Brevet FR2596419A1 — publié le 19871002

L'invention concerne un procédé de fabrication de matériau stratifié ou de pièces stratifiées avec couche métallique de frottement ou de glissement, avec formation de couches par application à l'état de vapeur d'au moins un matériau métallique sur un substrat métallique. Par le brevet DE 29 35 417, il est connu d'appliquer de minces couches métalliques comme couches de frottement ou de glissement sur des supports métalliques par vaporisation sous vide, les métaux à vaporiser pouvant, selon les brevets DE 882 174 et DD 54 154, être chauffés par bombardement électronique pour la vaporisation. S'il s'agit d'appli10 quer à l'état de vapeur des alliages métalliques, on peut le faire en vaporisant depuis un creuset l'alliage préparé. Toutefois, selon le brevet AT 236 185 et L. Holland "Vacuum Deposition of Thin Films", Chapman + Hall 1961, page 197, il est connu de vaporiser simultanément ou successivement tous les constituants d'alliage ou quelques-uns de 15 ceux-ci, de façon séparée, depuis des creusets spéciaux, et ce, en particulier lorsque les tensions de vapeur des constituants d'alliage présentent d'assez grandes différences. D'autre part, par le brevet DE 28 53 724, dans le cas de couches métalliques à appliquer par pulvérisation cathodique, il est connu d'obtenir une consolidation de disper20 sion en laissant dans le plasma ou la cible une certaine teneur en oxygène et en ajoutant, au matériau à pulvériser, des métaux qui forment des particules d'oxyde assez dures et dont l'oxyde a un plus grand volume que le métal lui-même. Relativement à cela, le problème de l'invention est de fournir, 25 pour la fabrication d'éléments de frottement ou de glissement, la possibilité de créer des couches, en particulier des couches de frottement ou de glissement, formées de matériaux pour paliers, avec application de la Vaporisation sous vide en un procédé continu ou discontinu, et de les durcir par dispersion en un même processus. Ce problème est résolu selon l'invention par le fait que l'application à l'état de vapeur du matériau d'au moins une des couches à appliquer à l'état de vapeur, de préférence du matériau de la couche de frottement ou de glissement, s'effectue de façon continue ou discontinue en présence d'une atmosphère résiduelle de gaz, à des pressions de 35 la gamme de 102 à 10-3 mbar, l'atmosphère résiduelle de gaz contenant au moins un constituant qui réagit chimiquement sur au moins un des constituants du matériau à appliquer à l'état de vapeur pour la formation d'au moins un composé chimique qui est plus dur que le matériau à appliquer à l'état de vapeur. L'invention fournit un procédé d'application réactive à l'état de vapeur avec lequel on peut fabriquer des matériaux pour paliers durcis par dispersion dont les propriétés tribologiques répondent aux conditions pratiques actuelles. Un progrès déci5 sif pour la fabrication de couches de frottement ou de glissement durcies par dispersion dans un procédé rationnel a été apporté par l'application à l'état de vapeur selon l'invention, avec gaz résiduel approprié, en particulier aussi parce que l'application à l'état de vapeur avec des vitesses de revêtement d'environ 0,3 Mm/s est notablement 10 plus avantageuse que la pulvérisation cathodique (vitesse de revêtement 1 pm/mn au maximum). De préférence, dans le procédé selon l'invention, pendant l'application du matériau à l'état de vapeur, on maintient le substrat à revêtir à une température élevée, d'environ 200 C à 800 C, harmonisée avec 15 la nature du matériau à appliquer à l'état de vapeur. Lors de l'application d'alliage d'aluminium, on peut maintenir le substrat à une température d'environ 200'C à environ 300 C, tandis que lors de l'application d'un alliage cuivre-plomb, on peut maintenir le substrat à une température de l'intervalle d'environ 500'C à 700 C. On effectue, de préféren20 ce, le chauffage du substrat à revêtir au moyen de rayons électroniques, éventuellement en combinaison avec un chauffage électrique par résistance. Lors de l'application réactive à l'état de vapeur, de hautes températures du substrat peuvent accélérer le déroulement de la réaction par le fait que les processus de changement de place des atomes sont 25 facilités. D'autre part, une température de substrat qui est plus élevée qu'environ 300 C peut, en particulier lorsqu'on applique à l'état de vapeur des matériaux pour paliers à l'aluminium, conduire à la formation de phases intermétalliques qui, par suite de leur comportement fragile, lors d'une contrainte de flexion ou d'une contrainte alternée, peuvent 30 conduire à la rupture