Brevet FR2587729A1 — publié le 19870327

La présente invention est relative aux traitements chimiques et notamment à la formation de reve- tements de diffusion par traitement thermochimique et à la formation de couches minces par dépôt chimique. sur de nombreux substrats de formes queLconques, dans un plasma homogène de grand volume formé å partir d'un milieu gazeux adéquat s'écoulant dans une enceinte å parois chaudes ou froides. On connait dans l'état de la technique un certain nombre de moyens pour faire diffuser des espè- ces provenant d'une phase gazeuse dans un solide ou pour effectuer des dépôts chimiques à partir d'un plasma. Ainsi par exemple, on connait un procédé de nitruration ionique mettant en oeuvre une cathode et une anode dans lequel la cathode sert de support aux pièces å traiter et l'anode est constituée par les parois de l'enceinte. Un plasma se développe au voisinage de la surface des pièces lorsqu'on applique une différence de potentiel comprise entre 300 et 1000 V entre les deux électrodes, un débit de gaz nitrurant étant maintenu en régime dynamique sous une pression de 1 à quelques Torr dans l'enceinte.Ce procédé, où le chauffage des pièces vers 500-C est assure par un bombardement ionique, n'est pas idéal en ce qui concerne la précision de la température et son homoge- néité. Il ne s'applique qu'à de grandes séries de pièces toutes identiques. Des procédés de nitruration ionique utilisent également des décharges radiofréquences ou micro-ondes, mais ces moyens ne permettent pas d'obtenir un plasma de grand volume homogènes On connait également des procédes de depot chimique dans des décharges continues ou radiofre- quences, mais les mêmes inconvenients que ceux cites ci-dessus sont inhérents à ces techniques. Ces metho- des qui fournissent un plasma de température électronique élevée ne permettent pas non plus de disposer de paramètres indépendants pour la generation du plasma et son interaction avec la surface des substrats. Ils n'ont ete appliques qu'aux traitements de substrats plans pour la microélectronique. Par ailleurs, on connait la production de plasmas excites par filament thermoémissif ou par ondes hyperfrequences, qui sont maintenus spatialement par un confinement magnétique associé ou non å un confinement électrostaique. Les plasmas obtenus pos- sèdent une température électronique plus faible, une forte densité et peuvent être homogènes dans un grand volume. Il existe de plus une véritable independance des paramètres de génération du plasma et de son utilisation. Lorsque l'excitation est obtenue par filament thermoémissif, divers inconvenients proviennent de la fiabilité dans le temps du filament et de la pollution du milieu ambiant dont il est responsable. Enfin, il est exclu d'utiliser ce type d'excitation en présence d'un milieu gazeux réactif vis-à-vis de la matière constitutive du filament. Lorsque l'excitation est réalisée par ondes hyperfrequences, on dispose d'un plasma,de grand volume, homogène, dense, de faible température electronique et gazeuse, produit à partir d'un milieu réactif ou non et dont les paramètres de génération sont independants de ceux de son utilisation. Dans ce dernier cas, on connait le traitement de substrats divers pour l'industrie microelec- tronique. Il s agit alors de substrats plans placés sur un porte-substrats thermostaté. Cette technique ne permet en aucun cas de traiter des pièces metallurgi- ques de formes quelconques å des températures des pièces dépassant largement la temperature obtenue dans le seul plasma, spécialement vers 350-550iC, et présente un inconvénient majeur pour le traitement de nombreux substrats pour le microelectronique à ces mêmes températures. Toutes les techniques précédentes utilisent soit un chauffage par le plasma lui-même, soit un chauffage par un porte-substrats thermostate. Elles ne permettent donc pas d'envisager le traitement, sous plasma, de nombreuses pièces de formes quelconques à des temperatures de quelques centaines de degrés centigrades. L'objet de la présente invention est dé remédier aux inconvénients de la technique anterieure en proposant un procédé et un dispositif basés sur l'as- sociation, d'une part d'un plasma froid à très basse pression (10 2 à 10-5 Torr ou encore 1,33 Pa à 0,00133 Pa), qui lorsqu'il est seul, est caracterise par une température gazeuse très faible, et apporte une quantité de calories négligeable aux substrats, et d'autre part d'un chauffage