Brevet FR2591049A1 — publié le 19870605

PROCEDE DE FABRICATION D'UN FILTRE DISPERSIF A ONDES DE SURFACE ET FILTRE FABRIQUE SELON CE PROCEDE La présente invention se rapporte aux procédés de fabrication des filtres dispersifs à ondes de surface dans lesquels on utilise la réflexion des ondes acoustiques sur des réseaux à pas variables inclinés par rapport à la direction de propagation de ces ondes acoustiques. Ces filtres sont connus sous le nom générique de RAC correspondant à l'abréviation de la dénomination anglo-saxonne "Reflective Array Compressors". Le produit bande passante par durée de signal, dit BT, de ces filtres est très important, ce qui en fait l'intérêt. Un RAC correspondant à 'Pétat de l'art est représenté sur la figure 1. Il comporte sur un substrat piézoélectrique I un transducteur interdigité d'émission 10 qui, à partir du signal à comprimer, envoie une onde acoustique dans la direction d'un premier réseau réfléchissant 100. Ce réseau comporte une série de discontinuités en forme de traits inclinés sensiIlement à 45 par rapport à l'axe de propagation Z de l'onde acoustique. Ces discontinuités, ainsi que le transducteur 10 et le transducteur 11 dont on va parler plus loin, sont formées par des gravures ou des métallisations sur la surface du substrat. L'onde acoustique est réfléchie par le réseau 100 sensiblement à 90 vers un deuxième réseau 110 identique au premier mais symétrique par rapport à l'axe Z. L'onde acoustique se réfléchit alors sensiblement à 90 sur ce deuxième réseau pour repartir dans la direction opposée à l'axe Z. Elle est alors recueillie par un transducteur de sortie 11 qu'elle excite pour donner un signal électrique de sortie. L'espacement des discontinuités dans les deux réseaux réfléchissants est variable en fonction de la distance aux transducteurs d'entrée et de sortie. De cette manière le pouvoir réflecteur est variable avec la fréquence et selon cette fréquence l'onde acoustique parcourera un trajet tel que 12 dont la longueur, et donc la durée, dépendra de la fréquence. La fonction de transfert globale de ce dispositif correspond au produit des fonctions de transfert des transducteurs d'entrée et de sortie et des réseaux réfléchissants et provoque une compression de l'impulsion appliquée sur le transducteur d'entrée. Un tel dispositif, par suite de différents phénomènes parasites, ne donne pas directement la réponse en amplitude et en phase exactement souhaitée dans la bande utile. Pour corriger les défauts d'amplitude et de phase, il est connu de corriger la réponse du RAC à l'aide d'un filtre électrique classique, du type RLC, mis en série avec ce RAC. On mesure la fonction de transfert du RAC et à partir de celle-ci on synthétise selon des méthodes connues un filtre ayant une fonction de transfert permettant de corriger celle du RAC. On rajoute alors au niveau du filtre de correction des inconvénients connus tels que, perte d'insertion, encombrement et influence des différentes dérives, notamment en température. Il par ailleurs connu, mais uniquement eh ce qui concerne l'erreur de phase, de corriger celle-ci en déposant entre les deux réseaux réfléchissants 100 et 110 un film conducteur de largeur et d'épaisseur variables pour modifier la vitesse de propagation pour chaque trajet des ondes et donc pour chaque fréquence. Ce procédé ne permet pas toutefois de bien corriger les fluctuations d'erreurs rapides. L'invention propose d'utiliser dans un tel RAC un transducteur d'entrée ou de sortie conçu pour avoir une fonction de transfert qui corrige les défauts du RAC. Selon une caractéristique particulière de l'invention, on fabrique tout d'abord le RAC avec des transducteurs d'entrée et de sortie ordinaires, on mesure sa fonction de transfert, puis on remplace au moins l'un de ces transducteurs par un transducteur calculé pour corriger cette fonction de transfert. D'autres particularités et avantages de l'invention apparaîtront clairement dans la description suivante faite en regard des figures annexées qui représentent: - la figure 1, un filtre RAC selon l'art connu; - la figure 2, un filtre RAC selon l'invention; - les figures 3, 4, 5, 7 des variantes de réalisation d'un filtre RAC selon l'invention; - la figure 6, une variante du transducteur 20 de ces filtres RAC. Le filtre dispersif de type RAC selon l'invention, représenté sur la figure 2 porte sur un substrat I deux réseaux réfléchissants et 110, représentés ici de manière schématique, et un transducteur de sortie 11. Ces éléments sont identiques à ceux des RAC connus. Le transducteur d'entrée 20 quant à lui, est formé de deux peignes interdigités dont le nombre de dents et les longueurs de recouvrement inégales de ces dents permettent d'obtenir une fonction de transfert déterminée et calculée à l'avance. La méthode de synthèse d'un tel transducteur est bien connue du brevet français 2.040.881. Comme toutefois le champ acoustique produit par un tel transducteur n'est pas homogène, puisque les ondes sonores traversent des zones plus ou moins métallisées, il est préférable, pour obtenir un front d'onde incident uniforme qui n'affecte pas la réponse des réflecteurs du réseau 100 et 110, d'utiliser un coupleur 21 dont les avantages sont connus dans l'art. La fonction de transfert du transducteur 20 et du coupleur 21 est calculée pour compenser les erreurs de phase