Brevet FR2482750A1 — publié le 19811120

La présente invention concerne un appareil de localisation de repères, destiné à un ensemble d'aligne- ment automatique de plaquettes, par localisation de paires de repères disposées en diagonale, en sens opposés sur la face d'une plaquette, par analyse d'un signal vidéo à balayage par trame. La présente invention est destinée à la réalisa- tion automatique d'une opération réalisée manuellement jus- qu'à présent. L'opération rendue automatique est l'aligne- ment d'une plaquette de silicium sur une platine X-Y avant l'exposition de cette plaquette afin qu'un dessin choisi de réserve photographique y soit formé. Ce dessin est utilisé pour le traitement ultérieur, au cours de la fabrication des dispositifs à semi-conducteur. Bien que l'appareil ait été réalisé plus précisément en coopération avec un appareil d'exposition par projectïon commercialisé sous le nom "DSW Wafer Stepper" par the G.C.A. Corporation of Bedford, Massachusetts, Etats-Unis d'Amérique, il faut no- ter que ces opérations d'alignement sont nécessaires dans la plupart des systèmes d'exposition de réserve photogra- phique et que l'invention s'applique aussi à ces systèmes. Lors du fonctionnement, l'appareil selon l'in- vention met en oeuvre un signal vidéo formé par balayage par trame obtenu d'une caméra de télévision en circuit fermé qui voit l'image que verrait un opérateur manuel de l'appareil. Ainsi, le réglage et la corrélation des ré- sultats entre les procédés mis en oeuvre manuellement et automatiquement sont réalisés facilement. Cette image est fournie par un microscope à coïncidence. L'alignement, en mode manuel comme automatique, est réalisé lorsque des marques de référence ou des repères portés par une plaquette de silicium sont alignés sur des signes correspondants d'un réticule placé dans le microsco- pe. Le réticule constitue un point de référence fixé méca- niquement dans l'appareil et qui constitue un point de ré- férence pour le déplacement de la platine X-Y. Selon une caractéristique de l'invention, l'alignement final de la plaquette, réalisé par réglage automatique, est réalisé en référence au réticule et non-à une position établie élec- troniquement dans l'image tramée. Comme le savent les hommes du métier, l'image du réticule lui-même peut se déplacer dans la trame vidéo lorsque le microscope est focalisé ou à la suite d'un changement mécanique ou élec- tronique de l'appareil de télévision en circuit fermé. Dans un mode de réalisation avantageux de l'in- vention, une plaquette qui doit être alignée par un appa- reil selon l'invention porte deux repères distants, ayant chacun deux traits diagonaux d'inclinaisons opposées, c'est- à-dire une marque en forme de X. Un point bien déterminé de la surface de la plaquette est ainsi déterminé par l'inter- section des lignes de chaque paire. Un réticule sur lequel la plaquette doit être alignée a une paire de marques ana- logues, comprenant encore chacune deux traits diagonaux d'inclinaisons opposées. Chaque partie de réticule et la caractéristique correspondante sur la plaquette sont ob- servées par une caméra de télévision en circuit fermé, par le côté correspondant d'un microscope à coïncidence, de la même manière qu'un opérateur les voit dans un appa- reil manuel. Le signal vidéo est analysé afin que les ca- ractéristiques diagonales apparaissent, par un système d'échantillonnage à déclenchement balayé qui extrait les caractéristiques voulues de l'image du bruit et de l'in- formation superflue du fond. Les deux traits sécants qui déterminent un point sur la plaquette sont recherchés in- dépendamment et simultanément afin que le système électro- nique permette une acquisition relativement rapide des caractéristiques cherchées. Pour chacune des caractéristiques diagonales localisées simultanément, un circuit d'échantillonnage de signaux est commandé par un circuit de synchronisation afin qu'il échantillonne des parties du signal vidéo qui re- présentent une première section diagonale dans l'image et qu'il échantillonne des parties du signal vidéo repré- sentant une seconde section diagonale dans l'image et forme un signal qui dépend de la différence entre les am- plitudes des sections.. Le dispositif de synchronisation commande aussi le dispositif d'échantillonnage afin qu'il échantillonne des parties du signal vidéo représentant une troisième et une quatrième section diagonale de l'image, cette troisième et cette quatrième section étant parallèles à la première et à la seconde section et adja- centesà celles-ci respectivement, afin que le circuit for- me un second signal qui dépend de la différence des ampli- tudes dans ces sections. Le dispositif de synchronisation est commandé par un signal de commande afin qu'il dispose collectivement les sections à l'intérieur de l'image. Un circuit logique est commandé par le premier et le second signal. Il comprend un dispositif d'analyse du signal de commande afin qu'il balaie collectivement lesdites sec- tions dans l'image en l'absence d'une caractéristique pa- rallèle dans la partie de l'image parcourue par la première et la seconde section, et il comprend aussi un dispositif d'asservissement destiné à faire varier le signal de com- mande en fonction du premier signal dans un sens provoquant l'encadrement de la caractéristique parallèle présente dans l'image par la première et la seconde section lorsque le second signal indique qu'une caractéristique est parcourue par la première et la seconde section. D'autres caractéristiques et avantages de l'in- vention ressortiront mieux de la description qui va suivre, faite en référence aux dessins annexés sur lesquels: - la figure 1 est un schéma de la vue donnée par un microscope à coïncidence, ce schéma représentant les repères du réticule et les repères d'une plaquette, du type utilisé selon l'invention, les différents repères étant alignés;- - la figure 2 est analogue à la figure 1 mais représente un faible défaut d'alignement; - la figure 3 est un schéma représentant diverses zones ou fenêtresdans une image vidéo, correspondant à la vue donnée par le microscope à coïncidence des figures 1 et 2 - les figures 4a et 4b représentent ensemble un appareil d'alignement automatique de plaquettes réalisé selon l'invention; - la figure 5 est un diagramme synoptique d'un analyseur de signaux vidéo réalisé selon l'invention, l'appareil complet de la figure 4 comprenant huit de ces analyseurs; - la figure 6 est un diagramme des temps repré- sentant une forme d'onde illustrant le fonctionnement du circuit représenté sur les figures 4a, 4b et 5; et - les figures 7 et 8 sont d'autres diagrammes des temps représentant des formes d'onde qui facilitent aussi la compréhension du fonctionnement du circuit de la figure 5. Sur les diverses figures, les références identiques désignent des éléments analogues. Comme indiqué précédemment, la figure 1 est une vue donnée par un microscope à coïncidence, représentant, dans chaque moitié de l'image et sous forme superposée, un dessin de réticule et un repère correspondant porté par la plaquette qui doit être alignée. Le réticule et le repère ont une forme générale en X dans la mesure ou chacun com- porte deux traits diagonaux d'inclinaisons opposées. Le réticule est un X relativement petit et fermé alors que le repère porté par la plaquette est un X relativement large, ayant sa partie centrale dégagée afin que l'image du ré- ticule puisse s'y loger. Par raison de commodité, dans la suite de la description, on appelle a l'angle formé par le trait qui penche à gauche dans chaque paire et 6 l'an- gle formé par le trait qui penche à droite dans chaque paire. De manière correspondante, les traits du réticule sont appelés aR et eR et les deux traits correspondants du repère ou d'une cible sont appelés aT et ST. Comme indiqué précédemment, l'alignement est réalisé lorsque chaque repère de la plaquette est mis en coïncidence avec le dessin correspondant du réticule. Dans un exemple de système d'impression pour plaquette, par exem- ple dans le cas de l'appareil précité de the GCA, la pla- quette est portée par une platine X-Y qui permet un dépla- cement précis en translation de la plaquette et est montée sur la-platine par un mandrin rotatif qui permet une rotation limitée de la plaquette par rapport à la pla- tine autour d'un axe perpendiculaire à la face de la plaquette. Par exemple, cette dernière est déplacée en translation afin qu'un repère vienne en coïncidence avec le dessin correspondant du réticule, et elle est ensuite entratnée en rotation afin que l'autre paire présente la coïncidence la meilleure possible. Le montage rotatif de type classique est appelé "mandrin 4". Lors de la mise en oeuvre de l'invention, une caméra de télévision en circuit fermé crée un signal vidéo à balayage par trame, représentant l'image que pourrait voir un opérateur regardant dans le