Brevet FR2472881A1 — publié le 19810703

I La présente invention se rapporte à un dispositif paramétrique à onde acoustique de surface à utiliser dans un dispositif sélecteur de fréquence variable. Plus particulièrement, la présente invention se rapporte à un dispositif paramétrique à onde acoustique de surface o un certain nombre d'électrodes de pompage sont agencées dans la direction de la propagation de l'onde acoustique de surface, et les valeurs des tensions continues de polarisation ou tensions de pompage pour former des régions d'interaction paramétrique, qui doivent être appliquées aux électrodes respectives de pompage, sont différenciées les unes des autres afin de correspondre à une caractéris- tique de fréquence de sortie souhaitée, pour permettre ainsi la conception souhaitée d'une caractéristique de fréquence du dispositif sélecteur de fréquence variable. L'un des inventeurs de la présente invention a déjà révélé, dans la publication du brevet japonais 54-41089 (1979), un dispositif à onde acoustique de surface ayant une fonction de sélection de fréquence variable comme cela est illustré sur la figure 1. Sur la figure 1, le repère 1 désigne un substrat semi-conducteur et une pellicule isolante 2 et une couche piézo-électrique 3 sont feuilletées sur le substrat semi- conducteur 1. Une électrode de pompage carrée 4 à laquelle sont appliquées une tension continue de polarisation et une tension de pompage et des transducteurs d'entrée et de sortie 5 et 6 sont agencés sur la couche piézo-électrique 3. Le repère 7 désigne une source d'alimentation en courant continu pour appliquer une tension continue de polarisation, le repère 8 désigne une inductance pour le blocage du courant alternatif, le repère 9 désigne une source de courant à haute fréquence pour appliquer une tension de pompage, le repère 10 désigne un condensateur pour le blocage du courant continu et les repères 11 et 12 désignent des organes absorbant l'onde acoustique de surface pour empêcher sa réflexion non-souhaitée aux extrémités du dispositif. La tension continue de polarisation est appliquée de la source 7 à l'électrode de pompage 4 afin de créer une capacité de couche diélectrique appropriée en une partie de surface du substrat semi- conducteur 1 sous l'électrode de pompage 4. Par ailleurs, la tension de pompage à une fréquence 2fo qui est le double de celle d'une fréquence centrale fo d'une bande de fréquences souhaitée, est appliquée par la source 9 de courant à haute fréquence à l'électrode de pompage 4 afin que la capacité de la couche diélectrique soit forcée à osciller et soit modulée à la fréquence 2fo. Quand un signal électrique est appliqué au transducteur d'entrée 5 sur bande large, ce signal est converti en un signal d'onde acoustique de surface qui se propage à la surface te la couche piézo-électrique 3 vers la droite et vers la gauche en regardant la figure 1. Si une composante du signal d'entrée d'onde acoustique de surface 13 se propageant vers la droite, qui a une fréquence autour de fo, passe par une région de fonctionnement sous l'électrode de pompage 4, son potentiel piézo-électrique est soumis à une interaction paramétrique avec la tension de pompage du fait de l'effet de non- linéarité de la capacité de la couche diélectrique à la surface du substrat semi-conducteur 1, ainsi la composante est amplifiée. Ce signal amplifié d'onde acoustique de surface 14 est converti et émis sous forme d'un signal électrique par le transducteur de sortie 6. En même temps, un signal d'onde acoustique de surface 15, à une fréquence fi (fi = 2fo - fs, fs étant la fréquence du signal d'entrée ou reçu), correspondant à l'amplitude du signal d'entrée d'onde acoustique de surface 13, est également produit par l'électrode de pompage 4 et se propage vers la gauche en regardant la figure 1. Ce signal 15 peut également être émis en tant que signal de sortie. Les courbes de fréquence 14a, 15a, 14b et 15b des signaux respectifs de sortie 14 et 15 sont illustrées sur les figures 2 et 3, en relation avec le signal d'entrée 13 dont l'amplitude est indiquée comme étant de 1 sur les figures. La figure 2 montre le cas o la tension de pompage est relativement faible et la figure 3 montre le cas o elle est relativement importante. Comme cela est apparent sur les figures 2 et 3 o la fréquence est indiquée en abscisses et la sortie en ordonnées, dans un dispositif à onde acoustique de surface ayant une électrode de pompage carrée, une réponse à une bande passante du signal et une réponse parasite sont sensiblement déterminées quand une sortie à une fréquence centrale souhaitée fb est choisie. Pour cette raison, quand on utilise le dispositif à onde acoustique de surface traditionnel comme dispositif sélecteur de fréquence, la caractéristique de fréquence ne peut être étudiée librement. Et cependant, la réponse parasite est toujours trop élevée pour une utilisation dans la pratique. La présente invention a par conséquent pour objet un dispositif paramétrique à onde acoustique de surface capable de surmonter les inconvénients du dispositif traditionnel. La présente invention a pour autre objet plus spécifique un dispositif paramétrique à onde acoustique de surface capable d'adapter la réponse-dans une bande passante du signal pour une spécification souhaitée et de réduire la réponse parasite à une étendue négligeable dans un usage pratique. Selon la présente invention, on prévoit un dispositif paramétrique à onde acoustique de surface qui comprend: un feuilletage formé d'une couche de semi- conducteur et d'une couche piézo-électrique; un certain nombre d'électrodes de pompage prévues sur un trajet de propagation de l'onde acoustique de surface dans le feuilletage; un moyen pour appliquer des tensions de pompage aux électrodes respectives de pompage; et un moyen pour appliquer des tensions continues de polarisation à des valeurs différentes aux électrodes respectives de pompage afin de correspondre à une caractéristique souhaitée de fréquence d'une onde acoustique de surface de sortie. L'invention sera mieux comprise, et d'autres