Brevet FR2604522A1 — publié le 19880401

-- 1 -- Installation de détection de fuite à gaz traceur et procédé d'utilisation. La présente invention concerne une installation de détection de fuite à gaz traceur comprenant une pompe mécanique primaire dont l'aspi- ration est reliée, d'une part à une pièce à tester par l'intermédiaire d'une première vanne et d'autre part au refoulement d'une pompe secondaire turbomoléculaire par l'intermédiaire d'une seconde vanne, l'aspiration de ladite pompe turbomoléculaire étant reliée à la pièce à tester par l'intermédiaire d'une troisième vanne, une cellule spectrométrique étant en outre reliée du côté de l'aspiration de ladite pompe turbomoléculaire. Dans une telle installation connue, représentée sur la figure 1, le fonctionnement est le suivant: La cellule spectrométrique 1 étant à l'arrêt, la première vanne 2, la seconde vanne 3 et la troisième vanne 4 étant fermées, on met en route la pompe mécanique primaire 5 et l'on ouvre la seconde vanne 3. Après quelques minutes, le manomètre 6 indique une pression infé- rieure à 1 mb et commande le démarrage de la pompe turbomoléculaire 7. Lorsque la vitesse nominale de rotation de la pompe turbomoléculaire est atteinte, la pression indiquée par le manomètre 8 descend de 1=2 mb à 106 mb et on est alors en mesure d'allumer le filament de la cellule spectrométrique 1. On ferme la seconde vanne 3 et l'on ouvre la première vanne 2. La pompe primaire 5 vide alors la pièce à tester 9. Lorsque la pression dans la pièce à tester, mesurée par un manomètre 10, devient inférieure à 1 mb, on ferme la première vanne 2 et l'on ouvre la seconde vanne 3. Après quelques minutes, on peut ouvrir lentement la troisième van- ne 4 de telle sorte que la pression indiquée par la manomètre 8, ne remonte pas au-dessus de 10-4 mb. La mesure de la fuite s'effectue lorsque la troisième vanne 4 est grande ouverte. Dans une telle installation, et avec ce procédé d'exécution, le pompage de la pièce 9 à tester est relativement long. La présente invention a pour but de diminuer le temps de pompage de la pièce à tester. L'invention a ainsi pour objet une installation de détection de -2- fuite à gaz traceur du type décrit ci-dessus caractérisée en ce que ladite pompe turbomoléculaire comporte en outre un orifice d'aspiration intermédiaire reliée à la pièce à tester par l'intermédiaire d'une qua- trième vanne. Selon une autre caractéristique de l'invention, ladite pompe se- condaire turbomoléculaire est constituée de deux étages en série à la séparation desquels aboutit ledit orifice d'aspiration intermédiaire et dont le premier étage, situé du côté de la cellule spectrométrique, a un haut de compression hélium. L'invention va maintenant être décrite en référence au dessin annexé dans lequel: - La figure 1 représente une installation de détection de fuite connue et qui a déjà été décrite; - La figure 2 représente une installation de détection de fuite selon l'invention. En se référant à la figure 2 l'installation comprend une pompe mécanique primaire 5 dont l'aspiration est reliée à une pièce à tester 9 par une conduite 13 munie d'une première vanne 2. L'aspiration de la pompe primaire 5 est en outre reliée par une conduite 14 munie d'une seconde vanne 3 au refoulement 17 d'une pompe secondaire turbomoléculaire 7. L'aspiration de la pompe turbomolécul- aire 7 est reliée par une conduite 15, munie d'une troisième vanne 4, à la pièce à tester 9. Une cellule spectrométrique 1 est reliée à l'aspiration de la pompe turbomoléculaire 7. Conformément à l'invention, la pompe turbomoléculaire 7 possède un orifice d'aspiration intermédiaire 16 qui est relié par une conduite 11 munie d'une quatrième vanne 12 à la pièce à tester 9. Des manomètres 6, 8 et 10 permettent de mesurer les pressions à différents niveaux. Le fonctionnement du dispositif est le suivant: Les vannes 2, 3, 4 et 12 étant fermées, on met en route la pompe primaire 5 et l'on ouvre la seconde vanne 3. Après quelques secondes, le manomètre 6 indique une pression inférieure à 1 mb et commande le démar- rage de la pompe turbomoléculaire 7. Lorsque sa vitesse de rotation est atteinte, la pression indiquée par le manomètre 8 descend jusqu'à -3 -6 mb On peut alors allumer le filament de la cellule spectromètrique 1. La pièce