Brevet FR2466927A1 — publié le 19810410

246692? L'invention concerne les convertisseurs d'ondes a- coustiques de surface et, en particulier, les convertisseurs à pondération capacitive. L'invention peut être appliquée avec succès dans di- vers dispositifs fonctionnant avec des ondes accoustiques de surface, tels les filtres, les lignes à retard, les amplificateurs et les convoluteurs. On connaît un convertisseur d'ondes acoustiques de surface du type interdigital ou imbriqué avec une pondéra- tion capacitive, qui comporte un support en matériau piézo- électrique sur lequel est disposée une rangée d'électrodes comportant un groupe d'électrodes parallèles les unes aux autres et reliées à une surface conductrice par un couplage capacitif, et un autre groupe d'électrodes reliées à une autre surface conductrice par un couplage capacitif, paral- lèles aux électrodes du groupe précédemment indiqué et dis- posées entre celles-ci de manière à former des secteurs avec un recouvrement des électrodes des deux groupes de longeur constante. Le couplage capacitif des électrodes à la surface conductrice correspondante est formée à l'aide d'évidements pratiques dans cette surface et d'extrémités d'électrodes pénétrant dans ceux-ci. La valeur de la capacité accouplant chaque électrode à la surface conductrice dépend du péri- mètre de l'évidement et de la largeur de l'interstice entre l'extrémité de l'électrode pénétrant dans celui-ci et la surface. La loi de variation des valeurs des capacités sui- vant la longueur du convertisseur est déterminée d'après l'impulsion de réponse assignée et est obtenue en modifiant la profondeur des évidements des électrodes correspon- dantes et la surface conductrice (voir par exemple le bre- vet des USA No 3 904 996). Un tel convertisseur est caractérisé par de fortes pertes d'énergie dans la bande des fréquences de service, car les ondes acoustiques de surface dans la bande passante du convertisseur sont engendrées non seulement aux endroits de recouvrement des électrodes des deux groupes, mais aussi dans les interstices entre les surfaces conductrices et les extrémités des électrodes pénétrant dans celle-ci. D'autre part, dans le convertisseur de la construction décrite, on observe des effets de diffraction dus à l'excitation d'ondes acoustiques à front annulaire sur des secteurs à faible pro- fondeur des évidements. Les effets de diffraction, comme on sait, conduisent à la distorsion de l'impulsion de réponse et, par conséquent à la distorsion de la caractéristique amplitude-fréquence dans la bande passante du convertisseur et à un petit -affaiblissement du signal en dehors de cette bande. On connaît également un convertisseur d'ondes acous- tiques de surface avec une pondération capacitive, possédant de plus faibles pertes d'énergie dans la bande des fréquences de service (voir, par exemple, le brevet des USAN' 4-162 415). Un tel convertisseur comporte un substrat en matériau piézo-électrique dans lequel peuvent se propager les ondes acoustiques superficielles, et au moins deux rangées d'élec- trodes disposées sur lui, l'une de ces rangées étant une ran7 gée principale qui comporte un groupe d'électrodes parallèles les unes aux autres et reliées électriquement à l'une des surfaces conductrices et un autre groupe d'électrodes paral- lèles aux électrodes du groupe cité plus haut, disposées entre celles-ci de manière à former des secteurs de recouvre- xoent des électrodes des deux groupes de longueur constante, et reliées à l'autre surface conductrice par un couplage ca- pacitif, l'autre rangée étant une rangée auxiliaire se trou- vant entre la rangée principale d'électrodes et l'autre sur- face conductrice et comportant un groupe d'électrodes reliées électriquement à cette autre surface et parallèles les unes aux autres, et un autre groupe d'électrodes parallèles aux électrodes du groupe précité de cette rangée, disposées en- - tre celles-ci de manière qu'au moins une partie des électro- des des deux groupes forment des secteurs se recouvrant avec une longueur variable déterminée par l'impulsion de réponse du convertisseur, et reliées galvaniquement directement aux électrodes correspondantes du second desdits groupes de la rangée principale pour former un couplage capacitif