Brevet FR2464495A1 — publié le 19810306

4iI La présente invention concerne un système de filtrage de fréquences spatiales d'un diagramme de diffrac- tion forméêpar un faisceau laser (appelé système de filtrage spatial dans la suite du présent mémoire, le cas échéant) permettant la détection des défauts d'un dessin régulier par utilisation des phénomènes optiques de diffraction, et elle concerne plus précisément un filtre de fréquences spatiales(appelé filtre spatial le cas échéant dans le présent mémoire) préparé par enregistrement photographique de la répartition d'intensités du spectre optique de la trans- formation de Fourier d'un dessin régulier normal, dans le système. Récemment, on a utilisé en pratique des systèmes de filtrage spatial utilisant des faisceaux laser pour la détection de défauts de dessins disposés régulièrement, par exemple dans divers filtres métalliques et caches de fa- brication de circuits intégrés. On connait aussi un système dans lequel une image bidimensionnelle est balayée par un mince pinceau lumineux, avec formation de signaux de sortie qui sont traités dans un ordinateur, l'ensemble formant un système de traitement d'image bidimensionnelle. Bien que ce système classique présente des inconvénients parce que le traitement est compliqué, parce que le temps de traite- ment est relativement grand et parce que le colt est donc élevé, le système précité de filtrage spatial est avanta- geux parce que le traitement parallèle spatial d'une image bidimensionnelle peut être réalisé facilement avec un sys- tème optique de colt de fabrication relativement faible et à vitesse élevée. En conséquence, on a utilisé un système de filtrage spatial dans un dispositif d'inspection de dé- fauts de produits industriels ayant des dessins bidimen- sionnels réguliers, tels que des filtres métalliques, des caches pour circuits intégrés, des étoffes, etc. On considère maintenant, en référence à la figure 1 qui est un schéma représentant l'arrangement fondamental CA d'un dispositif d'inspection de défauts utilisant un sys- tème de filtrage spatial, comment est réalisé essentielle- ment un tel système. Un faisceau laser 2 provenant d'un oscillateur laser 1 parvient sur un collimateur 3 et se transforme en un faisceau parallèle élargi 4 qui est transmis à un objet à inspecter. Cet objet est placé dans le plan focal avant d'une lentille 7 de Fourier alors que le spectre de l'objet 5 formé par transformation de Fourier est formé dans le plan focal arrière de cette lentille par un faisceau lumineux 6 qui est obtenu par diffraction du fais- ceau parallèle 4 provoquée par son passage à travers l'objet 5. Un filtre spatial 8 est placé au plan focal arrière de la lentille 7 de Fourier. Le filtre spatial 8 est un film négatif sur lequel la ré-partition des intensités du spectre de- Fourier, pour le dessin normal de l'objet 5 à inspecter, est enregistrée (l'inspection étant assurée par la lentille 7). Ainsi, seul un spectre correspondant au dessin normal est absorbé par le filtre spatial 8 et un spectre corres- pondant à un dessin de défauts peut être transmis par le filtre spatial 8. A cet égard, il faut noter que la position du filtre spatial 8 correspond au plan focal avant d'une len- tille 10 assurant une transformation inverse de Fourier. En conséquence, un faisceau lumineux 9 transmis par le filtre spatial 8 est soumis à une transformation inverse de Fourier et apparaît donc dans le plan-focal arrière de la lentille 10 sous forme d'une image ayant subi une transformation inverse de Fourier, obtenue par filtrage spatial, c'est-à-dire sous forme d'une image n'indiquant que les parties défectueuses de l'objet à inspecter. L'image est détectée par un détecteur optique 11. Un écran utilisé à la place du détecteur optique 11 permet la pré- sentation des parties défectueuses sous forme de points clairs. Ainsi, dans ce dernier cas, les défauts de l'objet peuvent être inspectés à l'oeil. On considère maintenant, en référence aux figures IV 2a à 2c, la figure 2a étant un schéma représentant des rangées croisées bidimensionnelles, la figure 2b étant une