Brevet FR2553532A1 — publié le 19850419

La présente invention concerne un dispositif capacitif d'alignement de masque,notamment pour le traitement des pastilles de circuits électroniques. Pendant le traitement d'une pastille de compo5 sants électroniques, une plaquette semi-conductrice est exposée à une source de rayonnement pour développer une couche photosensible sur le dessus de la plaquette Un masque est disposé entre la source et la plaquette pour intercepter sélectivement le rayonnement et par conséquent, 10 pour développer une configuration voulue d'une couche photosensible qui contrôle ensuite l'attaque de la pastille. A différentes phases de traitement, des masques différents peuvent être utilisés pour développer différentes configurations voulues sur la plaquette Il est essentiel que les 15 différents masques soient alignés correctement avec la plaquette de manière à pouvoir maintenir des tolérances serrées, permettant par exemple la fabrication de conducteurs d'une largeur inférieure au micron. Des dispositifs optiques d'alignement ont été 20 utilisés dans la technique antérieure pour aligner manuellement les plaquettes et les masques Mais les dispositifs optiques d'alignement antérieurs sont lents et sujets à des erreurs de la part de l'opérateur en raison de la nécessité d'aligner visuellement des marquages de référence 25 se situant dans des plans différents D'autres techniques utilisant des lentilles de Fresnel ou des réseaux à diffraction ont été proposées mais se sont avérées trop sensibles aux variations de marquage de référence et n'ont pas permis un contrôle dynamique pendant l'exposition d'une 30 plaquette. Dans un mode de réalisation de l'invention qui sera décrit, l'alignement est effectué en détectant une capacité différentielle entre des nervures situées sur la plaquette et des groupes de doigts imbriqués situés sur 35 le masque Un signal électrique appliqué à la plaquette est couplé par capacité entre les nervures de la plaquette et les doigts du masque se trouvant au-dessus La plaquette et le masque sont alignés quand les signaux couplés observés pour chaque groupe de doigts imbriqués ont une même amplitude. Etant donné que le couplage des signaux se fait entre des doigts et des nervures nombreuses, une moyenne est établie des erreurs dues aux variations de fabrication des doigts ou des nervures individuelles si les distributions répétitives des doigts et des nervures (constante, ondulatoire 10 ou aléatoire) sont maintenues pratiquement identiques. En outre, un alignement angulaire ou perpendiculaire peut être obtenu en utilisant des groupes multiples de doigts et de nervures et l'alignement peut être automatisé en utilisant les signaux mesurés pour commander un équipement 15 de positionnement. Dans un autre mode de réalisation de l'invention, des écrans conducteurs sont placés entre la plaquette et les lignes latérales d'interconnexion des doigts Les écrans assurent qu'un couplage ne peut se faire qu'entre 20 les nervures et les doigts et non entre les nervures et les lignes latérales, de sorte qu'un mouvement latéral de la plaquette n'entraine aucune variation de capacité différentielle Cela permet d'effectuer des alignements indépendants dans une seule dimension. Dans un autre mode de réalisation de l'invention, deux groupes de doigts sont attaqués par un seul signal d'attaque Un déphaseur décale le signal d'attaque appliqué à un groupe de doigts de manière que le signal sur ce groupe de doigts soit déphasé de 180 par rapport au signal de l'autre groupe de doigts Un voltmètre détecte un signal couplé sur la plaquette et un zéro est observé quand l'alignement est obtenu. Selon un autre mode encore de réalisation de l'invention, l'alignement est effectué avec la plaquette à la masse Un seul signal d'attaque est appliqué aux deux groupes de doigts par un transformateur et un pont à diodes et il est couplé à la masse par la plaquette Un circuit de recharge est prévu par des écrans conducteurs disposés au-dessus des groupes de doigts L'alignement est obtenu lorsque le courant continu observé s'annule. Selon un autre mode encore de réalisation de l'invention, l'alignement est effectué sur un masque et une plaquette qui sont séparés par une distance substantielle comme cela est nécessaire dans certaines applications de lithographie optique ou de métrologie Dans ces applications, la distance entre le masque et la plaquette est trop grande pour obtenir un couplage capacitif significatif entre le masque et la plaquette Deux groupes de références, l'un pour le masque et l'autre pour la plaquette sont fixés 15 sur un cadre d'armature et sont initialement alignés l'un par rapport à l'autre Le masque est aligné avec une référence et la plaquette est alignée avec l'autre référence en mesurant les capacités différentielles produites. D'autres caractéristiques et avantages de 20 l'invention apparaîtront au cours de la description qui va suivre. Aux dessins annexés, donnés uniquement à titre d'exemples nullement limitatifs: La figure 1 est une vue de côté d'une plaquette 25 et d'un masque qui sont alignés selon un mode de réalisation de l'invention, La figure 2 est une vue de détail du réseau de plaquette utilisé sur la plaquette de la figure 1, Les figures 3 A-3 B sont des vues détaillées des doigts imbriqués situés sur le masque de la figure 1, Les figures 4 A, 4 B sont des vues de côté éclatées du masque et de la plaquette de la figure 1, La figure 5 est une vue en perspective d'un mode de réalisation de l'invention, La figure 6 est un schéma du détecteur de la figure 5, La figure 7 est une vue en perspective d'un autre mode de réalisation de l'invention, dans lequel le masque est attaqué avec un signal, La figure 8 est un