Brevet FR2466763A1 — publié le 19810410

La présente invention se rapporte aux capteurs de pres- sion dans lesquels l'élément sensible est constitué par une lamelle mince de matériau piézoélectrique. Sous l'effet des pres- sions exercées sur ses faces, la lamelle se déforme élastiquement. Pour obtenir un signal électrique de mesure dont la fréquence soit proportionnelle à la poussée différentielle exercée sur la lamelle déformable, on dépose sur l'une de ses faces quatre jeux de peignes conducteurs interdigités de façon à former deux lignes à retard à ondes élastiques de surface. En bouclant deux amplificateurs au moyen de ces lignes à retard, on obtient deux oscillateurs dont les fréquences d'oscillation sont sensibles aux déformations subies par la lamelle. Les signaux délivrés par les oscillateurs sont appliqués à un circuit mélangeur qui fournit un signal de mesure dont la fréquence est égale à la différence des signaux incidents. Cette technique de mesure met en oeuvre des fréquences d'oscillation de plusieurs dizaines de Mégahertz, mais la fréquence qui traduit la poussée différentielle est considérablement plus faible. Il en résulte que la réalisation d'un tel capteur est très délicate puisqu'il faut faire fonctionner deux oscillateurs ayant des fréquences extrêmement proches l'une de l'autre sans qu'ils réagissent l'un sur l'autre. Cette réalisa- tion est d'autant plus délicate que l'on doit veiller à une bonne reproductibilité en fabrication et à un coût de production qui ne soit pas excessif. Pour abaisser le coût de production, on est amené à réduire les dimensions des éléments constitutifs du cap- teur. Cette miniaturisation impose notamment un choix judicieux des modes d'assemblage mécaniques et électriques, car ceux-ci influent directement sur le bon fonctionnement des produits et sur leur fabrication rationnelle. L'invention a pour objet un capteur de pression à ondes élastiques de surface comportant deux lignes à retard formées au moyen d'électrodes en peignes interdigités disposées sur une face principale d'une lamelle piézoélectrique, cette lamelle reposant par son autre face principale sur le pourtour d'une chambre communiquant avec une prise de pression, ces lignes à retard étant respectivement reliées à deux circuits amplifica- teurs, afin que ceux-ci oscillent à deux fréquences, la diffé- rence de ces fréquences étant détectée par un circuit mélangeur four- 2 2466763 nissant le signal de mesure, caractérisé en ce que les circuits amplificateurs et le circuit mélangeur sont regroupés sur une platine munie de connexions encadrant un orifice livrant passage à la prise de pression; la prise de pression étant constituée par un conduit-fixé à une embase métallique rigide munie à sa périphérie de broches venant s'insérer dans ces connexions; l'embase comportant entre les broches une assise pour la lamelle piézoélectrique; cette assise comportant une dépression centrale communiquant avec ce conduit. L'invention a également pour objet un senseur de pression à ondes élastiques de surface comportant une prise de pression, une lamelle piézoélectrique munie d'électrodes en peignes inter- digités formant sur l'une de ses faces principales deux lignes à retard sensibles aux déformations subies et un support de lamelle comportant une cavité mettant en communication l'autre face de cette lamelle et la prise de pression, caractérise en ce que le support est une embase métallique rigide munie à sa péri- phérie de broches de connexion; ces broches entourant un conduit central fixé à l'embase par l'une de ses faces; l'autre face de l'embase comprenant une dépression en communication avec le conduit; la lamelle reposant sur le rebord de cette dépression et entre les prolongements des broches de connexion. L'invention sera mieux comprise au moyen de la description ci-après et des figures annexées parmi lesquelles - la figure 1 représente le schéma de principe d'un capteur de pression à ondes élastiques de surface, - la figure 2 est une figure explicative, - la figure 3 illustre l'architecture d'un capteur de pres- sion conforme à l'invention; - la figure 4 illustre la structure d'un senseur de pression utilisable dans le capteur de pression de la figure 3. Sur la figure 1, on peut voir le schéma de principe d'un capteur-de pression à ondes élastiques de surface. L4élement sensible à la pression est une lamelle piézoélectrique 3, par exemple en quartz ou en niobate de lithium qui repose sur un support 1. Le support 1 comporte une dépression dont le pourtour 2 est représenté en pointillé sur la figure 1. La figure 2 montre que la dépression du support 1 communique avec une prise 3 2466763' de pression 12. La lamelle 3 peut être fixée sur le support 1 par un joint de colle qui assure l'étanchéité de la cavité comprise entre le support 1 et la lamelle 