Brevet FR2542636A1 — publié le 19840921

PROCEDE ET DISPOSITIF DE DISTRIBUTION REGULIERE D'UN SOLIDE PULVERULENT SUR UN SUBSTRAT EN VUE DE SON REVETEMENT ET SUBSTRAT AINSI REVETU La présente invention se rapporte à la distribution homogène d'un produit pulvérulent à travers une fente, sur un substrat, notam- ment du verre, en vue de son revêtement par une pellicule à propriétés particulières notamment optiques ou électriques. Il est connu par le brevet FR 2 427 141 de distribuer en continu sur un substrat tel qu'un ruban de verre des produits pulvéru- lents en suspension dans un gaz, au travers d'une fente de distribution disposée au dessus du verre Ladite fente est l'extrémité basse d'une buse qui comprend une cavité s'étendant sur toute la longueur de la bu- se ayant en coupe transversale une forme de venturi, alimentée par une pluralité de conduits élémentaires de même longueur résultant de la subdivision d'un conduit unique d'alimentation en poudre en suspension dans un gaz, une large chambre d'homogénéisation approximativement pa- rallèlépipédique s'étendant sur toute la longueur de la buse dans la- quelle débouche la cavité en forme de venturi et recevant également du gaz sous pression réalisant des turbulences destinées à homogénéiser le mélange de poudre et de gaz, puis faisant suite à la chambre d'homogé- néisation et en communication avec elle par un passage étroit s'éten- dant sur toute la longueur de la buse, un divergent puis un convergent qui aboutit à la fente de distribution. Cette buse donne des résultats intéressants mais elle est malgré tout assez sensible à l'encrassement et nécessite périodiquement un nettoyage pour continuer à fonctionner correctement ce qui entraine une perte de production D'autre part elle est prévue pour une longueur de fente de distribution de 250 à 650 mm, et pour revêtir des rubans de verre de plusieurs mètres de largeur on doit disposer bout à bout plu- sieurs buses identiques Un problème d'absolue identité ou d'équilibra- ge des différentes buses ainsi associées se pose alors pour assurer une distribution régulière sur toute la largeur du verre Il serait préfé- rable de disposer d'une seule buse ayant une fente de distribution d'une longueur égale aux plusieurs mètres de largeur du ruban de verre, mais on constate que lorsqu'on augmente de façon importante la longueur de la buse, la régularité de distribution est perturbée, notamment la trace des alimentations de poudre par les conduits élémentaires se retrouve sur le verre et l'encrassement est plus rapide. La présente invention vise à remédier à ces inconvénients et elle propose pour cela un procédé et un dispositif permettant de recou- vrir plusieurs mètres de largeur de substrat en particulier toute la largeur d'un ruban de verre fabriqué sur une installation "float", dans lesquels l'encrassement est évité, et grâce auxquels la régularité de distribution dans le temps et dans l'espace est obtenue. Pour obtenir la régularité de distribution souhaitée sur plu- sieurs mètres de largeur, le procédé selon l'invention est tel qu'il consiste à former une lame de poudre en suspension dans un gaz à proxi- mité et sensiblement à l'aplomb du support à revêtir, notamment au- dessus, à uniformiser la répartition de cette poudre à l'intérieur de cette lame, à homogénéiser le mélange de gaz et de poudre en y admet- tant des courants de gaz supplémentaire, et à accélérer régulièrement la lame de produit vers le substrat. Dans une première variante, l'invention propose de réaliser l'homogénéisation et l'accélération en deux étapes successives. Dans une seconde variante, elle propose de réaliser l'homogé- néisation et l'accélération en une seule et même étape. L'invention propose également des buses pour mettre en oeuvre le procédé. Ces buses sont munies d'une ouverture qui les traverse de part en part, une portion au moins de cette ouverture qui reçoit la poudre à distribuer à son extrémité d'entrée en même temps que des cou- rants de gaz supplémentaires étant régulièrement convergente. Dans une première variante, cette zone régulièrement conver- gente est précédée d'une autre zone dite zone d'homogénéisation alimen- tée en poudre distribuée par des conduits séparés et recevant au même niveau des courants de gaz chargés de créer des turbulences pour homo- généiser la répartition de la poudre. Dans une seconde variante cette zone est unique, elle est di- rectement alimentée par des moyens fournissant la poudre, par exemple des conduits