Brevet FR2478135A1 — publié le 19810918

- Ioo - L'invention concerne un procédé de nucléa- tion et de croissance d'un monocristal dans une enceinte tubulaire fermée et les monocristaux obtenus par ce procédé. Actuellement des monocristaux, tels que ceux de HgI2, sont préparés dans une enceinte fermée contenant une source du composé à monocristalliser portée à une température suffisante pour qu'une sublimation du composé à l'état de vapeur se produise, l'ensemble de l'enceinte étant maintenue à une température plus éle- vée que celle de la source. On opère la nucléation du cristal en un point froid de l'enceinte présentant une température beaucoup plus basse que celle du reste de l'enceinte. On effectue ensuite la croissance du cristal en maintenanat un gradient de température constant ou un gradient de température oscillant entre ledit point froid et le reste de l'enceinte. Le contr8le des paramètres qui gouvernent la nucléation et la croissance de monocristaux sans défauts structuraux est difficile. C'est la raison pour laquelle la croissance industrielle des couches monocristallines de semi-conducteurs est plus généralement effectuée dans un courant de gaz porteur dans un tube ouvert, la variation de pression entre l'entrée et la sortie du tube assurant la circu- lation. Ce procédé est employé avec succès pour obtenir des couches de faible épaisseur sur des plaques monocristallines de silicium. Il permet un contr8le rigoureux des paramètres qui gouvernent le dép8t, mais est complexe, coftteux et inadéquat pour l'obtention de monocristaux d'autres types. Il *:xiste donc -n besoin pour un procédé de production de mDnccristaux de bonne qualité et de haute pureté en enceinte fermée qui soit relativement simple à mettre en oeuvre, n'exige pas d'installations compliquées et onéreuses, et permette un aussi bon contr$le de. p- -aaètres que le dépSt en tube ouvert. Le but de l'invention est de fournir un tel procédé. L'invention concerne un procédé de nucléa- tion et de croissance d'un monocristal, caractérisé en ce que: A) on place une source du composé devant former le mono- cristal, ce composé étant choisi parmi un composé solide sublimable'à l'état de vapeur et un composé solide réactif susceptible d'une réaction réversible avec un gaz réactif en donnant un composé gazeux, a l'une des extrémités d'une enceinte de forme générale tubulaire, B) soit on fait le vide dans l'enceinte dans le cas ou la source est formée d'un composé solide sublimable, soit on remplit l'enceinte de gaz réactif, dans le cas o la source est formée d'un composé solide réactif, puis on ferme hermétiquement ladite enceinte, 0) on chauffe l'enceinte tubulaire de manière à créer dans celle-ci une zone de source et une zone de dép8t et de puits à températures uniformes diffé- rentes, la zone de source incluant la source de composé et étant chauffée à une température T8 à laquelle se produit la sublimation ou la réaction du composé, et la zone de dép8t et de puits incluant l'extrémité de l'enceinte opposée à la source et étant chauffée à une température T inférieure à T8, à laquelle de la vapeur se condense ou du composé se dissocie en redonnant le composé solide avec dépôt de matière sur un puits localisé de ladite matière préalablement formé, situé à cette extrémité ou au voisinage de celle-ci, et les zones à températures uniformes différentes étant reliées par une zone de transition à gradient de température, D) à régler initialement l'écart de température entre la zone de source et la zone de dép8t et de puits, à une valeur suffisamment petite jusqu'à apparition d'un germe dans la zone de dépôt de l'enceinte en un point situé en amont du puits, E) à réduire cet écart de température, dès l'apparition du germe, afin d'éviter la nucléation d'autres germes et cela jusqu'à ce que le monocristal se développant sur le germe atteigne un volume d'au moins 1 mm3 environ, et F) à augmenter finalement cet écart de température pour accroître la vitesse de croissance du monocristal. Selon un mode de mise en oeuvre préféré, le composé servant de source est un composé solide sublimable. Le puits de matière peut Otre formé, par exemple, juste avant l'étape (C) en chauffant les deux zones A des températures T et Tp très différentes, de préférence en prévoyant de