Brevet FR2589003A1 — publié le 19870424

-1 PROCEDE DE REALISATION D'UN DISPOSITIF A TRANSFERT DE CHARGE ET DISPOSITIF A TRANSFERT DE CHARGE METTANT EN OEUVRE CE PROCEDE. L'invention concerne un procédé de réalisation d'un dispositif à transfert de charge permettant de réduire les dimensions du dispo- sitif. Elle concerne également un dispositif à transfert de charge de faible dimension. En utilisant une technologie de photolithogravure permettant une résolution de 2,5 iim l'actuel procédé ne permet qu'un pas de répétition minimum de 8 ltm. La recherche d'une réduction de ce pas nous a conduit à un nouveau procédé. C'est pourquoi l'invention concerne un procédé de réalisation d'un dispositif à transfert de charges comportant les différentes phases successives suivantes: - une première phase de réalisation d'une couche d'un matériau isolant sur une face d'un substrat en matériau semiconducteur dopé; - une deuxième phase de dépôt sur la couche de matériau isolant d'une première couche d'un matériau conducteur; - une troisième phase de gravure dans ladite première couche de matériau conducteur de plusieurs électrodes inférieures; - une quatrième phase de réalisation sur lesdites électrodes inférieures d'une couche d'un matériau isolant; - une cinquième phase de dépôt sur l'ensemble ainsi obtenu d'une couche d'un matériau conducteur; - une sixième phase de gravure, dans la couche de matériau conducteur, d'électrodes supérieures; caractérisé en ce que la troisième phase de gravure des électrodes inférieures se fait à l'aide d'un masque ayant une forme telle que les électrodes obtenues possèdent selon un plan parallèle à une face du substrat, des élargis- sements et des rétrécissements, les élargissements et rétrécis- sements d'une électrode s'imbriquent dans les élargissements et les rétrécissements de la ou des électrodes voisines de telle façon que l'espace ainsi fabriqué entre deux électrodes voisines soit de largeur constante, et en ce que la sixième phase de gravure des électrodes supérieures se fait à l'aide d'un masque permettant d'obtenir des électrodes supérieures recouvrant les espaces situés entre deux électrodes voisines inférieures. L'invention concerne également un dispositif à transfert de charge comportant sur une face d'un substrat en semiconducteur dopé revêtu d'une couche d'un matériau isolant, les électrodes inférieures recouvertes d'un matériau isolant et possédant selon un plan parallèle à ladite face du substrat, des zones d'élargissement séparées par des zones de rétrécissement, les élargissements et les rétrécissements d'une électrode s'imbriquant dans les élargissements et les rétrécissements de la ou des électrodes voisines de façon à ce que l'espace situé entre deux électrodes soit de largeur constante, chaque espace étant recouvert par une électrode supérieure recou-- vrant également les élargissements des électrodes encadrant l'es- pace. Les différents objets et caractéristiques de l'invention vont être détaillés en se reportant aux figures annexées qui repré- sentent: - la figure 1, une vue de dessus d'un dispositif à transfert de charges de type connu; - la figure 2, une vue en coupe AA du dispositif de la figure I - la figure 3, une vue de dessus d'un exemple de réalisation d'undispositif à transfert de charges selon l'invention; - la figure 4, une vue en coupe AA du dispositif à transfert de charges de la figure 3; la figure 5, une vue de dessus d'un exemple d'une variante de réalisation d'un dispositif à transfert de charges selon l'invention; - la figure 6, une vue en coupe AA du dispositif à transfert de charges de la figure 5. A titre de rappel et pour mettre mieux en valeur l'objet de l'invention, on va tout d'abord décrire, en se reportant aux figures 1 et 2, un dispositif à transfert de charges connu dans la technique. Ce dispositif comporte sur une face d'un substrat 1 en maté- riau semiconducteur tel que du silicium dopé, une couche d'isolant tel qu'un oxyde de silicium. Sur cet oxyde sont déposées des électrodes inférieures 3e et 4e recouvertes d'un isolant 3i et 4i. Ces électrodes sont rectilignes et parallèles. Elles déterminent entre elles un espace 3c. Sur les électrodes inférieures 3e, 4e et leur isolant 3i, 4i sont déposées des électrodes supérieures 6, 7 et 8, également rectilignes et parallèles, chevauchant les électrodes inférieures. L'électrode supérieure 6 située à gauche recouvre partiellement l'électrode inférieure 3e. L'électrode supérieure 7 recouvre l'espace 3c et une partie des électrodes inférieures 3e et 4e. L'électrode supérieure de droite 8 recouvre partiellement l'élec- trode inférieure de droite 4e. Les électrodes inférieures 3e et 4e, dans ce type de fonction- nement définissent dans le substrat qui leur est sous-jacent des surfaces servant au stockage des charges. Les surfaces situées en dessous des électrodes supérieures 6, 7, 8 définissent des barrières et en ce qui concerne l'électrode 7, elle sert alternativement de barrière et de passage aux charges considérées. La surface des électrodes inférieures 3e, 4e doit être la plus grande possible