Brevet FR2570880A1 — publié le 19860328

La présente invention concerne des transistors à effet de champ à grille isolée (encore connus sous l'abréviation IGFET), tels que les transistors à ef- fet de champ semiconducteurs métal-oxyde (MOSFET). Plus particulièrement, cette invention concerne des transistors à effet de champ semiconducteurs, métal- oxyde, verticaux, dans lesquels la source et la grille sont disposées sur une surface d'une plaquette semiconductrice, et une électrode de drain est disposée sur une surface opposée de la plaquette. Cette invention se réfère plus particu- lièrement à des transistors métal-oxyde semiconducteurs à effet de champ verti- caux et à double diffusion (connus sous l'abréviation "VDMOS"), tels que des transistors à effet de champ à conductivité modulée (encore appelés "COMFET"). Un transistor métal-oxyde semiconducteur, à effet de champ, vertical et à double diffusion (VDMOS) comprend une pastille semiconductrice dans laquelle on dispose en série des régions de source, de corps et de drain de type de con- ductivité alternée. La région de corps est disposée de manière à être adjacente à une surface de la pastille, et les régions de source et de drain sont placées de manière à définir la longueur et la largeur de la région de canal dans la ré- gion du corps, sur cette surface. Le terme vertical, à double diffusion (VDMOS) découle du procédé de fabrication du dispositif. Selon ce procédé, on prévoit une région de drain à la surface d'une pastille semiconductrice, et on fait diffuser un dopant de région de corps et un dopant de région de source, de façon typique séquentiellement, dans une portion de la région de drain, au travers d'une ou- verture de masque. On dispose une électrode grille isolée sur la surface de la pastille, au- dessus de la région de canal. Lors du fonctionnement en service, lorsqu'on ap- plique à la grille une tension supérieure à une tension de seuil prédéterminée, on inverse le type de conductivité de la région de corps, dans la partie de la région de canal qui est contigie à la surface de la pastille. On réalise ainsi ce qu'il est convenu d'appeler un canal d'inversion, qui permet d'obtenir une circulation d'électrons ou d'un courant de lacunes entre les régions de drain et de source. Par conséquent, le fonctionnement du dispositif est décrit comme étant unipolaire par nature, avec une circulation d'électrons ou de lacunes modulée sélectivement par une tension appliquée à la grille. D'autres exemples de réali- sation et de traitement de structures classiques de transistors verticaux à effet de champ, métal-oxyde à double diffusion (VDMOS) sont décrits dans les brevets américains n 4 145 700 et n 4 072 975. Un transistor à effet de champ à conductivité modulée (COMFET) constitue une variété de transistor vertical à double diffusion, métal-oxyde, à effet de champ (VDMOS), qui comporte en outre une quatrième région semiconductrice, d'un type de conductivité opposé à celui de la région de drain, cette quatrième ré- gion étant contigUe à la région de drain. Cette quatrième région semiconductrice, que l'on peut appeler région d'anode, constitue une source de porteurs de charge lors du fonctionnement du dispositif, et sert à moduler la conductivité de la région de drain qui lui est adjacente. L'une des caractéristiques les plus impor- tantes d'un dispositif transistor à effet de champ à conductivité modulée (COMFET) est constituée par sa résistance fortement réduite par rapport à celle d'un tran- sistor à effet de champ VDMOS à trois couches, de structure équivalente. Un autre mode de réalisation de la structure d'un transistor à effet de champ à conductivi- té modulée est décrit dans le brevet américain n 4 364 073. Un transistor bipolaire parasite NPN ou PNP est inhérent à la structure tri-couches source/corps/drain d'un transistor métal-oxyde, semiconducteur, à effet de champ. La structure source/corps/drain de ce transistor MOSFET corres- pond à une structure bipolaire parasite émetteur/base/collecteur. Lors du fonc- tionnement du transistor MOSFET, dans le cas o la jonction PN émetteur/base est polarisée directement, il convient de mettre en service le transistor bipo- laire parasite. Etant