Brevet FR2599171A1 — publié le 19871127

I ECRAN DE VISUALISATION ELECTROOPTIQUE ET PROCEDE DE REALISATION L'invention concerne un écran de visualisation électrooptique et son procédé de réalisation et plus particulièrement un écran plat de visualisation à commande matricielle. Elle est applicable à la réalisation d'écrans plats à cristal liquide de grande surface dont les 5 points de commande se font par intégration sous forme de couches minces. Comme 'il est connu, les écrans de visualisation comportent généralement un grand nombre de points élémentaires ou d'éléments d'image de forme carrée ou rectangulaire. Ces éléments d'image 10 doivent être adressés individuellement. La définition de l'écran est fonction du nombre de points susceptibles de recevoir une information. La commande de chaque point se fait par application d'un champ électrique à travers le cristal liquide. Pour la visualisation d'informations alphanumériques ou graphiques, il a été proposé des 15 affichages de type matriciel. Chaque élément d'image est alors défini par l'intersection de deux réseaux de conducteurs orthogonaux appelés lignes et colonnes. L'adressage de ces écrans matriciels de visualisation revêt une importance de plus en plus considérable au fur et à mesure qu'on 20 cherche à en augmenter la définition, c'est-à-dire le nombre des points élémentaires d'image. Les points élémentaires étant adressés séquéntiellement ligne par ligne, le nombre de lignes pouvant être adressés est en général limité par les caractéristiques de l'effet électrooptique du cristal 25 liquide utilisé. La possibilité d'adresser un grand nombre de lignes (>100) se fait alors au détriment des autres caractéristiques de l'écran (diminution du contraste et augmentation de la dépendance angulaire). Pour améliorer les performances de ces écrans, on peut mettre 30 en série avec chaque élément d'image, un élément non linéaire dont l'impédance électrique varie: - soit en fonction de la tension appliquée à ses âbvres, telle qu'une varistance en oxyde de zinc comme cela est dé&it dans l'article de A.C. CASTLEBERRY et al publié dans ilD 1980 5 Technical Digest, ou bien en utilisant un élément MIM -comme décrit dans l'article de K. NIWA et al publié dans SID 194 Technical Digest, ou encore en utilisant des diodes têtes bêches commne décrit dans l'article de N. SZYDLO et AI publié dans Japam Display 83 Technical Digest; - soit en fonction d'une tension de commande en Eufi-isant!des transistors en couches minces comme cela est décrit f[ans l;article de T.P. BRODY et al publié dans IEEE Electron Devices iED 20 995 (1973). Actuellement, les exigences de la technique en matière 15 d'écran de visualisation portent sur une meilleure déflnitionpossible de l'image. Dans le cas des écrans du type à affichage matriicre-, (on est alors amené à concevoir des dispositifs comportant u inomhre élevé de lignes ou de colonnnes d'adressage. Leur noribrhe pmt ailler jusqu'à 1024 voire audelà. Ceci augmente d'autant ie nombre 20 d'éléments de commande. Pour la fabrication en srIe, il est nécessaire notamment d'obtenir un rendement élevé, une bonne reproductibilité et une grande stabilité de ces composants. il est en outre nécessaire d'adapter, et ce également avec une bonne reproductibilité, les caractéristiques électriques du composant à celle de 25 la cellule associée. La présente invention concerne un écran de visuatsaion plus facile à réaliser et permettant des écrans de grandes dimensinns. Plus particulièrement, elle concerne un écran de visualisation électrooptique comportant: - une première et une deuxième lames parallèles enserrant un matériau électrooptique; - la première lame étant munie sur sa face en contact avec le matériau électrooptique d'une matrice d'électrodes arranges aen lignes et colonnes, de conducteurs de commande de ligne à raison d'un conducteur associé à chaque ligne d'électrodes de ladite matrice et disposé parallèlement à chaque ligne Pd'électrodes; - la deuxième lame étant munie sur sa face en- contact avec le matériau électrooptique de conducteurs de colonnes correspondant 5 chacun à une colonne de la matrice d'électrodes de la face de la première lame; caractérisé en ce que chaque conducteur de commande de ligne est couplé électriquement aux électrodes auxquelles il est associé par des éléments de couplage en matériau ferroélectrique. L'invention