de ces dernières avec la surface conductrice correspondante. Dans un tel convertisseur la distance entre les axes longitudinaux des groupes de la rangée principale est déter- minée en partant des conditions de synchronisme acoustique à la fréquence principale ou à la fréquence de l'harmonique correspondant excité (capté) par l'onde acoustique superfi- cielle, tandis que la distance entre les axes longitudinaux des électrodes voisines des deux groupes de la rangée auxi- liaire est choisie différente de ladite distance de manière que la bande des fréquences d'ondes acoustiques superficiel- les excitées par les électrodes de cette rangée se situe en dehors des limites de la bande des fréquences des ondes a- coustiques superficielles excitées par les électrodes de la rangée principale. Grâce à un tel choix desdites distances, les pertes d'énergie dansla bande des fréquences passantes de ce convertisseur sont sensiblement inférieures à celles de la construction décrites plus haut. Cependant, dans ce convertisseur, on observe des ef- fets de diffraction dus à lexcitation d'ondes acoustiques superficielles Ai front circulaire par les paires d'électro- des de la rangqe aux)iliaire à une faible valeur des secteurs se recouvrant. CSs ondes se propagent parallèlement à la di- rection de propagation des ondes acoustiques de surface exci- tées par les électrodes de la rangée principale, et aussi sous certains angles par rapport à cette direction. Les on- des acoustiques superficielles, qui se propagent sous un cer- tain angle, sont excitées dans une large bande de fréquences, qui comprend la bande des fréquences passantes du convertis- seur. Ceci est du au fait que, pour les ondes acoustiques de surface qui se propagent sous un certain angle, les con- 2E. ditions de synchronisme acoustique sont déterminées, non pas par toutes les dlectrodes de la rangée auxiliaire, mais seulement par une partie de ces électrodes et, dans certai- nes directions de propagation, par une seule paire. Lorsqu'on utilise un tel convertisseur avec un-autre convertisseur d'ondes acoustiques de surface, par exemple un convertisseur de sortie disposé dans le même canal acous- tique que la rangée principale d'électrodes les ondes acous- tiques superficielles décrites plus haut, excitées par les électrodes de'la rangée auxiliaire et se propageant sous un certain angle par rapport à la direction de propagation des ondes acoustiques superficielles excitées par les électrodes de la rangée principale, arrivant au convertisseur de sortie et déforment la caractéristique amplitude-fréquence du con- vertisseur et du dispositif en entier et, en particulier,. élargissent la caractéristique amplitude-fréquence au niveau de 35-40dB et décalent en fréquence les points de réjection. Cet effet se fait particulièrement sentir lorsqu'on utilise le convertisseur indiqué avec un convertisseur apo- disé. L'apport d'un absorbant sur la rangée auxiliaire d'é- lectrodes ne permet pas de réduire sensiblement le niveau des ondes acoustiques de surface se propageant sous un certain angle car pour cesondes, l'absorbeur ne se trouvant que sur une longueur de leur trajet de propagation de l'ordre d'une longueur d'onde, le coefficient d'absorbtion de cel- les-ci ne dépassent pas 10 dB. La présente invention vise à fournir un convertisseur d'ondes acoustiquessuperficielles du type interdigital ou imbriqué à pondération capacitive, dans lequel la réalisa- tion du support et la disposition sur ce dernier des ran- gées principale et auxiliaire d'électrodes permet d'élimi- ner les effets de diffraction qui entraînent la dégradation de la caractéristique amplitude-fréquence du convertisseur, et assurant un faible niveau des pertes d'énergie dans sa bande de fréquences passantes. Ceci est obtenu au moyen d'un convertisseur d'ondes acoustiques superficielles interdigital-ou imbriqué compor- tant un substrat réalisé en un matériau dans lequel peuvent se propager des ondes acoustiques superficielles et sur le- quel sont disposées au moins deux rangées d'électrodes dont l'une est une rangée principale comportant un premier grou- pe d'électrodes parallèles les unes aux autres et reliées électriquement à une surface conductrice, et un second grou- pe d'électrodes parallèles