Brevet FR2566179A1 — publié le 19851220

PROCEDE D'AUTOPOSITIONNEMENT D'UN OXYDE DE CHAMP LOCALISE PAR RAPPORT A UNE TRANCHEE D'ISOLEMENT La présente invention a pour objet un procé- dé d'autopositionnement d'un oxyde de champ localisé par rapport à une tranchée d'isolement. Ce procédé peut être utilisé dans le domaine de la micro-électronique chaque fois qu'il est néces- saire d'isoler électriquement les uns des autres les composants d'un circuit (transistors, diodes, etc...), réalisés sur un support semiconducteur. Il s'applique donc plus particulièrement aux circuits in- tégrés utilisant le silicium comme substrat tel que les circuits intégrés MOS, CMOS ou bipolaires. La recherche d'une forte densité d'intégra- tion dans ce type de circuits intégrés nécessite d'utiliser plus particulièrement pour les circuits in- tégrés CMOS une technique d'isolement spéciale entre les différents composants de ces circuits et notamment entre les transistors de type N et ceux de type P, lorsque l'on veut réduire la distance entre ces tran- sistors complémentaires. L'une des techniques récentes d'isolation utilisées dans ce but est basée sur la réalisation d'une tranchée d'isolement, dans un substrat semicon- ducteur, surmontée d'un oxyde de champ localisé. Sur les figures I et 2, on a représenté les différentes étapes d'une telle technique d'isolation. La première étape de ce procédé, comme re- présenté sur la figure 1, consiste à déposer sur un substrat en silicium monocristallin 2 une couche d'oxyde de silicium 4 présentant une épaisseur de l'ordre du micron. Apres réalisation d'un masque de résine 6, la couche d'oxyde 4 est gravée de façon ani- sotrope jusqu'à mise à nu d'une région du substrat dans laquelle sera réalisée la tranchée. L'emploi d'une gravure anisotrope permet de ne graver la couche d'oxyde 4 que suivant une seule direction de l'espace. Après élimination du masque 6, on ouvre des tranchées 8 dans le substrat 2 en gravant Le substrat sur plusieurs microns (5 pm par exempte) à L'aide d'une technique de gravure anisotrope. On procède alors à l'élimination de la couche d'oxyde 4 par voie chimique. La tranchée 8 ainsi réalisée est ensuite oxydée thermiquement afin que celle-ci présente, comme représentée sur la figure 2, des bords isolants 10 puis remplie d'un matériau 12 tel que du silicium po- lycristallin. Ce remplissage se fait par dépôt du matériau 12, généralement par un procédé de dépôt chimique en phase vapeur, suivi d'un enlèvement de l'excédent de celui-ci se trouvant hors de la tranchée 8. Sur la tranchée d'isolement ainsi obtenue, on peut alors réa- liser l'oxyde de champ localisé. Pour cela, on réalise tout d'abord une oxy- dation thermique du substrat 2 et du matériau 12 en silicium afin d'obtenir une couche mince 14 d'oxyde de silicium, de 200 à 500 A d'épaisseur, puis on dépose une couche de nitrure de silicium 16, notamment par un procédé de dépôt chimique en phase vapeur. Ensuite, après positionnement par rapport à la tranchée d'iso- lement 8 d'un masque (non représenté) sur la couche de nitrure 16, on réalise une gravure chimique, par voie sèche ou humide, de la couche de nitrure. On procède alors à une oxydation thermique épaisse, localisée dans les régions o la couche de nitrure 16 a été gravée. La technique consistant à réaliser un oxyde de champ par oxydation localisée à partir de motifs géné- ralement en nitrure de silicium, est connue sous le nom de technologie LOCOS. Après réalisation de l'oxyde de champ, on élimine la couche de nitrure 6, par exemple par voie - chimique. Ce procédé permet d'obtenir une bonne isola- tion en profondeur ainsi qu'une bonne isolation en surface entre notamment les transistors MOS de type N et ceux de type P des circuits CMOS. En revanche, ce procédé limite la densité d'intégration des circuits intégrés utilisant cette technique d'isolement; cet- te limitation est principalement due au fait que l'oxyde de champ localisé n'est nullement autoposi- tionné ou autoaligné par rapport à la tranchée d'iso- lement correspondante. La présente invention a précisément pour objet un procédé permettant d'autopositionner un oxyde de champ localisé par rapport à une