Brevet FR2473788A1 — publié le 19810717

4737l 8 La présente invention concerne des circuits intégrés à semi- conducteurs, et plus particulièrement le fait de minimiser sinon d'éliminer les effets du bombardement de particules chargées sur de tels circuits. Les circuits intégrés à semi-conducteurs, et en parti- culier les mémoires à semi-conducteurs, tendent à devenir de plus en plus compactes, dans un effort pour fabriquer un nombre maximal d'éléments discrets, par exemple des cellules de mémoire, dans une surface de pastille donnée. Un phénomène récemment observé avec cesdispositi:fortement intégrés est l'apparition d'erreurs fugi- tives qui, contrairement aux erreurs permanentes dues à des défauts de fabrication, sont transitoires et de nature aléatoire. L'inci- dence de ces erreurs fugitives est très peu élevée, par exemple de l'ordre de 10 6 ou 10 7 à l'heure, et elles ne sont observables que dans des situations o l'on emploie un grand nombre de dispo- sitifs comme par exemple dans un ordinateur. On a récemment mis en évidence la source des erreurs fugitives comme étant l'incidence de particules alpha (noyaux d'hélium) sur la pastille de semi-conducteur, chaque particule donnant naissance à un grand nombre de paires électrons-trous avant de s'arrêter. Le nombre de paires produites étant comparable, à la charge emmagasinée dans un élément individuel du dispositif, chaque particule alpha peut introduire un signal erroné. Les particules alpha proviennent de la désintégration radioactive de minuscules particules d'uranium et/ou de thorium présentes dans le matériau d'encapsulation des circuits et ont une énergie d'environ-5 MeV. En ralentissant dans le silicium chaque particule parcourt une distance de l'ordre de 25 micromètres et perd environ 3,6 eV pour chaque paire électron-trou produite. Ainsi chaque particule donne naissance à une quantité approximative de 1,4xlO6 paires électrons-trous sur une distance de 25 micromètres. Le phénomène des erreurs fugitives est décrit plus en détail dans la revue NEW ELECTRONICS, 6 mars 1979, pages 30 à 40. On a suggéré différentes techniques pour surmonter les erreurs fugitives dûes aux particules alpha. Dans un important système d'ordinateur il est possible d'avoir recours à des circuits de détection d'erreur et de correction bien qu'il en résulte une perte de vitesse. Une autre façon de procéder est un contrôle très strict de la qualité des matériaux d'encapsula- tion des circuits. Cependant l'épuration nécessaire des matériaux en question augmente considérablement le coût du produit fini. Selon l'un des aspects de l'invention il est fourni une méthode de protection d'un dispositif à semi-conducteurs formé sur l'une des surfaces d'un substrat semi-conducteur contre le bom- bardement de particules alpha, caractérisée par le fait qu'on revêt la surface d'une couche d'un polymère organique dont l'épais- seur est supérieure à la longueur de la trajectoire supposée dans le polymère des particules alpha susceptibles de frapper le dispositif. Selon un second aspect de l'invention, il est fourni un dispositif à semiconducteurs non encapsulé formé dans l'une des surfaces d'un substrat semi-conducteur, ladite surface étant revêtue d'une couche d'un polymère organique, ladite couche ayant une épaisseur supérieure à la longueur de la trajectoire supposée dans le polymère des particules alpha susceptibles de frapper le dispositif. Selon un troisième aspect de l'invention, il est fourni un dispositif à semi-conducteur encapsulé, comportant un substrat semi-conducteur monté dans un boîtier, et une couche d'un polymère organique intercalée entre une surface active du substrat et le boîtier, ladite couche ayant une épaisseur supérieure à la longueur de la trajectoire supposée dans le polymère des particules alpha provenant du matériau du bottier. Il a été reconnu qu'un revêtement constitué d'un poly- mère organique filmogène appliqué sur la surface active d'une pastille de semi-conducteur fournit un écran efficace contre le bombardement des particules alpha. L'énergie des particules alpha émises lors de la désintégration de l'uranium et du thorium varie entre 4 et 8 MeV. De telles particules ont un champ de quelques centimètres dans l'air, mais seulement de quelques micromètres dans un matériau solide. Cependant, leur distance d'absorption dans le silicium est comparable