Brevet FR2465792A1 — publié le 19810327

La Drésente invention concerne une installation de létallisation sous vide Dour le dépôt d'un revêtement sur toutes les faces de substrats par rotation de ces derniers dans un flux de matériau, constituée par une chambre à vide avec une source allongée présentant un axe longitudinal et un axe transversal, un support avec plusieurs points de fixation pour la disposition sensiblement réguliere de plusieurs substrats au-dessus de la source, et un entrainement produisant le mouvement de rotation des substrats. Les procédés de revêtement suivants sont applicables : évaporation sous vide, pulvérisation cathodique, iono-évaporation, méthode CvD (Chemical Vapor Deposition) et procédés similaires. I1 est connu de déposer une mince couche superficielle sur toute les faces de substrats en leur imprimant un mouvement de rotation dans un flux dirigé de vapeurs et/ou en leur faisant traverser ce flux avec un mouvement de rotation. I1 est possible pour ce faire d'embrocher individuellement les substrats sur des arbres, puis de les introduire dans le flux de vapeur en rotation autour de l'axe de ces derniers. Des roues dentées ou des galets sont disposés à l'extrémité des arbres et tournent sur une crémaillere ou une barre fixe pour l'entraînement des arbres. Des couches résistantes ont déjà été déposées de la façon indiquée sur des isolateurs tubulaires. Les dispositifs et procédés connus de ce type sont toutefois limités à de petits substrats et à un faible nombre de substrats. Il est également connu de fixer des substrats géométriquement simples, tels que lentilles et filtres optiques, sur des.supports, puis d'introduire périodiquement ces derniers dans le flux de vapeurs avec exécution de mouvements composés complexes. De tels dispositifs et procédés ne conviennent aussi que pour des substrats relativement petits dont la forme ne soulève aucun problème quant à une distribution régulière de l'épàisseur de couche. Pour métalliser de grandes quantités de pièces relativement complexes, telles que des réflecteurs pour feux de véhicules routiers, il est connu de disposer les substrats sur des supports montés en rotation dans une cage sensiblement cylindrique. La source de l'évaporateur se trouve à l'intérieur de la cage, de sorte que les substrats sont déplacés à travers le flux de vapeurs dirigé vers le haut pendant une rotation de la cage. Un entraînement superposé imprime aux supports, à l'intérieur de la cage, un mouvement de rotation supplémentaire, qui peut être décrit comme un mouvement en développante. La méthode indiquée produit une distribution aléatoire relativement bonne de l'épaisseur de couche. un tel dispositif ne convient toutefois pas pour des substrats extrêmement irréguliers de grande dimension, devant être revêtus par lots avec des métaux ou alliages métalliques à point de fusion élevé, la température des substrats devant par exemple être supérieure à 500 OC. Les ailettes de turbines à gaz, du type employé en navigation aérienne, sont un exemple de substrats d'une forme géométrique particulièrement complexe, dans le cas desquels une grande importance est en outre accordée à une distribution régulière de l'épaisseur de couche, à la répartition des éléments d'alliage dans la couche et à une adhérence élevée par diffusion intermétallique. Les pro blèmes liés aux couches superficielles de telles ailettes de turbine sont décrits dans la brochure "High Temperature Resistant Coatings for Super-Alloy" de Richard P. Seelig et Dr. Richard J.Stueber, de la Société CHROMALLOY AMERICAN CORPORATION, New-York, USA. I1 était jusqu'à présent extrêmement difficile de produire à l'échelle industrielle de telles couches présentant les propriétés requises, à des prix économiquement admissibles. Un problème particulier est posé par la transmission dtun mouvement de rotation défini entre un moteur d'entraînement et plusieurs substrats, et par les pertes relativement importantes du coûteux matériau évaporé, qui se condense non seulement sur les substrats, mais aussi sur les surfaces intérieures de l'installation de métallisation, ou il produit des dépôts gênants.Une disposition relativement serrez des substrats dans le flux de vapeurs ou au-dessus du creuset évaporapermet de remédier dans une certaine mesure à ce problème, mais le mouvement de rotation des divers substrats ne doit toutefois pas être empêche. L'invention a pour objet une installation de métallisation sous vide du type précédemment décrit, permettant de déposer à l'échelle industrielle des couches superficielles métalliques présentant des propriétés bien déterminées, même sur des substrats de formes complexes et avec une relativement bonne utilisation du matériau disposé. Selon une caractéristique essentielle de l'invention, le substrat comprend deux bras porteurs parallèles, dont les axes longitudinaux B-B et C-C-sont symétriques par rapport à un plan vertical contenant l'axe longitudinal A-A de la source; des accouplements, dont les axes de rotation sont perpendiculaires au plan de symétrie, sont disposés