Brevet FR2484137A1 — publié le 19811211

La présente invention concerne une enveloppe sous vide munie d'une fenêtre perméable aux rayonnements, par exemple pour un intensificateur d'image de rayons X, un tube à rayons X, un détecteur de rayonnement, une enveloppe de beta- tron et autres enveloppes sous vide similaires comportant une fenêtre perméable aux rayonnements; l'invention concerne éga- lement un procédé de fabrication de cette enveloppe. L'enveloppe sous vide du typeprécité est munie d'une fenêtre perméable aux rayonnements et elle est réalisée de façon étanche à l'air afin de maintenir l'intérieur sous vide, ou rempLie d'une atmosphère d'un ?az déterminé. Par exemple, dans un intensificateur,'image de rayons X, une grande fenêtre d'un diamètre de 150 à 400 mm transmettant des rayons X modulés ayant traversé un objet est fréquemment for- mée d'aluminium (A1) ou de titane (Ti) plut6t que d'une pla- que de verre qui absorbe ou diffuse les rayons X dans une me- sure relativement importante. Dans un tube à rayons X dans lequel la partie centrale de l'enveloppe sous vide est métal- lique, une fenêtre transmettant les rayons X doit être prévue en toute proximité d'une anticathode fortement chauffée et émettant facilement des électrons secondaires. Par conséquent, cette fenêtre transmettant les rayons X doit être faite d'une matière qui résiste fortement aux hautes températures. Le ti- tane ou des alliates de titane (appelés ci-après simplement "matière au Ti") s'avère convenable en pratique comme matière métallique ne présentant qu'une faible tendance d'absorption ou de diffusion du rayonnement dans ces conditions. L'enve- loppe sous vide du type mentionné ci-dessus doit comporter un isolant, par exemple en verre ou en céramique, dontle but est de supporter diverses électrodes intérieures, des conduc- teurs qui traversent l'enveloppe sous vide vers l'extérieur, ou d'obtenir une image optique visible à l'extérieur de l'en- veloppe. Il est rare en pratique, par exemple en raison du prix, que l'enveloppe sous vide soit faite entièrement de ma- tière au Ti seule, même si l'isolant précité n'est pas prévu. Le procédé courantde fabrication d'une enveloppe sous vide de ce genre consiste à souder hermétiquement la matière au Ti sur une autre pièce métallique, dans au moins une partie de l'enveloppe. Cette pièce métallique est souvent faite d'une matière choisie dans le troupe comprenant le Kovar (nom de marque), l'acier inoxydable, des matières de haute perméabilité magnétique comme le fer (Fe) et des alliages de fer (qui seront appelés ci-après des "matieres au Fe") pouvant être soudées de façon stable sur le verre ou la céra- mique. Le procédé de soudage de la matière au Ti sur la ma- tière au Fe de façon étanche à l'air est déjà connu par le Brevet Britannique N 2 006 518 ou le jbrevet des Etats d'Amérique N 3 878 417. Le procédé de soudage décrit dans le premier de ces Brevets consiste à souder une mince feuil- le de matière au Ti sur un support épais, par exemple en un alliage 4e Fer-nickel-cobalt, en acier au nickel-chr6me ou en molybdène, par soudure à l'arc ou par points. Le procé- dé de soudare décrit dans le second Brevet consiste à souder le bord périphérique extérieur d'un support sur une mince -;20 matière au Ti introduite à l'intérieur. En dehors de ces pro- cédés décrits ci-dessus, le procédé courant de soudage de la matière au Ti sur l'acier inoxydable consiste principalement en un brasaee. Ce procédé par brasage, destiné à produire un alliage de- Ti-Ni ou de Ti-Cu consiste à introduire une feuil- le de nickel ou de cuivre entre une feuille de matière au Ti et une feuille d'acier inoxydable, et à chauffer jusqu'à une température de l'ordre de 950 + 101C. Un autre procédé large- ment répandu de brasage d'une matière au Ti sur de l'acier inoxydable consiste à appliquer une brasure d'ar.ent (Ag) ou d'alliage d'argent