Brevet FR2502398A1 — publié le 19820924

La présente invention concerne les dispositifs à circuits intégrés à semiconducteurs (désignés ci-après sou- vent par le terme circuits intégrés) possédant une structu- re de câblage à couche double. L'auteur de la présente invention a antérieurement développé un dispositif à circuits intégrés à semiconduc- teurs comportant un câblage en aluminium possédant une struc- ture à deux couches, moyennant l'utilisation d'une résine de polyimide qui sert de pellicule isolante entre la premié- re couche de câblage en aluminium et la seconde couche de câblage en aluminium et qui sert également de couche finale de passivation. Le circuit intégré à semiconducteurs est habituellement enveloppé dans une résine thermodurcissable de manière à réduire le coût de fabrication. L'auteur de la présente invention a étudié la résis- tance des dispositifs à circuits intégrés à semiconducteurs, moulés dans une résine, à l'humidité, et a établi que la seconde couche de câblage en aluminium est corrodée lorsque le dispositif est soumis à des conditions défavorables (une température élevée et une atmosphère contenant une forte humidité), pendant des intervalles de temps prolongés. On suppose que ce défaut est dû au fait que, dans le disp'isit 'f à circuits intégrés à semiconducteurs moulé dans la résine, l'humidité qui s'est infiltrée à travers la rési- ne au niveau de la limite existant entre les fils conduc- teurs extérieurs et la résine, réagit avec le plot de liai- son de la seconde couche constituée en aluminium ou bien réagit avec la couche de câblage raccordée au plot de liai- son, en provoquant une corrosion. Conformément aux recherches effectuées par l'auteur de la présente invention, on a trouvé que la durée nécessai- re à l'humidité pour atteindre la surface de la pastille à travers la résine est réduite proportionnellement à la puissance deux de l'épaisseur de la pellicule de résine si- tuée sur la surface de la pastille à circuits intégrés. On a également trouvé que la pellicule de résine de polyimide n'est pas capable d'empêcher le passage de l'humidité, c'est-à-dire que l'humidité atteint la couche de câblage en aluminium dès qu'elle atteint la surface de la pastille à circuits intégrés. Au cours de ces recherches on a en outre également appris que la pellicule de résine de poly- imide (1) ne présente presque pas de fissures et qu'aucune humidité ne s'infiltre à travers les fissures, mais (2) qu'elle contient essentiellement de l'eau étant donné qu'elle se compose d'un matériau organique. L'auteur de la présente invention a étudié les circuits intégrés à semi- conducteurs utilisant la résine de polyimide et a établi qu'elle contient jusqu'à 3 % en poids d'eau. La corrosion du câblage en aluminium par action de l'humidité altère grandement la fiabilité des dispositifs à circuits intégrés à semiconducteurs moulés dans une résine. C'est pourquoi il était difficile de mouler dans une résine des circuits intégrés qui étaient utilisés pour des appareils de prise de vues, dans lesquels de petites tailles et de faibles épaisseurs étaient essentielles (épaisseur d'embal- lage environ 2 mm) ou bien qui étaient utilisés pour des applications industrielles requérant un degré élevé de fia- bilité. Un but de la présente invention est de fournir des dispositifs à circuits intégrés à semiconducteurs, moulés dans une résine et possédant une résistance accrue à l'humi- dité et par conséquent une fiabilité accrue. Un autre but de la présente invention est d'accroî- tre la résistance à l'humidité de la couche de câblage supé- rieure en aluminium de dispositifs à circuits intégrés à semiconducteurs moulés dans une résine, qui utilisent une résine de polyimide comme pellicule isolante entre au moins deux couches de câblage en aluminium. La présente invention est basée sur l'idée selon laquelle, étant donné qu'une couche de câblage métallique contenant un matériau semiconducteur ou d'autres impuretés métalliques présente une orientation cristalline perturbée et qu'une couche de câblage métallique formée sur la surfa- ce de la pellicule de polymère, telle qu'une pellicule de résine de polyimide, présente une orientation cristalline plus perturbée, la densité des grains du cristal est accrue et le trajet de la corrosion par l'eau au niveau des limites des grains est allongé. C'est pourquoi la présente invention concerne des dispositifs à semiconducteurs ou des disposi- tifs à circuits intégrés à semiconducteurs comportant une couche de câblage métallique contenant un matériau semicon- ducteur ou d'autres impuretés métalliques, formées