Brevet FR2583889A1 — publié le 19861226

La présente invention concerne le domaine des modula- teurs de phase de fronts d'onde et plus particulièrement un modulateur de phase de fronts d'onde dans lequel la surface du miroir est déformee par une pluralité d'actionneurs déformables électriquementtactionnables indépendamment. L'utilisation de modulateurs de phase de fronts d'onde pour corriger des distorsions de phase pour des fronts d'ondes optiques est connue dans l'art antérieur. On se référera par exemple au brevet des Etats-Unis d'Amérique N 3 904 274 d4livre le 9 septembre 1975, au brevet des Etats-Unis d'Amérique N 4 257 686 délivré le 24 mars 1981 et au brevet des Etats-Unis d'Amérique N 4 280 756 delivré le 28 juillet 1981. Chacun des brevets précedents a ete céde à la Demanderesse et leur contenu sera considére ici comme connu. Il est connu dans la technique que la correction de fronts d'ondes optiques distordus requiert la possibilité de commander avec précision la déformation de très petites zones incrémentielles de surface d'un miroir déformable. Une telle commande peut etre mieux réalisée par utilisation d'actionneurs individuels qui peuvent etre adressés et actionnés sélectivement indépendamment des actionneurs voisins pour per- mettre une déformation précise de petites zones de la surface du miroir. La demande de brevet américain susmentionnée N 3 904 274 décrit un procédé pour fabriquer des actionneurs multiples à par- tir d'un milieu piezoélectrique monolithique en coupant un bloc monolithique unique en éléments d'actionneurs à action indivi- duelle. Cependant, comme cela est note dans le brevet susmentionne N 4 257 686, l'utilisation de modulateurs de phase piezoélec- triques nécessite l'application de tensions de commande plus élevées que celles requises par des actionneurs piézoélectriques multicouches dans lesquels des couches d'électrodes sont inter- posées entre des couches de matériau piézoélectrique. En outre, il est connu que la correction des distorsions de phase dans un modu- lateur de phase de front d'onde ayant une grande surface de miroir peut nécessiter l'utilisation d'un plus grand nombre d'actionneurs que cela ne peut être fabriqué économiquement et avec précision a partir d'un bloc unique de matériau piézoélectrique. Alors que la tension de commande relativement faible requise pour actionner des actionneurs piézoelectriques multi- couches rend leur utilisation avantageuse pour commander la déformation sélective d'une surface de miroir, l'exigence selon laquelle ils doivent etre disposés près les uns des autres pour permettre la déformation de petites zones incrémentielles de la surface du miroir est un inconvénient en ce que les actionneurs individuels doivent etre de petite dimension. De petits action- neurs multicouches sont relativement fragiles et doivent être traités avec précaution pendant le montage d'un miroir deformable. Un autre problème associe a l'utilisation d'actionneurs piézoélectriques multicouches est que les couches alternées d'électrodes qui sont interposées entre les couches de matériau piezoelectrique doivent etre accessibles de sorte qu'elles puissent etre connectées a des sources de tension de polarité opposée pour faire fonctionner les actionneurs. Un autre problème résultant de l'utilisation de nombreux actionneurs piézoélectriques multicouches très proches les uns des autres réside dans le fait que chaque actionneur doit pouvoir etre adressable électriquement individuellement pour permettre le fonc- tionnement selectif de chaque actionneur. En raison du grand nombre d'actionneurs requis pour un grand miroir deformable avec un faible ecart entre actionneursle nombre de conducteurs électriques qui doivent etre connectés aux actionneurs du miroir devient notable et la possibilité d'un défaut de connexion électrique augmente. Un autre problème réside dans le fait que le coût et le temps nécessaire pour assembler un modulateur de phase de front d'onde comprenant de nombreux actionneurs multicouches étroitement espaces augmentent de façon notable quand chacun des actionneurs individuels doit être lié physiquement a la surface du miroir et ensuite électriquement connecte à un ensemble électronique de commande. En conséquence, un objet de la