aux dimensions d'un circuit intégré. Il a été expliqué (Priedlander & Kennedy - Nuclear & Radiochemistry publié en 1962 par John Wiley & Sons Inc.) que le champ d'une particule alpha dans un solide est approxima- tivement donné par la relation empirique Rza = 019+ 0,0275Z + (0,06 - o, oo86z) log M Z étant le champ dans un élément Z exprimé en milligrammes par. 2473 788 centimètre carré, Ra le champ de la même particule dans l'air, M le nombre massique de la particule,(dans ce cas 4), et E l'énergie de la particule. A partir de là on a calculé que le champ de particules alpha dont l'énergie varie entre 5 et 8 MeV dans un matériau polymère, était de 20 à 100 micromètres, le champ exact dépendant de l'énergie de la particule et du contenu élémentaire du polymère. D'une manière générale, des polymères dont le rapport carbone-hydrogène est élevé sont les plus effica- ces en tant qu'absorbeurs de particules alpha. t10 Llinvention sera mieux comprise à la lecture de la description détaillée qui va suivre, faite à titre d'exemple non limitatif en se reportant aux figures annexées qui représentent différentes étapes de la fabrication d'un dispositif à semi-con- ducteur protégé contre les particules. On fabrique une pastille de semi-conducteur 11, par exemple une mémoire à accès sélectif, par des techniques de traitement classiques de semiconducteurs, la région active du dispositif étant formée dans une surface 12 de la pastille. La pastille Il est alors montée sur une embase constituée d'une grille de connexion 13 attachée à un corps de boîtier 15 en céramique et verre. Des fils métalliques relient les conducteurs de la grille de connexion à diverses zones de contact se trou- vant sur la pastille 11. Afin de munir la surface active 12 d'un écran de protection contre les particules alpha on applique sur cette surface 12 une certaine quantité d'un monomère organique liquide qui s'étale pour former un film plan 17. Le film 17 est ensuite polymérisé par exemple par chauffage, par application d'ultra-violets ou d'un faisceau d'électrons, ou encore par l'action d'un catalyseur à radical libre que l'on ajoute au monomère avant application. On peut pour cela avoir recours à différents systèmes polymères, mais ils doivent remplir un certain nombre de conditions: 1. Il ne doit pas se produire d'interaction chimique entre le polymère et la surface active du dispositif. 2. La réaction de polymérisation ne doit produire aucun résidu nuisible. Ainsi il est souhaitable que le polymère soit du type oléfinique, qui ne produit pas de résidu, ou du type à condensation qui libère de l'eau. Cette eau s'évapore ensuite pendant les étapes ultérieures du traitement. 3. Le matériau doit être de nature filmogène de telle sorte que le monomère s'étale facilement et uniformément sur la surface du dispositif. 4. Le matériau polymérisé doit adhérer au dispositif et être suffisamment élastique pour résister à l'écaillement et/ou au fendillement lors du traitement ultérieur du dispositif. 5. Le polymère doit rester stable aux températures élevées nécessaires lors du traitement ultérieur du dispositif. I1 a été reconnu qu'un matériau à même de satisfaire les exigences précitées est le matériau monomère polyimide com- mercialisé par.la société Hitachi sous l'appellation commerciale PIQ. Ce matériau à d'abord été exploité pour ses propriétés photorésistantes, mais quand on l'applique sur une surface de semi-conducteur sur une épaisseur de 20 à 100 micromètres il -- fournit une protection efficace contre les particules alpha; On injecte le monomère PIQ sur chaque pastille de semi-conducteur avec une seringue hypodermique, en en mettant une quantité suf- fisante pour former une surface de niveau, puis on le traite par- chauffage jusqu'à une température de 180 à 200 C, de préférence C. Cela fournit l'épaisseur désirée. Après le traitement de la couche de polymère, on place au dessus du dispositif un couvercle 18 que l'on scelle à l'em-- - base 15 du boîtier dans un four à une température.d'environ 400.OC, le marériau de scellement utilisé étant par exemple un verre de soudure 19. Il a été reconnu que des films en polymere PIQ restaient stables dans de telles conditions; l'étape de chauffage opérant en fait un traitement final du polymère. La réalisation que l'on vient de décrire concerne l'encapsulation d'un dispositif à semi-conducteurs