Brevet FR2599505A1 — publié le 19871204

La présente invention concerne un analyseur de gaz photoacoustique comprenant une chambre de mesure, une source lumineuse modulée, et au moins un microphone connecté à la chambre de mesure et mesurant les variations de pression provoquées par l'absorption de la lumière à L'intérieur de la chambre. Le procédé de mesure ci-dessus indiqué utilise le fait que des molécules absorbent de la lumière, par exemple de La lumière infrarouge, à des longueurs d'onde prédéterminées. La position des bandes d'absorption dépend de la substance. La lumière 10 infrarouge est modulée et un signal acoustique est produit dans la chambre de mesure, ce signal étant proportionnel à la concentration et ayant une fréquence qui correspond à La fréquence de modulation. Un procédé connu de mesure de la concéntration du 15 gaz est le procédé dit de transmission, comme indiqué dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 3 562 524. Suivant ce procédé, on mesure comment la lumière est modifiée au passage d'une cellule de gaz, la différence entre l'intensité lumineuse mesurée avec le gaz voulu dans la cellule et l'intensité mesurée sans le gaz constituant une indication de la concentration du gaz. La fiabilité de la mesure est par conséquent assez faibLe pour les faibles concentrations gazeuses. L'inconvénient ci-dessus est évité par le procédé de mesure photoacoustique, puisque le signal fourni par ce procédé 25 est directement proportionnel à la concentration du gaz et non, comme dans le procédé de transmission, proportionnel à la différence entre deux valeurs presque égales. Ce procédé convient tout particulièrement pour la mesure des faibles concentrations gazeuses dans la mesure o l'intensité lumineuse régnant à l'intérieur de 30 la chambre de mesure est suffisamment éLevée. Un procédé de mesure photoacoustique connu présentant une sensibilité élevée repose sur l'emploi d'un laser comme source lumineuse et, ainsi que le montre la figure 1, cette dernière utilisant partiellement la grande puissance lumineuse émise 35 par exemple par le dioxyde de carbone et partiellement le parallelisre ce la lumière émise. La source Lumineuse du Laser n'est pas très souple du point de vue des variations de la longueur d'onde. En outre, un laser hautement énergétique tel qu'un laser à dioxyde de carbone est coûteux, lourd et encombrant et n'est donc pas adapté à la production en série. Un parallélisme presque parfait de la lumière conditionne l'application du procédé de mesure photoacoustique connu et peut naturellement être obtenu à partir d'un autre type de source lumineuse, par exemple une source lumineuse thermique ou une lampe spectrale, au lieu de la source lumineuse du laser. De 10 cette manière, on obtient une grande souplesse en ce qui concerne le choix de la longueur d'onde en utilisant par exemple un filtre optique pour sélectionner l'intervalle de longueur d'onde voulu. Une telle source lumineuse est en outre peu coûteuse, petite et facile à manipuler, si bien qu'elle convient à la production en série. L'intensité d'un faisceau de lumière presque parallèle provenant de ces sources est toutefois très faible, car elle est proportionnelle à (sine)2 o e est l'angle de divergence de la lumière. Si l'on concentre un faisceau lumineux hautement 20 divergent sur la chambre de mesure, on obtient au contraire une intensité lumineuse fortement accrue. Toutefois, on est gêné par l'inconvénient selon lequel une partie essentielle de la lumière vient frapper sur les parois de la chambre de mesure et est partiellement absorbée par celles-ci. Par conséquent, on réduit partiellement le signal de mesure du fait qu'une partie seulement de la lumière passe dans la chambre de mesure et, en outre, un intense signal de fond est produit par la puissance lumineuse absorbée dans la paroi de la chambre. Le but de l'invention est de montrer comment un 30 transducteur photoacoustique comprenant par exemple une source lumineuse thermique peut produire une sensibilité élevée. On obtient la sensibilité élevée de deux manières: partiellement par maximisation de l'intensité lumineuse et donc du niveau du signal, et partiellement par minimisation des signaux de perturbation. La présente invention fournit une chambre de mesure photoacoustique, dont les parois réfléchissent la lumière venant les frapper depuis l'intérieur. De cette manière, la Lumière entrant dans la chambre de mesure passe dans ladite chambre et, par conséquent, contribue à fournir le signal de gaz voulu. En outre, le