schéma d'un autre mode de réalisation de l'invention dans lequel la plaquette est à la masse, La figure 9 représente un dispositif d'alignement angulaire qui utilise quatre dispositifs d'alignement 10 selon le mode de réalisation de la figure 5, et La figure 10 est une vue de côté d'un autre mode de réalisation de l'invention dans lequel le masque et la plaquette sont séparés par une distance importante. La figure 1 représente un masque 1 aligné avec 15 une plaquette 3 (montée sur un mandrin 5) de manière que la plaquette 3 soit irradiée par une source 7 et qu'une configuration voulue soit développée sur un revêtement photosensible sur la plaquette 3 La source 7 peut produire par exemple de la lumière visible ou des rayons X L'ali20 gnement est effectué en mesurant une capacité différentielle entre une région de doigts 9 et un réseau de plaquette 11. La figure 2 est une vue en perspective d'une partie d'un réseau 11 sur une plaquette 3 Le réseau 11 comporte une série de nervures 13 et de rainures 15 qui 25 sont formées par attaque de la plaquette 3 Les nervures 13 ont une distribution répétitive prédéterminée qui peut être constante (comme le montre la figure 2) ou aléatoire ou ondulatoire (comme le montre la figure 4 B) La plaquette 3 est légèrement dopée de manière à avoir une 30 résistivité de l'ordre de 1 ohm par centimètre et les nervures 13 et les rainures 15 peuvent être revêtues d'une couche diélectrique ou conductrice selon les besoins d'un autre traitement de la plaquette 3, sans modifier le fonctionnement du présent mode de réalisation de l'invention. 35 Si la plaquette 3 consiste en du silicium d'orientation s ( 100) la gravure du réseau 11 peut se faire avec KOH Si d'autres orientations de silicium ou d'autres matières sont utilisées pour la plaquette 3, la fabrication des nervures 13 et des rainures 15 peut se faire en utilisant un certain nombre de produits d'attaque connus, qui dépendent de l'orientation Si une plaquette 3 de Ga As est utilisée, les nervures 13 peuvent consister en des traces conductrices qui sont déposées sur la plaquette 3 Ga As isolante Les rainures 15 consistent alors en des intervalles Ga As isolants et d'air entre des pistes conductrices individuelles. La figure 3 A est une vue détaillée d'une fourche 21 (comprenant un conducteur latéral 31,des doigts 23) et d'une fourche 25 (comprenant une ligne latérale 35 et des doigts 27)d'une région de doigts 9 Les fourches 21 et 25 sont fabriquées comme des lignes conductrices qui peuvent être imprimées ou déposées sur le masque 1. Les lignes latérales 31 et 35 des fourches 21 et 25 peuvent s'étendre jusqu'aux bords du masque 1 pour permettre les connexions extérieures Les doigts 23 et 27 sont imbriqués et les distributions répétitives des doigts 23, des doigts 27 et des nervures 13 sont identiques. L'effet des erreurs spécifiques de positionnement des doigts individuels est réduit au minimum par l'effet de 25 moyenne sur le nombre total des doigts. La figure 3 B est une vue détaillée de la région de doigts 9, comprenant des écrans 37, 39 à la masse. En général, le masque 1 consiste en un substrat de nitrure de bore d'une épaisseur de 3 microns avec un revêtement de 30 polyimide Les fourches 21, 25 peuvent consister en une couche d'or déposée sur le polyimide Dans le but d'assurer que le couplage par capacité ne se produit qu'entre les nervures 13 et les doigts 23, 27 (et non entre les nervures 13 et les lignes latérales 31, 35), des écrans à la masse 35 37, 39 recouvrent toutes les lignes latérales 31, 35. 6 ç 2553532 Ainsi, des écrans 37, 39 à la masse sont intercalés entre les lignes latérales 31, 35 et la plaquette 3 pour éliminer tout couplage capacitif entre les lignes latérales 31 et et des parties de la plaquette 3 Les écrans 37, 39 peuvent être fabriqués en déposant une couche photosensible isolante sur les fourches 21, 25 et en déposant ensuite les écrans 37, 39 sous forme d'une couche conductrice d'une épaisseur d'un micron (par exemple en aluminium) qui est ensuite mise à la masse. La figure 4 A est une vue de côté éclatée d'une partie du masque 1 et de la plaquette 3 Les distributions répétitives des doigts 23, 27 et des nervures 13 sont constantes et pratiquement identiques Le masque 1 et la plaquette 3 sont suffisamment proches l'un de l'autre, comme cela est courant en photo-lithographie aux rayons X par exemple, pour que se produise un couplage capacitif significatif entre les nervures 13 et les doigts 23, 27. Un bloc 29 peut être utilisé pour couvrir la région de doigts 9, sur le masque 3 de manière d'éviter un traitement 20 accidentel du réseau 11 sur la plaquette 3 pendant l'irradiation de cette dernière Le bloc 29 peut consister en une matière qui absorbe le rayonnement produit par la source 7. La figure 4 B est une vue de côté éclatée et 25 une partie du masque 1 et de la plaquette sur lesquelles les distributions répétitives des nervures 13 et des doigts 23, 27 sont ondulées en fréquences spatiales Si les distributions répétitives des doigts 23, 27 et des nervures 13 sont identiques et apériodiques, il existe 30 une seule position dans laquelle les nervures 13 sont centrées entre des paires de doigts 23, 27 Cela permet la détermination d'un alignement unique Il faut noter qu'un alignement unique peut aussi être obtenu en utilisant des distributions répétitivesidentiques qui sont aléatoires. 