Brevet FR2473022A1 — publié le 19810710

La présente invention se rapporte à un dispositif pour la manipulation et le transfert automatisés de substrats minces, plus particulièrement de galettes ou plaquettes de semi-conducteurs de faible épaisseur du type de celles à par- tir desquelles on réalise un très grand nombre de micro-cir- cuits ou composants électroniques individuels par des techni- ques bien connues de revêtement, masquage et introduction d' impuretés. Ces galettes sont très fragiles et très sujettes à être détériorées, en raison de leur épaisseur (de ltordre de 0,25 à 0,5 mm), de leur grand diamètre (environ 50 à 127 mm) et de leur état de surface très poli qui peut être rendu inu- tilisable pour la fabrication de composants par l'action dtu- ne grande diversité de contaminants ainsi que par les effets d'abrasion ou de détérioration. Il est donc nécessaire de prendre des précautions exceptionnelles pour la manipulation dès le début et, en particulier, il est très souhaitable de limiter le plus possible les opérations de transfert manuelles des galettes. Etant donné que les galettes sont traitées suc- cessivement dans une très longue série de postes de traitement, qui effectuent les travaux des techniques mentionnées plus haut et dans lesquelles les galettes prennent une valeur de plus en plus grande, la nécessité d'éviter les détériorations et la contamination devient encore plus impérative cependant que l'effet cumulatif des risques de détérioration croît cons- tamment. Au début du développement de ces procédés, les tech- niques de manipulation comportaient l'utilisation de brucelles et de parois à dépression et, au maximum, elles ne faisaient que réduire le nombre de personnes qui avaient à toucher les galettes. Des essais ultérieurs d'automatisation plus ou moins poussée de la manipulation des galettes pour le passage de ces dernières à travers les différents postes de traitement utili- saient une grande diversité de dispositifs tels que des car- rousels rotatifs, des coulisseaux ou plateaux porteurs montés sur des courroies transporteuses sans fin, des portées ou cou- loirs linéaires à coussin d'air, des couloirs vibrants et des supports a griffes périphériques de divers types. Par ail- leurs, on observait dans la construction des machines une ten- dance soit au traitement par charges discontinues, dans lequel on traite plusieurs galettes à la fois dans un même poste, soit au traitement individuel des galettes, dans lequel on traite une seule galette à la fois dans un poste donné à un meme mo- ment. Bien que tous ces dispositifs présentent des inconvé- nients dans certaines applications, certains de ces disposi- tifs sont trop compliqués, insuffisamment fiables en ce qui concerne la prévention des détériorations et de la contamina- tion, incompatibles avec les dispositifs de transport et avec les autres postes de traitement, sujets à introduire des diffi- cultés dans le chargement initial et le déchargement ultérieur, ou encore mal appropriés au transfert des galettes entre eux- mêmes et les postes de traitement comportant une chambre à vi- de et les sas de chargement correspondants. La machine de traitement des galettes du type à tra- vail discontinu présentait par ailleurs le défaut de soumettre un grand nombre de galettes au risque de subir une détériora- tion ou une contamination dans le traitement exécuté à chaque poste, ou encore pendant le transit entre deux postes succes- sifs, et d'introduire un goulet d'étranglement au chargement/ déchargement, en particulier lorsqu'on a à introduire une char- ge complète dans une chambre à vide ou à extraire une telle charge de cette chambre. D'un autre c8té, le traitement indi- viduel des galettes présente l'inconvénient de porter au maxi- mum le besoin de manipulation manuelle, en particulier en ce qui concerne le chargement initial ou le déchargement, et les inconvénients de lenteur de l'ensemble du traitement ainsi que de complexité et de défaut de fiabilité de la traversée des sas de chargement. Les opérations répétées d'extraction des galettes des cassettes et de réintroduction de ces galettes sont les cassettes, qui sont exigées par ce traitement indivi- duel et qui sont habituellement exécutées par une lame qui pé- nètre dans la cassette, au-dessous de la galette à déplacer, les galettes étant normalement orientées horizontalement, ac- croit considérablement le risque de détérioration et de conta- mination. L'utilisation de transporteurs à courroie ou à pla- teaux et les couloirs de transport pneumatique ou les couloirs vibrants, combinés à ces dispositifs, ainsi que le fait que les galettes sont disposées horizontalement sur ces plateaux ou couloirs, introduit un nouveau risque d'abrasion. Par ail- leurs, ces courroies, couloirs, plateaux et cassettes néces- sitent l'utilisation de sas de chargement compliqués et/ou de mécanismes compliqués de transfert des galettes pour introdui- re les galettes dans les postes de traitement dans lesquels on utilise une chambre à vide. Le but de l'invention est donc de réaliser un nouveau dispositif perfectionné de manipulation des substrats ou ga- lettes qui soit capable d'introduire automatiquement et indi- viduellement les galettes d'un poste de chargement ou autre dans un poste de traitement. Un autre but de l'invention est de réaliser un dispo- sitif perfectionné de traitement automatique des galettes qui soit capable d'accepter une cassette de galettes orientées ver- ticalement et de faire passer répétitivement les galettes in- dividuelles de la cassette à un poste de traitement et de ce poste à cette cassette. Un autre but de l'invention est de réaliser un dispo- sitif perfectionné de support et de transport des galettes qui permette de réaliser les déplacements automatiques et répéti- tiús des galettes individuelles pour leur introduction dans le sas de chargement, leur extraction de ce sas, leur intro- duction dans les postes de traitement et le transfert d'un poste à l'autre, tout en réduisant au minimum les risques de détérioration et de contamination des galettes. Un autre but de l'invention est de réaliser un dispo- sitif perfectionné comprenant un sas de chargement des galet- tes de volume minimal et un dispositif d'alimentation de ce sas qui soient capables d'effectuer automatiquement et répétitive- ment les opérations d'introduction des galettes dans un pos- te de traitement contenu dans une chambre à vide et d'extrac- tion de ces galettes de ce poste, avec de meilleures caracté- ristiques de fiabilité et de rapidité. Suivant l'invention, on réalise un appareil ou dis- positif de chargement et de déchargement de galettes pour une installation de traitement de galettes comprenant une chambre de traitement munie d'une porte placée au droit de