximité de la zone prédéterminée de la pièce tout en fai- sant circuler le gaz de protection pour qu'il entoure le réactif gazeux et par conséquent l'isole des agents contami- nants de l'environnement extérieur. Une limitation à une telle pratique du dépôt en phase gazeuse par procédé chi- mique à laser sans chambre de réaction est la nature nui- sible de certains réactifs gazeux. Le dispositif 300 de la présente invention a été illustré et décrit cidessus pour la pratique du dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser au moyen du pro- cessus de photolyse et le coupleur de sortie employé com- prend la buse. Cependant, la présente invention n'est pas ainsi limitée. La pratique du dépôt par le processus de pho- tolyse selon la présente invention peut s'effectuer avec succès en n'utilisant que la portion de focalisation du cou- pleur de sortie. Dans ce cas, le réactif gazeux serait déployé dans le voisinage de la zone prédéterminée de la pièce en établissant une atmosphère statique du réactif à l'intérieur de la chambre de réaction ou bien en établissant un débit forcé du réactif dans la chambre, comme cela est décrit ci-dessus pour le fonctionnement du dispositif 400. Le dispositif 500 qu'on a illustré et décrit ci- dessus comprend un fractionneur de faisceau afin de séparer le faisceau laser produit par un seul laser. Cependant, la 6Z3820 - 22 - 2623820 présente invention n'est pas ainsi limitée. Au lieu d'un seul laser et du fractionneur de faisceau, on peut utiliser deux lasers séparés pour produire des faisceaux lasers pour injection dans les fibres optiques 516 et 518. Dans ce cas, on peut choisir les lasers pour qu'ils produisent respecti- vement des faisceaux à des longueurs d'onde qui facilitent le type de processus de dépôt qu'on exécute, c'est-à-dire les dépôts par pyrolyse ou par photolyse. Plus généralement, grâce à l'utilisation de lasers multiples, de fractionneurs de faisceau et de fibres optiques, il apparaîtra au techni- cien qu'on peut exécuter diverses combinaisons pour effec- tuer le dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser. - 23 - REVENDICATIONS 1. Dispositif (200) pour effectuer le dépôt en phase gazeuse par procédé chimique i laser d'un réactif chi- mique gazeux sur une pièce en utilisant un faisceau laser produit par un laser (202), caractérisé en ce qu'il com- prend: une fibre optique (210) pour transmettre le fais- ceau laser (204); un moyen (206) pour injecter le faisceau laser dans l'extrémité d'entrée de la fibre optique pour que celle-ci le transmette; un moyen pour déployer le réactif gazeux dans le voisinage d'une zone prédéterminée de la pièce (218) là o l'on souhaite déposer le réactif gazeux; et un moyen de couplage de sortie (226) afin de foca- liser le faisceau laser (240) émis à l'extrémité.de sortie de la fibre sur au moins une partie de la zone prédéterminée de la pièce de façon que le réactif gazeux soit déposé sur son dessus. 2. Dispositif selon la revendication 1, caracté- risé en ce que le moyen de déploiement de gaz comprend un moyen de fourniture de gaz (248; 250), couplé au moyen de couplage de sortie, pour faire circuler le réactif gazeux sur la partie de la zone prédéterminée de la pièce sur laquelle tombe le faisceau laser focalisé. 3. Dispositif selon la revendication 1, caracté- risé en ce qu'il comprend en outre une chambre de réaction (214) construite de manière à maintenir une ambiance inté- rieure scellée; la fibre optique pénétrant une paroi de la chambre par l'intermédiaire d'une première ouverture (222) de façon que les première et seconde extrémités de la fibre se trou- vent respectivement à l'extérieur et à l'intérieur de la chambre, la première ouverture étant rendue étanche autour X6Z5ZOu - 24 - 2623820 de la fibre de manière à maintenir l'ambiance scellée à l'intérieur de la chambre; le moyen de déploiement de gaz comprenant un moyen (252; 254) pour introduire le réactif gazeux dans la chambre; de sorte que le moyen de couplage de sortie peut être placé à l'intérieur de la chambre de façon à focaliser le faisceau laser sur la zone prédéterminée de la pièce. 