Brevet FR2487696A1 — publié le 19820205

Appareil de traitement continu sous vide La présente invention concerne un appareil de traitement continu sous vide, destiné à effectuer un traitement continu au plasma sous vide de différentes matières plastiques, par exemple des pellicules de ma- tière plastique, des feuilles de matière plastique et des fils électriques revêtus de matière plastique. Un dispositif de traitement du type par lots est déjà connu comportant une chambre de traitement sous vide dans laquelle un.article souple tel qu'une pellicule de matière plastique est traité, pour amélio- rer ses propriétés de surface. Il existe également un système de traitement du type air-air pour la vaporisation sous vide ou le placage ionique d'une matière dure, telle qu'une bande métallique, un fil métallique ou similaire, dans le- quel la matière dure est introduite de puis le côté de l'atmosphère dans la chambre de traitement sous vide en passant par une chambre à vide préparatoire dispo- sée en amont dela chambre de traitement sous vide, et, après la formation d'une pellicule métallique ou d'un alliage sur l'article, ce dernier est entraîné vers le côté de l'atmosphère en passant par une chambre sous vide de sortie. Dans ce système du type air-air, le vide est maintenu dans la chambre préparatoire et dans la chamtre de sortie au moyen d'un joint à eau ou d'un joint à buse. Dans le premier de ces systèmes, c'est-à- dire celui du type par lots, il est comparativement facile de réaliser le dispositif d'étanchéité. Mais lorsque l'amélioration des propriétés de surface de l'article est obtenue dans une certaine mesure, il est nécessaire de rompre le vide dans la chambre à vide. Autrement dit, l'établissement et la rupture répétés du vide sont nécessaires pour le traitement de lots successifs d'articles. Cela perturbe non seulement la fabrication en chaîne en grande série, mais dégrade également les caractéristiques des produits traités. Plus particulièrement, dans le cas d'articles qui contiennent un constituant volatil tel qu'un plas- tifiant, par exemple une pellicule de résine en chlo- rure de vinyle, les propriétés de l'article sont dégra- dées si celui-ci est laissé pendant longtemps sous vide. Il est donc souhaitable de traiter un lot d'articles en des périodes très courtes, de l'ordre de quelques dizaines de secondes. Il est très difficile d'effectuer un traitement dans une période si courte, dans une chambre de traitement sous vide. Le seoond de ces systèmes peut facilement per- mettre le traitement d'articles durs, car il est rela- tivement facile d'obtenir des joints de la chambre à vide préparatoire et de la chambre à vide de sortie, sans risque d'endommager les surfaces des articles ou de les couper. Mais ce système air-air peut difficile- ment s'appliquer au traitement d'articles souples, car il est extrAmementdifficile d'obtenir un joint efficace pour la chambre à vide préparatoire et pour la chambre à vide de sortie sans risquer d'endommager ou de couper des articles. Un objet de l'invention est donc de proposer un appareil de traitement continu sous vide, susceptible de maintenir une bonne étanchéité d'une chambre sous vide préparatoire et d'une chambre sous vide de sortie, pour assurer de bonnes caractéristiques de modification dans le traitement de surface, ainsi que de très bon- nes adaptations à une production en série. Un autre objet de l'invention est d'améliorer la longévité de différents éléments constituant la chambre à vide préparatoire et la chambre à vide de sortie, par exemple des rouleaux d'étanchéité, des frot- teurs et des pièces latérales. A cet effet, l'invention concerne donc un appareil de traitement continu sous vide comprenant une chambre de traitement sous vide, au moins une chambre à vide pré- paratoire disposée sur les côté amont de la chambre de traitement sous vide et au moins une chambre à vide de sortie