Brevet FR2616219A1 — publié le 19881209

L'invention concerne un système de mesure de distance utilisable convenablement dans un appareil photolithographique de fabrication de dispositif à microcircuit semiconducteur, tel qu'un appareil d'aligne- ment de masse ou un appareil de cadrage pas à pas, pour détecter la position ou l'amplitude du mouvement d'une platine porte-masque et d'une platine porte-tranche. Pour une utilisation dans des appareils de cadrage pas à pas ou d'alignement dans la fabrication de dispositifs à microcircuit semiconducteur, de nombreuses variétés de systèmes de mesure de distance ont été proposées et mises au point. En ce qui concerne les systèmes de mesure de distance ayant une résolution de l'ordre de 1 micromètre à 1 nanomètre, il existe un procédé utilisant l'interférence d'un faisceau laser, un procédé à transformateur différentiel précis, un procédé utilisant une variation d'inductance, un procédé utilisant une variation de capacité électrostatique, etc. Parmi ces procédés, celui utilisant l'interférence d'un faisceau laser assure une résolution de l'ordre de 1 nm, en même temps qu'une longueur mesurable suffisante qui n'est pas inférieure à 100 mm. Il est donc utilisé de façon prépondé- rante dans la mesure de distances dans des appareils d'alignement ou de cadrage. Par ailleurs, le procédé utilisant la variation d'inductance ou de capacité électrostatique n'est pas prépondérant, car l'intervalle mesurable est étroit. Le procédé à transformateur différentiel précis est utilisé dans de nombreuses applications, car la structure demandée est simple. Cependant, étant donné que sa sensibilité de détection maximale (résolution) est de l'ordre de 30 nm, ce procédé est habituellement adopté pour les mesures dans lesquelles la résolution demandée est d'un ordre de grandeur de 100 nm. En outre, l'intervalle mesurable pouvant être atteint par ce procédé est de 10 à 20 mm, ce qui est insuffisant pour réaliser une mesure dans un appareil d'alignement dans lequel une longueur non inférieure à 100 mm doit être mesurée. De plus, dans le cas du procédé utilisant l'interférence d'un faisceau laser, il existe des problèmes de stabilité de la source du faisceau laser et de déforma- tion thermique d'une partie irradiée par le faisceau laser, lesquels problèmes doivent être résolus pour que l'on obtienne une mesure stable de distance à la précision de 1 nm. Un objet de l'invention est de proposer un système nouveau et inédit de mesure de distance capable d'atteindre un large intervalle mesurable et une haute résolution de mesure. En bref, l'invention propose un système de mesure de distance qui utilise un dispositif supraconduc- teur à interférences quantiques (appelé simplement ci-après "SQUID") et qui parvient à une mesure de distance de la précision du nanomètre. Plus particulièrement, conformément à un aspect de l'invention, pour réaliser l'objet ci-dessus, il est proposé un dispositif de mesure de distance qui comprend: des moyens de production d'un champ magnétique; des moyens de détection d'un flux magnétique comportant un.SQUID; des moyens de traitement de signaux et un blindage supraconduc- teur. A l'intérieur d'un espace clos, protégé des champs magnétiques extérieurs par le blindage supraconducteur, et dans un champ magnétique produit par les moyens de production du champ magnétique, les moyens de détection du flux magnétique détectent une densité de flux magnétique. D'après un signal de sortie des moyens de détection de flux magnétique, les moyens de traitement de signaux travaillent de façon à déterminer la position d'un objet couplé au SQUID ou la distance du mouvement de cet objet. Dans la structure décrite, la quantité de flux magnétique passant à travers un SQUID placé dans le champ magnétique et maintenu dans un état supraconducteur est détectée par les moyens de détection de flux magnétique sous la forme d'un signal de tension électrique qui varie, du fait de l'action du SQUID, périodiquement avec une période unitaire correspondant à l'amplitude de la variation, dans la quantité de flux magnétique, égale à un quantum de flux intrinsèque. Les moyens de détection du flux magnétique délivrent un tel signal de tension électrique. Lorsque le dispositif SQUID se déplace, les moyens de traitement des signaux comptent, sur la base du signal de tension électrique délivré par les moyens de détection du flux magnétique durant le mouvement, les variations affectant la quantité de flux magnétique qui a été changée pendant le mouvement, en prenant comme unité le quantum de flux. A ce moment, la quantité de flux magnéti- que passant & travers le SQUID dépend de la position