de la liaison entre couche de glissement et couche porteuse (en particulier acier). Dans de tels cas, un refroidissement du substrat pendant l'application du matériau dont il s'agit peut devenir nécessaire, pour maintenir la température dans l'intervalle approprié, dicté chaque fois par la nature de la matière appliquée à l'état 35 de vapeur. Ce refroidissement peut alors s'effectuer avantageusement dans une chambre à palier de pression modifié, avec du gaz inerte. La combinaison de la vaporisation et d'un processus de chauffage qui fait suite peut cependant, d'autre part, améliorer l'adhérence par la formation de couches intermédiaires de diffusion. L'application à l'état de vapeur du matériau dont il s'agit, ou de ses constituants d'alliage, s'effectue, de préférence, dans le cadre de l'invention,--dans une atmosphère oxydante de gaz résiduel qui con5 tient de l'oxygène, de l'oxygène humide, de la vapeur d'eau, de l'azote et/ou de l'air admis dans le récipient. Une telle application réactive à l'état de vapeur a des avantages particuliers pour des matériaux stratifiés ou des pièces stratifiées, dans lesquels la matière métallique de la matrice de la couche à appliquer à l'état de vapeur est un 10 alliage classique pour paliers lisses, par exemple d'un ou plusieurs métaux du groupe comprenant l'aluminium, le plomb, le cadmium, l'étain, le zinc, le nickel, le cuivre. Il se forme alors des particules assez dures d'oxydes ou de nitrures de l'un de ces métaux ou de plusieurs de ces métaux, consolidant la dispersion. Toutefois, il est possible 15 aussi d'obtenir la consolidation de la dispersion par application réactive à l'état de vapeur, ou de la renforcer encore, en augmentant notablement le degré d'oxydation de couches d'acide, par le fait que l'on ajoute au matériau à appliquer à l'état de vapeur des éléments ou oxydes du groupe des terres rares, y compris l'yttrium et le lanthane, en 20 quantité telle qu'ils ne dépassent pas, dans la couche appliquée, une proportion maximale de dispersion de 15 % en volume. Une autre possibilité de formation de constituants plus durs consolidant la dispersion, offerte par l'invention, réside dans le fait que l'atmosphère résiduelle de gaz contient de l'oxygène et que l'on ajoute, au matériau à appliquer 25 à l'état de vapeur, des sous-oxydes, par exemple SiO et/ou TiO, dont la température de vaporisation est plus basse que celle des dioxydes correspondants, formant des constituants durs qui consolident la dispersion. Dans le procédé selon l'invention, on peut revêtir par vaporisation 30 de presque tous les matériaux pour paliers lisses des bandes d'acier ou des bandes d'autres matériaux porteurs, par exemple de bronze à l'étain et en même temps, durcir la dispersion. Le revêtement s'effectue sous vide dans des conditions extrêmement propres, la composition du gaz résiduel étant maintenue telle que la teneur en oxyde des particules 35 durcissantes se situe entre 1 % et 5 % en volume, de préférence en dessous de 1 % en volume. L'avantage de la vaporisation en bande pour la fabrication de matériaux stratifiés servant à fabriquer des éléments de glissement et de frottement réside ici dans le fait que, d'une part, il ne se pose aucun problème d'eaux usées, donc que le procédé est favorable à l'environnement et que, d'autre part, on peut vaporiser simultanément les deux côtés de la bande et plus précisément, avec des matériaux différents. Cela signifie que l'on peut vaporiser l'un 5 des côtés du support d'acier avec une ou plusieurs couches à usage de glissement ou de frottement et le côté opposé, avec une couche servant à la protection contre la corrosion. Ainsi, on peut aussi appliquer de cette manière sur les différents côtés de la bande des couches d'épaisseur différente. Une installation de vaporisation de bande constituée selon les principes du procédé selon l'invention peut être convertie, sans extension ni modification longue et coûteuse, à différents métaux prévus V 2( 3( -3 pour la vaporisation. Dans le procédé selon l'invention, il est aussi possible d'engen5 drer de façon simple des couches à plusieurs corps, si l'on applique l'un pardessus l'autre à l'état de vapeur, en partant de systèmes d'évaporation placés à la suite l'un de l'autre, des métaux différents en une épaisseur de couche différente. Par exemple, en une seule passe, on peut appliquer à l'état de vapeur sur un support d'acier, à l'envers 0 de la bande d'acier, de l'étain pour la protection contre la corrosion (voile). Par contre, sur le côté fonctionnel opposé, on peut alors appliquer un alliage pour paliers lisses formé d'un alliage de base CuPb ou