et à produire une structure eutectique par chauffage jusqu'à une température de l'ordre de 980 à 99500. Dans ce cas, il s'avère également efficace de plaquer une feuille de matière au Ti avec une couche de nickel. Cependant, des expériences faites sur le procédé de soudape entre la matière au Ti et l'acier inoxydable, dé- crit dans le Brevet Britannique N 2 006 78 précité ont montré que pLus La matière au Ti utilisée est mince, plus la tendance est grande que les points soudés de cette matière soient cassants, empêchant ainsi d'obtenir un bon soudag-e étanche à L'air le long de la périphérie de la masse soudée. Le procédé de soudage décrit dans ce Brevet, selon lequel les conditions imposées pour assurer un état de soudcage stable sont extrêmement limitées et s'averent inacceptables sur le plan industriel. En outre, des expériences ont été faites sur le procédé courant de brasage, selon lequel la brasure d'ar- gent ou une feuille de nickel ou de cuivre est appliquée com- me élément intermédiaire. Nlais avec ce procédé antérieur de brasage, la matière au Ti qui a été exposée à une température élevée de 950 à 9950C devient cassante dans sa totalité. En outre, plus la matière au Ti est mince, plus grande est la tendance à ce qu'eLle se déforme en raison de la différence entre son coefficient de dilatation thermique et celui du support. Par conséquent, ce procédé de brasage antérieur est également inadapté pour l'application pratique. Il y a lieu de supposer que la raison de cet inconvénient est que la bra- sure a été fondue pour la soudure à une température supérieure à environ 900 à 9500C, c'est-à-dire le point de transformation auquel la matière au Ti se recristallise, donnant lieu à un état cassant prédominant et une déformation de la matière au Ti. L'invention a donc pour objet de réaliser une enve- loppe sous vide munie d'une fenêtre perméable au rayonnements dans laquelle la matière au Ti utilisée pour la fenêtre per- méable aux rayonnements n'est ni cassante, ni déformée, assu- rant ainsi une grande solidité de la soudure et une haute étanchéité à l'air. Un autre objet de l'invention est de proposer un procédé de fabrication d'une enveloppe sous vide munie d'une fenêtre perméable aux rayonnements selon lequel la matière au Ti utilisée pour la fenttre n'est ni cassante, ni défor- mée, assurant ainsi une grande solidité de la soudure et une haute étanchéité à l'air, offrant ainsi de grands avantages pour la fabrication industrielle. Autrement dît, l'invention concerne une enveloppe sous vide munie d'une fenetre perméable aux rayonnements, comprenant une fenêtre perméable en titane ou en alliage de titane et un support, réalisée par soudage hermétique de fer ou d'alliage de fer sur la périphérie extérieure de la fe- netre; ce procédé se caractérise par le fait qu'nne pièce intercalée, faite d'une feuille de métal fusible à une tem- pérature inférieure ou point de transformation de la fenêtre est disposée entre la périphérie extérieure de la fenêtre et le support, toute la masse étant soudée de façon étanche à l'air par soudate par points, sur la base d'un chauffage ré- sistif. Un autre objet de l'invention est de proposer un pro- cédé de fabrication d'une enveloppe sous vide munie d'une enveloppe perméable aux rayonnements, et qui consiste essen- tiellement: à superposer une fenetre perméable aux rayonne- ments faite en titane ou en alliage de titane, un support en fer ou en alliage de fer et une pièce intermédiaire en feuil- le métallique fusible à une température intérieure au point de transformation de la fenêtre, cette pièce intermédiaire étant maintenue entre la fenêtre et le support, à maintenir l'ensemble superposé entre deux électrodes pour effectuer une soudure par points, sur la base du chauffage résistif, à faire passer des impulsions de courant entre les deux élec- trodes serrées contre l'ensemble superposé avec une pression :5, de 4.10 à 2.10 Pa de manière à souder ensemble la fenêtre et le support, et à effectuer successivement le soudage par point de manière que les parties soudées deviennent conti- gupés sur la périphérie de la fenetre. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention seront mieux compris à la lecture de la description qui va suivre de plusieurs exemples de réalisation et en se réfé- rant aux dessins annexés sur lesquels: La Pipure 1 est une coupe d'un intensificateur d'imaee de rayons X comportant une enveloppe sous vide selon 1 invention, la Fi.ure 2 est une coupe éclatée à grande Mohélle de la partie principale cde la Figure 1, la fi.ure 3 est une vue de dessus à prandóe échelle de la partie principale de la Fiiure 1, la 'ieure *. est une coupe à grandb échelle de la partie principale de la Figure 1,: La iieure j est un profil d'un élément métallique. constituant une partie soudée par le procédé selon un mode de réalisation de l'invention,: la Figure o est une coupe éclatée à,rande échelle d'une partie soudée par un procédé selon un autre mode de réalisation de l'invention, la Fi.ure 7 est une coupe à grande échelle d'une partie soudée par un procédé selon un autre mode encore de réalisation de l'invention, La bigure P est une coupe d'un tube à rayons X comu- portant une enveloppe sous vide selon l'invention et, la Figure 9 est une coupe à grande échelle de la partie principale de la Figure P. Sur les différentes Figures, les éléments identiques sont désignés par les mmes références numériques. bees figures 1 à 4 représentent un intensificateur d'image de rayons X comportant une enveloppe sous vide selon un mode de réalisation de l'invention. Cet intensificateur d'image de rayons'X est réalisé en disposant dans une enve- loppe sous vide 11 un substrat d'entrée 12 sphérique avec un écran d'entrée 12a constitué par une couche fluorescente faite par exemple en iodure de caesium (CsI) et une couche de cathode photo-électrique, plusieurs électrodes, à savoir une premiere grille cylindrique 13, une seconde-grille 14, une troisième 7rille 15, une anode l et une couche-fluores- cente 17 de sortie. L'enveloppe sous vide 11 elle-même com- porte une fenttre 18 d'entrée de rayons X faite en matière au Ti, perméable aux rayons X pénétrant par la section supé.- rieure de la Figure 1 et permettant que ces rayons X soient transmis au substrat d'entrée '12; une enveloppe de verre 19 de sortie laissant passer une image optique-visible produite par la couche fluorescente 17 de sortie vers l'extérieur de l'intensificateur d'imau.e de rayons X, et un ensemble compre- nant un support 20 en forme d'anneau, un corps cylindrique 21 et un anneau 22 de soudage au verre, par exemple en Kiovar, ces éléments étant disposés les uns contre les autres dans un espace défini entre la fenêtre d'entrée 18 et l'enveloppe de sortie 19, dans I' ordre précité à partir' du haut. La périphé- rie de la fenêtre d'entrée 18 est soudée -de' faon étanche à l'air sur la périphérie du suppor't 20, 'dans une position in- diquée par la référence 23. Une collerette 24 formée en re.- pliant vers l'extérieur une partie du support 20 et une eol- !erette 25a formée en repliant vers l'extérieur.une partie du'-_co-rps cylindrique 21 sont. soudées de façon étanche à -'e4i par 'soudaà.e à l'arc sous.az inerte, dans l'a -po'lti on indiqu4: par la référence 26. La partie d'extrémité ouverte l9a de l'en- veloppe de verre 19 de sortie est préalablement, soudé6e sur la bague de Kovar 22. Quand les électrodeslintévieures de 1' i-n' tensificateur -d'image' sont assemblées,.