présente invention est de prévoir un modulateur de phase de front d'onde dans lequel les actionneurs utilis4s pour déformer la surface du miroir sont des actionneurs multicouches très proches les uns des autres construits a partir d'un matériau déformable électriquement qui présente une modification dimensionnelle quand une tension électrique lui est appliquée. Un autre objet de la présente invention est de prévoir un modulateur de phase de front d'onde dans lequel les connexions électriques entre les circuits électroniques pour les actionneurs du miroir et les actionneurs peuvent etre réalisées facilement apres que le montage du miroir a eté achevé. Un autre objet est de prévoir un modulateur de phase de front d'onde dans lequel les actionneurs utilises pour déformer la surface du miroir peuvent etre positionnés avec precision sur le support du miroir sans maniement manuel des actionneurs indivi- duels. Un autre objet associe de la présente invention est de prEvoir un procEde de fabrication d'un modulateur de phase de front d'onde comprenant un grand nombre d'actionneurs étroitement espacés pour commander la surface du miroir. Ces objets et avantages ainsi que d'autres sont atteints en fabriquant les actionneurs à partir de grands blocs de materiau dlectrodeformable qui sont constitues de couches de matériau elec- trodeformable interposées entre des couches de matériau conduc- teur. Les blocs de matériau electrodEformable comprennent des conducteurs qui passent par les couches de matériau-Elec- trodeformable et qui contactent de façon sélective des couches alternées de matériau conducteur. Certains alternes des conduc- teurs sont accessibles en haut et en bas des blocs de matériau électrodeformable pour permettre à des connexions électriques d'être effectuées vers des couches alternées de matériau conduc- teur 1 partir du haut et du bas des blocs. Les conducteurs sont disposes de sorte qu'une paire de conducteurs est disponible par le haut et le bas du bloc électrod4formable à chaque emplacement sur le bloc auquel un actionneur doit etre dispose. Un ou plu- sieurs des blocs de matériau 4lectrod4formable sont mécaniquement lies à un support de matériau électriquement isolant. Le support comprend des moyens pour interconnecter les conducteurs dans les blocs avec les circuits électroniques utilisés pour commander les actionneurs. Apres que les blocs ont 4te lies au support, ils sont decoupés avec une scie pour produire une pluralité d'actionneurs individuels. Apres découpe des blocs d'actionneurs, une plaque avant contenant une surface de miroir reflectrice sur un côté et une pluralite de boutons poussoir de l'autre côtE pour entrer en contact avec les actionneurs individuels est fixée aux action- neurs. Dans un mode de réalisation préfére, la plaque avant comprend un plan conducteur qui contacte l'ensemble de conducteurs accessibles par le haut de chacun des actionneurs pour permettre d'effectuer une connexion électrique vers les actionneurs par l'intermédiaire de la plaque avant. Dans un procede associe de fabrication de modulateur de phase de front d'onde comprenant un grand nombre d'actionneurs, un ou plusieurs blocs multicouches de matériau electrodéformable sont fixes à un support et sont ensuite découpes en actionneurs discrets. Le procéde elimine le besoin de manipuler les action- neurs individuels, ce qui reduit le risque d'endommagement, de contamination ou de défaut d'alignement des actionneurs pendant le processus de montage. La connexion des conducteurs électriques aux actionneurs individuels est facilitée en permettant aux connexions d' etre effectuées vers les blocs de matériau électrodfonmable avant qu'ils soient découpés en actionneurs individuels. Ces objets et avantages ainsi que d'autres de la présente invention apparattront plus clairement a la lecture de la description detaillee suivante d'un mode de réalisation preférE faite en relation avec les dessins joints su -lesquels: la figure 1 est une vue en perspective d'une partie d'un modulateur de phase de front d'onde constitue selon les enseigne- ments de la présente invention; la figure 2 est une vue de côté en coupe d'un action- neur qui peut #tre utilise dans un miroir d4formable constitué selon les enseignements de la