Brevet FR2570565A1 — publié le 19860321

La présente invention concerne l'extraction d'échantillons d'éléments d'image (ou pixels) hors de dispositifs de formation d'image, genre dispositifs à couplage de charge (ou DCC), du type à transfert de ligne ou du type à transfert d'interligne dans lesquels Les canaux de transfert de charge se rapportent à un balayage en lignes parallèles. Dans un dispositif de formation d'image DCC du type à transfert de ligne, le registre image comprend plusieurs canaux de transfert de charge DCC en parallèle dans lesquels des paquets de charge représentatifs d'une image d'énergie rayonnante sont amenés à se former. Les paquets de charge se trouvant dans chaque canal DCC représentent une ligne de réponse d'image, et ces lignes de réponse d'image sont séquentiellement transférées du registre d'image. Le transfert peut se faire vers un bus de lecture commun reliant les électrodes de sortie de chacun des registres d'image. Un inconvénient de l'utilisation d'un tel bus de lecture est que le rapport signal-bruit de sortie subit une diminution du fait de la capacité élevée du long bus de lecture. Selon une autre possibilité, on peut remplacer le bus de lecture commun par un canal de transfert de charge DCC passant latéralement le long du registre d'image, ses étages successifs étant conçus pour être charges latéralement depuis certains, respectifs, des canaux de transfert de charge en parallèle se trouvant dans le registre d'image. Le canal de transfert de charge DCC chargé latéralement introduit un désalignement temporel entre les lignes disposées en excès de celles associées à un balayage régulier, si bien qu'il faut prévoir une compensation de retard pour éviter une distorsion de cisaillement de l'image de télévision reproduite à partir du signal de sortie du dispositif de formation d'image. Dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 3 811 055, un moyen par lequel des paquets de charge venant d'un réseau de canaux de transfert de charge parallèles sucessivement lus peuvent être multiplexés afin de délivrer un flux série continu de paquets de charge à un étage de sortie d'électromètre, chaque rangée de paquets de charge transférés depuis l'un des canaux de transfert de charge étant soumise au même retard, pendant La lecture, que toutes Les autres rangées. Le circuit d'entrance réaLisant ce processus est une structure en arbre convergent faite d'étages de fusionnement de canaux. Les étages de fusionnement de canaux sont disposés en rangs qui s'amincissent progressivement, Les paquets de charge qui viennent de canaux de transfert de charge contigus qui se trouvent à L'entrée de chaque rang successif d'étages de fusion- nement de canaux étant amenés à un nombre réduit de canaux de transfert de charge au niveau de sa sortie. Une réduction 2:1 du nombre des canaux de transfert de charge de chaque rang d'étages de fusionnement de canaux va être décrite à titre particulier. Ce type de circuit d'entrance peut être utilisé, ainsi que l'indique la demanderesse, dans le multi- plexage par division de temps des paquets de charge déLivrés depuis le registre d'image d'un dispositif de formation d'image DCC du type à transfert de ligne. Chaque Ligne 'successivement sélectionnée de paquets de charge lue dans le registre d'image est ensuite amenée jusqu'à un unique étage de détection de charge qui convertit chaque paquet de charge en un échantillon de signal de sortie vidéo cor- respondant. Chaque semblable étage de fusionnement de canaux reçoit une charge à tout instant donné de la part de l'un des canaux de transfert de charge (et non des deux) se trouvant à son entrée, puisqu'il n'est sélectionné dans le dispositif de formation d'image, pour la lecture, qu'une seule rangée à la fois. Dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique nQ 3 811 055, il est indiqué que neuf rangs d'étages de fusionnement de canaux successifs suffisent pour combiner les paquets de sortie, qui en sont successivement extraits en cadence, jusqu'à 29 rangées de registres d'image, soit un nombre qui est supérieur aux 480 lignes actives, environ, d'une trame de téLévison du standard NTSC. Un problème connu est que, lorsque le nombre de rangées de paquets de charge qui peuvent être multiplexés augmente (par exemple audeLà de quatre), les sorties des étages de fusionnement de canaux des rangs suivants deviennent plus largement séparées sur le substrat semiconducteur. Cette séparation rend difficile de poursuivre plus loin le fusionnement de canaux. Pour résoudre un tel problème, il a été proposé dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 3 811 055 de former des îlots diffusés dans Le substrat afin de les utiliser comme des barres connectrices servant à conduire des paquets de charge jusqu'aux entrées d'étages de fusionnement de canaux des derniers rangs de la structure de transfert de charge d'entrance. Toutefois, l'emploi d'îlots diffusés de grande longueur n'est pas sans problèmes. Si l'on considère te fonction- nement de ces îlots diffusés comme celui de lignes de transmission analogiques, la longueur des îlots diffusés rend difficile d'achever la propagation du signal le long des îlots dans les limites d'un intervalle de cadencement. Par conséquent, on souhaite qu'il soit mis au point une structure DCC qui effectuerait le multiplexage par division temporelle des charges des signaux venant d'une électrode de sortie commune avec un même retard temporel pour chaque registre, une semblable structure évitant l'emploi de bus d'interconnexion d'une grande longueur. On peut utiliser des étages de fusionnement de canaux avec la multiplexion par division dans le temps, comme cela vient juste d'être indiqué, ou bien on peut utiliser ces étages pour faire fusionner les paquets de charge de sortie délivrés simul- tanément par les extrémités de sortie de plusieurs canaux de trans- fert de charge d'entrée. Dans l'étage de fusionnement de canaux de ce dernier type, qui est celui le plus souvent rencontré en pratique, les paquets de charge de sortie sont la somme des paquets de charge d'entrée. Par conséquent, le canal de transfert de charge issu de l'étage doit contenir des paquets de charge de sortie plus grands. Il est courant de maintenir uniformes, dans tout l'étage de fusion- nement de canaux, les longueurs des électrodes de grille et les excursions des potentiels de cadencement. Ainsi, la largeur des structures d'électrodes de grille et le canal de transfert de charge sous- jacent augmentent, si bien qu'il est proprement tenu compte de la nécessité d'une capacité accrue de transfert de charge. Dans la préparation de l'invention, on s'est rendu compte, lorsque l'on utilisait un fusionnement de canaux dans le multiplexage par division temporelle de trains de paquets de charge séquentiellement fournis, il était possible de rétrécir l'étage de fusionnement de canaux de manière plus importante à son extrémité de sortie qu' à son extrémité d'entrée (au contraire de la pratique ci-dessus décrite). Un tel étage de fusionnement de canaux sera appelé un "entonnoir de charge". Dans les étages de fusionnement de canaux qui sont utilisés pour le multiplexage par division temporelle, les paquets de charge de sortie sont du même ordre de grandeur que les paquets de charge d'entrée sélectionnés. L'étage de fusionnement de canaux comprend, en plus de canaux de transfert de charge d'entrée parallèles, un canal de transfert de charge de sortie supplémentaire, qui est suffisamment large à son orifice d'entrée pour assurer la connexion avec les orifices de sortie parallèles des canaux de transfert de charge d'entrée, comme dans les étages de fusionnement de canaux servant à additionner des trains de paquets de charge fournis en parallèle. Comme cela est courant, les excursions de potentiel de cadencement sont maintenues uniformes dans tout l'étage de fusionnement de charge. Toutefois, le canal de transfert de charge de sortie se rétrécit pour être, à son orifice de sortie, simplement à peu près aussi large que le ou les orifices de sortie de l'un ou des deux canaux de trans- fert de charge d'entrée fournissant des paquets de charge d'entrée à un instant donné quelconque. Ce rétrécissement est possible, puisqu'il n'existe aucun risque notable de remplissage excessif des puits de potentiel qui sont induits sous les électrodes de grille au niveau de L'extrémité de sortie rétrécie du canal de transfert de charge de sortie. Il n'existe aucun risque notable puisque les paquets de charge ne sont introduits dans le canal de transfert de charge de sortie que depuis un ou deux seulement des canaux de transfert de charge d'entrée à la fois. On note que, selon la loi de Coulomb, l'admission de paquets de charge d'entrée sous les larges électrodes de grille qui s'étendent sur la large entrée de l'étage de transfert de charge de sortie aura pour effet, en raison de la grande capacité de ces électrodes de grille, de produire des variations de potentiel res- pectivement très petites sous ces électrodes. Si cette charge est évacuée du canal de transfert de charge de sortie via un drain ter- minal, cette petite variation de potentiel ne présente aucun problème. Mais, lorsqu'il est utilisé comme étage de sortie un électromètre (par exemple un électromètre du type diffusion flottante),la sen- sibilité de l'étage de sortie en sera fortement affectée. Le rétrécissement de la largeur du canal de transfert de charge de sortie en même temps que ses structures d'électrodes de grille aura pour effet, au niveau de l'orifice de sortie du canal de transfert de charge de sortie, encore une fois en raison de la loi de Coulomb, de restaurer la sensibilité de variation du potentiel en fonction des paquets de charge d'entrée. Il y aura donc amélioration de la sensibilité de l'étage électrométrique de mesure des paquets de charge transférés à l'extrémité du canal de transfert de charge de sortie, en raison de l'étroitesse du canal de transfert de charge au niveau de son extrémité de sortie. Les "entonnoirs de charge" servant à combiner des paquets de charge venant d'un petit nombre de canaux de transfert de charge avec des orifices de sortie parallèles sont bien connus. Par exemple, on pourra se reporter au brevet des Etats-Unis d'Amé- rique n 3 971 003, en particulier à ses figures 15 et 19. Chacune de ces figures montre un semblable entonnoir de charge, lequel est utilisé pour fusionner des paquets de charge en groupes de trois, chaque groupe comportant des paquets de charge pris suc- cessivement depuis trois canaux de transfert de charge parallèles d'un registre dit "C" d'un dispositif de formation d'image DCC du type à emmagasinage de champ. Dans un entonnoir de charge, qui fusionne des paquets venant d'un semblable nombre relativement petit de canaux parallèles, on ne tient pas compte du problème de la production d'une variation de tension pour chaque paquet de charge suffisamment grandepour être détecteà l'aide d'un électro- mètre (comme le type d'appareil utilisant une diffusion flottante connectée à l'électrode de grille d'un transistor à effet de champ). Dans ces conditions, on note que le rapport de la largeur de L'ori- fice d'entrée de l'entonnoir à la largeur de l'orifice de sortie du canal de transfert de charge précédent est relativement petit (environ 3:1). Ainsi, tout paquet de charge introduit dans l'ori- fice