Brevet FR2527184A1 — publié le 19831125

L'invention a trait au transport de pièces vers l'intérieur et vers l'extérieur de chambres étanches évacuées ou maintenues dans des conditions ambiantes extrêmes quelconques. En vue d'obtenir une production optimale avec la plupart des appareils de traitement sous vide, et notamment de revê- tement sous vide, on maintient en continu la pression de traitement souhaitée dans la chambre contenant le matériel de traitement, de revêtement ou autre Les pièces entrent et sortent à travers une chambre contiguë, couramment dite sas à vide, dont la communication avec la chambre de traite- ment peut être sélectivement établie ou interrompue par une vanne Un tel appareil est décrit dans le brevet US-A-3 641 973 (Shrader) Dans certains appareils, tels que celui décrit dans US-A-3 656 454 (Shrader), les pièces entrent à travers un premier sas et sortent à travers un second sas Ces deux types d'appareils antérieurs exigent un sas relativement grand parce qu'il doit contenir un grand support capable d'exposer simultanément vingt substrats ou plus à l'équipement de revê- tement. Dans le dispositif de manutention de pièces selon US-A-3 584 847 (Hammond, Jr et al), des substrats sont reti- rés d'une cassette dans un sas d'entrée et placés horizonta- lement sur un transporteur linéaire en vue du traitement Les substrats traités sont placés dans une autre cassette pour être extraits d'un sas de sortie Dans le dispositif selon US-A-4 047 624 (Dorenbos), on dispose un certain nombre de pièces dans un support du genre cassette que l'on place sur la porte ouverte d'un sas à vide Lors de la fermeture de la porte, le support pénètre par basculement dans le sas et est alors transporté à travers une vanne dans une chambre de maintien Les pastilles sont déchargées du support et placées verticalement sur un transporteur linéaire aux fins de traite- ment Les pastilles traitées sont chargées dans un autre support et évacuées à travers un sas de sortie analogue au sas d'entrée. Récemment, des appareils de traitement sous vide de pastilles semiconductrices du type de cassette à cassette, sont apparus dans le commerce Dans certains d'entre eux, des pastilles sont retirées d'une cassette dans un élévateur de cassettes et placées sur un transporteur à courroie Les pas- tilles sont transférées à travers un sas à vide -sur une table tournante horizontale, disposée dans une chambre de traitement, au moyen d'un bras de transfert tournant Les pastilles traitées sont retirées à travers le même sas et déposées sur un second transporteur qui les dépose dans une cassette située dans un second élévateur de cassettes US-A-4 311 427 (Coad et al) décrit un dispositif propre à transférer une à une des pastilles, à travers-un sas à vide, à l'intérieur (ou à l'exté- rieur) d'une cassette. Plusieurs transporteurs à plancher mobile, entre autres un transporteur dit à avance pas-à-pas sont décrits dans US-A-4 275 978 (Brooks et ai) Dans ces transporteurs, les pi&ècs reposent sur un ensemble horizontal de lattes Plusieurs des lattes sortent du plan des autres lattes par mouvement angulaire ascendant de sorte qu'un objet placé sur l'ensemble se trouve soulevé et avance par degrés le long de l'ensemble. L'invention a trait à un dispositif de transport de pièces particulièrement conçu pour permettre un transfert rapide de pièces à travers une ouverture susceptible de ferme- ture étanche ménagée entre des faces opposées d'une paroi, et ainsi le chargement et le déchargement rapides de chambres de traitement sous vide ou autres susceptibles de fermeture étanche Dans une réalisation préférée, le dispositif utilise un accumulateur à avance pas-à-pas qui comprend un premier bâti comportant une poutre ou un râtelier présentant une série d'emplacements de support d'un groupe de porte-substrats, et un second bâti analogue mû en translation circulaire par un excentrique de façon que chaque porte-substrats supporté par le premier bâti soit prélevé de celui-ci, transféré en avant et placé en un emplacement adjacent sur le même premier bâti. Le dispositif comporte aussi un moyen propre à déplacer l'accu- mulateur à avance pas-à-pas