-la collerette inféri- eure 24b du corps cylindrique 21 et la collerette 27 de -la-ba- gue de Kovar 22 sont soidées ensemble, également 'par sondage à l'arc sous g.az inerte, dans-la position indiquée par la ré- férence 28. Ainsi, l'enveloppe sous vide 11 est fermée hermé- tiquement par soudage de -toute la périphériede façon étanche à l'air. La dernièré section 28 soudée hermétiquement est en- -ti&rement séparée de la fenêtre d'entrée-1: et du substrat d'entrée 12, ce qui permet de compléter une enveloppe sous vide sans chauffer de façon indésirable la fenêtre 18 et le substrat 12 pendant le soudag.e. Le cylindre 21 est fait d'un métal qui se soude facilement sur l'anneau de Kovar 22 et le support 20, 'par exemple l'acier inoxydable non magnétique, ou un métal de haute perméabilité magnétique comme le Per- maloy (alliage contenant 27, de fer, 5o de molybdène et le reste de nickel)j d'autres formes de fer et d'allia.e de fer (matières au Fe). Le support 20 peut être fait d'un métal parmi ceux mentionnés ci-dessus. De préférence, il est réa- lisé en un métal, par exemple celui désigné par Sus 304 L dont les propriétés magnétiques sont nulles ou suffisamment faibles pour n'être que peu magnétisé ou déformé par une force maenétomotrice quand le support 20 est comprimé contre la fenltre d'entrée l1 pour le chauffage par résistance sur la base d'impulsions de haute intensité. La fenêtre d'entrée 1R est faite en titane ou en alliage de titane (ap- pelé ci-après matière au Ti) contenant par exemple une pe- tite quantité d'aluminium, de molybdène, de chrome, d'étain, de manganèse, de vanadium, seul ou en combinaison. La réalisation du support 20 et de la fenêtre d'en- trée 18 en matière au Ti qui sont soudés ensemble de façon hermétiques, et le procédé de fabrication de l'ensemble se- ront maintenant décrits. La fenêtre d'entrée 18 est faite d'un disque en feuille de matière au Ti d'une épaisseur t1 de 0,1 à 0,4 mam, de préférence de 0,25 mm comme le montre la Figure 2, et dont la surface est complètement nettoyée. Le support 20 est une pièce annulaire d'une épaisseur t2, de 1 à 3 mm, ou de préférence de 2 mm, dont la partie p4riphé- rique est repliée deux fois en equerre. Un logement annu- laire 29 d'une profondeur égale à l'épaisseur t de la fe- i nêtre d'entrée 18 est formée-dans la partie supérieure du support annulaire 20, qui est positionné perpendiculairement à l'axe de l'enceinte sous vide. La fenêtre d'entrée 18 est soudée dans le logement annulaire. L'ènsemble du support 20 est d'abord plaqué avec une couche 30 de nickel d'une épais- seur de cinq à quarante microns, de préférence de 15 microns. La mince couche de nickel 30 peut être évaporée pour se dé- poser sur le support 20. Une pièce intermédiaire 31 sous la forme d'une bague étroite en feuille de métal est intercalée entre la fenêtre 18 en forme de disque et le support annulai- re 20. Les pièces superposées sont placées entre deux élec- trodes 32, 33 utilisées pour une soudure par points sur la base du chauffage par résistance. La pièce intermédiaire 31 est faite en un alliage de cuivre, contenant du cuivre et de l'or ou un alliage de cuivre et d'argent dont le point de fu- sion est inférieur au point de transformation de la fenêtre d'entrée 18 en mat!ère au Ti, c'est-à-dire à une température à laquelle se produit un changement de structure cristalline de cette matière au Ti (882 0C dans le cas de Ti et de l'ordre de 800 à 9500C dans le cas d'un alliage de titane), et au- dessus d'une température maximale, par exemple de l'ordre de 5000C utilisée pendant la fabrication de la présente enve- loppe sous vide ou à laquelle ce produit est pratiquement utilisé. La pièce intermédiaire 31 en feuille de métal peut ttre faite d'un alliage de 70 à 85R d'or et de 15 à 30% de cuivre; de 45 à 80% d'or, de 3 à 37% d'argent et de 8 à 22% de cuivre; de oO à R0o d' arent et de 20 à 40% de cuivre; de à 750 d'argent, de-lO à 353 de cuivre et de 3 à 30 de zinc ou de l'un quelconque des alliages mentionnés ci-dessus conte- nant en outre une petite quantité de nickel, de cadmium ou d'étain, ou d'un mélange de ces métaux. Le diamètre D de la zone de contact.de la partie de l'électrode