Brevet FR2554627A1 — publié le 19850510

L'invention concerne un support d'enregistre- ment magnéto-optique utilisé avec une mémoire magnéto- optique, un élément d'enregistrement et de lecture magné- tique ou autre, capable d'extraire une information par l'utilisation d'un effet magnéto-optique tel que l'effet Kerr ou l'effet Faraday, et elle a trait en particulier à un support d'enregistrement magnétique à couches minces dont la résistance à la corrosion est améliorée. On cornnaît, en tant que supports d'enregistrement magnéto-optiques, des couches minces polycristallines telles MnBi et MnCuBi, des couches minces amorphes telles que GdCo, GdFe, TbFe, DyFe, GdTbFe et TbDyFe, et des couches minces monocristallines telles que GdIG, etc. Parmi ces chc)i s minces, les couches minces amorphes ont récemment été considérées comme étant d'excellents supports d'enregistrement magnéto-optiques en prenant en compte les caractéristiques de fabrication des couches, selon lesquelles une couche mince de grande surface est produite à une température proche de la température ambiante, l'efficacité de l'écriture des signaux avec une faible énergie photo-thermique, l'efficacité de la lecture des signaux électriques avec un bon rapport signal/bruit, etc. En particulier, GdTbFe, qui présente un grand angle de rotation de Kerr et un point de Curie d'environ 150 C, est la matière la mieux adaptée à un support d'enregistrement magnéto-optique. En outre, les études ont porté sur l'accroissement de l'angle de rotation de Kerr et ont abouti au résultat selon lequel GdTbFeCo est un support d'enregistrement magnétooptique ayant un angle de rotation de Kerr suffisamment grand et permettant la lecture d'une information avec un bon rapport signal/bruit. Cependant, on peut mentionner, comme caracté- ristique d'une matière magnétique amorphe telle que GdTbFe ou GdTbFeCo, une mauvaise résistance à la corrosion. Autrement dit, lorsqu' une telle matière est en contact avec l'air de l'atmosphère ou de la vapeur d'eau, non seulement il apparaît une atténuation-de ses caractéris- tiques magnétiques, mais elle devient aussi, finalement, totalement oxydée et transparente. On a donc proposé un support d'enregistrement en forme de disque dans lequel une couche protectrice est appliquée sur la couche d'enregistrement ou dans lequel la couche d'enregistrement est enveloppée d'un gaz inerte. L'invention a pour objet un support d'enre- gistrement magnéto-optique présentant une caractéristique magnétique mieux adaptée à l'enregistrement et à la reproduction d'une information et présentant également une excellente résistance à la corrosion. L'objet ci-dessus de la présente invention est réalisée par un support d'enregistrement magnéto- optique comportant une couche d'alliage magntique amorphe ayant la composition suivante et un axe aisément magné- tisable dans une direction perpendiculaire à la surface de la couche {(OdxTblx)yClr Y 1 p}q(NizCrz)> { (X>-xP (Fycôl- l-p sq aN z1-Z)1la o 0 0,05 0,1 C p 0,5 0,001 L'invention sera décrite plus en détail en regard des dessins annexes à titre d'exemples nullement limitatifs et sur lesquels: - les figures 1 et 2 sont des graphiques montrant les résultats d'essais de résistance à la corrosion portant sur les formes de réalisation de l'invention qui comprennent une couche de GdTbFeNiCr; - les figures 3 et 4 sont des graphiques montrant les résultats d'essais de résistance à la corrosion portant sur les formes de réalisation de l'invention qui comprennent une couche de GdTbFeCoNiCr; - les figures 5 à 7 sont des graphiques montrant les résultats d'essais de résistance à la corrosion portant sur les formes de réalisation de l'invention qui comprennent une couche de TbFeCoNiCr; et - la figure 8 est un graphique montrant le résultat de l'essai de résistance à la corrosion portant sur une forme de réalisation de l'invention qui comprend une couche de GdTbFeCoNi. Le support d'enregistrement magnéto-optique de la présente invention comporte, en tant que couche d'enregistrement, une couche d'alliage magnétique amorphe possédant un axe aisément magnétisable dans une direction perpendiculaire à la surface de la couche et capable de réaliser un enregistrement très dense d'informations. Lorsqu'une information doit être enregistrée sur le support d'enregistrement de l'invention, un faisceau rayonnant, modulé par un signal