Brevet FR2511820A1 — publié le 19830225

La présente invention concerne des électrodes d'ex- citation d'un résonateur couplé avec plusieurs modes de vi- brations, ce qu'on appelle encore un résonateur à couplage. De nombreux produits de grande diffusion nécessitent des ré- sonateurs ayant d'excellentes caractéristiques fréquence- température et une faible impédance du cristal, pour lesquels on a utilisé essentiellement un résonateur à quartz en coupe AT Cependant, divers produits de grande diffusion ont été miniaturisés récemment. Du fait de la miniaturisation, il peut également être nécessaire d'utiliser un résonateur à quartz en coupe AT miniaturisé Dans l'état actuel de la technique, le réso- nateur de ce type présente de nombreuses vibrations parasites, sa miniaturisation est difficile et, simultanément, l'impédan- ce du cristal devient élevée lorsqu'on miniaturise le résona- teur En particulier, dans le cas o on utilise le résonateur à quartz en coupe AT en tant que résonateur pour des montres, une miniaturisation importante peut dtre nécessaire et la di- minution de taille à laquelle on parvient n'est pas suffisan- te, par rapport au cas d'un résonateur à quartz à flexion du type diapason Ainsi, récemment, on aappliqué effectivement à la fabrication d'un résonateur à quartz un procédé de for- mation d'un résonateur par une technique de photolithographie utilisée pour la fabrication des circuits intégrés, ce qui a permis de réaliser des résonateurs extrêmement miniaturisés. On a par exemple appliqué cette technique à un résonateur en coupe GT ayant d'excellentes caractéristiques fréquence-tem- pérature, ainsi qu'une épaisseur extrêmement faible, et à un résonateur à quartz à flexion-torsion (qu'on appellera ci- après résonateur à quartz FT) dans lequel une vibration de torsion est couplée à une vibration de flexion La miniatu- risation est ainsi devenue possible. Cependant, pour que ces résonateurs à quartz FT et en coupe GT présentent d'excellentes caractéristiques fréquence-température, ils doivent utiliser deux modes de vibration, c'est-à-dire un couplage entre une vibration prin- cipale et une vibration secondaire Par conséquent, les ca- ractéristiques fréquence-température peuvent 9 tre pratique- ment déterminées par la différence de fréquence entre la vi- bration principale et la vibration secondaire et par l'am- plitude de chaque vibration. Il est facile de comprendre au point de vue théo- rique comment on doit choisir la valeur de la différence de fréquence de résonance qui donne d'excellentes caractéristi- ques fréquence-température Cependant, en fait, du fait qu'il existe une dispersion de fabrication, il est très difficile d'avoir une différence de fréquence constante Par conséquent, ceci fait apparaître une dispersion des caractéristiques fré- quence-température On a proposé certains procédés pour ré- duire la dispersion des caractéristiques fréquence-températu- re Par exemple, le brevet JA 47-3508 décrit un procédé d'ajus- tage de la caractéristique fréquence-température qui permet d'éliminer les électrodes d'excitation Cependant, du fait que l'élimination des électrodes d'excitation entraîne une dimi- nution du rendement pour une partie importante du champ élec- trique, il apparat un inconvénient qui consiste en ce que l'impédance du cristal devient élevée. En outre, du fait qu'on supporte un résonateur par deux fils de connexion fins, on est en présence d'inconvénients qui consistent en ce que la miniaturisation est difficile et, en m 9 me temps, la résistance aux chocs est faible. Dans ces conditions, l'invention apporte une amé- lioration concernant ces inconvénients et ces défauts On parvient à ceci par l'amélioration d'un procédé de support et par l'élaboration d'un nouveau procédé pour le réglage de la caractéristique fréquencetempérature et de la fréquence de résonance. L'invention a pour but de réaliser un résonateur à coupla ge ayant une excellente caractéristique fréquence-tem- pérature (qu'on appellera ci-après caractéristique de tempé- rature) L'invention a également pour but de réaliser un ré- sonateur à couplage ayant une impédance de cristal de valeur faible. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre de modes de réalisation et en se référant aux dessins annexés sur lesquels: Z 511820 Les figures 1 (A) et 1 (B) sont respectivement une vue de face et une vue de dessus montrant la forme et les électrodes utilisées en pratique pour un résonateur à cou- plage conforme à l'invention, et ces figures montrent un exemple d'un résonateur à quartz en coupe GT dans lequel une partie vibrante et deux parties de support 3, disposées de part et d'autre de la partie vibrante 2,sont formées en une seule pièce. La figure 2 (A) est une vue de face de la moitié d'un résonateur à quartz en coupe GT, dans lequel la partie vibrante 2 et les parties de support 3 conformes à l'inven- tions sont formées en une seule pièce. La figure 2 (B) est un graphique qui montre la rela- tion entre la déformation et chaque position sur le résona- teur à quartz en coupe GT qui est représenté sur la figure 2 (A). La figure 3 (A) est un histogramme des valeurs d'impédance du cristal lorsque des électrodes d'excitation sont placées partiellement sur la partie vibrante. La figure 3 (B) est un histogramme des valeurs d'impédance du cristal lorsque des électrodes d'excitation sont entièrement placées sur les faces avant et arrière de la partie vibrante. Les figures 4 (A) et 4 (B) sont respectivement une vue de face et une vue de dessous d'une configuration prati- que de montage du résonateur à quartz en coupe GT 9 de l'in- vention, sur une embase de support 8. La figure 5 est un graphique qui montre des carac- téristiques de température du résonateur à quartz en coupe GT de l'invention, formé par la technique photolithographi- que. La figure 6 est une vue de face d'une configuration pratique dans laquelle on augmente l'épaisseur d'une électro- de sur le résonateur à quartz en coupe GT, par un procédé d'évaporation. La figure 7 est un graphique montrant la variation du coefficient de température du premier ordre, o, en fonc- tion de la quantité de matière ajoutée à une électrode, lors- qu'on augmente l'épaisseur de l'électrode sur les bords du résonateur représenté sur la figure 6, par un procédé d'éva- poration. La figure 8 est une vue de face d'une configuration pratique dans laquelle on augmente l'épaisseur d'une électro- de aux quatre coins du résonateur à quartz en coupe GT de l'invention, par un procédé d'évaporation. Ia figure 9 est un graphique montrant la relation entre la variation du coefficient de température du premier ordre o 4 et la quantité de matière ajoutée à une électrode lorsqu'on augmente l'épaisseur de l'électrode aux quatre coins du résonateur représenté sur la figure 8, par un procé- dé d'évaporation. La figure 10 est une vue de face d'une autre confi- guration pratique qu'on utilise pour augmenter l'épaisseur d'une électrode du résonateur à quartz en coupe GT de l'in- vention. La figure 11 est un graphique montrant la relation entre la variation du coefficient de température du premier ordre " et la quantité de matière qu'on ajoute à une élec- trode lorsqu'on augmente l'épaisseur de l'électrode sur les bords du résonateur représenté sur la figure 10, par un pro- cédé d'évaporation. la figure 12 est un graphique qui montre la varia- tion de la fréquence de résonance d'une vibration principale, en fonction de la quantité de matière ajoutée à une électro- de, lorsqu'on augmente l'épaisseur des électrodes 20, 21 situées sur les bords du résonateur représenté sur la figure 6, des électrodes 22, 23, 24, 25 situées aux quatre coins du résonateur représenté sur la figure 8, et des électrodes 26, 27, 28, 29 situées sur les bords du résonateur représenté sur la figure 10, en utilisant un procédé d'évaporation, et sur ce graphique, les lignes droites D), E et F correspondent respectivement aux cas des figures 6, 10 et 8. la figure 13 est un graphique montrant un exemple de caractéristique de température d'un résonateur à quartz en coupe GT conforme à l'invention, sur lequel la ligne droi- te g montre la relation entre la fréquence de résonance d'une vibration principale et la température d'un résonateur ayant le coefficient de température du premier ordre X de la caractéristique de température lorsqu'on ajuste la fré- quence de résonance pour la faire correspondre à la fréquence nominale f 0, par un procédé d'évaporation. La figure 14 est un graphique qui montre des carac- téristiques de température qu'on peut obtenir en pratique par l'utilisation de l'invention. La figure 15 est une vue en perspective d'une con- figuration pratique d'un résonateur à quartz en coupe GT con- forme à l'invention. Les figures 1 (A) et 1 (B) montrent la forme