microscope. Des carac- téristiques de l'image sont détectées par-analyse de ce signal vidéo. Comme peuvent le noter les hommes du métier, le moment o, à l'intérieur de chaque balayage d'une ligne de trame, une caractéristique diagonale donnée est par- courue varie lorsque le balayage se déplace du haut en bas dans chaque trame. L'appareil selon l'invention met en oeuvre une technique d'échantillonnage à balayage du déclenchement de manière que l'appareil soit très sensible aux caractéristiques diagonales apparaissant avec l'angle voulu et relativement peu sensible aux caractéristiques rectilignes du type rencontré le plus couramment dans les dessins des plaquettes semi-conductrices. Ce balayage du déclenchement est assuré par le circuit représenté sur les figures 4a, 4b et 5. L'appareil représenté sur les figures 4a et 4b met en oeuvre les signaux de synchronisation horizontale et verticale, repérés par les abréviations SYNC H et SYNC V,- provenant d'une caméra de télévision en circuit fermé, pour le déclenchement de signaux de balayage horizontal et de balayage vertical, formés indépendamment, suivant un dessin quelque peu différent de celui qui est habituellement présenté par la caméra elle-même. Bien que le générateur de balayage vertical forme une onde en dents de scie pratique- ment classique, c'est-à-dire une onde qui présente une variation progressive pour chaque trame de l'image de télé- vision, l'appareil comporte deux circuits générateurs sé- parés de balayage horizontal 13 et 15, donnant chacun une tension de balayage de la moitié de i'image.Le signal de balayage gauche est déclenché par l'impulsion de synchro- nisation horizontale alors que le balayage horizontal droit est déclenché par la fin du balayage gauche, c'est-à-dire comme indiqué par les formes d'onde représentées à proximité des générateurs sur la figure 4a. L'image vidéo représentant la vue donnée par le microscope à coïncidence, lorsqu'elle doitêtre analysée, est divisée en plusieurs zones ou fenê- tres correspondant aux caractéristiques recherchées. Ces différentes zones et leurs limites sont représentées sur la figure 3. Au centre de chaque partie du champ se trouve la région dans laquelle on peut prévoir l'apparition de l'image du réticule, bien que son emplacement exact ne soit pas connu du fait des différents décalages électri- ques et physiques possibles. Dans le champ de gauche, la fenêtre du réticule est limitée par les traits G-H-I-J alors que, dans le champ de droite, la fenêtre est limitée par les segments de droite K-L-M-N. Des zones limitées de considération sont aussi formées pour la recherche des re- pères de la plaquette afin que des signaux parasites qui peuvent apparaître aux extrémités du champ de vision et au raccord des deux champs soient ignorés. Dans le champ gauche, la zone de recherche est limitée par les segments A-B-C-D et, dans le champ de droite, elle est limitée par les segments A-B-E-F. Comme peuvent le noter les hommes du métier, la détermination du fait que le point instantané du bala- yage se trouve à droite ou à gauche d'un trait vertical donné peut être effectuée par un comparateur qui détermine le moment o la tension de balayage horizontal recoupe une tension choisie de référence correspondant à la position la- térale du trait donné. De manière analogue, la détermination du fait que le point instantané de balayage se t-rouve au- dessus ou au-dessous d'un trait horizontal donné peut être effectuée par un comparateur commandé par le signal de ba- layage vertical d'une part et par une tension de référence correspondant à la hauteur verticale du trait. Des compara- teurs destinés à déterminer l'emplacement d'un point instan- tané de balayage par rapport à chacun des segments de la figure 3 sont repérés par les références 21, 22 et 23 sur la figure 4a. Comme indiqué, les comparateurs E, F, K et L repérés par la référence 21 sont commandés par le balayage horizontal droit, les comparateurs C, D, G et H repérés par la référence 22 sont commandés par le signal de balayage horizontal gauche, et les comparateurs A, B, I, J, M et N repérés par la référence 23 sont commandés par la tension de balayage vertical. Il faut noter que les signaux logiques tirés des différents comparateurs peuvent être combinés afin qu'ils indiquent si la position de balayage instantanée se trouve ou non dans une zone ou fenêtre donnée, à un moment déterminé. Un tel circuit logique combinatoire est repéré par la référence 25 sur la figure 4a et il crée des signaux indiquant que le faisceau est dans la fenêtre du réticule gauche (FGR), dans la fenêtre de la cible gauche (FPT) , dans la fenêtre du réticule droit (FDR) ou dans la fenêtre de la cible droite (FDT). La logique boolienne de l'arran- gement combinatoire 25 est telle que les fenêtres des ci- bles et les fenêtres des réticules s'excluent mutuellement, c'est-à-dire que la cible ou le repère d'une plaquette n'est recherché que dans la région placée autour de la fe- nêtre du réticule et à l'intérieur de la marge externe. Un commutateur électronique empêche le traitement ultérieur du signal vidéo, sauf lorsque le balayage se trouve dans les zones ABCD et ABEF. Lors de la création des signaux de synchronisation nécessaires au balayage en diagonale du déclenchement des échantillons tirés du signal vidéo, l'appareil selon l'in- vention utilise un signal composite de balayage formé de composantes horizontale et verticale. Comme les parties gauche et droite de l'image sont traitées séparément, des signaux composites droit et gauche sont créés. Lors de la détection des composantes de l'image ayant l'inclinaison a, les deux formes d'onde sont utilisées avec leur phase- normale. Cependant, lors du balayage des composantes de l'image ayant l'angle S, la forme d'onde de balayage ver- tical est inversée, comme indiqué par la référence 27, avant mélange avec la forme d'onde correspondante de balayage ho- rizontal, dans l'un des rectangles non référencés du bas de la figure 4a. Ainsi, comme l'indique la figure 4a, quatre signaux composites de balayage sont formés: le signal composite a droit Du, le signal composite 3 droit Ir5, le signal composite agauche Ga et le signal composite e gauche G6. Comme indiqué précédemment, chacun des deux repères de la face de la plaquette a deux traits diagonaux d'incli- naisons opposées. De manière analogue, chacun des réticules a deux traits diagonaux d'inclinaisons opposées et chacun des traits du réticule est aussi recherché individuellement par l'appareil d'analyse vidéo afin que l'alignement soit assuré entièrement d'après des critères optiques et non d'après des prévisions des paramètres du circuit. Lors de la recherche simultanée de chacun des huit traits caractéristiques de l'image vidéo globale, l'appareil des figures 4a et 4b utilise huitprocesseurs individuels re- présentés sur la figure 5. Ils sont repérés par les réfé- rences 81 à 88 sur la figure 4b. Chacun de ces circuits assure l'analyse et la recherche d'une caractéristique par- ticulière dans le signal vidéo global qui lui est transmis comme indiqué. Les différents traits que recherchent ces huit circuits sont le trait a gauche du réticule, le trait a gauche de la cible, le trait S gauche du réticule, le trait S gauche de la cible, le trait a droit du réticule, le trait a droit de la cible, le trait S droit du réticule et le trait e droit de la cible. Comme l'indique la figure 24827j0 4b, le signal composite convenable est transmis à l'entrée de chacun des circuits, de même que le signal convenable de fenêtre utilisé pour l'introduction du signal vidéo. Dans chacun des huit processeurs vidéo, un signal composite choisi de balayage est transmis à un comparateur avec une tension réglable de seuil afin que la synchronisa- tion du déclenchement du balayage soit assurée. Il est important que le même signal composite de balayage soit appliqué aux processeurs traitant les caractéristiques cor- respondantes de la cible ou du réticule, c'est-à-dire les traits gauche de la cible et du réticule, etc. Le compa- rateurs est repérée par la référence 41 dans l'exemple de processeur vidéo --représenté sur la figure 5. L'utilisation de la tension de balayage composite pour la création d'un signal de synchronisation de balayage convenant à la transmission des échantillons tirés des si- gnaux vidéo, est représentée sur la figure 6. La tension composite de balayage est repérée par la référence 43 alors que le niveau de seuil est repérée par la référence 45. Comme l'indique cette figure, l'effet du décalage vers le haut de la forme d'onde horizontale en dents de scie à fréquence élevée par la tension de balayage vertical croissant progressivement d'une manière relativement lente est une apparition de plus en plus précoce du moment de l'intersection de la forme d'ondecomposite avec le seuil, à chaque balayage horizontal successif. A cet égard, il faut