4. Dispositif selon la revendication 3, caracté- risé en ce que le réactif gazeux est introduit dans la chambre de manière à établir une atmosphère statique dans le voisinage de la zone prédéterminée de la pièce (218). 5. Dispositif selon la revendication 3, caracté- risé en ce que le moyen d'introduction de gaz comprend: une seconde ouverture (244) dans la paroi de la chambre pour l'introduction du réactif gazeux par son intermédiaire; une troisième ouverture (256) dans la paroi de la chambre pour l'élimination du réactif gazeux introduit par l'intermédiaire de la seconde ouverture; de sorte que, en introduisant et éliminant simul- tanément le réactif gazeux, respectivement, via les seconde et troisième ouvertures, un courant forcé du réactif gazeux à travers la chambre peut être établi dans le voisinage de la zone prédéterminée de la pièce. 6. Dispositif selon la revendication 3, caracté- risé en ce que le moyen de déploiement de gaz comprend une buse (242), couplée au moyen de couplage de sortie (226), pour faire circuler le réactif gazeux sur la partie de la zone prédéterminée de la pièce sur laquelle tombe le fais- ceau laser focalisé; une seconde ouverture (246) ménagée dans la paroi de la chambre pour introduire le réactif gazeux par son intermédiaire; et un moyen (250) pour diriger le réactif gazeux - 25 - 2623820 - 25 - introduit par l'intermédiaire de la seconde ouverture vers la buse. 7. Dispositif selon la revendication 3, caracté- risé en ce qu'il comprend en outre un moyen pour déplacer de façon contrôlée le moyen de couplage de sortie (226) et la pièce l'un par rapport à l'autre de façon que le faisceau laser focalisé (240) puisse être dirigé sur des parties dif- férentes de la zone prédéterminée de la pièce. 8. Dispositif (300) pour exécuter le dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser d'un réactif chi- mique gazeux sur une pièce (218) en utilisant un faisceau laser (204) produit par un laser (202), caractérisé en ce qu'il comprend: une fibre optique (210) pour transmettre le fais- ceau laser; un moyen (206) pour injecter le faisceau laser dans l'extrémité d'entrée de la fibre optique afin que celle-ci le transmette; un moyen pour déployer le réactif gazeux dans le voisinage d'une zone prédéterminée de la pièce, là o l'on souhaite déposer le réactif gazeux; et un moyen de couplage de sortie (226) pour focali- ser le faisceau laser émis à l'extrémité de sortie de la fibre sur une partie proche de la zone prédéterminée de la pièce de sorte que le réactif gazeux est déposé sur son dessus par un processus de photolyse. 9. Dispositif selon la revendication 8, caracté- risé en ce que le moyen de déploiement de gaz comprend une buse, couplée au moyen de couplage de sortie, pour faire circuler le réactif gazeux à proximité du foyer du faisceau laser focalisé. 10. Dispositif selon la revendication 8, caracté- risé en ce qu'il comprend en outre une chambre de réaction (214) construite de manière à maintenir une ambiance scellée en son intérieur; - 26 - 2623820 - 26 - la fibre optique pénétrant une paroi de la chambre par l'intermédiaire d'une première ouverture de sorte que les première et seconde extrémités de la fibre se trouvent respectivement à l'extérieur et à l'intérieur de la chambre, la première ouverture étant rendue étanche autour de la fibre de manière à maintenir l'ambiance scellée à l'intérieur de la chambre; et le moyen de déploiement de gaz comprend un moyen pour introduire le réactif gazeux dans la chambre; de sorte que le moyen de couplage de sortie peut être placé à l'intérieur de la chambre pour focaliser le faisceau laser sur la partie du réactif gazeux proche de la zone prédéterminée de la pièce. 11. Dispositif selon la revendication 10, caracté- risé en ce que le réactif gazeux est introduit dans la chambre de manière à établir une atmosphère statique dans le voisinage de la zone prédéterminée de la pièce. 