Brevet FR2580262A1 — publié le 19861017

INSTALLATION DE MANUTENTION D'OBJETS FRAGILES EN ATMOSPHERE A EMPOUSSIEREMENT CONTROLE L'invention concerne la manutention (transport et stockage) d'objets au cours de leur fabrication. On cherche de plus en plus à automatiser aussi complètement que possible la fabrication de toutes sortes d'objets, dans le but de réduire les coûts de fabrication tout en augmentant la fiabilité des produits obtenus. On a bien réussi pour certains objets de grande série à automatiser largement certaines phases de fabrication. C'est le cas par exemple pour des opérations d'assemblage de pièces détachées simples, relativement robustes et peu affectées par les conditions ambiantes. Les opérations de découpage, collage, soudure, vissage etc. pour ce type de pièces posent des problèmes d'automatisation qui ont été assez bien résolus. Le plus souvent les objets en cours de fabrication sont transportés d'un poste de travail à un autre par un convoyeur à bande (tapis roulant) sur lequel reposent les objets. Lorsqu' une opération sur un premier objet est terminée à un poste de travail, l'objet est repris par le convoyeur; l'objet suivant arrive, poussé par le convoyeur sur le poste de travail pour subir le même traitement; pendant ce temps le premier objet est transporté par le convoyeur jusqu'au poste suivant o il subit un autre traitement sans attendre ou avec une file d'attente aussi réduite que possible puisque les pièces sont traitées dans l'ordre de leur arrivée sur le convoyeur. Si les postes de travail individuels sont bien automatisés on peut arriver à un degré d'automatisation très élevé. Mais cela suppose: - que les objets à traiter soient robustes, - qu'ils supportent éventuellement des chocs les uns contre les autres lorsqu'il y a une file d'attente à l'entrée d'un poste de travail, - qu'ils supportent les accélérations ou décélérations provo- quées par le passage souvent brutal du convoyeur en mouvement à un emplacement fixe du poste de travail et réciproquement, - qu'ils subissent tous les mêmes traitements dans l'ordre des postes de travail successifs le long du convoyeur, - que les traitements subis à chaque poste de travail aient des durées approximativement identiques. Au contraire l'automatisation pose des problèmes particu- lièrement difficiles dans les circonstances ou: - les objets à manipuler sont mécaniquement fragiles, - les opérations individuelles de fabrication sont longues et de durées très différentes les unes des autres, - les opérations ne se suivent pas forcément dans le même ordre pour les différents objets ou lots d'objets à fabriquer. A cela s'ajoute une difficulté supplémentaire lorsque les objets doivent rester en atmosphère propre contrôlée (en particulier dépoussiérée) non seulement pendant les traitements successifsmais aussi entre les traitements.- La fabrication des circuits intégrés cumule ces difficultés dans ses premières phases de fabrication, c'est-à-dire pendant toutes les étapes de traitement qui s'effectuent sur les tranches semi- conductrices avant qu'elles ne soient découpées en pastilles indivi- duelles et encapsulées dans un boîtier étanche. C'est pourquoi on rencontre de nombreuses difficultés pour automatiser ces phases alors que l'automatisation des phases suivantes, et notamment le montage en bottier, est beaucoup mieux maitrisée. Pourtant, le traitement automatisé des tranches en production induDtrielle est particulièrement désirable; en effet, bien que l'attiosphère des salles de fabrication soit maintenue dans un état de propreté extrêmement controlée, le va et vient des personnes qui y travaillent est une source de pollution inévitable qui réduit considé- rablement les rendements de fabrication. Divers systèmes de manutention spécifiques des tranches semiconductrices ont été proposés. Ces systèmes ne sont pas bâtis sur le principe général des convoyeurs à bande classiques pour au moins trois raisons découlant de ce qui a été dit' ci-dessus: les tranches sont trop fragiles; les traitements sont de durée trop longue et trop - variables d'un traitement au suivant (plusieurs dizaines de minutes à plusieurs heures); on voudrait que les lots de tranches semiconductrices ne suivent pas tous la même succession de traitements, et en plus on voudrait que les lots puissent revenir