Brevet FR2550380A1 — publié le 19850208

La présente invention concerne une platine de positionnement en cooraon:ées X-Y pour un faisceau d'électrons avec au-dessous un dispositif d'entralnement de platine. La mécanisme et l'appareillage d'entratnement des tables et coulisseaux à axes croisés (X/Y) posent un problème important en ce que l'axe "porté" doit généralement supporter son propre mécanisme et son propre appareillae d'entraînement Le mécanisme et l'appareillage 10 d'entrainement ne sont donc pas fixés mécaniquement à une base et des câbles doivent être trainés Les inerties des coulisseaux suivant les deux axes ne se correspondent pas. Dans le cas d'une table ou une platine à axes 15 croisés enfermés dans le vide, le problème est encore plus sérieux car le mécanisme et l'appareillage d'entrainement "portés" sont montés dans un environnement de vide relativement poussé Cela est fréquemment une situation intolérable en raison du manque de matières qui peuvent être incorporées dans le vide avec un frottement relativement faible. Au cours du traitement par faisceau d'électrons des pastilles ou des masques de circuits intégrés, un rendement élevé peut être obtenu s'il existe une chaine d'équipements traitant la "matière" directement dans la chambre sous vide Il n'est pas avantageux de disposer d'un mécanisme de traitement qui introduit des "matières" brutes (non traitées) par un orifice et qui les enlève par ce même orifice Il est souhaitable que 30 l'équipement permette que la matière traitée sorte par le côté opposé de la chambre, par un autre orifice. Cela permet que le chargement et le déchargement se fassent en parallèle. Actuellement, pratiquement tous les dispositifs 35 d'entraînement de platine X/Y sont disposés, en totalité ou en partie, sur deux côtés perpendiculaires de la chambre sous vide Il en résulte qu'il est difficile de réaliser 2550380 O un appareil pour charger la matière non traitée par un côté de la chambre et de la décharger par l'autre côté. En outre, les platines X/Y actuelles utilisent couramment des combinaisons de paliers et de gorges à billes à l'interface entre les platines Mais l'incorporation de ces paliers dans un environnement sous vide relativement poussé n'est pas souhaitable car le nombre des matières qui peuvent remplir les conditions imposées aux paliers et qui soient également compatibles avec le vide poussé 10 sans être susceptibles magnétiquement pour le faisceau d'électrons sont très rares et coûteuses Bien que l'invention soit principalement orientée vers un nouvel ensemble ou sous-ensemble, ou une combinaison d'ensembles ou de sous ensembles qui seront décrits et/ou représentés sur les dessins annexes, selon un aspect particulier, et à titre nullement limitatif, l'invention concerne une platine de positionnement à coordonnées X-Y pour ce faisceau d'électrons avec au-dessous un dispositif d'entra Tnement de platine, et comprenant 20 une plaque de base montée fixe avec une première ouverture centrale et deux guides latéraux; une plaque X montée pour coulisser sur la plaque de base entre les guides est maintenue pour se déplacer dans une direction X; la plaque X comprenant une première ouverture latérale alignée dans la direction X et une seconde ouverture latérale alignée dans la direction Y, lesdites première et seconde ouvertures centrales latérales se coupant à angle droit, la première ouverture latérale comportante deux fentes à ailettes X montées dans la 30 plaque-X aux extrémités opposées de l'ouverture, la plaque X comportant une seconde paire de guides latéraux; une plaque Y montée pour coulisser sur la plaque X entre les seconds guides et maintenue pour se déplacer dans une direction Y, la plaque Y comportant une seconde 35 ouverture latérale alignée dans la direction Y et avec deux fentes à ailettes Y montées dans la plaque Y aux extrémités opposées de l'ouverture; une plaque theta montée sur la plaque Y; un palier X