35 La figure 5 est Mne vue en perspective d'un mode de réalisation de l'invention comprenant une région de doigts 9 et un réseau 11 représentés sur les figures 1 à 4 Dans le but de simplifier la représentation, le masque 1 lui-même et le reste de la plaquette 3 à l'extérieur du réseau 11 ne sont pas représentés sur la figure 5 Une sortie de l'oscillateur 41 est connectée à la plaquette 3 et la sortie opposée est à la masse. L'oscillateur 41 applique un signal sinusoidal ou autre au réseau 11 Les lignes latérales 31, 35 des fourches 21, 25, sont connectées à un détecteur 43 qui compare la capacité couplée dans l'air entre les nervures 13 et les doigts 23 et la capacité couplée dans l'air entre les nervures 13 et les doigts 27 Le détecteur 43 peut par exemple mesurer l'amplitude relative des signaux ou leur 15 phase relative. La figure 6 est un schéma du détecteur 43 de la figure 5, destiné à mesurer l'amplitude relative des signaux Les condensateurs 53 et 57 représentent respectivement le couplage par capacité entre les nervures 13 et 20 les doigts 23 et 27 Un pont 51 constitué par des diodes à barrière de Schottky adaptées redresse les signaux couplés par les condensateurs 53, 57 pour les appliquer à l'amplificateur 55 qui comporte une résistance de réaction (R) 59 Le signal de sortie du détecteur 43 est proportionnel 25 à la différence de capacité entre les condensateurs 53 et 57 et la sortie (Vo) est nulle quand les deux capacités sont égales. Un dispositif d'alignement selon le mode de réalisation de l'invention représenté sur les figures 1 30 à 6 a été utilisé conjointement avec un appareil de lithographie aux rayons X pour permettre de fabriquer des conducteurs d'une largeur de 1 micron sur une plaquette de silicium Du silicium d'orientation ( 100) a été utilisé et KOH a servi de produit d'attaque dépendant de l'orien35 tation pour former les nervures 13 et les rainures 15 sur la plaquette 3 L'intervalle entre le masque 1 et la plaquette 3 était 30 microns Les dimensions du réseau 11 sur la plaquette 3 était 3 x 3 mm bien que les dimensions et la position du réseau 11 puissent être modifiées comme l'impose la géométrie particulière de la plaquette fabriquée La rainure 15 avait une profondeur d'environ 80 microns, les sommets des nervures 13 avaient une largeur de 40 microns et la distribution répétitive avait une période constante de 150 microns Les doigts 23, 27 avaient une 10 largeur de 60 microns et la période constante de la distribution répétitive donnait un espace de 15 microns entre des doigts voisins Le signal sinusoidal de sortie de l'oscillateur 41 avait une tension crête à crête de V à 500 k Hz. L'utilisation du dispositif d'alignement de lithographie aux rayons X décrit ci-dessus a montré qu'un écart d'alignement de 0,07 micron entre le masque 1 et la plaquette 3 produisait une capacité différentielle mesurable d'environ 0,28 femtofarad La relation entre l'écart d'alignement et la capacité différentielle était linéaire car la capacité est inversement proportionnelle à la distance Selon la figure 5, la sortie du détecteur 43 était nulle quand chacune des nervures 13 était centrée entre un doigt 23 et un doigt 27 Lorsque le centrage 25 était obtenu, les distances entre chacune des nervures 13 et les doigts 23, 27 les plus proches étaient égales et par conséquent, les capacités étaient égales Etant donné que chacune des fourches 21, 25 comportait des doigts multiples, la moyenne était faite des erreurs individuelles Lorsqu'il se produisait un mouvement relatif du masque 1 et-de la plaquette 3, comme le montre la flèche sur la figure 5, une capacité augmentait tandis que l'autre diminuait et la sortie du détecteur 43 s'écartait de zéro. Il faut noter que les écrans 37, 39 représentés sur la figure 3 B assuraient qu'un mouvement relatif dans une direction perpendiculaire à la flèche de la figure 5 ne produisait aucun changement de capacité différentielle ou aucune déviation de la sortie du détecteur 43 Il s'est avéré que pour une sensibilité d'alignement maximale, la période de la distribution répétitive devait être environ 5 à 6 fois la dimension de l'intervalle. La figure 7 représente un dispositif d'alignement selon un autre mode de réalisation de l'invention, avec lequel l'alignement est effectué sans appliquer de 10 tension élevée à la plaquette 3 Un oscillateur 101 produit un signal sinusoidal pour une ligne latérale 31 et pour un déphaseur 103 non atténuateur Le déphaseur 103 produit un signal sinusoidal pour la ligne latérale qui a la même amplitude et la même fréquence que le signal appliqué à la ligne latérale 31 mais avec un déphasage de 180 Pour que les amplitudes des deux signaux soient identiques et avec des phases opposées, un transformateur de Blumlein peut être utilisé au lieu du déphaseur 103. Comme cela est bien connu des spécialistes, le transfor20 mateur de Blumlein produit deux signaux de sortie d'amplitudes identiques et de phases opposées Les deux sorties peuvent être reliées respectivement aux lignes latérales 31 et 35 Un voltmètre 105 détecte la somme des deux signaux qui sont appliques à la plaquette 3 Quand l'ali25 gnement est obtenu, le signal déphasé et le signal non déphasé sont appliqués également à la plaquette 3, ils s'annulent et le voltmètre 105 détecte un zéro Un multiplexage temporel ou de fréquence peut être utilisé si plusieurs dispositifs d'alignement sont utilisés sur 30 une même plaquette 3. La figure 8 représente un dispositif d'alignement selon un autre mode encore de réalisation de l'invention, avec lequel l'alignement peut se faire avec la plaquette 3 à la-masse Un transformateur 113 comportant 35 des enroulements adaptés produit un signal sinusoidal à partir d'un circuit d'attaque 111 pour des doigts 23, 27 et des écrans 37, 39 (représentés sur la figure 3 B) avec la même amplitude Le dispositif d'alignement représenté sur la figure 8 peut être considéré comme comportant un condensateur à air Cl entre les nervures 13 et les doigts 27, et un autre condensateur à air C 2 entre les nervures 13 et les doigts 23 Une charge est appliquée au condensateur Cl par le condensateur d'emmagasinage 131 pendant les parties positives du signal sinusoidal 10 et elle est ramenée au condensateur d'emmagasinage 131 par le condensateur C 2 pendant les parties négatives. Toute différence de capacité entre les condensateurs Cl et C 2 (produite par un écart d'alignement) entraine une tension continue globale aux bornes du condensateur 15 d'emmagasinage 131 qui est détectéepar un amplificateur 123 et un voltmètre 125 Un zéro apparaît quand l'alignement est obtenu. La figure 9 représente un dispositif d'alicgnement angulaire selon un autre mode de réalisation de l'invention. 