du SQUID pourvu que le champ magnétique soit maintenu constant. En conséquence, à partir de la relation entre la quantité de flux magnétique et la position du SQUID, qui a été détectée au préalable, et à partir du nombre compté comme décrit ci-dessus, il est possible de détecter la distance du mouvement dans l'unité (résolution) du quantum de flux. L'invention sera décrite plus en détail en regard des dessins annexés à titre d'exemples nullement limitatifs et sur lesquels: - la figure 1 est une vue schématique en perspective montrant la structure d'un système de mesure de distance selon une première forme de réalisation de l'invention; - la figure 2 est une vue schématique en coupe d'un moyen de refroidissement utilisé dans le système de mesure de distance de la première forme de réalisation; - la figure 3 est une vue schématique en perspective montrant la structure d'un dispositif SQUID à courant continu utilisé dans le système de mesure de distance de la forme de réalisation de la figure 1; - la figure 4 est un graphique montrant la caractéristique de tension en fonction du flux magnétique du SQUID à courant continu; - la figure 5 est une vue schématique en perspective montrant la structure d'une deuxième forme de réalisation du système de mesure de distance selon l'invention; - la figure 6 est une vue schématique en perspective montrant une forme modifiée de cette deuxième forme de réalisation; - la figure 7 est un graphique montrant la distribution de la densité du flux magnétique dans le système de mesure de distance de la deuxième forme de réalisation; et - la figure 8 est une vue schématique en perspective montrant la structure d'une troisième forme de réalisation du système de mesure de distance selon l'invention. La figure 1 est une vue schématique montrant la structure d'une première forme de réalisation du système de mesure de distance selon l'invention. Sur la figure 1, la référence numérique 7 désigne un dispositif supraconducteur à interférences quantiques, du type utilisant une polarisa- tion par courant continu (SQUID à courant continu) qui est agencé de façon à détecter un flux magnétique et à produire un signal correspondant à la densité du flux magnétique. Le SQUID 7 à courant continu est fixé à une partie mobile 8. Des fils conducteurs partant du SQUID 7 sont connectés à une unité 9 de traitement dans laquelle les signaux provenant du SQUID 7 sont traités par un calculateur. Un aimant 10 à samarium-cobalt (SmCo), opposé au SQUID 7 à courant continu, est magnétisé dans la direction de la' flèche A le long de laquelle le SQUID 7 peut se déplacer. L'aimant 10 est disposé de façon que son axe central coïncide avec celui du SQUID 7 dans la direction de son mouvement. Le SQUID 7 à courant continu, la partie mobile 8 et l'aimant 10 sont logés dans un bottier blindé 14 comportant un revêtement intérieur formé d'une matière supraconductrice. Le boîtier 14 lui-même est réalisé en un métal tel que l'acier inoxydable et est formé sous une configuration analogue à une boîte. Ainsi qu'on peut mieux le voir sur la figure 2, le boîtier 14 est disposé dans un bac 15 afin de permettre au boîtier 14 d'être refroidi dans son ensemble par un milieu réfrigérant convenable 16, par exemple de l'azote liquide ou de l'hélium liquide. Le bac 15 comporte une structure à double paroi réalisée en métal tel que de l'acier inoxydable. L'espace intérieur 15a compris entre les parois est maintenu sous vide. Une partie supérieure du bac 15 présente une ouverture 15b qui permet l'introduction du milieu réfrigé- rant 16 et l'évacuation d'un gaz vaporisé. En outre, il est formé, dans la surface latérale du bac 15, une ouverture c qui est prévue pour permettre à la partie mobile 8 de faire saillie vers l'extérieur du bac 15. Pour empêcher toute fuite du milieu réfrigérant 16 contenu dans le bac 15, la partie extrême ouverte du boîtier 14 est en contact intime avec cette partie à ouverture 15c, comme montré. Dans le cas o la partie mobile 8 se déplace verticalement et non horizontalement comme dans l'exemple illustré, l'ouverture 15b peut être supprimée et la partie extrême ouverte du bottier 14 peut être formée de façon à être espacée du bac afin que l'ouverture 15c puisse aussi assumer la fonction de l'ouverture 15b. La figure 3 est une vue schématique illustrant à échelle agrandie la structure du SQUID 7 à courant continu. Ainsi qu'il est connu dans la technique, un SQUID (dispositif supraconducteur a interférences quantiques) peut être mis en oeuvre comme un dispositif de détection de flux magnétique qui a pour fonction de détecter un flux magnétique en utilisant l'effet Josephson qui peut être observé