Brevet FR2461976A1 — publié le 19810206

La présente invention concerne un dispositif permettant de faire varier, selon le besoin, le débit d'un fluide liquide dans une canalisation, ledit dispositif se composant, essentiellement, d'un premier élément dit de réduction-ouverture, disposé en série sur ladite canalisation, puis d'un second élément, dit de commande, pouvant occuper deux positions, à chacune de ces positions correspondant un état particulier-réduction ou ouverture-dudit premier élément. L'invention se rapporte plus particulièrement, mais non exclusivement, à un dispositif du genre précité capable de régler le débit de l'eau alimentant les bacs d'une installation de nettoyage ou de rinçage de pièces, par exemple de pieces de faible volume et de faible poids utilisées pour la réalisation de dispositifs semiconducteurs. Les nombreux traitements de décapage que subissent les plaquettes de silicium a partir desquelles sont élaborés les dispositifs semiconducteurs, sont suivis de traitements de ringage très soignés dans de l'eau purifiée ou distillée. Les rinçages ont lieu dans des bacs, quelquefois disposés en cascade, dans lesquels l'eau coule en permanence. La charge d'utilisation de ces bacs est variable et il est des instants où les bacs sont vides de pièces, où l'eau coule cependant à plein débit, donc en pure perte. Il y a là un problème, qui n'est pas spécifique, bien sûr, à la seule industrie des semiconducteurs et qui mérite intérêt. Dans le passé, divers dispositifs de réglage du débit d'eau ont été proposés. On distingue d'abord les dispositifs de réglage par sonde : une sonde apprécie une caractéristique physique de l'eau du bac - sa résistivité par exemple - qui rend compte du degré de pureté de cette eau. Dès que la résistivité devient inférieure à la valeur choisie, la sonde déclenche une électrovanne qui ouvre l'alimentation en eau pure. C'est là une solution simple, mais malheureusement onéreuse lorsqu'il s'agit d'installations comportant un grand nombre de bacs de petit volume, chacun nécessitant son dispositif propre comme c'est le cas dans l'industrie des semiconducteurs. D'autres dispositifs, de type mécanique, mettent à profit le poids des pièces pour commander directement l'ouverture de la vanne d'alimentation. Si les pièces spnt lourdes, on peut envisager une commande directe; ce n'est pas toujours le cas, notamment en ce qui concerne l'industrie des semiconducteurs. Pour des pièces légères, il a été proposé d'utiliser en intermédiaire un système à pointeau qui actionne, par eau ou par air, une vanne à membrane, laquelle commande le passage de l'eau. Ce dernier système, pour sensible qu'il soit, est de réalisation onéreuse, ce qui en interdit pratiquement la mise en oeuvre. L'invention a pour but la réalisation d'un dispositif de commande du débit d'eau, utilisable en particulier dans une installation de lavage ou de rinçage de pièces, dispositif de structure simple et de réalisation économique, facilement adaptable sur toute installation. Selon l'invention, un dispositif permettant de faire varier, selon le besoin, le débit d'un fluide liquide dans une canalisation, ledit dispositif se composant, essentiellement, d'un premier élément dit de réduction-ouverture, disposé en série sur ladite canalisation, puis d'un second élément, dit de commande, pouvant occuper deux positions, à chacune de ces positions correspondant un état particulier-réduction ou ouverture-dudit premier élément, est notamment remarquable - en ce que ledit premier élément comporte un cylindre dans lequel se meut un piston, ledit cylindre étant relié sur ses faces opposées par rapport à la direction de translation dudit piston, côté sommet au réseau d'utilisation en fluide et côté base au réseau d'alimentation. - en ce que, par ailleurs, ledit piston comporte une voie interne au moins, assurant, aux instants convenables, une communication entre lesdits réseaux d'alimentation et d'utilisation, - et en ce que ledit cylindre et ledit piston sont conformés de façon telle fusils déterminent entre eux une chambre partiellement isolée desdits réseaux d'alimentation et d'utilisation, chambre à laquelle est raccordé un conduit assurant une liaison hydraulique entre lesdits premier et second éléments. Exposé dans un premier temps de