Brevet FR2494044A1 — publié le 19820514

PHOTOTRANSISTOR A HETEROJONCTION EN TECHNOLOGIE PLANAR ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN TEL PHOTOTRANSISTDR. L'invention concerne un phototransistor à hétérojonction en technolo- gie plane, dite "planar", ainsi qu'un procédé de fabrication de celui-ci. On sait que les phototransistors du type planar sont fabriqués par épitaxie successives sur un substrat cristallin à partir de matériaux semicon- ducteurs appartenant: - soit à un système ternaire: Ga, AI, As; - soit un système quaternaire: Ga, In, As, P. Or on rencontre, dans cette technologie, les difficultés suivantes: 1 / La connexion électrique du dispositif, avec contact de bonne qualité, pour la couche intermédiaire, est difficile à réaliser, en raison: de la situation de cette couche, moins accessible que les couches extrêmes, par le substrat ou par la face supérieure libre du phototransistor; de sa minceur, l'épaisseur courante de cette couche, dans un phototransistor à hétérojonction, étant de l'ordre du micron 2 / La position de la jonction p-n est difficile à contrôler exactement en raison de la diffusion possible du dopant d'une couche pendant l'épitaxie de la suivante. C'est notamment le cas, dans le système quaternaire, en transistor n-p-n, pour la diffusion de l'impureté de type p+ de la couche intermédiaire (base) qui est susceptible de diffuser relativement loin dans la couche supérieure (émetteur), provoquant ainsi une diminution importante du coefficient d'amplification du phototransistor. L'invention vise à éliminer ces difficultés en adoptant une nouvelle structure et un procédé de fabrication adapté à celle-ci. Le phototransistor selon l'invention comporte: - un substrat constitué par un premier matériau semiconducteur fortement dopé dans un premier type de conductivité; - une première couche semiconductrice constituée par un deuxième matériau semiconducteur à bande interdite déterminée pour absorber un rayonnement de longueur d'onde prédéterminée; - une deuxième couche semiconductrice, constituée par un troisième matériau semiconducteur à bande interdite plus grande que celle du deu- xième matériau. Il est caractérisé en ce que: - la première couche présente un dopage moins élevé que le substrat dans le même type de conductivité en ce qui concerne une première région en contact avec le substrat et un dopage du type opposé de conductivité dans une deuxième région plus éloignée du substrat que la première et comportant ainsi une jonction p-n ou n-p; - la deuxième couche comporte une troisième région de même type de conductivité que le substrat occupant toute l'épaisseur de la deuxième couche et une partie relativement faible de sa largeur, la troisième région étant entourée d'une quatrième région de type opposé de conductivité se raccordant à la deuxième région de la première couche. L'invention sera mieux comprise, et d'autres caractéristiques apparai- tront, au moyen de la description qui suit, et des dessins qui l'accompagnent, parmi lesquels: - la figure 1 représente en coupe schématique un phototransistor selon l'invention; - la figure 2 est une vue par dessus d'un phototransistor selon l'invention; - les figures 3 à 5 représentent des étapes de fabrication du photo- transistor - la figure 6 représente, vue par dessus, une variante de l'invention. Le bloc semiconducteur qui forme la partie essentielle du phototran- sistor (représenté en coupe à la figure 1) comporte: - un substrat 1 en matériau semiconducteur monocristallin, par exem- ple en phosphure d'indium, dopé n+ (concentration supérieure ou égale à 1017 at.cm3); - une première couche 2, semiconductrice, en matériau de composition donnée par la formule: Gax In _x Asy P _y avec: 0,05 îo17 at.cm3 d'une impureté de type n. - une deuxième couche 3 semiconductrice en matériau de composition donnée par la formule: Gax InjX, Asyl PY' o x' et y' sont choisis dans les mêmes intervalles que pour la première couche, en respectant la même relation, avec en outre la condition: x' 1017 at.cm-3. Les épaisseurs sont les suivantes: - pour la couche 2, de 1 à 10 microns, mais de