Brevet FR2590008A1 — publié le 19870515

La présente invention concerne un dispositif de fermeture de porte à basse pression, totalement enfermée, destiné à former un joint matériel contre des tubes de traitement dans lesquels des tranches de silicium sont chauffées et soumises à divers traitement chimiques. Lors du traitement des micropastilles dans une installation du type assurant un dépôt chimique en phase vapeur, la conservation d'une atmosphère bien réglée est primordiale. Il est essentiel que le tube de traitement reste absolument propre. A cet effet, l'intérieur du tube est nettoyé puis mis sous vide. Les tranches de silicium sont ensuite placées dans un support ou "nacelle", et les nacelles elles-mêmes sont placées sur un type d'ins- trument destiné à introduire les nacelles dans le tube de traitement. Cet instrument est normalement appelé "pelle". Les pelles sont utilisées pour le maintien et le support des tranches lorsqu'elles sont traitées dans le tube sous vide. Pendant ce traitement, l'atmosphère doit être réglée d'abord par mise du tube sous vide poussé puis par introduction de certains gaz voulus. Il est essentiel que l'oxygène et d'autres gaz indésirables ne puissent pas entrer dans le tube. L'introduction de gaz indésirables pendant le traitement peut ruiner celui-ci et provoquer la destruction des tranches. Actuellement, la technique de fermeture étanche du tube de traitement dans la zone d'introduction de la pelle comprend essentiel- lement le passage de la pelle dans une structure qui a des dimensions correspondant à celles du tube de trai- tement afin que l'étanchéité soit assurée depuis l'exté- rieur. Cependant, l'élément primordial est la création d'un joint efficace autour du manche de la pelle. Les pro- cédés classiques mettent en oeuvre des joints travaillant à la compression du type des joints toriques, comprimés contre le manche des pelles. Les joints sont raccordés à la structure qui est en coopération étanche avec le tube de traitement lui-même si bien qu'un joint étanche au vide est formé dans le tube de traitement. Plusieurs problèmes 2590008- sont posés par ce type d'appareil classique de fermeture de porte. Le problème essentiel est dû au fait que la très grande chaleur du traitement est transmise par la pelle à son manche et ainsi au joint torique si bien que celui-ci est surchauffé et se rompt. Lorsque le joint torique du manche a grillé, il n'est pas certain que le vide puisse être maintenu et des tranches coûteuses peuvent être perdues intempestivement. La température de traitement peut être comprise entre 600 et 800 C dans le tube de traitement et des températures notablement plus élevées sont aussi transmises le long du manche de la pelle. Un autre inconvénient est dû au fait que ce joint travaillant en compression et du type des joints toriques placés autour du manche ne peut pas être utilisé avec des manches de pelles de forme carrée qui existent en nombre important. Un autre inconvénient est que la perte de chaleur par l'intermédaiire des pelles réduit le rendement du système de traitement par rapport à ce qu'il pourraît être en l'absence de perte. L'invention a donc pour objet la mise à disposition d'un procédé et d'un appareil perfectionnés de fermeture de porte à basse pression destinée à former un joint autour du manche des pelles afin que la rupture des joints toriques travaillant à la compression, par transfert de chaleur, soit évitée. Le dispositif de fermeture de porte à basse pression selon l'invention comporte un organe étanche de logement de pelle dans lequel passe le manche de la pelle. Un joint souple est fixé à une bague externe portée par l'organe de logement de pelle, à une première extrémité, et par une porte d'étanchéité à l'autre extrémité. L'organe étanche de logement de pelle passe à travers la porte de logement de manière que l'extrémité de la pelle portant la nacelle et les tranches pénètre dans un tube de trai- tement. Une entretoise, glissant sur l'extrémité de l'organe étanche de logement de pelle, est placée entre l'extrémité ouverte de l'organe de logement de pelle et la porte d'étanchéité, à l'endroit de leur raccordement. Cette entre- toise a deux fonctions. La première est la limitation du déplacement de l'organe