Brevet FR2564203A1 — publié le 19851115

La présente invention concerne un capteur de vitesse angulaire. La vitesse angulaire du mouvement d'un engin est une information d'entrée essentielle pour tous les dispositifs de guidage par navigation et par inertie. Ces dispositifs sont utilisés couramment dans des aéronefs, des engins spatiaux, des navires ou des missiles. La détection de la vitesse angulaire du mouvement se fait actuellement au moyen d'un gyroscope. Cependant, les gyroscopes présentent divers inconvénients. Ils doivent être construits avec une précision extrêmement élevée et peuvent avoir des taux de dérive de fractions d'un degré par heure. En raison du prix de leur réalisation, ils sont très coûteux; ils sont physiquement encombrants et lourds. Ils doivent être entretenus fréquemment et avec précision car des éléments mobiles critiques comme les paliers peuvent évoluer avec le temps. Ils peuvent aussi être endommagés par des chocs et des vibrations même de niveau réduit. Cela peut aussi entraîner une augmentation du taux de dérive d'une valeur inconnue, apparaissant à des instants inconnus. Etant donné que les gyroscopes sont sensibles aux effets des chocs et des vibrations, ils comportent fréquemment des dispositifs de montage lourds pour les protéger, et qui sont également coûteux. Il est donc évident qu'il serait souhaitable de remplacer un gyroscope par tout autre dispositif moins coûteux et susceptible de mesurer des vitesses angulaires en mesurant ainsi l'attitude d'un véhicule ou d'un engin. L'invention concerne donc un capteur de vitesse angulaire qui comporte essentiellement une structure résonnante en quartz possédant des propriétés piézoélectriques, cette structure comprenant au moins deux éléments vi- brants consistant chacun en deux languettes parallèles et en une tige commune, les languettes et la tige étant disposées dans un plan, la tige commune servant de tige de sortie, cette structure formant un capteur à résonance équilibrée réagissant seulement à un mouvement angulaire autour d'un axe parallèle à la tige de sortie produisant une déformation en torsion de la tige de sortie; un dispositif électromagnétique couplé avec les languettes pour les faire vibrer à une fréquence d'attaque; et un dispositif de sortie couplé. avec la tige de sortie pour produire un signal électrique représentant la vitesse angulaire du mouvement autour de l'axe auquel le dispositif est soumis. Ce capteur constitue de préférence une fourchette d'accord. La fourchette d'accord doit être mécaniquement stable en température, avec un faible frottement interne et suivant la loi de Hook. De préférence, mais non nécessairement, la fourchette d'accord est-faite en quartz. Mais d'autres matières piézoélectriques peuvent être utilisées, comme des cristaux synthétiques; par exemple, le tartrate d'éthylène diamine (EDT), le tartrate dipotassique (DKT) ou le phosphate d'ammonium dihydrogéné (ADP). Des matières non piézoélectriques peuvent être utilisées avec une attaque piézoélectrique. De préférence, la fourchette d'accord est faite d'une matière isolante comme le quartz mais il est également possible d'utiliser des matières conductrices auquel cas les languettes de la fourchette d'accord doivent être excitées électromagnétiquement; c'est-à-dire par des bobines fixes et un circuit magnétique sur les languettes. La fourchette d'accord consiste en deux lan- guettes disposées parallèlement entre elles et pouvant vibrer. Elles sont reliées par un tige de sortie ou poignée, à partir de laquelle le signal de sortie peut être produit. Ce signal de sortie représente simplement la vitesse angulaire d'entrée du mouvement auquel le dispositif est soumis, produisant une déformation à angle droit dans la direction des vibrations; un signal de sortie optique ou modulé en fréquence peut aussi être obtenu. Le signal de sortie peut être obtenu par le couplage