Brevet FR2523370A1 — publié le 19830916

TRANSISTOR PNP FORT COURANT FAISANT PARTIE D'UN CIRCUIT INTEGRE MONOLITHIQUE. Diverses structures ont été imaginées pour fournir des transistors PNP ou NPN pouvant laisser passer des courants relati- vement élevés dans des circuits intégrés La présente invention vise plus particulièrement des structures de circuits intégrés comprenant des transistors NPN verticaux pouvant laisser passer des courants importants et vise à réaliser dans de telles struc- tures également des transistors PNP pouvant laisser passer des courants importants et propres, éventuellement, à commander de façon satisfaisante les transistors NPN verticaux. La figure 1 représente une structure particulière de circuit intégré comprenant au-dessus d'un substrat 1 de type N+ une première couche épitaxiée 2 de type P et une deuxième couche épitaxiée 3 de type N faiblement dopée Cette structure est relativement peu courante car, habituellement, les plaquettes de circuits intégrés comportent un substrat de type P portant une couche épitaxiée de type N-, c'est-à-dire une structure comprenant seulement l'équivalent des couches 2 et 3, la couche 2 correspon- dant alors à un substrat. Dans les parties gauche et droite de la figure 1 isolées par des murs de type P+ atteignant la couche 2 de type P, on a représenté des transistors NPN et PNP classiques et bien connus. Les régions comprenant ces transistors ne portent aucune référence numérique; seuls ont été indiqués les types de conductivité des diverses couches et les lettres E, B et C ont été apposées en regard des métallisations respectives d'émetteur, de base et de collecteur. L'avantage de la structure à deux épitaxies de types opposés illustrée en figure 1 réside essentiellement dans le fait qu'elle permet d'obtenir des transistors NPN verticaux à fort courant tels que représentés dans la partie centrale de la figure. Pour ces transistors NPN, la face inférieure du substrat est métallisée et correspond au collecteur A l'intérieur de la couche 3 de type N est diffusée une zone 5 de type P correspondant à la base à l'intérieur de laquelle est diffusée une zone 6 de type N correspondant à l'émetteur La couche 3 de type N est reliée à la couche 1 de type N+ par une couche enterrée 7 de type N+ En fait, cette couche 7 résulte de deux diffusions implantations suc- cessives et superposées réalisées respectivement dans le substrat 1 avant la croissance épitaxiale de la couche 2, puis dans la couche 2 avant la croissance épitaxiale de la couche 3 Les avan- tages de la structure de transistor NPN vertical représentée apparaissent clairement et résident essentiellement dans le fait que de tels transistors permettent de laisser passer des courants importants tout en présentant de faibles chutes ohmiques. Néanmoins, si l'on souhaite utiliser dans une structure du type représenté en figure 1 un transistor PNP pouvant laisser passer un courant important, par exemple pour commander un tran- sistor *de type NPN vertical, on est amené à avoir recours à une structure latérale classique telle qu'illustrée dans la partie droite de la figure Mais, un défaut connu des transistors PNP latéraux réalisés par les technologies classiques réside dans leur inaptitude à délivrer de fortes intensités de courant (supérieures à 0,5 milliampère par élément) Ceci conduit à multiplier le nombre d'éléments, donc à occuper une grande surface de silicium. Quand un transistor PNP latéral est trop sollicité en courant, deux phénomènes principaux ont lieu: d'une part, le gain en courant diminue; d'autre part, un courant parasite important est dérivé vers la borne négative des sources d'alimentation (le substrat constituant un second collecteur) Ce courant dérivé peut devenir considérable (du même ordre de grandeur que le courant utile) si, de plus, le transistor PNP se trouve dans un état de saturation Il en résulte que de la puissance est prise sur l'alimentation et dissipée en chaleur dans la pastille semiconductrice Cette puissance peut être importante si le cir- cuit fonctionne à tension élevée. On peut considérer que le transistor PNP est associé à un transistor PNP parasite couramment appelé transistor PNP substrat qui présente la même base que le transistor PNP utile et un collecteur correspondant au substrat, c'est-à-dire dans le cas de la structure illustrée en figure 1, à la couche 2; ce transistor parasite présente deux émetteurs, l'un étant l'émetteur et l'autre le collecteur du transistor PNP utile C'est à cause de ce deuxième émetteur (le collecteur du transistor PNP utile) que l'on explique l'augmentation du courant parasite en cas de satura- tion du transistor PNP utile. Un objet de la présente invention est de résoudre ces problèmes et de prévoir une