Brevet FR2616884A1 — publié le 19881223

i DESCPTIiON La présente invention concerne un procédé d'incinération d'effluents gazeux comportant notamment des hydrures inorganiques ainsi qu'un appareil pour le traitement de ces effluents. Dans le domaine de la fabrication de circuits intégrés et de composants électroniques notamment par la technique du déept chimique en phase vapeur (CVD), il est essentiel, pour des raisons de protection contre la pollution et contre l'incendie de ne pas rejeter dans l'artmosphère les gaz utilisés et/ou générés par ces techniques. En effet, certains composés gazeux émis, présents dans les effluents gazeux sont toxiques pour l'homme et/ou combustibles au contact de l'air à température élevée ou combustibles spontanément et brûlés au contact de l'air ou de tout oxydant m&me à température ambiante. Les effluents à traiter comportent non seulement les gaz de métallisation mais aussi les composés dérivés ou générés par les réactions de dépet ou des réactions parasites, et encore les produits issus de réactions entre gaz et matériaux en contact (ex: huile de p.mpe). Il peut s'agir d'hydrures métalliques, de composés métaux-carbonyles, et éventuellement des composés halogènés inorganiques, composés organiques ou gazeux et combustibhles. Ainsi, les effluents gazeux à traiter sont en particulier les hydrures inorganiques gazeux combustibles tels que les hydrures de silicium, notamment SiH4, Si2H6, Si3H8, et les halog6nosilanes du type SiHx C14-x' d'arsenic, notamment l'arsine AsH3, de phosphore, notamment PH3, de bore, notamment B2H6, de germanium, notamment GeH3, et d'autres métaux, corne le molybdène, utilisés pour la fabrication des composants ou contenus dans le matériel de fabrication. Parmi les métaux carbonyles, et les cormposés halogénés inorganiques, ou peut citer W (CD)6, Mo(CO)6 et les chlorures, fluorures et iodures de silicium, titane, tungstène, molybdène et tantale. On peut citer en outre dans les rejets après les pompes, les organo-et/ou halogéno-silanes, les halogénures d'hydrogène, les gaz comportant de l'azote (dérivés des gaz de gravure) et les composés organiques provenant en particulier des paompes. Une méthode conventionnelle d'épuration des effluents gazeux pour éliminer leurs composants gazeux toxiques et/ou dangereux consiste à aspirer les effluents gazeux hors du système CVD au moyen d'une ou plusieurs pompes telles que des pompes à vide, et ensuite de faire passer ces effluents gazeux dans une ou plusieurs tours d'absorption ou colonnes o les effluents gazeux sont mis en contact avec un agent absorbant ou adsorbant, solide ou liquide. Toute ou partie des camposants gazeux néfastes sont ainsi absorbés ou adsorbés et les effluents gazeux sont ensuite traités par bullage ou un autre traitement d'absorption selon la nature des composants résiduels à éliminer. Cependant, selon cette méthode conventionnelle, les agents absorbants employés peuvent être rapidement contaminés et/ou épuisés, si bien que de fréquents remplacements de l'agent absorbant sont nécessaires pour garantir un degré d'efficacité raisonnable de l'épuration. De plus, les agents absorbants employés pour cet usage sont souvent chers et non régénérables, et les remplacements nécessaires sont difficilement compatibles avec des procédés industriels en continu. Une autre méthode consistant à brler les effluents à leur sortie du système est dangereuse dans la moesure o elle est difficilement acceptable avec un niveau fluctuant d'émission des effluents combustibles : à l'arrêt de l'émission, la combustion s'arrête et la reprise de l'émission, si' la combustion n'est pas entretenue, provoque une accumulation de gaz inflammable et un risque d'explosion capable de se propager jusque dans le système CVD. Même si l'on veille à entretenir la combustion, celle-ci réalisée directement à la sortie du système à l'air ou avec un gaz comburant quelconque, présente des dangers certains de retour de flamme ou simplement d'introduction d'oxydant en amont du br.leur lors des baisses de pressions d'émission, et donc des risques d'explosion. La présente invention concerne un procédé de traitement des effluents gazeux définis ci-dessus