Brevet FR2473772A1 — publié le 19810717

Dispositif de mémoire à semiconducteurs et procédé pour lîe fabriquer. La présente invention concerne les mémoires à semi- conducteurs présentant des niveaux élevés d'intégration de circuits de mémorisation et elle a trait à un procédé pour fabriquer ces mémoires. Dans un article intitulé "A New Physical Mechanism for Soft Errors in Dynamic Memories" et figurant dans les pages 33-40 du 16ème compte rendu annuel du Symposium International de 1978 sur la fiabilité en physique (18-20 Avril 1978) qui s'est tenu à San Diego, U.S.A., il est indiqué que lorsque des rayons pénètrent dans des cellules de mémoire à semiconduc- teurs, une inversion d'informations de "1"-_ "O" ou " ln-A "l", c'est-à-dire des erreurs que l'on appellera erreurs erra- tiques, a souvent lieu. Une source principale des rayons W est formée par les quantités infimes d'uranium et de thorium contenues dans la matière d'enrobage des éléments de mémoire à semiconducteurs comme par exemple la céramique, les métaux, les résines de moulage ou autres matières analogues. Par conséquent, si on élimine complètement l'uranium et le thorium d'une telle matière d'enrobage, on peut résoudre le problème mentionné cidessus. Selon le compte rendu précité, on a tenté de purifier les matières d'enrobage pour diminuer la teneur en uranium et en thorium, mais une telle purifi- cation à un niveau élevé est industriellement très difficile. On a donc pensé qu'il était peu pratique de résoudre le pro- blème des erreurs erratiques par un purification des matières d'enrobage. D'autre part, les inventeurs de la présente invention ont étudié la purification des matières d'enrobage et ont constaté que lorsque les teneurs en uranium et en thorium deviennent inférieures à certaines valeurs, le phénomène des erreurs erratiques diminue remarquablement et n'a pratiquement pas lieu. Un objet de la présente invention est de procurer un dispositif de mémoire à semiconducteurs à haut niveau d'in- tégration de circuits de mémorisation et peu sujet aux erreurs erratiques dues aux rayonsc> dispositif de mémoire à semiconducteurs. Selon la présente invention, le dispositif de mémoire à semiconducteurs comprenant des éléments de mémoire à semi- -conducteurs qui présentent un degré d'intégration tel en ce qui concerne les circuits de mémorisation qu'il est sujet aux erreurs erratiques dues à l'influence des rayonso( provenant d'une matière d'enrobage et d'un enrobage ou bottier qui enrobe les éléments de mémoire est caractérisé par le fait que l'on interpose entre lesdits éléments de mémoire et ledit enrobage une couche de protection contre les rayons ci qui est formée par une matière résineuse et qui contient de l'uranium et du thorium en une quantité totale de une partie par billion (ppb) ou moins. Dans les dessins annexés, les figures 1 à 5 sont des vues en coupe de quelques exemples des dispositifs de mémoire à semiconducteurs selon la présente invention. Selon la présente invention, on peut fabriquer des mé- moires à semiconducteurs qui présentent de hauts niveaux d'intégration de circuit de mémorisation et qui ne sont pra- tiquement pas ou extrêmement peu sujettes aux erreurs erra- tiques en interposant la couche de protection contre les rayons C0 formée par une matière résineuse qui contient de l'uranium et du thorium en une quantité totale de 1 ppb ou moins (matière que l'on désignera ci-après par l'expres- sion:"matière résineuse de haute pureté"). Il est possible de corriger les erreurs erratiques au moyen de circuits électri- ques et il est donc possible d'assurer la fiabilité des dispo- sitifs tels que les calculateurs. Mais comme on l'admet géné- ralement, quand le taux d'erreurs erratiques des éléments de mémorisation eux-mêmes est supérieur à 1000, il est difficile d'assurer la fiabilité des dispositifs au moyen de circuits électriques. Par conséquent, il est important d'abaisser le taux de génération d'erreurs erratiques des éléments de mémori- sation eux-mêmes à une valeur inférieure à 1000 coups (1 coup désigne une unité correspondant à un taux d'une erreur par 109 heures pour un élément). Les inventeurs de la présente inven- tion ont constaté que lorsque la quantité totale d'uranium et de thorium dans l'enrobage était de 1 ppb ou moins, le taux de génération d'erreurs erratiques se trouvait réduit