buts, caractéristiques, détails et avantages de celle-ci apparal- tront plus clairement au cours de la description explicative qui va suivre faite en référence aux dessins schématiques annexés donnés uniquements à titre d'exemple illustrant plusieurs modes de réalisation de l'invention et dans lesquels: - la figure 1 est une vue en perspective d'un dispositif à onde acoustique de surface traditionnel; - les figures 2 et 3 sont des courbes des fréquences de sortie du dispositif de la figure 1: la figure 2 montrant le cas d'une tension de pompage relative- ment faible et la figure 3 montrant le cas d'une tension de pompage relativement importante; - la figure 4A est une forme d'onde montrant une impulsion idéale utilisée pour la conception des régions d'interaction paramétrique, le temps étantindiqué en abscisses et le signal d'entrée en ordonnées; - la figure 4B est une courbe montrant un exemple d'une réponse dans le temps quand l'impulsion idéale de la figure 4A est appliquée au dispositif de la figure 1, le temps étant indiqué en abscisses et le signal de sortie en ordonnées; - la figure 5A est une courbe de fréquence d'une onde acoustique de surface d'entrée idéale, la fréquence étant indiquée en abscisses et l'amplitude en ordonnées; - la figure 5B est une courbe montrant un spectre de fréquences d'une sortie d'onde acoustique de surface vers l'arrière ou de retour quand l'onde acoustique de surface d'entrée idéale de la figure 5A est appliquée au dispositif de la figure 1, la fréquence étant indiquée en abscisses et l'amplitude en ordonnées; la figure 6A montre des formes d'onde d'un exemple d'une impulsion à haute fréquence employée dans la pratique au lieu de l'impulsion idéale de la figure 4A, le temps étant indiqué en abscisses et le signal d'entrée en ordonnées; - la figure 6B est une courbe montrant un exemple de la réponse dans le temps quand l'impulsion à haute fréquence de la figure 6A est appliquée au dispositif de la figure 1, le temps étant indiqué en abscisses et le signal d'entrée en ordonnées; - la figure 7A et uB courbe debflrice d'une onde accus- tique de surface d'entrée employée dans la pratique à la place de l'onde acoustique de surface d'entrée idéale de la figure 5A, la fréquence étant indiquée en abscisses et le signal de sortie en ordonnées; - la figure 7B est une courbe montrant un spectre de fréquences d'une sortie d'onde acoustique de surface de retour quand l'onde acoustique de surface d'entrée de la figure 7A est appliquée au dispositif de la figure 1, la fréquence étant indiquée en abscisses et le signal de sortie en ordonnées; - la figure 8 est une vue schématique d'une forme d'un dispositif paramétrique à onde acoustique de surface employant la présente invention, montrant en perspective son feuilletage; - la figure 9 est une vue en perspective fragmen- taire montrant un agencement modifié de sources de courant continu; - la figure 10 est une vue en perspective agrandie, partiellement arrachée, d'un exemple de l'agencement, o des résistances et autres sont formées dans un circuit intégré hybride; - la figure 11 est un diagramme montrant une courbe de fréquence d'un filtre passe-bande idéal, la fréquence étant indiquée en abscisses et la sortie en ordonnées; - la figure 12 est une courbe montrant la réponse dans le temps en relation de transformation de Fourier avec la caractéristique de fréquence de la figure 11, le temps étant indiqué en abscisses et la réponse en ordonnées; - la figure 13 est une courbe montrant la dépendance entre la capacité développée dans une direction des électrodes de pompage à tout le dispositifet la tension de polarisation; - la figure 14 est une courbe dC/dV o la courbe de la figure 13 est encore différenciée; - la figure 15 est une courbe montrant la réponse impulsionnelle de la courbe de la figure 12 avec la partie de forme d'onde autre que - IY appliquer aux électrodes respectives de pompage et corres- pondant à la réponse impulsionnelle de la figure 15, la source de tension de polarisation étant indiquée en abscisses et la valeur de la tension de polarisation en ordonnées; - la figure 17 est un exemple d'une courbe de fréquence de sortie obtenue quand l'agencement de la figure 16 est appliqué au dispositif de la figure 8, la fréquence étant indiquée en abscisses et la réponse en fréquence en ordonnées; - la figure 18 est une courbe montrant un autre exemple de la réponse impulsionnelle appliquée à la présente invention>cette réponse étant indiquée en ordonnées; - la figure 19 est une courbe d'un autre exemple d'agencement de tensions continues de polarisation à appliquer aux électrodes respectives de pompage et corres- pondant à la réponse impulsionnelle de la figure 18, la valeur de la tension de polarisation étant indiquée en ordonnées; - la figure 20 est une courbe de fréquence de sortie quand l'agencement de la figure 19 est appliqué au dispositif de la figure 8, la réponse en fréquence étant indiquée en ordonnées; - la figure 21 est une vue d'un autre mode de réalisation d'un dispositif paramétrique à onde acoustique de surface selon la présente invention, montrant en perspective son feuilletage; - la figure 22 est une vue en perspective agrandie, partiellement arrachée, d'un exemple spécifique du disposi- tif o des condensateurs sont intégrés sur le feuilletage; - la figure 23 est une courbe de réponse impul- sionnelle de la courbe de la figure 12 avec la partie de forme d'onde autre que - ly C x C Té- retirée; - la figure 24 est une courbe montrant un exemple de valeurs de capacité des condensateurs respectifs correspondant à la réponse de la figure 23, la capacité étant indiquée en ordonnées; et - la figure 25 est une courbe semblable montrant Mn autre exemple de valeurs de-capacité de condensateurs respectifs correspondant à une autre réponse impulsionnelle, la capacité étant indiquée en ordonnées. Selon une théorie courante de circuit électrique, une courbe de fréquence de sortie d'un circuit linéaire peut être obtenue par transformation de Fourier de la réponse dans le temps (changement avec le temps) à