Brevet FR2588406A1 — publié le 19870410

TETE D'ENREGISTREMENT THERMO-MAGNETIQUE ET PROCEDE DE REALISATION L'invention concerne une tête d'enregistrement thermo- magnétique et son procédé de réalisation particulièrement bien adapté à la réalisation de piles de têtes magnétiques d'enregis- trement au pas très serré. La tête d'enregistrement de l'invention trouve une application particulièrement interessante dans les dispositifs nécessitant un enregistrement d'informations de grande densité, que ce soit un enregistrement parallèle d'informations ou un enregistrement séquentiel. Une telle tête peut être, par exemple, appliquée dans un dispositif d'enregistrement sur bande magnétique. Une tête magnétique doit développer en règle générale un champ de l'ordre de 1000 Oe, soit 80 mA/micromètre. Un tel champ est difficilement réalisable par une seule spire de courant, il y a nécessité de réaliser un bobinage. Aussi une tête, même réalisée en couche mince est un dispositif qui ne peut être intégré à un pas inférieur à 100 micromètres, ce qui est insuffisant pour un enregis- trement de grande densité. Des solutions acoustiques ont été proposées, mais elles n'offrent pas la résolution nécessaire. En effet, une résolution de 10 micromètres correspondrait à une bande passante acoustique de 200 MHz au minimum, or les effets magnétostrictifs ne suivent pas cette fréquence là. Les effets thermo-magnétiques offrent des cadences élevées pouvant atteindre I MHz et permettant une intégration au pas typique de 10 micromètres dans des dispositifs à fonctionnment par effet joule et de I micromètre dans des dispositifs à fonctionnement par imagerie optique. On connait de tels dispositifs dont le support d'enregistrement présente une température de point de Curie relativement basse et permet un enregistrement par effet thermo-magnétique. 2 2588406 Mais de tels dispositifs nécessitent un support d'enregis- trement adapté pour présenter une telle température de point de Curie. L'invention se fixe pour but de pallier les insuffisances de l'Art Connu. L'invention permet des enregistrements utilisant l'effet thermomagnétique sur des supports magnétiques, tels que bandes magnétiques, de qualité courante et dont la température de point de Curie n'est pas nécessairement faible. L'invention a donc pour objet une tête d'enregistrement thermo-magnétique comprenant un support magnétique d'enregis- trement d'informations caractérisé en ce qu'il comporte: une couche en matériau ferromagnétique à température de point de Curie déterminée, magnétisée de manière homogène, dont l'épais- seur est délimitée par une première face principale et une deuxième face principale, ladite couche étant disposée avec sa première face principale placée à proximité du support magnétique d'enregis- trement; ainsi qu'au moins une source de chauffage disposée du côté de la deuxième face principale de ladite couche et permettant d'élever la température d'une zone dans toute l'épaisseur de la couche à partir de ladite deuxième face principale jusqu'à la première face principale jusqu'à atteindre la température du point de Curie du matériau ferromagnétique constituant la couche. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'une telle tête d'enregistrement thermo-magnétique, caractérisé en ce qu'il comporte les phases suivantes: - a) une phase de dépôt d'une couche d'un matériau ferroma- gnétique sur un substrat; - b) une phase de dépôt d'électrodes chauffantes sur une face d'un élément monolithique de circuits intégrés; - c) une phase d'assemblage de l'ensemble couche de matériau ferromagnétique - substrat et de l'ensemble électrodes chauffantes - élément avec la couche de matériau ferromagnétique en contact avec les électrodes chauffantes; - d) une phase d'élimination du substrat. Les différents objets et caractéristiques de l'invention vont être détaillés dans la description qui va suivre, faite en se reportant aux figures annexées qui représentent: - la figure 1, une disposition simplifiée de la tête d'enregis- trement thermo-magnétique selon l'invention; - les figures 2 et 3, un exemple de fonctionnement de la tête de la figure I; - la figure 4, une vue en perspective d'un exemple de réali- sation de la tête d'enregistrement de l'invention utilisant des sources lumineuses; - la figure 5, une vue en plan de la tête