Brevet FR2462780A1 — publié le 19810213

La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif semi-conducteur, et plus par- ticulièrement un procédé pour la fabrication d'une jonction P-N dans un substrat qui est pratiquement insensible à la chaleur appliquée au cours des phases de fabrication ulté- rieures et qui possède une tension de rupture relativement élevée. Une des techniques de base utilisée dans la fabrication des dispositifs semi-conducteurs est la formation d'une jonction P-N. On connaît divers procédés d'établisse- ment d'une jonction P-N dans un substrat. Par exemple, en partant d'un substrat de silicium de type P, il est connu de répartir, soit par implantation d'ions, soit par d'autres techniques de dopage, une impureté de type N dans le subs- trat afin de modifier la conductivité du substrat dans les limites de la zone de distribution. Par sélection appropriée de l'impureté et par réglage de la concentration et de la configuration de la couche d'impureté répartie, les caracté- ristiques électriques de la jonction P-N résultante peuvent être ajustées entre certaines limites requises. Un dispositif semi-conducteur est normalement soumis après la création ou établissement de la jonction P-N, à. des stades de fabrication qui influent sur la concentration et la configuration de la couche d'impureté et par conséquent sur les caractéristiques électriques de la jonction P-N. Par exemple, des phases de chauffage ultérieures effectuées au- dessus de la température de diffusion de l'impureté répartie tendent à provoquer la diffusion de l'impureté répartie en dispersant et en réduisant la concentration de la couche d'- impureté et en provoquant une migration de la jonction P-N. Le degré d'altération de la couche d'impureté distribuée dépend de la concentration de cette impureté, de son coeffi- cient de diffusion et des paramètres des phases de chauffage ultérieures. Il est donc nécessaire de prendre en considé- ration cette altération de la couche d'impureté répartie provoquée par les stades de chauffage ultérieurs, lorsqu'on détermine la nature de la distribution originelle. Certaines impuretésjtelles que l'arsenic ou l'antimoine, possèdent des coefficients de diffusion relati- vement bas et une diffusion importante de ces impuretés n'a donc lieu qu'à des températures relativement élevées (11000C). Les phases de fabrication thermiques ultérieures qui normalement ont lieu à une température (950 C) inférieu- re à la température de diffusion de ces impuretés, auront par conséquent peu d'effet sur une couche d'impureté répar- tie. Pour cette raison, des impuretés à coefficients de dif- fusion relativement faibles, sont souhaitables pour la réa- lisation de jonctions P-N,étant donné que lorsqu'elles sont réparties dans une couche de la concentration et de la confi- guration désirée, elles sont relativement insensibles à l'al- tération provoquée par les phases de fabrication subséquen- tes. Toutefois, les impuretés à faibles coeffi- cients de diffusion ont tendance à former une couche ayant un profil de distribution présentant une périphérie ou limi- te relativement abrupte. Une telle couche avec une périphé- rie ou limite relativement abrupte conduit à une jonction P-N possédant une tension de rupture relativement basse. C'est ainsi qu'il y a compétition ou concurrence entre les caractéristiques électriques de la jonction formée et sa ré- sistance aux stades de fabrication thermiques ultérieurs. Si l'on désire ajuster avec précision les caractéristiques de la jonction P-N, on le fait au détriment d'une tension de rupture élevée. D'autre part, il existe certaines impuretés, telles que le phosphorequi possèdent un coefficient de dif- fusion plus élevé et exigent par conséquent des températures plus basses pour l'obtention d'une diffusion importante. De telles impuretés se répartissent dans une couche avec un pro- fil de diffusion présentant une périphérie ou limite relati- vement progressive, mais la couche sera beaucoup plus affec- tée par les stades de fabrication thermiques ultérieurs. Ain- si, bien qu'il soit souhaitable d'avoir une couche avec un profil de distribution présentant une périphérie ou limite relativement progressive parce qu'elle se traduit par une tension de rupture relativement élevée, il est extrêmement difficile, lorsqu'on utilise de telles impuretés,' de régler avec précision les caractéristiques de la jonction P-N à cau- se de l'effet relativement élevé qu'exercent les phases de fabrication thermiques subséquentes sur la concentration et la configuration de la couche d'impureté. C'est pourquoi, avec des impuretés telles que le phosphore, il faut renon- cer à un degré de réglage substantiel au profit de la concen- tration et de la configuration de la couche d'impureté,afin d'obtenir une tension de rupture relativement élevée. La situation la plus avantageuse serait