Brevet FR2546645A1 — publié le 19841130

La présente invention concerne un code à bâtonnets destiné à des réseaux microlithographiques et plus préci- sément un procédé d'identification de réseaux qui donne plusieurs niveaux de vérification d'erreurs. Au cours de la fabrication des dispositifs à' semi-conducteur constituant des circuits intégrés, des dessins sont formés à la surface d'un substrat semi- conducteur à l'aide d'un procédé connu de façon générale sous le nom de "microlithographie" Par exemple, le dessin voulu est formé initialement sur une plaque appelée "réseau", c'est-à-dire que le dessin est formé par attaque photolitho- graphique d'une couche de chrome portée par un support ou un substrat de verre De plus en plus, le dessin du réseau est projeté à échelle réduite à la surface de la tranche bien que des systèmes plus anciens utilisent souvent l'impression dite par contact ou de proximité Comme plu- sieurs réseaux peuvent être utilisés dans des opérations successives de fabrication d'un dispositif donné à semi- conducteur et comme il existe de nombreux types de tels dispositifs, il est important que les réseaux soient vérifiés et identifiés soigneusement avant utilisation car l'utili- sation d'un réseau erroné peut détruire tout un lot de tranches semiconductrices qui ont déjà été soumises à un traitement antérieur très important. Bien qu'on ait déjà proposé l'utilisation de codes à bâtonnets pour l'identification des réseaux, les codes utilisés jusqu'à présent ont été relativement simples et limités et n'ont pas utilisé les caractéristiques origi- nales des conditions d'application particulière des réseaux et n'ont pas non plus mis en oeuvre le degré élevé de fiabilité souhaitable dans les installations automatiques de fabrication de semi-conducteurs. Comme le savent les hommes du métier, la plupart des symbolisatiors par des codes à bâtonnets mis au point, jusqu'à présent ont concerné essentiellement la possibilité de lire rapidement des codes imprimés par des techniques courantes d'impression Parmi les problèmes posés dans ces conditions d'application, il faut citer la tendance des encres à s'écouler et à s'accumuler La possibilité d'obtenir une lecture initiale a été considérée comme importante pour la réalisation de tels codes et des fréquences d'erreurs importantes, c'est-à-dire non rares, sont acceptables-e en général Compte tenu de ces critères, la plupart des codes à bâtonnets utilisaient des plages relativement étroites de largeurs de bâtonnets et-des possibilités faibles ou nulles de correction d'erreurs. Dans le cas des réseaux utilisés dans la fabrica- tion des semi-conducteurs, la situation qui règne est cependant inverse Les images créées par l'opération d'at- taque du chrome porté par le verre ont une très haute résolution et une très grande précision et donnent aussi un degré élevé de contraste Les critères fixés par l'instal- lation, c'est-à-dire la chaîne de fabrication de semi- conducteur, sont aussi différents en ce que toute erreur peut coûter extrêmement cher puisque l'utilisation d'un cache erroné pour le traitement d'un lot de tranches semi- conductrices partiellement fabriquées rendrait la totalité du produit formé inutilisable et sans aucune valeur. L'invention concerne un ensemble mettant en oeuvre des codes à bâtonnets sur des réseaux, avec une fiabilité extrêmement grande, permettant plusieurs niveaux de vérification d'erreurs, permettant l'identification d'un réseau au point d'utilisation de celui-ci, permettant la lecture du code à bâtonnets sur un réseau mobile, ayant une très grande souplesse d'utilisation tout en étant relativement simple et peu coûteux. Plus précisément, un réseau microlithographique réalisé selon l'invention porte, le long d'un côté, un code à bâtonnets représentant une succession de caractères identifiant le dessin porté par le réseau Le code à bâton- nets comporte, à chaque extrémité, une zone de repos et, adjacente à chaque zone de repos,un bloc de synchronisation comportant une série de longueur prédéterminée comprenant des bâtonnets de même largeur nominale et ayant des polarités qui alternent Un caractère final prédéterminé, distinct des caractères identificateurs, est adjacent à chaque bloc de synchronisation Les caractères identificateurs occupent l'espace compris entre les caractères finaux et ils comprennent chacun trois bâtonnets de chaque polarité, la largeur de chaque bâtonnet étant un multiple entier de la largeur nominale, chaque caractère ayant dix fois la largeur nominale. Dans un procédé avantageux de lecture du code à bâtonnets, les transitions entre les polarités des