Brevet FR2557930A1 — publié le 19850712

L'invention concerne une pompe cryogénique perfec- tionnée, et en particulier quoique non exclusivement une pompe du genre servant à produire un vide poussé dans un appareil de projection ionique ou analogue. L'invention vise plus particulièrement une pompe cryogénique comportant aux moins deux étages de refroidissement, qui correspondent respective- ment à des panneaux cryogéniques, prévus pour fonctionner à des températures dont l'une est relativement plus élevée et l'autre relativement plus basse. Les pompes cryogéniques sont couramment utilisées maintenant pour produire un vide poussé dans une chambre rendue étanche. Ces pompes cryogéniques fonctionnent -grâce à la détente réglée d'un gaz refoulé sous pression par un compres- seur séparé du bloc cryogénique de la pompe, et généralement fourni à part. Ce compresseur de gaz est monté dans un circuit fermé, o passe le gaz en question, et dont fait également partie le bloc cryogénique auquel le compresseur fournit ainsi un courant de gaz, généralement de l'hélium, à la température ambiante et à une pression qui est couramment de 20 bars environ. Le courant de gaz sous pression qui arrive au bloc cryogénique y subit une détente réglée, en deux phases d'expansion qui se situent respectivement dans le volume balayé par deux pistons de détente, mobiles dans deux cylin- dres associés et branchés en série. On règle l'expansion en assurant un amortissement indirect de la course des pistons, au moyen d'orifices d'étranglement disposés sur les conduits o passe le gaz dans le bloc cryogénique, et au moyen de réservoirs-tampons, o le gaz peut s'accumuler sous pression pendant une partie de chacun de ses cycles de détente. A chacun des étages de détente du gaz est associé un panneau cryogénique, en communication thermique avec l'étage considéré, et monté à l'extérieur du bloc cryogénique, pour être refroidi par la détente réglée du gaz. Typiquement, le premier panneau cryogénique, ainsi associé au premier étage de détente, qui s'effectue à une pression encore relativement élevée, fonctionne à une température d'environ 40 à 100 K, tandis que le panneau cryogénique associé au second étage de détente, qui s'effectue à une pression relativement plus faible, fonctionne à une température d'environ 10 K. Les panneaux cryogéniques assurent un effet de pom- page, pour réduire la pression du gaz dans une chambre, grâce à la condensation du gaz de la chambre qui se produit sur la surface refroidie de ces panneaux cryogéniques. En général, la condensation de l'eau et des impuretés telles que les hydrocarbures volatils s'effectue sur le panneau qui fonc- tionne à la température relativement plus élevée, alors que les gaz condensables, tels que l'azote, l'oxygène et l'argon, se condensent et se collectent sur le panneau cryogénique fonctionnant à la température relativement plus basse. Dans une pompe cryogénique courante, telle que sché- matisée sur la figure 1 annexée, les panneaux cryogéniques reliés au bloc de détente à très basse température sont disposés dans une enveloppe ayant une extrémité raccordée de manière étanche au bloc de détente cryogénique, et présentant à son autre extrémité une ouverture prévue pour se monter sur la chambre o il s'agit de faire le vide. Du côté de l'extrémité de l'enveloppe de la pompe cryogénique, associée au bloc de détente à très basse température, un ori- fice de pompage permet de relier l'intérieur de l'enveloppe à une pompe primaire, par exemple mécanique, destinée à obtenir un premier abaissement de la pression interne dans l'enveloppe et à y créer un vide préliminaire. Dans le mode de réalisation des panneaux cryogéniques de la figure 1, on obtient une condensation de la vapeur d'eau et des impuretés volatiles, ainsi que du dioxyde de carbone par exemple, sur le panneau à température relativement plus élevée, qui est disposé le plus à l'extérieur dans le sens radial, et qui fonctionne