Brevet FR2501560A1 — publié le 19820917

AUTOMATE DE POSITIONNEMENT DE PASTILLES SEMICONDUCTRICES. La présente invention concerne une machine de positionnement automatique de pastilles semiconductrices rectangulaires (ou carrées) obtenues après découpage d'une plaquette de semiconducteur sur laquelle on a réalisé un grand nombre de composants ou de circuits intégrés individuels. Cette machine de positionnement est plus particulièrement destinée à être associée à un poste de soudure de ces pastilles, ce poste comprenant le plus souvent un mécanisme de prélèvement ayant pour fonction de prélever une pastille qui a été préalablement placée à une position convenable, et de l'amener au lieu où s'effectue la soudure. La machine selon l'invention a été appliquée à un poste de soudure de la face arrière de chaque pastille sur une embase. Elle peut bien entendu etre utilisée sur d'autres postes, mais, de manière générale, elle est surtout conçue pour effectuer la premiere opération de conditionnement individuel des pastilles à la suite de leur découpage. Dans cette application, les pastilles sont alignées en rangées et il faut que le mécanisme de prélèvement les prenne une par une.Pour cela, il faut placer successivement chaque pastille sur le trajet en va et vient d'une tête de préhension qui vient la prendre. Dans l'application particulière envisagée ici, les pastilles sont supposées correctement orientées et seule leur position doit être tres précisément centrée sur un emplacement déterminé où la tête de préhension peut venir les chercher. Le but de l'invention est de fournir une machine de positionnement dont la cadence soit aussi rapide que possible et puisse pratiquement suivre la cadence de la machine de prélèvement de pastilles et du poste de soudure. Une telle cadence (plusieurs milliers de pièces par heure) ne peut certainement pas être atteinte par une machine de positionnement où l'opération principale de positionnement doit s'effectuer, comme cela se fait actuellement, par observation directe de la pastille par un opérateur. C'est pourquoi la présente invention propose, dans le but d'obtenir une cadence de travail très rapide et une grande précision de positionnement des pastilles a prélever, une machine de positionnement de pastilles qui comprend une table de support de pastilles, déplaçable au moins dans une direction longitudinale et une direction transversale au moyen de deux moteurs pas a pas, un microscope fournissant une image fortement agrandie de la pastille sur un verre dépoli, deux couples de cellules photoélectriques placées devant cette image et séparées deux a deux par des distances respectives correspondant aux dimensions longitudinale et transversale de l'image agrandie de la pastille, deux amplificateurs différentiels recevant chacun les signaux issus de deux cellules en vis a vis, ces amplificateurs commandant chacun, par l'intermédiaire d'un circuit logique, un moteur respectif d'entratnement de la table support dans un sens tendant a ramener la pastille à une position où les cellules reçoivent deux a deux des quantités de lumière identiques. Si la pastille est bien placée, les amplificateurs différentiels recevront des signaux identiques sur leurs entrées et ne fourniront aucun signal de commande aux moteurs. Si la pastille est décalée longitudinalement ou transversalement, l'amplificateur correspondant sera déséquilibré et fournira un signal de marche avant ou arrière au moteur d'entrainement longitudinal ou transversal de la table, jusqu'à ce que la pastille parvienne à la position correcte. Chaque cellule est associée à un circuit de détection qui détecte si elle est en regard d'un fond sombre ou d'un bord de l'image de la pastille, et qui fournit un signal logique de détection en conséquence ; les signaux logiques de détection de toutes les cellules sont combinés dans le circuit logique pour détecter la présence ou l'absence totale de pastille aux alentours de la position correcte et fournir un signal correspondant à cette information. Une cinquième cellule est de préférence prévue au centre de l'image