Brevet FR2477803A1 — publié le 19810911

La présente invention concerne un résonateur à quartz du type diapason à couplage de modes, et elle porte plus particulièrement sur la forme d'une électrode à proxi- mité du sommet d'une branche de diapason. Dans une montre électronique classique, on utilise un résonateur à quartz du type diapason qui emploie le mode de flexion d'une lame en coupe X à + 50. Ce résonateur à quartz du type diapason est avantageux en ce qui concerne la précision de marche du fait que la caractéristique fréquence- température est représentée par une parabole à la température ambiante. En outre, il présente également l'avantage d'avoir une faible consommation, du fait que la fréquence est basse. Cependant, même en utilisant ce résonateur, la précision de marche est d'environ vingt secondes par mois. Ainsi, pour améliorer encore davantage la préci- sion de marche et pour réaliser une montre électronique pouvant fonctionner longtemps, on a réalisé un résonateur à quartz du typé diapason à couplage de modesdont la caracté- ristique fréquence-température est une courbe cubique, avec une fréquence basse, à la température ambiante. Le résonateur à quartz du type diapason à coupla- ge de modesest décrit en détail dans les demandes de brevet JA 53-23903, 53-149499 et 53-149500. Dans le résonateur à quartz du type diapason à couplage de modescorrespondant à l'invention, on utilise un premier partiel du mode de flexion en tant que vibration principale et on utilise une vibration fondamentale du mode de torsion en tant que vibration secondaire. La figure 1 montre l'aspect externe du résonateur à quartz du type dia- pason à couplage de modesclassique. La référence 1 désigne le résonateur, la référence 2 désigne des broches de support, la référence 3 désigne de la soudure et la référence 4 dési- gne une embase. L'axe X est un axe électrique, l'axe Y' est un axe mécanique correspondant à une rotation par rapport à l'axe électrique et l'axe Z' est un axe optique correspon- dant à une rotation par rapport à l'axe électrique. Comme le montre la figure 1, les branches du diapason sont orientées dans la direction de l'axe Y'. La fréquence est d'environ kHz. On désigne par f F la fréquence de résonance du premier partiel du mode de flexion (F1) et par fT la fré- quence de résonance de la vibration fondamentale du mode de torsion (T0). fF et fT sont ainsi les valeurs à la tempéra- ture de 200C. La différence entre fF et fT est désignée par Af = fF - fT' La caractéristique fréquence-température du résonateur à quartz du type diapason à couplage de modesest déterminée par Af. Lorsque Af a la valeur spécifiée AfO, on obtient une caractéristique fréquence-température qui est une courbe cubique à la température ambiante. Dans la fabri- cation en grande série du résonateur à quartz du type diapa- son à couplage de modes,on se trouve en présence du problème de la dispersion des fréquences fF et fTy à cause de la variation inévitable des dimensions externes des résonateurs en fabrication en grande série. Ceci entraîne une dispersion sur Af et la caractéristique fréquencetempérature devient finalement différente. On se trouve en outre en présence du problème qui consiste en ce que la fréquence de résonance de la vibration principale ne prend pas une valeur fixe, de la même manière que dans le cas du résonateur à un seul mode. Ainsi, pour fabriquer en grande série le résonateur à quartz du type diapason à couplage de modes, il est essentiel d'ajuster la caractéristique fréquence-température et la fréquence de résonance de la vibration principale. L'invention a pour but d'ajuster la caractéristi- que fréquence-température et d'ajuster la fréquence de résonance f. à la valeur désirée fFO0 L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre de modes de réalisation et en se référant aux dessins annexés sur lesquels: La figure 1 montre l'aspect du résonateur à quartz du type diapason à couplage de modesclassique. La figure 2 montre la distribution d'amplitude du mode de flexion (F1) et du mode de torsion (T0). La figure 3 montre le procédé d'ajustage de Af et f. par dép8t. La figure 4 montre le procédé d'ajustage de Of et fF par laser. La figure 5 montre l'électrode 8 destinée à l'ajus- tage de Af et l'électrode 9 destinée à l'ajustage de fF dis- posées à proximité du sommet de la branche de diapason. La figure 6 montre l'électrode en forme de trian- gle posé sur un sommet qui est destinée à l'ajustage de fF' La figure 7 montre l'état dans lequel la pellicule métallique est déposée sous la forme d'une bande longue et étroite. La figure 8 montre les valeurs f F et fT obtenues avec des largeurs 10', 11', 12' et 13' correspondant aux largeurs 10, 11, 12 et 13 représentées sur la figure 7. La figure 9 montre la différence des variations de la caractéristique fréquence-température entre le cas du dépôt de la pellicule métallique sur l'un des plans de la branche de diapason et le cas du dépôt de la pellicule métallique sur les deux plans de la branche de diapason. La figure 10 représente un autre mode de réalisa- tion de l'invention. La figure 11 représente encore un autre mode de réalisation de l'invention. La figure 12 est destinée à