Brevet FR2552540A1 — publié le 19850329

La présente invention concerne un dispositif destiné à mesurer la proximité d'une surface métallique conductrice au moyen d'au moins un capteur à courants de Foucault disposé en vis-à-vis de la surfa5 ce. Ce dispositif trouve son application dans les techniques liées à la robotique A titre d'exemple, un tel dispositif peut être utilisé comme détecteur de profil dans une installation d'assemblage ro10 botisée, et comme détecteur de joints dans une machine de soudage automatique. Dans l'état actuel de la technique, on connalt du brevet français n 81 11087 déposé par le Co E A le 4 juin 1981 un dispositif pour détecter le 15 profil d'une surface A cet effet, on peut utiliser soit une bobine à courants de Foucault effectuant une mesure de proximité et avec lesquelles on balaye le profil a déterminer, soit des bobines a courants de Foucault disposées en lignes ou matrices et alimentées 20 en m&me temps, les signaux délivres par les bobines étant traités à tour de r 8 le par un circuit de traitement unique grace à des moyens de multiplexage. Dans ce dispositif connu, le circuit de traitement engendre un signal continu fonction de la 25 différence de phase entre le signal délivré par chaque bobine et un signal de référence dérivé de l'oscillateur d'alimentation de celle-cio Cette technique de mesure ne permet pas de s'affranchir de la nature du métal, car la différence de phase mesurée n'est pas 30 indépendante des variations des pertes par courants de Foucault selon les métaux en vis-à-vis. On connait aussi du brevet 2 425 515 déposé le 25 avril 1979 par NIPPON KIKAN KABUSHIKI KAISHA un dispositif détecteur de profil dans lequel les diffé- rentes bobines à courants de Foucault d'une matrice de capteurs sont excitées de façon séquentielle, de telle sorte que les signaux qu'elles délivrent peuvent être traités à tour de rôle par un circuit de traitement. Un tel dispositif permet de s'affranchir de la difficulté d'équilibrage des bobines qui travaillent chacune à leur tour Toutefois, la mesure est ralentie par rapport au dispositif précédent, en raison du temps nécessaire à l'établissement du courant 10 dans les bobines lors de la commutation d'une bobine à une autre. La présente invention a précisément pour objet un dispositif pour mesurer la proximité d'une surface métallique conductrice ne présentant pas les in15 convénients des dispositifs selon la technique antérieure et permettant notamment de réaliser une mesure de réluctance dans l'air, ce qui permet de s'affranchir de la perméabilité du métal et de l'échauffement dans la mesure de proximité. Afin de définir une technique de mesure qui soit autant que possible insensible à la nature du métal en regard des bobines, le dispositif selon l'invention comprend au moins un capteur à courant de Foucault disposé en vis-à-vis de la surface, chaque cap25 teur comprenant au moins une bobine, une source de tension sinusoidale alimentant ledit capteur, des moyens de traitement du signal sinusoidal délivré par le capteur, caractérisé en ce que lesdits moyens de traitement comprennent des moyens pour mesurer la com30 posante inductive seule de l'impédance de ladite bobine. De préférence, afin que la réluctance mesurée ne soit pas la réluctance dans le métal, mais la réluctance dans l'air, on utilise une source délivrant une tension 35 dont la fréquence est supérieure à 100 k Hz (et d'autant plus élevée que la précision voulue est plus grande). Selon un mode de réalisation préférentiel de l'invention, les moyens pour mesurer la composante inductive du signal sont des moyens de détection syn5 chrone, le signal de référence étant un signal de même fréquence que le signal sinusoidal alimentant les capteurs, déphasé par rapport à ce signal d'un angle déterminé ( O ou w/2 suivant le capteur) De préférence, pour supprimer toute ondulation, le filtrage de la dé10 tection synchrone est fait par des moyens