son ouver- ture d'entrée. L'appareil de chargement est conçu pour tra- vailler avec des cassettes qui contiennent plusieurs galettes disposées debout, alignées sur un même axe, face à face, et non pas dans l'attitude horizontale et face à face comme c'é- tait le cas le plus fréquent dans la technique antérieure. La cassette donne accès aux galettes par-dessous et est munie de moyens de guidage. L'appareil de chargement comprend un trans- porteur de cassettes placé sous la porte et sous l'entrée de la chambre et qui comporte des moyens d'entraînement complé- mentaires des moyens de guidage de la cassette et destinés à attaquer la cassette placée sur le transporteur et à déplacer la cassette en travers de l'entrée de la chambre et au-dessous du niveau de cette entrée. L'appareil comprend également des moyens montés sous le transporteur et sous l'entrée de la cham- bre et destinés à faire monter et descendre les galettes indi- viduellement lorsque la porte de la chambre est ouverte, pour les amener d'une cassette à une position adjacente à la face interne de la porte, ces moyens comprenant une lame mobile dans une direction générale verticale, présentant un bord a- vant concave et destinée à attaquer la galette par la tranche pour l'élever ou l'abaisser. L'appareil comprend également des moyens de saisie des galettes montés dans la porte de la cham- bre et destinés-à saisir et à supporter dans une position é- troitement adjacente à la face interne de la porte la galette qui a été amenée en position adjacente à la porte par la lame - mobile. L'appareil comprend également des moyens montés dans la chambre au droit de l'ouverture d'entrée de cette chambre et servant à maintenir élastiquement une galette par la tran- che. L'appareil permet de transporter les galettes individuel- lement et successivement de la cassette aux moyens de saisie des galettes qui sont solidaires de la porte, et il permet d'introduire la galette dans la chambre et de la mettre en prise avec les moyens de maintien des galettes en réponse à la fermeture de la porte. De même, après le traitement, les moyens de saisie des galettes solidaires de la porte sont à nouveau mis en action pour attaquer la galette et l'extraire des moyens de maintien des galettes contenues dans la chambre lorsque la porte est ouverte, ce qui a pour effet de placer à nouveau la galette au-dessus de la lame, la lame ramenant en- suite la galette à la cassette. Suivant un autre aspect de l'invention, il est prévu un sas de chargement des galettes et un dispositif d'alimen- tation d'une chambre à vide qui présente une ouverture d'en- trée ménagée dans l'une de ses parois et qui est équipée d'une porte servant à fermer cette ouverture d'entrée. L'appareil formant un sas de chargement et dispositif d'alimentation com- prend un support de galettes présentant la forme d'une plaque, logé dans la chambre à vide immédiatement en arrière de l'ou- verture d'entrée et muni d'une ouverture qui peut être centrée sur ladite ouverture d'entrée de la chambre et possède un dia- mètre supérieur à celui de la galette. L'appareil comprend é- galement des griffes montées sur ce support de galettes dans le plan de l'ouverture ménagée dans le support et destinées à saisir et tenir une galette élastiquement par la tranche et à la retenir dans le plan de l'ouverture du support, et un élé- vateur destiné à élever une galette jusqu'à une position adja- cente et à peu près parallèle à la face interne de la porte de la chambre lorsque cette porte est en position ouverte. Il est également prévu des moyens à dépression de saisie des galettes montés dans la porte et destinés à saisir une galette par dé- pression et à la maintenir pendant la fermeture consécutive de 247302:2 la porte, ce qui a pour effet de mettre la galette en prise avec les griffes, la galette étant déchargée de la même fa- çon. Par ailleurs, il est prévu des moyens comprenant un élé- ment logé dans la chambre et destiné à réaliser un joint é- tanche sur la face de la plaque support de galettes qui est a l'opposé de l'ouverture de la chambre, la porte, la paroi de la chambre, les griffes de la plaque support de galettes et ledit élément de fermeture étanche définissant ensemble un sas de chargement possédant un volume réduit au maximum. De cette façon, les galettes sont chargées individuellement dans la chambre à vide et déchargées individuellement de cette chambre d'une façon commode, en continu et avec de meilleures caractéristiques de fiabilité et de vitesse. De préférence le support de galettes en forme de pla- que comprend plusieurs ouvertures dont chacune est munie de griffes, ce support pouvant se déplacer pour présenter tour a tour chacune des ouvertures à l'entrée de la chambre, cha- cune de ces ouvertures étant fermée à joint étanche tour à tour par la porte et par ledit élément pour former le sas de chargement, de sorte que les galettes peuvent être rapidement chargées en série dans la chambre. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront au cours de la description qui va suivre. Aux dessins annexés, donnés uniquement à titre d'exemple, - la Fig. 1 est une vue en perspective de l'ensemble du dispositif de transfert des galettes, suivant l'invention, cette vue illustrant les relations de ce dispositif avec la ma- chine de traitement des galettes et avec les cassettes de ga- lettes et la façon dont s'effectue le transfert des galettes entre les cassettes et la machine de traitement; et - la Fig. 2 est une vue en coupe verticale de la ré- gion de l'entrée de la chambre de traitement de la Fig. 1, qui montre la porte de la chambre, la façon dont la galette est chargée et supportée dans la chambre de traitement et le mode de réalisation d'un sas de chargement de volume minimal pour l'alimentation de cette chambre. Pour mieux faire apprécier les avantages et le mode de fonctionnement du dispositif de transfert des galettes, ce dispositif est représenté sur la Fig. 1 dans le contexte de son interaction avec une machine de traitement des galettes, et ce dispositif comprend les sous-ensembles principaux cons- titués par un ensemble 1 de chargement/déchargement des cas- settes, des cassettes 3 et 4, qui contiennent plusieurs galet- tes 5 de semi-conducteurs ou autres substrats, un sas 8 de chargement de la chambre et une chambre Il de traitement des galettes. D'une façon générale, des cassettes telles que les cassettes 3 et 4 sont acheminées par l'ensemble 1 de charge- ment/déchargement des cassettes à un point situé au-dessous du sas de chargement 8, après quoi les galettes sont introdui- tes individuellement dans le sas 8 pour être ensuite traitées dans la chambre 11. La chambre ou la machine 11 de traitement des galettes peut représenter l'un quelconque d'une série