Brevet FR2488711A1 — publié le 19820219

WAN. BRD 1. L'invention se rapporte à l'enregistrement d'in- formation selon une piste portée par un support. Elle vise plus particulièrement un procédé thermo-optique qui consiste à focaliser sur le support un rayonnement optique modulé par l'information. L'énergie contenue dans ce rayonnement est convertie en chaleur. L'éléva- tion de température transitoire crée le long de la piste une modification permanente des caractéristiques du support susceptible d'être lue optiquement, sans qu'il soit nécessaire d'appliquer au support un trai- tement chimique assurant le développement d'une image latente. La modification physique du support obtenue peut consister en une empreinte en creux ou en saillie. L'empreinte laissée sur le support après le passage du rayonnement inscripteur dépend de la puissance inci- dente, de la vitesse d'exploration du support et du pou- voir absorbant de la-surface qui reçoit le rayonnement. Il en résulte en pratique que le contrôle dimensionnel de l'empreinte est une opération délicate nécessitant beaucoup de précautions. Dans le cas des inscriptions thermo-optiques obtenues avec enlèvement de matière, on peut utiliser une couche absorbante recouvrant une couche totalement ré- fléchissante. L'épaisseur de la couche absorbante est choisie de façon à minimiser la réflexion du rayonne- ment incident. Ceci a pour avantage d'améliorer le con- traste de lecture entre les zones qui ont subi une abla- tion thermique et celles qui sont restées intactes; accessoirement, l'ablation nécessite une énergie moins importante puisque la réflexion est plus faible. L'inscription thermo-optique par ablation d'une couche absorbante aboutit à la formation d'un cratère entouré d'un bourrelet. Une telle configuration d'em- preinte exige un dosage précis de l'énergie d'inscrip- tion pour maintenir au cours de la lecture de llem- preinte un rapport signal à bruit satisfaisant. Comme la formation de l'empreinte découle d'un phénomène de dégradation dont l'apparition est postérieure à l'accu- mulation de chaleur qui fait franchir le seuil de gra- vure, il faut surveiller le déroulement de la gravure par ablation et faire en sorte que la puissance du faisceau inscripteur soit adaptée à l'effet désiré. Il existe également une autre technique d'inscrip- tion thermo-optique qui consiste à faire naître une déformation plastique dans une couche de métal ductile en jouant sur une tension mécanique induite localement par élévation de température d'une sous-couche organi- que présentant des propriétés thermodéformantes. L'al- longement permanent de la couche ductile subsiste après le passage du faisceau inscripteur. L'empreinte obtenue par cette technique se présente sous la forme d'un plissement plus ou moins accusé de la couche métal- lique, mais sans qu'aucun perçage ou bourrelet ne se forme. La régularité d'une telle empreinte favorise à la lecture l'obtention d'un bon rapport signal à bruit. Néanmoins, si la puissance du faisceau inscripteur devient trop forte, ou si la réflectivité du support manque d'uniformité, on peut dépasser la charge de rupture, ce qui se traduit par un fissurage ou une destruction de la couche métallique ductile. La rétention d'information par déformation plas- tique d'une couche ductile soumise à étirement est un processus nettement plus progressif que l'ablation, car la déformation évolue au fur et à mesure de l'apport de chaleur réalisé par l'irradiation optique du support d'information. On peut mettre à profit cette progres- sivité pour améliorer la latitude de pose d'un sup- port d'information à couche ductile. En effet, au lieu de réguler la puissance du faisceau inscripteur, on peut faire en sorte que le rendement de conversion thermo-optique aille en décroissant lorsque la struc- ture du support d'information est le siège d'une dé- formation induite. Le support d'information permettant d'exploiter l'effet d'autorégulation à l'inscription qui vient d'être évoqué possède une structure qui s'apparente à celle des lames à faces parallèles semi- argentées dont l'étude conduit à la réalisation des filtres interférentiels. De manière plus précise, l'invention a pour objet un procédé thermooptique d'inscription d'information sur un support comprenant une couche métallique ductile associée à une couche contigUe de substance organique thermodéformante; l'inscription mettant en oeuvre un rayonnement de longueur d'onde prédéterminée dont le point de convergence se situe au niveau de ladite cou- che métallique ductile, caractérisé en ce que, ladite couche métallique ductile étant partiellement perméa- ble audit rayonnement, il consiste à munir le support d'information d'une couche