Brevet FR2509637A1 — publié le 19830121

La présente invention a pour objet un procé- dé de sustentation, de positionnement et de moulage de masses liquides sans contact avec les parois d'un ré- cipient, permettant en particulier la mise en forme de matériaux par solidification. Les procédés de mise en forme par moulage posent des problèmes importants lorsque les liquides sont corrosifs, comme c'est le cas notamment des al liages métalliques à haute température Les principaux problèmes posés sont ceux des compatibilités physique et physicochimique entre le matériau constitutif du conteneur et le liquide: il risque d'y avoir des réactions entre les deux matériaux, ce qui nuit à la pureté du produit obtenu, et l'on peut assister à des variations dimensionnelles incompatibles lors de la solidification et suivant les valeurs relatives des coefficients de dilatation thermique Ces diverses raisons ont amené l'emploi de nouvelles techniques tendant à la suppression des con- teneurs par action de forces de sustentation électro- magnétiques, électrostatiques, acoustiques, et même optiques Cependant ces méthodes sont délicates à uti- liser et ne peuvent s'appliquer qu'à de faibles masses en gravité terrestre; de plus, elles ne permettent pas la mise en forme de masses liquides. La présente invention a justement pour objet un procédé qui remédie à ces inconvénients en permet- tant la sustentation et la manipulation de masses li- quides, éventuellement importantes, sans contact avec les parois d'un récipient. Selon la principale caractéristique du pro- cédé objet de l'invention, la masse liquide étant pla- cée dans un dispositif comportant au moins une paroi, ce procédé se caractérise en ce que l'on sépare ladite masse liquide de la paroi par une couche sous pression d'un gaz chimiquement inerte vis-à-vis de la masse li- quide et du matériau constitutif de la paroi. Selon une autre caractéristique de ce procé- dé, ladite paroi est poreuse ou percée de fins canaux afin de permettre le passage du gaz utilisé pour la sustentation et la manipulation. Ainsi, l'interposition d'un film de gaz s'écoulant sous pression entre une paroi du dispositif et la masse liquide supprime tout contact mécanique entre le liquide et son conteneur: on évite ainsi d'éventuelles interactions entre le liquide et le ma- tériau constitutif des parois et l'on peut maintenir des masses importantes de liquide dans un récipient. Il est bien entendu que le gaz utilisé pour la manipu- lation doit être chimiquement inerte vis-à-vis du li- quide: un gaz neutre comme l'hélium peut convenir dans de nombreux cas d'applications. Avantageusement, les parois du récipient sont poreuses et le film de gaz est créé par l'écoule- ment forcé de celui-ci à travers les parois du conte- neur, de l'extérieur vers la surface du liquide Une pression dynamique uniforme normale en tout point de la surface s'établit ainsi et équilibre les forces de pression exercées par le liquide La stabilité du film de gaz, qui est une condition essentielle au maintien de l'isolement entre le liquide et la paroi, est obte- nue par le contrôle des écoulements du flux gazeux afin d'éviter les oscillations des surfaces liquides. L'invention apparaîtra plus clairement à la lecture de la description qui va suivre, donnée à ti- tre d'exemple purement illustratif et nullement limi- tatif, en référence aux dessins annexés dans les- quels: la figure 1 est une vue schématique en coupe montrant une goutte liquide supportée par un film de gaz au-dessus d'une paroi poreuse horizontale, la figure 2 est une vue semblable à la figure 1, montrant comment on peut déplacer des gout- tes liquides maintenues par film de gaz au-dessus d'une paroi poreuse horizontale, la figure 3 est une vue schématique en coupe montrant une masse liquide contenue dans un ré- cipient par le procédé selon l'invention, la figure 4 est une vue schématique en coupe illustrant un procédé de fusion de zone vertica- le, la partie fondue d'une pièce solide étant contenue à l'intérieur d'un manchon sans contact avec les pa- rois de celui-ci, la figure 5 illustre un procédé de tirage vertical, les figures 6 a et 6 b illustrent un procédé de maintien et de mise en forme d'un matériau solide par fusion de zone horizontale dans -lequel un manchon se déplace le long de la pièce solide, la zone fondue étant séparée des parois du manchon par un film de gaz, la figure 6 c représente un appareil de fu- sion de zone horizontale, la figure 7 est une vue schématique mon- trant une masse liquide allongée placée en microgravi- té spatiale et maintenue à l'aide de parois poreuses diffusant un film de gaz, la figure 8 est une vue schématique en coupe montrant un procédé de coulée continue dans le- quel une partie de la masse liquide contenue dans le récipient s'écoule dans un manchon tout en étant sépa- rée des parois de celui-ci par un film de gaz, la figure 9 est une vue schématique en coupe montrant un procédé de mise en forme d'une pièce solide par solidification verticale, utilisant le pro- cédé selon l'invention, et la figure 10 illustre un procédé de mise en forme d'une plaque de silicium photovoltaique par traction verticale utilisant le procédé de sustenta- tion selon l'invention. La figure 1 montre comment une goutte de si- licium liquide 2 peut être supportée au-dessus d'une paroi 4 à l'aide d'un film de gaz La plaque 4 est poreuse et constitue la paroi diffusante d'une chambre 6 permettant la mise en pression et en température du gaz employé Suivant les cas, on peut placer directe- ment une goutte liquide en contact avec la paroi et la soulever en forçant une masse de gaz à travers cette paroi, ou utiliser une masse solide que l'on sustente par film de gaz et que l'on fond ensuite Dans le cas particulier représenté sur la figure 1, un parallélé- pipède de 10 g environ de silicium solide a été dispo- sé au centre d'une plaque 4 en graphite à 32 % de poro- sité ouverte, l'épaisseur de la plaque étant voisine de 3 mm' On réalise d'abord la sustentation du bloc de silicium solide en faisant diffuser de l'hélium à tra- vers la paroi 4 L'ensemble étant placé dans un four à résistances n'induisant aucune force électromagnéti- que sur la masse de silicium, le chauffage est mis en marche et augmenté jusqu'à fusion du silicium Celui- ci se rassemble sous forme de goutte, essentiellement sous l'action de la tension superficielle élevée du silicium liquide Afin de maintenir la goutte 2 au même endroit de la surface externe de la plaque 4, on a donné à celle-ci une forme légèrement concave En effet, le poids de la goutte étant équilibré par la pression du film de gaz, si aucune force de rappel ne la maintient, elle acquiert une grande mobilité sous l'effet de forces minimes non contrôlées C'est pour- quoi l'on prévoit une forme de paroi légèrement conca- ve afin d'éviter un déplacement accidentel de la goutte. Dans certains cas cependant, il peut être nécessaire de déplacer des gouttes liquides maintenues au-dessus d'une paroi horizontale par film de gaz. La figure 2 illustre un procédé permettant une telle opération Sur cette figure, on voit deux gouttes 8 et 10 maintenues au-dessus d'une paroi po- reuse 12 par un film de gaz selon le procédé objet de l'invention Le gaz de sustentation arrive à travers un orifice 14 dans une chambre 11 et diffuse à travers la paroi 12 Afin de déplacer les gouttes 8 et 10, on crée des surpressions ou des dépressions locales - pour cela, on utilise des tiroirs 18 mobiles à l'inté- rieur de la chambre 16 Les tiroirs mobiles 18 comman- dés par les tiges 19 comportent chacun une mince pla- que poreuse 20, de même nature que la paroi 12, qui augmente localement la perte de charge des gaz, créant ainsi des dépressions sur la paroi dans lesquelles les gouttes 8 et 10 se stabilisent Le déplacement des tiroirs 18, à l'aide des tiges 19, entraîne le dépla- cement des zones de dépression et donc celui des gout- tes. Les procédés qui viennent d'être décrits en référence aux figures 1 et 2 ne s'appliquent qu'à des gouttes ou des masses liquides faibles Dans le cas de masses plus importantes, il est nécessaire d'utiliser des récipients dans lesquels la masse liquide est sé- parée des parois par un film de gaz. La figure 3 illustre un procédé de maintien d'une masse liquide 22 à l'intérieur d'un récipient 23 Les parois 24 de celui-ci sont poreuses afin de permettre le passage du gaz utilisé pour la sustenta- tion et le positionnement Le fond 25 du récipient 23 est également constitué par une paroi poreuse