couramment à une température com- prise entre 40 et 100 K. D'autre part, l'azote, l'oxygène, l'argon, et les autres gaz condensables, se condensent et sont retenus sur la face externe du panneau cryogénique à température relativement plus basse, qui est logé à l'inté- rieur du volume du panneau extérieur, et qui fonctionne typi- 3 2557930 quement à une température d'environ 15 K. En outre, il faut tenir compte des gaz non conden- sables, tels que l'hydrogène, l'hélium et le néon, qui se caractérisent par une tension de vapeur de l'ordre de 1 torr (133 Pa) à 15 K, et qu'il est donc impossible de recueillir également par condensation; on les piège par adsorption dans une couche de charbon actif, prévue à cet effet sur la face interne du panneau cryogénique à basse température. Pour pouvoir produire et maintenir un vide poussé dans une chambre qui contient par exemple un appareil de projection ionique ou analogue, cet appareil produisant une émission relativement intense de gaz et d'autres molécules, il faut que la pompe cryogénique puisse assurer un effet de -3 - pompage efficace à des pressions de l'ordre de 10 3 à 10 2 torr, (0,13 à 1,33 Pa), qu'on obtient ainsi au cours du fonc- tionnement de l'appareil en question. A ces valeurs relative- ment élevées de la pression, le panneau cryogénique à tempé- rature relativement plus élevée subit un effet d'échauffement relativement rapide, de la part de l'enveloppe qui l'entoure, à la fois par conduction et par convection à travers le volume gazeux intermédiaire. Cet échauffement, par suite du supplé- ment de travail qui en résulte pour le bloc de détente cryogé- nique, a pour effet d'élever la température de fonctionnement des deux panneaux cryogéniques, et en particulier celle du panneau cryogénique interne, à température relativement plus basse, qui a pour rôle de pomper les gaz condensables et non condensables. Or, l'aptitude de ce panneau cryogénique à basse température pour piéger les gaz non condensables, par adsorp- tion à froid, dépend de manière critique de,sa température de fonctionnement. C'est pourquoi une élévation de température due à une augmentation de pression, même d'amplitude modérée, peut provoquer un effet de désorption de ces gaz condensables sur le panneau cryogénique interne, d'o ces gaz se propagent dans la chambre o la pompe doit faire le vide. Ceci réduit donc la vitesse de pompage pour les gaz en question, et par conséquent le niveau de vide poussé qu'il est alors possible d'obtenir. Une solution efficace pour maintenir à des valeurs assez basses les températures des panneaux cryogéniques, malgré ou indépendamment d'une augmentation de pression, consiste à augmenter la puissance nominale du bloc cryogénique de la pompe, et donc la capacité de pompage de celle-ci. Mais cet expédient risque d'augmenter d'une manière inacceptable le budget d'investissement et les frais de fonctionnement du système de pompage cryogénique en question. L'invention a donc pour but d'éviter les inconvé- nient que l'on vient d'exposer, pour réaliser une pompe cryogénique capable de conserver un rendement de pompage important à une pression relativement élevée. Sous sa forme la plus générale, l'invention vise une pompe cryogénique ayant au moins deux panneaux cryogéni- ques fixés à l'intérieur d'une enveloppe qui présente une extrémité ouverte, destinée à être raccordée à une chambre o il s'agit de faire le vide; les panneaux cryogéniques peuvent notamment être cylindriques et ils sont agencés pour fonctionner respectivement à une température relativement plus élevée et à une température relativement plus basse. Le panneau fonctionnant à une température relativement plus élevée est disposé en regard de l'enveloppe, avec un certain écart par rapport à celle-ci, et entoure le panneau qui fonc- tionne à une température relativement plus basse. La pompe selon l'invention comporte des moyens pour faire communiquer le panneau à température relativement plus