Brevet FR2570491A1 — publié le 19860321

Capteur de mesure des variations d'une grandeur physique. La présente invention concerne un capteur pour mesurer les variations d'une grandeur physique, en particulier d'une grandeur susceptible d'engendrer un déplacement. Elle s'applique ainsi notamment à la mesure des variations de pression, d'accélération, ou encore de température. On connaît déjà différents types de capteurs destinés à effectuer de telles mesures, qui font appel à -un grand nombre de principes de mesures différents. Si l'on considère l'exemple particulier des capteurs de pression, qui constituent une classe particulière des capteurs de mesure entrant dans le cadre de l'invention, on remarque que, dans la plupart des cas, le principe de mesure se fonde sur l'évaluation indirecte de la déformation d'un corps d'épreuve.Cette déformation se traduit par la variation d'une grandeur électrique analogique, représentative de la variation de la grandeur physique considérée. Les capteurs utilisés pour les applications courantes sont généralement constitués par des capteurs à jauges-oud a quartz. Les jauges de contraintes regroupent les jauges métalliques collées, les jauges diffusées dans un semi-conducteur, les jauges déposées en couches minces, les jauges déposées en couches épaisses, et les jauges semi-conductrices. Ces capteurs de mesure présentent un certain nombre d'inconvénients. Tout d'abord, ils ont des précisions moyennes qui sont rarement meilleures que 10 3 de l'étendue de la mesure, ces capteurs étant désignés comme appartenant à la classe 10 3. Ils nécessitent par ailleurs un ensemble électronique élaboré et par conséquent coûteux. En outre, ils résistent mal à des environnements sévères, en particulier à des environnements thermiques ou chimiques. Pour obtenir des capteurs appartenant à une classe de précision supérieure, il faut faire appel à des techniques encore plus élaborées, par exemple à des balances de force, ce qui conduit à un prix de revient considérable. On a également proposé de mesurer un déplacement en provoquant la modification du volume d'une cavité résonnante en hyperfréquence et en mesurant la variation de la fréquence d'accord de celle-ci. Il s'agit toutefois d'une technique difficile à mettre en oeuvre car elle implique d'utiliser une cavité résonnante étalon qui doit etre accordée au début et à la fin de la mesure. C'est 'un des buts de l'invention de proposer un capteur de mesure des variations d'une grandeur physique, qui surmonte les inconvénients des capteurs de la technique antérieure. Un autre but de l'invention est de réaliser un tel capteur de mesure qui présente une technologie de fabrication particulièrement simple et aisée, entraînant ainsi un faible prix de revient. Un autre but de l'invention est de réaliser un tel capteur de mesure qui soit applicable à la mesure d'un grand nombre de grandeurs physiques. Un autre but de l'invention est de réaliser un tel capteur de mesure -qui soit susceptible de fonctionner dans des environnements sévères Un autre but de l'invention est de réaliser un tel capteur de mesure présentant des dimensions réduites. Un autre but de l'invention est de réaliser un tel capteur de mesure qui délivre un signal de sortie donnant une infor- mation numérique d'une grande souplesse d'utilisation. La présente invention concerne plus particulièrement un capteur pour mesurer les variationsfld'une grandeur physique, en particulier d'une grandeur susceptible d'engendrer un déplacement, telle qu'une pression,. une accélération, ou encore la température. Seîonla caractéristique essentielle de l'invention, le capteur comprend, en combinaison - une cavité possédant une paroi interne conductrice, fermée à l'une au moins de ses extrémités par un court-circuit; - un conducteur interne monté à l'une de ses extrémités sur ce court-circuit et comportant à son autre extrémité une partie surfacée pour entre en relation de voisinage immédiat avec une partie correspondante de