Brevet FR2466320A1 — publié le 19810410

La présente invention concerne un dispositif pour faire passer des objets par un sas dans des appareils à rayonnement corpusculaire, dans lequel les objets sont disposés sur des porte-objets et sont transportés et ramenés en arrière au moyen d'un mécanisme transporteur d'une platine à mouvements croisés montée dans le logement de la chambre à objets de l'appareil à rayonnement corpusculaire et dans laquelle a été fait le vide vers au moins une chambre à sas dans laquelle on peut faire le vide et qui est reliée, de façon étanche au vide, à la chambre à objets. Les dispositifs de passage par un sas de ce type sont des constituants de microscopes électroniques à balayage, d'installations d'exposition à des rayons corpusculaires en vue de l'inspection ou du traitement de plaquettes semiconductrices, de masques et de supports de masques.Dans ces cas, des exigences élevées concernant la sécurité, la fiabilité, la stabilité et la reproductibilité sont imposées aux groupes d'appareils intéressés. C'est ainsi que dans la préparation directe de plaquettes de silicium, plusieurs étapes se déroulent alternativement dans l'appareil à rayonnement corpusculaire et à l'extérieur de celui-ci, étapes au cours desquelles l'exactitude du recouvrement ou la reproductibilité de la position de l'objet et du rayon doivent être inférieures à 0,1 um avec une sécurité proche de 100%, cette exactitude devant être maintenue pour l'étape suivante qui se déroule dans l'appareil à rayonnement corpusculaire. Dans le même temps, il est nécessaire de minimiser le temps de passage par le sas et de positionnement ainsi que celui des autres étapes du procédé pour que le coût élevé de l'appareil soit compensé par une productivité élevée. Dans les microscopes électroniques à balayage, il est courant d'ouvrir entièrement la chambre à objets quand les objets sont de grandes dimensions, d'y insérer l'objet à la main, et ensuite, en surveillant l'image opto-électronique ou une image lumineuse optique, d'effectuer le positionnement sur des détails intéressants. Quand il s'agit d'un traitement en grande série de couches métalliques appliquées sous vide sur du verre ou de la céramique au moyen d'un faisceau d'électrons, il existe des dispositifs d'introduction et d'extraction par sas à plusieurs étapes dans lesquels les objets qui se trouvent rassemblés en rangée étroite sur un rail, remplissent euxmêmes des fonctions d'étanchéité. Le positionnement en position de travail est relativement grossier car chaque objet n'est traité qu'une seule fois (voir le brevet RDA 86 833). La demande de brevet allemand 3 403 349 décrit un dispositif d'irradiation d'objets individuels se trouvant dans un magasin. Pour transporter le magasin dans la direction de l'avancement, on utilise un chariot. Un bras pivotant pourvu d'une pince saisit un objet sélectionné dans le magasin, l'amène à la position d'irradiation et le remet dans le magasin quand l'irradiation est terminée. En ce qui concerne l'introduction par l'intermédiaire d'un sas de matériaux photographiques dans un microscope électronique, il existe toute une série de solutions. Mais un positionnement précis n'est pas nécessaire dans ce cas du fait que le matériau n'est impressionné qu'une seule fois au moyen de l'image fortement agrandie. C'est ainsi que la demande de brevet allemand 25 06 863 décrit un appareil å rayonnement corpusculaire comprenant un récipient d'approvisionnement pour le matériau photographique, dans lequel on peut faire le vide, que l'on peut retirer du boitier de l'appareil et qui est transportable, et la demande de brevet allemand 25 06 886 décrit un appareil rayonnement corpusculaire comprenant deux chambres à sas fixées à l'appareil et qui sont utilisées alternativement. Le périodique "Jenaer Rundschau" de 4/1977 décrit un appareil de contrôle, de mesure et d'exposition à des rayons d'électrons, dont la solution pratique se présente de la manière suivante en ce qui concerne le passage dans le sas et le