d'entrée de l'entonnoir de charge provoque dans le canal de transfert de charge de l'entonnoir une variation de tension qui n'est que quelques fois plus petite que la variation de tension existant au niveau de l'orifice de sortie du canal de transfert de charge précédent. Inversement, dans un dispositif de formation d'image du type à transfert de ligne, on souhaite utiliser l'enton- noir de charge pour transporter des paquets de charge à un électro- mètre, lesquels paquets de charge proviennent de dizaines ou de centaines de canaux de transfert de charge précédents. Si un unique paquet de charge quelconque d'un train série était admis dans le puits d'emmagasinage de charge formé au niveau de l'extrémité d'entrée d'un entonnoir de charge, on considérerait alors normale- ment que la variation de tension qui en découle en réponse à ce paquet de charge serait trop petite pour être utile (en raison du fait que la capacité du puits d'emmagasinage est grande par suite de l'aire nécessairement grande et de la dimension nécessairement large de l'électrode de grille formant un puits au niveau de l'extrémité d'entrée du canal). Toutefois, de manière surprenante, ce n'est pas le cas lorsqu'on utilise un entonnoir de charge entre un nombre relativement important de canaux de transfert de charge parallèles et l'entrée d'un électromètre. Au contraire, les paquets de charge peuvent être transmis directement d'un grand nombre de canaux de transfert de charge parallèles d'un registre d'image à l'entrée d'un électromètre, même si la variation de tension observée au niveau de l'orifice d'entrée ou de l'extrémité de l'entonnoir de charge est plus basse que Le plus petit niveau pouvant être détecté par un électromètre typique. L'invention est mise en oeuvre dans un dispositif de formation d'image du type dispositif à couplage de charge (DCC). Le dispositif de formation d'image comporte un registre d'image qui possède un groupe de canaux de transfert de charge en cadence sélectivement formés dotés d'orifices de sortie respectifs en alignement parallèle, et un électromètre destiné à mesurer les paquets de charge transférés depuis les orifices de sortie des canaux de transfert de charge qui sont sélectivement cadencés en vn-; [.assant. Selon l'invention, un entonnoir de charge qui possède un orifice d'entrée relativement large connecté à des orifices de sortie alignés du groupe de canaux de transfert de charge dudit registre d'image comporte un orifice de sortie relativement étroit qui est connecté à un orifice d'entrée de l'électromètre, et comporte également des électrodes de grille auxquelles sont délivrées des tensions de cadencement en sens passant, au moins pendant les durées pendant lesquelLes des paquets de charge sont en cours de transfert en provenance d'ori- fices de sortie du groupe de canaux de transfert de charge du dispositif de formation d'image, en vue du transfert de paquets de charge à l'orifice de sortie de l'entonnoir de charge. D'un point de vue distinct, il est possible d'augmenter le rendement de transfert de charge dans un entonnoir de charge, comme celui utilisé dans le dispositif de formation d'image ci-dessus décrit. Le rendement de transfert de charge est intéressant lorsque l'extrémité d'entrée du canal de l'entonnoir est beaucoup plus large que son extrémité de sortie et lorsque l'angle du rétrécissement de l'entonnoir de charge présente une grandeur correspondante. Cette augmentation de rendement, qui est expliquée ci-dessous, est obtenue dans un entonnoir de charge, lequel peut être considéré comme un registre à décalage du type DCC. Comme dans la technique antérieure, le registre à décalage du type enton- noir de charge répond à des signaux de cadencement qui sont appliqués à sa structure d'électrode en décalant des paquets de charge qui sont appliqués en série à son extrémité d'entrée vers une extrémité de sortie d'un canal en forme d'entonnoir se trouvant à l'intérieur du registre à décalage. Le canal est disposé dans un substrat semi- conducteur et possède des côtés (bords) délimités par des butées du canal. Le canal se rétrécit suivant sa longueur, si bien que le canal est plusieurs fois plus large à son extrémité d'entrée qu'à son extrémité de sortie. La-structure d'électrode de grille 2570565 - s'étend sur la largeur du canal de transfert de charge, si bien que les paquets de charge, qui sont admis en des emplacements transversalement répartis sur La Largeur de l'orifice d'entrée du canal et qui sont décalés suivant la Longueur du canal, sont ramenés à une largeur relativement étroite au niveau de l'orifice de sortie du canal. Selon cet aspect de L'invention, les électrodes se trouvant à l'intérieur de la structure d'électrode sont infléchies au niveau de leurs extrémités respectives de façon à être sensible- ment perpendiculaires à La longueur des butées respectives des canaux. On note quedans cette demande, seront employées les conventions relatives aux directions spatiales d'un substrat semiconducteur qui sont utilisées par les fabricants de dispositifs à couplage de charge. Quetle que soit L'orientation spatiale réelLe du dispositif de formation d'image, sa surface supérieure sera La surface sur laquelle sont disposées les structures d'électrodes de grille. La surface opposée sera appelée la "surface inférieure", et les termes "haut", "bas", "dessous", "dessus", etc. sont uti- lisés sur la base des conventions ci-dessus énoncées. Les surfaces "supérieure" et "inférieure" sont les surfaces qui sont quelquefois appelées le "côté avant" et le "c6té arrière" du dis- positif de formation d'image par les fabricants de caméras de télévision. La description suivante, conçue à titre d'illus- tration de l'invention, vise à donner une meilleure compréhension de ses caractéristiques et avantages; elle s'appuie sur les dessins annexés, parmi lesquels: - la figure 1 est une vue en plan de la structure d'électrodes de grille se trouvant sur une partie de la surface supérieure d'un dispositif de formation d'image DCC du type à transfert de ligne dans lequel la présente invention est employée; - la figure 2 est une vue en plan d'une autre structure d'électrodes de grille se trouvant sur les côtés de la structure d'entonnoir dé charge représentée sur la figure 1; La figure 3 est une vue en coupe de La figure 2 montrant La structure d'électrode de griLLe en profil, auquel cas Le DCC utilise un cadencement biphasé à deux électrodes; - la figure 4 est une vue en plan de la structure d'électrodes de grille se trouvant sur les côtés de la structure d'entonnoir de charge utilisant un cadencement biphasé à quatre électrodes et comportant des électrodes de griLLe de "renforcement" selon un autre aspect de L'invention; - la figure 5 est une vue en coupe de L'entonnoir de charge de la figure 4; - La figure 6 est un schéma de cadencement multi- phasé de La structure d'entonnoir de charge de La figure 4; - la figure 7 est une vue en plan de La structure d'électrode de grille se trouvant sur les côtés d'un entonnoir de charge utilisant un cadencement biphasé à deux électrodes et com- portant des électrodes de grille de "renforcement" selon un autre aspect de l'invention; - la figure 8 est une vue de profil d'une partie centrale du dispositif de formation d'image de la structure d'enton- noir de charge de la figure 7; - la figure 9 est un schéma de cadencement multi- phasé de la structure d'entonnoir de charge de la figure 7; - la figure 10 est une vue en plan d'une variante de la structure de la figure 7 dans laquelle des électrodes de grille de renforcement sont cadencées à une fréquence triple de cadencement d'électrode de grille d'entonnoir de charge, au lieu que ce soit au double de cette fréquence de cadencement, selon un autre aspect de l'invention; - la figure 11 est un schéma de cadencement multi- phasé destiné à la-structure d'entonnoir de charge de la figure 10; -- la figure 12 est un schéma de principe d'une caméra de télévision utilisant un dispositif de formation d'image DCC du type à transfert de ligne construit selon l'invention; - la figure 13 est un schéma de principe d'une caméra de télévision utilisant un dispositif de formation d'image DCC du type à transfert de ligne qui constitue un mode de réalisation de l'invention et possède plusieurs entonnoir de charge mis en parallèle servant à faire commuter des lignes de paquets de charge sortant de son registre d'image; - la figure 14 illustre une comparaison géométrique entre la place prise sur la puce semiconductrice par un unique entonnoir de charge et la place occupée par deux entonnoirs de charge plus petits ayant des entrées en parallèle, pour un même nombre de canaux de transfert de charge d'entrée; - la figure 15 est un schéma de principe montrant une variante de la caméra de télévision de la figure 13; - lazfigure 16 est un diagramme temporel associé à la caméra de télévision de la figure 12; - la figure 17 est un schéma de principe d'une caméra de télévision analogue à celle de la figure 13, les enton- noirs de charge étant toutefois cadencés pendant les seuls moments o les paquets de charge sont transférés par leur intermédiaire, afin d'économiser l'énergie des signaux de cadencement; et - la figure 18 est un diagramme temporel relatif à la caméra de télévision de la figure 17. La figure I montre les structures d'électrodes de grille de la partie de sortie d'un dispositif de formation d'image DCC du type à transfert de ligne doté d'un circuit de sortie du type entonnoir de charge. La gauche de la figure 1 montre la partie la plus à droite d'un registre d'image 2. Un entonnoir de charge 4 se trouve dans la partie centrale de la figure 1. L'entonnoir de charge 4 est employé pour la lecture de rangées sélectionnées de paquets de charge dans le registre d'image 2 pour introduire ces paquets de charge en série dans un étage d'électromètre 7 de struc- ture classique, qui est représenté dans la partie droite de la figure 1, et qui constitue ordinairement l'étage de sortie du dis- positif de formation d'imJge DCC. A titre d'illustration, on suppose qu'il est utilisé un cadencement biphasé à deux électrodes, à la fois dans le registre d'image 2 et dans l'entonnoir de charge 4, et on suppose qu'il existe des grilles en silicium polycristallin à deux couches constituées selon la structure DCC biphasée classique d'aujourd'hui. Dans la structure biphasée à deux électrodes, même si cela n'apparaît pas explicitement sur les figures 1 et 2 pour éviter de compliquer les dessins, se trouvent des régions de dif- fusion au-dessous des bords postérieurs des électrodes de grille, ceci apparaissant explicitement dans la couche de profit de La figure 3. Ces régions de diffusion seraient, si elles apparais- saient sur la figure 1, disposées verticalement de manière à créer une asymétrie du champ électrique au-dessous de chacune des élec- trodes de grille, de sorte que le transfert de charge s'effectue toujours dans le sens avant (c'est-à-dire en direction de la droite de la figure 1) . Comme cela sera discuté ci-après, les canaux de transfert de charge du dispositif de formation d'image et de l'enton- noir peuvent chacun fonctionner dans le mode "cadencement simple' ou "cadencement double". La figure 1 est une vue montrant la surface du substrat semiconducteur sur laquelle le dispositif de formation d'image DCC est formé (cette