dans l'état supraconducteur. Comme montré sur la figure 3, un SQUID peut être obtenu par la formation de deux films minces supraconducteurs 2 et 2' sur une plaque de base 1 par la mise en oeuvre d'une technique de formation de films minces, les films minces supraconduc- teurs 2 et 2' étant formés en circuit fermé ou en anneau, - avec l'interposition de couches isolantes 3 et 3'. Dans la présente forme de réalisation, les films minces 2 et 2' sont réalisés sous la forme d'un élé- ment en matière semiconductrice d'un SQUID à courant continu, ayant deux liaisons faibles: les deux films minces 2 et 2' étant formés d'abord par réalisation d'un élément à film mince d'une épaisseur de 3 micromètres au moyen de céramiques telles que, par exemple Y-Ba-Cu-0 ou Ba-La-Cu-0, puis par formation, par photographie, de l'élément à film mince en une forme analogue à une fenêtre, ayant une largeur de bande de 50 micromètres et une surface de la partie de détection du flux magnétique de 0,5 mm2. En ce qui concerne les parties 3 et 3' à couche isolante, on utilise une matière du type Si02, d'une épaisseur de 0,005 micromètre. - Lorsque, en fonctionnement, un flux magnétique 4 passe, comme montré sur la figure 3, à travers le SQUID qui est formé de la manière décrite et qui est l'état supraconducteur, un moyen 5 de détection de tension, connecté électriquement aux films minces 2 et 2', peut détecter la variation de la tension électrique correspon- dant à la quantité de flux magnétique 4 traversant le SQUID. Comme décrit, un SQUID à courant continu tel que celui représenté en 7 est caractérisé par le fait que deux liaisons faibles (qui correspondent aux couches isolantes 3 et 3') sont prévues et que le moyen de détection de tension utilisé est du type qui détecte un courant électrique continu. La relation entre le flux magnétique 4 et la tension électrique d'un SQUID est, comme illustré sur la figure 4, représentée par des changements répétés analogues & des vagues, variant de façon répétée avec la quantité du flux magnétique (l'axe des abscisses). Pour engendrer une telle tension électrique, un courant de polarisation proche du courant critique pour le SQUID 7 à courant continu est nécessaire et ce courant est fourni par un moyen 6 de production de courant de polarisation. Sur la figure 4, la tension V change périodiquement à intervalles de 00, et la valeur 00 est une quantité de flux magnétique intrinsèque qui peut être représentée par 2,07 x 10-15 Wb et qui est appelée le "quantum de flux". On voit, d'après ce qui précède, que, lorsque, dans la forme de réalisation de la figure 1, le SQUID 7 à courant continu se déplace par rapport à l'aimant 10 qui est une source produisant un flux magnétique, les carac- téristiques de tension électrique telles que celles montrées sur la figure 4 sont obtenues de manière que, en mesurant ou en comptant le nombre de crêtes de la tension électrique, on puisse mesurer la distance du mouvement du SQUID 7. Plus particulièrement, si, par exemple, l'aimant permanent 10 est d'un type dans lequel une densité de flux magnétique de l'ordre de 0,5 tesla est formée à sa surface et une densité de flux magnétique de 0,005 tesla est détectée en un point espacé de 100 mm de l'aimant 10, il apparaît alors une variation de la densité du flux magnétique de 1 x 10-4 tesla par mm. On comprendra que si, dans un tel cas, la partie détectrice de flux magnétique du SQUID à courant continu présente une surface de 1 mm2, des quanta de flux 40 (crêtes) d'un nombre de 10-5 sont comptés pour un mouvement du SQUID sur 1 mm. Autrement dit, une distance de 10 nm peut être détectée pour un quantum de flux 40. Dans le même temps, si des améliorations futures du comportement de la partie 5 de détection de tension permettent de détecter la phase de chaque quantum de flux 00, c'est-à-dire l'état de la variation de la tension entre no0 et (n+l)O0 sur la figure 4 (o n est un nombre entier), il pourrait être aisément possible d'atteindre une résolution de 10-3 00, c'est-à-dire la précision de mesure de distance de 0,1 nm (1A). En conséquence, en utilisant convenablement, en association, le comptage de quanta de flux 0 et la détection de phase (avec la résolution de 10-3), on pourrait parvenir à mesurer une distance avec une résolution très élevée de l'ordre de 0,1 nm, sur un large intervalle et de façon efficace et rapide. Cependant, dans ce cas, il est nécessaire de détecter à l'avance la relation entre la distance et la quantité de flux magnétique. Dans la présente forme de réalisation décrite précédemment, un aimant permanent 10 est utilisé comme source de production d'un flux magnétique. Cependant, compte