préférence en restant dans l'intervalle allant de 1,5 (pour une concentration de 1017 at.cm 3) à 4 microns (pour 1015 at.cm 3). L'épaisseur de 1,5 micron est un minimum pour absorber une quasi-totalité de la lumière en un seul passage; il est vrai que cette épaisseur pourrait être moindre dans l'exemple choisi sans compromet- tre l'absorption de photons en raison de la propriété de InP d'être transpa- rent pour la lumière absorbée par le matériau quaternaire. Des réflexions successives peuvent alors avoir lieu sur la face métallisée du substrat et permettre une absorption de lumière au cours de traversées successives de la couche 2. - pour la couche 3 une épaisseur de 0,2 à 0,3 micron, l'impureté implantée dans le cas du phosphure d'indium, de gallium et d'arsenic étant constituée par des ions silicium lancés par un implanteur ionique. Pour compléter le phototransistor, on réalise des métallisations 24 et 25 sur les régions 22 et 23, respectivement, puis 28 sur la face libre du substrat. La métallisation 24 est en forme de fer à cheval comme le montre la figure 2 qui est une vue par dessus du phototransistor. Elle entoure une zone 20 de forme circulaire située au centre et destinée à recevoir les rayons lumineux 10 (figure 1). Des connexions de raccordement électrique 28 (B), 27 (E) et 29 (C) sont soudées aux métallisations (figure 1) pour constituer les accès à la base, à l'émetteur et au collecteur du phototran- sistor, respectivement. Le fonctionnement du phototransistor ainsi réalisé est classique: la jonction pn du transistor npn étant polarisée en inverse, les photons absorbés par la couche 2 donnent naissance à des paires électrons- trous qui génèrent le courant primaire, amplifié par effet transistor et donnant lieu à un courant collecteur que l'on détecte pour mesurer la quantité de photons reçue. Parmi les avantages dé l'invention, on note la facilité de réalisation des connexions de base et d'émetteur. En outre, selon une variante représen- tée à la figure 6, on peut interdigiter les régions 22 et 23 et les métallisations 24 et 25 de base et d'émetteur ce qui permet, en très haute fréquence, de diminuer la résistance latérale de base et d'utiliser le phototransistor à la réception dans les télécommunications par fibre op- tique. Le procédé de fabrication comporte les étapes suivantes: l1/ Dépôt par épitaxie (en phase liquide dans le cas des matériaux quaternaires mais éventuellement en phase gazeuse pour d'autres matériaux) de la couche 2 sur le substrat 1, le dopage de la couche 2 étant de même type de conductivité et de moindre concentration que le substrat. 20/ Dépôt par la même méthode qu'à l'étape précédente et par exemple avec le même dopage et la même concentration de dopant, de la couche 3 sur la couche 2. Le résultat obtenu est représenté à la figure 3. Le type de conductivité pourrait être du type opposé à celui de la couche 2. / Réalisation d'un masque de diélectrique 40 (figure 4) par photoli- thogravure par exemple à l'aide d'oxyde de silicium, le masque comportant une ouverture centrale de manière à constituer une fenêtre de diffusion pour l'étape suivante. / Diffusion d'une impureté acceptrice (Zn, Cd, Mg, Be par exemple dans le cas d'un substrat de type n) et d'une impureté de type opposé dans le cas d'un substrat de type p, de manière à créer la région 22 (figure 4) pénétrant d'un ou deux microns dans la couche 2 (région 220). / Réalisation d'un masque diélectrique analogue au précédent mais délimitant une ouverture plus petite qu'à la troisième étape. 60/ Création, par implantation ou diffusion d'une impureté de type opposé à celui de l'impureté diffusée à la quatrième étape, de la région 23 (figure 5). 