bâton- nets sont détectées photoélectriquement et des cycles d'un signal d'horloge sont comptés entre des transitions successives Lorsqu'une série prédéterminée de nombres successifs comporte des mêmes valeurs, indiquant la constitu- tion d'un bloc de synchronisation, la valeur nominale est conservée comme représentant une largeur nominale de bâtonnet et la lecture des caractères est alors déclen- chée Pour chaque caractère, le nombre de largeurs nomi- nales qui ont une polarité prédéterminée est défini et une indication d'erreur est donnée lorsque ce nombre ne correspond pas à une parité prédéterminée De préférence, l'un des caractères est un caractère de vérification qui donne une valeur de référence de vérification qui peut alors être comparée à une valeur de vérification de test pour tous les autres caractères compris dans le code, une indication d'erreur étant formée lorsque la valeur de vérification de test et les valeurs de vérification de référence ne correspondent pas. D'autres caractéristiques et avantages de l'inven- tion ressortiront mieux de la description qui va suivre, faite en référence aux dessins annexés sur lesquels - la figure 1 représente schématiquement un appareil microlithographique du type utilisé dans la fabrication des circuits intégrés et mettant en oeuvre un procédé d'identification de réseaux par des codes à bâtonnets selon l'invention; les figures 2 A et 2 B forment ensemble un diagramme synoptique d'un circuit de mesure de largeur de bâtonnet incorporé à l'appareil de la figure 1; les figures 3 et 4 représentent sous forme de tableau la fonte des codes à bâtonnets utilisés pour la mise en oeuvre de l'invention; et -> la figure 5 représente un exemple de code à bâtonnets selon l'invention. Sur les diverses figures les références identiques désignent des éléments correspondants. L'appareil représenté sur la figure 1 est destiné, de façon générale, à projeter une image d'un réseau, repéré par la référence 11, à la surface d'une tranche semi-conduc- trice portant la référence générale 13 La tranche est par exemple revêtue d'une réserve photosensible L'appareil représenté est d'un type connu comme étant une caméra à avance et répétition dans laquelle la tranche est déplacée pas à pas sur une table X-Y, portant la référence générale , alors que des expositions répétées sont formées à la surface de la tranche A chaque exposition, la lumière de la source qui porte la référence 17 est dirigée à travers le réseau 11 par un condenseur 19, l'image du dessin du réseau étant formée à la surface de la plaquette par un objectif 21 de très grande résolution. L'appareil microlithographique comporte un chan- geur de réseau portant la référence générale 23, destiné à permettre la projection de différents dessins Ce changeur 23 comporte deux supports 25 et 27 de réseau analogues à des fourches alternatives et qui sont montés sur un ensemble rotatif 29 L'un quelconque des réseaux est aligné sélecti- vement sur le changeur 23 en direction verticale à l'aide d'un magasin 31 qui peut être mis en position par un méca- nisme élévateur 33. Lors du fonctionnement, l'un des supports 25 et 27 retire une tranche d'une fente choisie du magasin 31 et. l'ensemble 29 tourne de manière que le support puisse introduire le réseau dans la colonne de projection afin que la tranche soit exposée Par exemple, pendant la même opération, un réseau déjà utilisé est retiré de la colonne par l'autre des supports de réseaux et est remis dans la fente correspondante du magasin 31 Comme le savent les hommes du métier, ces différents mouvements sont com- mandés et coordonnés par un ordinateur superviseur, dans les installations modernes de fabrication de semi-conduc- teurs Bien que ces installations puissent-suivre et catalo- guer parfaitement chaque réseau lorsque l'ensemble est conve- nablement réglé, en théorie, la pratique montre qu'il est très souhaitable qu'un procédé d'identification de réseaux détermine l'identité de chaque réseau juste avant son utilisation dans l'installation. Dans le mode de réalisation représenté, une source lumineuse 35 est disposée afin qu'elle éclaire à travers le réseau lorsqu'il est retiré d'un magasin et un photodétecteur 37 est destiné à détecter l'intensité de la lumière transmise à travers le code à bâtonnets. Bien que ce système de détection à capteur soit représenté du côté du magasin du changeur, il faut noter qu'il peut aussi se trouver du côté du changeur à proximité de la colonne de projection. Comme le savent les hommes du métier, la source et le photodétecteur constituent un dispositif destiné à détecter des changements de polarités