Brevet FR2545209A1 — publié le 19841102

La présente invention concerne un procédé et un dispositif d'analyse de traces sur une surface. Cette invention s'applique notamment à la metallargiea, pour étudier la structure lamellaire de la surface de matériaux composites tels que des allia- ges par exemple 2 elle peut également s'appliquer à l'étude des plaquettes de circuits intégrés en microélectronique, à l'étude des réseaux de stries d'usinage en mécanique, aussi qu"à l'étude de photographies, prises par exemple à longue distance et représentant par exemple des plantations, la surface d'un plan d'eau houleux, etc... On sait qu'il est important dans certaines techniques, d'analyser les caractéristiques de surfa ee d'une structure notamment, en analysant les traces qui peuvent exister sur cette surface et qui sont caractéristiques de cette structure En métallurgie ou en photographie par exemple, ces traces sont généralement formées de domaines présentant eux-mêmes des ré seaux de lignes ou lamelles séparées par des pas cons- tants ou variables, et orientées selon une direction fixe ou selon des directions différentes par rapport à une direction de référence. 1 est intéressant, pour l'analyse de traces sur une surface, de connaître notamment, les orientations du réseau de lignes contenues dans les domaines formant ces traces le pas moyen de ces lignes, la dispersion dans les pas des lignes, ainsi que la dispersion angulaire de celles-ci. Ces différents paramètres permettent en effet de déterminer, en métallurgie par exemple, les propriétés et les possibilités d'em- plois de matériaux composites ; elles peuvent aussi permettre par exemple, de caractériser le rendement d'une plantation forestiere par 11 étude des traces correspondant à cette plantation, sur une photographie. On sait analyser des traces sur une surface gracie à différents procédés. L'un de ces procédés fait appela des calculs de probabilités géométriques et aux transformations d'image- par algorithmes ité ratios. Un autre de ces procédés utilise la transfor- mée de Fourier réalisée numériquement ou analogiquement, par diffraction d'un faisceau de lumière cobe- rente réfléchie ou transmise par la surface à étudier. Cette diffraction peut être éventuellement suivie d'un filtrage avant retour dans un espace réel, au moyen d'une seconde diffraction r cette seconde diffraction permet en plus d'obtenir limage photographique filtrée de l'objet. Ces différentes méthodes ainsi que les dispositifs qui leur correspondent sont difficiles à mettre en oeuvre : la méthode probabiliste est compliquée, souvent peu précise et nécessite une analyse très longue des résultats qu'elle fournit. Elle ne permet pas d'obtenir tous les renseignements souhaitables pour l'étude des traces présentes sur une surfa ce. La méthode le plus performante est celle qui utilise la transformée de Fourier, mais, comme la précédente, elle ne permet pas d'obtenir simultanément tous les renseignements utiles concernant les traces apparaissant sur une surface.En particulier, elle ne permet pas de connaître simultanément l'orientation moyenne des lignes de chaque réseau formant un domaine dans une trace, le pas moyen de ces lignes, la dispersion dans le pas des lignes ainsi que la dispersion angulaire de ces lignes. Une méthode utilisant la transformée de Fourier est décrite par exemple dans le compte-rendu de l'Académie des Sciences, Paris, T.275 (25 septembre 1972), série D, pages 1335 à 1338. L'invention a pour but de remédier à ces inconvénients, grâce à un procédé et à un dispositif qui utilisent la transformée de Fourrier, ce procédé et,ce dispositif permettent d'analyser des traces sur une surface, en fournissant pour chaque domaine de ces traces, des renseignements conservant l'orientation des lignes du réseau de ce domaine, le pas moyen des lignes du réseau, la dispersion dans le pas de ces lignes, ainsi que la dispersion angulaire de celles ci. L'invention vise tout d'abord un procédé d'analyse de traces sur une surface, ces traces étant formes de domaines comprenant chacun un réseau de lignes séparées par des pas constants ou variables