Brevet FR2508641A1 — publié le 19821231

TRANSDUCTEUR DE PRESSION DIFFERENTIEL EN QUARTZ PERFECTIONNE La présente invention se rapporte à des transducteurs de pression différentiels et, en particulier, à des transducteurs de pression capacitifs. Les capteurs de pression comprennent souvent au moins une membrane souple qui porte une partie métallisée ou élec- trode qui coopère avec une plaque de base d'une autre mem- brane ayant une partie métallisée semblable pour former un condensateur sensible à la pression Ces transducteurs de pression présentent un inconvénient inhérent, à savoir, le fait que la variation de la capacité en fonction de la pres- sion n'est pas linéaire Les transducteurs et/ou appareils de mesure de pression capacitifs de la technique antérieure -ont utilisé diverses techniques pour rendre cette variation de la capacité en fonction de la pression plus linéaire. Parmi ces techniques,on peut mentionner celle qui consiste à retirer des parties des électrodes pour créer une configu- ration d'électrodes compliquée et celle qui consiste à uti- liser des circuits électroniques pour apparier des non-linéa- rités électroniques à la fonction non linéaire inhérente du capteur de pression de telle sorte que le signal de sortie global est plus linéaire Lorsqu'on incorpore des configura- tions d'électrode élaborées et des circuits électroniques compliqués, la complexité du capteur est accrue, le capteur est plus onéreux et sa fiabilité est réduite. La présente invention se rapporte à un capteur ou trans- ducteur de pression capacitif comprenant un organe central traversé d'un trou et une paire de membranes élastiques élec- triquement isolantes qui sont susceptibles de se déformer en réponse à la différence de pression appliquée de part et d'autre de ces membranes et sont disposées en alignement em- pilé l'une par rapport à l'autre de part et d'autre de l'or- gane central autour du trou Ces membranes sont collées, dans une disposition relative espacées, aux côtés de l'organe cen- tral par un joint d'étanchéité du type verre, formant ainsi entre elles une cavité scellée Le transducteur comporte éga- lement une colonnette montée coulissante dans le trou et at- tachée aux faces inférieures ou intérieures des deux membranes pour faire en sorte que le déplacement de chacune des mem- branes soit dépendant de celui de l'autre; une première paire de couches conductrices ou électrodes sont appliquées à chaque côté de l'organe central et une seconde paire de couches conductrices sont appliquées à la surface intérieure de chaque membrane pour former un premier condensateur sen- sible à la pression en coopération avec les couches conduc- trices correspondantes disposées sur l'organe central de telle sorte que le changement de capacité du premier conden- sateur est approximativement égal et opposé au changement de capacité du second condensateur Le transducteur comporter en outre, des moyens générateurs de signal, fonctionnant en ré- ponse aux valeurs des premier et second condensateurs pour engendrer un signal de sortie de manière à réduire au minimum la composante non linéaire de la variation de capacité en fonction de la pression de telle sorte que le signal de sortie engendré en réponse à la différence entre les pressions appli- quées aux faces extérieures des membranes élastiques est con- sidérablement plus linéaire que dans les transducteurs de la technique antérieure. Par conséquent, l'un des buts généraux de la présente invention est de réaliser un transducteur de pression diffé- rentiel qui produise un signal de sortie plus linéaire que les transducteurs connus Un autre but de la présente inven- tion est de réaliser un transducteur de pression capacitif qui réduise considérablement les non linéarités ci-dessus mentionnées et qui ne nécessite pas l'emploi de circuits de compensation électroniques complexes Encore un autre but de l'invention est de réaliser un transducteur de pression capa- citif ayant une sensibilité accrue. Un avantage de la présente invention découle de la symé- trie des membranes et de leurs électrodes correspondantes. Cette relation permet au dispositif de la présente invention de présenter une insensibilité aux changements de température ainsi qu'un haut degré de rejection en mode commun. D'autres caractéristiques de l'invention apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre et à l'examen des dessins annexés dans lesquels: la Fig 1 est une vue en coupe d'un transducteur de pression différentiel capacitif faisant