Brevet FR2586486A1 — publié le 19870227

La présente invention concerne d'une manière générale une structure de miroir déformable refroidi et un procédé pour refroidir un miroir déformable destiné à être utilisé comme modulateur de phase de front d'onde dans des systèmes optiques comportant des lasers qui produisent des niveaux de flux d'énergie élevés. De tels systèmes utilisent couramment des miroirs défor- mables destinés à réfléchir un faisceau laser dans une direction souhaitée et/ou à corriger les distorsions des fronts d'ondes du faisceau laser, ou à coder le front d'ondes en y introduisant des distorsions connues. Etant donné qu'un miroir à utiliser dans de telles appli- cations ne peut pas tre réalisé de façon à réfléchir la totalité du rayonnement laser incident, la petite partie qui est absorbée par la surface du miroir peut provoquer une surcharge thermique de cette surface et de la structure qui la supporte par suite du niveau du flux du faisceau laser incident. L'énergie thermique absorbée engendre dans la structure de support du miroir des contraintes qui peuvent aboutir à une déformation indésirée de la surface du miroir ou à la destruction de cette surface et de sa structure de support. L'utilisation de miroirs déformables pour la correction de la distorsion de phase de fronts d'ondes et pour le codage de fronts d'ondes par introduction de distorsions connues dans un front d'onde est connue dans l'art antérieur comme décrit, par exemple, dans les brevets des EtatsUnis d'Amérique N 3 904 274 et N 4 257 686. L'utilisation d'un fluide pour refroidir les miroirs utilisés dans des applications de lasers afin de réduire les charges thermiques imposées par le faisceau laser est également connue dans la technique. Un exemple d'un tel miroir est décrit dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique N 3 909 118. De plus, l'utili- sation d'un refroidissement par fluide dans des miroirs déformables est également connue dans l'art antérieur comme décrit, par exemple, dans les brevets des Etats- Unis d'Amérique N 4 143 946, N 4 202 605, et N 4 239 343. Le brevet N 4 143 946 précité est intéres- sant par le fait qu'il décrit un miroir déformable utili- sant des actionneurs électromagnétiques pour maîtri- ser la déformation d'une plaque frontale continue. On permet au fluide de refroidissement de s'étaler sur la face arrière de la plaque frontale après être passé dans plusieurs ajutages. Le degré auquel la face arrière de la plaque frontale est refroidie est déterminé par la dimension des ajutages, leur écartement de la plaque frontale et la pression du fluide de refroidissement. Le brevet N 4 202 605 précité est intéres- sant car il décrit un miroir segmenté refroidi qui utili- se des actionneurs piézocéramiques pour positionner de façon dynamique des éléments physiquement distincts d'un miroir. Le miroir est réalisé en plusieurs éléments physiquement distincts, positionnés chacun de façon individuelle par son propre actionneur piézocéramique. Un fluide de refroidissement est conduit vers chaque élément du miroir et en est évacué en passant par l'ac- tionneur associé à cet élément. Chaque actionneur est raccordé par deux conduites d'alimentation en fluide de refroidissement à un collecteur de distribution qui distribue et collecte le fluide de refroidissement. Le brevet N 4 239 343 précité est intéres- sant car il décrit un miroir déformable qui comprend un conduit composé d'un tube de cuivre à paroi mince dans lequel un fluide de refroidissement peut être mis en circulation pour refroidir le miroir déformable. Le tube traverse des espaces situés au-dessus d'une série d'actionneurs piézo-électriques sphériques qui sont utilisés pour induire des variations localisées dans la forme de la surface d'un miroir supporté par les actionneurs. Il est connu qu'un fluide de refroidissement introduit contre la surface arrière de la plaque frontale d'un miroir déformable sous une pression excessive fait vibrer et déforme la structure du miroir, ce qui peut introduire des distorsions inacceptables dans le front d'onde laser réfléchi par le miroir. Cependant, la pres- sion à laquelle le fluide de refroidissement doit être introduit pour refroidir la structure du miroir dépend à la fois de l'aire de la section transversale et de la longueur du trajet que le fluide de refroidissement doit suivre en se déplaçant à travers la structure du miroir, et elle est également en relation directe avec la quantité d'énergie calorifique que le fluide de re- froidissement doit absorber. Si le fluide de refroidisse- ment est mis en circulation dans le miroir sous une basse pression en vue de réduire la vibration et la distorsion induites par la pression, le débit auquel le fluide de refroidissement circule peut être insuffi- sant pour permettre à ce fluide d'absorber une quantité assez grande d'énergie calorifique pour empêcher un échauffement excessif de la surface du miroir. Les miroirs déformables refroidis connus précédemment ne parviennent pas à présenter une surface de miroirs déformables continue dans laquelle un fluide de refroidissement travaillant à basse pression refroidit la base du miroir et les actionneurs, puis ne parcourt qu'une faible distance tout en refroidissant la surface de la plaque frontale. La présente invention élimine ce défaut en proposant un appareil à miroir déformable et un procédé pour refroidir un miroir déformable, dans lesquels la surface continue du miroir est refroidie par un fluide de refroidissement travaillant à une