Brevet FR2490416A1 — publié le 19820319

Laser à gaz La présente invention concerne un laser à gaz. On connait un laser à gaz comprenant une cavité optique résonnante composée de deux miroirs, deux électrodes disposées suivant un plan passant par l'axe, ces électrodes comportant deux bords longitudinaux parallèles à l'axe, en regard l'un de l'autre à l'intérieur de la cavité, une enceinte entourant la cavité, cette enceinte comportant une surface latérale sensiblement parallèle à l'axe et deux faces extrêmes sur lesquelles sont fixés les miroirs, des moyens pour faire circuler un gaz actif dans l'enceinte le long de l'axe et un circuit de déclenchement d'une décharge électrique haute tension entre les électrodes. Cette décharge électrique peut être réalisée par décharge d'un condensateur ou à l'aide d'une ligne plate d'excitation de type Blumlein. Un tel laser à gaz présente l'inconvénient de délivrer des impulsions dont la fréquence de répétition est limitée à un taux relativement faible. La présente invention a pour but de pallier cet inconvénient et de réaliser un laser à gaz dont la fréquence de répétition des impulsions délivrées peut atteindre des valeurs plus élevées. La présente invention a pour objet un laser à gaz comprenant - une cavité optique résonnante composée de deux miroirs alignés suivant un axe, - deux électrodes disposées suivant un plan passant par l'axe, ces électrodes comportant respectivement deux surfaces longitudinales parallèles à l'axe, en regard l'une de l'autre, à l'intérieur de la cavité, - une enceinte entourant la cavité, cette enceinte comportant une surface latérale sensiblement parallèle à l'axe et deux faces extrêmes perpendiculaires à l'axe, les deux électrodes traversant la surface latérale et les deux miroirs étant disposés sur les faces extrêmes, - des moyens pour faire circuler un gaz actif dans l'enceinte - et des moyens pour déclencher une décharge électrique haute tension entre les deux électrodes, de façon à exciter le gaz actif et créer un rayonnement laser sortant dg la cavité, caractérisé en ce que -2- - chaque électrode est formée d'une enveloppe métallique entourant un volume creux, cette enveloppe comportant au moins une percée opposée à ladite surface longitudinale et une pluralité d'ouvertures traversant la partie de l'enveloppe constituant ladite surface longitudinale, ces ouvertures étant régulièrement espacées entre elles et mettant en communication le volume creux de l'électrode avec l'intérieur de l'enceinte - et en ce que lesdits moyens pour faire circuler un gaz actif dans l'enceinte sont des moyens pour injecter ce gaz dans une électrode à travers sa percée, le gaz sortant par la percée de l'autre électrode après traversée desdites ouvertures de façon à s'écouler dans l'enceinte transversalement par rapport à l'axe. Des formes d'exécution de l'objet de la présente invention sont décrites ci-dessous, à titre d'exemple, en référence aux dessins annexés dans lesquels - la figure 1 représente, en coupe transversale, un premier mode de réalisation du laser selon l'invention, - la figure 2 représente, en coupe transversale, un deuxième mode de réalisation du laser selon l'invention, - la figure 3 est une vue en perspective éclatée d'une électrode pouvant être utilisée pour réaliser les lasers illustrés par les figures 1 et 2, - la figure 4 est une vue en perspective éclatée d'une variante de l'électrode illustrée par la figure 3 - et la figure 5 est une- vue en perspective éclatée d'une autre variante de l'électrode illustrée par la figure 3. Dans la figure 1, deux électrodes métalliques 1 et 2 traversent chacune la surface latérale d'une enceinte parallélépipédique 3, allongée suivant un axe 6 et constituée d'une matière isolante. Les électrodes 1 et 2 sont disposées suivant un plan 5 perpendiculaire aux deux faces traversées de l'enceinte 3, ce plan contenant l'axe 6 de l'enceinte 3. Les électrodes-l et 2 comportent respectivement deux surfaces longitudinales 7 et 8, parallèles à l'axe 6 et disposées à l'intérieur de l'enceinte en regard l'une de l'autre. Chaque électrode est formée d'une enveloppe entourant un volume creux. Cette enveloppe a extérieurement la forme d'un parallélépipède sur une face duquel - 3 - est appliqué un demi-cylindre dont les génératrices sont parallèles