dans un boîtier en céramique, connu sous le nom de boîtier CERDIP. Dans une autre réalisation (non représentée) on peut utiliser un boîtier plastique. Une technique semblable peut être employée, mais dans ce. cas le boîtier est moulé autour du dispositif en une seule opération. I1 faut aussi prendre en considération le fait que, les tempéra- tures requises dans le procédé de moulage du plastique étant inférieures à celles exigées dans le cas du boîtier en céramique, les exigences de stabilité thermique du polymère sont moins rigoureuses. Plusieurs systèmes de polymères peuvent être employés,: comme écrans contre les particules alpha. On a déjà mentionné le polymère PIQ et autres résines polyimides, mais certains autres matériaux adéquats peuvent contenir des caoutchoucs silicones et des polymères isoprènes. Dans d'autres applications, on peut avoir recours à des systèmes co-polymrères, par exemple butadiène/styrène. 11 est bien évident que la description qui précède n'a été faite qu'à titre d'exemple non-limitatif et que d'autres variantes peuvent être envisagées sans sortir pour autant du cadre de l'invention. 6 24?3S8 REVENDICATIONS 1. Méthode de protection d'un dispositif à semi-con- ducteurs, formé sur l'une des surfaces d'un substrat semi-conduc- teur, contre le bombardement de particules alpha, caractérisée par le fait qu'elle consiste à revêtir ladite surface d'une couche d'un polymère organique dont l'épaisseur est supérieure à la longueur de la trajectoire supposée dans le polymère des particules alpha susceptibles de frapper le dispositif. 2. Méthode conforme à la revendication 1, caractérisée par le fait que le polymère est un polyimide. 3. Méthode conforme à la revendication 1 ou 2, carac- térisée par le fait que la couche de polymère est obtenue par traitement thermique d'un monomère liquide appliqué sur la plus grande partie de la surface du substrat. 4. Méthode conforme à la revendication 1 ou2, carac- térisée par le fait que la couche de polymère est obtenue par un traitement par ultra-violets ou par faisceau d'électrons d'un monomère liquide appliqué sur la plus grande partie de la surface du substrat. 5. Méthode conforme à la revendication 1, caractérisée par le fait que ledit polymère est un co-polymère. 6. Méthode conforme à l'une quelconque des revendica- tions t à 5, caractérisée par le fait que le dispositif est une mémoire à accès selectif. 7. Méthode de protection d'un dispositif à semi-con- ducteur, formé sur l'une des surfaces d'un substrat semi-conduc- teur, contre le bombardement de particules alpha, caractérisée par le fait qu'elle consiste à appliquer sur ladite surface un polyimide liquide en quantité suffisante pour former un revêtement uniforme d'une épaisseur de 20 à 100 micromètres, et à traiter le monomère à une température de 180 à 2200C pour obtenir un revêtement de polymère uniforme. 8. Méthode conforme à l'une quelconque des revendi- cations précédentes, caractérisée par le fait qu'elle consiste en outre à encapsuler le dispositif protégé dans un boîtier. 9. Méthode conforme à l'une quelconque des revendi- cations 1 à 8, caractérisée par le fait qu'elle consiste d'abord à placer le dispositif revêtu dans un boîtier en céramique constitué de plusieurs pièces, puis à sceller les pièces du boîtier avec un matériau de scellement sous l'effet de la chaleur, le polymère étant lui-même pratiquement insensible.à la chaleur. 10. Dispositif à semi-conducteurs protégé contre l'effet des particules alpha, caractérisé par le fait qu'il est fabriqué selon une méthode conforme à l'une quelconque des reven- dications précédentes. 11. Dispositif à semi-conducteurs non encapsulé formé dans l'une des surfaces d'un substrat semi-conducteur, caractérisé par le fait que l'on revêt ladite surface d'une couche d'un poly- mère organique dont l'épaisseur est supérieure à la longueur de la trajectoire supposée dans le polymère des particules alpha susceptibles de frapper le dispositif. 12. Dispositif à semi-conducteurs encapsulé, caracté- risé par le fait qu'il comprend un substrat semi-conducteur monté dans un boîtier, et une couche d'un polymère organique intercalée entre une région active du substrat et le boîtier, l'épaisseur de ladite couche étant supérieure à la longueur de la trajectoire supposée dans le polymère des particules alpha provenant du matériau du boîtier.