aux électrodes dudit premier groupe, disposées entre celles-ci de manière à former des secteurs de recouvrement des électrodes des deux groupes de longueur constante et reliées à l'autre surface conductrice par un couplage capacitif, et dont l'autre rangée est une rangée auxiliaire disposée entre la rangée principale d'é- lectrode et l'autre surface conductrice et comportant un premier groupe d'électrodes reliées électriquement à cette autre surface et parallèles les unes aux autres, et un se- cond groupe d'électrodes, parallèles aux électrodes dudit premier groupe de la rangée auxiliaire, disposées entre cel- les-ci de manière qu'au moins une partie des électrodes des deux groupes forment des secteurs de recouvrement de longueur variable déterminée par l'impulsion de réponse assignée du convertisseur, et reliées galvaniquement directe- ment aux électrodes correspondantes dudit second groupe d'électrodes de la rangée principale. Selon l'invention, le substrat comporte aum0ins deux secteurs dont l'un possède et l'autre ne possède pas de propriétés piézo-électriques, la rangée principale d'électrodes étant disposée sur le sec- teur du substrat possédant des propriétés piézo-électriques, et la rangée auxiliaire d'électrodes sur le secteur du subs- trat ne possédant pas de propriétés piézo-électriques. Il est préférable que le secteur du support possé- dant des propriétés piézo-électriques soit réalisé en céra- mique polarisée, et le secteur du support ne possédant pas de propriétés piézo-électriques en céramique non polarisée. Il est avantageux que le support soit réalisé en ma- tériau non piézo-électrique avec un film en matériau piézo- électrique disposé sur une partie de sa surface, de manière que le secteur du support se trouvant sous le film soit en contact acoustique avec lui et qu'il acquière des proprié- tés piézo-électriques. Il est souhaitable que le film soit porté directe- ment par la surface du substrat et que les électrodes de la rangée principale se.trouvent sur le film. Il est également souhaitable que le film soit situé par-dessus les électrodes de la rangée principale. Une telle réalisation du convertisseur d'ondes acous- tiques superficielles permet d'éliminer les effets de dif- fraction déformant la caractéristique amplitude-fréquence du convertisseur, sans provoquer d'augmentation du niveau des pertes d'énergie dans!-la bande de ses fréquences passan- tes grâce au fait que les électrodes de la rangée auxiliaire n'excitent pas d'ondes acoustiques de surface dans le support et ne remplissent qu'une fonction de diviseur capacitif de la tension appliquée aux électrodes de la rangée principale indépendant de la fréquence. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront plus particulièrement de la description suivante donnée à titre d'exemple et faite en se référant aux dessins donnés en annexe sur lesquels la Fig. 1 est une vue en plan du convertisseur d'on- des acoustiques de surface selon l'invention, dans lequel le support se compose de deux secteurs; la Fig. 2 est une vue en plan d'une variante de réa- lisation du convertisseur d'ondes acoustiques de surface selon l'invention, dans lequel le support se compose de trois secteurs; et la Fig. 3 est une vue en plan d'une autre variante de réalisation du convertisseur d'ondes acoustiques de surface selon l'invention, dans lequel le substrat se compose de deux secteurs. Le convertisseur d'ondes acoustiques superficielles du type à tiges opposées, selon l'invention, comporte un substrat 1 (Fig.1) réalisé en un matériau dans lequel peu- vent se propager les ondes acoustiques superficielles. Dans l'exemple décrit le support 1 comporte deux secteurs 2 et 3. Le secteur 2 possède des propriétés piézo-électriques, et le secteur 3 n'en possède pas. Le secteur 2 délimite par une ligne en pointillés est hachuré pour permettre de mieux comprendre l'essentiel de l'invention. En particulier le support 1 est réalisé en piézo-cé- ramique à base de titanate-zirconate de plomb, le secteur 2 étant polarisé et le secteur 3 ne l'étant pas. Sur le secteur 2 en céramique polarisée se trouve la rangée principale 4 d'électrodes 5 et 6, qui se compose d'un groupe d'électrodes 5 parallèles les unes aux autres et d'un groupe d'électrodes 6 parallèles