basse avec la chambre o il s'agit de faire le vide, à travers l'ouverture de l'enveloppe, et aussi avec le passage compris entre l'enveloppe et le panneau à températire-relativement plus élevée. Dans un mode de réalisation préféré de la pompe cryogénique conforme à l'invention, un écran d'étranglement est prévu entre le panneau à température relativement plus basse et la chambre o il s'agit de faire le vide, pour empêcher un écoulement direct de gaz entre cette chambre et ce panneau. Ceci permet de maintenir le volume en regard du panneau à température relativement plus basse, et donc de 2557930 maintenir le passage ménagé entre l'enveloppe et le panneau à température relativement plus élevée, à une pression infé- rieure à celle de la chambre. Grâce à cette disposition, il est plus facile de contrarier l'effet d'échauffement dû à la pression relativement élevée de la chambre. Selon un autre mode de réalisation de l'invention, le panneau à température relativement plus basse communique avec le passage précité, par une série d'ouvertures prévues à la base du panneau à température relativement plus élevée, au voisinage du bloc cryogénique de la pompe. D'une manière avantageuse, ces ouvertures sont constituées par des ouies ou panneaux séparés, comportant des lèvres qui se recouvrent et qui sont inclinées par rapport à la direction d'écoulement du courant gazeux. Ces lèvres qui se recouvrent ont également pour effet d'arrêter les échanges thermiques par radiation, entre l'enveloppe et le panneau à température relativement plus basse. De préférence, les ouvertures doivent avoir une conductance qui est adaptée à la conductance du passage ménagé entre le panneau à température relativement plus élevée et l'enveloppe située en regard de ce panneau, de manière à assurer que la pression de gaz régnant dans le passage précité en général et près des ouvertures en particulier ait une valeur aussi étroitement voisine que possible de la pression de la zone voisine du panneau à température relativement plus basse. Grâce à cette disposition, on réduit les trans- ferts de chaleur de l'enveloppe vers le panneau à température relativement plus élevée, ces transferts de chaleur pouvant avoir tendance à se produire en cas d'augmentation de la pression du gaz; et on peut ainsi maintenir aussi basse que possible la température de chacun des deux panneaux cryogéni- ques, sans avoir à augmenter la puissance frigorifique nomi- nale du bloc cryogénique. D'une manière avantageuse, on réduit la conductance du passage ménagé entre l'enveloppe et le panneau à tempéra- ture relativement plus élevée, en réduisant l'écart qui existe entre ce panneau et l'enveloppe, sur la totalité ou au moins 6 2557930 sur une partie de la longueur axiale du panneau en regard de l'enveloppe. En variante, on peut réduire la conductance du passage précité en réduisant l'écart en question seulement en certains endroits séparés, dans le sens de la longueur axiale du panneau à température relativement plus élevée, ou encore en prévoyant une chicane sur le trajet du courant gazeux, à l'extrémité du passage par o ce courant pénètre dans l'enveloppe. On va maintenant décrire à titre d'exemples non limitatifs quelques modes de réalisation de l'invention, en référence aux dessins annexés, sur lesquels: la figure 1 est une coupe latérale schématique d'une pompe cryogénique connue, comportant des panneaux cryogéni- ques, pour faire le vide dans une chambre; la figure 2, analogue à la figure 1, est une coupe latérale schématique d'une pompe cryogénique conforme à l'invention, pour faire le vide dans une chambre, comportant un trajet de pompage entre le panneau cryogénique à basse température et le passage compris entre le panneau à tempéra- ture supérieure et l'enceinte de la pompe; la figure 3 est une vue de détail agrandie d'une partie de la pompe cryogénique de la figure 2, montrant un premier genre de solution pour réduire la conductance entre le panneau