séparés, mais elle est ouverte à l'atmosphère extérieure, et les gaz supplémentaires injectés à sa partie supérieure accélèrent la poudre vers le bas tout en induisant l'entrée de gaz extérieurs qui favorisent l'homogénéisation. Grâce à l'invention, on peut employer la technique de revête- ment à l'aide de poudre pour obtenir des revêtements d'épaisseur trés régulières, les variations d'épaisseur possibles n'étant que de l'ordre de 15 à 20 Angstr 6 ms, quel que soit le débit de poudre et/ou l'épais- seur du revêtement, ce qui conduit à des variations de transmission lu- mineuse seulement de l'ordre de 1 %. Les revêtements obtenus peuvent aussi être très minces, infé- rieurs à 0,1 micron et même de l'ordre de 400 à 800 Angstr ms. Grâce à cette technique peuvent même être fabriqués indus- triellement, c'est-a-dire avec un rendement important, des vitrages re- vêtus d'une couche interférentielle du 2 ème ordre de couleur bleue, dont la longueur d'onde dominante en réflexion est 480 nanomètres (nm) et en transmission 575 nm lorsque éclairée par l'illuminant C. Les couches interférentielles d'autres couleurs peuvent à fortiori être obtenues aussi puisqu'elles autorisent des variations d'épaisseur plus importantes sans perception de l'altération de la cou- leur. L'invention sera maintenant décrite en référence aux figures qui représentent: - Fig 1 une buse suivant l'invention comportant une zone d'accélération et une zone d'homogénéisation superposées, montrée en coupe transversale. Fig 2 une vue partielle en coupe longitudinale au niveau des conduits d'alimentation en poudre, de la buse de la fig 1. Fig 3: une buse suivant l'invention en coupe transversale dans laquelle les deux zones d'accélération et d'ho- mogénéisation sont confondues. Les figures 1 et 3 montrent en coupe transversale des buses 1 et 3 de distribution de poudre conformes à l'invention Chacune s'étend au dessus de toute la largeur pouvant aller d'une cinquantaine de centimètres à plusieurs mètres d'un substrat 4, à revêtir par la poudre, le substrat et la buse étant animés d'un mouvement de transla- tion l'un par rapport à l'autre Ce substrat 4 sera notamment un ruban de verre défilant à vitesse uniforme sous la buse 1 ou 3 maintenue fixe. Chaque buse 1 ou 3 est formée d'un corps 5, traversé sur tou- te sa hauteur et toute sa longueur, par une ouverture 6 étroite dans laquelle devra circuler la poudre et qui se termine à l'extrémité de sortie ou basse dans la configuration représentée, par une fente 7 de distribution La largeur de cette ouverture n'est que de l'ordre du 1/50 ème au 1/100 ème de sa hauteur et ses variations sont relativement peu importantes et restent de toute façon continues et régulières Cet- te ouverture 6 est alimentée, d'une part en poudre à distribuer à son extrémité supérieure, d'autre part en divers courants gazeux. Des plaques latérales 2 ferment chaque buse 1 ou 3 à ses ex- trémités dans la direction de sa longueur. Le corps 5 de buse renferme, plus spécialement dans sa por- tion basse, des organes de refroidissement tels que 8, par exemple des circuits d'eau, pour éviter l'échauffement trop important du nez de bu- se du fait de la proximité du support 4 généralement porté à températu- re élevée en vue du revêtement par la poudre. Le corps 5 de buse comporte également divers renforts ou en- tretoises tels que 9 assurant son indéformabilité. La buse 1 illustrée par la figure 1 comporte deux zones su- perposées en hauteur, une zone supérieure Il dite d'homogénéisation et une zone inférieure 12 dite d'accélération, au travers desquelles l'ouverture 6 se prolonge L'ouverture 6 est alimentée à sa partie su- périeure en poudre, généralement en suspension dans un gaz primaire tel que l'air, par une pluralitéde conduits 13 d'alimentation régulière- ment répartis dans la direction de la longueur de la buse par exemple à environ 5 cm les uns des autres et qui pénètrent au travers de la paroi supérieure 14 du corps 5 de buse, l'étanchéité autour de ces conduits 13 étant obtenue à l'aide d'un couvercle à trous 15 Ces conduits 13 se prolongent de façon à traverser une boite à air -16 qui surmonte l'ouverture 6 sur toute sa longueur, et à déboucher dans l'ouverture 6. Cette boite à air 16 est alimentée en air sous pression par des rampes à trous 17 et son fond 18 étant une plaque poreuse du type "Poral", cet air est introduit dans l'ouverture 6 de manière sensiblement uniforme sur toute sa longueur. La figure 2 montre en coupe longitudinale, c'est-à-dire