Brevet FR2492978A1 — publié le 19820430

La présente invention concerne un capteur de pression et, plus particulièrement, un capteur de pression se fondant sur des variations de capacité pour indiquer des fluctuations de la pression. Les capteurs de pression capacitifs sont bien connus dans l'art antérieur. De tels capteurs comportent typiquement un élément fixe ayant une surface conductrice plane et rigide formant une plaque d'un condensateur à pla- ques essentiellement parallèles. Un élément conducteur dé- formable, comme un diaphragme en clinquant ou feuille métal- lique mince, forme l'autre plaque du condensateur. Générale- ment, le diaphragme est supporté par ses bords, de sorte qu'une partie centrale est essentiellement parallèle et opposée à la plaque fixe. Puisque le capteur présente géné- ralement la forme d'un condensateur à plaques parallèles, la capacité caractéristique du capteur est inversement pro- portionnelle à l'intervalle, dentre la partie centrale du diaphragme et-la surface conductrice de l'élément fixe. Afin de permettre l'existence d'une différence de pression de part et d'autre du diaphragme, la région située d'un côté du diaphragme est séparée de manière étanche de la région située de l'autre côté. En pratique, l'élasticité du diaphragme est choisie de manière que des différences de pression de part et d'autre du diaphragme, se situant dans une gamme in- téressante particulière, provoquent des déplacements de la partie centrale du diaphragme. Ces déplacements provoqués par des différences de pression aboutissent à des variations correspondantes de l'intervalle, d, entre les deux plaques du condensateur et, ainsi, à des variations de capacité du condensateur du capteur. Pour posséder une sensibilité relativement élevée, de tels capteurs doivent présenter de grandes variations de capacité en réponse à des variations relativement faibles de l'intervalle. Pour obtenir une tel- ab le sensibilité d'un appareil à un autre, les dimensions no- minales de l'intervalle et le parallélisme des plaques doi- vent être bien réglés. Donc, la réalisation de tels capteurs exige que leurs pièces constitutives soient fabriquées à des tolérances étroites pour établir les relations dimensionnelles requises. En outre, la structure et les matières doivent maintenir ces relations dans une gamme de températures utiles. Dans une forme de capteur antérieur, dont un exemple est le capteur du tranducteur modèle 237 fabriqué par Setra Systems, Inc., l'électrode métallique fixe est supportée, par rapport à l'élément de support du diaphragme, par une partie en verre électriquement non conducteur et résistant bien aux températures élevées. En raison des diffé- rences de coefficient de dilatation thermique entre un tel verre et l'électrode ainsi que l'élément de support de dia- phragme métalliques, les variations de température provoquent des variations de l'intervalle entre l'électrode fixe et le diaphragme (c'està-dire les plaques du condensateur), ce qui aboutit à des lectures de pression erronées. En outre, la séparation étanche efficace entre des régions situées de part et d'autre du diaphragme ne peut être économiquement maintenue que sur une gamme relativement étroite de la tem- pérature. Ainsi, de tels capteurs ne donnent des lectures de pression fiables que sur une gamme relativement étroite de températures. En outre, pendant la fabrication de tels capteurs, l'électrode fixe doit être fixée dans la partie en verre et la partie correspondant à la plaque conductrice doit être généralement traitée selon les besoins (par exem- ple par polissage) pour établir l'intervalle et le parallé- lisme nécessaires. Par conséquent, ces capteurs de pression à capacité variable sont relativement onéreux à fabriquer. En outre, pendant la fabrication de tels capteurs, l'électrode fixe est généralement fixée dans la partie en verre pendant que le verre est à l'état fondu. Pendant que l'ensemble refroidit, il se crée des contraintes mécaniques qui altèrent typiquement la dimension de l'inter- valle initial voulu ou dégradent le parallélisme entre les plaques de condensateur. Après le refroidissement de l'ensem- ble, l'électrode fixe peut nécessiter un traitement selon les besoins (par exemple par polissage) pour rétablir l'in- tervalle et le parallélisme critiques. En raison de ces étapes opératoires, de tels capteurs