d'intégration, fonctionnant en synchronisme avec ledit signal de référence, pendant un nombre entier déterminé de périodes de ce signal. De préférence, des moyens sont également 15 prévus pour corriger automatiquement le gain et la tension de décalage (ou "offset') du signal proximétrique Ces moyens de correction automatique de gain et d'offset peuvent comprendre notamment des mémoires dans lesquelles sont enregistrées, pour chaque cap20 teur, les corrections à apporter De plus, un ou plusieurs capteurs témoirns peuvent être placés dans une position fixe par rapport a une surface de référence, ces capteurs étant reliés aux mémoires de telle sorte Due l'évolution de leurs caractéristiques permette de corriger les contenus des mémoires Ce capteur témoin devra en pratique Ctre de d eme nature que les capteurs servant directemont à la mesureo f-n de a acl Xiter leur ut lisation ulté:ie Lure los signauz ir imetriques après correction de,; O qainî et 'o f Ese t, sont r cduits de préférence dans un convertizseur analogique-numérique, puis ils adressent une méioire de linéarisation dans laquelle s enregist Jée une courbe d'étalonnage. Selon un autre aspect de l'invention, afin 35 d'éliminer toutes les variations de signal non consé- cutives à des variations de distance, la source comprend un oscillateur et des moyens pour asservir ledit oscillateur en amplitude et en fréquence. Selon une première variante de réalisation 5 de l'invention, la bobine du capteur est montée sur un circuit magnétique en forme de U ouvert dans la direction de ladite surface, ladite source étant branchée directement aux bornes de la bobine, et le signal sinusoidal délivré par le capteur étant obtenu à partir 10 du courant parcourant la bobine au moyen d'un transformateur courant- tension à faible impédance. Selon une deuxième variante de réalisation de l'invention, le capteur comprend un circuit magnétique en forme de E ouvert dans la direction de ladite 15 surface, une bobine émettrice montée sur l'une des branches d'extrémité et une bobine réceptrice enroulée en partie sur l'autre branche d'extrémité et en partie sur la branche intermédiaire, ladite source étant branchée aux bornes de la bobine émettrice, et le si20 gnal sinusoidal délivré par le capteur étant obtenu par mise en opposition des signaux induits dans les deux parties de la bobine réceptrice. Lorsque le dispositif selon l'invention est appliqué à la détection du profil d'une surface métal25 lique conductrice, il comprend au moins une série de capteurs à courants de Foucault alignés, ladite source alimentant simultanément les capteurs, des moyens de multiplexage étant prévus pour injecter successivement dans les moyens de traitement chacun des signaux 30 délivrés par les capteurs. Afin de rendre le capteur insensible aux variations de température, l'invention a également pour objet un capteur proximétrique à courants de Foucault, caractérisé en ce qu'il comprend un circuit magnétique en forme de E ouvert dans la direction d'un objet mé- tallique dont on désire mesurer la proximité, une bobine émettrice montée sur l'une des branches d'extrémité et une bobine réceptrice enroulée en partie sur l'autre branche d'extrémité et en partie sur la bran5 che intermédiaire et connectées en opposition. Afin d'améliorer la résolution axiale d'un capteur multipoints, l'invention a aussi pour objet un capteur proximàtrique à courants de Foucaulte caractéri;è en $e qu'il comprend plusieurs capteurs élémen10 taires juxtaposés, chaque capteur élémentaire compor tant au cins une bobtne a courants de Foucault monrtée sur u L Circ Uit magnek 2 ot e ouvert dans la direction la figure 8. Comme l'illustre la figure 1 de façon très schématique, le dispositif détecteur de profil selon 30 l'invention se compose principalement d'une source de tension sinusoïdale 10 alimentant en parallèle N capteurs à courants de Foucault C 1 à Cn alignés en série et disposés en vis-à-vis du profil