Brevet FR2474001A1 — publié le 19810724

La présente invention se rapporte à un dispositif destiné à faciliter la manipulation et le transport mécaniques et individuels de substrats minces, et elle concerne plus par- ticulièrement un dispositif destiné à supporter des galettes ou plaquettes de semi-conducteurs individuels dans un cadre de manière que ces galettes soient protégées, qu'elles puis- sent être traitées sur les deux faces, qu'elles puissent être mises en place et extraites facilement et que le transport des galettes de l'un à l'autre des postes de traitement ainsi qu' entre ces postes et les cassettes puisse se produire avec le minimum de risques de détérioration et de contamination des galettes. Les galettes de semi-conducteurs auxquelles l'inven- tion se rapporte sont du type de celles à partir desquelles on réalise un très grand nombre de micro-circuits ou composants électroniques individuels par des techniques bien connues de revêtement, masquage et introduction d'impuretés. Ces galettes sont très fragiles et très sujettes à être détériorées, en rai- son de leur épaisseur(de l'ordre de 0,25 à 0,5 mm), de leur grand diamètre (environ 50 à 127 mm), de leur état de surface très poli et de leurs épaulements et creux superficiels micros- copiques. Ces galettes peuvent être rendues inutilisables pour la fabrication de composants par l'action d'une grande diver- sité de contaminants, ainsi que par les effets d'abrasion ou de détérioration même minimes. Il est donc nécessaire de pren- dre des précautions exceptionnelles pour la manipulation et, en particulier, il est très souhaitable de supporter et de transporter les galettes d'une façon qui réduise à un minimum le contact de ces galettes avec les mains et avec la machine ainsi que les chocs mécaniques et les effets d'abrasion. Les procédés et dispositifs utilisés antérieurement pour la manipulation et le transport des galettes varient en- tre les moyens très primitifs et des moyens excessivement com- plexes, et ils comprennent de simples plateaux ou coulisseaux sur lesquels les galettes sont posées et transportées horizon- talement, par exemple par des courroies ou chaînes transpor- teuses, des portées ou couloirs pneumatiques, des supports à griffes de différentes constructions, et des cassettes. Tous ces moyens exigeaient une proportion relativement grande de manipulation et de chargement à exécuter par les techniciens et étaient plus ou moins difficiles à rendre compatibles avec les moyens de transport et de chargement/déchargement automa- tisés à un grand nombre des postes de traitement des galettes qui sont nécessaires pour la fabrication et, en particulier, aux postes qui impliquent la nécessité d'introduire les ga- lettes dans une chambre à vide et de les extraire de cette chambre. Ces opérations nécessitent l'utilisation de sas de chargement et d'appareils transporteurs compliqués, ou de nou- velles manipulations manuelles dans ces postes. Ces inconvé- nients constituaient un facteur clé qui faisait obstacle à l'adoption à grande échelle du traitement individuel des ga- lettes en série continue, par opposition au chargement et au traitement par charges discontinues. D'autres inconvénients de ces moyens de la technique antérieure sont au moins aussi graves. Un grand nombre de ces moyens sont incapables de tenir les galettes positivement pen- dant leur déplacement, pendant les arrêts et autres chocs, de sorte que les galettes subissent des déplacements relativement aux autres éléments, ce qui entraine un risque de détériora- tion. D'autres moyens, bien que capables de supporter positi- vement les galettes, réduisent le rendement en attaquant les galettes sur une certaine partie de leurs surfaces ou sont incapables de positionner la galette de façon fixe dans une position prédéterminée, ou deviennent non fiables lorsqu'ils ont à traiter des galettes dont le diamètre varie en raison des tolérances de fabrication normale, qui sont inévitables actuellement. La plupart des moyens supports-présentent l'in- convénient de ne pas permettre de traiter les deux faces de la galette ni d'assurer une protection positive contre le con- tact avec les autres éléments, de même qu'ils ne permettent pas d'appliquer l'équipement de traitement sur la galette sans risquer de la déloger de ces moyens de transport, et, en outre, ils ne sont pas facilement compatibles avec un charge- ment automatisé et fortement simplifié. Un but de l'invention est donc de réaliser un support de galettes qui tienne positivement une galette dans un cadre tout en permettant de la traiter sur les deux faces. Un autre but de l'invention est de réaliser un support de galettes qui supporte la galette positivement et élastique- ment tout en facilitant la mise en place rapide de la galette dans ce support et son extraction rapide de ce support. Un autre but de l'invention est de réaliser un sup- port de galettes qui permette à l'équipement de traitement d' entrer en contact élastique avec la galette tout en continuant à porter positivement la galette d'une façon qui s'oppose à ce qu'elle soit délogée. Un autre but de l'invention est de réaliser un sup- port de galettes qui, tout en permettant de traiter cette ga- lette sur les deux faces, protège positivement la galette du contact de frottement avec d'autres éléments pendant les dé- placements de cette galette. Un