Brevet FR2588657A1 — publié le 19870417

CAPTEUR DE FORCE COMPRENANT UN RESONATEUR DONT LA FREQUENCE VARIE EN FONCTION DE LA FORCE APPLIQUEE La présente invention se rapporte aux capteurs de force du type comportant un résonateur dont la fréquence varie en fonction de l'intensité de la force appliquée. Elle se rapporte plus précisément à un capteur comportant un barreau oscillant et deux embases reliées rigidement chacune à l'une des extrémités du barreau et servant à appliquer la force à mesurer sur ledit barreau. De tels capteurs sont décrits notamment dans le brevet US-A-4 372 173. Dans ce brevet, le résonateur est en quartz mince usiné par des procédés photochimiques, et ayant la forme soit diun barreau, soit d'un double diapason. Ce type de résonateur a pour avantage d'avoir un facteur de qualité élevé et une grande sensi- bilité à l'application d'une force. Il en résulte que la mesure peut être précise. De plus, l'information associée à la fréquence du résonateur étant traitée par un circuit électronique, il est pos- sible de l'obtenir sous forme numérique plutôt qu'analogique, ce qui offre de nombreux avantages. Malheureusement, l'utilisation d'un résonateur à quartz rend le dispositif fragile. C'est pourquoi, à ce jour, ce type de capteur a avant tout été utilisé en laboratoire. Un but de la présente invention est de réaliser un capteur de force pouvant aussi être utilisé dans un environnement plus rigou- reux. Par ailleurs, ces capteurs sont non seulement sensibles à l'ap- plication d'une forme axiale, ils réagissent également à des forces induisant une flexion ou une torsion du capteur. Or, dans la plupart des cas, il est souhaité que seule l'une des composantes de la force soit active, celle orientée selon l'axe du barreau du résonateur. Un autre but de la présente invention est de réaliser un cap- teur de force tel que défini ci-dessus et dont la sensibilité direc- tionnelle relative est accrue dans la direction de l'axe du barreau. Ces buts sont atteints grâce au fait que le capteur comporte un tube entourant le résonateur et fixé rigidement par chacune de ses extrémités à l'une des embases. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, faite en référence aux dessins dans lesquels: - la figure 1 représente, en perspective, un capteur selon l'invention; - la figure 2 est un schéma équivalent des caractéristiques mécaniques du capteur'de la figure 1; - la figure 3 illustre la manière dont varie la fréquence, dans un capteur dont certains composants sont sujets au fluage; et - la figure 4 est un diagramme comportant une courbe montrant l'évolution de la sensibilité du capteur en fonction de l'épaisseur du tube. Le dispositif selon l'invention représenté à la figure 1 com- porte un résonateur 10, deux supports 12, un tube 16, un circuit de commande et de mesure schématiquement représenté en 18 et des fils reliant le résonateur au circuit. Plus précisément, le résonateur est du type double diapason et comporte deux barreaux 101 et 102 reliés à chacune de leurs extrémités par une base 103, respective- ment 104. Les barreaux 101 et 102 portent des électrodes 105 schéma- tiquement représentees et permettant l'entretien de la vibration du résonateur. La base 103 porte des bornes de sortie 106, reliées aux électrodes 105, et sur lesquelles sont soudés les fils 20, pour relier le résonateur au circuit 18. Chacun des supports 12 comporte une première partie 121, de forme cylindrique, de diamètre legère- ment inférieur au diamètre intérieur du tube 16 et collé contre la face intérieure de ce dernier, à l'une de ses extrémités. L'une de ces parties 121 est percée d'un trou 121a, d'orientation axiale et destiné à laisser sortir les fils 20 de l'intérieur du tube. Les supports 12 comportent en outre chacun une assise de résonateur 122, adjacente à la partie 121, de forme semi-circulaire, et destinée à supporter le résonateur 10. Plus précisément, les bases 103 et 104 sont collees chacune sur l'une des assises 122. Les supports 12 