Brevet FR2544663A1 — publié le 19841026

L'invention concerne une tête d'enregistrement à jets de liquide qui injecte un liquide et projette des gouttelettes de liquide afin d'effectuer un enregistrement. Des procédés d'enregistrement par jets d'encre (procédés d'enregistrement par jets de liquide) ont récem- ment attiré l'attention par le fait que le bruit accompa- gnant l'enregistrement est d'un niveau négligeable et qu'un enregistrement à grande vitesse est possible et que, en outre, l'enregistrement peut être réalisé sans nécessi- ter l'opération particulière de fixage des images sur du papier dit uni. Parmi ces procédés, les procédés d'enregistrement à jets de liquide décrits, par exemple, dans la demande de brevet japonais N O 51837/1979 et la demande de brevet de la R F A DOLS N O 2843064 présentent des caractéristiques qui diffèrent de celles des autres procédés d'enregistre- ment à jets de liquide par le fait que l'on fait agir de l'énergie thermique sur un liquide afin de produire une force de propulsion provoquant la décharge de gouttelettes de liquide Autrement dit, les procédés d'enregistrement décrits dans les demandes précitées sont caractérisés par le fait que le liquide soumis à l'action de l'énergie thermique change d'état, ce qui peut avoir pour résultat un brusque accroissement de volume et, sous la force résultant de ce changement d'état, du liquide est déchargé d'un orifice situé à l'extrémité de la partie comprenant la tête d'enregistrement, de sorte que des gouttelettes de liquide sont projetées et qu'elles viennent adhérer au support d'enregistrement pour effec- tuer ainsi un enregistrement. En particulier, le procédé d'enregistrement à jets de liquide décrit dans la demande N O 2843064 pré- citée peut non seulement être appliqué très efficacement au procédé d'enregistrement dit à gouttelettes produites à la demande, mais il permet également, de façon aisée, à la tête d'enregistrement d'être du type à ligne complète et de présenter des orifices multiples très rapprochés Ce procédé est donc caractérisé par le fait qu'il permet d'obtenir, à grande vitesse, des images ayant un degré de résolution élevé et une haute qualité. La tête d'enregistrement de l'appareil mettant en oeuvre le procédé d'enregistrement décrit ci-dessus comporte une partie de décharge de liquide présentant un orifice destiné à décharger un liquide, et un circuit d'écoulement de liquide qui communique avec l'orifice et dont un tronçon est constitué d'une partie à action thermique dans laquelle des énergies thermiques, desti- nées à provoquer la décharge de gouttelettes de liquide, agit sur le liquide, cette partie comprenant également un élément de conversion électrothermique utilisé pour produire de l'énergie thermique. Cet élément de conversion électrothermique comporte deux électrodes et une couche résistive généra- trice de chaleur, connectée à ces électrodes et présen- tant une surface génératrice de chaleur (une partie génératrice de chaleur) comprise entre les électrodes, et, d'une façon générale, il comporte, dans sa partie supérieure, une couche de protection recouvrant les électrodes et la surface de la partie génératrice de chaleur, cette couche de protection étant formée sur une plaque de base isolante Des vues schématiques illustrant un exemple typique de l'art antérieur sont données sur les figures 1 (a) et 1 électrothermique, suivant la ligne A-A' de la figure 1 (a). Comme montré sur la figure 1 (b), l'élément de conversion électrothermique est d'une structure dans laquelle une couche 1 en matière résistive, génératrice de chaleur, une couche 2 de conducteurs d'électrodes et une couche protectrice 3 sont appliquées dans l'ordre cité sur une plaque de base isolante 4, à partir de la face de la plaque de base, et, parmi ces couches, la couche 1 de matière résistive génératrice de chaleur et la couche conductrice 2 d'électrode sont dessinées suivant des formes prédéterminées afin de constituer une partie géné- ratrice de chaleur indiquée en 103 sur la figure 1 (a) et des parties 101 et 102 de câblage d'électrodes destinées à fournir de l'énergie pour provoquer la génération de chaleur dans la partie 103 génératrice de chaleur. Sur la vue partielle en plan de la figure 1 (a), seule une partie génératrice de chaleur est montrée à titre d'exemple, mais l'élément de conversion électrother- mique réel est généralement d'une structure dans laquelle plusieurs parties génératrices de chaleur sont disposées à intervalles prédéterminés. A