Brevet FR2544953A1 — publié le 19841026

APPAREIL DE DECLENCHEMENT D'ARC ET PROCEDE POUR DES SYSTEMES DE REVETEMENT PAR DEPOT EN PHASE VAPEUR A L'ARC ELECTRIQUE La présente se rapporte d'une façon générale à des systèmes de revê- tement par dépôt en phase vapeur sous vide à l'arc électrique et elle a trait, plus particulièrement, à un procédé et à un appareil de déclen- chement pour produire un arc électrique sur la matière d'électrode formant la source de revêtement afin d'amorcer la génération d'un plasma de revêtement à l'intérieur de la chambre de dépôt. Des systèmes et procédés de revêtement par dépôt en phase vapeur pour revêtir des substrats placés dans une chambre "mise sous vide" sont bien connus dans l'art antérieur Des procédés de dépôt en phase vapeur sont généralement mis en oeuvre dans des chambres placées sous vide Les substrats à revêtir peuvent être placés dans la chambre de dépôt avant sa mise sous vide, ou bien dans des systèmes de traitement continu en étant introduits à partir d'un "sas de chargement" mis sous vide lors- qu'on dispose de place Typiquement, la matière de revêtement se pré- sente dans la chambre de dépôt sous forme d'une matière première solide et elle est sollicitée par un stimulus qui converti la matière première de revêtement en un "plasma" de vapeurs et de matières particulaires solides Une fois convertie (cela est souvent appelé une "évaporation") sous forme d'une vapeur, la matière première de revêtement peut être combinée avec d'autres éléments ou gaz réactifs-se trouvant dans la chambre pour former des composés et molécules de revêtement Le plasma de revêtement contient typiquement des atomes, des molécules, des ions, des molécules ionisées et des agglomérats de molécules Le plasma de revêtement se déplace, généralement, depuis la source de revêtement en direction des substrats à revêtir selon le plan de vision Des champs électriques et magnétiques peuvent être utilisés pour mieux profiler ou définir le flux de revêtement de plasma selon le plan de vision et une 2544953; attraction électrostatique peut être utilisée en polarisant les subs- trats de manière à attirer les particules de plasma ionisées. Différentes techniques de dépôt physique en phase vapeur sont connues par les procédés qu'elles utilisent pour convertir la matière première solide de revêtement sous la forme d'une phase de vapeur gazeuse et/ou de plasma Les techniques de dépôt en phase vapeur les plus couramment utilisées pour convertir des matières premières solides de revêtement en une phase de vapeur gazeuse et/ou de plasma, et fina- lement en un film solide sur les substrats correspondants, sont les suivantes: 1. la technique de chauffage par résistance ou par induction; 2. la technique d'évaporation par faisceau électronique ou par bombardement ionique; 3. la technique de pulvérisation par décharge gazeuse; et 4 la technique à l'arc électrique. Dans la technique de chauffage par résistance ou par induction, la matière première solide est convertie en un état fondu en faisant passer du courant dans la matière première ou bien dans un récipient porteur ou un panier en fil, qui est en contact intime avec la matière première. Quand la matière première fond, des atomes et molécules se trouvant en surface s'évaporent pour former la vapeur de revêtement Dans les techniques opérant avec faisceau électronique ou avec bombardement ionique, la vapeur de revêtement est formée en bombardant la matière première de revêtement avec un faisceau d'électrons et/ou d'ions de haute énergie La perte d'énergie par les particules de bombardement provoque la fusion de la matière première Comme avec la technique de chauffage par induction, la vapeur de revêtement contient des atomes et des molécules s'évaporant de la surface du bain de fusion Dans la technique de pulvérisation par décharge gazeuse, la vapeur de revêtement est formée par bombardement de la matière première de revêtement avec des ions de haute énergie La vapeur de revêtement formée par cette technique contient des atomes, des groupes d'atomes et des ions qui sont "éjectés" de la surface de la source solide. La technique à l'arc électrique, à laquelle cette invention se rapporte, forme le plasma de revêtement au moyen de l'énergie d'un arc électrique arrivant sur la matière formant la source de revêtement La matière de source ou d'apport de revêtement est électriquement polarisée de manière à agir comme une cathode dans le système L'enceinte 2544953 '3 extérieure de la chambre, ou une surface d'électrode séparée se trouvant dans la chambre, est espacée de la cathode et elle est polarisée électriquement de façon à servir d'anode dans le système Un appareil d'amorçage d'arc, généralement appelé un ensemble "déclencheur" amorce un arc à l'intérieur de la chambre en touchant la surface de matière de source ou d'apport de revêtement formant cathode avec un fil d'amorçage d'arc Un trajet de passage de courant électrique est établi par l'intermédiaire du fil d'amorçage d'arc et de la matière de source ou d'apport cathodique au moyen d'un générateur de courant approprié Un écartement ultérieur du fil d'amorçage d'arc par rapporteà la surface cathodique crée un arc électrique entre le fil et la surface de cathode. L'arc amorcé établit immédiatement des trajets de passage de courant électrique (arc) entre la matière cathodique et les surfaces anodiques, ces trajets étant maintenus par des circuits de polarisation électrique des électrodes Des courants électriques d'intensité élevée, typiquement supérieurs à 30 ampères, passent dans lesdits trajets formant des arcs électriques La concentration d'énergie électrique passant dans l'arc est visible sur la surface de la source cathodique à l'endroit o l'arc touche la cathode et elle est typiquement appelée un "point cathodique". Typiquement, une fois qu'un arc est amorcé, de multiples poients catho- diques apparaissent simultanément sur la surface de cathode Les points cathodiques se déplacent d'une manière erratique et aléatoire sur la surface de la matière de source ou d'apport, en vaporisant instanta- nément la matière de source ou d'apport de revêtement à l'emplacement du point cathodique pour former le plasma de revêtement Un exemple d'un système de dépôt en phase vapeur sous vide à l'arc électrique, comme décrit ci-dessus, est décrit de façon plus détaillée dans le brevet des Etats Unis d'Amérique no 3 783 231 délivré à Sablev et al. La technique de dépôt en phase vapeur à l'arc électrique décrite ci-dessus, et à laquelle se rapporte l'invention, ne doit pas être confondue avec le procédé à "torches à plasma", qui utilise typiquement un arc électrique à des pressions atmosphériques ou à des pressions atmosphériques "normales" pour "fondre" la matière de source ou d'apport en vue de sa projection sous une pression gazeuse vers un objet De telles torches à plasma ne nécessitent ou n'utilisent pas le vide, elles font intervenir des principes de fonctionnement tout à fait différents de ceux de la technique de dépôt en phase vapeur sous vide avec arc électrique et elles n'impliquent pas de conditions sévères d'environnement ni les problèmes particuliers qui sont résolus grâce à la présente invention. Alors que les principes de fonctionnement d'un système de dépôt en phase vapeur avec arc électrique sont assez simples, une commande des différents paramètres intervenant dans le système et une protection des composants fonctionnels du système contre des conditions sévères d'envi- ronnement auxquels ils sont exposés, ont fortement limité l'utilisation de tels systèmes dans des applications industrielles de revêtement de substrats Bien que toutes les techniques physiques de revêtement par dépôt rencontrent un certain nombre de mêmes problèmes opérationnels (comme le maintien d'un vide, l'empêchement de la contamination de la chambre de revêtement, le dépôt d'un revêtement uniforme sur les subs- trats, le maintien des possibilités de manoeuvre de parties mobiles et/ou électriques à l'intérieur de la chambre de revêtement, l'empêche- ment d'une accumulation de matière de revêtement sur les parties de chambre qui ont une influence critique sur le fonctionnement du système, etc), de tels problèmes peuvent être plus sévères dans le cas de systèmes de dépôt en phase vapeur avec arc électrique. L'appareil déclencheur pour amorçage d'arc est fondamental pour le fonctionnement du système de dépôt en phase vapeur avec arc électrique. L'appareil déclencheur fait non seulement éclater un arc qui "amorce" le processus de génération de plasma, mais il est également nécessaire pour "réamorcer le processus ensuite si, pour une raison quelconque, l'arc électrique entre la cathode et l'anode s'est éteint Dans des processus de revêtement en phase vapeur avec arc électrique, il est courant que les arcs électriques produits dans la chambre s'éteignent un certain nombre de fois, chacun de ces événements nécessitant une réactivation par l'appareil déclencheur Dans de telles circonstances, lorsque l'appareil déclencheur doit remplir sa fonction, il est essentiel que cet appareil fonctionne d'une manière sûre et correcte Une défaillance de l'appareil déclencheur peut provoquer un arrêt du cycle de revête- ment Une telle défaillance du déclencheur peut être extrêmement coû- teuse à cause de la perte de temps pour l'ouverture et le nettoyage de la chambre, le remplacement de l'appareil déclencheur défectueux et la remise sous vide de la chambre, et également à cause des dommages importants et de la perte possible des substrats qui étaient en train d'être revêtus au moment de la panne En conséquence, l'appareil 2544953 ' déclencheur est un élément tout à fait essentiel d'une installation de dépôt en phase vapeur avec arc électrique. Des ensembles déclencheurs d'amorçage d'arc de l'art antérieur ont été, d'une manière générale, non fiables, difficiles à entretenir, coûteux et inappropriés pour remplir les fonctions nécessaires La plupart des appareils déclencheurs connus n'ont souvent pas permis de réaliser un seul cycle de revêtement sans nécessiter une attention particulière pour vérifier leur aptitude de fonctionnement et ils ont typiquement nécessitédes remplacements, ou tout au moins un nettoyage poussé au bout de seulement quelques cycles opératoires Le manque de fiabilité de ces appareils déclencheurs connus s'est manifesté par lui-même dans un certain nombre de modes de pannes différents et cela a été principalement imputable à la nature de construction desdits appa- reils déclencheurs La plupart des appareils déclencheurs de type connu utilisent une