d'u- tiliser une impureté qui puisse être répartie dans une cou- che présentant une périphérie ou limite relativement progres- sive, ce qui donnerait une jonction P-N avec une tension de rupture relativement élevée, et qui possède en même temps un faible coefficient de diffusion tel que les phases de fabri- cation thermiques ultérieures exercent un effet relativement faible sur la concentration et la configuration de la couche d'impureté. Cependant, plus le coefficient de diffusion est faible, plus la périphérie de la couche répartie est abrupte. Il existe donc toujours une compétition entre les caractéris- tiques électriques de la jonction et l'aptitude au réglage de la concentration et de la configuration de la couche d'- impureté. Lors de la fabrication du semi-conducteur, il faut choisir une caractéristique au détriment de l'autre. La pré- sente invention se propose donc principalement de fournir un procédé de fabrication d'une jonction P-N dans un dispositif semi-conducteur dans lequel une tension de rupture élevée peut être obtenue sans sacrifier la possibilité de régler la concentration en impureté et la profondeur de la jonction. L'invention se propose également de fournir un procédé d'élaboration d'une jonction P-N avec une ten- sion de rupture relativement élevée, dans lequel deux impu- retés différentes sont réparties dans des couches séparées dans le substrat, lesquelles sont ensuite réunies pour for- mer une seule couche des deux impuretés. L'invention a encore pour objet de fournir un procédé de fabrication d'une jonction P-N possédant une tension de rupture relativement élevée, dans lequel on uti- lise une deuxième impureté conduisant à une couche dotée d'u- ne périphérie relativement progressive pour réaliser un profil à distribution progressive. L'invention concerne aussi un procédé de fa- brication d'une jonction P-N avec une tension de rupture re- lativement élevée qui ne mette en oeuvre que des équipements conventionnels et qui1plus particulièrementcomporte des sta- des opératoires relativement simples pouvant être mis en oeu- vre avec un tel équipement. Selon la présente invention, des ions d'une première impureté d'un type déterminant une conductivité donnée et possédant un coefficient de diffusion relativement faible sont répartis dans une zone du substrat pour former -20 une première couche d'impureté. Des ions d'une seconde impure- té du même type déterminant la conductivité et possédant un coefficient de diffusion relativement élevé sont répartis dans la même zone du substrat pour former une deuxième couche d'impureté. La deuxième couche d'impureté est répartie plus profondément dans le substrat que la première couche d'impu- reté. Les première et deuxième impuretés sont diffusées en vue d'une combinaison fusion des première et deuxième cou- ches pour se former en une couche d'impureté unique compo- sée à la fois des première et seconde impuretés. La première impureté est choisie de manière à avoir un coefficient de diffusion relativement faible,étant donné que les stades de fabrication thermiques ultérieurs doivent avoir ou auront peu d'effet sur son profil-de distri- bution. La deuxième impureté est choisiede manière à avoir un coefficient de diffusion plus élevé tel que le profil de distribution de sa couche soit relativement progressif. La couche combinée, du fait qu'elle est constituée par la com- binaison des deux impuretés, est par conséquent relativement insensible aux phases ou stades de chauffage ultérieurs mais donne naissance à une jonction ayant une tension de rupture élevée. La concentration en impuretés de la première couche d'impureté est réglée de manière à être sensiblement plus élevée que la concentration en impureté de la deuxième couche d'impureté de manière à réduire la tendance de la cou- che fusionnée ou combinée à diffuser au cours des stades de chauffage ultérieurs. Par exemple, la concentration de la pre- mière couche d'impureté peut être supérieure de deux ordres de grandeur (deux points) à la concentration de la deuxième couche d'impureté. La deuxième couche d'impureté est formée à une profondeur plus grande que la première couche d'impureté. En formant la deuxième couche d'impureté à une profondeur plus grande que la première couche d'impureté, lorsque les premiè- re et deuxième couches sont combinées, la portion de la cou- che fusionnée ou combinée près de la périphérie ou limite est composée d'un pourcentage relativement élevé de la seconde impureté. Ainsi/la couche d'impureté unique présente-une ré- partition relativement progressive à sa limite et en même temps, à cause de la concentration plus élevée de la premiè- re impureté dans la masse de la couche. La configuration de celle-ci sera quasiment insensible à l'altération due aux sta- des de fabrication thermiques subséquents. La première impureté est de préférence répar- tie par