cryogénique à température relativement plus élevée et l'enveloppe de la pompe la figure 4 représente une variante du dispositif de réduction de conductance; la figure 5 représente une autre variante du disposi- tif de réduction de conductance de la figure 3; la figure 6 représente en coupe latérale encore une autre variante de la pompe cryogénique pour faire le vide dans une chambre, comportant un autre agencement du panneau à température relativement plus basse, pour effectuer le pompage du volume compris entre le panneau à température supérieure et l'enveloppe de la pompe. On a représenté sur la figure 1 une pompe cryogénique classique, pour faire le vide dans une chambre, telle par 7 2557930 exemple qu'une chambre contenant un appareil de projection ionique ou analogue. La pompe cryogénique comporte un corps 2, pourvu d'orifices d'entrée et de sortie qui servent respectivementf à recevoir et à évacuer de l'hélium à haute pression, prove- nant d'un compresseur séparé (non représenté), qui ne fait pas partie de la pompe cryogénique. Au corps 2 de la pompe, est fixée une enveloppe 4 qui fait partie du carter ou enveloppe générale de la pompe et comporte une extrémité supérieure 6, pourvue d'une bride de raccordement. Celle-ci est destinée à se fixer de manière étanche, par exemple au moyen de joints toriques, à la chambre o il s'agit de faire le vide. A l'intérieur de l'enveloppe 4, un panneau cryogénique 8 à température relativement plus élevée est fixé à l'étage à température relativement plus élevée du bloc cryogénique, de manière à être en communication thermique d'échange de chaleur avec ce bloc. Le panneau cryo- génique 8 à température relativement plus élevée est consti- tué par un cylindre ayant une extrémité ouverte adjacente à l'ouverture de raccordement 6 de l'enceinte délimitée par l'enveloppe 4. Un panneau cryogénique 10 à basse température est logé dans le panneau 8 à température relativement plus élevée, et est enr communication thermique d'échange de chaleur avec l'étage à basse température du bloc cryogénique. Le panneau cryogénique 10 a basse température communique par un seul trajet avec la chambre o il s'agit de faire le vide, par l'intermédiaire d'un écran 12 à ouies variables, prévu en regard de l'entrée ouverte du panneau cryogénique 8. A l'intérieur de l'enveloppe 4 et adjacente au corps 2 du bloc cryogénique, est également prévue une ouverture (noni représente), permettant de mettre l'intérieur de l'enceinte en communication avec une pompe à vide, par exemple mécanique, pour établir un vide préliminaire dans le système considéré. Lorsque la pompe cryogénique fonctionne, le panneau cryogénique 8 se trouve à une température comprise environ entre 40 et 100 K, et assure la condensation de la vapeur d'eau et des impuretés volatiles condensables, notamment à base d'hydrocarbures, ainsi que la condensation du dioxyde de carbone, s'il en existe. L'autre panneau cryogénique 10 fonctionne à une température d'environ 12 K, et assure la condensation de l'azote et de l'oxygène, ainsi que des autres gaz condensables, sur la surface du panneau radialement externe. Le panneau cryogénique 10 assure également l'adsorp- tion des gaz non condensables, sur une couche de charbon actif prévue à cet effet sur sa surface radialement interne, afin de produire dans l'enceinte de pompage une pression de l'ordre de 10-8 torr (1,33 x 10-6 Pa) lorsque l'écran 12 à ouies variables est ouvert. Dans la chambre o la pompe cryogénique fait le vide, il règne sous l'effet du fonctionnement de l'appareil tel qu'un appareil de projection ionique contenu dans cette chambre, une pression relativement élevée, de l'ordre de -3 torr (0,13 Pa), et il se produit un transfert thermique dans le volume compris entre le panneau cryogénique 8 et l'enveloppe 4, celle-ci se trouvant couramment à une tempé- rature de 300 K. Et ce transfert de chaleur tend à augmenter la température des deux panneaux cryogéniques 8 et 10, au