Brevet FR2490808A1 — publié le 19820326

"Interféromètre et dispositif comportant cet interféromètre" L'invention concerne un interféromètre com- portant une source de rayonnement fournissant un faisceau de rayons, un diviseur de faisceau servant à former un pre- mier faisceau partiel et un deuxième faisceau partiel à partir du faisceau de rayons, ces deux faisceaux partiels étant portés à coïncidence sur la face sensible au rayonne- ment d'un système de détection, après que le premier fai- sceau partiel a été en contact avec une face de l'objet à examiner. Un tel interféromètre, qui est utilisé pour la mesure de déplacement, est connu, entre autres, de "Philips' Technical Review" 30 N 6/7, pages 160 à 165. Dans la voie de chacun des faisceaux partiels est inséré un réflecteur. L'un de ces réflecteurs est disposé de façon fixe, alors que le deuxième est relié rigidement à l'objet, dont le déplacement doit être mesuré. Après réflexion des deux faisceaux partiels, ils sont réunis par le diviseur de faisceaux de façon que ces faisceaux, qui ont parcouru des trajets présentant à peu près la même longueur interfèrent l'un avec l'autre. L'intensité ainsi obtenue est fonction de la phase relative des faisceaux partiels et varie donc périodiquement lorsque la longueur du trajet optique du deuxième faisceau partiel croît ou décroît de façon conti- nue par suite du déplacement de l'objet. Une période de la figure d'interférence correspond à une variation de la lon- gueur du trajet d'une grandeur égale à la moitié de la lon- gueur d'onde de la lumière utilisée. Un détecteur sensible au rayonnement fournit un signal électrique périodique. Le nombre de périodes de ce signal, qui constituent une mesure du déplacement, de l'objet peut être compté. L'article dans "Philips' Technical Review" Ne 6/7, pages 160 à 165 décrit un interféromètre spécial présentant de très bonnes performances, comme une précision d'une fraction de 1/um, une indication digitale simple et la distinction entre des déplacements en avant et en ar- rière. Toutefois, ces performances ne peuvent être obtenues que dans le cas d'utilisation d'une source laser spéciale à fréquence stabilisée fournissant un faisceau laser com- prenant deux composantes de polarisation circulaire opposée, de même intensité, mais de fréquences différentes. La présente invention vise à fournir un in- terféromètre, dont la structure est essentiellement plus simple, mais qui présente à peu près les mêmes performances. L'interféromètre conforme à l'invention est caractérisé en ce que le système de détection sensible au rayonnement est une photocellule multiple constituée par une rangée de photodiodes linéaires, qui sont connectées successivement par un commutateur électronique, à un circuit électronique conçu pour traiter le signal fourni par les photodiodes, de sorte que le système de détection fonctionne comme un dé- tecteur mobile en forme de trame, la période de la trame de la photocellule multiple correspondant à la période de la figure d'interférence en forme de ligne des deux fai- sceaux partiels superposés. Luinvention e t basée sur le fait qu'une fi- gure d'interférence sinusoïdale pour être formée dans un interféromètre et que la variation d'intensité se produi- sant par suite de la variation de longueur du trajet de faisceau partiel dans la igure d'interférence peut être considérée comme un déplacement de cette figure d'inter- férence. Le déplacement d'une telle figure claires et sombres, qui peut être considérée à son tour comme une trame, peut être déterminée à l'aide d'une trame de référen- ce sous forme d'une photocellule multipolaire. Le commutateur électronique permet d'obtenir qu'une trame de référence se déplace pour ainsi dire sur la surface de la photocellule multiple. Les éléments sensibles au rayonnement de la photocellule multiple, le circuit électronique et le circuit de traitement électronique peu- vent être intégrés sur une plaque de matériau semiconduc- teur. La susdite photocellule multiple est décrite dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique N' 3.973.119. Selon ce brevet, le déplacement d'un objet peut être mesuré par projection d'une première trame, reliée à l'objet, sur une trame de référence constituée par la photocellule mul- tiple. La précision de cette mesure de déplacement est dé- terminée par la période de la première trame. Cette période est par exemple de 635/um. Le traitement d'un signal approp- rié et une interpolation dans la période du signal