surface étant appelée ci-après "la surface supérieure" selon les conventions classiquement employées dans le domaine des semiconducteurs). La première couche de sili- cium polycristallin est séparée de cette surface par une couche intermédiaire en matériau électriquement isolant. Après son incision sélective visant à former un premier groupe d'électrodes de grille, on revêt la première couche au moyen d'une autre couche en matériau électriquement isolant, au-dessus de laquelle on dispose la deuxième couche de silicium polycristallin avant de l'inciser sélectivement pour former un deuxième groupe d'électrodes de grille. Dans des formes préférées du dispositif de formation d'image, l'éclairement pénètre par des parties non masquées du substrat semiconducteur au travers de la surface, en regard de celles sur lesquelles les couches de silicium polycristallin sont disposées. Dans ce cas, le substrat semiconducteur est aminci si bien qu'un rayonnement de photons peut pénétrer dans le substrat pour permettre une photo- conversion dans les régions situées sous le registre d'image 2. Dans le registre d'image 2, on incise sélectivement la première couche de silicium polycristallin (avant de la revêtir au moyen de la deuxième couche de silicium polycristallin) pour former une structure en peigne 10. Les dents de la structure en peigne 10 constituent un ensemble d'électrodes de grille parallèles, verticalement disposées sur la figure 1. Une connexion commune des extrémités de ces électrodes de grille constitue l'arrière, ou le dos, de la structure en peigne 10 et distribue aux-électrodes de grille un signal de cadencement 01-A On incise sélectivement la deuxième couche de silicium polycristallin du registre d'image 2 pour former un autre ensemble d'électrodes de grille parallèles, portant les numéros de référence11 à 24, quicroisent les électrodes de qrille de la structure en peigne 10 de la première couche de silicium polycristallin. Les électrodes de grille d'un ensemble sont perpendiculaires aux électrodes de grille de l'autre ensemble. Là o les électrodes de grille 11 à 24 de la deuxième couche de silicium polycristallin croisent les électrodes de grille de la première couche de silicium polycristallin qui forment les dents de la structure en peigne 10, les électrodes de la première couche de silicium polycristallin exercent un effet de blindage électrique sur le substrat semi- conducteur vis-à-vis de l'induction électrostatique exercée par les électrodes de la deuxième couche de silicium polycristallin. Ainsi, le registre d'image 2 peut être considéré comme comprenant plusieurs canaux de transfert de charge DCC disposés en parallèle au-dessous d'électrodes de grille 11 à 24 respecties correspondantes. Normalement, des butées de canal et des drains atimiroitement sont disposés dans le substrat semiconducteur entre ces canaux de transfert de charge. Les électrodes de grille 11 à 24 reçoivent des potentiels tels que, à tout moment donné pendant l'intervalle de balayage horizontal de trame du signal de sortie du dispositif de formation d'image, l'accumulation ou l'intégration de charge ait lieu sur toutes les électrodes sauf l'uneou deux adjacentes, d'entre- elles. Pendant l'intervalte de retour de spot de trame, l'électrode sélectionnée (ou la paire d'électrodes) reçoit un signal d'horloge ou de cadencement, 02-A' On suppose qu'un entrelacement de lignes n'est pas utilisé ou qu'un entrelacement de lignes vrai est utilisé. L'électrode de grille choisie parmi les électrodes 11 à 24 au- dessus de la rangée de paquets de charge décrivant la ligne de l'image en cours de balayage reçoit alors 02-A' Ceci conditionne le substrat semiconducteur se trouvant au-dessous à faire fonction de dispositif de transfert de charge, qui décale les paquets de charge vers la droite dans le registre d'image 2. Les paquets de charge sont décalés à raison d'un à la fois hors du registre d'image 2 pour entrer dans l'entonnoir de charge 4. On suppose qu'un entrelacement de lignes apparent est utilisé. Deux électrodes de grille adjacentes sélectionnées parmi les électrodes 11 à 24 reçoivent 02-A' la disposition respective des paires adjacentes étant alternée d'une trame à l'autre dans la mise en oeuvre de l'entrelacement de lignes. Ainsi, chaque ligne du signal de sortie du dispositif de formation d'image est la somme de deux rangées adjacentes de paquetsde charge accumu- lés dans le registre d'image 2 pendant l'intégration de la trame précédente. L'entonnoir de charge 4 est un canal de transfert de charge déclenchant un synchronisme avec le canal de transfert de charge se trouvant sous chacune des électrodes de grille sélectionnées parmi les électrodes 11 à 24. Si l'entonnoir de charge et le registre d'image fonctionnent tous deux dans le mode de double cadencement, la structure en peigne 31 de la première couche de silicium polycristallin se trouvant dans le canal de charge 4 reçoit une première phase du signal d'horloge, ou de cadencement, 01-F qui est synchrone avec la première phase du signal de cadencement 01-A appliquée au registre d'image 2. (En réalité, on peut concevoir que 01-F et 01-A puissent être identiquement le même potentiel d'horloge.) La structure en peigne 32 de la deuxième couche de silicium poly- cristallin se trouvant dans l'entonnoir 4 reçoit une deuxième phase du signal de cadencement 02_F' qui est synchrone avec la deuxième phase du signal de cadencement 02-A' qui est en effet au moins appliqué au registre d'image 2. Les signaux 01-A et 02-A sont des phases complémentaires du signal de cadencement biphasé. 01-F et 02-F sont des phases complémentaires du signal de cadencement biphasé. Les dents de La structure en peigne 31 constituent une succession d'électrodes de grille 01-F perpendiculaires au canal de transfert de charge de t'entonnoir de charge 4, et Les dents de La structure en peigne 32 constituent Les électrodes de grille 02-F entrelacées avec les électrodes de grille 0 La largeur de l'extrémité 1-F' d'entrée du canal de transfert de charge via l'entonnoir de charge 4 est telle qu'il reçoit des paquets de charge de la part de l'un quelconque des canaux de transfert de charge se trouvant sous les électrodes de grille 11 à 24 du registre d'image 10. La largeur de l'extrémité de sortie du canal de transfert de charge via l'enton- noir de charge 4 est beaucoup plus étroite, et se connecte à l'étage de sortie 7 de l'électromètre. Le canal de transfert de charge passant par l'entonnoir 4 est limité latéraLement par des parties d'une butée de canal appartenant au substrat semiconducteur, laquelle butée de canal entoure également des parties de l'étage électromé- trique 7. L'emplacement de cette butée de canal est indiqué par la ligne 33 en pointillé mixte. Un schéma de cadencement biphasé préféré consiste à faire fonctionner le registre d'image 2 dans le mode de simple cadencement et l'entonnoir de charge 4 dans le mode de double caden- cement. Dans le mode de simple cadencement, l'une des deux "phases" du signal d'horloge est en réalité un potentiel continu, et l'autre des deux phases est alternativement positive et négative par rapport à cette tension continue. En raison de la grande surface existant sous la structure en peigne 10 du registre d'image 2, il est avantageux de préserver l'énergie de cadencement pour faire de 01-A la phase de cadencement à potentiel continu. Ainsi, le signal 02_A appliqué aux électrodes de grille 11 à 24 est le potentiel d'horloge alternatif. Lorsque les électrodes de grille 11-24 ne reçoivent pas te signal 02-A' elLesreçoivent le potentiel continu. Le potentiel continu induit des sites de recueil de porteurs dans les parties des canaux de transfert de charge qui se trouvent sous les électrodes 11-24, mais qui ne sont pas Rlectrostatiquement blindée par les dents de la structure en peigne 10. Le cadencement de l'entonnoir de charge 4 suivant le mode de cadencement double à l'aide de 02-A permet un transfert de charge plus efficace que celui obtenu par un cadencement simple réalisé en faisant alterner le signal 01-F sur La même étendue de potentiel que 02_F Un transfert de charge efficace dans l'entonnoir de charge 4 est intéressant dans la plupart des applications, puisque les distances de transfert au niveau des bords de l'entonnoir de charge sont plus longues qu'en son centre. L'étage électrométrique 7 est représenté à titre d'exemple sous forme d'un étage du type à transistors à effet de champ métaL-isolant-semiconducteur et à diffusion flottante cLas- sique. L'électrode de grille 34 d'un transistor à effet de champ (TEC) de l'étage 7 se prolonge (vers le haut sur la figure 1) jusqu'à venir en contact avec la diffusion flottante de la partie canal de transfert de charge de l'étage électrométrique 7 et se prolonge (vers te bas sur la figure 1) pour former une partie grille pour les régions de source et de drain du TEC. Des connexions métalliques 35 et 36 sont en contact ohmique avec les régions de source de drain du TEC, lesquelles sont disposées dans le substrat semiconducteur et se prolongent jusqu'à des plots de liaison du dispositif de formation d'image, non représentés. Les régions de source et de drain du TEC sont finalement en contact avec une alimentation de fonctionnement. Une semblable connexion (ordinairement la connexion de source) est classiquement réalisée au travers de la charge du dispositif de formation d'image. L'extrémité du canal de transfert de charge passant dans l'entonnoir de charge 4 et l'étage électrométrique 7 se terminent en une diffusion de dmrain de reposition- nement. La diffusion de drain de repositionnement est en contact ohmirue avec une connexion métallique 37, par l'intermédiaire de laquelle le potentiel de drain est applique. La diffusion flottante est périodiquement verrouillée sur le potentiel du drain par l'action induite par une impulsion de repositionnement appliquée à une grille de repositionnement 38 platée entre la grille 34 du TEC et le drain de repositionnement. Des électrodes de grille 39 pour courant continu qui sont formées dans la première couche en silicium polycristallin encadrent l'électrode de grille 34 du TEC de l'électromètre, comme cela est courant. Les larges électrodes de grille se trouvant à l'entrée du circuit 4 d'entrée en entonnoir de charge font que son fonctionnement est notablement différent de celui de l'arbre conver- gent ci-dessus mentionné des étages de fusionnement de charge, ou de celui du circuit d'entrance de charge. Lorsqu'un paquet de charge a été introduit sous La première de ces larges électrodes de grille, il existe une tendance à ce qu'il se disperse sur toute la largeur de l!