Brevet FR2549857A1 — publié le 19850201

La présente invention a pour objet un dispositif d'évaporation sous vide Elle trouve une application notamment dans les installations d'épitaxie par jet moléculaire. Une installation d'évaporation sous vide, servant par exemple à la fabrication de semiconducteurs par épitaxie par jets moléculaires (en abrégé E.J M) comprend généralement une enceinte principale réunie à des moyens de pompage (pompes primaire 10 et secondaire), et contenant les substrats à traiter, et une ou plusieurs cellules d'évaporation dans lesquelles on trouve le ou les matériaux à évaporer. Pour permettre la recharge de ces cellules en divers matériaux, sans casser le vide de l'en15 ceinte principale, il a été mis au point des installations dans lesquelles la cellule d'évaporation à recharger est amovible et reliée à l'enceinte principale par l'intermédiaire d'un soufflet métallique Lorsque le soufflet est comprimé, la cellule se 20 trouve en position normale d'évaporation dans l'enceinte; lorsque le soufflet est étiré, la cellule se trouve rétractée hors de l'enceinte principale, dans une chambre annexe de petites dimensions Cette chambre peut être séparée de l'enceinte principale 25 par l'action d'une vanne étanche à l'ultra-vide. Une telle installation permet de recharger la cellule en ne remettant à l'atmosphère que la chambre annexe. Bien que satisfaisantes à certains égards, 30 de telles installations présentent des inconvénients dûs à la course très importante qu'il est nécessaire de donner au soufflet (plus de 500 mm). Cette longueur entraîne en effet: un coût élevé, d Q tant au prix du soufflet par lui-même qu'au prix du système de guidage et de translation, qui doit être très précis pour assurer un alignement correct sur une grande distance, 5 un risque de pollution de l'enceinte par l'effet de dégazages du soufflet de grande longueur, un poids élevé un encombrement important, gênant l'accès aux autres cellules. L'invention a justement pour but de remédier à ces inconvénients A cette fin, elle préconise l'utilisation d'un dispositif qui permet de réduire considérablement la course du soufflet qui tombe à environ 50 mm, soit le 1/10 e de la valeur 15 qu'on trouve dans l'art antérieur Le prix de l'installation, les risques de dégazage, l'encombrement et le poids se trouvent alors considérablement réduits. Cette réduction de la longueur du soufflet 20 est rendue possible par l'utilisation d'un tube chauffant fixe reliant l'enceinte principale à la chambre annexe, permettant de faire fonctionner la cellule d'évaporation dans la chambre annexe, et de canaliser les vapeurs produites jusque dans la cham25 bre principale Ce tube possède une première extrémité engagée dans l'enceinte principale et une seconde extrémité débouchant sur la chambre annexe. Cette seconde extrémité est munie d'une pièce apte à recevoir en appui la cellule d'évaporation lorsque 30 celle-ci est en position avancée Le tiroir de la vanne d'étanchéité vient s'insérer entre cette pièce d'extrémité et la cellule d'évaporation lorsque celle-ci est en position rétractée De cette manière, la course de la cellule entre ses deux positions ? 549857 extrêmes et, par conséquent, la course du soufflet, sont limitées à l'espace nécessaire à la fermeture de la vanne. Le dispositif de l'invention est particu5 lièrement avantageux dans le cas des procédés mettant en oeuvre des basses températures (moins de 500 C environ) et utilisant des matériaux volatils comme l'arsenic, le phosphore, des matériaux semiconducteurs de type III-V, ou plus généralement tous 10 éléments des colonnes IIB, V et VI de la classification périodique C'est d'ailleurs justement avec ces matériaux que le problème de la recharge d'une installation de traitement se pose avec le plus d'acuité. Les caractéristiques de l'invention