Brevet FR2560381A1 — publié le 19850830

i 2560381 L'invention concerne un appareil spectrophoto- métrique pour mesurer les propriétés optiques de matières transpa- rentes, réfléchissantes ou rayonnantes en fonction de la longueur d'onde de la lumière, en particulier pour mesurer la variation des propriétés optiques pendant la formation de couches minces sur des substrats dans des chambres à vide, comprenant un dispositif de décomposition spectrale de la lumière, un dispositif récepteur de lumière placé dans la marche des rayons du spectre et constitué d'une série de cellules de mesure, ainsi qu'un dispositif élec- trique d'exploitation qui interroge cycliquement les cellules de mesure, avec disposition d'au moins un câble à fibre de verre, débouchant dans le dispositif de décomposition spectrale de la lumière, sur au moins une partie de longueur de la marche des rayons entre la matière et ce dispositif. Dans la fabrication et/ou le contrôle de qualité de produits optiques tels que filtres, miroirs et lentilles, il est fréquemment nécessaire de mesurer les propriétés optiques en fonc- tion de la longueur d'onde de la lumière et de représenter le "spectre" graphiquement ou de le traiter par des processus de calcul. Un exemple pour cela sont les couches antireflets, en particulier à large bande, qui doivent avoir ure réflexion aussi faible que possible dans le domaine de la lumière visible. De telles couches sont constituées généralement de nombreuses couches individuelles ayant des indices de réfraction différents (systèmes dits de couches d'interférence). Lors de la fabrication, il faut surveiller la formation dans le temps de chaque couche individuelle; sur le produit final, il faut contrôler si des limites de tolérances ont été respectées. Un autre exemple sont les couches filtrantes, les filtres infrarouges par exemple, qui doivent empêcher le pas- sage du rayonnement de la chaleur, mais doivent laisser passer la lumière visible aussi librement que possible. Encore un autre exemple constituent les miroirs dits à lumière froide, qui réflé- chissent un rayonnement lumineux "froid" à faible longueur d'onde dans un système optique, mais laissentau contraire échapper libre- ment le rayonnement de chaleur de plus grande longueur d'onde (lampes de projecteurs par exemple). 2 2560381 Dans la fabrication de telles couches ou sys- tèmes de couches, ainsi que lors du contrôle final, il faut déter- miner la dépendance spectrale des propriétés des couches. Pendant la réalisation des couches, les valeurs de mesure peuvent être utilisées en outre pour commander le processus de fabrication, par exemple pour la régulation du taux de dépôt de la matière d'o est formée la couche oupour arrêter le processus de dépôt lorsqu'une couche ou un système de couches est formé. De nombreux appareils photométriques ont déjà été proposés pour mesurer la dépendance spectrale des propriétés des couches. Par l'article "A thin film monitor using fibre optics" de H.M. Runciman, W.B. Allan et J.M. Ballantine, publié dans J. Sci. Instrum., 1966, n 43, pages 812 à 815, il est connu d'amener de la lumière de mesure d'une source lumineuse à travers un premier câble à fibre de verre dans une chambre à vide, jusqu'à proximité immédiate de l'objet de mesure, et d'amener la lumière de mesure réfléchie à travers un second câble à fibre de verre depuis l'intérieur de la chambre à vide jusqu'à un détecteur et un dispositif d'exploitation. Chaque point de mesure ou chaque objet de mesure nécessite dans ce cas un système de mesure complet. Par le brevet des E.U.A. 3 874 799, on connaît un spectrophotomètre o la lumière sortant de l'objet de mesure est décomposée en un spectre par un dispositif de décomposition de la lumière réalisé sous forme d'un réseau de diffraction puis amenée à un dispositif récepteur de lumière constitué par une disposition en rangée(s) de photodiodes individuelles. Chacune de ces diodes - qui sont placées très proches ies unes des autres - est conjuguée par sa position dans l'espace à une longueur d'onde bien