Brevet FR2553297A1 — publié le 19850419

La présente invention concerne un filtre à liquide de petite taille qui permet de retirer de façon efficace et en continu les particules d'un liquide sur une longue période de temps. Dans la fabrication des dispositifs à semiconducteurs tels que ceux à intégration à grande échelle (LSI), un élément semi-conducteur brut en forme de tige est découpé en un certain nombre de substrats en forme de disques, et des circuits à éléments semi-conducteurs 10 sont respectivement formés en un certain nombre de petites surfaces rectangulaires définies sur ceux-ci, après quoi les substrats sont chacun coupés en des dispositifs à semi-conducteurs individuels L'opération de coupe a lieu pendant que de l'eau est pulvérisée sur la 15 partie coupée En conséquence de ceci, l'eau utilisée pour la coupe contient de grandes quantités de copeaux de coupe d'un diamètre compris entre 0,3 et 1 g de matériau semi-conducteur, et l'eau contient en outre des substances toxiques lorsque les substrats semi-conducteurs 20 sont constitués de matériaux tels que l'arsénure de gallium; ainsi les eaux usées ne peuvent pas être directement évacuées. Une solution connue à ce problème consiste à traiter les eaux usées par un procédé de précipitation 25 coagulante, mais ce procédé conduit à un traitement insuffisant En remplacement du procédé ci-dessus est utilisé aujourd'hui un procédé qui fait appel à un papier filtre résistant à l'eau qui est facile à manipuler et capable de retirer de fines particules d'un diamètre 30 inférieur à 0,3 y, en conséquence d'une amélioration remarquable de sa capacité de filtration Ce procédé est ce qui est appelé un système en cartouche dans lequel, par exemple, un moyen à papier filtre de type papier gaufré (ci-après dénommé papier filtre) est supporté sous forme circulaire dans un bottier, et l'eau à traiter est amenée vers le papier filtre, par exemple à partir de l'extérieur de celui-ci,pour être filtré Un autre exemple consiste en un procédé dans lequel une partie d'un papier filtre enroulé est disposée de manière à s'étendre en travers d'un passage d'eau et, lorsque les copeaux de coupe se sont déposés sur la partie débordante, le papier filtre est repris sur un rouleau. Ces procédés sont faciles à mettre en oeuvre et offrent une qualité de filtration tout à fait excellente 10 par rapport au procédé par précipitation coagulante utilisé jusqu'à présent Cependant, dans ces procédés, l'abaissement de la performance de filtration est inévitable, celle-ci étant due à la faible -épaisseur du papier filtre utilisé; en effet, parmi tous les copeaux de coupe capturés à la surface du papier, certains des copeaux d'un diamètre inférieur à celui des pores du papier filtre sont inévitablement forcés à travers le papier filtre,par la pression de l'eau, vers l'évacuation Ainsi, les procédés mentionnés cidessus présen20 tent l'inconvénient commun selon lequel la qualité de filtration souhaitée ne peut être atteinte En outre, dans le premier procédé, c'est-à-dire le système à cartouche, le papier filtre est gaufré en vue d'augmenter le volume de filtration, mais le volume de filtration obtenu reste faible, ce qui nécessite un échange fréquent de la cartouche Ceci non seulement empêche toute filtration de longue durée en continu, mais implique également des opérations d'échange de cartouche malaisées, ce qui conduit à une augmentation des coûts de fabrication 30 des dispositifs à semi-conducteurs. Un objet de la présente invention est de créer un filtre à liquide de petite taille qui ne présente pas les défauts susmentionnés des procédés de la technique antérieure et qui soit capable de réaliser une opération 35 de filtration en continu pendant une longue durée en con- servant une qualité de filtration élevée. Selon l'invention, le filtre à liquide est caractérisé par un agencement tel qu'un moyen filtrantenroulé en un tambour de filtrage au centre duquel est formée une cavité, est enroulé sur une bobine d'enroulement disposée dans la cavité, une couche de filtre auxiliaire étant maintenue à l'extérieur du tambour de