Brevet FR2586599A1 — publié le 19870306

-1 DISPOSITIF DE SOUDAGE PAR THERMOCOMPRESSION La présente invention concerne des dispositifs de soudage par thermocompression particulièrement destinés à la réalisation de soudures sur les fils de connexion des puces de circuits intégrés. Ce type de soudage est réalisé généralement de manière semi- automatique par un opérateur qui utilise un microscope optique et un outil de thermocompression. L'opérateur place les éléments les uns par rapport aux autres à l'aide du microscope optique lorsque ces éléments sont positionnés, l'opérateur rapporte le fil à souder et actionne l'appareil de manière à ce que la pointe de l'outil à thermocompression comprime le fil à souder à l'endroit o doit être effectuée la soudure, cette pointe ayant été préalablement portée à la température requise pour chauffer le fil à cet endroit. On utilise le microscope pour réaliser cette opération qui est extrêmement délicate et qui demande une très grande précision sur des éléments qui sont de très petites dimensions. L'outil comporte principalement un fourreau métallique à l'intérieur duquel est placée une tige qui émerge de ce fourreau et un élément chauffant qui porte la pointe à la température requise. La partie qui émerge, se présente sous forme d'une pointe d'environ micromètres de diamètre. La pointe est portée à une tempéra- ture d'environ 200 à 500 degrés Celsius à l'aide de la résistance de chauffe qui est enroulée autour de la tige à l'intérieur du fourreau. Au bout de quatre ou cinq heures d'utilisation la pointe devient absolument inefficace d'une part parce qu'elle a été détériorée par la présence d'une couche de calamine qui la recouvre et d'autre part parce que la brasure qui permet de fixer l'élément chauffant sur la tige se détériore également par oxydation. La pointe n'assure plus l'échange thermique nécessaires à la thermocompression et la bra- sure décomposée, se dépose sur le substrat et les composants, ce qui nuit à la fiabilité de la soudure. En effet, pour réaliser des soudures par thermocompression de manière fiable il faut d'une part que la pointe de l'outil ait une dimension très précise qui ne varie pas au cours de l'utilisation et d'autre part que sa température soit constante pendant l'utilisation. Lorsque la calamine recouvre cette pointe, ses dimensions sont modifiées et l'empreinte qu'elle laisse ne convient plus pour réaliser une bonne compression, par ailleurs la température de la pointe ayant chutée la thermocompression ne sera pas efficace. Les résultats montrent que, en général au bout de deux heures de chauffage de la pointe celle-ci s'est recouverte d'une couche de calamine d'environ 30 pm ce qui est considérable par rapport aux dimensions initiales de la pointe. L'invention vise à remédier à ce problème d'oxydation détério- rant l'outil de thermocompression en proposant un outil de thermo- compression comportant des moyens qui permettent de maintenir l'élément chauffant et la pointe dans une atmosphère non oxydante. L'invention a donc pour objet un dispositif de soudage par thermo- compression comprenant des moyens de chauffage, des moyens de protection de ces moyens de chauffage principalement caractérisé en ce qu'il comprend des moyens d'injection de gaz permettant de placer les moyens de chauffage dans une atmosphère non oxydante notamment dans une atmosphère neutre ou légèrement réductrice. D'autres particularités et avantages de la présente invention apparaîtront clairement à la lecture de la description suivante présentée à titre d'exemple non limitatif et fait à regard des figures du dessin annexé qui représente: -figure 1, un outil de thermocompression selon l'invention - figure 2, des courbes représentant une comparaison des conditions d'utilisation de l'outil selon l'art antérieur et l'invention. La figure I représente un dispositif de thermocompression selon l'invention. Ce dispositif comporte un corps 1 qui servait uniquement de support au fourreau 2 selon l'art antérieur et qui permet selon l'invention le passage d'un gaz vers le fourreau. Ce corps est un cylindre creux dont une extrémité 3 est reliée à une amenée de gaz 4 au moyen d'un raccord à tétine 5. Un joint en caoutchouc 6 permet de réaliser une étanchéité dans la jonction entre l'extrémité 3 du