Brevet FR2536547A1 — publié le 19840525

La présente invention concerne un dispositif d'alignement pour projection, et plusparticulièrement un nouveau dispositif d'alignement pour projection, qui permet de commander une luminosité (ou une intensité) et la distribution (ou l'uniformité) de cette dernière. Lors de la formation d'un circuit intégré sur une pastille ou une puce semiconductrice, on met en oeuvre ce qu'on appelle le processus photalithogra- phique Au cours de ce processus, on utilise un dispo- sitif d'alignement pour projection en tant u"'appereil servant à réaliser l'impression du modèle au de la con- figuration d'un masque photographique ou photosensible sur la surface de la pastille Etant donné que le dis- positif d'alignement pour projection focalise le modè- le ou la configuration du masque photosensible sur la surface de la pastille et expose à la lumière une pel- licule photorésistante à la surface de la pastille grâce à l'utilisation d'un système optique, cet appa- reil présente l'avantage de permettre une impression de nature multiple par rapport à l'appareil du type à contact, dans lequel un masque photosensible ou phato- graphique et une pastille sont maintenus en contact réciproque étroit, dans lequel ensuite on réalise une exposition à la lumière Mais, d'autre part, le disp- sitif du type à projection présente un inconvén Jimet en ce qu'une non uniformité de la luminosité de la-I l Munière d'éclairement et une non uniformité de la distribution de cette luminosité sont susceptibles d'affeelt 3 r direc- tement l'image du modèle ou configuration duûmasque sur la pastille Afin de former l'image d'=um mmdèle ou d'une configuration présentant une luminosâit correcte et une distribution uniforme de la luminozit% il est par conséquent nécessaire de régler ou coatrôler de façon stricte la luminosité de la lumière éclairement et la distribution de cette dernière. Jusqu'alors, on avait simplement mis en oeu- vre à cet effet, une opération faisant partie de l'une des opérations du processus photolithographique et au cours de laquelle un opérateur mesurait les luminosités en différentes positions du dispositif d'alignement pour projection,à proximité de la pastille et réglait les dif- férentes parties du dispositif d'alignement sur la base des résultats mesurés de manière à obtenir une uniformi- té de la luminosité C'est pourquoi, même lorsque la luminosité ou la distribution de la luminosité variait au cours de l'opération ou pendant n'importe quelle-au- tre opération préparatoire, il était difficile de détec- ter une telle déviation En définitive, la pellicule pho- torésistante était soumise ou exposée à une lumière possé- dant une luminosité incorrecte ou une distribution in- correcte de luminosité et les dimensions de la surface exposée à la lumière ne se situaient pas dans les nor- mes prévues, d'o il en résultait le problème selon le- quel on obtenait un article non conforme,qui entraînait une réduction du rendement ou du taux de production dis- pord tle. D'autre part, lors de l'exposition du modè- le cu de la configuration ou structure au cours du pro- cessus photolithographique, en vue d'obtenir une bonne impression moyennant l'utilisation d'un dispositif d'ali- gnement pour projection, qui réalise la focalisation deune image de forme ou configuration de masque sur une pastille par l'intermédiaire d'un système optique de projection, il est nécessaire de conserver une luminosi- té constante sur la pastille A cet effet, on envisageait d'équiper le dispositif d'alignement pour projection avec un dispositif de contrôle ou réglage de la luminosité. Ce dispositif de contrôle ou de réglage de la luminosité devrait être constitué de façon idéale de manière que la lumière réellement projetée sur la surface de la pas- tille soit détectée par un capteur et que la quantité de lumière d'une lampe ou analogue soit commandée ou réglée par réaction, sur la base d'un résultat obtenu par compa- raison de la valeur détectée avec une valeur de référen- ce Mais en réalité la construction est difficile en -rai- son du fait que le modèle ou la configuration du masque réalise une occultation ou un masquage du capteur C'est pourquoi en réalité le capteur est installé inévitable- ment en un autre endroit à l'intérieur du système opti- que v C'est pourquoi, il a été envisagé de dispo- ser le capteur à proximité de la lampeou à proximité du réflecteur d'un système optique éclairant, Mais une tel- le position se situe sur le côté amont supérieur (sur un côté plus rapproché de la lampe, qui est une source de lumière pour réaliser l'exposition) lorsque l'on re- garde l'ensemble à partir de l'ensemble du système opti- que Il est impossible de capter de façon précise la quantité de lumière réelle qui atteint la pastille après que la lumière soit partie