Brevet FR2582878A1 — publié le 19861205

Résonateur à matériau non piézoélectrique à grand coefficient de qualité. Les résonateurs de qualité construits actuellement sont réalisés à partir de matériaux piézoélectriques et notamment partir de monocristaux de quartz. Ces résonateurs à ondes de volume sont constitués essentiellement d'un cristal de quartz de coupe cristallographique et de formes convenables (bâtonnet à section rectangulaire, plaquette, lame,...) soutenu en des points choisis pour vibrer préférentiellement sur un mode donné (flexion, élongation, mode de contour, cisaillement...). Ils sont mis en vibration par une tension électrique appliquée entre des électrodes portées par le cristal de quartz ou placées à son voisinage. De tels résonateurs connus, qui sont de type piézoélectrique, s'avèrent d'un emploi commode du fait qu'il est possible d'exciter mécaniquement le résonateur en lui appliquant une tension électrique et qu'inversement sa vibration peut être détectée par la mesure de la tension électrique induite, mais le coefficient d'atténuation des ondes élastiques propre au matériau 2O utilisé. Or, pour de nombreuses applications, il est souhaitable de disposer d'un résonateur de très haute qualité. L'invention a précisément pour objet de réaliser un résonateur de très grande qualité, qui puisse être excité et dont la fréquence de vibration puisse être mesurée sans perturber le fonctionnement du résonateur. Ces buts sont atteints grâce à un résonateur à matériau non piézoélectrique à grand coefficient de qualité, caractérisé en ce qu'il comprend un monocristal d'un matériau non piézoélectrique présentant une faible atténuation des ondes élastiques de volume, des moyens de support du monocristal fixés sur ce dernier en des points correspondant à des noeuds de vibration, des moyens thermiques pour provoquer directement une excitation propre du monocristal, et des moyens optiques pour détecter sans contact, les déplacements périodiques du résonateur. Selon un exemple de réalisation, le monocristal présente la forme d'un bâtonnet vibrant en flexion. D'autres formes, telles que des plaquettes, lames, disques sont naturellement possibles pour le monocristal. Selon un mode particulier de réalisation, simple à mettre en oeuvre, les moyens optiques de détection des déplacements périodiques du résonateur comprennent une source de lumière émettant un faisceau, une première lentille pour faire converger le faisceau vers une partie vibrante du monocristal perpendiculairement à la direction des vibrations, une seconde lentille recevant le faisceau affecté par le mouvement du monocristal et un photodétecteur, de manière à assurer la détection des vibrations du résonateur. Selon un autre mode de réalisation particulier, les moyens optiques de détection des déplacements périodiques du résonateur comprennent un dispositif interférométrique associé à un analyseur de spectre le faisceau du dispositif interférométrique étant appliqué à la partie vibrante du cristal, parallèlement à la direction des vibrations de celui-ci. Divers moyens d'excitation du cristal sont possibles. Selon un moyen particulier, au mois une mince couche d'un matériau conducteur est déposée sous forme de ruban sur une face du monocristal, des fils de connexion sont raccordés à ladite couche au niveau de noeuds de vibration du cristal, et une tension électrique périodique est appliquée entre lesdits fils de connexion pour réaliser une excitation du cristal par effet thermique Joule. La couche conductrice est constituée par une mince couche d'un métal tel que le chrome ou le nickel, déposée par évaporation sous vide ou par pulvérisation cathodique. Selon un autre mode de réalisation, les moyens provoquant directement une excitation propre du monocristal comprennent une source de lumière et des moyens de modulation auxquels est appliquée une tension de modulation vm, pour appliquer un faisceau lumineux dont l'intensité est modulée dans une zone de vibration du cristal et assurer une excitation propre du cristal par effet photothermique. Avantageusement, le monocristal est un monocristal d'alumine (A1203) encore dénommé corindon. D'autres matériaux