une sortie quand une impulsion est appliquée à une entrée. Par conséquent,-siune réponse dans le temps ayant une relation de transformation de Fourier avec une caractéristique de fréquence souhaitée est d'abord obtenue et que le circuit linéaire est formé de façon que la réponse dans le temps puisse être égale à la réponse impulsionnelle, on peut obtenir un signal de sortie ayant la caractéristique de fréquence souhaitée. Cette théorie sera maintenant décrite en plus de détail en se référant à son application au dispositif traditionnel de la figure 1, et en se référant aux figures 4A à 7B. Dans le dispositif paramétrique à onde acoustique de surface illustré sur la figure 1, l'interaction paramétrique est établie pour ne pas être trop importante, et une impulsion idéale e1 d'une durée zéro comme on peut le voir sur la figure 4A est appliquée au transducteur d'entrée 5 pendant le temps t=0. La réponse dans le temps il d'un signal de sortie 15 (ayant une fréquence fil des deux signaux résultants d'onde acoustique de surface émis vers la droite et vers la gauche par l'électrode de pompage 4, qui se déplace dans une direction opposée à celle de l'onde acoustique de surface d'entrée 13 est représentée sur la figure 4B. Sur la figure 4B, le temps t1 est un temps requis pour que le signal d'onde acoustique de surface ait un mouvement réciproque entre le transducteur d'entrée 5 et une extrémité proche 4' de l'électrode de pompage 4 et le temps t2 est un temps requis pour que le signal d'onde acoustique de surface ait un mouvement réciproque entre le transducteur d'entrée 5 et l'extrémité éloignée 4" de l'électrode de pompage 4. L'impulsion d'entrée e1 et la réponse I1 seront décrites en plus de détail. L'impulsion idéale e1 contient des composantes de fréquence illimitées. Qaund cette impulsion e1 est appliquée par le transducteur d'entrée 5, seules les composantes, parmi les composantes illimitées, qui ont une fréquence autour de fo (quand la fréquence de pompage est 2fo) sont soumises-à une interaction para- métrique et émises en tant que signal d'onde acoustique de surface de retour 15 qui se déplace de façon opposée au signal d'onde acoustique de surface d'entrée 13. L'enveloppe obtenue en démodulant la modulation d'amplitude des composantes de fréquence du signal de sortie est illustrée sur la figure 4B sous forme de la réponse dans -l le temps de sortie Il Quand un signal e2 ayant une amplitude constante et contenant une fréquence fo comme cela est illustré sur la figure 5A est appliqué, au lieu de l'impulsion e1 au transducteur d'entrée 5, le signal d'onde acoustique de sortie de retour 15 a un spectre de fréquences 15c tel que représenté sur la figure 5B. Le spectre 15c de la figure 5B correspond à la caractéristique de fréquence de sortie représentée en I5a sur la figure 2. Le spectre de fréquences 15o correspond au résultat de la transformation de Fourier de la réponse dans le temps Il. En supposant maintenant que le spectre de fréquen- ces 15c représenté sur la figure 5B a la caractéristique de fréquence souhaitée, c'est la réponse Il de la figure 4B qui est en relation de transformation de Fourier avec la caractéristique souhaitée, et le circuit linéaire présentant la réponse Il, c'est-à-dire le dispositif paramétrique à onde acoustique de surface, est le dispositif ayant l'électrode de pompage carrée 4 illustré sur la figure 1. Cependant, l'impulsion idéale décrite ci-dessus est en fait inutilisable dans la pratique. Par conséquent, une impulsion à haute fréquence el ayant une fréquence porteuse fo et une durée t(t 4 t2 - t1) comme on peut le voir sur la figure 6Aest utilisée. Dans ce cas, la réponse dans le temps 1l du signal de sortie de retour 15 est telle que représentée sur la figure 6B. Quand la réponse I1 est soumise à une démodulation de sa modulation d'amplitude, l'enveloppe obtenue est sensiblement la même que celle représentée sur la figure 4B. La fréquence porteuse du signal de sortie 1l de la figure 6B est fi = 2fo - fo = fo. En comparaison avec le signal e2 ayant une amplitude constante comme on peut le voir sur la figure 5A, un signal réel el a une tendance à l'atténuation d'ampli- tude à des parties de fréquence qui sont éloignées d'une fréquence centrale fo. Cependant, un tel signal el est appliqué par le transducteur 5, un spectre de fréquences 15c' d'un signal résultant de sortie de retour est semblable à celui représenté sur la figure 7B. Le spectre 15c' est sensible- ment le même que celui de la figure 5B. Dans la pratique, en étudiant un dispositif paramétrique à onde acoustique de surface selon la caractéristique de fréquence souhaitée (en étudiant des régions pour interaction paramétrique), on emploie des signaux ayant une amplitude constante comme on peut le voir sur les figures 6A et 7A. On décrira maintenant en détail la présente invention basée sur la technique ci-dessus décrite, en se référant au mode de réalisation illustré à partir de la figure 8. Sur ces figures, les mêmes pièces ou pièces identiques à celles de la figure 1 sont indiquées par les mêmes repères ou repères semblables. Sur la figure 8, le repère 1 désigne un substrat semi-conducteur fait, par exemple, en silicium (Si). Une pellicule isolante 2 et une couche piézo-électrique 3 sont disposées sur le substrat semi-conducteur 1 dans cet ordre, pour former un feuilletage. La pellicule isolante 2 est utiliséeporla passiva- tion de surface du substrat semi-conducteur 1 et est formée, par exemple, en bioxyde de silicium (SiO2)-. La couche piézo-électrique 3 est formée d'un matériau piézo-électrique tel que de l'oxyde de zinc (ZnO), du nitrure d'aluminium (AiN), et autres. Un transducteur d'entrée 5 et un transducteur de sortie 6 sont disposés sur le feuilletage en des positions proches de ses extrémités opposées, respectivement. Ces transducteurs 5 et 6 sont adaptés pour avoir une caractéris- tique de bande suffisamment large. Sur un trajet de propagation pour l'onde acousticpe de surface entre le transducteur d'entrée 5 et le trans- ducteur de sortie 6, sont disposées un certain nombre