concerne également un procédé de réalisation d'un écran de visualisation électrooptique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: - une première étape de réalisation, sur un substrat, d'élec15 trodes en matériau conducteur; - une deuxième étape de réalisation d'une couche d'un matéri;:u ferroélectrique sur toutes les électrodes; - une troisième étape de gravure de la couche de matériau ferroélectrique pour obtenir sur chaque électrode au moins un 20 élément dudit matériau ferroélectrique; - une quatrième étape de réalisation d'une couche d'un matériau conducteur; - une cinquième étape de découpe dans la couche de matériau conducteur déposée au cours de la cinquième étape, d'au moins un 25 conducteur de commande de ligne K recouvrant au moins un élément en matériau ferroélectrique et une portion d'électrode se trouvant sous ledit élément en matériau ferroélectrique. Les différents objets et caractéristiques de l'invention apparaltront plus clairement dans la description qui va suivre, faite en se 30 reportant aux figures annexées qui représentent: - - la figure 1, un exemple de réalisation d'une portion d'écran de visualisation selon l'invention; - la figure 2, une vue de dessus de la portion d'écran de la figure I; - la figure 3, un cycle d'hystérésis d'un matériau ferroélectrique; - les figures 4 à 8, des schémas électriques de fonctionnement de la portion d'écran de la figure 1 - la figure 9, un schéma électrique équivalent d'un écran de visualisation selon l'invention; - la figure 10, un diagramme de temps illustrant un fonctionnement d'un écran de visualisation selon l'invention; - les figures 11 à 17, différentes phases d'un procédé de 10 fabrication selon l'invention. - les figures 18 et 19, un exemple de réalisation d'une variante d'une portion d'écran de visualisation selon l'invention. L'invention concerne un écran de visualisation électrooptique comprenant en série avec chaque élément d'image, un élément en 15 matériau ferroélectrique. Un matériau ferroélectrique présente, dans un domaine de température, une polarisation électrique spontanée P non nulle, en l'absence de champ électrique appliqué sur le matériau. Cette polarisation spontanée est due à une orientation macros20 copique des dipôles élémentaires du matériau. Le sel de Seynette possédant ces propriétés, la ferroélectricité est souvent appelée aussi Seynetto-électricité. Les matériaux ferroélectriques sont caractérisés par le cycle d'hystérésis qui existe entre le champ électrique E appliqué et la 25 polarisation P (comme cela est représenté en figure 3). Les paramètres principaux de ces cycles sont: Pr ou -P = polarisation rémanente dans le matériau sans champ électrique; Ec ou -Ec = champ coercitif qui est le champ électrique qu'il 30 faut appliquer pour annuler la polarisation rémanente Pr qui existait dans le matériau. Pour une oscillation du champ électrique entre deux valeurs +Em, on obtient un retournement périodique des dipales du matériau. Les matériaux ferroélectriques peuvent être soit des cristaux inorganiques tels que le sel de Seynette, BaTi 03 ou KP04H2, soit des polymères tels que le poly-vinylidène difluoré (PVDF) ou des copolymères de vinylidène difluoré - trifluoro d'éthylène P (VDF.TrF). L'exemple de réalisation de l'invention utilise des polymères ferroélectriques commandant un cristal liquide ils peuvent être utilisés sur de grandes surfaces et en faible épaisseur, donc avec des faibles tensions de commande compatibles avec le cristal liquide. Les figures I et 2 représentent un exemple de réalisation selon l'invention d'un élément de commande d'un écran à cristal liquide. Sur la figure 1, on trouve deux lames parallèles 1 et 2 enserrant un matériau électrooptique tel qu'un cristal liquide 3. Dans le cas o l'écran fonctionne en transmission, les deux lames sont en matériau transparent tel que du verre. Dans le cas o il fonctionne en réflexion, l'une des lames au moins, 2 par exemple, est transparente. Sur la face de la lame 2 en contact avec le cristal liquide 3, sont disposés des électrodes de colonnes telle que K. Sur la face 10, de la lame 1, en contact avec le cristal 20 liquide 3, sont disposées des électrodes E correspondant chacune à un élément image (ou pixel). Ces électrodes E sont associées à des conducteurs de commande de ligne tel que L. Selon l'invention, le couplage d'une électrode E et