Brevet FR2558078A1 — publié le 19850719

L'invention s'applique à l'industrie élec- tronique, et plus particulièrement aux procédés industriels qui sont apparus pour la fabrication de plaquettes à circuits imprimés, de feuilles à circuits imprimés et pour le traitement de pièces analogues. Dans cette industrie et dans les domaines annexes tels que la réalisation industrielle de dépôts électrolytiques, il est devenu courant que dans le cas o une pièce doit être traitée, si certaines parties de la pièce ne sont pas à traiter, par exemple par attaque chimique, déposition ou autres, un écran est appliqué sur ces parties qui ne sont pas à traiter, sous la forme d'un revêtement de matière destiné à être retiré par la suite. En général, dans les cas o un dépôt électrolytique ou une attaque chimique constituent les traitements concernés, le revêtement se présente sous la forme d'un masque qui est appliqué sur la plaquette à circuit imprimé ou autre pièce, lequel masque empêche le fluide de traitement, généralement liquide, d'exercer une action chimique quelconque, par exemple une attaque ou un dépôt, sur l'article, aux emplacements o le masque est appliqué. Ceci est dû au fait que le masque est généralement appliqué sélectivement uniquement sur les parties de la pièce ne devant pas être traitées. Une fois que l'opération d'attaque, de déposition ou autre est achevée, le masque est soumis à un traitement chimique par l'application d'une solution afin qu'il soit retiré chimi- quement de la pièce. En général, cette solution est une solution acide ou alcaline qui décompose le masque et le sépare de la pièce, souvent pendant que cette dernière est transportée à travers une chambre de pulvérisation de solution. Dans le passé, un grand nombre de ces solutions chimiques retirant les masques, revêtements ou autres, possédait une structure chimique telle qu'elles dissolvaient le masque dans la solution. Lorsqu'il en est ainsi, la matière du masque peut s'accumuler dans la solution jusqu'à ce qu'elle atteigne une concentration atteignant un niveau inacceptable, auquel cas la solution peut, soit être rejetée, soit être soumise à une opération ultérieure de régéné- ration. Dans le passé, un grand nombre de ces masques était du type soluble dans l'eau, ce qui les conduisait à être rejetés aux égouts, avec les solutions. La plus grande considération apportée à l'environnement a conduit le développement d'autres masques ou revêtements, dont certains ne sont pas solubles dans l'eau, tels que des polymères et autres, y compris des masques qui ne sont pas non plus solubles dans les solu- tions utilisées pour les retirer des pièces sous-jacentes telles que des plaquettes à circuit imprimé ou autres. Ainsi, bien que les produits chimiques utilisés pour séparer les polymères ou autres masques de plaquettes ou autres pièces soient capables de retirer rapidement les masques des pièces, ils laissent la matière retirée souvent dans une plage d'états physiques allant d'une consistance gélatineuse à celle de particules telles que des paillettes ou des pellicules relativement inertes, qui peuvent rester dans la solution presque indéfiniment, sans se dissoudre. Avec le développement croissant de l'industrie électronique, une demande toujours croissante a porté sur le développement d'appareils de traitement de pièces capables d'effectuer un traitement automatique à grande vitesse, en particulier sur des plaquettes à circuit imprimé et autres. Ceci fait nécessairement apparaître l'exigence de vitesses élevées pour le traitement de pellicules et de débris résultant de l'élimination des réserves d'attaque chimique et de dépôt ou des masques des panneaux. Ceci entraîne nécessairement une demande en vitesses de traitement plus élevées pour l'élimination des résidus accumulés, provenant des solutions qui ont été utilisées pour retirer les masques des pièces. Dans le passé, dans la plupart des cas de filtration, le filtrat ou gâteau de filtre est perméable, ce qui permet à l'action du filtre de continuer jusqu'à ce que l'accumulation de l'agrégat:z du filtrat ralentisse le passage du liquide jusqu'à un niveau inefficace. Par exemple, le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 3 776 800 décrit un filtre amovible utilisé pour éliminer des particules d'une solution d'attaque chimique. De plus, l'élimination des réserves et autres masques de pièces à traiter est décrite dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 4 015 706 qui mentionne également certaines fonctions de traitement auxquelles la présente invention s'adresse. Dans le