Brevet FR2539556A1 — publié le 19840720

L'invention concerne un procédé de fabrica- tion de conducteurs pour circuits intégrés, en techno- logie planar Elle s'applique à la microélectronique et plus précisément à la fabrication de circuits inté- grés Elle concerne en particulier des conducteurs qui peuvent être enterrés dans une couche d'oxyde de sili- cium, par exemple, portée par un substrat de grenats magnétiques, pour la fabrication de mémoires à bulles magnétiques. Le procédé de l'invention consiste essen- tiellement à réaliser des dépôts conducteurs enterrés dans un isolant recouvrant un substrat, de manière que ces dépôts conducteurs ne présentent pas de relief au- dessus de la surface du substrat; ce procédé peut donc être utilisé dans la réalisation de circuits in- tégrés, en technologie planar. On connait un procédé de fabrication de con- ducteurs pour circuits intégrés, en technologie pla- nar Ce procédé est par exemple celui qui est décrit dans la revue IMEE TRANSACTIONS AND ELECTRONIC DEVICES Volume ED 2 n'6 juin 1980 Article de B M. WELCH intitulé "LSI Processing technology for Planar Ga As integrated circuits" Ce procédé est illustré par la figure 1 Il consiste essentiellement à déposer sur un substrat 1, une couche d'un matériau isolant 2 (tel que du silicium par exemple), puis à déposer sur cette couche 2 de matériau isolant, une couche 3 de masquage (telle qu'une résine par exemple) Cette couche de masquage est ensuite découpée jusqu'à la couche de ma- tériau isolant, par insolation à travers un masque par exemple Ce découpage permet d'obtenir des fenêtres 4 dans la couche de masquage, ces fenêtres correspondant aux conducteurs à obtenir On grave ensuite des motifs dans la couche de matériau isolant 2, en regard des fenêtres 4, par exemple par ionisation réactive Cette ionisation réactive est bien connue et elle consiste essentiellement à attaquer par ionisation la couche de matériau isolant, en atmosphère gazeuse par exemple. La couche de matériau isolant 2 étant gravée, on dépo- se alors un matériau conducteur 5 sur la couche de masquage et dans les motifs gravés dans la couche de matériau isolant 2 On élimine ensuite la couche de masquage 3 et le matériau conducteur qui la recouvre, par exemple par dissolution de la couche de masquage dans un solvant (acétone par exemple) , en présence d'ultrasons L'enlèvement de la couche de masquage ductrice qui la recouvre recouvre aussi les bords des fenêtres découpées dans la couche de masquage et at- teint la couche de matériau isolant 2 Pour que l'en- lèvement de la couche de masquage, par dissolution dans un solvant, s'opère convenablement, il faut que les flancs de la couche de masquage au voisinage des fenêtres soient bien verticaux, ce qui est très diffi- cile à garantir avec les moyens de lithographie clas- siques Dans le cas contraire, et surtout lorsque la gravure ionique réactive entraîne un durcissement de la surface de la couche de masquage, la dissolution de cette couche s'opère très difficilement sans utiliser des moyens mécaniques violents tels que-des jets haute pression ou un brossage par exemple Le dépôt de la couche conductrice doit être très directif pour ne pas couvrir les flancs de la couche de masquage au voisi- nage des fenêtres. On connaît un autre procédé de fabrication de conducteurs pour circuits intégrés, en technologie planar Ce procédé est décrit dans la revue IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS vol MAG 16 N 03 mai 1980 dans l'article de Bernard J ROMAN, intitulé "Ef- fect of conductor crossing on propagation' Ce procé- dé, qui est illustré par la figure 2, consiste essen- tiellement à déposer sur une couche d'un substrat 1 une couche 2 d'un matériau isolant On dépose ensuite sur cette couche de matériau isolant une couche 3 de masquage (en résine par exemple) qui est découpée par insolation a travers un masque On grave ensuite des motifs dans la couche 2 de matériau isolant, par exem- ple par ionisation réactive, en regard des fenêtres 4 découpées dans la couche de masquage 3 Cette gravure du matériau isolant doit être latérale, de manière à provoquer, selon ce procédé, un élargissement des di- mensions des motifs gravés dans la couche isolante, par rapport aux dimensions des fenêtres découpées dans la couche de masquage On dépose ensuite sur la couche de masquage et au fond des motifs gravés dans la cou- che de matériau isolant 