Brevet FR2551610A1 — publié le 19850308

L'invention concerne un transducteur électromagnétique pour l'excitation et la réception d'ondes ultrasonores lors de l'examen, sans moyen de couplage, de pièces métalliques, en particulier de rubans plats ou tôles en aciers ferritiques ou austénitiques, sous forme d'un ou plusieurs segments présentant plusieurs voies conductrices parallèles entre elles et qui sont disposées sur des plaquettes de circuit imprimé sensiblement planes. Un transducteur de ce type est décrit dans l'étude de 10 H Licht, TH Aachen, 1973 Possibilité d'exciter et de recevoir, sans contact matériel, des ondes Lamb dans des plaques conductrices de l'électricité au moyen d'un système de transducteur électrodynamique à sélection de mode". Afin de pouvoir procéder à une spectroscopie modale perti15 nente sur des pièces fines, le transducteur connu prévoit des plaquettes à circuit imprimé interchangeables qui présentent des dispositions différentes des voies conductrices, en vue de déterminer à chaque fois la longueur d'onde Par contre, la fréquence d'essai est réglable en continu De cette façon, il est vrai, on obtient un résultat d'essai qui est pertinent, mais l'essai exige énormément de temps En particulier, cette méthode ne permet pas de procéder à des contr 8 les de spectroscopie modale en continu En outre, on constate l'apparition d'autres influences 25 perturbatrices On rencontre en outre une limitation quant aux éprouvettes mous forme de plaques minces et donc dans la nature des ondes sous forme d'ondes Lamb. Le transducteur électromagnétique conforme à l'tinvention doit également permettre, pour les matériaux ferro30 magnétiques, la production et la réception d'ondes ultrasonores sur la base de l'effet Lorentz et de l'effet de magnétostriction, qui sont tous deux réversibles, ce qui permet de cette façon l'émission et la réception Par contre, dans le cas des métaux paramagnétiques et diamagnéti35 ques, on perd l'effet de magnétostriction, de même qu'au-dessus du point de Curie; néanmoins, à lui seul, l'effet Lorentz permet l'émission et la réception Chaque mode d'ondes de plaque est obtenu, pour une largeur de bande donnée et une longueur d'onde donnée, par un choix approprié de la fréquence en fonction du diagramme de dispersion dont la connaissance constitue un prélable. D'ailleurs, pour l'examen de pièces épaisses, il s'agit également de produire et de recevoir d'autres types d'onde (type longitudinal, transversal et Rayleigh). Dans le cas de la limitation à l'effet Lorentz, le courant alternatif introduit dans le transducteur d'émission crée un champ alternatif électromagnétique qui induit des courants de Foucault dans la surface de la pièce Du fait de l'interaction du courant de Foucault et d'un champ 15 continu magnétique horizontal, les forces de Lorentz agissent sur les électrons libres et donc indirectement également sur le réseau moléculaire du métal constituant l'objet à examiner En raison de leur périodicité spatiale et temporelle, ces forces produisent une onde ultrasonore, 20 dont la longueur d'onde est déterminée par la géométrie du transducteur et dont la fréquence est déterminée par le courant alternatif. Dans le cas des métaux ferritiques, les courants de Foucault induits sous l'action du transducteur d'émission 25 dans la surface des pièces produisent un champ alternatif magnétique qui se superpose au champ continu magnétique caractérisé Le champ magnétique modulé qui en résulte provoque des allongements magnétostrictifs localisés du matériau ferritique et produit ainsi une onde ultrasonore 30 ayant une fréquence et une longueur d'onde pré-déterminées. Pour le contr&le par ultra-sons sans contact> il s'agit alors, outre la constatation et la localisation de défauts, de permettre une classification chiffrée du type de défaut, de sa taille et sa position, en appréhendant 35 par exemple une fissure ou un emplacement de défaut volumineux, avec les dimensions linéaires caractéristiques et l'orientation des axes principaux du défaut par rapport à la direction de propagation sonore. Etant donné que, en vertu du niveau actuel de la technique, on utilise des endes guidées, la spectroscopie de mode permet la classification et l'analyse des défauts à l'aide d'algorithmes En multiplex, le même emplacement de défaut est soumis successivement