independant extérieur au plasma, qui éleve sa température gazeuse et chauffe les substrats mais qui est dispose de fanon à limiter l inter- action des espèces chargées avec les parties les plus chaudes du dispositif qui sont, par exemple, les parois de l'enceinte. L'invention met donc en oeuvre un traitement thermochimique ou de dépôt chimique sous plasma par exemple en réacteur à parois chaudes et permet ainsi de traiter ensemble des substrats de formes et dimen- sions quelconques et non identiques. Il s'agit d'un plasma continu, de grand volume homogène, de grande densité å basse pression, excite et maintenu indepen- damment de l'interaction avec les substrats et dont la température gazeuse, proche de celle des substrats, est fixée par un moyen extérieur à une valeur pratiquement indépendante de l'existence du plasma. A cet effet, la présente invention a pour objet un procède de traitement chimique, notamment de traitement thermochimique ou de dépôt chimique, sous plasma, sur des substrats disposes sur un ou plusieurs porte-substrats, caractérisé par l'association simul tanee d'un plasma à très basse pression, comprise entre 1,33 Pa et 0,00133 Pa et d'un chauffage indepen- dant le plasma étant obtenu par l'excitation d'un milieu gazeux réactif à l'aide d'un filament thermoémissif ou d'ondes hyperfréquences et maintenu å l'in- térieur d' une enceinte par un confinement magnétique, le chauffage indépendant étant tel qu il permette de porter une partie du contenu de l'enceinte å une tem perature au plus égale à environ 550*C, la proportion de calories apportées par le seul plasma au chauffage des substrats étant négligeable. Selon un autre aspect, l'invention a egale- ment pour objet un dispositif pour la mise en oeuvre du procédé tel que défini precedemment, caracterise en ce qu'il comprend : - une enceinte, étanche et raccordée à un circuit d'apport d'un ou de plusieurs gaz et à un système de pompage éventuellement régule par l'intermediaire d une jauge et d'une vanne, l'ensemble permettant de maintenir dans l'enceinte un débit gazeux sous une pression déterminée, comprise entre 1,33 et 0,00133 Pa, - des moyens de génération de plasma constitués soit d'un filament thermoémissif dispose à l'interieur de l'enceinte. soit d'un générateur d'ondes hyperfrequen- ces connecte å un dispositif d'excitation du mileu gazeux, - une enveloppe de confinement magnétique interne à l'enceinte étanche, dont les propriétés sont maintenues jusqu'å une température au plus égale å environ 5509C, et - des moyens de chauffage permettant de porter une partie du contenu de l'enceinte à une temperature au plus égale à environ 550 C. en présence du plasma. la température de la paroi de l'enceinte pouvant être très supérieure à cette temperature. L'invention sera mieux comprise à l'aide de la description qui va suivre donnée uniquement à titre d'exemple et faite en se référant aux dessins annexes sur lesquels : - La Fig. 1 représente une vue schematique genérale d'un dispositif à double enceinte conforme à l'invention, et, - La Fig. 2 représente une paroi cnauffee d'une enceinte entrant dans la constitution d'un dis- positif selon l'invention. Sur la Fig. 1, on a représente une première enceinte chauffée 1, de préférence en matériau amagné- tique, par exemple en acier inoxydable, entourée par une seconde enceinte 2 et des moyens de chauffage constitués par une résistance 3 assurant le chauffage dans toute la partie supérieure de la première enceinte.Cette première enceinte est reliée par une tubulure à des moyens de distribution d'un ou de plusieurs gaz provenant de réservoirs 4 qui peuvent être isolés de l enceinte par une vanne d arrêt Se Les debits de gaz sont régulés par des débitmètres 6 L enceinte 1 est également reliée par une tubulure 7 à un système de pompage 8, une vanne de réglage 9 étant disposee entre cette enceinte et ce systèmes Une jauge de pression 10 est également reliée å l'enceinte 1 par l'intermédiaire d une tubulure 11. Il est ainsi possible de faire circuler un débit de gaz connu sous une pression absolue régulée entre 1,33 et 0,00133 Pa dans l'enceinte 1. L'enceinte 1 est reliée å la masse 12 par tout moyen connu. Le volume interne de l'enceinte 1 est accessible par une ouverture ménagée dans le fond de celleci, hors de la zone de chauffage et qui est fermée par un panneau amovible 13 qui supporte, par l'interme- diaire de pieds isolants 1s, un porte-substrats 15. Les substrats å traiter