Brevet FR2548451A1 — publié le 19850104

La présente invention est relative à une couche adhèrente soudable Ces couches sont surtout nécessaires pour établir des contacts électriques avec ou des liaisons mécaniques entre des composants Elles sont parti5 culièrement utiles pour établir des contacts avec des circuits à couche mince déposés sur des substrats semi-conducteurs, en verre ou en céramique. Pour réaliser des surfaces de contact et des interconnexions sur des circuits à couche mince, on dépose 10 généralement sous vide des couches de cuivre, d'or ou d'aluminium Ces couches ont l'avantage d'être très conductrices, mais elles présentent l'inconvénient de ne pas bien adhérer à la base, si bien que l'on doit prendre des précautions spéciales pendant le soudage. 15 L'invention vise à réaliser une couche qui, d'une part, est facilement soudable et, d'autre part, adhère bien à la base constituée le plus souvent de verre ou d'un matériau semi-conducteur. Selon l'invention, la couche est une couche mince 20 d'un alliage constitué de métaux et de métalloïdes. Selon des formes de mise en oeuvre préférées de l'invention cet alliage comprend du cobalt, du fer et du bore et est déposé par évaporation sous vide ou pulvérisation. La couche selon l'invention a un avantage supplé25 mentaire en ce qu'elle peut être beaucoup plus mince que les couches classiques Une épaisseur d'environ nm est suffisante, alors qu'une couche de cuivre doit être épaisse d'environ 3 mm Dans des cas particuliers, il peut être important que la couche selon l'invention ait aussi des propriétés magnétiques afin de pouvoir réaliser en une seule opération des capteurs magnétiques avec leurs bornes Dans certains cas, il peut être important que les soudures d'usage courant et la couche, tout en se combinant très bien, ne se dissol35 vent pas l'une dans l'autre et puissent donc être de nouveau séparées sans production de résidus, alors que, avec les assemblages soudés classiques, des alliages indissociables sont formés entre la soudure et l'assemblage. Les différents objets et caractéristiques de l'invention seront maintenant détaillés dans la description qui va suivre, faite à titre d'exemple non limitatif, en se reportant aux figures annexées qui représentent: la figure 1, une vue de-dessus d'un capteur magné10 tique déposé sur un substrat en verre et ayant quatre fils et quatre pattes de soudure; la figure 2, une vue en coupe d'un isolateur à traversée pour introduire un conducteur à l'intérieur d'un récipient sous vide, et la figure 3, une vue en coupe d'un montage en fibre de verre. Des couches de contact pour circuits à couche mince facilement soudables et, surtout, très adhérentes sont réalisées en déposant de minces couches d'un alliage composé de métaux et de métallotdes par évaporation ou pulvérisation L'adhérence de cette couche à la base est tout à fait suffisante si la couche est déposée par évaporation Cependant, du fait de la simplicité du procédé, et non d'un résultat encore meilleur, on préfère la pulvérisation Les métaux tels que le cobalt et 10 le fer, et les métalloldes tels que le bore, le silicium et le germanium se sont avérés très appropriés La proportion des métaux doit être environ de 60 à 90 %, de préférence 80 % Particulièrement appropriés sont les alliages composés de cobalt, fer et bore, par exemple Cox 15 Fey B 100 _xy, o 70 La figure 1 représente un substrat 1 en verre portant un capteur magnétique ainsi que ses