de la source et ait traversé un grand nombre d'autres éléments optiques. Par ailleurs, afin de commander ou régler par réaction la quantité de lumière de la lampe, il est nécessaire de détecter de façon précise cette quantité de lumière délivrée par la lampe C'est pourquoi il a été proposé de disposer également un capteur permettant un réglage de la lumière, dénommé "moniteur au-dessous de la lampe", dans une position proche de la lampe et de renvoyer le signal de sortie du capteur au système mentionné précédemment de comparaison afin de réaliser la commande par réaction de la quantité de lumière dé- livrée par la lampe Cependant, le capteur servant au réglage de la lumière entraîne comme problème le fait qu'une structure complexe est nécessaire pour éliminer les in- fluences de la chaleur de la lampe, etc, et qu'il faut utiliser un amplificateur associé, ce qui accroit le coût de l'installation. C'est pourquoi un but-de la présente inven- tion est de fournir un dispositif d'alignement pour pro- jection, qui permette de détecter rapidement des varia- tions de la luminosité et de la distribution de cette dernière afin d'empêcher l'obtention d'un article non conforme. Un autre but de la présente invention est de fournir un dispositif d'alignement pour projection qui permette de détecter rapidement les variations de la luminosité et de la distribution de cette dernière et qui permette de compenser de façon immédiate et automa- tique la luminosité incorrecte et la distribution non uniforme de luminosité. Un autre but de la présente invention est de fournir un dispositif d'alignement pour projection, qui détecte une luminosité et la distribution de cette der- nière, les plus prochesde celles d'une pastille consti- tuée en un matériau devant être traité, et commande ou règle la quantité de lumière d'une lampe qui est une source de lumière sur la base de ces données, ce qui permet de stabiliser la luminosité et la distribution de cette dernière sur la pastille, de manière à réali- ser une fabrication de la pastille permettant la forma- tion d'un dispositif à semiconducteurs de hautequalité et ce qui permet d'avoir un appareil possédant une structure simple et qui soit d'un coût simple. Afin d'atteindre ces objectifs, la présente invention comporte un détecteur de luminosité qui est avancé ou amené dans un trajet de lumière d'exposition et en est rétracté, lors de l'opération d'exposition réalisée avec le dispositif d'alignement pour projec- tion, des moyens pour détecter une luminosité et une distribution de cette dernière sur la base d'un signal de sortie délivré par le détecteur de luminosité, et des moyens d'alarme permettant de délivrer une alarme sur la base d'un signal de sortie des moyensde détec- tion lorsque la luminosité ou la distribution de cette dernière a varié, lesdits moyens d'alarme étant aptesà arrêter l'exposition. Outre le détecteur de luminosité et les moyens de détection mentionnés cidessus, la présente invention comporte des moyens permettant de compenser automatiquement la distribution de la luminosité, lors- que cette dernière a varié. D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront de la description donnée ci-après prise en référence aux dessins annexés, sur lesquels: la figure 1 est une vue de face montrant un dispositif d'alignement pour projection, dans une forme de réalisation selon la présente invention; la figure 2 est un schéma explicatif montrant la disposition des détecteurs de luminosité; la figure 3 est une vue de face montrant un dispositif d'alignement pour projection selon une autre forme de réalisation de la présente inventiamu la figure 4 est une vueë de face de dliisposï- tifs formant écran pour la lumière; la figure 5 est une vue en élé-vatio N latérale du dispositif formant écran pour la lumière, prise sui- vant la ligne V-V sur la figure 4; et la figure 6 est une vue de face montrant un dispositif d'alignement pour projection selon une autre forme de réalisation de la présente invention. Ci-après on va décrire la présente inven- tion en référence aux formes de réalisation représentées. La figure 1 représente un schéma d'agencement d'une forme de réalisation d'un dispositif d'alignement. pour projection conforme à la présente invention, et en particulier montre à titre d'exemple un dispositif d'ali- gnement pour projection 1:1 En se référant à la figure 2, la référence 2 désigne une table de balayage qui est déplacée selon un mouvement de vaet-vient vers la droi- te et vers la gauche, comme cela est représenté sur la figure, sur un châssis 1, au moyen d'un système de sup- port par paliers à air Un masque photorésistant 4 pos- sédant une structure ou forme ou configuration prédé- m G terminée est disposé sur un trou traversant 3 qui est mân 2 agé sur une face d'extrémité de la table de