Brevet FR2509909A1 — publié le 19830121

"Détecteur d'image à l'état solide L'invention concerne un détecteur d'image à l'état solide utilisant un dispositif de transfert de char- ges et plus précisément un détecteur d'image à l'état so- lide du type à transfert d'interligne perfectionné de ma- nière à améliorer le rendement de transfert de charges dans la partie de transfert de charges verticale. Les détecteurs d'image à l'état solide utili- sant un dispositif de transfert de charges tel qu'un dis- positif à charges couplées (appelé ci-après DCC) se clas- sent d'une façon générale dans la catégorie du type à transfert de trame et dans la catégorie du type à transfert d'interligne, chacune de ces catégories étant utilisée de manière différente pour profiter au maximum de ses ca- ractéristiques et de ses avantages Le détecteur dtimage à l'état solide du type à transfert d'interligne utili- sant le DCC (appelé ci-après détecteur d'image à DCC de transfert d'interligne) comporte une partie de détection et de transfert verticalecomprenant un certain nombre de zones photo-sensibles disposées en rangées horizontales et en colonnes verticales, un certain nombre de parties de transfert verticales constituées par un groupe de DCC et prévues le long de chaque colonne verticale des zones photo-sensibles, et des zones de portes de transfert prévues entre chacune des zones photo-sensibles et les par- ties de transfert de charges verticales correspondantes. 2.- la partie de détection et de transfert comprend également une partie de transfert de charges horizontale formée par un groupe différent de DC O et couplée à la partie de photo-détection et de transfert verticale, ainsi qu'une partie de sortie couplée à la partie de transfert de charges horizontale et munie d'une borne de sortie de signal. Sur les parties de transfert de charges ver- ticales et sur la partie de transfert de charge horizon- tale, sont prévues des électrodes de transfert convenables permettant d'effectuer le transfert des charges dans les parties correspondantes, ces électrodes recevant un si- gnal d'horloge de transfert vertical et un signal d'hor- loge de transfert horizontal La zone photo-détectrice donne un signal de charge en réponse à la lumière reçue et emmagasine le signal de charge produit Ce signal de charge est transféré à la partie de transfert de charges verticale par l'intermédiaire de la zone de porte de trans- fert, et à la partie de transfert de charges horizontale à chaque période correspondant à une période de retour de spot horizontale, grâce à l'opération de transfert de char- ges de la partie de transfert de charges verticale Le signal de charges transféré à la partie de transfert de charges horizontale à chacune des périodes correspondant aux périodes de retour de spot horizontales, est transfé- ré à la partie de sortie au cours d'une période correspon- dant à la période vidéo horizontale, ce qui permet d'ob- tenir un signal de sortie d'extraction d'image à la borne de sortie de signal. Dans les détecteurs d'image à DCC de transfert d'interligne selon l'art antérieur, une différence de poten- tiel indésirable s'introduit inévitablement entre la zone de la partie de transfert de charges verticale qui se trou- ve être contig Ue à la zone-de porte de transfert, et l'au- tre zone de la partie de transfert de charges verticale. 3.- Cette différence de potentiel apparaissant dans la partie de transfert de charges verticale détériore le rendement de transfert de charges dans la partie de transfert de charges verticale et cette détérioration de rendement ne permet pas de miniaturiser la partie de transfert de charges verticale dans le but d'améliorer la sensibilité du détecteur, et ne permet donc pas de miniaturiser l'ensem- ble du détecteur, ce qui constitue une limitation de la conception du détecteur Il en résulte des défauts ou des inconvénients des détecteurs d'image à DCC de transfert d'interligne selon l'art antérieur. L'invention a pour but de pallier ces inconvé- nients en créant un détecteur d'image à l'état solides de type à transfert d'interligne, nouveau et perfectionné, dont la structure permette d'améliorer le rendement de transfert de charges dans la partie de