d'une façon remarquable et que le but de la présente invention était atteint. En outre, selon la présente invention, il est pos- sible d'abaisser le taux de génération d'erreurs erratiques en dessous de 100 coups en faisant en sorte que la quantité totale d'uranium et de thorium soit de 0,2 ppb ou moins. Conformément à la présente invention, la couche de pro- tection contre les rayons c> mémorisation et l'enrobage comme on l'a mentionné ci-dessus. De façon plus détaillée, il est préférable de recouvrir avec la couche de protection contre les rayons c rieure des éléments de mémoire sur une superficie corres- pondant à celle de l'angle d'incidence des rayons %(, lequel est compris entre 20 et 90 (incidence perpendiculaire). Il vaut mieux recouvrir les surfaces entières des éléments de mémoire à semiconducteurs complètement avec la couche de protection contre les rayons c enrobage ou boîtier. La matière résineuse qui constitue la couche de protec- tion contre les rayons C0 comprend des polymères tels que les résines synthétiques, les résines naturelles, les caoutchoucs synthétiques, les caoutchoucs naturels, et autres substances analogues. Dans le cas de polymères obtenus par synthèse, des polymères extrêmement purs peuvent facilement être obtenus par polymérisation de monomères purifiés, par exemple par distil- lation, recristallisation, et autres opérations analogues. Des exemples des matières résineuses sont les polyimides, les polyamides, les polybenzimidazoles, les polyamide-imides, les polyimideisoindoquinazolinedione, les résines époxy, les résines phénoliques, les résines de diallyl-phtalate, les résines de polyester, les résines de silicone, les résines de polysilicate et autres résines analogues. La matière résineuse peut contenir diverses sortes de matières de charge pour améliorer les propriétés physiques de la couche de protection contre les rayons CO. Il va de soi que ces matières de charge doivent être des matières extrêmement pures de manière à satisfaire les conditions mentionnées ci-dessus en ce qui con- cerne les teneurs en uranium et en thorium. En d'autres ter- mes, la résine et/ou les matières de charge doivent être purifiées de telle sorte que la quantité totale d'uranium et de thorium dans la couche de protection contre les rayons 0C soit de 1 ppb ou moins. On prépare des matières de charge extrêmement pures en utilisant comme matière de départ des composés organométalli- ques tels que des composés du silicium, par exemple le tétra- méthylsilane, le diméthyldiméthoxysilane, le trichlorosilane, le tétraéthoxysilane, le diméthyldichlorosilane, le diphényl- dichlorosilane, etc.; des composés de l'aluminium, par exemple le triisopropylate d'aluminium, le di-isopropylate mono-sec-butoxy d'aluminium, le tri-butylate d'aluminium, l'éthylacétoacétate diisopropylate d'aluminium, le tris- (éthylacétoacétate) d'aluminium etc.; des composés du zir- conium, par exemple le tétrakisacétylacétonate de zirconium, etc.; des composés du zinc, par exemple le salicylate de zinc, l'octoate de zinc, etc.; des composés du plomb, par exemple l'octoate de plomb, le plomb tétraphényle, etc.; des composés de l'étain, par exemple l'octoate d'étain, l'étain tétra- phényle, etc. Ces composés sont utilisés de préférence après avoir été purifiés par exemple par distillation, recristallisation, ou autres opérations analogues, et oxydés dans l'air ou dans l'oxygène par oxydation à la chaleur ou par oxydation dans du plasma pour donner des charges extrêmement pures sous la forme d'oxyde ou de nitrure. Il est avantageux, dans le traitement pratique, d'effectuer l'hydrolysation de ces matières de dé- part ou bien d'effectuer l'hydrolysation d'autres sortes de matières de départ suivie par une polymérisation avant l'oxy- dation desdites matières de départ. Par exemple, il est avan- tageux d'empêcher une dispersion par volatilisation des ma- tières de départ pendant le chauffage. Les oxydes métalliques ainsi synthétisés sont généralement à l'état pulvérulent et peuvent être utilisés comme charges telles quelles. Si besoin est, ces oxydes métalliques peuvent être broyés plus finement. Il est facile d'obtenir ces oxydes métalliques de charge contenant des quantités extrêmement faibles d'uranium et de thorium par rapport aux charges que l'on utilise d'une façon générale et que l'on prépare en broyant