application de la présente invention; la Fig 2 est une vue en plan d'une des membranes élastiques, cette vue montrant la configuration d'électrodes qu'elle porte; la Fig 3 est une vue en plan représentant une configu- ration d'électrodes disposées sur l'organe central; la Fig 4 représente une autre configuration d'élec- trodes disposée sur l'organe central; la Fig 5 est une vue en coupe représentant le trans- ducteur de pression dans une position infléchie; la Fig 6 représente un pont de mesure capacitif; la Fig 7 représente un pont de mesure à diodes; et la Fig 8 est une vue en coupe schématique à plus petite échelle du transducteur représentant une autre situation de fonctionnement. On se référera maintenant aux Fig 1 à 4 qui repré- sentent les principaux éléments d'un transducteur de pression Le transducteur de pression 20 comporte un organe support central 22 traversé d'une ouverture 24 Dans le présent mode de réalisation, l'organe support central est constitué par un disque circulaire conçu pour être supporté sur son bord. Le support du bord du transducteur n'a pas été représenté sur la Fig 1 mais il a été schématiquement représenté sur la Fig 5 L'organe support central 22 est fabriqué, de préfé- rence, en une matière qui a une caractéristique d'hystérésis pratiquement nulle et un faible coefficient de dilatation thermique Les matières de ce type sont, notamment, l'alumine, le "Pyrex" et le quartz fondu Bien que, dans le mode de ré- alisation préféré de l'invention, on utilise un organe support central 22 circulaire, d'autres formes géométriques sont éga- lement utilisables Le transducteur comprend, en outre, deux disques plus petits qui constituent les membranes flexibles et 32 qui sont, de préférence, disposées coaxialement par rapport au centre de l'organe central 22 Les membranes flexibles 30 et 32 sont, de préférence, fabriquées dans la même matière que l'organe support central 22 Les membranes sont maintenues dans une disposition relative parallèle, es- pacées l'une de l'autre et de l'organe support central 22 par une paire de joints d'étanchéité annulaires d'un type connu, tels que les joints d'étanchéité annulaires en fritte de verre 34 et 36 Les joints d'étanchéité annulaires 34 et 36 peuvent être déposés sur l'organe support central d'une manière connue, par exemple par sérigraphie, dépôt sous vide et/ou pulvérisation cathodique. Pour empêcher l'organe support central 22 de se cintrer lorsqu'une pression est appliquée aux surfaces extérieures des membranes 30 et 32,il est préférable de fabriquer cet or- gane support central 22 de façon qu'il soit plus rigide que chacune des membranes 30 et 32 En outre, pour réduire les effets thermiques,il est souhaitable de fabriquer les mem- branes et l'organe support central dans la même matière En outre, également, pour réduire les contraintes mécaniques en- gendrées dans le capteur, il est souhaitable que les caracté- ristiques mécaniques de la matière utilisée pour les joints 34 et 36 soient semblables aux caractéristiques des membranes et de l'organe support central Une matière d'étanchéité ty- pique est un verre de quartz fondu, tel que la bande de trans- fert de verre G 1015 fabriquée par la société Vitta Corpora- tion Damberry, Connecticut, EUA Les membranes 30 et 32, les joints d'étanchéité 34 et 36 et l'organe support central 22 coopèrent pour délimiter entre eux une chambre 40 hermétique- ment scellée. La capsule manométrique 20 comporte, en outre, une pièce d'espacement centrale, organe d'accouplement ou colonnette qui traverse librement l'ouverture 24 et est lié aux faces inférieures des membranes 30 et 32 La colonnette 50 est jointe aux membranes par des joints du type verre 52 et 54 La longueur de la colonnette 50 et l'épaisseur des joints 52 et 54 sont établies d'une manière connue de telle sorte qu'au repos, c'est-à-dire lorsqu'aucune pression n'est ap- pliquée aux membranes, les membranes sont maintenues dans une disposition relative parallèle et sont essentiellement exemptes de contraintes Le transducteur 20 comporte, en outre, plusieurs électrodes qui sont collées ou fixées d'une autre manière aux surfaces de l'organe central 22 et aux mem- branes 30 et 32 Ces électrodes forment au moins deux con- densateurs sensibles à la pression La configuration spéci- fique des électrodes qui forment ces condensateurs détecteurs de pression peut varier Aux fins de l'illustration, on a re- présenté deux telles configurations d'électrodes On compren- dra, cependant, que les configurations des