Brevet FR2585885A1 — publié le 19870206

DISPOSITIF GUIDE D'ONDES A STRUCTURE PLANE ET SON PROCEDE DE REALISATION La présente invention concerne un dispositif guide d'ondes à structure plane notamment pour la transmission de longueurs d'ondes dans le domaine de l'infrarouge et plus particulièrement pour des longueurs d'ondes centrées sur 10,6 micromètres. En effet, un des types de source laser couramment utilisé, en particulier pour l'émission de forte puissance, est le laser dit "cl2" (à dioxyde de carbone). C'est un laser à gaz émettant dans l'infrarouge, le spectre d'émission comportant notamment une raie centrale de forte puissance à 10,6 micromètres. Pour la transmission d'ondes de forte puissance, il est du plus grand intérêt d'éviter toute cause de pertes. D'autre part, il est souvent nécessaire d'utiliser des guides d'ondes pour transmettre, à un endroit d'utilisation précis, I'énergie émise. On est donc amené à éviter les guides d'ondes rigides pour lesquels des systèmes de réflexions à miroirs sont nécessaires. On a donc proposé d'utiliser, dans les domaines industriel et médical, des guides d'ondes flexibles adaptés aux transmissions de longueurs d'ondes centrées sur 10,6/um. Les propriétés recherchées pour ces guides dépendent naturellement de l'application précise envisagée. Pour l'usinage ou dans le domaine médical, les guides doivent posséder les deux propriétés suivantes : faible atténuation et possibilité de propager une forte puissance lumineuse. Pour certaines applications militaires : lidar à l0,6m ou détection de menaces laser par exemple, les propriétés recherchées sont aussi une faible atténuation et une bonne aptitude à la propagation de puissance, propriétés auxquelles viennent s'ajouter la possibilité de ne propager qu'un seul mode, par analogie aux fibres optiques monomodes utilisées dans les systèmes de télécommunications optiques. Une faible sensibilité de l'atténuation aux courbures est aussi recherchée. Deux types de guides peuvent être envisagés: Le premier est un guide diélectrique à structure identique à celle des fibres optiques classiques. De nombreux matériaux peuvent être utilisés pour la propagation à une longueur d'onde de 10,6hum. On peut citer : les halogènures monocristallins (bromure d'argent, bromure de cesium, iodure de cesium, mélange d'iodure et de bromure de thallium), les halogènures polycristallins (chlorure de potassium), ou les chalcogènures (à base d'arsenic, de germanium, de selénium et de tellure). Mais les atténuations des matériaux et des fibres optiques sont trop importantes pour permettre la propagation de puissances lumineuses élevées : elles sont aux mieux de quelques dizièmes de dB/m. On ne peut donc utiliser de tels guides en association avec un laser CO2 de puissance élevée. Le second est un guide à structure creuse dans laquelle l'air est utilisé comme milieu de transmission et qui est généralement admis comme étant le mieux adapté au problème posé. Plusieurs structures de guides creux peuvent être envisagées: - guide creux diélectrique plan rectangulaire ou cylindrique - guide creux métallique plan, rectangulaire ou cylindrique. Des études théoriques permettent de calculer l'atténuation du guide et sa sensibilité aux courbures en fonction de sa nature et de sa forme. I1 a été montré qu'il était théoriquement possible de modifier la propagation d'un guide métallique creux en déposant sur le métal une ou plusieurs couches diélectriques d'indices de réfraction et d'épaisseurs adaptés. Ces études ont fait l'objet de publications, notamment par les articles de MIYAGI et al parus dans "IEEE Journal of Quantum Electronics", vol QE 19, nO 2, 1983, pages 136 - 144 et de MIYAGI et al dans "Journal of Lightwave Techno logy"; vol LT-2, nO 2, 1983, pages 116 - 126. En ce qui concerne les guides cylindriques, quelques structures expérimentales ont été réalisées. Des travaux concernant ces structures ont fait l'objet de publications, notamment, d'un article de HIDAKA et ai paru dans "Journal of Applied Physics" ; vol 53, n" X, 1982, page 5484 - 5490; et d'un article de MIYAGI et al paru dans "Applied Physics Letter" ; vol 43, n" 5, 1983, pages 430 - 432. Cependant, ce type de structure pose