disposée sur le côté aval de la chambre de trai- tement sous vide, la chambre à vide préparatoire et la chambre à vide de sortie étant constituées chacune par deux rouleaux d'étanchéité, un dispositif qui assure l'étanchéité entre chaque rouleau d'étanchéité et un carter dans la direction axiale du rouleau et un dispo- sitif qui assure l'étanchéité entre les deux extrémités de chaque rouleau et le carter. D'autres caractéristiques et avantages de l'in- vention apparaîtront au cours de la description qui va suivre de plusieurs exemples de réalisation et en se ré- férant aux dessins annexés sur lesquels: La Figure 1 est une coupe schématique d'un appa- reil de traitement continu, selon un mode de réalisa- tion de l'invention, la Figure 2 est une vue schématique en plan de l'appareil de la Figure 1, la Figure 3 est une coupe schématique en éléva- tion d'une chambre de traitement sous vide de l'appa- reil de la Figure 1, la Figure 4 est une coupe d'un dispositif d'étan- chéité adopté dans une chambre à vide auxiliaire de l'appareil de la Figure 1, la Figure 5 est une coupe suivant la ligne V-V de la Figure 4, la Figure 6 est une vue à plus grande échelle d'une partie essentielle de l'appareil selon l'inven- tion, montrant particulièrement la manière de fixer une pièce de réglage de pression, la Figure 7 est une coupe similaire à celle de la Figure 5, montrant un autre exemple d'un dispositif d'étanchéité adopté dans la chambre à vide auxiliaire selon l'invention, la Figure 8 représente un autre exemple d'un frotteur incorporé dans le dispositif d'étanchéité de la Figure 7 et la Figure 9 illustre la manière de fixer les frotteurs. Les Figures 1 et 2 représentent donc un appa- reil de traitement continu sous vide selon l'invention, qui comporte une chambre à vide 1 dans laquelle un ar- ticle souple F tel qu'une pellicule de matière plasti- que, par exemple en chlorure de vinyle, est soumis à un traitement continu au plasma sous vide. Plusieurs chambres à vide auxiliaires 2 sont disposées sur-le côté amont de la chambre de traitement sous vide 1, dans le sens du mouvementde l'article à traiter. De façon similaire, plusieurs chambres à vide auxiliaires 3 sont disposées sur le côté aval de la chambre de trai- tement sous vide 1. Une pompe à vide 4 est reliée par un tube d'évacuation 5 à la chambre de traitement 1 pour la vider jusqu'à un niveau 10-2 Torr. Comme le montre la Figure 2, plusieurs pompes à vide 6 sont re- liées aux chambres auxiliaires successives 2, 3, de chaque côté de la chambre de traitement 1, par des tu- bes d'évacuation 7. La disposition est telle que le vide atteint des niveaux qui décroissent progressive- ment dans les chambres à vide auxiliaires successives 2 sur le côté amont, tandis que le vide atteint des niveaux qui augmentent progressivement dans les cham- bres à vide successives 3 sur le côté aval. Il est bien évident que les niveaux de vide établis dans ces chambres auxiliaires sont intermédiaires entre la pres- sion atmosphérique et le vide produit dans la chambre de traitement sous vide 1. L'article F à traiter est entraîné continuel- lement depuis un dérouleur 8, dans la chambre de trai- tement sous vide 1, en passant par les chambres à vide auxiliaires successives 2, et il est soumis à un trai- tement au plasma sous vide dans la chambre de traitement 1. L'article est ensuite sorti de la chambre de traite- ment 1, et enroulé de façon continue par un enrouleur 9 en passant par les chambres à vide auxiliaires succes- sives 3. La référence numérique 10 désigne un moteur d'entraînement qui fournit la force motrice à la cham- bre à vide 1, aux chambres auxiliaires 2, 3 et à l'en- rouleur 9, par l'intermédiaire d'un arbre intermédiaire 11 et de transmissions progressives 12, 13, 14 et 15. Les vitesses d'entraînement dans la chambre de traite- ment 1, dans les chambres auxiliaires 2, 3 et dans l'en- rouleur 9 sont réglables au