présent, la formation de la partie généra- trice de chaleur 103 et des parties 101 et 102 de câblage d'électrodes s'effectue globalement par le procédé suivant. La couche 1 de matière résistive génératrice de chaleur est d'abord formée sur la surface de la plaque de base 4, par exemple par dépôt ou pulvérisation, et la couche 2 des conducteurs d'électrodes est ensuite formée sur la surface supérieure de la couche précédente, par un pro- cédé similaire Puis, par le procédé dit de photogravure, une partie de la couche 2 de conducteurs d'électrodes et une partie de la couche 1 de matière résistive généra- trice de chaleur sont éliminées successivement, suivant un dessin prédéterminé, de manière que des parties 101 et 102 de câblage des électrodes et une partie 103 géné- ratrice de chaleur, ayant des formes souhaitées, soient formées dans des positions souhaitées. Pendant la photogravure, une gravure est donc réalisée de manière que la largeur de la couche 1 de matière résistive génératrice de chaleur, qui constitue la portion inférieure des parties 101 et 102 de câblage 4. des électrodes, soit égale à la largeur des parties 101 et 102 de câblage des électrodes Autrement dit, pour mettre en forme les parties 101 et 102 de câblage d'élec- trodes par le procédé de photogravure, une réserve photochimique est formée suivant la configuration souhai- tée des parties 101 et 102 de câblage des électrodes sur la surface supérieure de la couche 2 des conducteurs d'électrodes, après quoi la couche 2 inutile, sur laquelle la réserve n'est pas appliquée, est éliminée par attaque chimique ou gravure, puis la couche 1 de matière résistive, génératrice de chaleur, est aliminée par attaque chimique. Cependant, dans ce cas, lorsque la couche 1 de matière résistive génératrice de chaleur, située dans la portion inférieure des parties 101 et 102 de câblage des élec % trodes, est gravée, la couche conductrice 2, relativement épaisse, est présente dans la portion inférieure de la réserve photochimique et, par conséquent, la couche 1 de matière résistive génératrice de chaleur est aisément fixée, par sa face, par le liquide d'attaque pendant la gravure de la couche 2 de conducteurs d'électrodes et, comme montré sur la figure 1 (b),-la largeur de la couche 1 de matière résistive génératrice de chaleur tend, dans cette portion, à être inférieure à la largeur des parties 101 et 102 de câblage des électrodes, situées au-dessus d'elle Cependant, si, dans les parties 101 et 102 de câblage des électrodes, le bord de la couche 1 de matière résistive génératrice de chaleur, qui est la couche inférieure, s'étend intérieurement au bord de la couche de conducteurs d'électrodes qui est la couche supérieure, le bord de la couche 2 des conducteurs d'électrodes risque aisément de se "recourber" ou "briser". A la fabrication de l'élément de conversion électrothermique, il est généralement connu de former la couche 3 de protection afin de couvrir les parties 101 et 102 de câblage d'électrodes et, dans ce cas, la rive de la couche 2 des conducteurs d'électrodes dépasse de la couche 1 de matière résistive génératrice de chaleur, qui est la couche inférieure et, par conséquent, l'effi- cacité du revêtement formé par la couche 3 de protection sur la rive est très faible et, parfois, du liquide pénètre dans les parties de câblage des électrodes à travers la couche 3 de protection et diffuse le long des bords des parties 101 et 102 de câblage des électrodes pour humidifier la couche 2 des conducteurs d'électrodes et même l'attaquer En particulier, lorsque le bord de la couche 2 des conducteurs d'électrodes est recourbé comme décrit précédemment, la propriété de revêtement de la couche 3 de protection devient plus faible et ceci favorise l'apparition de ruptures dans le câblage des électrodes. L'invention a été mise au point en tenant compte des points indiqués cidessus et elle a pour objet principal d'offrir une tête d'enregistrement par jets de liquide ayant une excellente longévité lors d'utilisation souvent répétée ou lors d'une utilisation continue et prolongée, et elle est capable de conserver de façon stable, pendant une longue durée, les bonnes caractéristiques initiales de formation de gouttelettes de liquide. L'invention a pour autre objet une tête d'enre- gistrement par éjection de liquide, dont la fiabilité de fabrication et de travail est élevée, ainsi qu'une tête d'enregistrement par jets de liquide dont le rendement de production est élevé, même lorscîue cette