corps et le raccord 5. L'autre extrémite 7 du corps pénètre à l'intérieur du fourreau 2. Cette extrémité 7 est pourvue de trous 8 qui permettent le passage du gaz à l'intérieur du fourreau. Le fourreau 2 a également une forme cylindrique. II comnporte une partie supérieure 9 reliée directement au corps 1 et une partie inférieure 10 de diamètre plus petit que celui de la partie supérieure de laquelle émerge la pointe de thermocompression. La partie supérieure 9 du fourreau est obturée par une pièce 11I solidaire du corps 1 qui est placée au dessus de l'extrémité 7 o Sont situés les trous 8. Des vis de fixation 12 permettent de maintenir l'extrémité 9 du fourreau autour de cette pièce 1 iet de solidariser l'ensemble. Une tige 13 est placée à l'intérieur du fourreau, cette tige est maintenue verticalement à l'intérieur du fourreau à l'aide d'un écrou de maintien et de guidage 14. Cette tige 13 émerge en son extrémité de la partie inférieure du fourreau, la partie qui émerge se terminant en forme de pointe 15. Dans sa partie située entre l'écrou de maintien et la pointe, la tige 13 est entourée d'un élément chauffant 17. Cet élément se prolonge jusqu'à l'obturation il du fourreau, traverse celui-ci par un trou de guidage 18 et émerge de manière à être relié à des moyens de chauffage classiques qui ne sont pas représentés sur cette figure. L'étanchélté autour du trou 18 est réalisée à l'aide d'un ciment céramique 19. Lorsque le dispostif de chauffage est en fonctionnement l'élément 17 chauffe l'extrémité de la tige dans les conditions désirées. Pendant le fonctionnement de l'outil de compression un gaz neutre est injecté avec un débit prédéterminé qui permet de maintenir l'élément chauffant et la pointe dans une atmosphère neutre ce qui évite toute oxydation de ces éléments. Le gaz utilisé peut par exemple être un gaz rare ou de l'azote ou bien un gaz légèrement réducteur comme le mélange d'hydrogène et d'azote N2(80) + H2(20). L'arrivée du gaz dans le fourreau se fait à l'aide des trous 8 qui ont été perforés dans la partie 7 du corps, le gaz se répartit à l'intérieur du fourreau et maintient la tige dans cette atmosphère neutre ou légèrement réductrice, le gaz s'échappe par l'extrémité 16 du fourreau et en s'échappant il maintient cette atmosphère neutre ou légèrement réductrice autour de la pointe 15. L'injection d'un gaz neutre ou légèrement réducteur calo- porteur à l'intérieur même du fourreau de l'outil de thermo- compression permet à la fois de maintenir dans une atmosphère neutre l'élément chauffant et la pointe de thermocompression. L'injection du gaz à Pintérieur du fourreau permet également d'assurer un transfert des calories à l'intérieur de ce fourreau sous la pointe de l'outil si bien que les courants utilisés pour le chauffage de l'élément conducteur peuvent être moins élevés pour une tempé- rature de pointe d'outil plus élevée ce qui a pour conséquence de diminuer la durée pendant laquelle peut être réalisée la com- pression. En effet, la durée du temps de compression est diminuée de 50% ce qui a pour avantage de diminuer le risque de la thermocompression sur les composants fragiles (diodes, transistors). Les plages de fonctionnement en température se situent aux alentours de 100C pour le préchauffage de la pointe et au dessus de 280 C pour effectuer la thermocompression, cette température pouvant être élevée jusqu'à pratiquement 500 C pour un courant de 1,8 A. Sur la figure 2, on a représenté deux courbes mettant en évidence les conditions d'utilisation de l'outil de thermocompression. Ces courbes représentent la durée de vie de la pointe en fonction de la température de chauffage en degrés Celsius. En abscisse on a représenté la durée, en heure, et en ordonnée on a représenté les degrés Celsius. On a représenté une courbe CI qui est en fait une droite correspondant à la température minimale requise pour obtenir un effet de thermocompression, cette tempé- rature étant de 280 C. La courbe C2 représente l'évolution de la température de chauffe au cours du temps pour l'outil de thermocompression selon l'invention. Pour un fil rapporté de 25 um de diamètre un courant de 1,5 A et un débit de gaz de 100cm3 par minute, la température se situe aux alentours de 330 C et est quasiment constante dans la plage de temps