noter que la figure 6 n'est représentée qu'à titre illustratif et que l'échelle est fortement exagérée de même que la forme d'onde est simplifiée. Le comportement global indiquant comment le déphasage ou le décalage dans le temps est obtenu est cependant essentiellement convenable. De manière analogue, il faut noter que, bien qu'on ait décrit des formes d'onde dirigées vers les va- leurs positives, pour la simplification de la description, on peut utiliser des formes d'onde de l'une ou l'autre po- larité, dans différentes constructions de circuit. Comme l'intersection des tensions apparaît de plus en plus tôt à chaque balayage horizontal, comme indiqué sur la figure 6, lorsque le balayage va du haut en bas de l'écran, on note que cette combinaison particulière de forme d'onde donnée à titre illustratif convient à la for- mation d'un angleadu type 3, c'est-à-dire un trait diagonal incliné vers la droite comme indiqué sur les figures 1 et 2. Cependant, on note que, lorsque la forme d'onde verti- cale est inversée, la progression a lieu en sens opposé si bien que la synchronisation convient à la détermination de la correspondance avec une caractéristique d'angle a, c'est-à-dire un trait incliné vers la gauche sur les fi- gures 1 et 2. Les hommes du métier peuvent aussi noter que les amplitudes relatives des composantes horizontale et verticale du signal composite déterminent l'angle réel pour lequel l'échantillonnage est effectué dans l'image et ainsi, cet angle peut être réglé par réglage des amplitudes rela- tives. Bien qu'une valeur nominale de 450 par rapport à la verticale soit avantageuse pour la mise en oeuvre de l'in- vention, il faut noter que des angles très divers peuvent être utilisés et que le point réel auquel on veut localiser la surface de la plaquette est déterminé avec précision dans la mesure o les deux traits inclinés se recoupent avec un angle raisonnable. Comme suggéré précédemment, l'échantillonnage a lieu lorsque le signal composite de balayage atteint la tension de seuil ou de référence transmiseau comparateur 41. L'échantillonnage réel est exécuté par un circuit 47 for- mant une porte analogique et qui transmet sélectivement le signal vidéo à un condensateur C2. Ce circuit 47 est com- mandé par un multivibrateur monostable 49 qui est déclen- ché par le comparateur 41. Le multivibrateur détermine l'intervalle de fermeture de la porte 47, par exemple pendant 0,15 microseconde. La constante de temps fixée par le condensateur C2 et son circuit de charge est com- parable au temps de fermeture de la porte. Ainsi, après ouverture du commutateur, le condensateur se charge à une tension qui est à peu près proportionnelle à l'amplitude globale du signal vidéo pendant le temps de fermeture de la porte. La composante alternative de la tension du condensa- teur C2 est appliquée à un amplificateur passe-bande 50 qui est commandé essentiellement par les composantes du signal à la moitié de la fréquence de répétition de lignes. Comme indiqué précédemment, chacun des processeurs vidéo analyse le signal vidéo uniquement lorsque la posi- tion instantanée de balayage se trouve dans la région de la fenêtre correspondante. Cette contrainte est déterminée dans chaque processeur par application du signal convenable de fenêtre de manière qu'il maintienne le multivibrateur 49 à l'état rétabli lorsque le balayage se trouve en dehors de la fenêtre. Bien que la croissance progressive de la tension en dents de scie horizontale sous l'action du signal ver- tical croissant progressivement donne un balayage dans le temps de chaque trame vidéo, comme indiqué précédemment, on peut aussi noter que la variation de la tension de seuil provoque aussi un décalage droit-gauche de la position globale de la section échantillonnée. Cette tension de ré- férence appliquée à l'autre entrée du comparateur 41, per- met donc le positionnement de la section d'échantillonnage dans la fenêtre. L'échantillonnage est aussi réalisé sur une se- conde section diagonale qui est parallèle à la première et très proche de celle-ci afin que le fonctionnement de la boucle de commande asservie qui provoque le verrouil- lage de l'appareil sur une caractéristique diagonale lors- qu'elle a été localisée, soit facilité. Comme décrit dans la suite du présent mémoire, ces sections d'échantillonnage sont disposées de part etd'autre d'une caractéristique diagonale de l'image lorsque le "verrouillage" est obtenu. Par rapport à l'intervalle nominal de balayage de ligne, il y a donc une section d'échantillonnage "précoce" et une section d'échantillonnage "tardive". Bien qu'on puisse utiliser des portes séparées d'échantillonnage pour les échantillons précoce et tardif, le mode de réalisation considéré utilise une même porte analogique 47 pour les deux jeux d'échantillon, les valeurs des échantillons étant multiplexées dans le temps par un même canal, l'intégra- tion étant assurée après démultiplexage ou démodulation. Dans un mode de réalisation avantageux représenté, la pre- mière et la seconde section sont échantillonnées pendant des lignes horizontales alternées de balayage. Une compo- sante de forme rectangulaire, à une fréquence égale à la moitié de la fréquence de balayage ligne, est ajoutée au signal de position qui est transmis comme potentiel de ré- férence au comparateur 41 afin que la position latérale de prise d'échantillon se déplace alternativement pendant les lignes alternées. L'onde rectangulaire est transmise par un condensateur Cl et une résistance Ri comme indiqué sur la figure 5. L'effet de ce décalage alterné des lignes est représenté sur la figure 7. Sur cette figure, on suppose que les deux sections échantillonnées se trouvent juste à cheval sur une caractéristique diagonale de l'image, cette situation se présentant lorsque la saisie a été ré- alisée comme indiqué dans la suite. Une caractéristique diagonale de l'image est indiquée par la référence 61. Un échantillon prélevé pendant un premier balayage de li- gne est repéré par la référence Si alors qu'un échantillon prélevé à la ligne suivante (lignesalternées) est repéré par la référence S2, l'échantillon suivant étant repéré par la référence S3 et ainsi de suite. On note que les échantillons de numéros impairs sont pris suivant une sec- tion qui fait l'angle a et que les échantillons de numéros pairs sont prélevés le long d'une seconde section qui est parallèle à la première et lui est proche. La distance sé- parant les deux sections est fonction de l'amplitude de l'onde rectangulaire transmise et peut ainsi être réglée par variation de cette amplitude par exemple afin qu'elle permette le traitement de caractéristiques ayant des lar- geurs différentes. Comme peuvent le noter les hommes du métier versés dans la technique des semi-conducteurs, les e4*275O largeurs des traits caractéristiques peuvent dépendre non seulement des paramètres initiaux du dessin mais aussi du traitement ultérieur. Lorsque le balayage de la caméra de télévision passe sur la caractéristique diagonale de l'image, à chaque balayage horizontal, une impulsion est créée. La référence V7 de la figure 7 représente une telle impulsion dont la synchronisation est représentée afin qu'elle corresponde à la ligne de balayage horizontal pendant laquelle l'échan- tillon S7 est prélevé. Il faut encore noter que cette for- me d'onde est représentée sous.forme idéale et que le si- gnal obtenu en fonction des repères portés par la surface de la plaquette peut être modifié de façon importante ou peut être enfoui dans le bruit. Comme représenté, l'échan- tillon S7 est prélevé pendant la partie croissante de la forme d'onde. L'impulsion vidéo obtenue à la ligne suivante balayée est représentée par la référence V8 sur la figure 7, l'échantillon correspondant S8 étant prélevé sur la partie arrière de la forme d'onde. Pendant le prélèvement des échantillons lors des balayages successifs de lignes ho- rizontales, on note que ces échantillons encadrent en fait l'impulsion et que les échantillons successifs de la même série, pairs ou impairs, sont prélevés de manière analogue sur la partie correspondante de la forme d'onde, dans l'hy- pothèse o la caractéristique est parallèle à la section d'échantillonnage. Dans ces conditions, c'est-à-dire lorsque les sections d'échantillonnage sont parallèles aux caractéri tiques et juste à cheval sur celles-ci, on note que les valeurs moyennes ou intégrées des deux jeux d'échantillons sont égales. D'autre part, si les échantillons prélevés dans les.deux sections ne sont pas placés exactement à cheval sur la caractéristique mais sont légèrement décalés vers la gauche, la valeur intégrée des échantillons impairs est inférieure à celle des échantillons pairs. On note ainsi que le variation des valeurs des échantillons permet le verrouillage sur une caractéristique parallèle de l'image par une boucle d'asservissement. Bien qu'on ait décrit