Brevet FR2561023A1 — publié le 19850913

L'invention concerne un support d'enregistrement optique capable d'effectuer un enregistrement et une reproduction à l'aide d'un faisceau lumineux. On connaît, en tant que couche d'enregistrement d'un support d'enregistrement optique, tel qu'un disque dit optique, des couches minces d'alliages terre rare- métal de transition, des couches minces d'oxydes réductibles, tels que des composés de chalcogène utilisant le transfert de la phase amorphe à la phase cristalline, des matières d'enregistrement par mode thermique, des matières thermo- plastiques, etc. Par exemple, on connait, en tant que couches minces d'alliage terre rare-métal de transition, utilisées dans des supports'd'enregistrement magnéto- optiques, des couches minces polycristallines telles que MnBi et MnCuBi, des couches minces amorphes telles que CdCo, GdFe, TbFe, DyFe, GdTbFe, TbDyFe, GdFeCo, TbFeCo et GdTbCo et des couches minces monocristallines telles que GdIg. Parmi ces couches minces, les couches minces amorphes ont récemment été considérées comme excellentes en tant que matières pour support d'enregistrement magnéto- optique, en tenant compte de l'aptitude au façonnage de la pellicule lorsqu'une pellicule ou couche mince de grande étendue est réalisée à une température proche de la tempé- rature ambiante, de l'efficacité avec laquelle un signal est écrit par une faible énergie opto-thermique et de l'efficacité avec laquelle des symboles écrits sont lus ou extraits, à un bon rapport signal/brui. En particu- lier, la matière du type GdTbFe produit un effet magnéto- optique important et présente un point de Curie d'environ C et est la mieux adaptée en tant que matière pour support d'enregistrement magnéto-optique. Cependant, des matières magnétiques amorphes, y compris GdTbFe, sont généralement inférieures en ce qui concerne la résistance à la corrosion et ont pour incon- vénient d'être corrodées dans une atmosphère humide, et leurs caractéristiques magnétiques se détériorent. En parti- culier, dans une forme de réalisation dans laquelle une couche réfléchissante ou une couche d'interférence et une couche réfléchissante sont appliquées sur la face arrière de la couche d'enregistrement magnétique afin d'améliorer le rapport signal/bruit, l'épaisseur de la couche d'enregistrement magnétique est limiteà 50 nm ou moins du fait de la nécessité d'utiliser l'effet de Faraday et, par conséquent, la résistance à la corrosion est encore aggravée. La détérioration de la caractéristique d'enregistrement ou de reproduction, résultant de l'oxydation d'une telle couche d'enregistrement, a non seulement posé un problème particulier au support d'enre- gistrement magnéto-optique décrit ci-dessus, mais également un problème commun aux supports d'enregistrement optique. Par conséquent, pour éliminer l'inconvénient indiqué ci-dessus, on a proposé précédemment de former une couche anti-corrosion en contact avec la couche d'enregis- trement, la couche anti-corrosion étant formée d'une matière diélectrique transparente telle que SiO2. Cependant, l'effet anti-corrosion d'une telle couche de matière diélectrique ne peut être considéré comme suffisant et en particulier, lorsque SiO2 est utilisé, la corrosion de la couche d'enregistrement a parfois progressé en raison de la séparation de l'oxygène du SiO2. L'invention a pour objet un support d'enregis- trement optique réalisé de façon à avoir une meilleure résistance à la corrosion que les supports d'enregistre- ment optique conformes à l'art antérieur. L'objet ci-dessus de la présente invention est réalisé par la formation, dans un support d'enregistrement optique, d'une couche anti-corrosion comprenant une mince pellicule métallique en contact avec une couche d'enregis- trement. L'invention sera décrite plus en détail en ragard des dessins annexés à titre d'exemples nullement limitatifs et sur lesquels: - les figures 1 à 4 sont des coupes trans- versales schématiques montrant des exemples de la réali- sation du support d'enregistrement selon l'invention dans lequel est prévue une couche anti-corrosion comprenant une mince pellicule métallique; - les figures 5 et 6 sont des coupes transver- sales schématiques montrant d'autres exemples de réalisation de l'invention dans lesquels la mince pellicule métallique formant la couche anti-corrosion est soumise à un traitement d'oxydation; et - les figures 7 et 8 sont des coupes schéma- tiques transversales montrant d'autres exemples de réali- sation de l'invention dans lesquels une mince pellicule magnétique contenant des atomes d'oxygène est utilisée comme pellicule métallique mince formant la couche anti-corrosion. La figure 1 est une coupe transversale schéma- tique d'un exemple de réalisation dans lequel l'invention est appliqueà un support d'enregistrement magnéto-optique. Sur la figure 1, la référence numérique 1 désigne un substrat transmettant la lumière, formé d'une matière plastique ou d'un verre, la référence numérique 2 désigne