à l'axe 6, ce demi-cylindre correspondant à la surface longitudinale mentionnée ci-dessus. Sur les deux faces extrêmes de l'enceinte 3 sont disposés deux miroirs tels que 9 formant une cavité optique résonnante d'axe 6, un de ces miroirs étant semi-transparent. Les surfaces longitudinales 7 et 8 comportent une pluralité d'ouvertures telles que 10 et 11 dont la forme et la répartition sera précisée par la suite. Ces ouvertures mettent en communication le volume creux de l'électrode avec l'intérieur de l'enceinte 3. Sur chaque électrode, la face de l'enveloppe qui est opposée à la surface longitudinale comporte au moins-une percée. C'est ainsi que la face 12 de l'enveloppe de l'électrode 1 est munie d'une percée 13 à laquelle peut être raccordée une canalisation 14. De même, la face 15 de l'enveloppe 2 est munie d'une percée 16 à laquelle peut être raccordée une canalisation 17. L'enceinte 3 est fixée sur un support métallique 18 en forme de plaque parallèle au plan 5. Une face, parallèle au plan 5, de l'enveloppe de chaque électrode se prolonge vers l'extérieur de l'en- ceinte suivant une plaquette 19, 20. Entre la plaquette 19 et le support 18 est fixé, par exemple par collage, un bloc diélectrique 21 constitué par exemple de titanate de baryum. De même, un bloc diélec- trique 22 analogue au bloc 21 est fixé entre la plaquette 20 et le support 18. Au delà du bloc diélectrique 22, une électrode auxiliaire 23 est vissée dans la plaquette 20 perpendiculairement au plan 5. L'extré- mité de l'électrode 23 est en regard de l'extrémité d'une pointe 24 fixée sur le support 18. Entre les électrodes 1 et 2 est connectée une liaison inductive 25. Les deux bornes d'un générateur électrique haute tension 26 sont reliées à travers un interrupteur 33 respectivement au support 18 et au point milieu de la liaison inductive 25. Les figures 3, 4 et 5 sont des vues en perspective éclatée de différents modes de réalisation d'électrodes pouvant s'adapter au laser représenté sur-la figure 1, ces vues montrant en particulier comment peuvent être réalisées les ouvertures des surfaces longitudinales. Dans la figure 3, on voit que la surface longitudinale peut être constituée par une lame métallique 27 en forme de demi-cylindre. 4 - Cette lame est fixée sur le bottier de l'enveloppe par tout moyen convenable et comporte une succession de fentes telles que 28 suivant des plans perpendiculaires à l'axe 6 de la cavité et régulièrement espacés entre eux. ' Dans la figure 4, la surface longitudinale est constituée par une lame souple 29 recourbée, dont les bords sont fixés par exemple par soudage sur le bottier de l'électrode. La lame 29 comporte une pluralité d'orifices tels que 30 de forme sensiblement circulaire et régulièrement espacés entre eux. La figure 5 montre que la surface longitudinale 31 peut être réalisée d'un seul bloc avec les faces adjacentes de l'enveloppe. Dans ce mode de réalisation, l'épaisseur de la partie de l'enveloppe correspondant à la surface longitudinale peut être relativement grande et sa section peut avoir par exemple une forme triangulaire. Les ouvertures telles que 32 sont ici réalisées par perçage. Le laser décrit ci-dessus et illustré par la figure 1 fonctionne de la manière suivante. On introduit d'abord un gaz actif laser tel que l'azote dans l'enveloppe de l'électrode 1 à travers la canalisation 14 et la percée 13. Ce gaz traverse successivement les ouvertures 10 de la surface longitu- dinale 7 de l'électrode 1 et les ouvertures 11 de la surface longitu- dinale 8 de l'électrode 2, de façon à s'écouler transversalement dans l'enceinte 3 dans une direction sensiblement perpendiculaire à l'axe 6. Ce gaz sort de l'enveloppe de l'électrode 2 à travers la percée 16 et la canalisation-17. L'ensemble constitué par le diélectrique 21, le support 18 et la plaquette 19 forme un condensateur C1 et l'ensemble constitué par le diélectrique 22, le support 18 et la plaquette 20 forme un condensateur C2. On ferme l'interrupteur 33 afin de provoquer la charge des condensateurs C1 et C2. Lorsque la charge atteint une tension prédé- terminée V, une étincelle jaillit aux bornes de l'éclateur constitué par l'électrode auxiliaire 23 et la pointe 24, dont l'écartement mutuel a été réglé à une valeur convenable par vissage de l'électrode auxiliaire 23 dans