un balayage non entrelacé, on peut aussi utiliser un balayage entrelacé puisque la synchronisation est tirée directement de la tension de balayage si bien que les contributions des trames successives se cumulent. Comme l'indique la figure 7 et la description qui précède, la tension apparaissant aux bornes du condensateur C2 est une tension continue permanente lorsque le signal vidéo a la même amplitude dans les parties précoce et tar- dive. En présence d'un bruit aléatoire, la tension aux bornes du condensateur C2 représente de manière analogue * le bruit. D'autre part, une caractéristique ayant l'ali- gnemént angulaire convenable est disposée de manière que l'impulsion vidéo résultante coïncide avec les positions des déclenchements précoces ou tardifs, au lieu d'être à cheval, forme une série d'ondes rectangulaires aux bornes du condensateur C2. La fréquence de ces ondes rectangulai- res est à peu près égale à la moitié de la fréquence de balayage horizontal (en réalité la moitié de cette fréquence additionnée ou réduite d'une valeur 6 qui est fonction de l'angle de la cible mais qui est toujours faible par rapport à la fréquence de balayage horizontal). L'amplitude est proportionnelle à la différence des niveaux vidéo échant- tillonnés par les portes précoce et tardive, et la phase estégale à 0 lorsque le niveau vidéo pendant la fenêtre précoce est plus positive ou à 1800 lorsqu'elle est plus négative que l'amplitude vidéo pendant la fenêtre tardive. Il apparaît ainsi que les fenêtres précoce et tardive qui sont parfaitement à cheval sur une caractéristique vidéo sur toute sa longueur provoquent la formation d'une tension continue uniquement, mais tout écart par rapport à une po- sition parfaitement centrée provoque la création d'une onde rectangulaire d'amplitude croissante et de phase dé- pendant du signe des différences entre les retards. L'aug- mentation d'amplitude se poursuit jusqu'à ce que le centre de l'impulsion vidéo corresponde à la fenêtre précoce ou tardive, et l'amplitude diminue alors jusqu'à une valeur 248275b nulle lorsqu'aucune partie du signal vidéo n'apparaît dans l'une ou l'autre fenêtre. La forme d'onde amplifiée tirée du condensateur C2 d'échantillonnage est couplée en courant alternatif, par un condensateur C3, à un démultiplexeur ou démodulateur synchrone 52 qui est piloté par un signal ayant une fré- quence égale à la moitié de la fréquence de balayage ligne. La synchronisation nécessaire à cette démodulation est tirée d'un basculeur 52'qui est commandé essentielle- ment à la fréquence de balayage ligne par le signal de sortie du multivibrateur monostable 49. La phase convenable est obtenue par rétablissement du basculeur 52'au début des balayageshorizontaux alternés. Le système peut être sensibilisé à des traits clairs sur fond sombre ou à des traits sombres sur fond clair, par inversion de la phase de commande ou du signal de référence qui règle le bas- culeur 52. Cette inversion de phase est avantageusement assurée par commutation des lignes impaires aux lignes paires ou vice versa pour le rétablissement du basculeur 52', à l'aide d'un commutateur disposé sur un panneau de commande. Le réglage de la phase de cette manière permet la modification de la polarité du contraste des caracté- ristiques de la plaquette indépendamment des caractéristi- ques du réticule. On peut noter qu'une inversion de la po- larité du signal vidéo ne donne pas cette indépendance. Le signal de sortie du démodulateur synchrone 52 parvient à un intégrateur 54 qui assure en fait la formation de la moyenne dans le domaine correspondant de temps. Le signal de sortie de l'intégrateur 54 est. renvoyé par une résistance mélangeuse R5 afin qu'il règle l'amplitude continue du signal de référence transmis au comparateur 41. Ce trajet pour signaux continus ferme la boucle de commande qui provoque le verrouillage du système d'échantillonnage sur une caractéristique de l'image qui est parallèle aux sections d'échantillonnage, lorsque les deux sections sont bien à cheval sur la caractéristique comme indiqué sur la figure 7. 24827;0 16 - Bien que l'appareil décrit jusqu'à présent suffise à l'entretien du verrouillage asservi des sections d'échan- tillonnage sur le trait caractéristique lorsque les sections ont été mises en position convenable, l'appareil comporte aussi un dispositif destiné à assurer le balayage des po- sitions des sections afin qu'il recherche et obtienne le verrouillage et qu'il reconnaisse le moment o un signal suffisant est présent afin qu'il assure la saisie. Lors du balayage, le signal de sortie de l'intégrateur 54 est trans- mis par une résistance R6 à l'entrée de non-inversion d'un amplificateur opérationnel 56. Une réaction positive est assurée autour de l'amplificateur par une résistance R7 et une tension convenable de référence est appliquée à l'entrée d'inversion de cet amplificateur. Le signal de sortie de l'amplificateur 56 est lui-même transmis par deux portes analogiques 60 et 62 et une résistance mélan- geuse R8, à une autre entrée de l'intégrateur. Lorsque les portes 60 et 62 sont fermées, l'intégrateur 54, en coopé- ration avec l'amplificateur 56 à réaction positive, forment une configuration instable du type couramment utilisé pour la création des ondes triangulaires. En d'autres termes, lorsque la boucle est fermée, la tension de sortie de l'intégrateur augmente et diminue linéairement avec une période déterminée par les diverses constantes de temps correspondantes. Comme indiqué précédemment, le signal de sortie -de l'intégrateur constitue aussi le signal de ré- glage de position qui, par détermination du potentiel de référence transmis au comparateur 41, règle les positions latérales des sections d'échantillonnage des traits diago- naux. Cependant, comme la variation continue de ce signal de réglage provoquerait une légère variation de l'angle réel de la section d'échantillonnage, la porte 62 n'est fermée que périodiquement, par exemple une fois par trame, par le multivibrateur 64. De cette manière, la section dans laquelle chaque jeu d'échantillons est prélevé est en fait déplacée en gradins dans toute la région de l'image si bien qu'une caractéristique parallèle de l'image peut être cherchée. L'appareil comprend aussi, dans un mode de réali- sation avantageux, un second canal d'échantillonnage des- tiné à déconnecter la fonction de recherche lors de la dé- tection d'une caractéristique parallèle dans l'image. Le signal de sortie du multivibrateur 49 est utilisé pour le déclenchement d'un second multivibrateur monostable 71. Ce dernier commande lui-même une porte analogique 73 qui est pratiquement identique à la porte 47 et qui échantillon- ne le même signal vidéo. De manière analogue, le signal de la porte 73 d'échantillonnage est appliqué à un condensateur C5 de mémorisation et le signal créé aux bornes de ce con- densateur est amplifié comme indiqué par la référence 75 et démodulé de façon synchrone comme indiqué par la référence 77. On peut noter que les sections de l'image vidéo qui sont échantillonnées par la porte 73 subissent le même décalage le long des lignes successives que les échantil- lons prélevés par la porte 47, mais il y a aussi un décalage permanent supplémentaire, c'est-à-dire un retard, dû au multivibrateur supplémentaire 71. Ces échantillons, comme ils sont décalés dans le temps, ne se compensent pas lors- que l'appareil s'est verrouillé sur un trait parallèle. Au contraire, comme indiqué sur la figure 8, sur laquelle les formes d'onde V7 etvV8 sont pratiquement reproduites, l'échantillon précoce portant la référence SS7 est proche du pic de l'impulsion vidéo alors que l'échantillon tardif portant la référence SS8 se trouve déjà loin sur le flanc descendant de la forme d'onde. Ainsi, le signal du dé- tecteur synchrone 77 est proche d'un maximum lorsque les deux autres sections échantillonnées sont à cheval sur le trait caractéristique de l'image. Le signal de sortie du détecteur 77 est écrêté et intégré comme indiqué par la référence 79 puis transmis à un comparateur 81' Une tension continue convenable de seuil est transmise à l'autre entrée du comparateur. Le signal de sortie de celui-ci établit un basculeur 83'qui commande lui-même la porte 60. Comme indiqué précédemment, cette porte peut rompre la boucle de réaction positive qui provoque le balayage des ondes triangulaires de l'intégra- teur 54. Ainsi, pendant le balayage, lorsqu'un trait pa- rallèle est rencontré et lorsque les sections de balayage se déplacent vers des positions dans lesquelles les échan- tillons prélevés par la porte 45 encadrent pratiquement ce trait caractéristique, les échantillons intégrés prélevés par la porte retardée 73 constituent un signal représentatif du fait qu'un trait caractéristique a été rencontré et, par mise en oeuvre du comparateur 81 qui commande la porte ana- logique 60, la boucle de balayage est