permet une mesure du déplacement avec, en principe, une précision de O,5/um. Dans l'interféromètre conforme à l'invention, la périodicité du signal électrique est déterminée, non par une structure d'une période de 635/um, mais par une struc- ture d'une période égale à la moitié de la longueur d'onde du rayonnement utilisé. De ce fait, dans le cas d'utilisa- tion de la même photocellule multiple, il est possible d'at- teindre une précision notablement supérieure à celle obte- nue avec le dispositif permettant de mesurer le déplacement selon le brevet des Etats-Unis d'Amérique N' 3.973.119. La description ci-après, en se référant aux dessins annexés, le tout donné à titre d'exemple non limi- tatif, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. La figure 1 montre une première forme de réalisation d'un interféromètre conforme à l'invention. La figure 2 montre la figure d'interférence formée par cet interféromètre, ainsi qu'une trame. Les./figures 3 et 4 montrent deux autres formes de réalisation de l'interféromètre. La figure 5 est un schéma synoptique du cir- cuit utilisé dans ces interféromètres. La figure 6 montre un dispositif permettant de déterminer la linéarité du déplacement d'un objet et muni d'un interféromètre conforme à l'invention, et la figure 7 un dispositif d'enregistrement optique muni d'un interféromètre conforme à l'invention. Dans l'interféromètre selon la figure 1, la source de rayonnement 1 émet un faisceau 2. Suivant l'appli- cation de l'interféromètre, ce faisceau présente une plus petite ou une plus grande longueur de cohérence. Afin de mesurer les déplacements sur de plus grandes distances, il faut que le faisceau présente une grande longueur de cohé- rence. Dans ce cas, la source 1 est un laser, par exemple un laser hélium-néon. Une partie du faisceau 2 est réflé- chie par le diviseur de faisceau 3 comme faisceau partiel a vers un réflecteur de référence fixe 4- Le faisceau partiel b transmis par le diviseur de faisceau atteint un deuxième réflecteur 5, qui est appliqué ou fixé à un objet 6 ou une partie de cet objet, dont le déplacement doit être déter- miné. Une partie (al) du faisceau a réfléchi par le réflecteur 4 est transmise par le diviseur de faisceau 3, alors qu'une partie (b') du faisceau b réfléchi par le ré- flecteur 5 est réfléchie par le diviseur de faisceau. Les faisceaux a' et b' forment ainsi une figure deinterférence I. L'intensité de la figure d'interférencé est fonction de la phase relative des faisceaux partiels al et b'. Cette intensité varie périodiquement lorsque la longueur du tra- jet optique du faisceau partiel b croît ou décroît par suite du déplacement de l'objet 6. Dans les interféromètres connus, l'intensité de la figure d'interférence est mesurée localement à l'aide d'un détecteur sensible au rayonnement9 qui est disposé par exemple sur l'axe optique du système. Lors d'un déplacement de l'objet 6, il se produit un signal périodique ou en forme d'impulsion à la sortie du détecteur. Le comptage du nombre d'impulsions permet de déterminer la grandeur du déplacement. Dans l'interféromètre conforme à l'invention, on fait en sorte que les faisceaux partiels a' et b' fassent un petit angle entre eux. Comme l'indique la figure 1, cela se fait en faisant en sorte que le réflecteur 5 fasse un angle ne différant que peu de 90' du faisceau b. Ainsi il se produit une figure d'interférence I présentant une ré- partition d'intensité spatiale, figure qui est représentée schématiquement sur la figure 1. Les lignes d'interférence sont perpendiculaires au plan du dessin de la figure 1. La figure 2 représente la figure d'interférence une seconde fois, maintenant en plan. Si le faisceau a et le faisceau b parcourent un trajet optique de même longueur, l'intensité, mesurée en un point c1, par exemple situé sur l'axe optique du sys- tème, est maximale, tout comme l'intensité aux points c2 et C3, alors que l'intensité aux points dl et d2 est minimale. La figure d'interférence est représentée par la courbe 11. Lorsque l'objet 6 se déplace, l'intensité aux points cl, c2 et c3décroît et celle aux points d1 et d2 augmente. C'est ainsi que, lorsque l'objet se déplace sur une distance égale au quart de la longueur d'onde du faisceau 2, l'intensité aux points c1, c2 et C3 est minimale et celle aux points d1 et d2 maximale. Ainsi, la figure d'interférence présente l'allue indiquée par la courbe 12. Dans l'interféromètre conforme à l'invention, on met à profit le fait que la variation de la