à une production d'ondes en différents modes, chaque mode faisant d'ailleurs 10 appel successivement à plusieurs longueurs d'onde différentes Le fait que lors de la diffraction d'une onde guidée, le facteur de réflexion ne dépende pas uniquement, comme c'est le cas avec une onde libre, de la longueur d'onde, des dimensions linéaires caractéristiques du dé15 faut, de la nature et de l'orientation du défaut, mais qu'elle dépende également des dimensions géométriques du guide d'ondes et qu'elle varie en fonction du matériau utilisé, est exploité pour une classification des défauts par spectroscopie modale. Toutefois, l'utilisation d'ondes ultrasonores libres sous forme d'ondes longitudinales ou transversales faisant appel à plusieurs longueurs d'onde en multiplex offre au moins la possibilité de classer les défauts détectés par la spectroscopie normale, qui ne doit pas être écartée 25 selon l'invention. En partant du niveau actuel de la technique décrit plus haut, le but de l'invention consiste à réaliser un transducteur électromagnétique permettant de mettre en oeuvre, à une cadence-très serrée, une spectroscopie, en 30 particulier une spectroscopie modale, de l'éprouvette. Avant tout, le nouveau transducteur électromagnétique correspondant doit pouvoir tre utilisé pour le contrôle par ultra-sons de tales ou rubans qui défilent en continu et il doit &tre en mesure d'écarter largement les influ35 ences perturbatrices. 1 _ 1-1 b, Cet objectif est atteint en prévoyant que pour une spectroscopie par longueur d'onde et en particulier pour une spectroscopie modale des ondes ultrasonores reçues, sont prédéterminées pour le ou les segment(s), les fré5 quences et les longueurs d'onde dans une configuration matricielle présentant une cadence courte, les voies conductrices présentant, sous l'action d'une commande au moyen d'éléments de circuit, des parties A spires raccordables telles que, pour chaque fréquence en différents 10 états de connexion, on obtient des longueurs d'onde au prorata de nombres petits, entiers et premiers entre eux. On en arrive ainsi à un transducteur avec lequel on peut prédéterminer, de façon matricielle, les fréquences et les longueurs d'onde, les opérations individuelles A l'intérieur de la matrice fréquence/longueur d'onde étant effectuées par le biais d'une commande faisant appel aux éléments de circuit Les moyens mis en oeuvre à cette occasion sont de type électronique, comme par exemple les interrupteurs électroniques, et ils sont connus en tant 20 que tels Ainsi, dans un transducteur électromagnétique réalisé comme prévu ci-dessus selon linvention on peut intégrer les interrupteurs de façon que les opérations matricielles puissent être effectuées de façon entièrement électronique et donc avec une cadence suffisamment rappro25 chée. Même si les temps requis sont extrêmement courts, les opérations matricielles devant être réalisées sont limitées dans la pratique Par exemple, on se contente de 4 à 8 fréquences différentes, alors que les coefficients pro30 portionnels des longueurs d'onde n'atteignent généralement que 2, 3 et 5 ou 3, 4 et 5 Dans quelques cas exceptionnels seulement, il apparait nécessaire d'envisager le coefficient proportionnel de 7 afin d'arriver à 4 longueurs d'onde différentes. On obtient une adaptation importante aux dimensions des pièces à examiner ainsi qu'à leur type de matériau en utilisant des voies conductrices qui sont chacune à plusieurs spires et qui sont toutes séparées entre elles par le même écartement De même, il est judicieux de séparer les parties de spires avec les mêmes écartements Cela permet de respecter les configurations géométriques prédéterminées d'une façon précise, ces configurations commandant les différentes longueurs d'onde Dans la pratique, la technique de la photo-lithographie permet d'obtenir 10 cette précision pour de telles voies conductrices. Une autre adaptation encore plus importante allant dans le sens ci-dessus mentionné est permise par une affectation des polarités des voies conductrices de façon à obtenir au choix une bobine ou un méandre. Pour permettre un rendement le plus important possible de la part du nouveau transducteur, il convient d'égaliser la résistance en courant alternatif de ce transducteur, dont on sait qu'elle est fonction de la fréquence. Dans ce but, les voies conductrices