coupée. A partir de ce moment, la boucle à réaction peut assurer un réglage étroit de la position des sections principales d'échantil- lonnage, si bien que celles-ci viennent à cheval sur le trait caractéristique avec la plus grande précision et donnent la mesure la plus précise possible de son emplacement. Comme indiqué précédemment, la tension de sortie de l'intégrateur 54 est une indication de l'emplacement des sections échantillonnées dans l'image et, pendant le ba- layage, cette tension suit une forme d'onde sensiblement triangulaire lorsque les sections des échantillons sont balayées alternativement sur l'image. Ainsi, lorsque la boucle de balayage est interrompue et lorsque la boucle de réaction assure un réglage fin par rapport à l'intégrateur, le signal de sortie de ce dernier représente la position du trait caractéristique. Il faut noter que, pendant le processus de ba- layage, toutes les sections parallèles échantillonnées sont balayées ensemble sur l'image. Il faut noter de manière analogue que la séparation latérale de ces sections pa- rallèles d'échantillonnage est faible par rapport à la largeur de l'image vidéo dans son ensemble ou même d'une partie quelconque formant une fenêtre. Comme l'indique la description qui précède, chacun des circuits 81 à 88, lorsqu'il fonctionne, crée un signal correspondant de sortie qui, lorsque la saisie ou le verrouillage a eu lieu, représente la position (intersection X) du trait correspondant dans la fenêtre vidéo correspondante. Les signaux de sortie des processeurs ou analyseurs 81 à 88 sont comparés dans des amplificateurs opérationnels 91 à 94 qui forment la différence. A cet égard, chaque signal représentant un emplacement de trait caractéristique de la cible est apparié au trait carac- téristique correspondant du réticule sur lequel il doit être aligné. Ainsi, les signaux de sortie des amplificateurs 91 à 94 constituent manifestement des signaux d'erreur représentant chacun le défaut d'alignement des paires de traits correspondants. Il faut noter que ces signaux d'er- reur représentent dans tous les cas la distance séparant des traits parallèles, cette remarque s'appliquant aussi bien aux traits inclinés à gauche qu'aux traits inclinés à droite. La commande de la platine X-Y utilisée pour la mise de la plaquette dans l'alignement exact du réticule du microscope est facilitée par transmission avantageuse des signaux d'erreur à un résolveur ou circuit 95 de cal- cul qui combine ces signaux d'erreur et forme des signaux séparés d'erreur d'axe X et d'axe Y pour les côtés gauche et droit de l'image. Les transformations assurées par ce circuit comprennent simplement l'addition, la soustraction de paires choisies de ces signaux et la multiplication des résultats. Les signaux d'erreur d'axe X et d'axe Y sont transmis à une commande 97 de position qui assure le fonctionnement de la platine X-Y et du mandrin 9. Il faut noter que lacommande particulière utilisée dépend du type de dispositif auquel est couplé l'appareil d'alignement de plaquette selon l'invention. De nombreuses commandes de position sont connues et peuvent être commandées par des signaux d'erreur du type formé selon l'invention. Un cir- cuit 99 de commande de séquence qui assure la coordina- tion des opérations de l'appareil d'alignement de l'appa- reil d'impression de plaquettes est habituellement associé à la commande. Il faut noter que le circuit de commande de séquence peut par exemple comprendre une machine d'applica- tion particulière ou un ordinateur d'emploi universel, à programme mémorisé, d'un type souvent utilisé pour la commande de l'ensemble de ces appareils. En plus des si- gnaux d'erreur mis en oeuvre par l'organe de commande pendant l'alignement automatique selon l'invention, des signaux manuels classiques sont aussi avantageusement transmis à l'organe de commande, par exemple par un dis- positif classique à "manche à balai" afin qu'un opérateur puisse intervenir le cas échéant. Par exemple, si un mauvais alignement préalable provoque la disposition du repère tra- ditionnel porté par la plaquette totalement en dehors du champ de l'image vidéo, il peut être utile que l'opérateur déplace la platine X-Y afin que les traits caractéristiques se trouvent dans le champ de balayage. La séquence d'opérations est de façon générale la suivante. Lorsqu'une plaquette a été placée sur la platine X-Y et alignée préalablement de façon mécanique, de manière classique, le mode de balayage de l'appareil est déclenché. Chacun des huit processeurs vidéo 81 à 88 recherche le trait caractéristique correspondant dans l'image vidéo et se verrouille sur lui. Comme décrit précédemment, le signal de sortie de chaque comparateur 80 indique que le verrouil- lage ou la saisie a été assuré et interrompt l'opération de balayage dans cet élément. Ces signaux sont aussi trans- mis par chaque processeur 81 à 88 au circuit de séquence si bien que ce dernier connaît le moment o tous les traits caractéristiques nécessaires de la cible et du réticule ont été localisés. Diverses séquences de minutage et divers dispositifs d'alarme peuvent être commandés afin qu'une ope- ration automatique ou commandée par un opérateur puisse être entreprise lorsque le verrouillage n'est pas réalisé au bout d'un certain temps. Une fois tous les traits caractéristiques loca- lisés, le circuit de séquence permet à l'organe de commande, qui reçoit les signaux d'erreur droit d'axes X et Y et les signaux gauche d'axe Y, de placer les repères de la face de la plaquette dans l'alignement du réticule droit. L'organe 4 P 7_ m 0 de commande de rotation reçoit le signal d'erreur d'axe Y du côté gauche et réduit ce signal à une valeur accep- table minimale. On sait que l'erreur d'axe X provenant du côté gauche ne peut pas être réglée indépendamment des pa- ramètres préalablement réglés et ne peut pas être très rapprochée de la valeur nulle lorsque la plaquette pré- sente une dilatation ou une distorsion, c'est-à-dire lors- que le séparation des repères de la plaquette ne correspond pas exactement à celle des réticules. Bien que l'erreur d'axe X du côté gauche ne puisse pas être corrigée par mise en oeuvre de l'invention, la valeur de cette erreur peut être transmise à l'appareil d'exposition afin quele cas échéant, un facteur d'échelle puisse être utilisé au cours de l'impression et compense cette erreur tout en minimisant les effets cumulés lorsque l'impression progresse d'un côté de la plaquette à l'autre. La commande de la platine X-Y est de préférence assurée en deux étapes, la platine étant déplacée d'abord relativement vite lorsque le signal d'erreur dépasse une certaine valeur puis relativement lentement lorsque le si- gnal d'erreur est inférieur à cette valeur de seuil qui indique le rapprochement de la position d'alignement. Il faut noter que ce déplacement lent en deux étapes permet une plus grande précision de positionnement et d'alignement final. De manière analogue, lorsque la plaquette est pro- che de l'alignement, il peut être souhaitable que la di- mension de la fenêtre analysée soit réduite puisqu'on sait que les repères de la surface de la plaquette se trouvent dans une zone plus limitée. La réduction de la fenêtre, par exemple par déplacement des segments de droite A et B de la figure 3, plus près du centre de la partie corres- pondante de la zone, réduit l'erreur due aux traits carac- téristiques présents dans le signal vidéo et provenant de l'extérieur de la zone intéressante. En pratique, un appareil selon l'invention se révèle si sensible aux traits caractéristiques ayant l'o- rientation auglaire prévue que le verrouillage et l'ali- 1î; gnement automatique peuvent être effectués lorsque la moi- tié du trait de repère de la plaquette se trouve dans la fenêtre convenable. Le signal du démodulateur synchrone 52 qui commande l'intégrateur 54 est manifestement réduit dans ces conditions, mais, lorsque le signal échantillonné dé- tecté par le démodulateur synchrone 77 est suffisamment in- tense pour qu'il interrompe le processus de balayage, le signal d'erreur devient plus sensible et le positionnenent est plus précis lorsque la table X-Y ramène une plus grande par- tie du fait dans le champ de vision. On peut notér que les portes correspondant à la cible ne peuvent, pas se verrouil- ler sur les traits du réticule car ces derniers se trouvent toujours à l'intérieur de fenêtres dans lesquelles les por- tes ne fonctionnent pas. Bien que rien n'empêche le ver- rouillage temporaire d'une porte du réticule sur un seg- ment de la cible qui peut passer dans la fenêtre du réti- cule, cette opération ne pose pas de problèmes. Les dépla- cements X-Y sont à peu près convenables de toute manière jusqu'à ce que le centre libre du dessin de la cible com- mence à coïncider avec la fenêtre du réticule.La porte du réticule perd alors le dessin de la cible et recherche le segment convenable du réticule puis s'y verrouille si bien que l'alignement est convenable. Il est bien entendu que l'invention n'a été dé- crite et représentée qu'à titre d'exemple préférentiel et qu'on pourra apporter toute équivalence technique dans ses éléments constitutifs sans pour autant sortir de son cadre. REVENDICATIONS 1. Appareil de localisation d'un trait caractéris- tique diagonal dans un signal vidéo représentant une image, caractérisé en ce qu'il comprend un circuit d'échantillonnage de signaux (47, 73), un circuit de synchronisation destiné à commander le circuit d'échantillonnage (47, 73) afin qu'il échantil- lonne les parties du signal vidéo représentant une première section diagonale dans l'image et qu'il échantillonne des parties du signal vidéo représentant une seconde section diagonale dans l'image, la seconde section.