Brevet FR2546328A1 — publié le 19841123

La présente invention concerne un dispositif de transport de cassettes de plaquettes semi-conductrices et plus particulièrement, un dispositif de transfert automatique de cassettes portant des plaquettes semi- conductrices dans lequel les cassettes se déplacent sur des chariots dans des unités modulaires avec un courant d'air positif passant par des filtres de haute qualité. Dans l'industrie des semi-conducteurs, il s'est toujours avéré nécessaire de fabriquer des transis- tors et des circuits intégrés sur des pastilles semi-conduc- trices dans un environnement propre Ainsi, par exemple, de l'eau filtrée et déminéralisée était généralement prévue pour les installations de fabrication de semi- conducteurs afin d'assurer particulièrement qu'aucun contaminant électronique ne viendrait en contact avec les plaquettes semiconductrices lorsqu'elles étaient traitées par de l'eau D'une façon similaire, des salles exemptes de particules et autres contaminants ont été réalisées et utilisées depuis les premières années Les salles appelées "salles propres" utilisent un courant d'air positif sur les zones de travail, un filtrage de l'air entrant par des filtres à particules de haute efficacité et sont utilisées dans les conditions les plus strictes Par exemple, des bonnets, des robes, des couvre- chaussures et des masques de protection doivent être portés sur les habits de ville, aucun objet étranger n'est autorisé et l'entrée doit souvent se faire par des chambres de décontamination Etant donné que les spécifi- cations des salles propres deviennent de plus en plus sévères, il peut être nécessaire de porter des combinai- sons d'astronautes Voir par exemple M S Dahlstrom, "Clean Room Garments:Where From Here ?", Semiconductor International, Avril 1983, page 111 Dans ces salles propres, les plaquettes étaient manipulées individuellement en en saisissant les bords avec des brucelles et elles étaient généralement transportées entre les postes de traitement dans des cassettes contenant environ 13 à environ 25 plaquettes. Le premier besoin de propreté perçu était d'éviter de modifier les propriétés électroniques des composants en fabrication La présence de contaminants actifs électriquement peut modifier directement des propriétés comme la concentration des porteurs, la résis- tance superficielle, la résistance de contact, etc D'une façon similaire, la présence de particules peut perturber l'exécution correcte de certaines phases de traitement comme la diffusion et l'oxydation Voir par exemple à cet égard J Amick, "Cleanliness and the Cleaning of Silicon Wafers", Solid State Technology, novembre 1976, page 47. Avec la tendance permanente pour réduire les largeurs des lignes conductrices et les dimensions d'autres caractéristiques géométriques des composants semi-conduc- teurs, les spécifications de traitement sont devenues de plus en plus rigoureuses De nouvelles technologies comme la photogravure par faisceau électronique, l'implantation d'ions et l'attaque au plasma sec ont éliminé des techno- logies plus anciennes comme la diffusion au four et le traitement chimique humide Avec cette tendance, la présence de particules dont le diamètre moyen s'approche du diamètre des caractéristiques du circuit sont devenues inadmissibles -Ces particules peuvent très bien produire une rupture d'une ligne conductrice, anihiler certaines autres caractéristiques d'un circuit ou modifier les propriétés électriques d'un transistor Pour éviter la présence de ces particules, l'utilisation de salles propres de haute qualité est obligatoire Voir par exemple J A Lange "Sources of Semiconductor Wafer Conta- mination", semiconductor International, avril 1983, page 124 Ainsi, pour la production des circuits de très haute densité d'intégration, il est devenu de plus en plus nécessaire d'assurer que l'ensemble du traitement se fasse dans un environnement de salles propres de qualité La pratique courantedans l'industrie des semi-conducteurs était d'utiliser des installations de salles propres répondant à des critères administratifs. Une salle propre courante est définie par la présence de moins de 3600 particules de diamètre moyen supérieur ou égal à 0,5 gm par m 3, avec un débit d'air d'environ 30 m à la minute Ces salles sont coûteuses, leur prix pouvant atteindre plusieurs milliers de francs par ml au sol. Des particules sont produites par abrasion des plaquettes de silicium contre des surfaces dures, comme des sous-produits corporels d'agents humains, et par des habits, des cosmétiques et des milieux bacté- riologiques Une ambiance normale contient tout un lot de particules venant de diverses sources, qui peuvent être appelées simplement des poussières En théorie, si les sources des particules étaient éliminées, il serait pos- sible d'utiliser des techniques de nettoyage moins puissantes Dans tous les cas, la réduction des sources de particules est souhaitable Mais même si l'on essaye d'éliminer les sources de particules, il en reste toujours une quantité de base qu'il faut tenir compte. Dans la plupart des installations de fabrication de composants semiconducteurs, des plaquettes semi-conductrices sont placées dans des cas- settes qui contiennent un certain nombre de plaquettes individuelles Ces cassettes sont transportées à la main ou sur des chariots roulants d'un poste de traitement à un autre, Voir par exemple POP Castrucci, "Pneumatic Distribution and Control System", IBM Technical Disclosure Bulletin, volume 15, N 06, novembre 1972, page 1763. Chaque phase nécessite une intervention d'un opérateur humain, au moins pour la manipulation des cassettes et à certains moments, pour l'enlèvement et l'introduction de plaquettes dans les cassettes L'utilisation de ces cassettes est une variante au transport individuel des plaquettes d'un poste à un autre, par exemple par une piste pneumatique, une piste à vibrations ou des bandes mobiles Pour cette manipulation et ces transports à grande échelle des cassettes, il n'y a pas d'autre solution que l'environnement traditionnel d'une salle propre. Dans un certain sens, cette solution est elle-même défavorable car la manipulation manuelle des plaquettes semi-conductrices dans une salle propre produit des particules et agite les particules qui doivent ensuite nécessairement être éliminées de la présence des plaquettes par les techniques conteuses des salles propres décrites ci-dessus. Une solution au transport des plaquettes semi-conductrices dans un environnement plus propre que l'environnement ambiant, sans avoir recours à une salle propre est apportée par le dispositif de transport de plaquettes diffusé par Nacom Industries, Inc 2852 A Walnut, Avenue, Tustin, CA 92680, Etats-Unis d'Amérique. Un tunnel fermé, purgé