Brevet FR2508734A1 — publié le 19821231

De nombreuses industries utilisent des décharges luminescentes rn atmosphère raréfiée. C'est le cas de l'industrie des traitements de surface qui voit la palette des techniques utilisables s'enrichir de procédés tels que la pulvérisation cathodique magnétron ou le dépôt ionique qui , jusque 1à , n'avaient pas qui t- té le stade des essais de laboratoire . Or , si l'on sait bien dons de nombreux cas , mettre en oeuvre des décharges électriques sous atmosphère raréfiée , il n'en est pas de mne avec les deux techniques mentionnées plus haut , pour lesquelles le matériel de mise en oeuvre habituellement utilisé ne répond que très imparfaitement aux besoins. En effet , lorsqu'on établit , dans une atmosphère raré- fiée une tension de valeur suffisante entre deux électrodes , il se produit une ionisation partielle du gaz résiduel , rendant celui-ci conducteur , ce qui se traduit par le passage d'un courant électrique.Si l'onfait varier la tension V appliquée entre ces électrodes en mesurant l'intensité I du courant correspondant , on obtient la courbe " tension-intensite " représentée ci-joint sur la figure 1 , et dans laquelle on distingue successivement quatre portions très caractéristiques - une portion correspondant à une transition - une portion correspondant la " décharge normale " dans laquelle la tension reste constante , le rapport V/I étant indéterminé entre deux valeurs extremes - une portion correspondant a',Ia 1 décharge anormale " dans laquelle tension et intensité croissent de façon concomitante - enfin une portion correspondant å l'établissement du 'régime d' arc" : l'atmovsphère , fortement ionisée , devient conductrice ; il y a passage d'un courant intense sous faible tension. Lorsqu'on fait de la Pulvérisation Cathodique Magnétron ou du Dépot Ionique , on travaille généralement dans le domaine de " décharge anormale " Pour une raison généralement extérieure à l'alimentation électrique ( par exemple poussières sur l'électrode , points chauds , arêtes vives , oxydes peu conducteurs) , le régime de cette décharge anormale est fréquemment difficile à stahliser et l'on observe une tendance à établir un " régime d'arc" ; ce sont les amor çages , particulièrement gênants pour la qualité des dépôts mis en oeuvre par ces techniques. Dans l'état actuel de la technologie ,la décharge est génB- rée et entretenue par un système d'alimentation de courant qui comprend deux sous-ensembles fondamentaux - l'un délivre l'intensité requise : c'est le " circuit de puissance " dans lequel est incluse en particulier la régulation de l'intensité ou de la tension - l'autre permet de contrôler cette régulation : c'est le " eircuit" de commande Le circuit de puissance a pour fonction de fournir , à partir du courant du setteur , un courant généralement continu , intensité ou Je tenson régulée et ajustable à une valeur fixée à l'avance - pour les cas d'amorçages ou de court-circuit , le circuit de puis 6once est généralemertdoté d'une self dite " self de choc" dont le role , par le jeu des courants qui y sont induits , est d'é créter le pic d'intpnsité correspondant à cette anomalie de fonc tionnement - pour les cas oU le court-circuit se prolonge , un relais ouvre a lors le circuit de commande , ce qui a pour effet de couper le cir cuit de puissance. Pour la régulation du circuit de puissance , deux olu- tions classiques sont utilisées à l'heure actuelle - soit la régulation par thyristors - soit la régulation dite " par self saturable". Dans tous les cas , ce circuit de puissance comporte un ou plusieurs transformateurs destinés à débiter le courant de travail de caractéristiques voulues à partir d'une alimentation secteur. Par le fait que , dans le cas général , le circuit comporte au moins un transformateur , le circuit de puissance comporte des bobinages introduisant une inertie importante au moment de l'ouverture du circuit , de sorte que lorsqu'un amorçage dbclenche la relais ou vrant le circuit de commande , le courant continue quand même à circuler dans le circuit de puissance pensant quelques millisecondes .Et cette durée est suffisante pour entraîner parfois des détériorations irréversibles dans le matériel , particulièrement au niveau des diodes de redressement , qui doivent donc être fortement surdimensionnées ce qui est relativemrnt facile à réaliser pour des alimentations de faible puissance , mais devient plusdélicat pour les alimentations de puissance élevée . L'utilisatio d'une " self de choc " placée en série dans le circuit résoud partiellement le problème mais dès que la puissance délivrée est élevé. , cette self de choc est telle que ses dimensions et son poids deviennent rapidement très élevés ce qui est un inconvénient pour l'utilisateur. Le but de la présente invention est d'établir la décharge luminescente de forte puissance à l'aide d'un système