Brevet FR2620571A1 — publié le 19890317

PROCEDE DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE DE SILICIUM SUR ISOLANT La présente invention concerne le domaine de la fabrica- tion des circuits intégrés sur silicium, et plus particulièrement les circuits intégrés fabriqués sur une couche mince de silicium formée sur une couche isolante. Les avantages de la fabrication des circuits intégrés sur silicium sur isolant par rapport aux circuits intégrés sur silicium massif ont été soulignés depuis longtemps. Il s'agit par exemple de la simplicité de l'isolement entre composants élémen- taires distincts, de l'immunité aux particules ionisantes, etc. Néanmoins, dans la pratique, les circuits intégrés à base de sili- cium sur isolant n'ont pas connu de développements importants ces dernières années par rapport aux circuits intégrés sur silicium massif. Ceci est essentiellement dû à la difficulté de réalisation d'une couche de silicium monocristallin sur isolant et de la dif- ficulté d'obtention de grandes zones monocristallines de silicium sur isolant. Ainsi, un objet de la présente invention est de prévoir un nouveau procédé de fabrication d'une couche de silicium sur isolant qui soit particulièrement simple à mettre en oeuvre et qui permette de choisir dans une large gamme de valeurs l'épaisseur de la couche de silicium. Cet objet est atteint en prévoyant un procédé de fabri- cation d'une structure de silicium sur isolant à partir d'une pla- quette de silicium monocritallin, comprenant les étapes consistant à former une couche de silicium poreux sur une face de la pla- quette; à oxyder anodiquement le silicium poreux d'o il résulte qu'une couche d'oxyde de silicium est formée à l'interface silicium-silicium poreux; et à recristalliser la couche de sili- cium poreux restante par traitement thermique au voisinage de la température de fusion du silicium. 26'4O571 Selon un mode de réalisation de la présente invention la face arrière de la plaquette de silicium est à niveau de dopage élevé. Selon une variante de réalisation de la présente inven- tion la face avant de la plaquette comprend une couche surdopée à une profondeur à laquelle on souhaite modifier la structure de la couche du silicium poreux ou arrêter sa formation. Selon un mode de réalisation de la présente invention l'oxydation anodique est réalisée dans de l'eau pure. Selon un mode de réalisation de la présente invention le traitement anodique de formation de silicium poreux est réalisé dans un électrolyte comprenant 30 % d'acide fluorhydrique, 35 % d'éthanol et 35 % d'eau. Ces objets, caractéristiques et avantages ainsi que d'autres de la présente invention sont exposés plus en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: les figures 1 à 4 représentent des étapes successives de fabrication d'une couche mince de silicium sur isolant selon la présente invention; et les figures 5 à 7 représentent des étapes successives d'une variante du procédé selon la présente invention. Dans ces figures, de mêmes références désignent de mêmes couches ou éléments. En outre, comme cela est usuel dans le domai- ne de la représentation des semiconducteurs, les dimensions des diverses couches ne sont pas tracées à l'échelle pour améliorer la lisibilité des figures. Comme le représente la figure 1, le procédé selon la présente invention est mis en oeuvre sur une plaquette de silicium monocristallin 1 de type N ou P de niveau de dopage et d'orienta- tion cristallographique quelconques. De préférence, la face arriè- re de la plaquette de silicium 1 comprend une zone surdopée 2 pour faciliter le contact lors de l'étape ultérieure de traitement ano- dique. Ensuite, comme le représente la figure 2, une couche de silicium poreux 3 est formée sur le substrat 1. Les conditions de préparation de la couche de silicium poreux devront être adaptées au substrat. Elles sont bien définies et connues dans la techni- que. Le silicium poreux est par exemple obtenu par dissolution anodique dans un électrolyte constitué d'acide fluorhydrique, d'éthanol et d'eau. La plaquette de silicium est placée dans une cellule d'anodisation o la cathode est une électrode de métal inattaquable tel que du platine. Le contact électrique sur la face arrière de silicium peut être amené par une solution électroly- tique ou une métallisation