Brevet FR2510307A1 — publié le 19830128

i La présente invention concerne un dispositif à semiconducteurs et un procédé de fabrication de ce der- nier, et concerne plus particulièrement une amélioration de la fiabilité grace à mise en oeuvre de contre-mesures s'opposant à l'humidité. L'un des modes principaux de défaillance d'un dis- positif à semiconducteurs est une défaillance provoquée par l'humidité Cette défaillance provoquée par l'humidité est produite par la corrosion de l'aluminium (Al) dans le dispositif à semiconducteurs Comme cela est bien connu dans la technique, l'aluminium est très largement utilisé en tant que matériau constitutif des dispositifs à semicon- ducteurs étant donné qu'on peut bien le travailler et qu'il est peu co Iteux De façon spécifique, l'aluminium est uti- lisé dans une puce ou microplaquette à semiconducteurssous la forme d'un câblage, d'un plot ou d'un emplacement de liaison ou de soudure et d'un fil de liaison servant à re- lier électriquement le plot de liaison et une borne de raccordement L'aluminium ainsi utilisé est susceptible de se corroder lorsqu'il est en contact avec une humidité ayant pénétré à l'intérieur d'un boîtier ou d'un assembla- ge Cetté corrosion est plus susceptible de se produire en particulier s'il existe des ions tels que Na+ ou Cl ou - bien des taches au voisinage de l'aluminium ou bien si une tension est appliquée pour polariser une couche d'aluminium. Dans la technique, différentes méthodes ont été proposées en vue d'empêcher une telle défaillance par présence d'humidité Selon l'une des méthodes connues, compte tenu du fait qu'un oxyde d'aluminium (A 1203) possè- de une excellente résistance à la Corrosion, la surface de l'aluminium est oxydée et forme une pellicule d'oxyde d' aluminium, si bien que l'aluminium est protégé de toute corrosion par cette pellicule d'oxyde résistante à la corrosion Dans la demande de brevet japonais publiée sous le N' 52-117551, par exemple, se trouve décrit le fait que les surfaces d'un fil de liaison et d'un plot 10307 de liaison, constitués en aluminium, sont oxydées avec for- mation de pellicules d'oxyde D'autre part on trouve dans la demande de brevet japonais publiée sous le N O 51-9470, l'indication du fait que la surface d'un câblage en alumi- nium à l'intérieur d'uxemicroplaquette est oxydée de ma- nière à former une pellicule d'oxyde. Aussi excellente que soit la résistance de la pel- licule d'oxvde d'aluminium à la corrosion, il n'y a ce- pendant aucun article existant,dans lequel les surfaces d'un plot de liaison en aluminium et d'un fil de liaison devant être raccordé au plot de liaison sont oxydées de manière à former des pellicules d'oxyde La prévention de la défaillance due à l'humidité dépend plutôt de l'étan- chéité d'un bottier au gaz, ou de l'utilisation d'un ma- tériau en forme de résine Le fait de ne pas utiliser la pellicule d'oxyde d'aluminium à la surface de l'aluminium en vue de prévenir une défaillance due à l'humidité dans la technique antérieure, comme cela vient d'être décrit, est basé sur le fait que la méthode utilisée dans l'art antérieur n'a pas permis de former, d'une manière satis- faisante, la pellicule d'oxyde d'aluminium De façon plus spécifique la méthode de l'art antérieur n'a pas permis de former de façon efficace une pellicule d'oxyde d'alu- minium possédant une épaisseur uniforme et une résistance excellente à la corrosion Ce phénomène n'a pas été expli- cité et a été la cause de problèmesimportants. En outre la réalisation de l'art antérieur pose un problème dans le fait que le câblage se rompt fréque- ment au niveau de la partie du plot de liaison de sor- te que l'on ne peut pas avoir une connexion excellente. Ceci est dé au fait que, lorsque la surface exposée ou à nu du plot de liaison doit être oxydée en vue de former la pellicule d'oxyde d'aluminium, la région oxydée n'est pas limitée simplement à ladite partie de surface, mais atteint une partie profonde à l'intérieur de la couche d' aluminium, ce qui entraîne une détérioration de la con- nexion entre la couche d'aluminium du plot de liaison et la couche d'aluminium du câblage. La réalisationde l'art antérieur pose un autre problème résidant dans le fait que la résistance à la cor- rosion n'est pas améliorée d'une façon suffisante Ceci est dû au fait que le câblage d'aluminium situé au-dessous d'une pellicule de passivation finale se corrode sous 1 ' action de l'humidité qui a pénétré à travers la fissure formée dans la pellicule de passivation finale. C'est pourquoi un but essentiel de la présente invention est de fournir un dispositif à semiconducteurs hautement fiable, dont la couche de câblage incluant un plot de liaison-en aluminium et son fil de liaison sont protégés contre toute corrosion par l'action de pelli- cules d'oxyde d'aluminium formées sur les surfaces de la couche de câblage et du fil de liaison. Un autre but de la présente invention est de four- nir un procédé de formation de pellicules d'oxyde d'alumi- nium à la fois sur un plot de liaison réalisé en aluminium et un fil de liaison constitué en aluminium et relié au plot de liaison. Afin d'atteindre les objectifs de la présente invention et selon un aspect de cette dernière, le maté- riau constituant le plot de liaison et le matériau cons- tituant le fil de liaison sont des matériaux à base d'a- luminium contenant des additifs et possédant une tendan- ce identique à l'ionisation. En outre, selon une autre caractéristique de la présente invention, lorsque la partie de surface du plot de liaison en aluminium, qui n'est'pas recouverte par une pellicule de passivation finale, et la surface du fil de liaison en aluminium doivent être oxydées au vue d'abou- tir à la formation de pellicules d'oxyde d'aluminium, ces oxydations sont effectuées en court-circuitant les con- ducteurs qui sont raccordés aux fils respectifs de liaison. Conformément à une autre caractéristique de l'in- vention, le plot de liaison est en outre constitué de deux couches d'aluminium, à savoir une couche supérieu- re et une couche inférieure, parmi-lesquelles la couche inférieure d'aluminium constitue la couche de câblage re- liée au