implantation, puis par diffusion partielle des ions implantés pour former la première couche d'impureté. Toute- fois, la première couche d'impureté peut être formée par d'- autres procédés de dopage, par exemple par diffusion. La seconde couche d'impureté est obtenue par implantation d'- ions de la seconde impureté. Une fois que les deux couches d'impureté sont formées, on chauffe le substrat pour redis- tribuer et fusionner les première et seconde impuretés par diffusion de manière qu'il en résulte une couche d'impureté unique composée à la fois des deux impuretés. Lorsqu'on utilise des techniques d'implanta- tion d'ions, les deux impuretés sont de préférence implantées à une énergie d'accélération sensiblement identique. Etant donné toutefois que la deuxième impureté est choisie de ma- nière à avoir un nombre atomique plus faible que la première impureté, la couche de la seconde impureté aura une concen- tration maximale à une profondeur supérieure à la profondeur de la concentration maximale de la couche de la première im- pureté. C'est pour cette raison qu'une implantation à une tension d'accélération sensiblement identique conduit à la configuration stratifiée intermédiaire recherchée. Il est souhaitable, mais non indispensable, de réaliser les stades d'implantation d'ions par l'intermé- diaire d'une couche d'oxyde relativement mince formée à la surface du substrat. La couche d'oxyde relativement mince est pratiquement transparente aux ions implantés mais empê- che une détérioration de la surface du substrat qui pourrait résulter d'uneimplantation à des énergies d'accélération é- levées. Les objets ci-dessusainsi que d'autres qui sont iniqedatequ apparaîtront plus loin,/obtenus selon la présente invention qui concerne un procédé pour la fabrication d'une jonction P-N ayant une tension de rupture relativement élevée exposé dans la description ci-après, en référence aux annexes, o les mêmes références désignent les mêmes éléments. Dans ces dessins: Fig. 1 est un graphique illustrant-la diffé- rence entre-un profil de concentration relativement abrupt et un profil de concentration relativement graduel. Fig. 2 est un graphique illustrant les ten- sions de rupture résultant des profils de concentration in- diqués en figure 1. Fig. 3 est un graphique des courbes de dis- tribution des première et deuxième impuretés à l'intérieur du substrat avant le stade de diffusion. Fig. 4 est un graphique de la courbe de-con- centration en impureté après le stade de diffusion. Fig. 5 est une vue en coupe d'un substrat portant un masque d'implantation d'ions. Fig. 6 est une vue en coupe d'un substrat après implantation de la première impureté. Fig. 7 est une vue en coupe d'un substrat après diffusion partielle de la première impureté. Fig. 8 est une vue en coupe d'un substrat après implantation de la deuxième impureté. Fig. 9 est une vue en coupe d'un substrat après diffusion des première et deuxième impuretés en vue de la formation d'une couche unique d'impuretés. Figure 1 représente la différence entre une couche d'impureté présentant une périphérie ou limite pro- gressive ou non abrupte, donc une courbe de profil de dis- tribution graduelle ou progressive et une couche d'impureté présentant une périphérie ou séparation abrupte et par con- séquent une courbe de profil de distribution à pente raide. En figure 1, l'abscisse représente la profondeur à partir de la surface d'un substrat de type P>et l'ordonnée repré- sente la concentration d'une impureté (P ou N) qui est ré- partie au-dessous de la surface du substrat.- La courbe en traits pleins représente une couche d'impureté avec une pé- riphérie ou séparation relativement progressive. La courbe en tireté représente une couche d'impureté avec une péri- phérie ou séparation relativement abrupte. En figure 2, on voit la représentation gra- phique des tensions de rupture résultant de jonctions P-N qui résultent de couches d'impureté ayant les caractéristi- ques des courbes de figure 1. Dans la figure 2, l'abscisse représente la tension de rupture, et l'ordonnée la grandeur du courant passant à travers la jonction P-N. La courbe en traits pleins de figure 2 correspond aux caractéristiques électriques d'une jonction P-N réalisée avec une couche d'impureté présentant une périphérie ou séparation relative- ment progressivetelle que représentée en traitspleinsà la figure 1. La courbe en tireté de figure 2 représente les caractéristiques électriques d'une jonction P-N obtenue à partir d'une couche d'impureté présentant une périphérie ou limite relativement abrupte comme le montre la courbe en tireté de figure 1. On voit clairement d'après figure 2 qu'une jonction avec une tension de rupture plus élevée résulte de l'utilisation d'une couche d'impureté avec une courbe de profil de distribution relativement progressive. A la figure 3, on a représenté les courbes de profil