électrode de grille. Aux cadences d'horloge lentes, la grande capacité de l'électrode de grille large (selon La loi de Coulom) fait que la profondeur du puits de potentiel induit au-dessous de l'électrode est peu affectée par la charge introduite. Toutefois, lorsque le canal de transfert de charge se rétrécit ensuite à l'intérieur de l'entonnoir de charge 4 et lorsque les capacités diminuent de manière correspondante au-dessous des électrodes de grille, le paquet de charge transféré tend à provoquer (selon la loi de Coulomb) une plus grande modulation de la profondeur du puits, et, par conséquent, à maintenir la sensibilité globale du circuit 4 et de l'étage électrométrique 7. En d'autres termes, l'effet de dispersion de charge n'agit notablement pas sur le recueil du paquet de charge entier à appliquer en entrée à l'étage éLectrométrique 7. Alors qu'un fonctionnement à cadence d'horloge lente est admissible pour différentes sortes d'application des dispositifs de formation d'image à balayage lent, il est plus probable de trouver un dispositif de formation d'image DCC du type à transfert de ligne dans les applications des dispositifs de formation d'image à balayage rapide, o ses faibles durées de transfert peuvent être particulièrement avantageuses. Aux cadences d'horloge élevées dans l'entonnoir de charge 4, la brièveté du temps passé par un paquet de charge sous chaque électrode de grille retarde sa dispersion jusqu'auxderniers étages de transfert de charge o les électrodes de grille se rétrécissent. Ce qui est important, indépendamment de la cadence d'horloge dans l'entonnoir de charge 4, est qu'il n'est pas néces- saire d'insérer des butées de canal pour empêcher la dispersion de la charge transformée suivant des directions perpendiculaires à la direction de transfert de la charge. Dans certaines structures de dispositifs de formation d'image, en particulier une structure cadencée à l'aide de trois phases d'horloge ou plus (à laquelle il n'est pas besoin des régions de diffusion qui sont par ailleurs utilisées pour empêcher le transfert de charge en sens inverse), il peut être avantageux de doper le substrat semiconducteur de façon à introduire des champs de dérive interne dans l'entonnoir de charge afin d'accélérer le déplacement des porteurs de charge des parois de l'entonnoir en direction de son centre. Certaines butées de canal peuvent être utilisées pour diviser la partie large du canal de transfert de charge passant dans l'entonnoir de charge afin d'éviter une dispersion latérale aux cadences d'horloge faibles si bien que des états de piégeage sont moins susceptibles de gêner un transfert de charge efficace. Le fait d'éliminer les butées de canal entre les parois de l'entonnoir résout un problème de "géométrie" des dis- positifs de formation d'image, o les rangées de registres d'image sont définies de façon à être les plus étroites possible. A la réflexion, on notera qu'il est peu pratique de placer la structure d'arrêt de canal du registre d'image jusque dans une zone géométriquement con- vergente. Pour cela, il y aurait la nécessité non souhaitable de rétrécir les largeurs de canaux de transfert de charge jusqu'à La largeur effective des canaux de transfert de charge- de la région adjacente au registre d'image du dispositif de formation d'image DCC de type transfert de ligne. On notera également que l'entonnoir de charge est convergent dans un sens électrique sans aucune tendance propre à la divergence dans un sens physique. Ceci s'oppose au circuit d'entrance de charge du type collecteur itératif tel que décrit dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 3 811 055, o les contraintes géométriques du dépôt sur le substrat semiconducteur amènent les canaux de charge en convergence successive à diverger lorsque le nombre des étapes de fusionnement de charge successives augmente. Il existe une limite à la rapidité avec laquelle la largeur de l'entonnoir de charge peut converger. Le Long de la paroi de l'entonnoir, la charge, pendant son transfert depuis le dessous d'une électrode de grille jusqu'au-dessous de l'électrode de grille suivante de l'entonnoir de charge, doit se déplacer sur une distance d plus Longue que la distance d que doit parcourir la w c charge dans la partie centrale de l'entonnoir. Le rapport de d à dc a une valeur de E(w/2L)2+1](1/2), o w est la largeur de L'entonnoir de charge à son entree et l est la longueur sur laquelle la largeur d'entonnoir de charge converge linéairement. Aux fré- quences d'horloge élevées, les pertes du rendement de transfert de charge se manifestent principalement au niveau des parois de l'entonnoir, o d devient si long qu'il n'y a pas un temps w assez long pour permettre un transfert complet des paquets de charge. On suppose qu'un angle de rétrécissement valant est possible pour l'entonnoir de charge, si bien que dw est le double d. Si les électrodes de grille de l'entonnoir de charge c ont même longueur que les électrodes du registre d'image d'un dis- positif de formation d'image DCC du type à transfert de ligne et si le registre d'image possède un rapport hauteur-largeur valant 3:4, alors l'entonnoir de charge s'étend, entre son extrémité d'entrée et son extrémité de sortie, sur une distance égale à envi- ron 22 % de la largeur du registre d'image. Dans de nombreux dispositifs de formation d'image DCC du type à transfert de trame, les électrodes de grille du registre d'emmagasinage de trame qui fait suite au registre d'image peuvent avoir une longueur réduite par comparaison avec la longueur des électrodes de grille du registre d'image. Cette réduction est possible puisque la condition portant sur la largeur de canal qui est imposée par l'emploi de drains antimiroitement dans le registre d'image n'est pas présent dans le registre d'emmagasinage de trame. Par conséquent, on peut obtenir une même capacité pour le puits de potentiel dans le registre d'emmagasinage de trame que dans le registre d'image en utilisant des électrodes de grille légèrement plus larges et plus courtes dans le registre d'emmagasinage de trame que dans le registre d'image. De la même façon, dans le dispositif de formation d'image DCC du type à transfert de ligne, il n'est pas besoin de drains antimiroitement dans l'entonnoir de charge. Mais, de plus, on peut éliminer les butées de canal entre les rangées, au moins en partie, dans l'entonnoir de charge. L'élargissement effectif résultant du puits de potentiel se trouvant sous les électrodes de grille de l'entonnoir de charge peut permettre de donner une longueur plus courte à ces électrodes de grille. Par conséquent, la longueur de l'entonnoir de charge entre l'extrémité d'entrée et l'extrémité de sortie peut être quelque peu réduite pour une largeur de rétrécissement d'entrée donnée. Alors que la réduction de la longueur des électrodes de grille dans l'entonnoir de charge réduit dw aussi bien que dce (et améliore donc le rendement du transfert de charge), on peut envisager une modification du cadencement pour améliorer encore le rendement du transfert de charge. La nécessité d'une telle modi- fixation sera expliquée plus complètement en relation avec la figure 2. Comme cela sera discuté en relation avec la figure 4, La modifica- tion représentée consiste en l'inclusion d'électrodes de grille de "renforcement" le long des côtés de la structure d'entonnoir de charge. Ces électrodes de grille de renforcement sont cadencées suivant une phase intermédiaire à l'aide.d'une cadence normale de transfert de pixels afin d'améliorer le rendement de transfert de charge. La figure 2 montre les extrémités des électrodes de grille de la deuxième couche en silicium polycristallin formant les dents de la structure en peigne 32 du côté supérieur de L'enton- noir de charge 4' formant un crochet vers la droite. Les électrodes de grille de la première couche en silicium polycristallin se trouvant audessous des dents 32 et formant les dents de la structure en peigne 31 s'entrelaçant avec les précédentes sont incurvées de manière correspondante au niveau de leurs bases. De façon analogue, sur le côté inférieur de l'entonnoir de charge 4' (non représenté), les électrodes de grille de la première couche en silicium poLy- cristallin font un crochet au-dessus de leurs extrémités, et les électrodes de grille de la deuxième couche de silicium polycristal- lin sont incurvées au niveau de leurs bases. La variante présentée sur la figure 2 pour la structure d'électrodes de grille au niveau du côté de l'entonnoir de charge illustre de manière plus graphique la différence existant entre la distance d", que la charge doit parcourir le long de la butée de canal sur Le côté de l'entonnoir de charge, et la distance dc, que la charge doit suivre ay centre de l'entonnoir de charge, pendant un transfert de charge. Le profil de la figure 3 correspond à la coupe 3-3' de la figure 2. Les figures 2 et 3 sont en alignement sur le sens gauche-droite. Le substrat semiconducteur 40 possède une couche 41 électriquement isolante sur sa face supérieure et reçoit de pré- férence l'éclairement au travers de sa face intérieure. Pour faci- liter cette éclairement de dos, le substrat 40 est représenté aminci. (Il y a des déformations en ce qui concerne les échelles de dimension des figures 2 et 3 comme cela est classique avec de tels dessins.) Les signes + qui apparaissent sous les bords antérieurs des structures d'électrodes de grille, actuellement décrites, indiquent les varia- tions de dopage du substrat 40. Les variations de dopage entraînent un transfert de charge dans la seule direction de l'avant pour les structures de transfert de charge à deux phases. On sépare en élec- trodes de grille une première couche de silicium polycristallin 42, que l'on recouvre par une deuxième couche isolante 43. On dispose sélectivement des ouvertures dans la couche 43, et on recouvre la couche 43 d'une deuxième couche 44 de silicium polycristallin afin de remplir ces ouvertures. On sépare ensuite la couche 44 en élec- trodes de grille. On place ensuite sur la couche 44 une couche isolante de couvercle, non représentée sur la figure 3, et on réalise ensuite, par métallisation d'aluminium, d'autres connexions du dis- positif de formation d'image, comme cela est habituel. Des profils identiques donneraient le dispositif de formation d'image représenté sur la vue en plan de la figure 1. On note que, dans le registre d'image 2 se trouvant à gauche de la figure 3, les électrodes de grille de la première couche de silicium polycristallin ont un effet de blindage sur le canal de transfert de charge du substrat 40 vis-à-vis des champs électriques induits parL tes parties de l'électrode de grille (17 sur la figure 2Dde la deuxième couche de silicium polycristallin qui les crisent.Ainsi, le transfert de la charge vers l'avant s'effectue sensiblement de la même manière que dans l'entonnoir de charge 4' suivant situé à droite de la figure 3, dont Le profil est plus clas- sique pour un canal de transfert de charge. La figure 4 montre comment des électrodes de grille de "renforcement" supplémentaires disposées le long des côtés d'un entonnoir de charge 6 peuvent réduire la distance sur laquelle le transfert de charge doit se faire le long des côtés à une valeur d' w qui ne vaut que deux fois la distance dc sur laquelle le transfert de charge doit s'effectuer dans des parties plus centrales de l'enton- noir de charge. L'entonnoir de charge 6 est un dispositif DCC du type à cadencement biphasé et à quatre électrodes. Au titre de sim- plification de la vue en plan de la structure d'électrodes de grille, pour faciliter La visualisation du concept, on n'a pas représenté les connexions communes des électrodes de grille.comme reposant dans le dos d'une structure en peigne d'une couche de silicium poly- cristallin. Au contraire, on a représenté les connexions électriques équivalentes. L'homme de l'art spécialisé dans le tracé de structures DCC sur une puce semiconductrice comprendra que les connexions élec- triques peuvent être faites à l'aide de trois bus d'alimentation