sur l'une de ses surfaces au-dessus d'une pellicule polymère. D'autres buts et avantages de la présente invention ressortiront de la description qui va suivre prise en réfé- rence aux dessins annexés sur lesquels: la figure 1 est une vue en coupe montrant une par- tie d'une microplaquette ou puce semiconductrice située dans un dispositif à circuits intégrés à semiconducteurs con- forme à la présente invention; la figure 2 est une vue en coupe schématique du dispo- sitif à circuits intégrés à semiconducteurs, moulé dans une résine, conforme à la présente invention, qui est obtenu par moulage de la microplaquette à semiconducteurs de la figure 1 dans une résine; les figures 3A à 3H sont des vues en coupe montrant les phases opératoires pour la fabrication du dispositif à circuits intégrés à semiconducteurs conforme à la présente invention; les figures 4 à 9 sont des vues en coupe schémati- ques de dispositifs à circuits intégrés à semiconducteurs utilisés dans les expériences; la figure 10 est un diagramme montrant l'apparition de la corrosion dans la couche de câblage; et les figures 11 à 14 sont des vues en coupe schémati- que illustrant l'état cristallin des couches de câblage. Les figures 1 et 2 montrent un dispositif à circuits intégrés à semiconducteurs, constitué conformément à la présente invention. La figure 1 est une vue en coupe d'une pastille à circuits intégrés et la figure 2 est une coupe schématique d'un dispositif à circuits intégrés à semicon- ducteurs, moulé dans une résine, et obtenu par moulage de la pastille semiconductrice dans une résine. La forme de réali- sation de la figure 1 représente le cas o l'objet de l'in- vention est adapté à un circuit intégré bipolaire. Afin de simplifier la description, la figure 1 représente la consti- tution d'un transistor bipolaire qui est formé dans une région constituant un élément. Sur la figure 1, une pastille à circuit intégré 21 est réalisée de la manière suivante: le chiffre de référen- ce 1 désigne un substrat semiconducteur en monocristal de silicium du type P, la référence 2 désigne une couche semi- conductrice ensevelie ou enterrée de type N+, la référence 3 désigne une couche semiconductrice en silicium de type N formée sur le substrat 1 par croissance épitaxiale, la réfé- rence 4 désigne une pellicule de bioxyde de silicium (SiO2) possédant une épaisseur comprise entre 400 et 800 nanomètres et recouvrant la surface principale de la couche semiconduc- trice 3, la référence 5 désigne une région isolante de type P formée en utilisant des techniques de diffusion pour sub- diviser du point de vue électrique la couche semiconductrice 3 en plusieurs régions (îlots) constituant des éléments, la- dite région isolante étant formée autour de la région cons- tituant un élément et qui doit être isolée, la référence 7 désigne une région de base de type P réalisée en utilisant les techniques de diffusion, la référence 9 désigne une ré- gion d'émetteur de type N+ et la référence 10 désigne une région conductrice de collecteur de type N+ (région de contact). Les chiffres de référence 13, 14 et 15 désignent des câblages en aluminium d'une première couche (inférieure), qui sont en contact ohmique avec les régions respectives d'émetteur de base et de collecteur et qui s'étendent sur la pellicule d'oxyde de silicium 4. Les couches de càblage possèdent une épaisseur égale par exemple à 1,75 microns et une largeur de 3 microns. Le chiffre de référence 16 désigne une pellicule de résine de polyimide (pellicule d'une résine du type poly- imide) possédant une épaisseur de par exemple 4 microns. La résine de polyimide destinée à former cette pellicule se com- pose habituellement d'un composé de diamine et d'un anhydri- de acide. De façon appropriée, la résine de polyimide est constituée par 5 % en moles d'un 4,4'-diaminodiphényle éther- 3-carbonamide, de 45 % en moles d'un 4,4'-diaminophényl éther, de 25 % en moles d'un anhydride pyromellitique et de % en moles d'un 3,31,4,4'dianhydride tétracarboxylique de benzophénone, comme cela est décrit dans le brevet japo- nais publié sous le No. 43.013/78. La résine indiquée ci- dessus est dissoute dans un solvant constitué par 50 % en poids d'un Nméthyl-2-pyrrolidone et par 50 % en poids d'un N,N-diméthylacétamide pour obtenir un mélange possédant une concentration et une viscosité appropriées. Le mélange est ensuite appliqué, chauffé et cuit par exemple à 3500C de manière à obtenir une pellicule de résine de polyimide. La résine de polyimide préférée, indiquée ci-dessus, est en particulier constituée par une résine de polyimide-isoindro- quinazoline-dione. Cette