d'électrodes de pompage M1 Y M2... Les formes ou configurations des électrodes de pompage M1, M2... sont, par exemple, rectangulaires. Les électrodes M1, M2 sont agencées de façon que leurs côtés longs respectifs soient disposés parallèlement les uns aux autres, le long de la direction de propagation de l'onde acoustique de surface. Le nombre des électrodes de pompage, les dimensions comme la largeur a de chaque électrode dans la direction de la propagation de l'onde acoustique de surface, et l'espace b entre les électrodes respectives de pompage Ml y M2 a sont choisies de façon appropriée, en relation avec les valeurs de tensionscontinuesde polarisa- tion à appliquer aux électrodes respectives comme -on le décrira ci-après, afin de correspondre à la caractéristique de fréquence souhaitée. Des sources de courant continu-E1, E2, E3 pour appliquer des tensions continues de polarisation, sont reliées aux électrodes respectives de pompage Ml y M2 à travers des inductances respectives L1, L2... pour bloquer le courant alternatif. Ces sources E1 y E2 * E3 sont des sources variables de courant et sont adaptées à appliquer des valeurs différentes de tensionscontinuesde polarisation aux électrodes Ml M2, M-... respectivement. Les électrodes Ml 9 M2... sont reliées à une source 9 de courant à haute fréquence appliquant une tension de pompage, commune aux électrodes de pompage,à travers des condensa- teurs respectifs de blocage de courant continu C1, C2,C3.. Les repères Il et 12 désignent des organes absorbant l'onde acoustique de surface pour empocher une réflexion non-souhaitée de cette onde aux extrémités du dispositif. Pour appliquer des valeurs différentes de tensions continue de polarisation aux électrodes de pompage Ml. M2, M3, respectivement, on peut n'utiliser qu'une seule source E de courant continu, commune aux électrodes respectives comme cela est illustré sur la figure 9. Dans ce cas, la source E est reliée aux électrodes de pompage MlY M2 9 M3... à travers des moyens respectifs de régula- tion de tensionchacun formé d'un circuit résistif. Les moyens régulateurs de tension sont chacun formés, par exemple, d'un circuit de division de tension qui est formé d'une combinaison de deux résistances, comme R1 et R2, R3 et R4, R5 et R6 ** * Pour obtenir les moyens régulateurs de tension formés des circuits résistifs respectivement, on peut employer, par exemple, la formation représentée sur la figure 10, qui améliorera la facilité de fabrication de tout le dispositif. Plus particulièrement, chacune des résistances Rj, R2, R... est formée d'uné résistance en pellicule mince. 2 3 * Les résistances en pellicule ou couche mince sont formées sur la couche piézo-électrique 3, c'est-à-dire dans le même plan que celui o sont disposées les électrodes de pompage M1, M2, M3, pour former un circuit intégré hybride. Dans le mode de réalisation illustré sur la figure 10, les condensateurs C1, C2, C3 de blocage de courant continu sont obtenus en formant intégralement un circuit intégré hybride sur les électrodes respectives de pompage M1, M29 M3, en utilisant une pellicule inductive mince 16 et des électrodes supérieures 17. On décrira maintenant les processus pour agencer les régions d'interaction paramétrique pour établir les valeurs des tensions continues de polarisation à appliquer aux électrodes respectives de pompage M1, M2..., en se référant à la technique indiquée ci-dessus. On suppose maintenant qu'une caractéristique de fréquence souhaitée est la caractéristique E2 d'un filtre à bande passante idéal ayant une largeur de bande B comme on peut le voir sur la figure 11. Quand on obtient la réponse dans le temps 12 à une relation de transformation de Fourier avec cette fréquence E2, c'est sous la forme de sin x/x et elle s'étend vers l'infini latéralement comme cela est illustré sur la figure 12. On notera que l'amplitude d'un signal de sortie d'onde acoustique de surface SAW3 produit par une impulsion e1 est en rapport avec la force de la région d'interaction paramétrique et le facteur majeur pour la détermination de la force de la région d'interaction paramétrique est l'étendue de non-linéarité de la capacité de couche diélectrique à la surface du semi-conducteur. L'étendue de la non-linéarité varie de façon importante selon la tension continue de polarisation à appliquer à chaque électrode de pompage. Cela est représenté sur la figure 14 par rapport à un substrat semiconducteur du type n. Sur cette figure, la dépendance ( figure 13) d'une capacité C développée dans la direction de l'électrode de pompage au feuilletage du dispositifpsur la tension de polarisation V est diffé- renciée (dC/dV). Quand l'interaction paramétrique est relativement faibles le carré de la grandeur de dC/dV que l'on peut voir sur la figure 14 est sensiblement proportionnel à la réponse impulsionnelle. Plus particuliè- rement, sur la figure, la grandeur de la réponse impulsion- nelle est réduite tandis que la tension de polarisation augmente quand on considère uniquement par rapport à la tension de polarisation directe. Pour rendre la réponse dans le temps 12 égale à la réponse impulsionnelle, les valeurs des tensions continues de polarisation à appliquer aux électrodes respectives de pompage M1, M29 M3 peuvent être différen- ciées selon les formes d'onde de la réponse dans le temps. Pour correspondre au filtre idéal sur bande passante (figure 11), un nombre infini d'électrodes de pompage M1, M2... doit être prévu et agencé comme la forme d'onde I2 de la figure 12 pour produire des régions d'interaction paramétrique. Par conséquent, la dimension du feuilletage devient infiniment grande, ce qui n'est pas utilisable dans la pratique. Pour ces raisons, une caractéristique de filtrage (caractéristique de sélection de fréquence) peut être détériorée tnt que celarepose ps de problèmes en usage pratique, mais le nombre des électrodes de pompage et les valeurs des tensions continues de polarisation sont choisis afin d'atteindre la caractéristique optimale dans la restriction. On décrira maintenant un exemple de conception de régions