présente invention; la figure 3 est une vue de côte en coupe d'une partie d'un miroir d4formabl- représentant un elément support qui peut etre constitué selon les enseignements de la présente invention et la figure 4 est une vue de cOté partielle d'un autre mode de réalisation d'un support qui peut Etre utilise pour mettre en oeuvre les enseignements de la présente invention. Sur les dessins, la figure 1 représente schematique- ment un modulateur de phase de front d'onde constitue selon les enseignements de la présente invention. Le modulateur comprend un support 10 qui est représenté de façon a soutenir deux blocs de matériau electrodeformable, 12 et 14. Les blocs 12 et 14 peuvent etre constitues de tout matériau qui presente un allongement quand un signal électrique lui est applique, par exemple du niobate de magnesium et de plomb (PMN), du zirconate titanate de plomb, du zirconate titanate de plomb et de lanthane (PLZT) ou du titanate de baryum. Les blocs 12 et 14 sont fixes a la base 10 par une couche adhésive conductrice 16, par exemple une résine epoxy adhésive conductrice. La figure 2 montre mieux que les blocs 12 et 14 sont constitues de couches 18 de matériau electrodeformable, des couches électriquement conductrices 20 Etant interposées entre des couches adjacentes 18. Les couches conductrices 20 comportent des motifs d'ouvertures espacées, telles que les ouvertures 22 des couches conductrices 20a et les ouvertures 24 des couches con- ductrices 20b. Pendant la fabrication des blocs (le bloc 12 par exemple), les couches conductrices 20 sont disposées de sorte que les ouvertures 22 dans des couches alternées 20a se recouvrent mutuellement mais ne recouvrent pas les ouvertures 24 dans les couches adjacentes 20b. De meme, les ouvertures 24 dans des couches alternées 20b se recouvrent mutuellement mais ne recouvrent pas les ouvertures 22 dans les couches adjacentes 20a. La figure 2 montre que, par suite de l'agencement susnot4 des ouvertures 22 et 24 dans les couches conductrices 20, il est possible de connecter 4lectriquement des couches conductrices alternées, telles que les couches 20b, en creusant des ouvertures dans le bloc 12 normalement au plan des couches conductrices 20 de sorte qu'elles passent à travers les ouvertures 22 et ne rentrent pas en contact avec les couches conductrices 20a mais avec chacune des couches conductrices 20b. De meme, il est également possible de connecter électriquement les couches conductrices 20a en creusant une ouverture de sorte qu'elle passe par chacune des couches conductrices 20a mniais qu'elle passe à travers les cuvertureS 24 dans les couches conductrices 20b. La figure 2 représente un agencement de connexion de couches conductrices alternées 20 les unes aux autres. Par exemple, avant de fixer le bloc 12 au support 10, une pluralité d'ouvertures 26 et 28 sont creusées dans les cOtés opposes du bloc 12 en alignement respectif avec les ouvertures 22 et 24 dans les couches conductrices 20a et 20b. Des tiges électriquement con- ductrices 30 et 32, par exemple en Kovar, platine, argent ou autres conducteurs électriques, sont placées respectivement dans les ouvertures 26 et 28 pour entrer respectivement en contact avec les couches conductrices 20b et 20a. Les tiges 30 et 32 peuvent etre revetues d'une pate époxy conductrice pour s'assurer qu'elles sont maintenues dans le bloc 12 et établissent un contact électrique avec les couches conductrices appropriées 20. La tige 32 et les autres tiges placees dans les ouvertures 28 du cOtg supérieur du bloc 12 sont accessibles pour des connexions électriques effectuées à partir du haut du bloc 12; la tige 30 et les autres tiges placées dans les ouvertures 26 dans le bas du bloc sont accessibles pour des connexions électriques effectuées à partir du bas du bloc 12. Alors que l'utilisation de tiges a eté décrite pour relier des couches conductrices alternées les unes aux autres, on notera que d'autres procEdEs peuvent etre utilisés. Par exemple, une pâte ou une boue conductrice pourrait être versge dans les ouvertures 26 et 28, une quantité résiduelle de la pâte ou de la boue demeurant autour du sommet et du bas de chaque ouverture. Après durcissement, la pâte ou la boue interconnec- terait électriquement des couches