finement des produits naturels. D'autres exemples de charges sont des polymères non filmogènes par eux-mêmes, comme la poudre de polyimide cycli- sée par chauffage, la polyimidazopyrrolone en poudre, les bases de Schiff polymères, le caoutchouc de silicone, et autres matières analogues. L'utilisation d'une matière de revêtement contenant une charge permet d'empêcher l'apparition de fissures dues à la contraction au moment de la cuisson ou pendant les cycles de chauffage grâce quoi on améliore la résistance physique de la couche de protection, la température à laquelle commence la perte de poids lors du chauffage, la conduction thermique (propriétés de diffusion de la chaleur) et on réduit les coefficients de dilatation thermique. Si on forme la couche de protection en utilisant la matière résineuse seule ou avec une charge, on peut avoir recours à un solvant approprié pour dissoudre ou disperser ladite matière résineuse avec ou sans charge. Comme solvant, on peut utiliser ceux utilisés classiquement comme solvants pour des vernis à base de résine. Des exemples de tels sol- vants sont les solvants suivants: N-méthyl-2-pyrrolidone, N,N-diméthylacétamide, N,N-diméthylformamide, N,N-diéthyl- formamide, N-méthylformamide, diméthylsulfoxyde, N,N-diéthyl- acétamide, N,N-diméthylméthoxyacétamide, hexaméthylphosphor- amide, pyridine, diméthylsulfone, tétraméthylsulfone, dimé- thyltetraméthylène sulfone, phénol, crésol, xylénols, cétones, toluène, benzène; alcools, et autres produits analogues. Ces solvants peuvent être utilisés individuellement ou mélangés. La matière résineuse peut contenir, si nécessaire, un ou plusieurs agents de copulation du type silane, tels que l'ami- nosilane, l'époxysilane, la mercaptosilane, la vinylsilane, et autres matières analogues et un ou plusieurs agents tensio-actifs comme les hydrocarbures fluorés et autres ma- tières analogues. Il va de soi que ces solvants et ces ad- ditifs ne doivent contenir au plus que des quantités extrê- mement faibles d'uranium et de thorium. La couche de protection contre les rayons c>, laquelle est constituée par une matière résineuse de haute pureté contenant une ou plusieurs charges ou dépourvue de charge et a une épaisseur de 30 pm ou plus, de préférence 40 pm ou plus, peut avoir des effets suffisants pour empêcher les erreurs erratiques. Dans le cas d'éléments de mémoire à semiconduc- teurs présentant un haut niveau d'intégration des circuits de mémorisation, l'objectif visé peut être atteint même si l'épais- seur de la couche de protection est inférieure à 30 Pm. On va expliquer en détails en se référant aux dessins an- nexés la formation de la couche de protection contre les rayons c0 entre l'enrobage ou boîtier et les éléments de mémoire. La figure 1 est une vue en perspective et en coupe d'un disposi- tif de mémoire à semiconducteur à enrobage ou boîtier en résine et du type à double rangée de broches, la présente invention étant appliquée à ce dispositif. Sur la figure 1 la référence 1 désigne un élément de mémoire à semiconducteurs, c'est-à-dire une puce de silicium, la référence 2 désigne un support pour la puce de silicium, la référence 3 désigne un conducteur, la référence 4 désigne un fil de connexion, la référence 5 désigne un enrobage ou boîtier en résine, et la référence 6 désigne une couche de protection contre les rayons C. Dans le présent exemple, la couche 6 de protection contre les rayons CX. est formée sur la surface de la puce de silicium. L'enrobage ou boîtier en résine peut être formé par moulage d'une résine thermodurcissable, comme par exemple une résine époxy. Les figures 2 et 3 sont des vues en coupe de dispositifs de mémoire à semiconducteurs à enrobage ou bottier en céramique et du type à double rangée de broches, la pré- sente invention étant appliquée à ces dispositifs. Les réfé- rences 7a et 7b désignent des enrobages ou bottier en cérami- que qui sont rendus étanches à l'aide de matières d'étanchéité 8a et 8b, comme par exemple le verre. Une puce 1 de silicium est fixée à l'enrobage ou bottier 8b à l'aide d'un agent de fixation comme par exemple une pâte d'argent, une couche de cristal eutectique or-silicium, ou une couche de soudure utilisée de façon classique. Sur la figure 2, la couche 6 de protection contre les rayons a formée sur la surface intérieure de l'enrobage ou bottier 