Brevet FR2478376A1 — publié le 19810918

La présente invention concerne un dispositif semi- conducteur possédant une structure semi-conductrice de silicium formée sur un substrat isolant, ainsi qu'un procédé de fabrication du dispositif. Les méthodes de fabrication à degré élevé d'intégration des dispositifs semi-conducteurs de type MOS (métal-oxyde-semi- conducteur) ont récemment progressé avec la mise au point d'un dispositif MOS de conception LSI (c'est-à-dire avec "intégration à grande échelle") comportant un élément semi-conducteur extrêmement petit, dont la dimension minimale est de 2 microns. En particulier, il a été mis au point, et utilisé en pratique, une mémoire MOS de conception LSI présentant une capacité de mémorisation "à grande échelle" atteignant 16 k-bits et 64 k-bits. Dans le but d'accroître l'intégration et de réduire la consommation d'énergie, il est devenu courant de former une cellule de mémorisation sous forme d'une structure du type E/R (c'est-à-dire transistor à enrichissement- résistance), dans laquelle on utilise des éléments de résistance élevée comme éléments de charge, au lieu d'une structure à 6 transistors dans laquelle une cellule de mémorisation est consti- tuée de six transistors MOS. La figure 1 des dessins annexés montre un schéma de circuit d'une cellule de mémorisation du type E/R. La cellule comporte des transistors MOS d'attaque du type à enri- chissement, désignés par les numéros de référence 2 et 4, dont les sources sont mises à la terre, des résistances de charge 6 et 8 connectées respectivement entre une borne VD d'alimentation élec- trique et les drains des transistors MOS 2 et 4, un transistor MOS de transfert du type à enrichissement, désigné par la référence 10, dont une extrémité du trajet de courant est connectée au drain du transistor MOS 2 et à la grille du transistor MOS 4, et un transistor MOS de transfert du type à enrichissement, désigné par ta réfé- rence 12, dont une extrémité du trajet de courant est connectée à la grille du transistor MOS 2 et au drain du transistor MOS 4. Les autres extrémités des trajets de courant des transistors MOS 10 et 12 sont connectées à des lignes de bits BLl et BL2, tandis que leurs grilles sont connectées à une ligne de mots WL, comme cela est courant. Les résistances de charge 6 et 8 ordinairement utilisées dans la cellule de mémorisation de type E/R sont formées de silicium polycristallin de manière à présenter des valeurs élevées de résis- tance allant de 1 Mcl à 100 M-:. Lorsque des éléments résistants présentant de telles valeurs élevées de résistance sont constitués de silicium polycristallin, il apparalt des problèmes qui sont dus au fait que la valeur de résistance d'éléments résistants varie en fonction des propriétés cristallographiques du silicium polycristal- lin (par exemple le rayon des particules de cristal) et des diffé- rences entre les conditions de croissance, et que la formation d'un contact ohmique entre des régions de silicium polycristallin à résistance élevée et des régions conductrices est difficile. On peut réaliser un contact ohmique en donnant à une région adjacente aux aires de contact une concentration en impuretés élevée. Toute- fois, les impuretés de la région à concentration élevée en impuretés diffusent de manière anormale (le long des frontières des parti- cules de cristal, par exemple) dans une région à faible concentra- tion en impuretés, de sorte que la valeur de résistance de la région fortement résistance s'abaisse. On examinera le cas d'une autre cellule de mémorisation, du type à quatre transistors et deux diodes, dans laquelle des diodes 14 et 16 sont utilisées comme éléments de charge, ainsi que le montre la figure 2, à la place des résistances de charge 6 et 8. Pour fixer la valeur de résistance en sens non passant des diodes 14 et 16 à plusieurs dizaines de M-1 ou davantage, il est néces- saire que la densité de courant en sens non passant de ces diodes soit fixée au-dessus de plusieurs nA/I>m. Toutefois, il est diffi- cile d'obtenir de telles propriétés à partir de ces diodes utili- sant le substrat de silicium ordinaire. De plus, les diodes formées au moyen du substrat de silicium demandent une aire plus importante que celle de résistances de charge formées de silicium polycristallin. Un but de l'invention est de proposer un dispositif semi-conducteur comportant des régions de jonction pn dont les pro- priétés électriques sont adaptées à leur utilisation comme éléments de charge dans la cellule de mémorisation, ainsi qu'un procédé de fabrication du dispositif semi-conducteur. Selon un mode de réalisation de l'invention, il est proposé un dispositif semi-conducteur comprenant un corps isolant, une