pratiques d'interaction paramétrique, c'est-à- dire le nombre d'électrodes de pompage et les valeurs des tensions continues de polarisation à appliquer aux électrodes respectivement. La figure 15 montre la réponse impulsionnelle I3 qui correspond à la réponse dans le temps de sin x/x de la figure 12 avec des parties de forme d'onde autres que _ Et " x nues de polarisation à appliquer aux électrodes respectives de pompage M1, M2, M)... afin de correspondre à la réponse I3 sont telles qu'illustrées sur la figure 16. Comme cela est indiqué sur la figure 8, E1, E2, ED... En sont des sources de courant continu reliées aux électrodes M1, M2, .. n. Le nombre M1 à M des électrodes de pompage est un nombre limité des électrodes à prévoir en réalité sur le feuilletage. Quand le nombre des électrodes de pompage et les valeurs des tensions continues de polarisation représentées sur la figure 16 sont appliqués au dispositif de la figure 8, la courbe de fréquence du signal de sortie d'onde acous- tique de surface SAW3 devient celle souhaitée représentée sur la figure 17. Quand cette courbe de fréquence E est comparée à la courbe E2 du filtre idéal de la figure 11, on peut voir une détérioration dans une caractéristique de genou du filtre, mais la réponse parasite est réduite de façon marquée en comparaison à celle du dispositif connu comme on peut le voir sur la figure 2,au point qu'elle est négligeable dans une utilisation pratique. Par conséquent, le mode d'application des tensions continues de polarisation aux électrodes respectives de pompage M1, M2, M3... Mn comme on peut le voir sur la figure 16, s'applique comme mode d'application de tensions continues de polarisation au dispositif paramétrique à onde acoustique de surface produisant la caractéristique de fréquence souhaitée E3. Les figures 18 et 19 montrent un autre exemple des valeurs des tensions continues de polarisation à appliquer aux électrodes respectives de pompage M1, M2 M... Dans cet exemple, la caractéristique de fréquence 3 > f souhaitée est en termes de fonction de Gauss e-2 >22 et des valeurs établies de tensions continues de polarisation à appliquer aux électrodes respectives de pompage M1, M2, M3... M afin de rendre la réponse impulsionnelle égale à la réponse dans le temps 14 en relation de transformation de Fourier avec la fonctionde Gauss. Dans cet exemple, en comparaison avec la courbe E2 du filtre à bande passante idéal, on peut reconnattre une légère détérioration de la caractéristique de genou du filtre, mais la réponse parasite est améliorée. De plus, le nombre d'électrodes de pompage M1, M2... peut être choisi dans une gamme pratique. Ainsi,rcet exemple peut être applicable comme mode pour appliquer une tension continue de polarisation au dispositif paramétrique à onde acoustique de surface de la figure 8. Les deux exemples qui précèdent et représentés sur les figures 15 à 20 sont des exemples de cas o les tensions de pompage sont faibles. Quand la tension de pompage est importante et que l'interaction paramétrique est importante, l'établissement de la réponse impulsionnelle et des valeurs des tensions continues de polarisation à appliquer aux électrodes respectives de pompage M1, M2 e change quelque peu. Si l'on prend en considération l'effet de ce changement, on peut choisir un mode d'appli- cation d'une tension continue de polarisation pour obtenir la caractéristique de fréquence souhaitée, d'une façon semblable à ce qui a été décrit ci-dessus. Bien que les exemples qui précèdent aient été décrits en se référant au cas o une onde de sortie de retour indiquée par SAW3 sur la figure 8 est dérivée comme sortie d'onde acoustique de surface, une conception semblable peut s'appliquer au cas o une onde acoustique de surface SAW2 dans la même direction que l'onde acous- tique de surface d'entrée SAW1 est dérivée comme sortie. Cependant, dans le cas de l'onde acoustique de surface SAW2, une composante de signal ayant une fréquence à laquelle il n'y a pas d'interaction paramétrique est émise telle qu'elle est, sans être soumise à une modulation, et par conséquent il y a quelque peu réduction de l'effet d'amélioration de la réponse parasite. Le dispositif paramétrique à onde acoustique de surface selon la présente invention et construit comme on l'a décrit ci-dessus fonctionnera comme suit-: Des tensions établies, par exemple, comme cela est illustré sur la figure 16, sont appliquées aux électrodes respectives de pompage M1, M2 M3... par les sources respectives de courant continu E1, E2, E3... pour provoquer une distribution des capacités de couche diélectrique correspondant aux valeurs des tensions établies respectives sur la surface du substrat semi-conducteur 1 sous les électrodes de pompage M1, M2... De plus, une tension de pompage à une fréquence 2fo double d'une fréquenoe centrale fo à la bande de sélection de fréquences choisie est appliquée aux électrodes de pompage M1, M2, M3, par la source de courant à haute fréquence 9 pour exciter les capacités de couche diélectrique comme on l'a décrit ci- dessus à la fréquence 2fo et moduler les capacités de couche diélectrique à la fréquence 2fo. Par ailleurs, un signal électrique d'entrée appliqué au transducteur d'entrée sur bande large 5 est converti en une onde acoustique de surface et se propage à la surface de la couche piézo-électrique 3 vers la droite et vers la gauche en regardant la figure 8, à partir du transducteur d'entrée 5. Dans le cours de la propagation d'une composante d'un signal ayant une fréquence autour de la fréquence fo du signal d'entrée d'onde acoustique de surface SAW1 se propageant vers la droite, à travers les régions d'interac- tion paramétrique en-dessous des électrodes respectives de pompage M1, M2, M3..., le potentiel piézo-électrique est soumis à l'interaction paramétrique avec les tensions de pompage par l'effet de non-linéarité É] acapacité de couche diélectrique à la surface du substrat semi-conducteur 1 et la composante est amplifiée afin de produire une onde acoustique de surface de sortie à partir de la partie des électrodes de pompage M