comportent enfin chacun une attache 123, percée d'un trou 124 d'orientation radiale, destinée à permettre l'application d'une force sur le capteur et plus précisément sur le résonateur 10. Ces attaches 123 sont de forme générale parallélépipédique, la largeur étant sensiblement égale au diamètre du cylindre formant les parties 121. Elles se trouvent bien entendu à l'extérieur du tube. Les supports 12 et les bases 103 et 104 forment les embases destinées à appliquer la force aux barreaux 101 et 102 et auxquelles le tube est fixé rigidement par ses extrémités. Le tube 16, les supports 12 et Tes colles utilisées pour l'as- semblage doivent remplir certaines conditions pour ne pas altérer la précision de capteur. Pour ce faire, il faut que. le résonateur ne soit pas soumis à d'autres contraintes que celle exercée par la force à mesurer. Cela revient à éliminer ou tout au moins compenser les contraintes générées par le fluage ou la dilatation de l'un ou l'autre des composants constituant le capteur. Pour comprendre la manière dont ces contraintes peuvent être génêrées,, or peut se référer à la figure 2 qui représente un schéma de principe mécanique du capteur. Sur ce schéma, le capteur comporte deux corps élastiques El et E2, trois corps fluants FI, F2 et F3 et deux attaches rigides A1 et A2. Le corps élastique E1 est monté en série avec le corps fluant FI. Le corps élastique E2 est monté en série avec les corps fluants F2 et F3. Les branches formées par E1 et FI, d'une part, et par E2, F2 et F3, d'autre part, sont montées en parallèle et fixées rigidement à Ai et A2. Les corps élastiques E1 et E2 représentent respectivement la caractéristique élastique du résonateur 10 et du tube 16. Les corps fluants F1, F2 et F3 représentent respectivement la caractéristique de fluage de la couche de colle fixant le résona- teur aux assises 122, de celle fixant le tube 16 aux parties 121 et du matériau constituant le tube même. Lorsqu'une force T est appliquée sur les attaches A1 et A2 (force d'action et de réaction), cette force se.décompose en deux forces T1 et T2 appliquée l'une sur la branche El, F1, l'autre sur la branche E2, F2, F3. Au moment de l'application de la force T, les forces T1 et T2 sont définies par l'élasticité de El et E2, les déformations à l'al- longement de ces corps devant être égales puisque les deux branches sont montées en parallèle sur les attaches Ai et A2. L'application des forces T1 sur Fl et T2 sur F2 et F3 provoque leur fluage. Il en résulte un allongement des branches Et, F1 et E2, F2, F3. Si les allongements induits par T1 sur F1 et par T2 sur F2 et F3 sont égaux, alors T1 et T2 restent constantes. Si au contraire T1 provoque un fluage plus important sur F1 que ne le fait T2 sur F2, F3, il en résulte que i'allongement dû au fluage augmente sur la branche El, F1, aux dépens de l'allongement dû à l'élasticité, *2588657 puisque l'allengement des deux branches reste constant. Cela revient à dire que T1 diminue, d'o une réduction de l'allongement élasti- que, mais aussi de la vitesse de fluage, celle-ci tendant asymptoti- quement vers la vitesse de fluage de la branche E2, F2, F3. Il en résulte que la force T1 appliquée sur le résonateur n'est plus pro- portionnelle au rapport entre la résistance des corps élastiques E1 et E2, mais fait en outre intervenir la résistance des corps fluants F1, F2 et F3. Lorsque la force T est supprimée, les corps élastiques tendent à reprendre leur position de repos. Toutefois, comme l'allongement dû au fluage est plus grand sur la branche F1, El que sur la branche E2, F2, F3, le corps E2 sera encore en extension lorsque le corps El ne supportera plus de contrainte. L'équilibre sera retrouvé lorsque la force exercée par E2, due à son allongement non nul sera compen- sée par la force due à la compression de El. Les corps fluants sont ainsi soumis à une force tendant à les ramener dans leur position de départ. La figure 3 représente une courbe de variation de fréquence en fonction du temps et de