d'un conducteur est réalisé par l'intermédiaire d'un élément en matériau ferro25 électrique 4. Cet élément 4 est recouvert d'une couche d'isolant 5 pour l'isoler du cristal liquide 3. Cependant, cela n'est pas une obligation dans le cas ou l'isolant n'est pas attaqué par le cristal liquide. Dans ce cas on aura une variante de réalisation telle que représentée par les figures 18 et 19 dans lesquelles les mêmes 30 références sont affectées aux mêmes éléments que dans les figures I et 2 et o l'élément en matériau ferroélectrique 4 connecte directement le conducteur L à l'électrode E. La commande d'un élément image se fera donc par application d'une tension entre une électrode de colonne K et un conducteur de ligne L. Le circuit électrique de commande comprendra donc en série: l'électrode de colonne K, le cristal liquide 3, l'électrode E, le matériau ferroélectrique 4, une mince couche d'isolant 5, le conducteur de.ligne L. La figure 4 représente un schéma électrique d'un tel élément d'image de l'écran de visualisation décrit dans cette demande. A l'intersection d'une ligne et d'une colonne, on trouve donc en série le matériau ferroélectrique représenté par sa capacité Cf et dont le cycle d'hystérésis est rappelé en figure 5, et le matériau 10 électrooptique (par exemple du cristal liquide) représenté par sa capacité CXL et sa résistance RXL. Le principe général de fonctionnement d'un tel écran consiste à utiliser le matériau ferroélectrique comme une source de charge électrique commandable électriquement. En effet, lorsqu'on applique sur le matériau ferroélectrique une tension V aux bornes de l'ensemble, telle. que V > Vm et de sens opposé au sens initial des dipôles, ceux-ci se retournent et font apparaître une variation de charge électrique Q = 2PrSf (Sf = surface de la capacité Cf) pour annuler le champ électrique induit 20 par ces dipôles. Si les dipôles sont orientés dans le matériau ferroélectrique comme cela est représenté en figure 6, on obtient un retournement des dipôles comme représenté en figure 7. Cette charge apparaît aussi sur le cristal liquide et induit sur celui-ci une tension 2 Sf V = VXL C XL qui peut être insuffisante pour le commuter. Cela est représenté en figure 3. Ces charges accumulées sur le cristal liquide, se déchargent ensuite à travers la résistance RXL dans un temps caractéristique t = RXL CXL, à condition que le temps caractéristique de décharge de l'élément ferroélectrique soit grand devant le temps de trame (ce qui est généralement le cas). Le matériau ferroélectrique est donc bien une source de courant commandable électriquement. En effet, si une tension VVm est appliquée sur celui-ci, il n'y aura pas retournement des dipôles; la charge Qc = 2PrSf n'apparaîtra pas et les tensions développées sur le cristal liquide seront faibles. La figure 9 représente un schéma électrique équivalent d'un écran de visualisation selon l'invention. Les différentes cellules images de l'écran de visualisation sont arrangées en matrice de lignes et colonnes et sont commandées par des fils de lignes Ll, L2 10 et des fils de colonnes K1, K2. Une cellule image est placée à chaque point de croisement d'un fil de ligne et d'un fil de colonne. Chaque cellule image a été représentée sous la forme de son schéma électrique équivalent expliqué précédemment en relation avec les figures 1 à 8. Les fils de lignes sont adressés par un circuit 7 d'adresse ADD.L qui permet de connecter une source de tension VL à l'un quelconque des fils de ligne LI, L2. Les fils de colonnes sont adressés par un circuit d'adresse ADD.K qui permet de connecter une source de tension VK à 20 l'ensemble des fils de colonnes K1, K2. Le circuit ADD.L permet d'appliquer au cours d'une trame donnée un potentiel-+ VB ou -VB, appelée tension de balayage, sur un fil de ligne à adresser. Les autres fils de lignes sont maintenus à un potentiel nul. On donnera aux potentiels +VB et -VB les valeurs +Vc 25 et -Vc indiquées sur la figure 5. Par ailleurs, ces circuits permettent d'appliquer sur les fils de colonnes une tension comprise entre +VD ou -VD selon le fil de colonne de façon à exciter ou non les points de croisement situés à l'intersection du fil de ligne adressé et des différents fils de 30 colonnes. On choisira pour la valeur absolue de la tension VD, la valeur A V/2 indiquée sur la figure 5. Durant une trame donnée Tl, comme cela