Brevet FR2548393A1 — publié le 19850104

__ 4) 254839. DISPOSITIF POLARISEUR OPTIQUE INTEGRE ET SON PROCEDE DE FABRICATION. La présente invention concerne un dispositif polariseur en optique intégrée, c'est-à-dire réalisé à base d'une structure comprenant un substrat plan dans lequel a été réalisé un guide d'onde. L'invention concerne également le procédé de fabrication d'un tel dispositif. Pour de nombreuses applications, il est nécessaire de disposer d'éléments optiques polariseurs Dans les techniques récentes mettant en oeuvre des fibres optiques et/ou des guides d'onde en optique intégrée, il est en outre nécessaire que ces éléments s'adaptent au mieux à ces structures et à 10 leurs géométries et dimensions particulières pour que des couplages optiques puissent être optimisés. Les dispositifs destinés à polariser la lumière se répartissent suivant deux familles principales: les dispositifs à absorption sélective en fonction de la polarisation et les dispositifs à séparation spatiale de polarisations. Des dispositifs du premier type ont été notamment réalisés à base de fibres optiques A titre d'exemple parmi d'autres, un tel dispositif a été décrit dans l'article de HOSAKA et ai:"Single-mode Fiber-Type Polarizer" paru dans la publication "IEEE Transactions on microwave theory and techniques", volume MTT 30, n 10, 1982. Les polariseurs de ce type comprennent une fibre optique en silice dénudée sur quelques centimètres, à laquelle on fait subir dans cette région dénudée un polissage de manière à ce que l'interface air-silice soit un dioptre plan On réalise un dépôt métallique sur ce dioptre plan. On peut toujours diviser l'onde lumineuse guidée en une composante de 25 polarisation quasi transverse-magnétique, et une composante quasi tranverse-électrique. La première composante se couple à un plasmon de l'interface silicemétal, plasmon qui se propage en subissant une forte atténuation La première composante se trouve donc atténuée de la même façon La seconde 30 composante, de polarisation transverse-électrique, par contre, ne subit qu'une faible atténuation. Les taux d'atténuation obtenus sont typiquement de l'ordre de 30 db. Ils dépendent naturellement de la qualité de l'usinage de la fibre optique et de la position exacte de l'interface par rapport à la région de coeur de cette fibre. Les pertes subies par la seconde composante sont faibles par contre, typiquement de l'ordre de 1 db cm-. Les dispositifs de la seconde famille, c'est-à-dire les dispositifs à séparation spatiale de polarisations ont été réalisés soit à base d'une structure à fibre optique, soit à base d'une structure à guide d'onde optique 10 intégré sur un substrat Dans ces deux variantes un cristal biréfringent est disposé sur un dioptre plan voisin soit du coeur pour une fibre optique, soit du guide d'onde intégré. Lorsqu'il s'agit d'une fibre optique, celle-ci est tout d'abord soumise à un polissage, comme il a été décrit précédemment, pour créer le dioptre 15 plan. Le cristal biréfringent est choisi de façon à ce qu'une première composante de la lumière de polarisation déterminée, se propage dans ce milieu avec un indice de réfraction supérieur à Pindice effectif de sa propagation guidée et qu'une autre composante, de polarisation orthogonale, 20 se propage avec un indice inférieur. Dans ces conditions, la première composante n'est plus guidée dans la zone d'interaction avec le cristal biréfringent et se réfracte dans celuici. La seconde composante, par contre, reste guidée et traverse le région d'intéraction sans autres pertes énergétiques que les pertes courantes de 25 transmission dues au guide ou au coeur de la fibre Ces pertes sont en général négligeables. Des taux d'atténuation de l'ordre de 60 db ou plus peuvent être obtenus. Des polariseurs de ce type sont décrits, à titre d'exemples parmi 30 d'autres, dans l'article de BERGH et al: "Single-mode fiber-optic polarizer" paru dans la revue "Optics Letters", vol 5, n 11, page 479, 1980, en ce qui concerne un polariseur à fibre optique, et dans l'article de