tête est réa- lisée de façon à présenter des orifices multiples. L'invention a également pour objetune tête d'enregistrement à jets de liquide qui comporte une partie de décharge de liquide présentant un orifice destiné à décharger un liquide et à projeter des goutte- lettes de liquide, et un circuit d'écoulement de liquide communiquant avec l'orifice et dont un tronçon constitutif comprend une partie à action thermique dans laquelle de l'énergie thermique, produite dans une partie génératrice de chaleur pour former les gouttelettes de liquide, agit sur le liquide, un élément de conversion électrothermique étant connecté électriquement à une couche de matière résistive, génératrice de chaleur, appliquée sur une plaque de base, cet élément de conversion électrothermique comportant au moins deux parties opposées de câble d'élec- trodes appliquées sur la couche de matière résistive, génératrice de chaleur, la partie génératrice de chaleur étant formée entre les parties de câblage d'électrodes, et la largeur de la couche de matière résistive, généra- trice de chaleur, et d'au moins une partie de cette couche, dans la zone dans laquelle les parties de câblage des électrodes sont appliquées, est supérieure à la largeur des parties de câblage des électrodes. L'invention a pour autre objet une tête d'enre- gistrement à jets de liquide présentant un orifice destiné à projeter des gouttelettes de liquide, et un élément de conversion électrothermique comportant deux électrodes mutuellement opposées et séparées par un intervalle souhaité, ces électrodes étant connectées à une couche de matière résistive, génératrice de chaleur, afin de produire de l'énergie provoquant la décharge des gouttelettes de liquide, l'intervalle constituant une partie génératrice de chaleur et au moins une partie de la largeur de la couche de matière résistive, génératrice de chaleur, étant supérieure à la largeur des électrodes. L'invention sera décrite plus en détail en regard des dessins annexés à titre d'exemples nullement limitatifs et sur lesquels: les figures 1 (a) et 1 (b) montrent les parties essentielles de la structure d'une tête typique d'enre- gistrement, conforme à-l'art antérieur, la figure 1 (a) étant une vue partielle en plan d'un élément de conversion électrothermique, vu de dessus, hormis une couche de protection en recouvrant la surface, et la figure 1 (b) étant une coupe de l'élément de conversion électrother- mique, suivant la ligne A-A' de la figure 1 (a); les figures 2 (a) et 2 (b) représentent les parties essentielles de la structure d'une forme de réali- sation de la tête d'enregistrement selon l'invention, la figure 2 (a) étant une vue partielle en plan d'un élément de conversion électrothermique, vu de dessus, hormis une couche de protection en recouvrant la surface, et la figure 2 (b) étant une coupe de l'élément de conversion électrothermique, suivant la ligne mixte B-B' de la figure 2 (a); la figure 3 est une vue schématique partielle en perspective montrant la structure interne d'une forme de réalisation de la tête d'enregistrement à jets de liquide selon l'invention; et la figure 4 est une vue schématique en pers- pective montrant la structure interne d'une autre forme de réalisation de la tête d'enregistrement à jets de liquide selon l'invention. La figure 2 (a) est une vue partielle en plan d'un élément de conversion électrothermique, vu de dessus, hormis une couche de protection en recouvrant la surface, de façon à illustrer les parties essentielles de la structure d'une forme préférée de-réalisation de la tête d'enregistrement à jets de liquide selon l'invention, et la figure 2 (b) est une coupe de l'élément de conversion électrothermique suivant la ligne mixte B-B' de la figure 2 (a). Sur les figures 2 (a) et 2 (b), comme sur les figures 1 (a) et 1 (b), le circuit d'écoulement du liquide et l'élément à orifices ne sont pas représentés et seule une partie génératrice de chaleur est montrée à titre explicatif, mais l'élément de conversion électrothermi- que réel est habituellement une structure dans laquelle plusieurs parties génératrices de chaleur sont disposées à intervalles prédéterminés. Sur la figure 2 (a), la référence numérique 203 désigne une partie génératrice de chaleur et les référen- ces numériques 201 et 202 désignent des parties de câblage d'électrodes destinées à alimenter en énergie la partie 203 génératrice de chaleur, les parties 201 et 202 de câblage d'électrodes étant opposées entre elles à un intervalle