et orientées par rapport à une direction de référence1 consistant à balayer la surface par un faisceau de lumière monochromatique cohérente, pour illuminer chaque domaine, à obtenir l'image de diffraction de chaque domaine dans un plan de Fourier, chaque image comprenant une tache centrale et deux taches latérales, caractérisé en ce qu'il consiste aussi à déterminer, pour chaque domaine, à partir de son image de diffraction, l'orientation moyenne des lignes du réseau.par rapport à la direction de référence, le pas moyen des lignes du réseau, la dispersion dans les pas des lignes, ainsi que la dispersion angulaire de ces lignes. Selon une autre caractéristique, l'orien- tation moyenne des ligules du réseau par rapport à la direction de référence est déterminée, en recherchant dans l'image de diffraction correspondante, la distance maximale entre la tache centrale et l'une des taches latérales, ainsi que la section minimale de Cette tache latérale, par rotation du domaine autour d'un axe passant par ce domaine et perpendiculaire à sa surface Selon une autre caractéristique, le pas moyen des lignes du reseau est obtenu en mesurant dans l'image de diffraction correspondante la valeur de la distance entre le centre de la tache centrale de di- fraction et le centre de l'une des taches latérales Selon une autre caractéristique, la disper sion dans les pas des lignes du réseau est obtenue par mesure de la largeur de l'une des taches latérales de l'image de diffraction correspondante Selon une autre caractéristique, la dispersion angulaire des lignes du réseau est obtenue en faisant tourner le domaine vautour dudit axe et en mesurant, par rapport à la direction de référence, 11 angle pour lequel l'une des taches latérales dispa- raît dans l'image de diffraction correspondante, la valeur de cet angle correspondant à la demi-valeur de la dispersion angulaire. L'invention a aussi pour objet un dispositif d'analyse de traces sur une surface, ces traces étant formées de domaines comprenant chacun un réseau de li gnes séparées par des pas constants ou variables et orientées par rapport à une direction de référence, comprenant mufle source fournissant un faisceau de lumière monochromatique cohérente, un support pour déplacer la surface de manière que chaque domaine soit balayé par le faisceau, des moyens pour obtenir l'ima- ge de diffraction de chaque domaine, dans un plan de Fourier, chaque image comprenant une tache centrale et deux taches latérales, des moyens optoélectroniques de détection des taches, caractérisé en ce qu il comprend des. moyens de traitement reliés à des sorties des moyens optoélectroniques pour recevoir les signaus de sortie de ces moyens optoélectroniques au cours du ba layage, ces moyens de traitement étant reliés à des entrées de commande des déplacements du support pour déterminer, pour chaque domaine, à partir des signaux fournis par les moyens optoélectroniques, l'orien tation moyenne des lignes du réseau par rapport à la direction de référence, le pas moyen de ces lignes, la dispersion dans le pas des lignes ainsi que la dispersion angulaire de ces lignes Selon une autre caractéristique, les moyens de traitement comprennent une unité centrale de traitement reliée aux sorties de moyens optoélectroniques, aux entrées de commande des déplacements du support et à une mémoire, pour commander les déplacements du sup Port en translation, de manière à illuminer chaque domaine et pour commandeur des déplacements de rotation du support autour d'um axe perpendiculaire à la surface de ce domaine et passant par celui-ci, l'unité centraie de traitement determinanic l'orientation moyenne du réseau par rapport à la direction deréférence, en recherchant au cours de cette rotation, pour l'image de diffraction correspondante, la valeur maximale de la distance entre la tache centrale et l'une des taches latérales, ainsi que la valeur minimale de la section de cette tache latérale. Selon une autre caractéristique, la mémoire de l'unité centrale de traitement enregistre la valeur du pas moyen des lignes du réseau, cette Saleur étant obtenue à partir des signaux fournis