donné que ce mode de fonctionnement a une influence nuisible, en ce qui concerne les performances du transistor MOSFET, on a effectué de nom- breuses tentatives pour réduire le gain du transistor bipolaire parasite. Un exemple de ces tentatives est décrit dans le brevet américain n 4 072 975, décrit ci-dessus, et dans le brevet français n 85 02 448, déposé le 20 février 1985 par la présente titulaire. La réduction de gain du (ou des) transistor bipolaire parasite à effet de champ à conductivité modulée est particulièrement importante, étant donné que la somme des gains du transistor bipolaire parasite source/corps/drain et du transistor bipolaire parasite anode/drain/corps doit être maintenue inférieure à l'unité, afin d'empêcher un verrouillage du thyristor parasite NPNP ou PNPN. Lorsqu'un tel verrouillage se produit, on perd le contr8le de la grille, et le dispositif ne fonctionne plus comme un transistor à effet de champ à conductivité modulée (COMFET). La présente invention se propose d'apporter une solution permettant de réduire la probabilité d'un verrouillage d'un tel transistor COMFET, et également de réduire les effets du transistor bipolaire parasite dans des dispositifs VDMOS à trois couches. A cet effet, l'invention concerne un procédé de fabrication d'un transis- tor à effet de champ et à grille isolée qui consiste à partir d'une pastille semi- conductrice comprenant une région de drain d'un premier type de conductivité con- tigUe à une surface de la pastille, à faire diffuser une région de corps d'un second type de conductivité dans la pastille à partir d'une portion de la sur- face, afin de former une jonction PN corps/drain, et à faire diffuser une région de source d'un premier type de conductivité dans la frontière dela région de cor; afin de former une jonction PN source/corps qui s'étend jusqu'à une profondeur prédéterminée à partir de la surface de la pastille, ladite jonction source/corps étant espacée de ladite jonction corps/drain, afin de définir une région de ca- nal dans la région de corps à la surface, ce procédé étant caractérisé en ce qu'o forme de l'aluminium sur ladite surface de la pastille pour qu'il vienne au con- tact de la jonction source/corps à ladite profondeur prédéterminée, afin d'em- pêcher une polarisation directe de la jonction PN source/corps, pendant le fonc- tionnement du dispositif. L'invention vise en outre un transistor à effet de champ à grille isolée qui comprend une plaquette semiconductrice munie d'une région de drain d'un pre- mier type de conductivité,contigUe à une surface de la plaquette, une région de corps d'un second type de conductivité, s'étendant dans la plaquette à partir d'u] portion de la surface afin de former une jonction PN corps/drain, et une région de source de premier type de conductivité à l'intérieur des limites de la région de corps, pour former une jonction PN source/corps qui s'étend jusqu'à une profon- deur déterminée à partir de la surface de la plaquette, ladite jonction source/ corps étant espacée de ladite jonction corps/drain de manière à définir une région de canal dans la région du corps à la surface, ce transistor étant caractérisé er ce qu'il comporte une électrode d'aluminium disposée sur ladite surface de la pas- tille, cette électrode comprenant des pointes qui sont au contact de la jonction source/corps à ladite profondeur déterminée, de telle manière que la jonction PN source/corps ne soit pas directement polarisée pendant le fonctionnement du dispo- sitif. D'autres caractéristiques et avantages de cette invention ressortiront de la description faite ci-après en référence aux dessins annexés, dont la Figure unique est une vue en coupe d'un transistor vertical métal-oxyde à effet de champ à double diffusion (VDMOS) mettant en oeuvre la présente invention. Comme on le voit sur le dessin, un transistor vertical métal-oxyde à ef- fet de champ à double diffusion (VDMOS) 10, mettant en oeuvre la présente inven- tion, peut être soit un transistor métal-oxyde à effet de champ (MOSFET) à trois couches, soit un transistor à effet de champ à conductivité modulée (COMFET) à quatre couches. Pour simplifier la description, on décrira l'invention dans son application à