filtrage et l'eau à traiter étant amenée dans le tambour de filtrage à partir de la surface périphérique intérieure de celui-ci 10 pour sa filtration. La bobine d'enroulement peut être placée à l'extérieur de la cavité Dans ce cas, la couche de filtrage auxiliaire est maintenue à l'intérieur du tambour de filtrage et l'eau à traiter est amenée dans le tambour 15 de filtrage depuis sa périphérie externe en vue d'être filtrée. Diverses autres caractéristiques de l'invention ressortent d'ailleurs de la description détaillée qui suit. Des formes de réalisation de l'objet de l'invention sont représentées, à titre d'exemples non limitatifs, au dessin annexé. Les fig 1 A, l B et 2 sont des vues en plan pour expliquer les principes de la présente invention. Les fig 3 A et 3 B sont des vues de face en coupe partielle illustrant une forme de réalisation de la présente invention, la seconde étant une coupe selon la ligne A-A' de la première. La fig 4 est un diagramme du processus d'opé30 ration. La fig 5 est une vue en perspective illustrant un autre exemple de tambour de filtrage utilisé dans la forme de réalisation représentée à la fig 3 A. La fig 6 est une vue de face en coupe partielle 35 illustrant une autre forme de réalisation de la présente invention. La fig 7 est une vue en perspective illustrant un autre exemple de tambour de filtrage utilisé dans la forme de réalisation représentée à la fig 6. La caractéristique de la présente invention est la suivante: selon la présente invention, le papier filtre 1 est enroulé en un tambour de filtrage multicouches 5 au centre duquel est formée une cavité 5 a, comme le montrent les vues en plan des fig 1 A et l B, 10 et l'eau à traiter est acheminée à travers le tambour de filtrage de sa surface périphérique intérieure vers sa surface périphérique extérieure, comme indiqué par la flèche A 1 et, simultanément, une bobine d'enroulement 6, à laquelle est fixée une extrémité du papier filtre, est 15 disposée dans la cavité 5 a du tambour de filtrage 5. Le diamètre intérieur du tambour de filtrage 5 et le diamètre extérieur de la bobine d'enroulement 6 sont choisis de manière à cequ'un espace pour l'admission de l'eau à traiter soit en permanence défini entre le 20 tambour de filtrage 5 et la bobine d'enroulement 6 sur laquelle est enroulé le papier filtre 1, afin de permettre la filtration de l'eau traversant le tambour de filtrage de l'intérieur vers l'extérieur de celui-ci A chaque fois que la pression de l'eau augmente du fait du dépôt 25 de copeaux de coupe 4 sur la surface périphérique intérieure du tambour de filtrage, la couche de papier filtre I la plus à l'intérieur, sur laquelle sont déposés les copeaux, est enroulée sur la bobine d'enroulement 6, couche après couche, tandis qu'une couche de filtrage 30 auxiliaire F reste en place. Dans l'exemple représenté à la fig 1 A, une bobine d'enroulement rotative 6 est disposée au centre de la cavité 5 a du tambour de filtrage fixe 5 et, afin de maintenir sous tension le papier filtre enroulé sur le tambour de filtrage 5 au cours de l'enroulement du papier filtre sur la bobine d'enroulement 6,1 a position d'amenée du papier filtre est soumise àl'action d'un organe pressant 8 qui est agencé pour exercer une force de pression nécessaire à l'aide d'un ressort 7 Dans l'exemple illus5 tré à la fig l B, la bobine d'enroulement 6 est repoussée par un ressort 9 contre la surface périphérique intérieure du tambour de filtrage 5 pour faire tourner celuici, le papier filtre 1 étant ainsi enroulé sur la bobine d'enroulement 6 sans rendre lâche l'enroulement du 10 papier filtre sur le tambour de filtrage 5, grâce à l'utilisation du frottement entre la surface périphérique intérieure du tambour de filtrage 5 et la bobine d'enroulement 6. Lors d'une filtration en utilisant le tambour de 15 filtrage 5 sur lequel le papier filtre 1 est enroulé en couches tel que proposé par la présente invention, les copeaux 4 qui ont traversé une première couche de papier filtre sans être capturés par celle-ci se déposent sur la surface d'une seconde couche de papier filtre, et les 20 copeaux 