est représenté en figure 10, la tension +VB est appliquée successivement sur toutes les lignes de l'écran. Durant chaque impulsion appliquée à une ligne (LI, L2...), les fils de colonnes reçoivent un potentiel compris entre +VD et -VD selon la nature de l'information à appliquer à chaque point de croisement entre lignes et colonnes. En choisissant Cf CXL et Rf.Rxl, ce qui est toujours pos5 sible en diminuant la surface de la capacité du matériau ferroilectrique par rapport à celle du cristal liquide, les tenions VB + VD, B-VD + VD VD se reporteront intégralement sur le ferroélectrique. En particulier, pendant le temps d'adressage 10 VB +VD = Vc + 2 se reportera entièrement sur le ferroélectrique qui commutera et fera apparaître la tension 2P rSf v -=X sur le cristal liquide. 15 XL AV La tension VB -VD = Vc - 2 quant à elle, ne fera pas commuter le ferroélectrique et aucune tension n'apparaîtra sur le cristal liquide. Pendant le reste du temps trame, les tensions _+VD, qui sont 20 appliquées sur l'ensemble cristal liquide et ferroélectrique, s'appliqueront presque entièrement sur le matériau ferroélectrique du fait du rapport de capacité Cf/Cc. Pendant une trame un point non excité verra donc une tension pratiquement nulle, un point excité verra à ces bornes une tension 25 2PrSf V GXL Pendant le temps d'adressage, cette tension se décharge avec un temps caractéristique t = RXL CXL. Durant la trame suivante T2, les tensions d'adressage sont inversées comme cela est représenté en figure 10. C'est ainsi que la ligne LI qui avait été adressée à un potentiel +VB lors d'une première trame T1 est adressée par un potentiel -VB lors de la trame suivante T2. Les tensions + VD et -VD appliquées aux fils de colonnes sont également inversées pour une même information affichée. De plus, cette inversion de tension permet d'appliquer sur le cristal liquide, une tension à moyenne nulle ce qui bloque les effets de dégradations électrochimiques du cristal liquide. A titre d'exemple, l'invention peut être réalisée avec les valeurs numériques suivantes. En prenant Sf = 100 imm2, ef = I llm et Sxl = 105lim2 et eXL = 10 im ce qui correspond à un pas d'écran d'environ 350 lim, on a: Cf I Sf l CXL 100 Sxc - 1000 La tension induite par le retournement des dipôles vaut donc: 15 2PrS 2Pef Cf v = r - x - = 20 volts e f o xc ce qui correspond pour un temps caractéristique du cristal liquide de 10 ms et un temps trame de 20 ms à une tension moyenne sur le 20 cristal liquide d'environ 5 Volts. Compte tenu des champs coercitifs dans le matériau ferroélectrique (50 MV/m) en utilisant un copolymère P (VDF.TrF), les tensions d'adressage VB et VD doivent être égales à: VB = Vc = 50 volts VD = 10 voits. Dans ce cas, la tension moyenne appliquée sur le cristal liquide due au rapport capacitif sera de l'ordre de 0,1 volts Cf x V D) xL soit près de 50 fois inférieur à la tension introduite par le retournement des dipôles. Bien sûr cet exemple n'est pas limitatif. En particulier, on pourra ajuster les surface du ferroélectrique et du cristal liquide pour que les paramètres correspondent à l'effet électrooptique utilisé dans le cristal liquide. En se reportant aux figures 11 à 17, on va maintenarrt idécrire un exemple de procédé de réalisation selon l'invention d'un écran de visualisation électrooptique tel que décrit précédemment Au cours d'une première étape, on réalise sur un Substrat tel qu'une plaque de verre 1, un dépôt d'une couche mince d'un matériau conducteur, transparent ou réfléchissant selon que l'écran devra fonctionner en transmission ou. en réflexion. Puis, on grave, par exemple par photolithogravure, dans cette couche mince, des élec10 trodes E ou éléments images. Chaque électrode E comporte une indentation el et se présente comme cela est représenté:par les figures 11 et 12. Au cours d'une deuxième étape, on réalise un dépt d'une couche d'un matériau ferroélectrique sur toutes les électrodes E. Ce 15 dépôt est réalisé par exemple sous l'effet d'une foce -centrifuge élevée pour obtenir une couche mince d'épaisseur uniforme. Vépaisseur de cette couche sera par exemple de 1 micrometre. Le matériau sera, par exemple, comme mentionné précédemment soit un polymère (tel que PVDF) ou un copolymère tel que P ('VDF.TrF). 