des problèmes de réalisations pratiques. Il est difficile d'obtenir un diamètre uniforme pour les structures pleines et les structures creuses occasionnent de fortes pertes lorsqu'elles sont courbées. Des structures de guides planes ont également été proposées et ont fait l'objet de diverses divulgations et parmi lesquelles, L'article de GARMIRE et al paru dans "Applied Optics", vol 15,1976, pages 145 - 150 et plus récemment la conférence de GAZ MIRE "Hollow Metal Waveguide With Rectangular Cross Section for High Power Transmission " publiée dans le "Proceedings 84" du "SPIE Technical Symposium 84", ARLINGTON (USA), 29 Avril au 4 mai 1984. Ces structures ont en commun deux bandes métalliques parallèles, fixées l'une par rapport à l'autre. L'espace entre ces deux bandes définit la cavité du guide d'ondes. Il a été utilisé des feuilles d'aluminium séparées par des cales en cuivre ou des feuilles en acier inoxydable polies, revêtues d'une couche d'or qui donnent de meilleurs résultats. Les puissances transportées sont typiquement de plusieurs centaines de watts, l'ensemble étant rigidement maintenu par des brides. I1 a été également proposé d'utiliser des plaques en matière plastique, métallisées avec de l'aluminium et séparées par des cales en plastique, I'ensemble étant également maintenu par des brides. Une telle disposition est décrite dans l'article de SIATSUSHI,XIA et al paru dans la revue "Japan Journal of Applied Physics", vol 20, n" 7, 1981, pages 1345 - 1346. Ces deux types de guides plans sont bien adaptés à une étude expérimentale d'évaluation de leurs performances mais ils ne sont pas faciles à employer du fait de la fixation rigide des deux bandes. D'un.e part ces guides ne peuvent pas être courbés dans le plan des faces planes. D'autre part, une courbure dans le plan perpendiculaire aux faces du guide provoque à ltextrémité du guide une différence de longueur par suite de la différence des rayons de courbure que subissent les faces intérieure et extérieure du guide. En effet, puisque les deux bandes planes formant le guide sont solidaires, conséquence de la fixation rigide des deux bandes, elles ne peuvent se déplacer l'une par rapport à l'autre et les deux faces du guide intérieure et extérieure subissent des contraintes qui se traduisent par des micro-courbures à l'origine de pertes supplémentaires venant s'ajouter à celles dues à la courbure. De plus, cette technologie ne permet pas d'envisager la fabrication de plusieurs mètres de guide. Les longueurs des guides décrits dans les articles précités sont d'ailleurs de l'ordre de quelques dizaines de centimètres. Tout en conservant les avantages des guides d'ondes de structure plane, I'invention se fixe pour but d'en pallier les inconvénients. Les guides selon l'invention sont donc des guides plans flexibles, mais qui peuvent être courbés sans créer de micro-courbures parasites. Le dispositif selon l'invention est particulièrement adapté à la transmission des longueurs d'ondes infrarouges, en particulier à 10,6/um.D'autres longueurs d'ondes particulières sont aussi intéressantes: 1,06hum, la longueur d'onde du laser YAG et 3,8im la longueur d'onde du laser HF-DF. Enfin un tel guide d'ondes peut également être adapté à la transmission de longueurs d'ondes dans le visible. Elle propose également un procédé de fabrication de tels guides d'ondes, procédé permettant la réalisation de guides de plusieurs mètres de longueur. Les guides selon l'invention possèdent une atténuation minimale et une sensibilité aux courbures réduite. En outre, I'invention est compatible avec des structures multiguides. L'invention a donc pour objet un dispositif guide d'ondes à structure plane pour la transmission de longueurs d'ondes détermi- nées comprenant au moins une paire de bandes en matériau flexible, disposées en regard l'une de l'autre, ces bandes ayant au moins une région superficielle en métal sur leurs faces principales en regard, et des moyens de fixation maintenant un écartement déterminé entre lesdites bandes de manière à définir un guide d'ondes de longueur déterminé, caractérisé en ce que ces moyens comprennent au moins un élément formant cale d'épaisseur comportant au moins deux parois