Brevet FR2466139A1 — publié le 19810327

La présente invention concerne les dispositifs à ondes acoustiques superficielles et dispositifs ana- logues dans lesquels des ondes acoustiques se propa- gent en masse à proximité d'une surface, et en parti- culier ceux de ces dispositifs comportant des groupe- ments réflecteurs. On connait des dispositifs à ondes acoustiques super- ficielles dans lesquels la sélectivité de fréquence des groupements réflecteurs placés sur le chemin du faisceau acoustique est utilisée à influencer la ré- ponse de fréquence du dispositif. Ces groupements diffusants sont en général constitués, soit par des rainures parallèles creusées dans le substrat du dis- positif, comme décrit dans un article de la publica- tion IEEE Transactions on microwave Theory and Tech- niques, Vol MTT-21, N2 4, Avril 1973, intitulé "em- ploi de réseaux réflecteurs d'ondes élastiques super- ficielles dans les filtres à compression d'impulsions à grande largeur de bande de temps" par Williamson et Smith, soit par des bandes métalliques parallèles dans lesquelles le groupement de rainures ou de ban- des est orienté transversalement à la largeur du fais- ceau incident et peut s'incliner par rapport à lui de façon appropriée pour donner l'angle de réflexion recherché. Le groupement de bandes métalliques présente certains avantages sur le groupement de rainures réflectrices du fait qu'il est plus facile à fabriquer étant donné que les groupements réflecteurs peuvent être réalisés au cours de la même opération de métallisation que les transducteurs d'entrée et de sortie. Dans la plupart des cas d'application, il est souhai- table de faire varier l'intensité de la réflexion depuis les diverses rainures ou bandes d'un même groupement afin d'obtenir une pondération d'amplitude et, dans le cas de groupements de bandes métalliques, ceci n'est pas possible à réaliser d'une manière sim- ple et gouvernable. Pour surmonter cette limitation des groupements de bandes métalliques tout en conservant leurs avantages, on a proposé de remplacer chaque bande métallique ré- flectrice par une rangée de points métalliques. Un tel dispositif est décrit dans un article de la publi- cation Applied Physics Ietters, Vol. 28, Ng 8, 15 a- vril 1975, intitulé "groupement de points réflecteurs d'ondes acoustiques superficielles" par L.P. Solie ce dispositif permet de faire varier l'intensité de la réflexion de chaque rangée de points en modifiant l'espacement périodique des points d'une rangée à l'autre. Cette pondération d'amplitude du groupement, combinée à une variation de l'espacement périodique des rangées d'un même groupement peut servir à commander sa ré- ponse de phase et d'amplitude en fonction de la fré- quence, de la façon décrite dans l'article précité de L.P. Solie. Un inconvénient desdits groupements de points réflec- teurs connu est que, outre qu'ils engendrent une ré- flexion du faisceau incident dans la direction re- quise, ils ont également tendance à engendrer des réflexions dans des directions non souhaitées. C'est ainsi qu'un groupement périodique uniforme, construit conformément aux indications de l'article précité de L.P. Solie et conçu pour réfléchir des ondes de 90g dans un sens (+90Q) à une fréquence don- née, réfléchira en outre avec autant de force dans 902 dans le sens contraire (-90 ) et réfléchira éga- lement de 1802. Ces réflexions indésirables diminue- ront l'énergie du faisceau et compliqueront la ré- flexion recherchée La présente invention a pour objet de surmonter, ou tout au moins de réduire substantiellement, cet in- convénient dans les groupements réflecteurs du genre comportant une pluralité de zangées parallèles d'élé- ments diffusants et dans lesquels l'inclinaison des rangées ainsi que l'intervalle entre rangées conti- guës par rapport au sens d'un faisceau d'ondes acous- tiques incidentes sont de-nature à produire une ré- flexion de Bragg de l'onde incidente dans une direc- tion voulue et à une fréquence donnée. Dans un groupement réflecteur du genre précité, les éléments diffusants sont disposés, conformément à l'invention, de façon à constituer un groupement de centres diffusants effectifs dans lequel l'espacement local entre les centres diffusants à l'intérieur du groupement est tel que les ondes acoustiques, diffu- sées depuis les divers centres diflusants individuels à la fréquence à laquelle ladite réflexion de Bragg se produit dans la direction recherchée depuis la, ou les rangées contenant lesdits centres diffusants, interfèrent constructivement dans la direction de la 2466139-1 réflexion recherchée tout en évitant une interférence constructive à ladite fréquence dans des directions autres que la direction recherchée La condition de production