Brevet FR2505101A1 — publié le 19821105

Dispositif de stabilisation d'émission d'un résonateur laser selon' un mode démission détermine. La presente invention est relative a un dispositif de stabilisation d'émission selon un mode d'émission détermine d'un resonateur laser. De nombreuses applications des dispositifs d'emission de lumière cohérente, émission laser, notamment les applications aux machinesoutils d'usinage, d'estampage, de gravure et de perçage nécessitent une émission laser de haute stabilité à laquelle doit être ajoutee une grande précision des paramètres de configuration du faisceau d'émission en vue d'assurer, lors de l'utilisation, une excellente reproductibilité des effets sur la piece à usiner. Dans la plupart des cas, l'emission laser engendrée en mode fondamental, mode TEMoo,est préférée en raison des qualités intrinsèques de ce mode d'émission, section du faisceau d 'émission laser sensiblement circulaire et distribution d'intensité lumineuse en fonction de la distance au centre du faisceau répartie selon une courbe de Gauss. Dans d'autres applications, telles que le traitement de surface de matériaux en vue de durcissage, "annealing", sechage, fixation ou polymérisation et les procédées biochimiques,l'émission laser est de préférence engendrée selon des modes d'émission d'ordre supérieur, notamment en vue d'obtenir des densités d'énergie sensiblement uniformes avec un nombre minimal d'émetteurs de rayonnement laser par unité de surface à traiter. Des dispositifs de stabilisation d'émission laser ont été decrits en particulier dans le brevet suisse 604 391 et dans le brevet americain 4 103 254. Ces dispositifs sont cependant destinés à la stabilisation de la fréquence d'émission laser par commande d'éléments pie- zo-electriques en vue de modifier l'accord du resonateur, la commande étant effectuee à partir d'un signal representatif du desaccord du résonateur. D'autres dispositifs ont été décrits en particulier dans le brevet allemand 1 950 943. Ce dispositif est plus specialement destiné à assurer une stabilisation d'intensité d'émission laser pour un laser à gaz. Les dispositifs decrits dans les documents précités ne permettent pas cependant une stabilisation selective d'un mode détermine car d'une part, dans le premier cas, la stabilisation est une stabilisation en frequence dans laquelle la sélection de mode ne peut etre effectuée par la seule détection de frequence,et,d'autre part, dans le deuxième cas, la stabilisation d'intensité est assuree par reference à la seule proportionnalité du courant de décharge du laser à gaz independamment du mode d'émission. La presente invention permet de remedier aux inconvenients pre- cités et a pour objet un dispositif permettant la stabilisation de l'intensité d'émission et/ou de la fréquence d'émission d'un résonateur selon un mode déterminé. Un autre objet de la présente invention est un dispositif permettant la stabilisation d'emission selon un mode détermine. Le dispositif de stabilisation d'émission selon l'invention est défini par l'ensemble des caracteristiques techniques exposées ci-après. Les dispositifs conformes à l'invention peuvent avantageusement être utilisés dans toute machine d'usinage ou de traitement par laser dans laquelle une stabilisation de l'émission selon un mode déterminé est en particulier obtenue conformément au brevet suisse 545 544 au nom de la demanderesse par optimalisation des paramètres du résonateur. L'invention sera mieux comprise à l'aide de la description et des dessins ci-après dans lesquels la figure 1 represente un dispositif conforme a l'invention; les figures 2a, 2b et 2c, 2d représentent pour une émission laser en mode fondamental TEMoo et en mode d'ordre superieur TEMol respectivement, un détail de réalisation de l'objet de l'invention; les figures 3a à 3e représentent différents schémas explicatifs et les figures 4a et 4b un mode de réalisation particulier de l'invention. Selon la figure 1, le dispositif selon l'invention permet la stabilisation d'émission d'un résonateur laser 20 comprenant un miroir de réflexion 21 et un miroir de couplage 22 permettant la transmission du faisceau de sortie 220. Les miroirs 21 et 22 sont montés en vis-à-vis sur le corps du résonateur. Sur la figure 1, un tube d'emission laser 210 a éte représente , le laser pouvant, à titre d'exemple non limitatif, être un laser à gaz ou un laser à corps