Brevet FR2537346A1 — publié le 19840608

Résonateur ferromagnétique "ô La présente invention concerne un résona- teur ferromagnétique formé d'un film mince ferrimagnéti- 5 que et applicable à des dispositifs à micro-ondes et en particulier résonateur ferromagnétique destiné à suppri- mer la réponse erratique. L'utilisation de la technique de crois- sance épitaxiale en phase liquide pour le développement 10 d'un film magnétique de rubis sur un support de rubis gadolinium-gallium (CGC) s'est développée récemment du fait du développement des mémoires à bulles magnétiques, si bien qu'il est possible de réaliser avec une cristal- linité satisfaisante, un rubis ytteium-fer (YIG) en film 15 mince En réalisant un film mince YIG sous une forme cir- culaire ou rectangulaire par un procédé d'attaque chimi- que sélective et en utilisant sa propriété de résonance ferromagnétique, on peut réaliser des dispositifs à micro- ondes L'application de la photolithographie habituelle 20 facilite le procédé de fabrication et donne néanmoins un rendement élevé puisqu'une feuille d'un support GGG donne un grand nombre de dispositifs En outre, comme il s'agit d'une matière sous la forme d'un film mince, on peut facilement réaliser des circuits intégrés à micro- 25 ondes (MIC) en utilisant des microbandes conductrices comme conducteurs de transmission. 2 Il est connu dans la technique que les dispositifs à micro-ondes utilisant la résonance ferro- magnétique sont avantageux quant à la compacité et à la précision de la répo'nse et on a utilisé en pratique des 5 sphères monocristallines YIG pour réaliser de tels dispo- sitifs à micro-ondes La sphères monocristalline YIG est intéressante en ce qu'elle est à peine-excitée dans les modes magnétostatiques et permet d'obtenir un mode de résonance unique par des modes de précession uniforme. 10 Toutefois, une sphère microcristalline YIG présente des inconvénients au niveau de la fabrication et du rendement et c'est pourquoi il est souhaitable de réaliser un réso- nateur ferromagnétique utilisant un film mince YIG. Une difficulté du film mince YIG est son 15 aptitude à être exciter dans différents modes magnéto- statiques même lorsqu'il est placé dans un champ magné- tique de fréquence radio (RF) uniforme, du fait de son champ magnétique continu, interne, non uniforme Les modes magnétostatiques des échantillons ferromagnétiques 20 en forme de disques avec un champ magnétique continu appliqué perpendiculairement à la surface de l'échantil- lon sont analysés dans un article publié dans le Journal of Applied Physics, tome 48, Juillet 1977, pages 3001- 3007 Chaque mode est exprimé par (ni N)m c'est-à-dire 25 qu:il-s'agit de N modes dans la direction périphérique, N modes dans la direction radiale et m-l modes dans le sens de l'épaisseur Lorsqu'un champ magnétique haute- fréquence est appliqué uniformément à toute la surface de l'échantillon, la série ( 1, N)1 donne le mode magnéto- 30 statique principal La figure 1 montre le résultat des mesures de la résonance ferromagnétique dans un film mince de forme circulaire mesuré dans une cavité à 9 G Hz montrant l'excitation dans différents modes magnétosta- tiques de ( 1, N)1 séries Lorsque cet échantillon est 35 utilisé pour réaliser un dispositif à micro-ondes tel 3 qu'un filtre passe-bande, on utilise son mode de réso- nance principal c'est-à-dire son mode ( 1, 1)1 et dans ce cas tous les autres modes magnétostatiques donnent une réponse erratique. 