que 1' onappellera par la suite l'Invention , composé obligatoirement et de façon indissociable - d'une alimentation électrique stabilisée A - d'un interrupteur électronique E - d'une résistance R, assemblés conformément au schéma de la figure 2 . Le circuit électrique qui relie l'alimentation aux pièces à polariser se scinde en deux branches I et II parallèles , l'une constituée de la résistance R , l'autre de l'interrupteur E. Par aillevrs , l'ouverture et la fermeture de cet interrupteur sont commandées par un système électronique asservi à la mesure de l'intensité du courant délivré par l'alimentation A. Conformément à l'invention , et pour préciser celle-ci: - l'alimentation utilisée ne comporte pas de " self de choc n qui devient inutile - l'Invettion s'applique aussi bien à l'utilisation d'alimentations délivrant un courant d'intensité régulée ou de tension régulée ; ce courant peut re continu ou ondulé - l'interrupteur E utilisé a un temps de réponse très bref , dans tous les cas inférieur à une milliseconde - la résistance R est calculée de telle sorte que l'impédance de la branche de circuit qu'elle constitue soit voisine de celle de la branche de circuit constituée par la décharge électrique; et dans le cas où le courant fourni par l'alimentation est modulé , cette impédance doit être d'origine résistive pour au moins 80 % de sa valeur. Le fonctionnement de l'Invention est le suivant - en service normal , c'est-à-dire lorsqu'on est dans le domaine de la n décharge anonmole" , l'interrupteur E est penné . La résistance de la branche I est infiniment plus grande que celle de la branche II qui reçoit donc la totalite du courant électrique. - en cas d'amorçage , c'est-b-dire de passage brutal dans le"régime d'arc" , il y a un accroissement subit de l'intensité du courant: lorsque celle-ci dépasse une valeur de consigne fixée à l'avance, l'interrupteur E s'ouvre et , la branche II du circuit étant ouverte , la résistance R est alors en série avec l'alimentation etli- mite la croissance de l'intensité débitée par celle-ci . L'utilisation, d'un interrupteur à transistors permet de ne pas dépasser une durée de quelques microsecondes entre le début de l'amorçage de l'arc et l'ouverture du circuit. De préférence , on choisit pour la résistance R ,une valeur telle que l'impédance de la bronche de circuit qu'elle représente soit égale à l'impédance de la branche de circuit D constitube par la décharge électrique en régime de " décharge anormale" Les avantages d'un te7 système sont nombreux . En particulier , la disposition revendiquée pour les trois composants permet une élimination totale des arcs , d'ob une sécurité absolue d'une part sur les composants de l'alimentation , d'autre part sur la qualité des revêtements réalisés , enfin sur les pièces à tramer elles-mêmes , et ceci sans augmentotion notable de poids et de l'encombrement de l'alimentation. Cette élimination des arcs se traduit par une meilleure régulation du courant fourni par le circuit de puissance . Par ailleurs , les composants de l'invention peuvent être trouvés faci liement dans le commerce , même pour des puissances élevées , et en particulier , l'Invention peut s'adapter à toutes les alimentations classiques dont le fonctionnement et la fiabilité se trouvent alors considérablement améliorés. Les exemples suivants , non limitatifs , permettent d' illustrer l'Invention et ses avantages Exemple 1 Pour réaliser certains dépôts de titane sur une pièce en acier par Pulvérisation Oathodique Rapide ( système Magnétron ) , on a utilisé une alimentation stabilisée de courant continu délivrant une intensité de 50 ampères sous une tension de quelques centaines de volts ; l'intensité du courant était régulée à 2 % près par un système à self saturable,et l'intensité maximale que pouvaient supporter les composants était de 100 ampères. Cette alimentation était associée à une cible en titane pur et lorsque la décharge était stable , l'impadance du circuit qu'elle constituait était de 7 ohms .Chaque fois que la cible était neuve, on constatait qu'il était très difficile d'établir une décharge électrique qui restat stable .En particulier, on observait la formation incessante d'arcs électriques dont l'inten sité mesurée à l'oscilloscope pouvait déjà atteindre 100 ampères en ctnq millisecondes tandis que la coupurezéelle du courant n'avait lieu que neuf millisecondes après l'amorçage de l'arc , comme le montre la courbe de la figure 3 .Ces surintensités étaient à l'ori gine de fréquentes perturbations dans le fonctionnement de l'alimen tation et en particulier de la destruction des diodes de redressement car la valeur maximale de 100 ampères était fréquemment dépassée pendant de courts instants et ceci tant que la cible n'avait pas at teint un état de surface adéquat . Selon l'Invention , on a ensuite utilisé l'interrupteur électronique dont le