tranchée d'isole- ment et donc d'augmenter la densité d'intégration des circuits intégrés utilisant un tel procédé. De façon plus précise, l'invention a pour objet un procédé d'autopositionnement d'un oxyde de champ localisé par rapport à une tranchée d'isolement dans un substrat en silicium, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes successives suivantes: (a) réalisation d'au moins une première cou- che de matériau isolant sur la surface du substrat, (b) réalisation d'une deuxième couche de ma- tériau isolant sur ladite première couche, (c) réalisation d'une gravure anisotrope des première et deuxième couches de matériau isolant jusqu'à la mise à nu de la région du substrat dans laquelle sera réalisée la tranchée, (d) réalisation d'espaceurs isolants sur les flancs gravés des première et deuxième couches de matériau isolant, (e) réalisation d'une gravure anisotrope de ladite région du substrat afin de réaliser la tran- chée, la deuxième couche de matériau isolant gravée et les espaceurs servant de masque à cette gravure, (f) élimination de La deuxième couche de ma- tériau isoLant gravée et des espaceurs, (g) réalisation de bords isoLants dans la tranchée, (h) remplissage de La tranchée par un maté- riau de rempLissage, et (i) réalisation de l'oxyde de champ locali- sé. Dans ce procédé, La réalisation des espa- ceurs isolants permet de dé-finir La dimension réelle de La tranchée à réaliser. Il contribue fortement à obtenir un autopositionnement de l'oxyde de champ lo- calisé par rapport à La tranchée d'isolement. De façon avantageuse, on réalise, entre les étapes (b) et (c), un masque de résine sur la deuxième couche de matériau isolant afin de définir exactement l'emplacement de la tranchée. Ce masque de résine présente la propriété d'avoir une ouverture dont la largeur est plus grande que celle de la tranchée à réaliser. La réalisation d'un tel masque permet de fa- voriser L'autopositionnement de l'oxyde de champ loca- lisé par rapport à la tranchée d'isolement. Le procédé d'autopositionnement de l'inven- tion peut avantageusement être utilisé pour un oxyde de champ complètement enterré. Pour. un tel oxyde de champ, on peut, selon l'invention, réaliser soit, une légère gravure anisotrope de la région du substrat mise à nu, entre les étapes (c) et (d) à travers le masque de résine, soit, une légère gravure isotrope de cette même région du substrat, entre les étapes (d) et (e), la deuxième couche de matériau isolant gravée et les espaceurs servant de masque à cette gravure. Par ailleurs, le matériau de remplissage peut être raboté à-la surface de la tranchée, par une technique de gravure sèche associée ou non à une tech- nique dite de "planarisation", de manière à ne laisser du matériau de remplissage qu'à l'intérieur de la tranchée. Selon un mode préféré de mise en oeuvre du procédé de l'invention, Les espaceurs isolants sont réalisés en déposant une troisième couche de matériau isolant, notamment en oxyde de silicium, sur La deuxième couche de matériau isolant gravée, réalisée par exemple en oxyde de silicium, puis en gravant La- dite troisième couche de façon anisotrope. Selon un autre mode préféré de mise en oeu- vre du procédé de L'invention, on réalise une couche d'oxyde de silicium sur la surface du substrat, par exemple par oxydation thermique dudit substrat, puis une couche de nitrure de silicium sur ladite couche d'oxyde, par exemple par dépôt. Selon un autre mode préféré de mise en oeu- vre du procédé de l'invention, le matériau servant au remplissage de la tranchée est réalisé en silicium po- lycristallin. Dans ce mode de réalisation, l'oxyde de champ peut être avantageusement obtenu par oxydation thermique de ce silicium polycristallin. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront mieux de la description qui va suivre donnée à titre explicatif et non limitatif, en référence aux figures annexées, dans lesquelles: - les figures 1 et 2, déjà décrites, repré- sentent schématiquement, en coupe longitudinale, les différentes étapes d'un procédé de réalisation d'un oxyde de champ sur une tranchée d'isolement, selon l'art antérieur, - les figures 3 à 7 représentent schémati- quement, en coupe longitudinale, les différentes éta- pes du procédé de l'invention, selon une première va- riante de mise en oeuvre, - les figures 8 à 11 représentent schémati- quement, en coupe Longitudinale, les différentes éta- pes du procédé de l'invention, selon une seconde va- riante de mise en oeuvre, et - Les figures 12 et 13 représentent schématiquement, en coupe longitudinale, Les différentes étapes du procédé de l'invention, selon une troisième variante de mise en oeuvre. En se référant à la figure 3, la première étape du procédé selon l'invention consiste à réaliser sur un substrat en silicium monocristallin 22 une cou- che de matériau isolant 24 de préférence en oxyde de silicium (SiO2). Cette couche 24 peut notamment être obtenue par oxydation thermique du substrat en sili- cium 22 à une température de 900'C. Cette couche 24 présente une épaisseur variant entre 100 et 500 A. Sur cette couche mince d'oxyde de silicium 24, on réalise une autre couche d'isolant 26, de pré- férence en nitrure de silicium (Si3N4). Cette couche de nitrure de silicium 26, présentant une épaisseur on d'environ 800 A, peut être obtenue par dépôt par exem- ple du type dépôt chimique en phase vapeur (CVD ou LPCVD). Cette couche de nitrure 26 va servir à la lo- calisation de l'oxyde de champ à réaliser. Sur la couche 26, on réalise ensuite une autre couche d'isolant 28, de préférence en oxyde de silicium. Cette couche d'oxyde 28 qui présente une épaisseur d'environ 1 pm peut être obtenue par dépôt, notamment par un dépôt chimique en phase vapeur (CVD ou LPCVD); cette couche d'isolant gravée servira de masque lors de la gravure de la tranchée. On réalise ensuite, comme représenté sur la figure 3, une gravure anisotrope des couches isolantes 24, 26 et 28, c'est-à-dire suivant une seule direction de l'espace, jusqu'à la mise à nu de la région 22a du substrat dans laquelle sera réalisée, ultérieurement, la tranchée d'isolement. Cette gravure peut être réa- lisée en utilisant un masque de résine 30 disposé sur la couche d'oxyde de silicium 28. Ce masque 30, réalisé par Les procédés clas- siques de la photolithographie, permet de définir L'emplacement de la tranchée d'isolement à réaliser. Il présente, avantageusement une ouverture 32 dont la largeur L est plus grande que la largeur l de La tran- chée à réaliser (figure 5). Le dimensionnement de cet- te ouverture 32 va permettre d'autopositionner ou d'autoaligner l'oxyde de champ Localisé par rapport à la tranchée d'isolement à réaliser. La gravure anisotrope des couches d'isolant 24, 26 et 28 peut être effectuée par une technique de gravure sèche du type ionique réactive en utilisant comme agent de gravure le trifluorométhane (CHF3) lorsque ces couches sont réalisées respectivement en oxyde de silicium, en nitrure de silicium et en oxyde de silicium. Après élimination du masque 30, par exemple par une attaque par plasma avec de l'oxygène, ou une attaque chimique avec de l'acide nitrique, on réalise, comme représenté sur la figure 4, des espaceurs iso- lants 34 sur les flancs gravés des couches 24, 26, et 28 isolantes. Ces espaceurs, 34, de préférence en oxy- de de silicium, permettent de définir la dimension réelle, c'est-à-dire la largeur l, de la tranchée d'isolement réalisée ultérieurement. Ces espaceurs 34 peuvent être par exemple réalisés en déposant une couche d'oxyde de silicium sur la couche 28, ayant une épaisseur variant de 3 000 à 5 000 A, puis en gravant cette couche d'oxyde de façon anisotrope par voie sèche, par exemple par une gravure ionique réactive avec comme agent de gravure le trifluorométhane (CHF3). La réalisation d'une gra- vure anisotrope de la couche d'oxyde de silicium per- met d'obtenir des espaceurs 34 dont la largeur x est définie par l'épaisseur de cette couche d'oxyde. Cette largeur x, définissant la distance sé- parant les flancs de La tranchée des zones actives des composants, et notamment des drains des transistors N ou P des circuits CMOS, est déterminée de manière à éviter toute conduction parasite sur les flancs de la tranchée. L'étape suivante du procédé, comme repré- senté sur la figure 5, consiste à réaliser une gravure anisotrope