Brevet FR2551884A1 — publié le 19850315

PROCEDE DE FABRICATION D'UNE FIBRE OPTIQUE MONOMODE A MAINTIEN DE POLARISATION LINEAIRE ET DISPOSITIF DE MISE EN OEUVRE. La présente invention se rapporte à un procédé de fabrication de fibres optiques monomodes a' maintien de polarisation linéaire ainsi qu'au dispositif permettant la mise en oeuvre crun tel procédé. Un procédé de fabrication de fibres optiques est connu sous les abréviations "MCVI:3" tde l'expression anglo-saxonne: "modified chemical vapor deposition" qui peut se traduire par procédé modifié de dépôt chimique par voie gazeuse). Ce procédé consiste à faire circuler à l'intérieur d'un tube en quartz ou un autre matériau réfringent équivalent un mélange gazeu: comprenant notamment de l'oxygène et des composés de silicium de germanium ou de bore, ces derniers étant introduits à l'intérieur du tube selon des séquences predéterminees. Le tube est chauffé à l'aide d'une source de chaleur que l'on déplace suivant une direction longitudinale à ce tube. Le cycle est recommencé plusieurs fois.A chaque passage dans les zones échauffées il se réalise une réaction d'oxydo-réduction des composants en présence et dépôt des oxydes de silicium, de bore ou de germanium sur la paroi interne. A chaque passage du tube devant la source de chaleur, une nouvelle couche se dépose. La dernière phase du procédé consiste à chauffer très fortement le tube en quartz, il s'en suit une contraction ou rétreint et on obtint une préforme. Le produit obtenu par ce procédé se présente sous la forme egalement d'un barreau de diamètre un peu inférieur au diamètre interne du tube en silice. Cette préforme subit ensuite une phase ultérieure de tréfilage et à l'issue de cette phase, la fibre optique proprement dite est obtenue. Ce procédé permet d'obtenir des fibres de très hautes performances notamment des fibres monomodes, utilisées pour la transmission numérique d'infoemations a' fort débit ou pour la fabrication de dispositif optiques tels que des interféromètres en anneau. De telles fibres présentent une faible atténuation (typiquement inférieure à 0,5 dB/km pour une longueur d'onde centrée sur 1,3 micromètres) et une grande bande passante (typiquement supérieure à 1 GHz.km). Parmi les paramètres opto-géométriques associés à ces fibres, un paramètre important est le maintien de la polarisation linéaire d'une onde lumineuse polarisée lors de sa propagation le long de la fibre optique. La qualité du maintien de polarisation est reflétée, par exemple, par un paramètre optogéométrique mesurable associé aux fibres optiques appelé: "longueur de battement". I1 est connu que les fibres monomodes de structure de symétrie cylindrique propagent deux états de polarisation linéaire orthogonaux "dégénérés". Pour certaines applications telles, par exemple, que l'utilisation de ces fibres optiques dans la réalisation de capteurs ou d'interféromètres en anneau, il est nécessaire de lever cette dégénérescence en créant une différence de vitesse de propagation entre ces deux états de polarisation. Ceci peut être obtenu en introduisant des effets non homogènes de géométrie ou de contraintes diverses. Habituellement, dans l'Art Connu, on recourt à des techniques du type apport de matière sous forme de barreau, attaque chimique, hydrolyse à la flamme ou usinage de la préforme. Ces techniques sont difficiles à mettre en oeuvre, nécessitent des manipulations supplémentaires de la préforme et le déroulement des étapes du procédé de fabrication s'écarte notablement de celui du procédé classique "MCVD1, qui vient d'être rappelé brièvement. L'invention se fixe pour but de pallier les inconvénients de l'Art Connu et propose un procédé de fabrication de fibres optiques à maintien de polarisation linéaire simple de mise en oeuvre, non coûteux aussi bien en ce qui concerne l'appareillage, car il ne nécessite pas de modifications importantes des appareillages classiques, qu'en ce qui concerne le procédé luimême, car il ne nécessite ni démontage et manipulation de la préforme, ni attaque chimique, ni dopage des matériaux en dehors des gammes classiques. Pour obtenir la conservation de la polarisation linéaire, il est créé, selon le procédé de l'invention, des effets de contraintes non homogènes dans un plan de section orthogonal à l'axe de propagation des ondes guidées, c'est à dire à l'axe de symétrie de la région