plot de liaison, tandis que la couche supérieure en aluminium forme une partie de liaison, et le fil de liaison en aluminium est relié à la partie empilée, dans laquelle ces deux couches d'aluminium sont raccordées. De plus, selon un autre aspect de la présente in- vention, il est prévu deux pellicules d'oxyde d'aluminium, dont l'une est formée par oxydation à la surface de la couche d'aluminium située audessous de la pellicule de passivation finale et dont l'autre est formée par oxyda- tion à la fois sur une partie de surface du plot de liai- son en aluminium,qui n'est pas recouverte par la pellicu- le de passivation finale, et sur la surface du fil de liaison en aluminium. Par conséquent la présente invention est apte à améliorer de façon remarquable la fiabilité d'un dis- positif à semiconducteurs, en particulier d'un disposi- tif à semiconducteurs du type moulé dans de la résine. D'autres caractéristiques et avantages de la pré- sente invention ressortiront de la description donnée ci- après prise en référence aux dessins annexés, sur les- quels: La figure 1 représente une vue en coupe montrant une partie d'un produit fini d'un dispositif à semicon- ducteurs conforme à la présente invention; la figure 2 représente une vue en plan, à plus grande échelle, montrant schématiquement un plot de liai- son du dispositif à semiconducteurs de la figure 1; et les figures 3 A à 3 F, la figure 4 et la figure 5 sont des vues illustrant le processus de fabrication du dispositif à semiconducteurs de la figure 1. La figure 1 est une vue en coupe montrant schéma- tiquement une forme de réalisation de la présente inven- tion Cette forme de réalisation fournit une structure dans laquelle la présente invention est appliquée à un dispositif à semiconducteurs du type moulé dans la résine. Ce dispositif à semiconducteurs est moulé dans son ensem- ble dans une résine 31, hormis une partie d'un conducteur 4 qui constitue une borne extérieure du dispositif On notera que l'on n'a pas représenté sur la figure 1 la par- tie de gauche de la vue en coupe du dispositif à semicon- ducteurs. Le chiffre de référence 1 désigne un substrat se- miconducteur en silicium Dans ce substrat 1 se trouve formé un élément semiconducteur tel que représenté sur la figure 3 A De façon plus spécifique, sur le substrat 1 se trouve formée une première couche d'aluminium 6, qui est située sur une première pellicule isolante intercouches , constituée en Si O 2 Cette couche d'aluminium 6 cons- titue à la fois une partie d'un plot de liaison ou d'as- semblage 28 d'une structure empilée conforme à la présen- te invention et d'une couche de câblage inférieure ser- vant à raccorder le plot de liaison 28 et une autre par- tie (par exemple une couche d'aluminium 81) Sur cette couche d'aluminium 6 se trouve formée une seconde pelli- cule isolante inter-couches 7 en Si O 2, sur laquelle sont réalisées des secondes couches d'aluminium 80 et 81 Ces couches d'aluminium sont constituées par de l Maluminium contenant 1 % de silicium (Si) et i % de cuivre (Cu). Ces couches d'aluminum constituent la couche de câblage supérieure 81 et la partie de liaison 80 qui constitue une partie du plot de liaison 28 possédant la structure empilée conforme à la présente invention Gra- ce à la structure empilée du plot de liaison 28 consti- tué de la couche d'aluminium 6 mentionnée précédemment et de la partie de liaison 80, il est possible d'empê- cher la rupture qui pourrait, sinon,se produire au niveau de la partie du plot de liaison pendant l'oxydation ulté- rieure de l'aluminium servant à réaliser une pellicule d'oxyde d'aluminium 12. Le silicium additionnel est ajouté de manière à empêcher que l'aluminium fasse l'objet d'une diffusion ou d'une réaction réciproque, sous l'effet d'un traite- ment thermique, au niveau d'une zone dans laquelle il contacte une région semiconductrice constituant une jonc- tion mince, ce qui provoquerait une rupture de la jonc- tion D'autre part le cuivre est ajouté de manière à em- pêcher que le câblage en aluminium ne soit rompu par le phénomène de l'électromigration Les références 90 et 91 désignent des pellicules d'oxyde d'aluminium, formées sur la face supérieure et sur le côté de la partie de liaison et à la partie supérieure et sur le côté (c'est-à-di- re les parties qui ne sont pas en contact avec la pelli- cule isolante inter-couches 5) de la couche de câblage en aluminium 81, et qui sont-préparées respectivement par oxydation des surfaces de la partie de liaison 81 et de la couche de câblage en aluminium 81 Les pellicules d' oxyde d'aluminium ainsi formées sont constituées princi- palement par du A 1203 Les pellicules d'oxyde d'alumi- nium 90 et 91 sont disposées au-dessous de la pellicule de passivation finale décrite plus loin, de sorte qu' elles agissent à la manière de pellicules protectrices en empêchant la couche d'aluminium 81 d'être corrodée, et ont une action efficace pour empêcher la corrosion en particulier dans le cas o une fissure ou analogue est formée dans la pellicule de passivation finale. L'ensemble de la surface de la microplaquette, hormis le plot de liaison 28, est recouvert par la pel- licule de passivation finale 27, qui est constituée par une pellicule de verre au Kphosphosilicates (c'est-à-dire une pellicule de PSG). La structure, que l'on vient de décrire, est soudée sous pression à un conducteur en forme de lan- guette 2 au moyen d'un eutectique or-silicium 3 Le conducteur en forme de languette 3 fait partie du cadre dé montàge et est constitué par un alliage " 42 " (ou bron- ze phosphoreux). D'autre part le conducteur extérieur de liaison 4 faisant partie constitutive du cadre de montage et constitué par l'alliage " 42 " (ou bronze phosphoreux) pos- sède l'une de ses extrémités réalisée avec une pellicule d'aluminium 11 déposée en phase vapeur en vue de réaliser la jonction du fil, tandis que son autre extrémité fait saillie à l'extérieur de la résine 31. Le chiffre de référence 10 désigne un conducteur de liaison qui est utilisé pour raccorder le conducteur extérieur de liaison 4 et le plot de liaison 28 et dont une extrémité est reliée par soudage au plot de liaison 