conductrices 20 alternées et permettrait à l'actionneur d'être connecté à un appareil électronique externe par l'intermédiaire de la pâte ou de la boue restant autour de la partie de chaque ouverture accessible à par- tir du haut ou du bas du bloc. La figure 3 représente un mode de réalisation par- ticulier d'une partie d'un support 10 qui peut être utilise pour supporter les blocs 12 et 14 et etablir un contact éle'trique avec les tiges 30. Le support 10 est fabrique à partir d'un matériau isolant, par exemple du verre ou de la céramique, une pluralité d'élements conducteurs 34 passant à travers le matériau isolant pour fournir un accès électriquement conducteur vers les tiges 30 par l'intermédiaire de la couche conductrice 16. La figure 3 montre que l'accès électriquement conducteur peut être assure par des conducteurs 34 qui peuvent, par exemple#etre des tiges de Kovar qui passent à travers le support 10 pour établir un contact avec la couche conductrice 16 et qui sont accessibles du cOté inférieur du bloc 10 pour permettre à des connexions électriques d'etre effectuées vers un équipement électronique (non représenté) pour faire fonctionner les actionneurs. La figure 4 représente un second exemple d'un mode de réalisation particulier pour effectuer des connexions Electriques entre l'actionneur 12 et le cOté inferieur du support 10. Des tiges 35, qui sont constituées d'un verre conducteur, par exemple un verre au dioxide d'uranium, sont sélectivement placees dans un support 10 de matériau isolant, par exemple un verre au silicate de plomb. Les tiges de verre conducteur 35 forment des trajets conducteurs entre la couche conductrice 16 au-dessus du support 10 et le côte inférieur du support 10 et permettent la connexion de l'équipement électronique aux actionneurs 12. Après l'insertion des tiges 30 et 32, un ou plusieurs des blocs de matériau electrodeformable sont fixes au support 10. Le nombre de blocs utilisés pour fabrinuer un modulateur de phase de front d'onde constitué selon les enseignements de la prisente invention est détermine par la dimension de la surface du miroir qui doit etre supportée parles actionneurs et la dimension des blocs électrodéformables qui est la plus facile et la plus sOre à fabriquer. Les blocs 12 et 14 sont moul4s et/ou usinas de sorte que, quand ils sont prêts au montage, la hauteur de chaque bloc est identique de sorte que les blocs peuvent s'appuyer les uns contre les autres, comme cela est represente en figure 1, sans variation de hauteur des blocs au-dessus du support 10. Les blocs 12 et 14 sont disposes au-dessus du support 10,de sorte que les tiges 30 en bas des blocs 12 et 14 sont en alignement approximatif avec leurs conducteurs associes 34. Toutefois, il faut noter qu'un alignement absolu entre les tiges 30 et les conducteurs 34 n'est pas nécessaire en raison de l'utilisation du matériau conducteur 16 pour fixer les blocs 12 au support 10. Apres que les blocs 12 et 14 ont eté fermement fixes au support 10, les blocs 12 et 14 peuvent etre découpés en action- neurs individuels 36 par utilisation d'une scie de découpe. La scie est utilisée pour effectuer des découpes parallèles 38 A tra- vers les blocs 12 et 14. (Dans des buts de simplicite de représentation, seul le bloc 12 est représenté avec des découpes). Les découpes 38 passent complètement à travers le bloc 12 et à travers la couche conductrice 16,de sorte que chaque segment de la couche conductrice 16 se trouvant en dessous de l'actionneur 36 est électriquement isole des segments adjacents de la couche con- ductrice 16. De meme, des découpes sont également effectuées dans des plans perpendiculaires aux découpes 38,de sorte que le bloc 12 est decoupe en actionneurs individuels 36 dont chacun est fixE au support 10 par une couche conductrice 16 et qu'aucun d'eux n'est en contact électrique avec un actionneur adjacent. De preference, la largeur des decoupes 38 est typiquement de 1 mnm pour claque découpe. Apres que le materiau résiduel a etE nettoyé des decoupes 38 par toute technique bien connue, par exemple par net- toyage avec un solvant ou par utilisation d'un soufflage a l'air, une plaque avant 40 peut etre montée sur les surfaces supérieures des actionneurs 36. De préférence, la plaque avant