4 qui traversent encore la seconde couche sont capturés par une troisième couche Par la suite, les copeaux 4 les plus petits sont déposés couche par couche de la manière exposée ci-dessus Ainsi, par une sélection appropriée du nombre de couches du filtrage auxiliaire F, 25 il est possible de réaliser la filtration d'eaux usées en empêchant sensiblement complètement les copeaux de coupe 4 de s'écouler vers l'évacuation Ainsi, les défauts communs des procédés habituels mentionnés plus haut sont palliés En outre, selon la présente invention, du fait que le papier filtre est enroulé en un tambour de filtrage multicouches, la surface totale du papier filtre peut être notablement accrue en comparaison avec le cas du système à cartouche Ceci rallonge considérablement la durée de filtration en continu, et diminue donc sensi35 blement le temps et les opérations nécessaires pour l'échange du papier filtre Par exemple, avec le système à cartouche, lorsqu'un papier filtre d'une longueur de 5 m et d'une largeur de 0,5 m est enroulé de manière à présenter un diamètre extérieur de 0,5 m, la surface du papier filtre est de 2,5 m 2 Par opposition à ceci, selon la présente invention, lorsqu'un papier filtre de mêmes dimensions est enroulé en 1 000 couches avec un diamètre moyen de 0,3 m, la surface totale est d'environ 471 m 2, soit environ 188 fois supérieure à celle du sys10 tème à cartouche En outre, du fait que le papier filtre a généralement une épaisseur d'environ 0,2 mm, l'épaisseur totale des couches de papier filtre, même lorsqu'il est enroulé en 1 000 couches, est de 0,2 m Ainsi, le diamètre extérieur du rouleau, qui est égal à la somme 15 du diamètre moyen ci-dessus et de cette épaisseur, est sensiblement égal au diamètre extérieur dans le cas du système à cartouche, et le tambour de filtrage peut être logé dans un récipient ayant sensiblement le même diamètre. Selon la présente invention, du fait que le papier filtre 20 est enroulé sur une bobine d'enroulement située dans le tambour de filtrage, le diamètre extérieur du tambour de filtrage est toujours constant, ce qui est avantageux en ce que l'on peut donner au filtre de petites dimensions. Un exemple de réalisation de la présente invention 25 est décrit cidessous La fig 3 A est une vue en coupe partielle illustrant une forme de réalisation de la présente invention, et la fig 3 B est une coupe de la fig 3 A selon la ligne A-A' Aux fig 3 A et 3 B, la référence 10 désigne un récipient étanche, 10 a une entrée pour eaux usées, 10 b une sortie d'eaux propres et 10 c un couvercle pour le remplacement du tambour de filtrage, fixé par des boulons et des écrous La référence 5 désigne le tambour de filtrage dans lequel est enroulé le papier filtre, la cavité 5 a étant formée au centre de 35 celui-ci De plus, des couches adhésives 5 b sont formées sur les faces d'extrémité supérieure et inférieure du tambour de filtrage et ont une épaisseur telle qu'elles n'entravent pas l'enroulement du papier filtre, de sorte que l'eau à traiter n'est admise dans le tambour de filtrage 5 qu'à partir de sa surface périphérique intérieure La référence 11 désigne une plaque métallique cylindrique poinçonnée comportant un certain nombre de perforations qui est fixée de façon étanche à ses extrémités supérieure etinférieure, par soudage, à la paroi 10 intérieure du récipient étanche 10 La référence 12 désigne une plaque de support inférieure annulaire dont la partie périphérique extérieure est réunie de façon étanche à l'extrémité inférieure de la plaque métallique poinçonnée 11, et 13 désigne une plaque de support supé15 rieure annulaire qui est vissée de façon démontable et étanche sur la plaque métallique poinçonnée 11 Le tambour de filtrage 5, qui comporte un joint d'étanchéité 5 c réuni à la surface périphérique extérieure de chacune des extrémités supérieure et inférieure, est inséré dans la 20 plaque métallique poinçonnée 11, après quoi la plaque de support supérieure 13 est vissée sur la partie de bordure supérieure de la plaque métallique poinçonnée 11 pour prendre en sandwich le tambour de filtrage 5 entre la