de quatre condensateurs avec les languettes ou la tige de sortie, ou il peut être obtenu par effet piézoélectrique, par résistance ou optiquement. Des vitesses d'entrée mesurables de l'ordre de 10 par heure du capteur selon l'invention sont suffisamment faibles pour être utilisées comme une différence de direction corrigée magnétiquement et comme une référence d'attitude verticale corrigée en gravité. Si des vitesses d'entrée de 0, 1 par heure sont mesurables, le dispositif est utilisable pour des références de qualité par inertie, comme dans un système autonome de guidage à inertie. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention seront mieux compris à la lecture de la description qui va suivre de plusieurs exemples de réa- lisation et en se référant aux dessins annexés sur lesquels La figure 1 représente une fourchette d'accord pour expliquer les principes de l'invention, La figure 2 est une vue de côté de la fourchette d'accord de la figure 1, montrant deux paires d'élec- trodes pour produire un signal de sortie, La figure 3 est une vue en plan d'un mode de réalisation de l'invention, comprenant deux fourchettes d'accord, le boitier étant enlevé, La figure 4 est une coupe du mode de réalisa- tion de la figure 3 et montre un boitier enfermant la fourchette d'accord, La figure 5 est une coupe suivant la ligne -.5 de la figure 3 et montre également le boitier ainsi que la sortie capacitive qui peut être utilisée dans un circuit en pont, La figure 6 représente le pont capacitif obtenu avec la disposition des électrodes de la figure , La figure 7 est une vue en plan à plus grande échelle d'une partie du capteur de la figure 3, montrant les électrodes d'attaque et de sortie, y compris les conducteurs de sortie du capteur de la figure 3, La figure 8 est un schéma simplifié des circuits de sortie du circuit en pont de la figure 7, La figure 9 est un schéma simplifié similaire à celui de la figure 8 mais montrant une sortie piézo- électrique telle qu'elle peut être obtenue avec la configuration des électrodes de la figure 13, La figure 10 représente un autre capteur de vitesse angulaire consistant en deux fourchettes d'accord disposées en ligne et perpendiculairement à la tige de sortie, La figure 11 illustre schématiquement la tension développée sur la tige de sortie sous l'effet de la déformation mécanique, La figure 12 représente un autre mode de réalisa- tion du capteur de vitesse angulaire selon l'invention, comprenant 4 fourchettes d'accord, les fourchettes de chaque paire étant alignées et les deux paires étant disposées parallèlement à la tige de sortie, La figure 13 représente schématiquement et à grande échelle une sortie du capteur de la figure 12 et montre les électrodes d'attaque ainsi que l'une des électrodes de sortie, et La figure 14 représente un autre mode encore de réalisation d'un capteur selon l'invention, comprenant 8 fourchettes d'accord dont 4 sont disposées sur le même axe et les axes des deux groupes de fourchettes étant disposés parallèlement à l'axe de la tige de sortie. Les figures, et particulièrement les figures 1 et 2 représentent une simple fourchette d'accord, pour expliquer les bases du fonctionnement de l'inven- tion. Comme cela a été indiqué ci-dessus, la fourchette d'accord 10 est faite d'une matière piézoélectrique comme certains cristaux synthétiques, et de préférence en quartz. Les figures 1 et 2 montrent donc une fourchette d'accord 10 comportant deux languettes 11 et 12 et une tige de sortie ou poignée 13. Les languettes peuvent être mises en vibration en leur appliquant un champ électrique comme cela sera expliqué en regard des figures 4 à 6. Deux électrodes 14, qui sont espacées des extrémités libres de chacune des languettes, comme en 11, sont représentées sur la figure 2 pour former une sortie capacitive. Les languettes sont mises en vibration- l'une vers l'autre, comme l'indiquent