et les électrodes utilisées en pratique pour un résonateur à coupla- ge conforme à l'invention Ces figures montrent un exemple de résonateur à quartz en coupe GT dans lequel une partie vi- brante 2 et deux parties de support 3 disposées de part et d'autre de la partie vibrante 2 sont formées en une seule pièces Les figures 1 (A) et 1 (B) montrent respectivement une vue de face et une vue de dessus En considérant les figures 1 (A) et 1 (B), on voit que des électrodes d'excitation 6, 7 sont disposées complètement et uniformément sur la face ar- rière 4 et sur la face avant 5 de la partie vibrante 2 d'un résonateur à cristal de quartz 1 L'électrode d'excitation 6 est disposée de façon à s'étendre jusqu'à la partie de sup- port 3 d'un côté, et l'électrode d'excitation 7 est disposée de façon à s'étendre jusqu'à la partie de support 3, de l'au- tre côté. Ainsi, du fait qu'une électrode est disposée d'un seul côté de la partie de support, aucun champ électrique ne peut être appliqué aux parties de support Par conséquent, l'énergie de la partie vibrante est emprisonnée autant que possible dans la partie vibrante et n'est pas transmise aux parties de support En d'autres termes, la partie d'électro- de qui s'étend depuis la partie vibrante 2 jusqu'à la partie de support 3 n'est rien de plus qu'une électrode de connexion nécessaire pour appliquer un champ électrique. On peut exciter aisément un résonateur en appliquant 251182 u une tension alternative entre deux électrodes qui s'étendent à partir des parties de support 3 En outre, les fréquences de résonance de deux modes de vibration sont respectivement déterminées par la largeur W et la longueur B, la fréquence de résonance f W d'une vibration principale étant déterminée par la largeur W, tandis que la fréquence de résonance f L d'une vibration secondaire est déterminée également par la longueur L. On va maintenant expliquer en détail la raison pour laquelle il est nécessaire de disposer une paire d'élec- trodes sur toute la surface des faces avant et arrière de la partie vibrante 2. La figure 2 (A) est une vue de face d'une moitié d'un résonateur à quartz en coupe GT conforme à l'invention, dont la partie vibrante 2 et les parties de support 3 sont formées en une seule pièce On a porté sur la figure 2 (A) les valeurs calculées de la relation entre le déplacement et chaque position dans une section A-A Ainsi, le déplacement devient égal à zéro à un point c, et lorsqu'on se déplace du point c vers les points a, e, la valeur absolue du dé- placement devient élevée (déplacement U 1 = -U 2). La figure 2 (B) montre la relation entre la déforma- tion et chaque position Ainsi, la déformation au point c est maximale et elle devient faible lorsqu'on déplace vers les bords Cependant, comme le montrent les figures 2 (A) et 2 (B), la déformation au niveau des bords a, e ne devient pas abso- lument égale à zéro, et il existe une certaine déformation dans ces régions Ceci signifie que les valeurs de l'impédan- ce du cristal d'un résonateur à quartz sont différentes selon qu'on place ou non une paire d'électrodes d'excitation sur les bords de la partie vibrante. Il est possible d'obtenir une impédance du cristal faible en plapant une paire d'électrodes d'excitation sur les bords de la partie vibrante. Les figures 3 (A) et 3 (B) montrent des histogramires de valeurs de l'impédance de cristal, et correspondent à des résultats expérimentaux obtenus en plagant une paire d'élec- trodes d'excitation sur toute la surface des faces avant et arrière de la partie vibrante, et en plagant une paire d'élec- trodes d'excitation sur une partie (environ 75 % de la partie vibrante) de la surface des faces avant et arrière de la par- tie vibrante. La figure 3 (A) montre l'histogramme des valeurs de l'impédance du cristal pour un nombre d'échantillons n= 200, et elle fait apparaftre que la valeur moyenne X des impédan- ces du cristal est d'environ 140 SQ, lorsque les électrodes d'excitation de la partie vibrante sont placées sur une par- tie de la surface D'autre part, la figure 3 (B) montre l'his- trogramme des valeurs d'impédance du cristal, pour un nombre d'échantillons n= 200, et elle fait apparaître que la valeur moyenne X des impédances du cristal est d'environ 84 f I, lors- que les électrodes d'excitation sont placées sur la totalité de la surface des faces avant et arrière de la partie vibran- te Comme il ressort