Brevet FR2489519A1 — publié le 19820305

DISPOSITIF DE MESURE DE COUCHES FINES AU MOYEN DE RAYONS BETA. La présente invention concerne un dispositif de mesure de couches minces au moyen du procédé par irradiation par rayons bêta, comprenant une bague à diaphragme pourvue d'une très petite ouverture, une source ponctuelle d'un émetteur de rayons bêta coaxiale a l'ouverture du diaphragme, disposée derrière cette ouverture et à une certaine distance de celle-ci, un dispositif de support pour la source ponctuelle, un tube compteur Geiger-Müller (tube G.M.) dispose coaxialement à l'arrière du dispositif de support, un dispositif de fixation pour le tube compteur Geiger-Müller, un dispositif de contact pour l'anode du tube G.M. et un dispositif de contact pour la cathode du tube G.M. Gracie à des dispositifs de ce type, il est possible d'effectuer des mesures optimales quand la distance entre la source ponctuelle et le diaphragme est optimale. Ces distances sont de l'ordre de grandeur de 0,1 à 1 mm, et des modifications de la distance une fois réglée sont très néfastes à l'optimalisation. Ces modifications de la distance peuvent provenir de manoeuvres volontaires ou involontaires de l'utilisateur. Un inconvénient des dispositifs connus jusqu'ici consiste également dans le fait qu'après l'application d'une tension continue au tube compteur Geiger-Müller, les caractéristiques du dispositif continuent à se modifier pendant un certain temps. On n'atteint un état "permanent" qu'après une durée assez longue. Dans la technique concernée, ceci est désavantageux car l'irradiation par rayons bêta ne donne de toute façon des résultats de mesure qui ne peuvent être déterminés que statistiquement et ce caractère statistique se superpose à un autre phénomène dépendant du temps. En outre, les dispositifs connus jusqu'ici présentent l'inconvénient de ne pouvoir être modifiés que par des manipulations prenant beaucoup de temps. Il existe des problèmes de mesure divers (des substances diverses en couches diverses, des épaisseurs diverses, des diaphragmes divers pour des objets à mesurer de courbures diverses, etc.). C'est parfois le prométhéum qui convient le mieux pour l'émetteur de rayons, parfois le tallium et parfois le strontium. Finalement, les dispositifs connus ne tiennent pas non plus compte du fait que chaque émetteur de rayons constitue un élément spécifique en ce qui concerne l'isotope irradié et que chaque dispositif doit être adapté à cet élément spécifique. L'objet de l'invention estde créer un dispositif permettant d'éviter de façon économique tous les inconvénients mentionnés. Selon l'invention, ce résultat est obtenu au moyen d'un dispositif tubulaire comprenant au moins un premier tube partiel et un second tube partiel, ces tubes partiels pouvant être réglés coaxialement l'un par rapport à l'autre au moyen d'au moins un dispositif de réglage fin, la source ponctuelle et le tube G.M. étant monté coaxialement dans les tubes partiels, ces tubes partiels étant reliés respectivement à un ou à deux éléments de l'ensemble bague à diaphragme/source ponctuelle/tube G.M., au moins un dispo tif de blocage étant prévu pour bloquer le dispositif de réglage fin et l'un des tubes partiels étant relié de façon galvaniquement conductrice à l'anode alors que l'autre tube partiel est relié de façon galvaniquement conductrice à la cathode. Grâce à cet ensemble, on a les avantages suivants: a) L'élément de mesure est compact, et on peut le changer facilement comme un fusible de sécurité ou un tube d'un microscope, ou une lampe à incandescence. b) I1 est facile de régler le dispositif sur la plus petite incertitude de mesure. c) Comme la construction de l'ensemble est optimalisée, on peut travailler avec la même précision avec des diaphragmes plus petits, ce qui permet par exemple de limiter le nombre de diaphragmes dans la pratique à deux éléments de mesure, ceci permettant selon l'expérience de couvrir 95% de tous les cas d'utilisation. d) En cas de réparation, le blocage peut être débloqué dans l'usine du fabricant et les travaux nécessaires peuvent y être effectués. Le client reçoit ensuite le dispositif complet et à nouveau réglé. e) Comme on a désormais un ensemble, on peut le