processus de positionnement: Un sas est rattaché, de façon étanche au vide, à la chambre à objets; les deux enceintes peuvent être séparées par la porte interne du sas. Après ouverture de la porte externe du sas, on y dispose la cassette avec le porte-objet. Lorsque le vide a été fait dans le sas et la cassette, on ouvre la porte interne du sas. Une tige de guidage allongée est montée dans la cassette de façon étanche au vide. Cette tige permet de pousser le porteobjet à la main dans la chambre à objet et sur la platine à mouvements croisés précédemment amenée automatiquement à la position requise. Le porte-objet parcourt ce chemin sur des rouleaux.Dans la zone de la position terminale sur la platine à mouvements croisés, les rouleaux passent sur des évidements et le porte-objets continue à glisser sur des patins. Deux billes sont prévues pour constituer des butées en direction de l'avancement, butées contre lesquelles viennent s'appliquer une entaille et une surface plane du porte-objet, ce qui fait que des forces de frottement doivent être surmontées. La position terminale à laquelle le dispositif est parvenu est maintenue par une force élastique. La position qui doit être reproduisible dépend de coefficients de frottement; une force élastique plus importante n'apporte aucune sécurité additionnelle. Tous les appareils connus effectuent un positionnement sur des coordonnées "x" et flyfl au moyen de systèmes de mesure de parcours à laser. La platine à mouvements croisés porte des miroirs ou des prismes. L'objet qui doit être soumis au rayonnement corpusculaire est disposé dans un porte-objet au moyen duquel il est transporté et passé par le sas. Les points d'accouplement sont soumis à des sollicitations diverses lors des phases partielles du processus, ce qui provoque des différences entre la position de consigne et la position réelle de l'objet.Quand il n'y a pas de repère, quand il s'agit de mesurer des distances importantes ou quand il s'agit d'une production réelle, il n'est pas toujours possible d'effectuer des corrections par rapport à des repères prédéterminés dans chaque champ avec le positionnement fin de l'émetteur de rayonnement électronique qui est habituel en laboratoire, de sorte que jusqu'ici aucune des installations connues n'a pu atteindre une productivité comparable à celle de la photolithographie optique à la lumière. Le but de l'invention est de garantir une reproductibilité aussi bonne que possible de la position de l'objet par rapport à la platine à mouvements croisés et en outre de minimiser le temps total nécessaire pour l'échange de l'objet, y compris la mise sous vide, le dégazage et l'égalisation des températures en vue d'une production rationnelle, et également d'augmenter la productivité de l'appareil à rayonnement corpusculaire. Cette nouvelle solution doit pouvoir notamment être utilisée de façon avantageuse lorsqu'il s'agit de séries d'objets dont les dimensions sont de préférence égales. L'invention a pour but de déterminer la position du porte-objet sur la platine à mouvements croisés de façon indépendante des coefficients de frottement et autres grandeurs perturbatrices mécaniques, c'est-à-dire de façon qu'elle soit stable et reproductible. Ce résultat doit également être garanti après de nombreuses opérations d'extraction et d'introduction par le sas. Pour ce faire, les forces en cause sont-définies et maintenues à un niveau suffisamment faible pour que des déformations permanentes des éléments d'accouplement soient exclues. De plus, le transport entre le sas et la platine à mouvements croisés doit pouvoir être rendu totalement automatique. On décrira maintenant les caractéristiques de l'invention: La position du porte-objet sur la platine à mouvements croisés est déterminée statiquement dans les six degrés de liberté en disposant sur la platine à mouvements croisés trois pitons à boule, décalés respectivement de 1200 les uns par rapport aux autres et sur lesquels s'appliquent trois rainures prismatiques en V pratiquées dans les