Brevet FR2605137A1 — publié le 19880415

l FILMS FORMES DE COUCHES ALTERNEES A CARACTERE SEMI-METALLIQUE ET A CARACTERE ISOLANT ELECTRIQUE, ET LEUR FABRICATION PAR IRRADIATION D'UN FILM DE POLYMERE AU MOYEN D'UN FAISCEAU D'IONS ENERGETIQUES. DESCRIPTION La présente invention a pour objet un procédé de fabrication de films formés de couches alternées à caractère semi-métallique et à caractère isolant électrique, à partir de films de polymère organique que l'on soumet à une irradiation au moyen de faisceaux d'ions énergétiques. Les structures obtenues par ce procédé présentent des propriétés électriques et/ou optiques intéressantes; aussi ce procédé peut être utilisé avantageusement dans des domaines très divers, par exemple en microélectronique, en optoélectronique, en optique intégrée, en optique non linéaire, dans le domaine des télécommunications et des systèmes pour le contr8le des informations optiques ainsi que pour la réalisation d'écrans plats. L'irradiation de matériaux organiques au moyen de faisceaux d'ions énergétiques est une technique connue qui a été décrite en particulier par T. VENKATESAN et ai dans J. Appl. Phys. 56 (10), 15 novembre 1984, pp 2778 à 2787, et par J.DAVENAS et ai dans Annales de Physique, Colloque n 1, supplément au n 1, vol. 11, février 1986, pp. 107 à 112. Ainsi, dans l'article de T. VANKATESAN et aI, on étudie l'influence d'une irradiation par des ions argon, sur la structure et les propriétés électriques de films en dianhydride 3,4,9,10-péryLène tétracarboxylique et en phtalocyanine de nickel. Il est indiqué dans cet article que l'irradiation par des ions énergétiques conduit à une destruction de la structure moléculaire par rupture de certaines liaisons et perte de certains éléments entrant dans la constitution du film, ce qui a pour conséquence un enrichissement en carbone du film et une augmentation de sa conductivité électrique. Dans L'article de J. DAVENAS et aI, on étudie la modification des propriétés superficielles de filmes organiques en polymère soumis à une irradiation par des faisceaux d'ions ayant une énergie de 500 KeV. Dans ce cas, iL se produit également des ruptures de Liaison chimique avec émission d'un atome d'hydrogène, et l'on améliore ainsi la conductivité électrique du polymère. Cependant, jusqu'à présent, Les irradiations au moyen de faisceaux d'ions énergétiques ont été limitées à des énergies inférieures à I MeV/u.m.a, et l'on n'a pu obtenir de ce fait des structures complexes, par exemple des couches alternées isolant/semi-métal. La présente invention a précisément pour objet la fabrication de structures en couches alternées à caractère semi- métallique et à caractère isolant par irradiation d'un film de polymère au moyen d'ions énergétiques. Le procédé, selon l'invention, de fabrication d'un film formé de couches alternées comportant une couche à caractère semi-métallique et une couche électriquement isolante se caractérise en ce que l'on soumet à une irradiation au moyen d'un faisceau d'ions énergétiques ayant une énergie d'au moins 1 MeV/u.m.a un film de polymère organique électriquement isolant de façon à modifier, soit uniquement la ou les couches superficielles du film de polymère pour lui (leur) conférer un caractère semi-métaLLique, soit la totalité du film de polymère et obtenir ainsi un film formé successivement d'une première couche électriquement isolante, d'une deuxième couche à caractère semi-métallique et d'une troisième couche électriquement isolante. Selon l'invention, L'utilisation d'ions ayant une énergie d'au moins 1 MeV/u.m.a permet d'obtenir une perturbation et une modification du fiLm de polymère en utiLisant Les interactions électroniques entre Les ions qui traversent Le film de polymère et Les chaÂnes de ce polymère. En effet, un ion Lourd fortement énergétique (dont L'énergie est supérieure à 1 NeV par nucléon) produit, dans La matière qu'iL traverse, une trace Linéaire correspondant à une perturbation intense du matériau; Le diamètre de cette trace Latente peut aLLer de 1 à 100 nim. Dans un poLymère, cette perturbation se traduit par des modifications