20 Le champ coercitif du copolymère est de Pordre de 50 MVrMm et la polarisation spontanée de l'ordre de P = 0,1 mC/m2. Au cours dune troisième étape, on réalise une gravure de la couche de miatriau ferroélectrique précédemment déposée pour obtenir des éléments 4 en matériau ferr9électrique recouvrant chaque indentation el des 25 électrodes E. Cette gravure est réalisée par exemple par attaque plasma. On obtient ainsi une structure telle que représentée en figures 13 et 14. Au cours d!une quatrième étape, on réalise une coucdhe d'un matériau isolant pour isoler le matériau ferroélectrique du -matériau 30 électrique qui devra être commandé par l'électrode E. Le matériau isolant peut être par exemple, un Ditrure de silicium (Si3N4) et le dépôt peut être alors réalisé par dépôt en phase vapeur (CVD) assisté plasma de silicium en présence dazote. Le matériau isolant peut être aussi un polymère PVA 2 599171 (polyvinyl alcool). Ensuite, on grave la couche de matériau isolant par attaque plasma ou chimique de façon à ne conserver que la couche disolant 5 juste nécessaire pour recouvrir chaque élément 4 en matériau 5 ferroélectrique. Cependant cette gravure n'est pas obligatoire et la couche d'isolant peut alors servir de couche d'ancrage pour le cristal liquide. Au cours d'une cinquième étape, on réalise une couche d'un matériau conducteur. Cette couche peut être par exemple de 10 l'aluminium et être déposée sous vide. Au cours d'une sixième étape on découpe, dans la couche de matériau conducteur qui vient d'être déposée, des conducteurs de commande de colonne K recouvrant un ou plusieurs éléments 5 et éléments ferroélectriques 4 ainsi que les indentations el des élec1 5 trodes E se trouvant sous les éléments 5. On obtient ainsi une structure telle que représentée sur les figures 15 et 16. Sur la coupe AA' de la figure 16, l'élément en matériau isolant 5 recouvre non seulement l'élément en matériau ferroélectrique 4 mais aussi une grande partie de la surface du 20 substrat 1. Cela n'est pas obligatoire. Il suffit que le matériau isolant recouvre entièrement l'élément ferroélectrique 4 pour le soustraire ultérieurement du contact du matériau électrooptique. En effet, dans le cas o le matériau électrooptique est un cristal liquide, celui-ci peut avoir une action chimique-, sur le matériau 25 ferroélectrique. Celui-ci peut être dissout par le cristal liquide et perdre ses propriétés électriques. Appliqué à la réalisation d'un écran à cristal liquide, le procédé de l'invention permet d'obtenir une configuration représentée en figure 17. A ce stade, la réalisation de l'écran retrouve la technologie des cellules à cristal liquide: - Sur la contre lame (deuxième lame de verre 2), on grave une couche d'ITO (oxyde d'étain et d'indium) qui constitue les lignes de la matrice. - On dépose sur les deux lames une couche d'orientation des molécules (polymère frotté de SiO évaporé). Ainsi, selon l'invention, l'utilisation de l'association dun polymère ferroélectrique et d'un cristal liquide dans un écran de visualisation de typé matriciel permet d'appliquer sur le cristal liquide une tension électrique indépendante de la tension d'adressage des colonnes. Cet écran est beaucoup plus simple de réalisation que celui utilisant des transistors en couche mince et utilise un élément de 10 commande permettant des dépôts sur des grandes surfaces Il est à noter que les formes de réalisation et les exemples numériques n'ont été données qu'à titre d'exemple pour illustrer la description et que d'autres variantes et valeurs numériques peuvent conduire à des réalisations ne sortant pas du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Ecran de visualisation électrooptique comportant: - une première et une deuxième lames parallèles (1, 2) enserrant un matériau électrooptique (3); - la première lame (1) étant munie sur sa face (10) en contact avec le matériau électrooptique (3) d'une matrice d'électrodes (Ell à E22) arrangés en lignes et colonnes, de conducteurs de commande de ligne (L) à raison d'un conducteur associé à chaque ligne d'électrodes de ladite matrice et disposé parallèlement à chaque ligne d'électrodes; - la deuxième lame (2) étant munie sur sa face (20) en contact avec le matériau électrooptique (3) de conducteurs de colonne (K) correspondant chacun à une colonne de la matrice d'électrodes (El l, E22) de la face (10) de la première lame (1); caractérisé en ce que chaque conducteur de commande de ligne (L) 15 est couplé électriquement aux électrodes (E) auxquelles il est associé par des éléments (4) de couplage en matériau ferroélectrique. 