étanche de logement de pelle afin que le joint souple ne soit pas soumis à des contraintes excessives. En outre, l'entretoise forme un emplacement de montage d'une vis d'arrêt de manière que celle-ci se visse a travers l'entretoise et dans une fente ouverte formée a l'extremité de l'organe étanche de logement de pelle ec ainsi au contact de la pelle elle-même qui est retenue. De cette manière, la pelle peut être retenue dans l'organe de logement de pelle. Deux cavités sont formées près de l'extrémité fermée de l'organe de logement de pelle, aux posicions deux heures et dix heures. Ces cavités facilitent l'obtention d'un effet de verrouillage à l'extré- mité du manche lorsqu'il est placé dans l'organe étanche de logement de pelle afin que la pelle ne se déplace pas ou ne glisse pas dans cet organe de logement. Lorsque la pelle utilisée est circulaire, aucune modification de l'organe étanche de logement de pelle de forme tubulaire n''est nécessaire. Lorsque le manche de la pelle a une confi- guration carrée ou autre, un organe d'adaptation ayant pra- ticqement la longueur du dispositif étanche de logement de pelle iui-même est utilisé. Il a un diamètre un peu plus petit et glisse donc facilement dans l'organe étanche de logement de pelle. En outre, l'organe d'adaptation a une tige olacée à l'intérieur et qui, dans le cas des manches carrés, donne une forme carrée à l'intérieur du tube afin nlue la pelle à manche carré y soit ajustée Lors- que la pelle a manche carré est fixée dans l'organe d'adap- tation, ce dernier est introduit dans l'organe étanche de logement de pelle et y est maintenu par des-vis de retenue. En conséquence, un appareil de fermeture de porte totalement fermée est realisé et aucun contact n'est jamais réalisé entre la pelle et une garniture. D'autres caractéristiques et avantages de l'inven- tion seront mieux compris à la lecture de la description qui va suivre, faite en référence aux dessins annexés sur lesquels: la figure 1 est une perspective éclatée d'un mode de réalisation préféré de l'appareil de fermeture de porte totalement fermée; la figure 2 est une coupe partielle en élévation latérale de l'appareil, représentant la pelle et une nacelle remplie; la figure 3 est une coupe d'une partie de l'appa- reil représenté sur la figure 2; la figure 4 est une élévation latérale du dispo- sitif, les traits interrompus représentant, sous forme exagérée, les possibilités de flexion de l'appareil; la figure 5 est une vue en plan d'un organe étanche de logement de pelle; la figure 5a est une élévation latérale de l'organe de la figure 5; la figure 6 est une vue en plan d'un tube d'adap- tation destiné à des pelles n'ayant pas un manche de section circulaire; et la figure 6a est une coupe d'une tige d'adaptation destinée à des pelles à manche de section carrée, représen- tant une telle pelle placée à l'intérieur. Les figures 1 à 6 représentent un mode de réalisa- tion préféré de l'invention. La figure 1 représente sous forme éclatée un tel dispositif 10. Un organe étanche 12 de logement de pelle est représenté avec une extrémité fer- mée 14 et une extrémité ouverte 16. Une fente 18 et une plaque 20 de retenue sont aussi représentées. La fente 18 permet a une vis de retenue de maintenir un manche de pelle introduit dans l'organe étanche 12 de logement de pelle. Une plaque 20 de retenue est fixée fermement, par exemple par soudage ou de toute autre manière classique, à l'organe étanche 12 de logement de pelle afin qu'elle constitue une base de fixation d'un tronçon souple 24 de raccord à soufflet. Plusieurs organes de fixation ou ori- fices taraudés 21 sont formés dans la plaque 20 de retenue afin que le tronçon 24 d'articulation à soufflet puisse être fixé à l'aide de vis 31. Enfin, des cavités 22 des- tinées à empêcher un glissement retiennent la pelle intro- duite dans l'organe étanche 12 de logement de pelle afin qu'elles empêchent une rotation de la pelle lorsqu'elle a été introduite. L'extrémité 26 du joint souple est destinée à glisser sur l'extrémité ouverte 16 de l'organe étanche 12 de logement de pelle et à être en butée contre une garniture d'étanchéité 28 qui peut être montée de manière amovible. Lorsque l'extrémité 26 du joint souple et la garniture 28 sont en