vers la droite et vers la gauche en regardant la figure 8. L'onde acoustique de surface de sortie S W2 se déplaçant dans la même direction que l'onde acoustique de surface d'entrée SAW1 est convertie en un signal électrique par le transducteur de sortie 6 et est émise vers l'extérieur. L'onde acoustique de surface de sortie SAW3 se déplaçant dans la direction opposée à celle de l'onde d'entrée SAW1 est dérivée vers l'extérieur sous forme d'un signal électrique en utilisant le transducteur d'entrée 5 ou autre moyen approprié, comme un moyen de sortie ayant un coupleur à plusieurs bandes comme cela est révélé dans la demande de brevet au Japon NO 54-64923 (1979). Comme un certain nombre d'électrodes de pompage sont prévues à la partie formant des régions d'interaction paramétrique et que des tensions continues de polarisation correspondant à la caractéristique de fréquence souhaitée sont appliquées aux électrodes respectives de pompage M1, M2t M3..., seules les composantes de l'onde acoustique de surface d'entrée SAW1 qui correspondent à la caractéris- tique de fréquence souhaitée sont sélectivement émises comme onde acoustique de surface SAW2 ou SAW3. Par exemple, l'onde acoustique de surface de sortie SAW3 en direction opposée à celle de l'onde acoustique de surface d'entrée SAW1 est émise sous forme d'un signal ayant la caractéristique de fréquence souhaitée comme cela est illustré sur les figures 17 ou 20, et le dispositif paramétrique à onde acoustique de surface souhaité fonctionne comme un filtre passe-bande souhaité. Comme l'onde acoustique de surface de sortie SAW2 est dans la même direction que l'onde acoustique de surface d'entrée SAW1, sa réponse parasite est quelque peu inférieure à l'onde acoustique de surface de sortie SAW3, mais elle est également émise comme un signal ayant la caractéristique de fréquence souhaitée. Bien que les tensions continues de polarisation à appliquer aux électrodes respectives de pompage soient différenciées afin de répondre à la caractéristique de fréquence souhaitée, les tensions de pompage peuvent être différenciées afin de correspondre à la caractéristique de fréquence souhaitée. La figue 21 illustre un autre mode de réalisation de la présente invention qui est basé sur cette théorie. Des condensateurs ayant des capacités variables respective- ment, sont reliés aux électrodes de pompage M1, M2.... Les extrémités opposées des condensateurs respectifs C1, C2 sont reliées en commun à une source de courant à haute fréquence pour appliquer une tension de pompage, comme une source de courant de pompage 9. Ainsi, des chutes de tension à haute fréquence aux condensateurs respectifs C1, C2... sont différenciées de façon que des tensions de pompage de valeurs différentes soient appliquées aux électrodes respectives de pompage M1, M2.. Les condensateurs C1, C2... servent également de condensateurs de blocage de courant continu, respecti- vement. La figure 22 montre un exemple d'un agencement spécifique des condensateurs C, C2.... Dans cet exemple, chaque condensateur CV2 C2... est formé d'un condensateur en pellicule ou couche mince, et les condensateurs en pellicule mince sont intégrés sur une couche piézo- électrique 3, c'est-à-dire dans le même plan que les électrodes de pompage. Sur la figure, le repère 16 désigne une pellicule mince d'une couche inductive, le repère 17 désigne une électrode supérieure et 18, 18' sont des électrodes inférieures. Les surfaces des électrodes infé- rieures respectives 18, 18' peuvent être modifiées pour différencier les capacités des condensateurs Cl^ C2... Les éléments pour régler les tensions de pompage à appliquer aux électrodes respectives de pompage Ml. M2 ne sont pas limités à des condensateurs, mais peuvent être des éléments d'impédance comme des inductances L ou des résistances R et autres. Dans ce dernier cas, les condensa- teurs C1, C2.. sont utilisés comme condensateurs pour bloquer le courant continu et les inductances L ou les résistances R ayant des valeurs d'impédance différentes sont reliées en série aux condensateurs respectifs C1, C2 *.. Les processus pour étudier les valeurs des tensions de pompage à appliquer à la partie formant les régions d'interaction paramétrique, c'est-à-dire les électrodes de pompage Mi, M2... seront maintenant décrits. L'amplitude d'un signal de sortie d'onde acous- tique de surface produit par une impulsion e1 dépend de la force des régions d'interaction paramétrique, et la force de l'interaction paramétrique est déterminée principalement par la grandeur de la-tension de pompage. Quand d'autres conditions sont fixes, la force de l'interaction paramétrique est modifiée en faisant varier la tension de pompage et la grandeur du signal de sortie d'onde acoustique de surface SAW3 produit par l'impulsion e1. Quand la grandeur de la réponse impulsionnelle varie selon les valeurs des tensions de pompage à appliquer aux électrodes respectives de pompage M l 2... de façon que la tension de la source de courant de pompage 9 soit fixe et que les valeurs de capacité (valeurs d'impédance) des condensateurs varient comme cela est représenté sur la figure 1, la réponse de l'impulsion est sensiblement proportionnelle au carré de la valeur de capacité du condensateur si la source de courant de pompage 9 et l'électrode de pompage sont coupées de façon lâche et que l'interaction paramétrique est relativement faible. Pour équilibrer la réponse dans le temps I2 avec la réponse impulsionnelle, les valeurs- des condensateurs C1, C2 reliés aux électrodes de pompage M1, M2 sont différen- ciées afin de correspondre à la forme d'onde de la réponse dans le temps I2 La figure 23 montre une réponse impulsionnelle I3 correspondant à la réponse dans le temps de sin x/x de la figure 12 avec une partie de forme d'onde autre que celle de - fr teurs respectifs C1, C2... reliés aux électrodes respecti- ves de pompage M1 M2... correspondant à la réponse I3 sont telles que représentées sur la figure 24. Bien que le nombre des électrodes de pompage prévu soit de six dans le cas de la figure 24, ce nombre est de