sont cependant utilisables tel que le YAG (grenat d'yttrium et d'aluminium) ou le YIG (grenat d'yttrium et de fer). D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description suivante de modes particuliers de réalisation de l'invention, donnée à titre d'exemple, en référence aux dessins annexés, sur lesquels: - la figure 1 est une vue schématique an perspective d'un résonateur formé à partir d'un barreau de matériau non piézoélectrique et excité en flexion par effet Joule, - la figure 2 représente le schéma d'un premier dispositif de détection d'un signal représentant la vibration d'un résonateur selon l'invention, - la figure 3 représente le schéma d'un second dispositif de détection d'un signal représentant la vibration d'un résonateur selon l'invention, ainsi que le schéma d'un dispositif d'excitation par effet photothermique, - la figure 4 représente le schéma d'un exemple de résonateur selon l'invention monté en oscillateur, et - la figure 5 représente la forme d'un signal d'excitation pouvant tre appliqué au résonateur de la figure 1. On a représenté sur la figure 1 un exemple de résonateur selon l'invention, qui est placé dans une ampoule de verre 20 à l'intérieur de laquelle la pression a été abaissée. Un monocristal 11 d'un matériau non piézoélectrique à grand coefficient de qualité, par exemple un monocristal d'alumine ou un monocristal d'un grenat d'yttrium et d'aluminium (YAG) ou d'un grenat d'yttrium et de fer (YIG), se présente sous la forme d'un barreau allongé 11 supporté à l'aide de quatre tiges 22 à 25 formant des piliers fixés sur une embase isolante 21, par exemple en verre. Les tiges 22 à 25 sont prolongées à l'extérieur de l'ampoule 20, par des broches 26 à 29 respectivement. Le barreau 11 est relié aux tiges 22 à 25 par l'intermédiaire de fils coudés 122 à 125 respectivement qui sont d'une part soudés à la tige correspondante 22 à 25 et d'autre part fixés sur le barreau 11 en des points 12 à 15 qui constituent des noeuds de vibration. Une couche conductrice 30, par exemple une mince couche de chrome ou de nickel, est déposée, par évaporation sous vide, ou par pulvérisation cathodique, sur une face du barreau 11. La couche conductrice 30 est électriquement en contact par ses extrémités à deux points 12, 13 de liaison à des tiges 22, 23 de support qui servent également de fils de connexion permettant l'application d'une tension électrique périodique entre les deux extrémités de la couche conductrice 30 qui, par effet thermique Joule, provoque une excitation du barreau 11, selon un mode de flexion dans l'exemple considéré, dans la mesure o la tension électrique v appliquée entre les broches 26, 27 reliées aux tiges 22, 23 est périodique à une fréquence qui correspond à la fréquence propre du cristal 11. Il est avantageux, comme représenté sur la figure 5, que la tension électrique périodique d'excitation v oscille en permanence entre une valeur crgte et zéro afin d'exciter le cristal 11 à la fréquence fondamentale du signal électrique. Si la tension v présentait des alternances positives et négatives, le signal électrique d'excitation devrait avoir une fréquence moitié de la fréquence propre du cristal 11. Dans la suite de la description, on considèrera le cas d'un résonateur 10 constitué à partir d'un bâtonnet tel que celui de la figure 1, qui peut présenter par exemple une section de quelques mm2 et une longueur de quelques dizaines de millimètres. Le cristal 11 pourrait cependant présenter d'autres formes, par exemple la forme d'un disque, à la manière des résonateurs à cristal piézoélectrique. La figure 3 montre une variante de réalisation des moyens thermiques 40 d'excitation d'une partie vibrante 111 du cristal 11. Selon ce mode de réalisation, un faisceau lumineux produit par une source 41 est modulé par un modulateur 42 auquel est appliquée sur les lignes 43 une tension électrique-de modulation vn. Le faisceau lumineux excitateur modulé 2 issu du modulateur 42 est appliqué, par l'intermédiaire d'une lentille 44, dans une zone absorbante du cristal 11 et provoque, par effet photothermique, une dilatation périodique du cristal qui, si la fréquence du signal d'excitation vm correspond