28 et dont l'autre extrémité est soudée à la pellicule d'aluminium 11 déposée en phase vapeur, recouvrant le conducteur de raccordement extérieur 4 Ce fil de liai- son est constitué par de l'aluminium contenant un pour- cent de silicium et un pour-cent de cuivre, c'est-à-dire, que, conformément à la présente invention, on utilise pour constituer le fil de liaison, un matériau possédant une tendance à l'ionisation identique à celui de la par- tie de liaison 80. L'auteur de la présente invention a étudié les causes de défaillance de manière à former efficacement une pellicule d'oxyde d'aluminium résistant fortement à la corrosion et possédant une épaisseur uniforme et s'est aperçu que les causes résident dans la réaction de pi- le, qui se produit localement au voisinage d'une partie oxydée lorsque h surface du matériau à base d'aluminium est oxydée de manière à former une pellicule d'oxyde d' aluminium On s'est également aperçu, à la suite de ces recherches, que l'une des causes de l'établissement de cette réaction de pile locale réside dans la différence existant entre le matériau de la couche de cablage en alu- minium constituant le plot de liaison et le matériau du fil en aluminium. 10307 Habituellement on ajoute du silicium et du cui- vre à la couche de câblage en aluminium, alors qu'on ajoute du silicium et du magnésium au fil d'aluminium. Conformément aux différences des matériaux et des quanti- tés de différents additifs possédant des tendances dif- férentes à l'ionisation et qui sont ajoutés à l'aluminium, hormis le silicium, il s'établit une différence de la ten- dance à l'ionisation entre la couche de câblage en alumi- nium et le fil d'aluminium. Par exemple à la couche de câblage en aluminium on ajoute du cuivre(Cu) afin d'empêcher 1 'électromigra- tion dans ce dernier D'autre part on ajoute du magnésium (Mg) au fil d'aluminium pour obtenir une excellente dure- té (en particulier pendant laphase de l'opération de liai- son ou de soudage) Dans ce cas, conformément aux expé- riences effectuées par l'auteur de la présente invention, la vitesse d'oxydation de la couche de câblage en alumi- nium est sensiblement égale à celle de l'aluminium pur, tandis que la vitesse d'oxydation du fil d'aluminium est nettement supérieure à celle de l'aluminium pur, de sor- te qu'on réalise une pellicule d'oxyde d'aluminium plus épaisse que la partie de la couche de câblage Ceci s' est avéré être dé en partie au fait qu'il s'établit de façon équivalente une pile locale constituée par l'humi- dité et par les deux substances possédant des tendances différentes à l'ionisation, et en partie dû au fait que les tendances à l'ionisation de l'aluminium et des addi- tifs sont exprimées par les inégalités Mg > Al > Cu De façon spécifique la réaction entré l'humidité et l'alumi- nium est favorisée par l'action catalytique du magnésium possédant une tendanoeà l'ionisation,supérieure&à celle de l'aluminium, de sorte qu'il se forme un oxyde d'alumi- nium stable Au contraire, étant donné que le cuivre pos- sède une tendanceà l'ionisation plus faible que l'alumi- nium, l'action catalytique décrite ci-dessus ne se pro- duit pas, de sorte que la vitesse d'oxydation de l'alu- minium devient sensiblement égale à celle de l'aluminium pur En outre cette différence des vitesses d'oxydation est accrue de façon supplémentaire par le fait que le dé- placement des électrons pendant l'oxydation est limité par la réaction de pile locale mentionnée précédemment. La présente invention a été conçue sur la base des recherches mentionnées précédemment et effectuées par l'auteur de la présente invention Conformément à la présente invention, en réalisant la couche de câblage en aluminium constituant le plot de liaison et le fil d' aluminium avec des matériaux possédant une tendance iden- tique à l'ionisation, il est possible d'empêcher l'appa- rition d'une réaction de pile locale, qui, sinon, pour- rait être provoquée par la différence entre les tendances à l'ionisation de la couche de câblage en aluminium et du fil d'aluminium Grâce à cette protection, les vites- ses de croissance-des pellicules d'oxyde devant être for- mées sur les surfaces des deux éléments peuvent être ren- dues identiques de sorte que l'on peut obtenir une épais- seur identique En outre, étant donné que les oxydations s'effectuent de façon uniforme à une vitesse identique sur l'ensemble des surfaces, il est possible d'obtenir des pellicules d'oxyded'aluminium possédant une excel- lente qualité En outre étant donné que l'on peut obte- nir une Opaisseur uniforme, contrairement à ce qui se passait dans l'art antérieur, on supprime l'inconvénient selon lequel l'une des pellicules d'oxyde peut posséder une épaisseur supérieure à l'épaisseur requise pour main- tenir l'épaisseur nécessaire, de sorte que la formation des pellicules d'oxyde peut être réalisée de façon effi- cace. Les effets résultants, que l'on vient de décrire, ne sont pas limités au cas de l'adjonction de cuivre à la région d'aluminium De façon plus spécifique, dans le cas o l'on utilise une substance possédant une tendance à l' ionisation en tant qu'additif soit dans le plot de liaison en aluminium, soit dans le fil de liaison, on peut obtenir les effets mentionnés ci-dessus conformément à la présen- te invention, si l'on ajoute la même substance à l'autre élément, quel que soit l'additif Dans ce cas, il est souhaitable que les quantités d'additif soit apportées en des proportions aussi identiques que possible. Eventuellement on peut régler la dureté du fil d'aluminium, qui peut augmenter lors de la phase de fi- xation ou de liaison, en lui donnant une valeur appro- priée pour l'opération de liaison et de fixation, en lui ajoutant du silicium et du cuivre. On forme les pellicules d'oxyde d'aluminium 12 et 13 de manière à recouvrir les surfaces de la partie de liaison 80 et du fil de liaison 10 de la structure ainsi reliée par fil ou connexion Les deux pellicules d'oxyde d'aluminium sont forméespar oxydation des sur- faces des régions d'aluminium qu'elles recouvrent, et sont constituées principalement par du A 1203 Les pelli- cules d'oxyde d'aluminium sont ainsi formées