autre but de l'invention est de réaliser un sup- port de galettes qui soit capable de supporter fiablement et individuellement des galettes possédant de légères différences de diamètre tout en protégeant ces galettes des détériorations dues aux chocs, aux vibrations et aux mouvements résultant du transport de ces galettes de l'un à l'autre de divers pos- tes de traitement. Un autre but de l'invention est de réaliser un sup- port de galettes qui facilite le transfert d'une galette à un poste de traitement et l'extraction de cette galette de ce poste dans une atmosphère raréfiée. Un autre but de l'invention est de réaliser un sup- port de galettes capable de transporter et de supporter la galette dans une orientation horizontale, verticale ou autre. Un autre but de l'invention est de réaliser un sup- port de galettes qui puisse être facilement démonté pour l'en- tretien, le nettoyage et le remplacement éventuel de ses élé- ments. Un autre but de l'invention est de réaliser un sup- port de galettes qui assure facilement l'isolation électrique de la galette. L'invention a pour objet un dispositif de support et de transport des galettes qui supporte les galettes indivi- duellement pendant leur traitement, en assurant leur protec- tion tout en facilitant le chargement et le déchargement des galettes et en permettant de les traiter sur les deux faces. Ce dispositif comprend un support présentant la forme d'une plaque et muni d'une ouverture de diamètre supérieur à celui de la galette, et un jeu de griffes qui attaquent élastique- ment la galette sur la tranche et retiennent élastiquement la galette dans le plan de l'ouverture de la plaque. Les griffes sont montées sur le support dans le plan de l'ouverture et- dans les limites de la périphérie de cette ouverture et sont dirigées vers le centre et vers l'intérieur de l'ouverture. Au bord avant de chaque griffe est formée une partie recour- bée dans laquelle le bord ou la tranche de la galette est-re- tenu. De cette façon, les galettes sont tenues dans la plaque du support et sont ainsiprotégées de tout contact indésira- ble avec les moyens de transport et avec les éléments de l'ap- pareil de traitement, cependant que leurs deux faces restent accessibles pour le traitement. Le contact élastique établi entre la tranche de la galette et les griffes assure le po- sitionnement positif de la galette et sa protection contre les arrêts brusques qui se produisent pendant le transport ainsi que contre les autres chocs, et l'ensemble peut ainsi être fa- cilement transporté d'un poste à l'autre. Le chargement et le déchargement sont facilités par le fait que les galettes sont tenues élastiquement par la tranche, et ces manoeuvres sont en outre accélérées par l'intervention de plusieurs élé- ments saillants combinés au poste de traitement dans lequel le dispositif support de galettes est placé. Les doigts ou éléments saillants sont placés en bonne position pour faire fléchir les griffes correspondantes en agissant sur une partie plate de ces griffes qui est située en dehors du diamètre des galettes, pendant la mise en place et l'extraction de ces ga- lettes, ce qui supprime tout risque d'abrasion de la galette, même au niveau de la périphérie de celle-ci. Le support en forme de plaque est avantageusement muni d'une série d'ouver- tures de réception des galettes et de griffes correspondantes, et il peut avantageusement se déplacer dans la chambre de traitement pour amener les galettes à différents emplacements de traitement. Le profil relativement mince du support dans lequel la galette est montée permet de définir un sas de char- gement d'épaisseur et de volume faible en fermant la région de l'ouverture à l'aide de moyens d'étanchéité. Le dispositif sup- port de galettes permet également de réaliser facilement le chargement manuel ou le chargement automatique exécuté par un équipement automatique simple. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront au cours de la description qui va suivre. Aux dessins annexés, donnés uniquement à titre d'exemple, - la Fig. 1 est une vue en perspective d'un dispositif complet de transport et de chargement des galettes qui montre l'interaction entre le dispositif support de galettes suivant l'invention et le dispositif de chargement et déchargement des galettes; - la Fig. 2 est une coupe verticale du dispositif support de galettes suivant l'invention, qui montre la façon dont ce dispositif supporte une galette qui y a été mise en place, dans le contexte du sas de chargement, cette vue montrant également la façon dont le déchargement de la galette de son dispositif support est facilité;- - la Fig. 3 est une vue en perspective détaillée de l'une des griffes suivant l'invention, destinée à supporter di- rectement une galette, cette vue montrant les détails de la construction et le mode d'assemblage et le démontage; - la Fig. 4 est une vue en coupe verticale de l'une des griffes de la Fig. 3, sur laquelle on a indiqué d'autres détails de sa construction et les moyens par lesquels cette griffe est fixée par des liaisons démontables. Les avantages et le mode d'utilisation et de fonc- tionnement du dispositif support de galettes seront le plus facilement reconnus si l'on considère l'invention dans le con- texte, donné à titre d'exemple non limitatif, d'un dispositif complet de chargement des galettes qui est représenté