place, plusieurs équerres amovibles 29 de fixation serrent la lèvre sur l'extrémité 26 du joint souple et la tirent étroitement vers la plaque 20 de retenue si bien qu'un joint étanche complet est formé. La garniture d'étan- chéité 28 qui est amovible est d'un type connu dans la technique. L'extrémité opposée 30 du tronçon 24 de joint à soufflet glisse aussi sur l'extrémité ouverte 16 de l'organe 12 de logement de pelle. Lorsque cet organe 12 est introduit dans l'ouverture 39 de passage de pelle formée dans la porte d'étanchéité 32, la garniture amovible 34 est placée entre l'extrémité 30 du tronçon de soufflet 24 et la porte 32 et est maintenue en place par plusieurs équerres amovibles 36 de fixation. Lorsque les équerres 36 sont en place, l'extrémité en T des équerres 36 étant verrouillée derrière l'extrémité 30 de la lèvre du tronçon souple 24, un joint étanche complet est formé. Plusieurs organes de logement de dispositif de fixation ou orifices taraudés 33 sont formés dans la porte d'étanchéité 32 afin qu'ils coopèrent avec des équerres 36 et des vis 35. Un joint 37 travaillant à la compression et non représenté, est placé sur le côté de la porte 32 qui coopere avec le tube de traitement qui n'est pas non plus représenté. Les garnitures amovibles 34 et 37 d'étanchéité sont de type connu dans la technique. La figure 1 représente aussi une entretoise 38. Celle-ci est ajustée sur l'extrémité ouverte 16 de l'organe étanche 12 de logement de pelle lorsqu'il est introduit par l'ouverture 39 de passage de pelle formée dans la porte 32. L'entretoise 38 dépasse aussi à travers la porte 32 et pénètre dans le joint souple 24 sur une courte distance. L'entretoise 38 empêche le déplacement de l'organe étanche 12 de logement de pelle de manière que le joint 24 ne subisse pas des contraintes excessives. En outre, l'entretoise 38 permet le montage de la vis d'arrêt 40 dans une ouverture 42 formée dans l'entretoise 38 afin que la vis 40 puisse être vissée à travers l'entretoise 38 et dans la fente 18 de logement de pelle et au contact d'une pelle qui est introduite afin que la pelle ne puisse pas se déplacer. Deux vis d'arrêt 44 placées en regard sont disposées de part et d'autre de l'entretoise 38 afin qu'elles retiennent celle-ci en contact intime avec l'organe étanche 12. Une seule vis 44 est représentée sur la figure 1. La figure 1 représente aussi un organe cylindrique d'adaptation 46 qui est ouvert à ses deux extrémités. Cet organe 46 a une tige rectangulaire 48 d'adaptation fixée en position dans l'organe 46 d'adaptation comme représenté plus clairement sur la figure 6. Lorsqu'elle est en place, la tige 48 forme une ouverture de section carrée à partir de l'ouverture circulaire de l'adaptateur 46. Grace aux vis d'arrêt, une pelle à manche carré peut être introduite et maintenue en place dans l'organe 46 d'adaptation. Ce dernier peut alors être introduit totalement dans l'organe étanche 12 de logement de pelle comme si la pelle considérée était de section circulaire. La fente 50 assure l'alignement sur la fente 18 si bien que la vis 40 de retenue de pelle peut atteindre le manche de la pelle carrée et peut le maintenir fermement en place. Des manches de forme presque quelconque peuvent être utilisés par modification du nombre, de l'emplacement et de la configuration de la tige 48 d'adaptation. Des orifices ou organes 60 de logement de tige d'adaptation destinés à loger des organes amovibles 62 de fixation de la tige 48 dans l'organe 46 d'adaptation sont aussi représentés. En outre, les orifices ou organes 64 de logement destinés à la fixation des pelles sont destinés à coopérer avec des organes amovibles 66 de fixa- tion de pelle destinés à maintenir une pelle 58 dans l'adaptateur 46. On se réfère maintenant à la figure 2 qui repré- sente le dispositif 10 en élévation latérale partiellement- en coupe. La pelle 52 est représentée alors qu'elle supporte une nacelle 54 contenant des tranches 56. La pelle 52 est représentée verrouillée en place par la vis d'arrêt 40 placée dans l'entretoise 38, le manche de la pelle 52 étant complètement entouré dans l'organe étanche 12 de logement de pelle. Une porte d'étanchéité 32 ayant une équerre 36 de fixation maintenant l'extrémité du tronçon de soufflet 