de coeur de la fibre optique. Pour ce faire, on modifie, de façon contrôlée, les géométries respectives des sections de coeur et de gaine optique. L'invention a donc pour objet un procédé de fabrication d'une fibre optique monomode à conservation de la polarisation linéaire d'une onde lumineuse guidée par cette fibre optique comprenant: - une première étape de dépôt d'oxydes à l'intérieur d'un tube en quartz à sections interne et externe circulaires en rotation le long duquel est déplacée une source de chaleur et dans lequel sont envoyés des halogénures et de l'oxygène, le tube étant porté à une première température grâce à cette source de chaleur; cette étape comportant deux phases, une phase de dépôt d'une gaine puis une phase de dépôt d'un coeur; - une deuxième étape de rétreint du tube obtenue en augmentant la température du tube grâce à la source de chaleur jusqu'à obtenir un barreau ou préforme; - une troisième étape d'étirage de cette préforme pour obtenir une fibre de dimension homothétique de celles de la préforme comportant une région centrale de coeur entourée d'au moins une région formant gaine de dopages différents;; caractérisé en ce qu'il comprend une étape supplémentaire réalisée entre la première et la deuxième étape pendant laquelle l'une des extrémité du tube est obturée une dépression par rapport à la pression régnant dans le milieu extérieur au tube est établie à l'intérieur de ce tube et en ce que les dopages des matériaux constituant les régions de gaine et de coeur sont saiectionr.s pour que les températures de ramollissement et les coefficients de dilatations de ces matériaux soient dans des rapports préétablis et, en outre, Pamplitude de ladite dépresssion est ajustée à une valeur calibrée, de manière à obtenir lors de la troisième étape une fibre optique dont les sections respectives de coeur et de gaine présentent des géométries déterminees. Elle a encore pour objet un dispositif de mise en oeuvre d'un tel procédé. L'invention sera mieux comprise et d'autres carasctéristiques apparaî- tront au moyen de la description qui suit, en se reportant aux figures qui l'accompagnent, parmi lesquelles: - les figures 1 à 3 illustrent différents aspects de procédé et dispositif de l'art connu. - la figure 4 illustre schématiquement un dispositif de mise en oeuvre du procédé de Pinvention. - la figure 5 illustre un élément du dispositif de l'invention. - les figures 6 à 9 représentent différentes variantes de fibres optiques obtenues par le procédé de l'invention. I1 apparaît tout d'abord utile de rappeler les principales caractéristiques de la technique "MCVD" mise en oeuvre dans la fabrication des fibres optiques les plus courantes. La technique "MCVD" est illustrée schématiquement sur la figure 1. Un tube de quartz 1 ou matériau analogue est monté entre les deux mandrins d'un tour verrrier (non représentés). Le long de ce tube 1 en rotation se déplace la flamme d'un chalumeau oxyhydrogéné à une température suffisante (typiquement 1600"C à 1900"C) pour permettre la réaction des halogénures tels que tétrachlorure de silicium (SiC 14) avec de Poxytricho- rure de phosphore (POC 13) ou du tétrafluorure de silicium (5iF4) pour la couche de gaine; et du tétrachlorure de silicium (SiC 14) et du tétrachlorure de germanium (GeC14) pour la couche de coeur, avec de l'oxygène pour donner des oxydes de silicium (SiOZ), de germanium (GeO2), de phosphore (P205) ou de bore (B203). Ces oxydes sont déposés sur la surface intérieure du tube pour former une couche de verre transparente. Les différentes couches sont déposées à chaque passage du chalumeau. L'indice de réfraction est contrôlé en agissant sur la concentration des dopants à chaque passsage du chalumeau Lorsque l'épaisseur du dépôt souhaité est obtenue sur la surface interne du tube, la température du chalumeau est fortement augmentée (typiquement à 2200tC) afin de rétreindre le tube et de le fermer pour donner un barreau que l'on appelle préforme représentée schématiquement sur la figure 2 avec un coeur 6 et une gaine optique 5. A la place du chalumeau toute autre source de chaleur appropriée peut être utilisée. La préforme est ensuite étirée dans un four à graphite de haute pureté pour obtenir une fibre qui est enroulée sur un tambour. La longueur de la fibre étant liée aux paramètres géométriques de la préforme et au diamètre extérieur de