façon succinte, le fonctionnement du dispositif selon l'invention est le suivant Pour une première position du second élément, ladite chambre étant alors "en pression (pression du réseau d'alimentation), le piston est plaqué .par sa face antérieure, celle tournée vers le réseau d'utilisation, sur la face correspondante du cylindre et obture ainsi une tubulure reliant le cylindre audit réseau d'utilisation. L'eau ne peut donc circuler. Pour une deuxième position du second élément, une pression inférieure à celle du réseau d'alimentation régnant maintenant dans la chambre, le piston a reculé dans le cylindre et l'eau circule, par ladite voie interne, du réseau d'alimentation vers le réseau d'utilisation. Cette analyse est très sommaire. Une étude détaillée de fonctionnement est faite, plus loin, dans la partie descriptive du présent mémoire, avec l'aide de dessins qui facilitent l'exposé et la compréhension. Selon des dispositions complémentaires qui caractérisent également l'invention, il est prévu, notamment, que le piston soit fait tel que l'on y distingue deux parties, une première partie, ou tête de piston, placée dans le cylindre côté du réseau d'utilisation, et une deuxième partie, ou queue de piston, prolongeant immédiatement ladite première partie et de relativement faible section par rapport à cette première partie, les deux parties coulissant dans des volumes - respectivement premier et deuxième volumes de section correspondante dudit cylindre. I1 est prévu également que ledit premier volume dans lequel coulisse la tête de piston est prolongé derrière cette tête par rapport au réseau d'utilisation, par un autre volume, ou troi sième volume, isolé partiellement du deuxième volume dans lequel coulisse la queue du piston, et qui forme, en partie, ladite chambre. Le dispositif selon l'invention est aussi caractérisé en ce que, à un stade du fonctionnement, la tête du piston étant alors en contact avec le sommet du cylindre sur lequel débouche une tubulure de départ du réseau d'utilisation, ledit contact a lieu seulement sur une fraction des espaces en regard de ladite tête et dudit sommet, fraction englobant l'entrée de ladite tubulure. En ce qui concerne le piston, il est prévu que ladite voie interne assurant la communication entre les réseauKd'alimen- tation et d'utilisation, débouche sur la face dudit piston tournée vers ledit sommet du cylindre, en dehors de l'espace réservé au contact piston-cylindre. D'autre part, ledit piston peut comporter une autre voie interne de communication au moins, de section inférieure à celle de la voie précitée, qui débouche en regard de ladite tubulure de départ du réseau d'utilisation. Cette deuxième voie permet le passage d'un débit réduit d'eau lorsque la première voie, assurant le passage du débit principal, est fermée. Dans le cas où le piston à deux voies internes de communication - ou plus de deux voies - toutes ces voies ont un tronc commun, de section supérieure à celle de chacune d'elles, qui s'étend, au moins en partie, à l'intérieur de la queue dudit piston et qui débouche en regard de la base du cylindre, où se trouve une tubulure reliant ledit cylindre au réseau d'alimentation. Un dispositif tel que défini ci-dessus présente divers avantages, entre autres celui d'avoir une structure simple et d'ê-tre ainsi facilement réalisable. -I1 ne comporte aucun élément délicat ou onéreux, tel que, par exemple, une vanne à membrane ou une électrovanne, et il est donc avantageux sur'le plan économique. De plus, il est aisément adaptable sur une installation existante. Par ailleurs, il peut être entièrement fait de pièces en matière non polluante vis-à-vis du fluide qui le traverse. Ceci présente un grand intérêt dans bien des cas, surtout par exemple dans l'industrie des semiconducteurs en ce qui concerne l'eau utilisée au cours de nombreux lavages et rinçages que subissent les plaquettes de silicium. La description qui va suivre permettra de mieux comprendre comment est structuré le dispositif selon l'invention, ainsi que son fonctionnement. La figure 1 représente, de façon simplifiée, un dispositif selon l'invention en service, ses deux éléments étant vus en coupe longitudinale médiane. Les figures 2 et 3 sont des vues schématiques,en coupe longitudinale, du premier élément