résine possuède une r6sistance supé- rieure à la chaleur par rapport à d'autres résines de poly- imide. Le chiffre de référence 17 désigne une seconde cou- che de câblage constituée par un alliage d'aluminium et de silicium et qui relie électriquement les éléments. La couche métallique est constituée principalement d'aluminium et con- tient 2 % en poids de silicium. Comme cela sera mentionné ultérieurement, on ajoute le silicium pour conférer une résistance à l'humidité à la seconde couche de câblage en aluminium, c'est-à-dire afin d'empêcher qu'elle ne soit cor- rodée par l'eau. On ajoute le silicium en une quantité allant de 0,1 à 10 % en poids, la quantité de silicium étant déter- minée en prenant en compte la conductivité de la couche de câblage et l'aptitude du fil à se lier au plot de liaison, qui sera mentionnée ultérieurement. Comme cela sera décrit ultérieurement, le silicium ajouté à la couche de câblage en aluminium réside au niveau des limites des grains des cristaux d'aluminium et empêche l'infiltration des atomes d'hydrogène qui favorisent une corrosion aux limites des grains et perturbe également la structure ordonnée des cristaux d'aluminium, tout en empê- chant en outre l'aluminium d'être corrodé par l'eau. A la place du silicium, on peut ajouter du nickel ou du bore, qui joueront le même rôle visant à empêcher la corrosion de l'aluminium. La présente invention inclut l'utilisation de l'aluminium, auquel du nickel ou du bore a été ajouté, en tant que seconde couche de câblage, en plus de l'aluminium auquel du silicium a été ajouté. Il est en outre possible d'utiliser de l'aluminium auquel sont ajoutés deux ou plu- sieurs des éléments que sont le silicium, le nickel et le bore. La seconde couche de câblage en aluminium contenant du silicium possédera par exemple une épaisseur de 3,5 microns et une largeur de 4 microns. La seconde couche de câblage en aluminium est plus épaisse que la première couche de câblage en aluminium 13. Eh outre l'addition de silicium aide à réduire la résistance de la seconde couche de câblage. En outre la seconde couche de câblage possédant une épais- seur accrue rayonne bien la chaleur produite par le disposi- tif à circuits intégrés à semiconducteurs. Le chiffre de référence 18 désigne une seconde cou- che de résine de polyimide, qui recouvre la seconde couche de câblage et qui peut être constituée du même matériau que la première couche de résine de polyimide. La seconde couche de résine de polyimide possédera une épaisseur de par exem- ple 4 microns. Bien que cela ne soit pas représenté sur les dessins, la seconde couche de résine de polyimide permet de dégager plusieurs parties des plots de liaison, raccordées à la seconde couche de câblage. Les parties dégagées des plots de liaison possèdent chacune par exemple une surface de 130 microns x 130 microns. Le dispositif à semiconducteurs est moulé dans une résine, comme cela est représenté sur la figure 2, sur la- quelle le chiffre de référence 21 désigne une microplaquette à semiconducteurs, qui contient un circuit prédéterminé sous forme intégrée. La microplaquette à semiconducteurs 21 est fixée à une électrode fixe (électrode en caisse 22) par un alliage eutectique or-silicium, et est raccordée électri- quement à d'autres bornes conductrices 23 par l'intermédiai- re de fils de raccordement 24. La pastille semiconductrice 21 est fixée à l'électrode fixe 22 et est raccordée aux bor- nes conductrices par l'intermédiaire de fils de raccorde- ment (tels que des fils d'or) à l'aide de techniques classi- ques. Comme cela est bien connu, la pastille semiconductrice est raccordée aux fils de raccordement dans un cadre de mon- tage. Le chiffre de référence 25 désigne un matériau de mou- lage constitué par une résine époxy, qui est formée moyen- nant l'utilisation de la technique bien connue de moulage par transfert. On forme le matériau de moulage 25 de maniè- re qu'il enserre la pastille semiconductrice 21 et les fils de raccordement 24. Conformément à la présente invention, il est possi- ble de réduire l'épaisseur du matériau de moulage résineux. Habituellement le matériau de moulage résineux est suffisam- ment épais pour que le moins d'humidité possible puisse le traverser et atteindre la pastille semiconductrice. Comme cela ressortira à l'évidence de la description donnée ci- après, le matériau de moulage conforme à la présente inven- tion présente une résistance accrue à l'humidité et son épaisseur peut être réduite. Par exemple, dans la forme de réalisation mentionnée précédemment, le matériau de moulage possède une épaisseur