solide . Le corps du résonateur 20 comporte par exemple une infrastructure rigide pratiqueent insensible à la dilatation. Cette infrastructure peut être constituée par des barreaux en invar 23.Des eléments piézo-électriques 242 permettent une adaptation de la distance sevrant les miroirs 21 et 22 en fonction d'un signal repré sentatif de l'intensité d'émission. Le dispositif comporte en outre un dispositif de détection 25 permettant de détecter le profil d'émission du faisceau laser 220. Le dispositif de détection 25 permet d'engendrer un signal représentatif de la distribution d'intensité périphérique des maxima d'intensité constitutifs du mode d'émission considéré. Ce signal permet la commande de la position relative des miroirs 21 et 22 en vue de l'asservissement de l'émission sur le mode considéré.Par mode d'emission on entend mode d'émission axial, c'est-à-dire répartition des champs électrique et magnétique du rayonnement selon une direction parallèle à la direction de propagation du faisceau laser et/ou mode d'émission transversal, c'est-à-dire répartition des champs électrique et magnetique du rayonnement selon un plan perpendiculaire à la direction de propagation du faisceau laser. Le mode d'émission transversal comprend aussi bien les modes d'emission transversaux a symétrie rectangulaire que les modes d'emis- sion à symétrie circulaire. Les modes d'emission axiaux et traversaux sont physiquement dependants, en particulier, de la géométrie du resonateur. Une variation de longueur du résonateur entraîne une variation de l'intensité du faisceau de sortie 220, et corrélativement apparaît la série des différentes longueurs d'onde des transitions avec des coefficients d'amplification différents. Dans le cas d'un laser a gaz C02 en particulier, dans les conditions habituelles d'émission, le plus grand coefficient d'amplification est obtenu pour la transition P20.Chacune des transitions possibles dans un laser C02 prEsen- te une courbe de gain fonction de la frequence, une intensite maximale d'émission étant atteinte lorsqu'un mode axial correspond au maximum d'amplification.Pour une transition donnée telle que P20 par exemple,la position du maximum d'amplification est déterminée par la fréquence d'émission.La position des modes axiaux est cependant fonction du chemin optique entre les miroirs 21 et 22 du résonateur lequel est luimême fonction de paramètres tels que la distance séparant les miroirs et de leur rayon de courbure, le courant de decharge du tube a gaz, la pression du gaz dans le tube, la température, l'existence dans le résonateur d'eléments optiques particuliers tels que, ainsi que repré senté figure 1, fenêtres de sortie du rayonnement laser sous incidence de Brewster ou lentilles additionnelles ou télescope permettant la diminution de la longueur physique du résonateur. Ces paramètres sont soumis, au cours du fonctionnement, à des variations dues à des origines diverses telles que par exemple modulation de la pression du gaz par la pompe, non représentée figure 1 pour raisons de clarté, assurant la circulation de ce gaz dans le tube. Ces variations provoquent des perturbations de l'intensité du faisceau laser de sortie 220 et de ses qualités de distribution d'intensité inhérentes à chaque mode d'émission transversal.Le dispositif selon l'invention permet, compte tenu de ces variations, le maintien de la longueur optique du résonateur sensiblement constante pour un mode d'émission transversal détermine par compensation des variations du chemin optique en fonction des paramètres précités. Dans le cas du laser à gaz, en particulier à gaz C02, le maintien d'un mode axial en position de gain maximal, pour une intensité de sortie maximale, permet également une stabilisation de la fréquence d'émission laser puisque la frequence de résonance du resonateur permettant l'obten tion du gain maximal pour la transition considérée est fonction biunivoque de la longueur optique du resonateur. Une telle stabilisation est particulièrement utile dans le cas d'applications du laser à la spectroscopie.Sur la figure 1, l'adaptation ou maintien de la longueur optique du resonateur 20 est effectuee au moyen d'un système 24 d'adaptation de la position relative des miroirs 21, 22 comportant par exemple un calculateur 241 recevant le signal représentatif de la distribution d'intensité périphérique des maxima d'intensité constitutifs du mode