d'é- quipements, parmi lesquels on trouve des machines de revête- ment de galettes de semi-conducteurs, des machines de gravure de galettes, des machines de lithographie de galettes, des machines de recuit de galettes, etc. Une machine de ce type pour laquelle le dispositif de transfert de galettes suivant l'invention est particulièrement utilisable est décrite en dé- tail dans la demande de brevet français No 80 27 227 de la Demanderesse. La chambre 11 de traitement des galettes est munie d'une entrée circulaire 13 de diamètre supérieur à celui d'u- ne galette à traiter, à travers laquelle on peut avoir accès à l'intérieur de la machine et sur laquelle le sas de charge- ment 8 est centré. Le sas de chargement est représenté avec plus de dé- tails sur la Fig. 2. Le sas de chargement proprement dit est défini par un ensemble stratifié d'éléments qui comprennent la porte 16 de la chambre dans sa position de fermeture, la par- roi avant 17 de la chambre de traitement 11, une ouverture cir- 2473022.. culaire 18 ménagée dans un dispositif support de galettes 20 a plaque qui est lui-même placé à l'intérieur de la chambre, juste à l'intérieur de l'entrée 13 de cette chambre, paral- lèlement à la paroi 17, et une plaque de pression 22 placée dans la chambre, en arrière du dispositif à plaque 20. Une galette est maintenue dans l'ensemble composé du sas et du dispositif à plaque, dans les limites de l'ouverture 18 du sup- port, ainsi qu'on le décrira plus bas. Pour certaines opéra- tions de traitement des galettes, la chambre de traitement 11 peut contenir une atmosphère réglée, à pression inférieure à la pression atmosphérique. Il est donc souhaitable d'isoler la région d'entrée de la chambre du reste du volume intérieur de cette chambre afin de préserver l'atmosphère raréfiée de cette chambre. La plaque de pression 22 a pour fonction d'iso- ler la région du sas de chargement du volume intérieur de la chambre, lorsqu'elle est appliquée contre le support 20 et con- tre la paroi avant 17 de la chambre sous l'action du vérin 23, de manière à isoler la région d'entrée de la chambre du reste du volume intérieur de cette chambre. La plaque de pression 22 et la paroi avant 17 de la chambre sont équipées de bagues to- riques 25 disposées en cercles concentriques à l'entrée 13 de la chambre, de manière à établir des joints étanches entre les éléments de l'ensemble stratifié. La porte 16 qui, dans sa po- sition de fermeture établit un joint étanche, au moyen d'une bague torique concentrique 26, contre la surface externe de la paroi avant 17 de la chambre, complète le sas de chargement en isolant l'entrée 13 de la chambre de l'atmosphère extérieure. On peut voir que ces éléments définissent un sas de chargement d'épaisseur exceptionnellement réduit et de volume exception- nellement petit, qui ne possède que la dimension minimale né- cessaire pour recevoir l'une des galettes 5. Si l'on désire faire le vide dans ce cas de chargement afin de n'introduire que le minimum de perturbations.dans l'atmosphère réglée à une pression inférieure à la pression atmosphérique qui règne dans la chambre 11, ce vide peut être établi rapidement grâce 2473022, au faible volume du sas et à l'absence de sqp*orts de galettes introduits de l'extérieur qui posséderaient une grande surfa- ce exposée à l'atmosphère et nécessiteraient un dégazage. Une pompe à vide auxiliaire raccordée au volume intérieur du sas de chargement par des moyens classiques peut établir un vide acceptable dans le sas de chargement en un temps réduit. Une caractéristique importante pour le bon fonction- nement de ce sas de chargement 8 de faible profondeur consiste dans l'utilisation d'un jeu de griffes minces, agissant sur la tranche de la galette, montées à l'intérieur du sas de char- gement, destinées à supporter élastiquement la galette par la tranche et capables de retenir une galette dans une position debout. La Fig. 2 montre les détails d'un arrangement parti- culièrement avantageux pour les griffes 28, arrangement dans lequel ces griffes sont montées dans des positions espacées dans les limites de la périphérie de l'ouverture circulaire 18 de la plaque-support 20. Cet arrangement de griffes permet d'accéder librement aux deux faces d'une galette 5 et, en com- binaison avec ses relations avec la plaque support de galettes, il forme un dispositif support de galettes qui protège la ga- lette des abrasions et des chocs mécaniques. Ce dispositif support de galettes est décrit en détail dans la demande de brevet. français no 80 27 226 de la Demanderesse. On peut voir sur les dessins que quatre griffes 28 sont montées dans une bague de retenue 29 qui est fixée à la plaque 31 du support de galettes par des liaisons démontables, concentriquement à l'ouverture 18 de la plaque, pour former avec cette plaque le dispositif support de galettes 20. Ce mo- de de montage fixe les griffes 28 à des positions espacées dans la périphérie de l'ouverture circulaire 18 de la plaque 31. L'ouverture circulaire 18 est de diamètre supérieur à ce- lui de la galette, de manière à pouvoir recevoir à la fois les griffes 28 et une galette 5. La bague de retenue 29 pos- sède une section en U, et comporte des ailes 33 et 34 qui dé- finissent respectivement ses périphéries intérieure et exté- 247-3022 rieure, et elle porte les griffes 28 en retrait entre ces ailes. Chaque griffe 28 comprend un bloc 36 à section ap- proximativement rectangulaire, qui peut tre fait d'une ma- tière isolante, et une lamelle élastique 37 de forme allon- gée qui est enroulée serrée autour du bloc 36. Chaque lamelle 39 comprend, à son extrémité qui est à l'opposé du bloc, une partie incurvée ou pointe 38 possédant un rayon de courbure approprié pour saisir la tranche d'une galette. Du bloc 36 part une partie proximale plate 39 qui se trouve dans un plan étroitement adjacent et parallèle au plan défini par l'ouver- ture 18 de la plaque. Au contraire, la partie distale 40 est coudée par rapport à la partie 39 pour se diriger vers le plan de l'ouverture 18 de la plaque, et elle forme un angle obtus avec la partie 39. Cette construction des griffes a pour effet de placer plusieurs pointes courbes 38 sur un cercle d'un dia- mètre légèrement inférieur à celui d'une galette 5 normale (ce cercle se trouve également dans le plan de la plaque 31 du support de galettes). Si nécessaire, l'isolation électri- que de la galette tenue dans les griffes 28 peut être assurée par la fabrication du bloc 36 en une matière isolante. L'introduction des galettes dans le sas peut se faire manuellement; il suffit pour cela de pousser une galette dans le jeu de griffes 28 en la mettant en contact avec ces griffes par sa face arrière ou par sa tranche. Toutefois, ceci impli- querait un frottement du bord de la galette contre