2, un matériau conducteur 5. On élimine ensuite la couche de masquage et le maté- riau conducteur qui la recouvre par attaque chimique de la couche de masquage. L'élargissement des motifs gravés dans la couche de matériau isolant par gravure latérale en- traîne une mauvaise définition des dimensions des con- ducteurs à obtenir -De plus, une surépaisseur du maté- riau conducteur déposé dans les motifs gravés, risque d'entraîner une jonction entre la couche de matériau déposée au fond des motifs et la couche du matériau déposée sur la couche de masquage; cette jonction rend difficile l'élimination de la-couche de masquage par un solvant, en fin de procédé. Le procédé de l'invention a pour but de re- médier à ces inconvénients et notamment de faciliter l'élimination ou l'enlèvement des moyens de masquage et du matériau conducteur qui la recouvre, à la fin des opérations de fabrication. Ce procédé permet notamment d'éviter une jonction entre la couche du matériau déposé dans les motifs gravés dans la couche isolante et le matériau conducteur déposé sur la couche de masquage Ces buts sont atteints grâce à l'utilisation d'une couche de masquage supplémentaire, qui peut 5 tre gravée chimi- quement. L'invention concerne un procédé de fabrica- tion de conducteurs pour circuits intégrés, en techno- logie planar dans lequel * on dépose sur un substrat une couche d'un matériau isolant, on -dépose une nappe de masquage sur la couche de matériau isolant, on découpe dans cette nappe de masquage, jusqu'à la couche de matériau isolant, des fenêtres correspon- dant aux conducteurs à obtenir, on grave la couche de matériau isolant en regard des fenêtres, on dépose un matériau conducteur sur la nappe de masquage et dans les parties gravées de la couche de matériau isolant, en regard des fenêtres, on élimine la nappe de masquage et le matériau con- ducteur qui la recouvre, caractérisé en ce qu'il consiste à choisir une naepe de masquage comportant une première couche recouvrant la couche de matériau isolante et une deuxième couche de masquage recouvrant la première couche, la première couche étant découpée chimiquement en regard des fenê- tres, après découpage de la deuxième couche de masqua- ge, les bords de la première couche, sur le pourtour des fenêtres, étant érodés par le découpage chimique. Selon une autre caractéristique, la premiè- re couche est une couche métallique qui est découpée chimiquement par un solvant. Selon une autre caractéristique, la deuxiè- me couche de masquage est une résine découpée selon lesdites fenêtres, par insolation à travers un masque. Selon une autre caractéristique, la couche de matériau isolant est gravée selon une méthode de gravure ionique réactive. Selon une autre caractéristique, la nappe de masquage et le matériau conducteur qui la recouvre sont éliminés par voies chimique. Selon une autre caractéristique, le procédé consiste en outre à utiliser un alliage de fer et de nickel pour constituer la première couche de la nappe de masquage. Les caractéristiques et avantages de l'in- vention ressortiront mieux de la description qui va suivre en regard des figures schématiques annexées dans lesquelles la figure 1, qui a déjà été décrite, illustre schématiquement un procédé connu dans l'état de la technique; la figure 2, qui a déjà été décrite, il- lustre schématiquement un autre procédé connu de" l'état de la technique - la figure 3 illustre schématiquement en a, b, c, d les principales étapes du procédé de l'inven- tion. Les figures 1 et 2-ont déjà été décrites pour mieux comprendre les procédés essentiels de l'état de la technique. Comme le montre la figure 3 en (a), le pro- cédé consiste tout d'abord à déposer sur un substrat 1 (tel qu'un grenat magnétique par exemple dans le cas de fabrication de conducteurs pour mémoire à bulle), une couche d'un matériau isolant 2, tel que de loxyde de sili- cium par exemple On dépose ensuite sur cette couche 2 de matériau isolant, une nappe 6 de masquage: cette nappe comme on le verra plus loin en détail, comprend une première couche 7 d'un matériau, qui peut être découpée chimiquement, et une deuxième couche 3 qui peut être découpée par insolation à travers un mas- que; le découpage de la deuxième couche 3 permet d'obtenir des fenêtres correspondant aux emplacements des conducteurs à enterrer dans des motifs gravés dans la couche de matériau isolant 2 La couche 3 de masquage peut être