Brevet FR2462781A1 — publié le 19810213

La présente invention concerne un procédé de fabrica- tion d'un transistor à effet de champ à grille Schottky autolignée et un transistor obtenu par ce procédé. Un transistor à effet de champ à canal N en silicium à grille Schottky autolignée est couramment appelé dans la tech- nique MESFET. Un tel transistor est schématiquement représenté en figure 1. Il comprend, dans un caisson 1 de type N ménagé dans un substrat 2 de type P des zones 3 et 4 de type N+ destinées à ser- vir respectivement de source et de drain. Des métallisations 5 et 6 établissent un contact-ohmique avec ces zones 3 et 4 fortement dopées. Une métallisation 7 est déposée sur la partie superficielle du caisson intermédiaire entre les zones de source et de drain. Cette métallisation, déposée sur la couche 1 de type N forme avec cette couche une barrière de Schottky. L'ensemble de la structure, en dehors des zones métallisées est recouverte par une couche d'un diélectrique 8, couramment de la silice. La couche P est recouverte à sa surface supérieure, en dehors des zones o est formé le cais- son 1, d'une zone 9 surdopée de type P Un transistor à effet de champ tel que représenté en figure 1 présente notamment des applications dans le domaine des très hautes fréquences, pouvant aller jusqu'à quelques gigahertz. Dans ce domaine de fréquences, il est particulièrement important de minimiser autant que faire se peut, les dimensions des compo- sants et de diminuer les capacités et les résistances parasites éventuelles.D'autre part, pour un bon fonctionnement du composant, il est souhaitable qu'il se présente une symétrie aussi bonne que possible entre les zones de source et de drain. Pour ce faire, il importe notamment que le contact Schottky 7 sur la zone de canal soit exactement centré et le plus proche possible par rapport aux limites en regard des régions de source et de drain. Les divers procédés connus pour réaliser une telle struc- ture emploient des successions d'étapes de masquage et il faut alors repositionner chaque masque successif pour qu'il revienne en position précise par rapport au masque précédent. Il en résulte nécessairement une erreur de positionnement de l'ordre du micron, c'est-à-dire, avec les dimensions des dispositifs envisagés, une erreur relative très importante. La présente invention vise un procédé pour obtenir de 2 2462781 façon automatique un centrage de la métallisation de canal par rapport aux limites en regard des zones de source et de drain. La présente invention vise également un dispositif obtenu par ce procédé. Ainsi, la présente invention a trait à un procédé de fabrication d'un transistor à effet de champ à grille Schottky autoaligné, comprenant une région de source et une région de drain séparées par une région de canal de même type de conductivité mais à plus faible niveau de dopage, comprenant les étapes suivantes former sur une partie de la surface d'une tranche de silisium, dopée selon un premier type de conductivité, un empilage d'une couche de silice d'une première épaisseur et d'une couche de ni- trure de silicium, cet empilage recouvrant sensiblement une région o l'on veut former les ensembles drain - canal - source; procéder à une implantation d'un dopant du premier type de conductivité, cette implantation étant masquée par ledit empilage; former une couche de silice en dehors des zones couvertes par ledit empilage, cette couche ayant une deuxième épaisseur supérieure à la première; procéder à une implantation d'un dopant du deuxième type de con- ductivité, cette implantation étant masquée par la couche de silice ayant la deuxième épaisseur; former sur la couche de nitrure une couche de résine recouvrant sensiblement la zone dans laquelle on souhaite former le canal; procéder à une implantation d'un do- pant du deuxième type de conductivité, cette implantation étant masquée par la couche de résine et par la couche de silice ayant la deuxième épaisseur.; attaquer la couche de nitrure pour l'enle- ver en dehors des emplacements recouverts par la résine et partiel- lement sous cette couche de résine; enlever la couche de résine; former à nouveau une couche de silice en dehors des emplacements recouverts de nitrure selon une épaisseur supérieure à ladite pre- mière épaisseur; déposer une couche de résine, l'ouvrir aux empla- cements o l'on souhaite ménager les contacts de drain et de source, et attaquer la couche de silice sousjacente aux ouvertures et éli- miner la résine, enlever par attaque sélective le nitrure restant, puis attaquer la silice sur une épaisseur corrrespondant à la première épaisseur, d'o il résulte que la tranche de sili- cium se trouve à nu aux emplacements o l'on souhaite effectuer les contacts de drain, de source et de canal. La