Brevet FR2488048A1 — publié le 19820205

La présente invention concerne un détecteur photo- voltalque dont la sensibilité maximale se situe entre 0,8 et 2 ps, comprenant un substrat de type P et une zone de type N formant une jonction avec le substrat. Dans les détecteurs photovoltalquesl il est sou- haitable que le temps de réponse soit le plus faible possible. Cela est essentiel en particulier lorsqu'on utilise de tels détecteurs pour détecter les signaux lumineux transmis par des fibres optiques, le débit numérique dans ce type de liaisons étant extrêmement élevé. On sait dtautre part que l'atténuation dans la transmission par fibre optique est minimale pour une longueur d'onde del,3,m et/ou de 1,64Bm, et il s'agit donc de mettre au point un détecteur sensible à ces longueurs d'onde et présentant les caractéristiques de réponse requises. L'invention a pour objet un détecteur photovoltal- que comprenant un substrat de type P en HBcî CdS Te, x étant choisi,à l'intérieur d'une plage de 0,4 à 0,9, en fonction des caractéristi- ques spectrales désirées, le substrat ayant une concen- tration en porteurs P inférieure à 1015/cm3, et une zone dopée de type N formée sur le substrat. Du fait de la pureté très élevée du substrat, et de la structure particulière du composé ternaire Hg1 1 Cdx Te, qui comporte des lacunes de mercure et/ou de cadmium, l'introduction d'un agent dopant en concentra- tion appropriée aboutit à la création d'unde zone intrin- ae celui le sèque de dopage intermédiaire entre celui/la zone P et la zone N, c'est-à-dire d'une jonction PIN, et ce de façon extrêmement simple. Une telle jonction, étant donné son très faible dopage et son épaisseur relati- vement importante, possède une capacité très faible et le détecteur présente ainsi un temps de réponse très court et peut fonctionner sous une tension de polarisa- tion inverse élevée. Pour former la zone N, on utilisera de préférence du mercure comme agent dopant, et on procédera à une diffusion thermique du mercure selon la technique planar, conformément à l'enseignement du brevet français 2 336 804. Un autre procédé utilisable est l'implantation ionique d'atomes possédant, après un recuit approprié, une activité électrique de type N, tels que des atomes d'indium ou d'aluminium. L'invention sera bien comprise à la lecture de la description ci-après faite en référence aux dessine annexés. Dans l'es dessine - les figures 1 à 7 illustrent les différentes phases d'un mode de fabrication du détecteur photovol- taique selon l'invention. - la figure 8 montre la réponse spectrale d'un détecteur selon l'invention. - la figure 9 montre la caractéristique tension- courant de ce détecteur. Les figures 1 à 7 illustrent la fabrication dtun détecteur photovolta!que selon l'invention selon le procédé décrit dans le brevet français 2 336 804. Le présent exemple concerne un détecteur dont la sensibilité maximale se situe à 1,3 pmU. Le substrat du détecteur est constitué d'un alliage Hg1 x Cdx Te dans lequel la proportion x de cadmium est d'environ 0,7. On part d'un substrat 1, de type P (cf. figure 1) formé d'un cristal de Hg1 x Cdx Te de très haute pureté, présentant donc une concentration en porteurs P très faible, de l'ordre de 1015/cm3. Un tel cristal peut *tre obtenu par la méthode dite THN (Travel Heater Method), consistant à déplacer un lingot de Hg Te et un lingot de Cd Te par rapport à une zone chauffée dans laquelle un solvant tel que le tellure dissout les deux lingots. On obtient à la sortie de la zone de solvant un lingot unique de Hg x Cdx Te de haute pureté, dans lequel la valeur x est fonction des sections des lingots de départ. Un tel procédé est décrit dans un article de R. Triboulet intitulé "Cd Te and Cd Te: Hg alloys cristal growth using stoichiometric-and offstoichiometric zone passing techniques", paru dans la Revue de Physique Appliquée, tome 12, février 1977, page 123. Sur le substrat 1, on dépose une couche 2 de Cd Te, par exemple par pulvérisation cathodique. Puis on dépose sur la couche 2 une couche de masquage 3 (figure 2), de préférence en Zn S. On soumet ensuite ltélémentde la figure 2 à un traitement thermique à une température comprise entre 200 et 4000C, de façon à recristalliser la couche 2 et à lui donner une composition qui varie graduellement, la couche 2 ayant une composition identi- que à celle du substrat 1 à l'interface avec celui-ci et étant composée de Cd Te pur à l'interface avec la couche de Zn S 3. Après ce traitement thermique, on réalise au moins une ouverture 10 dans les couches 2 et 3 de façon & mettre à nu une partie de la surface la du substrat (figure 3), puis on dépose au moins dans l'ouverture 10 une couche 4 de Cd Te (figure 4). (flèChe 5, figure 5) Ensuite, on. fait diffuser du mercure/dans le subs- trat à travers la couche 4 de Cd Te. Celle-ci est per- méable au mercure à la température de diffusion, supé- riéure à 300 C. Op obtient ai2si une zone 6 de type N, de dopage environ 1016 atomes/cm, qui forme avec le substrat P une jonction 7. Comme on l'a expliqué ci-dessus, cette jonction est une jonction PIN, car elle comporte.une zone à faible dopage (1013 cm-3) dite zone intrinsèque, relati- vement épaisse. On pratique ensuite une ouverture 8 dans la couche 4 par attaque chimique, et on remplit cette ouverture avec un métal conducteur tel que Ai ou In afin de réaliser un contact 9. Le détecteur photovoltaique obtenu présente la réponse spectrale représentée à la figure 8. La bande de sensibilité va de 0,9 à 1,35 m, avec un maximum à 1,3 tm. La courbe de la figure 8 donne la réponse spec- trale à la température ambiante (T = 300OK) et en l'absence de polarisation. Un exemple de la caractéristique IV (tension-courant) est donnée à la figure 9 pour un détecteur d'une surface sensible de 3.10-4 cm2. Les caractéristiques du détecteur sont les suivan- tes: tension d'avalanche (à I = 10) > 70 V courant de saturation 0,5 A/w gain interne à V = -10 volts > 5 Le détecteur décrit présente un maximum de sensibi- lité à 1,3 um. Si l'on désire obtenir un détecteur présentant une réponse spectrale différente, par exemple avec un maximum à 1,6 pm, on partira simplement d'un substrat de composition différente. La variation de la réponse spectrale en fonction des proportions de cadmium et de mercure dans l'alliage Hg 1x Cdx Te est en soi une donnée bien connue. REVENDICATIONS 1 - Détecteur photovoltalque ayant sa sensibilité maximale entre 0,8 et 2 Pm, caractérisé par le fait qu'il comprend un substrat de type P en Hg1 x Cdx Te, x t étant choisi, à l'intérieur d'une plage de 0,4 à 0,9, en fonction de la réponse spectrale désirée, le substrat ayant une concentration en porteurs P intérieure à 1015/cm3, et une zone dopée de type N formée sur le substrat, la jonction résultante étant du type PIN. 2 - Détecteur selon la revendication 1, caractéri- sé par le fait que la zone N est formée par diffusion thermique de mercure à travers une couche de Cd Te. 3 - Détecteur selon la revendication 1, caractérisé par le fait que la zone N est formée par implantation ionique d'indium ou d'aluminium.