d'information, est appliqué à la couche d'alliage magnétisée de façon uniforme dans une direction prédéterminée. Ensuite, la partie sur laquelle le faisceau rayonnant a été appliqué est chauffée jusqu'à la température de Curie ou plus, puis elle est refroidie, de sorte que le signal d'information est enregistré sous la forme d'une continuité de bits d'enregistrement inverses dans la direction de la magnétisation. Lorsque le signal d'information ainsi enregistré doit être lu, on fait pénétrer dans la couche d'alliage un faisceau de lumière à polarisation rectiligne et le faisceau lumineux modulé dans sa direction de polarisation, en fonction de l'infor- mation, est détecté par effet magnéto-optique. Dans la présente invention, la couche d'alliage magnétique non cristalloide présente la composition suivante: {(GdXTblX) (FeyCo 1_y) lpqNizCr) q, o x l-x p y.1-y l-p q z 1-z1- 0 . Si Gd dépasse 90 % en valeur atomique, la force coercitive devient plus faible et il est difficile de stabiliser l'existence de bits d'enre- gistrement très petits. De plus, la température de Curie devient plus élevée et, par conséquent, on doit utiliser de façon inévitable une-écriture à température de compen- sation élevée dans les conditions de formation du film. En outre, on a 0,2 difficile. Du point de vue de cette sensibilité d'enregis- trement, il est particulièrement souhaitable que 0,35 de 65 % ou moins, en valeur atomique. De plus, pour que le support d'enregistrement magnéto-optique selon l'invention puisse avoir un axe aisément magnétisable, perpendiculaire à la surface de la couche, des métaux de transition (Fe, Co) et de terres rares (Gd, Tb) doivent être présents dans une proportion de composition convenable. Par conséquent, il faut que 0,1 perpendiculaire. En outre, si l'on considère la stabili- sation de la caractéristique magnétique, il est souhaitable que la quantité de Gd et Tb soit comprise entre 15 et 20 % en valeur atomique (0, 15 quantité totale de Fe, Co, Gd et Tb. Dans la présente invention, pour améliorer la résistance à la corrosion, il est nécessaire que 0,001 difficile d'obtenir une couche magnétisée perpendiculaire- ment. De plus, la quantité de Ni doit être comprise dans la plage de 5 à 100 % en valeur atomique (0,05 Il ressort de la description précédente que les compositions chimiques de matières particulièrement avantageuses sont GdTbFeNiCr, TbFeCoNiCr et GdTbFeCoNiCr. TbFeNiCr vient également à l'esprit, mais cette composition est plus ou moins sujette à une influence thermique en raison de sa faible température de Curie qui n' est que de 100 à 120 C. GdTbFeNiCr possède une température de Curie convenable (150 - 200 C), un angle de rotation de Kerr relativement grand (0,25 - 0,27 ) et une force coercitive importante et il convient donc pour un enre- gistrement à haute densité, pour la formation d'un très petit bit d'enregistrement. De plus, TbFeCoNiCr possède également une température de Curie convenable et un grand angle de rotation de Kerr, qui est de 0, 30. GdTbFeCoNiCr possède un angle de rotation de Kerr plus élevé, qui est de 0,35 - 0,45 et présente une excellente caractéristique de lecture. Exemple 1 Dans un appareil de pulvérisation à haute fréquence, une plaque vibrante en quartz d'un instrument de mesure d'épaisseur de couche, utilisant un vibrateur à quartz, est utilisée comme substrat, des morceaux carrés de Gd et Tb, chacun de 5 mm de c8té, disposes sur un support en Fe de 10 cm de diamètre, sont utilisés comme première cible et un alliage de 40 % de Cr et 60 % de Ni, formant une pièce de 10 cm de diamètre, est utilisé comme seconde cible. On fait le vide à l'intérieur de la chambre jusqu'à ce que l'on atteigne 1,5 x 10-5 Pa ou moins, après.quoi on introduit de l'argon gazeux jusqu'à une pression de 4 x 10-1 Pa, et la pression de l'argon est établie à 3 Pa par manoeuvre du robinet principal du circuit de vide. Une source d'alimentation en énergie à haute fréquence applique une puissance constante de polarisation de 250 watts à la première cible et différentes puissances de pulvérisation sont appliquées une à une à la seconde cible, de sorte que l'on prépare des couches de GdTbFeNiCr ayant les diverses compositions suivantes, de 0,2 jAm d'épaisseur: Tableau I Composition Echantillon 1-1: {(GdO,5TbO,5)0,21FeO,79}0,95(NiO,6CrO,4)0,05 Echantillon 1-2: {(GdO,5TbO,5)0,21FeO,79}0,90(NiO,6CrO,4)0,10 