la cavité, l'une de ces deux parties étant sensible à ladite grandeur physique; - des moyens de couplage de l'intérieur de la cavité avec l'extérieur;; - un amplificateur connecté à ces moyens. de couplage pour former avec la cavité un oscillateur à ondes entretenues, et - des moyens électriques couplés à l'ensemble cavité amplificateur, et recueillant un signal électrique dont la fréquence est reliée à ladite grandeur physique. Dans un mode de réalisation préféré de l'invention, la paroi interne conductrice est cylindrique, tandis que le conducteur interne est disposé coaxialement à la paroi interne cylindrique et est relié à une extrémité de celle-ci par un court-circuit. On réalise ainsi une cavité que lçon peut qualifier de coaxiale . La partie surfacée du conducteur interne peut être constituée par une partie plane d'extrémité de forme circulaire, tandis que la partie correspondante de la cavité est alors constituée par une paroi circulaire disposée parallèlement et au voisinage de ladite partie plane d'extrémité, la partie plane d'extrémité et la paroi circulaire constituant respectivement les deux armatures d'un condensateur. Dans ce cas, le capteur mesure des déplacements qui s'effectuent-parallèlement à l'axe de la cavité coaxiale. La paroi circulaire peut être constituée par exemple par une membrane déformable qui est de préférence encastrée dans la paroi interne conductrice. Cette membrane déformable peut être chargée en son centre par une masse si le capteur es-t destiné à latumesure d'une accélération. La paroi circulaire précitée peut être également constituée par une paroi rigide et solidaire d'un piston déplaçable suivant l'axe de la cavité par une pièce en mouvement prenant appui sur une extrémité du piston lia paroi circulaire peut être encore constituée par une paroi rigide et solidaire d'un organe d'extrémité monté à l'autre extrémité de la paroi interne cylindrique. Dans une autre variante, la partie surfacée du conducteur interne est constituée par une partie cylindrique dont le diamètre externe est légèrement inférieur au diamètre interne de la paroi interne cylindrique. Dans ce cas, la partie surfacée du conducteur interne et la surface en regard de la paroi interne du conducteur externe constituent les armatures d'un condensateur cylindrique, ce qui permet de mesurer des déplacements selon des directions perpendiculaires à l'axe de la cavité. Il est particulièrement avantageux que la tige qui relie ladite partie cylindrique au court-circuit présente une section droite rectangulaire, ce qui permet de réaliser un accéléromètre directionnel. Dans une autre variante, la partie surfacée du conducteur interne et la partie correspondante de la cavité possèdent des coefficients de dilatation thermique différents, ce qui permet de réaliser un capteur de température. L'amplificateur utilisé dans le capteur de l'invention est avantageusement un amplificateur du type à large bande qui incorpore un élément correcteur de phase. D'autre part, les moyens de couplage comportent avantageusement deux boucles connectées à l'amplificateur par des passages isolants à travers le court-circuit. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention résulteront de la description détaillée qui suit, donnée uniquement à titre d'exemple illustratif, et en référence aux dessins annexés, sur lesquels - la figure i est une représentation schématique d'un capteur conforme à l'invention, dont la cavité est représentée en coupe longitudinale; - la figure 2 est une vue en coupe axiale d'un capteur à cavité coaxiale selon l'invention, utilisé comme capteur de pression; - la figure 3 est une vue en coupe axiale d'un capteur à cavité coaxiale selon l'invention, utilisé comme accéléromètre mono -axial. - la figure 4 est une vue en coupe axiale d'un capteur à cavité coaxiale suivant l'invention, utilisé comme accélé- romètre - directionnel - la figure 5 est une vue en coupe prise suivant la ligne V-V de la figure 4; - la figure 6 est