balayage, tandis qu'une pastille semiconductrice 5, dont la surfa- ce est recouverte par une pellicule ou résine photoré- sistante, est disposée sur l'autre face d'extrémité Le châssis 1 comporte un trou traversant 6 situé dans une partie d'une face d'extrémité dudit châssis Au-dessous de ce trou se trouve disposée une unité d'éclairage 15 qui possède une lampe 7 formant source de lumière, des réflecteurs ou miroirs 8, 9, des lentilles 10, 11, 12, un miroir concave 13 et un organe en forme de fente 14. L'unité d'éclairement 15 transmet la lumièreprovenant de la lampe 7 constituant la source de lumière, à tra- vers les lentilles et la fente par l'intermédiaire des mi Jroir et en outre transmet la lumière par l'intermé- diaire du trou 6, ce qui a pour effet qu'il est possi- hle d'éclairer le masque photographique ou photosensi- ble avec une forme ou configuration de lumière s'éten- dant suivant une fente courbe de l'organe en forme de fente 14 D'autre part, une unité de focalisation 21, qui possède les miroirs 16, 17, 18, un miroir concave 19 et un miroir convexe 20, est disposée au-dessus du trou traversant 6 et projette et focalise l'image du masque photosensible 4 sur la surface de la pastille 5. En outre, dans le trou traversant 3 de la table de balayage 2 se trouvent disposés plusieurs dé- tecteurs de luminosité 22, qui sont fixés selon une dispo- sitionincurvée, de manière à se conformer à la forme de la fente, comme le montre la figure 2 selon une vue en plan Les détecteurs de luminosité 22 sont raccordés à des moyens 23 de détection de la luminosité, qui sont principalement constitués par un micro-ordinateur, et dans lesquels les valeurs de sortie des détecteurs res- pectifs de luminosité 22 sont comparées les unes avec les autres et avec une valeur de référence prédétermi- née, une unité d'alarme 24 est raccordée aux moyens de détection de luminosité 23 et est actionnée par un si- gnal de sortie prédéterminé provenant desdits moyens. Conformément à l'agencement indiqué ci-des- sus, la lumière en forme de fente courbe, formée dans l'unité d'éclairement 15 éclaire selon une forme cour- be le masque photosensible 4, par l'intermédiaire des trous 6 et 3 La partie éclairée du masque photosensi- ble est focalisée sur la surface de la pastille 4 par - l'unité de focalisation 21 Par conséquent, lorsque la table de balayage 22 est déplacée, par exemple vers la gauche lorsqu'on regarde la figure, la lumière fournie par la fente balaye l'ensemble de la surface du masque photosensible 4, avec pour résultat le fait que la sur- face de la pastille est exposée à la lumière passant par l'ensemble de la surface du masque photosensible Alors, lorsque la table de balayage 2 est déplacée sur une dis- tance qui est légèrement supérieure à la dimension du masque photosensible 4, la lumière fournie par la fente tombe sur l'ensemble des détecteurs de luminosité 22 disposés à proximité immédiatadu masque photosensible 4, et les luminosités des parties correspondantes de la lu- mière délivrée par la fente sont détectées par les dé-s tecteurs respectifs de luminosité 22 Par conséquent les moyens 23 de détection de luminosité détectent la lumi- nosité de la lumière délivrée par la fente et la dis- 253654 b 7 tribution de cette lumière sur la base des signaux de sortie de luminosité Lorsque la luminosité et la dis- tribution de la luminosité s'écartent de références pré- déterminées, les moyens de détection de luminosité ac- tionnent l'unité d'alarme 24 et le fonctionnement du dispositif d'alignement pour projection est arrêté par un opérateur ou bien de façon automatique. Ainsi, avec ce dispositif-1 d'alignement pour projection, la luminosité et la distribution de la lu- minosité sont vérifiées lors de chaque déplacement de va-et-vient de la table de balayage 2, à savoir lors de chaque exposition du masque photosensible 4, et l'exposition est immédiatement arrêtée dans le cas de l'apparition d'écarts ou de variations de la luminosi- té et de la distribution de cette dernière, si bien que la réalisation d'un article non conforme par suite de la non-uniformité de la luminosité d'exposition peut être empêchée de façon fiable et que l'on peut obte- nir l'amélioration du taux disponible de pièces con- formes ou rendement de production, En outre, le dispo- sitif d'alignement pour projection ne nécessite lia mise en oeuvre d'aucune vérification de la luminosité et d'aucune vérification de la distribution de cette lumi- nosité lors d'une opération préparatoire une fois par jour et ceci permet de réduire l'intervalle de temps utilisé pour les opérations préparatoires. Au lieu de la mise en place de l'ensemble des détecteurs de luminosité 22, il est possible de dé- placer un seul détecteur de luminosité selon une tra- jectoire courbe le long de la lumière délivrée