les flèches 15, et à l'opposé l'une de l'autre pendant l'alternance suivante comme le montrent les flèches 16. Par conséquent, la fourchette d'accord représente un circuit à résonance équilibrée car les languettes 11,12 sont équilibrées. La sortie électrique peut être obtenue par une autre paire d'électrodes 17,18, pouvant être appliquées directement sur la région entre les languettes 11, 12 et la tige de sortie 13. Les deux électrodes 17,18 adoptent des polarités différentes en raison de la défor- mation de la fourchette 10 provoquée par un mouvement angulaire de l'ensemble. Lorsqu'un mouvement angulaire est produit, la dérivée par rapport au temps, c'est-à-dire la vitesse angulaire du mouvement peut être facilement obtenue. Il sera maintenant supposé dans une fourchette d'accord, une distance de 5 mm entre le centre du mouve- ment et l'extrémité de la languette 11 ou une distance de 2 mm pour la partie de la languette couverte par l'élec- trode 14, une distance de 4 mm entre le centre du mouve- ment et le centre de l'électrode 14, une largeur de chaque languette de 0,5 mm, une épaisseur de chaque lan- guette de 0,05 mm, tandis que la moitié de l'amplitude des vibrations est 0,0025 mm et la fréquence d'attaque kHz, tandis que la densité spécifique du quartz est 2,6 g/cm3. Avec ces suppositions, le moment angulaire H peut être calculé comme suit: H = 6,53 x 10-4 g/cm2/sec (1) De façon similaire, le couple T peut être calculé de la manière suivante: T = 1,89 x 10-7 g/cm (2) Enfin, la déformation des languettes est: Y = 1,62 x 107 cm (3) Il apparaît que l'effet d'augmenter la dimension de la fourchette d'accord, mais non sa largeur, est N qui varie avec la cinquième puissance d'une augmentation des dimensions. Le tableau ci-après peut donc être calculé: TABLEAU 1 N 1 2 3 4 5 N5 1 32 243 1024 3125 YN 1,62x10 7 5,18x10-6 3,94x10-5 1,66x10 -4 3,13x10-4 (cm) Le tableau 1 montre donc bien qu'une augmenta- tion de la dimension de la fourchette d'accord entraîne une augmentation considérable de la déformation des languettes. Les figures 3 à 9, et particulièrement les figures 3 à 6 illustrent un mode préféré de réalisation de l'invention. Ce mode de réalisation comporte deux fourchettes d'accord, dont les deux axes sont espacés et parallèles à l'axe central. Ainsi, les premières languettes 20, 20' des deux fourchettes d'accord sont faites d'une même section 22. La section 22 est divisée en deux parties qui constituent les deux fourchettes d'accord 20 et 21, par un intervalle 23 qui laisse cependant un petit pontet 24 pour relier les deux parties ,21. L'autre section 22' est exactement symétrique à la région 22 et comporte les autres languettes 20', 21' des deux fourchettes d'accord. Les deux extrémités de chacune des deux sections 22 et 22' sont reliées par une partie de liaison , 25'. La partie 25 est séparée des deux sections 22 et 22' par deux intervalles 26 et 26'. L'autre partie de liaison 25' est également séparée des deux sections 22 et 22'. Les deux parties de liaison 25 et 25' forment la tige de sortie. Elles sont également reliées par un petit pontet 27, 27' à un cadre extérieur 30, séparé des deux sections 22 et 22'. Comme le montre la figure 4, la fourchette d'accord peut être enfermée dans un boitier 31. Ainsi, les parties 20, 20' forment une paire de languettes et les parties 21, 21' forment l'autre fourchette d'accord. La figure 5 montre les électrodes qui peuvent être prévues aux extrémités des deux languettes 20, 20' d'une fourchette d'accord. La languette 20 porte une électrode 32, 33 sur ses faces opposées. De même, la languette 20' porte une électrode 34, 35. L'une des surfaces intérieures du boitier 31 est munie d'une électrode similaire 36 tandis que l'autre surface intérieure opposée porte une électrode 37. Un oscillateur 38 est connecté aux deux élec- trodes intérieures 36, 37 du boitier 31. Un condensateur est donc formé