Brevet FR2524102A1 — publié le 19830930

La présente invention se rapporte à des van- nes à vide et, plus particulièrement, à des vannes à vide poussé à fonctionnement rapide ayant une longue durée de vie utile. Les vannes à vide sont utilisées dans une grande diversité d'applications et, notamment, dans les ac- célérateurs de particules à forte énergie Dans certaines de ces applications, une grande vitesse et une fiabilité élevée sont de la plus haute importance Par exemple, dans les installations d'implantation ionique utilisées indus- triellement dans l'industrie des semi-conducteurs, le tra- jet du faisceau ionique entre la source d'ions et la tran- che de semi-conducteur cible est maintenu sous un vide de l'ordre de 133, 3 10 D 7 Pa Lors du changement des tranches, l'extrémité côté tranche de l'installation est obturée par une vanne à vide afin de réduire au minimum le volume qui est évacué de manière répétée par les pompes à vide Pour accroître au maximum la production de l'installation, le processus de changement des tranches, y compris l'actionne- ment de la vanne à vide, doit être effectué en un temps aus- si court que possible Le temps d'actionnement de la vanne doit être de l'ordre de 0,2 à 0,5 seconde En outre, la vanne doit être extrêmement fiable étant donné qu'il est indésirable de perdre un temps d'immobilisation de l'ins- tallation pour réparer ou remplacer la vanne Il est évi- dent qu'une grande-vitesse et une fiabilité élevée sont né- cessaires dans de nombreuses autres applications industriel- les des vannes à vide. Les vannes à vide de la technique antérieu- re, bien qu'elles fonctionnent, en général, de manière sa- tisfaisante, ne conviennent pas pour un fonctionnement à grande vitesse pendant une longue durée de vie Un type de vanne décrit par R A Childs dans "Reliable U H V Gate- Valves" dans la publication Ind Res /Dev, juillet 1978, comporte un chariot articulé à une plaque d'obturation Le chariot et la plaque d'obturation se déplacent linéairement. le long d'une voie de guidage jusqu'à ce que la plaque d'ob- turation heurte une butée mécanique Le chariot continue de se déplacer le long de la voie de guidage et provoque le pivotement de la plaque d'obturation vers le haut et la fermeture de l'orifice par ladite plaque Une vanne utili- sant une butée mécanique et une came à barre pour appliquer sous pression une plaque d'obturation contre un orifice à vide a été décrite dans le brevet des EUA no 3 554 486. Cependant, dans les vannes qui utilisent une butée mécani- que, les charges de choc qui se produisent lorsque la pla- que d'obturation heurte à grande vitesse la butée d'arrêt provoquent une usure rapide des éléments de la vanne Une vanne à vide poussé dans laquelle la plaque d'obturation est montée sur un bras oscillant et pivote latéralement en s'éloignant de l'orifice est décrite dans le brevet des EUA N O 3 973 753 Cette vanne ne convient pas pour un fonc- tionnement à grande vitesse. La présente invention a notamment pour buts: de réaliser une vanne à vide à fonctioene- ment rapide, une vanne à vide àfonctionnement rapide ayant une longue durée de vie et une fiabilité élevée, une vanneà vide à fonctionnement rapide ayant un mouvement exempt de changements brusques de direc- tion ou de vitesse entre une position ouverte et une posi- tion fermée, une vanne à vide à fonctionnement rapide dans laquelle l'application de charges de choc élevées aux éléments constitutifs de la vanne pendant le fonctionnement est évitée. Conformément à l'invention, ces buts et avantages sont atteints, ainsi que d'autres, dans une vanne à vide à fonctionnement rapide qui comprend un corps dans le- quel est formée une ouverture, un organe de fermeture pour obturer l'ouverture, des moyens formant une voie