par la fente et de mesurer les luminosité au niveau des points respectifs du déplacement. La figure 3 représente une forme de réalisa- tion différente du dispositif d'alignement pour projec- tion conforme à la présente invention Les pièces, qui sont identiques à celles représentées sur la figure 1, sont affectées des mêmes chiffres de référence et on ne donnera aucune explication à nouveau à leur sujet. La présente forme de réalisation est caracté- risée par le fait qu'elle comporte des moyens de compensa- tion'25 permettant de compenser automatiquement la lumino- sité et la distribution -de la luminosité sur la base des signaux de sortie relatifs à ces valeurs en provenanoedes moyens de détection 23 En se référant à la figure, ont voit que des dispositifs 26 formant écran pour la lumière sont disposés à l'intérieur de l'unité d'éclairement 15 et qu'ils sont commandés par l'unité de commande 27 qui les actionne sur la base des signaux de sortie des moyens de détection de luminosité 23, ce qui a pour effet de réa- liser la compensation de la luminosité et de la distribu- tion de cette luminosité. Comme cela est représenté sur les figures 4 et 5, l'ensemble des différents dispositifs 26 formant écran contre la lumière sont disposés côte-à-côte le long du faisceau de lumière courbe 7 A de la lampe formant sour- ce de lumière 7, et les différentes dispositifs sont pilo- tés ou commandés d'une manière indépendante les uns des autres Chacun des dispositifs comporte un bras oscillant 29, dont une extrémité est soutenue au niveau de l'extré- mité supérieure d'un cadre 28, tandis que sur l'autre ex- trémité de ce bras se trouve fixée une plaque 30 essen- tiellement en forme de L, formant écran pour la lumière. Le bras 29 est attiré vers le bas par un ressort de trac- tion 31, tandis que l'extrémité avant d'une tête de micro- mètre 32, portée par le cadre 28, vient en butée contre la surface inférieure du bras La tête 32 du micromëtre est accouplée à un moteur pasà-pas 33 monté sur le cÈté inférieur du cadre 28 et qui permet d'entrainer en rota- tion ladite tête, tandis que l'extrémité avant de la tê- te 32 est relevée ou abaissée en fonction du sens de ro- totation du moteur Le moteur pas-à-pas 33 est entraîné de manière à tourner dans le sens direct ou inverse, par un signal provenant de l'unité de commande 27 qui est raccordée au Kmoyens de détection de luminosité 23. Conformément à la construction indiquée ci- dessus, lorsque les moyens de détection de luminosité 23 ont détecté une non uniformité de la luminosité sur la base des signaux de sortie délivrés par les détec- teursde luminosité 22, ils informent l'unité de comman- de 27 du fait qu'une partie de la lumière délivrée par la fente possède une luminosité plus importante ou plus faible En réponse à ce fait, l'unité de commande 27 com- mande de façon sélective le dispositif 26 formant écran pour la lumière et qui correspond à la partie de la lumiè- re délivrée par la fente, qui requiert la compensation. De façon plus spécifique, le dispositif formant écran pour la lumièrequi est situé au niveau de la partie possé- dant la luminosité la plus importante, fait tourner la tète 32 du micromètre vers la droite au moyen du moteur pas-à-pas 33, ce qui a pour effet de relever l'extrémité avant de la tête du micromètre et de faire basculer vers le haut le bras 29 Par conséquent la surface, dont la plaque 30 formant écran pour la lumière solidaire du bras 29, fait saillie dans le faisceau de lumière 7 A augmente, ce qui réduit la quantité de lumière de la partie correspondante et diminue partiellement la lumi- nosité D'autre part, en ce qui concerne la partie pos- sédant une luminosité inférieure, lors de la rotation du moteur pas-à-pas 33 vers la gauche, la plaque 30 for- mant écran pour la lumière est abaissée et la surface dont cette plaque fait saillie dans le faisceau lumineux 7 A est réduit Q,ce qui accroitit la quantité de lumière de la partie correspondante et augmente partiellement la luminosité Par conséquent, on obtient de façon automa- tique, la luminosité uniforme par suite de la commande des dispositifs respectifs formant écran pour la lumière, et ce indépendamment les uns des autres. Ici, on peut parfaitement bien remplacer le dispositif formant écran pour la Lumière par un autre dispositif et il est seulement nécessaire que la valeur ou surface d'avance ou de projection de la plaque for- niant écran pour la lumière dans le faisceau de lumière puisse être partiellement réglée En outre, l'appareil peut parfaitement être équipé, pour former les moyens de compensation, d'une-structure apte à modifier la po- sition de la lampe formant source de lumière au lieu d'être équipé de dispositifs formant écran pour la lumiè- re, de manière à obtenir une distribution uniforme de la luminosité par