Brevet FR2510816A1 — publié le 19830204

La présente invention se rapporte à un dispositif numérique pour la commande d'un rayonnement corpusculaire lors de la réalisation de surfaces structurées dans le domaine de la micro-électronique Le dispositif peut être utilisé dans des appareils à rayonnement corpusculaire, notamment dans des appareils à faisceau électronique com- portant plusieurs systèmes de déviation à étendue linéaire. Le procédé pour créer des structures micro- électroniques à l'aide de générateurs d'images à fonction- nement rapide comprend en principe les opérations techno- logiques partielles suivantes: a) bauche du circuit sous forme le la topographie des plans d'ébauche de l'arrangement nécessaires à la réa- lisation du circuit et dans laquelle les structures sont indiquées par des points d'angle; b) transformation des données topographiques initiales en informations de commande spécifiques pour le générateur d'images concerné; c) structuration dans le générateur d'images (proces- sus d'exposition) lors duquel la productivité est limitée par la vitesse finie du transfert des données pendant la mise ' disponibilité de l'information de commande actuelle. On connait des appareils pour réaliser des circuits micro-électroniques qui fonctionnent selon des méthodes et des procédés différents, par exemple au moyen d'un fais- ceau ponctuel ou d'un faisceau dont la forme peut être com- mandée Dans ces appareils la structuration de surfaces peut s'effectuer par exemple selon le principe de balayage par trame ou de balayage par vecteur. Etant donné que les dispositifsd'exposition par faisceau électronique fonctionnant suivant le principe de balayage par trame (J Vac Sci Technology, Vol 16 No 6 nov /déc 1979) doivent décrire un grand nombre de points, on introduit des données de commande de points ou des don- nées de commande de lignes comprimées Pendant le processus d'exposition il se produit alors une restitution point par point du modèle original de l'image par suite d'un traitement en temps réel au moyen de l'installation en question. Ce procédé présente cependant les inconvénients suivants La solution décrite nécessite un nombre de données comprimées qui est nettement supérieur à celui des points délimitant les angles des figures et dont le nombre repré- sente une grandeur relevante pour l'information de commande exempte de redondance en vue de la production de l'ébauche de l'arrangement destinée au domaine de la micro-électronique. Les données doivent être soumises à un traitement préliminaire afin de créer les données comprimées, c'est- à-dire que l'opération partielle b) nécessite la mise en oeuvre de moyens de calcul compliqués et onéreux. Lorsque la structuration des surfaces s'effectue selon le principe de balayage par vecteur (J Vac Sci. Technology, Vol 16, No 6, nov/déc 1979, pages 1787 à 1793) il est connu de réaliser les surfaces à structurer en assem- blant des figures élémentaires Dans ce cas on peut conman- der la position de chaque figure élémentaire ainsi que la grandeur et la forme de cette dernière. Les figures élémentaires peuvent être constituées par exemple par des trapèzes de base qui sont créés par des générateurs analogiques de signaux de trame en forme de trapèze. L'utilisation de figures élémentaires présente l'inconvénient de nécessiter des moyens compliqués pour la décomposition de figures complexes en figures élémentaires lors de l'opération partielle b). Pour créer des plans d'ébauche de l'arrangement, de structure identique et dans lesquels la coordination des surfaces exposées et non-exposées doit être inversée (inversion de la valeur de tcn), tous les générateurs d'image connus exigent une répétition de l'opération par- tielle b) polr la préparation des données et entraînent de ce fait un temps de calcul supplémentaire et important. Lors de l'utilisation d'un faisceau de forme réglable pour créer des figures élémentaires (Jenaèr Randschau 23, /1978, pages 212 à 218)> on se trouve confronté, en plus des inconvénients déjà exposés, à des problèmes lors de la production de lignes obliques et lors du raccordement de lignes obliques à des figures à axes parallèles par suite d'un manque de souplesse de la forme du faisceau. On a également conçu des systèmes de déviation électrostatiques prévus pour agir parallèlement sur des rayonnements corpusculaires et qui sont constitués par un grand nombre d'électrodes disposées de façon linéaire (demande de brevet DD H 01 J 222 294) On ne connaît cependant