sur les côtés intérieurs en regard des bras porteurs; et un arbre menant est disposé suivant l'axe longitudinal de chaque bras porteur et relié par des engrenages d'angle aux accouplements d'une part et à un moteur d'autre part. Une telle construction permet une disposition relativement compacte des substrats entre les deux bras porteurs, l'ensemble des bras porteurs et des substrats présentant la forme de deux râteaux dont les dents sont en regard. Il est possible de placer les substrats dans une position optimale à l'intérieur du flux de matériau, au-dessus de la source, les deux bras porteurs avec les arbres d'entraînement et les engrenages d'angle qu'ils contiennent se trouvant alors à l'extérieur du flux. Cette solution est particulièrement avantageuse en cas d'utilisation d'un creuset évaportateur comme source, car le creuset, dont le contenu doit être porté à une température d'environ 1500 OC quand il s'agit d'alliages résistant à l'oxydation et à la corrosion, produit un rayonnement thermique important. Un chauffage des substrats est en outre souvent nécessaire.Des ailettes de turbine à gaz par exemple doivent être maintenues à une température d'environ 1000 OC pour favoriser une diffusion intermétallique suffisante. Le principe de l'invention permet, par interposition d'entretoises entre les accouplements et les substrats1 d'assurer un écartement protégeant les bras porteurs contre une sollicitation thermique excessive. Un entraînement extérieur à la zone d'évaporation, voire à la chambre à vide, permet néanmoins facilement d'assurer un mouvement de rotation régulier de tous les substrats. Il est possible d'accroître encore la densité des substrats en décalant les accouplements d'un bras porteur par rapport à ceux du second bras, suivant leur longueur, d'un demi-intervalle entre accouplements voisins. Les substrats d'un bras porteur peuvent ainsi être disposés dans les intervalles entre les substrats du second bras. Il est ainsi possible de rapprocher les divers substrats jusqu'à la limite de non-perturbation de leur mouvement. Une fixation alternée des substrats sur un bras porteur et sur l'autre permet de loger les arbres d'entraînement et les engrenages d'angle dans les bras porteurs réalisés sous forme de corps creux. L'entraînement simultané de tous les substrats d'un bras porteur est particulièrement simple quand l'arbre d'entraînement traversant porte tous les accouplements et les engrenages d'angle sont constitués chacun par un pignon monté sur l'arbre d-'entraînement et une roue à couronne montée sur l'arbre d'accouplement. Une telle réalisation présente l'avantage que d'éventuelles variations de longueur de l'arbre d'entraînement n'entraînent ni dur, ni détérioration des engrenages d'angle. Les pignons peuvent se déplacer radialement par rapport à la roue à couronne sans modification du jeu entre les dents. L'utilisation de roues coniques au lieu des roues à couronne imposerait par exemple l'emploi de compensateurs de dilatation thermique. Les arbres d'accouplement sont relativement courts, de sorte que les éventuelles variations de position des roues à couronne demeurent dans les tolérances admissibles pour l'engrènement L'epaisseur de la couche déposée par unité de temps et élé ment de surface dépend essentiellement de l'angle de la surface de condensation par rapport à la direction du flux de matériau. La quantité de matériau condensée par unité de temps sur une surface perpendiculaire au flux par exemple est un multiple de celle condensée sur une surface parallèle à ce flux Les substrats dont les éléments de surface forment en angle, et notamment un angle droit, entraînent par suite des difficultés particulières. Ces dernières apparaissent notamment dans le cas des ailettes de turbine à gaz, constituées par une pale et un pied. La surface du pied en regard de la pale forme pratiquement un angle droit avec la génératrice de cette dernière. Il est par suite nécessaire non seulement de faire tourner une telle ailette autour de son grand axe, mais aussi de modifier sa position spatiale autour d'un axe perpendiculaire au grand axe. Le "grand axe" d'une ailette de turbine est l'axe parallèle ou sensiblement parallele à la génératrice de la pale d'ailette et perpendiculaire à l'axe de la turbine après le montage de l'ailette dans cette dernière. Selon une autre caractéristique de l'invention, le mouvement superposé requis s'obtient d'une façon particulièrement simple par le montage des bras porteurs sur deux leviers radiaux, pivotant autour d'un axe D-D commun, situé dans le plan de symétrie de la source et dans le plan de symétrie des domaines de pivotement. Sous une forme simplifiée, cela signifie que les axes longitudinaux B-B et C-C des bras porteurs parallèles peuvent effecter des mouvements de pivotement, qui décrivent chacun une partie de surface cylindrique, dont l'angle au centre est de préférence égal à 900. Le plan de symétrie des deux domaines de pivotement, qui est un plan diamétral horizontal du cylindre, contient aussi l'axe de pivotement, c'est-à-dire