Brevet FR2606499A1 — publié le 19880513

FOUR DE CHAUFFAGE ET/OU DE TRAITEMENT DE PASTILLES ET MECANISME DE TRANSFERT DE PASTILLES EQUIPANT CE FOUR AINSI QUE PROCEDE DE TRANSFERT DE PASTILLES UTILISE DANS CE FOUR. La présente invention est relative & des procédés ou appareils pour transférer des pastilles du type utilisé dans la fabrication des semiconducteurs entre des cas- settes et une nacelle de transport de pastilles du type- utilisé dans un four. La présente invention est également relative à des procédés et appareils pour charger une nacelle dans un four vertical et la décharger de celui-ci. Les pastilles sont en matière pour substrat (p.ex. du silicium) qui est relativement fragile. La nacelle utilisée pour supporter les pastilles à l'intérieur d'une chambre de chauffage et/ou traitement d'un four est éga- lement faite habituellement en matière (par ex.du quartz) relativement fragile. D'autre part, les revêtements pré- sents sur les pastilles et la nacelle sont souvent assez fragiles pour être plutôt facilement cassés. Toutes ces matières sont donc soumises à un éclatement ou à un écail- lage si un bord de pastille heurte une cassette ou une nacelle au cours du transfert de la pastille entre une cassette et une nacelle. Le transfert de pastilles entre une nacelle et une cassette doit être fait avec une grande précision afin d'éviter tout éclatement ou écaillage par contact entre un bord de la pastille et une cassette ou une nacelle. Si un tel contact est réalisé, et si de la matière est retirée d'une pastille ou d'une nacelle par éclate- ment ou par écaillage, les circuits électriques présents sur la pastille peuvent être endommagés. Les circuits sont groupés de manière dense les uns avec les autres et ont des lignes ou parcours de conductivité de dimen- sions tellement minuscules qu'aucun corps étranger tel que des particules de silicium, de quartz ou de revête- ments ne peut être toléré. Les pastilles à charger dans la nacelle et à chauffer dans le four sont fournies au système de chargement de four empilées dans des encoches de cassettes. Les pastil- les doivent être transférées de ces cassettes jusqu'à la nacelle avant la mise en place de la nacelle-dans la chambre de chauffage du four, et les pastilles doivent être retirées de la nacelle et ramenées aux cassettes après que les pastilles ont subi un cycle de chauffage et/ou traitement dans le four. En transférant une pastilles entre une cassette et une nacelle, il est souhaitable que le transfert soit fait par un mécanisme automatisé qui puisse fonctionner dans un environnement propre, sans intervention manuelle. Il est également généralement souhaitable qu'une seule nacelle soit assez grande pour prendre en charge le con- tenu d'un grand nombre de cassettes, car il faut habituel- lement un temps sensiblement long pour chaque cycle de traitement. Le traitement d'un plus grand nombre de pas- tilles à la fois accroît le rendement. Afin de pivoir charger un nombre relativement grand de pastilles depuis un certain nombre de cassettes dif- férentes jusque dans une seule nacelle, le mécanisme de chargement doit être en mesure de déplacer une pastille verticalement, radialement et en arc de cercle au cours du prélèvement d'une pastille à une source (une cassette ou la nacelle) et du transfert de la pastille jusqu'à une destination (une nacelle ou une cassette). Le mécanisme pour transférer la pastille doit donc être précis dans sa construction et son fonctionnement. Il doit aussi être capable de s'adapter aux varia- tions ou aux différences de la position réelle du centre des pastilles par rapport à la position attendue ou éta- lonnée du centre des pastilles résultant de tolérances dimensionnelles inhérentes au système. Cette yariation ou ce décalage du centre des pastilles doit être déter- miné et efficacement corrigé si le contact inacceptable du bQod des pastilles avec la nacelle et les cassettes doit être éliminé durant les opérations de transfert. Un objectif important de la présente invention con- siste à déplacer une pastille dans tout un mécanisme de transfert de pastilles du type précité sans aucun contact des bords de la pastille avec la nacelle ou la cassette. Un objet voisin consiste à éliminer l'effet d'une manipulation incompatible d'une pastille due à des varia- tions du diamètre extérieur d'une pastille en cours de transfert. Cet objectif est atteint en regardant les deux limites des bords sur un arc de cercle d'une pastille durant un transfert de la pastille entre une source et' une destination du système. L'effet des variations du diamètre extérieur d'une pastille est donc éliminé en mesurant le décalage réel du centre de la pastille par rapport au centre d'une palette portant la pastille, et la palette est repositionnée sur la distance latérale (ou