Brevet FR2523800A1 — publié le 19830923

La présente invention concerne d'une façon générale le domaine de l'usinage électrochimique de pièces et a notamment pour objet un procédé de fabrication de circuits imprimés, ainsi que les circuits imprimés obtenus par ledit procédé. L'invention est avantageusement utilisable notamment dans la production en masse de circuits imprimés de grande précision à éléments multiples, destinés principalement aux calcfllatrices électroniques et appareils radio-électroniques. Un circuit imprimé est constitué par une pluralité de conducteurs plats de différentes formes et dimensions, disposés sur une plaque-support diélectrique plate. De tels circuits se fabriquent à partir d'ébauches sous forme de support diélectrique à revêtement conducteur continu, par exemple en "textolite" (stratifié tissu) ou en carton bakélisé. Les conducteurs du circuit imprimé sont formés en enlevant les parties superflues du revêtement conducteur d'une telle ébauche. La tendance générale à la réduction de l'encombrement des appareillages radio-électroniques nécessite une augmentation de la densité du câblage imprimé, ce qui ne peut êtreobtenu qu'en diminuant la largeur des conducteurs du circuit imprimé, de m#me que les intervalles entre les conducteurs voisins. En même temps, il est nécessaire d'exclure les ruptures des conducteurs étroits et l1appara- tion entre eux de courts-circuits pouvant être provoqués par des déformations des conducteurs. Ainsi, avec l'augmentation de la densité du câblage imprimé, se pose le problème d'élever la précision de fabrication des circuits imprimés. Ce problème est encore plus délicat quand il s'agit de circuits imprimés destinés àla construction de dispositifs ultra-hertziens dans lesquels les écarts de forme & de dimensions des conducteurs du circuit imprimé peuvent provoquer des distorsions du signal transmis et la formation de couplages parasites. De ce fait, l'augmentation de la précision de fabrication des circuits imprimés est l'un des principaux problèmes d'ordre technologique qui se posent dans la technologie moderne de l'industrie radio-électronique. On connait un procédé de fabrication de circuits imprimés par attaque chimique du revêtement conducteur d'une ébauche à travers un masque obtenu par la méthode de photolithographie (Iou. P. Dolgouchine "Technologie de la construction d'appareils de contrôle et de mesure, "#chinostroienie", Moscou, 1978). Ce procédé est actuellement le plus répandu dans la production des circuits imprimés. Ce procédé implique cependant des dépenses considérables de travail du fait qu'il comporte un grand nombre d'opérations technologiques. Pour réaliser ce procédé, on a besoin d'un équipement spécial qui occupe une zone de production importante. De plus, dans le processus technologique selon ce procédé, on emploie divers réactifs chimiques, notamment des solvants organiques, des agents oxydants, etc., dont certains sont toxiques, ce qui rend nécessaires des mesures supplémentaires pour assurer la sécurité du personnel de service. On connais également utrocédé de fabrication de circuits imprimés par attaque électrodh*dque d'un revêtement conducteur sur le support diélectrique d'une ébauche qui est animée d'un mouvement relatif par rapport à une électrode cylindrique tournante, celle-ci comportant des portions non conductrices sous forme d'enfonçures réalisées sur sa surface cylindrique, enfonçures dont la forme correspond à celle des conducteurs du circuit imprimé à confectionner (brevet U.S.A. NO 3239441, cl. 204-143,publié en 1966). Selon ce procédé, on fait rouler l'électrode cylindrique par rapport à l'ébauche animée d'un mouvement de translation, avec un jeu de l'ordre de 0,1mm entre la surface cylindrique de l'électrode et la surface cylindrique de l'électrode et la surface, orientée vers celle-ci, du revêtement conducteur de l'ébauche. On introduit dans ce jeu un électrolyte