déterminée, de sorte que l'interrogation cyclique des diodes permet de déterminer la variation d'intensité du spectre en fonc- tion de la longueur d'onde. Cet appareil demande également un dispositif de mesure et d'exploitation particulier pour chaque point de mesure. La demande de brevet allemand DE-OS 26 55 272 décrit un appareil spectrophotométrique du type indiqué au début, dont le dispositif de décomposition de la lumière correspond 3 2560381 largement à celui du brevet des E.U.A. 3 874 799. Il comporte en plus un conducteur de lumière sous forme d'un cible à fibre de verre qui amène la lumière de mesure d'une chambre à vide à la fente d'entrée d'un dispositif de décomposition de la lumière, contenant également un réseau de diffraction concave. Là encore, il faut un dispositif de mesure particulier pour chaque point de mesure. Un autre domaine d'application est la surveil- lance de matières rayonnantes dans les processus de dépôt de couches sous vide. Par exemple, il peut être nécessaire de surveiller et/ou de régler des sources thermiques - qui rayonnent de la chaleur - pour la métallisation, ou des processus à plasma qui s'accompagnent de phénomènes lumineux, tels que des.processus de pulvérisation cathodique. Compte tenu de la nécessité de réaliser des commandes de plus en plus précises de processus au moyen de plusieurs points de mesure, l'application des principes de mesure connus exige un nombre considérable de systèmes de mesure et d'exploitation. L'invention vise par conséquent à couvrir, par un seul système de mesure et d'exploitation, un nombre relativement grand de points ou d'objets de mesure indépendants les uns des autres, tout en conservant la précision de mesure des systèmes connus. Selon l'invention, un appareil spectrophoto- métrique comme défini au début est caractérisé.en ce qu'au moins un cible à fibre de verre est prévu pour chaque point de mesure, en cas d'utilisation de plusieurs points de. mesure, que les fibres de chaque cible sont disposées en une rangée aux extrémités des câbles débouchant dans le dispositif de décomposition de la lumière, que les rangées de tous les cibles sont disposées parallèlement et directement les unes à côté des autres dans une matrice de fibres de verre et que les cibles sont combinés avec au moins un obturateur pour sélectionner chaque fois la marche des rayons d'un point de mesure. Par le raccordement selon l'invention de plusieurs câbles à fibre de verre sur un dispositif de composition de la lumière, ainsi que par la commande d'obturateur(s) correspondante, 4 2560381 il devient possible de couvrir un grand.nombre de points ou d'objets de mesure et d'exploiter les résultats de mesure qui y sont obtenus au moyen d'un seul dispositif de décomposition de la lumière et du montage d'exploitation prévu à sa suite. La dépense-globale est ainsi réduite à une fraction de la dépense nécessaire jusqu'à présent. Chaque point de mesure supplémentaire correspond simplement à l'addi- tion d'une rangée de fibres supplémentaires à l'entrée du dispositif de décomposition-de -la lumière. Comme la position variable des-fentes ou des 1 rangées de fibres produit un décalage - qui est fonction de l'endroit o se trouve la fente concernée - dans la conjugaison aux longueurs d'onde du spectre, une correction est nécessaire à cet égard. Ceci est facilement réalisable, par exemple par comparaison avec un spectre de raies connu et une correction mathématique par un micro- processeur faisant partie du dispositif d'exploitation. Il est éga- lement possible d'interroger rapidement et cycliquement les différents points de mesure et de conjuguer les résultats d'exploitation aux points de mesure individuels. La synchronisation nécessaire à cet effet peut également être assurée par le microprocesseur. Comme la durée de saisie pour un spectre est d'environ 50 millisecondes selon l'expérience et comme le temps de traitement des valeurs mesurées est généralement plus long- la commutation du système sur un autre point de mesure peut avoir lieu pendant le temps de