électrodes situées entre la membrane 30 et l'organe support 22 et entre la mem- brane 32 et l'organe support central 22 sont sensiblement identiques pour une configuration spécifique quelconque. On se référera maintenant à la Fig 2 qui représente une vue en plan d'une électrode typique 60 a disposée sur la sur- face intérieure 56 de la membrane 30 Une électrode identique b, qui a été représentée sur la Fig 1, est disposée sur la surface intérieure 58 de la membrane 32 Plus précisément, la Fig 2 représente une vue en plan de dessous de la mem- brane 30 La membrane 30 comporte une électrode annulaire 60 a disposée concentriquement à l'intérieur du joint d'étanchéité 34 L'électrode 60 a comporte des conducteurs 62 a et 64 a Les conducteurs 62 a et 64 a s'étendent à partir de l'électrode an- nulaire 60 a jusqu'au-9 bords de la membrane 30 La Fig 2 montre également la disposition relative du joint 52 et de l'électrode 60 a. Dans un premier mode de réalisation de l'invention, la configuration des électrodes disposées sur l'organe support central et sur les membranes forme un premier condensateur détecteur de pression C set un second condensateur détecteur de pression Cs 2 Dans un autre mode de réalisation, la confi- guration d'électrodes forme des premier et second condensa- teurs de référence Crl' Cr 2 en combinaison avec des premier et second condensateurs détecteurs de pression Cs 1 et Cs 2 * On se référera maintenant à la Fig 4 qui représente une configuration d'électrodes qui peut être utilisée sur l'or- gane central pour former deux condensateurs détecteurs de pression c 51 et C en combinaison avec les électrodes 60 a sl S 2 et 60 b Cette configuration peut être utilisée avec l'un ou l'autre des circuits en pont représentés sur les Fig 6 et 7 Dans cette configuration, l'organe support central 22 -5 porte sur chacune de ses faces une électrode annulaire 80 dis- posée centralement connectée à un conducteur 82 s'étendant radialement L'électrode 80 est située à l'intérieur du joint d'étanchéité annulaire 34 ou, respectivement, 36 et entoure le trou 24. La Fig 3 représente une autre configuration d'électrodes qui permet de former deux condensateurs détecteurs de pres- sion Cs 1 et Cs 2 et deux condensateurs de référence Cri et Cr 2. Plus précisément, chaque face de l'organe support central porte une électrode annulaire 90 disposé centralement et qui entoure l'ouverture 24 Un conducteur 92 s'étend radialement à partir de l'électrode 90 jusqu'au bord de l'organe support 22 L'organe support 22 comporte, en outre, une seconde élec- trode 94 en formede C presque complètement fermé qui entoure une partie de l'électrode annulaire 90 L'électrode 94 com- porte un autre conducteur 96 s'étendant radialement On peut démontrer que la déformation entre les électrodes 60 a, 60 b et est plus grande que la déformation entre les électrodes a, 60 b et 94 Par conséquent, les condensateurs formés entre les électrodes 60 a, 94 et, respectivement, 60 b, 94 sont appelés condensateurs de référence Cr étant donné que leur ca- pacité ne change pas de manière appréciable tandis que les condensateurs formés entre les électrodes 60 a, 90 et, respec- tivement, 60 b, 90 qui sontdisposées centralement dans la ré- gion sensible à la pression des membranes 30 et, respective- ment, 32 sont appelés condensateurs sensibles à la pression Cs Au cours de la fabrication du transducteur de pression 20, il est préférable d'orienter les conducteurs 82 et, respecti- vement, 92, 94 de l'une et l'autre configurations d'électrodes de façon qu'ils soient également espacés des conducteurs 62 a, 64 a, 62 b, 64 b, qui sont respectivement situés sur la face in- térieure de la membrane 30 et sur la face intérieure de la membrane 32. On se référera maintenant aux Fig 6 et 7 qui représentent deux ponts de mesure qui peuvent être connectés d'une ma- nière connue aux électrodes formant les condensateurs du transducteur 20 Le pont demesure 100 représenté sur la Fig. 6 comprend quatre condensateurs C 1-C 4 Le circuit du pont de mesure représenté sur la Fig 6 peut être utilisé avec l'une ou l'autre des deux configurations d'électrodes capacitives. Comme représenté sur la Fig 6, les condensateurs C 1 et C 2 correspondent aux condensateurs détecteurs de pression C 1 et C 52 Les condensateurs C 3 et C 4 correspondent aux conden- sateurs de référence qui peuvent être des condensateurs de référence situés à l'intérieur du transducteur 20 ou des con- densateurs externes au transducteur On peut démontrer que la tension de