et on applique à l'électrode et au revêtement conducteur de l'ébauche une tension suffisante pour la circulation d'un courant de dissolution anodique. De cette façon, on élimine les portions superflues du revêtement conducteur de 11 ébauche en formant ainsi les conducteurs du circuit imprimé, qui correspondent, quant à leur forme, aux portions non conductrices de l'électrode cylindrique. Au cours de ce travail, l'électrode ne s'use presque pas et peut être employé pour la fabrication de plusieurs milliers de circuits imprimés d'un même type. Pour chaque type de circuit imprimés il faut employer une électrode cylindrique spéciale qui lui est propre. Ce procédé est simple en comparaison du procédé photolithographique décrit précédemment, exige moins d'équipements et permet la conduite du processus sans recours à des agents toxiques. Cependant, ce procédé n'assure pas une haute précision des circuits imprimés fabriqués, du fait que le jeu électrochimique relativement grand entre l'électrode et l'ébauche ne permet pas de localiser suffisamment l'action de l'attaque. Pour cette raison, la forme des conducteurs du circuit imprimé est reproduite avec des déformations par rapport à celle des portions non-conductrices (enfonçures) de l'électrode cylindrique. De plus, ce jeu relativement grand entraînant une faible localisation de l'attaque, conduit à un mordançage de la surface du revêtement conducteur de l'ébauche et des conducteurs déJà formés, en abaissant ainsi davantage la précision de fabrication du circuit imprimé. En outre, l'impossiblité de réduire l'intervalle d'attaque électrochimique limite le rendement du procédé. Par conséquent, la présente invention vise un procédé de fabrication de circuits imprimés par attaque électrochimique dans lequel, lors du mouvement relatif de translation de l'ébauche par rapport à l'électrode cylindrique tournante, elles seraient disposées l'une par rapport à l'autre de manière à localiser le processus d'attaque, en assurant ainsi uneglus grande précision de fabrication des circuits imprimés et un accroissement de la productivité en comparaison des procédés connus. Ce but est atteint gr ce à un procédé de fabrication de circuits imprimés par attaque électrochimique d'un revêtement conducteur sur un support diélectrique d'ébauche au cours du mouvement relatif de l'ébauche et d'une électrode cylindrique tournante comportant des portions non-conductrices sous forme d'enfonçures réalisées sur sa surface cylindrique, enfonçures dont la forme correspond à celle des conducteurs du circuit imprimé à réaliser, caractérisé, suivant l'invention, en ce que lors du déplacement relatif de l'ébauche et de l'électrode cylindrique tournante, on dispose la partie, tournée vers l'ébauche, de la surface cylindrique de l'électrode, par rapport à la surface, tournée vers l'électrode, du support diaectrique de l'ébauche, à un niveau qui se trouve dans les limites de l'épaisseur du revttement conducteur de l'ébauche. Une telle disposition relative de l'électrode et de l'ébauche permet de réduire le Jeu électrochimique entre la suface cylindrique de l'électrode et la surface en bout (latérale), soumise à l'attaque, du revêtement conducteur de l'ébauche. Ce Jeu réduit contribue à la localisation de l'attaque, à un accroissement du rendement et, ce qui est particulièrement important, à une augmentation de la précision de fabrication des circuits imprimés. Il y a intérêt à ce que la partie tournée vers l'ébauche de la surface cylindrique de l'électrode soit disposée, par rapport à la surface tournée vers l'électrode du support diélectrique de l'ébauche, à un niveau coincidant avec la surface du revêtement conducteur, tournée vers le support diélectrique de l'ébauche. Dans ce cas, l'électrode roule directement sur la surface du support diélectrique. Une telle disposition relative de l'électrode cylindrique et de l'ébauche est la plus avantageuse