cas de certains masques ou de cer- taines réserves, en particulier lorsqu'ils sont en polymère, la présence de pellicules, de paillettes, etc., qui pro- viennent du polymère ou autre masque, peut rendre le tamis ou autre filtre inopérant, en l'obturant ou l'engorgeant, du fait de l'aptitude de ces pellicules ou paillettes à se fixer d'elles-mêmes au tamis ou autre filtre. Lorsque l'on souhaite séparer des particules de liquides, il est connu d'utiliser certaines formes de tamis ou filtres à nettoyage automatique, par exemple par vibration, afin que les particules en soient retirées, par des techniques d'écoulement inverse, ou par interruption du travail pour permettre l'enlèvement des particules de l'agrégat, d'une façon générale. L'invention concerne un appareil destiné au traitement de divers articles, y compris les plaquettes à circuits imprimés, pour en retirer un masque ou une réserve, ou autre revêtement, et pour faciliter la régénération de la solution réalisant chimiquement le retrait. A cet effet, il est prévu un appareil de séparation comportant un ou plusieurs tamis ou filtres pouvent être traversés par la solution sensiblement débarrassée des particules, en même temps que cette solution lave le tamis afin d'empêcher des particules, des paillettes, etc., de s'accumuler dans les pores du tamis ou du filtre, les particules, ainsi retirées du tamis ou du filtre par lavage, étant ensuite collectées, de préférence de manière à permettre une période de fil- tration suivante, les particules pouvant être suffisamment retirées, par filtration, d'une petite partie de la solution de traitement collectée, pour que la solution puisse être réutilisée, tandis que la plus grande partie de la solution de traitement est pratiquement immédiatement prête à une réutilisation. L'invention concerne un appareil pour retirer chimiquement des particules de matières solides d'un liquide de traitement, la matière solide provenant de pièces soumises à un traitement chimique par un liquide. L'enlèvement ou retrait de la matière solide est réalisé par une technique de séparation qui utilise une filtration du liquide de traitement par passage à travers des tamis ou des plaques filtrantes disposés angulairement, pouvant être traversés par une solution en écoulement descendant, tout en retenant des particules qui sont ensuite retirées du tamis par lavage et collectées, de préférence pendant une filtration ultérieure du liquide de lavage, qui est également, de préférence, le liquide de traitement. L'invention a donc pour objet principal un appareil perfectionné pour retirer chimiquement une matière solide de pièces en cours de traitement. L'invention a plus particulièrement pour objet un appareil de ce type dans lequel une séparation est réalisée sur des particules, des débris, des paillettes, etc., présents dans le liquide de traitement à la suite du retrait de la matière solide des pièces. A cet effet, l'invention a également pour objet un appareil perfectionné de séparation qui permet l'écoulement du liquide de traitement à travers un milieu filtrant, et dans lequel la surface d'entrée du milieu filtrant est lavée afin que les particules en soient collectées. A cet effet, la collecte des particules est déclenchée périodiquement, des moyens étant prévus pour ensuite séparer encore le liquide de traitement des particules afin que ce liquide puisse être réutilisé. L'appareil est particulièrement adapté au traitement de plaquettes et feuilles à circuit imprimé et autres, par enlèvement de masques, de réserves, de revêtements ou autres, à l'aide d'une solution chimique telle qu'une solution d'enlèvement de réserves qui est pulvérisée sur les pièces, tandis qu'elles sont transportées suivant un certain trajet. A cet effet, un ou plusieurs tamis sont utilisés, ainsi que des conduits de lavage des tamis destinés à collecter les débris et à évacuer ensuite ceux-ci vers une zone collectrice. L'invention a également pour objet de concen- trer les particules afin d'en faciliter le traitement. L'invention sera décrite plus en détail en regard des dessins annexés à titre d'exemple nullement limitatif et sur lesquels: - la figure 1 est une vue en bout d'un appareil d'enlèvement de réserves selon l'invention, vu dans la direction de défilement de pièces dans cet appareil, la plupart des conduits d'écoulement de la solution étant illustrés; - la figure 2 est une coupe horizontale partielle de l'appareil selon l'invention, suivant sensi- blement la ligne II-I de la figure 1, montrant plus clairement diverses caractéristiques de séparation de la