dans le code à bâtonnets Dans l'exemple représenté, des zones transpa- rentes sont considérées comme ayant une première polarité et des zones opaques comme ayant l'autre polarité Si la source et le détecteur se trouvent d'un même côté, les deux polarités peuvent être considérées comme réfléchis- sante et absorbante respectivement Comme décrit plus en détail dans la suite du présent mémoire, il n'est pas important de savoir quelle est la polarité qui correspond à un signal binaire un ou zéro puisque l'installation repose uniquement sur la synchronisation des transitions de polarités et non sur les valeurs absolues des polarités. Lorsque le réseau est retiré du magasin, les largeurs des bâtonnets individuels formant le code sont mesurées par un circuit portant la référence 41 Les mesures effectuées à l'aide du circuit spécialisé 41 sont transmises, après une opération d'établissement de liaison décrite plus en détail dans la suite, à un ordinateur d'emploi universel portant la référence générale 43 Comme le savent les hommes du métier, l'ordinateur 43 comprend une mémoire à accès direct 45 dans laquelle des variables peuvent être conservées de façon transitoire, ainsi que des con- nexionsà une console d'opérateur par l'intermédiaire duquel l'ensemble de l'installation peut recevoir des ordres, et à des dispositifs de mémoire à disque par lesquels des pro- grammes et des données peuvent être chargés et des enregis- trements traités peuvent être conservés à long terme. La fonte utilisée dans le cadre de l'invention est réaliséede façon originale afin que la qualité de grande précision des images disponibles sur le réseau soit utilisée, avec obtention de plusieurs niveaux de vérification d'erreurs donnant un degré très élevé d'immunité vis-à-vis des erreurs Une bande globale de codes à bâtonnets est représentée sur la figure 5 Il faut noter qu'une telle bande est formée le long d'un bord d'une plaque formant un réseau de forme normalement carrée ou rectangulaire, c'est-à-dire d'un côté du dessin du dispositif électronique que le code est destiné à identifier Le code représenté sur la figure 5 comprend à chaque extrémité une zone de repos Ces zones portent les références 51 et 53 Des blocs 55 et 57 de synchronisation sont adjacents aux zones de repos Les blocs 55 et 57 sont symétriques et comportent chacun trois bâtonnets de chaque polarité, les bâtonnets ayant une largeur nominale ou unitaire On peut noter que ces blocs sont symétriques et facilitent ainsi la lecture du code dans les deux sens Comme décrit plus en détail dans la suite, les blocs de synchronisation sont utilisés pour l'établissement du moment ou de la largeur nominale qu'il faut pour que chaque bâtonnet de largeur unitaire parcoure le capteur photoélectrique 37. Plusieurs cellules de caractères sont comprises entre les blocs dé synchronisation Chaque cellule a une largeur de dix unités et contient trois bâtonnets de chaque polarité En outre, chaque cellule commence avec un bâtonnet d'une première polarité prédéterminée et se termine avec un bâtonnet de polarité opposée Le code à bâtonnets est ainsi du type couramment considéré comme continu car l-espa- cement séparant les caractères doit se conformer aux mêmes restrictions que les espacements internes aux cellules des caractères Cependant, dans le cadre du réseau micro- lithographique, cette restriction n'est pas du tout onéreuse étant donné la grande précision avec laquelle les réseaux sont formés de manière caractéristique. Ce procédé impose certaines restrictions aux codes de caractères qui peuvent être utilisés et ces restric- tions donnent en fait une redondance qui facilite la vérifi- cation des erreurs, comme le savent les hommes du métier. En particulier, on peut montrer que chaque caractère doit avoir au moins un bâtonnet de largeur égale à deux largeurs nominales ou plus et qu'aucun bâtonnet ne peut avoir une largeur supérieure à cinq unités Le code permet cependant l'utilisation de ce rapport de largeurs de cinq à un. Contrairement à la plupart des autres codes cependant, ce rapport élevé est totalement acceptable étant donné la très haute résolution des images disponibles sur les réseaux utilisés dans la fabrication des semi-conducteurs. Lors de la mise en oeuvre de l'invention, les codes de caractères utilisés se conforment aussi à la restriction selon laquelle, dans chaque caractère, le nombre de largeurs de bâtonnets unitaires qui ont une polarité donnée-se conforme à une parité prédéterminée. Ainsi, dans chaque-cellule de caractères, un second niveau de détection d'erreurs est disponible, c'est-à-dire une vérification de parité