pas encore de dispositifs permettant de créer pour ces systèmes de déviation les informations nécessaires à la commande des tons clairs et foncés. La présente invention a pour objet d'augmenter la vitesse lors de la structuration des surfaces au cours de la réalisation de circuits micro-électroniques afin d'amé- liorer la productivité des appareils de ce type. L'invention a, en conséquence, pour but de créer un dispositif pour la commande de générateurs d'images dans le domaine de la micro-lithographie permettant de structurer à grande vitesse des surfaces du deuxième ordre, même très compliquées, délimitées de façon polygonale et présentant des délimitations de figure à axes parallèles et/ou inclinées de 45 Le dispositif suivant l'invention doit également permettre de supprimer les opérations intermé-4 diaires nécessaires à ce jour et exigeant le passage par des figures élémentaires et de fournir, de plus, une solution simple pour l'inversion de la valeur des tons Tout le dispositif doit pouvoir être intégré et comporter un grand nombre de composants identiques. Les problèmes exposés ci-dessus sont résolus confor- mément à l'invention par un dispositif de commande du rayonnement corpusculaire lors de la réalisation de surfaces structurées au moyen d'appareils à rayonnement corpusculaire comportant, de préférence, plusieurs systèmes de déviation v étendue linéaire et un certain nombre d'électrodes de déviation pour la modulation des tons clairs et foncés lors du traitement par colonnes des figures superficielles à structurer et définies à l'intérieur d'un réseau fixe x y par des points, les colonnes s'étendant, de préférence, dans la direction y, ce dispositif étant caractérisé en en ce qu'il est prévu pour créer des colonnes contenant les points des bords des figures et pour un nombre de points d'image correspondant au nombre des électrodes de déviation, à chaque fois un élément de commutation qui contient, pour la mise en mémoire des signaux de commande représentant l'allure du bord des figures, trois déclencheurs dont le premier reçoit le signal de commande pour une allure de bord de + 45 , le deuxième pour une allure de bord de O O et le troisième pour une allure de bord de 450 par rapport à la direction x, lorsque les colonnes s'étendent dans la direction y, en ce que le signaux de commande de bord présents en même temps dans tous les éléments de commutation et les signaux d'adresse pour la coordonnée y ainsi qu'une impulsion d'horloge pour l'enregistrement sont combinés à l'aide de circuits logiques en vue de former des signaux d'effacement préliminaire et des signaux de positionnement pour les déclencheurs, chacun des éléments de commutation contenant un décodeur d'adresse représentant la coordonnée -y, en ce que les entrées, pour les impulsions d'horloge du premier et du troisième déclencheurs-sont reliées à un conducteur commun à tous les éléments de commutation pour réaliser un pas de trame de la position x et les trois signaux de sortie des déclencheurs sont combinés logiquement et de façon antivalente pour obtenir un signal de point de bord de l'élément de commutation, en ce que les éléments de commutation sont reliés logiquement pour obtenir un dispositif d'éléments en forme de colonnes et dans lequel un registre à décalage pour la direction + y est relié à chacun des premiers déclencheurs des éléments de commutation et un registre de décalage pour la direction y à chacun des troisièmes déclencheurs, le début de chaque registre de décalage étant relié logiquement à "zéro", en ce qu'on crée, en outre, pour chaque point d'image de trame un signal de commande des tons clairs et foncés à l'aide d'un circuit logique relié au dispositif d'éléments en forme de colon- nes en vue de créer à partir des siqnaux de points de bord délivrés par ce dernier des colonnes de bits complètes, une porte d'antivalence étant prévue à chaque fois pour un nombre, de préférence 2 m ( m représentant un nombre naturel), de points d'image de trame, la première entrée de la porte, délivrant à sa sortie le signal de commande de tons clairs et foncés, étant reliée pour former un circuit itératif partiel, au conducteur de sortie de la porte d'antivalence le précédant dans la colonne tandis que la deuxième entrée de la porte rcvoit le signal de point de bord associé du dispositif, en ce que, pour obtenir un passage rapide des signaux à l'intérieur du circuit logique, on prévoit des circuits partiels du premier ordre et qui sont constitués chacun par