de guida- ge, agencés pour guider l'organe de fermeture entre une po- sition fermée et une position ouverte et des moyens d'ac- tionnement Les moyens formant une voie de guidage compren- nent une partie proximale adjacente à l'ouverture et qui s'étend vers l'arrière en s'éloignant de l'ouverture, une partie, distale qui s'étend latéralement en s'éloignant de l'ouverture et une partie incurvée qui relie entre elles les parties proximale et distale Les moyens formant la voie de guidage guident l'organe de fermeture de manière à assurer un mouvement exempt de brusques changements de di- rection ou de vitesse Les moyens d'actionnement excercent une force sur l'organe de fermeture de manière à déplacer cet organe suivant un trajet défini par les moyens formant la voie de guidage entre la position ouverte et la position fermée. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description qui va suivre donnée à titre d'exemple non limitatif et en regard des dessins annexés dans lesquels: la Fig 1 est une vue en coupe d-'une vanne selon l'invention, représentée dans la position fermée, de la Fig 1, la Fig 2 est une vue en prise suivant la ligne 2-2 coupe de la vanne- de la Fig 1, de la Fig. de la Fig. ligne 5-5 d mode de réa de la Fig. de la Fig. la Fig 3 est une vue en coupe de la vanne 1, suivant la ligne 3-3 de la Fig 1, la Fig 4 est une vue en coupe de la vanne l représentée en position ouverte, la Fig 5 est une vue en coupe, suivant la e la Fig 4 de la vanne en position ouverte, la Fig 6 est une vue en coupe d'un autre lisation d'une vanne selon l'invention, la Fig 7 est une vue en coupe de la vanne 6, suivant la ligne 7-7 de la Fig 6, la Fig 8 est une vue en coupe de la vanne 6, suivant la ligne 8-8 de la Fig 6. On a représenté sur les Fig l à 5 un mode de réalisation préféré d'une vanne à vidce à fonctionnement rapide selon l'invention La vanne comprend un corps 10 dans lequel est formée un ouverture 12 et qui contient un organe de fermeture ou obturation 14 pour obturer 1 'ouvertu- re 12 La vanne comprend, en outre, des moyens formant une voie de guidage pour guider l'obturateur 14 entre une posi- tion d'obturation, ou position fermée, telle que représen- tée sur les Fig 1 à 3, et une position ouverte, telle que représentée sous les Fig 4 et 5 Dans le mode de réalisa- tion représenté sur les Fig 1 à 5, les moyens formant la voie de guidage comportent un organe de guidage 16 qui comprend des chemins de guidage 17, 18 et un organe de gui- dage 20 qui comporte des chemins de guidage 21, 22 La van- ne comporte également des moyens d'actionnement agencés pour exercer une force sur l'obturateur 14 de façon à dé- placer celui-ci le long d'un trajet défini par les chemins de guidage 17, 18, 21, 22 entre la position ouverte et la position fermée Dans le mode de réalisation des Fig 1 à 5, les moyens d'actionnement comprennent un chariot 26 assem- blé à l'obturateur 14 par des biellettes 28, 29 Les biel- lettes 28 et 29 sont parallèles et ont des longueurs égales. Le chariot 26 est guidé suivant un trajet linéaire par des chemins de guidage 30 et 31 formés respectivement dans les organes de guidage 20 et 16 et il est agencé de façon à pou- voir être relié à une source motrice qui, dans le mode de réalisation des Fig 1 à 5, est le piston d'un vérin pneu- matique 34 qui est relié au chariot 26 par une bielle 36. Un joint d'étanchéité linéaire 38 assure l'étanchéité au- tour de la bielle 36 à l'emplacement o elle traverse le corps 10 Le joint d'étanchéité linéaire 38 utilise des techniques connues pour assurer l'étanchéité d'une tige ou bielle mobile linéairement Un petit volume autour de la bielle 36 délimité entre deux bagues toriques est mis sous vide pour assurer la réalisation d'un joint étanche au vide poussé. Le