métallique réfléchissante formant avec la couche métallique ductile une cavité optique à faces-parallèles et à accorder ladite cavité optique de façon que la réflexion dudit rayonnement optique par ladite couche métallique ductile augmente avec la déformation locale induite dans cette cavité par l'action thermodéformante de la zone de ladite couche de substance organique irradiée par ledit rayon- nement. L'invention a également pour objet un support d'information inscriptible au moyen d'un rayonnement optique de longueur d'onde prédéterminée, ledit support comprenant une couche métallique ductile associée à une couche contigile de substance organique thermodé- formante, caractérisé en ce que ladite couche métal- lique ductile est partiellement perméable audit rayon- nement; une couche métallique réfléchissante formant avec la couche métallique ductile une cavité optique à faces parallèles accordée pour que le facteur de réflexion dudit support à ladite longueur d'onde aug- mente avec la déformation induite par ledit rayonne- ment optique. L'invention sera mieux comprise au moyen de la -description ci-après et des figures annexées parmi lesquelles: - la figure 1 représente en coupe une première variante de réalisation du support d'information con- forme à l'invention; - les figures 2 à 4 sont des figures explicatives du mode d'inscription du support illustré sur la fi- gure 1; - la figure 5 représente en coupe une seconde variante de réalisation du support d'information selon l'invention; - la figure 6 représente en coupe une troisième variante de réalisation du support d'information selon l'invention; - la figure 7 représente en coupe une quatrième variante de réalisation du support d'information selon l'invention; - la figure 8 représente en coupe une cinquième variante de réalisation du support d'information selon l'invention; - la figure 9 représente en coupe une sixième variante de réalisation du support d'information selon l'invention. - la figure 10 représente en coupe une septième variante de réalisation du support d'information selon l'invention. - la figure il représente en coupe une huitième variante de réalisation du support d'information selon l'invention. - la figure 12 représente en coupe une neuvième variante de-réalisation du support d'information selon 1 'invention. Comme mentionné ci-dessus, l'invention vise parti- culièrement un procédé d'inscription utilisant des lasers de faible puissance et ne nécessitant pas de régulation externe de la puissance du faisceau optique d'inscription en ce sens que la puissance absorbée est régulée automatiquement et en temps réel. L'enregistrement thermo-optique d'information utilise généralement des lasers de puissance inférieure à 30 mW et il procède dans la plupart des cas;soit par ablation thermique, soit par déformation thermique d'une couche mince absorbant le rayonnement et déposée sur un substrat. La largeur et/ou l'amplitude de l'em- preinte dépendent fortement de la puissance lumineuse et de la durée de l'impulsion lumineuse. D'autre part, dans le cas assez général d'inscription à travers le substrat, le faisceau laser peut rencontrer un certain nombre de "défauts" au cours de son trajet jusqu'à la couche sensible: poussières, traces de doigts, rayures du support et fluctuations d'épaisseur de celui- ci. Ces défauts modifient la puissance instantanée disponible pour l'inscription et il peut en résulter des sous-gravures ou des surgravures nuisibles à la restitution d'un signal de qualité. Enfin, si le sup- port d'information a la forme d'un disque en rotation à vitesse angulaire constante, les informations sont stockées selon les spires d'une spirale ou selon un ensemble de cercles concentriques et la puissance néces- saire à la gravure dépend de la surface de cette gra- vure, c'est-à-dire aussi du rayon du cercle ou de la spirale de gravure. L'ensemble de ces facteurs rend nécessaire une régulation de puissance par exemple en comparant à chaque instant l'amplitude du signal obte- nu à la lecture avec celle d'un signal de référence ce qui permet de réagir sur l'intensité du faisceau tom- bant sur la couche sensible. Cependant, ce genre de ré- gulation ne peut intervenir en temps réel, c'est-à-dire qu'il n'est pas adapté à la présence de défauts locaux et aléatoires comme les rayures, poussières ou traces de doigts. Dans les demandes-de brevet français déposées le 23 Janvier 1980 sous les numéros 80.01 423 et 80.01 425, on a décrit des techniques d'enregistrement thermo-opti- que mettant en oeuvre une couche métallique ductile communiquant sa chaleur à une sous-couche de substance organique dotée de propriétés thermo-déformantes. Selon le cas, la substance organique peut être faite