tenu de la possibilité de fluctuation ou de variation, avec le temps, de la magnétisation d'un aimant permanent, un courant permanent, retenu par un supraconduc- teur, peut être utilisé comme source de production d'un flux magnétique, sans faire appel à un aimant permanent. Dans ce cas, il est possible de déterminer à l'avance et avec précision, par le calcul, les densités de flux magnétique en différents emplacements. La quantité de mouvement peut donc être mesurée en tant que valeur absolue. Dans la mesure utilisant un SQUID, les bruits extérieurs constituent un problème à prendre en considéra- tion. Dans la présente forme de réalisation, le dispositif de mesure, dans son ensemble, est protégé par un supracon- ducteur (boîtier blindé 14). Par conséquent, du fait de l'effet Meissner, aucun champ magnétique parasite provenant de l'extérieur ne se mélange dans le dispositif de mesure et, en conséquence, on peut atteindre une mesure de haute précision. Récemment, on a trouvé successivement plusieurs matières qui sont supraconductrices à une température non inférieure a la température de l'azote liquide (77 'K). En utilisant une ou plusieurs de ces matières, il est possible d'assurer la mise en supraconductivité du SQUID, de l'élément supraconducteur et du blindage, décrits ci- dessus, à une température non inférieure à 77 'K. Dans la présente forme de réalisation, la direction de magnétisation de l'aimant 10 coincide avec la direction du mouvement du SQUID 7. Cependant, compte tenu de la possibilité de détection préaiable de la relation entre la densité de flux magnétique et la position, ceci n'est pas toujours nécessaire. Il convient cependant de noter que la probabilité d'apparition d'une erreur de mesure, dans le cas o un SQUID utilisé est dévié verti- calement et/ou horizontalement, est la plus basse avec la présente forme de réalisation. La figure 5 est-une vue schématique montrant la structure d'une deuxième forme de réalisation du système de mesure de distance selon l'invention. Un SQUID 7 à courant continu, montré sur la figure 5, possède la même structure que celle utilisée dans la première forme de réalisation, de sorte que la distance d'un mouvement peut être mesurée selon le même principe. Dans le système de mesure de distance de la forme de réalisation de la figure 5, quatre éléments supraconduc- teurs lla, llb, llc et lld sont utilisés et disposés symétriquement par rapport aux directions verticale et horizontale afin d'établir un gradient de flux tel que montré sur la figure 7. Plus particulièrement, les éléments supraconducteurs lia et llb (llc et lld) sont disposés symétriquement par rapport à un plan qui contient le SQUID 7 et qui est parallèle à un plan X-Y. De plus, la paire d'éléments supraconducteurs lia et.11b et la paire d'éléments supraconducteurs lic et lld sont disposés symétriquement par rapport à un plan qui est parallèle au plan Y- Z. De plus, chacun des éléments supraconducteurs lila à lld est disposé à peu près parallèlement à l'axe Y. En outre, ces éléments supraconducteurs sont disposés de manière que l'intervalle L2 entre les éléments supraconduc- teurs, dans la direction du mouvement du SQUID 7 (c'est-à- dire la direction de l'axe X) soit suffisamment grand, en comparaison avec l'intervalle LI entre les éléments supraconducteurs dans la direction verticale (c'est-à-dire la direction de l'axe Z). Le SQUID 7 à courant continu est relié à un élément mobile, non représenté, et est déplacé le long d'un axe central qui est contenu dans un plan central de référence qui est un plan contenant le SQUID 7 et qui s'étend parallèlement au plan X-Y. La structure décrite dans son ensemble est logée dans un boîtier 14 à blindage supraconducteur, comme dans le cas de la forme de réalisation de la figure 1. En outre, les quatre éléments supraconducteurs lla-lld sont connectés mutuellement, à l'extérieur du boîtier blindé, au moyen d'un supraconduc- teur afin que des courants électriques puissent circuler dans la même direction à travers ces éléments supraconduc- teurs. Avec la structure décrite, des courants permanents circulant dans les éléments supraconducteurs lia à lld produisent un champ magnétique et, pour cette raison, le champ magnétique produit est tout à fait stable. De plus, étant donné que chaque élément supraconducteur s'étend parallèlement à l'axe Y, le champ électrique produit n'engendre pas une variation de flux magnétique 261621v avec la translation du SQUID dans la direction Y. En outre, en ce qui concerne la translation du SQUID dans la direction verticale (direction de l'axe Z), la présence de deux éléments supraconducteurs alignés verticalement (lia