la fibre désirée, des longueurs de un à plusieurs kilomètres peuvent être obtenues. Un tour verrier est illustré schématiquement sur la figure 3. I1 comprend un plateau 10 support du chalumeau 2 qui peut se déplacer le long d'une vis merle 14, ce déplacement entre deux butées 12 et 13 étant obtenu gracie à un moteur 15. Le tube de quartz 1 en rotation 7 est maintenu grâce à deux mandrins 16, 17 en rotation. Le procédé de l'invention comprend l'essentiel des étapes du procédé "MCVD" classique. Cependant, lors de l'étape de rétreint et selon une des caractéristiques essentielles, il est créé une dépression damplitude calibrée dans le tube. En outre, on sélectionne les matériaux de dopages de manière à ce que, d'une pc t, le rapport des indices de réfraction des régions de coeur et de gaine optiques soient tels que les conditions de guidage soient satisfaites, ce qui est commun à l'Art connu, mais aussi, et selon un deuxieme aspect essentiel de l'inventions que les rapports entre les coefficients de dilatation, d'une part, et les températures de ramollissement de ces régions, d'autre part, soient égaux à des valeurs préétablies. En fonction de ces choix et de l'amplitude de la dépression, les sections des régions de coeur et de gaine optique des fibres optiques obtenues après tréfilage vont épouser des formes géométriques diverses et indiiduellement contrôlables selon ce qui va etre ultérieurement décrit de façon détaillées La dépression d'amplitude calibrée pendant l'étape de rétreint de la préforme est créée selon un autre aspect de l'invention en faisant appel à l'effet connu sous le nom d'effet Venturi. La figure 4 illustre schématiquement un dispositif permettant de mettre en oeuvre le procédé de l'invention. Ce dispositif comporte un dispositif 24 de mise en oeuvre du procédé 9'MCVn'4 tel qu'illustré à la figure 3 Il comporte, en outre un manomètre 21, un débitmètre 2D, trois vannes EV1, EV2, F pour permettre ou interdire la circulation de gaz. Il comprend une première canaiisation 27, d'introduction des gaz dans le tube en quartz comportant une première vanne EV2, une deuxième canalisation 28 de circulation oxygène, par exemple, comportant une deuxième vanne EV1 qui est reliée à la première canalisation 27 à sa première extrémité par laquelle sont introduits les gaz. Une troisième canalisation 29 comportant une troisième vanne EV3 est reliée à ces deux premières canalisations en leur deuxième extrémités. Un débimètre 20 permet de connaître le débit de gaz dans la deuxième canalisation. Un manomètre 21 permet de connaître la pression au point P en aval de la jonction entre les canalisations 28 et 29, c'est à dire l'amplitude calibrée de la dépression créée avant rétreint. Selon un des points importants de l'invention, un organe déprimogène 26 du type à effet Venturi est inséré sur la canalisation 28 en amont du point P, et forme la jonction entre les canalisations 28 et 29. L'effet Venturi est relatif à l'écoulement d'un gaz par exemple dans un tuyau de section variable dont l'axe est horizontal. Dans ce cas, la pression du gaz est plus faible là où la section du tube est la plus petite et où la vitesse est la plus grande, ce qui permet d'obtenir la dépression désirée. Un exemple de structure d'organe déprimogène 26 est représenté à la figure 5. Le flux 30 de gaz qui parcourt la deuxième canalisation 28 entre dans un "Té" par un conduit 42 en forme d'entonnoir qui permet de créer une dépression dans les tubes 29 et 1 par aspiration 31 des gaz internes à ce tube par le flux de gaz 30. La grande ouverture 43 de l'entonnoir est disposée du côté de la jonction avec la canalisation 28 et la petite 44 au niveau des jonctions des canalisations 29 et 32, disposées de préférence à angle droit. Le gaz qui circule dans cette deuxième canalisation peut être de l'oxygène mais d'autres gaz peuvent être utilisés. On joue seulement sur la pression dans cette canalisation pour créer une dépression, via le tube 29, dans le tube 1, qui a été auparavant refermé en son autre extrémité. Le flux de gaz résultant 25 est éjecté par une troisième canalisation 32. Le procédé de l'invention reprend les étapes du procédé MCVD. Ainsi il y a tout d'abord dépôt d'oxydes à l'intérieur d'un tube 1 de quartz par chauffage externe à l'aide d'un chalumeau 2 qui se déplace le long de ce tube 1. A chaque passage une couche d'épaisseur