apparaitront mieux après la description qui suit, d'exemples de réalisation donnés à titre explicatif et nullement limitatif Cette description se réfère à des dessins annexés sur lesquels: la figure 1 représente, de façon schématique, le dispositif de l'invention, la figure 2 montre la partie concernant la cellule rechargeable en position rétractée, la figure 3 montre, en coupe, la pièce 25 d'extrémité solidaire du tube chauffant. L'installation représentée sur la figure 1 comprend, essentiellement, d'une part, une enceinte principale 10, o a lieu la croissance épitaxiale (sur des substrats non représentés), cette enceinte 30 étant reliée, par un conduit 12, à des moyens de pompage non représentés, et d'autre part, une chambre annexe 20 contenant une cellule d'évaporation 22 constituée d'un bloc chauffant 24 percé d'une cavité 26 dans laquelle se trouve le matériau à évaporer. 35 Ce bloc est pourvu d'une résistance de chauffage 25. Cette chambre annexe est reliée à des moyens de pompage autonomes constitués par une pompe primaire 30, associée à une vanne d'isolement 32, et une pompe ionique 34 Une jauge 36 permet de mesurer le vide. 5 La cellule 22 est rétractable par le jeu de moyens mécaniques constitués essentiellement par un soufflet 40 associé à un mécanisme 42 de guidage de ce soufflet La figure 1 montre la cellule en position avancée et la figure 2 cette même cellule mais 10 en position rétractée Une vanne à tiroir 50 permet d'isoler l'enceinte principale 10 de-la chambre annexe 20 lorsque la cellule est rétractée (figure 2). Selon la caractéristique essentielle de l'invention, l'enceinte 10 et la chambre 20 sont 15 réunies par un tube 52 muni d'un filament chauffant 53 Ce tube possède une première extrémité 54 qui pénètre dans l'enceinte 10 et une seconde extrémité 56 qui débouche sur la chambre 20 Cette seconde extrémité est solidaire d'une pièce 58 (dont un dé20 tail est représenté sur la figure 3) fixée à un support 60 rendu solidaire du corps 62 de la vanne Le tube 52 peut être entouré d'un écran thermique 65, l'ensemble étant logé dans le tube de maintien mécanique 64. La figure 3 montre, de manière plus détaillée, la forme de ces différentes pièces au voisinage de la pièce d'extrémité 58 On note que cette pièce entoure le tube chauffant sur la partie qui pénètre dans la chambre annexe Cette pièce est destinée 30 principalement à assurer une certaine étanchéité entre la cellule 22 et le tube chauffant 52, pour éviter qu'une partie du matériau évaporé ne vienne se déposer sur la vanne 50, et un isolement thermique entre les pièces chaudes (cellule et tube) et le 35 support extérieur 60 lié au tube 64. Le rôle essentiel du tube 52 est de canaliser le flux de matériau évaporé, depuis la cellule d'évaporation 22 jusqu'à l'enceinte de traitement 10 en empêchant, par sa température élevée, le dépôt de 5 ce matériau avant les substrats Mais ce tube peut jouer également un autre rôle, qui est de permettre le craquage thermique de certains produits Cette seconde fonction nécessite naturellement une température plus élevée, et l'aménagement de l'intérieur 10 du tube 52 avec, par exemple, des chicanes De telles chicanes, ou obstacles, peuvent par ailleurs être introduits dans le tube pour prévenir une focalisation excessive du flux gazeux. Une comparaison entre les figures 1 et 2 15 montre clairement que le déplacement maximal de la cellule d'évaporation est de l'ordre de la largeur du tiroir de la vanne 50 Dans l'invention, la cellule reste dans la chambre 20 même en position avancée et n'a pas, comme dans l'art antérieur, à être 20 introduite dans l'enceinte principale 10 De ce fait, le soufflet 40 peut posséder une course qui n'est qu'un peu supérieure à cette largeur, soit environ 50 mm, contre 500 dans l'art antérieur. A titre explicatif, le tube 52 peut être en 25 