ainsi que le critère de la présence de trois bâtonnets de chaque polarité. Indépendamment de ce degré de vérification d'er; reurs propre à chaque cellule de caractères, le code à batonnets selon l'invention constitue un jeu relativement etendu de caractères que le fabricant de semiconducteurs peut utiliser pour l'identification de chaque réseau de son inventaire En fait, un jeu alphanumérique complet est disponible comme indiqué sur les figures 3 et 4 Bien que ce jeu constitue un jeu alphanumérique complet, les lettres minuscules ne sont pas utilisées car il serait-il nécessaire de réaliser un code ASCII complet. En plus des caractères qui identifient en réalité le dessin porté par le réseau, le jeu de caractères comprend aussi des caractères originaux de début et d'arrêt Ces caractères finaux sont désignés par les références 61 et 63 dans le code à bâtonnets représenté sur la figure 5. Une forme finale de caractère utilisée dans le codeglobal est sous forme d'un caractère de vérification portant la référence 67 sur la figure 5 Ce caractère représente une valeur de vérification de référence égale à une valeur de vérification de test qui peut être calculée et créée à partir de tous les autres caractères d'un code d'identifi- cation de dessin Dans le procédé particulier utilisé dans le mode de réalisation représenté, les valeurs binaires correspondant à tous les caractères identificateurs de dessin sont ajoutées puis divisées par la racine de 64. Le reste est alors pris comme valeur de vérification de test L'ordinateur 43 peut évidemment calculer indépendam- ment la valeur de vérification de test et, si elle ne correspond pas à la valeur de vérification de référence, une indication d'erreur est formée. Le circuit réel utilisé pour les mesures des largeurs des bâtonnets est représenté sur les figures 2 A et 2 B Ce schéma représente le circuit plus en détail et, de façon générale, les composants convenables des circuits intégrés destinés à remplir les diverses fonctions logiques sont connus des hommes du métier, par exemple les basculeurs J-K peuvent être du type classique 74 L 5107, les basculeurs de type D peuvent être du type classique 74 L 574, etc. Le multivibrateur monostable repéré par les références 80, 81 et 82 peut être du type 74 L 5123 Les composants plus complexes du circuit-utilisé sont identifiés plus spéci- fiquement dans la suite de la description. Alors que les divers signaux internes sont réfé- rencés de manière conforme afin que le fonctionnement détaillé du circuit puisse être analysé par les hommes du métier, la description globale suivante du fonctionnement peut être utile pour la compréhension de la manière se-on laquelle ce circuit facilite l'utilisation -d'algorithmes de reconnaissance de caractères selon la mise en oeuvre de l'invention. On peut noter de façon générale que des impulsions d'horloge tirées d'un oscillateur stable 83 (figure 2 B) sont comptées par un compteur 85 (figure 2 A) afin que l'intervalle compris entre les transitions détectées par le détecteur 34 soit compté Les nombres obtenus par le compteur 85 subissent un traitement dans deux séries de circuits tampons, c'est-à-dire dans les circuits successifs à bascules 86 et 87, avant transmission au circuit de cou- plage à l'ordinateur Le compteur 85 peut par exemple comprendre deux circuits intégrés 74 L 5163 montés en cascade, chaque bascule 86 et 87 pouvant être un dispositif du type 74 L 5373. Le signal du photodétecteur 37 est appliqué par l'intermédiaire d'un basculeur 71 de niveau à un circuit d'acquisition et de sychronisation de données comprenant un basculeur de type D 72 et une paire de basculeurs JK 73 et 74 Les signaux provenant de ces derniers sont combinés avec des signaux provenant du signal d'initialisation INIT transmis par l'ordinateur, dans des portes NON-ET 75 et 76 et une porte NI 77 afin que le signal qui commande la validation du compteur 85 soit formé. Dans le mode de réalisation représenté, le compteur a huit étages, c'est-à-dire que les données ont essen- tiellement la largeur d'un octet, et la fréquence de l'oscil- lateur d'horloge est choisie d'après la vitesse de dépla- cement du réseau de manière que le compteur ne déborde pas. pendant la lecture d'un bâtonnet de largeur normale quel- conque, par exemple jusqu'à une largeur de cinq unités, mais déborde pendant la lecture des zones de repos Par exemple, il convient qu'un bâtonnet de largeur unitaire corresponde à vingt impulsions de l'horloge Le signal de débordement OFLO du compteur 85 est utilisé dans un basculeur D 90 pour la commande de l'avance du compteur 85 de manière que celui-ci