caractérisé en ce que les gaz effluents sont aspirés par un gaz vecteur inerte, puis intimemnt nmélangés à un gaz oxydant préchauffé puis restent à son contact à une température et pendant une durée suffisantes pour l'incinération, puis les produits d'oxydation sont refroidis par échange thermique jusqu'à condensation, et les produits d'oxydation solides sont recueillis et les gaz résiduels lavés, et en ce que l'on réalise une cascade de perte de charge le long du courant gazeux. Les composés ayant subit l'incinération selon l'invention c'est à dire ayant séjourné un temps suffisament long, selon la température, 26 1 6884 pour être oxydés dans la chambre d'incinération sont ensuite refroidis dans un échangeur a parois froides et se condensent sous forme d'oxydes. Les oxydes de silicium (silice) et de métaux principalement sont sous la forme de particules solides et l'on peut les séparer des gaz résiduels par tout moyen de séparation mécanique, par exemple filtration et/ou centrifugation. Les gaz résiduels sont laves dans une solution alcaline de préférence pour piéger les acides et sont ensuites rejetés à l'atmos- phère. Un premier avantage du procédé selon l'invention est de rendre le piegeage des éléments indésirable plus sûr et facile car ces éléments sont oxydés et sous forme solide. La caractéristique de l'invention selon laquelle on réalise une cascade de pertes de charge le long du courant gazeux présente l'avantage d'éliminer les risques d'explosion par retour de flamme ou par contre-courant d'oxydant. Ainsi, une première perte de charge est réalisée par un système éjecteur dans lequel un gaz inerte "poape" ou "aspire" par effet Venturi les gaz effluents juste à leur sortie du système CVD. Ce système de paopage, par définition non mécanique, présente l'intérêt d'être non corrodable. Le procédé met en oeuvre une incinération, il ne nécessite pas d'émission continue de gaz à traiter et peut donc supporter sans inconvénient des baisses ou des arrêts de l'émission. La présente invention concerne également un appareil pour l'incinération d'un mélange d'effluents gazeux pouvant ccrLorter des hydrures inorganiques, des cacposés halogènes inorganiques, des ccrmposés organiques, gazeux et caombustibles, caractérisé en ce qu'il conporte au noins une chambre de préchauffe de gaz oxydant pourvue d'une arrivée de gaz oxydant, d'un brûleur, et d'une sortie de gaz oxydant chaud; une chambre de mélange du gaz oxydant chaud et des effluents gazeux pourvu d'une arrivée de gaz oxydant chaud, d'une buse d'injection des effluents, de moyens pour induire le mélange, et d'une ouverture de sortie du mélange; d'une chambre d'incinération munie d'une arrivée du mélange; d'une zone de refroidissement et d'un collecteur de solide muni d'un échappement des effluents de l'incinération et en ce qu'il est pourvu de tmoyens pour créer des dépressions successives dans le sens d'écoulement des gaz. 26 1 6884 Le présente invention sera mieux ccmprise à la de la description détaillée ci-après et au vu des figures annexées sur lesquelles - la figure 1 est une représentation schématique d'une installation pour la mise en oeuvre du procédé; - la figure 2 est une coupe schématique d'un appareil d'incinération selon l'invention. Sur la figure 1 apparalt le système CVD 1 dont les effluents, circulant par la canalisation 11, sont pampés par la parcçe 2 et rejetés par la canalisation 12 vers un éjecteur 3. L'éjecteur 3 est alimenté par la canalisation 13 en gaz inerte, gaz vecteur moteur de l'éjecteur dont le courant entraîne les effluents du système CVD par un effet Venturi. Les effluents sont donc aspirés par effets Venturi, et dilués et entraînés par le m&me gaz vecteur inerte. Les effluents dilués parviennent par la canalisation 14 a la chambre de prGémlange 4 o le courant gazeux pénètre gainé par un gaz inerte délivré par la canalisation 16. Un gaz cambustible brûlé dans le brtleur 17 chauffe le courant d'air parcourant la canalisation 18 avant que celui-ci ne pénètre dans la chambre de prémélange 4 o par un effet vortex, les gaz provenant des canalisations 14 et 18 sont intiment mélangés avant de parvenir à la chambre d'incinération 5. Le gaz oxydant