un transistor vertical métal-oxyde à effet de champ à double diffu- sion (VDMOS) à canal N, 10. Cependant, tous les types de conductivité peuvent être inversés pour former un dispositif VDMOS à canal P. Le dispositif 10 comprend une pastille semiconductrice 12 ayant respectivement une première et une seconde surfaces principales 14, 16. Une région 18, de conductivité relativement élevée, d'un matériau du type N+ ou P+, est disposée sur la seconde surface principale 16. Dans un transistor métal-oxyde à effet de champ (MOSFET) à canal N et à trois couches, la région 18 est en matériau du type N+, et on la désignera par région de drain. Dans un transistor à effet de champ à conductivité modulée (COMFET), à canal N, la région 18 est en matériau de type P+, et on la désignera par région anode. Dans la structure COMFET à canal N, une région de drain 20, de type N+, recouvre la région anode 18, comme le représente le trait interrompu sur la Figure. Une région de drain allongé 22 de type N-, qui s'étend jusqu'à la pre- mière surface principale 14, est prévue contigile à la région de drain 20 de type N+, ou à la région de conductivité relativement élevée 18, quand il n'existe pas de région 20. Dans la plaquette 12, à partir de la première surface 14 s'étend une ré- gion de corps 24, de type P-, qui forme une jonction PN 26 corps/drain à son in- terface avec la région de drain allongée N- 22. Dans l'exemple de réalisation pré- féré, la région de corps 24 est diffusée dans la pastille à partir d'une portion de la surface 14, qui est choisie de manière que la jonction corps/drain PN 26 recoupe la surface 14 sous la forme d'un polygone régulier, par exemple un hexa- gone ou un carré. Une région source de type N+ 28, qui constitue une jonction PN source/corps 30 à son intersection avec la région de corps 24, s'étend dans la pastille 12,à partir de la première surface 14, à l'intérieur de la limite de la région de corps 24. La jonction source/corps PN 30 est espacée de la jonction corps/drain PN 26, à la surface 14, pour définir la longueur et la largeur d'une région canal 32, dans la région de corps, sur la première surface 14. La région de source 28 est typiquement de forme annulaire, mais non circulaire. La partie extérieure de la jonction source/corps PN 30 coupe la surface 14 sous la forme d'un polygone régulier, de forme similaire à celle qui est interceptée par la jonction corps/drain PN 26. Une région de corps supplémentaire 34, de type P+, s'étend à partir de la surface 14 dans la partie centrale de la région de corps 24, et elle est entourée par la région de source annulaire 28. Sur la première surface 14, au-dessus de la région canal 32, est prévue une grille isolée qui comprend une isolation de grille 36, sur la surface 14, et une électrode-grille 38 sur l'isolation 36. L'isolation de grille 36 comprend, de O façon typique, du bioxyde de silicium selon une épaisseur allant de 500 à 2000 A, et l'électrode de grille 38 comprend du silicium polycristallin dopé. Une couche isolante 40, comprenant typiquement un verre au silicate, tel que du verre au phosphosilicate, au borosilicate, ou au boro-phosphosilicate, recouvre l'élec- trode de grille 38, de manière à isoler électriquement l'électrode des couches surjacentes. Une électrode 42, source d'aluminium, recouvre la couche isolante , et elle est au contact de la première région 14, afin de former un contact avec la région de source 28 et la région de corps 24. Une électrode de drain 44 est au contact de la région de conductivité élevée 18, sur la surface 16. Selon le procédé objet de cette invention, il est critique que l'élec- trode source d'aluminium 42 soit déposée de manière qu'elle forme des pointes, dans la pastille 12, jusqu'à une épaisseur qui correspond au moins à la profon- deur de la jonction PN source/corps 30, afin d'être au contact de la région de corps P- 24. Les pointes d'aluminium ont été représentées en 43, sur la Figure. Des explications concernant le phénomène de formation de telles pointes en alumi- nium peuvent être trouvées dans le brevet américain n 3 609 470. Dans la présente invention, il est avantageux que l'aluminium traverse et soit au contact d'une zone de la jonction