Brevet FR2600417A1 — publié le 19871224

La présente invention concerne un spectromètre de rayons X à focalisation par cristal courbe et à chambre d'emission de rayons X polyvalente. Les spectromètres de rayons X à focalisation par cristal courbe qui sont connus actuellement, permettent l'analyse spectrale d'un faisceau de reyons X de direction moyenne fixe, à l'aide d'un cristal à surface concave cylindrique de raynn R. Un faisceau de rayons X provenant d'une source d'émission quelconque est projeté sur la face concave du cristal courbe (principe de focalisation de JOHANN).Dans un tel spectromètre le faisceau de rayons X- de longueur d'onde # est réflechi sélectivement par le cristal selon la loide Bragg n# =2d sin# dans laquelle # est l'angle de bragg correspondant à la longueur d'onde # et d est la distance réticulaire pour le système de plans réflecteurs du cristal parallèles à sa surface. Le faisceau de rayons X ainsi réfléchi est focalisé sur le cylindre de focalisation de diamètre R, à une distance x du cristal telle que x = R sine. La distance x entre le cristal et le point ae focalisation dépend donc de l'angle de Bragg. Au point de foralisstion du faisceau de rayons X réfléchi est disposé un détecteur. Le domaine spectral qui peut être ouvert est relativement large, allant d'environ 5 à 100 , grêce à l'utilisation de cristaux de divers paramètres d (distance réticulaire). L'ensemble cristal-détecteur est placé dans une enceinte spentrométrique maintenue sous vide. Pour une direction fixe du rayonnement X incident l'exploration des spectres se fait par rotation du cristal autour de son axe fixe. Ce mouvement de rotation du cristal doit entrainer un déplacement concomitant de l'ensemble de détection tel que celui-ci soit toujours placé au point de focalisation correspondant à l'orientation instantanée du cristal, c'est-à-dire le long de la courbe x = F sin Les spectromètres X connus actuellement dans le commerce assurent ce déplacement de l'ensemble de détection par des moyens mécaniques particulièrement complexes et encombrants, e qui entraîne des problèmes difficiles à ré soudre pour la mise sous vide. La présente invention vise à remédier à es inconvé nients en procurant un dispositif mécanique de conception particulièrement simple et pouvant être aisément logé dans la boîte à vide du spectromètre. A cet effet ce spectromètre ae rayons X à focalisa- tion par cristal courbe et à chambre d'émission de rayons X polyvalente, comprenant une enceinte spectrométrique main tenue sous vide contenant le cristal courbe monté sur un plateau rotatif et sur lequel tombe le faisceau incident du rayonnement X provenant de la chambre d'émission, et un ensemble de détection mobile porté par un plateau situé au point de focalisation du faisceau du rayonnement X réfléchi par le cristal et des moyens pour déplacer l'ensemble de détection mobile de manière que cet ensemble soit toujours maintenu à une distancie x de l'axe de rotation du cristal telle que x=Rsin# # , R étant le diamètre du cercle de Row- land et # étant l'angle d'attaque du rayonnement X tombant sur le cristal, caractérisé en ce que les moyens commendant le déplacement ae l'ensemble de détection mobile comprennent un support rotatif tournant autour du même axe que le cris- tal courbe et sur lequel l'ensemble est monte, à roulisse- ment radial, des moyens sont prévus pour déplacer en rotation le support de l'ensemble de détection d'un angle double de celui dont tourne le cristal de manière que la direction moyenne du faisceau de rayonnement X réfléchi par le cristal courbe s'étende suivant la direction radiale de coulissement de l'ensemble de détection, et le plateau sup portant le cristal courbe et le plateau supportant l'ensem- ble de détection sont accouplés l'un à l'autre par l'inter médiaire d'une paire de bras articulés entre eux autour d'un axe parallèle à l'axe de rotation ou cristal, chacun ce ces bras ayant la même longueur R/2, R étant le diamètre du cercle de Rowland, le prerier bras étant solidaire du pie t eau supportant le cristal courbe et s'étendant perpendicu- lairement à e cristal tandis que le second bras est soli daire au plateau supportant l'ensemble de détection si bien que, quelle que soit la position angulaire du cristal pour be, le po in t de focalisation du faisceau de rayonnement X réfléchi se