sui- vant un plan médian disposé suivant la longueur de la buse, l'arrivée des conduits 13 dans l'ouverture 6 après traversée de la boite à air 16. Des jets de poudre en suspension dans un gaz primaire, en gé- néral de l'air sont introduits avec vitesse, à intervalles de distance réguliers dans l'ouverture 6 par les conduits 13 Grâce à l'air qui diffuse au travers de la plaque 18 du type "Poral", des turbulences qui uniformisent la répartition de la poudre sur toute la longueur de la buse et qui homogénéisent le mélange d'air et de poudre, sont créées dans la zone 11 et la face de plaque "Poral" 18 qui forme le plafond de cette zone 11 de l'ouverture 6 est nettoyée de tout éventuel encrasse- ment. La poudre après avoir été libérée par les conduits 13 dans l'ouverture 6, subissant l'action d'air d'homogénéisation, forme une veine de poudre en suspension dans l'air, en forme de lame, c'est-à-dire une veine continue peu épaisse, ayant la longueur de la buse, qui s'étend vers le bas de la buse entre les parois 19 sensible- ment verticales de la zone 11 de l'ouverture 6 Sous l'effet de l'air d'homogénéisation et également sous l'effet de l'éloignement de plus en plus important vis-à-vis des conduits d'alimentation, l'homogénéisation du mélange d'air et de poudre et l'uniformité de sa répartition à l'intérieur de l'ouverture 6 se réalisent et s'améliorent au fur et à mesure de la progression de la poudre Avantageusement les deux parois 19 de l'ouverture 6 qui se font face dans la zone 11 d'homogénéisation et en particulier à la fin de cette zone convergent légèrement l'une vers l'autre Il en résulte une légère accélération de la poudre et un laminage de la veine en forme de lame qui améliorent encore l'homogénéité et l'uniformité de la répartition Une légère divergence des deux parois 19 fait immédiatement suite à la convergence mentionnée E 25 ci-dessus Cette succession de convergence et de divergence d'une part et l'accélération et ensuite le ralentissement de la poudre qui en ré- sultent d'autre part améliorent encore l'homogénéisation et la réparti- tion uniforme de la poudre. On peut considérer qu'à ce niveau, à l'extrémité de la zone 11 d'homogénéisation, le mélange de poudre et d'air est homogène et uniformément réparti sur toute la surface de l'ouverture 6. Ainsi, grâce à cette zone 11, on a pu passer d'une répartition de pou- dre en jets séparés délivrés par les conduits 13 à une répartition uniforme. La poudre pénètre ensuite dans la zone 12 d'accélération. Pour obtenir un recouvrement suffisant du substrat 4 en un temps court, particulièrement nécessaire dans le cas du déplacement rapide dudit substrat, pour obtenir une bonne adhérence de la poudre sur le substrat, pour éviter l'envol de la poudre entre le moment o elle est libérée par la fente 7 de distribution à l'extrémité basse de la buse et le moment o elle entre en contact avec le substrat, il est impor- tant de conférer à la poudre une vitesse verticale de chute, à sa sor- tie de la buse qui soit au moins de l'ordre de 10 à 15 m/s D'autre part, dans la mesure o la réaction de la poudre sur le substrat 4 né- cessite une température élevée, il est également important de ne pas trop refroidir le substrat et on doit donc limiter le débit du gaz por- teur de poudre. Ainsi par exemple dans le cas de projection de poudres de composés organométalliques du type DBTO (oxyde de dibutyl étain) ou DBTF (difluorure de dibutyl étain) de granulométrie inférieure à 20 Pm sur des supports en verre en vue de la décomposition de ces composés en oxydes métalliques, notamment oxyde d'étain, sous l'effet de la cha- leur, pour former une pellicule à propriétés optiques et/ou électriques particulières, les vitesses d'impact de la poudre sur le verre seront avantageusement comprises entre 15 et 35 m/s. Dans la buse 1 présentée sur la figure 1, l'accélération de la poudre en suspension dans l'air contenue dans la veine en forme de lame est obtenue dans la zone 12 d'accélération, d'une part par conver- gence de la portion 20 des parois 19 en regard de la zone 12 de l'ouverture 6, d'autre part par injection d'air supplémentaire à vites- se élevée sur les flancs de la lame de produit, sur toute la longueur de la buse. Avantageusement, pour éviter les turbulences susceptibles de créer des encrassements et de détruire l'homogénéité et l'uniformité de répartition du mélange de poudre dans l'air, la convergence est régu- lière-de façon à conférer une accélération constante Ainsi