sur la Fig. l (et qui est décrit plus complètement dans la demande de brevet français no 80 27 228 de la Demanderesse). Le dispositif support de galettes est représenté en 10 sur les Fig. 1 et 2 et il sera entendu que, dans cette application illustrative, ce dispositif est situé et utilisé dans un ap- pareil ou une chambre ll de traitement des galettes dont la paroi avant verticale 12 est représentée avec arrachement. Il est entendu que l'appareil ou la chambre 1l de traitement des galettes peut représenter l'une quelconque d'une grande diver- sité de tels appareils ou chambres, parmi lesquels on peut ci- ter les machines de revêtement ou de métallisation des galet- tes de semi-conducteurs, les machines de gravure des galettes, les machines de lithographie des galettes, les machines de re- cuit des galettes, etc...La chambre il de traitement des ga- lettes est munie d'une entrée 13 à travers laquelle on peut avoir accès au dispositif 10 support des galettes et au volume intérieur de la machine de traitement des galettes. Un exem- ple d'une telle machine de traitement des galettes dans lequel le dispositif support de galettes est particulièrement utile est décrit dans la demande de brevet français ne 80 27 227 de la Demanderesse. Une galette 15 est tenue élastiquement, au niveau de son bord ou de sa tranche, dans le dispositif support 10, par quatre griffes espacées dont une est représentée en détails sur les Fig. 3 et 4 et dont deux sont représentées en coupe sur la Fig. 2. Chaque griffe 20 comprend un bloc 22 de forme générale rectangulaire et allongée, qui peut être fait d'une matière isolante, et un bras élastique 23 de forme allongée constituant la griffe proprement dite et qui est enroulé serré autour du bloc 22, ce bloc étant creusé sur plusieurs faces de rainures peu profondes destinées à encastrer le bras 23 dans le bloc et également à s'opposer à tout déplacement la- téral de ce bras par rapport au bloc. Ainsi qu'il ressortira plus particulièrement de la Fig.2, cette partie rainurée du bloc 2 présente plusieurs faces chanfreinées, de sorte que le contact entre le bloc 22 et le bras 23 et la fixation de ce bras sur ce bloc se produisent principalement aux angles A et B, ce qui contribue à éviter que le bras ne se torde par rap- port au bloc 22. Chacune des griffes 23 comprend à son extré- mité qui est à l'opposé du bloc un doigt ou une pointe recour- bé 25, qui possède une courbure et un rayon d'arrondi appro- priés pour saisir la tranche d'une galette, de la façon repré- sentée sur la Fig.2. Comme on peut le voir sur la Fig. 1, les quatre grif- fes 20 sont montées en des positions espacées sur la périphé- rie d'une ouverture circulaire ménagée dans un support 30 en forme de plaque qui fait partie du dispositif support de ga- lettes et qui est monté à l'intérieur de la chambre de traite- ment 11. L'ouverture circulaire 31 de la plaque 30 est de dia- mètre supérieur à celui de la galette, de manière à pouvoir recevoir les griffes 20 et la galette 15. Dans la forme préfé- rée de construction qui est représentée sur les dessins, le support 30 comprend une plaque 35 et une bague 33 de retenue des griffes qui est fixée à la plaque 35 par des liaisons dé- montables, concentriquement à l'ouverture circulaire 31 du support et en coïncidence avec ce support. Les griffes 20 ne sont pas directement fixées à la plaque 35 mais sont au con- traire fixées à la bague de retenue 33. La bague de retenue présente en section la forme d'un U, avec des lèvres ou ailes 36 et 37 qui définissent respectivement sa périphérie inté- rieure et sa périphérie extérieure, et les griffes 20 sont logées en retrait entre ces lèvres ou ailes. Les griffes 20, avec le support 30 (qui comprend la plaque 35 et la bague de retenue 33), forment ensemble le dispositif support de galet- tes 10. Le mode de fixation des griffes 20 sur la bague de retenue 33 ressort clairement des Fig. 3 et 4. La bague 33 est munie d'un jeu de quatre languettes 40 et de fentes 41 dans lesquelles sont insérées deux lamelles élastiques amo- vibles 42. Les languettes 40 portent contre les côtés longi- tudinaux du bloc 22 de manière à empêcher le bloc de se dé- placer radialement vers l'intérieur ou vers l'extérieurs Lors- qu'elles sont engagées dans les fentes-41, les languettes é- lastiques 42 portent contre les extrémités 44 du bloc 22 pour s'opposer au déplacement longitudinal du bloc, l'action des languettes 42 étant facilitée par des échancrures d'angles ménagées dans les angles supérieurs des extrémités 44 du bloc. De cette façon, la griffe 21 est montée très solidement bien que de façon amovible sur la bague de retenue 33, de sorte - qu'il ne se produit pas de déplacement pendant le fonctionne- ment. Cependant, l'ensemble de la griffe peut facilement être démonté pour le nettoyage, l'entretien ou le remplacement pé- riodique des griffes. Il convient également de remarquer que les ailes servent à protéger le bloc et les éléments qui lui sont combinés des effets de certaines phases du traitement de la galette, en particulier des phases de métallisation, dans lesquelles le dépôt de métal sur le bloc finirait, dans le cas o le bloc est fait de matière isolante, par annuler les pro- priétés isolantes de ce bloc. Naturellement, le fait que les bras métalliques élastiques 23 se terminent sur le bloc 22 signifie que, si le bloc 22 est