Brevet FR2530354A1 — publié le 19840120

Dispositif pour impressionner au vol un tracé sur une couche photosensible L'invention a pour objet un dispositif pour impressionner une couche de résine photosensible suivant un tracé déterminé, au vol, c'est-à-dire alors que cette couche est en déplacement. L'invention trouve une application particu fièrement importante, bien que non exclusive, constituée par la fabrication des réticules destinés ultérieurement à la réalisation de circuits intégrés. On connaît déjà des dispositifs de génération de réticules ou de masques pour circuits intégrés du genre qui comportent une table support pour la couche, munie de moyens permettant de la déplacer suivant une première direction à vitesse constante et suivant une seconde direction perpendiculaire à la première et de moyens de mesure de déplacement suivant lesdites directions;. un laser fournissant un rayonnement actinique pour la résine et un système optique de formation d'une image ponctuelle du faisceau laser sur la surface, ainsi que des moyens pour synchroniser l'6mission de lumière.Le brevet US 4 095 891 décrit un dispositif de ce genre : le faisceau de lumière monochromatique émis par le laser est fixe et illumine un plan objet dont l'image est formée par un objectif sur la couche, déplacée par la table suivant les deux directions pour constituer le tracé requis. A l'heure actuelle, cette solution n'a pas trouvé d'application industrielle et les machines de génération de réticule utilisées dans la fabrication des circuits à très haute intégration appartiennent à l'un ou l'autre de deux types. Dans le premier type, chaque ligne du circuit est exposée à la lumière provenant d'une lampe éclair à travers une fente de dimensions variables. Ces machines ont l'inconvénient d'exiger des durées très longues, dépassant souvent plusieurs heures, pour. réaliser des circuits complexes. Le second type, plus récent, utilise un faisceau d'électrons. Mais les machines de ce genre sont très complexes, donc très coûteuses,et leur mise en oeuvre implique de nombreuses servitudes, telles que la nécessité d'une enceinte à vide et le changement fréquent de filament. La présente invention part d'une approche entierement différente et propose un dispositif du genre ci-dessus défini, dont le système optique comporte successivement, sur le trajet du faisceau (mis par le laser, un modulateur acousto-optique permettant de bloquer le faisceau et un déflecteur acousto-optique qui permet de défléchir le faisceau suivant la seconde direction et qui est associé à un générateur de raMpe de fréquence. Des moyens de synchronisation commandés à partir des informations fournies par les moyens de mesure de déplacement sont prévus pour commander le générateur de rampe de fréquence et le modulateur en réponse au déplacement de la table suivant la première direction, de façon à impressionner la portion du tracé contenu dans une colonne puis successivement dans des colonnes adjacentes. Dans ce dispositif, l'écriture s'effectue par déplacements synchronisés de la table support suivant une première direction et par déflexion du.faisceau laser transversalement à cette première direction. On peut ainsi réaliser une fréquence de balayage beaucoup plus élevée qu'avec des dispositifs mécaniques. L'exécution du balayage suivant des colonnes adjacentes successives permet d'utiliser des déflecteurs acousto-optiques en dépit de leur faible nombre de points de résolution, qui ne dépasse pas 1500 environ à l'heure actuelle,ce qui à première vue devrait conduire à les écarter. Grâce à ces dispositifs, on peut arriver à une précision de localisation élevée, de l'ordre de 0,1pue, correspondant à celle des moyens de mesure de déplacement de la table.Enfin, il faut remarquer que ce sont ces moyens de déplacement de la table qui commandent la synchronisation, alors que la plupart des dispositifs d'impressionnement utilisant une imprimante associée a un déflecteur mécanique, tel qu'un miroir tournant, utilisent ltélément mécanique à plus grande vitesse, c'est-à-dire le miroir tournant, pour synchroniser les éléments mécaniques lents. Les moyens de synchronisation seront généralement prévus pour déclencher la-rampe de commande du générateur avec un retard variable de façon à corriger les erreurs de positionnement de la table suivant la