pour un diamètre relativement faible de l'électrode (de l'ordre de 50 à 60 mm ou moins). Dans ces conditions, il est possible d'assurer une précision maximale de fabrication du circuit imprimé et d'accrottre au maximum le rendement du processus grâce à la valeur minimale du jeu électrochimique. Il y a également intérêt à ce que, lors du déplacement relatif de l'ébauche et de l'électrode cylindrique tournante, les conducteurs du circuit imprimé en cours de fabrication soient recouverts d'une matière élastique souple, remplissant les enfonçures de l'électrode cylindrique et faisant partiellement saillie par rapport à sa surface cylindrique, et que l'électrode soit appliquée contre l'ébauche avec une force suffisante pour déformer la matière élastique souple sur la hauteur de la partie saillante, celle-ci étant définie à partir de la relation suivante h+D= où h est la hauteur de la matière élastique souple disposée en saillie par rapport à la surface cylindrique de l'électrode D est le diamètre de l'électrode cylindrique p est la largeur de la zone d'attaque. En se déformant, la matière élastique souple met efficacement les conducteurs du circuit imprimé en cours de fabrication à l'abri de l'action de l'électrolyte, en évitant ainsi leur mordançage et en assurant une haute précision du circuit imprimé fabriqué. Il y a intérêt à ce que, lors du déplacement relatif de l'ébauche et de l'électrode cylindrique tournante, celle-ci étant pourvue de canaux longitudinaux intérieurs uniformément répartis suivant une circonférence par rapport à son axe de rotation et communiquant avec des rangées longitudinales de trous débouchant à la surface de l'élec- trode, l'électrolyte soit introduit tour à tour dans celui des canaux longitudinaux qui communique avec la rangée longitudinale de trous se trouvant dans la zone d'attaque. Ceci permet de renforcer la localisation du processus d'attaque en affaiblissant de ce fait le mordançage des conducteurs en cours de formation et en augmentant encore la précision de fabrication du circuit imprimé. Il est avantageux, simultanément avec l'introduction de l'électrolyte dans le canal longitudinal communiquant avec la rangée longitudinale de trous se trouvant dansla zone de l'attaque, d'admettre de l'air comprimé dans les deux canaux longitudinaux voisins du canal en question. Ceci améliore encore plus la localisation du precessus d'attaque en empêchant l'étalement de ltélectrolyte stur la surface du revêtement conducteur de l'ébauche, grâce à quoi la précision de fabrication de la plaquette à circuit imprimé devient encore plus poussée. L'invention sera mieux comprise et d'autres buts, détails et avantages de celle-ci apparattront mieux à la lumière de la description explicative qui va suivre de différents modes de réalisation donnés uniquement à titre d'exemplesnon limitatifs, avec références aux dessins non limitatifs annexés dans lesquels - la figure 1 représente le schéma du processus technologique de fabrication du circuit imprimé selon l'invention - la figure 2 représente le schéma de disposition relative de I'électrode cylindrique et de l'ébauche selon l'invention - la figure 3 montre le schéma de disposition relative de l'électrode cylindrique et de l'ébauche pour le cas où l'électrode est disposée à un niveau coïncidant avec la surface du revetement conducteur, tournée vers le support diélectrique - la figure 4 montre le schéma du processus technologique de fabrication du circuit imprimé avec emploi d'une électrode cylindrique dont les creux sont remplis d'une matière élastique souple - la figure 5 montre, à échelle agrandie, la zone d'attaque pour le procédé dont le schéma technologique est représenté sur la figure 4 - la figure 6 représente le schéma technologique avec emploi d'une électrode cylindrique dans laquelle des canaux longitudinaux intérieures sont prévus pour l'amenée de l'électrolyte - la figure 7 montre, à échelle