pres- sion assez basse pour éviter que la vibration et la distorsion induites par l'écoulement du fluide de refroi- dissement distordent le signal laser réfléchi par le miroir. La basse pression du fluide de refroidissement est rendue possible par la faible distance que ce fluide de refroidissement doit parcourir sur la plaque frontale présentant la surface réfléchissante du miroir. L'invention a donc pour objet un miroir déformable dans lequel une surface continue refroidie peut être déformée sélectivement par une série d'action- neurs fixés au miroir. L'invention a également pour objet un miroir déformable refroidi dans lequel le fluide de refroidissement de la surface du miroir refroidit également les actionneurs qui déforment cette surface. L'invention a pour autre objet un miroir déformable refroidi dans lequel le fluide de refroidissement utilisé pour refroidir la surface du miroir ne parcourt qu'une faible distance sur la plaque frontale du miroir. L'invention a pour autre objet un agencement efficace pour éliminer la chaleur d'un miroir déformable, qui évite d'avoir à faire circuler un fluide de refroi- dissement à travers le miroir sous une pression élevée. L'invention a pour autre objet un procédé dans lequel la surface réfléchissante continue et les actionneurs d'un miroir déformable peuvent être refroidis par un fluide de refroidissement qui parcourt un trajet court à travers la plaque frontale du miroir. Les objets précédents sont réalisés par une plaque frontale de miroir présentant une surface réfléchissante sur une première face, qui peut être déformée par l'excitation sélective d'un ou plusieurs - act4onneurd'unw groupe, fixés entre la plaque frontale et la base de support du miroir. Les actionneurs sont traversés sur toute leur longueur par des ouvertures qui sont revêtues d'une matière diélectrique, imperméa- ble au fluide de refroidissement, afin de permettre à un fluide de refroidissement de parcourir les action- neurs pendant qu'il est en circulation entre la plaque frontale et un collecteur situé dans la base. Le collec- teur de la base comprend des moyens destinés à diriger le fluide de refroidissement pour le rapprocher et l'é- loigner de certains, choisis, des actionneurs. Dans une forme de réalisation, la plaque frontale est consti- tuée d'une plaque supérieure et d'une plaque inférieure qui renferment un ou plusieurs espaces fermés dans les- quels le fluide de refroidissement peut circuler. Une seconde forme de réalisation comprend un agencement collecteur situé à l'intérieur de la plaque frontale afin de renforcer la distribution du fluide de refroi- dissement délivré à la plaque frontale par les action- neurs. Dans chaque forme de réalisation, le fluide de refroidissement est introduit dans le collecteur de base à partir d'une source extérieure et est canalisé à travers certains, choisis, des actionneurs en direction des espaces fermés situés dans la plaque frontale. Le fluide de refroidissement absorbe la chaleur conduite du faisceau laser incident vers l'intérieur de la struc- ture du miroir et il est dirigé vers certains autres des actionneurs qui évacuent le fluide de refroidissement de la plaque frontale et l'introduisent dans le collec- teur de base. Le fluide de refroidissement est recueilli dans le collecteur de base, puis il peut être recyclé à travers le miroir après que la chaleur a été éliminée du fluide de refroidissement. L'utilisation des action- neurs pour canaliser le fluide de refroidissement afin qu'il soit dirigé vers et éloigné de la plaque frontale évite la nécessité de dispositifs distributeurs lourds au bord de la plaque frontale, ce qui élimine donc la raideur du bord souvent associée aux techniques antérieu- res pour refroidir les plaques frontales de miroir défor- mable. L'invention sera décrite plus en détail en regard des dessins annexés à titre d'exemples nulle- ment limitatifs et sur lesquels: - la figure 1 est une vue en perspective d'un miroir déformable refroidi réalisé conformément à l'invention; - la figure 2 est une vue en perspective éclatée des éléments non assemblés d'un miroir déforma- ble refroidi analogue à celui montré sur la figure 1, mais comportant un nombre limité d'actionneurs pour déformer la plaque frontale; - la figure 2A est une vue en perspective de la face inférieure de la plaque supérieure entrant dans la constitution de la plaque frontale de la figure 2; - la figure 3 est une vue en perspective avec coupe partielle montrant l'intérieur d'une partie d'un miroir déformable refroidi; - la figure 4 est une coupe transversale d'une partie du miroir déformable refroidi de la figure 3; - la figure 5 est une vue partielle en perspective d'un patin de poussée, montrant les raidis- seurs; et - la figure 6 est une coupe partielle d'une seconde forme de réalisation du miroir déformable refroi- di, comportant une plaque frontale réalisée d'une seule pièce avec un collecteur de distribution de fluide de refroidissement.