étant parallèle à la première et très proche de celle-ci, le circuit de synchronisation transmettant un premier signal qui dépend des amplitudes relativement des échantillons et étant des- tiné aussi à commander le circuit d'échantillonnage afin qu'il échantillonne des parties du signal vidéo représen- tant une troisième et une quatrième section diagonale de l'image, cette troisième et cette quatrième section étant parallèles et étant adjacentes à la première et à la se- conde section, le circuit de synchronisation transmettant un second signal qui dépend des amplitudes relatives de la troisième et de la quatrième section, le circuit de synchronisation étant commandé par un signal de commande afin qu'il positionne les quatre sections collectivement à l'intérieur de.l'image, et un circuit logique (95) commandé par les pre- mier et second signaux et ayant un dispositif de balayage du signal de commande tel qu'il balaie collectivement les sections dans l'image en l'absence d'un trait caractéris- tique parallèle dans la partie de l'image parcourue par la première et la seconde section, et comprenant un circuit d'asservissement destiné à faire varier le signal de com- mande en fonction du premier signal dans un sens qui pro- voque l'encadrement d'un trait caractéristique parallèle de l'image par la première et la seconde section lorsque le second signal indique qu'un trait caractéristique est parcouru par ces sections. -2482750 2. Appareil de localisation d'un trait caractéristi- que diagonal dans un signal vidéo à balayage par trame, la trame ayant des lignes successives dans un cadre rectan- gulaire, ledit appareil étant caractérisé en ce qu'il com- prend un circuit (47) d'échantillonnage du signal vidéo, un circuit de synchronisation destiné à créer une impulsion d'échantillonnage lors des balayages successifs, avec un retard d'une quantité prédéterminée à l'intérieur de l'intervalle de balayage de ligne pour les lignes alter- nées, l'impulsion étant décalée progressivement au cours du temps pendant l'intervalle de balayage de ligne dans le balayage de la trame, le dispositif de synchronisation étant commandé par un signal de commande afin qu'il règle la durée nominale d'échantillonnage, les impulsions d'échantillonna- ge étant transmises afin qu'elles commandent le circuit d'échantillonnage (47), un circuit de maintien des échantillons transmis par le circuit d'échantillonnage (47), un circuit (52) de démodulation synchrone de la composante alternative du signal maintenu à une fréquence égale à la moitié de la fréquence de ligne, et un circuit d'intégration (54) commandé par le démodulateur (52) et dont le signal de sortie est transmis au circuit de synchronisation sous forme du signal de com- mande. 3. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un circuit qui comporte un amplificateur (56) et destiné à assurer une réaction posi- tive autour de l'intégrateur (54) afin que le signal de commande soit balayé et provoque le balayage de l'échan- tillonnage dans l'image. 4. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que le circuit de synchronisation comprend un circuit destiné à transmettre un signal de balayage horizontal et un signal de balayage vertical, un dispositif générateur d'un signal composite - r- de balayage comprenant un muia.ge des siy- de bal-yag vertical et horizontal et un comparateur (41) qui reçoit le signal composite et une tension de référence, cette dernière dépendant du si- gnal de commande. 5. Appareil de localisation d'un trait caractéristique diagonal dans un signal vidéo à balayage par trame représen- tant une image, la trame étant formée de lignes successives dans un cadre rectangulaire, ledit appareil étant caractérisé en ce qu'il comprend un premier circuit porte (47) d'échantillonnage du signal vidéo, un circuit de synchronisation destiné à créer une première impulsion d'échantillonage lors des balayages suc- cessifs, avec un retard prédéterminé dans l'intervalle de balayage de ligne au cours des lignes alternées, cette im- pulsion étant décalée progressivement au cours du temps pendant l'intervalle de balayage de ligne du balayage de l'image, le circuit de synchronisation étant commandé par un signal de commande afin qu'il règle le moment nominal de l'échantillonnage, les impulsions d'échantillonnage étant transmises afin qu'elles commandent la porte d'échantillon- nage (47), un circuit de maintien des échantillons transmis par la première porte (47), un circuit (52) de démodulation synchrone de la composante alternative du signal maintenu, à une fréquence égale à la moitié de la fréquence de ligne, un circuit intégrateur (54) piloté par le démo- dulateur, le signal de sortie de l'intégrateur étant trans- mis au circuit de synchronisation sous forme du signal de commande, un second circuit porte (73) d'échantillonnage du signal vidéo, un circuit (71) de retardement de la première im- pulsion d'échantillonnage, le signal retardé étant transmis afin qu'il commande le seconde porte (73), un circuit de maintien des échantillons transmis par la seconde porte, un circuit (77) de démodulation synchrone de la composante alternative du signal maintenu, à une fréquence égale à la moitié de la fréquence de balayage de ligne, ce circuit étant destiné à créer un signal logique, et un circuit logique (95) commandé par le signal logique et comprenant un dispositif de balayage du signal de commande afin que les sections échantillonnées balaient collectivement l'image pour un premier état du signal lo- gique, le circuit logique comprenant en outre un dispositif destiné à transmettre le signal de sortie de l'intégrateur sous forme dudit signal de commande lorsque le signal logi- que se trouve à son second état et indique qu'un trait ca- ractéristique est parcouru par les sections échantillonnées. 6. Appareil de localisation de traits caractéristi- ques dans un signal vidéo à balayage par trame représentant une image, ledit appareil étant caractérisé en ce qu'il com- prend un circuit d'échantillonnage de signaux (47), un circuit de synchronisation destiné à commander lecircuit d'échantillonnage afin qu'il échantillonne des parties du circuit vidéo représentant une première section diagonale dans l'image et qu'il échantillonne des parties du signal vidéo représentant une seconde section diagonale dans l'image, la seconde section étant parallèle à la pre- mière et très proche de celle-ci, un premier circuit discriminateur relié au cir- cuit d'échantillonnage et destiné à transmettre un premier signal qui dépend des amplitudes relatives des échantillons, le circuit de synchronisation étant commandé par un signal de commande afin qu'il assure le positionnement collectif des sections dans l'image, un premier intégrateur (54) piloté par le premier circuit discriminateur et destiné à créer un premier signal de commande qui est transmis au premier circuit de synchro- nisation dans un sens tel que la première et la seconde section encadrent un trait caractéristique parallèle dans l'image, un second circuit d'échantillonnage de signaux (73), un second circuit de synchronisation destiné à commander le second circuit d'échantillonnage afin qu'il échantillonne des parties du signal vidéo représentant une première section diagonale complémentaire dans l'image et qu'il échantillonne des parties du signal vidéo représen- tant une seconde section diagonale complémentaire dans l'image, la seconde section complémentaire étant parallè- le-à la première et très proche de celle-ci, un second circuit discriminateur relié au second circuit d'échantillonnage et destiné à transmettre un se- cond signal dépendant des amplitudes relatives des échan- tillons diagonaux complémentaires, le second circuit de synchronisation étant commandé par un signal de commande afin qu'il assure le positionnement collectif des quatre sections dans l'image, et un second intégrateur (79) piloté par le second circuit de discrimination et destiné à créer un second si- gnal de commande transmis au second circuit de synchronisa- tion dans un sens qui provoque l'encadrement d'un trait ca- ractéristique parallèle de l'image par la première et la seconde section complémentaire, si bien que les valeurs résultantes des signaux de commande obtenus simultanément représentent les posi- tions des caractéristiques interagissantes dans l'image. 