Brevet FR2482782A1 — publié le 19811120

L'invention concerne d'une manière générale les réacteurs à plasma gazeux, et plus particulièrement un appareil et un procédé automatisés pour graver, attaquer ou traiter autrement des galettes à semi-conducteurso Les réacteurs utilises jusqu à présent dans le traitement au plasma des galeàres a semi-conducteurs sont de deuz types principu7 a savoir lez réacteurs plans et les r4actsurs cylindriqueSo Pour accroître le cdiXt ou le nombre de galettes traitéese ces dernères son% %traitées par lots ii dans ces réacteurSo Cepencdant0 le nombre de galettes pouvant re t @raitées dans un temps donné t iité par la d imension du rgcteur et la t. esse du procédé utilisé0 De plus, lorque lees galettes sont titées par lots il est en general 7diicile dlobtenir un traitement uniforme sur DL5 chcuna des galetctes, dune galectte à lautre et duune passe à l'autre. L"invention concerne d'une manière générale un apnarei! et un procédé prfectionnés pour attaquer ou autregest traiter des gralett-s a semi=conducteurs dans un 29 nei!icu a plasmao Les galettes sont traitées individuellement, Dt 1paeil,!3 le e proc-édé neuvent fonctionner de manière automatisi e 3ous la commande d'un calcu!ateuro L'invention concerne donc un appareil à réacteur présentant une chambre dans laquelle les galettes sont 2v traitées, un transporteur introduisant les galettes dans la chambre et les faisant sortir de cette dernière en les faisat passer par des sas de charge. A l'intérieur de la chambre, une premire eelectrode est montée en position fixe et une seconde électrode est montée sur un bras oscillant de manière à pouvoir se déplacer d'une position de réception d'une galette, adjacente au transporteur, à une position de traitement d'une galette, adjacente à la première électrode. Les galettes sont transférées du transporteur vers la seconde électrode et fiées sur cette dernière afin d'être déplacées vers la position de traitement. Un gaz réactif est introduit dans la chambre et les électrodes sont mises sous tension afin d'ioniser le gaz et de former un plasma entre elles pour traiter la galette. Dans la forme préférée de réalisation de l'invention, la galette est fixée à la seconde électrode au moyen d'un mandrin à vide et la première électrode comporte un plateau en matière poreuse à travers lequel le gaz est introduit dans la chambre. A la fin du traitement souhaité, la seconde électrode ramène la galette en position de réception et la galette est remise en place sur le transporteur et sortie de la chambre. Le réacteur fonctionne de manière automatisée sous la commande d'un calculateur. L'invention sera décrite plus en détail en regard des dessins annexés à titre d'exemple nullement limitatif et sur lesquels la figure 1 est un schéma simplifié d'une forme de réalisation de l'appareil à réacteur selon l'invention; la figure 2 est une vue en perspective, avec arrachement partiel, de la chambre de réaction de l'appareil montré sur la figure 1, la figure 3 est une vue en perspective, avec coupe partielle, de l'électrode fixe placée dans la chambre de réaction de l'appareil représenté sur la figure 1; la figure 4 est une coupe suivant la ligne 44 de la figure 2; la figure 5 est une coupe suivant la ligne 5-5 de la figure 4; la figure 6 est une coupe suivant la ligne 6-6 de la figure 4; et la figure 7 est une coupe suivant la ligne 7-7 de la figure 4. Comme représenté sur la figure 1, l'appareil à réacteur selon l'invention comprend une chambre 10 de réaction dans laquelle les galettes sont traitées. Les galettes à traiter sont empilées dans un magasin 11 d'entrée et les galettes ayant été traitées sont empilées dans un magasin 12 de sortie. Les deux magasins. sont placés à l'extérieur de la chambre du réacteur et les galettes sont déplacées entre les magasins et la chambre par un transporteur 13 entraîné par un moteur 14. Les galettes pénètrent dans la chambre du réacteur et en sortent en passant dans des sas 16 et 17 de 3 24uz7:3 charge qui maintiennent la chambre à l'état fermé, malgré le passage des galettes. Les sas de charge sont de conception classique et comprennent des chambres intérieures dont les extrémités opposées comportent des portes d'entrée et de sortie. Ces dernières sont commandées par des actionneurs 18, 19. Avant que les portes communiquant avec la chambre de réaction soient ouvertes, la pression régnant à l'intérieur des chambres des sas est réduite à un niveau inférieur à celui