Brevet FR2568662A1 — publié le 19860207

Dispositif pour isoler teuporairesent un objet d'une enceinte à vide La présente invention concerne un dispositif pour isoler temporairement un objet d'une enceinte à vide. L'invention s'applique en général à tous les domaines de l'industrie utilisant des enceintes à vide et en particulier des enceintes à vide très poussé ou ultra-vide. bbtenir un vide très poussé, de l'ordre de 10-10 Torr (1 Torr équivaut à environ 133 Pascals), nécessite l'utilisation de pompes spéciales, pompes ioniques ou groupes turbomoléculaires par exemple, après obtention d'un vide "primaire" de l'ordre de 10-3 Torr et constitue une opération longue qui peut nécessiter plusieurs heures voire plusieurs jours. Une fois que l'on a obtenu un vide très poussé, on a donc intéret à éviter de modifier ou "casser" ce vide. Celui-ci peut en particulier être "cassé" lorsque l'on veut introduire un objet dans l'enceinte ou au contraire retirer un objet de l'enceinte.Par exemple, dans la technique de l'Epitaxie par Jets Moléculaires, on introduit dans l'enceinte à vide une ou plusieurs cellules contenant chacune un matériau à dvaporer ; ce matériau se dépose ensuite sur un support, en couches monocristallines et orientées, avec une faible vitesse de croissance, pour réaliser par exemple des semiconducteurs. Quand le matériau contenu dans ces cellules à évaporation sous vide est épuisé, il est nécessaire de remplir à nouveau les cellules. Jusqu'à présent, pour effectuer cette opération, on était obligé de "casser" le vide de l'enceinte afin de retirer la cellule de l'enceinte et de la remplir. I1 en était de même si l'on voulait intervenir sur la cellule pour la réparer, par exemple. D'autre part, il est parfois nécessaire d'intervenir sur l'enceinte elle-même. Dans ce cas, on est bien sûr obligé de "casser" le vide de l'enceinte mais, dans le cas où l'enceinte contient des cellules remplies d'un matériau à évaporer à haute toxicité tel que l'arsenic ou le mercure, il peut être dangereux d'intervenir sur l'enceinte alors que ces cellules se trouvent à l'intérieur de l'enceinte. On a donc intérêt dans ce cas à retirer les cellules de l'enceinte avant de "casser" le vide de l'enceinte et d'intervenir sur celle-ci. Afin de limiter tout risque dO à la haute toxicité du matériau contenu dans les cellules, il est préférable de conserver celles-ci dans une autre enceinte également sous vide et d'effectuer bien sûr le transfert de la cellule d'une enceinte à vide à une autre également sous vide. D'autre part, on aurait avantage à limiter les risques dus à la toxicité des matériaux lors du remplissage de cellules d'arsenic ou de mercure par exemple en ne remplissant pas ces cellules à l'air libre comme on l'a fait jusqu'à présent mais en les remplissant sous vide. La présente invention remédie aux inconvénients des enceintes à vide connues jusqu'à présent. Elle permet d'éviter de "casser" le vide de l'enceinte lorsque l'on veut intervenir sur une cellule, en particulier pour remplir celle-ci. Elle a pour but également de toujours conserver sous vide les cellules en particulier les cellules remplies de matériaux toxiquels, lorsque l'on veut intervenir sur celles-ci, par exemple pour les remplir, ou lorsque l'on veut les conserver en attente lors d'une intervention sur l'enceinte à vide. De façon plus générale, l'invention a pour but d'éviter de "casser" le vide d'une enceinte à vide lorsque l'on veut isoler temporairement un objet de l'enceinte ; ; elle vise également de conserver sous vide l'objet isolé de l'enceinte et d'intervenir sur celui-ci, toujours sous vide, jusqu'à sa réintroduction dans l'enceinte. L'invention s'applique donc à un dispositif pour isoler temporairement un objet d'une enceinte à vide. Selon l'invention, ce dispositif est constitué - d'une chambre principale étanche à parois latérales extensibles, dont l'une des extrémités est destinée à être raccordée à l'enceinte à vide et l'autre extrémité est solidaire d'un support destiné à recevoir l'objet, - des moyens pour obtenir le vide dans la chambre principale, - des moyens pour mettre en communication la chambre principale et 1 'encein- te à vide ou pour les isoler l'une de l'autre, - des moyens pour comprimer ou étirer les parois latérales de la chambre principale