UEHARA et al: "Optics Waveguiding polarizer" paru dans la revues "Optics Letters", vol 13, page 1753, 1974, en ce qui concerne les dispositifs optiques intégrés. Les dispositifs de l'art connu qui viennent d'être décrits, bien qu'offrant de bonnes performances sont cependant de réalisation délicate. En ce qui concerne les fibres optiques, l'usinage pour obtenir un dioptre plan doit être contrôlé avec une très grande précision lors du 5 polissage La position du plan du dioptre doit être déterminée avec une précision de Pordre du micromètre. Pour les dispositifs à fibre optique et les dispositifs en optique intégrée, il est difficile de disposer, pour toutes les applications, d'un cristal approprié. En effet, les conditions auxquelles doivent satisfaire les indices de réfraction ne correspondent pas toujours à des cristaux existants, du moins des cristaux d'usinage et d'utilisation aisés. Enfin, en ce qui concerne les guides d'onde lumineuse réalisés sous forme de structure optique intégrée, ceux-ci sont en générai obtenus par des 15 procédés du type diffusion thermique d'un matériau, par exemple du titane, dans 'une région superficielle d'un substrat plan, par exemple du niobate de lithium. Ce processus peut occasionner une modification de l'état de surface de ce substrat et, corrélativement, il devient plus difficile d'obtenir un bon 20 couplage optique avec le matériau du cristal disposé sur la surface du substrat et interagissant avec la région de guidage de la lumière Il est alors le plus souvent nécessaire de recourrir à des liquides d'indice insérés entre le cristal biréfringent et la surface du substrat Il est également difficile de sélectionner des liquides possédant l'indice de réfraction approprié. Il y a également lieu de remarquer que le cristal biréfringent est un élément externe, c'est-à-dire rapporté et non intégré au substrat comme l'est le guide d'onde, ce qui peut être considéré comme un inconvénient supplémentaire. L'invention est concernée par les dispositifs polariseurs de ce type, 30 c'est-à-dire des dispositifs réalisés sous forme d'une structure optique intégrée opérant par séparation de polarisations. L'invention propose une structure palliant les inconvénients de l'art connu. 2548393. L'invention a donc pour objet un dispositif polariseur à structure optique intégrée du type opérant par séparation spatiale de polarisations, comprenant un substrat plan réalisé en matériau présentant un premier indice de réfraction pour une onde lumineuse polarisée suivant une première 5 direction et un second indice de réfraction pour une onde polarisée suivant une seconde direction orthogonale à la première, le substrat comportant une première région formant guide d'onde réalisée par un dopage de matériau du substrat modifiant lesdits indices de réfraction de manière à obtenir la propagation suivant un mode guidé d'une onde lumineuse injectée dans cette 10 région, caractérisé en ce qu'il comprend en outre au moins une deuxième région supplémentaire intéragissant sur l'onde guidée par la p remire région, présentant des indices de réfractions pour les ondes polarisées suivant lesdites première et seconde directions satisfaisant simultanément les deux relations suivantes: nie> nli et N 2 e desdites directions. L'invention a encore pour objet un procédé de fabrication d'un tel dispositif. L'invention sera mieux comprise et d'autres caractéristiques et avan25 tages apparaitront à la lecture de la description ci-après en référence aux figures annexées et parmi lesquelles: la figure I représente un dispositif polariseur à structure optique intégrée de l'art connu, les figures 2 et 3 représentent un dispositif conforme à rinvention 30 selon une première variante de réalisation, les figures 4 à 7 représentent des variantes supplémentaires de réalisation d'un dispositif selon Pinvention. Un exemple de dispositif polariseur du type comportant une structure formant guide optique intégré dans un substrat va tout d'abord être décrit en relation avec la figure 1. Ce dispositif est analogue à