l'explication de l'opé- ration d'ajustage de fF et de Af. La figure13 montre l'électrode destinée à effec- tuer l'ajustage fin de fFI une fois que cet ajustage fin a été effectué. Les figures 14 et 15 sont des dessins destinés à l'explication de la forme de l'électrode destinée à l'ajus- tage fin de fF# La figurel6 est un dessin destiné à l'explication de la différence entre le plan +Z' et le plan -Z'. Les figures 17, 18, 19 et20 montrent d'autres modes de réalisation correspondant à l'invention. La figure 21 montre la forme de l'électrode desti- née à l'ajustage fin de fF. On se reportera maintenant à la figure 2 qui montre la distribution de l'amplitude de déplacement de F1 dans la direction X, soit UX, et la distribution des angles de tor- sion de T0, soit À, par rapport à l'axe de la branche de diapason. Les références A, B, C, D et E portées sur l'axe des abscisses correspondent respectivement aux parties A, B, C, D et E qui sont représentées sur la figure 1. Du fait que la partie D correspond au noeud de vibration de F1, si on dépose une pellicule métallique sur la partie D ou si on enlève la pellicule déposée par appli- cation d'un faisceau laser, fF ne varie que faiblement tan- dis que fT diminue ou augmente fortement. Si on désigne par P l'ajustage par dép8t de pelli- cule métallique et si on désigne par P' l'ajustage effectué par enlèvement de pellicule métallique au moyen du faisceau laser, l'état de Af et fF après ajustage est celui qui est représenté sur les figures 3 et 4. La figure 3 montre le cas du dép8t de la pellicule métallique et la figure 4 montre le cas de l'enlèvement de la pellicule métallique par applica- tion du faisceau laser. Sur les figures 3 et 4, la fréquence fF est décalée à partir de l'état initial 5 vers l'état intermédiaire 6 ern effectuant l'ajustage P ou P' et, dans cet état intermédiaire, 6f est ajustée à la valeur optimale Af O Dans l'état intermédiaire 6, fF n'est pas ajustée à la valeur désirée fFO' Il est maintenant nécessaire d'ajuster f F à fFO en maintenant if à Af0. Il existe un procédé qui consiste à déposer simplement la pellicule métallique entre les régions E et D représentées sur les figures 1 et 2, ou à enlever simplement la pellicule déposée par application du faisceau laser mais, avec ce procédé, Af change et ne conserve donc pas la valeur Af0 pendant l'ajustage faisant passer de fF à fF0O La figure 5 montre un mode de réalisation de la forme de l'électrode à proximité du sommet de la branche de diapason du résonateur à quartz du type diapason à couplage de modesqui correspond à l'invention. Les références E et D portées sur la figure 5 correspondent aux références E et D portées sur les figures 1 et 2. La référence 8 désigne la pellicule d'électrode qui est formée au noeud D de F1 et sur laquelle on effectue les ajustages P et P' qui sont représentés sur les figures 3 et 4. L'électrode 8 est appelée électrode pour l'ajus- tage de Af. La référence 9 désigne l'électrode destinée à ajuster fF à fFO en maintenant 4f àAfO, et cette électrode a la forme d'un triangle posé sur un sommet. On appelle l'électrode 9 électrode pour l'ajustage de fF. Si on dépose en outre la pellicule métallique sur la partie en forme de triangle posé sur le sommet de l'électrode d'ajustage de f., 9, ou si on enlève la pellicule métallique de la partie en forme de triangle posé sur le sommet de l'électrode d'ajus- tage de fFy 9, par application du faisceau laser, on peut ajuster fF à fFO en maintenant Af à Af. Les ajustages mentionnés ci-dessus sont représen- tés par Q sur la figure 3 et par Q' sur la figure 4. La référence 7 désigne l'état dans lequel Af et f F sont finale- ment ajustés respectivement à Af et fFO' On -va maintenant indiquer la raison pour laquelle on utilise la forme en triangles posés sur le sommet, comme il est indiqué en 9, pour l'électrode d'ajustage de fF' On désigne ici également par l'expression "triangle posé sur le sommet" la forme dans laquelle le sommet inférieur d'un triangle est tronqué, comme il est représenté sur la figure 6. Entre E et D, la variation de Ux est élevée mais la variation de Zest faible, comme le montre la figure 2. En outre, le déplacement produit pare- est plus faible près du centre de la branche de diapason et il est plus élevé au bord de la branche de diapason. Ux a des valeurs pratique- ment égales au centre comme au bord de la branche de diapa- son. Lorsque la pellicule de métal est déposée sur la partie hachurée avec les lignes obliques 14 sur la figure 7, avec des largeurs respectives 10, 11, 12 et 13, les varia- tions AfF et AT de fF et fT sont celles qui sont représen- tées sur la figure 8. Ainsi, lorsque la pellicule métallique est déposée avec une largeur 12, la diminution de fF est égale à la diminution de f. Autrement dit, il existe une largeur de dépôt de la pellicule métallique pour laquelle la diminu- tion de fF est égale à la diminution de fT' Lorsqu'on change la position de la partie 14 sur laquelle est effectué le dépôt, il existe une largeur pour laquelle AfF est égale à 5.h fT dans une certaine position changée. Du fait que UX diminue rapidement lorsque la position de la partie 14 s'approche de D, la largeur pour laquelle àfF