de distribution des première et deuxième couches d'impureté en un point intermédiaire du processus selon l'in- vention avant la combinaison à fusion des couches d'impure- té. En figure 3, l'abscisse représente la profondeur à par- tir de la surface d'un substrat de type P,et l'ordonnée re- présente la concentration des impuretés de type N qui y sont réparties. La courbe 10 représente le profil de distribution de la première impureté après son implantation dans le subs- trat mais avant sa diffusion partielle. La ligne verticale 12 qui divise la courbe 10 en deux parties égales représen- te la profondeur, à partir de la surface du substrat, du pic de la courbe de profil 10. La courbe en tireté 10' représen- te le profil de distribution de la première impureté après que sa répartition est complète, c'est-à-dire après diffu- sion partielle des ions implantés au cours d'une étape de diffusion intermédiaire. Il convient de noter que l'étape de diffusion intermédiaire amène la courbe de profil de distri- bution10 à s'étendre dans une mesure déterminée par les pa- ramètres de l'étape de diffusion intermédiaire. La courbe 14 représente le profil de distri- bution de la deuxième impureté après son-implantation dans le substrat. La ligne verticale 16 qui divise la courbe 14 en deux parties égales représente le pic de la courbe de distribution de la deuxième impureté. La ligne 16 est plus éloignée de la surface du substrat que-la ligne 12, montrant ainsi que le pic de la courbe de distribution de la deuxième impureté se trouve à une plus grandce profondeur dans le substrat que le pic de la courbe de distribution de la pre- mière impureté. En d'autres termes, la deuxième couche d'im- pureté est située plus profondément à l'intérieur du subs- trat que la première couche d'impureté. De plus, on voit d'après figure 3 que la deuxième couche d'impureté a une concentration en impureté qui est sensiblement inférieure à celle de la première couche d'impureté. Après formation des couches de première et deuxième impuretés à l'intérieur du substrat, celui-ci est chauffé en vue de la diffusion des première et deuxième im- puretés, provoquant ainsi les couches de première et deuxiè- me impuretés à se fondre en une couche d'impureté unique dont la courbe de profil de distribution est représentée par la courbe 18 de figure 4. En figure 4,1'abscisse représente la profondeur à partir de la surface du substrat de type P, alors que l'ordonnée représente la concentration des impure- tés combinées de type N. Comme on le voit à la figure 4 a- près la phase de diffusion qui combine les première et deu- xième couches, celles-ci perdent totalement leurs identités individuelles et forment une seule couche d'impureté corres- pondant à des impuretés de type N etprésentant une courbe de profil de concentration relativement progressif. La configuration de la courbe de profil de distribution 18 de la couche d'impureté fusionnée ou combi- née, en particulier sa bordure ou limite progressiveest due en grande partie aux caractéristiques moléculaires de la deuxième impureté, à savoir le coefficient de diffusion re- lativement élevé de la deuxième impureté et le fait que la deuxième impureté peut être-implantée plus profondément dans le substrat que la première. D'autre part, l'insensibilité relative de la configuration de la couche fusionnée ou com- binée aux phases de chauffage ultérieures est due en grande partie aux caractéristiques moléculaires de la première im- pureté, à savoir son coefficient de diffusion relativement faible et le fait que la première impureté est répartie en une concentration sensiblement plus forte que la deuxième impureté. Les figures 5 à 9 illustrent les phases opé- ratoires grâce auxquelles est réalisé le procédé de la pré- sente invention. Comme on le voit à la figure 5, le subs- trat en silicium 20 de type P possède une surface 22 sur la- quelle est formé un masque d'implantation d'ions 24. Le mas- que d'implantation d'ions 24 peut être constitué par du dio- xyde de silicium ou autre matière similaire. Le masque 24 est obtenu à la manière connue. On fait se développer ou on dépose une cou- che de dioxyde de silicium sur la surface 22 du substrat 20 sous une épaisseur d'environ 5000 Angstrâms. Une couche non photosensible (en anglais "photo-resist") non représentée, est ensuite formée à la surface de la couche de dioxyde de silicium 24. Un masque est placé sur cette couche non photo- sensible. Le masque est transparent en toutes ses parties, sauf dans sa partie située au-dessus de la zone du substrat o doit se former la jonction P-N. L'ensemble est ensuite exposé à la lumière et développé. Les parties non exposées de la couche non photosensible et la couche de dioxyde de * silicium sous-jacente 24 sont ensuite mordancées ou atta- quées pour l'exposition de la surface du substrat 22-au- dessus des zones o doit