un circuit itératif partiel dont 2 m signaux d'entrée sont combinés de façon antivalente par rapport à un signal de sortie des circuits partiels et la première entrée de la première porte d'antivalence de chaque circuit itératif partiel sert d'entrée de transfert, en ce qu'à chaque fois deux circuits partiels sont combinés pour former des circuits partiels d'un ordre plus élevé, en appliquant, par paires, les signaux de sortie des circuits partiels d'un ordre inférieur aux entrées de transfert des circuits partiels montés en aval dans le circuit logique, et en ce que chacune des entrées de transfert de chaque circuit partiel est commandée par la combinaison antivalente de tous les signaux de point de bord présents en amont du circuit partiel concerné à l'intérieur logique. Suivant une autre caractéristique de l'invention, un signal pour l'inversion de la valeur des tons est ap- pliqué à l'une des entrées du circuit logique, signal qui est complémentaire au signal de commande des tons clairs et foncés produit pour chaque point d'image du fait qu'il est appliqué à chaque entrée de transfert des circuits partiels du premier ordre par l'intermédiaire d'une porte d'antivalence supplémentaire. Entre les sorties du circuit logique et du système de déviation multiple est disposé un système à mémoires tampons composé de plusieurs éléments tampons partiels qui peuvent être lus en avant et en arrière Les informations dés tons clairs et foncés mémorisées temporairement par le système à mémoires tampons et concernant tous les points d'image d'une colonne influencent un ou plusieurs rayonnements corpusculaires de façon parallèle dans le temps, parallèle par séries ou en série. Une quantité de surfaces de figures à créer dans le plan xy est formée en reproduisant) successivement les uns après les autres, des modèles clairs et foncés, produits de façon linéaire, à des intervalles d'un pas de trame et dans le sens de l'avance de travail qui s'effectue dans la direction: dans ce qui suit Chaque modèle de ligne ainsi créé représente la coupe transversale actuelle de la quantité-de surfaces de figures à un endroit donné du plan xy et peut être créé par une cadence de travail numé- rique. En tant qu'informations de commande on utilise notamment les points d'angle des figures polygonales à traiter Ces points d'angle doivent être classés selon leur grandeur par rapport au sens de l'avance de travail Chaque point doit contenir, en plus de la valeur y, également une information précise en ce qui concerne la modification de la ligne de délimitation de la figure se produisant à l'endroit en question Pour cette information de commande du bordil faut trois bits en plus de la valeur de coordon- née, et de ce fait on peut coder à chaque fois l'allure de deux lignes du bord prenant naissance dans l'un des points d'angle de la figure Cette information de commande peut être créée sans une mise en oeuvre de calcul important étant donné que les surfaces de figures sont définies par des indications de points d'angle dans la pratique microlitho- graphique. Il est important de créer les modèles de bits linéaires grâce à deux opérations Lors de l'avance de travail dans le sens x, le modèle de bits à créer forme une colonne dans le sens y. Opération 1: Formation d'une colonne des points de limitation des figures = colonne de points de bord en tant que coupe transversale actuelle par les limites de figure en forme de ligne en un endroit x dans le plan xy. Opération 2: Formation d'une colonne de modèles de bits à partir de la colonne des points de bord de façon à créer une chaîne de bits d'une valeur Logique identique entre à chaque fois deux points de bord se succédant La valeur logique correspond à la tonalit ou au contraste des parties superficielles à traiter et alterne d'une chaîne de bits à l'autre du fait que les points de bord déterminent l'emplacement de l'inversion du contraste;"dans l'ébauche de l'arrangement prédéterminé. Le temps nécessaire à la première opération dépend directement du nombre des points de figure venant s'ajouter à l'emplacement x concerné de chaque colonne Le nombre des points de figure varie localement de manière importante. Pour cette raison le système nécessite la présence d'un élément tampon qui compense les variations dans le temps de la densité des points. La deuxième opération s'effectue à l'aide d'un circuit numérique rapide ne comportant pas d'éléments de mémorisation Ce circuit est lié chronologiquement à l'al- lure de la fréquence