la partie distale 40 des griffes, pour écarter légèrement les griffes et leur permettre de recevoir la galette entre les pointes 38. Pour pouvoir introduire une galette sans provoquer ce frotte- ment dans les griffes, on doit tout d'abord légèrement écarter les griffes puis les laisser revenir s'appliquer élastiquement contre la tranche de la galette au moment de l'introduction de cette galette dans le sas. Bien que la mise en place de la ga- lette et l'écartement des griffes puissent être exécutés ma- nuellement, il est de loin préférable d'éviter toutes ces opé- rations manuelles et l'accroissement consécutif du risque de détérioration, d'erreur et de contamination. LC'automatisation totale du dispositif de chargement/déchargement des galettes qui alimente le sas de chargement et la chambre de traitement,- qui évite toutes ces manipulations manuelles des galettes, est assurée par l'utilisation d'un mandrin à dépression 42 et d'un jeu de dispositifs 44 d'actionnement des griffes, mandrin et dispositifs qui sont portés par la porte 16, ainsi que par l'utilisation du mécanisme de chargement/déchargement des cas- settes coopérant avec le mandrin. Comme on peut le voir sur la Fig. 1, la porte 16 de la chambre est fixée à la paroi avant 17 de la chambre 11 par une charnière 45 très solide qui possède un axe vertical et permet à la porte de s'ouvrir et de se fermer de la façon clas- sique pour prendre une position d'ouverture maximale représen- tée, dans laquelle la porte et sa face interne 47 sont verti- cales et perpendiculaires au plan de l'entrée 13 de la cham- * bre ainsi qu'au support 20. Le mandrin à dépression 42 tra- verse la porte 16 axialement en position centrale de-façon que son extrémité active forme une partie de la face interne 47 de la porte. Le mandrin vient en contact avec une galette qui est présentée verticalement à la face interne de la porte et tient cette galette par dépression lorsque la porte se ferme, après quoi le mandrin se met en extension, en saillie axiale sur la face interne de la porte, comme on l'a représenté sur la Fig. 2, pour mettre la galette en prise avec les griffes 28. Le mandrin à dépression libère la galette puis se rétrac- te, et la galette 5 reste tenue à l'intérieur de la chambre par les griffes et peut subir le traitement. Au moment o la galette est introduite par le mandrin à dépression 42, les griffes s'écartent automatiquement pour éviter tout contact de frottement entre la galette et les grif- fes, sous l'action de quatre dispositifs 44 d'actionnement des griffes montés dans la porte 16. Chaque dispositif 44 est mon- té de manière à se trouver face à une griffe 28 correspondante 2473022. lorsque la porte se trouve dans sa position fermée. Chaque dispositif 44, représenté en détail dans la région inférieure de la Fig. 2, comprend un vérin pneumatique 49, un doigt de contact 50 qui se déplace axialement vers l'intérieur ou vers l'extérieur estpropulsé par le vérin 49, et des garnitures d'étanchéité axiale 57 coopérant avec le doigt. Chacun des doigts 50 est placé en regard de la partie proximale plate 39 de l'une des griffes lorsque la porte est dans sa position de fermeture. Lorsque la porte 16 est fermée, les doigts 50 se mettent en extension juste avant la mise en place d'une galet- te ou au moment o une galette doit être extraite. La pression d'un doigt 50 contre la partie proximale plate 39 d'une griffe qui se trouve face à ce doigt repousse la griffe et oblige la pointe 38 à basculer vers l'arrière et vers l'extérieur, ce qui a pour effet de dégager-les griffes, en écartant ces grif- fes de manière que les pointes 38 de ces dernières se placent sur un cercle de diamètre supérieur à celui d'une galette, et ceci pour faciliter la mise en place d'une galette et son ex- traction sans frottement sur cette dernière. Pendant le déchargement d'une galette, qui se produit après le traitement de cet-te galette, les opérations se dérou- lent dans l'ordre inverse, le mandrin se mettant à nouveau en extension et appliquant une dépression à la face arrière de la galette pour saisir cette dernière, les dispositifs d'action- nement des griffes entrant à nouveau en action pour dégager les griffes, après quoi la porte s'ouvre et le mandrin retient la galette contre la face interne de la porte par aspiration. Il convient de remarquer que si la chambre de traite- ment 11 est une chambre à vide, la plaque de pression 22 est actionnée de l'intérieur de la chambre pour isoler l'ouverture 18 de la plaque et la région de l'entrée 13 de la chambre de l'atmosphère réglée régnant à l'intérieur de la chambre chaque fois que la porte 16 s'ouvre pour le chargement ou le déchar- gement d'une galette. En outre, le support 20 peut avantageuse- ment faire partie d'une chambre de traitement de galettes à postes multiples et être monté mobile de manière que plusieurs galettes puissent être transportées à ltintérieur de la chambre et dans d'autres ouvertures 53 du support de galettes 20. Comme on peut le voir, lorsque la porte 16 se trouve dans sa position d'ouverture maximale, elle se trouve en bon- ne position pour recevoir une galette à mettre en place dans le sas 8, ou encore elle vient de s'ouvrir et d'extraire du sas 8 une galette finie qui doit alors être déchargée du man- drin à dépression. La fonction consistant à présenter une ga- lette à la porte 16 pour le chargement ou à retirer une galet- te de cette porte pour le déchargement est assurée par le dis- positif 1 de chargement/déchargement des cassettes, lequel dispositif comprend un élévateur à galette 55 et un transpor- teur de cassettes de galettes 56. Le transporteur s'étend au- dessous du niveau de l'entrée 13 de la chambre, de part et d'autre de cette entrée, et il est fixé à la paroi 17 de cet- te chambre. Il déplace les cassettes de galettes 3 et 4 de la droite de l'entrée 13 (vu sur la Fig. 1) à la gauche de cette entrée. L'élévateur de galettes 55 qui coopère avec le trans- porteur soulève les galettes individuellement des cassettes transportées par le transporteur 56 jusqu'à l'extrémité tra- vaillante du mandrin à dépression 42 située sur la face inter- ne 47 de la porte 16, ou encore il redescend les galettes de la porte après l'exécution du traitement. Le transporteur 56 comprend deux rails 58 et 59 paral- lèles et espacés qui s'étendent horizontalement et longitudi- nalement en travers de la face avant de la chambre 11 de trai- tement des galettes. Les rails supportent et transportent les cassettes 3 et 4 et l'écartement des rails 58 et 59 est tel que les parois latérales des cassettes encadrent les rails et que les cassettes puissent glisser le long des rails sur le transporteur. La force motrice nécessaire pour le déplacement des galettes est fournie par un mécanisme