20 Etant donné que le dispositif d'alignement représenté sur la figure 5 n'a aucune sensibilité à l'alignement dans une direction perpendiculaire à la flèche de la figure 5, il est nécessaire d'utiliser deux groupes de nervures et de doigts, mutuellement perpendiculaires, pour obtenir un 25 alignement simultané à la fois dans la direction "x" et dans la direction "y" En outre, si 4 groupes de nervures et de doigts 81, 83, 85, 87 sont utilisés comme le montre la figure 9, une erreur angulaire de 10 à 20 microradians peut être détectée et corrigée Dans le but de simplifier 30 la représentation, seulement 12 nervures 89 et 24 doigts 91, 93, sont représentés, mais en réalité, leur nombre dépend de l'espace disponible et les nervures 89 et les doigts 91, 93 peuvent être similaires aux nervures 13 et aux doigts 23, 27 représentés sur les figures 2 à 5. 35 Des écrans comme ceux décrits ci-dessus en regard de la figure 3 B peuvent être utilisés pour éviter un écart d'alignement provoqué par un couplage capacitif indésirable. La figure 10 montre un autre mode de réalisation de l'invention dans lequel un masque 1 et une plaquette 3 sont espacés d'une distance importante comme cela est nécessaire dans différents procédés de lithographie optique Par conséquent, la capacité entre le masque 1 et la plaquette 3 ne peut pas être mesurée facilement. A cet effet, une armature rigide 71 comporte deux parties en saillie supérieures de référence 61, 63 et deux parties en saillie inférieures de référence 65, 67 qui sont alignée initialement entre elles pour donner un repère Les parties en saillie 61, 63 comportent des nervures conduc15 trices 73 qui remplissent les mêmes fonctions que les nervures 13 de la figure 2 Ainsi, le masque 1 peut être aligné facilement avec les parties en saillie 61, 63 de la manière décrite ci-dessus en regard des figures 1 à 6 en attaquant les nervures 73 avec un oscillateur 41 et en connectant un détecteur 43 à la région de doigts 9. D'une manière similaire les parties en saillie 65, 67 comportent des doigts 75 et le masque 3 peut être aligné avec ces parties en saillie 65, 67 en attaquant la plaquette 3 avec un oscillateur 41 et en connectant le détecteur 43 aux doigts 75 Ainsi, l'alignement peut être obtenu sans qu'il soit nécessaire que le masque 1 soit en toute proximité de la plaquette 3. REVENDICATIONS 1 Dispositif d'alignement d'un élément primaire et d'un élément secondaire à travers un intervalle, dispositif caractérisé en ce qu'il comporte au moins un réseau ( 13,15) situé sur l'élément primaire ( 3),au moins une première et une seconde fourches ( 21, 25) situées sur l'élément secondaire(l) et couplées par capacité avec le réseau, un oscillateur ( 41) connecté au réseau pour lui appliquer un signal électrique et un détecteur ( 43) connecté à la première et à la seconde fourches, ce détecteur mesurant 10 une première composante du signal sur la première fourche et mesurant une seconde composante du signal sur la seconde fourche. 2 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le première fourche comporte plusieurs doigts conducteurs parallèles ( 23) disposes dans une première distribution répétitive, la seconde fourche consistant en plusieurs doigts conducteurs parallèles ( 27) disposés dans une seconde distribution répétitive, les doigts de la seconde fourche étant imbriqués 20 avec les doigts de la première fourche et le réseau comprenant des nervures parallèles ( 13) disposées dans une configuration répétitive des nervures. 3 Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que le nombre des doigts de la première fourche et le nombre des doigts de la seconde fourche sont tous deux égaux au nombre des nervures du réseau. 4 Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce que les doigts de la première fourche et 30 les doigts de la seconde fourche sont parallèles aux nervures du réseau. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que les doigts ( 23) de la première fourche t sont interconnectés par une iigne latérale ( 31) et les 35 doigts ( 27) de la seconde fourche sont interconnectés par une autre ligne latérale ( 35). 6 Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'un bloc ( 29) contre le rayonnement est fixé sur le masque sous-jacent, et sur sa face opposée à la première et à la seconde fourches. 7 Dispositif d'alignement d'un élément primaire avec un élément secondaire, caractérisé en ce qu'il comporte un cadre d'ossature rigide ( 71) un rebord supérieur ( 61,63) fixé sur le cadre, un rebord inférieur ( 63,67) fixé sur le cadre en un point inférieur au rebord 10 supérieur, le rebord inférieur étant aligné avec le rebord supérieur, un réseau supérieur ( 73) disposé sur le rebord supérieur, une première et une seconde fourches disposées sur l'élément secondaire, et couplées par capacité à travers un intervalle supérieur avec le réseau supérieur, 15 une troisième et une quatrième fourches disposées sur le rebord inférieur, un réseau inférieur disposé sur l'élément primaire et couplé par capacité à travers un intervalle inférieur avec la troisième et la quatrième fourches, un oscillateur supérieur ( 41) connecté au réseau supérieur 20 pour lui appliquer un signal électrique supérieur, un oscillateur inférieur ( 41) connecté au réseau inférieur pour lui appliquer un signal électrique inférieur, un détecteur supérieur ( 43) connecté à la première et à la seconde fourches, le détecteur supérieur mesurant une 25 première composante du signal supérieur sur la première fourche et mesurant une seconde composante du signal supérieur sur la seconde fourche, et un détecteur inférieur ( 43) connecté à la troisième et à la quatrième fourches, le détecteur inférieur mesurant une première composante du signal inférieur sur la troisième fourche et une seconde composante du signal inférieur sur la quatrième fourche. 