une vue en coupe axiale d'un capteur à cavité coaxiale selon l'invention, utilisé comme capteur de déplacement; - la figure 7 est une vue en coupe axiale d'un capteur à cavité coaxiale selon l'invention, utilisé comme capteur de température; - la figure 8 est une vue en coupe axiale d'un autre capteur à cavité coaxiale selon l'invention, utilisé également comme capteur de température; - la figure 9 représente de façon schématique le couplage de deux capteurs conformes à l'invention à un ensemble mélangeur; et - la figure 10 est une vue en coupe axiale de deux capteurs à cavité coaxiale, couplés entre eux. Le capteur représenté de façon schématique sur la figure 1 comprend une cavité 10 possédant une paroi interne conductrice 12 fermée à l'une au moins de ses extrémités par un court-circuit 14, ainsi qu'un conducteur internè 16 monté à l'une de ses extrémités, à savoir l'extrémité 18, sur le court-circuit 14. Le conducteur interne 16 comporte à son autre extrémité, à savoir l'extrémité 20,une partie surfacée pour être en relation de voisinage immédiat avec une partie correspondante de la cavité, l'une de ces deux parties étant sensible à ladite grandeur physique La partie surfacée du conducteur interne peut être constituée soit par une paroi d'extrémité 22 en relation de voisinage immédiat avec une paroi d'extrémité 24 de la cavite,soit encore par une paroi latérale 26 en relation de voisinage immédiat avec la paroi interne 12 de la cavité.Dans le premier cas, le capteur sera utilisé pour mesurer des déplacements agissant sur la dimension G de la cavité entre les parois 22 et 24, tandis que dans le second cas le capteur sera utilisé pour mesurer une grandeur physique agissant sur la dimension F de la cavité entre les parois 12 et 26 Dans le mode de réalisation préféré de- l'invention où la cavité est coaxiale, la paroi interne 12 est cylindrique et le conducteur interne 16 est disposé coaxialement à la paroi interne cylindrique; les dimensions F et G précitées étant alors respectivement perpendiculaire et parallèle à l'axe de la cavité. Le capteur représenté sur la figure 1 comprend en outre des moyens de couplage 28 et 30 de l'intérieur de la cavité avec l'extérieur; un amplificateur 32 connecté aux moyens de couplage 28 et 30 pour former avec la cavité 10 un oscillateur à ondes entretenues; et des moyens électroniques 34 couplés à l'ensemble cavité-amplificateur et recueillant un signal électrique dont la fréquence est reliée à- la grandeur physique à mesurer. La cavité 10 délimite un volume interne fermé ou éventuellement ouvert, éventuellement rempli d'un matériau dielectrique. Cette cavité se comporte comme un circuit résonnant dont on mesure les caractéristiques en transmission par les moyens de couplage précités,ce qui permet de déterminer la fonction de transfert entre'l'entrée (couplage 28) et la sortie (couplage 30). L'utilisation de l'amplificateur 32 permet de reboucler l'ensemble et de former un oscillateur de fréquence élevée (HF, UHF ou VHF) pour des conditions de gain et de phase données. L'amplificateur 32 comporte de préférènce, mais non obligatoirement, un élément correcteur de phase. Dans la suite de la description, on sùpposéra que cet élément correcteur de phase est incorporé à l'amplificateur L'amplificateur 32, qui entretient les oscillations, est avantageusement un amplificateur à large bande, de façon à minimiser 11 influence sur la fréquence de l'oscillation due au déphasage, pour des variations de la fréquence de résonance de la cavité. Les variations de la grandeur physique à mesurer modifient les dimensions de la cavité, en particulier les dimensions F et G précitées, et, par conséquent, la fréquence d'oscillation. Les variations de cette fréquence constituent ainsi le signal recueilli par les moyens électroniques 34. L'action de la grandeur physique sur les dimensions de la cavité peut se faire directement, comme par exemple pour la mesure drun déplacement, ou encore indirectement dans les autres