1. Ce mode de fixation permet d'assurer un bon encastrement des bords de la lamelle 3. Lorsque des pressions po et p sont appliquées aux faces princi- pales de la lamelle 3, celle-ci se déforme comme le montre la ligne pointillée de la figure 2. Pour mettre en évidence l'écart des pressions po et p, on place sur la face supérieure de la lamelle 3 des électrodes en forme de peignes interdigités. Ces électrodes coopèrent avec le matériau piézoélectrique sous-jacent pour former des transducteurs électromécaniques capables d'échan- ger des ondes élastiques de surface. Les transdu-cteurs 6 et 7 forment une première ligne à retard dont le temps de retard T1 varie en fonction de la déformation centrale de la lamelle 3. Les transducteurs 4 et 5 forment une seconde ligne à retard dont le temps de retard T2 varie en fonction de la déformation périphérique de la lamelle 3. Un amplificateur 10 coopère avec la première ligne à retard 67 de façon à former une première boucle oscillatrice qui oscille à une fréquence f1 qui dépend de la variation de T1. Un amplificateur 9 coopère avec la seconde ligne à retard 4-5 et un dispositif 8 introduisant un retard supplémentaire ajustable de façon à former une seconde boucle oscillatrice qui oscille à une fréquence f2 qui dépend de la variation de T2* Un mélangeur Il reçoit les signaux d'oscillation délivrés par les deux boucles oscillatrices 6-7-10 et 4-5-8-9 et délivre un signal de mesure S dont la fréquence Af est égale à la différence des fréquences incidentes f1 et f2. Comme les déformations périphérique et centrale de la lamelle 3 sont nettement différenciées, on conçoit aisément que la fréquence Af délivrée par le capteur de pression peut se mettre sous la forme suivante Af = K (p - p.) + c o K est un facteur de proportionnalité- et C une constante dont la valeur est ajustée au moyen du dispositif 8. A titre d'exemple non limitatif, avec une plaquette 3 en quartz ayant une épaisseur de 250 microns qui coiffe une dépression 2 de diamètre 1 cm, on obtient des fréquences fi 4 2466763! et f2 de l'ordre de 105 MHz. Le facteur K vaut alors 40 kHz/Bar. Si po est la pression atmosphérique, le capteur mesure la dépression existant à la prise de pression 12. Si la pression p0 est nulle, le capteur mesure la pression absolue p existant à la prise de pression 12. Compte tenu des indications données ci-dessus, on voit que la fabrication en série des capteurs de pression soulève de nombreux problèmes technologiques. En effet, pour que le facteur K ait une valeur reproduc- tible, il faut assurer un positionnement très précis des élec- trodes 4, 5, 6 et 7 par rapport au rebord 2 de la dépression pratiquée dans le support 1. Pour éviter que les oscillateurs ne se synchronisent intempestivement du fait de leurs fréquences d'oscillation très voisins, il faut réduire le plus possible les couplages parasites entre boucles oscillatrices.. A cela, il faut ajouter- que l'économie de matière première nécessaire pour abais- ser le coût de fabrication rend ces problèmes encore plus déli- cats à résoudre. La figure 3 montre une vue éclatée d'un capteur de pression conforme à l'invention. Le capteur de la figure 3 se compose essentiellement d'une platine sur laquelle sont regroupés les éléments électroniques, c'est-à-dire: les amplificateurs 9 et-10, le mélangeur 11, la ligne à-retard ajustable 8, des condensateurs 18 de découplage et de liaison et les résistances 19 qui complètent le circuit électronique. La platine est réalisée à partir d'un stratifié double face qui comprend une plaque isolante 13, une couche de cuivre supérieure 14 formant plan de masse et une couche de cuivre inférieure 15 qui est gravée pour constituer le circuit imprimé. Cette platine comporte une languette de connexion 16 munie de bandes conductrices 17,'de sorte qu'elle est enfichable dans un connecteur multipolaire non visible sur la figure 3. Le dispo- sitif 8 comporte une connexion crénelée déposée sur une pla- quette isolante. Des entailles au laser peuventêtre pratiquées dans cette connexion crénelée pour ajuster la fréquence de repos de chaque capteur. Comme le montre la figure 3, les éléments électromécaniques, c'est-à-dire les lignes à retard à ondes élastiques de surface formées sur la lamelle piézoélectrique 3, sont regroupés dans un senseur de pression qui comporte essentiellement une embase métallique rigide 1 munie à sa périphérie de broches de conne- xion Bolées 24. Les broches 24 traversent l'embase 1 grâce à des traversées étanches. L'embase 1 peut être recouverte d'un capot 25, lequel peut être muni d'un queusot permettant après assemblage d'y faire le vide (mesure d'une pression absolue). Le capot 25 peut aussi comporter un orifice d'équi- librage lorsque le capteur doit mesurer une dépression. L'insertion du senseur de pression sur la platine