d'enregistrement de la figure 4; - la figure 6, une vue en plan d'un deuxième exemple de réalisation de la tête d'enregistrement de l'invention utilisant une source lumineuse; - la figure 7, une vue en plan d'un troisième exemple de réalisation de la tête d'enregistrement de l'invention utilisant une source lumineuse; - la figure 8, une vue en perspective d'un exemple de réali- sation de la tête d'enregistrement de l'invention utilisant des élec- trodes de chauffage; - les figures 9 à 13, des configurations de formes d'électrodes de chauffage utilisable dans la tête d'enregistrement représentée en figure 8; - la figure 14, une tête d'enregistrement montée selon l'invention sur un élément monolithique de circuits intégrés; - la figure 15, un procédé de réalisation de la tête d'enregis- trement de la figure 14; - les figures 16 à 19, des variantes de fonctionnement de la tête d'enregistrement selon l'invention. En se reportant à la figure 1, on va tout d'abord décrire une disposition simplifiée de la tête d'enregistrement selon l'invention. Cette tête d'enregistrement comporte une couche d'un matériau ferromagnétique 1 posèdant une première face principale et une deuxième face principale 11 parallèle à la première. Cette couche 1 est placée à proximité d'un support d'enregistrement magnétique, représenté sous forme d'une bande-magnétique 5 sur la figure 1, avec la première face 10 frolant, voir touchant, la bande magnétique 5. Une source lumineuse 2 projette un faisceau lumineux F1 sur la deuxième face principale 11 de la couche 1. Ce faisceau provoque, dans la zone de projection 3 de la face 11, un échauf- fement en profondeur de la couche 1. Le matériau constituant la couche 1 est magnétisé unifor- mément selon le plan de la couche. Sa température de point de Curie est relativement faible, sa valeur est par exemple 100 . On sait qu'un tel matériau aimanté à une valeur déterminée perd son aimantation lorsqu'on le chauffe jusqu'à atteindre la température de point de Curie et qu'il reprend son aimantation initiale lorsqu'on le refroidit. En figures 2 et 3, on a représenté la couche de matériau ferromagnétique 1 et le support d'enregistrement 5 placé à proximité de la première face principale 10 de la couche 1. A la température ambiante, la couche 1 est magnétisée uniformément et le champ magnétique (HI, H2) n'influence que de façon négligeable le support d'enregistrement magnétique 5. Celui- ci n'est soumis qu'au champ H nécessaire à aimantation de la couche 1 diminué du champ crée par les charges magnétiques distribuées aux extrémitées de la couche 1. Si l'on chauffe une zone 3 de la couche 1, à l'aide par exemple d'un faisceau lumineux F1 produit par une source 2 comme cela est représenté en figure 1, et à condition d'atteindre la température de point de Curie, on désaimante cette zone 3. La zone 3 constitue au sein de la couche 1, une discontinuité magnétique faisant office d'entrefer. Les champs magnétiques HI, H2 ont tendance à déborder, comme représenté sur la figure 3, de chaque côté de la zone 3. Le support d'enregistrement magnétique 5 placé à proximité de la zone 3 du côté de la face 10 permet un passage aisé du champ HI en raison de sa perméabilité magnétique. Par contre, du côté de la face 11, le champ H2 rencontre un matériau tel que de l'air possédant une plus faible perméabilité magnétique. Dans ces conditions, lors de l'échauffement de la zone 3 de la couche 1, on va provoquer l'aimantation du support d'enregistrement magnétique 5 dans la zone 50 de ce support située en vis à vis de la zone 3. Le champ developpé est essentiellement celui qui serait developpé par une zone 3 soumise à une magnétisation inverse pour la démagnétiser. Si la zone 3 est notablement plus profonde que large, ce champ est de l'ordre de grandeur de la magnétisation de la couche 1. Lorsqu'on supprime l'échauffement de la zone 3, celle-ci reprend sous l'effet de l'aimantation des zones voisines de la couche 1, son aimantation d'origine. On a ainsi enregistré, dans la zone 50 du support d'enregis- trement 5, une information magnétique. Le support d'enregistrement (ou bande magnétique) peut être déplacé selon la flêche D pour enregistrer dans une zone suivante une autre information magné- tique. Pour des raisons de résistance à l'usure, la couche 1 est préférentiellement fabriquée dans un oxyde