sont réalisées avec des branchements présentant des intervalles correspondants. On peut ainsi faire varier le nombre des parties de spires utilisées effectivement et obtenir une impédance de transducteur constante Les voies conductrices à plusieurs spires sont particulièrement appropriées, elles entraînent 25 du reste une inductance élevée côté récepteur. Pour obtenir un effet directif, il convient également de prévoir la superposition, avec un décalage latéral, de deux segments qui possèdent une configuration fondamentalement identique Il s'agit de les décaler latéralement d'une fraction inférieure à 1/2 longueur d'onde Ces segments peuvent être commandés en décalage chronologique au moyen d'une ligne à retard de puissance commandable Pour une fréquence donnée, il est ainsi possible de retarder électriquement le signal de générateur concernant un seg35 ment selon les mêmes fractions de la durée de période que celles liées aux longueurs d'onde De cette façon, les champs acoustiques émis par les transducteurs d'émission se superposent de façon constructive dans une direction et de façon destructive dans la direction inverse Cela permet d'obtenir l'effet directif souhaité de la part du transducteur d'émission. Les forces magnétiques apparaissant pendant le fonctionnement sont très importantes Dans le cas du défilement en continu d'un matériau en ruban, il faut notamment 10 veiller à ce que, malgré le champ magnétique important, la distance entre le transducteur et l'éprouvette soit maintenue On peut y parvenir en utilisant des rouleaux de matière plastique conducteurs de l'électricité et que l'on fait courir, de façon à conduire l'électricité, sur l'éprouvette à examiner et qui relient en même temps cette éprouvette à la borne de mise à terre du transducteur de réception. La détection des défauts est effectuée de façon appropriée au moyen d'un circuit numérique d'identification de 20 signaux Le signal reçu bénéficie alors d'un anti-parasitage mis en oeuvre au moyen d'un circuit numérique d'identification de signal dans lequel, sur un premier registre à décalage et en commun avec les impulsions d'horloge à décalage d'un générateur d'impulsions, on trouve montés 25 une unité standardisée avec circuit logique comparateur et un compteur régressif, un second registre à décalage étant monté en aval du premier et les sorties des deux registres à décalage étant conduites au comparateur en aval duquel est monté le compteur régressif dont la sortie de 30 prélèvement est activée par le dépassement d'un nombre d'impulsions prédéterminé Il est en particulier possible d'émettre et de recevoir avec une fréquence de répétition d'essai d'une hauteur correspondante et une cadence d'une brièveté correspondante, afin de réaliser ainsi simultané35 ment et de façon entièrement automatique une localisation et une classification des défauts. La technique photo-lithographique à laquelle on a déjà fait allusion est utilisée dans la présente invention de telle façon que les voies conductrices structurées de 5 façon photo-lithographique sont vaporisées sous forme de voies métalliques sur un matériau de base non conducteur d'électricité ni de magnétisme Ces voies métalliques sont de préférence réalisées en aluminium si on utilise des plaquettes monocristal au silicium pour le matériau de 10 base On bénéficie également d'un avantage particulier pour l'examen de t 81 es chaudes; le nouveau transducteur est en effet entièrement fiable même dans des conditions d'emploi extrêmes du point de vue thermique. On relie entre elles les parties de spires des voies 15 conductrices de différentes façons en fonction de la longueur d'onde et de la polarité recherchées Cela n'exclue pas que l'on en arrive à des conducteurs qui se croisent. On obtient très facilement un isolement dans la zone de croisement en faisant passer à chaque fois les conducteurs 20 qui se croisent de l'autre côté du matériau de base. Pour poursuivre l'illustration de l'invention, on se référera aux dessins annexés relatifs à des exemples de réalisation, dessins sur lesquela: La figure 1 représente la constitution schématique et 25 non terminée des segments du nouveau transducteur, La figure 2 représente le montage du nouveau transducteur sous forme de méandre. La figure 3, le montage du nouveau transducteur en forme de bobine. La figure 4 