sont relativement difficiles et, de manière correspondante, onéreux à fabriquer. L'invention vise donc notamment à proposer un capteur de pression capacitif qui surmonte les inconvénients connus de l'art antérieur. Plus particulièrement, l'invention vise à proposer un tel capteur de pression gardant une sensibi- lité relativement grande dans une large gamme de la tempéra- ture. La présente invention vise en outre à propo- ser un capteur de pression capacitif qui est hautement fiable, peu onéreux et facile à fabriquer. En bref, le capteur de pression capacitif selon la présente invention comporte un élément métallique de base en forme de cuvette, ou concave, relié à un support de l'élément de base au centre de la partie inférieure de cet élément de base. L'élément de base comporte, à partir de son bord ou de sa jante, une partie formant bride et qui est géné- ralement plane sauf un creux circonférentiel. Un diaphragme conducteur, déformable et relativement mince, est disposé sur la bride de l'élément de base. Une bague de serrage, présentant une surface complémentaire de celle de la bride de l'élément de base, est fixée sur le bord du diaphragme et sur la bride de manière à serrer sous tension mécanique le diaphragme sur la bride. Un dispositif d'électrode est fixé au sup- port de base au sein du volume clos formé par l'élément de base et le diaphragme. Le dispositif d'électrode comprend une électrode conductrice ayant une partie plane et un élé- ment de support diélectrique. L'élément de support est relié au support de base de manière que la partie plane de l'élec- trode soit essentiellement parallèle à la bride de l'élément de base et en soit écartée d'une distance prédéterminée, d. Avec cette configuration, le diaphragme et la partie plane de l'électrode forment un condensateur à plaques parallèles. En outre, sous l'effet de différences de pression, le dia- phragme est déplacé, ce qui provoque des variations corres- pondantes de la capacité. La liaison électrique au condensa- teur peut être réalisée par une liaison directe à l'élément de base pour une plaque et par une liaison, traversant des joints de passage, à la plaque formée par la partie plane de l'électrode. Dans une forme de réalisation de l'invention, le support de base traverse l'élément de base pour parvenir dans une région située à l'extérieur du volume clos formé par l'ensemble constitué par l'élément de base et le diaphrag- me. Dans cetLe forme de réalisation, un premier orifice sous pression peut être ménagé dans le support de base pour lu assurer la liaison avec l'intérieur du volume clos afin de permettre le réglage de la pression s'exerçant sur la surface interne du diaphragme. En outre, un boîtier peut recouvrir -la totalité de l'ensemble formé par l'élément de base et le diaphragme et comprendre un second orifice sous pression destiné à permettre le réglage de la pression s'exerçant sur la surface externe du diaphragme. La configuration se- lon la présente invention permet de limiter à son minimum le nombre de pièces de précision et d'opérations complexes d'as- semblage, la seule opération d'assemblage impliquant des di- mensions critiques étant l'alignement initial de l'électrode par rapport à la bride de l'élément de base. Puisque cette étape n'implique que des matières solides à la température ambiante, il s'établit le minimum de contraintes mécaniques En outre, puisqu'il n'y a pas de jonctions étanches entre le verre et du métal, il n'y a pas de problèmes dus à une mauvai- se harmonisation des coefficients de dilatation en fonction de la température. Donc, la présente invention propose un capteur de pression capacitif à grande sensibilité sur une large gamme de la température. -Dans un procédé préféré de construction, on relie tout d'abord l'élément diélectrique de support et l'électrode à l'élément de base et au support de base, la partie plane de l'électrode étant parallèle à la bride de l'élément de base et à une distance prédéterminée, d,de cette bride. Puis on place le diaphragme sur la bride de l'élément de base et au contact de celle-ci de manière que le diaphragme recouvre le creux de la bride. On force ensuite la bague de serrage à venir en relation de correspondance avec la bride, c'est-à-dire à en épouser la forme, ce qui intercale effica- cement le diaphragme en formant un "sandwich" ou un stratifié. On fixe