traitement. Il est possible aussi d'analyser l'atmosphère gazeuse dans l'espace de travail avec le même système. Selon un mode de réalisation, s'appliquant à la mesure des propriétés spectrales de couches minces sur des substrats, le dispositif spectrophotométrique comprend au moins une source lumineuse qui émet de la lumière à spectre continu, un porte-objet(s) dans les marches des rayons de la source lumineuse et, pour chaque point de mesure, un câble à fibre de verre côté entrée et un câble à fibre de verre coté sortie. Il est avantageux en pareil cas que la source lumineuse soit combinée avec plusieurs câbles à fibre de verre et qu'un obturateur soit disposé entre la source lumineuse et les extrémités d'entrée de la lumière des câbles 256038 1 à fibre de verre, l'obturateur étant agencé pour permettre chaque fois l'envoi de lumière dans un cable seulement. D'autres caractéristiques et avantages de l'inven- tion ressortiront plus clairement de la description qui va suivre d'exemples de réalisation non limitatifs, ainsi que des dessins annexés, sur lesquels: - la figure 1 montre le schéma de principe d'un appareil photométrique complet avec trois points de mesure pour mesurer la transmission et la réflexion sur des matières solides (substrats) et pour mesurer la transmission de matières gazeuses; - la figure 2 est une coupe transversale d'un câble à fibre de verre classique; - la figure 3 est une vue an bout de trois cóbles à fibre de verre dont les extrémités des fibres sont disposées dans une rangée pour chaque câble et sont réunies en une matrice - la figure 4 est une vue en perspective d'un obturateur avec sa commande dans la région de la source lumineuse et des extrémités d'entrée de quatre cables à fibre de verre; - la figure 5 montre une solution selon une variante de la figure 4, o l'obturateur avec sa commande sont prévus dans la région de la matrice de fibres de verre aux extré- mités de sortie des cibles à fibre, c'est-à-dire aux fentes d'entrée du dispositif de décomposition de la lumière; - la figure 6 montre un schéma de principe d'un appareil photométrique complet pour des mesures sur une matière rayonnante à différents endroits d'un processus à plasma; et - la figure 7 montre une commande à obturateur selon encore une autre variante du système représenté sur la figure 4. La figure 1 représente une chambre à vide 1 mais il pourrait s'agir également de toute autre chambre de réaction. La chambre à vide renferme un espace de travail 2 dans lequel peut être exécuté l'un des processus classiques de dép8t de couches, tels que la métallisation sous vide, la pulvérisation cathodique, le dépôt en phase vapeur (CVD) et ainsi de suite. L'équipement nécessaire pour un tel processus de dépôt est connu et n'est pas décrit ni représenté en détail ici pour simplifier. Dans la chambre 1 6 - 2560381 se trouve un porte-objet 3 qui est seulement représenté schémati- quement et sur lequel repose un objet de mesure 4, lequel peut être formé par un substrat continu unique, sur lequel est déposée une couche ou une série de couches, mais qui peut être formé aussi d'un certain nombre de substrats qui sont revêtus ensemble d'une ou de plusieurs couches. La chambre à vide 1 possède une série de traversées étanches au vide 5 à 10 dont la construction est connue et dont la description détaillée n'est donc pas nécessaire. L'objet de mesure 4 est la pièce dont les propriétés de transmission et de réflexion en fonction de la longueur d'onde doivent être contrôlées en continu. A l'extérieur de la chambre à vide se trouve à cet effet une source de lumière 1il qui émet une lumière à spectre continu et est entourée d'un obturateur rotatif 12. Ce dernier est relié par un axe d'orientation 13 à un servomoteur 14, de sorte que la lumière de la source Il peut être délivrée sélectivement suivant une direction préfixée, tandis que toutes les autres direc- tions sont occultées. Des détails de ce système d'obturateur seront décrits ci-après en référence à la figure 4. Deux câbles à fibre de verre 15 et 16 partent de la