prédéterminé Sur la figure 2 (b), la référence numérique 1 désigne une couche de matière résistive, génératrice de chaleur, formant la couche inférieure de la partie 201 de câblage d'électrodes (laquelle couche de matière résistive, génératrice de chaleur, est réalisée d'une seule pièce avec la couche de matière résistive, génératrice de chaleur, de la partie génératrice de cha- leur), la référence numérique 2 désigne une couche pour conducteurs d'électrodes formant la partie 201 de câblage d'électrodes, la référence numérique 3 désigne une couche de protection destinée à masquer, par rapport à l'encre, la couche 2 de conducteurs d'électrodes et la couche résistive 1, génératrice de chaleur, et la référence numérique 4 désigne une plaque de base La figure 2 (b) représente en coupe la portion comprenant la partie 201 de câblage d'électrode, et la coupe de la portion comprenant la partie 202 de câblage d'électrode présente aussi la même structure. A présent, comme montré sur les figures 2 (a) et 2 (b)-, dans la tête d'enregistrement selon l'invention, la largeur, mesurée horizontalement, de la surface de la plaque de base de la couche 1 de matière résistive, génératrice de chaleur, correspondant aux portions infé- rieures des parties 201 et 202 de câblage d'électrodes, est supérieure à la largeur de la couche 2 de conduc- teurs d'électrodes Au bord des parties 201 et 202 de câblage d'électrodes, la couche 3 de protection est formée de façon à recouvrir deux gradins, à savoir le gradin formé entre la couche 1 de matière résistive génératrice de chaleur et la plaque de base 4, et le gradin formé entre la couche 2 de conducteurs d'électrodes et la couche 1 de matière résistive génératrice de cha- leur. Le rapport de la largeur des parties 201 et 202 de câblage d'électrodes à la largeur de la couche 1 de matière résistive, génératrice de chaleur, s'étendant au-dessous des parties 201 et 202 de câblage, n'est pas particulièrement limité, mais la largeur comprise entre le bord du dessin formé par la couche 1 de matière résistive, génératrice de chaleur, et le bord du dessin formé par la couche 2 de conducteurs d'électrodes, peut être fixée à un degré tel que l'on dispose d'une marge suffisante pour ajuster la gravure, même en cas de surgravure plus ou moins importante dans la couche 1 de matière résistive génératrice de chaleur La largeur du dessin de la couche 1 de matière résistive génératrice de chaleur doit de préférence être supérieure de 1 gym ou plus, et avantageusement de 2 gm ou plus, à la largeur du dessin de la couche 2 de conducteurs d'élec- trodes. La tête d'enregistrement à jets de liquide selon l'invention est achevée par la formation des circuits 204 d'écoulement de liquide, correspondant aux parties 203 génératrices de chaleur et aux orifices 205 de la plaque de base formée comme décrit ci-dessus. La figure 3 est une vue schématique en perspec- tive éclatée montrant la structure interne d'une forme de réalisation de la tête d'enregistrement à jets de liquide ainsi achevée Dans cette forme de réalisation, les orifices 205 sont situés au-dessus des parties génératrices de chaleur 203 (une seule étant représentée). La référence numérique 206 désigne des parois délimitant le circuit d'écoulement de l'encre, la référence numéri- que 207 désigne une chambre commune à liquide, la réfé- rence numérique 208 désigne une seconde chambre commune à liquide, la référence numérique 209 désigne des trous de passage faisant communiquer la chambre commune 207 avec la seconde chambre commune 208, et la référence numérique 210 désigne une plaque supérieure de fermeture. La partie de câblage de l'élément de conversion électro- thermique n'est pas représentée sur la figure 3. La figure 4 représente schématiquement en pers- pective une autre forme de réalisation de la tête d'enre- gistrement à jets de liquide à l'état achevé Dans cette forme de réalisation, les orifices 205 sont formés aux extrémités des circuits d'écoulement de liquide La référence numérique 211 désigne des orifices d'alimenta- tion en encre. Dans la présente invention, les matières utili- sées ou proposées dans ce domaine de la technique peuvent être largement utilisées pour la réalisation de la couche 1 de matière résistive, génératrice de-chaleur, de la couche 2 de conducteurs d'électrodes, de la couche 3 de protection et de la plaque de base 4. Comme décrit ci-dessus, dans la tête d'enregis- trement de la présente invention, le recouvrement réalisé par la couche de