Brevet FR2503904A1 — publié le 19821015

-2503 904 La présente invention concerne une résistance non linéaire, un procédé de fabrication de dispositifs non linéaires, un procédé de fabrication d'un dispositif d'affi- chage qui utilise des cristaux liquides, et un dispositif d'affichage à cristaux licuides de type matriciel qui utili- se des dispositifs non linéaires. L'inventiron porte en par- ticulier sur un procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage à cristaux liquides de type matriciel dans lequel un dispositif non linéaire est combiné avec le panneau d'affichage à cristaux liquides de façon à amélio- rer les caractéristiques d'affichage. L'utilisation pratique des dispositifs d'affi- chage à cristaux liquides a fait des progrès au cours des dernières années et ces dispositifs sont utilisés en grandes quantités pour le matériel électronique de petite taille, comme par exemple les mnc:res, les calculatrices électroni- ques, etc. Les dispositifs d'affichage à cristaux liquides du type nématique en hélice vcient également leur domaine dapDl cation se développer, et ces dispositifs sont large- 2^C ment utilisés dans divers domaines tels que les montres, les calculatrices électrcriques, etc. Il est nécessaire d'augmenter la caDacite d'affichage afin d'étendre le domaine d'applica4ticn detfs d'affichage à cri- taux liquides mentionr.és ci-dessus. Cependant, les disDcsi- zfs d'affichage a -ristaux licuides de l'art antérieur ont- l'inconvénient de rrésenter peu de différence entre Les tensions effectives azplicuées à l'élément dans l'état de séleczicn, l'élément dans d'état de non sélecticn et l'élé- menu cans L'état de demisélec:icn, ez l'augnentation du C nombre de lignes enzraIne un effet semblable a la diaphonie. On ne peut ainsi attaquer..'une dizaine de lignes. L'in- convnérient indiqué ci-dessus vient du fait que, dans l'art antérieur, la caractéristique zensi-on-contraste nre monte pas de manière abrupte. 3. rEn ce qui concerne:a structure du dispositif daffichage crisaux _udes du type nématique en hélice cassiques ies cristaux i--cuides nématicues scnt encapsulés entre les substrats, c-.cu fait ue le m.acro-axe de la 2503 904 molécule peut présenter une rotation d'un angle d'environ 900. Les substrats sont munis de deux électrodes transparen- tes qui sont intercalées entre un polariseur et un analyseur dont les axes de polarisation scnt croisés, avec un angle d'environ 90 . L'affichage est produit par un effet de champ dans les cristaux liquides. Un tel dispositif d'affi- chage à cristaux liquides du type nématique en hélice clas- sique est désavantageux par le fait que l'attaque en multi- plex est limitée à quelques dizaines de lignes pour éviter un effet de diaphonie par lecuel des éléments non adressés commencent à passer à l'état actif, icrsqu'cn augmente le nombre de lignes attaquées en multiplex, ce qui est dû au fait que la caractéristique tension-contraste n'est pas abrupte. En outre, la caractéristique tensicn-contraste tend à être affectée par l'ar.ngle de vision, et il est difficile d'attaquer en multiplex des dispcsitifs d'affi- chage à cristaux liquides ccmpcrtant des lignes de multi- pleX. On considère que la limite de l'attaque en multiplex correspcnd à un rappcrt cyclicue d'environ 1/30. Pour augmenter la capacité d'affichage d'un. dis- pcsitif d'affichage à cristaux liquides, nctammer.t d'un dispcsitif du type nematicue en..ice, crn a envisagé d'uti- liser ur. disDcsitif à atrice active emzl- cyant ur. dispcsi- tif de commutation cu u. disDcsii nrcr. linéaire. Par exem- pie, on développe aczueellemenz an -a. quae csDcsitif de ccmmuta- -ion une diode ou un élent du tyoe r-aisé en te.n i àe fiLm mince (TIT) et utilisant du silicim acrphe ou cycristalin, et, en tant que dispositif non linsire, un variscr emD:car.t de l'cxyde de zinc, etc. Dans un ze. discsii ' a.ff cage à matrice active, un dispcsiif r.ncnr li-éaire est c-cmbné au disposi- tif d'affichage à cristaux liquides afin d'augmenter la capacité d'affichage. En particulier, u=.e résistance non linéaire (qu'cnr. désignera ci-après par cot;c-cité par l'abréviatic.n l'.c, signifiat. Métal- scLan- -étal) ut!li- sant une ccuche d'cxyde de zartale ^u de nrtrure de tantale (cette résistance est décrite par Baraff, D.R. et ccl., 198C SID Intelr.azicnal Sv.zsi= Di.gest cf Technical Papers, Vci. Xi, page 2C0, avrl 2983, etc. présente par 2503 904 rapport à d'autres dispositifs l'avantage de la simplicité du processus de fabrication et de la constitution. La struc- ture MIM est représentée sous sa forme fondamentale sur les figures 1 et 2. Un substrat de verre 1 est revêtu d'une couche mince 2 en Ta205, sur laquelle on forme une couche mince 3 consistant en Ta, éventuellement dopé par de l'azote, en employant la technique de pulvérisation, après quoi on forme dans cette couche un motif désiré. On forme ensuite une cou- che d'oxyde 4 à la surface de la couche mince de Ta, par anodisation, puis. on forme une contre-électrode 5 par éva- poration sous vide d'une couche mince de Ni-Cr/Au, et par formation d'un motif dans cette couche. En outre, on forme une électrode transparente 6, ou électrode d'élément d'ima- ge, en Ni-Cr/Au, et on établit une connexion électrique entre cette électrode et la contre-électrode 5. Pour cons- truire un dispositif d'affichage utilisant les dispositifs ci-dessus, on réalise le substrat de MIM représenté sur la figure 9 et le contre-substrat muni de l'électrode transpa- rente en forme de bande, de façon que l'électrode d'élément d'image 6 et l'électrode transparente en forme de bande puissent constituer une matrice. On réalise un panneau d'affichage à cristaux liquides de type nématique en hélice en encapsulant un volume de cristaux liquides entre ces deux substrats. Lorsqu'un champ électrique est appliqué de part et d'autre de la structure MIM, c'est-à-dire la couche mince de Ta, éventuellement dopée à l'azote, 3, et la contre-électrode 5 de la couche mince de Ni-Cr/Au, on obtient une caractéristique tension V-courarn I non liné- aire conforme à la figure 3 ou à la figure 10. La relation entre la tension V et le courant I est conforme à l'effet Poole-Frenkel et elle correspond à la formule suivante: I = KV exp ( Vv) (1) (Dans la formule (1) ci-dessus, I désigne le courant élec- trique, V désigne la tension appliquée et K et e sont des coefficients). 