cas. Les moyens de couplage 28 et 30 peuvent etre de-nature électrique ou magnétique. Pour des applications à la mesure de déplacement, il est préférable que les zones de couplage des moyens 28 et 30 avec l'intérieur de la cavité soient situées à l'extrémité de la cavité qui présente le court-circuit. En pratique, les zones de couplage peuvent être situées soit sur le conducteur interne 16 au voisinage de son extrémité 18, soit sur le courtcircuit 14, en formant des boucles à l'intérieur de la cavité. Une telle disposition permet d'éloigner les zonès de couplage de la zone de mesure qui se situe au voisinage de l'autre extrémité, à savoir l'extrémité 20, du conducteur interne 16. Les moyens de couplage 28 et 30 sont réalisés de façon à remplir deux conditions principales - l'atténuation entre la sortie (couplage 30) et l'entrée (couplage 28) est limitée à des valeurs comprises entre 5 et 10 decibels de façon à pouvoir utiliser un amplificateur classique, tout en limitant l'influence des paramètres secondaires sur les caractéristiques de la cavité. - les couplages d'entrée et de sortie peuvent être choisis symétriques de façon à simplifier la réalisation et à réduire le coût. Si nécessaire, ils peuvent être choisis dissymétriques de façon à adapter l'entrée de la cavité à la sortie de l'amplificateur ou réciproquement la sortie de la cavité à l'entrée de l'amplificateur. Les moyens de couplage 28 et 30 comportent plus particulièrement deux boucles 36 et 38 qui sont connectées à l'amplificateur 32 par des passages isolants, respectivement 40 et 42, à travers le court-circuit 14. Les moyens électroniques 34 recueillant le signal électrique de sortie délivrent une information numérique qui présente une grande souplesse d'utilisation grâce à la variété des traitements (division, multiplication, hétérodynage, etc) que peut subir la variable fréquence ainsi recueillie. Dans la suite de la description, en référence aux figures 2 à 8,les cavités utilisées sont des cavités coaxiales constituées par des tronçons de ligne coaxiale rigide fermés par un court-circuit à une extrémité et par une impédance complexe à l'autre extrémité. On peut montrer, par le calcul, que,dans le cas particulier de la cavité coaxiale, la fréquence de la cavité est proportionnelle à la racine carrée de la dimension G précitée. Il entre toutefois dans le cadre de l'invention de réaliser des cavités non -coaxiales, par exemple des cavités dans lesquelles le conducteur central présente une section carrée et n'est pas centré par rapport à la paroi conductrice interne. Dans la description faite en référence aux figures 2 à 8, on utilisera les mêmes références numériques que dans la figure 1 pour désigner les éléments correspondants, en les augmentant toutefois de 100 pour la figure 2, 200 pour la figure 3, 300 pour les figures 4 et 5, 400 pour la figure 6, 500 pour la figure 7 et 600 pour la figure 8. Les capteurs décrits en référence aux figures 2 à 8 présentent les caractéristiques communes suivantes : - capteurs du type capacitif; - cavités coaxiales en transmission; fréquences : 0,3 à 1,2 GHz coefficients de qualité à vide : 500 à 1000 coefficients de qualité en charge (50 ohms) : 200 à 500 - entretien des oscillations assuré par des amplificateurs large bande (supérieur à 1,2 GHz); - couplage des cavités : magnétique par boucle; - étendue de mesure typique exprimée en pourcentage de la fréquence du capteur au repos : - 108; - stabilité intrinsèque des oscillateurs (variance) 10'8 à 10 9 sur une seconde. Le capteur représenté sur la figure 2 est un capteur de pression qui utilise une cavité coaxiale 110 qui présente une symétrie de révolution autour d'un axe X-X et qui -possède une paroi interne conductrice 112 cylindrique fermée à l'une de ses extrémités par un court-circuit 114. Le capteur comporte par ailleurs un conducteur interne 116 de forme cylindrique qui est disposé coaxialement à la paroi interne 112 et qui est relié par une de ses extrémités au