7a. Dans le cas de la figure 2, on utilise une quantité de matière de protection contre les rayons appliquée à ces dispositifs. Sur les figures 4 et 5, la réfé- rence 10 désigne un couvercle métallique, par exemple en kovar (alliage Fe-Ni-Co) plaqué d'or et les référence lia et llb désignent des enrobages ou boîtiers en céramique formés d'une seule pièce conjointement avec le conducteur 3, et la réfé- rence 12 désigne une matière d'étanchéité, comme par exemple un alliage Au-Sn qui ferme de façon étanche l'interface entre le couvercle métallique 10 et l'enrobage ou boîtier lia en céramique. Le conducteur 3 est du type à brasage latérale. Les exemples représentés sur les figures 4 et 5 sont fondamenta- lement identiques à ceux représentés sur les figures 2 et 3 sauf en ce qui concerne le couvercle métallique 10 et la matière d'étanchéité 12 ainsi que les enrobages ou boîtiers lia et llb en céramique qui sont formés préalablement et frittés. Du fait que les erreurs erratiques apparaissent facile- ment dans le cas des éléments de mémoire à semiconducteurs présentant un degré élevé d'intégration (par exemple, avec un des côtés de l'élément de mémoire mesurant environ 3 à 10 mm de long, dans le cas d'éléments de mémoire à semiconducteurs du type bipolaire le degré d'intégration correspondant à une capacité de mémorisation de 1K-bit, ou plus, et dans le cas d'éléments de mémoire à semiconducteur du type MIS (métal- isolant-semicondcteur) tel que les éléments MOS (métal-oxyde-semiconducteur), le degré d'intégration cor- respond à une capacité de mémorisation de 16K-bits ou plus, particulièrement 64K-bits ou plus), la présente invention est d'autant plus efficace qu'elle est appliquée à des éléments de mémoire ayant un degré d'intégration tel que mentionné ci-dessus. Les teneurs en uranium et en thorium peuvent être déter- min;es par un analyse classique avec radio activation. Dans la présente invention, on obtient les valeurs par le procédé d'analyse par radio activation neutronique utilisant un réac- teur nucléaire. L'uranium- 239 et le thorium 233 produits par la réaction (n, r) d'uranium 238 et de thorium 232 sont désin- tégrés en plutonium 239 et en uranium 233, respectivement, par transformation béoa avec une durée de demi-vie de 23,5 minu- tes. Les rayons/irradiés à ce moment sont comptés et les quantités d'irantum et de thDrium peuvent être déterminées quantitativement par un comparaison avec le taux de comptage de rayons Y d'un échantillon normalisé irradié dans les mêmes conditions. Les conditions de mesure sont les suivantes: Détecteur: un détecteur à semi-conducteur Ge (Li) Analyseur: un analyseur hautes ondes 4000 ch Temps de comptage: 500 à 60 000 seconds. La présente invention est illustrée par les exemples les essais suivants dans lesquels toutes les parties sont données en poids. Exemple 1 On a préparé une matière résineuse (composition) pour former une couche de protection contre les rayons Y en mélangeant 50 parties de 3,4-époxycyclohexylméthyl-3,4-époxy- cyclohexane carboxylate purifié par distillation sous vide d'un échantillon disponible dans le commerce, cela sous une pression de 1,33 millibar à 155 - 158 C, 50 parties de vinyl- cyclohexane dioxide distillé sous vide sous une pression de 1,33 millibar à 65 -67 C, 77 parties d'anhydride méthyl-Nadic (un agent de durcissement) distillé sous vide sous une pres- s0 ion de 1,33 millibar à 113 -115 C, 66 parties d'anhydride hexahydrophtalique (un agent de durcissement) distillé sous 3,99 millibar à 118 -122 C, 370 parties de poudres en tant que matières de charge préparées par purification de silicate d'éthyle à 168 -170 C, purification qui est suivie par une hydrolyse et un chauffage dans l'air à environ 500 C pendant 4 heures, 2 parties de tétraphényl de borate de tétraphényl phosphonium (un accélérateur) et 2 parties de glycidoxy- propyltriméthoxysilane (un agent de copulation). L'analyse par radioactivation de cette composition a montré que la teneur en uranium était de 0,45 ppb et la teneur en thorium de 0,55 ppb. On a déposé cette composition sur des éléments de mémoire RAM (mémoire vive) du type MOS présentant une capacité de mémorisation de 16K-bits sur une épaisseur de 1 à 1,5 mm et on la fait durcir en la chauffant à 150 C pendant 3 heures de manière à obtenir le dispositif de mémoire à semiconducteurs voulu