se former la jonction P-N. On fait ensuite se développer sur la surface exposée 22 du substrat une couche d'oxyde relativement mince 26 d'une épaisseur d'environ 200 Angstrâms de manière que l'ensemble apparais- se tel que représenté à la figure 5. Il y a lieu de noter que le dioxyde de si- licium, sous une épaisseur d'environ 5000 Angstr6ms, est o- paque à l'implantation des ions sous de faibles énergies. Cependant, lorsqu'il se trouve en une couche relativement mince d'environ 200 Angstrâms, le dioxyde de silicium est relativement transparent à 1' implantation d'ions. Lorsque l'assemblage est exposé aux ions au cours du processus d'im- plantation, les parties d'oxyde épaisses de la couche 24 em- 1l pêchent ainsi l'implantation des ions dans le substrat, a- lors que la couche d'oxyde relativement mince 26 permet l'im- plantation des ions dans le substrat au-dessous de celle-ci. La couche d'oxyde relativement mince 26 sert dans les zones d'implantation à empêcher l'endommagement de la surface du substrat 22 qui se produit souvent lorsque des ions sont im- plantés à des énergies d'accélération relativement élevées. A la figure 6, on voit le substrat tel qu'il apparaît après implantation de la première impureté. La pre- mière impureté est choisie de manière à avoir un nombre ato- mique relativement élevé et un coefficient de diffusion rela- tivement faible, ce qui exige une température relativement élevée pour en obtenir une diffusion importante. On choisit de préférence des ions arsenic ou antimoine pour la premiè- re impureté. L'arsenicpar exemple, possède un nombre atomi- que de 33 et requiert une température d'environ 11000C pour l'obtention d'une diffusion substantielle. Etant donné que les phases de traitement ultérieures ont lieu à une tempéra- ture quelque peu inférieure, environ 9500C, celles-ci ont peu d'effet sur l'emplacement des ions arsenic implantés. Il est préférable d'implanter les ions ar- senic aussi profondément que possible, c'est pourquoi l'im- planteur d'ions est réglé près de son énergie d'accéléra- tion maximale, approximativement 100 Kev. On peut cependant utiliser également des énergies plus basses. La dose d'implan- tation typique est d'environ 5 x 1015/cm2, ce qui se traduit par une concentration en ions arsenic d'environ 5 x 1019/cm3. Le résultat de l'implantation d'arsenic est une couche d'ions arsenic implantés 28 formée au-dessous de la mince couche d'oxyde 26. Si les ions arsenic ont été introduits par implantationcomme cela est préférable, la couche d'arsenic 28/ s partiellement dans le substrat de silicium 20 sous atmosphère de N2 ou d'O2/N2 ambiant ou d'O2 ambiant à des température se situant de manière typique au voisinage de 11000C. La durée de ce stade de diffusion partielle est re- lativement courte. Lorsque la phase de diffusion partielle est achevée, la couche d'arsenic diffusée 28' apparaît comme représenté à la figure 7. Il est également possible de doper le subs- trat avec des ions de la première impureté par des procédés de diffusion usuels. Lorsqu'on choisit cette option, la dif- fusion des ions arsenic a lieu au cours du dopage et aucune phase de diffusion partielle séparée n'est nécessaire. Des ions phosphore sont maintenant implantés à travers la même mince couche d' oxyde 26 à l'énergie maxi- male de l'implanteur d'ions, approximativement 100 Kev, mais à une dose sensiblement inférieure que pour 1' implantation d'arsenic. De préférence, la concentration en phosphore ré- sultante est inférieure d'environ deux points à la concentra- tion en arsenic implanté. Une dose d'implantation de phos- phore typique de 5 x 101 /cm est préférable,Aqui se traduit par une concentration en phosphore d'environ 5 x 10 17/cm3 dans le substrat. A la même énergie d'accélération que cel- le utilisée pour l'implantation d'arsenic, le phosphore est implanté à une profondeur plus grande au-dessous de la surfa- ce 22 du substrat de silicium, parce que le phosphore possé- de un nombre atomique plus faible (15) que l'arsenic. La cou- che de phosphore implantée 30 se trouve donc plus profondé- ment dans le substrat que la couche d'arsenic implantée28. Après implantation du phosphore,l'assemblage apparaît comme représenté en figure 8. Après l'implantation de phosphore, l'ensem- ble est exposé à des conditions de diffusion à des tempéra- tures approximativement égales à la température de diffusion de la première impureté, c'est-à-dire à environ 11000C, dans une ambiance oxydante pendant une durée prédéterminée. Il est également possible d'effectuer une partie de cette phase de diffusion dans une atmosphère d'azote ou dans une atmosphère constituée parune combinaison d'oxygène et d'azo- te. Le résultat de ce chauffage est que la couche d'arsenic 28' et la couche de phosphore 30 fusionnent ou se combinent en une couche unique 32 de type N des deux ions arsenic et phosphore. La