12. Dispositif selon la revendication 10, caracté- risé en ce que le moyen d'introduction de gaz comprend: une seconde ouverture dans la paroi de la chambre pour l'introduction du réactif gazeux dans son intermé- diaire; et une troisième ouverture dans la paroi de la chambre pour l'extraction du réactif gazeux introduit par l'intermédiaire de la seconde ouverture; de sorte que, en introduisant et extrayant simul- tanément le réactif gazeux, respectivement, via les seconde et troisième ouvertures, un courant forcé du réactif gazeux dans la chambre peut être établi dans le voisinage de la zone prédéterminée de la pièce. 13. Dispositif selon la revendication 10, caracté- risé en ce que le moyen de déploiement de gaz comprend une buse, couplée au moyen de couplage de sortie, pour l'écoulement du réactif gazeux à proximité du foyer du fais- ceau laser focalisé; Z623820 - 27 - une seconde ouverture dans la paroi de la chambre pour introduire le réactif gazeux par son intermédiaire; et un moyen pour diriger le réactif gazeux introduit par la seconde ouverture vers la buse. 14. Dispositif selon la revendication 10, caracté- risé en ce qu'il comprend en outre un moyen pour déplacer de façon contrôlée le moyen de couplage de sortie et la pièce l'un par rapport à l'autre de façon que le faisceau laser focalisé puisse être dirigé sur des parties différentes de la zone prédéterminée de la pièce. 15. Dispositif pour exécuter le dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser d'un réactif chimique gazeux sur une pièce en utilisant un faisceau laser, produit par un laser, caractérisé en ce qu'il comprend: une chambre de réaction construite de manière à maintenir en son intérieur une ambiance scellée; une fibre optique pour transmettre le faisceau laser; - un moyen pour injecter le faisceau laser dans l'extrémité d'entrée de la fibre optique pour transmission par son intermédiaire; un moyen de couplage de sortie pour focaliser le faisceau laser émis à la seconde extrémité de la fibre, la fibre optique pénétrant une paroi de la chambre par l'intermédiaire d'une ouverture de sorte que les pre- mière et seconde extrémités de la fibre se trouvent respec- tivement à l'extérieur et à l'intérieur de la chambre, l'ouverture étant rendue étanche autour de la fibre de manière à maintenir l'ambiance scellée à l'intérieur de la chambre; un moyen pour supporter la pièce à l'intérieur de la chambre, le moyen de couplage de sortie étant placé à l'intérieur de la chambre de façon que le faisceau laser focalisé tombe sur au moins une partie d'une zone prédéter- minée de la pièce là o l'on souhaite déposer le réactif -28 - 2623820 - 28 - gazeux; une buse, couplée au moyen de couplage de sortie, pour faire circuler le réactif gazeux sur la partie de la zone prédéterminée de la pièce sur laquelle tombe le fais- ceau laser incident de sorte que le réactif gazeux est déposé sur son dessus; un moyen pour introduire le réactif gazeux par l'intermédiaire d'une seconde ouverture pratiquée dans la paroi de la chambre et diriger le réactif gazeux introduit vers la buse; et un moyen pour déplacer de façon contrôlée le moyen de couplage de sortie et la pièce l'un par rapport à l'autre de façon que le faisceau laser focalisé puisse être dirigé sur des parties différentes de la zone prédéterminée de la pièce. 16. Dispositif de dépôt en phase gazeuse par pro- cédé chimique à laser afin de déposer un réactif chimique gazeux sur une pièce, caractérisé en ce qu'il comprend: un laser pour produire un faisceau laser permet- tant d'exécuter le dépôt; une chambre de réaction construite de manière à maintenir en son intérieur une ambiance scellée; une fibre optique pour transmettre le faisceau laser; un moyen pour injecter le faisceau laser dans l'extrémité d'entrée de la fibre optique pour qu'il soit transmis par celle-ci; un moyen de couplage de sortie pour focaliser le faisceau laser émis à la seconde extrémité de la fibre; la fibre optique pénétrant une paroi de la chambre par l'intermédiaire d'une ouverture pratiquée dans celle-ci de sorte que les première et seconde extrémités de la fibre se trouvent respectivement à l'extérieur et à l'intérieur de la chambre, l'ouverture étant rendue étanche autour de la fibre afin de maintenir l'ambiance scellée à l'intérieur de - 29 - 262382O - 29 - la chambre; un moyen pour supporter la pièce à l'intérieur de la chambre, le moyen de couplage de sortie étant placé à l'intérieur de la chambre de façon que le