les deux de parois 20 sont des parois planes faisant un angle de l'ordre de 5 " avec le plan médian et délimitant à leur extrémité une fente de distribution d'environ 4 mm de largeur, c'est-à-dire 3 à 4 fois plus étroite que l'entrée de la zone d'accélération. Dans cette buse 1 montrée sur la fig 1, l'air supplémentaire sous pression est introduit dans des cavités 21 par des rampes 22, cha- que cavité communiquant par l'intermédiaire d'un orifice 23 ayant la forme d'une fente s'étendant sur toute la longueur de la buse et d'un évidement à chicane 24 avec une chambre latérale 25 accolée à l'ouver- ture 6 au niveau du début de la zone d'accélération 12 Chaque chambre latérale 25, communique avec l'ouverture 6 par une fente étroite 26, située au niveau de l'extrémité du divergent de la fin de la zone d'ho- mogénéisation 11, introduisant ainsi sur chaque flanc de la lame de mélange de poudre en suspension dans son gaz porteur, de l'air supplé- mentaire, parietal, à vitesse élevée, qui accélère le mélange. L'accélération conférée par cet air additionnel est encore accrue du fait de la convergence régulière de l'ouverture 6. Les pertes de charges que constituent les orifices étroits 23, l'évidement à chicane 24 sur cette alimentation en air additionnel permettent d'injecter dans l'ouverture 6, un débit d'air uniforme sur toute la longueur. La figure 3 montre en variante de réalisation une buse 3 dans laquelle la zone d'homogénéisation et la zone d'accélération sont confondues et dans laquelle l'entrée des conduits 13 d'alimentation en poudre en suspension dans un gaz primaire, en général l'air, n'est plus réalisée de manière étanche. En effet, cette buse est alimentée à sa partie supérieure par tout moyen capable d'introduire de la poudre dans l'ouverture 6 sur toute sa longueur Il peut s'agir comme précédemment de conduits 13 d'alimentation, disposés sur toute la longueur de la buse et délivrant une pluralité de jets, mais à l'inverse des cas précédents, ces conduits aboutissent seulement à l'entrée de l'ouverture 6 sans passage au travers de moyens d'étanchéité Ces conduits 13 peuvent être fixes ou en mouvement ainsi par exemple animés d'un mouvement alternatif dans la direction de la longueur de la buse, de faible amplitude, par exem- ple une amplitude de l'ordre de l'espacement moyen entre deux conduits 13. La poudre tombe dans l'ouverture 6 qui est régulièrement convergente depuis le haut de la buse jusqu'à la fente de distribution 7 La largeur de l'ouverture 6 au niveau de la fente 7 est environ 3 à 4 fois inférieure à sa largeur à l'entrée de la buse Par exemple la largeur de l'ouverture 6 en haut de la buse sera environ de 15 mm, au niveau de la fente de distribution elle sera de 4 mm, et les parois planes qui délimitent l'ouverture 6 forment un angle de l'ordre de 5 ' avec le plan médian. Les deux moitiés de corps de buse situées de chaque côté de l'ouverture 6 sont creuses et forment chacune une série de cavités d'air sous pression telles que 31, chaque série étant reliée par une rampe 32 à une source d'air, et chaque cavité étant séparée de la ca- vité voisine de la même série par une cloison formant entretoise telle que 9 avec des passages tels que 33 soit en matériau poreux du type "Poral" soit par des fentes de détente, permettant ainsi de disposer à la sortie de la dernière cavité 31 de la série, d'un débit constant sur toute la longueur de la buse. L'air comprimé de chaque série de cavités 31 est injecté dans l'ouverture 6, à l'entrée, par une fente longitudinale de soufflage 34 calibrée à lèvres 35 et 36 formées de façon à orienter le jet d'air in- jecté tangentiellement à la paroi de l'ouverture 6 et plus précisément suivant un angle par rapport à cette paroi qui reste inférieur à 7- pour que ledit jet reste attaché à la paroi. La lèvre inférieure 35 de chaque fente de soufflage 34 est constituée par le bord supérieur approximativement arrondi de la paroi latérale 37 de l'ouverture 6, tandis que la lèvre supérieure 36 est constituée par le bord inférieur arrondi de la partié extrême d'une plaque 38 formant le couvercle des cavités telles que 31 Ce bord a une forme complémentaire de la forme de la lèvre 35, et se prolonge légère- ment vers le bas de façon à orienter le jet d'air sous pression tangen- tiellement à la paroi. Le calibrage de la fente 34 s'obtient par glissement de la plaque 38 dans une direction perpendiculaire aux parois de l'ouverture 6 L'air est injecté au travers des fentes de soufflage 34 