transfert de char- ges verticale. L'invention a également pour but de créer un détecteur d'image à l'état solide perfectionné, dans le- quel on réalise avec la même densité d'impuretés la zone de porte de transfert située entre la zone photo-détectri- ce et la partie de transfert de charges verticale destinée à transférer le signal de charges produit et emmagasiné par la zone photo-détectrice et la zone de blocage de pas- sage située entre la zone photo-détectrice et la partie de transfert de charges verticale. L'invention prévoit également une disposition perfectionnée des électrodes de transfert, permettant de réaliser le transfert des charges dans la zone de porte de transfert et dans la partie de transfert de charges vérticale, de manière à éviter toute différence de poten- tiel indésirable dans la partie de transfert de charges verticale risquant de réduire le rendement de transfert dans cette partie. Pour atteindre les buts ci-dessus, l'invention 4.- concerne un détecteur d'image à l'état solide, caractéri- sé en ce qu'il comprend une partie de détection et de trans- fert verticale L comportant un grand nombre de régions d'é- léments détecteurs, chacune de ces régions contenant une zone photodétectrice destinée à produire et à emmagasiner un signal de charges, une partie de transfert de charges verticale destinée à% transférer verticalement le signal de charges, une zone de porte de transfert destinée à transférer le signal de charges à la partie de transfert de charges verticale à partir de la zone photo-détectrice, et une zone de blocage de passage destinée à entourer la zone photo-détectrice et à former la zone de porte de trans- fert dans une partie de celle-ci; une partie de transfert de charges horizontale située à une extrémité de la partie de détection et de transfert de signal de charges, pour transférer le signal de charges transmis par la partie de détection et de transfert verticale; une première électro- de de transfert située sur une première partie de la par- tie de transfert de charges verticale et sur une partie de la zone de blocage de passage située entre deux zones photo-détectrices adjacentes; et une seconde électrode de transfert prévue sur une seconde partie de la partie de transfert de charges verticale, sur la zone de porte de transfert et sur la partie de zone de blocage de passage, cette seconde électrode de transfert étant placée sur la première électrode de transfert à l'endroit de la partie de zone de blocage de passage ci- dessus, de manière à être isolée de la partie de zone de blocage de passage par la première électrode de transfert. L'invention-sera décrite en détail au moyen des dessins ci-joints dans lesquels: la figure 1 est une vue plane partielle, - agrandie, d'une partie de détecteur d'image à DCC de trans- fert d'interligne selon l'art antérieur, la figure 2 est une vue plane schématique 5.- d'une forme de réalisation d'un détecteur d'image à l'état solide selon l'invention, la figure 3 est une vue plane partielle, agrandie, d'une partie du détecteur d'image à l'état soli- de selon l'invention, les figures 4 A et 4 B sont des illustrations schématiques d'exemples de formes d'onde des signaux dthor- loge de transfert verticaux appliqués à la forme de réali- sation de la figure 3. Pour mieux comprendre l'invention, on décrira tout d'abord sur la figure 1, une partie d'un détecteur d'image à DCC de transfert d'interligne selon l'art anté- rieur, représentant les régions d'éléments détecteurs de cette réalisation selon l'art antérieur Une région d'élé- ments détecteurs comprend une zone photo-détectrice 1, une partie de transfert de charges verticale 2, une zone de porte de transfert 3 et un drain de surcharge 4, tous ces éléments étant formés sur un substrat semi-conducteur com- mun. De plus, une première zone de blocage de pas- sage 5 contig Ue à la zone de porte de transfert 3, une seconde zone de blocage de passage 6 et une troisième zone de blocage de passage 7 allongée dans la direction verti- cale pour former une zone de porte de contr 8 le de surcharge, sont prévues respectivement entre la zone photo-détectrice 1 et la partie de transfert de charge verticale 2, entre chacune des deux zones photodétectrices adjacentes 1 et entre la zone photo-détectrice 1 et le drain de surcharge 4 Une partie 8 est formée à l'endroit o se coupent les seconde et troisième zones de blocage 6 et 7 Une quatrième zone de blocage 9, allongée dans la direction verticale, est également prévue le long du drain de surcharge 4, du côté opposé à la troisième zone de blocage de passage 7. Des électrodes de transfert vertical sont pré- vues sur la partie de transfert de charges verticale Cha- 6.