de ces résultats, les électrodes d'exci- tation placées sur la totalité des surfaces permettent de ré- duire d'environ 40 % la valeur moyenne de l'impédance du cristal,par rapport aux électrodes placées sur une partie des surfaces, et on voit ainsi que les électrodes d'excitation placées sur la totalité des surfaces ont un effet très impor- tant. Les figures 4 (A) et 4 (B) sont respectivement des vues de face et de dessous d'une configuration pratique pour le montage sur une embase de suppoit 8 d'un résonateur à quartz en coupe GT 9, conforme à l'invention Le résonateur à quartz en coupe GT 9 est disposé sur l'embase de support 8 et il est fixé au niveau de ses parties d'extrémité 12, 13, au moyen d'un adhésif ou de soudure Les électrodes d'excitation 10, 11 sont placées sur les faces avant et arrière du résonateur à quartz Du fait que le résonateur à quartz 9 est fixé par un adhésif ou de la soudure à l'embase de support 8, à ses deux parties d'extrémité, il est possible de réaliser un ré- sonateur à quartz ayant une bonne résistance aux chocs. En outre, on peut fabriquer aisément le résonateur à quartz 9 par une technique photolithographique, bien qu'il ait une forme compliquée On peut donc ainsi réaliser un ré- sonateur à quartz extrêmement miniaturisé. On va maintenant présenter une explication détail- lée concernant la caractéristique de température. Il existe la relation suivante entre la fréquence de résonance f W d'une vibration principale déterminée par la largeur W, et la fréquence de résonance fi d'une vibra- tion secondaire, déterminée par la longueur L: fw c OD ( 1) f O t 1 ( 2) En outre, les caractéristiques de température sont presque entièrement déterminées par la différence (f fi) entre les deux fréquences de résonance. La figure 5 montre un exemple de caractéristiques de température d'un résonateur à quartz en coupe GT conforme à l'invention, fabriqué par une technique photolithographique, et les caractéristiques de température diffèrent en fonction du degré de couplage entre une vibration principale et une vibration secondaire. Lorsque le couplage entre la vibration principale et la vibration secondaire est très faible, c'est-à-dire lorsque &=fw f L est élevé, la caractéristique de températu- re est semblable à une ligne droite a, tandis qu'au contraire lorsque le couplage entre ces vibrations est très élevé, c'est- à-dire lorsque & est faible, la caractéristique de température devient semblable à une ligne droite b A ce moment, la valeur absolue du coefficient de température du premier ordre e on n'obtient pas une caractéristique de température satisfai- sante Cependant, lorsque S a la valeur optimale, on obtient une excellente caractéristique de température qui est prati- quement semblable à une ligne droite c. En général, un résonateur à couplage fabriqué par la technique photolithographique présente une telle dispersion de la caractéristique de température Ainsi, on obtient toutes les sortes de caractéristiques de température, comme la ligne droite a pour laquelle le coefficient de température du pre- 6 OC mier ordre O c a une valeur négative d'environ -2,5 X 10 /00, la ligne droite b pour laquelle c K a au contraire une valeur positive d'environ + 2,5 x 106 i/o, et enfin la ligne droite c pour laquelle a est presque nul. Ainsi, le coefficient O par la technique photolithographique est ccmpris dans la pla- 6 6 ge de -2,5 x 10 6/o C à + 2,5 x 10 6/o C On dira que sitif, négatif ou presque nul dans les conditions suivantes: ( 1) "Le coefficicnt de température du premier ordre Q est presque nul" signifie que o( est compris dans la plage de -1,0 x 10-7/o C à + 1,0 x 10-7/oc. ( 2) "Le coefficient de température du premier ordre O (o > 1,o x 10-7/oc). ( 3) "Le coefficient de température du premier ordre o est négatif" signifie que > est inférieur à -1,0 x 10 7/o C (a La figure 6 est un exemple d'une configuration pra- tique d'un résonateur à quartz en coupe GT conforme à l'in- vention, dans lequel les électrodes d'excitation 17, 18 (non représentées) sont disposées entièrement et uniformément sur la face avant 15 et la face arrière 16 (non représentée) de la partie vibrante 14, et dans lequel des électrodes 20, 21, plus épaisses que l'électrode 19 de la partie centrale, sont formées par un procédé d'évaporation sur les bords, dans la direction de la largeur W, de l'électrode d'excitation 17 qui se trouve sur