2503 904 Lorsqu'on combine le dispositif MIM avec le dispo- sitif d'affichage à cristaux liquides et qu'on l'attaque en multiplex, la courbe tension-contraste A (représentée sur la figure 4) du dispositif d'affichage à cristaux liquides est décalée du c8té des tensions plus élevées, pour donner la courbe B qui est apparemment plus abrupte. Ainsi, lorsqu'on attaque le panneau d'affichage à cristaux liquides mentionné ci-dessus qui consiste en une combinaison matri- cielle de dispositifs MIM et d'éléments d'image à cristaux liquides, le rapport de la tension effective du signal à l'état actif et du signal à l'état inactif qui sont appli- qués en pratique aux cristaux liquides augmente du fait de la non linéarité des dispositifs MIM. L'attaque en multi- plex d'un plus grand nombre de lignes devient ainsi possi- ble. D'après Baraff et col. on peut obtenir aisément un rapport cyclique de 1/100 à 1/200 dans l'attaque en multi- plex, en employant des dispositifs MIM. Cependant, la caractéristique tension-courant de ce dispositif MIM dépend de la pclarité de la tension appliquée. Ainsi, comme le montre la figure 5, il circule davantage de courant lorsqu'onr applique une tension posi- tive au c8té du Ta que lorsqu'on applique une tension néga- tive au c8té du Ta. Lcrsqu'on attaque un élément d'affi- chage à cristaux liquides de type nématique en hélice avec un élément MIM en appliquant le signal alternatif symétri- que qui est utilisé pour l'attaque d'un dispositif d'affi- chage à cristaux liquides du type nématique en hélice classique, la tension effective qui est appliquée aux cris- taux liquides prend une fcrme dissymétrique par rapport au niveau zéro et elle comporte pour cette raison une compo- sante continue. De ce fait, la composante continue mention- née ci-dessus produit une dégradation de la durée de vie des cristaux liquides. Plus précisément, dans la structure de Baraff et col., le dispositif MIM est constitué par deux sortes différentes d'interfaces métal-oxyde. Ainsi, l'une est une interface entre la couche mince de Ta ou la couche mince de Ta dopée à l'azote, et une couche anodisée placée sur elle, tandis que l'autre est une interface entre la c03 90g couche anodisée et la couche mince de Ni-Cr/Au. Lorsque le courant traverse ces interfaces, la caractéristique tension- courant devient dissymétrique en présence d'une variation de la polarité de la tension appliquée au dispositif MIM, c'est- à-dire qu'elie présente une tendance au redressement. Par conséquent, meme si or. applique un signal alternatif symé- trique au panneau à cristaux liquides r.ématique en hélice utilisant le dispositif MiM, le signal qui est appliqué aux cristaux liquides devient dissymétrique. Il demeure une composante ccntinlue due à la dissymétrie menticnnée ci-dessus et cette composante continue ir.flue sur la durée de vie du panneau. Le-circuit équivalent du dispositif MIM et de l'élément d'image à cristaux licuides dans urn panneau à cristaux liquides du type nématique en hélice fait appa- ra-tre une conrrnexicrn en série du dispositif MIM, considéré comme une résistance non linéaire Ri en parallèle avec un condensateur C.ii et de l'élément d'image à cristaux licuides considéré cormme une résistarce RLC es -arallèle _k avec un condensateur C:,. Lcrsque!a tension d'attaque est appliquée à ces deux extrémizés du dispositif MIM et de l'élément d'image à crlstaux lquides, la tension effective oui est ap i:cuée à l'élmenz d'image à cristaux licuides dépend er. prazique de la ccmbnalsc du condensateur CMi 2 du- disposi Mf MI', ez du d cndesa-eur CLC de 'élément d'image a cristaux licuides. Ccnfrcr.émenrt au calcul, icrsque la valeur de la caDacteé C"_ du dispositif MIM est inférieure à celle du ccr. densaeur CL de l'élément -'imnage a cristaux i uides,.a iite permise pour la 3$ ccn cepticn du dit osi t f i.'r devient flus large. La valeur du rappcrz de capacité C _,/'-,,= esz d'enviro n 5 à 20. On a intérêt à ce cue cette vaie-r sci- a plus grande pcssi- ble. Ccnfcrmément à la struc ure de Baraff et col., l'élément d'image à cristaux liquides a un pas de 1,25 mm et la taille du didsDs:tif ; est de 12 Im x 12 Pn. Un p=-s compris entre 0,3 et 0,5 mm est le plus générale.:entr accpzé es Les ann.eaux a cristaux licuides 2503 90t à matrice de pcinrs qui sont utilisés en pratique dans divers dispositifs. Par conséquent, le dispositif MIM a des dimensions correspcndanr à urn carré de 3 à 5 ym de c8té, lorsqu'il est conçu de façon à avoir la même constitution. Pour obtenir des caractéristiques optiques uni- formes dans toutes les parties du panneau à cristaux liqui- des, les caractéris:iques de chaque dispositif MI] doivent être les mêmes sur tout le substrat. Cependanrt, les dimen- sions de 3 à 5 m scnt difficilement obtenues er. utilisant le dispositif d'alignement de masque classique, mais on les obtient par le prccessus de définition de motifs fins (pour la technologie à très haut niveau d'inrtégration). I1 est donc nécessaire d'utiliser un dispositif d'alignement de masque ayant une precision plus élevée, pour donner une valeur uniforme à l'aire de chaque dispositif MIM. Lorsqu'on tente d'augmenter la taille du par.nnr.eau à cristaux liquides du type nématique er. hélice utilisant des dispositifs MIM, l'alignement de masque de plus haute précisiom mentionné ci-dessus entralne un cc*: élevé pour le processus de fabrication. Pour éviter les difficultés précédentes, l'iryven- ticn utilise deux dcscsis ' c ecés à un seul élé- ment d'image, et une s-ruc-ure danss laqueie 2es deux IZI1,' sont ccnnecés en série.cur ccmzenser d'effet de redresse- 2 ment e que manifeste -a carac_éristicue. On peu: dcnc cerir rune caractéristique tension- courant synétrique.;'invern.._. per.ne en outre d'asscuplir la précisior. exigée dars la défir.niic des motifs dans le processus de ppclacichgraphie, par dU:ilisairic; de la même capacité avec -n.e a2re double par cd sposfi _ MIM, pa rapport au cas dar. s lecue- on r. 