d'entraînement à chaîne 60 qui comprend divers dispositifs de guidage et d'en- grenages servant à faire avancer une chaîne à rouleaux le long du rail 58. La chatne est munie, à intervalles réguliers, de doigts de guidage 62 qui s'engagent dans des échancrures com- plémentaires ménagées dans le bas de la paroi 63 des casset- tes qui est adjacente au rail 58. De cette façon, chaque cas- sette est entraînée en mouvement à la même vitesse que la chaî- ne dans le sens qui la rapproche ou l'éloigne de l'élévateur , suivant le besoin. Un moteur pas à pas 65 est prévu pour fournir la force motrice au mécanisme à chaXne 60 de manière a assurer une maitrise précise du déplacement des cassettes, et à permettre ainsi de placer une galette choisie à l'inté- rieur d'une cassette en bonne position pour coopérer avec l'é- lévateur 55. Une mémoire classique est couplée au moteur pas a pas 65 et à l'élévateur 55 pour enregistrer la position d'u- ne galette donnée dans sa cassette. De cette façon, bien que plusieurs autres galettes puissent avoir été chargées dans la chambre de traitement 11 et la cassette avoir donc été avancée de plusieurs positions depuis le chargement de la première ga- lette, au moment de la sortie de la première galette dont le traitement est terminé, le moteur pas à pas peut être mis en action en marche arrière du nombre de pas nécessaire pour ra- mener la galette terminée à sa position initiale puis reprendre ensuite sa position avancée pour poursuivre laccomplissement de sa fonction de chargement. Les cassettes 3 et 4 contiennent-plusieurs galettes 5 dans des positions espacées, face à face, alignées et paral- lèles, et ces cassettes sont ouvertes en haut ainsi que sur une partie importante de leur fond pour donner accès aux ga- lettes par le bas et par le haut. Les galettes doivent être chargées de telle manière que leur face avant, qui présente les rainures, épaulements et autres configurations qui définis- sent les constituants des micro-circuits soient la plus éloi- gnée de la face interne 47 de la porte 16 placée en position d'ouverture, et de manière que la face arrière de chaque ga- lette regarde vers la porte. Ceci garantit que, lorsque le man- drin à dépression attaque la galette, il ne se produit aucun contact entre ce mandrin et la face avant qui porte les déli- cats micro-circuits, et garantit également que la galette se- ra convenablement positionnée après sa mise en place dans le sas de chargement 8 et qu'elle sera correctement orientée par rapport à l'équipement de traitement contenu dans la chambre de traitement 11. L'élévateur de galette 55 est placé au-dessous et juste à gauche de l'entrée de la chambre, et il comprend une plaque de guidage supérieure 67, un élévateur 68 du-type lame et un vérin de commande 69 qui est relié à l'extrémité infé- rieure de l'élément élévateur 68.-Cet élément élévateur 68 est auidé pour monter et descendre suivant une trajectoire verticale qui coupe à angle droit le transporteur 56 entre les rails 58 et 59 pour aboutir à la face interne 47 de la porte 16. Une fente de guidage 70 ménagée dans la plaque. de guidage 67 Juste au-dessous de la face interne de la porte placée en position d'ouverture constitue le guide supérieur de la lame 68, tandis qu'un élément de guidage vertical 71 qui stétend au-dessous du transporteur en se dirigeant vers le vérin de commande contribue également à maintenir la lame 68 sur sa trajectoire verticale. La largeur de la lame 68 est inférieure à la largeur de l'écartement entre les rails 58 et 59 et éga- lement inférieure à l'écartement des parois principales des cassettes 3 et 4 qui encadrent les rails 58 et 59. La lame 68 est par ailleurs d'épaisseur inférieure à l'écartement en- tre les galettes adjacentes contenues dans les cassettes 3 et 4. La lame 68 est par ailleurs munie d'une extrémité Su- périeure échancrée 73 dont la forme épouse la courbure des ga- lettes, et elle présente une rainure ménagée dans cette extré- mité et adaptée pour s'emboîter sur l'épaisseur d'une galette etretenir une galette sur chant, dans cette rainure. La lame élévatrice 68 passe donc entre les rails de guidage 58 et 59 et coupe perpendiculairement le transporteur et la cassette lorsque le moteur pas à pas 65 et le mécanisme d'entraînement à chaîne 60 ont amené une cassette et une galette sur la tra- jectoire de la lame. Ainsi qu'on peut le voir, les cassettes sont construites de manière à être accessibles d'au-dessous- des galettes et à laisser la lame élévatrice 68 les traverser entièrement. Par conséquent, lorsque le moteur pas à pas 65 et le mécanisme à chaîne 60 ont placé une cassette et une ga- lette sur la trajectoire de la lame 68, cette lame monte en- tre les rails du transporteur pour attaquer par dessous une galette en l'engageant dans la rainure-de son extrémité supé- rieure 73 et élever la galette à une position dans laquelle elle est centrée sur la face interne 47 de la porte 16 de la chambre placée en position d'ouverture, et dans une position immédiatement adjacente à cette face interne. Il convient de remarquer que, étant donné que les galettes sont orientées verticalement, la gravité contribue à maintenir les galettes solidement bien que sans pression et avec sécurité dans l'ex- trémité rainurée 73 de la lame. De cette façon, on évite pra- tiquement tout contact avec la face avant fragile de la ga- lette sur laquelle sont définis les micro-circuits (à la dif- férence de ce qui se produit dans le procédé habituel de ma- nutention automatique, dans lequel la galette est orientée horizontalement) On réduit ainsi considérablement le risque de détérioration et d'abrasion de-la galette. Lorsque la galette est parvenue à la porte 16, le mandrin à dépression 42 attaque la galette 5 par sa face ar- rière, par dépression, et la lame élévatrice 68 descend en- suite à travers la fente-de guidage 70 et à travers la casset- te jusqu'à un point situé au-dessous du transporteur 56. En- suite, la porte 16 se ferme, en entraînant la galette mainte- nue par le mandrin 62, et la galette est ainsi chargée dans le sas de chargement 8, ainsi qu'on l'a décrit plus haut, pour permettre le traitement de la galette dans la chambre 11. Si avant que le traitement de la galette 5 ne soit terminé, la chambre est équipée de moyens pour charger une autre galette, par exemple dans une autre ouverture 53.du support 20, le mo- teur pas à pas et le mécanisme d'entraînement à cha ne font avancer la cassette d'une position de galette pour placer la galette suivante en position au-dessus de la lame 68. Ensui- te, la lame 68 monte pour épéter son opération consistant à amener cette galette suivante au niveau de la porte ouverte, et le mandrin à dépression attaque à nouveau cette galette pour l'introduire dans le sas de