devient égale à AfT devient également faible. Du fait que UX a une valeur élevée si la position de la partie 14 sur laquelle le dépôt est effectué s'approche de E, la largeur pour laquelle AfF devient égale à AfT devient grande. Ainsi, la forme de l'électrode d'ajustage de f F correspond au triangle posé sur un sommet. Les références 10', 11', 12' et 13' portées sur la figure 8 correspondent ainsi respectivement aux cas dans lesquels la pellicule métallique est déposée avec les lar- geurs 10, 11, 12 et 13 représentées sur la figure 7. En outre, AfF et àfT montrent la différence entre la fréquence lorsque la pellicule métallique est déposée et la fréquence lorsque la pellicule n'est pas déposée. Les raisons indiquées ci-dessus font qu'on peut augmenter f F et f de la même quantité lorsqu'on enlève de la pellicule métallique par application du faisceau laser pour ajuster fF' Pour ajuster àf et fFe on peut ajuster Af par dépôt et on peut ajuster fF par application du faisceau laser. De façon similaire, on peut ajuster f par applica- tion du faisceau laser et on peut ajuster fF par dépôt. Lorsqu'on effectue l'ajustage par application du faisceau laser, il est intéressant d'effectuer préalable- ment un dépôt ou un revêtement épais avec la pellicule métallique sur l'électrode d'ajustage de Lf ou sur l'élec- trode d'ajustage de fF' ou sur les deux, afin d'augmenter la valeur de l'ajustage. Le noeud de F1 se trouve dans la partie située vers 0,2 à partir du sommet de la branche de diapason, si on désigne par 1 la longueur de la branche de diapason. Il est alors nécessaire que l'électrode 8 destinée à l'ajustage de ff soit disposée dans une plage allant de 0,1 à 0,4 à partir du sommet de la branche de diapason et que l'électro- de d'ajustage de fF soit disposée dans la partie allant de 0 à 0,2. Il est en outre nécessaire que l'électrode de réglage de Af et l'électrode de réglage de fF soient fixées sur la face avant comme sur la face arrière de la branche de diapason. La raison en est la suivante. La variation de la caractéristique fréquence-température qui résulte de la dispersion en fabrication est représentée sur la figure 9 sur laquelle on a porté en ordonnée la variation (t) de fF lorsque la température varie de 0C à 400C et on a porté en abscisse Af. Les cercles pleins représententA en fonction de tf. Lorsqu'on dépose la pellicule métallique sur l'élec- trode d'ajustage de Af du plan -Z' du résonateur ayant la caractéristique qui correspond au point 16, la caractéristi- que fréquence-température change de la manière qui est indi- quée par la flèche 18. Lorsqu'on effectue en ce qui concerne le plan +Z' une opération identique à celle indiquée ci-dessus, la caractéristique fréquence-température change de la manière qui est indiquée par la flèche 19. Lorsqu'on dépose la pellicule métallique sur l'électrode de réglage de Af sur le plan -Z' et sur le plan +Z', la caractéristique fréquencetempérature change de la manière qu'indique la flèche 20. Lorsqu'une opération identique à celle indiquée ci-dessus est effectuée uniquement pour le plan -Z', unique- ment pour le plan +Z' ou à la fois pour le plan +Z' et le plan -Z' du résonateur ayant la caractéristique qui corres- pond au point 17, la caractéristique fréquence-température change selon les manières qui sont respectivement indiquées par les flèches 21, 22 et 23. Lorsque la pellicule métalli- que est déposée uniquement sur l'électrode de réglage de àf de l'un des plans, la variation 6 du résonateur qui est représenté, par le point 16 ainsi que la variation A du résonateur qui est représenté par le point 17 diminuent fortement mais les valeurs de Af sont différentes lorsque Es 0. Cependant, lorsque la pellicule métallique est déposée sur l'électrode de réglage de f des deux plans, la variation A des deux résonateurs diminue fortement lorsque Af est égal à Af., comme le montrent les flèches 20 et 23. Ceci consti- tue un avantage important du fait qu'on peut ajuster la caractéristique fréquence-température en définissant Af dans la fabrication en grande série. Ainsi, lorsque la pellicule métallique d'ajustage de àf qui a été ajustée préalablement est enlevée à l'aide du faisceau laser, on peut obtenir la caractéristique fréquence-température désirée, correspondant à la courbe cubique, pour hfO, en enlevant la pellicule métallique sur les deux plans. Il est nécessaire que l'électrode d'ajustage de fF soit placée sur les deux plans (le plan +Z et le plan -Z) de la branche de diapason et que les pellicules métalliques soient déposées ou enlevées sur les deux plans. Si l'opéra- tion indiquée ci-dessus n'est pas effectuée sur les deux plans, la caractéristique fréquence-température se décale, même si on ajuste fF à foF en maintenant hf à Af0. En -d'autres termes, la valeur de Af pour laquelle on obtient la caractéristique fréquence-température correspondant à une courbe cubique n'est pas f O. Ainsi, il est nécessaire que l'électrode d'ajustage de Af et l'électrode d'ajustage de fF soient disposées sur les deux plans et que l'opération d'ajustage soit effectuée sur les deux plans. La figure 10 représente un autre mode de réalisa- tion de l'invention. La référence 24 désigne l'électrode