couche de silicium formée sur le corps isolant, une première région semi-conductrice d'un premier type de conductivité formée dans une partie de la couche de silicium s'étendant de la surface de la couche de silicium jusqu'au corps isolant, et une deuxième région semi-conductrice d'un type de conductivité opposé à celui de la première région semi-conductrice, la deuxième région semi- conductrice étant formée dans une région adjacente à la première région semi-conductrice et coopérant avec la première jonction semi-conductrice pour former un élément de jonction pn. L'élément à jonction pn de ce dispositif semi-conduc- teur comporte des régions de type p et de type n qui sont formées sur la couche isolante de manière que les régions de type p et de type n puissent présenter une cristallinité médiocre, ce c i permettant que le courant en sens non passant soit élevé. De plus la couche isolante est formée de manière à présenter une certaine épaisseur dans l'aire superficielle de l'une des régions de type p et de type n qui forment l'élément de jonction pn, ce qui rend possible la formation d'une couche de câblage sur la couche iso- lante et l'accroissement de la densité d'intégration d'éléments. La description suivante, conçue à titre d'illustration de l'invention, vise à donner une meilleure compréhension de ses caractéristiques et avantages; elle s'appuie sur les dessins annexés, parmi lesquels: - les figures 1 et 2 sont des schémas de circuit montrant des cellules de mémorisation de la technique antérieure; - les figures 3A à 3F montrent un procédé de fabrica- tion d'un dispositif semi-conducteur selon un mode de réalisation de l'invention, qui comporte un élément à jonction pn pouvant être utilisé dans la cellule de mémorisation présentée sur la figure 2; - la figure 4 montre les propriétés électriques de l'élément à jonction pn présenté sur la figure 3F; - la figure 5 est une variante de la structure semi- conductrice présentée sur la figure 3B; et - les figures 6 et 7 montrent des variantes de la structure semi-conductrice présentée sur la figure 3E. Les figures 3A à 3F présentent le processus de fabri- cation d'un dispositif semi-conducteur comportant un élément à Jonction pn qui est efficacement utilise comme diode, 14 ou 16, dans la cellule de mémerisation présentée sur la figure 2. Comme on peut le voir sur la figure 3A, on dépose du silicium à la surface d'un substrat isolant ou de saphir, 22 de manière à former une couche 20 de silicium de type p dont l'épaisseur est d'environ 0,8>Im (soit 8 000 A). On forme à la surface de la couche de silicium 20 une pellicule de dioxyde de silicium (SiO2) désignée par la référence 24 sous une épaisseur d'environ 1 000 A, et, à la surface de la pelli- ceule 24 de SiO2, on forme une pellicule 26 de nitrure de silicium (Si N,) d'une épaisseur d'environ 1 000 A. Les pellicules de SiO2 et Si3N4 sont ensuite sélectivement éliminées afin de laisser une région d'élément prédéterminée. Comme le montre la figure 3B, on décape la couche de silicium 20 qui ne se trouve pas sous la région de l'élément, et cela jusqu'à une profondeur d'environ 4 000 X (soit la moitié de l'épaisseur initiale). Comme le montre la figure 3C, on décape sélectivement les pellicules 24 et 26 de SiO2 et Si3N4 de manière à former un trou, ou intervalle, 28 divisant en deux parties les pellicules 24 et 26 de Si 2 et Si3N4. Ensuite, on injecte à travers le trou 28, dans la couche de silicium.20, des impuretés de type p, par exemple du bore, l une concentration de 5 x 10 atomes/cm au moyen d'une technique d'injection d'ions et sous une tension d'injection de S0 keV. On oxyde par voie humide, à une température de 1000%C, la surface exposée du substrat semi-conducteur ainsi formée de manière à former des couches d'oxyde 30, 32 et 34, que l'on peut voir sur la figure 3D. On poursuit ces opérations d'oxydation jusqu'à ce que les couches d'oxyde 30 et 32 atteignent le substrac de saphir 22. La couche 20 de silicium de type p se trouvant dans la région de l'élément est donc séparées d'autres régions par ces couches 30 et 32 de SiO. On forme la couche 34 de SiO de manière que la distance 2 2 entre l'envers de la couche 34 et la surface supérieure du corps isolant 22 soit rendue à peu près égale à 4 000 A. Les impuretés de bore injectées sous forme ionique dans la couche de silicium 20 pendant l'opération précédente subissent un recuit dans l'opération d'oxydation, ce qui forme une région de type p 35 sous la couche d'oxyde 34, et cette région de type p 35 coopère avec la couche 34 de SiO de manière à diviser la couche de silicium 20 en deux régions 20-1 et 20-2. Après l'opération d'oxydation, on élimine par décapage les pellicules 24 et 26 