fait d'une matière isolante, toute galette tenue par les griffes se trouve isolée électri- quement, caractéristique qui peut être importante pour certai- nes opérations de traitement des galettes telles que le déca- page par pulvérisation à fréquence radio (R.F.). La façon dont chacune des griffes est tenue solidement bien que par des liaisons démontables est également très apparente sur la Fig.3, qui montre avec plus de détails les points de portée des languettes élastiques 42, ainsi que le mode de rainurage qui est destiné à contrarier toute tendance du bras 23 de la griffe à se déplacer par rapport à son bloc 22. La forme des bras 23 des griffes est visible sur les Fig. 1 à 4 et en particulier sur la Fig.2. Chacun des bras 23 comprend non seulement une pointe recourbée 25 mais également une partie proximale 46 ou proche qui part du bloc 22 et une partie distale coudée 47 qui se termine à la pointe 25. Il convient de rappeler que chaque griffe 20 est montée dans les limites de la périphérie de l'ouverture 31 et que les bras 23 s'étendent dans une direction centrale vers l'intérieur vers le centre de l'ouverture circulaire 31, de sorte que la force élastique exercée sur une galette attaquée par les pointes re- courbées 45 s'exerce de la tranche de la galette vers le cen- tre et vers l'intérieur de cette galette, laquelle est égale- ment maintenue dans les limites de l'ouverture 31 de la pla- que, parallèlement à cette plaque. Les parties proximales 46 des griffes sont plates et contenues dans un plan étroitement adjacent et parallèle au plan défini par l'ouverture 31 de la plaque. Les parties distales 47 sont au contraire inclinées vers le plan de l'ouverture 31, en partant de la partie 46 et en définissant un angle obtus avec cette partie 46, ainsi qu' on l'a représenté, de sorte que, bien que chaque bloc 22 soit monté sur la bague de retenue 33 du support 30, chaque griffe est ainsi retenue entièrement dans les limites de ce support 30. La galette elle-même est ainsi retenue dans les limites de l'épaisseur de la plaque 35 du support de galettes. Il con- vient de remarquer que les quatre pointes 25 se trouvent éga- lement sur un cercle qui est de diamètre légèrement inférieur à celui d'une galette 15. De ce fait, pour mettre une galette en place, on doit légèrement écarter les bras 23 des griffes puis les laisser revenir élastiquement contre la tranche de la galette pour saisir la galette élastiquement par sa tranche. Ceci a pour effet d'exercer une force élastique résultante di- rigée radialement vers l'intérieur qui contribue à retenir po- sitivement la galette dans les pointes 25. Naturellement, la mise en place de la galette peut s'effectuer en poussant sim- plement la galette à la main dans les griffes, en agissant sur sa face arrière. Initialement, la galette rencontre une partie de la partie distale 47 de chaque griffe qui est proche de la pointe 25, et la poursuite du mouvement de poussée écar- te les griffes davantage et permet à la galette de s'enclique- ter dans les pointes de retenue recourbées 25. (Le décharge- ment peut donc exiger que l'on pousse au moins l'une des grif- fes pour contribuer à libérer la galette). Toutefois, il est plus avantageux d'éviter cette a- brasion même légère de la galette en écartant préalablement la griffe et en mettant seulement ensuite la galette en place. Par ailleurs, il est de beaucoup préférable d'éviter toute ma- nipulation manuelle de la galette, y compris le chargement et le déchargement manuels. Le dispositif support de galettes est particulièrement bien approprié pour être utilisé avec un dis- positif de chargement/déchargement automatique des galettes et, en particulier, avec un dispositif simplifié et très efficace qui conserve l'orientation verticale des galettes pendant tou- te la durée de la manoeuvre et qui est décrit avec plus de dé- tails dans la demande de brevet français n' 80 27. 228 précitée. Il convient de remarquer que le dispositif support de galettes 10 ne doit pas nécessairement être orienté verti- calement non plus qu'utilisé exclusivement dans une chambre de traitement, mais qu'il peut au contraire être orienté hori- zontalement et transporté sur des rails ou analogues entre les différents postes de traitement et à travers des sas de char- gement classiques. Même dans ces applications, le dispositif support 10 continue à apporter tous les avantages de l'accès aux deux faces pour le traitement, de l'appui élastique mais il ferme, capable de résister aux chocs engendrés pendant le trai- tement, en combinaison avec la facilité du chargement et du déchargement ainsi qu'avec la protection vis-à-vis des effets d'abrasion qui est due à la position de la galette en retrait à l'intérieur dans les limites du dispositif support. La Fig. 1 montre un exemple simplifié permettant le chargement et le déchargement entièrement automatiques d'un dispositif support de galettes 10, en particulier lorsqu'il est utilisé dans le présent contexte d'une chambre 11 de trai- tement des galettes. Sur la paroi avant 12 de la chambre de traitement est montée, par des charnières 49 possédant un axe vertical, une porte 50 qui, ainsi qu'on l'a représenté, s'ou- vre et se ferme de façon classique pour obturer à joint étan- che l'entrée 13 de la chambre par intermittence. Lorsque cet- te porte est entièrement ouverte, à la position représentée