source/corps PN 30 aussi grande que possible, sans détériorer la région de canal 32. A la profondeur optimale atteinte par les pointes 43, ces dernières pénètrent dans la jonction PN source/corps 30, mais elles ne s'étendent pas sur une distance appréciable dans la région de corps 24. La formation des pointes d'aluminium est réalisée en soumettant le dispo- sitif à un traitement thermique,soit pendant, soit après le dépôt de l'électrode source 42. Selon un exemple de mise en oeuvre préféré, l'électrode source d'alu- minium 42 est déposée par des techniques et des moyens classiques de dépôt de va- peur, par exemple par évaporation ou pulvérisation cathodique, et elle est ensuite chauffée à une température de 400 à 450'C pendant une durée de l'ordre de 15 mi- nutes à une heure. Ceci permet d'obtenir des pointes d'aluminium 43 qui pénètrent à une distance de l'ordre de 0,5 à 1,5 p à partir de la surface 14. Etant donné que 1,5 microns constituent la distance maximale de formation des pointes avec un tel traitement thermique, d'autres procédés de traitement du dispositif doivent être prévus pour s'assurer que la profondeur de la jonction PN source/corps 30, à partir de la surface 14, est maintenue inférieure à 1,5 microns. Selon l'exemple de réalisation préféré, la profondeur de la jonction PN source/corps 30 est infé- rieure à 1 micron, et, de façon optimale, elle est inférieure à environ 0, 5 p. Ceci représente une profondeur relativement faible par rapport aux dispositifs classiques, qui présentent typiquement des régions de source s'étendant à des profondeurs supérieures à 1 p. Afin d'obtenir de façon contr8lée cette profondeur relativement faible de la jonction source/corps PN, il est préférable d'utiliser de l'arsenic comme dopant de type N pour la région de source 28. Bien qu'en va- riante, on puisse utiliser du phosphore comme dopant source de type N, il est plus difficile d'en contrôler la diffusion à moins d'un micron. Lors de la fabrication du dispositif 10, l'électrode grille isolée sert de masque pour positionner les régions de source et de corps 28 ou 24, à la sur- face 14. De façon typique, l'électrode grille isolée possède la configuration d'une couche perforée, et les dopants des régions de corps et de source sont introduits séquentiellement dans la pastille 12 au travers des ouvertures ou perforations. 6 2570880 Sur la Figure, on a désigné par la référence 46 l'ouverture ménagée grâce à l'électrode de grille isolée. Pour obtenir un rendement maximal en ce qui con- cerne les pointes d'aluminium 43 selon cette invention, la surface de contact de l'électrode source 42 sur la surface 14 doitrecouvrir la jonction PN source/corps 30 en des points éloignés de la région de canal 32, et cela dans la plus grande mesure possible. De cette façon, on rend maximale l'aire de la jonction PN source/ corps 30 qui est au contact des pointes d'aluminium à la suite du traitement thermique mentionné ci-dessus. En outre, lorsqu'on met en oeuvre la présente invention, la concentration en dopant, dans la région de corps de type P- 24, doit être réglée afin de compen- ser la tension de seuil du dispositif pour la diffusion relativement peu profonde de la région de source 28. En d'autres termes, la diffusion qui assure une pro- fondeur relativement faible, pour la région de source 28, assure également une distance de diffusion latérale relativement petite. Etant donné que la tension de seuil (c'est-à-dire-la tension pour laquelle le canal d'inversion se forme) est contr8lée par la concentration de porteurs à la jonction PN source/corps 30, ad- jacente à la région de canal 32, la concentration en dopant P- dans la région de corps 24, à la jonction PN source/corps 30, doit etre réduite en proportion de la réduction de la distance de diffusion latérale de dopant N+ de la région de source 28. Les pointes d'aluminium 43 réduisent effectivement le gain de courant direct gain o corporées dans un transistor à effet de champ à conductivité modulée COMFET, on a observé que les pointes d'aluminium 43 augmentent les courants de verrouillage, selon des facteurs allant jusqu'à la centaine. En outre, le procédé selon la présente invention peut rendre inutile la nécessité de