structure à bobine électromagnétique pour amener le fil d'amorçage d'arc en contact avec la surface de cathode et ils font intervenir un ressort comprimé pour "ramener" le fil dans sa position d'écartement après la désexcitation de la bobine La quantité d'énergie typiquement disponible avec de telles structures de déclenchement pour "tirer" le fil d'amorçage d'arc au contact de la surface de cathode et pour comprimer simultanément le ressort de rappel a été typiquement de l'ordre de 0,9 à 1,4 kg, mais elle pourrait être sensiblement supérieure (par exemple de 3,6 à 4,5 kg) Cependant, la force du ressort de rappel est généralement assez faible, en étant seulement de l'ordre de 0,9 à 1,4 kg Cette faible force de rappel est souvent inappropriée pour écarter le fil d'amorçage d'arc de la surface de cathode Lorsque le courant d'amorçage d'arc passe dans le fil qui est en contact avec la surface de cathode, le fil a tendance à se "souder" sur la surface de cathode en formant une liaison qui doit être rompue par la force du ressort de rappel pour écarter le fil d'amorçage d'arc de la surface de cathode Du fait de la faible force de rappel disponible avec des appareils déclencheurs de type connu comme décrit ci-dessus, il est souvent impossible que le ressort de rappel décolle le fil "soudé" de la surface de cathode Pour compliquer encore plus le problème, la chaleur engendrée par le courant d'amorçage d'arc passant dans le ressort sur son trajet jusqu'au fil de contact provoque souvent une perte de trempe initiale ou de constante d'élasticité dans le ressort proprement dit, en réduisant encore la force de ressort de rappel qui est disponible pour décoller un fil de déclenchement "soudé" En outre, la chaleur passant dans l'appareil déclencheur, principalement par suite d'un fil "soudé" ou "collé", peut directement endommager les bobines d'excitation en faisant fondre ou en brûlant leurs couches isolantes et leurs composants résistifs. Les impératifs de conception des appareils déclencheurs électroma- gnétiques de type connu réduisent encore leur possibilité d'application à des systèmes de dépôt en phase vapeur avec arc électrique Pour produire la force de traction de 0,9 à 1,4 kg, une telle structure de déclenchement nécessite des bobines électromagnétiques volumineuses et coûteuses Pour obtenir de plus grandes forces de "traction", il serait nécessaire de prévoir des appareils physiquement encore plus gros De telles conditions imposées aux dimensions physiques de tels déclencheurs posent d'autres problèmes. Lors de l'utilisation de tels appareils déclencheurs d'amorçage d'arc de type électromagnétique, il est souhaitable de placer le boîtier de déclencheur aussi près que possible de la matière de cathode Autre- ment, il est nécessaire d'utiliser des bobines encore plus grosses pour actionner le fil d'amorçage d'arc de façon à lui faire couvrir la distance supplémentaire Puisque la cathode proprement dite nécessite de l'espace pour l'établissement des connexions mécaniques et électriques et du refroidissement, la condition consistant à monter le boîtier de déclencheur à proximité étroite de la source cathodique limite effec- tivement les dimensions physiques de la bobine de l'appareil déclencheur en limitant, par conséquent, la force de traction de l'ensemble électro- magnétique. Un autre problème affectant des appareils déclencheurs actionnés par bobines électromagnétiques consiste en ce que l'orientation radiale de la tige mobile passant au travers de la bobine ne peut pas être directement commandée, ce qui permettrait une liaison directe du fil d'amorçage d'arc avec cette tige pour obtenir une orientation efficace par rapport à la source cathodique Pour remédier à cette situation, le fil d'amorçage d'arc de l'art antérieur est généralement monté de façon pivotante à l'intérieur de la chambre de dépôt et l'élément mobile de l'ensemble déclencheur est relié à celle-ci, de manière que le déclen- cheur actionne le fil d'amorçage d'arc par l'intermédiaire d'un méca- nisme à levier Un tel mécanisme limite la "course" ou la distance de "déplacement" du fil par rapport à la surface supérieure de la source cathodique et gaspille les forces limitées qui sont disponibles avec la bobine électromagnétique et le ressort En outre, avec de tels méca- nismes à leviers, il est difficile de faire en sorte que le fil d'amor- çage d'arc ait une "course" suffisante pour "atteindre" de façon continue la surface de la source cathodique lorsque celle-ci change de forme sous l'effet d'une vaporisation en plasma pendant une opération de revêtement. En dehors des déficiences de conception électrique de tels sys- tèmes, il se pose un autre problème concernant l'incapacité des ensem- bles déclencheurs de type connu à maintenir une bonne étanchéité au vide dans l'ensemble déclencheur lorsqu'il est relié à la chambre de dépôt. Certains ensembles déclencheurs électromagnétiques de l'art antérieur utilisent un seul joint d'étanchéité qui est placé autour de l'élément déclencheur mobile afin de maintenir un joint étanche au vide entre la chambre de revêtement intérieure et l'environnement extérieur et éga- lement pour établir une isolation électrique entre l'élément déclencheur et la chambre de dépôt Typiquement ces joints d'étanchéité se présen- tent sous la forme d'une bague torique Les opérations normales de revêtement à l'intérieur de la chambre ont tendance à déposer rapidement de la matière de revêtement sur la structure de joint d'étanchéité de déclencheur, en causant souvent un court-circuit au travers du joint revêtu, par établissement d'un trajet d'écoulement de courant directe- ment entre l'appareil déclencheur et le carter de chambre au lieu de maintenir un écoulement de courant électrique par l'intermédiaire du fil d'amorçage d'arc Un tel court-circuitage a parfois provoqué un soudage effectif du joint sur la chambre et il en est résulté un brûlage physi- que du joint d'étanchéité et, par conséquent, une destruction ou une réduction de l'étanchéité au vide et/ou une injection de particules contaminantes dans la chambre à vide En outre, du fait de la structure électromagnétique du déclencheur, il a été virtuellement impossible d'utiliser des techniques de pompage différentiel pour compenser de telles fuites de joints en vue de maintenir le vide dans la chambre, La présente invention a pour but de remédier aux inconvénients et déficiences mentionnés ci-dessus des structures de déclencheurs d'amor- cage d'arc-de l'art antérieur La présente invention concerne un ensem- ble déclencheur qui possède une bonne fiabilité pendant des périodes de temps prolongées par comparaison à l'art antérieur et qui nécessite peut &'entretien L'appareil déclencheur de la présente invention réduit au minimum le risque de "soudage" du fil de contact assurant l'amorçage d'arc sur la surface de cathode et établit un déplacement avec course uniforme du fil d'amorçage d'arc pendant de longues périodes de service. L'appareil déclencheur de la présente invention permet une liaison directe de la structure primaire de déplacement de l'ensemble déclen- cheur avec le fil d'amorçage d'arc sans avoir à faire appel aux trans- missions indirectes à pivots ou à leviers utilisées par le passé La présente invention concerne un appareil déclencheur qui est physiquement compatible pour être monté à proximité étroite de la source cathodique tout en produisant des forces importantes pour actionner le fil de contact, sans l'utilisation de structures mécaniques à ressorts La présente invention concerne un appareil déclencheur qui résoud virtuel- lement le problème délicat consistant à maintenir une étanchéité au vide appropriée et une isolation électrique entre l'appareil déclencheur et la chambre interne du système de dépôt et elle permet d'assurer un pompage différentiel de la chambre d'étanchéité dans le cas d'une fuite du joint Ces avantages et d'autres particularités de la présente invention seront mis en-évidence dans la description plus détaillée de l'invention qui va suivre. La présente invention concerne un procédé et un appareil simple et sûr pour amorcer et maintenir un arc électrique sur la surface de matière formant source de revêtement à l'intérieur d'une chambre de dépôt en phase vapeur sous vide et avec arc électrique L'appareil et le procédé conforme à l'invention permettent d'améliorer sensiblement la durée de service du joint d'étanchéité sous vide et également d'amélio- rer la fiabilité au travers de l'orifice d'entrée sur lequel l'appareil déclencheur est monté; ils réduisent au minimum le soudage du contact d'amorçage d'arc avec la matière formant source de revêtement et ils réduisent également au minimum l'entretien et les temps d'arrêt de la chambre de revêtement à cause d'une panne de l'appareil déclencheur. Conformément à un aspect de l'invention, il est prévu un appareil d'amorçage d'arc du type approprié pour être monté sur un orifice d'une chambre de dépôt en phase vapeur afin d'assurer le déplacement d'une tige au contact d'amorçage d'arc pour l'appliquer contre et l'écarter d'une surface de source cathodique pendant un processus de dépôt en phase vapeur avec arc électrique, ledit appareil comprenant: (a) un carter définissant une cavité interne comportant des extrémités placées dans des positions opposées; (b) un moyen de montage du carter sur un orifice d'une chambre de dépôt en phase vapeur; (c) une tige de plongeur s'étendant axialement entre les première et seconde extrémités et montée de façon à coulisser axialement à l'intérieur de la cavité interne du carter; (d) un moyen d'étanchéité disposé et agencé de façon à maintenir une étanchéité au vide dans l'orifice de chambre, entre la chambre et le carter; (e) des moyens de tige de contact accouplés fonctionnellement à la seconde extrémité du plongeur pour se déplacer en réponse à celui-ci, et comportant une partie de contact profilée et agencée pour entrer sélectivement en contact avec une surface d'une source cathodique montée dans la chambre de dépôt en phase vapeur, lesdits moyens de tige de contact réagissant à un mouvement axial de la tige de plongeur pour sélectivement s'appliquer contre et s'écarter de la surface de source cathodique; et (f) des moyens de vérin pneumatique comportant un organe de déplace- ment primaire accouplé fonctionnellement à la première extrémité de la tige de plongeur pour produire un mouvement axial de la tige de plongeur entre les positions de sortie et de retrait de manière que, lorsque la tige de plongeur est placée dans sa position de retrait, lesdits moyens de tige