Brevet FR2528183A1 — publié le 19831209

b 2528183 ACCELEROMETRE A ONDES ELASTIQUES DE SURFACE La présente invention se rapporte aux accéléromètres à ondes élasti- ques de surface et plus particulièrement à ceux qui comportent au moins deux oscillateurs reliés à des moyens transducteurs situés sur les deux faces d'une lamelle élastique fléchissant sous l'action de l'accélération Une telle structure permet de mesurer l'accélération selon une composante de direc- tion normale aux faces principales de la lamelle, laquelle comporte généra- lement une extrémité encastrée dans un bâti et une extrémité libre o peut être attachée une masse séismique Les moyens transducteurs sont conçus pour exciter et recueillir des ondes élastiques de surface dont on sait que la vitesse de propagation varie en fonction des contraintes mécaniques de flexion Selon un premier mode de réalisation, les moyens transducteurs forment une ligne de transmission dont le temps de retard fixe le déphasage d'une boucle oscillatrice Selon un second mode de réalisation, les moyens transducteurs sont situés dans une cavité résonante à réseaux et sont reliés à des moyens destinés à entretenir l'oscillation de la cavité La fréquence représentative de l'accélération à mesurer résulte de la soustraction de deux fréquences d'oscillation qui présentent des dérives thermiques qui ne se compensent pas exactement. En effet, ces dérives thermiques résultent en partir des contraintes créées par le montage encastré de la lamelle et le cas échéant par le montage de la masse séismique Ces contraintes peuvent s'ajouter aux contraintes mécaniques de flexion lorsque les zones o elles prennnent naissance sont proches de la région occupée par les moyens de mesure à ondes élastiques de surface. Lorsque les contraintes mécaniques de flexion sont celles d'une poutre à section constante, leur intensité varie comme le couple fléchissant, ce qui nécessite un positionnement précis des moyens de mesure à ondes élastiques de surface En outre, la variation des contraintes entraîne une variation de vitesse de propagation des ondes élastiques de surface dans l'étendue de la zone de mesure, ce qui peut donner lieu à une distorsion des fronts d'ondes. En vue de pallier les inconvénients mentionnés ci-dessus, l'invention propose d'utiliser une lamelle à faces parallèles taillée de façon à comporter une zone d'égale résistance à la flexion dans laquelle sont situés les moyens de mesure à ondes élastiques de surface. L'invention a pour objet un accéléromètre à ondes élastiques de surface dans lequel une lamelle à faces parallèles fléchit sous l'action de l'accélération à mesurer; les contraintes de flexion créées dans lesdites faces étant détectées par des moyens oscillateurs de mesure à ondes élastiques de surface, cararactérisé en ce que lesdits moyens oscillateurs de mesure sont situés dans une zone d'égale résistance à la flexion de ladite lamelle. L'invention sera mieux comprise au moyen de la description ci-après et des figures annexées, parmi lesquelles: La figure l est une vue isométrique d'un accéléromètre à ondes élastiques de surface de type connu. La figure 2 est une figure explicative. La figure 3 est une vue isométrique représentant des structures d'égale résistance à la flexion équipées de moyens transducteurs à ondes élastiques de surface. La figure 4 représente une lamelle pour accéléromètre selon l'inven- tion. La figure 5 est une vue isométrique partielle d'un accéléromètre à ondes élastiques de surface selon l'invention. La figure 6 est une vue isométrique d'une première variante de réalisation d'un accéléromètre selon l'invention. La figure 7 est une vue en plan d'une seconde variante de réalisation d'un accéléromètre selon l'invention. La figure 8 est une vue en élévation de la variante illustrée sur la figure 7. La figure 9 est une vue isométrique partielle d'une troisième variante de réalisation d'un accéléromètre selon l'invention. Les figures 10 et Il illustrent d'autres exemples de réalisation