Brevet FR2505094A1 — publié le 19821105

PROCEDE DE REALISATION DES CIRCUITS HYPERFREQUENCES. L'invention concerne un procédé de fabrication des cir- cuits hyperfréquences réalisés selon les technologies "hybride" et par sérigraphie sur plaquettes isolantes d'alumine, la première face d'une plaquette devant servir de support à un circuit comportant des trajets de connexions conductrices en or et la seconde face devant servir de sup- port au plan de masse dudit circuit, la liaison circuit-plan de masse étant assurée au moyen de trous pratiqués à travers ladite plaquette et métallisés. Dans cette technique, les trajets de connexions conduc- trices du circuit, la métallisation des trous et le plan de masse sont généralement obtenus au moyen de dépôts d'or par sérigraphie, solution particulièrement onéreuse Si le circuit comporte éventuellement des ré- sistances, celles-ci sont également déposées par sérigraphie Les autres composants sont reportés sur le circuit selon la technologie "hybride". Le but de l'invention est de réaliser des circuits hy- perfréquences, toujours selon les technologies mentionnées ci-dessus, mais d'une façon plus économique en remplaçant l'or du plan de masse par un-alliage à base d'argent Ledit plan de masse constituant la surface de dépôt d'or la plus importante, on doit ainsi réaliser une économie appré- ciable Mais une difficulté se présente pour assurer la liaison du plan de masse avec les trajets de connexions conductrices du circuit du fait de la diffusion de l'argent dans l'or, le contact entre ces deux métaux formant du point de vue métallurgique une combinaison instable Pour pal- lier cet inconvénient, le procédé conforme à l'invention est caractérisé en ce que ledit plan de masse étant réalisé au moyen du dépôt d'un allia- ge à base d'argent, la liaison circuit-plan de masse est assurée par in- terposition dans le trajet de métallisation de chacun desdits trous d'un alliage compatible à la fois avec l'or desdits trajets de connexions con- ductrices et avec l'alliage à base d'argent dudit plan de masse. Si ledit plan de masse est constitué par un alliage d'argent-palladium et si ladite liaison circuit-plan de masse est consti- tuée par un alliage d'or-platine, le système ainsi réalisé est parfaite- ment stable du point de vue métallurgique grâce à l'or-platine faisant une barrière de diffusion de l'argent dans l'or. La description suivante en regard des dessins annexés, le tout donné à titre d'exemple fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. Les figures l à 4 illustrent les étapes successives de la réalisation de circuits hyperfréquences selon le procédé conforme à l'invention. Les figures la et lb représentent respectivement une coupe transversale et une vue de dessus d'une plaquette d'alumine 3 au niveau d'un trou 4 pratiqué à travers ladite plaquette Une métallisa- tion d'or 5 dudit trou est d'abord effectuée au moyen d'un dépôt par sé- rigraphie sur l'une des faces 1 de la plaquette à partir d'une circonfé- rence 6 concentrique au trou 4, de manière à le métalliser au maximum, ledit dépôt d'or étant suivi d'un séchage et d'une cuisson. Dans l'étape suivante représentée sur la figure 2, une métallisation d'or-platine 7 du trou 4, superposée à la précédente métal- lisation d'or est obtenue au moyen d'un dépôt par sérigraphie sur l'autre face 2 de la plaquette à partir d'une circonférence 8 concentrique au trou 4 de manière à le métalliser au maximum, le dépôt d'or-platine étant suivi d'un séchage et d'une cuisson. Conformément à la figure 3, on procède ensuite au dépôt par sérigraphie de l'argent-palladium d'un plan de masse 9 sur toute la superficie de la face 2 de la plaquette et de manière à obtenir au ni- veau de chaque trou 4 un léger recouvrement avec la partie de la métalli- sation d'or-platine 7 qui déborde à l'extérieur du trou, ledit dépôt d'argent-palladium étant suivi d'un séchage et d'une cuisson. Sur la figure 4 est représenté le circuit achevé, com- plété dans la dernière étape de la réalisation par les dépôts d'or par sérigraphie sur la face 1 de la plaquette et suivant les trajets de con- nexions conductrices 10 Au niveau d'un trou 4, ces trajets sont réalisés de manière à recouvrir entièrement la partie de la métallisation d'or 5 qui déborde à l'extérieur du trou et partiellement la métallisation d'or- platine 7 à l'intérieur du trou Eventuellement on dépose par sérigraphie les résistances 1 l du circuit qui est ainsi prêt à recevoir les autres composants reportés Les dépôts d'or des connexions et de pâte résistive sont suivis de même d'un séchage et d'une cuisson. 1 o REVENDICATIONS 1 Procédé de fabrication des circuits hyperfréquences réalisés selon les technologies "hybride" et par sérigraphie sur pla- quettes isolantes d'alumine, la première face d'une plaquette devant ser- vir de support à un circuit comportant des trajets de connexions conduc- trices en or et la seconde face devant servir de support au plan de mas- se dudit circuit, la liaison circuit-plan de masse étant assurée au moyen de trous pratiqués à travers ladite plaquette et métallisés, caractérisé en ce que ledit plan de masse est réalisé au moyen du dépôt d'un alliage à base d'argent, la liaison circuit-plan de masse étant assurée par inter- position dans le trajet de métallisation de chacun desdits trous d'un al- liage compatible à la fois avec l'or desdits trajets de connexions con- ductrices et avec l'alliage à base d'argent dudit plan de masse. 2 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit plan de masse est constitué par un alliage d'argent-palladium et ladite liaison circuit-plan de masse est constituée par un alliage d'or- platine. 3 Procédé selon les revendications 1 à 2, caractérisé en ce que chacun desdits trous ( 4) est d'abord métallisé à l'or ( 5) déposé par sérigraphie sur ladite première face ( 1) à partir d'une première cir- conférence ( 6) concentrique audit trou et ensuite à l'or-platine ( 7) dé- posé par sérigraphie sur ladite seconde face ( 2) à partir d'une deuxième circonférence ( 8) concentrique audit trou, ledit plan de masse étant réa- lisé au moyen d'un dépôt par sérigraphie d'argent-palladium ( 9) sur la- dite seconde face de manière à obtenir un léger recouvrement avec la par- tie de la métallisation d'or-platine débordant de chacun desdits trous jusqu'à ladite deuxième circonférence, lesdits trajets de connexions con- ductrices étant obtenus au moyen de dépôts d'or ( 10) par sérigraphie sur ladite première face et réalisés de manière à recouvrir entièrement la partie de la métallisation d'or débordant de chacun desdits trous jus- qu'à ladite première circonférence et partiellement la métallisation - d'or-platine à l'intérieur desdits trous.