d'un ma- tériau thermodilatable ou thermodégradable capable de déformer la couche métallique ductile. Au cours de l'ins- cription, la couche métallique ductile subit un étire- ment situé au-delà de la limite élastique et en-deça de l'allongement à la rupture, c'est-à-dire qu'elle se dé- forme sans qu'il y ait formation de trou. Les couches métalliques qui présentent ces caractéristiques sont constituées d'alliages entre un métal précieux comme l'or et un adjuvant comme Cu, Mn, Cr, Al... conférant à l'alliage une excellente continuité, ductilité et résistance au choc. Sur la figure 1, on peut voir la coupe d'un sup- port d'information conforme à l'invention. Il comprend un substrat 4 revêtu d'une couche réfléchissante 2 248871 1 d'épaisseur c. Au-dessus de la couche 2 est déposée une couche thermo-déformante 3 d'épaisseur b qui est compo- sée d'un matériau polymère d'indice de réfraction n. La couche 3Test surmontée d'une couche métallique duc- tile 1 dont l'épaisseur a ne dépasse pas une ving- taine de nanomètres. Le rayonnement inscripteur 6 est focalisé sur la couche i par un objectif de projection dont l'axe optique X est orienté suivant la normale. Les fronts d'ondes équiphases E sont séparés d'une dis- tance ÀS dans le milieu ambiant d'indice n0. La lon- gueur d'onde du rayonnement inscripteur est donc XÀ et elle se réduit.à À dans la couche 3. A l'inverse de la couche 2 qui est suffisamment épaisse pour ne pas transmettre de rayonnement et qui de ce fait réfléchit le rayonnement incident sans ab- sorption notable, la couche 1. est partiellement réflé- chissante, partiellement absorbante et partiellement perméable au rayonnement inscripteur 6. L'épaisseur a de la couche métallique ductile 1 est donc choisie pour assurer cette triple fonction d'absorber, de réfléchir et de transmettre le rayonnement inscripteur 6 Compte tenu de l'indice d'extinction X des métaux, on voit que l'épaisseur a n'est qu'une toute petite fraction de la longueur d'onde À. A titre indicatif, pour la lumière verte (X = 0,5 micron) une couche d'or épaisse d'une longueur d'onde atténuerait 1010,5 fois l'intensité de cette lumière. Sur la figure 1, le seul élément qui peut conver- tir en chaleur le rayonnement inscripteur 6 est la couche 1. L'élévation locale de température va se commu- niquer à la sous-couche 3 ce qui provoque une poussée sur la couche 1. Cette poussée a pour but d'étirer lo- calement la couche 1 au-delà de la limite d'élasticité. La déformation plastique qui s'en suit laisse subsister après passage du faisceau inscripteur un plissement qui constitue l'empreinte permanente de l'information. La figure 3 montre une empreinte permanente 7 obtenue en utilisant comme sous-couche 3 un polymère thermo- dilatable. Ce polymère renferme un plastifiant qui confère à la couche 3 une forte expansion thermique et une aptitude à combler le plissement de la couche 1. La hauteur Ab du plissement 7 peut atteindre une fraction de micron. La figure 4 montre une empreinte permanente 7 réalisée par thermodégradation de la couche 3. Dans ce cas, il se forme un creux de pro- fondeur A'b sous le plissement 7 de la couche 1. L'espace 8 entre ce creux et le plissement 7 renfer- me les résidus gazeux qui se sont formés par thermo- dégradation de la couche 3. Sur les figures 1, 3 et 4 on a représenté les couches à une échelle fortement exagérée par rapport au substrat 4, afin de mieux mettre en évidence les changements structurels se produisant dans la zône centrée autour de l'axe optique X du faisceau de rayonnement inscripteur. Conformément à l'invention, on peut constater que la cavité optique délimitée par les couches 1 et 2 se désaccorde lorsque l'empreinte de l'information se forme. Ce désaccord est mis à pro- fit pour obtenir un effet d'autorégulation. Comme la couche 1 transmet partiellement le rayon- nement inscripteur, ses propriétés réfléchissantes dépendent fortement de la constitution des couches sous-jacentes et en particulier du régime d'interfé- rence existant dans la cavité optique ayant pour lon- gueur optique la valeur nb. Sur la figure 1 qui repré- sente le support d'information vierge, on a représenté à droite du faisceau 6 le processus de réflexion mul- tiple d'un irayon incident I. Le rayon I se réfléchit partiellement sur la couche 1 en donnant naissance à une composante réfléchie r1. La fraction transmise t1 du rayon I est réfléchie par la couche 2 sous la forme d'une composante r2 qui après traversée de la couche 1 fournit une seconde composante réfléchie r3. La compo- sante r1 et les composantes r3 et suivantes forment une somme algébrique R qui est le rayonnement réfléchi ré- sultant de l'ensemble de la structure. Le rapport R/I donne le facteur