selon l'angle de rotation) nécessaire pour compenser ce décalage mesuré. Ceci place la pastille, et non la palette, au véritable emplacement du centre nécessaire pour le transfert ultérieur de la pastille jusqu'à la destination. Des erreurs mécaniques de déplacement se produisent quand une pastille est prélevée par une palette du fait de variations du système et de variations du diamètre des pastilles. En mesurant le décalage réel, on peut déter- miner le centre de la pastille par rapport au centre de la palette. La palette est ensuite repositionnée sur la distance latérale (ou selon'l'angle de rotation)nécessaire pour compenser ce décalage mesuré/d'étalonnage. Ceci éli- mine toutes les erreurs introduites pendant le prélèvement de la pastille et permet au système de conserver toutes les tolérances utilisables pour l'acheminement très cri- tique des pastilles; et ceci est un objectif important de la présente invention. La présente invention vise aussi à utiliser un pla- teau tournant et deux nacelles dans un mécanisme d'échange de nacelles, d'une manière telle qu'une nacelle peut être soumise à une opération de chargement/déchargement de pastilles à un poste de chargement de pastilles tandis que l'autre nacelles peut être soutenue sur le plateau tournant à un poste de chargement/déchargement de chambre de traitement. Les nacelles sont transférés entre le poste de chargement/déchargement de pastilles et le poste de chargement/déchargement de chambre de traitement par rotation du plateau tournant. Dans une forme spécifique de réalisation de la pré- sente invention, un système de four pour chauffer et/ou traiter des pastilles comporte un module de transfert de pastilles construit pour placer un certain nombre de cas- settes et une nacelle près d'un mécanisme de transfert de pastilles. Les cassettes contiennent des pastilles individuelles dans des encoches individuelles des cas- settes, et la nacelle a un grand nombre d'encoches pour tenir des pastilles à traiter quand la nacelle est chargée dans une chambre de traitement. La nacelle est tenue en position debout à un poste de chargement/déchargement de pastilles pendant que des pastilles sont transférées entre les encoches de la cas- sette et les encoches de la nacelle. Le mécanisme de transfert de pastilles a une palette qui prélève une pas- tille individuelle à une source (une cassette ou la na- celle) et transporte la pastille jusqu'à une destination (la nacelle ou une cassette). La pastille est maintenue sur la palette par un système à dépression ayant dans la surface de la palette des ouvertures qui sont couvertes ou fermées par la face inférieure de la pastille. La pa- lette est mobile verticalement pour prélever et déposer une pastille. Elle est également mobile radialement pour entrer dans une cassette et en sortir et pour entrer dans la nacelle et en sortir. La palette peut également être déplacée en arc de cercle au cours de la réalisation d'un transfert. Le mécanisme de transfert de pastilles comprend des commandes par moteur pour l'entraînement vertical, radial et rotatif afin de déplacer la palette dans les directions verticale, radiale et rotative correspondantes. Un moyen de commande commande l'actionnement des moteurs d'entraînement vertical, radial et rotatif. Le mécanisme de transfert de pastilles comprend un capteur radial pour détecter l'ampleur du mouvement radial de la palette impliqué par le retrait d'une pastille hors d'une cassette ou de la nacelle. Le système à dépression de la palette produit un signal de capteur vertical pour détecter la position verticale d'une pastille dans une encoche de nacelle ou de cassette (çn plus du maintien de la pastille sur la palette comme décrit plus haut). Un capteur d'angle 6 est également utilisé pour dé- tecter et mesurer l'ampleur de tout décalage du centre de la palette par rapport au centre d'une pastille portée sur la palette. Les trois capteurs coopèrent avec le moyen de commande pour établir (par un programme d'étalonnage effectué selon trois coordonnées) le centre attendu d'une pastille dans chaque encoche de cassette et dans chaque encoche de nacelle. Le capteur d'angle Q coopère aussi avec le moyen de commande pour détecter et compenser tout décalage latéral du centre de la palette par rapport au centre de la pas- tille, qui pourrait survenir pendant le transfert propre- ment dit d'une pastille. Le moyen de commande replace latéralement la palette par une rotation de l'ampleur requise pour éliminer le décalage de façon que chaque pastille puisse être acheminée jusqu'à un emplacement d'encoche avec le centre réel de la pastille, et non de la palette, à l'emplacement réel du centre nécessaire pour le transfert ultérieur de la pastille jusqu'à la destination. La pastille entre par conséquent dans l'en- coche