qui est représentée, cette température est constante pra'iquement pour une centaines d'heures d'utilisation. La courbe C3 représente lévolution de la température de chauffe pour l'outil de thermocompression selon l'art antérieur. Pour un fil de même diamètre c'est-à-dire de 25 um et un courant de 2 A la température qui est de 400 C au départ décroît très rapidement se trouve à 330 C au bout de trois heures et chute en dessous de 280 C au bout de quatre heures d'utilisation. Entre quatre heures et huit heures et demie d'utilisation la température est insuffisante il y a donc des risques sur la fiabilité des thermo- compressions qui sont réalisés. Au delà de cette durée la pointe est ébréchée et l'empreinte laissée par la thermocompression devient doublement inefficace. La présente invention a donc pour avantage de supprimer l'oxydation au niveau de l'élément conducteur qui permet le chauf- fage de la pointe de thermocompression et de supprimer également l'oxydation au niveau de cette pointe ce qui rallonge la durée de vie de la pointe considérablement puisque d'une durée d'utilisation d'environ quatre à cinq heures on passe à une durée d'utilisation d'environ une centaine d'heures. La présente invention a également pour avantage de diminuer le temps de compression ce qui résulte du fait que la pointe peut être chauffée à une température beaucoup plus élevée pendant un temps plus court sans risque pour le fourreau puisque le gaz fait office d'élément refroidissant. La présente invention a également pour avantage de permettre un guidage automatique du fil à souder. En effet ce fil est rapporté au niveau de la pointe et guidé à l'aide d'un trou de diamètre légèrement supérieur à celui du fil pour permettre le passage du fil. Ce trou qui est perforé sur une patte support placée à proximité de la pointe se trouvait très rapidement obturé par la calamine ce qui obligeait un opérateur à gratter régulièrement pour permettre son passage. La suppression de la formation de cette calamine permet donc d'utiliser un dispositif de guidage automatique pour le fil. REVENDICATIONS 1. Dispositif de soudage par thermocompression comprenant des moyens de chauffage (15, 17), des moyens de protection {2) de ces moyens (17), caractérisé en ce qu'l comprend des moyens d'injection de gaz (1,7) permettant de placer les moyens de chauf- fage (15, 17) dans une atmosphère non oxydante. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisa en ce que le gaz est un gaz neutre ou réducteur. 3. Dispositif de soudage selon la revendication 1 ou 2, caracté- risé en ce que les moyens de chauffage comprennent une tige (13) se terminant par une pointe (15) de thermocompression, un élémrnent chauffant (17) permettant de chauffer la pointe. 4. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 3p caractérisé en ce que les moyens de protection comnprennent un fourreau (2) à l'intérieur duquel sont placés les moyens de chauffage (17) et à l'intérieur duquel circule le gaz, ce gaz s'échappant par l'extrémité ouverte du fourreau (2) d'o émerge la pointe (15). 5. Dispositif selon l'une quelconque de revendications 1 à 49 caractérisé en ce que les moyens d'injection de gaz comprennent une conduite de gaz (1) relié au fourreau (2) et pénétrant à l'intérieur du fourreau (2), et comportant des sorties de gaz à l'intérieur du fourreau de manière à ce que la gaz s'échappe et qu'il s'établisse des courant de gaz neutre ou réducteur autour de l'élément chauffant et de la pointe. 6. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que le fourreau (2) comporte dans sa partie supérieure (9) un élément obturateur (11) empêchant le gaz de s'échapper par cette extrémité. obturateur (11) emp&chant le gaz de s'échapper par cette extremité. 7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'élément obturateur (11) comporte un trou de guidage (12) qui permet de sortir une extrémité de l'élément chauffant (17) et un orifice qui permet de faire pénétrer la conduite de gaz à l'intérieur du fourreau. 8. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que le gaz utilisé est soit de l'azote, soit un gaz rare caloporteur. 9. dispositif selon l'une quelconque des revendications I à 8, caractérisé en ce que le gaz utilisé est le mélange d'hydrogène et d'azote N2(80) + H2(20).