monté sur la plaque de base; un palier Y monté dans la plaque X; un palier theta monté dans la plaque Y; un arbre d'entrainement theta monté pour coulisser dans le palier theta et accouplé de façon fixe avec la plaque theta par le dessous; un arbre d'entraânement Y monté pour tourner dans le palier Y; un cabestan Y monté fixé sur l'arbre d'entraînement Y dans la seconde ouverture latérale; un arbre d'entraînement X monté pour tourner dans le palier X; un cabestan X monté fixe sur l'arbre d'entrainement X dans la première ouverture latérale; une bande Y montée en boucle sur le cabestan Y et attachée à ses extrémités opposées à la plaque Y et dans les fentes à ailettes Y; une bande X montée en boucle sur le cabestan X e-t attachée à ses extrémités opposées à la plaque X dans les fentes à ailettes X; un joint universel theta accouplé avec l'arbre d'entraînement theta; un arbre d'entraînement theta inférieur accouplé avec le joint universel theta; un joint universel Y accouplé 20 avec l'arbre d'entraînement Y; un arbre d'entrainement Y inférieur accouplé avec le joint universel Y; un accouplement à soufflets monté sur l'arbre d'entratnement Y inférieur; une plaque de fond de chambre à faisceau d'électrons, un palier étanche X monté dans la 25 plaque de fond; un palier étanche Y monté dans la plaque de fond, un palier étanche theta monté dans la plaque de fond; l'arbre d'entraînement X étant monté pour tourner dans le palier étanche X; un arbre d'entra Tnement d'accouplement Y monté pour tourner dans le palier 30 étanche Y et accouplé avec ledit accouplement à soufflets; ledit arbre d'entraînement theta inférieur étant monté pour tourner dans le palier étanche theta; un dispositif pour entralner l'arbre d'entraînement theta inférieur dans la direction verticale Z monté de 35 façon fixe au-dessous de la plaque inférieure et accouplé avec l'arbre d'entraînement theta inférieur; un dispositif pour faire tourner l'arbre d'entraînement X monté de façon fixe au-dessous de la plaque de fond accouplé avec l'arbre d'entratnement X et un dispositif pour faire tourner l'arbre d'entrainement d'accouplement Y monté de façon fixé au-dessous de la plaque de fond et accouplé avec la plaque Y. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention seront mieux compris à la lecture de la description qui va suivre d'un exemple de réalisation et en se référant aux dessins annexés sur lesquels: La figure 1 est une vue en plan des plaques 10 ajustées, non compris la plaque theta selon un mode de réalisation d'une platine de positionnement de coordonnées X-Y du faisceau d'électrons avec au-dessous un dispositif d'entraînement de platine selon l'invention, La figure 2 est une vue de dessous de la 15 plaque theta de la figure 1, La figure 3 est une vue de dessus d'une plaque Y de la platine de positionnement en coordonnées X-Y pour faisceau d'électrons de la figure 1, La figure 4 A est uen vue de dessus d'une plaque X de la platine de positionnement en coordonnées X-Y pour faisceau d'électrons de la figure 1, La figure 4 B est une coupe suivant la ligne B-B de la figure 4 A, La figure 5 est une vue de dessus d'une plaque 25 de base de la platine de positionnement en coordonnées X-Y pour faisceau d'électrons de la figure 1, La figure 6 est une coupe suivant la ligne 66 de la figure 1 montrant un entraînement Y et un entrainement theta et, La figure 7 est une coupe suivant la ligne 7-7 de la figure 1 montrant un entraînement X et l'entraînement Y. La figure 1 est donc une vue de dessus et en coupe partielle de trois plaques assemblées dans un mode 35 de réalisation d'une platine de positionnement en coordonnées X-Y du faisceau d'électrons avec un entrainement de platine par le dessous selon l'invention. En particulier, la figure 1 montre une plaque de base 2550380 ' , une plaque X 12 montée sur elle et une plaque Y 14 montée sur la plaque X Les surfaces en regard de ces trois plaques 10, 12, 14 sont