Echantillon 1-3: {(Gd0,5Tb0,5)0,21Fe0,79}0,85(Ni0,6CrO,4)0,15 Echantillon 1-4: {(GdO, 5TbO,5)0,21Fe0,79}0,80(NiO,6CrO,4)0,20 De plus, à l'aide d'un appareil similaire, on prépare une couche d'alliage ne contenant pas de Cr, mais ayant la composition suivante: Echantillon 1-5 {(GdO,5TbO,5) 0,21FeO,79}0, 9NiO,03 Il est apparu, par diffraction aux rayons X que ces couches sont des couches non cristalloides. Le résultat de l'essai de résistance à la corrosion portant sur des couches d'alliage réalisées comme décrit précédemment, placées dans un thermo- hygrostat à 800C et 85 % d'humidité relative, est indiqué à la figure 1. Sur la figure 1, on indique en ordonnée, l'accroissement de poids du milieu mesuré, en tant que mesure arbitraire, par l'utilisation d'un instrument de mesure d'épaisseur de couche utilisant un vibrateur à cristal de roche, et on représente en abscisse le nombre de jours, c'està-dire le temps pendant lequel on a laissé l'alliage dans le thermohygrostat. La figure 1 montre que la corrosion progresse davantage lorsque le poids augmente. Sur la figure 1, les références numériques correspondent aux numéros des échantillons. A titre de comparaison, un essai de résistance à la corrosion a été effectué sur des supports d'enregistrement magnéto-optiques présentant des compositions classiques, dans les mêmes conditions, et la courbe 17 indique l'exemple du GdTbFe et la courbe 18 l'exemple du GdTbFeCr, qui sont des compositions de l'art antérieur. Dans le cas d'une couche de GdTbFe qui ne contient ni Ni ni Cr, l'éclat du métal disparaît presque et le métal est totalement corrodé au bout d'un jour, tandis qu'il est apparu qu'en augmentant la quantité de Ni et de Cr, l'accroissement de poids, c'est-à-dire le degré d'oxydation, diminue et la résistance à la corrosion est améliorée. De plus, il est apparu que la couche de GdTbFe présente une meilleure résistance à la corrosion qu'une couche de GdTbFeCr. En outre, dans le cas d'une couche de GdTbFeNiCr, même si la quantité de Ni et de Cr devient importante, le taux de diminution de l'angle de rotation de Kerr, par rapport à l'efficacité de la lecture, est faible, par exemple d'environ 18 % pour l'échantillon 1-4. Exemple 2 On prépare des couches de GdTbFeNiCr ayant les diverses compositions suivantes et une épaisseur de 0,2 gm, en utilisant, comme seconde cible, un alliage à 20 % de Cr et à 80 % de Ni, les autres conditions restant identiques à celles indiquées dans l'exemple 1: Tableau II Composition Echantillon 2-1: { (Gd0,5TbO,5)0,21FeO,79}0,95(NiO,8CrO,2)0, 05 Echantillon 2-2: {(GdO,5TbO,5)0,21FeO,79}0,90(NiO,8Cr0,2)0,10 Echantillon 2-3: {(GdO,5TbO,5)0,21FeO,79}0,85(NiO,8CrO,2)0,15 Echantillon 2-4: {(GdO,5TbO,5)0,21FeO,79}0,80{NiO,8CrO,2)0,20 Il est apparu, par diffraction aux rayons X, que ces couches sont amorphes. Le résultat de l'essai de résistance à la corrosion portant sur les couches de GdTbFeNiCr réalisées comme décrit ci-dessus, placées dans le même thermo- hygrostat à 80 C et 85 % d'humidité relative que celui utilisé dans l'exemple 1, est donné à la figure 2. Sur la figure 2, les références numériques correspondent aux numéros des échantillons et cette figure donne également les mêmes exemples comparatifs que ceux de la figure 1 et elle indique également le résultat obtenu sur l'échan- tillon 1-5. Dans cet exemple, de même que dans l'exemple 1, il est apparu que la résistance à la corrosion est davantage améliorée qu'avec GdTbFe ou GdTbFeCr. En outre, le taux de diminution de l'angle de rotation de Kerr, représen- tatif de l'efficacité de la lecture, est inférieur dans l'exemple 1 et est d'environ 10 % dans le cas de l'échantillon 2-4. Exemple 3 Des morceaux constitués à 50 % de Gd et % de Tb, chacun de 5 mm de côté, disposes uniformément sur un support à 30 % de Co et 70 % de Fe, sont utilisés comme première cible, et un alliage à 40 % de Cr et % de Ni est utilisé comme seconde cible pour la préparation de cucdes de GdTbFeCoNiCr ayant les diverses compositions suivantes et une épaisseur de 0,2 "m, de la même façon que dans l'exemple 1. Tableau III Composition Echantillon 3-1: {(GdO,5TbO,5)0,22(FeO,7CoO,3)0, 78}0,95(NiO,6Cr0,4)0,05 Echantillon 3-2: { (GdO,5Tb0,5)0,22(FeO,7Co0,3)0, 78}0,90(NiO,6CrO,4)0,10 Echantillon 3-3: {(GdO,5Tb0,5)0,22(FeO,7CoO,3)0, 78}0,85(NiO,6CrO,4)0,15 Echantillon 3-4: {(GdO,5TbO,5)0,22(FeO,7CoO,3)0, 78}0,80(NiO,6CrO,4)0,20 