de la chambre de réaction par une pompe à vide 21. Avant l'ouverture des portes extérieures, les chambres des sas sont purgées au moyen d'un 'gaz inerte et la pression régnant dans ces chambres est élevée à un niveau supérieur à celui de la pression atmosphérique. Comme décrit plus en détail ci-après, une électrode fixe 23 et une électrode mobile 24 sont disposées dans la chambre du réacteur. L'électrode mobile reçoit les galettes du transporteur et les amène en position retournée au-dessus de l'électrode fixe afin de les traiter dans un plasma formé entre les électrodes. L'électrode mobile est déplacée entre les positions de réception et de traitement de la galette par un moteur 26 de commande, et les galettes sont fixées à l'électrode mobile par un mandrin actionné par vide. Des gaz réactifs et d'autres gaz (par exemple des gaz de purge>, provenant d'une ou plusieurs sources 27 de gaz, sont introduits dans la chambre du réacteur au moyen d'un régulateur 28 de débit. Les gaz sont évacués de la chambre par une pompe 29 d'aspiration, en passant par une valve 30 à étranglement. Le vide est appliqué au mandrin de l'électrode par Ia pompe 29 et par l'intermédiaire d'une électrovalve 31. L'alimentation en énergie électrique des électrodes est assurée par un générateur 32 à haute fréquence fonctionnant à une puissance et une fréquence convenables. La sortie du générateur est reliée aux électrodes par un réseau 33 d'adaptation. Un fluide de refroidissement est mis en circulation dans les électrodes à partir d'une source 34, afin de maintenir lesdites électrodes à une température souhaitée. La température du fluide de refroidissement est maintenue par un capteur placé dans le réservoir de fluide de refroidissement, et la température de ce dernier est régulée par la source. Des capteurs 36, 37 de position des galettes sont montés dans la chambre du réacteur et détectent lorsqu'une galette est transférée du transporteur vers l'électrode mobile, ou bien ramenée de cette dernière sur le trans- porteur. Dans la forme préférée de réalisation, ces capteurs sont des éléments photo-électriques, bien que d'autres capteurs convenables puissent être utilisés si cela est souhaité. La pression régnant dans la chambre de réaction est contrôlée par un capteur 39 et la fin de la réaction est détectée par un capteur 41 de fin de processus. Dans la forme préférée de réalisation décrite, le capteur 41 est un capteur optique et la fin du processus est déterminée par la longueur d'onde de la lumière émise par certaines des substances excitées qui subissent une modification de leur concentration à la fin du processus. Le fonctionnement du réacteur est commandé par un calculateur 46 qui est programmé conformément au mode selon lequel les galettes doivent être traitées. Tout calculateur convenable peut être utilisé et, dans la forme préférée de réalisation, un microprocesseur est employé. Le calculateur reçoit des signaux d'entrée des capteurs de position des galettes, du capteur de pression, du régulateur de débit, du générateur à haute fréquence, du transporteur, des sas et du capteur de fin de processus. Il produit des signaux de commande destinés aux magasins 11, 12, au moteur 14 d'entraî- nement du transporteur, aux actionneurs 18, 19 des portes des sas, à la pompe à vide 21, au moteur 26 de commande de l'électrode, au régulateur 28 de débit de gaz, à la valve 30 à-étranglement de la pompe d'évacuation, à la bobine 31 de commande du mandrin à vide et au générateur 32 à haute fréquence. Une information supplémentaire peut être introduite dans le calculateur au moyen d'un clavier 47 et l'une quelconque ou toutes les fonctions de l'appareil peuvent être commandées manuellement à l'aide de ce clavier. Un visuel 48, commandé par le calculateur, donne une indication visible de la suite d'ordres, de données et de programmes. L'information affichée par le visuel est enregistrée par une imprimante 49 ou tout autre enregistreur convenable. Le calculateur comprend également une interface convenable lui ea nt de communiquer avec d autres qupeaents de Drstd eg7r eée.n o La chmbr7 e de rzéactIon et le transporteur so nt représentés plus c% détc-ail sr la r i;;e9 2. Le chambre de forms a peu pres retangu. irea compres un fond 51, une l paroi Msupri {on u'se-nt ne pa avant _52, ue paroi arrière 53 et des parois latérales 54p 56, Une fenêtre 57 de yvisée est ménage& dans la paroi avant 52 afiî qguil soit pos sible de voir le prccessus ralisé