de manière à être fusionnées sous la forme d'une pellicule d'un seul tenant Par suite de la formation des pellicules d'oxyde d'aluminium de la manière que l'on vient de dé- crire, le fil de liaison 10 et la partie de liaison 80 peuvent être protégés de la corrosion, en ayant leurs résistances à l'humidité accrues de façon remarquable. D'autre part les chiffres de référence 12, 13 et 14 désignent des pellicules d'oxyde d'aluminium, qui fu- sionnent pour former une couche d'un seul tenant et qui sont obtenues au moyen d'une oxydation simultanée de la partie de liaison 80, du fil de liaison 10 et de la pellicule d'aluminium 11 déposée en phase vapeur. Conformément à la présente invention, on forme à la fois les pellicules d'oxyde d'aluminium 90 et 91, qui recouvrent la couche de câblage supérieure d'alumi- nium située au-dessous de la pellicule de passivation finale, et les pellicules d'oxyde d'aluminium 12 et 13 1 1 (et 14) qui recouvrent la pellicule d'aluminium et le plot de liaison (ainsi que la pellicule d'aluminium déposée en phase vapeur) En outre le pellicules d'oxyde d'aluminium 12 et 90 sont formées de manière à fusionner en une pelli- cule d'un seul tenant au niveau de la partie de liaison 80. Par conséquent, conformément à la présente inven- tion, l'aluminium peut être protégé de toute corrosion pro- duite par des actions conjointes entre l'humidité, qui pénètre depuis l'extérieur du circuit intégré soit dans la résine 31 elle-même, soit à travers le jeu existant entre la résine 31 et le conducteur 4, et les ions d' impuretés contenues En outre, par suite de la présence des pellicules d'oxyde d'aluminium 12, 13 et 14, la partie de liaison 80, le conducteur en aluminium 10 et la pelli- cule d'aluminium l déposée en phase vapeur, recouverte par ledit fil, doivent être protégés contre toute corro- sion En outre, étant donné que ces pellicules d'oxyde d' aluminium sont fusionnées, la corrosion ne se propage pas à partir des zones limites entre les trois régions men-: tionnées précédemment D'autre part, même si une fissure était formée dans la pellicule de passivation finale 27 par suite d'une contrainte de moulage, due à des réac- tions de pontage de la région, ou bien à des contraintes de contraction dues à la différence des coefficients de dilatation thermique des régions respectives ou à diver- ses autres contraintes mécaniques, la corrosion de la * couche de câblage en aluminium supérieure 81 est empê- chée par la pellicule d'oxyde d'aluminium 91 De plus, étant donné que les pellicules d'oxyde d'aluminium 12 et sont formées de manière à être fusionnées l'une avec l'autre, la corrosion ne peut pas se propager à travers le jeu entre la partie d'extrémité de la pelli- cule de passivation finale 27 et la partie de liaison 80. La figure 2 représente une vue en plan schémati- que montrant le plot de liaison oxydé 28 de la figure 1. Sur la même figure, la pellicule d'oxyde d'aluminium 12 ou 13 a été retirée de façon appropriée en vue de montrer la région d'aluminium sous-jacente 80 ou 10. La première couche d'aluminium 6, qui constitue le plot de liaison 28 de la structure empilée, telle qu'indiqué par des lignes en trait mixte du type un trait- un point, et la partie de liaison 80, qui constitue la seconde couche d'aluminium, telle qu'indiquée par des li- gnes en traits mixtes du type un trait-deux points un trait, sont en-contact réciproque direct par l'intermé- diaire d'un trou de contact 32 qui est ouvert, comme in- diqué par des lignes formées de traits interrompus, dans la pellicule isolante inter-couches (non représen- tée formée entre le plot de liaison et la partie de liai- son C'est-à-dire que, dans le trou'de contact 32, le plot de liaison 28 est constitué par la structure empilée dans laquelle la première couche 6 et la seconcbcouche 80 en aluminium sont en contact-direct La phase de liaison avec le fil est réalisée de manière à recouvrir la partie de cette structure empilée, c'est-à-dire le trou de con- tact 32 De façon spécifique la phase de liaison ou de fixation du fil est réalisée de telle manière que la ré- gion de liaison, dans laquelle le fil d'aluminium 10 et la partie de liaison 80 sont en contact, recouvre complè- tement le trou de contact 32, comme cela est indiqué par les lignes 33 formées de tirets sur la figure 2. Par conséquent il est possible d'empêcher totale- ment, au niveau du plot de liaison, une rupture pouvant, sinon, intervenir lorsque la pellicule d'oxyde d'alumi- nium 12 doit être formée par oxydation de la partie de liaison 80 Cette pellicule d'oxyde d'aluminium 12 est formée sur toutesles régions, hormis la partie recouverte par la pellicule de verre aux phosphosilicates 27 et la région de liaison 33 (qui est recouverte par le fil d' aluminium 10), mais pas sur la partie recouvrant -le trou de contact 32 Il en résulte que, même si la partie de liai- son 80 est entièrement oxydée à partir de la surface en di- rection de la base en permettant de ce fait à la pellicule d'oxyde d'aluminium 12 d'atteindre la pellicule isolante inter-couches sousjacente 7, la connexion électrique est maintenue à un niveau excellent par la structure empilée au niveau du trou de contact 32 La partie de liaison si- tuée dans la région de liaison 33, qui est recouverte par le fil d'aluminium 10, n'est pas oxydée étant donné qu' elle n'est pas exposée à l'humidité dans une atmosphère oxydante Il en résulte que la connexion entre la partie de liaison 80 et la couche d'aluminium sous-jacente 6 à travers le trou de contact 32 peut être maintenue à un excellent niveau. Les figures 3 A à 3 F, la figure 4 et la figure 5 illustrent un processus de fabrication du dispositif à semiconducteurs de la présente invention. Sur le substrat semiconducteur en silicium de type P 1,on forme, selon le processus bien connu, un élé- ment semiconducteur qui est représenté sur la figure 3 A par exemple Cet élément semiconducteur est un transistor bipolaire de type NPN, qui possède une région de collec- teur constituée par une couche enterrée ou ensevelie de type N+ 15 avec une couche épitaxiale de type Né 17,une région de base constituée par une région de type P 19 et