porteobjets. Plusieurs pistes circulaires suivies par les pitons à boule permettent d'utiliser les pistes les plus importantes pour le positionnement lorsqu'il y a des porteobjets de grandeurs différentes, de manière à obtenir une base aussi importante que possible. Les pitons à boule sont disposés de préférence centralement par rapport au centre de gravité du porte-objet, la force de pression n'étant constituée que par le poids du porte-objet. Grâce à ce positionnement, on satisfait la condition de Maxwell qui exige des forces égales aux six points de contact. Les pitons à boule et les rainures sont avantageusement constitués en matériaux différents; on a choisi l'agate et le laiton pour éviter un soudage à froid. Si les porte-objets sont toujours reçus sur la même platine à mouvements croisés, il n'est pas nécessaire de durcir les rainures, car des calottes sphériques qui sont éventuellement formées, sont toujours et chaque fois remplies par les pitons à boule. Pour augmenter la précision du positionnement horizontal en diminuant la précision du positionnement vertical, les rainures peuvent présenter un angle d'ouverture de 600 au lieu de 900. En vue de la mise en place dans la chambre à sas et sur l'échangeur où peuvent apparaître des forces importantes latérales et verticales, les trois pitons à boule respectifs sont avantageusement disposés sur un autre diamètre plutôt que sur la platine à mouvements croisés, pour mieux y maintenir une précision totale. Le sas à objet est rattaché à la chambre à objet ou est intégré à cette chambre à objet; les deux enceintes sont reliées par une ouverture en vue du passage de l'échangeur et du porte-objet. Le sas est constitué par l'élément central, l'avant-chambre supérieure et l'avant-chambre inférieure. Dans l'élément central monte et descend un plateau qui ferme de façon étanche l'avant-chambre supérieure et l'avant-chambre inférieure au moyen d'éléments d'étanchéité respectifs et dans ses positions terminales. Au-dessus et au-dessous du plateau existe la possibilité d'y disposer respectivement les porte-objets qui sont constitués de façon analogue à l'emplacement réservé sur la platine à mouvements croisés. Avantageusement, le plateau est déplacé par une tige qui dépasse la position d'appui inférieure des porte-objets. La tige de poussée se prolonge vers l'extérieur en passant par un presse-étoupe, un autre joint étanche au vide ou un joint sans frottement, l'entraînement pouvant être électrique, hydraulique ou pneumatique. Chaque avant-chambre comprend une porte vers l'extérieur par laquelle on peut introduire ou retirer à la main les porte-objets.Quand le plateau rend étanche l'avant-chambre supérieure, l'échangeur peut transférer le porte-objet se trouvant sous le plateau jusqu'à la platine mouvements croisés en vue de son traitement, alors que le porte-objet qui a été soumis à un traitement et qui se trouve dans l'avant-chambre supérieure, peut être échangé après aérage et ouverture de la porte, la mise sous vide de l'avant-chambre pouvant avoir lieu après fermeture de la porte. Quand l'objet a été traité, l'échangeur ramène en arrière le porte-objet. Lorsque l'échangeur qui n'est pas chargé est pivoté en arrière vers la chambre à objet, il se déroule un cycle de travail analogue avec échange du porteobjet dans l'avant-chambre inférieure. Pour permettre un fonctionnement totalement automatique pendant une longue durée, il faut pouvoir insérer plusieur objets dans le même temps ou pouvoir mettre en place un magasin rempli d'objets. Dans cette variante, la platine à mouvements croisés, l'échangeur et l'élément central du sas restent les mêmes. Le plateau du sas porte a sa partie supérieure plusieurs possibilités de mise en place de porte-objets, ou bien un dispositif pour y poser un magasin; l'avant-chambre supérieure est prolongée en hauteur de manière appropriée.A la place de l'avant-chambre inferi- eure, on dispose un pot dans lequel pénètre le plateau quand il parvient sa position la plus basse lorsque le