celui décrit dans l'article précité de UEHARA paru dans la revue "Applied Optics". Il comprend tout d'abord un substrat plan 1 Dans l'exemple décrit dans l'article précité, il s'agit d'un substrat en verre mais il peut s'agir également d'un cristal tel que le niobate de lithium. En surface de ce substrat, une structure guidante 2 est créée, par exemple par un procédé de diffusion thermique d'atomes métalliques, de façon à former une bande de quelques micromètres d'épaisseur et de largeur, s'étendant, dans l'exemple illustré, suivant une direction parallèle à un axe, 10 par convention l'axe Z, d'un trièdre orthonormé XYZ. Pour que cette région forme un guide d'onde, il est nécessaire que cette région possède un indice de réfraction plus élevé que celui du substrat, naturellement pour la longueur d'onde de la lumière a guider, soit supérieur à 1,5 environ s'il s'agit de verre. Pour que le dispositif fonctionne en élément polarisant, une lame 3 de cristal biréfringent est disposée au dessus du guide d'onde 2 Les axes optiques ordinaire et extraordinaire du cristal peuvvent être parallèles, comme dans l'exemple illustré, respectivement aux axes Y et X Avec un substrat en verre, la lame de cristal biréfringent peut être constituée à base 20 de calcite, d'indice ordinaire 1,485 et extraordinaire 1,658, pour une longueur d'onde de l'ordre de 600 nm. Dans ces conditions une composante donde lumineuse polarisée suivant une direction parallèle à l'axe X reste guidée et se propage suivant une direction parallèle à l'axe Z alors qu'une composante d'onde lumineuse 25 polarisée suivant une direction parallèle à l'axe Y n'est plus guidée et se disperse par diffraction au sein du cristal biréfringent. Dans la réalité, le processus de diffusion introduit des perturbations dans l'état de surface qui se traduisent par une dégradation de la planéité. Pour obtenir un bon couplage optique entre la plaquette 3 de cristal 30 biréfringent et la surface du substrat et du guide 2 affleurant à cette surface, il est nécessaire soit d'exécuter un polissage de tolérance typiquement inférieur à X /50, X étant la longueur d'onde; soit d'interposer un liquide d'indice 4, comme illustré sur la figure 1, dont l'ndice est adapté à celui du cristal. La qualité du couplage optique est critique et conditionne les performances obtenues par ces types de polariseurs. L'alignement des axes optiques du cristal biréfringent suivant des directions préétablies doit également être réalisé avec précision. Enfin, il y a nécessité de rapporter un élément extérieur à la structure intégrée de base "substrat-guide d'onde". Pour pallier les inconvénients de l'art connu et notamment ceux présentés par le dispositif qui vient d'être rappelé et décrit brièvement, l'invention propose une structure de polariseur entièrement intégrée dans le 10 substrat. Selon la caractéristique principale de l'invention, on prévoit au sein du matériau formant le substrat au moins une région dopée de façon appropriée, de la manière qui sera décrite ultérieurement, pour former une région d'interaction. Cette région intéragit avec l'onde guidée. Celle-ci, comme il a été rappelé, peut être divisée en deux composantes de directions de polarisations orthogonales entre-elles Dans ce qui suit, ces deux composantes seront appelées Pl et P 2. Selon un autre aspect de l'invention, le dopant est choisi de manière à 20 ce que si nie représente l'indice de réfraction effectif de l'onde guidée pour la composante P 1; nll, Pindice de réfraction présenté par la région d'interaction pour cet état de polarisation; N 2 e, l'indice de réfraction effectif de ronde guidée pour la composante P 2 et N 2 i, l'indice de réfraction présenté par la région d'intéraction pour cet état de polarisation, 25 les deux inégalités suivantes doivent être vérifiées simultanément: nle> nl ( 1) n 2 e Dans ces conditions la composante P 2 va cesser d'être guidée. Le taux effectif d'atténuation de cette composante dépend de nom30 breux paramètres et en particulier de la géométrie de la région cd'intéraction, de la distance sur laquelle le couplage optique entre le guide d'onde et la région d'intéraction a une valeur significative, des valeurs respectives des indices figurant dans les inégalités ( 1) et ( 2). 