structure de transistor PNP compatible avec les structures représentées en figure 1 et permettant de laisser passer des courants importants sans entraîner l'apparition de courants parasites conduisant à un échauffement de la pastille semiconductrice. Un autre objet de la présente invention est de prévoir une application particulière de cette structure de transistor PNP comme moyen de commande d'un transistor NPN fort courant. Pour atteindre ces objets ainsi que d'autres, la présente invention prévoit un transistor PNP, dans une structure de circuit intégré comprenant un substrat N+ recouvert d'une première couche de type P ellemême recouverte d'une deuxième couche de type N Ce transistor comprend une zone dans laquelle sont formées des diffusions d'émetteur et de contact de base à l'intérieur de la deuxième couche; cette zone est entourée de deux murs d'isolement successifs de type P traversant la deuxième couche, le mur interne étant revêtu d'une métallisation de collec- teur; une couche périphérique enterrée de type N+ située entre les deux murs s'étend transversalement du substrat N+ à la deuxième couche de type N. Ce transistor PNP peut notamment être utilisé pour la commande d'un transistor NPN vertical du type décrit précédemment, l'émetteur du transistor PNP étant relié au collecteur du tran- sistor NPN, le collecteur du transistor PNP à la base du tran- sistor NPN et la base du transistor PNP étant reliée à une borne de commande En ce cas, le transistor NPN est disposé entre les deux murs d'isolement et comprend une diffusion d'émetteur de type N à l'intérieur d'une zone de type P diffusée dans la deuxième couche de type N, une métallisation de collecteur étant formée sur la face libre du substrat et le mur d'isolement externe étant relié à la borne la plus négative du circuit. Ces objets, caractéristiques et avantages ainsi que d'autres de la présente invention seront exposés plus en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: la figure 1 représente une vue en coupe d'une portion de circuit intégré destinée à soutenir l'exposé de l'état de la technique, la figure 2 est une vue en coupe représentant de façon schématique la structure d'un transistor PNP selon la présente invention, la figure 3 est un schéma de circuit électrique, la figure 4 est une vue en coupe illustrant schémati- quement une réalisation sous forme de circuit intégré du circuit de la figure 3, la figure 5 est une vue partielle en perspective et en coupe d'un mode de réalisation d'un circuit intégré réalisant le circuit de la figure 3 sous forme digitée. De façon générale, on notera qu'aucune échelle n'est respectée, ni à l'intérieur d'une même figure, ni d'une figure à l'autre, mais que, conformément à l'usage dans le domaine de la représentation des semiconducteurs, les dimensions des diverses couches ont été arbitrairement dilatées pour faciliter la lisibilité D'autre part, autant que faire se peut, de mêmes références ont été conservées d'une figure à l'autre pour désigner des couches et/ou éléments identiques ou similaires. La figure 2 représente un transistor PNP selon la présente invention Ce transistor est formé à partir d'une struc- ture semiconductrice du type de celle de la figure 1 comprenant successivement un substrat 1 de type N+, une couche 2 de type P et une couche 3 de type N- Le transistor PNP est formé à l'intérieur d'une zone centrale 10 cernée par deux murs d'isolement successifs 11 et 12 Ces murs d'isolement qui entourent la zone centrale 10 sont constitués de zones diffusées de type P+ traversant la couche 3 de type N pour atteindre la couche 2 de type P Le transistor PNP selon l'invention comprend une zone d'émetteur 13 de type P formée dans la zone centrale 10 ainsi qu'une, zone 14 de prise de contact de base de type N+ Ces zones disjointes 13 et 14 peuvent par exemple être formées par diffusion ou implantation/diffusion. Une partie au moins des zones 13 et 14 est surmontée d'une métallisation respective d'émetteur et de base E et B Le contact de collecteur C de ce transistor PNP vertical est repris par l'intermédiaire de la surface supérieure du mur d'isolement interne 11 Une couche diffusée 15 de type P de prise de contact est formée pour permettre le contact avec la métallisation de collecteur Cette couche 15 de reprise de contact sera éventuellement plus large que le mur 11, présentant notamment un débordement vers la zone centrale 10 pour favoriser la récupération des porteurs minoritaires et, du même fait, améliorer le gain du transistor Entre les deux murs d'isolement 11 et 12, se trouve une région 20 qui a essentiellement un rôle d'isolement: une couche enterrée 21 de type N de forme annulaire située entre les murs d'isolement interne et externe neutralise et