suivant sa longueur avec de l'azote, est prévu pour le transport roulant d'un chariot à cassettes Le chariot roule sur le fond du tunnel, tiré par la force magnétique produite par un aimant permanent situé dans un second tunnel inférieur positionné contre le fond du tunnel supérieur La force magnétique attire le chariot à cassettes magnétique Des sections rectilignes ou courbes peuvent être prévues pour transporter une cassette d'un poste de travail à un autre Avec ce dispositif, l'accès aux cassettes n'est possible qu'à l'extrémité de chaque section du tunnel, et non de façon intermittente le long de la piste. En outre, des dispositions doivent être prises pour ramener l'aimant permanent situé dans le second tunnel inférieur, dans la zone d'entrée de chaque section de piste Bien que le tunnel qui contient la cassette soit purgé avec de l'azote sec, aucune disposition n'est prise pour éliminer la contamination par des particules qui peuvent se déposer pour les plaquettes semi-conduc- trices En fait, le mouvement du chariot et du gaz de purge est tel qu'il tend à produire des particules et même à agiter les particules présentes pour les distribuer sur les plaquettes. Un but de l'invention est donc de proposer un dispositif de transport de cassettes de plaquettes semi-conductrices, dans lequel est produit un courant permanent de gaz de la qualité des salles propres, sur les plaquettes. Un autre but de l'invention est de proposer un dispositif de transport de cassettes de plaquettes semi-conductrices dans laquelle l'accès peut être donné aux plaquettes sur toute la longueur de l'ensemble. Un autre but de l'invention est de proposer un dispositif de transport automatique-de cassettes dans lequel des plaquettes sont maintenues en orientation parallèle au courant d'air filtré en particules avec une haute efficace pour réduire les possibilités de dé- pot etd'adhérence des particules sur les plaquettes. Un autre but encore de l'invention est de proposer un dispositif de transport de cassettes de plaquettes semi-conductrices dans lequel chaque cassette est supportée sur un chariot spécifique avec des circuits électroniques incorporés, permettant de maintenir un enregistrement de la progression des opérations afin d'aider la commande intelligente à distance du chariot par un calculateur central. L'invention concerne donc un dispositif de transport automatique de cassettes destiné à déplacer des cassettes de plaquettes semiconductrices Le dispositif comporte une série de tunnels, de postes de transfert et de liaison avec un équipement de fabrication de composants semi-conducteurs Les cassettes de plaquettes sont supportées sur des chariots qui sont entraînés sur un dispositif de guidage dans la direction longitudinale des tunnels Dans les tunnels et les postes de transfert, un courant permanent d'air de qualité de salle propre est maintenu afin d'empêcher les contaminants et les particules de se déposer sur les surfaces des plaquettes. De préférence, une composante de courant laminaire est maintenue sur les surfaces des plaquettes Une filtration de l'air de qualité de salle propre est prévue près des chariots pour obtenir ce courant laminaire, de préférence d'une manière uniformément distribuée sur la plaquette. Les postes de transfert comme des élévateurs ou des plaques tournantes sont associés avec des sections de tunnels linéaires et courbes pour permettre un transport non manuel d'un poste à l'autre des cassettes de plaquettes semi-conductrices Pratiquement dans tous les points de l'ensemble, l'accès aux plaquettes peut être obtenu à travers la base des cassettes, grâce à une ouverture longitudinale qui permet aux courants d'air de s'échapper dans l'environnement extérieur. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront au cours de la description qui va suivre. Aux dessins annexés, donnés uniquement à titre d'exemple nullement limitatif: La figure 1 représente schématiquement un dispositif de transport automatique de cassettes, dans une installation de fabrication de composants semi conducteurs, La figure 2 est un schéma simplifié des circuits électriques de commande de l'ensemble selon l'invention, La figure 3 est une vue en perspective d'un dispositif automatique de transport de cassettes, La figure 4 est une coupe d'un chariot à cassettes en place sur une plaque tournante dans le dispositif de transport automatique de cassettes, La figure 5 est une coupe d'un chariot à cassettes en position dans une longueur de tunnel, et montrant la direction du courant d'air, Les figures 6 a à 6 d sont des vues schématiques en plan illustrant les opérations logiques du mouvement d'un chariot le long d'une piste linéaire et en passant par une plaque tournante, Les figures 7 a et 7 b sont des vues schématiques en plan et de côté illustrant les opérations logiques de passage et de levage par un élévateur, La figure 8 est une vue de face d'un élévateur, La figure 9 est une vue de côté de l'élévateur de la figure 8, et La figure 10 est un schéma d'un circuit de prévention de collision et d'arrêt de chariot. Comme cela a été expliqué en détail ci-dessus, il est à la fois souhaitable d'éliminer les sources de contaminants en particules et de maintenir ces contami- nants à distance des surfaces utiles des plaquettes semi-conductrices La règle de l'élimination des personnes dégageant des particules peut s'appliquer Egalement, la probabilité que des particules de silicium soient produites par l'abrasion des plaquettes est d'autant moindre que moins de plaquettes individuelles sont mani- pulées Le dispositif de transport automatique des cassettes selon l'invention applique ces principes par un transport non manuel L'ensemble du transport et de la manipulation des cassettes se font dans un environnement de salles propres même si l'appareil lui même est installé dans l'environnement normal d'une usine Ce résultat est obtenu en utilisant une source d'air propre ou en utilisant des filtres de haute qualité sur la longueur des tunnels dans le trajet des cassettes Les filtres préférés sont des filtres à air à particules de haute efficacité Les filtres répondant à cette spécification sont des filtres de haute qualité avec une dimension maximale spécifiée des pores de 0,5 Nom ou moins A tout moment et à tous endroits, les cassettes sont dans-un gaz filtré à haute efficacité, généralement de l'air, de sorte que même si le volume du tunnel est ouvert à l'atmosphère ambiante de l'usine, le courant de gaz se fait dans le sens depuis le filtre vers l'environnement extérieur Des salles propres telles que définies ci-dessus sont facilement maintenues En utilisant des filtres de plus haute qualité encore, qui sont maintenant disponibles, des salles propres de spécifications plus sévères