Brevet FR2611987A1 — publié le 19880909

La présente invention concerne un détecteur d'image du type à dispositifs à couplage de charge (CCD) possédant plusieurs registres CCD horizontaux. Le détecteur d'image CCD à transfert d'interligne (IT-CCD) est bien connu comme exemple typique de détecteur d'image CCD, et il est formé par intégration, sur un substrat semi- conducteur, de plusieurs photodiodes disposées en matrice, qui font fonction de cellules de détection d'image, plusieurs colonnes de registres CCD verticaux servant à lire les charges de signal sur les photodiodes, et un registre CCD horizontal servant à lire les charges de signal transférées par les registres CCD verticaux. Dans ce type de détecteur d'image CCD, plus le nombre des cellules de détection d'image, c'est-à-dire des éléments d'image, est élevé, et plus la fréquence du signal d'excitation du registre CCD horizontal est élevée. Pour empêcher une telle augmentation de la fréquence du signal d'excitation, un moyen, parmi plusieurs approches connues, consiste à disposer deux registres CCD horizontaux en parallèle et à partager les charges de signal des registres CCD verticaux entre ces deux registres. Ce système, qui est connu sous l'appellation du IT-CCD à double ligne, permet d'utiliser un signal d'excitation de basse fréquence pour exciter les registres CCD horizontaux. On va maintenant décrire la manière suivant laquelle les charges de signal, qui sont lues ligne par ligne par les registres CCD verticaux se partagent entre le premier registre CCD horizontal et le deuxième registre CCD horizontal. Un signal d'horloge "H' est d'abord appliqué à la grille de sortie des registres CCD verticaux, afin de permettre la lecture des charges de signal d'une ligne dans les registres CCD verticaux pour les faire passer dans le canal du premier registre CCD hori- zontal. Ensuite, un signal d'horloge "H" est appliqué à la grille de transfert entre le premier registre CCD horizontal et le deuxième registre CCD horizontal, si bien que la moitié des charges de signal du premier registre CCD horizontal sont transférées au deuxième registre CCD horizontal. Pour réaliser le partage des charges de signal entre ces deux registres, plusieurs éléments d'arrêt de canal sont formés sous la grille de transfert entre les premier et deuxième registres CCD. De cette manière, les charges de signal des registres CCD verticaux de la colonne désignée par un nombre pair sont transférées au canal du deuxième registre CCD horizontal, via le canal du premier registre CCD horizontal. Les charges de signal sont lues en parallèle dans les premier et deuxième registres CCD horizontaux, puis sont déphasées de 1800 et additionnées ensemble, afin de former un signal électrique repré- sentant l'élément d'image d'une ligne. Ensuite, les memes opéra- tions se répètent pour former un signal d'image à deux dimensions. Le IT-CCD à double ligne de la technique antérieure a pour inconvénient que les lignes paires en noir et blanc verticales appa- raissent sur l'image reproduite. Ce problème est dû au fait que les conditions d'entrée relatives aux charges de signal sont diffé- rentes pour le premier registre CCD horizontal, qui est placé près de la zone de détection d'image, et pour le deuxième registre CCD horizontal, qui est placé loin de la zone de détection d'image. Lorsqu'un grand nombre d'éléments d'image sont disposés en matrice, les canaux de transfert entre les premier et deuxième registres CCD horizontaux se rétrécissent, parce qu'ils sont placés entre les éléments d'arrêt de canal. Dans un tel cas, l'effet de canal étroit se produit. Ceci peut être également rapporté à l'article de K. Orihara, et al., "NEW TECHNOLOGIES IN DUAL CHANNEL READ-OUT REGISTERS FOR HIGH DENSITY CCD IMAGE SENSOR", IEDM Tech. Dig., pages 365 à 368, 1986. Une distribution insuffisante des diffé- rentes charges de signal amène lephénomène dit dediaphonie. Lorsque les charges de signal sont insuffisamment distribuées, elles restent alors dans le premier registre CCD horizontal, au lieu d'être transférées par le canal au deuxième registre CCD hori- zontal. C'est donc un but de l'invention de proposer un détecteur d'image CCD qui peut réduire le bruit des lignes verticales appa- raissant sur l'image reproduite par suite du fait que les registres CCD horizontaux possedent des conditions d'entrée différentes. Dans un détecteur d'image CCD selon l'invention, plusieurs registres