préférence aussi important que possible afin de correspondre plus précisément à la réponse impulsionnelle. Quand le nombre des électrodes de pompage et les valeurs des condensateurs respectifs C1, C2.,. de la figure 24 sont appliqués au dispositif de la figure 21, le signal de sortie d'onde acoustique de surface SAW3 a la caractéristique de fréquence souhaitée représentée sur la figure 17. Comme cette caractéristique de fréquence E3 est comparée à celle du filtre passe-bande idéal E2 comme on peut le voir sur la figure 11, on peut voir une détério- ration de la caractéristique de genou du filtre, mais la réponse parasite est réduite de façon importante au point qu'elle devient négligeable dans un usage pratique, en comparaison avec celle du dispositif traditionnel comme on peut le voir sur la figure 2. Par conséquent, le mode d'établissement des valeurs des condensateurs respectifs C1, C2... reliés aux électrodes respectives de pompage Ml, M2y M3... Mn comme on peut le voir sur la figure 24, s'applique comme mode d'établissement des valeurs des capacités au dispositif paramétrique à onde acoustique de surface produisant la caractéristique de fréquence souhaitée E3. La figure 19 montre un autre exemple d'étude pour établir les valeurs des capacités des condensateurs C1, C2 *... Dans cet exemple, la caractéristique de fréquence souhaitée est en termes de fonction de Gauss e2 -2f2 et des valeurs établies des capacités des condensateurs respectifs C, C2... afin de rendre la réponse impulsionnelle de la figure 18 égale à la réponse dans le temps I4 en relation de transformation de Fourier avec la fonction de Gauss. Dans cet exemple, en comparaison avec la caracté- ristique E2 du filtre passe-bande idéal, on peut reconnaitre une légère détérioration de la caractéristique de genou du filtre, mais il y a amélioration de la réponse parasite. De plus, le nombre d'électrodes de pompage Mlp M2 De.0 peut être choisi dans une gamme pratique. Ainsi, cet exemple peut s'appliquer pour une électrode de pompage pour le dispositif paramétrique à onde acoustique de surface de la figure 21. Les deux exemples qui précèdent et qui sont représentés sur les figures 21 à 25 sont des exemples quand l'interaction paramétrique est relativement faible. Quand l'interaction paramétrique est forte, l'établissement de la réponse impulsionnelle et des valeurs des condensateurs respectifs C0l C2.." change quelque peu. Si l'on considère l'effet de ce changement, J'établissement des valeurs des condensateurs respectifs pour obtenir la caractéristique de fréquence souhaitée peut être atteint d'une façon semblable à ce que l'on a décrit ci-dessus. Le dispositif paramétrique à onde acoustique de surface de la figure 21 selon la présente invention est construit comme on l'a décrit ci-dessus et peut opérer comme suit: Des tensions continues de polarisation sont appliquées aux électrodes respectives de pompage M1, M2, M3... par une source de courant continu 7, pour créer une capacité de couche diélectrique appropriée à la surface du substrat semi-conducteur 1 sous les électrodes de pompage M1, M2.... De plus, une tension de pompage à une fréquence 2Fo double d'une fréquence centrale fo à la bande de sélection de fréquence souhaitée, est appliquée aux électrodes de pompage Mi. M2, M3... par la source de courant à haute fréquence 9 pour exciter les capacités de couche diélectrique comme on l'a décrit ci-dessus à la fréquence 2fo et moduler ces capacités à la fréquence 2fo. Par ailleurs, un signal électrique d'entrée appliqué au transducteur d'entrée sur bande large 5 est converti en une onde acoustique de surface et se propage à la surface de la couche piézo-électrique 3 vers la droite et vers la gauche en regardant la figure 21 à partir du transducteur d'entrée 5. Dans le cours de la propagation d'une composante du signal ayant une fréquence autour de la fréquence fo du signal d'entrée d'onde acoustique de surface SAW1 se propageant vers la droite, à travers les régions d'interac- tion paramétrique en-dessous des électrodes respectives de pompage Ml, M 2 M3..., le potentiel piézo-électrique est soumis à l'interaction paramétrique avec les tensions de pompage par l'effet de non-linéarité la capacité de couche diélectrique à la surface du substrat semi- conducteur 1 et la composante est amplifiée afin de produire une onde acoustique de surface de sortie de la partie M des électrodes de pompage vers la droite et vers la gauche en regardant la figure 21. Comme un certain nombre d'électrodes de pompage sont prévues à la partie formant des régions d'interaction paramétrique et que les valeurs des capacités respectives reliées aux électrodes de pompage Ml, M2... sont établies de façon que des tensions de pompage correspondant à la caractéristique de fréquence souhaitée soient appliquées aux électrodes respectives de pompage M1i M2, M3..... seules les composantes de l'onde acoustique de surface d'entrée SAW1 qui correspondent à la caractéristique de fréquence souhaitée sont sélectivement émises sous forme * d'onde acoustique de surface SAW2 ou SAW3. Par exemple, l'onde acoustique de surface de sortie SAW3 en direction opposée à celle de l'onde acoustique de surface d'entrée SAW1 est émise en tant que signal ayant la caractéristique de fréquence souhaitée comme on peut le voir sur la figure 17 ou 20, et le dispositif paramétrique à onde acoustique de surface fonctionne comme un filtre passe-bande souhaité. Comme on l'a décrit ci-dessus, selon la présente invention, un certain nombre d'électrodes de pompage sont agencées dans la direction de propagation d'une onde acoustique de surface et des tensions continues de polari- sation ou des tensions de pompage sont différenciées afin de correspondre à une caractéristique de fréquence souhaitée de l'onde acoustique de surface de sortie. Par conséquent, quand ce dispositif paramétrique à onde acoustique de surface est utilisé comme dispositif sélecteur de fréquence variable (un filtre passe-bande), il est très avantageux parce qu'il peut être étudLé afin de se conformer à toute caractéristique de