que l'angle de pivotement des deux bras porteurs, avec les hypotheses précitées, est de préférence de 450 de part et d'autre du plan de symétrie. Les substrats, disposés au-dessus de la source et dont les centres se situent dans le plan de symétrie vertical passant par la source, effectuent des mouvements de pivotement autour de l'axe D-D, qui passe par les centres des substrats. Il en résulte que la surface enveloppe du pied de l'ailette est soumise au flux de matériau sous un angle favorable, de sorte qu'il se produit à cet endroit une condensation plus efficace, liée à une constitution appropriée de la couche. Le guidage des bras porteurs et le logement des leviers radiaux sont obtenus d'une façon particulièrement simple, en disposant chacun des leviers sur un de deux arbres creux coaxiaux, reliés par un mécanisme de renversement de marche dont la roue de renvoi est fixe. Les deux arbres creux assurent un logement rigide en flexion et en torsion, tandis que la roue de renvoi produit un mouvement opposé des deux bras porteurs. Ce dernier permet aussi des mouvements de pivotement disharmoniques des bras porteurs, c'est-à-dire qu'il est possible d'immobiliser ou de ralentir les bras porteurs dans une position de revêtement avantageuse, les substrats disposés par principe symétriquement par rapport à un plan étant tous soumis au flux de matériau dans la même position spatiale. La transmission du mouvement de rotation d'un moteur d'entraînement aux substrats, nécessaire pour la rotation de ces derniers, est produite d'une façon particulièrement simple et efficace pour les leviers à l'intérieur des arbres creux, en disposant dans ces derniers un second montage d'arbres coaxiaux pour le mouvement des leviers, avec transmission d'une rotation aux substrats, un mécanisme de renversement de marche à roue de renvoi fixe étant disposé entre les arbres. La présence de ce mécanisme de renversement de marche assure non seulement la rotation de tous les substrats dans le même sens, mais aussi une réaction de même sens d'éventuelles rotations superposées sur la rotation des substrats. Cette solution est particulièrement importante, comme il sera précisé ultérieurement, car un pivotement des bras porteurs entraîne une rotation ou un déplacement des substrats, même quand le moteur de rotation des substrats est arrêté car les roues dentées des engrenages d'angle roulent l'un sur l'autre pendant le pivotement des bras porteurs. Un entraînement de pivotement est utilement affecté aux arbres creux de déplacement des leviers; il est constitué par une trans mission à manivelle avec une roue menée, animée d'un mouvement de va-et-vient et reliée à l'un des arbres creux. Cette liaison n' est pas nécessairement directe et peut même être établie par l'insertion d'autres organes de transmission, comme le montrera la description détaillée ultérieure. Avec une telle transmission à manivelle, une variation du rayon de la manivelle sur l'arbre du moteur d'entraînement permet de faire varier l'angle de pivotement de la roue menée et par suite l'angle de pivotement des bras porteurs. Comme précédemment indiqué, le pivotement des bras porteurs produit un pivotement des substrats même quand le moteur de rotation des substrats est arrêté. Lorsque le moteur de rotation des substrats est en marche, il en résulterait la superposition d'un mouvement de pivotement alterné à la rotation régulière par exemple des substrats, avec par suite une variation continue de la vitesse circonférentielle des substrats. Pour éliminer cette influence, et selon une autre caractéristique de l'invention, un moteur monté en rotation autour de son axe est affecté aux arbres coaxiaux de transmission de la rotation aux substrats; et le moteur est relié dans un rapport de 1/1 à la roue menante de la transmission à manivelle pour le pivotement des leviers.Le moteur ou sa carcasse effectue par suite un pivotement périodique par exemple, qui se superpose naturellement à la rotation de l'axe du moteur. L'accouplement dans le rapport de 1/1 de la roue menée de pivotement au moteur compense exactement l'influence du pivotement des bras porteurs, de sorte que les substrats effectuent exactement une rotation correspondant à celle du moteur d'entraînement des substrats en rotation. Il est possible de simplifier notablement l'entraînement de la roue menée pour le pivotement des arbres creux et du moteur de rotation des substrats en reliant la roue menée de la transmission à manivelle aux arbres creux des leviers et au moteur de rotation des substrats par un élément d'entraînement commun, sans glissement. Des roues dentées et des transmissions à chaîne par exemple constituent des éléments d'entraînement sans glissement.Il est toutefois particulièrement avantageux d'utiliser des courroies dentées. Afin d'introduire les substrats dans le flux de matériau en maintenant les bras porteurs en dehors de ce dernier, et selon une autre caractéristique de l'invention, les bras porteurs sont montés en porte- -faux sur un chariot, qui les introduit dans la chambre à vide. Le