une couche d'enregistrement magnétique sur laquelle une information est enregistrée ou reproduite à l'aide d'un faisceau lumineux appliqué à cette couche, et la référence numérique 3 désigne une couche anti-corrosionconstituée d'une mince pellicule formée d'un métal tel que Co, Cr, Ti, Ni, Al ou Au ayant une excellente résistance à l'humidité et une excellente résistance à l'oxydation, cette mince pellicule pouvant être, en variante, formée d'un alliage de ces métaux. Il est en outre prévu une couche 4 d'interférence optique destinée à accroître le rapport signal/bruit pendant la lecture de l'information, une couche réfléchissante 5 et une couche protectrice 6. Cette dernière peut être obtenue par l'application d'une pelli- cule meléculaire organique élevée ou par l'évaporation d'une matière inorganique telle qu'un oxyde, un sulfure ou un fluorure, ou une matière métallique. La référence numérique 7 désigne une couche adhésive et la référence numérique 8 désigne un substrat protecteur. Un faisceau lumineux est dirigé dans le sens de la flèche A et, pendant la lecture, le faisceau lumineux transmis à travers la couche d'enregistrement magnétique, réfléchi par la couche réfléchissante 5 et émergeant dans le sens de la flèche B est détecté de manière que l'information soit reproduite. Il est particulièrement avantageux que la force magnéto- résistante de ladite couche d'enregistrement magnétique soit comprise entre 8000 et 320 000 A/m. La couche d'enregistrement magnétique comprend habituellement un groupe d'éléments du type terresrares tellesque Gd, Tb et Dy et un groupe d'éléments du type métal de transition tel que Fe, Co et Ni, et elle est formée à une épaisseur de 5 à 50 nm par pulvérisation réalisée au moyen d'un appareil de pulvérisation à haute fréquence. La couche anticorrosion 3 peut être formée par un procédé tel que l'évaporation sous vide ou la pulvérisation. L'épaisseur de la couche anti-corrosion 3 est réglée à une valeur telle que cette couche transmet à travers elle pratiquement la totalité du faisceau lumineux d'enregistrement ou de reproduction (par exemple 70 % ou plus), qu'elle ne fait pas varier sensiblement les caractéristiques du support d'enregistrement et que la couche d'enregistrement optique peut être suffisamment protégée de l'oxygène, de l'humidité, etc., présents dans l'air ou dans toute autre couche auxiliaire telle que la couche d'interférence 4. Cette épaisseur est considérée dans une large plage de 0,5 à 20 nm suivant le type du métal précité et l'intensité et la longueur d'onde du faisceau lumineux utilisé, et elle peut être avantageusement comprise entre 1,0 et 10 nm. Un autre exemple de réalisation du support d'enregistrement magnétooptique selon l'invention est montré sur la figure 2. Dans cet exemple, une couche anti-réflexion 9 est ajoutée à la forme de réalisation de la figure 1 et, en outre, on tend à améliorer le rapport signal/bruit à la reproduction. Sur la figure 2, les éléments analogues à ceux de la figure 1 portent les mêmes références numériques et il est inutile de les décrire en détail. De plus, dans le présent exemple, les couches anti- corrosion 131 et 132, formées d'un métal similaire à celui de la couche 3 de la figure 1, sont appliquées sur les facesopposées de la couche d'enregistrement magnétique 2 afin d'améliorer encore l'effet anti-corrosion. La couche anti-réflexion 9 peut être une structure à couches multiples. De nouveau dans cet exemple, le faisceau lumineux arrive suivant le sens de la flèche A et, pendant la lecture, le faisceau lumineux transmis à travers la couche d'enregistrement magnétique, réfléchi par la couche réfléchissante 5 et sortant dans le sens de la flèche B, est détecté afin que l'information soit reproduite. Forme de réalisation 1 Un support d'enregistrement magnéto-optique de la structure montrée sur la figure 1 a été réalisé de la manière suivante. Une plaque plate de verre, d'un diamètre de mm et d'une épaisseur de 1,3 mm, a été utilisée comme substrat 1, et une pellicule de GdTbFe, d'une épaisseur de 16 nrm, a été formée sur ce substrat par pulvérisation au moyen d'un appareil de pulvérisation à haute fréquence afin de co stituer la couche d'enregistrement magnétique 2. Puis, on a fait évaporer du Cr à une épaisseur de 4,0 nm, par chauffage par faisceau électronique à l'aide d'un appareil d'évaporation sous vide pour former la couche anti-corrosion 3. Ensuite, on a fait évaporer du SiO à une épaisseur de 25 nm pour former la couche d'interfé- rence 4 puis on a fait évaporer du Ai à une épaisseur de nm pour former la couche réfléchissante 5. En outre, on a fait évaporer du SiO à une épaisseur de 300 nm pour former la couche protectrice 6. Celle-ci a été liée au substrat protecteur 8 en verre par une couche adhésive 7 afin que l'on obtienne le support d'enregistrement magnéto-optique. Une mesure de la force magnéto-résistante a été effectuée pour évaluer la caractéristique magnétique de ce support d'enregistrement magnéto-optique. De