avec les espaces voulus entre les bords de la pas- tille et les bords de l'encoche. L'ampleur du décalage est déterminé en regardant deux bords opposés de chaque pastille sur la palette. La découverte de l'emplacement des deux bords permet au mécanisme de transfert de pastilles de déplacer la pastille en référence à l'emplacement réel de la pastille dans le mécanisme de transfert plutôt qu'en référence à la position non corrigée de la palette. A son tour, cela élimine efficacement les grandes variations de l'emplacement des bords latéraux de la pas- tille, lesquelles variations sont par ailleurs inhérentes -au système de transfert de pastilles. En localisant le centre réel de la pastille sur la palette, les systèmes de transfert de pastilles peuvent donc insérer chaque pastille dans sa destination avec une grande précision et sans aucun contact des bords de la pastille avec la structure de la destination. Les appareils et procédés de transfert de pastilles qui mettent en oeuvre les particularités décrites plus - haut et qui sont efficaces pour fonctionner comme décrit plus haut constituent d'autres objets, spécifiques de la présente invention. D'autres objets encore de la présente invention apparaîtront dans la description qui suit et sont représentés sur les dessins annexés qui, à titre d'illustration, montrent des formes préfé- rées de réalisation de la présente invention et des prin- cipep de celle-ci et de ce qui est maintenant considéré comme étant les meilleures modalités envisagées pour mettre en oeuvre ces principes. D'autres formes de réalisation de l'invention mettant en oeuvre les mêmes principes ou des principes équivalents peuvent être utilisées et des modi- fications structurales peuvent être apportées à volonté par ceux qui connaissent bien la technique sans s'écarter de la présente invention, Sur les dessins, la Fig. 1 est une vue isométrique, dont une partie est supprimée, pour montrer des détails de construction, d'un système de four construit selon une forme de réali- sation de la présente invention; la Fig. 2 est une vue isomrétrique, dont une partie est supprimée pour montrer des détails de construction, du mécanisme modulaire de transfert de pastille dy sys- tème de four de la Fig. 1; la Fig. 3 est une vue isométrique représentant des détails de la manière dont des pastilles sont introduites dans les encoches d'une nacelle et sont retirées de celles- ci pendant un étalonnage de nacelle utilisée dans le sys- tème de four de la Fig. 1; la Fig. 4 est une vue agrandie prise globalement le long de la ligne et dans le sens indiqué par les flèches 44 sur la Fig. 3; les figures 5A à 5C sont des vues partielles agrandies en plan représentant comment une palette du mécanisme modulaire de transfert de pastilles de la Fig. 1 est dé- placée en arc de cercle au-dessus d'un capteur d'angle au cours de l'étalonnage du centre de la palette; les figures 6A à 6C sont des vues partielles agrandies en plan (correspondant aux figures 5A à 5C), mais montrant comment le capteur d'angle O est utilisé pour trouver le centre réel d'une pastille portée sur une palette. Tout décalage latéral du centre de la palette par rapport au centre de la pastille est donc compensé et éliminé par le mécanisme modulaire de transfert de pastilles repré- senté sur la Fig. 1. Un système de four construit selon une forme de réali- sation de la présente invention est indiqué globalement par le repère 21 sur la Fig. 1. Le système 21 de four comprend un four vertical 23, un ensemble 25 d'échange de nacelle, un système 27 porte- nacelle, un mécanisme modulaire 29 de transfert de pas- tilles et un moyen de commande 31. La construction du mécanisme modulaire 29 de transfert de pastilles est représentéeplus en détail sur la Fig. 2. Le mécanisme modulaire de transfert de pastilles com- prend une palette 33 servant à cueillir et à transporter une pastille 35 au cours du transfert de la pastille entre une encoche située dans une cassette 37 et une encoche située dans une nacelle 39, comme il sera décrit plus en détail ci-après. En attrapant et en transportant une pastille 35 au cours d'un tel transfert, la palette 33 est mobile en sens vertical (Z) et en sens radial (R) et en sens rota- tionnel (6) comme indiqué sur la Fig. 1 par les lettres respectives Z, R et e. Le mécanisme modulaire 29 de transfert de pastilles sert à transférer des pastilles à la fois des cassettes 37 jusqu'à la nacelle 39 et de la nacelle 39 jusqu'aux cassettes 37. Des pastilles sont transférées des cassettes jusqu'à la nacelle pendant que la nacelle est chargée en pastilles à chauffer dans le four vertical 23. Les pastilles sont retransféréesde la nacelle 39 aux cas- settes 37 après que les pastilles ont subi un cycle de chauffage et/ou traitement dans le four vertical 23. Sur la Fig. 