de la pastille supposée en position correcte, avec un circuit de détection correspondant pour détecter la présence au centre de la pastille d'une tache d'encre indiquant une pastille défectueuse. Cette information est également fournie par le circuit logique en vue de l'élimination de la pastille défectueuse. De préférence, les cellules travaillent en lumière réfléchie, c'est-à-dire que les pastilles éclairées renvoient sur le verre dépoli du microscope une lumière qui est détectée par les cellules, le fond contrasté sur lequel se situe l'image de la pastille étant plus sombre et correspondant à l'état non éclairé de la pastille. Les circuits de détection d'éclairement des cellules con- portent un réglage de seuil pour tenir compte du faible contraste entre le fond non éclairé et la lumière réfléchie par la pastille sur le verre dépoli ; le réglage du seuil permet de choisir le niveau de recouvrement, entre chaque cellule et l'image agrandie de la pastille, conduisant à un basculement franc du signal logique du circuit de détection. Les cellules photoélectriques sont de préférence réglables en position pour tenir compte d'une part des dimensions des séries de pastilles à positionner et, d'autre part, de la position exacte où on veut les mettre. Les moteurs d'avance ou de recul de la table de support sont des moteurs pas à pas, qui sont donc commandés par le circuit logique, mais différemment selon que la pastille est reconnue bonne et doit donc être mise en position correcte par les moteurs, ou au contraire qu'elle est reconnue mauvaise ou tout simplement absente, auquel cas on doit faire avancer la table de support jusqu'à amener une autre pastille aux environs de l'emplacement correct. Dans le premier cas, les moteurs sont commandés pas par pas à basse fréquence ; dans le second cas, le ou les moteurs sont commandés avec une haute fréquence pour amener rapidement une autre pastille. C'est également une fréquence rapide qui sert à amener une autre pastille à la fin de l'opération de positionnement (et de prélèvement) d'une pastille reconnue bonne. En pratique, les pastilles se succèdent en rangées équidistantes et, dans une rangée, elles sont disposées à un pas déterminé, de sorte qu'on prévoit une programmation d'un certain nombre de pas d'avance automatique des moteurs pour passer d'une pastille à la suivante (selon une direction) et d'une rangée a la suivante (selon une autre direction). Lorsqu'un moteur est conmandé en avance rapide, il franchit le nombre de pas programmé à l'avance et s'arrête, indépendamment de l'état des cellules. le système de positionnement se met alors en route et fait avancer ou reculer les moteurs à vitesse lente jusqu'a la position exacte en fonction des indications des cellules, On prévoit encore un compteur pré programmé (a quelques unités) qui décompte le nombre de mouvements successifs d'avance rapide de la table selon une direction sans qu'une pastille soit détectée.Quand le compteur a ainsi repéré l'absence de plusieurs pastilles, c'est que la rangée est terminée et le sens de rotation du moteur en avance rapide dans cette direction est inversé en même temps qu'on change de rangée de pastilles à l'aide de l'autre moteur. On effectue le prélèvement des pastilles de la rangée suivante, et ainsi de suite. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ap paraferont à la lecture de ta description détaillée qui suit et qui est faite en référence aux dessins annexés dans lesquels La figure 1 représente une plaquette de semiconducteur découpée en pastilles individuelles rectangulaires ou carrées, avec un détail agrandi montrant la disposition réelle des pastilles ; La figure 2 représente schématiquement la machine de positionnement de pastilles selon l'invention la figure 3 représente le circuit de détection associé a chaque cellule photoélectrique ; La figure 4 représente le schéma d'amplification différentielle permettant d'engendrer des signaux de marche avant et arrière pour l'un des moteurs d'entraînement de la table support; ; La figure 5 représente un schéma bloc du circuit de commande de