de contact s'appliquent fonction- nellement contre la surface de la source cathodique alors que, lorsque la tige de plongeur est placée dans sa position de sortie, lesdits moyens de tige de contact sont écartés du contact avec la surface de la source cathodique. L'appareil déclencheur conforme à l'invention comprend, en outre, un moyen relié à la tige de plongeur pour maintenir la position angu- laire de la tige par rapport à son axe dans une position angulaire fixe lorsque la tige se déplace entre ses positions de sortie et de retrait, en faisant ainsi en sorte que la tige de contact portée par la tige de plongeur entre toujours en contact aux mêmes points avec la surface de source cathodique Conformément à un mode de réalisation de l'inventions le moyen d'étanchéité de l'appareil déclencheur comprend un premier joint monté dans la cavité cylindrique du carter et formant un joint glissant avec la tige de plongeur ainsi qu'un second joint disposé entre le moyen de montage et la paroi de chambre pour maintenir entre eux une étanchéité au vide Des moyens de protection sont prévus dans l'orifice d'entrée de la chambre pour protéger le moyen d'étanchéité contre un revêtement par de la matière de revêtement vaporisée provenant de la chambre Conformément à un mode de réalisation de l'invention, ces moyens de protection sont montés coaxialement par rapport à la tige de plongeur et comprennent des parties cannelées, espacées axialement, pour réduire au minimum un recouvrement par de la matière de revêtement conductrice le long des moyens de protection. Conformément à un mode de réalisation préféré de l'invention, le carter de l'appareil déclencheur est isolé électriquement de la paroi de la chambre de dépôt au moyen d'un élément isolateur et il est prévu des moyens conducteurs pour établir un passage de courant par l'intermé- diaire de la tige de plongeur et de sa tige de contact associée avec la surface correspondante de la matière formant source de revêtement Dans un mode de réalisation préféré, la tige de contact comprend un fil de contact en molybdène. Dans une construction préférée de l'appareil déclencheur, le moyen d'entraînement du plongeur comprend un cylindre pneumatique qui transmet au plongeur des forces d'entraînement primaires sensiblement égales, aussi bien pour l'amener dans la position-de retrait que dans la posi- tion de sortie Il est avantageux que la force exercée sur le plongeur soit comprise entre 4,5 et 13,5 kg. Dans une construction pî'éférée de l'invention, les joints d'étan- chéité qui entrent en contact avec la tige de plongeur se déplaçant alternativement se présentent sous la forme de joints glissants, espacés axialement et montés à l'intérieur de la cavité de carter La cavité de carter peut être pourvue d'orifices d'accès placés dans des positions adjacentes aux joints glissants afin de permettre une mise sous vide par pompage différentiel de la cavité de carter entre les deux joints d'étanchéité. Conformément à un autre aspect de l'invention, il est prévu un appareil déclencheur d'amorçage d'arc utilisable avec une chambre de dépôt en phase vapeur opérant sous vide et avec arc électrique, compre- nant: (a) un carter pourvu d'une extrémité appropriée pour une fixation sur une chambre de dépôt en phase vapeur sous vide dans une position adjacente à un orifice d'entrée débouchant dans une cavité interne de la chambre; (b) un plongeur s'étendant longitudinalement entre une première et une 2544953 ' seconde extrémité et agencé pour permettre le passage d'un signal électrique; (c) un moyen de montage du plongeur en vue de son mouvement longitudinal orienté entre les positions de sortie et de retrait à l'intérieur du carter, la seconde extrémité du plongeur se dépla- çant alternativement vers et à partir d'une extrémité du carter; (d) un moyen d'étanchéité coopérant avec le plongeur et le carter pour entrer en contact avec eux de façon à former, entre eux, un joint d'étanchéité dynamique lorsque le plongeur se déplace; (e) des moyens de protection montés fonctionnellement dans des positions adjacentes à ladite extrémité du carter et profilés de façon à pénétrer dans l'orifice d'entrée de la chambre afin de protéger le moyen d'étanchéité contre des particules de dépôt en phase vapeur provenant de la chambre et passant par l'orifice d'entrée; et (f) un moyen d'entraînement relié fonctionnellement au plongeur dans une zone adjacente à sa première extrémité pour faire déplacer, * alternativement, le plongeur entre ses positions de sortie et de retrait. L'invention concerne également un procédé d'actionnement d'un appareil déclencheur d'amorçage d'arc du type utilisé dans des chambres de dépôt en phase vapeur avec arc électrique, qui contiennent une matière formant source de revêtement à partir de laquelle un arc élec- trique est amorce, l'appareil déclencheur étant généralement du type qui comprend un carter monté sur la chambre de dépôt dans un orifice d'en- trée de celle-ci, un plongeur monté de façon à se déplacer longitudi- nalement et alternativement dans le carter et comportant une extrémité passant par l'orifice d'entrée de chambre et pénétrant dans la cavité intérieure de la chambre, ainsi qu'un fil d'amorçage d'arc porté par le plongeur et mobile avec celui-ci pour s'appliquer contre et s'écarter de la matière formant source de revêtement, le procédé comprenant les étapes consistant à: (a) produire un mouvement alternatif axial du plongeur entre les positions de sortie et de retrait afin que lefil d'amorçage d'arcporté par celui-ci soit appliqué contre et écarté de la matière de source ou d'apport de revêtement; (b) maintenir l'orientation angulaire du plongeur dans une position prédéterminée par mouvement alternatif du plongeur afin que le fil d'amorçage d'arc entre en contact répété avec la même partie de la matière de source ou d'apport de revêtement dans chaque cycle de mouvement alternatif; et (c) maintenir une étanchéité au vide dans l'orifice d'entrée de chambre et au travers de l'appareil déclencheur pendant le mouve- ment alternatif du plongeur. Bien que la présente invention soit décrite dans la suite en référence à l'utilisation de certains matériaux pour la construction du mode préféré de réalisation, il va de soi que l'invention n'est pas limitée à l'utilisation de tels matériaux En outre, bien que l'inven- tion soit décrite en référence à certaines configurations de joints d'étanchéité qui se sont avérés bien fonctionner pour la configuration particulière des modes préférés de réalisation décrits, il va de soi que l'"nvention n'est pas limitée aux détails de telles configurations de joints d'étanchéité De même, bien que l'invention illustrée par le mode préféré de réalisation soit décrite en référence à une configuration particulière de protection des joints d'étanchéité, il va de soi que d'autres moyens de protection pourraient également être utilisés correc- tement tout en restant dans le cadre de l'invention En outre, bien qu'une structure particulière d'alignement et d'orientation soient décrites pour maintenir l'orientation angulaire de la tige de plongeur dans une position prédéterminée au cours d'un mouvement longitudinal de la tige, il va de soi que d'autres configurations d'alignement pour- raient aussi être utilisées tout en restant dans le cadre de l'inven- tion Il va également de soi que des spécialistes en la matière pour- raient envisager également d'autres variantes de l'invention qui n'ont pas été décrites spécifiquement ci-dessus ou dans la suite, mais qui entrent clairement dans le cadre défini par les revendications ci- jointes. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention seront mis en évidence dans la suite de la description, donnée à titre d'exemple non limitatif, en référence aux dessins annexés dans lesquels: la figure 1 est une représentation schématique d'un ensemble de chambre de dépôt en phase vapeur, montrant les composants fondamentaux d'une structure de dépôt en phase vapeur à l'arc électrique ainsi que la relation 2544953; générale entre cette chambre et un appareil déclen- cheur d'amorçage d'arc; la figure 2 est une vue en perspective d'un ensemble d'activation de déclencheur d'arc électrique agencé conformément aux principes de cette invention; la figure 3 est une vue en coupe de l'ensemble d'activation de déclencheur d'arc électrique représenté sur la figure 2, cette vue étant faite dans le plan vertical passant par la ligne 3-3 de la figure 2 et montrant les plongeurs dans une position en retrait ainsi que l'ensemble déclencheur qui est relié à une paroi de la chambre de dépôt; et la figure 4 est une vue en perspective de l'appareil déclencheur d'arc électrique représenté sur la figure 2, dans une vue faite à partir du côté opposé à celui de la figure 2. On va maintenant donner une description détaillée de l'invention en référence aux dessins; sur la figure 1, on a représenté de façon schématique un système de dépôt sous vide en phase vapeur à l'arc électrique auquel la présente invention est applicable en particulier. Il est à noter que la figure 1 donne seulement une représentation schématique d'un tel système, ladite figure illustrant schématiquement et de façon générale les parties fondamentales d'un système de dépôt en phase vapeur sous vide à l'arc électrique qui sont essentielles pour bien comprendre la présente invention, mais il est à noter que ce schéma n'est, en aucune manière, complet dans le détail Pour une description plus détaillée d'une telle structure, on peut se référer au brevet des Etats Unis d'Amérique N O 3 783 231 délivré à Sablev et al. Sur la figure 1, on a représenté dans son ensemble en 10, une chambre de dépôt sous vide en phase vapeur comportant une enveloppe extérieure 10 a et un élément inférieur de base 10 b qui sont reliés ensemble par l'intermédiaire d*'un joint d'étanchéité approprié (non représenté), de façon à délimiter une cavité intérieure 11 qui définit la chambre de dépôt dans laquelle des substrats doivent être revêtus Un tuyau d'établissement de vide 12 pénètre dans la cavité de chambre 11 et est relié à une pompe à vide appropriée 13 pour produire un vide à l'intérieur de la cavité 11 D'autres orifices d'entrée d'utilisation générale débouchant dans la cavité interne 11 peuvent également être prévus, mais ils n'ont pas été représentés, par exemple en vue de l'introduction de gaz réactifs ou d'autres éléments dans la chambre de dépôt. Une source de matériau de revêtement 15, indiquée sur la figure 1 comme la "cathode", représente l'origine de vapeur ou plasma de revête- ment pour le