d'ajustage de f et la référence 25 désigne l'électrode d'ajustage de f La référence 25 montre que l'électrode qui est formée en tant qu'électrode d'ajustage de fF n'occupe que la partie inférieure de l'électrode d'ajustage de fFJ en forme de triangle posé sur le sommet, qui est représentée sur la figure 5. Comme il a été indiqué précédemment, on peut ajus- ter les paramètres f F et Af du résonateur à quartz du type diapason à couplage de mode en disposant l'électrode d'ajus- tage de Af comme l'électrode d'ajustage de fF sur les deux plans, à proximité du sommet de la branche de diapason. On peut ainsi augmenter la productivité de la fabrication en grande série. On se reportera maintenant à la figure 11 qui représente un mode de réalisation de la forme des électrodes de la branche de diapason correspondant à l'invention. L'électrode 5 dessinée avec les marques (t.\ ") est une élec- trode d'excitation, l'électrode 6 dessinée avec les marques (11111111) est une électrode d'ajustage grossier de fF9 l'élec- trode 7 dessinée avec les marques ( ( est une électrode d'ajustage de f et l'électrode 8 dessinée avec les marques ( È*) est une électrode d'ajustage fin de fF' L'axe Y' est parallèle à la plus grande dimension des branches du diapa- son. Sur l'axe Y', la base des branche du résonateur à quartz du type diapason est désignée par O et leurs extrémi- tés sont désignées par 1. On peut ajuster fF à fFO et on peut ajuster Af à Af0 en utilisant l'électrode 6 pour l'ajustage-grossier de fF9 l'électrode 7 pour l'ajustage de Af et l'électrode 8 pour l'ajustage fin de f F Le principe et le procédé utilisés sont expliqués ci-après. En retournant maintenant à la figure 2, on note que la valeur de Ux présente un ventre-de vibration au milieu de la branche de diapason, un noeud de vibration dans la partie D et atteint un maximum au sommet de la branche de diapason. La valeur de ZV atteint un maximum au sommet de la branche de diapason et diminue de façon monotone vers la base de la branche. L'électrode 6 pour l'ajustage grossier de fP, l'électrode 7 pour l'ajustage de Af et l'électrode 8 pour l'ajustage fin de fF sont respectivement disposées dans les parties qui correspondent aux régions 9, 10 et 11. La figure 12 montre les transitions de f F et fT lorsqu'on ajuste fF et Af en utilisant les électrodes mentionnées ci-dessus. On a porté les étapes d'ajustage sur l'axe des abscisses et la fréquence sur l'axe des ordonnées. Les éta- pes I, II, III et IV de l'axe des abscisses correspondent respectivement à l'état initial, à l'état après l'ajustage grossier de fF, à l'état après l'ajustage de Af et à l'état terminé. Les références A1, A2 et A3 désignent respectivement l'opération d'ajustage grossier de fF' l'opération d'ajustage de Af et l'opération d'ajustage fin de fF' On va tout d'abord expliquer l'opération A1 qui correspond à l'ajustage grossier de fF' L'électrode 6 pour l'ajustage grossier de fF se trouve dans la région 9 dans laquelle les valeurs de Ux comme de t sont élevées. Ainsi, les valeurs de fF et fT augmentent lorsqu'on enlève une partie de l'électrode située dans la région 9, par applica- tion du faisceau laser. Lorsque fF atteint une valeur infé- rieure d'environ 100 ppm à fFO' l'opération A1 correspondant à l'ajustage grossier de fF est terminée et l'ajustage passe à l'étape II, c'est-àdire à l'état après ajustage grossier de fF' On effectue ensuite l'opération A2 correspondant à l'ajustage de Af. L'électrode 7 pour l'ajustage de Af est dans la région 10 dans laquelle UX est très faible et est élevé. De ce fait, fF n'augmente que faiblement et fT augmente fortement lorsqu'on enlève une partie de l'électro- de dans la région 10 par application du faisceau laser. Lorsque 1f atteint AfO' l'opération A2 correspondant à l'ajustage de Af est terminée et l'étape d'ajustage passe à l'étape III, c'est-à-dire l'état après ajustage de Af. On effectue enfin l'opération Acorrespondant à l'ajustage fin de fF' Dans cet ajustage fin, il est nécessaire d'ajuster fF à fFO en maintenant Af à AfO. On utilise ainsi l'électrode F0 O ayant la forme particulière qui est représentée sur la figu- re 11. La figure 13 montre le sommet des branches de diapason lorsqu'on ajuste l'électrode pour réaliser l'ajustage fin de fF par application du faisceau laser. La référence 12 dési- gne l'électrode d'ajustage fin de fF et la référence 13 dési- gne la trace formée après enlèvement d'une partie de l'élec- trode par application du faisceau laser. Dans l'opération A3 correspondant à l'ajustage fin de fF' on enlève une partie de l'électrode dans la direction de la largeur de la branche de diapason, comme le montre la figure 13. Lorsqu'on enlève une partie de l'électrode comme il a été indiqué précédem- ment, on peut ajuster fF à fFO en maintenant Af àAfo, du fait que fF et fT varient toujours de quantités égales. il L'étape d'ajustage passe alors à l'état achevé IV dans lequel fF correspond à fFO et dans lequel la caractéristique fréquence-température est une courbe cubique à la tempéra- ture ambiante. On va maintenant expliquer la raison pour laquelle on utilise l'électrode 8 ayant la forme particulière repré- sentée en tant qu'électrode d'ajustage fin de f