agrandie, la zone d'attaque pour le procédé dont le schéma technologique est représenté sur la figure 6, avec en plus l'amenée d'air. comprimé dans les canaux longitudinaux de l'électrode. Pour la fabrication de circuits imprimés, conformément à 1' Ilvention, ai fabrique au préalable une électrode cylindrique comportant des portions non-conductrices réalisées sous forme d'enfonçures sur la surface cylindrique, enfonçures dont la forme correspond à celle des conducteurs du circuit imprimé. Le diamètre de l'électrode cylindrique doit être multiple de la longueur du circuit imprimé à fabriquer, & la longueur de ltélectrode, multiple de la largeur du circuit imprimé. Les enfonçures sur la surface cylindrique de l'électrode sont obtenues par un procédé connu quelconque, par exemple en copiant par électro-érosion un modèle plat du circuit imprimé.La profondeur des enfonçures doit être suffisante pour éviter que lesdites portions ne soient parcourues par un courant de dissolution anodique au cours de l'attaque électrochimique ultérieure. On prépare ensuite une ébauche constituée par un support diélectrique recourvertd'un côté d'un revêtement conducteur. On découpe l'ébauche aux dimensions du circuit imprimé à fabriquer, par exemple dans un stratifié à fibres de verre en feuilles minces. On monte l'électrode cylindrique fabriquée et l'ébauche préparée sur une machine d'usinage électrochimique, on applique une tension entre l'électrode et le revêtement conducteur de l'ébauche, on introduit l'élêctrolyte dans l'espace entre l'électrode et l'ébauche et on forme les conducteurs du circuit imprimé par attaque électrochimique pendant le déplacement relatif de l'ébauche et de ltélec- trode cylindrique tournante. Dans ce système, on peut faire tourner l'électrode et donner à l'ébauche un mouvement de translation par rapport à l'électrode, ou bien on peut imprimer à l'électrode des mouvement de rotation et de translation par rapport à l'ébauche immobile. Lors du déplacement relatif de l'ébauche et de l'élec- trode cylindrique tournante, on fait en sorte qu'une partie de la surface cylindrique de l'électrode, notamment celle qui est tournée vers l'ébauche, soit disposée, par rapport à la surface du support tournée vers l'électrode, àun niveau situé dans les limites de l'épaisseur du revêtement conducteur. De cette manière, le Jeu entre l'électrode et le support de l'ébauche est rendu inférieur à l'épaisseur du revêtement conducteur de l'ébauche. Les conducteurs en cours de fabrication entrent alors darses creux de l'électrode cylindrique. Le Jeu électrochnimique est ménagé du côté en bout (face latérale) du revêtement conducteur. L'usinage s'effectue en une seule passe en régime asservi. Lorsque des courts-circuits préliminaires surviennent, on fait reculer l'électrode et l'ébauche en sens inverse et, ayant rétabli le régime technologique de attaque, on continue l'usinage dans le sens direct. On obtient ainsi un circuit imprimé fini avec des conducteurs précis dont la forme et les dimensions correspondent à la forme et aux dimensions des creux sur la surface cylindrique de l'électrode. En cas de fabrication de circuits imprimés de dimensions relativement faibles, pour lesquels on emploie une électrode cylindrique d'un diamètre de l'ordre de 50 à 60 mm, on dispose la partie, tournée vers l'ébauche, de la surface cylindrique de l'électrode, par rapport à la surface, tournée vers l'électrode, du support diélectrique de l'ébauche, à un niveau coïncidant avec la surface, tournée vers le support diélectrique, du revêtement conducteur de l'ébauche,c'est-à-dire qu'on roule l'électrode cylindrique directement sur la surface du support d#Lectri- que. Selon l'un des modes de réalisation du procédé, afin d'éviter tout mordançage des conducteurs en cours de fabrication, on remplit au#réalable les creux de l1électro- de cylindrique d'une matière élastique souple de manière telle que