moyen des transmissions res- pectives 12, 13, 14 et 15. La Figure 3 représente schématiquement la cham- bre de traitement sous vide 1, qui comporte une cathode 16 en forme de tambour, plusieurs anodes 17 disposées autour de la cathode 16, et un rouleau de guidage 18 qui guide l'article F à traiter. La cathode 16, les anodes 17 et le rouleau de guidage 18 sont supportés en porte-à-faux par l'une 19 des parois latérales, tan- dis que l'autre paroi 20 constitue une porte qui peut être ouverte pour accéder à l'intérieur. Les Figures 4 et 5 montrent la réalisation de chacune des chambres auxiliaires 2 et 3, disposées en amont et en aval de la chambre de traitement sous vide 1. Comme le montrent ces figures, chaque chambre à vide auxiliaire comporte plusieurs éléments, à savoir des rouleaux d'étanchéité supérieur et inférieur 21 et 22 en contact mutuel, disposés en une paire, des carters supérieur et inférieur 23, 24, des supports de rou- leaux supérieur et inférieur 25, 26, des pièces laté- rales gauche et droite 27, 28 et ainsi de suite. Plus particulièrement, et en regard de ces Figures, le rouleau d'étanchéité supérieur 21 comporte une âme faite d'un métal tel que le fer et une couche superficielle 29 élastique en caoutchouc, par exemple en caoutchouc au nitrile, fixé sur la surface de l'âme en fer, tandis que le rouleau d'étanchéité inférieur 22 comporte une âme en métal tel que le fer et une cou- che dure formée sur la surface de l'âme en fer, par exemple une couche 30 de chrome plaqué. La couche super- ficielle élastique du rouleau supérieur 21 peut être faite d'une couche de caoutchouc aux silicones, ou une couche decaoutchouc à l'uréthane fixée sur le noyau de fer. Il est également possible d'utiliser un alliage d'acier pour la matière du rouleau d'étanchéité infé- rieur 22. Bien que le rouleau d'étanchéité inférieur 22 soit représenté avec deux couches, c'est-à-dire la couche de métal de l'âme et la couche de surface dure, il est évident que ce rouleau 22 peut être réalisé en une seule matière métallique dure. Les rouleaux d'étanchéité supérieur et infé- rieur 21, 22 sont supportés par leurs deux extrémités pour pouvoir tourner, par les pièces latérales 27, 28. La force motrice est transmise du rouleau d'étanchéité inférieur 22 au rouleaux d'étanchéité supérieur 21 par des pignons 31, 32 qui engrènent. Le support 25 du rouleau supérieur est réalisé en une matière métallique et il est fixé sur le carter supérieur 23 de manière à faire face à la surface laté- rale extérieure du rouleau d'étanchéité supérieur 21. Une pellicule 33 de faible coefficient de frottement, par exemple une résine fluorée, est formée par c uisson sur la surface du support du rouleau supérieur. De plus, une pellicule de résine fluorée 34 ou de résine à la céramique de faible coefficient de frottement est formée par cuisson sur des parties des pièces latérales 27, 28 faisant face aux extrémités axiales des rouleaux d'étanchéité supérieur et inférieur 21, 22- La Figure 6 est une vue à plus grande échelle d'une partie essentielle de l'appareil de traitement sous vide montrant particulièrement un dispositif de réglage de pression destiné à régler la pression avec laquelle la pièce latérale 27 est serrée contre les ex- trémités axiales des rouleaux d'étanchéité supérieur et inférieur 21, 22 et les carters supérieur et inférieur 23, 24. Le dispositif de réglage de pression comporte différentes pièces, telles qu'une pièce élastique comme un ressort hélicoïdal 35 disposé dans la pièce latérale 27 et une pièce de serrage comme un boulon 36 destiné à serrer la pièce latérale 27 contre les extrémités des rouleaux d'étanchéité supérieur et inférieur 21, 22 et les carters supérieur et inférieur 23, 24. La force de pression de la pièce latérale 27 est limitée par l'intervalle H entre cette pièce laté- rale 27 et le boulon 26. Dans le cas o le dispositif de réglage de pression n'est