ultérieurement vers une machine dans laquelle elle sont déjà passées: par exemple on peut avoir plusieurs implantations ioniques à effectuer, séparées par d'autres opérations (photolithographies); si on n'a qu'un seul implanteur il faut que les tranches reviennent plusieurs fois vers cet implanteur, ce qui n'est pratiquement pas envisageable industriellement avec une chaîne- d'assemblage clas- sique à convoyeur à bande. Il faut insister tout particulièrement sur le fait que dans les processus de fabrication des circuits intégrés se pose un problème important de stockage intermédiaire des tranches, justement à cause des durées très longues de certaines opérations; des lieux de stockage doivent être prévus pour qu'un lot de tranches puisse attendre, avant d'être amené à une machine, que cette machine ait fini le traitement commencé sur un autre lot. Ce stockage est, lui aussi, difficilement compatible avec l'organisation classique des chaînes d'assemblage automatisées, c'est-àdire avec l'utilisation de convoyeurs à bande transportant des objets dans l'ordre d'un premier poste de travail à un dernier poste de travail. C'est pourquoi les systèmes de manutention qui ont été proposés pour tenir compte des impératifs spécifiques du traitement des tranches de circuit intégré ont le plus souvent en commun les particularités suivantes: ils utilisent des chariots motorisés pour transporter des lots de tranches d'un endroit à un autre; ces chariots sont guidés mécaniquement par des rails ou électroni- quement par des pistes optiques ou électromagnétiques tracées sur le sol; des aiguillages sont prévus pour que les chariots ne suivent pas un circuit fermé invariable mais puissent au contraire se diriger soit vers une machine soit vers une autre, soit encore vers un magasin de stockage intermédiaire; il est essentiel de remarquer que les chariots sont tous motorisés pour être autonomes, afin qu'un chariot individuel puisse se déplacer d'une machine à une autre et s'arrêter précisément devant une machine ou un magasin pour effectuer un chargement ou un déchargement de tranches semi- conductrices sans perturber le déplacement des autres chariots. Les chariots motorisés doivent alors être équipés chacun d'une électronique sophistiquée pour assurer le contrôle de leurs dépla- cements (en fonction des lots qu'ils transportent) et surtout le contrôle très précis de leur arrêt à l'endroit exact o ils peuvent coopérer avec une machine pour effectuer un transfert de tranches. Dans certains systèmes les chariots deviennent de véritables robots autonomes. Comme les chariots sont nombreux il en résulte un problème de fiabilité important: une panne sur un chariot risque de perturber considérablement l'ensemble du processus industriel puisque cette panne bloque non seulement le chariot considéré mais aussi les autres chariots qui se déplacent sur le même trajet. Outre ce problème de fiabilité, la Demanderesse estime que ces systèmes de manutention présentent un inconvénient beaucoup plus grave qui est la difficulté de conserver une atmosphère ambiante suffisamment propre autour des tranches lorsqu'elles sont transportées par un chariot muni d'un moteur électrique. Les moteurs comportent des parties frottantes (pour le prélèvement du courant) créant des poussières métalliques, ils produisent des étin- celles, et il sont dans l'ensemble source d'une pollution importante qu'on ne pourrait pratiquement éliminer suffisamment qu'en enfer- mant les tranches dans des boîtes étanches pendant leur transport. L'utilisation de boîtes étanches rendrait cependant très complexe l'introduction des tranches dans les machines de traitement. Sans boîte étanche, la pollution due principalement aux moteurs est trop grande même si on maintient les tranches sous un flux d'air dépoussiéré (la chaleur des moteurs perturbant d'ailleurs ce flux). L'ensemble de l'exposé qui précède montre bien les contraintes très fortes et très variées qui rendent difficile l'automatisation de la manutention de certains produits comme les tranches de circuits intégrés en cours de fabrication. Pour résoudre au mieux l'ensemble de ces problèmes, la présente invention propose une installation de manutention orga- nisée tout à fait diff éremment de celles qui ont été proposées jusqu'à maintenant. L'installation est une installation