de la réflexion de Bragg est que l'espacement des rangées contenant les cen- tres diffusants dans le sens d'incidence (ainsi que de réflexion) soit un nombre entier de demi-longueurs d'ondes à la fréquence de réflexion recherchée. Dans certains cas, cet espacement des rangées pourra être uniforme dans tout le groupement de façon que ce dernier produise une réflexion de Bragg, dans la direction recherchée, à la même fréquence déterminée par l'espacement périodique des rangées. Ou bien, pour modifier les caractéristiques de fréquence du groupement, l'espacement entre rangées contiguës pour- ra varier localement d'une rangée à l'autre à l'inté- rieur du groupement de façon que des zones différen- tes du groupement produisent une réflexion de Bragg du faisceau incident à des fréquences différentes En outre, on pourra faire varier l'intensité de la réflexion des diverses zones du groupement en faisant varier localement le nombre de centres diffusants par unité de longueur dans chaque rangée du groupement, l'intensité de la réflexion étant d'autant plus gran- de que le nombre de centres diffusants sera plus é- levé. Jusqu'à ce jour, dans les groupements réflec- teurs connus du genre précité, les centres diffusants effectifs sont uniformément espacés dans chaque ran- gée du groupement, l'espacement périodique des cen- tres dans une rangée quelconque n'étant déterminé que par l'intensité de la réflexion, ou la pondéra- tion d'amplitude, requise pour la rangée considérée indiféremment de toutes considérations d'interférence entre les ondes diffusées par les divers centres dif- fusants et qui pourraient produire des réflexions parasites dans des directions autres que la direction recherchée. Néanmoins, dans les groupements réflecteurs selon la présente invention, il est indispensable de détermi- ner l'espacement ou la densité des centres diffusants de chaque rangée requis pour produire une pondération d'amplitude donnée et pour garantir en outre que l'es- pacement local des centres diffusants dans la rangée est conforme à ce qui est nécessaire pour éviter des réflexions dans d'autres directions que la direction recherchée. Selon un aspect préféré de la présente invention, les centres diffusants du groupement peuvent être locale- ment fractionnés en structures unitaires contenant chacune un groupe d'au moins deux centres diffusants, l'orientation de chaque structure unitaire et l'es- pacement relatif des centres diffusants à l'intérieur de chaque structure par rapport à la direction du faisceau incident étant tels que des ondes acoustiques incidentes diffusées par les centres diffusants dans cette structure uanitaire à la fréquence de Bragg dé- terminée par l'intervalle entre rangées associé à la, ou aux rangées contenant ces centres diffusants, in- terfèrent constructivement dans la direction recher- chée tout en évitant une interférence constructive dans des directions autres que la direction recher- chée. 2466139 1 Donc, en supposant que la totalité du groupement ré- flecteur puisse, imaginairement, être fractionné en une pluralité de structures unitaires satisfaisant chacune aux exigences ci-dessus concernant son orien- tation par rapport à la direction du faisceau incident et à l'espacement relatif des centres diffusants qu'il contient, ce groupement produira une réflexion de Bragg du faisceau incident dans la direction recher- chée-tout en évitant une interférence constructive dans des directions autres que la direction recher- chée. On pourra donc former un groupement périodique uni- forme, non pondéré, en disposant une pluralité de structures unitaires identiques en rangées parallèles aux rangées requises d'éléments diffusants. Dans une telle disposition, le nombre de structures unitaires par unité de longueur sur chaque rangée sera la même pour touâtes les rangées et l'espacement des structu- res unitaires sur chaque rangée pourra être aléatoire ou périodique. Comme on l'a déjà dit, une variation nécessaire des caractéristiques de fréquence du groupement pourra s'effectuer en faisant varier localement la pondéra- tion d'amp:litude des rangées d'éléments diffusants et/ou l'espacement périodique entre rangées contiguës à l'intérieur du groupement. Pour faire varier localement la pondération d'ampli- tude des rangées à l'intérieur du groupement, on ap- portera des modifications locales correspondantes au nombre de structures unitaires par unité de longueur 2466139 1 dans une direction parallèle aux rangées d'éléments diffusants, ce qui déterminera le nombre de centres diffusants par unité de longueur sur ces rangées Dans le cas o les structures unitaires sont espacées périodiquement sur les rangées, on pourra faire va- rier la pondération d'amplitude appliquée aux