de sorte que, dans la position pour laquelle les parois sont en extension, le support d'objet se trouve à l'intérieur de la chambre principale, et dans la position pour laquelle les parois sont comprimées, le support d'objet se trouve à l'intérieur de l'enceinte à vide. Dans le cas où l'objet est une cellule à évaporation sous vide chargée d'un matériau dont la température de solidification est basse, le dispositif selon l'invention comporte des moyens de remplissage sous vide de la cellule lorsque celle-ci est isolée de l'enceinte à vide, constitués - d'une chambre secondaire étanche, à parois latérales extensibles, dont l'une des extrémités, inférieure, est raccordée à la chambre principale et l'autre extrémité, supérieure, est fixée sur la paroi extérieure d'un canal extensible qui la traverse, ledit canal ayant l'une de ses extrémités, supérieure, raccordée à un réservoir de liquide et l'autre extrémité, inférieure, susceptible d'être introduite dans la cellule. - des moyens pour comprimer ou étirer les parois latérales de la chambre secondaire de sorte que, dans la position pour laquelle les parois sont comprimées, l'extrémité inférieure du canal soit en position de remplissage de la cellule et dans la position pour laquelle les parois sont en extension, ladite extrémité soit en position retirée, de manière à permettre le passage de la cellule vers la chambre à vide. - des moyens pour envoyer dans le canal une dose déterminée de liquide. Dans un mode préféré de réalisation du dispositif selon l'invention, le canal extensible est constitué de deux tronçons rigides susceptibles de coulisser l'un dans l'autre, un tronçon supérieur raccordé au réservoir de liquide et un tronçon inférieur porteur de l'extrémité inférieure du canal ; l'extrémité supérieure de la chambre secondaire est fixée au tronçon inférieur et la zone de raccordement entre les deux tronçons est maintenue sous vide au moyen d'une chambre annexe étanche à parois latérales extensibles fermée d'une part sur la chambre secondaire et d'autre part sur le tronçon supérieur du canal. Selon une caractéristique supplémentaire, le dispositif selon l'invention comporte des moyens pour isoler le canal du réservoir en dehors des périodes de remplissage. De préférence ces moyens sont constitués d'un siphon. De façon avantageuse, le dispositif selon l'invention comporte des moyens pour maintenir au moins une partie du siphon à la température de solidification du matériau en dehors des périodes de remplissage et pour réchauffer légèrement ladite partie lors du remplissage. Dans un mode préféré de réalisation de l'invention, ces moyens sont constitués de modules à effet Peltier. Le dispositif selon l'invention comporte en outre des moyens pour faire le vide au-dessus du liquide contenu dans le réservoir. Mais l'invention sera mieux comprise en se référant à un mode de réalisation particulier donné à titre d'exemple et représenté par les dessins annexés. Les figures 1 et 2 représentent un dispositif pour isoler temporairement d'une enceinte à vide une cellule à évaporation sous vide, muni de moyens pour remplir la cellule sous vide. Sur la figure 1 la cellule à évaporation sous vide se trouve dans l'enceinte à vide ; le dispositif de remplissage est donc en position retirée. Sur la figure 2, la cellule à évaporation sous vide est isolée de l'enceinte à vide et le dispositif de remplissage de la cellule est en fonctionnement. Sur les deux figures, l'enceinte à vide a été repérée par 1. Elle est refroidie constamment par une circulation d'azote liquide afin de piéger les impuretés se trouvant dans l'enceinte et d'obtenir ainsi un vide que l'on peut qualifier de "propre". La circulation d'azote s'effectue dans l'espace 2 délimité par les cloisons 3 et 4. Le vide de l'enceinte à vide 1 est un vide très poussé de l'ordre de 10'5 à 10-8 Fa. Pour l'obtenir, on a d'abord procédé, par pompage au niveau de l'orifice 5 de l'enceinte 1, à l'obtention d'un vide "primaire" de l'ordre de lPa ou même de 0,1 Pa, avant de procéder à un vide plus poussé au moyen d'une pompe ionique ou d'un groupe turbo-moléculaire par exemple. On a représenté au centre de l'enceinte à vide 1 un substrat 6 sur lequel on fait croître des couches monocristallines et orientées de matériaux déterminés afin