Il est apparu, par diffraction aux rayons X, que ces couches sont amorphes. Le résultat de l'essai de résistance à la corrosion effectué sur les couches réalisées comme décrit ci-dessus, placées dans un thermohygrostat à 80 C et 85 % d'humidité relative, de même que dans l'exemple 1, est indiqué à la figure 3. Sur la figure 3, les références numériques correspondent aux numéros des échantillons et les mêmes exemples comparatifs que ceux de la figure 1 et le résultat obtenu avec l'échantillon 1-5 sont également montrés, ainsi que le résultat de l'essai de résistance à la corrosion portant sur un support d'enregistrement magnéto-optique formé de GdTbCo, dans les mêmes conditions. Il est apparu qu'une couche de GdTbFeCoNiCr présente une meilleure résistance à la corrosion qu'une couche de GdTbFeCo et une résistance à la corrosion encore meilleure que celle des couches de GdTbFe et GdTbFeCr. De plus, le taux de diminution de l'angle de rotation de Kerr est d'environ 12 % dans le cas de l'échantillon 3-4. Exemple 4 On prépare des couches de GdTbFeCoNiCr, ayant les diverses compositions suivantes et une épaisseur de 0,2 gm, avec un alliage à 20 % de Cr et 80 % de Ni, utilisé comme seconde cible, les autres conditions restant similaires à celles de l'exemple 1. Tableau IV Composition Echantillon 4-1: - {(GdO,5TbO,5) 0,22(FeO,7Co0,3)0,78}0, 95(NiO,8CrO,2) 0,05 Echantillon 4-2: { (GdO,5TbO,5)0,22(FeO,7Co0,3) 0,78} 0,90(Ni0,8CrO,2)0,10 Echantillon 4-3: {(GdO,5TbO,5)0,22(Fe0,7CoO,3)0,78}0, 85(NiO,8CrO,2)0,15 Echantillon 4-4: { (GdO,5TbO,5)0,22(FeO,7CoO,3)0,78}0, 80(Ni0,8CrO,2)0,20 Il est apparu par diffraction aux rayons X que ces couches sont amorphes. - Le résultat de l'essai de résistance à la corrosion portant sur les couches réalisées comme décrit ci-dessus, placées dans un thermohygrostat à 80 C et % d'humidité relative, de même que dans l'exemple 1, est montré à la figure 4. Sur la figure 4, les références numériques correspondent aux numéros des échantillons et les mêmes exemples comparatifs que ceux de la figure 3 et le résultat de l'essai portant sur l'échantillon 1-5 sont également montrés. Conformément à cet exemple, il est apparu que des couches de GdTbFeCoNiCr, dans lesquelles le rapport du Ni au Cr est Ni/Cr = 8/2, ont une longévité davantage accrue que dans l'exemple 3. De plus, le taux de diminution de l'angle de rotation de Kerr est inférieur à celui obtenu dans l'exemple 3 et est d'environ 7% dans le cas de l'échantillon 4-4. Exemple 5 Dans un appareil de pulvérisation à haute fréquence, la plaque vibrante en quartz d'un instrument de mesure d'épaisseur de couche, utilisant un vibrateur à quartz, est utilisée comme substrat, des morceaux de Tb, chacun de 5 mm de côté, disposés uniformément sur une plaque à 30 % de Co et 70 % de Fe, d'un diamètre de cm, sont utilisés comme première cible, et un alliage à 40 % de Cr et 60 % de Ni est utilisé comme seconde cible. On fait le vide à l'intérieur de la chambre jusqu'à ce que l'on atteigne une pression de 1,5 x 10 -5 Pa ou moins, après quoi on introduit de l'argon gazeux jusqu'à 4 x 10-1 Pa, et on établit la pression de l'argon à 3 Pa en manoeuvrant le robinet principal du circuit de vide. A ce moment, on applique une tension au côté du substrat, à partir d'une source d'alimentation en énergie-à haute fréquence, afin que la tension d'autopolarisation soit de 80 volts. On prépare de cette manière des couches de TbFeCoNiCr, d'une épaisseur de 0,2 gm, ayant les diverses compositions suivantes: Tableau V Composition Echantillon 5-1: {TbO,18(FeO,7Co0,3)0,82}0,95(NiO,6CrO,4)0,05 Echantillon 5-2: {TbO,18(FeO,7Co0,3)0,82}0,90(NiO,6CrO,4)0,10 Echantillon 5-3: {TbO,18(FeO,7Co0,3)0,82}0,85(Ni0,6Cr0O4)0,15 Echantillon 5-4: {TbO, 18(FeO,7Co0,3)0,82}0,80(NiO,6CrO,4)0,20 Il est apparu, par diffraction aux rayons X, que ces couches sont amorphes. Le résultat de l'essai de résistance à la corrosion portant sur les couches d'alliage réalisées comme décrit ci-dessus, placées dans le même thermo- hygrostat à 80 C et 85 % d'humidité relative, que celui utilisé dans l'exemple 1, est montré sur la figure 5. Sur la figure 5, les références numériques correspondent aux numéros des échantillons. Les mêmes exemples comparatifs que ceux de l'exemple 1 et un exemple de TbFeCo, indiqué en 20 (correspondant à l'art antérieur) sont également indiqués. Conformément au présent