parallèles placées le long de chaque côté de l'entonnoir de charge, un bus étant relatif à l'une respective des deux phases du signal de cadencement appliqué aux électrodes de grille qui s'étendent transversalement sur tout l'entonnoir de charge 6, et les deux autres bus étant relatifs aux deux phases du signal de cadencement qui sont chacune appliquée alternativement aux électrodes de grille de renforcement situées au niveau de ce côté de l'entonnoir de charge 6. Une autre aide à la visualisation du concept est que les bords des électrodes de la première couche-de silicium polycristal- lin sont représentés dans leur totalité par des lignes pointillées, même si elles ne sont pas chevauchées par des électrodes de grille de la deuxième couche de silicium polycristallin, lesquelles ont leurs bords représentés par des lignes continus. Les électrodes de grille de transfert 61, 63 et 65 et les électrodes de grille d'emmagasinage 62, 64 et 66 sont des électrodes de renforcement. Les électrodes de grille 63 et-64 per- mettent par exemple que le transfert de charge s'effectue en deux étapes d'une première électrode de grille 67 associée à la première phase de cadencement se trouvant dans la première couche de sili- cium polycristallin à une électrode de grille 68 associée à la deuxième phase de cadencement se trouvant dans la même couche. La distance d' de transfert de charge pour chaque étape n'est pas w beaucoup plus longue que la distance dc de transfert de charge prévue dans les parties plus centrales de l'entonnoir de charge 6. La figure 6 est un diagramme de cadencement s'appliquant à l'entonnoir de charge 6 de la figure 4. Les parties a, _, c et d de la figure 6 indiquent respectivement les tensions de cadencement 01-F' 02-B 02-F et 01-B appliquées aux bus de cadence- ment se trouvent à droite de la figure 4. Les électrodes de qrille de renforcement sont cadencées à l'aide d'impulsions de durée plus courte, ce qui abaisse l'impédance du circuit de commande d'hortoge nécessaire à une définition appropriée des impulsions d'horloge. Les électrodes de grille de renforcement possèdent des largeurs relativement faibles, ce qui abaisse leur capacité associée totale. Cette petite capacité permet que le circuit de commande d'horloge ait une impédance supérieure. En résultat de ces conditions s'équi- * librant, l'entonnoir de canaux doté d'électrodes de renforcement le long de ses côtés ne nécessite qu'une modeste énergie de caden- cement supplémentaire. Les opérations de transfert de charge mises en jeu par les tensions de cadencement 01-F' 02-B' 02-F et 01-B sont indiquées par les flèches en trait interrompu. Lorsque la tension de cadencement 01-F tombe au niveau bas, le passage au niveau haut de 02-F provoque un transfert de charge vers l'avant dans les parties centrales de l'entonnoir de charge 6, depuis le dessous des électrodes de grille recevant la phase de cadencement 01-F jusqu'au-dessous des électrodes de grille recevant la phase de cadencement 02-F' via des distances de transfert de charge qui ne sont pas supérieures à dc. Au niveau des côtés de l'entonnoir de charge 6, lorsque la tension d'horloge 01-F tombe au niveau bas, le passage au niveau haut de 01-B entraîne le transfert de charge vers l'avant, depuis le dessous des électrodes de grille recevant la phase de cadence- ment 01-F jusqu'au-dessous des électrodes de grille recevant la phase de cadencement O,-B' sur une distance d'. Lorsque 01 tombe au niveau bas et que 02'F reste au niveau haut, il se produit une autre opération de transfert de charge dans la seule région des côtés de l'entonnoir de charge 6 o se trouvent des électrodes de grille de renforcement, le transfert de charge s'ef- fectuant sur une distance supplémentaire qui n'est pas supérieure à d'w entre le dessous des électrodes de grille recevant 0I-B et le dessous des électrodes de grille recevant 02-FO A la fin de l'intervalle o 01-F est de niveau bas et 02-F est de niveau haut, tous les paquets de charge se trouvant précédemment sous les élec- trodes de grille recevant 01-F ont été transférés sensiblement entièrement jusque sous les électrodes de gritle suivantes recevant 02-F' Ceci a été effectué en un processus de transfert de charge d'une seule étape dans la partie centrale de l'entonnoir de charge 6 et dans un processus de deux étapes le long des côtés de l'entonnoir de charge 6 o des électrodes de grille de renforcement sont dis- posées. Pendant le temps ultérieur o 01F passe au niveau haut et 02-F passe au niveau bas, un transfert de charge analogue en une étape, depuis le dessous des grilles recevant 02-F jusqu'au dessous des grilles recevant 01 F' a lieu dans la partie centrale de l'entonnoir de charge 6, et un transfert de charge analogue en deux étapes a lieu le long des côtés de l'entonnoir de charge 6. Ce cycle complet de transfert de charge vers l'avant se répète cycliquement. La figure 5 montre la coupe 5-5' effectuée dans une partie du dispositif de formation d'image DCC de la figure 4, qui, dans l'entonnoir de charge 6, est un profil classique pour le caden- cement biphasé à quatre électrodes. Les figures 4 et 5 sont mutuel- lement alignées suivant la direction gauche-droite. On peut y voir le substrat 50, la couche isolante 51, les électrodes de grille de la première couche de silicium polycristallin 52 et les parties restantes de leur couche isolante 53 placées au-dessus, ainsi que les électrodes de grille de la deuxième couche de silicium poly- cristallin 54. La couche isolante de couverture a été omise sur la figure 5. L'entonnoir de charge 6 de la figure 4 possède un angle de rétrécissement de 138 , ce qui est sensiblement plus grand que l'angLe de rétrécissement nécessaire pour réduire le temps d'attente de l'entonnoir de charge dans une mesure suf- fisante pour que la commutation du cadencement dynamique d'une rangée du registre d'image 2 à l'autre ne soit pas couplée via le substrat du dispositif de formation d'image à l'électromètre 7 pendant les parties de balayage de ligne du signal vidéo de sortie de l'électromètre 7. Il est souhaitable de réduire plus encore le rapport de La longueur effective dw à la longueur dc en direction de l'unité, sans que l'angle de rétrécissement dépasse 120 d'une quantité notable. On facilite l'atteinte de ce but en employant un entonnoir de charge dans lequel la direction du transfert de charge est déterminée par le fait que le dopage du substrat au- dessous des électrodes de grille de l'entonnoir de charge est dif- férent de ce qu'il est sur les bords antérieur et postérieur de ces électrodes de grille. Cette pratique réduit de deux à un le nombre des électrodes de grille successives recevant la même phase de cadencement, ce qui permet la disposition plus favorable des électrodes de renforcement. Il est possible de réaliser des dis- positions d'électrodes de renforcement pour lesquelles dw est égal à d. c La figure 7 est une vue en plan d'une partie du registre d'image 2 et d'une partie d'un bord d'un entonnoir de - charge 100 suivant. Les quatre premières électrodes de grille 101, 102, 103 et 104 de l'entonnoir de charge 100 sont suivies par une électrode de grille 105 dans les parties plus centrales de l'entonnoir de charge 100. Au niveau du bord droit supérieurdel'enton- - noir de charge 100, les quatre premières électrodes de grille 101, 102, 103 et 104 sont suivies par deux électrodes de renforcement 106 et 107, puis par une électrode de grille 105. Les électrodes de grille 101, 102, 103, 104 et 105 sont respectivement associées aux phases d'horloge 02-F' 01-F' 02-F' 01-F et 02-F Les électrodes de grille 105 et 106 reçoivent respectivement les phases d'horloge de renforcement 02-B et 01-B Dans les parties plus centrales de l'entonnoir de charge 100, Les électrodes de grille suivantes 105 et 108, recevant respectivement Les phases d'horloge 02-F et 01-Ft sont suivies directement par des électrodes de grille suivantes 109 et 112 qui reçoivent respectivement Les phases d'horloge 02_F et 01-F' Au niveau du bord de l'entonnoir de charge 100, des électrodes de grille de renforcement 110 et 111 recevant respective- ment 02-B et 01-B se trouvent entre les électrodes de grille 108 et 112. La figure 8 présente une section droite simplifiée de la partie du dispositif de formation d'image DCC de la figure 7. La figure 9 montre le diagramme de cadencement multiphasé permettant le déplacement d'un paquet de charge d'un point 113 du registre d'image 2 (sur la figure 7) à un point 115 de l'entonnoir de charge 100 suivant. On mesure les tensions des électrodes de grille respective- ment par rapport à la masse du substrat. Les lignes en trait inter- rompu désignent les diverses opérations de transfert de charge selon la convention employée pour la figure 6. L'entonnoir de charge 100 de La figure 7 possède un angle de rétrécissement valant 126,8 et un temps d'attente de 10,05 microsecondes, qui est plus court que les 11,12 microsecondes de la durée de retour de spot horizontal utilisés en télévision. La figure 10 montre, en plan, une partie du registre d'image 2 et une partie d'un autre modèle d'entonnoir de charge 120. L'entonnoir de charge 120 possède des électrodes de renforcement 121 à 126 qui sont cadencées à un rythme d'horloge valant trois fois le rythme normal pour les électrodes de grille s'étendant sur toute la largeur de l'entonnoir de charge 120, au lieu que ce soit deux fois la cadence normale, comme c'est le cas pour l'entonnoir de charge 6 de la figure 4 ou l'entonnoir de charge 100 de la figure 7. La figure 11 est un diagramme de cadencement multiphasé pour le dispositif de formation d'image de la figure 10, et il sert à illustrer le processus de déplacement d'un paquet de charge d'un point 113 du registre d'image 2 à un point 127 de l'entonnoir de charge 120 suivant. Alors que La structure d'électrodes de grille des entonnoirs de charge a été décrite sous forme des dents de structures en peigne entrelacées, il est souvent souhaitable de prévoir des bus d'interconnexion te Long de chaque ensemble d'extrémités des électrodes de grilLe afin de permettre L'excita- tion des électrodes de grille depuis Les deux extrémités. Ceci facilite un cadencement rapide puisque la partie de résistance de la constante de temps RC des électrodes de grille peut être divisée par deux. On peut également utiLiser des connexions supé- rieures en aluminium avec des parties intérieures des électrodes de grille en silicium polycristaLlin, en particuLier pour Les électrodes de grille plus Larges se trouvant à L'extrémité d'entrée de l'entonnoir de charge. La figure 12 présente une vue globale d'une caméra de télévision employant un dispositif de formation d'image DCC à transfert de Ligne du type qui vient d'être décrit ci-dessus. Uhe image d'énergie rayonnante (par exempte de Lumière visible) est projetée via un système optique 70 de caméra dans le registre d'image 2 du dispositif de-formation d'image DCC à transfert de ligne. Le registre d'image 2 et l'entonnoir de charge (par exempte la référence 4) disposés en cascade après.cela reçoivent un caden- cement de balayage de pixels de la part d'un générateur 71. Nor- malement, le cadencement s'effectue en deux phases ou plus, pour faire avancer en série des paquets de charge dans Le tunnel de charge, de chaque rangée choisie du registre d'image 2 jusqu'à l'électro- mètre 