1, la nacelle 39 est représentée dans un poste de chargement/déchargement de pastilles. La nacelle 39 est soutenue à ce poste sur un pied 40 par un plateau tournant 41, et le plateau tourant peut être mis en rotation (à l'aide d'un moteur d'entraînement 43 et de poulies et courroies d'entraînement correspondantes) pour transférer une nacelle 39 chargée de pastilles sur degrés (comme indiqué sur la Fig. 1 par la flèche en secteur) jusqu'à un poste de chargement/déchargement de chambre (indiqué par la flèche 43 sur la Fig. 1) direc- tement avec le four vertical 23. Un élévateur 45 comprend un bras de levage 47 qui vient au contact d'un rebord inférieur 49 d'un support de pied pour la nacelle 39 au poste 43 de chargement/déchargement de chambre et lève la nacelle 39 à travers une trappe jusque dans l'extrémité inférieure du four vertical 23 comme représenté sur la Fig. 1. L'élévateur 45 comprend un moteur 51 d'entraînement d'élévateur et une vis de levage rotative 53 pour soulever et abaisser le bras de levage 47. Le four vertical 23 comporte, dans la forme de réali- sation représentée sur la Fig. 1, une chambre intérieure de chauffage formée à l'intérieur d'un élément 55 axia- lement allongé, globalement en forme de tube. Cet élément , dans la forme de réalisation représentée sur la Fig. 1, est en quartz. Des éléments 57 de four réalisent un chauffage ther- mique de la chambre de chauffage et des pastilles 35 portées dans les encoches de la nacelle à l'intérieur de la chambre de chauffage. Au terme du chauffage, l'élévateur 45 abaisse la na- celle 23 pour la sortir du four vertical 23 et la recon- duire jusqu'au poste 43 de chargement/déchargement de chambre sur le plateau tournant 41. Le mécanisme 25 d'échange de nacelle permet donc un fonctionnement en régime continu dans lequel une nacelle 39 peut être déchargée et chargée en pastilles 35 alors qu'une autre nacelle 39 est soumise à un chauffage dans le four vertical 23. Dans une forme spécifique de réalisation de la présente invention, la nacelle 39 est également en quartz. Comme indiqué plus haut, le quartz et les revêtements ou dépôts présents sur le quartz éclatent ou s'écaillent relativement facilement s'ils sont heurtés par un bord de pastille 35, et la pastille en silicium et son revê- tement se cassent facilement si le bord d'une pastille heurte la nacelle ou une cassette. En raison de la petitesse et de la précision des circuits électroniques formés sur les pastilles 35, tout corps étranger (tel que des particules de quartz, de silicium ou de revêtements) peut poser des problèmes concernant l'obtention du rendement voulu en bons circuits; et la présence de telles particules doit donc être évitée. Le problème consistant à éviter un contact indésirable entre le bord de la pastille 35 et les côtés des encoches de support de pastilles dans les cassettes ou dans la nacelle 39 en quartz est un problème important à cause des tolérances du système mise en jeu dans la réalisation des transferts de pastilles entre les cassettes 37 et la nacelle 39. Les tolérances peuvent résulter dans le fait que le centre réel d'une pastille dans une source parti- culière est décalé par rapport au centre attendu ou éta- lonné d'une pastille à cette source particulière. L'am- pleur du décalage peut être suffisante pour amener le bord d'une pastille à heurter le bord d'une destination si ce décalage n'est pas détecté et efficacement éliminé par un réglage approprié de la position de la palette au cours du transfert de cette pastille depuis sa source juusqu'à sa destination. Comme indiqué plus haut, la palette 33 est mobile dans trois directions de coordonnées pour chaque trans- fert de pastille. Comme représenté sur la Fig. 1, les pastilles 35 à charger dans une nacelle 39 avant le chauffage dans le four 23 sont contenues dans un certain nombre de cas- settes 37 un système 27 porte-cassette. Chaque cassette 37 repose sur une étagère 61 correspondante de support de cassette. Un certain nombre d'étagères 61 sont suppor- tées par une tringle 63 correspondante. Chaque tringle peut tourner selon un angle (représenté par la flèche en secteur sur la Fig. 1) grâce à un mécanisme d'entrai- nement 65 pour faciliter le chargement des cassettes 37 dans le système 27 porte-cassettes et leur déchargement hors de celui-ci. Chaque cassette 37 contient un certain nombre de pas- tilles 35 dans des encoches individuelles situées dans la cassette, comme représenté sur la Fig. 1. Les encoches de la cassette sont alignées verticalement, et les tolé- rances dimensionnelles de l'écartement des encoches sont des tolérances modérément faibles de façon que, en éta- lonnant les emplacements prévus des différentes pastilles à l'intérieur d'une cassette 37 particulière, il soit habituellement suffisant de connaître