une région d'émetteur constituée par une région de type N 20 Afin d'isoler ce transistor bipolaire d'un autre élément semiconducteur, on forme à la fois une pellicule d'oxyde de champ 18, qui est constituée par du Si O 2, et un dispositif d'arrêt de canal de type P 16 qui est situé au-dessous de la pellicule précédente Ce dispositif d' arrêt de canal de type P+ 16 et la couche ensevelie de ty- pe N+ sont formés au moyen de l'implantation d'ions ou d'un procédé analogue avant la formation de la couche épitaxiale 17 D'autre part la pellicule d'oxyde de champ 18 est formée par oxydation locale de la couche épitaxiale 17. Une fois réalisée la formation de l'élément semi- conducteur que l'on vient de décrire, on dépose sur l'en- semble de la surface du substrat une pellicule de Si O 2 5 servant de première pellicule isolante inter-couches, au moyen du dép 8 t chimique en phase vapeur Ensuite, on ou- vre des trous de contact 23, 22 et 21 destinés à corres- pondre respectivement aux régions du collecteur, de la base et de l'émetteur. Ensuite, comme représenté sur la figure 3 B, on dépose une première couchede câblage On forme sur 1 ' ensemble de la surface de la pellicule de Si O 2 5 une première couche d'aluminium possédant une épaisseur de 2 microns par évaporation sous-vide En outre on struc- ture cette couche d'aluminium de manière qu'elle possè- de la forme désirée afin de réaliser la couche d'alumi- nium 6 constituant une partie du plot de liaison 28 de la structure empilée et fournissant un câblage de rac- cordement entre le plot de liaison 28 et une autre ré- gion située dans la microplaquette De plus, en même temps que cette opération, on forme des couches de câ- blage en aluminium 24, 25 et 26 en vue de raccorder les régions semiconductrices respectives Comme cela est représenté sur la figure 3 C, on forme une seconde couche de câblage et la partie de liaison 80 du plot de liaison 28 On forme la pellicule de Si O 2 7 en tant que seconde pellicule isolante inter-couches sur l'ensemble de la surface, en utilisant le procédé de dépôt chimique en phase vapeur Ensuite on ouvre le trou de contact ser- vant au raccordement des couches de câblage et le trou de contact 32 servant à réaliser le plot de liaison 28 à l'intérieur de la structure empilée A la suite de cela, on dépose sur l'ensemble de la surface, par éva- poration sous vide, une couche d'aluminium possédant une épaisseur de 4 microns et contenant 1 % de silicium et 1 % de cuivre Puis on structure cette couche pour lui donner une forme désirée afin de réaliser la partie de liaison 80 du plot de liaison 28 de la structure em- pilée En même temps que cette opération, on forme la seconde couche de câblage 81. Ensuite, comme cela est représenté sur la figure 3 D, on effectue une première oxydation de l'aluminium de manière à former les pellicules d'oxyde d'aluminium 90 et 91 En plaçant la pastille entièrement dans une at- mosphère à une température de 1200 C et sous une pression de vapeur de 2 105 Pa pendant 10 minutes, on oxyde les surfaces nues de la couche de câblage en aluminium struc- turée 81 et de la partie de liaison 80 Les pellicules d'oxyde d'aluminium 90 et 91 sont réalisées sous l'effet de ces oxydations Ces pellicules d'oxyde d'aluminium sont constituées principalement par du A 1203 Les pelli- cules d'oxyde d'aluminium sont disposées au-dessous d' une pellicule de passivation finale devant être formée ultérieurement et agissent en tant que pellicules protec- trices destinées à empêcher une corrosion des couches d' aluminium 80 et 81, de sorte que ces pellicules fournis- sent une protection efficace contre la corrosion, en par- ticulier dans le cas o une fissure est formée dans la pellicule de passivation finale. Ci-après, comme cela est représenté sur la figu- re 3 E, la pellicule de verre aux phosphosilicates 27 est formée en tant que pellicule-de passivation finale sur l'ensemble de la surface de la pastille au moyen du dé- pôt chimique en phase vapeur, et ce sur une épaisseur de 800 nanomètres En outre à la fois les pellicules d' oxyde d'aluminium 90 et la pellicule 27 de verre aux phosphosilicates sur la partie de liaison 80 sont reti- rées en utilisant le procédé de corrosion par voie sè- che, telle que par exemple le procédé d'attaque plasma- tique, de manière à mettre à nu la surface d'aluminium de la partie de liaison 81. On découpe la pastille ainsi recouverte de la pellicule de passivation finale pour l'amener sous la for- me de pastilles élémentaires séparées, qui sont ensuite soudées par compression au conducteur en forme de languet- te sur le cadre de montage. Les deux extrémités du fil d'aluminium 10 sont soudées au plot de liaison sur la pastille élémentaire et au conducteur de raccordement extérieur du cadre de montage Ce fil d'aluminium possède un diamètre de microns et est constitué par de l'aluminium contenant 1 % de silicium et I % de cuivre Le matériau utilisé pour constituer ce fil d'aluminium possède la même tendan- ce à l'ionisation que celle de la partie de liaison 80, comme cela a été décrit précédemment. Ainsi on peut empocher la réaction de pile loca- le, qui est provoquée par la différence des tendances à l'ionisation pendant une seconde oxydation de l'aluminium décrite ci-après, de manière à obtenir une pellicule d' oxyde d'aluminium possédant une excellente qualité et une épaisseur uniforme Conformément à la présente invention, la phase de liaison du fil que l'on vient de décrire, est effectuée au niveau de la portion dans laquelle le plot de liaison 28 possède la structure empilée, comme repré- senté sur la figure 2, c'est-à-dire au-dessus du trou de contact 32 En outre il est souhaitable que la phase opé- ratoire de liaison soit effectuée de telle manière que la surface liée ou soudée du fil de liaison recouvre la surface incluant le trou de contact 32 En se reportant aux figures 1, 3 F et 4, on peut comprendre clairement 1 ' état de liaison ou de connexion du fil - Ensuite, comme représenté sur la figure 3 F, on effectue une seconde oxydation de l'aluminium de maniè- re à former les couches d'oxyde d'aluminium 12, 13 et 14 Tout d'abord, les pellicules d'oxyde