l'un des moteurs à partir des cellules photoélectriques. Pour faciliter la compréhension de l'invention, on a représenté à la figure 1 une plaquette 10 de semiconducteur, ayant subi un certain nombre d'opérations de traitement destinées a for mer à partir de sa surface supérieure un ensemble de composants ou de circuits intégrés individuels, chaque composant ou circuit intégré individuel étant destiné à être encapsulé dans un bottier qui lui est propre. La plaquette 10 subit donc, après sa information, un découpage dans un sens longitudinal et un découpage dans un sens transversal de sorte qu'elle se trouve finalement divisée en un grand nombre de petits rectangles ou carrés qui sont des pastilles individuelles 12 correspondant chacune à un composant ou un circuit intégré individuel. Avant l'opération de découpage, la plaquette 10 est fixée sur un film adhésif, de sorte qu'après le découpage les pastilles 12 restent alignées en rangées juxtaposées. Le film adhésif est ensuite étiré dans les directions longitudinale et transversale correspondant aux directions de découpage des pastilles.Il en résulte une disposition des pastilles qui est celle du détail agrandi de la figure 1, à savoir que les pastilles sont alignées en rangées, avec un intervalle entre chaque pastille, et que les rangées sont juxtaposées avec un intervalle entre chaque rangée. Dans cette dispositlon, les pastilles peuvent être prélevées individuellement pour être soudées chacune sur une embase d'un bottier. C'est dans ce contexte où on a besoin de prélever les pastilles individuellement de manière aussi rapide que possible pour les souder, que la présente invention trouve particulièrement son application. En effet, l'étirage du film adhésif dans les directions longitudinale et transversale ne conduit pas à un espacement rigoureusement constant entre les pastilles 12, et de plus, même si cet espacement était constant, il ne serait pas le même d'une plaquette semiconductrice à l'autre.Or, la machine de prélèvement qui vient chercher chaque pastille 12 successivement, ne peut faire son travail correctement que si les pastilles sont placées rigoureusement sur le trajet de la tête de préhension qui vient les chercher (par exemple, une tête de préhension dont l'extrémité est une buse aspirante qui ne peut soulever la pastille collée sur le film adhésif que si elle est parfaitement centrée au-dessus de cette pastille). Jusqu'à maintenant, ltopération de centrage steffectuait manuellement à travers un microscope, ce qui réduisait considérablement la cadence de travail de l'ensemble du poste de soudure incorporant la machine de prélèveaent des pastilles. La figure 2 représente la machine de positionunement de pastilles selon l'invention. Elle comprend une table support 14 sur laquelle est posée la plaquette 10 avec les pastilles prédécoupées, cette table 14 pouvant être déplacée en direction longitudinale (X) par un moteur pas à pas 16, et en direction transversale (Y) par un moteur pas à pas 18. Les moteurs 16 et 18 sont contrôlés par un circuit de commande 20 qui reçoit des ordres de commande soit de l'opérateur, par un actionnement manuel de boutons de commande, soit, en mode automatique, d'un ensemble de cellules photoélectriques détectant la position de chaque pastille 12. ta machine de positionnement comprend encore un microscope 22 placé au-dessus de la table de support 14 et donc de la plaquette semiconductrice prédécoupée 10. Le microscope 22, dont le grossissement est environ 50 fois pour des pastilles de lmm2, fournit sur un verre dépoli 24 une image agrandie 12' d'une seule pastille 12 au-dessus de laquelle est placé le microscope 22. C'est devant cette image agrandie 12', sur le verre dépoli du microscope, que sont placées les cellules photoélectriques servant à la commande des moteurs 16 et 18. Etant donné que les pastilles 1 sont fortement éclairées verticalement par une lampe incorporée au microscope, l'image 12' agrandie est lumineuse et se présente comme un carré ou un rectangle brillant se détachant sur un fond sombre qui est le fond du film adhésif non