du dispositif, correspondant à deux positions stables du piston dans le cylindre. La figure 4 illustre, de façon schématique, une possibilit d'adaptation du dispositif selon l'invention sur une installation de lavage comportant une pluralité de bacs disposés en cascade. Le dispositif selon l'invention représenté sur la figure 1 permet de faire varier le débit de l'eau circulant dans un bac de rinçage 1, de l'entrée 2 de ce bac,située à la base d'un compartiment d'arrivée 3,vers la sortie 4 de ce même bac située en surface à une extrémité opposée de ladite entrée 2. Pour des nécessités de mise en page,le bac 1 a été représenté de petites dimensions.En fait, le fonctionnement du dispositif selon l'invention est le même,dans son principe,quelles que soient les dimensions du bac et des pièces traitées. Le dispositif selon l'invention se compose,essentiellement, d'un premier élément 10, dit de réduction-ouverture,et d'un deuxième élément 30,dit de commande.Dans le premier élément 10, on distingue un cylindre 11 dans lequel se meut un piston 12. Le cylindre 11 comprend un corps 111 sur lequel sont fixés, par exemple par vissage comme il est dessiné sur la figure 1, ou bien encore par collage,deux embouts cannelés 112 et 113.L'embout 112 se trouve du côté du sommet du cylindre 11;11 présente,dans sa partie axiale,une tubulure 13 qui est la tubulure de départ du réseau d'utilisation que constitue le bac 1.Un tuyau de liaison 14, fixé sur la tubulure 13, pénètre dans le compartiment 3 du bac 1. L'embout 113 est placé du côté de la base du cylindre 11;il présente,dans sa partie axiale,une tubulure 15,qui est reliée au réseau d'alimentation en eau par le tuyau 16. Il est à noter que l'embout 113 et le tuyau 16 ne sont pas toujours nécessaires.On pourrait en effet prévoir de visser directement le corps 111 sur le bout fileté d'un robinet d'alimentation. Le piston 12 comprend deux parties distinctes - une première partie 121, ou tête de piston,placée dans le cylindre 11 du côté du réseau d'alimentation, - et une deuxième partie 122,ou queue de piston,prolongeant immédiatement ladite première partie 121 et de relativement faible section par rapport à cette première partie,ces deux parties, 121 et 122,coulissant dans de s vo des volumes-respectivement,premier volu- me 11A et deuxième volume 11B-de section correspondante dudit cylindre 11. La tête 121 de piston,sur sa face tournée vers l'embout 112 est chanfreinée,ce qui détermine sur cette face deux espaces - un espace médian 1211 qui, lorsque le piston 12 vient buter contre l'embout 112,peut s'appliquer étroitement contre l'espace en regard de cet embout et obturer la tubulure 13. - un espace périphérique 1212, correspondant à la surface chanfreinée. Le contact entre la tête 121 du piston 12 et l'embout 112 du cylindre 11 ne peut donc avoir lieu que sur une fraction des espaces en regard de ladite tête et dudit embout, fraction englobant l'entrée de la tubulure 13. D'autre part, le premier volume 11A du cylindre 11, dans lequel coulisse la tête 121 de piston 12, est prolongé, derrière cette tête par rapport au réseau d'utilisation, par un autre volume 11C, ou troisième volume, qui forme une chambre à laquelle est raccordée, par un embout cannelé 114, un conduit 17 assurant une liaison hydraulique entre lesdits premier élément 10 et second élément 11. Le volume lîC est déterminé, en partie, par une creusure 18 faite dans le corps 111 du cylindre 11 et qui forme un anneau autour du volume 11B. Le volume llC est variable selon que le piston 12 est en contact de l'embout 112 ou de la butée 19 que forme l'extrémité de la creusure 18. Ledit volume llC n'est pas totalement isolé dans l'élément 10. I1 communique avec les réseaux d'alimentation et d'utilisation, par les espaces très étroits laissés entre le piston 12 et le corps de cylindre 111 afin de permettre un coulissement normal dudit piston 12. Le piston 12 est caractérisé, par ailleurs, en ce qu'il comporte au moins une voie interne assurant, aux instants convenables, une communication entre lesdits réseaux d'alimentation et d'utilisation. Dans le cas de la figure 1, il apparaît deux voies internes principales 20 et 21 divergeant symétriquement par rapport à l'axe du piston à partir d'un tronc commun 22. Ces deux voies débouchent en