5 La présente invention a pour but de créer un résonateur ferromagnétique comportant un film mince ferrimagnétique, permettant de supprimer toute réponse erratique, qui puisse se réaliser facilement sous la forme d'un circuit intégré à micro-ondes, et puisse 10 travailler pour supprimer l'excitation dans les modes magnétostatiques engendrant une réponse erratique sans influencer le mode résonnant principal. A cet effet, l'invention concerne un résonateur ferromagnétique comportant une couche ferri- 15 magnétique, un moyen pour appliquer un champ magnétique continu perpendiculairement à la couche et un moyen pour appliquer un champ magnétique de fréquence RF à la couche et provoquer la résonance ferromagnétique, la couche ferrimagnétique étant traitée de façon à supprimer la 20 réponse erratique engendrée par les modes magnétostati- ques autres que le mode uniforme. Suivant une autre caractéristique, l'invention concerne un résonateur ferromagnétique dans lequel la couche ferrimagnétique est traitée pour pré- 25 senter une rainure à une position prédéterminée sur une face de la couche pour supprimer la réponse erratique engendrée par les modes magnétostatiques autres que le mode uniforme. Suivant une autre caractéristique, l'invention concerne un résonateur ferromagnétique du type ci-dessus dans lequel la couche ferrimagnétique est trai- tée pour présenter une surface dans sa partie centrale et dont l'épaisseur est inférieure à celle des parties périphériques de la couche de façon que le champ magnéti- 35 que continu, interne de la zone la plus mince soit uni- forme. 4 La présente invention sera décrite plus en détail à l'aide des dessins annexés, dans lesquels : la figure 1 est un graphique des modes magnétostatiques d'un film mince ferrimagnétique circu- 5 laire classique. la figure 2 est un graphique de la distribution du champ magnétique continu, interne dans le film mince ferrimagnétique circulaire. -les figures 3 A et 3 B sont des graphiques 10 montrant la relation entre la distribution du champ magnétique continu, interne et l-a distribution de l'aiman- tation à fréquence RF des modes magnétostatiques du film mince ferrimagnétique circulaire. les figures 4 A et 4 B sont des graphiques 15 montrant la distribution du champ de désaimantation dans le film mince ferrimagnétique circulaire. la figure 5 est une vue en perspective du film mince ferrimagnétique utilisé dans le résonateur ferromagnétique selon l'invention - 20 la figure 6 est une vue en perspective du film mince ferrimagnétique utilisé dans un autre mode de réalisation du résonateur ferromagnétique selon l'in- vention. la figure 7 est une vue en coupe du 25 film mince ferrimagnétique utilisé dans un autre mode de réalisation du résonateur ferromagnétique selon l'inven- tioon. les figures 8 et 9 sont des graphiques montrant les résultats des mesures de la perte d'inser- 30 tion dans les résonateurs ferromagnétiques selon l'inven- tion. la figure 10 est un graphique d'un exemple de perte d'insertion utilisé pour être comparé avec le résultat de 1-a mesure, comme représenté aux 35 figures 8 et 9. 5 les figures 11 à 13 sont des schémas servant à expliquer le procédé de fabrication du résona- teur ferromagnétique selon l'invention. les figures 14 A-14 C sont des schémas 5 montrant le dispositif de filtre réalisé à l'aide du réso- nateur ferromagnétique selon l'invention. DESCRIPTION DE DIFFERENTS MODES DE REALISATION DE L'IN- VENTION : Dans le cadre de la présente invention, 10 les inventeurs ont poursuivi des études pour réaliser les objectifs ci-dessus et leur attention a été attirée par le fait que les composants d'aimantation RF se répar- tissent différemment dans un échantillon suivant le mode magnétostatique Ce point sera examiné en premier lieu 15 en relation aux figures 2 et 3 La figure 2 montre la distribution du champ magnétique continu interne Hi lors- que le champ magnétique continu est appliqué perpendicu- lairement à la surface d'un disque YIG d'épaisseur égale à t et de diamètre égal à D (ou de rayon R) Le rapport 20 t/D de l'échantillon est supposé être suffisamment'petit de façon que la distribution du champ magnétique dans le sens de l'épaisseur soit