utilisé est l'air, quoique de l'air dopé en oxygène ou un autre oxydant puisse être utilisé. Le temps de séjour est suffisant pour que les cambustibles soient transformés en oxydes; dans l'échangeur 6, les oxydes se condensent et sont recueillis à la sortie par la canalisation 19 dans un filtre 7 o les particules d'oxydes sont retenues. Les gaz résiduels passent par des tours de lavage en milieu humide ou des flacons laveurs 8 et sont entraînés hors de l'installation par un extracteur à hélice 9 avant d'être rejetés dans l'atmosphère par la canalisation 22. Par moesure de sécurité, des vannes 24 et 25 sur la canalisation 14 et la canalisation 15 penrmettent de dériver le courant vers des cartouches 10 de milieu adsorbant ou absorbant qui assurent l'épuration en cas d'arrêt mamentané de l'installation 4, 5, 6 d'incinération. Sur la figure 2 apparaît un mode de réalisation d'un appareil pour l'incinération selon l'invention. La chambre cylindrique 34 de prémélange est munie d'une part d'une canalisation 31 d'arrivée de gaz oxydant préchauffé et d'autre part d'une canalisation 32 double flux reliée à une souroe de gaz inerte de gainage (non représentée) dont la canalisation interne 33 est reliée à l'arrivée des effluents dilués. 26168'8 4 Le gainage réalisé empêche les gaz combustibles de s'oxyder dès leur injection, ce qui boucherait l'injecteur par les oxydes formés. Cette canalisation 32-33 est parallèle à l'axe principal de la chambre 34 mais non confondu avec celui-ci. La canalisation 31 est perpendiculaire à l'axe de la chambre mais sa direction ne recontre pas cet axe. Cette disposition assure en mélange intime oxydant-effluents par effet Vortex. Un goulot d'étranglement 38 sépare la chambre 34 de la chambre d'incinération 35 dont le volume est supérieure à celui de la chambre 34. Un goulot d'étranglement 39 sépare la chambre 35 du refroidisseur à parois froides 36 refroidi à l'eau. Dans cet échangeur à parois froides, les particules submnicroniques issues de la chambre d'incinération s'agglomèrent en refroidissant et atteignent une taille de quelques microns qui rend leur capture dans les filtres plus aisée. Le collecteur 40 est muni d'une canalisation 37 d'évacuation qui mâne à des filtres à particules, laveur de gaz et extracteurs non représentés. Exemple. La Demanderesse a mis au point une installation telle que décrite cidessus et l'a appliquée à l'incinération en déchets issus de l'armoire chimique et/ou de la pcmpe principale d'un système CVD. Le gaz oxydant utilisé est l'air. Dans l'éjecteur, le fluide moteur, N2 a un débit de 2 à 3 Nm3/h, et la pression est d'environ 1 bar. Le venturi crée à l'éjecteur perxmet d'aspirer les rejets du système CVD selon les caractéristiques suivantes: : PERTE DE CHARGE (BAR): -0,1: 0: + 0,015 : DEBITS REJETS GAZEUX:: : : ASPIRES (Nm3/h): O: 0,5 1 : Le gaz de gainage et le vortex crée dans la chambre de pr&úlange sont également destinés à empêcher des particules solides d'oxyde par exemple de se forier et de séjourner dans cette chambre, ce qui évite les risques de bouchage. Le brûleur produit une flamme air/prcpane qui porte l'air à préchauffer à une température de 1200 C, et au maximum 1400 C. Le brûleur développe une puissance thermique de 10 000 kcal/h. Les débits des gaz de flamme sont de 0,2 à 0,3 Nm3/h pour le propane et 6Nm3/h pour l'air et ce qui permet de préchauffer 6 Nm3/h d'air injecté tangentiellement dans la chambre qui est à une température d'environ 1100 C, et au maximum 1200 C. Dans la chambre de prémélange, 2 Nm3/h d'azote de gainage entrainent 1 à 5 Nl/mn d'effluents à traiter, avec un maximum de 50 Nl/mn. Dans la chambre d'incinération, le temps de résistance est d'environ 5 secondes permettant aux oxydes de se former, ces oxydes sortant à une température d'environ 800 C. L'échangeur thermique a des temperatures d'entrées et de sorties d'environ 600 et 110 C (maximum 800 et 180 C) et produisent une perte de charge de 5mmn H-O. Comme filtre, on utilise des filtres en PTFE connu sous le noan de gortex, capable d'arrêter des particules de quelques fraction de micro-rrtres. Ce matériaux résiste aux températures de fonctionnement ( Les canalisations entre le