répartition d'intensité peut être considérée comme un "déplacement"de la figure d'interférence par rapport aux points c1, c2P C3, d1, d2. De plus, la figure d'interférence elle-même peut être considérée comme une trame présentant des transitions régulières entre les bandes claires et sombres. Dans l'in- terféromètre proposé, le déplacement de la figure d'inter- férence, et, de ce fait, le déplacement de l'objet 6, est déterminé à l'aide d'une trame de référence 8, qui est ap- pliquée au plan de la figure d'interférence. On peut tirer parti des techniques appliquées aux systèmes de mesure con- nus, dans lesquels deux trames matérielles se déplacent l'une par rapport à l'autre. Du fait qu'actuellement, la période d'une trame matérielle, qui est par exemple de quelques centaines de /um, est remplacée par une période d'une grandeur égale à la moitié de la longueur d'onde du rayonnement utilisé, par exemple O,3164/unl pour un laser hélium-néon, il est possible de mesurer des déplacements notablement plus petits que ceux pouvant être mesurés avec un système de mesure à deux trames matérielles. Comme l'indique la figure 1, une trame de référence mobile peut être réalisée à l'aide d'une photo- cellule multiple constituée par une rangée de photodiodes linéaires pratiquement identiques, qui sont successivement connectées par un commutateur électronique à un circuit de traitement électronique. Dans cet interféromètre sont omises la trame de référence et les parties mobiles servant à communiquer un mouvement uniforme à la trame, de sorte que cet interféromètre présente une structure simple et résiste i convenablement aux vibrations. La figure 3 représente une deuxième forme de réalisation d'un interféromètre conforme à ltinvention. Alors que, dans la forme de réalisation se- lon la figure 1, un réflecteur semitransparent 3 est utili- sé comme diviseur de faisceau, la forme de réalisation se- lon la figure 3 utilise un prisme de forme spéciale comme diviseur de faiscea. Ce prisme peut être considéré comme formé à partir d'un prisme semitransparent normal 14 indi- qué en pointillés sur la figure 3, présentant une face semiréflectrice 15, prisme sur lequel sont réalisées par polissage une deuxième face complètement réflectrice 16 et une troisième face semiréflectrice 17. Un choix rigoureux de l'angle compris des faces 16 et 17 permet d'obtenir que les faisceaux partiels réfléchis a' et b' fassent un petit angle entre eux. Dans cette forme de réalisation, les éléments réflecteurs sont des rétroréflecteurs 20 et 21. De tels éléments peuvent être constitués par un prisme présentant trois faces réflectrices perpendiculaires entre elles, ap- pelées réflecteurs triples (en anglais "corner cube" prism). Un faisceaux réfléchi successivement par ces trois faces présente la même direction que le faisceau entrant dans le prisme, indépendamment de la position angulaire du prisme. Un ajustement de cette position angulaire nvest donc pas nécessaire. Un même effet peut s'obtenir avec un système réflecteur dit à oeil de chat, en anglais "cat's eye", constitué par une lentille et un réflecteur disposé dans le plan focal de ce dernier. La figure 4 représente une forme de réalisa- tion de l'interféromètre, dans laquelle est utilisé un prisme du genre Wollaston 26 pour introduire un petit angle entre les faisceaux partiels a' et bt qui interfèrent. Dans cette forme de réalisation, le diviseur de faisceau est un prisme diviseur 22 sensible à la polarisation présentant une face de séparation 23 sensible à la polarisation. Le faisceau 2 comporte deux composantes polarisées perpendi- culairement entre elles, dont l'une, a est réfléchie par la face 23, alors que l'autre est transmise par la face 23. Eventuellement, il est prévu un polariseur 28 pour l'adap- tation de la direction de polarisation du faisceau fourni par la source de rayonnement 1. Le faisceau partiel a tra- verse une lame *V4 24, est réfléchi par l'élément 20 et traverse ensuite à nouveau la lame N/4 24. Ainsi, la direc- tion de polarisation est, en totalité, tournée de 900, de sorte que le faisceau partiel a' est transmis par la face 23. La composante du faisceau 2 transmise par la face 23 traverse deux fois une lame;\/4 25 et est réfléchie par la face 23. Les faisceaux partiels coïncidants a' et b', pré- sentant des directions de polarisation perpendiculaires entre elles, traversent un prisme de Wollaston qui dévie les faisceaux suivant leur direction de polarisation. Les faisceaux partiels sortant du