plus, pour l'évaluation de la caractéristique dynamique globale du support d'enregistrement magnéto-optique, on a procédé à un enregistrement à une puissance d'écriture de 7 mW, un taux d'utilisation de 50 % et une fréquence d'enregis- trement de 4 MHz à l'aide d'un laser à semi-conducteur d'une longueur d'onde de 820 nm, en même temps que l'on faisait tourner le support d'enregistrement magnéto-optique à 1500 tr/min, et on a reproduit cet enregistrement avec une puissance de reproduction de 3 mW en utilisant le laser à semi-conducteur et l'on a mesuré le rapport signal/bruit (S/B). On a obtenu comme résultat une valeur Hc de 160 000 A/m et 44 décibels au rapport S/B. De plus, on a placé ce support d'enregistrement magnétooptique dans une étuve à température et humidité constantes, à savoir 45 C et une humidité relative de 90 %, et on a procédé à des essais anticorrosion pendant 100 heures et 500 heures afin d'étudier les variations de la force magnéto-résistante et du rapport S/B. Le résultat obtenu par rapport aux valeurs initiales de la force magnéto- résistante et du rapport signal/bruit, Hc/Hco et S/B (dB) et les valeurs obtenues après que l'on a laissé le support d'enregistrement séjourner à 45 C et 90 % d'humidité relative pendant 100 heures et 500 heures sont données dans le tableau I ci-dessous. Exemple comparatif 1 Un essai similaire à celui effectué sur la forme de réalisation 1 a porté sur un support d'enregis- trement magnéto-optique produit d'une manière similaire à celui utilisé pour la forme de réalisation 1, sauf que la couche anti-corrosion 3 n'a pas été appliquée et que l'épaisseur de la couche d'interférence 4 était de 40 nm. Le résultat obtenu est indiqué dans le tableau I ci-dessous. Le résultat de l'essai permet de confirmer que le rapport S/B, immédiatement aprèssla fabrication, était de 45 dB pour l'échantillon comparatif dépourvu de couche anti-corrosion et de 44 dB pour l'échantillon comportant une couche anti-corrosion formée par évaporation de Cr à une épaisseur de 4,0 nm et on n'a noté que peu ou pas de différence entre les rapports signal/bruit des deux échantillons. Par conséquent, même en présence de la couche anti-corrosion 3, la réduction des caractéristiques de fonctionnement en tant que support d'enregistrement magnéto-optique est néligeable. De plus, en ce qui concerne le rapport S/B obtenu après que l'on a laissé deux échantillons dans un milieu à 44 C et à 90 % d'humidité relative pendant 500 heures, ce rapport s'est détérioré pour atteindre 32 dB dans le cas de l'échan- tillon comparatif, alors qu'il était de 42 dB pour l'échantillon sur lequel une couche anti-corrosion 3 a été formée par évaporation de Cr à une épaisseur de 4,0 nm. Ceci a donc confirmé que la propriété anti- corrosion a été améliorée par la présence de la couche anti-corrosion 3. Formesde réalisation 2 - 5 Des supports d'enregistrement magnéto-optique ont été réalisés d'une manière similaire à celle utilisée pour la forme de réalisation 1, sauf que l'on a utilisé comme matière, pour former la couche anti-corrosion 3, Al dans le cas de la forme de réalisation 2, Co dans la forme de réalisation 3, Ni dans le cas de la forme de réalisation 4 et Ti dans le cas de la forme de réalisation 5. On a procédé, sur chacun de ces supports d'enregistrement, à un essai similaire à celui ayant porté sur la forme de réalisation 1. Les résultats obtenus sont donnés dans le tableau I ci-dessous. T A B L E A U I orce de Caractéristiques Après 100 heures Après 500 heures Couche ésistance initiales d'essai d'essai anti- agnétique..c corrosion initiale Hc/Hco S/B (dB) Hc/Hco S/B (dB) Hc/Hco S/B (dB) Hco (A/m)..... Forme de réa Cr 4,0 nm 160 000 lisation 1 lfCr; 4,0 nm10 0 0 44 1,00 44 0, 90 42 Forme de réA-,0n lisation 2 AI; 4,0 nrn 168 000 1l00 42 0,90 42 0, 70 37 lisation2 _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ --à- Forme e rea lisation 3 Co; 4,0 nm 156 000 1,00 43 0,95 42 0t73 39 For-m de réa lisation 4 Ni; 4,0 rnm 160 000 1100 44 0,88 43 0,67 38 Forme de r Foróe de ra-Ti; 4,0 nm 156 000 1,00 44 0,98 44 0186 41 lisa tion 5 _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ Exemple aucune 156 000 1,00 45 0185 44 0O55 32 comparatif 1 rw u LW M r La couche anti-corrosion de la forme de réalisation de l'invention peut également être utilisée dans un support d'enregistrement optique du type qui détecte la lumière transmise sans couche réfléchissante. De plus, dans le support d'enregistrement optique utilisant la lumière du faisceau lumineux réfléchi par la couche d'enregistrement optique pour reproduire une information, la résistance à la corrosion est encore améliorée par la présence de la couche anti-corrosion T0 selon l'invention. Ceci sera décrit ci-après dans le cas d'un support d'enregistrement magnéto-optique considéré à titre d'exemple. Forme de réalisation 6 On a réalisé un support d'enregistrement magnéto- optique ayant la structure montrée sur la figure 3. Le substrat 31 était constitué de