l'alimentation en énergie du nouveau transducteur avec la ligne de retard de puissance. La figure 5, une unité standardisée élémentaire de la ligne de retard de puissance. La figure 6, un circuit numérique d'identification 35 de signal. La figure 1 représente un segment 1 qui se compose des voies conductrices 2 dont une seule a été munie du signe de référence Sur chaque voie conductrice 2, ont. été réalisées 5 spires dont une a été repérée par le chiffre 3 Le chiffre 4 représente l'écart moyen des voies conductrices entre elles Cet écart, ainsi que les écarts entre les parties de spires 3 entre elles, sont constants. On peut alors réaliser des configurations très différenciées avec le nouveau transducteur. On va expliquer l'exemple d'un transducteur d'émission avec des longueurs d'onde 1 = 2 Si l'on part dtun nombre de spires N = 5, d'un nombre des périodes m = 2 et des longueurs dtonde 1 = 6 mm et 2 = 9 mm, on obtient, pour une distribution de polarité en forme de méandre, symé15 trique par rapport à unaxe, la configuration reproduite sur la figure 2 Dans le cas d'une distribution de polarité en forme de bobine, on obtiendrait une forme représentée sur la figure 3. La réalisation pratique correspond aux configurations, 20 reproduites sur le dessin, selon la figure 2 et la figure 3, à ceci près que, pour la reproduction, on a choisi un agrandissement de 1: 5 On peut choisir une disposition selon laquelle plusieurs longueurs d'onde ( 1 > 2) peuvent être réalisées, avec également d'autres nombres de spires 25 N et d'autres nombres, pairs, de périodes (m> 2), les longueurs d'onde étant en rapports proposés par l'invention, de nombres faibles, entiers et premiers entre eux. (X 1: k 2: X 3 = Pl: P 2: P 3:) La limitation résulte d'ailleurs du fait que la longueur L du transducteur (sans les largeurs marginales) est donnée par le produit L i N Pl 2 i= 2 L'adaptation du transducteur, en ce qui concerne son impédance caractéristique, a lieu par le biais du branchement des voies conductrices La figure 2 présente les branchements 5 de ce type, au moyen desquels on peut égaliser la réponse en fréquence de l'impédance caractéris5 tique. Comme le montre également la figure 2, on a prévu deux méandres 6, 7 séparés latéralement et emboîtés l'un dans l'autre La figure 3 illustre de mime les dispositions des voies conductrices 6, 7 qui, dans ce cas, sont des 10 bobines. La partie alimentation des segments Lw, Lw est présentée par la figure 4 La puissance du générateur G est divisée dans le transmetteur/diviseur de puissance afin de pouvoir faire fonctionner les deux segments avec un seul générateur de puissance Dans un exemple de réalisation pratique, la puissance est de 36 KW Les générateurs constitués par les dispositions de voies conductrices sont branchés avec les résistances réglables R et R'V et les capacités réglables CK et Ce K, une ligne de retard de 20 puissance réglable 1 supplémentaire réglable étant branchée en amont, comme on peut le voir dans la branche inférieure de ligne de la figure 4, entre le transmetteur et la résistance Rt Ainsi, on peut, pour des fréquences prédéterminées, retarder le signal de générateur pour chaque segment d'une fraction Les champs acoustiques du transducteur d'émission se superposent ainsi de la façon déjà décrite avec formation d'un effet directif du tranaducteur d'émission La figure 5 représente d'une façon plus détaillée une unité de la ligne de retard de puissance L'enroulement est constitué dans ce cas d'un fil émaillé en cuivre enroulé sur un corps non conducteur de l'électricité et du magnétisme Pour un choix approprié des valeurs L, M (inductance mutuelle) et C, on obtient le temps de retard souhaité pour la ligue de 35 retard de puissance Si l'une des dispositions selon la np eaoi:l el *nb quuop 4 uuv *me 2 uee Tuq S Toj xu oiuae C a.edmoo i ed uo 'Iu Au ua e 9 o uow T enbî 2 oi UT q eo" ze À uep 9 o 9 pd np uo T 4 us Taoupwu qoe pu Tuzoq ol e p q Ue TA Tnb oe Leu Xuq up uo T 4 u T 1 zougu '6 o 2 e 2 Xuq ulpap-on s Ta T q du e TT o Tag u 9 o 92 euom np Tej na * 9-58 oupu oie 2 eieq un e Z TT 'l T 'CTú e Tuseopp so 859 oa rnap sep unoeuqo svea '61 O nea: Tuures el esd possedpp q B oz OZ Tno op u*ae Te A op 0 o 049 P al e T e DO *,Tne Auans j n Qpp ap I Fnas op neau A el $s oeeu Top M oú 8 s G Je o T suep ouop le -eadde Ta ua *.fnanuo T