CCD horizontaux sont disposés de façon qu'un registre placé plus loin du registre CCD vertical présentera une concentration en impureté dans son canal enterré d'autant plus grande qu'il est éloigné du registre CCD vertical. En résultat, il n'est pas nécessaire de prévoir un éLément d'arrêt de canal parti- culier sous la grille de transfert entre les registres CCD horizontaux. On forme une couche de collecteur dans la région de canal de transfert se trouvant sous la grille de transfert entre les registres CCD horizontaux, et cette couche de collecteur possède la même concentration en impureté que le canal du registre CCD hori- zontal qui est placé loin du registre CCD vertical. Avec un tel agencement, il n'est pas besoin d'un élément d'arrêt de canal particulier entre les registres CCD horizontaux, ce qui entraîne que l'effet de canal étroit ne se produit pas dans le canal de transfert entre les registres CCD horizontaux. Une distribution fiable des charges de signal est donc assurée des registres CCD verticaux aux registres CCD horizontaux, sous com- mande des signaux d'horloge de la grille de transfert se trouvant sur et entre les registres CCD horizontaux. La couche de collecteur est formée dans la région de canal se trouvant sous la grille de transfert entre les registres CCD horizontaux. Le fait de prévoir cette couche de collecteur réduit efficacement les charges rési- duelLes lors du transfert des charges de signal via le canal du registre CCD horizontal. La description suivante, conçue à titre d'illustration de l'invention vise à donner une meilleure compréhension de ses carac- téristiques et avantages; elle s'appuie sur les dessins annexes, parmi lesquels: la figure 1 est une vue en plan d'un mode de réalisation d'un détecteur d'image du type IT-CCD selon l'invention; la figure 2 est une vue en plan d'une partie principale du détecteur d'image IT-CCD de la figure 1; les figures 3A et 3B présentent des vues en section droite prises suivant les lignes A-A' et B-B' de la figure 2; les figures 3C et 3D présentent des vues en section droite prises suivant les lignes C-C' et D-D' de la figure 1; la figure 4 présente un diagramme de potentiel illustrant comment Les charges de signal sont transférées dans le voisinage de la partie de sortie desdeux registres CCD horizontaux; la figure 5 montre un ensemble de formes d'onde permet- tant d'expliquer le fonctionnement suivant lequel des charges de signal sont distribuées pour être partagées entre les deux registres CCD horizontaux; les figures 6A à 6D présentent des vues en plan par- tielles du détecteur d'image CCD, afin d'expliquer la façon suivant laquelle est exécuté le processus de distribution des charges de signal visant à les partager entre les deux registres CCD hori- zontaux; et la figure 7 montre une vue en plan d'un détecteur d'image IT-CCD selon un autre mode de réalisation de l'invention. Une zone de détection d'image est constituée par un réseau matriciel de photodiodes (cellules de détection d'image) 1 et de plusieurs registres CCD verticaux 2 disposés chacun au voisi- nage de la colonne de photodiodes de la matrice ci-dessus mentionnée. Dans les modes de réalisation suivants, les registres CCD verticaux 2 sont du type à canal enterré et sont excités par des signaux d'horloge quadriphasés 6V1 à éV4. Un premier et un deuxième registre CCD horizontal 4A et 4B sont prévus relativement aux bornes de sortie de registres CCD verticaux 2 respectifs. Une grille de sortie 3 est formée relativement aux bornes de sortie des registres CCD verticaux 2. La grille de sortie 3 est conçue pour commander le transfert des charges de signal entre les canaux des registres CCD verticaux 2 et celui du premier registre CCD hori- zontal 4A. Une grille de transfert 5 est formée entre les premier et deuxième registres CCD horizontaux 4A et 4B afin de commander le transfert de charges de signal entre leurs canaux respectifs. Les premier et deuxième registres CCD horizontaux 4A et 4B sont formés de façon que leurs grilles de transfert 6 et 7 soient partagées entre eux et excitées par des signaux d'horloge biphasés eH1 et 6H2, respectivement. De plus, ces grilles de transfert 6 et 7 sont disposées suivant le même pas que les registres CCD verticaux 2, si bien que les grilles de transfert 6 servant à l'emmagasinage sont placées chacune en une position de canal du registre CCD verti- cal 2. Les premier et deuxième registres CCD horizontaux 