porte-objet supérieur est amené à la platine à mouvements croisés. I1 est possible d'amener les porte-objets au choix en disposant le plateau dans la position voulue et correspondante. Dans cette variante également, la durée de la mise sous vide nécessaire pour les nouveaux porte-objets pourvus d'objets s'effectue pendant la durée de traitement d'un porte-objet, lorsque le traitement du dernier objet d'une charge ne s'effectue qu'après l'échange dans l'avantchambre supérieure; il est nécessaire qu'une possibilité de rangement existe, lors du nouveau chargement, pour le porte-objet situé sur la platine à mouvements croisés. Selon une troisième variante, on prévoit deux sas séparés de type traditionnel et comprenant une porte interne pressée radialement contre la chambre à objet. On dispose entre les sas un échangeur de forme symétrique qui prélève alternativement les porte-objets des chambres du sas pour les amener sur la platine à mouvements croisés. I1 est en outre possible de constituer le dispositif sas sous forme d'un double sas à magasin, dans lequel on prévoit deux avant-chambres horizontalement face à face et appliquées de façon étanche au vide à une chambre principale, chaque avant-chambre pouvant contenir un magasin. Dans les chambres du sas est dispose un chariot mobile horizontalement. Avantageusement, on dispose dans la chambre principale un ascenseur perpendiculairement a la direction du parcours du chariot, cet ascenseur passant par des ouvertures du fond du chariot pratiquées dans les emplacements destinés aux magasins et portant à sa partie supérieure un plateau sur lequel on dispose le magasin se trouvant dans la chambre principale. I1 est avantageux que les parois des deux avant-chambres soient raccordées à un système d'égalisation des températures.On peut ainsi éviter une chambre d'égalisation des températures qui est nécessaire pour des travaux très précis - par exemple pour la réalisation et l'exploitation de clichés originaux en photolithographie - ainsi que les risques qui s'y rattachent concernant la température et les poussières lors du transfert entre la chambre d'égalisation des températures et le sas. Diverses autres caractéristiques de l'invention ressortent d'ailleurs de la description détaillée qui suit. Des formes de réalisation de l'objet de l'invention sont représentées, a titre d'exemples non limitatifs, aux dessins annexés. La Fig. 1 montre en coupe la chambre à objet. La Fig. 2 est une vue de dessus, partiellement en coupe, de la chambre de la Fig. 1. La Fig. 3 est une coupe représentant le sas double. La Fig. 4 est une vue de dessus du sas double de la Fig. 3. La Fig. 5 montre en coupe un sas magasin. La Fig. 6 est une coupe d'un magasin d'une réalisation différente. La Fig. 7 montre, en coupe, le sas double et a magasin. Dans la chambre à objet 1 (Fig. 1) est montée une platine à mouvements croisés 2 reposant par des billes 3 sur le fond du logement 4. Trois pitons à boule 5 de même diamètre sont répartis sur la platine à mouvements croisés 2 en étant décalés de 1200 les uns par rapport aux autres, le porte-objet 6 et l'objet 7 disposé sur lui étant montés de façon reproductible sur ces pitons à l'aide des trois rainures prismatiques 8. L'échangeur 9 sert à transporter le porte-objet du double sas 10 à la chambre objet 1 par l'ouverture 11. Le support 12 est fixé au logement 4, et il contient à l'in térieur l'axe 13 relié fixement au levier 14. Sur le support 12 se trouve la pièce 15 sur laquelle est montée de façon rotative la bielle 16 (Fig. 2). Le levier 14 et la bielle 16 sont reliés de façon rotative au bras 17. Le levier 14, la pièce 15, la bielle 16 et le bras 17 constituent une articulation rectangulaire grâce a laquelle on peut effectuer le transport d'un support d'objet pratique ment'linéairement dans la zone du double sas 10 (Fig. 3) et de l'ouverture 11, et ceci de manière a leur conserver des dimensions réduites.Le bras 17 porte trois pitons a boule 18 destinés à supporter le porte-objet quand l'axe 13 est soulevé