à l"inité centra- le par les moyens optoélectroniques, par calcul å par- tir de ces signaux, de la valeur de la distance entre le centre de la tache centrale et l'une des taches latérales de l'image de diffraction correspondante. Belon une autre caractéristique, la mémoire de l'unité centrale enregistre la valeur de la dispersion dans le pas des lignes du réseau, cette valeur étant obtenue à partir des signaux fournis à l'unité centrale par les moyens optoélectroniques, par calcul à partir de ces signaux, de la valeur de la largeur de l'une des taches latérales de l'image de diffraction correspondante. Selon une autre caractéristiquee la mémoire de l'unité centrale de traitement enregistre la valeur de la dispersion angulaire des lignes du réseau, cette valeur étant obtenue à partir des signaux fournis à l'unité centrale de traitement par les moyens optoélectroniques, lorsque l'unité centrale commande la rotation du support et calcule angle dent il faut faire tourner ce support par rapport à la direction de référence, pour que l'une des taches latérales disparais se dans l'image de diffraction correspondante, la valeur de cet angle correspondant à la demi-valeur de la dispersion angulaire. Les caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront mieux de la description qui va suivre, donnée en référence aux dessins annexés dans lesquels - la figure 1 représente schématiquement un dispositif d'analyse de traces formées de domaines sur une sur face, conforme à l'invention e - la figure 2 représente schématiquement l'un des do Saines analyse à l'aide du procédé et du dispositif de l'invention, à partir de l'image transformée de Fo.urier de ce domaine é - la figure 3 représente, de manière plus détaillée llmage-transformée de Fourrier d'un domaine analysé par le procedé et le dispositif de l'invention ; la figure .4 représente schématiquement les taches centrales ainsi que l'une des taches latérales, a partir desquelles est analysé un domainé à l'aide du procédé et du dispositif de l'invention. La figure 1 représente schématiquement un dispositif conforme à l'invention et permettant d'analyser des traces sur une surface. Les explications cOncernant le fonctionnement de ce dispositif permettront de mieux comprendre la mise en oeuvre du procédé de l'invention. La surface à analyser est représentée en 1 Sur la figure et elle présente des traces formées de domaines qui seront décrits plus loin en detail chaque domaine présente un réseau de lignes ou lamelles séparées par des pas constants ou variables et orientes de manière constante ou variable par rapport à une direction de référence.Cette surface peut etre par exemple celle d'une photographie, celle d'une pla cette de circuits intégrés, celle d'un élément d'un materiau composite, etc... Le dispositif comprend une source 2, constituée par un laser par exemple, fournissant un faisceau 3 de lumière monochromatique cohérente. Le dispositif comprend aussi un support 4 permettant de déplacer la surface 1 de manière que chaque domaine soit balayé par le faisceau de lumière provenant de la source 2. Ce support comprend deux tables 5, 6, qui peuvent être déplacées en translation parallèlement à deux directions X, Y, respectivement grâce à des moteurs pas à pas, 7, 8 agissant sur des vis d'entraînement 9, 10.Ce support comprend aussi un plateau 11, mobile en rotation, entraîné par un moteur pas à pas 12, autour d'un axe Z coincîdant avec le faisceau. illuminant la surface 1. Des moyens optiques constitués ici par un miroir 13, un miroir semi-réflé- chissant ?4 et par des objectifs optiques afocaux 15, l, qui ne sont pas représentés ici en détail, permettent d'obtenir l'image de diffraction de chaque domaine de la surface l dans un plan de Fourrier P. Ces moyens optiques sont constitués de manière connue et donnent dans le plan P la transformée de Fourier du plan objet (plan de la surface 1).L'image de diffraction de chaque domaine comprend, de manière connue, une tache centrale et deux taches latérales. Le dispositif com prend aussi des moyens optoélectroniques 17 constitués par exemple par une barrette de photodiodes 