tel qu'un ferrite de Mn Zn, un hexaferrite ou un grenat fortement magnétique tel qu'un grenat d'yttrium et de fer (YIG) dopé avec du bismuth ou du scandium. Ces oxydes ont pour caractéristiques thermiques typiques: - une capacité calorique d'environ C 53J/cm3/ C - une diffusivité thermique de R = 0,5 mm 2/s. Dans le cas de l'application du dispositif de l'invention pour l'enregistrement sur bandes magnétiques, l'expérience a montré que l'on peut obtenir aisément des temps d'enregistrement t, avec des longueurs I de diffusion thermique dans la couche 1 et des vitesses v de défilement de la bande dont les ordres de grandeurs sont les suivants: t = lis l=0,5 ijm v= 50 cm/s t = I ls 1 = 2 um v =20 cm/s t = 100 is I = 5 um v= 5cm/s On notera qu'un tel dispositif d'enregistrement sur bande permet un enregistrement parallèle sur toute la largeur de la bande. Une telle tête d'enregistrement de 4 mm permettant d'enre- gistrer toute la largeur de la bande d'une microcassette audio con- somme alors une puissance: P - 10 mW/degré centésimaux, soit pour une température de point de Curie se situant aux environ de 100 à 120 degrés centé- simaux, une élévation de température d'environ 100 degrés centé- simaux et une puissance crête d'enregistrement de P= 1 W La puissance moyenne est en fait inférieure car le débit d'enregistrement continu pourrait être de l'ordre de 50 M bits/s, ce qui est supérieur aux applications typiques: vidéo - son numérique prévues dans le commerce. En se reportant aux figures 4 et 5, on va maintenant décrire un exemple de réalisation détaillé d'une tête de lecture selon l'invention. Sur la figure 4, cette tête est orientée selon un triède de référence OXYZ. La figure 5 représente une vue de cette tête selon un plan parallèle ou au plan OYZ. On trouve une couche 1 déposée sur un support 12 visible sur la figure 5. La face 11 de la couche I adhère au support 12. La face 10 de la couche 1 est placée à proximité d'un support d'enregistrement magnétique qui a été représenté sous forme d'une bande magnétique sur la figure 4. La bande magnétique 5 se déplace selon la flèche D. Un ensemble 2 de sources lumineuses 20, 21,...26 éclaire la face 11 de la couche 1. Ces sources peuvent être issues de la tranche d'une diode émissive GaAs ou GaP par exemple. Une lentille de focalisation 7 permet de focaliser chaque faisceau émis par les sources 20 à 26 vers des points 30 à 36 respectivement de la couche 1. Ainsi corme on peut le voir sur la figure 5, un faisceau lumineux FO émis par la source 20 est focalisé par la lentille 7, traverse le support 12 et atteint un point 30 de la couche 1. Il échauffe alors une zone située autour du point 30 et permet d'élever la température du matériau de cette zone à la température du point de Curie du matériau. Le matériau est désaimanté dans cette zone. Le flux magnétique passe alors par la zone 50 de la bande magnétique 5 comme cela a été expliqué précédemment en relation avec la figure 3. De la même façon un faisceau lumineux issu de la source lumineuse 21 atteint la zone 31 permettant la magnétisation de la zone 51 de la bande 5. Chaque source telle que la source 26 éclaire également une zone particulière (36) de la couche 1, permettant d'aimanter une zone 56 de la bande 5. Comme on peut le voir sur la figure 4, les sources lumineuses à 26 ont été disposées selon une ligne orthogonale à la direction de déplacement de la bande 5. Elles permettent ainsi l'enregis- trement d'une lignes d'informations 50 à 56 disposée transver- salement sur la bande. Le déplacement de la bande donne lieu ainsi à l'enregistrement d'une suite de lignes d'informations. Il est à noter que ce dispositif permet l'enregistrement simultané de toute une ligne, chaque ligne nécessitant alors qu'un seul temps d'enregistrement. Du côté opposé de la couche par rapport à la bande 5 a été prévu un aimant 50 qui génère un champ faible devant la coercivité de la bande, de manière à orienter la magnétisation de la couche 1 suivant la direction de couchage du pigment de la bande magnétique (en général, suivant l'axe de défilement). On peut aussi choisir de réaliser la couche 1 en un matériau suffisamment coercitif pour qu'il ne risque pas de se désaimanter. La zone chauffé de la couche est alors réorientée par son voisinage lors de son refroidissement. Le support 12 de la couche