processus de revêtement par dépôt en phase vapeur Dans un système de dépôt en phase vapeur à l'arc électrique, une telle source de matériau de revêtement représente généralement une masse physique de matière de revêtement telle que du titane, sous une forme solide, généralement cylindrique La matière de source ou d'apport 15 est maintenue à l'intérieur de la cavité de dépôt 11 par un moyen de montage approprié, désigné dans son ensemble par 16 sur le dessin et qui comporte, typiquement, au moins une partie faisant saillie au travers d'une des paroi de la chambre dans l'environnement atmosphérique Dans la représentation schématique de la figure 1, le moyen de montage 16 est représenté comme faisant saillie au travers de l'élément de base 10 b Du fait des fortes intensités de courant électrique passant au travers de la cathode pendant le processus de dépôt en phase vapeur à l'arc élec- trique, la cathode devient extrêmement chaude-, en nécessitant un certain type de refroidissement, qui est habituellement établi au moyen d'un système à écoulement d'eau Un tel moyen de refroidissement est repré- senté schématiquement en 17 sur la figure et il communique avec la cathode 15 et le dispositif de support de cathode 16 par l'intermédiaire du trajet d'écoulement 18 Des moyens appropriés d'étanchéité et d'iso- lation électrique, désignés dans leur ensemble par 19, sont prévus pour maintenir le vide à l'intérieur de la cavité de dépôt 11 et pour isoler électriquement la source 15 des parois 10 a et de la base 10 b de la chambre de dépôt. Une source de courant primaire destinée à fournir de l'énergie pour engendrer et maintenir l'arc électrique dans le système a été désignée dans son ensemble par 20 La borne positive de la source de courant est reliée fonctionnellement à la chambre 10, qui forme "l'anode" du système à arc électrique La borne négative de la source de courant 20 est reliée fonctionnement, par l'intermédiaire du moyen de montage de source 16, à la matière de source ou d'apport 15, cette matière de source ou d'apport agissant comme la "cathode" du système à arc électrique Il est à noter que la source de courant représentée sur les dessins est seulement schématique et qu'il est prévu des moyens appropriés de fourniture de courant pour assurer la génération de l'arc électrique Il est également à noter que la totalité de la chambre extérieure (c'est-à-dire 10 a et 10 b) représentée sur la figure forme l'anode de la structure D'autres configurations d'anode pourraient également être utilisées En outre, des structures d'anode disposées physiquement à l'intérieur de la cavité de chambre Il et séparées des parois de la chambre et de sa base pourraient être polarisées séparément de manière à agir comme anode dans le système à arc électrique (cf par exemple le brevet des Etats Unis d'Amérique n O 3 625 848 de Snaper). Le ou les articles à revêtir à l'intérieur de la chambre sont typiquement appelés des substrats et ils sont désignés dans leur en- semble sur la figure par 22 Les substrats sont montés de façon appro- priée à l'intérieur de la chambre et ils peuvent également être élec- triquement polarisés et/ou chauffés Aucune de ces structures n'a été représentée ici du fait qu'elles ne font pas partie de cette invention. Un ensemble déclencheur d'amorçage d'arc 30 qui est applicable à l'invention est monté sur la chambre 10 dans une zone adjacente à la source 15 et il comporte une partie pénétrant par un orifice d'entrée 14 de la chambre jusque dans la cavité intérieure de dépôt 11 Des moyens d'étanchéité et d'isolement électrique du déclencheur, représentés seulement schématiquement en 21, sont prévus pour maintenir l'étanchéité au vide de la cavité intérieure 11 et pour établir un isolement élec- trique entre le déclencheur 30 et l'anode de chambre 10 Des moyens appropriés d'activation de déclencheur, désignés dans leur ensemble par 32, sont prévus pour l'activation de l'ensemble déclencheur 30 au moyen d'un trajet de passage de signal 31 L'appareil déclencheur 30 comporte un élément en fil d'amorçage d'arc 33, monté dans la chambre 11 et (dans le mode préféré de réalisation) relié directement à l'ensemble déclen- cheur de façon à rentrer en contact avec et à s'écarter de la surface supérieure i 5 a de la matière de source ou d'apport 15 cathodique, comme indiqué sur la figure 1 Du courant électrique est fourni par la sour- ce 20 à l'ensemble déclencheur 30, typiquement par l'intermédiaire d'une résistance 34 et d'un trajet de passage de signal 35 Comme cela sera décrit de façon plus détaillée par la suite, quand le fil d'amorçage d'arc 33 est positionné de manière à toucher la surface supérieure i 5 a de la cathode 15, un circuit électrique fermé est établi à partir de la source de courant 20, par l'intermédiaire de la résistance 34, du trajet de passage de signal 35, de l'ensemble déclencheur 30, de son fil d'amorçage d'arc 33, de la cathode 15, de la structure de support de cathode 16, pour revenir à la source de courant 20 Il va de soi que l'on peut envisager un certain nombre de variantes pour fournir un courant électrique à l'ensemble déclencheur 30, comme le comprendront les spécialistes en la matière, et que la représentation schématique particulière représentée sur la figure 1 est donnée seulement à titre d'exemple. D'une façon générale, l'ensemble déclencheur 30 peut-être actionné pour amener le fil d'amorçage d'arc 33 en contact avec la surface supérieure 15 a de la source cathodique 15 et pour l'écarter de cette surface, cela étant déterminé par des signaux fournis par l'appareil d'activation de déclencheur 32 Quand le fil d'amorçage d'arc 33 entre en contact avec la cathode 15, un circuit fermé (comme précédemment décrit) est établi par l'intermédiaire du fil 33 et un courant passe entre le fil et la surface de cathode Quand le moyen d'activation de déclencheur 32 excite l'ensemble déclencheur 30 de façon à écarter le fil 33 de la surface supérieure 15 a de la source cathodique 15, le circuit électrique entre le fil et la surface cathodique est interrompu, en provoquant la formation d'un arc électrique dans l'intervalle entre le fil et la surface de cathode, ce qui amorce ainsi un arc électrique sur la cathode "L'intervalle" entre le fil 33 et la surface de catho- de 15 a est désigné par "X" sur la figure 1 Lors de l'amorçage de l'arc électrique, le trajet d'arc s'étend immédiatement entre la cathode et l'anode de la chambre et il ainsi maintenu par la source de courant 20. Comme décrit précédemment, de tels trajets d'éclatement d'arc conduisent des courants électriques d'intensités élevées, typiquement supérieurs à ampères Comme précédemment décrit, la concentration d'énergie électrique passant dans les arcs, qui est visible sur la surface de la cathode sous la forme de "concentrations cathodiques", libère de la matière de cathode qui forme la vapeur ou plasma de revêtement, comme indiqué en 25 sur la figure 1 Typiquement, des moyens (non représentés) sont prévus pour maintenir lesdites concentrations cathodiques sur la surface supérieure 15 a de la source cathodique De la matière, libérée à partir de la surface de cathode, se déplace généralement en ligne droite et vers l'extérieur à partir de la surface 15 a de la source cathodique et d'une façon générale elle se disperse dans la cavité interne 11 de la chambre de revêtement 10 en remplissant cette cavité Le ou les sub- strats 22 sont montés de façon appropriée pour intercepter la vapeur de revêtement 25 et ils sont ainsi revêtus, comme cela est bien connu dans l'art antérieur. Périodiquement, pendant un processus ou un "cycle" de dépôt, l'arc électrique partant d'une surface donnée 15 a de la cathode s'éteint, en arrêtant temporairement le processus de revêtement Quand cela se produit, un dispositif approprié de détection d'arc indique l'absence de l'arc électrique et fait en sorte que le dispositif d'activation de déclencheur 32 réexcite l'ensemble déclencheur 30 pour amorcer un autre arc électrique sur la cathode, comme précédemment décrit Un tel circuit ou dispositif de détection d'arc est bien connu dans l'art antérieur et il n'a pas été représenté sur la figure autrement qu'en ce qui concerne sa nature générale, sous la forme du réseau d'activation de déclen- cheur 32 Cependant, typiquement un tel dispositif de détection d'arc se présente sous la forme d'un circuit électrique qui détecte le changement de conditions électriques ou bien, à l'intérieur du circuit de maintien d'arc, ce qui se produit quand l'arc électrique est éteint. On a représenté sur les figures 2 et 4, des vues en perspective d'-une structure préférée d'un ensemble déclencheur 30 qui met en oeuvre les principes de la présente invention Une vue en coupe, plus détail- lée, de l'ensemble déclencheur 30 est représentée sur la figure 3 dans la condition o un tel ensemble apparait lorsqu'il est monté sur une paroi de la chambre de dépôt et quand le plongeur est placé dans une position de "retrait" faisant en sorte qu'un fil d'amorçage d'arc 33 touche la surface de cathode 15 a En référence aux figures 2 à 4, un vérin pneumatique 40 a été représenté schématiquement Ce vérin pneuma- tique 40 peut avoir tout mode de construction approprié et, dans le mode préféré de réalisation, il est constitué par un cylindre pneumatique linéaire qui utilise une pression d'air pour faire déplacer un organe à piston plongeur suivant des courses précises de poussée/traction de 25,4 mum suivant un axe linéaire Le cylindre pneumatique 40 comporte d'une façon générale un carter extérieur 40 a définissant une cavité cylindrique intérieure 40 b comportant un premier et un second orifices d'admission 40 c, 40 d, débouchant dans la cavité intérieure 40 b Des raccords 41 et 42 sont respectivement reliés à des tuyaux d'air 31 1 et 31 2 qui sont respectivement reliés au premier et au second orifices d'entrée 40 c et 40 d de la cavité 40 b de façon à former des passages d'air passant par lesdits orifices et aboutissant aux tuyaux d'air respectifs Les tuyaux d'air 31 1 et 31 2 constituent collectivement le trajet de transmission de signaux d'activation (désigné par 31 sur la figure 1) de l'ensemble déclencheur 30 Le carter du cylindre pneu- matique définit, en outre, un orifice de sortie 40 e aligné axialement avec la cavité 40 b du cylindre et qui reçoit, de façon coulissante, une tige de plongeur cylindrique 43 afin de permettre son mouvement axial. L'extrémité de la tige de plongeur 43 du cylindre pneumatique qui est placée à l'intérieur de la cavité 40 b est reliée à un piston 44 de manière à se déplacer axialement