vue en plan d'un filtre spatial obtenu par enregistre- ment photographique de la répartition des intensités du spectre optique de Fourier des rangées croisées bidi- mensionnelles de la figure 2a et la figure 2c étant une représentation graphique indiquant la relation entre les dimensions géométriques des rangées croisées et la répartition des intensités du spectre de Fourier, un exemple de filtre spatial classique 8. La figure 2a représente des rangées croisées bidimensionnelles. La figure 2b repré- sente un filtre spatial 8 obtenu par enregistrement photo- graphique de la répartition des intensités du spectre optique de Fourier des ranqées croisées bidimensionnelles, le filtre spatial 8 ayant une partie opaque 12 et une partie transparente 13 qui sont sous forme noire et sous forme non noire en fonction des intensités spectrales. La figure 2c représente la relation entre la dimension géométrique des rangées croisées bidimensionnelles et la réparti- tion des intensités du spectre optique de Fourier, dans la direction x. Sur la figure 2c, les fréquences spatiales X = x/(X.f) (A étant la longueur d'onde et f la distance focale) sont portées sur l'axe horizontal et la répartition d'intensités I (X), est portée en ordonnées et est repré- sentée par la formule: 1(X) = (s AfrX)2 sin C X)2 (1) A1TX sin BurX La répartition des intensités a une forme telle que les franges d'interférences (sin CBXx)2 correspondant à plu- sieurs fentes sont modifiées par l'image de diffraction (sin AirX 2 A7rX) (un point sur la figure) d'une fente. Dans l'équation (1) qui précède, A, B et C représentent la lon- gueur d'un premier côté d'un réseau carré, la distance en- tre des réseaux adjacents et la longueur totale respective- ment, comme indiqué sur la figure 2a. De façon générale, au cours de l'inspection de produits ou d'objets industriels ayant un dessin régulier, pour la détermination des défauts par le système de fil- trage spatial, on utilise un filtre spatial obtenu par enregistrement photographique sur un film de 35 mm ou ana- logue, de la répartion des intensités du spectre optique formées par transformation de Fourier d'un dessin normal. Ce filtre spatial est avantageux car il peut être facile- ment fabriqué si bien que son coût est faible; cependant, il présente des inconvénients sur les points suivants. Le système optique fixe des critères extrêmement astreignants à la précision mécanique si bien que le filtre spatial ne peut pas être décalé de l'axe optique ou ne peut pas être tourné autour de l'axe optique. En particulier, dans le cas de l'utilisation d'une lentille convexe ordinaire com- me lentille de Fourier, le plan focal est courbe, si bien que le faisceau lumineux de diffraction d'ordre élevé n'est plus focalisé. En outre, comme le faisceau lumineux de diffraction d'ordre élevé a une intensité spectrale exces- sivement faible, l'enregistrement dans la plage dynamique de 102 à 103 lux.secondes du film photographique n'est pas possible. Ainsi, le filtre spatial ne peut pas filtrer le faisceau lumineux de diffraction d'ordre élevé, et ne per- met pas l'obtention d'un rapport signal/bruit S/B suffisam- ment élevé.- On a déjà proposé un procédé d'utilisation d'un filtre directionnel ou d'une lentille spéciale de Fourier donnant un plan de transformation de Fourier qui est plat, pour remédier à ces inconvénients. Un exemple de filtre spatial, appelé "filtre directionnel" est représenté sur la figure 3 des dessins annexés. Le filtre spatial porte un dessin dans lequel, comme dans le cas de rangées croisées bidimensionnelles, les composantes principales de son spectre de Fourier sont réparties dans les directions O degré et 90 degrés. Le filtre spatial a une partie opaque 14 (hachurée) et la partie transparente restante 15 permet au système optique d'avoir une précision mécanique réduite, c'est-à-dire que l'utilisation de ce filtre spatial est plus commode en pra- tique. Lors de l'utilisation de ce filtre spatial, les com- posantes dans les directions 0 degré et 90 degrés, c'est-à- dire les composantes linéaires du dessin, sont considérées comme les