à une vites- se bien supérieure à la vitesse de la poudre à la sortie des conduits 13 ou de tout moyen d'alimentation équivalent Avantageusement, cette vitesse est sonique, pour augmenter l'accélération du mélange et favo- riser la répartition uniforme du débit de gaz injecté sur toute la lon- gueur de la buse. L'extrémité des conduits 13 affleure les fentes 34 de soufflage L'air injecté par les fentes 34 entraîne de l'air atmosphé- rique dans l'ouverture 6, entre les conduits 13 Cet air injecté et cet air entrainé suppriment tout risque de dépôt indésiré de poudre sur les parois de l'ouverture 6, et suppriment également tout risque de refou- lement de poudre par le haut de la buse Du fait que l'ouverture 6 est à l'atmosphère, la modification du mode d'alimentation en poudre n'im- plique aucune intervention sur la buse elle-même Notamment on pourra modifier l'espacement des conduits 13 D ou choisir un autre moyen d'ali- mentation, par exemple dans le cas o la buse 3 est placée au dessus du substrat 4 à revêtir, comme montré sur la fig 3, un tambour à axe ho- rizontal muni de picots tournant au-dessus de l'ouverture 6, chargé en poudre qu'il distribue sous l'effet d'un brossage longitudinal alter- natif. 2542636- Dans les deux variantes de buses 1 et 3 présentées, l'extrémité basse du corps de buse a un profil aérodynamique de forme effilée de manière à favoriser l'entraînement de l'atmosphère ambiante autour du rideau de poudre délivré par la fente de distribution 7 évi- tant ainsi la formation de turbulences néfastes à la régularité du débit Cet entraînement d'air ambiant aide à l'obtention d'un dépôt uniforme sur le support. En outre cette extrémité du corps de buse est munie de moyens de protection contre la chaleur. Dans toutes les buses décrites nous avons indiqués que l'on homogénéisait et/ou accélérait la poudre en injectant de l'air dans l'ouverture 6; bien entendu, on peut injecter tout autre gaz si on le désire, par exemple de l'azote. Dans le cas de la buse 3, on a indiqué qu'il s'agissait d'une buse atmosphérique dans laquelle l'extrémité supérieure de l'ouverture 6 était en communication directe avec l'atmosphère Bien entendu si l'on désire travailler sous atmosphère contrôlée, ou atmosphère gazeuse particulière, la partie supérieure de cette buse sera surmontée d'une chambre de controle d'atmosphère remplie du gaz désiré. Dans toute la description qui précède, les buses 1 et 3 ont été décrites comme étant disposées verticalement au-dessus du substrat à revêtir et les termes haut, bas, vertical, horizontal, employés se rapportaient à cette configuration particulière prise seulement à titre d'exemple. En fait les buses 1 ou 3 peuvent prendre diverses positions elles peuvent être au dessus ou en dessous du substrat à revêtir, par- faitement verticales ou inclinées par rapport à la verticale, couchées horizontalement ou approximativement horizontalement si par exemple le substrat est vertical; les expressions haut, bas, vertical, horizontal , sont alors à adapter en fonction de la position de la buse. Dans tous les cas de figures, les conduits d'alimentation 13 pourront provenir de la division d'un ou de plusieurs conduits élémen- taires équivalents, issus d'une réserve en poudre en suspension dans un gaz, ou constitués par un éjecteur recevant la poudre d'une vis sans fin située à la base d'une trémie remplie de poudre, la diluant et lui donnant de la vitesse grâce à une addition d'air sous pression. Les dispositifs précédemment décrits permettent de distribuer des poudres de différentes natures (composés organiques métalliques, matières plastiques, peintures, vernis, émaux, encres, pigents, etc) de façon régulière sur les substrats désirés tels que verre, métal, bois, papier, etc En vue de la fabrication de verre revêtu de couches à quali- tés optiques particulières, on peut distribuer diverses poudres à base de différents métaux (étain, indium, titane, chrome, fer, cobalt,) ainsi à titre d'exemple non limitatif, des poudres d'oxyde de dibutyl étain, de difluorure de dibutyl étain, d'acétyl acétonates métalliques, etc L'efficacité de ces dispositifs est telle qu'on peut les uti- liser pour revêtir des substrats défilant à des vitesses élevées jusqu'à 10 ou 20 m/mn L'efficacité est bien supérieure à celle que l'on peut obtenir avec les techniques de pulvérisation de solutions ou de C V D (chemical vapor deposition) Bien entendu ces performances peuvent encore être améliorées en associant plusieurs buses en