d'aluminium remarquablement minces, qui se forment naturellement sur la surface à nu de la partie de liaison 80, sur la sur- face du fil en aluminium 10 et sur la pellicule d'alumi- nium déposée en phase vapeur 11 (au sujet de laquelle on se reportera à la figure 1) sur le conducteur extérieur à la figure 3 F, sont éliminées à titre de prétraitement avant l'oxydation de l'aluminium Au cours de ce trai- tement, on immerge ces surfacesdans de l'oxyde oxalique par exemple, de manière qu'elles soient attaquées par corrosion Ce préttaitement permet de rendre dense la pellicule d'oxyde d'aluminium, qui sera formée ulté- rieurement, et de former une pellicule possédant une épaisseur uniforme Ensuite, on effectue la seconde oxy- dation de l'aluminium en plaçant complètement le cadre de montage, auquel les petites pastilles sont fixées,dans une atmosphère à la température de 1200 C et sous une pression de vapeur de 2 105 Pa La surface à nu de la par- tie de liaison 81, la surface du fil d'aluminium 10 et la pellicule d'aluminium déposée en phase vapeur 11 sur le:conducteur extérieur à la figure sont oxydées, de manière à former les pellicules d'oxyde d'aluminium 12, 13 et 14 Ces pellicules d'oxyde d'aluminium sont cons- tituées essentiellement par du A 1203 Les pellicules d' oxyde d'aluminium 12, 13 et 14 réagissent à la manière de pellicules protectrices en vue d'empêcher toute cor- rosion de la partie de liaison 80, du fil d'aluminium ,de la pellicule d'aluminium déposée en phase vapeur 11 sur le conducteur extérieur à la figure En outre on réa- lise les pellicules d'oxyde d'aluminium 12, 13 et 14 de manière à ce qu'elles soient fusionnées non seulement entre elles, mais également avec la pellicule d'oxyde d'aluminium située au-dessous de la pellicule de passi- vation finale et qui a déjà été foimée par la première oxydation de l'aluminium, de telle sorte que l'on peut obtenir un effet intense en vue d'empêcher la corrosion, comme cela sera décrit ci-après. La présente invention est caractérisée par le fait que tous les conducteurs sont court-circuités au moyen d'une partie de court-circuit 34, comme cela est représenté sur la figure 4, lorsque cette seconde oxyda- tion de l'aluminium doit être effectuée. L'auteur de la présente invention a étudié les causes à la base de l'impossibilité de former efficace- ment une pellicule d'oxyde d'aluminium possédant une excellente résistance à la corrosion et une épaisseur uniforme et a trouvé que ces causes résident dans la réaction de-pile qui est établie localement au voisina- ge de la partie oxydée lorsque la surface du matériau à base d'aluminium est oxydée de manière à former la pel- licule d'oxyde d'aluminium Conformément aux résultats des études effectuées par l'auteur de la présente inven- tion, il a également été établi que l'une des causes de cette réaction de pile locale résulte du fait que le potentiel présent au niveau des plots respectifs et des conducteurs respectifs de liaison diffèrent de différen- ces de potentiel au niveau des jonctions PN dans le sub- strat semiconducteur et de différences de potentiel de contact au niveau des parties reliant les régions semi- conductrices et les couches de câblage en aluminium. La somme algébrique des différences de potentiel au ni- veau des jonctions PN et des différences de potentiel de contact au niveau des parties reliant les régions semiconductrices respectives et les couches de câblage en aluminimum apparaissent en tant que différences de potentiel relatives des plots de liaison respectifs. Etant donné que les conditions de liaison ou de fixation sont communes pour tous les conducteurs, les différences de potentiel des plots de liaison deviennent, quand elles existent, les différences de potentiel relatives entre les conducteurs respectifs Si à ce stade, la micropla- quette est placée dansune atmosphère humide, la diffé- rence de potentiel entre les conducteurs et l'humidité présente dans l'atmosphère agissent d'une façon corres- pondant à la différence de potentiel de contact entre les deux substances d'une pile et un solvant, ce qui constitue l'équivalent d'une pile locale. Par exemple dans le cas o à un premier plot de liaison placé à un certain potentiel est raccordé un se- cond plot de liaison possédant un potentiel supérieur au premier potentiel, conformément aux expériences effectuées par l'auteurde la présente invention, la vitesse deforma- tion de la pellicule d'oxyde d'aluminium sur le premier plot mentionné précédemment est supérieure à la vitesse de formation de la pellicule d'oxyde d'aluminium sur le second plot, de sorte qu'il se forme une pellicule d toxy- de d'aluminium épaisse Ceci est dû au fait que les élec- trons produits au cours de cette réaction d'oxydation sont attirés vers le côté de potentiel relativement supérieur (c'est-à-dire le côté du second plot) En d'autres termes les électrons produits au niveau du premier plot sont at- tirés vers le c 8 té du second plot Il en résulte que'l' ionisation de l'aluminium du premier plot augmente, étant donné que les électrons sont maintenus à l'extérieur du système de la réaction d'oxydation, de sorte le plot de- vient susceptible de s'oxyder Au contraire l'ionisa- tion de l'aluminium du second plot est supprimée par sui- te de l'excès d'électrons, de sorte que ce plot devient résistant à l'oxydation. La présente invention a été conçue sur la base des recherches mentionnées précédemment et effectuées par l'auteur de la présente invention Selon la présen- te invention, tous les conducteurs 4 sont court-circui- tés électriquement au moyen de la partie de court-circuit 34 Tous les conducteurs étant court-circuités, il est possible d'empêcher la réaction de pile locale; qui est favorisée par la différence de potentiel existant entre ces conducteurs, et de rendre identiques les vitesses de croissance de toutes les couches d'oxyde d'aluminium, de sorte que l'on peut former une pellicule possédant une épaisseur uniforme En outre, étant donné que la réaction d'oxydation se développe à une vitesse uniforme sur l'ensemble de la surface, il est possible de former une excellentepellicule d'oxyde possédant une