d'obtenir par exemple un semi-conducteur. Les matériaux qui se déposent sur le substrat 6 sont des matériaux évaporés de cellules à évaporation sous vide telles que les cellules 7 ou 7' représentées sur les figures 1 et 2. Sur la figure 1, les cellules 7 et 7' sont toutes les deux dans une position pour laquelle le matériau qu'elles contiennent est évaporé. La cellule 7' est portée par un support 8' et la cellule 7 par un support 8. Alors que la cellule 7' a été introduite dans l'enceinte 1 de façon classique, la cellule 7 y a été introduite au moyen d'un dispositif selon l'invention. Comme cela sera expliqué plus bas, la cellule 7 peut être retirée de l'enceinte 1, par exemple dans le but d'être remplie lorsque le matériau à évaporer qu'elle contient est épuisé, "sans casser" le vide de l'enceinte à vide 1 alors que la cellule 7', introduite dans l'enceinte 1 sans le dispositif selon l'invention ne peut être retirée de l'enceinte à vide 1 qu'en entratnant une modification du vide de l'enceinte à vide 1. Le dispositif selon l'invention permettant d'isoler temporairement la cellule 7 de l'enceinte à vide comporte une chambre principale étanche 9 dont les parois latérales 10 sont extensibles, car, sur au moins une partie de leur longueur elles sont constituées d'un soufflet. L'une des ex trémités de la chambre 9 est raccordée à l'enceinte à vide 1 par l'intermédiaire d'une vanne 11 qui permet de mettre en communication l'intérieur de la chambre principale 9 et l'intérieur de l'enceinte à vide 1 ou au contraire de les isoler l'une de l'autre. L'autre extrémité 12 de la chambre principale 9 est solidaire du support 8 de la cellule 7. Des moyens 13 sont prévus pour faire le vide dans la chambre principale 9. Des moyens, constitués ici d'un système mécanique vis sans fin 14, sont également prévus pour comprimer ou étirer les parois latérales 10 de la chambre 9, c'est à dire le soufflet 10. Le soufflet est comprimé sur la figure i et en extension sur la figure 2. Lorsque l'on veut introduire une cellule 7 dans l'enceinte à vide 1, on raccorde tout d'abord la chambre principale 9 munie de la vanne 11 à l'enceinte à vide 1 sur l'un des orifices prévus de façon classique sur cette enceinte. On introduit ensuite une cellule 7 portée par un support 8 par l'extrémité 12 de la chambre principale 9. Pendant mettre opération, le soufflet 10 est bien sûr en extension comme sur la figure 2. On procède ensuite à l'obtention d'un vide poussé dans la chambre 9 en pompant l'air contenu dans la chambre par l'orifice 13. Une fois le vide obtenu dans la chambre 9, on ouvre la vanne 11 puis, au moyen du système mécanique 14, on comprime le soufflet 10.Le support 8 de la cellule 7 est alors entrainé dans un mouvement de translation qui amène la cellule 7 dans l'enceinte 1 en position d'évaporation sous vide. Si l'on veut retirer la cellule 7 de l'enceinte 1, par exemple pour intervenir sur celle-ci > pour la réparer ou pour la remplir de maté- riau à évaporer, ou encore pour l'isoler de l'enceinte 1 lorsqu'on intervient sur l'enceinte, on étire le soufflet 10 au moyen du système mécanique 14 afin de replacer le support 8 et la cellule 7 dans la position qu'ils ont sur la figure 2. On ferme alors la vanne 11 afin d'isoler la chambre principale 9 de l'enceinte à vide 1. Pour intervenir ensuite sur la cellule 7, par exemple pour la remplir, on peut retirer celle-ci de la chambre principale 9, mais il est bien sûr préférable de la conserver sous vide afin d'éviter toute contamination de l'air ambiant en particulier si la cellule est remplie de produit toxique (par exemple de l'Arsenic) et également pour éviter d'avoir à refaire le vide dans la chambre principale 9 lors de la réintroduction de la cellule 7 dans l'enceinte 1. Dans ce but , on a prévu un dispositif de remplissage sous vide de la cellule 7 lorsque celle-ci doit être remplie d'un matériau liquide à la température ambiante, c'est à dire un matériau dont la température de solidification est assez basse pour que l'on puisse injecter ce matériau dans la cellule 7 sous forme liquide en ne chauffant pas ce matériau ou en le chauffant très légèrement. En particulier, le mercure peut être injecté dans la cellule 7 à l'aide du dispositif que l'on va décrire ci-dessous il est d'autant plus intéressant