Brevet FR2557728A1 — publié le 19850705

PROCEDE DE COMPENSATION EN TEMPERATURE D'UN DETECTEUR PHOTOCONDUCTEUR La présente invention concerne les détecteurs photocon- ducteurs. De tels détecteurs sont largement utilisés en opto-élec- tronique pour la détection d'un rayonnement électromagnétique, notamment la détection d'un rayonnement électromagnétique dont la longueur d'onde se situe dans le domaine de la lumière visible et surtout de l'infra-rouge. On rappelera tout d'abord que les détecteurs photoconducteurs exploitent l'augmentation de conductivité électrique d'un semicon- ducteur lorsque celui-ci est soumis à un éclairement par un rayon- nement électromagnétique tel que défini ci-dessus. On observe donc, lorsque le détecteur est soumis à un tel éclairement, une augmen- tation du nombre de porteurs libres dans la bande de conduction. Or, -EG le nombre de porteurs libres est proportionnel a exp kT avec: EG l'énergie de la bande interdite k la constante de Boltzmann, et T la température On voit donc que le nombre des porteurs dépend aussi de la température. En ccnséquence, une variation de la temporature ambiante entraine une variation du nombre des porteurs dans la bande de conduction au mêmrne titre qu'un éclairement par un rayonnement électromagnétique. La variation en porteurs due à la température devient très vite équivalente à celle due à un éclai- rement, notamment dans le cas des semiconducteurs à bande inter- dite faible. Dans ce cas, en effet la variation du nombre de porteurs dans la bande de conduction par rapport au nombre de porteurs déjà présents est faible. Toutefois, la variation due à la température est une variation qui évolue lentement dans le temps. Aussi pour pouvoir distinguer les variations du nombre des porteurs dues à la tempé- rature de celles dues à l'éclairement, on réalise une modulation de l'éclairement et on détecte donc en sortie un signal utile modulé. Toutefois, ce problème de variation du nombre des porteurs due à la température est très important lorsque l'on désire détecter un signal continu, à savoir lorsqu'il est impossible de moduler l'éclairement. Avec les détecteurs photoconducteurs on utilise de préférence le circuit représenté à la figure I pour lire le signal utile corres- pondant à l'éclairement reçu. Ce circuit comporte une source de tension V aux bornes de laquelle sont montés en série le détecteur photoconducteur D constitué par un volume de semiconducteur avec deux contacts ohmiques et une résistance de charge Rc. Le signal utile est détecté aux bornes de la résistance de charge. Avec ce type de montage, le signal utile est superposé à une tension qui est souvent bien plus grande que ledit signal et si l'on désire détecter un signal continu, on doit soustraire cette tension, ce qui suppose une grande stabilité de celle-ci. Or, lorsque la température change, on observe dans le détec- teur photoconducteur une variation du nombre de porteurs comme expliqué ci-dessus, c'est-à-dire une variation de la résistivité qui est inversement proportionnelle au nombre de porteurs libres et en conséquence une variation de la résistance du détecteur qui varie -EG exponentiellement selon une loi proche de exp k alors que la résistance de charge a une variation négligeable en fonction de la température. La présente invention a donc pour but de permettre la lecture d'un signal continu tout en remédiant à cet inconvénient. La présente invention a en conséquence pour objet un procédé de compensation en température d'un détecteur photoconducteur lu en tension par l'intermédiaire d'une résistance de charge montée en série avec ledit détecteur caractérisé en ce qu'on réalise la résis- tance de charge sous forme d'un volume de même matériau que le détecteur, à proximité de celui-ci, et en ce qu'on la recouvre d'un cache isolant opaque au rayonnement électromagnétique a détecter. Dans ce cas, la résistance de charge présente la même variation en température que le détecteur. Celle-ci étant de plus contigile au détecteur, la tension du point milieu est donc indé- pendante de la température. Toutefois, lorsqu'un élément est réalisé dans un matériau semiconducteur, on observe deux types de bruits, à savoir le bruit 3ohnson qui est indépendant du matériau et le bruit de génération- recombinaison dont la puissance moyenne est inversement propor- tionnelle au volume de semiconducteur considéré. En fait, l'épais- seur du détecteur étant généralement choisie égale à la longueur d'absorption du rayonnement électromagnétique à détecter, le détecteur est réalisé en couche mince et la tension de bruit de générationrecombinaison gênante est inversement proportionnelle à la racine carrée de la surface du détecteur. En conséquence, si la résistance de charge a la même taille que le détecteur, elle apporte le même bruit et on dégrade la détectivité du détecteur d'un facteur\f2. En conséquence, selon une autre caractéristique de la présente invention, la surface de la résistance de charge est obtenue par une transformation homo- thétique croissante de la surface du détecteur photoconducteur, de manière à apporter un excedent de bruit négligeable devant celui du détecteur seul. Par exemple, si la surface de la résistance de charge est quatre fois plus grande que celle du détecteur, la détectivité n'est dégradée que d'un facteur\ji+ = 1,22. 