et un récepteur de pièces entre une première position permettant la fermeture étanche de l'ouverture de la paroi et une seconde position dans laquelle des pièces peuvent être transférées entre l'accumulateur et le récepteur à travers l'ouverture. L'accumulateur assume ainsi trois fonctions: le stockage des pièces, leur transport et leur transfert entre l'accumulateur et un récepteur séparé Dans une réalisation préférée, le récepteur est un tambour tournant situé dans une chambre de traitement Le récepteur peut aussi être un second accumulateur. Un objectif important du dispositif de transport de pièces selon la réalisation préférée est de minimiser le temps nécessaire pour charger et décharger le tambour à l'intérieur de la chambre de traitement Ce temps influence directement le débit de l'appareil de traitement, puisqu'il s'ajoute for- cément au temps de traitement réel, nécessaire pour exécuter les opérations de traitement Il importe aussi de minimiser les autres temps de transfert apparaissant dans l'appareil de façon qu'ils puissent être englobés dans le temps de trai- tement et, ainsi, ne pas prolonger la durée totale du cycle de l'appareil de traitement. Un second objectif important est de minimiser le nombre * de pièces mobiles présentes dans la chambre de traitement au cours du traitement, attendu que ces pièces risquent d'être exposées à des débris de revêtement, à des gaz corrosifs, à la chaleur et à un rayonnement optique, ou à d'autres condi- tions ambiantes rigoureuses Dans la réalisation préférée, on atteint ce but grâce à de simples éléments de suspension passifs supportant les porte-pièces sur le tambour De préfé- rence, les porte-pièces sont aussi des dispositifs simples, passifs. Il importe souvent que la manutention soit douce lors- qu'il s'agit de pièces fragiles, telles que des pastilles semiconductrices De telles pièces sont de préférence montées dans des portepièces qui évitent à la pastille des contacts indésirables ou autres dommages au cours de la manutention ultérieure Dans certains cas, il est possible que les porte- pièces ne soient pas nécessaires et qu'on puisse manipuler directement les pièces. Un autre avantage est de commander précisément à tout moment l'emplacement et l'orientation des pièces Dans une réalisation préférée, l'accumulateur entre en contact avec les porte-pièces tant au sommet qu'à la base et les supporte vetiaux dans des plans/parallèles équidistants D'autres orientations sont possibles, mais il est souhaitable d'orienter vertica- lement des substrats sous vide pour éviter la contamination par la chute de débris. La réalisation préférée est particulièrement indiquée pour utilisation sous vide grâce à la réduction du nombre, de l'aire superficielle et de la complexité mécanique des composants qui sont exposés au vide L'obtention d'un fonc- tionnement fiable à long terme est facilitée par l'adoption d'un contact tournant plutôt que glissant, ce qui minimise le grippage des composants. On va maintenant décrire une réalisation préférée de l'invention en se référant aux dessins annexés, sur lesquels la figure 1 est une vue en plan d'un appareil de traitement sous vide du type decassette à cassette, avec suppression pour plus de clarté des couvercles supérieurs de la chambre de traitement et du sas; la figure 2 est une vue de face en élévation de l'appareil de la figure 1, avec suppression de certaines structures de support pour plus de clarté; la figure 3 est une vue en bout partiellement en coupe droite d'un accumulateur à balancier avec suppression de certaines structures de support pour plus de clarté; la figure 4 est une vue du même accumulateur en coupe droite suivant la ligne 4-4 de la figure 3; les figures 5 A et 5 B sont des vues de détail de face et de côté du coin supérieur d'un porte-pastilles les figures 6 A et 6 B sont des vues de détail de face et de côté du dessous d'un porte- pastilles; la figure-7 est une vue en plan de deux accumulateurs à balancier, avec enlèvement du sommet du sas pour plus de clarté; la figure 8 est une vue latérale de la partie supé- rieure des accumulateurs de la figure 7. Les figures 1 et 2 représentent un