durée de diffusion est déterminée par la pro- fondeur de jonction finale recherchée, compte-tenu des do- ses de concentration des ions implantés. De nombreuses com- binaisons appropriées de durée et de températures peuvent être utilisées pour la diffusion. Après la diffusion, l'as- semblage apparaît comme représenté en figure 9. Après la formation de la jonction P-N,l'as- semblage est soumis à diverses phases opératoires addition- nelles. Certaines de ces phases opératoires ultérieures com- prenent un chauffage de l'ensemble mais ces phases de chauf- fage ont habituellement lieu aux environs de 9500C et ont ainsi peu d'effet sur la concentration ou la configuration de la couche fusionnée 32 à cause du faible coefficient de diffusion et de la concentration en ions arsenic. Toutefois, la couche fusionnée 32 possède une courbe de profil de con- centration relativement progressive, à savoir une périphérie ou limite relativement progressive due aux ions phosphore plus profondément implantés. Il est bien entendu que la présente inven- tion concerne un procédé de fabrication d'une jonction P-N dans un substrat.qui présente une tension de rupture rela- tivement élevée mais qui permet au fabricant de contrôler ou régler avec précision les caractéristiques de cette jonc- tion P-N. Ce résultat est obtenu par implantation d'une con- centration relativement élevée d'une première impureté qui possède un nombre atomique élevé etun faible coefficient de diffusion pour former une première couche d'impureté, par implantation d'une concentration plus faible d'une deuxième impureté possédant un nombre atomique plus faible et un coef- ficient de diffusion plus élevé pour former une deuxième cou- che plus profonde que la première, et par chauffage du sub- strat en vue de la diffusion des impuretés réparties pour provoquer la fusion des couches en une seule couche compor- tant les première et deuxième impuretés. De cette manière, la couche fusionnée possède la propriété de la première impu- reté, à savoir qu'elle donne au fabricant la possibilité de régler avec précision la concentration et la configuration de la couche, ainsi que la caractéristique de la deuxième impureté, un profil de distribution relativement progres- sif. Un seul mode de réalisation de la présente invention a été décrit cidessus à titre d'exemple, mais il est bien clair que de nombreuses modifications et variantes peuvent y être apportées. REVENDICATIONS 1. Procédé pour former une couche d'impureté ayant un profil de distribution d'impureté relativement pro- gressif dans un substrat, ce procédé étant caractérisé par les stades suivants: a) distribution d'ions d'une première impu- reté (As),d'untype déterminant une conductivité donnée et possédant un coefficient de diffusion relativement faible dans le substrat (20) pour y former une première couche d'im- pureté (28) ayant une concentration d'impureté maximale à une première profondeur (12); b) distribution d'ions d'une deuxième impu- reté (Ph) d'untype déterminant ladite conductivité donnée et possédant un coefficient de diffusion relativement élevé. dans le substrat (20) pour former une deuxième couche-d'impureté (30) ayant une concentration d'impureté maximale à une deu- xième profondeur (16); et c) diffusion des première et deuxième impu- retés (As, Ph) pour provoquer la combinaison desdites pre- mière et deuxième couches (28,30) en vue de la formation d'une couche d'impureté unique (32) composée à la fois des- dites première et deuxième impuretés (As, Ph). 2. Procédé selon la revendication 1, carac- térisé en ce que la deuxième profondeur (16) est plus grande que la première profondeur (12). 3. Procédé selon la revendication 1, carac- térisé en ce que le stade de distribution de la première im- pureté (As) comprend le stade de distribution de la première impureté (As) à une première concentration (10), et o le stade de distribution de la deuxième impureté (Ph) comprend le stade de distribution de la deuxième impureté à une deu- xième concentration (14), ladite première concentration (10) étant plus élevée que la deuxième concentration (14). 4. Procédé selon la revendication 3, carac- térisé en ce que ladite première concentration (10) est su- périeure d'environ deux points à ladite deuxième concentra- tion (14). 5. Procédé selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que ladite première impureté (As) pos- sède un premier nombre atomique et que ladite deuxième impu- reté (Ph) possède un deuxième nombre atomique, les première (12) et deuxième (16) profondeurs étant fonction, au moins en partie, desdits premier et deuxième nombres atomiques. 6. Procédé selon la revendication 5, carac- térisé en ce que ledit premier nombre atomique est plus é- levé que le deuxième nombre atomique. 