disposé que sur un côté des rouleaux d'étanchéité et des carters, la pièce laté- rale 28 disposée de l'autre côté des rouleaux d'étanchéi- té et des carters est directement fixéesur les carters supérieur et inférieur 23, 24. Dans les chambres à vide auxiliaires 2, 3 réa- lisées de la manière décrite ci-dessus, l'étanchéité entre le rouleau supérieur 21 et le rouleau d'étanchité inférieur 22 sur lesquels passe la matière F à traiter, est obtenueen serrant la couche en caoutchouc 29 du rou- leau supérieur 21 contre le rouleau d'étanchéité infé- rieur 22, par l'intermédiaire de l'article F à traiter, de manière à déformer le caoutchouc 29 du rouleau supé- rieur 21. De même, l'étanchéité entre les rouleaux d'étanchéité supérieur et inférieur et les carters su- périeur et inférieur 23, 24 est obtenue en amenant les supports de rouleaux supérieur et inférieur 25, 26 en contact avec les rouleaux 21, 22. L'étanchéité entre les rouleaux d'étanchéité supérieur et inférieur 21, 22 et les pièces latérales 27, 28 est obtenue en serrant les pièces latérales 27, 28 sur les carters supérieur et inférieur 23, 24 au moyen du dispositif de réglage de pression. Grâce à cette disposition, la force de frotte- ment s'exerçant entre les rouleaux d'étanchéité supéri- eur et inférieur ainsi que la résistance au glissement, est réduite pour améliorer non seulement la longévité des rouleaux d'étanchéité supérieur et inférieur 21, 22 mais également pour améliorer les caractéristiques d'étanchéité entre ces deux rouleaux. En outre, étant donné que les rouleaux d'étanchéi- té supérieur et inférieur 21, 22 sont en contact avec les supports supérieur et inférieur 25, 26, laforce de frottement s'exerçant entre le rouleau inférieur 22 et le support inférieur 26 est réduiteet la résistance au glissement est réduite pour obtenir une amélioration remarquable de la longévité du support inférieur 26, compte non tenu de l'amélioration de la longévité du rouleau d'étanchéité supérieur 21 et du support de rou- leau supérieur 25. De plus, étant donné que la force de pression de la pièce latérale 27 est réglée par le boulon 36 du dispositif de réglage de pression, par l'intermédiaire du ressort hélicoïdal 35, en fonction d'un très léger déplacement axial des rouleaux d'étanchéité supérieur et inférieur 21, 22, ces derniers sont correctement positionnés dans la direction axiale et la longévité des pièces latérales 27, 28 est améliorée, tout en ob-- tenant un effet d'étanchéité plus élevé entre les ex- trémités axiales des rouleaux d'étanchéité 21, 22 et les pièces latérales 27, 28 leur faisant face. Les rouleaux d'étanchéité supérieur et inférieur 21, 22 sont accouplés entre eux par l'intermédiaire des pignons 31, 32 fixés aux extrémités des arbres qui sup- portent ces rouleaux. Par conséquent, toute rotation libre ou glissement indésirable du rouleau d'étanchéité supérieur 21 est évité et la perte de puissance est réduite, même si la-résistance au frottement entre le rouleau d'étanchéité supérieur 21et le support de rou- leau supérieur 25 ou entre le rouleau d'étanchéité supérieur 21 et les pièces latérales 27, 28 est augmen- tée. Bien que dans le présent mode de réalisation le dispositif de réglage de pression ne soit prévu qu'à une extrémité axiale du rouleau d'étanchéité, cette dis- position n'est pas la seule possible et un dispositif de réglage de pression peut être disposé à chaque extré- mité axiale des rouleaux d'étanchéité. La Figure 7 illustre un autre exemple d'un dis- positif destiné à assurer l'étanchéité dans la direc- tion axiale entre le rouleau d'étanchéité et le carter; les mêmes références numériques sont utilisées pour dé- signer des pièces ou des éléments semblables à ceux des Figures 4 et 5. Les références numériques 39, 40 désignent des frotteurs fixés sur les carters supérieur et inférieur 23, 24, et dirigé dans la direction axiale des rou- leaux d'étanchéité