comprise entre 2 et 3 mm. Ceci est très avantageux du point de vue de l'insertion des disposi- tifs électroniques dans un appareillage électronique, pour lequel il existe un espace de montage limité. Dans le dispositif à circuits intégrés à semiconduc- teurs, ainsi réalisé, de la présente invention, la surface inférieure de la seconde couche de câblage (supérieure) 17 est recouverte par la pellicule 16 de résine de polyimide et la surface supérieure est recouverte par la pellicule 18 de résine de polyimide. La couche de câblage supérieure est naturellement laissée à nu par la seconde pellicule 18 de résine de polyimide au niveau des zones de raccordement des fils de raccordement 24 représentés sur la figure 2, c'est- à-dire au niveau des parties des plots de liaison (non repré- sentés). Puis on enveloppe le dispositif dans la résine de moulage 25, qui est mise en contact avec la seconde pellicu- le 18 de résine de polyimide. On va décrire ci-après le processus de fabrication des dispositifs à circuits intégrés à semiconducteurs con- formes à la présente invention, en se référant aux figures 3A à 3H, qui sont des vues en coupe de la microplaquette à semiconducteurs de la figure 1, dans ses différentes phases de fabrication. La microplaquette à semiconducteurs 21 comporte des éléments tels que des transistors, des diodes et des résis- tances, ainsi qu'un câblage entre ces éléments de manière à former un circuit prédéterminé. Cependant, pour faciliter la compréhension, les dessins ne montrent, en coupe transversa- le, que les parties formant les transistors. A) On prépare un substrat 1 en silicium de type P. On oxyde sa surface en utilisant un traitement thermique de manière à former de façon sélective une pellicule de résine photosensible. On soumet ensuite la pellicule d'oxyde à une attaque chimique de manière à injecter des ions de phosphore qui servent d'impuretés pour réaliser une couche ensevelie 2 de type N+. Ensuite on élimine la pellicule de résine pho- tosensible,etla pellicule d'oxyde et on fait croître une cou- che épitaxiale 3 de type N (figure 3A). B) On oxyde la surface en la soumettant à un traite- ment thermique de manière à former une pellicule d'oxyde de silicium 4. On forme de façon sélective la pellicule de résine photosensible et l'on soumet la pellicule d'oxyde 4 à une attaque chimique. La pellicule de résine photosensi- ble est éliminée et l'on fait diffuser thermiquement les impuretés de type P pour qu'elles forment une couche iso- lante 5. Dans ce cas, une pellicule d'oxyde de silicium 6 est formée simultanément (figure 3B). C) On forme de façon sélective une pellicule de résine photosensible et l'on soumet la pellicule d'oxyde 4 à une attaque chimique de manière à éliminer la pellicule de résine photosensible. On fait diffuser thermiquement des ions de bore en tant q 'impuretés du type P pour former une région de base 7. Une pellicule d'oxyde de silicium 8 est formée en même temps que la formation de la région de base 7. D) On forme de façon sélective une pellicule de résine photosensible et l'on soumet la pellicule d'oxyde 4 à une attaque chimique de manière à éliminer la pellicule de résine photosensible. On fait diffuser thermiquement des ions de bore en tant qu'impuretés de type N de manière qu'ils forment une région d'émetteur 9 et une région 10 raccordée au collecteur. Simultanément on forme des pelli- cules d'oxyde de silicium 11 et 12 (figure D). E) On forme de façon sélective une pellicule de résine photosensible. On soumet à une attaque chimique la pellicule d'oxyde 4 possédant une épaisseur de 400 à 800 nanomètres et l'on élimine la pellicule de résine photo- sensible. On dépose par vaporisation de l'aluminium sur une épaisseur égale par exemple à 1,75 micron. On soumet à une attaque chimique la couche d'aluminium, on enlève la Pelli- cule de résine photosensible et l'on forme les électrodes et les couches de cablaqe 13, 14 et 15 (fiqure 3E). F) On applique une résine de polvimide 16 à l'ensem- ble des surfaces et l'on effectue un traitement thermique à 350 C pendant une durée de 30 minutes dans une atmosphère d'azote de manière à former une pellicule 16 possédant une épaisseur de 4 microns (figure 3F). G) On forme de façon sélective une pellicule de résine photosensible, que l'on utilise comme masque pour éliminer la pellicule 16 de résine de polyimide par atta- que chimique, de manière à former des trous de contact pour la première couche de câblage en aluminium 13. Ensuite on élimine le masque formé par la résine photosensible, de l'ensemble de la surface. Puis on forme par un dépôt par vaporisation