négligeable Comme le champ de désaimantation est important dans la partie intérieure du disque et chute brusquement lorsque le point de mesure 25 se déplace vers la périphérie, le champ magnétique con- tinu interne est faible dans la section centrale et aug- mente brusquement dans la section périphérique. Ainsi, suivant l'analyse faite dans la publication rappelée ci-dessus, les modes magnétostati- 30 ques résident dans la région définie comme suit O r/R 4 ,, ' étant la valeur du rapport r/R pour la position Hi = J I t J étant la fréquence angulaire de résonance dans les modes magnétostatiques et '?I étant le rapport gyromagnétique Dans le champ magnétique fixe, 35 la fréquence de résonance augmente en fonction du nombre 6 N des modes et la région de mode magnétostatique se développe vers l'extérieur comme représenté à la figure 3 A La figure 3 B montre la distribution de l'aimantation de fréquence RF dans l'échantillon pour les trois modes 5 d'ordre inférieur de ( 1, N)19 la valeur absolue correspondant à l'amplitude relative ( 1, N)1 de l'aimantation RF et la polarité indiquant la relation de phase de l'aimantation RF et chacune des amplitudes est normalisée au centre Comme cela découle des figures 3 A et 3 B, les 10 composants d'aimantation ont des formes différentes sui- vant le mode magnétostatique et en utilisant cette pro- priété, on peut supprimer l'excitation dans les modes magnétostatiques engendrant une réponse erratique sans effet significatif sur le mode de résonance principal. 15 Selon l'invention, l'attention a été attirée par le fait que le champ magnétique continu et interne devient pratiquement constant dans une plage étendue pour laquelle la surface intérieure du film mince ferrimagnétique est moins épaisse que dans la zone exté- 20 rieure. Ce point sera examiné en relation avec les figures 4 A et 4 B Lorsque le champ magnétique continu Ho est appliqué perpendiculairement à la surface princi- pale d'un disque YIG d'une épaisseur et d'un diamètre D 25 (ou le rayon R) le champ magnétique continu interne Hi sera Hi=H 0-Hd(r/R)-Ha, Hd étant le champ de désaimantation et Ha étant le champ magnétique anisotrope, on obtient le champ magnétique continu interne Hi Le rapport t/D est supposé être suffisamment faible, de sorte que la distribution du champ magnétique dans le sens de l'épaisseur de l'échantillon est négligeable La figure 4 A est un graphique tracé suivant le calcul du champ de désaimenta- tion Hd d'un disque YIG pour une épaisseur de 20 microns et d'un rayon de 1 mm. Le champ de désaimantation est grand dans 35 7 la section intérieure et chute rapidement au niveau de la partie périphérique ; en conséquence, le champ magné- tique continu, interne est faible au centre et augmente brusquement dans la section périphérique La figure 48 5 est un graphique de la distribution du champ de désaimantation en fonction du calcul fait pour le disque YIG dont l'épaisseur est égale à 20 microns et dont le rayon est égal à 1 mm, l'épaisseur de ce disque étant diminuée de 1 micron dans la zone à l'intérieur d'un rayon de 10 0,8 mm La courbe montre qu'en rendant plus mince la partie intérieure du film, le champ de désaimantation dans la partie directement à l'extérieur de la partie la plus mince est décalé, si bien que la région plate du champ de désaimantation s'étend vers l'extérieur. 