la force appliquée, dans l'hypothèse énoncée ci-dessus. Plus précisément, en l'absence de force appliquée, la fréquence du résonateur est égale à fO. Lorsque, au temps tO, on applique la force T1, la fréquence augmente brusquement jusqu'à fl, à cause de l'allongement du résonateur. De tO à tl, la fréquence diminue progressivement pour atteindre sensiblement la fréquence f2 corres- pondant à une vitesse de fluage identique sur les deux branches El, Fl et E2, F2, F3. De tl à t2, cette fréquence reste constante. En t2, la force T est supprimée. La fréquence chute brusquement pour atteindre la valeur f3. Cette dernière fréquence, inférieure à la fréquence fO, indique que le résonateur est soumis à une compres- sion. A cause du fluage des corps Fl, F2 et F3, la fréquence f3 tend asymptotiquement Vers fO. La différence entre fO et fl, égale à celle entre f3 et f2, est proportionnelle à la force T appliquée sur le capteur, le coeffi- cient de proportionalité faisant intervenir la résistance élastique des corps E1 et E2 et non les phénomènes de fluage. Il est ainsi théoriquement possible de mesurer la force appli- quee, en mesurant la fréquence avant et juste après que la force soit appliquée ou supprimée. Mais l'application ou la suppression de la force génèrent des réactions dynamiques qui perturbent la mesure, de sorte que les premières valeurs mesurées sont peu précises. En outre, il serait impossible de mesurer avec un tel dispo- sitif une force variant dans le temps de manière aléatoire. On sait de plus que la plaque de quartz dans laquelle le réso- nateur est fabriqué est si mince qu'elle est susceptible de flamber sous l'effet d'une force de compression inférieure même à la force de traction maximale admissible. Cela revient à dire que si le fluage du corps F1 est important, le résonateur peut être détruit par flambage lorsque la force T est supprimée. Il ressort de-ce qui précède que la vitesse de fluage du corps F1 devrait être la même que celle du corps F2 et F3 ou, ce qui est mieux encore, que le fluage puisse être supprimé. Ce problème peut être résolu, d'une part, par un choix adequat des moyens d'assemblage du résonateur et du tube avec les supports, ainsi que du matériau dont est fait le tube. Il sera examiné de façon plus pratique dans le cadre de la description d'un exemple pratique. Il ressort donc de ce qui précede que le fluage du tube et/ou de la colle peut provoquer une répartition des forces appliquées respectivement sur le tube et sur le résonateur qui est dans un rapport autre que celui entre les résistances élastiques du tube et du barreau. Une modification de la répartition des forces peut également être provoquee par un changement de température, si les coefficients de dilatation du tube et du résonateur ne sont pas les mêmes. Cette modification de la répartition des forces peut être corrigée par le circuit de commande, dans la mesure o il comporte un circuit de mesure de la température. Toutefois, dans la pratique, il est souhaitable de choisir pour le tube un matériau ayant un coefficient de dilatation aussi voisin que possible de celui du matériau dont est fait le résonateur. Ce choix devra être d'autant plus rigoureux que la plage de température dans laquelle le capteur est susceptible de travailler est large. Cette question sera exami- nee de manière plus pratique ci-après. Des essais pratiques ont été réalisés au moyen d'un quartz double diapason ayant les caractéristiques-suivantes: Dimension: 15 x 2,9 x 0, 175 mm Fréquence: 47'000 Hz Allongement: 0,46 um N - 5 Rupture à la traction: 10 à 12 N Sensibilité: 200 Hz/N Résolution: 2'000 points. Les supports 12 sont réalisés en acier inoxydable du type Z10 CN18-8. Le diamètre de la partie cylindrique est égal à 4 mm. Le tube 16 est également réalisé en acier Z10 CN18-8. Son diamètre intérieur est de 4,01 mmn, son diamètre extérieur de 4,06 mm et sa longueur égale à 21 mm. De tels tubes sont fabriqués par exemple par la maison MEDELEC (Suisse). Un capteur comprenant