court-circuit 114.L'autre extrémité du conducteur interne 116 définit une partie plane d'extrémité 122 de forme générale circulaire et disposée perpendiculairement à 11 axe X-. La partie surfacée 122 est en relation de voisinage immédiat avec une partie correspondante 124 de la cavité, constituée par une membrane déformable sensible aux variations de la grandeur physique,c'est-à-dire sensible aux variations de pression. Cette membrane est encastrée par son bord circulaire périphérique 150 à l'intérieur d'une partie annulaire 152 qui prolonge le boîtier 154 dans lequei est formée la cavité 110. La pression ou la force à mesurer slexerce-sur la paroi déformable solidaire de la cavité 110 et fait ainsi varier la capacité d'un condensateur dont les armatures sont constituées par les parties 122 et 124 en vis-à-vis. La cavité 110 est munie de deux boucles de couplage 136 et 138 qui sont connectées à un amplificateur 132 incorporé dans le boîtier, la connexion étant effectuée par des passages iso- lants 140 et 142 à travers le court-circuit 114 Le boîtier 154 se prolonge au des du court-circuit 114j du côté opposé à la partie annulaire 152, pour permettre de loger l'ampli filateur 132.Le boîtier 154 est équipé de deux connecteurs (non représentés) assurant la liaison à une borne d'alimentation 156 et à une borne sortie fréquence 158 du capteur. La cavité et la membrane du capteur de la figure 2 sont avantageusement réalisées dans le même matériau conducteur, par exemple en matériau du type "Invar" qui est un matériau à faible coefficient de température, la paroi interne 112 étant avantageusement dorée. Ce capteur peut être réalisé avec de faibles dimensions, par exemple avec un diamètre extérieur de 26 mm, pour une longueur de 28 mm, ce qui permet d'obtenir les caractéristiques suivantes - fréquence de la cavité : 1,2 GHz - sensibilité : 20 MHz/bar, ce qui correspond approximativement à 1,6 x 10 2/bar pour une épaisseur de met'orante de 1,5 nuai. Le capteur permet de mesurer une pression différentielle ou bien une pression absolue, à condition de faire le vide à l'intérieur de la cavité. Le capteur représenté sur la figure 3 dérive du capteur de la figure 2,mais est utilisé ici pour mesurer une accéléra- tion suivant une direction paralldle à l'axe X-X. Il s'agit là encore d'une cavité coaxiale1 que lion peut qualifier de réentrante, car la paroi interne conductrice 212 et la paroi externe cylindrique du conducteur 216 définissent ensemble un volume interne de forme générale annulaire. La principale différence par rapport au capteur de la fIgure 2 réside dans le fait que la paroi circulaire 224, qui est disposée en vis-à-vis de la partie surfacée 222 du conduc teur216, est constituée par une membrane déformable qui est chargée en son centre par une masse 244. Les moyens de couplage comprennent deux boucles 236 et 238 qui sont connectées à un amplificateur 232 à travers des passages isolants 240 et 242. L'amplificateur 232 est logé à l'intérieur du boîtier 254, de l'autre côté du courtcircuit 214. Le capteur de la figure 3 constitue un accéléromètre mono-axial, destiné à mesurer des accélérations suivant l'axe X-X. Les variations de 11 accélération agissent en effet sur la membrane, par l'intermédiaire de la masse centrale 244, pour modifier l'écartement entre les parties 222 et 224 en vis-à-vis. Ce capteur peut être réalise sous un faible encombrement, par exemple avec un diamètre extérieur de 21 mm pour une longueur de 21 mm. La cavité et la membrane sont avantageusement réalisées dans le même matériau, par exemple en cuivre,la membrane étant encastrée dans le boîtier et présentant une épaisseur de 0,4 mm. La charge de la membrane peut être par exemple de 5 grammes. On obtient ainsi les caractéristiques suivantes fréquence de la cavité : 600 MHz; sensibilité : 20 kHz/ms =3 x 10 /ms Le capteur représenté sur les figures 4 et 5 est un accéléromètre directionnel qui utilise une cavité de structure ouverte. Ce capteur comporte un boîtier 