Brevet FR2518325A1 — publié le 19830617

La présente invention a pour objet un procé- cdéde protection d'un conducteur métallique et-'un con- ducteur métallique obtenu par ce procédeé Elle trouve une application notamment dans la protection des con- '' tacts électriquesut'tilisés dang-les relais,-les con- necteurs, etc ' '' : Aotue 1 lement, les revêtements protecteurs de conducteurs utilisent des couches de métaux pré- -cieux tels que l'or, l'argent-cuivre, l'gargent-palla- dium, le platine, l'argent, l'iridium, etc Ces re- vetements présentent deux inconvénients: ils sont chers et présentent une faible dureté - La présente invention a justement pour but -d'éviter ces inconvénients Ce but est atteint selon l'invention par l'utilisatipn, comme revê'tement pro- tecteur, de nitrure de titane Ce matériau est beau- coup moins onéreux que les métaux utilisés précédem- ment et il possède une dureté exceptionnelle De plus, il est réfractaire, sa 'stabilité chimique est très grande, et il présente une conductivité électrique sa- tisfaisante Enfin, ces propriétés sonÈ obtenues pour de très faibles épaisseur s *ra De façon plus précise, la présenté: dnvention a donc pour objet-un procédé de protectior:d'une pièce conductrice par regtemen't procédé-qui est'caractéri- sé -en ce qu'il-consiste à'déposer sur -ette;pièce une couche de nitrure dé'titàiine:'-. La présente inventioni" également pour objet une pièce conductrice obtenue pair ce procédé, qui est caractérisée en ce qu'elle est revetue d'uhe:couche en nitrure de titane ' "; : -; t. Le dépt protecteur en -nitrure' de titane présente les propriétés suivantes: i 1) une excellente adhérence; (supérieure à kg/cm 2) -' :2) une excellente inertie chimique, (il satisfait no- tamment à l'essai d'atmosph rez 4ndustrielle en 3) une excellente résistance àybsq,, r 4), ure résistivité de il,'ordre de, 500 w C Xm qui peut être ajustée par le tqqx,ae - nitrur atibn. Laltechnologi 2 de dep t,,du -nitrurede titane peut faire Appel à- la pulvérisation- cathodiquei avec- *:par exemple, l'argon comme gaz traceur Il est bien entendu que ceci n'est pas limitatif t le dépÈt peut *.aussi s'obtenir par pulvérisation réactive de titane, ou par évaporation thermique itronique d'une cible en nitrure de titane) ou-encore * parévaporation thermiques éctive de titane Le dépat 151 i chimique en pliase vapeur (CVD) convient aussi, en par- ticulier pour- une méthode indugtrielle,:i. c A titre d'exemple, un processus technologi que conf orme à -l' invention pour la protection de lames -.et de plots de -connecteurs en cuivre-béryllium et en : >-bronze phosphoreux peut ê@tre le-suivant:s -.,a) _préparation cles-plots, et de,Jams:, -décapage par imimers Lopn -ansÈ ur 4 e solution -sulfochro- q c 1 c 1 isag éetrohimiue pr 'e dé,é d ',une iminersion? 251 'o>g'ie 1 ans,:une, solut-ion g acide nitr 1 i-que à 350 %,' peniiant 30 Jecnde,,i, ç ag::leau d ésionisée, froide pendant 10 minutes et d-1 un séchage-par jet,d\argon; le: bain depo Jig;agçrest,onst-itu' d'un mélange de i 7 O,7 O cm 3 d-' acide,orthophosphorique (H 3 Ocl e de ;otpâ-30,0-2 c M 1 d'eau désionisée, la cathode, est en cuivre et le courant est de 40 m Ac' -le polissage dure -;,ï 3 00 m'uee totse riu les pièces à po- lir, qui qonstituen t l'fanode, sont retirées du bain, X --'-r-fncèês a:l'ea Wl fdêsionizée puis séchées par J et d'argon. dégraissage par immersion dans des bains ultrasoni- ques d'acétone puis d'éthanol. rinçage à l'eau désionisée séchage par jet d'argon. b) dépôt du matériau: la matériau protecteur est déposé par pulvérisation cathodique en radiofréquence dans une enceinte à vide, à l'aide d'une cible en nitrure de titane; le vide initial dans l'enceinte est de l'ordre de 10-6 torr. La pression d'argon nécessaire à la formation du plas- ma est de a 10-3 torr La puissance appliquée est de l'ordre de 300 watts. 2518325- REVENDICATIONS 1 Procédé de protection d'une pièce conduc- trice par revêtement, caractérisé en ce qu'il consiste à déposer sur cette pièce une couche de nitrure de titane. 2 Procédé selon la revendication 1, carac- térisé en ce que la pièce est un contact électrique. 3 Pièce conductrice obtenue par le procédé de la revendication 1, caractérisée-en ce qu'elle est revêtue d'une couche de nitrure de titane. 4 Pièce conductrice selon la revendica- tion 2, caractérisée en ce qu'elle est en cuivre ou à base de cuivre.