corps 10 peut être un corps de vanne in- dépendante auquel cas, le corps comporte une seconde ouver- ture habituellement alignée avec la première ouverture 12. Suivant une variante, le corps 10 peut être le carter d'un équipement qui fonctionne sous vide, tel qu'un appareil d'implantation ionique L'ouverture 12 est habituellement circulaire et elle a un diamètre de plusieurs centimètres. L'obturateur 14 comporte une plaque d'obtu- ration 40 munie d'une bague d'étanchéité torique 42 dispo- sée dans une rainure qui entoure la périphérie de la sur- face avant de la plaque d'obturation 40 Un support d'arti- culation 44 est disposé au centre de la surface arrière de la plaque de fermeture 40 La biellette 28 estmontée pivo- tante sur le support 44 au moyen d'un axe 46 Un support d'articulation 45 disposé sur la partie inférieure de la surface arrière de la plaque 40 est articulé à la biellette 29 au moyen d'un axe 47 Des supports 50, 52 de galets s'é- tendent vers l'arrière à partir de la surface arrière de la plaque 40 Les supports 50 et 52 sont espacés au-dessus et au-dessous du centre de la plaque d'obturation 40 de distan- ces égales et ils sont disposés adjacents aux chemins de guidage 17, 18, 21, 22 Des galets 54 sont montés sur les supports 50, 52 de galets de façon à rouler dans les che- mins de guidage 17, 18, 21, 22 comme on le décrira ci-après. Les chemins de guidage 17, 18, 21, 22 sont constitués par des rainures allongées Les rainures peuvent être formées dans des parois parallèles en vis à vis du corps 10 o elles peuvent être formées dans des organes de guidage parallèTes 16, 20 rigidement fixés aux corps 10 de part et d'autre de l'ouverture 12. On décrira maintenant les chemins de guidage 21, 22 en se référant à la Fig 3 On comprend que les chemins de guida- ge 17 et 18 sont l'image réfléchie des chemins de guidage 21, 22. Les chemins de guidage 21, 22 comprennent des parties pro- ximales 21 a, 22 a qui sont adjacentes à l'ouverture et qui s'étendent vers l'arrière en s'éloignant de l'ouverture 12. Les chemins de guidage 21, 22 comprennent, en outre, des parties distales 21 b, 22 b qui s'étendent latéralement en s'éloignant de l'ouverture 12 Dans le mode de réalisation des Fig 1 à 5, les parties distales 21 b 22 b sont parallè- les au plan de l'ouverture 12 et les parties proximales 21 a, 22 a sont perpendiculaires au plan de l'ouverture 12 Les parties proximales 21 a, 22 a sont reliées par des parties incurvées 21 c, 22 c respectivement à la partie distale 21 b et à la partie distale 22 b Les parties proximales 21 a, 22 a, les parties distales 21 b, 22 b et les parties incurvées 21 c, 22 c se combinent pour former des trajets continus, ininterrompus, exempts de brusques changements de direction ou de vitesse entre la position fermée et la position ou- verte Les parties proximales 21 a, 22 a sont espacées par rapport à l'ouverture 12 de façon à retenir et guider les galets 54 et à centrer la plaque d'obturation 40 sur l'ou- verture 12. Le chariot 26 comporte un corps 66 sur les côtés opposés duquel sont montés des galets 68 Les che- mins de guidage 30, 31 peuvent être constitués par des rai- nures allongées formées respectivement dans l'organe de guidage 20 et dans l'organe de guidage 16 Les galets 68 sont disposés de façon à rouler dans les chemins de guida- ge 30, 31 Le chariot 26 comporte en outre, des supports d'articulation 70, 71 fixés rigidement au corps 66 Le sup- port 70 est articulé à la biellette 28 par un axe 72 Le support 71 est articulé à la biellette 29 par un axe 73. En fonctionnement, l'obturateur 14 se dé- place entre la position fermée représentée sur les Fig 1 à 3 et la position ouverte représentée sur les Fig 4 et 5 suivant un trajet défini par les chemins de guidage 17, 18, 21, 22 