réglage de la position de la lampe. Comme cela a été indiqué ci-dessus, confor- mément au dispositif d'alignement pour projection selon la présente invention, au moins un détecteur de lumino- sité pouvant être inséré et situé dans un trajet opti- que lors de chaque exposition d'un masque photosensible est prévu pour la détection de la luminosité et de la distribution de-la luminosité, et lorsque cette distri- bution de la luminosité est devenue non uniforme, cette uniformité est compensée automatiquement C'est pourquoi, la luminosité et la distribution de la luminosité sont toujours maintenues à des valeurs correctes et unifor- mes et de ce fait la fabrication d'un article non confor- me duû à une luminosité incorrecte ou non uniforme est empêchée Ceci a pour effet que l'on obtient un accrois- sement du taux de fabrication de pièces conformes ou du rendement de fabrication disponible. La figure 6 est un schéma d'agencement géné- ral d'un dispositif d'alignement pour projection, selon une forme de réalisation de la présente invention La référence 41 désigne un masque qui possède une forme ou configuration prédéterminée, et la référence 42 désigne une pastille ou puce sur laquelle la configuration du masque est imprimée par exposition à la lumière Un mas- que 41 est éclairé par un système optique d'éclairement 43-et la forme ou configuration du masque est focalisée sur la surface de la pastille par un système optique de focalisation 44 Le système optique d'éclairement 43 est agencé de telle manière que la lumière émise par une lam- pe 45 traverse une lentille formant condenseur 46 de ma- nière à obtenir une image agrandie de la lampe, puis * traverse un filtre 47 de filtrage du rayonnement ultra- violet et un filtre 48 de filtrage du rayonnement infra- rouge (miroir froid) pour finalement converger en direc- tion d'une fente 50 disposée en aval d"eune lentille 49. En outre, la lumière, qui a traversé la fente 50 est fo- calisée sous la forme d'une lumière en forme de trait sur le masque 41 au moyen d'une lentille 50, d'un miroir plan 52, d'un miroir-concave 53 et d'une lentille 54, et balaye le masque 41 lors du déplacement de ce masque. Par ailleurs, le système optique de focalisation 44 est agencé de telle manière que la forme ou configuration du masque peut être focalisée sur la surface de la pas- tille 42 par des miroirs plans 55, 56, 57, un miroir concave 58 et un miroir convexe 59 Une unité formant source d'alimentation en énergie pour la lampe 45 pos- sède une alimentation en énergie 60, une partie de com- mande 61 qui comporte un régulateur de tension de glis- sement ou un SCR (redresseur commandé au silicium) ser- vant à modifier et à régler là tension d'alimentation de la source d'alimentation en énergie 60 dans une gam- me non supérieure à la tension fixée ( 200 V), et un transformateur 52 qui reçoit la tension de sortie de la sortie de commande 61, en tant que tension primaire et l'augmente ou la relève pour former la tension secondai- re du transformateur, qui est une tension élevée. D'autre part une unité 65 de commande de lu- minosité possède des détecteurs de contrôle de luminosi- té 22 situés en des positions à proximité immédiate du masque 41, de manière à appliquer des signaux de détec- tion de luminosité fournis par les détecteurs à un mi- cro-ordinateur 65 Des détecteurs de contrôle de lumi- nosité 22 peuvent être des détecteurs tels que représen- tés sur la figure 2 Dans le micro-ordinateur 65, le si- gnal de détection est traité pour être amené à une, valeur de consigne par le microprocesseur 66 et cette valeur est appliquée à une borne d'entrée de comparateur 68. L'autre borne d'entrée du comparateur 68 est alimentée par la tension primaire délivrée par la partie de com- mande 61 En outre, en utilisant le signal de sortie du comparateur 68, on contrôle le degré de la variation de la tension de la partie de commande 61 de manière à mo- difier les tensions primaire et secondaire,ce qui a pour effet qu'il est possible de modifier la luminosi- té de la lampe 45, à savoir la quantité de lumière. En outre, sur la figure 6, la référence 71 désigne une embase, la référence 72 une entretoise, la référence 73 un ressort pneumatique, la référence 74 une table à surface de granit et la référence 75 une unité de focalisation de la pastille comportant des plots ou patins de mise à niveau 76 La référence 77 i désigne un servomoteur qui est un moteur d'entraine- ment servant à déplacer une tableau de balayage 79 moyennant l'utilisation d'unecourroiemétallique 78 et qui est en outre équipé d'un générateur tachymétricrpxe La référence 81 désigne un dispositif de cdsargemnt/ déchargement pour la pastille et la référence 82 dé- signe un organe de maintien qui sert à retenir un grand nombre de cartouches, servant à recevoir les