épaisseur uniforme De plus étant donné que l'on peut rendre uni- forme l'épaisseur de la pellicule, contrairement à l'art antérieur, ceci obvie à l'inconvénient selon lequel une autre région posséderait une pellicule d'une épaisseur plus importante que celle requise pour obtenir l'épais- seur nécessaire, de sorte que l'oxydation de l'aluminium peut être réalisée de façon efficace. Ensuite on enrobe l'ensemble de la structure dans la résine 31 et l'on élimine ultérieurement par décou- page la partie de court-circuit 34 de manière à donner la forme désirée aux conducteurs 4. Ensuite, comme représenté sur la figure 5, on immerge le dispositif à semiconducteurs enrcbé dans la ré- sine par exemple dans une solution d'acide sulfurique (H 2 SO 4) de manière à éliminer la pellicule d'oxyde des surfaces des conducteurs 4 De façon plus spécifique, la pellicule d'oxyde indésirable, qui est formée sur les surfaces des conducteurs de l'alliage " 42 " (ou du cuivre ou bronze) étant donné que le fait que les conducteurs ont été maintenus dans une atmosphère humide pour l'oxy- dation de l'aluminium, est éliminée exclusivement et localementmoyennant l'utilisation de la différence existant entre les propriétés de la pellicule d'oxyde d' aluminium et de la pellicule d'oxyde indésirable A cet effet, on utilise la solution d'acide sulfurique en tant que solution qui n'est pas appliquée à la pellicule d' oxyde d'aluminium, mais est active pour éliminer par at- taque chimique uniquement la pellicule d'oxyde-indésira- ble, de sorte que cette dernière est éliminée des conduc- teurs 4 lorsque l'on immerge ces;derniersdans cette solu- tion pendant une durée d'environ 5 minutes Même si, à ce moment là, la solution d'acide sulfurique pénètre à l'intérieur de la résine, la pellicule d'aluminium dépo- sée en phase vapeur, le fil d'aluminium et le plot de liaison sont protégés par la couche d'oxyde d'aluminium de sorte que ces éléments ne subissent pas la moindre influence. Ainsi on peut éliminer la pellicule d'oxyde, qui a été formée sur les surfaces des conducteurs pendant 1 ' oxydation de l'aluminium, après la phase opératoire d'en- robage avec la résine, en utilisant la différence de ces propriétés par rapport à la pellicule d'oxyde d'a- luminium Par conséquent au moins cette pellicule d'oxy- de situéelsur les surfaces des conducteurs, qui est ex- posée à l'atmosphère extérieure, peut être complètement éliminée, ce qui met à nu les surfaces propres des con- ducteurs par rapport à l'atmosphère extérieure Il en résulte que les connexions électriques peuvent être main- tenues à un excellent niveau, ce qui accroit la fiabili- té du circuit intégré D'autre part, dans le cas o les surfaces des conducteurs doivent être recouvertes par des couches de soudure lors de la phase opératoire de soudage, on peut effectuer l'opération de soudage d'une manière satisfaisante, sans soumettre, d'une manière compliquée, les conducteurs au traitement de surface mis en jeu pour l'opération de soudage. La présente invention n'est pas limitée à l'exem- ple de réalisation que l'on vient de décrire Par exemple, avant que la microplaquette soit enrobée dans une résine, elle peut être préalablement recouverte d'une résine de fond ou formant sous-couche souple, telle que la résine connue dans le commerce sous l'appellation RTV-11 Alors il est possible d'empêcher toute rupture des fils d'alu- minium sous l'effet de la contrainte de moulage et toute séparation de la résine et des fils d'aluminium pouvant:: permettre à l'humidité d'atteindre les pastilles élémen- taires Il est également possible d'améliorer la résis- tance à l'humidité. En outre la présente invention peut être appliquée aux boîtiers autres que ceux du type enrobés dans la rési- ne, à savoir des bottiers du type céramique ou du type en verre, de sorte que le coût peut être réduit, moyennant une fiabilité élevée, et ce tout en conservant les carac- téristiques des bottiers respectifs. REVENDICATIONS 1 Dispositif à semiconducteurscaractérisé en ce qu'il comporte un substrat semiconducteur ( 1) dans lequel est formé un élément de circuit et qui contient un plot de liaison ( 28),disposé sur une pellicule isolante ( 5) formée sur la face principale du substrat et qui est constitué par de l'aluminium contenant un additif métal- lique possédant une tendance à l'ionisation, un conduc- teur ( 4) disposé au voisinage du substrat semiconducteur ( 1), un fil de liaison ( 10) constitué en aluminium et dont une extrémité est raccordéeau plot de liaison ( 28), tandis que son autre extrémité est raccordée au conduc- teur ( 4), l'aluminium du fil de liaison ( 10) contenant le même matériau que l'additif métallique de l'aluminium constituant le plot de liaison, et une pellicule d'oxyde d'aluminium ( 12,13) formée à la fois sur la surface du fil de liaison ( 10) et sur la surface du plot de liaison ( 28) , qui est exposée à l'atmosphère extérieure à partir de la partie du plot de liaison ( 28) reliée au fil de liaison ( 10). 2 Dispositif à semiconducteurs selon la reven- dication 1, caractérisé en ce que l'additif métallique du plot de liaison ( 28) est du cuivre. 3 Procédé de fabrication d'un dispositif à se- miconducteurs,caractérisé en ce qu'il comprend la phase opératoire à la fois de préparation d'un substrat semi- conducteur ( 1) dans lequel est formé un élément de cir- cuit et qui comporte plusieurs plots de liaison ( 28) réalisés sur une pellicule isolante ( 6) sur la face prin- cipale du substrat et constitués par de l'aluminium, et plusieurs conducteurs ( 4) disposés de manière à déter- miner au voisinage du substrat semiconducteur ( 1) et à correspondre auxdits plots de liaison ( 28), la phase opératoire de raccordement des plots de liaison ( 28) et des conducteurs correspondants ( 4) au moyen de fils ( 10) réalisés en aluminium, et la phase opératoire de forma- tion de pellicules d'oxydes d'aluminium ( 12,13) sur les surfaces des fils de liaison ( 10) et des plots de liai- son ( 28) par oxydation desdites surfaces, lesdits conduc- teurs ( 4 j étant reliés électriquement de manière qu'ils puissent être maintenus à un potentiel identique. 