conserver sous tension en position d'attente sur un appui tel qu'un poste de recharge de batteries, ou un support à éprouvettes, l'élément de mesure conservant ses propriÉtés et les constantes mises en mémoire dans la calculatrice de l'appareil de mesure conservant leur validité sans se modifier. Lorsqu'on prévoit deux tubes partiels, l'un des deux supporte deux éléments reliés entre eux selon une géométrie rigide et constituant les ensembles bague à diaphragme/ source ponctuelle ou tube G.M./source ponctuelle, alors que l'autre tube partiel supporte l'autre élément constitué par le tube G.M. ou la bague à diaphragme. Grâce à de telles caractéristiques, on peut régler le dispositif au moyen d'un unique réglage et il suffit de déplacer les deux tubes partiels l'un par rapport à l'autre. On peut prévoir que le tube partiel avant porte l'ensemble de la bague à diaphragme alors que le tube partiel arrière porte l'ensemble source ponctuelle/tube G.M. Cet assemblage des éléments est particulièrement avantageux, bien qu'une autre disposition soit également possible. Le dispositif de réglage fin .peut comprendre un filetage fin dont le pas est compris entre 0,5 et 1 mm par tour, et est de préférence de 0,75 mm. Ce dispositif de réglage fin est alors particulièrement simple et maintient sa coaxialité et grâce à lui on peut par exemple effectuer sans difficulté une rotation de 30 et obtenir une modification de distance ayant une précision correspondante. Selon un mode de réalisation, le tube partiel avant est constitué par un écrou douille pourvu d'un filetage interne alors que le tube partiel arrière est un tube dans lequel est vissé le tube G.M. au moyen d'un dispositif de vissage comprenant dans sa partie avant un filetage externe adapté au filetage interne, tandis qu'un contre-écrou de blocage est vissé sur le filetage externe et constitue le dispositif de blocage. Grâce à ce dispositif, il est possible de positionner avec facilité le tube G.M. dans sa position correcte dans le tube partiel arrière alors qu'il est possible par ailleurs de positionner facilement et de bloquer dans la position correcte le tube-partiel avant avec l'ensemble qui lui est associé. Selon une autre caractéristique de l'invention, le tube partiel avant est en métal et relié de façon galvanique par l'intermédiaire d'un ressort annulaire, le socle fileté étant vissé dans une bague interne métallique et coaxiale de l'isolateur et la bague interne étant reliée de façon galvaniquement conductrice à une plaque métallique disposée coaxialement sur le fond du tube partiel arrière. Cette disposition permet d'obtenir un contact de façon simple; le tube partiel avant peut être utilisé simultanément comme moyen de fixation sur une table de mesure, sa capacité de dispersion est faible et sa vitesse de comptage par conséquent élevée, et ses possibilités de mise en contact sont faciles, par exemple au moyen d'une batterie. Quand le tube partiel arrière comprend un évidement dans lequel on dispose la résistance de travail du tube G.M., dont l'un des fils est relié galvaniquement à l'anode et l'autre fil est relié galvaniquement à une dérivation, on peut équiper le dispositif en même temps d'une résistance de travail de capacité très faible. Lorsque le dispositif de support comprend une bague de frettage dont les rayons supportent la source ponctuelle et quand la surface frontale arrière de la bague d'enveloppe est reliée fermement, et de préférence par une masse de colle, à la face-frontale avant de l'enveloppe du tube G.M., on peut disposer avec facilité le dispositif de support sur le tube G.M. et le relier à celui-ci sans qu'apparaissent des obscurcissements des rayons bêta réfléchis et dispersés. Selon une autre caractéristique, on peut prévoir une bague d'enveloppe partiellement cylindrique S l'avant du tube G.M., suivie par une partie centrale en céramique, puis par le socle de vissage, la tubulure de pompage de vide traversant le socle de vissage. On dispose alors d'un ensemble en forme de cartouche à très faible capacité. Lorsque le tube G.M. a un diamètre compris entre 0,5 et 1,3 cm, et est de préférence de 0,8 cm, et lorsqu'il est fermé par une fenêtre de mica dont le poids est compris entre 1,5 