à l'intérieur de la cavité interne 40 b, comme indiqué que la figure 3 L'autre extrémité de la tige de plon- geur 43, qui sort axialement à l'extérieur par l'orifice de sortie 40 e du cylindre, est filetée de manière à pouvoir être fixée sur la tige de plongeur du déclencheur, comme cela sera décrit dans la suite Des joints d'étanchéité appropriés, désignés dans leur ensemble par 45, sont disposés entre le piston 44 et les parois intérieures du cylindre 40 a de manière à établir un joint étanche entre les deux orifices d'entrée 40 c et 40 d de la cavité, et à séparer la cavité en deux chambres De même, des joints d'étanchéité appropriés, désignés dans leur ensemble par 46, entrent en contact glissant avec le plongeur 43 du cylindre pneumatique dans une zone adjacente à l'orifice de sortie 40 e du cylindre, de façon à créer un joint étanche à l'air comprimé à l'intérieur de la cham- bre 40 b Bien qu'on ait décrit des caractéristiques standard générales d'un tel cylindre pneumatique ci-dessus, il va de soi qu'une telle description est d'une nature générale et que l'invention n'est pas limitée à de tels détails mais qu'on peut utiliser tout type approprié de cylindres pneumatiques. Dans le mode préféré de réalisation, le cylindre pneumatique est un cylindre à double effet, fabriqué par Clippard, type SDR 08 1, qui est actionné par de l'air comprimé provenant des tuyaux d'air 31 1 et 31.2 de façon à faire coulisser le piston 44, relié à la tige de plon- geur 43, suivant des courses de 25,4 mm dans la direction axiale de la tige de plongeur 43 Comme indiqué sur la figure 3, le piston 44 est placé dans sa position de "retrait" (c'est-à-dire qu'il est placé dans la position limite de gauche en regardant la figure 3) Le cylindre pneumatique 40 est du type à action "positive", qui nécessite l'injec- tion d'air comprimé contre les faces respectives du piston 44 pour qu'un mouvement se produise Aucun ressort n'intervient dans le fonctionnement du cylindre En conséquence, la même force d'entraînement peut être appliquée par la tige de plongeur 43 à une pièce (comme le plongeur de déclencheur, décrit dans la suite), dans les deux directions de déplace- ment du piston 44 Cela crée une différence sensible avec les structures de déclencheurs électromagnétiques de l'art antérieur o les forces d'application et d'écartement qui peuvent être fournies par de tels ensembles déclencheurs électromagnétiques sont sensiblement différentes, ou encore o les moyens d'application des forces sont très différents. L'air d'actionnement appliqué au cylindre pneumatique par intermédiaire des tuyaux d'air 31 1 et 31 2 est fourni par un moyen d'activation de déclencheur approprié 32 (cf figure 1) On peut utiliser dans ce but tout moyen approprié d'entraînement et de commande qui applique la pression d'air différentielle désirée pour entraîner le piston 44 à l'intérieur de la cavité de cylindre 40 b au moment désiré Dans une construction préférée d'un tel moyen d'activation de déclencheur 32, un circuit de minutage électronique est utilisé pour appliquer des signaux électroniques d'activation à un distributeur à quatre voies qui établit les écoulements d'air appropriés dans les tuyaux d'air 31 1 et 31 2 Des particularités de conception de tels moyens d'activation de déclencheur sont bien connus des spécialistes en la matière, et on ne les décrira pas de façon plus détaillée du fait que cela n'est pas nécessaire pour la compréhension de l'invention. L'extrémité de sortie du carter 40 du cylindre pneumatique est vissée dans-un trou ménagé dans la plaque extrême de fixation 50 a d'un élément 50 de premier carter de déclencheur Un écrou de blocage 51 est vissé sur l'extrémité du cylindre pneumatique 40 afin de bloquer ce cylindre contre la plaque de montage 50 a, comme indiqué sur la figure 3. Le premier carter de déclencheur 50 a une forme cylindrique creuse à l'extérieur de la plaque extrême de montage 50 a et en direction d'une extrémité opposée ouverte et filetée intérieurement 50 b, et il est aligné coaxialement avec le carter 40 du cylindre pneumatique Une partie de la paroi extérieure du carter de déclencheur est évidée en 50 c et une fente d'alignement 50 d est ménagée longitudinalement au travers de la paroi extérieure à partir d'une position adjacente à la plaque extrême 50 a et en direction de l'extrémité ouverte 50 b Dans le mode préféré de réalisation, la fente d'alignement 50 d s'étend dans une direction parallèle à l'axe central du carter du déclencheur 30 et elle définit une fente linéaire de guidage; cependant, il va de soi que d'autres configurations pourraient être envisagées pour cet ensemble de guidage. Un carter de joints de tige 60 s'étend entre des première et seconde extrémités 60 a, 60 b, et définit un passage cylindrique inter- ne 60 c, les traversant axialement Le passage 60 c comporte une partie élargie 60 d qui est formée dans une zone adjacente à la première extré- mité 60 a du carter 60 Deux parties de flasque de montage 60 e s'étendent radialement vers l'extérieur à partir du corps principal du carter de tige 60 et comportent des trous les traversant de manière à recevoir des boulons de fixation Plusieurs trous filetés 60 f sont ménagés à l'inté- rieur de la première extrémité 60 a du carter de joints (cf figure 3). Un trou fileté 60 g, orienté radialement, forme un passage entre la surface extérieure du carter de joints 60 et la partie élargie du - passage interne 60 d Un raccord pneumatique 61 est vissé dans le trou 60 g s'étendant radialement et il est relié à un circuit de vide, représenté en traits mixtes en 62 Le raccord pneumatique 61 est tra- versé par un passage qui établit une communication directe entre le circuit de vide 62 et la partie élargie du passage interne 60 d, par l'intermédiaire du trou 609 Le circuit de vide est relié fonctionnel- lement à une pompe à vide appropriée (non représentée) Un bouchon fileté extérieurement 65, comportant un trou cylindrique interne 65 a le traversant, est aligné coaxialement avec le carter de joints de tige 60, de manière que le trou fileté 65 a soit aligné coaxialement avec le passage interne cylindrique 60 c du carter de joints 60 et il est soli- dement fixé sur la première extrémité 60 a du carter de joint au moyen de plusieurs vis 66 alignées avec et vissées dans les différents trous filetés 60 f du carter de joints 60 L'ensemble formé par le carter de joints 60 et le bouchon 65 est vissé dans l'extrémité filetée 50 b du premier carter de déclencheur 50 afin de former un ensemble aligné * coaxialement avec le cylindre pneumatique 40. Une tige de plongeur de déclencheur 70 s'étendant entre les première et seconde extrémités 70 a, 70 b, est montée coaxialement à l'intérieur du passage interne cylindrique 60 c du carter de joints et au travers du trou cylindrique 65 a du bouchon 65, tandis que sa seconde extrémité 70 b fait saillie, lorsqu'elle est montée en service comme décrit dans la suite, à l'intérieur de la cavité Il de la chambre de dépôt Un passage fileté axialement s'étend à l'intérieur de la tige de plongeur 70 au travers de sa première extrémité 70 a et un passage axial non fileté 70 c pénètre dans la tige de plongeur de déclencheur 70 au travers de sa seconde extrémité 70 b Un trou fileté 70 d s'étend radialement par delà la surface extérieure de la tige de plongeur de déclencheur 70 dans une zone adjacente à sa seconde extrémité 70 b et débouche dans le passage s'étendant axialement 70 c Une vis de réglage 71 est vissée dans le trou 70 d L'extrémité filetée de la tige de plongeur 43 du cylindre pneumatique est vissée axialement dans la première extrémité filetée 70 a de la tige de plongeur de déclencheur 70 et elle est bloquée en position au moyen d'un écrou de retenue 73, en plaçant les deux tiges de plongeur 43 et 70 en alignement coaxial l'une avec l'autre. Une patte d'alignement 74 est clavetée sur la première extré- mité 70 a de la tige de plongeur de déclencheur 70 en vue d'assurer une orientation fixe et de permettre son mouvement autour de l'axe central de la tige de plongeur 70 et elle est pourvue d'une languette allongée s'étendant radialement vers l'extérieur à partir de l'axe de la tige et passant dans la fente de guidage 50 d du carter de déclencheur pri- maire 50 La patte d'alignement 74 coulisse dans la direction longitudi- nale à l'intérieur de la fente de guidage 50 d lorsque la tige de plon- geur de déclencheur 70 exécute un mouvement alternatif axial, en empê- chant la tige de plongeur 70 de tourner autour de son axe central. Un connecteur électrique du type-rondelle, désigné dans son ensemble par 76, est monté sur la partie extrême filetée de la tige 43 du plongeur de cylindre pneumatique, interposé entre deux rondelles 77 et 78 et fixé en même temps que la patte de guidage d'alignement 74 sur la première extrémité 70 a de la tige de plongeur de déclencheur 70 au moyen de l'écrou 73 Le connecteur 76 est relié à un conducteur électri- que 35, qui définit le trajet de passage de signaux 35 de la figure 1 et il établit une liaison électrique entre la source de courant 20 et la tige de plongeur de déclencheur 70. Deux joints annulaires d'étanchéité 21 1 et 21 2 sont montés à l'intérieur de la partie de passage interne élargi 60 d du carter de joints de tige 60, de manière à entrer en contact glissant avec la surface cylindrique extérieure de la tige de plongeur de déclencheur 70 quand celle-ci se déplace, alternativement et longitudinalement, à l'intérieur du carter de joints Un élément annulaire d'espacement 67 en nylon est monté entre les joints d'étanchéité 21 1 et 21 2 et il est placé radialement en regard de l'orifice de pompe à vide 60 g, en permet- tant un pompage différentiel entre les joints d'étanchéité 21 1 et 21 2. Le bouchon extrême 65 retient les joints d'étanchéité et l'élément d'espacement en place à l'intérieur de la cavité 60 d. L'agencement à joints multiples 21 1 et 21 2 et l'élément d'es- pacement 67 établissent un joint étanche à l'air avec la tige de plongeur de déclencheur afin de maintenir l'étanchéité au vide de la cavité interne 11 de la chambre de dépôt 10, cet agencement comprenant en partie le moyen d'étanchéité 21 représenté sur la figure 1 La structure à joints multiples forme également une surface d'appui glis- sant pour le guidage axial de la tige de plongeur 70 quand elle se déplace alternativement et longitudinalement vers l'avant et vers l'arrière au travers du carter de joints de tige 60 La structure à joints multiples est positionnée en "aval" de l'entrée dans la chambre de dépôt, de sorte que les joints