L'obturateur 14 est actionné par le chariot 26 qui se déplace suivant un trajet défini par lés chemins de gui- dage 30, 31 et qui exerce sur l'organe de fermeture 14 une force par l'intermédiaire de la biellette 28 La biellette 29 sert à stabiliser l'obturateur 14 dans un plan parallèle à l'ouverture 12 pendant le déplacement entre la position ouverte et la position fermée et n'est pas un org ane sup- port de charge Bien que la biellette 29 ne soit-pas un élé- ment indispensable de la vanne à vide, elle assure un fonc- tionnement plus stable, en particulier aux vitesses infé- rieures Le chariot 26 est actionné par le piston du vérin pneumatique 34 En partant de la position ouverte, la biel- le 36 pousse le chariot 26 et l'obturateur 14 vers le bas. Le chariot 26 se déplace continuellement le long des chemins de guidage 30, 31 Les galets 54 montés sur l'obturateur 14 roulent le long des parties distales 21 b, 22 b des chemins 21, 22 et des parties distales correspondantes des chemins 17, 18 Pendant cette partie du mouvement, l'obturateur 14 et le chariot 26 restent dans une disposition fixe l'un par rapport à l'autre Lorsque les galets 54 atteignent les par- ties incurvées 21 c, 22 c des chemins 21, 22, les galets 54 et l'ensemble de l'obturateur 14 suivent le trajet défini par les chemins 17, 18, 21, 22 et changent de direction en se rapprochant de l'ouverture 12 Du fait de la courbure des parties 21 c, 22 c, le changement de direction est gra- duel et continu et l'obturateur 14 n'est pas soumis à la charge d'un choc Lorsque l'obturateur 14 s'écarte du cha- riot 26 et se rapproche de l'ouverture 12, la biellette 28 pivote autour des axes 46 et 72 et la biellette 29 pivote is autour des axes 47 et 73 Lorsque les galets 54 atteignent les parties proximales 21 a, 22 a des chemins 21, 22 le mou- vement de l'obturateur 14 est perpendiculaire au plan de l'ouverture 12 Ainsi, lorsque l'obturateur 14 entre en contact avec la périphérie de l'ouverture 12, il ne se pro- duit pas de dégradation par frottement de la bague d'étan- chéité torique 42 En outre, lorsque l'obturateur 14 se rap- proche de la position fermée, le chariot 26 continue de se déplacer vers le bas d'une manière linéaire, accroissant ainsi la composante de force appliquée à l'obturateur 14 dans la direction perpendiculaire au plan de l'ouverture 12. Cette composante de force tend à comprimer la bague torique 42 et à améliorer la qualité du joint d'étanchéité Lorsque l'organe de fermeture 14 approche de la position fermée, il décélère graduellement du fait du mouvement de pivotement des biellettes 28, 29, évitant ainsi une application bruta- le de l'obturateur 14 en position fermée Le chariot 26 est déplacé au-delà du point mort haut par rapport à l'obtura- teur 14 sur une courte distance de façon à verrouiller cet obturateur 14 dans la position fermée Lorsque l'obturateur 14 est déplacé de la position fermée à la position ouverte, la séquence décrite ci-dessus est exécutée en ordre inverse et les chemins 17, 18, 21, 22 guident l'obturateur 14 jus- qu'à la position ouverte. Un autre mode de réalisation d'une vanne à vide à fonctionrnenent rapide selon l'invention a été repré- senté sur les Fig 6 à 8 La vanne comporte un corps 110 dans lequel est formée une ouverture 112 et qui contient l'obturateur 114 pour obturer l'ouverture 112 Dans le mo- de de réalisation des Fig 6 à 8, les moyens formant les voies de guidage comprennent un organe de guidage 120 dans lequel est formé un chemin de guidage 122 disposé d'un cô- té de l'organe de fermeture 114 et un organe de guidage 116 disposé de l'autre côté de l'organe de fermeture 114 et dans lequel est formé un chemin de guidage 118 qui est pa- rallèle au chemin de guidage 122 dont il est l'image réflé- chie Les moyens