horloge constante déterminée par l'avance de travail. Le circuit numérique suivant l'invention permet en outre une inversion simple de la tonalité ou du con- traste, c'est-à-dire qu'il est possible, lors de la deuxième opération, d'obtenir une inversion de parties superficielles à exposer en parties non exposées, et inver- sement, sous l'effet d'un signal de commande. Les circuits numériques proposés pour créer des colonnes de points de bord et des modèles de bits peuvent être réalisés avantageusment sous forme de circuits numé- riques fortement intégrés, Etant donné que les circuits sont composés pricipalement de cellules de répétition, la mise en oeuvre technologique pour la réalisation de l'électronique du générateur d'images n'est pas importante. Diverses autres caractéristiques de l'invention ressortent d'ailleurs de la description détaillée qui suit. Une forme de réalisation de l'objet de l'invention est représentée, à titre d'exemple non limitatif, aux dessins annexés. La fig 1 est un schéma par blocs d'un dispositif de commande numérique complet pour une commande en paral- lèle d'un système de déviation multiple à étendue linéaire et qui peut être utilisé dans un appareil à rayonnement corpusculaire pour un traitement par bandes. Les fig 2 et 3 montrent schématiquement un dispo- sitif pour créer la colonne de points de bord. Les fig 4 a, 4 b et 5 représentent un dispositif pour créer la colonne de modèles de bits. La fig 6 a montre en tant qu'exemple une structure nominale comportant les points d'angle El à E 12. La fig 6 b est une vue complète de la structure nominale créée à partir de la fig 6 a. Le dispositif de commande suivant la fig 1 comporte une mémoire de masse 1 qui contient les données de commande en tant que coordonnées de points classées et présentant de plus une information de commande de bord par point La mémoire de masse 1 est reliée à un élément tampon 2 qui peut être lu rapidement de façon successive et répétée Un dispositif 3 pour créer la colonne des points de limitation des figures reçoit de l'élément tampon 2 les données de commande d'entrée et il est relié par l'intermédiaire de conducteurs K en parallèle avec un circuit logique 4 destiné à créer la colonne complète de modèles de bits. Ces modèles de bits complets sont créés pour chaque valeur x et apparaissent successivement et chronologiquement en fonction du pas de trame, à la sortie du circuit logique et au niveau de conducteurs parallèles de sortie t Un système tampon 5 j qui fonctionne par exemple selon le principe FIFO connu (premier entré, premier sorti), est monté en aval afin de lisser dans le temps les modèles de bits arrivant avec une fréquence variable Il est avantageux d'utiliser un système tampon composé de plusieurs éléments afin de pouvoir lire dans le sens de travail en avant ou en arrière les éléments qui contiennent les modèles de bits créés complets La mémorisation de modèles de bits dans d'autres éléments libres du système tampon 5 s'effectue parallèlement au processus de lecture. Un système de déviation 6, par exemple un système de déviation statique et multiple, est rzccordé à la sortie du système tampon 5 Un circuit logique de commande 7 est prévu pour que le modèle de bits délivré soit présent pen- dant un laps de temps constant à la sortie du système tampon 5. Le circuit logique 7 commande également le circuit tampon d'entrée 2 en coopération avec la mémoire de masse 1 La fonction principale pour créer les modèles de bits consiste dans la production des impulsions de commarlde, nécessaires au dispositif 3, en fonction du contenu en données du circuit tampon d'entrée 2 A cet effet des valeurs de coordonnées x qui arrivent doivent être différen- ciées des valeurs de coordonnée y couplées avec l'infor- mation de commande de bord de 3 bits Le circuit logique de commande 7 contient également un compteur pour créer la coordonnée de sortie x courante et un comparateur pour constater la coïncidence entre la coordonnée de sortie x courante et une coordonnée x qui arrive. Le fonctionnement du circuit logique de commande 7 en ce qui concerne la production des impulsions de com- mande nécessaires au dispositif 3 est décrit en référence aux figures 2 et 3 qui montrent le dispositif pour créer la colonne des points de bord. Conformément au nombre des points d'image réalisés par le système de déviation 6, le dispositif 3 comporte pour chaque point d'image un élément 21, par exemple sous forme d'une colonne Dans chacun des éléments 21 de