à la fréquence propre du cristal 11, fait résonner le cristal 11. L'effet d'excitation du cristal 11 peut être accru si une couche absorbante 45 est déposée sur une face du monocristal 11 dans la zone frappée par ledit faisceau lumineux modulé 2. Si la source lumineuse 41 est un tube laser, le modulateur 42 peut être un modulateur acousto-optique. Toutefois, si la source lumineuse 41 est constituée par une diode laser, les moyens de modulation 42 peuvent être constitués directement par des moyens de modulation de la tension appliquée à la diode laser. Par ailleurs, il est préférable que le faisceau excitateur 2 soit appliqué sur une zone limitée du cristal 11, mais cette zone n'est pas nécessairement ponctuelle. La figure 2 montre le schéma d'un résonateur 10 selon l'invention, excité par un faisceau lumineux 2 appliqué en une zone 111 du cristal 11 selon la direction des vbrations à produire, c'est-à-dire perpendiculairement au plan de la figure. Le cristal 11 est montré de façon symbolique et seuls les points de liaison 12 à 15 par lesquels le cristal 11 est rattaché au support sont représentés. Ces points correspondent à des noeuds de vibration. Sur la figure 2, on voit un dispositif de détection comprenant une source lumineuse 1, telle qu'une source laser 1 émettant un faisceau lumineux 3 qui est appliqué par une lentille 4 sur une partie vibrante 110 du cristal 11, perpendiculairement à la direction des vibrations. Le faisceau lumineux 3' affecté par la vibration du cristal 11 est collecté par une lentille 5 et appliqué à un photodétecteur 6 délivrant un signal qui peut être observé à l'aide d'un oscilloscope 7 et représente les vibrations du cristal. Ces moyens optiques de la détection du signal de vibration sont donc particulièrement simples. D'autres moyens optiques de détection des vibrations du cristal 11 peuvent être utilisés. Ainsi, sur la figure 3, on utilise un interféromètre 52 émettant un faisceau détecteur 51 en direction d'une partie vibrante 110 du cristal 11. Le faisceau 51 est réfléchi sur lui- même et se trouve modulé en phase par les déplacements périodiques du cristal perpendiculairement à la direction du faisceau 51 (voir les déformations en flexion du cristal 11 représentées en pointillés sur la figure 3). Le dispositif optique de détection 50 comprend en outre un analyseur de spectre 53 qui permet de mettre en évidence des raies latérales de vibration correspondant à la fréquence propre de vibration du cristal 11, dans la mesure o l'interféromètre 52 utilisé est un interféromètre hétérodyne. Dans les cas des dispositifs des figures 2 et 3, le dispositif d'excitation 40 peut naturellement être remplacé par un dispositif d'excitation par effet Joule utilisant un ruban conducteur 30 se dilatant périodiquement à la fréquence de la tension d'excitation v, qui correspond à la fréquence de résonance du mode de flexion, comme indiqué en référence à la figure 1. La figure 4 représente un résonateur 10 analogue à celui de la figure 2, mais excite par effet Joule et monté en boucle de façon à constituer un oscillateur. Dans ce cas, le signal électrique issu du photodétecteur 6 est réappliqué, par la ligne 8 à l'entrée d'un amplificateur 9 dont la sortie délivre la tension de modulation v appliquée aux électrodes du ruban conducteur 30. Les rubans conducteurs 30 peuvent naturellement présenter diverses configurations adaptées à la forme du cristal 11. Dans le cas d'un barreau, il serait possible d'utiliser deux rubans conducteurs 30 déposés sur deux faces opposées du cristal 11 est excités en opposition de phase. D'une façon similaire, lors d'une excitation à l'aide d'un faisceau lumineux partiellement absorbé dans le cristal 11 (figures 2 et 3), il est possible d'utiliser les faisceaux d'ordre zéro et d'ordre non issus d'un modulateur acousto-optique 42, qui sont en opposition de phase. Dans ce cas les faisceaux sont appliqués sur deux faces opposées du cristal 11. A titre d'exemple, il est possible, d'obtenir des vibrations d'amplitude de l'ordre de 50 à 100 nanomètres, avec une puissance électrique d'environ 10 mW dans le cas d'une excitation par effet Joule, ou une puissance lumineuse