prisme font ainsi un petit angle entre eux. Après avoir traversés un analyseur, les faisceaux partiels peuvent former une figure d'interférence présentant une répartition d'intensité spatiale à l'emplace- ment du détecteur la photocellule multiple 29. Comparativement à un réflecteur diviseur semitransparent, un diviseur de faisceau sensible à la po- larisation offre l'avantage qu'aucun rayonnement ne se perd en principe pendant la division du faisceau et pendant la réunion des faisceaux partiels. Dans l'interféromètre se- lon la figure 3, les faces 15 et 17 peuvent être également des faces de séparation sensibles à la polarisation. Dans ce cas, des lames à/4 18 et 19 doivent être insérées dans le trajet des faisceaux partiels a et b et un analyseur 27 entre le prisme et le détecteur 20. Dans le cas d'utilisation d'un diviseur de faisceau sensible à la polarisation-, il faut veiller à ce qu'il ne se produise pas de variations de polarisation ad- ditionnelles pendant la réflexion par les faces des prismes réflecteurs. A cet effet, on peut appliquer des pellicules d'argent sur les faces réflectrices de ces prismes. Comme on l'a déjà mentionné ci-dessus, l'in- terféromètre conforme à l'invention comporte une photocel- lule multiple comme système de détection. La figure 5 montre une vue de face de la photocellule multiple 29, ainsi qu'un schéma synoptique du circuit. La photocellule est composée d'un assez grand nombre d'éléments photosensibles, comme dés photodiodes 30, qui sont disposées suivant un petit nombre de groupes. Chaque groupe comporte donc un assez grand nombre de photo- diodes. Chaque photodiode d'un groupe correspond à une pe- riode, une ligne claire et une ligne sombre, de la figure d'interférence I. De ce fait, le nombre de périodes explo- rées de la figure d'interférence est égal à celui des photo- diodes dans un groupe. Le nombre de photodiodes par période de la figure d'interférence doit être aussi élevé que pos- sible pour obtenir une reproduction électrique aussi fidèle que possible du signal optique. D'autre part, une partie aussi grande que possible de la figure d'interférence doit être explorée. Dans une forme de réalisation de la photo- cellule multiple, le nombre de photodiodes était de 200 et la longueur de chaque photodiode était de 1,8 mm. La lar- geur de chaque photodiode était de 10/um et l'espacement des photodiodes également de 10/um. Le nombre de photodiodes par période de la figure d'interférence était de 10, de sorte que le champ total comprenait 20 périodes de La fi- gure d'interférence. Des photodiodes correspondantes à chaque jeu de 10 photodiodes successives étaient intercon- nectées, ce qui implique la présence de 10 groupes compre- nant chacun 20 photodiodes. Une trame fixe présentant un rapport noir- blanc de 1: 1 à la surface de la photocellule multiple 30 est simulée par activation de 5 groupes successifs de pho- todiodes (cinq groupes de 20 photodiodes dans l'exemple de réalisation). Une trame mobile se forme lorsque l'ensemble de cinq groupes avancent chaque fois d'une position. Dans le circuit de traitement représenté sous la forme du schéma synoptique de la figure 5, les im- pulsions d'horloge 32 engendrées par le générateur d'impul- sions 31 sont amenées à un diviseur 33 et un diviseur 34. Le diviseur 33 fournit des impulsions 35, qui commandent un compteur à cylindre 36. La photocellule multiple 20 est ac- tivée par le compteur à cylindre 36 et produit le signal de mesure 37. Le diviseur 34 fournit des impulsions 38 (le plus souvent d'une autre fréquence de répétition que les impulsions de commande 35 provenant du diviseur 33 qui for- ment le signal de référence). Dans le compteur tampon 39 sont comparés le signal de mesure 37 et les impulsions de référence 38. C'est ainsi que des impulsions de sortie du compteur 39 sont amenées par exemple à un indicateur. Le compteur à cylindre 36 assure l'activa- tion des groupes successifs de photodiodes de la cellule photoélectrique multiple 29, de sorte qu'une trame se dé- place pour ainsi dire à vitesse constante sur la surface de la photocellule 20. La période de la trame est égale à celle de la figure d'interférence I. A l'arrêt de la fi- gure d'interférence par rapport à la photocellule 29, le signal de mesure présente une fréquence constante. Si la figure d'interférence se déplace dans la même direction que la trame apparente activée par le compteur à cylindre 36, la fréquence du signal de mesure 37 baisse, alors que dans le cas d'un déplacement