-- En référence à présent aux dessins, la figure 1 montre une première forme de réalisation d'un miroir laser déformable refroidi réalisé conformément à l'invention. Le miroir comprend un collecteur de-base indiqué globalement en 10 et une plaque frontale réflé- chissante indiquée globalement en 12. La plaque frontale 12 comprend une surface réfléchissante 14 sur une premiè- re de ses faces, laquelle surface est polie et/ou revêtue de façon à permettre à un faisceau laser incident d'en être réfléchi. La plaque frontale 12 est reliée à et supportée à distance du collecteur de base 10 par plusieurs actionneurs 16. Un fluide de refroidissement est dirigé vers et éloigné du collecteur de base 10 par des conduites 18 et 20 qui peuvent être des tubes rigides ou flexibles et qui peuvent être raccordées au collecteur de base 10 de toute manière classique. La figure 2 montre que la forme préférée de réalisation du collecteur de base 10 est constituée d'une plaque de base inférieure 22, d'une plaque de base supérieure 24 et d'une plaque de fermeture 26. La plaque de base inférieure 22 comprend plusieurs plots 28 qui, comme on peut le voir sur la figure 4, servent en partie à supporter la plaque de base supérieure 24. Ainsi qu'on peut mieux les voir sur les figures 3 et 4, un plot 30 est traversé d'une ouverture 32 afin de permettre au fluide de refroidissement d'être introduit dans le collecteur de base 10. La plaque de base infé- rieure 22 présente une ouverture 34 qui permet au fluide de refroidissement d'être évacué du collecteur de base 10. La plaque de base supérieure 24 s'étend au-dessus de la plaque de base inférieure 22 et est supportée par les plots 28 et le plot 30. La plaque 24 présente une ouverture 36 qui est alignée sur l'ouverture 32 du plot 30 afin de permettre le passage du fluide de refroidissement. La plaque de base supérieure 24 comporte également plusieurs plots 38 traversés par des ouvertures 40. La plaque de base supérieure 24 est coiffée de la plaque 26 de fermeture du collecteur de base qui repose sur les plots 38 qui la supportent. La plaque 26 de fermeture présente plusieurs ouvertures 42 permettant au fluide de refroidissement de pénétrer dans les action- neurs 16. Le collecteur de base 10 comprend une paroi extérieure 43 qui l'entoure et qui peut être constituée respectivement de la paroi extérieure 43a de la plaque de base inférieure 22, de la paroi extérieure 43b de la plaque de base supérieure 24 et d'une paroi extérieure 43c de la plaque 26 de fermeture. La paroi 43 empêche le fluide de s'échapper du collecteur 10. Les dimensions de la plaque de base infé- rieure 22, de la plaque de base supérieure 24 et de la plaque 26 de fermeture du collecteur de base sont choisies de manière que, lorsqu'ils sont assemblés, les éléments constituent une base rigide pour les action- neurs 16 et la plaque frontale 12 et qu'ils ne fléchis- sent pas sous la charge imposée par les actionneurs 16 lorsque ces derniers sont allongés. Dans le cas d'une surface de miroir d'un diamètre de 7,5 cm, l'épaisseur préférée de l'ensemble formé par la plaque de base infé- rieure 22 et les plots 28 est d'environ 2,5 cm; l'épais- seur préférée de l'ensemble formé par la plaque de base supérieure 24 et les plots 38 est également d'environ 2,5 cm; et l'épaisseur préférée de la plaque 26 de fermeture du collecteur de base est d'environ 12,7 mm. Dans la forme préférée de réalisation décri- te ici, chaque actionneur 16 est constitué d'un empilage en matière piézo-électrique comportant des couches indi- viduelles 44 qui sont séparées les unes des autres par des électrodes intercalées. Un exemple préféré d'une forme possible de réalisation d'un tel actionneur est décrit dans le brevet N 4 257 686 précité. Bien que ce brevet décrive des actionneurs réalisés en zirconate- titanate de plomb (PZT), il convient de noter que les actionneurs peuvent être réalisés en toute matière pouvant être conçue pour subir un allongement lorsqu'il lui est appliquée un potentiel électrique, par exemple du niobate de plomb et de magnésium (PMN) ou du titanate de baryum. Le bloc actionneur décrit dans le brevet N 4 257 686 précité est découpé en actionneurs indivi- duels qui, dans la forme préférée de réalisation, peuvent avoir chacun environ 0,3 cm de largeur par 0,3 cm de profondeur et 1,0 cm de longueur. Des signaux électriques sont appliqués aux actionneurs 16 de manière classique, par exemple par l'utilisation de la technique décrite dans le brevet N 4 257 686 précité ou par le procédé décrit et illustré dans le brevet N 3 904 274 précité. Une déformation localisée de la plaque frontale 12 est obtenue par l'application sélective, à un ou plusieurs des actionneurs 16, de signaux électri- ques qui provoquent un accroissement de la longueur des actionneurs choisis, cet accroissement étant propor- tionnel au signal appliqué. Les actionneurs allongés 16 exercent une force entre le collecteur de base 10 et la plaque frontale 12 par l'intermédiaire de patins de poussée 46. Dans la forme préférée de réalisation, les patins de poussée 46 sont des tubes cylindriques qui font saillie de la plaque inférieure 48. Les action- neurs 16 sont fixés à la fois à la plaque de fermeture 26 et aux patins de poussée 46 par toute technique clas- sique évitant au fluide de refroidissement sous pression, passant à travers les actionneurs 16, entre le collecteur de base 10 et la plaque frontale 12, de fuir des joints. Ces liaisons peuvent être réalisées par exemple, par l'utilisation d'un joint fritté ou d'un joint époxy. Des ouvertures 50 sont percées ou autrement formées à travers la longueur des actionneurs 16 pour permettre le passage du fluide de refroidissement entre le collecteur de base 10 et la plaque frontale 12. Les ouvertures 50 ont avantageusement un diamètre de 1,0 à 2,0 mm et elles sont garnies d'un revêtement 52 empe- chant le fluide de refroidissement de fuir dans les couches 44 des actionneurs. Le revêtement 52 peut être réalisé en toute matière diélectrique pouvant recouvrir les parois des ouvertures 50 et ne mettant pas en court- circuit