Brevet FR2499245A1 — publié le 19820806

La présente invention concerne un dispositif à fluorescencede rayons X, et elle porte plus particulièrement sur un dispositif perfectionné qui permet d'observer un em- placement auquel des rayons X sont appliqués, à partir d'une position située au-dessus d'un échantillon, et d'augmenter la précision de la mesure. Dans les dispositifs de l'art antérieur qui ont été utilisés, représentés sur les figures 1 et 2, une plaque ré- fléchissante 1 est montée de façon mobile et cette plaque ré- fléchissante est en verre. Dans ces conditions, lorsque des rayons X sont effectivement appliqués à un échantillon à par- tir d'un tube à rayons X 2, la plaque réfléchissante 1 est déplacée par un électro-aimant rotatif 3 pour venir à la po- sition qui est représentée sur la figure 2, afin que les rayons X puissent passer. Cependant, dans la configuration classique décrite ci-dessus, pour appliquer les rayons X à un échantillon 5, il est nécessaire que l'électro-aimant rotatif 3 déplace la pla- que réfléchissante l et il est nécessaire que le collimateur 4 soit amené à la position par laquelle passent les rayons X, avant d'appliquer les rayons X à l'échantillon 5. De ce fait, le coût du dispositif est accru à cause de l'élément produi- sant le mouvement, et, en outre, une durée d'utilisation pro- longée conduit à un déplacement de la position du collimateur, ce qui rend nécessaire un dispositif de réglage destiné à cor- riger le déplacement du collimateur. L'invention a pour but de réaliser un dispositif efficace pour éliminer un tel inconvénient et le dispositif de l'invention est caractérisé en ce qu'il comporte une pla- que réfléchissante entre un collimateur et un échantillon, et en ce que la plaque réfléchissante consiste en une matière qui réfléchit la lumière et laisse passer les rayons X. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre d'un mode de réalisation et en se référant aux dessins annexés sur lesquels: Les figures 1 et 2 sont des vues de face du dispo- sitif classique; et La figure 3 montre la structure d'un dispositif à fluorescence de rayons X qui correspond à l'invention. - Sur la figure 3, la référence 10 désigne un tube à rayons X sous lequel est disposé un collimateur 11. Une plaque réfléchissante 13, qui est conçue spécialement pour le dispo- sitif de l'invention, est fixée sur une embase (non représen- tée) entre le collimateur 11 et un échantillon 12. La plaque réfléchissante 13 est constituée par une matière qui réfléchit la lumière mais laisse passer les rayons X et, à titre d'exem- ple, la plaque réfléchissante 13 peut être réalisée en formant un revêtement d'aluminium sur une ccuche de Si02 ou sur une couche organique, ou bien en procédant par évaporation, pour obtenir une surface réfléchissante. Ainsi, les rayons X pro- venant du tube à rayons X 10 sont appliqués à l'échantillon 12 à travers la plaque réfléchissante 13 et les rayons X de fluorescence provenant de l'échantillon 12 sont déiectés par un élément détecteur 14. Dans ce cas, du fait que la lumière provenant de l'échantillon est réfléchie par la plaque réflé- chissante 13, on peut observer l'état de l'échantillon 12, par exemple au moyen d'un microscope (non représenté). Par conséquent, les moyens de déplacement exigés dans l'art antérieur ne sont pas nécessaires dans le disposi- tif de l'invention, du fait que la plaque réfléchissante est fixe, ce qui permet d'obtenir une diminution importante du coût de fabrication. De plus, le dispositif peut fonctionner de manière stable avec une précision élevée, même si on l'utilise pendant une longue durée. Il va de soi que de nombreuses modifications peu- vent etre apportées au dispositif décrit et représenté, sans sortir du cadre de l'invention. REVENDICATION Dispositif à fluorescence de rayons X, caractérisé en ce qu'il comprend un tube à rayons X destiné à émettre des rayons X, un collimateur placé à la partie inférieure du tube à rayons X pour guider les rayons X, et une plaque réfléchis- sante montée de manière fixe entre un échantillon et le col- limateur; et en ce que cette plaque réfléchissante est cons- tituée par une matière qui réfléchit la lumière mais laisse passer les rayons X.