Brevet FR2616545A1 — publié le 19881216

PROCEDE ET DISPOSITIF D' ANALYSE DE SURFACES NON CONDUCTRICES La présente invention se rapporte à un procédé et à un dispositif d' analyse de surfaces 'non conductrices, telles que par exemple des laques déposées sur des matières synthétiques, par spectrométrie à décharge luminescente, ou SDL. On connait déjà le principe d'analyse par SDL de surfaces conductrices, permettant d'avoir des informations qualitatives et quantitatives sur les constituants desdites surfaces. Le principe est basé sur la mesure de l' émission lumineuse qui accompagne le passage d'un courant électrique dans un gaz sous basse pression. L' échantillon à analyser est placé cathodiquement devant une enceinte sous argon, à la pression de quelques mbar. L'argon ionisé (Ar+) sous une différence de potentiel de 400 à 2000 V continu vient bombarder la surface de l' échantillon cathodique et arrache les éléments qui le constituent. Les atomes ainsi libérés sont alors excités par chocs secondaires avec les ions Ar+ et les électrons du plasma: ils émettent, en retombant à un niveau stable ou moins excité, un rayonnement dont la longueur d'onde est caractéristique de l'atome émetteur et dont l'intensité est proportionnelle à sa concentration dans le plasma. La lumière émise est analysée en continu par un spectromètre. Le bombardement ionique décrit précédemment conduit à une érosion plane et régulière, ce qui permet 1' examen continu des couches disposées à la surface d'un matériau. Toutefois, ce procédé d'analyse est limité à des échantillons conducteurs ou de faible résistivité, à des couches non conductrices de très faible épaisseur (inférieure à 2 microns), à des échantillons plans de diamètre supérieure à 20 mm. - 2 - 2616545 L' oblet de la présente invention a pour but de lever les limitations cidessus; elle s' appliquera tout particulièrement, bien que non exclusivement, au domaine de l'automobile. En effet, dans la quête toujours plus poussée de la qualité des revêtements protecteurs anticorrosion, il devient nécessaire de contrôler qualitativement et quantitativement, la présence des divers éléments constitutifs des couches protectrices, ainsi que l'absence des produits indésirables dans cette structure. Ainsi, on sait que les- tôles de carrosserie d'automobile sont successivement pourvues de couches de phosphates, de dépôts intermédiaires cathaphorétiques, de sealer, de laque et de vernis. Seule la qualité du revêtement de phosphates pourrait être contr8ôlée par SDL selon le procédé antérieur, avant dépôt des couches suivantes. La présente invention permet 1' étude en continu de toutes les couches cidessus, et de contrôler de ce fait leur épaisseur, la distribution des éléments qui les constituent, l' absence de composés indésirables ou la présence de migration entre les strates. De la même façon, le procédé d'analyse de l'invention permet d' étudier des produits en matière synthétique, tels que des boucliers de véhicules revêtus de' laques et de constater ainsi l'homogénéité et l'épaisseur de ces dernières. On peut également appliquer le procédé précédent au contrôle de la qualité des pare-brises collés, particulièrement en vérifiant la propreté du support de verre au niveau de la jonction, la bonne épaisseur et la nature de la liaison résultant du dépôt d' émaux et d'adhésif à sa surface. D'autres applications de l'invention peuvent être faites, notamment dans le domaine des circuits imprimés, permettant de façon analogue de déterminer les épaisseurs des couches d'encres déposées, la présence d'oxydes indésirables, etc... - 3 - 2616545 La présente invention sera maintenant décrite à titre d' exemple non limitatif, au regard des figures I à 3, qui se rapportent respectivement la figure 1, à un schéma d' un dispositif de mise en oeuvre d'une SDL selon l' état antérieur de la technique; - la figure 2, à un schéma analogue selon l'invention; - la figure 3, à une vue de détail en coupe de l'ensemble anode-cathode de la figure 2. En référence à la figure 1, on voit le schéma d'une lampe de GRIMM utilisée pour le procédé SDL appliqué antérieurement à l'analyse des surfaces conductrices d'un échantillon I. Elle est essentiellement constituée d'une enceinte 2 contenant de 1' argon sous