8 Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que la première, la seconde, la troisième et la quatrième fourches comportent chacune plusieurs doigts conducteurs parallèles disposés dans une première, une seconde, une troisième et une quatrième distribution répétitive, les doigts de la première fourche étant imbriqués avec les doigts de la seconde fourche, les doigts de la troisième fouche étant imbriqués avec les doigts de la s quatrième fourche, le réseau supérieur comprenant plusieurs nervures parallèles ( 73) disposées dans une distribution répétitive supérieure et le réseau inférieur comprenant plusieurs nervures parallèles disposées dans une distribution répétitive inférieure. 9 Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que le nombre des doigts de la première fourche et le nombre des doigts de la seconde fourche sont tous deux égaux au nombre des nervures du réseau supérieur. Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que la première et la seconde distributions répétitives sont identiques à la distribution répétitive supérieure. 11- Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que le nombre des doigts de la troisième 20 fourche et le nombre des doigts de la quatrième fourche sont tous deux égaux au nombre des nervures du réseau inférieur. 12 Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que la troisième et la quatrième distributions 25 répétitives sont identiques à la distribution répétitive inférieure. 13 Dispositif selon la revendication 12, caractérisé en ce que les doigts de la première fourche et les doigts de la seconde fourche sont parallèles aux 30 nervures du réseau supérieur. 14 Dispositif selon la revendication 13, caractérisé en ce que les doigts de la troisième fourche et les doigts de la quatrième fourche sont parallèles aux nervures du réseau inférieur. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que le détecteur supérieur ( 43) donne ur indication zéro quand la première et la seconde composantes du signal supérieur sont de même amplitude. 16 Dispositif selon la revendication 15, caractérisé en ce que le détecteur inférieur ( 43) donne une indication zéro quand la première et la seconde composantes du signal inférieur sont de même amplitude. 17 Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que le détecteur supérieur donne une indication zéro quand la première et la seconde composantes du signal supérieur sont de même phase. 18 Dispositif selon la revendication 17, caractérisé en ce que le détecteur inférieur donne une indication zéro quand la première et la seconde composantes du signal inférieur sont de même phase. 19 Dispositif d'alignement d'un élément primaire avec un élément secondaire à travers un intervalle, dispositif caractérisé en ce qu'il comporte un réseau ( 13,15) disposé sur l'élément primaire ( 3), une première et une seconde fourches ( 21,25) disposées sur l'élément secondaire ( 1) et couplées par capacité avec le réseau, un dispositif ( 103) de déphasage d'un signal reçu à une entrée, de 180 , et délivrant un signal déphasé à sa sortie, la sortie dudit dispositif de déphasage étant connectée à la seconde fourche, un oscillateur ( 101) connecté à la première fourche et à l'entrée du dispositif de déphasage pour lui appliquer un signal électrique et un dispositif de détection ( 105) connecté entre l'élément primaire et la masse pour mesurer un signal couplé avec l'élément primaire. 16 2553532 Dispositif d'alignement d'un élément primaire avec un élément secondaire à travers un intervalle, caractérisé en ce qu'il comporte un réseau ( 13, 15) disposé sur l'élément primaire ( 3), une première et une seconde fourches ( 21,25) disposées sur l'élément secondaire ( 1) et couplées par capacité avec le réseau, un oscillateur ( 111) qui produit un signal électrique, un transformateur ( 113) comprenant une entrée connectée à l'oscillateur et une première et une seconde paires de sortiesadaptées, ledit transformateur ayant pour fonction 10 de coupler le signal à la première et à la seconde paires de sorties,un écran ( 37,39) disposé entre la première et la seconde fourches et le réseau, ledit-écran étant connecté à une borne supérieure de la première paire de sorties dont une borne inférieure est à la masse, un détecteur ( 123, 125) connecté à une borne inférieure de la seconde paire de sortiespour détecter un courant nul et un dispositif redresseur ( 117, 119) connecté à la première et à la seconde fourches, aux bornes supérieures de la première et de la seconde paires de sortieset à l'écran, 20 ledit dispositif redresseur ayant pour fonction de coupler une partie positive du signal à la seconde fourche et de coupler une partie négative du signal à la première fourche. 