à détecter Comme on le verra ultérieurement, selon la nature des cap- teurs, les signaux i 1 à in délivrés par ces derniers peuvent être transmis à un multiplexeur 14 soit directement, soit au travers de N étages tampons T 1 à Tn qui transforment alors les signaux i 1 à in en signaux 5 de tension u 1 à un La sortie du multiplexeur 14 est commutée successivement sur chacune de ses entrées par un séquenceur 16, lui-même activé par un signal crénelé et de fréquence constante Uc émis par un oscillateur 18 servant comme on le verra ultérieurement à 10 asservir en fréquence et en phase le signal sinusoidal U délivré par la source de tension 10. Le signal ui sortant du multiplexeur 14 est injecté dans un détecteur synchrone 20-22 commandé par le signal crénelé Uc et comportant un multiplicateur 15 20 délivrant en sortie un signal ud dont les caractéristiques seront analysées ultérieurement Ce signal ud est filtré dans un circuit de filtrage 22 également contrôlé par le séquenceur 16 Le signal analogique us délivré par le circuit 22 est ensuite converti en un 20 signal numérique, puis linéarisé par des circuits également contrôlés par le séquenceur 16 et représentés schématiquement par le bloc 24 sur la figure 1 Le nombre de sorties des circuits 24 permettant d'afficher le signal numérique S est déterminé selon l'ex25 ploitation ultérieure qui doit en être faite pour un calculateur Par exemple, les circuits 24 comprendront huit sorties si l'exploitation ultérieure doit se faire sur un calculateur travaillant sur huit bits. Les différents éléments constituant le dis30 positif de détection de profil représenté sur la figure 1 vont maintenant être décrits plus en détail en se référant aux figures 2 à 9. On voit tout d'abord en se référant à la figure 2 que la source de tension 10 comprend un os35 cillateur 26, asservi en fréquence, en phase et en amplitude Un amplificateur de puissance 28 alimenté par l'oscillateur 26 délivre une tension sinusoïdale U de fréquence et d'amplitude constantes, pour ne pas perturber la précision du dispositif. L'asservissement en amplitude de l'oscillateur 26 est réalisé au moyen d'une source de tension de référence 30 L'amplitude du signal U délivré par l'amplificateur 28 est détectée par un détecteur d'amplitude 32 et comparée à la tension de référence déli10 vrée par la source 30 dans un comparateur 34 dont la sortie agit sur l'oscillateur 26, de façon à corriger l'amplitude du signal délivré par celui-ci La tension sinusoïdale U d'alimentation des bobines des capteurs présente ainsi une amplitude constante En conséquen15 ce, le flux est forcé ce qui contribue à assurer l'indépendance de chaque capteur vis-à-vis des capteurs voisins. De façon comparable, la phase du signal sinusoidal U délivré par l'amplificateur 28 est comparée 20 à la phase d'un signal servant de référence dans un comparateur de phase 36 dont la sortie agit sur l'oscillateur 26, afin de corriger la fréquence du signal appliqué par ce dernier à l'amplificateur de puissance 28. Conformément à un aspect important de l'invention, la référence de fréquence servant à asservir en fréquence et en phase le signal délivré par l'oscillateur 26 est donnée par l'oscillateur 18 délivrant le signal Uc injecté au détecteur synchrone 20 et ser30 vant à commander le séquenceur 16 comme on l'a vu précédemment en se référant à la figure 1 Ceci permet d'éliminer les parasites qui seraient produits par une commutation aléatoire Pour garantir la stabilité en fréquence du signal de référence Uc, l'oscillateur 18 est de préférence un oscillateur piloté par quartz. Conformément à un autre aspect important de l'invention, le comparateur de phase 36 permet de maintenir en permanence entre le signal sinusoïdal U servant à alimenter les capteurs C 1 à Cn et le signal 5 de référence Uc délivré par l'oscillateur 18 un déphasage I constant En raison de la bonne stabilité en fréquence du signal Uc délivré par l'oscillateur 