appareil de traite- ment sous vide selon l'invention Plus particulièrement, l'appareil représenté à titre d'exemple est conçu en vue de la gravure au plasma et du revêtement par pulvérisation sous vide de pièces telles que pastilles semi-conductrices d'un diamètre de 10 à 13 cm L'appareil comporte une chambre de traitement 10 qui contient trois sources de pulvérisation 12 et une zone 16 qui reçoit le matériel de traitement par gravure au plasma, chauffage et autre Les sources de pulvé- risation sont reliées à des sources d'énergie 14 montées à l'extérieur de la chambre de traitement Le matériel de traitement est disposé autour d'un tambour à quatorze côtés 11 tournant autour d'un axe vertical 13 sous l'action d'un moteur 15 Pendant traitement, les pastilles sont portées par des côtés du tambour 11, à concurrence de treize; un côté demeure disponible pour des dispositifs de surveillance du traitement A la chambre de traitement 10 sont juxtaposés un collecteur 17 et une pompe à vide 18 pour l'évacuation de la chambre de traitement La pompe à vide peut être isolée de la chambre de traitement par une soupape à levée 19 com- mandée par un organe de manoeuvre 19 a. Une paroi de la chambre de traitement 10 est munie d'une vanne à porte glissant horizontalement 22 qu'on peut déplacer vers un côté pour établir la communication entre la chambre de traitement et un sas à vide séparé 20 Le dessous du sas 20 est muni d'une autre vanne 30 qui peut, sous la commande d'un organe de manoeuvre 32, relier sélec- tivement le sas à une seconde pompe à vide 28 Une autre vanne (non représentée) permet de relier le sas 20 à l'atmosphère extérieure quand les vannes principale 22 et de pompe 30 sont fermées Une paroi 23 du sas 20 est munie de deux autres vannes à porte glissant horizontalement 24 et 26 qu'on peut donc ouvrir sans porter atteinte au vide établi dans la chambre de traitement 10. Le dispositif de manutention de pastilles transfère des pastilles d'une première cassette 52 jusqu'à la chambre de traitement 10, et évacue de la chambre des pastilles traitées qu'il place dans une seconde casse tte 56 La cassette 52 est placée dans un premier élévateur de cassette 54 à par- tir duquel des pastilles sont extraites et placées sur un transporteur à courroie 60 qui avance vers la droite sur les figures 1 et 2 Un portepastilles 51 est maintenu en position horizontale par un joug 74 d'un chariot 72 Chaque porte- pastilles 51 est conçu pour loger deux pastilles Lorsqu'un logemement vide du porte-pastilles et une pastille non traitée sont situés en regard au-dessus d'un élévateur de pastilles 62, la pastille est introduite par soulèvement dans le loge- ment o elle est retenue par des pinces à ressort (non représentées) Les pinces à ressort, élévateurs 54, 58 et 62 et transporteurs 60, 61 ne sont que brièvement décrits parce qu'ils ne font pas partie de la présente invention. Une fois un porte-pastilles rempli de pastilles non traitées, le chariot se déplace vers la droite jusqu'à une autre position (indiquée en traits interrompus sur la figure 1) et le joug pivote depuis la position horizontale jusque dans une position verticale contiguë à un premier panneau pivotant 70 Le panneau 70 se soulève sur une faible hauteur pour soulever le porte-pastilles depuis le joug jusque sur deux éléments de suspension 170 (figure 7) Le panneau 70 pivote jusqu'à une seconde position (indiquée en traits interrompus sur la figure 1) contiguë à une extrémité d'un premier accumulateur externe 41 et le porte-pastilles est transféré à partir du panneau sur l'accumulateur Le joug reprend sa position horizontale et le chariot retourne recevoir un autre portepastilles Après chargement du nombre désiré de porte-pastilles, la vanne 24 s'ouvre et l'accumu- lateur atteint, en franchissant partiellement la vanne 24 ouverte, une seconde position (en traits interrompus sur la figure 1) dans laquelle les porte-pastilles sont chargés dans un premier accumulateur de sas 42 Ensuite, l'accumulateur de sas 41 recule jusqu'à sa première position, la vanne 24 se ferme et le sas 20 est évacué Quand la pression de sas est approximativement celle de la chambre de