- que électrode de transfert vertical est constituée d'une première électrode de transfert 10 allongée dans la di- rection horizontale de manière à couvrir une zone de la partie de transfert de charges verticale 2 o elle se trouve contig Ue aux premières zones de blocage 5 adjacen- tes et d'une seconde électrode de transfert 11 également allongée dans la direction horizontale pour couvrir une zone de la partie de transfert de charges verticale 2 o elle se trouve contig Ue aux zones de porte de transfert 3 adjacentes. La seconde électrode de transfert 11 peut également fonctionner en électrode de porte de transfert. La première et la seconde électrodes de transfert 10 et 11 se recouvrent l'une l'autre sur la seconde zone de blocage de passage 6 et sur la zone partant de celle-ci dans la direction horizontale Ces première et seconde électrodes de transfert 10 et 11 se placent alternative- ment sur la partie de transfert de charges verticale 2 s'allongeant dans la direction verticale, et un signal d'horloge de transfert vertical convenable est appliqué aux deux électrodes de transfert 10 et 11. Dans le cas o le potentiel de la zone photo- détectrice 1, le potentiel de la partie de transfert de charges 2, le potentiel de la zone de porte de transfert 3, le potentiel de la première zone de blocage de passage 5, le potentiel de la troisième zone de blocage de passage 7 et le potentiel de la partie 8, s'expriment respectivement par V 1, V 2, V 3, V 5, V 7, V 8, les restrictions indiquées ci- après s'imposent sur les relations existant entre ces po- tentiels. Plus précisément, au cours d'une période de réception de lumière dans laquelle la zone photo-détec- trice 1 reçoit la lumière pour produire et emmagasiner le signal de charges, les inégalités ci-après doivent être satisfaites: 7.- 1 Pour drainer les charges superflues dans le drain de surcharge 4 afin de supprimer ainsi le phénomène indé- sirable appelé "épanouissement", il faut que V 1 > V 7, V ( 1)3 2 Pour effectuer le transfert de charges dans la direction verticale de la partie de transfert de charges vertica- le 2, il faut que V 2 > V 3 ( 2) 3 Pour séparer les unes des autres les régions des élé- mente détecteurs, il faut que V 7 ? V 5 et V 7 > V 8 ( 3) Pendant ce temps, dans une période de transfert de porte au cours de laquelle le signal de charges emmaga- siné dans la zone photo-détectrice 1 est transféré à la partie de transfert de charges verticale 2 par la zone de porte de transfert 3, les inégalités ci-après doivent être satisfaites: 4 Pour empêcher le signal de charges de passer dans le drain de surcharge 4, il faut que V 2 > V 3 V 7 ( 4) Pour séparer les unes des autres les régions de forma- tion d'éléments détecteurs, il faut que V 3 > V 5 et V 3 > V 8 ( 5) Si la zone de porte de transferts 3 et la par- tie 8 présentent la même densité d'impuretés, quand une tension de transfert de porte est appliquée à la seconde électrode 11 au cours de la période de transfert de porte, l'inégalité ( 5) ci-dessus n'est pas satisfaite mais le po- tentiel V 3 devient égal au potentiel V 8 et par suite, une partie du signal de charge s'écoule dans le drain de sur- charge 4 par la partie 8 Par suite, la zone de transfert de porte 3 présente, en fait, une densité d'impuretés dif- férente de celle de la partie 8, de sorte que pendant la période de transfert de porte, le potentiel V 3 de la zone de porte de transfert 3 devient plus élevé (plus profond) 8.