18, la stabilité en fréquence du signal sinusoidal U délivré par la source de tension 10 se trouve ainsi assu10 rée. De preférence, le déphasage P établi par le comparateur de phase 36 entre les signaux U et Uc est fixé de manière à ne mesurer que les variations d'inductance de la bobine du capteur Dans le cas du cap15 teur décrit en référence à la figure 3 a, ce déphasage vaut T; dans le cas du capteur décrit en référence à la figure 3 b, il vaut 00 On comprendra l'importance de cette caractéristique en remarquant que l'inductance est la seule grandeur ne dépendant que de la distance 20 séparant le capteur de la surface métallique et quasiindépendante de la température. La fréquence du signal sinusoidal U servant à alimenter les bobines des capteurs est choisie de telle sorte que l'onde électromagnétique émise par les 2 5 capteurs ne pénètre pas une tôle métallique (alumi= niux, fer, alliages divers, cuivre, etco o) de plus de l/10 ème de mm Le choix d'une épaisseur de pénétration faible permet de s'affranchir de la perméabilité du métal, des défauts à l'intérieur de sa structure, de 30 sa nature et de sa température. Par ailleurs, l'asservissement en tension du signal sinusoïdal U d'alimentation des capteurs C 1 à Cn permet d'établir dans ceux-ci un flux forcé ne dépendant pas de la proximité d'une tôle Le courant i 1 à in délivré par chacun des capteurs C 1 à Cn peut alors être mesuré en module et en phase. Conformément à une autre caractéristique importante de l'invention, chacun des capteurs d'une 5 série de capteurs C 1 à Cn présente une structure originale conférant à son circuit magnétique un caractère directif les rendant pratiquement insensibles à une masse métallique décalée par rapport à la direction ainsi définie De plus, la série de capteurs peut com10 porter des éléments complémentaires servant de blindage entre les capteurs et contre les parasites électromagnétiques d'origine extérieure et permettant d'améliorer la portée de chacun des capteurs. Deux variantes de réalisation permettant 15 d'obtenir de tels résultats vont maintenant être décrites en se référant aux figures 3 a et 3 b ainsi qu'aux figures 4 a et 4 b. Dans une première variante de réalisation représentée sur la figure 3 a, chaque capteur Ci com20 prend un noyau magnétique 38 en forme de U et une bobine 40. Grace aux caractéristiques du capteur qui vient d'être décrit en se référant à la figure 3 a, on voit qu'on réalise un circuit magnétique directif 25 puisque les lignes de champ sont fermées entre les extrémités des branches 42 a et 42 b du noyau 38 et restent pratiquement toutes situées à proximité immédiate du plan passant par les axes de ces branches. De plus, ces capteurs présentent une faible 30 épaisseur e autorisant une résolution axiale élevée le long du profil à détecter En outre, cet encombrement réduit ne diminue aucunement leur portée. A titre d'exemple, pour un capteur présentant une épaisseur e de 7 mm, une hauteur h de 10 mm 35 et une largeur E de 16 mm, on a obtenu une portée de mm. Comme l'illustre la figure 4 a, les capteurs C 1 à Cn selon la variante de réalisation de la figure 3 a sont alignés en vis-à-vis du profil à détecter, de 5 telle sorte que les plans passant par les axes de chacune des branches 42 a et 42 b de chaque capteur soient parallèles entre eux De plus, l'immunité aux parasites électromagnétiques d'origine extérieure et l'indépendance entre capteurs peuvent être améliorées en 10 disposant de part et d'autre de la série de capteurs alignés des plaques métalliques 44, et en disposant entre les capteurs des plaques métalliques 46 Ces plaques 46-et 44 sont supportées par une plaque 48 disposée derrière la série de capteurs, du côté opposé 15 aux extrémités des branches 42 a et 42 b en vis-à-vis desquelles se trouve la surface dont on souhaite détecter le profil. De plus, la portée des capteurs pour des dimensions données de ceux-ci peut être accrue en dispo20 sant entre chacune des branches 42 a et 42 b d'un même capteur une plaque métallique 50 En effet, cette plaque permet de supprimer les lignes de champ qui vont directement d'un pôle à l'autre, de telle sorte que les lignes de champ sont rallongées Comme l'il25 lustre la figure 4 a, ces plaques 50 peuvent notamment être supportées par les plaques 46, dont elles doivent être isolées électriquement. Sur la figure 3 b, on a représenté une autre variante de réalisation de chacun des capteurs C'. 