d'actionnement comprennent un chariot 126 assemblé à l'obturateur 114 par des biellettes 128, 129 Le chariot 126 est guidé le long d'un trajet linéaire par un chemin de guidage 130 formé dans l'organe de guidage 120 et par un chemin de guidage 131 formé dans l'organe de guidage 116 et il est agencé de manière à pouvoir être relié à une source motrice par une bielle 136 Le mode de réalisation des Fig 6 à 8 n'utilise qu'une seule paire de chemins de guidage pour guider l'organe de fermeture 114 tandis que le mode de réalisation des Fig 1 à 5 utilise deux paires de chemins pour guider l'organe de fermeture 14. L'obturateur 114 comporte une plaque d'ob- turation 140, une bague d'étanchéité torique 142 étant dis- posée dans une rainure formée dans la surface avant de la plaque d'obturation 140 Un support d'articulation 144, dis- posé au centre de la surface arrière de la plaque 140, est articulé à la biellette 128 par un axe 146 Un support d'ar- ticulation 145, disposé dans la partie inférieure de la sur- face arrière de la plaque 140, est articulé à la biellette 129 au moyen d'un axe 147 Des supports 150 de galets, dis- posés sur les côtés opposés du support 144, dans une posi- tion adjacente aux chemins de guidage 118, 120, sont fixés à la surface arrière de la plaque 140 Des galets 154 sont montés sur les supports 150 de façon à rouler dans les che- mins 118, 122. Les chemins de guidage 118, 122 sont sem- blables aux chemins de guidage 17, 18, 21, 22 représentés sur les Fig 1 à 5 et décrits ci-dessus Les chemins de guidage 118, 122 sont constitués par des rainures allongées formées dans les organes de guidage 116, 120 Le chemin de guidage 122 comporte une partie proximale 122 a qui est ad- jacente à l'ouverture 112 et s'étend vers-l'arrière en s'é- loignant de l'ouverture 112 Du fait qu'il n'y a qu'un che- min de guidage par côté, la partie proximale 122 a du che- min de guidage 122 est adjacente au centre de l'organe de fermeture 140 Le chemin de guidage 122 comporte, en outre, une partie distale 122 b qui s'étend latéralement en s'éloi- gnant de l'ouverture 112 et une partie incurvée 122 c qui relie entre elles la partie proximale 122 a et la partie distale 122 b Les parties 122 a, 122 b, 122 c se combinent pour former un trajet continu, ininterrompu, exempt de brusques changements de direction ou de vitesse entre la position fermée et la position ouverte. Le chariot 126 comporte un corps 166 sur les côtés opposés duquel sont montés des galets 168 Les chemins de guidage 130, 131 peuvent être constitués par des rainures formées dans les organes de guidage 120, 116 Les galets 168 sont positionnés de façon à rouler dans les chemins de gui- dage 130, 131 Le chariot 126 comprend, en outre, un support d'articulation 170 articulé à la biellette 128 par un axe 172 et un support d'articulation 171 articulé à la biellette 129 par un axe 173 Les biellettes 128 et 129 sont parallè- les et ont des longueurs égales Ainsi, lorsque l'obturateur se déplace entre la position fermée et la position ouverte, il reste parallèle au plan de l'ouverture 112 En fonctionnement, l'obturateur 114 se dé- place entre la position fermée, telle que représentée sur les Fig 6 à 8, et la position ouverte, suivant un trajet défini par les chemins de guidage 118, 122 L'obturateur 114 est actionné par le chariot 126 qui se déplace suivant un trajet défini par les chemins de guidage 130, 131 et qui exerce une force sur l'obturateur 114 par l'intermédiaire de la biellette 128 Le déplacement de l'obturateur 114 et du chariot 126 entre la position fermée et la position ou- verte est le même que celui décrit ci-dessus en se référant à la vanne à vide représentée sur les Fig 1 à 5 Les élé- ments de la vanne ne sont soumis à aucune charge de choc et la