Brevet FR2612711A1 — publié le 19880923

PROCEDE DE CORRECTION D'UN DISPOSITIF A ONDES DE SURFACE, NOTAMMENT POUR UN FILTRE DISPERSIF La présente invention se rapporte aux procédés pour corriger les défauts apparaissant lors de la fabrication des dispositifs à ondes de surface, notamment pour les filtres dispersifs dans lesquels on utilise la réflexion des ondes acoustiques sur des réseaux à pas variables inclinés par rapport à la direction de propagation de ces ondes acoustiques. Ces filtres sont connus sous le nom générique de RAC, correspondant à l'abréviation de la dénomination anglo-saxonne "Reflective Array Compressors". Le produit bande passante par durée de signal, dit BT, de ces filtres est très important, ce qui en fait l'intérêt. Un RAC correspondant à l'état de l'art est représenté sur la figure 1. Il comporte sur un substrat piézoélectrique 1, un transducteur interdigité d'émission 10 qui, à partir du signal à comprimer, envoie une onde acoustique dans la direction d'un premier réseau réfléchissant 100. Ce réseau comporte une série de discontinuités en forme de traits inclinés sensiblement à 45 par rapport à l'axe de propagation Z de l'onde acoustique. Ces discontinuités, ainsi que le transducteur 10 et le transducteur 1 1 dont on va parler plus loin, sont formés par des gravures ou des métallisations sur la surface du substrat. L'onde acoustique est réfléchie par le réseau 100 sensiblement à 90 vers un deuxième réseau 110 identique au premier mais symétrique par rapport à l'axe Z. L'onde acoustique se réfléchit alors sensiblement à 900 sur ce deuxième réseau pour repartir dans la direction opposée à l'axe Z. Elle est alors recueillie par un transducteur de sortie Il qu'elle excite pour donner un signal électrique de sortie. L'espacement des discontinuités dans les deux réseaux réfléchissants est variable en fonction de la distance aux transducteurs d'entrée et de sortie. De cette manière le pouvoir réflecteur est variable avec la fréquence, et selon cette fréquence 2 6 1 2 7 1 1 l'onde acoustique parcourra un trajet tel que 12 dont la longueur, et donc la durée, dépendra de la fréquence. La fonction de transfert global de ce dispositif correspond au produit des fonctions de transfert des transducteurs d'entrée et de sortie et des réseaux réfléchissants et provoque une compression de l'impulsion appliquée sur le transducteur d'entrée. Un tel dispositif ne fournit pas directement la réponse en amplitude et en phase exactement souhaitée dans la bande utile, en raison de différents phénomènes parasites comprenant notamment des défauts de construction et des déformations du substrat piézoélectrique lors de sa mise en boîtier. Il est connu, mais uniquement en ce qui concerne l'erreur de phase, de corriger celle-ci en déposant entre les deux réseaux réfléchissants 100 et 110 un film conducteur de largeur et d'épaisseur variables, pour modifier la vitesse de propagation pour chaque trajet des ondes et donc pour chaque fréquence. Ce procédé ne permet pas toutefois de bien corriger les erreurs variant rapidement avec la fréquence. Par ailleurs les erreurs introduites par la déformation du substrat piézoélectrique lors de sa mise en boîtier demeurent. Pour corriger au mieux toutes ces erreurs, l'invention propose un procédé dans lequel on mesure la courbe de réponse du RAC une fois que celui-ci est entièrement terminé, c'est-à-dire après son encapsulation, et lui on lui associe un filtre correcteur à ondes de surface, monté dans un boîtier séparé et dont la courbe de réponse a été déterminée pour corriger les erreurs du RAC. A titre de variante, le RAC et le filtre correcteur peuvent être utilisé à des températures différentes. D'autres particularités et avantages de l'invention apparaîtront clairement dans la description suivante présentée à titre d'exemple non limitatif en regard des figures annexées qui représentent - La figure 1, un RAC selon l'art connu - La figure 2, un RAC corrigé par le procédé selon l'invention et - Les figures 3 et 4, des analyseurs de spectre utilisant de tels RAC. On a représenté sur la figure 2 un RAC corrigé au moyen du procédé selon l'invention. Le RAC 20 à corriger comprend, comme celui de la figure 1, sur un substrat I un transducteur d'entrée 10, deux réseaux réfléchissants 100 et 110, et un transducteur de sortie 11. Il comprend en outre, de manière connue, une métallisation 205, située entre les réseaux réfléchissants 100 et 110, dont la largeur est variable pour corriger au moins partiellement les erreurs de phase du RAC. Ce RAC est monté de manière