30 pouvant être utilisés conformément à l'invention. Dans cette variante, chaque capteur C'i comprend un noyau magnétique 38 ' en forme de E, une bobine émettrice 41 ' enroulée sur la branche d'extrémité 42 'a du noyau 38 ' et une bobine réceptrice en deux parties 43 'a et 43 'b enroulées respectivement sur l'autre branche d'extrémité 42 'b et sur la branche intermédiaire 42 'c du noyau 38 ' L'enroulement des deux parties 43 'a et 43 'b du bobinage récepteur sur les branches 42 'b et 42 'c est réalisé en sens inverse, comme l'illustre la figure 3 b. Le capteur C'i représenté sur la figure 3 b est tel que le flux parcourant la branche émettrice 42 'a se referme en se partageant entre les deux branches 42 'b et 42 'c La bobine réceptrice enroulée en 10 partie dans un sens sur la branche 42 'b, en partie dans l'autre sens sur la branche 42 'c, délivre à ses bornes une tension Ui proportionnelle à la différence des deux flux. Dans le capteur de la figure 3 b, la hauteur 15 de chacune des branches 42 'a, 42 'b et 42 'c est choisie de préférence de manière à ce que la tension de sortie soit nulle lorsqu'il n'y a pas de tôle en face du capteur Cette caractéristique permet d'augmenter la sensibilité du capteur pour les tôles éloignées, et 20 donc sa portée. La variante de la figure 3 b présente les mêmes avantages que la variante de la figure 3 a En particulier, elle permet de localiser les lignes de champ approximativement dans un plan passant par les 25 axes des trois branches du noyau 38 ' et elle présente un encombrement minimum pour une portée donnée et une résolution axiale élevée. De plus, par rapport au capteur de la figure 3 a, le capteur de la figure 3 b présente l'avantage d'être de type différentiel, ce qui lui confère une bonne stabilité en température et dans le temps. Comme l'illustre la figure 4 b, les capteurs C'1 à C'n sont disposés selon une série alignée, de la même façon que les capteurs C 1 à Cn dans la variante de réalisation de la figure 4 a De même, des plaques métalliques 44 ' et 46 ' jouant le rôle de blindages sont disposées de préférence autour des capteurs et fixées sur une plaque 48 ' Enfin, des plaques 50 ' peuvent être disposées entre les branches 42 'a et 42 'c de chaque capteur, afin d'en accroitre la portée. Dans le cas des capteurs non différentiels représentés sur la figure 3 a, le signal de sortie ii de chaque capteur est dirigé sur un étage tampon Ti (figure 1) dont les caractéristiques vont maintenant 10 être décrites plus en détail en se référant à la figure 5. On reconnaît sur la figure 5 la bobine bi du capteur Ci, (bobine 40) Grace à l'utilisation d'une source de tension 10 asservie en frequence, en phase 15 et en amplitude, la bobine bi est alimentée sous une tension constante U Conformément à l'invention, la bobine bi est parcourue par un courant i dont les variations sont représentatives des seules variations de l'impédance de la bobine engendres par les variations 20 de la distance séparant le capteur de la surface métallique en vis-à-vis. L'étage tampon qui est associé à chacun des capteurs Ci a Cn lorsque ceuxc sont réalises conformément à la variante de réalisation de la figure 3 a a 25 pour double fonction de transformer le signal de courant i en un signal de tension u et de régler le niveau de tension de telle sorte que celle-ci soit nulle lorsqu'il n'y a pas de tôle en face du capteur. A cet effet, le courant i traversant la bo30 bine bi est injecté