trouve à une distance x de l'axe de rotation du cristal satisfaisant à la relation x = R sin#. Suivant une caractéristique complémentaire de I' in- vention l'ensemble de détection mobile comprend une fente, située au point de focalisation du faisceau du rayonnement X réfléchi et dont le plan est normal à la direction mo- yenne au faisceau réfléchi par le cristal et, immédiatement à l'arrière ae cette fente, un détecteur du faisceau du rayonnement X réfléchi, la fente et le détecteur étant portes par le plateau monté à coulissement radial sur le support rotatif de manière que le plan de la fente reste toujours perpendiculaire à la direction raciale de coulisse- ment. Suivant une autre caractéristique de l'invention la chambre d 'émission de rayons X comporte une anode mobile et réglable suivant une direction perpenoiculaire à l'axe d'observation suivant lequel sort le rayonnement X, cette anode, de forme cylindrique, comportant, à son extrémité, au moins une surface émissive plane inclinée par rapport à la base ou cylindre, cette surface émissive pouvant être amenée dans une première position dans laquelle elle est située sur l'axe d'observation , pour la production d'un rayonnement X direct sous l'effet d'électrons émis par un fil amen t monte sur un support, ou dans une seconde position dans laquelle la surface émissive est éloignée de l'axe d'observation et est tournée de l,)Go par rapport à sa première position, pour émettre un rayonnement X primaire perpendiculaire à l'axe d'observation , ce rayonnement tombant sur un échantillon émissif situé sur l'axe d'observation et produisant un rayonnement secondaire suivant ce t axe d'observation , oans le cas d'une excitation secondaire ou ae fluorescence. On décrira ci-après,à titre d'exemple non limitatif, une forme d'exécution de la présente invention, en référence au dessin annexé sur lequel La figure 1 est une vue en élévation partielle d'un spectromètre X et de sa chambre d'émission X suivant l'invention. La figure 2 est une vue en élévation schématique ae l'enceinte spectrométrique à vide du spectromètre, les élé- ments constitutifs de celui-ci étant représentés dans une position correspondant à un angle d'incidence intermédiaire ou rayonnement X. Les fiyures 3 et 4 sont des vues en élévation de l'enceinte spectrométrique à vide du spectromètre, les éléments constitutifs de celui-ci étant représentés res pectivement dans les positions qu'ils occupent pour les angles d'incidence du rayonnement X le plus faible et le plus grand. La figure 5 est une vue en perspective du aispositif d'entraînement des plateaux goniomètriques associés à l'enceinte spectrométrique à viae. La figure b est une vue en coupe horizontale d'une chambre d'émission d'un rayonnement X du spectromètre, adaptee pour l'émission d'un rayonnement direct. La figure 7 est une vue en coupe horizontale de la chambre d'émission pour 1 'émission d'un rayonnement de fluorescence. Le spectromètre X suivant l'invention qui est représenté sur la figure 1, comprend une chambre d'émission d'un rayonnement X 1 et une enceinte spectromètrique 2 mise sous vide. Dans cette enceinte est logé un cristal 3 cons- tituant un monochromateur@et qui présente une surface concave 3a, de forme cylindrique de rayon R, R étant le diamètre du cercle ae Rowland. Ce cristal 3 à surfane concave est monté à rotation autour d'un axe fixe L qui est confondu avec la génératrice médiane de sa surface concave cylindri- que 3a.Le faisceau du rayonnement X sortant de la chambre d'émission 1 forme un faisceau incident fi projeté sur le cristal 3, suivant un angle d'attaque # ,et il est réflé chi et focalisé, en formant un faisceau réfléchi fr, en un point de focalisation A. En e point est disposé une fente 4 dont le plan est normal à la direction moyenne du faisceau fr réfléchi par le cristal 3. Ainsi qu'il est bien connu le faisceau incident fi de longueur d'onde # est réfléchi en ordre n par le cristal 3 si l'angle d'attaque entre le rayonnement incident fi et le cristal 3 satisfait à la relation de Uragg n = 2asin o étant la distance réticulaire pour le système de plans réflecteurs du cristal 3 parallèles à sa surface. Dans ces conditions le rayonnement X est focalisé sur le cylindre ae diamètre R, à une distance x de l'axe de rotation ü du cris- tai 3 telle que x = Rsin#. Immédiatement en arrière