direction de déplacement de celle-ci à vitesse constante. Ces moyens pourront également être prévus pour déclencher l'envoi au modulateur des données représentatives du tracé suivant une ligne avec un retard ou une avance déterminés pour corriger les erreurs de positionnement de la table suivant la seconde direction. Ces opérations de correction peuvent être réalisées uniquement du fait des caractéristiques favorables des moyens acousto-optiques, dont la synchronisation et les retards peuvent être commandés à quelques nanosecondes près. Dans un mode avantageux de réalisation de l'invention, les erreurs résiduelles de positionnement de la table dans la direction de déplacement de celle-ci à vitesse constante sont corrigées par modification de la fréquence porteuse appliquée au modulateur. Cette modification pouvant être très rapide, typiquement en une durée inférieure à 100 ns, permet de rattraper les erreurs que l'on peut qualifier de "locales" dues à des variations aléatoires de la vitesse par rapport à la vitesse moyenne de. déplace- ment, L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui suit de modes particuliers de réalisation, donnés à titre d'exemples non limitatifs.La description se réfère aux dessins qui l'accompagnent, dans lesquels - la figure 1 est un schéma de principe en perspective montrant la disposition relative des composants principaux d'un dispositif suivant l'invention, - la figure 2 montre une constitutionihossible du système optique du dispositif de la figure 1, - la figure 3 est un synoptique montrant une constitution possible des moyens de synchronisation et de commande du déflecteur et du modulateur, - la figure 4 est un diagramme faisant apparaître les retards de commande qui interviennent lors de la mise en oeuvre des moyens montrés en figure 3, - la figure 4 est un diagramme temporel montrant la commande du déflecteur et du modulateur, - la figure 5 est un schêiin d'un svstêin# optique suivant une variante de réa- lisation. Le dispositif dont les éléments principaux concernés par l'invention sont montrés en figure 1 est destiné à générer des réticules destinés à la fabrication de circuits intégrés, réticules reproduisant à grande échelle (5 ou 10 par exemple tracé du circuit. Ce dispositif comprend un laser 10 destiné à former, à travers un système optique 12, une image ponctuelle sur une surface 14 revdtue d'une couche de résine placée dans le plan image du système. La surface 14 est portée par une table 16 à plateaux croisés. Des premiers moyens moteurs dont une fraction, 18, est représentée permettent de déplacer le plateau supérieur, qui porte directement la couche 14, dans la direction y. D'autres moyens moteurs (non représentGs) permettent de déplacer la couche 14 dans le sens x orthogonal à y. La table est munie de moyens de mesure de déplacement qui peuvent être du genre décrit dans la demande de brevet FR 81 07708, dont la précision est au moins égale à la résolution récherchée. Le laser 10 sera choisi de façon à être très actinique pour la résine à impressionner. Dans la pratique, on pourra fréquemment adopter un laser hélium-cadmium ayant une puissance de quelques milliwatts. Le système optique 12 comporte, en plus de composants qui seront décrits plus loin, un modulateur acousto-optique 20, dont le rôl-e essentiel est de commander par tout ou rien l'intensité lumineuse qui arrive sur la couche 14, et un déflecteur acousto-optique 22. Le déflecteur 22 est placé de façon à imposer au faisceau qui le traverse une déflexion angulaire réglable dans la direction x. Les déflecteurs acousto-optiques disponibles à Itheure ac-tuelle ont un nombre de points de résolution qui ne peut guère dépasser 1500, par suite des dimensions limitées du cristal qu'ils comportent. En fait, on pourra généralement se contenter d'un nombre de points de résolution très inférieur, 512 ou même 256 par exemple. Si, par exemple, on cherche à réaliser un réticule adressable par pas de 0,5zm, avec une précision de + Olim, on peut atteind-re ce résultat par balayage de lignes successives, telles que la ligne 24, comportant 256 points, donc ayant une longueur de 128pu. Par un balayage du type télévision (avance à vitesse constante de la table suivant la direction y et balayage suivant la direction x à l'aide du déflecteur 22, puis retour rapide) on