pastilles. Dans le dispositif d'alignement pour projec- tion selon la présente forme de réalisation, comme décrit précédemment, plusieurs détecteurs de contrôle de la lumi- nosité 22 tels que représentés selon une vue en plan sur la figure 2, sont disposés et fixés selon un arrondi ou sur une forme courbe de manière à se conformer à la for- me de la fente Les détecteurs respectifs 22 sont rac- cordés non seulement aixprocesseurs ou unités de traite- ment 66, mais également aux moyens de détection de lumi- nosité 23 situés dans l'unité de commande de luminosité 63 Les moyens de détection de luminosité 23 comparent les valeurs de sortie des détecteurs respectifs 22 les unes aux autres et à une valeur de référence prédéter- minée Il est prévu des dispositifs de compensation ser- vant à compenser automatiquement la distribution de la luminosité sur la base des signaux de sortie délivrés par les moyens de détection de luminosité 23 aptes à détecter la distribution de la luminosité C'est-à-di- re que les dispositifs formant écran pour la lumière 26 tels que représentés sur lesfigures 4 et 5 sont disposés à l'intérieur de la partie d'éclairement 43 et sont com- mandés par une unité de commande 27 qui fonctionne sur la base des signaux de sortie délivrés par les moyens de détection de luminosité 23, ce qui permet deecompen- ser la distribution de la luminosité. Conformément à la forme de réalisation indi- quée ci-dessus, le système optique d'éclairement 43 cons- titué par la lentille formant condenseur 46, la fente , le miroir concave 53, etc, focalisent l'image de la fente de la lumière de la lampe 45 sur le masque 41 de manière à former la configuration ou la forme du mas- que en tant que nouvelle source de lumière Le systè- me optique de focalisation 44 focalise l'image de cette configuration de masque sur la pastille 42 au moyen des miroirs 55, 56, 57, 58 et 59, de manière à projeter la forme ou configuration du masque sur la pastille en vue de réaliser 1 'exposition à la lumière Alors chacun des détecteurs de contrôle de luminosité 22 détecte la luminosité dans la position située juste de ce côté du masque 41, et la valeur détectée est traitée par le dé- tecteur 36 pour fournir une valeur de consigne qui est introduite dans le comparateur 68 En mènetemps, la ten- sion primaire délivrée par la partie de commande 61 est introduite dans le comparateur 68 Chaque fois que les signaux provenant des détecteurs de commande de lumino- sité 22 sont appliqués à l'unité de commande de lumino- sité 63, en d'autres termes lors de chacune des opéra- tions intermédiaire de balayage du masque 41 par la lu- mière de la lampe, la valeur de consigne optimum est déter- minée et le degré de variation de la tension de la par- tie de commande 61 est commandé en fonction d'une tel- le valeur de consigne variable de façon intermittente. Par conséquent, les tensions primaire et secondaire sont modifiées et réglées de façon correcte et la luminosité de la lampe 45 est commandée par réaction de telle sorte que l'intensité d'éclairement sur le masque 41 peut être maintenue constante. En outre, conformément à l'agencement de la forme de réalisation indiquée ci-dessus de la présente invention, lorsque les moyens de détection de luminosi- té 23 ont détecté une absence d'uniformité dans la lumi- nosité sur la base du signal de sortie du détecteur de luminosité 22, ils informent l'unité de commande 27 qu'il existe une partie de luminosité supérieure et une partie de luminosité inférieure dans la lumière formée par la fente En réponse à cela, l'unité de commande 27 commande de façon sélective le dispositif formant écran pour la lumière, qui correspond à la partie de la lumière formée par la fente, requérant une compensa- tion De façon plus spécifique, le dispositif formant écran pour la lumière situé dans la partie de luminosi- té supérieure fait tourner la tête du micromètre vers la droite sous l'action du moteur pas-à-pas, ce qui a pour effet de relever l'extrémité avant de la tête du micromètre et de faire basculer le bras vers le haut. Par conséquent, la surface ou la quantité, dont fait saillie la plaque formant écran pour la lumière, qui est solidaire du bras, à l'intérieur du faisceau lumi- neux augmente, ce qui réduit la quantité de lumière de la partie correspondante et réduite partiellement la luminosité -D'autre part,en ce qui concerne la partie de la luminosité inférieure,par rotation du moteur pas- à-pas vers la gauche, la plaque formant écran pour la lumière est abaissée et la surface ou l'importance avec laquelle elle fait sailliedans le faisceau lumineux, est ré- duite, ce qui accroit la quantité de lumière de la par- tie correspondante et augmente partiellement la lumino- sité Par conséquent, on obtient automatiquement une luminosité uniforme au moyen de la commande