de la fente 4 est disposé un détecteur 5 du rayonnement X réfléchi et qui est dans titué par un compteur proportionnel à flux gazeux de géromé trie adaptée au domaine spectral balayé. I1 est donc clair que, lorsque le cristal 3 tourne autour de son axe fixe 0, la fente 4 et le détecteur 5 doivent se déplacer ae telle façon que le point de focalisation A décrive une courbe qui est approximativement une rardiol- de, du fait de la variation de la distance x en fonction de l'angle # et de la fente 4 qui doit rester perpendiculaire à la aireotion moyenne au faisceau réfléchi fr. Suivant l'invention les mouvements du cristal 3 et l'ensemble fente 4-détecteur 5 sont réalisés au moyen de deux plateaux goniométriques 6,7 (figure 5) situés à l'ex- térieur de l'enceinte spectrométrique 2 mise sous vide, et à l'arrière en considérant la vue de la figure 1. Le plateau goniométrique 6 est associé au cristal monochromateur 3 et il comprend un arbre d'entrée 8 et un arbre de sortie 9 dont est solidaire le cristal 3. L'autre plateau goniométrique 7 est associé à ensemble fente 4-détecteur 5 et il comprend un arbre d'entrée 10 et un arbre de sortie 11. Les aeux arbres d'entrée 8 et 10 des deux plateaux goniométriques 6 et 7 sont entraînés en rotation par un moteur 12, par l'in- termédiaire d'un réducteur de vitesse 13 de rapport 1/2. Autrement ait, lorsque le moteur li fait tourner l'arbre 9 d'entraînement du cristal monochromateur 3 d'un angle #, il fait simultanément tourner l'arbre d'entraînement 11 de l'ensemble fente 4-détecteur 5 d'un angle double du précédent, c'est-à-dire d'un angle 2# . Les deux arbres de sortie 9 et 11 s'étendent ona- xialement à l'intérieur de l'enceinte spectrométrique sous vide 2, l'étanchéité étant assurée au passaye de ces arbres au moyen de joints toriques non représentés. L'arbre de sortie 9 dont est solidaire le cristal monochromateur 3 s'é- tend à travers l'autre arbre de sortie 11 qui est creux, et le plateau goniométrique /, jusqu'au plateau goniométrique 6. Celui-ei porte également, sur sa face externe, un noceur optique incrémental 14 qui permet de pilpter le déplacement en rotation du cristal monochromateur 3 pas à pas, avec des pas de treize secondes d'are. A l'intérieur de l'enceinte spectrométrique sous vide 2 les deux arbres 9 et 11 sont respectivement solidai- res de plateaux 15 et 16 coaxiaux (figure 2). Le plateau 15 qui est solidaire de l'arbre 9, porte le cristal monochro- mateur 3. Par ailleurs il est solidaire d'un premier bras radial 17 qui s'étend perpendiculairement au cristal 3 et sur la partie extrême duquel est articulé, autour d'un axe B, un second bras 18, la distance OB étant égale à R/2, R étant le diamètre du cercle ae Ru land . Le second bras lb est solidaire, à son extrémité, d'un plateau 19, sur lequel sont montés la fente 4 et le détecteur 5. La fente 4 est fixée sur le plateau 19 de manière que le point de fonalisa- tion A soit situé à une distance de l'axe d'articulation b avec le premier bras 17 égale à R/2. Par ailleurs le plateau 1Y portant la fente 4 et le détecteur 5 est accouplé au plateau rotatif 16 de manière à être entraîné en rotation avec ce dernier, tout en pouvant coulisser radialement, de manière à permettre une variation de la distance x entre les points @ et A. Le dispositif d'accouplement entre les plate aux 16 et 19 est avantageusement constitué par deux rails à tilles 20 parallèles l'un à l'autre et à la direction radiale üA du faisceau réfléchi moyen fr. Grâce d la construction géométrique du dispositif qui vient d'être décrit la distance x entre les points 0 et A varie en respectant la relation x = R sin#. Les figures 3 et 4 illustrent les deux positions extrêmes que peut prendre le mécanisme représenté sur la figure 2. Sur la figure 3 l'angle d'attaque # est minimal, de l'ordre de 200, tandis que dans la position illustrée sur la figure 4, cet angle d'attaque est maximal, de b-Uo environ . On peut voir que dans ces deux cas la distance x est proportionnelle au sinus de l'angle d'attaque On décrira maintenant, en se référant plus particulièrement aux figures 6 et 7, une forme d'exécution particulièrement avantageuse de la chambre d'émission du rayonnement X.Cette chambre d'émission X a été conçue ce telle sorte que le rayonneraent X émis per la cible et dont la direction moyenne reste fixe, puisse être