Brevet FR2586496A1 — publié le 19870227

Support d'enregistrement maqnétique. La présente invention se rapporte, de façon gé- nérale, à un support d'enregistrement magnétique et elle concerne, plus particulièrement, un support d'enregis- trement magnétique présentant des propriétés superfi- cielles améliorées (par exemple, le poli ou la planéi- té), de façon à être utilisé avantageusement dans un dispositif de mémorisation à disques magnétiques. En liaison avec la tendance à développer des dispositifs de mémorisation à disques magnétiques d'une capacité de mémoire de plus en plus forte, un disque magnétique de type à pulvérisation (cest-à-dire un disque comportant une pellicule constituant un support d'enregistrement magnétique formée par la technique de pulvérisation succite un intérêt certain, en raison de la possibilité d'enregistrement à une densité plus forte par rapport à un disque magnétique de type à enduction (c'est-à-dire un disque sur lequel la pellicule d'enre- gistrement est formée par une technique d'enduction). Dans le cas du disque magnétique de type à enduction, la pellicule mince d'enregistrement magnétique a une épais- seur relativement plus forte de l'ordre de 1 à 2 pm. En conséquence, les propriétés superficielles de la pelli- cule d'enregistrement magnétique du disque magnétique de type à enduction sont pratiquement insensibles à l'in- fluence des propriétés superficielles du substrat sup- portant la pellicule magnétique. Au contraire, la pelli- cule ou couche mince magnétique du disque magnétique de type à pulvérisation à une épaisseur pouvant descendre à une valeur de 0,5 pm au moins. Ainsi, les propriétés su- perficielles ou le poli de la pellicule ou couche mince magnétique du disque magnétique sont extrêmement sensi- bles à l'influence des propriétés superficielles du substrat. Dans ces circonstances, on a fait diverses tentatives pour améliorer les propirétés superficielles de la pellicule magnétique mince du disque magnétique de type à pulvérisation en utilisant un substrat présentant d'excellentes propriétés, par exemple de poli ou de planéité. Avec la structure du disque magnétique de type à pulvérisation ainsi réalisé, la hauteur de flottement de la tête magnétique (c'est-à-dire l'intervalle entre la tête magnétique et la surface du disque) peut être réduite, ce qui implique alors la possibilité d'une augmentation corrélative de la densité d'enregistrement. Dans un disque magnétique de type à pulvérisa- tion typique, le substrat est constitué par une plaque d'alliage d'aluminium métallisée avec une couche NI-P d'une épaisseur d'environ 50 pm et dont la surface est polie. Selon un autre exemple de disque magnétique de type à pulvérisation, le substrat est constitué par une plaque d'alliage d'aluminium sur la surface de laquelle est déposée une couche d'aluminite durcie d'environ 2 pm d'épaisseur par anodisation, la surface d'aluminite étant polie ensuite. Dans le substrat ainsi préparé, on peut obtenir une rugosité de surface ou rugosité super- ficielle (Rmax) de l'ordre de 0,15 pm. Lorsqu'on forme d'abord une pellicule magnétique mince telle que, par exemple, une pellicule constituée par une composition comprenant, comme constituant prin- cipal un alliage Co-Ni, on forme d'abord une couche de Cr sur le substrat d'une épaisseur d'environ 500 1 par pulvérisation, operation suivie par le dépôt d'une pel- licule magnétique mince comprenant un alliage Co-Ni comme constituant principal, d'une épaisseur d'environ 1 000 A. Enfin, on forme sur elle une pellicule de lubrification protectrice de C ou d'une matière analogue d'une épaisseur d'environ 200 . La rugosité de surface (Rmax) de la pellicule de support magnétique réalisée de cette façon est de l'ordre de 0,15 pm, ce qui reflète les propriétés superficielles du substrat. Dans le cas * o une pellicule magnétique mince comprenant de l'oxyde de fer comme constituant principal doit être formée, on pulvérise une cible contenant Fe comme constituant prin- cipal en atmosphère de Ar + 02 pour former sur le subs- trat une pellicule appliquée par pulvérisation renfer- mant ui-Fe203 comme constituant principal, d'une épaisseur d'environ 2 000 X. On chauffe le produit obtenu à une température d'environ 300'C en atmosphère réductrice pour transformer la pellicule renfermant :-Fe203 comme constituant principal en pellicule renfer- mant Fe304 comme constituant principal. On chauffe de nouveau cette dernière à une température de 300'C en atmosphère oxydante