de face arrière. L'anodisation peut être réalisée à potentiel ou à courant constant. De meilleurs résultats sont en général obtenus à courant constant. La composition de l'électrolyte et la valeur du courant ou du potentiel d'anodisation sont choisies pour obtenir la porosité souhaitée. Par exemple, pour un substrat de type P d'environ 10 O.cm, on prendra un électrolyte composé de 30 % HF, % éthanol, 35 % H20 et un courant correspondant à une densité de courant de 50 mA/cm pour obtenir une porosité d'environ 50 %. Le temps d'anodisation détermine l'épaisseur de la couche de silicium poreux formé. Dans l'exemple choisis il faut compter 1C/cm2 pour obtenir 1 Nm de silicium poreux. Pour obtenir une structure de silicium sur isolant semblable à celles dévelop- pées aujourd'hui, on peut choisir une épaisseur de l'ordre de 2 jm, mais il n'y a aucune limitation pour le choix d'autres épaisseurs. Ensuite, comme le représente la figure 3, on procède en- suite à une oxydation anodique du silicium poreux. Cette étape constitue un point essentiel de la présente invention car les pro- cédés classiques d'oxydation du silicium poreux basés sur la dif- fusion d'une espèce oxydante conduisent tous à une oxydation de toute l'épaisseur de la couche. Par contre, quand on procède par oxydation anodique, l'oxydation procède, selon les expériences effectuées par les inventeurs, à partir de l'interface avec le substrat. Au fur et à mesure que la couche d'oxyde s'épaissit, la réaction d'oxydation progresse vers la surface de la couche de silicium poreux. L'oxydation anodique est interrompue quand on a formé l'épaisseur d'oxyde souhaité. Le contr8le de cette épaisseur est obtenu par simple coulométrie après avoir préalablement établi une courbe d'étalonnage o l'épaisseur d'oxyde anodique est reliée à la quantité d'électricité mise en jeu durant l'oxydation élec- trochimique. A titre d'exemple, la procédure d'oxydation de la couche poreuse formée sur un substrat P dans les conditions décrites dans l'étape 1 est la suivante. Après formation de la couche poreuse et vidange de la solution d'acide fluorhydrique, l'échantillon est abondamment rincé à l'eau désionisée, et la cellule est finalement remplie d'eau de haute résistivité (supérieure à 18.106 Q.cm). L'oxydation est réalisée dans la même cellule, en imposant un courant constant (0,1 à 1 mA/cm2). Le potentiel d'électrolyse et la quantité de coulombs échangés sont mesurés pendant la réaction, et l'anodisation est interrompue pour une quantité de coulomb de 0,6 C/cm2, correspon- dant à l'oxydation de 1 gm de la couche poreuse. L'oxydation anodique peut être réalisée avec d'autres électrolytes que l'eau mais les oxydes de meilleure qualité ont actuellement été obtenus avec de l'eau pure. Enfin, dans une étape finale illustrée en figure 4, un traitement thermique est effectué pour transformer la couche de silicium poreux 3 en une couche de silicium monocristallin. Cette étape permet, d'une part, de concentrer tout l'oxyde 4 formé en une couche dense présentant des interfaces abruptes et régulières avec le silicium et, d'autre part, de réor- ganiser et de densifier la couche poreuse restante pour la trans- former en une couche dense de silicium monocristallin. Il est souhaitable dans cette étape de travailler aux températures les plus hautes possibles pouvant aller jusqu'à la fusion de la couche superficielle de silicium. Pour l'échantillon traité précédemment, un recuit de 1 heure à 1350 C sous atmosphère d'argon permet d'obtenir une couche monocristalline d'environ 5000 RA sur une couche de silice d'épais- seur comparable. Le traitement thermique peut être réalisé dans des fours commercialement disponibles ou par d'autres méthodes telles que le recuit thermique transitoire en utilisant des systèmes de lampes, laser, faisceau d'électrons, entre autres... Il peut être intéressant d'encapsuler la couche super- ficielle avant traitement thermique, par exemple par un dépôt de silicium amorphe réalisé par pulvérisation cathodique ou évapora- tion sous vide. Une préamorphisation de la couche superficielle avant traitement thermique par implantation ionique de silicium peut être aussi utilisée pour favoriser la réorganisation du silicium poreux. Un avantage important du procédé selon la présente invention est que le silicium poreux