présente invention concerne également un transistor à effet de champ à grille Schottky formé à partir d'une surface d'un substrat d'un premier type de conductivité comprenant un caisson à fond plan du second type de conductivité dans lequel sont formées des régions de ce même second type de conductivité, mais à niveau de dopage très élévé, constituant les zones de drain et de source, ces régions étant séparées par une zone de canal sur laquelle est formée une métaIlisation formant avec la surface du caisson une barrière de Schottky. La surface du semiconducteur présente une structure étagée, les régions de drain et de source formant un premier plateau au-dessus de la surface générale du substrat et la région de canal formant un deuxième plateau au-dessus du premier; et la métallisation de canal est exactement centrée entre les limites en regard des régions de drain et de source. L'invention vise également un circuit intégré comprenant un ou plusieurs transistors à effet de champ à grille de Schottky tels que décrits ci-dessus. Ces objets, caractéristiques et avantages ainsi que d'autres de la présente invention seront explicités de façon dé- taillée dans la description suivante d'un mode de réalisation par- ticulier faite en relation avec les figures jointes parmi lesquel- les: La figure 1 représente une structure de transistor à effet de champ à canal N à grille Schottky, connue en elle-même;et les figures 2 à 7 illustrent diverses étapes du procédé de fabrication d'un transistor à effet de champ à canal N à grille Schottky autoalignée selon la présente invention. Dans ces diverses figures de mêmes références désignent de mêmes éléments, zones ou couches. Conformément à l'usage dans le domaine de la représentation des structures de semiconducteurs, les diverses dimensions des figures schématiques jointes ne sont pas tracées à l'échelle mais au contraire certaines de leurs dimensions sont dilatées pour en faciliter la compréhension. La description suivante traite d'un procédé utilisant un substrat de silicium de type P. Bien entendu, on pourrait partir initialement d'un substrat de silicium de type N à condition d'inverser de fa- çon correspondante 'tous les types de conductivité décrits et repré- sentés. 4 2462781 Comme le montre la figure 2, le procédé selon la pré- sente invention utilise initialement un substrat 10 de type P. On notera que ce substrat de type P pourra être, dans certains cas pratiques, une couche de type P obtenue par diffusion ou épitaxie à partir d'une plaquette de silicium de même type ou de type op- posé. Sur ce substrat 10 de type P est formée une couche il de silice ou oxyde de silicium, couramment appelée simplement dans la pratique couche d'oxyderevêtue d'une couche 12 de nitrure de silicium, couramment appelée dans la pratique et par abréviation couche de nitruré. L'empilement des couches 11 et 12 est gravé pour maintenir un empilement localisé tel que représenté sur la figure. La plaquette est alors placée en regard d'une source d'im- plantation. L'empilement des couches 11 et 12 et de la résine pho- tosensible sert de masque et seules les zones-du substrat externes à cet empilement subissent l'implantation. On obtient ainsi une couche implantée 13 de type P. Comme le montre la figure 3, on forme ensuite une cou- che épaisse de silice 14 sur les zones de la plaquette non recou- vertes de nitrure. Cette localisation se fait automatiquement en plaçant la plaquette dans un four en atmosphère oxydante, la crois- sance de silice ne se faisant pas dans les zones protégées par le nitrure. Après cela, on procède à une étape d'implantation d'un dopant de type N. L'implantation est masquée par la couche de silice épaisse 14 et se produit essentiellement en dessous de la couche de nitrure 12. On obtient ainsi une couche 15 de type N. L'épais- seur de la couche de silice 14-doit être suffisamment grande pour obtenir l'effet de masquage d'implantation décrit ci-dessus. Il est clair en conséquence que la couche de silice 14 est nettement plus épaisse que la couche de silice il formée lors de la première étape, cette couche de silice 11 n'ayant pas d'ailleurs un rôle fondamental mais servant à permettre, quand cela sera souhaitable, une attaque de la couche de nitrure sans endommager le silicium sousjacent. Lors de l'étape illustrée en figure 4, une couche de résine 16 est déposée au-dessus d'une partie de la couche de nitrure 12, la largeur de la couche de résine 16 correspondant sensiblement à la largeur de la zone de canal comme on le verra ci-après. Cette couche de résine 16 sert, avec la couche d'oxyde épaisse 14, de 2 2462781 masque d'implantation et l'on effectue une implantation de type N à fort niveau de dopage uniquement en dessous des zones o le nitrure est apparent. On