de SiO2 et Si3N4. A l'aide du processus MOS habituel de formation de grille de silicium, on forme, sur une partie de la surface de la couche de silicium 20-1 une région de grille 36 comportant la pellicule de SiO2 de 1 000 A et une couche de silicium polycristallin formée sur la pellicule de SiO tandis qu'on forme sur la pellicule 34 de SiO2 une couche de câblage 38- en silicium polycristallin. On forme ensuite, à la surface de la structure semi-conductrice ainsi constituée, une couche de verre au phosphosilicane (PSG) (l'opéra- tion correspondante n'est pas représentée), et on fait diffuser du phosphore de la couche de verre dans la couche 20 de silicium de type p à une température d'environ 10000C. On élimine ensuite par décapage la couche de verre de phosphosilicate. Ainsi, dans la couche de silicium 201, sont formées des régions de type n+ 40 et 42 qui servent de source et de drain à un transistor MOS, tandis que la couche de silicium 20-2 est transformée en une région de type n+ 44 qui coopère avec la région de type p 35 pour former un élément à jonction pn. Lorsque la structure semi-conductrice présentée sur la figure 3E a été formée de la manière indiquée ci-dessus, on fait successivement déposer, par la méthode CVD (dépôt de vapeur par voie chimique) sur les couches 30, 32 et 34 de SiO2 et sur la région de grille 36 une couche 46 de SiO2, puis une couche 48 de verre au phosphosilicate (PSG). Ensuite, on élimine par décapage la couche 46 de SiO2 et la couche 48 de verre au phosphosilicate, de manière à partiellement exposer des surfaces de régions de type n+ 40, 42 et 44. Ensuite, on dépose de l'aluminium sous forme vapeur sur les parties exposées des régions 40, 42 et 44 de type n et de la couche 48 de verre au phosphosilicate, et on élimine sélectivement par décapage la couche d'aluminium ainsi formée pour obtenir des élec- trodes 50, 52 et 54 relativement aux régions 40, 42 et 44 de type n+. Comme on peut le voir dans le dispositif semi- conducteur présenté sur la figure 3F, par exemple, l'élément à jonction pn qui peut servir de diode 14 ou 16 pour la mémoire de la figurc 2 est formé de la région de type p 35 et de la région de type n+ 44. Dans ce cas, on donne à l'élément à jonction pn une largeur de 5 Pm et une largeur de 4 000 A, par exemple. La figure 4 montre la caractéristique tension-courant du dispositif à jonc- tion pn ainsi obtenu. Comme on peut le voir en examinant la caractéristique tension-courant de la figure 4, un courant inverse IR de 5 x 10 A passe dans la diode lorsqu'on lui applique une tension inverse VR de 5 V. La diode présentant cette caractéristique IR-VR peut donc être effectivement utilisée comme diode 14 ou 16 dans la cellule de mémorisation de la figure 2. Avec cette diode, le courant de sens passant IF croît exponentiellement en fonction de la tension directe VF lorsque celle-ci est supérieure à 0,5 V, ce qui repré- sente la caractéristique ordinaire d'une diode en sens passant. Dans le cas d'un dispositif à jonction pn formé sur un substrat iso- lant du type SOS (c'est-à-dire silicium-sur-saphir), il est possible d'obtenir une diode présentant un tel courant inverse important, puisque les courants de création et de recombinaison sont grands. Comme le montrent clairement les figures 3E et 3F, on peut donner à la couche 34 de SiO2 formée sur la couche de type p 35 une épaisseur suffisante pour permettre la formation de la couche de cablage 38 sur la couche 34 de SiO2 de manière à accroltre le degré d'intégration des éléments. Alors que le mode de réalisation qui vient d'être décrit se rapporte à un mode de réalisation particulier, il faut comprendre que l'invention n'est pas limitée à ce mode de réalisa- tion. Comme le montre la figure 3B par exemple, la couche de sili- cium 20 qui ne se trouve pas sous la région d'élément est éliminée par décapage jusqu'à une épaisseur de 4000 A dans ce mode de réali- sation, mais il est également possible, comme cela est représenté sur la figure 5, de former un îlot 21 de silicium en éliminant complètement la partie de la couche de silicium 20 qui n'est pas présente dans la région d'élément. Ensuite, on peut effectuer les mêmes opérations que celles indiquées pour le mode de réalisation 24 78 3 7 6 décrit ci-dessus de façon à fabriquer un dispositif semi-conducteur présentant le même effet que celui réalisé par le dispositif décrit en relation avec les figures 3A à 3F. Dans le mode de réalisation décrit, comme le montre la figure 3E, on forme la région 35 de type p au voisinage immédiat de la région 42 de type n+ en dopant une partie de la couche de silicium 20 à l'aide de bore par la technique d'injection ionique, mais il est possible de former, comme le mettre