chargement. Entre-temps, a- près l'exécution du traitement de la première galette 5, cet- te galette se trouve à nouveau au droit du sas de chargement 8, et le mandrin à dépression 42 se place à nouveau en exten- sion, contre la face arrière de la galette, alors que la por- te est encore en position fermée et, en même temps, les dis- positifs 44 d'actionnement des griffes repoussent simultané- ment les griffes pour les dégager de la galette et permettre au mandrin de retirer cette galette, après quoi la porte s'ou- vre et la galette se trouve à nouveau placée sur la trajec- toire de la lame 68. Entre-temps, le moteur pas à pas 65 et le mécanisme d'entraînement à chaine 60 font reculer la cas- sette de manière à présenter la position initiale de la ga- lette 5 au-dessus de la trajectoire de la lame. La lame 68 s'élève ensuite entre les rails 58 et 59 du transporteur et à travers la fente 70 pour attaquer le bord inférieur de la ga- lette 5, après quoi le mandrin 42 libère la galette et permet à la lame 68 de ramener la galette à sa position initiale à l'intérieur de la cassette. Ensuite, la cassette est propul- sée vers l'avant jusqu'à la position de la galette suivante qu'il s'agit de traiter en série. Avant l'élévation des galettes individuelles par l'élévateur 55 et leur chargement dans le sas de chargement, il est souhaitable de faire en sorte que les galettes soient orientées de façon standard, afin que le méplat de guidage ou de repérage habituel 75, qui s'étend suivant une corde de chaque galette, soit placé en position inférieure dans les cassettes. De cette façon, on est certain que chacune des ga- lettes prend la même position par rapport à l'équipement de 2473022. traitement contenu dans la chambre. Par ailleurs, en faisant en sorte que le méplat de guidage soit placé dans une posi- tion prédéterminée, on garantit que les griffes 28 du support fonctionneront correctement et n'attaqueront pas acciden- tellement un méplat de la galette au lieu d'attaquer une par- tie circulaire du bord. Pour obtenir cette orientation stan- dard, on a prévu deux rouleaux opposés 76 qui sont orientés longitudinalement suivant la longueur des rails 58 et 59, ain- si qu'entre ces rails, de manière que les axes des rouleaux soient parallèles aux rails. Les rails sont placés sur le trajet des cassettes, juste en amont de la position de l'élé- vateur 55, de telle manière que l'opération d'orientation des galettes ait été exécutée avant que ces galettes n'atteignent l'élévateur. Lorsque les cassettes passent sur les rouleaux, ces derniers se soulèvent et sont entraînés en série et l'un en sens inverse de l'autre, l'un dans le sens des aiguilles d'une montre puis l'autre dans le sens inverse, et ils entrent légèrement en contact avec le bord circulaire des galettes. Le contact entre ces galettes et les rouleaux 76 mis en rota- tion en sens inverse fait tourner les galettes dans leurs cas- settes jusqu'à ce que le méplat de guidage 75 de chaque galet- te soit placé tangentiellement aux rouleaux en rotation, et les galettes sont toutes positionnées de façon que les méplats de guidage regardent vers le bas et soient alignés au bas de la cassette, après quoi les rouleaux sont rétractés de haut en bas et éloignés de la cassette. Il convient de remarquer que la disposition du sas suivant l'invention n'est pas limitée à l'orientation verti- cale. La porte, le mandrin à dépression, la plaque de pression, le support de galettes et les griffes fonctionnent tout aussi bien pour définir un sas dans un plan horizontal, suivant les besoins de la chambre de traitement particulière. La porte peut facilement être réalisée de manière à recevoir des galet- tes de l'élévateur et du transporteur dans une orientation ver- ticale,mais à charger la galette dans le sas en position hori- zontale, par une modification appropriée de son mode de mon- tage sur la chambre, ce qui peut être réalisé de façon clas- sique. Par ailleurs, le dispositif de chargement et décharge- ment des galettes n'est pas limité à l'utilisation en combi- naison avec un sas de chargement mais, au contraire, il peut être utilisé avec avantage avec n'importe quel environnement de traitement de galettes dans lequel les galettes doivent être transférées dans des cassettes et entre les cassettes et un poste de travail, et le fonctionnement vertical dans lequel les cassettes de galettes sont orientées verticalement apporte de grands avantages de simplicité, de fiabilité et de diminu- tion du risque de détérioration et de contamination des galet- tes comparativement aux dispositifs de déchargement des cas- settes de la technique antérieure. Par exemple, un tel poste de travail pourrait être constitué par un simple dispositif de contrôle des galettes, dans lequel les galettes seraient portées verticalement dans la lame pendant le contrôle d'une ou chacune de ses deux faces, la lame étant ensuite abaissée pour ramener la galette contrôlée à la cassette et pour saisir la galette suivante en vue d'un traitement analogue. Il con- vient de remarquer que même si la galette n'est pas effective- ment déchargée de la lame, ses deux faces sont pratiquement accessibles en totalité à l'appareil de traitement, grâce à son orientation sur chant. Par ailleurs,- ni le chargement de la galette de la lame dans la chambre ni la fermeture de l'en- trée de la chambre n'exigent nécessairement l'utilisation de la porte décrite plus haut. Au contraire, on peut également prévoir une porte séparée pour la fermeture de la chamibre, et la porte décrite plus haut peut être simplement réduite à un support de mandrin à dépression ou d'autres moyens de saisie des galettes, et ce support peut si désiré porter des moyens d'actionnement des griffes. Naturellement, cette dernière ca- ractéristique est particulièrement applicable au cas o l'en- trée du dispositif de traitement ne doit pas nécessairement être fermée à joint étanche pendant le traitement des galettes. Il convient également de remarquer que la galette peut être séparée de la lame 68 de l'élévateur par des moyens autres que le mandrin à dépression 42. Par exemple, la galet- te peut être engagée directement dans des griffes appropriées alors qu'elle est encore en appui sur la lame 68 de l'éléva- teur. Dans une forme de réalisation préférée, chaque griffe est analogue à une griffe 28 et elle est actionnée par un dis- positif analogue au dispositif 44 d'actionnement des griffes, de manière que les griffes attaquent élastiquement les galet- tes par la tranche, sans frottement avec la tranche de la ga- lette ni détérioration de cette tranche pendant l'entrée en prise. De plus, certaines applications peuvent nécessiter que la galette soit extraite de la lame 68 de l'élévateur par des moyens de saisie qui attaquent la face