cylindrique 32 qui est serrée contre la fenêtre d'entrée 18 est en relation importante avec la largeur w1 de la pièce intermédiaire 31 en feuille de métal en anneau dans le sens que le courant appliqué est concentré sur cette pièce intermédiaire 31, per- mettant à la partie de cette pièce qui se trouve immédiate- ment sous l'1électrode 32 de fondre complètement sur la lar- geur w1. L'épaisseur t de la pièce intermédiaire 31 en feuil- le de métal est choisie entre 0,05 et 0,4 mm, de préférence entre 0,1 et 0,2 minm. Il est possible d'assembler préalablement le support avec la pièce intermédiaire 31 en soudant par points les périphéries des deux pièces 20, 31 en dix à vinpt points équidistants et de superposer la fenêtre d'entrée lI sur le support 20 soudé par points sur la pièce intermédiaire 31. Après cette opération, une pression de l'ordre de 4.105 à 2.106 Pa, ou de préférence de 7.105 à 1,5.10 Pa est appliquée entre les électrodes de soudage 32, 33 dans la di- f rection de la flèche F de la Figure 2, dans l'air ou dans une atmosphère de Paz inerte. Dans ces conditions, un courant pulsé d'environ 10 000 à 40 000 A/cm (de crte) passe entre les électrodes de soudase 32, 33 pour effectuer la sou- dure. Le courant pulsé est appliqué à chaque point de soudage pendant 0,5 à 3 secondes, avec une fréquence de 3 à 20 Hertz. La pression et le courant précités sont appliqués de façon intermittente en décalant successivement leur point d'appli- cation de la manière représentée sur la Figure 3, de manière que les parties soudées 34a, 34b, 34c, 34d.... se chevauchent de façon continue sur la périphérie de la fenêtre d'entrée 18. Cette soudure par points est effectuée avec un pas tel que les points de soudure voisins se chevauchent chacun de 2/3 à 1/2 dans le plan circonférentiel sur lequel les électrodes de soudame 32, 33 sont serrées. Il en résulte que la pièce intermédiaire 31 en feuille métallique est fondue de façon uniforme le long de sa périphérie, assurant ainsi un souda.e entièrement étanche à l'air. Ce soudare est effectué avec un refroidissement à l'eau ou à l'air afin d'éviter toute sur- chauffe des électrodes 32, 33 et de la fenêtre 18 en matière au Ti. En outre, avant i 'application de la pression aux élec- trodes de soudare 32,33 et le passage du courant pulsé pour la soudure, les périphéries du support 20 et de la fenêtre d'entrée 12 entre lesquels la pièce intermédiaire 31 est in- tercalée sont assemblées préalablement par soudage au laser ou par points, en.des points indiqués par des repères X (35) afin de supprimer tout décalage inutile de la fenêtre 18 et de son support 20 pendant l'application de la pres- sion et du courant pulsé. Par conséquent, et comme le montre la Figure 4, la fenêtre d'entrée 18 et son support 20 sont soudés ensemble de façon étanche à l'air par l'intermédiaire de la pièce intermédiaire 31 et du placage de nickel 30 dont les périphéries sont toutes fondues. La pièce intermédiaire 31 est fondue par chauffage résistif et son épaisseur est ram:enée à une valeur égale à celle de la couche 30 de placa- fe de nickel, sous l'effet de 'application de pression. Selon le procédé de souda.e selon l'invention, dé- crit ci-dessus, une mince fenêtre d'entrée perméable au rayonnement en matière au Ti et un support épais en matière au Fe sont soudés de façon intermittente par chauffage résis- tif, de façon étanche à l'air, avec une pièce intermédiaire en feuille de métal intercalée entre eux. Cette pièce inter- médiaire est faite d'un alliage contenant principalement de l'or ou de l'arpent, le reste étant du cuivre, et avec un point de fusion inférieur au point de transformation de la matière au Ti. Il est donc inutile de chauffer la matière au Ti jusqu'à une température supérieure à son point de transformation, ce qui évite que cette matière au Ti devienne cassante et soit déformée. Ainsi, une mince fenêtre