d'émission considére et délivrant aux éléments piezo electriques 242 un signal de commande. Conformément au schema de la figure 1, le dispositif de detection 25 du profil d'emission du faisceau laser permet de prélever, du faisceau laser 220, la distribution d'intensité peripherique des maxima d'intensité constitutifs du mode transversal. Le dispositif de détection 25 permet en outre de detecter le niveau d'intensité de cette distribution peripherique pour engendrer un signal représentatif de l'intensité du mode considéré. Le dispositif de detection 25 comprend un écran partiel 250 disposé sur le trajet du faisceau laser, L'ecran 250 peut indifféremment être disposé à l'intérieur ou a l'exté- rieur du resonateur 20.Le dispositif de détection 25 comporte en outre une lentille de focalisation 251 et un detecteur 252 sensible au rayonnement laser intercepte par l'écran partiel 250. Le détecteur 252 délivre le signal représentatif de la distribution d'intensité periphérique des maxima d'intensité constitutifs du mode. Ainsi que représenté de manière plus detaillee figures 2a,2b,2c, 2d, l'écran partiel 250 comporte un arrangement de zones totalement ré fléchissants I, comportant des hachures sur les figures 2b et 2d, et des zones totalement transparentes II. Les zones totalement transparentes sont disposees en vis-à-vis des zones du faisceau, ainsi que représenté figures 2a et 2c, d'intensité I supérieure à a Lo Le k coefficient k est un coefficient superieur à I permettant de définir le diamètre utile 8 des maxima d'intensité constitutifs du mode.Sur les figures 2a et 2c la distribution d'intensité correspond à un mode d'émission fondamental TEMoo et a un mode d'émission d'ordre suparieur TEMol, la distribution d'intensité I étant représentée en fonction de r distance radiale par rapport à l'axe du faisceau laser. Dans le cas d'émission en mode fondamental la distribution d'in tensité du faisceau est sensiblement identique à une distribution Gaussienne et le coefficient k est égal à e2 avec e = 2,7. Le coefficient a est compris entre 0,8 et 0,55 sensiblement. Les zones totalement reflechissantes sont disposées en vis-à-vis des zones du fais lo ceau d'intensité I inférieure a k' a et k étant définis prece- demment, Io représentant l'intensité maximale de chaque maxima d'in tensité constitutif du mode. Ainsi que représenté figure 2a, dans le cas d'une émission en mode fondamental, le dispositif permettant de prelever la distribution d'intensité périphérique du faisceau comprend un diaphragme réfléchissant disposé sur le trajet du faisceau laser et comportant une ouverture 2500 sensiblement circulaire. L'ouverture 2500 est centree sur l'axe du faisceau laser, le voisinage réfléchissant du borddel'ouverture du diaphragme interceptant la distribution pé ripherique d'intensité du faisceau laser. Ainsi que représenté figu re 1, la lentille 251 permet la focalisation du rayonnement intercepté par le bord de l'ouverture du diaphragme. La lentille 251 forme une image de la distribution périphérique d'intensité du ou des maxima du mode d'émission considére au niveau de la surface sensible du détecteur 252.Le diaphragme est incliné par rapport a la direction de propagation du faisceau laser. Le coefficient Ct défini précédemment permet, compte tenu de l'inclinaison du diaphragme, ou de l'écran partiel, de définir un diamètre d d'ouverture du diaphragme ou de la zone totalement transparente, compris entre 1,2 a 1,8 fois le diamètre utile I du faisceau en mode fondamental ou mode d'ordre superieur. L'inclinaison du diaphragme ou de l'écran partiel et le diametre d de l'ouverture du diaphragme sont choisis de manière à provoquer l'interception et la réflexion d'une distribution périphérique d'intensité représentant de 1 à 2 X de la puissance totale du faisceau laser. Ainsi que représenté figure 2d, dans le cas d'une emission en mode d'ordre supérieur, le diaphragme comportant l'ouverture 2500 est remplace par un ecran partiel constitue par exemple par une lame transparente au rayonnement laser.Dans le cas d'un laser C02 la lame peut être constituée par une lame de tellurure de cadmium ou chlorure de potassium.Cette dernière comporte en vis-à-vis des zones du faisceau d'intensité inferi eure a a Lo une metallisation totalement réfléchissante permettant l'in- k terception de la distribution d'intensité périphérique des maximas d'in tensité du mode