7. Procédé selon l'une quelconque des reven- dications 1 à 6, caractérisé en ce que le stade de diffu- sion comprend le stade de chauffage du substrat (20) à une température suffisante pour provoquer une diffusion substan- tielle de ladite première impureté (As). 8. Procédé selon la revendication 7, carac- térisé en ce que ladite température est au moins égale à la température suffisante pour provoquer une diffusion substan- tielle de ladite deuxième impureté (Ph). 9. Procédé selon la revendication 8, carac- térisé en ce que ladite température est supérieure à la tem- pérature suffisante pour provoquer une diffusion substan- tielle de ladite deuxième impureté (Ph). 10. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 9, caractérisé en ce que le stade de dif- fusion comprend en outre le stade de réglage de la durée de chauffage pour régler la configuration de ladite couche d'impureté unique (32). 11. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 10, caractérisé en ce que le stade de dis- tribution de ladite première impureté (As) comprend le sta- de d'implantation d'ions de ladite première impureté (As) dans ledit substrat (20). 12. Procédé selonla revendication 11, ca- ractérisé en ce que l'étape d'implantation comprend les stades de formation d'une couche d'oxyde (24) à la surface du substrat, et d'implantation desdits ions à-travers la- dite couche d'oxyde (24). 13. Procédé selon la revendication 12, ca- ractérisé en ce que le stade de distribution de ladite pre- mière impureté (As) comprend en outre le stade de chauffage du substrat (20) en vue de la diffusion partielle des ions de ladite première impureté (As) après ladite implantation. 14. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 13, caractérisé en ce que le stade de dis- tribution de ladite première impureté (As) comprend le sta- de de diffusion d'ions de la première impureté (As) dans le substrat (20). 15. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 14, caractérisé en ce que le stade de dis- tribution de ladite deuxième impureté (Ph) comprend le sta- de d'implantation d'ions de ladite deuxième impureté (Ph) dans ledit substrat (20). 16. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 15, caractérisé en ce que ladite première impureté (As) est l'arsenic. 17. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 15, caractérisé en ce que ladite première impureté est l'antimoine. 18. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 17, caractérisé en ce que ladite deuxiè- me impureté (Ph) est le phosphore. 19. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 18, caractérisé en ce que le stade de dis- tribution de ladite première impureté (As) comprend le sta- de de distribution de ladite première impureté (As) à une 2 dose d'environ 5 x 10 /cm 20. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 19, caractérisé en ce que le stade de dis- tribution de ladite deuxième impureté (Ph) comprend le sta- de de distribution de ladite deuxième impureté à une dose approximative de 5 x 1013/cm2. 21. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 20, caractérisé en ce que le stade de dis- tribution de ladite deuxième impureté comprend le stade de distribution de ladite deuxième impureté à une concentration d'environ 5 x 10 17/cm3 22. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 21, caractérisé en ce que lesdits stades d'implantation des première et deuxième impuretés (As, Ph) sont réalisés sensiblement à une même énergie d'accéléra- tion. 23. Procédé selon la revendication 22, carac- térisé en ce que ladite énergie d'accélération est d'environ Kev. 24. Procédé selon l'une quelconque des reven- dications 1 à 23, caractérisé en ce que le stade de chauffa- ge comprend le stade de chauffage du substrat (20) jusqu'à environ 1100'C dans une atmosphère oxydante. 25. Procédé selon l'une quelconque des reven- dications 1 à 23, caractérisé en ce que le stade de chauffa- ge comprend le stade de chauffage du substrat (20) jusqu'à environ 11000C en atmosphère d'azote. 26. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 1 à 23, caractérisé en ce que le stade de chauf- fage comprend le stade de chauffage du substrat (20) jusqu'à environ 1100'C en atmosphère d'oxygène et d'azote. 27. Procédé de formation d'une jonction P-N ayant une tension de rupture relativement élevée dans un substrat, ce procédé étant caractérisé par les stades sui- vants: a) implantation d'ions d'une première impu- reté (As) d'un type déterminant une conductivité donnée et possédant un nombre atomique et un coefficient de diffusion donnés, à une énergie d'accélération donnée, dans le sub- strat (20) de type de conductivité opposé pour former une première couche (28) présentant un pic de distribution à une première profondeur (12); b) implantation d'ions d'une deuxième impu- reté (Ph) d'un type déterminant ladite conductivité donnée et possédant un nombre atomique et un coefficient de diffu- sion plus élevés que ladite première impureté (As), à sensi- blement ladite énergie d'accélération donnée, dans le subs- trat (20) de manière à former une deuxième couche (30) pré- sentant un pic de distribution à une deuxième profondeur (16); et c) chauffage du substrat (20) pour provoquer une diffusion substantielle des ions de manière à fusionner les première et deuxième couches (28,30) pour former une cou- che d'impureté de type conductivité unique (32) constituée par à la fois les deux impuretés (As, Ph) possédant un pro- fil de distribution relativement graduel. 