verre d'un diamètre de mm et d'une épaisseur de 1,3 mm; des couches anti- réflexion 391 et 392 ont été formées en SiO, à une épaisseur de 120 nm; des couches anti-corrosion 331 et 332 ont été formées en Cr à une épaisseur de 4,0 nm; et une couche d'enregistrement magnétique 32 a été formée en GdTbFe à une épaisseur de 30,0 nm. A titre d'exemple comparatif, on a réalisé un échantillon analogue à la présente forme de réalisation, mais sans couches anti- corrosion 33t et 332 Les deux échantillons ont été placés dans une cuve à température et humidité constantes, à savoir 45 C et 90 % d'humidité relative, et un essai de corrosion a été réalisé pendant 500 heures au cours desquelles on a examiné la variation de la force de résistance au magnétisme. Le résultat est que dans l'échantillon ne comportant pas les couches anti-corrosion, le rapport Hc/Hco a diminué jusqu'à 0,60 alors que, dans la forme de réalisation de l'invention comportant les couches anti-corrosion 331 et 332' le rapport Hc/Hco était de 0,90. Le faisceau lumineux arrive dans le sens de la flèche A et, pendant la lecture, le faisceau lumineux 1 1 transmis à travers la couche d'enregistrement magnétique et sortant dans le sens de la flèche B est détecté pour la reproduction de l'information. Forme de réalisation 7 On a réalisé un support d'enregistrement magnéto-optique ayant la structure montrée sur la figure 4. Le substrat 41 était un substrat en verre d'un diamètre de 200 mm et d'une épaisseur de 1,3 mm; une couche anti- réflexion 49 a été formée de SiO ayant une épaisseur de 120,0 nm; une couche anti-corrosion 43 a été formée de Cr à une épaisseur de 4,0 nm; une couche d'enregistrement magnétique 42 a été formée de GdTbFe à une épaisseur de nm; et une couche protectrice 46 a été formée de SiO à une épaisseur de 350 nm. A titre d'exemple comparatif, on a réalisé un support d'enregistrement magnéto-optique analogue à la forme de réalisation 7, sauf qu'il ne comportait pas de couche anti-corrosion 43. Les deux supports d'enregistrement ont été placés dans une cuve à température et humidité constantes, à savoir 45 C et 90 % d'humidité relative, et on a procédé à un essai de corrosion portant sur 500 heures. Le rapport initial S/B était de 37 dB dans l'échantillon comportant la couche anti-corrosion 43, et 38 dB dans l'échantillon comparatif sans couche anti-corrosion. Après les 500 heures de l'essai de corrosion, l'échantillon comportant la couche anti-corrosion 43 présentait un rapport signal/bruit de 37 dB et un rapport Hc/Hco de 0,95, tandis que l'échantillon comparatif, sans couche anti-corrosion, présentait un rapport S/B de 35 dB et un rapport Hc/Hco de 0,80. Le faisceau lumineux arrive dans le sens de la flèche A et, pendant la lecture, le faisceau lumineux réfléchi par la couche d'enregistrement magnétique 42 et émergeant dans le sens de la flèche B est détecté pour reproduire l'information. Dans les formes de réalisations décrites ci-dessus, une mince pellicule métallique a seule été formée en tant que couche anti-corrosion, mais la propriété d'anti-corrosion peut être encore améliorée par l'applica- tion d'un traitement d'oxydation à partir d'une surface opposée à celle de cette mince pellicule métallique qui est en contact avec la couche d'enregistrement. Le traite- ment d'oxydation est réalisé par un procédé dans lequel, par exemple, une mince pellicule métallique est formée sur la couche d'enregistrement dont la surface est ensuite soumise à un bombardement ionique, à une pulvérisation à haute fréquence ou à un chauffage dans une atmosphère constituée d'un gaz oxydant tel que de l'oxygène. On choisit comme condition d'oxydation, une condition dans laquelle la détérioration du rapport S/B est faible et qui est optimale pour empêcher la détérioration de la couche d'enregistrement par l'oxygène ou l'humidité-contenue dans l'air ou dans les autres couches. L'épaisseur de la pellicule peut être de 0,5 à 50 nm et peut avantageusement être de 1,0 à 20 nm. La mince pellicule métallique ayant été soumise à ce traitement d'oxydation forme, sur sa surface, un oxyde qui est de forme immobile et qui est particulièrement efficace pour empêcher l'oxydation de la couche d'enregis- trement. De plus, cette oxydation, après la formation de la pellicule, est dense à l'état cristallisé et elle confère donc à la pellicule une excellente propriété anti-corrosion par rapport à celle obtenue dans le cas o une pellicule formée d'un oxyde de métal à partir de la première pellicule est constituée. Les figures 5 et 6 montrent des exemples- de la réalisation d'un support d'enregistrement magnéto- optique comportant une couche anti-corrosion soumise à un traitement d'oxydation. Sur les figures 5 et 6, les éléments analogues à ceux des figures 1 et 2 portent les mêmes références numériques et il est inutile de les décrire en détail. Sur la figure 5, on obtient une couche anti- corrosion 53 en formant une mince pellicule d'un métal tel que Co, Cr, Ti, Ni ou Al ou d'un alliage