plaque de support supérieure 13 et la plaque de sup25 port inférieure 12, pour ainsi soutenir le tambour de filtrage 5 de manière à ce que l'eau à traiter ne s'écoule pas vers la sortie d'eau purifiée à travers les interstices entre les plaques de support 12 et 13 et le tambour de filtrage 5 par la plaque métallique poinçonnée 11 La 30 référence 6 représente la bobine d'enroulement, et 14 un disque d'appui supérieur, qui est fixé au couvercle 10 c. La référence 15 désigne un palier inférieur étanche, et la bobine d'enroulement 6 est entraînée par un moteur 16 par un engrenage réducteur 17 La référence 8 désigne l'organe pressant et 18, 19 désignent un support supérieur et un support inférieur pour l'organe pressant, qui sont respectivement fixés sur la partie supérieure et sur la partie inférieure de la bobine d'enroulement 6 Comme le montre la fig 3 B, l'organe pressant 8 est sup5 porté de façon mobile par les supports supérieur et inférieur 18 et 19 insérés dans des trous de support 8 a et 8 b ménagés dans les extrémités supérieure et inférieure de l'organe pressant 8 L'organe pressant 8 est repoussé par le ressort 7 de manière à se déplacer vers l'extérieur, 10 lors de l'enroulement du papier filtre, dans des trous oblongs 12 a et 13 a ménagés radialement dans les plaques de support 12 et 13, et est en permanence repoussé contre la surface périphérique intérieure du tambour de filtrage 5, pour définir la position d'enroulement du 15 papier filtre 1 enroulé dans le tambour de filtrage 5 de devenir lâche En outre, les eaux usées amendes par l'entrée 10 a sont filtrées en s'écoulant à travers le tambour de filtrage 5 de sa surface périphérique intérieure vers sa surface périphérique extérieure, comme indiqué par 20 les flèches, et l'eau purifiée est évacuée par la sortie b en traversant la plaque métallique poinçonnée 11. La référence 20 désigne un capteur de pression, et 21 un interrupteur électronique Le capteur de pression 20 détecte une augmentation de pression du côté de l'entrée 25 des eaux usées du tambour de filtrage 5 et, lorsque la pression atteint, par exemple, une valeur de 2 à 3 kg/cm 2, indiquée par Pl sur le diagramme du processus d'opération représenté à la fig 4, le capteur de pression 20 produit un signal pour rendre passant l'interrupteur électronique 30 21, pour ainsi entraîner le moteur 16 et enrouler le papier filtre 1 sur la bobine d'enroulement 6 Lorsque la partie du papier filtre sur laquelle sont déposés des copeaux de coupe 4 est ainsi enroulée, et que la pression retourne à sa valeur initiale, indiquée en P 2 à la fig 4, le capteur de pression 20 arrête de produire le signal, pour interrompre l'enroulement du papier filtre 1 sur la bobine d'enroulement à l'aide du moteur 16 Ensuite, les opérations ci- dessus sont répétées à chaque fois qu'apparaît l'augmentation de pression, pour ainsi soumettre la couche de papier filtre 1 suivante au dépôt de copeaux de coupe 4 La référence 22 désigne un interrupteur de commande de l'enroulement, par exemple un interrupteur magnétique à lames, dont le câble de raccordement sort sans laisser passer l'eau du récipient 10 étanche 10 La référence 22 a désigne son actionneur et 23 un générateur de signal, qui est monté à l'extrémité inférieure de l'organe pressant 8 Lorsque l'épaisseur du tambour de filtrage 5 atteint une certaine valeur en conséquence de l'enroulement du papier filtre 1 sur la bobine d'enroulement, l'interrupteur électronique 21 est rendu bloqué pour inhiber tout enroulement subséquent du papier filtre par le moteur 16, afin d'assurer que la couche de papier filtre auxiliaire F reste assez épaisse pour empêcher les copeaux de coupe 4 de la tra20 verser vers le côté de sortie Ainsi, si l'on continue la filtration, alors les copeaux de coupe 4 se déposent de plus en plus sur la surface périphérique intérieure du tambour de filtrage 5 La référence 24 désigne un temporisateur, 25 une électrovanne inverseuse et 26 un autre 25 filtre à liquide de la présente invention Le temporisateur 24 produit une sortie lorsque le capteur de pression 20 détecte sans interruption, pendant