chariot peut demeurer en dehors de la chambre à vide pendant le dépôt et s'immobiliser par exemple dans la chambre de chargement. Selon une autre caractéristique particulièrement avantageuse de l'invention, le chariot comporte un boîtier qui contient le mécanisme de renversement de marche des arbres creux et les paliers de ces derniers; et des arbres coulissants ou des manchons à billes sont prévus pour la transmission des couples d'es- traînement entre les moteurs fixes et les mécanismes de renversement de marche. Cette solution garantit la transmission sans pertes du couple des moteurs d'entraînement aux éléments correspondants dans le boîtier ou sur le chariot. Il est particulièrement important pour la surveillance du dépôt de pouvoit déterminer à tout instant la position spatiale des substrats par rapport à la source. Selon une autre caractéristique de l'invention, l'arbre du moteur de rotation des substrats est relié à un répétiteur de position, indiquant la position spatiale des substrats autour de leur axe de rotation par rapport à la source. Un mouvement de pivotement compensateur étant superpose à 11 arbre de ce moteur7 l'influence du pivotement des bras porteurs est totalement compensée sur le répétiteur de position, de sorte qu'une indication sans erreur est obtenue. La roue menée de la transmission à manivelle pour le pivotement des leviers est avantageusement reliée aussi à un répétiteur de position, indiquant la position angulaire des leviers, les deux répétiteurs de position étant disposés concentriquement. Cette disposition permet de déterminer d'un simple coup d'oeil la position des profilés et des grands axes des ailettes par rapport à la source. Une forme du substrat particulièrement compacte et peu influencée par la condensation du matériau est obtenue, selon une autre caractéristique de l'invention, en réalisant les extrémités des arbres creux coaxiaux, en regard des bras porteurs, sous forme de boîtiers imbriqués, à partir desquels les leviers s'étendent radialement vers l'extérieur, jusqu'aux bras porteurs; des engrenages d'angle sont disposés dans les boîtiers et des arbres de transmission de la rotation aux arbres d'entraînement dans les bras porteurs sont disposés dans les leviers; et des boîtiers contenant d'autres engrenages d'angle sont disposés aux points de liaison des leviers et des bras porteurs. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention seront mieux compris à l'aide de la description détaillée ci-dessous d'un exemple de réalisation et des dessins annexés sur lesquels la figure 1 est la coupe horizontale simplifiée d'une installation complète d'évaporation sous vide; la figure 2 est la coupe verticale suivant l'axe II-II de la figure 1, complétée par des détails; la figure 3 est la vue en plan d'un écran thermique permettant le passage des supports dans la chambre à vide; et la figure 4 est la vue en plan du système d'entraînement complet de rotation des substrats, pivotement des bras porteurs et avance du chariot. L'exemple représenté est celui d'une installation d'évaporation sous vide. La source est dans ce cas un creuset évaporateur rectangulaire. Dans une installation similaire de pulvérisation cathodique, le creuset évaporateur serait remplacé par une cathode rectangulaire. La source allongee peut aussi être constituée par la juxtaposition de plusieurs sources, rondes ou carrées par exemple. Une chambre à vide 10, dans laquelle une tubulure d'aspiration 11 permet de faire le vide, contient une source allongée 12, constituee par un creuset évaporateur dont les grands côtés sont désignés par 13 et les petits côtés par 14. Onze substrats 15 sont régulièrement répartis au-dessus de la section du creuset évaporateur et suivant sont axe longitudinal A-A; il s'agit d'ailettes de turbine a gaz dans le cas considéré Sur le dessin, les centres des substrats 15 se situent dans un plan de symétrie vertical, passant par l'axe longitudinal A-A et perpendiculaire aux axes longitudinaux des substrats. La chambre à vide 10 est reliée par un système de sas non représenté à une chambre de chargement 16, contenant un chariot 18 mobile horizontalement sur des rails 17. Ce chariot est équipé de galets 19, s'engageant dans les rails 17 en U. Cette réalisation est nécessaire parce qu'un support 20 est fixé en porte-àfaux sur le chariot 18, qui est ainsi soumis à un couple de renversement. Un moteur de translation 21, une transmission à courroie 22, une tige filetée 23 et un écrou 24 fixé sur le chariot 18 permettent de translater ce dernier de façon à faire passer le support 20 de la chambre de chargement 16 dans la position représentée à l'intérieur de la chambre à vide 10. Le support 20 est constitué par deux bras porteurs 25 et 26 parallèles, dont les axes longitudinaux B-B et C-C sont symétriques par rapport au plan contenant l'axe longitudinal A-A. Les accouplements 27 et 28 des substrats 15 sont disposés sur les faces intérieures en regard des bras porteurs, leurs axes de rotation étant perpendiculaire au plan de symétrie précité. Des entretoises 