jusqu'a ce qu'il parvienne en contact par la butée 19 avec le support 12. Le double sas 10 est relié à la chambre à objet 12 par un élément central 20; cet élément sont raccordées l'avant-chambre inférieure 21 et l'avant-chambre supérieure 22. Les surfaces de raccordement 23 et 24 des avant-chambres 21 et 22, qui font saillie vers l'intérieur, constituent les surfaces d'appui du plateau 25 qui, dans la position représentée, ferme de façon étanche au vide l'avant-chambre 21 au moyen du joint 26. Dans la position supérieure du plateau 25, le joint 27 forme l'avant-chambre 22. Les ouvertures 28 et 29 servent l'introduction et à l'extraction du porte-objet. Elles sont fermées de façon étanche au vide, au moyen des joints 32 et 33, par les portes 30 et 31. On peut vider ou remplir d'air ces avantchambres 21 et 22 au moyen des raccords à vide 34 et 35. Le plateau 25 constitue une partie du dispositif de levage 36. Il est relié au support 37 par l'intermédiaire des boulons filetés 38. Le mouvement de levage est déterminé par la tige 39 montée dans l'avant-chambre 21. Trois pitons boule 40 et 41 sont respectivement disposés sur le plateau 25 et sur le support 37 en vue de supporter le porte-objet 6 et 42 au moyen des rainures 8 et 43. Les arcs de cercle 44 et 45 définissent le parcours des points d'articulation du bras 17 de sa position de repos 46 à sa position dans le sas 48 par l'intermédiaire de sa position de changement 47. A la place du double sas 10 décrit, il est possible d'avoir recours à un sas à magasin 49 (Fig. 5). L'élément central 50 correspond à l'élément central 20 du double sas 10. Sur celui-ci est montée l'avant-chambre 51; la surface de raccordement 52 faisant saillie vers l'intérieur constituent les surfaces d'appui pour le plateau 53. ta tige 55 est montée dans le pot 54 et détermine le mouvement de levage. Sur le plateau 53 sont fixées les plaques intermé- diaires 56 au moyen de boulons d'écartement 57, et elles portent chacune trois pitons a boule 58 pour supporter les porte-objets 59. L'ouverture 60 sert à l'introduction et a l'extraction du porte-objet 59 et elle est fermée par la porte 61 et le joint 62. A la place des plaques intermédiaires 56 qui sont incorporées de façon fixe, on peut également introduire dans l'ouverture un magasin 63 (Fig. 6) rempli de porteobjets et déposé sur le plateau 53. Le double sas à magasin de la Fig. 7 est constitué par une chambre principale 64 de forme parallélépipèdique, reliée par l'ouverture 11 de l'échangeur 9 à la chambre à objet 1 et monté sur le flanc de celle-ci de façon étanche au vide, ainsi que par deux avant-chambres semblables et symétriques 65 et 66 fixées de façon étanche au vide sur les deux côtés de la chambre a objet 1 verticalement et face aux surfaces voisines et horizontales de la chambre principale. Chacune des avant-chambres est accessible par une porte pouvant être rendue étanche au vide et facile à manoeuvrer - telle que l'avant-chambre 66 par la porte d'avant-chambre 67 - et elle est reliée a la chambre principale par l'intermédiaire d'une ouverture respective correspondant a sa dimension intérieure. A l'intérieur du volume constitué par l'avant-chambre 65, la chambre principale 64, et l'avant-chambre 66 est disposé un chariot 68 mobile horizontalement, susceptible d'être déplacé entre deux positions terminales, de manière que l'avant-chambre 65 ou l'avant-chambre 66 soit reliée de façon étanche au vide à la chambre principale 64, ét par l'intermédiaire de l'ouverture 11 également la chambre à objet 1; l'autre avant-chambre respective étant séparée par un joint 69, 70 et pouvant étant soumise à une pression ne dépendant pas du vide régnant dans l'appareil. On retrouve ici le principe du double sas déjà expliqué. Le chariot 68 est constitué en tant que support pour deux magasins 71, 72, et il comprend des glissières réceptrices 73, 74 pour les deux magasins sur les deux côtés d'un plateau de chariot 75. Dans chaque magasin est disposé un nombre quelconque de porte-objets 59 qui sont empilés