4 Procédé de fabrication d'un dispositif à se- miconducteurs selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'il comporte en outre la phase opératoire d'enroba- ge dudit substrat semiconducteur ( 1) et d'une partie des- dits conducteurs ( 4) dans une résine ( 31), et la phase opératoire d'élimination des pellicules d'oxyde ( 13) des surfaces desdits conducteurs ( 4). Dispositif à semiconducteurs,caractérisé en ce qu'il comporte une première couche conductrice ( 6) for- mée sur une première pellicule isolante ( 5) disposée sur un substrat semiconducteur ( 1), une seconde pellicule iso- lante ( 7) formée sur la première couche conductrice( 6) et possédant un trou de contact ( 32) exposant à l'atmosphère extérieure une partie de la première couche conductrice ( 6), une seconde couche conductrice ( 81) constituée en aluminium et formée sur la seconde pellicule isolante ( 7) et servant à recouvrir la partie de la première cou- che conductrice ( 6) et qui exposée à l'atmosphère exté- rieure par l'intermédiaire dudit trou de contact ( 32), un fil de liaison ( 10) raccordé à la seconde couche conductrice ( 80,81) de manière à recouvrir le trou de contact ( 32),et une pellicule ( 91) constituée par un oxyde d'aluminium et formée sur la partie de la surface de la seconde couche conductrice ( 81) autre que la par- tie de la surface de cette dernière, à laquelle le fil de liaison ( 10) est raccordé. 6 Dispositif à semiconducteurs selon la revendi- cation 5, caractérisé en ce que le fil de liaison ( 10) est réalisé en aluminium et que sa surface est munie d'un oxyde d'aluminium ( 13). 7 Dispositif à semiconducteurs selon l'une quel- conque des revendications 5 et 6, caractérisé en ce que la première couche conductrice ( 6) est réalisée en alu- minium. 8 Procédé de fabrication d'un dispositif à semiconducteurs, caractérisé en ce qu'il comprend le phase opératoire de formation d'une première couche con- ductrice ( 6) sur une première couche isolante ( 5) au- dessus d'un substrat semiconducteur ( 1), la phase opé- ratoire consistant à former sur la première couche con- ductrice ( 6) une seconde pellicule isolante ( 7) qui pos- sède un trou de contact ( 32) servant à exposer à l'atmo- sphère extérieure une partie de la première couche condu- trice, la phase opératoire de formation d'une seconde couche conductrice ( 80) dans le trou ( 32) et sur la seconde pellicule isolante ( 7), la phase opératoire de raccordement d'un fil de liaison che conductrice ( 80) de manière à recouvrir de trou de contact ( 32) et la phase opératoire de formation d'une pellicule ( 91) d'aluminium sur la partie de la surface de la seconde couche conductrice ( 80) autre que la par- tie de la surface de cette couche, à laquelle est rac- cordé le fil de liaison ( 10). 9 Procédé de fabrication d'un dispositif à se- miconducteur selon la revendication 8, caractérisé en ce que le fil de liaison ( 10) est réalisé en aluminium et qu'on aménage sur sa surface une pellicule d'oxyde d' aluminium ( 13) en même temps qu'est mise en oeuvre la phase opératoire de formation de la pellicule d'oxyde d' aluminium ( 12) sur la seconde couche conductrice ( 7). 10-Dispositif à semiconducteurs, caractérisé en ce qu'il comporte une couche d'aluminium ( 6) formée sur une première pellicule isolante ( 5) disposée sur un substrat semiconducteur ( 1), une pellicule d'oxyde d' aluminium formée à la surface de la couche d'aluminium ( 6), une seconde pellicule isolante ( 7) formée sur ladi- te pellicule d'oxyde d'aluminium, un trou ( 32) formé dans la pellicule d'oxyde d'aluminium et dans la seconde pellicule isolante( 7) de manière à exposer à l'atmosphère extérieure la partie de la couche d'aluminum qui doit être munie d'un plot de liaison ( 28), un fil de liaison ( 10) dont une partie est raccordée à la couche d'aluminium qui est mise à nu à travers ledit trou, une pellicule d'oxyde d'aluminium ( 90) formée sur la partie de la surface de la couche d'aluminium ( 6), qui est mise à nu par l'intermé- diaire dudit trou autour de la partie-reliée du fil de liaison ( 10). 11 Dispositif à semiconducteurs selon la reven- dication 10, caractérisé en ce que le fil de liaison est en aluminum et que sur sa surface est ménagée une pel- licule d'oxyde d'aluminium ( 13). 12 Procédé de fabrication d'un dispositif à se- miconducteurs, caractérisé en ce qu'il comprend la phase opératoire de formation d'une couche de câblage ( 81) et d'un plot de liaison ( 28) qui sont constitués en alu- minium, sur une première pellicule isolante ( 5) au- dessus d'un substrat semiconducteur ( 1), la phase opéra- toire de formation d'une pellicule d'oxyde d'aluminium ( 90,91) sur les surfaces de la couche de câblage ( 81) et du plot de liaison ( 28), qui ne sont pas en contact avec la première pellicule isolante, la phase opératoire consistant à former sur ladite pellicule d'oxyde d'alu- minium ( 90,91) une seconde pellicule isolante ( 12) en vue de recouvrir le substrat semiconducteur ( 1), la phase opératoire d'élimination locale de la pellicule d' -oxyde d'aluminium et de la seconde pellicule isolante ( 12) de manière à exposer à l'atmosphère extérieure une partie de la surface du plot de liaison ( 28), la phase opératoire de fixation d'un fil ( 10) à une surface à nu du plot de liaison ( 28), et la phase opératoire de forma- tion d'une pellicule d'oxyde d'aluminiun ( 13) sur la par- tie de la surface à nu du plot de liaison ( 28), autre que la partie de la surface à laquelle le fil est fixé. 13 Procédé de fabrication d'un dispositif à semi- conducteurs selon la revendication 12, caractérisé-en ce que le fil de liaison ( 10) est constitué en aluminium et qu'on forme à sa surface une pellicule d'oxyde d'aluminium ( 13) en même temps que la mise en oeuvre de la phase opé- ratoire de formation de la pellicule d'oxyde d'aluminium ( 13) sur la partie de la surface à nu du plot de liaison ( 28), autre que la partie de la surface à laquelle le fil de liaison est fixé. 14 Dispositif à semiconducteur selon l'une quel- conque des revendications 1, 5, 6, 7, 10, et 11, caracté- risé en ce que le substrat semiconducteur ( 1) et le fil de liaison ( 10) sont enrobés par une résine ( 31).