considére.Par zone totalement réfléchissante il faut entendre zone dont le coefficient de réflexion est supérieur ou egal à 99,8N et par zone totalement transparente il faut entendre zone dont le coeffi cient de reflexion est inferieur à 0,2% pour la longueur d'onde du rayonnement laser correspondant, par exemple une lame parallèle sous incidence de Brewster avec metallisation. Le fonctionnement du dispositif peut être etabli comme ci-apres compte tenu des figures 2a, 2b, 2c, 2d et 3. La disposition des zones Io totalement réfléchissantes au delà des lignes d'iso-intensité &alpha;k, pour les intensités inférieures à cette valeur, permet la détection d'une intensité périphérique minimale pour chaque maxima d'intensité constitutif du mode d'émission considéré du fait de la pente P importante de la courbe de distribution I (r) pour les valeurs de r in ferieures à ro tel que 1(ru) = lo Une désadaptation de mode a tel pour effet la diminution des maxima Io et de la pente P et corréla- tivement l'accroissement très important de l'intensite périphérique détectee. Un tel résultat peut être mis en évidence par les figures 3a à 3e dans lesquelles apparaît nettement une corrélation entre le maximum d'in tensité Io, figure 3d, du faisceau laser transmis en sortie et le minimum correspondant d'intensité périphérique détecté ID, figure 3e. Les conditions expérimentales correspondant aux résultats des figures 3a à 3e étaient les suivantes: émission laser C02 en mode fondamental à la longueur d'onde = 10,59 pm transition P20.Une rampe de tension, figure 3c, d'amplitude 1000 V a, pour celà, été appliquée aux éléments piézo-électri" ques 241 pour provoquer un allongement total de la longueur optique du ré sonateur de l'ordre de 5.3 pm. L'émission en mode fondamental à la transition P20 est obtenue avec une intensité maximale pour une tension sensiblement egale à la demi-amplitude de la rampe.L'application de la ram pe de tension aux éléments piezo-électriques permet par l'allongement de la longueur du resonateur d'une quantité voisine de X d'effectuer un ba- layage correspondant de l'ensemble des modes d'émission axiaux du resonateur représentés figure 3b par rapport aux courbes de gain du milieu actif C02 représentées figures 3a et en particulier de la courbe de gain de la transition P20 en vue de la recherche du maximum d'intensité d'emission pour le mode axial considere.La puissance maximale peut donc être obtenue, par variation de la longueur du résonateur,pour le mode fondamental de differents modes axiaux dont la fréquence d'émission diffère sensiblement de Af = 2cL où c est la vitesse de propagation de la lumière dans le vide et L la longueur optique du résonateur.Pour un mode axial donne, en coincidence avec le maximum de la courbe de gain de la courbe P20, il existe plusieurs modes transversaux d'ordre.superieur de frequence d'emission legèrement différente correspondant au phénomène de dispersion des raies du spectre du resonateur. Le dispositif selon l'inven- tion permet en particulier au moyen de l'écran partiel de reflexion de la distribution périphérique des maxima d'intensité de privilégier un mode transversal particulier par adaptation de la longueur du résonateur laser en vue du gain maximum de la transition P20 pour le mode transversal considéré.Le maintien de ce mode d'émission transversal en position de gain maximal est assure, après le choix de la fréquence centrale correspondant à une longueur d'onde de 10,59 um en mode fondamental, par modulation de la valeur moyenne du signal appliqué aux é1é- ments piézo-electriques et correction de cette valeur moyenne en fonction de paramètres du signal représentatifs de l'intensité périphérique detectee compte tenu de la non linéarité de la courbe de réponse de l'intensité périphérique détectée au voisinage du minimum d'intensité du signal detecté ID. Le signal ID délivré par le détecteur 252, un détecteur infrarouge, présente un minimum en coincidence avec le maximum d'intensité du faisceau.Le signal délivré par le détecteur 252 proportionnel à l'intensité périphérique des maxima est représentatif de celle-ci et de l'mission selon le mode consideré. Compte tenu des résultats expérimentaux précédents, il est aisé de comprendre que le détecteur 252 recevant de la lentille de focalisation 251 les faisceaux interceptés et délivrant un signal 1D proportionnel à l'intensité du rayonnement intercepté