de pouvoir injecter le mercure sous vide que celui-ci est très toxique et ne doit pas contaminer l'air ambiant. Ce dispositif de remplissage est constitué d'une chambre secondaire étanche 15 à parois latérales 16 extensibles, raccordée à la chambre principale 9 à l'une de ses extrémités 17 et fixée par son autre extrémité 18 à la paroi extérieure d'un canal 19 qui la traverse. Le canal 19 est, dans le mode de réalisation illustré par les figures 1 et 2, réalisé en deux tronçons rigides, un tronçon supérieur 20 et un tronçon inférieur 20'. Le tronçon supérieur- 20 est raccordé à un réservoir de matériau liquide 21 et le tronçon inférieur 20' comporte une extrémité 22 susceptible d'être introduite dans la cellule 7. Le canal 19 est extensible ; en effet les deux tronçons rigides 20 et 20' peuvent s'éloigner ou se rapprocher l'un de l'autre en coulissant l'un dans l'autre, la partie supérieure du canal 20' étant, dans ce mode de réalisation, élargie afin que l'extrémité du tronçon 20 puisse pénétrer à l'intérieur du tronçon 20'. Le mouvement relatif des deux tronçons 20 et 20' s'effectue par une translation du tronçon 20', le tronçon 20 restant fixe.Le tronçon 20' peut se mouvoir en translation axiale entre deux positisons, une position pour laquelle son extrémité 22 est en position de remplissage de la cellule 7 et dans une position pour laquelle son extrémité 22 se trouve en position de retrait par rapport à la cellule 7, (permettant ainsi le passage de la cellule 7 vers l'enceinte à vide 1), ces deux positions étant représentées respectivement sur les figures 2 et 1. Pour faire mouvoir le tronçon 20' en translation, on agit sur la vis micrométrique 23 afin de donner un mouvement de translation à l'extrémité 18 de la chambre 15. L'extrémité 18 de la chambre entratne avec elle le tronçon rigide 20' et en même temps provoque la compression ou l'extension des parois latérales 16 de la chambre 15, ces parois constituant en fait un soufflet analogue au soufflet de la chambre principale 9. La zone de raccordement entre les deux tronçons 20 et 20' est maintenue sous vide au moyen d'une chambre annexe 24 étanche à parois laté rales 25 extensibles fermées d'une part sur la chambre secondaire 15 et d'autre part sur le tronçon supérieur 20. Quand l'extrémité 18 de la chambre 15 est entratnée en translation, les parois laterales 25 de la chambre 24 sont comprimées ou étirées, à l'inverse des parois 16 de la chambre 15. Quant au soufflet 26, muni de moyens de réglage 27, il permet d'ajuster la chambre secondaire 15 sur la chambre principale 9, après que le dispositif de remplissage ait été fixé à la chambre principale 9 par l'intermédiaire d'un montant 28. Pour injecter du liquide dans le canal 19 ou plus précisément dans le tronçon 20, on injecte tout d'abord du liquide dans le réservoir 21 au moyen d'un piston 29 prévu à cet effet dans la partie supérieure du réservoir. On agit ensuite sur un piston 30 au moyen d'une vis micrométrique 31 afin de faire passer une partie du liquide contenu dans le réservoir 21 dans la partie supérieure du tronçon 20. Grâce à la vis micrométrique 31, on peut doser avec précision la quantité de liquide injecté dans le canal 19 afin d'éviter tout débordement de liquide dans la chambre principale 9. Lorsque le dispositif de remplissage n'est pas en fonctionnement, comme c'est le cas sur la figure 1, il est nécessaire d'isoler le réservoir 21 contenant du liquide de la chambre principale 9. C'est pourquoi la partie supérieure du tronçon 20 forme un siphon 32 dans lequel on peut former un bouchon de matériau solide. Dans ce but, la branche verticale 33 du siphon 32 est munie de moyens de refroidissement 34 qui sont constitués par exemple de modules à effet Peltier. On peut entourer la branche 33 du siphon 32 au moyen de deux modules à effet Peltier, chaque module entourant une partie de la branche 33. Ces modules peuvent à leur tour être refroidis par d'autres modules qui les entourent. Quand les modules à effet Peltier sont mis sous tension, le liquide contenu dans la branche 33 se trouve à une température inférieure ou égale à sa température de solidification, le réservoir 21 est alors isolé de la chambre 9. Quand on ouvre le circuit d'alimentation des modules à effet Peltier, le matériau contenu dans la