Brevet FR2612108A1 — publié le 19880916

1. "Installation de positionnement pour la fabrication de composants semi- conducteurs assuré par une table de coordonnées x-y, ayant un moyen d'entraînement respectif." L'invention concerne une instal- lation de positionnement pour la fabrication de com- posants semiconducteurs notamment installation de soudage par fil dans laquelle le positionnement des composants semi-conducteurs est assuré par une table de coordonnées x-y. On connait différentes installa- tions de positionnement comme par exemple celles dé- veloppées par la Société Delvotec S.A, Munich, Laser Optronic, Munich et la Société Schneeberger S.A, Confédération Helvétique; ces installations compor- tent une table de coordonnées équipée d'un moyen d'en- trainement suivant l'axe x et suivant l'axe y; les axes d'entraînement et de guidage sont décalés de 90 . Un axe d'entraînement est ainsi solidaire du châssis, alors que l'installation d'entralinement de l'autre axe est mobile. Dans cette solution, on déplace toujours des masses importantes qui limitent la vitesse de tra- vail. Le décalage de 90 de l'axe d'entraînement et de guidage se traduit par un encombrement important. La présente invention a pour but de créer une installation de positionnement pour la fabrication de composants semi-conducteurs qui satis- fait aux exigences de précision du soudage de fil, 2. permet une vitesse de travail élevée, optimale et auto- rise une réalisation peu encombrante. L'invention se propose ainsi de créer une installation de positionnement pour la fabri- cation de composants semi-conducteurs dans laquelle on ne déplace que des masses réduites et s'intégrant faci- lement dans des appareils pour la fabrication de compo- sants semi-conducteurs. Pour résoudre ce problème, l'invention se propose de créer une installation de positionnement comportant une table de coordonnées mobile ayant un moyen d'entralnement respectif pour les déplacements dans le sens de l'axe x et les dépla- cements dans le sens de l'axe y. A cet effet, l'invention concerne une installation du type ci-dessus, caractérisée en ce que les deux moyens d'entraînement sont constitués par un moteur muni d'un système de mesure de course, ces deux moyens étant en parallèle, le moteur d'entraîne- ment dans le sens de l'axe x muni de son système de mesure de course étant fixé d'un côté d'une plaque d'ap- pui, cette plaque d'appui ayant un palier pour une bro- che d'entraînement, cette broche recevant un écrou d'entraînement bloqué en rotation par une broche de guidage, un palier vertical fixé à la plaque d'appui recevant un levier d'ajustage par un palier à roulement, ce palier étant monté de façon à correspondre à la face frontale de l'écrou, et un second levier ajustable muni d'un palier à roulement est prévu sur le palier à l'extrémité du levier décalé de 90 par rapport au le- vier, le levier correspondant à un organe de raccorde- ment par l'intermédiaire du palier, et le levier étant serré sur l'écrou d'entraînement par deux ressorts et le levier avec l'organe de raccordement du moyen de guidage dans la direction de l'axe x de la table par deux ressorts par une liaison par la force, le moteur d'entraînement dans le sens de l'axe y et le système de mesure de course étant fixés d'un c&té d'une plaque d'appui, celle-ci comportant un palier pour une broche d'entraînement qui reçoit un écrou d'entraînement blo- qué en rotation par une broche de guidage, un palier vertical fixé à la plaque d'appui recevant un levier double, ce levier comportant un palier à roulement qui correspond à la face frontale de l'écrou d'entraine- ment et à l'extrémité du levier principal est prévue une paire de paliers à roulement qui correspond à un rail de guidage parallèle à l'axe des x sur la table, le levier principal étant fixé par une liaison par la force sur l'écrou d'entraînement par deux ressorts, et en outre un second levier du double levier est monté sur le levier principal, levier dont une extré- mité comporte un palier à roulement coopérant avec le rail de guidage, et est fixé par un ressort de serrage, un goujon de serrage et un goujon d'ajustage sur le levier principal. Le mouvement assuré par le moyen d'entraînement dans le sens de l'axe