24 étroitement contre la garniture 34 afin qu'un joint hermétique soit formé, est représentée sur le côté. En outre, des équerres amovibles 29 de fixation sont représen- tées sous une forme maintenant l'extrémité 26 du tronçon 24 de soufflet en coopération étroite avec la garniture 28 d'étanchéité et la plaque 20 de retenue, si bien qu'un joint étanche et hermétique est formé. La figure 3 est une coupe du dispositif 10. L'organe 46 d'adaptation est représenté à l'intérieur des organes étanches 12, la tige 48 d'adaptation étant en place. La figure 4 est une élévation latérale du dispositif représentant, par les traits interrompus 32A, 32B, sous forme exagérée, un mouvement possible pour la porte d'étan- chéité 32, grâce à la présence du tronçon de joint souple 24 à soufflet. Comme la porte 32 d'étanchéité peut se déplacer, tout défaut d'alignement d'un tube de traitement de tranche, non représenté, peut être toléré et un joint parfaitement étanche peut être réalisé sans que le tube de traitement soit lui-même perturbé. La figure 5 est une vue en plan d'un organe étanche 12 de logement de pelle représentant des cavités 22 près de l'extrémité d'étanchéité 14, de la plaque 20 de retenue et la fente 18. En outre, une élévation frontale de l'organe 12 de logement est représentée sur la figure 5a et indique l'extrémité ouverte 16, les cavités 22 de la fente 18 et la plaque 20 de retenue. La figure 6 est une élévation latérale partielle de l'organe 46 d'adaptation. Les traits interrompus repré- sentent la tige d'adaptation 48. La figure 6a est une vue de bout de l'organe 46 d'adaptation, avec la tige 48 en place, avec formation d'une surface de section carrée contre laquelle le -manche 58 d'une pelle représenté en coupe peut être verrouillé par des vis d'arrêt 66, non représentées sur cette figure. Lors du fonctionnement, comme l'indique la figure 2, une pelle normale 52 à manche circulaire est introduite dans l'organe étanche 12 de logement de pelle, sous une forme totalement enfermée. La pelle 52 est maintenue en place par coopération des cavités 22 et d'une vis d'arrêt 40. L'appui de la vis d'arrêt 40 est assuré par l'entretoise 38 qui limite aussi la plages de déplacement de la pelle 52 et de l'organe étanche 12, lors du passage à travers la porte étanche 32. Comme la porte 32 peut se déplacer sur une plage de 360 étant donné le tronçon souple de joint 24 à soufflet, un joint hermétique complet est formé lorsque la porte 32 est repoussée contre un tube de traitement, quel que soit l'emplacement de ce tube. Ce joint est en outre obtenu parce que le tronçon souple 24 de soufflet peut être comprimé si bien qu'une force de compression transmise par le joint 24 peut aussi être appliquée à la porte 32 et ainsi à la face du tube de traitement. Comme la porte 32 d'étanchéité est fermée par des garnitures 34 et 28, le gaz ne peut pas pénétrer dans le tube de traitement ou s'en échapper, à ces emplacements. Il faut noter qu'aucune des garnitures 28, 34 ni la garni- ture 37 placée au raccord de la porte 32 avec le tube de traitement, n'est au contact directement de la pelle 52. Au contraire, la pelle 52 est maintenue en place dans l'organe 12 de logement qui est ouvert à l'extrémité 16 mais qui est totalement fermé de manière étanche à l'extrémité 14. En consequence, lorsque le joint est formé entre la porte 32 et le tube de traitement, l'ensemble du dispositif est rendu étanche et ne permet pas les fuites vers le tube ou hors du tube. En outre, comme la pelle 52 est enveloppée dans l'organe étanche 12 de logement de pelle, un effet d'isolation par l'air est obtenu si bien que les pertes de température par transmission par le manche 52 de la pelle depuis l'intérieur du tube de trai- tement sont réduites au minimum ou supprimées. Cette réduc- tion des fuites augmente le rendement du traitement global et réduit le coit tout en assurant un traitement sans particule. Lorsqu'une pelle 58 ayant un manche de section carrée (voir figure 6) est utilisée, la pelle 58 est introduite dans l'organe 46 d'adaptation. Celui-ci a la tige 48 d'adaptation qui est fixée à l'intérieur et qui donne une section carrée au tube interne, l'ensemble constituant un réceptacle robuste pour le manche carré de la pelle 58. Comme