à tra- vers laquelle est amené le gaz utilisé pour la susten- tation Il y a lieu de remarquer que, dans ce cas, les films de gaz situés entre le fond du récipient et la masse liquide d'une part, entre les parois du réci- pient et la masse liquide d'autre part, ne jouent pas le même rôle La pression du film de gaz situé entre le fond 25 et le liquide 22 sert uniquement à compen- ser le poids de celui-ci tandis que le film gazeux situé entre le liquide et les parois 24 du récipient sert à compenser la pression hydrostatique variable de la colonne liquide De plus, le fond 25 du récipient 23 n'est pas en contact avec les parois 24: en effet, une ouverture 26 est ménagée à la partie inférieure du récipient pour permettre l'écoulement du gaz diffusé à travers les parois poreuses. Le procédé selon l'invention trouve des ap- plications nombreuses et variées, notamment pour la mise en forme de matériaux à partir d'une masse liqui- de Il rend en particulier de grands services dans la fusion de zone Les procédés actuels de fusion de zone présentent des inconvénients, notamment lorsque la pièce de départ est en-position-verticale, à cause de l'instabilité de la zone liquéfiée qui risque de s'ef- fondrer sous l'action de son propre poids lorsque la hauteur de la partie liquide est trop importante Le procédé selon la présente invention remédie à ces in- convénients-en permettant le maintien de matériaux su- bissant une opération de fusion de zone, même lorsque les dimensions de la zone liquéfiée (hauteur et diamè- tre) sont importantes Pour cela, on maintient la zone fondue à l'intérieur d'un manchon à parois poreuses, à l'aide d'un film de gaz Bien entendu, la section du manchon peut êtr-e de f-orme quelconque permettant l'ob- tention de profils variés. La figure 4 illustre un procédé de maintien dans une forme déterminée d'une partie liquide d'une pièce métallique, par exemple une pièce métallique mo- nocristalline 27 placée dans un appareil de fusion de zone verticale La pièce 27 est placée à l'intérieur d'un manchon chauffant 28 comportant des parois poreu- ses 29 afin de permettre le passage d'un gaz sous pression Ce manchon 28 se déplace verticalement La partie liquifiée 32 de la pièce 27 est maintenue sans contact direct avec les parois 29 du manchon par le gaz duffisé à travers ces dernières Au fur et à mesu- re du déplacement vertical du manchon 28 la zone fon- due 32 se déplace simultanément Bien entendu, le pro- cédé s'applique également au cas-o la pièce se dépla- ce à l'intérieur du manchon, celui-ci restant fixe. La figure 5 illustre un procédé de tirage vertical, dit "procédé de CZOCHRALSKI" De manière classique, celui-ci consiste à amener un tube très fin au-contact de la surface libre d'un matériau fondu Le liquide monte par capillarité le long du tube et se solidifie, formant un germe On monte ensuite le tube très lentement et le liquide qui adhère au germe se solidifie au fur et à mesure du déplacement La figure illustre un tel procédé dans lequel la masse liquide est maintenue sans contact avec les parois d'un réci- pient par le procédé selon l'invention Sur cette fi- gure, on voit la masse liquide 36 du matériau 35 main- tenue par un manchon diffusant et chauffant 38 La pièce terminée et tirée est représentée en 34. Le cas de la fusion de zone horizontale avec modification de section est illustré sur les figures 6 a et 6 b o l'on voit une pièce solide 42 maintenue horizontalement par ses deux extrémités et un manchon 43 permettant une réduction de la section entourant la pièce 42 et dont les parois 44 sont poreuses: ce man- chon peut se déplacer le long de la pièce 42 dans le sens indiqué par la flèche F Des moyens de chauffage 45 permettent de liquéfier la partie de la pièce 42 située à l'intérieur de celui-ci, la masse liquide 46 étant maintenue et mise en forme à l'intérieur du man- chon grâce au film de gaz sous pression amené à tra- vers les parois effusantes 44 Dans le cas particulier décrit ici, la figure 6 a est une vue latérale du dis- positif utilisé dans lequel le manchon 43 a la forme d'un berceau et la figure 6 b est une vue de dessus de ce même dispositif On voit qu'il s'agit ici de dimi- nuer la largeur de la pièce 42:pour cela, on donne au manchon 43 une forme appropriée