cette matière fasse partiellement saillie audessus de la surface cylindrique de l'électrode Jusqu'à une hauteur déterminez par la relation h+D= où h est la hauteur de la partie de la matière élastique souple disposée en saillie par rapport à la surface cylindrique de l'électrode D est le diamètre de l'électrode cylindrique p est la largeur de la zone d'attaque, c'est-à-dire de la zone dans laquelle, aux régimes d'usinage choisis, l'intensité du courant entre l'électrode et le revêtement conducteur de l'ébauche est encore suffisante pour la dissolution ou le mordançage du revêtement conducteur. Lors du déplacement relatif de l'ébauche et de l'électro- cylindrique tournante, réalisée comme décrit ci-dessus, on applique l'électrode contre l'ébauche avec une force suffisante pour provoquer une déformation de la matière élastique souple sur la hauteur de la partie saillante, si bien que les conducteurs du circuit imprimé en cours de fabrication sont touJours recouverts, dans la zone d'attaque, par la matière élastique souple, en assurant ainsi leur blindage efficace contre l'action du processus de dissolution électrochimique. Dans certains cas, afin de localiser l'attaque et affaiblir le mordançage des conducteurs du circuit imprimé, on emploie une électrode cylindrique dans laquelle sont prévus des canaux longitudinaux intérieurs également répartis suivant une circonférence autour de son axe de rotation, ces canaux communiquant avec des rangées longitudinales de trous (ou avec des fentes longitudinales) débouchant à la surface de l'électrode. Lors du travail avec une telle électrode au cours de la fabrication du circuit imprimé, on admet l'électrolyte tour à tour, à l'aide d'un dispositif distributeur , dans l'un des canaux longitudinaux communiquant avec la rangée longitudinale de trous qui se trouvent dans la zone d'attaque, si bien que l'électrolyte arrive directement dans la zone d'attaque. Pour éviter l'étalement de l'électrolyte sur la surface de l'ébauche, en même temps qu'on introduit l'électro- lyte dans ledit canal longitudinal, on débite de l'air comprimé dans les deux canaux longitudinaux voisins. L'air comprime le Jet d'électrolyte de sorte que l'attaque se produit dans une bande étroite (une raie). On assure de cette manière une localisation maximale de l'attaque et une grande précision de fabrication des circuits imprimés. On peut également utiliser différentes combinaisons des modes décrits de réalisation du procédé. Par exemple, on peut réaliser une électrode cylindrique comportant les canaux longitudinaux décrits plus haut et remplir les creux d'une matière élastique souple. Dans ce cas, pendant la fabrication des circuits imprimés, on assure à la fois une amenée localisée de l'électrolyte, confinée par l'air comprimé, et une protection des conducteurs du circuit imprimé en cours de formation. On peut aussi bien fabriquer les circuits imprimés dans des ébauches à revêtement conducteur double face, en prévoyant deux électrodes disposées des deux cOtés de l'ébauche. Exemple 1 Pourréaliser des circuits imprimés conformément à l'invention, on a utilisé une ébauche mesurant 350x100 mm avec un support diélectrique I (figures1 et 2) en stratifié à fibres de verre et un revêtement conducteur 2 en feule de cuivre. L'épaisseur du support était de 1000pm, et l'épaisseur du rev#tement, de 50puy. L'électrode cylindrique 3 de 100 mm de longueur et de 120 mm de diamètre avait sur sa surface cylindrique des enfonçures 4 de 3 mm de profondeur, formant des portions non-conductrices dont la forme correspondait à celle des conducteurs 5 du circuit imprimé à réaliser (la fabrication de l'électrode 3 n'est pas représentée sur le dessin).On a monté l'ébauche horizontalement, revêtement conducteur 2 vers le haut, et on a placé l'électrode cylindrique 3 à droite au-dessus d'elle. On a appliqué une tension de 10 V entre l'électrode 3 et le revêtement conducteur 2 de