signal de fond perturbateur est minimisé, car seule une petite partie de la lumière est absorbée par les parois de la chambre. Le signal de fond peut être diminué plus encore par l'existence de parois de la chambre faites en un matériau d'une haute conductivité thermique, par exemple du cuivre, avec une mince couche d'un revêtement réfléchissant, tel que l'or. On augmente, d'un facteur 2, l'intensité lumineuse dans la chambre de mesure et, par conséquent, la sensibilité en remplaçant une fenêtre de la chambre de mesure par une paroi réfléchissante, la lumière passant alors deux fois dans la chambre de mesure. Selon un mode de réalisation plus universel, la chambre de mesure comprend un corps creux ayant une forme arbitraire, dont les parois sont faites d'un matériau très bon conducteur de la chaleur et portant un revêtement réfléchissant interne. La lumière entrant dans la chambre de mesure est alors réfléchie 20 au niveau des parois plusieurs fois avant de quitter la chambre, si bien que l'intensité augmente d'un facteur pouvant aller jusqu'à 4. Une chambre de mesure sphérique constitue un exemple d'une semblable chambre de mesure. On peut obtenir une autre amplification de l'inten25 sité en utilisant un concentrateur qui permet de fournir la lumière sous un angle d'incidence e 6Max. La divergence de la lumière quittant le max concentrateur a alors été augmentéeet l'intensité est augmentée aussi bien. Pour obtenir un signal de fond, dû aux parois, suffisamment bas, il est nécessaire que le revêtement réfléchissant n'absorbe qu'une petite partie de la Lumière. Ceci s'obtient de manière relativement facile-lorsqu'on utilise une lumière infrarouge, mais non avec une lumière ultraviolette. Une chambre de 35 mesure particulièrement adaptée à un champ ultraviolet est dotée de parois faites en un matériau diélectrique transparent qui possède une faible conductivité de la chaleur, par exemple du quartz, et portant un revêtement réfléchissant tel que de l'aluminium en application sur l'extérieur de la chambre de mesure. De cette manière, le signal de fond dû aux parois diminue de manière considérable. Un analyseur de gaz infrarouge doté de deux microphones sensiblement uniformes qui sont connectés à la chambre de mesure permet d'obtenir une compensation des vibrations lorsque les deux microphones uniformes sont placés symétriquement par rapport au centre de gravité de l'air contenu dans la chambre de mesure, et les signaux des deux microphones s'ajoutent l'un à l'autre. Les deux microphones sont conformés d'une manière particulière, car le canal d'équilibre de pression venant du 15 volume arrière de chaque microphone s'étendant habituellement jusqu'à l'environnement est ici relié au volume de la chambre de mesure fermée. En résultat, les perturbations dues au bruit acoustique de l'extérieur sont réduites. Lorsque le transducteur est doté d'un filtre optique 20 supplémentaire, à savoir un filtre de référence, et d'un dispositif mécanique assurant la commutation entre les deux filtres, il est possible de compenser les signaux de perturbation tels que le signal de fond dû aux parois, le signal venant d'un gaz éventuellement interférant ou le signal en spectre continu de 25 l'eau. Ce dernier dérive d'une légère absorption en bande large dans la vapeur d'eau, à savoir ce que l'on appelle "absorption en spectre continu de l'eau". Selon un mode de réalisation offrant une autre possibilité que la compensation par filtres de référence ci-dessus indiquée, le modulateur et les deux filtres sont combinés en une unité tournante, à savoir ce que l'on appelle le modulateur à filtre différentiel. De cette manière, on évite d'avoir un dispositif de commutation de filtres mécanique distinct, et, en outre, on augmente de 6 dB la valeur du rapport signal-bruit. La compensation du signal en spectre continu de l'eau peut être réalisée par une mesure photoacoustique de la concentration en eau au moyen d'une Lampe à décharge électriquement moduLée comme source lumineuse en remplacement de l'utilisation d'un filtre de référence particulier. Le procédé repose sur le fait que la distribution spectrale de la lumière de la 5 lampe à décharge coïncide avec une bande d'absorption placée dans l'intervalle de longueur d'onde de 1,5 à 2,7 pm, ladite distribution spectrale étant déterminée par les caractéristiques spectrales de La lampe à décharge et les caractéristiques de transmission du verre de la lampe. Un tel procédé est très simple 10 et peu coûteux. Selon un mode de réalisation, on place des soupapes magnétiques aux entrées de la chambre de mesure. Ces soupapes magnétiques ferment la chambre de mesure pendant une opération de mesure, ce qui assure une réduction supplémentaire du bruit acoustique. Toutefois, un tel procédé de mesure n'est pas continu et le temps de réponse est assez long. Selon un deuxième mode de réalisation, on remplace les soupapes magnétiques par des filtres passe-bas acoustiques susceptibles de réduire fortement le bruit acoustique venant de l'extérieur à la fréquence des modulateurs. 