excité soit par un faisceau d'électrons, lorsqu il s'agit d'une excitation "directe" (figure 6), soit par un faisceau de photons, lorsqu'il s'agit d'une excitation "secondaire" ou de "fluo rescence". La chambre d 'émission X est constituée d'une double croix standard pour ultravide. La bride supérieure 21 (figure 1) c 'axe vertical est occupée par un hublot permettant de régler visuellement la position de la cible tandis que la bride inférieure 22 d'axe vertical est reliée à un évaporateur à effet Joule escamotable 23. Une bride latérale 24 (figures 6 et 7) dont l'axe horizontal xy constitue l'axe d'observation, sert au raccordement de la oham- bre d'émission 1 à l'enceinte spectrométrique 2 et elle présente une fenêtre 24a de sortie du rayonnement X. Les trois autres brides latérales 25,26,27, d'axes horizontaux, sont occupées par les composants du tube à rayons X. Dans les deux modes d'excitation la habre d'émis sion X utilise un filament 28 constitué d'un fil de tungs tène bobiné. Ce filament 2b est porté par un support 29 qui est pourvu d'un déflecteur métallique 30 en forme de cloche concentrant les électrons vers l'anode 31 enrayée dans le déflecteur 30 et assurant une barrière thermique vers les parois non refroidies de l'enceinte. Ce déflecteur métallique comporte une jupe ou paroi périphérique 30a qui est per cée a'une ouverture 32 permet tan t le passage au rayonnement X c'est-à-dire qui est située sur l'axe d'observation xy.Le filament 28 est mis en place dans la chambre d 'émission à travers la bride latérale horizontale 26 et sa position est réylable en translation suivant l'axe xy de cette bride qui constitue l'axe d'observation. L'anone 31 a une forme cylindrique et elle comporte, à son extrémité, une ou plusieurs surfaces émissives planes 31a faisant un angle de 10 , 300 ou 450 avec la base du cylindre. L'anode 31 est refroidie par une circulation d'eau et elle est introduite dans la chambre d'émission par la bride latérale 27. Sa position peut être réglée grâce à un mouvement de translation suivant l'axe xty' des deux brides latérales 25,27 et de rotation autour de son axe, ainsi qu'il est indiqué par les fièches sur la figure 6. La rotation de l'anode 31 autour de son axe permet d'utiliser des anones à plusieurs surfaces émissives planes 31a et ae préparer des dépôts sur ces surfaces à l'aide de l'évaporateur 23. balais le cas de l'excitation directe, ainsi qu'il est représenté sur la figure 6, la surface ér,iissive 31a d e l'anode 31 est placée sur l'axe d'observation xy et elle est tournée vers l'enceinte spectrométrique 2. Le-filament 28 est dispose à environ 6mm de la surface émissive 31a de l'anode et l'ouverture 32 prévue dans la paroi périphérique 30a du déflecteur 30 est située entre la surface émissive 31a et la fenêtre de sortie 24a prévue dans la bride late- rale 24. bans le cas de l'excitation "seconuaire", pour l'ou- tention d'un rayonnement de fluorescence, ainsi qu'il est illustré sur la figure 7, un échantillon émissif 33 est introduit par la bride latérale 25 qui est située en face de la bride 27 utilisée pour la mise en place de l'annde 31. et échantillon émissif 33 est porté par un ensemble support 34 dont la position peut être réglée axialement, de manière que la surface de l'échantillon émissif 33 soit centrée sur l'axe d'observation xy. La surface émissive 31a de l'anode 31 est placée en face de l'échantillon émissif 33, à environ 20mm de celui-ci, Dans e cas le filament émissif 28 qui est entouré par le déflecteur métallique 30, est porté par un support 35 de forme différente de celle du support 29. plus particulièrement de support 35 comprend une tige axiale 35a, s'étendant suivant l'axe d'observation xy, et une partie en forme d'équerre comprenant une branche 35b perpendiculaire à l'axe xy et une branche 35c parallèle à l'axe xy.Sur l'extrémité de cette branche 35c sont fixés le filament 2b et le déflecteur 30. Dans oe cas le déflec- teur 30 présente une ouverture 36 qui est aménagée dans son fond 3Gb et qui est située entre la surface émissive 31a et l'échantillon émissif 33. Par conséquent les électrons émis par le filament 28 viennent frapper la surface émissive 31a qui émet alors un rayonnement X primaire perpendiculairement à l'axe d'observation xy, ce rayonnement X venant frapper l'échantillon émissif 33 en passant à travers l'ouverture 36. Cet échantillon émissif 33 émet alors à son tour le rayonnement X suivant l'iaxe d 'observation xy, de rayonnement sortant en direction de l'enceinte spectrométrique 2 à travers la fenêtre 24a. On voit done d'après ce qui précède que pour passer de la position de rayonnement direct (figure 6) à la posi- tion oe rayonnement de fluorescence (figure 7), on déplace axialement l'anode 31 d'une distance de 20mm, en l'éloignant de l'axe xy,et on fait tourner le filament 28 ae 18ü autour de l'axe x'y' de l'anode 31, pour l'amener dans une position opposée par rapport à ct axe. REVENDICATIONS 1.