refroidisseur et le ou les filtres, les filtres et les flacons laveurs sont maintenus à une température supérieure à 100 C, afin d'éviter la condensation de l'eau. Le ou les flacons laveurs de gaz résiduels, destinés à piéger les acides en particulier, sont pourvus d'une lessive de soude à 3%. L'extracteur qui assure, après les flacons laveurs, la depression avant l'évacuation des gaz résiduels à l'atmosphère a un débit de 2m3/mn et provoque une perte de charge de 500 mm H20. Dasn toute l'installation, et particulièrement dans l'appareil pour l'incinération, l'étanchéité est assurée par des joints en cuivre ou en amiante. Les parois et parties métalliques sont en acier inox du type 316 L; le matériau isolant utilisé, en particulier dans les chambres du prémlange et de combustion sont en matériau réfractaire A1203-SiO2. Les gaz traités selon le procédé et dans un tel appareil atteignent des teneurs inférieures à leur concentration maximale admissible recommandées dans les locaux industriels. Ces concentrations permettent des expositions de 8 heures par jour pendant 5 jours par semaine sans effet détectable pour l'individu. REVENDICATIONS 1. Procédé de traitement en continu d'effluents gazeux du type gaz de CVD par oxydation, caractérisé en ce que les gaz effluents sont aspirés par un gaz vecteur inerte, puis intimemrent mélangés à un gaz oxydant préchauffé, puis restent à son contact à une température et perdant une durée suffisantes pour l'incinération, puis les produits oxydants sont refroidis par échange thermnique jusqu'à condensation, et les produits d'oxydation solides sont recueillis et les gaz résiduels lavés, et en ce que l'on réalise une cascade de pertes de charge le long du courant gazeux. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le mélange effluents-oxydant est réalisé par un vortex gazeux. 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les effluents injectés sont gair/s pour un gaz inerte. 4. Procédé selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les effluents gazeux sont dilués et entraînés par un courant de gaz vecteur avant leur mélange à l'oxydant. 5. Appareil.pour l'incinération d'un mnélange d'effluents gazeux pouvant couporter des hydrures inorganiques, des ccmposés halogènés inorganiques, des composés organiques, gazeux et combustibles, caractérisé en ce qu'il comporte au ioins une chambre de préchauffe de gaz oxydant pourvue d'une arrivée de gaz oxydant, d'un br0leur, et d'une sortie de gaz oxydant chaud; une chambre (34) du mélange de gaz oxydant chaud et des effluents gazeux pourvu d'une arrivée de gaz oxydant chaud (31), d'une buse d'injection des effluents (33), de moyens pour induire le mélange, et d'une ouverture de sortie du mélange (38); d'une chambre d'incinération (35) munie d'une arrivée du mélange, d'une zone de refroidissement (36) des produits de l'incinération et d'un collecteur de solide (40) muni d'un échappement (37) des effluents de l'incinération et en ce qu'il est pourvu de toyens pour créer des dépressions successives dans le sens d'écoulement des gaz. 6. Appareil selon la revendication 5, caractérisé en ce que la chambre de prémélange (34) est pourvue de toyens pour créer un vortex gazeux. 7. Appareil selon la revendication 5 ou 6, caractérisé en ce que la chambre de prémélange est cylindrique, la canalisation (31) d'arrivée de gaz oxydant chaud est sensiblement perpendiculaire à la buse d'injection (33) des effluents gazeux, la direction d'injection par la buse (33) étant parallèle à l'axe de la chambre et non confondue avec celui-ci et la direction de ladite canalisation ne rencontrant pas l'axe de la chambre. S 8. Appareil selon l'une des revendications 5 à 7, caractérisé en ce que la buse d'injection et une buse double flux coaxial (32, 33). 9. Appareil selon l'une des revendications 5 à 8, caractérisé en ce que la zone de refroidissement (36) est une échangeur à parois froides. 10. Appareil selon l'une des revendications 5 à 9, caractérisé en ce que les moyens pour créer des dépressions sont des étranglements (38, 39), notamment entre la chambre de prémélange et la chambre d'incinération et la dite chambre d'incinération et la zone de refroidissement.