l'ébauche, en reliant le pôle positif d'une source 6 de tension au revêtement conducteur 2, et le pôle négatif, à l'électrode 3. Du côté gauche, on a introduit dans l'espace entre l'électrode 3 et l'ébauche un électrolyte venant d'une chambre 7 munie d'une fente de guidage 8. Comme électrolyte on a employé une solution aqueuse à 10 % de KN03. On a disposé l'électrode 3 et l'ébauche de telle manière, l'une par rapport à l'autre, que la partie, tournée vers l'ébauche, de la surface cylindrique de l'électrode 3 se situé à un niveau de 33y m par rapport à la surface, tournée vers l'électrode 3, du support diélectrique 1. On a commencé l'usinage par la face en bout du revêtement conducteur 2, en faisant ensuite pénétrer l'électrode 3 dans le revêtement 2 avec un jeu électrochimique 9 minimal admissible de 0,04 mm. En faisant tourner l'électrode 3 en sens contraire de celui des aiguilles d'une montre et en imprimant à l'ébauche un mouvement de translation vers la droite par rapport à l'électrode 3, on a formé par attaque électrochimique les conducteurs 5 du circuit imprimé à fabriquer. Le déplacement relatif de l'ébauche et de l'électrode tournante 3 était synchronisé. La vitesse du déplacement relatif a été déterminée en fonction de la vitesse d'attaque, qui était de 50 mm/minute. En procédant comme décrit ci-dessus, on a obtenu, en une seule passe de l'électrode 3, un circuit imprimé fini avec une précision de +0,15 mm. Exemple 2 Pour fabriquer un circuit imprimé de plus faible encombrement, on a utilisé une ébauche en stratifié tissu cuivré, mesurant 180x80 mm, l'épaisseur du support diélectrique 1 (figure 3) étant de 500P m, et celle du revêtement conducteur 2, de 35#m. m.L'électrode cylindrique 3 de 80 mm de longueur et de 60 mm de diamètre comportait des enfonçures 4 de 1,5 mm de profondeur ( la fabrication de l'électrode n'est pas représentée sur le dessin) On a monté I'électrode cylindrique 3 de telle manière que la partie, tournée vers l'ébauche, de la surface cylindrique de l'6lectrode 3 soit disposée, par rapport à la surface, tournée vers l'électrode 3, du support diélectrique 1 de l'ébauche, à un niveau coïncidant avec la surface de revêtement conducteur 2, tournée vers le support diélectrique 1 de l'ébauche. Dans ce cas, l'électrode 3 roulait directement sur la surface du support diélectrique 1 avec un jeu électrochimique de 0,02 mm. La tension appliquée entre l'électrode 3 et le revêtement conducteur 2 était dans ce cas de 8 V.Comme électrolyte, on a employé une solution aqueuse à 10 % de HN03. La vitesse du déplacement relatif de l'ébauche et de l'électrode tournante 3 ét t de 75 mm/min. Dans ce cas, la précision de fabrication était de 0,11 mm et le rendement était augmenté d'une fois et demie par rapport à l'exemple 1. Exemple 3 Dans un autre cas de fabrication de circuits imprimés, on a utilisé une électrode cylindrique 3 (figures4 et' 5) comportant des enfonçures 4 remplies au préalable d'une matière élastique souple 10 (caoutchouc) faisant partiellement saillie par rapport à la surface cylindrique de l'électrode 3 (lafabrication de l'électrode cylindrique 3 n'est pas représentée sur le dessin). L'électrode avait les dimensions suivantes : longueur 100 mm, diamètre 120 mm, profondeur des creux 3 mm.La hauteur de la partie saillante de la matière élastique souple 10 (pour une largeur de la zone d'attaque p de 20 mm) a été définie à partir de la relation Les dimensions de l'ébauche du circuit étaient de 350x100 mm; l'épaisseur du support diélectrique 1 était de 1000 m, m,et l'épaisseur du revêtement conducteur, de 50 m/. Lors du déplacement relatif de l'ébauche et de l'électrode cylindrique tournante 3, les conducteurs 5 du circuit imprimé étaient recouverts, au cours de leur formation, de caoutchouc 10 qui remplissait les creux 4 de l'électrode 3. On appliquait constamment l'électrode 3 contre l'ébauche avec une force G = 147 kPa ou 1,5 