18, per mettant de déecter dans les images de diffraction, la tache centrale ainsi que les deux taches latérales. Enfin, le dispositif comprend des ;nOyens de traitement 19 reliés à des sorties 20 des moyens optoelec troniques 17 pour recevoir les signaux de sortie de ces moyens optoélectroniques, au-cours du balayage des domaines de la surface 1. Les moyens de traitement comprennent des sorties qui sont reliées à des entres de commande 21, 22, 23, des déplacements du support. En fait, ces entrées sont des entrées de commande des moteurs pas à pas 7, 8, 12. Les moyens de traitement 19 commandent les déplacements du support 4 et permet tent de déterminer, en fonction de ces déplacements et pour chaque domaine, à partir des signaux fournis par les moyens optoélectroniques 17, l'orientation moyenne des lignes ou lamelles du réseau de ce domaine, par rapport à une direction de référence, le pas moyen de ces lignes, la dispersion dans ce pas, ainsi que la dispersion angulaire des lignes ou lamelles.La direction de référence par rapport à laquelle l'orientation moyenne des lignes est déterminée, peut autre par esem ple une direction R choisie prédéterminée Les moyens de traitement 19 comprennent une unité centrale de traitement 24 reliée aux sorties 20 des moyens optoélectroniques 17, aux entrées de s mande, 21, 22, 23, des déplacements du support 4, ainsi si qu'à une mémoire 25. Comme on le verra plus loin en détail, 11 unité centrale de traitement 24 permet de commander les déplacements du support 4, selon les deux directions de translation Da Y, de manière à il luminer chaque domaine, pour chacun de ces domaines, elle permet aussi de commander des déplacements &alpha; de rotation du support, autour de lUxe % perpendiculaire à la surface du domaine considéré et passant par ce domaine. En fait, cet axe est confondu avec le faisceau de lumière 26 issu du miroir semi-transparent 14. L'unité centrale 24 peut être également reliée à des moyens de visualisation 26 qui permettent d'obtenir sur un écran, l'image transformée de Fourier de la surface analysée, et d'obtenir aussi, après analyse de la totalité des domaines11 image de cette surface. La figure 2 représente schématiquement l'un des domaines D appartenant à l'une des traces présentes sur la surface 1 à analyser Ce domaine D est constitué d'un réseau de lignes ou lamelles dont il est intéressant de connaltre l'orientation moyenne a par rapport à une direction de référence R L'orienta- tion moyenne a est définie entre l'axe R et une droite # qui est normale au plus grand nombre de lignes ou lamelles L du réseau constituant le domaine D.Ces lamelles peuvent etre par exemple celles qui apparaissent à la surface d'un élément d'un matériau composi te. L'image de diffraction du domaine D, obtenue grâce aux moyens optiques du dispositif de l'invention, dans le plan de Fourier P, comprend de manière connue, une tache centrale T0 et deux taches latérales T1, T2, symétriques de cette tache centrale. Dans cette image, la droite #' qui passe par la tache centrale et les deux taches latérales présente la meme orientation a que celle de la normale a aux lignes du réseau, par rapport à la direction de référence R. La tache cen trale est de dimension réduite, alors que la section des taches latérales est plus importante et présente une forme allongee et légèrement incurvée. Si P1' p2.. désignent les pas des lignes ou lamelles du ré- seau formant le domaine D et si p désigne le pas moyen de ces lignes (moyenne des pas P1' P2,..), la distance entre le centre de la tache centrale T0 et l'une des taches latérales T2 par exemple, est de manière connue, égale à l/p. Les figures 3 et 4 vont maintenant permettre de mieux comprendre le fonctionnement du dispositif ainsi que la mise en oeuvre du procédé de l'invention. Sur la figure 3, on a représenté la tache centrale ToC ainsi que les deux taches latérales T1 T2, apparaissant dans l'image de diffraction obtenue dans le plan. de Fourier P. Les diagrammes ae b, représentent sur cette figure, la répartition des intensités. lumineuses dans le plan P. C'est cette répartition qui. est en fait