d'entrée de rayonnement en matière au Ti peut être soudée de façon stable avec un haut rendement industriel. Quand l'enveloppe sous vide terminée est complètement vidée ou remplie avec un gaz sous pression, la fenetre est légèrement déprimée vers l'intérieur comme le montre la Figure 1. La Figure 5 montre des profils (mesurés par un micro- analyseur à sonde aux rayons X), des éléments métalliques res- pectifs 20, 30, 31, 18 inclus dans la partie X1 - X2 soudés par le procédé selon l'invention, comprenant un support en acier inoxydable plaqué de nickel sous une épaisseur dt'envi- ron 15 micronset une pièce intermédiaire en feuille métalli- que constituée par un mince anneau de 0,15 mm en un alliage (de point de fusion de l'ordre de 7200C) contenant 725a dlar- gent et le reste de cuivre. Comme le montre la Figure 5, le cuivre de la pièce intermédiaire 31 mig.re vers la matière au Ti 1R en grande quantité, et on peut observer une couche M1 de diffusion mutuelle de Ou - Ti d'une épaisseur de l'ordre de 2,5 microns. La couche de nickel plaquée fait également apparattre une couche M2 diffusée mutuellement de 'i-Cu d'une épaisseur de l'ordre de I micron. Il ne se produit que peu de changements de distribution d'argent dans la pièce inter- médiaire 31. Le cuivre de la pièce intermédiaire 31 remplit une fonction de production d'alliape de Cu - Ti et de t Ni - Cu. La Figure 5 montre donc qu'un bon soudage étanche à l'air a été obtenu. Une couche 113 de diffusion mutuelle d'une épaisseur d'environ 1,5 microns appara t entre le sup- port 20 et la couche plaqeée de nickel. Il a été confirmé que les conditions satisfaisantes précitées de soudage ré- sultent du fait qu'une pression et un courant pulsé peuvent être appliqués de façon sare dans une plage relativement large. Ce fait assure la production en série automatisée d'enveloppes sous vide et ofrre de grands avantages indus- triels. Ia partie soudée de -l'enveloppe sous vide selon l'in- vention offre une résistance mécanique suffisamment grande, exigée d'une enveloppe sous vide, car la matière au Ti n'est alliée que superficiellement. La Figure 6 qui sera maintenant décrite représente une partie soudée d'une enveloppe sous vide réalisée par un procédé selon un second mode de réalisation de l'invention. Des surfaces irrégulières 36, 37 portant de petites saillies et de petits creux sont formées, par exemple par sablage sur les faces en regard du support 20 et de la fenêtre d'en- trée 18. Une mince couche 30 de nickel est déposée sur la surface du support 20. Les parties irrégulières 36, 37 sont soudées par pointé, par chauffage résisti', avec une pièce intermédiaire 31 en feuille de métal intercalée entre elles. L'épaisseur totale du support 20 est augmentée pour accrot- tre sa résistance mécanique. Une rainure 38 est formée dans ce support épais 20 de manière à obtenir une mince colle- rette 24 qui peut être soudée & l'arc sur le corps cylindri- que de l'enveloppe sous vide. Avec le procédé de soudage de la Figure 6, selon le second mode de réalisation de l'inven- tion, la pièce intermédiaire 31 est soudée par points par ré- sistance sur les parties irrégulières 36, 37 assurant une plus prande surface de contact et un soudage plus étanche à l'air. Les parties irrégulières peuvent etre formées sur l'une ou l'autre des faces en regard du support 20 et de la fenêtre d'entrée 1,. La Figure 7 représente une partie soudée d'une enve- loppe sous vide réalisée par le procédé selon un troisième mode de réalisation de l'invention. Une couche 30 de nickel est plaquée sur la surface extérieure d'un support annulaire 20 à section en double 6querre. La partie périphérique exté- rieure lRa, progressivement pliée, de la fenttre d'entrée 18 en matière au Ti est superposée sur la couche 30 de nickel plaquée avec interposition de la pièce intermédiaire 31 en feuille métallique. Toute la périphérie est