réfléchissant sur lequel sont collées les pastilles. Il se trouve que le contraste lumineux entre la pastille éclairée et le fond sombre, sur le verre dépoli 24 du microscope, est suffisant pour permettre a des cellules photeélectriques de distinguer nettement si elles se trouvent en regard du fond sombre ou de l'image 12' de la pastille éclairée. C'est cette propriété que l'on utilise dans l'invention. Les cellules photoélectriques sont de préférence au nom bre de cinq et disposées de la manière suivante : quatre cellules C1, C2, C3, C4 sont placées chacune en regard d'un bord de l'image rectangulaire agrandie 12' d'une pastille supposée à la position de consigne exacte à laquelle on veut que toutes les pastilles viennent se mettre. Chacune de ces quatre cellules chevauche partiellement le bord d'image en regard duquel elle est située. Une cinquième cellule C5 est placée au-dessus du centre de l'image théoriquement correcte de la pastille 12'. Comme on le verra, les informations des quatre cellules Cl à C4 servent à effectuer le positionnement précis de la table support 14 pour faire coincider l'image d'une pastille 12 avec la position de consigne qu'elle doit avoir, c'est-a-dire avec les positions des cellules Cl à C4 préalablement positionnées convenablement. La cinquième cellule C5 sert à déterminer essentiellement si la pastille dont l'image se présente sur le verre dépoli du microscope est une pastille à conserver ou une pastille défectueuse à éliminer, la pastille défectueuse étant reconnue par la présence d'une tache d'encre non réfléchissante en son centre. Sur la figure 2, on a encore représenté symboliquement la tête de préhension 26, animée d'un mouvement de va et vient, d'une machine de prélèvement qui vient chercher chaque pastille aussitôt qu'elle a été correctement positionnée par les moteurs pas à pas 16 et 18 sous la commande des cellules photoélectriques. Les cellules photoélectriques jouent un double rôle dans cette machine de positionnement : d'une part, elles servent d'organe détecteur analogique pour piloter les moteurs 16 et 18 selon un principe de mesure différentielle de luminosité : si deux cellules en vis-a-vis telles que Cl et C2 ou C3 et C4 ne reçoivent pas la même quantité de lumière, le moteur correspondant est actionné pour déplacer la table support 14 dans un sens tendant à ramener l'image 12' de la pastille a une position où les cellules en vis-a-vis reçoivent la même quantité de lumière.Bien entendu, les directions de déplacement X et Y de la table support 14 correspondent aux directions des bords longitudinaux et transversaux des pastilles d'autre part, les cellules fournissent des signaux lo giques indiquant si la quantité de lumière qu'elles reçoivent est au-dessus ou au-dessous d'un seuil déterminé, le seuil étant réglé de manière que le signal logique transmis par une cellule soit dans un premier état si la cellule est complètement en regard d'un fond sombre ou d'une tache d'encre sur une pastille défectueuse, et que ce signal soit dans un second état logique si la cellule est justement dans la position correcte au-dessus d'un bord d'image 12' d'une pastille ou si elle est complètement en regard de la surface réfléchissante de l'image 12'. La figure 3 représente le circuit fournissant ce signal logique pour chaque cellule, tandis que la figure 4 représente la partie'de mesure d'éclairement différentiel de deux cellules. A la figure 3, on voit le circuit qui permet de produire un signal logique Al en fonction de l'état éclairé ou non éclairé de la cellule Cl ; bien entendu, des circuits identiques sont prévus pour fournir des signaux A2, A3, A4 et As en provenance des cellules C2, C3, C4 et C5. Le circuit, désigné généralement par la référence 30 fournit un signal de niveau logique O si la cellule Cl reçoit un éclairement suffisant, et un signal de niveau logique 1 si la cellule Cl reçoit un éclairement insuffisant ; le courant photoélectrique produit par la cellule Cl est amplifié par un transistor 32 monté en émetteur commun avec une résistance de polarisation 34 ajustable ; l'ajustement de