diver- ses rangées du groupement par une simple modification de l'espacement périodique des structures unitaires associées à ces rangées. De même, pour faire varier la fréquence à laquelle a lieu la réflexion de Bragg des diverses rangées d'éléments diffusants à l'intérieur du groupement, on procèdera à des modifications correspondantes de l'espacement entre ces rangées. - En ce qui concerne les variations d'espacement entre rangées d'un groupement envisagées comme paramètre de démultiplication, ces variations de l'espacement entre rangées pourront s'effectuer en appliquant ce paramètre de démultiplication au changement des di- mensions des structures unitaires associées à ces rangées. Un rapport de 1/1, par exemple, sera main- tenu entre l'intervalle entre rangées et les dimen- sions de la structure unitaire associée à ces rangées et, en particulier, l'espacement relatif entre les centres diffusants contenus dans chacune desdites structures unitaires. Dans les cas o il sera indispensable de faire varier localement, tant la fréquence de la réflexion de Bragg recherchée depuis les diverses rangées du groupement, que la pondération d'amplitude desdites rangées, ceci 2466139 j pourra se faire en combinant la modification de l'é- -chelle des structures unitaires associées aux diverses rangées avec la modification du nombre de structures unitaires échelonnées par unité de longueur sur les rangées. Dans un mode préféré de réalisation de l'invention, les rangées parallèles du groupement sont inclinées sur le faisceau incident d'un angle d'environ 452 de façon à réfléchir ce faisceau d'un angle de 902 Dans un tel dispositif, l'espacement local des centres diffusants contenus dans le groupement (ou l'espace- ment des centres diffusants contenus dans chaque structure unitaire) pourra être tel que des ondes diffusées à la fréquence de réflexion souhaitée depuis les centres diffusants interfèrent constructivement dans la direction voulue (c'est à dire à un angle de +902 sur la direction du faisceau incident), et des- tructivement dans des directions faisant des angles de +1802 et de -902 sur la direction de ce faisceau incident De préférence, les éléments diffusants du groupement auront -la forme de points métalliques définissant chacun un ou plusieurs centres diffusants selon sa forme et ses dimensions. De cette façon, le groupe- ment réflecteur pourra être réalisé au cours des mê- mes phases de fabrication que celles au cours des- quelles on réalise les transducteurs interdigitaux d'entrée et de sortie. Ou bien, les éléments diffu- sants pourront comprendre des trous formés par at- taque acide ou des bornes non conductrices réalisées à la surface de l'agent de propagation des ondes acoustiques 2466139 1 L'invention est décrite ci-après en détail en se ré- férant à quelques exemples préférés, non limitatifs, de réalisation représentés sur les dessins annexés dans lesquels: - la figure 1 est une vue de dessus d'un-dispositif à ondes acoustiques du genre auquel la présente inven- tion est utilement applicable; - la figure 2 est une vue de dessus d'une partie d'un dispositif représentant un premier exemple de grou- pement réflecteur d'ondes acoustiques selon l'inven- tion; - les figures 3(a), 3(b) et 3(c) montrent le principe du fonctionnement du groupement réflecteur de la figure 2; - les figures 4 et 5 sont des vues de dessus d'un second et d'un troisième exemples, respectivement, de groupement réflecteur selon l'invention; et - la figure 6 est une vue de dessus d'une variante du groupement réflecteur d'ondes acoustiques de la figure 2 Le dispositif à ondes acoustiques représenté à la fi- gure 1 comprend un substrat piézoélectrique 1 portant un transducteur d'entrée à électrodes interdigitales 2 destiné à émettre un faisceau d'ondes acoustiques dans une direction Z à la surface du substrat vers un premier groupement réflecteur 3 comprenant une pluralité de rangées parallèles 4 d'éléments diffu- sants espacés (ces rangées étant, pour plus de clarté, représentées sous forme de bandes continues) disposées sur le parcours du faisceau incident et inclinées sur lui d'un angle d'environ 452 (la valeur exacte de cet angle étant déterminée, de façon connue, par la vi- 2466139 j tesse anisotrope de l'agent de propagation) de façon à donner une réflexion de Bragg du faisceau incident d'un angle de +90 vers la direction X. L'espacement entre rangées contiguës 4 du groupement réflecteur varie en fonction de leur éloignement du transducteur d'entrée, en sorte que la fréquence à laquelle les ondes incidentes sont réfléchies par le groupement de l'angle voulu de +90 varie également et de façon connue en fonction de la distance sur l'étendue du groupement. Il ne se produit de fortes