de la région 22a du substrat mise à nu afin de réaliser une tranchée 36, présentant une largeur l de l'ordre de 1 pm et une profondeur de L'ordre de pm. Cette gravure peut être réalisée par un procédé de gravure ionique réactive avec comme agent de gravu- re du tétrachlorure de carbone (CCl4) ou de l'hexafluo- rure de soufre (SF6). La couche d'oxyde de silicium 28 gravée et les espaceurs isolants 34 sont utilisés com- me masque à cette gravure du substrat. - - Comme représenté sur la figure 6, on élimine ensuite La couche d'oxyde de silicium 28 gravée et les espaceurs isolants 34, par exemple par un procédé de gravure sèche du type ionique réactive avec comme agent d'attaque du trifluorométhane (CHF3) ou par une gravure humide avec comme agent d'attaque un mélange d'acide fluorhydrique (HF), et de fluorure d'ammonium (FNH4). Après cela, on procède de façon classique au remplissage de la tranchée 36. Comme représenté sur la figure 6, ce rem- plissage consiste tout d'abord à oxyder thermiquement le substrat 22 gravé, par exemple à une température de 1000 C. Cette oxydation permet d'obtenir un film d'oxyde 38, ayant une épaisseur d'environ 1 000 A, sur d'oxyde 38, ayant, une épaisseur d'environ I 000 A, sur tous Les bords de la tranchée 36. Ensuite, on remplit la tranchée 36 par un matériau 40, de préférence en silicium polycristallin. Ce remplissage peut être réa- lisé par dépôt isotrope et notamment par la technique de dépêt chimique en phase vapeur (CVD ou LPCV), de manière à remplir complètement la tranchée. Après ce remplissage de la tranchée 36, on élimine l'excèdent de matériau 40 pouvant se trouver hors de la tranchée 36 de façon à ne laisser le maté- riau 40 qu'à l'intérieur de la tranchée 36 (figure 6). Cette élimination peut par exemple être réalisée par une gravure sèche du type ionique réactive avec de l'hexafluorure de soufre comme agent d'attaque. Cette élimination peut aussi être réalisée par une technique dite de "planarisation", consistant à déposer sur la couche de matériau 40 une couche de résine photosensible que l'on grave ensuite à la même vitesse que le matériau 40 de façon à aplanir la topo- graphie au-dessus de la tranchée 36, cette gravure étant effectuée par une technique de gravure sèche du type ionique réactive avec un mélange de SF6 et de 02 comme agent d'attaque. On réalise ensuite, comme représenté sur la figure 7, l'oxyde de champ localisé 42 notamment par oxydation thermique du silicium polycristallin 40 rem- plissant la tranchée 36, les motifs réalisés dans la couche de nitrure 26 servant à la localisation de cet oxyde de champ. L'épaisseur de cet oxyde de champ est o voisine de 5000 A. Ensuite, on peut éliminer la couche d'oxyde 24 et la couche de nitrure 26 par exemple par une gravure chimique avec de l'acide orthophosphorique (H3PO4) pour la couche 26 et un mélange FH/FNH4 pour la couche 24. Selon l'invention, l'oxyde de champ 42 du type LOCOS est autopositionné par rapport à la tran- chée d'isolement 36 grâce à l'utilisation des espa- ceurs 34 isolants ainsi que de l'utilisation d'un mas- que de résine 30 présentant une ouverture 32 dont la Largeur L est plus grande que celle L de La tranchée 36 réalisée. Le procédé décrit précédemment permet un au- topositionnement d'un oxyde de champ localisé de type LOCOS, c'est-à-dire partiellement enterré, par rap- port à la tranchée d'isolement. Mais il s'applique aussi à un oxyde de champ localisé enterré (recessed oxide en terminologie anglosaxonne). Dans une première variante, représentée sur les figures 8 à 11 on réalise, comme précédemment, l'empilement des couches isolantes 24, 26 et 28 puis la gravure anisotrope de ces couches isolantes à l'ai- de du masque de résine 30 dont l'ouverture présente encore une largeur L plus grande que celle l de la tranchée à réaliser (figure 10). Ensuite, comme repré- senté sur la figure 8, on effectue une gravure aniso- trope de la région 22a du substrat mise à nu sur une profondeur de quelques milliers A (2 000 A par exem- ple), à travers le masque 30. Cette gravure peut par exemple être réalisée avec de l'hexafluorure de soufre (SF6) ou du tétrachlorure de carbone (CCl4). 