peuvent être obtenues, convenant pour des opérations de haute densité d'intégration avec des règles de conception au-dessous du micron Dans un mode de réalisation, des compteurs de particules sont situés à des intervalles dans l'ensemble Un avantage important de cette solution de tunnels modulaires pour le transport des cassettes est la réduction du travail en cours et par conséquent, une nette réduction d'inventaire Les travaux en cours peuvent aussi être modifiés de façon arbitraire De plus, une augmentation notable du rendement résulte du transport non manuel des plaquettes et des cassettes. La figure 3 représente un dispositif simple réalisé selon l'invention Aucun équipement de traitement n'est représenté mais il est évident que des équipements de ce genre peuvent être situés pratiquement en tous points du dispositif Par exemple, une section de tunnel linéaire pourrait se terminer sur un élément d'équi- pement de production et une seconde section de tunnel linéaire pourrait partir de cet équipement, assurant ainsi l'arrivée et le départ automatique des cassettes par rapport à l'équipement Par ailleurs, des pistes d'emmagasinage pourraient être prévues Comme-le montre la figure 3, une hotte propre 142 du type courant à filtrage de haute efficacité est prévue pour l'introduc- tion des cassettes de plaquettes et l'enlèvement des plaquettes Dans une installation de fabrication, les chariots portant des cassettes, se déplaçant sur des rails 146, pourraient être transportés par une série de chambres de traitement, comme cela sera expliqué par la suite en regard de la figure 1, mais le dispositif simple de la figure 3 sert à montrer les constituants d'un ensemble de tunnels modulaires et les phases de transfert logique qui peuvent être exécutées Comme cela sera expliqué par la suite, les rails 146 sont électri- fiées de sorte que les chariots portant les plaquettes sont autopropulsés le long des rails en fonction d'instructions programmées dans des circuits électroniques incorporés ou en réponse à des signaux de commande fournis à chaque chariot lorsqu'il passe par intermittence par des points de communication Par exemple, un chariot portant une cassette placé sur les rails 146 peut se déplacer logiquement par la section de tunnel linéaire jusqu'à ce qu'il approche d'une plaque tournante 139. A l'approche de la plaque tournante 139, une liaison de communication, représentée par exemple par des diodes électroluminescentes 106, 108 110 sur la figure 2, est établie avec le chariot et lui commande de s'arrêter si la plaque tournante 139 n'est pas disponible pour le recevoir, ou en variante le commande pour qu'il avance si la plaque tournante 139 est orientée pour le recevoir. Ensuite, le chariot portant une cassette arrive sur la plaque tournante 139 et s'arrête dans une position centrale appropriée Ensuite, la plaque tournante 139 exécute une rotation de 90 de sorte que l'extrémité avant du chariot est dirigée vers la section linéaire 130. La plaque tournante 139 est alors en position de sorte que ses rails sont alignés avec les rails de la section linéaire 130. Quand le chariot se déplace sur les rails de la section linéaire 130, il passe par un autre point de communication qui fournit à un calculateur central, comme le calculateur 70 de la figure 2, des informations indiquant que la plaque tournante est revenue dans sa position de réception alignée avec la section linéaire Le chariot se déplace ensuite dans la section 130 jusqu'a ce qu'il s'approche de la plaque tournante 138. La séquence de plaque tournante est ensuite exécutée de la manière décrite ci-dessus Quand la rotation est effectuée, un point de décision- est atteint pour déterminer si le chariot est conduit à l'élévateur 141 vers la section linéaire supérieure 132 ou s'il passe par la piste linéaire inférieure 133 Cette décision est prise en fonction des informations émises par le calcu- lateur central vers l'élévateur 141 En variante, cette information peut être transmise au chariot par une liaison de communication placée de façon appropriée Si la séquence de traitement spécifiée pour les plaquettes de la cassette nécessite le transport par la piste supérieure 132, le chariot passe de la plaque tournante 138 sur la plate-forme d'élévateur 141 Quand le chariot est arrêté au centre de la plate-forme, comme cela sera décrit en détail par la suite, il est soulevé jusqu'à un niveau dans lequel les rails de la plate-forme sont alignés avec ceux de la piste supérieure 132. Ensuite, le chariot progresse de lui même sur les rails de la section linéaire 132 de sorte qu'il passe à la plate-forme d'attente de l'élévateur 140 Etant donné que tous les éléments utiles de l'ensemble sont reliés au calculateur central, la plate-forme de l'élévateur 140 peut être commandée pour être prête et pour attendre la réception du chariot Quand le chariot est arrivé et se trouve en position, l'élévateur 140 est abaissé et le chariot est amené sur la plaque tournante 137, toujours sous la condition que cette plaque tournante soit orientée correctement pour recevoir ce chariot En variante à la prise du chemin supérieur, de la section linéaire 132, le chariot peut se déplacer le long de la section intérieure 133 et arriver à la plaque tournante 137 Dans une installation de fabrication de composants semi-conducteurs comme celle représentée par exemple sur la figure 1 et qui sera décrite par la suite, un traitement est effectué dans de nombreuses positions de l'ensemble. Enfin, le chariot portant une cassette passe par la plaque tournante 136 sur la section de tunnel linéaire 134 et revient à la hotte propre 142 Pendant son transport dans le dispositif de transport automatique de cassettes, et comme cela sera décrit en détail par la suite, le chariot et la cassettes baignaient continuelleemnt dans de l'air de qualité de chambre propre, comme défini ci- dessus L'air est fourni par une ou plusieurs souffleries 133, par des conduites 144, dans une série de chambres qui sont situées sur le côté supérieur de chacun des tunnels, comme le montrent particulièrement les figures 4 et 5. La figure 1 représente un dispositif selon l'invention destiné à une installation de fabrication de composants semi-conducteurs Le local dans lequel les unités modulaires sont situées n'est pas nécessairement une salle propre Par contre, chacun des tunnels modulaires, des postes de transfert (plaques tournantes, élévateurs) et les pobtes de travail doivent assurer un environnement propre pour les cassettes de plaquettes semi-conductrices Sur la figure 1, la lettre T désigne une plaque tournante, la lettre E désigne un élévateur, la lettre C désigne un poste de communication et la lettre W signifie un poste de travail ou une hotte propre L'organisation du