354 réalisé sous la forme d'un tube conducteur cylindrique qui définit une cavité 310 possédant une paroi interne cylindrique 312.A l'intérieur du boîtier 354 est logée une pièce métallique usinée qui définit une partie cylindrique intermédiaire 314 formant court-circuit et qui se prolonge d'un côté par un conducteur interne 316 constitué d'abord par une tige de section rectangulaire (cf. figure 5) et qui aboutit à une partie terminale 320 de forme générale cylindrique. Cette partie 320 définit une partie surfacée cylindrique 326 qui est en relation de voisinage immédiat avec la paroi interne 312 de la cavité. Le diamètre externe de la partie 320 est inférieur au diamètre interne de la paroi 312. La pièce métallique usinée, logée à l'intérieur du boîtier 354, définit de l'autre côté du court-circuit 314 une tige 360 qui aboutit à une partie terminale 362 de forme cylindrique qui obture l'extrémité opposée du boîtier 354. Les moyens de couplage comprennent deux boucles 336 et 338 qui assurent la connexion, d travers des passages isolants 340 et 342, avec un amplificateur (non représenté) logé à l'intérieur du boîtier dans le logement compris entre le court-circuit 314 et la partie terminale 362. Une accélération s'exerçant transversalement, c'est-à-dire perpendiculairement à l'axe X-X, entraîne une variation de fréquence due au déplacement de la partie 320 par rapport à la paroi interne 312. Du fait que le conducteur 316 présente, dans sa partie intermédiaire, une section rectangulaire aplatie (cf. figure 5), cela permet de réaliser un capteur directionnel. Un capteur non-directionnel sensible aux composantes d'accélération dans un plan de section transversale (ligne V-V de la figure 4) pourrait être obtenu en donnant à la section du conducteur 316 une forme circulaire. A titre d'exemple, l'accéléromètre des figures 4 et 5 peut être réalisé avec un diamètre extérieur de 10 mm et une longueur de 50 mm. La cavité et la partie centrale peuvent être réalisées par exemple en cuivre, les passages isolants étant formés par des perles de verre. La fréquence de la cavité est alors de 650 MHz et la sensibilité de 3 x 10 7/mus 2. Le capteur représenté à la figure 6 comporte un boitier 454 et une pièce métallique usinée, formant conducteur interne 416, qui sont réalisés de la même façon que pour le capteur des figures 4 et 5. Toutefois, à la différence du capteur des figures 4 et 5, le capteur de la figure 6 fait appel à des variations de dimensions suivant l'axe X-X. En effet, la partie surfacée du conducteur 416 qui est mise en jeu est la partie circulaire 422 formant paroi d'extrémité perpendiculaire à l'axe X-X. La partie correspondante de la cavité, qui est sensible aux variations de la grandeur physique, est une paroi circulaire 424,rigide et solidaire d'un piston 464 déplaçable suivant l'axe X-X par une pièce en mouvement (non représentée) prenant appui sur une extrémité 466 du piston 464.Le piston 464 coulisse suivant l'axe X-X, à l'intérieur de deux pièces annulaires 468 et 470 logées à l'intérieur du boîtier 454. La capacité du condensateur définie par les parties 422 et 424 en vis-à-vis varie ainsi en fonction du déplacement transmis à la paroi 424 par le piston 464. La variation de capacité du condensateur, qui résulte de ce déplacement, est traduite en une variation de fréquence représentative des variations de la grandeur physique. Ce capteur de déplacement peut être réalisé avec de faibles dimensions, par exemple avec un diamètre de 18 mm pour une longueur de 70 mm. La fréquence de résonance est alors de 500 MHz et la sensibilité de 10 2/micromètre (autour de 20 micromètres). Le capteur représenté à la figure 7 est un capteur de tem- pérature qui comporte un boîtier 554 et un conducteur interne 516 de forme sensiblement analogue à celle des capteurs représentés aux figures 4 et 5 d'une part et à la figure 6 d'autre part. Le conducteur interne 516 a ici une forme cylindrique de diamètre constant, rattachée au court-circuit 