inverse le type de dopage de la couche P selon un anneau On assure ainsi une conduction électrique entre les portions supérieure et inférieure (couche 3 et substrat 1) dans la zone annulaire 20 Il en résulte que la portion de la couche 2 de type P se trouvant sous la zone centrale 10 est isolée par rapport au reste de cette couche 2 de type P En conséquence, le collecteur C du transistor PNP peut être relié à un potentiel choisi tout en maintenant la couche 2 à un potentiel négatif en dehors de la zone annulaire délimitée par la couche 21, ce qui est souhaitable pour assurer un isolement convenable des autres éléments de circuit Cette polarisation négative de la couche 2 peut par exemple être assurée en métallisant la partie supérieure du mur d'isolement externe 12 et en la reliant à une borne négative De même, l'anneau enterré 21 doit être à un potentiel positif Pour ce faire, on dépose une métallisation sur la face apparente du substrat 1 et l'on connecte cette métallisation à un potentiel positif. La couche enterrée annulaire 21 pourra être réalisée de la même façon que cela a été exposé pour la couche enterrée 7 dans le cas de la figure 1. On a ainsi fourni un transistor PNP ne présentant aucune possibilité de dissipation parasite même quand le courant prin- cipal entre son émetteur et son collecteur augmente ou qu'il est en état de saturation. La figure 3 représente un circuit électrique que l'on vise souvent à réaliser dans des applications pratiques et qui est réalisable de façon particulièrement simple à l'intérieur d'un circuit intégré en utilisant un transistor PNP du type décrit précédemment en relation avec la figure 2 Le circuit de la figure 3 comprend un transistor T 2 de type NPN commandé par un transistor Tl de type PNP Les transistors Tl et T 2 ont des émetteurs, bases et collecteurs respectivement désignés par El, Bl, Cl et E 2, B 2, C 2 La base du collecteur T 2 est reliée au collecteur du tran- sistor Tl, le collecteur du transistor T 2 et l'émetteur du tran- sistor Tl sont reliés à une borne positive d'alimentation, l'émetteur du transistor T 2 est connecté à la masse ou borne d'alimentation la plus négative par l'intermédiaire d'une charge L et la borne d'entrée du circuit correspond à la base Bl du tran- sistor Tl à laquelle est de façon classique connectée une source de courant de commande. La figure 4 montre de façon très schématique comment une structure telle que celle de la figure 3 s'intègre de façon particulièrement simple dans le cas o le transistor PNP Tl a la structure illustrée en figure 2 Dans ce cas, le transistor NPN peut être disposé dans la région annulaire 20 Ainsi, pour passer de la structure de la figure 2 à celle de la figure 4, on a seule- ment prolongé vers l'extérieur la couche 15 de type P pour former dans la région annulaire 20 une couche de base 22 à l'intérieur de laquelle est formée une diffusion d'émetteur 23 de type N On obtient alors un transistor NPN vertical analogue à celui représenté au centre de la figure 1 qui se trouve, dans le cas de la figure 4, périphérique par rapport au transistor central PNP Tl La métallisation de collecteur C 2 de ce transistor se trouve sur la face libre du substrat. En ce cas, tous les porteurs minoritaires injectés dans la couche épitaxiée 3 de type N au niveau de la base du transistor PNP sont récupérés dans la base du transistor NPN car celle-ci est solidaire de la couche épitaxiée 2 de type P correspondant au collecteur du transistor Tl par l'intermédiaire du mur interne il de type P+ Il n'y a donc aucune possibilité de courant parasite vers la borne négative de la source d'alimentation. A titre de variante, on notera que, dans les structures illustrées en figures 2 et 4, on aurait pu, avant de procéder à l'épitaxie 3, implanter à la surface de la couche épitaxiée 2 et au niveau de la zone centrale 10, un dopant de type P, par exemple du bore, cette zone implantée étant ensuite amenée à diffuser vers le haut dans la base du transistor PNP Ceci réduit l'épaisseur de cette base et améliore le gain et la fréquence de transition tout en réduisant la résistance de collecteur de ce transistor Ce procédé pourra notamment être utilisé dans le cas o les murs d'isolement 11 et 12 de type P sont formés en effectuant simultanément des diffusions descendantes et montantes, les unes provenant de la surface de la tranche et les autres provenant de zones de type P implantées à la surface de la couche épitaxiée 2 de type P avant formation de la couche épitaxiée 3 de type N. Les avantages de l'invention sont donc en résumé réduction de la puissance dissipée dans la plaquette semiconductrice du fait de l'élimination des courants dérivés vers le pôle négatif de l'alimentation, obtention d'un gain en courant