Brevet FR2572214A1 — publié le 19860425

ELEMENT INDUCTIF ET SON PROCEDE DE FABRICATION La présente invention concerne un élément induc- tif et un procédé de fabrication de celui-ci. Elle porte, plus particulièrement sur un élément inductif qui comprend une bobine formée en enroulant directement un conducteur sur un substrat, et un procédé de fabrication de cet élé- ment. Au cours des dernières années, on a appliqué aux circuits électroniques la technique d'intégration hybride et ceci s'est accompagné d'un perfectionnement des él-é- ments présentés sous forme de puces. Un circuit intégré hybride comprend un circuit intégré semiconducteur et ses composants externes tels qu'un condensateur, une résis- tance et une bobine, incorporés en un seul ensemble, ce qui réduit considérablement le nombre de composants élec- troniques et simplifie leur assemblage, leur maintenance et leur inspection. La miniaturisation des éléments inductifs est cependant en retard. Dans une bobine formée en enroulant un conducteur destiné à être monté sur un substrat sous la forme d'une puce, par immersion dans un bain de soudure, des problèmes insolubles demeurent en ce qui concerne la résistance à la chaleur de la couche isolante qui doit revêtir le conducteur, et la connexion du conducteur à des bornes externes. On trouve des exemples bien connus d'éléments inductifs miniatures classiques dans les brevets US 4 134 091, 4 229 722 et 4 245 207, ainsi que dans la publication de brevet japonais n 92807/1982. Les figures i à 3 sont des coupes montrant res- pectivement des éléments inductifs miniatures classiques. L'élément inductif miniature qui est représenté sur la figure 1 comprend une substance magnétique telle qu'un noyau 1 ayant la forme d'un mandrin muni de joues, et un fil de bobinage 2 enroulé autour de ce noyau. Les deux extrémités 3 du fil de bobinage 2 sont recourbées le long des surfaces d'électrodes en argent 5 formées sur les surfaces d'extrémité des joues 4 aux deux extrémités du noyau 1, de façon que les extrémités 3 du fil de bobi- nage 2, les électrodes en argent 5 et des fils de connrme- xion 7 soient connectés électriquement les uns aux autres par de la soudure 6. La figure 2 montre un autre élément inductif miniature classique qui comprend un noyau 1 se présentant sous la forme d'un mandrin muni de joues, qui comporte à la surface inférieure de sa joue 4 des fils de connexion en saillie 7 et un fil de bobinage 2, dont les deux par- ties d'extrémité 3 sont respectivement enroulées autour des fils de connexion 7, pour être connectées à ce dernier par de la soudure 6. Les deux éléments inductifs miniatures représen- tés sur les figures 1 et 2 exigent la présence des fils conducteurs 7 et de la soudure 6, et on ne peut pas les miniaturiser comme une résistance ou un condensateur sous forme de puce. La figure 3 montre un élément inductif sous forme de puce qui a été proposé dans la publication de brevet japonais n 43513/1984. L'élément inductif miniatu- re qui est représenté sur la figure 3 comprend un noyau 1 se présentant sous la forme d'un mandrin avec des joues, et un fil de bobinage 2 enroulé.autour de ce noyau. Le noyau 1 comporte à la surface inférieure de sa joue 4 des électrodes en argent 5 disposées avec un intervalle déter- miné, de façon que des parties d'extrémité du fil de bobi- nage 2 soient recourbées le long des surfaces des électro- des en argent 5, pour être connectées à ces dernières par de la soudure 6. L'élément inductif sous forme de puce qui est représenté sur la figure 3 est fixé à une électrode désirée sur un substrat de circuit par l'intermédiaire de la soudure 6 qui se trouve sur les électrodes en argent 5. Cependant, dans les éléments inductifs miniatu- res et sous forme de puce précités, il est possible que la chaleur appliquée pour le montage des éléments sur des substrats de circuit avec de la soudure fasse fondre la matière de revêtement isolante du fil de bobinage, condui- sant ainsi à des courts-circuits occasionnels. En outre, dans l'élément inductif sous forme de puce, une grande quantité de soudure, qui ne peut pas être maintenue cons- tante, peut adhérer aux électrodes en argent 5, ce qui fait que l'élément risque d'être soudé au substrat de cir- cuit dans un état incliné. Le but principal de l'invention est donc de pro- curer un élément inductif et un procédé de fabrication de celui-ci qui permettent d'éliminer entièrement les incon- vénients précités de l'art antérieur, en connectant des parties d'extrémité du fil de bobinage à des pistes con- ductrices par soudage. Un élément inductif conforme à l'invention com- prend des pistes conductrices en métal conducteur formées sur un substrat, et une bobine formée par un fil de bobi- nage isolé en matière conductrice revêtue d'une couche isolante. On chauffe localement par soudage des parties d'extrémité du fil de bobinage isolé, pour les connecter électriquement aux pistes conductrices, Conformément à l'invention, on ne chauffe ainsi localement que les parties d'extrémité du fil de bobinage isolé devant être connectées électriquement aux pistes conductrices, de façon à supprimer la nécessité de chauffer la bobine complète, grâce à quoi on réalise aisément un élément inductif sous la forme d'une puce. De plus, on peut assembler l'élément inductif dans un circuit intégré hybride ou dans un dispositif analogue sans chauffer la bobine, de façon à éviter qu'un court-circuit occasionnel du fil de bobinage isolé de la bobine ne se produise au cours de l'assemblage. En outre, conformément à l'inven- tion, les parties d'extrémité du fil de bobinage isolé de la bobine sont directement connectées aux pistes conduc- trices, grâce à quoi on dispose d'une très grande liberté pour monter la bobine sur le substrat, et on peut l'assem- bler aisément dans ce dernier. L'élément inductif conforme à l'invention peut être effectivement assemblé dans un circuit intégré hybride ou une autre structure, ce qui étend considérablement la gamme de circuits qu'il est possible d'intégrer. Dans un mode de réalisation préféré de l'inven- tion, on établit un mandrin sur un substrat, de façon à enrouler du fil de bobinage isolé autour du mandrin, qui peut faire fonction de noyau. On choisit une section cir- culaire pour le fil de bobinage isolé, de façon que ses parties