structurales de L'architecture intra et intermoltéculaire du polymère; eLLe conduit en particulier à La formation de macro-radicaux libres et, pour des fluences éLevées, à La perte d'identité du poLymère par dégradation du squelette. La nature et La densité de ces transformations dépendent du polymère irradié, des ions utilisés, de Leur énergie primaire et de Leur perte d'énergie dans Le film de polymère; cette perte d'énergie dépend en particulier de l'épaisseur du film de polymère irradié, car la perte d'énergie évolue le long de la trajectoire de L'ion de façon plus ou moins importante suivant la nature et l'énergie primaire de L'ion. La nature et la densité des transformations produites dans Le polymère sont également fonction de La fluence d'irradiation et de l'atmosphère dans Laquelle est réalisée cette irradiation. Aussi, en choisissant de façon appropriée les ions utilisés, leur énergie primaire, La fluence d'irradiation et l'atmosphère d'irradiation, on peut contrôler la nature et la densité des transformations produites dans le film de polymère organique et orienter celles-ci, soit vers l'obtention d'une structure formée de couches alternées comportant une première couche à caractère semi-métallique, une deuxième couche à caractère isolant et éventuellement une troisième couche à caractère semi- métallique, soit vers l'obtention d'un film formé de couches alternées comportant une première couche électriquement isolante, une deuxième couche à caractère semi- métallique et une troisième couche électriquement isolante. Ainsi, selon un premier mode de mise en oeuvre du procédé de l'invention, adapté à la fabrication d'un film formé d'une première couche à caractère semi-métallique, d'une deuxième couche électriquement isolante et d'une troisième couche à caractère semi-métallique, on réalise l'irradiation sous vide et 2605 137 l'on utilise des ions légers ou des ions ayant un faible pouvoir d'arrêt avec des conditions d'irradiation telles que L'on modifie uniquement les couches superficielles du film de polymère organique en leur conférant un caractère sesi-métallique. Dans ce cas, Les ions ont une énergie suffisante pour traverser La totalité du film de poLymère organique, mais Leur perte d'énergie dans Le film reste faible de sorte que seules Les couches superficielles sont modifiées sur une épaisseur qui peut aLLer de 0,1 à quelquesAgm. Cellesci sont appauvries en éléments volatiLs tels que H et donc enrichies en carbone, ce qui leur confère un caractère semi-métallique. L'énergie des ions incidents et la fluence du faisceau, c'est-à-dire le nombre d'ions par ce, sont choisies en fonction de la nature du polymère et des ions utilisés. Ainsi, lorsque le polymère est du fluorure de polyvinylidène et les ions sont des ions krypton, la fluence du 12 - faisceau doit être inférieure à 10 ions.cm pour une énergie des ions incidents de 3800 MeV. Lorsque l'on utilise des ions oxygène avec un film de fluorure de polyvinylidène, on peut obtenir cette structure de couches alternées semimétal/isolant/semi-métal en utilisant des 3-2 fluences inférieures à 10 ions.cM pour une énergie des ions incidents de 800 MeV. Lorsque l'on utilise des ions krypton avec un film de polytétrafluoroéthylène, on peut obtenir une structure semi- métal/isolant/semi-métal avec des fluences inférieures à 10 -2 ions.cm pour une énergie des ions incidents de 3800 MeV. Selon une variante de réalisation de ce premier mode de mise en oeuvre du procédé de l'invention adapté à la fabrication d'une structure comportant une première couche à caractère semi- métallique et une deuxième couche à caractère isolant, on réalise l'irradiation du film dans les mimes conditions que précédemment mais l'énergie des ions incidents n'est pas suffisante pour qu'ils traversent totalement Le film de polymère organique; ainsi on ne modifie que l'une des couches superficielles du film, ce qui conduit à une structure semi-métal/isolant. Dans les deux cas, la ou les couches atomiques superficielles du fiLm de polymère subissent une modification plus importante en raison d'une possibilité