4A et 4B sont tous deux du type à canal enterré. Relativement à la partie des premier et deuxième registres CCD horizontaux 4A et 4B qui est placée au voisinage de la zone de détection d'image ci-dessus mentionnée, le premier registre CCD horizontal 4A possède une concentration en impureté de canal qui est fixée à une valeur égale à celle du registre CCD vertical 2, la concentration en impureté de canal du deuxième registre CCD horizontal 4B étant fixée à une valeur supérieure à celle du registre 4A. La figure 2 est une vue agrandie d'une zone située au voisinage de la zone de détection d'image fixée ci-dessus, o le canal du premier registre CCD hori- zontal 4A possède une concentration en impureté différente de celle du deuxième registre CCD horizontal 4B, comme indiqué par la partie hachurée de la figure 2. On va donner ci-après plus de détails sur la manière dont est constitué ce mode de réalisation. On effectue une implantation ionique d'une impureté de type n dans des régions isolées élémentaires d'un substrat de silicium de type P 21, de manière à former une couche 22 de type n, qui fournit une région de canal pour les registres CCD horizontaux 4A et 4B et un canal enterré à l'intérieur de toute la zone de la grille de transfert 5. On forme sélectivement une couche de type n 23B, l'aide d'un procédé d'implantation ionique, dans la région de canal du deuxième registre CCD horizontal 4B. De cette manière, il se crée une différence de potentiel à la surface du substrat entre les premier et deuxième registres CCD horizontaux 4A et 4B. La grille de transfert 5, placée entre les canaux des registres CCD horizontaux 4A et 4B, est formée d'une première pellicule en sili- cium polycristallin, et les grilles de transfert 6 et 7, qui sont situées dans Les régions de canal, sont respectivement formées d'une deuxième et d'une troisième pellicule en silicium poLy- cristallin. Au contraire de La technique antérieure, il n'est pas formé d'élément d'arrêt de canal sous la grille de transfert 5 du dispositif de l'invention. Au contraire, comme représenté sur la figure 2, les régions 8B qui correspondent à des registres CCD verticaux 2 d'un rang impair sont sélectivement mises à la même concentration en impureté que la région de canal du deuxième registre CCD horizontal 4B. Les régions 8B fournissent une couche de collecteur permettant d'effectuer efficacement le transfert de charges de signal du premier registre CCD horizontal 4A au deuxième registre CCD horizontal 4B. D'autre part, les régions 8A qui correspondent à des registres CCD verticaux 2 de rang pair sont mises à une concentration en impureté qui est égale à celle de la région de canal du premier registre CCD horizontal 4A. Pour pouvoir sélectivement former les couches de collecteur 8B sous la grille de transfert 5, il est tout d'abord nécessaire de former une couche 23B de type n, à l'aide d'un procédé d'implantation ionique sélec- tive, avant de former la grille de transfert 5. L'existence de la différence des concentrations en impu- reté de canal sur toute la zone des premier et deuxième registres CCD horizontaux 4A et 4B entraîne celle d'une différence dans les formes d'onde de leurs signaux de sortie de canal. Ceci introduit un motif de bruit de synchronisation. Dans ce mode de réalisation, les concentrations en impureté des deux canaux fixées ci-dessus sont mises à des valeurs mutuellement égales, l'attention étant spécialement concentrée sur le voisinage des bornes de sortie des première et deuxième régions CCD horizontales 4A et 4B. D'un point de vue plus détaillé, comme indiqué par les parties hachurées de la figure 1, l'arrêt de l'implantation ionique est effectué une fois dans une zone 4A1 du premier registre CCD horizontal 4A et deux fois dans une zone 4A2 du voisinage de la section de sortie, comme dans le canal du deuxième registre CCD 4B. Les figures 3C et 3D sont des vues en section droite montrant la zone toute entière des canaux ci-dessus. Comme cela résulte clairement de l'examen de la vue en section droite de la figure 3C, une couche 23A de type n est formée dans le premier registre CCD horizontal 4A au niveau de la zone 4A2 voisine de la borne de sortie de la région de canal, en même temps qu'est formée une couche 23B de type n du canal du deuxième registre CCD horizontal 4B, comme on peut le voir sur la figure 3D. Dans le premier registre CCD horizontal 4A, la zone 4A1 voisine de la zone de détection