d'étanchéité 21 1 et 21 2 entrent en contact avec la partie de surface longitudinale de la tige de plongeur de déclencheur 70 qui n'a pas été exposée au plasma de revêtement 25 à l'intérieur de la chambre En conséquence, on réduit au minimum un endommagement des joints d'étanchéité 21 1 et 21 2 par suite d'un contact frottant avec de la matière déposée sur la tige de plongeur de déclencheur 70 En outre, le joint d'étanchéité 21 1 est le plus rap- proché de la chambre de dépôt et est suffisamment espacé axialement de l'ouverture débouchant dans la chambre et les tolérances dimensionnelles entre la tige de plongeur 70 et les parois cylindriques inférieures du passage interne 60 c sont suffisamment petites pour empêcher que de la matière de revêtement ne progresse longitudinalement entre la tige de plongeur 70 et le passage interne 60 c pour recouvrir directement le joint d'étanchéité 21 1. Dans le mode préféré de réalisation de l'invention, les parties principales de l'ensemble déclencheur décrit ci-dessus (c'est-à-dire le carter de déclencheur 50, le carter de joint de tige 60, le bouchon 65, la tige de plongeur de déclencheur 70 et la patte de guidage 74) sont réalisées en acier inoxydable Cependant, il va de soi que l'on pourrait utiliser d'autres matériaux et à la condition que ces matériaux soient choisis pour établir un trajet d'une bonne conductivité électrique entre le conducteur 35 et la seconde extrémité 70 b de la tige de plongeur de déclencheur. Un élément d'espacement,-de traversée et de protection 80 est agencé de façon à être disposé coaxialement par rapport au carter de joint d'étanchéité 60 et il constitue une barrière électriquement isolante entre la paroi 10 b de la chambre de dépôt et le carter de joints de tige 60 ainsi que la tige de plongeur de déclencheur 70 Dans le mode préféré de réalisation, l'élément de traversée 80 est formé de nylon, qui est un bon isolant, a de bonnes caractéristiques de tempéra- ture et est peu sujet au dégazage sous vide; cependant, on pourrait aussi utiliser d'autres matériaux L'élément de traversée 80 comporte une partie élargie en forme de flasque qui est agencée pour être inter- posée entre la seconde extrémité 60 b du carter de joints de tige 60 et la surface extérieure de la paroi l Ob de la chambre de dépôt Dans le mode préféré de réalisation représenté, la forme périphérique de la partie élargie en forme de flasque 80 a est semblable à celle des parties formant flasques de montage 60 e du carter de joints de tige 60 (cf. figures 2 et 4) et il comprend deux trous de fixation 80 b alignés avec ceux de la partie de montage du carter de joints de tige et dans lesquels sont engagés deux boulons de montage en nylon 82 La partie élargie en forme de flasque 80 a comporte deux rainures annulaires 80 c sur ses faces extérieures, de manière à recevoir deux bagues tori- ques 21 3 et 21 4 Les boulons de fixation 82 passent dans des trous alignés ménagés dans le carter de joints de tige 60 e et dans des trous 80 b ménagés dans la partie en forme de flasque 80 a de l'élément d'espacement 80 et ils sont vissés dans la plaque de base 10 b de la chambre de dépôt, en assurant la fixation de l'ensemble du déclen- cheur 30 sur la paroi de la chambre de dépôt Dans une telle condition de montage, les bagues toriques 21 3 et 21 4 établissent, avec les joints 21 1 et 21 2, une étanchéité à l'air dans l'orifice d'entrée de déclencheur 14 de la cavité Il de la chambre de dépôt et constituent'les moyens d'étanchéité 21 de la figure 1 Il est à noter que les bagues toriques 21 3 et 21 4 sont protégées contre une contamination par le plasma de revêtement 25 à l'intérieur de la chambre de dépôt 11. L'élément d'espacement et de traversée 80 définit, en outre, un élément de protection, désigné dans son ensemble par 80 d, aligné axiale- ment avec et recouvrant la tige de plongeur de déclencheur 70, en étant dimensionné pour s'emboiter dans et dépasser de l'orifice d'entrée de déclencheur 14 de la paroi 10 b de la chambre de dépôt L'extrémité avant de la partie de protection 80 d se termine dans une position légèrement espacée en arrière de la vis de blocage 71 de la tige de plongeur de déclencheur 70 lorsque la tige 70 est placée dans la position de "retrait" (comme indiqué sur la figure-3) L'élément de protection 80 d comporte un épaulement de "centrage" 80 d' légèrement en saillie par rapport à la surface avant de la partie élargie en forme de flasque 80 a et profilé de façon à assurer le centrage de l'élément de protection 80 dans l'orifice d'entrée 14 de la paroi de chambre 10 b L'élément de protection 80 d comporte également plusieurs cannelures annulaires espacées 80 e qui sont réparties axialement le long de la surface extérieure de l'élément de protection 80 b entre l'épaulement 80 d' et l'extrémité libre de l'élément de protection 80 d Dans le mode préféré de réalisation, les éléments cannelés 80 e sont tous disposés axialement de façon à venir se placer "à l'intérieur" de l'orifice d'entrée de la chambre de dépôt lob; cependant, ces éléments cannelés pourraient également s'étendre à l'intérieur de la chambre de dépôt, au-delà de la paroi intérieure de la chambre Les éléments cannelés allongent la "durée de vie comme isolant" de l'élément d'espacement 80 pendant une période prolongée de revêtement, quand la matière de revêtement en train d'être déposée est "conductrice" La partie du trou intérieur 80 f de l'élément de protection 80 d dans lequel se déplace la tige de plongeur de déclencheur 70, est élargie (cf figure 3) par comparaison au diamètre du passage traversant la partie de flasque arrière 80 a de l'élément d'espacement 80 La longueur de cette partie de diamètre intérieur élargie coïncide généralement avec ou est légèrement supérieure à la course (c'est-à-dire la distance de déplacement axial) de la tige de plongeur de déclencheur et elle permet à cette partie de la tige de plongeur de déclencheur 70 (indiquée en "Y" sur la figure 3) d'être revêtue pendant une période prolongée par le plasma de revêtement 25, sans provoquer un collage ou un coincement à l'intérieur de l'élément de traversée 80. Un fil d'amorçage d'arc 33 est inséré dans le trou axial 70 c au travers de la seconde extrémité 70 b de la tige de plongeur de déclen- cheur 70 et il est fixé solidement en place par la vis de blocage 71 Le fil d'amorçage d'arc est constitué de molybdène dans le mode préféré de réalisation et il est incurvé graduellement vers le bas en direction de la matière 15 de la source cathodique afin d'entrer en contact avec celle- ci L'extrémité du fil 33, qui entre en contact avec la surface de cathode 15 a, est légèrement recourbée en forme de crochet afin d'établir une surface uniforme de contact avec la cathode L'incurvation graduelle du fil rend ce dernier plus rigide quand il s'applique contre la cathode et quand il s'écarte de celle-ci En étant fixé sur la tige de plongeur de déclencheur 70, le fil d'amorçage d'arc 33 entre en contact répétitif avec la surface de cathode 15 a en un même point de cette surface puis- qu'une rotation de la tige de plongeur autour de l'axe central de celleci est empêché par engagement de la patte d'alignement 74 dans la fente d'alignement 50 d La longueur du fil d'amorçage d'arc 33 est choisie, en combinaison avec son rayon de courbure, de manière que, lorsque la tige de plongeur 70 se trouve dans sa position limite supé- rieure (écartée), l'espacement de l'extrémité libre du fil par rapport à la surface supérieure de cathode 15 a (c'est-à-dire la distance "X" sur la figure 1) soit légèrement inférieur à la course de la tige de plon- geur 70. Comme on peut commodément s'en rendre compte, l'ensemble déclen- cheur conforme à l'invention constitue un appareil d'amorçage d'arc qui est simple, extrêmement sûr et peu coûteux pour une utilisation dans des systèmes de dépôt en phase vapeur à l'arc électrique et qui ne nécessite virtuellement aucun entretien pendant des périodes prolongées d'utilisa- tion intensive Dans les ensembles déclencheurs électromagnétiques de type connu, le dispositif de déclenchement, et en particulier ses joints d'étanchéité, nécessitaient un nettoyage poussé et/ou un remplacement après-chaque cycle de dépôt Souvent, il était nécessaire de remplacer la totalité de l'ensemble déclencheur proprement dit, après un ou plusieurs cycles de dépôt Grâce à la présente invention, l'appareil déclencheur 30 s'est avéré nécessiter peu ou pas d'entretien au bout de nombreux cycles de dépôt et il peut ne pas nécessiter un remplacement ou un nettoyage pendant une période pouvant atteindre un mois lors d'une utilisation normale de la chambre de dépôt Lorsqu'un nettoyage est nécessaire, l'élément d'espacement et de protection peut être rapidement remplacé par un élément propre. Le cylindre pneumatique 40 applique une force de poussée et de traction par l'intermédiaire du plongeur 43 à la tige de plongeur de déclencheur 70 pour faire déplacer le fil d'amorçage d'arc 33 afin de l'appliquer contre la surface de cathode 15 a et de l'écarter de celle-ci La force préférée sélectionnée dans le mode préféré de réali- sation de l'invention est une force de 9 kg dans les deux directions, c'est-à-dire une force qui est supérieure de plus du double à celle précédemment disponible avec les structures électromagnétiques connues. Cependant, il va de soi que les configurations du cylindre pneumatique et du mécanisme d'entraînement pourraient être agencées de façon à utiliser une pression différentielle pour faire descendre et monter le fil d'amorçage d'arc Par exemple, une plus grande force de montée ou de levage pourrait être souhaitable pour assurer une protection contre un collage ou un soudage éventuel du fil d'amorçage d'arc à la surface de cathode, par rapport à ce qui serait nécessaire pour des opérations de descente de fil La liaison "directe" du fil d'amorçage d'arc avec le plongeur de déclencheur 70 et son incurvation graduelle sur la surface de cathode 15 a permettent d'utiliser directement la-totalité de la force de poussée/traction produite par le cylindre pneumatique pour engendrer le mouvement linéaire du fil d'amorçage d'arc afin de l'appliquer contre la surface de cathode et de l'écarter de celle-ci Aucun mécanisme à levier ou montage pivotant du fil d'amorçage d'arc et aucun système à ressorts ne sont utilisés ou nécessaires Il en résulte qu'il se produit rarement un soudage du fil 33 sur la surface de cathode La structure de guidage à patte d'alignement pour limiter le mouvement de rotation du plongeur de déclencheur 70 autour de son axe, fait en sorte