les couches individuelles 44 des actionneurs. Par exemple, une ouverture 50 peut être remplie d'une matière diélectrique, telle qu'une résine époxy ou un uréthanne, qui est ensuite autorisée à s'écouler de l'ouverture en laissant derrière elle un revêtement diélectrique, ou bien une fritte de verre diélectrique peut être utilisée pour recouvrir les parois de l'ouver- ture et l'excédent peut en être chassé avant que l'ac- tionneur 16 soit cuit pour faire durcir la fritte et la lier à la paroi de l'ouverture 16. Le revêtement 52 est choisi de façon que son module d'élasticité soit égal ou inférieur à celui des couches 44 de l'actionneur afin que ce revêtement 52 s'allonge du même taux que l'actionneur 16 lorsqu'un signal est appliqué à celui- ci. Un exemple préféré de revêtement 52 à utiliser avec un actionneur PZT comprend un polyuréthanne. La plaque frontale 12 est constituée de la plaque inférieure précitée 48 et d'une plaque supé- rieure 54. La figure 3 montre que la plaque supérieure 54 est séparée de la plaque inférieure 48 par plusieurs plots 56 qui peuvent être réalisés d'une seule pièce avec la plaque supérieure 54 ou collés à celle-ci. Les plots 56 servent à établir la continuité de la structure entre la plaque 48 et la plaque 54 et à améliorer la transmission de la chaleur de la surface du miroir vers le fluide de refroidissement. Les ouvertures 58 sont formées dans la plaque inférieure 48 en coïncidence avec les positions des patins de poussée 46. Les ouver- tures 58 permettent au fluide de refroidissement de s'écouler vers les actionneurs 16 et à partir de ces derniers pour pénétrer dans les espaces compris entre la plaque supérieure 54 et la plaque inférieure 48 et 1 1 en sortir. Les figures 2A et 3 montrent bien que la plaque supérieure 54 peut comporter plusieurs nervures croisées 59. Les nervures 59 sont utilisées pour raidir la plaque supérieure 54 et pour établir des frontières destinées à limiter l'écoulement du fluide de refroidis- sement sur des zones définies dans la plaque frontale 12. L'importance de l'espace contigu renfermé dans chaque jeu de nervures 59 définissant une frontière fermée détermine l'aire de la plaque frontale 12 qu'une quantité donnée de fluide de refroidissement doit parcourir et refroidir. Cette aire est déterminée expérimentalement pour assurer que la pression du fluide de refroidissement demandée pour refroidir le plus grand espace fermé à l'intérieur de la plaque frontale 12 n'introduit pas de vibrations intolérables dans la surface 14 du miroir. Il convient de noter que pour des miroirs ayant des surfaces utiles de faible diamètre ou pour des miroirs utilisés dans les applications o la densité du flux du rayonnement incident ne provoque par un échauffement intense de la surface du miroir, il est possible, dans le cadre de l'invention, qu'une seule zone ou aire fermée dans laquelle circule le fluide de refroidissement, soit délimitée dans la plaque frontale 12 du miroir, et que cette aire fermée puisse présenter plus d'une ouverture 58 apportant le fluide de refroidissement à cette aire fermée et l'évacuant de celle-ci. Il est également possible, dans le cadre de l'invention, d'uti- liser des nervures qui ne renferment pas totalement des espaces dans la plaque frontale 12, permettant ainsi la circulation du fluide de refroidissement à travers la plaque frontale 12, même dans le cas o une ou plu- sieurs des ouvertures 58 finit par s'obturer ou devienne autrement incapable de transmettre le fluide de refroi- dissement vers la plaque frontale 12 ou de l'évacuer de celle-ci. Dans une forme préférée de réalisation, lorsque l'aire fermée à l'intérieur de la plaque frontale 12 est divisée en plus d'une zone ou aire fermée, les nervures 59 peuvent se croiser à une ouverture 58 (par exemple l'ouverture 58b de la figure 3) afin qu'un ac- tionneur 16 puisse diriger le fluide de refroidissement vers plus d'un espace fermé ou évacuer le fluide de refroidissement de plus d'un espace fermé. Les figures 4 et 5 montrent bien que les patins de poussée 46 peuvent comprendre des raidisseurs 60 qui sont alignés avec les nervures 59 et qui sont utilisés pour raidir la plaque frontale dans la zone de chacune des ouvertures 58. Les raidisseurs 60 sont avantageusement réalisés d'une seule pièce avec les patins de poussée 46; cependant, il est également possi- ble de réaliser séparément les raidisseurs 60, puis de les fixer dans les patins de poussée 46 par toute techni- que connue de fixation. La plaque supérieure 54 est liée à la plaque inférieure 48 afin de former la plaque frontale 12 d'un seul bloc. Cette liaison peut être avantageusement réali- sée par l'utilisation de techniques de frittage ou de brasage bien connus de l'homme de l'art. La plaque fron- tale peut être réalisée dans toute matière ayant un faible coefficient de dilatation thermique, par exemple du silicium monocristallin ou polycristallin, du carbure de silicium, un composite carbone-carbone ou du molybdène. Les figures 3 et 4 montrent bien le trajet de circulation du fluide de refroidissement à l'intérieur du miroir déformable. Le fluide de refroidissement est introduit sous pression dans le collecteur de base 10 par l'intermédiaire de la conduite 18 et il passe dans l'ouverture 32 du plot 30 pour atteindre les espaces 62 compris entre les plots 38- et la plaque supérieure 24 de base et la plaque de fermeture 26. Ainsi qu'on --peut-nieux- evoir--sur la figure 3, les rangées alternées d'actionneurs constituent des entrées et des sorties du fluide de