branche 33 se liquéfie, permettant nouveau le remplissage de la cellule 7. Un orifice 35 est en outre prévu pour faire le vide au-dessus du réservoir 21. On peut toutefois se contenter ici d'un vide "primaire" car le contenu du réservoir est en fait toujours isolé de l'intérieur de la chambre principale 9 au moyen du liquide contenu dans le canal 9 ou du bouchon que l'on constitue dans le siphon 32. Toutefois le fait d'avoir un vide primaire au-dessus du réservoir 21 diminue la différence de pression en tre les deux branches verticales du siphon. Le dispositif de remplissage que l'on vient de décrire fonctionne de la manière suivante : une fois la cellule isolée de l'enceinte 1 c'est à dire mise dans la position de la figure 2, on amène l'extrémité 22 du canal 20' en position de remplissage en agissant sur la vis micrométrique 23. Le soufflet 15 se comprime alors que le soufflet 25 s'étire. A l'aide de la vis micrométrique 31 on injecte alors une dose de matériau liquide dans le siphon 32, le réservoir 21 ayant bien sûr été préalablement rempli de liquide au moyen du piston 29. On ouvre alors le circuit d'alimentation des modules à effet Peltier 34. Au bout d'un temps relativement court, de l'ordre de 15 secondes par exemple, le bouchon qui se trouvait dans la branche 33 du siphon 32 se liquéfie et l'excès de liquide contenu dans le siphon 32 descend le long du canal 19 jusqu'à l'extrémité 22 où il pénètre dans la cellule 7. On peut alors procéder à l'injection d'autres doses si la cellule 7 peut contenir plusieurs doses. Une fois les doses nécessaires injectées,on ferme le circuit d'alimentation des modules à effet Peltier et un bouchon se forme à nouveau dans le siphon 32. Au moyen de la vis micrométrique 23, on replace le tronçon 20' dans sa position de repos, en retrait de la cellule 7, comme on peut le voir sur la figure 1. La cellule 7 peut alors être transférée à nouveau dans l'enceinte 1. Le dispositif selon l'invention présente de nombreux avantages il permet d'isoler temporairement la-cellule 7 de l'enceinte à vide sans "casser" le vide de l'enceinte lorsque l'on veut intervenir sur la cellule et de conserver la cellule sous vide lorsque l'on veut intervenir sur l'enceinte. I1 permet ainsi une économie de temps importante. I1 permet également de minimiser les risques dus à l'utilisation de produits de haute toxicité tels que l'arsenic ou le mercure en conservant ces matériaux continuellement sous vide. Bien sûr, les matériaux utilisés pour la réalisation du dispositif sont choisis de façon à ne pas être attaqués par ces produits. On utilise par exemple du quartz et de l'acier inoxydable. En outre, dans le cas où le matériau à évaporer se trouve à température ambiante sous forme liquide le dispositif selon l'invention permet d'injecter un nombre déterminé de doses de liquide de façon très simple et sans risque. Bien sur le dispositif selon l'invention permettant d'isoler la cellule 7 de l'enceinte 1 peut être utilisé pour des cellules à évaporation sous vide destinées à être remplies d'un matériau solide à température ambiante ; dans ce cas, le dispositif de remplissage doit être adapté au remplissage d'un matériau solide. Enfin, le dispositif selon l'invention permet d'isoler temporairement d'autres objets qu'une cellule à évaporation sous vide. I1 peut s'agir par exemple d'un canon à ions utilisé pour le décapage d'un échantillon pla cé dans l'enceinte. De tels canons étant assez encombrants, on peut résoa- dre ainsi des problèmes d'implantation si l'on doit par exemple utiliser deux canons de caractéristiques différentes sur un meme échantillon : ces canons ne pouvant, pour des raisons d'encombrement, se trouver tous les deux en même temps en position de fonctionnement, on les fait fonctionner alternativement, en éloignant temporairement de l'échantillon le canon au repos. Enfin l'invention s'applique bien sur à tout objet que l'on désire isoler temporairement d'une enceinte à vide, quel que soit le domaine de l'industrie concerné. Bien entendu l'invention n'est pas limitée au mode de réalisation particulier qui a été décrit, uniquement à titre d'exemple, mais elle couvre également les modes de réalisation qui n'en différeraient que par des détails, par des variantes d'exécution ou par l'utilisation de moyens