présente invention; - la figure 3 est une coupe verticale partielle de l'appareil selon l'invention, suivant sensi- blement la ligne III-III de la figure 1; - la figure 4 est une coupe verticale partielle de l'appareil selon l'invention, suivant sensiblement la ligne IV-IV de la figure 2, et montrant plus clairement les caractéristiques de lavage des tamis et d'écoulement inverse; et - la figure 5 est une coupe verticale partielle de l'appareil selon l'invention, suivant sensiblement la ligne V-V de la figure 2. On se référera d'abord à la figure 1 qui représente, indiqué globalement en 10, l'appareil selon l'invention destiné à enlever un masque, une réserve ou autre élément de plaquettes à circuit imprimé, feuilles à circuit imprimé ou autres, cet appareil étant adjoint à un appareil d'attaque ou décapage chimique, d'application de dépôt électrolytique, ou autre appareil de traitement chimique. L'appareil 10 comprend une chambre 11 dont l'intérieur 12 est divisé en une partie supérieure 13 et une partie inférieure 14. La chambre 11 est définie par des parois extrêmes 15 et 16 d'entrée et de sortie présentant des ouvertures respectives 17 et 18 d'entrée et de sortie. Les parois latérales 20 et 21 définissent les côtés de la chambre, sauf qu'une partie prolongée formant carter est formée sur le côté éloigné 22 de l'appareil 10 et est définie en partie par une paroi horizontale 23 et une paroi verticale 24 de la chambre. Le carter allongé est désigné par la référence numérique 25, au-dessous de la paroi 23. La chambre comporte un fond 26 et un couvercle amovible 27. Un transporteur 28, sous la forme de barreaux et de roues, analogue à ceux décrits dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 4 015 706 et n0 4 046 248, est utilisé et est également entraîné avantageusement par des moyens d'entraînement analogues à ceux décrits dans les brevets précités. De plus, l'appareil 10 peut être construit sous une forme modulaire afin d'être assemblé par ses extrémités, avec des modules immédiatement adjacents, de la manière décrite dans les deux derniers brevets cités, par l'utilisation de techniques similaires d'assemblage, d'alignement et d'entraînement. Ces techniques ne seront donc pas décrites en détail. Dans tous les cas, le mécanisme transporteur 28 est conçu pour transporter une plaquette à circuit imprimé ou autre pièce A dans la direction de la flèche 30, comme indiqué sur la figure 3. Des collecteurs supérieurs et inférieurs 31 et 32 de pulvérisation, comportant chacun plusieurs tuyaux 33 de pulvérisation s'étendant transversalement à l'appareil, distribuent un liquide de traitement à des buses 34 de pulvérisation. Ces buses 34 sont disposées de façon à pulvériser le liquide de traitement chimique, comme indiqué en 35, sur les pièces A à leur passage entre les buses, ce liquide ayant pour effet de détacher, par action chimique, la réserve ou autre revêtement des pièces A S58078 et de l'enlever de ces dernières en le faisant descendre avec la solution de traitement vers deux tamis filtrants 36 et 37. Les tamis filtrants 36 et 37 font partie du dispositif de séparation destiné à séparer les particules qui ont été enlevées des pièces A. Les tamis 36 et 37 sont montés obliquement, comme montré sur la figure 1, de façon à former un angle suffisamment aigu avec la verticale (avantageusement 60 degrés) pour permettre le passage de quantités importantes du liquide de traitement à travers eux à mesure que ce liquide de traitement tombe dans le sens de la flèche 38 sur la figure 1. Il est évident que la porosité des tamis 36 et 37 est choisie en fonction de la dimension prévue des particules pour une opération d'enlèvement donnée. Des supports convenables sont prévus pour les tamis 36 et 37 afin de les maintenir dans l'orientation préférée, comme montré, dans une disposition V, les tamis situés des deux côtés convergeant vers une gouttière 40. Deux collecteurs de pulvérisation de lavage, montrés sur la figure 4, sont alimentés avec le même liquide de traitement que celui effectuant l'enlèvement chimique, au moyen d'une ligne 39 de distribution et d'un conduit convenable 43 de raccordement. Ces collecteurs 41 et 42 portent respectivement des buses associées 44 et 45 de pulvérisation, orientées de façon à réaliser une pulvé- risation le long de ou sur la surface des tamis 36 et 37, de la manière illustrée sur la figure 4, pour enlever par lavage les paillettes, pellicules et autres particules qui ont été retirées des pièces traitées, cette pulvérisation ayant pour effet d'entraîner ces particules dans la gouttière 