20 De cette manière, il est possible de mesurer de manière continue pendant le passage du gaz, ce qui assure un bref temps de réponse. Toutefois, la sensibilité en est légèrement diminuée. Selon un mode de réalisation particulièrement avantageux des filtres acoustiques, la capacité acoustique correspond 25 au volume latéral non traversé par le gaz à mesurer. De cette manière, la fréquence du modulateur diminue fortement sans perte correspondante sur le bref temps de réponse. Un transducteur doté de filtres optiques ainsi que d'un dispositif mécanique permettant d'assurer leur couplage séquen30 tiel rend possible l'exécution d'une mesure séquentielle de la concentration en gaz dans un mélange de plusieurs gaz. Une mesure. parallèle simultanée rapide portant sur plusieurs gaz peut être obtenue au moyen d'un transducteur formé de telle manière que la lumière se répartit entre un certain nombre de filtres optiques 35 permanents et au moyen d'un modulateur formé de telle manière que la Lumière correspondant auxdits filtres est modulée à leurs fréquences respectives. Des signaux correspondant aux divers gaz sont séparés grâce à une filtration électrique du signal des microphones. Si on le souhaite, on peut combiner l'analyseur de gaz infrarouge avec un appareil de mesure paramagnétique et employer les mêmes microphones de mesure. Alors, on peut utiliser l'analyseur de gaz paramagnétique pour mesurer la teneur en oxygène tandis que l'analyseur de gaz infrarouge peut être employé pour mesurer la teneur en les gaz restants. La description suivante, conçue à titre d'illustration de l'invention, vise à donner une meilleure compréhension de ses caractéristiques et avantages; elle s'appuie sur les dessins annexes, parmi lesquels: la figure 1 montre un procédé de mesure photo15 acoustique connu utilisant un laser; la figure 2 illustre une chambre de mesure photoacoustique dotée de parois réfléchissantes permettant d'employer un faisceau luminLux divergent provenant d'une source lumineuse thermique; la figure 3 montre un exemple d'un deuxième mode de réalisation de la chambre de mesure; la figure 4 montre la chambre de mesure dotée d'un dispositif de mesure de concentration; la figure 5 montre une chambre de mesure faite en 25 un matériau diélectrique transparent et portant un revêtement réfléchissant extérieur; la figure 6 illustre la compensation des vibrations au moyen de deux microphones; la figure 7 illustre un exemple d'un modulateur à 30 filtrage différentiel; la figure 8 montre une chambre de mesure dotée de soupapes magnétiques ou de filtres passe-bas acoustiques dans ses entrées; les figures 9a et 9b montrent un filtre acoustique; 35 La figure 9c est un équivalent électrique des figures 9a et 9b; la figure 10 montre un transducteur photoacoustique destiné à permettre la mesure simultanée de plusieurs gaz d'un mélange de gaz; la figure 11 est une vue de face du modulateur de la figure 10; la figure 12 est une vue en perspective d'un exemple d'une chambre de mesure; et la figure 13 montre un analyseur de gaz photoacoustique combiné avec un analyseur de gaz paramagnétique. L'analyseur de gaz de la figure 10 comprend une chambre de mesure 2 et une source lumineuse 4. Un modulateur 6 et un filtre 8 sont placé entre la chambre de mesure 2 et La source lumineuse 4. Le modulateur 6 est un disque tournant doté d'ouvertures 7, comme on peut le-voir sur la figure 11. Le modu15 lateur 6 provoque l'émission d'un faisceau lumineux pulsant à destination de la chambre de mesure. L'absorption à l'intérieur de la chambre de mesure 2 et l'échauffement résultant des gaz qu'elle contient impliquent qu'une signal acoustique est produit dans la chambre de mesure 2. Ce signal est détecté par l'intermé20 diaire d'un microphone 10 communiquant avec la chambre de mesure. Le signal acoustique est proportionnel à la concentration du gaz à analyser et possède une fréquence qui correspond à la fréquence du modulateur. La figure 11 montre le modulateur 6 en relation avec 25 certaines ouvertures