la résistance 34 permet d'augmenter ou de réduire la sensibilité de la cellule photoélectrique en modifiant notamment la tension du collecteur du transistor 32 dans l'état éclairé de la cellule. La tension du collecteur du transistor 32 est amenée à l'entrée inverseuse d'un amplificateur différentiel 36 dont une autre entrée, non inverseuse, est reliée à une tension de seuil de manière que l'amplificateur différentiel fournisse à sa sortie un signal ayant pratiquement deux niveaux logiques possibles selon que la tension sur l'entrée inverseuse dépasse ou non la tension de seuil sur l'entrée non inverseuse.En fait, pour créer une certaine hystérésis, la sortie de l'amplificateur différentiel est bouclée sur l'entrée non inverseuse par une résistance 38 qui ra mène a l'entrée non inverseuse une fraction de la tension de sortie de l'amplificateur. la tension de seuil appliquée à l'entrée non inverseuse est réglable de manière a tenir Compte des éclairements respectifs fournis par l'image de la pastille observée et le fond sur lequel elle se trouve : le seuil doit être réglé de manière que la sortie de l'amplificateur bascule franchement lorsqu'on passe du fond sombre à un éclairement partiel de la cellule, c'est-à-dire lorsque la cellule arrive a cheval sur le bord de l'image d'une pastille. Le réglage de la tension de seuil et le réglage de la sensibilité par la résistance variable 34 permettent d'obtenir un basculement franc du signal logique de sortie Al lorsque la cellule vient franchir le bord de l'image éclairée 12', et lorsqu'elle s'en écarte à nouveau pour repasser sur le fond sombre. Il est à noter qu'il faut régler la tension de seuil de préférence de telle manière que le basculement s'effectue largement avant que la majeure partie de la surface de la cellule soit éclairée. La position idéale correspond à un basculement du signal logique Al lorsque la cellule chevauche le bord de l'image de telle manière que la moitié de sa surface soit sur le fond sombre et l'autre moitié sur l'image 12'.Ceci permet de régler la position des cellules, par exemple avec des vis micrométriques, ou tout autre moyen, après avoir mis en place manuellement une pastille a la position de consigne que l'on désire imposer pour toutes les pastilles : on déplace chaque cellule vers le bord de l'image 12' qu'elle doit chevaucher jusqu'à faire basculer le signal AI (visualisation avec un voyant lumineux). Pour la cinquième cellule C5, on vérifie que le passage d'une cellule défectueuse présentant une tache d'encre en son centre à une cellule normale provoque bien le basculement du signal Ai. Pour terminer la description de la figure 3, on peut dire que le signal de sortie de l'amplificateur différentiel 36 est filtré et transmis, par exemple par l'interuédiaire d'une diode Zener 40, à la base d'un transistor 42 monté en émetteur commun et ayant en série avec son collecteur une diode électroluminescente 44 Servant de voyant lumineux repérant l'état du signal logique Al. Ce signal il est pris sur le collecteur du transistor 42. Si la cellule est sur fond sombre, Al = 1 ; si l'éclairement de la cellule est suffisant pour dépasser le seuil de basculement de l'amplificateur différentiel 36, alors Al = O ; le circuit est exactement le même pour chacune des cellules Cl à C5. La figure 4 montre la partie analogique permettant de réaliser l'asservissement de la position de chaque pastille a la position des cellules Cl à C4. Les cellules fonctionnent par paires correspondant à chaque direction. A la figure 4 on a repré senté les cellules Cl et C2 correspondant à la direction longitudinale, donc commandant le déplacement du moteur pas à pas 16. te circuit est exactement le même pour les cellules C3 et C4 commandant le déplacement du moteur 18 pour le déplacement transversal. Les signaux issus des cellules Cl et C2, amplifiés par des transistors 32 et 33, sont transmis respectivement à l'entrée inverseuse et à l'entrée non inverseuse d'un amplificateur différentiel 46 monté de manière classique avec des résistances d'entrée et des résistances de bouclage égales sur