Brevet FR2493019A1 — publié le 19820430

"Support d'enregistrement avec un enregistrement à grande densité d'informations, en particulier avec une photographie micrographique multicolore." La présente invention se rapporte à un support d'enre- gistrement avec un enregistrement à grande densité d'infor- mations, en particulier avec une photographie micrographique multicolore, support qui est formé par un support de couches comportant au moins deux filtres d'interférence appliqués dessus pour deux zones de longueurs d'ondes différentes de la lumière visible, chaque filtre d'interférence étant constitué par une couche d'interférence non structurée qui est réalisée en un matériau inorganique non absorbant dans la zone des longueurs d'ondes visibles et qui, de chaque côté, est limitée par une couche réfléchissante en un maté- riau inorganique. L'invention vise en outre un support d'enregistrement avec un enregistrement à grande densité d'informations, en particulier avec une photographie micrographique multicolore, support qui est formé par un support de couches comportant au moins deux filtres d'interférence appliqués dessus pour deux zones de longueurs d'ondes différentes de la lumière visible, chaque filtre d'interférence étant constitué par une couche d'interférence non structurée qui est réalisée en un matériau inorganique non absorbant dans la zone des longueurs d'ondes visibles et qui de chaque côté est limi- tée respectivement par au moins une couche réfléchissante à haut pouvoir de diffraction en un matériau inorganique non absorbant dans la zone des longueurs d'ondes visibles et dans lequel, en cas de plus d'une couche réfléchissante à haut pouvoir de diffractionune couche réfléchissante non structurée et à faible pouvoir de diffraction en un matériau inorganique non absorbant dans la zone des longueurs d'ondes visibles se trouve de chaque côté de la couche d'interfé- rence entre à chaque fois deux couches réfléchissantes à haut pouvoir de diffraction. Un tel support d'enregistrement peut par exemple être utilisé pour le stockage de documents, de dessins et en par- ticulier de cartes géographiques multicolores, sur un très petit espace. La demande de brevet allemand 26 58 623 décrit un sup- port d'enregistrement avec un enregistrement à grande densité d'informations dans lequel l'enregistrement multicolore est formé par au moins deux filtres d'interférence pour deux zones de longueurs d'ondes différentes de la lumière visi- ble, chaque filtre d'interférence étant constitué par une couche d'interférence non structurée en un matériau inorga- nique non absorbant dans la zone des longueurs d'ondes visi- bles et qui, de chaque côté, est limitée respectivement par une couche réfléchissante en un matériau inorganique for- mant la structure de l'enregistrement. La structuration d'un filtre d'interférence avec une teinte qui est donnée par l'épaisseur de la couche d'inter- férence non structurée est provoquée par les deux couches réfléchissantes structurée- dont les épaisseurs ou les pou- voirs de réflexion déterminent la saturation de cette teinte. Lors de la réalisation d'un tel enregistrement et en parti- culier pour la production de très fines structures, il peut toutefois se produire des difficultés dans l'ajustement précis des marques d'exposition pour la structuration des couches réfléchissantes des deux cotés de la couche d'inter- férence, si bien que l'information correspondante peut être faussée ou perdue. La présente invention a par conséquent pour objet de réaliser un procédé pour éviter de tels problèmes d'ajuste- ment lors de la réalisation d'enregistrements du type pré- cité. Ce résultat est atteint selon l'invention par le fait que seule l'une des couches réfléchissantes d'un côté de la couche d'interférence forme la structure del'enregistrement. Dans un autre mode de réalisation selon l'invention, seule une couche réfléchissante à haut pouvoir de diffrac- tion d'un côté de la couche d'interférence forme la structu- re de l'enregistrement. Les avantages obtenus par l'invention résident en par- ticulier dans le fait que grâce à la seule structuration selon l'invention d'une couche réfléchissante ou de la couche réfléchissante à haut pouvoir de diffraction sur seulement un côté de la couche d'interférence intéressée