7. Appareil selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comporte un circuit comprenant un amplificateur (56) destiné à transmettre une réaction positive autour, de l'intégrateur (54) afin que le signal correspondant de commande subisse un balayage et que l'échantillon se dé- place sur l'image. 8. Appareil selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comprend un circuit destiné à transmettre un signal de balayage vertical et un signal de balayage horizontal, et un circuit générateur d'un signal composite de balayage qui est un mélange des signaux de balayage verti- cal et horizontal, et chacun des circuits de synchronisation comprend un comparateur (41) commandé par le signal composite de balayage et une tension de référence, chaque tension de référence dépendant du signal correspondant de commande. -9. Appareil de localisation d'un repère en forme ' de X à la surface d'une plaquette à l'aide d'un signal vidéo à balayage par trame représentant la surface de la plaquet- te, ledit appareil étant caractérisé en ce qu'il comprend deux processeurs vidéo comportant chacun un circuit d'échantillonnage de signaux (47, 73) un circuit de synchronisation destiné à commander le circuit d'échantillonnage afin qu'il échantillonne des parties du signal vidéo représentant une première section diagonale dans l'image et qu'il échantillonne des parties du signal vidéo représentant une seconde section diagonale dans l'image, la seconde section étant parallèle à la pre- mière et très proche de celle-ci, le circuit de synchronisa- tion étant destiné à transmettre un premier signal qui dé- pend des amplitudes relatives des échantillons et étant aussi destiné à commander le circuit d'échantillonnage afin qu'il échantillonne des parties du signal vidéo représen- tant une troisième et une quatrième section diagonale de l'image, cette troisième et cette quatrième section étant parallèles et adjacentes à la première et à la seconde section respectivement, le circuit de synchronisation trans- mettant un second signal qui dépend des amplitudes relati- ves de la troisième et de la quatrième section, le circuit de synchronisation étant commandé par un signal de commande afin qu'il assure le positionnement des quatre sections collectivement dans l'image, et un circuit logique (95) commandé par le premier et le second signal et comprenant un dispositif de balayage du signal de commande afin que les sections balaient colbec- L-1: _j _ tivement l'image en l'absence d'un trait caractéristique pa- rallèle dans la partie d'image parcourue dans la première et la seconde sectio, ce circuit logique comprenant aussi un circuit d'asservissement destiné à faire varier le signal de commande en fonction du premier signal, dans un sens qui provoque l'encadrement d'un trait caractéristique parallèle de l'image par la première et la seconde section lorsque le second signal indique qu'un trait caractéristique est par- couru par lesdites sections, les sections échantillonnées par les deux proces- seurs ayant des inclinaisons opposées, si bien que les va- leurs des premiers signaux correspondants représentent l'emplacement du repère lorsque les deux processeurs ont encadré le trait caractéristique correspondant comme indi- qué par les seconds signaux correspondants. 10. Appareil d'alignement d'un repère en X porté par la surface d'une plaquette semi-conductrice et d'un réticule en X d'un microscope par lequel la plaquette est observée, la plaque étant montée sur une platine mobile, ledit appareil étant caractérisé en ce qu'il comprend une caméra de télévision à balayage par trame destinée à transmettre un signal vidéo représentant le champ de vision du microscope, deux processeurs vidéo destinés à détecter des traits caractéristiques d'image inclinés à gauche et deux processeurs vidéo destinés à détecter des traits caracté- ristiques d'image inclinés à droite, la partie du champ de vision considérée par l'un des processeurs de chaque paire étant limitée à une région dans laquelle la présence du repère est prévue alors que l'autre processeur de chaque paire est limité à la partie du champ de vision dans la- quelle la présence du réticule est prévue, chacun des qua- tre processeurs comprenant un circuit (47, 73) d'échantillonnage du si- gnal vidéo, un circuit de synchronisation destiné à créer une impulsion d'échantillonnagelors des ba- layages successifs, cette impulsion étant re- tardée d'une quantité prédéterminée à l'inté- rieur de l'intervalle de balayage de ligne, pour les lignes alternées, et étant décalée progressivement au cours du temps dans cet intervalle de balayage de ligne, au cours du balayage de l'image, le circuit de synchro- nisation étant commandé par un signal de com- mande afin qu'il assure le réglage du moment nominal d'échantillonnage, les impulsions d'échantillonnage étant transmises afin qu'elles commandent le circuit d'échantillon- nage, un circuit de maintien des échantillons trans- mis par le circuit d'échantillonnage, un circuit-(52, 77) de démodulation synchrone de la composante alternative du signal main- tenu à une fréquence égale à la moitié de la fréquence de ligne, et un circuit d'intégration (54, 79) piloté par le démodulateur et dont le signal de sortie est transmis au circuit de synchronisation sous forme du signal de commande, et un circuit de commande d'asservissement recevant les signaux de commande créés par les quatre processeurs et destiné à déplacer la platine afin qu'il annule la dif- férence entre les signaux de commande créés par les proces- seurs sensibles aux traits caractéristiques inclinés à gauche et qu'il annule la différence entre les signaux de commande créés par les processeurs sensibles aux traits caractéristiques inclinés à droite, afin que le repère soit aligné optiquement sur le réticule. * 11. Appareil de localisation d'un trait caractéris- tique diagonal dans une image, ledit appareil étant carac- térisé en ce qu'il comprend une caméra de télévision à balayage par trame destinée à transmettre un signal vidéo représentant l'image, un circuit destiné à former un signal de balayage vertical et un signal de balayage horizontal, un circuit générateur d'un signal composite de balayage qui comprend un mélange des signaux de balayage vertical et horizontal, un circuit d'échantillonnage de signaux vidéo (47, 73), un circuit de synchronisation comprenant un com- parateur (41) commandé par le signal composite de balayage et par une tension respective de commande comprenant une composante rectangulaire à une-fréquence égale à la moitié de la fréquence de balayage de ligne, ce circuit de syn- chronisation créant un signal de synchronisation destiné à commander le circuit d'échantillonnage afin qu'il échan- tillonne des parties du signal vidéo représentant une première section diagonale dans l'image et qu'il échan- tillonnage des parties du signal vidéo représentant une seconde section diagonale dans l'image, la seconde section étant parallèle à la première et très proche de celle-ci, un circuit de discrimination relié au circuit d'échantillonnage et destiné à transmettre un premier signal qui dépend des amplitudes relatives des échantillons, le circuit de synchronisation étant commandé par un signal de commande afin qu'il assure le positionnement des sections collectivement dans l'image, et un circuit d'intégration (54, 79) piloté par le circuit de discrimination et destiné à créer un signal de commande qui est transmis au circuit de synchronisation dans un sens qui provoque l'encadrement d'un trait carac- téristique parallèle de l'image par la première et la se- conde section. 12. Appareil selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un circuit, comprenant un amplificateur (56), et destiné à former sélectivement une réaction positive autour du circuit d'intégration (54) afin que le signal de commande soit balayé et provoque le bala- yage de l'échantillonnage dans l'image. 