7. Une brève description de la manière dont le processus de sélection de rangée du registre d'image 2 peut être effectué lorsque l'entrelacement de ligne trame à trame n'est pas utilisé, est utite à la compréhension de la manière dont Le balayage ligne à ligne est permis dans la production du signal de sortie vidéo échantillonné par balayage de L'image qui est déLivré sous commande de l'étage électrométrique 7. (Un balayage pixel par pixel est réalisé par La lecture en série des paquets de charge de chaque rangée du registre d'image 2 dans le tunnel de charge, naturellement.) Pendant le retour de spot de trame, un générateur 72 de synchronisation de trame introduit un signal d'impulsions de synchronisation de trame à L'entrée d'un registre à décalage 73 pos- sédant plusieurs prises intermédiaires. Ce signal d'impuLsions se décale vers L'avant d'un étage à l'autre du registre à décalage 73 avec un rythme de balayage de ligne qui est fonction du signal de cadencement délivré par un générateur 74 de signal d'horLoge de cadencement de balayage de ligne. Le registre à décalage 73 peut être d'un type utilisant des transistors à effet de champ métal- isolant-semiconducteur. Sinon, il est possible d'utiliser un registre à décalage du type DCC, de sorte que celui-ci pourrait être construit par des techniques d'intégration en même temps que le registre d'â?ge 2 et le canal de transfert en entonnoir de charge. En tout cas, chaque étage du registre à décalage 73 correspond à un canal (ou une rangée) de transfert de charge du registre d'image 2 et à un dis- positif de commande de rangée d'un ensemble 75 de dispositifs de rangées du registre d'image. Lorsque le signal d'impulsion se trouve dans l'étage du registre à décalage 73 correspondant à un canal de transfert de charge particulier du registre d'image 2, il active un étage de commande de rangée correspondant dans l'ensemble 75 de dispositifsde commande de rangée du registre d'image. L'étage de commande de rangée ainsi activé applique la phase d'horloge alter- native 02-A à l'une des électrodes de grille 11-24 se trouvant au- dessus du canal de transfert de charge choisi -du registre d'image 2. Chaque dispositif de commande de rangée de l'ensemble 75 peut com- prendre par exemple un transistor à effet de champ métal-isolant- semiconducteur dont le canal a sélectivement été rendu conducteur et applique un signal d'horloge 0 2A à l'une choisie des électrodes de grille 11 à 24. Le canal est rendu conducteur lorsque l'électrode de grille du transistor à effet de champ de commande de rangée reçoit le signal d'impulsions de synchronisation de trame de la part d'un étage associé du registre à décalage 73. Le processus de sélection de rangée relatif à l'entrelacement de lignes apparent peut être réalisé par introduction de deux impulsions successives dans le registre à décalage 73 à des moments appropriés de chaque intervalle de retour de spot de trame. Le processus de sélection de rangée relatif à l'entreLacement de Lignes utilise un signal de mode de sélection possédant des valeurs différentes sur Les trames paires et sur les trames impaires de manière à permettre sélectivement une application sélective du signal d'horloge 02-A par un groupe de dispositifs de commande de rangées alternées dans les trames impaires et par le groupe complémentaire de dispositifs de commande de rangées alternées dans les trames paires. Comme indiqué ci-dessus, la cadence à laquelle la charge peut être amenée à converger dans un entonnoir de charge présente une limitation géométrique. La limitation est imposée par l'allongement des distances de transfert de charge sur les côtés de l'entonnoir de charge lorsque l'angle de rétrécissement de l'entonnoir de charge augmente. L'angle de rétrécissement est conçu d'une certaine grandeur pour permettre une plus grande convergence de charge par unité de longueur de l'entonnoir. Lorsque l'angle de rétrécissement de l'entonnoir est petit, l'entonnoir de charge occupe une place plus importante sur une puce de dispositif de formation d'image à semiconducteur par comparaison avec la surface de puce occupée par le registre d'image. Cet effet s'accroît lorsque le nombre de lignes du registre d'image augmente. Dans les caméras de télévision à 480 lignes actives qui utilisent un entrelacement de lignes trame à trame, il est souhaitable de concevoir le dispositif de formation d'image de façon que son registre d'image possède 481 canaux de transfert de chargé parallèles. Comme indiqué ci-dessus, l'entonnoir de charge relatif à un registre d'image de 481 lignes occupeune surface considérable sur la puce du dispositif de formation d'image. Les surfaces se trouvant de part et d'autre de l'entonnoir de charge (par exemple au-dessus et au-dessous de l'élément 4 sur la figure 1) ne sont pas adaptées à un remplissage par d'autres éléments du dis- positif de formation d'image (par exemple circuit de sélection de rangée). Un semblable entonnoir de charge consomme une énergie de cadencement beaucoup plus grande que cela n'est nécessaire pour le registre à décalage DCC à chargement latéral que l'entonnoir de charge remplace, puisque l'entonnoir de charge possède une surface relativement grande au- dessous de ses électrodes de grille et une capacité de grille totale d'autant plus élevée. Il est donc haute- ment souhaitable de réduire la longueur de la structure de l'enton- noir de charge et de réduire la capacité de grille destinée à recevoir Le signal de cadencement. Par exemple, on suppose qu'un angle de rétrécis- sement d'entrée d'une valeur de 120 constitue la limite pratique pour un entonnoir de charge qui est destiné à être cadencé à une certaine fréquence donnée. Cet angle de rétrécissement d'entrée rend dw deux fois plus grand que dc dans l'entonnoir de charge si l'on n'utilise pas d'électrodes de grille de renforcement. Si les électrodes de grille de l'entonnoir de charge possèdent la même longueur que celles du registre d'image d'un dispositif de formation d'image DCC du type à transfert de ligne et si le registre d'image possède un rapport hauteur-largeur valant 3:4, alors l'entonnoir de charge s'étend, de son extrémité d'entrée à son extrémité de sortie, sur une distance égale à environ 22 % de la Largeur du registre d'image. Comme précédemment indiqué, dans de nombreux dis- positifs de formation d'image DCC du type à transfert de trame, des électrodes de grille du registre d'emmagasinage de trame, qui fait suite au registre d'image, peuvent avoir une longueur réduite par comparaison avec les électrodes de grille du registre d'image, car le resserrement de la largeur de canal qui est imposé par l'insertion de drains antimiroitement dans le registre d'image n'est pas présent dans le registre d'emmagasinage de trame, si bien que l'on peut atteindre une même capacité pour le puits de potentiel dans le registre d'emmagasinage de trame que dans le registre d'image en utilisant Les électrodes de grille légèrement plus larges et plus courtes dans le registre d'emmagasinage de trame que dans le registre d'image. De même façon, dans le dispositif de formation d'image DCC du type à transfert de ligne, il n'est pas besoin de drains antimiroitement dans l'entonnoir de charge. Par conséquent, les butées de canal entre rangées peuvent être éliminées, au moins en partie, dans l'entonnoir de charge. L'élargissement effectif résultant du puits de potentiel au-dessous des électrodes de grille de l'entonnoir de charge permet de raccourcir la longueur de ces électrodes de grille. Par conséquent, on peut réduire quelque peu la longueur de l'entonnoir de charge entre l'entrée et la sortie pour une largeur de rétrécissement d'entrée donnée. On discute ensuite un autre problème, relatif à la longueur de l'entonnoir de charge 4, qui n'est pas réduit par le raccourcissement des longueurs des électrodes de grille et par l'élargissement, au moyen d'une technique quelconque, de l'angle de rétrécissement de l'entonnoir de charge. Le nombre effectif d'étages de transfert de charge de l'entonnoir de charge qui sont balayés au rythme de balayage des pixels fixe l'importance du retard temporel que les paquets de charge subissent pendant leur passage dans l'entonnoir de charge 4, c'est-à-dire le temps d'attente de l'entonnoir de charge 4. Il est souhaitable que, pendant l'inter- valle de balayage de ligne du registre d'image 2 (lorsqu'il apparait retardé au niveau de l'électromètre 7), il n'y ait pas démarrage ou arrêt du cadencement dynamique dans le registre d'image 2, l'enton- noir de charge 4 et tout autre dispositif DCC partageant le même substrat semiconducteur avec l'électromètre 7. Sinon, le couplage parasite du signal d'horloge via le substrat avec l'électromètre 7 produira une réponse non voulue à la variation des conditions de cadencement en plus de la réponse voulue de l'électromètre 7. Des perturbations prenant la forme d'une bande verticale placée dans l'image de télévision résulteront de l'existence d'une telle réponse non voulue. On évite la présence de la bande verticale dans l'image de télévision en limitant le temps d'attente maximal de l'entonnoir de charge 4 à un intervalle ne dépassant pas le temps de retour de spot de ligne. En pratique, pour la diffusion des émissions de télévision des Etats-Unis d'Amérique, la durée de retour de spot de ligne vaut 11 microsecondes tandis que la durée de balayage de ligne vaut 52 microsecondes. Dans cet ensemble de circonstances, l'entonnoir de charge 4 ne peut pas être plus long que 21 % de la longueur des canaux de transfert de charge du registre d'image 2, si l'on veut éviter une commutation du cadencement des rangées du registre d'image. On peut éviter une semblable commutation en donnant à l'angle de rétrécissement de L'entonnoir de charge une valeur quelque peu supérieure à 120' dans un dispositif de formation d'image qui produit des signaux vidéo compatibles avec les normes de diffusion en provenance directe du dispositif de formation d'image DCC et qui n'est pas suivi par un convertisseur de balayage destiné à prolonger le balayage des lignes. Pour assurer le multiplexage par division temporelle des paquets de charge de sortie venant d'un grand nombre de canaux de transfert de charge disposes en parallèle, au lieu d'utiliser un entonnoir de charge ayant une extrémité d'entrée très large etp par conséquent (du fait de la limitation portant sur le degré de conver- gence d'un entonnoir de charge), une importante longueur, il est préférable d'utiliser plusieurs entonnoirs de charge. Les entonnoirs de charge sont en alignement parallèle très serrés par leurs extré- mités d'entrée, chaque extrémité d'entrée étant connectée aux extré- mités de sortie d'une bande de canaux de transfert de charge. (Dans un dispositif de formation d'image DCC du type à transfert de ligne, la totalité de ces bandes de canaux de transfert de charge constitue le registre d'image.) Les entonnoirs de charge peuvent utiliser des électromètres distincts pour mesurer les paquets de charge à leursextrémités de sortie, les signaux de sortie des électromètres étant combinés par la suite. Selon une autre possibilité, on peut faire passer les extrémités de sortie des entonnoirs de charge (en particulier lorsque l'on en utilise que deux) via des canaux de transfert de charge respectifs jusqu'à un étage de fusionnement de canaux, dont la sortie