du cap- teur se fait par enfichage des broches 24 dans un ensemble de douilles ou de pastilles de connexion 21 qui sont aménagées sur la platine autour d'un orifice 20. Le rôle de l'orifice est de permettre à la prise de pression 12 solidaire de leembase 1 de traverser la platine lors de l'implantation du senseur de pression. Sur la figure 4, on a représenté à grande échelle l'embase 1 et la plaquette piézoélectrique du senseur de pression con- forme à l'invention. L'embase 1 comporte une srface d'assise pour la lamelle piézoélectrique 3 qui vient se placer entre les portions dépassantes des broches de connexion 24. Ainsi, le positionne- ment de la lamelle 3 par rapport à l'embase 1 est déjà assuré avec une bonne précision. Une dépression 27 est prévue au milieu de la surface d'assise de l'embase pour délimiter la portion de la lamelle 3 qui doit se déformer et qui est effectivement soumise à la pression p. Le contour de la dépression 27 est reproduit par une circonférence en pointillé 28 sur la face supérieure de la lamelle 3. Des repères cruciformes 29 déposés en même temps que les.configurations d'électrodes 4, 5, 6 et 7 permettent de situer avec précision le coritour 28 qui n'est pas réellement visible sur la lamelle 3. Lors du collage de la lamelle 3 sur la face supérieure de l'embase, il est possible de contrôler par examen au microscope que les repères 29 se situent bien à l'aplomb.du rebord de la dépression 27. L'embase 1 comporte un épaulement périphérique 44 qui permet l'emboîtage d'un capot 25. L'ensemble embase-capot ne diffère des dispositifs d'encapsulation connus dans la y 6 2466763 technique des composants électroniques que par la présence de la dépression 27 et par l'adjonction du conduit 12 brasé a l'aide d'un cordon 26 sur le fond de l'embase 1. L'embase 1 est préalablement percée d'un orifice 34 qui assure la conCru- nication entre la dépression 27 et la prise de pression 12. L'embase représente sur la figure 4 peut être obtenue en par- tant par exemple d'une embase métallique connue sous la réfé- rence TO 8. L'embase TO 8 comporte à l'origine quatre broches isolées 24 disposées en carré et.une broche supplémentaire 23 O10 destinée à sa mise à la masse et qui fait également office d'organe détrompeur. Sur la figure 3, on voit que la platine comporte une connexion de mise à la masse 22 reliée au plan de masse 1+. Le fond de l'embase 1 forme avec le conduit métallique 12 et le con- ducteur de masse 14 un blindage très efficace qui contribue à éviter tout accrochage intempestif des boucles oscillatrices. La configuration du dépôt métallique des peignes transducteurs sur la lamelle 3 est visible à grande échelle sur la figure 4. Les peignes des transducteurs 4, 5, 6 et 7 ont des arêtes exterieures qui se prolongent vers le bord de la lamelle 3 par des partes , 36, 37 et 38 qui sont reliées aux broches 24, après col., de la lamelle, par des fils de connexion 33 très courts. Les arêtes intérieures des peignes transducteurs forment avec des pattes 39 et 40 des connexions en Y-qui sont mises à la masse par des fils de connexion 32 reliés directement à l'embase 1. Cette disposition favorise une bonne isolation des boucles osca- latrices. L'alignement des peignes transducteurs est oblique par rapport aux bords de la lamelle 3, ce qui est favorable la dispersion des ondes élastiques de surface qui viennent rencontrer les bords de la lamelle 3. La face inférieure 41 de la lamelle 3 est collée sur l'embase 1 dans toute la zone qui entoure la circonférence 28. La dépression 27 est donc coiff-e par une portion de la lamelle 3 libre de se déformer, mais coemme les ondes élastiques de surface se propagent sur l'autre face 42 et comme le joint de colle sert aussi de joint d'étanchéité, on voit que l'humidité et les impuretés qui peuvent être présentes dans la prise de pression 12 n'ont aucune incidence néfaste sur l'échange des ondes élastiques de surface. La faible pro- 7 2466763 fondeur de la dépression 27 et le renforcement mécanique apporté par la brasure 26 de l'embout 27 assure une bonne rigidité d'ensemble de l'embase qui permet de l'utiliser comme support pour un bon encastrement du pourtour de la lamelle 3. La réalisation modulaire du capteur de la figure 3 fait que le senseur de pression de la figure 4 est un composant à part entière dont la fabrication et le contrôle de fonction- nement sont totalement indépendants de la fabrication et du contrôle global du capteur de pression. Ceci constitue un élément de souplesse dans le déroulement du processus de fabrication. Comme en outre, le senseur de pression présente une morphologie très proche de celle d'autres composants électroniques, les machines utilisées pour'la fabrication des capteurs sont immédiatement disponibles pour d'autres fabrica- tions et vice-versa. Bien entendu, rien