40. Le retour de la solution, par exemple par la ligne 39, est important, car il empêche l'accumulation de la solution dans la gouttière 40, ce qui pourrait autrement se produire jusqu'aux tamis 36 et 37 que les particules pourraient alors engorger. La gouttière 40 est formée par les supports inférieurs 46 et 47 des tamis 36 et 37. Ces derniers comportent de la même manière des supports 48 et 50. Il apparaît donc que les débris retirés par lavage des tamis 36 et 37 s'accumulent dans la gouttière 40 qui s'étend sensiblement sur la longueur de l'appareil, entre les parois extrêmes opposées 15 et 16, comme montré sur la figure 3, mais le liquide de lavage (liquide de traitement) peut s'écouler librement de l'extrémité de gauche de la gouttière 40, comme montré sur la figure 3, dans un caniveau 51 d'o il sort par une conduite 52 de sortie en s'écoulant dans le sens de la flèche 53 sur la figure 1 vers une pompe centrifuge 54. Cette dernière fonctionne généralement en continu et elle refoule le fluide de traitement, qui lui est ainsi amené, dans une conduite 55 afin de le renvoyer vers les collecteurs 41 et 42 par la conduite 39, dans le sens indiqué par la flèche 56 sur la figure 1. Il convient de noter qu'une vanne 57 montée sur une conduite 58 et commandée par une bobine 60 est en position de fermeture pendant cet écoulement du fluide de traitement vers le caniveau 51 et à travers la pompe 54, comme indiqué ci-dessus, afin qu'à ce stade de fonctionne- ment, le fluide ne puisse s'écouler par la conduite 58 et qu'il soit renvoyé en passant par la conduite 39, comme montré sur la figure 1. Comme indiqué précédemment, les particules, débris et autres s'accumulent dans la gouttière 40 pendant une durée préalablement réglée ou jusqu'à ce qu'une condi- tion préalablement établie apparaisse. Cette condition peut être la montée du niveau du liquide dans la gouttière 40, qui a pour effet de déclencher l'évacuation de la gouttière, mais il s'agit avantageusement de l'écoulement d'une période de temps donnée, par exemple un nombre prédéterminé de secondes, établi par une minuterie convenable T. Dans tous les cas, conformément aux paramètres préalablement établis, l'évacuation de la gouttière 40 est effectuée par l'intro- duction brusque d'une quantité de liquide de traitement dans le sens de la flèche 64 sur la figure 3, dans un conduit 63, de façon à former des moyens propulsant les débris accumulés dans la gouttière, de son extrémité de droite, dans l'orientation de la figure 3, vers l'extrémité de gauche, dans le sens de la flèche 65, jusque dans le caniveau 51, les débris et le liquide sortant par le conduit 52 vers la pompe 54. A peu près en même temps qu'elle commande le brusque écoulement dans la conduite 63, la minuterie T agit également par l'intermédiaire de la bobine 66 commandant la vanne 67, ce qui provoque la circulation dans la conduite 63 par l'intermédiaire de la conduite 68, ou, autrement, déclenche également la bobine 60 par l'intermédiaire de la ligne électrique 70 afin d'ouvrir la vanne 57 de façon que l'évacuation du liquide de traite- ment, qui renferme les débris venant d'être évacués de la gouttière 40, en passant par le raccord en T 72 du conduit 55, se dirige vers la gauche, comme montré sur la figure 1, par l'intermédiaire du conduit 58, dans le sens de la flèche 71, empruntant ainsi le trajet le plus court qui oppose la moindre résistance au passage des débris et du liquide de traitement de la gouttière 40 dans un appareil 73 de fil- tration par l'intermédiaire d'un conduit 74. La propulsion du liquide de traitement à partir du conduit 63 est égale- ment minutée par la minuterie T, de façon à durer un temps préalablement établi à la fin duquel la minuterie T commande la fermeture de la vanne 67 par l'intermédiaire de la ligne 66 et, à peu près simultanément, l'actionnement de la bobine 60 provoque la fermeture de la vanne 57, toutes ces opérations étant effectuées après l'écoulement d'un temps suffisant, préalablement établi dans la minuterie T, pour que les matières solides évacuées et le liquide de traitement provenant de la gouttière 40 aient franchi la pompe 54. Ensuite, le refoulement de la pompe 54 est ramené aux collecteurs 41 et 42 par l'intermédiaire du conduit 56. Il convient de noter que la pompe 54 est entraînée par tout moteur convenable 75, convenablement monté comme indiqué en 76. Il convient également de noter que le liquide de traitement traversant les tamis 36 et 37 est collecté à la partie inférieure de la chambre 14 et est dirigé vers une pompe principale (non