et 0,7 mg/cm2 et est de préférence d'environ 1 mg/cm2, on dispose d'un tube ayant fait ses preuves du point de vue de sa capacité optimale à recueillir le rayonnement pauvre en énergie qui est renvoyé dispersé, dont la grandeur de la surface captant le rayonnement répond aux exigences et dans lequel on peut créer une dépression. On a par ailleurs la possibilité de constituer la bague à diaphragme sous forme d'un élément particulier et de la maintenir positionnée coaxialement sur-le tube partiel qui lui est associé. On peut alors changer la bague à diaphragme et munir le dispositif de multiples bagues à diaphragme différentes lorsqu'on peut éviter d'avoir recours à la meilleure optimalisation (minimisation des erreurs statistiques). Finalement, on peut prévoir entre la source ponctuelle et la bague à diaphragme un élément de recouvrement de la source ponctuelle sous la bague a diaphragme, cet élément comprenant un trou coaxial permettant le passage non perturbé des radiations bêta de la source ponctuelle. Grâce à cette disposition, la source ponctuelle ne peut être endommagée lorsqu'on change la bague à diaphragme. En ce qui concerne le dispositif de l'invention, il convient également de tenir compte des points suivants: 1. On peut réaliser directement des tubes G.M. à dépression, ou les remplir d'un gaz en dépression. Dans le présent cas, on a utilisé des tubes G.M. remplis d'un gaz du fait qu'ils déterminent une impulsion de départ plus importante. 2. En montant un dispositif amplificateur correspondant à l'aval, on peut, dans le cadre de la présente invention, utiliser des tubes compteurs proportionnels tels que des tubes compteurs G.M. 3. Il existe aussi des chambres de ionisation qui font fonction de détecteurs de radiations nucléaires. Leur capacité augmente cependant avec le volume de la chambre, alors que l'invention vise effectivement à créer des dispositifs relativement petits. 4. De leur côté, les détecteurs a semiconducteur ne peuvent être utilisés du fait qu'ils ne présentent pas jusqu'ici des propriétés équivalentes aux tubes G.M., et qu'ils doivent toujours être fortement refroidis et que l'appareil de refroidissement rend pratiquement impossible l'échange des dispositifs. 5. Les tubes à scintillation ne peuvent pas non plus être utilisés. Ceux-ci ont besoin d'un photomultiplicateur qui rendrait le dispositif plus coûteux, volumineux, compliqué et massif. Diverses autres caractéristiques de l'invention ressortent d'ailleurs de la description détaillée qui suit. Des formes de réalisation de l'objet de l'invention sont représentées, à titre d'exemples non limitatifs, aux dessins annexés. La figure 1 est une vue latérale du dispositif. La figure 2 est une vue éclatée du dispositif de la figure 1, le ressort de contact se trouvant cependant sur la cathode. La figure 3 est une vue selon la flèche A de la figure 1. La figure 4 est une vue vers l'intérieur du tube partiel avant, en direction contraire, mais parallèle, à la flèche A. La figure 5 est une vue frontale du dispositif de support, tel qu'il est disposé sur le tube G.M. La figure 6 est une coupe selon la ligne 6-6 de la figure 5, à plus grande échelle. La figure 7 est une vue latérale du ressort de contact. La figure 8 est vue axiale du ressort de contact. La figure 9 est une vue axiale du contre-écrou. La figure 10 est une vue en coupe à plus grande échelle du tube G.M. La figure 11 est une vue axiale en direction intérieure du tube partiel arrière. La figure 12 est une vue selon la flèche B de la figure 1. La figure 13 représente la disposition de la bague de vissage sur le tube partiel arrière, la position de la résistance de travail et de la plaque de contact, la partie arrière du tube G.M. étant représentée en pointillés. La figure 14 est une coupe radiale d'un second mode de réalisation, dans la zone de la bague à diaphragme. La figure 15 est une vue radiale d'un outil destiné au dispositif, ainsi que le dispositif, les deux él-éments étant montés sur un support de travail. Sauf en cas d'indication contraire, les figures sont agrandies trois fois par rapport à l'original. En fait, le dispositif ne dépasse pas les dimensions du pouce. L'invention comprend un premier tube partiel 21, un