de ces métaux sur la couche d'enregistrement magnéto-optique 2, et en soumettant sa surface à un traitement d'oxydation par le procédé décrit ci-dessus. Les couches situées au- dessus de la couche d'interférence optique 4 sont formées après ce traitement d'oxydation. De plus, en ce qui concerne les couches anti- corrosion 631 et 632 de la figure 6, on obtient la couche anti-corrosion 632 par le traitement d'oxydation après-la formation de la mince pellicule métallique, telle que décrite ci-dessus, sur la couche d'enregistrement 2. Forme de réalisation 8 On a réalisé un support d'enregistrement optique ayant la structure montrée sur la figure 5, de la manière suivante. On a utilisé, comme substrat 1, une plaque plate de fer d'un diamètre de 200 mm et d'une épaisseur de 1,3 mm, et on a formé une pellicule de GdTbFe à une épaisseur de 16,0 nm sur cette plaque, par pulvérisation au moyen d'un appareil de pulvérisation à haute fréquence afin de constituer une couche 2 d'enregistrement magnétique. On a fait ensuite évaporer du Al à une épaisseur de 5,0 nm par chauffage par faisceau d'électrons à l'aide d'un appareil d'évaporation sous vide, après quoi on a introduit de l'oxygène gazeux dans l'appareil d'évaporation sous vide jusqu'à ce que le vide atteigne une valeur de 0,665 Pa, et on a procédé à un bombardement ionique sous une tension de 1 kV pendant 10 minutes pour appliquer un traitement d'oxydation à la couche deAl, de façon à former une couche anti-corrosion 53. Puis on a fait évaporer du SiO pour former une couche d'inter- férence 4 à une épaisseur de 25,0 nm et on a fait ensuite évaporer du Al pour former une couche réfléchissante 5 à une épaisseur de 50,0 nm. On a fait ensuite évaporer du SiO à une épaisseur de 300,0 nm pour former une couche protectrice 6. Celle-ci a été liée à un substrat de protection 8 en verre par une couche adhésive 7 afin de former un support d'enregistrement magnéto-optique. Une mesure de la force de résistance magnétique a été réalisée pour estimer la caractéristique magnétique de ce support d'enregistrement magnéto-optique. De plus, - pour évaluer la caractéristique dynamique globale en tant que support d'enregistrement magnéto-optique, on a procédé à un enregistrement avec une puissance d'écriture de 7 mW, un taux d'utilisation de 50 % et une fréquence d'enregis- trement de 4 MHz au moyen d'un laser à semi-conducteur d'une longueur d'onde de 820 nm, tandis que l'on faisait tourner le support d'enregistrement magnéto-optique à 1500 tr/min, et on a procédé à une reproduction avec une puissance de reproduction de 3 mW à l'aide du laser à semi-conducteur et on a mesuré ainsi le rapport S/B. On a obtenu un rapport S/B de 43 décibels pour une valeur Hc de 168 000 A/m. En outre, on a placé ce support d'enregis- trement magnéto-optique dans une cuve à température et humidité constantes, à savoir 45 C et 90 % d'humidité relative, et on a procédé à un essai anti-corrosion pendant 50Q heures, essai au cours duquel on a examiné les varia- tions de la force de résistance au magnétisme et du rapport S/B après 100 heures et 500 heures. A titre de comparaison, on a procédé également à un essai simultané sur un support d'enregistrement magné- to-optique (exemple comparatif 2) de réalisation similaire à celle de la forme de réalisation 8, sauf que la couche anti-corrosion 53 était absente et que l'épaisseur de la couche d'interférence était de 40 nm, et sur un support d'enregistrement magnéto-optique analogue à la forme de réalisation 8, hormis l'absence du traitement d'oxydation, c'est-à-dire un support d'enregistrement réalisé comme décrit en regard de la figure 1 (forme de réalisation 12). Le résultat de l'essai est indiqué dans le tableau II ci-dessus. Immédiatement après la fabrication, le rapport S/B de l'exemple comparatif 2 était de 45 dB, alors que le rapport S/B de la forme de réalisation 8 était de 43 dB. La différence entre les deux formes de réalisation était donc faible ou nulle, et on n'a trouvé aucune diminution, due à la présence de la couche anti- corrosion 53, de la caractéristique dynamique globale en tant que support d'enregistrement magnéto-optique. Par ailleurs, le résultat de l'essai anti-corrosion est tel que le rapport S/B de l'exemple comparatif 2 est de 32 dB et le rapport S/B de la forme de réalisation 12 est de 37 dB, alors que le rapport S/B de la forme de réalisation 8 est de 42 dB et, par conséquent, l'amélioration de la résistance à la corrosion, apportée par la présente invention, est remarquable. De plus, la variation du rapport Hc/Hco, concernant la force de résistance au magnétisme, après 500 heures, opposée à la résistance magnétique Hco immédiatement après la fabrication, était de 0,55 dans le cas de l'exemple comparatif 2, de 0,75 dans le cas de la forme de réalisation 10 et de 0,95 dans le cas de la forme de réalisation 8. Par conséquent, l'amélioration de la résistance à la corrosion est remarquable. Formes de réalisation 9 à 11 On a réalisé, de la même