'ui__se qu'urn seul disposi- tif MIM. Or peut dcrnc parvenir à une plus gra.de facilité de fabricaicr. d'un pa-.neau à cristaux liquides matriciel du type rémazique en hréice, e àa une di-.mr.uicn du coût de labroca;ico. Un but de 'ir.ventor. est de ccrnnecterenr. série deux dispcsitifs:t. avarnt es doaratés mutuellement oppo- sées, danr.s le but 'e ir._r.er Les incznvéniernt- mentionnés 2593 904t précédemment. Le dispositif MIM mentionné précédemment présente la caractéristique tension-courant non linéaire qui est représentée sur la figure 10 à cause de la circulation d'un courant électrique basé sur l'effet tunnel, l'effet Schottky ou l'effet Poole-Frenkel. On peut utiliser en tant qu'isolant un oxyde de Ai, Ta, Nb, Ti, Si, etc, un oxyde des métaux mentionnés ci-dessus dopé avec de l'azote, une matière minérale telle que le verre au nitrure de chalco- gène, etc., ou une couche mince organique. Lorsqu'on utilise l'un des oxydes métalliques mentionnés ci-dessus en tant qu'isolant d'un dispositif MIN, l'épaisseur de la couche d'oxyde donne une structure de conduction différente. On sait que l'effet tunnel est prépondérant dans la plage de È à 10 nm et que l'effet Schottky et l'effet Pocle'Frenkel deviennent prépondérants dans la plage de 10 à 100 nm. En ce qui concerne la conne- xion entre le dispositif d'affichage à cristaux liquides et le dispositif MIM, qui correspond à l'un deos buts de l'invention, il est souhaitable d'utiliser la région dans laquelle l'effet Poole-Frenkel intervient dans le procédé d'attaque du dispositif d'affichage à cristaux liquides. Dans cette région, la caractéristique tension-courant men- tionnée ci-dessus est conforme à l'expression (1) indiquée précédemment et dans laquelle les constantes K et 3 indi- quent respectivement la facilité de circulation du courant électrique et la non linéarité. Lorsque le dispositif d'affichage à cristaux liquides utilisant des dispositifs MIIK est atraqué par le procédé de multiplexage généralisé es Alternaif. slectivité d'amnplitude qui est employé dans l'attaque matricelle ncr- male du dispositif d'affichage à cristaux liquides, le rapport des tensions effectives d'état actif et d'état inactif qui est réellement appliqué aux cristaux liquides devient supérieur au rapport des tensions effectives d'état actif et d'état inactif du procédé de multiplexage généralisé en alternatif à sélectivité d'amplitude lui- même,à cause de la non linéarité du dispositif MIM. On peut 2503 904 donc effectuer une attaque matricielle avec un grand nombre de lignes. Lorsqu'un dispositif MIM est connecté au disposi- tif d'affichage à cristaux liquides, de la manière représen- tée sur la figure 22, dans le circuit équivalent pour un élément d'image, le dispcsitif MIM 1 et la cellule à cris- taux liquides 2 sont connectés en série. Dans le dispositif MIM 1, la capacité CMIM et la résistance non linéaire RMIM sont en parallèle, et dans la cellule à cristaux liquides 2, la capacité CLC et la résistance RLC sont en parallèle. Cependant, dans le dispositif MIM mentionné ci-dessus, il apparaît une différence dans la caractéristi- que tension-courant sous la dépendance de la polarité de la tension appliquée, et il est très difficile a supprimer complètement cette différence. Dans le cas o le dispositif MIM ayant l'effet de redressement mentionné ci-dessus est connecté au dispositif d'affichage à cristaux liquides, comme par exemple lorsque le dispositif MIM ayant la carac- téristique tension-courant représentée sur la figure 23 est connecté au dispositif d'affichage à cristaux liquides et est attaqué par le procédé de multiplexage généralisé en alternatif à sélectivité d'amplitude, avec une polarisation de 1/5, le signal de tension qui est réellement appliqué à la cellule à cristaux liquides présente une différence de polarité à cause de l'effet de redressement de la caracté- ristique tension-courant du dispositif MIM (parties A et B sur la figure 23). Ainsi, le signal qui est appliqué à la cellule à cristaux liquides n'est pas un signal alternatif symétrique mais un signal alternatif polarisé par une com- posante continue. Lorsque la cellule à cristaux liquides est atta- quée par une composante continue, les réacticns électrochi- miques des cristaux liquides eux-mêmes et des impuretés pré- sentes dans les cristaux liquides deviennent plus importan- tes. Ceci réduit la durée de vie du dispositif d'affichage à cristaux liquides et est donc à éviter. Conformément à un aspect de l'inverntion, dans le but d'éliminer les inconvénients indiqués ci-dessus, deux dispositifs MIM, qui sont connectés mutuellement en paral- 2503 90 j' lèle de façcon à compenser l'effet de redressenert, sont connectés en série au dispcsitif d'affichage à cristaux liquides. L'inven. tion sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre de modes de réalisaticón et en se référant aux dessins annexés sur lesquels = Les figures 1 et 2 mcntrent ia structure d'ur. dispositif MIM prcposé par Baraff et col. La figure 3 représente ia caractéristique tensior- courant d'un dispcs-itif 'J MI. La figure 4 montre ia différence qui apparaît dans la caractéristique tension-contraste d'un élément d'affichage à cristaux liquides, entre le cas ou oK utilise des dispositifs MIM et celui o cr. n'en utilise pas. La figure 5 montre cue la caractéristique tension- courant d'un dispositif MIM est fonction de la pclarité. Les figures 6 (a), 6 'b), mcntrent la strtacture d'un dispcsitif MIH conforme au premier mode de réalisaticr de l'invention. Les fi gures 7 (a), 7 (b) mcrnrent la str-cture d'un dispositif MIM ccrrespcr.dart au second mode de réali- saticn de l'inventron. La figure 8 monrzre la caractéristicue tern.sion- ccurant ces premier et secncr.d.modes de réaliat!or de dis- 2c positif MIII de i'inven::or. La figure 9 mcntre la dispcsiicn de dispositifs MIM et d'électrodes d'élémerz dimage, dans!Jappl cation à urn panneau cr istaux licudes de ye neé.ma-tique er. héli- ce. La figure 10 menre La carac zéris- que ersicr.n- courant du dspsiti: class-ue. Les figures. (a) - _ ( e: les f'igures 12 (a) - 12 (c) illusrrenr le orocessus de fabrioaticn d'un dispositif M-.' et d'une électrcde d.emer d'i.mag confor- =.mémenr au trcisèm moe -e réallsaticn ce 7'irver.