pour la transformer en une pellicule renfermant --Fe203 comme constituant principal. Enfin, on forme une pellicule de lubrification protectrice pour réaliser la pellicule mince constituant un support ma- gnétique. La rugosité de surface de la pellicule magné- tique est également de l'ordre de 0,15 pm, ce qui reflè- te les propriétés superficielles du substrat. Les disques magnétiques connus antérieurement, décrits ci-dessus, présentent différents inconvénients. Dans le cas du substrat constitué par la plaque d'allia- ge d'aluminium métallisée avec la pellicule Ni-P et dont la surface est polie, la surface de la plaque d'alliage d'aluminium doit subir un traitement d'activation avant la métallisation avec Ni-P, ce qui rend le processus de fabrication du substrat très compliqué. En outre, le processus suivant le traitement d'activation implique plus de la moitié du coût de fabrication du substrat, ce qui rend ce dernier très coûteux. Il y a lieu de noter, en outre, que, lorsqu'on chauffe la couche de métallisa- tion Ni-P à une température de 150'C ou supérieure, la couche de Ni-P cristallise en présentant des propriétés magnétiques. Par conséquent, on ne peut utiliser ce type de substrat lorsqu'il faut un traitement de chauffage, comme dans le cas de la formation d'une pellicule magné- tique d'oxyde de fer. D'autre part, le substrat constitué par un al- liage d'aluminium et recouvert de la pellicule d'alumi- nite a pour inconvénient que des fissures sont suscep- tibles de se former lors du traitement thermique, en raison de la différence de coefficient de la dilatation thermique entre l'alliage d'aluminium et la pellicule d'aluminite. Dans ces circonstances, latempérature de chauffage utilisée pour former la pellicule magnétique d'oxyde de fer est limitée à environ 300'C. En outre, la pellicule d'aluminite a une structure poreuse présentant un grand nombre de pores. En conséquence, lorsqu'on forme la couche pelliculaire mince magnétique sur ce substrat, des défauts magnétiques sont susceptibles de se présenter aux emplacements de ces pores, ce qui cons- titue un autre incovénient. Enfin, les propriétés super- ficielles obtenues ne sont pas satisfaisantes, compte tenu du fait que la rugosité (Rmax) est de l'ordre de L'un des objets de la présente invention est de supprimer les inconvénients de l'art antérieur et de fournir un support d'enregistrement magnétique présen- tant des propriétés superficielles améliorées. Pour atteindre cet objectif, ainsi que d'autres objectifs qui ressortiront au fur et à mesure de la pro- gression de la description, on propose, selon un aspect général de la présente invention, de former une pelli- cule magnétique mince d'enregistrement magnétique sur un substrat de verre dont la surface est finie par un trai- tement de précision ultra-élevée, de façon que la rugo- sité de surface ou superficielle (Rmax) ne dépasse pas . Selon un mode de réalisation préféré de la pré- sente invention, on peut encore améliorer le support d'enregistrement magnétique en formant une pellicule magnétique mince d'enregistrement magnétique sur un substrat de verre subissant un traitement de surface de précision ultra-élevée de façon que la surface de subs- trat de verre présente une rugosité superficielle (Rmax) ne dépassant pas 100 R (de préférence, 50 R). Une por- tion au moins de la surface de substrat peut, de préfé- rence, être renforcée. On peut utiliser avantageusement le support d'enregistrement magnétique comprenant -le substrat de verre ayant subi le traitement de surface de précision ultra-élevée et dont la surface est, de préférence, ren- forcée au moins partiellement, comme on l'a exposé pré- cédemment, dans la fabrication de disques magnétiques et autres articles pour obtenir l'enregistrement magnétique à une densité d'enregistrement supérieure, avec une fi- délité accrue. Dans des applications o le support d'en- registrement magnétique est transporté ou entrainé à grande vitesse, on peut utiliser avantageusement le substrat de verre renforcé dans la fabrication d'un support d'enregistrement- magnétique tel qu'un disque magnétique ou un article analogue. On peut effectuer le traitement de finition de surface permettant d'obtenir les propriétés superficielles désirées, telles que le poli superficiel simplement par polissage, ce qui peut garantir une fabrication plus facile et peu coûteuse du substrat de verre et, par suite, du support d'enregis- trement magnétique. En outre, il y a lieu de noter que, lorsqu'on