dans le réacteur0 Une uverture 58 d"entrée des galettes est éal!isée dans la f15 paroi latérale 54 vers la parris arrière de la chambre0 et une ouverture 59 de sortie des galettes est formée dans la paroi letérale 56, dans une position opposée à celle de l'ouverture ddentréeo Le transporteur '3 est un transportcur balancier comportant des rails allongés 61-63 qui sont divliss en %troncons et gui passent dlans les ouvertures 58 59 et dans les sas associés. Les trongçons de rails sont espacés loingî itudinalementi les uns des autres et les portes des sas sont disposées entre les trongons de manière que les rails ne gênent pas le fonctionnement de ces porteso Les trois rails sont disposés côte à côte, le rail 63 étant placé entre les rails 61, 62 Les rails extérieurs sont entraînés simultanément de manière à suivre une course elliptique par rapport au rail intérieur, lorsque l'on considère la chambre de face, et les mouvements alternés de montée et de descente des rails font progresser les galettes à travers l'appareil. Les rails sont alignés axialement avec l'électrode 24 lorsque cette dernière est dans la position montrée sur la figure 2 Dans cette position, l'électrode est disposée dans un intervalle 64 à peu près circulaire, délimité entre les tronçons de rails, la surface supérieure de l'électrode étant située légèrement au-dessous des surfaces supérieures des rails. Le transporteur comprend également des moyens destinés à transférer les galettes des rails à mouvement de balancier vers l'électrode mobile 24 et à les ramener de l'électrode vers les rails. Ces moyens comprennent plusieurs doigts 66 qui passent librement dans des ouvertures 67 de l'électrode et qui s'élèvent au-dessus de la surface supérieure de cette dernière. Les doigts de transfert des galettes sont reliés fonctionnellement aux rails de transport par une biellette 68 et ils sert commandés de manière à effectuer le même mouvement elliptique que celui des rails. Les capteurs 36, 37 de position des galettes sont montés sur des équerres ou bras 71, 72 et ils sont disposés au-dessus du rail central du transporteur, de part et d'autre de l'électrode 24. L'électrode 23 est montée en position fixe, vers la partie avant de la chambre, à proximité de la fenêtre 57. Cette électrode est isolée électriquement des parois du réacteur et elle est reliée au côté "actif" ou non à la masse de la sortie du générateur. L'électrode 24 est à la masse électrique. L'électrode 23 comprend un plateau 73 en matière poreuse, conductrice du courant électrique et à travers laquelle le gaz réactif est diffusé vers l'intérieur de la chambre. Dans une forme préférée de réalisation de l'invention, le plateau est réalisé en acier inoxydable fritté dont la porosité ou la dimension des pores est de l'ordre de 35 micromètres. Dans la forme de réalisation représentée, le plateau comprend une structure analogue à un disque circulaire et une bague périphérique 74 de montage est fixée au plateau par des moyens convenables, par exemple par emmanchement à retrait. Comme représenté sur la figure 3, l'électrode 23 comprend également un corps cylindrique 76 en matière conductrice du courant électrique et duquel une tige 77 part vers le bas. Une chemise 78 de refroidissement est formée dans la partie inférieure du corps de l'électrode et une chambre 79 de distribution de gaz est formée dans la partie supérieure du corps. Une plaque de fond 81, à peu près 2 4 ?7 4 2 circulaire, est fixée à la paroi extérieure du corps die l'électrode et forme le fond de la chemise à eau 78. Plusieurs chicanes incurvées 82 forment des canaux 83 qui s'étendent radialement et circonférentiellement dans la chambre de distribution. Le plateau 73 est monté sur la partie supérieure du corps 76 de l'électrode et il forme la paroi supérieure de la chambre de distribution. Cette dernière et la chemise de refroidissement s'étendent sur toute la dimension latérale du plateau afin de réaliser une distribution uniforme du gaz et un refroidissement uniforme du plateau. La tige 77 comprend un tube 84 qui part vers le bas de la partie centrale de la plaque 81 de fond. Un tube 86 d'arrivée de gaz s'élève verticalement à l'intérieur du tube 84 et traverse la plaque 81 et la paroi centrale 87 du corps 76 afin d'établir une communication entre la source de gaz et la chambre-de distribution. Un tube 88 à fluide de refroidis- sement s'élève également verticalement à l'intérieur de la tige 77 et pénètre dans la