faisceau laser fo- calisé tombe sur au moins une partie du zone prédéterminée de la pièce là o l'on souhaite déposer le réactif gazeux; une buse, couplée au moyen de couplage de sortie, pour faire circuler le réactif gazeux sur la partie de la zone prédéterminée de la pièce sur laquelle tombe le fais- ceau laser focalisé de sorte que le réactif gazeux est déposé sur son dessus; un moyen pour introduire le réactif gazeux par l'intermédiaire d'une seconde ouverture ménagée dans la paroi de la chambre et diriger le réactif gazeux introduit vers la buse; et un moyen pour déplacer de façon contrôlée le moyen de couplage de sortie et la pièce l'un par rapport à l'autre de façon que le faisceau laser focalisé puisse être dirigé sur des parties différentes de la zone prédéterminée de la pièce. 17. Dispositif (500) pour exécuter le dépôt en phase gazeuse par procédé chimique à laser d'un réactif chi- mique gazeux sur une pièce en utilisant au moins deux fais- ceaux lasers (516, 518), caractérisé en ce qu'il comprend: une chambre de réaction (521) construite de manière à maintenir en son intérieur une ambiance scellée; une première fibre optique (516) pour transmettre un premier faisceau laser (508); une seconde fibre optique (518) pour transmettre un second faisceau laser (510); un premier moyen d'injection (512) pour injecter le premier faisceau laser dans l'extrémité d'entrée de la première fibre optique pour transmission par son intermé- diaire; un second moyen d'injection (514) pour injecter le - -0 2623820 - 30 - second faisceau laser dans l'extrémité d'entrée de la seconde fibre optique pour transmission par son intermé- diaire; un premier moyen de couplage de sortie (530) pour focaliser le premier faisceau laser émis à l'extrémité de sortie de la première fibre optique; un second moyen de couplage de sortie (532) pour focaliser le second faisceau laser émis à l'extrémité de sortie de la seconde fibre optique; les première et seconde fibres optiques pénétrant (522, 524) une paroi de la chambre de sorte que les extrémi- tés d'entrée et de sortie des première et seconde fibres optiques sont respectivement à l'extérieur et à l'intérieur de la chambre, la pénétration de chacune des première et seconde fibres optiques dans la chambre étant destinée à maintenir l'ambiance scellée à l'intérieur de la chambre; un moyen (550, 552) pour déployer le réactif gazeux dans le voisinage de zones prédéterminées de la pièce (526) là o l'on souhaite déposer le réactif gazeux; et un moyen (528) pour supporter la pièce à l'intérieur de la chambre, les premier et second moyens de couplage de sortie étant respectivement placés à l'intérieur de la chambre de façon que les premier et second faisceaux lasers focalisés soient respectivement dirigés suivant des orientations prédéterminées par rapport aux zones prédéter- minées de la pièce pour qu'il y ait dépôt du réactif gazeux sur le dessus. 18. Dispositif selon la revendication 17, caracté- risé en ce que les premier et second faisceaux lasers sont respectivement produits par des premier et second lasers de manière à avoir des première et seconde longueurs d'onde distinctes; le premier moyen de couplage de sortie étant placé de façon que le premier faisceau focalisé tombe sur l'une des zones prédéterminées de la pièce et se traduise par le - 31 -2623820 - 31 - dépôt sur son dessus du réactif gazeux par un processus de pyrolyse; le second moyen de couplage de sortie étant placé de façon que le second faisceau focalisé soit dirigé sur une partie du réactif gazeux àproximité de l'une des zones pré- déterminées de la pièce et se traduise par le dépôt du réac- tif gazeux sur son dessus par un processus de photolyse; et les première et seconde longueurs d'onde du fais- ceau laser étant choisies de manière à faciliter respective- ment les processus de pyrolyse et de photolyse. 19. Dispositif selon la revendication 17, caracté- risé en ce qu'il comprend en outre un moyen (502) pour frac- tionner un faisceau laser en deux faisceaux lasers; et le moyen de fractionnement de faisceau séparant un troisième faisceau laser produit par un laser pour donner les premier et second faisceaux lasers.