forme la pellicule magnétique mince sur le substrat de verre, il n'apparaît pas nécessaire de for- mer une pellicule ou couche sous-jacente. En d'autres termes, la couche magnétique constituée par une matière de la série des oxydes peut être formée directement sur le substrat de verre sans entraîner de problèmes tels que l'apparition de fissures comme dans le cas de la pellicule d'aluminite, malgré le traitement thermique du substrat de verre. De nombreux autres effets excellents du support d'enregistrement magnétique selon l'invention ressortiront à mesure de la progression de la description. Les objectifs, caractéristiques et avantages de l'invention précités, ainsi que d'autres, seront parfai- tement compris à la lecture de la description détaillée qui va suivre. Cette description se réfère aux dessins annexés dans lesquels: - la figure 1 est une vue représentant graphi- quement la distribution des contraintes provenant d'un renforcement superficiel d'un substrat de verre; - les figures 2a à 2f sont des coupes représen- tant schématiquement des substrats de verre dont les surfaces sont renforcées au moins partiellemnt, les régions renforcées étant indiquées par des zones hachu- rées, respectivement. En premier lieu, il y a lieu de noter que le substrat de verre dont la surface a subi un traitement de surface de précision ultra-élevée, de façon que la rugosité superficielle ne dépasse pas 100 A, et qui est renforcée au moins partiellement, n'a jamais été utilisé dans un support d'enregistrement magnétique tel qu'un disque magnétique ou un article analogue destiné à être utilisé dans des enregistrements magnétiques dynamiques. On peut l'expliquer par la crainte d'insécurité contre les chocs mécaniques ou par le fait qu'on ne dispose pas de moyens appropriés pour effectuer le polissage d'ultra-haute précision. Dans tous les cas, on ne con- nait pas jusqu'à présent d'approches ou de propositions pour l'utilisation d'un substrat de verre comme substrat pour le support d'enregistrement dynamique. Après une série d'études et une expérimentation intensives, visant à trouver la possibilité de finir les surfaces de divers substrats avec une ultra-haute préci- sion, de façon que la rugosité de surface ou superfi- cielle (Rmax) soit inférieure à 100 , les inventeurs de la présente demande ont trouvé qu'on peut obtenir les propriétés superficielles visées par polissage mécanico- chimique d'un substrat de verre. Plus spécifiquement, on peut obtenir les propriétés superficielles correspondant à une rugosité inférieure à 100 A-en polissant un subs- trat de verre au moyen d'un liquide de polissage conte- nant de la silice colloidale, en exploitant son action de polissage pouvant être attribuée à la Péaction chimi- que sur la plaque de verre, en plus de l'action de po- lissage mécanique. On a trouvé, de façon surprenante, que l'on peut obtenir le substrat de verre à surface tinie avec une précision ultraélevée de telle façon que la rugosité superficielle (Rmax) est inférieure à 100 A, sans difficulté, par le polissage précité. Lorqu'une pellicule magnétique mince est formée sur le substrat de verre ainsi préparé, le support d'enregistrement magné- tique est également pourvu d'une surface extrêmement lisse, ce qui reflète la précision superficielle du substrat de verre. En général, dans un dispositif à disques magné- tiques, on peut augmenter efficacement la densité d'en- registrement en réduisant la hauteur ou le niveau de flottement d'une tête magnétique. A ce propos, il est clair que le disque magnétique, de propriétés superfi- cielles médiocres, utilisé avec une hauteur de flotte- ment réduite de la tête magnétique, entraînera l'écail- lage de la matière de support magnétique et/ou la destruction de la tête magnétique, en raison du contact avec des saillies éventuellement présentes à la surface du support d'enregistrement magnétique. En d'autres ter- mes, les propriétés superficielles telles que le poli, la planéité, etc., représentent un facteur important pour obtenir l'état de flottement stabilisé de la tête magnétique, ainsi que la réduction de sa hauteur de flottement. Du fait que le support d'enregistrement magnéti- que selon l'invention est constitué par une pellicule mince d'enregistrement magnétique formée sur la surface finie avec une précision ultra-élevée de telle façon que la rugosité superficielle (Rmax) ne dépasse pas 100 À, il est possible de faire flotter la-tête magnétique dans un état stable à une hauteur