représentée) placée dans le prolongement 25 de carter de la partie inférieure de la chambre 14 afin d'être recyclé en remontant dans la conduite principale 77 de distribution, dans le sens indiqué par la flèche 78 sur la figure 1, vers les conduites principales 80 et 81 de distribution qui alimentent les collecteurs supérieurs et inférieurs 31 et 32 de pulvéri- sation, respectivement. Il convient également de noter que les conduites 80 et 81 comportent des dispositifs convenables 82 et 83 de réglage d'écoulement, généralement sous la forme de vannes, robinets ou autres, pouvant être réglés manuellement. En référence à la figure 5, on peut noter que la conduite 63, qui fournit le volume important de fluide de propulsion sous la forme d'un -liquide de traitement à la gouttière 40, fournit également un agent antimousse provenant d'un réservoir 91 de produit antimousse, de préférence en établissant un vide partiel à l'emplacement de la jonction d'un conduit 92 avec la conduite 63, ce vide partiel étant transmis par un clapet 93 de retenue ou de non-retour (destiné à empêcher le liquide de s'écouler vers la gauche à travers lui, comme montré sur la figure 5), afin d'aspirer le liquide antimousse 94 du récipient 91, de le faire monter dans une conduite 95, de le faire passer à travers un débitmètre 96, dans une conduite 97 et à travers un clapet 93 de retenue, sous l'effet d'un vide partiel ou d'une action de venturi, l'agent antimousse étant ainsi amené dans la gouttière 40, avec le liquide de traitement qui sert d'agent de propulsion pour évacuer la gouttière. Ceci est destiné à empêcher toute formation de mousse en amont de la pompe 54, tandis que cette dernière entraîne les débris, les particules ou autres, toute cavitation de la pompe étant ainsi empêchée. L'appareil destiné à séparer les particules retirées du liquide de traitement selon l'invention 1 1 présente également une caractéristique facultative d'in- version d'écoulement. Ces caractéristiques résident dans l'application du fluide de traitement aux faces inverses ou inférieures des-tamis 36, d'une manière provoquant une vibration de ces derniers ainsi que l'application de liquide aux tamis, vers le haut, ce qui aide à l'élimination par lavage des particules, des débris et autres, des surfaces supérieures des tamis, les particules, débris et autres tombant alors dans la gouttière 40. L'écoulement inverse est réalisé à l'aide d'une conduite 100 branchée sur la conduite principale 78 de recyclage, vers un orifice 101 d'entrée débouchant dans l'intérieur de la chambre (figures 1 et 4), o un tube flexible 102 transmet le fluide de traitement à des collecteurs 103 et 104 de distribution. Ces collecteurs 103 et 104 de distribution sont montés comme indiqué en 105 et 106, respectivement, à l'aide de toutes techniques convenables, au-dessous de la gouttière 40, et ils portent eux-mêmes des dispositifs rotatifs 107 de pulvérisation. Ces dispositifs 107 ont sensiblement la même réalisation, de sorte qu'il suffit de décrire en détail l'un d'eux. Chaque dispositif 107 de pulvérisation est monté sur un conduit 108 d'écoulement de liquide qui reçoit du liquide de traitement de son collecteur approprié 103 ou 104 et qui le transmet à une tête rotative 110. Cette dernière est mise en rotation par la pression de réaction du liquide de traitement la traversant et la pression de réaction sert à faire tourner la tête 110 et les buses 111 et 112 de pulvérisation qu'elle porte, afin que le liquide de traitement soit pulvérisé à partir des buses 111 et 112 en formant des arcs qui balaient en fait pratiquement la totalité de la surface inférieure des tamis 36 et 37 (à l'aide de huit buses), pour réaliser ainsi le lavage par écoulement inverse éliminant les particules des tamis 36 et 37. Il convient de noter, en référence à la figure 1, que le filtre 73 est équipé d'une conduite 115 de décharge du fluide de traitement permettant le passage au fluide de traitement qui a été nettoyé par filtration des résidus provenant de la gouttière, laquelle filtration est effectuée dans le filtre 73, et ce fluide de traitement filtré est ensuite dirigé par une conduite 115, dans le sens de la flèche 116, afin de revenir dans la chambre o il pénètre par l'entrée 101. Il convient de noter que l'écoulement du fluide dans la conduite 100 produit un vide partiel ou un effet de venturi dans la conduite 115 pour ramener le fluide filtré à l'intérieur de la chambre. Il apparaît également que dans le cas o la caractéristique d'écoulement inverse de l'invention ne doit pas être utili- sée, les têtes 107 de