sur le dessin, on peut voir que la face interne de cette porte 16 est verticale et perpendiculaire au plan de l'entrée 13 de la chambre ainsi qu'au dispositif support de galettes 10. La porte 50 est équipée d'un mandrin à dépression 52 et de qua- tre dispositifs 54 d'actionnement des griffes dont la fonction et le mode de fonctionnement seront décrits avec plus de dé- tails dans la suite. Le mandrin à dépression 52 traverse axia- lement la porte en son centre, de sorte que son extrémité fait partie de la face interne 55 de la porte. Le mandrin 52 peut être mis en action pour saisir par aspiration une galette pré- sentée verticalement à la porte, comme représenté sur la Fig.1, et pour tenir la galette pendant que la porte se ferme, après quoi le mandrin à dépression se met en extension axialement, en saillie axiale sur la face interne 55 de la porte, ce qui a pour effet de mettre la galette en prise dans le dispositif support de galettes 10, ainsi qu'on le décrira avec plus de détails dans la suite. Un transporteur 56 s'étend au-dessous du niveau de l'entrée 13 de la chambre, de part et d'autre de cette entrée, et sert à déplacer des cassettes 57 de galettes de la droite de l'entrée vers la gauche, tandis qu'un élévateur de galettes 58 qui coopère avec le transporteur est destiné à élever les galettes individuellement des cassettes jusqu'à l'extrémité travaillante du mandrin à dépression située sur la face in- terne de la porte 50. Ainsi qu'on peut le voir sur la Fig. 1, le transporteur 56 comprend deux rails 59 et 60 qui s'éten- dent longitudinalement en travers de la face avant de la cham- bre 11 de traitement des galettes, dans une direction hori- zontale. Les cassettes 57 et l'écartement des rails 59 et 60 sont tels que les parois latérales des cassettes encadrent les rails et permettent aux cassettes de glisser le long des rails, en partant des extrémités du transporteur et pour se rapprocher ou s'éloigner de l'élévateur 58. La force motrice nécessaire pour le déplacement des cassettes est fournie par un mécanisme 62 d'entraînement à chaîne-qui comprend divers dispositifs de guidage et d'engrenage et qui fait circuler une cha ne à rouleaux le long du rail 59. La chatne est munie à intervalles réguliers de doigts de guidage 64 qui attaquent une échancrure complémentaire ménagée dans le bas de la paroi 65 de la cassette qui est adjacente au rail 59. De cette fa- çon, la cassette est entraînée à la même vitesse que la chai- ne vers l'élévateur 58. L'élévateur 58 est placé au-dessous du niveau et à la gauche de L'entrée 13 de la chambre, et il comprend une plaque de guidage supérieure 67, un élément élévateur 68 pré- sentant la forme d'une lame, et un vérin de commande 69 relié à l'extrémité inférieure de cet élément 68. La lame 68 tra- * verse une fente de guidage 70 et passe entre les rails de gui- dage 59 et 60 de façon à monter et descendre suivant un tra- jet vertical qui coupe perpendiculairement le transporteur entre les rails 59 et 60 et qui s'étend d'au-dessous du trans- porteur 56 jusqu'à la porte 50. Ainsi qu'on peut le voir, la cassette 57 est construite de manière à donner accès aux ga- lettes par-dessous et à permettre à la lame 68 de la traver- ser entièrement. La lame 68 présente une extrémité supérieure incurvée 72 dont la forme épouse la courbure des galettes, et elle présente dans cette extrémité une rainure adaptée à l'é- paisseur d'une galette. En fonctionnement, le transporteur 56 fait passer les galettes en série tour à tour au droit de l'élévateur 58 et au-dessus de la lame 68 de cet élévateur. La lame 68 monte ensuite pour attaquer une galette 15 par le bord inférieur de celle-ci et l'élever jusqu'à une position située juste à l'intérieur par rapport à la face interne de la porte 50 pla- cée dans sa position d'ouverture. Le mandrin à dépression 52 saisit alors la galette 15 par sa face arrière et la lame 58 de l'élévateur redescend à travers la fente de guidage 70 et à travers la cassette, pour atteindre un point situé au-des- sous du transporteur 56. Lorsque le traitement de la galette est terminé, cette galette est à nouveau présentée au mandrin à dépression 52 et à la porte 50, en bonne position pour être redescendue dans la cassette, après quoi l'élévateur s'élève à nouveau pour recevoir la galette. Le transporteur déplace les cassettes de manière que l'opération se répète successive- ment sur les galettes suivantes. Lorsqu'une galette a été ainsi présentée au mandrin à dépression 52, une série d'opérations est mise en marche pour charger une galette 15 dans le dispositif support 10 de la façon décrite plus haut. Les détails du chargement et du déchargement d'une galette dans le dispositif support 10 se- ront plus faciles à comprendre en se reportant à la Fig. 2, considérée en combinaison avec la Fig.l. La Fig. 2 montre le mandrin à dépression 52 dans sa position d'extension et les moyens 54 d'actionnement des griffes également dans leur po- sition d'extension. Cette position se présente soit juste a- vant l'exécution de la mise en place d'une galette dans la chambre de traitement 11, soit au début du déchargement d'une galette dont le traitement vient d'être terminé. Dans les deux cas, la porte 50 se trouve dans sa position de fermeture, dans laquelle elle isole hermétiquement de l'atmosphère l'entrée 13 de la chambre. L'un des dispositifs 54 d'actionnement