typique de 10 micromètres est déposée. La température obtenue à la surface du tube est de l'ordre de 16000C à 1900"C. II y a successivement une phase de dépôt de gaine puis une phase de dépôt de coeur. Il y a ensuite une étape de rétreint qui consiste à ramener le tube sous la forme d'un barreau en chauffant à une température de l'ordre de 22000C à l'aide du chalumeau qui se déplace le long de ce tube. Il y a ainsi diminution de l'épaisseur du tube du fait de l'échauffement. Selon une des caractéristiques du procédé de l'invention, avant rétreint complet du tube, celui-ci est obturé à une extrémité et une dépression à l'intérieur de ce tube fermé est créée à l'autre extrémité. Pendant la phase de dépôt dans le tube 1, la vanne EV2 est ouverte, et les vannes EV1 et EV3 sont fermées. Il y a alors circulation de gaz et d'oxygène à l'intérieur du tube de quartz. Au moment du rétreint sous dépression, EV2 est fermée, les vannes EV1 et EV3 sont ouvertes, ce qui entraine l'aspiration des gaz 30 contenus dans le tube 1 via le tube 29 par la pression d'un flux d'oxygène 31. Selon les formes désirées des sections des régions de coeur et de gaine de la fibre optique obtenue après l'étape finale de tréfilage, l'amplitude de la dépression est ajustée à une valeur prédéterminée de la manière qui va être décrite dans ce qui suit. Elle dépend également de la géométrie du tube de départ, de la composition exacte du verre et de la vitesse de déplacement du chalumeau. Cette valeur peut être déterminée par le calcul ou par l'expérimentation. Des exemples de réalisations de fibres optiques de configurations diverses vont maintenant être détaillés en relation avec les figures 6 à 9. Les figures 6 et 7 représentent des fibres optiques dont les coeurs ont des sections, respectivement elliptique et approximativement rectangulaire. Pour obtenir c&commat; ce type de géométries de fibres optiques, il est nécessaire que les coefficients de dilatation et que les températures de ramollissement des régions de coeur soient respectivement supérieure et inférieure à ceux des régions de gaine. En outre, la dépression créée à l'intérieur du tube 1 avant rétreint est de faible amplitude pour obtenir une section de coeur ayant la forme générale d'une ellipse (figure 6) et de plus forte amplitude pour obtenir une forme de coeur plus applatie, c'est à dire de forme approximativement rectangulaire d'un ruban suivant Paxe de propagation des ondes guidées (figure 7). Pour fixer les idées, les régions coeur (respectivement Fig.6: 66 et Fig.7 :76) ont été obtenues par dopage de la silice (Si02) avec du dioxyde de germanium (Ge 02) telle que la concentration (Ce 02hui 2) est supérieure à 0,30. La dépression par rapport à la pression ambiante externe au tube 1 doit être de Pordre de la cent aine de Pascal dans le cas de la figure 6 et de 1000 Pa dans le cas de la figure 7. Les gaines, respectivement Fig.6 :65 et Fig.7 :75, sont peu dopées, avec de Poxyde de bore, de l'oxyde de fluor ou avec un mélange d'oxydes de fluor et de phosphore ou de bore et de phosphore, de telle sorte que l'indice de réfraction des gaines soit inférieur à 3.10-3. En outre, il peut être prévu une gaine optique intermédiaire (Fig.7: 750) dopée par exemple au fluor pour la transmission de longueur d'ondes plus élevées, c'est à dire dans la gamme infra-rouge: 1,3 micromètre par exemple. Une fibre optique réalisée de la manière qui vient d'être rappelée et de section de coeur elliptique - longueur de battement relevée à une longueur d'onde de 0,63 micromètres :14mm; - atténuation à une longueur d'onde 0.84 micromètres: 4 dB/km et à une longueur d'onde 1,06 micromètres: 1.5 dB/km; - ellipticité de la section du coeur: 0,65 - différences d'indices de réfraction entre les régions de coeur et de gaine: 9,5 10 3 et entre les régions de gaine et le tube 1 : 1,6 Si une gaine intermédiaire (Fig.7: 750) est prévue, les matériaux constituant cette gaine présentent, en ce qui concerne la température de ramollissement et le coefficient de ramollissement les mêmes caractéristiques que celles du coeur. Les figures 8 et 9 représentent des fibres optiques dans lesquelles les coeurs ont conservé une forme circulaire ou quasi-circulaire. La température de ramollissement et le coefficient de dilatation des matériaux constituant les régions de gaine (respectivement Fig.8 : 85 et Fig.9 : 95), doivent