la face avant 15, dans des positions symé- triques qui sont presque les positions centrales dans la di- rection de la longueur. Le fait de former l'électrode avec une épaisseur supérieure sur les bords de la partie vibrante produit les trois effets suivants. ( 1) Le fait de "former l'électrode d'excitation avec une épaisseur supérieure sur les bords de la partie vibrante" signifie que les électrodes ont-un effet de masse, c'est-à-dire un effet fonction des poids Il est donc possi- ble de faire varier la fréquence de résonance f et la carac- téristique de température Simultanément, ( 2) L'effet de masse des électrodes permet de ré- duire la réflexion de l'onde élastique sur les bords de la partie vibrante, et permet donc d'atténuer les vibrations 11820 parasites De plus, ( 3) L'effet de masse des électrodes permet d'empri- sonner l'énergie d'excitation à l'intérieur de la partie vi- brante et permet donc de diminuer beaucoup plus fortement les valeurs d'impédance du cristal. La figure 7 montre la relation entre la variation du coefficient de température du premier ordre ->t et la va- leur des masses ajoutées aux électrodes, lorsqu'on augmente l'épaisseur des électrodes 20, 21 représentées sur la figure 6, par un procédé d'évaporation Ainsi, le coefficient de température du premier ordre cl se déplace vers le côté néga- tif en fonction de l'augmentation d'épaisseur des électrodes d'excitation 20, 21. La figure 8 représente un exemple d'une autre con- figuration pratique d'un résonateur à quartz en coupe GT conforme à l'invention, dans lequel on a formé aux quatre coins des électrodes plus épaisses, 22, 23, 24, 25, par un procédé d'évaporation. La figure 9 montre la relation entre la valeur des masses ajoutées des électrodes et la variation du coefficient de température du premier ordre c Y, lorsqu'on augmente l'épaisseur des électrodes 22, 23, 24, 25 représentées sur la figure 8 par un procédé d'avaporation. Le coefficient de température du premier ordre se déplace vers le coté positif en fonction de l'augmentation de la valeur des masses ajoutées des électrodes Comme il ressort de ces résultats, les électrodes de la figure 6 dé- placent le coefficient de température du premier ordre vers le côté négatif, par l'ajout d'électrodes sur les bords, tandis que l'ajout d'électrodes de la figure 8 déplace le coefficient de température du premier ordre X( vers le côté positif On prévoit ainsi que le coefficient de température du premier ordre o(, pourra ne pas varier du tout, en ajoutant des électrodes entre les électrodes 20, 21 des bords, repré- sentées sur la figure 6, et les électrodes 22, 23, 24, 25 des coins, représentées sur la figure 80 La figure 10 est une vue de face d'un exe:::ple d'une autre configuration pratique pour l'ajout d' sur un résonateur à quartz en coupe GT conforme à l'inven- tion Dans ce cas, on a déposé des électrodes épaisses 26, 29 entre l'électrode 20 de la figure 6 et les électrodes 22, de la figure 8, et on a déposé également des électrodes épaisses 27, 28 entre l'électrode 21 et les électrodes 23, 24. Ia figure 11 montre la relation entre le coeffi- cient de température du premier ordre et la quantité de ma- tière supplémentaire des électrodes, lorsqu'on ajoute les électrodes 26, 27, 28, 29 sur les bords du résonateur de la figure 10, par un procédé d'évaporation On voit que le coefficient de température du premier ordre D lument pas sous l'effet de l'ajout des électrodes. * La figure 12 montre la variation de la fréquence de résonance d'une vibration principale en fonction de la quantité de matière supplémentaire des électrodes, lorsqu'on ajoute respectivement les électrodes 20, 21 de la figure 6, les électrodes 22, 23, 24, 25 de la figure 8 et les électro- des 26, 27, 28, 29, par un procédé d'évaporation Sur cette figure, les lignes droites D, E et F correspondent respecti- vement aux cas des figures 6, 10 et 8 Dans les trois cas, on voit que la fréquence de résonance de la vibration prin- cipale diminue lorsqu'on ajoute les électrodes sur les bords. On va maintenant expliquer concrètement un procédé d'ajustage de la fréquence de résonance et de la caractéris- tique de température. Le résonateur en quartz en coupe GT de la figure 1 sera conçu de façon à avoir les caractéristiques suivantes, dans le cas o il est fabriqué par une technique photolitho- graphique. ( 1) Ia fréquence de résonance de la vibration