et llb; lic et lld), espacés de l'intervalle L1 qui est assez petit par rapport à l'intervalle L2, empêche efficacement le flux magnétique de varier de façon importante. En conséquence, la structure décrite présente une bonne stabilité. Lorsque, dans la structure décrite, le SQUID 7 à courant continu se déplace dans la direction X, la densité du flux magnétique change de façon sensiblement linéaire comme montré sur la figure 7. Par conséquent, la mesure ou le réglage de la distance du mouvement est très aisé. De plus, pour améliorer encore la linéarité de la variation du flux magnétique, des éléments supraconducteurs auxiliaires tels qu'indiqués en 17a à 17d sur la figure 6 peuvent être utilisés et disposés parallèlement aux éléments supraconducteurs lia à lld et d'une manière telle que les mêmes conditions de position que celles décrites en référence aux paires d'éléments supraconducteurs lia à lic soient satisfaites par les paires d'éléments supraconduc- teurs 17a à 17d. Bien que, dans l'exemple de la figure 6, les éléments supraconducteurs 17a et 17b (17c et 17d) soient placés entre les éléments supraconducteurs lia et llb (lic et l1d), les premiers peuvent être disposés de façon à encadrer les seconds. En résumé, ces éléments supraconducteurs auxiliaires peuvent être disposés dans des emplacements souhaités en tenant compte de la linéarité de la variation de la densité du flux magnétique. De plus, pour la régulation d'un courant permanent dans un élément supraconducteur, un SQUID supplémentaire peut être prévu et disposé dans une position autre que le boîtier blindé 14 décrit ci-dessus. En utilisant un tel SQUID supplémentaire dans une relation de 26 1 621 position fixe avec les éléments supraconducteurs lla à lld et en utilisant le SQUID supplémentaire en tant qu'élément de contrôle du courant électrique, il est possible de réguler aisément le courant électrique avec une précision de 10-3 0o. Dans la présente forme de réalisation, il est possible de détecter à l'avance, par calcul numérique, les densités de flux magnétique en différents points et ceci peut être réalisé avec une très grande précision. Par conséquent, l'amplitude du mouvement peut être mesurée et exprimée en valeur absolue. La figure 8 est une vue schématique montrant la structure d'un système de mesure de distance selon une troisième forme de réalisation de l'invention. Comme montré sur la figure 8, le système de mesure de cette forme de réalisation comprend des moyens de production d'un champ magnétique qui comportent quatre éléments supraconducteurs 12a, 12b, 12c et 12d analogues à des barreaux. Ces éléments supraconducteurs 12a à 12d s'étendent à peu près parallèle- ment à un axe Z et sont disposés comme s'ils étaient placés aux quatre angles d'un carré s'étendant dans un plan X-Y. Ainsi, l'intervalle L3 entre les éléments 12b et 12d (12a et 12c) dans la direction X est sensiblement égal à l'intervalle L4 entre les éléments 12a et 12b (12c et 12d) dans la direction Y. En outre, le système de mesure de distance est agencé de façon que des courants électriques circulent dans le même sens dans les éléments supraconduc- teurs 12a à 12d, de même que dans la forme de réalisation précédente. De plus, comme dans la forme de réalisation précédente, la structure illustrée est isolée dans son ensemble par un blindage supraconducteur. - Une table 13, présentant une surface X-Z et une surface Y-Z sur laquelle sont prévus respectivement un SQUID 7 et un autre SQUID 7', est disposée approximative- ment au centre de l'espace intérieur délimité par les quatre éléments supraconducteurs 12a à 12d. Par conséquent, les SQUID 7 et 7' peuvent être mis en oeuvre pour détecter des variations affectant les composantes orthogonales, dans les directions X et Y, du flux magnétique tel que produit par les éléments supraconducteurs 12a à 12d. La table 13 est reliée & un élément mobile (non représenté). Avec la structure décrite, il est possible de mesurer un mouvement bidimensionnel de l'élément mobile non représenté, dans les directions X et Y, en traitant les signaux provenant des SQUID 7 et 7'. En conséquence, la présente forme de réalisation constitue un système de mesure de distance bidimensionnelle de haute précision. Bien que quatre éléments supraconducteurs soient utilisés dans la présente forme de réalisation, deux éléments supraconducteurs, ou un nombre supérieur et souhaité de ces éléments supraconducteurs, peuvent être utilisés en fonction de la dimension de l'intervalle de mouvement de l'élément mobile. Par exemple, trois éléments supraconducteurs peuvent être disposés aux trois angles d'un triangle tel que vu dans le plan X-Y. Même