impressionne, pour une position donnée de la table suivant x, une bande ou colonne 26 de 128#m de large.La table est ensuite déplacée suivant la direction x d'une distance de 126#m, une nouvelle colonne est impressionnée pendant un déplacement en sens inverse suivant y, et ainsi de suite. Le modulateur 20 est avantageusement utilisé, non seulement pour commander le passage du faisceau de lumière, mais aussi pour compenser les défauts de linéarité du déplacement de la table 16 suivant la direction y. Il suffit pour cela de commander le modulateur 20 par un circuit qui fournit, non pas une fréquence constante, mais une fréquence modifiable de façon à compenser un écart correspondant à deux ou trois points de résolution : dans le cas évoqué plus haut d'une résolution de 0,5pal on pourra prév#oir une déflexion sur -+ 0,7iimenviron. Ce résultat est atteint aisément à condition de commander le modulateur 20 par un circuit fournissant une fréquence porteuse élevée (supérieure à 200 MHz) et donc modifiable sur quelques dizaines de Mégahertz sans perte d'efficacité On arrive aisément à une résolution meilleure que 0,01 vm. La disposition pratique du système optique peut être celle montrée schématiquement en figure 2. Sur la figure 2, où les éléments correspondants à ceux de la figure 1 sont désignés par le même numéro de référence, on retrouve un laser 10, par exemple un laser héliuFcadmium Fournissant un rayonnement monochromatique à 442 nanomètres, suivi d'un afocal 28 d'adaptation sur l'entrée du modulate-ur acousto-optique 20. Ce modulateur, disponible dans le commerce, peut comporter comme matériau acousto-optique du "flint" ou de la paratellurite qui a l'avantage d'une puissance de commande inférieure. Ces mêmes matériaux sont utilisables pour le déflecteur 22. Pour le modulateur, on peut également prévoir d'autres matériaux, tels que- notamment le molybdate de plomb.Le modulateur 20 comporte de plus un transducteur d'application de la fréquence de commande aux matériaux et il est associé à un circuit commandé générateur de haute fréquence, qui sera décrit plus loin. L'application de la tension à haute fréquence au transducteur provoque l'apparition d'un ordre de lumière diffractée, qui est transmis vers la suite du système optique, tandis que la lumière non diffractée est retenue. Un tel modulateur permet d'atteindre un rendement de transmission de l'ordre de 90%. Le modulateur 20 est suivi d'une lentille 30 d'ouverture supplémentaire du faisceau, puis d'un- prisme 32 de renvoi du faisceau à 900 et d'une lentille 34 constituant un afocal avec la lentille 30. Le faisceau passe ensuite-au déflecteur 22 qui est suivi d'un nouveau système optique afocal, constitué par exemple par deux doub-lets 36 et 44. Le système comporte également deux lentilles cylindriques 38 et 40, respectivement en amont et en aval du déflecteur 22 ainsi que deux autres prismes à réflexion totale 41 et 42 de repliement du trajet optique. Les lentilles cylindriques 38 et 40, dont le rôle apparaîtra plus loin, présentent leur courbure dans un plan perpendiculaire au plan de balayage du déflecteur 22. Entre les doublets 36, 44 est placée une lentille de correction de champ associée à un diaphragme 43 de bloquage de la lumière parasite, c'est-à-dire non diffractée. La pupille 22 -------- est conjuguée à la pupille d'entrée de l'objectif de balayage 45 par le doublet 44 - constituant un afocal avec le doublet 36. Tous ces organes peuvent être portés par un socle 47 sur lequel se déplacent les plateaux. Dams le dispositif qui vient d'être décrit, on peut écrire l'ex- Dosition E (xv) de la couche 14 sous forme de l'expression E(x,y) Iy (Yk) ~ Ix (x - Vx.t) . 5(t) dt (1) Dans cette formule : Iy est la distribution d'intensité suivant la direction y k est l'indice de la ligne considérée, correspondant A un balayage par le déflecteur, S(t) est le signal provenant du modulateur, qui peut prendre les valeurs 0 et 1, Ix est la distribution d'intensité suivant la direction x, Vx est la vitesse de balayage suivant x. La vitesse de balayage est fixée par le déflecteur 22. Elle peut s'écrire Vx = F.dx, où F est la fréquence d'écriture, c'est-à-dire le nombre de bits de commande du déflecteur par seconde, et dx est l'incrément de distance adressable suivant la direction x. Les circuits de commande nécessaires pour