2 l D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront à la lecture de la description faite ci-après avec référence au dessin ci-annexé dans lequel: - la figure 1, déjà décrite, est un schéma électrique d'un détecteur photoconducteur lu en tension; la figure 2 est une vue de dessus d'une partie d'une barrette de détecteurs photoconducteurs compensés en température confor- mément à la présente invention; - la figure 3 est une vue en coupe par III-III de figure 2. La présente invention sera décrite de manière plus détaillée en se référant à des détecteurs photoconducteurs réalisés en couche mince et notamment à des détecteurs réalisés, par exemple, en sulfure de plomb, séléniure de plomb, sulfure de cadmium, séléniure de cadmium ou avec des composés ternaires tels que le sulfure de cadmium et de plomb, etc... Comme représenté sur les figures 2 et 3, trois détecteurs photoconducteurs I en sulfure de plomb, par exemple, ont été réalisés sur un substrat 2 en verre ou en céramique, en utilisant la technologie des couches minces. Chaque détecteur est constitué, à titre illustratif par un carré de 100 pm de coté et présente une épaisseur sensiblement égale à la longueur d'absorption du rayonnement électromagnétique à détecter. Conformément à la présente invention une résistance de charge 3 contigle à chaque détecteur 1 est réalisée dans le même matériau que ce dernier. De ce fait, la résistance de charge varie en fonction de la température comme la résistance interne du détecteur photo- conducteur 1. D'autre part, la surface de la résistance de charge 3 se déduit par homothétie de la surface du détecteur 1 et est constituée, dans le présent cas par un carré dont le coté présente, une longueur double de celle du carré formant le détecteur. Des contacts métalliques 4 à 7 sont prévus de chaque coté du détecteur et de la résistance de charge qui sont montés en série par un conducteur métallique 8, le signal utile étant obtenu sur le conduc- teur métallique 9 relié au conducteur 8. De préférence, les contacts 4 et 7 sont portés à des tension + V et - V de manière à s'affranchir des dérives de la tension d'alimentation. D'autre part, comme représenté de manière plus détaillée sur la figure 3, un cache 10 en un matériau isolant et opaque au rayonnement à transmettre recouvre la résistance de charge. Le cache peut être réalisé par une couche d'oxyde de silicium recou- verte d'une couche métallique telle que de l'aluminium ou bien le cache peut être réalisé en utilisant une encre de sérigraphie. En utilisant une résistance de charge réalisée dans le même matériau que le détecteur et présentant une surface plus grande, on 255.7728 obtient donc une compensation en température du détecteur sans dégrader ses performances au niveau du bruit de génération-re- combinaison rajouté, comme expliqué dans l'introduction. Dans le cas décrit ci-dessus, le détecteur photoconducteur et sa résistance de charge associée sont réalisés en utilisant l'un quelconque des procédés de réalisation des détecteurs photos conducteurs en couche mince. REVENDICATIONS 1. Un procédé de compensation en température d'un détecteur photoconducteur lu en tension par l'intermédiaire d'une résistance de charge montée en série avec ledit détecteur caractérisé en ce qu'on réalise la résistance de charge sous forme d'un volume de même matériau que le détecteur, à proximité de celui-ci, et en ce qu'on la recouvre d'un cache isolant opaque au rayonnement électroma- gnétique à détecter. 2. Un procédé selon la revendication I caractérisé en ce que la valeur de la résistance de charge est égale à la valeur de la résistance interne du détecteur. 3. Un procédé selon l'une quelconque des revendications 1I ou 2 caractérisé en ce que la surface de la résistance de charge est obtenue par transformation homothétique croissante de la surface du détecteur photoconducteur. 4. Un procédé selon l'une quelconque des revendications I à 3 caractérisé en ce qu'on réalise simultanément le détecteur et sa résistance de charge en utilisant la technique des couches minces.