source de lumière 11, passent par des traversées étanches au vide 5 et 8 à l'intérieur de la chambre à vide 1 et s'étendent dans cette chambre jusqu'à proximité immédiate de l'objet de mesure 4. Les positions des extrémités des cóbles 15 et 16 définissent des points de mesure 17 et 18, lesquels se rapportent à des endroits délimités de l'objet de mesure 4 ou à différents substrats lorsque l'objet de mesure 4 est constitué d'un certain nombre de substrats séparés. La lumière qui traverse le point de mesure 17 (mesure de transmission) est amenée par un câble à fibre de verre 19 passant par la traversée étanche au vide 6 à un dispositif de décom- position de la lumière 20, lequel est par exemple du type décrit dans le brevet des E.U.A. 3 874 799 ou dans la demande de brevet allemand DE-OS 26 25 272. Au point d'entrée 21 de ce dispositif se trouve une série de fentes parallèles qui seront décrites plus en détail en relation avec la figure 3. Il va de soi que les 7:2560381 extrémités des câbles 15 et 19 situées à proximité immédiate de l'objet de mesure 4 sont mutuellement alignées. Sur le point de mesure 18 est dirigée non seulement l'extrémité intérieure du câble à fibre de verre 16, mais aussi, depuis le même côté, l'extrémité intérieure d'un câble à fibre 22, Au point de mesure 18 peut ainsi être effectuée ce que l'on appelle une mesure de réflexion. Le câble 22 passe par une traversée étanche au vide 7 à une autre fente dans la région du point d'entrée 21 du dispositif de décomposition de la lumière 20. Il va de soi que des systèmes optiques peuvent être disposés aux extrémités intérieures des câbles 15, 16, 19 et 22 pour exclure autant que possible les pertes de lumière. A l'extérieur de la chambre à vide 1 se trouve en outre une source de lumière 23 qui est une source à spectre de raies et qui est combinée avec un autre obturateur 24, manoeuvrable par un servomoteur 25. La lumière de la source monochromatique 23 est introduite dans l'espace de travail 2 par un cRble à fibre de verre 26 et par la traversée étanche au vide 10; toutefois, le câble 26 se termine à une faible distance derrière la traversée 10. A un endroit situé exactement à l'opposé de la chambre à vide 1, se trouve, en alignement avec l'extrémité du câble 26, un autre câble à fibre de verre 27 qui est tenu dans la traversée étanche au vide 9. Les deux extrémités dirigées l'une vers l'autre de ces cables peuvent également être pourvues de dispositifs optiques pour la concentration de la lumière. Entre les extrémités se trouve un autre point de mesure 28, lequel est formé par la marche de rayons ouverte entre les extrémités des câbles 26 et 27 et qui permet de déterminer le spectre de l'atmosphère gazeuse dans l'espace de travail 2. Le câble 27 est également amené à une fente située au point d'entrée 21. Le dispositif 20 pour la décomposition de la lumière contient de façon connue un miroir de déviation 29, un réseau de diffraction 30 (miroir convexe avec une structure en réseau) et un miroir de déviation supplémentaire 31. La lumière, après avoir subi la décomposition spectrale et après avoir été 8 2560381 réfléchie par le miroir 31, tombe sur un dispositif récepteur de lumière 32 qui est réalisé - également de façon connue - comme une disposition alignée de diodes. Les signaux de sélection et de mesure sont transmis à travers un câble multiple 33 à une unité de calcul 34 o s'effectue l'exploitation mathématique et/ou un affichage des signaux de mesure dans une répartition spectrale. L'unité de calcul 34 contient en outre une unité de commande 35 pour commander les servomoteurs 25 et 14 à travers deux lignes de commande 36 et 37, comme décrit plus en détail dans ce qui va suivre. La figure 2 montre une section droite fortement simplifiée d'un câble à fibre de verre classique 15; plus précisé- ment, le nombre des fibres est fortement réduit et leur diamètre est représenté de façon fortement agrandie par rapport à la réalité. Habituellement, un câble à fibre de verre pour les applications indiquées dans ce qui précède contient