placer un petit cristal au voisinage de l'extrémité-puits de l'enceinte tubulaire afin de réduire le temps de formation du puits. Cette façon de réaliser le puits de matière est particulière- ment utile lorsqu'on utilise un tube de verre scellé sous vide comme enceinte tubulaire. Si, par contre, on utilisait une enceinte tubulaire démontable, on pourrait se contenter de déposer & l'extrémité-puits une matière analogue à celle formant la source. La formation d'un puits bien localisé avant de procéder aux étapes suivantes, est utile pour éviter que la matière déposée ne tapisse toute la zone de dép8t et de puits et pour obtenir un flux gazeux régulier. Selon une variante de mise en oeuvre du procédé de l'invention, la zone de dép8t et de puits est scindée en deux zones distinctes, à savoir une zone de dépôt et une zone de puits chauffées à des températures unifermes différentes Td et Tp, respectivement, la zone de dépet se trouvant entre la zone de source et la zone de puits et la relation Tas Td>)T étant satis- faite. Avec eete;e variante, les étapes (D), (E) et (F) s'appliquer; Sa 'éecart de température existant entre la zone de source et la zone de dép8t. La description qui va suivre, faite avec référence aux dessins annexés, fera bien comprendre l'invention. Sur les dessins: La figure 1 est un graphique illustrant la courbe de la sursaturation de la phase vapeur en fonc- tion de la distance à partir de la source dans le cas de l'emploi d'un four à deux zones de chauffage. La figure 2 est un graphique similaire à celui de la figure 1 mais dans le cas de l'emploi d'un four à trois zones de chauffage. La figure 3 est une vue schématique illus- trant la mise en oeuvre du procédé de l'invention. Le procédé de l'invention repose sur l'éta- blissezent d'un régime convectif forcé par création d'une chute de pression c P entre les extrémités d'une enceinte tubulaire fermée (appelée ci-après simplement ntubel) par la mise en place d'une source A. et d'un puits de matière Ap maintenus respectivement à des températures T. et T différentes. La source et le puits sont de mime nature. Le composé gazeux issu de la source doit avoir une pression partielle nettement supérieure à la somme des pressions partielles des autres constituants de la phase vapeur. Le procédé est applicable à tout trans- port régi par une réaction du type: Asolide + Bgaz 9 (AB)gaz (1) avec PAB> " i Pis Pi étant la pression partielle du constituant i, Ci étant étendue à tous les autres cons- tituants autres que AB. A la source: AOlide + Bgaz -- (B) (2) il y a production du composé gazeux majeur (AB) Au puits: (B)gaz solide gaz) la phase solide est créée avec disparition du composé gazeux majeur AB. D'autres réactions plus complexes peuvent prendre place à la source comme au puits. La seule restriction d'application du procédé est que le composé majeur soit créé à la source et disparaisse au puits. Une réaction de sublimation-condensation est un cas particulier, qui constitue un mode de mise en oeuvre préféré de l'invention, pour lequel aucun constituant gazeux B n'est nécessaire au transport de la phase solide A. Dans ce cas, on a simplement Asolide Agaz & la source Agaz A-_ solide au puits En régime laminaire la pression du composé gazeux majeur variera linéairement avec la distance Zx à partir de la source suivant l'équation P(x) - P(O) -sP.x/l (4) oû P(O) est la pression en x = O et 1 est la longueur du tube. La vitesse du composé gazeux majeur en régime de Poiseuille à une distance r de l'axe du tube sera z V = ( P/4 1) R2 E1 - (r2/R2)J (5) et la vitesse moyenne sera: v= (ôP/8s1) R2 (6) od 7 est la viscosité cinématique du gaz et R est le rayon du tube. Le flux de matière Js issu de la source est donné par l'équation: ' (0) JS- R sPB(0)/cCTr 2vm (7) et le flux de matière Jp qui se condense au puits sera s JP XC R2SPpB(l) m ( CITR2V(8) o PB(O) et PB(1)sont les pressions partielles de l'espèce B en x = 0 et en x = Ss et Sp sont respec- tivement les surfaces de la source et du puits, et - (0) et C (1) sont les sursaturations de la phase vapeur au-dessus de la source et du puits. Par ailleurs, les équations (9), (10) et (11) suivantes définissent la sursaturation en x = 0, en x = 1 et en X, (o) - (PA(O) / PB(O).K(Ts)) - I (9) Y (1) - (PAB() / PB(l).K(Tp)) - I (10) 6 () - (PAB(X) / PB().K(Tx)) (11) o K(T) est la constante d'équilibre de la réaction (1). L'expression de PA(x) est donnée par (4). Si la réaction est une réaction de subli- mation condensation, ces expressions restent valables à condition de supprimer PB. La constante d'équilibre K(T) sera alors la pression d'équilibre vapeur-solide. Les expressions (4) à (10) montrent que 5 paramètres déterminent le flux de gaz. - la différence de température Ts-T d'après (7) i (10) - la longueur et le rayon du tube d'après (6) - les surfaces de la source et du puits Sa et Sp d'après (7) et (8). D'autre part: à la source:'6(0) o PAB(l) / PB(l)> K(T) suivant (3) Du fait de la variation linéaire de PAB avec x, la sursaturation% (x) diminuera avec x dans toute la zone qui sera maintenue A la température de la source. Pour la m#me raison, 1 (x) diminuera avec x, donc augmentera avec la distance au puits dans toute la zone qui sera maintenue à la température du dép8t. Il en résultera une zone source et une zone condensation parfaitement distinctes si l'on adopte un profil de température à deux paliers isothermes Tset Tp. Avec un tel profil, on a: ) - (PAB(-')PB(x').K(Ts)) 1 (12) dans la zone source, et - () - ( x()/P(x).K()) -1 (13) dans la zone dép8t. En x -O, y (x) '(0) de dép8t jusqu'à la valeur (l) suivant (4) et (13). En début de la zone de dép8t,6 (x) atteint sa valeur maximale. C'est donc en ce point que la fréquence de nucléatioA et la cinétique de croissance seront-les plus élevés. La figure 1 illustre un profil type de la courbe Y(x) en fonction de x, dans le cas de l'emploi d'un four à deux zones. Pour des valeurs de Te et Tp données, la valeur maximale de Y augmentera avec l'inverse de la distance de la position moyenne xg du gradient, donc par réduction de la longueur de la zone de source, suivant (4). De la même façon, pour des valeurs de Ts, Tp et xg données, cette valeur maximale diminuera avec l'inverse de la longueur 1 du tube. Un four à deux zones permettra ainsi de régler la vitesse du flux gazeux par le choix de Te - Tp, de la longueur, du rayon du tube et des surfaces de-la source et du puits, et la fréquence de nucléation et la cinétique par le choix des paramètres précédents, de Tp et de la position xg du gradient de température. Dans le cas o la constante d'équilibre K(T) ne varie pas suffisamment avec la température, il sera préférable d'utiliser un four à trois zones isother- mes: une zone source à T8, une zone de dép8t à Td, et une zone puits à T. La vitesse du flux gazeux d6- pendra des cinq parametres, T-Tp, R, 1 Ss et Sp. La sursaturation sera donnée par (12) dans la zone source, par 6(x) = ( (x)/PB(x).K(Td)) - 1 (14), dans la zone de dép8t, et 6(x) (PAB(x)/PB(x)o (Tp)) - (15), dans la zone du puits. (x),.6(0) dép8t est éloignée de la source, en accord avec (4). Elle croit ensuite du fait de la décroissance de K(T), de la valeur K(T) à la valeur K(Td) jusqu'à une valeur d'autant plus élevée que x est faible, pour décro tre ensuite en accord avec (4). Elle recroit ensuite dans la zone du second gradient pour redécrottre jusqu'à la valeurn(l). Si la différence entre les températures des zones dép8t et puits est grande, le second gradient sera étendu. Il conviendra donc de choisir un tube suffisamment long pour maintenir une zone dép8t isotherme. La figure 2 illustre un profil typique de la courbe6(x) en fonction de x dans le cas de l'emploi d'un four à trois zones. La fréquence de nucléation et la cinétique de croissance dépendent de %(x) et Td Le four à trois zones permet donc de régler indépen- damment la vitesse du flux gazeux, et la cinétique de nucléation et de croissance par les choix indépendants de T,-Tp et de Ts-Td. Dans la pratique, on pourra opérer, par exem- ple, comme suit: Cas d'un four à deux zones: En premier lieu, il convient d'introduire de la matière source et puits dans le tube. Le diamètre du tube sera choisi en fonction de la limite du procédé. Cette limite est obtenue lorsque le cristal a une surface telle qu'il prend toute la matière qui provient de la source. Elle dépend donc de la surface de la source, et de celle du puits. Un choix d'une surface de source et de puits d'au moins trois & quatre fois supérieure à la surface du cristal désiré est une bonne garantie. De