supérieur et inférieur 21, 22 de ma- nière à être en contact linéaire avec les surfaces laté- rales de ces rouleaux. Les frotteurs 39, 40 sont réali- sés en une matière élastique, par exemple en caoutchouc au nitrile, et leurs surfaces sont revêtues d'une ma- tière à faible coefficient de frottement, par exemple une résine fluorée formée par cuisson. Grâce à la disposition des frotteurs 39, 40 en contact linéaire avec une partie de la surface laté- rale extérieure de chaque rouleau 21, 22 sur toute sa longueur axiale, il est possible d'obtenir une étanchéi- té effective entre le rouleau d'étanchéité et le carter sur toute la longueur axiale du rouleau. En outre, étant donné que la force de frottement entre les rou- leaux d'étanchéité supérieur et inférieur 21, 22 et les frotteurs 39, 40 est remarquablement réduite, la longévité des rouleaux d'étanchéité est considérablement augmentée. La Figure 8 représente une modification des frotteurs de la Fig. 7. Ces frotteurs 41, 42 ont une section transversale présentant une extrémité courbée élastiquement en contact avec chaque rouleau d'étan- chéité 21, 22. Comme le montre la Figure 9, les frot- teurs 41, 42 sont disposés sous des orientations in- versées dans la chambre à vide auxiliaire 2, sur le coté amont de la chambre de traitement sous vide 1, et dans la chambre à vide auxiliaire 3 sur le côté aval de cette chambre de traitement, de manière que les parties d'extrémité élastiques des frotteursrespec- tifs soient serrées contre les rouleaux d'étanchéité associés sous l'effet de la différence de pression entre le côté relié à l'atmosphère et le côté sous vide. Plus particulièrement, si l'on représente la pression atmos- phérique par A, la pression dans le côté sous vide par B, et la pression intermédiaire par C, les frotteurs 41, 42 représentés sur la Fig. 9 sont serrés contre les rouleaux d'étanchéité supérieur et inférieur 21, 22 dans le sens opposé au sens de rotation de ces rouleaux 21, 22 sur le côté à la pression atmosphérique de la chambre à vide auxiliaire 2, car la pression A est su- périeure à la pression C. D'une façon similaire, les frotteurs 41, 42 sont serrés contre les rouleaux d'étan- chéité respectifs 21, 22 dans le sens opposé à celui de rotation de ces rouleaux, également sur le côté sous vide de la chambre à vide auxiliaire 2, car la pression C est supérieure à la pression B. La même chose est aussi vraiepour la chambre à vide auxiliaire 3, car les frotteurs dans cette chambre auxiliaire 3 sont orientés dans le sens opposé à celui des frotteurs dans la chambre auxiliaire 2- Il apparait ainsi qu'un meilleur effet d'étan- chéité est obtenu entre les rouleaux d'étanchéité supé- rieur et inférieur 21, 22 et les frotteurs associés 41, 42 grâce à l'application d'une force de pression sur ces frotteurs 41, 42 sous l'effet de la différence de pression entre le côté à l'atmosphère et le côté sous vide. L'appareil de traitement continu sous vide selon l'invention, réalisé de la manière décrite ci- dessus fonctionne de la façon expliquée ci-après. Quand les pompes à vide 4 et 6 sont mises en marche, la chambre de traitement sous vide 1 et les chambres à vide auxiliaires 2, 3 sont vidées jusqu'au niveau de vide voulu. Autrement dit, dans la chambre de traitement sous vide 1 un vide plus élevé, c'est-à- dire une plus basse pression absolue est établie que dans les chambres à vide auxiliaires 2, 3. Ensuite, les dispositifs d'entraînement de la cathode en tambour 16, des rouleaux d'étanchéité supérieur et inférieur 21, 22 des chambres à vide auxiliaires 2, 3 et l'enrouleur 9 sont mis en marche au moyen du moteur 10 et par l'in- termédiaire des transmissions respectives 12, 13, 14 et 15. Dans ces conditions, l'article F à traiter, par exemple une pellicule de chlorure de vinyle est conti- nuellement entraîné du dérouleur 8, du côté à l'atmos- phère, dans la chambre de traitement sous vide 1, en