sortie du pont 100 est proportionnelle aux va- leurs de ses capacités -Cette relation est donnée par l'é- quation ( 1) ci-dessous: EL F 1/c C 1 ( 1/C 1 + 1/C 2) 1/c 3/ ( 1) La Fig 7 représente un autre pont de mesure 110 qui comprend, entre autres, des diodes D 1 à D 4 qui sont connec- tées aux condensateurs détecteurs de pression C 1 et C 2 La tension de sortie de ce pont est,de même, proportionnelle aux valeurs de ses capacités et est donnée par l'équation ( 2) ci- dessous: E - i( 2) o C 1 C 2 Les ponts de mesure des Fig 6 et 7 peuvent être utili- sés pour mesurer les variations de capacité d'un transducteur de pression ayant un unique condensateur détecteur de pres- sion de même que les condensateurs multiples détecteurs de pression de-la présente invention Dans le cas du détecteur de pression de la technique antérieure qui comporte un unique condensateur de pression, la tension de sortie du pont de ca- pacités de la Fig 6 est donnée par l'équation ( 1) En outre, étant donné que le terme de droite de l'équation ( 1) ne va- rie pas, une constante H est combinée à la tension de sortie pour fournir une tension de sortie modifiée E'0 L'équation ( 3) montre la relation résultante de la tension de sortie. E' t' 1/C 1/( 1/c 1 + 1/C 2) = C + C( 3 o il 2 C 1 + 2 On rappelera que la capacité variable C 1 peut être ex- primée par: c 1 A ( 4) C 1 d 1 +Z Sd 1 dans laquelle A est une constante de proportionnalité et \d 1 est le changement de l'espacement nominal d 1 entre les plaques formant le condensateur C 1. En substituant l'équation ( 4) dans l'équation ( 3) et en introduisant le terme: X = A (d+A dl) ( 5) C 2 on peut récrire l'équation ( 3) sous la forme: E ii( 6) 1 + A/C 2 (d 1 + d 1) 1 + X En développant l'équation ( 6),en utilisant le développe- ment binominal,on obtient l'équation ( 7) qui montre claire- ment que la tension de sortie E' engendrée par le détecteur de pression de la technique antérieurevarie de manière non linéaire en fonction du déplacement. E On + x 2 + ( 7) On peut démontrer que la séparation entre les plaques du condensateur est proportionnelle à la pression appliquée; par conséquent, l'équation ( 7) montre également que la tension de sortie varie d'une manière non linéaire en fonction de la pression. Par contraste, la tension de sortie engendrée par le transducteur 20 en combinaison avec l'un ou l'autre des cir- cuits en pont des Fig 6 et 7 varie de manière beaucoup plus linéaire en fonction du changement de la distance de sépara- tion des plaques des condensateurs. A titre d'exemple, si le transducteur 20 est connecté dans le circuit en pont de la Fig 6 et si l'on admet que les condensateurs C 1 et C 2 sont respectivement constitués par le condensateur C 1 et par le condensateur Cs 2,la tension de sor- tie est E' donnée par l'équation ( 8) ci-après: Cs 1 A 1/(d 1 +L d 1 ET + c 2 A 1/(d 1 d) A(d +d) ( 8) Cs Cs 2 ( 1 22 2 On rappelera que les valeurs initiales des condensateurs C et Cs 2 sont égales Cette relation implique que les cons- tantes de proportionnalité A 1 et A 2 sont également égales de même que les espacements initiaux d 1 et d 2 En outre, on peut également démontrer que les déplacements L\d 1 et âd 2 sont égaux et opposés. La tension de sortie E'0, telle qu'exprimée dans l'é- quation ( 8) peut ainsi être exprimée sous la forme: d + a d E', 2 2 ( 9) o 2 d 2 L'équation ( 9) montre que la tension de sortie El' est linéairement proportionnelle au changement de l'espacement entre les plaques de chaque condensateur Cs 1, Cs 2 De même, on peut voir que la tension de sortie est proportionnelle à la différence de pression appliquée Une relation semblable montrant l'amélioration de la linéarité de la tension de sor- tie peut être calculée pour le circuit de diodes en-pont de la Fig 7. En outre, une caractéristique très avantageuse de la présente invention réside en ce qu'elle produit un degré éle- vé de réjection en mode commun, c'est-à-dire que la capsule manométrique et ses circuits électroniques ne répondent qu'aux différences de pression et non au niveau de la pression abso- lue appliquée Cette caractéristique résulte de la symétrie des membranes 30 et 32 et de leurs électrodes qui produit une élimination du premier ordre de la déformation des membranes par rapport au support 22 Dans de nombreuses situations d'em- ploi, la capsule est soumise à une forte pression de base et doit mesurer les écarts par rapport à cette pression de base. Cette situation de fonctionnement a été représentée sur la Fig 8 qui montre le cas o les