une résine par exemple. Ensuite, comme le montre la figure en (b), après découpage de la couche de masquage 3, la couche 7 qui peut être une couche métallique (alliage de fer et de nickel par exemple), est découpée chimiquement par un solvant Cette découpe chimique, effectuée en regard des fenêtres 4 de la couche de masquage 3, per- met d'éroder les bords 8 de la première couche 7 de la nappe de masquage 6, sur le pourtour des fenêtres, de manière que sur tout ce pourtour, les bords de la pre- mière couche 7 de masquage, soient en retrait par rap- port aux rebords de la deuxième couche 3 de masquage. La découpe chimique de la première couche métallique 7 nécessite bien entendu l'utilisation d'un solvant ap- proprié déposé sur cette couche, en regard de chaque fenêtre 4. Ensuite, on grave par ionisation réactive, par exemple en atmosphère gazeuse de trifluorométhane, des motifs correspondant à l'implantation des conduc- teurs à obtenir dans la couche de matériau isolant 2. Cette ionisation réactive est bien entendu contrôlée en fonction de l'épaisseur souhaitée des conducteurs. Ensuite, comme le montre la figure en (c), on dépose un matériau conducteur 5 (de l'or par exem- ple) dans les motifs gravés, ainsi que sur la deuxième couche 3 de masquage. Enf in, comme représenté sur la f igure en (d), on enlève par voie chimique par exemple (lf t- off), la première couche 7 métallique, la deuxième couche 3 de masquage ainsi que le matériau 5 qui re- couvre cette couche de masquage On obtient alors un substrat 1 recouvert de la couche de matériau isolant 2, dans laquelle sont enterrés les conducteurs 5 On a ainsi réalisé une implantation de conducteurs, en technologie planar, particulièrement utile dans les mémoires à bulles par exemple La couche 3 de matériau de masquage peut être par exemple une résine soluble dans l'acétone La couche 3 peut présenter, par exem- ple, une épaisseur de ls, tandis que la deuxième cou- che 7 de fer et de nickel peut présenter une épaisseur de 5 000 A L'épaisseur des conducteurs 5 déposés dans les motifs gravés dans la couche 2 de matériau isolant o peut être de 2 700 A, alors que l'épaisseur de cette couche isolante est voisine de 3 000 A Ce procédé de fabrication qui est particulièrement utile dans la technologie des mémoires à bulles, peut bien entendu être utilisé dans la fabrication d'autres circuits. REVENDICATIONS 1 Procédé de fabrication de conducteurs pour circuits intégrés, en technologie planar, dans lequel: on dépose sur un substrat ( 1), une couche ( 2) d'un matériau isolant, on dépose une nappe de masquage ( 6) sur la couche ( 2) de matériau isolant, on découpe dans cette nappe ( 6) de masquage, jusqu'à la couche ( 2) de matériau isolant, des fenêtres ( 4) correspondant aux conducteurs à obtenir, on grave la couche ( 2) de matériau isolant en regard des fenêtres ( 4), on dépose un matériau conducteur ( 5) sur la nappe de masquage ( 6) et dans les parties gravées de la cou- che de matériau isolant ( 2), en regard des fenêtres ( 4), on élimine la nappe de masquage ( 6), et le matériau conducteur qui la recouvre, caractérisé en ce qu'il consiste à choisir une nappe ( 6) de masquage comportant une première couche ( 7) re- couvrant la couche ( 2) de matériau isolant, et une deuxième couche ( 3) de masquage recouvrant la première couche ( 7), la première couche étant découpée chimi- quement ( 7), en regard des fenêtres, après découpage de la deuxième ( 3) couche de masquage, les bords de la première couche ( 7), sur le pourtour des fenêtres ( 4) étant érodés par le découpage chimique. 2 Procédé selon la revendication 1, carac- térisé en ce que la première couche ( 7) est une couche métallique qui est découpée chimiquement par un sol- vant. 3 Procédé selon la revendication 1, carac- térisé en ce que la deuxième couche de masquage ( 3) est une résine découpée selon lesdites fenêtres ( 4), par insolation à travers un masque. 4 Procédé selon la revendication 3, carac- térisé en ce que la couche ( 2) de matériau isolant est gravée selon une méthode de gravure ionique réactive. Procédé selon la revendication 4, carac- térisé en ce que la nappe de masquage ( 6) et le maté- riau conducteur qui la recouvre, sont éliminés par voie chimique. 6 Procédé selon la revendication 5, carac - térisé en ce qu'il consiste à utiliser un alliage de fer et de nickel pour constituer la première couche ( 7) de la nappe de masquage ( 6).