dans ce cas, la densité du flux magnétique peut être calculée et on peut donc parvenir à une mesure bidimensionnelle en valeur absolue. La présente invention n'est pas limitée aux formes de réalisation décrites précédemment. De nombreuses modifications sont possibles dans le cadre de l'invention. Par exemple, un SQUID à courant continu utilisé dans les formes de réalisation précédentes pour détecter un flux magnétique peut être remplacé par un SQUID & courant alternatif (radiofréquence) qui a pour caractéristique avantageuse d'éliminer les bruits. Un tel dispositif permet d'obtenir une mesure de distance avec sensiblement les mêmes caractéristiques. Conformément à l'invention telle que décrite précédemment, un champ magnétique est engendré à l'inté- rieur d'un blindage supraconducteur et, dans ce blindage, est prévu un dispositif supraconducteur à interférences quantiques (SQUID) pour détecter un flux magnétique par lequel la position ou la distance du mouvement de ce dispositif est détectée ou mesurée. On obtient ainsi divers effets avantageux dont des exemples sont donnés ci- dessous: (1) Un large intervalle de mesure peut être atteint; (2) La structure d'un dispositif supraconduc- teur à interférences quantiques utilisé dans le système de mesure de distance ainsi que la structure du système de mesure de distance sont simples; (3) Lorsque quatre éléments supraconducteurs, ou plus, sont utilisés comme moyens de production d'un champ magnétique, la distance peut être mesurée et exprimée en valeur absolue; (4) Lorsque deux dispositifs supraconducteurs à interférences quantiques sont utilisés comme moyens de détection d'un flux magnétique et lorsqu'ils sont disposés de façon que leurs surfaces de détection de flux magnétique s'étendent perpendiculairement entre elles, il est possible d'effectuer une mesure dans deux dimensions dans un champ magnétique produit par des moyens de production de champ magnétique qui comprennent au moins deux éléments supracon- ducteurs. Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées au système décrit et représenté sans sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Système de mesure de distance, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens (10) destinés à produire un champ magnétique prédéterminé, des moyens de détection d'un flux magnétique comportant un dispositif supraconducteur à interférences quantiques (7) relié à un élément mobile, ces moyens de détection de flux magnétique pouvant fonctionner de façon a produire des signaux correspondant à des variations du flux magnétique, dans le champ magnétique, qui passe à travers le dispositif supraconducteur à interférences quantiques, des moyens (9) de traitement de signaux pouvant fonctionner à partir des signaux provenant des moyens de détection de flux magnétique de façon à détecter la position ou la distance du mouvement, ou les deux, de l'élément mobile et un blindage (14) destiné à protéger d'un champ magnétique extérieur, par l'utilisation d'un supraconducteur, au moins les moyens de production de champ magnétique et les moyens de détection de flux magnétique. 2. Système selon la revendication 1, carac- térisé en ce qu'il comporte en outre des moyens de refroidissement (15, 16) destinés à maintenir les moyens de détection du flux magnétique et le blindage dans un état supraconducteur. 3. Système selon la revendication 1, carac- térisé en ce que les moyens de production d'un champ magnétique comprennent un aimant permanent (10). 4. Système selon la revendication 1, carac- térisé en ce que les moyens de production d'un champ magnétique comprennent quatre éléments supraconducteurs (11a à lld) qui ont pour effet de produire un champ magnétique en utilisant des courants électriques les parcourant, les éléments supraconducteurs étant disposés perpendiculairement à la direction du mouvement du dispositif supraconducteur à interférences quantiques et symétriquement par rapport à une direction verticale, et ces éléments supraconducteurs s'étendant aussi parallèle- ment les uns aux autres. 5. Système selon la revendication 4, carac- térisé en ce que les moyens de production d'un champ magnétique comprennent un élément supraconducteur auxi- liaire (17a à 17d). 6. Système selon la revendication 1, carac- térisé en ce que les moyens de détection d'un flux magnétique comprennent deux dispositifs supraconducteurs à interférences quantiques (7, 7') disposés perpendiculaire- ment l'un à l'autre, les moyens de production d'un champ magnétique comprenant au moins deux éléments supraconduc- teurs destinés à produire un champ magnétique en utilisant des courants électriques qui les parcourent.