sont placés dans un volume utile 16 et peuvent être polarises directement ou, comme il est représenté, par l'intermediaire du porte-substrats 15, de façon continue ou alternative, par une source de tension 17 reliée à celui-ci. Ce- pendant, les substrats peuvent également être à potentiel flottant. Le volume interne de l'enceinte 1 contient une enveloppe 18 de confinement magnétique constituée par une cage multipolaire maintenue par des supports isolants 19. Cette cage multipolaire peut entre mise à la masse ou polarisée par l'intermédiaire d'une source de tension 20. Cette cage est constituée de barreaux aimantés de façon permanente, placés å l'intérieur de tubes métalliques étanches, de section parallélipedi- ques. disposés parallèlement et Légèrement écartés les uns des autres. Les barreaux aimantes parallépipédiques présentent, en regard du volume interne, une face de polarité successivement différente de façon à créer dans le volume interne un effet réflecteur pour les électrons du plasma qui est ainsi confiné.L armature métallique, constituée par les tubes et des entre toises de maintien en position de ces tubes, est realisée en matériau amagnétique, par exemple en acier inoxydable. Il est important que les aimants permanents conservent une aimantation å la température de traitement. Les matériaux employés sont ceux qui ont une perte d aimantation faible avec la température et conservent leurs propriétés å la température la plus ëlevee possible, par exemple les alliages Nialco et Ticonal dont le changement de structure n'intervient qu'à une température comprise entre 450 et 500 C pour les premiers, et 550'C pour les seconds, la perte d'aimantation n'étant que de 0,02 Z par degré C. Un générateur 21 d'ondes hyperfrequences (dans la gamme 1 à 10 gigahertz) permet d'exciter le milieu gazeux par tout moyen approprié 22. Le plasma ainsi produit diffuse dans tout le volume délimite par la cage multipolaire. Dans une variante non represen- tée, le milieu gazeux est excite à partir d'un filament thermoemissif. Ce type d'excitation est evidemment réservé à un milieu gazeux non réactïf vis-a-vis de l'élément constitutif du filament. Lorsque l'excitation du milieu gazeux est realisee par ondes hyperfréquencess celles-ci peuvent avantageusement être voisines de 2,45 gigahertz. Pour améliorer le confinement du plasma, l'enveloppe de confinement magnétique est avantageusement completée par des moyens de confinement élec- trostatique. Ils comprennent, par exemple, un revê- tement isolant reco'uvrant toutes les parties metalliques de la cage multipolaire 18 tournees vers le volume interne où est maintenu le plasma. Ce revêtement isolant doit évidemment résister aux tempera- tures auxquelles est portée cette partie du dispositif. Pour les températures de traitement les plus élevées. il est nécessaire de refroidir les aimants permanents. La Figure 2 montre la paroi chauffée de l'enceinte 1 et des aimants 23 places dans des gaines 2s, en acier inoxydable par exemple. Les gaines comportent une tubulure étanche permettant le passage d'un fluide thermique 25. Toutes les tubulures sont reliefs de façon que le fluide de transfert thermique circule, en circuit fermé, à l'aide d'une pompe 26 (Fig. 1) entre les parties chaudes des gaines et une source froide 27.La pompe et la source froide sont situées dans un logement prévu å cet effet dans l'en- ceinte 1, et située dans la partie inférieure du dispositif, par exemple diamétralement opposée à la tubu- lure 7, de façon à laisser entierement libre l'inte- rieur de l'enveloppe 18 pour le chargement et le déchargement des substrats. Divers fluides organiques permettent d op-- rer jusqu'à iOOC. Au dessus, les seuls fluides utilisables, mis å part les gaz chauds sont les métaux et les sels fondus. Parmi ceux-ci on peut employer le sel HTS jusqu'à $550 C. Ainsi la paroi de l'enceinte 1 peut être portée å une température nettement superieure å 550-C, tout en maintenant å une valeur plus faible la tempe- rature des aimants de façon å conserver leurs proprie- tes. Deux régulations de temperature non repre- sentées ici permettent de régler et maintenir la température des substrats å une valeur determinee en agissant sur les moyens de chauffage 3, et de maintenir la température des gaines 24 å une valeur compatible avec les proprietes des aimants et fixée. quelque soit la température de la paroi de l enceinte 1, en agissant sur la source froide 27. D autre part le