planes et sont imprégnées d'un lubrifiant solide comme du TEFLON (nom de marque) diffusé par Michiana Impreglon Center, Dowagiac, Michigan Le lubrifiant solide permet aux trois plaques de coulisser librement les unes par rapport aux autres dans un environnement de vide relativement poussé. En outre, la face supérieure de la plaque Y 14 et le dessous de la plaque theta 62 (figure 2) sont imprégnés d'un lubrifiant solide et peuvent coulisser librement les unes par rapport aux autres. La plaque X 12 est maintenue pour se déplacer de la gauche vers la droite de la figure 1 (direction X). 15 La limite de la course de la plaque X vers la gauche est indiquée par le trait pointillé 16 La plaque X peut se déplacer d'une distance similaire vers la droite. La plaque Y 14 est maintenue pour se déplacer dans la direction verticale de la figure 1 (direction Y). 20 La limite de la course de la plaque Y dans la direction verticale vers le haut est indiquée par le trait pointillé 46 La plaque Y 14 peut se déplacer d'une distance similaire verticalement vers le bas. La plaque Y comporte une ouverture latérale 25 20 alignée dans la direction Y, avec deux fentes à ailettes 40, 42 Un cabestan Y 24 est monté dans l'ouverture 20 et accouplé avec un arbre d'entratnement Y qui sera décrit par la suite Une bande métallique 38 fait une boucle autour du cabestan Y 24 et elle est 30 accrochée à ses extrémités opposées 48, 50 à la plaque Y 14 Les accrochages sont effectués avec la plaque Y 14 dans les fentes à ailettes 40,42 La bande métallique 38 est maintenue tendue par un ressort 44. Le centre de la plaque Y 14 est coupé pour 35 exposer une fente 52 en forme de T comprenant une ouverture latérale 54 suivant la direction X et une ouverture centrale 56 suivant la direction Y Un cabestan X 26 est monté dans les ouvertures latérales 54 de direction X et il est monté sur un arbre d'entratnement X décrit par la suite Une bande métallique 30 forme une boucle autour du cabestan:X 26 et elle est accrochée à chacune de ses extrémités 32,34 à la plaque X 12 Les accrochages sont faits dans des fentes à ailettes latérales 58,60 de l'ouverture latérale 54 de direction X. La bande 30 est maintenue tendue par un ressort 36. Dans l'ouverture centrale 56 d'alignement Y se trouve un arbre 28 d'entraînement theta et un joint 10 universel 22 qui lui est accouplé (figure 6) Comme cela sera décrit plus en détail par la suite, l'arbre d'entraînement theta est accouplé de façon fixe avec la plaque theta 62 représentée sur la figure 2. L'arbre d'entraînement theta 28 est accouplé 15 avec un arbre 64 m Qnté dans la plaque theta 62 La plaque theta est essentiellement circulaire, avec des bords supérieur et inférieur aplatis. La figure 3 est une vue en plan de la plaque Y 14 La forme de la plaque Y est essentiellement celle 20 d'un hexagone allongé L'arbre d'entraînement theta 28 est monté pour coulisser dans un palier 66 monté dans la plaque Y La liberté de mouvement de la plaque Y 14 est limitée à la direction Y, comme l'indiquent les flèches Y-Y. La figure 4 A est une vue-de dessus de la plaque X 12 Un palier 70 d'arbre Y dans lequel un arbre d'entraînement Y 68 peut tourner, est monté dans la plaque X Le palier 70 oblige l'arbre d'entraînement Y 68 à se déplacer avec la plaque X 12 Le cabestan X 26 30 (figure 1) lorsqu'il tourne, fait coulisser la plaque X dans la direction X? comme l'indiquent les flèches X-X. La figure 4 B est une coupe suivant la ligne B-B de la figure 4 A La plaque Y 14 est montée pour 35 coulisser au-dessus de la plaque X 12 et elle est maintenue pour se déplacer dans la direction Y par les guides latéraux 7 é,74 Ces guides 72,74 comportent des pièces supplémentaires d'accouplement qui pénètrent 255038 C dans des fentes 76,78 formées sur les côtés de la plaque Y 14 Ces dernières maintiennent en outre le mouvement de la plaque Y dans la direction verticale. La figure 5 est une vue de dessus de la