de manutention d'objets fragiles à conserver en ambiance à empoussièrement controlé, et elle est destinée à assurer: - le transport des objets entre des machines de traitement, l'introduction des objets dans les machines et leur extraction, - le stockage provisoire des objets entre deux traitements successifs. Cette installation comprend une série de chariots non moto- risés roulant sur des rails suivant un trajet en circuit fermé passant à proximité des machines, les chariots étant fixés de place en place à une bande de traction sans fin entrainée à vitesse constante par une poulie le long d'un trajet parallèle à celui des rails. La bande de traction, les rails, et la poulie sont placés au-dessous d'une source d'air dépoussiéré fournissant un flux d'air vertical de haut en bas; la poulie est entrainée par un moteur placé au-dessous d'elle et enfermé dans une enceinte. Chaque chariot comprend à sa partie supérieure un logement pour recevoir de manière amovible une cassette contenant les objets. Des outils de transfert automatique sont placés à proximité des rails pour prélever les cassettes sur les chariots ou les replacer sur des chariots vides; chaque outil de transfert comporte une tête de préhension capable de se mouvoir en translation parallèlement au mouvement des chariots, et un système électronique de contr8le du mouvement de la tête pour détecter la position d'un chariot, asservir le mouvement de la tête à celui du chariot, et effectuer un transfert d'une cassette du chariot à la tête ou réciproquement pendant le mouvement synchrone du chariot et de la tête. A chaque chariot est associé un moyen d'identification reconnaissable par un moyen de détection électronique placé en amont de la tête de préhension d'un outil de transfert et couplé électriquement à celui-ci; l'installation comprend enfin un proces- S seur de traitement d'informations coopérant avec les outils de transfert pour assurer le transfert d'une cassette par un outil de transfert au début et à la fin d'un traitement qui doit être effectué sur cette cassette et un stockage provisoire des cassettes sur les chariots en mouvement entre des traitements successifs. L'organisation qui est définie ci-dessus concerne un atelier de plusieurs machines placées autour d'un circuit fermé de rails de guidage, mais bien entendu une organisation industrielle plus complexe comprendra éventuellement plusieurs ateliers ayant chacun ce circuit fermé, avec des possibilités de transfert entre les 1_5 circuits correspondants: dans ce cas, des outils de transfert peuvent être prévus également pour effectuer un transfert d'une cassette non pas d'un chariot vers une machine mais de ce chariot vers un chariot d'un autre circuit. Etant donné qu'un aspect important de l'invention réside dans Pélimination des frottements qui sont cause de pollution, on prévoira des moyens pour que les chariots soient portés par des roues montées avec des roulements à bille autour d'axes (horizontaux) qui eux-même peuvent pivoter autour d'un axe vertical; ainsi les roues resteront en permanence parallèles aux rails même dans les parties non rectilignes du trajet suivi par ceux-ci. Enfin les chariots pourront être carénés d'une manière mini- misant les perturbations du flux d'air dans lequel ils sont placés. On notera qu'avec le système proposé il est possible de placer les rails directement au-dessous d'un plafond constituant une source uniforme de flux d'air dépoussiéré, ce qui ne serait évidemment pas possible avec un convoyeur du type tapis roulant o le flux d'air se heurterait simplement au tapis roulant créant des perturbations considérables de ce flux. Ici, les rails et les chariots carénés espacés les uns des autres créent une faible perturbation et peuvent être efficacement placés dans un flux d'air dépoussiéré, y compris dans un flux laminaire d'air dépoussiéré. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention appa- raitront à la lecture de la description détaillée qui suit et qui est faite en référence aux dessins annexés dans lesquels: - la figure I représente une vue de dessus schématique de l'installation selon l'invention, - la figure 2 représente une élévation de cette installation, - la figure 3 représente une vue en perspective d'un chariot et d'une tête de préhension, - les figures 4, 5 et 6 représentent, respectivement en coupe transversale, en coupe longitudinale, et en vue de dessus, un exemple de chariot adapté à l'installation selon l'invention, - les figures 7 et 8 représentent en vue latérale et vue de face le mode de fixation du chariot sur la bande. Etant donné que l'invention porte essentiellement sur l'archi- tecture générale de l'installation selon l'invention il n'est pas néces- saire de décrire tous les détails de réalisation mécanique qui peuvent être extrêmement variés et qui dépendent non seulement des objets transportés, mais aussi des machines de fabrication, des locaux dans lesquels la fabrication est effectuée etc. La figure I montre l'organisation d'un atelier dans lequel s'insère l'installation de manutention selon l'invention, appliquée au traitement de tranches semiconductrices. On a représenté symboliquement par des blocs rectangulaires quatre machines de traitement MI, M2, M3, M4 desservies par l'installation de manutention, vue de dessus. Cette installation comprend une ligne de transport tournant en boucle sans fin et des outils de transfert, ici cinq outils de transfert OTI, OT2, OT3, OT4, OTS, placés chacun à proximité de la ligne de transport et d'une machine de traitement respective, pour effectuer un transfert de pièces entre la ligne et la machine, le cinquième outil de transfert pouvant être placé par exemple entre la ligne et une autre ligne non représentée pour effectuer un transfert entre les deux lignes. La ligne de transport est une ligne de chariots tractés; les chariots sont des chariots roulants mais dépourvus de moteurs individuels. La ligne de chariots tractés comprend des rails de guidage 10 sur lesquels reposent des chariots roulants 12, et une bande 14 de traction des chariots; les chariots sont fixés de place en place sur la bande. Cette bande 14 est une bande sans fin entrainée à vitesse constante sur un trajet parallèle à celui des rails, par exemple entre deux rails parallèles. Des poulies 16 et 18 servent à l'entrainement, à la tension, et au guidage de la bande 14. L'une des poulies est entraînée par un moteur. Les chariots comportent chacun à leur partie supérieure un emplacement o l'on peut poser une cassette contenant un lot de tranches semiconductrices. La figure 2 représente un aspect de l'installation vue en élévation. Cette installation' est de préférence placée dans une salle "blanche", c'est-à-dire une salle à atmosphère très contrôlée; par exemple la salle comprend un plafond alvéolé 20 par lequel on souffle un flux d'air dépoussiéré et contrôlé en température, humi- dité et composition (de préférence en écoulement laminaire); le flux est vertical de haut en bas et l'écoulement de l'air est de préférence laminaire; la salle comprend un plancher alvéolé 22 par lequel on récupère cet air. Les rails de guidage peuvent être supportés de place en place à proximité du plafond par des crochets fixés au plafond. De cette manière les pièces à traiter circulent sous l'arrivée d'air dépous- siéré. Les poulies sont supportées à la même hauteur que les rails de guidage; elles peuvent être accrochées à partir du plafond ou du plancher. Sur la figure 2, on les a représentées comme étant montées sur des axes verticaux montés entre sol et plancher. Les axes sont logés dans des carénages de protection 24 et 26 et le moteur d'entraînement 28 avec son réducteur est également logé dans l'un des carénages et placé de préférence tout en bas. Sur la figure 2 une seule machine MI1 a été représentée pour ne pas charger la figure, avec un outil de transfert correspondant OTI. En ce qui concerne l'outil de transfert, sa construction dépend essentiellement des objets à transporter, des possibilités de récep- tion des objets à l'intérieur des machines de traitement, de la forme des cassettes qui contiennent les tranches semiconductrices et qui sont à prélever et à reposer sur les chariots. On ne va donc pas donner de détails d'exécution de ces outils, mais simplement les caractéristiques principales nécessaires à l'homme du métier pour la réalisation de ces outils, ainsi qu'une forme d'exécution simplifiée donnée simplement à titre d'exemple. L'outil de transfert est relativement simple en ce sens qu'il n'a pas besoin d'être un véritable robot manipulateur (un robot manipu- lateur nécessiterait des possibilités