dispositif est tel que seules les espèces gazeuses neutres peuvent atteindre les parois de l'enceinte portées å température élevée, ce qui limite considérablement l'interaction de celles-ci avec les espèces du plasma. Enfin la mise en température des pièces å revêtir peut être effectuée sous une pression de gaz inerte très supérieure à la pression employée pendant le traitement, de façon å augmenter les transferts thermiques, et la seconde enceinte 2 peut être-refroi- die et mise sous vide å l'aide d'un système de pompage 28. En suite de quoi et quel que soit le mode de réalisation adopté, on dispose d'un procédé et d'un dispositif qui permettent de traiter å une température comprise entre 100 et environ 550*C, des pièces de formes et de dimensions quelconques toutes portées å la même température, dans un plasma continu, de grand volume homogène, de grande densité de l'ordre de 10 cm-3) å basse pression (1,33Pa å 0,00133Pa), dont les paramètres de génération sont indépendants de ceux de l'interaction du plasma avec la surface des substrats. L invention permet deux types de traitements principaux, les traitements thermochimiques et les dépôts chimiques. Parmi les traitements thermochimiques, on peut citer par exemple la nitruration ionique des alliages métalliques qui est réalisée le plus souvent entre 480 et 550'C suivant les nuances et les structures recherchées. Au contraire de la technique antérieure, l'invention permet de traiter dans une opération différents types de pièces sans précaution particulière quant å leur disposition ou leurs tailles respectives, les calories nécessaires å leur chauffage provenant principalement de l enceinte chauffée. Ceci est un avantage important par rapport a la technique antérieure qui ne permet le traitement que de grandes séries de pièces identiques. Parmi les dépits chimiques réalisés sur substrats métallurgiques, on peut citer par exemple le dépôt chimique du bore à partir de B2H6+H2 QU Ar, réa 2 6 lise entre 150 et 450*C, et du carbure de titane vers 500 C à partir de TiCl4 + CH4 + Ar. Parmi les traitements thermochimiques et de dépôt chimique pour la microélectronique, on peut citer par exemple les traitements de gravure ou d'oxydation, et les dépôts chimiques du silicium mais aussi les dépôts des oxydes, nitrures et oxynitrures de silicium réalisés vers 350-C. Il s'agit alors de substrats plans et toute disposition de ces substrats les uns par rapport aux autres et å l'intérieur du volume utile 16 ainsi que tout système de déplacement ou rotation de ceux-ci font partie intégrante de l'inven- tien.Plusieurs séries de substrats plans, places pa rallelement entre eux, comme en LPCVD, et animés d'un mouvement de rotation, peuvent etre disposées par exemple, å une distance égale de l axe du dispositif, å l'intérieur du volume utile 16, de fanon å effectuer un dépôt homogène sur un grand nombre de substrats en une seule opération. Diverses variantes permettent de compléter le procédé et le dispositif décrits précédemment. Une variante du dispositif consiste en l u- tilisation de tubes amovibles contenant les aimants permanents placés eux-mêmes á l'intérieur de tubes étanches fixes sortant de l enceinte étanche 1 et des moyens de chauffage, de façon que les tubes intérieurs contenant les aimants puissent être sortis sans arre- ter la circulation de gaz sous pression réduite, ni les moyens de chauffage. Des traitements thermiques sous atmosphère contrôlée à une pression quelconque, ou sous vide, peuvent alors être réalises å tempera- ture très supérieure à 550 C. Cette variante permet, par exemple, d'effectuer un dépôt de bore sur un alliage puis de le faire diffuser å une température comprise entre 550 et 750 C de façon å obtenir un ou plusieurs borures. On obtient ainsi 8 m de borure de fer en 5 heures å 600-C sur un acier XC 48. Il s'agit d'une couche uniforme qui ne présente pas les irrégularités. dues aux cristaux en aiguille de Fe2B, des couches de borures réalisées par les méthodes classiques de boruration à température elevee. Un autre mode de realisation du dispositif consiste å placer les gaines contenant les aimants permanents å l'extérieur de l enceinte étanche 1, éventuellement isolées de celle-ci par un feutre de quelques millimètres d'épaisseur et refroidies par ventilation ou circulation d'un liquide. Le chauffage est alors effectue à l'intérieur de l'enceinte 1 par de multiples résistances chauffantes, gainées en Inco nel ou en acier