dispositif de la figure 1 est telle que les cassettes sont transportées dans un sens, avec la possibilité de passer par des postes de travail successifs Avec une commande élaborée par calculateur et des circuits électroniques sur les chariots, ces derniers peuvent se déplacer dans un sens ou dans l'autre Le poste de communication C est prévu devant chaque poste de transfert, par exemple une plaque tournante ou un élé- vateur, délivrant un chariot à une boucle de traitement particulière A ce point, le calculateur central 70 représenté sur la figure 2 peut identifier le chariot et il consulte sa propre base de données pour déterminer si les plaquettes-qui se trouvent dans la cassette de ce chariot particulier doivent être traitées dans la boucle qui se présente Si la réponse est affirmative, le transfert est effectué par le poste de transfert vers la boucle de traitement Par exemple, une cassette donnée peut contenir des plaquettes avec des spécifications de traitement nécessitant un traitement à des postes de travail des boucles 3, 5 et 7 Ainsi, quand le chariot sort de la plaque tournante 30, il passe par le point de communication 70 de sorte que le calculateur central est informé de l'identité de ce chariot, la spécification de traitement des plaquettes dans la cassette du chariot est sollicitée et l'ordre est donné à la plaque tournante 28 de recevoir le chariot, de l'arrêter et de tourner vers la boucle 7 Ensuite, le chariot passe à la plaque tour- nante 50, la plaque tournante 48 et par l'élévateur 41 pour être traité au poste de travail 19 Le chariot passe ensuite par l'élévateur 39 à la plaque tournante 26. Quand le chariot est libéré de la plaque tournante 26, il passe par un point de communication 72 L'identité du chariot est reçuepar le calculateur central, la spé- cification est sollicitée et une instruction est donnée à la plaque tournante 24 pour faire passer le chariot directement car la phase de traitement de la boucle 6 n'est pas imposée Puis, successivement, le chariot est dérivé vers la boucle 5 par la plaque tournante 20, il passe par la boucle 4 par les plaques tournantes 16 et 14 et il est dérivé vers la boucle 3 par la plaque tournante 12 En variante, s'il y a des raisons de mise en attente ou de séquence pour que des cassettes soient traitées strictement en série, les chariots peuvent être dirigés pour passer par chaque boucle. Si une opération donnée n'est pas nécessaire, le chariot portant la cassette peut être dérivé autour d'un poste de travail particulier, par exemple au moyen des élévateurs 41 et 39 dans la boucle 7, des élévateurs 37 et 35 dans la boucle, etc La mise en place du dispositif de transport automatique de cassettes nécessite que toutes les cassettes passent par le poste de travail 9 Ce dernier peut être un point d'introduction et d'enlèvement du dispositif ou d'une opération de traitement préliminaire subie par toutes les plaquettes semi-conductrices Les plaques tournantes T et les élévateurs E fonctionnent en fonction de principes qui seront décrits par la suite en regard des figures 4 et 8 à 9. La commande assurée par le calculateur central 70 pour le traitement des plaquettes dans le dis- positif de la figure 1 est assez précise pour-que les spécifications de traitement des plaquettes individuelles puissent être sollicitées Par exemple, si une cassette est présentée à un poste de travail particulier, par exemple le poste de travail 13 de la boucle 4, le calcu- lateur central peut identifier la cassette et il peut avoir dans sa mémoire ou avoir lu sur les circuits élec- troniques incorporés, au point de communication 76, l'identi- té des plaquettes individuelles de la cassette Ainsi, au poste de travail 13, certaines des plaquettes peuvent être désignées pour recevoir le traitement Egalement, chaque plaquette peut recevoir un traitement particularisé, par exemple le niveau de dosage d'un dispositif d'implan- tation ionique qui peut être réglé sur une base spécifique A une plaquette Cette caractéristique est particulièrement facilitée par l'accès facile aux plaquettes individuelles à travers la base du chariot porte-cassettes comme cela est décrit dans la demande de brevet français déposé ce même jour au nom de la demanderesse sous le titre "Chariot A cassette avec accès à travers la base". Le calculateur central 70 représenté sur la figure 2 est l'élément essentiel du présent mode de réa- lisation d'un dispositif de transport automatique de cassettes selon l'invention Dans les dispositions les plus simples, et dans des installations de fabrication directes n'appliquant pas un grand nombre de postes de travail ou le besoin de distinguer individuellement entre des plaquettes sur des cassettes ou de faire des distinc- tions importantes entre des cassettes, il peut ne pas être nécessaire de disposer d'un calculateur central. Ainsi, un dispositif simple peut consister en une section de tunnel linéaire reliant deux postes de travail ou une section de tunnel linéaire avec une série de postes de travail dans une position déterminée le long du tunnel. Mais pour de très fortes densités d'intégration dans des installations de fabrication hautement automatisées, il est souhaitable que des plaquettes puissent être traitées individuellement et que de larges distinctions soient faites entre des plaquettes et des cassettes Dans le présent mode de réalisation, un calculateur central communique donc avec chacun des éléments actifs des dispositifs, y compris les chariots Comme représenté, le calculateur central 70 peut recevoir des informations d'état de chacun des élévateurs 87, 89 91 et il peut émettre des signaux de commande en retour vers chaque élévateur D'une façon similaire, le calculateur central 70 peut recevoir des informations d'état de chacune des plaques tournantes 81, 83 85 et il peut émettre des signaux de commande vers chacune de ces plaques tournantes. Ce qui importe davantage, le calculateur central 70 peut réagir de façon active avec chacun des postes de travail 86,88 90 pour spécifier des paramètres de traitement et pour commander l'appareil de manipulation de plaquettes afin de sélectionner des plaquettes spécifiques dans des cassettes identifiées pour des traitements particularisés. L'essentiel de ce traitement particularisé réside dans un dispositif d'identification sur chacun des chariots , 82 84 Chaque chariot porte des circuits électro- niques comprenant une mémoire comme une mémoire permanente ou une mémoire à accès direct qui renferme par exemple le traitement passé de chaque plaquette et éventuellement les conditions de traitement pour chaque plaquette. De la manière représentée, des diodes électroluminescentes 106, 108 et 110fournissent des informations de commande provenant du calculateur central 70 à