d'extrémité soient en contact ponctuel avec des pistes conductrices. On peut donc enlever aisément une couche isolante recouvrant le fil de bobinage, au moment d'un chauffage local par application d'une vibration ultra- sonore, grâce à quoi le fil de bobinage peut aisément être connecté électriquement aux pistes conductrices. En outre, on choisit arbitrairement l'épaisseur du fil de bobinage isolé en fonction de l'inductance de la bobine. On peut ainsi obtenir un ensemble d'éléments inductifs ayant diverses valeurs d'inductance en choisissant l'épaisseur du fil de bobinage isolé. Un procédé de fabrication conforme à l'invention comprend une première opération consistant à préparer un substrat comportant deux pistes conductrices, une seconde Z572214 opération consistant à monter sur une bobine d'un appareil de soudage du fil de bobinage isolé en matière conductrice revêtue d'une couche isolante, une troisième opération consistant à débiter le fil de bobinage isolé à partir de la bobine, pour souder une extrémité de ce fil à l'une des pistes conductrices sur le substrat, une quatrième opéra- tion consistant à enrouler le fil de bobinage isolé pour former une bobine, et une cinquième opération consistant à souder l'autre extrémité du fil de bobinage isolé à l'autre piste conductrice. Ainsi, dans le procédé conforme à l'invention, on peut directement former l'élément inductif sur le substrat, en utilisant le nombre minimal de composants tels que les pistes conductrices sur le substrat et le fil de bobinage isolé. On peut donc fabriquer l'élément inductif avec une taille extrêmement faible et avec un coût faible, en com- paraison avec des éléments inductifs classiques. En outre, dans le procédé de fabrication conforme à l'invention, le fil de bobinage isolé qui est débité par la bobine de l'appareil de soudage est enroulé pour former l'élément inductif, auquel on peut donner un nombre de spires désiré et dont on peut choisir arbitrairement la valeur d'inductance. Dans le procédé de fabrication de l'invention, la bobine débite de façon continue le fil de bobinage isolé, pour fabriquer ainsi de façon continue un ensemble d'élé- ments inductifs. En outre, les éléments inductifs conformes au procédé de fabrication de l'invention peuvent être fabri- qués de façon continue dans n'importe quelles positions désirées du substrat. Le procédé de fabrication de l'invention permet en outre de fixer une valeur d'inductance désirée pour l'élément inductif. En d'autres termes, on peut programmer le nombre de spires du fil de bobinage isolé, au cours d'une opération de fabrication de l'élément inductif. L'invention peut donc être appliquée de façon extrêmement commode à un circuit d'accord, etc, qui exige diverses valeurs d'inductance. De plus, aucune opération de chauffage n'est nécessaire dans le processus de fabrication de l'élément inductif conforme à l'invention. En d'autres termes, dans le procédé de fabrication de l'invention, le fil de bobi- nage isolé est chauffé localement pour être connecté par soudage aux pistes conductrices, et aucun court-circuit occasionnel n'est donc produit par la fusion de la couche isolante chauffée. Dans le procédé de fabrication conforme à l'in- vention, on peut ajouter à l'appareil de soudage une mémoire permettant d'effectuer des opérations de program- mation et de reconnaissance de formes, de façon à fabri- quer automatiquement un ensemble d'éléments inductifs, aussi longtemps que la bobine débite le fil de bobinage isolé. Dans un exemple préféré du procédé de fabrica- tion conforme à l'invention, l'appareil de soudage est constitué par un appareil de soudage par ultrasons, dont une tête de soudage capillaire est placée sur l'une des pistes conductrices, pour souder à la puce conductrice une partie d'extrémité du fil de bobinage isolé, par des ondes ultrasonores. On fait ensuite tourner la tête de soudage capillaire ou le substrat pour former une bobine après quoi on place la tête de soudage capillaire sur l'autre piste conductrice pour souder l'autre extrémité du fil de bobinage isolé à l'autre piste conductrice. Dans un autre exemple du procédé de fabrication conforme à l'invention, on déplace verticalement une table de l'appareil de soudage par ultrasons pour enrouler le fil de bobinage isolé, pour former ainsi la bobine avec une épaisseur uniforme. Dans un autre exemple encore du procédé de fabri- cation conforme à l'invention, le fil de bobinage isolé et les pistes conductrices sont formés par la même matière métallique conductrice, telle que du cuivre, de façon à faciliter le soudage par ultrasons. Dans un exemple supplémentaire du procédé de fabrication conforme à l'invention, on soude au moyen d'un alliage fusible un élément de circuit à l'une au moins des deux pistes conductrices, de façon à connecter électrique- ment l'élément de circuit et l'élément inductif. - Dans un autre exemple encore du procédé de fabrication conforme à l'invention, on forme un ensemble d'éléments inductifs sur le substrat. En d'autres termes, le procédé conforme à l'invention comprend une septième opération consistant à préparer un substrat comportant deux pistes conductrices, une huitième opération consistant à monter sur une bobine d'un appareil de soudage un fil de bobinage isolé en matière conductrice revêtue d'une couche isolante, une neuvième opération consistant à souder une extrémité du fil de bobinage isolé à l'une des pistes con- ductrices, une dixième opération consistant à enrouler le fil de bobinage isolé en une première position du substrat pour former une première bobine, une onzième opération consistant à enrouler le fil de bobinage isolé en une seconde position du substrat pour former une seconde bobine, et une douzième opération consistant à souder l'autre extrémité du fil de bobinage isolé à l'autre piste conduc- trice. Le procédé de fabrication de l'invention permet ainsi de former de façon continue un ensemble d'éléments inductifs sur le substrat. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre de modes de réalisation donnés à titre d'exemples non limitatifs. La suite de la descrip- tion se réfère aux dessins annexés sur lesquels: Les figures 1 et 2 sont des coupes montrant des exemples d'éléments inductifs miniatures classiques; La figure 3 est une coupe montrant un exemple d'un élément inductif sous forme de puce de type classi- que; La figure 4 est une coupe montrant un mode de réalisation de l'invention; La figure 5 est une coupe montrant un fil de bobinage isolé utilisé dans une bobine conformément au mode de réalisation de l'invention; La figure 6 est un schéma destiné à illustrer un procédé de soudage sur une piste conductrice d'une extrémité du fil de bobinage isolé de la bobine conforme au mode de réalisation de l'invention; La figure 7 est un schéma synoptique montrant un appareil de soudage par ultrasons qu'on utilise pour la fabrication de la bobine conforme au mode de réalisation de l'invention; Les figures 8 à 11 sont des coupes destinées à illustrer un procédé de fabrication d'un élément inductif conforme à l'invention; Les figures 12 à 18 sont des coupes destinées à illustrer un autre exemple du procédé de fabrication d'éléments inductifs conformes à l'invention; Les figures 19 à 23 sont des coupes destinées à illustrer encore un autre exemple du procédé de fabrication d'un élément inductif conforme à l'invention; et La figure 24 est une coupe destinée à illustrer un exemple supplémentaire du procédé de fabrication d'un élément inductif conforme à l'invention. La figure 4 est une coupe montrant un mode de réalisation de l'invention et la figure 5 est une coupe montrant un fil de bobinage isolé utilisé dans une bobine conforme au mode de réalisation de l'invention, tandis que- la figure 6 est un schéma destiné à illustrer un procédé de soudage sur une piste conductrice d'une extrémité du fil de bobinage isolé de la bobine conforme à ce, mode de réalisa- tion de l'invention. On considérera les figures 4 à 6 pour décrire un élément inductif conforme à un mode de réalisation de l'in- vention. Comme le montre la figure 4, l'élément inductif conforme à l'invention comprend un substrat de circuit 7, des pistes conductrices 8 et 9 et une bobine 10 formée par un fil de bobinage isolé 12 enroulé autour d'un mandrin -11. Le substrat de circuit 7 fait fonction de substrat de support et il est constitué par un substrat en céramique, un substrat imprimé en résine époxyde/verre ou en une matière analogue, ou un substrat en aluminium dont la surface est traitée par un traitement du type Alumite. Sur le substrat de circuit 7 sont assemblés des éléments de circuit destinés à former un circuit intégré hybride, etc, comme un élément semiconducteur, un condensateur du type puce, une résistance du type puce et un élément inductif. Les pistes conductrices 8 et 9 sont formées avec les configurations désirées sur une surface principale du substrat de circuit 7. Les pistes conductrices 8 et 9 font fonction de plots pour le soudage du fil de bobinage 12 de l'élément inductif, et elles constituent en même temps les pistes nécessaires à la réalisation d'un circuit intégré hybride. On forme de telles pistes conductrices 8 et 9 avec les configurations désirées en appliquant une pellicule de cuivre sur la surface principale du substrat de circuit 7 et en enlevant sélectivement cette pellicule par attaque. On forme la bobine 10 en enroulant le fil de bobinage isolé 12 autour du mandrin 11, avec un nombre de spires désiré. Le mandrin 11 constitue un support de bobi- nage pour le fil de bobinage isolé 12 destiné à former l'élément inductif, et on peut le préparer en employant une substance magnétique telle que le ferrite, ou une couche isolante comme une matière plastique, en fonction de la valeur de réactance de la bobine 10. A la place de la forme cylindrique qui est représentée sur la figure 4, le mandrin 11 peut avoir la forme d'une tige ou une configu- ration en I. Ce mandrin 11 est fixé par un agent adhésif 13 sur le substrat de circuit 7 au voisinage des pistes conductrices 8 et 9. La bobine 10 peut 8tre réalisée sous la forme d'une structure creuse ne comportant pas le man- drin 11. Comme le montre la figure 5, le fil de bobinage isolé 12 consiste en un fil de cuivre fin 121 de 50 à 800 Mm de diamètre, dont la surface est revêtue par une couche isolante 122 d'uréthane, de Teflon, de polyester ou de fluorure d'éthylène. On forme la couche isolante 122 sur le fil de cuivre fin 121 en utilisant une solution d'uréthane ou de fluorure d'éthylène, de façon à lui don- ner une épaisseur de 10 à 50 pm (20 pm en moyenne), de façon à assurer l'isolation entre les parties de fil de. bobinage respectives de la bobine 10. On emmagasine le fil de bobinage isolé 12 dans une bobine qui fait partie d'un appareil de soudage par ultrasons, comme on le décrira ultérieurement, de façon que la bobine débite le fil vers le mandrin 11. La caractéristique essentielle de l'invention consiste en ce qu'on connecte les extrémités du fil de bobinage de la bobine 10 aux pistes conductrices 8 et 9 par des vibrations ultrasonores. En d'autres termes, on amène les extrémités du fil de bobinage de la bobine 10 jusqu'aux pistes conductrices 8 et 9 et, comme le montre la figure 6, on place sur les extrémités du fil de bobina- ge isolé 12 une tête de soudage capillaire 17 destinée à produire une vibration ultrasonore de 20 à 60 kHz, pour appliquer cette vibration ultrasonore aux extrémités du fil. La vibration ultrasonore chauffe localement la couche il isolante 122 sur le fil de bobinage isolé 12 et la fait fondre pour mettre partiellement à nu le fil de cuivre fin 121. Lorsque la couche isolante 122 est en uréthane ayant un point de fusion de 180 C, l'échauffement local par la vibration ultrasonore fait fondre aisément cette couche. Les pistes conductrices 8 et 9 sont en cuivre, comme le fil de cuivre fin 121 du fil de bobinage isolé 12, et l'échauffement local par la vibration ultrasonore peut ainsi souder le fil de cuivre aux pistes conductrices. Ainsi, la vibration ultrasonore n'échauffe pas le substrat de circuit 7 dans son ensemble et, par conséquent, la cou- che isolante 122 n'est pas entièrement fondue et le fil de bobinage isolé 12 de la bobine 10 n'est pas court-circuité. Lorsque le substrat de circuit 7 est préparé à partir d'un substrat d'aluminium traité par un traitement de type Alumite, le métal dur retient efficacement l'éner- gie de la vibration ultrasonore, ce qui permet d'effectuer le soudage par ultrasons en une courte durée. La figure 7 est un schéma synoptique montrant un appareil de soudage par ultrasons qui