une certaine durée, une pression au point P 3 à la fig 4, par exemple une pression excédant 2 à 3 kg/cm 2, dans la situation 30 dans laquelle les copeaux de coupe 4 se déposent de plus en plus, comme mentionné plus haut En conséquence, l'électrovanne inverseuse 25 est commutée sur le trajet du filtre à liquide 26, pour continuer la filtration. La référence 27 désigne une entrée pour les eaux usées 35 provenant d'une unité de coupe Des essais ont prouvé que le filtre de la présente forme de réalisation délivrait une eau filtrée ayant un degré de propreté élevé, et qu'il permettait un traitement continu de longue durée pour le traitement des eaux usées. Par exemple, lorsque des eaux usées provenant d'une unité de coupe, qui contenaient environ 30 000 à 50 000 copeaux de coupe par 10 cm 3, ont été filtrées à un débit d'écoulement de 25 litres/minute, le nombre de copeaux contenus dans l'eau filtrée était compris entre 100 et 300 par 10 cm 3, et la taille des particules évacuées était comprise entre 0,3 et 1 A En outre, la qualité du filtrage n'a sensiblement pas varié, même après un fonctionnement en continu pendant 500 heures. De plus, chaque unité de coupe de semi-conducteurs néces15 site généralement de l'eau (industrielle ou pure) à un débit de 25 litres/minute, et il est tout à fait courant que 30 unités de coupe d'une installation fonctionnent à plein régime pendant 24 heures consécutives. Ainsi, la quantité d'eau nécessaire pour chaque unité de coupe pendant 30 jours est de 25 x 60 x 24 x 30 = 1080 tonnes, c'est-à-dire que la quantité d'eau consommée peut atteindre 1080 x 30 tonnes par mois, ce qui représente un coût élevé Cependant, avec la présente invention, la filtration est très efficace et ne fait appel à aucun produit chimique, et permet donc la réutilisation de l'eau filtrée, pour assurer une économie d'eau sensible. Bien que, dans ce qui précède, la présente invention ait été décrite comme étant appliquée au filtrage d'eaux usées provenant d'unités de coupe dans la fabri30 cation de dispositifs à semi-conducteurs, il est bien entendu que l'invention s'applique également au traitement d'autres eaux usées, par exemple dans les centrales nucléaires et, dans ce cas, la qualité de filtrage du papier filtre utilisé est déterminée en fonction de la taille des particules des eaux usées En outre, bien que, 1 i 1 dans la forme de réalisation ci-dessus, l'enroulement du papier filtre sur la bobine d'enroulement soit interrompu pour laisser la couche de filtrage auxiliaire F du côté de l'évacuation, il est également possible de 5 préparer la couche de filtrage auxiliaire F de façon séparée du tambour de filtrage 5 et d'assembler celle-ci au tambour de filtrage 5 à l'extérieur de celui-ci, de manière à ce que le papier filtre du tambour de filtrage soit amené sur la couche la plus à l'extérieur de celui10 ci Cette solution permet de se passer des dispositifs pour laisser la couche de filtrage auxiliaire F, tels que l'interrupteur magnétique à lames 23, etc, et permet donc une simplification du filtre. Bien que, dans ce qui précède, un moyen de fil15 trage de type papier soit enroulé dans le tambour de filtrage, il est également possible d'enrouler dans le tambour de filtrage 5 un fil, par exemple un long fil d'un diamètre extérieur de 3 à 8 mm, formé en réunissant des fibres de 2 à 20 A, de manière à ce qu'un fil 28 a formant une couche et un fil 28 b formant la couche suivante se croisent, comme on le voit en perspective à la fig 5, et le fil 28 est enroulé sur la bobine d'enroulement 6 à chaque fois que des copeaux de coupe se sont déposés Dans ce cas, la fonction de filtrage est réalisée par des interstices d'air situés entre les fils adjacents et par des interstices d'air situés entre les fibres formant le fil Ainsi, une qualité de filtration requise peut être atteinte par une sélection appropriée de la manière d'enrouler le fil, de l'espacement des 30 fils et du type de fil utilisé. Une autre forme de réalisation de la présente invention est décrite cidessous La caractéristique de cette forme de réalisation est la suivante: le papier