accrue de désorption des espèces chimiques, ce qui permet de conférer à ta ou aux couches superficielles un caractère semii-étallique. Selon un deuxième mode de mise en oeuvre du procédé de l'invention, adapté à la fabrication d'un film formé d'une première couche électriquement isolante, d'une deuxième couche, à caractère semi- métallique et d'une troisième couche électriquement isolante, on réalise l'irradiation sous vide, et on utilise des ions lourds ou des ions ayant un fort pouvoir d'arrêt avec des conditions d'irradiation et une énergie des ions incidents telles que l'on modifie la totalité du film de polymère organique. Dans ce cas, on utilise généralement des fluences élevées; ainsi on obtient des interactions des ions avec la totalité du film, et lors de ces interactions, le polymère perd la presque totalité de ses éléments les plus volatils et se transforme en film ayant un caractère semi-métallique. Cependant, grâce à l'emploi d'une enceinte étanche et d'une atmosphère confinée, les espèces réactives désorbées peuvent réagir entre elles sur les couches superficielles du film et reconstituer ainsi sur ces couches superficielles un polymère électriquement isolant. Selon une variante de ce deuxième mode de mise en oeuvre du procédé de l'invention, on peut favoriser la reconstitution d'une couche isolante sur les couches superficielles du film irradié en réalisant l'irradiation dans une atmosphère de gaz réactif. Ainsi, par réaction des espèces réactives désorbées du film de polymère irradié avec les réactifs gazeux présents dans L'enceinte, on pourra former sur la surface du film des couches isolantes. A titre d'exemples, le réactif gazeux peut être constitué par des composés halogénés ou hydrohalogénés, par 6 2605137 exemple du chlore ou du fluor, des dérivés cyanés, des dérivés du bore, des dérivés du silicium, des dérivés de l'azote. On peut aussi utiliser comme réactif gazeux un monomère qui réagira avec le polymère modifié par irradiation en formant un copolymère ou un alliage de polymères sur les surfaces du film. Le monomère utilisé est un monomère polymérisable comportant au moins une insaturation éthylénique. A titre d'exemples non limitatifs de tels monomères, on peut citer l'éthylène, le tétrafluoroéthylène et leurs dérivés, le butadiène et ses dérivés, le styrène et ses dérivés, l'acrylamide et ses dérivés, l'acrylonitrile et l'allyl glycidyl éther, les isomères de la vinyl pyridine et leurs dérivés, les esters de l'acide acrylique et de l'acide méthacrylique, et en particulier, le méthacrylate d'hydroxyéthyle ainsi que le méthacrylate de diméthylamino éthyle, la N-vinyl pyrrolidone et la N-vinyl caprolactone. Selon l'invention, comme on l'a vu précédemment, les conditions d'irradiation sont choisies en fonction des ions utilisés, de la nature du film *de polymère organique et de l'épaisseur de ce film pour obtenir la modification souhaitée. La dose d'irradiation intégrée Di (en Mrad) qui correspond à l'énergie déposée dans le film, est _n Relation avec le pouvoir d'arrêt électronique AE (en MeV.mg cm) des ions -2 dans le film et la fluence F (en ions.cm) du faisceau d'ions de la façon suivante: -11 Di =.E x 1,6.10 F Ainsi, on peut agir sur la dose d'irradiation intégrée, la fluence du faisceau d'ions et L'énergie des ions incidents pour obtenir une perte d'énergie des ions dans le film permettant d'obtenir les modifications voulues. La perte d'énergie dépend également de la nature du film de polymère organique et de son épaisseur et ces paramètres doivent être établis dans chaque cas particulier; ceux-ci 7 2 62605137 peuvent être déterminés d'après les Annales de Physique: F. Hubert, A. Fleury, R. Bimbot and D. Gardes, "Range and stopping power tables for 2.5100 MeV/nucleon. heavy ions in solids", (1980), vol. 5, ed. Masson. Les polymères qui peuvent être modifiés par Le procédé de L'invention sont des polymères qui, par interaction avec un faisceau d'ions énergétiques, peuvent conduire à des dérivés comportant des insaturations éthylEéniques et/ou acEtyléniques, par exemple des structures de type polydiénique *CH=CH-CH=CH*, des structures polyaLléniques 4CH=C=CH+, des structures polyacétyléniques et polydiacétyléniques du type CE.C-CH -C ^C^ ou des structures de type cumulène 4C=C=C=C*. A titre d'exemples de tels polymères, on peut citer les polyoléfines et leurs dérivés, par exemple le polyéthylène et le polypropylène; les polymères halogénocarbonés, par exemple les polymères fLuorocarbonés comme le polytétrafluoréthylène, le fluorure de polyvinylidène et le fluorure de polyvinyle, les polymères chlorocarbonés comme le chlorure de polyvinylidène et le chlorure de poLyvinyLe, et les polymères iodocarbonés et bromocarbonés; les polymères hydrohaLogénocarbonés et leurs dérivés; les copolymères de monomères halogénocarbonés et hydrohalogénocarbonés; Les polymères pseudo-halogénés, comme les polymères cyanés, isocyanés et leurs dérivés, par exemple le polyacrylonitrile et le polydicyanoéthyLène; les polyamides; les polyimides et les polyesters. Généralement, le film de polymère organique a une épaisseur de 0,1,pm à 1 am. Les ions susceptibles d'être utilisés dans l'invention peuvent être de différentes natures. On peut utiliser en particulier des ions oxygène, des ions néon, des ions argon, des ions xenon, des ions krypton et des ions uranium. Dans le second mode de mise en oeuvre du procédé, on utilise plutôt des ions lourds comme Les ions krypton. L'irradiation peut être réalisée à la température ambiante ou à des températures supérieures, par exemple allant de 8 260513 7 b 80 C. On peut aussi réaliser l'irradiation à basse température, en particulier Lorsque Les poLymères qui constituent Le film, se restructurent trop rapidement après modification par le faisceau d'ions. Ainsi, dans le cas du poLyéthylène, il peut être intéressant de réaliser l'irradiation à La température de l'azote liquide pour empêcher cette restructuration. Généralement, on réalise l'irradiation sous vide; on peut toutefois réaliser l'irradiation dans d'autres atmosphères, par exempte en atmosphère de gaz neutre ou à l'air Lorsque les réactions éventuelles du poLymère avec l'oxygène de L'air ne sont pas néfastes pour la modification recherchée. Dans le deuxième mode de mise en oeuvre du procédé, on réalise de plus l'irradiation dans une enceinte étanche confinée afin que les espèces réactives désorbées du film puissent réagir entre elles à la surface du fiLm au lieu d'être dispersées dans l'enceinte. Dans les deux modes de mise en oeuvre du procédé de l'invention, l'irradiation est réalisée en utilisant des appareillages classiques, par exemple des accélérateurs à ions lourds capables de produire des faisceaux d'ions ayant une énergie d'au moins 1 MeV/u.m.a. Pour obtenir des ions incidents ayant une énergie inférieure à celle que possèdent les ions sortant de l'accélérateur, on peut utiliser des atténuateurs ou irradier simultanément plusieurs films disposés en empilement, de sorte que les derniers films de l'empilement reçoivent des ions d'énergie voulue. L'invention a également pour objet un film formé de couches alternées obtenu par ce procédé. SeLon l'invention, ce film formé de couches alternées comporte au moins une couche à caractère semi-métalique et au moins une couche électriquement isolante et il se caractérise en ce que La couche électriquement isolante est constituée par un polymère organique et en ce que La couche à caractère semi- 9 2 6 605137 métallique est constituée par un dérivé dudit polymère organique comportant des insaturations éthyléniques et/ou acétyléniques. Les exemples suivants sont donnés bien entendu à titre non limitatif pour illustrer l'invention. EXEMPLE 1 Dans cet exemple, on prépare, seLon le premier mode de mise en oeuvre du procédé de L'invention, une structure semi- *étal/isolant/semi-métal à partir d'un film de fluorure de polyvinylidène de 25 micromètres d'épaisseur. Dans cet exemple, on utilise un faisceau d'ions oxygène et l'irradiation est réalisée dans les conditions suivantes: -4 -6 - Pression: 1,35.10 Pa (10 Torr), - Température: 300C, - Energie des ions oxygène incidents: 800 MeV, - Dose intégrée: 4 3 Mrads, - Fluence: 