la fente 50 est alignée sur une fente 18 formée dans l'organe étanche 12 de logement de pelle, la vis d'arrêt 40 peut aussi retenir la pelle 58 en posi- tion. L'organe 46 d'adaptation coulisse complètement dans l'organe 12 de logement et le reste du dispositif n'est pas modifié. Dans tous les cas, aucun joint torique d'étan- chéité n'est placé autour du manche de la pelle. En fait, etant donné la réalisation originale du dispositif, lorsque la porte 32 d'étanchéité a été mise en place, l'utilisateur a une parfaite confiance dans la conservation du joint sous vide car aucun joint n'est placé le long du manche. En outre, grâce à l'organe d'adaptation des manches ayant d'autres configurations, par exemple rectangulaire, octoganal ou analogue, peuvent aussi être utilisés. La fermeture totale n'est pas affectée par la configuration du manche. En outre, étant donné la présence de l'organe d'adaptation, des manches différents peuvent être rapidement et facilement montés sans perturbation de l'ensemble fondamental de fermeture. Ainsi, l'invention concerne un mécanisme perfectionné de fermeture de porte qui peut etre facilement manipulé afin qu'il permette l'utilisation de manches de formes différentes, et assurant la fermeture totale du manche si bien que le traitement peut être réalisé sans fuite, le système donnant en outre l'avantage d'une barrière d'isolation formée par de l'air qui réduit les pertes par rayonnement à partir du manche et qui augmente donc le rendement du système. Enfin, le dispositif de fermeture de porte totalement fermée présente l'avantage important d'éviter l'utilisation de joints fixés directement aux manches très conducteurs des pelles, qui provoquent habituellement une défaillance des joints et une perte de contrôle du traitement. 1 1 REVENDICATIONS 1. Appareil de fermeture de porte totalement etanche, caractérisé par: une porte d'étanchéité (32), un joint souple (24) à soufflet fixé à la porte d'étanchéité (32), et un organe étanche (12) de logement de pelle fixé au joint souple (24), une extrémité étanche (14) et une extémité ouverte (16) passant par la porte d'étanchéité (32) de manière qu'une pelle (52) de support de tranche soit portée par l'organe étanche (12) de logement de pelle lors- qu'elle est introduite dans un tube de traitement. 2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que la porte d'étanchéité (32) comporte: une plaque de base (32), un joint compressible (37) fixé de façon amovible d'un côté de la plaque de base (32), un orifice (39) formé dans la plaque (32) et destiné au passage d'une pelle, et plusieurs organes (33) de logement d'organes de fixation, entourant l'orifice (39) de passage la pelle du côté de la plaque de base (32) qui est opposé à celui qui comporte le joint compresible (37). 3. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que la porte d'étanchéité (32) a une forme circulaire. 4. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que le joint souple (24) à soufflet comporte: une première extrémité (30) ayant une forme telle qu'elle s'ajuste autour de l'orifice (39) de passage de pelle et assure l'étanchéité à son niveau à l'aide d'une garniture (34) d'étanchéité disposée de façon amo- vible, cette extrémité (30) étant maintenue en place par plusieurs organes de fixation (36) fixés aux organes (33) de logement d'organes de fixation, sur la plaque de base (32), un tronçon de soufflet (24A) qui permet un fléchis- sement dans toutes les directions et qui est aussi compres- sible, et une autre extrémité (26) réalisée de manière qu'elle puisse être fixée fermement à l'organe étanche (12) de logement de pelle. 5. Appareil selon la revendication 4, caractérisé en ce que l'organe étanche (12) de logement de pelle est tel que: l'extrémité ouverte (16) a une configuration telle que l'organe passe par l'orifice (39) de logement de pelle, une fente (18) étant découpée à la partie supérieure de l'extrémité ouverte (16), et cet organe comporte: un tronçon allongé (12A) de fermeture ayant l'extrémité fermée (14) dans laquelle peut être placée la pelle (52) de support de tranche, une plaque de retenue (20) ayant plusieurs organes (21) de logement d'organe de fixation, placés à l'exté- rieur du tronçon allongé (12A) de fermeture auquel une pre- mière extrémité (26) du joint souple (24) à soufflet est fixée, en coopération avec une garniture (28) d'étan- chéité qui est amovible, à l'aide de plusieurs organes de fixation (29), et deux cavités (22) de retenue ayant des positions opposées, à proximité de l'extrémité fermée (14) du tronçon allongé (12A) de fermeture afin que le manche (52) de palette de support de tranche ne puisse pas tourner lors- qu'il y est placé. 