pour permettre le stockage d'une quantité de char- ges la plus importante possible. L'électrode supérieure 7 servant de barrière et de transfert doit être de largeur dans le sens de passage des charges, la plus faible possible pour favoriser la rapidité du transfert. L'invention concerne donc un dispositif à transfert de charges permettant d'accélérer ce transfert de charges. En se reportant aux figures 3 -et 4, on va donc décrire un dispositif à transfert de charges selon l'invention. Selon l'invention, ce dispositif à transfert de charge est fabriqué par réalisation, au cours d'une première phase, sur un substrat 1 semiconducteur tel que du silicium, d'un isolant 2 en couche mince. Cet isolant peut être un oxyde de silicium et le procédé de réalisation est connu dans la technique. Au cours d'une deuxième phase, on dépose une couche d'un matériau conducteur. Puis au cours d'une troisième phase, on procède à la gravure, par photolithogravure par exemple, dans ladite couche conductrice, d'électrodes inférieures 3e et 4e. Selon l'invention, cette gravure se fait de telle façon que la géométrie des électrodes obtenues présente des élargissements et des rétrécissements. L'électrode 3e, par exemple, présente un élargissement 3eE et un rétrécisse- ment 3eR. Les élargissements et les rétrécissements des électrodes 3e et 4e sont imbriqués les uns dans les autres, un élargissement de l'électrode 3e étant situé en face d'un rétrécissement de l'électrode 4e pour obtenir entre les deux électrodes 3e et 4e un espace 3c de largeur constante. Il en est de même de toutes les électrodes inférieures. Au cours d'une quatrième phase, l'ensemble obtenu est recou- vert d'une couche d'un matériau isolant de façon que les électrodes 3e, 4e, 5e soient recouvertes d'une couche d'isolant 3i, 4i, 5i. Au cours d'une cinquième phase, on procède à un dépôt d'une couche d'un matériau conducteur sur l'ensemble obtenu. Au cours d'une sixième phase, on découpe par photolitho- gravure par exemple, des électrodes supérieures 6, 7 et 8 recouvrant les électrodes inférieures aux emplacements des élargissements. Ces électrodes supérieures sont rectilignes et parallèles, l'électrode supérieure de gauche 6 recouvre les élargissements de gauche de l'électrode inférieure 3e. L'électrode supérieure 7 recouvre les élargissements de droite de l'électrode inférieure 3e, l'espace 3c et les élargissements de gauche de l'électrode inférieure 4e. L'élec- trode supérieure 8 recouvre les élargissements de droite de l'élec- trode inférieure 4e, l'espace 4c et les élargissements de gauche de l'électrode inférieure 5e. Enfin, l'électrode supérieure 9 recouvre les élargissements de droite de l'électrode inférieure 5e. On obtient ainsi selon l'invention un dispositif à transfert de charge comportant, sur un substrat 1 en matériau semiconducteur et recouvert d'un isolant 2, des électrodes inférieures 3e, 4e, 5e présentant des élargissements 3eE et des rétrécissements 3eR. Ces électrodes sont disposées les unes par rapport aux autres de telle façon que leurs élargissements et leurs rétrécissements soient imbriqués les uns dans les autres. Ces électrodes inférieures 3e, 4e, 5e sont recouvertes d'un isolant 3i, 4i, 5i. Enfin, les électrodes supérieures 6, 7, 8 recouvrent partiellement les électrodes inférieures 3e, 4e, 5e. Ce recouvrement est tel que les électrodes supérieures recou- vrent les espaces situées entre les électrodes inférieures, ainsi que les élargissements des électrodes inférieures. De ce fait, dans le dispositif à transfert de charge de l'invention, le niveau des électrodes servant au stockage des charges de stockage est élargi et rétréci alternativement formant des sites privilégiés. Cet élargissement permet également d'assurer le recou- vrement entre électrodes inférieures et supérieures permettant le passage des charges pendant le transfert. Cependant, la gravure des électrodes supérieures peut pré- senter un décalage conduisant à ce que certains élargissements ne soient pas entièrement recouverts. L'invention-permet de résoudre cette difficulté et permet d'admettre donc une gravure relativement peu précise des électrodes inférieures et supérieures. En effet, à la suite de la sixième phase de gravure précédente, on prévoit une septième phase d'implantation ou de diffusion d'im- puretés. Comme représenté sur la figure 6, les électrodes supérieures 6, 7, 8, 9 peuvent être décalées sur la droite par exemple, par rapport aux électrodes inférieures 3e, 4e, 5e. Elles ne recouvrent alors qu'une partie des élargissements des électrodes inférieures. C'est ainsi, comme on peut le voir en figure 5, que l'électrode supérieure 8 ne recouvre que les parties noircies telles que 11, de l'électrode inférieure 4e. De plus, elle ne recouvre pas les parties hachurées telles que 10. Les parties non recouvertes (parties hachurées) des espaces 3c, 4c peuvent être le siège de poches parasites de charges. C'est pourquoi, l'invention en prévoyant une implantation ionique ou une diffusion d'impuretés conduit à la réalisation dans ces zones hachurées de barrières telles que 