formé à partir de silicium monocristallin conserve un caractère cristallin et refournit du 0ZO silicium monocristallin non poreux après recuit. Toutefois, il est connu que le silicium poreux sera plus monocristallin si l'on part d'un substrat P ou N très dopé. Ceci n'est pas nécessairement souhaitable car, dans certaines applica- tions, on peut au contraire souhaiter obtenir une couche mince de silicium monocristallin peu dopé sur l'isolant. Les figures 5 à 7 illustrent une variante du procédé selon la présente invention o l'on utilise un substrat initial dopé de façon inhomogène. Ce substrat comprend une plaquette de silicium 1 dont la face arrière présente une. couche surdopée 2. Du côté de la face avant, une couche fortement dopée 6 est formée et revêtue, par exemple par épitaxie, d'une couche 7 plus faiblement dopée. Dans la figure, toutes ces couches ont été indiquées comme étant de type P. Elles pourraient aussi bien être de type N. Ensuite, comme le représente la figure 6, la face supérieure de la plaquette de silicium est transformée en une couche de silicium poreux sur l'épaisseur des couches 6 et 7 de la figure 5. Le fait que l'on dispose d'une sous-couche 6 plus fortement dopée fournit, même pour la partie supérieure 4 de la couche, un meilleur carac- tère monocristallin après transformation en silicium poreux. Ensuite, comme le représente la figure 7, on procède à une oxyda- tion anodique selon la présente invention sensiblement sur l'épaisseur de la couche surdopée 6 pour fournir une couche d'oxyde 8. Après cela, on procède au traitement traitement thermi- que pour arriver à une structure finale telle que celle illustrée en figure 4. On notera également que la porosité d'une couche de silicium poreux formée à courant (ou à potentiel) constant dans un substrat uniformément dopé est homogène. Dans certains cas on peut avoir intérêt à ce que la couche de silicium poreux présente une porosité plus faible afin de faciliter la réorganisation et la densification lors du traitement thermique. Ceci peut être facile- ment réalisé soit en modifiant le courant (ou le potentiel) pen- dant l'anodisation soit en anodisant un substrat présentant un gradient de dopage. Selon une autre variante du procédé selon la présente invention, on pourra procéder à l'oxydation anodique de la plus grande partie de l'épaisseur de la couche de silicium poreux en ne conservant qu'une fine couche de silicium poreux en surface. On procède ensuite au dépôt par épitaxie d'une couche de silicium monocristallin sur la fine couche de silicium poreux. Pour cela un traitement thermique a lieu en présence d'hydrogène et/ou de sila- ne selon les techniques et aux températures classiques de crois- sance épitaxiale. On procède enfin au traitement thermique à toute température selon la présente invention. REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'une structure de silicium sur isolant à partir d'une plaquette de silicium monocritallin, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: former une couche de silicium poreux (3) sur une face de la plaquette (1); oxyder anodiquement le silicium poreux, d'o il résulte qu'une couche d'oxyde de silicium (4) est formée à l'interface silicium-silicium poreux tout en conservant la partie de la couche poreuse non oxydée; et LO recristalliser la couche de silicium poreux restante par traitement thermique au voisinage de la température de fusion du silicium. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la face arrière (2) de la plaquette de silicium est à niveau L5 de dopage élevé. 3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la face avant de la plaquette comprend une couche surdopée (6) à une profondeur à laquelle on souhaite modifier la structure de la couche de silicium poreux ou arrêter sa formation. 0O 4. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'oxydation anodique est réalisée dans de l'eau pure. 5. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le traitement anodique de formation de silicium poreux est réalisé dans un électrolyte comprenant 30 % d'acide fluorhydrique, 35 % d'éthanol et 35 % d'eau. 6. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre l'étape de dép8t par épitaxie d'une couche de silicium monocristallin sur la surface du silicium poreux après l'étape d'oxydation anodique.