entre les électrodes 37 et 32. Un autre condensateur 41 est formé entre les électrodes 33 et 36. Un troisième condensateur 42 est formé entre les électrodes 34, 37 et un quatrième condensateur 43 est formé entre les-électrodes 35 et 36. La sortie du circuit en pont de la figure 6 peut être mesurée par l'appareil de mesure 44. La figure 8 représente le circuit de sortie du pont à capacité de la figure 6. La fréquence de l'oscil- lateur d'attaque 46 peut être multipliée par un multipli- cateur 47 jusqu'à une fréquence plus élevée. L'oscillateur d'attaque est connecté au capteur de la figure 3. Un amplificateur de pont 48 peut être utilisé pour amplifier le signal de l'appareil de mesure 44. Cet amplificateur est suivi par un détecteur de phase 50 qui utilise une phase de référence provenant du multiplicateur 47 couplé avec l'oscillateur d'attaque 46. Le détecteur de phase est suivi par un filtre 51 et un convertisseur analo- gique-numérique 52 qui attaque un microprocesseur, un circuit de linéarisation, un circuit d'attaque d'affichage et un convertisseur numérique-analogique 53. Ainsi, le signal de sortie peut être obtenu sur le conducteur de sortie numérique 54 ou sur le conducteur de sortie ana- logique 55 et il peut être appliqué à un dispositif d'affichage approprié. Il y a lieu de se référer maintenant à la figure 7 qui représente, à plus grande échelle, une partie du capteur de la figure 3 et ses électrodes. Deux électrodes d'attaque 60et61 sont disposées sur la languette 20. Les deux électrodes d'attaque sont connectées respectivement à des conducteurs 62 et 63 qui sont connectés à leur tour à l'oscillateur d'attaque. Les deux électrodes sont légèrement espacées l'une de l'autre pour développer un champ électrique entraînant les vibrations de la languette. Sur l'autre languette ' sont également prévues des électrodes similaires 60' et 61' qui sont également connectées aux conducteurs de sortie 62' et 63', les conducteurs 62 et 62' étant reliés ensemble. Une électrode de sortie 64 est connectée à une autre électrode de sortie 65 également disposée sur la languette 20. Les électrodes de sortie 64 et 65 sont connectées au conducteur 66 et au cadre 30. L'autre languette 20' comporte des électrodes de sortie similaires. Il faut noter que les électrodes de sortie 64 et 64' sont disposées directement sur la languette pour former une sortie capacitive comme le montre la figure 6. Il est bien entendu que l'un des conducteurs de sortie comme 62, 63 peut être à la masse. La figure 9 représente un circuit de sortie piézoélectrique pour les électrodes de la figure 13. Là également, l'oscillateur d'attaque 46 excite le capteur équilibré des figures 3 et 13 par les conducteurs 94 et 91. Dans ce cas, une tension piézoélectrique apparaît aux électrodes 96 et à l'électrode correspondante cachée, sous l'effet de la contrainte dans le cristal résultant de la déformation de la languette. Un amplificateur tampon 67 suit le capteur des figures 3 et 13 et il est à son tour suivi par un détecteur de phase 50, un filtre 51, un convertisseur analogiquenumérique 52 et un convertisseur numérique-analogique 53. Cela permet à nouveau d'obtenir un signal numérique ou un signal analogique sur les conduc- teurs de sortie 54, 55. Il faut noter que les intervalles comme 23, 26 de la figure 3 permettent d'augmenter la masse des languettes et par conséquent d'obtenir une fré- quence de résonance plus basse. La fréquence de résonance de la languette dans la direction de la déviation de sortie peut être égale à la fréquence du signal d'attaque. Ainsi, les fréquences de résonance dépendent de la masse des languettes, comme les languettes 20, 21 et des dimensions des intervalles 23, 26. Ces valeurs peuvent ainsi être réglées à volonté. Les figures 10 et 11 illustrent une autre configuration de capteur selon l'invention. Comme cela ressort de la figure 10, le capteur