-ion es ea>,ú -,3 ') - 13 'c 'iustr-rt 1-e proces- sus de fabrica:r. disposi:if M! et d'une é-iectrode d'élé;ment d'ime - 'o-"r-:-- au uatriem.e mcde de réalisa- -2rn3 924f tion de l'invention. Les figures 14 (a) - 14 (c) illustrent le proces- sus de fabrication d'un dispositif MIM et d'urne électrode d'élément d'image conformément au sixième mode de réalisa- tion de l'invention. Les figures 15 (a) et 15 (b) illustrent le proces- sus de fabrication d'un dispositif MIM et d'une électrode d'élément d'image conformément au septième mode de réalisa- tion de l'invention. Les figures 16 et 17 représentent le motif d'électrodes au moment de l'anodisaticn, conformément mu huitième mode de réalisation de l'invention. La figure 18 représente le motif d'électrodes au moment de l'anodisation dans un panneau à cristaux liquides du type nématique en hélice employant le dispositif MI réalisation de l'invention. La figure 20 montre la disposition des dispositifs MIM et des électrodes d'élément d'image conformémenrit aa dixième mode de réalisation de l'invention. Les figures 21 (a) et 21 (b) montrent un schémra d'un circuit équivalent d'un dispositif HiM confor-me à l'invention. La figure 22 représente un circuit équivalent pour un élément d'image dans le cas de 'a conrexion d'ln dispositif MIM au dispositif d'affichage à cristaux liqui- des. La figure 23 représente le signal dans le cas de la connexion d'un dispositif MIM au dispcsiti d'affichage à cristaux liquides et de l'attaque par le procédé de rmul- tiplexage généralisé en alternatif à sélectivité d'amplitu- de. IesfWes 24(a)-24(d) -t -. L-ocessus defabricati de dispositifs MIM dans le cas de la ccnnexion de deu dis- positifs MIM en parallèle et en sers opposé, conformément au doizième mode de réalisation de l'invention. La figure 25 représente la partie ccrrespondant 2503 90! aux dispositifs MIM dans le cas de la connexion de deux dis- positifs MIM en parallèle et en sens opposé, conformément au douzième mode de réalisation de l'invention. Ies gutes 26 (a)-26(d) représentent 2 poceoesus de fabrica- tion de dispositifs MIM et de la partie de canducteur dans le cas de la connexion de deux dispositifs MIM en parallèle et en sens opposé, conformément au treizième mode de réalisa- tion de l'invention. La figure 27 est une coupe d'un dispositif MIM et de la partie de conducteur dans le cas de la connexiorn de deux dispositifs MIM en parallèle et en sens opposé, cor.for- mément au treizième mode de réalisation de l'invention. La figure 28 montre un autre mode de réalisation dans lequel la forme de l'électrode d'élément d'image change. La figure 29 montre le circuit équivalent dans le cas de la connexion de deux dispositifs MIM au dispositif à cristaux liquides, en parallèle et en sens opposé, confor- mément à l'invention. La figure 30 montre la caractéristique tension- courant dans le cas de la connexion d'un dispositif MIM, de la connexion de deux dispositifs MIM en série et en sens opposé, et de la connexion de deux dispositifs MIM en parallèle et en sens opposé. *Premier mode de réalisation Les figures 6 (a) et 6 (b) représentent respecti- vement une vue en plan et une coupe de ce mode de réalisa- tion. Comme le montrent ces figures, on recouvre un substrat de verre 7 par une couche mince 8 en Ta205, em or forme sur cette couche mince une couche mince de Ta dopé à l'azote, d'une épaisseur de 200 nm, par une opération de pulvérisa- tion radiofréquence, dans des conditions dans lesquelles la pression de (argon + azote) est de 1,3 Pa et le pourcentage du débit d'azote est de 1%. Après attaque de la couche mix.ce de Ta dopé à l'azote pour lui donner une fcrmne déterminée, on forme une couche d'cxyde par anodisation sous une tension de 30 V dans une solution d'acide citrique à 0,01%, et on laisse une couche mince 9 de Ta dopé à l'azote et une cou- 2503 90i che d'oxyde 10, en enlevant par attaque la partie inutile. On fait évaporer sous vide une couche mince de Ni-Cr/Au, d'une épaisseur de 200 nm, et on forme la partie de conduc- teur 11 combinée avec la contre-électrode, en attaquant la couche de NiCr/Au pour lui donner une forme déterminée. En outre, dans le cas de l'attaque d'un dispositif à cristaux liquides, on établit une électrode transparente 12 consis- tant en une couche mince de Ni-Cr/Au. De plus, l'aire de chaque dispositif MIM (partie hachurée sur la figure 6 (a)) est fixée à 1 mm2. Second mode de réalisaticn On forme un élément MIM conforme aux représenta- tions de la figure 7 (a) (vue en plan) et de la figure 7 (b) (coupe), dans les mêmes conditions que pour le premier mode de réalisation. Lorsqu'on évalue la caractéristique tension-cou- rant de l'élément MIM formé par les premier et second modes de réalisation, on obtient une caractéristique symétrique représentée sur la figure 8. Cependant, lorsqu'il existe un défaut d'alignement du masque employé dans l'cpératonr de photolithographie utilisée pour l'attaque de la partie de conducteur 11 combinée à la contre-électrode, pour former - l'élément MIM ayant la structure du premier mode de réali- sation, les aires des deux éléments MIM ne sent pas égales et on n'obtient pas une caractéristique tensicn-courant symétrique telle que celle représentée sur la figure 8. Dans la structure du second mode de réalisation, on obtient une caractéristique tension-couranrt symétrique même s'il existe un léger défaut d'alignement du masque. Lorsqu'on forme un élément MIM er. utilisant une couche mince de Ta qui n'est pas dopé à l'azote, et une couche d'oxyde obtenue par anodisation, onr obtient une caractéristique tension-courant symétrique, indépendamment de la polarité. Comme on l'a expliqué précédemment et conformé- ment à l'invention, on peut connecter mutuellement en série des dispositifs MIN ayant des polarités opposées, par un processus relativement simple, afin d'appliquer ur. signal alternatif symétrique à un dispositif d'affichage à cristaux liquides de type nématique en hélice, sans donner une forme dissymétrique au signal d'attaque, et afin de prolonger aisément la durée de vie de l'élément d'affichage à cristaux liquides. Troisième mode de réalisation Les figures il (a) - 1! (d) et 12 (a) - 12 (c) mcntrent un exemple d'ur processus de fabrication d'un dis- pcsitif MIM et d'une électrode d'élément d'image conforme à C i'nvention. Les figures 1I a) - ILI (d) sont des vues enr plar. et les figures 12 (a) - 12 (c) sont des coupes. Le dispositif MIM est fabriqué par le processus suivant. On forme tout d'abord une couche mince de Ta ou de Ta dopé à l'azcte, par pulvérisation sur le substrat trans- parent 8 qui es- par exemple en ?yrex ou en verre à base de chaux sodée recouvert d'une couche de Ta205, SiO2 ou d'une matière analogue. Orn forme ensuite le motif désiré dans la couche mince de Ta ou dans la couche mince de Ta dopé à l'azote, pour définir l''électrode de conducteur 9, er.n vue 2C de l'anodisation. Ensuite, aDres avoir plongé ce substrat darns ur.e scut icrn d'acide citri-ue à 0,01% er. pcids, or forme une ccuche mince!0 er 7a2O, par 'cpératicn d'ancdisatlcrn, cc.