réflexions, dans la direction recherchée, que dans les sones du groupement dans lesquelles l'espacement des rangées, dans le sens d'incidence, correspond à la longueur d'onde du faisceau incident. Les ondes réfléchies par le premier groupement réflec- teur 3 sont reçues par un second groupement réflecteur 6 symétrique, comme on le voit, du premier groupement réflecteur 3, fonctionnant en mode réciproque et ren- voyant l'onde acoustique réfléchie sur lui par le pre- mier groupement 3 sur un transducteur de sortie à é- lectrodes interdigitales 8. L'espacement périodique entre rangées contiguës 4 de chaque groupement ré- flecteur 3 et 6, ainsi que la pondération appliquée à chaque rangée des groupements réflecteurs, pourront être choisis de façon connue de façon à donner une caractéristique de réponse de fréquence voulue du dispositif mesurée entre les transducteurs d'entrée et de sortie 2 et 8 Bien que représentée sous forme d'une bande continue sur la figure 1, chaque rangée 4 des groupements ré- flecteurs 3 et 6 se compose en fait d'éléments dif- 2466139 i fusants indépendants constitués chacun par un point métallique déposé à la surface du substrat 1, chaque point définissant un ou plusieurs centres diffusants effectifs selon la forme et les dimensions. Par ex- emple un point symétrique (tel qu'un point rond ou carré ayant à peu près les mêmes dimensions dans tous les sens) de dimensions réduites par comparaison avec une longueur d'onde à sa fréquence souhaitée de ré- flexion (c'est à dire inférieure à une longueur d'on- de) se comportera essentiellement en fait comme un centre diffusant ponctuel pourvu qu'il soit assez écarté de ses voisins pour qu'aucun couplage ne se produise entre eux. En modifiant la forme du point réflecteur, par exemple en augmentant ses dimensions dans un sens, ce point pourra s'approprier à se com- porter effectivement comme plusieurs centres diffu- sants bien qu'on doive normalement tenir compte du couplage entre centres diffusants produit par de tels points. Dans les groupements réflecteurs ponctuels classiques, les divers points de chaque rangée sont régulièrement espacés, leur espacement déterminant la pondération de la rangée en question indépendamment de toute au- tre considération. Toutefois ceai tend à produire des réflexions parasites de l'onde incidente dans des directions autres que la direction souhaitée, comme on l'a déjà signalé, et, conformément à la présente invention, cet inconvénient est minimisé par un espa- cement local des centres diffusants de façon à assurer la suppression de ces réflexions indésirables. 2466139 j La figure 2 montre une partie d'un groupement réflec- teur uniforme selon la présente invention comportant une pluralité de rangées parallèles 4 d'éléments dif- fusants 11, inclinées d'un angle d'environ 452 sur la direction Z d'un faisceau acoustique incident de fa- çon à le réfléchir de 902 dans la direction X. Chaque élément diffusant 11 a la forme d'un point métallique dont la-dimension, dans la direction Z, est approximativement le quart d'une longueur d'onde à la fréquence de la réflexion de Bragg recherchée (ci-après dénommée simplement 'fréquence de Bragg) Chaque point 11 pourra donc être traité comme un centre diffusant ponctuel placé au centre du point La forme générale du groupement peut être considérée comme un ensemble de structures unitaires identiques contenant chacune deux points 11 et 11' définissant deux centres diffusants dont les espacements relatifs a et b, par rapport aux ditections Z et X respective- ment, correspondent toutes deux au quart de la lon- gueur d'onde à la fréquence de Bragg. La dimension r des structures unitaires 10 dans une direction perpen- diculaire aux rangées 4 détermine l'espacement pério- dique d entre les rangées 4, tandis que la dimension a dans une direction parallèle à ces rangées 4 est choisie de façon à représenter l'espacement minimal souhaitable, dans cette direction, entre les struc- tures unitaires 10 (l'espacement minimal convenable étant approximativement égal à la longueur d'un élé- ment diffusant, ou approximativement un quart de lon- gueur d'onde) 2466139 i La fréquence à laquelle se produit la réflexion de Bragg est déterminée par l'espacement périodique d, par rapport à la direction Z, entre les rangées 4 des centres diffusants, correspondant, dans l'exemple re- présenté, à une longueur d'onde à cette fréquence (a = b = S/4). Cette configuration donne l'assurance que la diffé- rence de parcours introduite entre des ondes superfi- cielles diffusées par les divers points dans la struc- ture unitaire dans la direction X sera égale à zéro, conditiond 'une interférence constructive satisfaisant également à la condition d'une interférence destruc- tive