d'autres structurations par ajustements précis, de masques d'exposi- tion correspondants ne sont plus nécessaires pour la couche réfléchissante opposée ou pour au moins l'une des couches réfléchissantes à haut pouvoir de diffraction opposées. En plus d'un gain de temps considérable, cela permet un enre- gistrement de haute précision sans falsification ou perte d'informations. L'invention sera mieux comprise à l'aide de la descrip- tion de modes de réalisation pris comme exemples, mais non limitatifs, et illustrés par le dessin annexé, sur lequel - la figure 1 représente un premier mode de réalisation d'un support d'enregistrement avec un enregistrement trico- lore selon l'invention; - la figure 2 représente un autre exemple de réalisation d'un support d'enregistrement avec un enregistrement unico- lore. Selon la figure 1, sur un support de couches transparent 1 (par exemple en verre ou en verre quartzeux), on applique sur toute la surface une couche réfléchissante 2 non struc- turée en un matériau inorganique (par exemple en argent) et par dessus une première couche d'interférence non structurée 3 en un matériau inorganique non réfléchissant dans la zone des longueurs d'ondes visibles (par exemple en MgF2, SiO2, ThF, SiO, Ta205). Sur la couche d'interférence 3 se trouve une première couche réfléchissante structurée 4 qui est ob- tenue au moyen de la microphotolithographie connue avec emploi d'un masque d'exposition. Le filtre d'interférence avec la première teinte (par exemple "bleue"), qui est dé- terminée par l'épaisseur de la couche d'interférence non structurée 3 est structurée dans la zone de la flèche 9 par la couche réfléchissante 4. Les épaisseurs ou le pouvoir de réflexion de la couche réfléchissante structurée 4 et de la couche réfléchissante non structurée opposée 2 dans la zone de la flèche 9 déterminent la saturation de la première teinte. Pour la production d'une deuxième teinte (par exemple "verte") dans la zone de la flèche 10, une deuxième couche d'interférence non structurée 5 et par dessus celle-ci une deuxième couche réfléchissante structurée 6 se trouvent sur la couche d'interférence 3 et la couche réfléchissante 4. Le filtre d'interférence avec la deuxième teinte, qui est déterminé par l'épaisseur des couches d'interférence non structurées 3 et 5, est structuré par la couche réfléchis- sante 6 dans la zone de la flèche 10. Les épaisseurs ou îo le pouvoir de réflexion de la couche réfléchissante struc- turée 6 et de la couche réfléchissante non structurée opposée 2 dans la zone de la flèche 10 déterminent la saturation de la deuxième teinte. Sur la couche d'interférence 5 et sur la couche réflé- chissante 6 se trouvent une troisième couche d'interférence non structurée 7 et, par dessus cette dernière, une troi- sième couche réfléchissante structurée 8 pour produire une troisième teinte (par exemple "rouge") qui est déterminée par l'épaisseur des couches d'interférence non structurées 3, 5 et 7. Le filtre d'interférence avec cette troisième teinte est structurée par la couche réfléchissante 8 dans la zone de la-flèche 11. Les épaisseurs ou le pouvoir de réflexion de la couche réfléchissante structurée 8 et de la couche réfléchissante non structurée opposée 2 dans la zone de la flèche 11 déterminent la saturation de la troisième teinte. La couche réfléchissante non structurée peut se trouver à un endroit quelconque dans la structure de-la couche. Sur la figure 2, la deuxième teinte selon la figure 1 peut également être obtenue par exemple par un autre mode de réalisation du support d'enregistrement. Sur un support transparent 13, on superpose les unes audessus des autres une couche réfléchissante non structurée 14 à haut pouvoir de diffraction 4, une couche réfléchissante non structurée 15 à faible pouvoir de diffraction, une autre couche réflé- chissante non structurée 14 à haut pouvoir de diffraction, une couche d'interférence non structurée 16, une couche réfléchissante structurée 17' à haut pouvoir de diffraction, une couche réfléchissante non structurée 18 à faible pouvoir de diffraction et une couche réfléchissante non structurée 17 à haut pouvoir de diffraction. Le filtre d'interférence avec la deuxième teinte (par exemple "verte"), qui est déterminée dans la zone de la flèche 19 par l'épaisseur de la