de filtres stationnaires 11a, 11b, 11c transmettant une lumière infrarouge aux longueurs d'onde absorbées par N20, C02, et des anesthésiques, respectivement. La lumière est modulée simultanément à trois fréquences différentes. De cette manière, il est possible de mesurer la concentration des trois 30 gaz simultanément. La pression sonore du signal photoacoustique est: /2 (y-1) P = x CKI o I est l'intensité lumineuse moyenne à l'intérieur de la chambre de mesure, C est la concentration en gaz, K est le coefficient d'absorption, X est la fréquence du modulateur, et y = Cp/Cv, o Cp est la quantité de chaleur nécessaire pour élever d'un degré la température d'une mole du gaz à pression constante (chaleur molaire Cp), et Cv est la quantité de chaleur nécessaire pour élever d'un degré la température d'une mole du gaz à volume constant (chaleur molaire Cv). La sensibilité est donc proportionnelle à l'intensité lumineuse I. De plus, elle est inversement proportionnelle à la 10 fréquence w du modulateur. La formule ne s'applique toutefois qu'à une fréquence limite inférieure prédéterminée dépendant de la taille de la chambre. Pour augmenter la sensibilité, il est donc souhaitable d'augmenter l'intensité de la lumière. La figure 3 montre une chambre de mesure sphérique 12 comprenant une fenêtre 13 relativement petite. La lumière FL de la source est concentrée au moyen d'un miroir. La lumière est fortement divergente, ce qui signifie q.e l'intensité de la lumière entrante est élevée. La surface interne de la chambre de 20 mesure sphérique a été polie et revêtue d'un matériau RR qui est hautement réfléchissant dans l'intervalle voulu de longueur d'onde, par exemple de l'or ou du rhodium. La lumière qui pénètre dans la chambre de mesure 12 est réfléchie plusieurs fois avant d'être délivrée hors de la chambre. De cette manière, l'intensité lumi25 neuse est amplifiée à l'intérieur de la chambre de mesure 12 par comparaison avec l'intensité lumineuse entrante. L'amplification maximale est de 4 fois. La lumière entrante divergente et l'amplification due aux réflexions multiples assurent une haute sensibilité. Une condition du procédé est une capacité de réflexion élevée, 30 en partie pour maximiser l'amplification dans la plus grande mesure possible et en partie pour réduire le signal de fond qui est dû à la partie de la lumière qui est absorbée dans la paroi de la chambre de mesure. On peut également réduire le signal de fond par un choix approprié du matériau de la paroi, tellure- cuivre 35 et cuivre. Un tel matériau possède une conductivité thermique élevée et une capacité thermique élevée. On peut obtenir une amplification supplémentaire de l'intensité au moyen d'un concentrateur CT situé au niveau de l'ouverture de La chambre de mesure 12, comme le montre la figure 4. Un concentrateur est en mesure de permettre le passage de la lumière sous un angle de divergence e emax, la lumière est réfléchie de nouveau vers l'extérieur. La divergence de la lumière quittant le concentrateur et entrant dans la chambre de mesure est élevée. L'intensité (amplification maximale = 1/(sine) 2) est également élevée. max -La lumière quittant le concentrateur peut être plus divergente (jusqu'à Â/2) que ce que l'on peut obtenir au moyen z'ure lentiLle. Le modulateur à filtre différentiel comprend deux filtres optiques tournants, par exemple suivant la configuration 15 de 'a figure 7, qui comporte deux filtres en forme de croissant, les filtres étant respectivement un filtre d'échantillon FE et un filtre de référence FR. Le filtre de référence assure une compensation vis-à-vis du bruit de fond dû à la paroi, à Jn gaz parasite ou à l'absorption dans le spectre continu de l'eau. Au lieu du modulateur à filtre différentiel, il est possible d'effectuer la mesure séquentiellement en commutant le premier filtre, puis en commutant le deuxième filtre, l'opération étant suivie d'une compensation arithmétique. L'avantage du modulateJr à filtre est qu'il n'est besoin d'aucun dispositif de 25 comrmutation des filtres et qu'on obtient en outre un rapport signal-bruit supérieur de 6 dB pendant la même durée de mesure (à savoir, 3 dB parce que la période d'obscurité du modulateur est utilisée pour faire la mesure, ainsi que 3 dB qui sont dus au fait que la différence est mesurée directement). Selon un mode de réalisation particulièrement préféré, la chambre de mesure sphérique est dotée d'un revêtement réfléchissant extérieur, comme indiqué sur la figure 5, de sorte que l'on réduit le bruit de fond de la paroi. La