3,6.10 ions.cm, et -1 2 -1 2 - Perte d'énergie de l'ion: 0,74 MeV.mg cm. Après irradiation, on analyse le film par spectroscopie de photoémission X en utilisant une source monochromatée AlKc =1486,6 eV. On remarque ainsi que le film présente en surface une zone modifiée par la présence de polyallene. Sur cette surface, le rapport d'intensité des groupements caractéristiques du polyallène, c'est-à-dire du polymère modifié, par rapport aux groupements du polymère non modifié est de 50,7%. On analyse également le film par résonance paramagnétique électronique et l'on constate ainsi que le coeur du film n'a pas été modifié. EXEMPLE 2 On prépare comme dans l'exemple 1 une structure semi- métal/isolant/semi-métal en irradiant un film de fluorure de polyvinylidène de 25 micromètres d'épaisseur au moyen d'ions oxygène dans les conditions suivantes:: -4 -6 - Pression: 1,35.10 Pa (10 Torr), - Température: 300C, 2605137 - Energie des ions oxygène: 60 MeV, - Dose intégrée: 18,4 Mrads, FLuence: 3,6.10 ions.cm, et -1 2 - Perte d'énergie de l'ion: 3,16 MeV.mg.cm On analyse Le film comme dans l'exemple 1 par spectroscopie de photoémission X et par résonance paramagnétique électronique. On constate ainsi- que te rapport d'intensité, c'est-à-dire le rapport correspondant au polymère modifié est de X. La modification est donc plus importante que dans l'exemple 1. En revanche, le coeur du film est pratiquement inchangé; seuls quelques radicaux provenant des scissions des chaînes principales sont détectés. Ainsi, le fait d'utiliser des ions moins énergétiques qui ont une perte d'énergie plus importante, mais une dose intégrée plus éLevée, augmente le taux de modification en surface du film de polymère, sans que le coeur soit modifié. EXEMPLE 3 Dans cet exemple, on forme, à partir d'une feuille de fluorure de polyvinylidène de 50 micromètres d'épaisseur, une structure semimétal/isolant/semi-métal en utilisant le premier mode de mise en oeuvre du procédé de l'invention. On réalise l'irradiation au moyen d'un faisceau d'ions oxygène dans les conditions suivantes: -4 -6 - Pression: 1,35.10 Pa (10 Torr), - Température: inférieure à 400 C, Energie des ions oxygène:800 MeV, - Dose intégrée: 28 Mrads, 12 -2 - Fluence: 2,4.10 ions.cm, et -1 2 - Perte d'énergie de l'ion: 0,74 MeV.mg.cm. L'analyse du film par spectroscopie de photoémision X et par résonance paramagnétique électronique montre que le rapport d'intensité correspondant à la zone modifiée est de 62% et que La zone de coeur du film est pratiquement inchangée. 11 2605137 EXEMPLE 4 On utilise le premier mode de aise en oeuvre du procédé de L'invention pour obtenir à partir de la feuille de fluorure de polyvinylidéne de l'exemple 3 une structure semi- métal/isolant/semi-métal. L'irradiation est réalisée au moyen d'un faisceau d'ions oxygène dans Les conditions suivantes: -4- -6 - Pression: 1,35.10 Pa (10 Torr), - Température: inférieure à 400 C, Energie des ions oxygène: 60 MeV, - Dose intégrée:127 Mrads, - Fluence: 2, 4.10 ions.cm, et -1 2 - Perte d'énergie de L'ion: 3,16 MeV.mg.cm. On analyse Le film par spectroscopie de photoémission X et par résonance paramagnétique électronique. On constate ainsi que Le rapport d'intensité correspondant à la zone modifiée est de 79%, et que la zone de coeur du film est caractéristique du polymère d'origine ayant subi quelques scissions de chaîne principale. EXEMPLE 5 On utilise le premier mode de mise en oeuvre du procédé de l'invention pour obtenir à partir d'une feuille de fluorure de polyvinylidène de 25 micromètres d'épaisseur une structure semi- métal/isolant/semi-métal. L'irradiation est réalisée au moyen d'un faisceau d'ions krypton dans les conditions suivantes: -4 -6 - Pression:1,35.10 Pa (10 Torr), - Température: 60 C, - Energie des ions krypton: 3800 MeV, - Dose intégrée: 39,6 Mrads, 11 -2 - Fluence: 1,35.10 ions.cm, et -1 2 - Perte d'énergie de l'ion:17,5 MeV.mg.cm On analyse ensuite le film par spectroscopie de photoémission X et par résonance paramagnétique électronique. On constate ainsi que le rapport d'intensité correspondant à la zone modifiée est de 33,4% et que la zone de coeur du film est pratiquement inchangée. 