- que le potentiel V 8 de la partie 8. Dans le cas par exemple o la partie 8 consti- tue une barrière de potentiel faisant partie d'une couche d'impuretés de type P la zohe de porte de transfert 3 constitue une barrière de potentiel faisant partie de la barrière de surface Ainsi, dans le cas o la zone de por- te de transfert 3 présente une densité d'impuretés diffé- rente de celle de la partie 8 et différente également de celle des première et troisième zones de blocage de passa- ge 5 et 7, du fait des restrictions apportées par les inégalités ( 4) et ( 5) ci-dessus, la partie de charges de transfert verticale 2, la zone de porte de transfert 3 et la première zone de blocage de passage 5 présentent des densités d'impuretés différentes les unes des autres Par suite, la ligne de frontière entre la partie de transfert de charges verticale 2 et la première zone de blocage de passage 5 (à à b ou c à d sur la figure 1), ne coïncide pas avec les lignes de frontière entre la partie de trans- fert de charges verticale 2 et la zone de porte de trans- fert 3 (b à c sur la figure 1). Par suite, la différence entre la largeur d'une partie de la portion de transfert de charges verticale 2 limitée par la première zone de blocage de passage 5 (W 1 sur la figure 1) et la largeur d'une autre partie de la portion de transfert de charges verticale 2 limitée par la porte de transfert 3 (W 2 sur la figure 1), prend naissance, de sorte que, du fait de l'effet de passage étroit provo- qué par cette différence de largeur, une différence de potentiel apparait entre la zone de la partie de transfert de charges verticale 2 entourée par la ligne À a' b' - b a de la figure 1, et une autre zone de la partie de transfert de charges verticale 2 entourée par la ligne fer- mée b bt c ce b de la figure 1. Même si l'on fait coïncider la ligne de fron- tière a b ou c d avec la ligne de frontière b c en 9.- utilisant une technique de masque extrêmement précise pour fabriquer le détecteur par diffusion d'impuretés, de façon que la largeur W 1 coincide avec la largeur W 2, une différence de potentiel appara t cependant entre la zone entourée par la ligne fermée a a' bt b a et la zone entourée par la ligne fermée b b' c' c b, du fait de la différence de densité d'impuretés entre la zone de porte de transfert 3 et la première zone de blocage de passage 5. Une telle différence de potentiel indésirable dans la partie de transfert de charges verticale 2 réduit le rendement de transfert de charges de celle-ci et cette perte de rendement est la cause des défauts et inconvé- nients des détecteurs d'image à DCC de transfert d'interli- gne selon l'art antérieur. Par suite, pour éviter ces inconvénients dans le détecteur d'image à l'état solide selon l'invention, on réalise à la fois la zone de porte de transfert et la zone de blocage de passage contig Ue à celle-ci, de façon que la densité d'impuretés soit la m 8 me entre la zone photo-détec- trice et la partie de transfert de charges verticale De plus, la structure de l'électrode de transfert verticale est améliorée de façon que les relations d'inégalités ( 1) à ( 5) soient satisfaites sans apparition de différence de potentiel indésirable dans la partie de transfert de char- ges verticale. On décrira maintenant sur les figures 2 et 3 une forme de réalisation d'un détecteur d'image à l'état solide de type à transfert d'interligne selon l'invention. Comme indiqué sur la figure 2, le détecteur d'image à l'état solide de type à transfert d'interligne selon l'invention, comporte une partie de détection et de transfert verticale L comprenant un certain nombre de zones photo-détectrices 21 disposées en rangées horizontales et en colonnes verticales des parties de transfert de charges 10.- verticales 22 prévues le long de chacune des colonnes verticales de zones photodétectrices 21 et des zones de portes de transfert 23 prévues entre chacune des zones photo-détectrices 21 et les parties correspondan- tes de transfert de charges verticales 22, une partie de transfert de charges horizontale M couplée à la partie de détection et de transfert verticale X et une partie de sortie N couplée à la partie de transfert de charges ho- rizontale M, essentiellement comme dans l'art antérieur. Cependant, le détecteur d'image à l'état solide selon l'invention est caractérisé par la structure et le mode de fonctionnement nouveaux de la partie de détection et de transfert verticale L. La figure 3 représente les régions d'éléments de détection prévues en grand nombre