obtient ainsi des régions de drain et de source 17 et 18. Lors de l'étape suivante,,llustrée en figure 5, on procède à une attaque de la couche de nitrure 12. Cette attaque est poursuivie jusqu'à ce que le nitrure soit partiellement atta- qué en dessous de la couche de résine 16. Il est clair que cette attaque sous la couche de résine est symétrique et qu'ainsi le plot de nitrure 19 restant est automatiquement centré sur les li- mites en regard des couches de type N 17 et 18. Après ces étapes, et comme l'illustre la figure 6, on enlève la couche de résine 16, et l'on procède à une oxydation ther- mique de la tranche pour obtenir partout une épaisseur d'oxyde plus importante que celle se trouvant sous le plot de nitrure 19. On obtient notamment une surépaisseur d'oxyde au-dessus des zones N+17 et 18. Cette partie en surépaisseur de la couche d'oxyde est désignée par la référence 20. Après cela, pour établir un contact avec les régions 17 et 18, on dépose sur le substrat un masque de résine désigné par la référence 21, on ouvre ce masque et la por- tion de la couche de silice 20 sousjacente pour mettre à nu une partie des couches 17 et 18. Dans cette étape, il importe peu de laisser une très faible épaisseur de silice du moment qu'elle est du même ordre de grandeur que l'épaisseur de silice 11 se trouvant sous le plot de nitrure 19. Il faut souligner que le positionne- ment de ce masque n'est pas critique: le fonctionnement du dispo- sitif dépend peu du centrage des contacts sur les zones N Ensuite, comme le représente la figure 7, on enlève le masque de résine 21, on attaque, par exemple à l'aide d'un plasma le plot de nitrure 19, puis on plonge la plaquette dans un milieu attaquant la silice. La durée de trempage dans le bain d'attaque est suffisamment courte pour que seulement une faible épaisseur de silice soit enlevée. On enlève ainsi la faible épaisseur de silice qui se trouvait sous le plot de nitrure 19 ainsi que, éven- tuellement, la faible épaisseur de silice restant au-dessus des zones o l'on souhaite établir le contact avec les couches 17 et 18. Ainsi, par ce procédé, l'ouverture du contact Schottky avec le canal se trouve exactement centrée entre les limites en regard des zones de source et de drain 17 et 18. 6 2462781 Enfin, on procède de façon classique à un dépôt de platine ou d'un autre métal, à un alliage avec le silicium, à un enlèvement du platine, puis à un dépôt d'une métallisation de re- prise de contact. On notera que, par suite des étapes successives d'oxy- dation thermique décrites précédemment, la plaquette prend, au niveau de chaque transistor formé une structure étagée à trois niveaux, le substrat initial se trouvant à un premier niveau sous la couche d'oxyde épaisse 14, les diffusions de drain et de source 17 et 18 se trouvant à un niveau un peu plus élevé sous les métal- lisations et la couche d'oxyde 20, et enfin la zone centrale du canal avec laquelle est établie le contact de Schottky se trouvant à un niveau supérieur. - La première implantation illustrée en figure 2 pour former la couche 13 de type P peut être une implantation de bore, la deuxième implantation de type N pour former le caisson 15 peut être une implantation de phosphore, la troisième implantation pour former des régions surdopées de source et de drain 17 et 18 peut être une implantation d'arsenic. La présente invention n'est pas limitée au mode de réa- lisation qui a été explicitement décrit mais en comprend les di- verses variantes et généralisation contenues dans les définitions données par les revendications ci-après. A titre d'exemple numérique, on peut indiquer que la structure suivante a été réalisée par la demanderesse - substrat initial P2: résistivité 10 à 20 a/cm - dopage 1015 at/cm3 - couche 11 SiO2: épaisseur 40 nm - couche 12 Si3N4: épaisseur 1OOnm - couche 13 - bore implanté 70 keV;8.1012 at/cm2 - canal 15 - phosphore implanté 150 keV;1013 atcm2 - Source-drain 17-18- arsenic implanté 100 keV;10 15at/cm2 7 2462781 REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'un transistor à effet de champ à grille Schottky autoalignée, comprenant une région de source et une région de drain séparées par une région de canal de même type de conductivité mais à plus faible niveau de dopage, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes a) former sur une partie de la surface d'une tranche de silicium, dopée selon un premier type de conductivité, un em- pilage d'une couche de silice d'une première épaisseur et d'une couche de nitrure de silicium, cet empilage recouvrant sensible- ment une région o l'on veut former les ensembles drain - canal - source; b) procéder à une implantation d'un dopant du premier type de conductivité, cette implantation étant masquée par ledit empilage; c) former