ayant une structure d'une seule pièce dans laquelle la couche de protection et l'enrobage ou bottier sont constitués par les mêmes matières. Le taux d'erreurs erratiques de ce dispositif de mémoire était de 900 coups (il est rappelé que 1 coup désigne une unité correspondant à un taux d'une erreur par 109 heures pour un élément). Exemple comparatif 1 On a préparé une matière d'enrobage en utilisant comme matière première la même résine époxy que celle utilisée dans l'exemple 1 sans purification et des poudres de silice non purifiées disponibles dans le commerce en tant que matière de charge. La matière d'enrobage obtenue contenait de l'uranium en une quantité de 18 ppb et du thorium en une quantité de 11 ppb. On a réalisé un dispositif de mémoire en déposant cette matière d'enrobage sur la totalité des éléments de mémoire et en la faisant durcir de la même manière que celle décrite dans l'exemple 1. Le taux d'erreurs erratiques de cette mémoire était de 3,5 x 104 coups. Exemple 2 On a préparé une composition à base de résine en mélan- geant les mêmes éléments constitutifs que ceux utilisés dans l'exemple 1 sauf pour la charge. La composition de résines obtenue contenait de l'uranium en une quantité inférieure à 0,02 ppb et du thorium en une quantité inférieure à 0,05 ppb. On a déposé cette composition résineuse sur des éléments de mémoire de deux façons, c'est-à-dire sur une épaisseur de 40 à um d'une part et sur une épaisseur de 1 à 1,5 pm d'autre part, puis on la soumise à une cuisson. Après cette cuisson, des fissures sont apparues dans ces derniers éléments de mémoire. On a recouvert les éléments de mémoire revêtus avec la composition résineuse sur une épaisseur de 40-50 pim avec la même matière d'enrobage que celle utilisée dans l'exemple comparatif 1 sur une épaisseur de 1 à 1,5 mm d'épaisseur puis on la soumise à une cuisson. Le taux d'erreurs erratiques du 3.5 dispositif de mémoire obtenu était de 30-coup. Exemple 3 On a préparé un polyacide amique en faisant réagir du 4,4'diaminodiphényl-éther recristallisé dans du n-butanol avec du dianhydride pyroméllitique obtenu par une recristal- lisation dans de l'anhydride acétique suivie par une purifi- cation par sublimation en quantité équimolaire dans de la N-méthylpyrrolidone obtenue par un séchage à l'aide d'anhy- dride phosphorique suivi par une purification par distil- lation. On a déposé le polyacide amique sur les mêmes éléments de mémoire que ceux utilisés dans l'exemple 1 et on la fait chauffer à 100 C pendant 2 heures, à 200 C pendant 1 heure et à 350 C pendant 1 heure pour obtenir une couche de protection de polyimide ayant une épaisseur de 40 à 50 pm. Ensuite, on a soudé un couvercle métallique sur un bot- tier en céramique à environ 380 C en utilisant une matière de scellement du type Au-Sn de manière à former l'enrobage. Le taux d'erreurs erratiques du dispositif de mémoire obtenu était de 25 coups. Le polyimide mentionné ci-dessus contenait de l'uranium en une quantité inférieure à 0,02 ppb et du thorium en une quantité inférieure à 0,05 ppb. Exemple 4 On a réalisé un dispositif de mémoire à semiconducteurs de la même manière que celle décrite dans l'exemple 3 sauf que l'on n'a pas effectué de traitement de purification. La ma- tière résineuse (polyimide) contenait de l'uranium en une quantité de 0,07 ppb et du thorium en une quantité de 0,13 ppb. Le taux d'erreurs erratiques du dispositif de mémoire obtenu était de 100 coups. D'autre part, dans un dispositif de mémoire réalisé avec l'enrobage en céramique seul sans le revêtement de polyimide, le taux d'erreurs erratiques était de 4,5 x 106 coups. Exemple 5 On a dissout du di-isopropylate éthylacéto-acétate d'alu- minium purifié par distillation à 165 -175 C sous 3,99 mil- libars en une quantité de 100 parties dans 500 parties d'iso- propanol, puis on a mélangé le résultat avec 10 parties d'eau et on l'a laissé reposer pendant 1 jour. Ensuite, on a chauffé le mélange dans de l'air à 150 C pendant 1 heure, à 200 C pendant I heure, à 300 C pendant 1 heure, à 400 C pendant-1 heure, à 500 C pendant 1 heure, à 600 C pendant 1 heure et à 700 C pendant 1 heure en vue d'une oxydation, et on a fait suivre cette opération par un léger broyage dans un mortier d'agate pour obtenir une poudre fine. On a mélangé la poudre fine avec le même vernis de polyacide amique de haute