en sens opposé, la fréquence du signal de mesure 37 augmente. Ainsi, il est possible de déterminer le sens et la grandeur du déplacement de la fi- gure d'interférence, et, de ce fait, du déplacement de l'objet 6. Dans une période de la figure d'interférence I, la position de la photocellule multiple 29 peut être dé- terminée de façon absolue par rapport à la figure d'inter- férence, par mesure du déphasage entre le signal de mesure 37 et le signal de rétablissement du compteur & cylindre 36. En effet, le compteur à cylindre 36 doit être rétabli pour chaque début des mesures en vue d'assurer que le compteur 39 commence à compter à partir d'un état initial défini. Le circuit est cependant plus simple et plus fiable et le compteur à cylindre 36 est rétabli après chaque période. Le signal de rétablissement est produit par divi- sion des impulsions 35 dans le diviseur 40. La fréquence des impulsions de rétablissement est choisie égale à la fréquence nominale du signal de mesure 37. Dans le cas d'utilisation de la photocellule multiple et du circuit de traitement représentés sur la figure 5 dans un système de mesure de trame, dont la trame présente une période de 635/um, il est en principe possible de détecter le déplacement de la trame de mesure jusqueà 0,5/um. Or, l'application conforme à luinvention de la photocellule multiple et du circuit dans un interféromètre utilisant un faisceau laser hélium-néon de longueur d'onde de 0,6328/um permet en principe de détecter des déplace- o03164 ments jusqu'à x 0,5/um = 0,25 nm. Le susdit dispositif permettant de mesurer le déplacement peut être utilisé partout o il s'agit de mesurer rigoureusement de petits déplacements, comme par exemple des tours pour la mesure de déplacements de chariots et d'arbres. A ce sujet, on peut songer au tour à commande digitale mentionné dans "Optic Letters", Volume 14 N 2, pages 70 à 72, qui permet de réaliser des lentilles d'ob- jectif bi-asphériques, ce qui veut dire des lentilles pré- sentant deux surfaces non sphériques. L'interféromètre conforme à l'invention peut également être utilisé pour mesurer la linéarité du dépla- cement d'un objet. Comme le-montre la figure 6, pour cette application, la source de rayonnement 1, le diviseur de faisceau 3, le réflecteur de référence 4 et le système de détection sensible au rayonnement 7 sont disposés tous dans un seul bottier 41. Ce boîtier, dont les dimensions peuvent être petites, est déplacé à la même vitesse que l'objet 6 dans la direction indiquée par la flèche 46. Le déplacement dans cette direction de l'objet n'entraînera pas de varia- tions de la figure d'interférence. Toutefois, lorsque l'ob- jet se déplace en sens oblique par rapport à la flèche 46, le faisceau partiel réfléchi b' se déplace par rapport au faisceau partiel a', de sorte que la répartition d'inten- sité dans la figure d'interférence subit des variations. La figure d'interférence se déplace par rapport au système de détection sensible au rayonnement. Ce déplacement peut être mesuré par mesure du nombre de périodes dans le signal de sortie du système de détection 29. Pour un déplacement simultané du bottier 41 avec l'objet 6, ce bo tier peut être monté sur le chariot 43 à l'aide duquel est déplacé l'objet. De plus, comme le montre la figure 6, il est possible de munir le boîtier 41 de moyens d'entraînement propres 42, qui sont excités par le moteur 44 assurant l'entraînement du chariot d'objet par l'intermédiaire de la liaison 45. Ces dernières années il s'est produit des développements importants dans le domaine de porteurs d'en- registrement lisibles par voie optique. Dans ces porteurs d'enregistrement est-appliquée une grande quantité d'infor- mations, comme l'information vidéo et/ou audio ou l'infor- mation digitale, les éléments d'information présentant des dimensions de l'ordre de 1ium ou inférieur. Dans les dispo- sitifs conçus pour l'enregistrement d'information dans ces porteurs d'enregistrement, peut être appliqué un interféro- mètre cpnforme à l'invention pour le contrôle du déplace- ment de la tête d'enregistrement perpendiculaire aux pistes, déplacement qui peut être lent, notamment dans le cas d'en- registrements d'information audio. La figure 7 représente schématiquement un tel dispositif. Le porteur d'enregistrement 50, sur lequel on veut inscrire des informations, repose sur une table 51, qui est mise à rotation à l'aide d'un moteur 52. La tête d'enregistrement 53 comporte un laser 54, dont le faisceau 61 est dirigé vers