passant dans l'intervalle entre les roul.aux d'étanchéi- té supérieur et inférieur 21, 22 de la chambre auxiliai- re 2 Dans la chambre de traitement sous vide, un traite- ment au plasma est effectué sur l'article F à traiter au moyen d'une décharge au plasma produite entre la ca- thode 16 et l'anode 17. L'article F ainsi traité parle plasma est ensuite entraîné à l'extérieur de la chambre de traitement sous vide 1 et il est enroulé sur l'en- rouleur 9, du côté de l'atmosphère, en passant dans l'in- tervalle entre les rouleaux d'étanchéité supérieur et inférieur 21, 22 de la chambre auxiliaire 3 sous vide. Ainsi, l'article F est traité au plasma en une très courte période de séjour dans la chambre de traitement sous vide 1, de sorte que l'évacuation indé- sirable du contenu volatil, par exemple un plastifiant, dans la résine au chlorure de vinyle est évitée assu- rant ainsi de bonnes propriétés transformées de la sur- face de l'article F. Le tableau ci-après montre des exemples des ni- veaux de vide mesurés dans la chambre à vide 1 et dans les chambres auxiliaires à vide a, b, c de la Figure 1, dans le cas d'avance continue de l'article F traité, con- firmant les effets d'étanchéité dans l'appareil de trai- tement continu sous vide selon l'invention Tableau Temps écoulé 5 min. 10 min. 15 min. 20 min. point de mesure chambre auxi20,0 10,5 10,0 10,0 liaire (a) Torr Torr Torr Torr chambre auxi- 700x10-3 140xlo3 127xlO3 125xlO-3 liaire (b) chambre auxi- 500x103 130x103 127xlO3 125x10 3 liaire (c) - 3- chambre de 150x103 25xlO3 23 x 10 22 x 10 traitement Il ressort du tableau ci-dessus que les niveaux du vide dans la chambre de traitement sous vide 1 et les chambres à vide auxiliaires 2 respectives augmentent pro- gressivement, c'est-à-dire que les niveaux de pression absolue diminue au fur et à mesure que le temps s'écoule. Il apparaît également qu'un gradient de pression propre à réduire la valeur absolue, pas à pas vers la chambre de traitement 1, est établi dans les chambres à vide auxiliaires successives (a), (b), et (c). Cela montre clairement que l'effet d'étanchéité voulu est obtenu dans l'appareil de traitement continu sous vide selon l'invention. Il apparaît ainsi en regard de la description faite ci-dessus que l'invention apporte un appareil de traitement continu sous vide du type air-air, permet- tant d'obtenir un effet poussé d'étanchéité dans les chambres à vide auxiliaires, tout en permettant d'obte- nir une bonne caractéristique de transformation au 2487g95 cours du traitement de surface des matières plastiques traitées, ainsi qu'une remarquable amélioration de la productivité. Ces effets sont remarquables particulière- ment lorsque l'article à traiter est un article souple, par exemple une pellicule de résine de chlorure de vi- nyle. REVENDICATIONS 1 - Appareil de traitement continu sous vide, caractérisé en ce qu'il comporte une chambre de traite- ment sous vide (1), et au moins une chambre à vide auxi- liaire (2, 3) disposée sur chacun des côtés amont et aval de ladite chambre de traitement sous vride, ladite chambre à vide auxiliaire comportant deux rouleaux d'étanchéité (21, 22) en contact mutuel, un dispositif assurant l'étanchéité entre lesdits rouleaux et les carters(23) suivant les longueurs axiales desdits rou- leaux, et un dispositif assurant l'étanchéité entre les deux surfaces à l'extrémité desdits rouleaux d'étanchéi- té et les carters. 2 - Appareil selon la revendication 1, caracté- risé en ce qu'un premier (22) desdits rouleaux d'étan- chéité est entièrement fait en métal tandis que l'autre (21) comporte une âme métallique et une pièce élastique (29) sur la surface de ladite âme métallique. 3 - Appareil selon la revendication 2, caracté- risé en ce que ledit premier (22) desdits rouleaux d'étanchéité est réalisé en fer ou en acier au carbone. 