la plaquette 20. Cette étincelle correspond à la décharge du condensateur C2. La décharge est oscillante, donc 24904 1 6 -5- au départ la tension.V de l'électrode 2 décroît rapidement et prend des valeurs négatives. La tension instantannée entre les électrodes 1 et 2 peut ainsi atteindre une valeur sensiblement égale à 2V. Il en résulte une décharge électrique entre les surfaces longitudinales des électrodes 1 et 2 dans le gaz actif contenu dans l'enceinte 3. Cette décharge électrique excite le gaz actif et provoque la formation d'une impulsion laser sortant de la cavité optique résonnante. Par rapport au laser à gaz selon l'art antérieur cité dans le préambule de la présente demande, le générateur laser décrit ci- dessus et illustré par la figure 1 présente des avantages importants. Dans ce générateur laser la circulation de gaz actif dans l'en- ceinte s'effectue transversalement par rapport à l'axe de la cavité on obtient ainsi un renouvellement de gaz dans l'enceinte beaucoup plus rapide, ce qui permet d'augmenter la cadence des impulsions laser. A titre d'exemple il est possible d'obtenir des cadences de répétition de 5 à 10 kHz alors que ces cadences se trouvent limitées, dans le cas d'une circulation longitudinale de gaz, à un taux de l'ordre de 2 à 3 kHz. Cette augmentation de cadence est favorisée aussi par une plus grande homogénéité du gaz actif présent dans l'en- ceinte. Cette augmentation d'homogénéité provient d'une part de la diffusion du gaz actif qui résulte de son passage à travers les nombreuses ouvertures des surfaces longitudinales en regard. L'augmentation d'homogénéité provient d'autre part de l'orientation transversale de la circulation de gaz dans l'enceinte. En effet dans les lasers selon l'art antérieur, à circulation longitudinale de gaz dans l'enceinte, on observe une diminution importante de pression de gaz entre l'arrivée du gaz dans l'enceinte et son départ. Ce gradient de pression s'accom- pagne d'un gradient de température en sens inverse. L'effet cumulatif de ces deux phénomènes provoque inévitablement un manque d'homogénéité du gaz dans l'enceinte. Il est clair que dans le laser selon l'inven- tion, ces inconvénients ne peuvent se produire, compte tenu de la faible longueur du trajet de circulation de gaz dans l'enceinte. Enfin il a été observé que dans le laser selon l'invention, le gaz actif se trouve toujours désexcité après traversée de l'électrode de sortie, ce qui favorise la réalisation d'un circuit fermé de circu- lation de gaz, avec recyclage. Dans les lasers selon l'art antérieur, - 6on constate au contraire que le gaz actif sortant de l'enceinte est généralement encore excité. Le laser représentédans la figure 2 se distingue de celui illustré par la figure 1 par le type d'excitation qui utilise une ligne élec- trique plate au lieu de condensateur. Ce laser comporte des éléments identiques à ceux du laser illustré par la figure 1, ces éléments étant désignés par les mêmes références numériques. Il comporte notamment deux électrodes creuses 1 et 2 disposées sensi- blement dans un plan 5, ces électrodes comprenant deux surfaces longi- tudinales 7 et 8 en regard l'une de l'autre. Ces électrodes ont exacte- ment la m8me structure que celles du laser illustré par la figure 1 et peuvent en particulier être réalisées selon les modèles montrés sur les figures 3, 4 et 5. Les surfaces longitudinales 7 et 8 comportent donc une pluralité d'ouvertures telles que 10 et 11. Les deux élec- trodes 1 et 2 sont logées, comme indiqué sur la figure 2, à l'intérieur d'un support isolant 34 dont l'épaisseur est sensiblement égale à l'épaisseur des électrodes 1 et 2. Le support 34 est traversé par - les canalisations 14 et 17 débouchant respectivement dans le volume interne des électrodes 1 et 2. - Le laser illustré par la figure 2 comporte en outre une ligne électrique plate d'excitation comprenant une feuille isolante 35 interposée entre deux feuilles métalliques 36 et 37. La feuille métal- lique 36 présente une fente 38 la séparant en deux parties. L'axe de la fente 38 est sensiblement perpendiculaire au plan de la figure. Une face plane de l'électrode 1, parallèle au plan 5, est en contact avec une plage plane 39 de la feuille 36, cette plage étant située à proximité et d'un c8té de la fente 38. De même, une