réduite de 0,1 à 0,2 pm. En outre, lorsque la pellicule magnétique mince d'enre- gistrement magnétique est formée sur -le substrat de verre présentant la surface finie de façon que sa rugo- sité (Rmax) ne dépasse pas 50 À, on peut réduire la hauteur ou le niveau de flottement de la tête magnétique (c'est-à-dire l'intervalle entre la surface du substrat et la tête magnétique) à 0,1 pm ou moins, ce qui est fort avantageux. Les matières pouvant être utilisées pour le substrat de verre lors de la mise en oeuvre de la pré- sente invention peuvent être pratiquement n'importe quels verres classiques parmi lesquels le verre au sili- cate de bore, le verre au silicate d'aluminium, le verre quartzeux, le verre au silicate de titane, etc. On pré- fère cependant que le verre ne renferme pas de consti- tuants cristallins. Lorsqu'on utilise un verre compre- nant un constituant cristallin, la portion de jonction de grains sera polie à un degré plus élevé, en raison de la résistance relativement faible du joint de grain, ce qui rend difficile, sinon impossible, la finition de la surface du substrat avec la précision ultra-élevée désirée. Dans le cas du substrat constitué par une plaque d'alliage d'aluminium métallisée avec la couche de Ni-P ou d'aluminite, des restrictions sont imposées à la tem- pérature de chauffage, comme on l'a décrit précédemment. Au contraire, on peut chauffer le substrat de verre selon l'invention jusqu'à environ 400'C et l'on peut ainsi l'utiliser avantageusement, en particulier lorsque le traitement thermique est requis, comme dans le cas de la formation de la pellicule magnétique d'oxyde de fer. Compte tenu du fait qu'on fait, en général, tourner le disque magnétique à une vitesse élevée de 3 600 tours/mn dans le dispositif à disques magnétiques, il faut que le disque magnétique ait une résistance suf- fisante pour supporter la rotation. Bien que l'utilisation du substrat de verre dans le disque magné- tique en vue d'une telle application présente un problè- me en ce qui concerne la résistance, les inventeurs de la présente invention ont découvert, au cours de l'expé- rimentation et des examens, que l'on peut donner au substrat de verre une résistance adéquate pour l'utili- ser comme substrat du disque magnétique en renforçant au moins une partie de la surface du substrat de verre. En général, on peut réaliser le renforcement d'une portion de surface du substrat de verre en rempla- çant des ions dans la région concernée de la surface du substrat de verre par des ions de grande dimension à une température inférieure à la température de transition vitreuse (température de verre). Comme procédé de subs- titution ionique, on peut immerger la matière consti- tuant le substrat de verre dans une masse de nitrate de potassium fondue à une température de 450'C. Par le traitement de substitution ionique, les contraintes de compression sont distribuées remarquablement dans la région de la surface, comme le montre la figure 1, de sorte que la région de la surface du substrat de verre est corrélativement renforcée. L'épaisseur de la couche ou région dans laquelle est produite la contrainte de compression peut être ajustée à 150 pm à 200 pm en réglant la température de substitution ionique et la durée d'immersion dans la masse de nitrate de potassium fondu. La région de surface à renforcer dans un disque magnétique, par exemple, peut être une portion de bor- dure intérieure, une portion périphérique intérieure, une portion de bordure extérieure, une portion périphé- rique extérieure, des combinaisons de celles-ci ou toute l'étendue de la surface. On va décrire à présent l'invention avec davan- tage de détails, en liaison avec des exemples d'exécu- tion non limitatifs de celle-ci. Exemple 1 Comme matière de constitution du substrat de verre, on utilise une plaque de verre au silicate d'alu- minium qui a une configuration discoide d'un diamètre extérieur de 130 mm, d'un diamètre intérieur de 40 mm et d'une épaisseur de 1,9 mm. On polit la plaque de verre au moyen d'un liquide de polissage renfermant de la si- lice colloidale pendant dix minutes par polissage méca- nicochimique. La rugosité de surface (Rmax) obtenue est de 90 . On forme sur la plaque ou le substrat de verre une pellicule de a-Fe203 de 2 000 X d'épaisseur en pul- vérisant une cible de fer en atmosphère de Ar + 02 (le mélange étant effectué dans une proportion de 50 % et sous un vide de 5 x 10 3 tort). On réduit le produit obtenu dans un courant gazeux d'hydrogène