filtre est enroulé en un tambour de filtrage multicouches 35 5 au centre duquel est formée une cavité 5 a, comme le montre la vue en plan de la fig 2, et l'eau à traiter est acheminée à travers le tambour de filtrage de sa surface périphérique extérieure vers la cavité 5 a, comme indiqué par les flèches; en outre, une bobine d'en5 roulement 6, sur laquelle est fixée une extrémité du papier filtre 1, est disposée à l'extérieur du tambour de filtrage 5 A chaque fois que la pression de l'eau qui traverse le tambour de filtrage augmente du fait du dépôt de copeaux de coupe 4 sur la surface périphérique 10 extérieure du tambour de filtrage au cours de la filtration, la couche de papier filtre la plus à l'extérieur, sur laquelle se sont déposés les copeaux, est enroulée sur la bobine d'enroulement 6; dans ce cas cependant, aucune couche de filtrage auxiliaire F n'est enroulée 15 sur la bobine d'enroulement 6 Lors du filtrage d'eaux usées en faisant passer celles-ci à travers le tambour de filtrage 5 de sa surface périphérique extérieure vers sa surface périphérique intérieure, même si une partie des copeaux de coupe 4 déposés sur la surface périphérique 20 extérieure traverse la première couche sous l'effet de la pression de l'eau, ceux-ci seront capturés par la couche suivante, la seconde, et même s'ils sont encore forcés à traverser, ils seront finalement captures par une troisième ou quatrième couche, ou par une couche encore 25 plus à l'intérieur Ainsi, en utilisant une couche de filtrage auxiliaire F ayant un nombre de couches tel qu'elle empêche les plus petits copeaux de la traverser jusqu'à la surface périphérique intérieure du tambour de filtrage, et en enroulant le papier filtre à chaque 30 fois qu'apparaît une augmentation de pression prédéterminée due au dépôt de copeaux de coupe 4, il est possible d'empêcher à peu près complètement les copeaux de sortir vers l'évacuation Ainsi les défauts communs aux procédés habituels sont palliés En outre, selon la présente inven35 tion, la surface totale du papier filtre peut être nota- blement accrue par rapport au système à cartouche habituel. Ceci rallonge sensiblement la durée de filtration en continu, et diminue donc fortement le temps et les opérations nécessaires pour l'échange du filtre Par exemple, dans le système à cartouche, lorsqu'un papier filtre d'une longueur de 5 m et d'une largeur de 0,5 m est enroulé de façon à présenter un diamètre extérieur de 0,5 m, la surface du papier filtre est de 2,5 m' Par oppc n, selon la présente invention, lorsqu'un papier filtre de mêmes dimensions est enroulé en 1 000 couches avec un diamètre moyen de 0,3 m, la surface totale est d'environ 471 m 2, soit environ 188 fois plus que dans le cas du système à cartouche La fig 6 est une vue en coupe transversale partielle illustrant une forme de réalisation de la présente invention A la fig 6, la référence 10 indique un récipient, 10 a une entrée pour l'eau à traiter et 10 c un capot, qui est monté à l'aide de boulons et d'écrous sur le récipient 10 de manière à pouvoir être détaché de celui-ci pour le remplacement du tambour de 20 filtrage La référence 38 désigne un cylindre rotatif qui est fermé à son extrémité supérieure mais qui comporte une sortie d'eau propre 10 b La référence 38 a désigne un certain nombre d'orifices de décharge de l'eau propre répartis sur toute la surface périphérique du cylindre 38; 2 ' 38 b désigne un rebord de support inférieur en forme de disque fixé à la surface périphérique extérieure du cylindre 38 à la partie d'extrémité inférieure de celui-ci; et 38 c désigne un rebord de support supérieur vissé de façon démontable au sommet du cylindre rotatif 38 La 3 référence 5 désigne le tambour de filtrage, dans lequel le papier filtre 1 est enroulé en couches de manière à ce que le tambour de filtrage comporte en son centre une cavité 5 a d'un diamètre légèrement supérieur au diamètre extérieur du cylindre rotatif 38 Un joint d'étanchéité à l'eau 39 a est placé sur le rebord de support inférieur 38 b et le cylindre rotatif 38 est reçu dans la cavité du tambour de filtrage, après quoi