latérales disposées perpendiculairement aux faces principales des bandes, munies de rainures recevant, par la tranche, ces bandes et d'épaisseur au moins égale à l'épaisseur de celles-ci et en ce que ces rainures formant glissière pour au moins une des deux bandes de chaque paire, permettent un mouvement libre relatif de ces deux bandes tout en conservant un écartement constant de celles-ci. L'invention a encore pour objet un procédé de réalisation d'un tel dispositif guide d'ondes à structure plane. L'invention sera mieux comprise et d'autres caractéristiques et avantages apparaitront à la lecture de la description ci-après et en référence aux figures annexées parmi lesquelles: - les figures 1 à 3 illustrent schématiquement un guide d'ondes plan selon une première variante de réalisation de l'invention; - les figures 4 et 5 illustrent deux exemples de réalisation supplémentaires de cales utilisées dans un guide d'ondes selon l'invention; - les figures 6 et 7 illustrent deux variantes de réalisation de structures multiguides selon l'invention. Selon la caractéristique la plus importante de l'invention, on sépare les deux bandes métalliques ou métallisées formant le guide d'ondes par des cales, mais des cales permettant à ces bandes de glisser l'une par rapport à l'autre. La structure d'un guide et la forme d'une telle cale, selon un premier exemple de réalisation, sont représentées sur les figures 1 et 2. Le guide est métallique, le support pouvant être en métal ou en plastique métallisé ; son épaisseur e étant très faible par rapport à sa largeur 1. Par épaisseur e il faut entendre, comme illustré sur la figure 1, I'espace laissé libre entre les faces internes des bandes, supérieure 10 et inférieure 11. Cette notion étant naturellement arbitraire, le guide pouvant avoir une position quelconque dans l'espace. Les bandes 10 et li comportent donc, en général, sur leurs faces en regard, un dépôt de couches de matériaux appropriés, respectivement 100 et 110. Ces couches comprennent au moins un dépôt métallique. Sur le métal, une ou plusieurs couches en matériaux diélectriques, transparentes à la ou aux longueurs d'ondes d'utilisation du guide d'épaisseur et d'indice adaptés, peuvent également être déposées pour améliorer les propriétés de transmission. La figure 3, illustre en coupe, la structure d'un guide d'ondes de ce type. Les couches 100 et 110 de matériaux déposés, sur les faces en regard des bandes supports 10 et 11, comprennent donc une première couche métallique, respectivement 1000 et 1100, et une ou plusieurs couches de matériaux diélectriques, respectivement 1001 et 1101. En soi, cette disposition est commune à l'Art Connu et a été divulguée, par exemple, dans les articles de MIYAGI et al publiés dans "IEEE Journal of Quantum Electonics", vol QE - 19, ,ne 2, 1983, pages 136 - 144 et dans l'article de MIYAGI et al paru dans "Journal of Lightwave Technology", vol LT-2, nO 2, Avril 1984, pages 116126. On peut ainsi par le dépôt de couches multiples créer un empilement interférentiel qui amplifie le caractère métallique du guide et diminue les pertes de propagation du mode TE0. On peut aussi déposer une seule couche d'épaisseur x, avec 4 = > \ , et obtenir une propagation de type "diélectrique" 4 (n - I pour laquelle les modes TE et TM peuvent se propager avec des pertes acceptables, n étant la longueur d'onde transmise et n l'indice de réfaction. Une telle disposition est divulgée dans la thèse du 3ème cycle soutenue par TERLINDEN à l'UNIVERSlTE de Paris XI, ORSAY, le 25 Février 1985. La flexibilité du guide est obtenue par l'utilisation de matériaux souples et par la faible épaisseur e du guide, typiquement e est inférieur à 1 mm ou de l'ordre de 1 mm. Cette épaisseur doit être maintenue sur toute la longueur, les cales 2 doivent donc définir un espacement rigoureux entre les bandes formant le guide. Elles doivent, suivant la rigidité du support, être plus ou moins rapprochées pour que les bandes ne présentent aucune flèche ce qui entrainerait des fluctuations de l'épaisseur du guide. Les supports 10 et 11 du guide d'ondes 1 doivent rester flexibles. Ils peuvent être en matiere plastique : polycarbonate, polyester, polyacrylate, etc, ou