A1Pb, ou avec une couche de liaison formée d'aluminium pur ou de nickel entre le support d'acier et la couche de glissement propre5 ment dite. Dans le cas de matériaux composites acier-aluminium ayant la constitution d'un alliage acier/aluminium pour paliers, il est aussi possible et rationnel d'appliquer à l'état de vapeur, sur l'envers de la bande d'acier, une couche de protection contre la corrosion, par exemple formée d'étain ou de PbSn, tandis que l'on peut appliquer 0 sur le côté fonctionnel opposé une couche de CuSn assurant la liaison avec la couche intermédiaire d'alliage d'aluminium pour paliers et par dessus, un alliage pour paliers lisses, de préférence un alliage PbSnCu. On peut, de la façon selon l'invention, équiper toutes ces couches d'une consolidation de dispersion. Comme autre exemple, on citera une bande d'acier étamée au verso, qui comporte sur le côté fonctionnel une couche intermédiaire de CuPb22nl, une couche d'arrêt de diffusion d'environ 1 pm d'épaisseur, formée de Ni, et une couche de rodage et de glissement, également appliquée à l'état de vapeur, par exemple, formée de PbIn ou PbSnCu. Dans le cas d'épaisseurs de bande d'acier (plus de 6 mm) qui ne peuvent plus être rebobinées d'une bobine à l'autre, on introduit avantageusement des platines dans des installations dites à une ou plusieurs chambres (installations de type discontinu). Dans le cadre de l'invention, on peut préférentiellement effectuer un revêtement activé par rayons ioniques. Un tel revêtement activé par rayons ioniques se situe entre la vaporisation sous vide poussé, citée plus haut, et le revêtement dit activé par plasma. Une source 10 d'ions engendre des ions chargés positivement qui sont accélérés vers le substrat. En même temps, un courant de particules venant d'un évaporateur arrive sur le substrat. Comme source d'ions, on peut utiliser les types suivants: 1) production d'ions par décharge luminescente 15 2) production d'ions par décharges HF 3) production d'ions par décharges de Penning 4) production d'ions par décharges en arc ) production d'ions par décharges en étincelle. De préférence, dans le cadre de l'invention, pour évaporer le 20 matériau, on utilise un évaporateur à rayon électronique, de préférence un évaporateur linéaire à rayon électronique, dans lequel les électrons rétrodiffusés sont empêchés, par un piège magnétique, d'atteindre le substrat (bande d'acier), de sorte que la température de 300 C, par exemple, atteinte par préchauffage de celui-ci, ne peut pas être dépas25 sée dans le cas d'application à l'état de vapeur de matériau pour paliers à l'aluminium et qu'ainsi il est assuré que la formation de phases fragiles Al-Fe, qui diminuent la solidité de liaison, soit empêchée. Comme source d'évaporation, on peut utiliser en principe aussi bien une série d'évaporateurs ponctuels disposés côte à côte qu'un évapora30 teur linéaire. Dans les deux cas, la source d'évaporation doit s'étendre sur toute la largeur de la bande à revêtir. Toutefois, on peut s'attendre à une répartition plus uniforme de l'épaisseur de couche si au lieu d'une série d'évaporateurs ponctuels on utilise un évaporateur linéaire. Le creuset d'évaporation rempli de la matière d'évaporation 35 s'étend sur toute la largeur de la bande à revêtir. Un rayon électronique de grande puissance est engendré dans un canon électronique et guidé de façon linéaire sur la surface de la matière d'évaporation. Le déroulement du procédé selon l'invention pour la fabrication d'un matériau stratifié peut être pratiquement le suivant: Après nettoyage préalable soigné (dégraissage), la bande d'acier à vaporiser doit avoir au moment de la vaporisation, dans le cas de l'application à l'état de vapeur d'alliages d'A1 pour paliers, une température minimale de 200 C à 300 C et dans le cas de l'application A l'état de vapeur d'alliages à base CuPb, une température minimale un peu plus élevée, plus précisément de l'intervalle de 500 C à 700 C. Pour le chauffage de la bande, il s'offre, avant l'entrée dans la chambre de revêtement proprement dite, les possibilités suivantes: 10 1) le chauffage par induction, 2) le chauffage par résistance par passage direct du courant, et 3) le chauffage direct par bombardement avec des rayons électroniques. Le chauffage par induction peut conduire à des difficultés sous vide et, en outre, pour des bandes minces, il a un mauvais rendement. 