pulvérisation ne reçoivent pas de liquide par l'intermédiaire de la conduite 102 et le liquide de traitement peut alors être, soit fourni en continu par l'intermédiaire de la conduite 100, dans la chambre o il pénètre par l'ouverture 101 afin de produire l'action de venturi ramenant le liquide filtré du filtre 73 par l'inter- médiaire de la conduite 115, ou bien, en variante, l'ouver- ture 101 peut être modifiée pour réaliser une décharge directe dans le carter. Le filtre 73 comporte généralement un panier filtrant amovible (non représenté) dans lequel s'accumulent progressivement des débris jusqu'à ce qu'ils forment un gâteau sensiblement dense qui doit alors être retiré à la main. Ceci peut être vérifié périodiquement, par exemple quotidiennement, suivant l'expérience des opérateurs, et le panier filtrant peut alors être remplacé ou simplement vidé pour être réutilisé. Dans le cas o le filtre 73 n'est pas vérifié et que les débris s'accumulent dans la chambre 73 de filtration à un niveau tel que l'action de filtration ne peut plus avoir lieu et que le liquide s'accumule, un dispositif convenable 120 de limitation de niveau, sensible au niveau, peut être actionné pour supplanter l'actionne- ment de la bobine de la vanne 67, en 66, au moyen d'une conduite 121, ce qui permet d'intervenir prioritairement sur l'évacuation de la gouttière 40 par la distribution du fluide de traitement par la conduite 63 afin d'empêcher le pompage de débris, particules et autres matières supplé- mentaires, avec le fluide de traitement, de la pompe 54 vers le filtre 73 par l'intermédiaire de la conduite 74, jusqu'à ce que le filtre 73 puisse être déchargé. Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées à l'appareil décrit et représenté sans sortir du cadre de l'invention. Par exemple, bien qu'un angle de pente de 30 degrés (avec l'horizontale) se soit avéré avantageux, pour les tamis 36 et 37, afin de permettre un passage suffisant du liquide à travers eux, il est évident que d'autres angles peuvent également donner un travail satisfaisant. De plus, il convient de noter que, bien que des tamis 36 et 37 constituent le type préféré de filtres séparateurs en cet emplacement, d'autres dispo- sitifs de filtration qui ne sont pas, du point de vue technique, des tamis, peuvent également être utilisés. D'autres détails de la réalisation et du fonctionnement de l'appareil selon l'invention peuvent également être modifiés sans sortir du cadre de l'invention. Il apparaît donc que la présente invention a pour but d'empêcher la formation d'un dépôt et le colmatage consécutif de tamis de filtration, inconvénients des formes de réalisation antérieures. La présente invention est particulièrement utile dans les cas o les masques ou revêtements retirés sont constitués de polymères qui ont tendance à s'accumuler et à sécher sur la surface des filtres, et l'invention résout ce problème en plaçant les tamis dans la chambre de traitement o ils peuvent recevoir un écoulement important, par exemple 150 litres de solution par minute, pour laver les tamis et les maintenir exempts de débris collectés, cet écoulement empêchant également les tamis de sécher, ce qui pourrait, autrement, provoquer une adhérence du polymère au milieu filtrant dans les cas o des polymères sont utilisés. REVENDICATIONS 1. Appareil pour retirer chimiquement une matière solide d'articles (A) en cours de traitement chimique par un liquide, l'appareil comprenant une chambre (11) de traitement, des moyens (28) situés dans une partie supérieure de la chambre et destinés à supporter des articles en cours de traitement, des moyens (31, 32) destinés à alimenter la chambre en liquide de traitement afin qu'il soit pulvérisé sur des articles placés dans la chambre pour qu'une matière solide soit retirée desdits articles par la pulvérisation du liquide de traitement, des moyens de séparation situés dans la chambre et destinés à séparer une matière solide du liquide de traitement, et des moyens collecteurs placés à l'intérieur de la chambre et destinés à collecter le liquide de traitement pour le recycler vers les moyens de distribution, l'appareil étant caractérisé en ce qu'il comporte des moyens de filtration (36, 37) situés dans les moyens de séparation et disposés de façon à former un angle suffisamment aigu avec la verticale pour permettre à un liquide de traitement de tomber à travers ces moyens de filtration et à la matière solide, ne les traversant pas, d'en être retirée par lavage vers une zone de séjour, des moyens (41, 42) de lavage des moyens de filtration situés dans les moyens de séparation et destines à distribuer un liquide de traitement sur les moyens de filtration afin d'en retirer par lavage la matière solide en l'entralnant vers la zone de séjour, des moyens (40) d'évacuation faisant partie des moyens de séparation et destinés à évacuer le liquide de traitement et la matière solide de la zone de séjour. 