F* Dans la région 11, la variation-de U est grande mais la variation de Z est faible, comme le montre la figure 2. Ainsi, l'amplitude générée par Vtest plus faible dans la partie proche du centre de la branche de diapason et est plus gran- de au bord de la branche de diapason. Ux-a approximativement la même valeur près du centre de la branche de diapason ou au bord de la branche de diapason. Lorsqu'on dépose la pellicule métallique dans la partie 16 hachurée avec des lignes obliques, avec des largeurs 12', 13', 14 et 15 indi- quées sur la figure 14, les variations hf F de fF et AfT de fT ont les valeurs qui sont indiquées sur la figure 15. Ainsi, lorsqu'on dépose la pellicule métallique avec la largeur 14, les diminutions de fF et fT deviennent mutuelle- ment égales. En d'autres termes, il existe une largeur de la pellicule métallique pour laquelle les diminutions de fF et fT deviennent mutuellement égales. Lorsqu'on modifie la position de la partie 16 o on effectue le dépôt, dans la direction longitudinale de la branche de diapason, il existe une largeur pour laquelle les variations f F et AfT devien- nent mutuellement égales. Lorsque la position de la partie 16 sur laquelle on effectue le dépôt s'approche de D, la largeur pour laquelle Af et àf sont égales diminue du fait que Ux diminue rapidement. Lorsque la position de la partie 16 sur laquelle on effectue le dépôt s'approche de E, la largeur pour laquelle AfF et Tsont égales augmente du fait que U' est élevé. Ainsi, l'électrode 8 pour le réglage fin de f F a la forme qui est indiquée sur la figure 11. Les points 12", 13", 14' et 15' sur la figure 15 correspondent alors respectivement aux cas dans lesquels la pellicule métallique est déposée avec les largeurs 12', 13', 14 et 15 sur la figure 14. AfF etàfT sont les différences entre la fréquence dans le cas o on dépose la pellicule métallique et la fréquence dans le cas o on ne dépose pas la pelli- cule métallique. Les raisons indiquées ci-dessus font qu'on peut augmenter fF et fT de valeurs égales par application du faisceau laser et enlèvement d'une partie de l'électrode d'ajustage fin de fF' Si on prend la valeur 1 pour la longueur de la branche de diapason, chaque électrode doit être placée dans la partie indiquée ci-dessous, définie à partir du sommet de la branche de diapason: Electrode d'ajustage fin de fF: 0 à 0,2, Electrode d'ajustage de Af: 0,1 à 0,4, Electrode d'ajustage grossier de fF: 0,3 à 0,5. De plus, les trois sortes d'électrodes mentionnées ci-dessus doivent être fixées avec la même épaisseur de pellicule sur les faces avant et arrière de la branche de diapason. La raison en est indiquée ci-après. La figure 16 montre la variation de la caractéris- tique fréquence-température qui résulte de la dispersion en fabrication et, sur cette figure, la variation (A) de fF entre 0 C et 40 C est portée le long de l'axe des ordonnées, tandis que Af est portée le long de l'axe des abscisses. Les cercles pleins montrent A en fonction de Af. Lorsqu'on enlève Uniquement l'électrode d'ajustage de Af du plan -Z' du résonateur ayant la caractéristique qui correspond au point 17, par application du faisceau laser, A varie de la manière qu'indique la flèche 19, et lorsqu'on n'enlève que l'électrode d'ajustage de Af du plan +Z', par application du faisceau laser, à varie de la manière qu'indique la flè- che 18. Lorsqu'on enlève les électrodes d'ajustage de hf du plan -Z' comme du plan +Z', par application du faisceau laser, à varie de la manière qu'indique la flèche 20. Lorsqu'on effectue la même opération seulement pour le plan -Z', seulement pour le plan +Z' ou pour les deux plans +Z' et -Z' du résonateur ayant la caractéristique qui correspond au point 21, tA varie de la manière qu'indiquent respective- ment les flèches 23, 22 ou 24. Lorsqu'on enlève uniquement l'électrode d'ajustage de Af de l'un des plans, les valeurs de Af pour lesquelles est nulle ne sont pas les mêmes pour le résonateur qui correspond au point 21 et pour le résona- teur qui correspond au point 17. Cependant, lorsqu'on enlève les électrodes d'ajustage de Af des deux plans, en appli- quant le faisceau laser, la valeur de A est nulle lorsque Af est égale à Afo,dans les deux résonateurs correspondant aux points 21 et 17, comme le montrent les flèches 20 et 24. Ceci constitue un avantage important du fait qu'on peut ajuster la caractéristique fréquence-température en agissant sur Af au cours de la fabrication en grande série. Les prin- cipes indiqués ci-dessus peuvent être appliqués à l'électro- de d'ajustage grossier de fF ou à l'électrode d'ajustage fin de fF. La figure 17 représente un autre mode de réalisa- tion de l'invention. La référence 25 désigne une électrode d'excitation, la référence 26 désigne une électrode d'ajus- tage grossier de fF9 la référence 27 désigne une électrode d'ajustage de Af et la référence 28 désigne une électrode d'ajustage fin de fF' L'électrode 26 destinée à l'ajustage grossier de fF9 l'électrode 27 destinée à l'ajustage de Af et l'électrode 28 destinée à l'ajustage fin de fF sont respectivement situées dans les régions 11, 10 et 9 indi- quées sur la figure 2. La forme de l'électrode 8 destinée à l'ajustage fin de fF qui