afin que la partie liquéfiée 46 puisse réaliser le raccordement entre la partie déjà terminée 42 a et la partie à rétrécir 42 b de la pièce 42 Dans cet exemple, la pièce 42 s'allon- ge puisqu'on diminue sa largeur sans modifier sa hau- teur Pour cela, seule la première extrémité 48 de la pièce 42 est fixée tandis que l'autre extrémité 47 peut se déplacer progressivement à l'intérieur d'un support 50 La figure 5 c représente un appareil pour effectuer une fusion de zone horizontale sans varia- tion de section dans lequel le manchon 43 ' a une sec- tion en U et supporte la zone liquide 46 ' grâce au gaz diffusé à travers les parois poreuses 44 ' Bien enten- du, le manchon 43 ' peut être dissocié en deux parois verticales et un fond horizontal indépendant Des moyens de chauffage 45 ' permettent la fusion de la pièce 42 '. L'invention a encore pour objet une applica- tion du procédé objet de l'invention à l'élaboration de matériaux en microgravité spatiale, domaine pour lequel la sustentation des liquides est assurée, mais non leur positionnement ni leur mise en forme La fi- gure 7 illustre une telle application dans laquelle une masse liquide 51 est maintenue sans contact en microgravité sous une forme allongée Le positionne- ment de la masse 51 est assuré par des guide-rails 52 présentant des parois poreuses effusantes 53 à travers lesquelles est introduit un gaz Etant donné qu'aucun poids ni aucune pression hydrostatique ne s'exercent plus, les flux gazeux nécessaires peuvent être assez faibles. La figure 8 illustre un procédé de coulée continue utilisant le procédé de sustentation par film de gaz selon l'invention Sur cette figure, on voit une masse liquide 54 contenue à l'intérieur d'un réci- pient 55 dont le fond comporte une ouverture 56 pour l'évacuation du liquide et sa solidification par cou- lée continue Le liquide s'écoulant à travers l'orifi- ce 56 passe à travers un manchon 57 dont les parois 58 sont poreuses afin de permettre le passage d'un gaz sous pression Le manchon 57 comporte à sa partie su- périeure une autre paroi poreuse horizontale 59 fai- sant face à la paroi externe du fond du récipient 55 et située à une très faible distance de celui-ci Le film de gaz ainsi diffusé entre la paroi 59 et le fond du récipient sert à empêcher l'amorce de mouillage par le liquide s'écoulant à travers l'orifice 56 de la face interne du manchon Un détecteur de niveau 60 relié à une alimentation 61 commande l'arrivée de li- quide au fur et à mesure que le niveau de celui-ci dans le récipient 55 baisse Un réglage convenable de la température du gaz diffusant à travers les parois 58 permet de positionner l'interface solide-liquide à un endroit convenable à l'intérieur du manchon 57. Le procédé selon l'invention peut encore s'appliquer à la mise en forme de matériaux par soli- dification verticale par le haut Celle-ci consiste à réaliser l'immersion forcée d'une pièce de forme com- prenant une ouverture pourvue d'un manchon effusant de façon à provoquer la montée du liquide dans le man- chon. La figure 9 illustre un tel procédé dans le- quel une pièce solide 63 est réalisée à partir d'une masse liquide 64 contenue dans un récipient 65 Ce dernier est placé à l'intérieur d'un four 62 afin de maintenir liquide la masse 64 Le maintien en position de la partie de la masse liquide adhérant à la partie solidifiée 63 se fait encore par le procédé selon l'invention Pour cela, on place au-dessus de la sur- face libre du liquide 64 un dispositif 66 appelé "piè- ce de forme" Celle-ci a des dimensions extérieures légèrement inférieures à celles du récipient 65 et présente en son centre une ouverture définissant un passage 67 pour la réalisation de la partie solidifiée 63 Les parois de la pièce de forme 66 situées en regard de la paroi interne du récipient 65, en regard de la surface libre du liquide 64 et dans le manchon 67 sont poreuses afin de permettre le passage d'un gaz introduit par l'ouverture 70 Le gaz diffusant à tra- vers les parois poreuses de la pièce 66 permet, après immersion partielle de la pièce 66 dans le bain, de maintenir une partie de la masse liquide à l'intérieur du manchon 67 Le liquide mis en forme se solidifie dans le manchon 67 Le gaz diffusant à travers les parois situées en