ces éléments a les caractéristiques suivantes: Dimension: 27 x 4,06 mm Rupture à la traction: 30 N Sensibilité: 70 Hz/N Résolution: 2'000 points. Il ressort de la comparaison des caractéristiques du résonateur seul et du capteur que la sensibilité de ce dernier est réduite de trois fois, tandis que sa plage de mesure est élargie d'autant, la résolution n'étant pas affectée de manière sensible. Des essais de collage du résonateur et du tube aux supports ont été réalisés au moyen d'adhésifs époxy, anaérobiques et cyano- acryliques. Les meilleurs résultats ont été obtenus avec les adhé- sifs cyano-acriliques. Parmi ceux-ci, on peut citer les produits vendus sous la marque Cyanolit 101, 201 et 202 de la maison 3M (USA) ou ceux vendus sous la marque Sicomet 40 et 85 de la maison HENKEL (RFA). Ce type de colle est toutefois difficilement utilisable pour la fixation du tube sur les supports, à cause de la très grande rapidité avec laquelle cette colle se polymérise. Le collage du tube sur les supports a également pu être réalisé de manière satisfai- sante en utilisant des colles époxy chargées de poudre de quartz. Il est de la sorte possible d'éliminer pratiquement complètement le fluage que présentent les adhésifs époxy. Des essais pratiques d'un capteur tel'que décrit ci-dessus, dans lequel le tube est fixé aux supports au moyen de l'adhésif époxy vendu sous la marque Araldit de la maison Ciba-Geigy (Suisse) mélangé à de la poudre de quartz, et dans lequel le résonateur est fixé sur ces supports au moyen de colle Sicomet 40, montrent que lorsque l'on applique à ce capteur une force de 10 à 20 N durant 300 heures, la variation de la fré- quence est inférieure à 2 Hz. La sensibilité du capteur étant de Hz par N, cette fluctuation équivaut à l'application d'une force de 0,03 N. Un tel résultat peut être considéré comme satisfaisant. Le ouartz et le tube pourraient aussi avantageusement être sou- dés aux supports. Toutefois ce mode de faire serait plus coûteux. On a également effectué des essais en utilisant un tube réalisé en aluminium ou en magnésium. Les résultats obtenus n'étaient pas satisfaisants, à cause de la forte propension de ces matériaux au fluage. Ainsi que cela a été dit ci-dessus, les essais effectués avec le résonateur tel que décrit, muni d'un tube dent l'épaisseur de paroi est égale à 0,025 mm, ont montré que la sensibilité à la traction était réduite d'un facteur trois environ (voir figure 4). La sensibilité à des efforts parasites, notamment à des forces appliquées perpendiculairement à l'axe de traction, est réduite de manière beaucoup plus sensible. Un effort parasite, tel qu'un couple de torsion ou une force perpendiculaire, appliqué au capteur, se décompose en deux composantes agissant l'une-sur le tube, l'autre sur le résonateur. Cette dernière est plus de mille fois plus faible que celle agissant sur le tube. Ainsi, et grâce au fait que le capteur comporte un tube qui entoure le résonateur et est fixé aux supports, il est possible de réduire de manière très forte la sensi- bilité du résonateur à des efforts appliqués selon une direction autre que la direction de traction normale. De la sorte, il n'est pas nécessaire de prendre des dispositions particulières pour que la force appliquée soit parfaitement alignée selon l'axe de mesure. En outre, le fait que le quartz soit entouré d'un tube le protège des poussières et autres agressions-auxquelles il peut être soumis. Dans l'exemple ci-dessus, la sensibilité est réduite d'un facteur trois environ, par l'usage d'un tube dont les parois ont une épaisseur égale à 0,025 mm. Ainsi qu'on peut le voir sur la figure 4, la sensibilité du capteur est d'autant plus faible que l'épaisseur des parois est grande. Pratiquement, la sensibilité est réduite d'un facteur deux environ lorsque l'épaisseur est doublée. Ainsi que cela été dit ci-dessus, les variations de température peuvent altérer la mesure si les coefficents de dilatation du réso- nateur et du tube ne sont-pas adaptés. Le