ensuite la bague de serrage sur la bride, par exemple par une série de points de soudure. Dans certaines formes de réalisation de l'invention, une matière d'étanchéité est également placée entre le diaphragme et la bride. Il en ré- sulte que le diaphragme est supporté par son bord sur l'élé- ment de base et qu'il est maintenu sous tension mécanique radiale. Une autre forme de réalisation de l'inven- tion comprend les éléments principaux de la forme décrite ci-dessus et comprend également un élément supérieur concave, présentant une bride périphérique complémentaire de la bride de l'élément de base. Les brides peuvent comporter dans certaines formes un creux circonférentiel ou annulaire et elles peuvent être essentiellement planes dans d'autres formes. Des exemples nullement limitatifs de l'in- vention seront maintenant décrits plus en détail en regard des dessins annexés sur lesquels: la figure 1 est une coupe d'une forme de réalisation d'un capteur de pression capacitif selon la pré- sente invention; et les figures 2 et 3 sont des coupes d'autres formes de réalisation d'un capteur de pression capacitif selon la présente invention. On voit sur la figure 1 que le capteur de pression capacitif 10 comporte une enveloppe ou boîtier 11 pouvant résister à la pression et qui est de préférence en acier inoxydable. Le boltier 11 comporte un orifice 12 sous pression, qui communique avec l'intérieur du boîtier 11. Un condensateur variable (indiqué par l'indice général de réfé- rence 13) est relié au boîtier 11 à l'intérieur duquel il est placé. Ce condensateur 13 comporte un élément de base 14 en forme de cuvette. L'élément de base 14 est relié, par sa partie centrale et inférieure, à un support 16 de la base. Le support 16 s'étend le long d'un axe central 14a de l'élé- ment de base 14. Le condensateur 13 est positionné de façon générale à l'intérieur du boîtier Il à l'aide d'écrous 15a et 15b sur une partie filetée du support de base 16. L'élé- ment de base 14 comporte, à partir de sa jante ou bordure, une partie 18 formant bride. La partie 18 'a une forme géné- rale plane, sauf un creux (ou une crête; circonférentiel ou annulaire 18a. La bordure et la partie formant bride, de l'élément de base 14, se situent de façon générale dans un premier plan perpendiculaire à l'axe central 14a. Dans une Forme préférée, l'élément 14 est réalisé en acier inoxy- dable embouti et comporte une partie en forme de secteur de sphère. Cette forme donne un élément de base rigide et peu onéreux. Dans d'autres formes de réalisation, l'élément de base 14 peut avoir, par exemple, la forme d'une cuvette en cylindre droit à base circulaire, produite par exemple par usinage. Un diaphragme 20 conducteur, déformable et relativement mince est tendu sur l'élément de base 14, de manière que ses bords recouvrent la bride 18. Dans une forme de réalisation, le diaphragme peut être en acier inoxydable dont l'épaisseur se situe entre 0,005 mm et 0,76 mm. En variante, le diaphragme 20 peut avoir l'une des formes décrites dans la demande de brevet déposée ce même jour par la Demanderesse et intitulée "Diaphragme déformable, notamment pour capteur de pression capacitif ou autres transducteurs". Le diaphragme peut être réalisé en du clinquant ou en une matière non conductrice comportant une partie conductrice, établie par exemple par le dépôt d'une pellicule conductrice. Le capteur comporte en outre une bague de serrage 24, présentant une surface inférieure (telle que représentée) dont la forme est complémentaire de celle de la surface supérieure (telle que représentée) de la bride 18, y compris le creux 18a. La bague 24 est fixée au bord du diaphragme 20 et à la bride 18, en établissant ou délimitant un volume clos 26 dans l'ensemble formé par l'élément de base 14 et le diaphragme 20.Dans certaines formes de réali- sation, on peut interposer une composition classique d'étan- chéité entre le diaphragme 20 et la bride 18. En variante, un bottier ou "carter" protec- teur du diaphragme 20 peut être formé par un élément supé- rieur qui peut être une tôle ayant un rayon de courbure cor- respondant au rayon externe de courbure de la bride 18 et qui est supportée par un anneau de matière élastomère (comme "RTV" fabriqué par Dow Corning) monté par-dessus la bague 24. Le capteur 10 comporte en outre au sein du volume 26 un élément 30 de support d'électrode relié