dans un convertisseur courant-tension 52 et une capacit ci est montée en parallèle sur chacune des bobines bi La capacité ci a pour effet de rajouter une constante au signal démodulé, constante qui est réglée de façon à obtenir une tension démodu35 lée nulle lorsqu'il n'y a pas de tôle en face du cap- teur. Cette caractéristique présente deux avantages Elle permet tout d'abord de diminuer le courant fourni par l'amplificateur, car la bobine et la capa5 cité forment alors un circuit bouchon accordé Elle permet aussi d'améliorer la dynamique et la précision du dispositif, car on supprime la composante continue autour de laquelle varie le signal détecté. En outre, il faut remarquer que l'impédance 10 d'entrée du convertisseur 52 est très faible, ce qui permet de maintenir constante la tension d'alimentation U aux bornes de la bobine. Si l'on se réfère à nouveau à la figure 1, on voit que chacun des signaux de tension ui sortant 15 des convertisseurs 52 dans la variante de réalisation de la figure 3 a ou sortant directement du capteur C'i dans la variante de réalisation de la figure 3 b, sont injectés dans le multiplexeur 14 qui les transmet à tour de rôle au détecteur synchrone 20 sous l'action 20 du séquenceur 16 Le multiplexeur 14 est de type analogique à N entrées Il est commandé par le séquenceur 16, constitué par une logique de commande synchrone du signal crénelé Uc, pour supprimer l'effet d'un déphasage aléatoire sur les régimes transitoires. Comme l'illustre la figure 7, chacun des signaux ui est déphasé de cii et c'est la composante inductive en quadrature ui sin ai qui caractérise la distance séparant le capteur correspondant de la surface en vis-à-vis, par rapport au signal U alimentant les capteurs Par ailleurs, le signal crénelé Uc délivré par l'oscillateur 18 a la même fréquence que le signal U et, par conséquent, que chacun des signaux ui, mais il présente un déphasage, de préférence égal à a, par rapport au signal U. Le multiplicateur 20, qui reçoit simultané- ment les signaux ui et Uc, a pour fonction de multiplier ces signaux l'un par l'autre afin de délivrer un signal ud correspondant au signal ui pendant les demipériodes positives du signal Uc et à l'inverse du si5 gnal ui pendant les demi-périodes négatives du signal Uc Il est clair que la valeur moyenne du signal résultant est proportionnelle à la composante en quadrature ui sin ai du signal délivré par le capteur. On voit sur la figure 6 que le signal ud est 10 introduit dans un filtre 22 constitué principalement par un intégrateur 54 associé à un commutateur d'entrée 56 et à un commutateur de remise à zéro 58 De façon plus précise, le signal ud est injecté à l'entrée négative de l'intégrateur 54 au travers du commu15 tateur 56 Le commutateur de remise à zéro 58 est monté en parallèle sur la capacité C de l'intégrateur 54. L'entrée positive de l'intégrateur est reliée à la terre. Les coomutateurs 56 et 58 sont commandés par 20 le séquenceur 16, de façon à faire fonctionner l'intégrateur 54 pendant un nombre entier N de périodes du signal ud et à remettre le système à zéro avant d'injecter un signal ud correspondant à un autre capteur. L'allure du signal u S ainsi obtenue est représentée 25 sur la figure 7 On voit que la valeur du signal us obtenue après un nombre N de périodes est représentative de la composante en quadrature ui sin ai du signal ui délivré par chacun des capteurs et, par consequent, de la distance séparant ces capteurs de la sur30 face en vis-à-vis. Le signal analogique de tension continu us ainsi obtenu à la sortie de l'intégrateur 54 doit ensuite être converti en numérique, afin d'être exploité ultérieurement notamment par un calculateur huit bits. Comme l'illustre la figure 8, cette conversion est réalisée par un convertisseur analogique-numérique 60 De préférence, on adjoint à ce convertisseur un système de correction automatique de gain et d'offset ainsi qu'un système de linéarisation. Le