I a été réalisé en matériau transparent aux faisceaux lumineux émis par les sources 20 à 26, tel que du verre. Il est bien évident que les sources lumr:: Jscs peuvent être disposées d'une autre façon que selon une ligne. Elles peuvent par exemple être disposées selon une matrice bidimensionnelle pour être utilisées dans un autre type d'application que l'enregistrement sur bande magnétique. En se reportant à la figure 6 on va décrire un autre exemple de réalisation de l'invention dans lequel la source de chauffage est également une source lumineuse. Pour simplifer la description, la tête de l'invention a été représentée selon un plan similaire à celui de la figure 5. On retrouve sur la figure 6, la couche 1 déposée sur le support 12, le support d'enregistrement 5 disposé à proximité de la couche 1 et la lentille de focalisation 7. Cependant, au lieu d'avoir un ensemble de sources lumineuses, le dispositif de la figure 6 prévoit une source unique 2 émettant un faisceau divergent F1 qui éclaire un modulateur de lumière 8. Le modulateur 8 possède un ensemble de zones 80, 81,...86. Ces zones permettent de retransmettre sélectivement le faisceau FI. C'est ainsi que la zone 81 retransmet une portion du faisceau F1 sous la forme d'un faisceau F2 qui est focalisé par la lentille 7 sous la forme d'un faisceau F3 vers un point 31 de la couche 1. Le modulateur 8, éclairé par la source 2, remplace ainsi l'ensemble de sources lumineuses 20 à 26 des figures 4 et 5. Le fonctionnement du dispositif de la figure 6 est alors similaire à celui décrit précédemment, chaque zone 80 à 86 permet- tant l'éclairement et le chauffage d'une zone particulière 30 à 36 de la couche I pour l'enregistrement d'informations dans des zones 50 à 56 de la bande 5. Le modulateur de lumière 8 peut être réalisé, par exemple, sous la forme d'écran à cristal liquide comportant des cellules 80 à 86 et permettant chacune de retransmettre ou non des portions du faisceau Fl. Les cellules 80 à 86 peuvent être alignées pour offrir un mode de réalisation similaire à celui des figures 4 et 5. Elles peuvent être disposées sous forme d'une matrice et être commandées de la même façon que les écrans à commande matricielle de type connu. Selon un autre exemple de réalisation représenté sur la figure 7, on prévoit une source lumineuse unique 2, mais au lieu d'un modulateur de lumière, on prévoit un dispositif de déflexion 6 permet de dévier le faisceau lumineux fourni par la source 2, vers une zone particulière 30 à 36 de la couche 1. Une information peut être ainsi enregistrée à chaque fois dans une zone 50 à 56 du support d'enregistrement 5. Ce type de réalisation permet également un enregistrement parallèle d'un ensemble d'informations. En se reportant aux figures 8 à 13 on va maintenant décrire un exemple de réalisation de l'invention dans lequel les sources de chauffage sont des électrodes de chauffage. Sur la figure 8, on retrouve la couche I avec sa face 10 destinée a être disposée à proximité d'un support d'enregistrement magnétique non représenté sur la figure. Sur un substrat 9 sont déposées des électrodes de chauffage 41, 42, 43, 44 en matériau résistif et constituant un ensemble d'électrodes 4. Sur ces électrodes et sur le substrat 9 est déposée une couche 1. Les électrodes 41 à 44 sont alimentées en courant indivi- duellement entre une entrée, e41 à e44 comme représenté sur la figure 9, et une entrée commune eC. L'alimentation d'une électrode détermine le chauffage de la couche 1 située sous cette électrode. Pour obtenir le chauffage et la desaimantation d'une zone limitée de la couche 1, on utilise une couche présentant une température de point de Curie relativement élevée, entre 300 et 500 degrés centésimaux par exemple, dans laquelle on réalise une bande 3 présentant une température de point de Curie beaucoup plus faible, autour de 100 degrés centésimaux par exemple. Cet abais- sement de la température de point de Curie du matériau se fait par dopage. Ce dopage se fait par diffusion ou implantation ionique par exemple. La bande 3 est réalisée perpendiculairement aux électrodes de chauffage 41 et 44 de telle façon que l'échauffement et la désaimantation dûs à une électrode se fassent au point de crois- sement de cette électrode et de la bande 3. Selon un mode de réalisation des électrodes représenté en figure 