composantes normales et sont retirées par filtrage alors que les composantes restantes qui sont considérées comme des composantes de défauts, sont transmises par le filtre spatial. Ainsi, il n'est pas possible que le filtre spatial retire par filtrage un spectre non directionnel d'un faux défaut tel qu'un rayon formé à un coin (comme indiqué par la référence R sur la figure 6) et en consé- quence le rapport signal/bruit S/B du filtre spatial n'est pas suffisamment élevé. D'autre part, le second procédé indiqué n'est pas commode en pratique étant donné que la lentille spéciale dé Fourier, de résolution élevée, donnant un plan plat de transformation de Fourier, est d'un coût très élevé, de plusieurs dizaines de milliers de francs. Même lors de l'utilisation d'une telle lentille, le problème posé par la plage dynamique du film photographique n'est pas résolu. En conséquence, on ne peut pas prévoir un effet de filtrage du faisceau lumineux de diffraction d'ordre élevé de la manière voulue. L'invention remédie aux inconvénients précités présentés par un filtre spatial classique. Plus précisément, l'invention concerne un filtre de fréquences spatiales de type directionnel et à coupure haute, permettant l'inspection des défauts des produits industriels ayant des dessins bidimensionnels réguliers, ce filtre donnant des rapports signal/bruit élevés, des signaux élevés de sortie représentatifs des défauts etune excellente qualité d'image avec une précision mécanique relativement faible, sans les inconvénients des systèmes classiques de filtrage spatial, le traitement spatial en parallèle des images bidimensionnelles pouvant être réalisé facilement avec un système optique de coût de fabrication relativement faible. D'autres caractéristiques et avantages de l'in- vention ressortiront mieux de la description qui va suivre, faite en référence aux dessins annexés sur lesquels, les figures 1, 2a, 2b, 2c et 3 ayant déjà été décrites: la figure 4a est une vue en plan d'un filtre spatial obtenu par enregistrement photographique d'un pro- duit industriel ayant des rangées croisées bidimension- nelles; la figure 4b est un agrandissement de la partie essentielle du filtre spatial de la figure 4a la figure 5a est une vue en plan d'un exemple de filtre spatial directionnel à coupure haute selon l'inven- tion, obtenu par combinaison du filtre spatial de la figure 4a avec un filtre directionnel à coupure haute; la figure 5b est un agrandissement de la partie essentielle du filtre de la figure 5a; la figure 6 est un schéma donné à titre explica- tif, représentant des orifices ou trous, ainsi qu'un défaut, dans le cas d'un produit industriel ayant des rangées croisées bidimensionnelles; la figure 7a est un schéma représentant des ori- fices ou des trous ainsi qu'un défaut formé dans un filtre métallique; la figure 7b est un agrandissement de la partie la plus importante du filtre métallique; la figure 8 est un agrandissement d'un filtre spatial directionnel à coupure haute utilisé pour le filtre métallique de la figure 7a; la figure 9 est un graphique représentant la va- riation du rapport signal/bruit S/B, en fonction du diamètre, d'un filtre spatial directionnel à coupure haute et d'un filtre spatial passe-bas circulaire; la figure 10 est un graphique représentant la variation des intensités optiques relatives à un défaut, portéesen ordonnées, en fonction du diamètre porté en abs- cisses, dans le cas d'un filtre spatial directionnel à coupure haute et d'un filtre spatial passe-bas circulaire; la figure il est un graphique représentant la variation du rapport signal/bruit S/B, porté en ordonnées, en fonction du déplacement de l'axe optique, porté en abscisses, dans le cas du filtre spatial directionnel à coupure haute et du filtre spatial classique; et la figure 12 est un graphique représentant la variation du rapport signal/bruit S/B porté en ordonnées en fonction de la rotation autour de l'axe optique, portée en abscisses en degrés, lors de l'utilisation du filtre spa- tial directionnel à coupure haute et du filtre spatial classique. On considère d'abord un filtre spatial