et d'amplitude du reste du RAC. Pour déterminer cette fonction de transfert et calculer la géométrie du transducteur 20 en conséquence, on utilise un procédé dont les étapes sont les suivantes: On fabrique tout d'abord un RAC classique, tel que représenté en figure 1, sur un substrat suffisamment long pour pouvoir implanter ensuite le transducteur 20 et le coupleur 21. On mesure ensuite la fonction de transfert HM(f) du filtre, 2 591049 aussi bien en amplitude qu'en phase. On calcule ensuite la fonction de transfert HE(f) du transducteur d'entrée provisoire. Ce calcul peut s'effectuer par la même méthode que celle qui permettra de synthétiser le transducteur 20 puisque la structure du transducteur 10 est de même nature mais extrêmement simplifié car il comporte très peu de dents et le recouvrement de celles-ci est constant. On calcule alors, à partir de la fonction de transfert sans erreurs à obtenir Hc(f), la fonction de transfert H(f) du transducteur de correction d'entrée 20 par la formule: H(f) = HE(f) x Hc(f) HM(f) On détermine ensuite la géométrie du transducteur 20 par un procédé de synthèse connu. Ce procédé met en oeuvre un programme de calcul qui synthétise les transducteurs, à partir d'une fonction de transfert donnée, de façon qu'une fois réalisés ils présentent des erreurs inférieures aux erreurs a corriger. Ce programme prend en compte l'influence du coupleur. Dans une dernière étape, on remplace enfin le transducteur d'entrée provisoire par le transducteur de correction définitif 20. Pour cela on peut par exemple procéder à une attaque chimique sélective du transducteur provisoire puis fabriquer le transducteur définitif par dépôt métallique sous vide. De multiples variantes sont possibles à partir de ce schéma de base. En premier lieu, il est toujours possible de remplacer le transducteur de sortie au lieu du transducteur d'entrée par un transducteur de correction, et même de remplacer le transducteur d'entrée et le transducteur de sortie chacun par un transducteur de correction qui prennent chacun en compte une partie de la correction à apporter. Sur une autre variante représentée en figure 3, on a fabriqué pour les mesures un RAC comportant déjà le coupleur 21 et le transducteur d'entrée 20. Toutefois dans ce transducteur d'entrée 20 seuls les quatre dents les plus proches du coupleur 21 sont isolées 259 1 0 49 des deux électrodes d'alimentation 23 et 24 et sont de longueurs constantes réalisant ainsi le transducteur provisoire. L'ensemble des autres dents 22 est raccordé des deux côtés aux électrodes 23 et 24 et ces dents sont ainsi inactives. L'électrode 23 est coupée en 300 pour éviter le court-circuit. Le transducteur provisoire est alimenté par les électrodes 230 et 24. Quand on a alors déterminé la longueur à donner aux différentes dents pour obtenir un RAC corrigé, il suffit d'enlever une partie adéquate des dents, par exemple par usinage avec un laser. Les deux côtés de l'Pélectrode 23 sont alors connectés. Dans une autre variante de réalisation, représentée en figure 4, on utilise pour corriger les erreurs de phase un film conducteur déposé entre les deux réseaux 100 et 110. Le transducteur d'entrée 20 est alors calculé uniquement pour corriger les erreurs d'amplitude, ce qui simplifie sa réalisation. Par contre, les fluctua- tions d'erreurs rapides de phase sont moins bien corrigées. Il est aussi possible d'éviter l'emploi du coupleur 21 en n'utilisant pas dans le transducteur 20 la pondération par la longueur des dents, mais une pondération par un procédé qui assure que l'onde acoustique produite a un front d'onde uniforme. On peut employer pour cela plusieurs techniques telle que celle par tout ou rien (en Anglais withdrawal), ou par couplage capacitif. Un exemple de transducteur pondéré par tout ou rien est représenté sur la figure 6, o l'on voit que le recouvrement de longueur entre les dents est partout le même et que l'on a créé en supprimant certains dents des sources à amplitude nulle telle que 60, à amplitude -1 telle que 61 et à amplitude + I telle que 62. Un autre procédé pour éviter d'avoir à tenir compte dans le calcul de l'influence du coupleur 21 consiste, comme représenté sur la figure 5, à utiliser un coupleur dont la longueur soit suffisante pour que le transducteur de correction 20 soit situé entièrement en dehors de la face frontale du réseau 100. On peut alors implanter le transducteur de mesure 10 en face de cette face frontale et du même côté du coupleur 21 que le transducteur de correction 20. Ceci permet de réaliser ces deux transducteurs en même temps, et en fait en même temps que le coupleur 21, que les réseaux 100 et , et que le transducteur de sortie 11, dans une seule opération de métallisation. On utilise alors le transducteur 10 pour effectuer la mesure de la fonction de transfert du reste du RAC, y compris le coupleur 21, et compte tenu des résultats de cette mesure on ajuste le transducteur 20 par usinage laser par exemple. Le RAC corrigé est alors prêt et il suffit de relier les connections d'entrée au transducteur 20 en laissant inutilisé le transducteur 10 sans que celui-ci ait besoin d'être enlevé de la surface du substrat 1. On peut aussi prévoir d'implanter dès l'origine le coupleur 21. Dans la synthèse du transducteur de correction, l'influence du coupleur n'est alors plus à prendre en