12 2605137 EXEMPLE 6 Dans cet exemple, on utilise le deuxième mode de mise en oeuvre du procédé de L'invention pour réaliser une structure isolant/semi- métaL/isolant à partir de la feuiLLe de fluorure polyvinylidène de L'exemple 5. L'irradiation est réalisée au moyen d'ions krypton dans Les conditions suivantes: - Pression: 1,35.104 Pa (10-6 Torr), - Température - -: 600C, Energie des ions krypton: 110 MeV, - Dose intégrée: 81,4 Mrads, il -2 Fluence: 1,35.10 ions.cm, et -1 2 - Perte d'énergie de l'ion: 52 MeV.mg.cm On analyse ensuite le film par spectroscopie de photoémission X et par résonance paramagnétique électronique. On constate ainsi que la zone superficielle du film est inchangée car le rapport d'intensité correspondant à la zone modifiée n'est que de 4,8%. En revanche, l'analyse par résonance paramagnétique électronique montre que le coeur du film est constitué par des groupements polyényle conducteurs. ?20 EXEMPLE 7 Dans cet exemple, on réalise une structure isolant/semi-métal/isolant à partir d'une feuille de chlorure de polyvinylidène de 50 micromètres d'épaisseur en utilisant le second mode de mise en oeuvre du procédé. L'irradiation est réalisée au moyen d'ions krypton dans les conditions suivantes: -4 -6 - Pression: 1,35.10 Pa (10 Torr), - Température: -2 - Fluence: 3,80.10 ions.cm, et -1 2 - Perte d'énergie de l'ion: 18,2 MeV.mg.cm. L'analyse du film par spectroscopie de photoémision X montre que la surface du film est peu modifiée car Le rapport d'intensité correspondant à la zone modifiée est de 8,6%. L'analyse par résonance paramagnétique électronique montre que La zone de coeur est constituée de radicaux polyényle conducteurs. 13 2605137 EXEMPLE 8 Dans cet exemple, on prépare une structure isolant/semi-métal/isolant à partir d'un film de chlorure de polyvinylidène de 50 micromètres d'épaisseur en utilisant le deuxième mode de aise -en oeuvre du procédé de l'invention. L'irradiation est réalisée au moyen d'ions krypton dans Les conditions suivantes: - Pression: 1,35.10-4 Pa (10-6 Torr), - Température: -2 - Fluence:3,80.10 ions.cm, et -1 2 - Perte d'énergie de l'ion: 37,5 MeV.mg.cm L'analyse du film par spectroscopie de photoémission X montre que la surface du fiLm est peu modifiée, le rapport d'intensité de la zone modifiée n'étant que de 6,7%. L'analyse par résonance paramagnétique électronique du film montre que la zone de coeur est constituée de radicaux polyényLe conducteurs. EXEMPLE 9 Dans cet exemple, on prépare, selon le premier mode de mise en oeuvre du procédé de l!invention, une structure semi- métal/isolant/semi-métal à partir d'une feuille de polytétrafluoroéthylène de 50 micromètres d'épaisseur que l'on irradie par des ions krypton dans les conditions suivantes: -4 -6 - Pression: 1,35.10 Pa (10 Torr), - Température: -1 2 - Perte d'énergie de l'ion: 17 MeV.mg.cm . L'analyse du film par spectroscopie de photoémission X montre que la surface du film est modifiée par création de composés polydiéniques, le rapport d'intensité en surface de la zone modifiée étant de 16,4%. En revanche, l'analyse par résonance paramagnétique électronique montre que la zone de coeur 14 2605137 est très peu perturbée car elle ne renferme que quelques radicaux créés par rupture des chaînes principales. On remarque ainsi que Le procédé de L'invention permet d'obtenir des structures différentes selon Les ions et Les conditions d'irradiation utilisés. 22605137 REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'un film formé de couches alternées comportant une couche à caractère semi-métaLtique et une couche électriquement isolante, caractérisé en ce que L'on soumet à une irradiation au moyen d'un faisceau d'ions énergétiques ayant un. énergie d'au moins 1MeV/u.m.a un film de polymère organique électriquement isolant de façon à modifier, soit uniquement La ou Les couches superficielltes du film de polymère pour Lui (Leur) conférer un caractère semi-métalLique, soit La totatité du film de polymère et obtenir ainsi un film formé successivement d'une première couche électriquement isolante d'une deuxième couche à caractère semi-métaLttlique et d'une troisième couche électriquement isolante. 