en métal : acier inox, alliage d'aluminium, etc. Les surfaces destinées à être mises en regard des supports 10 et 11, sont traitées de façon à obtenir un "poli optique". On dépose sur celles-ci, sous vide : évaporation ou pulvérisation ; ou par voie chimique ou électrochimique, une épaisseur de métal : aluminium, or... supérieure à 2000 A. Les couches diélectriques peuvent ensuite être déposées sur ce métal par les mêmes méthodes. On obtient alors la section du guide représentée sur la figure 3. Selon l'aspect le plus important de l'invention, pour séparer les deux bandes 10 et 11 formant le guide d'ondes 1, des cales 2 sont insérées entre les deux bandes 10 et 11 en regard. Leur largeur et leur espacement sont variables selon l'application visée. Toutefois, elles doivent éviter toute variation de l'épaisseur e du guide tout en lui conservant une certaine flexibilité. La longueur des cales peut varier entre quelques dizièmes de millimètres et la longueur totale du guide, l'essentiel étant qu'un des supports de guide, au moins, puisse glisser librement dans la ou les cales. Un guide avec un système discret de cales a été représenté sur la figure 1. Comme représenté sur cette figure 1, chaque cale 2 a la forme d'un "U". La figure 2 illustre de façon plus détaillée, une vue partielle d'une de ces cales 2, en l'occurence une des branches latérales du "U". Celle-ci comporte deux entailles, de préférence rectangulaires, 20 et 21. L'épaisseur e de ces entailles doit être légèrement supérieure à épaisseur des bandes supports 10 et 11, pour simulta nement autoriser leur glissement tout en assurant le bon maintien de celles-ci. Les bandes supports 10 et ol sont espacées l'une par rapport à l'autre sensiblement de la distance e (figure 1), étant donnée la faible épaisseur des couches 100 et 110. Les deux branches latérales du "U" sont reliées par un pontage, par exemple une paroi plane 22. De la même manière, la profondeur p des entailles 20 et 21 doit être telle que le terme (1+2p) soit légèrement supérieur à la largeur des bandes supports 10 et 11 pour empécher des translations latérales relatives de celles-ci. Comme il vient d'être rappelé, les cales peuvent également posséder la même longueur que le guide d'ondes. Si l'on conserve la forme en "U" qui vient d'être décrite, on réalise alors la cale sous la forme d'un profilé unique 2 comme illustré par la figure 4 comportant des rainures longitudinales continues, 20 et 21, destinées à recevoir les bandes supports formant le guide d'ondes. On peut remplacer cette cale unique par deux cales latérales distinctes 2' et 2", comme illustré par la figure 5. Chacune comporte deux rainures longitudinales continues, respectivement 20'-21' et 20"-21". En réalité, la distinction entre ces deux cales est purement formelle car, du fait de la symétrie de la structure, il est plus simple d'utiliser des pièces identiques placées tête-bêche. Dans cette configuration, il est nécessaire d'utiliser des moyens de fixation (non illustrés) pour maintenir un couplage mécanique des deux cales 2' et 2". Tout moyen approprié peut être :nis en oeuvre: bride, etc..., à condition qu'il ne nuise pas à la flexibilité de l'ensemble. Une autre solution est de fixer les cales à l'un des supports, par exemple par collage ou scudage, l'autre, naturellement, devant rester libre. Les cales peuvent être en métal, en plastique etc..., et de façon général en tout matériau usinable ou en matière plastique extrudaDle. On peut aussi graver dans la cale, à l'aide d'un laser, avec une excellente précision des sillons permettant le glissement du guide. Un des deux supports formant le guide peut être soudé ou collé aux cales, comme il vient d'être rappelé en relation avec la des- cription de la figure 5. L'autre doit obligatoirement rester mobile dans le sens longitudinal. L'invention permet également la réalisation d'un faisceau de guides d'ondes, c'est-à-dire une structure multiguide. La figure 5 ilustre, en section, un premier exemple de réalisation d'une telle structure de guide d'ondes multiple. Dans cette exemple de réalisation, la cale 3 comporte un tablier plan 33 couvrant toute la surface des différents guides d'ondes: GO1 à GOn, n étant le