aux électrodes 5 et disposées entre les électrodes 5 de manière que les élec- trodes 5 et 6 des deux groupes des secteurs de recouvrement de longueur constante. Sur le secteur 3 en céramique non polarisée se trouve la rangée auxiliaire 7 d'électrodes 8 et 9, qui se compose d'un groupe d'électrodes 8 parallèles en- tre elles et d'un groupe d'électrodes 9 parallèles aux é- lectrodes 8 et disposées entre les électrodes 8 de manière que les électrodes 8 et 9 des deux groupes forment des sec- teurs de recouvrement de longueur variable, déterminée par l'impulsion de réponse assignée du convertisseur. Sur le secteur 3 du support 1 se trouvent une surface conductrice 10, qui est reliée galvaniquement (connectée électriquement) aux électrodes 5 de la rangée principale 4, et une surface conductrice il à laquelle sont raccordées électriquenment les électrodes 8 de la rangée auxiliaire 7. Les électrodes 9 sont reliées galvaniquement et directement aux électrodes correspondantes 6. Ainsi, la rangée auxiliai- re 7 est diposée entre la rangée principale 4 d'électrodes et 6 et la surface conductrice 11, tandis que chaque élec- trode 6 de la rangée principale 4 est reliée à la surface 11 à travers une capacité (couplage capacitif) qui est for- mée par l'électrode correspondante 9 et par les électrodes voisines 8 et le secteur adhérant à celles-ci de la surface 11. Dans la tangée auxiliaire 7 toutes les électrodes 8 et 9 des deux groupes forment des secteurs de recouvrement de longueur variable. Cependant, on peut réaliser un con- vertisseur dont seule une partie des. électrodes des deux groupes possède des secteurs de recouvrement de longueur variable. La distance b1 entre les axes longitudinaux des élec- trodes voisines 5 et 6 de la rangée principale 4 est déter- minée d'une façon connue d'après la fréquence de service centrale du convertisseur et la distance b2 entre les axes longitudinaux des électrodes voisines 8 et 9 de la rangée auxiliaire 7 est arbitraire et choisie en fonction des conditions technologiques de fabrication du convertisseur et des conditions nécessaires pour assurer une faible dif- férence entre les longueurs des rangées principale 4 et au- xiliaire 7 d'électrodes. Dans l'exemple donné b2.> bl, ce qui est préférable pour des convertisseurs prévus pour fonc- tionner àOde hautes fréquences, car on réduit les exigences requises pour le pouvoir de résolution du processus de photographie. On a décrit cidessus un exemple de réalisation de convertisseur dont le support comprend deux secteurs dont l'un possède des propriétés piézo-électriques et porte la rangée principale d'électrodes, et dont l'autre ne pos- sède pas de propriétés piézo-électriques et porte la ran- gée auxiliaire d'électrodes. Cependant, le support peut comporter trois secteurs ou plus, mais dans chaque cas les rangées principales d'électrodes se trouvent sur les sec- teurs du support possédant des propriétés piézo-électriques et les rangées auxiliaires d'électrodes se trouvent sur les secteurs du substrat ne possédant pas de propriétés piézo- électriques. La Fig.2 représente une variante de réalisation du convertisseur selon l'invention ayant un support 1 com- portant trois secteurs 12,13, 14 dont deux 12 et 13, pos- sèdent des propriétés piézo-électriques, tandis que le troisième 14 n'en possède pas. A cet effet, tout le support 1 est réalisé en un matériau non piézo-électrique. Dans la variante décrite ce support est en verre et on peut égale- ment utiliser du saphir, du quartz fondu, des matériaux du type grenats ou spinelles comme matériau piézo-élec- trique. Sur une partie de la surface du support 1 se trou- vent des pellicules 15 et 16 en matériau piézo-électrique de façon à assurer un contact acoustique avec les secteurs 12 et 13 du support 1. Il en résulte que les secteurs 12, 13 se trouvant sous les pellicules 15 et 16 acquièrent des propriétés piézo-électriques. Dans l'exemple donné, les pellicules 15 et 16 sont portées directement par la sur- face du support 1. Pour mieux comprendre l'essentiel de l'invention, les pellicules 15 et 16 sont hachurées sur le dessin. On utilise comme matériau pour les pellicules 16 et 15 de l'oxyde de zinc. Cependant la pellicule peut être exécutée en un matériau tel que le sulfure