x dévie le mouve- ment longitudinal de l'écrou d'entraînement par la transmission à levier coudé, perpendiculairement à l'axe de la broche d'entraînement pour transférer ce mouvement au moyen de guidage suivant l'axe x de la table, le rapport de démultiplication de la paire de leviers étant adapté au rapport de déplacement opti- mum de la table. Le rail de guidage constituant l'organe de transmission du moyen d'entraînement sui- vant l'axe y est aligné de manière exactement paral- lèle au moyen de guidage x de la table, de sorte qu'à l'entraînement suivant l'axe x, on a un déplacement du rail de guidage dans la paire de leviers d'entrat- nement des coordonnées y. Le déplacement de l'ensemble d'en- traînement dans le sens de l'axe y se traduit par un déplacement longitudinal de l'écrou d'entraînement directement par le levier double avec le même rapport de démultiplication que pour l'entraînement dans le sens de l'axe y, adapté de manière optimale à la mobilité de la table. La présente invention sera décrite de manière plus détaillée ci-après à l'aide de diffé- rents exemples de réalisation représentés dans les des- sins annexés, dans lesquels: - la figure 1 est une vue de-dessus d'une installation de positionnement complète. - la figure 2 est une vue de-dessus de l'unité d'en- traInement suivant l'axe x. - la figure 3 montre la liaison entre l'écrou d'entral- nement et le levier. - la figure 4 montre la liaison entre la pièce de rac- cordement à la table x-y et le levier. - la figure 5 montre l'unité d'entraînement dans la direction y en vue de-dessus. - la figure 6 montre la liaison entre l'écrou d'en- trainement et le levier double. - la figure 7 montre le levier et la paire de paliers à roulement. L'installation de positionnement se compose d'une table x-y munie d'un ensemble d'en- traInement suivant l'axe des x et d'un ensemble d'en- trainement suivant l'axe des y. L'ensemble d'entrai- nement pour l'axe des x se compose d'un moteur d'en- traInement x comportant un système de mesure de course 1 qui est fixé par des brides sur la plaque d'appui 2 et le palier 3 recevant la broche d'entraînement 5; un écrou d'entraînement 6 est monté sur la broche d'entraînement 5 tout en étant bloqué en rotation par la broche de guidage 7. Un accouplement à tube ondulé4 relie le moteur d'entraînement 1 et la broche d'en- trainement 5. Un palier vertical 8 prévu sur la plaque d'appui 2 qui peut être en forme de douille cy- lindrique, reçoit le levier ajustable 9 et le palier à roulement 10 ainsi qu'un second levier ajustable 11 et un palier à roulement 12 décalé de 90 ; le levier 9 est serré par une liaison par la force par l'écrou d'entraînement 6 à deux ressorts 14 et le levier 11 est serré à l'organe de raccordement 13 du guidage en x par deux ressorts 15. Le mouvement de l'entraînement dans la direction x dévie le mouvement longitudinal de l'écrou d'entraînement 6 par la transmission à levier coudé, par le levier 9 décalé de 90 et le levier 11 perpendiculairement à l'axe de la broche d'entraînement pour le transmettre au guidage en x de la table 16; le rapport de transmission de la paire de leviers correspond au comportement de déplacement optimum de la table. L'unité d'entraînement selon les coordonnées y se compose du moteur 17 muni d'un sys- tème de mesure de course; le moteur est fixé sur la plaque d'appui 18 et le palier 19 reçoit la bro- che d'entraînement 21 qui reçoit l'écrou d'entraîne- ment 22 bloqué en rotation par la broche de guidage 23; une liaison à tube ondulé 20 relie le moteur 17 etla broche 21. Un palier vertical 24 qui peut être en forme de douille cylindrique, reçoit le double levier ajustable 25, le levier principal 26 étant muni d'un palier à roulement 27 ainsi que l'écrou d'entraî- nement 22 fixé par deux ressorts 32 avec une autre pai- re de paliers à roulement 28. Un second levier 30 monté sur le levier principal 26 porte également un palier à roule- ment 31 et est fixé au levier principal 26, au goujon de serrage 34 et au ressort de serrage 33; un goujon d'ajustage 35 assure l'ajustage de l'écartement entre la paire de paliers à roulement 28 et le palier à rou- lement 31 en liaison avec le rail de guidage 29 fixé à la table 16. Le rail de guidage 29 est