2548393; On peut notamment montrer, en se basant sur les lois qui régissent l'optique, que les performances obtenues, c'est-à-dire la valeur du taux d'atténuation de la composante P 2, seront d'autant meilleures que, dans l'inégalité ( 2), N 21 est plus proche de N 2 e tout en lui restant supérieur On peut donc réécrire cette inégalité pour exprimer ce fait sous la forme: n 2 e N 21 ( 2 bis) Les figures 2 et 3 illustrent une structure de polariseur conforme à l'invention suivant une première variante, la figure 2 étant une vue de haut et la figure 3 une vue en coupe. On retrouve des éléments communs à la structure de l'art connu de la figure 1, à savoir un substrat plan 1 et une région 2 formant guide d'onde lumineux s'étendant suivant un axe A parallèle par convention à l'un des axes, Z, d'un trièdre orthonormé XYZ. Par contre, il a été réalisé au sein du substrat une région d'interaction 15 5,région ayant, dans la variante représentée aux figures 1 et 2, la configuration générale d'un parallélépipède rectangle disposé symétriquement par rapport à l'axe A et par la région 2 formant guide d'onde. L'intéraction entre l'onde guidée et cette région 2 est effective essentiellement sur une distance, Il, représentant dans l'exemple illustré la 20 longueur du parallélépipède suivant l'axe A. La configuration de la région 5 d'interaction représentée aux figures 2 et 3 n'est pas la seule convenant dans le cadre de l'invention. La figure 4 représente une autre configuration possible de région d'interaction. La région d'interaction est formé selon cette variante de deux régions distinctes 50 et 51 disposées de part et d'autre de l'axe A, de façon symétrique dans l'exemple illustré. La réalisation d'une telle configuration sera décrite ultérieurement de façon plus détaillée de façon à illustrer plus complètement le procédé de 30 fabrication de dispositifs selon l'invention. Cette configuration laisse la possibilité de réaliser les régions crd'intéraction pendant une étape ultérieure à la réalisation de la structure guidée. Les deux régions d'interaction 50 et 51, comme représenté sur la figure 4 ne sont pas obligatoirement contigies à la région 2 formant guide 254865953; d'onde, mais doivent être suffisamment proches pour que lintéraction soit significative En effet, comme il est connu, dans la région du substrat 1 séparant le guide d'onde 2 et les régions d'intéraction 50 et 51, seule une onde évanescente peut se propager, onde dont l'amplitude décroit exponen5 tiellement Le taux d'atténuation de la composante P 2 dépend, donc fortement de la distance séparant les régions 50 et 51 du guide central 2. Bien que les configurations qui viennent d'être décrites en relation avec les figures 2 à 4, présentent une symétrie par rapport à l'axe A, cette condition n'est nullement impérative. La figure 5 illustre un exemple de configuration asymétrique. Une seule région d'interaction 5 est prévue et disposée latéralement au guide crd'onde 2. La région d'intéraction ne doit pas non plus obligatoirement affleurer à la surface du substrat Bien que plus difficile à réaliser d'un point de vue 15 technologique, la région crd'intéraction peut être du type enterré. La figure 6 illustre une telle disposition La région d'interaction 5, contig Ue au guide d'onde 2, est disposée au dessous de la région formant guide d'onde 2. Enfin la zone d'intéraction peut comporter plusieurs régions réparties, 20 régulièrement ou non, le long du guide d'onde 2 (parallèlement à laxe Z) pour former une structure distribuée, voir périodique. La figure 7 illustre une telle configuration Il est prévu, dans cet exemple, sept régions, 500 à 506, disposées asymétriquement par rapport au guide d'onde 2, suivant laxe Z. Comme il a été rappelé, les structures qui viennent cd'être décrites ne constituent pas des exemples limitatifs Toutes variations à la portée de l P Homme de Métier, en particulier des combinaisons entre les configurations décrites, restent dans le cadre de l'invention. Le procédé de fabrication de telles structures de dispositif polariseur 30 va maintenant être décrit de façon détaillée sur la base de rexemple de structure particulière représentée à la figure 4. Le procédé comprend les étapes communes à l Part connu de réalisation du substrat et de la structure guidée au sein de ce substrat. 