classique, en référence aux figures 4a et 4b, afin que la compréhen- sion de l'invention soit facilitée. Le filtre spatial classique a des parties 16 qui sont noircies par enregistrement de la répartition des in- tensités du spectre optique de Fourier d'un produit indus- triel, par exemple un filtre métallique ayant des rangées croisées bidimensionnelles, le filtre comprenant ainsi des parties opaques 16 et des parties transparentes 17-1 et 17-2 qui ne sont pas noircies parce que l'intensité du spectre est faible. Comme indiqué sur la figure 4a, les principales composantes du spectre des rangées croi- sees se répartissent dans les directions 0 degré et 90 de- grés, et les composantes sont bien moins nombreuses dans une direction O comprise entre les directions 0 degré et degrés. Ainsi, une répartition de zones obscures, reflé- tant la répartition des intensités du spectre tel qu'il est, est formée sur un film photographique. De cette manière, dans les directions 0 degré et 90 degrés, le noircissement est assuré pour la région correspondant à la lumière diffractée d'ordre élevé alors que, dans la direction e, seule la région correspondant à la lumière diffractée d'ordre inférieur est noircie. Le diamètre du point noir est différent du diamètre correspondant à la limite de dif- fraction, dépendant de la source lumineuse (par exemple plusieurs microns). Ainsi, dans une région de lumière dif- fractée d'intensité élevée, ayant un ordre proche de l'ordre fondamental, le point sombre a un grand diamètre de l'ordre de 100 à 150 microns, étant donné la surexposition et l'ef- fet de halo au cours de l'opération d'enregistrement; ce- pendant, lorsque l'ordre de diffraction de la lumière aug- mente, le diamètre du point diminue. Lorsqu'un objet 5 à inspecter, ayant un défaut 18 comme représenté sur la figure 6, est soumis à un filtrage spatial dans le système décrit en référence à la figure 1, à l'aide du filtre spatial-représenté sur les figures 4a et 4b, parmi les composantes spectrales du défaut 18, les com- posantes d'ordre élevé et les composantes d'ordre inférieur passent dans les parties transparentes 17-1 et 17-2 res- pectivement et apparaissent sous forme de points clairs dans le plan de transformation inverse de Fourier. Des pro- duits industriels tels.que des filtres métalliques ayant des orifices ou des fenêtres comportent en général des rayons R dans les coins, comme indiqué par la référence 19 sur la figure 6. En conséquence, au cours du filtrage spa- tial précité, les composantes spectrales d'ordre élevé, dans la direction O, pour le rayon des coins, sont trans- mises par les parties transparentes 17-1 et peuvent aussi apparaître sous forme de pointsclairs dans le plan de trans- formation inverse de Fourier si bien qu'il apparaît des signaux correspondant à de faux défauts et le rapport signal/bruit S/B est réduit. Les composantes de bruit d'un système classique de filtrage spatial peuvent être classées en composantes de bruit du système optique (dues à la dispersion optique pro- voquée par la surface irrégulière de la lentille et la poussière portée par cette surface), et en composantes de bruit correspondant aux faisceaux lumineux diffractés d'ordre élevé transmis dans la région du spectre d'ordre élevé dans laquelle le film photographique n'est pas suf- fisamment obscurci du fait d'une intensité spectrale in- suffisante et d'une mauvaise focalisation. Une grande partie de chacun de ces deux types de composantes diffé- rentes de bruit peut être transmise par les parties trans- parentes 17-1. Ces dernières occupent la plus grande partie du filtre spatial. En conséquence, bien que les composantes de bruit du système optique et de la lumière diffractée d'ordre élevé aient une intensité très faible, elles ne peuvent pas être négligées lorsque la lumière transmise est intégrée sur la surface. L'invention repose sur ces phénomènes. Les faisceaux lumineux diffractés d'ordre élevé traversant le filtre spatial comprennent ceux qui provien- nent des parties périphériques rectilignes des orifices formant des réseaux carrés. On peut expliquer ce