Brevet FR2567208A1 — publié le 19860110

256720S -1- Pompe rotative à vide élevé La présente invention concerne une pompe rotative à vide élevé et en particulier les pompes moléculaires et turbomoléculaires comportant un rotor tournant à grande vitesse dans un stator fixe. Dans une pompe classique de ce genre, le rotor est entraîné en rotation par un moteur qui se trouve dans un manchon prolongeant le stator du côté du refoulement et il fonctionne donc à la pression du refoulement, c'est-à-dire du vide primaire d'environ 10-2 Torr par exem- ple. L'ensemble du mobile est soutenu par des paliers fonctionnant éga- lement dans le vide: soit de chaque côté du moteur, dans le manchon soit encore en tête de l'aspiration, dans le stator avec un palier magnétique et dans le manchon au-delà du moteur. Le stator, du c8té du refoulement, comporte une conduite de refoulement reliée à une pompe primaire. A l'extrémité opposée au stator, le manchon est fermé par une tape de fermeture. En général, lorsque l'on arrête l'ensemble de pompage (pompe pri- maire + pompe turbomoléculaire), on remet le stator de la pompe à la pression atmosphérique afin d'éviter que l'huile de la pompe primaire ne sature l'atmosphère du rotor. Pour cela, une disposition connue consiste en une tubulure branchée sur la conduite de refoulement, ouverte à l'air libre et munie d'une vanne électromagnétique dont l'ouverture est commandée par l'arrêt du groupe de pompage. Cependant, lorsque le gaz pompé dans l'enceinte raccordée à l'as- piration de la pompe turbomoléculaire est chargé de particules.solides, poussières etc.. celles-ci s'accumulent au fond du stator au niveau du refoulement si bien qu'à l'arrêt du groupe de pompage et à la remise à la pression atmosphérique de la pompe par la tubulure susdite, il se produit un violent déplacement de ces poussières qui viennent se loger, entre autres, dans le manchon prolongeant le stator et notamment dans les paliers, par exemple des roulements à billes lubrifiées à l'huile ou à la graisse. Il s'ensuit une rapide détérioration de ces paliers qui néces- site leur changement fréquent. La présente invention a pour but de pallier cet inconvénient et a pour objet une pompe rotative à vide élevé comportant un rotor monté dans - 2un stator possédant une extrémité d'aspiration et une extrémité de refoulement percé d'un orifice de refoulement destiné à être raccordé à l'aspiration d'une pompe primaire, ledit rotor étant entrainé en rota- tion par un moteur logé dans un manchon, à la même pression que celle de ladite extrémité de refoulement du stator, prolongeant le stator du côté de son extrémité de refoulement, des paliers supportant l'ensemble tour- nant, l'extrémité du manchon opposée au stator étant obturée par une tape de fermeture, caractérisée en ce qu'un orifice de remise à la pression atmosphérique du stator est réalisé dans ledit manchon de façon à éviter, à l'arrêt de la pompe, l'introduction de vapeur d'huile dans le stator, en provenance de la pompe primaire, ledit orifice étant muni d'une vanne. Selon une réalisation préférée de l'invention, ledit orifice de remise à la pression atmosphérique est réalisé dans ladite tape de fer- meture. Avantageusement, ladite vanne est munie de moyens de commande d'ouverture et de fermeture de telle sorte que la vanne soit fermée lorsque la pompe fonctionne et ouverte lorsque la pompe est arrêtée. L'invention va maintenant être décrite en référence à la figure unique annexée, représentant, en coupe axiale, une pompe rotative turbo- moléculaire. La pompe représentée comprend un stator 1 portant des aubes fixes 2 dans lequel tourne à grande vitesse un rotor 3 muni d'aubes mobiles 4. Le stator 1 comporte une extrémité d'aspiration 5 destinée à être reliée à une enceinte à vider et une extrémité de refoulement comportant un orifice de refoulement 6 relié par une conduite 7 à l'as- piration d'une pompe primaire, non représentée, par exemple une pompe à palettes et à joints d'huile. Le rotor 3 est entraîné en rotation par un moteur. Le moteur est un moteur électrique comprenant un rotor 8, monté sur un arbre 9 prolon- geant le rotor de pompe 3, et un stator i0 monté dans un manchon 11 prolongeant le stator 1 de pompe du côté de son extrémité de refoulement. L'ensemble du mobile: rotor de pompe 3 et rotor 8 du moteur d'entraine- ment tourillonne dans des paliers à billes 12 et 13 montés dans le manchon 11. Du côté opposé à la pompe turbomoléculaire, le manchon 11 est - 3- obturé par une tape de fermeture 14 fixée au manchon par des vis telles que 15. Ainsi, en fonctionnement la pression qui règne dans le man- chon 11 est la même que celle qui existe au refoulement de la pompe c'està-dire à l'orifice de refoulement 6. Cette pression est par exemple de 102 Torr. Conformément à l'inventions, la tape de fermeture 14 est percée d'un orifice 16 de remise à la pression atmosphérique du stator 1o Cet orifice est suffisamment gros de façon à ce que la pression atmosphérique soit rapidement rétablie à l'intérieur du stator 19 évitant ainsi que des vapeurs d'huile en provenance de la pompe primaire ne vienne polluer la pompe turbomoléculaire. Le diamètre de cet oPifice est par exemple supérieur à 2 mm. Au cours du fonctionnement de la pompe, cet orifice 16 est évidems ment fermé. A cet effets il est muni d'une conduite 17 ouverte à l'air libre et équipée d'une vanne électromagnétique 18. La vanne électromagnétique 18 est commandée de façon à s7ouvrir lorsqu'on arrête la pompe et à se fermer lorsque la pompe est mise en route. Ainsi, lors de l'arrêt de la pompe, la vanne 18 s'ouvre et un flux gazeux balaye l'extrémité de refoulement de la pompe vers l'orifice d'aspiration empêchant ainsi la pénétration, dans le manchon 11, de par- ticules solides ou corrosives accumulées au niveau du refoulement. L'orifice 16, au lieu d'être réalisé dans la tape de fermeture 14, pourrait être réalisé ailleurs dans l'espace du manchon 11 compris entre la tape de fermeture 14 et le roulement à bille 12, mais il est évidem- ment plus pratique de le réaliser dans la tape de fermeture. 256720? REVENDICATIONS 1/ Pompe rotative à vide élevé comportant un rotor (3) monté dans un stator (1) possédant une extrémité d'aspiration (5) et une extrémité de refoulement percé d'un orifice de refoulement (6) destiné à être raccordé à l'aspiration d'une pompe primaire, ledit rotor étant entra:né en rotation par un moteur (8, 10) logé dans un manchon (11), à la même pression que celle de ladite extrémité de refoulement du stator, prolon- geant le stator du coté de son extrémité de refoulement, des paliers (12, 13) supportant l'ensemble tournant, l'extrémité du manchon opposée au stator étant obturée par une tape de fermeture (14), caractérisée en ce qu'un orifice (16) de remise à la pression atmosphérique du stator est réalisé dans ledit manchon de façon à éviter à l'arrêt de la pompe, l'introduction de vapeur d'huile dans le stator en provenance de la pompe primaire, ledit orifice étant muni d'une vanne (18). 2/ Pompe rotative selon la revendication 1, caractérisée en ce que ledit orifice (16) de remise à la pression atmosphérique est réalisé dans ladite tape de fermeture (14). 3/ Pompe rotative selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisée en ce que ladite vanne est munie de moyens de commande d'ouverture et de fermeture de telle sorte que la vanne soit fermée lorsque la pompe fonctionne et ouverte lorsque la pompe est arrêtée.