dans la direction -Z (-1802) et dans la direc- tion -X (-90Q). C'est ce que montre la figure 3(a) dans laquelle la différence totale de parcours entre les ondes W et W', frappant respectivement les points 11 et 11' dans une structure unitaire 10 et diffusées dans la direction X, est (z + b + x) - (s + a + x) = 0 pour une propa- gation isotrope bien que, pour un milieu anisotrope, quelques corrections doivent être apportées à ces dimensions. Les figures 3(b) et 3(c) montrent les conditions d'interférence destructive pour des ondes diffusées dans la direction -X (-90 ) et dans la di- rection -Z (-180 ), respectivement, cas dans lequel la différence de parcours introduite entre les ondes diffusées par les deux points 11 et 11' de la struc- ture unitaire est, dans chaque cas: 2a = A /2. 2466139 1 On notera que la concentration des éléments diffusants 11 dans chaque rangée 4 est déterminée par l'espace- ment (périodique comme on le voit) q entre les struc- tures unitaires 10 sur l'étendue des rangées, tandis que l'espacement périodique entre rangées est lié à la dimension r de ces structures unitaires. Donc, si l'on doit faire varier la pondération d'amplitude des rangées, on peut le faire simplement en modifiant de façon appropriée l'espacement périodique q des structures unitaires 10 d'une rangée à l'autre afin d'obtenir la caractéristique de pondération d'ampli- tude que l'on recherche pour le groupement tout en maintenant un espacement relatif fixe entre les di- vers centres diffusants dans chaque structure uni- taire 10. En outre, si l'on doit faire varier la fréquence de la réflexion de Bragg de 902, on pourra le faire par un échelonnement approprié de toute la structure unitaire de façon à augmenter l'espacement entre les rangées 4 tout en maintenant une relation locale fixe entre les divers espacements a et b entre les centres diffusants de chaque structure unitaire et l'espacement entre les rangées 4 associées à ces structures unitaires. Dans la portion de groupement représentée à la figure 2, la pondération d'amplitude des rangées 4 est uniforme, de même que l'espacement d entre les rangées. La pondération d'amplitude des rangées pourra être augmentée en réduisant l'espace- ment périodique q des structures unitaires 10 jusqu'à une limite déterminée par les dimensions s des struc- tures unitaires. Cette limite ne représente évidem- ment pas une limite absolue et l'espacement périodique q des structures unitaires 10 sur une rangée quelcon- que pourra être réduite au delà de la valeur de li- 2466139 1 mite désirée s de façon que les structures unitaires contiguës se chevauchent, mais une telle disposition risque de provoquer, entre centres diffusants de structures unitaires contiguës, un couplage dont il faudra tenir compte. La figure 4 est une vue partielle d'une autre forme de groupement réflecteur pouvant être considéré comme un assemblage de structures unitaires 10 d'espèce dif- férente, de dimensions u et y, contenant chacune deux points diffusants 11 et 11' pladés l'un dans une ran- gée 4 du groupement et l'autre dans une autre rangée du même groupement contiguë à la première. La dimen- sion v de la structure unitaire 10 équivaut donc à deux fois l'espacement périodique entre les rangées 4 tandis que la dimension _ équivaut à la fois à l'es- pacement périodique des rangées et à l'espacement des points de chaque rangée. Ici aussi, cette dimension u représente l'espacement minimal souhaitable des structures unitaires 10 sur les rangées afin d'éviter un couplage entre centres diffusants d'unités conti- guës. L'espacement périodique d des rangées 4 dans la direction Z est fixé de façon à correspondre à une longueur d'onde à la fréquence à laquelle se produit, en direction X, la réflexion de Bragg recherchée pour des ondes acoustiques incidentes dans la direction +Z, tandis-que les espacements relatifs a, b des points 11, 11' dans chaque cellule unitaire 10 sont choisis de façon à correspondre, respectivement, à 1 1/4 et 1/4 de longueur d'onde de façon que les ondes acoustiques arrivant dans le sens +Z et diffusées par ces points interfèrent constructivement dans le sens +X, et destructivement dans les sens -X et -Z à la fréquence de la réflexion de Bragg. * 24661-39 i 1 6 Comme représenté sur les figures, la dimension des divers points 11, 11' dans la direction Z correspond, dans cet exemple, à la moitié d'une longueur d'onde à la fréquence de réflexion recherchée bien que cette dimension ne soit pas impérative, et l'on pourrait obtenir un effet semblable a7i moyen de points symé- triques de n'importe quelle dimension appropriée, correspondant par exemple à 1/4 de longueur d'onde mais au moins inférieure à une longueur d'onde à la fréque=ce de Bragg La figure 