phénomène d'après la théorie des ondes marginales selon laquelle les faisceaux lumineux diffractés d'ordre élevé sont ceux qui proviennent de la périphérie d'un orifice (comme décrit dans l'ouvrage "Wave Optics" de Hiroshi Kubota p. 257 Iwanami Shoten, 1971). Ces faisceaux lumineux diffractés d'ordre élevé traversent des parties du filtre spatial qui ne sont pas assombries, dans les directions 0 degré et 90 degrés. Comme l'indique clairement la description qui pré- cède, les faisceaux lumineux diffractés d'ordre élevé, constituant une partie des composantes spectrales d'un dé- faut, sont importants;cependant, ilsne constituent rien d'autre que les principales composantes de bruit, lorsqu'on les considère ensemble. Ainsi, une amélioration du rapport signal/bruit S/B du filtre spatial nécessite la formation d'un filtre spatial qui transmette les composantes de la lumière diffractée par un défaut, autant que possible, et qui retire les faisceaux lumineux diffractés d'ordre élevé qui forment des composantes de bruit, dans la mesure du possible. Les figures 5a et 5b représentent un exemple de filtre spatial selon l'invention. Ce filtre peut être obtenu par addition d'un filtre directionnel 20 à coupure haute ayant des parties du filtre spatial de la figure 4 obtenu par enregistrement photographique (représenté en hachure sur les figures 5a et 5b). La configuration des parties hachurées montre que le filtre 20 à coupure haute cache la région de lumière diffractée d'ordre inférieur dont le spectre est enregistré, dans la direction O dans laquelle la région de lumière diffractée d'ordre élevé n'est pas enregistrée; dans les directions des composantes spectrales principales, c'est-à-dire dans les directions 0 et 90 degrés, le spectre est enregistré jusqu'à la ré- gion de lumière diffractée d'ordre supérieur, si bien qu'un filtrage est assuré. Ainsi, le filtre 20 à coupure haute a tendance à présenter une ouverture de type passe-haut et a une configuration correspondant à la proportion des com- posantes directionnelles de la répartition des intensités du spectre optique de Fourier pour les rangées croisées bidimensionnelles. Presque tous les faisceaux lumineux diffractés d'ordre supérieur autour de la direction O peuvent être retirés par addition d'un filtre directionnel à coupure haute ayant une telle configuration à un filtre spatial clas- sique obtenu par enregistrement photographique. En consé- quence, la presque totalité des effets des composantes de bruit du système optique, des rayons formés aux coins et de la lumière diffractée marginale peuvent être éliminés. D'autre part, parmi les composantes spectrales du défaut 18, seuls les faisceaux lumineux diffractés d'ordre infé- rieur sont transmis par le filtre dans la direction O et, dans les directions 0 et 90 degrés, les faisceaux lumineux diffractés, jusqu'aux faisceaux diffractés d'ordre supé- rieur, sont transmis par le filtre dans la mesure du pos- sible, suivant l'aptitude au filtrage du filtre spatial donné par enregistrement photographique si bien que la réduction du signal optique de sortie correspondant au défaut 18 est évitée dans la mesure du possible et le rap- port signal/bruit S/B est remarquablement amélioré. Les effets du filtre directionnel à coupure haute résident non seulement dans l'augmentation du signal optique de sortie du défaut mais aussi dans l'amélioration du rapport signal/bruit S/B. On décrit cette caractéristique sous forme de l'amélioration de la qualité de l'image. Dans la combinaison d'un filtre passe-bas circulaire et d'un filtre-spatial obtenu par enregistrement photogra- phique, le rapport signal/bruit S/B est amélioré, mais l'image résultante a une qualité très faible étant donné la diffraction par les trous circulaires. D'autre part, le filtre directionnel à coupure haute, ayant une tendance passe-haut dans la direction des composantes spectrales principales, n'est que peu affecté par la diffraction si bien que l'image obtenue par transformation inverse de Fourier est excellente. En outre, dans la région de lumière diffractée d'ordre inférieur qui est utilisée