des griffes est représenté en détail dans la partie basse-de la Fig.2. Ce dispositif comprend un vérin pneumatique 74, un doigt de con- tact 75 qui se déplace axialement vers l'intérieur et vers ltextérieur et est propulsé par le cylindre 74, et des garni- tures d'étanchéité axiale 76 qui entourent le doigt. Chacun des quatre dispositifs 54 est monté dans la porte 50 et tra- verse cette porte de manière à être en coïncidence avec l'une des griffes 20 lorsque la porte se trouve dans sa position de fermeture comme représenté. Par conséquent, lorsque la porte se trouve dans sa position de fermeture, les doigts 75 sont placés face aux parties proximales plates 46 des griffes 20, et ces doigts sont mis en extension juste avant la mise en pla- ce d'une galette ou juste avant son extraction. La pression d'un doigt 75 contre la partie proximale 46 d'une griffe fait fléchir cette griffe et oblige la pointe 25 à basculer en ar- rière et vers l'extérieur, suivant la trajectoire C représen- tée par une ligne courbe interrompue sur la Fig. 2. Il con- vient de remarquer qu'en dehors de la poussée commandée par le doigt, on pourrait utiliser d'autres moyens pour actionner les griffes et faciliter la mise en place et l'extraction des ga- lettes. Par exemple, on pourrait pousser une bague axialement, simultanément contre les parties plates 46 de toutes les grif- fes, pour repousser et écarter ces griffes, et on obtiendrait alors le même effet d'actionnement des griffes qu'avec les moyens représentés. Le mandrin à dépression 52 place ensuite la galette en position centrale dans le plan de l'ouverture 31 de la pla- que, après quoi les vérins 74 sont mis hors d'action et les doigts se rétractent. Sous cet effet, les griffes reviennent élastiquement à leur position initiale non fléchie, et les pointes 25 s'appuient contre la tranche de la galette 15, en maintenant ainsi solidement cette galette pendant le traite- ment. Il convient de remarquer que le support-plaque 30 peut se déplacer à l'intérieur de l'appareil de traitement Il pour atteindre plusieurs postes de traitement et qu'il peut être muni d'autres ouvertures, comme par exemple représenté en 79, ainsi que d'autres jeux de griffes pour porter d'autres galettes. Pour la description des autres détails de la machi- ne de traitement qui utilise le dispositif support de galet- tes suivant l'invention et la description d'une machine de traitement à postes multiples, on pourra se reporter à la de- mande de brevet français né 80 27 227 précitée. Après l'exécution du traitement, la galette se trou- ve à nouveau face à l'entrée de la chambre, et la porte 50 est à nouveau appliquée à joint étanche contre cette entrée 13. Le mandrin à dépression 52 est à nouveau mis en action pour attaquer la face arrière de la galette 15, après quoi le cylindre 74 de chaque dispositif 54 d'actionnement de griffes pousse son doigt 75 contre la partie proximale plate 46 d'une griffe. Ceci a pour effet d'écarter la pointe recourbée 25 de chaque griffe de sa prise avec la tranche de la galette, après quoi le mandrin à dépression 52 retire la galette 18 en la rapprochant de la surface interne de la porte 50 et en l'éloignant du voisinage des griffes 20 sans aucune abrasion, même sur le bord ou la tranche de la galette. Ensuite, la por- te 50 s'ouvre pour venir placer la galette terminée en posi- tion au-dessus de la lame 68 de l'élévateur, laquelle abaisse ensuite la galette pour la replacer dans la cassette. Il convient de remarquer qu'il existe un grand nom- bre d'applications dans lesquelles il n'est pas nécessaire d'avoir accès à la face arrière des galettes pour le traite- ment. Dans au moins certaines de ces applications, il peut se produire qu'il soit impossible de charger les galettes dans le dispositif support de galettes en faisant attaquer la face arrière de la galette par un preneur de galettes tel que le mandrin à dépression 52. Il peut cependant être souhaitable d'utiliser des griffes distinctes analogues aux griffes 20 et actionnées par des moyens analogues aux dispositifs 54 d'ac- tionnement des griffes pour que les galettes soient supportées positivement et élastiquement par la tranche, en entra nant le minimum d'abrasion et de détérioration des bords ou tran- ches des galettes pendant le chargement et le déchargement. Dans ces applications, il peut être souhaitable de présenter les galettes individuellement aux griffes en utilisant un pre- neur de galettes qui attaque la face avant de galette. Bien que le preneur de galettes puisse être analogue au mandrin à dépression 52, qui saisit solidement la face de la galette par dépression, il est préférable dans l'intérêt d'éviter toute détérioration des délicats micro-circuits contenus dans la fa- ce avant de la galette, que le preneur de galettes soit du type sans contact. L'un des preneurs de galettes connu dans la technique sous la désignation de tête preneuse pneumatique de Bernoulli utilise un courant d'un gaz approprié tel que l'air ou l'azote qu'on fait circuler entre la tête preneuse et la face de la galette. Pour éviter la contamination de la galette par des particules de poussière ou analogues, le gaz mis en circulation doit être absolument propre et de préférence sec. D'autres dispositifs peuvent être mieux appropriés pour certaines applications. Dans l'appareil représenté sur la Fig.2, les galettes