2. Ecran de visualisation électrooptique selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdits éléments (4) de couplage sont 20 en matériau polymère ferroélectrique. 3. Ecran de visualisation électrooptique selon la revendication 2, caractérisé en ce que le matériau polymère est en un polymère de vinylidène. 4. Ecran de visualisation électrooptique selon la revendication 25 -2, caractérisé en ce que le matériau polymère est un copolymère P(VDF.TrF). 5. Ecran de visualisation électrooptique selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit matériau électrooptique est un cristal liquide. 6. Ecran de visualisation électrooptique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens électriques permettant d'appliquer sélectivement entre un conducteur de ligne (L) déterminé et un conducteur de colonne (K) déterminé, une différence de potentiel (V) supérieure à la tension coercitive (Vc) de l'ensemble élément ferroélectrique et cristal liquide situé entre ledit conducteur de ligne (L) et ledit conducteur 5 de colonne (K), cette différence de potentiel V étant supérieure à ladite tension coercitive Vc d'une valeur de différence A V telle qu'elle dépasse une valeur de tension (Vm) déterminant une polarisation rémanente dans l'élément ferroélectrique. 7. Ecran de visualisation électrooptique selon la revendi10 cation 6, caractérisé en ce que lesdits moyens électriques permettent d'appliquer sélectivement aux conducteurs de ligne (L) une différence de potentiel égale à ladite tension coercitive (Uc) tandis qu'ils permettent d'appliquer sélectivement aux conducteurs de colonne (K) ladite valeur de différence (AV). 8. Ecran de visualisation électrooptique selon la revendication 7, caractérisé en ce que lesdits moyens électriques permettent d'appliquer sélectivement aux conducteurs de colonne (K) une différence de potentiel égale à ladite tension coercitive (Uc) tandis qu'ils permettent d'appliquer sélectivement aux conducteurs de ligne 20 (L) ladite valeur de différence (AV). 9. Ecran de visualisation électrooptique selon la revendication 6, possédant une succession de temps d'affichage, caractérisé en ce que lesdits moyens électriques permettent d'inverser le sens d'application de ladite différence de potentiel U,..d'un temps d'affi25 chage au suivant. 10. Ecran de visualisation électrooptique selon la revendication 9, caractérisé en ce que lesdits moyens électriques permettent d'inverser d'une ligne à la ligne suivante les tensions appliquées. 1 1i. Ecran de visualisation électrooptique selon la revendi30 cation 1, caractérisé en ce que chaque élément de couplage (4) en matériau ferroélectrique est recouvert d'une mince couche de matériau isolant (5). 12.Ecran de visualisation électrooptique selon la revendication 1 1, caractérisé en ce que la couche de matériau isolant (5) recouvre également l'ensemble de la lame 1 avec les électrodes E et les conducteurs de lignes L. 13. Procédé de réalisation d'un écran de visualisation électrooptique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: - une première étape de réalisation sur un substrat (1) d'électrodes (E) en matériau conducteur; - une deuxième étape de réalisation d'une couche d'un matériau ferroélectrique sur toutes les électrodes (E) - une troisième étape de gravure de la couche de matériau ferroélectrique pour obtenir sur chaque électrode (E) au moins un élément (4) dudit matériau ferroélectrique; une quatrième étape de réalisation d'une couche d'un matériau conducteur; - une cinquième étape de découpe dans la couche de matériau conducteur déposée au cours de la cinquième étape, d'au moins un conducteur de commande de colonne K recouvrant au moins un élément en matériau ferroélectrique (4) et une portion (el) d'électrode (E) se trouvant sous ledit élément en matériau ferroélectri.que 20 (4). 14. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce qu'il comporte, entre la troisième étape et la quatrième étape, une étape supplémentaire de dépôt d'une couche d'un matériau isolant (5). 15. Procédé 'selon la revendication 14, caractérisé en ce que 25 ladite étape supplémentaire comporte une phase de découpe dans la couche de matériau isolant d'éléments (5) en matériau isolant recouvrant les éléments (4) en matériau ferro-électrique.