=me le mcntrent les figures i (a) et '12 (a) . On forme ensuite sur la surface dU subsra mentcr:r.cnné ci-dessus une ccuche métallique mince, par exemple en Ta, Ni, Cr, urn alliage Ni-Cr, Al, Ti cu Cu, par un processus de fabrica- tion crdinaire d'une ccuche mince, ccmme un processus de pulvérisation cu d'évapcrasicn sous vide. Or. formre ensuite les éeectrodes de ccnducteurs 11 et I1' en formant un motif dans la cuche é talicue ce, comme ie mcntrent les fi gu- res 11 (b) et 12 'b). rcu.re, or enlève par attaque la parIe inutile de la couche arnodîsée, pci 4o:ur.. r le motif représenré sur _ La figure il (c), en recouvran., de matière de réserve les parties 12 représnt-ées er pzcnrzi.és sur la figure Il (b). c,_mmne le montrent e-s 'cu-es Il d) et 12 (c), on fcrme une électrcde d' éémer.t d' image 1$ avec une électrcde trans- * iqoimui ep fl.iaArnOO 3uuoqr am 'Oe:-;. 35er-,;x i3>a:,,a 3P^n3b3,;:r3t S 9U.%TsodFsT aT D-3- ZOCX __OaZT^ ?nb-.-T?.Sw r. 1d ^, el D:2Ir, -nD 'ona.onp -UDO u7_79 ap DpoatuT guro7nouT -=o;>ap 3O .--.1iec ua--_.S-^^^ ^.,.v-; o s-pnd ' apo2,oel, I zsgo ans oa:1 o s-tos.:oa, a 7 ns 'IP IEsp-e F P o no anA UG 3e Ua -r r30^z33:nv azzpz 3z rDp.z-7 aun gwiT 'u o.pot ui awnoum;o !p ?!:or.2r:; 'e e T3.1Po T ') runoo a n luased -S'oem;^ 3op:z o3aE aun oee;E leu:T"p eu a1rp apoinoalg,3rn -unoj uo 'snld nr o r * ( uTns oanuasaaida asu ra p T on -ea-- 3Pmsann ^i 2S -co Isodspp un o o,Z Ifl'aonpuozD ap apOoz?.al aun aizno ua gwioT uo *uoTzesTeai 3p aDpouL auz so g: s--p aeasT:;:n zsD nb aue9o auxwO 3o - umpr Dnbo rZg D'qonoD Oan 72 uonoz eT Ins wmoj umo *(q; ET ain2z;; *2t 2ns aia- amd 3 x umw el ap 2 apJXxop atqonoo: r --T anbeme uo 3 'uoZt S:es--uDo2,-T inOd TE inazonpuoc, 3p e3pom -0D1961 ap saI.Znu7 saTz.;d sa7 aAaua tu3o ' a-nsu3 uoTzmsTpoOm. td ' oZ ppXxo,p aoTui aqonoo Drn apolloal azzao mr.s ansura 'eteouj uo * ^so 3p anA _a I? m0npu ap apoo- 'ao;Ta 31 9-7SS-.U-r,3p 'm ' ^, nZi- r zns 3aaaes nT -aida- ammo1-r el iTue3qo mnozd '3aaze, m edaop 'e ap aou-Tw aiqo -noo el soep no el ap acu- w giqnt4oo el suoep;F^ow -in azTnsua awmo; uo -uoTzesTiaAlnd go uo:'eiedo aun amd 'OZ zuamed -stmeiq z ezsqns un ns 'e:ozejl 1> 9,3-ezD ml ap aoupu aqonoo gun no L-" ap aouprFu giLDrono auin p -oqie,p 2no- awio-o uoS uo-, 7esTiea ep apout wmo.Ftpnô ap nOI I no D IOS ao'gO zeuiDue;xa aqonoo aIun ua no o(3ous + EOz I) OLI no ?ous ' OuI anb aITT,3 31eTz-ew aun ue aZuaied :,6!-,-- ve L Zr, 2503 904 Sixième mode de réalisation On forme un motif dans une première couche métalli- que mince, d'une manière similaire à celle des troisième à cinquième modes de réalisation, et on forme une couche anodi- sée 41 sur cette couche métallique, comme le monr.tre la figu- re 14 (a). On forme une couche mince conductrice et transpa- rente par pulvérisation ou par évaporation sous vide. On soumet ensuite à une opération d'attaque la couche conduc- trice transparente, la couche mince anodisée et la première couche métallique mince, pour leur donner la forme qui est représentée sur la figure 14 (b). En outre, comme le montre la figure 14 (c), on forme une électrode de conducteur 43 et un dispositif MIM 44, avec le métal utilisé dans le troisième mode de réali- sation. Dans ce processus, dans lequel on utilise une ccu- che mince de Ta en tant que première couche métallique min- ce, le dispositif MIM a en pratique une structure Ta - In203 - Ta205 - Ta - Ta205 - In203 - Ta (Irn203: électrode d'élément d'image). Ce procédé supprime l'une -des opéra- tions de photolithographie, par rapport aux troisième à cinquième modes de réalisation, ce qui diminue le co t de fabrication. - Septième mode de réalisation On forme des couches minces In203 et de Ta dans cet ordre, sur un substrat transparent 50. Après avoir déposé de la matière de réserve avec un motif ccrresporn- dant à une électrode de conducteur 51 en vue de l'ancdisa- tion et à une électrode d'élément d'image 52, on enlève la couche mince de Ta par attaque par plasma, avec le gaz CF4. On attaque ensuite la couche mince de In203 dans le l'acide chlorhydrique tiède à 10%, comme le montre la figure 15 (a). Après enlèvement de la matière de réserve, on soumet la couche mince de Ta à une anodisation dans -ne solution -d'acide citrique à 0,01% en poids. Dans ce cas, la couche mince de Ta qui se trouve sur l'électrode d'élément d'ima- ge 52 n'est pas anodisée, du fait que cette partie ne con- duit pas. Ensuite, après avoir laissé la matière de réserve 2503 90I I16 selon le motif correspondant aux parties hachurées 53 sur la figure 15 (b), on effectue l'attaque par plasma avec le gaz CF4. A ce'moment, l'épaisseur de la couche mince de Ta205 sur l'électrode de conducteur 52 destinée à l'arnodisation est très mince, de l'ordre de quelques dizaines de nanomè- tres. Cependant, la vitesse d'attaque de la couche mince de Ta205 est inférieure à celle de la couche mince de Ta (rapport d'environ 1 à 3). Par conséquent, lorsque l'élec- trode de conducteur 51 destinée à l'anodisation doit être enlevée par attaque, la couche mirnce de Ta présente sur l'électrode d'élément d'image 52 est enlevée par l'attaque tandis que l'électrode de conducteur 51 est toujours pré- sente, ce qui fait que la couche mince de In203 est exposée au plasma. Cependant, la couche de Inr203 n'est pas enlevée par l'attaque, du fait que sa vitesse d'attaque est faible dans le plasma formé par le gaz CF4. Après enlèvement de la matière de réserve, or. forme une couche mince de Ta par une opération de pulvérisation, et on forme un motif dans cette couche, d'une mar.nière similaire à celle du sixième mode de réalisation. On forme ainsi l'électrode de conduc- teur et le dispositif MIM. Ce procédé a également l'avarntage de supprimer - l'une des opérations de phctolithcgraphie, par rapport aux troisième à cinquième modes de réalisation. Huitième mode de réalisation Comme le montrent 2esfigures 16 et 17, or. forme une couche mince de Ta, 62, sur un substrat transparent 60, par une opération de pulvérisation. On définit ensuite urn motif en forme de grille dans une électrode de conducteur 61 destinée à l'1ancdisation. On forme le motif représenté sur la figure 17 dans une électrode 63 qui est conr]ectée à la source de courant pendant l'ancdisation, de façon à per- mettre de réaliser aisément la connexion à la source de courant. Dans la structure classique, l'électrode de con- ducteur 64 destinée à l'anodisation et l'électrode destinée à la connexion à la source de courant 65, représentées sur la figure 18, sont mutuellement dépendantes à chaque ligne. Par conséquent, un défaut d'une structure destinée à la 2503 90 ( connexion à la source de courant