des éléments capteurs associés 100, 102 104 Des informations sont transmises au calculateur central 70 par des diodes électrolumines- centes 101, 103 105 qui sont associées respectivement avec des capteurs 107, 109 111 e En variante, le dispositif de communication peut être magnétique, comme cela est décrit par exemple dans l'article de P P. Castrucci, "Pneumatic Distribution and Control System", IBM Technical Disclosure Bulletin, volume 15, N 06, novembre 1972 page 1763, ou le dispositif de communication peut fournir des informations d'identification unilatérales au calculateur central comme cela serait produit par un lecteur optique à bâtonnets, lisant un code à bâtonnets sur chaque chariot à cassettes Dans le cas optimal, les circuits électroniques du chariot comprennent une mémoire incorporée pouvant contenir des informations détaillées, et permettant une communication bilatérale. La figure 5 représente la structure détaillée d'une section linéaire d'un mode de réalisation d'un tunnel utilisé dans le dispositif de transport automa- tique de cassettes selon l'invention La structure à trois faces de ce mode de réalisation comporte des paroislatérales 17 l, 172 et une paroi supérieure 170. Dans le fonctionnement de ce mode de réalisation, le tunnel est orienté comme le montre la figure, de manière que la paroi supérieure 170 soit parallèle au sol Ainsi, le courant d'air indiqué par les flèches coïncide avec les effets de la gravité et il est parallèle au plan des plaquettes 175 qui sont maintenues dans la cassette 174 Au-dessous et au voisinage de la paroi supérieure 170, une chambre 169 communique avec une source extérieure de gaz, généralement de l'air La surpression de la fourniture d'air extérieur fait passer l'air par un filtre à particules 173 de haute efficacité Des filtres de ce genre sont diffusés dans le commerce, par exemple par HEPA Air Filtration Corporation, Anaheim, Californie, 92806, Etats-Unis d'Amérique Ils sont conçus pour ne pas permettre le passage de particules plus grosses qu'une certaine dimension, par exemple ne dépassant 0,5 gm Dans un mode de réalisation, le filtre 173 comporte un grand nombre de conduits dont les axes sont alignés avec la direction du courant d'air dans le tunnel Ces conduits servent à distribuer uniformément l'air dans le tunnel et contribuent au courant laminaire voulu sur les plaquettes. Les flèches montrent le courant d'air dans la partie inférieure du tunnel o se trouve le chariot 176 Le courant d'air se propage vers le bas, autour du chariot porte-cassettes 176 et sort par l'ouverture dans la partie inférieure 168 du tunnel Ce courant d'air est essentiellement laminaire plutôt que turbulent, de sorte que les particules ne peuvent se déposer ou adhérer sur les surfaces des plaquettes Les plaquettes 175 maintenues dans une cassette standard 174 baignent donc continuel- lement dans un air de qualité de salle propre Le chariot 176 se déplace le long des rails 177, 178 quand la cassette est transportée dans le tunnel Comme le montrent les figures 4 et 5, le tunnel est ouvert sur sa face inférieure pour permettre la sortie du courant d'air Dans un autre mode de réalisation, la face inférieure peut être partiellement fermée, par exemple par des déflecteurs ou autres Dans le cas présent, le courant laminaire est maintenu sur la cassette et les plaquettes, maintenant les contaminants à distance de la surface, même si un courant turbulent peut être introduit près des déflecteurs ou autres Une caractéristique de l'invention qui réduit efficacement la contamination réside dans le'fait qu'il existe toujours une composante d'un courant permanent parallèle à la surface des plaquettes Le dépôt et l'adhérence des particules sur la plaquette semi-conductrice sont évités continuellement par cette composante parallèle de circulation. Le chariot porte-cassettes 176 peut être du type décrit dans la demande de brevet précitéP- En résumé, le corps 167 du chariot comporte une ouverture dans sa base pour permettre un accès permanent aux plaquettes 175 qui sont maintenues dans la cassette 174. Cet accès peut être obtenu par une lame étroite avec une fente en V, comme la lame 166 représentée en poin- tillés Un coussinet linéaire 180 semi-cylindrique permet au chariot 176 de se déplacer régulièrement sur un rail 178 Un coussinet de ce genre est diffusé par Thomsen Industries, Manhasset, New York, 11030, Etats- Unis d'Amérique L'arbre d'un moteur électrique 181 est en contact avec le rail 177 pour propulser le chariot le long des rails 177, 178 Dans un mode de réalisation, les rails sont cylindriques et sont particulièrement adaptés aux coussinets linéaires semi-cylindriques Cette relation d'adaptation permet un glissement particulièrement doux Dans un mode de réalisation de l'invention, un mouvement du chariot exceptionnellement stable est obtenu par triangulation des coussinets linéaires, c'est-àdire en utilisant deux coussinets d'un côté et un de l'autre, les trois positions formant les angles d'un triangle de préférence d'un triangle équilatéral Pour stabiliser encore le chariot, le coussinet unique sur un côté peut avoir un degré latéral de liberté pour s'adapter aux variations de distance entre les rails Une traction continue est assurée par des galets de caoutchouc 182, 184 qui sont serrés contre le rail 177 par un ressort 183 Le moteur électrique 181 est alimenté en prélevant un courant électrique dans les rails, au moyen d'un dispositif de contact, non représenté. Un dispositif de transport automatique de cassettes selon l'invention comporte un certain nombre de points de commutation logique qui sont constitués par des plaques tournantes et des élévateurs Des sections de tunnel linéaire relient ou assurent l'interface entre une section linéaire et un élément d'un équipement de fabrication de composants Comme le montre la figure 6 b, un chariot 200 approche d'une plaque tournante 201 La plaque tournante n'est pas orientée pour recevoir le chariot Un dispositif optique fixe 209 communique avec un capteur 207 monté sur le chariot le moteur jusqu'à ce que la plaque tournante soit en place. Quand cette dernière est correctement orientée par exemple par une commande provenant d'un calculateur central, en alignement avec les extrémités des rails 210, 211, le dispositif optique 209 commande le capteur 207 du chariot pour que ce dernier puisse progresser Le chariot 200 se déplace alors sur les rails 202, 203 de la plaque tournante 201 Comme le montre la figure 6 c, le chariot approche alors d'un dispositif optique 204 qui commande les circuits électroniques du chariot par l'intermédiaire du capteur 207 afin d'arrêter le chariot au milieu de la plaque tournante Ensuite, la plaque tournante se déplace vers la direction de déplacement du