équivalent, sans toutefois sortir du cadre des revendications. Ainsi le canal 19 extensible pourrait être réalisé de façon différente, par exemple en munissant celui-ci d'un soufflet. Le dispositif de remplissage pourrait être utilisé pour d'autres matériaux que le mercure, par exemple pour le Gallium, un léger chauffage serait nécessaire pour liquéfier ce dernier matériau. REVENDICATIONS 1. Dispositif pour isoler temporairement un objet d'une enceinte à vide, caractérisé par le fait qu'il est constitué - d'une chambre principale (9) étanche à parois latérales extensibles (10), dont l'une des extrémités est raccordée à l'enceinte à vide (1) et l'autre extrémité (12) est solidaire d'un support (8) destiné à recevoir l'objet (7) - des moyens (13) pour obtenir le vide dans la chambre principale (9), - des moyens (12) pour mettre en communication la chambre principale (9) et l'enceinte à vide (1) ou pour les isoler l'une de l'autre. - des moyens (14) pour comprimer ou étirer les parois latérales (10) de la chambre principale (9) de sorte que, dans la position pour laquelle les parois (10) sont en extension, le support (8) d'objet se trouve à l'intérieur de la chambre principale (9) et, dans la position pour laquelle les parois (10) sont comprimées, le support (8) d'objet se trouve à l'intérieur de l'enceinte à vide (1). 2. Dispositif selon la revendication 1, dans le cas où l'objet (7) est une cellule à évaporation sous vide d'un matériau dont la température de solidification est basse, caractérisé par le fait qu'il comporte des moyens de remplissage sous vide de la cellule (7) lorsque celle-ci est isolée de l'enceinte à vide (1), constitués - d'une chambre secondaire (15) étanche, à parois latérales (16) extensibles, dont l'une des extrémités, inférieure, est raccordée à la chambre principale (9) et l'autre extrémité, supérieure, (18), est fixée sur la paroi extérieure d'un canal (19) extensible qui la traverse > ledit canal (19) ayant l'une de ses extrémités, supérieure, raccordée à un réservoir (21) de matériau liquide et l'autre extrémité, inférieure, (22), susceptible d'être introduite dans la cellule (7) - des moyens (23) pour comprimer ou étirer les parois latérales (16) de la chambre secondaire (15) de sorte que, dans la position pour laquelle les parois (16) sont comprimées, l'extrémité inférieure (22) du canal (19) soit en position de remplissage de la cellule (7) et dans la position pour laquelle les parois (16) sont en extension, ladite extrémité (22) soit en position retirée - des moyens (30, 31) pour envoyer dans le canal une dose déterminée de matériau liquide. 3. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé par le fait que le canal (19) est constitué de deux tronçons rigides (20 et 20') suscep tibles de coulisser l'un dans l'autre, un tronçon supérieur (20) raccorde au réservoir (21) de matériau liquide et un tronçon inférieur (20') porteur de l'extrémité inférieure (22) du canal (19), que l'extrémité supérieure (18) de la chambre secondaire (15) est fixée au tronçon inférieur (20') et que la zone de raccordement entre les deux tronçons (20 et 20') est maintenue sous vide au moyen d'une chambre annexe (24) étanche à parois latérales (25) extensibles fermée d'une part sur la chambre secondaire (15) et d'autre part sur le tronçon supérieur (20) du canal (19). 4. Dispositif selon l'une des revendications 2 ou 3, caractérisé par le fait qu'il comporte des moyens (32) pour isoler le canal (19) du réservoir (21) en dehors des périodes du remplissage. 5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé par le fait que les moyens pour isoler le canal (19) du réservoir (21) sont constitués d'un siphon (32). 6. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé par le fait qu'il comporte des moyens pour maintenir au moins une partie du siphon (32) à la température de solidification du matériau en dehors des périodes de remplissage et pour réchauffer légèrement ladite partie lors du remplissage. 7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé par le fait que lesdits moyens sont constitués de modules (34) à effet Peltier. 8. Dispositif selon l'une des revendications 2 à 7, caractérisé par le fait qu'il comporte des moyens (35) pour faire le vide au-dessus du matériau liquide contenu dans le réservoir (21)