une pellicule métallique qui sert de seconde couche de câblage. Dans ce cas le métal utilisé comme source de dépôt par vaporisation est un alliage d'aluminium et de silicium, qui est constitué principalement d'aluminium, mé- langé à un peu de silicium. Il contient 2 % en poids de silicium pour une teneur de 98 % en poids d'aluminium. Au moyen de la vaporisation, on obtient une couche d'aluminium contenant du silicium, possédant une épaisseur d'environ 3,5 microns. On forme par structuration une couche de câbla- ge en aluminium 17 contenant 2 % en poids de silicium (figure 3G). H) On applique à une pellicule de résine de poly- imide sur l'ensemble de la surface et l'on effectue un trai- tement thermique à 3500C pendant une durée de 30 minutes dans une atmosphère d'azote de manière à formez une pelllcu- le 18 de résine de polyimide possédant une épaisseur de 4 microns. Ensuite on forme de façon sélective la pellicule de résine photosensible de manière à réaliser un plot de liaison et l'on élimine par attaque chimique la seconde pellicule 18 de résine de polyimide de manière à dégager la partie du plot de liaison de la seconde couche d'aluminium (figure 3H). La première couche de résine de polyimide et la se- conde couche de résine de polyimide sont habituellement cons- tituées par une résine synthétique du type polyimide consti- tuée par un composé de diamine et par un anhydride d'acide. Un exemple préféré de résine synthétique du type polyimide est une polyimide-isoindroquinazoline dione, comme cela a il été mentionné précédemment. La résine est dissoute dans un solvant, appliquée A la surface de la pastille semiconduc- trice, et est cuite par chauffage à une température comprise entre 350 et 4000C. Si l'on désire accroître l'épaisseur de la résine de polyimide, il faut répéter les phases opératoi- res d'application et de chauffage de la résine de polyimide. Par exemple une microplaquette, à laquelle la résine de poly- imide a déjà été appliquée, est chauffée à une température inférieure à 300'C, par exemple 2000C, pendant une durée de 30 minutes, est cuite à moitié, puis un peu plus de résine de polyimide est appliquée, à la suite de quoi on effectue le traitement thermique à une température comprise entre 350 et 4000C de manière à obtenir une pellicule épaisse de résine de polyimide. Plusieurs circuits intégrés à semiconducteurs ainsi formés sur une partie d'une puce ou pastille sont subdivi- sés en microplaquettes à semiconducteurs individuelles et sont moulés dans la résine époxy comme illustré sur la figu- re 2, de manière à obtenir les dispositifs à circuits inté- grés à semiconducteurs. Au cours de la phase opératoire G mentionnée ci- dessus, on vaporise de l'aluminium contenant du silicium pour former le cAblage 17. Comme cela a été mentionné ci- dessus, la quantité d'adjonction de silicium varie entre en- viron 0,1 et 10 % en poids. La fiabilité augmente avec l'accroissement de la quantité de silicium ajoutée. Cependant la résistance de la couche de câblage devient importante lorsque la quantité de silicium dépasse 5 % en poids. C'est pourquoi la quantité de silicium ajoutée ne devrait pas dépasser 10 % en poids. La résistance à la corrosion de la couche de câbla- ge obtenue conformément à la présente invention ressortira à l'évidence des expériences et résultats expérimentaux sui- vants et de la considération de ces résultats expérimentaux. Tout d'abord les pastilles à circuits intégrés pos- sédant des structures en coupe transversale telles que représentées sur les figures 4 à 9 ont été moulées dans une résine en utilisant le procédé classique de moulage par transfert en vue de préparer des échantillons. (1) Echantillon A (figure 4): Cet échantillon A fut préparé en formant une pelli- cule oxydée thermiquement (SiO2) d'une épaisseur de 0,4 mi- crons sur une pastille (silicium), en formant une couche de câblage en aluminium pur (A1 pur) sur la pellicule oxydée thermiquement et en protégeant la couche de câblage par une résine de polyimide-isoindroquinazoline dione (désignée ci- après sous le terme de résine PIIQ) possédant une épaisseur de 1,8 micron. La couche de câblage en aluminium pur fut obtenue au moyen d'une évaporation par action d'un faisceau électronique. (2) Echantillon B (figure 5): Cet échantillon B utilisait, pour former la couche de câblage, un matériau différant de celui de l'échantillon A ci-dessus. En effet la couche de câblage de cet échantil- lon B était constituée par de l'aluminium (Al-Si) contenant 2 % en poids de silicium et était obtenue au moyen d'une évaporation par action d'un faisceau