élevé en raison du gain élevé du transistor PNP vertical, réduction des éventuelles rotations de phase en raison de la valeur élevée de la fréquence de transition (f T) du tran- sistor PNP vertical (cette caractéristique est importante notam- ment si le dispositif doit se trouver dans une boucle de contre-réaction, par exemple un régulateur), structure compacte utilisant une petite surface de silicium. La figure 5 est une vue en perspective représentant un mode de réalisation particulier de la présente invention sous la forme d'une structure digitée Cette figure est représentée d'une façon qui correspond à peu près à la réalité pratique, mais il est bien entendu qu'elle n'est que partielle et que le mur d'isolement 11 entoure complètement la zone centrale tandis que le mur d'isolement 12 entoure complètement l'ensemble de la structure. Dans cette figure, de mêmes références sont utilisées qu'en figure 4 Les limites des zones de contact entre métallisation et semi- conducteur sont désignées en pointillés Les métallisations sont hachurées et les zones o les métallisations font contact avec une couche semiconductrice sous-jacente sont hachurées de façon croisée Cette figure ne sera pas décrite plus en détail car elle se lit d'elle-même et sa description correspond à celle de la figure 4 Néanmoins, on considérera que cette figure fait partie intégrante de la présente description et certaines de ses caractéristiques pourront être reprises dans les revendications ci-après. La présente invention n'est pas limitée aux modes de réalisations précédemment décrits; elle en englobe au contraire les diverses variantes et généralisations incluses dans le domaine des revendications ci-après, notamment tous les types de conductivité pourront être inversés. REVENDICATIONS. 1 Transistor PNP dans une structure de circuit intégré comprenant un substrat ( 1) de type N+ recouvert d'une première couche ( 2) de type P, elle-même recouverte d'une deuxième couche ( 3) de type N-, caractérisé en ce que: il comprend une zone centrale ( 10) dans laquelle sont formées des diffusions disjointes d'émetteur ( 13) et de contact de base ( 14) à la surface de la deuxième couche ( 3), cette zone centrale est entourée de deux murs d'isolement successifs ( 11) et ( 12) de type P traversant la deuxième couche, le, mur interne ( 11) étant revêtu d'une métallisation de collecteur, et une couche périphérique annulaire continue enterrée ( 21) de type N+ située entre les deux murs s'étend transver- salement du substrat N+ à la deuxième couche de type N. 2 Transistor PNP selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend une zone surdopée ( 15) s'étendant à la sur- face du mur interne ( 11), cette zone surdopée débordant notamment vers l'intérieur du mur, c'est-à-dire vers la zone centrale. 3 Transistor PNP selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend une couche enterrée de type P dans la zone centrale à la limite entre la première couche ( 2) de type P et la deuxième couche ( 3) de type N-, cette couche enterrée s'étendant dans la deuxième couche de type N et réduisant son épaisseur. 4 Transistor NPN dans une structure de circuit intégré comprenant un substrat ( 1) de type P+ recouvert d'une première couche ( 2) de type N, elle-même recouverte d'une deuxième couche ( 3) de type P, caractérisé en ce que: il comprend une zone centrale ( 10) dans laquelle sont formées des diffusions d'émetteur ( 13) et de contact de base ( 14) à l'intérieur de la deuxième couche ( 3), cette zone centrale est entourée de deux murs d'isolement successifs ( 11) et ( 12) de type N traversant la deuxième couche, le mur interne ( 11) étant revêtu d'une métallisation de collecteur, et une couche périphérique annulaire continue enterrée ( 21) de type P+ située entre les deux murs s'étend transver- salement du substrat P+ à la deuxième couche de type P. Transistor PNP selon la revendication 1 utilisé à la commande d'un transistor NPN, l'émetteur du transistor PNP étant relié au collecteur du transistor NPN, le collecteur du transistor PNP à la base du transistor NPN et la base du transistor PNP étant reliée à une borne de commande, caractérisé en ce que le tran- sistor NPN (T 2) est disposé entre les deux murs d'isolement (Il et 12) et comprend une zone d'émetteur ( 23) de type N à l'intérieur d'une zone de base ( 22) de type P rejoignant le mur d'isolement interne 11, elle- même formée dans la deuxième couche ( 3) de type N, une métallisation de collecteur étant formée sur la face libre du substrat et le mur d'isolement externe étant relié à la borne la plus négative du circuit. 6 Transistor PNP utilisé à la commande d'un transistor NPN selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'il est réalisé sous forme digitée.