refroidissement. Les actionneurs 16a de la figure 3, par exemple, reçoivent le fluide de refroi- dissement de l'espace 62 par l'intermédiaire des ouvertu- res 42. Le fluide de refroidissement passe dans les ouvertures 50 de certains, choisis, des actionneurs 16 puis dans certaines, choisies, des ouvertures 58, par exemple l'ouverture 58a de la figure 3, pour pénétrer dans les espaces fermés compris entre la plaque infé- rieure 48 et la plaque supérieure 54, lesquels espaces fermés peuvent être séparés par les nervures 59 d'autres espaces situés à l'intérieur de la plaque frontale 12. Le fluide de refroidissement s'étale dans chaque espace compris entre la plaque inférieure 48 et la plaque supérieu- re 54, à partir de son point d'introduction. Les plots 56 favorisent la circulation du fluide de refroidissement et il favorise en outre la conduction de la chaleur de la plaque supérieure 54 vers le fluide de refroidisse- ment. La pression sous laquelle le fluide de refroidisse- ment est refoulé dans le miroir déformable force ce fluide de refroidissement entre la plaque inférieure 48 et la plaque supérieure 54, puis le fait sortir par d'autres des ouvertures 58, par exemple l'ouverture 58b de la figure 3. En parcourant la distance comprise entre l'ouverture 58a et l'ouverture 58b, le fluide de refroidissement ne doit se déplacer que sur une dis- tance relativement courte. En conséquence, la chute de pression apparaissant sur cette distance est faible, ce qui permet au fluide de refroidissement d'être sous une pression inférieure à celle qu'il aurait s'il avait à couvrir une plus grande surface, et la quantité de chaleur absorbée par le fluide de refroidissement est inférieure à celle que ce fluide devrait absorber s'il lui était demandé de parcourir une plus grande surface. Le fluide de refroidissement esit eqpU à force de la plaque frontale 12 en passant dams c2 ais alternés, des actionneurs (les actionneurs & de - la figure 3, par exemple) et dans les ouvez1rmies 42 -et 40 pour pénétrer dans l'espace 64 compris emntre -za plaque de base inférieure 22, la plaque de bave wpëzrieure 24, les plots 28 et le plot 30. En revenant 'ea la plaque frontale 12 vers l'ouverture 34, le fluide -e =froidiis- sement peut être utilisé, comme on peut le voir3, ponu absorber encore de la chaleur provenant des ea-ionneurs 16b et du collecteur de base 10. Le fluide de r-efroidis- sement circule à l'intérieur de l'espace E4 entre les plots 28 et est expulsé par l'ouverture 34 Adams la con- duite 20. Les conduites 18 et 20 peuvent être raccordées à toute forme d'appareil de circulation ee fluide d:e refroidissement, par exemple une pompe Dnlumétriqme et un système de refroidissement à évaplr.-tion (nDn représentés). Après que le système de refrr-idissemeant élimine la chaleur du fluide, ce dernier peut -tre remis en circulation à travers le miroir défoxmable. Bien que le fluide de refroidissement ait été dérit et repré- senté comme entrant dans le miroir déformal:e au moyen de la conduite 18 et comme en sortant au moyen de la conduite 20, il est évident que le sens t',écoulement du fluide de refroidissement à l'intérieumr d miroir peut être inversé sans sortir du cadre de lnmvertidnm. La figure 6 représente une aTtre forme de réalisation d'une plaque frontale pour In;mirpir déformable refroidi. Cette variante peut êtr.e mvantageu- sement utilisée pour refroidir la plaque 1r-omtale d'un miroir déformable comportant des actionneurs davantage espacés les uns des autres que ceux du mizO-lr décrit précédemment et représenté. Lorsque R'O-m augme$te l'écartement des actionneurs adjacents, il convient de noter que la plaque frontale peut trz-,e rendue plus raide par un accroissement de son épaisseur afin de réduire le fléchissement de cette plaque entre les actionneurs. Ceci réduit également le nombre d'action- neurs utilisables pour amener le fluide de refroidis- sement à la plaque frontale et l'en évacuer et, en conse- quence, demande que le fluide de refroidissement soit délivré à la plaque frontale sous une pression plus grande pour fournir le volume de fluide de refroidissement nécessaire pour faire face à la charge thermique absorbée par la plaque frontale. La plaque frontale 66 montrée sur la figure 6 est supportée au-dessus d'un collecteur de base 10 (non représenté en détail) dont les détails de réalisa- tion et de fonctionnement sont similaires à ceux du collecteur de base montrés sur la figure 3, au moyen d'actionneurs indiqués globalement en 68 et dont la réalisation et le fonctionnement sont similaires à ceux des actionneurs 16 également représentés sur la figure 3. Un actionneur 68 sur deux amène le fluide de refroi- dissement vers la plaque frontale 66 et les autres ac- tionneurs 68 évacuent le fluide de refroidissement de la plaque frontale 66, le fluide de refroidissemnet passant dans des ouvertures 70 situées à l'intérieur de chacun des actionneurs 68. La plaque frontale 66 comprend une plaque supérieure 72 qui présente une configuration de plots et de nervures usinés dans sa face inférieure (non repré- sentée sur la figure 6), similaire à celle représentée pour la plaque frontale 12 sur les figures 2 et 3. Une face de la plaque supérieure 72 peut être polie et/ou revêtue pour former une surface réfléchissante. La plaque supérieure 72 est fixée à une plaque 74 de distribution d'écoulement qui s'étend au-dessus d'un collecteur avant 76 auquel elle est fixée. Le collecteur avant 76 est fixé à un collecteur arrière 78 audessus duquel il s'étend et ce collecteur 