réaliser cette exposition peuvent être du genre indiqué en figure 3. Ils comportent un générateur de rampe de fréquence attaquant le transducteur du déflecteur 22, constitué par exemple par un générateur de rampe de tension 48 et un oscillateur de fréquence commandé par tension 50 qui doit avoir une précision de l'ordre de + 0,2 % dans l'exemple envisagé. Le générateur de rampe est du type déclenché par un signal de synchronisation appliqué sur sa sortie 52, fourni par un calculateur 54. A une fréquence FD appliquée au déflecteur 22 correspond un angle de déflexion #D = xFD/v, où A est la longueur d'onde fournie par le laser et v la vitesse de propagation du son dans le matériau. Les signaux de synchronisation fournis par le calculateur sont élaborés à partir des informations fournies par les moyens de mesure du déplacement de la table en x et y, moyens dont un seul, correspondant au déplacement en x, est représenté schématiquement en 56 sur la figure 2. Le modulateur 20 est, de son côté, commandé par modulation en tout ou rien d'une porteuse attaquant son transducteur. Le circuit fournissant cette porteuse comprend un amplificateur 58 précédé d'un organe commutateur 60 qui reçoit les bits successifs provenant du caiculateur 54 suivant un prograrnme contenu dans une msslm(1i nr 62 (disque ou bande rnagnêtioue ) et d'un-oscillaleur 64. 's dre diffracté +1, qui est utilisé pour attaquer le déflecteu-r, étant rnodu lé avec un temps de retard otM (retard temporel introduit par le modulateur 20), les signaux de description F doivent être introduits avec un retard st x de correction de #tM. On verra plus loin que le modulateur peut également être utilisé pour fournir une déviation angulaire du faisceau dans une direction orthogonale à celle fournie par le déflecteur 22. Le résultat est atteint par commande de la fréquence d'attaque du modulateur 20. Le schéma montré en figure 3 permet d'effectuer cette modulation en élaborant la fréquence de commande à l'aide d'un oscillateur commandé par tension 64 qui reçoit son signal de commande du calculateur 54 à travers un convertisseur numérique/analogique 66. Il faut évidemment que le temps de réponse de l'ensemble des éléments de commande du faisceau soit tel que sa fonction de transfert soit plus large que -la fonction de transfert assoc-iée à la distribution d'exposition suivant x, représentée par x (x-Vx.t). On voit que la fréquençe d'écriture F (c'est-à-dire le nombre de bits adressables par seconde) est liée au- nombre M de points adressables par li-gne au moyen du déflecteur 22 par la relation F- = M . Vy / dx Cette fréquence F est pratiquement limitée par la réponse du déflecteur acousto-optique.En règle générale, on sera conduit à adopter une fréquence F ne dépassant pas 10 MHz, ce qui conduit, dans le cas envisagé ci-dessus de 256 points d'adressage, aux deux solutions suivantes F Vy (vitesse table) TL (période de balayage de ligne) 5MHz 9,7 mm/s 50s 10MHz 19,5 mm/s 25s On voit que les valeurs requises pour Vy sont modérées et parfaitement compatibles avec les vitesses limites qle l'on peut obtenir à l'aide d'une table se déplaçant sur coussin d'air.Le calcul montre que, si l'on tient compte du temps perdu lors des déplacements en x sans écriture, des temps morts nécessaires aux corrections en x et y et du temps de chargement et de déchargement éventuel, les temps d'écriture pour un réticule de 50 mm décrit par pas de 0,5 (ou de 100 mm décrit par pas de iiim ) est de 20 mn environ. Avec un déflecteur acousto-optique utilisé à la limite de ses possibilités, correspondant actuellement à 30 MHz environ, on pourrait arriver à une inscription directe sur la totalité d'une tranche classique de 4 pouces (100 mm) en une heure environ. On décrira maintenant, en faisant référence aux figures 3 et 4, les corrections que doit introduire le calculateur 54 pour tenir compte des caractéristiques des moyens acousto-optiques utilisés et des erreurs éventuelles de balayage, telles que défauts de linéarité accidentels ou systématiques dans les déplacements de la table 16. Corrections liées aux caractéristiques des moyens acoustooptiques Le temps T nécessaire pour que l'onde ultra-sonique fournie par l'oscillateur 50 remplisse le matériau acoustooptique représente une fraction importante de la période de balayage de ligne TL aux fréquences