48 93 Le substrat peut être réalisé, à titre d'exemple, à base d'une plaquette de cristal de niobate de lithium, taillé de manière à ce que l'axe optique du cristal soit orthogonal aux faces principales du substrat 1, c'est-à-dire orthogonal au plan XZ selon les conventions adoptées. Pendant la seconde étape, une bande de quelques micromètres carrés de section est créée au sein du cristal du substrat 1 et affleure en surface. Pour ce faire, par exemple par une méthode de diffusion thermique, un matériau élevant l'indice de réfraction du matériau du substrat est introduit dans celui-ci Pour le niobate de lithium, on peut choisir le titane La 10 diffusion s'effectue à une température typique de 1050 C La largeur de la bande de Titane avant diffusion est de l'ordre de 2 micromètres et son o épaisseur de l'ordre de 500 A Cette structure est guidante quelque soit l'état de polarisation d'une onde lumineuse injectée par la tranche de la bande ainsi créée. La lumière se propage donc suivant laxe A sans atténuation importante et ressort par la tranche opposée. La longueur du guide d'onde 2 et donc de la plaquette-substrat 1 est typiquement de l'ordre de quelques centimètres. On dispose ensuite à la surface du substrat, pendant une première 20 étape spécifique à l'invention, un masque ne laissant à découvert que des zones de surfaces totales égale à quelque mm 2 Ce masque peut être constitué d'une mince pellicule d'or. Ces zones découvertes sont destinées à délimiter des régions qui deviendront les régions d'interactions Si l'on se reporte à nouveau à la 25 figure 4, les zones découvertes se présentent sous la forme de deux fenêtres disposées de part et d'autre de la bande formant guide d'onde 2. Pendant une seconde étape spécifique à l'invention, on dope le matériau du substrat dans les zones découvertes par le masque de manière à créer les régions d'interaction par la modification des indices de réfraction 30 ordinaire et extraordinaire de ces régions. Pour ce faire, on peut échanger des ions du matériau constituant le substrat, les ions lithium dans l'exemple décrit, par des ions hydrogène de manière à modifier les indices de réfraction ordinaire et extraordinaire des régions découvertes. 2548393, Ces régions sont espacées du guide d'onde 2 de quelques micromètres, et ont pour dimensions typiques: longueur (suivant l'axe Z) égale à 8 mm et largeur (suivant l'axe X) égale à 200 micromètres L'épaisseur est du même ordre de grandeur que celle du guide d'onde 2. Une méthode pouvant être mise en oeuvre consiste en l'immersion du substrat dans un bain d'acide, par exemple de l'acide benzoique fondu Le cristal perd alors des ions de lithium auxquels se substituent des ions d'hydrogène par un processus d'échange ionique. Outre l'or, la plupart des métaux résistent à cet acide et peuvent 10 servir de masque. D'autres acides sont utilisables et, selon leurs forces et le temps de réaction, on peut ajuster le dopage des régions découvertes par le masque. En effet, la substitution d'ions, au moins dans les couches superficielles du cristal formant le substrat, peut être totale ou au contraire partielle. Par ce biais, les indices de réfraction peuvent être ajustés et ceci constitue un avantage supplémentaire offert par l'invention. Si on se reporte aux inégalités ( 2) et ( 2 bis), on peut alors obtenir un indice N 2 I proche de Pindice N 2 e. Dans le cas d'un dispositif de Part connu tel que celui décrit en 20 relation avec la figure 1, le choix du cristal détermine une fois pour toute cet indice, pour une orientation du cristal