15 En conséquence, la présente invention concerne la suppression de la seule excitation dans les modes magnétostatiques engendrant une réponse erratique comme indiqué ci-dessus, par le traitement physique de la forme du film mince ferrimagnétique En effet selon 20 l'invention on réalise une gorge dans une certaine posi- tion du film mince ferrimagnétique pour supprimer les modes magnétostatiques autres que le mode principal engendrant des réponses erratiques ou en variante une cer- taine extension de la zone intérieure du film ferrimagné- 25 tique est amincie par rapport à la zone extérieure res- tante pour développer la région plate du champ magnétique interne et supprimer ainsi les modes magnétostatiques engendrant une réponse erratique. L'invention sera décrite ci-après en 30 détail Sur une surface principale la d'un support 1, on forme une couche ferrimagnétique 2-dans une certaine forme comme représenté à la figure 5 On réalise une rainure annulaire 2 a dans la couche ferrimagnétique 2. On applique un champ magnétique (non représenté) perpen- 35 diculairement au support 1. 8 Le support 1 peut être par exemple en GGG et dans ce cas on forme un film mince YIG par crois- sance épitaxiale en phase liquide ; puis, on forme la couche ferrimagnétique 2 selon la technique de la photo- 5:i 5 lithographie La couche ferrimagnétique 2 peut se réali- ser en traitant une matière en vrac Les formes possibles de la couche ferrimagnétique 2 sont la forme d'un disque, d'un carré, d'un rectangle etc La couche ferrimagnétique 2 est suffisamment mince (faible épaisseur) de façon que 10 la répartition du champ magnétique soit uniforme dans le sens de l'épaisseur de la couche 2 Dans ces conditions, le mode d'excitation magnétostatique est le suivant ( 1, N)1. On réalise la rainure 2 a de façon concen- 15 trique et à une certaine distance du centré pour annuler l'aimantation RF en mode ( 1, 1)1 La rainure 2 a peut être continue ou discontinue. Dans un tel résonateur ferromagnétique, l'aimantation est accentuée par la présence de la rainure 20 2 a Comme la rainure 2 a se trouve dans une position dans laquelle l'aimantation RF est annulée pour le mode ( 1, 1)1 , l'excitation dans l e mode ( 1, l), n'est pas influencée Par ailleurs, la rainure 2 a est située dans une position dans laquelle l'aimantation RF pour d'autres 25 modes magnétostatiques est différente de zéro et c'est pourquoi l'aimantation est partiellement accentuée et l'excitation dans ces différents modes est atténuée En conséquence, on peut supprimer toute réponse erratique sans influencer le mode de résonance principal. 30 La distribution de l'aimantation RF dans la couche ferrimagnétique 2 (figure 3 B) dépend-entière- ment de l'amplitude de l'aimantation de saturation de l'échantillon et ne dépend pas de façon importante du rapport d'aspect (épaisseur) En conséquence, l'invention 35 est intéressante en ce que la positi on de la rainure 2 a 9 n'est pas à modifier suivant les variations éventuelles de l'aimantation de saturation ou de l'épaisseur de la couche ferrimagnétique 2 et cela est intéressant en pra- tique pour la mise en oeuvre du procédé de lithographie. 5 Une variante de réalisation du résonateur ferromagnétique selon l'invention sera décrite ci-après. Sur une surface principale la du support 1, on forme une couche ferrimagnétique 2 d'une certaine forme comme re- présenté à la figure 6 On réalise une cavité 2 a dans la 10 surface supérieure de la couche 2 pour que la zone in- terne soit plus mince que la zone externe On applique un champ magnétique (non représenté) perpendiculairement au support 1. Le support 1 peut par exemple être réali- 15 sé en CGC et dans ce cas, on forme un film mince YIC par croissance épitaxiale en phase liquide, puis on forme la couche ferrimagnétique 2 par photolithogravure La couche ferrimagnétique 2 peut être réalisée en traitant une matière brute Les formes possibles de la couche 20 ferrimagnétique 2 sont les formes de disques, de carrés, de rectangles etc La couche 2 est suffisamment mince (rapport d'aspect suffisamment faible) pour que le champ magnétique soit distribué uniformément dans le sens de l'épaisseur de la couche 2 Dans ces conditions, le mode 25 magnétostatique est le mode ( 1, N>) D La cavité 2 s'étend dans une position telle que l'excitation des modes