traitement 10, la vanne principale 22 s'ouvre et l'accumulateur interne 42 prend en franchissant partiellement la vanne 22 ouverte une seconde position (en traits interrompus sur la figure 1) o un porte-pastilles est transféré sur la facette du tambour il située en regard de l'extrémité de l'accumulateur 42 Le - tambour tourne alors pour amener en place la facette suivante sur laquelle vient se placer un second porte-pastilles Une fois le tambour complètement chargé, l'accumulateur 42 reprend sa première position, la vanne 22 se ferme et les pastilles subissent le traitement souhaité Pendant ce trai- tement, le sas 20 est mis à l'air libre et ouvert, un second groupe de porte-substrats sont chargés dans le premier accu- mulateur à sas 42 et le sas est à nouveau évacué Une fois les opérations de traitement terminées, le tambour 11 est mis à l'arrêt et la vanne 22 est ouverte Un second accumulateur de sas 43 prend la position voulue (en traits interrompus sur la figure 1) pour retirer un porte- substrat d'une des facettes du tambour Le tambour décrit alors un mouvement intermittent tel qu'un porte-substrats chargé de substrats non traités peut être placé sur la facette vide du tambour par l'accumulateur 42, et qu'un second porte-substrats chargé de substrats traités peut être retiré par l'accumulateur 43 Le tambour décrit des mouve- ments intermittents répétés jusqu'à ce que tous les substrats traités aient été retirés et remplacés par des substrats non traités Les accumulateurs 42 et 43 reviennent en place à l'intérieur du sas 20 et la vanne 22 se ferme, de sorte que le cycle de traitement peut se répéter Il y a à nouveau mise à l'air libre du sas 20 et ouverture des vannes 24 et 26. Un second accumulateur extérieur 44 vient prendre la position voulue (en traits interrompus sur la figure 1) pour recevoir de l'accumulateur de sas 43 les porte-substrats chargés de substrats traités. L'accumulateur 44 recule ensuite jusqu'à sa première position, cont 4 guë à un second panneau pivotant 76 (en craits interrompus sur la figure 1) et les porte-substrats sont transférés un à la fois sur deux éléments de suspension du panneau Le panneau pivotant 76 et le joug articulé 74 reprennent alors leurs positions représentées sur la figure 2, et le panneau 76 s'abaisse un peu pour transférer le porte- substrats sur le joug Le joug prend alors à pivotement sa position horizontale (en traits interrompus sur la figure 2), et le chariot se déplace jusqu'à ce que la première pastille contenue dans le porte-pastilles soit située directement au- dessus de l'élévateur de pastilles 62 L'élévateur de pas- tilles retire la pastille traitée du porte-pastilles et la dépose de haut en bas sur un second transporteur 61 qui la, transfère dans la seconde cassette située dans le second élé- vateur de cassettes 58 Le premier transporteur 60 avance pour amener une pastille non traitée, provenant de la cassette 52, au-dessous et en regard du logement vide du porte-pastilles. La pastille non traitée est placée dans le logement, puis le chariot et le transporteur avancent vers la droite pour amener à l'alignement la seconde pastille, qui est alors transférée sur le transporteur 61 et remplacée par une pastille non traitée comme précédemment décrit. La structure de l'accumulateur de sas 42 est représen- tée sur les figures 3 et 4 Le bâti à mouvement de translation circulaire 100 comporte deux pièces latérales ou flancs parallèles 104 reliés près de leurs sommets par trois tiges 105 et près de leurs bases par deux étrésillons 106 Un premier râtelier horizontal 102 est monté sur chaque flanc 104 par trois entretoises 103 Chaque râtelier présente une série de quinze "poches" ou encoches équidistantes 101 de grandeur voulue pour recevoir des tiges 172 saillant sur les deux bords latéraux de chaque porte-pastilles 51 comme repré- senté sur les figures 5 A et 5 B La charge normale est de treize porte-pastilles seulement; les deux encoches supplé- mentaires prolongent les râteliers pour atteindre le tambour. Le balancement des porte-pastilles est interdit par une rangée de quinze chevilles 108 qui peuvent s'engager dans un premier trou 177 ménagé dans