514. La partie surfacée du conducteur 51Q, qui est mise enjeu pour la mesure est la partie plane d'extrémité 522, de forme circulaire,tandis que la partie correspondante de la cavité est une paroi circulaire 524. Cette paroi 524 est rigide et solidaire d'un organe d'extrémité 572 encastré à 1U intérieur du boîtier 554, à l'extrémité de la paroi interne 512 qui est opposée d l'extrémité supportant le court-circuit 514. La paroi 524 est définie par un plateau circulaire rattaché à un prolongement cylindrique 574 en gradin qui vient se loger dans un alésage central 576 de l'organe 572. Le plateau définissant la paroi 524, ainsi que le prolongement 574, sont réalisés d'une seule pièce en un matériau possédant un coefficient de température très supérieur à celui du matériau qui est utilisé pour former le reste de la cavité. Ainsi, les différences de dilatation relatives se traduisent par une amplification des variations thermiques de l'intervalle qui sépare les parties 522 et 524 constituant les armatures d'un condensateur dont dépend la fréquence d'oscillation. Le capteur représenté à la figure 7 peut être réalisé également avec de faibles dimensions, par exemple avec un diamètre de 18 mm et une longueur de 50 mm. Le capteur représenté sur la figure 8 utilise le principe de la cavité ouverte de la figure 4, et peut être utilisé comme capteur de température. Le boîtier 654 et le conducteur interne 616 présentent la même structure générale que le boîtier et le conducteur interne du capteur de la figure 6. Toutefois, le conducteur interne 616 comporte une partie cylindrique d'extrémité 620 qui possède un coefficient de température très supériéur à celui du matériau qui est utilisé pour former le reste de la cavité. La partie dsex- trémité 620 définit une paroi cylindrique 626 qui est en relation de voisinage immédiat avec la paroi interne 612 du boîtier 654. Le capteur de la figure 8 peut être réalisé également avec de faibles dimensions, par exemple avec un diamètre de 10mm pour une longueur totale de 50 mm. La sensibilité des capteurs de température représentés aux figures 7 et 8 est voisine de 10 3 par degré. La structure de la figure 8 peut etre aussi utilisée pour effectuer une compensation de la dérive thermique de la fréquence de résonance. Pour cela, il faut choisir convenablement les coefficients de dilatation respectifs de la partie d'extrémité du conducteur interne et du reste de la cavité ainsi que les dimensions de la cavité. La figure 9 montre deux capteurs de mesure 11 et 13 conformes à l'invention qui sont couplés à un ensemble mélangeur 15 qui reçoit les signaux électriques issus respectivement des deux capteurs. Le couplage de deux cavités résonnantes de caractéristiques voisines permet d'obtenir des performances particulières. En effet, les deux cavités sont exploitées pour former deux oscillateurs délivrant respectivement des fréquences F1 et F2. Ces fréquences sont appliquées à l'ensemble mélangeur 15 qui est un mélangeur filtre passe-bas, permettant d'obtenir la composante F3 = F1 - F2. Cette configuration permet d'effectuer un décalage de fréquence et d'obtenir une gamme de fréquences plus -basse, donc plus facile à mesurer. D'autre parut, cette configura -tion présente l'avantage supplémentaire de compenser les fluctuations et dérives d'une cavité par celles de l'autre cavité. Un moyen commode pour coupler les deux capteurs est de réaliser un seul capteur comportant deux conducteurs internes 16 et 16' montés respectivement aux deux extrémités de la paroi interne 12 par l'intermédiaire d'un courtcircuit 14 et 14', comme le montre la figure 10. Revendications. 