paroi est faite en ua matériau transoarent MT et doit être therriquement épaisse, 35 c'est-à-dire d'une épaisseur plus grande que la longueur thermique 25995O5 de diffusion, ladite longueur de diffusion dépendant de la fréquence du modulateur et des propriétés thermiques du matériau. Une conductivité thermique élevée signifie que le matériau possède une grande longueur thermique de diffusion, si bien que la paroi doit être très épaisse. Un mode de réalisation convenant particulièrement pour La production en série est représenté sur la figure 2. Il comprend une chambre de mesure cylindrique 12 dotée d'une fenêtre 13 et intérieurement recouverte d'un revêtement réfléchissant RR, 10 un microphone MCPH, et un filtre optique FO. Une source lumineuse S fournit, en relation avec un miroir elliptique ME et un modulateur MDL, un faisceau lumineux. Une telle chambre est facile à polir. Toutefois, en retour, l'amplification de l'intensité est diminuée d'un facteur 2 par rapport au mode de réalisation sphé15 riqe. La figure 12 est une vue en perspective de la chambre de mesure, ou il est possible de situer un filtre optique en avant de la chambre de mesure. La chambre de mesure est de préférenr-? placée dans un bloc de tellure/cuivre, ledit matériau étant plus 20 facile à traiter que le cuivre pur. Le côté interne de la chambre de mesure est de préférence revêtu de nickel et d'or. Une compensation du signal relatif au spectre continu de l'eau nécessite une mesure de la concentration de l'eau. Cette dernière opération est effectuée de manière photoacoustique 25 au moyen des microphones et d'une lampe à décharge électriquement modulée, dont la caractéristique correspond aux 2,7 pm de la bande de l'eau. Dans ce dernier cas, il est effectué une compensation arithmétique sur la base des caractéristiques de chaque filtre. La fréquence de coupure maximale du verre de la lampe 30 se trouve à 3 Pm et n'est donc pas spécialement influencée par la bande du CO2 se trouvant à 4,27 pm. Ainsi, on peut omettre le filtre optique. Une lampe à décharge électriquement modulée permet d'omettre des commutateurs de filtres mécaniques. L'absorption du spectre cstînu de ['eau est une 35 absorption à bande large de la vapeur d'eau. Le coefficient d'absorption varie "doucement" avec la longueur d'onde. En termes généraux, on dira au'il est proportionnel au carré de la concentration en eau, au contraire des bandes d'absorption réelles qui ont une structure de lignes et o l'absorption est prcporticnnelle à La concentration. Les modes de réalisation ci-dessus présentés sont 5 sensibles aux vibrations. Cette sensibilité aux vibrations est partiellement due à la masse de la membrane du microphone, c'està-dire que la membrane doit être rendue fine dans ce but, et, en partie, à la masse de l'air contenu dans la chambre de mesure. Pour réduire la sensibilité ci-dessus indiquée, on utilise deux 10 microphones 15 et 16 'que l'on tourne de manière opposée, comme indiqué sur la figure 6. En outre, ils sont placés symétriquement par rapport au centre de gravité de l'air contenu dans la chambre de mesure. Les signaux des deux microphones 15 et 16 sont ajoutés, ce qui permet d'éviter l'effet des vibrations. Des microphones uniformes sont nécessaires pour permettre une compensation simultanee du signal dû aux vibrations en provenance de l'air aussi bien que de la membrane. Un tel mode de réalisation assure une augmentation de 6 dB pour la puissance du signal ainsi qu'une augmentation de 3 dB du rapport signal-bruit. Chaque microphone peut en outre être conformé de telle manière que le canal d'équilibrage de pression communique avec la chambre de mesure et non avec l'environnement, ceci pour réduire le bruit acoustique provenant de l'extérieur. L'importance-de la puissance susceptible d'être 25 introduite dans la chambre de mesure au moyen d'un faisceau lumineux divergent provenant d'une source lumineuse thermique peut par exemple être indiquée par le fait qu'une longueur d'onde de 9,8 pm et une largeur de bande de 0,7 pm conduisent à une puissance de 13 mW environ. La figure 13 montre un appareil de mesure photoacoustique utilisé en relation avec un apoareil de mesure paramagnétique, les mêmes microphones MCPH étant employés dans les deux cas. La chambre de passage 12 reçoit le faisceau lumineux du système optique constitué par la source S, le miroir M, le 35 modulateur MDL et les filtres optiques FO. Les gaz sont soumis à des filtres acoustiques (de référence et d'échantillon) avant leur passage dans la chambre 12, puis