une couche de silice en dehors des zones cou- vertes par ledit empilage, cette couche ayant une deuxième épais- seur supérieure à la première; d) procéder à une implantation d'un dopant du deuxième type de conductivité, cette implantation étant masquée par la couche de silice ayant la deuxième épaisseur; e) former sur la couche de nitrure une couche de résine recouvrant sensiblement la zone dans laquelle on souhaite former le canal; f) procéder à une implantation d'un dopant du deuxième type de conductivité, cette implantation étant masquée par la couche de résine et par la couche de silice ayant la deuxième épaisseur; g) attaquer la couche de nitrure pour l'enlever en dehors des emplacements recouverts par la résine et partiellement sous cette couche de résine; h) enlever la couche de résine; i) former à nouveau une couche de silice en dehors des emplacements recouverts de nitrure selon une épaisseur supérieure à ladite première épaisseur; j) déposer une couche de résine, l'ouvrir aux emplace- ments o l'on souhaite ménager les contacts de drain et de source, et attaquer le couche de silice sousjacente aux ouvertures. 8 2462781 h) éliminer la résine, enlever par attaque sélective le nitrure restant, puis attaquer la silice sur une épaisseur correspondant à la première épaisseur, d'o il résulte que la tranche de silicium se trouve à nu aux emplacements o l'on sou- haite effectuer les contacts-de drain et de canal. 2. Procédé de fabrication selon la revendication 1 caractérisé en ce que les diverses étapes de formation d'une couche de silice sont des étapes d'oxydation thermique. 3. Procédé selon la revendication 2,-caractérisé en ce que l'implantation réalisée lors de l'étape b) est une implan- tation de bore. 4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'implantation réalisée lors de l'étape d) est une implantation de phosphore. 5. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que l'implantation réalisée au cours de l'étape f) est une implan- tation d'arsenic. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5 caractérisé en ce qu'il comprend en outre les étapes consis- tant à former un alliage platine/silicium au niveau des diverses ouvertures dans la couche de silice. 7. Procédé de fabrication d'un transistors effet de champ à grille Schottky autoalignée à partir d'un substrat d'un premier type de conductivité, catactérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes a) placer le substrat dans un réacteur pour former une couche de silice thermique d'une première épaisseur puis une couche de nitrure, ces couches étant délimitées d'une façon pré- déterminée, b) placer la plaquette dans un dispositif d'implanta- tion et implanter un dopant d'un premier type de conductivité, c) placer le substrat dans un réacteur pour former une seconde couche de silice thermique, d) soumettre à nouveau la tranche à une implantation d'un dopant du deuxième type de conductivité, e) déposer une couche de résine aux emplacements o l'on souhaite former le canal, f) resoumettre la tranche à une implantation par un dopant du deuxième type de-conductivité, 9 4274 8 1 g) placer la tranche dans une enceinte d'attaque sélective du nitrure, h) placer la tranche dans un bain d'attaque de la résine, i) placer la tranche dans un four en atmosphère oxy- dante pour former une couche de silice thermique, j) déposer une couche de résine, masquer, ouvrir aux emplacements o l'on souhaite ménager les contacts de drain et de source, puis placer la tranche dans un bain d'attaque sélec- tive de la silice, k) placer la tranche dans un bain d'attaque de la ré- sine, puis dans une enceinte d'attaque sélective du nitrure, puis dans un bain d'attaque sélective de la silice pendant une durée propre à attaquer une épaisseur correspondant sensiblement à la première épaisseur. 8. Transistor à effet de champ à grille Schottky formé à partir d'une surface d'un substrat d'un premier type de conduc- tivité dans lequel sont formées des régions de ce même second type de conductivité, mais à niveau de dopage très élevé, cons- tituant les zones de drain et de source, ces régions étant sépa- rées par une zone de canal sur laquelle est formée une métalli- sation formant avec la surface du caisson une barrière de Schottky, caractérisé en ce que la surface du semiconducteur pré- sente une structure étagée, les régions de drain et de source formant un premier plateau au-dessus de la surface générale du substrat et la région du canal formant un deuxième plateau au- dessus du premier, et en ce que la métallisation de canal est exactement centrée entre les limites en regard des régions de drain et de source. 9. Circuit intégré comprenant un ou plusieurs tran- sistors à effet de champ à grille de Schottky selon la revendi- cations 8.