le bord inférieur de chaque porte- pastilles 51 comme représenté sur la figure 6 A Les chevilles sont équidistantes le long d'une barre 107 qui est fixée aux étrésillons 106, eux-mêmes fixés aux bords inférieurs des flancs 104 Le trou 177 et la rangée de chevilles 108 cons- tituent des moyens emboltables coopérant pour maintenir l'orientation d'un support pendant que celui-ci est supporté par le bâti mobile La même fonction pourrait être assumée par une cheville prévue sur le support et une rangée de trous ménagés dans la barre 107 Le bâti mobile 100 est monté pour décrire sa rotation sui les cages extérieures de deux paires de paliers circulaires 112 Les cages intérieures de chaque paire de paliers sont montées sur les pourtours de deux excentriques 110 fixés à un arbre 130 Les deux arbres 130 sont accouplés en rotation par des manivelles 116 reliées l'une à l'autre par une tringle 118. Le bâti fixe 120 présente deux flancs parallèles 124 qui dépassent vers le haut les côtés du bâti tournant et sont reliés l'un à l'autre par une pièce supérieure 125 Un second râtelier horizontal 122 est monté sur chaque flanc 124 par trois entretoises 123 Ici encore, chaque râtelier présente une série de quinze encoches équidistantes 101 Les deux flancs 124 sont reliés à la base par des étrésillons 126 qui supportent une seconde rangée de quinze chevilles 128 sur une barre 127 Les chevilles 128 s'engagent dans un second trou 176 percé dans le dessous de chaque support 51 comme représenté sur les figures 6 A et 6 B Les deux arbres tourillonnent dans deux paires de paliers 132 placés dans chaque flanc 124. La rotation des arbres 130 est assurée par un pignon 134 porté par l'un des arbres 130 et un pignon 136 porté par un arbre 190 monté dans des paliers 138 incorporés à un bloc 137 fixé sur le flanc du bâti fixe L'arbre 190 est accouplé par un premier joint de cardan 192, un arbre télescopique 194 et un second joint de cardan 192 à un arbre 196 La rotation de l'arbre 196 et du bâti tournant est commandée par un moteur 195 (figure 7) situé à l'extérieur et au- dessous du sas et près du milieu de la course décrite par l'accumulateur entre ses première et seconde positions. Quand l'arbre 196 tourne de 1800, le bâti mobile 100 passe de la position indiquée en trait plein sur la figure 4 dans celle indiquée en traits interrompus en 197 Pendant que cette rotation se poursuit, comme indiqué par le petit cercle en traits interrompus 198 sur la figure 4, des porte- pastilles 51 pénètrent par mouvement d'avance dans des enco- ches 101 se succédant sur la longueur des râteliers fixes 122, comme indiqué par la série de demi-cercles 199 sur la figure B Une inversion du sens de rotation inverse le sens de mou- vement des porte-pastilles. Des trous de débattement 110 ménagés dans les flancs 104 du bâti mobile assurent la liberté de mouvement des entre- toises 123 du bâti fixe 122 Pareillement, des échancrures 129 ménagées dans le râtelier fixe 122 assurent la liberté de mouvement des entretoises 103 du bâti rotatif 102. L'accumulateur 42 comporte trois paliers rectilignes 142 fixés à son sommet 125 pour lui permettre de se déplacer le long de deux tiges parallèles 140 supportées par des tirants 144 au toit -25 du sas 20 comme représenté sur les figures 7 et 8 La figure 8 représente l'accumulateur 42 dans sa position à l'intérieur du sas 20 telle qu'indiquée en trait plein sur la-figure 1 La figure 7 représente l'accumulateur 42 dans la position avancée indiquée en traits interrompus sur la figure 1 Le déplacement entre ces deux positions est assuré par un moteur 160 qui pénètre à l'intérieur du sas de charge à travers un trou percé dans le dessus 25 Des vis à tête noyée 146, une plaque de montage de moteur 162 et un anneau 164 assurent l'étanchéité au vide Un bras de manivelle 152 fixé sur l'arbre 150 du moteur est relié à une extrémité d'une tringle 156 par un premier tourillon 154 Un second tourillon 158 relie l'autre extrémité de la tige 156 à un bloc 166 monté sur le dessus 125 de l'accumulateur 42 La rotation du moteur 160 amène le tourillon 154 à décrire le cercle porté en traits interrompus en 155 sur la figure 7, ce qui