détectée par les cellules photoélectriques 18 des moyens optoélectronIques 17. On suppose que les cellules photoéîectriques sont situées dans le plan P et sont orientées de manière à recevoir le faisceau réfléchi transmis par la surface 1, dans un plan parallèle à la direction de référence R. pour un domaine donné, l'intensité des taches de diffraction détectée par les cellules des moyens optoélectroniques 17 est maximale lorsque le domaine est orienté dans la direction de référence R.Cette orientation est obtenue par rotation du plateau 11, d'un angle a par rapport à la direction de référence R. L'angle de rotation Q détermine alors l'orientation moyenne des lignes ou lamelles du réseau constituant le domaine, par rapport à la direction de référence R.En fait, tel que représenté sur le diagramme a, lorsque le domaine illuminé par le faisceau, est orienté dans la direction de référence R, par rotation du plateau 11, des pics de diffraction Pat Pl, P2' correspondent respectivement aux taches Tot Tl, T2, détectées par les cellules photoélectriques 18, dans une direction parallèle à la direction de référence.Ces pics de diffraction présentent respectivement des largeurs Lot Ll, L2 minimales, tandis que la distance D entre le pic P0 correspondant à la tache centrale T0 et le pic P2 correspondant à la tache T2 par exemple, est maximale.Dans une direction perpendiculaire à la direction de référence R, les cellules photoélectriques ne detecteraient qu'un seul pic de diffraction et ce pic de diffraction présente une largeur L minimale, tel que représenté sur le diagramme b. La mise en oeuvre du procédé de l'invention s'effectue de la manière suivante q Lorsqu'un domaine de coordonnées xi, yi est illuminé par le faisceau, grace au déplacement des tables 5, 6 commandé par l'unité de traitement 24, cette unité de traitement commande la rotation a du plateau 11, de manière à rechercher, par traitement des signaux fournis par les cellules photoélectriques 18, la valeur maximale de la distance D entre la tache centrale T0 et l'une des taches latérales (T2 par exemple), ainsi que la valeur minimale de la section de cette tache latérale. La valeur de la section doit être en effet minimale, puisque les pics de diffraction observés dans des di rections parallèle et perpendiculaire à la direction de référence R ont une largeur minimale. L'angle de rotation a pour lequel la distance D de la tache cen- trale T0 et de l'une des taches latérales T2' est maximale, et pour lequel la section de l'une des taches latérales est minimale, est bien entendu enregistré dans la mémoire 25 de l'unité de traitement. La mémoire 25 permet également d'enregis- trer la valeur du pas moyen des lignes du réseau. Cette valeur correspond à la distance D. La mémoire de l'unité centrale de traitement permet également d'enregistrer la valeur de la dispersion dans le pas p des lignes ou lamelles du réseau constituant le domaine considéré. Cette valeur est obtenue à partir des signaux fournis à l'unité centrale 24 par les moyens optoélectroniques 17, en calculant à partir de ces signaux; la largeur (L1 ou L2) de l'une des taches latérales de diffraction par exemple). Cette largeur est la largeur L2 du pic de diffraction correspondant. Enfin, la mémoire 25 de l'unité centrale de traitement permet d'enregistrer la valeur de la dispersion angulaire des lignes du réseau. En effet, comme on l'a indiqué sur la figure 2, les pas et les Orientations des lignes du réseau peuvent etre variableus.Les taches de diffraction contenues dans l'image correspondante permettent, comme bé montre la figure 4, de calculer cette dispersion angulaires Ceci est réalisé de la manière suivante ç on connaît l'angle c dont il a fallu faire tourner le plateau ll- pour orienter le réseau correspondant au domaine considéré dans la direction de référence R ; cet angle correspond à l'orientation du réseau, par rapport à cette direction de référence.Si e désigne l'angle sous le quel est vue la tache latérale T2 à partir de la tache centrale To, une rotation du plateau 11 autour de son - e axe, d'un angle 2 fait disparatre la tache latérale T2 