inoxydable et maintenues entre elles de façon à constituer une enveloppe chauffante située å l'intérieur de l'enceinte 1 å une distance de l'or- dre de quelques millimètres des parois internes de celle-ci. De façon å limiter l'impact des électrons sur cette enveloppe, elle peut être revêtue d'une couche isolante et les gaines chauffantes sont de pre- ference positionnées en face des espaces ménagés entre les gaines contenant les aimants. Ainsi des temperatu- res de traitement plus élevées que les températures d'utilisation des aimants sont produites dans le volu me utile 16 sans avoir nécessairement recours à un refroidissement localisé comme dans le mode de réalisation précédent. La température limite d'utilisation des aimants sera évidemment repoussée en fonction de l'uti- lisation d'aimants conservant leurs propriétés jusqu'à des températures plus élevées. L'invention n'est pas limitée aux exemples décrits et représentés car diverses modifications particulieres peuvent y être apportées. et des milieux réactifs divers utilisés, sans sortir de son cadre. Un exemple de modification conforme å l'in- vention concerne le panneau de fermeture 13 qui ferme l'enceinte 1 vis-å-vis de l'air ambiant. Il peut avantageusement la faire communiquer avec un poste de chargement et de déchargement des substrats de façon qu'aucune remise å l'air de l'enceinte 1 n'intervienne entre deux traitements. Dans tous les modes de réalisation prece- dents, les especes chargées du plasma sont confinees et ne peuvent arriver en contact avec les parois à température élevée. Par contre, les especes neutres, atomes, radicaux ou molécules, peuvent réagir å la surface de ces parois à température élevée. Ceci peut, dans certains cas, être un inconvénient non negligea- ble qui doit être évité. Il faut alors que le chauffage independant soit tel que seuls les substrats soient portes, par exemple par rayonnement, à une température au plus égale à environ 550 C. indépendamment de l'existence du plasma. Les parois du réacteur sont alors froides. On place alors les gaines contenant les aimants permanents å l'intérieur de l enceinte étanche 1 et on les refroidit par circulation d un fluide tel que 25. Entre ces gaines, on dispose un moyen de chauffage par rayonnement, à l'intérieur de l'enceinte 1, le rayonnement étant dirigé vers l'intérieur de celle-ci å l'aide d'un réflecteur approprié pour chaque source de rayonnement. L'enveloppe extérieure transparente des sources de rayonnement, en silice par exemple, les réflecteurs et les gaines contenant les aimants, sont refroidis de façon å constituer une périphérie froide, à l'intérieur de l'enceinte étanche 1, pour le plasma. Seules les pièces à revêtir sont portées å température et aucune interaction ou dépôt ne peut s'effectuer sur le dispositif lui-même que ce soit à partir des espèces chargées ou das neutres. REVENDICATIONS 1. procédé de traitement chimique, notamment de traitement thermochimique ou de dépôt chimique sous plasma. sur des substrats disposés sur un ou plusieurs~ porte-substrats, caractérisé par l'association simul- tanee d'un plasma å très basse pression, comprise entre 1,33 et 0,00133 Pa et d'un chauffage indépendant, le plasma étant obtenu par l'excitation d'un milieu gazeux réactif å l'aide d un filament thermoémissif ou d'ondes hyperfrequences, et maintenu å l'interieur d'une enceinte par un confinement magnétique. le chauffage indépendant étant tel qu'il permette de porter une partie du contenu de l'enceinte å une tempéra- ture au plus égale å environ 550-C, la proportion des calories apportées par le seul plasma au chauffage des substrats étant $négligeable. 2. Procède selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on effectue le traitement dans un réacteur a parois chaudes. le chauffage indépendant étant disposé à l'extérieur de l'enceinte. 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'on maintient, en outre, le plasma par un confinement électrostatique. 4. Procédé selon l'une des revendications 2 ou 3, caractérisé en ce que les substrats sont å potentiel flottant. 5. Procédé selon l'une des revendications 2 ou 3, caractérisé en ce que les substrats ou le ou chaque porte-substrats sont relies å une source de polarisation continue ou radiofréquence. 6. Procédé selon la revendication 2, carac terise en ce que les ondes hyperfréquences servant a exciter le milieu sont des ondes comprises dans la gamme 1 à 10 gigahertz. 