les uns sur les autres une certaine distance, comme déjà décrit avec référence à la Fig. 5. Le montage de chaque magasin sur le chariot est réalisé de manière qu'il puisse se déplacer librement vers le haut puis être à nouveau abaissé sur le chariot. Le plateau 78 d'un ascenseur 79, mobile verticalement peut traverser une ouverture 76 ou 77 pratiquée dans le fond récepteur du chariot, et il peut soulever le magasin du chariot à la hauteur appropriée et l'y ramener. On peut ainsi obtenir toutes les possibilités de mouvement pour amener un objet quelconque de l'un des magasins devant l'ouverture de saisie d'un échangeur. Dans l'ensemble, les objets d'un magasin sont traités l'un après l'autre. Pendant le traitement, ce magasin se trouve continuellement dans la chambre principale 64 du sas. Pendant ce temps, il est possible de garnir le côté du chariot qui se trouve dans l'avant-chambre séparée avec un autre magasin. Le temps nécessaire au traitement d'un magasin est en outre disponible pour mettre d'abord en équilibre la température du second magasin se trouvant dans l'avant-chambre avec celle de l'air - la présence d'air raccourcit par convexion la durée d'équilibrage des températures - et ensuite pour faire le vide dans l'avantchambre et pour dégazer les objets.En déterminant de façon appropriée les côtés et le nombre de porte-objets, il est possible d'effectuer aussi bien l'équilibrage des températures que la mise sous vide pendant la durée correspondant au temps mort moyen par objet entre deux traitements. Le chariot et l'ascenseur peuvent être entraînés électriquement, l-iydrauliquement, pneumatiquement ou manuellement. Du fait que c'est soit le chariot soit l'ascenseur qui doit être déplacé, les deux n'étant jamais déplacés simultanément, on peut n'avoir recours qu a une unique source d'entraînement. Les deux avant-chambres sont tempérées-par l'intermé- diaire d'un fluide qui les parcourt, pompé par des thermostats et envoyé dans le serpentin 80 qui entoure les parois du logement. La fig.7 représente l'état suivant: le magasin de gauche dans l'avant-chambre 65 est en attente à'équilibrage des températures, de mise sous vide et de dégazage; le magasin sur la droite est dans la position la plus haute de l'ascenseur, le porte-objet inférieur se trouve devant l'ouverture 11. On donnera maintenant une description d'un cycle de travail montrant le fonctionnement des éléments individuels: L'interaction entre rayon d'électrons et objet 7 est arrêtée; un autre objet monté sur le porte-objet 42 est préalablement privé d'air dans l'avant-chambre 21. Le bras 17 de l'échangeur 9 est en position de repos 46 et abaissée. La platine à mouvements croisés 2 est amenée dans la position prévue pour un changement d'objet. L'échangeur 9 est pivoté par rotation de l'axe 13 dans sa position d'échange 47 et il est situé centralement sous le porte-objet 6. Lorsque l'axe 13 se déplace jusqu'à ce que la butée 19 vienne porter contre le support 12, l'échangeur 9 est soulevé et il en résulte que le porte-objet 6 est déposé sur les pitons à boule 18 du bras 17 et soulevé des pitons à boule 5 de la platine à mouvements croisés 2. Dans cette position supérieure, l'échangeur 9 est pivoté jusqu'à sa position 48 dans le sas. Le porte-objet 6 tourne alors de 900. Quand l'échangeur 9 descend, le porteobjet 6 vient reposer sur les pitons à boule 41 du plateau 25, et le bras 17 continue à descendre et est ramené à sa position inférieure dans la chambre à objet 1 pour libérer l'espace nécessaire au passage du dispositif de levage 36. Le raccord à vide 34 est fermé et le dispositif de levage 36 est amené à sa position supérieure par déplace- - ment de la tige 39. L'avant-chambre 22 est alors fermée par le plateau 25 qui vient s'appliquer par l'intermédiaire du joint 27. L'avant-chambre 22 est ventilée par l'intermediai- re du raccord à vide 35, la porte 31 est ouverte, le porteobjet 6 est retiré et un nouveau porte-objet préparé à l'avance est mis en place. Après fermeture de la porte 31 et arrêt