exemple, il est apparu que la couche de TbFeCoNiCr présente une amélio- ration particulière de la résistance à la corrosion par rapport à la couche de TbFeCo qui ne contient ni Ni ni Cr. Il est également apparu que la couche de TbFeCoNiCr présente une résistance à la corrosion encore meilleure que celle des couches classiques de GdTbFe et GdTbFeCr. En outre, dans la couche de TbFeCoNiCr, même dans le cas o la quantité de Ni et de Cr devient plus grande, le taux de diminution de l'angle de rotation de Kerr, en relation avec l'efficacité de la lecture, est faible et est d'environ 10 % dans le cas de l'échantillon 5-4. Exemple 6 On réalise des couches de la même manière que dans l'exemple 5. Dans ce cas, la tension d'auto-polari- sation est nulle et on prépare des couches de TbFeCoNiCr de 0,2 gm d'épaisseur, ayant les diverses compositions suivantes: Tableau VI Composition Echantillon 6-1: {TbO,18(FeO,7Co0,3)0,82}0,95(NiO,6CrO,4)0,05 Echantillon 6-2: {TbO,18(FeO,7CoO,3)0,8210,90(NiO,6CrO,4)0,10 Echantillon 6-3: {TbO,18(FeO,7CoO,3)0,82}0,85(NiO,6CrO,4)0,15 Echantillon 6-4: - {Tb0,18(Fe0,7CoO,3)0,82}0,80(Ni0,6CrO,4)0,20 Il est apparu par diffraction aux rayons X que ces couches sont amorphes. Le résultat de l'essai de résistance à la corrosion portant sur ces couches placées dans un thermo- hygrostat à 80 C et 85 % d'humidité relative, de même que dans l'exemple 1, est montré sur la figure 6. Comme précédemment, sur la figure 6; les références numériques correspondent aux numéros des échantillons et les mêmes exemples comparatifs que ceux de la figure 5, ainsi que le résultat de l'essai sur l'échantillon 5-5 sont montrés. Comme précédemment, les références numériques 17, 18, 19 et 20 ont trait à des compositions de l'art antérieur. Dans cet exemple également, il est apparu que la résistance à la corrosion de la couche de TbFeCoNiCr est encore meilleure que celle des couches de GdTbFe, GdTbFeCr et TbFeCo. De plus, le taux de diminution de l'angle de rotation de Kerr est d'environ 13 % après dix jours dans le cas de l'échantillon 6-4. De plus, dans le présent exemple, la tension de polarisation est nulle pendant la réalisation des couches et, par conséquent, il apparaît une réalisation en colonne d'aspect remarquable et, en comparaison avec l'excemple 5, la densité est faible et la corrosion est rapide. Il en ressort que la résistance à la corrosion est davantage améliorée si des couches sont réalisées en même temps qu'une tension de polarisation est appliquée à la matière. Exemple 7 Dans cet exemple, on utilise un alliage à % de Cr et 80 % de Ni en tant que seconde cible et les couches sont réalisées sous des conditions par ailleurs similaires à celles utilisées dans l'exemple 6. De cette manière, on prépare des couches de TbFeCoNiCr de 0,2 gm d'épaisseur, ayant les diverses compositions suivantes: Tableau VII Composition Echantillon 7-1: {TbO,17(Fe0,7CoO,3)0,83}0,95(NiO,8CrO,2)0,05 Echantillon 7-2: {TbO,17(FeO,7CoO,3)0,83}0,90(NiO,8CrC,2)0,10 Echantillon 7-3: {TbO,17(FeO,7Co0,3)0,83}0,85(NiO,8CrQ,2)0,15 Echantillon 7-4: {TbO, 17(Fe0,7CoO,3)0,83}0,80(NiO,8CrO,2)0,20 Il est apparu, par diffraction aux rayons X que ces couches sont amorphes. Le résultat de l'essai de résistance à la corrosion portant sur les couches des compositions précédentes, placées dans un thermo-hygrostat à 85 C et 85 % d'humidité relative, de même que dans l'exemple 1, est montré sur la figure 7. Comme précédemment, sur la figure 7, les références numériques correspondent aux numéros des échantillons et les mêms exmples ccparatifs que ceux de la figure 5, ainsi que le résultat de l'essai de l'échantillon 5-5, sont également montrés. Dans le présent exemple, également, il est apparu que la couche de TbFeCoNiCr présente une résistance à la corrosion davantage améliorée que celle des couches de GdTbFe, TbFeCo et GdTbFeCr. De plus, le taux de diminution de l'angle de rotation de Kerr est d'environ 8 % dans le cas de l'échantillon 7-4, au bout de dix jours. Exemple 8 Dans un appareil de pulvérisation à haute fréquence, une plaque de verre blanc, de 7,5 cm de côté, est utilisée comme substrat, des morceaux de Gd, Tb et Co, de 5 mm de côté, disposés uniformément sur un support de Fe de 10 cm de diamètre, sont utilisés comme première cible, et une pièce de Ni de 10 cm de diamètre est utilisée comme seconde cible. On fait le vide à l'intérieur de