des dispo- sitifs respectifs formant écran pour la lumière, indé- pendamment les uns des autres O Par conséquent, conformé- ment à la présente invention, la lumière qui a traversé les éléments optiques tels que des lentilles, qui exer- cent une forte influenoe sur des fluctuations de la lumi- nosité, est détectée en vue de réaliser le contrôle et la lumière subséquente est projetée sur la pastille par des miroirs qui ont une influence moins importante sur des fluctuations de luminosité, de sortecqu'une valeur de luminosité différant fortement de la luminosité de pastille peut être détectée en tant que luminosité de contrôle, ce qui permet de rendre très faibles des fluc- tuations de la luminosité dur la pastille En outre, dans la présente forme de réalisation, les détecteurs de contrôle sont disposés dans des positions o la lumiè- re, délivrée par la fente, de la lampe constituant la source de lumière est focalisée de telle sorte que la luminosité pour la quantité totale de la lumière de la lampe peut être détectée et que la précision du contrôle ou du réglage peut être encore accrue de façon supplémentaire. En outre, dans la présente forme de réalisa- tion, la tension primaire de l'unité formant source d'alimentation en énergie est utilisée pour la détec- tion du signal de réglage de la quantité de lumière de la lampe Par conséquent, la structure de l'appareil est simplifiée et la comparaison et le réglage ou la commande peuvent être effectués à tous moments Il est également possible de réaliser uniquement de façon in- termittente la modification de la valeur de consigne. Par conséquent, la présente forme de réalisation est ap- plicable à des dispositifs d'alignement pour projection, à différents aspects. Ici, le signal situé du côté de la lampe peut être l'énergie secondaire contrairement à la ten- sion primaire prise ci-dessus à titre d'exemple, mais la tension primaire, qui est une basse tension, est plus facile à manipuler. En outre, conformément au dispositif d'ali- gnement pour projection selon la présente invention,. les détecteurs devant être insérés et situésdans le trajet optique lors de chaque exposition du masque photosensible ou photographique sont disposésde mani Lè- re à permettre la détection de la distribution de La luminosité, et lorsque la distribution prend une va- leur non uniforme, une alarme est délivrée ou bien le défaut d'uniformité est compensé de façon automaîtiqze_ Par conséquent, la distribution de la luminosiité est toujours maintenue uniforme, et on ne peut pas réali- ser un article non conforme en raison d'une lumînosi- té non uniforme Ceci entraîne comme effet =ne amélio- ration du taux ou rendement de fabrication. En outre, la présente invention est appli- cable non seulement à un dispositif d'alignement pour projection 1:1, mais également un dispositif d'aligne- ment pour projection réalisant une réduction 10:1, un dispositif d'alignement pour projection réalisant une réduction 5:1, etc. Comme indiqué ci-dessus, dans le dispositif d'alignement pour project 4 on conforme à la présente in- vention, des détecteurs de contrôle de luminosité sont disposés dans des positions situées à proximité immé- diate d'un masque, alors que la tension d'une unité formant source d'alimentation en énergie est utilisée pour la détection du signal représentant la quantité de lumière d'une lampe, l 'opération de détection étant réalisée de façon intermittente Par conséquent, ceci empêche toute fluctuation de luminosité sur une pastil- le et permet de réaliser une bonne exposition et par conséquent la fabrication d'une pastille de haute qua- lité Un autre effet tient au fait que l'on peut don- ner une structure simple à l'appareil et qu'on peut le réaliser avec un faible coût. REVENDI CATIONS 1 Dispositif d'alignement pour projection, dans lequel une lumière provenant d'une source de lumiè- re ( 7; 47) traverse un masque ( 4) de manière à focaliser- une imaged'-une forme ou configuration du masque sur une pastille ( 5), caractérisé par le fait qu'au moins un dé- tecteur ( 22) servant à contrôler une luminosité et une distribution de la luminosité est disposé dans un tra- jet optique entre ladite source de lumière ( 7; 45) et ledit masque ( 4). 2 Dispositif d'alignement pour projection, dans lequel une image-d'une configuration d'un masque ( 4) éclairé par un système optique d'éclairement ( 15; 43) est focalisée sur une pastille ( 5) au moyen d'un système optique de focalisation ( 21; 44), caractérisé par le fait qu'au moins un détecteur ( 22) servant à con- trôler une luminosité est placé dans une position si- tuée à proximité immédiate dudit masque ( 4), tandis qu'une tension d'alimentation devant être appliquée à une source de lumière ( 7; 45) dudit système optique d'éclairement est reçue en tant que signal de quantité de lumière de la source de lumière, et que ce signal de quantité de lumière de la source de lumière et un signal calculé à partir d'un signal dudit détecteur ( 22) sont comparés de manière à permettre la commande d'une quan- tité de lumière de ladite source de lumière ( 7; 45). 