21 Dispositif selon la revendication 20, caractérisé en ce que la première fourche ( 21) comporte 25 plusieurs doigts conducteurs parallèles ( 23) disposés selon une première disposition répétitive, la seconde fourche ( 25) comportant plusieurs doigts conducteurs parallèles ( 27) disposés selon une seconde distribution répétitive, les doigts de la seconde fourche étant imbri30 qués avec les doigts de la première fourche et un réseau comportant des nervures parallèles ( 13) disposées selon une distribution répétitive des nervures. 22 Dispositif selon l'une des revendications 4 ou 21, caractérisé en ce que la première distribution répétitive, 35 la seconde distribution répétitive et la distribution répétitive des nervures sont identiques. 23 Dispositif selon la revendication 22, caractérisé en ce que les périodes de la première distribution répétitive, de la seconde distribution répétitive et de la distribution répétitive des nervures sont constantes. 24 Dispositif selon la revendication 23, caractérisé en ce que la première distribution répétitive, la seconde distribution répétitive et la distri10 bution répétitive des nervures sont aléatoires. Dispositif selon la revendication 24, caractérisé en ce que la première distribution répétitive, la seconde distribution répétitive et la distribution répétitive des nervures sont ondulatoires. 26 Dispositif d'alignement d'un élément primaire avec un élément secondaire, à travers un intervallesuivant la revendication 1, dispositif caractérisé en ce qu'il comporte un réseau ( 13,15) disposé sur l'élément primaire ( 3), une première fourche ( 21) disposée sur l'élément secondaire 20 ( 1), ladite première fourche comprenant plusieurs doigts ( 23) conducteurs et parallèles couples par capacité avec le réseau, une seconde fourche ( 25) disposée sur l'élément secondaire, ladite seconde fourche comportant plusieurs doigts ( 27) conducteurs et parallèles imbriqués avec les 25 doigts de première fourche et couplés par capacité avec le réseau, une première ligne latérale ( 31) disposée sur l'élément secondaire et interconnectant les doigts de la première fourche, une seconde ligne latérale ( 35) disposée sur l'élément secondaire et interconnectant les 30 doigts de la seconde fourche, une première et une seconde couches-isolantes couvrant e première et la seconde lignes latérales, un premier et un second écrans conducteurs ( 37,39) couvrant la première et la seconde couches isolantes, un oscillateur ( 41) connecté au réseau pour lui appliquer 35 un signal électrique, un détecteur ( 43) connecté à la première et à la seconde fourches, le détecteur mesurant une première composante de signal à la première fourche et mesurant une seconde composante de signal à la seconde fourche. 27 Dispositif selon la revendication 26, caractérisé en ce que le premier et le second écrans conducteurs ( 37,39) sont à la masse. 28 Dispositif d'alignement d'un élément primaire avec un élément secondaire à travers un intervalle suivant la revendication 1, dispositif caractérisé en ce qu'il comporte un premier réseau ( 13,15) disposé sur l'élément primaire, un réseau orthogonal ( 13,15) disposé sur l'élément primaire et perpendiculaire au premier réseau, une première et une seconde fourches ( 21,25) disposées sur l'élément secondaire et couplées par capacité avec le premier réseau, une première et une seconde fourches orthogonales ( 21,25) disposées sur l'élément secondaire, ladite première et ladite seconde fourches orthogonales étant perpendiculaires à la première et à la seconde fourches et couplées par capacité avec le réseau orthogonal, un oscillateur ( 41) connecté au premier réseau et au réseau orthogonal pour leur appliquer un signal électrique, un premier détecteur ( 43) connecté à la première et à la seconde fourches, ce détecteur ayant pour fonction de mesurer une première composante du signal à la première fourche et une seconde composante du signal à la seconde fourche et un détecteur orthogonal ( 43) connecté à la première et à la seconde fourches orthogonales le détecteur orthogonal ayant pour fonction de mesurer une première composante orthogonale du signal à la première fourche orthogonale et une seconde composante orthogonale du signal à la seconde fourche orthogonale. 29 Dispositif selon la revendication 28, caractérisé en ce que la première fourche ( 21) comporte plusieurs doigts conducteurs parallèles ( 23), la seconde fourche ( 25) comporte plusieurs doigts conducteurs parallèles ( 27) qui sont imbriqués avec les doigts de la première fourche, la première fourche orthogonale ( 21) comporte plusieurs doigts conducteurs parallèles ( 23) qui sont perpendiculaires aux doigts de la première fourche, la seconde fourche orthogonale ( 25) comporte plusieurs doigts conducteurs parallèles ( 27) qui sont imbriqués avec les doigts de la première fourche orthogonale,le premier 5 réseau comporte plusieurs nervures parallèles ( 13) et le réseau orthogonal comporte plusieurs nervures parallèles ( 13) qui sont perpendiculaires aux nervures du premier réseau. Dispositif d'alignement selon la reven10 dication 29, caractérisé en ce que le nombre des doigts ( 23) de la première fourche et le nombre des doigts ( 27) de la seconde fourche sont égaux au nombre des nervures ( 13) du premier réseau et le nombre des doigts ( 23) de la première fourche orthogonale et le nombre des doigts ( 27) 15 de la seconde fourche orthogonale sont tous deux égaux au nombre des nervures ( 13) du réseau orthogonal. 31 Dispositif d'alignement selon la revendication 3 q caractérisé en ce que les doigts ( 23) de la première fourche et les doigts ( 27) de la seconde fourche 20 sont parallèles aux nervures ( 13) du premier réseau et les doigts ( 23) de la première fourche orthogonale et les doigts ( 27) de la seconde fourche orthogonale sont parallèles aux nervures ( 13) du réseau orthogonal. 