l'appareil jusqu'à 1,5 x 10-5 Pa ou moins, après quoi on introduit de l'argon gazeux jusqu'à 4 x 10-1 Pa, et on établit la pression de l'argon à 3 Pa en manoeuvrant le robinet principal du circuit de vide. A l'aide d'une source d'alimentation en énergie à haute fréquence, on applique une puissance constante de pulvérisation de 250 watts à la première cible et différentes puissances de pulvérisation sont appliquées une à une à la seconde cible, afin que l'on forme, sur le substrat, des couches de GdTbFeCoNi ayant les diverses compositions suivantes: Tableau VIII Composition Echantillon 8-1: - {(GdO,5TbO,5)0,21(FeO,9CoO,1)0,79}0,997Ni0, 003 Echantillon 8-2: {(GdO,5TbO,5)0,21(FeO,9CoO,1)0,79}0,99NiO01 Echantillon 8-3 {(GdO,5TbO,5)0,21(FeO,9CoO,1)0,79}0,95Ni0,05 Echantillon 8-4: {(GdO,5TbO,5)0,21(FeO,9CoO,1)0,79}0,9NiO,1 Echantillon 8-5: {(GdO, 5TbO,5)0,21(FeO,9CoO,1)0,79}0,85Ni0,15 Echantillon 8-6: {(GdO,5TbO,5)0, 21(FeO,9CoO,1)0,79}0,80NiO,2 Les couches de GdTbFeCoNi précédentes et les couches de GdTbFeCo (exemples comparatifs) sont soumises à un essai de résistance à la corrosion dans un thermo- hygrostat à 55 C et 75 % d'humidité relative. Le résultat de l'essai est indiqué à la figure 8. Sur la figure 8, on indique en ordonnée, le rapport de la force coercitive à la valeur initiale, en mesure arbitraire, et on indique en abscisse le temps écoulé, en jours, et la diminution de la force coercitive illustre la progression de la corrosion. Les données obtenues sur les échantillons respectifs sont désignées par les références numériques correspondant au numéros des échantillons et la référence numérique 21 indique, à titre de comparaison, un exemple de l'art antérieur de la couche de GdTbFeCo sans addition de Ni. Ainsi qu'il ressort de la figure 8, la couche de GdTbFeCo, qui ne contient pas de Ni, présente une diminution remarquable de la force coercitive au bout d'environ 200 heures. Si l'on augmente la teneur en Ni dans GdTbFeCoNi, la diminution de la force coercitive est plus faible et la résistance à la corrosion augmente. De plus, une couche magnétique amorphe risque de provoquer un changement de structure tel qu'une cristallisation à une température relativement basse et sa caractéristique de matière magnéto-optique en est parfois affectée, mais, par addition de Ni, on accroît la température de cristal- lisation et on améliore la stabilité thermique. Exemple 9 De la même manière que dans l'exemple 1, sauf que l'on fait varier le nombre de morceaux de Gd et de Tb disposés sur la première cible, on prépare des couches de GdTbFeNiCr ayant les diverses compositions suivantes. Puis ces couches et la couche de GdTbFe, préparée de façon similaire à titre d'exemple comparatif, sont soumises à un essai de résistance à la corrosion analogue à celui décrit dans l'exemple 1. Les accroissements de poids après quatre jours, dans l'essai de cet exemple, sont indiqués ci-dessous, ainsi que les compositions, de même que les valeurs comparatives lorsque l'accroissement de poids après quatre jours de la couche de GdTbFe est de 100. Tableau IX Cp sit Accroissement Composition de poids de poids Echantillon 9-1: {(Gd0,05TbO,95)0,21Fe0,79}0,90(NiO,6CrO,4)0,10 55 Echantillon 9-2: {tdO,10OTbO,90)0,21FeO,79}0,90(NiO,6Cr0,4)0,10 50 Echantillon 9-3: {(GdO, 90Tb0,10)0,21FeO,79}0,90(NiO,6CrO,4)0,10 50 Echantillon 9-4: {(GdO,50Tb0, 50)0,10FeO,90}0,90(NiO,6CrO,4)0,10 40 Echantillon 9-5: - {(GdO,50TbO,50)0,15FeO,85}0,90(NiO,6Cr0,4)0,10 45 Echantillon 9-6: {(GdO, 50TbO,50)0,25Fe0,75}0,90(NiO,6CrO,4)0,10 50 Echantillon 9-7: {(GdO,50TbO, 50)0,30FeO,70}0,90(NiO,6CrO,4)0,10 50 Echantillon 9-8: {(GdO,50TbO,50)0, 35Fe0,65}0,90(NiO,6CrO,4)0,10 55 Exemple 10 Dans cet exemple, on utilise comme seconde cible un alliage à 90 % de Cr et 10 % de Ni, un alliage à 80 % de Cr et 20 % de Ni et un alliage à 5 % de Cr et 95 % de Ni, les autres conditions étant analogues à celles de l'exemple 1, de façon à préparer des couches de GdTbFeNiCr ayant les diverses compositions suivantes. Ces couches sont soumises à un essai de résistance à la corrosion analogue à celui décrit dans l'exemple 1, et le résultat de l'essai est indiqué ci-dessous, similairement à l'exemple 9. Tableau X Accroissement Composition de poids de poids Echantillon 10-1: {(GdO,50TbO, 50)0,21Fe0,79}0,90(NiO,05Cr0,95)0,10 60 Echantillon 10-2: {(GdO,50TbO,50) 0,21FeO,79}0,90(Ni0O20CrO,80)0,10 