78 est fixé aux actionneurs 68 par toute technique classique, par exemple par l'uti- lisation d'une liaison époxy. Le fluide de refroidisse- ment est distribué à l'intérieur de la plaque frontale 66 d'une manière similaire à celle suivant laquelle le fluide de refroidissement est distribué dans le col- lecteur de base 10 de la figure 3. Ainsi, le fluide de refroidissement est délivré à la plaque frontale 66 en passant dans l'ouverture 70 de l'actionneur 68a, par exemple, puis dans une ouverture 80 d'un plot 82 du collecteur arrière 78. Le fluide de refroidissement circule dans des espaces 84 qui sont séparés par des plots 86 formés dans le collecteur 76. La pression refou- le le fluide de refroidissement des espaces 84 dans les ouvertures 88 de la plaque 74 o ce fluide est utili- sable pour refroidir la plaque supérieure 72. Après s'être étalé sur la plaque supérieure 72 et en avoir éliminé de la chaleur, le fluide de refroidissement est évacué de la plaque supérieure 72 en passant dans les ouvertures 90 pour pénétrer dans les espaces 92 situés dans le collecteur arrière 78. Des ouvertures inférieures 94 permettent au fluide de refroidissement de circuler entre les espaces 92 et les ouvertures 70 de certains, choisis, des actionneurs 68, par exemple l'actionneur 68b de la figure 6, afin que ce fluide de refroidissement soit évacué vers le collecteur de base 10. Divers liquides peuvent être utilisés comme fluide de refroidissement dans les structures décrites ici. Par exemple, il est apparu qu'on pouvait utiliser de l'eau comme fluide de refroidissement. D'autres flui- des, tels qu'un hydrocarbure fluoré ou de l'azote liquide, pourraient également être substitués, en tant que fluide de refroidissement. On a donc décrit une structure perfection- née destinée à un miroir déformable refroidi, ainsi qu'un procédé pour refroidir un miroir déformable, dans lesquels le fluide de refroidissement est diffusé à tra- vers la base du miroir vers la plaque frontale de ce miroir par l'intermédiaire des actionneurs utilisés pour déformer sélectivement la surface du miroir, le fluide de refroidissement parcourant un court trajet à travers la plaque frontale du miroir. Le trajet suivi par le fluide de refroidissement lorsqu'il circule à travers le miroir déformable est court, et, par consé- quent, le fluide de refroidissement peut être pompé à travers la structure sous une basse pression, ce qui évite l'induction de contraintes ou de vibrations impor- tantes dans la surface du miroir. Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées au miroir décrit et représenté sans sortir du cadre de l'invention. Par exemple, il n'est pas nécessaire d'utiliser tous les actionneurs destinés à déformer la plaque frontale du miroir pour faire circuler le fluide de refroidissement entre cette plaque frontale et le collecteur de base. D'autres élé- ments, dimensions, matières et configurations peuvent être substitués à ceux décrits pour les formes préférées de réalisation de l'invention. REVENDICATIONS 1. Miroir déformable refroidi présentant une surface de miroir continue, caractérisé en ce qu'il comporte une plaque frontale (12) dont une première face présente une surface réfléchissante continue (14) destinée à réfléchir le faisceau incident d'un rayonne- ment électromagnétique, la plaque frontale étant consti- tuée d'une plaque supérieure (54) et d'une plaque infé- rieure (48) formant entre elles un ou plusieurs espaces fermés destinés à recevoir et contenir un fluide pour le refroidissement de la plaque frontale, la plaque inférieure présentant au moins deux ouvertures (58) disposées de façon à permettre au fluide de refroidisse- ment d'entrer dans et de sortir de chacun des espaces fermés compris entre les plaques supérieure et inférieure, au moins deux actionneurs (16) fixés à la plaque infé- rieure de la plaque frontale afin de permettre à cette dernière d'être déformée sélectivement en réponse à des signaux appliqués aux actionneurs, chacun de ceux- ci étant traversé en outre, sur toute la longueur, par une ouverture (50) afin de permettre au fluide de refroi- dissement d'être délivré à travers les actionneurs vers les espaces fermés de la plaque frontale et d'en être évacué, les actionneurs étant disposés de façon qu'une ouverture de chaque actionneur soit en communication de fluide avec une des ouvertures de la plaque inférieure de la plaque frontale, le miroir comportant également un collecteur de base (10) relié aux ouvertures des actionneurs et comprenant des moyens destinés à faire circuler le fluide de refroidissement vers une ouverture d'au moins l'un des actionneurs et des moyens destinés à recevoir le fluide de refroidissement d'une ouverture d'au moins un autre desdits actionneurs, le miroir com- portant en outre des moyens destinés à faire circuler le fluide de refroidissement vers le collecteur de base et à l'éloigner de ce collecteur, de manière que la plaque frontale soit refroidie par le fluide de refroi- dissement qui circule à partir dudit collecteur de base en passant dans l'ouverture d'au moins l'un des action- neurs pour pénétrer dans les espaces fermés compris entre la plaque supérieure et la plaque inférieure de la plaque frontale, le fluide de refroidissement revenant vers le collecteur de base en passant dans une ouverture d'au moins un autre desdits actionneurs. 2. Miroir selon la revendication 1, carac- térisé en ce que les parois des ouvertures des action- neurs sont garnies d'un revêtement (52) imperméable au fluide de refroidissement. 