dans la partie de détection et de transfert verticale 1 d'un exemple de réalisation d'un détecteur d'image à l'état solide selon l'invention Chaque région d'éléments de détection contient une zone photo-détectrice 21, une partie de transfert de charges verticale 22, une zone de porte de transfert 23 et un drain de surcharge 24, chacun de ces éléments étant formé sur un substrat semi-conducteur commun La fonction de chacune de ces zones et parties contenues dans la région d'éléments de détection est semblable à celle de l'une cor- respondante de la zone photo-détectrice 1, de la partie de transfert de charges verticale 2, de la zone de porte de transfert 3 et du drain de surcharge 4 de la région d'élé- ments détecteurs de la figure 1. La zone photo-détectrice 21 est entourée par une première zone de blocage de passage 25 formant la zone de porte de transfert 23 dans une partie de celle-ci et se situant entre la zone photo-détectrice 21 et la partie de transfert de charges verticale 22, par une seconde zone de blocage de passage 26 comprise entre deux zones photo- détectrices 1 adjacentes, et par une troisième zone de blo- cage de passage 27 formant une zone de porte de contrôle 1 1 - de surcharge entre la zone photo-détectrice 21 et le drain de surcharge 24. Les première, seconde et troisième zones de blocage 25, 26, 27 comprenant la zone de porte de trans- fert 23, présentent la même densité d'impuretés Par suite, la partie 28 o se coupent les première et seconde zones de blocage de passage 26 et 27 présente également la même densité d'impuretés que la zone de porte de transfert 23 De plus, une quatrième zone de blocage de passage 29 s'allongeant dans la direction verticale, est prévue le long du drain de surcharge 24 du c 8 té opposé à la troi- sième zone de blocage de passage 27. Des électrodes de transfert de charges dans la direction verticale de la partie de transfert de char- ges verticale 22, sont également prévues Chaque électrode de transvert vertica 2 e consiste en une première électrode de transfert 30 allongée dans la direction horizontale pour couvrir une zone de la partie de transfert de charges verticale 22 o elle se trouve contig Ue aux premières zones de blocage de passage 25 adjacentes, et en une seconde électrode de transfert 31 allongée dans la direction hori- zontale pour couvrir une zone de la partie de transfert de charges verticale 22 o elle se trouve contig Ue aux zones de porte de transfert 23 adjacentes La seconde électrode de transfert 31 fonctionne également en électrode de porte de transfert et les première et seconde électrodes de trans- fert 30 et 31 se recouvrent sur la zone de blocage de pas- sage 26 et sur la seconde zone partant de celle-ci dans la direction horizontale. En particulier, sur la seconde zone de blocage de passage 26, la largeur de la première électrode de trans- fert 30 est plus grande que la largeur de la seconde élec- trode de transfert 31 prévue sur la première électrode de transfert 30 de façon que la seconde électrode de trans- fert 31 se place complètement sur la première électrode 30 12.- et soit, par suite, isolée de la seconde zone de blocage de passage 26 et de la partie 28 par la première électrode de transfert 30 Ces première et seconde électrodes de transfert 30 et 31 se placent alternativement sur la par- tie-de transfert de charges verticale 22 allongée dans la direction verticale, un signal d'horloge de transfert ver- tical convenable étant appliqué à ces deux électrodes 30 et 31 De plus, une électrode de porte de contrôle de sur- charge recevant une tension de polarisation convenable, est prévue sur la troisième zone de blocage de passage 27. De la même manière ici que dans le cas du dé- tecteur d'image à DCC de transfert d'interligne de la fi- gure 1, lorsque le potentiel de la zone photo-détectrice 21, le potentiel de la partie de transfert de charges ver- ticale 22, le potentiel de la première zone de blocage de passage 25, le potentiel de la troisième zone de blocage de passage 27 et le potentiel de la partie 28, s'expriment respectivement par y 21, 22 V^ 23# V 259 V 27 et V 28, les mômes restrictions que ci-dessus s'imposent aux relations entre ces potentiels. Plus précisément, pendant une période de récep- tion de lumière au cours de laquelle la zoné photo-détectri- ce 21 reçoit la lumière pour produire et emmagasiner un si- gnal de charges, les inégalités suivantes doivent être sa- tisfaites s V 21 V 227 > V 23 ( 1) V 22 V v 23 ( 2 ') V 27 > V 25 et V 27 > V 28 ( 3 ') Pendant ce temps, au cours de la période de transfert de porte dans laquelle le signal de charges em- magasiné dans la zone photo-détectrice 21 est transféré à la partie de transfert de charges verticale 22 par la zone de porte de transfert 23, on a: V 22 > V 23 > V 27 ( 4 ') 13.