de réflexion du support d'information. A titre d'exemple non limitatif, le support d'en- registrement est réalisé à partir d'un substrat 4 recou- vert d'une couche 2 très réfléchissante pour la longueur d'onde À de la lumière utilisée pour la gravure, d'une couche 3 d'un matériau diélectrique transparent à la longueur d'onde X et d'une couche métallique ductile 1 absorbant le rayonnement et recouvrant la couche trans- parente 3. Afin que le couplage d'énergie dans le ma- tériau absorbant 1 soit maximal, d'une part l'épais- seur cde la couche réfléchissante 2 est suffisante pour que la perte d'énergie par transmission soit nulle et d'autre part, l'épaisseur b de la couche diélectri- que intermédiaire est voisine de (2k + 1) n-, c'est- à-dire d'un multiple impair du quart de la longueur d'onde de la lumière dans le matériau transparent d'indice n de façon à ce que, par interférencesdestruc- tives, la lumière réfléchie globalement par la structure soit faible, typiquement comprise entre 10 et 20 %. Il en résulte queà la plus grande partie de l'énergie op- tique cédée par le faisceau inscripteur est concentrée dans la couche métallique absorbant le rayonnement, c'est-à-dire que la sensibilité est améliorée par rap- port à la situation o le substrat ne présente pas de surface réfléchissante comme décrit dans les demandes de brevet français No 80.01 423 et 80.01 425. Selon un aspect de la présente invention, le maté- riau thermodilatable ou thermodégradable est choisi de telle façon que la modification de son épaisseur b au cours du processus de déformation de la couche métal- lique ductile 1 sous l'impact du faisceau laser 6 soit voisine d'un quart de longueur d'onde de la lumière dans ce matériau transparent. Il en résulte que les conditions de quasi antiréflexion qui prévalaient avant l'inscription sont détruites c'est-à-dire que la réflectance de la structure augmente au fur et à mesure que la déformation s'amplifie dans la couche diélectri- que. Dans le cas d'un laser hélium néon (O = 0,63 la réflectance de la structure est maximale et voisine de 70-80% lorsque la déformation Ab de la couche duc- tile est voisine de 100 nm. Parmi les couches dilatables, les couches plastifiées à base de nitrocellulose, dé- crites dans la demande de brevet français NO 80.01 425 ont une dilatation thermique qui leur confère après inscription une déformation de cet ordre de grandeur. La modification du taux de plastifiant en plus ou en moins permet de détruire les conditions d'antiréflexion quelle que soit la longueur d'onde d'écriture pour laquelle on a réalisé l'accord de la cavité optique. En ce qui concerne les couches thermodéformables, on préférera parmi les polymères décrits dans la demande de brevet français N0 80.01 423, les polymères à faible dureté comme PVC,poly-et-méthylstyrène.. et on choisira une épaisseur de couche métallique 1 suffisamment éle- vée pour que le développement de la bulle gazeuse 8 sous l'impact du faisceau laser 6 donne lieu à la dé- formation désirée, c'est-à-dire celle conduisant à une destruction des conditions d'antiréflexion sous l'impact du faisceau laser. Selon un second aspect de la présente invention, on peut aider la déformation du polymère qu'il soit dila- table ou thermodégradable en lui ajoutant un colorant ou un pigment sur tout ou partie de l'épaisseur de la couche de façon à ce qu'une partie du rayonnement soit absorbée par le polymère lui-mime ce qui entraîne une augmentation de sa température sur un plus grand vo- lume donc une déformation intéressant une épaisseur de polymère plus importante. Dans ce cas, les épaisseurs du polymère 3 et de la couche métallique ductile 1 ne sont plus exactement celles qui prévalaient avant l'in- corporation du colorant ou du pigment, mais le proces- sus reste le même. Parmi les colorants ou les pigments, on choisit ceux qui ont une absorption importante pour la lumière d'inscription par exemple la fluorescéine, le noir de Soudan... si le laser d'écriture utilisé est le laser He-Ne. D'autre part, les chalcogénures vitreux en particulier les verres à base de sélénium et d'arsenic présentent non seulement une bonne durée de vie, mais aussi des propriétés de déformabilité intéressantes telles qu'un point de ramollissement à basse température ou une forte tension de vapeur. Ils sont en outre faiblement absorbants dans le rouge ou l'infra-rouge-et peuvent donc être utilisés dans le cadre de cette invention. Quelque soit le mode de réalisation de la présente invention, pourvu que les conditions d'antiréflexion soient réalisées avant inscription et que ces condi- tions d'antiréflexion soient détruites au cours de - l'inscription, à la fin de la déformation de la couche diélectrique, c'est-à-dire