plusieurs douzaines de fibres avec un diamètre de 200 1m ou, au minimum, de 100 ?m. Seulement sept fibres en tout sont représentées dans le cas présent. Selon la figure 3, les fibres 38 de chaque câble sont disposées en une rangée compacte par leurs extrémités débouchant dans le dispositif de décomposition de la lumière 20 (figure 1). Plus précisément, la figure 3 montre les fibres alignées de trois câbles, donc, dans le cas présent, des câbles à fibre de verre 19, 22 et 27 selon la figure 1. Les rangées 19a, 22a et 27a ainsi formées sont parallèles, elles sont directement juxtaposées et elles forment ensemble une matrice de fibres de verre 39. Cette matrice est disposée au point d'entrée 21 du dispositif de décom- position 20 de manière que les extrémités des différentes fibres soient dirigées vers le miroir de déviation 29. Comme il sera encore décrit par la suite, il est fait en sorte que, pendant la mesure, l'une seulement des rangées de fibres soit explorée et évaluée à chaque fois. Il est important que les axes longitudinaux des rangées 19a, 22a et 27a soient perpendiculaires à la direction de diffraction et perpendiculaires à la disposition en rangée des récepteurs de lumière que constituent les diodes. 9 2560381 La figure 4 montre des détails dans la région de l'obturateur 12 de figure 1. L'obturateur est formé d'un secteur de 270 degrés d'un cylindre creux qui est disposé concentriquement autour de la source de lumière 11 et que le servomoteur 14 peut faire tourner autour de son axe géométrique au moyen de l'axe d'orientation 13. Autour de la source de lumière 11 sont disposées, en étant reparties uniformément, les extrémités de quatre câbles à fibre de verre: les extrémités des câbles 15 et 16 en haut et en bas et les extrémités de deux autres câbles à fibre de verre 40 et 41 à gauche et à droite. Ces deux derniers câbles permettent d'envoyer de la lumière de mesure à deux autres points de mesure, mais qui ne sont pas représentés sur la figure 1 pour plus de clarté. Seulement l'un des quatre câbles reçoit chaque fois de la lumière de mesure de la source 11, suivant la position angulaire qu'occupe l'obturateur 12. Sur la figure 4, l'obturateur 12 est tourné de 180 degrés par rapport à la position de la figure 1, de sorte que seul le cable 16 pour le point de mesure 18 reçoit de la lumière de mesure; les autres câbles sont occultés. Chacun des câbles peut ainsi être alimenté sélectivement et individuelle- ment en lumière de mesure. Dans la disposition de la figure 1, c'est le câble 15 qui reçoit la lumière de la source. Fonctionnement Lorsque les obturateurs 12 et 24 occupent la position représentée sur la figure 1, seul le câble 15 est alimenté en lumière de mesure pour l'exécution d'une mesure de transmission au point de mesure 17. La partie de la lumière de mesure qui traverse ce point sort, à l'extrémité du câble 19, par les fibres de verre qui forment à cet endroit la rangée 19a (figure 3). Les extrémités des fibres formant les rangées 22a et 27a sont sombres. Lorsqu'une mesure de réflexion doit être effec- tuée au point de mesure 18, l'unité de commande 35, par la ligne de commande 37 et le servomoteur 14,fait tourner l'obturateur 12 à la positim opposée, c'est-à-dire à celle représentée-sur la figure 4. La lumière de mesure pénètre à présent dans le câble à fibre de verre 16 et sa fraction réfléchie parvient à travers le câble 2560381 à fibre de verre 22 au point d'entrée 21, plus précisément dans la rangée de fibres 22a. Les rayons lumineux qui sortent de cette rangée sont soumis à une décomposition spectrale dans le dispositif de décomposition 20 et sont évalués au moyen du dispositif récepteur de lumière 32. Les extrémités des fibres formant les rangées 19a et 27a sont sombres pendant cette mesure. - Habituellement, on mémorise, au début des mesures, un spectre dit de fond Io, avec lequel est comparé ensuite le spectre I qui se forme-lors du processus. Par la formation du quotient I/10 on obtient ainsi un spectre qui est indépendant, par exemple du spectre de la lampe