magnétostatiques engen- drant une réponse erratique puisse se supprimer efficace- ment De façon préférentielle, la cavité 2 se développe 30 dans une position pour laquelle l'amplitude du mode ( 1 1)1 est annulée en général suivant la distance ( 0,75 0,85) fois le diamètre de la couche 2 dans le cas d'un disque. Un tel résonateur ferromagnétique donne 35 une désaimantation pratiquement uniforme dans toute la 10 zone de la cavité 2 a comme cela a été indiqué précédem- ment en relation avec la figure 4 B En conséquence, le champ magnétique continu, interne, peut être rendu uni- forme dans une plage étendue de façon à supprimer les 5 modes magnétostatiques engendrant une réponse erratique. La zone entourée par la rainure 2 a peut être plus mince que la zone extérieure telle que repré- sentée à la figure 7 Dans ces conditions, la désaiman- tation est soulevée dans la partie intérieure approxi- 10 mité de la gorge 2 a et on obtient une désaimantation es- sentiellement uniforme jusqu'à ce niveau En d'autres termes, le champ magnétique continu, interne devient pratiquement constant dans une plage étendue dans la direction radiale comme cela est représenté par la ligne 15 en traits mixtes de la figure 3 A Cela permet la suppres- sion efficace de l'excitation dans les modes magnétostati- ques autres que le mode de résonance principal. Dans le procédé de photolithogravure ci- dessus, on peut utiliser une polyimide comme film de 20 protection En effet, comme représenté à la figure ll A, on applique un premier film de polyamide sur le matériau à traiter (support et film mince de rubis) 13, puis on fait durcir en chauffant pour former un film de polyimide 14 On réalise un schéma photorésistant 15 sur le film de 25 polyimide 14 (figure ll B) et on attaque chimiquement le film de polyamide 14 en utilisant un agent d'attaque chimique en général de l'hydrazine, hydrate pour obtenir une forme de film de polylmide 14 (figure 5 C) A la suite de cela, on enlève la couche photorésistante 15 (figure 30 ll D) L'attaque se fait dans de l'acide phosphorique - chauffé (figure 1 l E) La vitesse d'attaque chimique est par exemple égale à environ 0,5 micron/min dans de l'aci- de phosphorique à 160 'C et d'environ 1 micron/min dans de l'acide phosphorique à 1800 C Enfin, on enlève le film 35 de polyimide 14 en utilisant l'agent d'attaque chimique de polyimide (figure 11 F). De façon classique, on a utilisé comme film de protection pour l'attaque chimique du rubis sous forme de film mince ou d'un support avec du rubis, un 5 film de silice Si O 2 obtenu selon le procédé de dépôt à la vapeur CVD ou de pulvérisation Toutefois cela nécessite une installation importante pour appliquer comme revêtement le film de silice Si O 2 et la formation de fis- sures et de trous d'épingle constitue une difficulté En 10 outre, il était parfois difficile de réaliser un revête- ment de silice Si O 2 sous la forme d'un film 16 sur toute la surface comme cela est représenté à la figure 12 lors- que la surface présente un gradin pour former la cavité 2 a comme dans la structure selon l'invention (figure 16). 15 Le film de protection de polyimide permet d'utiliser une petite installation et d'éviter la forma tion de trous d'épingle et de fissures La possibilité d'écoulement du film de polyimide permet d'assurer le revêtement de toutes les parties décalées avec le film de 20 protection comme cela est représenté à la figure 13. Pour augmenter encore plus la résistance thermique du film de protection, on utilise une résine de polyimide ayant une structure d'is-o-indroquinazoline- dione On utilise un film de polyimide formé du précur- 25 seur de polyimide photosensible qui est un copolymère du polymère photosensible et du précurseur de polyimide. Dans ces conditions, la forme de la couche de polyimide peut se réaliser selon