- Spectromètre de rayons X à focalisation par cristal courbe et à chambre d'émission de rayons X polyvalente, comprenant une enceinte spectrométrique (2) maintenue sous vide contenant le cristal courbe (3) monté sur un plateau rotatif (15) et sur lequel tombe le faisceau incident (fi) du rayonnement X provenant de la chambre d'émission (1), et un ensemble de détection mobile (4,5) situé au polo t de focalisation du faisceau du rayonnement X réfléchi (fr), , et des moyens pour déplacer l'ensemble de détection mobile(4,5) de manière que et ensemble soit toujours maintenu à une distance x de l'axe de rotation (0) du cristal (3) telle que x=Rsin , K étant le diamètre du cercle de Rowland et étant l'angle d'attaque ou rayonnement X tom- bant sur le cristal, caractérisé en ce que les moyens com- mandant le déplacement de l'ensemble de détection mobile (4,5) nomprennent un support rotatif (16,2G) tournant autour du même axe (0) que le cristal courbe (3) et sur lequel l'ensemble ae détection (4,5) est monté à coulissement radial des moyens sont prévus pour déplacer en rotation le support (16,20) de l'ensemble de détection (4,5) d'un angle (2#) aouble de celui (9) dont tourne le cristal de manière que la direction moyenne du faisceau ae rayonnement X réfléchi par le cristal courbe (3) s'étende suivant la direction radiale de coulissement de l'ensemble de détection (4,5), et le plateau (15) supportant le cristal courbe (3) et le plateau (19) supportant l'ensemble de détection (4,5) sont accouplés l'un à l'autre par l'intermédiaire d'une paire de bras (17,18) articulés entre eux autour d'un axe (B) parallèle à l'axe de rotation (0) du cristal (3), chacun de es bras (17,18) ayant la même longueur R/2, R étant le diamètre du cercle de Rowland, le premier bras (17) étant solidaire du plateau (15) supportant le cristal courbe (3) et s'étendant perpendiculairement à ce cristal tandis que le second bras (18) est solidaire du plateau (19) supportant l'ensemble de détection (4,5) si bien que, quelle que soit la position angulaire du cristal cou-rbe (3), le point ae focalisation (a) du faisceau de rayonnement X réfléchi, se trouve à une distance x de l'axe de rotation 0 du cristal (3) satisfaisant à la relation x=Rsin@. 2.- Spectromètre de rayons X suivant la revendica- tion 2 caracterisé en ce que l'ensemble de détection mobile (4,5) comprend une fente (4), située au point de focalisa- tion (a) du faisceau du rayonnement X réfléchi (fr) et dont le plan est normal à la direction moyenne du faisceau réflé chi par le cristal et, immédiatement à l'arrière de cette fente (4), un détecteur (5) du faisceau du rayonnement X réflécni (fr), la fente (4) et le déteoteur étant portés par le plateau (19) monté à coulissement radial sur le support rotatif (16,20) de manière que le plan de la fente (4) reste toujours perpendiculaire à la direction radiale de coulissement. 3.- Spentromètre de rayons X suivant l'une queloon- que des revendications let 2 caractérisé en e que les moyens commandant les déplacements du cristal (3) et de l'ensemble de détection (4,5) sont réalisés au moyen de deux plateaux goniométriques (6,7) situés à l'extérieur de l'enceinte spectrométrique (2) mise sous vide, à savoir un premier plateau goniométrique (6) associé au cristal monochromateur (3) et comprenant un arbre d'entrée (8) et un arbre ae sortie (9) dont est solidaire leplateau (15) portant le cristal (3), et un second plateau goniométrique (7) associé à l'ensemble de détection (4,5) et comprenant un arbre d'entrée (10) et un arbre de sortie (11), et les deux arbres d'entrée (6,10) des deux plateaux goniométriques (6,7) sont entraînés en rotation par un moteur (12), par l'intermédiaire d'un réducteur de vitesse (13) de rapport 1/2, autrement dit, lorsque le moteur (12) fait tourner l'arbre (9) d'entraînement du cristal monochromateur (3) d'un angle , il fait simultanément tourner l'arbre d'entraînement (11) de l'ensemble de détection (4,5) d'un angle (2#) double du précèdent. 