couche d'interférence non structurée 16, est structurée par la couche réfléchissante 17' à haut pouvoir de diffraction. Les épaisseurs ou le pou- voir de réflexion de la couche réfléchissante structurée 17' à haut pouvoir de diffraction et des couches réfléchissantes non structurées 14, 17 à haut pouvoir de diffraction ainsi que des couches réfléchissantes non structurées 15, 18 à faible pouvoir de diffraction, dans la zone de la flèche 19 déterminent la saturation de la deuxième teinte. Dans le support d'enregistrement selon la figure 2, de chaque côté de la couche d'interférence 16 est disposée de façon non représentée au moins une couche réfléchissante à haut pouvoir de diffraction en un matériau inorganique non absorbant dans la zone des longueurs d'ondes visibles, et en cas de plus d'une couche réfléchissante à haut pouvoir de diffraction, de chaque côté de la couche d'interférence entre à chaque fois deux couches réfléchissante à haut pouvoir de diffraction se trouve une couche réfléchissante non structurée à faible pouvoir de diffraction en un maté- riau inorganique non absorbant dans la zone des longueurs d'ondes visibles. Sur les couches réfléchissantes à haut pouvoir de diffraction des deux côtés de la couche d'inter- férence seule une couche réfléchissante à haut pouvoir de diffraction est structurée seulement sur un côté de la cou- che d'interférence et détermine ainsi la structure de la teinte en question, tandis que les autres couches réflé- chissantes à haut pouvoir de diffraction restent non struc- turées de sorte qu'il n'y a plus aucun problème d'ajuste- ment. Comme support pour les couches, on peut aussi utiliser un support non transparent avec surface réfléchissante. Par suite de la caractéristique de transmission de la couche réfléchissante 2 non structurée de la figure 1 ou des couches réfléchissantes non structurées 14, 17 à haut pouvoir de diffraction et des couches réfléchissantes non structurées 15, 18 à faible pouvoir de diffraction de la figure 2, la transmission se modifie certes dans les surfa- ces blanches dans les zones des flèches 12, 20, mais il s'est avéré que le contraste des différentes teintes s'en trouve augmenté. R E V E N D I C A T I 0 N S 1.- Support d'enregistrement avec un enregistrement à grande densité d'informations, en particulier avec une pho- tographie micrographique multicolore, support qui est for- mé par un support de couches comportant au moins deux filtres d'interférence appliqués dessus pour deux zones de longueurs d'ondes différentes de la lumière visible, chaque filtre d'interférence étant constitué par une couche-d'interférence non structurée qui est réalisée en un matériau inorganique non absorbant dans la zone des longueurs d'ondes visibles et qui, de chaque côté, est limitée par une couche réfléchis- sante en un matériau inorganique, caractérisé par le fait que seule l'une des couches réfléchissantes (4, 6, 8) d'un côté de la couche d'interférence (3, 5, 7) forme la structu- re de l'enregistrement. 2.- Support d'enregistrement avec un enregistrement à grande densité d'informations, en particulier avec une photographie micrographique multicolore, support qui est for- mé par un support de couches comportant au moins deux fil- tres d'interférence appliqués dessus pour deux zones de longueurs d'ondes différentes de la lumière visible, chaque filtre d'interférence étant constitué par une couche d'inter- férence non structurée qui est réalisée en un matériau inor- ganique non absorbant dans la zone des longueurs d'ondes visibles et qui de chaque côté est limité respectivement par au moins une couche réfléchissante à haut pouvoir de diffraction en un matériau inorganique non absorbant dans la zone des longueurs d'ondes visibles, et qu'en cas de plus d'une couche réfléchissante à haut pouvoir de diffraction, de chaque côté de la couche d'interférence entre respecti- vement deux couches réfléchissantes à haut pouvoir de dif- fraction, se trouve une couche réfléchissante non structurée à faible pouvoir de diffraction en un matériau inorganique non absorbant dans la zone des longueurs d'ondes visibles, caractérisé par le fait que seule une couche réfléchissante à haut pouvoir de diffraction (17') d'un côté de la couche d'interférence (16) forme la structure de l'enregistrement.