29 ou 30 sont disposées entre les accouplements 27 ou 28 et les substrats 15. Les bras porteurs 25 et 26 sont réalisés sous forme de corps creux et contiennent chacun un arbre d'entraînement 31 ou 32, relié par des engrenages d'angle 33 ou 34 aux accouplements 27 ou 28. Les accouplements 27 du bras porteur 25 sont décalés par rapport aux accouplements 28 du second bras porteur 26, suivant la longueur des bras, d'un demi-intervalle entre accouplements voisins. Il est ainsi possible de disposer alternativement les substrats 15 fixés sur le bras 25 et ceux fixés sur le bras 26, de façon à obtenir une plus grande distance axiale entre les divers engrenages d'angle 33 et 34. Ces engrenages d'angle comportent chacun un pignon 35 et une roue a couronne 36. La figure 1 montre qu'en cas de montage d'un palier fixe a l'extrémité gauche et d'une dilatation thermique des arbres d'entraînement 31 et 32, les pignons 35 subissent une translation croissant de gauche à droite, mais n'exerçant aucune influence gênante sur l'engrènement par suite de l'utilisation de roues à couronne 36.Des arbres d'accouplement 37, qui peuvent toutefois être de très faible longueur, sont disposés entre les accouplements 27, 28 et les roues à couronne 36. Le choix d'un jeu approprié entre le pignon 35 et la roue à couronne 36 permet d'éviter toute influence nuisible d'une variation de longueur des arbres d'accouplement 37 sur l'engrènement. Les bras porteurs 25 et 26 sont fixes chacun sur un boîtier 38 ou 39, dans lequel pénètre aussi l'arbre d'entraînement 31 ou 32. Les boîtiers contiennent chacun un engrenage d'angle 40 ou 41, relié à un arbre radial 42 ou 43. Les rapports des engrenages d'angle 33/34 et 40/41 sont choisis de façon que les arbres d'accouplement 37 tournent à la même vitesse que les arbres 42/43. Des leviers radiaux 44 et 45, consitutés par des corps creux entourant les arbres 42 et 43, relient les boîtiers 38 et 39 aux boîtiers 46 et 47, qui contiennent des engrenages d'angle 48 et 49 de rapport 1/1. Les leviers 44 et 45 pivotent autour d'un axe commun D-D, situé dans le même plan de symétrie que l'axe longitudinal A-A du creuset évaporateur 12. Le pivotement des leviers 44 et 45 est obtenu par leur fixation sur deux arbres creux 50 et 51 coaxiaux, logés dans une tubulure 52 qui est fixée sur le chariot 18. Les boîtiers 46 et 47 prolongent les arbres creux 50 et 51. Les extrémités opposées des deux arbres creux 50 et 51 sont reliées par un mécanisme de renversement de marche 53, constitue par les planétaires 54, 55 et le satellite fixe 56. Par suite du mécanisme de renversement de marche 53, une rotation de l'arbre creux 50 s'accompagne d'une rotation de l'arbre creux 51 de même angle, mais de sens opposé. L'entraînement va-et-vient d'un des deux arbres creux 50 et 51 produit par suite des pivotements des deux leviers radiaux 44 et 45, semblables aux battements des ailes d'un papillon. Les angles de pivotement des leviers 44 et 45 de part et d'autre d'un plan horizontal de symétrie contenant l'axe D-D sont égaux entre eux et d'environ 450. Ce pivotement est naturellement effectué aussi par les bras porteurs 25, 26 et par les substrats 15, qui pivotent autour d'un axe et au-dessus de la source 12 et dans son plan de symétrie. Cet axe passe sensiblement par un point situé au milieu de la longueur de chaque substrat. Pour produire le pivotement, 11 arbre creux 50 porte une roue dentée 57 entraînée par une courroie dentée 58. Cette courroie passe sur une seconde roue dentee 59, fixe en rotation, mais mobile longitudinalement sur un arbre coulissant à billes 60, qui traverse une paroi 61 de la chambre de chargement 16. L'extrémité extérieure de l'arbre coulissant à billes 60 est solidaire d'une roue dentée 62, qu'une courroie dentée 63 relie à un entraînement de pivotement 64. Ce dernier est constitué par un moteur 65, dont l'arbre secondaire porte un maneton 66 sur lequel est disposée une bielle 67. L'autre extrémité de la bielle est reliée par un second maneton 68 à une roue menée 69, dont une denture extérieure engrène également sans glissement avec la courroie dentée 63.Le rayon de manivelle du maneton 66 est plus petit que celui du maneton 68, de sorte qu'une rotation de l'arbre secondaire du moteur 65 produit un mouvement de va-et-vient de la roue menée 69. L'angle de pivotement de ce mouvement est identique à celui des leviers radiaux 44 et 45, ce dont il faut tenir compte pour le dimensionnement des rapports de transmission des entraînements à courroie dentée. Le rayon de manivelle du maneton 66 est de préférence réglable, afin de permettre une variation appropriée de l'angle de pivotement des leviers 44 et 45. Le pivotement de la roue menée 69 est transmis par la courroie dentée 63, la roue dentée 62, l'arbre coulissant à billes 60, la roue dentée 59 et la courroie dentée 58 à la roue dentée 57 et par suite à l'arbre creux extérieur 50. Le pivotement des bras porteurs peut aussi être asymétrique, c' est-à-dire s'effectuer vers le haut à partir d'un plan horizontal. Ce résultat peut être obtenu par une