de déplacement selon six ou sept axes différents). L'outil comportera une tête de préhension capable de se mouvoir selon trois axes ou directions, l'une des directions étant une direction parallèle à la direction d'avance des chariots.La construction la plus simple est une construction du type "pont roulant" (trois directions de translation perpendiculaires les unes aux autres). Par exemple l'outil de transfert comportera une tête de préhension capable de se déplacer selon une premiere direction parallèle au trajet des chariots qui passent devant l'outil. Cette tête peut également se déplacer dans une deuxième direction, hori- zontale et perpendiculaire au trajet des chariots, et dans une troisième direction qui est verticale. La figure 3 représente en perspective un exemple de réali- sation de chariot avec une cassette de tranches et une tête de préhension. Ces trois éléments ont été écartés les uns des autres pour rendre le dessin plus compréhensible mais dans la réalité la cassette reposera soit sur le chariot soit sur la tête de préhension. Dans cet exemple, le chariot comporte un châssis 30, caréné pour faciliter l'écoulement d'air dépoussiéré de haut en bas; à la partie supérieure du châssis est prévu un évidement rectangulaire 32 tourné vers le haut, qui sert de logement pour la base rectangulaire 34 dunme cassette 36 portant un lot de tranches 38. Les tranches sont placées verticalement pour faciliter l'écou- lement de l'air, et l'évidement 32 est de préférence ouvert éga- lement vers le bas pour la même raison (la cassette 36 étant supposée également largement ouverte vers le bas entre les tranches). La cassette 36 est pourvue de moyens d'accrochage destinés à coopérer avec la tête de préhension pour permettre le prélèvement d'une cassette ou la repose d'une cassette dans le logement 32, ce prélèvement et cette repose s'effectuant sans interruption de la marche du chariot tiré par la bande 12. Dans l'exemple représenté, les moyens d'accrochage sont extrêmement simples: ce sont des trous horizontaux 40 et 42 de part et d'autre dans les bords latéraux de la cassette (bords latéraux perpendiculaires à la direction d'avance des chariots). La tête de préhension, désignée par la référence 44, comporte une pince à deux bras horizontaux 46 et 48 pourvus de tétons horizontaux 47 en saillie. Les bras peuvent passer chacun le long d'un bord latéral de la cassette puis se reserrer l'un vers l'autre de manière à insérer les tétons 47 dans les trous 40 et 42. Lors des mouvements de la tête de préhension les bras 46 et 48 restent horizontaux (en pratique ils sont situés dans un même plan hori- zontal) de sorte que la cassette garde une orientation fixe lorsqu'elle est prélevée ou déposée sur un chariot par la tête de préhension. Le mouvement d'écartement et de resserrement des bras 46 et 48 est indiqué par des flèches 49. Les quatre mouvements indépendants que peut accomplir la tête de préhension 44 sont indiqués par quatre flèches 50, 52, 54, 55. Ces mouvements ainsi que l'ouverture et la fermeture de la pince 46, 48 sont contrôlés par une électronique de commande faisant partie de l'outil de transfert, les différents outils de transfert recevant et transmettant par ailleurs des informations et des instructions à une unité de traitement globale pour l'atelier ou pour toute la chaine de production. Ces quatre mouvements sont de préférence une translation horizontale longitudinale 50, une translation horizontale tranversale 52, une translation verticale 54, et une rotation 55 de 0 à 90 dans un plan vertical. La tête de préhension 44 est pourvue d'un détecteur de position du chariot, coopérant avec des moyens de repérage placés sur le chariot (ou éventuellement sur la bande de traction); par exemple les moyens de repérage sont constitués par un motif de marques noires et blanches 56 tandis que le détecteur de position comprend plusieurs cellules photoélectriques et une optique de focalisation. Le prélèvement d'une cassette sur un chariot s'accomplit de la manière suivante: la tête de détection est initialement à une position et une hauteur permettant au moyen de détection de reconnattre les marques de repérage. L'électronique de commande de l'outil de transfert comporte un asservissement qui commande la mise en mouvement de la tête dans la direction longitudinale 