est employé pour la fabrication de la bobine conforme au mode de réalisation de l'invention. Comme le montre la figure 7, l'appareil de souda- ge par ultrasons qui est employé dans l'invention comprend une bobine 15 emmagasinant le fil de bobinage isolé 12, une pince 16, une tête de soudage capillaire 17, une source de vibration ultrasonore 18, une table 19, un dispositif de translation selon les axes X/Y, 20, un dispositif de rota- tion 21 et un dispositif de translation selon l'axe Z, 22. Un tel appareil de soudage par ultrasons est bien connu dans la technique, par exemple d'après le brevet US 3 641 660, et il est largement utilisé pour l'assemblage de dispositifs semiconducteurs. On décrira brièvement le fonctionnement de l'appa- reil de soudage par ultrasons en se référant à la figure 7. Une extrémité d'un fil de connexion fin en aluminium est extraite par une ouverture centrale de la-tête de soudage capillaire 17, pour être fixée sur une électrode d'un transistor ou d'un élément analogue placé sur la table 19, au moyen d'une vibration ultrasonore de 20 à 60 kHz, puis la tête de soudage capillaire 17 est déplacée pour appli- quer une vibration ultrasonore à l'autre extrémité du fil de connexion fin en aluminium, afin de fixer cette extré- mité à un autre fil conducteur. L'appareil de soudage par ultrasons qui est employé dans l'invention est obtenu en apportant les améliorations suivantes à un appareil desti- né à l'assemblage d'un dispositif semiconducteur: Premiè- rement, la bobine 15 emmagasine le fil de bobinage isolé 12 destiné à former l'élément inductif. Secondement, la puissance de la source de vibration ultrasonore 18 est légèrement plus élevée que celle destinée à l'assemblage d'un dispositif semiconducteur. Troisièmement, la table 19 est équipée du dispositif de translation selon les axes X/Y, 20, et du dispositif de translation selon l'axe Z,- 22, pour pouvoir être déplacée librement dans les directions X, Y et Z. Quatrièmement, la table 19 est en outre équipée du dispositif de rotation 21, pour qu'on puisse la faire tourner autour d'un point ayant les coordonnées désirées sur les axes X et Y. Les figures 8 à 11 sont des coupes destinées à- illustrer un procédé de fabrication d'un élément inductif conforme à l'invention. En considérant maintenant les figures 8 à 11, on décrira le procédé de fabrication de l'élément inductif conforme à l'invention. Dans une première opération repré- sentée sur la figure 8, on forme les pistes conductrices 8 et 9 sur le substrat de circuit 7, en mettant en place le mandrin 11. De façon plus détaillée, on attaque sélective- ment la pellicule de cuivre selon la configuration désirée pour former les pistes conductrices 8 et 9, tandis qu'on place le mandrin 11 dans une région prédéterminée pour for- mer un élément inductif et on fixe le mandrin au substrat au moyen d'un agent adhésif 13. Dans une seconde opération représentée sur la figure 9, on soude une extrémité du fil de bobinage isolé 12 sur une piste conductrice 8, au moyen d'ondes ultraso- nores, en utilisant un appareil de soudage par ultrasons. En d'autres termes, on fixe par un dispositif à dépression le substrat de circuit 7 sur la table 19 de l'appareil de soudage par ultrasons décrit en relation avec la figure 7. On déplace ensuite la table 19 au moyen du dispositif de translation selon les axes X/Y, 20, pour placer la piste conductrice 8 directement audessous de la tête de soudage capillaire 17. On fait ensuite descendre la tête de souda- ge capillaire 17 pour souder l'extrémité du fil de bobina- ge isolé 12 sur la piste conductrice 8, par une vibration ultrasonore. Le fil de bobinage isolé 12 est constitué par le fil de cuivre fin 121 de section circulaire, et l'éner- gie de la vibration ultrasonore est donc concentrée dans la région de contact entre le fil de bobinage isolé 12 et la piste conductrice 8, ce qui a pour effet de détruire la couche isolante 122 pour mettre à nu le fil de cuivre fin 121. Le fil de cuivre fin 121 et la piste conductrice 8 sont ainsi connectés mutuellement par soudage par ultra- sons, par la jonction du cuivre formant les deux éléments. Dans une troisième opération représentée sur la figure 10, on fait tourner le substrat de circuit 7 pour enrouler le fil de bobinage isolé 12 autour du mandrin 11. On enroule le fil de bobinage isolé 12 autour du mandrin 11 avec un nombre de spires désiré, pour former un élément inductif ayant une valeur d'inductance désirée. Du fait qu'une extrémité du fil de bobinage isolé 12 est sou- dée à la piste conductrice 8, on déplace le substrat de circuit 7 au moyen du dispositif de translation selon les axes X/Y, 20, pour enrouler le fil de bobinage isolé 12 autour du mandrin 11. On déplace ensuite la tête de soudage capillaire 17 au moyen du dispositif de translation selon les axes X/Y, 20, pour placer le centre de rotation au cen- tre du mandrin 11 ou au voisinage de celui-ci. On fait ensuite fonctionner le dispositif de rotation 21 de l'appa- reil de soudage par ultrasons pour faire tourner le mandrin 11 sur le substrat de circuit 7, de façon à enrouler uni- formément le fil de bobinage isolé 12 débité par la bobine , avec un nombre de spires déterminé. Pour enrouler le fil de bobinage isolé 12 autour du mandrin 11 avec une épaisseur uniforme, on déplace ver- ticalement la table 19 au moyen du dispositif de transla- tion selon l'axe Z, 22, de façon à régler la position ver- ticale du mandrin 11. En outre, conformément à l'invention, on fait tourner le mandrin 11 de façon à enrouler le fil de bobinage isolé 12 avec un effort de traction constant et on fixe de la manière désirée le nombre de spires du fil de bobinage. Le procédé de fabrication est excellent dans la mesure o on peut enrouler le fil de bobinage isolé 12 autour du mandrin 11 aussi bien lorsque ce dernier est du type en E que lorsqu'il est du type en I. Dans le cas du type en I, on peut régler la position verticale de la tête de soudage capillaire 17 en correspondance avec le mandrin en I, 11. Dans le cas du type en E, on peut disposer la tête de soudage capillaire 17 dans un espace libre du man- drin en E, 11. Dans une quatrième opération représentée sur la figure 11, on soude l'autre extrémité du fil de bobinage isolé 12 à l'autre piste conductrice 9, au moyen d'ondes ultrasonores. De façon plus détaillée, on déplace la table 19 de l'appareil de soudage par ultrasons, au moyen du dispositif de translation selon les axes X/Y, 20, de façon à placer la tête de soudage capillaire 17 sur l'autre piste conductrice 9. On fait ensuite descendre la tête de soudage capillaire 17 pour amener l'autre extrémité du fil de bobi- nage isolé 12.