d'accéléromètres selon l'invention. Dans la description qui va suivre, les contraintes mécaniques de flexion engendrées par l'accélération se manifestent sur les faces principales d'une lamelle d'épaisseur constante taillée dans un matériau capable de propager des ondes élastiques de surface A titre d'exemple non limitatif, on peut envisager d'utiliser une lamelle taillée dans un matériau piézoélec- trique cristallin tel que le quartz, mais moyennant une réalisation plus complexe des moyens transducteurs d'ondes élastiques de surface, on pour- rait également mettre en oeuvre une lamelle de silice En ce qui concerne la mesure de l'accélération, c'est la composante selon la normale aux faces principales de la lamelle qui est mesurée Les découpes envisagées sont telles que la rigidité à la flexion pour des sollicitations parallèles aux faces principales de la lamelle soit plus grande que la rigidité entrant en ligne de compte pour la mesure de la composante normale de l'accélération L'accé- léromètre comporte nécessairement un support de lamelle permettant son fléchissement La masse de mesure peut être constituée par la lamelle elle- même, ou par une masse séismique Dans ce dernier cas, la lamelle constitue un lien élastique entre le support et la masse séismique et tous les éléments sont sensés subir la même accélération. Sur la figure 1, on peut voir rapporté à un trièdre trirectangle Oxyz un accéléromètre à ondes élastiques de surface de type connu L'accélération à mesurer Y> de direction parallèle à oy est appliquée à un support 1, à une masse séismique 3 et à une lamelle élastique 2 reliant le support l à la masse 3 La section droite de la lamelle correspondant à une coupe parallèle au plan yox est rectangulaire de largeur b et de hauteur h Son moment d'inertie, lorsqu'elle f 3 échit sous l'action de l'accélération t Y est donné b.h par l'expression 12 o h est sensiblement inférieur à b Pour une sollicitation suivant ox le moment d'inertie est beaucoup plus élevé et pour une sollicitation suivant oz la flexion n'entre pas en ligne de compte. Les déformations de la lamelle 2 sont détectées par des moyens de mesure à ondes élastiques de surface Si, par exemple, la lamelle 2 est une lamelle de quartz de coupe ST qui offre une dérive thermique nulle à la température de 25 C, les faces principales 4 et 5 sont munies d'électrodes en peignes interdigités 6, 7, 8, 9, 10, Il, 12 et 13 qui délimitent des intervalles rayonnants orientés selon ox Les électrodes 6 et 7 forment un transducteur d'émission d'ondes élastiques de surface qui progressent dans la direction oz avant d'être captées par un ensemble d'électrodes 8 et 9 constituant le transducteur de réception L'ensemble des éléments conduc- teurs portés par la face 4 forme donc une ligne à retard à ondes élastiques de surface qui fait office de boucle d'un amplificateur 14 L'ensemble des éléments conducteurs portés par la face 5 forme une autre ligne à retard à ondes élastiques de surface rebouclant l'entrée et la sortie d'un autre amplificateur 15 On est donc en présence d'une paire d'oscillateurs dont les fréquences d'oscillation f 1 et f 2 sont liées aux temps de transits t 1 et t 2 des ondes élastiques de surface échangées selon les faces 4 et 5 Les sorties des amplificateurs 14 et 15 sont reliées aux entrées d'un mélangeur soustractif 16 dont la sortie 17 fournit un signal alternatif de fréquence f = fi f 2. Pour alléger le dessin des connexions, des mises à la masse G ont été ajoutées sur le schéma électrique de la figure 1. En présence d'une accélération Y, la flexion simple de la lamelle 2 entraîne l'apparition de contraintes mécaniques de flexion au niveau des faces 4 et 5, ce qui a pour effet de modifier en sens contraires les temps de transit t 1 et t 2 Il en résulte de nouvelles fréquences d'oscillations f 1 + àAF et f 2 A F et un signal sur la sortie 17 ayant une fréquence f + 2 A F On voit donc que l'accélération Y est mesurée par une variation de fréquence 2 AF. La déformation