plaque de base 10 Cette plaque de base 10 comporte des guides latéraux 80,82 entre lesquels la plaque X 12 est montée et par lesquels la plaque X 12 est maintenue pour coulisser dans la direction X La plaque Y comporte également une ouverture centrale 84 d'alignement X-Y qui permet le mouvement de l'arbre d'entraînement theta 28 et de l'arbre d'entrainement Y 68 L'arbre d'entra 1 nement theta 28 peut se déplacer à la fois dans la direction X et la direction Y L'ouverture centrale 84 d'alignement X-Y est prolongée d'une courte distance 86 vers la droite pour permettre le mouvement de l'arbre d'entralnement Y 68 dans cette direction. Dans la plaque de base 10 est monté un palier d'arbre d'entraînement X dans lequel est placé un arbre d'entra Inement X 92 Le palier 90 permet la rotation de l'arbre d'entra nement X 92 mais fixe la liberté de mouvement de l'arbre d'entraînement X 92 dans le plan X-Y quand la plaque de base 10 est immobile. La figure 5 montre également un trou de calage 88. La figure 6 montre que la plaque de base 10 25 est fixée sur une paroi de chambre à vide 166 des boulons 162, fixant la plaque de base 10 sur une traverse 164 qui, à son tour, est fixée sur la paroi de chambre 166 Bien qu'un seul de ces boulons 162 soit représenté, trois autres (non représentés) fixent la plaque de base 30 10 sur la paroi de chambre 166 et une paroi de chambre aux trois autres angles de la plaque de base 10. La plaque X 12 est montée pour coulisser sur la plaque de base 10 et la plaque Y 14 est montée pour coulisser sur la plaque X 12 La plaque theta 62 est montée sur la plaque Y 14 Une plaquette 122 est montée au-dessus de la plaque theta 62 Un dispositif 124 à faisceau d'électrons est disposé immédiatement au-dessus de la plaquette A la droite de la figure 6, est représentée une partie d'une navette 128 qui sera décrite en regard de la figure 7. L'arbre d'entra Tnement theta 28 est monté dans le palier 66 et il est accouplé de façon fixe avec 5 la plaque theta 62 Le palier 66 force la plaque theta 62 à se déplacer avec la plaque Y 14 Quand la plaque Y 14 se déplace dans les directions X et Y, la plaque theta 62 doit également se déplacer dans les directions X et Y. L'arbre d'entra Inement theta 28 est accouplé avec un joint universel 138, qui à son tour, est accouplé avec la partie inférieure 176 de l'arbre d'entrainement 28 Un arbre d'entra Inement theta inférieur 176 est accouplé avec un accouplement à soufflets 144. Un arbre d'accouplement 178 est accouplé avec le soufflet 144 et il est monté dans un joint ferro-fluidique 146 monté dans la plaque de fond 168 de la chambre Le joint ferro-fluidique 146 est du type EMB-188-L-N-130 diffusé par Ferrofluidics Corporation, Nashua, New Hampshire. 20 Ce joint ferro-fluidique évite la perte de vide par le joint tout en permettant un mouvement de montée et de descente ou de rotation de l'arbre d'entraînement qui y passe L'arbre d'accouplement 178 est accouplé par un soufflet inférieur 108 dans une plaque 172 de 25 montage de moteur. Une collerette 150 est fixée sur l'arbre d'accouplement 178 au-dessous de la plaque de fond 168. Une fourcette 148 est articulée sur la collerette 150 par un pivot 152 A son tour, la fourchette 148 est articulée sur un pivot 154 monté pivotant sur la plaque de montage de moteur par une monture (non-représentée). Un bras de levier 155 est articulé sur le pivot 154 et également sur un arbre 158 par un pivot 156 L'arbre 158 est monté coulissant dans un vérin hydraulique35 pneumatique 160 Quand le vérin 160 tire l'arbre 158 vers le bas, le bras de levier 155 fait pivoter la fourchette 148 vers le haut, faisant monte l'arbre d'entrainement theta 28. L'arbre Y 68 est accouplé avec un joint universel 94 qui est lui-même accouplé à un arbre d'entrainement Y inférieur 80 L'arbre d'entratnement Y inférieur 180 est accouplé avec un accouplement à soufflets 102 Un second arbre d'accouplement 182 est monté dans un