variation de longueur de la bielle 67. Un groupe 70 d'arbres coaxiaux, constitué par un arbre central 71 et un arbre creux 72 et disposé coaxialement aux arbres creux 50 et 51, relie le côté menant des engrenages d'angle 48 et 49 à un mécanisme de renversement de marche 73, constitué par les planétaires 74 et 75 et un stallite fixe 76. Le mécanisme de renversement de marche fait que l'arbre central 71 et l'arbre creux 72 tournent à la même vitesse, mais en sens opposé, quand l'arbre creux 72 est mis en rotation. Ce résultat est obtenu à l'aide d'une roue dentée 77, montée sur l'arbre creux et sur laquelle passe une courroie dentée 78, qui passe en outre sur une roue dentée 79 fixe en rotation, mais mobile longitudinalement sur un arbre coulissant à billes 80, qui traverse la paroi 61 de la chambre de chargement 16, jusqu a un moteur 81.La rotation de l'arbre du moteur est transmise aux engrenages d'angle 48 et 49 par l'arbre coulissant à billes 80, la roue dentée 79, la courroie dentée 78, la roue dentée 77, le mécanisme de renversement de marche 73 et le groupe 70 d'arbres coaxiaux. La rotation est ensuite transmise par les arbres radiaux 42 et 43 aux engrenages d'angle 40 et 41 montés sur les arbres d'entraînement 31 et 32 qui, par l'interme- diaire des engrenages d'angle 33 et 34, font tourner les accouplements 27 et 28 avec les substrats 15. Tant que l'entraînement de pivotement 64 est au repos, la vitesse angulaire instantanée des substrats 15 est à tout instant identique à celle de l'arbre coulissant à billes 80, même sans disposition particulière. Dès que les leviers 44 et 45 effectuent toutefois des pivotements périodiques ou apériodiques, les roues coniques des engrenages d'angle 48 et 49, situées sur les arbres radiaux 42 et 43, roulent en outre sur les roues coniques menantes correspondantes, de sorte qu'une composante alternée de mouvements se superpose à la vitesse angulaire régulière de l'arbre coulissant à billes 80 et se transmet naturellement aux substrats 15. Lorsque l'arbre coulissant à billes 80 est au repos, un mouvement de va-et-vient des leviers 44 et 45 imprimerait aux substrats, autour de leur axe longitudinal, des mouvements de pivotement qui ne sont pas toujours souhaités. Afin de compenser cette influence, l'ensemble du moteur 81 est monté en rotation autour de son axe, dans un palier 82. Audessus de ce palier, la carcasse du moteur porte une roue dentée 83, fixe en rotation et sur laquelle passe une courroie dentée 63, qui engrène aussi avec la roue menée 69. La roue dentee 63 est ainsi guidée suivant un triangle, comme le montrera la discussion détaillée de la figure 4. La courroie dentée 63 transmet intégralement le pivotement de la roue menée 69 au moteur 81, par suite du rapport de 1/1 adopté. Le pivotement de l'ensemble du moteur 81 superpose à la rotation de l'arbre coulissant à billes 80 une composante périodique ou apériodique, qui correspond exactement à la composante produite par le pivotement des leviers 44, 45 et la compense par suite, de sorte que la vitesse angulaire des substrats est exactement la même que la vitesse angulaire de l'arbre coulissant à billes 80 par rapport à la carcasse du moteur 81. Lorsque cette vitesse angulaire est constante, la vitesse angulaire des substrats 15 est également constante. Un contrepoids 84 est fixé par un levier radial 85 sur la carcasse du moteur 81 pour compenser son couple moteur ainsi que le poids des leviers 44, 45, des bras porteurs 25, 26 et du support 20.La courroie dentée 63, qui assume la fonction d'un élément d'entraînement sans glissement, peut être remplacée par exemple par une chaîne avec des roues de forme appropriée. Le chariot 18 comporte un boîtier 86 dans lequel sont disposés les mécanismes de renversement de marche 53 et 73 des arbres creux 50/51 et du groupe 70 d'arbres creux. Tous les arbres creux sont montés en rotation libre dans ce boîtier ou dans la tubulure 52 qui lui est reliée. La tige filetée 23 permet la translation de l'ensemble suivant les rails 17, les courroies dentées 58 et 78 pouvant suivre le mouvement par suite de la mobilité longitudinale des roues dentées 59 et 79 sur les arbres coulissants à billes 60 et 80. L'arbre coulissant à billes 80 du moteur 81 est relié par les roues dentées 87, 88 et la courroie dentée 89 à un répétiteur de position 90, indiquant la position spatiale des substrats autour de leur axe de rotation par rapport au creuset evaporateur 12. Sous sa forme la plus simple, le répétiteur de position 90 peut être une représentation de la section du substrat (profil d'ai lette), montée sur un arbre 91, qui est relié à la roue dentée 88 et monté coaxialement dans la roue menée 69. Le répétiteur de position 90 permet de déterminer à tout instant la position relative des substrats 15 par rapport à la surface de la source 12 et au flux de matériau. Un répétiteur de position 92 est utilement monté aussi sur la roue menée 69 de la transmission à manivelle produisant le pivotement des leviers 44 et 45, pour l'indication de la position angulaire de ces derniers; sous