ce dispositif on peut mettre en mémoire à l'aide des déclen- cheurs 11, 12 et 13 l'information de commande de bord par rapport au point d'angle de la figure. Chacun des 3 bits des signaux de commande de bord 34 (RSA, RSB' RSC) représente une allure de bord qui con- tient une composante dans le sens du travail. RSA correspond-à + 45 , RSB à O o et RSC à -450. Le code 000 signifie une direction vers la gauche et une direction verticale ou deux directions vers la gauche et efface un point dans le dispositif 3 D'autres possibi- lités de codage LOO/OLO/OOL/LOL/LLO/OLL concernent les points d'angle des figures et une ou deux directions vers la droite. Un L à la sortie du déclencheur 11 représente une allure de bord de + 450 par rapport aux axes des coordonnées, le déclencheur 12 représente une allure de bord qui est parallèle à l'axe x, c'est-à-dire de 00, et le déclencheur 13 une allure de -450. L'impulsion d'horloge (TX) 30/émise par le circuit logique de commande 7 pour chaque pas de trame, a pour ef- fet de créer la quantité actuelle des points de passage du bord de figure (colonne de commande de bord actuelle) qui correspondent à la position momentanée et qui résultent de la colonne de commande de bord de la position x précé- dente. L'impulsion d'horloge (TX) 30 agit dans le dispo- sitif 3 en tant qu'impulsion de décalage et les déclencheurs 11 des éléments 21 représentent alors les registres d'un registre à décalage qui transmet les informations dans le sens positif (+y) par l'intermédiaire des raccords 22, 23 Les déclencheurs 13 des éléments 21 représentent par l'intermédiaire des raccords 25, 24 un registre à décalage qui est parallèle au premier mais qui présente un sens de décalage opposé (-y). L'état du déclencheur 13 n'est pas influencé par l'impulsion d'horloge (TX) 30 et son état provenant de la 1 1 position x précédente reste inchangé. Lorsque pour une position x actuelle de nouvelles informations de points d'angle 32, composées du signal d'adresse pour la coordonnée y 35 et des signaux de com- mande de bord associés (RS) 34, sont mémorisées dans le dispositif tampon, ces informations et les impulsions d'horloge (TY) 31 émises par le circuit logique de com- mande 7 sont appliquées aux déclencheurs 11, 12 et 13 des éléments 21 Le nombre des impulsions d'horloge (TY) 31 nécessaires correspond à celui des points d'angle à enregistrer dans la colonne des éléments. A cet effet un décodeur 18 pr Gduit pendant la durée d'une impulsion d'horloge (TY) 31 une impulsion qui pro- voque, au niveau des entrées de rappel des déclencheurs 11, 12 et 13, un effacement préalable et, par suite du retard provoqué par les portes 14, 15 et 16 montées en amont des entrées de commande ainsi que par le retard créé par n négateur 17, un positionnement des déclencheurs 11, 12, 13 avec les 3 bits RSA, RSB et RSC se rapportant au point de bord décodé Dans chaque élément (i} 21, les sorties des déclencheurs 11, 12, 13 sont combinées logi- quement par l'intermédiaire de circuits d'antivalence 19 et 20 afin de créer le signal de sortie (Pi) 26 qui repré- sente le signal à créer pour un point de bord (i) La quantité des signaux de sortie K (P) forme une colonne de points de bord 33. Les fig 4 et 5 montrent le montage du circuit logique destiné à créer la colonne des modèles de bits. L'exemple de réalisation est conçu pour un nombre de points de colonne K = 2048. Le circuit logique 4 sous sa forme la plus simple est constitué par une interconnection de K portes d'anti- valence 40, l'antivalence étant formée par le signal de point de bord prédéterminé 41 et par le signal de sortie de la porte d'antivalence précédente Les sorties 42 représentent alors les informations de commande des contrastes clair et foncé en fonction du point d'image pour le système d'exploration 6 Pour un temps de propa- gation d'une porte d'antivalence de t, il résulterait G' alors, pour le nombre de points de colonne mentionné, un temps 1 = 2048 t G jusqu'à ce qu'une colonne de modèles de bits complète soit créée à partir de la colonne de points de bord prédéterminée. Ce temps peut être réduit de façon importante lors- qu'on utilise une formation de transmission rapide La production rapide de colonnes de modèles de bits est expli- quée ci-après à l'aide d'un exemple de réalisation. Ce montage est composé de seize circuits partiels d'ordre élevé, utilisés de façon répétitive et montés pour former un circuit itératif en étant combinés, confor- mément à la fig 5, par l'intermédiaire de