second joint ferro- fluidique 106 monté dans la plaque de fond 168 et il est accouplé avec l'accouplement à soufflets 102 Le joint ferro-fluidique 10 106 remplit la même fonction que le joint ferrofluidique 136 L'arbre d'entraînement Y est alors accouplé par un accouplement à soufflets inférieur 110 avec un moteur d'entra Inement Y 114 fixé sur une plaque de montage de moteur 172 Le moteur d'entraînement Y fait tourner l'arbre d'entralnement Y 68 dans le sens des aiguilles d'une montre ou en sens inverse Cette rotation fait tourner le cabestan Y 24 dans le même sens, de sorte que la bande métallique accouplée avec ce cabestan déplace la plaque Y 14 dans la direction Y comme 20 le montrent les figures 1 et 3. Les lignes 162, 164 et 140,142 montrent respectivement l'amplitude du mouvement de l'arbre d'entrainement theta et de l'arbre d'entraînement Y dans la direction X Le trait pointillé 96 montre le 25 déplacement le plus à gauche du joint universel 22. La longueur de la l'arbre d'entraînement theta inférieur 176 et de l'arbre d'entra Tnement Y 180 est choisi de manière que l'angle de déviation maximal soit environ 7 Cela n'entraîne qu'une faible défor30 mation de l'accouplement à soufflets à la déviation. Comme le montre la figure 7 trois dispositifs à faisceau d'électrons 124 sont montés au-dessus des plaques assemblées 10,12,14,62 Une navette à plaquettes comprenant un guide de navettes gauche 126, un guide de navettes droite 128, un cabestan à nevettes 130, un arbre d'entraînement de navettes 132, un accouplement à soufflets de navette 134 et un joint ferro-fluidiaue de navette 136 sont montés au-dessous des dispositifs d'un faisceau d'électrons 124 et au-dessus des plaques assemblées 10, 12, 14, 62 Le moteur de navette n'est pas représenté La figure 7 montre également deux positions de la plaque theta 62 A gauche, la plaque theta 62 est représentée en position haute dans laquelle la plaquette 122 est dégagée de la navette 126 Cela permet de déplacer la navette par rapport à la plaquette, comme pour l'extraire de dessous de la plaquette, par 10 exemple pour récupérer une seconde plaquette pour son chargement ultérieur sur la plaque theta 60 A droite, la plaque theta 62 est en position "basse" Dans cette position, la plaquette 122 repose sur la navette 128. Cette dernière supporte la plaquette 122 pour les opé15 rations de chargement et de déchargement. La bande 38 fait une boucle autour du cabestan Y 24 et consiste en deux parties égales, une parties 116 constituée par une bande inférieure et une bande supérieure espacées et une partie 118 comprenant une bande centrale disposée entre les bandes supérieure et inférieure 116 Ce montage et cette disposition permettent à la "bande" métallique d'être enroulée ou déroulée autour du cabestan sans interférence entre la partie gauche 118 et la partie droite 116. De la manière représentée, l'extrémité 50, 48 de la bande 38 sont accrochées à la plaque Y 14. En particulier, l'extrémité droite 50 est un accouplement fixe avec la plaque Y 14 tandis que l'extrémité gauche 48 est accouplée par un ressort 44 O la plaque Y 30 14 pour maintenir la bande 38 tendue. La bande 30 (figure 1) est identique à la bande Y 38. Les déviations maximales de l'arbre d'entra Tnement theta 28 dans la direction X sont représentées en 35 pointillés Un arbre d'entrainement theta inférieur 176 255038 C est monté directement derrière l'arbre d'entra nement Y inférieur 180. Contrairement aux deux autres arbres d'entralnement 28, 68, l'arbre d'entra Inement X 92 ne comporte aucun joint universel en raison de son montage fixe sur la plaque de base 10 Mais il comporte également un accouplement à soufflets 100 Un arbre d'accouplement 184 est monté dansun troisième joint ferro-fluidique 104 et il est accouplé avec le soufflet 100 Ce dernier 10 à son tour est accouplé avec un moteur d'entra Tnement X 112 qui est fixé sur la plaque de montage de moteur 172. Les joints