pureté préparé comme dans l'exemple 3-pour obtenir une composition résineuse. Le rapport le mélange entre le polyimide obtenu et la poudre fine était de 40 à 60 en poids. On a déposé la composition résineuse sur les mêmes éléments de mémoire que ceux utilisés dans l'exemple 1 pour obtenir une couche de protection ayant une épaisseur de 40 à 50 "m. On a réalisé un dispositif de mémoire à semiconducteurs en utilisant un bot- tier ou enrobage en céramique et un verre à bas point de fusion comme matière de soudure et en soumettant ce dispositif à un traitement de scellement ou d'étanchéité à environ 450 C. La composition résineuse contenait de l'uranium en une quantité inférieure à 0,07 ppb et du thorium en une quantité inférieure à 0,5 ppb. Le taux d'erreurs erratiques du dispositif de mémoire obtenu était de 40 coups. Essai 1 On a préparé une composition résineuse en mélangeant un OC,C0 dihydroxypolydiméthylsiloxane contenant du silicium, obtenu par hydrolyse de diméthyldichlorosilane purifié par distillation et de silicate d'éthyle purifié par distillation en tant qu'agent de réticulation avec de la silice en poudre ho fine suivant un rapport en poids de 60/40, cette opération étant suivie par l'addition de 0,2% en poids de laurate de dibutyl-étain. On a déposé cette composition résineuse sur les mêmes éléments de mémoire que ceux utilisés dans l'exemple 1 sur une épaisseur de 50 à 60 Pm, on l'a laissé reposer pendant une certaine période de temps puis on l'a fait durcir à une température supérieure à 150 C pour obtenir une couche de protection. On a réalisé un dispositif de mémoire en enrobant les éléments de mémoire résultants dans une matière de moulage en résine époxy contenant environ 70% en poids de poudre de verre de silice. Le taux d'erreurs erratiques du dispositif de mémoire obtenu était de 9,5 x 103 coups. La couche de protection contenait de l'uranium et du thorium en des quantités de 1,5 ppb au total. Exemple 6 On a préparé une composition résineuse de la même manière que celle décrite dans l'essai 1 sauf en ce qui concerne l'utilisation d'une poudre de silice synthètisée à partir du silicate d'éthyle purifié par distillation et utilisé dans l'exemple 1 à la place de la silice en poudre fine. On a réalisé un dispositif de mémoire de la même manière que celle décrite dans l'essai 1 en utilisant la composition résineuse mentionnée ci-dessus et l'enrobage en résine époxy. Le taux d'erreurs erratiques du dispositif de mémoire résultant était de 40 coups. La composition résineuse mentionnée ci-dessus contenait de l'uranium en une quantité de 0,05 ppb et du thorium en une quantité inférieure à 0,05 ppb. Exemple 7 De la polydiméthylsiloxane représentée par la formule &-(CH3)2SiOn dans laquelle n est principalement 3 à 6 a été purifiée par distillation à 1700-2500C et oxydé dans une atmosphère d'oxygène pour donner une poudre fine contenant SiO2 comme élément constitutif principal. On a préparé unecomposition résineuse pour former une couche de protection en ajoutant 15 parties de ladite poudre fine à 100 parties de vernis à base d'acide polyamique synthétisé à partir du mono- mère purifié par recristallisation (PIQ: déposé par Hitachi Chemical Co. Ltd; teneur en produit non volatil: 10%; solvant N-méthyl-2-pyrrolidone purifié par distillation). On a déposé ledit vernis sur des éléments de mémoire semiconduc- teurs du type bipolaire ayant une capacité de 1K-bit et on l'a chauffé à 1001C pendant 2 heures, à 2001C pendant 1 heure et à 350WC pendant 1 heure pour obtenir une couche de protection formée de polyimide-iso-indoquinazolinedione ayant une épais- seur de 75 à 90um. On a enrobé les éléments de mémoire avec un enrobage ou bottier en céramique pour obtenir un dispositif de mémoire. Le taux d'erreurs erratiques du-dispositif de mémoire obtenu étant de 15 coups. Le vernis mentionné ci-dessus contenait de l'uranium en une quantité inférieure à 0,02 ppb et du thorium en une quan- tité inférieure à 0,05 ppb. Essai 2 On a réalisé un dispositif de mémoire de la même manière que celle décrite dans l'exemple 7 sauf que l'on a utilisé comme composition résineuse pour former la couche de protec- tion celle préparée par mélange de 15 parties de poudre fine de verre de silice disponible dans le commerce et 100 parties du même vernis PIQ utilisé dans l'exemple 7. Le taux d'erreurs