3. Miroir selon la revendication 1, carac- térisé en ce qu'un ou plusieurs des actionneurs transfè- rent chacun le fluide de refroidissement vers au moins deux espaces fermés situés dans la plaque frontale, ou bien évacuent ce fluide de refroidissement desdits espaces fermés. 4. Miroir selon la revendication 1, carac- térisé en ce que le collecteur de base comprend au moins une première chambre destinée à distribuer le fluide de refroidissement vers les actionneurs et au moins une seconde chambre destinée à recevoir le fluide de refroidissement provenant des actionneurs après qu'il a refroidi ladite plaque frontale. 5. Miroir selon la revendication 4, carac- térisé en ce que le fluide de refroidissement est de l'eau. 6. Miroir selon la revendication 4, carac- térisé en ce que la première chambre et la seconde cham- bre renferment des plots (28) destinés à supporter les actionneurs. 7. Miroir déformable refroidi comportant une plaque frontale (12) dont une face présente une surface réfléchissante continue, caractérisé en ce qu'il comporte un collecteur de base (10) présentant au moins deux ouvertures (32, 34) par lesquellles un fluide de refroidissement peut être reçu par ce collecteur de base et évacué dudit collecteur de base au moyen d'une pompe extérieure à fluide de refroidissement, et au moins deux autres ouvertures (36, 40) dans lesquelles un fluide de refroidissement peut être transféré à partir du collecteur de base et renvoyé à ce dernier pour le refroidissement de la plaque frontale, le miroir compor- tant en outre une plaque frontale (12) qui présente une surface avant renfermant une surface de miroir con- tinue (14) destinée à réfléchir un faisceau incident de rayonnement et une surface arrière située en retrait de la surface avant, la plaque frontale présentant en outre au moins un espace fermé situé entre les surfaces avant et arrière et au moins deux ouvertures. 58 traver- sant la surface arrière de la plaque frontale et péné- trant dans l'espace fermé compris entre ladite surface avant et ladite surface arrière, le miroir comportant également au moins deux actionneurs (16) dont les corps sont réalisés en une matière qui s'allonge, sur la lon- gueur du corps, lorsqu'un signal électrique lui est appliqué, les actionneurs étant positionnés entre le collecteur de base et la plaque frontale afin de permettre à cette dernière d'être déformée par l'application d'un signal électrique aux actionneurs, chacun desdits action- neurs présentant une ouverture intérieure (50) s'étendant sur sa longueur afin de permettre l'écoulement d'un fluide de refroidissement à travers l'actionneur, les actionneurs étant positionnés entre le collecteur de base et la surface arrière de la plaque frontale pour permettre au fluide de refroidissement de s'écouler entre ledit collecteur de base et l'espace fermé à l'in- térieur de la plaque frontale en passant par les ouvertu- res des actionneurs et par les ouvertures de la surface arrière de la plaque frontale, au moins l'un desdits actionneurs recevant le fluide de refroidissement du col- lecteur de base et le dirigeant vers l'espace fermé de la plaque frontale et au moins un autre desdits ac- tionneurs recevant le fluide de refroidissement de l'es- pace fermé et le dirigeant vers le collecteur de base après que le fluide de refroidissement a parcouru ledit espace fermé. 8. Miroir selon la revendication 7, carac- térisé en ce que le collecteur de base présente une ou plusieurs cavités qui reçoivent le fluide de refroi- dissement et dans lesquelles ce fluide circule avant d'être dirigé vers la plaque frontale pour refroidir la base. 9. Miroir selon la revendication 8, carac- térisé en ce que la base est réalisée dans la même matiè- re que la plaque frontale. 10. Miroir selon la revendication 8, carac- térisé en ce qu'il comporte en outre des patins (46) de poussée espacés entre la plaque frontale et chacun des actionneurs, chaque patin de poussée étant disposé de façon à conduire le fluide de refroidissement des ouvertures de la surface arrière de la plaque frontale vers les ouvertures desdits actionneurs. 11. Miroir selon la revendication 10, carac- térisé en ce que la plaque frontale est constitué d'une plaque supérieure (48) portant ladite surface de miroir et d'une plaque inférieure (54). 12. Miroir selon la revendication 11, caractérisé en ce que les patins de poussée sont réalisés d'une seule pièce avec la plaque inférieure. 13. Miroir selon la revendication 7, caractérisé en ce que la plaque frontale renferme au moins deux espaces fermés. 14. Miroir selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'ouverture d'au moins l'un desdits actionneurs reçoit le fluide de refroidissement d'au moins deux desdits espacés fermés. 15. Miroir selon la revendication 11, caractérisé en ce que chacun des espaces fermés de la plaque frontale comporte au moins un plot (56) s'éten- dant entre la plaque inférieure et la plaque supérieure avec lesquelles il est en contact et positionné de façon à permettre au fluide de refroidissement de circuler -Librement-autourde lui. 16. Miroir selon la revendication 7, caractérisé en ce que les ouvertures des actionneurs sont garnies d'un revêtement diélectrique (52) destiné à empêcher le fluide de refroidissement de diffuser dans le corps des actionneurs. 17. Miroir selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'ouverture d'au moins l'un des actionneurs fournit du fluide de refroidissement à au moins deux desdits espaces fermés. 