1. Capteur pour mesurer les variations d'une grandeur physique, en particulier d'une grandeur susceptible d'engendrer un déplacement, telle qu'une pression, une accélération ou encore la température, caractérisé en ce qu'il comprend, en combinaison - une cavité (10) possédant une paroi interne conductrice (12) fermée à l'une au moins de ses extrémités par un court-circuit (14); - un conducteur interne (16) monté à l'une de ses extrémités sur ce court-circuit (14) et comportant à son autre extrémité une partie surfacée (22, 26) pour être en relation de voisinage immédiat avec une partie correspondante (24; 12) de la cavité, l'une de ces deux parties étant sensible à ladite grandeur physique;; - des moyèns de couplage (28, 30) de l'intérieur de la cavité avec l'extérieur, - un amplificateur (32) connecté à ces moyens de couplage (28, 30) pour former avec la cavité un oscillateur à ondes entretenues; et - des moyens électroniques (34) couplés à l'ensemble cavité-amplificateur, et recueillant un signal électrique dont la fréquence est reliée à ladite grandeur physique. 2. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la paroi interne conductrice (12) est cylindrique et en ce que le conducteur interne (16) est disposé coaxialement à la paroi interne cylindrique et est relié à une extrémité de celle-ci par un court-circuit (14). 3. Capteur selon la revendication 2, caractérisé en ce que la partie surfacée du conducteur interne est une partie plane d'extrémité (22), tandis que la partie correspondante de la cavitéest une paroi circulaire (24) disposée.parallè- lement et au voisinage de ladite partie plane dsextrémité, la partie plane d'extrémité et la paroi circulaire constituant respectivement les deux armatures d'un condensateur. 4. Capteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que ladite paroi circulaire est une membrane déformable (124;224xi 5. Capteur selon la revendication 4, caractérisé en ce que la membrane déformable (124, 224) est encastrée dans la paroi interne conductrice (112, 212). 6. Capteur selon l'une quelconque des revendications 4 et 5, caractérisé en ce que la membrane déformable (224) est char gée en son centre par une masse (244). 7. Capteur selon la revendication 3,caractérisé en ce que la paroi circulaire (424) est rigide et solidaire d'un piston (464) déplaçable suivant l'axe X-x de la cavité par une pièce en mouvement prenant appui sur une extrémité -(466) du piston. 8. Capteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que la paroi circulaire (524) est rigide et solidaire dUun organe d'extrémité (572) monté à l'autre extrémité de la paroi interne cylindrique (512). 9. Capteur selon la revendication 2, caractérisé en ce que la partie surfacée du conducteur interne est constituée par une partie cylindrique (26) dont le diamètre externe est légèrement inférieur au diamètre interne de la paroi interne cylindrique (12), de manière à définir un condensateur cylindrique. 10. Capteur selon la revendication 9, caractérisé en ce que ladite partie cylindrique (320) est reliée au court-circuit (314) par une tige (316). 11. Capteur selon la revendication 10, caractérisé en ce que la tige (316) présente une section droite rectangulaire. 12. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte deux conducteurs internes (16 et 16l) montés respectivement aux deux extrémités de la paroi interne (12) par l'intermédiaire d'un court-circuit (14, 14') 13. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que la partie surfacée (522; 626) du conducteur interne et la partie correspondante (524; 612) de la cavité possèdent des coefficients de dilatation thermique différents. 14. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 13, caractérisé en ce que l'amplificateur (32) est du type à large bande et qu'il incorpore un élément correcteur de phase. 15. Capteur selon l'une- quelconque des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que les moyens de couplage comportent deux boucles (36, 38) connectées à l'amplificateur (32) par des passages isolants (40, 42) à travers le court-circuit (14). 16. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 15, caractérisé en ce qu'il est couplé à un autre capteur de caractéristiques similaires, les signaux électriques issus respectivement des deux capteurs étant appliqués à un ensemble mélangeur.