Brevet FR2543726A1 — publié le 19841005

CELLULE DE MENOIRE RAM NON VOLATILE A TRANSISTORS CMOS A GRILLE FLOTTANTE COMMNE La présente invention concerne les mémoires intégrées du type mémoire vive à fonctionnement statique (RAM statiques). On sait que ces mémoires sont appelées mémoires vives car elles ne conservent une information que si elles ne cessent pas d'être alimentées: une coupure accidentelle de courant efface l'information. On cherche de plus en plus à prévoir des moyens pour sauvegarder l'information, avant qu'elle ne se perde par coupure de courant, dans un élément de mémoire permanente associé à chaque cellule de mémoire vive On appelle alors ces mémoires des mémoires vives non volatiles, qui se distinguent des mémoires vives pures parce qu'elles sauvegardent l'information stockée même en cas de coupure d'alimentation, et qui se distinguent des mémoires permanentes car, en dehors des moments d'enregistrement non volatile -des informations, elles fonctionnent comme des memoires vives, c'est à dire notamment avec une grande vitesse et une grande facilité de lecture et d'écriture. On a déjà proposé des mémoires vives non volatiles, et notamment des mémoires qui utilisent comme élément de mémorisation des transistors MOS (Metal Oxyde Semiconducteur) complémentaires à grille flottante. On peut se référer par exemple au brevet US 4 128 773 de Troutman qui montre une cellule de mémoire vive qui est une bascule bistable classique à quatre transistors, alimentée entre deux bornes d'alimentation Vss et Vdd L'élément de mémorisation est essentiellement un ensemble en série de deux transistors complémentaires, l'un à canal n, l'autre à canal p, cet ensemble en série étant placé entre les bornes Vss et Vdd et possédant une grille flottante commune et une grille de commande commune reliée à une sortie de la bascule alors que le point de jonction des deux transistors complémentaires est relié à l'autre sortie (complémentaire) de la bascule Une zone d'injection de charges électriques dans la grille flottante est prévue du côté du point de jonction des deux transistors complémentaires. Cet ensemble constitue bien une cellule de mémoire vive non volatile, mais il présente deux types d'inconvénients Le premier inconvénient est le fait que lorsqu'on a enregistré l'information non volatile, par exemple lors d'une coupure de courant, et qu'on veut remettre ensuite la bascule dans un état correspondant à l'information ainsi sauvegardée, il se trouve qu'en fait la bascule se repositionne dans l'état inverse de celui qu'elle avait au départ Il y a bien une sauvegarde de l'information, mais l'information retrouvée doit être complémentée pour revenir à sa valeur vraie Le deuxième inconvénient est la disymétrisation de la bascule: selon l'état de l'élément de mémorisation permanente, on retrouve sur l'une ou l'autre des branches de la bascule l'équivalent d'un transistor en parallèle qui fausse l'équilibre de la bascule: la branche de mémorisation perturbe le fonctionnement normal en mémoire vive de la bascule. La présente invention propose une cellule de mémoire non volatile différente qui ne présente pas ces inconvénients. Cette cellule comprend également une bascule bistable à deux sorties complémentaires, alimentée par une tension continue; un élément de mémorisation non volatile est connecté entre les deux sorties complémentaires de la bascule et cet élément comporte un ensemble de deux transistors MOS complémentaires, à savoir un transistor a canal n, et un transistor à canal p, ces deux tran- sistors ayant une grille flottante commune recouvrant leurs régions de canal, et isolée d'elles par une première couche iso- lante mince, et une grille de commande commune recouvrant au moins partiellement la grille flottante et isolée d'elle par une deuxirme couche isolante mince, la première couche isolante présentant une zone très mince du côté de la région de source de l'un des transistors complémentaires, cette région de source étant reliée à une première sortie de la bascule, et la grille de com- mande étant reliée à la deuxième sortie; la cellule comprend encore un moyen pour appliquer temporairement un potentiel d'alimentation entre chacun des deux transistors complémentaires 2543726 et la sortie à laquelle il est-directement ou indirectement relié. Les transistors complémentaires peuvent être reliés en série et leur point de jonction est alors-relié par un transistor ou une capacité à la tension d'alimentation Si c'est un tran- sistor, il reçoit sur sa grille un signal de commande de repositionnement pour remettre la bascule dans son état original après une interruption de l'alimentation. Pour améliorer les conditions d'enregistrement non vola- tile lors d'une opération de sauvegarde, on peut prévoir des tran- sistors MOS supplémentaires en série avec les deux transistors complémentaires, entre les deux sorties de la bascule, et notam- ment un transistor relié entre la première sortie de la bascule et les transistors complémentaires, ce transistor étant commandé par un signal de repositionnement, ou encore un groupe de deux tran- sistors en série, connecté entre les mêmes points, ayant leurs grilles reliées l'une à la deuxième sortie de la bascule et l'autre au point de jonction des deux transistors complémentaires-. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui suit et qui est faite en référence aux dessins annexes dans lesquels: la figure 1 représente le schéma de base de la cellule de mémoire vive non volatile selon l'invention; la figure 2 représente en coupe transversale la struc- ture schématique de l'élément de mémorisation; la figure 3 représente une variante de réalisation de la cellule non volatile; les figures 4 et 5 représentent deux autres variantes. La cellule de mémoire de la figure l -comprend une bascule bistable classique, alimentée entre deux bornes d'alimentation en tension continue A (tension Vdd) et B (tension Vss) Cette bascule comprend quatre transistors MOS Tl, T 2, T 3, T 4 Les transistors Tl et T 3 sont en série entre les bornes A et B, les transistors T 2 et T 4 également La grille du transistor T 4 est reliée au point de jonction Q des transistors Tl et T 3, et la grille du transistor T 3 est reliée au point de jonction R des transistors T 2 et T 4 Les points Q et R sont les deux sorties complémentaires de la bascule, reliées respectivement la première par un transistor T 7 à une ligne de bit LB, la seconde par un transistor T 8 à une ligne de bit complémentaire LB* Les transis- tors T 7 et T 8 sont commandés tous deux par une ligne de mots LM. Les transistors T 3 et T 4 sont des transistors à canal n, ayant des caractéristiques électriques sensiblement équivalentes, tandis que les transistors TI et T 2 sont à canal p et ont également des caractéristiques sensiblement équivalentes La grille du transistor T 1 est reliée à celle du transistor T 3, celle du transistor T 2 à celle du transistor T 4. L'élément de mémorisation est constitué par un ensemble en série d'un transistor MOS à canal p, T 5, et d'un transistor MOS à canal n, T 6 Ces transistors ont une grille flottante commune GF et une grille de commande commune GC Cette dernière est reliée à la sortie R de la bascule L'ensemble en série des deux tran- sistors complémentaires T 5 et T 6 est connecté entre les bornes Q et R Une zone d'injection d'électrons dans la grille flottante GF est prévue, du côté de la sortie Q, dans le transistor à canal n, T 6, relié à cette sortie. Une capacité C est reliée entre le point de jonction M des transistors complémentaires et la borne d'alimentation A. Pour éviter des ambiguités dans la description, on appellera source des transistors T 5 et T 6 le côté relié aux sor- ties Q et R, et drain le côte du point de jonction Ainsi, la zone d'injection est prévue du côté de la source du transistor à canal n T 6. La figure 2 représente la structure de l'ensemble en série des deux transistors complémentaires T 5 et T 6; cette figure est schématique et ne prétend pas décrire complètement la topolo- gie et les détails de réalisation de la structure, celle-ci étant réalisée selon les techniques de fabrication des transistors à grille flottante. Le transistor T 5 à canal p est par exemple formé à l'intérieur d'un caisson 10 de type N diffusé à l'intérieur d'un substrat semiconducteur 12 de type p Ce transistor comporte une région de source 14 de type p+, une région de drain 16 de type p+, et, entre les deux, une région de canal 18 de type n La région de canal est recouverte d'une première couche isolante mince 20, elle-m 8 me recouverte d'une grille flottante conductrice GF La grille flottante GF est recouverte d'une deuxième couche mince isolante 22, elle-même recouverte d'une grille de commande GC. Le transistor T 6, à canal n, est formé directement dans le substrat et comporte une région de source 24 de type nt, une région de drain 26, également de type n+ et reliée par une con- nexion non représentée à la région de drain du transistor T 5, et, entre la région de source et la région de drain, une région de canal 28 recouverte d'une couche isolante mince 30, elle-même surmontée d'une grille flottante conductrice qui est la même grille GF qui recouvre le transistor T 5 Cette grille GF est surmontée d'une autre couche isolante 32 et d'une grille de com- mande GC qui est la même grille GC qui recouvre le transistor T 5. Il est prévu une zone 34 d'amincissement de la couche isolante 30, au dessus de la région de source 24 ou de la région de canal 28 du transistor à canal N T 6; cette zone constitue une zone mince pour faciliter l'injection de charges électriques à travers la couche isolante 30 dans la grille flottante GF La couche 30 peut avoir une épaisseur de quelques centaines d'angstrbms, mais de quelques dizaines seulement dans la zone amincie 34. Les connexions métalliques (ou en silicium) avec les régions de source et drain, et la grille de commande n'ont pas été représentées sur la figure 2. En revenant à la figure 1, on