2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte un filtre secondaire (73) relié aux moyens d'évacuation afin d'en recevoir le liquide de traitement et les matières solides et de retirer par filtration les matières solides du liquide de traitement. 3. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens (52, 54, 55, 39) destinés à renvoyer le liquide de traitement filtré des moyens d'évacuation vers la chambre. 4. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que la zone de séjour comprend une gouttière (40) destinée à recevoir les matières solides et le liquide de traitement, une conduite (52) de décharge étant reliée à cette gouttière et comportant des moyens destinés à recevoir le liquide de traitement arrivant dans la gouttière, et à le recycler vers une partie supérieure de la chambre, le moyen d'évacuation comprenant un dispositif (54) de pro- pulsion destiné à faire passer périodiquement un courant de liquide de traitement dans la gouttière pour en évacuer les matières solides accumulées. 5. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que la zone de séjour comprend une gouttière (40) destinée à recevoir des matières solides et le liquide de traitement, une conduite (52) de décharge étant reliée à cette gouttière et comportant des moyens destinés à recevoir le liquide de traitement arrivant dans la gouttière, et à le recycler vers une partie supérieure de la chambre, les moyens d'évacuation comprenant un dispo- sitif (54) de propulsion destiné à faire circuler pério- diquement un courant de liquide dans la gouttière pour en évacuer les matières solides accumulées, les moyens d'évacuation comprenant une conduite (63) de décharge partant de la gouttière et portant une vanne (67), des moyens (T) étant reliés fonctionnellement à la vanne et au dispositif de propulsion afin que, sous l'effet de la mise en action de ce dernier, la vanne soit manoeuvrée à peu près simultanément d'une position d'écoulement normal entre la conduite de décharge et la chambre vers une autre position d'écoulement entre la conduite de décharge et le filtre secondaire, de façon que les matières solides accumulées soient dirigées vers le filtre secon- daire. 6. Appareil selon l'une des revendications 1 et 5, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens (103, 104) d'inversion d'écoulement placés dans la chambre, au- dessous des moyens de filtration, des éléments (101, 102) reliant les moyens d'inversion d'écoulement à une source (78) de fluide de traitement et lesdits moyens d'inversion d'écoulement comprenant un élément (107) de décharge de liquide de traitement destiné à décharger le liquide de traitement contre la face inférieure des moyens de fil- tration inclinés afin d'en faciliter le nettoyage par enlèvement des matières solides. 7. Appareil selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens (91) destinés à additionner à peu près en continu un agent antimousse au liquide de traitement. 8. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de support d'articles comprennent un dispositif (28) destiné à transporter les articles à travers la chambre, à la partie supérieure de cette dernière, suivant un trajet sensiblement horizontal, d'une ouverture allongée (17) d'entrée jusqu'à une ouverture allongée (18) de sortie, des moyens de distribution de liquide de traitement comprenant des buses (34) de pulvé- risation placées au-dessus et au-dessous du trajet, et les moyens collecteurs comprenant une partie réservoir située au fond (26) de la chambre,- une pompe (54) étant associée à cette partie réservoir afin de renvoyer le liquide de traitement vers les buses de pulvérisation, les moyens de filtration comprenant des tamis (36, 37) et les moyens de lavage comprenant des buses (111, 112) de pulvérisation disposées de façon à pulvériser le liquide de traitement le long des tamis. 9. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de filtration comprennent deux tamis (36, 37) placés chacun de façon à former un angle aigu d'environ 30 degrés avec l'horizontale. 