comporte deux fourchettes d'accord 70 et 71 disposées sur un axe commun à angle droit, avec la tige de sortie 72. La tige de sortie 72 est fixée de préférence entre deux parois 73, 74. De préférence également, la tige de sortie 72 comporte deux ouvertures rectangulaires symétriques 75, 75', principalement pour réduire le poids de la tige de sortie et aussi pour réduire sa rigidité. Il en résulte que la fréquence de résonance de la tige de sortie 72 est réduite. Par conséquent, la tige de sortie 72 peut également servir comme une paire de fourchettes d'accord. La figure 11 montre la polarité de la tension de sortie, représentée sur les courbes 76, 77, c'est-à- dire sur les côtés opposés de la tige de sortie 72. Les figures 12 et 13 montrent une autre confi- guration d'un capteur selon l'invention, comprenant deux paires de fourchettes d'accord. Comme le montre la figue 12, ce capteur comporte une première paire de fourchettes d'accord 83, 84 avec un axe commun et une seconde paire de fourchettes d'accord 85, 86 avec également un axe commun, les deux axes étant espacés de la tige de sortie 87. Les deux paires de fourchettes d'accord sont reliées à la tige de sortie 87 par une pièce de liaison 88. La figure 13 montre à titre d'exemple la - manière dont les fourchettes d'accord peuvent être attaquees. Les conducteurs d'entrée 90, 91 provenant de l'oscillateur d'attaque sont connectés de manière que le conducteur d'entrée 91 soit relié aux fourchettes d'accord 83 et 84. En même temps, le boitier supérieur 94 est excité par le conducteur d'entrée 90, comme le boitier inférieur 95, produisant ainsi un champ électrique entre les boitiers 94, 95 et les fourchettes d'accord 83, 84. Une des électrodes de sortie 96 peut être disposée sur la partie de liaison 88. L'autre électrode de sortie se trouve derrière l'électrode 96 et n'est pas visible sur la figure 13. Le capteur de la figure 14 se caractérise par deux groupes de 4 fourchettes d'accord chacun. Ainsi, un premier groupe de fourchettes d'accord 100, 101, 102 et 103 comporte un axe commun. Le second groupe de 4 fourchettes d'accord 100' à 103' comporte également un axe commun, mais il est espacé de celui de la tige de sortie 105. La tige de sortie 105 peut également comporter à chaque extrémité un dégagement ou encoche rectangulaire 106 pour réduire son poids et sa rigidité et par conséquent sa fréquence de résonance. Les fourchettes d'accord comme à 103 sont séparées de la tige de sortie par de larges intervalles 107, 108 et 110. La tige de sortie peut également être disposées entre deux parois 111 et 112. La tige de sortie 105 peut subir une torsion préalable pour produire un déphasage, c'est-à-dire qu'elle peut être précontrainte de manière à détecter le sens du mouvement angulaire en plus de sa vitesse. Ainsi, la tige de sortie 105 peut être utilisée pour produire une fréquence de sortie qui peut être supérieure à la fréquence d'attaque. La même chose est vraie pour la tige de sortie 72 de la figure 10. Il y a lieu de noter que les électrodes sont faites de préférence d'un placage d'or. Au moyen d'une attaque au laser, les deux languettes de chaque four- chette d'accord peuvent être équilibrées; autrement dit, le laser peut éliminer une partie appropriée de l'électrode d'une languette. Cela augmente le facteur de qualité Q du circuit. Il apparaît ainsi que l'invention concerne un 1 1 capteur de vitesse angulaire comprenant essentiellement une fourchette d'accord excitée par un oscillateur d'attaque. Un mouvement angulaire de l'ensemble entraine une déformation de la tige de sortie, perpendiculairement à la direction des vibrations. Cette déformation peut être mesurée par un effet capacitif, par un effet résistif ou par une tension électrique produite par l'effet piézoélectrique. Par ailleurs, un signal de sortie modulé en fréquence peut être obtenu ou un capteur optique peut être utilisé. Diverses