6 4. Après cette gravure anisotrope et élimina- tion du masque 30, on réalise, comme représenté sur la figure 9, des espaceurs isolants 44 notamment en oxyde de silicium, sur les flancs gravés des couches isolan- tes 24, 26 et 28 ainsi que sur les flancs du substrat 22 gravé. Ces espaceurs 44 définissent, comme précé- demment, la largeur réelle l de la tranchée à réali- ser. On effectue ensuite, comme précédemment, une gravure anisotrope de la région 22a du substrat afin de réaliser la tranchée 36, comme représentée sur -2566179 la figure 10, la couche d'oxyde de silicium 28 gravée et les espaceurs 44 servant de masque à cette gravure. Apres élimination de ce masque, réalisation des bords isolants 38 et remplissage de la tranchée 36 par du silicium polycristallin 40, on réalise une oxydation thermique de ce silicium polycristallin afin d'obtenir un oxyde de champ 46 localisé. Comme représenté sur la figure 11, cet oxyde de champ 46 se trouve complète- ment enterré dans le substrat 22. On peut ensuite éliminer la couche d'oxyde 24 et la couche de nitrure 26. Dans une autre variante représentée sur les figures 12 et 13, on effectue comme précédemment, l'empilement des couches isolantes 24, 26 et 28, leur gravure anisotrope et l'élimination du masque de rési- ne servant à cette gravure. Ensuite, on réalise des espaceurs isolants 34 comme décrit précédemment dans le cas d'un oxyde de champ localisé partiellement en- terré. Après la réalisation de ces espaceurs 34, on effectue, comme représenté sur la figure 12, une légè- re gravure isotrope de la région 22a du substrat mise à nu, c'est-à-dire une gravure selon les trois direc- tions de l'espace. Cette gravure isotrope du substrat permet d'obtenir un profil incliné 48 du flanc gravé dudit substrat. Elle peut être réalisée par exemple au moyen d'une gravure chimique avec de l'hydroxyde de potassium (KOH) ou au moyen d'une gravure par plasma en pente, avec comme agent d'attaque l'hexafluorure de soufre (SF6) ou du tétrachlorure de carbone (CCI4). Cette gravure isotrope est réalisée en utilisant la couche d'oxyde de silicium 28 gravée et les espaceurs isolants 34 comme masque. On réalise ensuite comme précédemment, à l'aide de ce même masque, une gravure anisotrope de la région 22a du substrat afin de réaliser, comme repré- senté sur La figure 13, la tranchée d'isoLement 36. Après élimination du masque, réalisation des bords isolants et remplissage de cette tranchée, comme pré- cédemment, par du silicium polycristaltin, on réaLise une oxydation thermique de ce siLicium polycristallin conduisant à L'obtention d'un oxyde de champ Localisé complètement enterré dans Le substrat. Comme précédemment, l'autopositionnement d'un oxyde de champ locaLisé complètement enterré dans Le substrat par rapport à une tranchée d'isolement est réalisé grâce à l'emploi des espaceurs isolants 44 ou -34 et à l'emploi d'un masque en résine 30 comportant une ouverture dont la Largeur est plus grande que celle de la tranchée d'isolement à réaliser. Le procédé de L'invention servant à autopo- sitionner ou autoaligner un oxyde de champ LocaLisé par rapport à une tranchée d'isolement permet d'aug- menter de façon notable la densité d'intégration des circuits intégrés, notamment du type CMOS-ou bipolai- re, utilisant un tel procédé pour isoler éLectrique- ment entre eux les composants de ces circuits. REVENDICATIONS 1. Procédé d'autopositionnement d'un oxyde de champ localisé (42, 46) par rapport à une tranchée d'isolement (36) dans un substrat en silicium (22), caractérisé en ce qu'il comprend les étapes successi- ves suivantes: (a) réalisation d'au moins une première cou- che de matériau isolant (24, 26) sur la surface du substrat (22), (b) réalisation d'une deuxième couche de ma- tériau isolant (28) sur ladite première couche (24, 26), (c) réalisation d'une gravure anisotrope des première (24, 26) et deuxième (28) couches de ma- tériau isolant jusqu'à la mise à nu de La région (22a) du substrat dans laquelle sera réalisée La tranchée (36), (d) réalisation d'espaceurs isolants (34, 44) sur les flancs gravés des première (24, 26) et deuxième (28) couches de matériau isolant, (e) réalisation d'une gravure anisotrope de ladite région (22a) du substrat afin de réaliser la tranchée (36), la deuxième couche de matériau isolant gravée (28) et les espaceurs (34, 44) servant de mas- que à cette gravure, (f) élimination de la deuxième couche de ma- tériau isolant gravée (28) et des espaceurs (34, 44), (g) réalisation de bords isolants (38) dans la tranchée (36), (h) remplissage de la tranchée (36) par un matériau (40), et (i) réalisation de l'oxyde de champ localisé (42, 46). 