avant la fin de la durée de l'impulsion, la puissance absorbée chute d'une valeur voisine de 60 %.de sa valeur de départ. Le processus auto-régulateur d'inscription peut mieux se comprendre au moyen du diagramme de la figure 2. Ce diagramme exprime en fonction du temps l'évolu- tion de la puissance optique A et le partage de cette puissance. A l'instant to, on applique au support d'informa- tion une puissance optique incidente représentée par l'échelon I en trait plein. A ce stade une faible fraction R. de cette puissance est réfléchie et la majeure partie A contribue via la couche ductile 1 a échauffer la sous-couche 3 thermo-déformante. La déformation engendrée au cours de l'inscription fait évoluer le partage de puissance selon la courbe R en pointillé. A l'instant t1, l'effet auto-régulateur est saturé car la puissance réfléchie atteint la va- leur F tandis que la puissance absorbée est tombée à la valeur Ar* La déformation n'évolue plus aux ins- tants t2 car l'échauffement résiduel est faible. Si la puissance du faisceau incidentzvarie, l'effet de saturation se produit plus ou moins rapidement, mais dans tous les cas il augmente la latitude de pose du support d'information. En ce qui concerne l'inscription d'un support d'information en forme de disque, si la puissance de gravure choisie au centre du disque est r1+ pr Apd i int [I+ x. L o Pint est la puissance nomi- L int itJ n nale nécessaire pour réaliser une inscription optimale à l'intérieur du disque, APr est l'incrément de puis- sance nécessaire pour réaliser une inscription optimale à l'extérieur du disque et APd est l'atténuation maxi- male de puissance entrainée par tout défaut rencontré par le faisceau d'inscription avant son impact sur la couche sensible, la déformation se produira pendant une durée t1 inférieure ou égale à la durée T2 de l'im- pulsion lumineuse et aura au bout de T1 une valeur bien définie et reproductible non seulement sur un 3o rayon donné mais aussi quelque soit le rayon, même si un défaut local est venu amputer la puissance utilisable de la valeur APd Dans cet exemple de réalisation de l'invention, on dépose sur un support transparent 4 en polyméthacrylate de méthyle (PMMA) de 1,5 mm d'épaisseur, une couche réfléchissante 2 d'aluminium de 100 nm d'épaisseur par évaporation sous vide, puis on dépose une couche 3 3 de poly -a-méthyl styrène de 320 nm d'épaisseur à partir d'une solution à 40 g/1 dans le butyle acétate centrifugée sur le substrat à la vitesse de 350 tours par minute. Enfin on dépose, de nouveau par évapora- tion sous vide, une couche 1 de 10 nm d'épaisseur d'un alliage de composition massique Cr45 Au55 à la vitesse de 0,2 nm.s. La réflectance de la structure pour un faisceau de longueur d'onde 0,63 /um se propa- geant dans l'air est voisine de 40 %. Une expérience d'inscription statique a montré que la sensibilité de la structure est 30 % supérieure à celle qui caracté- rise la monocouche déformable c'est-à-dire la struc- ture sans couche d'aluminium réfléchissante. D'autre part, après inscription, la réflectance mesurée au milieu du spot d'inscription a été trouvée égale à %. Une expérience d'inscription en dynamique a été réalisée à 1500 tours/nn à l'aide d'un laser He-Ne de mw de puissance de sortie et à l'aide d'un objec- tif d'ouverture numérique 0,33. La puissance optimale de gravure pour une fréquence de modulation de 5 MHz et un indice de-modulation de 50 % a été trouvée égale à 5,5 mw sur le rayon R = 100 mm du disque et 6,6 mW sur le rayon R = 150 mm, ce qui représente une augmentati6n de 20 %. Par ailleurs il a été obser- vé que les poussières présentes sur la couche entraî- naient une chute de puissance disponible inférieure ou égale à 10 %. L'utilisation d'une puissance incidente égale à 5,5 (1 + 0,2+ 0,1) = 7,15 mw a conduit à une gravure présentant un contraste optimal à la lecture et parfaitement reproductible d'un spot gravé au sui- vant quel que soit le rayon, c'est-à-dire aussi bien sur le rayon R = 100 mm que sur le rayon R = 150 mm. 14 i La figure 5 montre en coupe un support d'informa- tion dont la couche ductile 1 est recouverte par une couche protectrice 9 en matériau polymère transparent. Cette couche protectrice soustrait la couche ductile aux agressions chimiques et mécaniques extérieures. t Le matériau de la couche 9 doit présenter une faible dureté de façon à ne pas gêner la déformation de la couche métallique ductile 1 sous l'impact du faisceau laser. A titre d'exemple non limitatif, ce dépôt de protection 9 peut être constitué par un silicone thermodurcissable du type"sylgard 184"de la société DowCorning. Ce matériau peut être déposé en couche épaisse et uniforme par exemple par centrifugation. Il