chariot Le dispositif optique 204 commande le capteur 207 pour que le chariot avance à nouveau; Ensuite, le chariot 200 progresse sur les rails 211, 212 de la section suivante du tunnel linéaire Quand le chariot 200 passe devant le capteur 206, la source optique 208 délivre un signal qui arrête la plaque tournante afin que cette dernière puisse exécuter l'opération logique suivante quand elle sera nécessaire. La figure 6 a illustre une autre caractéristique du chariot utilisé dans le dispositif de transport auto- matique de cassettes selon l'invention Un chariot 190 portant une cassette risque d'entrer en collision avec un chariot immobile 191 Mais une source optique 193 dirige un signal lumineux vers l'avant et ce signal est réfléchi par une surface réfléchissante 192 à l'arrière du chariot immobile 191 Cette lumière réfléchie est détectée par un capteur 194 Un signal d'alarme est ainsi produit dans les circuits électroniques incorporés du chariot 190 de sorte qu'il s'arrête à une distance qui est déterminée par la sensibilité des circuits électroniques du chariot 190. Les circuits électroniques incorporés repré- sentés par les cases 80, 82 84 sur la figure 2 et dortla fonction a été décrite partiellement dans le para- graphe précédent sont représentés plus complètement sur le schéma de la figure 10 Deux fonctions principales sont remplies Tout d'abord, la lumière émise par la source optique 193, comme une diode électroluminescente, doit être détectée par un détecteur 194 pour arrêter un chariot lorsqu'elle est réfléchie par une surface réfléchissante 192 du chariot qui se trouve immédiatement devant (comme le montre la figure 6 a) Ensuite, un photo-transistor 208 constitue un moyen de réception d'informations de la source lumineuse 209 pour arrêter le mouvement du chariot s'il y a un risque pour qu'il progresse en raison de l'état des postes de transfert qui suivent, par exemple des plaques tournantes ou des élévateurs. La fonction de prévention de collision est remplie par un générateur d'impulsions 250 qui attaque la diode électroluminescente 193 dans un-mode pulsé. Lorsqu'une collision est imminente, la lumière de la diode 1 9 193 est réfléchie vers l'arrière par la surface réfléchis- sante 192 du trolley précédent Cette lumière réfléchie est reçue par le photo-détecteur 194 qui applique un signal d'entrée au circuit multivibrateur monostable 251 produisant un signal permanent pour le circuit basculeur de Schmidt 253 Le changement du signal d'entrée du circuit basculeur de Schmidt 253 entraîne un changement du signal de sortie qui est maintenu et transmis par un isolateur optique 260 vers la base du premier transistor d'une paire Darlington 261 La paire Darlington 261 est bloquée, ce qui supprime le court-circuit de la boucle quadruple 262 et arrête le moteur 263 Le moteur reste arrêté tant que de la lumière pulsée est reçue par le photodétecteur 194 et que la sortie du circuit basculeur de Schmidt 253 reste au même niveau Quand le détecteur 194 ne reçoit plus le signal lumineux au-dessus du seuil de sensibilité, le circuit basculeur de Schmidt 253 revient à son état initial, la paire Darlington 261 est commutée, la boucle de court-circuit 262 est découplée et le moteur 263 recommence à fonctionner, dans son mode normal. La fonction d'arrêt est remplie par le circuit multivibrateur monostable 251 qui reçoit des impulsions et les convertit en un signal permanent Lorsqu'un signal lumineux est détecté par le photo-transistor 207, provenant de la source lumineuse 209 > le circuit basculeur de Schmidt 254 change d'état, et par l'isolateur optique 260, un signal est émis vers le transistor d'entrée de la paire Darlington 261 Il en résulte que la boucle quadruple 262 interrompt le fonctionnement du moteur 263 Ce dernier-reste arrêté quand un signal lumineux est reçu de la source optique 209 Lorsque le chariot peut progresser avec sécurité, le signal lumineux de la source 209 disparaît et le circuit basculeur de Schmidt 254 émet un signal inverse pour ramener la paire Darlington 261 à son état-initial, en découplant ainsi la boucle 262 et en mettant à nouveau le moteur 263 en marche. La figure 4 montre la structure détaillée d'une plaque tournante Un moteur pas à pas 156 est accouplé par un arbre 157 avec la plaque tournante 158. Un rail est maintenu sur la plaque 158 par des supports verticaux 161, et l'autre par des supports verticaux 162. Ces rails sont montés en alignement et sont séparés des rails 160 de la section linéaire voisine Il est préférable de former les extrémités espacées des rails de manière qu'il existe un petit intervalle entre eux, afin qu'ils soient dégagés les uns des autres quand la plaque tournante tourne Sur la figure 4, le chariot 176 est représentée en position de contrôle immobile sur la plaque tournante 158 La plaque tournante a tourné aussi loin que lui a permis la butée 159 La position de la plaque tournante est détectée par des commutateurs à lames magnétiques 157, 158 qui vérifient l'angle de rotation de la plaque tournante Cette dernière est enfermée dans un prolongement de l'environnement filtré avec une haute efficacité des sections linéaires, comme le montre par exemple la figure 5 Ainsi, les plaquettes sont continuel- lement dans de l'air filtré avec une haute efficacité, avec au moins une composante d'écoulement laminaire, et de préférence parallèle à la surface de toutes les plaquet- tes. Les figures 7 a et 7 b illustrent la fonction logique d'un élévateur Sur la figure 7 a, l'élévateur 223 est représenté en position de base entre les deux rails 225, 226 et les deux rails 227, 228 Il sert à transporter le chariot 222 entre des sections différentes d'une piste horizontale Il peut être utilisé pour prélever un chariot à une entrée, vers un autre niveau ou au dessus d'un élément d'un équipement dé production Un chariot donné peut passer par l'élévateur et stationner au même niveau comme le montre la figure 7 a; sur laquelle le chariot 222 se déplace sur les rails 227, 228 après avoir quitté les rails 225, 226 Dans le mode d'élévation illustré par la figure 7 b, le chariot 222 est arrêté sur l'élévateur 223 par exemple au moyen d'un signal d'arrêt provenant d'une diode électroluminescente positionnée de façon appropriée comme cela a déjà été décrit. L'élévateur 223 monte sur des tiges verticales 220, 221 grâce à des coussinets linéaires cylindriques tels que ceux diffusés par Thomsen Industries, Manhasset, New York, Etats-Unis d'Amérique L'entrainement vertical est fourni par un cylindre pneumatique différen- tiel 228, tel que celui fourni par Origa Corporation, Elmhurst, Illinois, 60126, Etats-Unis d'Amérique. Quand l'élévateur 223 s'élève jusqu'au niveau d'une piste supérieure, non représentée, le chariot 222 passe sur