la figure 6, une région de type p 56, qui fait fonction de région d'électrode, dans la région 42 de type n adjacente à la région 35 de type p en uti- lisant le processus CMOS habituel. On introduit du bore par la méthode d'injection ionique de façon à former la région 35 de type p dans le mode de réalisation décrit, mais il est possible d'introduire du bore et du phosphore dans leurs régions correspondantes au lieu d'appliquer la méthode d'injection ionique, comme le montre la figure 7, de manière à former une région de type p 58, qui coopère avec la région 44 de type n de manière à former l'élément à jonc- tion pn, ainsi qu'une région de type n 60 entre la région 58 de type p et la région 42 de type n+ Il n'est pas nécessaire que les régions 44 et 56 comportent une concentration élevée en impuretés, mais elles peuvent être respectivement formées de régions de type n et de type p. Dans le mode de réalisation décrit,-il est utilisé une couche 20 de silicium de type p-, mais il peut être utilisé une couche de silicium de type n-, les types de conductivité des autres régions étant alors inversés, ce qui permet d'obtenir le même effet que celui obtenu à l'aide du mode de réalisation décrit. On utilise du silicium polycristallin dans le mode de réalisation décrit pour former la couche de câblage et l'élec- trode de grille, mais il est également possible d'utiliser, à leur place, un métal à haut point de fusion, comme le molybdène ou le tungstène. Ce peut être un siliciure, comme le siliciure de molybdène, le siliciure de tungstène, le siliciure de titane et le siliciure de tantale, ou bien l'aluminium. Bien entendu, l'homme de l'art sera en mesure d'iinagi- ner, à partir du procédé et du dispositif dont la description vient d'être donnée à titre simplement illustratif et nullement limitatif, diverses autres variantes et modifications ne sortant pas du cadre de l'invention. L E V E N D I C A T I 0 N S 1 - Dispositif semi-conducteur comprenant un corps isolant (24), une couche de silicium (20) formée sur le corps iso- lant, une première région semi-conductrice (35) d'un premier type de conductivité formée dans une partie de la couche de silicium. et une deuxième région semi-conductrice (44) d'un deuxième type de conductivité opposé au premier type de conductivité, la deuxième région semiconductrice étant formée au voisinage immédiat de la première région semiconductrice et coopérant avec celle-ci pour former un élément à jonction pn, le dispositif étant caractérisé par une région isolante (24) formée au moins dans l'aire superficielle de la première région semi-conductrice (35). 2 - Dispositif semi-conducteur selon la revendica- tion 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre (figure 6) une troisième région semi-conductrice (56) du premier type de conduc- tivité úormée en un emplacement séparé de la deuxième région semi- conductrice (44) et adjacent à la première région semi-conductrice (35), cette troisième région possédant une concentrationen impure- tés plus élevée que celle de la première région semi-conductrice. 3 - Dispositif semi-conducteur selon-la revendication 2. caractérisé en ce qu'il comporte en outre une quatrième région semi- conductrice (42) du deuxième type de conductivité formée en un emplacement séparé de la deuxième région semi-conductrice et adja- cent à la troisième région semi-conductrice, une cinquième région semiiconductrice (40) du deuxième type de conductivité formée en un emplacement séparé de la quatrième région semi-conductrice, et une région de grille '36) déposée de manière électriquement isolée entre la quatrième et la cinquième région semi-conductrice. 4 - Dispositif semi-conducteur selon la revendication 1, 2 ou 3, caractérisé en ce que la couche de silicium (2i) est formëe dans une aire limitée. - Dispositif semi-conducteur selon la revendication 1, 2 ou 3, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une couche isolante (24, 26) qui enferme la couche de silicium et définit un îlot de silicium. 2 4 78 3 7 6 6 - Dispositif semi-conducteur selon la revendica- tion 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre (figure 3E) une troisième région semi-conductrice (42) du deuxième type de conduc- tivité formée en un emplacement séparé de la deuxième région semi- conductrice (44) et adjacent à la première région semi-conductrice (35), une quatrième région semi-conductrice (40) du deuxième type de conductivité formée en un emplacement séparé de la troisième région semiconductrice, et une région de grille (36) déposée de manière électriquement isolée entre la troisième et la quatrième région semi-conductrice. 