à une tempéra- ture de 360'C pendant 2 heures pour former une pellicule de Fe304 que l'on oxyde alors dans l'air à une tempéra- ture de 310'C, pour la transformer en une pellicule de y-Fe204. On obtient ainsi un disque magnétique qui pré- -- _ sente une rugosité de surface (Rmax) de 100 l. On place le disque magnétique fini dans un ap- pareil à disques pour examiner sa stabilité de flotte- ment. Dans ce but, on réduit la hauteur de flottement d'une tête magnétique en diminuant la vitesse périphéri- que du disque magnétique. On a trouvé qu'il était possible de maintenir la tête magnétique dans un état flottant stabilisé, même à un niveau de flottement de 0,15 pm. Exemple 2 on polit une plaque de verre constituée par la même matière que dans le cas de l'exemple 1 par polissa- ge mécanicochimique pendant 20 minutes pour fabriquer un substrat dont la rugosité de surface est de 40 t. On forme sur le substrat une pellicule de %-Fe203 par le même procédé que celui mentionné précédemment à propos de l'exemple 1, pour réaliser un disque magnétique dont la rugosité de surface est de 45 1. - On examine le disque magnétique ainsi préparé, en ce qui concerne la stabilité de flottement de la tête magnétique, par le même procédé que dans le cas de l'exemple 1. Il s'avère que la tête magnétique peut être supportée de façon stable à l'état flottant, à une hau- teur ou un niveau pouvant descendre à 0,08 pm. Exemple 3 Comme matière pour le substrat de verre, on uti- lise une plaque de verre au silicate d'aluminium de con- figuration discoide d'un diamètre extérieur de 305 mm, d'un diamètre intérieur de 40 mm et d'une épaisseur de 1,9 mm. On fait subir à la plaque de verre un traitement de renforcement de surface, selon l'une des façons re- présentées sur les figures 2a à 2f. Dans ce but, on recouvre la portion ne devant pas être renforcée d'un masque et l'on immerge le substrat dans du nitrate de potassium fondu à une température de 450'C pendant dix minutes. On polit les substrats renforcés et un substrat non renforcé constituant un témoin en utilisant un li- quide de polissage renfermant de la silice colloidale pendant dix minutes. Tous les substrats présentent pratiquement la même rugosité de surface (Rmax) de 90 A. On soumet ces substrats à un essai de cassure en cours de rotation au cours duquel on fait tourner chaque substrat à une haute vitesse pour évaluer la résistance du substrat par la vitesse de rotation à laquelle la cassure se produit. La vitesse de rotation maximale est de 20 000 tours/mn. On effectue l'essai sur 20 échantil- lons par substrat. Les résultats de l'essai sont indiqués sur le tableau 1. Comme le montre ce tableau, la résistance du substrat renforcé seulement partielle- ment selon l'invention, comme dans le cas des exemples représentés sur les figures 2a à-2c, est 1,5 fois plus élevée que celle du substrat non renforcé. En conséquen- ce, dans des applications effectives o la vitesse de rotation est en général de 3 600 tours/mne il ne se pré- sente pas de problème en ce qui concerne la résistance du substrat et, par suite, du disque magnétique. Au contraire, dans le cas des échantillons de substrat non-renfocés, on trouve que certains se cassent à une vitesse de rotation de l'ordre de 5 000 tours/mn, ce qui entraîne un problème lorsqu'on les utilise dans des applications effectives. Dans le cas d'échantillons de substrat renforcés selon les façons représentées sur les figures 2d à 2f, il ne se produit ni destruction ni cassure, même à la vitesse de rotation maximale de 000 tours/mn, ce qui garantit une résistance satis- faisante du disque. On forme sur chacun des substrats préparés selon l'invention et représentés sur les figures 2a à 2f, une pellicule de a-Fe203 de 2 000 À d'épaisseur en pulvéri- sant une cible de fer en atmosphère de Ar +02 (le mélan- ge étant effectué dans une proportion de 50 % et sous un -3 vide de 5 x 10 3 torr). On réduit ensuite le produit dans un courant gazeux d'hydrogène à une température de 360C pendant 2 heures pour former une pellicule de Fe204 que l'on oxyde ensuite dans l'air à une températu- re de 310'C pendant 3 heures pour former une pellicule de y-Fe203. On achève ainsi les disques magnétiques. Tous ces disques magnétiques présentent pratiquement la même rugosité de surface de l'ordre de 100 . On place ces disques magnétiques dans un dispo- sitif à disques magnétiques pour examiner la stabilité de flottement de la tête magnétique. Dans ce but, on réduit la vitesse périphérique