point d'affecter sérieusement le rendement de la pompe cryo- génique. Afin de réduire ce transfert thermique, et de main- tenir le rendement des panneaux cryogéniques aux valeurs relativement élevées de la pression, telles qu'on vient de les indiquer, il est prévu selon l'invention de disposer des ouvertures dans la zone du panneau 8 à température relative- ment plus élevée qui se trouve en regard du, corps 2. Dans le mode de réalisation considéré (figure 2), ces ouvertures sont constituées par des ouies 14, ménagées à la base du panneau P, qui se recouvrent partiellement et sont inclinées par rapport au sens d'écoulement du courant gazeux. L'incli- naison peut notamment être dirigée vers le panneau 8, afin d'écarter le gaz du panneau 10. Les ouies 14 permettent d'assurer un pompage dans le volume 16 situé entre le panneau à haute température 8 et l'enveloppe 4, afin de réduire la pression du gaz à cet endroit, ce qui permet donc de réduire sensiblement le transfert thermique à partir du panneau cryo- génique 8 vers l'enveloppe 4. Les ouies 14 ont aussi pour effet de réduire les échanges thermiques par radiation entre l'enveloppe 4 et le panneau à basse température 10. Pour assurer un effet actif de pompage à travers les ouies 14, afin de maintenir une faible pression dans le volume 16, il faut en général réduire la conductance entre le volume 16 et la chambre o la pompe fait le vide, car le courant gazeux qui passe à travers les ouies 14 doit obligatoirement l'emporter en volume et débit sur le courant qui arrive dans le volume 16à partir de la chambre o la pompe fait le vide. Comme on l'a représenté sur la figure 2, on assure cette réduction de conductance en diminuant l'intervalle prévu entre le panneau cryogénique 8 et l'enveloppe 4, en haut de celle-ci, au voisinage de son ouverture 6. Le trajet de pompage supplémentaire ainsi prévu conformément à l'invention, et assuré par les ouies 14, augmente la surface des panneaux cryogéniques disponible pour assurer le pompage, en particulier lorsque l'écran 12 à ouies variables est en position de fermeture, tout en réduisant les déperditions thermiques vers l'enveloppe 4 de la pompe. On am]éliore donc ainsi le rendement de pompage du bloc cryogé- nique, sans avoir à augmenter la capacité nominale de la pompe. Pour réduire la conductance dans le passage ménagé entre le panneau 8 et l'enveloppe, on peut prévoir sur ce panneau 8 une partie de diamètre plus fort, au voisinage de l'ouverture 6 de l'enveloppe 4. Ainsi, la figure 3 est une variante de la pompe cryogénique de la figure 2. Dans cette variante, on réduit la conductance du passage ménagé entre le panneau cryogénique 8 et l'enveloppe 4 au moyen de saillies espacées 30, ayant par exemple la forme de nervures ou ondulations formées sur le panneau 8, dirigées vers l'enveloppe 4 et qui ont pour effet d'étrangler le courant gazeux tendant à s'écouler dans le passage en question. Dans la variante de la figure 4, 2557930 la faible conductance est obtenue grâce au recouvrement de deux lèvres 40 et 42, prévues respectivement au bord de l'ouverture de l'enveloppe 4, et sur le bord adjacent du panneau cryogénique 8, de manière à réaliser une chicane sur le passage du courant gazeux. Dans le mode de réalisation de la figure 5, une lame d'arrêt 50 obture en partie l'interstice qui existe entre les bords adjacents de l'enveloppe 4 et du panneau cryogénique 8, de manière à assurer la réduction voulue de conductance. Dans un autre mode de réalisation (non représenté), on réduit la conductance dans le passage annulaire compris entre le panneau cryogénique 8 et l'enveloppe 4, au moyen de plusieurs écrans thermiques séparés, disposés parallèlement à la surface du panneau 8 et de l'enveloppe 4. La réduction de conductance obtenue grâce à ces écrans thermiques dépend de leur nombre, de l'interstice qui les sépare, et de leur longueur dans le sens axial; ces écrans, outre qu'ils assu- rent une réduction de