manière que dans la forme de réalisation 8, un support d'enregistrement magnéto-optique comportant une couche anti-corrosion, à l'aide des matières indiquées dans le tableau II. On a procédé à une évaluation de ce support d'enregistrement magnétooptique par un procédé analogue à celui utilisé pour la forme de réalisation 8. Le résultat est donné dans le tableau II. La résistance à la corrosion a été améliorée sans que la caractéristique dynamique globaleen tant que support d'enregistrement magnéto-optique, en soit affectée. T A B L E A U I I Couche anti-corrosion Force ini- Caractéris- Après 100 h Après 500 h Epais- Conditions du tiale de tique initi&E d'essai d'essai Ma- seur de traitement résistance _ _tière lau del-d'oxydation au magné-.ic Hc/ S/ B lIc/ S/B tisme Hco licule _____________ _(A /) Hco (dB) Hco (dB) Ilco (dB) Forme de réa- Bombardement ionique. lisation 8 Al 5,0 nm sous atmosphère 168 000 lr;00 43 1;00 43 0;95 42 F e rd'oxygène, sous un Forme de réa- lisation 9 Cr 5,0 rnm vide de 0,665 Pa 156 000 1,00 44 1t00 43 0,92 42 Forme de réa- lisation 10 Co 5,0 nm Tension: CC 1 kV 158 400 1,00 42 0,95 41 0,80 39 Forme de réa- Temps: 10 minutes lisation 1i Ti 5,0 nm. 152 000 1,00 43 0, 95 43 0,86 41 _ _. _.......- Exemple Pas de couche anti-corrosion 164 000 1,00 45 0/85 44 0,55 32 comparatif 2 Forme de réct. Pas de traitemen t lisation 12 Al Pas de traitement 160 000 100 41 092 41 075 37 i sation 12.d' oxydation Les formes de réalisation ci-dessus ont été décrites dans leur application à un support d'enregis- trement magnéto-optique considéré à titre d'exemple, alors que la présente invention n'est pas limitée à un tel support, mais qu'elle peut êtreutilisée efficacement pour un support d'enregistrement optique comportant une couche d'enregistrement pouvant être aisément oxydée, par exemple en Te, qui est un composé chalcogène. En outre, lorsque la présente invention est appliquée à un support d'enregistrement magnéto-optique, l'accommodation à sa couche d'enregistrement magnétique peut être améliorée par l'utilisation d'une matière magnétique contenant des atomes d'oxygène pour la mince pellicule de métal formant une couche anti-corrosion. Une telle couche magnétique mince contenant des atomes d'oxygène peut être formée, par exemple, par le procédé suivant. Si l'on utilise un appareil de pulvé- risation, une matière magnétique est utilisée comme cible et de l'oxygène gazeux est mélangé à de l'argon gazeux pour provoquer une décharge d'effluves. En variante, la mince couche magnétique peut être obtenue par addition d'un oxyde d'une matière magnétique à une matière magnétique utilisée comme cible. Comme matière de cible, on peut utiliser la même matière que celle de la mince couche magnétique d'enregistrement, ou bien on peut utiliser un autre type de matière magnétique selon ce que la situation exige. L'oxyde ajouté à la mince couche magnétique contenant des atomes d'oxygène peut être une matière du même type que la matière de la mince couche magnétique d'enregistrement et contenant des atomes d'oxygène, tels que, par exemple Cr02, NiO, (MnBi)xOlx, Fe304, Co0,8 ou Fe2,204. La couche anti-corrosion ainsi formée présente un état cristallisé uniforme à proximité de la surface limite avec la couche d'enregistrement magnétique et elle est difficile à détacher. De plus, l'oxygène présente une forme immobile dans la matière magnétique et, par conséquent, la couche anti-corrosion empêche la corrosion de la couche d'enregistrement magné- tique. Des exemples de réalisation d'un support dienregis- trement magnéto-optique ayant une telle couche anti- corrosion sont représentés sur les figures 7 et 8. En référence à la figure 7, la référence numérique 71 désigne un substrat de verre, la référence numérique 79 désigne une couche anti-réflexion ayant une structure à une seule couche ou à couches multiples, formée d'une matière diélectrique, la référence 72 désigne une couche d'enregistrement magnétique, la référence 73 désigne une couche anticorrosion comprenant une mince pellicule magnétique contenant des atomes d'oxygène, la référence 76 désigne une couche protectrice, la référence 77 désigne une couche adhésive et la référence 78 désigne un substrat protecteur. Le faisceau lumineux arrive dans le sens de la flèche A et, pendant la lecture, le faisceau lumineux réfléchi par la couche d'enregistrement magnétique 72 et émergeant dans le sens de la flèche B est détecté pour reproduire l'information. La teneur en atome d'oxygène de la couche anti-corrosion 73 est établie de façon qu'elle présente la plus grande efficacité à empêcher la couche d'enregistrement magnétique 72 d'être détériorée par l'oxygène ou l'humidité présent dans l'air, à travers la couche adhésive 77. La valeur de la teneur en atomes d'oxygène est habituellement comprise entre 0,1 % et 20 %. Si l'épaisseur de la couche anti-corrosion est trop faible, elle est insuffisante pour empêcher l'entrée d'humidité ou d'oxygène et,si cette épaisseur de la couche