présente en outre l'intérêt d'être relativement peu adhérent à la structure à protéger si bien qu'il peut être facilement enlevé si nécessaire par exemple si une copie globale de l'information contenue dans la couche sensible est nécessaire. Une autre caractéristique du revêtement protecteur 9 est de ne pas constituer une couche thermodéforman- * -te ayant les mêmes caractéristiques que la couche 3. Ceci dit, d'autres polymères peuvent également être utilisés par exemple les couches fortement plastifiées mentionnées dans la demande de brevet français NO 80.01 425 ainsi que le polystyrène. Sur la figure 6, les couches 3 et 9 sont inter- verties ce qui change le sens de la déformation de la couche ductile 1. La fonction protectrice est assurée par la couche thermodéformante 3 et la couche 9 a pour' seule fonction de fixer l'épaisseur de la cavité opti- que délimitée par les couches 1 et 2. En conséquence, on voit que la nature du polymère utilisé pour la dé- formation de la couche métallique ductile et celle du matériau utilisé pour la protection de cette couche sont parfaitement interchangeables. La création dans la couche métallique ductile d'un relief positif ou négatif conduit en effet à un signal identique à la lecture. Cette propriété est intéressante dans la mesure o elle autorise, le cas échéant le dép6t de la couche réfléchissante, de la couche diélectrique avec conditions d'antiréflexion et de la couche absor- bante à l'aide de la même technologie (évaporation par creuset, pulvérisation cathodique...) ce qui peut ne pas être le cas si c'est la couche thermo- dilatable ou thermodéformable qui est en sandwich en- tre la couche métallique réfléchissante et la couche métallique ductile. La présente invention n'est pas limitée au cas o le substrat 4 est réfléchissant ou au cas o il est revêtu d'une couche métallique 2 complètement réflé- chissante. Une variante intéressante illustrée par la figure 7 est le cas o la structure est réalisée par dép8t successif sur un substrat 10 de la couche de polymère thermodéformante 3, de la couche métallique ductile 1 puis d'une couche diélectrique à faible dureté 9 d'épaisseur adaptée pour obtenir des conditions d'anti- réflexion et enfin de la couche métallique fortement réfléchissante 2. Dans ce cas, l'inscription se fait à travers le substrat transparent 10 mais le comporte- ment de la structure est analogue à celui décrit précé- demment. Seules les épaisseurs de la couche diélectri- que 9 et de la couche métallique ductile 1 doivent être adaptées pour tenir compte de la réflexion globa- lement plus faible de la couche métallique ductile en présence de la couche 3. D'autre part, ici encore la cou- che polymère thermodéformante 3 peut être intervertie avec la couche diélectrique 9 de faible dureté, ce qui change le sens de la déformation dans la coucheo'mé- tallique ductile mais n'affecte par le signal utilisable. Cette variante de réalisation est représentée en coupe sur la figure 8. Au lieu d'utiliser une couche de protection soli- de, on peut protéger la gravure au moyen d'un capot protecteur. Ce capot sera transparent au rayonnement de lecture dans le cas de la figure 1, mais il peut être opaque si le substrat 4 est transparent comme le montrent les figures 7 et 8. Jusqu'ici l'effet autorégulateur de l'inscrip- tion thermo-optique est obtenu avec une seule couche métallique ductile 1 placée en vis-à-vis d'une couche réfléchissante 2. Sans s'écarter du domaine de la présente inven- tion-, on peut également intercaler une seconde couche métallique ductile partiellement perméable au rayonne- ment d'inscription. Sur la figure 9, on peut voir une structure qui est apparentée à celle de la figure 6 mais qui compor- te au-dessus de la couche thermodéformante 3 une- seconde couche métallique ductile-12 partiellement per- méable au rayonnement inscripteur. Cette couche 12 peut le cas échéant être protégée par un revêtement transparent 1l de faible dureté. Une première cavité optique est délimitée par la couche 2 et la couche 1. Une seconde cavité optique est délimitée par les couches ductiles 1 et 12. Lorsque le support d'information est vierge, ces deux cavités optiques coopèrent pour abais- ser le facteur de réflexion à la longueur d'onde du rayonnement optique inscripteur. L'action de la couche thermodéformante 3 est de déformer simultanément les couches ductiles 1 et 12 et par la même occasion de fournir l'autorégulation par le désaccord des deux cavités optiques. Sur la figure 10, on a interverti l'ordre des dépôts de façon que la cavité délimitée par les deux couches ductiles 1 et 12 soit encadrée par deux couches thermodéformantes 3 et 13. Le sens des déformations est inversé puisque c'est la