à tester 9 est alors reliée à l'orifice d'entrée 18 de l'ensemble de l'installation, communément renfermée dans un coffret ap- pelé détecteur. Le gaz traceur, tel que de l'hélium, est contenu dans une enceinte entourant la pièce 9 et représentée par des pointillés 19 sur la figure. La pièce elle-même contient de l'air à la pression atmosphérique. On vide alors la pièce 9 en fermant la seconde vanne 3 et en ouvrant la première vanne 2. La pompe primaire 5 évacue l'air de la pièce 9 et lorsque le manomètre 10 indique une pression qui devient inférieure à 1 mb, on ferme alors la première vanne 2 et on ouvre la seconde vanne 3 et la quatrième vanne 12. Ainsi la pièce à tester est alors vidée par une partie de la pompe turbomoléculaire 7 et par la pompe primaire 5 reliées en série. Ceci permet de profiter de la bonne performance de la pompe turbomoléculaire 7 dans le domaine de pression inférieure à 1 mb, alors qu'au-dessous de cette pression, la vitesse de pompage de la seule pompe primaire 5, dans le cas de l'art antérieur, est faible et diminue pro- gressivement pour atteindre 35 % de sa valeur nominale à la pression de 10-2 mb. Lorsque la pression mesurée par la manomètre 10 atteint 10-2 mb, on ferme alors la quatrième vanne 12 puis après quelques minutes, on ouvre lentement la troisième vanne 4 qui est une vanne d'entrée, progressive, de telle façon que la pression dans la cellule 1 indiquée par le manomètre 8 ne remonte pas au-dessus de 10-4 mb. La mesure de la fuite s'effectue lorsque la vanne 4 est grande ouverte. Ainsi, par rapport à l'art antérieur, on obtient une diminution importante du temps de pompage de la pièce à tester entre 1 mb et 10-2 mb. La pompe turbomoléculaire 7 est construite de façon à avoir dans sa partie inférieure, dans la demi-partie située du c8té de la pompe primaire 5, un fort débit d'azote pour diminuer le temps de pompage de la pièce et dans sa demi-partie supérieure, côté cellule 1, un fort taux de - >4- compression d'hélium pour diminuer le bruit de fond d'hélium de l'air. A titre indicatif on donne les caractéristiques suivantes pour le groupe turbomoléculaire 7 constitué de deux étages en série, à la séparation desquels aboutit l'orifice 16 d'aspiration intermédiaire: A) Premier étage côté cellule 1: taux de compression d'hélium: 1000 débit d'hélium: 20 1/s débit d'azote: 50 1/s deux solutions de construction: 1) 8 étages turbo, dont deux rangées d'ailettes, c8té opération, inclinées à 22 , trois à 17 et trois, côté refoulement, à 15 2) 1 étage de pompe Holweck B) Deuxième étage côté pompe primaire 5: débit d'azote: 100 1/s taux de compression d'azote: 100 taux de compression hélium: 6 solution de construction: 4 étages turbo dont deux, côté aspiration, inclinés à 35 et les deux autres, côté refoulement, à 22 . REVENDICATIONS: 1/ Installation de détection de fuite à gaz traceur comprenant une pompe mécanique primaire (5) dont l'aspiration est reliée, d'une part à une pièce à tester (9) par l'intermédiaire d'une première vanne (2) et d'autre part au refoulement (17) d'une pompe secondaire turbomolécu- laire (7) par l'intermédiaire d'une seconde vanne (3), l'aspiration de ladite pompe turbomoléculaire étant reliée à la pièce à tester par l'intermédiaire d'une troisième vanne (4), une cellule spectrométri- que (1) étant en outre reliée du c8té de l'aspiration de ladite pompe turbomoléculaire, caractérisée en ce que ladite pompe turbomoléculaire comporte en outre un orifice d'aspiration intermédiaire (16) reliée à la pièce à tester par l'intermédiaire d'une quatrième vanne (12). 2/ Installation de détection selon la revendication 1 caractérisé en ce que ladite pompe secondaire turbomoléculaire (7) est constituée de deux étages en série à la séparation desquels aboutit ledit orifice (16) d'aspiration intermédiaire et dont le premier étage, situé du c8té de la cellule spectrométrique (1), a un haut de compression hélium. 3/ Procédé d'utilisation de l'installation de détection selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que dans un premier temps, la pièce à tester (9) est prévidée jusqu'aux environs de 1 mb par ladite pompe mécanique primaire (5) et qu'au delà de 1 mb, elle est pompée par une partie de ladite pompe turbomoléculaire 7 en série avec la pompe mécanique primaire 5.