vont traverser la chambre de melange CM soumise à l'action d'un champ magnétique et parviennent à un filtre acoustique FA', à un conteneur d'air CA, et à une pompe P. Les signaux des deux microphones sont appli5 qués à un amplificateur différentiel AD (qui donne une réponse pour l'oxygène 02) et à un amplificateur d'addition AA (N20, C02). Ce procédé de mesure photoacoustique convient particulièrement pour mesurer par exemple la teneur en N20, tandis que le procédé de mesure paramagnétique convient pour La mesure de la teneur 10 en oxygène. Le mode de réalisatio- s'applique donc notamment au contrôle de l'administration d'un anesthésique (haluthane, éLiflurane, isoflurane). Chaque entrée ou sortie de la chambre de mesure 12 est, comme le montre la figure 8, avantageusement dotée de filtres 15 acoustiques servant à exclure les signaux acoustiques non appropriés, lesdits filtres acoustiques étant des éléments RC acoustiques. La figure 9a montre un élément RC classique, désigné par la référence FA1, tandis que la figure 9b représente un élément RC acoustique o C est représenté par un volume latéral. Un avan20 tage particulier de l'existence d'un tel volume latéral est que l'on obtient un important abaissement acoustique sans réduire le temps de réponse. De cette manière, on peut mesurer plusieurs gaz sur une base de temps de quelques dixièmes de seconde. La figure 9c montre un équivalent électrique des filtres des figures 9a 25 et 9b. La chambre de mesure 12 peut également être dotée de soupapes magnétiques. Bien entendu, l'homme de l'art sera en mesure d'imaginer, à partir du dispositif dont la description vient d'être donnée à titre simplement illustratif et nullement limitatif, diverses autres variantes et modifications ne sortant pas du cadre de l'invention. REVENDICATION S 1. Analyseur de gaz photoacoustique comprenant une chambre de mesure (12), une source lumineuse modulée (S, MDL) et au moins un microphone (MCPH) connecté à la chambre de mesure 5 et mesurant les variations de la pression qui sont provoquées par l'absorption de la lumière à l'intérieur de la chambre, caractérisé en ce que la chambre de mesure comprend une surface de préférence courbe ayant un revêtement réfléchissant (RR). 2. Analyseur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la chambre de mesure à surface courbe est sensiblement cyl;ndrioue. 3. Analyseur selon La revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le revêtement réfléchissant est appliqué sur l'extérieur de la chambre de mesure. 4. Analyseur selon la revendication 1, 2 ou 3, caractérisé en ce qu'un concentrateur (CT) est placé en avant de la chambre de mesure afin d'amplifier plus encore l'intensité lumineuse. 5. Analyseur selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, o deux microphones sensiblement uniformes (15, 16) sont-pla20 ces de manière à être connectés avec la chambre de mesure, caractérisé en ce que les deux microphones uniformes sont symétriquement situés par rapport à la chambre de mesure, les signaux des deu> microphones étant additionnés. t. Analyseur selon l'une quelconque des revendications 1 25 à 5, caractérisé par le fait que la lumière est répartie entre plusieurs filtres optiques permanents (FO), un modulateur (MDL) étant conçu de telle manière que la lumière correspondant à ces filtres soit modulée L leurs fréquences respectives. 7. AnaLyseur selon la revendication 6, caractérisé en ce que le modulateur et les filtres sont combinés en une unité rotative. 8. Analyseur de gaz photoacoustique combiné avec un deuxième appareil de mesure, par exemple un appareil de mesure paramagnetique. 9. Analyseur selon L'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé par un filtre acastioue se présentant sous la forme d'un ou plusieurs éléments RC acoustiques, Ledit filtre étant placé dans chaque entrée ou sortie de la chambre de mesure. 10. Analyseur selon la revendication 9, caractérisé par un filtre acoustique se présentant sous la forme d'éléments RC acoustiques dotés de chambres latérales. 11. Analyseur selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce qu'un canal d'équilibre de pression venant du volume postérieur du microphone communique avec le volume de la chambre de mesure fermée. 12. Analyseur selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisé par le fait qu'il est effectué une compensation en ce qui concerne la concentration en eau par l'intermédiaire d'une mesure photoacoustique effectuée à l'aide d'un microphone et d'une lampe à décharge électriquement modulée.