sa forme la plus simple, ce répé- titeur peut être constitué par des repères de couleur ou des cornières vissées. Des répétiteurs de position 90 et 92 peuvent être munis de contacts de signalisation, non représentés, qui permettent une surveillance à distance. Les pièces identiques portent sur la figure 2 les mêmes repères que sur la figure 1. Deux canons électroniques 93, dont seul le canon antérieur est représenté, sont disposés sur la chambre à vide 10. Le canon antérieur porte à son extrémité inférieure un bloc de déviation X-Y 94, dont seule la pièce polaire 95 du système de déviation X est visible. Le bloc 94 de déviation X-Y permet de dévier le faisceau électronique produit par le canon 93 sur le produit contenu dans le creuset évaporateur. Le matériau à déposer est introduit dans ce dernier par un dispositif d'alimentation, logé dans la chambre d'alimentation 96 et non représenté car il ne fait pas l'objet de l'invention. Un moteur 97 est prévu avec une transmission à courroie 98 pour l'avance du matériau entre la chambre d'alimentation 96 et le creuset évaporateur 12. Le support 20 est représenté en trait plein sur la figure 2, dans une position ou les deux bras porteurs 25 et 26 se trouvent dans un plan horizontal, contenant aussi l'axe D-D autour duquel pivotent les deux leviers radiaux 44 et 45 (figure 1). A partir de cette position, une rotation en sens opposé des deux bras porteurs 25 et 26, d'un angle a vers le haut ou a vers le bas, permet de o u les amener dans les positions représentées en tirets, où les axes longitudinaux des substrats 15 présentent une inclinaison égale. La chambre à vide 10 contient un écran thermique 99 avec une paroi 100, également représentée sur la figure 1. L'écran comporte deux évidements en arc 101 et 102, dont le centre de courbure coincide avec l'axe D-D Ces évidements permettent le passage et le pivotement des bras porteurs 25 et 26. La chambre à vide 10 est équipée d'un viseur 103 pour l'observation du phénomène de dépôt. La figure 3 représente d'autres détails de l'écran thermique 99 et de sa paroi 100. L'axe D, également représenté, constitue aussi l'axe de pivotement des arbres creux 50/51 et du groupe 70 d'arbres coaxiaux (figure 1). Les positions limites supérieures B , C et inférieures Bu, C des axes B et C des bras porteurs 25 o o u et 26 sont également représentées, la position de ces axes déter minant les angles de pivotement a et a (figure 2). La forme des o u évidements 101 et 102 résulte de ce que les points B , B , C et o u o C définissent un cercle de centre D et sont les centres de demi u cercles, dont le diamètre est egal à la largeur des évidements. Les lignes délimitant les évidements s'obtiennent en reliant les extrémités des demi-cercles de façon appropriée. Ces évidements présentent au centre, par lequel passe aussi le plan horizontal de symétrie du support, des élargissements 104 et 105, permettant le passage des bras porteurs 25 et 26 avec un intervalle approprie. La zone centrale entourant l'axe D-D présente aussi un élargissement approprié 106, qui est relié par des fentes 107 et 108 aux élargissements 104 et 105. La figure 4 représente la vue en plan du coté gauche de la paroi 61 de la figure 1 et illustre la position spatiale effective des divers éléments. Elle montre comment le moteur 65 de ltentraî- nement de pivotement 64 agit sur la roue menée 69 par l'interme- diaire de la bielle 67. La rotation du maneton 66 imprime à la roue menee 69 un mouvement de va-et-vient, qui est également transmis à la courroie dentée 63 et aux roues dentées 62 et 83 avec lesquelles elle engrène. L'arbre coulissant à billes 60, entrainé par la roue dentée 62, agit par exemple sur le mécanisme de renversement de marche 53 pour la production du pivotement des bras porteurs 25 et 26, tandis que la roue dentée 83 fait pivoter le moteur 81 (figure 1) avec l'arbre coulissant à billes 80 dans le palier 82. Un pivotement des substrats autour de leur axe transversal à une basse fréquence, comprise entre 0,01 et 1 Hz environ, et un arrêt temporaire des substrats dans les positions limites permettent d'obtenir que les particules de vapeur atteignent alternativement la surface des substrats sous un angle différent de 90 par exemple. Il en résulte la production de courts cristaux colonnaires, disposés en zig-zag à travers la couche, du substrat jusqu'à la surface de la couche, de sorte qu'il n'y a pratiquement pas de fissures entre ces cristaux. Bien entendu, diverses modifications peuvent être apportées par l'homme de l'art aux dispositifs qui viennent d'être décrits uniquement à titre d'exemples non limitatifs, sans sortir du cadre de l'invention. Revendications 1. Installation de métallisation sous vide pour le dépôt d'un revêtement sur toutes les faces de substrats par rotation de ces derniers dans un flux de matériau, constituée par une chambre à vide avec une source allongée présentant un axe longitudinal et un. axe transversal, un support avec plusieurs points de fixation pour la disposition sensiblement régulière de plusieurs substrats