est représentée sur la figure 11 et la forme de l'électrode 28 destinée à l'ajustage fin de fF qui est représertée sur la figure 17 sontinversées dans la grande dimension de la branche de diapason, du fait que UX est élevé au sommet du diapason pour l'électrode 8 destinée à l'ajustage fin de fF et que U est élevé dans la partie de base du diapason pour l'électrode 28 destinée à l'ajustage fin de fF. On peut effectuer l'ajustage de Af et fF par le procédé indiqué en relation avec la figure 12. Les électrodes doivent être placées dans les positions res- pectives suivantes: Electrode d'ajustage grossier de fF: O à 0,2, F Electrode d'ajustage de Af: 0,1 à 0,4, Electrode d'ajustage fin de fF: 0,2 à 0,5. La figure 18 représente un autre mode de réalisa- tion de l'invention. La référence 29 désigne l'électrode d'excitation de la vibration, la référence 30 désigne l'élec- trode d'ajustage deaf et la référence 31 désigne l'électro- de d'ajustage fin de fF' Ce mode de réalisation ne permet d'ajuster qu'un résonateur ayant une dispersion ne dépassant pas 100 ppm vis à vis de fF0 sans ajustage grossier de fF' du fait qu'il ne comporte pas d'électrode d'ajustage grossier de fF. Cependant, on peut également mettre en oeuvre ce pro- cédé en définissant les dimensions pour faire en sorte que la valeur moyenne de la dispersion de fF résultant du pro- cessus de fabrication soit égale à fFO' Les électrodes doi- vent être placées de la manière suivante: Electrode d'ajustage fin de fF: 0 à 0,2, Electrode d'ajustage de 4f: 0,1 à 0,5. La figure 19 représente un autre mode de réalisa- tion de l'invention. La référence 32 désigne l'électrode d'excitation, la référence 33 désigne l'électrode d'ajustage fin de fF' la référence 34 désigne l'électrode d'ajustage de Af et l'électrode d'ajustage grossier de fF est supprimée. Chaque électrode doit être placée de la manière suivante: Electrode d'ajustage fin de fF: 0,2 à 0,5, Electrode d'ajustage de ef: 0,1 à 0,4. La figure 20 représente un autre mode de réalisa- tion de l'invention. La référence 35 désigne l'électrode * d'excitation, les références 36 et 38 désignent les électro- des d'ajustage fin de fF et la référence 37 désigne l'élec- trode d'ajustage de Af. Dans ee mode de réalisation, il y a deux électrodes d'ajustage fin de f et l'ajustage fin de F l fF peut être effectué de façon encore plus précise en décou- pant tour à tour deux électrodes d'ajustage fin de fF, par application du faisceau laser. Chaque électrode doit 8tre placée de la manière suivante: Electrodes d'ajustage fin de fF: 0 à 0,2 et 0,2 à 0,5, Electrode d'ajustage de àf: 0,1 à 0,4. La figure 21 montre la forme de l'électrode d'ajus- tage fin de fF' Il y a deux formes: (a) et (b). Les angles Q et O' indiqués vont de 300 à 800. Les côtés 39 et 40 sont normalement des lignes courbes, comme le montre la figure 13, mais ils sont dessinés sous la forme de lignes droites sur les figures 11, 13, 14, 17, 18, 19 et 20, du fait que les courbures sont faibles. La forme qui est représentée sur la figure 21 est appelée "triangle" et O et O' sont appelés "angles entre la ligne oblique et la direction de la largeur de la branche de diapason". Il est bon que le métal soit préalablement déposé, pulvérisé ou plaqué avec une épaisseur élevée sur l'électro- de d'ajustage grossier de fFP l'électrode d'ajustage fin de fF et l'électrode d'ajustage de Af pour que le procédé d'ajustage indiqué cidessus puisse être mis en oeuvre efficacement. Dans les explications précédentes concernant l'invention, on a indiqué que tous les ajustages étaient effectués par application d'un faisceau laser. On peut cependant effectuer les ajustages par dépôt ou en procédant simultanément par dépôt et par application d'un faisceau laser. Dans les explications qui précèdent, on définit la caractéristique fréquence-température au moyen de Af, mais on peut également la définir au moyen de R (avec R _ fT/'F' fF et fT désignant les valeurs à 200C). On a alors: f F fT, du fait que jf 4 fF, et la forme de l'électrode d'ajustage fin de f F est approximati- vement identique à celle de l'électrode du cas dans lequel on définit la caractéristique fréquence-température au moyen de Af. Par exemple, f C 4 kHz, lorsque fF 200 kHz. Comme il a été indiqué précédemment, dans le résonateur à quartz du type diapason à couplage de modesuti- lisant le couplage du premier partiel du mode de flexion et de la vibration fondamentale du mode de torsion, on peut faire en sorte que l'électrode d'ajustage grossier de fF et l'électrode d'ajustage de Af soient disposées à proximité du sommet de la branche de diapason, et on ajuste f F et àf de façon à les faire correspondre aux valeurs fixées fFO et afo. L'invention permet d'augmenter la productivité de la fabrication du résonateur à quartz du type diapason à cou- plage de modes.En outre, l'utilisation dans une montre élec- tronique du résonateur à quartz du type diapason à couplage de modescorrespondant à l'invention permet d'obtenir une montre fonctionnant longtemps et ayant une précision élevée. Le principe de l'invention peut évidemment être également adapté à un résonateur à quartz du type diapason à couplage de modesutilisant d'autres modes. Ainsi, ce prin- cipe peut 8tre mis en oeuvre en disposant sur la branche de diapason l'électrode d'ajustage de la fréquence de résonance de la vibration principale et l'électrode d'ajustage de la caractéristique fréquence-température de la vibration prin- cipale. On entend par vibration principale le mode de vibra- tion dont l'oscillation est utilisée en pratique dans le circuit oscillateur. Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées au dispositif décrit et représenté, sans sortir du cadre de l'invention. 24778O3 REVENDICATIONS 1. Résonateur à quartz du type diapason à couplage de modes utilisant le couplage de deux modes de vibration différents, caractérisé en ce qu'il comporte une électrode d'ajustage de fF et une électrode d'ajustage de ûf, en dési- gnant par fF la fréquence de l'un des modes de vibration, par fT la fréquence de l'autre mode de vibration et par Lf la différence entre les deux fréquences fF et fT' 2. Résonateur à quartz du type diapason à couplage de modesselon la revendication 1, dans lequel la vibration fondamentale du mode de torsion est couplée au premier par- tiel du mode de flexion, caractérisé en ce qu'il comporte une électrode en forme de triangle posé sur un sommet, dans la partie comprise entre O et 0,2 à partir du sommet de la branche de diapason, et une électrode rectangulaire dans la partie comprise entre 091 et 0,4, sur les deux plans de la branche de diapason, la longueur de cette branche de diapa- son étant prise égale à 1. 3. Résonateur à quartz du type diapason à couplage de modesselon la revendication 1, dans lequel la vibration fondamentale du mode de torsion est couplée au premier par- tiel du mode de flexion, ce résonateur comprenant une élec- trode en forme de triangle posé sur un sommet dans la partie comprise entre O et 0,2 à partir du sommet de la branche de diapason et une électrode rectangulaire dans la partie com- prise entre 0,1 et 0,4, sur les deux plans, la longueur de la branche de diapason étant prise égale à 1, caractérisé en ce que l'électrode en forme de triangle posé sur un sommet et l'électrode rectangulaire sont partiellement enle- vées par application d'un faisceau laser, dans le but d'ajuster la caractéristique fréquence-température et la fréquence d'oscillation. 4. Résonateur à quartz du type diapason à couplage de modes selon la revendication 1, dans lequel la vibration fondamentale du mode de torsion est couplée au premier par- tiel du mode de flexion, ce résonateur comprenant une élec- trode en forme de triangle posé sur un sommet dans la partie comprise entre 0 et 0,2 à partir du sommet de la branche de diapason et une électrode rectangulaire dans la partie com- prise entre 0,1 et 0,4, sur les deux plans, la longueur de la branche de diapason étant prise égale à 1, caractérisé en ce que l'électrode en forme de triangle posé sur un sommet et l'électrode rectangulaire sont déposées sous la forme d'une pellicule métallique dans le but d'ajuster la caracté- ristique fréquence-température et la fréquence d'oscillation. 5. Résonateur à quartz du type diapason à couplage de modesselon la revendication 1, dans lequel la vibration fondamentale du mode de torsion est couplée au premier par- tiel du mode de flexion, ce résonateur comprenant une élec- trode en forme de triangle posé sur un sommet dans la partie comprise entre 0 et 0,2 à partir du sommet de la branche de diapason et une électrode rectangulaire dans la partie com- prise entre 0,1 et 0,4, sur les deux plans, la longueur de la branche de diapason étant prise égale à 1, caractérisé en ce que l'électrode en forme de triangle posé sur un sommet ou l'électrode rectangulaire est déposée sous la forme d'une pellicule métallique et l'autre électrode est partiellement enlevée par application d'un faisceau laser, dans le but d'ajuster la caractéristique fréquence-température et la fréquence d'oscillation. 6. Résonateur à quartz du type diapason à couplage de modesselon la revendication 1, dans lequel la vibration fondamentale du mode de torsion est couplée au premier par- tiel du mode de flexion, ce résonateur comprenant une élec- trode en forme de triangle posé sur un sommet dans la partie comprise entre 0 et 0,2 à partir du sommet de la branche de diapason et une électrode rectangulaire dans la partie coir.- prise entre 0,1 et 0,4, sur les deux plans, en prenant la longueur de la branche de diapason égale à 1, caractérisé en ce que l'électrode en forme de triangle posé sur un sommet ou l'électrode rectangulaire, ayant été déposée ou plaquée préalablement sous la forme d'une pellicule métalli- que épaisse, est partiellement enlevée par application d'un faisceau laser, tandis que l'autre électrode est déposée sous la forme de la pellicule métallique, afin d'ajuster la caractéristique fréquencetempérature et la fréquence d'oscillation. 