Brevet FR2570297A1 — publié le 19860321

LÙ présente invention concerne un dispositif de déport electrostatique de produits liquides sur des substrats. Ces liquides peuvent etre photosensibles ou non. Ce dispositif peut entre utilisé seul ou intégré à un ensemble plus ou moins complexe et automatique. L'invention est, par la combinaison de différents éléments constitutifs, destinée à la réalisation de couches minces de produits organiques ou autres, sur des substrats, de formes et de dimensions variables. Ces couches doivent tre d'une très grande homogénéité et régularité qucls que soient les reliefs sur les substrats. On utilise pour ce faire les propriétés d'une atomisation centrifuge à très haute vitesse combinée à une haute tension électrique appliquée à l'atomiseur proprement dit. Le champ électrique est créé par le branchement d'une électrode au générateur. Les très fines goutelettes de produit atomisé sont prises en charge par le champ électrostatique qui les véhicule vers l'électrode. Pour obtenir l'effet recherché de dépot sur les substrats on a déposé sur l'électrode un papier mince (15), mobile ou non permettant de faire rentrer les pièces dans le champ élec trostatique et dc les mettre à la masse grâce à leur grande proximité de l'électrode, sans qu'elles soient nécessairement connectées à la masse. Lc dispositif se compose (fig. 1) d'un générateur de haute tension (1) (environ 100 000 volts) dont l'un des pôles est branché à l'atomi cur (2), assisté dtun boitier électronique de contrôle (3) et de sécu rité par étincelles d'un atomiseur (2) constitué de trois éléments soit une turbine pncumatique (4) à très haute vitesse, avec son support isolant (5), un pulvérisateur rotatif (6) en formede cone d'une très grande légèreté et d'une très grande précision permettant par sa pente intérieure de casser le produit par la force centrifuge et ses arrêtes vives, en très petites particules, un bloc dc distribution (7) comportant les injecteurs (8) du produit à atomiser d'une électruda (9) située sous le papier support dc pièces d'un ensemble de distribution du produit qui est constitué d'éléments d'aménage d' pression normale jusqu'à l'atomiseur par les injecteurs depuis les réservoirs (10) des produits à injecter. On a réalisé un dispositif automatique de nettoyage du circuit, des injecteurs ct de l'atomiseur, à partir du solvant de base du produit utilisé dans le système. Selon une forme de réalisation préférentielle, la distribution de produis est réalisée au moyen de micro-pompes (11) à engrenages, dans des matériaux compatibles avec les produits, associées à une pneumovanne trois voies (12). Les micro-pompes sont assujetties à un système de mesure et de régulation permettant de faire varier les débits. Pour réaliser le nettoyage automatique du système lorsqu'on a utilisé un produit, il est renvoyé automatiquement dans son flacon (13), et à sa place circule dans les tuyaux (14), la pompe (11), les injecteurs (8) et le pulvérisateur (6), le solvant de nettoyage permettant une utilisation ultérieure immédiate. Le dispositif selon l'invention est généralement destinée à la formation de couches minces de produits organiques ou autres sur des substrats, et particulièrement de produits de la famille des résines photosensibles sur des éléments d'électronique, pour cette industrie. REVENDICATIONS 1) Dispositif de depôt électrostatique de produits liquides sur des substrats, produits photosensibles ou non, ce dispositif pouvant être un ensenble, ou un sous ensemble intégrable, et étant destiné a réaliser des couches minces précises et homogènes, caractérise en ce que le champ electrostatique est crée par un générateur de haute tension (1) et une électrode (9) indépendante des pièces à traiter, cette haute tension étant contrô lee eleetroniquement (3) afin d'éviter la formation d'arcs électriques. 2) Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la pul vérisation est réalisée par un atomiseur (2) constitué d'une turbine pneumatique (4) à tres haute vitesse isolée de la masse, d'un pulvérisateur rotatif (6) en forme de cône dont les pentes provoquent sous l'effet de la force centrifuge la separation en fines-goutelettes du produit, d'un porteinjecteurs (7) avec ses injecteurs (8) pour l'alimentation en produit du pulvérisateur (6). 3) Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que l'ensemble peut être avantageusement utilisé avec des micro-pompes (11) réversibles et des-pneumovannes trois voies (12) en matériaux convenables afin qu'apres utilisation le produit residuel puisse être récupéré dans son flacon (13), et que circule à sa place son solvant de base, réalisant ainsi le nettoyage des circuits ainsi que du pulverisateur (6).