10 en figure 6. Cette implantation ou diffusion auto-alignée aux électrodes inférieures et supérieures empêche la création de poches parasites et interdit le passage des charges. Lors du transfert des charges, la circulation des charges se fait par les zones situées en dessous des zones noircies des élec- trodes inférieures, comme cela est indiqué par les flèches mention- nées sur la figure 5. On voit donc que selon l'invention, le fait que cette implan- tation soit auto-alignée aux électrodes autorise un dépositionnement du niveau des électrodes supérieures par rapport aux électrodes inférieures sans altérer le fonctionnement de la structure. La configuration obtenue permet de réaliser une structure au pas de 6,5 lim sans modifications du processus de photolithogravure des électrodes inférieures et supérieures. Cette structure peut s'appliquer aux différents types de dispositifs à transfert de charges utilisant deux niveaux de d'électrodes. 2589003- REVENDICATIONS 1. Procédé de réalisation d'un dispositif à transfert de charges comportant les différentes phases successives suivantes: -une première phase de réalisation d'une couche d'un matériau isolant (2) sur une face d'un substrat (1) en matériau semiconducteur dopé; - une deuxième phase de réalisation sur la couche de matériau isolant (2) d'une première couche d'un matériau-conducteur; -une troisième phase de gravure dans ladite première couche de matériau conducteur de plusieurs électrodes inférieures (3e, 4e, 5e); - une quatrième phase de réalisation sur les trois électrodes inférieures d'une couche d'un matériau isolant (3i, 4i, 5i); une cinquième phase de réalisation sur l'ensemble ainsi obtenu d'une couche d'un matériau conducteur; - une sixième phase de gravure, dans la couche de matériau conducteur, d'électrodes supérieures (6, 7, 8, 9); caractérisé en ce que la troisième phase de gravure des électrodes inférieures (3e, 4e, e) se fait à l'aide d'un masque ayant une forme telle que les électrodes obtenues possèdent selon un plan parallèle à une face du substrat, des élargissements et des rétrécissements, les élargis- sements et rétrécissements d'une électrode s'imbriquant dans les élargissements et les rétrécissements de la ou des électrodes voisines de telle façon que l'espace ainsi fabriqué entre deux électrodes voisines soit de largeur constante, et en ce que la sixième phase de gravure des électrodes supérieures (6, 7, 8, 9) se fait à l'aide d'un masque permettant d'obtenir des électrodes supérieures recouvrant les espaces (3c, 4c) situés entre deux électrodes voisines inférieures. 2. Procédé de réalisation de dispositif à transfert de charges selon la revendication 1, caractérisé en ce que la sixième phase de gravures des électrodes supérieures (6, 7, 8, 9) se fait à l'aide d'un masque admettant que les électrodes supérieures ne recouvrant pas en totalité les espaces (3c, 4c) situés entre deux électrodes voisines inférieures. 3. Procédé de réalisation de dispositif à transfert de charge selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'il comporte une septième phase d'implantation d'impuretés. 4. Procédé de réalisation de dispositif à transfert de charges selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'il comporte une septième phase de diffusion d'impuretés. 5. Procédé de réalisation de dispositif à transfert de charges selon la revendication 1, caractérisé en ce que le matériau isolant (2) de la première phase est un oxyde de silicium. 6. Dispositif à transfert de charge selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'il comporte, sur une face d'un substrat (1) en semiconducteur dopé revêtu d'une couche d'un' matériau isolant (2), les électrodes inférieures (3e, 4e, 5e) recou- vertes d'un un matériau isolant (3i, 4i, 5i) et possédant selon un plan parallèle à ladite face du substrat (1), des zones d'élargissement (3eE) séparées par des zones de rétrécissement (3eR), les élargis- sements et les rétrécissements d'une électrode s'imbriquant dans les élargissements et les rétrécissements de la ou des électrodes voisines de façon à ce que l'espace (3c) situé entre deux électrodes (3e, 4e) soit de largeur constante, chaque espace étant recouvert par une électrode supérieure (7) recouvrant également les élargis- sements des électrodes (3e, 4e) encadrant l'espace (3c). 7. Dispositif à transfert de charge selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'une ou plusieurs électrodes supérieures (7, 8) ne recouvrent pas entièrement les élargissements des électrodes (3e, 4e) encadrant un espace (3c), ni les rétrécissements des mêmes électrodes, et que dans les zones (10) du substrat (1) situées en dessous des parties non recouvertes des rétrécissements se trouvent des barrières d'impuretés. 8. Dispositif à transfert de charge selon la revendication 6, caractérisé en ce que lesdites électrodes supérieures (6, 7, 8) sont de forme rectiligne, chaque électrode supérieure, recouvrant un espace (3c) recouvre, au moins en partie les élargissements des électrodes inférieures (3e, 4e) situées de part et d'autre de l'espace (3c).