de la lamelle 2 par flexion simple produit aussi des contraintes mécaniques de cisaillement, mais celles-ci sont nulles selon les faces libres 4 et 5 qui véhiculent les ondes élastiques de surface C'est pourquoi, on peut assimiler la flexion simple à une flexion pure Pour éviter de se trouver dans le cas d'une flexion gauche, on donne à la lamelle 2 et à la masse 3 une forme présentant un plan de symétrie parallèle à yoz, ainsi on évite les contraintes mécaniques de torsion de la lamelle 2 Par contre, avec la disposition de la figure 1, des contraintes parasites peuvent s'ajouter aux contraintes mécaniques de flexion en raison des encastrements de la lamelle 2 dans le support 1 et dans la masse séismique 3 La dilatation thermique de la lamelle 2 peut présenter des différences par rapport à celle des encoches du support 1 et de la masse séismique 3, ce qui peut fausser la mesure de l'accélération En outre, comme le montre la figure 2, o les mêmes références désignent les mêmes éléments que sur la figure 1, le moment fléchissant dans chaque section droite de la lamelle 2 varie fortement La droite 18 représente la variation du moment fléchissant M le long de l'axe z pour une charge d'extrémité} = m t et la courbe 19 donne la variation du moment fléchissant M résultant de la masse propre de la lamelle Le diagramme de la figure 2 permet de comprendre que la contrainte mécanique de flexion dans le cas d'une lamelle à section de moment d'inertie constant et d'épaisseur constante est une grandeur qui varie sensiblement dans la région de mesure o les ondes élastiques de surface sont échangées. La variation des contraintes mécaniques implique une variation corres- pondante de la vitesse de propagation des ondes élastiques de surface Ceci peut se traduire par des distorsions qui affectent les fronts d'ondes et le signal électrique retardé D'autre part, la position des moyens transducteurs devient critique puisque la sensibilité dépend de la position de ces moyens le long de la lamelle. Sur la figure 3, on peut voir deux lamelles encastrées dans un support l qui présentent dans le plan xoy un profil qui s'évase progressivement vers l'encastrement Dans le cas d'une lamelle d'épaisseur constante h dont seule la masse propre répond à l'accélération à mesurer, on obtient une contrainte élastique de flexion de valeur constante lorsque la déformée présente un rayon de courbure constant p Pour une valeur courante z de l'éloigne- ment z, on peut intégrer les moments fléchissants élémentaires agissant sur la section droite de lamelle ayant la largeur b à la distance z O du point O b h 3 et la hauteur h Si M (z) est le moment fléchissant résultant, I = le moment d'inertie de cette section droite et E le module d'élastici é du matériau constituant la lamelle 2, on a l'expression M (z) p E i On voit que la condition d'égale résistance revient à adopter une rigidité à la flexion E I proportionnelle au moment fléchissant M (zo) Le profil de la lamelle 2 dans le plan xoz est délimité par deux arcs de parabole comme illustré sur la figure 3 en ce qui concerne la lamelle 2 occupant la seconde position Les transducteurs en peignes interdigités 6, 7, 8 et 9 peuvent être situés dans la moitié de face 4 à gauche de l'axe z tandis que les transducteurs interdigités 10, 11, 12 et 13 sont situés dans la moitié de face 5 à droite de l'axe z Une telle disposition à déport latéral est avantageuse pour réduire le couplage capacitif entre les moyens de mesure de la face 4 et ceux de la face 5 La figure 3 montre également en première position une lamelle 2 dont la condition d'égale résistance à la flexion est assurée par une forme triangulaire de sommet 0 Ce cas correspond à une lamelle dont la masse propre peut être négligée par rapport à une masse séismique (m) exerçant en O la force d'inertie F = m O Y ou Y est l'accélération à mesurer Dans le cas général, la masse propre de la lamelle et la masse rapportée définissent un profil d'égale résistance à la flexion intermédiaire entre