anti- corrosion est trop grande, elle affecte la caractéristique de la couche d'enregistrement magnétique et peut provoquer une diminution de l'effet magnétique, ce qui peut avoir pour résultat, par suite, une réduction du rapport S/B à la reproduction ou une réduction de la sensibilité d'enregistrement. Par conséquent, l'épaisseur de la couche est habituellement établie à une valeur comprise entre 3,0 et 100 nm, et avantageusement entre 5,0 et 50 nm. A titre d'autre exemple de réalisation du support d'enregistrement selon l'invention, une couche réfléchissante 185 peut être formée comme montré sur la figure 8 afin que l'on obtienne un effet magnétique accru et un rapport signal/bruit amélioré. Sur la figure 8, des couches antiréflexion 831 et 832, comprenant chacune une mince pellicule contenant de l'oxygène, sont appliquées sur les faces opposées d'une couche d'enregistrement magnétique 82. La référence numérique 86 désigne une couche protectrice, la référence 87 désigne une couche adhésive, et la référence 88 désigne un substrat protecteur. La référence 84 désigne une couche intermédiaire formée d'une matière transparente inorganique telle que SiO ou SiO2. L'épaisseur de la couche intermédiaire 84 est établie de façon que le rapport S/B d'un signal magnéto-optique soit optimal. La couche réfléchissante 85 est formée d'alumi- nium, de cuivre, d'or, d'argent ou autre. Forme de réalisation 13 On a réalisé un support d'enregistrement magnéto- optique et dont la structure est montrée sur la figure 7, de la manière suivante. Une plaque plate de verre, d'un diamètre de mm et d'une épaisseur de 1,5 mm, a été utilisée comme substrat 71, et on a fait évaporer du ZrO2 à une épaisseur de 100,0 nm sur cette plaque, par chauffage par faisceau d'électrons, à l'aide d'un appareil d'évaporation sous vide, afinde former une couche anti-réflexion 79. Puis, on a formé,en tant que couche d'enregistrement magnétique 72, une pellicule de Fe0,76Gd0,12Tb0,12' à une épaisseur de nm, par pulvérisation effectuée au moyen d'un appareil de pulvérisation à haute fréquence. La force de résistance au magnétisme a été réglée à 160 000 A/m. Puis on a fait passer le substrat dans une autre chambre et on a procédé à une pulvérisation de Fe0,76 Gd0,12 Tb0,12 en tant que' cible, tandis que l'on faisait circuler de l'oxygène gazeux à un débit d'écoulement de 20 cm3 par minute, dans les conditions normales de température et de pression, afin qu'une couche anti-corrosion 73, constituée d'une mince pellicule magnétique contenant de l'oxygène, soit formée à une épaisseur de 10,0 nm. En outre, on a fait évaporer du SiO à une épaisseur de 200,0 nm, par chauffage par faisceau d'électrons,à l'aide de l'appareil d'évapo- ration sous vide, afin de former une couche protectrice 76. Cette couche a été liée à un substrat protecteur 78 en verre par une couche adhésive 77 de façon à réaliser un support d'enregistrement magnéto-optique. Pour l'évaluation de l'effet magnéto-optique de ce support d'enregistrement magnéto-optique, on a mesuré l'angle de rotation de Kerr. De plus, pour évaluer la sensibilité de l'enregistrement et l'efficacité de la lecture, on a mesuré le champ magnétique nécessaire de polarisation à l'enregistrement, à une fréquence d'enregistrement de 5 MHz, et on a évalué la qualité du rapport signal/bruit en analysant la forme du signal de reproduction. L'enregistrament a été effectué à l'aide d'un appareil tel que décrit ci-dessous. On a utilisé, comme tête optique, un laser à semi-conducteur (820 nm) d'une puissance de 15 mW, constituant une source de lumière et pouvant appliquer un faisceau lumnineux sous la forme d'un petit point d'environ 1,2 gm de diamètre sur la surface de la couche d'enregistrement, ce laser comportant un électro-aimant capable d'appliquer un champ magnétique dans une direction perpendiculaire à la couche d'enregistrement. On a fait tourner le support d'enre- gistrement magnéto-optique à 1800 tr/min, on a aimanté uniformément la couche d'enregistrement, on a fait osciller le laser par impulsions et on a procédé à un enregistrement de points en faisant varier la fréquence à un taux d'utili- sation de 50 %. De plus, un champ magnétique de polarisation a été appliqué à l'aide de l'électro-aimant. Pendant la reproduction par lecture, on a utilisé un laser à semi- conducteur de 4 mW comme source de lumière et on a éclairé la couche d'enregistrement à l'aide de ce laser, de la même façon que pendant l'enregistrement, et on a détecté la lumière réfléchie à l'aide d'un détecteur, par l'intermédiaire d'un analyseur. De plus, ce support d'enregistrement magnéto-optique a été placé dans une cuve à température et humidité constantes, à savoir 65 C et 85 % d'humidité relative, et on a procédé à un essai anti-corrosion pendant 1000 heures. On a mesuré la variation de l'angle de rotation de Kerr par son rapport à la valeur initiale. Le résultat obtenu est donné dans le tableau III ci-dessous. Exemple comparatif 3 On a procédé à un essai