erratiques du dispositif de mémoire obtenu était de 3500 coups. La composition résineuse mentionnée ci-dessus contenait de l'uranium en une quantité de 15 ppb. REVENDICATIONS 1. Dispositif de mémoire à semiconducteurs compre- nant des éléments de mémoire à semiconducteurs présentant un degré d'intégration de circuits de mémoire tel qu'ils sont sujets à des erreurs erratiques provoquées par des rayons a incidents provenant d'une matière d'enrobageet d'un enrobage ou bottier qui entouratles éléments de mémoire, caractérisé par le fait qu'une couche de protection contre les rayons a, couche qui est formée par une matière résineuse contenant une quantité totale d'uranium et de thorium ne dépassant pas 1 partie par billion, est interposée entre les éléments de mé- moire et l'enrobage. 2. Dispositif de mémoire à semiconducteurs suivant la revendication 1, caractérisé par le fait nue la couche de protection contre les rayons a a une épaisseur d'au moins 301Jm. 3. Dispositif de mémoire à semiconducteurs suivant la revendication 1, caractérisé par le fait oue les éléments de mémoire sonr des éléments de mémoire bipolaire à semi- conducteurs dont la capacité de mémorisation est d'au moins lk-bit. 4. Dispositif de mémoire à semiconducteurs suivant la revendication 1, caractérisé par le fait que les éléments de mémoire sont des éléments de mémoire à semiconducteurs MIS (métal-isolant-semiconducteur) dont la capacité de mémorisation est d'au moins 16K-bits. 5. Dispositif de mémoire à semiconducteurs suivant la revendication 1, caractérisé par le fait que les éléments de mémoire sont des éléments de mémoire à semiconducteurs MIS (métal-isolant-semiconducteur) dont la capacité de mé- morisation est d'au moins 64K-bits. 6. Dispositif de mémoire à semiconducteurs suivant la revendication 1, caractérisé par le fait que la matière résineuse contient de l'uranium et du thorium en des auantité ne dépassant pas 0,2 partie par billion au total. 7. Dispositif de mémoire à semiconducteurs suivant la revendication 1, caractérisé par le fait que la matière résineuse est une résine synthétique, une résine naturelle, un caoutchouc synthétique ou un caoutchouc naturel. 8. Dispositif de mémoire à semiconducteurs suivant la revendication 7, caractérisé par le fait que la résine synthétique est un polyimide, un polyamide, un polybenzimida- zole, un polyamide-imide, un polyimide-iso-indoquinazoline- dione, une résine époxy, une résine phénolique, une résine de diallyl-phtalate, une résine fluorée, une résine de poly- ester, une résine de silicone ou une résine de polysilicate. 9. Dispositif de mémoire à semiconducteurs suivant l'une quelconQue des revendications 1, 6, 7 ou 8, caractérisé par le fait que la matière résineuse contient une ou plusieurs matières de charge. 10. Dispositif de mémoire à semiconducteurs suivant la revendication 1, caractérisé par le fait que l'enrobage est une céramique ou une résine qui durcit à chaud. 11. Dispositif de mémoire à semiconducteurs compre- nant des éléments de mémoire à semiconducteurs présentant un degré d'intégration de circuits de mémoire tel qu'ils sont sujets à des erreurs erratiques provoquées par des rayons a incidents provenant de la matière d'enrobage et de l'enrobage ou bottier qui entouatlesdits éléments de mémoire, caractérisé par le fait que l'enrobage contient de la céramique et qu'une couche de protection contre les rayons a, couche qui est cons- tituée par une résine de polyamide qui contient une quantité totale d'uranium et de thorium ne dépassant pas 0,2 partie par billion et qui a une épaisseur d'au moins 30 um, est interposée entre les éléments de mémoire et l'enrobage. 12. Dispositif de mémoire à semiconducteurs suivant la revendication 11, caractérisé par le fait que les éléments de mémoire sont des éléments de mémoire à semiconducteurs MIS (métal-isolant-semiconducteur) dont la capacité de mémorisa- tion est d'au moins 16K-bits. 15. Dispositif de mémoire à semiconducteurs suivant la revendication 11, caractérisé par le fait que les éléments de mémoire sont des éléments de mémoire à semiconducteurs MIS (métal-isolant-semiconducteur) dont la capacité de mémorisation est au moins 65K-bits. ls. Dispositif de mémoire à semiconducteurs com- prenant des éléments de mémoire à semiconducteurs présentant un degré d'intégration de circuits de mémoire tel&au'ils sont sujets à des erreurs erratiques provoquées par des rayons a incidents provenant de la matière d'enrobage et de l'enrobage ou bottier qui entouret les éléments de mémoire, caractérisé par le fait qu'une couche de protection contre les rayons a, couche cui est constituée par une matière résineuse contenant une quantité totale d'uranium et de thorium ne dépassant pas une partie par billion, est formée sur les éléments de mémoire et l'enrobage est formé par la même matière que celle utilisée comme matière résineuse. 