élevées de travail qui seront généralement utilisées. Plusieurs fréquences sont donc présentes simultanément dans le matériau acoustooptique et provoquent une déviation moyenne et une distorsion optique du faisceau. Cet inconvénient, qui a priori semble conduire à écarter les déflecteurs électro-optiques, peut cependant être aisément corrigé dans le cas où le balayage est linéaire. En effet, la distorsion correspond à une focalisation suivant la direction de balayage, a une distance L donnée par la formule L = v2 /( #.df /dt) Une telle focalisation est équivalente à celle que donne une lentille cylindrique. Lorsque le matériau acousto-optique est du flint et qu'on utilise une vitesse de balayage de 3,2 MHz/#s, la.longueur L est de l'ordre de 10 m. - - . . Lorsque le matériau acousto-optique est de la paratellurite TE02, L est de l'ordre de 1,10 m. La focalisation doit alors être corrigée.Cette correction peut aisément être effectuée à l'aide d'un d#plac#ent de la lentille cylindrique 40 de focale -L. Un calcul d'erreur montre que la tolérance sur la linéarité est de l'ordre de f 1% si l'on veut maintenir l'astigmatisme et l'écart aberrant à la surface d'onde dans des limites compatibles avec la précision recherchée en pratique. Correction des erreurs de positionnement de la table Les moyens de déplacement de la table ne permettent pas d'imposer à celle-ci une position à un instant donné à mieux que plusieurs dixièmes de micron près. La position de la table est affectée d'une erreur de position que l'on peut qualifier de "lente", due à l'écart entre la vitesse théorique. Elle est également affectée d'une erreur de position "locale", due aux. irrégularités d'avance de la table par suite des frottements solides qu'il est impossible d'écarter complètement. L'erreur de position suivant la direction x, où l'avance de la table s'effectue par pas, peut être corrigée en prévoyant le déflecteur et ses circuits de commande de façon à disposer de quelques points supplémentaires d'adressage. Pour des questions de vitesse de fonctionnement, il n'est possible de connaître les erreurs de position qu'une seule fois par balayage de ligne. Les moyens de mesure de déplacement fournissent donc au calculateur 54, à l'issue de chaque balayage, deux erreurs d-e position Ô x- et Ôy. Pour corriger l'erreur de positionnement suivant x, il suffit de déclencher le modulateur à un instant fonction de ox par rapport au début de la rampe utile du balayage, ce qui impli-qu#, puisque l'erreur peut être dans un sens ou dans le sens opposé, que ce balayage doit être prévu avec un retard qui correspond à terreur maximum à compenser lorsque la table est dans sa position théorique exacte. Si par exemple on admet une erreur de position maximum de + 5 pm, le retard tx d'ouverture du modulateur pour une erreur Ôx sera tx = (5 + 6X ) /VX avec vx = -F.dx Il faut de plus anticiper la command-e du modulateur de 6tM, temps n#écessaire au remplissage acoustique du modulateur. Ces retards apparaissent sur la ligne inférieure de la figure 4. On y voit que le top de synchronisation 68 déclenchant l'ouverture du modulateur et l'écriture d'une ligne est retardé, par rapport au début de balayage utile de ligne, de L'erreur de-position suivant y peut avoir deux causes, comme on l'a indiqué plus haut. .L'erreur de vitesse, due au fait que la vitesse vT de la table n'est pas exactement égale à la vitesse théorique vy ne peut être rattrapée par actio-n sur le balayage de ligne que par un retard variable entre la fin du balayage d'une ligne et le début du balayage de la ligne suivante. En d'autres termes, on ne peut corriger qu'une insuffisance de la vitesse de déplacement de la table suivant y. Pour cette raison, on sera conduit à adopter systématiquement pour la vitesse vT de la table non pas la vitesse théorique vy, mais une vitesse inférieure, dont la différence avec vy est au moins égale à l'erreur maximale. La ligne supérieure de la figure 4 montre que le retard à réaliser sera 6y/vT = tD. A lui seul, ce retard à l'application du top 70 du déclenchement de la rampe appliquée à ltoscillateur 50 permet de corriger les erreurs de déplacement suivant-y mais on voit que le temps perdu devient considérable si l'on veut compenser des erreurs de vitesse importantes. Dans l'exemple donné ci-dessus par exemple, le temps de