second tube partiel 22, un tube compteur G.M. 23 ainsi qu'une bague à diaphragme 24 et un dispositif de support 26 destiné à une source ponctuelle 27. On donnera maintenant une description détaillée du dispositif de l'invention. Une vis à pierre ou rubis 28 correspondant au brevet allemand 20 13 270 (brevet US 3.714.436, brevet britannique 1.323.926) est montée coaxialement à un axe géométrique longitudinal 29. La vis à pierre comprend une ouverture de diaphragme 30 qui la traverse, et qui est au moins coaxiale dans des zones partielles, et se présente dans le cas présent sous la forme d'une fente radiale. La vis à pierre 28 est montée dans la bague à diaphragme 24 qui comprend une enveloppe en tronc de cône 31 disposée coaxialement. Elle se prolonge en un élément annulaire 32 à l'arrière duquel est pratiquée une gorge annulaire 33. Ensuite, la bague à diaphragme 24, à laquelle font partie les éléments indiqués ci-dessus, se prolonge par le tube partiel 21 monté coaxialement et ayant la forme d'un écrou sensiblement cylindrique et circulaire. Pour déterminer un support dans un dispositif de mesure non représenté, une rainure transversale 34 est pratiquée sous forme d'une sécante dans l'enveloppe du tube partiel 21. Dans l'enveloppe du tube partiel 21 est en outre constituée une rainure longitudinale 36 parallèle à l'axe, accessible par l'avant en direction parallèle à l'axe, de manière qu'on puisse y introduire un outil de saisie. A l'arrière, le tube partiel 21 comprend une surface frontale radiale 37 constituant une bague.A l'intérieur, le tube partiel 21 comprend une enceinte creuse 38 qui est coaxiale et de forme cylindrique et circulaire, et qui se prolonge dans l'enceinte creuse interne correspondante de la bague à diaphragme 24. La paroi interne du tube partiel 21 est pourvue d'un filetage fin 39 commençant au niveau de la surface frontale 37 et s'étendant pratiquement sur toute la longueur du tube partiel 21. A l'exception de la vis à pierre 28, les parties décrites jusqu'ici sont en métal. Le tube partiel 22 est réalisé en Resitex qui est une substance isolante et il constitue un diélectrique. Il est monté coaxialement à l'axe longitudinal 29. Il peut être vissé dans le filetage fin interne 39 au moyen de son filetage fin externe 41. Cette association d'éléments en métal et en matière plastique a pour résultat une faible résistance aux frottements, et les tubes partiels 21, 22 peuvent être tournés l'un par rapport à l'autre de façon sensible. Le filetage fin 41 se raccorde à l'arrière à une butée radiale 42, suivie par un corps cylindrique 43 de diamètre un peu plus important. Après un gradin 44 en forme de couronne suit un socle 46 de diamètre nettement plus petit. Dans la partie qui constitue son fond 47 est prévu un enfoncement 48 qui est axial au socle 46. Le tube partiel 22 comprend à l'intérieur un trou borgne 49, coaxial et de forme cylindrique circulaire. Un alésage traversant 51 relie le trou borgne 49 à l'enfoncement 48. Comme le montre la figure 2, et également indirectement la figure 13, il est prévu dans le corps cylindrique 43 un trou allongé 52 traversant complètement la paroi du corps cylindrique 43, ayant approximativement la longueur d'une résistance de 1/10 de watt et étant disposée approximativement selon un angle de 450, comme le montre la figure 2. Une bague de laiton 53 est montée coaxialement. Elle est collée par sa surface périphérique externe de forme circulaire et cylindrique 54 à la paroi du trou borgne 49, et ceci dans une position axiale telle que la surface périphérique externe 54 apparaisse par une zone partielle correspondante 56 dans la partie terminale de droite du trou borgne 52 selon la figure 2. La bague de laiton 53 comprend un filetage interne 57 et, selon la figure 13, une surface frontale radiale 58 sur la droite. La bague de laiton 53 n'a que quelques millimètres de longueur et d'épaisseur, sa masse est donc faible et elle ne représente qu'une faible capacité par rapport à la terre. Un disque de contact métallique 59 est colié dans l'enfoncement 56, où il est protégé, tout en dépassant cependant un peu vers l'arrière le socle 46. Dans le trou long 52 est disposée une résistance de 1/10 de watt 51 qui constitue