de cadmium, le niobate de lithium et le nitrure d'aluminium. Sur le secteur 12 du support 1 possédant des pro- priétés piézo-électriques se trouve une première rangée principale 17 d'électrodes 18 et 19 portée par la pelli- cule 15 et réalisée de façon analogue à la rangée princi- pale du convertisseur selon la Fig. 1. Sur le secteur 14 du support 1 ne possédant pas de propriétés piézo-électri- ques se trouvent les surfaces conductrices 20 et 21 et la rangée auxiliaire 22 d'électrodes 23 et 24, qui se compose d'un groupe d'électrodes 23 parallèles les unes aux autres et d'un groupe d'électrodes 24 parallèles aux électrodes 23 et disposées entre celles-ci de manière que les élec- trodes des deux groupes forment des secteurs de recouvre- ment de longueur variable. Sur le secteur 13 du substrat 1 possédant des propriétés piézo-électriques se trouve la seconde rangée principale 25 d'électrodes 26 et 27 portée par la pellicule 16. Cette rangée 16 se compose d'un groupe d'électrodes 26 parallèles les unes aux autres et d'un groupe d'électrodes 27 parallèles aux électrodes 26 et disposées ent- ,e celles-ci de manière que les électrodes des deu-: groupes forment des secteurs qui se recouvrent de longueur constante. Les électrodes 23 d'un groupe de la rangée auxi- liaire 22 sont reliées galvaniquement et directement aux électrodes 19 d'un des groupes de la rangée principale 12, les électrodes 24 de l'autre groupe de la rangée 22 sont raccordées galvaniquement et directement aux électrodes 27 de l'un des groupes de la deuxième rangée principale , tandis que les électrodes 26 de l'autre groupe de cette rangée sont raccordées galvaniquement à la surface conductrice 21. Ainsi, les électrodes 23 et 24 de la ran- gée auxiliaire 22 assurent un couplage capacitif des élec- trodes 19 de la première rangée principale 17 avec la surface conductrice 21 et des électrodes 27 de la seconde rangée principale 25 avec la surface conductrice 20. Un tel convertisseur peut être utilisé pour la transformation d'ondes acoustiques superficielles, se propageant dans un canal acoustique dans lequel se trouve la première rangée principale 17 d'électrodes 18 et 19, en ondes acoustiques superficielles qui se propagent dans le canal acoustique dans lequel se trouve la seconde ran- gée principale 25 d'électrodes 26 et 27. Dans ce cas, les surfaces conductrices 20 et 21 sont raccordées entre elles par la barrette conductrice 28, et la distance b1 entre les axes longitudinaux des électrodes voisines 18 et 19 de la première rangée principale 17 est égale à la distance b3 entre les axes longitudinaux des électrodes voisines 26 et 27 de la seconde rangée principale 25. La distance b2 entre les axes longitudinaux des électrodes voisines 23 et 24, de même que dans l'exemple précédent, est arbi- traire. Dans le cas présent, b2 = b1 (b3), ce qui est le plus avantageux du point de vue de la technologie et de la construction. Un convertisseur de construction analogue peut être utilisé comme convertisseur à deux voies d'entrée ou de sortie. Dans ce cas, les surfaces conductrices sont rac- cordées, non par une barrette, mais à une source de signal électrique ou à une charge. On choisit b1 = b3 lors du fonctionnement en parallèle des canaux et b # b3 en cas de réalisation d'une sélection fréquentielle entre les voies. La Fig.3 représente une variante de réalisation du convertisseur selon l'invention dont le support 1 comporte deux secteurs 29 et 30, dont l'un 29 possède des propriétés piézo-électriques et dont l'autre 30 n'en possède pas. A cet effet, tout le support 1 comme dans le convertisseur selon la Fig.2, est réalisé en matériau non piézo-électrique, dans le cas présent en verre. Sur une partie de la surface du substrat 1 est déposée une pellicule 31 en un matériau piézo-électri- que de manière à assurer son contact acoustique avec le secteur 29 du support 1. En conséquence, ce secteur 29, qui se trouve sous la pellicule 31, acquière des proprié- tés piézo-électriques. La pellicule 31 est réalisée en oxyde de zinc. La rangée principale 32 d'électrodes 33 et 34 se trouve sur le secteur 29 du support 1 possédant des propriétés piézo-électriques, tandis que la rangée auxi- liaire 35 d'électrodes 36 et 37 se situe sur le secteur 30 du substrat 