Brevet FR2492525A1 — publié le 19820423

La présente invention concerne les techniques d'analyse à l'aide de sondes électroniques et a notamment pour objet l'enceinte à échantillons d'un appareil à sonde électronique. Plus particulièrement, la présente invention vise la structure du mécanisme assurant les divers mouvements de l'échantillon à l'intérieur de l'enceinte à échantillons de l'appareil à sonde électronique. L'invention est avantageusement utilisable dans les microscopes électroniques portatifs à balayage d'encombrement réduit. A l'aide d'appareils à sonde électronique, tels que microscopes à transmission ou à balayage, micro-analyseurs aux rayons X, etc., on peut effectuer analyse micromorphologique de la surface d'un échantillon solide ou l'anal spectrographique aux rayons X de sa composition chimique. Au cours de l'étude, à l'aide d'un microscope électronique a balayage, de la surface d'un échantillon, par exemple d'un échantillon présentant une surface à structure complexe, en particulier des microfissures, il est parfois nécessaire de faire varier fréquemment et rapidement le grossissement effectué par le microscope électronique. Dans ces cas, on choisit d'abord la zone à étudier en explorant une grande surface de 1'échantillon avec un grossissement peu élevé, effectué par le microscope électronique utilisé ; ensuite, on déplace l'échantillon dans une autre position, à laquelle correspond un grossissement élevé dudit microscope, et, enfin, on examine la zone choisie de la surface de l'échantillon avec une résolution spatiale suffisamment grande. La possibilité de faire varier le taux de grossissement est de la plus haute importance quand on effectue des opérations telles que, par exemple, la recherche de défauts dans divers circuits intégrés avec un faible grossissement et la révélation des causes de l'apparition des microfissures à leurs surfaces avec un grossissement élevé effectué par le microscope. La présente invention vise donc à augmenter la rapidité des opérations analyse exécutées avec des appareils à sonde électronique et à améliorer la commodité d'utilise tion de tels appareils. On contact une enceinte à échantillons d'un appareil à sonde électronique (voir 7a demande acceptée japonaise publiée le 10 Septembre 1974 sous le MO 49 - 33903) comportant un corps étanche dans lequel sont disposés une platine porte-échantillon mobile et des mécanismes d'entraînement pour déplacer ladite platine le long de trois axes de coordonnées mutuellement perpendiculaires, dont l'un coïncide avec l'axe optoélectronique de 1 appareil à sonde électronique, ainsi que pour 1 incliner et la faire tourner par rapport audit axe optoélectronique. Dans cette enceinte à échantillons, le mécanisme de déplacement de la platine porte-échantillon le long de l'axe optoélectronique comporte un support se présentant sous la foie d'une plaque mobile raccordée à la paroi latérale du corps de ladite enceinte par l'intermédiaire d'un joiift étanche au vide et déplacée progressivement par une vis pouvant tourner dans un écrou fixe solidaire du corps. La plaque est traversée par une colonne d'arbres creux montés coaxialement, au moyen desquels on effectue le déplacement de la platine portant l'échantillon le long des deux autres axes de coordonnées, la rotation et l'inclinaison de ladite platine par rapport audit axe optoélectronique.A l'extrémité de l'arbre externe de la colonne d'arbres coaxiaux, lequel assure l'inclinaison de la platine porte-échantillon, extrémité qui se trouve dans le corps de l'enceinte, est fixé rigidement un bras support, le bout duquel est muni d'un mécanisme comportant des plaques de réglage à profil complexe assurant le mouvement de la platine dans d'autres directions, ledit mécanisme étant en appui sur une deuxième colonne d'arbres coaxiaux reliée à la colonne d'arbres coaxiaux mentionnée en premier au moyen d'une troisième colonne d'arbre coaxiaux dont les arbres sont reliés aux arbres correspon- dants des première et deuxième colonnes par des engrenages coniques et cylindriques. La structure d'une telle enceinte à échantillons ne permet pas de changer rapidement le grossissement effectué par cet appareil dans des limites suffisamment larges pour un certain angle de balayage de la sonde électronique d'exploration choisi constant. Cela est dû au fait que le système micrométrique vis-écrou utilisé dans le mécanisme de déplacement de la platine portant l'échantillon le long de l'axe optoélectronique de cette enceinte à échantillons ne peut pas assurer, quand il est commandé à la main, un déplacement rapide par bonds de ladite platine d'une position à l'autre. Dans les cas ou il faut varier fréquemment le taux de grossissement, cela entraîne des pertes de temps et