sont chargées individuellement par l'ar- rière dans les griffes. Dans certaines applications, il peut au contraire être souhaitable de charger les galettes par l'a- vant dans des griffes identiques ou analogues. Na turellement, ceci peut Atre obtenu par des modifications évidentes du dis- positif. Une condition à respecter consiste dans l'utilisation de moyens d'actionnement pour ouvrir et fermer les griffes, afin de permettre de charger et de décharger les galettes sans détérioration de ces dernières. Un moyen preneur agissant sur la face avant tel que la tête preneuse pneumatique de Bernoulli mentionnée plus haut peut avantageusement être utilisée pour attaquer la face avant des galettes en vue de les transporter et de les charger dans les griffes puis les décharger de ces griffes. Dans ce type de variante, l'ouverture dans laquelle la galette est encastrée en retrait dans la forme de réalisa- tion préférée peut être absente ou d'un diamètre inférieur à celui de la galette ou, en variante, elle peut être constituée par un évidement plutôt que par une ouverture qui traverse entièrement le support de griffes adjacent. Ces variantes pos- sèdent cependant la plupart, sinon la totalité, des avantages de la forme de réalisation représentée, y compris le mode de support positif et élastique par la tranche, l'accès en tota- lité à au moins l'une des faces, la rapidité du chargement et du déchargement, la compatibilité avec l'automatisation du chargement et du déchargement, la facilité du passage dans le sas de chargement, la tolérance sur les variations de dia- mètre et d'orientation et la protection contre les chocs. 247 40 0 I REVENDICATIONS 1 - Dispositif support de galettes individuelles, ca- ractérisé en ce qu'il comprend: un jeu de griffes (20) desti- nées à saisir élastiquement une galette (15), par la tranche; ces griffes (20) étant espacées les unes des autres et toutes les griffes étant disposées suivant un premier cercle de dia- mètre supérieur à celui de la galette; chacune des griffes comprenant un bras élastique (23) qui se dirige globalement vers l'intérieur, vers le centre dudit cercle; chacune des griffes présentant à son extrémité la plus rapprochée du centre une partie (25) formant doigt qui dirige son ouverture à peu près vers le centre et vers l'intérieur, les doigts (25) se trouvant sur un deuxième cercle de diamètre légèrement infé- rieur à celui de la galette; les doigts s'appuyant sur la tran- che de la galette qu'il s'agit de retenir dans les griffes et exerçant sur cette galette une pression élastique dirigée vers le centre et vers l'intérieur; au moins une partie de chacun des bras formant une partie plane (46) que l'on peut faire fléchir pour faciliter la réception d'une galette; de sorte que des galettes individuelles peuvent être rapidement mises en place dans les griffes et extraites de ces griffes et que, lorsqu'elles sont retenues dans ces griffes, elles peuvent ê- tre transportées et traitées. 2 - Dispositif support suivant la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend au moins trois griffes (20). 3 - Dispositif support suivant la revendication 1, caractérisé en ce que chaque bras (23) comprend une partie distale (47), 1-a plus rapprochée du centre, qui se termine par ledit doigt (25), et une partie proximale (46), cette partie proximale étant approximativement contenue dans un premier plan parallèle au plan défini par ledit premier cercle, la- dite partie distale (47) formant un angle obtus avec ledit premier plan. 4 - Dispositif support suivant la revendication 3, caractérisé en ce que ladite partie plate (46) de chaque bras est ladite partie proximale. - Dispositif support suivant la revendication 4, caractérisé en ce que la totalité du bras (23) est plate. 6 - Dispositif support suivant la revendication 1, caractérisé en ce que ledit doigt (25) est recourbé en arc. 7 - Dispositif support suivant la revendication 1, caractérisé en ce que chacune des griffes (20) comprend en ou- tre un bloc (22) support de bras qui ancre l'extrémité de la partie du bras qui est à l'opposé du doigt (25). 8 - Dispositif support suivant la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comprend un support (30) présentant la forme d'une plaque et qui définit une ouverture (31), les- dits blocs (22) étant fixés le long de la périphérie de cette ouverture (31) en des positions espacées. 9 - Dispositif support suivant la revendication 8, caractérisé en ce que, pour chacun desdits blocs (22), le sup- port-plaque (30) définit des languettes fixes (40) destinées à retenir les blocs pour les empêcher de se déplacer radiale- ment, et deux languettes élastiques amovibles (42) qui serrent les extrémités du bloc (22) et sont engagées dans des fentes (41) du support-plaque pour retenir les blocs sur ce support- plaque (30) par des liaisons démontables. - Dispositif support suivant la revendication 7, caractérise en ce que lesdits blocs (22) sont faits d'une ma- tière isolante, de sorte qu'une galette (15) retenue dans les griffes (23) est isolée électriquement. 11 - Dispositif support suivant la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une bague (33) de retenue de griffes montée sur la plaque (35) du support-plaque (30), concentriquement à ladite ouverture (31), ladite bague (33) portant et définissant les languettes fixes (40) et sup- portant les blocs (22) le long de la périphérie de ladite ou- verture (31). 