n'empêche de prévoir une connexion détachable entre le senseur et la platine du capteur, ou au contraire une fixation à demeure par soudure des broches de connexion. Pour terminer, il y a lieu de signaler que l'ensemble du capteur de pression de la figure 3 peut être enrobé par trem- page ou par moulage, ce qui assure un bon maintien du senseur sur la platine. Les tractions mécaniques exercées sur la prise de pression sont bien tolérées par le capteur après cet enro- bage du fait du scellement du conduit 12 dans l'orifice 20 de la platine. REVENDICATIONS 1. Capteur de pression à ondes élas:iques de surface com- portant deux lignes à retard formées au moyen d'électrodes en peignes interdigités disposées sur une face principale d'une lamelle piézoélectrique, cette lamelle reposant par son autre face principale sur le pourtour d'une chambre communiquant avec une prise de pression, ces lignes à retard étant respectivement reliées à deux circuits amplificateurs, afin que ceux-ci oscil- lent à deux fréquences, la différence de ces fréquences étant détectée par un circuit mélangeur fournissant le signal de mesure, caractérisé en ce que les circuits amplificateurs et le circuit mélangeur sont regroupés sur une platine munie de connexions encadrant un orifice livrant passage à la prise de pression; la prise de pression étant constituée par un con- duit fixé à une embase métallique rigide munie à sa périphérie de broches venant s'insérer dans ces connexions; l'embase com- portant entre les broches une assise pour la lamelle piézoélec- trique; cette assise comportant une dépression centrale commu- niquant avec ce conduit. 2. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la platine est réalisée à-partir d'un stratifié double face; la face cuivrée située du côté de l'implantation des composants étant utilisée comme plan de masse; l'autre face cuivrée étant gravée de manière à réaliser les interconnexions et à former un peigne de connexion permettant l'enfichage de la platine sur un connecteur multipolaire plat. 3. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que les connexions entourant l'orifice de la platine sont des douilles permettant l'établissement d'une liaison déconnectable avec les broches. 4. Senseur de pression à ondes élastiques de surface compor- tant une prise de pression, une lamelle piézoélectrique munie d'électrodes en peignes interdigités formant sur l'une de ses faces principales deux lignes à retard sensibles aux déformations subies et un support de lamelle comportant une cavité mettant en communication l'autre face de cette lamelle et sa prise de pression, caractérisé en ce que le support est une embase métallique rigide munie à sa périphérie de broches de connexion; ces broches entourant 9 2466763 un conduit central fixé à l'embase par l'une de ses faces; l'autre face de l'embase comprenant une dépression en commu- nication avec le conduit; la lamelle reposant sur le rebord de cette dépression et entre les prolongements des broches de connexion. 5. Senseur selon la revendication 4, caractérisé en ce que la face de la lamelle portant les électrodes en peignes interdigités comporte des repères de positionnement qui doivent être placés à l'aplomb du contour de la dépression pratiquée dans l'embase. 6. Senseur selon l'une quelconque des revendications 4 et 5, caractérisé en ce que les électrodes en peignes forment deux alignements parallèles orientés obliquement par rapport aux bords de la lamelle piézoélectrique. 7. Senseur selon la revendication 6, caractérisé en ce que les arêtes des peignes délimitant la séparation entre les deux alignements sont interconnectées et reliées à l'embase; une broche de connexion de l'embase étant électriquement reliée à celle-ci; les autres broches isolées de l'embase étant respectivement reliées aux autres arêtes de peignes. 8. Senseur selon l'une quelconquezdes revendications 4 à 7, caractérisé en ce que l'embase comporte un épaulement périphé- rique; un capot de protection étant emboîté et fixé sur cet épaulement. 9. Senseur selon la revendication 8, caractérisé en ce que le capot est scellé sur l'embase. 10. Senseur selon la revendication 9, caractérisé en ce que l'on fit le vide sous le capot; la lamelle piézoélectrique et les broches de connexion étant fixées de façon étanche sur l'embase. 11. Senseur selon la revendication 8, caractérisé en ce que le capot est muni d'un orifice d'équilibrage de pression. 12. Senseur selon l'une quelconque des revendications 4 à 11, caractérisé en ce que la plaquette piézoélectrique forme un quadrilatère et en ce que les broches de connexion de l'embase sont agencées de façon à être tangentes à ce quadri- latère. 2466763 13. Senseur selon l'une quelconque des reven-cat r 4 à 12, caractérisé en ce que l'embase est issue d'une em-as=e référencée JEDEC TO 8.