va maintenant expliquer le fonctionnement de la cellule de mémoire ainsi décrite. L'alimentation continue normale est d'environ 5 volts entre les bornes B et A et la bascule prend soit un état tel que la sortie Q soit à Vdd ( 5 volts) et la sortie R à Vss ( O volt), soit l'état inverse (Q à O volt, R à 5 volts) Cet état est impose, en mode d'écriture, par la tension O ou 5 volts présente sur la ligne de bit LB et la tension complémentaire 5 volts ou O présente sur la ligne de bit complémentaire LB*, lors de la mise en conductîon des transistors T 7 et TS commandés par la ligne de mot LM. Un état donné étant mis en mémoire, il peut être lu également par mise en conduction des transistors T 7 et T 8 à partir de la ligne de mot LM, les lignes de bit LB et LB* transmettant alors les niveaux des sorties Q et R donc l'état de la bascule. Pour effectuer une sauvegarde de l'état de la bascule, on fait passer temporairement (pendant 10 à 20 ms par exemple) la tension Vdd à une valeur élevée VH, de l'ordre-de 20 volts. Ce passage de Vdd à 20 volts peut être effectué soit automatiquement lors de la détection d'une coupure de courant, soit systématiquement à chaque changement d'état de la bascule (pour un compteur par exemple), soit sous l'effet d'un ordre de sauvegarde émis volontairement. Si la sortie Q était au niveau bas, et la sortie R au niveau haut, on voit qu'il apparaît 20 volts sur la grille de cor- mande GC et O volt sur la source du transistor T 6 Ce dernier est rendu conducteur tandis que le transistor T 5 (à canal p) est bloqué Une injection d'électrons a lieu dans la grille flottante à travers la zone isolante amincie 34 La grille se charge négativement et modifie la tension de seuil apparente (vue de la grille de commande) des transistors T 5 et T 6: la tension de seuil du premier diminue de quelques volts, celle du second augmente de quelques volts Pour une même tension appliquée par la suite sur la grille de commande, le transistor T 5 présentera une résistance interne plus faible que le transistor T 6. Dans ces conditions, lorsqu'on voudra repositionner la bascule pour retrouver l'information sauvegardée, par exemple lors du rétablissement de l'alimentation, on s'arrangera pour que Vdd passe de O à 5 volts, les transistors T 7 et T 8 étant bloqués pour isoler la bascule des lignes de bit Cette variation de tension est transmise par la capacité C au point M Entre le point M et la borne d'alimentation B, on trouve l'équivalent de deux ponts divi- seurs, l'un constitué par les transistors T 5 et T 4, l'autre par les transistors T 6 et T 3 Les transistors T 3 et T 4 sont identiques et au départ présentent des résistances a priori équivalentes. Mais le transistor T 5 est plus conducteur que le transistor T 6 Le potentiel du point R monte donc au départ plus vite que celui du point Q Cette dissymétrie initiale suffit à faire basculer franchement la bascule dans un état correspondant à la sortie Q à Vss (O volt) et la sortie R à Vdd On remarque que le repositionnerment correspond bien à l'état initial avant sauve- garde, et non à l'état inversé. Si au contraire on était parti d'un état initial ou la sortie R est à Ovolt et la sortie Q à 5 volts, le passage de Vdd VH = 20 volts provoque une différence de potentiel de 20 volts entre grille de commande GC et source du transistor à canal N T 6, dans un sens tendant à expulser les électrons de la grille flot- tante à travers la couche isolante amincie Cette expulsion charge positivement la grille flottante de sorte que la tension de seuil apparente du transistor à canal p T 5 augmente et celle du tran- sistor à canal N T 6 diminue Pour une même tension appliquée sur la grille de commande GC, le transistor T 6 présentera une plus faible résistance interne que le transistor T 5. Lorsqu'on repositionne la bascule en faisant passer Vdd de O à 5 volts, la variation de tension de Vdd est transmise par la capacité C au point M Dans les ponts diviseurs constituas entre le point M et la borne B par les transistors T 5 et T 4 d'une part, T 6 et T 3 d'autre part, on voit qu'initialement TA et T 4 présentent des résistances sensiblement identiques, tandis que T 6 a une résistance beaucoup plus faible que T 5 Ce déséquilibre ini- tial porte la sortie Q à un potentiel plus élevé que la sortie R et suffit à faire basculer franchement la bascule bistable'dans un état o la sortie Q est à Vdd et la sortie R à Vss, ce qui correspond bien à l'état initial qu'on voulait sauvegarder. En pratique, la capacité C doit avoir une valeur assez faible (mais suffisante pour transmettre au point M les variations de tension de Vdd), afin de ne pas gêner la vitesse d'écriture en fonctionnement normal (RAM statique) de la cellule: en effet, l'un des deux transistors T 5 et T 6 est rendu normalement conduc- teur en permanence par les charges présentes sur la grille flot- tante et, si on force les sorties R et Q à des valeurs données, la capacité C doit se charger en conséquence lors de l'écriture. Pour