bague d'étanchéité torique n'est l'objet d'aucune dété- rioration provoquée par un frottement La biellette 129 est utilisée pour stabiliser l'obturateur 114 dans un plan pa- rallèle à l'ouverture 112 et n'est pas un organe de sup- 1 o port de charge. Les chemins de guidage qui guident l'obtura- teur dans chacun des modes de réalisation décrits ci-dessus comportent des parties incurvées qui relient entre elles une partie proximale et une partie distale La partie incur- vée du chemin de guidage assure une transition exempte de brusques changements de direction et de vitesse entre le mouvement vers l'arrière en s'éloignant de l'ouverture et le mouvement latéral en s'éloignant de l'ouverture Bien qu'une courbe continue quelconque convienne, une partie d'arc de cercle est préférée pour un fonctionnement à gran- de vitesse Le rayon de courbure est un facteur important pour limiter la force d'accélération ou de décélération ap- pliquée à l'ensemble pendant le fonctionnement à grande vi- tesse Un petit rayon de courbure a pour résultat d'imposer un plus grand effort à l'ensemble lorsqu'il franchit la par- tie incurvée Bien qu'on ait représenté les chemins de gui- dage comme étant constitués par des rainures allongées, il apparait clairement aux techniciens qu'on peut utiliser d'autres types de chemins de guidage sans sortir du cadre de l'invention En outre, il n'est pas nécessaire que la partie distale des chemins de guidage, à savoir la partie qui guide l'obturateur latéralement en s'éloignant de l'ou- verture soit parallèle à l'ouverture Il suffit que la par- tie distale du chemin guide l'obturateur latéralement en s'éloignant de l'ouverture de façon que, dans la position ouverte, l'obturateur n'obstrue pas l'ouverture La partie proximale du chemin est, de préférence, perpendiculaire, ou à peu près perpendiculaire, au plan de l'ouverture, de fa- çon à éviter la détérioration par frottement et l'usure de la bague d'étanchéité torique lorsque l'organe de fermeture entre en contact avec la périphérie de l'ouverture. Dans un exemple d'une vanne à vide à fonction- nement rapide construite conformément au mode de réalisation des Fig 1 à 5, l'ouverture 12 avait un diamètre d'environ cm, le rayon R des parties incurvées 21 c, 22 c était de 14,22 mm et la vitesse de fonctionnement était de 0,5 se- l conde Avec le rayon R de 14,22 mm, l'accélération du mé- canisme est limitée à approximativement un "g" Cette vanne a été essayée avec succès pendant plus d'un million d'opéra- tions et n'a nécessité que le remplacement des bagues d'é- tanchéité toriques après chaque série de 500 000 opérations. Ainsi, l'invention réalise une vanne à vide à fonctionnement rapide dans laquelle la charge de choc du mécanisme est évitée et dans laquelle l'usure par frottement de la bague d'étanchéité torique est évitée La configura- tion permet un fonctionnement à grande vitesse de la vanne, c'est-à-dire en fonctionnement en moins d'une seconde En outre, la configuration permet d'obtenir un fonctionnement extrêmement fiable pendant une longue durée d'utilisation. REVENDICATIONS 1 Vanne à vide à fonctionnement rapide ca- ractérisée en ce qu'elle comprend: un corps ( 10, 110) dans lequel est formée une ouverture ( 12, 112), un organe de fer- meture ou obturateur ( 14, 114) pour obturer ladite ouverture, des moyens ( 17, 18, 21, 22; 118; 122) formant voies de gui- dage, agencés pour guider l'obturateur entre une position fermée et une position ouverte, lesdits moyens formant voies de guidage comprenant une partie proximale ( 21 a, 22 a; 122 a) adjacente à l'ouverture et qui s'étend vers l'arrière en s'éloignant de l'ouverture, une partie distale ( 21 b, 22 b; 122 b) qui s'étend latéralement en s'éloignant de ladite ou- verture et une partie incurvée ( 21 c, 22 c; 122 c) qui relie entre elles les parties proximale et distale, lesdits moyens formant voies de guidage guidant l'obturateur de manière à assurer un mouvement exempt de brusques changements de di- rection ou de vitesse, et des moyens d'actionnement ( 26, 126) pour exercer une force sur l'obturateur de manière à déplacer ce dernier suivant un trajet défini par les moyens formant voies de guidage entre lesdites positions ouverte et fermée. 