10. Appareil de traitement de plaquettes et feuilles à circuit imprimé, et autres articles analogues (A) comportant des parties à réserve de polymère qui doit être retirée à l'aide d'une solution d'enlèvement de réserve appliquée par pulvérisation sur les articles pendant qu'ils sont transportés sur un trajet, l'appareil comprenant une chambre (11) de traitement, des moyens (28)de transport d'articles dans la chambre destinés à déplacer les articles d'une ouverture (17) à une première extrémité jusqu'à une ouverture (18) de décharge située à l'autre extrémité, des buses (34) de pulvérisation disposées à l'intérieur de la chambre de façon à pulvériser la solution sur les articles, des moyens destinés à séparer les particules de réserve de la solution, et une zone collectrice située dans la chambre et destinée à collecter la solution pour la recycler vers les buses, l'appareil étant caractérisé en ce qu'il comporte au moins un tamis (36 ou 37) faisant partie des moyens de séparation et disposé de façon à former un angle suffisamment aigu avec la verticale pour permettre à la solution de tomber à travers lui en même temps que des particules de réserve sont séparées par tamisage, les particules de réserve ne traversant pas le tamis étant retirées de ce dernier par lavage, vers une gouttière (40), au moins une buse (111ou 112) de lavage de tamis, qui fait partie des moyens de séparation, étant disposée sensiblement à l'extrémité supérieure du tamis afin d'appliquer une pulvérisation sur ce dernier et d'en retirer par lavage les particules de réserve qui sont dirigées vers la gouttière, des moyens d'évacuation, qui font partie des moyens de séparation, étant destinés à évacuer la solution et les particules de la gouttière. 11. Appareil selon la revendication 10, caracté- risé en ce qu'il comporte un filtre (73) relié aux moyens d'évacuation et destiné à recevoir la solution et les particules provenant de la gouttière. 12. Appareil selon la revendication 10, caracté- risé en ce qu'une conduite (52) de décharge est reliée à la gouttière afin de renvoyer la solution de la gouttière vers la chambre, les moyens d'évacuation comprenant un dispositif (54) de propulsion destiné à fournir périodi- quement à la gouttière un courant de solution suffisant pour en évacuer les particules accumulées. 13. Appareil selon la revendication 11, caracté- risé en ce qu'une conduite (52) de décharge est reliée à la gouttière afin de renvoyer la solution de la gouttière vers la chambre, et en ce que les moyens d'évacuation comprennent un dispositif (54) de propulsion afin de fournir périodiquement à la gouttière un courant de solution suffisant pour en évacuer les particules accumulées, les moyens d'évacuation comprenant une conduite (63) de décharge partant de la gouttière et portant une vanne (57), des moyens (T) étant reliés fonctionnellement à la vanne et au dispositif de propulsion, de manière que, sous l'effet de la mise en action du dispositif de propulsion, la vanne soit manoeuvrée à peu près simultanément d'une position d'écoulement normal entre la conduite de décharge et la chambre vers une autre position d'écoulement entre la conduite de décharge et le filtre afin que les particules accumulées soient dirigées périodiquement vers le filtre. 14. Appareil selon la revendication 13, caracté- risé en ce qu'il comporte une conduite (115) destinée à renvoyer la solution filtrée du filtre vers la chambre. 15. Appareil selon la revendication 10, caracté- risé en ce qu'il comporte des moyens (103, 104) d'inversion d'écoulement placés dans la chambre au-dessous des moyens de filtration, des éléments (101, 102) reliant les moyens d'inversion d'écoulement à une source (78) de solution et les moyens d'inversion d'écoulement comportant au moins une buse rotative (111 ou 112) de pulvérisation de solution placée au- dessous du tamis afin de pulvériser la solution vers le haut, à travers le tamis, pour favoriser le nettoyage de ce dernier en déplaçant les particules le long dudit tamis. 16. Appareil pour séparer des paillettes, des particules ou autres matières d'une solution chimique qui est amenée en contact avec des articles (A) afin de les traiter en en retirant la matière dans une chambre (11), l'appareil de séparation étant caractérisé en ce qu'il comporte un milieu filtrant (36, 37) placé dans la chambre et sur lequel s'applique la solution contenant la matière retirée, ce milieu filtrant éliminant par filtration la matière de la solution, sur au moins une surface dudit milieu filtrant, des moyens (103, 104) étant destinés à laver la surface du milieu filtrant en en enlevant la matière retirée pour la faire passer dans une zone de séjour, des moyens (107) étant destinés à décharger la matière retirée de la zone de séjour.