schéma est représenté figure 4 et on l'a associé avec lElimentatibn décrite ci-dessus et une résistance de 6 ohms conformément au schéma de branchement de la figure 2 ; on a alors constaté que lors des amorçages d'arcs , le courant passait de 50 à 51 ampères , puis se stabilisait et ceci trois microsecondes après établissement de l'arc .Dès que les arcs étaient coupés , une temporisation permettait de mettre la résis tance hors série en fermant l'interrupteur. Exemple 2 Dans une machine de dépôt utilisant la technique du Dé pôt Ionique , on doit polariser les pièces à traiter sous une tension de 1100 volts dans un vide de 10-1 mbar , en atmosphère d'argon , ce qui correspond a' une intensité de 2,3 ampères .Dans la version clas sique , on utilisait pour cela une alimentotion stabilisée donnant une tension régulée par un système à thyristors et réglable entre O et 5000 volts . Cette alimentation pouvait fournir un courant d'inten sité maximale égale à 10 ampères Pour effectuer ce dépôt , il était nécessaire d'établir la décharge avant de commencer l'évaporation , de façon a' réaliser un décapage ionique des pièces à traiter .Powr ce faire , on consta tait qu'il était impossible d'appliquer directement les 1100 volts ranis amorçages importants . L'intensité mesurée à L'oscilloscope pen dant l'amorçage de l'arc pouvait dépasser 50 ampères , dix millise condes après le début de l'amorçage .Outre des conséquences désas treuses sur l'alimentation - elle-même ,ces amorçages entraSnaient une dégradation de l'état de surface des pièces à traiter , de telle sorte que l'on était obligé de faire une mottée en tension très lente entre O et 3000 volts , ce qui imposait une perte de temps importante sans dliminer les risques. Enfin , lorsque la décharge était stable , l'impédance de la portion de circuit qu'elle constituait était de 480 ohms. Si maintenant , et conformement à l'Invention , on réalise un interrupteur électronique tel que celui représenté sur le schéma électrique de la figure 4 et qu'on l'associe à une résistance de 500 ohms et à l'alimentation stabilisée décrite ci-dessus, on constate que l'opérateur peut , dès le début des opérations afficher la tension de 1100 volts qui sera délivrée par l'alimentation . Si on mesure les variations de l'intensité du courant à l'aide d'un oscilloscope , on s'apervoit que lorsqu'un arc s 'amor- ce , le courant posse de 2,3 à 2,45 ampères et ceci en 12 millisecondes , laps de temps à partir duquel la résistance est introduite en série dans le circuit et le courant reste constant à sa valeur de 2,45 ampères ; les pièces ainsi traitées conservent leur état initial et en particulier , on n'observe aucune formation de crtères, REVENDICATIONS 1 - Dispositif d'alimentation électrique de sûreté pour décharge luminescente , caractérieé en ce qu'il résulte de l'assemblage des trois sous-ensembles suivants - une alimentation de puissance A - un interrupteur E à réponse rapide ; - une résistance R, assemblés de telle sorte que l'interrupteur E soit en mesure de mettre à volonté la résistance R en série avec l'alimentation A , ou de l'en ôter , partir de la lecture de l'intensité du courant délivré par ladite alimentation A 2 - Dispositif d'alimentation électrique de sûre8 pour décharge luminescente suivant la revendication 1 , caractérisé en ce que l'interrupteur E a un temps de réponse inférieur à une milliseconde. 3 - Dispositif d'alimentation électrique de sOreté pour décharge luminescente suivant les revendications 1 et 2 , caractérisé en ce que l'interrupteur E est constitué par un système électronique à transistors. 4 - Dispositif d'alimentation électrique de sûreté pour décharge lunminescente suivant les revendications 1 , 2 et 3 , caractérisé en ce que l'interrupteur électronique E a un temps de rEpon- se inférieur à 15 microsecondes. 5 - Dispositif d'alimentation électrique de sûreté pour décharge luminescente suivant lwune quelconque des revendications précédentes , caractérisé en ce que le courant délivré par l'aZimen- tation A est un courant continu. 6 - Dispositif d'alimentation électrique de sûreté pour décharge luminescente suivant l'une quelconque des revendications 1 à 4 , caractérisé en ce que le courant délivré par l'alimentation A esy un courant modulé. 7 - Dispositif d'alimentation électrique pour décharge luminescente suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la résistance R est calculée de façon telle que l'impédance de la branche de circuit qu'elle représente est égale à l'impédance de la branche de circuit D constituée par la décharge électrique en régime de " décharge anormale. 8 - Dispositif d'alimentation électrique pour décharge luminescente suivant l'une quelconque des revendications i à 7 , ractérisé en ce que l'impédance de la branche de circuit constituée par la résistance R est d'origine résistive pâur au moins 80 % de sa valeur.