Brevet FR2499240A1 — publié le 19820806

La présente invention concerne un dispositif des- tiné à enregistrer une distribution de hauteur d'impulsions qui est destiné à être utilisé dans un appareil de mesure d'épaisseur de film par fluorescence de rayons X. L'inven- tion porte plus particulièrement sur un dispositif nouveau et perfectionné dans lequel l'analyse de la distribution de hauteur d'impulsions peut être effectuée, même dans un cir- cuit monocanal, en appliquant un signal en escalier au cir- cuit monocanal. Dans un dispositif utilisé dans l'art antérieur, l'analyse de la distribution de hauteur d'impulsions néces- site de placer une résistance variable dans la partie d'en- trée du circuit monocanal, pour effectuer un balayage. Cependant, du fait que dans la configuration de circuit classique, la résistance variable est commandée par une opération manuelle ou par l'utilisation d'un moteur, il est difficile d'accomplir la mesure avec soin et, également, d'augmenter la précision de la mesure. Le dispositif de l'invention a pour but de procu- rer un moyen efficace pour éliminer les inconvénients décrits ci-dessus. Le dispositif de l'invention est caractérisé par l'application d'un signal analogique en escalier sur chacune des bornes d'entrée d'un discriminateur de limite supérieure et d'un discriminateur de limite inférieure connectés à un circuit, pour effectuer une analyse multicanal. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre d'un mode de réalisation préféré d'un dispositif d'enregistrement de distribution de hauteur d'impulsions, utilisé dans un instrument de mesure d'épais- seur de film par fluorescence de rayons X, et en se référant aux dessins annexés sur lesquels: La figure 1 montre la structure d'une partie in- teressante d'un dispositif d'enregistrement de distribution de hauteur d'impulsions, utilisé dans un instrument de mesu- re d'épaisseur de film par fluorescence de rayons X; La figure 2 est un schéma synoptique du dispositif de la figure 1; La figure 3 représente une courbe de distribution de hauteur d'impulsions *; et Les figures 4A à 4D sont des représentations de la distribution de hauteur d'impulsions. Sur la figure 1, la référence 1 désigne un tube à rayons X et le faisceau de rayons X (représenté par une ligne en pointillés sur la figure 1) qui est rayonné par le tube à rayons X 1 est appliqué à travers un collimateur 2 à un échan- tillon 3. Des rayons X de fluorescence provenant de l'échan- tillon 3 sont détectés au moyen d'un détecteur 4. Un signal de sortie du détecteur 4 est appliqué sur une borne d'entrée représentée sur la figure 2, et un signal détecté obtenu à partir de la borne d'entrée 5 est appliqué à chaque première borne d'entrée d'un discriminateur de limite supérieure 6 et d'un discriminateur de limite inférieure 7. D'autre part, les signaux analogiques en escalier provenant des générateurs de signal analogique 8 et 9 sont respectivement appliqués à cha- que seconde borne d'entrée des discriminateurs 6 et 7. Les signaux de sortie des discriminateurs 6 et 7 sont appliqués au circuit 10 et le signal de sortie du circuit 10 est ap- pliqué à un compteur 11 et à un élément d'affichage 12. De plus, le signal de sortie du générateur de signal analogique 9 est appliqué à l'élément d'affichage 12. On va maintenant décrire le fonctionnement du dis- positif d'enregistrement de distribution de hauteur d'impul- sions utilisé dans un instrument de mesure d'épaisseur de film par fluorescence de rayons X, ce dispositif correspon- dant à l'invention et ayant la structure décrite ci-dessus. Tout d'abord,la figure 4A représente le signal de sortie du détecteur 4. Lorsque le signal de sortie est appliqué aux discriminateurs 6 et 7, chaque signal ayant un niveau supé- rieur ou égal au niveau II (limite inférieure), représenté sur la figure 4B, est appliqué au circuit 10 par le discri- minateur de limite supérieure 6, et chaque signal ayant un niveau supérieur ou égal au niveau IS (limite supérieure), représenté sur la figure 4C, est appliqué au circuit 10 par le discriminateur de limite inférieure 7. Le circuit 10 pro- duit un signal représenté sur la figure 4D et ce signal est appliqué à l'élément d'affichage 12 par l'intermédiaire du compteur 11, pour être affiché ou enregistré au moyen de l'élément d'affichage 12. Lorsqu'on accomplit de façon ré- pétitive le fonctionnement monocanal décrit ci-dessus, on effectue une analyse multicanal et on obtient la courbe de distribution de hauteur d'impulsions qui est représentée sur la figure 3. La courbe de distribution de hauteur d'impulsions représentée sur la figure 3 est le résultat de l'analyse d'un échantillon de cuivre revêtu d'argent. Sur cette courbe, la partie à faible intensité apparait à cause des rayons X de fluorescence du cuivre et la partie à forte intensité apparaft à cause des rayons X de fluorescence de l'argent. Du fait que le dispositif d'enregistrement de dis- tribution de hauteur d'impulsions utilisé dans un instrument de mesure d'épaisseur de film par fluorescence de rayons X, qui correspond à l'invention,est conçu et fonctionne de la manière décrite ci-dessus, il est possible de convertir un système monocanal en un système multicanal par l'utilisation d'un signal analogique en escalier, sans aucune opération manuelle. On peut ainsi obtenir automatiquement et à volonté une distribution de hauteur d'impulsions. Il va de soi que de nombreuses modifications peu- vent être apportées au dispositif décrit et représenté, sans sortir du cadre de L'invention. REVENDICATION Dispositif destiné à elnregistrer une distribution de hauteur d'impulsions, utilisé dans un instrument de mesu- re d'épaisseur de film par fluorescence de rayons X, carac- térisé en ce qu'il comprend: une paire de générateurs de signal analogique destinés à générer un signal en escalier; un discriminateur de limite supérieure et un discriminateur de limite inférieure, chacun d'eux contenant un comparateur sur une borne duquel est appliqué le signal en escalier pro- venant du générateur de signal respectif; des moyens d'en- trée destinés à appliquer un signal de sortie provenant d'un détecteur de rayons X de fluorescence à chacune des autres bornes d'entrée du discriminateur de limite supérieure et du discriminateur de limite inférieure; un circuit auquel sont appliqués les signaux de sortie du discriminateur de limite supérieure et du discriminateur de limite inférieure; un compteur auquel est appliqué un signal de sortie du circuit; un dispositif d'affichage auquel est appliqué un signal de sortie du compteur; et un élément d'entrée destiné à appli- quer au dispositif d'affichage un signal de sortie provenant de l'un des générateurs de signal analogique, grâce à quoi on obtient une courbe de distribution de hauteur d'impulsions de fluorescence de rayons X, au moyen du signal en escalier pro- venant du générateur de signal analogique, sur la base du si- gnal de sortie du détecteur de rayons X de fluorescence.