- V 23 ' V 25 et V 23 > V 28 ( 5 ') Dans la forme de réalisation de la figure 3, comme la secohde électrode de transfert 31 est masquée de la seconde zone de blocage de passage 26 et de la partie 28 par la première électrode de transfert 30, le champ électrique produit par la tension appliquée à la seconde électrode de transfert 31, n'affecte pas ou n'affecte que très peu la seconde zone de blocage de passage 26 et la partie 28 Par suite, bien que la zone de porte de trans- fert 23 et la partie 28 présentent la même densité d'impu- retés, lorsqu'une tension de transfert de porte est appli- quée à la seconde électrode 31 au cours de la période de transfert de porte, le potentiel de la zone de porte de transfert 23 et le potentiel de la partie 28 peuvent se déterminer indépendamment de manière à satisfaire les re- lations entre les potentiels V 21,9 V 23, V 25, V 27 et V 28 exprimées par les inégalités ( 1 ') à ( 5 ') ci-dessus. Dans ce cas cependant, il faut que les premiè- re et seconde électrodes de transfert 30 et 31 soient ali- mentées par des tensions différentes pendant la période de transfert de porte Alors qu'il n'y a pas de problème lorsque le signal d'horloge de transfert vertical est à 4 phases, il faut au contraire, lorsque ce signal est à 2 phases, appliquer un signal d'horloge de transfert verti- cal commun à la première et à la seconde électrodes de transfert 30 et 31 pendant la période de transfert verti- cale au cours de laquelle le signal de charges transféré à la partie de transfert de charges verticale 22 est trane- mis à la partie de transfert de charges horizontale M, et. appliquer des signaux d'horloge de transfert verticaux dif- férents aux première et seconde électrodes de transfert et 31 pendant la période de transfert de porte. Les figures 4 A et 4 B représentent deux exemples de signaux d'horloge de transfert verticaux appliqués au détecteur d'image à l'état solide selon l'invention, pré- 14.- sentant les régions d'éléments de détection représentés sur la figure 3 La figure 4 A représente un exemple de signal d'horloge de transfert vertical à 4 phases Ce si- * gnal à 4 phases comprend quatre signaux d'horloge 1 ' 02 ' 03 et 04 appliqués respectivement à chacune des deux pai- res contig Ues des première et seconde électrodes 30 et 31. Ces signaux 01, 02 033 04 contiennent un certain nombre d'impulsions d'horlogelt 1 2 '13 ' 2 3 ' 4 apparaissant cha- cune avec une phase différente à chaque période de balaya- ge de ligne. De plus, le signal d'horloge 01 fournit une tension de transfert de porte Vr au cours de la période de transfert de porte tr de chaque période Pl correspondant à un balayage de trame impair, et le signal d'horloge 03 fournit une tension de transfert de porte Vr à chaque pé- riode P 2 correspondant à un balayage de trame pair. la figure 4 B représente un exemple de signal d'horloge de transfert vertical à 2 phases Ce signal à 2 phases comprend un signal d'horloge O '1 composé d'une paire de signaux O '11 et O '12 ' et un signal d'horloge O '2 composé d'une paire de signaux O '21 et O '22 ' Les signaux 0 '11 ' O '12 ' O '21 et O '22 sont appliqués respectivement à chacune des deux paires contig Ues de première et seconde électrodes de transfert 30 et 31. Les deux signaux O '1 et O '12 contiennent plusieurs impulsions d'horloge '1 apparaissant à chaque période correspondant à un balayage de ligne, et les deux signaux '21 et O '22 contiennent plusieurs impulsions d'hor- loge jt'2, de phase opposée à celle des impulsions % 1 apparaissant à chaque période correspondant à un balayage de ligne Le signal A'11 fournit la tension Vr de trans- fert de porte au cours de la période tr de chaque période Pl correspondant à un balayage de trame impair, et le si- gnal O '21 fournit la tension Vr de transfert de porte au cours de la période tr de chaque période P 2 correspondant 15.