diminue la rapidité des analyses. En outre, au cours du fonctionnement du mécanisme de déplacement de la platine portant l'échantillon le long de l'axe optoélectronique, se déplacent une partie du corps de l'enceinte et les éléments de tous les autres mécanismes d'entrainement, qui ont une masse totale relativement grande. C'est pourquoi une telle structure nécessite une réalisation de haute qualité de tous ses éléments. La masse relativement grande des pièces déplacées peut aussi provoquer l'usure par frottement du joint d'étanchéité dont le périmètre est assez long, ce qui peut amener une augmentation de la pression dans l'enceinte et un encrassement de la surface de l'échantillon par les produits de l'usure, ayant pour effet une diminution de la qualité de l'analyse. L'usure du joint, à son tour, fait apparattre sur sa surface des rugosités qui augmentent les forces de frottement et, par conséquent, la force nécessaire pour déplacer la plaque. Il s'ensuit une usure des surfaces frottantes du système vis-écrou, ce qui provoque l'apparition de jeux et, par conséquent un abaissement de la précision de lecture. Il est à noter également que le schéma cinématique des mécanismes d'entraînement, servant à imprimer d'autres mouvements à la platine porte-échantillon de l'enceinte à échantillons décrite ci-dessus, a une forme spatiale complexe avec un nombre relativement grand d'arbres et d'engrenages. Ce fait, ainsi que la disposition en console de ces mécanismes par rapport à la plaque déplacée, provoquent facilement, sous l'action de vibrations extérieures, des oscillations mécaniques de la platine porte-échantillon, qui engendrent un grand flou de l'image, une diminution du pouvoir de résolution de l'appareil à sonde électronique dans lequel on utilise cette enceinte et une réduction du taux de grossissement assuré par cet appareil. La présente invention vise donc une eceinte à échantillons peu encombrante pour appareils à sonde électronique, équipée d'un mécanisme d'entraînement compact, assurant divers déplacements de l'échantillon à étudier, permettrait de déplacer rapidement et avec précision ledit échantillon le long de l'axe optoélectronique de l'appareil à sonde électronique au cours du changement brutal du taux de grossissement produit par cet appareil, pour un certain angle constant de balayage de la sonde électronique d'exploration, et pourrait en même temps déplacer avec précision l'échantillon dans d'autres directions. Pour résoudre ce problème, on propose une enceinte à échantillons pour un appareil à sonde électronique, comportant un corps étanche à l'intérieur duquel se trouvent une platine porte-échantillon mobile et des mécanismes d'entrainement servant à déplacer ladite platine le long des trois axes de coordonnées mutuellement perpendiculaires, dont l'un coincide avec l'axe optoélectronique de l'appareil à sonde électronique, et à incliner la platine par rapport audit axe optoélectronique, ladite enceinte étant caractérisée selon l'invention, en ce que le mécanisme d'entrainement servant à déplacer'la platine le long de l'axe de coordonnées coïncidant avec l'axe optoélectronique de l'appareil à sonde électronique, comporte un poussoir excentrape muni d'un arbre et d'un doigt creux solidaire de cet arbre et renfermant un coulisseau poussé par un ressort du coté de l'arbre et portant à son extrémité opposée un axe sur lequel est monté un galet tournant se trouvant continuellement en contact mécanique avec les parois d'une rainure ménagée dans l'embase d'un chariot relie à la platine, pouvant se déplacer entre deux positions extrêmes dans des glissières de guidage et muni d'éléments servant à le fixer en ses positions extrêmes sur les glissières, ces dernières étant parallèles audit axe de coordonnées et installées dans un cadre fixé de façon mobile à l'intérieur du corps et pouvant se déplacer le long d'un autre axe de coordonnées. Les éléments de fixation du chariot en position extrême sur les glissières de guidage peuvent être réalisé sous forme de chevilles fixées rigidement sur le chariot de façon symétrique par rapport audit axe optoélectronique et pouvant s'engager dans des trous correspondants ménagés dans le cadre. Grâce au fait que dans le mécanisme de déplacement de la platine porte-échantillon le long de l'axe optoélectronique, est utilisé un poussoir excentrique dont le galet est constamment en contact mécanique avec la surface de l'embase du chariot relié à la platine, on peut déplacer rapidement mais sans heurts ladite platine porte-échantillon de l'une de ses positions sur ledit axe à une autre et de ce fait, éviter les oscillations mécaniques de la platine portant l'échantillon. La possibilité de déplacer rapidement la platine portant l'échantillon