la même façon, le choix de la section du tube doit 8tre tel que le cristal désiré n'obstrue pas plus duquart de la section. Pour un tube 24 78135 de 18 mm de diamètre, la taille d'un cristal cubique ne devra pas être supérieure à 4 à 5 mm de c8té. La longueur du tube doit etre suffisante pour obtenir un flux important et une sursaturation maximale pas trop élevée. Des essais préalables sont nécessaires. La matière qui doit constituer la source et le puits est introduite dans le tube scellé sous vide propre. Elle est placée à une extrémité du tube. Le tube est ensuite placé dans un four à deux zones de chauffage, par exemple un four à circulations d'huile, l'extrémité du tube n'ayant pas de matière étant placée dans la zone à température moins élevée. Le puits est constitué par transport de la matière de la zone source vers la zone de puits sous une forte différence de températures *à-Tp. D'autres méthodes sont possibles pour constituer le puits (voir l'exemple 1). Des essais de nueléation sont alors conduits, de façon à choisir une différence de tempé- rature T.-T!p qui permette d'obtenir un nombre de germes créés inférieur à 5. Le choix de T2 n'est pas très critique, il suffit de choisir une température TIB à laquelle la matière de la source a une tension acceptable (de l'ordre de 10-2 Torr par exemple). Les germes sont localisés au début de la zone de dép8t et de puits là o X (x) atteint sa valeur maximale, Le nombre de germes créés doit rester stable pendant quelques jours, c'est-à-dire jusqu'à ce qu'ils aient une taille suffisante pour que la quantité de matière absorbée par la croissance appauvrisse suffisamment l'environnement des cristaux. Ces essais effectués, l'expérience est reprise, en partant d'un écart de température nul et en l'accroissant petit à petit, jusqu'à une valeur infé- rieure à celle des essais. Des l'apparition d'un germe, l'écart est légèrement réduit. le temps d'apparition peut aller d'une demi-journée à plus d'une journée. C'est la diminution de Tp et de ZàT qui permet de réduire la fréquence de nucléation. Tant que le cristal ne fait pas plus d'environ 1 mn3, on maintient inchangées les conditions. Après, l'écart & T est augmenté de façon à augmenter le flux gazeux. La taille limite appara!t lorsque la surface du cristal est de l'ordre de celles de la source et du puits. Il convient alors d'arrtter le chauffage. Si l'on poursuivait la crois- sance, les faces avant du cristal continueraient alors & croître, tandis que les faces arrière se détérioreraient. Les expériences sont reproductibles pour une mime valeur des paramètres: surface de source, de puits, longueur du tube, position de la zone de transition (Y). Pour des surfaces de source et de puits différentes, les écarts AT et la température Il nécessaires à l'obtention d'un seul germe seront p différentes, à T et Tp devant 8tre réduits si ces surfaces sont augmentées. Par contre, la taille limite augmentera avec ces surfaces. La vitesse de croissance est environ de 0,5 à 1 mm par jour. Cas d'un four à trois zones: Dans ce cas, on commence par établir une différence de température T -Tp qui donne une vitesse de condensation dans la zone de puits suffisante, à savoir 0,5 & 3 ma d'épaisseur par Jour. On peut, par exemple, faire cette détermination en plaçant un cristal dans la zone puits et en mesurant sa vitesse de croissance ou encore en plaçant un support de verre recouvert de microcristaux et en mesurant la quantité déposée, ceci sur des tubes témoins. Ceci étant fait, les essais de nucléation sont effec- tués par la recherche de l'écart entre les températu- res source Ta et dép8t Td de la mime façon que pour le four & deux zones. Ces essais sont effectués pour une vitesse de flux gazeux donnée. On peut donc rechercher à partir des écarts T-5Tp et Ts-Td la nucléation d'un 24781,35 lq seul germe avec la vitesse de flux la plus grande. Celle- ci peut, d'autre part, 8tre augmentée par augmentation de T-Tp, sans que la cinétique du cristal s'accroisse, il suffit alors d'augmenter Td. La taille limite possible est ainsi supérieure à celle d'un four à deux zones. L'emploi d'un four à trois zones constitue un mode de mise en oeuvre préféré, spécialement pour une production à l'échelle industrielle. Le procédé de l'invention peut être mis