essentiel- lement, le diamètre des point noirs du spectre enregistré est de 10 à 20 fois plus grand que celui des points cor- respondant à la limite de diffraction qui est déterminée par la dimension de la source lumineuse. En conséquence, les possibilités de rotation autour de l'axe optique et de déplacement par rapport à l'axe optique sont relative- ment grandes si bien que la précision mécanique du filtre spatial peut être notablement réduite. Le filtre directionnel à coupure haute peut être formé de toute matière qui peut absorber la lumière. En conséquence, il peut être préparé par noircissement, sui- vant une configuration prédéterminée, du filtre spatial obtenu par enregistrement photographique, ou par collage d'un papier noir découpé à la configuration voulue sur le filtre spatial. Ainsi, le filtre directionnel à coupure haute peut être fabriqué facilement et à faible prix. Le papier noir découpé à la configuration prédéterminée peut être placé à plusieurs millimètres du filtre spatial dans la direction de l'axe optique. Comme l'indique la description qui précède, l'uti- lisation du filtre spatial directionnel à coupure haute qui est obtenu selon l'invention par combinaison du filtre spatial obtenu par enregistrement photographique de la ré- partition des intensités du spectre de Fourier d'un dessin régulier avec le filtre directionnel à coupure haute ayant une tendance passe-haut dans les directions dans lesquelles il existe plus de composantes en fonction de la proportion des composantes directionnelles du spectre, rend possible la formation d'un dispositif de précision mécanique rela- tivement réduite mais permettant l'inspection de produits industriels ayant des dessins bidimensionnels réguliers afin que les défauts soient déterminés avec une précision élevée, sans perte de la caractéristique du système de fil- trage spatial qui permet un traitement parallèle spatial facile de l'image bidimensionnelle avec un système optique de coût relativement faible. On considère maintenant les effets obtenus selon l'invention. Les figures 7a et 7b sont des schémas explicatifs représentant un filtre métallique et un agrandissement de la partie la plus importante de ce filtre métallique res- pectivement. Le filtre métallique a une épaisseur de 0,2 mm et un dessin bidimensionnel régulier. Le filtre est utilisé pour la détermination des caractéristiques de l'invention. Sur les figures 7a et 7b, la référence-21 désigne un trou ou orifice du filtre métallique et la référence 22 un dé- faut. La figure 8 représente sous forme agrandie un exemple de filtre spatial directionnel à coupure haute selon l'invention obtenu par combinaison d'un filtre direc- tionnel 24 à coupure haute et d'un filtre spatial 23 obtenu lui-méme par enregistrement photographique de la réparti- tion des intensités du spectre optique de Fourier du filtre métallique représenté sur la figure 7, la source lumineuse étant un laser He-Ne et la lentille de-Fourier étant une lentille convexe ayant une distance focale f de 250 mm et un diamètre de 100 mm. Les composantes principales du spectre de Fourier se trouvent dans les directions 0 et 90 degrés. Cependant; comme la plupart des composantes spec- trales se trouvent dans la direction 0 degré, la caracté- ristique passe-haut du filtre directionnel 24 à coupure haute est améliorée dans la direction 0 degré afin que le rapport F/E soit égal à 2 (F et E désignant respectivement les longueurs suivant les directions 0 degré et 90 degrés comme représenté sur la figure 8). La figure 9 représente graphiquement la varia- tion du rapport de l'intensité optique du défaut 22 à l'in- tensité optique du bruit dû au coin, mesurée dans le plan de transformation inverse de Fourier, c'est-à-dire le rap- port signal/bruit S/B, en fonction du diamètre D$ indiqué sur la figure 8, dans le cas du filtre spatial direction- nel à coupure haute représenté sur la figure 8 (courbe A) et d'un filtre spatial circulaire passe-bas formé par combinaison d'un filtre passe-bas circulaire (de dimension DO) et d'un filtre spatial 23 obtenu par enregistrement photographique (courbe B). Le rapport S/B du filtre spatial classique est égal à 5 (S/B = 5). La figure 10 représente graphiquement la varia- tion de l'intensité optique correspondant au défaut 22, mesurée comme indiqué sur la figure 9 (en ordonnées) en fonction du diamètre Do, pour le filtre spatial direction- nel à coupure haute (courbe A) et pour le filtre spatial circulaire passebas (courbe B). L'intensité optique du filtre spatial classique est de 2,3. Comme l'indiquent les figures 9 et 10, le rap- port S/B du filtre spatial directionnel à coupure haute selon l'invention est environ 5 fois plus grand que celui du filtre spatial classique. Le rapport S/B, lors de l'uti- lisation de ce filtre spatial directionnel, est supérieur à celui qui est obtenu par utilisation du filtre spatial circulaire passe-bas et l'intensité optique du défaut 22 est plus importante. L'intensité optique du défaut 22 pour une valeur égale à 3, correspondant à la valeur de crête du rapport S/B dans le cas du filtre spatial directionnel, est inférieure de 20 % seulement à l'intensité optique dans le cas du filtre spatial classique; l'intensité op- tique dans le cas du filtre spatial circulaire passe-bas est plus faible de 80 %. La figure 11 indique les effets du déplacement de l'axe optique, porté en abscisses, sur le rapport S/B. On suppose que la limite du rapport S/B qui convient à une inspection satisfaisante est égale à 4. En conséquence, le filtre spatial classique (courbe B) obtenu par enregis- trement photographique ne peut pas être utilisé lorsque l'axe optique estdéplacé de plus de 10 microns alors que le filtre spatial directionnel à coupure haute (courbe A) peut être utilisé même lorsque l'axe optique est déplacé de 35 microns. La figure 12 indique les effets de la rotation autour de l'axe optique, portée en abscisses, sur le rapport S/B, porté en ordonnées. Si l'on suppose que la limite efficace du rapport est S/B = 4, on note que le filtre spa- tial classique (courbe B) ne peut pas être utilisé lors- qu'il tourne autour de l'axe optique de plus de 0,2 degré alors que la rotation possible autour de l'axe optique dans le cas du filtre spatial directionnel à coupure haute selon l'invention (courbe A) est de 1,0 degré. Comme l'indique clairement la description qui précède, le système de filtrage spatial comprenant le filtre spatial directionnel à coupure haute selon l'invention per- met l'inspection de produits industriels ayant des dessins bidimensionnels réguliers et la détermination de défauts avec des rapports signal/bruit S/B élevés, avec des signaux élevés représentant les défauts et avec une grande qualité d'image, pour une précision mécanique relativement faible. Ainsi, l'invention a des effets pratiques très appréciés. REVENDICATIONS 1. Filtre de fréquences spatiales directionnel à coupure haute, caractérisé en ce qu'il comprend: - un filtre de fréquences spatiales (23) -préparé par enregistrement photographique de la répartition des intensités du spectre optique formé par transformation de Fourier d'un dessin régulier, et - un filtre directionnel à coupure haute (24) dont la caractéristique passe-haut est accrue en fonction de la proportion de composantesdirectionnellesde ladite répartition des intensités du spectre optique de trans- formation de Fourier, dans des directions dans lesquelles des composantes spectrales sont supérieures à celles d'autres directions. 2. Filtre selon la revendication 1, caractérisé en ce que le filtre directionnel à coupure haute (24) est formé d'une matière absorbant la lumière. 3. Filtre selon la revendication 2, caractérisé en ce que ladite matière est une feuille noire découpée à une configuration prédéterminée. 4. Filtre selon la revendication 2, caractérisé en ce que le filtre directionnel à coupure haute (24) est préparé par noircissement du filtre de fréquences spatiales (23) suivant une configuration prédéterminée. 5. Filtre selon la revendication 2, caractérisé en ce que le filtre directionnel à coupure haute (24) formé d'une matière absorbant la lumière est placé à dis- tance du filtre de fréquences spatiales (23).