la résistance de travail du tube G.M. 23. Du fait que le corps cylindrique 43 est plus épais que le diamètre de la résistance 51, cette résistance 61 est protégée dans le trou allongé 52 où elle peut d'ailleurs être éventuellement coulée. Sa branche de droite 62 est soude au point 63 à la zone partielle 56. On peut obtenir ce résultat au moyen d'un fer à souder fin existant actuellement et en passant par le petit trou allongé 52. Sa branche de gauche 64 est recourbée deux fois à angle droit et parvient partiellement dans la zone externe du trou borgne 49, traverse l'alésage traversant 51 et est soudée au disque de contact 59. Sur le filetage fin 41 est disposé un contre-écrou 66 plus étroit et pourvu d'un filetage interne fin correspondant, son diamètre externe étant un peu plus important que le diamètre externe du corps cylindrique 43. Les tubes partiels 21, 22 étant maintenus fixes en rotation, quand on tourne la bague de contact 66 pour l'appliquer fortement contre la surface frontale 37 et quand éventuellement on assure une fixation supplémentaire au moyen de laque ou d'une vis sans tête, les tubes partiels 21, 22 sont alors maintenus axialement l'un par rapport à l'autre dans une position qui ne peut être modifiée. Le tube G.M. 23 comprend une cathode métallique 67 de forme circulaire et cylindrique, constituant une enveloppe en forme de couronne dont le diamètre externe est plus faible que le diamètre interne du filetage fin 39. A une certaine distance de la surface frontale avant 68 en forme de couronne est soudée une fenêtre de mica 69 de forme circulaire. La cathode 67 est montée coaxialement. Dans l'enceinte de ionisation 71 est prévue une anode coaxiale 72 constituée par un fil 73 à l'extrémité libre duquel se trouve, directement à l'carrière de la fenêtre de mica 69, une partie épaissie 74, symétrique de rotation et dont la forme en coupe est approximativement elliptique. A l'arrière de l'enceinte de ionisation 71 est collé un organe de céramique 76 de façon à assurer l'étanchéité à l'air.Il est de forme cylindrique et circulaire et comprend sur sa partie terminale arrière une petite collerette 77. En outre, il comprend un alésage traversant coaxial 78 par lequel passe le fil 73. A l'arrière de la collerette 77 est collé un socle de vissage 79 étanche à l'air, ce socle étant en métal, comprenant une collerette de raccordement 81 qui s'adapte à la collerette 77, ayant le même diamètre externe que la collerette 77, et plus petit que le diamètre du trou borgne 49. La collerette de raccordement 81 se prolonge en un filetage externe 83, radial de forme circulaire et cylindrique, par l'intermédiaire d'une surface frontale 82 rentrée vers l'intérieur. Le socle de vissage 79 comprend un alésage traversant coaxial 84 dans lequel passe le fil 73 et qui est relié de façon galvaniquement conductrice au socle de vissage 79. Sur la surface radiale arrière 86 est fixée par fusion une tubulure de pompage à vide 87 en verre, dans laquelle, avant la fixation par fusion, on peut créer dans l'enceinte de ionisation 77 et par l'intermedi- aire des alésages traversants 78, 84 une dépression suffisante.Le tube G.M. 23 est vissé dans la bague de laiton 53 au moyen de son socle de vissage 79, de manière que les surfaces frontales 58 et 82 soient appliquées fermement l'une contre l'autre et n'admettent aucune rotation subse- quente. A l'état monté, la tubulure de pompage 87 peut pénétrer de façon protégée dans la zone arrière du trou borgne 49 sans toucher le fond 47. La tubulure de pompage 87 n'est pas non plus en contact avec la résistance 61 ni avec sa branche 64 du fait que ces éléments sont disposés radialement plus à l'extérieur. Lorsque le tube G.M. 23 est vissé dans le tube partiel 22, seule la moitié du corps de céramique 76 apparaît vers l'avant sur le tube partiel 22. Le dispositif de support 26 comprend une bague métallique 88, coaxiale et de forme cylindrique et circulaire, et comprenant un diamètre externe un peu plus important que celui de la cathode 67. La bague 88 passe cependant avec un faible jeu dans le diamètre interne du filetage fin 39, ce qui permet d'obtenir un guidage auxiliaire de montage. La bague 88 est collée par sa face frontale arrière 89 