d'une position à l'autre permet d'accélérer considérablement les procédé d'analyse au moyen de l'appareil à sonde électronique dans lequel on utilise l'enceinte à échantillons proposée. L'invention sera mieux comprise, et d'autes buts, caractéristiques, détails et aventages de celle-ci apparattront mieux à la lumière de la description explicative qui va suivre de différents modes de réalisation donnés uniquement à titre d'exemples non limitatifs, avec références aux dessins non limitatifs annexés dans lesquel - la figure 1 représente une vue en coupe transversal de l'enceinte à échantillons d'un appareil à sonde électro nique, selon l'invention. - la figure 2 est une vue en coupe de l'enceinte selon la ligne II-II de la figure 1. Il est à noter que les dessins ci-joints sont des représentations schématiques et servent seulement à illustrer la présente invention sans limiter les dimension des éléments constituant l'enceinte,les rapports de ces dimensions,etc. En se référant au dessin de la figure 1, on voit que l'enceinte à échantillons de l'appareil à sonde électronique, objet de l'invention, comporte un corps 1 étanche au vide, raccordé, par l'intermédiaire d'éléments de raccordement appropriés,à la lentille formatrice -terminale (non représentée) de par exemple un microscope électronique à balayage, qui comporte cette enceinte. Dans ce corps 1 se trouvent une platine mobile 2, sur laquelle on fixe un échantillon 3 pendant les procedés d'analyse à l'aide du microscope électronique, et des mécanismes d'entraînement pour déplacer la platine 2 portant 1 'échan- tillon 3 le long de trois axes de coordonnées mutuellement perpendiculaires et pour incliner ladite platine 2 par rapport à l'un de ces axes, qui coincide avec l'axe du système optoélectronique du microscope électronique. Par convention, le déplacement de la platine 2 avec l'échantillon 3 à l'intérieur du corps 1 dans des directions perpendiculaires au plan du dessin sera considéré, dans la présente description, comme le " déplacement suivant l'axe de coordonnées X ", le déplacement de cette platine de gauche(d'après le dessin) dans des plans parallèles au plan du dessin et perpendiculaires à l'axe de coordonnées X sera considéré comme le " déplacement suivant l'axe de coordonnées Y", et le déplacement de ladite platine vers le haut et vers le bas d'après le dessin ) dans les plans également parallèles au plan du dessin et perpendiculaires aux axes de coordonnées X et Y sera considéré comme le "déplacement suivant l'axe de coordonnées Z", l'axe de coordonnées Z étant parallèle audit axe du système optoélectronique et pouvant coîncider avec celui-ci, alors que la platine 2 portant l'échantillon 3 peut être inclinée par rapport à l'axe mentionné sous un angle situé dans le plan formé par l'intersection des axes de coordonées X et Z. La platine 2 portant 1 'échantillon 3 et pouvant se déplacer elle-même dans les directions suivant l'axe de coordonnées Y. de telle sorte que ce déplacement s'effectue toujours dans 9e plan dudit échantillon 3, est montée mobile dans une suspension 4 ayant une section en U. La suspension 4 pouvant s'incliner avec la platine 2 par rapport à l'axe de coordonnées Z est installée mobile sur un chariot 5 ayant une section sensiblement en H. Le chariot 5 pouvant se déplacer avec la suspension 4 et, donc, avec la platine 2, suivant l'axe de coordonnées Z, est monté mobile dans un cadre en caisson 6, qui est lui-même monté mobile dans le corps 1 et peut se déplacer avec tous les éléments mentionnés dans ledit corps 1 le long de l'axe de coordonnées Y. Le mécanisme d'entraînement déplacant la platine 2 portant l'échantillon 3 le long de l'axe de coordonnées X, comprend un arbre 7 disposé horizontalement, qui traverse la paroi latérale du corps 1 par un orifice correspondant muni d'un joint annulaire 8 en caoutchouc étanche au vide et se monte dans des paliers 9 et 10 disposés respectivement dans ladite paroi latérale et dans un montant Il fixé au fond du corps 1. Les paliers 9 et 10, de même que tous les autres paliers de ce dispositif cités dans la suite, sont des paliers lisses, quoiqu'il soit bien entendu qu'au moins une partie des paliers du dispositif peuvent être des paliers à roulements. A l'extrémité de l'arbre 7 qui se trouve en dehors du corps 1 est fixée une poignée 12 dont l'utilisateur de l'appareil à sonde électronique comportant l'enceinte à échantillons en question se sert pour faire mouvoir à la main ledit arbre 7 afin de placer la platine 2 avec l'échantillon 3 dans la position requise sur l'axe de coordonnées X. Dans une rainure longitudinale 13 ménagée sur la surface extérieure de l'arbre 7, est logée une clavette mobile 14 qui relie ledit arbre 7 à un engrenage conique 15 monté