conductance, assurent aussi une réduc- tion des déperditions thermiques, vers l'enveloppe 4 de la pompe cryogénique. Dans le mode de réalisation de la figure 6, le panneau 10 à basse température des figures 1 à 5, comporte un prolongement tronconique 60. La face interne de ce prolon- gement sert à assurer un pompage dans le passage compris entre l'enveloppe 4 et le panneau 8 à température relativement élevée, pour assurer un rendement élevé des panneaux cryo- géniques. Il est alors commode de prévoir un déflecteur 64, sur le panneau à température relativement élevée,pour réduire l'intensité du courant gazeux allant de la chambre o la pompe fait le vide vers le passage en question, de manière à maintenir par pompage dans le passage en question une faible pression, même en cas d'augmentation éventuelle de pression dans la chambre. Un interstice annulaire 62, prévu entre le prolonge- ment tronconique 60 et le déflecteur 64, permet de réduire efficacement le transfert de chaleur par conduction à partir du déflecteur. En variante, on peut fermer l'interstice 62 il 2557930 à l'aide d'une pièce de type en collier par exemple, montée comme la lame d'arrêt 50 de la figure 5. Cette pièce peut également étre réalisée en un matériau isolant plein ou solide. Dans ce mode de réalisation de l'invention, on peut maintenir la différence de pression entre le volume 16 et la chambre o la pompe fait le vide, sans qu'il soit néces- saire d'avoir recours à l'étranglement variable 12 des figures 1 à 5. On comprend que;dans chacun des modes de réalisation considérés, il est possible de choisir les valeurs relatives de la conductance du trajet de pompage supplémentaire assuré par exemple par les ouies 14, et de la conductance du passage compris entre le panneau 8 et l'enveloppe 4, de manière à 1.5 obtenir la pression voulue dans le volume 16. On peut déter- miner cette valeur de la pression du gaz en vue d'obtenir des caractéristiques de fonctionnement optimum pour la pompe cryogénique, suivant les particulartiés de l'appareil ou de l'équipement dans lequel on se propose de créer un vide poussé. 12 2557930 REVENDICATIONS 1. Pompe cryogénique, comportant au moins deux panneaux cryogéniques (6,8) fixés à l'intérieur d'une enve- loppe (4) qui présente une extrémité ouverte (6) destinée à être raccordée à une chambre o il s'agit de faire le vide; les panneaux cryogéniques étant agencés pour fonctionner respectivement à une température relativement plus élevée (8) et à une température relativement plus basse (10); et le panneau (8) à température relativement plus élevée étant disposé en regard de l'enveloppe (4), avec un certain écart par rapport à celle-ci, et entourant le panneau (10) à tempé- rature relativement plus basse; pompe caractérisée en ce qu'elle comporte des moyens pour faire communiquer le panneau (10) à température relativement plus basse avec la chambre, à travers l'ouverture (6) de l'enveloppe (4), et aussi avec le passage compris entre l'enveloppe (4) et le panneau (8) à température relativement plus élevée. 2. Pompe selon la revendication 1, caractérisée en ce que l'enveloppe (4) et les panneaux (8,10) sont sensi- blement cylindriques. 3. Pompe selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisée en ce qu'un- écran d'étranglement (12) est prévu entre le panneau (10) à température relativement plus basse et la chambre o il s'agit de faire le vide, pour empêcher un écoulement direct de gaz entre cette chambre et le panneau (10). 4. Pompe selon la revendication 3, caractérisée en ce que l'écran d'étrahglement (12) est monté en regard de l'ouverture (6) de l'enveloppe (4). 5. Pompe selon la revendication 4, caractérisée en ce que l'écran d'étranglement (12) est à effet variable. 6. Pompe selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce que le panneau (10) à tempé- rature relativement plus basse communique,grâce à des ouver- tures (14) ménagées dans le panneau (8) à température relati- vement plus élevée, avec le passage (16) compris entre l'enveloppe (4) et le panneau (8). 