7 - Dispositif semi-conducteurselon la revendica- tion 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre (figure 7) une troisième région semi-conductrice (60) du deuxième type de conduc- tivité formée en un emplacement séparé de la deuxième région semi- conductrice (44) et adjacent à la première région semi-conductrice (35). 8 - Dispositif semi-conducteur selon la revendica- tion 7, caractérisé en ce que la région isolante (34) est formée au moins dans l'aire superficielle de la troisième région semi- conductrice (60). 9 - Dispositif semi-conducteur selon la revendica- tion 7 ou 8, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une qua- trième région semi-conductrice (42) du deuxième type de conducti- vité formée en un emplacement séparé de la deuxième région semi- conductrice (44) et adjacent à la troisième région semi-conductrice (60), une cinquième région semi-conductrice (40) du deuxième type de conductivité formée en un emplacement séparé de la quatrième région semiconductrice, et une région de grille (36) déposée de manière électriquement isolée entre la quatrième et la cinquième région semi-conductrice. - Dispositif semi-conducteur selon la revendica- tion 9, caractérisé en ce qu'il comporte une couche conductrice (38) formée sur la région isolante (34). 11 - Dispositif semi-conducteur selon la revendica- tion 9, caractérisé en ce que la première région semi-conductrice est formée de manière à atteindre le corps isolant (22). 2 478 3 7 6 12 - Dispositif semi-conducteur selon la revendica- tion 6, caractérisé en ce qu'il comporte une couche conductrice (38) formée sur la région isolante (34). 13 - Dispositif semi-conducteur selon la revendica- tion 6, caractérisé en ce que la première région semi-conductrice est formée de manière à atteindre le corps isolant (22). 14 - Dispositif semi-conducteur selon l'une quelconque. des revendications 1, 2, 3, 7 et 8, caractérisé en ce qu'il comporte une couche conductrice (38) formée sur la région isolante (34). 15 - Dispositif semi-conducteur selon l'une quelconque des revendications 1, 2, 3, 7 et 8, caractérisé en ce que la pre- mière région-semi-conductrice est formée de manière à atteindre le corps isolant (22). 16 - Procédé de fabrication d'un dispositif semi- conducteur, comprenant les opérations qui consistent à former un îlot (20) de silicium sur un corps isolant (22), à former une pellicule isolante (24, 26) résistant aux acides sur l'îlot de silicium et sélectivement éliminer une partie de la couche isolante afin d'exposer partiellement la surface de l'îlot de silicium, à injecter des impuretés de dopage dans l'îlot de silicium à travers la surface exposée (28) afin de former une première région semi- conductrice (35) d'un premier type de conductivité, et à injec- ter des impuretés de dopage dans une région adjacente à la première région semi-conductrice afin de former une deuxième région semi- conductrice (44) d'un deuxième type de conductivité opposé au pre- mier type de conductivité, la deuxième région semi-conductrice coopérant avec la première région semi-conductrice afin de former un élément à jonction pn, le procédé étant caractérisé par une opé- ration consistant a former une région isolante (34) au moins dans l'aire superficielle de la première région semi-conductrice (35). - 17 - Procédé de fabrication selon la revendication 16, caractérisé en ce qu'il comprend en outre les opérations consistant à former une troisième région semi-conductrice (42) du deuxième type de conductivité en un emplacement séparé de la deuxième région semi- conductrice (44) et adjacent à la première région semi-conductrice (35), à former une quatrième région semi-conductrice (40) du 2 4 783 76 deuxième type de conductivité en une position séparée de la troisième région semi-conductrice (42), et à former une région de grille (36) déposée de manière électriquement isolante entre la troisième et la quatrième région semi-conductrice. 18 - Procédé selon la revendication 16, caractérisé en ce qu'il comprend en outre l'opération consistant à former une troisième région semi-conductrice (56) du premier type de conducti- vité en un emplacement adjacent à la première région semi-conductrice. 19 - Procédé selon la revendication 18, caractérisé en ce qu'il comprend en outre les opérations consistant à former une quatrième région semi-conductrice (42) du deuxième type de conducti- vité en un emplacement séparé de la deuxième région semi-conductrice (44) et adjacent à la troisième région semi-conductrice (56), à former une cinquième région semi-conductrice (40) du deuxième typé de conductivité séparée de la quatrième région semi-conductrice, et à former une région de grille (36) déposée de manière électriquement isolée entre la quatrième et la cinquième région semi-conductrice.