2 Vanne selon la revendication 1, caracté- risée en ce que la partie proximale ( 21 a, 22 a; 122 a) des moyens formant voies de guidage est approximativement per- pendiculaire au plan de ladite ouverture ( 12; 112). 3 Vanne selon la revendication 1, caracté- risée en ce que ladite partie incurvée ( 21 c, 22 c; 122 c) des moyens formant voies de guidage a dans son ensemble la for- me d'une partie d'arc de cercle. 4 Vanne selon la revendication 1, caracté- risée en ce que la partie distale ( 21 b, 22 b; 122 b) est ap- proximativement parallèle au plan de ladite ouverture ( 12; 112). Vanne selon la revendication 2, caracté- risée en ce que les moyens d'actionnement comprennent un cha- riot ( 26; 126) adapté pour pouvoir se déplacer parallèlement à ladite partie distale ( 21 b, 22 b; 122 b) et une tringlerie pour assembler de manière articulée le chariot à l'organe de fermeture ( 14; 114). 6 Vanne selon la revendication 5, caracté- risée en ce que ladite trinclerie comprend deux biellettes ( 28, 29; 128, 129) parallèles, espacées l'une de l'autre, articulée chacune sur l'obturateur ( 14, 114) et sur le cha- riot ( 26; 126), de sorte que l'obturateur reste parallèle au plan de l'ouverture ( 12; 112) pendant le déplacement en- tre la position fermée et la position ouverte. 7 Vanne selon la revendication 6, caracté- risée en ce que le chariot ( 26; 126), pendant l'actionnement de l'obturateur ( 14; 114) jusqu'à la position fermée, se dé- place au-delà d'un point correspondant à la position fermée, de manière à verrouiller l'obturateur dans la position fer- mée. 8 Vanne selon la revendication 1, caracté- risée en ce que les moyens formant voies de guidage compren- nent un organe de guidage ( 16, 20; 116, 120), les parties proximale, distale et incurvée desdits moyens formant voies de guidage étant constitués par une rainure allongée formée dans ledit organe de guidage. 9 Vanne à vide à fonctionnement à grande vi- tesse caractérisée-en ce qu'elle comprend: un corps ( 10; ) dans lequel est formée une ouverture ( 12; 112); un or- gane de fermeture ou-obturateur ( 14; 114) pour obturer ladi- te ouverture; deux organes de guidage ( 16, 20; 116, 120) dis- posés sur les côtés opposés de l'obturateur et adaptés pour guider l'obturateur entre une position fermée et une posi- tion ouverte, chaque organe de guidage comportant une voie de guidage ( 17, 18, 21, 22; 118, 122), chaque voie de guida- ge comportant une partie proximale ( 21 a,-22 a; 122 a) qui est adjacente à ladite ouverture et qui s'étend vers l'arrière en s'éloignant de ladite ouverture, une partie distale ( 21 b, 22 b; 122 b) qui s'étend latéralement en s'éloignant de ladite ouverture et une partie incurvée ( 21 c, 22 c; 122 c) qui relie entre elles lesdites parties proximale et distale, les voies de guidage guidant l'obturateur de façon à assurer un mouve- ment exempt de brusques changements de direction et de vi- tesse; et des moyens d'actionnement ( 26; 126) pour exercer une force sur l'obturateur de manière à déplacer cet obtura- teur suivant un trajet défini par les voies de guidage entre lesdites positions ouverte et fermée. Vanne selon la revendication 9, caracté- risée en ce que chacune des voies de guidage est constituée par une rainure allongée ( 17, 18, 21, 22; 118, 122) formée dans l'organe de guidage ( 16, 20; 116, 120). 