l'emplacement du centre d'une seule pastille dans une seule encoche telle que, par exemple, l'encoche supérieure. Les pastilles 35 sont introduites dans les cassettes avec les plats sur la face postérieure des la cassette avant le chargement d'une cassette 37 dans le système 27 porte-cassettes. La nacelle 39 en quartz a quatre barreaux 71 en quartz comme représenté. D'autres nacelles en quartz peuvent avoir plus de quatre barreaux. Comme le montre le mieux la Fig. 4, chaque barreau 71 est pourvu d'un certain nombre d'encoches 73 espacées verticalement pour recevoir et retenir des pastilles 35. Lors du chargement d'une pastille 35 dans une encoche 73, la pastille doit être apportée jusque dans l'encoche sans aucun contact entre un bord de pastille 35 et les côtés de l'encoche 73. A cette fin, une pastille doit être à la bonne hauteur Z, elle doit être introduite sur la bonne distance radiale R, et le centre réel de la pas- tille 35 sur la palette 33 doit être aligné de manière sensiblement linéaire avec le centre voulu de la pastille lorsqu'elle est chargée dans la nacelle et dans le sens du mouvement radial R de la palette 33. Une fois que la pastille 35 a été introduite dans une encoche 33 en rapport, elle est abaissée doucement jusqu'à ce que les surfaces inférieures de l'encoche viennent contre et soutiennent le dessous de la pastille 35. L'alignement vertical des encoches 73 dans la nacelle 39 et l'espacement entre les encoches sont maintenus avec des tolérances relativement faibles. Cependant, des na- celles peuvent présenter individuellement une certaine variation dans l'emplacement des encoches, la position d'une nacelle sur un pied ou sur le plateau tournant peut varier lorsque des nacelles sont installées ou remplacées, et une nacelle peut subir un certain gauchissement du fait des cyçles de chauffage et de refroidissement qu'ellé subit; en étalonnant l'emplacement des encoches 73, il est donc souhaitable d'étalonner l'emplacement de l'en- coche supérieure, d'une encoche proche du milieu de la nacelle, et de l'encoche inférieure. La Fig. 3 représente les opérations impliquées par l'étalonnage de l'emplacement du centre des pastilles dans les encoches supérieure, centrale et inférieure d'une nacelle. Les emplacements des autres encoches dans la nacelle sont ensuite déterminées par interpolation. La construction et le mode de fonctionnement du méca- nisme modulaire 29 de transfert de pastilles seront main- tenant décrits particulièrement en référence à la Fig. 2. Une conduite 81 de vide est reliée à la palette 33 et à des orifices 83 présents dans la surface supérieure de la palette 33 de façon que la pastille 35 soit main- tenue fermement sur la palette 33 par l'aspiration pro- duite aux orifices 83 quand la palette 33 vient au con- tact de la surface inférieure d'une pastille. Le point auquel est exercée cette aspiration donne aussi une indi- cation de la position verticale d'une pastille à un en- droit particulier, et cette information est fournie au moyen de commande 31 en tant qu'information du capteur vertical indiquée par la légende correspondante sur la Fig. 1. Dans le moyen de commande, une valeur de progres- sion choisie est habituellement ajoutée à cette informa- tion par signal pour produire une référence pour le niveau vertical à utiliser lors de la réintroduction d'une pas- tille à cet emplacement, de façon à réaliser un espace inférieur et supérieur approprié pour la pastille par rapport à la structure de l'encoche. Le mouvement radial de la palette 33 le long d'un rail 84 est produit par un moteur 85 d'entraînement R et une courroie d'entraînement 87 correspondante. Le moteur 85 est monté sur une plaque 89 de support. La plaque 89 de support peut tourner sur un axe 92 dans le sens de l'angle e (indiqué par les flèches en secteur sur la Fig. 2) grâce à un arbre 91. L'arbre 91 est relié, au niveau de son extrémité supérieure, à la plaque 89 et est monté pour tourner dans un tube 93 à l'aide de roulements situés en haut et en bas du tube 93. Un ensemble de roulements 95 est représentée dans la partie découpée à l'extrémité inférieure du tube 93 sur la Fig. 2. 