constituant la source et des propriétés de transmission des fibres de verre. S'il faut établir le spectre de raies, l'unité de commande 35 fait tourner l'obtura- teur 12 de 90 degrés, de sorte que les deux câbles à fibre de verre 15 et 16 ne reçoivent pas de lumière de mesure. Par la ligne 36, l'unité de commande 35 commande en même temps le servomoteur 25 de manière que l'obturateur 24 permette l'entrée de lumière dans le câble à fibre de verre 26. La fraction du rayonnement lumineux qui traverse l'espace de travail est transmise à travers le câble à fibre de verre 27 à la rangée 27a au point d'entrée 21 (figure 3), tandis que les rangées 19a et 22a sont sombres. Dans ce cas, c'est par conséquent la caractéristique spectrale de l'atmosphère gazeuse dans l'espace de travail 2 qui est déterminée au moyen du dispositif récepteur 32. La disposition en rangées selon la figure 3 correspond à l'étalement des fibres de chaque câble dans une fente étroite dont la largeur correspond à peu près à l'épaisseur des fibres individuelles et est déterminante pour la résolution spec- trale du dispositif d'exploitation. La réunion des fibres dans la matrice 39 permet de loger les différentes colonnes et lignes dans l'espace le plus restreint possible. La commutation d'une rangée à l'autre correspond à un décalage à l'entrée du dispositif de décom- position de la lumière 20. Ceci entratne également un décalage du spectre sur le dispositif récepteur 32. Par un calibrage des longueurs d'onde des différentes cellules de mesure avec une source de raies définies, on associe au spectre, depuis le point de mesure concerné, 11 2560381 le calibrage d'onde correspondant au moyen de l'unité de calcul, ceci afin de corriger ce décalage. Il n'est pas obligatoire que les obturateurs 12 et 24 soient installés du côté entrée de la lumière dans les câbles à fibre de verre 15, 16 et 26, comme cela est représenté sur la figure 1. Il est possible également de combiner le point d'entrée 21 avec un obturateur 42, qui peut être installé dans le dispositif de décomposition de la lumière 20 et peut être pourvu d'une fente 43. Une telle variante est représentée en position retournée sur la figure 5. Les différentes rangées 19a, 22a et 27a formées par les extrémités des différentes fibres de verre sont disposées dans la matrice 39 représentée sur la figure 3 et la fente 43 de l'obtu- rateur 42 peut être déplacée sélectivement par rapport aux rangées!9a, 22a et 27a, de manière à découvrir chaque fois une seule rangée pour l'exploitation de la répartition spectrale de la luminance. L'obturateur 42 peut être manoeuvré par un servomoteur 44 qui est raccordé par une ligne de commande 45 à l'unité de commande 35. I1 est possible aussi de prévoir un obturateur 42 comme celui représenté sur la figure 5 en supplément afin d'empêcher la péné- tration de lumière parasite éventuelle dans le dispositif de décom- position 20. il est cependant nécessaire dans ee cas de prévoir la commande synchronisée des obturateurs 12, 24 et 42. L'espacement des rangées est représenté exagé- rément grand. Il est recommandé de rendre cet espacement aussi petit que possible et de rendre la fente aussi étroite que possible. Lorsque la largeur de la fente est inférieure au diamètre des fibres de verre, par exemple, le pouvoir résolvant de l'ensemble du sys- tème peut être amélioré. La figure 6 représente également une chambre à vide 1 qui entoure un espace de travail 2. Dans cet espace est disposé un porte-substrats 46 avec une série de substrats discordes 47. En regard du porte-substrats se trouve une cathode plane 48 qui est parallèle au porte-substrats et sur laquelle est disposée une cible 49 de matériau à pulvériser. La cathode 48 est entourée d'un écran de mise à la terre 50. 