op 4 Tq un op enb -T Xum 9 u n lou A ounip xoj unes 9 qoeo p qa nio 9 Teu*T* T S o Ano 01 uo 'e SeTo 9 p P le esçTD ap *do no S np myu*u Mop# eoaq e&T y 'z nue:T ze Taxop un T ufuoom 1 4 o C T ose Te OPP *o J 42 De xnap sop 9 soduoo 2 e T Beo Pp q o*I 9 $S o Op edno O x nu *o Tu Op op Op mq x O*p 4 J 1 o A-O su OTU Tnd UT sa D *o 2 e Le Tuq.ud ouoe T undu Tvp ueaosuoo oiquou un l Tnpojd Tnb Zl suo$s oz -Tnud Fp anoze 9 up 2 ? un sud puuo 1 Toe v se 9 *on T$J UT u O Tos x I'uu l Tg op uo T O eqo TS Tupç 8 p onb Ou T ngu Tfnoi TO el no u Te M UT 99 P Uum OO Saoe 4 ue Aneod 49 oa$su Tq ueo T 4 upn S aun quepqssod enb Tç 4 o Te-p 4 Tn O TO up gfufodmoo gal unol T *À ouqo UT B 1 nb ue Tq Taon* znoqu 1 Pug np ou z OUT eouu 4 o Te -9 J UT y o*d"ep U T$S Tu q qe 9 H asn OTA UT *poa Od *oo Ue -v Tnd op piueoi op e U$T UT op onb T$q S$ 1 Pauea *ouep 9 du T. 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Pour un groupe de transducteur branché, le nombre 10 prédéterminé d'impulsions est fixe I 1 correspond au nombre minimal dtimpulsions diminué de " 1 " pour la durée de recouvrement dans le cas de signaux ultrasonores Puisque dans le cas présent, il faut au moins une succession de trois balayages pour qu'un signal ultrasonore soit détecté, il faut choisir une fréquence de répétition d'essai dont l'importance soit proportionnée. Si, pour le transducteur conforme à l'invention, on utilise des plaquettes monocristal au silicium, on fait appel par exemple aux étapes de traitement suivantes: 20 1 Fabrication d'un monocristal au silicium. 2 Découpage d'un mince disque de silicium (d = 200 "m) présentant une orientation cristalline définie. ("Wafer" ou plaquette micro-élément) 3 Oxydation de la surface de plaquette. 4 Application d'une couche photoélectrique (polymère organique, sensible à la lumière ultraviolette). Application du masque photoélectrique (plaque de verre avec la structure de transducteur appliquée). 6 Procédés photo-lithographiques pour l'ouverture de sur30 faces spécifiques dans l'oxyde ou dans le silicium, avec utilisation d'agents caustiques isotropes et anisotropes. 7 Fabrication de contacts et voies conductrices par vaporisation (ou par pulvérisation ou "Bonden"). 8 Recouvrement de la tranche par des couches de protection (Si 02, Si N 4 ou équivalent). Lors de l'utilisation d'une feuille à couche mince, on applique par exemple les procédés suivants: 1 Sélection d'un substrat souple en tant que support du transducteur ("Corps de transducteur'). 2 Recouvrement simple par un masque qui est pressé contre le substrat. 3 Photo-lithographie avec les étapes intermédiaires: Munir le substrat recouvert d'un vernis photoélectrique, éclairer à travers le masque, développer le vernis photoélectrique, attaquer la couche, éliminer le vernis photoélectrique restant. 4 Application d'une couche isolante en parylène C (couche polymère). Lors de l'utilisation de chacune de ces deux méthodes 15 de fabrication pour les bobines de transducteur électromagnétique, 1 on peut concevoir le transducteur d'émission, grâce à la sélection appropriée du nombre, de la largeur, de l'épaisseur et de l'écartement des voies conductrices, 20 de telle façon que la puissance consommée dans la résistance transformée de l'éprouvette, rapportée à la puissance maximale fournie par le générateur dans chaque plage de fréquence souhaitée, possède un maximum élevé et large et de telle façon que la réactance des 25 bobines puisse, par l'addition de capacités pour chaque fréquence de travail, être ajustée sur la résonance série; 2 on peut concevoir le transducteur de réception, grâce à la sélection appropriée du nombre, de la largeur, de 30 l'épaisseur et de l'écartement des voies conductrices, de telle façon que le nombre de voies conductrices ne soit limité vers le haut que dans la mesure o la fréquence de la résonance propre des segments doit être située au-dessus de chaque plage de fréquence 35 souhaitée et de telle façon que la réactance des segments puisse, par l'addition de capacités pour chaque fréquence de travail, être ajustée sur la résonance parallèle, La figure 2 présente des conducteurs qui se croisent, parmi lesquels ceux portant les numéros 8, 9 et 10 sont caractéristiques Lors d'une disposition en bobine selon la figure 3, les différentes parties de spires 11 interviennent également pour les