28. Procédé selon la revendication 27, carac- térisé en ce que le stade d'implantation d'ions d'une premiè- re impureté (As) comprend le stade de réglage de laconcentra- tion des ions implantés de la première impureté (As). q uelconque. 29. Procédé selon l'une/des revendications 27 et 28, caractérisé en ce que le stade d'implantation d'- ions d'une deuxième impureté (Ph) comprend le stade de régla- ge de la concentration des ions implantés de la deuxième im- pureté (Ph). 30. Procédé selon l'une des revendications 27 à 29, caractérisé en ce quela concentration d'ions implan- tés de la première impureté (As) est plus élevée que la con- centration d'ions implantés de la deuxième impureté (Ph). 31.Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 37 à 30, caractérisé en ce que la dose d'ions implantés du premier type (As) est d'environ 5 x 10 15/cm2 32. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 27à 31, caractérisé en ce que la dose d'ions implantés de la deuxième impureté (Ph) est approximative- 13 2 ment de 5 x 10 /cm 33. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 27 à 32, caractérisé en ce que ladite première impureté (As) est l'arsenic. 34. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 27à 33, caractérisé en ce que ladite première impureté est l'antimoine. 35. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 27à 34,caractérisé en ce que ladite seconde im- pureté est le phosphore. 36. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 27 à 35, caractérisé en ce que le type déterminant la conductivité donné est du type N. 37. Procédé selon l'une quelconque des reven- dications 27à.36, caractérisé en ce que le stade d'implanta- tion de ladite première impureté (As) comprend en outre le stade de chauffage du substrat (20) en vue de la diffusion partielle de ladite première impureté (As). 38. Procédé de fabrication d'une jonction P-N ayant une tension de rupture relativement élevée, procé- dé caractérisé par les stades suivants: a) masquage de la surface (22) du substrat (20) à. l'exception des endroits à la surface du substrat se trouvant au-dessus des zones o doit être formée la jonc- tion P-N; b) croissance d'une couche d'oxyde relati- vement mince (26) à la surface des endroits non masqués; c) implantation d'ions d'une première impu- reté (As), à une énergie d'accélération donnée, ayant un coefficient de diffusion relativement faible et un nombre atomique relativement élevé, à travers ladite couche d'oxy- de (26), dans le substrat (20) pour créer une première cou- che d'impureté (28); d) implantation d'ions d 'une deuxième im- pureté (Ph),à ladite énergie d'accélération donnée, ayant un coefficient de diffusion relativement élevé et un nom- bre atomique relativement bas, à travers la couche d'oxyde (26), en direction du substrat (20) pour créer une deu- xième couche d'impureté (30); et e) chauffage du substrat (20) en vue de la diffusion des première (As) et deuxième (Ph) impuretés pour fusionner les première (28) et deuxième (30) couches d'impureté afin de former une couche d'impureté unique (32) desdites première (As) et deuxième (Ph) impuretés ayant un profil d'impureté relativement progressif. 39. Procédé selon la revendication 38, carac- térisé en ce que ladite couche d'oxyde (26) a une épaisseur d'environ 200 Angstrëms. 40. Procédé selon l'une des revendications 38 ou 39, caractérisé en ce que le stade de masquage comprend le stade de formation d'une épaisse couche d'oxyde (24) d'- environ 5000 Angstrâms et d'élimination de la partie de la- dite couche d'oxyde épaisse (26) aux endroits au-dessus des- quels sera formée la jonction P-N. 41. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 38 à 40, caractérisé en ce que la concentration de ladite première impureté (As) dans la première couche d'- impureté (28) est supérieure à la concentration de la deuxiè- me impureté (Ph) dans ladite deuxième couche d'impureté (30). 42. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 38à 41,caractérisé en ce que ladite première couche (28) est implantée à une profondeur inférieure à cel- le de la deuxième couche (30). 43. Procédé selon l'une quelconque des re- vendications 38à 42,caractérisé en ce que le stade de chauf- fage comprend le stade de chauffage du substrat (20) jusqu'à la température de diffusion de ladite première impureté (As).