32 Dispositif d'alignement angulaire autour 25 d'un centre en rotation d'un élément primaire et d'un élément secondaire à travers un intervalle, dispositif caractérisé en ce qu'il comporte un premier, un second, un troisième et un quatrième réseau ( 81,83,85,87) disposes sur l'élément primaire, une première à une huitième fourches ( 81,83,85,87) disposées sur l'élément secondaire, la première et la seconde fourches étant couplées par capacité avec le premier réseau, la troisième et la quatrième fourches étant couplées par capacité avec le second réseau, la cinquième et la sixième fourches étant couplées par capacité avec le troisième réseau et la septième et la huitième fourches étant couplées par capacité avec le quatrième réseau, un oscillateur connecté aux réseaux pour leur appliquer un signal électrique, une première ligne connectée à la première, la troisième, la cinquième, la septième fourches, une seconde ligne connectée à la seconde, la quatrième, la sixième et la huitième fourches et un détecteur ( 43) connecté à la première et à la seconde lignes, le détecteur mesurant 10 une première composante du signal sur la première ligne et une seconde composante du signal sur la seconde ligne. 33 Dispositif selon la revendication 32, caractérisé en ce que les fourches comportent chacune 15 plusieurs doigts conducteurs parallèles ( 91,93), les doigts de la première fourche étant imbriqués avec les doigts de la seconde fourche, les doigts de la troisième fourche étant imbriqués avec les doigts de la quatrième fourche, les doigts de la cinquième fourche étant imbriqués avec les doigts de la sixième fouche, les doigts de la septième fourche étant imbriqués avec les doigts de la huitième fourche, les doigts de la première, de la seconde, de la cinquième et de la sixième fourches étant pratiquement parallèles, les doigts de la troisième, 25 de la quatrième, de la septième et de la huitième fourches étant pratiquement parallèles et perpendiculaires aux doigts de la première, de la seconde, de la cinquième et de la sixième fourches et les doigts étant alignés radialement avec le centre de rotation. 34 Dispositif selon la revendication 33, caractérisé en ce que les réseaux comportent chacun plusieurs nervures parallèles ( 89), les nombres des doigts de la première fourche, des doigts de la seconde fourche, et des nervures du premier réseau étant égaux, les nombres 35 des doigts de la troisième fourche, des doigts de la guatrième fourche et des nervures du second réseau étant égaux, le nombres des doigts de la cinquième fourche, des doigts de la sixième fourche et des nervures du troisième réseau étant égaux et les nombres des doigts de la septième fourche, des doigts de la huitième fourche et des nervures du quatrième réseau étant égaux. Dispositif selon la revendication 34, caractérisé en ce que les doigts de la première fourche, les doigts de la seconde fourche et les nervures du premier réseau sont parallèles, les doigts de la troisième fourche, les doigts de la quatrième fourche et les nervures du second réseau sont parallèles, les doigts de la cinquième fourche, les doigts de la sixième fourche et les nervures du troisième réseau sont parallèles et les doigts de la septième fourche, les doigts de la huitième fourche et les nervures du quatrième réseau sont parallèles. 36 Dispositif selon 1 ' u N e d e s revendications 19, 22, 23, 24 ou 25, caractérisé en ce que le signal est sinusoïdal. 37 Dispositif selon la revendication 36, caractérisé en ce que la première fourche ( 21) comporte plusieurs doigts conducteurs parallèles ( 23) disposés selon une première distribution répétitive, la seconde fourche ( 25) comprenant plusieurs doigts conducteurs parallèles ( 27) disposés dans une seconde distribution répétitive, les doigts de la seconde fourche étant imbriqués avec les doigts de la première fourche et le réseau comportant plusieurs nervures parallèles ( 13) disposées selon une distribution répétitive des nervures. 38 Dispositif selon la revendication 37, caractérisé en ce que le nombre des doigts de la première fourche et le nombre des doigts de la seconde fourche sont égaux au nombre des nervures du réseau. 39 Dispositif selon la revendication 38, caractérisé en ce que les doigts de la première fourche et les doigts de la seconde fourche sont parallèles aux nervures du réseau. Dispositif selon la revendication 39, caractérisé en ce que la première distribution répétitive, la seconde distribution répétitive et la distribution répétitive des nervures sont identiques. 41 Dispositif selon la revendication 40, caractérisé en ce que les périodes de la première distribution répétitive, de la seconde distribution répétitive et de la distribution répétitive des nervures sont constantes. 42 Dispositif selon la revendication 41, caractérisé en ce que la première distribution répétitive, la seconde distribution répétitive et la distribution répétitive des nervures sont aléatoires. 43 Dispositif selon la revendication 42, caractérisé en ce que la première distribution répétitive, 15 la seconde distribution répétitive et la distribution répétitive des nervures sont ondulatoires. 44 Dispositif selon la revendication 43, caractérisé en ce que l'élément primaire consiste en une plaquette semi-conductrice ( 3) et l'élément secondaire 20 consiste en un masque ( 1). Dispositif selon la revendication 44, caractérisé en ce que les nervures ( 13) de chaque réseau sont séparées par des rainures ( 15) qui sont gravies dans la plaquette. 46 Dispositif selon la revendication 45, caractérisé en ce que les distributions répétitives de la première et de la seconde fourches et du premier réseau sont identiques, les distributions répétitives de la troisième et de la quatrième fourches et du second réseau sont identiques, les distributions répétitives de la 30 cinquième et de la sixième fourches et du troisième réseau sont identiques et les distributions répétitives de la septième et de la huitième fourches et du quatrième réseau sont identiques. 