d'image ci-dessus mentionnée possède une concentration en impureté de canal différente de la zone 4A2 voisine de la borne de sortie. L'électrode 10 de la grille de sortie est prévue en commun au niveau de la sortie de chacun des registres CCD horizon- taux 4A et 4B, comme représenté sur la figure 1 et les figures 3C et 3D. De plus, à la sortie de ces registres, sont formées des couches de borne de sortie n 11A et 11B d'électrodes de grilles de repositionnement flottantes 12A et 12B, et des couches de drain de + repositionnement n 13A et 13B. Les couches 11A et 11B des bornes de sortie sont connectées via des amplificateurs de sortie 14A et 14B aux bornes de sortie OUTA et OUTB. On décrit ci-dessous le fonctionnement du détecteur - d'image dutype ITCCDainsi conçu. Les charges de signal emmagasinées dans toutes les photodiodes 1 sont d'abord transférées aux registres CCD verticaux 2 simultanément pendant la période de suppression verticale. Les charges de signal transférées aux registres CCD verticaux 2 sont drigées sur les premier et deuxième registres CCD horizontaux 4A et 4B pour chaque ligne horizontale, comme représenté par des flèches sur la figure 1, et sont lues à une vitesse élevée. Le fonctionnement de base de cette opération est sensiblement le même que dans la technique antérieure. Dans ce cas, les charges de signal des registres CCD verticaux se trouvant dans des colonnes de rangs impairs et pairs sont respectivement dirigées sur les premier et deuxième registres CCD horizontaux 4A et 4B. A ce moment, les courants de charges de signal sont sous commande de la grille de sortie 3 des registres CCD verticaux 2, de la grille de transfert 5 située entre les registres horizontaux 4A et 4B, et des électrodes de transfert 6 et 7 associées au transfert directionnel des canaux des registres CCD horizontaux 4A et 4B. Plus spécialement, les charges de signal des registres CCD verticaux de la colonne de rang impair sont trans- férées au canal du premier registre horizontal CCD 4A, et s'arrêtent Là. Les charges de signal des registres CCD verticaux de la colonne de rang pair sont transférées via la couche de collec- teur de charges 8B au deuxième registre CCD horizontal 4B. On notera que la concentration en impureté de canal Su deuxième registre CCD horizontal 4B a été fixée à une valeur supérieure à celle du premier registre CCD horizontal 4A, et que la couche de collecteur de charge 8B a été prévue. Pour ces raisons, le trans- fert des charges de signal via le premier registre CCD horizontal 4A au deuxième registre CCD horizontal 4B peut s'effectuer de manière régulière. Le transfert régulier des charges de signal va maintenant être discuté d'une manière plus détaillée. Les formes d'onde des signaux d'horloge présentées sur la figure 5 expliquent graphiquement le transfert de charges de signal des registres CCD verticaux 2 aux premier et deuxième registres CCD horizontaux 4A et 4B, lequel transfert est effectué pendant la période de suppression horizontale. L'ensemble des diagrammes présentés sur les figures 6A à 6D montrent comment les charges de signal sont transférées pendant une période spécifique correspon- dant aux instants ta à td de la figure 5. Comme représenté sur la figure 6A, les charges de signal G1, Q2, Q3,... sont emmagasinées sous les électrodes emmagasinant les signaux d'horloge eV3 et 6V4 du registre CCD vertical, comme représenté sur la figure 6A. Le signal d'horloge 6BG présent sur la grille de sortie 3 du registre CCD vertical 2 est de niveau bas "L". A cet instant, les premier et deuxième signaux d'horloge de phase éH1 et 6H2 du registre CCD horizontal sont respectivement de niveau haut "H" et bas "L". Ensuite, le signal d'horloge iBG permettant de valider la grille de sortie 3 du registre CCD vertical 2 passe au niveau haut "H" et les signaux d'horloge eV3 et 6V4 du registre CCD vertical 2 passe au niveau bas "L". A l'instant tb, des charges de signal Q1, Q2,... sont transférées jusqu'au-dessous de la grille de sortie 3. A cet instant, le signal d'horloge 6H1 est au niveau haut "H" et le signal d'horloge 6H2 est au niveau bas "L", de manière à élever le potentiel de canal des registres CCD horizontaux 4A et 4B sous le registre CCD vertical 2 de rang impair. Alors, les charges de signal Q1, Q3,... sont tranférées au canal du premier registre CCD horizontal 4A. A cet instant, le signal d'horloge 6HG présent sur la grille de transfert 5 entre les