sur la face frontale également radiale 68. La paroi externe de la bague 88 fait donc un peu saillie à l'extérieur de l'anode, en direction radiale. La paroi interne 91 de la bague 88 est un peu décalée vers l'extérieur par rapport à la paroi interne de la cathode 67 et ne provoque donc pas d'ombre dans l'enceinte de ionisation 71.La paroi interne 91 passe sur deux rayons radiaux 92 décalés de 1800 l'un par rapport à l'autre, ces rayons étant minces en direction de l'obscurcissement, comprenant une partie épaissie de forme annulaire 93 coaxiale à son axe central. La partie épaissie 93 comprend un trou traversant coaxial 94 dans lequel est fixée étroitement par l'arrière la source ponctuelle 27. Cette source ponctuelle 27 est constituée par un petit tube 96 de diamètre externe de 0,2 mm, constitué en un matériau qui absorbe les radiations bêta. Bien qu'on ait attiré l'attention au début de cette description sur l'échelle des dessins, il convient cependant de revenir sur les dimensions de ce petit tube pour comparer les dimensions, car l'agrandissement nécessaire pourrait éventuellement provoquer une erreur d'évaluation des dimensions des éléments du dispositif de l'invention. Le petit tube 96 contient un fil coaxial 97 qui l'entoure étroitement vers l'arrière sur la plus grande partie de sa longueur et qui porte sur sa surface frontale avant 98 une petite bille émettrice de radiations 99. L'extrémité avant du petit tube 96 est fermée par une feuille de titane 101 dont l'épaisseur est de 10 mu. La distance entre la bille 99 émettrice de radiations et la feuille de titane 101 est comprise entre 0,1 et 0,2 mm, dans le cas où la petite bille 99 est en prométhéum, en tallium ou en strontium. La distance est un peu plus importante quand on utilise un émetteur de rayons au cadmium. Bien que dans ce cas la petite bille 99 soit située loin vers l'avant, on peut considérer l'ensemble comme constituant la source ponctuelle. A l'état monté et terminé, la feuille de titane 101 est située sur le côté avant de la vis à pierre 28 à une distance d'environ 0,1 à 0,8 mm. La première mesure ne vaut naturellement que dans le cas où la vis à pierre 28 est pourvue sur son côté arrière d'une ouverture coaxiale conformée de manière que l'extrémité avant du petit tube 96 puisse pénétrer au moins partiellement dans la vis à pierre 28. Un ressort de contact 102 représenté en détail aux figures 7 et 8, est constitué par une paire de pattes 103 et 104 reliées l'une à l'autre à l'arrière. A l'état détendu, la paire de pattes 103 présente, selon la figure 1, un diamètre un peu plus faible que la paire de pattes 104. La paire de pattes 103 sert à serrer le ressort de contact 102 sur la cathode 67 par action mécanique et de façon électriquement conductrice, alors que la paire de pattes 103 peut être poussée jusqu'à ce qu'elle s'applique contre la surface frontale 89. Dans ce cas, elle ne fait pas saillie sur la surface de la bague 88, ce qui permet malgré tout d'insérer l'ensemble dans le filetage fin 39. La paire de pattes 104 est reliée à l'arrière de façon galvaniquement conductrice à la paire de pattes 103 et elle fait saillie au moins dans des zones partielles à partir de l'axe géométrique longitudinal 29 de manière que lorsqu'on effectue le vissage dans le tube partiel 21, le contact puisse être établi avec le filetage fin 39 constituant de nombreux contacts ponctuels. Dans ce cas, la paire de pattes 104 est disposée également en partie sur la cathode 67 et ne peut pas être tirée trop loin sur la périphérie du corps de céramique 76. Le ressort de contact 102 constitue donc une liaison galvaniquement conductrice entre la cathode 67 et le tube partiel 21. La figure 14 représente un second mode de realisation qui d'une part protège la source ponctuelle 27 en filigrane, et qui permet par ailleurs de changer la bague à diaphragme 24 de manière d s'adapter à des problèmes de mesure divers. Dans ce mode de réalisation, une paroi de protection 108 part d'une surface frontale 106 du tube partiel 107, en direction coaxiale, la paroi 108 ayant une forme en tronc de côte et une ouverture interne 109 qui ne provoque aucune gêne pour les rayons bêta, dans laquelle la feuille de titane 101 peut éventuellement