11 Vanne selon la revendication 9, caracté- risée en ce que la partie proximale (telle que 21 a, 22 a; 122 a) de chaque chemin de guidage ( 17, 18, 21, 22; 118, 122) est approximativement perpendiculaire au plan de l'ouvertu- re ( 12; 112). 12 Vanne selon la revendication 10, carac- térisée en ce que l'obturateur ( 14; 114) comporte des galets ( 54; 154) montés de façon à coopérer avec les dites rainures de manière à assurer un mouvement de roulement de l'obtura- teur le long des rainures. 13 Vanne selon la revendication 12, carac- térisée en ce que lesdits moyens d'actionnement comprennent un chariot ( 26; 126) adapté pour se déplacer parallèlement à ladite partie distale ( 21 b, 22 b; 122 b) et une tringlerie ( 28; 128) pour articuler le chariot sur l'obturateur. 14 Vanne selon la revendication 9, caracté- risée en ce que ladite partie incurvée ( 21 c, 22 c; 122 c) de chaque voie de guidage a dans son ensemble la forme d'une partie d'un arc de cercle. Vanne selon la revendication 14, carac- térisée en ce que ladite partie distale ( 21 b, 22 b; 122 b) de chaque voie de guidage est approximativement parallèle au plan de ladite ouverture ( 12; 112). 16 Vanne selon la revendication 15, carac- térisée en ce que les organes de guidage ( 16, 20; 116, 120) sont assemblés à des parois opposées du corps ( 10; 110). 17 Vanne selon la revendication 16, carac- térisée en ce que chaque organe de guidage comporte, en ou- tre, une voie de guidage ( 30, 31; 120, 131) pour guider le chariot ( 26, 126). 18 Vanne selon la revendication 17, carac- térisée en ce que le chariot ( 26; 126) pendant l'actionne- ment dudit obturateur ( 14, 114) jusqu'à la position fermée, se déplace au-delà d'un point correspondant à la dite posi- tion fermée de manière à verrouiller l'obturateur dans cet- te position. 19 Vanne à vide à fonctionnement à grande vitesse caractérisée en ce qu'elle comprend: un corps ( 10; ) dans lequel est formée une ouverture ( 12; 112); un or- gane de fermeture ou obturateur ( 14; 114) pour obturer la- dite ouverture; le corps comprenant deux parois disposées sur les côtés opposés de l'obturateur, et adaptées pour gui- der l'obturateur entre une position fermée et une position ouverte, chaque paroi comportant une voie de guidage ( 17, 18, 21, 22; 118, 122) comprenant une partie proximale ( 21 a, 22 a; 122 a) adjacente à ladite ouverture et qui s'étend vers l'arrière en s'éloignant de l'ouverture, une partie distale ( 21 b, 22 b; 122 b) qui s'étend latéralement en s'éloignant de ladite ouverture et une partie incurvée ( 21 c, 22 c; 122 c) qui relie entre elles les dites parties proximale et distale, les voies de guidage guidant l'obturateur de façon à assurer un mouvement exempt de brusques changements de direction et de vitesse; et des moyens d'actionnement ( 26; 126) pour exer- cer une force sur ledit obturateur de manière à déplacer ce- lui-ci suivant un trajet défini par les voies de guidage en- tre lesdites positions ouverte et fermée-. Vanne-selon la revendication 19, carac- térisée en ce que la partie proximale ( 21 a, 22 a; 122 a) de chaque voie de guidage ( 17, 18, 21, 22; 118, 122) est appro- ximativement perpendiculaire au plan de l'ouverture ( 22; 112). 21 Vanne selon la revendication 20, carac- térisée en ce que la partie incurvée ( 21 c, 22 c; 122 c) de chaque voie de guidage a dans son ensemble la forme d'une partie d'un arc de cercle. 22 Vanne selon la revendication 21, carac- térisée en ce que chacune des voies de guidage est consti- tuée par une rainure allongée formée dans ladite paroi et en ce que l'obturateur ( 14; 114) comporte des galets ( 54; 154) montés de façon à coopérer avec lesdites rainures de façon à permettre un mouvement de roulement de l'obturateur le long desdites rainures.