registres CCD horizontaux 4A et 4B a été mis dans le niveau haut "H", les charges de signal Q1, Q3,..., qui ont été transférées au canal du premier registre CCD horizontal 4A sont transférées sans changement au canal du deuxième registre CCD horizontal 4B, après être passées sous la grille de transfert 5. Comme on le rappellera, le potentiel de canal du deuxième registre CCD horizontal 4B est plus élevé que celui du premier registre CCD horizontal 4A. De plus, la couche de collec- teur 8B se trouvant au même potentiel que le canal du deuxième registre CCD horizontal 4B est formée dans la partie de canal de transfert se trouvant sous la grille de transfert 5. Dans ces conditions, les charges de signal se transfèrent complètement et sans aucune diaphonie dans le deuxième registre CCD horizontal 4B, en provenance du canal du premier registre CCD horizontal 4A. Les charges de signal Q2 du registre CCD vertical 2 de la colonne de rang pair s'arrêtent de circuler sous la grille de sortie 3, puisque le potentiel de canal du registre CCD horizontal 4A se trouvant sous le registre CCD vertical est bas. Ceci est illustré sur la figure 6B. A l'instant tc, les signaux d'horloge éBG et 6HG sont au niveau bas "L", et la grille de sortie 3 et la grille de transfert 5 sont non conductrices, et le signal d'horloge 6H2 est au niveau haut "H". A cet instant, les charges de signal Q2 sont transférées au canal du premier registre CCD horizontal 4A. Le courant des charges de signal Q2 s'arrête dans le canal du premier registre CCD horizontal 4A, et les charges ne sont jamais trans- férées au deuxième registre horizontal 4B, puisque le potentiel sous la grille de transfert 5 située entre les registres CCD horizontaux 4A et 4B est inférieur au potentiel du canal. La raison en est la suivante. Sous le registre CCD vertical de la colonne de rang pair, la région de canal du premier registre CCD horizontal 4A et la région 8A de la grille de transfert 5 se trouvent au même potentiel lorsqu'une même polarisation leur est appliquée. Puisque le signal d'horloge ëHG de la grille de transfert 5 est bas "L" et le signal d'horloge iH2 est haut "H", une barrière de potentiel séparant les canaux se forme dans la région 8A. De cette manière, les charges de signal du registre CCD vertical 2, celles des colonnes de rangs pair et impair, sont distribuées dans les premier et deuxième registres CCD horizontaux 4A et 4B. La phase de transfert des charges de signal est donc décalée vers les transferts de canal dans les premier et deuxième registres CCD 4A et 4B. L'état de transfert des charges de signal Q1, Q2,... indi- qué sur la figure 6 s'obtient lorsque le signal d'horloge dH1 passe d'abord au niveau bas "L", c'est-à-dire à l'instant td. Ensuite, les charges de signal sont transférées en parallèle à grande vitesse aux bornes de sortie des registres CCD horizontaux 4A et 4B, par le procédé bien connu de l'excitation biphasée. Les charges de signal transférées en parallèle se voient appliquer un déphasage mutuel de 180 et sont ajoutées ensemble, pour constituer le signal électrique d'une ligne. L'addition est appliquée aux signaux lorsque ceux-ci sont sous la forme de charges et la somme résultante est délivrée à l'extérieur via une unique borne de sortie. Selon une autre possibilité, on peut faire sortir ces signaux séparément de la puce et les ajouter ensemble dans un circuit externe. Comme on peut le voir à l'aide de la description précé- dente, dans ce mode de réalisation, les concentrations en impureté de canal des premier et deuxième registres CCD horizontaux diffèrent l'une de l'autre. Aucun élément d'arrêt de canal supplé- mentaire n'est prévu sous la grille de transfert entre les premier et deuxième registres CCD horizontaux. La couche de collecteur est disposée à la partie nécessitant le transfert de charges entre les premier et deuxième registres CCD horizontaux. Ainsi, l'effet de canal étroit ne se produit jamais sous la grille de transfert dans la partie demandant le transfert de charges vers le deuxième registre CCD horizontal, ce qui assure un bon transfert de charges entre les canaux. Ceci indique qu'il est possible de reproduire librement des images de qualité élevée à partir de paires de lignes en noir et blanc verticales. De plus, puisque l'électrode de transfert est prévue en. commun pour les premier et deuxième registres CCD horizontaux, le câblage des signaux d'horloge vers ces électrodes de