fréquence de sortie. En plus des avantages ci-dessus décrits, le dispositif paramétrique à onde acoustique de surface selon l'invention présente les avantages qu'a généralement un dispositif à onde acoustique de surface. Par exemple, le dispositif a une caractéristique variable d'accord sur une large gamme de fréquences,la stabilité de la fréquence centrale de sortie peut être déterminée par la stabilité d'une source de courant externe de pompage et le rapport S/N (signal/bruit) est très excellent. Bien entendu, l'invention n'est nullement limitée aux modes de réalisation décrits et représentés qui n'ont été donnés qu'à titre d'exemple. En particulier, elle comprend tous les moyens constituant des équivalents techniques des moyens décrits ainsi que leurs combinaisons si celles-ci sont exécutées suivant son esprit et mises en oeuvre dans le cadre de la protection comme revendiquée. R E V E N D I C A T I 0 N S 1.- Dispositif paramétrique à onde acoustique de surface, caractérisé en ce qu'il comprend un feuilletage formé d'une couche de semi- conducteur (1) et d'une couche piézo-électrique (3); un certain nombre d'électrodes de pompage (M1, M2...) prévues sur un trajet de propagation de l'onde acoustique de surface dans ledit feuilletage; un moyen (9) pour appliquer des tensions de pompage aux électrodes respectives de pompage; et un moyen (E1, E2...) pour appliquer des tensions continues de polarisation à des valeurs différentes aux électrodes respectives de pompage afin de correspondre à une caractéristique de fréquence souhaitée d'une onde acoustique de surface de sortie. 2.- Dispositif paramétrique à onde acoustique de surface, caractérisé en ce qu'il comprend: un feuilletage formé d'une couché de semi- conducteur (1) et d'une couche piézo-électrique (3); un certain nombre d'électrodes de pompage (M1, M2...) formées sur un trajet de propagation d'une onde acoustique de surface dans ledit feuilletage; - un moyen pour appliquer des tensions continues de polarisation (E1, E2...) auxdites électrodes de pompage respectives; et un moyen pour appliquer des tensions de pompage (9) à des valeurs différentes aux électrodes respectives de pompage afin de correspondre à une caractéristique de fréquence souhaitée d'une onde acoustique de surface de sortie. 3.- Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que chaque électrode de pompage précitée est de forme rectangulaire et elles sont agencées avec leurs côtés longs parallèles les uns aux autres. 4.- Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen précité pour appliquer des tensions continues de polarisation comprend un certain nombre de sources de courant continu, lesdites sources étant reliées aux électrodes de pompage respectives précitées. 5.- Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen précité pour appliquer des tensions continues de polarisation comporte au moins une source de courant continu (E) et un certain nombre de moyens régulateurs de tension (R1, R2; RY, R4; R5, R6) ladite source-étant reliée aux électrodes de pompage précitées par lesdits moyens régulateurs de tension respectifs. 6.- Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que les moyens régulateurs de tension précités sont formés de résistances en pellicule, lesdites résistances étant intégrées sur le même-plan que les électrodes de pompage précitées. 7.- Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que le moyen précité pour appliquer des tensions de pompage comprend un certain nombre de sources de courant de pompage, lesdites sources étant reliées aux électrodes respectives de pompage précitées. 8.- Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que le moyen précité pour appliquer des tensions de pompage comprend au moins une source de courant de pompage et un certain nombre de circuits d'impédance (C, C2...) ayant des valeurs différentes d'impédance, respectivement, ladite source de courant de pompage étant reliée aux électrodes de pompage précitées par lesdits circuits respectifs d'impédance ayant différentes valeurs d'impédance. 9.- Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que les circuits d'impédance précités sont formés de condensateurs ayant des capacités différentes respectivement. 10.- Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que les condensateurs précités sont formés de condensateurs en pellicule mince et en ce qu'ils sont intégrés sur le même plan que les électrodes de pompage précitées. 11.- Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'il comprend de plus des transducteurs d'entrée (5) et de sortie (6) agencés sur des côtés opposés des électrodes de pompage précitées. 12.- Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'il comprend de plus un moyen pour appliquer une onde acoustique de surface au feuilletage précité et un moyen pour dériver une onde acoustique de surface de sortie dudit feuilletage, ledit moyen pour dériver étant adapté à dériver une onde acous- tique de surface de l'onde acoustique de surface appliquée qui a une fréquence correspondant à la caractéristique de fréquence précitée etsedéà.ace en dîrecUon opposée à l'onde acoustique de surface appliquée. 13.- Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que les condensateurs précités sont également utilisés pour bloquer un courant continu. 14.- Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que la couche de semi-conducteur précitée est faite en silicium et en ce que la couche piézo-électrique précitée est faite en oxyde de zinc. 15.- Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que la couche de semi-conducteur précitée est faite en silicium et en ce que la couche piézo-électrique précitée est faite en nitrure d'aluminium. 16.- Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'il comprend de plus une pellicule isolante (2) interposée entre la couche de semi-conducteur précitée et la couche piézo- électrique précitée pour passiver la surface de ladite couche de semi-conducteur. 17.- Dispositif selon la revendication 16, caractérisé en ce que la pellicule isolante précitée est faite en bioxyde de silicium.