balayage de ligne augmente de 50 pour une résolution de 0,5 vm lorsqu'on prend sy = - 0,25 zm. Dans certains cas, l'erreur locale est négli geable et la correction d'erreur peut être réalisée sim plement par retard variable à l'émission du top de déclenchement 70. Lorsque l'on veut au contraire compenser les erreurs locales et diminuer la perte de temps due à la correction de l'erreur de vitesse, il est avantageux de moduler en fréquence la porteuse appliquée au modulateur 20, ce qui implique de choisir une fréquence porteuse élevée, au moins égale à 200 MHz. Comme on l'a indiqué plus haut, on peut obtenir sans difficulté une déflexion s'étendant sur l'écartement de deux ou trois points de résolution tout en conservant un temps de montée de 50 ns pour une fréquence F de 10 MHz. La conjugaison optique de pupille reste réalisée dans cette direction. On déduit dans ce cas de l'erreur Ôy la correction de fréquence 6fM à apporter. à la porteuse du modulateur. Si on désigne par ey la capacité de déflexion du modulateur, exprimée en écartement linéaire, il ne sera nécessaire d'introduire un temps mort tD sur la rampe de balayage de ligne que lorsque Ôy sera supérieur à Ey et ce temps te sera réduit à : tD = (êy - Ey) / vy Si une correction importante d'erreur de vitesse ou d'erreur locale s'avère nécessaire, il est possible d'adjoindre au modulateur 20 un déflecteur supplémentaire non représenté, agissant suivant la direction y. Ce déflecteur supplémentaire peut être du même type que le déflecteur et être adressable sur un grand nombre de points, par exemple sur 400 points représ-entant 200Mm. Mais le système optique devient alors beaucoup plus encom- brant, du fait de la nécessité de conjuguer les#pupilles. Les moyens de mesure de dEplacement et le calcu lateur 54 doivent être évidemment suffisamment rapides pour être compatibles avec les vitesses de balayage dans la pratique, pour F = 10 MHz, 6tx et 6ft1 doivent être obtenus en un temps ne dépassant pas 5#s environ. A titre d'exemple, on peut donner les caractéristiques suivantes d'un dispositif utilisant du Flint comme matériau acousto-optique et utilisant un laser hélium-cadmium comme source de lumière. Le système optique est prévu pour maintenir la distorsion à une valeur inférieure à 0,1 vm, c'est-à-dire 0,1% pour un champ de 128 zm. Les calculs optiques ne font intervenir que des composants simples. Le modulateur est encadré par une lentille amont de couplage du faisceau au modulateur et deux lentilles aval constituant un afocal à grandissement de 20. Le déflecteur a une pupille de 4 x 20 mm de sorte que le faisceau sortant de l'afocal associé a modulateur doit lui être couplé sous forme d'une ligne parallèle à la direction de propagation du faisceau acoustique. On est pour cette raison conduit à encadrer le déflecteur par deux lentilles cylindriques constituant un afocal de grandissement -1. Le faisceau sortant de la seconde lentille cylindrique est repris par un nouvel afocal qui a plusieurs rôles : il conjugue la pupille du déflecteur et celle de l'objectif de balayage. Il réalise les grandissement pupillaires nécessaires. Il donne accès à un plan focal intermédiaire dans lequel on effectue un filtrage spatial destiné à écarter les ordres diffractés autres que l'ordre +1 à l'aide d'un diaphragme. L'objectif de balayage (46 sur la figur#e 2) a des caractéristiques proches de celles d'un objectif standard de microscope d'ouverture 0,65. La profondeur de champ d'un tel objectif étant faible, de l'ordre de 0,3 pm, un dispositif de focalisation automatique doit être prévu : il peut être du genre décrit dans la demande de brevet FR 81 07709, à laquelle on pourra se reporter. Lorsqu'on recherche une vitesse d'écriture élevée il est possible d'utiliser un modulateur multifaisceaux. La vitesse d'écriture, a vitesse de balayage df déflecteur constante, est multipliée par le nombre ttl de faisceaux. Pour cela, il est nécessaire de piloter le modulateur par N fréquences porteuses, fournies par N circuits différents. On écrit alors en parallèle N lignes, ce qui conduit à adopter une vitesse de table multipliée par N. Les différents faisceaux diffractés au niveau du modulateur doivent évidemment être confondus au niveau du déflecteur, ce qui exige de conjuguer les pupilles du déflecteur et du modulateur On peut alors utiliser le