circuits d'anti- valence Les circuits partiels 50 sont constitués chacun par seize circuits partiels 45 d'un premier ordre, utilisés de façon répétitive et reliés, conformément à la fig 4, par des portes d'antivalence Chacun des circuits partiels présente une sortie 48 qui sert à la combinaison d'anti- valence rapide Pour l'introduction des signaux de sortie 48 de la combinaison d'antivalence dans le montage itératif depuis le début jusqu'à la cellule observée, chaque cir- cuit partiel 50 comporte une entrée de transfert 47. Conformément à la fig 4, chaque cellule 45 com- prend un circuit itératif partiel avec huit portes d'anti- valence 40 formant également un circuit itératif Chaque porte est alimentée sur son côté d'entrée par le signal de point de bord prédéterminé 41 entrées A à H et par la sortie de la porte d'antivalence la précédant dans le crcuit itératif Les sorties 42 des portes d'antivalence faisant partie du circuit itératif fournissent chacune les huit signaux de sortie correspondants de la colonne de modèles de bits sorties 42 J à Q. La sortie pour la combinaison d'antivalence des huit signaux d'entrée ainsi que de l'entrée de transmission 43 n'est pas prévueà la fin du circuit itératif partiel, c'est-à-dire à la sortie Q de la porte d'antivalence En vue d'obtenir une formation de transfert plus rapide, les huit signaux d'entrée (A à H) 41 sont combinés par groupes, conformément à la fig 4, par sept portes d'antivalence particulières 46 et forment ainsi le signal de sortie 44. Grâce au montage suivant les fig 4 et 5, on crée une cas- cade avec 16 x 16 8 bits circuits partiels dont le temps de réponse est au maximum Max = 26 % 1. max La valeur de ton ou le contraste de tous les points d'image d'une colonne de modèles de bi-s peut être rendue négative en appliquant, indépendamment de la conception du dispositif 4, un niveau O ou L à l'entr'e de transfert 43 du circuit itératif partiel supérieur 5, ce qui correspond dans l'exemple considéré à l'entrée de contraste 51 Le niveau à l'entrée 51 constitue la valeur de contraste de départ pour chaque colonne de modèles de bits. La fig 6 a montre en tant qu'exemple une structure nominale présentant des points d'angle El à E 12 La numé- rotation des points d'angle correspond à la succession chronologique des données de commande devant être disponibles dans le dispositif tampon 2 Les indications de coordonnées dans les données de commande doivent alors correspondre à un multiple d'un pas de trame 65. La fig 6 b montre la quantité totale des colonnes de points de bord et des points d'angle 61 créés pour la structure nominale suivant la fig 6 a à l'aide du dispositif 3, et la quantité totale des colonnes de modèles de bits et des points d'image excités 62 (à exploration claire) créés par le dispositif 4 Le point d'image 63 n'est pas excité dans le présent exemple, en raison des portes d'antivalence 19 et 20 (voir fig 2). Des points d'angle avec la commande de bord (RS = 000) 64 sont enregistrée par les impulsions d'horloge (TY) 31 et provoquent l'effacement des points de bord 61 enregistrés par l'impulsion d'horloge (TY) 30. REVENDICATIONS 1 Dispositif de commande du rayonnement corpus- culaire lors de la réalisation de surfaces structurées au moyen d'appareils à rayonnement corpusculaire comportant, de préférence, plusieurs systèmes de déviation à étendue linéaire et un certain nombre d'électrodes de déviation pour la modulation des tons clairs et foncés lors du traitement par colonnes des figures superficielles à struc- turer et définies à l'intérieur d'un réseau fixe x y par des points, les colonnes s'étendant, de préférence, dans la direction y, ce dispositif étant caractérisé en ce qu'il est prévu pour créer des colonnes contenant les points des bords des figures et pour un nombre de points d'image correspondant au nombre des électrodes de déviation, à chaque fois un élément de commutation ( 21) qui contient, pour la mise en mémoire des signaux de commande représentant l'allure du bord des figures, trois déclencheurs ( 11, 12, 13) dont le premier ( 11) reçoit le signal de commande pour une allure de bord de + 45 , le deuxième pour une allure de bord de O et le troisième pour une allure de bord de 45 par rapport à la direction x, lorsque les colonnes s'éten- dent dans la direction y, en ce que les signaux de commande de bord ( 34) présents en même temps dans tous les éléments de commutation ( 21) et les signaux d'adresse ( 35) pour la coordonnée y ainsi qu'une impulsion