chemise de refroidissement en passant à travers la plaque de fond 81. Le fluide de refroidissement arrive à la chemise de refroidissement par un canal 89 formé entre les parois extérieures des tubes 86 et 88 et la paroi intérieure du tube 77, et par un orifice 91 ménagé dans la plaque 81. Le fluide de refroidissement retourne à la source par le tube 88. L'électrode 24 est montée sur un bras oscillant 92 afin de pouvoir être déplacée entre la position de réception d'une galette orientée à l'endroit, comme montré sur la figure 2, et une position de traitement d'une galette orientée à l'envers, au-dessus de l'électrode fixe 23. Le bras est fixé rigidement à un axe 93 de section à peu près carrée, au moyen d'une bride 94 et de vis 96. L'axe s'étend entre les parois latérales 54 et 56 de la chambre et il est monté de manière à pouvoir tourner dans des ensembles 97 à palier et joint. Un fluide de refroidissement est mis en circulation dans l'électrode 24 au moyen de conduits 98 et de canaux bras 92. 8 2482732 Des moyens sont prévus pour fixer, les galettes sur la surface supérieure de l'électrode 24 afin qu'elles se déplacent avec cette électrode vers la position de traitement située au-dessus de l'électrode fixe 23. Ces moyens comprennent un mandrin à vide qui est représenté sur les figures 4 à 7 et qui sera décrit ci-après. Une dépression est appliquée au mandrin par la pompe aspirante 29 et par l'intermédiaire de l'électrovalve 31, d'un conduit 99 à vide et de canaux (non représentés) ménagés dans l'axe 93 et le bras 92. En variante, d'autres moyens convenables tels qu'un mandrin électrostatique peuvent être utilisés pour la fixation des galettes à l'électrode. Un pignon 101 d'entraînement est monté sur l'axe 93, à l'extérieur de la chambre de réaction, et est commandé par un moteur 26 afin de faire pivoter l'électrode 24 entre les positions de réception et de traitement des galettes. Comme représenté sur les figures 4 à 7, l'électrode 24 comprend une plaque à peu près cylindrique 106 de mandrin qui présente une surface supérieure plane 107 sur laquelle les galettes sont reçues. Des canaux à vide 108 traversent verticalement la plaque de mandrin et aboutissent dans des fentes 109 réalisées dans la surface supérieure de la plaque. Comme représenté sur la figure 2, ces fentes sont disposées de manière à être totalement recouvertes par une galette de dimension classique, par exemple de 7,5 ou 10 cm de diamètre. Un évidement 111, ménagé dans la partie inférieure de la plaque 106 de mandrin, constitue une chemise de refroidissement pour l'électrode. Les canaux à vide 108 sont réalisés dans des bossages 112 à peu près rectangulaires qui traversent la chemise de refroidissement. Des ouvertures 67 sont réalisées à travers des bossages à peu près rectangulaires 113 et débouchent à la surface supérieure de la plaque de mandrin afin de permettre le passage des doigts du transporteur destinés au transfert des galettes. Une zone massive 116 est formée sur la face inférieure de la plaque de mandrin, sur un côté de la chemise de refroidissement. Un tube 117 de distribution de fluide de refroidissement, présentant plusieurs orifices 118 de décharge, s'étend dans la chemise, entre les *bossages rectangulaires, et communique avec un canal 119 d'entrée ménagé dans la zone massive. Un canal 121 de sortie du fluide de refroidissement est réalisé dans la zone massive et communique directement avec la chemise à eau. Des trous taraudés 122 sont réalisés dans la partie inférieure de la zone massive afin de recevoir des vis (non représentées) au moyen desquelles l'électrode est fixée au bras oscillant. L'électrode 2a comporte également une plaque 126 d'étanchéité qui est montée dans un lamage 127 zéalisé dans la face inférieure de la plaque 106 de mandrin. Les ouvertures 67 destinées au passage des doigts de transfert des galettes traversent cette plaque et des fentes 108a sont également réalisées à travers la plaque, en alignement avec les canaux 108 à vide. La surface supérieure de la plaque porte contre les surfaces inférieures d'épaulements 112, 113 et de la zone massive de la plaque de mandrin afin de former une structure étanche aux fluides. Le canal 119 d'entrée du fluide de refroidissement et les trous 122 destinés à recevoir les vis de montage traversent la plaque 126, et une ouverture 128 de sortie du fluide de refroidissement est réalisée dans cette plaque, en alignement avec le canal 1210 L'électrode 24 comprend