4.- Spectromètre de rayons X suivant la revendica- tion 3 caractérisé en ce que les deux arbres de sortie (9, 11) s'étendent coaxialement à l'intérieur de l'enceinte spectrométrique sous vide (2), arbre de sortie (9) dont est solidaire le plateau (15) portant le cristal monochroma- teur (3) s'étend à travers l'autre arbre de sortie (11) qui est creux, et le second plateau goniométrique (7), jusqu'au premier plateau goniométrique (6). 5.- Spectromètre de rayons X suivant la revendica- tion 4 caractérisé en e que le premier plateau goniométri- que (6) porte , sur sa face externe, un codeur optique incrémental (14) qui permet de piloter le déplacement en rotation du cristal monochromateur (3) pas à pas. 6.- Spectromètre de rayons X suivant l'une quelconque des revendications 3 à 5 caractérisé en e qu'à l'intérieur ce l'enceinte spectrométrique sous viue (2) les aeux arbres (9,11) sont respectivement solidaires du premier plateau rotatif (i (15) qui porte le cristal monochromateur (3) et est solidaire du premier bras radial (17), et d'un seconda plateau rotatif (16) faisant partie au support de l'ensemble de détection (4,5). 7.- - Spectromètre de rayons X suivant la revendica- tion 6 caractérisé en e que le plateau (19) portant l'en- semble de détection (4,5) est accouplé au second plateau rotatif (16) au moyen de deux rails à billes (20) parallèles l'un à l'autre et à la direction radiale (DA) du faisceau réfléchi moyen (fr). b.- Spectromètre de rayons X suivant l'une quelcon- que des revendications précédentes caractérisé en ce que la chambre d'émission de rayons X (1) comporte une anode (31) mobile et réglable suivant une direction (x'y') perpendiculaire à l'axe d'observation (xy) suivant lequel sort le rayonnement X, cette anode, de forme cylindrique, compor- tant, à son extrémité, au moins une surface émissive plane (31a) inclinée par rapport à la base du cylindre, cette surface émissive pouvant être amenée dans une première position dans laquelle elle est située sur l'axe d'observation (xy), pour la production d'un rayonnement X direct sous l'effet d'électrons émis par un filament (26) monté sur un support (29,35), ou dans une seconde position dans laquelle la surface émissive (31a) est éloignée de l'axe d'observa tion (xy) et est tournée de 180 par rapport à sa première position, pour émettre un rayonnement X primaire en direc- tion perpendiculaire à l'axe d'observation (xy), ce rayonnement tombant sur un échantillon émissif (33) situé sur l'axe d'observation (xy) et produisant un rayonnement secondaire suivant et axe d'observation (xy), dans le cas d'une excitation secondaire ou de fluorescence. 9.- Spectromètre de rayons X suivant la revendica- tion b caractérisé en ce que le support (29,35) du filament (28) est solicaire d'un déflecteur métallique (30) en forme de cloche, concentrant les électron s émis par le filament (26) vers l'anode (31) qui est engagée dans le déflecteur (3U), et assurant une barrière thermique, la paroi périphérique (30a) du déflecteur (30) étant percée d'une ouverture (32) permettant le passage au rayonnement X, en étant située sur l'axe d'observation (xy), , dans le cas de l'émission d'un rayonnement X direct, tandis que le fond (30b) du aéflecteur (30) est percé d'une ouverture (36) disposée entre la surface émissive (31a) de l'anone (31) et l'échantillon émissif (33), dans le cas d'une excitation secondaire ou de fluorescence. 10. Spectromètre de rayons X suivant l'une quelcon- que des revendications 8 et 9 caractérisé en e que le support (29,35) du filaient (28) et du déflecteur (30) est réglable axialement dans la direction de l'axe d'observation (xy). 11.- Spectromètre de rayons X suivant l'une quelconque des revendications 8 à 10 caractérisé en e que L'anode (31) est introduite dans la chambre d'émission à travers une bride latérale (27), elle est montée à rotation autour de son axe et dans le cas de l'excitation secondai- re l'échantillon émissif (33) est introduit par une autre bride latérale (25) qui est située en fane de la bride laté- rale (27) utilisée pour la mise en place de l'anode (31).