ferro-fluidiques 104,106,136, 146 sont montés dans la plaque de fond 168. Des guides latéraux 80,82 sont montés sur la plaque de base 10 et limitent les mouvements de la plaque X 12 dans la direction X. Le fonctionnement des plaques assemblées est décrit sommairement ci-après Quand le moteur d'entraine20 ment X fait tourner l'arbre d'entra&nement X 92 dans le sens des aiguilles d'une montre ou en sens inverse, le cabestan X 26 fixé dans le plan X-Y par le montage de son arbre d'entralnement dans le palier 90, entraine la plaque X dans un sens et dans l'autre dans la direction 25 X. D'une façon similaire, quand le moteur d'entrainement Y fait tourner l'arbre d'entraînement Y 68 dans le sens des aiguilles d'une montre ou en sens inverse, le cabestan Y 24 fixe par rapport à la plaque X par le 30 montage de son arbre d'entratnement dans le palier 70, et ainsi limité à se déplacer avec la plaque X seulement dans la direction X, entraine la plaque Y dans la direction Y. La plaque theta 62 est limitée pour se déplacer.35 avec la plaque T sur le plan X-Y en raison du montage de l'arbre theta 28 dans le joint universel 138 L'arbre d'entraînement theta 28 a une liberté de mouvement dans la direction verticale ou Z par rapport au plan X-Y. Le pivotement de la fourchette 148 dans le moteur 160 entraine la plaque theta 62 dans la direction Z. Les accouplements à soufflets 102, 104 permettent que l'arbre-d'entrainement theta inférieur et l'arbre d'entrainement 176 ainsi que l'arbre d'entrainement Y inférieur 80 dévient d'un petit angle tout en permettant, dans le cas de l'arbre d'entra Inement Y 180, que le moteur d'entrainement Y 114 fasse tourner cet 10 arbre dans le sens des aiguilles d'une montre ou en sens inverse Les joints universels 122, 94 permettent à leur tour que les positions supérieures de l'arbre d'entrainement theta 28 et de l'arbre d'entraenement'Y 68 restent alignées verticalement. 15 255038 C REVENDICATIONS 1 Platiné de positionnement en coordonnées X-Y pour faisceau d'électrons avec entraînement de platine par le dessus, caractérisée en ce qu'elle comporte une plaque de base ( 10) montée de façon fixe et comprenant une première ouverture centrale et deux guides latéraux ( 80,82), une plaque X ( 12) montée pour coulisser sur ladite plaque de base ( 10) entre lesdits guides ( 80,82) et maintenue pour se déplacer dans une direction X, ladite plaque X comprenant une 10 première ouverture latérale ( 54) alignée dans la direction X et une seconde ouverture centrale ( 56) alignée dans la direction Y, ladite première ouverture latérale et ladite seconde ouverture centrale ( 54,56) se rencontrant à angle droit, ladite première ouverture 15 latérale ( 54) comportant une paire de fentes à ailettes X ( 58,60) montées dans ladite plaque X aux extrémités opposées de l'ouverture, ladite plaque X comprenant deux seconds guides latéraux ( 72,74), une plaque Y ( 14) montée pour coulisser sur ladite plaque X ( 12) entre 20 lesdits seconds guides ( 72,74) et maintenue pour se déplacer dans une direction Y, ladite plaque Y comprenant une seconde ouverture latérale ( 20) alignée dans la direction Y et avec deux fentes à ailettes Y ( 40,42) montées dans ladite plaque Y aux extrémités opposées de 25 l'ouverture ( 56), une plaque theta ( 62) montée sur ladite plaque Y ( 14) un palier X ( 90) monté dans ladite plaque de base ( 10), un palier Y ( 70) monté dans ladite plaque X ( 12), un palier theta ( 66) monté dans ladite plaque-Y ( 14), un arbre d'entrainement theta 30 ( 28) monté pour coulisser dans ledit palier theta ( 66) et accouplé de façon fixe avec ladite plaque theta ( 62) sur le dessous, un arbre d'entra Tnement Y ( 68) monté pour tourner dans ledit palier Y ( 79), un cabestan Y ( 24) monté de façon fixe sur ledit arbre d'entraînement 35 Y ( 68) dans ladite seconde ouverture latérale ( 20), un arbre d'entra Tnement X ( 92)monté pour tourner dans ledit palier X ( 90), un cabestan