12 - Dispositif support suivant la revendication 11, caractérisé en ce que lesdits blocs (22) sont faits d'une ma- tière isolante et en ce que ladite bague de retenue (33) est munie le long de sa périphérie intérieure d'une lèvre ou aile (36) qui sert de protection auxdits blocs. 13 - Dispositif support suivant la revendication 11, caractérisé en ce que lesdits blocs (22) sont faits d'une ma- tière isolante et en ce que ladite bague de retenue (33) est munie d'ailes (36, 37) le long de ses périphéries, les griffes (20) étant dans l'ensemble disposées en retrait entre les ai- les et protégées par ces ailes. 14 - Dispositif support et de transport de galettes destiné à faciliter le chargement et le déplacement indivi- duels de galettes en même temps qu'il supporte ces galettes solidement et en les protégeant pendant leur traitement, ce dispositif étant caractérisé en ce qu'il comprend: un sup- port (30) qui présente dans une de ses faces un évidement (31) de diamètre supérieur à celui des galettes (15); un jeu de griffes (23) destinées à serrer élastiquement par la tranche l'une des galettes (15) et à la retenir dans ledit évidement,. les griffes étant montées sur le support (30) le long de la périphérie dudit évidement, les griffes s'étendant vers le cen- tre et vers l'intérieur de l'évidement et présentant à leur extrémité avant un doigt (25) dans lequel la tranche ou le bord d'une galette.(15) est retenue, de sorte que les galettes individuelles peuvent être mises en place instantanément dans ledit support (30) et extraites instantanément de ce support, qu'elles peuvent être tenues et protégées à- l'intérieur dudit évidement (31), transportées et traitées tout en réduisant le risque de détérioration et de contamination des galettes. 15 - Dispositif suivant la revendication 14, carac- térisé en ce que ledit évidement est une ouverture (31) mé- nagée dans ledit support (30). 16 - Dispositif suivant la revendication 14, caracté- risé en ce que ledit support comprend un élément mince (35) présentant la forme générale d'une plaque et en ce que la ga- lette (15) est supportée dans cet élément de telle manière que les deux faces de la galette soient accessibles pour le traitement tandis que la galette est supportée d'une façon qui la protège. 17 - Dispositif suivant la revendication 14, carac- térisé en ce que ledit support (30) coopère avec un poste (11) de traitement des galettes dans lequel ce support est logé, et en ce qu'il comprend en outre un jeu de dispositifs (54) d'actionnement des griffes, montés à ce poste et desti- nés à porter respectivement sur des parties planes (46) des griffes qui sont tournées vers l'extérieur pour les faire fléchir et dégager les griffes au moment de la mise en place ou de l'extraction d'une galette, afin de prévenir toute abra- sion de la périphérie de la galette et de faciliter la mise en place et l'extraction de celle-ci. 18 - Dispositif suivant la revendication 14, carac- térisé en ce que les griffes (20) présentent une partie pla- te (46) qui regarde vers l'extérieur et qui est orientée à peu près parallèlement au plan de ladite ouverture (31). 19 - Dispositif suivant la revendication 14, carac- térisé en ce que lesdites griffes comprennent en outre une partie coudée (47) qui relie ladite partie plate (46) au doigt (25), le doigt dirigeant son ouverture approximativement vers le centre et vers l'intérieur de ladite ouverture (31). 20 - Dispositif suivant la revendication 19, carac- térisé en ce que les doigts (25) présentent une forme re- courbée. 21 - Dispositif suivant la revendication 14, carac- térisé en ce qu'il est prévu au moins quatre griffes (23) dans ledit support (30, 35). 22 - Dispositif suivant la revendication 14, carac- térisé en ce que lesdites griffes (23) sont retenues à l'in- térieur de ladite périphérie. 23 - Dispositif suivant la revendication 14, carac- térisé en ce que lesdites griffes (23) sont espacées à inter- valles inégaux le long de la périphérie, et en ce que ladite ouverture (31) est de forme circulaire. - 24 - Dispositif suivant la revendication 16, carac- térisé en ce que l'élément support (35) présentant la forme d'une plaque est logé dans une chambre (11) de traitement des galettes et est monté de façon à pouvoir se déplacer à l'in- térieur de cette chambre. - Dispositif suivant la revendication 24, carac- térisé en ce qu'il comprend en outre un jeu de dispositifs (54) d'actionnement des griffes qui sont combinés à ladite chambre (11) et qui portent respectivement sur les différentes griffes (23) au moment de la mise en place d'une galette ou de l'extraction d'une telle galette pour dégager les griffes. 26 - Dispositif suivant la revendication 25, caracté- risé en ce que chaque griffe (23) comprend une partie plate (46) qui regarde vers le dispositif (54) d'actionnement de la griffe, ce dispositif (54) comprenant un doigt (75) qui peut être mis en extension pour entrer en contact avec ladite par- tie plane (46) de la griffe et faire fléchir cette partie pour dégager la griffe. 27 - Dispositif suivant la revendication 16, caracté- risé en ce que ledit élément support (35) présentant la forme dlune plaque est à peu près vertical. 28 - Dispositif suivant la revendication 14, carac- térisé en ce que lesdites griffes (23) sont fixées à des iso- lateurs (22).