entraîne un défaut de con- tact pour une partie d'une ligne, ce qui fait que l'anodisa- tion n'a pas lieu. Il peut également y avoir une- absence d'anodisation du fait d'une déconnexion de l'électrode de conducteur 64 destinée à l'anodisation. Au contraire, con- formément à ce procédé, on peut employer une structure simple et sure pour établir le contact avec la source de courant. On peut par exemple utiliser une pince en tant que structure de connexion. De plus, même si une partie de l'électrode de 1G0 conducteur 61 deszinée à l'anodisation est déconnectée, la partie dans laquelle le dispositif MIM est formé (62 sur la figure 10) est anodisée, à condition que la partie 62 dans laquelle le dispositif MIM est formé ne soit pas détériorée. Les défauts de l'opération d'anodisation sont donc considé- rablement réduits. Neuvième mode de réalisation Ce mode de réalisation est un dévelcppement. du huitième mode de réalisation. Comme le montre la figure 19, une couche mince de Ta est laissée sur la totalité de la surface de la partie 7i, sauf dans la partie 70 dans laquelle est fcrmé le dispositif I.M. Conformément à ce procédé, le taux de défaillance de- l'opération d'ancdisatiron diminrue à un pcint tel qu'il r'apparaît en fait aucun défaut, sauf dans la Dartie 70 dans laquelle est fcrmé le dispositif MIM. Dixième mode de réalisation Des dispositifs MIIM 80 et des électrodes d'élé- mer.t d'image 81 fabriqués ccnfcrmémenr au processus men- -zicnné ci-dessus scrnt dsDosés sur un substra- transparent 82, ccmme le mcntre la fgure 20. On place ensuite un ccr.ztre-substraz muni d'électrodes transparentes en forme de bandes, de facon cue les dispcsitifs MIM 80 et les élec- trodes d'élément d'image 81 crnstituent une-matrice avec les électrcdes tran.sparentes en forme de bandes du contre- substrat. On réali se ainr.si avec le substrat transparent 82 et le contre-substrat associé une ceilule dans laquelle les criscaux liquides sont encapsulés. On forme airnsi un panneau à cristaux iQuides matriciel du type nématique en O03 904 hélice. Un dispcsitif MIM est formé dans la partie dans laquelle les électrodes supérieures 83 et 83' sont empilées sur l'électrode inférieure 82. On peut considérer que le cir- cuit équivalent du dispcsitif MIM est celui représenté sur la figure 21 (a), dans lequel deux circuits sont formés par des condensateurs 84 et 84' qui sont respectivement connec- tés en parallèle sur des résistances non linéaires 85 et ', et ces deux circuits sont ccnneczés er. série. Cepen- dant, on peut considérer au pcint de vue fcncticonnel que le circuit équivalent du dispcsitif MIM est celui qui est représenté sur la figure 21 (b), c'est-à-dire un circuit dans lequel un condensateur 86 et une résistance bidirec- tionnelle non linéaire 87 sont connectés en parallèle. On détermine la caractéristique du dispositif MIM mentionné ci-dessus à partir de sa capacité et de sa résis- tance. Ainsi, on détermine la caractéristique du dispositif MIM en définissant l'épaisseur d'oxyde anodisé, la qualité de l'oxyde et l'aire du dispcsitif. Par conséquent, du fait 2C que l'électrode inférieure 82, les électrodes supérieures 83 et 83' et l'électrode d'élément d'image 81 peuvent etre formées sans la mcirdre restricicr. sur ieur ccnfiguraticr. géométrique, elles dcivenrt êZtre ccnçues de façorn à produire un bon effet pcur i'affichage dans le parneau à cristaux liquides du type nématique en hélice. - Dans le cas c' crn fcrme urn mctif dans le disposi- tif MIM, il est nécessaire d'utili ser une technique de phc- tclithographie capable de produire un mcif firn, au niveau de quelques micrcmètres a une dizaire de microcmètres. Enr. outre, la planéité du substrat transpaarent utilisé devient un problème important. Le verre du type "ficatgiass" à base de chaux scdée est avartageux à l'heure actuelle du point de vue de la planéité et du ccQt du substrat. Dans ce cas, le substrat dcit e-re reccuvert d'une couche mince transparente en SiO2, Si3t4, Ta205 et TiO2, en taant que ccu- che de passivatior. à l'égard de la scude présente dans le verre, etc. En étant fcrmée de façcr à couvrir le dispositif MIM 80 et l'électrode d'élémern d'image 81, la couche mince 2503 904 transparente fait effectivement fonction non seulement de couche de passivation, mais également de couche d'arrêt du courant continu dans l'attaque du panneau à cristaux liqui- des matriciel du type nématique en hélice, ainsi que de cou- che de protection destinée à éviter une détérioration méca- nique du dispositif MIM dans le cas o on utilise le traite- ment de frottement pour l'orientation des cristaux liquides. Le traitement du substrat par frottement permet d'orienter les cristaux liquides pour un panneau à cristaux liquides du type nématique en hélice. On peut employer deux procédés pour orienter les cristaux liquides de façon très sure, à savoir l'évaporation oblique pour former une couche d'alignement en une matière minérale telle que SiO, et le traitement par frottement d'une couche d'orientation qui est formée par un composé organique tel qu'un polyimide, un composé organique à base de silane, ou une résine fluo- rée. N'importe quel type de cristaux liquides, à condition qu'il soit utilisé de façon générale dans un panneau du type nématique en hélice, peut être appliqué à-.un panneau à cristaux liquides du type nématique en hélice employant des dispositifs MIM. Il existe par exemple des composés à cristaux liquides dont le constituant principal est un com- posé azoxyque, un ester, du diphéryl, du phérylcyclohexane, de la pyrimidine, du dioxane, un ester d'acide carboxyli- que-cyclohexane, etc. La marge dynamique possible est d'autant plus grande que la capacité des cristaux liquides est grande. Les cristaux liquides dont l'anisotropie diélectrique, c'est-à-dire la difference entre la constante diélectrique dans la direction perpendiculaire et la direction parallèle aux cristaux, est positive et élevée, peuvent mtre utilisés sous une tension inférieure. Par conséquent, il est préfé- rable d'utiliser en combinaison avec l'élément NIIM des cristaux liquides ayant une permittivité élevée et une ani- sotropie diélectrique élevée. En outre, il est possible d'obtenir une capacité élevée des cristaux liquides et de les faire fonctionner avec une tension plus basse en fai- sant en sorte que l'écartement établi dans la cellule soit 2503 904 faible, pour la même raison. Onzième mode de réalisation Conformément au processus