sur ce dernier.De ce fait,l'engrenage conique 15 peut tourner avec l'arbre 7 et en même temps se déplacer progressivement horizontalement le long de l'axe de l'arbre 7 sans se désen grener d'avec un engrenage conique 16.L'engrenag@ 16 est monté rigidement sur l'extrémité inférieure d'un arbre vertical 17 parallèle à l'axe de coordornées Z.L'arbre 17 estlogé dans des paliers 18 et 19,placés dansdes orifices correspondants ménagés dans lecadre en caisson 6,et est doté d'une rainure longitudinale 20 sur sa surface extérieure.Une claveüe 21 reliant un engrenage conique 22 à l'arbre 17 sur lequel cetengrenage est monté mobile dans ladite rainure longitudinale 20.L'engrenage conique 22 peuttourner avec l'arbre 17 dans un palier lisse 23 monté dans le corps de l'aile supérieure 24 du chariot 5. En même temps, l'engrenage 22 peut se déplacer progressivement dans la direction verticale le long de l'axe de l'arbre 17 conjointement avec le chariot 5 sans se désengrener d'avec un engrenage 25.L'engrenage 25, monté sur un axe 26, comprend une partie conique qui est en prise, comme déjà indiqué, avec l'engrenage conique 22, et une partie cylindrique qui est en prise avec un engrenage cylindrique 27 enmanché rigidement sur un arbre 28, lequel est logé dans des paliers 29 et 30 installés dans les rebords de la suspension 4, et est muni d'un pignon 31 relié à une crémaillère 32 qui est fixée à la surface arrière de la platine 2 portant l'échantillon 3.La platine 2 est montée mobile dans la suspension 4 sur des glissières de guidage à billes comportant des billes 33 logées dans des rainures prismatiques 34 ménagées dans les reb oeds de la suspension 4 et dans les cotés latéraux de la platine 2. Le mécanisme d'entrainement qui déplace la platine 2 avec l'échantillon 3 le long de l'axe de coordonnées Y comprend un arbre 35 qui traverse la paroi latérale du corps 1 par un orifice- correspondant muni d'un joint annulaire 36 en caoutchouc étanche au vide. A l'extrémité de l'arbre 35 qui se trouve en dehors du corps 1, est fixée une poignée 37 dont l'utilisateur se sert pour faire mouvoir à la main ledit arbre 35 afin de placer la platine 2 avec l'échantillon 3 en un endroit déterminé sur l'axe de coordonnés Y. L'autre extrémité de l'arbre 35, qui se trouve à l'intérieur du corps 1, est continuel lement en contact mécanique avec l'une des parois latérales du cadre en caisson 6. La surface extérieure de l'arbre 35 est filetée en 38, ce filet étant en prise avec celui d'un écrou fixe 39 raccordé du coté extérieur à la paroi latérale du corps 1. Le cadre en caisson 6 est monté mobile à l'intérieur du corps 1 sur des glissières de guidage 40 à billes 41 (figure 2) logées dans des rainures prismatiques 42 ménagées dans les parois du corps 1 et du cadre en caisson 6 qui se trouvent l'une en face de l'autre. Entre la paroi du corps 1 ( figure 1) et l'autre paroi du cadre en caisson 6, opposée à celle qui est en contact avec l'extrémité libre de l'arbre 35, est monté un ressort de rappel cylindrique 43. Le mécanisme d'entrainement qui sert à incliner la platine 2 portant l'échantillon 3 sous un certain angle requis par rapport à l'axe de coordonnées Z comprend un nombre d'éléments identiques à ceux du mécanisme d'entraine ment servant à déplacer la platine 2 le long de l'axe de coordonnées X. En particulier, le mécanisme d'entrainement serant à incliner la platine 2 avec l'échantillon 3 compren un arbre 44 disposé horizontalement, qui traverse la paroi latérale du corps 1 par un orifice correspondant muni d'un joint annulaire 45 en caoutchouc étanche au vide et qui se monte dans des paliers 46 et 47 installés, respectivement, dans la paroi latérale mentionnée et dans un montant 48 fixé au fond du corps 1. A l'extrémité de l'arbre 44 qui se trouve en dehors du corps 1, est fixée une poignée 49 dont l'utilisateur se sert pour faire tourner à la main ledit arbre afin de disposer la platine 2 avec l'échantillon 3 sous l'angle nécessaire par rapport à l'axe de coordonnées Z. La surface extérieure de l'arbre 44 est munie d'une rainure longitudinale 50 pouvant recevoir une clavette mobile 51 qui relie ledit arbre 44 à un engrenage conique 52 monté sur ce derni Cet engrenage conique 52 peut tourner avec l'arbre 44 et se déplacer en même temps progressivement le long de cet arbre tout en restant en prise avec un engrenage conique 53 rigidement emmanché sur l'extrémité inférieure d'un arbre 54 disposé verticalement et parallèlement à l'axe de coordonnées Z. L'arbre vertical 54 est installé dans des paliers 55 et 56 disposés dans des orifices correspondants percés dans le cadre en caisson 6 et possède, sur sa surface extérieure, une rainure longitudinale 57 dans laquelle est longée une clavette cculîssante 58 qui