15 Le chauffage par résistance est moins souple dans la répartition de température sur la largeur de la bande. Par suite, le procédé préférentiel de chauffage est celui qui utilise un rayon électronique, puisque la répartition de la puissance de chauffage peut être bien commandée aussi bien sur la largeur de la bande que le long du parcours de la 20 bande. Ainsi, on peut établir, d'une part, une température uniforme sur la largeur de la bande, d'autre part, la caractéristique la plus avantageuse pour l'élévation de température dans la bande. A cet effet, on peut utiliser dans le cadre de l'invention des canons électroniques à rayon en forme de bande que l'on fait osciller à haute fréquence 25 transversalement à la direction de mouvement de la bande. Une installation pour la fabrication de matériaux stratifiés dans le procédé selon l'invention, en vue de la fabrication de paliers lisses, de coussinets et de disques de butée pQut à peu près être conçue comme suit: Une telle installation peut être munie de deux canons électroniques pour le préchauffage de la bande et d'évaporateurs à rayon électronique, selon les constituants d'alliage et la succession des couches. La bande d'acier arrive, en passant par plusieurs paliers de pression, dans une chambre de chauffage dans laquelle est installé un chauffage par 35 canons électroniques ou un chauffage combiné formé de canons électroniques et d'un chauffage par résistance. Il peut aussi être avantageux d'effectuer le nettoyage du substrat, avant la pénétration dans l'installation d'évaporation, par application d'un effluve pour éliminer 2 5 9 6 4 1 9 sûrement les pellicules d'eau chimisorbées qui affaibliraient la liaison. Il est important qu'en vue d'une fabrication économique, le générateur de rayons électroniques, le ou les creusets d'évaporation et les 5 systèmes de déviation forment un bloc compact facile à changer. Le faisceau électronique est dévié de 180 à 300 , selon les besoins existants, dans un champ magnétique inhomogène, pour protéger ainsi la cathode contre la vaporisation. Les bandes d'acier entrant dans l'installation de vaporisation, 10 ou les platines ou rubans d'acier introduits de façon discontinue peuvent être revêtus de tissus, ou de non-tissés, par exemple de fibres de carbone, de fibres de céramique, de fibres de matière synthétique ou de fibres hybrides. Le procédé selon l'invention a une importance particulière en 15 combinaison avec la formation de couches d'alliage dispersé à dispersion consolidée. On peut utiliser particulièrement avantageusement le procédé selon l'invention pour la réalisation de couches d'alliage dispersé à dispersion consolidée, à base aluminium-plomb, aluminium-étain ou cuivreplomb. Par exemple, le procédé selon l'invention convient parti20 culièrement avantageusement à la formation de couches de glissement en alliages dispersés à base aluminium-plomb. A cet effet, dans le procédé selon l'invention, on peut introduire dans un creuset de fusion une matière à évaporer à base d'aluminium et dans un autre, une matière à évaporer à base de plomb. Par exemple, on peut envisager une matière 25 à évaporer à base d'aluminium de composition A1CulNiO,5. La matière à évaporer à base de plomb peut présenter, par exemple, une composition PbSn2 à PbSn4. Dans un autre cas d'application, qui convient particulièrement à la formation de couches intermédiaires sur un matériau composite 30 pour éléments de frottement et de glissement, on peut introduire dans un creuset de fusion une matière à évaporer à base étain-bronze et dans l'autre creuset de fusion, une matière à base de plomb. On obtient de cette manière, dans le procédé selon l'invention, une couche d'alliage dispersé plomb-étain-bronze à dispersion consolidée qui se distingue 35 par une distribution particulièrement fine du plomb et une distribution particulièrement fine des éléments consolidant la dispersion, donc des dispersoildes, dans la couche plomb-étain-bronze. De façon analogue, dans le procédé selon l'invention, on peut aussi engendrer une couche d'alliage dispersé plomb-étain-bronze si l'on introduit dans un creuset de fusion une matière à évaporer à base étain-bronze et dans l'autre creuset de fusion, une matière à évaporer à base plomb-bronze. Dans tous les cas d'application, un autre avantage de l'invention 5 est que la vaporisation réactive en présence de gaz résiduel pose notablement moins de problèmes que la coulée sous gaz protecteur, par exemple sous hydrogène, et présente un rendement notablement plus grand que la formation de couches par pulvérisation cathodique. Des supports métalliques, en particulier les aciers, ont tendance, selon la composi10 tion, lors du recuit blanc sous hydrogène qui précède le processus de coulée proprement dit, à absorber plus ou moins fortement ce gaz qui, sortant vers la surface de coulée lors du