en oeuvre avec l'enceinte tubulaire en position horizon- tale ou verticale. L'expression "enceinte tubulaire" doit ttre prise dans un sens large et vent dire sim- plement que la majeure partie de l'enceinte est de forme tubulaire. Il n'est pas exclu, en particulier, que les parties extrêmes de l'enceinte contenant la source et le puits aient une configuration différente de eelle du reste de l'enceinte. L'enceinte peut ttre simplement formée d'un tube de verre scellé sous vide ou par des éléments assemblables munis de joints d'étanchéité et des vannes nécessaires au fonctionnement de l'ensembleo Le procédé de l'invention est applicable, comme on l'a dit, à des composés sublimables ou à des composés solides capables de subir une réaction réver- sible avec un gaz réactif en donnant un composé gazeux. Comme exemples de composés sublimables, on peut citer o dans des détecteurs de rayons X et 16 et comme semi- conducteurs. Dans le cas de -HgI2, la température Ts utilisée ne doit pas, bien entendu, excéder la température de transformation en-HgI2. On a trouvé que pour O-HgI2, on peut utiliser une température Ts comprise dans la gamme de 50 à 125 0 et un écart de température entre les zones de source et de dép8t allant de 0,100 (dans l'étape (E)) à 1000 C environ. L'enceinte doit ttre soigneusement nettoyée et le composé formant source doit Otre soigneusement purifié pour éviter que le monocristal ne contienne une proportion indésirable d'impuretés. Le vide fait dans l'enceinte à l'étape (B) doit être très poussé, par exemple de l'ordre de 10-7 Torr. Comme exemple de systèmes composés solides - gaz réactif, on peut citer le système Ge-I. Ce système fonc- tionne selon les réactions: réaction dissociation Ge + 4I GeI4 > Ge + 4I Les exemples non limitatifs suivants sont donnés pour illustrer l'invention: EXEMPLE 1 z Préparation d'un monocristal d'iodure mercurique de forme: Dans cet exemple, on a utilisé une installa- tion telle que représentée sur la figure 3. Cette instal- lation comprenait essentiellement un four en verre à circulation d'huile thermostatée comprenant deux zones de chauffage 2 et 3 de mSme longueur, épousant la forme de l'enceinte tubulaire 4. Cette dernière était constituée d'un simple tube de verre scellé à ses deux extrémités et était disposée à l'horizontale. L'en- semble était soigneusement revêtu de matière calorifuge pour éviter toute perturbation venue de l'extérieur. L'iodure mercurique utilisé est un iodure mercurique du commerce à 99% purifié par au moins trois sublimations successives dans une ampoule de verre scellé sous 10-6 Torr A la température ambiante, les ampoules ayant été nettoyées avec du "DECON 90" (une solution de décontamination) et rincées à la vapeur d'eau bidistillée pendant 12 heures au préalable. L'enceinte tubulaire employée avait un diamètre de 15 mm et une longueur de 150 ma et avait été nettoyée au DECON 90 et rincée & la vapeur d'eau bidistillée pendant 12 heures. On a placé 20 g de HgI2 purifié A l'une des extrémités de l'enceinte tubulaire puis, avant de sceller définitivement le tube, on l'a dégazé pendant plusieurs jours sur la pompe à vide. On a alors effectué les dép8ts source 6 et puits 7 en effectuant deux opérations de sublimation- condensation successives, chacune des extrémités jouant successivement le r8le de source (zone "chaude") et de puits (zone "froide"). Le produit adhere aux extrémités du tube et présente un aspect meicrocristallisé. Les surfaces de sublimation et de condensation dépendent de l'écart de température utilisé et peuvent *tre accrues au moyen de pointes Vigreux prévues aux deux extrémités du tube. Dans le cas du présent exemple, les surfaces de la source et du puits étaient similaires et égales à 23,5 u2 environ. Les dép8ts source et puits ayant été effec- tués, on a alors chauffé la zone de source à 107 00 et la zone de dépOt et de puits A 105 00. Le temps d'appa- rition d'un germe sur la paroi du tube au voisinage du début de la zone de dép8t et de puits est de 12 à 24 heures. Une fois que le cristal 8 a atteint un volume de 1 m3 environ, on a portéAT à 7 0 en dimi- nuant T à 10000 C. La taille limite du cristal apparatt p a 4,5 mm de c8t6é. La vitesse de croissance du cristal était de 0,2 à 0,3 nmm par jour. :EX LE 2: On a répété l'exemple 