de l'aérage, la mise sous vide préalable commence par l'intermédiaire du raccord à vide 35. Pendant la durée nécessaire à cet échange de porteobjets, l'échangeur 9 est à nouveau pitoté dans sa position 48 dans le sas et le bras 17 passe alors sous le porteobjet 42 qui porte déjà un objet mis sous vide, dégazé et dont la température a été équilibrée au cours du traitement de l'objet 7. L'échangeur 9 est soulevé et le porte-objet 42 est retiré des pitons à boule 18 du bras 17 et amené en position d'échange 47 par rotation de l'axe 13. Lorsque I'échangeur 9 est abaissé, le porte-objet 42 s'applique sur les pitons à boule 5 de la platine à mouvements croisés 2. L'échangeur 9 est à nouveau pivoté vers sa position de repos 46. La durée de l'interaction entre le rayon d'électrons et l'objet sur le porte-objet 42 est utilisée pour effectuer une autre mise sous vide préalable, un dégazage et un équilibrage des températures pour le nouvel objet dans l'avant-chambre 22. Lors du changement d'objet qui suit, le cycle de travail se déroule de façon analogue par permutation des avantchambres. Le cyle de travail du double sas à magasin se deroule de la façon suivante en partant du moment de la mise en fonctionnement de l'appareil: Le chariot 68 est amené à sa position terminale de gauche et il en résulte que l'avant-chambre 65 est séparée du vide régnant dans l'appareil. L'avant-chambre 65 peut alors être aérée, la porte de l'avant-chambre ouverte, le premier magasin amené dans la glissière réceptrice de gauche du chariot jusqu'à butee, et la porte à nouveau fermée. Après un temps d'équilibrage des températures suffisant et l'établissement d'un vide préalable suffisant par mise sous vide par l'intermédiaire du raccord à vide 82, le chariot est déplacé vers sa butée de droite, l'avant -chambre 66, comme précédemment l'avant-chambre 65, étant séparée du vide régnant dans l'appareil. L'alimentation de la glissière réceptrice de droite par un second magasin peut s'effectuer de la manière déjà décrite. Pendant ce temps, le premier magasin est dans la chambre principale et il est amené, quand il y a "n" porteobjets, dans "n" positions en hauteur différentes devant l'ouverture de l'échangeur conduisant à la chambre de traitement. L'échangeur d'objet retire le porte-objet désiré du magasin et le ramène, après traitement, dans le compartiment du magasin d'origine. Ce n'est qu'alors que l'ascenseur doit parvenir à une étage supérieur (ou inférieur). Apres traitement de tous les objets du premier magasin, l'ascenseur fait redescendre le magasin sur le chariot et revient jusqu'à la butée inférieure 81 hors de la zone de mouvement du plateau du chariot. Le chariot peut alors parvenir à sa positon terminale de gauche, le magasin qui a été traité pouvant être échangé contre un nouveau magasin dans l'avant-chambre alors que le magasin dont la température a été équilibrée et qui a été dégazé est transporté dans la chambre principale. A partir de ce moment, les processus se répètent. REVENDICATIONS 1. Dispositif de passage d'objets par un sas pour appareils à rayonnement corpusculaire, dans lesquels les objets sont disposés sur des porte-objets et sont transportés et ramenés en arrière par un mécanisme transporteur d'une platine à mouvements croisés montée dans le logement de la chambre à objets de l'appareil à rayonnement corpusculaire et dans laquelle a été fait le vide vers au moins une chambre à sas dans laquelle on peut faire le vide et qui est reliée de façon étanche au vide à la chambre à objets, caractérisé en ce que la chambre à sas destinée à recevoir simultanément plusieurs porte-objets (6; 42; 59) est constituée sous forme d'un double sas (10) ou d'un sas à magasin (49) comprenant un élément central (20; 50) et au moins une avant-chambre (21; 22; 51) dans laquelle peut être fait le vide et pouvant être fermée vers l'extérieur par une porte, avant-chambre dans laquelle est monté mobile verticalement un dispositif de levage constitué pour recevoir le porte-objet et pourvu d'éléments