55 Echantillon 10-3: {(GdO,50TbO,50)0, 21FeO,79}0,90(NiO,9OCrO,10>0,10 45 Exemple 11 On utilise un alliage à 30 % de Cr et 70 % de Fe, comme première cible, on fait varier le nombre de morceaux de Gd et de Tb disposes sur cette cible et on utilise, par ailleurs, des conditions similaires à celles de l'exemple 1, afin de préparer des couches de GdTbFeCoNiCr ayant les diverses compositions suivantes. Puis ces couches et la couche de GdTbFeCo, préparée de façon similaire à titre d'exemple comparatif, sont soumises à un essai de résistance à la corrosion analogue à celui décrit dans l'exemple 1. Les accroissements de poids après quatre jours dans l'essai de cet exemple sont indiqués ci-dessous, avec les compositions suivantes, de même que les valeurs comparatives lorsque l'accroissement de poids après quatre jours de la couche de GdTbFeCo est de 100e Tableau XI Composition Accroissement Composition d od de poids Echantillon 11-1: {(GdO,05Tb0,95)0,22(FeO,70CoO,30)0,78}0,90 (Ni0,60Cr0,40)0,10 35 Echantillon 11-2: { (GdO,10TbO,90)0,22 (FeO,70Co0,30} 0,78}0,90 (NiO, 60CrO,40)0,10 30 Echantillon 11-3 {(GdO,9OTbO,10)0,22(FeO,70CoO,30)0,78}0, 90 (NiO,60Cr0,40)0,10 30 Echantillon 11-4: {(GdO,50TbO,50)0,10(Fe0,70Co0, 30)0,90}0,90 (Ni0,60CrO,40)0,10 25 Echantillon 11-5: { (GdO,50TbO,50)0, 15(FeO,70Co0,30)0,85}0,90 (NiO,60Cr0,40)0,10 25 Echantillon 11-6: {(GdO, 50Tb0,50)0,25(Pe0,70CoO,30)0,75}0,90 (NiO,60CrO,40)0,10 30 Echantillon 117: {{GdO,50TbO,50)0,30(FeO,70CoO,30)0,70}0,90 (NiO,60CrO,40)0,10 30 Echantillon 11-8: {(GdO,50Tb0,50)0,35(FeO,70CoO,30)0,65}0,90 (NiO,60Cr0, 40)0,10 35 Exemple 12 On utilise, comme première cible, comme dans l'exemple 1, des alliages de PeCo de diverses compositions, les autres conditions étant analogues à celles indiquées dans l'exemple 1, de façon à préparer des couches de GdTbFeCoNiCr ayant les diverses composi- tions suivantes. Ces couches sont soumises à un essai de résistance à la corrosion analogue à celui décrit dans l'exemple 1, et le résultat de l'essai est indiqué ci-dessous, similairement à l'exemple 11. Tableau XII Accroissement Composition de poids de poids Echantillon 12-1: {(GdO,50TbO, 50)0,22(FeO,95Co0,05)0,78}0,90 (NiO,60Cr0,40)0,10 35 Echantillon 12-2: {(GdO,50Tb0,50)0,22(FeO,9OCoO,10)0,78}0,90 (NiO,60CrO,40)0,10 35 Echantillon 12-3: {(GdO,50TbO,50)0,22(FeO,80CoO,20)0,78}0,90 (Ni0,60Cr0, 40)0,10- 30 Echantillon 12-4: {(GdO,50TbO,50)0,22(FeO,60Co0,40)0,78}0,90 (NiO,60CrO,40)0,10 30 Echantillon 12-5: {(GdO,50TbO,50)0,22(Fe0,50CoO,50) 0,78}0,90 (NiO,6OCrO,40)0,10 25 Echantillon 12-6: {(GdO,50Tb0,50)0,22(FeO, 35Co0,65)0,78}0,90 (NiO,60CrO,40)0,10 20 Echantillon 12-7: {(GdO,50TbO,50) 0,22(Fe0,20Co0,80)0,78}0,90 (NiO,60CrO,40)0,10 15 Exemple 13 On utilise un alliage à 30 % de Co et 70 % de Fe, comme première cible, et un alliage à 90 % de Cr et 10 % de Ni, un alliage à 80 % de Cr et 20 % de Ni, un alliage à 5 % de Cr et 95 % de Ni et 100 % de Ni, comme seconde cible, les autres conditions étant analogues à celles indiquées dans l'exemple 1, afin de préparer des couches de GdTbFeNiCr ayant les diverses compositions suivantes, ainsi qu'une couche de GdTbFeNi. Ces couches sont soumises à un essai de résistance à la corrosion analogue à celui décrit dans l'exemple 1, et le résultat de l'essai est indiqué ci- dessous, similairement à l'exemple 11. Tableau XIII Accroissement Composition de poids de poids Echantillon 13-1: {(GdO,5OTbO, 50)0,22(FeO,70Co0,30)0,78}0,90 (NiO,05CrO,95)0,10 40 Echantillon 13-2: {(Gd0,50TbO,50)0,22(FeO,70CoO,30)0,78}0,90 (NiO,20CrO,80)0,10 35 Echantillon 13-3: {(Gd0,50TbO,50)0,22(FeO,70CoO,30)0,78}0,90 (NiO,9OCrO, 10)0,10 25 Echantillon 13-4: {(GdO,50Tb0,50)0,22(FeO,70CoO,30)0,78}0,90 NiO,10 60 Exemple 14 On prépare des couches de TbFeCoNiCr, ayant les diverses compositions suivantes, dans les mêmes conditions que dans l'exemple 5, sauf que le nombre de morceaux de Tb disposés sur la première cible est modifié. Puis ces couches et la couche de TbFeCo,prêparée de façon similaire à titre d'exemple comparatif sont soumises à un essai de résistance à la corrosion analogue à celui décrit dans l'exemple 1. Les accroissements de poids au bout de quatre jours dans l'essai de cet exemple sont indiqués ci-dessous, ainsi que les compositions suivantes et que les valeurs comparatives, lorsque l'accroissement de poids, après quatre jours, de la couche de TbFeCo, est de 