au support 16 de base, et une électrode associée 32 ayant une surface plane. L'élément 30 de support est en matière dié- lectrique, comme une matière céramique, présentant une sur- face supérieure annulaire plane. L'électrode 32 est une mince pellicule métallique sur cette surface supérieure. La pellicule peut être formée, par exemple, par dépôt thermique ou évaporation sur l'élément de support diélectrique 30. Dans la forme de réalisation représentée, l'élément de sup- port 30 comporte une zone centrale évidée (ou fraisée) des- tinée à loger la butée 34 du support 16, et la pellicule conductrice a la forme d'une bague annulaire afin de minimi- ser, pendant le fonctionnement de l'appareil, les non-linéa- rités dues à la forme généralement sphérique de la zone centrale du diaphragme 20. Dans la présente forme de réalisation, le support 16 de la base est fileté et comporte une butée supé- rieure 34. Avec cette configuration, on peut établir un intervalle nominald, entre l'électrode 32 et le diaphragme 20 (le long de l'axe 14a) en utilisant un écrou 35 et des entretoises (si nécessaire) entre l'élément de base 14 et le support 30 de l'électrode. Selon l'invention, le support 30 de l'élec- trode et le support (ou élément de base 14). du diaphragme sont montés par leurs parties centrales sur le support 16 de l'élément de base, ce qui minimise l'effet de la diffé- rence de dilatation thermique sur les dimensions de l'in- tervalle d. On préfère que la surface de contact entre 14,16 et 30 soit faible pour minimiser encore l'effet de la dilata- tion thermique sur l'intervalle et pour minimiser la con- trainte thermique. Un conducteur 36 assure le contact électri- que entre l'extérieur et l'électrode 32 en traversant des joints isolants de passage 38 et 40. Dans la présente forme de réalisation, le contact électrique entre l'extérieur et le diaphragme 20 est assuré par le support 16 de l'élé- ment de base (à l'aide de l'élément de base 14). Ces deux points de contact électrique peuvent servir avec un montage classique de mesure de capacité pour émettre un signal re- présentant la capacité associée à l'électride 32 et au dia- phragme 20. Dans d'autres formes de réalisation, la liaison électrique avec le diaphragme 20 et l'électrode 32 peut être différente. Par exemple, l'électrode 32 et l'élé- ment 30 de support ainsi que le support 16 de l'élément de base peuvent former une structure métallique d'un seul te- nantdans laquelle l'élément de base 14 est isolé du support 16. Dans cette forme de réalisation, on peut assurer un contact électrique avec le support 16 et l'élément de base 14. Dans la présente configuration, le support 16 de l'élé- ment de base présente un conduit central 16a constituant un orifice de communication sous pression avec le volume 26. Dans la présente forme de réalisation, le diaphragme 20 est supporté sur ses bords sous tension méca- nique radiale. La présente invention permet d'effectuer en une seule étape la fixation et la mise sous tension mécani- que du diaphragme 20. Dans le procédé préféré de fabrica- tion, on assemble tout d'abord l'élément de base 14 et l'élé- ment de support 30 de l'électrode, de manière que la partie plane de l'électrode 32 soit parallèle à la bride plane 18 et à une distance prédéterminée d de celle-ci. On installe ensuite le conducteur 36. On tend ensuite le diaphragme 20 sur la bride 18 et l'on presse la bague de serrage 24 de manière à lui faire épouser la forme de la bride 18 (et du creux 18a). On fixe ensuite la bague de serrage par soudage par points ou par une autre technique convenable. Lorsque l'on fait épouser à la bague 24 la forme du creux 18a, le diaphragme 20 est déformé de manière à être mis sous tension mécanique radiale. Dans d'autres formes de réalisation du capteur de pression selon l'invention, notamment celles com- portant des diaphragmes essentiellement plats, la bride 18 et la bague 24 de serrage peuvent avoir des surfaces oppo- sées essentiellement planes (c'est-à-dire sans le creux circonférentiel ou annulaire). Dans d'autres formes encore de réalisation du capteur- de l'invention, les surfaces com- plémentaires de la bride 18 et de la bague 24 peuvent pré- senter d'autres formes, par exemple une forme conique. Dans un autre procédé d'assemblage, lors- que la bride 18 est plane, on peut relier le diaphragme à la bride 18 sous tension