définitive dans un boîtier 204 qui est ensuite fermé et qui apporte un certain nombre de perturbations dues aux contraintes mécaniques qu'il exerce sur le substrat 1. Ces contraintes sont essentiellement dues au fait que le RAC est un dispositif de longueur relativement grande dont la fixation dans le boîtier entratne de telles contraintes. Ce RAC étant ainsi terminé, on mesure sa fonction de transfert HM(f), tant en amplitude qu'en phase, et ceci dans la gamme de température a l'intérieur de laquelle il est prévu de faire fonctionner le RAC. Comme on connaît la fonction de transfert sans erreur Hc(f) à obtenir, on calcule par simple division la fonction de transfert H(f) du filtre qui va permettre de corriger les erreurs du RAC. Ce calcul s'effectue de préférence à la température nominale o00 à laquelle on fera travailler le RAC. On obtient donc: H(f) = Hc(f)/H m(f) On réalise alors un filtre correcteur à ondes de surface 21 selon les techniques connues. Dans l'exemple représenté, ce filtre 21 comporte sur un substrat 201 un transducteur d'entrée 210 formé de deux peignes interdigités dont les doigts ont une longueur de recouvrement variable et un transducteur de sortie non pondéré 211. Le procédé pour obtenir un tel filtre à partir de sa fonction de transfert est connu du brevet français 2 040 881 déposé par la demanderesse le 16 avril 1969. La précision de mise en oeuvre de ce procédé est actuellement telle que les performances du filtre obtenu présentent des erreurs résiduelles très nettement inférieures aux erreurs à corriger dans le RAC. Selon une variante de réalisation, les deux transducteurs du filtre correcteur ont des doigts de longueurs variables et on dispose entre ces transducteurs un coupleur d'ondes acoustiques de surface. Dans la réalisation représentée sur la figure 2, le transducteur de sortie du RAC est connecté au transducteur d'entrée pondéré du filtre et le transducteur non pondéré de ce dernier constitue le transducteur de sortie de l'ensemble. Ce type de connexion n'a rien d'obligatoire puisque le produit des fonctions de transfert du RAC et du filtre correcteur est permutatif. On peut donc par exemple placer le filtre correcteur en amont du RAC. On peut aussi utiliser comme transducteur de sortie du filtre correcteur le transducteur pondéré. Le filtre correcteur comprend un bottier 206 dans lequel on place le substrat 201 comportant les transducteurs. On ferme ensuite ce bottier. L'influence des contraintes apportées par le boîtier 206 sur le filtre correcteur est beaucoup plus faible que celle apportée par le bottier 204 sur le RAC, en raison notamment des dimensions nettement plus importantes du bottier du RAC par rapport à celles du bottier du filtre correcteur. L'expérience a montré que les perturbations dues à cette influence au niveau du filtre sont négligeables devant la correction apportée par ce dernier et que l'utilisation de ce filtre répond bien au but recherché. Lors de la synthèse du filtre correcteur on se donne une température de fonctionnement du filtre 01 et une vitesse des ondes acoustiques à la surface du substrat correspondant à cette température. On constate après réalisation du filtre que diverses variations inévitables, telles que l'épaisseur des métallisations et l'écart dans le rapport largeur/espacement des doigts, entraînent un décalage homothétique en fréquence de la fonction de transfert du filtre, qui s'analyse essentiellement comme un écart sur la vitesse des ondes acoustiques. Cet écart est la plupart du temps de l'ordre de -4. Si la dégradation des performances constatée est acceptable, on choisit de faire fonctionner le filtre correcteur à la même température que le RAC, et pour cela on monte les deux boîtiers en contact thermique intime de manière à n'utiliser qu'un seul thermostat pour l'ensemble. Si par contre la dégradation des performances due à cet écart n'est pas acceptable, on choisit de faire fonctionner le filtre correcteur à une température différente de la température choisie à la synthèse, afin de compenser l'écart de vitesse. Pour cela on utilise deux thermostats, l'un stabilisant le RAC à la température Q0 et l'autre stabilisant le filtre correcteur à la température Q'1 nécessaire pour obtenir les performances souhaitées. Deux sondes thermométriques 202 et 203 permettent de mesurer respectivement les températures des boîtiers 204 du RAC et 206 du filtre correcteur. Afin d'éviter de cumuler les erreurs des deux thermostats, on utilise de manière préférentielle un thermostat commun aux deux boîtiers et des moyens d'ajustement