15. Dispositif de mémoire à semiconducteurs suivant la revendication 14, caractérisé par le fait que la matière résineuse est une résine thermodurcissable. 16. Dispositif de mémoire à semiconducteurs suivant la revendication 15, caractérisé par le fait que la résine thermodurcissable contient une ou plusieurs matières de charge. 17. Dispositif de mémoire à semiconducteurs suivant la revendication 14, caractérisé par le fait que les éléments de mémoire sont des éléments de mémoire à semiconducteurs bipolaires dont la capacité de mémorisation est d'au moins 1K-bit. 18. Dispositif de mémoire à semiconducteurs suivant la revendication 14, caractérisé par le fait que les éléments de mémoire sont des éléments de mémoire à semiconducteurs MIS (métal-isolant-semiconducteur) dont la capacité de mémorisa- tion est d'aun moins 16K-bits. 19. Dispositif de mémoire à semiconducteurs suivant la revendication 14, caractérisé par le fait que les éléments de mémoire sont des éléments de mémoire à semiconducteurs MIS (métal-isolant-semiconducteur) dont la capacité de mémorisa- tion est au moins 64K-bits. 20. Procédé pour fabriquer un dispositif de mémoire à semiconducteurs en formant un enrobage par utilisation d'une matière d'enrobage autour d'éléments de mémoire à semiconduc- teurs présentant un degré d'intégration de circuits de mémoire tel qu'ils sont suJets à des erreurs erratiques dues aux rayons a incidents provenant de la matière d'enrobage, caracté- risé par le fait qu'il consiste à former, entre les éléments de mémoire et l'enrobage, une couche de protection contre les 2473772- rayons a en utilisant une matière résineuse contenant une ou plusieurs matières de charge de haute pureté qui ont été préparées à partir d'un ou de plusieurs composés organométal- liques à l'aide de phases opératoires comprenant une purifica- tion et une oxydation, ladite matière résineuse conjointement avec les matières de charge contenant une quantité totale d'u- ranium et de thorium ne dépassant pas une partie par billion. 21. Procédé suivant la revendication 20 caractérisé par le fait que la couche de protection contre les rayons a a une épaisseur d'au moins 30 um. 22. Procédé suivant la revendication 20, caracté- risé par le fait que l'enrobage est une céramique ou une résine durcissant à chaud. 23. Procédé suivant la revendication 20, caractérisé par le fait que la matière résineuse est une résine synthéti- que une résine naturelle, un caoutchouc synthétique ou un caoutchouc naturel. 24. Procédé pour fabriquer un dispositif de mémoire à semiconducteurs formant un enrobage ou bottier par utilisa- tion d'une matière d'enrobage autour d'éléments de mémoire à semiconducteurs présentant un degré d'intégration de circuits de mémoire tel qu'ils sont sujets à des erreurs erratiques dues aux rayons a incidents provenant de la matière d'enrobage, caractérisé par le fait qu'il consiste à former, entre les éléments de mémoire et l'enrobage, une couche de protection contre les rayons a par utilisation d'une matière résineuse contenant une ou plusieurs matières de charge de haute pureté qui ont été préparées à partir d'un ou plusieurs composés organométalliques au moyen de phases opératoires comprenant une purification et une oxydation, ladite matière résineuse con- jointement avec les matières de charge contenant une quantité totale d'uranium et de thorium ne dépassant pas une partie par billion, et à utiliser comme matière d'enrobage les mêmes ma- tières que la matière résineuse et les matières de charge mentionnées ci-dessus. 25. Procédé suivant la revendication 24 caractérisé par le fait que la couche de protection contre les rayons a est formée par un procédé de moulage. 26. Procédé suivant les revendications 20 ou 24, caractérisé par le fait que la matière résineuse est une résine thermodurcissable.