biréfringent déterminée Il n'est possible de faire varier cet indice qu'en orientant différemment la plaquette de cristal et donc ses axes optiques ordinaires et extraordinaires par rapport à la direction de propagation de Ponde guidée (axe Z), ce qui implique des 25 réglages mécaniques délicats à mettre en oeuvre. Une dernière étape consiste à détruire le masque, si nécessaire, masque qui peut être éliminé de façon usuelle par des moyens chimiques. L'ordre des étapes peut naturellement être changé si l'on désire réaliser une structure du type de celle illustrée par les figures 2 et 3 Il faut 30 réaliser dans ce cas la région d'interaction 5 avant le guide d'onde d'onde 2. A la place d'ions hydrogène, d'autres ions peuvent être utilisés pour modifier les indices de réfractions du substrat, par exemple des ions vanadium, toujours dans l'exemple illustré pour lequel le substrat est en niobate de lithium. D'autres méthodes telles que la diffusion thermique, ou l'implantation ionique peuvent être retenues pour doper le ou les régions d'interaction. Dans le cas des ions vanadium, on utilise de préférence la diffusion thermique. A titre d'exemple, pour fixer les idées, un prototype a été réalisé avec un substrat en niobate de lithium, Li Nb 03; un guide intégré obtenu par dopage avec du titane, Li Nb 03: Ti; et des régions d'intéraction dans lequel une substitution partielle d'ions lithium par des ions hydrogène a été effectuée Dans le cas général, le matériau résultant a une composition de 10 formule Lil x Hx Nb O 3, avec x La répartition des indices de réfraction obtenus est conforme au tableau I disposé en fin de description. Avec cette répartition d'indices, une atténuation d'une composante d'onde lumineuse de direction de polarisation parallèle à l'axe Y de plus de 15 30 db a été constatée. Outre Pl'application directe de l'invention comme dispositif polariseur individuel, c'est-à-dire comme composant optique discret, l'invention peut être mise en oeuvre dans de nombreux autres dispositifs tel que modulateur d'amplitude intégré ou élément isolateur optique, sans modification 20 importante. En effet, les dispositions propres à l'invention, permettent la création d'un ou plusieurs éléments polariseurs intégrés dans des dispositifs existant sans en changer la structure, à la seule condition qu'il existe un guide d'onde intégré dans un substrat Ces éléments polariseurs se trouvent alors combi25 nés aux autres éléments optiques et cette disposition avantageuse permet une intégration poussée. TABLEAU I indice de substrat I guide d'onde 2 régions réfraction d'intéraction et 51 polarisation ordinaire 2,270 2,275 2,170 polarisation extraordinaire 2, 200 2,275 2,320 254 e 393 REVENDICATIONS 1 Dispositif polariseur à structure optique intégrée du type opérant par séparation spatiale de polarisations, comprenant un substrat plan ( 1) réalisé en matériau présentant un premier indice de réfraction pour une onde lumineuse polarisée suivant une première direction et un second indice 5 de réfraction pour une onde lumineuse polarisée suivant une seconde direction orthogonale à la première; le substrat comportant une première région formant guide d'onde ( 2) réalisée par un dopage du matériau du substrat modifiant lesdits indices de réfraction de manière à obtenir la propagation suivant un mode guidé d'une onde lumineuse injectée dans cette 10 région ( 2), caractérisé en ce qu'il comprend en outre au moins une deuxième région supplémentaire ( 5) intéragissant sur l'onde guidée par la première région ( 2), présentant des indices de réfraction pour les ondes polarisées suivant lesdites première et seconde directions satisfaisant simultanément les deux relations suivantes: nle> nl I et N 2 e seconde desdites directions. 2 Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en ce que, la première région formant guide d'onde ( 2) se présentant sous la forme d'un ruban allongé affleurant sur une des faces principales du substrat plan ( 1) et 25 possédant un axe de symétrie (A) parallèle à ce plan, au sein duquel se propage en mode guidé une onde lumineuse suivant une direction parallèle à l'axe de symétrie (A), chaque deuxième région ( 5) à la forme d'un parallélépipède rectangle dont l'un des cotés est parallèle à l'axe de symétrie (A). 