est connectée à l'entrée d'un électromètre servant à mesurer les paquets de charge de sortie retardés provenant de chaque entonnoir de charge. La figure 13 montre comment on peut remplacer l'entonnoir de charge 4 unique de la caméra de la figure 12 par deux entonnoirs de charge 81 et 82. Chaque entonnoir est, à son extrémité d'entrée, deux fois moins large que l'entonnoir de charge 4 et proportionnellement plus court que l'entonnoir de charge 4, si l'on suppose que les angles de rétrécissement d'entrée des enton- noirs de charge 81 et 82 sont identiques à celui de l'entonnoir de charge 4. Sur la figure 13, les entonnoirs de charge 81 et 82 sont représentés comme recevant chacun de façon continue un cadencement ayant le rythme de balayage des pixels de la part du générateur 71 pendant les balayages de ligne des parties actives d'une trame. Les lignes de charge de la moitié supérieure du registre d'image 2 (comme indiqué sur la figure 13) sont successivement acheminées via l'entonnoir de charge 81 jusqu'à un étage électrométrique 83, puis des lignes de charge de la moitié inférieure du registre d'image 2 sont successivement acheminées via l'entonnoir de charge 82 jusqu'à un étage électrométrique 84. On combine ensuite les signaux de sortie des étages électrométriques 83 et 84 pour former des trames complètes d'échan- tillons vidéo à balayage d'image pour former le signal de sortie de la caméra. Alors que cette combinaison de signaux pourrait être réalisée par une simple addition, le bruit de l'entonnoir de charge et de la cascade des électromètres qui ne se trouve en train de délivrer des paquets de charge à partir d'une ligne échantillonnée, s'ajouterait vectoriellement au bruit et au signal du canal de charge et de la cascade d'électromètres qui est précisément en train de délivrer ces paquets de charge. On obtient un meilleur rapport signal-bruit pour le signal de sortie du dispositif de formation d'image DCC en utilisant un multiplexeur de division temporelle 85 qui commute à la moitié du rythme des trames pour combiner les signaux de sortie délivrés par les étages électrométriques 83 et 84, comme cela sera décrit ultérieurement en relation avec la figure 16. Le fait que les entonnoirs de charge 81 et 82 soient plus courts que l'entonnoir de charge 4 réduit le temps d'attente relatif au passage du signal dans un entonnoir de charge. La réduction du temps d'attente simplifie notablement le problème ci-dessus exposé de la commutation du cadencement du registre d'image 2. Cette réduction du temps d'attente de l'entonnoir de charge et une réduction de l'aire de canal de transfert de charge, lesquelles réductions sont obtenues lorsque l'on utilise plusieurs entonnoirs de charge, rend possible l'emploi d'angles de rétrécissement plus petits pour les différents entonnoirs de charge. Avec ces entonnoirs de charge, il est possible d'éviter l'emploi des électrodes de ren- forcement précédemment décrites (et, par conséquent, la connexion complexe à celles-ci des bus communs des signaux d'électrodes de gri lle. La figure 14 est une illustration relative à l'économie de la capacité globale des électrodes de grille, laquelle dépend directement de l'aire de canal de transfert de charge, cette économie étant permise par l'emploi de deux entonnoirs de charge 81 et 82 (comme sur la figure 13) à la place de l'entonnoir de charge 4 unique (comme sur la figure 1). Sur la figure 4, les aires des entonnoirs de charge 81 et 82 sont complètement entourées par une ligne en trait continu, tandis que celle de l'entonnoir de charge 4 est limitée partiellement par une ligne en trait continu et partiel- lement par une ligne en trait interrompu. Les lignes de limitation de l'aire occupée par l'entonnoir de charge 4 remplacé sont identi- fiées par le numéro 4 sur la figure 14. L'aire supplémentaire demandée par l'entonnoir de charge 4 est indiquée en pointillé et est divisée par une ligne centrale faite de traits alternativement courts et longs. Les aires des entonnoirs de charge 81 et 82 et les aires des moitiés de la surface indiquée en pointillé sont identiques, si bien que les aires combinées des entonnoirs de charge 81 et 82 représentent la moitié de celle de l'entonnoir de charge 4. De manière générale, le fait de remplacer un unique entonnoir de charge par plusieurs entonnoirs de charge en parallèle, en nombre n, réduit n fois l'aire de l'entonnoir de charge. Le fait de multiplier le nombre d'entonnoirs de charge mis en parallèle - augmente le nombre d'étagEsélectrométriques nécessaires. S trouve alors en regard du problème consistant à adapter les caractéris- tiques de réponse d'un nombre croissant d'étages électrométriques ou bien celui d'amener le nombre multiplié de signaux de sortie d'entonnoirs de charge sur les entrées d'un nombre moindre d'étages électrométriques. Face à ces problèmes, dès que la longueur de la structure d'entonnoir de charge a été ramenée à une fraction notablement petite des dimensions globales du dispositif de forma- tion d'image DCC, il n'y a plus avantage à augmenter le nombre des entonnoirs de charge mis en parallèle. La principale source de bruit produite par un entonnoir de charge, par exemple L'entonnoir de charge 4 de la figure 12, est la fuite de courant d'obscurité allant du substrat à chaque étage. Ces courants s'additionnent du fait de La géométrie convergente de l'entonnoir de charge, de façon à fournir un courant de sortie dont le bruit en valeur quadratique moyenne est donné par: - Nf = k(IL Af) (1/2) (1) Nf L f o Nf est le bruit produit par l'entonnoir de charge, k est une constante de proportionnalité, ILest le courant de fuite de charge par unité de surface, et Af est l'aire totale de l'entonnoir de charge. La principale source de bruit de l'ensemble d'image vient des fuites de la charge vers l'aire d'emmagasinage de chaque pixel, qui se produit pendant la période du temps d'image complète de 1/30 s précédent chaque balayage. L'accumulation de charge au niveau de chaque pixel produit une augmentation du courant de décharge total lors du balayaged'un facteur S dont la valeur est donnée par: S tF / Te = (2) o tF est le temps d'image complète, t est le temps nécessaire au balayage d'un pixel, et e n est le nombre total de pixels par image complète. Le bruit de sortie Ni qui est associé aux fuites de charge dans le registre d'image 2 est donc donné par: (1/2) (1/2) Ni = k(IL. Ae. n) = k(IL. A i(1/2) (3) o k, ILet n sont définis comme cidessus indiqué, A est l'aire d'un pixel, et e A. est l'aire totale de la section d'image. *1 En divisant (1) par (3), on obtient le rapport du bruit du courant d'obscurité produit par l'entonnoir de charge 4 au bruit du courant d'obscurité produit par le registre d'image 2, soit Nf/Ni = (Af/Ai)(1/2) (4) L'équation (4) montre que, pour un bruit de sortie minimal, il faut maintenir l'aire de l'entonnoir de charge 4 aussi petite que possible par rapport à l'aire d'image. Si on suppose que le registre d'image 2 possède un rapport hauteur-largeur 3:4 et que l'entonnoir de charge 4 possède un angle de rétrécissement de 120% le rapport Af/Ai est 0,1083 et le bruit du courant d'obscu- rité produit par l'entonnoir de charge 4 est 31 % du bruit du courant d'obscurité produit par le registre d'image 2. Le bruit ajouté par l'entonnoir de charge 4 est donc acceptablement bas. Dans la caméra de la figure 13, les deux enton- noirs de charge 81 et 82 ayant des angles de rétrécissement de 1200 ont une aire valant le quart de cettlle de l'entonnoir de charge 4 ayant un angle de rétrécissement de 120 . Le bruit du courant de sortie produit par celui des entonnoirs de charge 81 et 82 qui a été sélectionné est ramené à 15 % du bruit du courant d'obscurité produit par le registre d'image 2. La figure 15 présente une variante de la camera de la figure 13, qui est destinée à éviter le problème de l'adapta- tion des caractéristiques de sensibilité des électromètres. On remplace les deux électromrètres 83 et 84 servant respectivement à détecter les signaux de sortie des entonnoirs de charge 81 et 82 par un unique électromètre 89. Les extrémités de sortie des enton- noirs de charge 81 et 82 sont connectées à l'éLectromètre 89 par l'intermédiaire respectif de registres à décalage DCC 87 et 88. Ces registres à décalage 87 et 88 sont dynamiquement cadencés au rythme de balayage des pixels, de préférence sur une base continue pour éviter le problème de la transition entre le cadencement dynamique et le cadencement statique. Les difficultés rencontrées dans la variante de la figure 15 sont (a) la nécessité d'un change- ment de direction à la sortie des entonnoirs de cha-rge 81 et 82 en direction des registres à décalage DCC 87 et 88, (b) la nécessité de croisements des connexions de l'électromètre, et (c) le retard supplémentaire des échantillons d'image qui est produit par le cadencement effectué via les registres à décalage DCC 87 et 88. On considère plus particulièrement maintenant la manière dont le multiplexage par division temporelle est effectué directement dans les caméras de télévision de la figure 13 et de la variante de la figure 13 que constitue la figure 15. La figure 16 est un diagramme temporel relatif à la caméra de télévision de la figure 13. Le temps est orienté vers S la droite. Dans le Ne balayage de trame ligne à ligne du registre d'image 2, la sélection opérée par Le multiplexeur 85 peut être celle d'un électromètre en fonction de ce que l'entonnoir de charge 81 ou l'entonnoir de charge 82, ou bien aucun de ceux-ci, ne délivre de signaux de sortie. Cette situation "indifférente" dure pendant un temps d'attente 90 permettant aux paquets de charge de passer du registre d'image 2 à l'électromètre 83 via l'entonnoir de charge 81, à l'issueduquel temps le multiplexeur 85 sélectionne le signal de sortie 91 pendant un intervalle d'un demi- balayage de trame. Cet intervalle met fin, après le point médian du Ne balayage de trame, à un temps d'attente 91, pendant lequel des paquets de charge venant du registre d'image passent dans l'entonnoir de charge 82 et l'élec- tromètre 84 en vue d'une sélection par le multiplexeur 85. Le multi- plexeur 85 sélectionne ensuite le signal de sortie de l'électromètre 84 pendant un demi-balayage de trame avant que la situation "indif- férente" n'obtienne de nouveau un temps d'attente 92 (pour que l'entonnoir de charge 82 se débarrasse des paquets de charge venant du registre d'image 2) après le début du retour de spot d'image. Ensuite, le cycle se répète tandis que le N+1e balayage de trame ligne à ligne du registre d'image 2 s'effectue. La figure 17 montre une variante du dispositif de formation d'image DCC à transfert de ligne de la figure 13, qui peut fonctionner d'après le diagramme temporel de la figure 18. On considère que l'intervalle de retour de spot de.trame comporte les lignes du balayage de trame qui ne sont pas réellement utilisées pour la transmission de U'image. Le circuit 86 de commande d'horloge applique des signaux d'horloge dynamiques 01-F et 02-F à l'entonnoir de charge 82 lorsque des paquets de charge représentatifs d'échantillons d'image sont en cours de transfert dans l'entonnoir pendant la première moitié de l'intervalle de balayage de trame. Pendant la deuxième moitié de l'intervalle de balayage de trame et pendant l'intervalle de retour de spot de trame, le circuit de commande d'horloge 