X ( 26) monté de façon fixe sur ledit arbre d'entra Inement X ( 92) dans ladite première ouverture latérale ( 54), une bande Y ( 38) faisant une boucle sur ledit cabestan Y ( 24) et attaché à ses extrémités opposées ( 48,50) à la plaque Y ( 14) dans lesdites fentes à ailettes Y ( 40,42), une bande x ( 30) faisant une boucle sur ledit cabestan X ( 26) et attaché à ses extrémités opposées à la plaque X ( 12) dans lesdites fentes à ailettes X ( 58,60), un joint universel theta ( 138) accouplé avec ledit arbre d'entra nement theta ( 28), un arbre d'entra Cnement theta inférieur ( 176,178) accouplé avec ledit joint universel tehta ( 22), un joint universel Y ( 94) accouplé avec ledit arbre d'entra Tnement Y ( 68), un arbre d'entrafne15 ment Y inférieur ( 180) accouplé avec ledit joint universel Y ( 94), un accouplement à soufflets ( 110) monté sur ledit arbre d'entratnement Y inférieur ( 180), une plaque de fond ( 168) de chambre à faisceau d'électrons, un palier étanche X ( 104) monté dans ladite plaque de fond 20 ( 168), un palier étanche theta ( 146) monté dans ladite plaque de fond ( 168) ledit arbre d'entraînement X ( 92) étant monté pour tourner dans ledit palier étanche X, un arbre d'entraînement d'accouplement Y ( 182) monté pour tourner dans-ledit palier étanche Y ( 106) et 25 accouplé avec ledit accouplement à soufflets ( 110), ledit arbre d'entralnement theta inférieur ( 176, 178) étant monté pour tourner dans ledit palier étanche theta ( 146), un dispositif ( 160) pour entrainer ledit arbre d'entranement theta inférieur ( 176,178) dans la direction verticale (Z) monté de façon fixe au-dessosu de ladite plaque de fond ( 168) et accouplé avec ledit arbre d'entraînement theta inférieur, un dispositif pour faire tourner ledit arbre d'entraînement ( 92) monté de façon fixe au-dessous de ladite plaque de fond 35 ( 168),et accouplé avec ledit arbre d'entraînement ( 92) et un dispositif ( 114) pour faire tourner ledit arbre 255038 C d'entratnement d'accouplement Y ( 182) monté de façon fixe au-dessous de ladite plaque de fond ( 168) et accouplé avec ladite plaque Y ( 14). 2 Platine selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle comporte en outre un accouplement à soufflets ( 144) monté sur ledit arbre d'entratnement theta ( 28) et un arbre d'entraînement d'accouplement theta inférieur ( 178) monté dans ledit palier étanche theta ( 146) et accouplé avec ledit accouplement 10 à soufflets ( 144) et ledit dispositif ( 160) pour entrainer ledit arbre theta inférieur ( 176,178) dans la direction verticale (Z). 3 Platine selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce qu'elle comporte en outre un accouplement à soufflets ( 100) sur ledit arbre d'entrainement X ( 92) et un arbre d'entrainement d'accouplement X inférieur ( 184) monté pour tourner dans ledit palier étanche X ( 104) et accouplé avec ledit accouplement à soufflets ( 100) et ledit dispositif ( 112) pour 20 faire tourner ledit arbre d'entraînement X. 4 Platine selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que lesdites bandes X et Y ( 30,38) consistent en des bandes métalliques comprenant deux parties pratiquement égales, une première partie ( 116) comprenant une bande supérieure et une bande inférieure espacées l'une de l'autre et une seconde partie ( 118) comprenant une seule bande alignée pour s'ajuster dans l'espace entre la bande supérieure et la bande inférieure. 5 Platine selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisée en ce qu'elle comporte deux ressorts ( 44,36) montés chacun entre les plaques respectives X et Y ( 12,14) et chacune desdites bandes X et Y ( 30,38) à au moins l'une de leurs extrémités 35 pour maintenir lesdites bandes tendues. 6 Platine selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisée en ce qu'elle comporte 255038 C un lubrifiant solide qui imprègne les surfaces en regard de la plaque de base, de la plaque X et de la plaque Y ( 10,12,14) -