un autre joint d'étanchéité à l'eau 39 b est placé sur le tambour de filtrage, puis le rebord de support supérieur 38 c est fixé à l'aide de vis au cylindre rotatif 38 de manière à ce que l'eau à traiter s'écoule de la surface périphérique intérieure du tambour de filtrage vers sa surface périphérique extérieure La référence 40 désigne un palier étancg. à l'eau et 41 désigne une plaque d'appui qui est fixée 10 zu conteneur 10 de manière à pouvoir être séparée de celui-ci avec le capot 10 c, et qui supporte en rotation le cylindre rotatif 38 par les parties supérieure et inférieure de son axe en combinaison avec le palier étanche 40 L'eau à traiter, qui est amenée dans le con15 teneur 10 par l'entrée 10 a, traverse le tambour de filtrage 5 de sa surface périphérique extérieure vers sa surface périphérique intérieure, et s'écoule par les orifices de décharge 38 a du cylindre rotatif 38, pour être ensuite évacuée par la sortie l Ob située à son 20 extr Lnité inférieure. La référence 6 désigne une bobine d'enroulement, qui est supportée en rotation par la plaque d'appui 41 et par un palier 43 étanche à l'eau prévu à l'extrémité inférieure du récipient La référence 16 désigne un moteur muni d'un engrenage réducteur, qui est accouplé à la partie d'extrémité d'un arbre faisant saillie du récipient 10 pour entraîner la bobine d'enroulement 6, afin d'enrouler sur celle-ci le papier filtre 1 provenant de la périphérie extérieure du tambour de filtrage 5 La 30 référence 20 désigne un capteur de pression, et 21 un interrupteur électronique Le capteur de pression 20 détecte la pression dans le récipient 10 au niveau o l'eau à traiter s'écoule dans le tambour de filtrage 5, et lorsque la pression atteint par exemple une valeur de 2 à 3 kg/cm 2, pour laquelle la filtration ne peut con- 255329 ? tinuer, comme indiqué en Pl sur le diagramme du processus d'opération représenté à la fig 4, le capteur de pression 20 produit un signal, par lequel l'interrupteur électronique 21 est rendu passant pour relier une source d'alimentation de courant alternatif au moteur 16, afin d'entraîner la bobine d'enroulement 6 pour y enrouler le papier filtre 1 Lorsque la couche de papier filtre la plus à l'extérieur, sur laquelle sont déposés les copeaux de coupe 4, est enroulée, et qu'en conséquence la pression revient à sa valeur initiale, indiquée en P 2 à la fig 4, le capteur de pression 20 cesse de produire le signal, pour arrêter le moteur 16 Par la suite, à chaque fois qu'apparaît l'augmentation de pression, lesopérations ci-dessus sont répétées, pour exposer la couche suivante de papier filtre 1 au dépôt sur celle-ci des copeaux de coupe La référence 47 désigne un interrupteur étanche de commande de position d'enroulement serrée et 23 un générateur de signal L'interrupteur 47 est disposé entre les couches de filtre 5 b à enrouler 20 et la couche de filtrage auxiliaire F du tambour de filtrage 5 Lorsque la couche de filtre à enrouler la plus à l'intérieur est enroulée pour faire apparaître la couche de filtrage auxiliaire F, l'interrupteur bloque l'émission d'un signal par le générateur de signal 23, 25 ce qui commande l'interrupteur électronique 21 pour couper l'alimentation de courant alternatif, afin d'empêcher la mise en route du moteur 16 et d'inhiber tout enroulement ultérieur du papier filtre, même si, par la suite, l'interrupteur électronique 21 est rendu 30 passant par le capteur de pression 20 La référence 24 désigne un temporisateur, et 26 un autre appareil de filtrage de liquide de la présente invention Le temporisateur 24 produit un signal lorsqu'il détecte sans interruption pendant une certaine durée que le capteur de pression 20 détecte une valeur de pression supérieure à 2 à 3 kg/cm 2, comme indiqué en P 3 à la fig 4, ce qui correspond à une situation dans laquelle les copeaux de coupe 4 se déposent de plus en plus en conséquence de l'inhibition susmentionnée de tout enroulement ulté5 rieur du papier filtre Alors une électrovanne 25 est basculée sur le trajet du filtre à liquide 26, pour continuer la filtration La référence 27 a désigne une entrée pour