1 dépourvu de ces propriétés. Dans cet exemple, la pellicule 31 est déposée par-dessus les électrodes 33 et 34 de la rangée principale 32. La rangée principale 32 d'électrodes 33 et 34 et la rangée auxiliaire 35 d'électrodes 36 et 37 sont réalisées pour l'essentiel de façon analogue aux rangées principale et auxiliaire du convertisseur selon la Fig. 1. La différence se situe dans le fait que, selon cette variante, les électrodes 33 d'un groupe de la rangée prin- cipale 32 sont reliées à la surface conductrice 38, tandis- que les électrodes 34 de l'autre groupe de cette rangée sont réalisées fractionnées afin d'éliminer les effets de réflexion répétée des ondes acoustiques superficielles. En outre, chaque électrode fractionnée 34 est reliée gal- vaniquement aux deux électrodes les plus proches 37 de ]2 l'un des groupes de la rangée auxiliaire 35, dont les électrodes 36 de l'autre groupe sont reliées galvanique- ment à la surface conductrice 39. La distance b entre les axes longitudinaux des électrodes. voisines 33 et 34 est choisie supérieure à la distance b entre les axes longitudinaux des électrodes voisines 36 et 37, en par- ticulier b - 2b2, de manière que les rangées principa- le 32 et auxiliaire 35 d'électrodes possèdent une lon- gueur identique. Le calcul du convertisseur selon l'invention, dans n'importe quelle variante de réalisation, qui consiste à déterminer la loi de variation de la longueur des sec- * teurs de recouvrement des électrodes des groupes de la rangée auxiliaire le long du convertisseur d'après l'im- pulsion de réponse requise, est décrit d'une façon dé- taillée dans le brevet des U.S.A. No 4162415 classe 310-313, publié le 24.07.1979. Le convertisseur représenté sur la Fig. 1 peut être construit de la façon suivante. Sur le secteur 2 du substrat 1 en céramique piézo- électrique polie est déposée une électrode métallique par vaporisation sous vide à travers un masque. Sur la surface opposée du support 1, on dépose également une électrode métallique continue. Après cela, on applique entre les électrodes men- tionnées une tension électrique et simultanément on ré- chauffe le support jusqu'à une température déterminée, puis on maintient le support 1 à cette température, on le re- froidit et on fait disparaître la tension. En conséquence, il se produit une polarisation du secteur 2 du support 1. La valeur de la tension, la température et la durée de polarisation sont déterminées par la composition réelle de la céramique. Après la polarisation, lesdites élec- trodes sont éliminées par décapage et on dépose sur toute la surface du substrat 1, par vaporisation sous vide, une pellicule d' aluminium sur laquelle on exécute par un procédé de photolithographie, les électrodes 5, 6 et 8,9 des rangées principale 4 et auxiliaire 7 et les surfaces conductrices 10 et 11. Pour pouvoir placer les électro- des 5, 6 de la rangée principale 4 sur le secteur pola- risé 2 du support 1, on prévoit des repères de coïnci- dence sur les masques et les photomasques. Le convertisseur représenté sur la Fig.2 est réali- sé de la façon suivante. Sur le substrat en verrepoli 1, on dépose par un procédé de vaporisation cathodique une pellicule piézo- électrique d'oxyde de zinc. Le secteur 14 du support 1 est alors protégé par un masque. Puis on dépose par va- porisation sur tout le support 1 une pellicule d'alu- minium et on réalise par un procédé de photolithographie les électrodes de la première rangée principale 17 et de la seconde rangée principale 25, de la rangée auxiliaire 22, des surfaces conductrices 20, 21 et la barette 28. Comme dans l'exemple décrit ci-dessus, on utilise alors un procédé de coïncidence pour que les électrodes des rangées principales première 17 et seconde 25 soient disposées respectivement sur les secteurs 12,13 du sup- port 1. On réalise de façon analogue le. convertisseur re- présenté sur la Fig. 3. Le dépôt de la pellicule piézo- électrique est alors réalisé après l'exécution des élec- trodes des rangées principale 32 et auxiliaire 35 et des surfaces conductrices 38 et 39. Le convertisseur selon l'invention fonctionne de la façon suivante: Lorsqu'un signal arrive sur les surfaces conductri- ces 10 (Fig.l) et 11 une différence de potentiel de signe variable apparaît