comprend une pluralité de boutons-poussoirs 42,chacun étant fixé au-dessous de la plaque avant ou formé solidairement avec la plaque avant 40. La plaque avant 40 comprend une première surface plane 44 sur laquelle une surface de miroir peut etre formée. La plaque avant est fixée aux actionneurs 36 par utilisation d'une couche de liaison conductrice 46 qui peut par exemple etre de la résine époxy ou une soudure conductrice. La plaque avant 40 est fabriquée à partir d'un matériau conducteur tel par exemple que du silicium ou du molybdène. La plaque avant 40 peut également être constituée d'un matériau isolant, par exemple du verre, une couche con- ductrice étant déposée sur sa face inférieure et sur les boutons- poussoirs 42.Chaque bouton poussoir 42 est aligné avec le haut d'un actionneur 36,de sorte que des forces d'électrodeformation generees dans les actionneurs, quand ils sont allongéssont transmises à la plaque avant 40 par l'intermédiaire des boutons- poussoirs 42.Si la plaque avant est constituée d'un matériau con- ducteur ou qu'elle contient un revêtement conducteur sur sa face inférieure, le contact électrique peut etre assuré par l'intermé- diaire de la plaque avant 40 avec chacun des conducteurs 32 au moyen d'une connexion électrique unique 48, en notant que la con- nexion électrique entre chaque bouton poussoir 42 et les conduc- teurs 32 se fait par l'intermédiaire de la couche de liaison conductrice 46. Si la plaque avant n'est pas constituée d'un matériau conducteur ou bien qu'elle ne contient pas de revêtement conducteur, alors les connexions vers les conducteurs 32 sur les dessus des actionneurs 36 peuvent etre effectuées par tout procèdé classique, par exemple par des fils de liaison ou un plan conduc- teur mince flexible vers les hauts des actionneurs 36. Une déformation sélective d'une ou plusieurs zones de la surface du miroir 44 ou de la plaque avant 40 est réalisée en appliquant sélectivement une tension entre la connexion électrique 48 et un ou plusieurs des conducteurs 30 pour amener un ou plu- sieurs des actionneurs 36 à s'allonger. Les actionneurs allonges exercent une pression sur le support 10 et la plaque avant 40 par l'intermédiaire des boutons-poussoirs 42. L'épaisseur du support 10 est choisie de sorte que les forces produites par les actionneurs 36, quand ils sont allonges, ne provoquent pas de distorsion du support 10. Une commande precise de la distorsion impartie à la plaque avant est possible par suite du faible espacement entre chacun des actionneurs 36 et du grand nombre d'actionneurs 36 qui peuvent etre positionnes en dessous de la plaque avant 40. On a décrit ici un nouveau modulateur de phase de front d'onde et un procéde de fabrication d'un modulateur de phase de front d'onde comprenant un grand nombre d'actionneurs très proches les uns des autres qui peuventêtre facilement assemblés avec une quantité minimale de manipulation des actionneurs individuels. Alors qu'un mode de réalisation particulier de la présente inven- tion a gtg décrit en détail ici, on notera que diverses autres variantes et modifications apparaîtront d'elles-meme a l'homme de l'art dans le domaine des enseignements de la présente invention. Par exemple, alors que deux blocs rectangulaires de matériau électrodeformable ont ete représentés, le nombre de blocs utilises, leurs dimensions et leurs formes sont dictes par la dimension et la forme de la surface du miroir et la facilite et la commodité de fabrication des blocs de matériau électrodéformable. De meme, alors que des découpes perpendiculaires les unes aux autres ont ete indiquées d'o il resulte des actionneurs carrés ou rectangulaires, la forme en coupe de chaque actionneur n'est pas nécessairement limitée de cette façon et des actionneurs de sec- tion triangulaire, hexagonale ou autre peuvent être fabriqués en Util]- sant le procédé décrit ici. Il va de soi que d'autres composants, dimensions, materiaux et configurations peuvent Etre choisis a la place de ceux decrits dans le mode de réalisation particulier pour mettre en oeuvre la présente invention. Il REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'un modulateur de phase de front d'onde comprenant une pluralité d'actionneurs excites électri- quement constitués de