Brevet FR2578659A1 — publié le 19860912

L'invention concerne un tube de microscope avec une optique qui reproduit la première image inter- médiaire de l'objet, projetée par l'objectif, une nou- velle fois, de façon droite et à l'endroit pour l'obser- vateur, dans le plan focal de l'oculaire. De tels micros- copes sont nécessaires surtout dans l'industrie des semi- conducteurs pour l'inspection de galettes, masques et dispositifs analogues. Les tubes de microscope à optique de re- dressement d'image que l'on connaît jusqu'à présent sont relativement longs et contiennent un grand nombre d'élé- ments optiques. C'est ainsi que l'on connaît par le mo- dèle d'utilité allemand DE-GM 79 31 427, un microscope o le redressement de l'image est produit par une op- tique disposée dans un tube intermédiaire. Celui-ci avance sur une distance relativement grande en direction de l'observateur et ne permet pas le montage d'appareils auxiliaires pour l'enregistrement d'images à des fins d'archivage. On connaît des microscopes avec des tubes photométriques spéciaux, dans lesquels le faisceau est guidé par un miroir de déviation concave placé dans un plan d'image intermédiaire et portant le diaphragme de mesure pour le photomètre disposé derrière ce plan. De tels microscopes à photomètre sont décrits par exemple dans le brevet des E.U.A. 38 27 811 et dans la de- mande de brevet allemand DE-OS 32 13 145. Ces microscopes connus ne donnent cependant pas une image droite et à l'endroit. Il est également difficile dans ce cas de monter des appareils auxiliaires à un endroit o ils gêânnt peu, c'est-à-dire sur le côte arrière du tube. Par la demande de brevet allemand DE-OS 15 839, on connaît un stéréomicroscope dans le tube duquel le trajet du faisceau est plié dans un plan ver- tical en vue du raccourcissement du tube. En rai- son du nombre relativement grand de surfaces réfléchis- santes, la solution représentée dans ce document est cependant relativement dispendieuse. De plus, elle n'uti- lise pas d'image intermédiare dans le tube et n'est donc pas transposable sans mesures supplémentaires aux condi- tions existant sur un microscope simple. Le but de la présente invention est de créer un tube pour microscopes qui donne une image droite et permette le montage d'appareils auxiliaires pour l'enre- gistrement d'images, tout en ayant une construction aussi compacte que possible,et qui utilise un minimum d'éléments optiques. Selon l'invention, ce résultat est obtenu par le fait que le faisceau d'observation entre l'objec- tif et la première image intermédiaire est rectiligne et essentiellement vertical, qu'un miroir de déviation con- cave est placé à proximité de la première image inter- médiaire pour réfléchir le faisceau sous un angle aigu (0) en direction d'un miroir de déviation plan placé à proximité de la sortie, sur laquelle est montée un tube d'observation binoculaire, et qu'une optique formatrice d'image intermédiaire est disposée entre le miroir de déviation concave et le miroir de déviation plan. Le tube selon l'invention contient seule- ment deux surfaces réfléchissantes, par lesquelles le trajet du faisceau est plié. L'optique formatrice d'image intermédiaire peut être réalisée de façon relativement peu coûteuse puisque la forme concave du premier miroir de déviation a un effet positif sur la correction de la courbure de Petzval. A l'aide de la distance focale po- sitive du miroir, l'adaptation de la pupille peut s'ef- fectuer en outre sur l'optique formatrice d'image inter- médiare. Il est en plus facilement possible d'interposer des dispositifs supplémentaires de renvoi ou de partage du faisceau dans la partie éloignée de l'observateur du faisceau plié, en vue de l'envoi par réflexion du fais- ceau dans des appareils auxiliaires de reproduction d'images, lesquels peuvent être montés par exemple sur le côté arrière du tube, sans gêner la construction com- pacte. Il convient de disposer le second miroir de déviation plan de manière qu'il puisse tourner autour d'un axe horizontal. Ceci procure à l'utilisateur le confort d'un angle de visée variable et d'une adaptation individuelle de la hauteur de visée ou d'observation. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront plus clairement de la descrip- tion qui va suivre d'un exemple de réalisation non li- mitatif, ainsi que de la figure unique du dessin annexé. Le tube 3 représenté schématiquement sur le dessin possède un bord inférieur plan 4, par lequel le tube est monté sur le statif d'un microscope à lumière incidente. De ce microscope, seul le dispositif revolver 2 et l'objectif 1 qui y est fixé sont représentés en pointillé. Le tube 3 contient une lentille de tube 11 qui sert à la formation d'une première image intermé- diaire de l'objet 20 dans le plan désigné par 17 à l'ex- trémité supérieure du tube. A cet endroit est disposé un miroir de déviation concave 7, par lequel le faisceau est dévié sous un angle aigu vers le bas, en direction d'un second miroir de déviation 8 qui est plan. Ce se- cond miroir se trouve à proximité de la sortie d'image avant 21, sur laquelle est monté le tube binoculaire 5. Le dessin représente le tube binoculaire 5 dans une po- sition tournée de 90 . En position d'utilisation, les tubulures de visée 28a et 28b,dans lesquelles sont em- boiîtés les oculaires, sont situées l'une à côté de l'autre. La partie 10 du tube 3, sur laquelle est fixé le tube binoculaire 5, peut être tournée autour de l'axe désigné par 9 et permet un réglage en hauteur de la visée par l'oculaire. Lors de la rotation du tube binoculaire 5, le miroir 8 tourne en même temps et de façon connue sur la moitié de l'angle de rotation. Le mécanisme de réduction nécessaire à cet effet n'est pas représenté ici. Un système optique 12 de formation d'image, réalisé sous forme d'un triplet, est disposé entre le miroir concave 7 et le miroir plan 8. L'optique 12 forme une deuxième image intermédiaire de l'objet 20 dans les plans 27a et 27b à l'intérieur des tubulures de visée 28a et 28b tu tube binoculaire 5. L'image qui y est for- mée est à l'endroit et bien orientée en hauteur. Au-dessous de la lentille de tube 11 se trouve un miroir 13 qui, à la position représentée, dé- couple la lumière issue de l'objectif 1 en direction d'une lentille auxiliaire 14. Derrière la lentille au- xiliaire 14 se trouve un miroir basculant 15. Celui-ci permet, au choix, de laisser passer la lumière venant du miroir 13 en direction d'une première sortie d'image 19 ou de la réfléchir en direction d'une deuxième sortie d'image 22 o une autre lentille auxiliaire 16 reproduit l'image de l'objet 20 dans le plan d'image photographique 18 d'un appareil de prise de vue 6 monté sur la sortie d'image 22. Le miroir 13 et la lentille auxiliaire 14 sont déplaçables ensemble entre les deux positions re- présentées et permettent ainsi de passer d'une observa- tion visuelle de l'objet 20 par le tube binoculaire 5 à un enregistrement photographique, par exemple, dans les appareils auxiliaires fixés sur les raccords 19 ou 22. Bien entendu, le miroir 13 peut également être partiellement transparent pour que l'objet puisse simultanément être observé et photographié. REVENDICATIONS 1. Tube d'observation de microscope, compor- tant une optique qui reproduit la première image inter- médiaire de l'objet, projetée par l'objectif, une nou- velle fois, de façon droite et à l'endroit pour l'obser- vateur, dans le plan focal de l'oculaire, caractérisé en ce que le faisceau d'observation entre l'objectif (1) et la première image intermédiaire (17) est rectiligne et essentiellement vertical, qu'un miroir de déviation concave (7) est placé à proximité de la première image intermédiaire (17) pour réfléchir le faisceau sous un angle aigu (0) en direction d'un miroir de déviation plan (8) placé à proximité de la sortie (2), sur laquelle est montée un tube d'observation binoculaire (5), et qu'une optique (12) formatrice d'image intermédiaire est disposée entre le miroir de déviation concave et le miroir de déviation plan. 2. Tube selon la revendication 1, caractérisé en ce que le miroir plan (8) est rotatif autour d'un axe horizontal (9). 3. Tube selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'un miroir ou un dispositif (13) de partage du faisceau est disposé de manière à pouvoir être interposé dans le faisceau entre l'objectif (1) et le miroir de déviation concave (7). 4. Tube selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'un système de lentille de tube pour former la première image intermédiaire (17) est disposé entre le miroir interposable (13) et le miroir de déviation con- cave (7).