2. Procédé selon la revendication 1, carac- térisé en ce que l'on réalise une couche d'oxyde de silicium (24) sur la surface du substrat (22) puis une couche de nitrure de silicium (26) sur ladite couche d'oxyde (24). 3. Procédé selon la revendication 2, carac- térisé en ce que l'on réalise la couche d'oxyde de silicium (24) par oxydation thermique du substrat (22). 4. Procédé selon l'une quelconque des reven- dications 2 et 3, caractérisé en ce que l'on réalise la couche de nitrure de silicium (26) par dépôt. 5. Procédé selon l'une quelconque des reven- dications i à 4, caractérisé en ce que la deuxième couche de matériau isolant (28) est réalisée en oxyde de silicium. 6. Procédé selon l'une quelconque des reven- dications I à 5, caractérisé en ce que l'on réalise la deuxième couche de matériau isolant (28) par dépôt. 7. Procédé selon l'une quelconque des reven- dications I à 6, caractérisé en ce que l'on réalise, entre les étapes (b) et (c), un masque de résine (30) sur la deuxième couche de matériau isolant (28) ser- vant à définir l'emplacement de la tranchée (36). 8. Procédé selon la revendication 7, carac- térisé en ce que le masque de résine (30) présente une ouverture (32) dont la largeur (L) est plus grande que celle (l) de la tranchée à réaliser (36). 9. Procédé selon l'une quelconque des reven- dications 7 et 8, caractérisé en ce que entre les éta- pes (c) et (d) on élimine le masque de résine (30). 10. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 9, caractérisé en ce que l'on réalise les espaceurs isolants (34, 44) en déposant une troi- sième couche de matériau isolant sur la deuxième cou- che de matériau isolant gravée (28) puis en gravant ladite troisième couche de façon anisotrope. 11. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 10, caractérisé en ce que les espa- ceurs (34, 44) sont réalisés en oxyde de silicium. 12. Procédé selon L'une quelconque des re- vendications 1 à 11, caractérisé en ce que L'on réali- se les bords isolants (38) de la tranchée (36) par oxydation thermique du substrat gravé (22). 13. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 12, caractérisé en ce que l'on réali- se le remplissage de la tranchée (36) par un dépôt isotrope. 14. Procédé selon la revendication 13, ca- ractérisé en ce que l'on élimine le matériau de rem- plissage excédent (40) se trouvant hors de la tranchée (36) de façon à obtenir une surface plane. 15. Procédé selon L'une quelconque des re- vendications 1 à 14, caractérisé en ce que le matériau de remplissage (40) est du silicium polycristallin. 16. Procédé selon la revendication 15, ca- - ractérisé en ce que l'on réalise L'oxyde de champ (42, 46) par oxydation thermique du silicium polycristallin (40). 17. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 7 à 16, caractérisé en ce que, l'on réa- lise, entre les étapes (c) et (d), une légère gravure anisotrope de la région (22a) du substrat mise à nu, à travers le masque de résine (30). 18. Procédé selon la revendication 17, ca- ractérisé en ce que l'on réalise des espaceurs (44) sur les flans gravés des première (24, 26) et deuxième (28) couches de matériau isolant ainsi que sur les flancs gravés de la région (22a) du substrat mise à nu. 19. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 16, caractérisé en ce que l'on réali- 25661i79 se, entre Les étapes (d) et (e), une Légère gravure isotrope de La région (22a) du substrat mise à nu, La deuxième couche de matériau isoLant gravée (28) et les espaceurs (34) servant de masque à cette gravure. 20. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 19, caractérisé en ce que, après L'étape (i), on élimine la première couche de matériau isolant (24, 26).