2606.499 L'arbre 91 est entraîné en rotation par un moteur 97 d'entraînement d'angle e et par les poulies et des cour- roies c'entraînement correspondantes, comme représenté sur la Fig. 2. Le tube 93 de support est à son tour relié à un bras de lavage 101 qui coulisse sur un rail 103 et qui est entraîné vers le haut et vers le bas par une vis d'entraî- nement 105. La vis d'entraînement 105 est entraînée en rotation par un moteur 107 d'entraînement en sens-Z et par un agencement de poulies et de courroies, comme *représenté sur la Fig. 2. Dans une forme spécifique de réalisation de la présente invention, le moteur 107 d'entraînement Z, le moteur 97 d'entraînement d'angle P et le moteur 85 d'entraînement R sont des moteurs pas-à-pas. Un aspect important de la présente invention est que la palette 33 et une pastille 35 correspondante sont déplacées dans les directions des trois coordonnées sans aucun contact du bord de la pastille avec une nacelle ou une cassette voisine. La présente invention accomplit cela à l'aide.de capteurs qui servent d'abord à étalonner le centre prévu d'une pastille dans chaque source et qui déterminent en- suite le centre réel d'une pastille sur la palette 33 au cours de chaque transfert de pastille. Un aspect particulièrement important de la présente invention est que tout décalage latéral du centre d'une pastille sur la palette par rapport au centre de la palette est mesuré et sert ensuite à repositionner la palette 33 pour éliminer efficacement le décalage. La palette 33 peut ensuite introduire la pastille 35 dans une destination (une encoche dans une nacelle ou une. cas- sette) avec le centre réel de la pastille à l'emplacement de centre réel nécessaire pour le transfert ultérieur de la pastille jusqu'à la destination. Toute erreur introduite pendant le prélèvement de la pastille est éliminée, et le système conserve toutes les tolérances existantes pour l'acheminement très critique de la pastille. Comme représenté sur les figures 1, 2 et 3, le méca- nisme modulaire 29 de transfert de pastilles comprend un capteur R 111 monté sur la plaque 89 de support dans une position telle que le capteur 111 est actionné chaque fois que la palette 83 fait passer le bord arrière d'une pastille 35 sur et au-dessus de la ligne verticale de visée du capteur R 111. Ce capteur R permet donc à la distance radiale du centre d'une pastille située soit dans une encoche de la nacelle soit dans une encoche de cassette, d'être déterminée par rapport à l'axe vertical du tube de support 93 et de l'arbre rotatif 91 correspon- dant. Quand cette distance est connue, le moyen de com- mande 31 peut alors commander le moteur 85 d'entraînement R pour déplacer la pastille sur cette distance radiale en introduisant une pastille dans l'encoche correspondante ou en la retirant de cette dernière. Comme représenté sur la Fig. 1, la Fig. 2, les figures A à 5C et les figures 6A à 6C, le mécanisme 29 comprend un capteur 113 d'angle t. Le capteur d'angle est monté dans une position fixe telle qu'il peut servir pour détecter aussi bien les bords latéraux de la palette 33 (voir figures 5A à 5C) que les bords latéraux d'une pastille 35 transportée sur la palette 33 (voir figures 6A à 6C). Comme représenté sur la Fig. 2, le capteur 113 d'angle e peut être monté sur un bras 115 relié au tube 93 de support. Pendant l'étalonnage, le capteur d'angle 5 sert (comme représenté sur les figures 5A à 5C) à étalonner l'axe central de la palette 33 par rapport à l'axe de rotation 92 de la palette 33 dans le sens de l'angle À Comme représenté sur la Fig. 5A, quand on fait tourner la palette en sens anti-horaire et quand le bord gauche de la palette 33 passe sur le capteur 113, cet emplacement de ce bord de la palette est détecté par le capteur 113. Comme représenté sur la Fig. 5C, quand on fait tourner la palette en sens horaire et quand le bord droit de la palette 33 passe sur le capteur 113, cet emplacement de ce bord de la palette est détecté par le capteur 113. Les emplacements des bords latéraux de la palette sont exprimés respectivement comme angles e1 et (2 (comme représenté sur les dessins), et l'emplacement de l'axe central de la palette 33 est donc à mi-distance entre les angles 1 et e2' Bien entendu, il serait souhaitable que la palette 33 prélève chaque pastille avec le centre réel de la pastille complètement aligné avec l'axe central de la palette porte- pastille comme déterminé ci-dessus en référence aux figures A à 5C. Cependant, dans la pratique concrète, le centre de la pastille sera probablement décalé latéralement par rapport à l'axe central de la palette 33, et ce décalage latéral peut avoir une ampleur suffisante pour causer des problèmes, le bord de la pastille heurtant une ou plusieurs des surfaces de l'encoche avec assez de force pour faire éclater ou s'écailler la matière particulaire. Le décalage latéral doit par conséquent être mesuré et doit être compensé afin d'éviter ce contact. La mesure et la compensation du décalage latéral du centre réel de la pastille par rapport au centre de la palette est également préoccupant quand des pastilles sont transférées de la nacelle à la cassette. La présente invention com- pense aussi le décalage dans cette manoeuvre de transfert. Le décalage latéral est déterminé deux fois. La première détermination est faite avant la manoeuvre au cours de l'étalonnage de l'emplacement attendu d'une pastille dans une cassette (habituellement juste l'encoche