silice, avec un filament 53 en tantale L'écran thermique 65 peut être également en tantale La pièce d'extrémité 58 peut être en alumine, le support 60 en inox, avec passages de courant pour le filament 53 Le soufflet est de préférence métallique, 30 et la chambre annexe 20 en inox Le tube chauffant 52 peut être aussi constitué d'un tube métallique entouré d'un filament chauffant isolé électriquement du tube. En ce qui concerne les organes annexes de 35 pompage ou les vannes, un matériel RIBER a été uti- lisé avec succès par les demandeurs: pompe ionique PI-25 de 25 1/s pour la pompe 34, vanne d'isolement W 38 S pour la vanne 32, vanne à tiroir VTA 38 pour la vanne 50, chambre 2300 pour l'enceinte 10, cellu5 le CBN 125-L pour la cellule 24. Il va de soi que la description qui précède ne se rapporte à l'épitaxie par jet moléculaire qu'à titre explicatif et que l'invention peut trouver des applications plus vastes, dans toute installation 10 mettant en oeuvre une évaporation sous vide. REVENDICATIONS 1 Dispositif d'évaporation sous vide comprenant une enceinte principale de traitement ( 10) reliée à une chambre annexe ( 20) contenant une cel5 lule d'évaporation de matériau ( 22), cette cellule étant fixée à un organe de déplacement à soufflet étanche ( 40) apte à déplacer la cellule entre une première position avancée vers l'enceinte principale et une seconde position rétractée, une vanne 10 d'étanchéité ( 50) munie d'un tiroir étant prévue pour isoler, dans cette seconde position, l'enceinte principale ( 10) de la chambre annexe ( 20), le matériau de la cellule d'évaporation pouvant ainsi être changé sans remise à l'air de l'enceinte principale, 15 ce dispositif étant caractérisé par le fait qu'il comprend un tube chauffant fixe ( 52) reliant l'enceinte principale ( 10) à la chambre annexe ( 20), ce tube ( 52) possédant une première extrémité ( 54) engagée dans l'enceinte principale ( 10) et une seconde 20 extrémité ( 56) débouchant sur la chambre annexe ( 20), cette seconde extrémité ( 56) étant munie d'une pièce d'extrémité ( 58), réalisée en un matériau isolant thermiquement assurant la continuité mécanique et l'isolement thermique avec la pièce support ( 60), 25 et apte à recevoir en appui la cellule d'évaporation lorsque celle-ci est en position avancée, le tiroir de la vanne d'étanchéité ( 50) venant s'insérer entre cette pièce d'extrémité ( 58) et la cellule d'évaporation ( 22) lorsque celle-ci est en position rétrac30 tée, la course de la cellule entre ses deux positions extrêmes et, par conséquent, la course du soufflet ( 40) étant ainsi limitées à l'espace nécessaire à la fermeture de la vanne ( 50). 2 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé par le fait que le tube chauffant est constitué d'un tube isolant, par exemple en silice ( 52) entouré d'un filament chauffant ( 53) , par exemple en tantale. 3 Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé par le fait que le tube chauffant ( 52) est entouré d'un écran thermique ( 65). 4 Dispositif selon la revendication 1, 10 caractérisé en ce que la pièce de raccordement de l'extrémité ( 56) du tube chauffant ( 52) avec le support ( 60) est en alumine. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le tube 15 chauffant ( 52) est aménagé en son intérieur à l'aide de chicanes ou d'obstacles pour prévenir une focalisation excessive du flux des vapeurs qui y circulent. 6 Dispositif selon l'une quelconque des 20 revendications 1 à 4, caractérisé en ce que le tube chauffant ( 52) est aménagé en son intérieur à l'aide de chicanes ou d'obstacles pour permettre le craquage des vapeurs qui y circulent. 7 Dispositif selon l'une quelconque des 25 revendications 1, 3 à 6, caractérisé en ce que le tube chauffant ( 52) est constitué d'un tube métallique, entouré d'un filament chauffant isolé électriquement du tube.