Brevet FR2552614A1 — publié le 19850329

La présente invention concerne les applicateurs de micro-ondes pour obtenir le chauffage de pièces, comme par exemple des plaquettes de silicium ou analogue. On connait des dispositifs de chauffage par micro-ondes comportant un générateur de micro-ondes, un applicateur apte à recevoir une pièce à chauffer, et des moyens de guide d'ondes couplant le générateur et l1applica- teur. Les applicateurs connus actuellement ne présentent pas une bonne accessibilité et sont d'une conception qui ne permet pas leur utilisation de façon répétitive, rapidement. La présente invention a pour but de pallier ces inconvénients. Plus précisément, la présente invention a pour objet un applicateur de micro--ondes, à une longueur d'onde donnée X , pour chauffage ae pièces, caractérisé par le fait qu'il comporte une paroi latérale fermée formant une cavité, au moins un plateau apte à recevoir ladite pièce à chauffer fermant un côté de ladite cavité, les dimensions dudit plateau étant définies pour laisser un espace annulaire réduit entre son bord latéral et la surface in térieure de ladite paroi latérale sur une longueur donnée par la formule (2k+1)-A/4 dans laquelle k est un entier naturel, et au moins un diaphragme de couplage débouchant dans ladite cavité. D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparaitront au cours de la description suivante donnée en regard des dessins annexés à titre illustratif mais nullement limitatif, dans lesquels les figures 1 et 2 représentent, vu en coupe respectivement transversale et lonatudinale, un mode de réalisation d'un applicateur selon l'invention. Les deux atigures représentant un même mode de réalisation d'un applicateur, les mêmes références désigneront les mêmes éléments. L'applicateur représenté comporte une paroi 70 plane, fermée sur ellemême, de préférence autour d'un axe 71, pour former un cylindre avan- tageusement de révolution délimitant une cavité 72. Un côté de cette cavité 72 est fermé par un couvercle 73 reliant la surface intérieure 74 de la paroi 70. De façon avantageuse, ce couvercle 73 est constitué par deux grillages 75, 76, très peu distants l'un de l'autre, et superposés, dont la dimension des mailles est inférieure au quart de la longueur d'onde 1l des micro-ondes aptes à être véhiculées dans un guide d'ondes 77 dans lequel pourra être inséré en série un tel applicateur. L'autre côté de la cavité 72 est fermé par un plateau 78 dont les dimensions sont telles que son bord latéral 79 definisse avec la surface 74 un espace annulaire 80. De pius, ce bord latéral 79 est défini pour que sa lon gueur parallèle à la paroi 74 soit donnée par la formule (2k+l)X/4, dans laquelle k est un entier naturel. Avantageusement, on choisira k = 0 pour que la longueur du bord latéral 79 soit la plus petite possible, c'est-à-dire égale au quart de la longeur d'onde définie précédemment. Ainsi, l'espace annulaire 80 est équivalent à une ligne coxiale ouverte qui définit un piège ramenant un eourt-circuit au niveau du plan 85 passant par le sommet 84 du plateau 78. De cette façon, la surtension qui peut régner dans la cavité n1 est pas affectée car les fuites de micro-ondes au niveau bas 86 du plateau sont presque totalement supprimées. De plus, la paroi latérale 70 comporte au moins un diaphragme 81, et un deuxième 82 quand cet applicateur est inséré en série dans le guide blondes 77 situé de part et d'autre de cet applicateur. Ces diaphragmes centrés sur un même axe 83 débouchent dans la cavité 72 à un niveau situé sensiblement entre le couvercle 73 et le haut 84 du plateau 78. Bien entendu, la hauteur et le diamètre de la cavité 72 pourront être facilement déterminés par lthomme de l'art de façon à permettre la résonance de la cavité sur les modes choisis, de même que la position de la partie haute 84 du plateau 78, de façon que sur la pièce à chauffer 86 disposée sur le plateau, il apparaisse un maximum de champ magnétique tangentiel. Le plateau 78 est maintenu dans cette position par un arbre 87 d'un moteur d'entrainement en rotation 88 pouvant faire pivoter le plateau 78, et donc la pièce à chauffer 36, autour de l'axe 71 de la cavité 72. Un tel applicateur présente incontestablement des avantages car il permet de pouvoir facilement déplacer le plateau afin d'y positionner la pièce à chauffer, puisque ce plateau est désolidarisé de la paroi 70, de pouvoir, pour ces mêmes raisons, animer la pièce à chauffer d'un mouvement de rotation afin d'obtenir, si nécessaire, un traitement thermique de celle-ci plus homogène, et enfin, de pouvoir observer l'intérieur de cette cavité à travers les grilles 75, 76, éventuellement de pouvoir y placer des capteurs, par exemple de température, de champ magnétique, etc... Avantageusement, le plateau pourrait comporter des moyens de translation qui permettraient de le déplacer suivant l'axe 71, afin de bien positionner la pièce 86 dans la cavité 72 et d'obtenir la bonne adaptation. R E V E N D I C A T I O N S 1. Applicateur de micro-ondes, à une longueur d'onde donnée X, pour chauffage de pièces, CARACTERISE PAR LE FAIT qu'il comporte - une paroi latérale (70) fermée formant une cavité (72), - au moins un plateau ( 8) apte à recevoir ladite pièce (86) à chauffer fermant un côté de ladite cavité, les dimensions dudit plateau étant définies pour laisser un espace annulaire réduit (80) entre son bord latéral (79) et la surface intérieure (74) de ladite paroi latérale sur une longueur donnée par la formule (2k+l)X/4 dans laquelle k est un entier naturel, et - au moins un diaphragme (81, 82) de couplage débouchant dans ladite cavité. 2. Applicateur selon la revendication 1, CARACTERISE PAR LE FAIT qu'il comporte un couvercle (73) fermant l'autre côté de ladite cavité (72). 3. Applicateur selon la revendication 2, CARACTERISE PAR LE FAIT que ledit couvercle est constitué par au moins un grillage (75, 76) dont la dimension des mailles est inférieure au quart de ladite longueur d'onde X 4. Applicateur selon l'une des revendications précédentes, CARACTE RISE PAR LE FAIT que ledit plateau (78) est de révolution. 5. Applicateur selon la revendication 4, CARACTERISE PAR LE FAIT qu'il comporte des moyens (87, 88) pour animer ledit plateau d'un mouvement de rotation. 6. Applicateur selon la revendication 5, C ARACTERISE PAR LE FAIT que lesdits moyens (87, 88) comportent un arbre (87) couplé à un moteur (88), ledit arbre soutenant ledit plateau (78).