nombre de guides d'ondes distincts. Perpendiculairement au plan de ce tablier 33, la cale 3 comprend des parois de séparation, dont deux latérales 30 et 32, et (n-l) parois intermédiaires, si n est le nombre de guides d'ondes. Ces parois définissent donc n cavités dans lesquelles seront réalisées les guides d'ondes GO1 à GOn. Comme précédemment chaque paroi comporte deux rainures rectangulaires, ce pour chaque cavité. Les parois latérales comportent donc deux rainures, sur leur face interne à la structure, respectivement 300-301 et 320-321, et les parois intermédiaires quatre rainures: 310 à 313, deux de chaque coté de chaque paroi. Les bandes supports 10 et 11 sont insérées, deux à deux, dans chaque cavité pour former les guides GO1 à GOn. Naturellement, bien que sur la figure 6, il ait été représenté pour des raisons de simplicité, des guides d'ondes dont les dimensions largeur-épaisseur sont identiques, les dimensions de chaque guide peuvent être individualisées si besoin est. Pour ce faire, il suffit d'ajuster la distance séparant deux cloisons en vis-à-vis. La figure 6, illustre un second exemple de réalisation d'une structure multiguide. La cale 4 se présente dans cet exemple de réalisation sous la forme d'un profilé rectangulaire creux dont les parois 40 et 41, correspondant a la longueur du rectangle, comportent des rainures à profil rectangulaires 400 et 410. Des bandes supports sont insérées dans ces rainures pour former les différents guides d'ondes. Cependant, si l'on désire réaliser le maximum de guides d'ondes dans le minimum de place, il est nécessaire de traiter les deux faces de chaque support, au moins en ce qui concerne les support intermédiaires 13. Les supports extrèmes 12, proches des parois latérales, peuvent ne comporter un traitement de surface que sur l'une des faces. On peut également n'utiliser, pour des raisons de standardisation, que des supports du type de ceux utilisés comme supports intermédiaires, c'est-à-dire les supports 13 métallisés sur les deux faces. Pour un nombre n de guides d'ondes : GO1 à GOn, il est donc nécessaire de réaliser (n+l) rainures sur la face interne de chacune des parois correspondant à la longueur du rectangle: rainures 400 et 410. Dans chacune de ces structures, il est nécessaire, comme précédemment, qu'au moins une des deux bandes supports formant chaque guide puisse coulisser librement dans les rainures. II est naturellement également possible de réaliser les cales 3 (figure 6) ou 4 (figure 7) sous forme discrète comme il a été illustré en ce qui concerne les cales 2 (figures 1 et 2) des structures monoguides. Pour fixer les idées, des guides d'ondes conformes à l'invention ont été réalisés selon plusieurs variantes. Dans un premier exemple de réalisation, pour réaliser les supports (figure 1 : 10, 11), des plaques en polycarbonate transparentes disponibles commercialement ont été découpées sous la forme de rubans de largeur 15 mm et longueur quelques mètres. Leur épaisseur était de 0,5 mm. On a déposé sur ces rubans plastiques, par un procédé de défilement en continu, de l'aluminium dans un évaporateur sur une largeur de 10 min, à travers un masque et suivant une épaisseur le 0,5 micromètre. Des cales en cuivre d'une hauteur totale de 7 mm ont été utilisées pour séparer les supports en polycarbonate d'une distance e=lmm. Le guide ainsi obtenu présente une atténuation de 0,7 dB/m à une longueur d'onde 10,6 micromètres. I1 peut être courbé suivant des rayons de courbure de l'ordre de 30 cm, son atténuation devenant alors de 2 dB/m. Dans un deuxième exemple de réalisation, deux bandes en polycarbonate semblables à celles utilisées dans le premier exemple ont été dorées. Des cales continues en polycarbonate ont permis de fabriquer un guide d'épaisseur 1 mm et d'atténuation 0,5 dB/m. La structure des cales étant celle représentée sur la figure 4. Dans un troisième exemple de réalisation, deux bandes en acier inox trempé de 2 cm de largeur et de 0,2 mm d'épaisseur et de longueur supérieure à 1 m ont été polies puis dorées sur une face. Les deux faces métallisées ont été placées en regard et séparées d'une épaisseur e = 1 mm par les cales utilisées pour le premier exemple. L'atténuation