pressions de base appliquées P et P sont pratiquement identiques En réponse à ces pres- sions, les membranes se déforment comme représenté Etant don- né que les condensateurs détecteurs de pression Csi et Cs 2 changent de la même manière, les circuits en pont 100 et 110 restent équilibrés et il n'est pas produit de signal de sor- tie tant que les pressions appliquées n'ont pas changé légè- rement pour produire une différence de pression. Cette situation est en nette opposition avec le fonc- tionnement d'un dispositif de la technique antérieure du type constitué par un transducteur ayant un unique condensateur dé- tecteur de pression disposé entre une membrane, telle que la membrane 30 ou 32,et un support tel que le support 22 Dans la situation de mode commun, c'est-à-dire lorsque les pres- sions appliquées Pl et P 2 sont égales,le transducteur engendre un signal de sortie du fait du changement de la valeur de l'u- nique condensateur détecteur de pression. En utilisant en combinaison avec le pont une capsule ma- nométrique 20 dans laquelle une configuration d'électrodes telle que représentée sur les Fig 2 et 3 est disposée sur les membranes 30 et 32 et sur le support 22 et dans le cas o les valeurs nominales des condensateurs de référence Cs 1 et C 2 et celles des condensateurs sensibles à la pression C et C 52 sont égales, tous les condensateurs changent de la même valeur et dans le même sens en réponse aux variations de la température, maintenant ainsi le pont 100 dans une condi- tion équilibrée Le pont 110 assure le même effet de compensa- tion de la température. En fonctionnement, la capsule de pression 20 est placée dans un boîtier qui réalise un serrage du bord périphérique de l'organe support 22 et forme ainsi deux chambres récep- trices de pression séparées par l'organe support 22 de telle sorte qu'une première pression est appliquée à la surface ré- ceptrice de pression de la membrane 30 et qu'une seconde pres- sion est appliquée à la surface réceptrice de pression de la membrane 32 Lorsqu'aucune pression ne leur est appliquée ou que des pressions égales leur sont appliquées, les membranes sont maintenues à des distances égales d 1 et d 2 de l'organe support 22 S'il existe une différence de pression, les mem- branes se déforment, comme représenté sur la Fig 5 A titre d'exemple, si la pression Pl est plus grande que la pression P 2, l'espacement entre la membrane 30 et l'organe support central 22 diminue tandis que l'espacement entre la membrane 32 et l'organe support central 22 s'accroit Une tension de sortie est engendrée conformément aux équations ci-dessus qui produit une relation nettement plus linéaire que dans le passé entre le changement de capacité et la pression diffé- rentielle appliquée. De nombreux changements et modifications peuvent être apportés aux modes de réalisation ci-dessus décrits de l'in- vention sans sortir pour cela de son cadre Par conséquent, la portée de l'invention ne doit être considérée comme limi- tée que dansla mesure définie par les revendications annexées. REVENDICATIONS 1 Un transducteur de pression capacitif ( 20) caractérisé en ce qu'il comporte: un organe central ( 22) traversé par un trou ( 24); deux membranes élastiques ( 30, 32) électriquement isolantes susceptibles de fléchir en réponse à la pression qui leur est appliquée, disposées en alignement vertical l'une avec l'autre et disposées de part et d'autre du trou et collées aux côtés de l'organe central par un joint ( 34, 36) du type verre dans une disposition espacée de manière à for- mer entre elles une cavité scellée ( 40); une colonnette ( 50) reçue à coulissement dans le trou et fixée aux membranes de façon que le déplacement de chacune des membranes soit dépen- dant du déplacement de l'autre; deux premières couches con- ductrices ( 80, 90, 94) appliquées sur les faces opposées de l'organe central; et deux secondes couches conductrices ( 60 a, b) appliquées sur la surface intérieure de chacune des mem- branes pour former,en coopération avec les couches conduc- trices disposées sur l'organe central,des premier et second condensateurs (C 51, Cs 2) variant en fonction de la pression de sorte que les changements de capacité du premier condensa- teur sont approximativement égaux et opposés aux changements de capacité du second condensateur. 2 Transducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que les capacités des premier et second condensateurs va- riables en fonction de la pression lorsqu'aucune pression n'est appliquée aux membranes ou que des pressions égales leur sont appliquées sont approximativement égales. 