également pénétrer, mais qui empêche en tout cas et de façon certaine que l'on puisse plier la source ponctuelle 27 par exemple avec le doigt quand on dépasse l'ouverture interne 109, ce qui détruirait le réglage initial. Sur le tube partiel 107 est montée par l'avant une bague à diaphragme 111 constituant un élément séparé, cette bague comprenant une collerette externe coaxiale 112 qui s'applique par sa surface interne 113 contre une courte surface annulaire externe 114, prévue sur le côté frontal et effectuant un positionnement. Vers l'arrière, la bague à diaphragme 111 est passée dans un écrou d'accouplement 116 comprenant un filetage interne 117 que l'on visse sur un filetage externe correspondant du tube partiel 107. L'écrou d'accouplement 116 presse au moyen d'une collerette interne 118 la collerette externe 112 contre un épaulement circulaire 119, de manière que des mouvements en direction axiale soient impossibles.La bague à diaphragme 111 comprend de façon analogue à la paroi de protection 108 un tronc de cône 121 disposé parallèlement à la bague et portant la vis à pierre 122. Deux Évidements 123 décalés de 1800 sont prévus dans l'écrou d'accouplement 116, et ils sont accessibles de l'extérieur et à partir du côté frontal. On peut insérer dans ces évidements les tenons 124 d'un outil multiple 126. Cet outil multiple 126 comprend sur l'un de ses côtés frontaux un enfoncement 127 dans lequel peut pénétrer le tronc de cône 121 et la vis à pierre 122 quand on visse l'écrou d'accouplement 116. Quand on a vissé l'écrou d'accouplement 116, on peut alors retirer la bague d'amortissement 111 et la remplacer par une autre, puis revisser le même écrou d'accouplement 116 à l'aide de l'outil multiple 126. Si on n'utilise pas le dispositif parce qu'on a besoin par exemple d'un autre émetteur de rayons, on utilise alors également l'outil multiple 126. Dans ce but, ce dernier comprend sur son autre côté frontal un trou borgne coaxial 128 comprenant un filetage interne 129 s'adaptant au filetage externe 131 du tube partiel 107. L'outil multiple 126 est constitué en une substance qui absorbe les rayons bêta et leur est étanche de façon infinie (telle que de l'aluminium). Au fond du trou borgne 128 est prévue une fente 122, possédant des propriés de rétrodiffusion connues. L'outil multiple 126 peut être dispose avec le dispositif de l'invention sur un support 133 comprenant une ouverture 134 verticale et ouverte vers le haut, de grandeur correspondante. A sa partie inférieure est disposée une plaque de contact 136 et un contact annulaire à ressort 137 qui n'est pas représenté plus en détail et situé à une certaine hauteur. Ce dernier établit un contact avec le tube partiel 21 et de ce fait avec la cathode 67. La plaque de contact 136 établit un contact avec le disque de contact 139 et de ce fait avec l'anode 72. Pour que le dispositif puisse être maintenu continuellement sous tension, on prévoit des lignes 138 et 139 établissant un raccordement avec une source de courant à haute tension. Dans cet ensemble est également prévu un dispositif de comptage qui n'est pas représenté pour que l'on puisse continuellement compter les particules bêta rétrodiffusées. REVENDICATIONS I. Dispositif de mesure de couches minces au moyen du procédé par irradiation par rayons bêta, comprenant une bague à diaphragme pourvue d'une très petite ouverture, une source ponctuelle d'une émetteur de rayons bêta coaxiale à l'ouverture du diaphragme, disposée derrière cette ouverture et à une certaine distance de celle-ci, un dispositif de support pour la source ponctuelle, un tube compteur Geiger Müller (tube G.M.) disposé coaxialement à l'arrière du dispositif de support, un dispositif de fixation pour le tube compteur Geiger-Müller, un dispositif de contact pour l'anode du tube G.M. et un dispositif de contact pour la cathode du tube G.M., caractérisé en ce.qu'il est prévu un dispositif tubulaire comprenant au moins un premier tube partiel (21) et un second tube partiel (22), ces tubes partiels (21, 22) pouvant être réglés coaxialement l'un par rapport à l'autre au moyen d'au moins un dispositif de réglage fin (39, 41), en ce que la source ponctuelle (27) et le tube G.M. (23) sont monts coaxialement dans les tubes partiels (21, 22), en ce que ces tubes partiels sont reliés respectivement à un ou à deux éléments de l'ensemble bague à diaphragme (24)/source ponctuelle (27)/tube G.M. (23), en ce qu'au moins un dispositif de blocage (66) est prévu pour bloquer le dispositif de réglage fin (39, 41) et en ce que l'un des tubes partiels (22) est relié de façon galvaniquement conductrice à l'anode (72) alors que l'autre tube partiel (21) est relié de façon galvaniquement conductrice à la cathode (67). 