les deux types représentés sur la figure 3. Sur la figure 4,on a représenté une lamelle 2 pour accéléromètre selon l'invention qui comporte une zone médiane 25 d'égale résistance à la flexion reliant entre elles une zone d'encastrement 26 ayant une section droite 24 de largeur et hauteur constantes et une zone terminale 22 de section droite 23 La zone terminale 22 est traversée par une broche de montage 27 portant deux masselottes 20 et 21 qui, du fait de l'accélération à mesurer, exercent une force FM La zone terminale 22 exerce une force FP La condition d'égale résistance s'applique à partir de la section 23 o agit un moment fléchissant qui résulte des forces FM et FP Toutes les sections droites de la zone d'égale résistance 25 sont dimensionnées en largeur en tenant compte du chargement supplémentaire dû à la masse propre de lamelle comprise entre la section 23 et chacune des sections intermédiaires jusqu'à la section 24 On vérifiera en pratique que le moment fléchissant M auquel doit résister chaque section droite de la zone d'égale résistance varie en proportion avec le moment d'inertie de la section, c'est-à-dire en proportion avec sa largeur L'allure de la zone d'égale résistance 25 est trapézoïdale, mais les côtés qui relient les bases sont légèrement incurvés comme illustré sur la figure 4, s'il y a lieu de tenir compte de la masse propre de la lamelle. La vue isométrique partielle de la figure 5 montre un exemple de réalisation d'accéléromètre mettant en oeuvre une lamelle piézoélectrique à faces parallèles 2 dont la découpe présente une zone d'égale résistance à la flexion 25 La découpe illustrée sur la figure 5 comporte un cadre annulaire se raccordant par l'intérieur à une languette de mesure comportant à sa naissance la zone d'égale résistance 25 et à son extrémité libre un ensemble de masselottes 20, 21, 27 De préférence, la découpe de la lamelle 2 est symétrique par rapport à l'axe z qui dans le cas de la figure 5 est un diamètre par rapport au contour extérieur circulaire de la lamelle 2. Cette disposition particulière est avantageuse, car elle permet d'écar- ter les organes de fixation de la lamelle 2 de la zone de mesure 25 qui contient les transducteurs à ondes élastiques de surface portés par les faces 4 et 5 Cet écartement permet d'atténuer les contraintes provenant du mode d'attache de la lamelle 2 qui est diamétralement opposé au raccordement de la languette avec le cadre annulaire Les contraintes de flexion, de torsion et de cisaillement qui naissent dans le cadre annulaire du fait de l'accéléra- tion ont peu de répercussion au niveau de la zone 25 Pour renforcer le cadre annulaire de la lamelle 2, on peut prévoir comme le montre la figure 5 deux raidisseurs 28 et 29 en forme d'arceaux qui sont appliqués ou collés sur les faces 4 et 5 de la lamelle 2 Ces raidisseurs 28 et 29 sont avantageusement découpés dans une lame identique à celle qui a servi à confectionner la lamelle 2 en veillant lors de l'assemblage à conserver les mêmes orientations cristallographiques Cette mesure sert à éviter la création de contraintes dues à des différences de dilatation thermique entre les éléments 28, 29 et 2. L'ensemble des éléments 2, 28 et 29 forme un équipage qui doit être fixé à un demi bottier 36 qui peut être réalisé dans un matériau présentant un coefficient de dilatation thermique différent des coefficients de dilata- tion propres au matériau constituant léquipage. Dans ces conditions, il est avantageux d'adopter des moyens de fixation laissant l'équipage libre de se dilater dans le plan xy tout en ayant une bonne assise sur la collerette 35 du demi boîtier 36 La figure 5 illustre un mode de réalisation avantageux basé sur un jeu de billes servant d'appui intermédiaire Une bille 32 prend place dans deux cuvettes coniques formées respectivement dans la collerette 35 et dans le raidisseur 29 Cette attache permet le pivotement du boîtier par rapport à l'équipage Une seconde bille 34 se place dans deux sillons en vé orientés de