était de 0,5 dB/m. Pour résumer, le procédé de réalisation d'un guide d'ondes selon l'invention comprend les phases principales suivantes: PHASE 1: réalisation des bandes supports. PHASE 2: réalisation d'une ou plusieurs cales, selon qu'il s'agit d'un système à cales discrètes ou d'un système à cale continue de la longueur du guide. PHASE 3 : assemblage des supports en les glissant dans les rainures pour former un ou plusieurs guides d'ondes selon qu'il s'agit d'une structure monoguide ou d'une structure multiguide. La première phase comporte naturellement plusieurs étapes dont certaines, comme il a été rappelé, sont communes à l'Art Connu. Les étapes principales comprennent: a) la découpe de plaques ou feuilles en rubans de la largeur aes bandes supports. Cette étape est naturellement optionnelle si l'Dn peut disposer directement de tels rubans. b) le traitement de surface d'au moins une des faces de chaque ruban. Ce traitement de surface comprend le dépôt d'au moins une couche métallique par toute technique classique. c) réalisation optionnelle de dépôts ultérieurs d'une ou plusieurs couches de matériaux diélectriques, également par des techniques classiques. Selon un des aspects avantageux de l'invention, la réalisation des guides d'ondes peut s'effectuer en continu sur de grandes longueurs. Il suffit de découper, après assemblage, le guide d'ondes en tronçons de longueurs désirées. L'invention n'est pas limitée aux seuls exemples de réalisation explicitement décrits mais engloble également toute variante à la portée de l'Homme de Métier. Cela concerne notamment la forme des cales qui est succeptibles de nombreuses variantes d'exécution. Elles doivent seulement autoriser le glissement d'au-moins un des deux supports en vis-à-vis formant chaque guide d'ondes. Les rainures peuvent présenter un profil autre que le profil rectangulaire, bien que ce dernier soit efficace et simple à réaliser. On peut leur donner la forme d'un Vé par exemple. Les cales peuvent aussi être constituées par deux cylindres cn regard. Enfin, comme il a été rappelé, bien que l'application à l9,6Min présente un intérêt particulier, l'invention s'applique également à toutes autres longueurs d'ondes, du domaine infrarouge ou même du domaine visible moyennant une adaptation des caractéristiques opto-géométriques des guides d'ondes. REVENDICATIONS 1. Dispositif guide d'ondes à structure plane pour la transmission de longueurs d'ondes déterminées comprenant au moins une paire de bandes (10, 13) en matériau flexible, disposées en regard l'une de l'autre, ces bandes ayant au moins une région superficielle en métal (1000, 1100) sur leurs faces principales en regard ; et des moyens de fixation maintenant un écartement déterminé entre lesdites bandes (10, 13) de manière à définir un guide d'ondes de longueur déterminée, caractérisé en ce que ces moyens comprennent au moins un élément formant cale d'épaisseur (2, 2', 2", 3, 4) comportant au moins deux parois latérales, disposées perpendiculairement aux faces principales des bandes, munies de rainures (20, 21, 20', 21', 300, 301, 310-313, 400, 410) recevant, par la tranche, ces bandes (10-13) et d'épaisseur (e') au moins égale à l'épaisseur de celle-ci et en ce que ces rainures forment glissière pour au moins une des deux bandes (10-13) de chaque paire, permettant un mouvement libre relatif de ces deux bandes (10-13) tout en conservant un écartement constant (e) de celles-ci. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que chacun (2) desdits éléments à la forme d'un "U" à fond plat (22) et dont les parois latérales sont munies chacune de deux rainures parallèles (20, 21) à profil rectangulaire ; la distance séparant deux rainures de chaque paroi étant égale audit écartement déterminé (e). 3. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que chacun desdits éléments comprend deux lames (2', 2") à faces parallèles disposées en regard de part et d'autre d'une paire desdites bandes (10, 11) et comportant chacune, sur les faces en regard, deux rainures (20', 21', 20", 21") à profil rectangulaire, la distance séparant deux rainures de chaque étant égale audites lames (2', 2") écartement déterminé (e). 4. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que chacun (3) desdits éléments comprend un support plan parallèle auxdites bandes (10, 11) muni de deux parois latérales (30, 32) et d'au moins une paroi intermédiaire (31) toutes perpendiculaires au support (33) et parallèles entre elles, ces parois définissant une suite de cavités associées chacune à un guide d'ondes distinct (GO1 à GOn) comportant une paire desdites bandes (10, 11) et en ce que les parois latérales (30, 32) comportent deux rainures parallèles (300, 301, 320), à profil rectangulaire, sur les faces internes aux cavités et les parois intermédiaires comportent deux rainures parallèles (310, 311, 312, 313) sur chacune de leurs faces; la distance séparant deux rainures de chaque face étant égale audit écartement déterminé (e). 5. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que chacun (4) desdits éléments est constitué d'un tube creux de section rectangulaire comportant des paires de rainures (400, 410) à profil rectangulaire, toutes parallèles entre elles, les rainures (400, 410) de chaque paire étant réalisée sur deux faces internes, en vis-à-vis, dudit tube, chaque paire de rainures (400, 410) recevant une desdites bandes (12, 13), deux bandes adjacentes définissant un guide d'ondes distinct (GO1 à GOn) et en ce que lesdites bandes comportent sur leurs deux faces principales au moins une région superficielle en métal (1000, 1100). 6. Dispositif selon l'une quelconque des revendications I à 5, caractérisé en ce qu'il comprend un élément (2, 2', 2", 3, 4) formant cale d'épaisseur unique de ladite longueur déterminée de guide d'ondes. 7. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'il comprend plusieurs éléments (2, 2', 2", 3, 4) formant cale d'épaisseur, régulièrement espacés sur ladite longueur déterminée de guide d'ondes. S. Dispositif selon lune quelconque des revendication 1 à 7, caractérisé en ce que chaque élément (2, 2', 2", 3, 4) formant cale d'épaisseur est en métal. 9. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que chaque élément (2, 2', 2", 3, 4) formant cale d'épaisseur est en plastique. 10. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que lesdites bandes sont constituées d'un ruban (10, 13) formant support flexible revétu sur au moins une de ses faces principales d'une couche métallique (1000, 1100). 11. Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que ledit support flexible (10-13) est en métal ou en matériau plastique. 12. Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que lesdites bandes (10-13) comportent au moins une couche superficielle (1001, 1101), en matériau diélectrique, disposée sur la couche métallique (1000, 1100). 13. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les longueurs d'ondes transmises comprennent au moins une raie centrée sur 10,6 micromètres. 14. Procédé de réalisation d'un dispositif de guidage à structure plane selon l'une quelconque des revendications 1 à 13, caractérisé en ce qu'il comprend une phase de réalisation desdites bandes (10-13), une phase de réalisation d'au moins un desdits éléments (2, 2', 2", 3, 4) formant cale épaisseur et une phase d'assemblage des bandes et des éléments. 15. Procédé selon la revendication 14, caractérisé en ce que les éléments (2, 2', 2", 3, 4) sont réalisés par usinage d'un matériau métallique ou en plastique. 16. Procédé selon la revendication 14, caractérisé en ce que lesdits éléments (2, 2', 2", 3, 4) sont réalisés par extrudage d'un matériau plastique. 17. Procédé selon la revendication 14, caractérisé en ce que lesdits éléments (2, 2', 2", 3, 4) soit réalisés par gravure au laser desdites rainures dans un profilé de forme déterminée. 13 Procédé selon la revendication 14, caractérisé en ce que la phase de réalisation desdites bandes comprend les etapes suivàntes - une étape de découpe de rubans (10-13) dans une plaque en matériau flexible - et une étape de dépôt sur au moins une des faces principales lesdits rubans (10-13) d'une couche métallique (1000, 1100). 19. Procédé selon la revendication 18, caractérisé en ce qu'il comprend une étape supplémentaire de dépot sur ladite couche métallique (1000, 1100) d'au moins une couche de matériau diélectrique (1001, 1101).