supérieure, comme indiqué plus haut) et de l'emplacement attendu de pastilles dans les encoches supérieure, infé- rieure et centrale d'une nacelle (comme indiqué plus haut). La seconde détermination de décalage latéral est faite pendant la manoeuvre en liaison avec chaque trans- fert de chaque pastille depuis une source jusqu'à une destination. En référence aux figures 6A à 6C, la palette est tout d'abord entraînée en rotation en sens anti-horaire selon l'angle e (comme représenté sur la Fig. 6A) jusqu'à ce que le détecteur 113 d'angle G détecte le bord latéral gauche de la pastille 35. A ce point, l'angle 6eA est indiqué par le capteur. La palette 33 est ensuite entraînée en rotation en sens horaire (comme indiqué sur la Fig. 6C) pour détecter le bord latéral droit de la pastille 35, et l'angle eB est déterminé. Le centre réel de la pastille est donc à mi-distance entre les deux angles détectés. Si l'angle de cet axe central de la pastille diffère de l'angle précédemment calculé de l'axe central de la palette 33, le moyen de commande 31 fait alors tourner la palette 33 dans la bonne direction angulaire pour éliminer le décalage latéral entre le centre de la palette et le centre de la pastille transportée sur la palette de façon que la pastille 35 puisse alors être acheminée jusqu'à l'encoche correspon- dante de la nacelle 39 ou d'une cassette 37 sans aucun contact des bords. En résumé, un étalonnage initial est effectué pour chaque cassette et chaque nacelle pour déterminer l'em- placement attendu de chaque pastille dans une encoche correspondante de la cassette ou de la nacelle. En éta- lonnant une cassette, il est habituellement suffisant d'étalonner juste l'emplacement d'un centre de pastille dans l'encoche supérieure d'une cassette. Comme indiqué plus haut, en étalonnant la nacelle, il est habituellement souhaitable d'étalonner l'encoche supérieure, une encoche centrale et l'encoche inférieure de la nacelle (comme représenté sur la Fig. 3). Le capteur 113 d'angle est ensuite utilisé pour dé- tecter et mesurer tout décalage latéral du centre réel d'une pastille sur la palette 33 par rapport au centre étalonné, et l'ensemble d'entraînement selon l'angle a est actionné dans le sens approprié pour compenser ce décalage latéral avant que la pastille 35 ne soit intro- duit dans une encoche correspondante de la nacelle ou de la cassette. Bien que les formes préférées de réalisation de l'in- vention aient été représentées et décrites, il doit être entendu que celles-ci se prêtent à des variantes et des modifications, REVENDICATIONS 1. Four (21) pour chauffer et/ou traiter des pastilles (35), caractérisé en ce qu'il comprend: une chambre verticale, une nacelle (39) construite pour contenir un certain nombre de pastilles à traiter dans la chambre et configurée pour être introduite dans la chambre verticale de traitement et être retirée de cette dernière par une extrémité inférieure de la chambre,. des moyens formant élévateur (45) pour lever la nacelle (39) jusque dans la chambre depuis un poste de chargement/déchargement de chambre et pour sortir la nacelle de la chambre en la redescendant jusqu'au poste de chargement/déchargement de chambre, et un moyen (25) d'échange de nacelles pour transférer une nacelle entre le poste de chargement/déchargement de chambre et un poste de chargement/déchargement de pastilles, ledit moyen d'échange de nacelles comportant un plateau tournant (41) construit pour supporter une nacelle à un endroit et pour supporter une autre nacelle à un endroit différent sur le plateau tournant de façon. qu'une nacelle puisse être soumise à une opération de chargement/déchar- gement de pastilles dans la nacelle au poste de chargement/déchargement de pastilles tandis que l'autre nacelle peut être soumise à une opération correspondante de chargement/déchargement de la nacelle dans ou hors de la chambre au poste de chargement/déchargement de chambre. 2. Four pour chauffer et/ou traiter des pastilles, caractérisé en ce qu'il comprend: une cassette (37) ayant des encoches pour maintenir des pastilles à l'intérieur de la cassette, une nacelle (39) ayant des encoches (73) pour maintenir des pas- tilles à chauffer quand la nacelle est chargée dans une chambre de chauffage, des moyens de maintien de nacelle pour maintenir la nacelle à un poste de chargement/déchargement de pastilles pendant que des pastilles sont transférées entre les encoches d'une cassette et les encoches d'une nacelle; des moyens de transfert de pastilles pour transférer des pastilles entre les encoches d'une cassette et les encoches d'une nacelle, un moyen (55) formant chambre verticale ayant une extrémité inférieure ouverte par laquelle la nacelle est introduite au début du cycle de chauffage et/ou de traitement et est retirée à la fin du cycle, et des moyens (45) formant élévateur pour lever la nacelle jusque dans le moyen formant chambre verticale depuis un poste de chargement/ déchargement de chambre et pour abaisser la nacelle pour la sortir du moyen formant chambre de chauffage et la ramener au poste de chargement/ déchargement de chambre. 