vue du revêtement d'un même substrat. En utilisant de telles buses, on constate en outre, une cons- ommation de produit actif qui peut être bien inférieure à celle néces- sitée par les autres techniques; on relève ainsi des poids de poudre consommée par m 2 de substrat revêtu, inférieurs à 10 g et généralement de l'ordre de 3 grammes pour des couches de l'ordre de 1500 à 2000 Angstrâms. Ce procédé et ces dispositifs permettent d'obtenir des cou- ches d'épaisseur réduite, des couches très régulières dont les varia- tions d'épaisseur peuvent être inférieures à 50 Angstréms et même aussi faibles que 30 ou 40 Angstréms, n'introduisant ainsi que des variations de transmission lumineuse de l'ordre de 1 % lorsqu'on fabrique des cou- ches transparentes" Cette bonne régularité peut être obtenue sur des couches réalisées d'épaisseur inférieure au dizième de micron, et même de l'ordre de 400 à 800 Angstrôms Bien entendu à fortiori la réalisa- tion de couches aussi régulières mais plus épaisses est également pos- sible. Ceci autorise la fabrication de couches anti-statiques Ceci permet également le dépôt de sous-couches, par exemple de Ti O 2, favori- sant l'adhérence de revêtements ultérieurs déposés par la même techni- que et éventuellement d'autres techniques, techniques sous vide notamment, ces sous-couches devant être de faible épaisseur, de l'ordre de 400 à 500 Angstrôms, pour altérer le moins possible la transmission lumineuse, et parfaitement continues malgré la très faible épaisseur. Ceci autorise également la fabrication industrielle de cou- il ches de revêtement interférentielles, c'est-a-dire ayant une couleur choisie, sans variation de couleurs due à des variations d'épaisseurs. Grâce à cette technique, on peut même fabriquer des verres revêtus d'une couche d'un bleu uniforme d'ordre II, de longueur d'onde dominan- te, en transmission de 575 nanomètres et en réflexion de 480 nanomètres lorsqu'elle est éclairée par l'illuminant étalon C tel que défini par la C I E (commission internationale de l'éclairage) Cette couche bleue étant celle pour laquelle les écarts d'épaisseur non créateurs d'inter- férences et également les écarts chromatiques perceptibles sont les plus faibles; à fortiori, la fabrication de couches d'une autre cou- leur ou de teinte neutre pour lesquelles les contraintes sont moins sévères, est également possible. Des exemples de conditions de mise en oeuvre des dispositifs de l'invention, et des exemples de produits ainsi obtenus sont donnés ci-après. EXEMPLE 1 Substrat verre float, d'épaisseur 4 mm, vitesse de défilement 12,50 m/mn. * Poudre DBTF de granulométrie inférieure à 20 microns, débit: 5,6 kg par heure et par mètre linéaire de longueur de buse. Buse: buse employée identique à la buse montrée fig 3, largeur de la fente de distribution référencée 7: 4,5 mm, distance entre l'extrémité basse de la buse et le verre 90 mm gaz primaire dans lequel la poudre est en suspension à son arrivée par les conduits 13: azote à raison de 135 903 par heure et par mètre linéaire de longueur de buse, gaz injecté par les fentes 37: azote à raison de 335 Nm 3 par heure et par mètre linéaire de longueur de buse, Air atmosphérique aspiré: 125 Nm 3 par heure et par mètre linéaire de rongeur de buse. Couche obtenue: Monocouche de Sn O 2 dopée au fluor, d'épaisseur comprise entre 1635 et 1650 Angstrôms, soit avec des écarts d'épaisseur de 15 Angstrôms, coefficient d'émissivité de la couche à 393 %K: 0,3, transmission lumineuse: 83 % t 1 X, couleur: bleutée en réflexion, légèrement ambrée en transmission. EXEMPLE 2 Substrat: verre de 6 mm d'épaisseur, vitesse de défilement 6 m/mn. Poudre: mélange de Acétyl acétonate de Fe 25 %, Acétyl acétonate de Cr 25 %, Acétyl acétonate de Co II 50 %, débit: 1,200 kg par heure et par mètre linéaire de buse. Buse: identique à celle montrée fig 1. distance verre-buse: 90 mm, gaz primaire: air à 200 Nm 3 par heure et par mètre de lon- gueur de buse, gaz d'homogénéisation: air à 60 Nm 3 par heure et par mètre de buse, gaz d'accélération: air à 250 Nm 3 par heure et par mètre de buse. Couche obtenue: transmission lumineuse 44 % 1 % réflexion lumineuse 34 % + 1 EXEMPLE 3 Substrat: verre float de 4 mm d'épaisseur. Poudre: DBTF. Buse: identique à celle montrée fig 3. Couche obtenue: mono couche de Sn O 2 dopée au fluor, épaisseur 2400 à 2450 Angstr ms, couleur: jaune doré en réflexion, légèrement bleutée en transmission. coefficient d'émissivité: 0,25 à 393 'K, transmission lumineuse: 76 % + 1 %. 