décrit dans le quatrième mode de réalisation, on forme une couche mince de Ta de 200 nm sur un substrat de verre Pyrex, par pulvérisation. Après formation d'un motif dans la couche mince de Ta, on effectue l'anodisation sous une tension de 20 V en utili- sant du platine comme cathode, dans une solution d'acide citrique à 0,01% en poids. Après avoir éliminé la partie inutile, on forme une couche mince de Ta d'une épaisseur de nm, par pulvérisation,et on définit à nouveau un motif dans cette couche de façon à fabriquer un dispositif MIM. On forme deux dispositifs MIM dont les dimensions corres- pondent à des carrés de 10 Pm de côté. On forme une électro- de d'élément d'image ayant les dimensions de 0,39 x 0,35 mm, en formant un motif dans une couche de ITO (In203 + SnO2) de 60 nm d'épaisseur. On forme ensuite un panneau du type nématique en hélice avec un écartement de 8}m qui est traité de façon à produire l'orientation, au moyen d'une résine polyimide et d'un traitement par frottement. On encapsule ensuite dans le panneau du type nématique en hélice des cristaux liquides pour lesquels la tension de seuil est de 1,5 Veff et la tension de saturation est de 2,05 Veff On peut obtenir une image contrastée pour eff' laquelle l'élément d'image à l'état actif présente un con- traste supérieur à 90%, et l'élément d'image inactif pré- sente un contraste inférieur à 10%, dans la plage d'une tension crête à crête de 13,8 à 16,5 V pour le signal qui correspond à l'état actif, en faisant fonctionner le panneau du type nématicque en hélice mentionné cidessus avec des moyens définissant une tension moyenne, avec un rapport cyclique de 1/200 et un niveau de polarisation V-5V. Bien qu'on puisse reconnaître une différence entre l'état actif et l'état inactif dans la plage de 7,5 à 10 V, la différence de contraste correspondante es_ inférieure à % lorsqu'on fait fonctionner avec le même signal d'atta- que le panneau à cristaux liquides du type nématique en 2503 90, hélice classique, sans élément MIM. L'inventicn rn'est pas limitée aux modesde réali- sation mentionnés ci-dessus. Or. peu- par exemple utiliser diverses sortes de matières telles que Al, Nb, Ti, Si, ou = bien ces matières dopées avec de l'azcte ou du carbone, etc, en tant qu'électrode en métal de l'élément MIM. L'invention qui est décrite ci-dessus permet de ccmpenser l'effet de redressement de la caractéristique qui est dû au défaut d'uniformité des deux interfaces entre couchesmrnétal-oxyde, iC er. utilisant un.I. pcour un seul élément d'image. L'inven- ticnr. permet en cutre de fabriquer des dispositifs MIM avec des exigences de précision assouplies, par rapport à la réalisation d'un dispositif MI par élément d'image. L'in- vention permet en cutre de minimiser les défauts du dispcsi- tif MIM dûs aux défauts de l'cxyde ancdisé. Il est donc possible d'cbtenir un panneau à cristaux liquides du type nématique en hélice dan. s lecuel les défauts des éléments d'images scient extrememer.t faibles. Dcuzième mode de réalisation 2$ On fcrme une couche conductrice transparente en ITO (In 203 + SnO sur un. substrat en Pyrex 40 et cnr la 2 3 2 scmet a une cpératicn de -.ctcgravure. Ceci dornne l'élec- trcde d'élément d'i age zú qui est recrésentée sur la figure 24 (a). 2_ On form.e ensui-e -une couche mince de Ta par pul- vérisaticn sur l'électrcde d'élé-mert d'image 41 mentior.nnée ci-dessus, et onr. définit u. motif dans cette couche de faccrn à lui donrner a forme est représentée par!a par- -ie hachurée sur la f.-ure -2z ". Or forrme ensuite une 3C couche d'oxyde la e a isa la couche mince de Ta dans une scluzicnr d'acde r.ue O,0% er poids. On fcrme ensu-e des qisvcstifs HlM qui corres- pondent aux parties 4-2a t 42b, ainsi. ue la partie de con- ducteur 43, er. pprcan- par phctcgravure de la couche an.- d.- -sée mer.ticrnée ci-dess-- et de la artie nnr utilisée de la couche mince de a., -uis cr. effectue un traitement ther- misue à 250 C dar.s - 'ai-r enar. une;eure. Onr. forme en cutre des dispcsitifs.Y. zúa et Z-4b et la nartie de con- 2503 9,O' ducteur 43', par évapcratic.n et phcocgravure d'une ccuche mince en Cr-Au. La figure 25 monr.re La relaior. entre les pcsitions des disDosi:ifs i. t: 4za e- Z4b, de l'électrode d'élément d'image 41 et des par-ties de conducteur 43 et 43' dans la partie dars iaquelle scr.: fcrm.és les dispositifs MIM. On oriente les cristaux liquides en déposant et en étuvant une ccuche de pclyi de sur ie substrat 40 qui se trouve du cc-é des discs-. ifs.. et sur le substrat 1 oppcsé sur lequel sonr.: placés es éLectrodes transparer.ntes en bandes, et er. frctan. avec ur. inge en cc-,on. On éta- blit un décalage d'un an.gle presque égal à 90 pour les molécules de cristaux licuides entre les surfaces des deux substrats, et or. fixe les substrats 'un à l'aut-re en maintenant ur. écartement de 5 à 20 z. puis cr encapsule les cristaux licuides entre ces substrats. On forre ensute Le dis:cstif d'affichage à cristaux liquides en fixar.n deux pclariseurs sur le cecé extérieur des deux substrats, de nanière que -.'axe de polarisation coincide avec L'axe d'crenratior. des molé- cules de cristaux licuides. Treizième mode de réalisaticn De la même mar.re,ue dar.s le dcuzi-ème r. code de réalisati-crn, ron forme une é:ezrcce d'élémer.t d'image 61 2- sur un substrat transarenr _..s _uLvérsa-c. d'une couche mince de.a, or fcrme ur..-.c-f dan.s cette ccuche pour lui donner la ccnfigurazicr. reorésentée sur la figure 26 (a) et cr. l'ancdise. Or forme ensui-te a _ar-_e ce ccr.ducteur 63 en _? enlevant par photogravure ia _artie -rnu:-isée, après avcir protégé par de La ma:_ère e eserve es ties 62a et 62b dans lesuelles scr.