branchements. Le capteur 2 est une surface circulaire Il comporte quatre fils 3 dirigés radialement vers l'extérieur, répartis 20 avec un espacement de 90 A son extrémité extérieure, chacun des fils 3 a une patte de soudure 4 Le capteur 2, avec ses fils 3 et les pattes de soudure 4, est formé en déposant une mince couche de métal amorphe, Co 75 Fe 5 B 20, en une seule opération Pendant le dépôt de la couche, 25 le substrat 1 en verre est dans un champ magnétique parallèle à l'une ou l'autre des deux paires de fils. Il présente donc une anisotropie magnétique pouvant être désignée par un champ anisotropique HK Si on envoie un courant traverser le capteur 2 parallèlement à HK, et 30 si on place le capteur dans un champ magnétique perpendiculaire à % dans le plan du capteur, une tension à partir de laquelle on peut déterminer la grandeur du champ magnétique appliqué peut être dérivée dans le sens perpendiculaire à HK En cas de fils particulièrement longs, ces derniers peuvent être d'une matière différente, par exemple en aluminium Le capteur 2 et les pattes de soudure 4 d'une part, et les fils 3 d'autre part, doivent alors être réalisés par des opérations séparées. La figure 2 représente un conducteur 11 passant par 5 une traversée étanche 12 Dans la réaion de la traversée étanche 12, le conducteur 11 (par exemple en platine) est logé dans une enveloppe de verre hermétique 13 pourvue extérieurement d'une couche 14 de soudure Selon l'invention, la couche de soudure est un alliage consti10 tué d'environ 80 % de cobalt et 20 % de bore La traversée étanche 12 est soudée à la couche de soudure 14, et on obtient donc un isolateur à traversée pour récipient sous vide. Sur le même principe, un montage à fibre de verre 15 peut être réalisé, comme représenté à la figure 3 La fibre de verre 21 est pourvue d'une couche de soudure 23 en Co B dans le secteur d'un manchon 22 de soudure La couche de soudure 23 et le manchon de soudure 22 sont soudés ensemble. Il est bien évident que les descriptions qui précèdent ont été données qu'à titre d'exemple non limitatif et que de nombreuses variantes peuvent être envisagées sans sortir pour autant du cadre de l'invention. Àuo Te ST Zg A Tnd ed eagsodp eqono:o eunp TB 6,S T Tnb a D Ua S T 9 m O 1 ome '9 e t sz SUOTF;e Tpue A Oa sep enbuoo-en Fb u Ml uoles eaono D 9 'ap TA snos UOT;evodeap ad aepsodpp eaynoo eunp T 6 bes lTnb a 8 ua a Spt ST e:o '9 g L SUTO Tv DTP Ue Az A sep anuoo Tanb eun,T uo Tes aqono D -L {%> 01 > A >;e 1 OZ %) O x > OL o A-X-OOL 9 A Xe'z g 01 ea o D ep epsodutoo Isa alla,nb a 3 ua aps Tagiorie 'i UOT e 4 Tpua Aea 2 T uo Tes aqe Dno D 9 % 09 oe 3 ua XP 9 zd ap % 06 e 09 UOT Auaep Isa çL xne 9 UZ Sep a 6;uea Dnod a T nlb a O ua e 9S Tiioeaeo D '' g L SUO Ti Or Tpua Aaa sap aenbuoolenb aun, uolas aqonoa S Àamoq ap a la; ap ';leqoo a Ep apsodwoo;sa a Tla,nb eo ua aps T oeulo 'z uo Tvo Tpuaae el uo Taes aqono D 't -aoq ep a Teqoo ap 9 psodui OD o sa al T Tlanb OL a O ua ag S Tpq De 1 jeo z UO Tieo Tpue Aea el uolas aqo Dno D -ú um Tuem la 6 no/ja mn To T Ts ' azoq saplol T Tei sap qa le; no/ea a Tlqoo xnei 9 u Sep agn IT 4 SU Oo Isa a TT,lnb ao ua ag S Tplqoe 2 eo 'L UOT;o DTP Ue Ae el U Olas aqono D z saplo T Teluim ap *a xnemui ap psodwoo abe TT Te un,p aou Tu aqonoo aun Isa aqonoo el anb ao ua aps Taglo Qvo 's 4 uvsodmioo sap amiua sanb Tueopu s UOS Te TT sap no oa Ae sonb Taloalp s;ouluoo sap a T Tq -eqp inod ja T Tno Tlied ua 'alqepnos aluaeappe aqono D L SNOLVDIOI Na Aa> s