47 Dispositif selon la revendication 46, caractérisé en ce que les distributions répétitives ont une période pratiquement constante. 48 Dispositif selon la revendication 47, caractérisé en ce que la période est comprise entre cinq et six fois la dimension de l'intervalle. 49.Dispositif selon la revendication 45, caractérisé en ce qu'un bloc ( 29) contre le rayonnement est fixé sur le masque sous-jacent et sur sa face opposée aux fourches. Dispositif selon l'une des revendications 1,44 ou 49, caractérisé en ce que le détecteur ( 43) donne une indication 10 zéro quand la première et la seconde composante du signal ont une même amplitude. 51.Dispositif selon l'une des revendications 1,44 ou , caractérisé en ce que le détecteur ( 105) donne une indication zéro quand la première et la seconde composantes du signal 15 ont la même phase. 52 Dispositif selon la revendication 44, caractérisé en ce que les nervures ( 13) du réseau inférieur de la plaquette sont séparées par des rainures ( 15) qui sont gravées sur la plaquette. 53 Dispositif selon la revendication 44, caractérisé en ce que ls nervures du réseau inférieur consistent en des pistes conductrices sur la plaquette. 54 Dispositif selon la revendication 44, caractérisé en ce que la distribution répétitive supérieure 25 a une période qui est pratiquement constante et qui est comprise entre cinq fois et six fois la dimension de l'intervalle supérieur. Dispositif selon la revendication 44, caractérisé en ce que la distribution répétitive inférieure 30 a une période qui est pratiquement constante et qui est comprise entre cinq fois et six fois la dimension de l'intervalle inférieur. 56 Dispositif selon la revendication 44, caractérisé en ce que les doigts de la première fourche 35 sont interconnectés par une première ligne latérale, les doigts de la seconde fourche sont interconnectés par une seconde ligne latérale, les doigts de la troisième fourche sont interconnectés par une troisième ligne latérale et les doigts de la quatrième fourche sont interconnectés par une quatrième ligne latérale. 57.Dispositif d'alignement selon la revendication 44,caractérisé en ce que les nervures ( 13) du premier réseau sont séparées par des rainures ( 15) qui sont gravées dans la plaquette et les nervures ( 13) du lo réseau orthogonal sont séparées par des rainures ( 15) qui sont gravées dans la plaquette. 58.Dispositif d'alignement selon la revendication 57,caractérisé en ce que les distributions répétitives de la première et de la seconde fourches ( 21, 25) 15 sont identiques à la distribution répétitive du premier réseau et les distributions répétitives de la première et de la seconde fourches orthogonales ( 21, 25) sont identiques à la distribution répétitive du réseau orthogonal. 59 Dispositif d'alignement selon la reven20 dication 58, caractérisé en ce que les périodes des distributions répétitives de la première et de la seconde fourches Et du réseau sont constantes et sont comprises entre 5 et 6 fois la dimension de l'intervalle et les périodes des distributions répétitives de la 25 première et de la seconde fourches orthogonales et du réseau orthogonal sont constantes et sont comprises entre et 6 fois la dimension de l'intervalle. Dispositif d'alignement selon la revendication 59,caractérisé en ce que'les doigts de la première 30 fourche sont interconnectés par une ligne latérale ( 31) de première fourche, les doigts de la seconde fourche sont interconnectés par une ligne latérale ( 35) de seconde fourche, les doigts de la première fourche orthogonale sont interconnectés par une ligne latérale 35 ( 31) de première fourche orthogonale et les doigts de la seconde fourche orthogonale sont interconnectés par une ligne latérale ( 35) de seconde fourche orthogonale 61 Dispositif d'alignement selon la revendication 59, caractérisé en ce qu'un bloc ( 29) contre le rayonnement est fixé sur le masque sous-jacent et sur sa face opposée à la première et à la seconde fourches, et un autre bloc ( 29) contre le rayonnement est fixé sous le masque sous-jacent sur sa face opposée à la première et à la seconde fourches orthogonales. 62 Dispositif d'alignement selon la revendication 61, caractérisé en ce que le premier détec10 teur ( 43) a pour fonction de donner une indication zéro quand la première et la seconde composantes du signal ont la même amplitude et le détecteur orthogonal ( 43) a pour fonction de donner une indication zéro quand la première et la seconde composantes du signal orthogonal ont une 15 même amplitude. 63 Dispositif d'alignement selon la revendication 61, caractérisé en ce que le premier détecteur ( 105) a pour fonction de donner une Indication zéro quand la première et la seconde composantes du signal sont de même phase et le détecteur orthogonal ( 105) a pour fonction de donner une indication zéro quand la première et la seconde composantes du signal orthogonal sont de même phase. 64 Dispositif selon la revendication 44, 25 caractérisé en ce que les nervures ( 13) sr la plaquette sont séparées par des rainures ( 15),qui sont gravées dans la plaquette. Dispositif selon la revendication 64, caractérisé en ce que les nervures consistent en des pistes 30 conductrices sur la plaquette. 66 Dispositif suivant la revendication 44, caractérisé en ce que le détecteur ( 43) présente une indication zéro quand la première et la seconde composantes du signal ont une même amplitude. 67 Dispositif selon la revendication 44, caractérisé en ce que le détecteur ( 105) donne une indication zéro quand la première et la seconde composantes du signal sont de même phase.