assure le déplacement de l'accumulateur 42 entre ses deux positions. Quand l'accumulateur 42 occupe la position représentée sur la figure 7, les râteliers fixe 122 et tournant 102 s'étendent à travers la vanne 22 ouverte et viennent en regard de deux éléments de suspension 170 montés sur les facettes du tambour 11 Quand le bâti tournant est mis en action par l'arbre 196, un porte-pastilles présent dans l'encoche extrême du râtelier fixe est soulevé et descendu dans des encoches semblables de deux éléments de suspension 170 comme représenté sur la figure 5 B Comme représenté sur la figure 6 B, dans le trou 176 du support s'engage une cheville 174 portée par une courte barre 178 montée sur un support 180 qui peut être le tambour 11 ou l'un ou l'autre des panneaux 70 ou 76 Une inver- sion du sens de rotation amène le bâti rotatif à prélever un portepastilles sur les éléments de suspension du tambour et à le descendre dans l'encoche extrême des rateliers fixes. Par la plupart de ses aspects, l'accumulateur extérieur 41 est identique à l'accumulateur de sas 42 et l'on a adopté les mêmes références numériques sur les figures 7 et 8 Toute- fois, le râtelier tournant de l'accumulateur 41 présente quatorze encoches et le râtelier fixe, treize encoches pour supporter les porte- substrats L'encoche supplémentaire du râtelier mobile permet à l'accumulateur 41 de transférer un porte-substrats à l'intérieur ou à l'extérieur de l'encoche extrême de l'accumulateur 42 quand les accumulateurs sont adja- cents comme c'est le cas quand la vanne 24 de la paroi 23 est ouverte En outre, l'accumulateur 41 peut transférer un subs- trat en le prélevant (ou en le déposant) sur deux éléments de suspension 170 montés sur le premier panneau pivotant 70 comme représenté sur la figure 7 L'amplitude de mouvement rectiligne de l'accumulateur 41 est plus faible que celle de l'accumu- lateur 42 comme indiqué par le petit cercle porté en traits interrompus sur la figure 7. Les accumulateurs de sas 42 et 43 sont identiques, comme le sont les accumulateurs extérieurs 44 et 41 Dans la réalisation préférée, les premier et second jeux d'accumula- teurs 41, 42 et 43, 44 se déplacent radialement suivant une première et une seconde droites 45 et 46 (figure 1) qui sont perpendiculaires à des facettes adjacentes du tambour 11. Eventuellement, les accumulateurs 42 et 43 peuvent être placés dans des sas séparés. La commande séquentielle du mouvement des élévateurs ( 54,58,62), du chariot 72, des transporteurs ( 60,61), des panneaux ( 70,76), des accumulateurs ( 41,44), des vannes ( 22, 24,26) et du tambour 11,ainsi que tout le fonctionnement du matériel de traitement, sont assurés par du matériel de commande automatique courant 80. Avec une vitesse de rotation de bâti de 30 tr/mn, une charge de treize porte-substrats peut 8 tre transférée entre les accumulateurs extérieurs, et de sas en 1 minute environ et le tambour peut être chargé en 1,5 minute environ Avec un temps de traitement de 12 minutes, l'ensemble de l'instal- lation peut traiter des pastilles à raison d'environ 100 pastilles par heure. On pourra concevoir de nombreuses autres modifications et variantes d'après les enseignements du présent mémoire, sans sortir du cadre de la présente invention. 13 2527184 REVENDICATIONS 1 Dispositif pour le transport de pièces à travers une ouverture susceptible de fermeture étanche ménagée entre des faces opposées d'une paroi, caractérisé en ce qu'il comprend: un premier et un second bâti ( 120,100) pour sup- porter une série de pièces d'un côté de la paroi; un récepteur de pièces ( 11) situé sur la face opposée de la paroi; des moyens ( 134,136) pour déplacer le second bâti par rapport au premier bâti afin de transporter des pièces entre des emplacements successifs du premier bâti; des moyens pour déplacer le premier bâti et le récepteur entre une première position, dans laquelle l'ouverture peut être hermétiquement fermée, et une seconde position dans laquelle il peut y avoir transfert de pièce entre le premier bâti et le -récepteur; et des moyens propres à transférer une pièce entre le premier bâti et le récepteur quand le premier bâti occupe sa seconde position 2 Dispositif de transport selon la revendication 1, caractérisé en ce que les premier et second bâtis ( 120, 100) constituent un accumulateur à balancier ( 42). 