matériau constituant le tube doit être choisi en conséquence. Un tube réalisé en acier inoxydable Z10OCN18-8 donne des résul- tats satisfaisants pour un capteur travaillant aux environ de la température ambiante. Un capteur destiné à des conditions thermiques plus extrêmes comporte avantageusement un tube réalisé en un matériau ayant un coefficient de dilation pratiquement égal à celui du résonateur. Dans une première variante, le tube est en quartz ou en verre. Elle est coûteuse et peu conduire à une fragilité exagérée du capteur. Dans une deuxième variante, le tube est en acier, de type Z12CNKDW20 par exemple, vendu par la maison AFNOR (France), dont le coefficient de dilatation est égal à 13,9 * 10' par degré (quartz: 13,7 * 107 par degré). De la sorte, la sensibilité à la température est fortement réduite. L'erreur restante peut être corrigée, si nécessaire, par le circuit électronique. Les essais ont été effectués avec un capteur dont l'enceinte, formée par le tube et les supports, n'est pas fermée de façon étanche. Il peut en être autrement. Ainsi, pour un capteur soumis à une atmosphère fortement polluée, il est préférable d'isoler le résonateur de peur de voir sa fréquence modifiée par les agents de pollution. Dans le cas o l'enceinte est fermée de façon étanche, la pression peut y être réduite, ce qui améliore les conditions d'oscillation du résonateur. Il faut toutefois relever qu'une force parasite est induite sur le capteur par les variations de la pres- sion ambiante (variations barométriques) ou de la pression à l'inté- rieur de l'enceinte (par échauffement par exemple). Dans les exemples donnés, lorsque le capteur est au repos, le quartz n'est en principe pas soumis à une contrainte permanente. Il peut en être autrement, ce qui permettrait alors de décaler les limites de mesure et, par exemple, de réaliser un capteur pour des forces de compression plutôt que de traction. Pour ce faire, il suffit d'appliquer une force sur les supports 12, durant l'opération de fixation du tube. Le résonateur décrit est fait en quartz. D'autres matériaux peuvent également être utilisés, qu'ils soient ou non piézoélectri- ques, sans pour autant sortir du cadre de l'invention. 2.588657 REVENDICATIONS 1. Capteur de force comportant un résonateur - (10) dont la fréquence varie en fonction de l'intensité de la force à mesurer et qui comprend un barreau oscillant (101. 102) et deux embases (12, 103, 104) reliées chacune rigidement à l'une des extrémités dudit barreau (101, 102) et destinées à appliquer la force à mesurer sur ledit barreau (101, 102), caractérisé en ce que ledit capteur comporte en outre un tube (16) entourant ledit résonateur (10) et fixé rigidement par chacune de ses extrémités à l'une desdites embases (12). 2. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit résonateur (10) comporte un deuxième barreau (102) également relié par ses extrémités auxdites embases (103, 104) et oscillant en opposition de phase avec ledit premier barreau (101) pour former un double diapason. 3. Capteur selon la revendication 2, caractérisé en ce que chaque embase (12, 103, 104) comporte une première partie (103, 104) venue d'une pièce avec lesdits barreaux (101, 102) et formant une base de l'un des doubles diapasons et une seconde partie constituant un support (12) pour ladite base et ledit tube (16), ledit support (12) étant fixé rigidement à ladite base et audit tube (16). 4. Capteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'ensemble formé par lesdits barreaux (101I, 102) et lesdites bases (103, 014) est formé d'une plaquette de quartz d'épaisseur constante et portant des électrodes de commande. 5. Capteur selon la revendication 3 ou 4, caractérisé en ce que les extrémités du tube (16) et du double diapason sont respecti- vement collees à l'un desdits supports (12). 6. Capteur selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le coefficient de dilatation thermique du tube (16) est sensiblement égal à celui dudit barreau (10).