couches de mat4riau electrodeformable séparées les unes des autres par des couches conductrices, ce procéde etant caractérise en ce qu'il comprend les étapes suivan- tes: a.utiliser un support (10) fabrique à partir d'un matériau électriquement isolant, ce support comprenant une pluralité de moyens de connexions électriques individuels (34) traversant ce support à partir d'une première surface supérieure du support vers une seconde surface inférieure du support; b. fabriquer des blocs (12, 14) d'actionneurs a partir desquels une pluralité d'actionneurs individuels (36) peuvent etre découpes, chacun de ces blocs d'actionneurs etant constitué de deux ou plusieurs couches (18) de matériau electrodeformable sEparees par des couches (20) de materiau électriquement conduc- teur disposées entre elles, chacun des blocs d'actionneurs compre- nant en outre des premiers moyens connecteurs (28) accessibles à partir du haut du blo'c pour former des connexions électriques avec un premier ensemble de couches (20a) du matériau électriquement conducteur et des seconds moyens connecteurs (30) accessibles a partir du bas du bloc pour former des connexions électriques avec un second ensemble de couches (20b) du matériau électriquement conducteur, ces blocs d'actionneurs comprenant plusieurs premiers moyens connecteurs et plusieurs seconds moyens connecteurs en nombre egal au nombre d'actionneurs a fabriquer à partir du bloc, l'un des premiers moyens connecteurs et l'un des seconds moyens connecteurs etant positionnEs dans le bloc à l'intérieur de chacun des emplacements du bloc à partir duquel un actionneur sera découpe; c. fixer un ou plusieurs des blocs d'actionneurs au sup- port en utilisant un moyen de liaison (16) électriquement conduc- teur qui maintient le bloc au support et réalise également un trajet électrique entre chacun des moyens de connexion électriques (34) dans le support et chacun des seconds moyens con- necteurs (30) dans les blocs d'actionneurs; d. découper les blocs d'actionneurs en actionneurs indi- viduels (36) en utilisant un moyen de découpe qui passe à travers les blocs d'actionneurs dans une direction perpendiculaire au sup- port, ce moyen de découpe traversant les blocs d'actionneurs et le moyen de liaison (16) reliant les blocs d'actionneurs au support; e. fabriquer une plaque avant (40) à partir d'un materiau électriquement conducteur, cette plaque avant ayant une surface de miroir (44) sur l'un de ses côtés et une pluralité de boutons-pOUSSoirs(42) électriquement conducteurs sur le côté de cette plaque avant opposé au côte du miroir, ces boutonspoussoirs étant localises sur la plaque avant à des emplacements alignés avec les actionneurs quand la plaque avant est placée sur les actionneurs; et f. fixer la plaque avant aux actionneurs de sorte que chacun des boutons-poussoirs est en contact electrique avec un actionneur correspondant de sorte que chacun des seconds ensembles de couches electriquement conductrices dans chacun des actionneurs est électriquement connecte par le second moyen connecteur (28) de l'actionneur à la plaque avant par l'intermédiaire des boutons- poussoirs. 2. Procède selon la revendication 1, caracterisE en ce que le moyen de liaison électriquement conducteur (16) utilise pour fixer les blocs d'actionneurs au support est une résine epoxy électriquement conductrice. 3. ProcedE selon la revendication 1, caracterisE en ce que les actionneurs sont découpés selon des directions qui sont perpendiculaires l'une à l'autre et perpendiculaires au support. 4. Modulateur de phase de front d'onde,caracterise en ce qu'il comprend: a. un support (10) fabrique à partir d'un matériau électriquement isolant, ce support comprenant une pluralité de connexions électriques (34) le traversant d'une première surface supérieure vers une seconde surface inférieure, chacune des connexions électriques étant positionnée dans le sup- port de sorte que chaque connexion électrique sur la première sur- face supérieure du support est situ4e à l'emplacement meme sur le support auquel un actionneur sera dispos; b. une pluralité d'actionneurs (36) fabriques à partir d'au moins deux couches (18) de matériau 4lectrodeformable qui subit des changements de dimensions en réponse à l'application d'un signal