-en contact avec l'autre piste-conductrice 9, afin d'appliquer une vibration ultrasonore à ces éléments. On soude ainsi l'autre extrémité du fil de bobinage isolé 12 sur l'autre piste conductrice 9, au moyen d'ondes ultra- sonores. On coupe le fil de bobinage isolé 12 au moyen d'un couteau ou d'un outil analogue pendant qu'on fait remonter la tête de soudage capillaire 17 après le soudage par ultrasons. Bien que dans la troisième étape représentée sur la figure 10, on fasse tourner le substrat de circuit 7 autour de la tête de soudage capillaire 17, il est possi- ble de laisser le substrat de circuit 7 fixe et de faire tourner la tête de soudage capillaire 17 autour du mandrin 11, pour enrouler ainsi le fil de-bobinage isolé 12 autour du mandrin 11. Les figures 12 à 18 montrent des coupes desti- nées à illustrer un autre exemple du procédé de fabrica- tion d'éléments inductifs conformes à l'invention. L'exemple qui est représenté sur les figures 12 à 18 est prévu pour former de façon continue un ensemble d'éléments inductifs. Dans une première opération repré- sentée sur la figure 12, on forme un ensemble-de pistes conductrices 8, 9, 24 et 25 sur un substrat de circuit 7, et on dispose des mandrins 11 et 26 dans des première et seconde positions respectives. Le substrat de circuit 7 et les mandrins 11 et 26 sont similaires à ceux de la figure 8. Dans une sec-onde opération représentée sur la figure 13, on soude par ultrasons une extrémité du fil de bobinage isolé 12 sur la piste conductrice B, au moyen d'une tête de soudage capillaire 17, d'une manière similai- re à celle de l'exemple décrit ci-dessus en relation avec la figure 9. Dans une troisième opération représentée sur la figure 14, on fait tourner le substrat de circuit 7 pour enrouler le fil de bobinage isolé 12 autour du mandrin 11, d'une manière similaire à celle de l'exemple décrit ci-dessus en relation avec la figure 10. Dans une quatrième opération représentée sur la figure 15, on soude par ultrasons l'autre extrémité du fil de bobinage isolé 12 sur la piste conductrice 9, au moyen de la tête de soudage capillaire 17, d'une manière similaire à celle de l'exemple décrit ci-dessus en rela- * tion avec la figure 11. Après le soudage par ultrasons, on fait monter la tête de soudage capillaire 17 et on coupe le fil de bobinage isolé 12 au moyen d'un couteau ou d'un autre outil, pour achever un premier élément inductif. Dans une cinquième opération représentée sur la figure 16, on déplace une table 19 d'un appareil de souda- ge par ultrasons pour souder une extrémité du fil de bobi- nage isolé 12 sur une piste conductrice 24, à la seconde position à laquelle se trouve l'autre mandrin 26. De façon plus détaillée, on déplace la table 19 de l'appareil de. soudage par ultrasons au moyen d'un dispositif de transla- tion selon les axes X/Y, 20, pour placer la tête de souda- ge capillaire 17 sur la piste conductrice 24 à la seconde position à laquelle se trouve l'autre mandrin 26. On fait ensuite descendre la tête de soudage capillaire 17 pour souder une extrémité du fil de bobinage isolé 12 sur la piste conductrice 24, par une vibration ultrasonore. La caractéristique de la cinquième opération réside dans le fait que celle-ci est accomplie de manière continue, immédiatement après l'achèvement du premier élé- ment inductif, ce qui permet la formation continue d'un ensemble d'éléments inductifs. Dans une sixième opération représentée sur la figure 17, on fait tourner le substrat de circuit 7 pour enrouler le fil de bobinage isolé 12 autour de l'autre man- drin 26. Comme pour la troisième opération représentée sur la figure 14, on peut enrouler le fil de bobinage isolé 12 avec un nombre de spires désiré autour du mandrin 26, de façon à former un second élément inductif ayant une valeur désirée. La caractéristique de la sixième opération réside en ce qu'on peut fixer librement la valeur de réactance du second élément inductif en fixant le nombre de révolu- tions du substrat de circuit 7. On forme ainsi à volonté et de façon continue un ensemble d'éléments inductifs ayant différentes valeurs de réactance. Dans une septième opération représentée sur la figure 18, on soude au moyen d'ondes ultrasonores l'autre extrémité du fil de bobinage isolé 12 sur l'autre piste conductrice 25, à la seconde position à laquelle se trouve l'autre mandrin 26. Comme pour la quatrième opération représentée sur la figure 15, on déplace la table 19 de l'appareil de soudage par ultrasons au moyen du dispositif de translation selon les axes X/Y, 20, pour placer la tête de soudage capillaire 17 sur l'autre piste conductrice 25, à la seconde position. On fait ensuite descendre la tête de soudage capillaire 17 pour amener le fil de bobinage isolé 12 en contact avec la piste conductrice 25, et on applique une vibration ultrasonore pour souder ainsi l'autre extrémité du fil de bobinage isolé 12 à la piste conductrice 25, par des ondes ultrasonores. Après l'achève- ment du soudage par ultrasons, on coupe le fil de bobinage isolé 12 pendant la remontée de la tête de soudage capil- laire 17. La formation d'un second élément inductif est ainsi terminée. Le procédé de fabrication décrit ci-dessus per- met de former de façon continue un ensemble d'éléments inductifs dans des positions désirées du substrat de cir- cuit 7, par le mouvement de la table 19 de l'appareil de soudage par ultrasons. En outre, on peut former dans un ordre arbitraire sur le substrat de circuit 7 des éléments inductifs ayant des valeurs exigées pour des circuits inté- grés hybrides, en commandant un dispositif de rotation 21 pour faire tourner la table 19. Les figures 19 à 23 sont des coupes destinées à illustrer encore un autre exemple du procédé de fabrica- tion d'un élément inductif conforme à l'invention. Dans cet exemple, on fabrique un élément inductif sans opération de chauffage, en enroulant un fil de bobina- ge isolé 12 au moyen d'un appareil de soudage par