10, une zone de largeur a des electrodes 41 à 44, corres- pondant à l'intersection de la couche 3 et des électrodes, est rendue plus résistive de telle façon que l'échauffement des électrodes se produise uniquement dans cet zone. Comme représenté en figure 11, cette zone résistive est réalisée par un rétrécissement des électrodes 41 à 44 sur une longueur correspondant à la zone de largeur a. La zone d'échauffement des électrodes peut être également déterminée par une interruption des électrodes d'environ I micro- mètre par exemple. Chaque électrode comporte alors une première portion (41 à 44) et une deuxième portion (41' à 44') située dans le prolongement de la première. Les électrodes 41 à 44 et 41' à 44' sont déposées sur une couche isolante 140, 140' respectivement de manière à limiter la zone de passage du courant. Lors de l'alimentation d'une électrode, 41-41' par exemple, le courant électrique tend à passer par la bande 3 de la couche 1 et à échauffer cette bande. On trouve un exemple d'un tel fonction- nement en figure 13. Selon une variante de réalisation de l'invention représentée en figure 14, la tête d'enregistrement est réalisé sur un élément monolithique de circuits intégrés 19 appelé couramment "puce" dans la technique des circuits intégrés. Un tel élément 19 contient les circuits de commande de la tête d'enregistrement. Il possède des bornes de connexion telle que b 41. Sur une face plane du silicium de l'élément 19 sont déposées les électrodes de chauffage telle que 41. Ces électrodes sont connectées à une ou plusieurs bornes de sortie qui permettent de les commander. L'électrode 41 a, par exemple, son entrée e4l con- nectée à la borne B4 1. Il Sur les électrodes de c:auffage est déposée la couche l possédant une bande 3 à faible température de point de Curie. On obtient ainsi une tête d'enregistrement magnétique réalisée sur un élément monolithique de circuits intégrés. Cette tête est disposée, comme représenté en figure 14, au voisinage d'un support d'enregistrement magnétique avec la face libre 10 de la couche 1 située à proximité du support d'enregistrement de façon à fonc- tionner comme cela a été décrit précédemment. Pour la réalisation d'une telle tête d'enregistrement, l'invention prévoit un procédé représenté en figure 15, selon lequel, on dépose tout d'abord sur un substrat 9 une couche 1 d'un matériau magnétique par tout procédé connu dans la technique. On réalise ensuite dans la couche 1, une bande 3 à faible température de point de Curie par un procédé. de dopage mentionné précédemment. Par ailleurs on dépose sur une face plane de l'élément mono- lithique de circuits intégrés 19 l'ensemble des électrodes de chauf- fage 4 (électrode 41 sur la figure 15). Cette opération se fait par dépôt d'une couche d'un matériau conducteur résistif et par gravure des électrodes dans la couche ainsi déposée. Lors de la réalisation de ces électrodes, les connexions des entrées (e4l) des électrodes aux bornes de connexion (b41) de l'élément 19 sont également implé- mentées. L'élément monolithique de circuit intégré 19 est ensuite collé à la face Il de la couche 10 avec les électrodes en contact avec la face Il et perpendiculaires à la bande 3. Enfin, le substrat 9 est éliminé par tout procédé adapté à la nature du substrat (usinage chimique, usinage mécanique) de manière à laisser libre la face 10 de la couche l et de la bande 3. Dans les exemples de réalisation qui précèdent, on a considéré le cas d'une couche de matériau magnétique 1 dont la magnétisation est orientée dans le plan de la couche. L'invention est également applicable au cas d'une couche 1 dont la magnétisation est orientée perpendiculairement au plan de la couche. Selon la figure 16, la couche 1, disposée à proximité du support d'enregistrement 5, possède une zone 3 dont l'orientation de l'aiman- tation est inversée par rapport au reste de la couche 1 situé de part et d'autre de la zone 3. Cette zone 3 peut être une bande de configuration similaire à celle de la figure 8. L'inversion du sens d'aimantation dans cette zone a été obtenue définitivement par échauffement au dessus du point de Curie. La tête d'enregistrement est ensuite prête à fonctionner. A l'état de repos, lorsque les dispositions décrites précé- demment (sources lumineuses, électrodes de chauffage) ne chauffent pas la zone 