relie l'arbre 54 à un engrenage conique 59 emmanché sur ce dernier. Cela permet à l'engrenage 59 de tourner avec l'arbre 54 dans un palier lisse 60 installé dans le corps de l'aile supérieure 61 du chariot 5. En même temps, l'engrenage 59 peut se dé- placer progressivement dans le sens vertical conjointement avec le chariot 5, le long de l'axe de l'arbre 54 tout en restant en prise avec un engrenage 62. Les éléments 44 à 61 du mécanisme d'entraînement servant à incliner la platine 2 avec l'échantillon 3, énumérés ci dessus, sont identiques aux éléments 7 à 23 correspondants du mécanisme d'entraînement servant à déplacer ladite platine 2 le long de l'axe de coordonnées X. La différence consiste en ce quel'engrenage 62 est purement conique et est emmanché rigidement sur l'arbre 63, dont une extrémité est logée dans la paroi du chariot 5 et dont l'autre extrémité est solidaire du rebord de la suspension 4 dans laquelle la platine 2 portant 1 'échan- tillon 3 est montée mobile, comme indiqué plus haut. Le mécanisme d'entraînement servant à déplacer la platine 2 avec l'échantillon 3 le long de 1axe de coordonnées Z comporte un arbre 65 (figure 2) disposé horizontalement qui traverse la paroi latérale du corps 1 par un orifice correspondant muni d'un joint annulaire 66 en caoutchouc étanche au vide, et se monte dans un palier lisse 67 fixé sur ladite paroi latérale. A l'extrémité de l'arbre qui se trouve en dehors du corps 1, est fixée une poignée 68 dont l opérateur se sert pour faire tourner à la main ledit arbre afin de placer la platine 2 portant l'échantil- lon 3 dans la position nécessaire sur l'axe de coordonées Z. A l'extrémité de l'arbre 65 qui se trouve à l'intérieur du corps 1, est fixé un poussoir excentrique 69 comportant un doigt creux 70 pourvu d'une fente longitudinale 71 qu'on voit plus nettement sur la figure 1, une extrémité dudit doigt creux 70 (figure 2) étant solidaire de ladite extrémité de l'arbre 65 Un coulisseau 72 poussé par un ressort cylindrique 73 est engagé dans le doigt creux 70, dans sa partie opposée à celle qui est fixée à l'arbre 65. L'extrémité du coulisseau 72 qui est la plus éloignée du ressort 73, est fixé un galet tournant 74 pouvant tourner dans un axe 75 qui est solidaire dudit coulisseau et traverse le doigt creux 70 par la fente longitudinale 71. Le galet tournant 74 se trouve continuellement en contact mécanique avec les parois d'une rainure 76 ménagée dans l'embase du chariot 5. Le chariot 5 peut se déplacer progressivement le long de l'axe de coordonnées Z entre deux positions extrêmes sur des glissières de guidage parallèles à l'axe de coordonnées Z. En qualité de glissières, on utilise l'arbre 17 (figure 1) du mécanisme d'entrainement servant à déplacer la platine 2 avec l'échantillon 3 le long de l'axe de coordonnées X et l'arbre 54, analogue à l'arbre 17, faisant partie du mécanisme d'entrainement servant à incliner la platine 2 avec l'échantillon 3 par rapport à l'axe de coordonnées Z. Cette translation du chariot 5 est rendue possible grace au fait que les ailes supérieures 24 et 61 de ce chariot son raccordées aux engrenages coniques 22 et 59 qui peuvent librement coulisser, respectivement sur les arbres 17 et 54 comme on l'a dit précédemment. Le mécanisme d'entrainement décrit comporte aussi des moyens de fixation du chariot 5 sur ses glissières en positions extrêmes. Ces moyens de fixation comportent des éléments de fixation réalisés sous forme de chevilles oodques77qui sont fixées rigidement au chariot 5 de façon symétrique par rapport à l'axe optoélectronique. Plus précisément, ces chevilles coniques 77 sont fixées aux ailes supérieures 24 et 61 du chariot 5 et peuvent s'engager dans des orifices 78 correspondants percés dans la partie supérieure du cadre en caisson 6 pendant la fixation du chariot 5 en position extrême haute et dans des orifices correspondants 79 percés dans des saillies 80 se trouvant sur la surface intérieure du cadre en caisson 6, lors de la fixation dudit chariot en position extrême hasse. Le poussoir excentrique 69 est équipé de limiteurs de son mouvement angulaire, réalisés sous forme de butées 81 et 82 qui sont fixées à la paroi du corps 1 et dont le fonctionnement sera décrit plus loin. Le corps 1 de enceinte à échantillons de l'appareil à sonde électronique faisant l'objet de l'invention est associé, dans un tel appareil, au corps (non représenté) d'une lentille formatrice terminale par sa surface supérieure externe 83 par l'intermédiaire d'une garniture d'étanchéité 84. Au cours de l'analyse de la surface de l'échantillon à l'aide du microscope électronique à balayage, le travail avec l'enceinte à échantillons proposée et l'interaction des éléments des mécanismes d'entrainement de cette enceinte