d'étanchéité (26; 27) pour rendre étanche l'élément central par rapport à l'avant-chambre à l'état aéré et comprenant une tige de poussée (39; 55) sortant vers l'extérieur, ou encore sous forme d'un double sas à magasin comprenant deux avantchambres situées face à face horizontalement et rattachées de façon étanche au vide à l'élément central, susceptibles de recevoir chacune un magasin, comprenant un chariot mobile horizontalement et un ascenseur se trouvant dans la partie centrale, et se déplaçant de préférence perpendiculairement à la direction de déplacement du chariot; en ce que le mécanisme de transport est constitué par un échangeur (9) monté dans le logement (4), pouvant pivoter horizontalement et se soulever verticalement; et en ce que les points d'appui des porte-objets sur la platine à mouvements croisés (2), sur l'échangeur et sur le dispositif de levage, sont constitués respectivement par trois pitons à boule (5; 18; 40) décalés de 1200 les uns par rapport aux autres, et qui correspondent à trois rainures en V (8; 43) orientées radialement et décalées respectivement de 1200 sur les surfaces d'appui des porte-objets. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les pitons à boule de la platine à mouvements croisés, de l'échangeur et du dispositif de levage sont situés sur des diamètres différents. 3. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que plusieurs cercles parcourus par les pitons à boule sont situés sur la platine à mouvements croisés. 4. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les rainures en V du porte-objet ont un angle d'ouverture de 600. 5. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que les pitons à boule et les rainures en V sont constitués en des matériaux différents, les pitons à boule étant de préférence réalisés avec le matériau le plus dur. 6. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que lorsque le sas est constitué sous forme d'un double sas (10), une avant-chambre supérieure et une avant-chambre inférieure (21; 22) dans lesquelles on peut faire le vide, sont rattachées à l'élément central (20), et en ce que le dispositif de levage (36) est constitué essentiellement par un support (37) fixé à la tige de poussée (39) et comprenant des pitons à boule (40) et un plateau (25) pourvu de pitons à boule (41) et relié au support par des boulons filetés (38), le plateau portant des joints (26; 27). 7. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que lorsque le sas est constitué sous forme de sas à magasin (49), une avant-chambre (51) dans laquelle on peut faire le vide et un pot (54) destiné à contenir le magasin porte-objet arrivé au point le plus bas sont rattachés à l'élément central (50). 8. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément central est constitué sous forme de chambre principale et en ce que l'ascenseur disposé à l'intérieur traverse des ouvertures pratiquées dans le fond du chariot aux points d'appui des magasins, et porte à son extrémité supérieure un plateau d'ascenseur destiné à recevoir le magasin se trouvant dans la chambre principale. 9. Dispositif selon l'une des revendications 1, 6, 7 ou 8, caractérisé en ce que la tige de-poussée (39; 55), le chariot (68) et l'ascenseur (79) sont entraînés électriquement, hydrauliquement ou pneumatiquement. 10. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'échangeur (9) est constitué sous forme d'une articulation quadrangulaire constituée par un levier (14), une pièce (15), une bielle (16) et un bras (17), le bras (17) portant les pitons à boule. 11. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que deux sas séparés et pouvant être alimentés alternativement sont rattachés à la chambre à objet (1), et en ce que l'échangeur, qui est de forme symetrique, est disposé entre les chambres du sas. 12. Dispositif selon les revendications 1 et 6 prises ensemble, ou 1 et 8 prises ensemble, caractérisé en ce que les deux avant-chambres situées face à face sont raccordées à un système d'équilibrage des températures.