au-dessus de la source, et un entraînement produisant le mouvement de rotation des substrats, lesdites installations étant caractérisées en ce que le support comprend deux bras porteurs parallèles dont les axes longitudinaux B-B et C-C sont symétriques par rapport à un plan vertical contenant l'axe longitudinal A-A de la source; les accouplements, dont les axes de rotation sont perpendiculaires au plan de symétrie sont disposés sur les côtés intérieurs en regard des bras porteurs; et un arbre menant est disposé suivant l'axe longitudinal de chaque bras porteur et relié par des engrenages d'angle aux accouplements d'une part et à un moteur d'autre part. 2. Installation de métallisation sous vide selon revendication 1, caractérisée en ce que les accouplements d'un bras porteur sont décalés par rapport à ceux du second bras d'un demi-intervalle entre accouplements voisins, suivant la longueur des bras. 3. Installation de métallisation sous vide selon revendication 1, caractérisée en ce que les bras porteurs sont réalisés sous forme de corps creux entourant les arbres menants et les engrenages d'angle. 4. Installation de métallisation sous vide selon revendication 1, caractérisée en ce que l'arbre menant continu porte tous les accouplements; et les engrenages d'angle sont constitués chacun par un pignon monté sur l'arbre menant et une roue à couronne montée sur l'arbre d'accouplement. 5. Installation de métallisation sous vide selon revendication 1, caractérisée en ce que les bras porteurs sont disposés sur deux leviers radiaux, qui pivotent autour d'un axe commun, situé dans le plan de symetrie de la source et dans le plan de symétrie des deux domaines de pivotement. 6. Installation de métallisation sous vide selon revendication 5, caractérisée en ce que les leviers sont disposés respectivement sur deux arbres creux coaxiaux, reliés par un engrenage d'angle dont le satellite est fixe. 7. Installation de métallisation sous vide selon revendication 6, caractérisée en ce qu'un autre groupe d'arbres coaxiaux pour la transmission d'une rotation aux substrats est disposé dans les arbres creux de déplacement des leviers, un engrenage d'angle à stallite fixe étant disposé entre les arbres coaxiaux. 8. Installation de métallisation sous vide selon revendication 6, caractérisée en ce qu'un entraînement de pivotement est affecté aux arbres creux de déplacement des leviers et constitué par un moteur et une transmission à manivelle avec une roue menée, animée d'un mouvement de va-et-vient et reliée à l'un des arbres creux. 9. Installation de métallisation sous vide selon revendications 7 et 8, caractérisée en ce qu'un moteur, monté en rotation autour de son axe dans un palier, est affecté au groupe d'arbres coaxiaux pour la transmission de la rotation aux substrats; et le moteur est relié dans un rapport de 1/1 à la roue menée de la transmission à manivelle pour le pivotement des-leviers. 10. Installation de métallisation sous vide selon revendications 8 et 9, caractérisée en ce que la roue menée de la transmission à manivelle est reliée par un élément d'entraînement commun sans glissement aux arbres creux des leviers et au moteur de rotation des substrats. 11. Installation de métallisation sous vide selon revendication 1, caractérisée en ce que les bras porteurs sont montés en porteà-faux sur un chariot, qui permet leur introduction dans la chmabre à vide. 12. Installation de métallisation sous vide selon une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisée en ce que le chariot comporte un boîtier dans lequel sont disposés les mécanismes de renversement de marche des arbres creux et du groupe d'arbres coaxiaux et montés les arbres creux; et des arbres coulissants à billes pour la transmission des couples d'entraînement entre les moteurs fixes et les mécanismes de renversement de marche. 13. Installation de métallisation sous vide selon revendication 9, caractérisée en ce que l'arbre coulissant à billes du moteur de rotation des substrats est relié à un répétiteur de position pour l'indication de la position spatiale des substrats autour de leur axe de rotation par rapport à la source. 14. Installation de métallisation sous vide selon revendications 8 et 13, caractérisée en ce que la roue menée de la transmission à manivelle pour le pivotement des leviers est reliée à un répétiteur de position indiquant la position angulaire des leviers; et les deux répétiteurs de position sont disposés concentriquement. 15. Installation de métallisation sous vide selon revendication 6, caractérisée en ce que les extrémités des arbres creux coaxiaux en regard des bras porteurs sont réalisées sous forme de boîtiers imbriqués, d'ou partent radialement les leviers vers l'extérieur1 jusqu'aux bras porteurs; des engrenages d'angle sont disposes dans les boîtiers et des arbres de transmission de la rotation aux arbres d'entraînement dans les bras porteurs sont disposés dans les leviers; et des boîtiers sont disposés aux points de liaison des leviers et des bras porteurs, et contiennent d'autres engrenages d'angle.