au calculateur 241, ce même calculateur 241, et, les elements piezo-electriques 242 recevant du calculateur un signal de commande représentatif de l'adaptation de la position relative des miroirs 21, 22, constituent une chaîne d'asservissement de la longueur optique du résonateur 20 pour regler la transition choisie avec le maximum d'amplification du mode axial considéré et la stabilisation correspondante de la transition selon un mode transversal déterminé pour l'obtention d'une intensité maximale du faisceau de sortie. Dans le cas d'un résonateur pour laser à gaz C02 émettant par exemple en mode fondamental, les éléments piézo-électriques 242 permettent la déformation du résonateur selon une direction parallèle à la direction de propagation du faisceau laser. Dans ce cas l'adaptation de la position relative des miroirs consiste en une adaptation de la distance séparant les miroirs. Dans le cas d'un résonateur pour laser à corps solide tel que rubis, Nd-YAG ou Nd Glass, ainsi que représente schématiquement figure 4a, les éléments piezo-électriques 242 permettent la déformation du résonateur 20 d'une part selon une direction parallèle à la direction de propagation du faisceau laser et d'autre part selon deux angles de rotation par rapport à un axe contenu dans un plan perpendiculaire à la direction de propagation du faisceau laser. Dans ce cas, l'adaptation de la position relative des miroirs consiste en une adaptation de la distance séparant les miroirs et de l'angle d'incidence du faisceau laser sur le miroir. Ainsi que represente figure 4a, le barreau laser 211 et la lampe à décharge d'excitation 212 matérialisent un plan. L'axe du faisceau laser est designé par XX' dans ce plan.Au cours du fonctionnement le barreau laser se comporte, du point de vue optique,comme un prisme en raison des gradients de température affectant la valeur de l'indice de refraction du milieu de propagation du faisceau laser. Les paramètres physiques de ce prisme sont variables dans le temps en raison notamment de la diminution du rendement, en raison de son vieillissement, de la lampe a décharge d'excitation, le bilan de transfert d'énergie lumineuse d'excitation et la distribution du gradient de température etant ainsi modifies. I1 sten suit une rotation d'un angle ss, dans le plan defini precedem- ment, du faisceau laser. Cet angle peut atteindre quelques milliradians après 1000 heures de fonctionnement. Le miroir 21, miroir de couplage du résonateur, est alors soumis à une rotation d'un même angle ss par rapport à un axe ZZ' contenu dans un plan perpendiculaire à la direction de propagation X'X du faisceau laser de manière que le miroir reste perpendiculaire à l'axe optique du faisceau X'X. La rotation du miroir peut être appliquée aux miroirs 22 et 21 sé- parément ou en combinaison. Selon un mode de réalisation particulier représente figure 4b, le calculateur 241 comporte un circuit 30 de calcul du signal de commande de la position relative des miroirs. Le circuit de calcul 30 delivre un premier signal Sd de correction de distance séparant les miroirs. Le circuit de calcul 30 comporte à cet effet un circuit 300 analyseur de spectre recevant le signal 1D délivré par le détecteur 252 et un circuit de correction 301 piloté par le circuit analyseur de spectre 300 et delivrant une tension continue valeur moyenne du signal Sd délivré par le calculateur 30. Un générateur de signal sinusodal 302 superpose à la tension continue délivrée par le circuit de correction 300 un signal de modulation sinusoldal par l'intermédiaire d'un amplificateur sommateur 303.Le signal de modulation a une fréquence comprise entre quelques centaines de kiloherz et quelques mégaherz. L'amplitude du signal de modulation est de l'ordre de 5% de l'amplitude de la tension continue délivrée par le circuit de correction 301. Le signal detecte ID est modulé par un signal periodique produit du signal sinusoldal de modulation et de la caractéristique non li néaire au voisinage du minimum de l'intensité détectée 1D L'analyse harmonique du signal ID par l'analyseur de spectre 300 permet le pilotage du circuit de correction 301 pour l'ajustage de l'amplitude de la tension continue constitutive du signal Sd pour l'obtention du gain maximal pour le mode axial donné en fonction des paramètres d'analyse harmonique du signal 1D modulé.De tels circuits ne seront pas decrits car ceux-ci sont bien