cette piste en supposant qu'aucun signal d'arrêt ou de prévention de collision ne soit reçu. Les figures 8 et 9 montrent la structuré détaillée d'un élévateur Une équerre 229 est fixée sur une pièce flottante dans un vérin pneumatique 228 qui se déplace vers le haut ou vers le bas, comme le détermine la pression d'air différentielle entre la partie d'extrémité supérieure et la partie d'extrémité inférieure du cylindre En variante, un élévateur à vis et billes peut convenir Une montée et une descente sans vibrations peuvent se faire grâce à des coussinets linéaires cylindriques 230, 231, qui se déplacent sur des tiges verticales 220, 221 Des liaisons de communica- tion sont assurées par un dispositif optique 234, 235, par exemple pour produire un signal d'arrêt à un chariot donné, de manière qu'il reste sur l'élévateur 223 plutôt que de passer par le prolongement de la piste linéaire. Les structures de tunnels et de chariots décrites ci-dessus ne sont que des exemples Le chariot peut comporter différents dispositifs de propulsion et avoir une configuration différente qui permet d'accéder aux plaquettes semi-conductrices par la base de la cassette Par exemple, la cassette peut être supportée au-dessous du chariot plutôt qu'au dessus comme cela se passe avec des porteurs lourds qui saisissent leur charge et la supporte dans un châssis de véhicule Ou encore, la cassette peut être supportée sur le côté d'un chariot fixé à un dispositif d'entraînement situé à l'intérieur du tunnel Dans tous les cas, l'accès aux plaquettes de la cassette doit se faire à travers la base Egalement, les sections de pistes peuvent être courbes ou inclinées selon les besoins imposés par l'installation de fabrication de composants semi- conducteurs. REVENDICATIONS 1 Dispositif de transport automatique de cassettes, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une section de tunnel ( 130-135) pour transporter lesdites cassettes dans un environnement de salle propre, ladite section de tunnel comprenant une chambre à gaz ( 169) disposée le long d'un côté, suivant sa longueur, et une ouverture pour évacuer dudit tunnel le gaz introduit par ladite chambre, une piste ( 177,178) positionnée dans la direction longitudinale dans ledit tunnel entre ladite chambre à gaz et ladite ouverture et un chariot ( 176) comprenant un dispositif d'appui et d'entraînement sur ladite piste, ledit chariot étant agencé pour recevoir une cassette ( 174) contenant des plaquettes semi- conductrices ( 175). 2 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une source ( 173) de gaz de qualité de salle propre, reliée à ladite chambre à gaz. 3 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte un dispositif associé avec ladite chambre pour maintenir une pression positive du gaz dans ladite section du tunnel. 4 Dispositif selon la revendication 3, carac- térisé en ce que ledit chariot ( 176) reçoit ladite cassette de façon amovible. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un filtre à particules de haute efficacité positionné dans la direction longitudinale dans ladite section de tunnel entre ladite chambre à gaz et ladite piste, de manière qu'un gaz introduit dans ladite chambre traverse ledit filtre à particules de haute efficacité pour produire un gaz de qualité de salle propre, en écoulement laminaire sur ledit chariot et sur lesdites plaquettes dans ladite cassette. 6 Dispositif selon la revendication 5, carac- térisé en ce que lesdites cassettes ( 174) supportent lesdit. plaquettes ( 175) en orientation verticale parallèle. 7 Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que le filtre à particules de haute efficacité ( 173) contient un grand nombre de conduits dont les axes sont alignés avec les plans desdites plaquettes. 8 Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que ledit chariot ( 176) permet d'accéder auxdites plaquettes par le fond de ladite cassette, au moins le long d'une partie de la longueur de ladite piste. 9 Dispositif selon la revendication 8, carac- térisé en ce que ladite ouverture est située en face - dudit filtre à particules à haute efficacité. 10 Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que ladite cassette ( 174) est montée de façon amovible sur le dessus dudit chariot ( 176) permettant ainsi auxdites plaquettes d'être orientées parallèlement dans la direction du courant positif de gaz. 11 Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que ladite cassette ( 174) est montée de façon amovible sur la face inférieure dudit chariot. 12 Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que ladite cassette ( 174) est montée de façon amovible sur le côté dudit chariot. 13 Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que ledit chariot ( 176) comporte des circuits électroniques incorporés ( 179) remplissant des fonctions de prévention de collision-et d'arrêt. 14 Dispositif selon la revendicat Lion 13, caractérisé en ce que lesdits circuits incorporés ( 179) comprennent une mémoire pour enregistrer des spécifications de processus et le traitement passé. 15 Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'il est associé avec un calculateur central ( 70) qui commande des postes de transfert dans l'ensemble et qui mémorise des informations de traitement pour des postes de travail dans l'ensemble. 16 Dispositif selon la revendication 15, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des liaisons de communication pour établir des communications entre ledit calculateur central et certains individuels desdits chariots ( 176). 17 Dispositif selon la revendication 15, caractérisé en ce que lesdits postes de transfert comportent des plaques tournantes ( 81-85) contigâes à une extrémité d'au moins une section de tunnel, lesdites plaques tournantes comprenant une piste qui s'appuie contre ladite piste dans ladite au moins une section linéaire, en alignement quand ladite plaque tournante est tournée pour recevoir un chariot provenant de ladite au moins une section linéaire, ladite plaque tournante formant un prolongement dudit tunnel, de manière qu'un chariot sur ladite plaque tournante baigne continuellement dans un air de qualité de salle propre quand il passe de ladite section à ladite plaque tournante. 18 Dispositif selon la revendication 15, caractérisé en ce que lesdits postes de transfert compren- nent des élévateurs ( 87-91) contigus à une extrémité de ladite au moins une section du tunnel, un élévateur formant un prolongement de ladite section de tunnel de manière qu'un chariot dans ledit élévateur baigne continuellement dans un air de qualité salle propre quand il est transféré à partir de ladite au moins une section de tunnel linéaire. 