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il est prévu deux tubes partiels (21, 22) dont l'un (21) des deux supporte deux éléments reliés entre eux selon une géométrie rigide et constituant les ensembles bague à diaphragme/source ponctuelle ou tube G.M. (23)/source ponctuelle (27), alors que l'autre tube partiel supporte l'autre élément constitué par le tube G.M. ou la bague à diaphragme (24). 3. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que le tube partiel avant (21) porte l'ensemble de la bague à diaphragme (24) alors que le tube partiel arrière (22) porte l'ensemble source ponctuelle (27)/tube G.M. (23ï. 4. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif de réglage fin (39, 41) comprend un filetage fin dont le pas est compris entre 0,5 et 1 mm par tour, et est de préférence de 0,75 mm. 5. Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce que le tube partiel avant (21) est constitué par un écrou douille pourvu d'un filetage interne (39), en ce que le tube partiel arrière (22) est un tube dans lequel est vissé le tube G.M. (23) au moyen d'un dispositif de vissage (82, 83) comprenant dans sa partie avant un filetage externe (41) adapté au filetage interne (39), et en ce qu'un contre-écrou de blocage (66) est vissé sur le filetage externe et constitue le dispositif de blocage. 6. Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce que le tube partiel avant (21) est en métal et relié de façon galvanique par l'intermédiaire d'un-ressort annulaire (103, 104), en ce que le socle fileté (79) est vissé dans une bague interne (53) métallique et coaxiale de l'isolateur (22) et en ce que la bague interne (53) est reliée de façon galvaniquement conductrice à une plaque métallique (59) disposée coaxialement sur le fond (47) du tube partiel arrière (22). 7. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que le tube partiel arrière (22) comprend un évidement (52) dans lequel on dispose la résistance de travail (61) du tube G.M. (23), dont l'un des fils (62) est relié galvaniquement à l'anode (72) et l'autre fil (74) est relié galvaniquement à une dérivation (59). 8. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que le dispositif de support (26) comprend une bague de frettage (88) dont les rayons t29) supportent la source ponctuelle (27) et en ce que la surface frontale arrière (68) de la bague d'enveloppe (89) est reliée fermement, et de préférence par une masse de colle, à la face frontale avant de l'enveloppe t67) du tube G.M. (23). 9. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'une bague d'enveloppe (89) partiellement cylindrique est prévue à l'avant du tube G.M. (23), et en ce qu'elle est suivie par une partie centrale en céramique (76), puis par le socle de vissage (79), la tubulure de pompage de vide (87) traversant le socle de vissage (79). 10. Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que le tube G.M. (23) a un diamètre compris entre 0,5 et 1,3 cm, et est de préférence de 0,8 cm, et en ce qu'il est fermé par une fenêtre de mica (69) dont le poids est compris entre 1,5 et 0,7 mg/cm2 et est de préférence d'environ 1 mg/cm2, 11. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la bague à diaphragme (111) est constituée sous forme d'un élément particulier et est maintenue positionnée coaxialement sur le tube partiel (107) qui lui est associé. 12. Dispositif selon les revendications 1 et 11, carac terse en ce qu'il est prévu entre la source ponctuelle (27) et la bague à diaphragme un élément de recouvrement (108) de la source ponctuelle sous la bague à diaphragme (111), cet élément comprenant un trou (109) coaxial permettant le passage non perturbé des radiations bêta de la source ponctuelle (27).