qui à lieu pendant ces opérations s'accomplissent de la façonsuivante . Avant de commencer l'analyste de la surface d'un échantillon pour laquelle on a besoin de faire varier rapidement le taux de grossissement'du microscope électronique, il faut tout d'abord installer la platine 2 (figure 1) avec l'échantillon 3 dans la position nécessaire par rapport aux axes de coordonnées X et Y et l'incliner sous l'angle désiré par rapport à l'axe de coordonnées Z. Pour installer la platine 2 avec l'échantillon 3 dans la position nécessaire sur l'axe de coordonnées X, l'opé- rateur du microscope électronique doit tourner la poignée 12 dans un sens ou dans l'autre. La rotation de l'arbre 7, auquel ladite poignée 12 est fixée, entraine la rotation de l'engrenage conique 16 se trouvant en prise avec l'engrenage conique 15 calé sur ledit arbre à l'aide de la clavette mobile 12. En même temps, l'arbre 17 sur lequel est monté rigidement l'engrenage 16 commence également à tourner. La rotation de l'arbre 17 se transmet par l'intermédiaire de l'engrenage conique 22, monté sur ce dernier, à l'engrenage 25 qui est en prise avec ledit engrenage 22 et, par l'intermédiaire de l'engrenage 27 en prise avec l'engrenage 25, à l'arbre 28 sur lequel est monté rigidement ledit engrenage 27.Pendant la rotation de l'arbre 28, la platine 2 portant l'échantillon 3 se déplace progressivement le long de l'axe de coordonnées X sur les glissières à billes comportant les éléments 33 et 34 grace au pignon 31 de cet arbre qui est continuellement en prise avec la crémaillère 32 fixée à la face arrière de la platine 2. De façon à peut près analogue, on peut incliner la platine 2 avec l'échantillon 3 sans un angle voulu # par rapport à l'axe de coordonnées Z. Dans ce cas, quand l'qpteLr fait tourner la poignée 49, la rotation de l'arbre 44 se transmet par l'intermédiaire du circuit cinématique comportant les éléments 51, 52, 53, 54, 58, et 59, indentiqu aux éléments 14, 15, 16, 17, 21 et 22, à l'engrenage conique 52 de la façon décrite ci-dessusO La rotation de l'engrenage 62 entraine la rotation de l'arbre 63 sur lequel cet engrenage 62 est rigîdemment emmanché cette rotation de l'arbre 63 donnant à son tour naissance à un déplacement angulaire de la suspension 4 solidaire de cet arbre et recevant la platine 2 avec l'échantillon 3. Pour installer la platine 2 avec l'échantillon 3 dans la position nécessaire sur l'axe de coordonnées Y, il faut tourner la poignée 37, ce qui entrai nue la translation de l'arbre 35, relié à ladite poignée 37, dans l'écrou fixe 39 En tournat la poignée 37 dans un sens quelconque, le bout de l'arbre 35 qui est continuellement en contact avec la paroi du cadre en caisson 6 sous l'action du ressort cylindrique 43 pousse ce cadre, de sorte que celui-ci se déplacez progressivement sur les glissières de guidage à billes 40 le long de l'axe de coordonnées Y de droite à gauche (d'apè le dessin).Avec ledit cadre en caisson 6, se déplace également le long de l'axe de coordonnées Y la platine 2 avec l'échantillon 3, puisque cette platine est raccordée audit cadre par la suspension 4 En tournant la poignée 37 en sens contraire, le bout de l'arbre 35 se déplace progressivement dans le sens opposé, mais reste en contact avec ledit cadre grâce à l'effort de rappel du ressort 43, ce qui a pour conséquence que ledit cadre se déplace avec la platine 2 portant l'échantillon 3 de gauche à droite le long de l'axe de coordonnées Y. Lors du déplacement du cadre en caisson 6 sur les glissières de guidage 40 dans n'importe quelle direction suivant l'axe de coordonnées Y, les couple d'engrenages coniques 15 et 16, 52 et 53 restent en prise. Cela a lieu parce que les engrenages coniques 15 et 52 de ces couples coulissent respectivement sur les arbres 5 et 44 gracie au déplacement des clavettes 14 et 51 reliées respectivement auxdits engrenages coniques dans les rainures longitudinales 13 et 50 de ces arbres , ainsi que du fait que les engrenages 14 et 52 sont en prise avec les saillies 85 et 86, respectivement prévues sur la surface extérieure du fond du cadre en caisson 6 et par rapport auxquelles ces engrenages peuvent cependant pivoter.Cela signifie qu'en effectuant un déplace ment de la platine 2 avec l'échantillon 3 ayant pour but de la placer dans la position nécessaire sur l'axe de coordonnées Y, on peut commencer, à tout moment, soit à déplacer la platine 2 le long de l'axe de coordonnées X, soit à l'incliner par rapport à l'axe de coordonnées Z, ou encore à effectuer toutes ces manipulations avec la platine 2 simultanément, ceci pratiquement sans influence du fonctionnement de l'un quelconque des mécanismes d'entraînement sur le fonctionnement des autres mécanismes. Après avoir installé la platine 2 avec