préférence vers les logements de la bille 32 et taillés respectivement dans la collerette 35 et dans le raidisseur 29 Cette seconde attache laisse l'équipage libre de se dilater mais fixe son orientation dans le plan xy Une troisième bille 33 pincée entre deux portées planes appartenant respectivement à la collerette 35 et au raidisseur 29 fixe définitivement l'assise stable de l'équipage sur le demi boîtier, mais en laissant libre la dilatation de l'équipage Sur la figure 5, on a omis de représenter un autre demi boîtier qui surplombe l'équipage 2, 28, 29. Cet autre demi boîtier repose sur le demi boîtier 36 par l'intermédiaire de colonnes 37 et sa collerette est reliée au raidisseur 28 par l'entremise de billes semblables aux billes 32, 33 et 34 La figure 5 montre le logement en vé 31 et le logement conique 30 pratiqués dans le raidisseur 28 pour recevoir deux de ces trois billes Bien que la figure 5 représente un équipage avec raidisseurs en forme d'arceaux, on peut soit les supprimer soit les faire recouvrir complètement le cadre annulaire de la lamelle 2. Une variante de réalisation de l'accéléromètre selon l'invention est représentée sur la figure 6 Le boîtier 36 porte par l'intermédiaire d'une potence 39 un équipage mobile composé d'une lamelle 2 La découpe laisse s"hister une languette 40 dont une extrémité se raccorde à un cadre annulaire 41 faisant office de masse séismique et dont l'autre extrémité au- dclà d'une zone 25 d'égale résistance à la flexion est encastrée dans la potence 39 L'ensemble 38 contient les circuits électriques oscillateurs et mélangeurs qui coopèrent avec les moyens de mesure à ondes élastiques de surface situés dans la zone 25. Les dispositions avantageuses illustrées sur la figure 6 peuvent s'appli- quer à la figure 5 Ainsi, les masses séismiques 20, 21, 27 rapportés sur la lamelle 2 peuvent être remplacées par des prolongements de la lamelle 2 qui occupent les deux évidements situés de part et d'autre de la languette centrale De même, les dispositions avantageuses illustrées sur la figure 5 peuvent s'appliquer à la figure 6 o la potence 39 pourrait être remplacée par un montage sur billes retenant prisonnier un cadre intérieur ouvert taillé dans la lamelle 2 en partant de l'extrémité de la zone 25 Les deux branches 2528 183 incurvées de ce cadre intérieur ouvert occupant les deux parties vides qui encadrent la languette centrale 40. Ainsi qu'on l'a vu ci-dessus, la mesure de la flexion par ondes élastiques de surface a lieu dans une zone d'égale résistance obtenue par découpe d'une lamelle à faces parallèles La languette obtenue peut faire corps avec un cadre ouvert ou fermé qui sert de moyen de montage sur un boîtier et son extrémité libre peut comporter des prolongements qui ajoutent de la masse pour accroître la sensibilité à l'accélération que l'on veut mesurer. L'invention n'est pas limitée à une découpe comportant une seule languette de mesure, car le même cadre peut être commun à plusieurs languettes comportant chacune une zone de mesure d'égale résistance à la flexion. Sur la figure 7, on peut voir une variante de réalisation d'un équipage de mesure 2 comportant à l'intérieur d'un encadrement en forme de parallélogramme deux languettes de mesure munies chacune d'une zone d'égale résistance 251 et 252 Chaque languette est taillée symétriquement par rapport à un axe 45 ou 46 selon une forme approximativement trapézoïdale qui se termine par une extrémité libre portant une masse séismique 201 ou 202 Chaque zone d'égale résistance 251 ou 252 contient sur les deux faces de la lamelle 2 un moyen de mesure à ondes élastiques de surface Dans le cas de la figure 7, les moyens de mesure utilisés sont des résonateurs à ondes élastiques de surface Chaque résonateur comporte une cavité délimitée par deux réseaux de traits réflecteurs réalisés sur les faces principales de la lamelle 2 par gravure ou par implantation ionique Des électrodes sont photogravées dans la cavité de chaque résonateur pour entretenir avec