connus de l'homme de l'art. A titre d'exemple la quasi symetrie de la courbe d'intensité détectée ID par rapport au minimum permet de definir un spectre de Fourier caractéristique de la position d'équilibre au maximum de gain de la transition P20 choisie. Le calculateur 30 délivre également un deuxième signal Sss de correction d'angle d'incidence du faisceau laser sur le miroir considéré. Le signal Sss est engendré par un circuit de calcul 304 délivrant par exemple trois signaux élémentaires Sss 1,2,3 tels que Sssl = kl#ID, klID > 5(32 = k2 # k2#ID, Sss3 = k3aID.Le circuit de calcul 304 reçoit le signal hID du détecteur 252 par l'intermédiaire d'un amplificateur différentiel 2524. Le signal # 1D est representatif de la rotation d'angle ss du faisceau par rapport à l'axe primitif X' X. A cet effet, à titre d'exemple, comme représente figure 4b, le détecteur 252 comporte deux zones sensibles au rayonnement laser 2522 et 2521 de surface identique. Les deux zones sont séparées par un intervalle 6 aussi faible que possible. Chaque zone alimente les entrées positives d'un amplificateur sommateur 2523 délivrant le signal 1D representatif de l'intensité totale du faisceau et respectivement l'entrée positive et negative de l'amplificateur différentiel 2524. L'image de l'intensité périphérique des maxima d'intensité du faisceau laser est formée par la lentille de focalisation 251 au centre de la séparation des deux zones sensibles. Dans la direction de rostation du faisceau, les detecteurs ont une dimension suffisante. Des circuits sommateurs 31, 32, 33 reçoivent chacun le signal Sd et respectivement le signal SB1, S ss 2, S ss 3. Le miroir 21 est solidaire d'un support 213 mécaniquement solidaire du corps du resonateur laser 20 par l'intermédiaire de trois éléments piézo-electriques 242. Les trois éléments sont disposés au sommet d'un triangle équilatéral , deux d'entre eux étant par exemple disposés sur l'axe Z Z' précédemment défini. Chacun des éléments pié zo-electriques reçoit d'un sommateur 31, 32, 33 un signal composite permettant l'orientation et le decalage convenable du miroir 21. L'ensemble des signaux composites constitue le signal de commande Sc de la position relative des miroirs. La détermination des valeurs kl, k2, k3 des signaux S ss 1, S ss 2, S ss 3 par le circuit de calcul 304 permet l'orientation du miroir 21 par seule rotation autour de l'axe Z Z' ou par composition de mouvement de rotation par rapport aux axes matérialisés par deux éléments piézo-électriques. Tout mode de réalisation dans lequel le calculateur 30 est constitue par un micro-processeur permettant le calcul numérique des valeurs de correction à partir des signaux ID et hIg,après transformation par convertisseur analogique numérique,ne sort pas du cadre de la présente invention. Tout mode de réalisation dans lequel la détermination des sens de variation de la puissance lumineuse détectée à la périphérie du faisceau est effectuée par d'autres moyens ne sort pas du cadre de la présente invention. REVENDICATIONS 1. Dispositif de stabilisation d'émission selon un mode d'émission déterminé d'un resonateur laser comprenant un miroir de réflexion et un miroir de couplage montes en vis-à-vis sur le corps du résonateur et des moyens d'adaptation de la distance séparant lesdits miroirs en vis-à-vis en fonction d'un signal représentatif de l'intensité d'émission, caractérise en ce qu'il comporte des moyens de détecter le profil d'émission du faisceau laser permettant d'engendrer un signal representatif de la distribution d'intensité peripherique des maxima d'intensité constitutifs de ce mode, ledit signal permettant la commande de la position relative desdits miroirs. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de détecter le profil d'émission du faisceau laser comportent: - des moyens de prélever, du faisceau laser, la distribution d'intensité périphérique des maxima d'intensité constitutifs du mode, - des moyens de detecter le niveau d'intensité de ladite distribution périphérique pour engendrer un signal représentatif de l'in tensité du mode considére. 3. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens dn prélever, du faisceau laser, la distribution d'intensité périphérique des maxima d'intensité constitutifs de ce mode comportent: - un écran dispose sur le trajet du faisceau laser et compor tant un arrangement de zones totalement réfléchissantes et de zones totalement transparentes, les zones totalement transpa rentes étant disposées en vis-à-vis des zones du faisceau d'intensité I supérieure a a Io ou k est un coefficient supé k rieur à 1 permettant de définir le diametre utile des maxima d'intensité constitutifs du mode, et a un coefficient compris entre 0,8 et 0,55 sensiblement, les zones totalement réfle chissantes étant disposées en vis-à-vis des zones du faisceau d'intensité I inférieure a IO ou a et k sont les paramètres k définis précédemment et Io l'intensité maximale de chaque ma xima d'intensité du mode. 4. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, carac térisé en ce que dans le cas d'une émission en mode fondamental lesdits moyens de prélever, du faisceau laser, la distribution d'intensité périphérique de ce faisceau comportent: - un diaphragme réfléchissant, dispose sur le trajet du faisceau laser, l'ouverture du diaphragme sensiblement circulaire étant centrée sur l'axe du faisceau laser, le voisinage refléchis sant du bord de l'ouverture du diaphragme interceptant ladite distribution périphérique d'intensité du faisceau laser, - une lentille de focalisation du rayonnement intercepté par le bord de l'ouverture du diaphragme. 5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que le diaphragme est incline par rapport à la direction de propagation du faisceau laser. 6. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que l'ouverture du diaphragme a un diametre d compris entre 1,2 à 1,8 fois le diametre utile 8 du faisceau laser, 1,2 7. Dispositif selon les revendications 5 et 6, caractérisé en ce que l'inclinaison du diaphragme par rapport à la direction de propagation du faisceau et le diametre d de l'ouverture du diaphragme permettent l'interception et la réflexion d'une distribution périphérique d'intensité representant une fraction de 1 à 2 X de la puissance totale du faisceau laser. 8. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que dans le cas d'une émission en mode d'ordre supérieur, lesdits moyens de prélever, du faisceau laser, la distribution d'in tensité périphérique du faisceau comportent: - une lame transparente disposée sur le trajet du faisceau laser. ladite lame comportant en vis-à-vis des zones du faisceau d'in tensite I inférieure à a IO une metallisation totalement ré k fléchissante permettant l'interception de la distribution pe- riphérique des maxima d'intensité du mode considére, - une lentille de focalisation du rayonnement intercepté par la métallisation. 9. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, carac térise en ce que les moyens de détecter le niveau d'intensité de la distribution périphérique du faisceau laser comprennent un détecteur sensible au rayonnement laser, ledit détecteur recevant de la lentille de focalisation les faisceaux interceptés, ledit détecteur délivrant un signal proportionnel à l'intensité du rayonnement intercep té. 10. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens d'adapter la position relative desdits miroirs comportent: - un calculateur recevant le signal délivré par le detecteur, - des éléments piézo-electriques disposés dans le corps du ré sonateur, lesdits élements piézo-électriques recevant du calcu lateur un signal de commande representatif de l'adaptation de la position relative des miroirs, lesdits éléments piezo-élec triques permettant la deformation correspondante du résonateur. 11. Dispositif selon la revéndication 10, caractérise en ce que dans le cas d'un résonateur pour laser à gaz C02 lesdits éléments piézo-électriques permettent la déformation du résonateur selon une direction parallèle à la direction de propagation du faisceau laser, l'adaptation de la position relative des miroirs consistant en une adaptation de la distance séparant les miroirs. 12. Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que dans le cas d'un resonateur pour laser à corps solide, lesdits éle- ments piézo-electriques permettent la déformation du résonateur d'une part selon une direction parallèle à la direction de propagation du faisceau laser et d'autre part selon un angle de rotation par rapport à un axe contenu dans un plan perpendiculaire à la direction de propagation du faisceau laser, l'adaptation de la position relative des miroirs consistant en une adaptation de la distance séparant les miroirs et de l'angle d'incidence du faisceau laser sur le miroir correspondant.