l'échantillon 3 dans la position nécessaire sur les axes de coordonnées X et Y de sorte que la préparation so,t exactement sur l'axe de coordonnées Z qui coincide avec lExe optoélectronique du microscope électronique, et avoir incliné ladite platine 2sous un angle &gamma; voulu par rapport à l'axe optoélectronique, on établit, à l'aide du système optoélectronique (non représenté) du microscope électronique, le taux de grossissement nécessaire, maximal ou minimal, suquel correspond, respectivement, la position extrême supérieure ou inférieure de la platine 2 avec ltéchantillon 3 sur l'axe de coordonnées Z.Ensuite, on installe la platine 2 avec l'échantillon 3 dans la position extrême basse, qui correspond au taux minimal de grossissement effectué par le microscope électronique. Pour mettre en position extrême basse sur l'axe de coordonnées Z la platine 2 por nt l'échantillon 3 et montrée sur les figures 1 et 2 en position extrême haute sur ce même axe, il faut faire tourner la poignée 68 (figure 2) dans le sens approprié. Dans ce cas. ors de la rotation de 1' arbre 65 auquel est fixée ladite poignée 68, le poussoir excentrique 69 pivote dans le sens qui, dans le plan du dessin de la figure 1, correspond au sens horaire et dans le plan du dessin de la figure 2, au sens allant de ce plan vers le lecteur.Au cours du mouvement angulaire effectué par le poussoir excentrique 69 dans la direction indiquée, l'une des composantes de l'effort appliqué aux parois de la rainure 6 ménagée dans le chariot 5 se trouve dirigée vers le bas. Il en résulte que le galet tournant 74 du poussoir transmet le mouvement progressif au chariot 5 qui se déplace alors de haut en bas suivant les glissières consitituées par les arbres 17 et 54. Il est à remarquer que le chariot 5 se déplace assez facilement, parce que les engrenages 22 et 59 reliés à ce chariot et coulissant sur les arbres 17 et 54 sont montés sur ces derniers d'une manière suffisamment libre.Au cours du déplacement du chariot 5, le galet tournant 74 estconstamment en contact avec lex parois de la rainure 76 de ce chariot grace à l'action du ressort 73 qui tend toujours à expulser le coulisseau 72 du doigt creux 70 et presse donc le galet tournant 74 contre les parois de la rainure 76. Quand le doigt creux 70 du poussoir excentrique 69 effectuant un déplacement angulaire se heurte contre la butée inférieure 83, le chariot 5 s'arrête. En même temps, les chevilles coniques 77 s'engagent fermement dans les orifices 79 correspondants ménagés dans les saillies 80, en assurant ainsi un positionnement précis du chariot 5 et par conséquent de la platine 2 avec l'échantillon 3 sur l'axe optoélectronique, la postion obtenue étant fixée de façon sure grace à l'interaction du pous soir 69 avec la butée 82. La sureté de fixation dans cette position est due au fait que le poussoir excentrique 69 effectue toujous une rotation dépassant légèrement 1800, parce que les butées 81 et 82 sont un peu distantes de l'axe optoélactronique. De ce fait, quand le chariot 5 occupe l'une ou l'autre de ses positions extrêmes, le doigt creux 70 du poussoir excentrique 69 se dispose sous un cetain angle par rapport à lSKe optoélectronique, de sorte que l'une des composantes de l'effort excercé sur le galet 74 par le ressort 73 est dirigée vers le chariot 5 à travers ce galet, en pressant le chariot 5 contre le cadre en caisson 6 et en verrouillant de cette façon le chariot 5 par rapport à ce cadre, tandis que l'autre composante dudit effort est dirigée vers la butée 81 ou 82 à travers le doigt creux 70, en pressant ce doigt contre l'une de ces butées et en assurant de ce fait un verrouillage parfait du chariot 5 par rapport au corps 1, le retrait spontané du poussoir excentrique 69 de la butée 81 ou 82 étant pratequement impossible. Lorsque le chariot 5 ses trouve en position extrême basse et que le grossissement effectué par le microscope électronique est faible, on peut explorer toute la surface de l'échantillon 3 pour détecter la zone qu'on veut étudier. Ayant trouvé, cette zone on fait déplacer le chariot 5 et, par conséquent, la platine 2 avec la préparation 3 en position extrême haute, à laquelle correspond un fort grossissement effectué par le microscope électronique et dans laquelle on peut procéder à un examen détaillé de ladite zone de l'échantillon 3. Pour ce faire, il faut tourner la poignée 68 en sens inverse, de sorte que, pendant le déplacement angulaire du poussoir excentrique dans le sens antihoraire, le chariot 5 occupe sa position extrême haute. Dans ce cas, la précision avec laquelle le chariot 5 se dispose dans cette position est assurée par les chevilles coniques 77 qui entrent maintenant dans les orifices 78 correspondants, tandis que le verrouillage