de la température du boîtier 206 par rapport à celle du boîtier 204. Sur la figure, ces moyens d'ajustement sont représentés par un dispositif de mesure et de contrôle 231, qui mesure la différence de température 0'1 - Qo et commande l'ajustement de la température Q'1 par l'intermédiaire d'une résistance électrique 230. En général un RAC est purement dispersif. Toutefois dans certains cas on a besoin d'appliquer une loi de pondération sur le signal de sortie d'un tel RAC. Selon une variante de réalisation de l'invention, on utilise le filtre correcteur non seulement pour corriger les erreurs du RAC, mais aussi pour appliquer une telle loi de pondération. Si alors Hp(f) est la loi de pondération, on synthétise le filtre de manière à obtenir une fonction de transfert global de celui- ci HT(f) égale à Hp(f) x H(f). Dans le cas ou on doit utiliser plusieurs lois de pondération distinctes, on utilise plusieurs filtres correcteurs qui sont commutés sur la sortie du RAC en fonction des besoins. Les RAC ainsi corrigés sont particulièrement utiles pour réaliser des analyses spectrales d'un signal à l'aide de trois lignes dispersives, selon des montages bien connus qui appliquent de manière analogique l'algorithme connu sous le nom anglo-saxon de "Chirp Transform". On utilise soit un montage en 1r représenté sur la figure 3, soit un montage en T représenté sur la figure 4. Le montage enlr comprend trois RAC 31 à 33 corrigés selon l'invention. Le RAC 31 alimente un mélangeur 34 qui reçoit également le signal s(t) à analyser. Ce mélangeur est connecté au RAC 33 dont la sortie est elle-même connectée à un autre mélangeur 35 qui reçoit aussi la sortie du RAC 32. Le signal de sortie de ce mélangeur 35 représente le spectre recherché. Les RAC 31 et 32 reçoivent une impulsion brève d'analyse. Dans le montage en T de la figure 4, le signal s(t) est appliqué à un RAC 41. Un mélangeur 44 reçoit le signal de sortie de ce RAC 41 et d'un RAC 43. Un troisième RAC 42 reçoit le signal de sortie du mélangeur 44 et délivre le spectre désiré. Le RAC 43 reçoit la même impulsion d'analyse que les RAC 31 et 32. Chacun des trois RAC de ces deux montages est muni d'un filtre correcteur selon l'invention. Bien qu'elle ait été décrite dans le cadre de la correction d'un RAC, l'invention s'étend à la correction de tous dispositifs à ondes de surface. REVENDICATIONS 1. Procédé de correction d'un dispositif à ondes de surface, notamment pour un filtre dispersif, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: - Mesure de la fonction de transfert du dispositif à ondes de surface à corriger (20) dans son montage définitif; - Synthèse d'un filtre correcteur à ondes de surface (21) dont la fonction de transfert permet la correction voulue - Fabrication de ce filtre correcteur; et - Mise en série du dispositif à corriger et du filtre correcteur. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le produit de la fonction de transfert du dispositif à corriger (20) par le produit de la fonction de transfert du filtre correcteur (21) est égal à la fonction de transfert souhaitée. 3. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que l'on maintient le dispositif à corriger (20) et le filtre correcteur (21) à la même température. 4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'on maintient en contact thermique les bottiers du dispositif à corriger (20) et du filtre correcteur (21) et que l'on utilise un thermostat unique pour les deux. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications I et 2, caractérisé en ce que l'on maintient le boîtier du dispositf à corriger (20) à une première température, et que l'on maintient le bottier du filtre correcteur (21) à une deuxième température différente de la première; la différence de ces températures permettant d'ajuster la correction du filtre correcteur. 6. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que l'on utilise un thermostat différentiel (231) pour ajuster la deuxième température par rapport à la première. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications I à 6, caractérisé en ce que lors de l'étape de synthèse du filtre correcteur (21) on applique en outre une loi de pondération à la fonction de transfert de ce filtre correcteur. 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'on synthétise plusieurs filtres correcteurs (21) ayant chacun une loi de pondération distincte. 9. Analyseur de spectre, caractérisé en ce qu'il utilise au moins un filtre dispersif (31 - 33) corrigé suivant le procédé selon l'une quelconque des revendications I à 8.