protection est très bien formé dans la partie de câblage des électrodes et sur la couche de matière résistive, génératrice de chaleur et, par consé- quent, même si la tête d'enregistrement est utilisée de façon répétée ou en continu pendant une longue durée, la rupture d'une partie de câblage, par fusion, ne se produit pas et les bonnes caractéristiques initiales de formation de gouttelettes de liquide peuvent être mainte- nues de façon stable pendant une longue durée. De plus, dans le procédé de fabrication de la tête d'enregistrement de l'invention, le travail, en particulier lors de la formation de la partie de câblage des électrodes, devient aisé et on peut produire, en rendement très élevé, une tête d'enregistrement par jets de liquide d'une haute fiabilité. Un exemple typique de la tête d'enregistrement selon l'invention sera décrit ci-après, de même que les étapes successives de fabrication de cette tête d'enre- gistrement. Exemple: Une couche 1 de matière résistive, génératrice de chaleur, constituée de Hf B 2, est formée à une épais- seur de 200 nanomètres sur la surface d'une tranche de Si, par pulvérisation, puis-de l'aluminium est déposé jusqu'à une épaisseur de 1 gm sur la surface supérieure de la couche 1 de matière résistive, génératrice de cha- leur, par le procédé de dépôt par faisceau électrique, de façon à former une couche 2 de conducteurs d'électrodes Puis une réserve photochimique est appliquée sur la couche 2 de conducteurs d'électrodes afin de former un dessin de réserve photochimique ayant la forme des parties 201 et 202 de câblage d'électrodes, et la partie inutile de la couche 1 de conducteurs d'électrodes est éliminée au moyen d'un liquide d'attaque comprenant un mélange 'de HNO 3, CH 3 COOH et H 3 PO 4 après quoi la réserve photochi- mique est éliminée La largeur de la couche 2 de conduc- teurs d'électrodes, mesurée perpendiculairement à sa direc- tion longitudinale, est de 80 gm, et l'intervalle entre les parties opposées 201 et 202 de câblage d'électrodes situées dans la partie 203 génératrice de chaleur, est établi à 200 Dam. Ensuite, le dessin de la couche 1 de matière résistive, génératrice de chaleur, au-dessous de la couche 2 de conducteurs d'électrodes, incorporée aux par- ties 201 et 202 de câblage des électrodes, est de nouveau formé par le procédé photolithographique Puis la partie inutile de la couche de matière résistive, génératrice de chaleur, est retirée dans le mélange de HF et HNO 3. La largeur à laquelle la couche 1 de matière résistive, génératrice de chaleur, est formée est de 86 Dam Etant donné que la largeur du dessin de réserve de la couche 1 de matière résistive est supérieure à la largeur du dessin de la couche 2 ode conducteurs d'électrodes, la réserve est formée en contact intime avec le bord de la couche 1 de matière résistive et, par rapport au procédé classique dans lequel la réserve est formée sur la surface supérieure de la couche 2 de conducteurs d'électrodes le degré de surgravure peut êtreminimisé Même dans la cas d'une surgravure plus ou moins importante, il subsiste une marge suffisante pour maîtriser la gravure entre le bord du dessin de la couche 1 de matière résistive, géné- ratrice de chaleur, et le bord du dessin de la couche 2 de conducteurs d'électrodes et, par conséquent, il n'-anpa- raît pas d'inconvénient d'une progression de l'attaque de la couche de matière résistive, génératrice de chaleur, vers l'intérieur du bord de la couche 2 de conducteurs d'électrodes De plus, ainsi qu'il ressort de la descrip- tion précédente, aucun inconvénient n'apparaît en cas d'un écart plus ou moins important affectant l'alignement des masques entre les dessins de la couche 2 ae conduc- teurs d'électrodes et de la couche 1 de matière résistive, génératrice de chaleur. Enfin,-une couche de Si O 2, en tant que couche 3 de protection d'au moins les portions des parties 201 et 202 de câblage des électrodes et de la partie 203 de génération de chaleur qui sont en contact avec le liquide, est réalisée jusqu'à une épaisseur de 2,2 gm, par pulvé- risation Le recouvrement des gradins par cette couche de protection de Si O 2 est très bon, de même que le recouvre- ment de l'autre partie en gradin, car la partie en gradin comprise entre la plaque de base 4 et la couche 1 de matière résistive génératrice de chaleur et la partie en gradin comprise entre cette couche 1 de matière résistive et la couche 2 de conducteurs d'électrodes sont espacées l'une de l'autre La tête d'enregistrement à