faible pression. A l'une de ses extrémités est adaptée une anode 3 en alliage de cuivre, mise à la masse et pourvue d'une ouverture centrale 4. Une cathode 5 lui fait face et supporte 1' échantillon conducteur 1; elle est portée à un potentiel de - 400 à - 2000 volts. Des joints 6-7 assurent 1' étanchéité entre les éléments précédents. Un espacement 8 de l'ordre de 0,15 mm existe entre les électrodes 3-5; il est soumis à un vide supérieur à celui de l'enceinte 2 de façon à éviter la création de décharges à cet endroit et de favoriser au contraire leur concentration en 9, face à l' échantillon 1. En fonctionnement, le bombardement de la zone 10 de l'échantillon par les ions d'argon Ar+ arrachent des atomes qui le constituent; ces derniers, excités par des chocs secondaires émettent en retrouvant un niveau stable un rayonnement caractéristique, dont une fraction est dirigée selon la flèche F, puis analysée par un spectromètre non représenté, délivrant en continu des informations qualitatives et quantatives propres à l'échantillon 1. La figure 2 représente la modification du dispositif de la figure 1, pour la mise en oeuvre du procédé conformément à l'invention. - 4 - 2616545 On retrouve, comme dans le cas précédent, l'enceinte contenant de Il' argon à basse pression, l anode 3 séparée de la cathode 20 par espacement, des)oints 6 et 7 assurant 1' étanchéité respectivement entre les électrodes 3-20 et l'échantillon non-conducteur 21. Celui-ci est relié à un générateur de courant haute fréquence 22, par l'intermédiaire d'un adaptateur 23 et d'une lame 24, entourée d'un blindage 25 pour éviter le parasitage de 1' environnement électronique. La modification porte essentiellement sur la cathode 20, que l'on verra mieux en détail à la figure 3, et sur l'utilisation d'une source d'alimentation 22 par courant HF, permettant 1' analyse d'un échantillon non-conducteur 21. On sait que ce dernier, quand il est soumis à un potentiel négatif continu selon 1' état antérieur de la technique, se chargera positivement sous l'effet d'un bombardement d'ions positifs d'argon: il va par conséquent développer rapidement une barrière de répulsion rendant impossible le passage ultérieur de courant et donc toute émission analysable de ses constituants. Au contraire, si on applique à 1' échantillon une tension alternative à haute fréquence (HF), il se propage à sa surface par effet de peau et la rend négative par phénomène d'autopolarisation. Son principe est le suivant A chaque alternance du courant, la surface de 1' échantillon 21 est bombardée par des ions Ar+ et par des électrons; toutefois, la mobilité de ces derniers étant beaucoup plus élevée (de l'ordre de 105 fois), la surface en fixera d'avantage, d' o sa charge négative résultante. Celle-ci attire donc les ions Ar+ incidents qui la bombardent, ' érodent et en libèrent les constituants analysables. On se retrouve donc dans les conditions du procédé SDL appliqué aux échantillons conducteurs, permettant ainsi l'investigation de gradients de compositions desdits échantillons 21 non-conducteurs. - 5 - 2616545 A titre d'exemple, le dispositif SDL de la figure I a été modifié dans le sens de la figure 2 par l'utilisation d'un générateur HF 422 du type ARF 500 ALCATEL, combiné avec un système d'acquisition SIEMENS/SOCABIM d'une capacité de 30.000 mesures/s. On pourra utiliser conjointement un spectromètre ANALYMAT 2.500 type RSV. La puissance utilisée est de l'ordre de 30 à 100 watts et la fréquence préférentiellement de 13,56 MHz. Outre l'alimentation, l'invention porte également sur la structure de la cathode 20, que 1' on voit en détail à la figure 3. Son originalité réside dans le fait qu'elle est composite; elle demeure, pour partie, identique à la cathode utilisée pour la SDL classique. Sa masse 35 est pour l'essentiel en alliage de cuivre; elle comporte une circulation 30-31 de fluide de refroidissement et sa périphérie 32 est filetée, de manière à permettre la fixation d'une couronne, non figurée, supportant divers organes annexes, tels que des moyens de maintien de l'échantillon 21 et de nettoyage périodique de la partie interne 23 de 2 l'anode 3 déjà présents dans ce dispositif SDL classique. La cathode selon l'invention diffère toutefois de celle 5 de