regard de la surface libre du liqui- de 64 sert à l'isolation et le film de gaz interposé entre les parois externes de la pièce 66 et la paroi interne du récipient 65 empêche le liquide de monter le long de celle-ci Au fur et à mesure que la pièce solide 63 est formée-, le niveau du liquide 64 dans le récipient 65 baisse Comme la pièce de forme 66 a une position fixe, un dispositif est prévu afin de soule- ver le récipient au cours de l'élaboration. Enfin, une dernière application intéressan- te du procédé selon l'invention est la mise en forme, par traction verticale, de plaques de silicium photo- il voltaïque La figure 10 représente un dispositif pour l'application d'un tel procédé Sur cette figure, on voit une masse de silicium fondu 71 placée à l'inté- rieur d'un creuset 72 en carbone vitreux lui-même pla- cé sur un support réglable en hauteur (non représen- té) Au-dessus de la surface libre du liquide 71 est disposée une pièce de forme 73 présentant en son cen- tre une fente verticale définissant un manchon 74, de 1 mm de large, 10 mm de haut et'50 mm de long dont les parois 75 sont poreuses L'ensemble est placé à l'in- térieur d'un four 79 La paroi 76 de la pièce 73 fai- sant face à la surface libre du liquide 71 est égale- ment poreuse Le gaz est amené à l'intérieur de la pièce 73 par une canalisation d'entrée 77 Au départ, on amène la paroi inférieure 76 de la pièce de forme 73 au voisinage de la surface libre du liquide 71 Le gaz est alors introduit et la température à l'inté- rieur de la fente est stabilisée à quelques degrés au- dessous du point de fusion du silicium Un germe plat de 0,5 mm d'épaisseur est alors introduit dans la fen- te 74 jusqu'à contacter la surface du liquide Un in- terface solide-liquide est alors formé et sa position est ensuite fixée à l'intérieur de la fente par un réglage convenable des moyens de chauffe du four 79. Le tirage peut alors commencer à la vitesse choisie. Là encore, au fur et à mesure que la plaque 78 est formée, le niveau du liquide baisse La pièce de forme étant fixe par rapport au four 79, les variations de niveau du bain sont compensées par l'élévation conti- nue du creuset 72. Le procédé selon l'invention présente de nombreux avantages puisqu'il permet la mise en forme de matériaux solides à partir d'une masse liquide sans contact entre celle-ci et les parois du récipient qui la contient, ce qui évite d'éventuelles interactions et permet d'obtenir un produit final de grande pureté. Le procédé s'applique à diverses méthodes de mise en forme plus spécialement fusion de zone, coulée conti- nue, solidification par traction verticale et élabora- tion de verres de grande pureté Il trouve également une application dans le maintien et-le positionnement de masses liquides en microgravité Il permet égale- ment-de déplacer des masses liquides au-dessus d'une paroi horizontale sans contact avec celle-ci. Enfin, il est bien entendu que l'invention ne se limite pas aux seuls exemples qui viennent d'être décrits mais qu'on peut imaginer des variantes sans sortir pour autant du cadre de l'invention, no- tamment en ce qui concerne le choix du gaz de susten- tation et du matériau constituant les parois poreuses pour la diffusion de celui-ci. REVENDICATIONS 1 Procédé de sustentation, de positionne- ment et de moulage d'une masse liquide ( 2) dans un dispositif comportant au moins une paroi ( 4), caracté- risé en ce que l'on sépare ladite masse liquide ( 2) de la paroi ( 4) par une couche sous pression d'un gaz chimiquement inerte vis-à-vis de la masse liquide ( 2) et du matériau constitutif de la paroi. 2 Procédé selon la revendication 1, carac- térisé en ce que ladite paroi ( 4) est-poreuse ou per- cée de fins canaux afin de permettre le passage du gaz utilisé pour la sustentation. 3 Procédé selon la revendication 2, carac- térisé en ce que ladite paroi ( 4) est de forme sensi- blement plane et horizontale. 4 Procédé selon la revendication 3, carac- térisé en ce que l'on fait varier localement la pres- sion de la couche de gaz au moyen d'une pièce mobile ( 18) disposée du côté d'une paroi poreuse ( 12) opposé à celui o se trouve une masse liquide ( 8) afin de déplacer celle-ci. Procédé selon la revendication 2, carac- térisé en ce que l'on maintient une masse liquide ( 22) à l'intérieur d'un récipient ( 23), ladite masse ( 22) étant éloignée du fond ( 25) et des parois ( 24) dudit récipient ( 23) qui sont poreux afin de permettre le passage du gaz utilisé pour la sustentation. 