3. Four selon la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens formant élévateur saisissent et font revenir une nacelle à un poste de chargement/déchargement qui est à un emplacement différent de l'emplacement du poste de chargement/déchargement de pastilles et en ce que les moyens de maintien de la nacelle comprennent un plateau tournant qui tourne pour transférer une nacelle entre le poste de chargement/ déchargement de pastilles. 4. Four selon la revendication 2, caractérisé en ce que les encoches (73) de la nacelle (33) sont espacées verticalement et sont alignées sensiblement verticalement les unes avec les autres, et en ce que les encoches de la cassette (37) sont espacées verticalement et sont alignées sensiblement verticalement les unes avec les autres, les moyens de transfert de pastilles comprenant une palette (33) mobile verticale- ment pour prendre et transporter une pasille (35) pendant un transfert de la pastille entre la nacelle et la cassette et pouvant entrer et sortir radialement de la cassette et de la nacelle et mobile également en arc de cercle au cours de la réalisation d'un transfert entre une cassette et une nacelle. 5. Four selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'il comprend un moyen formant capteur radial (111) pour détecter l'amplitude du mouvement radial de la palette impliqué lors de l'extraction d'une pastille d'une cassette ou d'une nacelle. 6. Four selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'il comprend un moyen formant capteur vertical pour détecter la position verticale d'une pastille dans une encoche de nacelle ou de cassette. 7. Four selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'il comprend un moyen formant capteur d'angle epour détecter et mesurer l'ampli- tude de décalage du centre de la palette par rapport au centre d'une pastille portée sur la palette. 8. Four selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens d'entraînement vertical, radial. et rotatif à moteur pour actionner la palette dans des directions verticale, radiale et rotative correspondantes et en ce qu'il comprend des moyens de commande (31) pour commander l'actionnement des moyens d'entraînement vertical, radial et rotatif à moteur. 9. Four selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'il comprend un moyen (111) formant capteur radial pour détecter l'amplitude du déplacement radial de la palette impliqué par l'extraction d'une pastille d'une cassette ou d'une nacelle, un moyen formant capteur vertical pour détecter la position verti- cale d'une pastille (35) dans une encoche (73) de nacelle (39) ou dans un logement de cassette, un moyen formant capteur d'angle-eçurdétecter et mesurer l'ampli- tude de décalage du centre de la palette par rapport au centre d'une pastille sur la palette, les moyens formant capteurs coopérant avec les moyens de commande pour établir selon trois coordonnées par étalonnage le centre attendu d'une pastille dans chaque logement et dans chaque encoche et pour compenser aussi pendant le transfert proprement dit n'importe quel décalage latéral du centre de la palette par rapport au centre de la pastille en replaçant latéralement la palette selon l'amplitude de décalage nécessaire afin que toute erreur introduite pendant le prélèvement de la pastille soit éliminée et que les moyens de transfert de pastilles conservent la tota- lité des tolérances existantes pour l'acheminement des pastilles qui est très critique. 10. Procédé de transfert d'une nacelle de pastilles entre un poste de chargement/déchargement de pastilles et un poste de chargement/ déchargement pour un four selon l'une quelconque des revendications précé- dentes, caractérisé en ce qu'il comprend l'appui de la nacelle (39) de pastilles (35) sur un plateau tournant (41) dans un des postes et la rotation du plateau tournant pour transférer la nacelle (33) de pastilles (35) jusqu'à l'autre poste. 11. Dispositif de transfert de nacelle pour transférer une nacelle de pastilles entre un poste de chargement/déchargement de pastilles et un poste de chargement/déchargement pour un four selon l'une quelconque des revendications précédentes, ledit dispositif de transfert de nacelles étant caractérisé en ce qu'il comprend un moyen (41) formant plateau tournant pour supporter la nacelle (33) de pastilles (35) dans un des postes et un moyen (43) d'entraînement en rotation pour faire tourner le plateau tournant afin de transférer la nacelle de pastilles d'un poste à l'autre poste.