les deux entrées pour fournir à sa sortie un signal proportionnel à la différence des signaux fournis par les cellules photoélectriques.La sortie de l'amplificateur 46 est reliée à centrée de deux comparateurs 48 et 50 comparant à zéro la tension de sortie de l'amplificateur 46 et fonctionnant en sens inverse de sorte que le comparateur 48 fournit un signal B1 dont le niveau logique est 1 si l'amplificateur différentiel 46 fournit un signal négatif et O si l'amplificateur 46 fournit un signal positif ou nul ; au contraire, la sortie B2 du comparateur 50 fournit un signal logique i si l'amplificateur différentiel 46 fournit un signal positif et un signal logique 0 si la sortie de l'amplificateur 46 est négative ou nulle. Les signaux logiques B1 et B2 servent a la commande du moteur pas à pas 16 pour la rectification de position longitudinale de chaque pastille. Le moteur 16 est actionné en avant par le signal Bl ou en arrière par le signal B2 jusqu'a ce que l'équilibre des éclairements des deux cellules annule simultané ment B1 et B2. Les variations d'éclairement de la pastille dues par exemple au vieillissement de la lampe du microscope sont annulées par le montage différentiel de la figure 4. La fréquence de commande des moteurs pas à pas 16 et 18 est plus lente lorsque l'on effectue ce positionnement automatique de chaque pastille que lorsque l'on passe d'une pastille a l'autre ; ceci permet d'éviter des instabilités dues à la réponse lente des cellules. La figure 5 montre un schéma synoptique du circuit de commande de l'un des moteurs, par exemple le moteur 16 de déplacement longitudinal, en fonction des informations données par les cellules et d'autres informations destinées à l'établissement d'une procédure automatique de positionnement successif des pastilles les unes après les autres dans une rangée, puis dans les rangées parallèles successives de la tranche de semiconducteur 10. Sur la figure 5, on retrouve les cellules Cl, C2, C3, C4 et C5 qui fournissent des signaux logiques Al, A2, A3, A4 et As respectivement en fonction de leur état éclairé on non éclairé. Ce sont les circuits 30 correspondant à la figure 3 qui permettent d'obtenir ces signaux dont la combinaison à travers des portes logiques convenablement agencées permet de déterminer si une pastille est présente ou absente dans le champ du verre dépoli du microscope, et, dans le cas où elle est présente, si cette pastille est défectueuse ou non, c'est-à-dire si elle possède une tache d'encre non réfléchissante en son centre ou non.Comme on peut le voir, une porte NAND (NON ET) 52 recevant les signaux issus des cinq cellules permet de fournir un signal indiquant la présence ou l'absence d'une pièce puisque si les cinq cellules sont sur fond sombre, c'est qu'il n'y a pas de pastille sur l'écran. Une porte ET 54 recevant la sortie de la porte NAND 52 et le signal issu de la cinquième cellule permet de fournir un signal indiquant la présence d'une pièce défectueuse. Une autre porte ET 56 recevant la sortie de la porte NAND 52 et le complément du signal AS permet d'indiquer la présence d'une pastille non défectueuse. les trois signaux issus de ce petit circuit logique permettent de commander diverses opérations de fonctionnement automatique de la machine. On retrouve sur la figure 5 l'amplificateur différentiel 46 et les comparateurs 48 et 50 servant à l'établissement des signaux B1 et B2 de marche avant ou arrière du moteur 16 (pour la voie de déplacement longitudinal X ; l'établissement de signaux analogues B3 et B4 pour la voie v n'est pas représenté). Sur le schéma de la figure 5, on voit que le moteur 16 est commandé d'une double manière qui a été figurée par deux circuits de commande de moteur indépendants, un circuit de commande 60 pour faire avancer le moteur à une vitesse lente pendant le positionnement d'une pastille déterminée, et un circuit de commande 62 pour faire avancer le moteur à une vitesse rapide pour passer d'une pastille à une autre. te circuit de commande 60 transmet au moteur des impulsions à une fréquence d'environ 100 hertz issu d'un générateur