ultra- sons, par le fait que le fil de bobinage isolé 12 peut être soudé directement sur une piste conductrice 8 à l'aide d'ondes ultrasonores, après que d'autres éléments de cir- cuit ont été soudés à l'aide d'un alliage fusible sur des pistes conductrices 8 et 27. Dans une première opération représentée sur la figure 19, on forme des pistes conductrices 8, 9 et 27 sur un substrat de circuit 7, et on soude au moyen d'un allia- ge fusible un élément de circuit 28 sur les pistes conduc- trices 8 et 27. Le substrat de circuit 7 et les pistes. conductrices 8, 9 et 27 sont identiques aux éléments cor- respondants de la figure 8. L'élément de circuit 28 est un composant nécessaire pour former un circuit intégré hybri- de, tel qu'une puce de circuit intégré, une puce de tran- sistor, un condensateur sous forme de puce ou une résis- tance sous forme de puce. Dans la première opération, on dépose sélective- ment par sérigraphie de la soudure en pâte sur les pistes conductrices 8 et 27, pour souder ces dernières à l'élé- ment de circuit 28. On place ensuite l'élément de circuit 28 dans une position déterminée puis on chauffe l'ensemble du substrat de circuit 7 dans un four ou sur une plaque chauffante, pour connecter l'élément de circuit 28 aux pistes conductrices 8 et 27 par une couche de soudure 29. Dans une seconde opération représentée sur la figure 20, on place un mandrin 11 sur le substrat de cir- cuit 7. Le mandrin 11 est identique à celui qui est repré- senté sur la figure 8. Dans une troisième opération représentée sur la figure 21, on soude une extrémité du fii de bobinage isolé 12 sur une piste conductrice 8, au moyen d'ondes ultraso- nores, d'une manière similaire à celle décrite en relation avec la figure 9. Dans une quatrième opération représentée sur la figure 22, on fait tourner le substrat de circuit 7-pour enrouler le fil de bobinage isolé 12 autour du mandrin 11. Cette opération est accomplie d'une manière similaire à celle représentée sur la figure 10. Dans une cinquième opération représentée sur la figure 23, on soude l'autre extrémité du fil-de bobinage isolé 12 sur l'autre piste conductrice 9, comme dans l'opération représentée sur la figure 11. L'invention décrite ci-dessus permet de monter l'élément inductif sur le substrat de circuit 7, en plus de l'élément de circuit 28 qui est de façon générale monté sur le substrat, tel qu'une puce de circuit intégré, un transistor, un condensateur du type puce ou une résistance du type puce, ce qui supprime dans une large mesure la nécessité de composants externes. En outre, l'élément inductif est monté sur le substrat de circuit après la terminaison d'une opération de chauffage pour le soudage au moyen d'un alliage fusible, et aucun court-circuit n'est donc produit sous l'effet du chauffage du fil de bobinage isolé 12. La figure 24 est une coupe destinée à illustrer encore un autre exemple du procédé de fabrication d'un élément inductif conforme à l'invention. Dans l'exemple qui est représenté sur la figure 24, on accomplit des première et seconde opérations d'une manière similaire à celles représentées sur les figures 8 et 9. Ensuite, dans une troisième opération, on enroule uniformément autour d'un 2 5 7 2 214 mandrin 11 un fil de bobinage isolé 12 débité par une bobine , en faisant vibrer un substrat de circuit 7 dans une direction verticale, comme il est représenté sur la figure 24. De façon plus détaillée, on fait vibrer verticalement une table 19 avec un cycle constant de façon à enrouler le fil de bobinage isolé autour de la totalité du mandrin 11 avec une épaisseur uniforme. Il en résulte que le mandrin 11 peut avoir une petite taille même si l'élément inductif comporte un grand nombre de spires. Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées au dispositif décrit et représenté, sans sortir du cadre de l'invention. 72214 REVENDICATIONS 1. Elément inductif caractérisé en ce qu'il com- prend: un substrat (7); des pistes conductrices (8, 9, 25, 27) en matière conductrice formées sur le substrat; et une bobine (10) formée en enroulant un fil de bobinage isolé en matière conductrice revêtue d'une couche isolante, les deux extrémités de cette bobine étant chauffées localement pour être connectées électriquement par soudage aux pistes con- ductrices. 2. Elément inductif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on forme la bobine (10) en enroulant le fil de bobinage isolé (12) emmagasiné dans une bobine d'un appareil de soudage et débité à partir de cette bobi- ne. 3. Elément inductif selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un mandrin (11,26) placé sur le substrat, et en ce qu'on forme la bobine (10) en enroulant le fil de bobinage isolé autour du man- drin (11, 26). 4. Elément inductif selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'on utilise le mandrin (11, 26) en tant que noyau pour la bobine. 5. Elément inductif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on choisit une section circulaire pour la matière conductrice (121). 6. Elément inductif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on choisit l'épaisseur de la matière conductrice (121) en fonction de l'inductance de la bobi- ne (10). 7. Procédé de fabrication d'un élément inductif, caractérisé en ce qu'il comprend les opérations suivantes: une première opération consistant à préparer un substrat (7) comportant deux pistes conductrices (8, 9); une seconde opération consistant à monter sur une bobine (15) d'un appareil de soudage (14) un fil de bobinage isolé en matière conductrice (121) revêtue d'une couche isolante (122); une troisième opération consistant à débiter le fil de bobinage isolé (12) à partir de la bobine (15), pour chauffer localement une extrémité de ce fil et pour souder cette extrémité sur une première des pistes con- ductrices (8, 9) se trouvant sur le substrat (7); une quatrième opération consistant à enrouler le -fil de bobi- nage isolé pour former une bobine (10); et une cinquième opération consistant à chauffer localement l'autre extré- mité du fil de bobinage isolé pour souder cette extrémité sur la seconde piste conductrice (8, 9) se trouvant sur le substrat (7). 