face plane de l'électrode 2, parallèle au plan 5, est en contact avec une plage plane 40 de la feuille 36, cette plage 40 étant située à proximité et de l'autre c8té de la fente 38. Les faces planes des électrodes 1 et 2 en contact avec les plages 39 et 40 sont coplanaires. La ligne électrique plate est courbée à 1800 en 41 de façon que la feuille 36 puisse être appliquée, au delà de la courbure, sur les autres faces parallèles au plan 5 des électrodes 1 et 2, de part et d'autre d'une autre fente 42 symétrique de la fente 38 par rapport au plan 5. La feuille 36 est appliquée sur ces faces - 7 - suivant deux plages planes 43 et 44 symétriques par rapport au plan 5 des plages 39 et 40. Il est essentiel d'assurer un bon contact électrique entre les électrodes 1 et 2 et les plages 39, 40, 43 et 44. Pour cela, on dispose deux plaques métalliques rigides opposées 45 et 46 sur la feuille métallique 37, de façon à plaquer la ligne métallique plate contre les électrodes 1 et 2. Une mince couche élastique non représentée sur la figure peut être interposée entre les faces en contact des plaques 45-46 et de la feuille 37, afin d'assurer une meilleure homogénéité de contact. Les plaques 45 et 46 sont serrées énergiquement l'une vers l'autre à l'aide d'un dispositif mécanique comportant, comme il est visible sur la figure, quatre barettes 47-48- 49 et 50 et des boulons de fixation 51 sur lesquels viennent s'engager des écrous de serrage 52. Les deux portions de la feuille isolante 35 dénudées par les fentes 38 et 42 délimitent avec les surfaces longitudinales 7 et 8 des électrodes 1 et 2, la surface latérale d'une enceinte allongée suivant un axe 58 perpendiculaire au plan de la figure, les faces extrêmes de cette surface étant obturées par deux miroirs tels que 59 constituant une cavité optique résonnante d'axe 58. Dans la partie courbe 41 de la ligne électrique plate est ménagée une percée 53 sensiblement ponctuelle traversant la feuille isolante 35 d'une part et les feuilles métalliques 36 et 37 d'autre part suivant des orifices concentriques. L'orifice de la feuille isolante 35 est plus petit que les orifices des feuilles métalliques 36 et 37, afin d'éviter la formation d'un arc électrique entre les bords des deux feuilles métalliques. Deux électrodes opposées 54 et 55, constituant un éclateur sont disposées suivant une droite normale à la ligne électrique en 53, ces électrodes 54 et 55 étant en contact électrique respectivement avec les feuilles métalliques 36 et 37. Les deux bornes d'un générateur haute tension 56 sont connectées respectivement aux deux feuilles métalliques à travers un interrupteur 57. Le laser représenté dans la figure 2 comporte enfin une - liaison inductive non représentée assurant la continuité électrique entre les parties de la feuille métallique 36 séparées respectivement par les fentes 38 et 42. a490416 -8 Le laser représenté sur la figure 2 fonctionne de la manière suivante. On fait d'abord circuler un gaz actif, tel que l'azote, de la canalisation 17 à la canalisation 14. Ce gaz traverse l'enceinte du laser transversalement par rapport à l'axe 58, comme dans le cas du laser illustré par la figure 1. Après fermeture de l'interrupteur 57 et chargement de la ligne,on pro- voque la formation d'une étincelle entre les électrodes 54 et 55 de l'éclateur. flette etincelle déclenche une onde de courant se propageant dans la ligne plate de la percée 53 vers les fentes 38 et 42. Cette onde de courant provoque la formation d'une décharge électrique entre les électrodes 1 et 2 du laser. Cette décharge excite le gaz actif en circulation de façon à engendrer une impulsion laser sortant de la cavité optique résonnante. Ce laser, qui ne diffère du laser de la figure 1 que par le mode d'excitation, présente évidemment les mêmes avantages que ceux mentionnés à propos du laser illustré par la figure 1. Bien entendu, on comprendra qu'il est possible de réaliser un laser du type de celui illustré par la figure 2, mais utilisant simplement une ligne électrique plate non recourbée ne comportant qu'une seule fente. -9- REVENDICATIONS 1/ Laser à gaz, comprenant - une cavité optique résonnante composée de deux miroirs alignés suivant un axe, - deux électrodes disposées suivant un plan passant par l'axe, ces électrodes comportant respectivement