d'environ 2OmW dans le cas d'une excitation par effet photothermique, si la fréquence du signal d'excitation correspond à la fréquence de résonance du mode de flexion du cristal. Les moyens d'excitation de résonateurs à cristal non piézoélectrique décrits précédemment dans le cas du mode de flexion peuvent de la mrme manière être appliqués à l'excitation d'autres modes, notamment extension, mode de contour, cisaillement. REVENDICATIONS 1. Résonateur à matériau non piézoéalectrique 'a grand coefficient de qualité, caractérisé en ce qu'il comprend un monocristal (11) d'un matériau non piézoélectrique présentant une faible atténuation des ondes élastiques de volume, des moyens de support (12 à 15) du monocristal fixés sur ce dernier en des points correspondant à des noeuds de vibration, des moyens thermiques (30;40) pour provoquer directement une excitation propre du monocristal (11), et des moyens optiques (5 à 7; 50) pour détecter sans contact, les déplacements périodiques du résonateur. 2. Résonateur selon la revendication 1, caractériséen ce que le monocristal (11) présente la forme d'un bâtonnet vibrant en flexion. 3. Résonateur selon la revendication I ou la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens optiques (5 à 7) de détection des déplacements périodiques du résonateur comprennent une source de lumière (1) émettant un faisceau (3), une première lentille (4) pour faire converger le faisceau (3) vers une partie vibrante (110) du monocristal (11) perpendiculairement à la direction des vibrations, une seconde lentille (5) recevant le faisceau (3') affecté par le mouvement du monocristal (11) et un photodétecteur (6), de manière à assurer la détection des vibrations du résonateur. 4. Résonateur selon la revendication I ou la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens optiques (50) de détection des déplacements périodiques du résonateur comprennent un dispositif interférométrique (52) associé à un analyseur de spectre (53) le faisceau du dispositif interféromètrique (52) étant appliqué à la partie vibrante (110) du cristal (11), parallèlement à la direction des vibrations de celui-ci. 5. Résonateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'au mois une mince couche (30) d'un matériau conducteur est déposée sous forme de ruban sur une face du monocristal (11), des fils de connexion (22,23) sont raccordés s à ladite couche (30) au niveau de noeuds de vibration du cristal, et une tension électrique périodique est appliquée entre lesdits fils de connexion (22,23) pour réaliser une excitation du cristal par effet thermique Joule. 6. Résonateur selon la revendication 5, caractérisé en ce que lacouche conductrice est constituée par une mince couche d'un métal tel que le chrome ou le nickel, déposée par évaporation sous vide ou par pulvérisation cathodique. 7. Résonateur selon la revendication 5 ou 6, caractérisé en ce que la tension électrique périodique d'excitation (v) oscille en permanence entre une valeur crête et zéro, afin d'exciter le cristal a la fréquence fondamentale du signal électrique. 8. Résonateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que les moyens (40) provoquant directement une excitation propre du monocristal (11) comprennent une source de lumière (41) et des moyens de modulation (42) auxquels est appliquée une tension de modulation Vm, pour appliquer un faisceau lumineux dont l'intensité est modulée dans une zone de vibration (111) du cristal et assurer une excitation propre du cristal (11) par effet photothermique. 9. Résonateur selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'une couche absorbante (45) est déposée sur une face du monocristal (11) dans la zone frappée par ledit faisceau lumineux modulé (2). 10. Résonateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que le monocristal (11) est placé dans une ampoule de verre (20) à l'intérieur de laquelle la pression a été abaissée. 11. Résonateur selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que le monocristal (11) est un monocristal d'alumine. 12. -- Résonateur selon l'une quelconque des revendications 1 à , caractérisé en ce que le monocristal (11) est un cristal du type YAG ou YIG.