que le fil d'amorçage d'arc 33 vienne toucher la surface de cathode 15 a au même endroit à chaque fois que l'appareil déclencheur est actionné En outre, puisqu'il n'est prévu aucun élément élastique critique susceptible de se dégrader, un échauffement électrique et thermique normal de l'ensemble déclencheur 30 a peu d'influence sur la fiabilité de l'ensemble. Les joints d'étanchéité critiques 21, qui maintiennent l'étan- chéité de la chambre de vide dans l'ensemble déclencheur, sont protégés contre le plasma de revêtement 25 au moyen de l'isolateur de traver- sée 80 Des particules provenant du plasma de revêtement qui diffusent, en passant par l'orifice d'entrée de déclencheur 14 de la paroi de chambre 10 b, se déposent essentiellement sur les surfaces supérieures des éléments cannelés 80 e qui sont dirigés vers la cavité 11 de la chambre de revêtement Un tel dépôt diminue progressivement sur les éléments cannelés 80 e à mesure que l'on se rapproche de l'épaule- ment 80 d' Une quantité minime du plasma de revêtement 25 atteint et se dépose sur la bague torique d'étanchéité 21 4, qui est correctement protégée contre l'environnement de revêtement de la chambre interne 11. En outre, même si les surfaces avants ou supérieures des éléments cannelés 80 e sont entièrement revêtus de la matière conductrice de dépôt, les parties inférieures-ou dirigées vers l'arrière desdits éléments cannelés, qui sont placées dans la zone "d'ombre" par rapport rctô,ai-om O nt ér 9 r 5 Jre 4 ean_ ï%lr P Ftinn de 16, caractérisé en ce qu'il comprend un support d'un moyen d'étanchéité pour établir une étanchéité aâ 4 yide entre ladite chambr Jl Q et leledit En conséquence, il ne se produit pas facilement un court-circuit élec- t t, as t-. , caractérisé en ce que ladite seconde extrémité ( 70 b) dudit plongeur ( 70) est agencée de manière à recevoir de façon amovible un fil d'amor- çage d'arc ( 33). 20. Appareil déclencheur d'amorçage d'arc selon la revendication 19, caractérisé en ce qu'il comprend une connexion électrique ( 76) reliée fonctionnellement audit plongeur ( 70)dans une zone adjacente à sa t I élément d'entraînement actionné pneumatiquement pour faire déplacer r =-',-, * 2 7 "± étroite de la matière de source ou d'apport de cathode, sa disposition étant limitée seulement par la forme et la structure de la cathode proprement dite et de son moyen de montage. Bien que la présente ait été décrite en référence à son applica- tion dans un mode préféré de réalisation, il va de soi qu'un certain nombre de variantes de ce mode de réalisation et des matières utilisées dans sa construction sont possibles En conséquence, l'invention n'est pas limitée au mode de réalisation décrit ou à l'utilisation d'éléments ou matières spécifiques précisés dans la description Toutes les autres- modifications et variantes de la présente invention rentrent dans le cadre défini par les revendications ci-jointes. REVENDICATIONS 1. Dispositif d'amorçage d'arc du type approprié pour être monté sur un orifice d'une chambre de dépôt en phase vapeur, afin de déplacer une tige d'amorçage d'arc pour l'amener en contact avec une surface de source cathodique et pour l'écarter de celle-ci pendant un processus de dépôt en phase vapeur à l'arc électrique, caractérise en ce qu'il comprend: (a) un carter ( 50, 60, 80) définissant une cavité interne comportant des extrémités placées dans des positions opposées; (b) des moyens de montage ( 60, 80) dudit carter sur un orifice ( 14) d'une chambre ( 11) de dépôt en phase vapeur; (c) une tige de plongeur ( 70) s'étendant axialement entre les première et seconde extrémités et montée de façon à coulisser axialement à l'intérieur de la cavité interne du carter ( 50, 60, 80); (d) des moyens d'étanchéité ( 21) disposés et agencés de façon à maintenir une étanchéité au vide dans ledit orifice ( 14) entre ladite chambre ( 11) et ledit carter; (e) des moyens de tige de contact ( 33) accouplés fonctionnellement à la seconde extrémité du plongeur ( 70) pour se déplacer en réponse à celui-ci, et comportant une partie de contact profilée et agencée pour entrer sélectivement en contact avec une surface ( 15 a) d'une source cathodique ( 15) montée dans la chambre ( 11) de dépôt en phase vapeur, lesdits moyens de tige de contact réagissant à un mouvement axial de la tige de plongeur pour sélectivement s'appliquer contre et s'écarter de la surface ( 15 a) de source cathodique; et (f) des moyens de vérin pneumatique ( 40) comportant un organe de déplacement primaire ( 44) accouplé fonctionnellement à la première extrémité de la tige de plongeur ( 70) pour produire un mouvement axial de la tige de plongeur ( 70) entre les positions de sortie et de retrait de manière que, lorsque la tige de plongeur ( 70) est placée dans sa position de retrait, lesdits moyens de tige de contact ( 33) s'appliquent fonctionnellement contre la surface ( 15 a) de la source cathodique ( 15) alors que, lorsque la tige de plongeur ( 70) est placée dans sa position de sortie, lesdits moyens de tige de contact sont écartés du contact avec ladite surface ( 15 a) de la source cathodique ( 15). 2. Dispositif d'amorçage d'arc selon la revendication 1, caracté- risé en ce qu'il comprend en outre un moyen ( 74) relié fonctionnellement à ladite tige de plongeur ( 70) pour maintenir sa position angulaire autour de son axe dans un attitude angulaire fixe lorsque ladite tige ( 70) se déplace entre lesdites positions de sortie et de retrait. 3. Dispositif d'amorçage d'arc selon la revendication 1, caracté- risé en ce que lesdits moyens d'étanchéité ( 21) comprennent: - (a) un premier joint d'étanchéité ( 21 1) monté à l'intérieur de la cavité cylindrique et entrant en contact coopérant avec ladite tige de plongeur ( 70) pour former un joint coulissant avec ladite tige-de plongeur ( 70); (b) un second joint d'étanchéité ( 21 3) disposé fonctionnellement entre lesdits moyens de montage ( 60, 80) et ladite chambre ( 11) pour maintenir entre eux une étanchéité au vide. 4. Dispositif d'amorçage d'arc selon la revendication 3, caracté- risé en ce qu'il comprend en outre un moyen de protection ( 80) monté coaxialement par rapport à la tige de plongeur ( 70) et agencé de façon à pénétrer dans la chambre de dépôt de vapeur ( 11) afin de protéger le second joint d'étanchéité ( 21 3) contre un revêtement par le matériau du plasma de revêtement à l'intérieur de la chambre de dépôt ( 11). 5. Dispositif d'amorçage d'arc selon la revendication 4, caracté- risé en ce que ledit moyen de protection ( 80) comprend une matière d'isolation électrique. 6. Dispositif d'amorçage d'arc selon la revendication 5, caracté- risé en ce que ledit moyen de protection ( 80) comprend une pluralité de parties cannelées ( 80 e) alignées coaxialement autour de la tige de plongeur ( 70) et orienté de façon à arrêter le matériau du plasma de revêtement se propageant de la chambre de revêtement ( 11) vers le second joint d'étanchéité ( 21 3). 7. Dispositif d'amorçage d'arc selon la revendication 6, caracté- risé en ce que lesdits moyens de montage ( 60, 80) comprennent un moyen isolateur ( 80) disposé entre ledit carter ( 60) et la chambre de dépôt ( 11), afin d'isoler électriquement ledit carter ( 60) par rapport à ladite chambre ( 11) et en ce que ledit second joint d'étanchéité ( 21 3) entre en contact coopérant avec ledit moyen isolateur. 8. Dispositif d'amorçage d'arc selon la revendication 7, caracté- risé en ce qu'il comprend en outre un moyen électriquement conducteur ( 76) relié fonctionnellement à ladite tige de plongeur ( 70) pour faire passer un courant électrique dans celle-ci de manière qu'un trajet d'écoulement de courant électrique soit établi par l'intermédiaire de ladite tige de plongeur ( 70) et de ladite tige de contact ( 33) avec la surface ( 15 a) de la cathode ( 15), lorsque ladite tige de contact ( 33) est positionné fonctionnellement de manière à toucher ladite surface de cathode. 9. Dispositif d'amorçage d'arc selon la revendication 2, caracté- risé en ce que ledit carter ( 50, 60, 80) définit une fente d'alignement ( 50 d) s'étendant latéralement et en ce que ladite tige de plongeur ( 70) comprend une patte ( 74) s'étendant radialement et agencée et profilée de façon à coulisser à l'intérieur de ladite fente d'alignement ( 50 d) de manière que, quand la tige de plongeur ( 70) se déplace entre lesdites positions de sortie et de retrait, un alignement radial de ladite tige ( 70) soit maintenu dans une position qui est déterminé par ledit ensem- ble formé par la tige et la patte. 10. Dispositif d'amorçage d'arc selon la revendication 1, caracté- risé en ce que ladite tige de contact comprend un fil de contact en molybdène ( 33) et en ce qu'il est, en outre, prévu un moyen ( 71) pour relier directement ledit fil ( 33) à ladite seconde extrémité de la tige de plongeur ( 70) pour qu'il se déplace en même temps que celle-ci. 11. Dispositif d'amorçage d'arc selon la revendication 1, caracté- risé en ce que lesdits moyens de vérin pneumatique ( 40) comprennent un moyen pour y faire déplacer ledit organe de déplacement primaire ( 44) avec un force sensiblement égale à la fois dans la direction de retrait et dans la direction de sortie. 12. Dispositif d'amorçage d'arc selon la revendication 11, carac- térisé en ce que ladite force d'entraînement est comprise entre 4,5 et 13,5 kg. 13. Dispositif d'amorçage d'arc selon la revendication 3, caracté- risé en ce que ledit premier joint d'étanchéité ( 21 1, 21 2) comprend deux éléments d'étanchéité qui entrent en contact fonctionnel avec ladite tige de plongeur ( 70) et qui sont répartis axialement le long de celleci dans ladite cavité de carter, c'est-à-dire une configuration à double joint d'étanchéité. 14. Dispositif d'amorçage d'arc selon la revendication 13, carac- térisé en ce qu'il comprend en outre un orifice d'accès ( 61, 60 g) formé au travers dudit carter et débouchant dans ladite cavité de carter dans une position placée entre les deux éléments d'étanchéité ( 21 1, 21 2) précités et en ce qu'il est prévu une pompe à vide ( 13) reliée fonction- nellement audit orifice d'accès pour assurer un pompage différentiel de mise sous vide de la cavité de carter entre les deux éléments d'étan- chéité précités. 