kg/cm2, suffisante pour produire une déformation du caoutchouc sur la hauteur de la partie saillante, soit sur la hauteur de 1 mm. La tension entre l'électrode 3 et le revêtement conducteur 2 était dans ce cas égale à 12V. On a employé comme électrolyte une solution aqueuse à 10 96 de KN03. La vitesse du déplacement relatif de l'électrode 3 et de l'ébauche était égale à 50 mm/min. Le caoutchouc 10, qui se déformait dans la zone d'attaque sous l'action de la force de pression, blindait efficacement les conducteurs 5 du circuit imprimé en cours de fabrication contee l'action de l'électrolyte. L'examen d'échantillons expérimentaux des circuits imprimés confectionnés selon la technologie de cet exemple a montré que le blindage par le caoutchouc empêche de façon pratiquement complète le mordançage des conducteurs 5 du circuit imprimé pendant sa fabrication. La précision de fabrication du circuit imprimé était de i 0,07 mm. Exemple 4 Les dimensions de l'ébauche du circuit imprimé à fabriquer étaient de 350x100 mm, l'épaisseur du support diélectrique 1 (figure 6) était égale à 1000#m, et l'épaisseur du revêtement 2, à 50pU m. Une électrode cylindrique 3 de 120 mm de diamètre et de 100 mm de longueur, comportant sur sa surface cylindrique des enfonçures 4 de 3 mm de profondeur, comportait en plus des canaux longitudinaux intérieurs 11, au nombre de 21, uniformément répartis suivant une circonférence par rapport à l'axe de rotation de l'électrode 3, à une distance de 10 mm de la surface cylindrique de l'électrode 3 (la fabrication de l'électrode n'est pas représentée sur le dessin). Chacun des canaux longitudinaux Il communiquait avec une rangée longitudinale correspondante de trous 12 débouchant à la surface de l'électrode 3. Chaque rangée avait 5 trous 12 de 1 mm de diamètre. L'attaque s'effectuait sous une tension entre l'électrode 3 et le revêtement conducteur 2 égale à 10 V. La vitesse du déplacement relatif de l'électrode 3 et de l'ébauche était de 75 mm/min. Comme électrolyte, on a employé une solution aqueuse à 10 % de KN03. Lors du déplacement relatif de l'ébauche et de l'élec- trode cylindrique tournante 3, on a inJecté 11 électrolyte à travers un dispositif distributeur 13 tour à tour dans l'un des canaux longitudinaux 11 communiquant avac la rangée longitudinale de trous 12 qui se trouvaient dans la zone d'attaque. Le dispositif. distributeur 13 assurait une commutation automatique des canaux longitudinaux Il pendant la rotation de l'électrode 3. Cela a permis de localiser la zone d'attaque et, par suite, d'obtenir des circuits imprimés avec une précision de i 0,05 mm. La productivité s'est accrue ici d'une fois et demie en comparaison de l'exemple 1. Exemple 5 Les dimensions de l'ébauche du circuit imprimé à fabriquer étaient de 350x100 mm, l'épaisseur du support diélectrique 1 (figure 7)était égale à 1000,LLm, et celle du revêtement 2, à 50ywm. L'électrode cylindrique 3, de 120 mm de diamètre et 100 mm de longueur, comportant sur sa surface cylindrique des enfonçures 4 de 3 mm de profondeur, comportait des canaux longitudinaux intérieurs 11, au nombre de 21, uniformément répartis suivant une circonférence par rapport à l'axe de rotation de l'électrode 3 et éloignés à une distance de 10 mm de la surface cylindrique de l'électrode 3. Chacun des canaux Il communiquait avec une rangée de trous 12 débouchant à la surface de l'électrode 3. Chaque rangée avait 5 trous de 1 mm de diamètre. La tension appliquée entre l'électrode 3 et le revêtement conducteur 2 de l'ébauche était de 10 V. La vitesse de déplacement relatif de l'électrode 3 et de l'ébauche était égale à 90 mm/min. Comme électrolyte, on a employé une solution aqueuse à 10 % de KNO3. Lors de la fabrication des circuits imprimés, au moment où l'on a introduit l'électrolyte dans un canal longitudinal 11 communiquant avec la rangée longitudinale de trous 12 qui se trouvaient dans la zone d'attaque, on a admis