électrique, les actionneurs ayant une surface supérieure et une surface inférieure et comprenant en outre des couches électriquement conductrices (20) entre chacune des couches de matériau électrod4formable; c. des premiers moyens connecteurs (28) à l'intérieur de chacun des actionneurs (36) qui sont accesssibles à partir des surfaces supérieures des actionneurs pour connecter électriquement un premier ensemble (20a) de couches conductrices alternées les unes aux autres, et des seconds moyens connecteurs (26) à l'intérieur de chacun des actionneurs qui sont accessibles à partir des sur- faces inférieures des actionneurs pour connecter électriquement un second ensemble (20b) de couches conductrises alternées les unes aux autres; d. un moyen de liaison électriquement conducteur (16) entre les actionneurs et le support (10) pour fixer électriquement et mécaniquement les actionneurs au support, aucun actionneur sur le support n'étant en conctact électrique avec un autre actionneur par l'intermédiaire du moyen de liaison électriquement conducteur, le moyen de liaison électriquement conducteur connectant électri- quement chacun des seconds moyens connecteurs dans les actionneurs à l'une correspondante des connexions électriques dans le support; e. une plaque avant flexible (40) dont une face présente une surface de miroir (44), cette plaque avant recouvrant et étant en contact avec les actionneurs (36) pour permettre à la surface de miroir sur la plaque avant d'être déformee par le changement dimensionnel sélectif de certains choisis des actionneurs quand des signaux électriques sont appliques aux actionneurs, cette pla- que avant comprenant également des moyens pour connecter électriquement les premiers moyens connecteurs dans chacun des actionneurs à une source commune de tension électrique; d'o il résulte que des signaux électriques peuvent etre sélectivement appliques aux actionneurs par application de signaux Électriques entre les moyens de connexion électriques sur la pla- que avant et une ou plusieurs des connexions 4lectriques dans le support pour déformer sélectivement la surface de miroir de la plaque avant. 5. Modulateur de phase de front d'onde selon la reven- dication 4, caractérise en ce que la plaque avant (40) comrend en outre des boutons-poussoirs (42) solidaires de cette plaque avant et recouvrant chacun des actionneurs. 6. Modulateur de phase de front d'onde selon la reven- dication 4, caractqrisè en ce que la plaque avant est en contact avec les actionneurs par l'intermédiaire d'une colle epoxy élec- triquement conductrice (46). 7. Modulateur de phase de front d'ondecaracteris6 en ce qu'il comprend: a. un support (10) fabrique à partir d'un matériau électriquement isolant, ce support comprenant une pluralité de connexions électriques (34) le traversant d'une première surface supérieure vers une seconde surface inférieure, chacune des connexions électriques étant positionnee dans le sup- port de sorte que chaque connexion électrique sur la première sur- face supérieure du support est située 3 l'emplacement m#me sur le support auquel un actionneur sera disposé; b. un ou plusieurs blocs (12, 14) de matériau electri- quement deformable fixes au support par une liaison Electriquement conductrice (16), ces blocs de matériau électriquement deformable étant constitues de couches de matériau électrodéformable (18) qui subissent un allongement quand une tension électrique leur est appliquée et des couches électriquement conductrices interposées entre les couches de matériau électrodéformable; c. des premiers moyens connecteurs électriques (28) dans les blocs de matériau 4lectrod4formable pour connecter electri- quement ensemble un premier ensemble (20a) de couches électriocue- ment conductrices alternées, les premiers moyens connecteurs électriques etant accessibles à partir du haut des blocs de matériau llectrodeformable pour effectuer des connexions elec- triques avec ceux-ci; d. des seconds moyens connecteurs électriques (26) dans les blocs de matériau 4lectrodeformable pour connecter électrique- ment un second ensemble de couches électriquement conductrices alter- nées, ces seconds moyens connecteurs électriques etant acces- sibles à partir du bas des blocs de matériau électrod4formable