du disque magnétique, de façon à abaisser le niveau de flottement de la tête ma- gnétique. Il s'avère que la tête magnétique peut être supportée dans l'état de flottement stabilisé, même lorsque la hauteur de flottement est réduite jusqu'à 0,15 pm. TABLEAU 1 : Disque: Disque renforcé selon les figures : non :----------------------------------- :renforcé: 2a: 2b: 2c: 2d:2e: 2f : - - - - - - - - -....:...:...:...:.. Vitesse de:: :::: : rotation:: ::: de cassure:: :: : *1: *1: 1 moyenne: 9 865:15725:14930:17875:20000:20000:20000 Vitesse de:: :::: : rotation:: :::: : de cassure:: :: : *1: *1: *1 minimale: 5 630:13280:12520:14900:20000:20000:20000 o: I1 568: 947: 927: 1328:: : m Remarques: Vitesse de rotation en tours/mn. Dans les cas indiqués par *1, il ne se produit pas de cassure. On utilise 20 échantillons pour chacun des disques. Exemple 4 Comme dans le cas de l'exemple 3, on fait subir aux plaques de verre à surface renforcée a, b, c, d et f représentées sur les figures 2a à 2f, respectivement, le polissage mécanicochimique pendant 20 minutes pour former les substrats. Tous les substrats ainsi préparés ont pratiquement la même rugosité de surface de l'ordre de 40 . On forme la pellicule de y-Fe203 sur chacun de ces substrats par le même procédé que dans le cas de l'exemple 1, pour achever les disques magnétiques dont tous présentent une rugosité de surface pratiquement identique de l'ordre de 45. -. On examine ces disques, en ce qui concerne la caractéristique de flottement de la tête magnétique, de la même façon que dans le cas de l'exemple 1. On consta- te que la tête magnétique est supportée dans l'état de flottement stabilisé à un niveau au-dessus du disque pouvant descendre à 0,08 pm. Comme le fait à présent ressortir la description précédente, le support d'enregistrement magnétique selon la présente invention, qui peut présenter un excellent poli superficiel, permet de réduire considérablement la hauteur de flottement (intervalle entre la surface du disque et la tête magnétique) tout en assurant une *densité d'enregistrement accrue. Il va de soi que l'on peut apporter à la des- cription précédente et au dessin annexé de nombreuses modifications de détail sans, pour cela, sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Support d'enregistrement magnétique, com- prenant un substrat de verre d'une rugosité de surface intérieure ou égale à 100 , sur lequel est formée une pellicule magnétique mince d'enregistrement magnétique. 2. Support d'enregistrement magnétique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le substrat de verre a une rugosité de surface inférieure ou égale. à so A. 3. Support d'enregistrement magnétique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la pellicule magnétique mince renferme, comme constituant principal, de l'oxyde de fer. 4. Support d'enregistrement magnétique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le substrat de verre est constitué par une matière choisie dans un groupe comprenant: le verre au silicate de bore, le verre au silicate d'aluminium, le verre quartzeux et le verre au silicate de titane. 5. Support d'enregistrement magnétique, compre- nant un substrat de verre comportant une surface renforcée au moins partiellement, sur lequel est formée une pellicule magnétique mince d'enregistrement magné- tique. 6. Support d'enregistrement magnétique selon la revendication 5, caractérisé en ce que le substrat de verre a une rugosité de surface ne dépassant pas 100 A. 7. Support d'enregistrement magnétique selon la revendication 5, caractérisé en ce que la pellicule magnétique mince renferme, comme constituant principal, de l'oxyde de fer. 8. Procédé de fabrication d'un support d'enre- gistrement magnétique, comprenant un substrat de verre d'une rugosité de surface inférieure ou égale à 100 et, de préférence, inférieure ou égale à 50 , sur lequel est formée une pellicule magnétique mince d'enre- gistrement magnétique, comprenant les stades consistant: - à polir la surface dudit substrat de verre jusqu'à obtention de ladite rugosité de surface par un procédé de polissage mécanicochimique, et - à former ladite pellicule magnétique mince sur ladite surface polie dudit support d'enregistrement ma- gnétique par un procédé de pulvérisation. 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'il comprend, en outre, un stade consistant à renforcer au moins partiellement la surface dudit subs- trat en immergeant le substrat dans du nitrate de potas- sium fondu.