également une plaque 131 de distribution qui est montée sur les faces inférieures de la plaque 106 de mandrin et de la plaque 126 d'étanchéité. Un canal 132 de distribution est réalisé dans la surface supérieure de la plaque 131 et communique avec un orifice 133 d'entrée de vide traversant la plaque. Des canaux 136 partent latéralement du canal de distribution, ainsi qu'un canal central 137 de liaison. Les canaux 136 sont situés directement au- dessous des fentes 108a et communiquent avec les fentes 108 de la plaque de mandrin. Les ouvertures 67 destinées au passage des doigts traversent également la plaque de distribution, de même que l'orifice 119 d'entrée du fluide de refroidissement, l'orifice 128 de sortie du fluide de refroidissement et les trous 122 des vis de montage. La surface inférieure de la plaque 131 de distribution repose sur la surface supérieure du bras oscillant 92 de manière que le canal à vide et les - assises d'entrée et de sortie du fluide de refroidissement soient alignés avec les canaux correspondants ménagés dans le bras. Un orifice 141 d'aspiration est réalisé dans la paroi latérale 54, à proximité de l'électrode fixe 23, et est relié à une pompe 29 d'aspiration par un conduit 142 et une vanne 30 à étranglement. Le capteur 41 de fin de processus est monté dans la paroi latérale 56, dans une position à peu près opposée à celle de l'orifice 141 d'aspiration. Un tube 143 d'arrivée de gaz, ouvert vers le haut, est également monté dans la paroi latérale 56, à proximité immédiate du capteur 41. Dans certains procédés, il peut être souhaitable d'introduire certains gaz (par exemple des gaz de purge) au moyen de ce tube, bien que tous les gaz soient introduits à travers le plateau 73 dans la -forme préférée de réalisation de l'invention. Le fonctionnement et l'utilisation de l'appareil à réacteur, ainsi que le procédé de l'invention, peuvent à présent être décrits. On suppose que le calculateur 41 est programmé conformément au procédé à mettre en oeuvre, par exemple un procédé d'attaque ou de gravure du silicium, du Si3N4, du SiO2 ou de l'aluminium. Un magasin contenant les galettes à traiter est chargé sur un dispositif de réception situé à l'extrémité d'entrée du transporteur 13, et un magasin destiné à recevoir les galettes traitées est placé à l'extrémité de sortie du transporteur. Ce dernier entraîne les galettes une à une du magasin d'entrée vers la chambre de réaction. Lorsque chaque galette approche du sas 16 de charge, la chambre de ce sas est purgée avec un gaz inerte et la porte extérieure s'ouvre pour permettre le passage de la galette. La porte est ensuite fermée et la pression régnant à l'intérieur de la chambre du sas est réduite à un niveau inférieur à celui de la pression de la chambre du réacteur. La porte intérieure du sas 16 est ensuite ouverte et la galette est introduite dans la chambre de réaction. Lorsque la galette approche de l'électrode 24, elle est transférée, alors qu'elle est tournée vers le haut, des rails à balancier 2482K;D vers la surface supérieure de l'électrode au moyen des doigts 66 de transfert. Après que la galette a été transférée sur l'électrode 24, le moteur 26 est mis en marche pour la soulever du transporteur et le mandrin à vide est actionné afin de fixer la galette à l'électrode. Lorsque l'électrode 24 bascule vers l'électrode 23, la galette est amenée en position retournée ou face tournée vers le bas, au-dessus de la surface du plateau 73. Un gaz est introduit dans la chambre à travers le plateau-- poreux de l'électrode 23, et les électrodes sont mises sous tension afin d'ioniser le gaz et de former un plasma destiné à traiter la galette placée entre les électrodes. Lorsque le traitement est fini, ce qui est déterminé par le capteur 41, l'alimentation des électrodes est coupée et le moteur 26 est mis en marche pour ramener l'électrode 24 et la galette qu'elle porte vers la position montrée sur la figure 2. Le transporteur est ensuite remis en marche pour transférer la galette de l'électrode sur les rails du transporteur et pour la faire sortir de la chambre - par le sas 17 de sortie. Lorsque la galette approche du sas, la porte intérieure de ce dernier s'ouvre, puis se referme derrière la galette. La porte intérieure étant fermée, un gaz de purge est introduit dans la chambre du sas et la porte extérieure est ouverte pour permettre à la galette de sortir du sas. Lorsqu'une galette sort de la chambre de réaction, la galette suivante y