dudit chariot dans cette position est assuré par l'interaction du poussoir excentrique 69 avec la butée 81, décrite précédemment. Ainsi, toute la gamme de déplacements du chariot 5 le long de l'axe optoélectronique est assurée par la rotation du poussoir excentrique 69 dépassant légèrement l'angle d'un demi-tour, si bien qu'il est évident, surtour si l'on tient compte de la marche douce du chariot, que le déplacement de la platine 2 avec l'échantillon 3 d'une position à l'autre ne prend pas beaucoup de temps. L'enceinte à échantillons de l'appareil à sonde électronique selon la présente invention possède par rapport aux dispositifs connus de destination analogue, les avantages suivants Tout d'abord toute la structure des mécanismes d'entraînement de l'enceinte à échantillons est suffisamment bien équilibrée et, donc, moins soumise à l'influence des vibrations externes. Grace à cela, le remplacement de la préparation sur l'axe optoélectronique de l'appareil à sonde électronique devient plus aisé et la dispersion des grossissements imposés de l'appareil diminue. La possibilité de déplacer rapidement la platine avec la préparation d'une position à l'autre sur l'axe optoélectronique permet de réduire considérablement de plusieurs fois, le temps du procédé d'analyse de la surface de la préparation et donc d'augmenter le nombre d'analyses accomplies par unité de temps. Cela abaisse le coût de l'étude et permet de couvrir plus rapidement les dépenses faites pour la fabrication du microscope électronique. En outre, la possibilite d'effectuer de multiplsmises en place précises de la platine portant l' échantillon dans des positions déterminées, accompagnées chaque fois d'un verrouillage sur de ladite platine dans ces positions, permet d'augmenter très sensiblement l'authenticité des résultats des recherches et d'obtenir une bonne reproductiol de ces résultats. Tous ces avantages améliorent les caractéristiques d'utilisation du microscope électronique dans lequel on utilise l'enceinte à échantillons propose, à tel point que les microscopes électroniques de cette classe peuvent être utilisés directement dans les procédés technologiques de fabrication de produits en série, par exemple pour la fabrication de grands circuits intégrés dans l'industrie électronique, ce qui peut à son tour améliorer sensiblement les caractéristiques économiques d'un tel procédé grâce à la diminution du nombre de produits rebutés. Bien entendu, l'invention n'est nullement limitée aux modes de réalisation décrits et représentés qui n'ont été donné qu'à titre d'exemple. En particulier, elle comprend tous les moyens constituant des é(Wivalents techniques de moyens décrits ainsi que leurs combinaisons, si celles ci sont exécutées suivant son esprit et mises en oeuvre dans dansle cadre de la protection comme revendiquée. REVENDICATIONS 1. Enceinte à échantillons d'un appareil à sonde électronique, du type comportant un corps étanche dans lequel sont installés une platine porte-échantillon mobile et des mécanismes d'entraînement servant à déplacer la platine le long de trois axes de coordonnées mutuellement perpendiculaires dont l'un coincide avec l'axe optoélectronique de l'appareil à sonde électronique, et à incliner ladite platine par rapport audit axe optoélectronique, caractérisée en ce que le mécanisme d'entraînement servant à déplacer la platine (2) porte-échantillon le long de l'axe de coordonnées (Z) qui coincide avec l'axe optoélectronique de l'appareil à sonde électronique comporte un poussoir excentrique (69) muni d'un arbre (65) et d'un doigt creux (7Q) solidaire de cet arbre et renfermant un coulisseau (72) qui, à son extrémité orientée vers l'arbre, est soumis à l'action d'un ressort (73) et sur l'autre extrémité duquel est rigidement fixé un axe (75) sur lequel est engagé un galet tournant (74) se trouvant en contact mécanique permanent avec les parois d'une rainure (76) ménagée dans l'embase d'un chariot (5) relié à la platine (2), ledit chariot pouvant se déplacer entre deux positions extrêmes le long de guidages, et étant muni d'éléments servant à le fixer dans ses positions extrêmes sur lesdits guidages, ces derniers étant parallèles audit axe de coordonnées (Z) et étant montés dans un cadre (6) mobile à l'intérieur du corps (1) et déplaçable le long de l'axe. de coordonnées (Y). 2. Enceinte à échantillons d'un appareil à sonde électronique selon la revendication 1, caractérisée en ce que les éléments de fixation du chariot (5) dans l'une ou l'autre de ses positions extrêmes sont réalisés sous forme de chevilles (77) axées rigidement sur le chariot (5) de façon symétrique par rapport audit axe optoélectronique et pouvant s'engager dans des orifices (78) correspondants ménagés dans ledit cadre.