5 montre une autre forme de groupement ré- flecteur uniforme selon l'invention dans lequel chaque structure unitaire contient un point métallique rec- tangulaire unique 11, cet ensemble définissant, du fait de son asymétrie, deux centres diffusants indi- qués par les points 12 et 12'. La dimension h de la structure unitaire 10 correspond, ici aussi, à l'es- pacement des rangées de points 11, tandis que la di- mension g correspond à l'espacement minimal souhaita- bl+e la structure unitaire sur les rangées. Comme représenté, l'espacement i entre structures unitaires est plus grand que la dimension g, ce qui indique l'introduction d'une certaine réduction de la pondé- ration d'amplitude. Les espacements relatifs a, b entre les deux centres diffusants dans chaque cellule unitaire 10 sont tous deux choisis de façon à équiva- loir à 1/4 de longueur d'onde, de sorte qu'à la fré- quence à laquelle l'espacement périodique d des ran- gées 4 dans la direction Z correspond à une longueur d'onde, les ondes diffusées depuis ces centres diffu- sants à ladite fréquence interfèrent constructivement dans la direction X, et destructivement tant dans la direction -X que dans la direction -Z. Comme on l'a discuté précédemment à propos du groupe- ment de la figure 2, on peut produire des variations locales de la pondération d'amplitude des rangées 4 dans les groupements ds figures 4 et 5 en modifiant simplement l'espacement des structures unitaires vi- sées, placées sur l'axe parallèle aux rangées, tout en maintenant à une valeur constante les espacements a et b entre cellules diffusantes à l'intérieur de ces cellules unitaires. De même, des variations lo- cales de la fréquence à laquelle se produit la ré- flexion de Bragg pourront être produites par un é- chelonnement approprié des structures unitaires 10 en fonction de la longueur d'onde de Bragg. La façon dont ces variations peuvent être produites dans un groupement du genre de celui de la figure 2 est représentée à la figure 6 dans laquelle la fré- quence à laquelle se produit la réflexion de Bragg dans la direction X décrolt progressivement dans la direction Z. Sur le dessin, l'ampleur de cette va- riation d'une rangée à l'autre a été exagérée pour mieux la faire ressortir et, pour une portion aussi réduite d'un groupement réel, la variation réelle d'une rangée à l'autre dans les sens envisagés serait à peine discernable. Comme représenté, l'échelle des structures unitaires 10 augmente d'une rangée à l'au- tre dans la direction Z, en sorte qu'elle diminue progressivement la fréquence à laquelle les réflex- ions, depuis les rangées, se produisent sur l'éten- due du groupement. 2466139 j On notera que, sur la figure 6, les dimensions de chaque point diffusant 11 augmentent progressivement à mesure que l'échelle des structures unitaires aug- mente. Bien qu'on préfère maintenir un rapport fixe entre les dimensions des points et l'espacement des rangées 4 pour éviter l'apparition d'une variation consécutive de la pondération, ceci n'est pas indis- pensable et les dimensions des points pourront rester uniformes dans tout le groupement. Des considérations semblables pourront s'appliquer aux types de groupe- ments des figures 4 et 5 pour obtenir un groupement ayant n'importe quelle caractéristique de fréquence désirée Bien qu'un groupement réflecteur selon la présente invention permette d'éliminer le risque de réflexions du rayon incident dans des directions autres que la direction souhaitée à la fréquence de Bragg, il peut néanmoins induire des réflexions dans des directions non souhaitées à d'autres fréquences que la fréquence de Bragg. Les fréquences et les directions dans les- quelles se produisent ces réflexions non souhaitées dépendront de la forme du groupement. Par exemple, le groupement représenté à la figure 2 produit une réflexion non souhaitée à une fréquence approximati- vement égale à 1,6 fois la fréquence de Bragg bien qu'il ne s'en produise aucune aux fréquences infé- rieures à cette fréquence de Bragg. Le groupement de la figure 4 est quelque peu inférieur à cette condi- tion car il produit des réflexions non souhaitées à des fréquences égales à 0,83 fois et 1,30 fois la fréquence de Bragg. Donc, par une disposition appro- priée du groupement, les effets de ces réflexions non souhaitées en dehors de la fréquence de Bragg peuvent être minimisées, par exemple en assurant qu'elles ne se produiront pas dans la bande de tra - vail du dispositif Toutefois, dans certains cas d'applications, les pertes de puissance associées à ces réflexions "non souhaitées" peuvent être utilisées avantageusement à la formation d'une caractéristique de réponse de filtrage spécifiée, par exemple pour renforcer des "bouchons" (ou points de