mécanique radiale par les étapes suivantes. Tout d'abord, on place l'élément de base 14 dans un montage qui supporte par le bas la bride 18 et tire vers le bas le support 16 pour déformer légèrement l'élément 14. Puis on place le diaphragme 20 sur la bride 18 et l'on positionne la bague 24 de serrage sur le dia- phragme 20 et la bride 18. On soude ensuite la bague 24 sur la bride 18, ce qui fixe le diaphragme 20. Puis, lors- que le support 16 est libéré, l'élément 14 revient à sa forme originale en plaçant ainsi le diaphragme 20 sous tension mécanique radiale. Dans certaines formes du capteur de l'in- vention (par exemple celles dans lesquelles le diaphragme est un clinquant plat présentant une configuration de plis ou rides, comme celles représentées sur les figures 9 et de la demande de brevet déposée le même jour par la Demanderesse et intitulée "Diaphragme déformable, notamment pour capteur de pression capacitif ou autres transducteurs", il n'est pas nécessaire de fixer le diaphragme 20 sur la bride 18 sous tension mécanique radiale mais, au contraire, ce diaphragme peut être juste positionné sur la bride 18 et fixé sur elle. La figure 2 montre un autre capteur 48 se- lon la présente invention, qui est semblable à la forme de réalisation représentée sur la figure 1. Les éléments de la configuration de la figure 2 qui correspondent à ceux de la configuration de la figure 1 sont identifiés par les mêmes indices de référence. La forme de réalisation repré- sentée sur la figure 2 comprend un élément supérieur concave s'étendant autour d'un axe central ou de symétrie 14a' parallèle à l'axe 14a. Dans la plupart des cas, les axes 14a et 14a' sont coaxiaux. L'élément supérieur 50 comporte une jante ou bordure se situant dans un second plan perpendicu- laire au second axe central 14a', ainsi qu'une bride annu- laire circonférentielle 52 qui part de la jante et présente une surface inférieure complémentaire de la surface supé- rieure de la bride 18 de l'élément de base 14. Dans le cas représenté, les surfaces en regard des brides 18 et 52 sont planes mais, dans d'autres formes de réalisation, ces brides peuvent comporter des creux ou des crêtes circonférentielles complémentaires. On voit sur la figure 2 que les écrous 15a et 15b fixent le capteur 48 (à l'aide du tube présentant un orifice ou lumière 12 sous pression) à-un support externe 60. Le support 60 sert également de boîtier au capteur 48, et il comporte un orifice d'entrée 61 pour relier une pres- sion d'entrée (à l'aide d'un conduit 16a) à la région située entre le diaphragme 20 et l'élément de base 14. Dans cette forme de réalisation, le conducteur 36 peut être relié à un circuit de mesure 62, qui est monté à l'intérieur du sup- port 60. Des joints de passage correspondant aux joints 38 et 40 de la figure 1 ne sont pas nécessaires. L'élément su- périeur 50 délimite une cavité antérieure d'un seul tenant. En outre, l'élément supérieur 50 assure une protection contre des surpressions négatives et une protection physique du diaphragme et constitue un élément permettant de monter le dispositif qui isole les éléments du capteur formant l'intervalle sensible. Le support 30 de l'électrode et l'élec- trode 32 assurent une protection contre les surpressions positives. Pour faire fonctionner les capteurs 10 et 48 à titre de capteurs différentiels, on relie l'orifice 12 à une première source de pression, et l'on relie le conduit central 16a du support 16 de l'élément de base à l'autre source de pression. Toute différence de pression provoque le fléchissement du diaphragme 20 pour le rapprocher ou l'éloi- gner de l'électrode 32. Une telle variation de la distance entre le diaphragme 20 et l'électrode 32 provoque une va- riation de capacité entre ces deux éléments. Cette capacité il peut alors être mesurée entre le conducteur 36 et l'élément 16 de support de la base par un appareillage classique de mesure de capacité (non représenté). Les capteurs 10 et 48 peuvent également servir de capteurs de la pression absolue, lorsqu'on obture l'orifice 12 ou le conduit 16a de l'élément 16 de support de la base tout en reliant l'orifice non obtu- ré à la région dont la pression est à mesurer. Comme ci- dessus, on détecte ou capte la pression en notant la varia- tion de capacité associée à l'intervalle entre le diaphragme 20 et l'électrode 32. Du fait de l'agencement