7. Pompe selon la revendication 6, caractérisée en ce que les ouvertures (14) sont réalisées à la base du panneau (8) à température relativement plus élevée. 8. Pompe selon l'une des revendications 6 ou 7, caractérisée en ce que les ouvertures (14) sont constituées par des ouies ou panneaux séparés, comportant des lèvres qui se recouvrent et qui sont inclinées par rapport à la direction d'écoulement du courant gazeux. 9. Pompe selon la revendication 8, caractérisée en ce que les ouies ou panneaux (14) sont agencés pour empêcher un échange thermique entre l'enveloppe (4) et le panneau (10) à température relativement plus basse. 10. Pompe selon l'une quelconque des revendications 6 à 9, caractérisée en ce que les ouvertures (14) ont une conductance adaptée à la conductance du pasage ménagé entre le panneau (8) à température relativement plus élevée et l'enveloppe (4) située en regard de ce panneau (8), de manière à assurer un équilibre de pression entre le passage considéré et la zone adjacente au panneau (10) à température relativement plus basse. 11. Pompe selon la revendication 10, caractérisée en ce qu'elle comporte des moyens pour réduire la conductance du passage ménagé entre l'enveloppe (4) et le panneau (8) à température relativement plus élevée. 12. Pompe selon la revendication 11, caractérisée en ce que les moyens prévus pour réduire la conductance du passage précité comportent,sur le panneau (8) à température relativement plus élevée, une partie de diamètre plus fort, au voisinage de l'ouverture (6) de l'enveloppe (4). 13. Pompe selon la revendication 11, caractérisée en ce que les moyens prévus pour réduire la conductance du passage précité comportent une série d'écrans de protection thermique disposés parallèlement à l'enveloppe et au panneau (8) à température relativement plus élevée, dans l'espace ménagé entre l'enveloppe (4) et ce panneau (8), avec un écart entre ces écrans. 14. Pompe selon la revendication 11, caractérisée en ce que les moyens prévus pour réduire la conductance du passage précité comportent des nervures (30) séparées l'une de l'autre, réalisées sur le panneau (8) à température relativement plus élevée, en saillie vers l'enveloppe (4). 15. Pompe selon la revendication 11, caractérisée en ce que les moyens prévus pour réduire la conductance du passage considéré comportent des lèvres (40, 42) en saillie sur les extrémités adjacentes de l'enveloppe (4) de la pompe (lèvre 40) et du panneau (8) à température relativement plus élevée (lèvre 42), ces lèvres étant disposées de manière à se recouvrir pour réaliser une chicane sur le trajet d'écoulement du gaz. 16. Pompe selon la revendication 11, caractérisée en ce que les moyens prévus pour réduire la conductance du passage précité comportent une lame d'arrêt (50), disposée entre l'enveloppe (4) et le panneau (8) à tempé- rature relativement plus élevée. 17. Pompe selon l'une des revendications 1 à 16, caractériséeen ce que le panneau (10) à température relati- vement plus basse comporte un panneau supplémentaire (60), qui s'étend en direction du panneau (8) à température rela- tivement plus élevée, pour augmenter l'efficacité du pompage dans le passage (16) ménagé entre l'enveloppe (4) et le panneau (8) à température relativement plus élevée. 18. Pompe selon la revendication 17, caractérisée en ce que le panneau supplémentaire (60) est sensiblement tronconique. 19. Pompe selon la revendication 18, caractérisée en ce qu'elle comporte un trajet d'échange thermique à faible conductance associé au panneau supplémentaire (60). 20. Pompe conforme à la revendication 19, caracté- rtsée en ce que le trajet d'échange thermique à faible con- ductance est ou comporte une discontinuité (62) dans le panneau supplémentaire (60). 21. Pompe conforme à la revendication 20, caracté- risée en ce que la discontinuité comporte un élément en matériau isolant solide.