rupture) dans la bande pas- sante d'un filtre de fréquences De plus, l'espacement des structures unitaires 10 sur l'étendue d'une rangée est presque sans importance pour la suppression des réflexions dans des directions non souhaitées à la fréquence de Bragg et leur espa- cement peut même être disposé de façon aléatoire Cependant, l'espacement des structures unitaires pourra affecter l'intensité des réflexions dans des directions non souhaitées à d'autres fréquences que la fréquence de Bragg. Un espacement périodique des structures unitaires sur une rangée aura tendance à renforcer l'intensité de telles réflexions tandis qu'un espacement aléatoire aura tendance à les affai- blir. Ceci fournit en outre un autre paramètre pou- vant être avantageusement utilisé pour modifier la réponse globale du filtre. Les modes de réalisation qui viennent d'être décrits sont susceptibles de nombreuses modifications sans quitter le domaine de l'invention. C'est ainsi que 2466139 1 les structures unitaires pourront contenir un nombre quelconque, dans des limites raisonnables, de centres diffusants pourvu que l'espacement relatif des divers centres diffusants dans chaque structure unitaire sa- tisfasse à la condition d'interférence constructive dans la direction de la réflexion souhaitée à une fréquence déterminée par l'espacement périodique des rangées visées. En outre, le nombre de centres dif- fusants dans les structures unitaires, et leur confi- guration à l'intérieur de ces structures, pourront varier à l'intérieur du groupement, c'est à dire que le groupement ne devra pas forcément être constitué en totalité par des structures unitaires contenant le même nombre ou la même configuration de centres diffusants Comme le montre la figure 1, le dispositif comprend deux groupes réflecteurs identiques appropriés à ré- fléchir un faisceau incident depuis un transducteur d'entrée jusqu'à un transducteur de sortie. En outre, un dispositif selon l'invention pourra n'avoir qu'un groupement réflecteur ou plus de deux groupements ré- flecteurs, appropriés à réfléchir un faisceau acous- tique incident depuis un transducteur d'entrée jus- qu'à un transducteur de sortie convenablement placé Bien que les points métalliques définissant les cen- tres diffusants des groupements décrits soient repré- sentés, par commodité, sous une forme carrée, leur forme réelle est sans importance bien qu'il soit souhaitable qu'ils aient tous essentiellement la même forme dans tout le groupement. En outre, bien qu'il soit généralement plus commode, en vue de la fabrica- tion, d'utiliEer des points métallisés pour définir les centres diffusants, on pourra utiliser à leur place des trous réalisés par attaque acide ou des bornes non conductrices déposées à la surface de l'agent de propagation. L'invention pourra également s'appliquer à des grou- pements réflecteurs pouvant réfléchir selon des angles autres que 90 en choisissant l'espacement des centres diffusants de façon à obtenir la condition d'interfé- rence constructive requise dans la direction de la réflexion de Bragg souhaitée tout en évitant une in- terférence constructive dans d'autres directions que la direction souhaitée. 2466139, REVENDICATIONS 1. Dispositif à ondes acoustiques superficielles com- prenant un groupement réflecteur du genre compor- tant une pluralité de rangées parallèles d'éléments diffusants et dans lequel l'inclinaison des rangées ainsi que l'intervalle entre rangées contiguës par rapport au sens d'un faisceau d'ondes acoustiques incidentes sont de nature à produire une réflexion de Bragg de l'onde incidente dans une direction voulue et à une fréquence donnée, caractérisé en ce que les éléments diffusants sont disposés de façon à constituer un groupement de centres diffu- sants effectifs dans lequel l'espacement local entre les centres diffusants à l'intérieur du groupement est tel que les ondes acoustiques, dif- fusées depuis les divers centres diffusants indi- viduels à la fréquence à laquelle ladite réflexion de Bragg se produit dans la direction recherchée depuis la ou les rangées contenant lesdits centres diffusants, interfèrent constructivement dans la direction de la réflexion souhaitée tout en évitant une interférence constructive à ladite fréquence danE des directions autres que la direction sou- haitée. 2. Dispositif à ondes acoustiques superficielles selon la Revendication 1, caractérisé en ce que les centres diffusants du groupement sont locale- ment fractionnés en Structures unitaires contenant chacune un groupe d'au moins deux centres diffu- sants, l'orientation de chaque structure unitaire 2466139 i et l'espacement relatif des centres diffusants à l'intérieur de chaque structure par rapport à la direction du faisceau incident étant tels que des ondes acoustiques incidentes diffusées par les centres diffusants dans cette structure unitaire à la fréquence de Bragg déterminée par l'intervalle entre rangées associé à la ou aux rangées contenant ces centres diffusants, interfèrent constructive- ment dans la direction souhaitée tout en évitant une interférence constructive dans des directions autres que la direction souhaitée. 