soudée par chauf- fa.e résistif pendant qu'une pression est appliquée par une électrode intérieure 33a de forme annulaire et une électrode extérieure 32 en forme de tige, tandis qu'un courant pulsé passe entre les électrodes 33a, 32. Dans ce cas étalement, le soudaçne est effectué sous pression, par chauffage résis- tif, de façon continue le long despériphéries de la fenttre d'entrée 18 et du support 20, et de manière que les points soudés se chevauchent entre eux. bes Figures P et 9 représentent une enveloppe sous vide selon un quatrième mode de réalisation de l'invention utilisée pour un tube à rayons X. L'enveloppe sous vide 41 de tube à rayons X selon ce mode de réalisation comporte un cylindre d'acier inoxydable 42 gonflé en son centre, une bague de Kovar 43 et une enveloppe de verre 44. Une anti- cathode 47 de forme conique est montée dans l'enveloppe sous vide, supportée par l'arbre 46 d'un rotor 45. Dans l'en- veloppe sous vide 41, une cathode 411 et un support de ca- thode 49 sont maintenus en position en face de l'anticathode conique 47. Une úenêtre 18 perméable aux rayons X en matière au Ti est disposée dans une position faisant face au point d'impact du faisceau d'électrons sur l'anticathode 47. Cet- te fentre l1 perméable aux rayons X est soudée sur le sup- port 20 de matière au Fe de façon étanche à l'air, comme dans les précédents modes de réalisation. Une mince couche de nickel 30 est plaquée ou évaporée sur le support 20. Une pièce intermédiaire 31 en feuille métallique est intercalée entre la fentre l1 et le support 20. Pendant qu'une pros- -13 sion est appliquée par des électrodes 32, 33, un courant pulsé est appliqué pour souder ensemble les périphéries de la fenêtre 18 et du support 20, sous pression et par chauf- faze résistif. Le rebord 24 du support 20 avec lequel la fe- n'tre 18 est préalablement assemibléeest soudé à l'arc sur une collerette 42a du cyLindre 42, dans la position indiquée par la référence 2.'. La fenêtre iR perméable aux rayons X est disposée particulièrement près du foyer du faisceau d'électrons sur ltanticathode 47 et elle est directement soumise à un rayon- nement calorifique, de sorte qu'elle est susceptible H'une surchauffe due à l'impact d'électrons secondaires ou libres. Cependant, la fenêtre 18 en matière au Ti soudée de façon étanche à l'air sur le support 20 par le procédé selon l'in- vention résiste de façon satisfaisante à la chaleur et elle convient tout à fait pour l'utilisation dans le type précité de tube à rayons X. Dans les précédents modes de réalisation, l'une au moins des électrodes de soudape était en forme de tige. 14ais il est possible d'utiliser des électrodes de soudage en forme de mollettes et d'effectuer le soudage étanche des périphé- ries de la fenêtre 18 et du support 20 sous une pression pré- déterminée, en faisant passer un courant puls6. Il est en outre possible de préparer le support 20 à partir d'une ba- rue ou d'un cylindre d'un alliage tel que le Kovar soudé sur du verre ou de la céramique, supprimant ainsi par exemple le corps cylindrique 21 de l'enveloppe sous vide de la Figure 1. * Telle qu'elle a été décrite ci-dessus, l'invention permet de souder une fenêtre perméable aux rayonnements en matière au Ti de façon étanche à l'air sur le support en ma- tière au Fe sans élever la température de l'ensemble de la fenêtre perméable au rayonnement, assurant ainsi une fabrica- tion facileet stre d'une enveloppe sous vide sans rendre cas- sante ou sans déformer la fenêtre. En outre, l'invention per- met de choisir les matières assurant un soudage entièrement étanche à l'air, le niveau de pression et l'intensité du courant pour le chauffage résistif dans une plae relative- ment large tout en permettant une automatisation mécanique du procédé de fabrication de l'enveloppe sous vide, appor- tant ainsi de grands antages industriels. REVET)I CATIOTNS 1 - Enveloppe