13. Appareil de localisation d'un trait caractéristi- que diagonal dans une image, ledit appareil étant caracté- risé en ce qu'il comprend une caméra de télévision à balayage par trame destinée à transmettre un signal vidéo représentant l'image, un circuit destiné à transmettre un signal de balayage vertical et un signal de balayage horizontal, un circuit générateur d'un signal composite de balayagecomprenant un mélange des signaux de balayage verti- cal et horizontal, un premier circuit d'échantillonnage de signal vidéo (47), un circuit de synchronisation comprenant un com- parateur (41) commandé par le signal composite de balayage et une tension correspondante de commande qui comprend une composante rectangulaire ayant une fréquence égale à la moitié de la fréquence de balayage de ligne, afin que le circuit de synchronisation forme un signal de synchronisa- tion destiné à commander le premier circuit d'échantillon- nage afin qu'il échantillonne des parties du signal vidéo représentant une première section diagonale dans l'image et qu'il échantillonne des parties du signal vidéo repré- sentant une seconde section diagonale dans l'image, cette seconde section étant parallèle à la première et très proche de celle-ci, un premier circuit de discrimination relié au premier circuit d'échantillonnage et destiné à transmet- tre un signal qui dépend des amplitudes relatives des échantillons, le circuit de synchronisation étant commandé par un signal de commande afin qu'il assure le positionne- ment desdites sections collectivement dans l'image, un premier intégrateur (54) piloté par le pre- mier discriminateur et destiné à créer un premier signal, un second circuit d'échantillonnage (73), un circuit (71) de retardement du signal de syn- chronisation et de commande du second circuit d'échantil- lonnage par ce signal retardé de synchronisation afin qu'il échantillonne des parties du signal vidéo représentant une troisième section diagonale dans l'image et qu'il échan- tillonne des parties du signal vidéo représentant une qua- trième section diagonale dans l'image, la troisième et la quatrième section étant parallèles à la première et à la seconde section-, un second circuit de discrimination relié au se- cond circuit d'échantillonnage etdestiné à transmettre un second signal qui dépend des amplitudes relatives des troi- sième et quatrième échantillons diagonaux, et un circuit logique (95) recevant les premiers et second signaux et comprenant un dispositif de balayage du sgnal de commande afin qu'il assure le balayage collectif des sections dans l'image en l'absence d'un trait carac- téristique parallèle dans la partie d'image parcourue par la première et la seconde section, ce circuit logique com- prenant aussi un circuit d'asservissement destiné à faire varier le signal de commande en fonction du premier signal, dans un sens qui provoque l'encadrement d'un trait carac- téristique parallèle de l'image par la première et la se- conde section lorsque le second signal indique qu'un trait caractéristique est parcouru par lesdites sections. 14. Appareil d'alignement d'un repère en X porté par la surface d'une plaquette semi-conductrice sur un réticule en X d'uh microscope par lequel la plaquette est observée, la plaquette étant montée sur une platine mobile, ledit appareil étant caractérisé en ce qu'il comprend une caméra de télévision à balayage par trame transmettant un signal vidéo représentant le champ de vision du microscope, un circuit destiné à former un signal de balayage vertical et un signal de balayage horizontal, un circuit générateur d'un premier signal compo- site de balayage sous forme d'un mélange des signaux de balayage vertical et horizontal, un circuit générateur d'un second signal compo- site de balayage qui comprend un mélange des signaux de balayage vertical et horizontal, mais avec inversion de l'une des composantes, deux processeurs de signaux vidéo, sensibles aux traits caractéristiques inclinés à gauche, chacun de ces processeurs comprenant un premier circuit d'échantillonnage de si- gnaux (47, 73), un premier circuit de synchronisation com- prenant un comparateur (41) commandé par le premier signal composite de balayage et par une tension correspondante de commande qui comprend une composante rectangulaire à une fréquence égale à la moitié de la fréquence de balayage de ligne, ce premier circuit de synchronisation étantdestiné à créer un signal de synchronisation qui commande le premier circuit d'échantillonnageafin qu'il échan- tillonne des parties du signal vidéo repré- sentant une première section diagonale dans l'image et qu'il échantillonne des parties du signal vidéo représentant une seconde section diagonale dans l'image, la seconde section étant parallèle à la première et très proche de celle-ci, un premier circuit discriminateur relié au premier circuit d'échantillonnage et destiné à transmettre un premier signal qui dépend des amplitudes relatives des échantillons, le circuit de synchronisation étant commandé par un signal de commande afin qu'il assure le positionnement des sections collectivement dans l'image, et un premier circuit intégrateur (54, 79) pi- loté par le premier circuit discriminateur et destiné à former un premier signal de com- mande qui est transmis au premier circuit de synchronisation dans un sens qui provoque l'encadrement d'un trait caractéristique pa- rallèle de l'image par la première et la se- conde section, deux processeurs de signaux vidéo, sensibles aux traits caractéristiques inclinés à droite, chaque proces- seur comprenant un second circuit d'échantillonnage (47, 73), un second circuit de synchronisation compre- nant un comparateur (41) sensible au second signal composite de balayage et à un signal correspondant de commande qui comprend une composante rectangulaire ayant une fréquence égale à la moitié de la fréquence de balayage de ligne, le second circuit de synchronisation étant destiné à former un signal de synchro- nisation destiné à commander le second cir- cuit d'échantillonnage afin qu'il échantil- lonne des parties du signal vidéo représentant une première section diagonale complémentaire dans l'image et qu'il échantillonne des parties du signal vidéo représentant une seconde sec- tion diagonale complémentaire dans l'image, la seconde section complémentaireétant parallèle à la première qui est très proche de celleci, un second circuit discriminateur relié au se- cond circuit d'échantillonnage et destiné à transmettre un second signal qui dépend des amplitudes relatives des échantillons diago- naux complémentaires, le second circuit de synchronisation étant commandé par un signal de commande afin qu'il assure le positionne- ment des trois sections collectivement dans l'image, et un second circuit d'intégration (54, 79) piloté par le second circuit discriminateur et destiné.à créer un second signal de com- mande qui est transmis au second circuit de synchronisation dans un sens qui provoque l'encadrement d'un trait caractéristique pa- rallèle de l'image par la première et la se- conde section complémentaire, et un circuit de commande d'asservissement commandé par les signaux de commande formés par les quatre processeurs et destiné à déplacer la platine afin qu'il annule la diffé- rence entre les signaux de commande créés par les proces- seurs sensibles à des traits caractéristiques d'image in- clinés à gauche et qu'il annule la différence entre les si- gnaux de commande créés par les processeurs sensibles à des traits caractéristiques inclinés à droite dans l'image, si bien que le repère est aligné optiquement sur le réticule. 15. Appareil de localisation d'un trait caractéristi- que diagonal dans un signal vidéo représentant une image, ledit appareil étant caractérisé en ce qu'il comprend un circuit d'échantillonnage de signaux (47, 73), un circuit de synchronisation destiné à commander le circuit d'échantillonnage afin qu'il échantillonne des parties du signal vidéo représentant une première section diagonale dans l'image et qu'il échantillonne des parties du signal vidéo représentant une seconde section diagonale dans l'image, la seconde section étant parallèle à la pre- mière et très proche de celle-ci, le circuit de synchroni- sation étant destiné à transmettre un premier signal qui dépend des amplitudes relatives des échantillons et étant aussi destiné à commander le circuit d'échantillonnage afin qu'il échantillonne des parties du signal vidéo re- présentant une troisième section diagonale de l'image, la troisième section étant parallèle aux première et seconde sections et étant placée entre elles, et à transmettre un second signal qui dépend des amplitudes du signal vidéo échantillonné dans la troisième section, le circuit de synchronisation étant commandé par un signal de commande afin qu'il assure le positionnement collectif desdites sections dans l'image, et un circuit logique (95) commandé par les premiers et seconds signaux et comprenant un dispositif de balayage du signal de commande afin que les sections balaient collec- tivement l'image en l'absence d'un trait caractéristique parallèle compris dans la partie d'image parcourue par la première et la seconde section, ce circuit logique compre- nant un circuit d'asservissement destiné à fairevarier le signal de commande en fonction du premier signal, dans un sens qui provoque l'encadrement d'un trait caractéristique parallèle de l'image par la première et la seconde sec- tion, lorsque le second signal indique qu'un trait carac- téristique est parcouru par lesdites sections.