8. Procédé de fabrication d'un élément inductif selon la revendication 7, caractérisé en ce que la premiè- re opération comprend une opération consistant à former un mandrin (11) sur le substrat (7), et la quatrième opéra- tion comprend une opération consistant à enrouler le fil de bobinage isolé autour du mandrin (11). 9. Procédé de fabrication d'un élément inductif selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'appareil de soudage comprend une tête de soudage capillaire (17) destinée à maintenir une extrémité du fil de bobinage iso- lé (12) débité par la bobine (15), et en ce que la quatriè- me opération comprend une opération consistant à changer la position relative entre le substrat (7) et la tête de sou- dage capillaire (17), pour enrouler le fil de bobinage iso- lé (12) et pour former la bobine (10). 10. Procédé de fabrication d'un élément inductif selon la revendication 8, caractérisé en ce que l'appareil de soudage (14) comporte une tête de soudage capillaire (17) destinée à maintenir une extrémité du fil de bobinage isolé (12) débité par la bobine (15), la troisième opéra- tion comprend une opération consistant à placer la tête de soudage capillaire (17) de l'appareil de soudage (14) sur 257221 4 une piste conductrice (8), pour souder une extrémité-du fil de bobinage isolé (12) sur la première piste conduc- trice (8), la quatrième opération comprend une opération consistant à amener la tête de soudage capillaire (17) au voisinage de la périphérie du mandrin (11), à partir de la position située sur la première piste conductrice (8), dans le but de faire tourner la périphérie du man- drin (11), pour enrouler ainsi le fil de bobinage isolé autour du mandrin (11); et la cinquième opération comprend une opération, accomplie après l'enroulement du fil de bobinage isolé autour du mandrin (11), consistant à placer la tête de soudage capillaire (17) sur la seconde piste conductrice (9), pour souder l'autre extrémité du fil de bobinage isolé (12) sur la seconde piste conductrice (9). 11. Procédé de fabrication d'un élément inductif selon la revendication 8, caractérisé en ce que l'appareil de soudage (14) comprend une tête de soudage capillaire (17) destinée à maintenir-une extrémité du fil de bobinage isolé (12) débité par la bobine (15), la troisième opéra- tion comprend une opération consistant à placer -la tête de soudage capillaire (17) de l'appareil de soudage (14) sur la première piste conductrice (8) pour souder une extrémi- té du fil de bobinage isolé (12) sur la première piste con- ductrice (8), la quatrième opération comprend une opéra- tion consistant à amener la tête de soudage capillaire (17) au voisinage de la périphérie du mandrin (11), à partir de la position située sur la première piste conductrice (8), et à faire tourner le substrat pour faire tourner le man- drin (11) à la périphérie de la tête de soudage capillaire (17) pour enrouler ainsi le fil de bobinage isolé (12) sur le mandrin (11), et la cinquième opération comprend une opération, accomplie après l'enroulement du fil de bobinage isolé autour du mandrin (11), consistant à placer la tête de soudage capillaire (17) sur la seconde piste conductrice (9), pour souder l'autre extrémité du fil de bobinage isolé (12) sur la seconde piste conductrice.(9). 12. Procédé de fabrication d'un élément inductif selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'appareil de soudage (14) comprend une tête de soudage capillaire (17) destinée à maintenir une extrémité du fil de bobinage isolé (12) débité par la bobine (15) et une table (19) pouvant être déplacée dans les directions correspondant à des premier et second axes horizontaux mutuellement per- pendiculaires, cette table recevant le substrat (7), la troisième opération comprend une opération consistant à déplacer la table (19) dans la direction du premier ou du second axe horizontal de façon à placer la tête de soudage capillaire (17) sur la première piste conductrice (8), la quatrième opération comprend une opération, accomplie après le soudage de l'extrémité du fil de bobinage isolé (12) sur la première piste conductrice (8) au cours de la troisième opération, qui consiste à déplacer la table (19) dans la direction d'un premier ou d'un second axe horizon- tal, pour placer la tête de soudage capillaire (17) à une position déterminée sur le substrat (7), et la cinquième opération comprend une opération, accomplie après l'enrou- lement du fil de bobinage isolé (12) au cours de la qua- trième opération, qui consiste à déplacer la table (19) dans la direction du premier ou du second axe horizontal, pour placer la tête de soudage capillaire (17) sur la seconde piste conductrice (9). 13. Procédé de fabrication d'un élément inductif selon la revendication 7, caractérisé en ce que la premiè- re opération comprend une opération consistant à souder au moyen d'un alliage fusible un élément de circuit (28) à l'une au moins des deux pistes conductrices. 14. Procédé de fabrication d'éléments inductifs caractérisé en ce qu'il comprend: une septième opération consistant à préparer un substrat (7) comportant deux pis- tes conductrices (8, 25); une huitième opération consis- tant à monter sur une bobine (15) d'un appareil de soudage (14) un fil de bobinage isolé (12) en matière conductrice (121) revêtue d'une couche isolante (122); une neuvième opération consistant à débiter le fil de bobinage isolé (12) à partir de la bobine (15), pour souder une extrémité de celui-ci sur une première (8) des pistes conductrices formées sur le substrat; une dixième opération consistant à enrouler le fil de bobinage isolé (12) dans une première position sur le substrat, pour former une première bobine une onzième opération consistant à enrouler le fil de bobi- nage isolé dans une seconde position sur le substrat pour former une seconde bobine; et une douzième opération con- sistant à souder l'autre extrémité du fil de bobinage iso- lé sur la seconde (25) des deux pistes conductrices. 15. Procédé de fabrication d'éléments inductifs selon la revendication 14, caractérisé en ce que la septième opération comprend une opération consistant à former des mandrins (11, 26) respectivement aux première et seconde positions, la dixième opération comprend une. opération consistant à enrouler le fil de bobinage isolé (12) autour d'un premier (11) des mandrins situé à la première position, et la onzième opération comprend une opération consistant à enrouler le fil de bobinage isolé autour du second mandrin (26) à la seconde position. 