1, si ce n'est qu'on a utilisé une enceinte tubulaire de plus grand diamètre (25 mm) et de mime longueur (150 mn). Dans ce cas, la taille limite du monocristal est de l'ordre de 7 & 8 mm de c8té. Il est à noter qu'au lieu d'effectuer la nucléation et la croissance du monocristal sur la paroi interne du tube, on pourrait effectuer celles-ci sur un support ou piédestal disposé dans l'axe du tube, en particulier dans le cas o l'enceinte est disposée à la verticale. Il va de soi que les modes de réalisation décrits ne sont que des exemples et qu'ils pourraient ttre modifiée, notamment par substitution de moyens techniques équivalents, sans que l'on sorte pour cela du cadre de la présente invention. REVENDICATIONS 1. Un procédé de nucléation et de croissance d'un monocristal, caractérisé en ce que: A) on place une source (6) du composé devant former le monocristal, ce composé étant choisi parmi un composé solide sublimable à l'état de vapeur et un composé solide réactif susceptible d'une réaction réversible avec un gaz réactif en donnant un composé gazeux, & l'une des extrémités d'une enceinte (4) de forme générale tubulaire, B) soit on fait le vide dans l'enceinte dans le cas o la source est formée d'un composé solide sublimable, soit on remplit l'enceinte de gaz réactif, dans le cas o la source est formée d'un composé solide réactif, puis on ferme hermétiquement ladite enceinte, C) on chauffe l'enceinte tubulaire de manière & créer dans celle-ci une zone de source et une zone de dépSt et de puits à températures uniformes différentes, la zone de source incluant la source de composé et étant chauffée à une température T 5 à laquelle se produit la sublimation ou la réaction du composé, et la zone de dépôt et de puits incluant l'extrémité de l'enceinte opposée à la source et étant chauffée à une température T i inférieure à TAs à laquelle de la vapeur se condense ou du composé se dissocie en redonnant le composé solide avec dépet de matière sur un puits (7) localisé de ladite matière préalable- ment formé, situé à cette extrémité ou au voisinage de celle-ci, et les zones-à températures uniformes différentes étant reliées par une zone de transition à gradient de température, D) à régler initialement l'écart de température entre la zone de source et la zone de dép8t et de puits, à une valeur suffisamment petite jusqu'à apparition d'un germe dans la zone de dép8t de l'enceinte en un point situé en amont du puits, - E) à réduire cet écart de température, dès l'apparition du germe, afin d'éviter la nucléation d'autres ger- mes et cela jusqu'à ce que le monocristal (8) se développant sur le germe atteigne un volume d'au moins I Em3 environ, et F) à augmenter finalement cet écart de température pour accro1tre la vitesse de croissance du mono- cristal. 2. Un caractérisé en ce un composé solide 3. Un caractérisé en ce du O procédé selon la revendication 1, que le composé servant de source est sublimable. procédé selon la revendication 2, que le composé servant de source est 4. Un procédé selon l'une quelconque des revendications I à 3, caractérisé en ce que la zone de dép8t et de puits est scindée en une zone de dépit et une zone de puits distinctes chauffées & des tempé- ratures uniformes différentes T et T, respectivement, la zone de dép8t se trouvant entre la zone de source et la zone de puits et la relation T > Td > Tp étant satisfaite. selon l'un Caractéris (-HgI2. 5. Monocristaux obtenus par un procédé e quelconque des revendications I à 4. 6. Monocristaux selon la revendication 5, é en ce que ce sont des monocristaux de Procédé de nucléation et de croissance d'un monocristal dans une enceinte tubulaire fermée et produits obtenus. Invention: Robert Marcel Marie Henri CADORET Jean Eugène Marie OMALY Marc Antonin ROBERT. Etablissement public dit: CENTRAL NATIONAL D'ETUDES SPATIALES. ABREGE DESCRIPTIF L'invention se rapporte à la production de monocristaux. Elle concerne unprocédé de nucléation et de croissance d'un monocristal dans une enceinte tubulaire (4) comprenant une zone source (6) et une zone puits (7) chauffées & des températures uniformes différentes. Par un réglage approprié de ces températures on peut nucléer et faire croître unmonocristal en (8). Application notamment A la production de monocristaux de HgI2.