entre les-électrodes voisines 5, 6 de l'un et de l'autre des groupes de la rangée princi- pale 4. La valeur de cette différence de potentiel dépend de la valeur de la capacité entre les électrodes corres- pondantes 6 de la rangée principale 4 et de la seconde surface conductrice 11, c'est-à-dire de la longueur des sec- teurs de recouvrement des électrodes 8 et 9 respectivement, de l'un et de l'autre groupes de la rangée auxiliaire 7. En conséquence, dans le secteur 2 du support, réalisé en céra- mique polarisée, sont engendrées des ondes acoustiques su- perficielles dans une bande de fréquences dont la fréquence centrale est déterminée par la distance b. L'amplitude des ondes acoustiques superficielles,engendrées par une paire d'électro- des voisines 5 et 6 de la rangée principale 4, est proportionnelle à la valeur de l'intensité du chaRP électrique entre elles, c'est-à-dire qu'el- le dépend de la longueur des secteurs de -recouvrement des électrodes voisines correspondantes 8 et 9 de la rangée auxiliaire 7. Vu que les électrodes 8 et 9 sont disposées sur le secteur 3 du substrat 1 en matériau ne possédant pas de propriétés piézo-électrique, des ondes acoustiques ne sont pas engen- drées dans ce secteur 3 du substrat 1. Le convertisseur représenté sur le Fig. 2 fonctionne de la façon suivante. L'onde acoustique superficielle, qui se propage à travers le secteur 12 du substrat 1 sur lequel est déposée la pellicule 15 en matériau piézo-électrique, est transfor- mée par chaque paire d'électrodes voisines 18 et 19 du même groupe de la première rangée principale 17 en un signal à haute fréquence. Chaque paire d'électrodes 18 et 19 peut être considérée comme une source de signal haute fréquence dont la charge est constituée par la paire correspondante d'électrodes voisines 25 et 27 de la seconde rangée princi- pale 25, car les électrodes 18 du même groupe de la première rangée principale 17 et les électrodes 26 du même groupe de la seconde rangée principale 25 sont reliées galvaniquement entre elles à travers la première 20 et la seconde 21 sur- faces conductrices-et la barrette 28, tandis que les élec- trodes 19 de l'autre groupe de la première rangée princi- pale 17 sont reliées aux électrodes 27 de l'autre groupe de la seconde rangée principale 25 à travers-les capacités formées par les électrodes correspondantes voisines à re- couvrement 23 et 24 de la rangée auxiliaire 22. Etant don- né que les électrodes 26 et 27 de l'un et de l'autre groupe de la seconde rangée principale 25 sont placées sur la pel- licule piézo-électrique 16 se trouvant sur le secteur 13 du substrat 1, le signal haute fréquence arrivant à ces élec- trodes 26 et.27 est de nouveau transformé en ondes acousti- ques de surface dont les amplitudes, de même que dans l'exem- ple décrit plus haut, sont déterminées par la longueur des secteurs de recouvrement des électrodes 23 et 24 de la ran- gée auxiliaire 22. Dans le secteur 14 du support 1, sur le- quel se trouvent les électrodes 23 et 24 de la rangée auxiliai- re 22, des ondes acoustiques ne sont pas engendrées car le secteur 14 du support 1 ne posséde pas de propriétés piézo-électriques. Dans le convertisseur représenté sur la Fig. 3, lors- qu'on applique un signal à haute fréquence aux surfaces con- ductrices 38 et 39, des ondes acoustiques superficielles sont engendrées dans le secteur 20 du substrat 1, sur lequel se trouve la rangée principal 32 d'électrodes 33 et 34, grâ- ce au contact acoustique entre le secteur 29 et la pellicu- le 31 en matériau piézo- électrique déposée par-dessus les électrodes 33 et 34 de la rangée principale. Pour le reste, ce convertisseur fonctionne de façon analogue à celui re- présenté sur la Fig. 1. Ainsi dans le convertisseur d'ondes acoustiques de surface selon l'invention, les ondes acoustiques ne sont engendrées que par les électrodes de la rangée principale, les électrodes de la rangée auxiliaire n'engendrant aucune onde acoustique et ne remplissant qu'une fonc- tion de diviseur capacitif de tension ne dépendant pas de 3o la fréquence appliquée aux électrodes de la rangée princi- pale. Grâce à cela, on élimine dans ce convertisseur les effets de diffraction et les distorsions de la caractéris- tique amplitude-fréquence du convertisseur