6 Procédé selon la revendication 2, carac- térisé en ce que l'on maintient une masse liquide ( 32) à l'intérieur d'un manchon ( 28) ouvert à ses deux ex- trémités, le liquide ( 32) étant éloigné des parois ( 29) dudit manchon ( 28) qui sont poreuses afin de per- mettre le passage du gaz utilisé pour la sustentation. 7 Procédé selon la revendication 6, per- mettant le maintien dans une forme déterminée d'un ma- tériau par fusion de zone à partir d'une pièce solide ( 27), caractérisé en ce que l'on déplace progressive- ment le manchon ( 28) le long de la pièce ( 27), le manchon ( 28) coopérant avec des moyens de chauffe ( 30) permettant de fondre la partie de la pièce ( 27) située à l'intérieur de celui-ci, la partie liquéfiée ( 32) de la pièce ( 27) étant maintenue éloignée des parois ( 29) dudit manchon ( 28). 8 Procédé selon la revendication 6, per- mettant la mise en forme d'un matériau par fusion de zone horizontale à partir d'une pièce solide ( 42) ca- ractérisé en ce que l'on déplace progressivement le long de la pièce ( 42) un manchon ( 43) supportant celle-ci, ledit manchon ( 43) étant muni de moyens de chauffage ( 45) permettant de fondre la partie de la pièce ( 42) située à l'intérieur de celui-ci, la partie liquéfiée ( 46) de la pièce ( 42) étant maintenue éloi- gnée des parois ( 44) dudit manchon ( 43). 9 Procédé selon la revendication 6 permet- tant la réalisation d'une pièce solide ( 34) par tirage vertical à partir d'une masse liquide ( 36), caractéri- sé en ce que l'on maintient celle-ci à l'intérieur d'un manchon chauffant ( 38) dont les parois sont po- reuses afin de permettre le passage du gaz utilisé pour la sustentation. Procédé selon la revendication 2 permet- tant la mise en forme d'une pièce solide par coulée continue à partir d'un liquide ( 54) contenu dans un récipient ( 55) dont le fond comporte un orifice d'éva- cuation ( 56), caractérisé en ce que, l'interface soli- de-liquide se trouvant à l'intérieur d'un manchon ( 57), on maintient la partie de la masse liquide qui s'écoule à travers l'orifice ( 56) à l'intérieur dudit manchon ( 57) et éloignée des parois ( 58) de ce der- nier. 11 Procédé selon la revendication 2 permet- tant la réalisation d'une pièce solide ( 63) par soli- dification verticale par le haut, caractérisé en ce que l'on force une masse liquide ( 64) dans un manchon ( 67) dont les parois sont poreuses afin de permettre le passage du gaz utilisé pour la sustentation, le liquide se solidifiant au cours de son passage à tra- vers ledit manchon ( 67). 12 Procédé selon la revendication 2 permet- tant la mise en forme d'une pièce solide ( 78) par traction verticale vers le haut à partir d'une masse liquide ( 71) contenue dans un récipient ( 72), caracté- risé en ce que l'on maintient verticale la partie de la masse liquide ( 71) adhérant à la partie solidifiée de la pièce ( 78) à l'aide d'un dispositif ( 73) placé au-dessus de la surface libre du liquide ( 71) et com- portant au moins une ouverture définissant un manchon ( 74) pour le passage du matériau solidifié, l'interfa- ce liquide-solide se trouvant à l'intérieur de ce man- chon ( 74) dont les parois ( 75) sont poreuses afin de permettre le passage du gaz utilisé pour la sustenta- tion de la partie verticale de la masse liquide, le dispositif comportant en outre au moins une paroi po- reuse ( 76) en regard de la surface libre du liquide afin de maintenir celle-ci horizontale au voisinage du manchon ( 74) à l'aide d'un gaz sous pression traver- sant ladite paroi ( 76). 13 Application du procédé selon la revendi- cation 2 à la mise en forme de matériaux en microgra- vité. 14 Application du procédé selon la revendi- cation 2 à la mise en forme d'un matériau en microgra- vité, caractérisée en ce qu'on maintient une masse li- quide ( 51) à l'aide d'un dispositif de mise en oeuvre comprenant au moins trois pièces ( 52) servant de gui- des, chacune de ces pièces ( 52) comportant une paroi poreuse ( 53) en regard de la masse liquide ( 51) per- mettant le passage d'un gaz sous pression.