100. Tableau XIV Composition Accroissement Composition d od de poids Echantillon 14-1: {TbO,10(FeO,70Co0,30)0,90}0,90(Ni0,60CrO,40)0,10 30 Echantillon 14-2: {. TbO,15(DeO,70CoO,30)0,85}0,90(NiO,60CrO,40)0,10 35 Echantillon 14-3: {TbO, 25(FeO,70CoO,30)0,75}0,90(NiO,60CrO,40)0,10 40 Echantillon 14-4: {Tb0, 30(Fe0,70Co0,30)0,7030,90(Ni0,60Cr0,40)0,10 40 Echantillon 14-5: {Tb0, 35(Fe0,70Co0,30)0,6530,90(Ni0,60Cr0,40)0,10 45 Exemple 15 Des alliages de FeCo de diverses compositions et un morceau de Tb sont utilisés comme première cible, ou bien des morceaux de Tb et des morceaux de Co, chacun de mm de côté, disposes sur un support de Fe, sont utilisés comme première cible, les conditions étant analogues à celles indiquées dans l'exemple 5, afin que l'on prépare des couches de TbFeCoNiCr ayant les diverses compositions suivantes. Ces couches sont soumises à un essai de résis- tance à la corrosion analogue à celui décrit dans l'exemple 1, et le résultat de l'essai est indiqué ci- dessous, similairement à l'exemple 14. Tableau XV Accroissement Echantillon 15-1: Composition. de poids {TbO,17(FeO,99Co0, 01)0,83}0,90(NiO,6OCr0,40)0,10 45 Echantillon 15-2: {TbO,17(FeO,9gOCo0,10) 0,83}0,90(NiO,60Cr0,40)0,10 40 Echantillon 15-3: {TbO,17(FeG,8OCoO,20)0, 83}0,90(NiO,60Cr0,40)0,10 35 Echantillon 15-4: {TbO,17(FeO,6OCoO,40)0Q,83} 090(NiO,60CrO,40)0,10 35 Echantillon 15-5: {TbO,17(FeO,5OCoO,50)0,8310, O90(NiO,60CrO,40)0,10 30 Echantillon 15-6: {Tb0,17(FeO,35CoO,65)0,83}0, 90(NiO,60CrO,40)0,10 25 Echantillon 15-7: - {TbO,17(FeO,20CoO,80)0,83}0,90(Ni0,60CrO,40)0,10 25 Exemple 16 On utilise, comme seconde cible, un alliage à % de Cr et 10 % de Ni, un alliage à 80 % de-Cr et 20 % de Ni, un alliage à 5 % de Cr et 95 % de Ni, les autres conditions étant analogues à celles de l'exemple 5, afin de préparer des couches de TbFeCoNiCr ayant les diverses compositions suivantes. Ces couches sont soumises à un essai de résistance à la corrosion analogue à celui décrit dans l'exemple 1, et le résultat de cet essai est indiqué ci-dessous similairement à l'exemple 14. Tableau XVI -Composition Accroissement Composition d od de poids Echantillon 16-1: {TbO,17(FeO,70CoO,30)0,83}0,90(NiO,05CrO,95)0,10 45 Echantillon 16-2: - {TbO,17(FeO,70CoO,30)0,83}0,90(NiO,2OCrO,80)0,10 40 Echantillon 16-3: {Tb0,17(FeO,70Co0,30)0,83}0,90{NiO,90Cr0,10)0,10 40 Si une couche protectrice bien connue ou une couche antiréflexion, servant également de couche protec- trice, ou encore une couche d'isolation thermique, est appliquée sur le support d'enregistrement magnéto-optique selon l'invention lorsque ce support d'enregistrement est lui-même appliqué sur un substrat, par exemple du verre, du métal ou une matière plastique, par le procédé de pulvérisation décrit ou par le procédé d'évaporation sous vide ou autre, on améliore encore la résistance à la corrosion. La résistance à la corrosion est évidemment également améliorée si le support d'enregistrement est constitué sous la forme d'une réalisation du type stratifié à lame d'air, renfermant un gaz inerte, ainsi qu'il est connu précédemment. Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées au support d'enregistrement décrit et représenté sans sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Support d'enregistrement magnéto-optique, caractérisé en ce qu'il comporte une couche d'alliage magnétique amorphe présentant la composition suivante et possédant un axe aisément magnétisable dans une direction perpendiculaire à la surface de la couche: {(Gd Tb)(Fe Co) I(Ni Cr { (GdxTbl-x p (FeyC 1-y) 1-p}q (NizCrl-z 1-q' o 0 0,001 2. Support d'enregistrement magnéto-optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la quantité de Ni est comprise entre 20 et 90 %, en valeur atomique, par rapport à la quantité totale de Ni et de Cr.- 3. Support d'enregistrement magnéto-optique selon la revendication 2, caractérisé en ce que la quantité de Ni est comprise entre 60 et 80 %, en valeur atomique, par rapport à la quantité totale de Ni et de Cr. 4. Support d'enregistrement magnéto-optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la quantité totale de Gd et Tb est comprise entre 15 et 30 %, en valeur atomique, par rapport à la quantité totale de Gd, Tb, Fe et Co. 5. Support d'enregistrement magnéto-optique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche d'alliage contient au moins l'un des éléments Gd et Co.