50 (parallèle au trajet du chariot), pour atteindre la même vitesse que le chariot, de manière que le moyen de détection se centre et reste centré sur les marques de repérage; pendant le mouvement synchrone du chariot et de la tête, la tête est amenée dans la direction transversale 52 (horizontale et perpendiculaire au trajet du chariot) et les bras 46 et 48 de la pince sont refermés avec introduction des tétons 47 dans les trous 42 des bords latéraux de la cassette; le mouvement synchrone dans la direction longitudinale continue et un mouvement vertical vers le haut (flèche 54) est appliqué pour soulever la cassette qui peut se séparer du chariot; à partir de là les mouvements de la tête de préhension ne sont dictés que par l'endroit o on veut transporter la cassette; la rotation 55 dans le plan vertical permet notamment de déposer la cassette. 12 2580262 La repose d'une cassette sur un chariot s'effectue d'une manière tout à fait analogue c'est-à-dire en mettant la tête de préhension d'abord en mouvement longitudinal synchrone du mouve- ment du chariot; puis, pendant le mouvement longitudinal syn- chrone, un mouvement transversal est effectué vers le chariot suivi d'un mouvement vertical vers le bas; enfin un nouveau mouvement transversal est effectué pour retirer la fourche, après avoir ouvert la pince 46/48. Apres cela, le mouvement longitudinal synchrone peut être interrompu et la tête de préhension peut reprendre une position d'attente o une nouvelle détection de passage d'un chariot peut avoir lieu. On prévoira des marques d'identification des chariots (et éventuellement des cassettes) et un appareil de reconnaissance de ces marques d'identification (par exemple une tête de recon- naissance fixe placée à proximité immédiate du trajet des chariots, en amont de la tête de préhension). Les marques d'identification peuvent consister en un code à barres 58 sur le chariot et/ou 60 sur la cassette; l'appareil de reconnaissance 62 peut faire partie de l'outil de transfert ou être distinct mais dans ce cas il est relié électriquement à l'outil de transfert pour qu'un mouvement de la tête de préhension 44 en vue de la dépose ou du prélèvement d'une cassette ne s'effectue que si c'est un chariot bien déterminé qui a été reconnu en amont de la tête de préhension. On peut prévoir que l'information d'identification, fournie par l'appareil de recon- naissance est traitée par un microprocesseur de gestion de l'ensemble de l'atelier, qui donne à l'outil de transfert un ordre de prélèvement ou de repose de cassette à un moment correspondant au passage d'un chariot précisément désigné. L'électronique de commande de l'outil de transfert assure quant à elle tout le déroulement de l'opération de prélèvement ou de repose à partir du moment o l'ordre est reçu. La tête de reconnaissance des marques d'identification peut être une tête classique de lecture de codes à barres si les marques d'identification sont des codes à barres. Des marques d'identification intelligibles seront également prévues sur les chariots et sur les cassettes de façon à pouvoir assurer un dépannage manuel sans perturbation: les chariots auront des numéros consécutifs permettant de les repérer rapidement pour prélever ou poser une cassette après avoir éventuellement interrogé le microprocesseur de gestion pour savoir sur quel chariot il y a lieu de prélever ou poser une cassette ayant un numéro déterminé. Les figures 4, 5 et 6 montrent de manière simplifiée, respec- tivement en coupe transversale, en coupe longitudinale, et en vue de dessus un exemple de constitution de chariot roulant adapté à l'installation selon l'invention. Les figures 7 et 8 en montrent des détails. La bande 12 à laquelle sont fixés les chariots pour être tractés est de préférence une bande d'acier inoxydable (feuillard d'acier). Les rails de guidage 10 peuvent être à section rectangulaire ou ronde, cette dernière forme réduisant les frottements. Les roues 64 du chariot présentent des gorges facilitant le guidage latéral du chariot. Ces roues sont montées avec des roulements à billes sur des essieux, respectivement un essieu avant 66 et un essieu arrière 68. Les essieux sont eux-même rigidement fixés à la bande 12 sensiblement au centre des essieux; de cette manière l'essieu reste en permanence perpendiculaire au plan (vertical) de la bande, y compris lorsque la bande tourne (autour des poulies). Mais le chariot est porté par les essieux par l'intermédiaire de roulements à bille 70 et 72, d'axes verticaux, qui autorisent une rotation libre et sans frottement de l'essieu par rapport au chariot dans un plan horizontal. Ces essieux pivotants aident considé- rablement à la réduction des frottements dans les courbures des rails de guidage. Enfin, pour éviter des tensions entre le chariot et la bande dans les parties courbes des rails de guidage, on peut prévoir que c'est seulement à l'avant du chariot que l'essieu est fixé rigidement à la bande; dans ce cas on prévoit que l'essieu arrière est fixé à la bande avec un degré de liberté longitudinal de quelques dixièmes de millimètres; on peut aussi fixer rapidement l'essieu arrière à la bande; dans ce cas on laisseraentre le chariot et l'essieu arrière un degré de liberté longitudinal de la même amplitude par glissement ou flexion. REVENDICATIONS 1. Installation de manutention d'objets fragiles à conserver en ambiance dépoussiérée, destinée à assurer le transport des objets entre des machines de traitement (MI à M4), l'introduction des objets dans les machines et leur extraction, et le stockage provisoire des objets entre deux traitements successifs, cette installation étant caractérisée par les dispositions suivantes: - elle comprend une série de chariots (12) non motorisés roulant sur des rails (10) suivant un trajet en circuit fermé passant à proximité des machines (MI à M4), les chariots étant fixés de place en place à une bande de traction sans fin (14) entraînée à vitesse constante par une poulie (16) le long d'un trajet parallèle à celui des rails; - la bande de traction, les rails et la poulie sont placés au- dessous d'une source d'air dépoussiéré fournissant un flux d'air vertical de haut en bas, la poulie étant entraînée par un moteur placé au-dessous d'elle; - chaque chariot (12) comprend à sa partie supérieure un logement pour recevoir de manière amovible une cassette (36) contenant les objets; - des outils de transfert automatique (OTI à OT5) sont placés à proximité des rails pour prélever les cassettes sur les chariots ou les replacer sur des chariots vides; chaque outil de transfert comporte une tête de préhension (44) capable de se mouvoir en translation parallèlement au mouvement des chariots, et un système électronique de contrôle du mouvement de la tête, apte à détecter la position d'un chariot et à asservir le mouvement de la tête sur celui du chariot, et effectuer un transfert d'une cassette du chariot à la tête ou réciproquement pendant un mouvement synchrone du chariot et de la tête; - à chaque chariot est associé un moyen d'identification reconnaissable par un moyen de détection électronique placé en amont de la tête de préhension d'un outil de transfert, et couplé électriquement à celui-ci, l'installation comportant encore un processeur de traitement d'informations coopérant avec les outils de transfert pour assurer le transfert d'une cassette par un outil de transfert au début et à la fin d'un traitement qui doit être effectué sur cette cassette et un stockage provisoire des cassettes sur les chariots en mouvement entre des traitements successifs. 2. Installation de manutention d'objets fragile à conserver en ambiance dépoussiérée selon la revendication 1, caractérisée en ce que la tête de préhension des outils de transfert comporte trois degrés de liberté de mouvement, permettant des déplacements en translation selon trois directions perpendiculaires les unes aux autres, l'une étant parallèle au trajet des chariots à proximité immédiate de l'outil de transfert considéré. 3. Installation selon la revendication 2, caratérisée en ce que la tête de préhension comporte un degré de liberté supplémentaire pour pouvoir se mouvoir en rotation dans un plan vertical. 4. Installation de manutention d'objets fragiles à conserver en ambiance dépoussiérée selon la revendication 1, caractérisée en ce que les chariots comportent des roues montées avec des roulements à bille sur des essieux fixés à la bande de traction, chaque essieu étant lui-même fixé à un axe vertical et le chariot étant porté par un roulement à bille permettant la rotation libre, par rapport à cet axe vertical, de l'essieu par rapport au chariot.