dans ce cas être, respectivement, inférieure et supérieur à ceux des matériaux consituant les régions de coeur (respectivement Fig.8: 86 et Fig.9 : 96). Ceci autorise une dépression de très faible amplitu de, typiquement de l'ordre de 30 Pa. Ceci a pour conséquence que la région de coeur subit peu de déformation et sa section reste circulaire ou quasicirculaire après rétreint. Par contre, si l'on augrnente l'amplitude de la dépression, on peut obtenir, à la fois, une section de coeur de type elliptique (Fig.4 : 95) ou meme applatie (non représentée), et une section de gaine elliptique. Pour fixer les idées, la région ele coeur peut être dopée faiblement ayec du germanium et être entourée par une région de gaine fortement dopée avec de dioxyde de bore ou avec un mélange doxydes de fluor et de phosphore. iwans ces condi tions, la différence d'indice de réfraction entre les régions de coeur et de gaine est supérieure typiquement à 5.10-3. Pour les longueurs d'onde les plus élevée, dans la gamme infra-rouge, il peut être nécessaire de prévoir, comme dans le cas de la figure 7, une gaine optique intermédiaire, dopée avec de l'oxyde de fluor par exemple. Une fibre réalisée dans les conditions qui viennent d'être énoncées et du type décrit en relation avec la figure 8 a présenté les caractéristiques suivantes: - longueur de battement mesurée à une longueur d'onde 0,63 micro mètres: 6 mm et à une longueur d'onde 0,84 micromètres 8 mm; atténuation à une longueur d'onde 0,84 micromètres: 6 dB/km; - rellipticité de la gaine optique était égale à 0,2G; - les coefficients de dilatation des matériaux des gaine et coeur étaient, respectivement 1,4 10-6 et 0,5 - les températures de ramollissement de ces matériaux étaient, res pectivement, 6000C et 10000C environ. On constate donc que l'on peut obtenir des fibres optiques dont les sections des régions de coeurs et/ou de gaines sont ajustables à volonté, ce qui créé des anisotropies de géométrie et permet d'obtenir une conservation de la polarisation linéaire. Comme il a été rappelé, le procédé présente l'avantage d'être simple de mise en oeuvre et non coûteux car il permet utiliser sans mpdification importantes les appareillages existants et s'écarte peu des étapes des procédés de l'Art Connu, en particulier du procédé "MCVD". En outre, il ne nécessite ni démontage ni manipulation particulière de la préforme, ce qui pourrait entraîner un risque de pollution. La nature des gaz utilisés et les gammes de dopages des matériaux ne diffèrent pas de PArt Connu. Seuls des choix particuliers doivent être réalisés, choix tenant compte également de la dépression réalisée avant rétreint, selon la caractéristique fondamentale de l'invention, pour obtenir la géométrie finale désirée. Le recours à l'effet Venturi, selon une autre caractéristique de l'invention, pour obtenir la dépression dans le tube avant rétreint, permet un contrôle aisé et précis de ram plltud e, la précision obtenue étant de l'ordre de 10 Pa. Enfin, l'expérience l'a montré, ce procédé permet la fabrication de fibres optiques à faible longueur de battement et à faible atténuation. REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'une fibre optique monomode à conservation de la polarisation linéaire d'une onde lumineuse guidée par cette fibre optique comprenant: - une première étape de dépôt d'oxydes à l'intérieur d'un tube en quartz (1) à sections interne et externe circulaires en rotation le long duquel est déplacée une source de chaleur (2), et dans lequel sont envoyés des halogénures et de l'oxygène, le tube étant porté à une première température grace à cette source de chaleur; cette étape comportant deux phases, une phase de dépôt dune gaine puis une phase de dépôt d'uncoeur; - une deuxième étape de rétreint du tube (1) obtenue en augmentant la température du tube (1) gracie à la source de chaleur (2) Jusqu'à obtenir un barreau ou préforme; - une troisième étape d'étirage de cette préforme pour obtenir une fibre de dimension homothétiue de celles de la préforme comportant une région centrale de coeur (6) entourée ditau moins une région formant gaine (5) de dopages différents;; caractérisé en ce qu'il comprend une étape gaz supplémentaire réalisée entre la première et la deuxième étape pendant laquelle l'une des-extrémité du tube (1) est obturée, une dépression par rapport à la pression régnant dans le milieu extérieur au tube (I) est établie à l'intérieur de ce tube et en ce que les dopages des matériaux constituant les régions de gaine (5) et de coeur (6) sont sélectionnés pour que les températures de ramollissement et les coefficients de dilatation de ces matériaux soient dans des rapports préétablis et, en outre, l'amplitude de ladite dépression est ajustée à une valeur calibrée, de manière à obtenir lors de la troisième étape une fibre optique dont les sections respectives de coeur (6) et de gaine (5) présentent des géométries déterminées. 