un-procédé analogue à celui d'une couche photorésistante habituelle et on supprime les 30 opérations ci-dessus pour réaliser une forme photorésistante et pour effectuer l'attaque chimique du film de polyimide pour obtenir le schéma, ce qui simplifie consi- dérablement l'opération de fabrication. Pour le procédé d'attaque chimique, on 35 peut utiliser la projection réactive ou l'attaque par 12 d'ions en plus de l'attaque chimique ci-dessus et cela toutefois à un coût d'installation plus important Lin- vention sera décrite de façon plus détaillée ci-après à l'aide d'exemples de réalisation. 5 Exemple N O 1 : On découpe un disque YIG d'une épaisseur de 20 microns et d'un rayon de 1 mm dansun film mince YIG et on réalise une rainure annulaire d'une profondeur de 2 microns et d'une largeur de 10 microns à une distan- 10 ce de 0,8 mm du centre du disque ; on mesure: la résonance ferromagnétique en injectant une onde électromagnétique à l'aide d'un microconducteur en forme de bande tout en appliquant un champ magnétique externe perpendiculaire- ment à la surface du disque La figure 8 montre la perte 15 d'insertion ainsi mesurée La valeur du coefficient Q non chargé était de 775 Il est à remarquer que l'aiman- tation RF du mode (l,l>) tombe en-dessous de zéro pour la position r/R = 0,8 sur le disque YIG. Exemple N O 2 20 On découpe un disque YIG d'une épaisseur de 1 micron et d'un rayon de 1 mm dans un film mince YIG on traite pour former une cavité circulaire d'une profon- deur de 1,7 micron et d'un rayon de 0,75 mm concentrique au disque ; on mesure la résonance ferromagnétique en 25 utilisant des microconducteurs en forme de bandes La figure 9 montre le résultat de la mesure de la perte d'insertion La valeur du coefficient Q non chargé était de 865. Echantillon de comparaison 30 On découpe YIG d'une épaisseur de 20 microns etd'un rayon de 1 mm dans le même film mince YIG que celui utilisé pour les modes de réalisation pré- cédents ; toutefois on ne réalise ni rainure, ni cavité. On mesure la résonance ferromagnétique en utilisant des 35 microconducteurs en forme de bandes La figure 10 montre 13 la perte d'insertion telle résultant de la mesure La valeur du cofficient Q non chargé était de 660. Il est à remarquer qu'en comparant les modes de réalisation et l'exemple de comparaison, on 5 constate que la structure selon l'invention permet de supprimer efficacement l'excitation des modes magnétosta- tiques autres que le mode ( 1,1)l, ce qui permet de sup- primer les réponses erratiques En outre, le mode de résonance principal n'est pas détérioré et le coefficient 10 Q non chargé n'est pas diminué. Le résonateur ferromagnétique selon l'invention peut s'appliquer à la réalisation de filtres passe-bande et de filtres d'arrêt A titre d'exemple, les figures 14 A 14 C montrent un filtre passe-bande 15 MIC réalisé à partir d'un film mince YIC La figure 14 A est une vue en perspective du dispositif ; la figure 14 B est une vue en plan et la figure 14 C est une vue en coupe selon la ligne A-A' de la figure 14 B La référence 21 désigne un support en alumin e dont la surface arrière 20 comporte un conducteur de masse 22 ; la partie restante de la surface est munie de conducteurs de transmission d'entrée et de sortie (microconducteurs en forme de bandes) 23 et 24 parallèles entre eux Chaque extrémité des conducteurs de transmission 23 et 24 est reliée au 25 conducteur de masse 22. Sur la surface supérieure du support en alumine 21, on a mis un support GGG 27 à deux films min- ces YIG, 25 et 26 Le support CGC 27 comporte des inter- connexions de conducteur (microconducteurs en forme de 30 bandes) pour relier les films minces YIC 25 et 26 coupant les lignes de transmission d'entrée et de sortie 23 et 24, les deux extrémités de la ligne 28 étant reliées au conducteur de masses 22 Le premier film