éviter cet inconvénient, on -peut prévoir une variante de réalisation représentée à la figure 3, dans laquelle le condensateur C a été remplacé par un transistor T 9, à canal n, en série entre le point M et la borne A, ce transistor étant rendu conducteur par un signal RP de commande de repositionnement; en dehors de la phase de repositionnement, le transistor T 9 est bloqué; pendant la phase de repositionnement, on fait passer Vdd de O à 5 volts en maintenant T 9 conducteur par le signal RP. La figure 4 montre une autre variante dans laquelle un transistor T 10 a été inséré dans la branche de mémorisation non volatile, en série avec les transistors T 5 et T 6 entre les sorties Q et R: le transistor Tl O, à canal n, est relié à la borne R et sa grille reçoit un signal de repositionnement RP qui le rend con- ducteur uniquement pendant les phases de repositionnement Pendant ces phases, le transistor Tl O est suffisamment conducteur (sa dimension est choisie en conséquence) pour ne pas fausser la disymétrie de conduction des transistors T 5 et T 6 Mais, pendant la phase de sauvegarde non volatile, il permet d'être certain, dans le cas o le transistor T 5 est conducteur (sortie R à O volt), que la différence de potentiel entre les points R et Q est suffisamment importante pour ne pas arrêter prématurément l'évacuation d'électrons de la grille flottante. La réalisation de la figure 4 peut aussi se combiner avec celle de la figure 3, c'est à dire que la capacité C peut être remplacée par le transistor T 9 commande comme le transistor TIO pour le signal RP. Pour la même raison que dans le cas de la figure 4, on peut également remplacer le transistor Tl O, commandé par un signal de repositionnement, par un couple de transistors en série, l'un ayant sa source et sa grille reliées à la sortie R, l'autre ayant sa grille reliée au point M On peut aussi prévoir, dans ce cas, encore un transistor supplémentaire, en série entre le transistor T 6 et la sortie Q et ayant sa grille reliée à la sortie Q, pour équilibrer les demi-branches entre M et R et entre M et Q lors du repositionnement. Enfin, la figure 5 représente encore une autre variante de réalisation dans laquelle les transistors T 5 et T 6 ne sont pas directement reliés ensemble, mais reliés chacun par son drain à une capacité respective (C' et C") ou un transistor respectif, reliés par ailleurs à la borne A Ces capacités ou ces transistors jouent le même r 8 le que la capacité C ou le transistor T 9 et correspondent en fait à un dédoublement de la capacité C ou du transistor T 9 Les capacités C' et C" sont identiques; si ce sont des transistors qui remplacent les capacités C' et C", ces tran- sistors sont commandés par le signal de repositionnement RP Dans le cas de la figure 5, il n'y a donc pas de connexion directe entre les drains 16 et 26 (figure 2) des transistors complémentaires Cette réalisation de la figure 5 évite le passage de courant dans les transistors complémentaires lors de la phase de sauvegarde Elle évite aussi de prévoir un transistor tel que TIO et sa ligne de commande. REVENDICATIONS 1 Cellule de mémoire non volatile, comprenant une bascule bistable à deux sorties complémentaires (R et Q) alimentée par une tension continue (Vss, Vdd), comportant un élément de mémorisation non volatile (T 5, T 6), caractérisé en ce que cet élément est connecté entre les deux sorties complémentaires de la bascule et comporte un ensemble en série de deux transistors MOS complémentaires, à savoir un transistor à canal N (T 6) et un tran- sistor à canal p (T 5), ces deux transistors ayant une grille flot- tante commune (GF) recouvrant leurs régions de canal ( 18, 28) et isolée d'elles par une première couche isolante mince ( 20, 30), et une grille de commande commune (GC) recouvrant la grille flottante et isolée d'elle par une deuxième couche isolante mince ( 22, 32), la premiere couche isolante présentant une zone mince d'injection ( 34) du c 8 té de la région de source ( 24) de l'un des transistors complémentaires, cette région de source étant reliée à une première sortie (Q) de la bascule et la grille de commande étant reliée à la deuxième sortie (R), la cellule comportant encore un moyen (C, T 9) pour appliquer temporairement un potentiel d'alimentation au point de jonction (M) des deux transistors complémentaires. 2 Cellule selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'une capacité (C) est connectee entre le point de jonction (M) des deux transistors complémentaires en série et une borne d'alimentation (A) de la cellule. 3 Cellule selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'un transistor (T 9) est connecté entre le point de jonction ( 14) des deux transistors complémentaires en série et une borne d'alimentation (A) de la cellule, la grille de commande de ce transistor recevant un signal de repositionnement (RP). 4 Cellule selon la revendication 1, caractérisée en ce que la zone mince ( 34) est prévue au dessus de la source du tran- sistor à canal n.