couche 9 qui s'affaisse sous la poussée des deux couches thermodéformantes 3 et 13. Dans le cas des figures 9 et 10, l'une des cou- ches ductiles i ou 12 peut être faite d'un métal per- mettant l'inscription par ablation. Les épaisseurs des couches diélectriques et métalliques sont choisies non seulement pour qu'il y ait antiréflexion mais aussi pour qu'en- viron la moitié de la puissance absorbée le soit dans chacune des couches métalliques 1 et 12. Il en résulte un certain nombre d'avantages; tout d'abord si la couche métallique extérieur est ductile, une possibi- lité de duplication globale tel que décrit dans la demande de brevet français N 80.01 423. D'autre part, la capacité d'archivage de la structure est multipliée par deux. Enfin les défauts d'inscription qui pourraient résulter d'une dégradation prononcée de l'une ou l'autre des couches métalliques ont un effet moindre sur la lecture dans la mesure o on lit simultanément l'informa- tion inscrite dans chacune des couches métalliques duc- tiles ou d'ablation. Le résultat final est un taux d'erreur moindre. Les structures qui viennent d'être décrites pré- sentent l'inconvénient de comporter jusqu'à six cou- ches. Elles peuvent cependant être simplifiées dans la mesure ou on supprime la couche fortement réfléchissan- te et o on réalise des conditions antiréflexion en adaptant l'épaisseur de la couche diélectrique entre les couches métalliques déformable ou d'ablation. Cette structure présente en outre l'avantage de pouvoir être inscrite indifféremment de face, c'est-à-dire à travers la protection, ou à travers le substrat. Cependant, au cours de l'inscription la déformation du polymère constituant la couche diélectrique ne permet pas de modifier considérablement la réflectance de la structure dans la mesure o la réflectance de chaque couche métallique de stockage est relativement faible I d_ 40 %). Il en résulte que dans ce cas l'effet d'auto- régulation de puissance est moindre que dans les struc- tures précédemment décrites. Sur la figure 11, la structure est apparentée à celle de la figure 9, mais on a substitué un substrat transparent 10 à l'ensemble 2-4. Sur la figure 12, la structure est apparentée à celle de la figure 10, mais l'ensemble 2-4 est remplacé par un substrat transpa- rent 10. La présente invention présente un grand intérêt pour les systèmes d'enregistrement-restitution de données utilisant la même longueur d'onde pour l'en- registrement et la lecture ce qui est la situation la plus courante. Dans ce cas, il est cependant néces- saire que les conditions d'antiréflexion de la struc- ture avant inscription ne soient pas parfaitement sa- tisfaites (c'est-à-dire que la réflexion du faisceau de lecture soit voisine de 10-20 %) afin qu'il soit possible de suivre la surface du disque à l'aide des dispositifs de focalisation couramment utilisés avec ces ensembles d'enregistrement-restitution de données. Il en résulte que la modification de la réflectance du système au cours de la destruction des conditions de quasi-antiréflexion par inscription de données est au maximum égale à 50-70 %. On peut encore utiliser un faisceau de lecture de caractéristiques optiques dif- férentes du faisceau d'écriture et on choisit l'accord de la cavité optique pour qu'on ait une antiréflexion optimale pourla longueur d'onde du rayonnement d'écri- ture. Généralement, il en résulte simultanément une réflectance élevée pour la longueur d'onde du rayon- nement de lecture. Dans ce cas, au cours de l'inscrip- tion, non seulement la réflectance peut atteindre -80 l (c'est-à-dire que l'effet d'autorégulation de puissance en temps réel est important), mais aussi il y a modification de la réflexion du faisceau de lecture (effet d'amplitude) qui se superpose à la diffraction de ce faisceau sur le relief de l'ins- cription. Il en résulte un contraste amélioré à la lecture, c'est-à-dire un bruit quantique plus faible avec les détecteurs utilisés. L'effet est maximum si l'épaisseur b du diélectrique contenu dans la cavité optique est b = (2 k + 1) À écriture - N X lecture 4 n 2 n o k et N sont des nombres entiers. Si X écriture = 0,83 /um et X lecture = 0,63,um et n = 1,5, l'effet maximum sera obtenu pour R = 1 et N = 4, c'est-à-dire pour une épaisseur b de 400 nm. -20 2488711 REVENDICATIONS 1. Procédé thermo-optique d'inscription d'information sur un supnort comprenant une couche métallique ductile asso- ciee a une couche contigle de substance organique thermo-dé- formante; l'inscription mettant en oeuvre un rayonnement de longueur d'onde nrédéterminée dont le point de convergence se situe au niveau de ladite couche métallique ductile, caractérisé ence que, ladite couche métallique ductile étant partiellement perméable audit rayonnement, il consiste à munir le support d'information d'une couche métallique réfléchis- sante (2, 12) formant avec la couche métallique ductile (1) une cavité optique à faces parallèles et à accorder ladite cavité optique de façon que la'réflexion (R) dudit rayonne- ment optique par ladite couche métallique ductile (1" augmente avec la déformptinn lncale (7) induite dans cette cavité par l'action thermodéformante de la zone de ladite couche de substance organique (3, 13) irradiée par ledit rayonnement. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite couche de substance organique thermodéformante (3) est située à l'intérieur de ladite cavité optique. 3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la cavité optique est encadrée par deux couches (3, 13) de substance organique thermo-déformante; la couche métal- lique réfléchissante (12) étant également une couche ductile partiellement perméable au rayonnement inscripteur. 4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une seconde cavité optique couplée à ladite cavité optique; cette seconde cavité optique étant délimitée par l'une des couches métalliques ductiles (1) et par une couche réfléchissante (2) ne transmettant pas le rayonnement inscripteur. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la couche thermo- déformante (3, 13) est une couche faite d'un matériau thermo-dilatable. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la couche thermo-déformante (3, 13) est une couche faite d'un matériau thermo-dégradable. 7. Support d'information inscriptible au moyen d'un rayonnement optique de longueur d'onde prédéterminée; ledit support comprenant une couche métallique ductile (1, 12) asso- ciée à une couche contigie de substance organique thermo- déformante (3, 13) caractérisé en ce que ladite couche métalli- que ductile (1, 12) est partiellement perméable audit rayonne- ment; une couche métallique réfléchissante (2, 12) formant O10 avec la couche métallique ductile une cavité optique à faces parallèles accordée pour que le facteur de réflexion dudit support à ladite longueur d'onde augmente avec la déformation induite par ledit rayonnement optique. 8. Support selon la revendication 7, caractérisé en ce que la couche métallique réfléchissante (2) ne transmet pas ledit rayonnement optique. 9. Support selon la revendication 7, caractérisé en ce que la couche métallique réfléchissante (12) est partiellement perméable audit rayonnement optique. 10. Support selon la revendication 9, caractérisé en ce que ladite cavité optique est couplée à une seconde cavité optique à faces parallèles délimitée par ladite couche métallique réfléchissante (1) et par une autre couche métal- lique réfléchissante (2) ne transmettant pas ledit rayonnement optique. 11. Support selon l'une quelconque des revendications 7 à 10, caractérisé en ce que la substance thermo-déformante (3) est située à l'intérieur de ladite cavité optique. 12. Support selon l'une quelconque des revendications o 7 à 10, caractérisé en ce que la substance thermo-déformante (37 13) encadre ladite cavité optique; ladite cavité optique étant munie d'une couche transparente (9) capable de céder - sous la poussée de ladite substance thermo-déformaiite (3, 13). 13. Support selon la revendication 9, caractérisé en- ce que ladite cavité optique est accessible par ses deux faces (1, 12) audit rayonnement optique. 14, Support selon la revendication 8, caractérisé en 248-8711 ce que la couche métallique réGléchissante (2) coiffe les autres couches déposées sur le substrat 10; ledit substrat étant perméable au rayonnement optique. 15. Support selon l'une quelconque des revendications 7 à 14, caractérisé en ce que la substance thermo-déformante (3, 13) est une substance thermo-dilatable. 16. Support selon l'une quelconque des revendications 7 à 14, caractérisé en ce que la substance thermo-déformante (3, 13) est une substance thermo-dégradable. 17. Support selon l'une quelconque des revendications 7 à 14, caractérisé en ce que la substance thermo-déformante i (3, 13) absorbe partiellement ledit rayonnement optique. 18. Support selon la revendication 9, caractérisé en! ce que l'une des couches métalliques (1, 12) délimitant l ladite cavité optique est une couche thermo-dégradable i permettant l'inscription par ablation thermique. 19. Dispositif de lecture d'un support d'information selon la revendication 7, caractérisé en ce que ladite cavité optique est en outre accordée de façon Qu'à la lon- gueur d'onde de lecture les zones du support non inscrites présentent une réflectance maximale; la longueur d'onde de lecture étant différente de la longueur d'onde ayant servi à l'inscription de l'information.