4 - Appareil selon la revendication 2, caracté- risé en ce qu'une couche dure est formée sur ledit pre- mier (22) desdits rouleaux d'étanchéité. - Appareil selon la revendication 2, caracté- risé en ce que l'autre (21) desdits rouleaux d'étanchéi- té est réalisé en caoutchouc. 6 - Appareil selon la revendication 1, caracté- risé en ce que ledit dispositif assurant l'étanchéité entre lesdits rouleaux d'étanchéité (21, 22) et lesdits carters (23) comporte des supports de rouleaux (25, 26) agencés pour être en contact avec lesdits rouleaux d'étanchéité. 7 - Appareil selon la revendication 6, caracté- risé en ce que ledit support de rouleau (25, 26) est constitué par une pièce élastique revêtue d'une pelli- 2487 96 cule (33) d'une matière à faible coefficient de frotte- ment. 8 - Appareil selon la revendication 7, caracté- risé en ce que la pellicule (33) de matière à faible coefficient de frottement est une résine fluorée. 9 - Appareil selon la revendication 1, caracté- risé en ce que ledit dispositif assurant l'étanchéité entre lesdits rouleaux d'étanchéité (21, 22) et lesdits carters (23) suivant les longueurs axiales desdits rouleaux comporte des frotteurs (39, 40, 41, 42) dis- posés dans la direction axiale desdits rouleaux d'étan- chéité et en contact linéaire avec des parties de ces rouleaux d'étanchéité. - Appareil selon la revendication 9, carac- térisé en ce que lesdits frotteurs (41, 42) sont dispo- sés de manière à être serrés contre les rouleaux d'étan- chéité respectifs par la différence de pression entre le côté à l'atmosphère et le côté sous vide, 11 - Appareil selon la revendication 9, carac- térisé en ce que lesdits frotteurs (39, 40, 41, 42) sont constitués par des pièces élastiques revêtues de pellicules d'une matière à faible coefficient de frot- tement. 12 - Appareil selon la revendication 11, carac- térisé en ce que ladite pellicule d'une matière à fai- ble coefficient de frottement est faite en une résine fluorée. 13 - Appareil selon la revendication 1, caracté- risé en ce que ledit dispositif assurant l'étanchéité entre les deux surfaces d'extrémité desdits rouleaux d'étanchéité (21, 22) et lesdits carters (23) compor- te. des pièces latérales (27, 28) en contact avec les deux extrémités desdits rouleaux d'étanchéité et au moins un dispositif de réglage de pression (35, 36) destiné à serrer l'une desdites pièces latérales contre les surfaces d'extrémité associées desdits rouleaux d'étanchéité. 14 - Appareil selon la revendication 13, ca- ractérisé en ce que ladite pièce d'étanchéité (27, 28) est revêtue, dans sa partie en contact avec lesdits rouleaux d'étanchéité, d'une pellicule (34) d'une ma- tière à faible coefficient de frottement. - Appareil selon la revendication 14, carac- térisé en ce que ladite pellicule (34) d'une matière à faible coefficient de frottement est faite en une ré- sine fluorée. 16 - Appareil selon la revendication 13, carac- térisé en ce que lesdits rouleaux d'étanchéité (21, 22) sont positionnés axialement au moyen desdites pièces latérales (22, 28). 17 - Appareil selon la revendication 13, carac- térisé en ce que ledit dispositif de réglage de pression comporte une pièce élastique (35) et une pièce de ser- rage (36). 18 - Appareil selon la revendication 17, carac- térisé en ce que ladite pièce élastique(35) consiste en un ressort. 19 - Appareil selon la revendication 13, caractérisé en ce qu'il comporte un seul dispositif de réglage de pression (35, 36) pour serrer l'une (27) desdites pièces latérales sur les surfaces d'extrémité associées desdits rouleaux d'étanchéité. - Appareil selon la revendication 13, carac- térisé en ce qu'il comporte des dispositifs de réglage de pression (35, 36) destinés à serrer les deux pièces latérales (27, 28) sur les surfaces d'extrémité respec- tives desdits rouleaux d'étanchéité. 21 - Appareil selon la revendication 1, carac- térisé en ce que les deux rouleaux d'étanchéité (21, 22) sont entraînés par une source de force motrice ( 10).