prin- cipale a une valeur supérieure à une fréquence nominalef 2 sur laquelle on veut ajuster le résonateur On choisit en général la valeur de la fréquence de résonance dans une plage de 1000 ppm à 2000 ppm au-dessus de la fréquence nominale. On peut facilement obtenir un tel résonateur en choisissant la forme et la durée de la gravure Ensuite, on place ce résonateur à une certaine température, qui est lue sur un thermomètre, et qu'on désigne par t 1, et on mesure également la fréquence derésonance f 1 de la vibration prin- cipale à la température t 1 On place ensuite ce résonateur à une autre température qu'on lit et qu'on désigne par t 2, et on mesure également la fréquence de résonance f 2 de la vi- bration principale à la température t 2 A partir des tempéra- tures t 1, t 2 et des fréquences de résonance f 1, f 2, on calcu- le le coefficient de température du premier ordre CX en uti- lisant l'équation suivante: f 2 f = (Hz/ C) ( 1) t 2 t 1 De plus, en utilisant la fréquence nominale fo O à ajuster, on peut récrire l'équation sous la forme suivante: f 2 f 1 1 i 4 3 * ( 1/OC) ( 2) fo t 2 t 1 La figure 13 montre un procédé pratique pour ajus- ter la caractéristique de température du résonateur à quartz en coupe GT conforme à l'invention Après avoir mesuré les fréquences de résonance f 1 l f 2 aux températures t 1, t 2, on calcule le coefficient de température du premier ordre A, au moyen de l'équation ( 2) La figure 13 montre une situation dans laquelle une ligne droite g correspond à un exemple d'un résonateur à quartz en coupe GT dont le coefficient ca est positif La température to est celle à laquelle on ajuste la fréquence de résonance de la vibration principale à la fré- quence nominale fo. La fréquence de résonance f de la vibration prin- cipale à la température to est supérieure à la fréquence no- minale f O On peut donc utiliser un procédé d'ajustage de la fréquence de résonance f de la vibration principale pour l'amener à la fréquence nominale fo, en augmentant l'épais- seur des électrodes sur les bords, c'est-à-dire par les trois manières mentionnées ci-dessus Cependant, dans le cas de l'exemple de la figure 13, du fait que c est positif, il est possible de le diminuer beaucoup plus, en employant un procédé qui consiste à déplacer i& vers le c 8 té négatif, Autrement dit, il s'agit d'un procédé consistant à ajouter les électrodes 20, 21 sur la figure 6 Les lignes droites h, i montrent la variation de la caractéristique de tempéra- ture dans le cas o on ajuste la fréquence de résonance f pour l'amener à la fréquence nominale f% Lorsque la fréquen- ce s'approche de la fréquence nominale f,, z' s'approche éga- lement de zéro (ligne droite h), et lorsque la fréquence est amenée à la fréquence nominale f, X 4 I devient presque égal à zéro (ligne droite i). La figure 14 représente un exemple pratique de ca- ractéristique de température d'un résonateur à quartz en coupe GT de l'invention, obtenue par le procédé représenté sur la figure 15 >, sur laquelle la ligne droite j montre la caractéristique de température après fabrication du résona- teur, pour laquelle o ajustage de la fréquence de résonance f de la vibration prin- cipale pour l'amener à la fréquence nominale fo, pour laquel- le a remarquable Ces résultats permettent de voir que le résona- teur présente une excellente caractéristique de température. De la même manière, lorsque X est négatif, il est possible d'amener i cédé consistant à déplacer c X, vers le côté positif, lorsqu'on ajuste la fréquence de résonance f de la vibration principale pour l'amener à la fréquence nominale f 0. Ce procédé consiste ainsi à déposer les électrodes épaisses 22, 23, 24, 25 sur la figure 8 En outre, lorsque est presque nul, du fait qu'il n'est pas nécessaire de le faire varier, on peut utiliser un procédé qui ne fait pas varier D* lorsqu'on règle la fréquence de résonance f pour l'amener à la fréquence nominale f, c'est-à-dire un procédé consistant à ajouter lés électrodes 26, 27, 28, 29 sur la figure 10. La figure 15 montre une vue en perspective d'un exemple pratique d'un résonateur à quartz en coupe GT con- forme à l'invention Sur la face avant 31 et la face arrière 32 du résonateur à quartz 30, les électrodes d'excitation 33, 34 sont disposées sur la totalité de la surface de la partie vibrante 35, et les électrodes 20, 21 qui se trouvent sur les bords de l'électrode 33 sont