le porteur d'enregistrement à l'aide des réflecteurs 55, 56 et 57, ce faisceau étant focalisé par un objectif 58 de façon à obtenir une petite tache d'enregistrement. L'information à enregistrer est amenée aux bornes 60 d'un modulateur 59, de sorte que l'intensité du faisceau est modulée en concordance avec l'information à enregistrer. Sur la paroi de la tête d'enregistrement 53 est appliqué un prisme réflecteur 64, qui est inséré dans le bras de mesure d'un interféromètre. Cet interféromètre comporte en outre un prisme diviseur 62 et un deuxième prisme réflecteur 63. Les faisceaux a' et b' réfléchis par les prismes réflecteurs ont la même direction que les faisceaux a et b qui atteignent ces prismes et ils sont lé- gèrement décalés par rapport à ces derniers. Un coin 65 assure une petite déviation du faisceau b' de façon que les faisceaux sortant du prisme 62 fassent un petit angle entre eux. Outre les dispositifs de mesure de déplace- ment et évidemment les compteurs de vitesse dans lesquels est déte3miné le nombre de périodes par unité de temps du signal mesuré, l'invention peut être appliquée partout o sont utilisés des interféromètres. A ce sujet, on songe aux dispositifs permettant de mesurer la rugosité des sur- faces, des dispositifs servant à mesurer des effets magnéto- strictifs ou électro-strictifs extrêmement petits, etc. REVENDICATIONS: 1. Interféromètre comportant une source de rayonnement fournissant un faisceau de rayons, un diviseur de faisceau servant à former un premier faisceau partiel et un deuxième faisceau partiel à partir du faisceau de rayons ces deux faisceaux partiels étant portés à coincidence sur la face sensible au rayonnement d'un système de détection après que le premier faisceau partiel a été en contact avec une face de l'objet à examiner, caractérisé en ce que le système de détection sensible au rayonnement est une photo- cellule multiple (29) constituée par une rangée de photo- diodes linéaires (30), qui sont connectées successivement par un commutateur électronique, à un circuit électronique conçu pour traiter le signal fourni par les photodiodes de sorte que le système de détection fonctionne comme un dé-- tecteur mobile en forme de trame, la période de la trame de la photocellule multiple correspondant à la période de la figure d'interférence en forme de ligne des deux fai- sceaux partiels superposés. 2. Interféromètre selon la revendication 1, ca- ractérisé en ce que les photodiodes (3o) sont rangées sui- vant plusieurs groupes-et les photocellules correspondantes à chaque groupe sont interconnectées. 3. Interféromètre selon la revendication 1, ca- ractérisé en ce que les groupes de photocellules sont suc- cessivement activées par un compteur à cylindre (36) qui est commandé par des impulsions d'horloge (32) prélevées sur un générateur d'impulsions (31) alors que le signal (37) fourni par les photocellules (30), ainsi que les signaux d'impulsions issus du générateur d'impulsions, sont amenés à un dispositif compteur (39), dans lequel ces signaux sont comparés entre eux. 4. Interféromètre selon la revendication 3, ca- ractérisé en ce qu'au compteur à cylindre (36) sont amenées 1 4 des impulsions de rétablissement, qui sont formées par di- vision des impulsions d'horloge (32), ces impulsions d'hor- loge étant amenées après division, au dispositif compteur (39). 5. Dispositif servant à déterminer la linéarité de déplacement d'un objet, comportant un interféromètre se- lon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la source de rayonnement (1), le diviseur de faisceau (3), un réflecteur de référence (4) et le système de détection sensible au rayonnement (7) sont réunis dans un boîtier (41) qui est muni de moyens (42) permettant de déplacer ce bottier à la même vitesse que l'objet (6). 6. Dispositif permettant d'enregistrer des in- formations à l'aide d'un rayonnement optique dans une stru- ture d'information en forme de piste dans un porteur d'en- registrement, dispositif qui comporte une tête d'enregistre- ment (53) dans laquelle sont incorporés une source de rayonnement (54) et un modulateur (59), un système porteur (51) pour le porteur d'enregistrement (50), la tête d2en- registrement et les systèmes porteurs étant disposés de façon déplaçable, l'un par rapport à l'autre, et un inter- féromètre selon l'une des revendications 1 à 5, afin de déterminer le déplacement de la tête d'enregistrement (53) dans une direction perpendiculaire à la direction des pistes à munir deinformations.