ainsi aligné parallèlement au guidage suivant l'axe x de la table et la distance entre le palier 24 et l'axe de la broche ainsi que la distance entre le palier 24 et la paire de paliers à roulements 28 forment le rapport de démultiplication qui définit le rapport de déplace- ment optimum de la table pour l'entraînement suivant l'axe x. Une fixation complémentaire du système de levier et de la plaque de palier par les ressorts 36 et 37 compense:un éventuel jeu entre la broche d'entraînement et l'écrou d'entraînement. REFERENCES: 1 Moteur x muni d'un système de mesure de course 2 Plaque d'appui 3 Palier 4 Liaison à tube ondulé Broche d'entraInement 6 Ecrou d'entraînement 7 Broche de guidage 8 Palier vertical - 9 Levier Palier à roulement 11i Levier 12 Palier à roulement 13 Organe de raccordement 14 Ressort Ressort 16 Table x-y 17 Moteur y muni d'un système de mesure de course 18 Plaque d'appui 19 Palier Liaison à tube ondulé 21 Broche d'entrainement 22 Ecrou d'entraînement 23 Broche de guidage 24 Palier horizontal Levier double 26 Levier principal 27 Palier à roulement 28 Paire de paliers à roulement 29 Rail de guidage Levier 31 Palier à roulement 32 Ressort 33 Ressort de serrage 34 Goujon de serrage REFERENCES (suite): Goujon d'ajustage 36 Ressort 37 Ressort. 26121le R E V E N D I C A T I 0 N S ) Installation de positionne- ment pour réaliser des composants semi-conducteurs no- tamment installations de soudage de fil, installation de positionnement comportant une table munie d'un moyen d'entraînement pour se déplacer dans le sens de l'axe x et un moyen d'entraînement pour se déplacer dans le sens de l'axe y, installation caractérisée en ce que les deux moyens d'entraînement sont constitués par un moteur muni d'un système de mesure de course, ces deux moyens étant en parallèle, le moteur d'entraînement dans le sens de l'axe x muni de son système de mesure de course (1) étant fixé d'un côté d'une plaque d'ap- pui (2), cette plaque d'appui (2) ayant un palier (3) pour une broche d'entraînement (5), cette broche (5) recevant un écrou d'entraînement (6) bloqué en rota- tion par une broche de guidage (7), un palier (8) vertical fixé à la plaque d'appui (2) recevant un levier d'ajustage (9) par un palier à roulement (10), ce palier (10) étant monté de façon à correspondre à la face frontale de l'écrou (6), et un second levier ajustable (11) muni d'un palier à roulement (12) est prévu sur le palier (8) à l'extrémité du levier (11) décalé de 90 par rapport au levier (9), le levier (11) correspondant à un organe de raccordement (13) par l'intermédiaire du palier (12), et le levier (9) étant serré sur l'écrou d'entraînement (6) par deux ressorts (14) et le levier (11) avec l'organe de rac- cordement (13) du moyen de guidage dans la direction de l'axe x de la table par deux ressorts (15) par une liaison par la force, le moteur d'entraînement dans le sens de l'axe y et le système de mesure de course (17) étant fixés d'un cSté d'une plaque d'appui (18), celle-ci comportant un palier (19) pour une broche d'entraînement (21) qui reçoit un écrou d'entraînement (22) bloqué en rotation par une broche de guidage (7), un palier (24) vertical fixé à la plaque' d'appui (18) recevant un levier double (25), ce levier comportant un palier à roulement (10) qui correspond à la face frontale de l'écrou d'entraînement (22) et à l'extrémité du levier principal (26) est prévue une paire de paliers à roulement (28) qui correspond à un rail de guidage (28) parallèle à l'axe des x sur la table (16), le levier principal (26) étant fixé par une liaison par la force sur l'écrou d'entraînement (22) par deux ressorts (32), et en outre un second levier (30) du double levier (25) est monté sur le levier principal, levier (25) dont une extrémité comporte un palier à roulement (31) coopérant avec le rail de guidage (29), et est fixé par un ressort de serrage (33), un goujon de serrage (34) et un goujon d'ajustaqe (35) sur le levier principal (26). 2 ) Installation de positionne- ment selon la revendication 1, caractérisée en ce que le rapport de démultiplication du système de levier de l'ensemble d'entraînement suivant l'axe x et sui- vant l'axe y est adapté au comportement optimum de déplacement de la table (16).