refroidissement, pousse le constituant dispersé vers le bas et vers la surface du support et peut ainsi occasionner, en outre, des ségrégations. Dans le cadre de l'invention, on peut soumettre la bande de métal, par exemple une bande d'acier utilisée comme support, à un prétraitement dans la chambre vide d'air, éventuellement même en présence de l'atmosphère de gaz résiduaire. Par suite, l'absorption d'hydrogène ou autre gaz dans la bande métallique à revêtir est évitée ou du moins fortement 20 réduite. La bande métallique à revêtir, par exemple la bande d'acier, peut alors être conduite, avec une température préparatoire au vaporisage, à la chambre de vaporisage. L'invention offre, en outre, d'une manière particulièrement avantageuse la possibilité d'appliquer à l'état de vapeur des couches de 25 composition chimique différente. L'application de telles couches de composition chimique différente peut alors être effectuée dans des postes suivants, à l'intérieur de la chambre vide d'air ou de la chambre contenant encore une atmosphère de gaz résiduel. Avant qu'elle ne quitte l'installation, on peut refroidir la bande 30 métallique, par exemple la bande d'acier, à une température de 100 C, de sorte qu'il ne se produit aucune action nuisible de l'atmosphère sur la couche appliquée à l'état de vapeur. On explique plus précisément le procédé selon l'invention à propos des dessins, dans lesquels: la figure 1 montre l'image polie d'un matériau composite selon l'invention avec couche d'alliage dispersé AlPb à dispersion consolidée, appliquée -à l'état de vapeur; la figure 2 représente l'image polie d'un matériau composite fabri- 2596 4 1 9 qué par laminage de poudre, frittage ou placage, ayant la même composition de matière de la couche appliquée, et la figure 3 montre la comparaison de contrainte entre le matériau composite selon l'invention et un matériau composite connu, sous la forme d'un diagramme en barres. La figure 1 montre l'image polie A d'un matériau composite avec couche d'alliage dispersé A1Pb à dispersion consolidée, appliquée à l'état de vapeur. Dans la matrice Ai, 10, le plomb 11 se présente sous forme dispersée fine. En outre, les dispersoides 12 engendrés par l'ap10 plication réactive à l'état de vapeur sont distribués très finement dans la matrice d'A1 10. Par contre, la figure 2 montre l'image polie B d'un matériau composite classique avec couche d'alliage dispersé AlPb, dans lequel le plomb 11 est enrobé dans la matrice 10 avec une disposition linéaire. Par suite de cette disposition linéaire du plomb, la 15 résistance à la fatigue du matériau est notablement diminuée. La figure 3 montre un diagramme en barres sur lequel est représentée la capacité de charge du matériau composite à couche d'alliage dispersé A1Pb à dispersion consolidée, appliquée à l'état de vapeur selon la figure 1 et d'un matériau composite classique à couche d'alliage dispersé 20 A1Pb selon la figure 2. Cela montre que la résistance à la fatigue par choc du matériau composite avec couche d'alliage dispersé A1Pb à dispersion consolidée, appliquée à l'état de vapeur, est supérieure d'environ 60 % à celle d'un matériau connu, par exemple d'un matériau selon le DE-A-17-75-322. REVENDICATIONS 1) Procédé de fabrication de matériau stratifié ou de pièces stratifiées avec couche métallique de frottement ou de glissement, avec formation de couches par application à l'état de vapeur d'au moins un matériau métallique sur un substrat métallique, procédé caractérisé 5 en ce que l'application à l'état de vapeur du matériau d'au moins une des couches à appliquer à l'état de vapeur, de préférence du matériau de la couche de frottement ou de glissement, s'effectue de façon continue ou discontinue en présence d'une atmosphère résiduelle de gaz, -2 -3 à des pressions de la gamme de 10 à 10 mbar, l'atmosphère résiduelle 10 de gaz contenant au moins un constituant qui réagit chimiquement sur au moins un des constituants du matériau à appliquer à l'état de vapeur pour la formation d'au moins un composé chimique qui est plus dur que le matériau à appliquer à l'état de vapeur. 2) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que pendant 15 l'application du matériau à l'état de vapeirr, on maintient le substrat à revêtir à une température élevée, d'environ 200 C à 800 C, harmonisée avec la nature du matériau à appliquer à l'état de vapeur. 3) Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que pendant l'application à l'état de vapeur d'un alliage d'aluminium, on maintient 20 le substrat à revêtir à une température d'environ 200 C à environ 300 C. 4) Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que pendant l'application à l'état de vapeur d'un alliage cuivre-plomb, on maintient le substrat à revêtir à une température de l'intervalle d'environ 500 C à 7000C. 5) Procédé selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que l'on effectue le chauffage du substrat à revêtir au moyen d'un rayonnement électronique, éventuellement en combinaison avec un chauffage électrique par résistance. 6) Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, carac30 térisé en ce qu'à la suite de l'application à l'état de vapeur d'une couche, par exemple d'une couche de frottement ou de glissement, on effectue un processus de chauffage avec formation d'une couche intermédiaire de diffusion. 7) Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, carac35 térisé en ce que lorsqu'on applique le matériau à l'état de vapeur, on maintient une quantité résiduelle de gaz qui contient l'un des gaz 2596 4 1 9 iI suivants ou un mélange de ceux-ci: l'oxygène, l'oxygène humide, la vapeur d'eau, l'azote ou l'air. 8) Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'on prévoit un matériau à appliquer à l'état de vapeur qui contient au 5 moins un métal formant des oxydes ou nitrures assez durs, consolidant la dispersion, par exemple l'aluminium, le plomb, le cadmium, l'étain, le zinc, le nickel, le cuivre. 9) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'on ajoute au matériau à appliquer à l'état de vapeur des éléments chimiques 10 ou oxydes du groupe des "terres rares", y compris l'yttrium et le lanthane, en quantité telle que, dans la couche appliquée à l'état de vapeur, ils ne dépassent pas une proportion maximale de dispersion de 15 % en volume. ) Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'at15 mosphère de gaz résiduel contient de l'oxygène et que l'on ajoute au matériau à appliquer à l'état de vapeur des sous-oxydes, par exemple SiO et/ou TiO, dont la température d'évaporation est plus basse que celle des dioxydes durs correspondants, formant des constituants qui consolident la dispersion. 11) Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que lors de l'application à l'état de vapeur de couches, en particulier de couches de frottement ou de glissement, formées d'alliage dispersé, par exemple d'alliage dispersé aluminium-plomb, ou à base CuPb, on prévoit une atmosphère de gaz résiduel qui contient 25 au moins un constituant gazeux réagissant chimiquement au moins sur l'un des constituants de l'alliage dispersé avec formation de corps plus durs que les constituants d'alliage. 12) Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce que l'on effectue, alternativement et successivement dans le temps, l'évaporation 30 des constituants formant l'alliage dispersé, provenant de différentes sources, avec une matière de vaporisation différente par sa composition et sa nature, à un rythme déterminé correspondant à la composition désirée. 13) Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, 35 caractérisé en ce que l'on effectue l'application du matériau à l'état de vapeur à la façon d'un revêtement activé par plasma, avec introduction d'ions, de préférence d'ions des constituants gazeux résiduaires, dans la vapeur de matériau et application d'un potentiel électrique de polarité inverse de celle de la charge des ions. 14) Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que l'on effectue l'application du matériau à l'état de vapeur à la manière d'un revêtement activé par rayons infrarouges, 5 dans lequel on accélère en direction du substrat des ions chargés positivement engendrés dans une source d'ions et on lès conduit sur la surface du substrat en même temps qu'un courant de particules venant d'un évaporateur. ) Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, 10 caractérisé en ce que l'on effectue l'évaporation du matériau avec utilisation d'un évaporateur linéaire à rayon électronique ou d'une série d'évaporateurs ponctuels disposés les uns à côté des autres, les électrons rétrodiffusés étant empêchés d'atteindre le substrat au moyen d'un piège magnétique. 16) Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 15, caractérisé en ce qu'avant d'appliquer le matériau à l'état de vapeur, on revêt le substrat de tissu, ou d'un non-tissé de fibres de carbone, de fibres de céramique, de fibres de matière synthétique ou de fibres hybrides. 17) Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 16, caractérisé en ce qu'à la suite du vaporisage, on chauffe le matériau stratifié vaporisé de façon réactive chimiquement ou les pièces stratifiées vaporisées de façon réactive chimiquement avec formation de couches intermédiaires de diffusion. 1.