de basse fréquence 64, et ce circuit de commande 60 est piloté par un circuit logique 66 qui lui fournit des ordres d'arrêt ou de marche avant ou de marche arrière en fonction des signaux qu'il reçoit et qui sont respectivement le signal B1 et le signal B2, d'une part, et une indication sur la présence d'une pièce bonne (pastille non défectueuse) dans le champ du microscope ; d'autre part, c'est seulement la présence d'une pièce bonne qui autorise l'avance lente du moteur 16 en fonction des indications des signaux B1 et B2 au contraire, la présence d'une pièce mauvaise ou l'absence d'une pièce arrêtent la commande lente par le circuit 60 et actionnent le démarrage d'un générateur 68 de fréquence rapide (environ 600 hertz) ; le circuit logique 66 fournit cet ordre de démarrage au générateur 68. Le deuxième circuit de commande du moteur, a savoir le circuit 62, transmet au moteur 16 la fréquence issue du générateur rapide 68, et ceci de manière à faire effectuer au moteur 16 un nombre de pas prédéterminé, programmé manuellement par l'utilisateur dans un compteur 70 qui reçoit la fréquence du générateur 68. En effet, les pastilles sont alignées a des distances sensiblement identiques sur la tranche 10 et l'utilisateur détermine à peu près de- combien de pas il faut avancer la table de support pour passer d'une pastille à l'autre, l'ajustement fin se faisant automatique ment grâce aux cellules photoélectriques. L'autorisation de transmission au moteur du nombre de pas prédéterminé à fréquence rapide par le circuit de commande 62 est soumis aux conditions logiques déterminées par un circuit logique 72 qui reçoit deux types d'informations ; la première information est une information d'autorisation d'avance rapide ; la deuxième est une information de sens d'avance. t'autorisation d'avance rapide est donnée par une porte OU 74, soit lorsqu'il y a une pièce mauvaise (pastille recouverte d'une tache d'encre), soit lorsqu'il y a absence de pièce, soit, en présence d'une pièce bonne, après un délai suffisant pour que le positionnement précis ait eu le temps de s'effectuer. Dans les deux premiers cas, on ne fournit pas d'ordre de prélèvement à la machine de prélèvement de pastilles, et on avance rapidement jusqu'à la pastille suivante. Dans le troisième cas, le signal indiquant qu'une pièce bonne est présente est transmis à un circuit de temporisation 76 qui donne, au bout d'un temps fixe déterminé, un ordre de prélèvement, puis un ordre d'avance rapide jusqu'à la pastille suivante. Les pastilles sont ainsi prélevées une a une jusqu'a la fin de la rangée longitudinale. Un compteur 78 programmé initialement a un contenu de quelques unités (par exemple, cinq) reçoit un signal indiquant l'absence de pièces. Ce compteur décompte les absences consécutives de pièces et, lorsqu'il a trouvé cinq absences consécutives, il fournit un signal d'autorisation d'un changement de rangée, c'est-a-dire d'une avance rapide d'un nombre de pas programmé à l'avance, dans la direction transversale (Y). En même temps, le compteur 78 fournit un signal d'inversion de sens au circuit logique 72 qui commande l'avance rapide du moteur 16 de la voie X, de sorte que la rangée suivante de pastilles 12 est parcourue en sens inverse. L'ensemble de la plaquette semiconductrice peut ainsi être balayé pour prélever une à une les pastilles qui sont chaque fois mises en position correcte par les cellules photoélectriques. Pour détecter la fin de l'opération sur une plaquette déterminée, on peut prévoir par exemple un compteur préprogrammé à une dizaine d'unités, qui reçoit un signal indiquant l'absence de pièces et qui décompte les absences consécutives de pièces. Si dix signaux consécutifs d'absence de pièces sont enregistrés, ce compteur fournit un signal d'arrêt de l'ensemble de la machine de positionnement. Ce compteur n'a pas été représenté car il peut être constitué justement par le compteur 78 qui présenterait plusieurs contenus préprogrammés avec plusieurs signaux de sortie indiquant respectivement qu'il y a lieu de changer de rangée, ou qu'il y a lieu d'arrêter la machine. On