dans l'image de diffraction détectée par les moyens optoélectroniques ; Cette rotation de valeur > correspond à la demi-valeur de la dispersion angulaire 8 du réseau. Après les calculs et mesures effectués pour le domaine, de coordonnées xi, yi, dans le repère x, y, des calculs et mesures similaires sont effectues pour- un domaine connexe xi+l, yi+l, appartenant au traces à analyser. Il est bien évident que les calculs effectués par unité de traitement à partir des signaux analogiques fournis par les moyens optoélectroniques l8, sont des calculs numériques é ces signaux sont transformés en signaux numériques, soit par l'unité de traitement elle-meme, soit par des moyens non représentés sur.la figure 1.Lorsque l'unité de traitement commande les déplacements du support 4 (figure 1) pour analyser le réseau du domaine de coordonnées xi+l, yi+l, le balayage angulaire de ce domaine est effectue à partir de la position angulaire précédente du plateau 11, mais en sens inverse, pour reprendre la même pro césure de tiaitement. En effet, sauf cas exceptionnel, il est probable que les propriétés des traces analysées ne varient pas de façon brutale d'un domaine à un autre, Dans ces conditions, les valeurs calculées et mesurées pour le domaine précédent (xi, yi) constituent une bonne approximation pour celles caractéri- sant le domaine suivant (xi+l, Yi+l) le déplacement angulaire a. du plateau 11, pour analyser le domaine suivant, est donc en principe très restreint, ce qui accroît la rapidité du balayage total des traces de l'échantillon. De la même façon, un algorithme récurrent est mis en oeuvre pour calculer la valeur du pas moyen, la dispersion des pas du réseau d'un domaine, ainsi que la dispersion angulaire des lignes de ce reseau, à partir du pas moyen, de la dispersion des pas, et de la dispersion angulaire des lignes du réseau précédent. Cet algorithme récurrent permet d'ac- croître la rapidité des mesures et calculs. Les différents résultats des mesures et calculs enregistrés dans la mémoire 25 de l'unité de traitement 24 peuvent permettre l'affichage de l'image des traces appartenant à la surface 1, sur l'écran des moyens de visualisation 26 Le procédé et le dispositif de l'invention peuvent etre appliqués directement à l'analyse des traces apparaissant à la surface d'un objet, si les périodes des réseaux de ces traces sont de l'ordre de grandeur de la longueur d'onde du rayonnement laser utilisé. Cette analyse peut etre effectuée sur une réduction photographique de la surface lorsque la condition précédente n'est pas satisfaite. Les films de type holographique par exemple, présentent 2000 traits par mm et ont une définition suffisante. Les principales applications du procédé et du dispositif de l'invention sont les suivantes - etude de la structure dsun matériau eutectique lamellaire, ou étude de la regularite dsun maté- riau dispersoide, obtenu par refroidissement d'un alliage présentant une lacune de missibilité. Le procédé et le dispositif peuvent également s'appliquer à l'étude des réseaux cellulaires et dendritiques, obtenus par solidification dirigée. - Analyse de l'état de surface de pièces après usinage. Les méthodes d'usinage telles que tournage, fraisage ..., laissent subsister un micro-relief périodique à la surface des pièces usinées. Les caractéristiques de ce relief dépendent des conditions d'usinage et sont déterminantes dans la tenue en fonctionnement de la pièce considérée. Le procédé et le dispositif de l'invention peuvent etre utilisés en temps réel pour analyser l'image des pièces usinées sur Un support transparent, cette image étant saisie par exemple par une caméra de télévision. - En micro-électronique, les circuits intégrés présentent une structure à régularité élevée, d'une part à l'intérieur de chaque circuit élémentaire de la structure, dsautre part, par rapport à l'ensemble de cette structure, le procédé et le dispositif de l'invention peuvent être-utilisés pour analyser la régularité de la structure de chaque circuit d'une pastille de circuit intégré ou pour analyser directement la régularité de la structure de cette pastille. - Les