sous vide, munie d'une fenêtre per- méable aux rayonnements, constituée par une fenêtre (18) per- méable aux rayonnements faite en titane ou en alliage de ti- tane et par un support (20) en fer ou en alliage de fer sou- dé de façon étanche à l'air sur la périphérie de la fenêtre, enveloppe caractérisée en ce que la fenêtre (lA) et le sup- port (20) sont soudés de façon hermétique par soudage résis- tif en intercalant entre les périphéries de la fenêtre et du support une pièce intermédiaire (31). en feuille métallique dont le point de fusion est inférieur au point de transfor- mation de la fenêtre. 2 - Enveloppe sous vide selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'au moins la partie du support (20) qui est soudée par points sur la fenêtre (18) est préalablement plaquée avec une mince couche de nickel (30), la fenêtre (LR) et le support (20) étant soudés ensemble avec la couche (30) plaquée de nickel et la pièce intermédiaire (31) inter- calée entre la feiJtre et le support. 3 - Enveloppe sous vide selon la revendication 1, caractérisée en ce que la pièce intermédiaire (31) en feuil- le de métal est faite d'un alliasuede cuivre contenant prin- cipalement de l'or ou de l'argent. 4 - Enveloppe sous -vide selon la revendication 1, caractérisée en ce que les parties voisines soudées par points par chauffage résistif sont formées de fagon contigu' le long de la périphérie de la fenêtre, en se chevauchant. - Enveloppe sous vide selon la revendication 1, caractérisée en ce que chacune des faces en regard de la fenêtre (lA) et du support (20) comporte des parties (36, 37) finement irrégulières ) - Enveloppe sous vide selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle contient des électrodes intéri- eures (13, 14, 15, 16), un écran d'entrée (12) et un écran de sortie (17). 7 - Enveloppe sous vide selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle contient une anticathode (47) et une cathode (48). R - Enveloppe sous vide selon la revendication 1, caractérisée en ce que le support (20) est réalisé en fer non magnétique ou en alliage de fer. 9 - Procédé de fabrication d'une enveloppe sous vide, caractérisé en ce qu'il consiste essentiellement à superposer une fenêtre (1R) perméable aux rayonnements en titane ou en alliare de titane, un support (20) en fer ou en alliage de fer et une pièce intermédiaire (31) en feuille métallique dont le pointde fusion est inférieur au point de transforma- tion de la fenàtre, de manière que la pièce intermédiaire soit intercalée entre la fenêtre et le support, à appliquer une pression de 4.10 à 2.100 Pa à des électrodes de soudage (32, 33), à faire passer un courant pulsé dans les électro- des, sous la pression précitée, pour souder ensemble la fe- nttre et le support, à effectuer successivement ledit souda- ge de manière que les parties adjacentes soudées se chevau- chent de façon continue le long de la périphérie de la fent- tre. - Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il consiste également à déposer préalablement une mince couche de nickel (30) sur au moins la partie du support (20) qui doit être soudée sur la fenêtre (lR), et à souder ensem- ble la fenêtre et le support avec la couche de nickel déposée: et la pièce intermédiaire (31) en feuille métallique inter- calée entre la fenêtre et le support. 11 - Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il consiste étalement à faire passer un courant pulsé de crête de 10 000 à 40 000 A/cm2, à faire passer ce courant pulsé par les électrodes de souda-e pour souder ensemble la fenêtre et le support. 12- - Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que des électrodes de souda.e (32, 33) dont la largeur est supérieure à celle de la pièce intermédiaire (31) en 2484137- feuille métallique sont utilisées pour souder la fenêtre et le support, par le passade dudit courant pulsé dans les- dites électrodes.