86 retient toutefois les tensions de cadencement dynamique de L'enton- noir de charge 82 et applique des tensions de cadencement statique. Pendant la deuxième moitié de l'intervalle de balayage de trame, tandis que l'entonnoir de charge 82 reçoit des tensions de cadence- ment statique, le circuit de commande d'horloge 86 applique des tensions de cadencement dynamique à l'entonnoir de charge 81 tandis que des paquets de charge représentatifs d'échantillons d'image sont transférés dans l'entonnoir. Ainsi, pendant le retour de spot de trame et pendant la première moitié de l'intervalle de balayage de trame suivant, le circuit de commande d'horloge 86 retient les tensions de cadencement dynamique venant de l'entonnoir de charge 81 et applique à celui-ci des tensions de cadencement statique. L'énergie de cadencement des entonnoirs de charge 81 et 82 est donc pratiquement divisée par deux, puisque chacun des entonnoirs de charge n'est dynamiquement cadencé que pendant la moitié de l'inter- valle de balayage de trame, au lieu que ce soit pendant la totalité de celui-ci. Le plus commode consiste à décaler l'impulsion de signal vers l'avant dans le registre à décalage 73 à prises inter- médiaires multiples immédiatement avant la fin de chaque intervalle de balayage de Ligne du signal de sortie du multiplexeur 85. Alors que lemultiplexeur 85 est représenté sur la figure 18 comme sélectionnant en continu l'entonnoir de charge 82 pendant la première moitié du balayage de trame et sélectionnant en continu l'enton- noir de charge 81 pendant la dernière moitié du balayage de trame, le multiplexeur 85 peut en fait être activé de façon à produire une suppression de retour de spot de ligne. Selon une autre pos- sibilité, la suppression de retour de spot de ligne peut être réalisée par un autre moyen. Le cadencement vers l'avant de la rangée sélection- née du registre d'image 2 doit commencer avant que l'intervalle de balayage de ligne ne soit présent dans le signal de sortie du multi- plexeur 85, afin d'autoriser le retard de l'entonnoir de charge 81 ou 82. Il vaut mieux que le retard des entonnoirs de charge 81 et 82 puisse être maintenu une durée ne dépassant pas celLe de L'inter- vale de retour de spot de ligne, si bien que L'artifice de sélection de Ligne n'apparaisse pas pendant te baLayage de ligne et puisse être supprimé par La suppression de retour de spot de ligne. Six ceci ne peut pas être réalisé, on peut partager Les rangées du registre d'image 2 entre un plus grand nombre d'entonnoirs de charge. Le dispositif de formation d'image DCC à transfert de ligne de la figure 13 ou le dispositif de formation d'image DCC à transfert de ligne de la figure 17 peuvent être modifiés de manière qu'on puisse sélectivement charger l'impulsion de synchronisation de trame pendant le retour de spot de trame, non seulement dans l'étage d'entrée du registre à décalage 73 qui est associé à la première rangée du registre d'image 2 à lire dans l'entonnoir de charge 81, mais également dans un étage situé au milieu ou au voisi- nage du milieu du registre à décalage 73 qui est associé à la première rangée du registre d'image à lire dans l'entonnoir de charge 82. Lorsque cette autre manière de charger le registre à décalage 73 a été sélectionnée, les électromètres 83 et 84 sont lus simultanément au lieu d'être lus alternativement afin de per- mettre une lecture de tous les pixels du registre d'image 2 dans un format spatialement multiplexé pendant la moitié du temps. Ce type de fonctionnement peut être utilisé avec une multiplicité de combinaisons d'entonnoirs de charge et d'électromètres associés, au lieu de deux simplement. Des montages peuvent être réalisés permet- tant de sélectionner entre un certain nombre de rythmes de cadence- ment d'image complète en fonction du multiplexage spatial et du multiplexage par division temporelle particuliers qui ont été choisis. Ce type de fonctionnement est particulièrement intéressant en photographie fixe électronique par exemple. L'homme de l'art spécialisé dans la technique des dispositifs de formation d'image DCC peut, muni de la précédente description, concevoir de nombreuses variantes à l'entonnoir de charge pour le multiplexage de paquets de charge d'entrée à desti- nation d'un étage de sortie d'électromètre. Par exemple, il est possible d'adapter l'entonnoir de charge à l'un quelconque des nombreux schemas connus de cadencement avant du transfert de charge dans des dispositifs DCC. L'utilisation de l'entonnoir de charge dans des applications associées de multiplexage par division tem- porelle de paquets de charge (comme dans les mémoires DCC par exemple) semblera évidente à l'homme de l'art, à la lumière de la description précédente. Bien entendu, l'homme de l'art sera en mesure d'imaginer, à partir de la description précédente, diverses autres variantes et modifications ne sortant pas du cadre de l'invention. REVENDI C A T I 0 N S 1. Dispositif de formation d'image du type dispositif à couplage de charge (DCC) possédant: (a) un registre d'image (2) comportant un groupe de canaux de transfert de charge cadencés sélectivement formés (11 à 24) dotés d'orifices de sortie respectifs en alignement parallèle, et (b) un électromètre (7) servant à mesurer les paquets de charge transférés des orifices de sortie desdits canaux-de transfert de charge sélectivement cadencés en sens passant, caractérisé par: un entonnoir de charge (4) qui (c) possède un orifice d'entrée relativement charge connecté à des orifices de sortie alignés dudit groupe de canaux de transfert de charge dudit registre d'image, (d) possède un orifice de sortie relativement étroit connecté à un orifice d'entrée dudit électromètre, et (e) possède des électrodes de grille (31, 32F) auxqueLtes des tensions de cadencement en sens passant (01-F' 02-F) sont appliquées, lesquels paquets de charge sont transférés en provenance d'orifices de sortie dudit groupe de canaux de transfert de charge du dispositif de formation d'image, en vue du transfert des paquets de charge audit orifice de sortie de l'entonnoir de charge. 2. Dispositif de formation d'image (DCC) selon la revendication 1, caractérisé en ce que: ledit registre d'image comporte au moins un groupe supplémentaire de canaux de transfert de charge sélectivement cadencés en sens passant qui sont dotés d'orifices de sortie respectifs en alignement parallèle; chaque semblable groupe supplémentaire de canaux de transfert de charge sélectivement cadencés en sens passant a des orifices de sortie respectivement alignés qui sont connectés à un orifice d'entrée d'un entonnoir de charge supplémentaire correspondant (par exemple 82); chaque semblable entonnoir de charge supplémentaire possède un orifice de sortie qui est relativement étroit par rapport à son orifice d'entrée; l'orifice de sortie de chaque entonnoir de charge supplémentaire est connecté à l'orifice d'entrée d'un électromètre supplémentaire respectif (par exemple 84); et les orifices de sortie desdits électromètres (83, 84) sont connectés à des orifices d'entrée respectifs d'un multiplexeur (85) possédant un orifice de sortie duquel le signal de sortie du dispositif de formation d'image est prélevé. 3. Dispositif de formation d'image (DCC) selon la reven- dication 2, caractérisé en ce que: lesdits entonnoirs de charge (81, 82) reçoivent sélectivement des tensions de cadencement dynamique sur leurs électrodes de grille, l'application de tensions de cadencement dynamique à chaque entonnoir de charge étant interrompuelorsque des paquets de charge ne sont pas transférés via les entonnoirs de charge depuis les orifices de sortie du groupe associé de canaux de transfert de charge sélectivement cadencés en sens passant jusqu'à l'orifice d'entrée de l'électromètre associé. 4. Dispositif de formation d'image (DCC) selon la reven- dication 1, caractérisé en ce que: ledit registre d'image comporte au moins un groupe supplémentaire de canaux de transfert de charge sélectivement cadencés en sens passant dont les orifices de sortie respectifs sont en ali- gnement parallèle, chaque semblable groupe supplémentaire de canaux de transfert de charge possède des orifices de sortie respectifs alignés qui sont connectés à l'orifice d'entrée d'un entonnoir de charge supplémentaire correspondant (par exemple 82); chaque semblable entonnoir de charge supplémentaire possède un orifice de sortie qui est relativement étroit par rapport à son orifice d'entrée; et l'orifice de sortie de chaque entonnoir de charge supplémentaire est connecté à l'orifice d'entrée dudit électromètre (89). 5. Dispositif de formation d'image (DCC) selon la reven- dication 4, caractérisé en ce que: lesdits entonnoirs de charge reçoivent sélectivement des tensions de cadencement dynamique sur leurs électrodes de grille, l'application des tensions de cadencement dynamique à chaque entonnoir de charge étant interrompue lorsque des paquets de charge ne sont pas transférés par ceux-ci depuis les orifices de sortie du groupe associé de canaux de transfert de charge sélectivement cadencés en sens passant jusqu' à l'orifice d'entrée dudit électromètre. 6. Entonnoir de charge, caractérisé en ce qu'il comprend un registre à décalage (DCC) répondant à des signaux de cadencement (01_F, 02F) appliqués à sa structure d'électrodes (31, 32) pour décaler des paquets de charge appliqués en série à une extrémité d'entrée sur une extrémité de sortie d'un canal; o ledit canal est disposé dans un substrat semiconducteur (40),possède des côtés définis par des butées de canal (par exemple 33), est en forme d'entonnoir et se rétrécit suivant sa longueur si bien que ledit canal est plusieurs fois plus Large à son extrémité d'entrée qu'à son extrémité de sortie; et ladite structure d'électrodes de grille s'étend sur la largeur dudit canal de transfert de charge; si bien que les paquets de charge admis en des positions situées transversalement sur la largeur de ladite extrémité d'entrée du canal et qui sont décalées suivant la longueur dudit canal subissent un fusionnement les amenant dans la largeur relativement étroite de l'extrémité de sortie du canal; o: des électrodes disposées à l'intérieur de ladite structure d'électrodes sont courbées à leurs extrémités respectives de façon à être sensiblement perpendiculaires aux longueurs de butées de canal respectives. 7. Entonnoir de charge selon la revendication 6, caractérisé en ce que: des électrodes desdites structures d'électrodes de grille, qui se chevauchent entre elles au voisinage du centre de la largeur dudit canal, ne se chevauchent pas entre elles au voisinage des côtés dudit canal; et en ce qu'il est en outre prévu: des ensembles respectifs de structures d'électrodes de grille supplémentaires (61, 63, 65 et 62, 64, 66) le long de chacun des côtés dudit canal de transfert de charge afin de produire, en combinaison avec la succession d'électrodes de grille s'étendant transversalement à la totalité dudit canal de transfert de charge, des successions continues respectives de structures d'électrodes de grille se chevauchant Le long des côtés respectifs dudit canal de transfert de charge; lesdites structures d'électrodes de grille supplemen- taires répondant à des signaux de cadencement supplémentaires (01B 02 B) en hâtant le transfert de paquets de charge introduits à l'extrémité d'entrée dudit canal de transfert de charge.