transfert est facilité. Bien qu'aucun élément d'arrêt de canal particulier ne soit prévu entre les registres CCD horizontaux, la partie demandant le transfert de charges entre les canaux comporte une couche de collecteur, dont la concentration en impureté est approximativement égale à la concentration en impureté de canal du deuxième registre CCD horizontal. Cette particularité résout parfaitement le problème de diaphonie suivant lequel les charges de signal fuient dans unétage de transfert adjacent lorsque les charges de signal sont transférées du premier registre CCD horizontal au deuxième registre CCD horizontal. Ce fait contribue également à améliorer la qualité de l'image. Quant au transfert des charges de signal par les premier et deuxième registres CCD horizontaux 4A et 4B, les parties qui sont adjacentes à leurs zones de détection d'image possèdent des impuretés de canal différentes, mais ceci affecte peu le signal de sortie. On discutera cet aspect en détail en relation avec la figure 4. Sur la figure 4, les distributions des potentiels de canal des premier et deuxième registres CCD horizontaux 4A et 4B sont représentées en chevauchement mutuel. Comme décrit, dans les régions voisines de la zone de détection d'image, c'està-dire les régions d'injection des charges, les concentrations en impureté de canal des premier et deuxième registres CCD horizontaux 4A et 4B diffèrent l'une de l'autre, si bien que les potentiels des canaux de transfert sont différents, comme indiqué par les lignes en trait continu et en trait interrompu de la figure 4. Toutefois, la con- centration en impureté de canal est uniforme entre les deux registres CCD horizontaux 4A et 4B, sur l'étendue allant de l'étage de transfert voisin de la partie de sortie jusqu'à l'électrode de grille de sortie 10, les couches 11A et 11B des bornes de sortie, les électrodes de grilles de repositionnement 12A et 12B, et les couches de drains de repositionnement 13A et 13B. Ainsi, les condi- tions de transfert et de délivrance des charges de signal ne sont pas différentes dans ces régions. En résultat, les formes d'onde des signaux de sortie des premier et deuxième registres CCD hori- zontaux 4A et 4B ne diffèrent pas, ce qui empêche la production d'un bruit périodique dans l'image reproduite. Alors que des éléments de détection d'image à double ligne ont été décrits dans le mode de réalisation ci-dessus présenté, l'invention peut être appliquée à d'autres cas, compor- tant trois rangées, ou plus, de registres CCD horizontaux. En particulier, dans le cas d'un type à trois lignes, un filtre à bandes de couleurs est prévu sur la colonne de photodiodes, les signaux de couleur R (rouge), G (vert), et B (bleu) sont respecti- vement distribués suivant trois rangées de registres CCD horizon- taux, et ils sont lus en parallèle. Ceci est une particularité utile. Un mode de réalisation d'un tel détecteur d'image du type IT-CCD à trois lignes selon l'invention va maintenant être décrit. Une partie principale de ce mode de réalisation est représentée sur la figure 7, en relation avec la figure 2. Dans ce mode de réalisa- tion, la concentration en impureté de canal du deuxième registre CCD horizontal 4B est fixée à une valeur plus élevée que celle du premier registre CCD horizontal 4A. La concentration en impureté de canal d'un troisième registre CCD horizontal 4C est fixée à une valeur plus élevée que celle du deuxième registre CCD horizontal 4A. Sous la grille de transfert 51 située entre les premier et deuxième registres CCD horizontaux 4A et 4B, une couche de collec- teur de charges de signal 8B destinée à faire fonction de canal de transfert est disposée à la place correspondant aux deux canaux des registres CCD verticaux. Une autre région 8A possède la même concentration en impureté que le canal du premier registre CCD horizontal 4A. Sous la grille de transfert 52 située entre Les deuxième et troisième registres CCD horizontaux 4B et 4C, une couche de collecteur de charges de signal 18A ayant la même concen- tration en impureté que le canal du troisième registre horizontal 4C est disposée à la place correspondant à un canal de registre CCD vertical. Une autre région 18B possède la même concentration en impureté que le canal du deuxième registre CCD horizontal 4B. Les grilles de transfert 6 et 7 de'ces registres CCD horizontaux 4A, 4B et 4C sont excitées par des signaux d'horloge triphasés e1 à 63. Avec cette excitation, les