15. Appareil déclencheur d'amorçage d'arc utilisable avec une chambre de dépôt en phase vapeur sous vic-3 à l'arc électrique, caracté- risé en ce qu'il comprend: (a) un carter ( 60) pourvu d'une extrémité appropriée ( 60 b) pour une fixation sur une chambre de dépôt ( 10) en phase vapeur sous vide dans une position adjacente à un orifice d'entrée ( 14) débouchant dans une cavité interne ( 11) de la chambre ( 10); (b) un plongeur ( 70) s'étendant longitudinalement entre une première et une seconde extrémités ( 70 a et 70 b)et agencé pour permettre le passage d'un signal électrique; (c) un moyen de montage du plongeur ( 70) en vue de son mouvement longitudinal orienté entre des positions de sortie et de retrait à l'intérieur du carter, la seconde extrémité ( 70 b) du plongeur se déplaçant alternativement vers et à partir d'une extrémité du carter; (d) un moyen d'étanchéité ( 21) coopérant avec le plongeur ( 70) et le carter ( 60) pour entrer en contact avec eux de façon à former, entre eux, un joint d'étanchéité dynamique lorsque le plongeur se déplace; (e) des moyens de protection ( 80) montés fonctionnellenient dans des positions adjacentes à ladite extrémité du carter et profilés de façon à pénétrer dans l'orifice d'entrée ( 14) de la chambre afin de protéger le moyen d'étanchéité ( 21) contre des particules de dépôt en phase vapeur provenant de la chambre et passant par l'orifice d'entrée; et (f) un moyen d'entraînement ( 40) relié fonctionnellement au plongeur ( 70) dans une zone adjacente à sa première extrémité ( 43 a) pour faire déplacer, alternativement, le plongeur ( 70) entre ses positions de sortie et de retrait. 16. Appareil déclencheur d'amorçage d'arc selon la revendication , caractérisé en ce qu'il comprend un moyen de montage de ladite extrémité ( 60 b) dudit carter ( 60) sur la chambre de dépôt de vapeur de façon que la seconde extrémité ( 70 b) du plongeur ( 70) pénètre fonctionnellement dans ledit orifice d'entrée ( 14). 17. Appareil déclencheur d'amorçage d'arc selon la revendication , caractérisé en ce qu'il comprend, en outre, un moyen isolateur électrique ( 80) interposé entre la chambre ( 10) et ladite extrémité ( 60 b) dudit carter ( 60) pour isoler électriquement ledit carter de ladite chambre. 18. Appareil déclencheur d'amorçage d'arc selon la revendication 16, caractérisé en ce qu'il comprend un support d'un moyen d'étanchéité pour établir une étanchéité _yide entreladite chambrep Qi te ledit En conséquence, il ne se produit pas facilement un court-circuit élec- t * ' t* ' , caractérisé en ce que ladite seconde extrémité ( 70 b) dudit plongeur ( 70) est agencée de manière à recevoir de façon amovible un fil d'amor- çage d'arc ( 33). 20. Appareil déclencheur d'amorçage d'arc selon la revendication 19, caractérisé en ce qu'il comprend une connexion électrique ( 76) reliée fonctionnellement audit plongeur ( 70)dans une zone adjacente à sa première extrémité ( 70 a) de manière à établir une liaison avec une source de courant électrique ( 20), et en ce qu'ainsi un circuit élec- trique est établi via ladite connexion par l'intermédiaire dudit plon- geur, jusqu'à un fil d'amorçage d'arc ( 33) monté sur ladite seconde extrémité ( 70 b)du plongeur. 21. Appareil déclencheur d'amorçage d'arc selon la revendication , caractérisé en ce que les parties des moyens de protection ( 80) qui sont exposées à des particules de vapeur provenant de ladite cavité de chambre ( 11) sont formées d'une matière électriquement isolante. 22. Appareil déclencheur d'amorçage d'arc selon la revendication 21, caractérisé en ce que lesdits moyens de protection ( 80) entrent en contact glissant coaxialement avec ledit plongeur ( 70)dans une zone adjacente à sa seconde extrémité ( 70 b). 23. Appareil déclencheur d'amorçage d'arc selon la revendication 22, caractérisé en ce que lesdits moyens de protection ( 80) comprennent une pluralité d'éléments cannelés ( 80 e) alignés coaxialement avec ledit plongeur ( 70). 24. Appareil déclencheur d'amorçage d'arc selon la revendication , caractérisé en ce que ledit moyen d'étanchéité ( 21) comprend plusieurs bagues d'étanchéité ( 21 1, 21 2) qui sont espacées axialement le lona dudit nlnnaeur ( 70 f Pt noi cnnt intprnnohr Pnftrp leiit nlnnnoiir 25. Appareil déclencheur d'amorçage d'arc selon la revendication , caractérisé en ce que ledit moyen d'entraînement ( 40) comprend un élément d'entraînement actionné pneumatiquement pour faire déplacer positivement ledit plongeur ( 70) entre lesdites positions de retrait et de sortie avec sensiblement la même force dans les deux directions de déplacement. 26. Appareil déclencheur d'amorçage d'arc selon la revendication , caractérisé en ce qu'il comprend un moyen ( 74, 50 d) accouplé de façon coopérante entre ledit plongeur ( 70) et ledit carter ( 60) pour maintenir continuellement une position angulaire prédéterminée dudit plongeur ( 70) quand il se déplace alternativement entre lesdites posi- tions de sortie et de retrait. 27. Ensemble déclencheur d'amorçage d'arc utilisable en combinai- son avec une chambre de dépôt en phase vapeur sous vide à l'arc élec- trique du type comportant un orifice d'entrée débouchant dans une cavité de dépôt dans laquelle est montée une électrode formée d'une matière constituant une source de revêtement appropriée pour produire un plasma de revêtement, caractérisé en ce qu'il comprend: (a) un carter ( 60) s'étendant longitudinalement entre une première et une seconde extrémités ( 60 a et 60 b) et définissant un passage interne ( 60 c), ladite seconde extrémité étant appropriée pour un montage sur une chambre de dépôt en phase vapeur sous vide ( 10); (b) une tige de plongeur ( 70) s'étendant entre les première et seconde extrémités et montée fonctionnellement pour se déplacer alternativement et longitudinalement à l'intérieur dudit passage de carter ( 60 c), la seconde extrémité ( 70 b) de la tige de plongeur ( 70) s'étendant longitudinalement au-delà de la seconde extrémité ( 60 b) dudit carter et étant adaptée pour être reliée à un fil conducteur d'amorçage d'arc ( 33); (c) des moyens ( 60 e) pour monter ladite seconde extrémité ( 60 b) dudit carter sur ladite chambre contre un orifice d'entrée ( 14) de la chambre ( 10) de manière que ladite seconde extrémité ( 70 b) du plongeur ( 70) pénètre dans ledit orifice d'entrée ( 14) et commu- nique avec la cavité interne de dépôt ( 11) définie par ladite chambre; (d) un premier joint d'étanchéité ( 21 2) entrant en contact fonctionnel avec ladite tige de plongeur ( 70) et ledit carter ( 60) pour former un joint dynamique d'étanchéité au vide entre eux; (e) un second joint d'étanchéité ( 21 1) entrant entrant en contact fonctionnel avec ledit carter ( 60) pour former un joint d'étan- chéité au vide entre ledit carter ( 60) et ladite chambre ( 10) dans ledit orifice d'entrée ( 14), lesdits premier et second joints d'étanchéité maintenant par coopération une étanchéité au vide entre la cavité interne de dépôt ( 11) de ladite chambre et l'envi- ronnement externe de ladite chambre, par l'intermédiaire dudit orifice d'entrée ( 14); et (f) un moyen d'entraînement pneumatique ( 40) relié fonctionnellement à ladite première extrémité dudit plongeur ( 70) pour faire dépla- cer, alternativement et longitudinalement, ledit plongeur à l'intérieur dudit passage de carter ( 60 c) de façon que ladite seconde extrémité ( 70 b) dudit plongeur ( 70) se déplace alterna- tivement d'une manière sensiblement linéaire au travers dudit orifice d'entrée ( 14) de ladite chambre ( 10). 28. Ensemble déclencheur d'amorçage d'arc selon la revendication 27, caractérisé en ce qu'il comprend un moyen de positionnement de plongeur ( 74) accouplé fonctionnellement audit plongeur pour maintenir une position angulaire prédéterminée dudit plongeur quand il se déplace alternativement et longitudinalement. 29. Ensemble déclencheur d'amorçage d'arc selon la revendication 27, caractérisé en ce qu'il comprend un moyen de protection ( 80) monté de façon à être aligné coaxialement avec ladite tige de plongeur ( 70) dans une zone adjacente à sa seconde extrémité( 70 b), pour empêcher le revêtement dudit premier joint d'étanchéité par des particules de dépôt ( 11) passant au travers dudit orifice d'entrée en provenance de ladite cavité de dépôt ( 11). 30. Procédé d'actionnement d'un appareil déclencheur d'amorçage d'arc du type utilisé dans des chambres de dépôt par vaporisation par arc électrique contenant une matière formant source de revêtement à partir de laquelle un arc électrique est amorcé, ledit appareil déclen- cheur comprenant généralement un carter monté sur un orifice d'entrée de la chambre de dépôt, un plongeur monté de manière à se déplacer alter- nativement et longitudinalement dans ledit carter et comportant une extrémité pénétrant, par l'intermédiaire dudit orifice d'entrée, dans la cavité interne de la chambre, un fil d'amorçage d'arc porté par le plongeur et déplaçable avec lui pour entrer en contact avec la matière de source ou d'apport de revêtement et pour s'écarter de celle-ci, le procédé de revêtement et pour s'écarter de celle-ci, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes consistant à: (a) produire un mouvement alternatif axial du plongeur entre les positions de sortie et de retrait afin que le fil d'amorçage d'arc porté par celui-ci soit appliqué contre et écarté de la matière de source ou d'apport de revêtement; (b) maintenir l'orientation angulaire du plongeur dans une position prédéterminée au cours du déplacement alternatif du plongeur afin que le fil d'amorçage d'arc entre en contact répété avec la même partie de la matière de source ou d'apport de revêtement dans chaque cycle de mouvement alternatif; et (c) maintenir une étanchéité au vide dans l'orifice d'entrée de chambre et au travers de l'appareil déclencheui pendant le mouve- ment alternatif du plongeur. 31. Procédé selon la revendication 30, caractérisé en ce que l'étape de maintien d'une étanchéité au vide consiste à prévoir un moyen d'étanchéité entrant en contact coopérant avec ledit plongeur et en ce qu'il est, en outre, prévu une étape de protection dudit moyen d'étan- chéité contre un revêtement par des particules se déplaçant à partir de ladite cavité interne de la chambre et passant par l'orifice d'entrée pendant le déplacement alternatif dudit plongeur. 32. Procédé sel-on la revendication 30, caractérisé en ce qu'il comprend l'étape consistant à faire déplacer alternativement ledit plongeur en appliquant à celui-ci des forces sensiblement égales pendant ses déplacement vers la position de sortie et vers la position de retrait. 33. Procédé selon la revendication 32, caractérisé en ce que la force appliquée audit plongeur a une valeur approximative de 4,5 kg ou plus. 34. Procédé selon la revendication 32, caractérisé en ce que ladite étape de déplacements alternatifs est effectuée avec un moyen d'entraînement pneumatique relié fonctionnellement audit plongeur.