causées pas ces effets de diffraction et on élimine l'élargissement de la caractéristique amplitudefr-équence. Il devient possible d'assigner avec précision les fréquences de réfection et d'améliorer la suppression du signal aux points de réjec- tion. D'autre part, ce convertisseur permet de sélection- ner les distances entre les axes longitudinaux des élec- trodes voisines de la rangée auxiliaire -de la façon la plus optimale pour la réalisation constructive et technologique du convertisseur, sans provoquer d'accroissement du niveau des pertes d'énergie introduites dans sa bande passante. En particulier, il devient possible de choisir les distan- ces indiquées de façon que les longueurs des rangées prin- cipales et auxiliaires diffèrent peu ou pas. Grâce à cela, on arrive à diminuer les dimensions du domaine de transi- tion entre les rangées principales et auxiliaire d'électro- des et, par conséquent, à réduire la valeur.du couplage capacitif parasite entre les électrodes de la rangée auxi- liaire, dû aux barrettes raccordant les électrodes de cet- te rangée aux électrodes de la rangée principale. De ce fait, on obtient une amélioration supplémentaire de la ca- ractéristique amplitude-fréquence du convertisseur tout entier. REVENDICATIONS 1 - Convertisseur d'ondes acoustiques superficielles du type interdigital ou imbriqué comportant un substrat réalisé en un matériau dans lequel peuvent se propager des ondes acoustiques de surface et sur lequel sont placées aux moins deux rangées d'électrodes, dont l'une est une rangée principale qui comprend un premier groupe d'élec- trodes parallèles les unes aux autres et reliées électrique- ment à une surface conductrice, et un second groupe d'élec- trodes parallèles aux électrodes dudit premier groupe, 1o placées entre celles-ci de manière que les électrodes des deux groupes forment des secteurs de recouvrement de lon- gueur constante, et reliées à une autre surface conductrice par un couplage capacitif, et dont l'autre rangée est une rangée auxiliaire se trouvant entre la rangée principale d'électrodes et l'autre surface conductrice et comportant un premier groupe d'électrodes reliées électriquement à cette surface et parallèles les unes aux autres, et un second groupe d'électrodes parallèles aux électrodes dudit premier groupe de la rangée auxiliaire, disposées entre: celles-ci de manière qu'au moins une partie des électrodes des deux groupes forment des secteurs à recouvrement de longueur variable déterminée par l'impulsion de réponse assignée du convertisseur, et reliées galvaniquement et directement aux électrodes correspondantes dudit second desdits groupes d'électrodes de la rangée principale, ca- ractérisé en ce que le substrat (1) comporte au moins deux secteurs (2, 3; 12, 13, 14; 29, 30) dont l'un possède et l'autre ne possède pas de propriétés piézo-électriques, la rangée principale (4; 17, 25; 32) d'électrodes se trouvant sur le secteur (2; 12,13; 29) du substrat possé- dant des propriétés piézo-électriques, et la rangée auxi- liaire (7; 22; 35) d'électrodes se trouvant sur le secteur (3; 14; 30) du substrat ne possédant pas de propriétés piézo-électriques. 2 - COnvertisseur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le secteur (2; 12,13; 29) du substrat (1) possé- dant des propriétés piézo-électriques est réalisé-en céra- mique polarisée, tandis que le secteur (3; 14; 30) du substrat ne possédant pas de propriétés piézo-électriques est en céramique non polarisée. 3 - Convertisseur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le substrat (1) est réalisé en un matériau non piézo-électrique avec une pellicule (15, 16; 31) en ma- tériau piézo-électrique, disposée sur une partie de sa surface, de manière que le secteur (12,13; 29) du substrat se trouvant en-dessous de la pellicule soit en contact acoustique avec elle et acquière des propriétés piézo- électriques. 4 - Convertisseur selon la revendication 3, caractéri- sé en ce que la pellicule (15,16) est disposée directement sur la surface du substrat, tandis que les électrodes de la rangée principale (17,25) se trouvent sur la pellicule. - Convertisseur selon la revendication 3, caractérisé en ce que la pellicule (31) est disposée sur les électro- des de la rangée principale (32).