charges de signal de trois registres CCD verticaux 2 adjacents peuvent être respectivement distribuées entre les trois registres CCD horizontaux 4A à 4C. Pour exciter suivant deux phases le transfert des charges de signal dans les registres CCD horizontaux 4A à 4C, il suffit simplement de connecter ensemble deux lignes de signaux d'horloge. En outre, la région située dans le voisinage des parties desortie de ces quatres registres 4A à 4C doit avoir la même concentration en impureté que celle du troisième registre CCD horizontal 4C comportant le canal de plus grande concentration. De plus, dans ce mode de réalisation, les charges de signal peuvent être transférées complètement entre les registres CCD horizontaux, ce qui contribue à améliorer les images repro- duites. Alors que cette invention a été décrite à l'aide d'un détecteur d'image du type IT-CCD incorporant l'invention, on comprendra que l'invention peut également être appliquée à un capteur d'image CCD du type à transfert d'image complète. Bien entendu, l'homme de l'art sera en mesure d'imaginer, à partir du détecteur dont la description vient d'être donnée à titre simplement illustratif et nullement limitatif, diverses variantes et modifications ne sortant pas du cadre de l'invention. 261198? REVENDICATIONS 1. Détecteur d'image CCD possédant plusieurs registres CCD horizontaux (4A, 4B) servant à lire les charges de signal qui sont emmagasinées dans une zone de détection d'image possédant des cellules (1) de détection d'image disposées suivant un réseau matriciel, la lecture des charges de signal étant effectuée pour chaque ligne horizontale, caractérisé en ce que les divers registres CCD horizontaux (4A, 4B) sont disposés de façon qu'un registre éloigné de ladite zone de détection d'image aura une con- centration en impureté dans son canal enterré d'autant plus élevée qu'il est éLoigné de ladite zone de détection d'image. 2. Détecteur d'image CCD selon la revendication 1, caracté- risé en ce que ladite zone de détection d'image comporte des cellules (1) de détection d'image disposées suivant un réseau ma- triciel et plusieurs registres CCD verticaux (2) disposés entre les réseaux linéaires verticaux desdites cellules de détection d'image, afin de lire les charges de signal venant desdites cellules de détection d'image. 3. Détecteur d'image CCD possédant plusieurs registres CCD horizontaux (4A, 4B) servant à lire les charges de signal qui sont emmagasinées dans une zone de détection d'image possédant des cellules (1) de détection d'image disposées suivant un réseau ma- triciel, la lecture des charges de signaux étant effectuée pour chaque ligne horizontale, caractérisé en ce que lesdits dispositifs CCD horizontaux (4A, 4B) sont disposés de façon qu'un registre qui est placé loin de ladite zone de détection d'image aura une concen- tration en impureté dans ses canaux enterrés d'autant plus élevée que le registre est éloigné de ladite zone de détection d'image, et en ce que, sous la grille de transfert (5) placée entre lesdits registres CCD horizontaux, une couche de collecteur (8B) est sélec- tivement formée dans la région o les charges de signal sont transférées au registre CCD horizontal (4B) placé loin de la zone de détection d'image, après croisement du canal des registres CCD horizontaux (4A) placés plus près de la zone de détection d'image, 261 1987 ladite couche de collecteur ayant la même concentration en impureté que le canal du registre CCD horizontal (4B) placé loin de ladite zone de détection d'image. 4. Détecteur d'image CCD selon la revendication 3, caracté- risé en ce que ladite zone de détection d'image comporte des cellules (1) de détection d'image disposées en un réseau matriciel et plusieurs registres CCD verticaux (2) disposés entre les réseaux linéaires verticaux desdites cellules (1) de détection d'image, afin de lire les charges de signal dans lesdites cellules de détec- tion d'image (1). 5. Détecteur d'image CCD selon la revendication 1 ou 3, caractérisé en ce que la concentration en impureté de canal dans le voisinage de l'étage de sortie de tous lesdits registres CCD hori- zontaux (4A, 4B) est fixée à une valeur égale à la plus grande concentration en impureté de canal desdits registres CCD horizon- taux (4A, 4B). 6. Détecteur d'image CCD selon la revendication 1 ou 3, caractérisé en ce que lesdits registres CCD horizontaux (4A, 4B) possèdent des grilles de transfert (6, 7) en commun.