2. Procédé selon la revendication 1, caracterisé en ce que la température de ramollissement et le coefficient de dilation des matériaux constituant la région de coeur sont, respectivement, inférieure à la température de ramollissement et supérieur au coefficient de dilatation des matériaux constituant la région de gaine entourant le coeur de manière à obtenir une fibre optique de section de gaine circulaire (6fui,75) et une section de coeur elliptique (66) ou rectangulaire (76). 3. Procédé selon la revendication 1 caractérisé en ce que la température de ramollissement et le coefficient de dilatation des matériaux constituant la région de coeur sont, respectivement, inférieure à la température de ramollissement et supérieur au coefficient de dilatation des matériaux constituant la région de gaine entourant le coeur (86,96) de manière à obtenir une fibre optique dont au moins la gaine (85,95) présente une section elliptique. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3 caractérisé en ce que la région du coeur (6) est constituée par de la silice dopée avec du dioxyde de germanium, la concentration de oxyde de germanium étant supérieure à 30%; et en ce que la région de gaine (5) est en silice dopée par un oxyde choisi parmi les suivants: oxyde de bore ou oxyde de fluor ou un mélange d'oxydes de fluor et de phosphore ou de bore et de phosphore. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendicatiopns 1 à 3 caractérisé en ce que la dite dépression a une amplitude comprise dans la gamme 100 à 1000 Pa. 6. Dispositif de mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, comprenant: - une vis-mère (14) actionnée par un moteur (15) - un chalumeau (11) supporté par cette vis se déplaçant le long de celles dans un sens puis dans l'autre entre deux butées (12,13) - deux mandrins (16,17) en rotation, maintenant le tube au dessus du chalumeau et le faisant tourner, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une première canalisation (27) d'introduction des gaz dans le tube (1) sur laquelle est positionnée une première vanne (EV2), une deuxième canalisation (28) de circulation de ces gaz sur laquelle est positionnée une deuxième vanne (EV1), reliée à la première canalisation (27) en sa première extrémité par laquelle sont introduits les gaz dans le tube (1), une troisième canalisation (29) sur laquelle est positionnée une troisième vanne (EV3), reliant ces deux premières canalisations (27,28) en leurs deuxièmes extrémités et un organe déprimogène (26) à effet Venturi faisant la jonction entre les deuxième (28) et troisième (29) canalisations créant ladite dépression pendant ladite étape supplémentaire dans le tube (1) via la troisième canalisation (29). 7. Dispositif selon la revendication 6 caractérisé en ce que ledit organe déprimogène (26) est constitué dun embout en forme de 'Té" à trois branches, comportant un élément (42) à parois en forme d'entonnoir, ayant deux extrémités, une grande (43) et une petite (44), disposées à l'intérieur d'une première branche du "Té"' reliée à la deuxième canalisation (28), la petite extrémité (44) de l'entonnoir étant dirigée vers une branche du 'Té" reliée à la troisième canalisation (29) et faisant un angle droit avec ladite première branche (28) et en ce que la troisième branche est reliée à une canalisation supplémentaire (32) d'évacuation des gaz (25) aspirant, pendant l'étape supplémentaire, via la troisième canalisation (29), les gaz contenus dans le tube (1) et créant ladite dépression 8. Dispositif selon la revendication G caractérisé en ce qu'un manF mètre (21) est couplé à la troisième canalisation (29) pour mesurer ladite dépression. 9. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'un débitmètre (20) est positionné en série avec la deuxième vanne (EV1) sur la deuxième canalisation (28).