- fcrmés les disDcsitifs MIM (figures 26 (b) et 26 (c). -r. me ensuite r nu la première couche de Ta, du coté de la _artie 6n dessirne en tra-its étais continus sur La figure 25 'c). ce moment, il est scuhaitable d'effectuer une c-d-a:cn. d'attaque de manière cue le motif d'ata-,ue cr.se. -e - n arcissemerdt de ce ccté. 2503 904 On forme ensuite par évaporation une couche mince de Cr-Au appartenant à la seconde couche de imétal. On forme la partie de conducteur 65 et les dispositifs MIM 66a et 66b par photogravure de la couche mince de Cr-Au de la seconde couche de métal, de manière que la partie à nu 64 en Ta qui se trouve du ceté de la partie de conducteur 63 de la première couche de Ta (voir la figure 26 (d)) soit couverte par la couche mince de Cr-Au. La figure 27 montre une coupe faite au niveau de la ligne en trait mixte sur la figure 26 (d). En formant la structure mentionnée ci-dessus, il est possible d'établir un contact électrique entre la par- tie de conducteur de la première couche de nmétal et la partie de conducteur de la seconde couche de métal. On peut donc faire disparaître la différence de résistance d'interconnexion pour les parties de conducteur 63 et 64 connectées aux dispositifs MIM 66a et 66b, cette différence résultant de la matière et de l'épaisseur des couches. En outre, on peut minimiser l'effet de redressement que pré- sente la caractéristique tension-courant, lorsque deux dis- positifs MIM sont cornnectés en parallèle et er. sens opposé. On notera que les deux derniers modes de réalisa- tion qu'on vient d'expliquer peuvent faire l"cbjet de diverses modifications. Par exemple, en ce qui concerne le substrat, outre le Pyrex, le verre à base de chaux sodée est égale- ment avantageux du fait de sa planéité, de scnr coût, etc. Dans le cas o on utilise un substrat en verre à base de chaux sodée, une couche de passivation est nécessaire pour éviter la fusion du composant consistant en uin, alcali. On peut en cutre utiliser en tarnt cue première couche de métal diverses sortes de métaux tels que Al, Nb, Ii, Mo, Hf, au lieu de Ta, ou ces métaux dopes avec de l'azote, du carbone et de l'hydrogène. La cotache d'oxyde anodisée de ces métaux peut être une couche 5isolante. On peut en outre utiliser fondament.alement n'importe quelles matières conductrices pour les électrodes opposées du dispositif MIM. On peut par exemple utiliser 2503 90 ' pour les électrodes opposées les mêmes matières que pour la première couche de métal mentionnée ci-dessus, ou Ni, Cr, Cu, Au, ou des alliages de ces métaux. En ce qui concerne le procédé d'affichage par cristaux liquides, on a expliqué l'invention en considérant le procédé faisant appel à des cristaux nématiques en hélice. On peut cependant utiliser d'autres procédés tels que le pro- cédé utilisant une substance réceptrice et ur.e substance additionnelle, dans lequel un colorant dichrcique (substance additionnelle) est incorporé dans les cristaux liquides (substance réceptrice), ou le procédé de diffusion dynamique qui utilise l'effet de diffusion dynamique de molécules de cristaux liquides. En ce qui concerne le procédé d'orienta- tion des cristaux liquides, on peut employer le procédé ordinaire qui est habituellement utilisé. En outre, les caractéristiques électriques ne sont pas affectées par la configuration gécmétrique du dis- positif MIM et de l'électrode d'élément d'image. Par exem- * ple, comme le montre la figure 28, il est possible d'éviter la configuration peu naturelle de l'électrode d'élément d'image qui est représentée dans les douzième ou treizième modes de réalisation, en donnant à l'électrode d'élément d'image 81 la forme d'un polygone, et er plagarnt un disposi- tif MIM 82 dans l'espace entre les électrodes d'élément d'image adjacentes. La structure décrite ci-dessus permet d'obtenir un.dispositif d'affichage à cristaux liquides darns lequel deux dispositifs MIM sont connectés en parall le et en sens opposé. Dans ce cas, le circuit équivalent du dispositif d'affichage à cristaux liquides est celui qui est représen- té sur la figure 29. Outre le procédé consistant à connecter deux dis- positifs MIM en parallèle, il existe un autre procédé con- sistant à les connecter en série. On peut égalemenrt faire disparaître l'effet de redressement de la caractéristique tension-courant en connectant deux disposit!ls MIM en série et en sens opposé. Cependant, la caractéristIque tension- courant est dans ce cas celle qui est représentée en c sur 2503 90 ' la figure 10, à comparer avec les caractéristiques tension- courant (a, b) dans le cas d'un seul dispositif M1i. D'autre part, la caractéristique tension-courant de dispositifs MIM connectés en parallèle cornformément à l'inventior. est celle représentée en d. Son inclinr.aison (une constante de Pocle-Frankel de l'expression (1) corres- pondant à f) est plus élevée que lcrsque des dispositifs MIM sont connectés en série. Lorsqu'un dispcsitif MIM esz combiné avec le dispcsidif d'affichage à cristaux liquides, il est employé en tanrt que dispositif de commutation, en utilisant sa non linéarité. Dans ce cas, il est souhaitable que scit élevé pour pouvcir réaliser une attaoue avec ur. niveau de multiplexage élevé, et on peut obtenir un P éle- vé en connectant deux disposiifs MIM en parallèle. Ainsi, ccnfcrmément à l'invention, or. peut aisé- ment obtenir un disocsitif d'affichage à cristaux liquides ayant une longue durée de vie, par rapport au cas dans lequel un seul disMusitif IMT est connecté au dispositif à cristaux liquides. Il va de soi cue de nombreuses modifications peuvent être apportées aux procédés et aux dispcsitifs décrits et représenrtés, sans scrzir du cadre de l'irventicn. 2 503 90'T REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage à cristaux liquides comportant un ensemble d'éléments d'image destinés à l'affichage et une struc- ture Métal-Isolant-Métal (qu'on appellera ci-après MIM) en tant que dispositif non linéaire connecté aux élé- ments d'image, caractérisé en ce qu'on connecte deux dispositifs MIM en parallèle l'un par rapport à l'autre de manière à compenser l'effet de redressement, et on connecte ces deux dispositifs MIM en série à un élément d'image; on forme des électrodes d'élément d'image; on forme une première couche mince de métal et on dé- finit un motif dans cette couche puis on anodise la surface de la première couche mince de métal, on enlève des parties inutilisées de la première couche mince de métal et de la couche anodisée, et on forme une seconde couche mince de métal, on la soumet à un traitement thermique et on définit un motif dans cette seconde couche. 2. Procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage à cristaux liquides selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on forme une première partie de conducteur de la première couche de métal connectée au dispositif MIM de façon qu'elle soit en contact électri- que avec une seconde partie de conducteur de la seconde couche de métal connectée au dispositif MIM, en anodisant la surface de la première partie de conducteur, en mettant à nu la première couche de métal au niveau du bord latéral de la première partie de conducteur, et en recouvrant la première couche de métal à nu avec la seconde couche de métal.