3, un flux magnétique circule comme représenté en figure 16. Un champ relativement élevé est induit dans le support d'enregistrement magnétique 5 et une zone du support d'enregis- trement est magnétisée. Lorsqu'on chauffe la zone 3, elle est démagnétisée. Le champ au voisinage de la zone 3 décroit (figure 17). Le support d'enregis- trement 5 est soumis à un champ magnétique nettement inférieur et n'est donc pas magnétisé. La couche de matériau magnétique 1 magnétisée perpendi- culairement au plan de la couche comme représenté en figures 16 et 17 peut être utilisée dans les dispositifs décrits en relation avec les figures I à 15. Par contre, à la différence des dispositifs décrits précédemment, un échauffement jusqu'à la température de point de Curie a pour effet de réduire le champ au voisinage de la couche 1 vers le support d'enregistrement 5 au lieu de l'augmenter comme dans les cas précédents o la couche 1 est magnétisée selon le plan de la couche. Selon la figure 18, à l'emplacement de la zone 3, une discon- tinuité 18 perpendiculaire au plan de la couche est réalisée selon l'axe de la zone (ou de la bande) 3. Cette discontinuité est créée par implantation ionique par exemple et l'aimantation est inversée de part et d'autre de cette discontinuité. A l'état de repos, lorsque les dispositions de chauffage décrites précédemment (sources lumineuses, électrodes de chauffage) ne 258 8 406 chauffent pas la zone 3, un flux magnétique circule comme repré- senté en figure 18. Un champ relativement élevé est induit dans le support d'enregistrement magnétique 5 et une zone du support d'enregistrement est magnétisée. Lorsqu'on chauffe la zone 3, elle est démagnétisée. Le champ au voisinage de la zone 3 décroit (figure 19). Le support d'enregis- trement 5 est soumis à un champ magnétique nettement inférieur et n'est donc pas magnétisé. La couche de matériau magnétique I magnétisée perpendi- culairement au plan de la couche comme représenté en figures 18 et 19 peut être utilisée dans les dispositifs décrits en relation avec les figures 1 à 15. Comme dans la couche de matériau magnétique des figures 16 et 17, un échauffement jusqu'à la température de point de Curie a pour effet de réduire le champ au voisinage de la couche 1 vers le support d'enregistrement 5 au lieu de l'augmenter comme dans les cas décrits en se reportant aux figures 1 à 15 o la couche 1 est magnétisée selon le plan de la couche. 1 4 2588406 RE V LNDICATIONS 1. Tête d'enregistrement thermo-magnétique comprenant un support magnétique (5) d'enregistrement d'informations, carac- térisée en ce qu'elle comporte: une couche (1) en matériau ferroma- gnétique à température de point de Curie déterminée, magnétisée de manière homogène, dont l'épaisseur est délimitée par une première face principale (10) et une deuxième face principale (11), ladite couche (1) étant disposée avec sa première face principale (10) placée à proximité du support magnétique (5) d'enregistrement; ainsi qu'au moins une source de chauffage (2) disposée du côté de la deuxième face principale (11) de ladite couche (1) et permettant d'élever la température d'une zone (3) dans toute l'épaisseur de la couche à partir de ladite deuxième face principale (11) jusqu'à la première face principale (10) jusqu'à atteindre la température du point de Curie du matériau ferromagnétique constituant la couche (1). 2. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 1, caractérisée en ce qu'elle comporte un nombre déterminé de sources de chauffage (21 à 26), déterminant dans la couche (1), un même nombre de zones (30 à 36) distinctes pouvant être chauffées sélectivement. 3. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 2, caractérisée en ce que les sources de chauffage (21 à 26) sont alignées parallèlement à la deuxième face (11) de la couche de façon à ce que les zones (30 à 36) soient alignées et permettent l'enregistrement de lignes d'informations sur le support magnétique (5) d'enregistrement. 4. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 1, caractérisée en ce que le matériau ferromagnétique de la couche (1) a une température de point de Curie inférieur à 150 degrés centisimaux. 5. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon l'une quel- conque des revendications I à 3, caractérisée en ce que chaque source de chauffage (2) est une source lumineuse émettant un faisceau lumineux (FI) vers la deuxième face (11) de la couche (1). 6. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon l'une quel- conque des revendications I à 3, caractérisée en ce que chaque source de chauffage (2) est une résistance électrique. 7. Tête d'enregistrement themro-magnétique selon la reven- dication 5, caractérisée en ce qu'elle comporte une lentille de foca- lisation (7) située entre chaque cource lumineuse (2) et la deuxième face (11) de la couche (1) et permettant de focaliser le faisceau lumineux (FI) émis par chaque source en une zone (30 à 36) déterminée de la couche (1). 8. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 7, caractérisée en ce que la lentille de focalisation (7) est commun à tous les faisceaux lumineux émis par des différentes sources lumineuses (2). 9. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- * dication 5, caractérisée en ce qu'elle comporte un modulateur de lumière (8) situé entre la source lumineuse (2) et la deuxième face (11) de la couche 1 et permettant de chauffer sélectivement différentes zones (30 à 36) de la couche 1. 10. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 5, caractérisée en ce que le modulateur de lumière (8) est une cellule à cristal liquide disposée parallèlement à la première face (11) de la couche l et permettant le passage de la lumière vers des zones (30 à 36) choisies de la couche 1. 1I1. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon l'une des revendications 9 ou 10, caractérisée en ce qu'elle comporte au moins uDe lentille de focalisation située entre le modulateur de lumière 8 et la deuxième face (11) de la couche (1). 12. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 5, caractérisée en ce qu'elle comporte un dispositif de déflexion du faisceau lumineux (F1) et permettant de le diriger vers une zone choisie (30 à 36) de la couche (1). 13. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 12, caractérisée en ce qu'elle comporte au moins une lentille de focalisation située sur le trajet du faisceau lumineux (FI). 14. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 5, caractérisée en ce qu'elle comporte une plaquette de substrat (12) en matériau transparent sur laquelle est déposée la couche (1) de matériau ferromagnétique, la deuxième face (11) de la couche (1) étant en contact avec le substrat (12) et le faisceau lumineux (FI) traversant le substrat (1) pour atteindre la couche (1). 15. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 6, caractérisée en ce que chaque source de chauffage (2) est une électrode (41) en matériau métallique résistif déposé sur la deuxième face (11) de la couche (1). 16. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 15, caractérisée en ce qu'elle comporte un substrat (9) sur une face duquel est déposée chaque électrode (41), l'ensemble étant recouvert par la couche (1), la deuxième face (11) de cette couche (1), étant en contact avec chaque électrode (41). 17. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon l'une des revendications 15 ou 16, caractérisée en ce qu'elle comporte un nombre déterminé d'électrodes (41 à 44) disposées parallèlement. 18. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 17, caractérisée en ce qu'une première extrémité de chaque électrode (41 à 44) est connectée à une entrée de connexion commune (eC) et qu'une deuxième extrémité de chaque électrode (41 à 44) possède une entrée de connexion individuelle (e4 1 à e44). 19. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce que la couche (1) en matériau ferromagnétique comporte au moins une première zone et une deuxième zone contiguës en matériaux ferro- magnétiques possédant chacune respectivement une température de point de Curie élevée et une température de point de Curie basse, les moyens de chauffage amenant la couche à plus bas point de Curie à s'échauffer à une température supérieure à ce dit point de Curie formant ainsi momentanément un entrefer alors que le matériau à point de Curie élevé n'est pas suffisamment échauffé et reste magnétique, l'aimantation possédée par ce matériau magné- tique procurant ainsi un champ de fuite au niveau de l'entrefer ainsi créé, dont on peut se servir pour écrire sur un support magnétique défilant. 20. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon l'une quel- conque des revendications 15 à 19, caractérisée en ce que chaque électrode est linéaire et la couche (1) possède; sous chaque élec- trode, une bande (3) de matériau ferromagnétique perpendiculaire aux électrodes et dont la température de point de Curie a été abaissée de façon à ce que le chauffage d'une électrode ne déter- mine la démagnétisation que dans ladite bande (3) de la couche (1) au point de croisement de cette bande et de l'électrode chauffée. 21. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 15, caractérisée en ce que chaque électrode (41) présente un segment de longueur déterminée (a) qui a été rendu plus résistif que l'ensemble de l'électrode (41). 22. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 21, caractérisée en ce que chaque électrode possède une découpe sur ladite longueur déterminée (a) la rendant plus résistive sur cette longueur. 23. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 15, caractérisée en ce que chaque électrode (41) possède une interruption sur une longueur déterminé (a) de telle façon que lors d'une alimentation en courant électrique d'une électrode, le courant électrique passe dans la couche (1) et produise un échauf- fement. 24. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon l'une quel- conque des revendication (15 à 23), caractérisée en ce qu'il com- porte un élément monolithique de circuit intégré (19) contenant des circuits de commande de la tête d'enregistrement et possédant à sa surface des bornes de connexions (b4 1) à ces circuits de commande; un nombre déterminé d'électrodes de chauffage (41 à 44) étant déposé sur une face plane de l'élément monolithique de circuit ricégré (19) avec chaque électrode (41) connectée à au moins une borne de connexion (b4 1); et une couche de rmatériau ferro- magnétique (1) déposée sur les électrodes (41 à 44). 25. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 1, caractérisée en ce que la magnétisation de la couche de matériau ferromagnétique (1), en l'absence de chauffage, est orien- tée dans le plan de la couche (1). 26. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 1, caractérisée en ce que la magnétisation de la couche de matériau ferromatique (1), en l'absence de chauffage, est orientée perpendiculairement au plan de la couche (1). 27. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 26, caractérisée en ce que, dans la couche (1), pour chaque zone (3) susceptible d'être chauffée, la magnétisation est orientée, en l'absence de chauffage, en sens inverse du reste de la couche. 28. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 26, caractérisée en ce que, dans la couche 1, chaque zone (3) susceptible d'être chauffée possède une frontière délimitant, en l'absence de chauffage, deux sens d'orientation inverses de la magnétisation de la couche. 29. Tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la reven- dication 1, caractérisée en ce qu'elle comporte un aimant (50) situé du côté de la première face (10) de la couche (1), avec le support magnétique d'enregistrement (5) placé entre la première face (10) et l'aimant (50), cet aimant (50) générant un champ très faible devant la coercivité du support d'enregistrement et permettant d'orienter la magnétisation de la couche (1). 30. Procédé de fabrication d'une tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la revendication 26, caractérisée en ce * 30 qu'elle comporte les phases suivantes: - a) une phase de dépôt d'une couche d'un matériau ferroma- gnétique (1) sur un substrat 9; - b) une phase de dépôt d'électrodes chauffantes (41 à 44) sur une face d'un élément monolithique de circuits intégrés (19); - c) une phase d'asse'rblage de l'ensemble couche de matériau ferromagnétique (1) - substrat (9) et de l'ensemble électrodes chauffantes (41 - 44) - élément (19) avec la couche de matériau ferromagnétique en contact avec les électrodes chauffantes (41 - 44); - d) une phase d'élimination du substrat (9). 31. Procédé de fabrication d'une tête d'enregistrement thermo-magnétique selon la revendication 30, caractérisée en ce qu'elle comporte, après la phase de dépôt de la couche de matériau ferromagnétique (1), une phase d'abaissement de la température de point de Curie d'une bande (3), perpendiculaire aux électrodes chauffantes (41 à 44), de la couche de matériau ferromagnétique (1).