formées de façon à être plus épaisses que l'électrode 36 de la partie centrale On utilise dans l'invention de l'or ou de l'argent en tant que matière pour augmenter l'épaisseur des électrodes d'un résonateur à quartz. Conformément à la description qui précède, l'inven- tion permet de réaliser un résonateur à couplage ayant une 1 O faible impédance du cristal et une vibration exempte de com- posantes parasites, en plaçant des électrodes d'excitation sur la totalité de la surface des faces avant et arrière d'une partie vibrante du résonateur à couplage, et en plaçant également sur les bords, dans la direction de la largeur, des électrodes plus épaisses que les électrodes d'une partie centrale, qui produisent une variation de la fréquence de résonance de la vibration principale On peut en outre conce- voir un résonateur à couplage ayant une caractéristique de température optimale avant le réglage de sa fréquence, et après avoir conçu un résonateur ayant une fréquence de réso- nance optimale pour une vibration principale, on mesure à certaines températures t 1, t 2 les fréquences de résonance fl, f 2 de la vibration principale et, à partir de ces valeurs, on calcule le coefficient de température du premier ordre En employant un procédé d'évaporation, il est alors possible de réaliser un résonateur à quartz en coupe GT ayant une excellente caractéristique de température, et d'ajuster la fréquence de résonance de la vibration principale pour l'ame- ner à la fréquence nominale f, en faisant en sorte que le coefficient de température du premier ordre X> soit presque nul. De plus, du fait qu'une partie vibrante et des par- ties de support du résonateur à couplage de l'invention sont formées en une seule pièce par un procédé photolithographi- que, la miniaturisation est possible, et du fait que le ré- sonateur est fixé aux deux parties d'extrémité des parties de support, par un adhésif ou de la soudure, il est également possible de réaliser un résonateur à couplage offrant une bonne résistance aux chocs Bien entendu, les principes de l'invention sont applicables à d'autres résonateurs à cou- plage, comme par exemple un résonateur à quartz en coupe ZT. REVENDICATIONS 1 Résonateur à quartz à couplage caractérisé en ce qu'il fonctionne avec plusieurs modes de vibration couplés; une partie vibrante et des parties de support de ce résona- teur à quartz sont placées sur la totalité de la surface des faces avant et arrière de la partie vibrante; l'électrode d'excitation qui se trouve d'un côté de la partie vibrante est formée de façon uniforme, et l'électrode d'excitation qui se trouve de l'autre coté de la partie vibrante est formée avec une épaisseur plus forte sur les bords que dans une par- tie centrale. 2 Résonateur à quartz à couplage selon la reven- dication 1, caractérisé en ce que l'électrode d'excitation qui se trouve sur une face est formée avec une épaisseur ac- crue à au moins un emplacement à proximité ( 20, 21) de la partie centrale, dans la direction de la longueur, sur les bords longitudinaux de la partie vibrante. 3 Résonateur à quartz à couplage selon la reven- dication 1, caractérisé en ce que l'électrode d'excitation qui se trouve sur l'une des faces est formée avec une épais- seur accrue à l'un au moins des quatre coins ( 22, 23, 24, ) de la partie vibrante. 4 Résonateur à quartz à couplage selon la reven- dication 1, caractérisé en ce que l'électrode d'excitation qui se trouve sur l'une des faces est formée avec une épais- seur accrue à au moins un emplacement ( 26, 27, 28, 29) situé entre la partie centrale ( 20, 21) dans la direction de la longueur, et les quatre coins ( 22, 23, 24, 25), sur les bords longitudinaux de la partie vibrante. 5 Résonateur à quartz à couplage selon la reven- dication 1, caractérisé en ce que l'électrode d'excitation qui se trouve sur l'une des faces est formée avec une épais- seur accrue à au moins -un emplacement situé au voisinage ( 20, 21) de la partie centrale dans la direction de la lon- gueur, sur les bords longitudinaux de la partie vibrante, aux quatre coins ( 22, 23, 24, 25) de la partie vibrante, et dans des parties ( 26, 27, 28, 29) situées en position médiane entre le voisinage ( 20, 21) de la partie centrale et les quatre coins ( 22, 23, 24, 25). 6 Résonateur à quartz à couplage selon la reven- dication 1, caractérisé en ce que ce résonateur est un ré- sonateur à quartz en coupe GT.