deux surfaces longitudinales parallèles à l'axe, en regard l'une de l'autre, à l'intérieur de la cavité, - une enceinte entourant la cavité, cette enceinte comportant une surface latérale sensiblement parallèle à l'axe et deux faces extrêmes perpendiculaires à l'axe, les deux électrodes traversant la surface latérale et les deux miroirs étant disposés sur les faces extrêmes, - des moyens pour faire circuler un gaz actif dans l'enceinte - et des moyens pour déclencher une décharge électrique haute tension entre les deux électrodes, de façon à exciter le gaz actif et créer un rayonnement laser sortant de la cavité, caractérisé en ce que chaque électrode est formée d'une enveloppe métallique entourant un volume creux, cette enveloppe comportant au moins une percée opposée à ladite surface longitudinale et une pluralité d'ouvertures traversant la partie de l'envoloppe constituant ladite surface longitudinale, ces ouvertures étant régulièrement espacées entre elles et mettant en communication le volume creux de l'électrode avec l'intérieur de l'enceinte - et en ce que lesdits moyens pour faire circuler un gaz actif dans l'enceinte sont des moyens pour injecter ce gaz dans une électrode à travers sa percée, le gaz sortant par la percée de l'autre électrode après traversée desdites ouvertures de façon à s'écouler dans l'enceinte transversalement par rapport à l'axe. 2/ Laser à gaz selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite surface longitudinale est sensiblement cylindrique, les génératrices de cette surface étant parallèles à l'axe. 3/ Laser à gaz selon la revendication 2, caractérisé en ce que lesdites ouvertures sont des fentes disposées suivant des plans perpendiculaires à l'axe de la cavité. 4/ Laser à gaz selon la revendication 2, caractérisé en ce que lesdites - 10 - ouvertures sont des orifices sensiblement circulaires. / Laser à gaz selon la revendication 4, caractérisé en ce que ladite surface longitudinale est formée d'une lame métallique souple comportant lesdits orifices, cette lame étant courbée pour présenter ladite surface sensiblement cylindrique. 6/ Laser selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens pour déclencher une décharge électrique entre les deux électrodes comportent - un premier condensateur dont une armature est connectée à une première desdites électrodes - un deuxième condensateur dont une armature est connectée à la deuxième électrode, les autres armatures des premier et deuxième condensateurs étant connectées entre elles, - des moyens pour charger les premier et deuxième condensateurs à une même tension électrique élevée - et des moyens pour provoquer une décharge oscillante du premier condensateur. 7/ Laser selon la revendication 1, caractérisé en ce que, l'enveloppe de chaque électrode comportant deux faces planes opposées, parallèles entre elles et adjacentes à ladite surface longitudinale, ces faces étant disposées parallèlement audit plan et de part et d'autre de ce plan, les moyens pour déclencher une décharge électrique entre les deux électrodes comportent une ligne électrique plate formée d'une feuille isolante interposée entre une première et une seconde feuilles métalliques, la première feuille métallique présentant au moins une fente la séparant en deux parties, des moyens pour appliquer deux plages planes de la première feuille métallique situées de part et d'autre et à proximité de la fente respectivement sur une face plane d'une électrode et sur une face plane de l'autre électrode, ces faces planes étant sensiblement coplanaires, - des moyens pour établir entre les première et deuxième feuilles métalliques une différence de potentiel élevée - et un circuit de déclenchement d'une décharge électrique entre lesdites première et deuxième feuilles métalliques en un point de - 11 - la ligne électrique plate. 8/ Laser selon la revendication 7, caractérisé en ce que la ligne électrique plate comporte une autre fente séparant une des parties de la première feuille métallique en deux portions distinctes, et qu'il comporte des moyens pour appliquer deux plages planes de la première feuille métallique, situées de part et d'autre et à proximité de l'autre fente, respectivement sur les autres faces planes des deux électrodes, la ligne électrique plate étant courbée entre les fentes.