18. Miroir selon la revendication 7, carac- térisé en ce que la base et la plaque frontale sont réalisés en silicium monocristallin. 19. Procédé pour refroidir la plaque fron- tale continue d'un miroir déformable et les actionneurs utilisés pour déformer sélectivement cette plaque fronta- le, caractérisé par les étapes qui consistent à réaliser la plaque frontale afin de former au moins un espace fermé entre une surface avant, portant un miroir, de la plaque frontale et une surface arrière de cette plaque, à placer au moins deux ouvertures dans la surface arrière de la plaque frontale, en communication de fluidelavec l'espace fermé afin qu'un fluide de refroidissement puisse pénétrer dans cet espace fermé et en sortir par lesdites ouvertures, à prévoir une base pour le miroir déformable, cette base présentant des canaux destinés à recevoir le fluide de refroidissement d'une source extérieure et à renvoyer ce fluide de refroidissement à la source extérieure après que lefluide de refroidisse- ment a circulé à travers la plaque frontale, à faire circuler le fluide de refroidissement vers la base et chacun des espaces fermés dans la plaque frontale, et en sens inverse, en le faisant passer à travers au moins deux actionneurs traversés par des ouvertures de passage du fluide de refroidissement, chacun des actionneurs étant fixé à la base et à la plaque frontale, au moins l'un des actionneurs étant disposé entre la base et la plaque frontale afin de permettre au fluide de refroi- dissement d'être introduit à partir de la base dans au moins l'un des espaces fermés de la plaque frontale en passant dans ladite ouverture de cet actionneur et dans au moins une première desdites ouvertures de la surface arrière de la plaque frontale, au moins un autre, différent, des actionneurs étant positionné entre la base et la plaque frontale afin de permettre au fluide de refroidissement d'être évacué en passant dans l'ouver- ture de cet actionneur différent, à partir des espaces fermés situés dans la plaque frontale et dans lesquels le fluide de refroidissement a été introduit, en passant par au moins une seconde des ouvertures de la surface arrière de la plaque frontale, de manière que le fluide de refroidissement s'écoule de la base à travers au moins l'un des actionneurs et pénètre dans au moins un des espaces fermés de la plaque frontale pour refroi- dir la surface du miroir, et qu'il s'éloigne de la plaque frontale vers la base en passant à travers au moins l'un, différent, desdits actionneurs pour évacuer la chaleur de la plaque frontale et des actionneurs. 20. Agencement d'un miroir déformable présentant une surface de miroir continue (14) située sur une plaque frontale (12) qui est supportée par au moins deux actionneurs (16) pouvant être commandés sélec- tivement pour déformer la surface du miroir, et de moyens destinés à refroidir le miroir déformable, caractérisé en ce qu'il comporte un collecteur de base (10) destiné à recevoir un fluide de refroidissement du miroir défor- mable, à partir d'une source extérieure, à distribuer le fluide de refroidissement vers la surface du miroir et à collecter et diriger le fluide de refroidissement vers la source extérieure après qu'il a refroidi ladite surface du miroir, chacun des actionneurs présentant une ouverture (50) permettant à un ou plusieurs des actionneurs de recevoir le fluide de refroidissement du collecteur de base et de le délivrer à la plaque frontale, et permettant à un ou plusieurs autres desdits actionneurs de recevoir le fluide de refroidissement de la plaque frontale et de le renvoyer vers le collec- teur de base, l'agencement comportant également des moyens de distribution du fluide de refroidissement situés à l'intérieur de la plaque frontale afin de rece- voir le fluide de refroidissement des ouvertures d'un ou plusieurs, choisis, des actionneurs, et de distribuer le fluide de refroidissement dans la plaque frontale pour refroidir la surface du miroir et ladite plaque frontale, ces moyens de distribution renvoyant le fluide de refroidissement vers les ouvertures d'un ou plusieurs autres desdits actionneurs afin de permettre au fluide de refroidissement d'être renvoyé vers le collecteur de base en passant à travers ces derniers actionneurs. 21. Agencement selon la revendication , caractérisé en ce que les moyens de distribution du fluide de refroidissement comprennent un ou plusieurs espaces fermés situés à l'intérieur de la plaque frontale et présentant chacun au moins une première ouverture (58) permettant au fluide de refroidissement de pénétrer -s.inuuanzue sITpsap saxzne s.natsnTd ra 'UrLU Sa3irzann sal S.za& ZLuaeuassiptox;Fax ap apTntI; :vrpa-E q-2;:&, OEax za IrlîITL ari a:îelins aZT-tpI -ppFao;al le E t Lb Sezd sE Sria.T Sa5ecsa sap ltIteratoid:tIa&assrpTolia.x S apF wirT a-- rxlTat3ax Inod& la 'zEarru np a:>ejns El EE anwE^:EgE sauria; saagdsa sap sznalsnrtd nr un SxIA s.minauuaaXvEL sap sixeasrsijdd na un1p ain-za&ncy, T ap n5a.r auraçSTsp-cigIIzx afp apiFnll al zaualszp xrod u e zuu Z:Eaz.j:SaTTGZ au rale;rzim'1 artlheld eT SUL-p samrz8j seaiedse 01 Sel Za- STrnaUIrioCL Sal a-1-:Ua agGCIaZU:[7 (gf) Znal:3al-[o un ex*-in ua 1zOEazuaidcrura: uaurassTppcoizai ap op-pnl: np F;qFTITncxs- ap SuaaElr sal aria aa ura 'soxzee z wOF;a;ERâ:Gta L l ia-[aGs zzraua:iurazy 2 Slawl:L:le S;;7Sap Saz sIe szanasnrlc! na unp axni ç -x-útttcijoep tOEUSSed ua a rzas audsaj ap gn3eAe e3le,p aE a-p-n- ne -uZLzzauroad (gSçl azn-arno apcaazis aza $suczam ne za 'sintt;r2Le saep sxriaEsnl-d no Irtm v Z a azmaz a zAan; *xaaedsa e s:cp 9ga9gSZ