prévoir une région de corps supplémentaire de type P+ 34, étant donné que les pointes d'aluminium 43 assurent le contact à la fois avec la région de corps 24 et la jonction PN source/corps 30, en reliant la région de corps P- 24 à l'électrode de source 42. Par ailleurs, le procédé selon cette invention peut simplifier la configuration de la région de source 28, étant donné qu'il n'est plus nécessaire de prévoir une région de forme annulaire. Etant donné que les pointes d'aluminium 43 pénètrent jusqu'à la profondeur de la jonction source/corps PN 30, il n'est plus nécessaire que la région supplémentaire 34 relie la région de corps 24 à l'électrode source, au niveau de la surface 14. 25708 80 Il demeure bien entendu que cette invention n'est pas limitée aux exemples de réalisation et de mise en oeuvre décrits et représentés ici, mais qu'elle en englobe toutes les variantes. En particulier, bien que la description faite ici se réfère à un dispositif à double diffusion VDMOS, il est bien évident que l'invention s'applique facilement à des transistors métaloxyde latéraux, et, d'une façon générale, aux transistors à effet de champ et grille isolée. REVENDICATIONS 1 - Procédé de fabrication d'un transistor à effet de champ et à grille isolée, qui consiste à partir d'une pastille semiconductrice comprenant une ré- gion de drain d'un premier type de conductivité contigiie à une surface de la pastille, à faire diffuser une région de corps d'un second type de conductivité dans la pastille à partir d'une portion de la surface afin de former une jonc- tion PN corps/drain, et à faire diffuser une région de source d'un premier type de conductivité dans la frontière de la région de corps, afin de former une jonc- tion PN source/corps qui s'étend jusqu'à une profondeur prédéterminée à partir de la surface de la pastille, ladite jonction source/corps étant espacée de ladite jonction corps/drain afin de définir une région de canal dans la région de corps, à la surface, ce procédé étant caractérisé en ce qu'on forme de l'aluminium sur ladite surface de la pastille pour qu'il vienne au contact de la jonction source/ corps à ladite profondeur prédéterminée, afin d'empêcher une polarisation directe de la jonction PN source/corps pendant le fonctionnement du dispositif. 2 - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'étape de formation de l'aluminium comprend le dépôt de l'aluminium et son chauffage à une température d'environ 400-450 C, pendant approximativement 15 minutes à une heure. 3 - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite pro- fondeur prédéterminée de la jonction PN source/corps est inférieure à environ 1,0 micron. 4 - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on fait diffu- ser de l'arsenic pour constituer ladite région de source. - Transistor à effet de champ à grille isolée qui comprend une plaquette semiconductrice munie d'une région de drain d'un premier type de conductivité, contigUe à une surface de la plaquette, une région de corps d'un second type de conductivité s'étendant dans la plaquette à partir d'une portion de la surface afin de former une jonction PN corps/drain, et une région de source de premier type de conductivité à l'intérieur des limites de la région de corps, pour former une jonction PN source/corps qui s'étend jusqu'à une profondeur déterminée à par- tir de la surface de la plaquette, ladite jonction source/corps étant espacée de ladite jonction corps/drain de manière à définir une région de canal dans la ré- gion du corps, à la surface, ce transistor étant caractérisé en ce qu'il comporte une électrode d'aluminium (42) disposée sur ladite surface de la pastille (12), cette électrode comprenant des pointes (43) qui sont au contact de la jonction source/corps (30), à ladite profondeur déterminée, de telle manière que la jonc- tion PN source/corps (30) ne soit pas directement polarisée pendant le fonction- nement du dispositif. 6 - Transistor à effet de champ à grille isolée selon la revendication 5, caractérisé en ce que ladite profondeur déterminée de la jonction source/corps PN (30) est inférieure à environ 1,0 micron, et lesdites pointes (43) pénètrent jus- qu'à une profondeur d'environ 1,0 micron.