configurations ont été illustrées, concernant un grand nombre de fourchettes d'accord. La disposition préférée permet de contrôler la fréquence du signal de sortie par rapport à la vibration du capteur. Ce capteur de vitesse angulaire peut être fabriqué par les techniques des semi-conducteurs, à un prix beaucoup moins élevé qu'un gyroscope convention- nel. En plus d'être moins coûteux à fabriquer, sa précision doit être suffisante pour la plupart des appli- cations pratiques, comme des références de direction et d'attitude avec des applications corrigées magnétiquement ou par gravité et même pour des références de qualité à inertie dans un système autonome de guidage par inertie. Bien entendu, diverses modifications peuvent être apportées par l'homme de l'art aux modes de réalisation décrits et illustrés à titre d'exemples nullement limitatif sans sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Capteur de vitesse angulaire, caractérisé en ce qu'il comporte une structure résonnante (10) en quartz possédant des propriétés piézoélectriques, ladite structure comprenantau moins deux éléments vibrants (11,12) consistant chacun en deux languettes parallèles et une tige commune (13), lesdites languettes et ladite tige étant disposées dans un plan, ladite tige commune servant de tige de sortie, ladite structure constituant un capteur à résonance équilibrée réagissant seulement à un mouvement angulaire autour d'un axe parallèle à ladite tige de sortie, provoquant une déformation en torsion de ladite tige de sortie; un dispositif élec- tromagnétique (14) couplé avec lesdites languettes pour les faire vibrer à une fréquence d'attaque, et un dispositif de sortie (17, 18) couplé avec ladite tige de sortie pour produire un signal électrique repré- sentant la vitesse angulaire d'un mouvement autour dudit axe, auquel ledit dispositif est soumis. 2. Capteur selon la revendication 1,carac- térisé en ce que lesdits éléments vibrants (11,12) sont disposés symétriquement et espacés parallèlement à ladite tige de sortie. 3. Capteur selon la revendication 1, carac- térisé en ce que les éléments vibrants (70,71) sont disposés symétriquement et perpendiculairement à ladite tige de sortie (72). 4. Capteur selon la revendication 3, caracté- risé en ce que lesdits éléments vibrants (70,71) et la tige de sortie (72) constituent une fourchette d'accord en quartz possédant des propriétés piézoélectriques, ladite fourchette d'accord constituant ledit capteur à résonance équilibrée réagissant seulement à un mouve- ment angulaire autour d'un axe parallèle à ladite tige de sortie, provoquant une déformation en torsion de ladite tige de sortie, ledit dispositif de sortie compre- nant un détecteur de phase (50) pour le signal électrique et un dispositif (53) pour produire un signal de sortie indiquant la vitesse angulaire du mouvement. 5. Capteur selon la revendication 4, carac- térisé en ce que ledit dispositif électromagnétique comporte un oscillateur d'attaque (46), une première électrode (32-35) connectée à chaque languette et une électrode fixe (36) espacée à ladite première électrode, lesdites électrodes étant reliées audit oscillateur. 6. Capteur selon la revendication 5, caractérisé en ce que ledit dispositif de sortie comporte deux électrodes de sortie (32-35) pour chaque languette sur ladite tige de sortie, pour produire un signal électrique représentant la déformation de ladite-tige due à un mouvement angulaire, lesdites deux électrodes de sortie étant couplées avec ledit détecteur de phase. 7. Capteur selon la revendication 6, carac- térisé en ce que lesdites électrodes de sortie (32-35) sont connectées audit détecteur de phase et ledit détecteur de phase est connecté audit oscillateur d'attaque pour produire ledit signal de sortie. 