6. Appareil selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'il comporte une entretoise de retenue (38) ayant une configuration correspondant à celle de l'extrémité ouverte (16) de l'organe étanche (12) de logement de pelle et pouvant glisser sur cette extrémité, cette entre- toise étant fixée en place autour de l'organe étanche (12) de logement de pelle par plusieurs organes amovibles de fixation (44) et ayant en outre une ouverture (42) qui correspond à la fente (18) découpée dans la partie supé- rieure de l'extrémité ouverte (16) de l'organe étanche (12) de logement de pelle par lequel peut passer un organe (40) de retenue de pelle. 7. Appareil selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un organe d'adaptation (46) qui comprend: un tube allongé (46) de configuration correspondant à celle de l'organe étanche (12) de logement de pelle, le tube étant ouvert à ses deux extrémités et pouvant s'ajuster dans l'organe étanche (12) de logement de pelle, une fente (50) découpée dans une première extrémité de l'organe d'adapation (46) et alignée sur la fente (18) formée dans l'organe étanche (12) de logement de pelle de manière que l'organe de retenue de pelle (40) puisse y passer, une tige d'adaptation (48) fixée à l'intérieur du tube d'adaptation (46) de manière que la pelle (52, 58) introduite à l'intérieur ne puisse pas tourner, et plusieurs orifices (64) formés dans le tube d'adap- tation (46) et à travers la tige d'adaptation (48) d manière que la pelle (52, 58) puisse être retenue à demeure en position par les organes amovibles de fixation (66). 8. Appareil de fermeture de porte totalement fermé, caractérisé par: une plaque de base (32) de porte d'étanchéité, un joint compressible (37) fixé de façon amovible d'un côté de la plaque de-base (32) de la porte, un orifice (39) de passage de pelle formé dans la plaque de base (32), plusieurs organes (33) de logement d'organes de fixation, entourant l'orifice (39) de passage de la pelle du côté de la plaque de base (32) qui est opposé à celui qui a le joint compressible (37), une première extrémité (30) d'un joint souple (24) à soufflet ayant une configuration telle qu'il s'ajuste autour de l'orifice (39) de passage de pelle et assure l'étanchéité, grâce à une garniture amovible (34) d'étan- chéité, cette extrémité (30) étant maintenue en place par plusieurs organes de fixation (36) fixés aux organes (33) de logement d'organes de fixation, sur la plaque de base (32) de la porte d'étanchéité, un tronçon (24A) à soufflet du joint souple (24) à soufflet, permettant une flexion dans toutes les direc- tions, le soufflet étant aussi compressible, une autre extremité (26) du joint souple (24) à soufflet étant réalisée de manière qu'elle puisse être fixee a un organe étanche (12) de logement de pelle, l'organe etanche (12) de logement de pelle ayant une extrémité ouverte (16) ayant une configuration telle qu'il passe dans l'orifice (39) de passage de pelle, avec une fente (18) découpée dans la partie supérieure de l'extrémité ouverte (16), un tronçon allongé (12A) de fermeture de l'organe étanche (12) de logement de pelle, ayant une extrémité fermée (14), une pelle (52, 58) pouvant être placée dans ce tronçon (12A), une plaque de retenue (21) placée à l'extérieur du tronçon allongé (12A) de fermeture de l'organe étanche (12) de logement de pelle, à laquelle une première extré- mité (26) du joint souple (24) à soufflet est fixée en coopération avec une garniture amovible (28) d'étanchéité, à l'aide de plusieurs organes de fixation (29), deux cavités (22) de retenue,.ayant des positions opposées proches de l'extrémité fermée (14) du tronçon allongé (12A) de fermeture afin que la palette (52, 58), lorsqu'elle y est placée, ne puisse pas tourner, une entretoise (38) de retenue ayant une configu- ration