système optique schématisé sur la figure 5. Le faisceau fourni par le laser 10a est repris par un afocal constitué de deux lentilles 74 et 76 qui adaptent le diamètre du faisceau du laser à une dimension compatible avec le temps de montée recherché pour le modulateur 20a, qui utilise de la paralellurite et comporte une pupille d'entrée circulaire. Le modulateur 20a est suivi d'un second afocal constitué de deux lentilles 78 et 80 et d'une lentille cylindrique de correction 82. Un troisième afocal constitué de deux lentilles ou doublets 84 et 86 renvoie la lumière sous forme de N faisceaux parallèles vers la pupille.d'entrée de l'objectif de balayage 46a. On peut ainsi assurer la double conjugaison de pupilles nécessaires. L'invention ne se limite pas aux modes de réalisation particuliers qui ont été représentés et décrits à titre d'exemples- et il doit être entendu que la portée du présent brevet s'étend à toutes variantes restant dans le cadre des équivalences. REVENDICATIONS 1. Dispositif pour impressionner au vol une couche de résine photosensible suivant un tracé déterminé, comprenant une table support (16) pour la couche, muni de moyens (18) permettant de la déplacer suivant une première direction à vitesse constante et suivant une seconde direction perpendiculaire à la première et de moyens (56) de mesure de déplacement suivant lesdites, directions, un laser (10) fournissant un rayonnement actinique pour la résine,-et un système optique (12) de formation de l'image ponctuelle du faisceau laser sur la surface, ainsi que des moyens pour sycnrhoniser l'émission de lumière, caractérisé en ce que le système optique comporte successivement, sur le trajet du faisceau émis par le laser, un modulateur acousto-optique (20) permettant de bloquer le faisceau t un déflecteur acousto-optique (22) permettant' de défléchir le faisceau suivant la seconde direction et associé à un générateur de rampe de fréquence (48, 50), les moyens de synchronisation étant commandés à partir -des informations fournies par les moyens de mesure de déplacement (56) et commandant le générateur de rampe de fréquence (48, 50) et le modulateur en réponse au déplacement de la table suivant la première direction, de façon à impressionner la portion du tracé contenu dans une colonne de largeur égale à l'amplitude de balayage du déflecteur, 2.Dispositif sel-on la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de synchronisation sont prévus pour déplacer la table suivant la seconde direction d'une distance égale à la largeur d'une colonne à l'issue du balayage de la colonne en vue d'un nouveau déplacement suivant la premitre direction en sens inverse du premier déplacement. 3. Dispositif selon la revendication 1 et 2, caractérisé en ce que les moyens de synchronisation sont prévus pour déclencher la rampe de commande du générateur (48, 50) avec un retard variable choisi pour corriger les erreurs de positionnement de la table #suivant la première direction et suivant la seconde direction. 4. Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce que les moyens de synchronisation sont prévus pour commander le modulateur (20) avec un retard déterminé pour corriger les erreurs de positionnement de la table selon la seconde direction. 5. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le modulateur (20) est disposé de façon à défléchir le faisceau dans une direction orthogonale à la direction de déviation par le déflecteur (22) et en ce que le modulateur (20) est associé à un circuit de modulation de la fréquence porteuse appliquée au modulateur en réponse aux erreurs de positionnement de la table dans la première direction. 6. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que la fréquence porteuse appliquée au modulateur est au moins égale à 200 MHz. 7. Dispositif selon l'une.quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte un second déflecteur de déviation du faisceau dans une direction orthogonale à la direction de déviation du premier déflecteur (22). 8. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le modulateur est associé à plusieurs circuits de commande fournissant des fréquences différentes, de façon à fournir plusieurs faisceaux de sortie simultanés, le système optique étant prévu pour former les images des différents faisceaux sur des lignes de balayage#successives.