s'arrête à une valeur de 127 pen- dant le parcours d'une zone de repos Une lecture de 127 identifie ainsi de façon originale une zone de repos. Le circuit de la figure 2 comporte de façon générale une machine d'état dans laquelle les basculcurs 81 et 82 (figure 2 B) forment un compteur de programme et la collection de portes portant la référence générale 84 constitue un décodeur de programme destiné à former lès divers signaux de commande internes identifiés sur les figures Cette machine d'état assure la procédure suivante de liaison avec l'ordinateur en permettant à celuici d'obtenir et de conserver des mesures de largeursde bâton- nets créées successivement par le circuit 41 de mesure de largeur de bâtonnets. Le signal BINT est un signal d'interruption créé par le circuit de synchronisation afin qu'il signale à l'ordinateur qu'une valeur de largeur est prête Le signal BINT est préparé par l'ordinateur par l'intermédiaire du signal INIT Lorsque le signal BINT est transmis, l'ordi- nateur, à moins qu'il soit occupé à d'autres tâches, répond par le signal BACK. Le signal BACK charge le circuit parallèle de couplage de l'ordinateur du contenu de la bascule 67 et permet au signal suivant BINT de transférer le contenu de la bascule 66 à la bascule 67. Lorsque le signal BACK n'apparaît pas avant lé second signal BINT: a) le transfert de la bascule 66 à la bascule 67 est inhibé afin que le contenu de la bascule 67 soit conser vé suffisamment longtemps pour qu'il soit lu par le signal suivant BACK; b) le flanc retombant du signal BACK provoque alors la création immédiate d'un autre signal BINT, validant le transfert de la bascule 66 à la bascule 67 avant le transfert de la valeur du compteur à la bascule 66 Ce transfert a lieu autrement lors du changement de données avec le signal BINT. Lorsque le signal BACK n'apparaît pas avant une condition d'erreur est signalée. L'ordinateur 43, en conservant les valeurs suc- cessives des largeurs des bâtonnets suivant un arrangement convenable, peut alors utiliser la valeur de la largeur nominale tirée du bloc de synchronisation pour la recon- naissance des caractères successifs formant l'ensemble du code à bâtonnets Des signaux d'erreurs sont transmis si le caractère original de début ou le caractère original d'arrêt manque, si l'un quelconque des caractères ne satis- fait pas au critère de parité implicite dans la fonte prédéterminée, ou si la valeur de vérification donnée par le caractère de vérification ne correspond pas à une valeur de vérification calculée indépendamment de la valeur de lecture des autres caractères incorporés au code. Il faut noter que les autres signaux indiqués sur les figures 2 A et 2 B sont des signaux utilisés de façon classique par les hommes du métier, telsque CLK, CL, PHASE, OFLO, XBIB, BCDATEN, BUBINTEN, BACKD, etc. Il est bien entendu que l'invention n'a été décrite et représentée qu'à titre d'exemple préférentiel et qu'on pourra apporter toute équivalence technique dans ses éléments constitutifs sans pour autant sortir de son cadre. -2546645 PR VENDI CATIONS 1 Réseau portant un dessin destiné à la fabrica- tion microlithographique de dispositifs à circuit intégrés, ayant, d'un côté, un code à bâtonnets comprenant une série de caractères identificateurs destinés à l'identification du dessin, ledit réseau étant caractérisé en ce que le code à bâtonnets comprend: une zone de repos ( 51, 53) formée à chaque extré- mité du code, un bloc de synchronisation-( 55, 57) adjacent à chaque zone de repos et comprenant une série de bâtonnets de longueur prédéterminée et de même largeur nominale, avec des polarités qui alternent, un caractère formant un symbole final prédéterminé ( 61, 63) distinct des caractères identificateurs et adjacent à chaque bloc de synchronisation, et une série de caractères identificateurs, disposée entre les caractères finaux, chacun de ces caractères identificateurs comprenant trois bâtonnets de chaque pola- rité, la largeur de chaque bâtonnet étant un multiple entier de la largeur nominale, chaque caractère ayant une largeur égale à dix fois la largeur nominale. 2 Réseau selon la revendication 1, caractérisé en ce que le nombre d'unités de largeur d'une polarité donnée dans chaque caractère se conforme à une parité prédéterminée. 3 Réseau selon la revendication 1, caractérisé en ce que le code contient un caractère de vérification ( 67) adjacent à l'un des caractères finaux ( 61, 63), le caractère de vérification ayant une valeur qui est fonction de la valeur de tous les caractères identificateurs. 