Brevet FR2494500A1 — publié le 19820521

La présente invention concerne des couches diffusées de source et de drain dans un circuit intégré à semiconducteurs comprenant un transistor à effet de champ du type métal-oxyde- semiconducteur (MOS). Un niveau d'intégration élevé et la miniaturisation sont très importants dans le développement technique des circuits intégrés à semiconducteurs comprenant des transistors à effet de champ MOS. La longueur de canal est le paramètre le plus important en ce qui concerne les progrès de la miniaturisation. On a réalisé à titre expérimental un transistor ou un circuit intégré ayant une longueur de canal d'environ 1 pim, tandis que les circuits intégrés disponibles dans la fabrication en série ont encore une longueur de canal d'environ 3 pim et la plupart des circuits intégrés sont fabriqués avec une longueur de canal d'environ 5 pm. Lorsqu'on réduit la longueur de canal, l'effet de canal court (percement entre la source et le drain et chute de la tension de seuil) se manifeste et le transistor devient défectueux. Les principales mesures envisagées pour s'opposer à cet effet sont les suivantes: (t) Réduction de l'épaisseur de la couche de grille, (2) Dopage élevé du substrat, (3) Diminution de la profondeur de diffusion xj des couches diffusées de source et de drain. Parmi ces procédés on utilise couramment la diffusion par implantation ionique dans le but de diminuer la profondeur de diffusion xj au niveau de la source et du drain. On connalt en outre les procédés qui consistent à utiliser en tant que source de diffusion les éléments As, Sb, etc, ayant un faible coefficient de diffusion, ou à utiliser les éléments B ou P en diminuant l'énergie d'implantation et la dose d'implantation de la source de diffusion. Lorsqu'on diminue la profondeur de diffusion xj ou la dose d'implantation de la source de diffusion, il arrive que le métal pénètre dans la couche diffusée dans la région de la jonction (c'est-à-dire qu'il se produit un effet de percement dans la région de la jonction). La figure 1 montre un exemple de ceci tandis que les figures 2 et 3 montrent les 2 2494500 mesures classiques qu'on utilise pour éviter ce phénomène. La figure 1 est une représentation schématique en coupe au voisinage du drain d'un transistor à effet de champ MOS à canal N qui comprend une couche d'oxyde de champ 2, une couche d'oxyde de grille 3, une électrode de grille 4, une couche diffusée de type N+, une couche de verre au phosphosilicate 6, et une connexion en Al, 7, qui sont formées sur un substrat de silicium monocristallin 1, de type P. Comme le montre la figure 1, un alliage entre A1 et Si est formé dans la partie de contact et une petite zone d'alliage 8 apparaît facilement à la périphérie d'un trou de contact. L'aluminium pénètre dans un point de la petite zone d'alliage 8 puis diffuse à partir de là dans le silicium monocristallin. Lorsque la couche diffusée 5 de type N+ est peu profonde, la distance entre le point de la petite zone d'alliage 8 ou le point à partir duquel l'aluminium diffuse, et le fond de la couche diffusée de type N+ est courte, ce qui entratne un effet de percement. En tant que principale mesure pour éviter ceci, on forme préalablement la couche diffusée N a une profondeur importante dans la partie correspondant à la partie de contact, comme le mQntre la figure 2, ou bien on établit une barrière, consistant par exemple en une couche de platine 30, sous la connexion en A1, afin d'empocher la pénétration. Cependant, si la couche diffusée N+ profonde est formée préalablement au cours d'un traitement différent de celui destiné à la formation des couches diffusées de source et de drain, cornmme le montre la figure 2, on se trouve en présence des inconvénients qui. consistent dans la nécessité de respecter une marge suffisante pour l'alignement du masque et en ce que le nombre de traitements tels que des traitements d'attaque photochimique et des traitements de diffusion est accru. Lorsqu'on utilise la couche barrière, comme le montre la figure 3, il apparaît les convénients suivants: il devient difficile d'établir un bon contact entre la couche barrière et le substrat en silicium monocristallin ou la couche de verre au phosphosilicate; le nombre de traitements tels que le dép8t en phase vapeur et l'attaque pour la formation d'une couche barrière, est accru, et on ne peut pas empêcher complétement la pénétration. Bien qu'on puisse empêcher la pénétration en mélangeant à l'aluminium du silicium, du cuivre ou des éléments analogues, ceci n'empêche pas complètement la pénétration lorsque la profondeur de diffusion est faible, c'est-à-dire de 092 pm à 0,5 pm. L'invention a pour but de prendre en considération et de réduire les inconvénients mentionnés ci-dessus, c'est-à- dire d'empêcher la pénétration sans augmenter le nombre de traitements et sans nécessiter le respect d'une marge pour l'alignement du masque. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre d'un mode de réalisation et en se référant aux dessins annexés sur lesquels: Les figures 1 à 3,envisagées précédemment, sont des coupes schématiques d'un transistor à effet de champ MOS à canal N de type classique. Les figures 4 à 7 sont des coupes schématiques montrant,dans l'ordre, le processus de fabrication d'un transistor à effet de champ MOS à canal N conforme à l'invention. Comme le montre la figure 4, une couche d'oxyde de champ 32 est formée par oxydation sélective sur le substrat de silicium monocristallin de type P, 31. Une couche d'oxyde de grille 33 est formée sur la partie dans laquelle la couche d'oxyde de champ n'est pas formée, une électrode de grille 34 est formée sur la couche d'oxyde de grille 33, une couche d'oxyde mince est formée sur l'oxyde de grille, et une couche diffusée N+, 35, qui devient un drain,est formée sur la couche d'oxyde mince, par implantation ionique d'arsenic, ayant un faible coefficient de diffusion. Comme le montre la figure 5, une couche de verre au phosphosilicate 36 est formée sur l'ensemble, puis un trou de contact est établi. Comme le montre la figure 6, on dépose du P203 par la réaction de POCl3 avec 2' sur la couche diffusée 35 qui est représentée sur la figure 5, et on forme la couche diffusée N+ 39 par diffusion thermique de phosphore. A ce moment, du fait de la différence de coefficient de diffusion entre le phosphore et l'arsenic, la couche diffusée 39, dopée au phosphore, peut ôtre traitée de façon à pénétrer plus profondément, sans augmenter la profondeur de la couche diffusée 35, dopée àl'arsenic. Dans ce cas, il est possible d'obtenir la profondeur de diffusion désirée xi en procédant uniquement au dépôt préalable d'une couche N+, ou en procédant par recuit dans une atmosphère N2, après dépôt préalable d'une couche N+. De plus, lorsque le dépôt préalable de la couche N+ est combiné avec une refusion de la couche de verre au phosphosilicate, il est possible d'améliorer la forme de la marche et la forme de la partie de contact sans augmenter le nombre de traitements. De plus, comme le montre la figure 7, une connexion en aluminium 37 est formée par gravure photochimique d'une couche d'aluminium qui est déposée après attaque de la surface de la couche diffusée 35. Conformément au procédé de l'invention décrit ci-dessus, il est possible de réaliser une structure dans laquelle la pénétration est empêchée par une diffusion profonde portant uniquement sur la partie de contact, sans augmenter le nombre de traitements et sans qu'il soit nécessaire de respecter spécialement une marge suffisante pour l'alignement du masque. On utilise ici du phosphore et de l'arsenic, mais l'invention s'applique également à l'utilisation d'autres éléments ou à l'utilisation de plus de trois sortes d'éléments. Le mode de réalisation de l'invention qu'on vient d'expliquer porte sur un circuit intégré MOS à canal Np mais l'invention est également applicable à un circuit intégré MOS à canal P ou à un circuit intégré MOS complémentaire. En outre, dans ce mode de réalisation de l'invention, on a indiqué le procédé de fabrication qui consiste à effectuer la diffusion profonde à la fin, mais l'invention sapplique également au cas dans lequel l'ordre des opérations est changée Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent 8tre apportées au dispositif décrit et représenté, sans sortir du cadre de l'invention. REVENDICATION Circuit intégré à semiconducteurs comprenant un transistor à effet de champ MOS formé sur un substrat en silicium monocristallin, caractérisé en ce que, parmi des couches diffusées de source et de drain, une partie de l'une au moins de ces couches diffusées est form- par double diffusion, en faisant chevaucher différentes espèces d'atomes ayant le même type de conductivité mais des coefficients de diffusion différents.