3 Dispositif pour le traitement sous vide de pièces, caractérisé en ce qu'il comprend: une chambre susceptible de fermeture étanche ( 10); un récepteur de pièces ( 11) situé dans la chambre; un sas ( 20) contigu à la chambre; une première vanne ( 22) interposée entre le sas et la chambre et présentant une ouverture que les pièces peuvent traverser un moyen ( 18) pour évacuer la chambre et le sas; un premier accumulateur à avance pas-à-pas ( 42); et des moyens ( 150, ) pour déplacer le premier accumulateur entre une première position dans laquelle il est entièrement à l'intérieur du sas et une seconde position dans laquelle il peut y avoir transfert de pièces entre le premier accumulateur et le récepteur ( 11) à travers l'ouverture de la première vanne ( 22). 4 Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'il comprend encore un seconde vanne ( 24) que les pièces peuvent traverser; un second accumulateur à avance pas-à-pas ( 41); et des moyens ( 150-160) pour déplacer le second accumulateur entre une première position dans laquelle il est entièrement extérieur au sas et à la chambre et une seconde position dans laquelle il peut y avoir transfert de pièces entre le premier et le second accumulateur ( 42, 41) à travers l'ouverture de la seconde vanne. Dispositif selon la revendication 3 ou 4, caracté- risé en ce qu'il comprend encore: un troisième accumulateur à avance pas-à-pas ( 43); et des moyens ( 150-160) pour dépla- cer le troisième accumulateur entre une première position dans laquelle il est entièrement à l'extérieur de la chambre ( 10) et une seconde position dans laquelle il peut y avoir trans- fert de pièces entre le troisième accumulateur ( 43) et le récepteur ( 11). 6 Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'il comprend encore: un quatrième accumulateur à avance pas-à-pas ( 44) et des moyens ( 150-160) pour déplacer le quatrième accumulateur entre une première position dans laquelle il est entièrement à l'extérieur du sas et de la chambre et une seconde position dans laquelle il peut y avoir transfert de pièces entre les troisième et quatrième accumu- lateurs ( 43,44). 7 Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'il comprend encore: un premier et un second support de pièces ( 72,170) situés à l'extérieur de la chambre ( 10) et du sas ( 20); et des moyens pour déplacer le premier support entre une première position dans laquelle des pièces peuvent être transférées entre le premier support et le second accumulateur ( 41) et une seconde position dans laquelle des pièces peuvent être transférées entre les premier et second supports. 8 Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'il comprend encore un second accumulateur à avance pas-à-pas ( 43) et des moyens ( 150-160) pour déplacer le second accumulateur entre une première position dans laquelle il est entièrement extérieur à la chambre et une seconde position dans laquelle il peut y avoir transfert de pièces entre le 2527 184 second accumulateur ( 43) et le récepteur ( 11). 9 Dispositif selon l'une des revendications 3 à 7, caractérisé en ce que le récepteur est un tambour ( 11) à facettes multiples tourillonnant autour d'un axe et en ce que les premier et second accumulateurs se déplacent suivant des rayons s'étendant à partir de l'axe normalement à des facettes distinctes du tambour. Dispositif selon l'une des revendications 3 à 9, caractérisé en ce qu'au moins un des accumulateurs à avance pas-à-pas comprend: un premier et un second râtelier ( 102, 122) dont chacun présente une série d'encoches ( 101) de sup- port de pièces; des moyens ( 110,112) pour donner au second râtelier un mouvement de translation circulaire afin de reti- rer une pièce d'une encoche du premier râtelier et de la placer dans une encoche voisine du premier râtelier; et une première et une seconde rangée de moyens ( 108, 128) destinés à coopérer avec les pièces pour leur conserver l'orientation souhaitée pendant qu'elles sont supportées par les râteliers.