4 Réseau portant un dessin destiné à la fabrica- tion microlithographique de dispositifs à circuit intégré, ayant, le long d'un côté, un code à bâtonnets comprenant une série de caractères identificateurs destinés à l'identi- fication du dessin, ledit réseau étant caractérisé en ce que le code à bâtonnets comprend: une zone de repos ( 51, 53) formée à chaque extré- mité du code, un bloc de synchronisation ( 55, 57) adjacent à chaque zone de repos et comprenant une série de bâtonnets qui ont une même largeur nominale et qui ont des polarités qui alternent, cette série ayant une longueur prédéterminée, un caractère prédéterminé ( 61) de début qui est un caractère final distinct des caractères identifica- teurs et qui est adjacent à un bloc de synchronisation, un caractère prédéterminé d'arrêt ( 63) qui est un caractère final distinct des caractères identificateurs et qui est adjacent à l'autre bloc de synchronisation, une série de caractères identificateurs, formée entre les caractères finaux, chacun des caractères identi- ficateurs comprenant trois bâtonnets de chaque polarité, la largeur de chaque bâtonnet étant un multiple entier de la largeur nominale, chaque caractère ayant une largeur égale à dix fois la largeur nominale, le nombre d'unités de largeur de polarité donnée dans chaque caractère sa- tisfaisant à une parité prédéterminée,, et un caractère de vérification ( 67) adjacent au caractère final d'arrêt ( 63) et ayant une valeur qui est fonction de la valeur de tous les caractères identificateurs. Procédé de lecture d'un code à bâtonnets porté par un réseau mobile, ledit procédé étant caracté- risé en ce qu'il comprend: la formation d'un signal d'horloge, l'éclairement du code à bâtonnets et la détection photoélectrique des transitions entre la lumière et l'ombre, le comptage de cycles du signal d'horloge jusqu'à une valeur maximale prédéterminée et la conservation du nombre obtenu entre des transitions successives sous forme d'une valeur d'intervalle, puis, après la lecture d'une valeur égale à la valeur maximale prédéterminée, lorsqu'une série prédéter- minée de comptages successifs a donné des valeurs analogues, constituant ainsi un bloc de synchronisation ( 55, 57), la mémorisation d'une valeur nominale représentant l'intervalle nominal entre les transitions et le déclenchement de la lecture de caractères telle que chaque intervalle de caractère est égal à dix fois l'intervalle nominal et chaque caractère comprend trois transitions de chaque polarité, et Es pour chaque caractère, la détermination du nombre d'intervalles nominaux qui ont une polarité prédéterminée et la création d'une indication d'erreur lorsque ce nombre ne correspond pas a une parité prédéterminée. 6 Procédé de lecture d'un code à bâtonnets porté par un réseau mobile, caractérisé en ce qu'il comprend: la formation d'un signal d'horloge,l'éclairement du code à bâtonnets et la détection photoélectrique des tansitions entre la lumière et l'ombre, le comptage de cycles du signal d'horloge et la mémorisation du nombre compté entre des transitions successives, après qu'une série prédéterminée de nombres successifs a donné des valeurs semblables, indiquant la constitution d'un bloc de synchronisation ( 55, 57), la mémorisation d'une valeur nominale représentant l'intervalle nominal entre des transitions et le déclenchement de la lecture des caractère pendant laquelle chaque intervalle de caractère est égal à dix fois l'intervalle nominal et chaque caractère comprend trois transitions de chaque polarité, la détermination, pour chaque caractère, du nombre d'intervalles nominaux ayant une polarité prédéter- minée et la création d'une indication d'erreur lorsque ce nombre ne correspond pas à une parité prédéterminée, la création d'une indication d'erreur lorsque le premier caractère ne correspond pas à un caractère prédéterminé de début ( 61), la comparaison de chaque caractère à un caractère prédéterminé-d'arrêt ( 63) et, lorsqu'un tel caractère d'arrêt est détecté, la lecture de la valeur du caractère adjacent constituant une valeur de vérification de référence, la création, à partir de tous les autres carac- tères du code, d'une valeur de vérification de test, et la création d'une indication d'erreur lorsque la valeur de vérification de test et la valeur de vérifica- tion de reférence ne se correspondent' pas. 7 Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comprend en outre la comparaison de la valeur nominale d'une succession finale d'intervalles, constituant un second bloc de synchronisation ( 57), à la valeur nominale préalablement mémorisée, et la transmission d'une indication d'erreur possible lorsque la différence dépasse une valeur prédéterminée.