du montage par la partie centrale, selon lequel l'électrode 32 comme son support 30, ainsi que l'élément de base 14, sont sup- portés à leur partie centrale par l'élément 16 de support de base (avec une surface de contact relativement faible entre l'élément métallique de base 14 et le support 30 de l'électrode en matière céramique), on élimine les déformations provenant des contraintes dues au montage, ce qui élimine, comme source d'erreurs, les contraintes dues au montage ainsi que les contraintes provoquées par des différences de dilata- tion thermique. La figure 3 montre un autre capteur 70 se- lon la présente invention. Le capteur 70 est semblable au capteur 48 de la figure 2 sauf que, dans le capteur 70, l'élément supérieur 50 du capteur 48 est remplacé par un ensemble ou dispositif essentiellement semblable à l'ensem- ble de base du capteur 48. Sur la figure 3, les éléments correspondant à ceux de la forme de réalisation représentée sur la figure 2 sont identifiés par des indices de référence identiques. Les éléments de l'ensemble supérieur du capteur 70 qui correspondent à des éléments de l'ensemble inférieur du capteur 48 sont désignés par les mêmes indices de réfé- rence, suivis de la mention "a". Le capteur 70 comporte ain- si un diaphragme conducteur central 20 situé entre deux surfaces conductrices planes 32 et 32a, positionnées de fa- bS çon réglable et par rapport auxquelles le diaphragme 20 est séparé par des intervalles d et d', respectivement. On peut utiliser les conducteurs électriques 36 et 36a, ainsi qu'un conducteur relié à la périphérie du diaphragme , avec des appareils et instruments de détection et de mesure d'une capacité, comme ceux décrits dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique NO 4 054 833. On voit donc que le capteur de pression capacitif selon l'invention est simple à fabriquer et fonctionne de manière fiable. En outre, le capteur ici décrit est moins sujet à des erreurs dues à des variations thermiques et à des contraintes mécaniques de montage. Il va de soi que, sans sortir du cadre de l'invention, de nombreuses modifications peuvent être ap- portées au capteur décrit et représenté. REVENDICATIONS 1. Capteur de pression capacitif, caracté- risé en ce qu'il comprend: - un diaphragme (20) comportant une partie centrale électriquement conductrice; - un élément de base (14) concave s'éten- dant autour d'un premier axe central (14a) et présentant une jante se situant dans un premier plan, lequel est per- pendiculaire à l'axe central (14a), cet élément de base (14) comprenant une bride (18) qui part de cette jante; - des éléments destinés à fixer la périphé- rie du diaphragme (20) à la bride (18), de sorte que la péri- phérie du diaphragme se situe essentiellement dans ledit premier plan; un élément de support (16) de la base, qui traverse le centre de l'élément de base (14) et est re- lié à cette partie centrale; et - une première électrode (32), reliée à l'élément de support (16) de la base et comprenant une surface conductrice essentiellement plane et essentiellement parallèle au diaphragme (20),dont elle est séparée par un intervalle (d). 2. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la partie centrale du diaphragme (20) se trouve sous tension mécanique radiale; la bride (l8) de l'élément de base (14) présente un creux circonférentiel (1Ba), et les éléments de fixation comprennent une bague de serrage (24), ayant une surface complémentaire de celle de la bride (18),et des organes destinés à relier les surfaces complémentaires de la bride (18) et de la bague de serrage (24i aux côtés opposés de la périphérie du diaphragme (20). 3. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un élément supé- rieur concave (50) s'étendant autour d'un second axe central (14a') et ayant une jante située dans un second plan perpen- diculaire au second axe central 'l4a'), cet élément supérieur (50) comprenant une bride (52) partant de la périphérie de l'élément (50) et présentant une surface complémentaire de celle de la bride (18) de l'élément de base '14), et caractérisé en ce que les éléments de fixation comprennent des organes destinés à relier les surfaces complémentaires des brides (18, 52) aux côtés opposés de la périphérie du diaphragme (20) afin d'enclore ce diaphragme (20), et caractérisé en ce que les premier (14a) et second 'l4a') axes centraux sont coaxiaux. 4. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément de support (16) de la base s'étend le long de l'axe central (14a) de l'élément de base (14) et en ce que le capteur comporte en outre des éléments a, 15b, 34, 35) pour positionner de façon réglable la surface plane de la première électrode '32) le long du pre- mier axe central (14a, 16). 5. Capteur selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'il comporte aussi un élément supérieur (30a) de support d'électrode s'étendant le long du second axe central (14a') à partir de la partie centrale de l'élé- ment supérieur (30a), ainsi qu'une seconde électrode (32a), reliée à l'élément supérieur (30a) de support d'électrode et comprenant une surface conductrice essentiellement plane et essentiellement parallèle au diaphragme (20) dont elle est séparée par un intervalle (d'). 6. Capteur selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'il comporte des éléments (34a; 35a 16a) destinés à positionner de façon réglable la surface plane de la seconde électrode (30a) le long du second axe central (14a'). 7. Capteur selon la revendication 5, caractérisé en ce que l'élément supérieur (30a) de support d'électrode est électriquement non conducteur. 8. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte également un boîtier (11) relié à l'élément de support (16) de la base et renfermant l'élément de base (14) et le diaphragme (20). 9. Capteur selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des éléments destinés à maintenir à une pression déterminée la région située entre le diaphragme (20) et l'élément supérieur (50). 10. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1, 3 et 8, caractérisé en ce que la bride (18) de l'élément de base (14) comporte un creux circonférentiel (18a). 11. Capteur selon l'une des revendications 1 et 3, caractérisé en ce que la première électrode (32) comporte un élément diélectrique de support (30),sur une surface essentiellement plane duquel est positionnée une pellicule conductrice relativement mince destinée à cons- tituer la surface conductrice plane de ladite électrode (32). 12. Capteur de pression capacitif, caracté- risé en ce qu'il comprend: un diaphragme (20) sensible à la pression et comportant une partie centrale conductrice de l'électri- cité; un élément (14) destiné à supporter le diaphragme (20), cet élément (14) étant de forme générale concave et comprenant à sa périphérie une partie destinée à maintenir le diaphragme (20) afin de créer un volume clos (26) un dispositif d'électrode, comportant une partie conductrice essentiellement plane (32) et un élément isolant (30) de support, ce dispositif d'électrode étant disposé dans le volume (26), et des éléments (16, 34, 35) destinés à relier l'élément de support (30) d'électrode essentiellement à la partie centrale de l'élément concave de support (14), de manière que la partie conductrice du dispositif d'électrode soit sensiblement parallèle à la partie conductrice du dia- phragme (20) et soit espacée de cette partie conductrice de diaphragme pour former un condensateur, de sorte que la capacité associée à ces parties conductrices de l'électrode et du diaphragme soit essentiellement inversement propor- tionnelle à la différence de pression régnant de part et d'autre du diaphragme (20). 13. Capteur de pression selon la revendi- cation 12, caractérisé en ce qu'il comporte, pour maintenir le diaphragme (20) sous tension mécanique radiale, une bride (18) essentiellement plane à la jante ou bordure de l'élé- ment de support (14), une bague de serrage (24) présentant une surface configurée de manière à correspondre à une sur- face de la bride (18), de manière à soumettre le diaphragme (20) à des contraintes'radiales lorsque la bague de serrage (24) est pressée pour venir en contact de correspondance avec la bride (18), avec interposition du diaphragme (20) entre la bague (24) et la bride (18), et des éléments desti- nés à fixer la bague (24) et la bride (18)sur des surfaces opposées de la périphérie du diaphragme (20). 14. Capteur de pression selon la revendi- cation 13, caractérisé en ce que la bride (18) présente un creux (18a) circonférentiel ou annulaire. 15. Capteur de pression selon la revendica- tion 13, caractérisé en ce que la bague de serrage (24) est reliée par un bord à un élément supérieur concave for- mant carter.