12 2560381 L'espace de travail 2 est divisé partiellement par un obturateur ou diaphragme 51. D'un côté (au-dessus) de ce diaphragme se trouve une conduite de distribution annulaire 52 pour l'amenée du gaz de pulvérisation (argon); de l'autre côté du diaphragme se trouve une conduite de distribution annulaire 53 pour l'amenée d'un gaz de réaction. Ces conduites sont seulement - représentées en section et lesStonduites de raccordement qui sortent de la chambre à vide 1 n'ont pas davantage été représentées pour simplifier. Un câble à fibre de verre 54 débouche dans l'espace de travail 2 dans la région de la cible 49. A proximité de cette dernière existe en effet, pendant le fonctionnement du dispositif, un plasma luminescent, de sorte que le câble 54 permet de surveiller la composition du plasma et de constater en particu- lier si oui ou non seul le matériau désiré quitte la surface de la cible et d'en déterminer la composition. Il n'y a donc pas de source de lumière étrangère dans ce cas, mais le rayonnement de la matière elle-même est utilisé pour l'analyse. Un autre câble à fibre de verre 55 débouche dans l'espace de réaction 2 de l'autre côté (au-dessous) du dia- phragme 51 et sert au contr le de la composition du gaz de réaction admis, si c'est un mélange gazeux par exemple. Le câble 55 permet en outre d'obtenir des renseignements sur la couche en cours de formation sur les substrats 47. Il est possible, par exemple, que des parti- cules chassées par pulvérisation de la cible métallique 49 soient oxydées sur leur chemin vers les substrats. Au moyen du câble à fibre de verre 55, il serait possible en pareil cas de déterminer le degré d'oxydation relative des particules pulvérisées. Encore un autre câble à fibre de verre 56 débouche enfin dans l'espace de travail 2 à proximité immédiate des substrats 47. Ce câble permet de surveiller un processus d'attaque par exemple. En effet, lorsque, pendant l'attaque, une couche est transpercée, du matériau de la couche sousjacente pénètre dans l'espace de réaction. Ce matériau est excité et émet une radiation caractéristique qui peut servir de critère d'arrêt pour le processus en cours. 13 2560381 Les extrémités des câbles à fibre optique, pouvant également être pourvues de dispositifs optiques à cet endroit, définissent des points de mesure 57, 58 et 59, mais dont l'emplace- ment n'est pas fixé aussi étroitement que pourraient le laisser sup- poser leurs références sur la figure 6. Les câbles a fibre optique 54, 55et 56 sont dans ce cas également amenés à une matrice de fibres optiques comme celle représentée sur la figure 1; autrement dit, les extré- mités des fibres de verre de chaque câble sont étalées en une rangée. La sélection des différentes rangées de fibres peut se faire de façon analogue à ce qui a été représenté sur la figure 5, c'est-à- dire au moyen d'un obturateur ou diaphragme 42 qui peut être déplacé en translation pour amener chaque fois sa fente devant l'une des rangées de fibres. i5 L'interruption des marches des rayons peut être réalisée à différents endroits des câbles à fibre de verre. La figure 7 montre à cet égard une partie d'une variante de réali- sation. Les extrémités extérieures à l'espace de travail 2 des câbles 54 à 56 sont disposées avec une répartition uniforme sur un cercle, comme le montre la figure 7 (le quatrième cible à fibre de verre représenté sert uniquement à des fins d'alimentation). Avec ces cables sont alignés un nombre correspondant de câbles à fibre de verre identiques, dont la figure 7 montre seulement les câbles 60 et 61, qui mènent à une matrice de fibres de verre 39 selon la figure 3. Les extrémités mutuellement alignées des fibres de tous les câbles sont situées à un certain intervalle les unes des autres, dans lequel est disposé un obturateur 62 qui est calé sur l'axe d'un servomoteur non représenté, dans une disposition qui ressemble à celle de figure 4. L'obturateur de figure 7 est un obturateur dit à secteur, qui possède une découpe en forme de secteur dimensionnée de manière que les rayons puissent seulement passer entre deux câbles mutuellement alignés (les câbles 54 et 60 par exemple), tandis que les marches des rayons des autres paires de cibles sont coupées 0O peut prévoir en plus une autre forme et une autre position d'obturateur pour que, à une position, tous les 14 -2560381 