matériaux utilisés pour la décoration présentent fréquemment une structure périodique avec une direction préférentielle d'alignement des éléments constituant cette structure. C'est le cas par exemple des revêtements plastiques imitant la structure fibreuse du bois. L'un des problèmes posés par l'emploi de ces matériaux dans le cas d'une fabrica- tion automatisée, concerne la détection d'un défaut d'alignement d1un élément de revêtement. Cette analyse peut être effectuée grâce au procédé et au dispositif de l'invention. - De nombreuses surfaces cultivées présentent une structure périodique : terres labourées, plantations en alignement, etc... L'analyse quantitative de clichés peut donner accès, d'une part à la mesure de l'étendue des surfaces cultivées selon un mode donné, et d'autre part, dans le cas d'une plantation d'arbres par exemple, à une caractérisation de la régularité de croissance, et donc à une mesure du rendement de l'espèce d'arbres considérée. Le procédé et le dispositif de l'invention permettent d'analyser des traces sur une surface, à distance, sans contact avec cette surface, et donc sans caractère destructif. La caractérisation de ces traces peut être globale et rapide, ou locale, en donnant accès à la mesure de l'homogénéité d'un objet. L'exploitation de l'information a lieu en temps réel, grace à l'unité centrale de traitement, qui peut être un microcalculateur ; celui-cl effectue d'une part les calculs nécessaires, et d'autre part, commande les déplacements de l'objet ou du clichez sous le faisceau laser d'analyse. Il est donc possible d'utiliser le dispositif de l'invention comme système d'alarme dans une chaîne de fabrication ou de contrôle. Les résultats de l'analyse sont quantitatifs : ils permettent d'obtenir les valeurs moyennes de la période et de l'orientation de traces apparaissant sur une surface, ainsi qu'une estimation statistique de la dispersion autour de ces valeurs moyenne REVENDICATIONS 1. Procédé d'analyse de traces sur une surface (l), ces traces étant formées de domaines (D) comprenant chacun un réseau de lignes (L) séparées par des pas constants ou variables et orientés par rapport à une direction de référence (R), consistant à balayer la surface (l) par un faisceau (3, 26) de lumière mo- nochromatique cohérente, pour illuminer chaque domaine (D), à obtenir l'-image de diffraction de chaque domaine dans un plan de Fourier (P), chaque image comprenant une tache centrale (T0) et deux taches latéra- les (T1, T2), caractérisé en ce qu'il consiste aussi à déterminer, pour chaque domaine (D), à partir de son image de diffraction, l'orientation moyenne (a) des lignes du réseau par rapport à la direction de réfé- rence (R), le pas moyen des lignes du réseau, la dis pension dans les pas (p) des lignes, ainsi que la dispersion angulaire (#) de ces lignes. 2 Procédé selon la revendication la caractérisé en ce que l'orientation (&alpha;) des lignes moyennes des lignes du réseau d'un domaine par rapport à la direction de référence (R) est déterminée, en recher- chant dans 1 l'image de diffraction correspondante, la distance maximale (D) entre la tache centrale (T0) et l'une des taches latérales (Tl ou T2), ainsi que la section minimale de cette tache latérale par rotation (&alpha;) du domaine autour d'un axe (z) passant par ce domaine (D) et perpendiculaire à sa surface (1). 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que le pas moyen (p) des lignes du réseau est obtenu en mesurant dans l'image de diffraction correspondante la valeur de la distance (D) entre le centre de la tache centrale (T0) de diffraction et le centre de l'une des taches latérales (T1 ou T2). 4. Procédé selon la revendication 3, carac térisé en ce que la dispersion dans les pas des lignes du réseau est obtenue par mesure de la largeur (L1 ou L) de l'une des taches latérales (Tl ou T2) de llima- ge de diffraction correspondante. 5. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que la dispersion angulaire (-e) des lignes du réseau est obtenue en faisant tourner le do maine autour dudit axe et en mesurant, par rapport à la direction de référence (R), l'angle (#/2) pour lequel l'une des taches latérales (T1 ou T2) disparaît dans 1 image de diffraction correspondante, la valeur (Q) de cet angle correspondant à la demi-valeur de la dispersion angulaire (9)* 6.Dispositif d'analyse de traces sur une surface (1), ces traces étant formées de domaines (D) comprenant chacun un réseau de lignes (L) séparées par des pas constants ou variables et orientées par rapport à une direction de référence (R), comprenant une source (2) fournissant un faisceau (3, 26) de lumière monochromatique cohérente, un support (4) pour déplacer ia surface (1) de manière que chaque domaine soit balayé par le faisceau (3), des moyens (13, 14, 15, 16) pour obtenir l'image de diffraction de chaque domaine, dans un plan de Fourier (P), chaque image comprenant une tache centrale (T0) et deux taches latérales (T1, T2), des moyens optoélectroniques (17) de détection des taches, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de traitement (19) reliés à des sorties (20) des moyens optoélectroniques (17) pour recevoir les signaux de sortie de ces moyens optoélectroniques (17) au cours du balayage, ces moyens de traitement (19) étant reliés à des entrées de commande (21, 22, 23) des déplacements du support (4) pour déterminer, pour chaque domaine (D), à partir des signaux fournis par les moyens optoélectroniques (l7) l'orientation moyenne (a) des lignes du réseau par rapport à la direction de référence, le pas moyen de ces lignes CP)w la dispersion (L1 ou L2) dans le pas de ligne, ainsi que la dispersion angulaire (s) de ces lignes. 7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que les moyens de traitement (19) comprennent une unité centrale de traitement (24) reliée aux sorties (20) de. moyens optoélectroniques (17), aux entres (21, 22, 23) de commande des déplacements du support (4) et à une mémoire (25), pour commander les déplacements du support (4) en translation, de manière à illuminer chaque domaine (D) et pour commander des déplacements de rotation du support (4) autour d'un axe (Z) perpendiculaire à la surface de ce domaine et passant par celui-ci, l'unité centrale de traitement déterminant l'orientation moyenne (a) du réseau par rapport à la direction de référence (R), en recherchant au cours de cette rotation, pour l'image de diffraction correspondante, la valeur maximale de la distance (D) entre la tache centrale (T0) et l'une des taches latérales (T1 ou T2), ainsi que la valeur mini- male de la section de cette tache latérale. 8. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que la mémoire (25) de l'unité centrale de traitement enregistre la valeur du pas moyen (p) des lignes du réseau, cette valeur étant obtenue à partir des signaux fournis à l'unité centrale (24) par les moyens optoélectroniques (17), par calcul à partir de ces signaux, de la valeur de la distance (D) entre le centre de la tache centrale (To) et lune des ta ches latérales (T1 ou T2) de l'image de diffraction correspondante 9.Dispositif selon la revendication 7, carectérisé en ce que la mémoire (25) de l'unité centrale (24) enregistre la valeur de la dispersion dans les pas des lignes du réseau, cette valeur étant obtenue à partit des signaux fournis à l'unité centrale (24) par les moyens optoélectroniques (17), par calcul à partir de ces signaux, de la valeur de la largeur (L1 ou L2) de l'une des taches latérales (T1 ou T2) de l'image de diffraction correspondante. 10. Dispositif selon la revendication 7,. caractérisé en ce que la mémoire (25) de l'unité centrale de traitement (24) enregistre la valeur de la dispersion angulaire (e) #) des lignes du réseau, cette valeur étant obtenue à partir des signaux fournis à l'unité centrale de traitement (24) par les moyens optoélectroniques (17), lorsque l'unité centrale g24) commande la rotation du support (4) et calcule l'angle e dont dont il faut faire tourner ce support (4) par rapport à la direction de référence (R), pour que l'une des taches latérales (T1 ou T2) disparaisse dans l'image de diffraction correspondante, la valeur (#/2) de cet angle correspondant à la demi-valeur de la dispers ion angulaire (e).