16. Procédé de fabrication d'éléments inductifs selon la revendication 14, caractérisé en ce que l'appa- reil de soudage comprend une tête de soudage capillaire (17) destinée à maintenir une extrémité du fil de bobinage isolé débité par la bobine (15), la dixième opération com- prend une opération consistant à changer la positon rela- tive entre le substrat (7) et la tête de soudage capillai- re (17), et à enrouler le fil de bobinage isolé pour former la première bobine, et la onzième opération comprend une opération consistant à changer la position relative entre le substrat (7) et la tête de soudage capillaire (17) et à 72214 enrouler le fil de bobinage isolé pour former la seconde bobine. 17. Procédé de fabrication d'éléments inductifs selon la revendication 15, caractérisé en ce que l'appa- reil de soudage (14) comporte une tête de soudage capil- laire (17) destinée à maintenir une extrémité du fil de bobinage isolé (12) débité par la bobine (15), la neuviè- me opération comprend une opération consistant à placer la tête de soudage capillaire (17) de l'appareil de soudage (14) sur la première piste conductrice (8) pour souder l'extrémité précitée du fil de bobinage isolé (12) sur la première piste conductrice (8), la dixième opération com- prend une opération consistant à amener la tête de soudage capillaire (17) au voisinage de la périphérie d'un premier des mandrins (11), à partir de sa position située sur la première piste conductrice, et à faire tourner la périphé- rie du premier mandrin (11) pour enrouler le fil de bobi- nage isolé autour du premier mandrin (11), la onzième opération comprend une opération consistant à amener la tête de soudage capillaire (17) au voisinage de la péri- phérie du second mandrin (26), à partir de sa position au voisinage de la périphérie du premier mandrin (ll),et à faire tourner la périphérie du second mandrin (26) pour enrouler le fil de bobinage isolé (12) autour du second mandrin (26), et la douzième opération comprend une opéra- tion, accomplie après l'enroulement du fil de bobinage isolé autour du second mandrin (26), qui consiste à placer la tête de soudage capillaire (17) sur la seconde piste conductrice (25), pour souder l'autre extrémité du fil de bobinage isolé sur la seconde piste conductrice (25). 18. Procédé de fabrication d'éléments inductifs selon la revendication 16, caractérisé en ce que l'appa- reil de soudage (14) comprend une tête de soudage capillai- re (17) destinée à maintenir une extrémité du fil de bobi- nage isolé débité par la bobine (15), la neuvième opération 2572X14 2'/ comprend une opération consistant à placer la tête de sou- dage capillaire (17) de l'appareil de soudage (14) sur la première piste conductrice (8), pour souder cette extrémité du fil de bobinage isolé (12) sur la première piste conduc- trice (8), la dixième opération comprend-une opération con- sistant à amener la tête de soudage capillaire (17) au voi- sinage de la périphérie d'un premier des mandrins (11), à partir de sa position sur la première piste conductrice (8), et à faire tourner le substrat pour faire tourner le premier mandrin (10) à la périphérie de la tête de soudage capillaire (1'), pour enrouler ainsi le fil de bobinage - isolé (12) autour du premier mandrin (11), la onzième opé- ration comprend une opération consistant à amener la tête de soudage capillaire (17) au voisinage de la périphérie 1S du second mandrin (26), à partir de sa position au voisi- nage de la périphérie du premier mandrin (11) et à faire tourner le substrat (7) pour faire tourner le second man- drin (26) à la périphérie de la tête de soudage capillaire (17), pour enrouler ainsi le fil de bobinage isolé (12) autour du second mandrin (26) , et--la douzième opération comprend une opération, accomplie après l'enroulement du fil de bobinage isolé autour du second mandrin (26), qui consiste à placer la tête de soudage capillaire (17) sur la seconde piste conductrice (25), pour souder l'autre extrémité du fil de bobinage isolé (12) sur la seconde piste conductrice (25). 19. Procédé de fabrication d'éléments inductifs selon la revendication 14, caractérisé en ce que l'appa- reil de soudage (14) comprend une table (19) pouvant être déplacée dans des directions correspondant à des premier et second axes horizontaux mutuellement perpendiculaires, cette table (19) recevant le substrat (7), la neuvième opération comprend une opération consistant à déplacer la table (19) dans la direction du premier ou du second axe horizontal, pour placer la tête de soudage capillaire (17) sur la première piste conductrice (8), la dixième opération comprend une opération, accomplie après le soudage d'une extrémité du fil de bobinage isolé (12) sur lapremière piste conductrice (8) au cours de la neuvième opération, qui consiste à déplacer la table (19) dans la direction du premier ou du second axe horizontal afin de placer la tête de soudage capillaire (17) à la première position sur le substrat (7), la onzième opération comprend une opération, accomplie après l'enroulement du fil de bobinage isolé au cours de la dixième opération, qui consiste à déplacer la table (19) dans la direction du premier ou du second axe horizontal, pour placer la tête de soudage capillaire (17) dans une seconde position sur le substrat (7), et la douzième opération comprend une opération, accomplie après l'enroulement du fil de bobinage isolé (12) au cours de la onzième opération, qui consiste à déplacer la table (19) dans la direction du premier ou du second axe horizontal, pour placer la tête de soudage capillaire (17) sur la seconde piste conductrice. 20. Procédé de fabrication d'éléments inductifs selon la revendication 14, caractérisé en ce que les dixième et onzième opérations comprennent des opérations consistant à donner des nombres de -spires différents aux première et seconde bobines formées au cours des opérations respectives, de fagon à former des éléments inductifs ayant des valeurs d'inductance différentes. 21. Procédé de fabrication d'éléments inductifs selon la revendication 14, caractérisé en ce que la septième opération comprend une opération qui consiste à souder au moyen d'un alliage fusible un élément de circuit (28) sur l'une au moins des deux pistes conductrices.