3 Transducteur selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comporte, en outre, des électrodes de référence ( 60 a, 60 b, 94) disposées sur les membranes ( 30, 32) et sur l'or- gane central ( 22) de manière à former deux condensateurs de référence (Cr, C) pratiquement insensibles à la pres- sion appliquée. 4 Transducteur selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'il comporte, en outre, un boîtier pour porter l'organe central ( 22) et pour délimiter en coopération avec lui des moyens pour transmettre une première pression appliquée à l'une des membranes et pour transmettre une seconde pression appliquée à l'autre membrane. Un transducteur de pression capacitif ( 20) caractérisé en ce qu'il comporte: un organe central ( 22) traversé par un trou ( 24); deux membranes élastiques ( 30, 32) électriquement isolantes susceptibles de fléchir en réponse à la pression qui leur est appliquée, disposées en alignement vertical l'une avec l'autre et disposées de part et d'autre du trou et collées aux côtés de l'organe central par un joint ( 34, 36) du type verre dans une disposition espacée de manière à for- mer entre elles une cavité scellée ( 40); une colonnette ( 50) reçue à coulissement dans le trou et fixée aux membranes de façon que le déplacement de chacune des membranes soit dépen- dant du déplacement de l'autre; deux premières couches con- ductrices ( 80, 90, 94) appliquées sur les faces opposées de l'organe central; deux secondes couches conductrices ( 60 a, b) appliquées sur la surface intérieure de chacune des mem- branes pour former,en coopération avec les couches conduc- trices disposées sur l'organe central,des premier et second condensateurs (C 51, Cs 2) variant en fonction de la pression de sorte que les changements de capacité du premier condensa- teur sont approximativement égaux et opposés aux changements de capacité du second condensateur; et des moyens ( 100; 110) générateurs de signal fonctionnant en réponse aux capacités des premier et second condensateurs (C 51, Cs 2 J pour engendrer un signal de sortie de manière à réduire au minimum la com- posante non linéaire de la variation de capacité en fonction de la pression de sorte que le signal de sortie ainsi engen- dré est nettement plus linéaire en réponse à la différence de pression appliquée aux membranes élastiques. 6 Transducteur selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'il comporte, en outre, des condensateurs de référence (C r, Cr 2) associés à chacun des condensateurs variables en fonction de la pression. 7 Transducteur selon la revendication 6, caractérisé en ce que les condensateurs de référence sont situés à l'intérieur de la cavité scellée ( 40). 8 Transducteur selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comporte, en outre, un boîtier pour porter l'organe central ( 22) et pour délimiter en coopération avec lui des moyens pour transmettre une première pression appliquée à l'une des membranes et pour transmettre une seconde pression appliquée à l'autre membrane. 9 Un transducteur de pression capacitif ( 20) caractérisé en ce qu'il comporte: un organe central ( 22) traversé par un trou ( 24); deux membranes élastiques ( 30, 32) électriquement isolantes susceptibles de fléchir en réponse à la pression qui leur est appliquée, disposées enalignement vertical l'une avec l'autre et disposées de part et d'autre du trou et col- lées aux côtés de l'organe central par un joint ( 34, 36) du type verre dans une disposition espacée de manière à former entre ellesune cavité scellée ( 40); une colonnette ( 50) reçue à coulissement dans le trou et fixée aux membranes de façon que le déplacement de chacune des membranes soit dépendant du déplacement de l'autre;et des électrodes ( 60 a, 60 b, 80; 90, 94) disposées sur les faces intérieures desmembranes et sur les deux faces de l'organe central pour former au moins deux condensateurs détecteurs de pression (Cs 1, Cs 2); et des moyens de mesure ( 100) formant unpont de capacités connecté à au moins deux condensateurs détecteurs de pression pour engen- drer un signal de pression en réponse au changement d'espace- ment entre les deux condensateurs détecteurs de pression au moins au nombre de deux de sorte que le circuit de capacités en pont est maintenu dans une configuration équilibrée et qu'ainsi son signal de sortie est nul lorsque l'espacement entre les deux condensateurs détecteurs de pression est ap- proximativement égal.