d'horloge ( 31 > pour l'enregistrement sont combinés à l'aide de circuits logi- ques en vue de former des signaux d'effacement préliminaire et des signaux de positionnement pour les déclencheurs ( 11, 12, 13), chacun des éléments de commutation ( 21) contenant un décodeur d'adresse ( 18) représentant la coordonnée y, en ce que les entrées pour les impulsions d'horloge du premier et du troisième déclencheurs sont reliées à un conducteur ( 30) commun à tous les éléments de commutation ( 21) pour réaliser un pas de trame de la position x et les trois signaux de sortie des déclencheurs ( 11, 12, 13) sont combinés logiquement et de façon antivalente pour obtenir un signal de point de bord ( 26) de l'élément de commutation ( 21), en ce que les éléments de commutation ( 21) sont reliés logiquement pour obtenir un dispositif ( 3) d'éléments en forme de colonnes et dans lequel un registre à décalage pour la direction + y est relié à chacun des premiers déclencheurs ( 11) des éléments de commutation ( 21) et un registre de décalage pour la direction y à chacun des troisièmes déclencheurs ( 13), le début de chaque registre de décalage étant relié logiquement à "zéro", en ce qu'on crée, en outre, pour chaque point d'image de trame un signal de commande ( 42) des tons clairs et foncés à l'aide d'un circuit logique relié au dispositif ( 3) d'éléments en forme de colonnes en vue de créer à partir des signaux de points de bord délivrés par ce dernier des colonnes de bits complètes, une porte d'antivalence ( 40) étant prévue à chaque fois pour un nombre de préférence 2 m (m re- présentant un nombre naturel), de points d'image de trame, la première entrée de la porte, délivrant à sa sortie le signal de commande de tons clairs et foncés, étant reliée, pour former un circuit itératif partiel, au conducteur de sortie de la porte d'antivalence le précédant dans la colonne tandis que la deuxième entrée de la porte reçoit le signal de point de bord associé du dispositif ( 3), en ce que, pour obtenir un passage rapide des signaux à l'intd- rieur du circuit logique ( 4), on prévoit des circuits par- tiels ( 45) du premier ordre et qui sont constitués chacun par un circuit itératif partiel dont 2 m signaux d'entrée sont combinés de façon antivalente par rapport à un signal de sortie ( 44) des circuits partiels et la première entrée de la première porte d'antivalence de chaque circuit itératif partiel sert d'entrée de transfert ( 43), en ce qu'à chaque fois deux circuits partiels sont combinés pour former des circuits partiels d'un ordre plus élevé, en ap- pliquant, par paires, les signaux de sortie des circuits partiels d'un ordre inférieur aux entrées de transfert des circuits partiels montés en aval dans le circuit logique ( 4), et en ce que chacune des entrées de transfert de chaque circuit partiel est commandée par la combinaison antivalente de tous les signaux de point de bord présents en amont du circuit partiel concerné à l'intérieur du cir- cuit logique ( 4). 2 Dispositif suivant la revendication 1, carac- térisé en ce qu'un signal pour l'inversion de la valeur des tons est appliqué à l'une des entrées ( 51) du circuit logique ( 4), signal qui est complémentaire au signal de commande des tons clairs et foncés produit pour chaque point d'image du fait qu'il est appliqué à chaque entrée de transfert ( 43) des circuits partiels du premier ordre ( 45) par l'intermédiaire d'une porte d'antivalence supplé- mentaire. 3 Dispositif suivant la revendication 1, carac- térisé en ce qu'entre les sorties ( 42) du circuit logique ( 4) et du système de déviation multiple ( 6) est disposé un système à mémoires tampons ( 5) composé de plusieurs éléments tampons partiels qui peuvent être lus en avant et en arrière. 4 Dispositif suivant l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les informations des tons clairs et foncés mémorisées temporairement par le système à mé- moires tampons ( 5) et concernant tous les points d'image d'une colonne influencent un-ou plusieurs rayonnements corspusculaires de façon parallèle dans le temps, parallèle par séries ou en série. Dispositif suivant l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que tout le dispositif pour la production d'une colonne de signaux de commande des tons clairs et foncés à partir de points d'image prédéterminés et de signaux de commande de bord est réalisé sous la forme d'un circuit complètement intégré ou sous la forme de plusieurs circuits intégrés identiques et montés en cascade. CABINET MADEUF