conducteurs de lumière soient coupés, afin de pouvoir déterminer le spectre du détecteur dans l'obscurité. L'interrogation des différents points de mesure peut s'effectuer cycliquement et à une fréquence relativement élevée, de sorte qu'un fonctionnement "en multiplex" est possible. Une observation quasiment continue de tous les points de mesure est ainsi possible. Les mots "obturateur" et "diaphragme" utilisés ici désignent n'importe quel dispositif capable d'interrompre la marche des rayons; il peut s'agit aussi, par exemple, d'un dispositif pour créer un effet de polarisation dans les c4bles à fibre de verre, en combinaison avec des filtres de polarisation. 2560381 REVENDICATIONS 1. Appareil spectrophotométrique pour mesurer les propriétés optiques de matières transparentes, réfléchissantes ou rayonnantes en fonction de la longueur d'onde de la lumière, en particulier pour mesurer la variation des propriétés optiques pendant la formation de couches minces sur des substrats dans des chambres à vide, comprenant un dispositif de décomposition spectrale de la lumière, un dispositif récepteur de lumière placé dans la marche des rayons du spectre et constitué d'une série de cellules de mesure, ainsi qu'un dispositif électrique d'exploitation qui interroge cycliquement les cellules de-mesure, avec disposition d'au moins un câble à fibre de verre, débouchant dans le dispositif de décomposition spectrale de la lumière, sur au moins une partie de longueur de la marche des rayons entre la matière et ce dispositif, caractérisé en ce qu'au moins uncâble à fibre de verre est prévu pour chaque point de mesure, en cas d'utilisation de plusieurs points de mesure (17, 18, 28, 57, 58, 59), que les fibres de chaque cgbles sont disposées en une rangée (19a, 22a, 27a) aux extrémités des câble débouchant dans le dispositif de décomposition de la lumière (20), que les rangées (19a, 22a, 27a) de tous les câbles sont disposées parallèlement et directement les unes à coté des autres dans une matrice de fibres de verre (39) et que les cûbles sont combinés avec au moins un obturateur ou un organe analogue (12, 24, 42, 62) pour sélectionner chaque fois la marche des rayons d'un point de mesure. 2. Appareil selon la revendication 1 pour la mesure des propriétés spectrales de couches minces sur des substrats, comprenant au moins une source de lumière, émettant de la lumière à spectre continu, et un porteobjet disposé dans les marches des rayons de la source de lumière, caractérisé en ce que, pour chaque point de mesure (17, 18, 28), un câble à fibre de verre (15/16; 16/22 et 26/27) est prévu du c8té entrée et du côté sortie. 3. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que la source de lumière (11) est combinée avec plusieurs câbles à fibre de verre (15, 16) et en ce qu'un obturateur (12)> qui découvre chaque fois un seul câble pour l'entrée de la lumière, est disposé entre la source de lumière et les extrémités d'entrée de la lumière des cibles. 4. Appareil selon la revendication 2, carac- térisé en ce qu'il comprend, du cSté de la sortie de la lumière des câbles à fibre de verre, à l'entrée dans le dispositif de décompo- sition de la lumière (20), un obturateur (42) qui présente une fente (43) et peut être déplacé sur la matrice de fibres de verre (39) pour découvrir chaque fois une seule rangée (19a, 22a, 27a) d'extré- mités de fibres de verre. 5. Appareil selon la revendication 3 ou 4, caractérisé en ce qu'il comprend, en plus de la source de lumière (11) émettant de la lumière à spectre continu, une source de lumière (23) qui est essentiellement monochromatique et qui est combinée avec des câbles à fibre de verre (26, 27) qui sont disposés en aligne- ment l'un avec l'autre dans des parois opposées de la chambre à vide (1) et en ce qu'un obturateur (24) est prévu également dans la marche des rayons de la source de lumière monochromatique (23). 6. Appareil selon la revendication 1, caracté- risé en ce que le dispositif d'exploitation (34) est en mesure de commander au moins un obturateur (12, 24, 62).