électronique. (3) Echantillon C (figure 6): Pour l'échantillon C, on a utilisé une méthode de formation de la couche de câblage, différant de celle utili- sée pour l'échantillon A. La couche de câblage fut formée par introduction d'aluminium pur dans une nacelle de nitrure de bore de manière à réaliser l'évaporation par résistance thermique. Selon cette méthode de formation de la couche de câblage, on fait diffuser du bore situé dans la nacelle de nitrure de bore, dans la couche de câblage. Par conséquent * la couche de câblage est constituée par de l'aluminium conte- nant du bore (A1-B). (4) Echantillon D (figure 7): Cet échantillon fut préparé en formant une pellicule de résine PIIQ d'une épaisseur de 3,6 microns sur la pastille ou puce de silicium, en formant une couche de câblage en aluminium pur sur la pellicule de résine et en protégeant la couche de câblage par une résine PIIQ d'une épaisseur de 1,8 micron. La couche de câblage en aluminium pur fut obte- nue par évaporation par action d'un faisceau électronique. (5) Echantillon E (figure 8): Cet échantillon E concerne la présente invention et diffère de l'échantillon D du point de vue du matériau cons- tituant la couche de câblage. La couche de c&blage dans cet échantillon E est constituée par du silicium (Al-Si) conte- nant 2 % en poids de silicium et fut obtenue par évaporation par action d'un faisceau électronique. (6) Echantillon F (figure 9): Cet échantillon F concerne la présente invention et diffère de l'échantillon D en ce qui concerne le procédé de formage de la couche de câblage. En effet, tout comme l'échantillon C, la couche de câblage fut obtenue par intro- duction d'aluminium pur dans une nacelle de nitrure de bore de manière à réaliser une évaporation au moyen d'une résis- tance thermique. Quinze de chacun de ces échantillons furent prépa- rés et furent placés à une température de 121 C, sous une pression de vapeur de 2 atmosphères de;naxiire à permettre l'étude du nombre des échantillons dans lesquels une corro- sion se développerait dans les couches de câblage. En effet ces échantillons furent soumis à l'essai dans une marmite à pression. La figure 10 montre les résultats de l'essai en mar- mite sous pression, et sur cette figure les abscisses repré- sentent la durée, pendant laquelle les échantillons furent placés dans les conditions mentionnées ci-dessus, tandis que les ordonnées représentent le rapport du nombre Nc d'échantillons corrodés au nombre NE des échantillons testés. Comme cela ressort à l'évidence de la figure 10, avec les échantillons E et F conformes à la présente inven- tion, la corrosion dans la couche de câblage intervient d'une manière plus lente. En particulier avec l'échantillon E, la corrosion s'effectue très lentement. En d'autres ter- mes les échantillons E et F présentent une résistance accrue à la corrosion par rapport aux échantillons A, B, C et D. Les différences existant entre les vitesses de corro- sion de ces échantillons sont dues probablement aux raisons suivantes. On va décrire ci-après les échantillons dans l'ordre décroissant des vitesses de corrosion en référence aux figures il à 14, qui sont des vues en coupe décrivant de façon schématique les états cristallins des couches de câblage des échantillons D, A, B et E. (1) Echantillon D: La couche d'aluminium pur présente une orientation fortement préférentielle et une structure fibreuse manifeste, et les cristaux possédant la même direction azimutale Xdirec- tion cristalline 100) sont disposés sous la forme d'une fibre. Cependant, étant donné que la pellicule isolante sous- jacente est constituée par une résine polymère PIIQ, l'orien- tation cristalline de l'aluminium est perturbée dans une cer- taine mesure (voir figure 11). C'est pourquoi, bien que le trajet de la corrosion aux limites des grains puisse être allongé dans une certaine mesure, les pellicules de résine PIIQ, qui existent sur et au-dessous de la couche de cablage, contiennent nettement de l'eau, ce qui a pour effet que la corrosion au niveau des limites des grains dans la couche de câblage se prcduit rapidement. (2) Echantillon A: La pellicule isolante sous-jacente est constituée par une pellicule de SiO2 possédant une structure cristalli- ne particulière. C'est pourquoi les cristaux d'aluminium sont orientés suivant la direction cristalline (111) (voir figure 12), de sorte que les trajets de corrosion au niveau des limites des grains sont courts. Cependant, étant donné que la pellicule de SiO2 ne contient pas d'eau et possède une densité plus élevée, la vitesse de corrosion au niveau des limites des grains pour l'échantillon