jets de liquide décrite ci-dessus est assemblée à l'aide de la plaque de base ainsi formée. Dans cette tête d'enregistrement à jets de - liquide, la couche de protection se forme de façon très convenable, comme décrit précédemment et, par conséquent, il n'apparaît pas l'inconvénient, affectant la tête d'enregis- trement classique, selon lequel, lorsque l'ébullition du liquide est répétée sous l'action de la partie génératrice de chaleur, le liquide passe de la partie recouverte de façon insatisfaisante par la couche de protection, le long des bords latéraux des parties 201 et 202 de câblage des électrodes, et fait fondre la couche du conducteur de câblage des électrodes. Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées à la tête d'enregistrement décrite et représentée sans sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1 Tête d'enregistrement à jets de liquide comportant une partie de décharge de liquide présentant un orifice ( 205) destiné à décharger un liquide et à projeter des gouttelettes de liquide, et un circuit ( 204) d'écoulement de liquide communiquant avec l'orifice et dont une portion constitutive comprend une partie à action thermique dans laquelle de l'énergie thermique, produite dans une partie ( 203) génératrice de chaleur, destinée à former lesdites gouttelettes de liquide, agit sur le liquide, et un élément de conversion électrother- mique connecté électriquement à une couche ( 1) de matière résistive, génératrice de chaleur, appliquée sur une plaque de base ( 4), l'élément de conversion électrother- mique comportant au moins deux parties opposées ( 201, 202) de câblage d'électrodes appliquées sur ladite couche de matière résistive, génératrice de chaleur, la partie génératrice de chaleur étant formée entre lesdites par- ties de câblage d'électrodes, la tête d'enregistrement étant caractérisée en ce que la largeur de la couche de matière résistive, génératrice de chaleur, et d'au moins une partie de cette couche de matière résistive, dans la zone de laquelle les parties de câblage d'électrodes sont appliquées, est supérieure à la largeur des parties de câ- blage d'électrodes. 2 Tête d'enregistrement selon la revendication 1, caractérisée en ce que la largeur comprise entre le bord du dessin de la couche de matière résistive, géné- ratrice de chaleur, et le bord du dessin des parties de câblage d'électrodes est de 1 gm ou plus. 3 Tête d'enregistrement selon la revendication 1, caractérisée en ce que l'orifice est situé à l'extré- mité terminale du circuit d'écoulement de liquide. 4 Tête d'enregistrement selon la revendication 1,caractérisée en ce que l'orifice est situé sur le côté opposé audit élément de conversion ?e -ct Luhermique. Tête d'enregistrement selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'une couche ( 3) de protection est appliquée sur l'élément de conversion électrothermique. 6 Tête d'enregistrement selon la revendication 1, caractérisée en ce que plusieurs circuits d'écoulement de liquide sont prévus. 7 Tête d'enregistrement à jets de liquide présentant un orifice ( 205) destiné à projeter des goutte- lettes de liquide et un élément de conversion électro- thermique comportant deux électrodes opposées l'une à l'autre, à un intervalle souhaité, et connectées à une couche ( 1) de matière résistive, génératrice de chaleur, destinée à produire de l'énergie pour décharger lesdites gouttelettes de liquide, l'intervalle déterminant une partie ( 203) génératrice de chaleur, la tête d'enregis- trement étant caractérisée en ce qu'au moins une partie de la largeur de la couche de matière résistive, généra- trice de chaleur, est supérieure à la largeur desdites électrodes. 8 Tête d'enregistrement selon la revendication 7, caractérisée en ce que la largeur comprise entre le bord du dessin de la couche de matière résistive, généra- trice de chaleur, et le bord du dessin desdites électro- des est de 1 Dam ou plus. 9 Tête d'enregistrement selon la revendication 7, caractérisée en ce que l'orifice est situé sur le côté opposé à ladite partie génératrice de chaleur. Tête d'enregistrement selon la revendication 7, caractérisée en ce qu'une couche ( 3) de protection est prévue sur l'élément de conversion électrothermique. 11 Tête d'enregistrement selon la revendication 7, caractérisée en ce que plusieurs orifices sont prévus. 12 Tête d'enregistrement selon la revendication 7, caractérisée en ce quel'orifice est réalisé à peu près perpendiculairement au plan de la partie génératrice de chaleur.