2. Procédé suivant La revendication 1 de fabrication d'un film formé d'une première couche à caractère semi-métattllique et d'une deuxième couche électriquement isolante et d'une troisième couche à caractère semimétatllique, caractérisé en ce que L'on réalise L'irradiation sous vide et en ce que L'on utilise des ions Légers ou des ions ayant un faible pouvoir d'arrêt avec des conditions d'irradiation telles que l'on modifie uniquement les couches superficietlles du film de polymère organique en leur conférant un caractère semi-métatllique. 3. Procédé suivant la revendication 1 de fabrication d'un film formé d'une première couche à caractère semi-métallique et d'une deuxième couche à caractère isolant, caractérisé en ce que l'on réalise l'irradiation sous vide, et en ce que L'on utilise des ions légers ou des ions ayant un faible pouvoir d'arrêt avec des conditions d'irradiation et une énergie des ions incidents telles que l'on modifie uniquement l'une des couches superficielles du film de polymère organique en Lui conférant un caractère semi-métallique. 4. Procédé selon La revendication 1 de fabrication d'un film formé successivement d'une première couche électriquement isolante, d'une deuxième couche à caractère semi-métallique et 16 2605 1 3? 7 d'une troisième couche électriquement isolante, caractérisé en ce que l'on réalise t'irradiation en atmosphère confinée dans une enceinte étanche et en ce que l'on utilise des ions lourds ou de grande perte d'énergie des conditions d'irradiation tettlles que t'on modifie la totalité du film de polymère organique. 5. Procédé seton ta revendication 4, caractérisé en ce que t'on réalise l'irradiation -dans une atmosphère de gaz réactif. 6. Procédé selon ta revendication 5, caractérisé en ce que le gaz réactif est choisi dans le groupe comprenant tes composés haLogénés, les composés hydrohatogénés, tes dérivés cyanés, les dérivés du bore, tes dérivés du siLicium et les dérivés de l'azote. 7. Procédé seton ta revendication 5, caractérisé en ce que le gaz réactif est un monomère polymérisable comportant au moins une insaturation éthylénique. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que le polymère organique est choisi dans le groupe comprenant Les polyoLéfines et leurs dérivés, les polymères fluorés et leurs dérivés, les polymères chlorés et leurs dérivés, tes polymères fluorochlorés et leurs dérivés, les polymères hydrohalogénés et leurs dérivés, les polymères pseudo- halogénés et Leurs dérivés, les polyamides, tes polyimides, les polyesters, le polyacrylonitrile et ses dérivés, le polydicyanoéthytène et ses dérivés. 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que te polymère organique est le fltuorure de polyvinylidène, le chlorure de polyvinytidène ou te polytétrafluoroéthyLène. 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que te film de polymère organique a une épaisseur de 0,1em à I mm. 11. Procédé seton l'une quelconque des revendications 2 et 3, caractérisé en ce que les ions sont des ions oxygène ou des ions krypton. 12. Procédé selon L'une quelconque des revendications 4 à 7, caractérisé en ce que les ions sont des ions krypton. 13. Film formé de couches alternées comportant au moins une couche à caractère semimétallique et au moins une couche électriquement isolante, obtenu par le procédé selon l'une quelconque des revendications I à 12, caractérisé en ce que la couche électriquement isolante est constituée par un polymère organique et en ce que la couche à caractère semi-métallique est constituée par un dérivé dudit polymère organique comportant des insaturations éthyléniques et/ou acétyléniques. 14. Film selon la revendication 13, caractérisé en ce que le polymère organique est du fluorure de polyvinylidène, du chlorure de polyvinylidène ou du polytétrafluoroéthylène. 15. Film selon l'une quelconque des revendications 13 et 14, caractérisé en ce que la couche semi-métallique dérivée du polymère organique a une structure polyallénique.