a ainsi décrit une machine de positionnement automatique qui permet de travailler avec une grande précision et une grande rapidité et pratiquement sans intervention manuelle d'un opérateur, non seulement pour positionner chaque pastille, mais aussi pour passer d'une pastille à la suivante et pour changer de rangée de pastilles jusqu'à la fin du prélèvement de toutes les pastilles bonnes d'une tranche de semiconducteurs prédécoupée. La précision de positionnement est d'environ 10 microns et elle résulte essentiellement de la résolution des moteurs pas à pas utilisés. La cadence de travail obtenue peut dépasser 5000 pastilles par heure pour des pastilles de 0,4 x 0,4 mm et un temps de soudure de 0,2 seconde. REVENDICATIONS 1. Machine de positionnement de pastilles de circuits intégrés, caractérisée par le fait qu'elle comprend une table (14) de support de pastilles déplaçable dans une direction longitudinale (X) et une direction transversale (Y) au moyen de deux moteurs pas à pas (16 et 18), un microscope (22) fournissant une image fortement agrandie (12') de la pastille sur un verre dépoli, deux couples de cellules photoélectriques (C1 å C4) placées devant cette image et séparées deux à deux par des distances respectives correspondant aux dimensions longitudinale et transversale de l'image agrandie de la pastille, deux amplificateurs différentiels recevant chacun les signaux issus de deux cellules en vis-a-vis > ces amplificateurs commandant chacun, par l'intermédiaire d'un circuit logique, un moteur respectif d'entraînement de la table support dans un sens tendant à ramener la pastille à une position où les cellules reçoivent deux a deux des quantités de lumière identiques. 2. Machine selon la revendication 1 caractérisée par le fait qu'elle comprend aussi une cellule (C5) placée a une position correspondant sensiblement au centre de la pastille bien placée, pour détecter les pastilles mauvaises recouvertes d'une tache d'encre non réfléchissante et pour détecter, en combinaison avec l'état éclairé des autres cellules, l'absence totale de pastille. 3. tachine selon l'une des revendications I et 2 caractérisée par le fait qu'elle comporte, associée à chape cellule, un circuit de détection logique (30) fournissant ut signal logique indiquant que la cellule est soit en regard d'un fond sombre, soit en regard d'un bord de l'image agrandie d'une pastille. 4. Machine selon la revendication 3 caractérisée par le fait que les circuits de détection comprennent un comparateur à seuil (36) avec un réglage de seuil de basculement du signal logique pour régler le niveau de recouvrement entre la cellule et la pastille conduisant à un basculement du signal logique du circuit de détection. 5. Machine selon l'une des revendications 1 a 4 caractérisée par le fait que les cellules peuvent être réglées en position pour venir se placer en regard des bords de l'image d'une pastille préalablement mise manuellement en position correcte. 6. Machine selon l'une des revendications l à 5 caractérisée par le fait que les moteurs pas à pas reçoivent soit des impulsions à fréquence lente lorsqu'vils procèdent au positionnement d'une pastille, soit un nombre d'impulsions prédéterminé à fréquence plus rapide lorsque, ayant terminé ce positionnement, ils déplacent la table support pour amener une autre pastille. 7. Machine de positionnement selon la revendication 6 caractérisée par le fait qu'un ordre d'avance a vitesse rapide est donné après un délai fixe déterminé suivant la détection de la présence d'une pastille non défectueuse en regard des cellules photoélectriques ou immédiatement après détection d'une pastille défectueuse et immédiatement après détection de l'absence de pastilles en regard des cellules. 8. Machine selon la revendication 6 caractérisée par le fait qu'il est prévu un compteur pour compter le nombre de pastilles absentes successives et, si ce nombre dépasse une valeur detenninée, pour d'une part inverser le sens de déplacement longitudinal i fréquence rapide et, d'autre part, fournir un ordre d'avance transversale d'une distance déterminée.