7. Procédé selon la revendication 6, carac terise en ce que les ondes hyperfréquences sont voisines de 2,45 gigahertz. 8. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on effectue le traitement dans un réacteur à parois froides, seuls les substrats étant portes par rayonnement å une température au plus égale à environ 550 C. 9. Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé tel que défini dans les revendications préce- dentes, caractérisé en ce qu'il comprend une enceinte (1) étanche et raccordée à un circuit d'apport (4,6) d'un ou de plusieurs gaz et å un système de pompage 18) éventuellement reculé par l'intermediaire d'une jauge t10) et d une vanne (9), l ensemble permettant de maintenir dans l enceinte un débit gazeux sous une pression déterminée, comprise entre 1,33 et 0,00133 Pa. des moyens de génération de plasma constitues soit d'un filament thermoemissif dispose å l'intérieur de l'enceinte, soit d'un générateur d'onde hyperfréquences l21) connecte à un dispositif d'excåtation t22) du milieu gazeux, une enveloppe de confinement magnétique l18) interne å l enceinte étanche, dont les propriétés sont maintenues jusqu'à une température au plus égale å SSO-C, et, des moyens de chauffage (3), permettant de porter une partie du contenu de l'enceinte. à une température au plus égale å environ 550 C, en présence du plasma, la température de la paroi de l enceinte pouvant être très supérieure à cette température. 10. Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que ladite enceinte t1) est chauffée, les moyens de chauffage (3) étant disposes à l'exterieur de cette enceinte. 11. Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'enceinte comporte une ouverture fermée par un panneau (13) et située hors de la zo- ne chaude du dispositif, ce panneau (13) pouvant fermer l enceinte (1) vis-à-vis de l'air ambiant ou la faire communiquer avec un poste de chargement et de déchargement des substrats de façon qu'aucune remise å l'air de l'enceinte (1) n'intervienne entre deux traitements. 12. Dispositif selon l'une des revendications 10 ou 11. caracterise en ce qu'il comporte, en outre, une source de polarisation continue ou radiofréquence (17) connectée aux substrats ou å un ou plusieurs porte-substrats. 13. Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'enveloppe de confinement magnétique (18) est constituez par une cage multipolaire formée par des aimants permanents (23) dont la structure ne change pas jusqu'å environ 550-C, euxmêmes entoures par des gaines étanches en matériau amagnetique {24) disposées parallèlement, les aimants presentant d'une gaine à l'autre, en face du volume interne (16) de ltenceinte, une face de polarité successivement différente. 14. Dispositif selon l'une des revendica- tions 9 ou 13, caractérisé en ce que les gaines en matériaux amagnetique {24) contenant les aimants (23) sont amovibles et peuvent être sorties de l enceinte (1) sans établir de communication avec l'air ambiant. 15. Dispositif selon l'une des revendications 13 ou 14, caractérisé en ce que l'enveloppe de confinement magnétique comporte des moyens de confinement électrostatique constitues par des couches de matières isolantes supportant la température régnant dans cette partie de l'enceinte. 16. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 13 à 15, caractérisé en ce que les gaines {24) comportent une tubulure étanche permettant le passage d'un fluide thermique (25). 17. Dispositif selon la revendication 16, caractérisé en ce que le fluide thermique s'écoule en circuit ferme, à l'aide d'une pompe (263, entre la partie chaude des gaines {24) et une source froide {27). 18. Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'enceinte étanche {1) et le système de chauffage extérieur å cette enceinte sont entoures par une enceinte extérieure (2) refroidie, étanche et raccordée à un circuit de pompage (Z8) permettant de faire le vide entre l'enceinte (1) et l'en- ceinte extérieure refroidie 12). 19. Dispositif selon la revendication 9, caracterisé en ce que les moyens de chauffage sont constitués par plusieurs sources de rayonnement disposées entre les gaines, å l'intérieur de l'enceinte (1), le rayonnement étant dirige vers l'intérieur de celle-ci å l'aide d'un reflecteur prévu pour chaque source, l'enveloppe extérieure transparente des sources et les réflecteurs étant refroidis 20. Dispositif selon la revendication 19 caracterise en ce que l'enveloppe extérieure des sour- ces est en silice.