3 Dispositif suivant la revendication 2, caractérisé en ce qu'il 30 comporte une deuxième région ( 5) unique jouxtant la première région ( 2), disposée symétriquement par rapport audit axe de symétrie (A), d'épaisseur plus importante que l'épaisseur de la première région et débordant celle-ci de part et d'autre de l'axe de symétrie (Aà) de manière à envelopper la première région sur une distance déterminée ( 11). 4 Dispositif suivant la revendication 2, caractérisé en ce qu'il 5 comporte une région supplémentaire unique ( 5) disposée asymétriquement par rapport audit axe de symétrie (A). Dispositif suivant la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comporte une région supplémentaire unique enterrée ( 5) au sein du substrat ( 1). 6 Dispositif suivant la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comporte au moins deux régions supplémentaires distinctes ( 50,51) disposées de part et d'autre dudit axe de symétrie ( A). 7 Dispositif suivant l'une quelconque des revendications 2 à 6, caractérisé en ce qu'il comprend plusieurs régions supplémentaires ( 500506) 15 réparties suivant une direction parallèle audit axe de symétrie (A). 8 Dispositif suivant lune quelconque des revendications I à 7, caractérisé en ce que le substrat ( 1) est en niobate de lithium et la première région ( 2) est dopée par insertion d'ions titane; et en ce que dans chaque région supplémentaire ( 5) une partie des ions lithium du niobate de lithium 20 ont été remplacés par des ions hydrogénes de façon à modifier lesdits indices de réfraction. 9 Dispositif suivant rune quelconque des revendications I à 7, caractérisé en ce que le substrat ( 1) est en niobate de lithium et la première région ( 2) est dopée par insertion d'ions titane; et en ce que chaque région 25 supplémentaire ( 5) est dopée par diffusion d'ions de vanadium dans le niobate de lithium de façon à modifier lesdits indices de réfraction. Procédé de fabrication diun dispositif polariseur suivant l'une quelconque des revendications 1 à 9, comprenant une étape de réalisation cd'un substrat plan ( 1) en niobate de lithium, une étape de réalisation au sein 30 de ce substrat d'une première région ( 2) formant guide d'onde optique intégré par insertion d'ions titane dans le niobate de lithium, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une étape de réalisation fd'au moins une deuxième région ( 5) par la modification contrôlée desdits indices de réfraction présentés par cette région de manière à autoriser, par interaction optique sur la première région ( 2), la propagation en mode guidé dans celle-ci d'une onde lumineuse polarisée suivant une première direction et à occasionner l'extinction d'une onde lumineuse polarisée suivant une direction orthogonale à la première direction. 11 Procédé suivant la revendication 10, caractérisé en ce que l'étape de création d'au moins une région supplémentaire ( 5) au sein du substrat ( 1) comprend une opération de disposition d'un masque à la surface du substrat plan ( 1) ne laissant subsister qu'au moins une fenêtre délimitant une desdites régions supplémentaires ( 5) et l'exposition du substrat ( 1) au travers de 10 chaque fenêtre à un bain acide de manière à obtenir une substitution controlée de tout ou partie des ions lithium de niobate de lithium par des ions hydrogènes. 12 Procédé selon larevendication 11 caractérisé en ce que l'acide est de lacide benzoïque fondu. 13 Procédé selon la revendication 1 l caractérisé en ce que le masque est constitué par une pellicule d'or déposée sur le substrat plan ( 1). 14 Procédé selon la revendication 10 caractérisé en ce que l'étape de création d'au moins une région supplémentaire au sein du substrat comprend une opération de diffusion thermique localisée de vanadium pour doper de 20 façon contrôlée le niobate de lithium.