7. Résonateur à quartz du type diapason à couplage de modesselon la revendication 1, dans lequel la vibration fondamentale du mode de torsion est couplée au premier par- tiel du mode de flexion, ce résonateur comprenant une élec- trode en forme de triangle posé sur un sommet dans la partie comprise entre 0 et 0,2 à partir du sommet de la branche de diapason et une électrode rectangulaire dans la partie com- prise entre 0,1 et 0,4, sur les deux plans, la longueur de la branche de diapason étant prise égale à 1, caractérisé en ce que l'électrode en forme de triangle posé sur un sommet comme l'électrode rectangulaire ayant été déposées ou plaquées préalablement sous la forme d'une pellicule métallique épaisse sont partiellement enlevées par applica- tion d'un faisceau laser dans le but d'ajuster la caracté- ristique fréquence-température et la fréquence d'oscilla- tion. 8. Résonateur à quartz du type diapason à couplage de modes, caractérisé en ce qu'il comporte, sur la branche de diapason, une électrode d'ajustage de la fréquence de résonance d'une vibration principale et une électrode d'ajustage de la caractéristique fréquencetempérature de la vibration principale. 9. Résonateur à quartz du type diapason à couplage de modes selon la revendication 8, utilisant le premier partiel du mode de flexion et la vibration fondamentale du mode de torsion, caractérisé en ce qu'il comporte sur la branche de diapason une électrode d'ajustage de fF et une électrode d'ajustage de.f ( - F fT), ou une électrode d'ajustage de R (=fT/fF) en désignant par fF la fréquence de résonance du mode de flexion et par fT la fréquence de résonance du mode de torsion à 200C. 10. Résonateur à quartz du type diapason à cou- plage de modes selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comporte une électrode en forme de triangle posé sur un sommet destinée à l'ajustage fin de fF, située dans la région comprise entre 0 et 0,2, une électrode d'ajustage de Af ou une électrode d'ajustage de R dans la région comprise entre 0,1 et 0,4 et une électrode d'ajustage grossier de fF dans la région comprise entre 0,3 et 0,5 à partir du sommet de la branche de diapason, la longueur totale de la branche de diapason du résonateur à quartz du type diapason à cou- plage de modes étant prise égale à 1. 11. Résonateur à quartz du type diapason à coupla- ge de modes selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comporte une électrode d'ajustage grossier de fF dans la région comprise entre 0 et 0,2 à partir du sommet de la branche de diapason, une électrode d'ajustage de Mf ou une électrode d'ajustage de R dans la région comprise entre 0,1 et 0,4 et une électrode triangulaire d'ajustage fin de fF dans la région comprise entre 0,2 et 0,5, la longueur totale de la branche de diapason du résonateur à quartz du type diapason à couplage de modes étant prise égale à 1. 12. Résonateur à quartz du type diapason à coupla- ge de modes selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comporte une électrode triangulaire d'ajustage fin de fF dans la région comprise entre 0 et 0,2 à partir du sommet de la branche de diapason, et une électrode d'ajustage de Lf dans la région comprise entre 0,1 et 0,5 ou une électrode d'ajustage de R dans la région comprise entre 0,1 et 0,5, la longueur totale de la branche de diapason du résonateur à quartz du type diapason à couplage de modesétant prise égale à 1. 13. Résonateur à quartz du type diapason à coupla- ge de modes selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comporte une électrode triangulaire d'ajustage fin de fF dans la région comprise entre 0,2 et 0,5 à partir du sommet de la branche de diapason, et une électrode d'ajus- tage de Af ou une électrode d'ajustage de R dans la région comprise entre 0,1 et 0,4 à partir du sommet de la branche de diapason, la longueur totale de la branche de diapason du résonateur à quartz du type diapason à couplage de modes étant prise égale à 1. 14. Résonateur à quartz du type diapason à coupla- ge de modes selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comporte une électrode triangulaire d'ajustage fin de fF dans la région comprise entre 0 et 0,2 ainsi que dans la région comprise entre 0,2 et 0,5 à partir du sommet de la branche de diapason, et une électrode d'ajustage de Af ou une électrode d'ajustage de R dans la région comprise entre 0,1 et 0,4 à partir du sommet de la branche de diapason, la longueur totale du résonateur à quartz du type diapason à couplage de modes étant prise égale à 1. 15. Résonateur à quartz du type diapason à cou- plage de modes selon l'une quelconque des revendications 9, , 12 ou 14, caractérisé en ce que l'angle entre une ligne oblique de l'électrode triangulaire d'ajustage fin de fF9 située dans la région comprise entre 0 et 0,2 à partir du sommet de la branche de diapason, et la direction de la lar- geur de la branche de diapason est compris entre 300 et 800, la longueur totale de la branche de diapason du résonateur à quartz du type diapason à couplage de modes étant prise égale à 1. 16. Résonateur à quartz du type diapason à cou- plage de modes selon l'une quelconque des revendications 9, 11, 13 ou 14, caractérisé en ce que l'angle entre une ligne oblique de l'électrode triangulaire d'ajustage fin de fF9 située dans la région comprise entre 0,2 et 0,5 à partir du sommet de la branche de diapason, et la direction de la largeur de la branche de diapason est compris entre 300 et 800, la longueur totale de la branche de diapason du réso- nateur à quartz du type diapason à couplage de modes étant prise égale à 1.