A est inférieure à celle de l'échantillon D. (3) Echantillon B: La couche de câblage en aluminium, qui contient du silicium, présente une orientation faiblement préférentielle (voir figure 13). En effet, en plus de l'azimut( et (311) dans la couche d'aluminium. Par conséquent la cor- rosion au niveau des limites des grains avance avec une vi- tesse réduite à l'intérieur de la couche de céblage. (4) Echantillon C: L'échantillon C présente une orientation moins pré- férentielle que l'échantillon B. (5) Echantillon F (la présente invention) L'échantillon F es.t peu différent de l'échantil- lon E. Cependant l'échantillon F présente une orientation préférentielle plus forte que l'échantillon E. (6) Echantillon E (la présente invention) Etant donné que la pellicule isolante sous-jacente se compose d'une résine polymère PIIQ, la couche d'aluminium de l'échantillon E présente une orientation moins préféren- tielle que les échantillons B et C. En effet l'azimut et l'orientation des cristaux sont perturbés et les cristaux sont disposés de façon aléatoire. La corrosion au niveau des limites des grains de l'aluminium avance à une vitesse pré- déterminée le long de la limite des grains. Par conséquent étant donné que les cristaux sont disposés d'une façon plus aléatoire, la corrosion au niveau des limites des grains s'avance à une vitesse réduite depuis la surface vers l'inté- rieur. En outre, compte tenu de la fonction catalytique du silicium ajouté, les atomes d'hydrogène produits par la cor- rosion à la surface de l'aluminium, avec l'eau, sont trans- formés en molécules d'hydrogène avant qu'ils ne diffusent à l'intérieur le long des limites des grains. Par conséquent ceci empêche que les limites des grains ne soient gonflées par les molécules d'hydrogène qui proviennent de la réaction des atomes d'hydrogène H qui diffusent à l'intérieur le long des limites des grains. Par conséquent une quantité moins importante d'eau s'infiltre vers l'intérieur et la corrosion au niveau des limites des grains avance à une vitesse réduite. Pour accroître la résistance de la couche de câblage à la corrosion, la couche de câblage devrait par conséquent contenir un matériau semiconducteur ou un métal et il fau- drait utiliser une pellicule polymère en tant que film sous- jacent comme cela est prévu conformément à la présente inven- tion. Ci-après on va décrire de façon détaillée en référen- ce à la figure 1 les effets obtenus dans une forme de réalisa- tion concrète de la présente invention. Les pellicules de résine de polyimide 16 et 18, qui- entourent la seconde couche de câblage 17, possèdent une résilience plus importante qu'une couche de passivation en verre telle qu'une pellicule d'oxyde de silicium et agis- sent de manière A absorber la contrainte thermique (déforma- tion) produite par le traitement thermique de la résine époxy de moulage 25, de sorte que ceci empêche la couche de câblage de s'écailler ou de s'arracher de la pellicule iso- lante. Ceci contribue A empêcher l'infiltration de l'eau vers l'interface entre la couche de câblage et la pellicule isolante. Par conséquent la résistance à l'humidité est accrue de façon supplémentaire. Lorsque le matériau de scellement 25 doit être formé par la résine époxy, on utilise en général la technique de moulage par transfert. Dans ce cas la résine de scellement est fondue dans la ma- chine de moulage. Lorsque la résine fondue est refroidie et est solidifiée, il se développe une contrainte thermique ou une déformation, qui est provoquée par la différence entre les coefficients de dilatation thermique de la résine de scellement et les pastilles semiconductrices. En outre les composants de la résine de scellement développent une réac- tion de réticulation qui favorise la polymérisation, c' est- à-dire qu'une contrainte se développe lorsque le volume se contracte. La contrainte s'exerce sur la pastille semi- conductrice. La contrainte provoquée par le moulage agit alors de manière à arracher ou écarter la pellicule isolante de la couche de câblage. Mais, conformément à la présente invention, la pel- licule isolante constituée par une résine de polyimide pré- sente une certaine élasticité et absorbe la contrainte. Par exemple la pellicule d'oxyde de silicium (pellicule de SiO2), que l'on utilise habituellement en tant que couche de passivation, possède un taux d'étirage inférieur à 1 %, tandis que la pellicule de résine de polyimide possède un taux d'étirage de 30 %. Par conséquent la pellicule isolante absorbe complètement là contrainte provoquée par le moulage, qui étire la pellicule isolante uniquement sur quelques pour cent. Par conséquent ceci empêche la pellicule de c!