croisements Comme déjà mentionné, le plus simple consiste à disposer ces parties de spires qui se croisent au dos du matériau de base. REVENDICATIONS 1 Transducteur électromagnétique pour l'excitation et la réception d'ondes ultrasonores lors de l'examen, sans moyen de couplage, de pièces métalliques, en particu5 lier de rubans plats ou tales en aciers ferritiques ou austénitiques, sous forme d'un ou plusieurs segments présentant plusieurs voies conductrices parallèles entre elles et qui sont disposées sur des plaquettes de circuit imprimé sensiblement planes, caractérisé par le fait que, 10 pour une spectroscopie par longueur d'onde et en particulier pour une spectroscopie modale des ondes ultrasonores reçues, sont prédéterminables, pour le ou les segment(s) ( 1) , les fréquences et les longueurs d'onde dans une configuration matricielle présentant une cadence courte, les 15 voies conductrices ( 2) présentant, sous l'action d'une commande au moyen d'éléments de circuit, des parties à spires ( 3) raccordables telles que, pour chaque fréquence en différents états de connexion, on obtient des longueurs d'onde au prorata de nombres petits, entiers et premiers 20 entre eux. 2 Tranaducteur électromagnétique selon la revendication 1, dans lequel chaque voie conductrice ( 2) possède plusieurs spires et toutes les voies conductrices sent séparées entre elles par le m&me intervalle ( 4). 3 Transducteur électromagnétique selon l'une des revendications 1 et 2, dans lequel les voies conductrices ( 1) sont réalisées en modifiant à volonté leur affectation de polarité, en tant que bobine (figure 3) ou en tant que méandre (figure 2). 4 Transducteur électromagnétique selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel les voies conductrices présentent des branchements ( 5) à des intervalles tels qu'ils permettent, dans la plage de fonctionnement du transducteur, d'égaliser la réponse en fréquence de son 35 impédance caractéristique. Transducteur électromagnétique selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel il est prévu deux segments ( 1) séparés latéralement et superposés et qui possèdent une configuration identique et qui soient décala5 bles l'un par rapport à l'autre dans le temps au moyen d'une ligne retardatrice de puissance commandable (figure 5). 6 Tranaducteur électromagnétique selon l'tune des revendications 1 à 4, qui est 4 par le biais d'une borne de mise à la terre, raccordé à des rouleaux de matière 10 plastique conducteurs d'électricité qui se déplacent de façon conductrice sur la pièce à tester et qui maintiennent cette pièce écartée de lui-même. 7 Transducteur électromagnétique selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel le signal reçu bénéfi15 cie d'un antiparasitage mis en oeuvre au moyen d'un circuit numérique d'identification de signal dans lequel, sur un premier registre à décalage et en commun avec les impulsions d'horloge à décalage d'un générateur d'impulsions, on trouve montés une unité standardisée avec cir20 cuit logique comparateur et un compteur régressif, un second registre à décalage étant monté en aval du premier et les sorties des deux registres à décalage étant conduites au comparateur en aval duquel est monté le compteur régressif dont la sortie de prélèvement est activée par 25 le dépassement d'un nombre d'impulsions prédéterminé. 8 Transducteur électromagnétique selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel les voies conductrices à structure photo-lithographique sont des voies métalliques vaporisées sur un matériau de base non conducteur 30 d'électricité ni de magnétisme. 9 Transducteur électromagnétique selon la revendication 8, dans lequel les voies conductrices sont en aluminium. Transducteur électromagnétique selon l'une des 35 revendications 8 et 9, dans lequel les voies métalliques sont vaporisées sur une feuille à couche mince. Il Transducteur électromagnétique selon l'une des revendications 8 et 9, dans lequel le matériau de base est composé de plaquettes mono-cristal au silicium, les5 quelles portent une couche d'oxydation. 12 Tranaducteur électromagnétique selon l'une des revendications 8 à 11, dans lequel le matériau de base porte d'un c 8 té les voies conductrices et porte de lautre c 8 té les conducteurs ( 8, 9, o 10, 11) qui croisent les voies 10 conductrices et leurs parties à spires.