système de correction de gain et d'offset également représenté sur la figure 8, comprend deux mémoires 62 et 64 dans lesquelles sont enregistrées les corrections à effectuer pour chaque capteur afin 10 que les courbes de réponse s'insèrent dans le même gabarit Cet enregistrement des corrections d'offset et de gain respectivement dans les mémoires 62 et 64 est réalisé lors d'un étalonnage préalable du système effectué une fois pour toutes. Le signal numérique de correction d'offset enregistré dans la mémoire 62 pour un capteur donné est converti en analogique dans un convertisseur numérique-analogique 66, avant d'être ajouté au signal us correspondant à ce capteur dans un sommateur 68 Par 20 ailleurs, le signal numérique de correction de gain enregistré dans la mémoire 64 et correspondant à ce même capteur est transformé en analogique dans un deuxième convertisseur numériqueanalogique 70, avant d'être injecté dans le convertisseur analogiquenumé25 rique 60 pour corriger le gain. De plus, suivant le type de capteur utilisé, il peut être nécessaire de disposer deux témoins permettant d'analyser en permanence l'évolution de leurs caractéristiques et de corriger les contenus des mé30 moiresd'offset et de gain pour compenser toute dérive éventuelle due, par exemple, à la température L'un de ces deux témoins peut notamment être calé sur une tôle alors que l'autre peut être placé à une distance finie de cette tôle. Bien entendu, l'adressage des mémoires 62 et 64 est commandé par le séquenceur 16 simultanément avec le multiplexeur 14 et l'intégrateur de filtrage 54. Comme l'illustre également la figure 8, le 5 signal sortant du convertisseur 60 sert à adresser une mémoire de linéarisation 72 dans laquelle a été enregistrée préalablement une courbe d'étalonnage Cette courbe est obtenue pendant l'étalonnage en mettant en mémoire la relation non linéaire entre la distance D 10 et la valeur correspondante du signal us, représentée sur la figure 9 a Lors des mesures, cette mémoire est lue en prenant U 5 comme entree; la sortie S correspondante est alors proportionnelle à D comme indiqué sur la figure 9 b. Des essais du dispositif selon l'invention effectues sur un prototype ont donné des résultats très satisfaisants En particulier, la portée des capteurs est pratiquement doublée par rapport aux dispositifs selon la technique antérieure, grâce à la dis20 position du circuit magnétique et au circuit de traitement électronique De plus, la réduction des dimensions des capteurs pour une portée satisfaisante permet d'obtenir une resolution axiale importante. REVENDICATIONS 1 Dispositif pour mesurer la proximité d'une surface métallique conductrice, comprenant au moins un capteur à courants de Foucault (Cl, Ci, Cn; '1 ' C'i, C'n) disposé en vis-à-vis de la surface, chaque capteur comprenant au moins une bobine ( 40 a, 40 b; 41 ', 43 'a, 43 'b), une source ( 10) de tension sinusoïdale (U) alimentant ledit capteur, des moyens de traitement ( 20, 22, 24) du signal sinusoïdal (Ui) délivré par le capteur, caractérisé en ce que 10 lesdits moyens de traitement comprennent des moyens ( 20) pour mesurer la composante inductive seule de l'impédance de ladite bobine. 2 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite source ( 10) délivre une 15 tension sinusoïdale dont la fréquence est supérieure à k Hz. 3 Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que les moyens pour mesurer la composante inductive du signal sont 20 des moyens de détection synchrone ( 20, 22) le signal de référence étant un signal de même fréquence et déphasé d'un angle déterminé par rapport à ladite tension sinusoidale (U). 4 Dispositif selon la revendication 1, ca25 ractérisé en ce que des moyens ( 62 à 70) sont prévus pour corriger automatiquement le gain et la tension de décalage du signal de proximité. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que lesdits moyens de correction auto30 matique de gain et de tension de décalage comprennent des mémoires ( 66, 70) dans lesquelles sont enregistrées les corrections à apporter. 6 Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'il comprend de plus au moins un capteur témoin placé dans une position fixe par rapport à une surface de référence, ce capteur étant re5 lié aux mémoires ( 66, 70) de telle sorte que l'évolution de ses caractéristiques permette de corriger les contenus des mémoires. 7 Dispositif selon l'une quelconque des revendications 4 à 6, caractérisé en ce que les signaux 10 proximétriques sont introduits dans un convertisseur analogique-numérique ( 60) et en ce que les signaux numériques délivrés par le convertisseur ( 60) adressent une mémoire de linéarisation ( 72) dans laquelle est enregistrée une courbe d'étalonnage (figure 9). 8 Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que ladite source ( 10) comprend un oscillateur ( 26) et des moyens ( 18, 30 à 36) pour asservir ledit oscillateur en amplitude et en fréquence. 9 Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à &, caractérisé en ce que la bobine ( 40) du capteur (Cl, Ci Cn) est montée sur un circuit magnétique ( 38) en forme de U ouvert dans la direction de ladite surface, ladite source ( 10) étant 25 branchée directement aux bornes de la bobine, et le signal sinusoidal (ui) délivré par le capteur étant obtenu à partir du courant (ii) parcourant la bobine au moyen d'un transformateur courant-tension à faible impédance. 10 Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que le capteur (C',, C'i * C'n) comprend un circuit magnétique ( 38 ') en forme de E ouvert dans la direction de ladite surface, une bobine émettrice ( 41 ') montée sur l'une 35 des branches d'extrémité ( 42 'a) et une bobine récep- trice ( 43 'a, 43 'b) enroulée en partie sur l'autre branche d'extrémité ( 42 'b) et en partie sur la branche intermédiaire ( 42 'c), ladite source ( 10) étant branchée aux bornes de la bobine émettrice ( 41 '), et le 5 signal sinusoidal (ui) délivré par le capteur étant obtenu par mise en opposition des signaux induits dans les deux parties ( 43 'a, 43 'b) de la bobine réceptrice. 11 Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, appliqué à la détection du 10 profil d'une surface métallique conductrice, caractérisé en ce qu'il comprend au moins une série de capteurs à courants de Foucault (C 1, Ci, Cn; C'1 i C'i, ** C'n) alignés, ladite source ( 10) alimentant simultanément les capteurs, des moyens de mul15 tiplexage ( 14) étant prévus pour injecter successivement dans les moyens de traitement ( 20, 22, 24) chacun des signaux (ui) délivrés par les capteurs. 12 Capteur proximétrique à courants de Foucault, caractérisé en ce qu'il comprend un circuit ma20 gnétique ( 38 ') en forme de E ouvert dans la direction d'un objet métallique dont on désire mesurer la proximité, une bobine émettrice ( 41 ') montée sur l'une des branches d'extrémité ( 42 'a) et une bobine réceptrice ( 43 'a, 43 'b) enroulée en partie sur l'autre branche 25 -d'extrémité ( 42 'b) et en partie sur la branche intermédiaire ( 42 'c), et connectées en opposition. 13 Capteur proximétrique à courants de Foucault, caractérisé en ce qu'il comprend plusieurs capteurs élémentaires (Ci, C'i) juxtaposés, chaque cap30 teur élémentaire comportant au moins une bobine à courants de Foucault montée sur un circuit magnétique ( 38, 38 ') ouvert dans la direction d'un objet métallique dont on désire mesurer la proximité, les capteurs élémentaires étant juxtaposés de telle sorte que leurs circuits magnétiques soient disposés dans des plans parallèles. 14 Capteur selon la revendication 13, caractérisé en ce que les capteurs (Ci, C'i) sont séparés et entourés par des plaques métalliques ( 44, 46; 44 ', 46 '). 15 Capteur selon la revendication 14, caractérisé en ce que les branches parallèles polarisées en sens inverse de chacun des capteurs sont séparées par une plaque métallique ( 50, 50 ').