mince YIC 25 est dans une position dans laquelle la ligne de trans- 35 mission d'entrée 23 et la ligne d'interconnexion 28 se 14 coupent ; le second film mince YIG 26 est dans une posi- tion dans laquelle la ligne de transmission de sortie 24 et la ligne d'interconnexion 28 se coupent La distance entre les deux films minces YIG 25 et 26 est égale à 5 un quart de longueur d'onde (t /4) de la fréquence cen- trale de la bande de transmission, de sorte que la perte d'insertion augmente brusquement à l'extérieur de la bande de transmission. Bien que non représentés aux figures, 10 le premier et le second films minces 'IG comportent des culasses d'un aimant permanent pour appliquer le champ magnétique continu, externe, perpendiculairement aux surfaces principales. R E V E N D I C A T I O N S 10) Résonateur ferromagnétique caractérisé en ce qu'il se compose d'une couche ( 2) de matière ferri- magnétique, un moyen pour appliquer un champ magnétique 5 continu perpendiculairement à la couche ( 2) et un moyen pour appliquer un champ magnétique de fréquence (RF) à la couche ( 2) pour engendrer la résonance ferromagnétique, la couche ( 2) étant traitée ( 2 a) en cours de fabrication pour supprimer la réponse erratique engendrée par les 10 modes magnétostatiques autres qu'un mode uniforme. 20) Résonateur ferromagnétique caractéri- sé en ce qu'il se compose d'une couche ( 2) en matière ferrimagnétique, un moyen pour appliquer un champ magné- tique continu perpendiculairement à la couche ( 2), un 15 moyen pour appliquer u N champ magnétique de fréquence (RF) à la couche ( 2) pour créer la résonance ferromagnéti- que, la couche ( 2) étant traitée ( 2 a) en cours de fabri- cation pour présenter une rainure ( 2 a) dans une position prédéterminée dans une face de la couche ( 2) pour suppri- -20 mer la réponse erratique engendrée par les modes magnéto- statiques autres qu'un mode uniforme. 30) Résonateur ferromagnétique caracté- risé en ce qu'il se compose d'une couche de matière ferri- magnétique ( 2), d'un moyen pour appliquer un champ magné- 25 tique continu perpendiculairement à la-couche ( 2), d'un moyen pour appliquer un champ magnétique de préférence (RF) à la couche ferrimagnétique et engendrer la résonan- ce ferromagnétique, la couche ferromagnétique étant trai- tée en cours de fabrication pour présenter une zone pré- 30 déterminée ( 2 a) dans la position centrale, zone dont l'épaisseur est inférieure à l'épaisseur de la partie périphérique de la couche pour rendre uniforme le champ magnétique continu, interne dans cette zone intérieure. 40) Résonateur ferromagnétique selon la 35 revendication 2, caractérisé en ce que la rainure ( 2 a) est réalisée dans une position dans laquelle l'aimanta- tion de fréquence (RF) en mode uniforme est nulle. .CLMF: 50) Résonateur ferromagnétique selon la revendication 3, caractérisé en ce que la zone la moins 5 épaisse de la couche ferrimagnétique est une zone dans laquelle l'aimantation de fréquence (RF) du mode unifor- me est nulle. 60) Résonateur ferromagnétique selon l'une quelconque des revendications 1, 2 et 3, caracté- 10 risé en ce que le moyen pour-appliquer un champ magnéti- que de fréquence (RF) se compose d'un microconducteur en forme de bande couplé à la couche ferrimagnétique ( 2). 70) Résonateur ferromagnétique selon l'une quelconque des revendications 1, 2, 3, caractérisé en ce 15 que le moyen pour appliquer un champ magnétique continu est un aimant permanent. 80) Résonateur ferromagnétique selon l'une quelconque des revendications 1, 2 et 3, caractéri- sé en ce que la couche ferrimagnétique ( 2) est en une 20 substance non magnétique. 90) Résonateur ferromagnétique selon la revendication 8, caractérisé en ce que la couche ferri- magnétique ( 2) est constituée par un film mince (YIG) à croissance épitaxiale sur un support (GCG, 27).