pénètre et est transférée vers l'électrode 24 pour être traitée de la même manière que celle décrite ci- dessus. Les gaz de décharge sont retirés de la chambre de réaction par la pompe 29 d'aspiration et la valve 30 à étranglement maintient la pression souhaitée à l'intérieur de la chambre, cette pression étant déterminée par le capteur 39. Le fluide de refroidissement est mis en circulation à travers les électrodes afin de maintenir la température de ces dernières au niveau souhaité. L'invention présente un certain nombre de caractéristiques et d'avantages importants. Etant donné que l'appareil est commandé par un calculateur, son fonctionne- ment et le traitement réalisé sont totalement automatisés. On élimine ainsi le coût d'un opérateur et on obtient des cadences de production supérieures à celles possibles avec un appareil manuel. Le plasma est limité essentiellement à la zone comprise entre les électrodes et il est donc possible de réaliser le transporteur et d'autres éléments dans des matières pouvant autrement être affectées par le plasma. Un autre avantage important est que la chambre du réacteur n'est pas exposée à l'atmosphère, ce qui favorise son maintien à l'état propre et exempt d'impuretés. Il ressort de la description précédente que l'appareil et le procédé de l'invention permettent de graver ou traiter autrement des galettes à semi-conducteurs d'une manière très efficace. Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées à l'appareil décrit et représenté sans sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Appareil de traitement de galettes, caractérisé en ce qu'il comporte une chambre (10) de réaction, une première électrode (23) montée dans une position prédéterminée à!intérieur de la chambre, une seconde électrode (26) monrtée su Un bras pivotant (92) de manière à pouvoir se déplacer entre une position de réception d'une ga!lette, lignée de la premiere êctrode, et une position de traitement dcune galette, adjaoànte A la première 1 électrode, un transporteur {13). destiné à transporter une aette vers la seconde é_ec'rode et a!éloigner de la seconde électrode lorsque cette derniàre se trouve en positicn de réception d'une z3alette, un dispositif destiné à fixer la galette à la seconde électrode afin qu&elle se déplace avec cette dernière entre la position de réception et la position de traitemeint duune galette, un dispositif destiné a introduire un gaz réactif dans la chambre, et un dispositif destiné à alimenter!es électrodes en énergie électrique afin d'ioniser le gaz et de former un plasma pour le traitement de la galetie lpacée entre les électrodes lorsque la seconde électrode est en position de traitement, au-dessus de la première électrode. 2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que la première électrode (23) comprend un plateau (73) en matière poreuse à travers laquelle le gaz est introduit dans la chambre. 3. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que la première électrode comprend un corps (76) en matière conductrice du courant électrique, sur lequel le plateau est monté, la partie supérieure du corps présentant une chambre (79) de distribution de gaz située directement au-dessous du plateau, et un canal (86) d'arrivée de gaz communiquant avec cette chambre de distribution. 4. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif de fixation de la galette à la seconde électrode (24) comprend un mandrin à vide. 5. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le transporteur comprend un balancier comportant des rails allongés (61-63) relativement mobiles, destinés à transporter les galettes vers la seconde électrode et à les éloigner de cette électrode, et plusieurs doigts (66) reliés fonctionnellement aux rails et passant dans des ouvertures (67) de la seconde électrode afin de poser une galette sur la seconde électrode et de l'enlever de cette seconde électrode larsque cette dernière est en position de réception d'une galette. 6. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que 'La chambre de réaction présente des ouvertures d'entrée et de sortie '58, 59) équipées de sas 7. Appareil selon l'une des revendications 1 et 6, caractérisé en ce que son fonctionnement est commandé de manière prédéterminée par un calculateur 8. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que la seconde électrode (24) comprend un corps (106) qui comporte une paroi à peu près plane (107) sur laquelle la galette est reçue, une chambre