- à un balayage de trame pair. Lorsqu'on applique un signal d'horloge à 4 phases comprenant les quatre signaux d'horloge 01, 029 030 04, ou le signal d'horloge à 2 phases comprenant les deux signaux O 1 et 0 '29 aux première et seconde électrodes de transfert 3 Oet 31 formant l'électrode de transfert verticale, comme décrit ci-dessus, les première et seconde électrodes de transfert des régions d'éléments détecteurs o le trans- fert de charges doit être effectué par la zone de trans- fert de porte 23, reçoivent respectivement des tensions différentes aucours de la période de transfert de porte, de sorte que le signal de charge emmagasiné dans la zone photo-détectrice 21 se trouve transféré à la partie de transfert de charges 22 par la zone de porte de transfert 23 Le signal de charges de la partie de transfert de char- ges verticale 22 se trouve alors transféré à la partie de transfert de charges horizontale M. Comme cela apparait dans la description ci-des- sus de l'exemple de détecteur d'image à 1 ' état solide de type à transfert d'interligne selon l'invention, étant donné que la zone de transfert de porte et la zone de blo- cage de passage voisine de la zone de porte de transfert située entre la zone photo-détectrice et la partie de transfert de charges verticale, présentent toutes deux la même densité d'impuretés, il n'existe pas de différence de largeur entre la partie voisine de la zone de porte de transfert et l'autre partie voisine de la zone de blocage de passage, dans la partie de transfert de charges verti- cale; par suite aucune différence de potentiel indésirable ne prend naissance entre ces parties pendant la période de transfert de charges de la partie de transfert de char- ges verticale Il en résulte une amélioration considérable du rendement de transfert de charges dans la partie de transfert de charges verticale, ce qui permet de réduire la largeur de cette partie de transfert de charges verti- 16.- cale et de réaliser facilement, selon l'invention, un dé- tecteur d'image à l'état solide miniaturisé et sensible. On peut, en outre, améliorer la résolution d'analyse d'image du détecteur selon l'invention, en aug- mentant le nombre des régions d'éléments détecteurs. 17.- R E V E N D I C A T I O N Détecteur d'image à l'état solide, caractérisé en ce qu'il comprend une partie de détection et de trans- fert verticale (X) comportant un grand nombre de régions d'éléments détecteurs, chacune de ces régions contenant une zone photo-détectrice ( 21) destinée à produire et à emmagasiner un signal de charges, une partie de transfert de charges verticale ( 22) destinée à transférer verticale- ment le signal de charges, une zone de porte de transfert ( 23) destinée à transférer le signal de charges à la par- tie de transfert de charges verticale (X) à partir de la zone photodétectrice, et une zone de blocage de passage ( 25) destinée à entourer la zone photo-détectrice ( 21) et à former la zone de porte de transfert ( 23) dans une partie de celle-ci; une partie de transfert de charges ho- rizontale (M) située à une extrémité de la partie de dé- tection et de transfert de signal de charges (L), pour transférer le signal de charges transmis par la partie de détection et de transfert verticale (L); une première élec- trode de transfert ( 30) située sur une première partie de- la partie de transfert de charges verticale ( 22) et sur une partie de la zone de blocage de passage ( 25) située entre deux zones photo-détectrices adjacentes; et une se- conde électrode de transfert ( 31) prévue sur une S 3 conde partie de la partie de transfert de charges verticale (L)q sur la zone de porte de transfert ( 23) et sur la partie de zone de blocage de passage ( 25), cette seconde électro- de de transfert ( 31) étant placée sur la première électro- de de transfert ( 30) à l'endroit de la partie de zone de blocage de passage 25 ci-dessus, de manière à être isolée de la partie de zone de blocage de passage par la première électrode de transfert.