13 2542636 REVENDICATIONS 1 Procédé pour distribuer de façon régulière une poudre sur un substrat, caractérisé en ce qu'il consiste essentiellement à former à proximité et sensiblement à l'aplomb du substrat une veine de poudre en suspension dans un gaz, en forme de lame sur une longueur au moins égale à la largeur du substrat à revêtir, à maintenir ladite veine en écoulement continu en direction du substrat sur toute sa longueur, à introduire des courants gazeux dans cette veine pour y créer des turbu- lences et homogénéiser le mélange de gaz et de poudre au fur et à mesu- re qu'il progresse vers le substrat, à accélérer régulièrement le mouvement de la poudre vers le substrat en l'entrainant par des cou- rants gazeux additionnels à grande vitesse introduits sur ses flancs. 2 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que immédiatement avant le contact de la poudre avec le substrat on favori- se l'entraînement par induction de l'air ambiant, par le courant de poudre en suspension dans le gaz, libéré à grande vitesse. 3 Procédé selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'on rétrécit l'épaisseur de la lame de poudre en suspension au fur et à mesure qu'on se rapproche du support de façon à accélérer la poudre. 4 Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que dans une première étape on créé des turbulences pour homogénéiser le mélange de gaz et de poudre et en ce que dans une seconde étape séparée de la première on accélère le mouve- ment de la poudre. 5 Procédé selon l'une des revendications 1, 2 ou 3, caracté- risé en ce qu'on accélère et homogénéise le mélange de poudre et de gaz au cours d'une seule et même étape, les courants de gaz supplémentaire étant introduits à une vitesse supérieure à celle de la poudre au mo- ment o elle rencontre lesdits courants. 6 Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que les courants supplémentaires introduits à grande vitesse réalisent une aspiration de l'atmosphère environnante. 7 Procédé selon l'une des revendications 5 ou 6, caractérisé en ce que les courants supplémentaires sont des courants lamellaires uniformes sur toute la longueur de la lame. 8 Procédé selon l'une des revendications 5 à 7, caractérisé en ce que les courants supplémentaires sont introduits de part et d'autre de la lame de poudre de façon à l'envelopper. 9 Procédé selon l'une des revendications 5 à 8, caractérisé en ce que les courants supplémentaires sont pariétaux. Procédé selon l'une des revendications précédentes, carac- térisé en ce que la vitesse de la poudre dans toute la zone o elle est accélérée est toujours supérieure à 10 m/s. 11 Application du procédé selon l'une des revendications précédentes au dépôt d'une poudre ayant une granulométrie de l'ordre de 20 ym de composés organo métalliques du type DBTO ou DBTF ou acétyl acétonates métalliques en vue de sa pyrolyse sur un ruban de verre porté à haute température. 12 Buse de projection de poudre sur un support, caractérisée en ce qu'elle comporte une ouverture la traversant de part en part, terminée par une fente de distribution longitudinale, ladite ouverture ayant au moins une zone dite zone d'accélération précédant immédiate- ment la fente de distribution, constamment convergente formée par deux parois en regard l'une de l'autre, faiblement espacées délimitant un espace en forme de lame, recevant de la poudre à son entrée, recevant également à cette entrée, sur ses flancs, le long de ses parois latérales, un gaz dit d'accélération, à grande vitesse dirigé vers l'autre extrémité de la buse. 13 Buse selon la revendication 12, caractérisée en ce que la convergence de la zone d'accélération est telle que la largeur de ladi- te zone au niveau de la fente de distribution est environ 3 à 4 fois plus faible qu'au niveau o elle reçoit la poudre et o elle est ali- mentée en gaz d'accélération. 14 Buse selon la revendication 13, caractérisée en ce que la fente de distribution a au plus 5 mm de largeur. Buse selon l'une des revendications 12 à 14, caractérisée en ce que les parois limitant la zone d'accélération forment un angle de l'ordre de 5 avec le plan médian. 16 Buse selon l'une des revendications 12 à 15, caractérisée en ce que l'ouverture la traversant comporte également une zone d'homogénéisation qui précède la zone d'accélération et qui lui four- nit la poudre, la zone d'homogénéisation étant elle même alimentée en poudre par une pluralité de conduits d'alimentation répartis dans la direction longitudinale de la buse, débouchant de manière étanche au début de ladite zone, des moyens de soufflage d'un gaz d'homogénéisa- tion destiné à créer des turbulences débouchant également au même niveau. 