similaire à celui réalisé avec la forme de réalisation 13, à l'aide d'un support d'enregistrement magnéto-optique analogue à la forme de réalisation 13, sauf qu'il ne comportait pas la couche anti-corrosion comprenant une mince couche magnétique contenant des atomes d'oxygène. Le résultat obtenu est donné dans le tableau III ci-dessous. T A B L E A U I I I Variation de Analité 'angle de Qualité du Angle de Qdu rotation de Kerr rapport rotation ap t rès 1000 heures S/B après de Kerr rS/B (rapport à la 1000 heures valeur initiale) Forme de réalisa- 0,58 Bonne 0 96 Bonne tion 13 Exemple Exmple O 58 Bonne 0 90 Présence de bruit ratif 3 L'invention n'est pas limitée aux formes de réalisation décrites ci-dessus mais diverses autres applications en sont possibles. Par exemple, le support d'enregistrement magnéto-optique selon l'invention peut être réalisé sous la forme d'une structure dite "sandwich aéré", présentant un espace fermé, rempli d'un gaz inerte. De plus, le support d'enregistrement magnéto-optique selon l'invention peut comporter diverses couches auxiliaires, telles que des couches dans lesquelles sont écrites des marques de repères ou des marques de pistes, ou bien on peut également utiliser un substrat ayant une face d'écriture dont la surface est constituée d'une couche poreuse. La couche adhésive destinée à lier entre eux le substrat, la couche d'enregistrement et le substrat protecteur peut contenir un agent anti-corrosif, une fine poudre métallique, un agent de dessiocation ou une substance organique de base. De plus, la couche anti- corrosion conforme à l'invention et la couche protectrice classique formée de SiO2 ou autre peuvent être utilisées ensemble. Dans ce cas, la couche anti-corrosion comprenant une mince pellicule métallique est disposée entre la couche d'enregistrement optique et la couche protectrice, coopère avec la couche protectrice pour protéger la couche d'enregistrement de l'influence de l'atmosphère, et empêche l'oxygène de passer de la couche protectrice dans la couche d'enregistrement. Par conséquent, on peut construire un support d'enregistrement optique présentant une meilleure résistance à la corrosion. Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées au support d'enregistrement optique décrit et représenté sans sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Support d'enregistrement optique, caractérisé en ce qu'il comporte une couche (2) d'enregistrement sur laquelle une information est enregistrée ou reproduite à l'aide d'un faisceau lumineux appliqué à cette couche, et une couche anti-corrosion (3) comprenant une mince pellicule métallique en contact avec la couche d'enregistrement et transmettant pratiquement la totalité dudit faisceau lumineux. 2. Support d'enregistrement optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la mince couche métallique est formée de l'un des métaux Co, Cr, Ti, Ni, Al, Au et d'alliages de ces métaux. 3. Support d'enregistrement optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'épaisseur de la couche anti-corrosion est comprise entre 0,5 et 20 nm. 4. Support d'enregistrement optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche d'enregistrement comprend une mince pellicule magnétique. 5. Support d'enregistrement optique, caractérisé en ce qu'il comporte une couche d'enregistrement (2) sur laquelle une information est enregistrée ou repro- duite à l'aide d'un faisceau lumineux appliqué à cette couche et une couche anti-corrosion (3) comprenant une mince pellicule métallique en contact avec la couche d'enregistrement et soumise à un traitement d'oxydation à partir de sa surface opposée à celle qui est en contact avec la couche d'enregistrement. 6. Support d'enregistrement optique selon la revendication 5, caractérisé en ce que la mince couche métallique est formée de l'un des métaux Co, Cr, Ti, Ni, Al et d'alliages de ces métaux. 7. Support d'enregistrement optique selon la revendication 5, caractérisé en ce que l'épaisseur de la couche anti-corrosion est comprise entre 0,5 et 50 nim. 8. Support d'enregistrement optique selon la revendication 5, caractérisé en ce que la couche d'enregistrement comprend une mince pellicule magnétique. 9. Support d'enregistrement optique, caractérisé en ce qu'il comporte une couche d'enregistre- ment (2) qui comprend une fine pellicule magnétique et sur laquelle une information est enregistrée ou reproduite à l'aide d'un faisceau lumineux appliqué à cette couche, et une couche anticorrosion (3) comprenant une fine pellicule magnétique en contact avec la couche d'enregis- trement et contenant des atomes d'oxygène. 10. Support d'enregistrement optique selon la revendication 9, caractérisé en ce que la quantité d'atomes d'oxygène contenue dans la couche anti-corrosion est comprise entre 0,1 % et 20 % sur l'ensemble de la couche. 11il. Support d'enregistrement optique selon la revendication 9, caractérisé en ce que l'épaisseur de la couche anti-corrosion est comprise entre 3,0 et 100 nm.