compte. Une autre variante permet enfin d'éviter d'augmenter la largeur du substrat au prix d'une augmentation de sa longueur, ce qui est parfois préférable compte tenu des méthodes de fabrication des substrats. Pour cela, comme représenté sur la figure 7, on implante le transducteur de correction 20 vers le bas du substrat du côté du réseau 110. Le coupleur 21 est alors réalisé de manière connue pour ramener les ondes acoustiques vers le réseau 100. Pour éviter alors que la partie des ondes acoustiques qui traverse le transducteur de réception 11 vienne perturber aussi bien le transducteur 20 que le réseau 100 via le coupleur 21, on dépose sur le substrat 1 entre le transducteur 11 et le coupleur 21, une couche de matière absorbante 31, selon une technique connue. Un tel procédé permet de réaliser un filtre dispersif de type RAC avec une caractéristique en amplitude contrôlée à 0,5 décibel près. Comme les erreurs d'amplitude relevées sur les RAC réalisées de manière connue auparavant peuvent atteindre 4 décibels, l'invention permet donc d'améliorer la précision du RAC dans un facteur proche de 10. 2 5 9 1049 REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'un filtre dispersif à ondes de surface du type comprenant sur un substrat (1), un transducteur d'entrée (10) pour émettre sur la surface du substrat une onde acoustique, un transducteur de sortie (11) pour recevoir ces ondes, et des moyens dispersifs (100), (110) situés sur le trajet des ondes pour modifier la durée du parcours de celle-ci entre les deux transducteurs en fonction de leur fréquence, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: - fabrication d'un filtre dispersif non corrigé dont l'un au moins des transducteurs d'entrée (10) et de sortie (11) a une fonction de transfert connue; - mesure de la fonction de transfert de ce filtre; - synthèse d'un transducteur de correction (20) présentant une fonction de transfert permettant de corriger la fonction de transfert de ce filtre; - substitution du transducteur de correction au transducteur (10, 11) ayant une fonction de transfert connue. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le transducteur de correction (20) présente une structure en peignes interdigités, et que le procédé de synthèse utilisé consiste à calculer une modification des longueurs de recouvrement entre les dents pour modifier la fonction de transfert du transducteur. 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que le transducteur (10,11) ayant une fonction de transfert connue, présente une structure en forme de peignes interdigités dont la plus grande partie (22) des dents sont courts-circuités entre les électrodes d'accès (23, 24) du transducteur et en ce que la fabrication du transducteur corrigé (20) se fait par section des dents à la longueur déterminée lors de l'étape de synthèse. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que l'on implante sur le substrat entre le transducteur de correction (20) et les moyens de dispersion (100, ) un coupleur (21) permettant d'homogénéiser les ondes acoustiques. 5. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que le coupleur (21) est implanté lors de la fabrication du filtre dispersif non corrigé. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 4 et 5, caractérisé en ce que le coupleur (21) est d'une taille suffisante pour permettre d'implanter le transducteur de correction (20) tout en laissant sur le substrat (1) le transducteur (10, 11) qu'il remplace. 7. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'on synthétise un transducteur de correction (20) permettant d'obtenir une onde acoustique homogène. 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que cette synthese est faite par pondération par tout ou rien d'un transducteur à dents interdigités (60-62). 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications I à 8, caractérisé en ce que l'on corrige au moins partiellement les erreurs de phase en déposant sur la surface du substrat (1) et sur le trajet des ondes acoustiques entre les moyens dispersifs (100, 110) une couche conductrice (120). 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications I à 9, caractérisé en ce que les deux transducteurs initiaux d'entrée (10) et de sortie (11) ont une fonction de transfert connue et que l'on substitue à chacun de ces transducteurs un transducteur de correction (20); le produit des fonctions de transfert de ces deux transducteurs de correction permettant de corriger la fonction de transfert du filtre. 11. Filtre dispersif a ondes de surface fabriqué selon le procédé suivant l'une quelconque des revendications I à 6 et 9, caractérisé en ce que les moyens dispersifs (100, 110) comprennent deux réseaux réfléchissants à espacements variables (100, 110) dans lesquels les ondes acoustiques entrent selon une direction pour en ressortir selon la direction opposée, un coupleur (21) s'étendant sensiblement perpendiculairement a ces directions de propagation sans dépasser l'aplomb des réseaux en haut et en bas et situé de l'autre côté de ces réseaux par rapport au transducteur subsistant - (1 1) pour que ledit transducteur de correction (20) ne dépasse pas l'aplomb des réseaux réfléchissants (100, 110), et qu'il comprend sur la surface du substrat un matériau absorbant (31) interposé entre le coupleur et le transducteur subsistant. i