avant, qui porte les délicats micro-circuits. Bien que ces moyens de saisie puissent être analogues au mandrin à dépression 42, qui entre solidement en prise avec la galette par aspiration, il est préférable, dans l'intérêt de la suppression des détériorations, que ces-moyens de saisie de la. face avant soient du type sans contact. De tels moyens de saisie connus dans la technique sous la désignation de "tê- te preneuse pneumatique de Bernoulli", utilisent un écoulement de gaz approprié, par exemple d'air ou d'azote, entre la tête preneuse et la face de la galette. Pour éviter toute contami- nation de la galette par des particules de poussières ou ana- logues, le gaz en circulation doit être absolument propre et de préférence sec. R E V E N D I C A T 0 N S 1 - Appareil formant sas de chargement et dispositif d'alimentation pour une chambre à vide présentant une entrée dans l'une de ses parois et équipée d'une porte servant à fer- mer hermétiquement cette entrée, ce dispositif étant caractéri- sé en ce qu'il comprend: un support de galettes (20) en forme de plaque contenu dans la chambre (11), immédiatement en ar- rière de ladite entrée (13), et muni d'une ouverture (18) que l'on peut centrer sur cette entrée (13) et qui est de diamètre supérieur à celui de la galette (5); des griffes (28) montées sur le support de galettes (20) le long de la périphérie de ladite ouverture (18) et destinées à serrer élastiquement par la tranche une galette (5) et à la retenir dans ladite ouver- ture (18); un élévateur (68) destiné à élever une galette (5) jusqu'à une position adjacente à ladite entrée 13 de la cham- bre; un dispositif (42) de saisie de galette qui coopère avec ladite porte (16) de la chambre pour saisir ladite galette et l'amener en prise avec lesdites griffes (28), la galette étant déchargée de façon analogue; et des moyens comprenant un élé- ment (22) contenu dans la chambre (11), et destiné à établir un joint étanche contre la plaque (31) du support de galettes (20) à l'opposé de l'entrée (13) de la chambre, pour isoler la région de l'entrée (13) à joint étanche du reste de la chambre à vide (11); de telle manière que la porte (16) délimite un sas de chargement possédant un volume minimal comparativement à la galette, ce qui permet de charger les galettes dans la chambre à vide et de les en décharger de façon continue avec des caractéristiques améliorées de fiabilité et de rapidité. 2 - Appareil suivant la revendication 1, caractérisé en ce que ledit dispositif (42) de saisie de la galette est monté dans- la porte (16) de la chambre et maintient ladite ga- lette (5) pendant le mouvement de fermeture de la porte, de sorte que la galette est ainsi mise en prise avec les griffes (28) et que l'entrée de la chambre est en même temps fermée hermétiquement. 3 - Appareil suivant la revendication 2, caractérisé en ce que l'élévateur (68) soulève une galette verticalement jusqu'à une position adjacente et à peu près parallèle à la face interne de la porte (16) lorsque celle-ci se trouve en position d'ouverture. 4 - Appareil suivant la revendication 2, caractérisé en ce que le dispositif (42) de saisie de galette comprend un mandrin à dépression qui attaque la galette (5) par aspira- tion, ce mandrin se mettant en extension en saillie par rap- port a-la porte pour introduire la galette ainsi saisie dans les griffes (28) et se mettant de même en extension en sail- lie par rapport à la porte pour saisir la galette et l'extrai- re des griffes pour le déchargement. - Appareil suivant la revendication 4, caractérisé en ce que ledit dispositif (42) de saisie de galette comprend un mandrin à dépression centré sur la porte, sur l'entrée (13) de la chambre (16) et sur l'ouverture (18) du support dé ga- lettes (20). 6 - Appareil suivant la revendication 2, caractérisé en ce qu'un jeu de griffes (28) est prévu pour chacune desdi- tes ouvertures (18) et en ce que chaque griffe comprend une partie plate (39) qui s'étend vers l'intérieur et vers le cen- tre de ladite ouverture. 7 - Appareil suivant la revendication 6, caractérisé en ce que la porte (16) est équipée de plusieurs dispositifs (44) d'actionnement de griffe qui peuvent se mettre en exten- sion et qui comprennent des doigts (50) pouvant être mis en extension au moment de la fermeture de la porte pour s'appli- quer contre les parties plates (39) des griffes pour ouvrir les griffes (28) pendant le chargement et le déchargement des galettes dans ces griffes afin d'éviter que les griffes exer- cent des efforts sur la tranche des galettes et n'usent cette tranche. 8 Appareil suivant la revendication 7, caractérisé en ce que ladite porte (16) est articulée à charnière sur la- dite chambre (11) et en ce que l'entrée (13) de la chambre et le support de galettes (20) sont orientés verticalement, de manière que la porte s'ouvre en se plaçant dans une posi- tion perpendiculaire à l'entrée de la-chambre et dans un plan vertical. 9 - Appareil suivant la revendication 3, caractérisé en ce que ledit élévateur (55) comprend une lame (68) mobile dans la direction verticale, destinée à attaquer l'une des galettes (5) par la tranche et à élever cette galette à la- dite position adjacente et parallèle à la face interne de la porte (16). - Appareil suivant la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre, pour l'utilisation en combinai- son avec une cassette qui renferme plusieurs galettes placées debout face à face et alignées, un transporteur de cassettes (56) placé au-dessous de la porte (16) et de l'entrée (13) de la chambre, qui attaque la cassette (3,4) pour la faire passer sous l'entrée (13) de la chambre, ledit élévateur (55) pouvant accéder à la cassette par-dessous pour soulever tes galettes et les amener de la cassette à l'entrée de la chambre. 11 - Appareil suivant la revendication 1, caractérisé en ce que le support de galettes (20) en forme de plaque com- prend plusieurs ouvertures (18) dont chacune est munie de grif- fes (28), ce support pouvant se déplacer pour présenter tour à tour chacune des ouvertures (18) à l'entrée (13) de la cham- bre, chacune de ces ouvertures (18) étant fermée à joint étan- che tour à tour par la porte (16) et par- ledit élément (22) pour former le sas de chargement (8), de sorte que les galet- tes peuvent être rapidement chargées en série dans la chambre. 