un circuit amplificateur 141, 151, 152 ou 142 un régime stationnaire d'ondes élastiques de surface. Ainsi, sur la figure 7, on dispose de quatre oscillateurs dont les fréquences d'oscillations varient avec les contraintes de flexion engendrées par l'accélération à mesurer En admettant que les deux languettes de mesure de la figure 7 réagissent de la même façon à une accélération perpendiculaire au plan de figure et en supposant que les fréquences de repos des oscillateurs 141, 142, 151 et 152 sont respectivement f Il f 2, f 3 et -1.0 f 4, le mélangeur 161 fournit la différence f 1 f 3 et le mélangeur 162 la différence, f 4 f 2 Un mélangeur 16 reçoit les signaux provenant des mélangeurs 161 et 162 et fournit un signal dont la variation de fréquence f 1 + f 2 f 3 f 4 représente l'accélération subie par l'équipage En effet, si A f est l'écart de fréquence que produit l'accélération, les fréquences d'oscillation sont: f 1 + t f, f 2 + t f, f 3 t f, f 4 t f, ce qui donne à la sortie du mélangeur 16 un signal dont la fréquence vaut f 1 + f 2 f 3 - f 4 + 4 Af Si A F 1, A F 2, AF 3 et A F 4 sont les dérives en température des quatre oscillateurs, les fréquences perturbées thermiquement sont fl + t F 1,f 2 + t F 2, f 3 + F et f F 4 La fréquence perturbée à la sortie du mélangeur 16 sera: f 1 + f 2 f 3 f 4 A F 1 + t F 2 t F 3 t F 4 On peut donc s'arranger pour annuler la dérive thermique: A F 1 + A F 2 A F 3 A F 4 de façon plus poussée qu'avec deux oscillatelurs de mesure Le montage de l'équipage de la figure 7 sur le demi boîtier 36 peut se faire en deux points au milieu des côtés du cadre qui ne font pas corps avec les languettes de mesure Pour ce faire, on utilise un appui encastré 43 et un appui sur pivot 42. La figure 8 est une coupe suivant la ligne 44 de la figure 7 L'équipage 2 est bloqué à droite entre deux demi boîtiers 361 et 362, mais pour compléter la fixation, la partie gauche est soutenue entre les demi boîtiers 362 et 361 par des axes sur pivots 49 et 50 appuyés entre des logements coniques pratiqués dans les demi boîtiers 362 et 361 et dans des crapaudines 47 et 48 qui sont fixées à l'équipage 2 Ce montage évite dans une large mesure les contraintes d'origine thermique. Sur la figure 9, on peut voir un accéléromètre de conception semblable à celui des figures 7 et 8, mais o les languettes de mesure font corps avec une longeron central renforcé par deux raidisseurs 253 et 254 Les masses séismiques sont constituées par des ailettes 201 et 202 venues directement de la découpe de la lamelle 2 Les zones 51, 52, 53 et 54 indiquent les positions respectives des moyens de mesure à ondes élastiques de surface qui peuvent être des lignes à retard à peignes interdigités ou des résonateurs à réseaux Ces zones sont bien entendu comprises dans les zones d'égale résistance à la flexion des deux languettes de mesure. 2.528183 Il La figure 10 représente un autre variante de réalisation utilisant une seule languette de mesure formant la branche médiane d'une découpe en forme de E L'extrémité de la languette de mesure comporte une ailette 201 servant de masse séismique La forme en U qui fait corps avec la zone d'égale résistance 251 de la languette est renforcée par collage sur chaque face d'un raidisseur en U 253 L'équipage monobloc ainsi formé bénéficie du même montage que celui des figures 7 et 8 Le bloc 38 contient les circuits oscillateurs et mélangeurs qui coopèrent avec les moyens de mesure à ondes élastiques de surface situés dans la zone 251. La figure Il illustre une autre découpe de la lamelle 2 Deux languettes de mesure 251 et 252 équipées de masses séismiques 201 et 202 font corps avec une languette centrale 260 qui à son tour fait corps avec un cadre rectangulaire En fixant le cadre au bottier de l'accéléromètre par le bord opposé à celui qui fait corps avec la languette 260, on diminue au maximum l'influence des contraintes de fixation dans les zones de mesure 251 et 252. REVENDICATIONS 1 Accéléromètre à ondes élastiques de surface dans lequel une lamelle ( 2) à faces parallèles ( 4, 5) fléchit sous l'action de l'accélération à mesurer; les contraintes de flexion créées dans lesdites faces ( 4, 5) étant détectées par des moyens oscillateurs de mesure à ondes élastiques de surface ( 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14, 15), caractérisé en ce que lesdits moyens oscillateurs sont situés dans une zone ( 25) d'égale résistance à la flexion de ladite lamelle ( 2). 