dans les deux canaux longitudinaux 11, à travers un dispositif distributeur 14 complémentaire, de l'air comprimé 5 sous une pression d'environ 5.10 Pa. Ceci a permis de diminuer de 2 fois environ la largeur de la zone d'attaque et, de ce fait, de localiser davantage le processus de traitement. La précision de fabrication des circuits imprimés s'est accrue Jusqu'à 0,03 mm et la productivité était presque 2 fois celle de l'exemple 1. Le procédé qui vient d'être décrit permet de travailler avec un jeu électrochimique minimal et une forte localisation de l'attaque, en assurant ainsi une haute précision de fabrication des circuits imprimés, allant Jusqu'à + 0,03 mm, et une vitesse linéaire d'enlèvement Jusqu'à 100 mm/min. R E V E N D I C A T I O N S REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication de circuits imprimés par attaque électrochimique d'un revêtement conducteur sur un support diélectrique d'ébauche pendant le déplacement relatif de celle-ci et d'une électrode cylindrique tournante, cette dernière comportant des portions nonconductrices sous forme d'enfonçures réalisées sur sa surface cylindrique, enfonçures dont la forme correspond à celle des conducteurs du circuit imprimé à fabriquer, caractérisé en ce que, lors du déplacement relatif de l'ébauche de circuit imprimé et de l'électrode cylindrique tournante (3), on dispose la partie, tournée vers l'ébauche, de la surface cylindrique de l'électrode (3), par rapport à la surface du support diélectrique (1), tournée vers l'électrode (3), à un niveau qui se trouve dans les limites de l'épaisseur du revêtement conducteur (2) de l'ébauche. 2. Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce qu'on dispose la partie, tournée vers l'ébauche, de la surface cylindrique de l'électrode (3), par rapport à la surface, tournée vers l'électrode (3), du support diélectrique (1) de l'ébauche, à un niveau coIncidant avec la surface du revêtement conducteur (2), tournée vers le support diélectrique (i) de l'ébauche. 3. Procédé suivant l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que, lors du déplacement relatif de l'ébauche et de l'electrode cylindrique tournante (3), on recouvre les conducteurs (5) du circuit imprimé en cours de fabrication, dans la zone d'attaque, d'une matière élastique souple qui remplit les enfonçures de l'électrode cylindrique (3) en faisant partiellement saillie par rapport à sa surface cylindrique, et on applique l'électrode (3) contre l'ébauche avec une force suffisante pour déformer la matière élastique souple surla hauteur de la partie saillante, laquelle hauteur est déterminée à partir de la relation suivante h+D où h est la hauteur de la partie de la matière élastique souple disposée en saillie par rapport à la surface cylindrique de l'électrode (3) D est le diamètre de l'électrode cylindrique (3) p est la largeur de la zone d'attaque 4.Procédé suivant l'une des revendications 1, 2 et 3 caractérisé en ce que, lors du déplacement relatif de l'ébauche et de l'électrode cylindrique tournante (3), cette dernière comportant des canaux longitudinaux intérieurs (11) uniformément répartis suivant une circonférence par rapport à l'axe de rotation de l'électrode (3) et communiquant avec des rangées longitudinales de trous (12) débouchant à la surface de l'électrode (3), on introduit l'électrolyte tour à tour dans celui des canaux longitudinaux (11) qui communique avec la rangée longitudinale de trous (12) qui se trouvent dans la zone d'attaque. 5. Procédé suivant la revendication 4, caractérisé en ce qu'en même temps que l'on introduit l'électrAyte dans le canal longitudinal (17) communiquant avec la rangée longitudinale de trous (12) se trouvant dans la zone d'attaque, on admet de l'air comprimé dans les deux canaux longitudinaux voisins de ce canal. 6. Circuit imprimé, caractérisé en ce qu'il est obtenu par le procédé faisant ltobjet de l'une des revendications 1 à 5.