eaux usées provenant d'une unité de coupe. Il s'est avéré que l'installation ci-dessus délivrait une eau filtrée d'un degré de propreté élevé et permettait un traitement de l'eau en continu de longue durée. On peut fabriquer un appareil de filtrage par lequel, lorsque des eaux usées provenant d'une unité de coupe, contenant environ 30 000 à 50 000 copeaux de 15 coupe par 10 cm 3 sont filtrées à un débit d'écoulement de 25 litres/minute, le nombre de copeaux contenus dans l'eau filtrée sont ramenés de 100 à 300 (avec une taille de particules de 0,3 à 1 A) par 10 cm 3 En outre, il s'est avéré qu'il était possible de réaliser un équipement 20 capable d'exécuter une filtration en continu pendant plus de 500 heures, et qu'en même temps l'eau filtrée pouvait être réutilisée pour la coupe, du fait de son degré de propreté élevé et du fait qu'aucun produit chimique n'est utilisé pour le traitement C'est pourquoi la présente 25 invention permet une remarquable conservation de l'eau destinée à être utilisée avec une unité de coupe consommant de grandes quantités d'eau industrielle et d'eau pure. Bien que, ci-dessus, un papier filtre soit enroulé en un tambour de filtrage 5, il est également possible d'enrouler en un tambour de filtrage 5 un long fil, par exemple un long fil obtenu en torsadant des fibres de 2 à 20 A jusqu'à une épaisseur de 3 à 8 mm, de manière à ce qu'un fil 28 a formant une certaine couche 35 et un fil 28 b formant la couche suivante se croisent, com- me le montre la vue en perspective de la fig 7, et le fil 28 est repris couche par couche Il est également possible de préparer la couche de filtrage auxiliaire F isolément du tambour de filtrage 5 Ceci permet de se passer des dispositifs pour laisser la couche de filtrage auxiliaire F En outre, bien que ci-dessus la présente invention ait été décrite comme s'appliquant au filtrage d'eaux usées provenant d'unités de coupe pour la fabrication de dispositifs à semi-conducteurs, elle peut 10 s'appliquer à divers traitements de l'eau, tels que le traitement d'eaux usées contenant des matières radioactives dans les centrales nucléaires Dans ce cas, la qualité de filtrage du papier filtre utilisé est choisie en fonction de la taille des particules contenues dans 15 les eaux usées. Comme le montre la description ci-dessus, la présente invention crée un filtre à liquide de petite taille permettant une extraction efficace en continu des particules d'un liquide pendant de longues périodes de 20 temps, et qui est en pratique d'une grande utilité. REVENDICATIONS 1 Filtre à liquide, comprenant: un récipient étanche ( 10) comportant une entrée ( 10 a) pour la réception d'une eau à filtrer et une sortie ( 10 Ob) pour l'évacuation de l'eau filtrée; et un moyen filtrant ( 1) prévu dans le récipient pour couper un écoulement d'eau provoqué de l'entrée vers la sortie, de manière à ce qu'un écoulement d'eau non filtrée en dérivation soit capturé par le moyen fil10 trant, caractérisé en ce que le moyen filtrant ( 1) est enroulé en un tambour de filtrage ( 5) constitué d'un certain nombre de couches de filtrage et au centre duquel est formée une cavité ( 5 a), et en ce qu'une extrémité du moyen filtrant ( 1) est enroulée sur une bobine d'enroulement ( 6) prévue dans le conteneur étanche ( 10) séparément du tambour du filtrage pour retenir des couches de filtrage auxiliaires du moyen filtrant. 2 Filtre selon la revendication 1, caractérisé en ce que la bobine d'enroulement ( 6) est prévue dans la cavité ( 5 a), l'écoulement d'eau étant dirigé de l'intérieur du tambour de filtrage ( 5) vers l'extérieur du tambour de filtrage. 3 Filtre selon la revendication 1, caractérisé en ce que la bobine d'enroulement ( 6) est prévue à l'extérieur du tambour de filtrage ( 5), l'écoulement d'eau étant dirigé du côté de la sortie du filtre ( 1) vers l'intérieur du tambour de filtrage. 4 Filtre selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen filtrant est un papier filtre enroulé ( 1). Filtre selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen filtrant est un fil ( 28) enroulé en 35 un tambour de filtrage.