- blage et la couche isolante d'être arrachées l'une de l'au- tre. Conformément à la présente invention, comme cela ressortira à l'évidence de la description précédente, il est possible d'obtenir des dispositifs à circuits intégrés à semiconducteurs moulés dans une résine et possédant une ré- sistance améliorée à l'humidité et une fiabilité accrue. Tout un ensemble de modifications peuvent être ap- portées à la présente invention, sans sortir du cadre de cette dernière. En effet la présente invention peut être également adaptée aux dispositifs à semiconducteurs moulés dans une résine, possédant une seule couche de câblage ou à des dispo- sitifs à circuits intégrés à semiconducteurs moulés dans une résine. Dans ce cas on utilise de l'aluminium contenant du silicium pour réaliser la première couche de câblage et une pellicule constituée par une résine polyimide, en particu- lier une résine PIIQ, au-dessous de la première couche de câblage. Ici la pellicule de résine de polyimide n'a pas besoin d'être formée directement à la surface du substrat semiconducteur, mais pourrait être formée par l'intermédiai- re d'une couche de passivation dense telle qu'une pellicule de SiO2 formée par oxydation thermique. Naturellement la présente invention est utilisable dans des dispositifs à circuits intégrés à semiconducteurs comportant des cablages constitués sous la forme de couches doubles, pour réaliser la première couche de câblage avec la structure mentionnée cidessus. REVENDICATIONS 1. Dispositif à semiconducteurs, caractérisé en ce qu'il comporte une première pellicule polymère (16; PIIQ) formée sur une surface principale d'un substrat semiconduc- teur (1; Si) et une couche de câblage métallique (17; At- Si; At-B) formée sur la surface de la première pellicule et contenant un matériau semiconducteur ou une ou plusieurs autres impuretés métalliques (Si; B). 2. Dispositif à semiconducteurs selon la revendica- tion 1, caractérisé en ce que la première pellicule (16; PIIQ) est constituée par une résine du type polyimide. 3. Dispositif à semiconducteurs moulé dans une résine, caractérisé en ce qu'il comporte un dispositif à semiconducteurs constitué par une première pellicule poly- mère (16, PIIQ) formée sur une surface principale d'un substrat semiconducteur (1; Si) et par une couche de câbla- ge métallique (17; AI-Si; At-B) formée sur la surface de la première pellicule et contenant un matériau semiconduc- teur ou une ou plusieurs autres impuretés métalliques (Si; B), et une résine (25; PIIQ) prévue pour réaliser le scellement du dispositif à semiconducteurs. 4. Dispositif à circuits intégrés à semiconducteurs, moulé dans une résine, du type comportant une prem ère cou- che de câblage électriquement conductrice (13, 14, 15) for- mée sur une première pellicule isolante (4), qui recouvre la surface principale du substrat semiconducteur (1), et une seconde couche de câblage électriquement conductrice (17) formée sur une seconde pellicule isolante (16) qui recouvre la première couche conductrice (13, 14, 15), les côtés exté- rieurs dudit dispositif étant moulés avec une résine (25), caractérisé en ce que la seconde pellicule isolante (16) est constituée par une résine du type polyamide et que la secon- de couche électriquement conductrice (17) est constituée essentiellement par de l'aluminium, mélangé à au moins un matériau sélectionné parmi le silicium, le nickel et le bore. 5. Dispositif à circuits intégrés à semiconducteurs, moulé dans une résine, selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'une pellicule (18) de résine du type polyimide, qui sert de troisième pellicule isolante, est interposée entre ladite résine (25) et ladite seconde couche électri- quement conductrice (17). 6. Dispositif à circuits intégrés à semiconducteurs selon l'une quelconque des revendications 4 et 5, caracté- risé en ce que la résine (16) du type polyimide est consti- tuée par un 4,4'-diamino-diphényléther-3-carbonamide, un 4, 4'-diaminodiphényléther, un anhydride pyromellitique, et un 3,3',4,4'-dianhydride tétracarboxylique de benzophénone. 7. Dispositif à circuits intégrés à semiconducteurs selon l'une quelconque-des revendications 4 et 5, caracté- risé en ce que la seconde couche électriquement conductrice (17) est constituée par un alliage d'aluminium et de silicium. 8. Dispositif à circuits intégrés à semiconducteurs selon la revendication 7, caractérisé en ce que le silicium est contenu dans la seconde couche électriquement conductri- ce (17) en une quantité comprise entre 0,1 et 10 % en poids.