pour effectuer des connexions électriques; e. des découpes (38) passant à travers les blocs de matériau électrodeformable pour produire une pluralité d'actionneurs individuels (36) à partir de ces blocs de matériau electrodeformable, ces découpes isolant les actionneurs adjacents à la fois électriquement et mécaniquement les uns des autres mais non pas du support; f. une plaque avant flexible (40) dont une face présente une surface de miroir (44), cette plaque avant recouvrant et étant en contact avec les actionneurs (36) pour permettre à la surface de miroir sur la plaque avant d'etre déformée par le changement dimensionnel sélectif de certains choisis des actionneurs quand des signaux électriques sont appliques aux actionneurs, cette pla- que avant comprenant également des moyens pour connecter électriquement les premiers moyens connecteurs électriques à par- tir du haut de chacun des actionneurs à une source de tension électrique; d'o il résulte que des signaux électriques peuvent être sélectivement appliques aux actionneurs par application de signaux électriques entre les moyens de connexion électriques sur la pla- que avant et une ou plusieurs des connexions électriques dans le support pour déformer selectivement la surface de miroir de la plaque avant. - 8. Procèdé de fabrication d'un modulateur de phase de front d'onde comprenant une pluralité d'actionneurs excites élec- triquement constitués de couches de matériau électrodéformable séparees les unes des autres par des couches conductrices, ce procédé étant caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivan- tes: a. utiliser un support (10) fabriqué à partir d'un matériau électriquement isolant, ce support comprenant une pluralité de moyens de connexion électriques individuels (34) dans le support, ces moyens de connexion électriques traversant ce support à partir d'une première surface supérieure du support vers une seconde surface inférieure du support; b. fabriquer des blocs (12, 14) d'actionneurs à partir desquels une pluralité d'actionneurs individuels (36) peuvent Ctre découpés, chacun de ces blocs d'actionneurs etant constitue de deux ou plusieurs couches (18) de matériau électrodeformable séparées par des couches (20) de matériau électriquement conduc- teur disposées entre elles, chacun des blocs d'actionneurs compre- nant en outre des premiers moyens connecteurs (28) accessibles à partir du haut du bloc pour former des connexions électriques avec un premier ensemble de couches (20a) du matériau électriquement conducteur et des seconds moyens connecteurs (30) accessibles a partir du bas du bloc pour former des connexions électriques avec un second ensemble de couches (20b) du matériau électriquement conducteur, ces blocs d'actionneurs comprenant plusieurs premiers moyens connecteurs et plusieurs seconds moyens connecteurs en nombre égal au nombre d'actionneurs à fabriquer à partir du bloc, l'un des premiers moyens connecteurs et l'un des seconds moyens connecteurs étant positionnes dans le bloc-a l'intérieur de chacun des emplacements du bloc a partir duquel un actionneur sera découpé; c. fixer un ou plusieurs des blocs d'actionneurs au sup- port en contact Electrique avec celui-ci de sorte qu'un trajet électrique est formé entre chacun des moyens de connexion électriques (34) dans le support et chacun des seconds moyens con- necteurs (26) dans les blocs d'actionneurs; d. découper les blocs d'actionneurs en actionneurs indi- viduels (36) en utilisant un moyen de découpe qui passe à travers les blocs d'actionneurs dans une direction perpendiculaire au sup- 1 7 port, ce moyen de découpe traversant les blocs d'actionneurs et le moyen de liaison (16) reliant les blocs d'actionneurs au support; e. fabriquer une plaque avant (40) ayant une face avant et une face arrière, cette plaque avant ayant une surface de miroir (44) sur sa face avant et une surface électriquement con- ductrice sur au moins sa face arrière, et f. fixer la plaque avant aux actionneurs de sorte que chacun des seconds ensembles de couches électriquement con- ductrices dans chacun des actionneurs est en contact avec la sur- face électriquement conductrice de la plaque avant par l'intermé- diaire de chacun des seconds moyens connecteurs des actionneurs.