8. Capteur selon l'une quelconque des reven- dications 4 à 7, caractérisé en ce que deux desdites fourchettes d'accord (70,71> sont prévues, lesdites fourchettes d'accord étant disposées perpendiculairement à ladite tige de sortie (72), ladite tige de sortie étant disposée entre deux éléments fixes. 9. Capteur selon l'une quelconque des reven- dications 4 à 7, caractérisé en ce que 4 desdites fourchettes d'accord (83-86) sont prévues, chaque paire desdites fourchettes d'accord étant disposée le long d'un axe commun, chacun desdits axes étant disposé paral- lèlement à ladite tige de sortie (87) et ladite tige de sortie étant disposée entre deux éléments fixes. 10. Capteur selon la revendication 9, carac- térisé en ce que ledit dispositif électromagnétique comporte une électrode d'attaque pour les languettes de chaque fourchette d'accord et un oscillateur d'attaque comprenant un conducteur de sortie pour lesdites électrodes d'attaque, chacune des électrodes d'attaque d'une paire de languettes d'une paire de fourchettes d'accord 4tant connectée aux conducteurs opposés dudit oscillateur d'attaque et chacune des électrodes d'attaque de l'autre paire des fourchettes d'accord étant connectée aux conducteurs dudit oscillateur d'attaque pour vibrer en opposition de phase par rapport à la première paire de fourchettes d'accord. 11. Capteur selon l'une quelconque des revendi- cations 4 à 7, caractérisé en ce que 8 desdites fourchettes d'accord (100103; 100'-103') sont prévues, quatre desdites fourchettes d'accord ayant un premier axe commun, et les quatre autres fourchettes d'accord ayant un second axe commun, lesdits premier et second axes étant disposes parallèlement et à même distance de ladite tige commune (105), ladite tige commune ayant la même longueur et étant parallèle auxdits axes, ladite tige commune étant disposée entre deux éléments fixes. 12. Capteur de vitesse angulaire, caractérisé en ce qu'il comporte un élément d'une seule pièce en quartz comprenant deux sections parallèles (22,22') chacune desdites sections comprenant en son centre un premier intervalle (23) laissant un petit pontet (24) entre les deux parties (20, 21) de chaque section, chaque partie formant une languette d'une fourchette d'accord; lesdites sections (22,22') étant reliées à chaque extrémité par un élément de liaison (25, 25') formant une tige de sortie, chacun desdits éléments étant séparé de sa section associée par un second intervalle laissant un petit pontet entre chaque élément et sa section associée, lesdits intervalles déterminant l'inertie d'entrée et la fréquence dudit capteur, de manière que les dimensions desdits intervalles et desdites parties, et les masses desdites sections, parties et éléments déterminent la fréquence de résonance desdites languettes et la fréquence d'un signal de sortie indiquant la vitesse angulaire du mouvement auquel ledit capteur est soumis. 13. Capteur selon la revendication 12, carac- térisé en ce qu'il comporte un boitier (31), deux électrodes d'attaque étant prévues sur chacune desdites languettes et des électrodes de sortie sur chacune desdites languettes pour produire un signal électrique indiquant -la déformation desdites languettes, ledit boitier étant espacé desdites électrodes. 14. Capteur selon la revendication 13, carac- térisé en ce qu'une paire d'électrodes intérieures est prévue sur la surface intérieure dudit boitier pour chacune desdites fourchettes d'accord, lesdites électrodes intérieures étant reliées à un oscillateur d'attaque. 15. Capteur selon la revendication 14, carac- térisé en ce que ledit boitier est gravé pour recevoir lesdites électrodes. 16. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 15, caractérisé en ce que la tige de sortie subit une portion préalable pour produire un signal de sortie représentant le sens du mouvement angulaire. 17. Capteur selon la revendication 16, carac- térisé en ce que ladite tige de sortie comporte au moins une encoche rectangulaire pour réduire son poids et sa rigidité.