2 Accéléromètre selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite zone d'égale résistance à la flexion ( 25) appartient à une languette ayant une extrémité libre ( 22) et une extrémité ( 26) destinée à sa fixation sur un boîtier ( 36, 1) subissant l'accélération à mesurer; la forme de ladite languette étant symétrique par rapport au plan de flexion qui contient la direction (y) de mesure de l'accélération. 3 Accéléromètre selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'extrémité libre ( 22) porte une masse séismique rapportée ( 20, 21, 27). 4 Accéléromètre selon l'une quelconque des revendications 2 et 3, caractérisé en ce que ladite languette fait corps avec un cadre qui est relié au boîtier ( 36) par des organes de liaison ( 32, 33, 34) assurant un positionne- ment libre de contraintes thermiques. 5 Accéléromètre selon la revendication 4, caractérisé en ce que des moyens raidisseurs ( 28, 29) taillés dans le même matériau que ladite lamelle ( 2) sont appliqués ou collés sur les parties dudit cadre nécessitant un renfort. 6 Accéléromètre selon l'une quelconque des revendications 4 et 5, caractérisé en ce que les organes de liaison sont des billes ( 32, 33, 34) ; l'une desdites billes étant logée dans un logement conique et une autre bille étant logée dans un logement en vé. 7 Accéléromètre selon l'une quelconque des revendications 2, 4, 5, 6, caractérisé en ce que l'extrémité libre ( 22) de ladite languette fait corps avec des éléments ( 41) de la lamelle ( 2) constituant une masse séismique. 8 Accéléromètre selon la revendication 7, caractérisé en ce que lesdits éléments forment un cadre ( 41). 9 Accéléromètre selon la revendication 7, caractérisé en ce que lesdits éléments forment un aileron ( 201). Accéléromètre selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que la lamelle ( 2) constitue un équipage à deux languettes de mesure munie chacune d'une zone d'égale résistance à la flexion ( 251, 252). 11 Accéléromètre selon la revendication 10, caractérisé en ce que lesdites languettes font corps avec deux côtés opposés d'un cadre; les deux autres côtés dudit cadre étant destinés à être reliés à un boîtier ( 36). 12 Accéléromètre selon la revendication 10, caractérisé en ce que lesdites languettes font corps avec un longeron qui sert de moyen de suspension et de fixation sur un boîtier ( 36). 13 Accéléromètre selon la revendication 11, caractérisé en ce que ledit longeron ( 260) fait lui-même corps avec un cadre. 14 Accéléromètre selon l'une quelconque des revendications 10 à 13, caractérisé en ce que quatre oscillateurs de mesure à ondes élastiques de surface sont prévus ( 141, 142, 151, 152); des premiers moyens mélangeurs ( 161, 162) soustrayant deux à deux les fréquences d'oscillation des signaux produits par lesdits oscillateurs; des second moyens mélangeurs ( 16) sous- trayant les fréquences des signaux provenant desdits premiers mélangeurs ( 161, 162). Accéléromètre selon lune quelconque des revendications précé- dentes, caractérisé en ce que ladite lamelle ( 2) est piézoélectrique. 16 Accéléromètre selon l'une quelconque des revendications précé- dentes, caractérisé en ce que lesdits moyens oscillateurs comprennent des moyens d'accord à ondes élastiques de surface du type ligne à retard ou résonateur à réseaux réflecteurs. 17 Accéléromètre selon la revendication 16, caractérisé en ce que les moyens d'accord portés par les faces de ladite lamelle sont déportés latéralement en sens contraires par rapport au plan de flexion de ladite zone d'égale résistance à la flexion.