7 / Finition du phototransistor par dépôt des métallisations 24, 25 et 28, puis soudure des connexions 26, 27 et 29. Dans une variante non représentée du procédé, on forme, par épitaxie une couche monocristalline très dopée du même matériau que le substrat directement sur celui-ci, dans le même type de dopage et une concentration de 1017 à 1018 at.cm-3. Cette couche forme tampon entre le substrat 1 et la couche 2, pour masquer des défauts éventuels du réseau cristallin du substrat. L'invention est réalisable dans le système ternaire (Ga, AI, As, par exemple). Le substrat étant en Ga As, la première couche est alors en matériau de formule: Ga,_, AIz As o l'on a: 0 L'épaisseur et la concentration du dopage sont choisis dans des intervalles analogues à ceux qui ont été préconisés dans le cas du système quaternaire. La deuxième couche est en matériau de formule: Ga,_,, AIE, As oul'ona:z On prend par exemple: z' = z + 0,1. Le procédé de fabrication est analogue. Toutefois l'épitaxie en phase gazeuse est plus facile à réaliser. En ce qui concerne le dopage n de la région 23 il peut être facilement réalisé par simple diffusion. REVENDICATIONS 1. Phototransistor à hétérojonction du type comportant: - un substrat (1) constitué par un premier matériau semiconducteur fortement dopé dans un premier type de conductivité; - une première couche semiconductrice (2) constituée par un deuxième 5. matériau semiconducteur à bande interdite déterminée pour absorber un rayonnement de longueur d'onde prédéterminée; - une deuxième couche semiconductrice (3), constituée par un troi- sième matériau semiconducteur à bande interdite plus grande que celle du deuxième matériau; ' caractérisé en ce que: - la première couche (2) présente un dopage moins élevé que le substrat (1) dans le même type de conductivité en ce qui concerne une première région (21) en contact avec le substrat et un dopage du type opposé de conductivité dans une deuxième région (220) plus éloignée du substrat (1) que la première (21) comportant ainsi une jonction p-n ou n-p; - la deuxième couche (3) comporte une troisième région (23) de même type de conductivité que le substrat (1) occupant toute l'épaisseur de la deuxième couche (3) et une partie relativement faible de sa largeur, la troisième région (23) étant entourée d'une quatrième région (22) de type opposé de conductivité se raccordant à la deuxième région (220) de la première couche. 2. Phototransistor selon la revendication 1, caractérisé en ce que, le substrat (1) étant en phosphure d'indium monocristallin, la première couche (2) est en matériau de composition donnée par la formule: Gax In1X Asy P1_Y avec: 0,05 avec: z 4. Phototransistor selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des métallisations d'émetteur (25) de base (24) et de collecteur (28) respectivement déposées sur les faces du semiconducteur donnant accès à la troisième région (23) à la quatrième région (22) et au substrat (1). 5. Phototransistor selon la revendication 4, caractérisé en ce que la métallisation de base est interdigitée avec la métallisation d'émetteur, la métallisation de base présentant une ouverture de forme circulaire pour laisser passer la lumière à détecter. 6. Procédé de fabrication d'un phototransistor selon l'une quelconque des revendications I à 5, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: (a) dépôt par épitaxie de la première couche (2) sur le substrat (1), la couche étant dopée dans le même type de conductivité que le substrat (1) avec une concentration moindre le dopant; (b) dépôt par épitaxie de la deuxième couche (3) sur la première couche (2), la deuxième-couche étant plus faiblement dopée que le substrat (1) dans un type de conductivité quelconque; (c) réalisation d'un masque.(40) comportant une ouverture centrale constituant une fenêtre de diffusion pour l'étape suivante (d) diffusion d'une impureté de manière à créer les deuxième et quatrième régions de type de conductivité opposé à celui du substrat (1) (e) réalisation d'un masque (50) analogue au précédent mais délimitant une ouverture plus petite; (f) création, par implantation ou diffusion d'une impureté de type opposé à celle de l'étape (d), de la troisième région (23); (g) finition du phototransistor par dépôt de métallisations et soudure de connexions. 7. Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comporte une étape préliminaire au cours de laquelle on dépose par épitaxie sur le substrat (1) une couche tampon de même nature que le substrat et fortement dopé dans le même type de conductivité.