2 542636 17 Buse selon la revendication 16, caractérisée en ce que les moyens de soufflage du gaz d'homogénéisation comprennent des cavi- tés alimentées en gaz sous pression communiquant avec la zone d'homogénéisation par l'intermédiaire de plaques poreuses. 18 Buse selon la revendication 17, caractérisée en ce que la zone d'homogénéisation est une zone étroite faisant toute la longueur de la buse, limitée par deux parois qui se font face, sensiblement parallèles, délimitant ainsi un espace en forme de lame. 19 Buse selon l'une des revendications 12 à 15, caractérisée en ce que des conduits d'alimentation en poudre répartis dans la direc- tion longitudinale débouchent directement au début de la zone d'accélération. Buse selon la revendication 19, caractérisée en ce que les conduits sont animés d'un mouvement alternatif dans la direction de sa longueur. 21 Buse selon l'une des revendications 12 à 15, caractérisée en ce qu'elle est alimentée en poudre directement au début de la zone d'accélération par un distributeur comprenant un tambour à picots tour- nant autour d'un axe horizontal, chargé en poudre, extraite par une brosse au mouvement horizontal alternatif. 22 Buse selon l'une des revendications 19 à 21, caractérisée en ce que le gaz d'accélération est introduit à travers des fentes ca- librées conformées de telle façon que l'angle d'introduction du gaz fasse un angle avec la paroi de la zone d'accélération, qui ne dépasse pas 7 '. 23 Buse selon l'une 'des revendications 12 à 15, 19 à 22, caractérisée en ce que le gaz d'accélération est fourni par une plura- lité de cavités en série, la première étant alimentée en gaz sous pres- sion et communiquant avec les suivantes par des plaques poreuses ou des fentes de détente, la dernière des cavités de la série fournissant le gaz à la zone d'accélération à travers une fente étroite calibrée. 24 Buse selon la revendication 23, caractérisée en ce que le gaz est fourni à vitesse sonique. Buse selon l'une des revendications 19 à 24, caractérisée en ce que l'entrée de la zone d'accélération est à l'air libre. 26 Buse selon l'une des revendications 19 à 24, caractérisée en ce que l'entrée de la zone d'accélération est surmontée par une chambre de contrôle d'atmosphère alimentée en atmosphère contrôlée. 27 Buse selon l'une des revendications 12 à 26, caractérisée en ce que te nez de buse est effilé. 28 Buse selon l'une des revendications 12 à 27, caractérisée en ce que le nez de buse possède une protection thermique et des moyens de refroidissement. 29 Produit formé d'un substrat recouvert d'un revêtement ob- tenu par dépôt d'une poudre selon le procédé de l'une des revendica- tions 1 à 10, caractérisé en ce que le revêtement possède des variations d'épaisseur capables d'être inférieures à 50 Angstr 5 ms et même de l'ordre de 30 à 40 Angstrôms. Produit selon la revendication 29, caractérisé en ce que le substrat étant une feuille de verre, la régularité du revêtement est telle que les variations de transmission lumineuse sont de l'ordre du un pour cent. 31 Produit selon l'une des revendications 29 ou 30, caracté- risé en ce que le revêtement est une couche de Sn O 2 dopée au fluor, dont la longueur d'onde dominante sous éclairement par la source C est en réflexion 480 nm et en transmission 575 nm, de couleur uniforme. 32 Produit selon l'une des revendications 29 ou 30, caracté- risé en ce qu'il possède un revêtement d'épaisseur inférieure à 0,1 mi- cron, et même de l'ordre de 400 à 800 Angstrôms. 33 Produit selon la revendication 32, caractérisé en ce que le revêtement est une couche continue de Ti O 2 d'épaisseur de l'ordre de 500 Angstroms. 34 Produit selon l'une des revendications 29 ou 30, caracté- risé en ce que le substrat étant une feuille de verre, la couche dépo- sée étant de l'oxyde d'étain dopé au fluor, l'émissivité est au maximum de l'ordre de 0,3 et la transmission lumineuse est supérieure à 15 7, notamment de l'ordre de 83 % pour une épaisseur de verre de 4 mm. Produit selon l'une des revendications 29 ou 30, caracté- risé en ce que le substrat étant une feuille de verre, la couche dépo- sée étant de l'oxyde d'étain dopé au-fluor, l'émissivité est de l'ordre de 0,25 et la transmission lumineuse supérieure à 75 %, notamment de l'ordre de 76 b pour une épaisseur de verre de 4 mm.