12 - Appareil suivant la revendication 9, caractéri- sé en ce qu'il comprend en outre des moyens raccordés au sas de chargement (8) pour faire le vide dans le volume de ce sas. 13 - Dispositif de chargement et de déchargement de galettes pour poste de traitement de galettes, dans lequel des galettes sont présentées dans des cassettes qui contien- nent chacune plusieurs galettes disposées verticalement, face a face et alignées, et qui permettent d'accéder aux galettes par-dessous, les cassettes étant équipées de moyens de guida- ge, le dispositif étant caractérisé en ce qu'il comprend un transporteur de cassettes (56) placé sous le poste de travail et comprenant des moyens d'entraînement (62) complémentaires desdits moyens de guidage et destinés à attaquer la cassette (3, 4) placée sur le transporteur et à la déplacer en travers et au-dessous du poste de travail; et des moyens (55) montés au-dessous du transporteur et servant à faire monter et des- cendre les galettes (5) individuellement pour les transférer de la cassette au poste de travail, ces moyens (55) comprenant une lame (68) mobile dans une direction à peu près verticale et qui présente un bord avant concave (73) et est destinée à attaquer une galette (5) par-la tranche par-dessous et à tra- verser le transporteur (56) et la cassette (3, 4) pour faire monter et descendre une galette attaquée par la tranche, en maintenant cette galette verticale, de sorte que les cassettes sont acheminées auxdits moyens (55) d'élévation et de descente des galettes et que ladite lame (68) achemine les galettes (5) individuellement et successivement de la cassette au poste de travail par un déplacement vertical et ramène chaque galette à la cassette après le traitement. 14 - Dispositif suivant la revendication 13, caracté- risé en ce que le poste de travail est muni d'une chambre (11) de traitement de galettes qui présente une entrée (13) et un dispositif (42) de saisie de galette combiné à ladite chambre, ladite lame (68) élevant une galette à une position adjacente à ladite entrée (13), ledit dispositif (42) de saisie de ga- lette faisant passer la galette à travers l'entrée (13) pour l'introduire dans la chambre de traitement (11) et extrayant - la galette après le traitement pour la placer ensuite sur la- dite lame (68). - Dispositif suivant la revendication 14; caracté- risé en ce qu'il comprend des moyens de tenue montés dans la 2473022 - chambre (11) à l'intérieur par rapport à l'entrée (13) et qui servent à tenir élastiquement une galette (5) par la tranche, ledit dispositif (42) de saisie de galette plaçant la galette dans les moyens de tenue et l'extrayant de ces moyens de te- nue après le traitement. 16 - Dispositif suivant la revendication 13, carac- térisé en ce que ledit poste de travail est muni d'une chambre (11) de traitement de galettes qui présente une entrée (13), cette entrée de la chambre étant équipée d'une porte (16) ser- vant à la fermer hermétiquement. 17 - Dispositif suivant la revendication 16, carac- térisé en ce que ladite porte (16) est équipée dudit disposi- tif (42) destiné à saisir les galettes qui ont été élevées à ladite position adjacente à l'entrée (13), ce dispositif (42) amenant la'galette (5) dans la chambre (11) au moment de la fermeture de la porte (16), de sorte que le chargement de la galette et la fermeture de l'entrée de la chambre sont exécu- tés simultanément. 18 - Dispositif suivant la revendication 16, carac- térisé en ce que la porte (16) et l'entrée (13) de la chambre sont contenues dans des plans verticaux, la porte (16) étant articulée sur un côté de l'entrée (13) de la chambre et s'ou- vrant pour prendre une position à peu près perpendiculaire à sa position de fermeture et contenue dans un plan vertical. ladite lame (68) mobile verticalement travaillant dans un plan immédiatement adjacent et parallèle au plan de la porte (16) lorsque cette dernière se trouve dans sa position ouverte. 19 - Dispositif suivant la revendication 16, carac- térisé en ce que le transporteur (56) maintient la cassette de telle manière que les galettes (5) soient contenues dans des plans parallèles à celui de la porte (16) placée en posi- tion d'ouverture et que le transporteur coupe perpendiculaire- ment le trajet de la lame verticale (68), ledit transporteur étant accessible par-dessous par la lame (68), de sorte que cette lame pénètre dans le trajet du transporteur (56) pour soulever les galettes (5) au niveau de la porte (16) de l'en- trée de la chambre. - Dispositif suivant la revendication 19, carac- térisé en ce que le transporteur (56) comprend un ensemble de rails parallèles (58, 59) et une chaîne qui s'étend le long de l'un des rails, chaque cassette (3, 4) comprenant des moyens de guidage qui coopèrent avec une partie complémentaire (62) de la chaine de façon qu'une cassette, après avoir été placée sur les rails et mise en coïncidence avec la cha ne, soit en- traXnée le long des rails par cette chaîne et que la lame (68) mobile dans la direction verticale passe entre les rails pour attaquer les galettes et les transférer en montée et en descen- te entre la cassette et ladite chambre (11). 21 - Dispositif suivant la revendication i3, carac- térisé en ce que lesdites galettes (5) sont de forme générale circulaire et munies d'un méplat de repérage disposé suivant une corde, et en ce que ledit transporteur (56) est en outre muni de rouleaux (76) qui portent contre les galettes conte- nues dans la cassette (3, 4) et servent à faire tourner ces dernières jusqu'à ce que leurs méplats soient alignés. 22 - Dispositif suivant la revendication 18, carac- térisé en ce qu'il comprend en outre un moteur pas à pas qui entraîne la cha ne, et une mémoire qui coopère avec le moteur pas à pas et avec les moyens (55) servant à faire monter et descendre les galettes ( 5) pour amener la cassette par pas à une position antérieure pour permettre à une galette de se re- placer après le traitement dans sa position initiale après qu'une ou plusieurs galettes suivantes ont été chargées dans le poste de traitement. 23 - Dispositif suivant la revendication 15, carac- térisé en ce que ladite chambre (11) est une chambre à vide et comprend une porte (16) servant à fermer l'entrée (13) à joint étanche, ce dispositif comprenant en outre des moyens de fermeture (22) complémentaires de ladite porte (16) et mon- tés à l'intérieur de la chambre pour isoler lesdits moyens (18, 28) de tenue de galette du reste de la chambre pendant que la porte (16) est ouverte. 24 - Dispositif suivant la revendication 23, caracté- risé en ce que lesdits moyens (28) servant à tenir élastique- ment la galette (5) comprennent des griffes montées dans un support (31) percé d'ouvertures (18), lesdits moyens de ferme- ture comprenant un élément ture (18) du support du reste du volume intérieur de la cham- bre lorsque la porte est ouverte. 25 - DisDositif suivant la revendication 23, caracté- risé en ce qu'il comprend en outre des moyens (44) montés dans ladite porte (16) et destinés à porter contre lesdits moyens (28) servant à tenir élastiquement les galettes (5) et à dé- gager ces moyens (28) lorsque la porte est en position fermée et lorsqu'o'n charge ou décharge une galette (5).