3 Dispositif d'alignement pour projection selon la revendication 2, caractérisé en ce que ledit si- gnal de quantité de lumière de la source de lumière est une tension primaire de la source d'alimentation devant être appliquée à ladite source de lumière. 4 Dispositif d'alignement pour projection selon la revendication 2, caractérisé en ce que le dé- tecteur ( 22) de contrôle de luminosité est disposé sur un support de masque ( 2) servant à supporter ledit mas- que ( 4). Dispositif d'alignement pour projection, dans lequel une image d'une forme ou configuration d'un masque ( 4) éclairé par un système optique d'éclairement ( 15; 43) est focalisée sur une pastille ( 5) par un système optique de focalisation ( 21; 44), caractérisé en ce qu'il comporte au moins un détecteur ( 22) servant à con- trôler une luminosité et disposé dans une position si- tuée à proximité immédiate dudit masque ( 4), des moyens de détection ( 23) servant à détecter la luminosité dudit système optique d'éclairement ( 4,43) et une distribution de la luminosité sur la base d'un signal de sortie dudit détecteur ( 22) et des moyens de compensation ( 23) servant à modifier au moins l 'un des éléments déterminant la dis- tribution de luminosité dudit système optique d'éclaire- ment ( 15; 43) sur la base du signal de sortie dudit moyen de détection ( 23). 6 Dispositif d'alignement pour projection selon la revendication 5, caractérisé en ce que lesdits moyens de compensation ( 5) comportent plusieurs disposi- tifs formant écran pour la lumière ( 26), dont chacun pos- sède une plaque ( 30) formant écran pour la lumière et ap- te à modifier une quantité de lumière se propageant dans un trajet optique. 7 Dispositif d'alignement pour projection dans lequel une image d'une forme ou configuration d'un masque ( 4) éclairée par un système optique d'éclairement ( 15; 43) est focalisée sur une pastille ( 15) au moyen du système optique de focalisation ( 21; 44), caractérisé par le fait qu'il comporte au moins un détecteur ( 22) servant à commander une luminosité et disposé dans une position située à proximité immédiate dudit masque, des moyens de détection ( 23) servant à détecter la luminosité dudit système optique d'éclairement ( 15; 43) et une distribution de la luminosité sur la base d'un signal de sortie du dé- tecteur, des moyens de compensation ( 25) servant à modi- fier au moins l'un des éléments déterminant la distribu- tion dudit système optique d'éclairement ( 15; 43) sur la base du signal de sortie dudit moyen de détection, et une unité de commande ( 27) qui reçoit une tension d'alimen- tation devant être appliquée à une source d'éclairage du- dit système optique d'éclairement ( 15; 43), en tant que si- gnal de quantité de lumière de la source de lmmière,et qui compare ce signal de quantité de lumière de la sour- ce de lumière et un signal calculé à partir d'u signal provenant dudit détecteur ( 22), de manière à régler la quantité de lumière de ladite source de lumière. 8 Dispositif d'alignement pour projection - selon la revendication 7, caractérisé en ce que lesdits moyens de compensation ( 25) comportent plusieurs dispo- sitifs ( 26) formant écran pour la lumière et dont cha- cun possède une plaque ( 30) formant écran pour la lumiè- re, apte à modifier une quantité de la lumière se propa- geant dans un trajet optique. 9 Dispositif d'alignement pour projection selon la revendication 7, caractérisé en ce que le si- gnal de quantité de lumière de la source de lumière est une tension primaire de l'alimentation devant être applti- quée à ladite source de lumière. 10 Dispositif d'alignement pour-projectiam. dans lequel une image d'une forme ou d'une configurtiom d'un masque photosensible ( 4) éclairé par l'unité &':éclal rement ( 15; 43) est focalisée sur une pastille ( 5 par une unité de focalisation ( 21; 44), caractérisé en coqu s comporte au moins un détecteur de luminosité ( 2 qui peut s'avancer à l'intérieur d'un trajet optique de la- dite unité d'éclairement en même temps que se produit l'opération de focalisation de l'image de la configura- tion du masque sur ladite pastille ( 5), et &"exposition de ladite pastille à la lumière, des moyens de détection de luminosité ( 23) servant à détecter une distribution de luminosité de ladite unité d'éclairement sur la base d'un signal de sortie provenant dudit détecteur de luminosité ( 22), et des moyens ( 24) aptesà fonctionner sur la base da signal de sortie desdits moyens de détection de lumi- nosité ( 23) lorsque la distribution de luminosité a varié.