3. Dispositif selon la Revendication 2, caractérisé en ce que chaque structure unitaire comporte des centres diffusants sur au moins deux rangées con- tiguës. 4. Dispositif selon une quelconque des Revendications 2 ou 3, caractérisé en ce que l'espacement des structures unitaires dans une direction parallèle aux rangées est périodique 5. Dispositif selon une quelconque des Revendications 2 ou 3, caractérisé en ce que l'espacement des structures unitaires dans une direction parallèle aux rangées est aléatoire 6. Dispositif selon une quelconque des Revendications 2, 3, 4 ou 5, du genre dans lequel des rangées dif- férentes d'éléments diffusants, dans le groupement, ont des pondérations d'amplitude différentes, ca- ractérisé en ce que lesdites pondérations d'ampli- tude différentes sont obtenues par des variations 2466139 J correspondantes du nombre de structures unitaires par unité de longueur dans une direction parallèle aux rangées 7. Dispositif selon une quelconque des Revendications 2, 3, 4, 5 ou 6, du genre dans lequel les espace- ments entre les diverses rangées d'éléments diffu- sants varient de façon à produire des variations correspondantes de ladite fréquence de réflexion de Bragg, caractérisé en ce qu'au moins l'espace- ment relatif entre centres diffusants dans chaque structure unitaire associée à ces rangées est é- chelonné conformément aux espacements correspon- dants entre rangées. 8. Dispositif selon la Revendication 1, caractérisé en ce qu'en cours d'usage les rangées parallèles du groupement sont inclinées sur le faisceau in- cident d'un angle d'environ 45g de façon à réflé- chir ce faisceau d'un angle de 902, l'espacement local des centres diffusants contenus dans le groupement étant tel que des ondes diffusées à la fréquence de réflexion de Bragg d e p u i s les centres diffusants interfèrent constructivement à un angle d'environ +909 sur la direction du fais- ceau incident, et interfèrent destructivement A des angles de +1802 et de -902 sur la direction dudit faisceau incident. 9. Dispositif selon une quelconque des Revendications 2, 3, 4, 5, 6 ou 7, caractérisé en ce qu'en cours d'usage les rangées parallèles du groupement sont inclinées sur le faisceau incident d'un angle d'en- viron 45 de façon à réfléchir ce faisceau d'un angle de 90 , l'espacement des centres diffusants contenus dans chaque structure unitaire du groupe- ment étant tel que des ondes diffusées à la fré- quence de réflexion de Bragg depuis les centres diffusants interfèrent constructivement à un angle- d'environ +90 sur la direction du faisceau inci- dent, et interfèrent destructivement à des angles de +180 et de -902 sur la direction dudit faisceau incident. 10. Dispositif selon la Revendication 9, caractérisé en ce que chaque structure unitaire comprend deux centres diffusants écartés l'un de l'autre dans la même rangée, ces deux centres étant effectivement écartés l'un de l'autre d'environ un quart de lon- gueur d'onde à la fréquence de réflexion de Bragg tant dans la direction du faisceau incident que dans la direction perpendiculaire audit faisceau 11. Dispositif selon la Revendication 9, caractérisé en ce que chaque structure unitaire comprend deux centres diffusants dans des rangées contiguës, les centres de chaque rangée étant disposés en quincon- ce par rapport à ceux des deux rangées contiguës, ces deux centres étant effectivement écartés l'un de l'autre d'environ 1 1/4 longueur d'onde à la fréquence de réfl_.xion de Bragg dans la direction du faisceau incident et d'environ 1/4 de longueur d'onde dans la direction perpendiculaire audit faisceau. 12. Dispositif selon la Revendication 9, caractérisé en ce que chaque structure unitaire comprend un ensemble diffusant unique s'étendant suffisamment sur une rangée unique pour définir en soi deux centres diffusants écartés effectivement l'un de l'autre d'environ un quart de longueur d'onde à la fréquence de réflexion de Bragg tant dans la direction du faisceau incident que dans la direc- tion perpendiculaire audit faisceau. 13. Dispositif selon une quelconque des Revendications 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11 ou 12, caracté- risé en ce que les éléments diffusants sont formés par des points métalliques, des trous ou des bornes non-conductrices, définissant chacun un ou plusieurs centres diffusants.