19 Dispositif selon la revendication 13, caractérisé en ce que ladite piste comporte des rails électrifiés ( 177, 178) ledit chariot comportant un moteur électrique ( 181) d'auto-propulsion dudit chariot le long desdits rails en réponse à des signaux de commande provenant dudit circuit électronique incorporé. Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce que lesdits rails consistent en deux rails ( 177,178), ledit chariot se déplaçant sur lesdits rails sur des coussinets linéaires semi-cylindriques ( 180) qui permettent l'enlèvement facile-du chariot desdits rails. 21 Dispositif selon la revendication 16, caractérisé en ce qu'il est associé avec un équipement de fabrication de composants semi-conducteurs, relié à ladite au moins une section de tunnel ou à l'un desdits postes de transfert. 22 Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comporte une chambre propre modulaire placée près de l'extrémité de ladite au moins une section de tunnel pour permettre l'introduction et l'enlèvement des cassettes dudit dispositif de transport de cassettes. 23 Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comporte un équipement de mesure de particules situé dans ladite au moins section de tunnel linéaire. 24 Dispositif de transfert de cassettes contenant des plaquettes dans des conditions d'air filtré, caractérisé en ce qu'il comporte un dispositif définissant une piste ( 177,178) pour le mouvementdesdites cassettes ( 174), avec les plaquettes ( 175) orientées verticalement par rapport à ladite piste, une section de passage ( 130- ) enfermant au moins partiellement ladite piste, un dispositif ( 169) coopérant avec ledit passage pour établir un courant de gaz laminaire dans le volume autour de ladite piste, le courant de gaz comprenant une composante parallèle aux surfaces desdites plaquettes, un dispositif ( 173) coopérant avec ledit courant d'air laminaire pour filtrer l'air qui circule dans le volume autour de ladite piste, de manière que lesdites plaquettes puissent être transportées dans ledit passage tout en baignant seulement dans de l'air filtré avec une composante de courant d'air parallèle auxdites plaquettes. Dispositif selon la revendication 20, caractérisé en ce que ladite section de passage comporte des ouvertures d'entrée de piste et de sortie de piste et également des ouvertures de sortie pour faciliter l'écoulement laminaire du gaz 26 Dispositif selon la revendication , caractérisé en ce que ladite section de passage comporte des ouvertures d'entrée de piste, de sortie de piste et de sortie de gaz, mais enferme par ailleurs complètement ledit pasage. 27 Dispositif selon la revendication 20, caractérisé en ce que ladite section de passage est allongée dans la direction de ladite piste. 28 Dispositif selon la revendication 21 ou 22,caractérisé en ce que lesdites ouvertures d'entrée - de piste et de sortie de piste se terminent à des postes de travail pour traiter lesdites plaquettes. 29 Dispositif selon la revendication 20, caractérisé en ce que ledit dispositif d'établissement d'un courant d'air établit une pression d'air positive dans ledit volume autour de ladite piste. Dispositif selon la revendication 20, caractérisé en ce que ladite section de passage est ouverte sur sa face inférieure de manière à permettre l'accès à ladite piste par le dessous, mais enfermant par ailleurs ladite piste sur tous les autres côtés. 31 Dispositif selon la revendication 20, caractérisé en ce que ladite cassette ( 174) contenant des plaquettes ( 175) comprend un chariot ( 176) et une cassette amovible, ledit chariot supportant ladite cassette et se déplaçant sur lesdits rails, ledit chariot étant ouvert de manière à permettre l'accès auxdites plaquettes par le dessous de ladite piste. 32 Dispositif selon la revendication 27,carac- térisé en ce qu'il comporte en outre une lame-( 166) positionnée audessous de ladite piste et fonctionnant transversalement par rapport à elle pour engager des plaquettes individuelles par le dessous et les déplacer vers et depuis ladite cassette pour leur traitement. 33 Dispositif de transport, dans des conditions de propreté, de plaquettes supportées côte à côte dans des cassettes donnant accès auxdites plaquettes 254632,8 par le dessus et le dessous, dispositif caractérisé en ce qu'il comporte essentiellement au moins une enceinte allongée axialement ( 130-135), permettant le passage des cassettes ( 174) dans la direction axiale, ladite enceinte comportant au moins une ouverture sur l'un de ses côtés, un dispositif ( 169) pour établir une pression positive d'un gaz et sa circulation dans au moins un volume substantiel de ladite enceinte, ledit courant d'air ayant au moins une composante perpendiculaire à l'axe de ladite enceinte, un dispositif ( 173) de filtration du gaz cir- culant depuis l'extérieur dudit volume vers ledit dispositif pour établir ladite pression positive d'un gaz, une piste ( 177,178) disposée axialement dans ladite enceinte, un chariot ( 176) appuyé sur ladite piste et agencé pour se déplacer le long de ladite piste dans ledit volume et agencé en outre pour supporter l'une au moins desdites cassettes ( 174), ledit chariot étant ouvert pour permettre l'accès par le dessous auxdites plaquettes, et une lame ( 166) alignée avec ladite ouverture latérale du passage et mobile vers le haut et vers le bas dans le plan desdites plaquettes pour engager ces dernières par ladite ouverture du chariot afin de soulever et d'abaisser successivement certaines individuelles desdites plaquettes et permettre leur traitement individuel, de manière que plusieurs plaquettes puissent être trans- portées et que certaines individuelles d'entre elles- puissent être prélevées et traitées, toujours dans des conditions de propreté indépendamment de l'atmos- phère ambiante. 34 Dispositif selon la revendication 29, caractérisé en ce que ledit dispositif ( 173) de filtration consiste en un filtre à particules de haute efficacité. Dispositif selon la revendication 30, caractérisé en ce que ladite piste consiste en deux rails ( 177,178) espacés l'un de l'autre et destinés à recevoir ledit chariot ( 176). 36 Dispositif selon la revendication 31, caractérisé en ce qu'il est associé avec une machine de fabrication de composants semi-conducteurs positionnée pour recevoir les plaquettes soulevées par ladite lame ( 166). 37 Dispositif selon la revendication 32, caractérisé en ce que ledit dispositif qui établit une pression positive et un courant d'un gaz comporte un dispositif qui établit un courant d'air laminaire dans ledit volume, parallèlement à ladite cassette et aux plaquettes. 38 Dispositif selon la revendication 36, caractérisé en ce que ledit dispositif qui établit un courant laminaire comporte un filtre ( 173) de haute effi- cacité avec des conduites dont les axes sont alignés avec les plans desdites plaquettes.