la figure 1 en ce que sa partie centrale comporte une partie démontable 34. Celle-ci est solidarisée dans le corps principal 35 par vissage dans un alésage 36 percé sur la moitié environ de 1' épaisseur de la cathode. La partie démontable 34 est en un matériau isolant tel qu'une céramique et possède un diamètre extérieur inférieur à celui de l'échantillon 21 à analyser; par exemple, ces derniers peuvent être respectivement de 1' ordre de 20 et 30 mm; sa partie interne est constituée par un tube dont la longueur correspond à 1' épaisseur de 1' électrode 35. Par ailleurs, elle présente une surépaisseur de quelques mm suffisante pour éviter tout contact électrique entre l'échantillon 37 et le corps principal 35 de la cathode; un joint torique 38 assure 1' étanchéité entre ces deux éléments. -6 - 2616545 On notera que la partie centrale 39 de l anode 3 peut également être démontable, ce qui permet de changer le couple 33-34 et de P adapter aux besoins de l'analyse, notamment aux dimensions des échantillons 37 qui peuvent de ce fait avoir des diamètres plus ou moins grands, sans changer la totalité de la cathode. La disposition qui vient d' être décrite présente de nombreux avantages: Le courant HF est concentré dans la seule partie en céramique de faible diamètre 34; ceci autorise une plus faible puissance du générateur et un réglage plus facile du dispositif, tout particulièrement de son impédance, ce qui ne serait pas le cas si la totalité de la cathode 32 était en cuivre; de plus, compte tenu de la fragilité de la céramique et des difficultés à la travailler, la fixation sur sa périphérie des organes annexes déjà évoqués serait source de grandes difficultés techniques. L'utilisation de pièces 34 de petit 'diamètre permet l'étude de petites pièces, d' éviter les défauts de planéité et de localiser précisément les défauts à analyser, fréquemment figurés par des taches. -Le démontage aisé du couple constitué par la partie centrale 39 de anode et l'élément 34 en céramique permet, outre un changement de dimension, d'autoriser également un changement de matériau, et par exemple de revenir au système SDL classique en utilisant des éléments en un alliage de cuivre. C'est ainsi qu'avec un même ensemble de matériels on peut utiliser aisément une technique ou 1' autre; le passage de 1' analyse d'un matériau conducteur à un matériau non-conducteur est, dans ces conditions, très rapide, car il n'implique en effet aucun démontage complet de la lampe de GRIMM, ni réglage minutieux consécutif de la concentricité des éléments, du parallélisme des électrodes, ni dépose des organes annexes, etc... - 7 - 2616545 R E V E N DICA TIO N S 1/ Procédé d' analyse de surfaces par spectrométrie à décharge luminescente, caractérisé par le fait que le courant utilisé pour la création de la décharge entre l anode (3) et la cathode (20) est un courant haute fréquence arrivant sur l'échantillon non-conducteur (21) à analyser et s'y propageant par effet de peau. 2/ Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la puissance utilisée est de l'ordre de 30 à 100 watts et la fréquence préférentiellement de 13,56 MHz. 3/ Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé de la revendication 1, caractérisé en ce que la cathode en alliage de cuivre est composite et comporte une partie centrale démontable (34) en un matériau isolant tel que de la céramique, possède un diamètre extérieur inférieur à celui de l'échantillon (21) à analyser, émerge du corps (35) de la cathode afin d' éviter tout contact électrique entre ces deux éléments (21-35) et se prolonge au niveau de son diamètre interne par un tube dont la longueur correspond à l' épaisseur de l' électrode. 41 Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la partie centrale (39) de 1 anode (3) est démontable et constitue avec son homologue (34) de la cathode un couple ajusté que l'on peut remplacer simultanément par un autre couple en différant par les dimensions externes de la cathode (34) ou la nature du matériau qui constitue les éléments (3-34). / Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce que la partie centrale démontable (34) est vissée dans un alésage correspondant disposé dans le corps de la cathode (35), sur la moitié de son épaisseur environ.