correspondant à celle de l'extrémité ouverte (16) de l'organe étanche (12) de logement de pelle, pouvant glisser sur cette extrémité ouverte et fixée en place autour de cet organe étanche (12) de logement de pelle par plu- sieurs organes amovibles (44) de fixation, l'entretoise ayant en outre une ouverture (42) qui s'aligne sur la fente (18) découpée dans la partie supérieure de l'extré- mité ouverte (16) de l'organe étanche (12) de logement de pelle, pour le passage d'un organe (40) de retenue de pelle, un tube allongé (46) d'adaptation de configuration correspondant à celle de l'organe étanche (12) de logement de pelle et ouvert à ses deux extrémités et destiné à s'ajuster dans l'organe étanche (12) de logement de pelle, une fente (50) découpée à une première extrémité du tube d'adaptation (46), la fente étant alignée sur la fente (18) formée dans l'organe étanche (12) de logement de pelle de manière que l'organe (40) de retenue de pelle puisse y passer, une tige d'adaptation (48) qui peut être fixée à l'intérieur du tube d'adaptation (46) de manière que la pelle (52, 58) qui y est introduite ne puisse pas tourner, et plusieurs orifices (64) formés dans le tube d'adaptation (46) et à travers la tige d'adaptation (46) de manière que la pelle (52, 58) puisse être retenue en position par des organes amovibles de fixation (66). 9. Procédé de réalisation d'une fermeture (10) de porte totalement enfermée, caractérisé en ce qu'il comprend la disposition d'un orifice (39) de passage de palette dans une porte d'étanchéité (32), l'introduction d'une garniture amovible d'étan- chéité (34) autour de la porte d'étanchéité (32), la fixation d'une première extrémité (30) d'un joint souple (24) à soufflet 'sur la porte d'étanchéité (32) à l'aide de plusieurs organes de fixation (36) de ma- nière que la garniture amovible (34) d'étanchéité soit comprimée contre la porte d'étanchéité (32) et qu'un joint hermétique soit formé, la fixation de l'extrémité opposée (26) du joint souple (24) à soufflet a un organe externe (20) de fixation, sur un organe étanche (12) de logement de pelle, après introduction d'une garniture amovible (28) d'étanchéité et fixation de l'extrémité opposée (26) du joint souple (24) à l'organe de fixation (20) de manière qu'un joint hermétique soit formé, la disposition d'une extrémité ouverte (16) formée dans l'organe étanche (12) de logement de pelle qui dépasse par l'orifice (39) de passage de pelle et qui a une fente (18) de maniere qu'un organe de retenue (40) puisse passer dans la fente (18) et puisse maintenir fermement en place une pelle (52, 58), la disposition d'une extrémité totalement fermée (14) de l'organe étanche (12) de- logement de pelle de manière que du gaz ne puisse pas pénétrer dans l'organe étanche (12) ou ne puisse pas quitter cet organe étanche (12) de logement de pelle après mise en place de la porte d'étanchéité (32) contre un tube de traitement, la disposition de deux cavités opposées (22) proches de l'extrémité totalement fermée (14) de l'organe étanche (12) de logement de pelle afin que le manche (52, 58) de la pelle ne puisse pas tourner, la fixation d'une entretoise (38) sur l'extrémité ouverte (16) de l'organe étanche (12) de logement de pelle afin que le déplacement de l'organe étanche (12) de logement de pelle soit limité et qu'un appui de l'organe de retenue (40) utilisé pour le maintien en place de la pelle (52, 58) soit formé, la disposition d'un organe d'adaptation (46), ou- vert à ses deux extrémités, ajusté dans l'organe étanche (12) de logement de pelle et qui a une fente (50) à une première extrémité, cette fente étant alignée sur la fente (18) formée dans l'organe étanche (12) de logement de pelle, de manière que l'organe de retenue (40) utilisé pour la retenue en place de la pelle (52, 58) puisse y passer, et la disposition d'une tige d'adaptation (48) qui est fixée à l'intérieur de l'organe d'adaptation (46), cette tige modifiant la configuration de l'intérieur de l'organe d'adaptation (46) de manière que des manches (52, 58) de pelle de diverses configurations correspondant à celles de la tige soient retenus fermement à l'intérieur par coopération des configurations et par disposition de plusieurs organes amovibles de fixation (66).