surface de la tête 121 du piston 12 dans l'espace périphérique 1212, c'est-à-dire en dehors de l'espace médian 1211 prévu pour le contact piston 12 - cylindre 11. Une autre voie de communication 23, de section inférieure à celle des voies 20 et 21 précitées, débouche en surface de la tête 121 du piston 12, dans l'espace médian 1211, en regard de la tubulure 13 de départ du réseau d'utilisation. Les voies 20 et 21 assurent l'écoulement de l'eau à plein débit dans le bac 1 lorsque les pièces sont en cours de lavage dans ce bac; la voie 23 garantit le passage d'un débit réduit aux instants où le bac 1 est vide de pièces. Dans le cas d'une alimentation en tout ou rien, il n'est pas perce de voie 23. Le tronc commun 22 à partir duquel naissent les voies 20, 21 et 23 a une section supérieure à chacune de ces dernières. I1 s'étend, au moins en partie, à l'intérieur de la queue 122 du piston 12 et débouche en regard de l'embout 113, sur lequel est raccordé le réseau d'alimentation. Le second élément 30 est un interrupteur dont le rôle consiste soit à ouvrir soit à fermer le conduit 27 selon que l'on désire que le bac soit alimenté à fort ou à faible débit. Dans une forme simple, mais non limitative, de réalisation de l'élément 30, qui permet l'automatisme de son ouverture ou de sa fermeture en liaison avec la présence ou non de pieces dans le bac 1, ledit élément 30 revêt l'aspect d'une pince comportant deux branches parallélépipédiques 31 et 32 articulées à une extrémité de l'assemblage autour d'un axe 33, un ressort. 34 exerçant un effort dans le sens de la fermeture de la pince. Dans la branche 32 est logé un pointeau 35 pouvant s'ajuster sur l'entrée d'un embout cannelé 36 traversant la branche 31. Sur l'embout 36 est emmanchée une extrémité du conduit 17 assurant la liaison hydraulique recherchée entre les premier et second élé- ments 10 et 30. L'élément, ou pince, 30 est fixé sur une paroi du bac 1, par sa branche 31, le systeme de fixation étant, par exemple une vis 37. La branche 32 est solidaire, par un câble ou par une tige raide 38, que symbolise un simple trait, d'un support 39 reposant sur des cales 40 et 41 disposées au fond du bac 1. Le câble ou la tige 38 est fixé près d'une extrémité du support 39, celle voisine de la cale 41. Les pièces à nettoyer, rangées dans des paniers ou sur des clayettes (non représentés sur la figure), sont placées sur le support 39. Celui-ci repose alors, sensiblement horizontal, sur les cales 40 et 41 et la pince 30 est en position ouverte, ce qui entraîne l'ouverture du conduit 17. Lorsqu'on enlève la charge du support 39 celui-ci s'incline en pivotant sur la cale 40, obéissant au mouvement vers la fermeture qu'imprime alors le ressort 34 à la branche 32 de la pince. I1 faut, bien sûr, que le ressort 34 ait une force supérieure à celle qu'exerce la pesanteur sur l'équipage mobile. Le conduit 27 est alors fermé par l'ensemble pointeau 35 - embout 36. Le second élément 30 a été représenté immergé dans l'eau du bac 1. On pourrait l'extraire du bac; le fonctionnement du dispositif resterait le même. Avantageusement, le dispositif décrit peut être réalisé entièrement en des matériaux plastiques, excluant ainsi la présence de tout élément métallique susceptible de polluer l'eau de rinçage. Par exemple, le corps de cylindre 111, le piston 12, les branches 31 et 32 de la pince,l'axe 33 de cette pince et le pointeau 35, sont usinés dans du chlorure de polyvinyle; les différents embouts cannelés sont faits en nylon ou bien encore en chlorure de polyvinyle selon les cas. Le ressort 34 est découpé dans du tube de chlorure de polyvinyle nuance dur, sans plastifiant, ceci afin que ledit ressort conserve son élasticité dans le temps; le diamètre et l'épaisseur du tube sont choisis en fonction de la force elastique exigée du ressort. L'étanchéité entre les pièces constitutives du cylindre est obtenue à l'aide d'une colle plastique chimiquement neutre. On se reporte maintenant, en plus de la figure 1, aux figures 2 et 3 tracées pour faciliter la compréhension du mode de fonctionnement du dispositif selon l'invention. On retrouve,sur ces figures 2 et 3, le tracé schématisé du premier élément 10 du dispositif, les pièces et parties correspondantes étant affectées des mêmes repères sur les trois figures 1, 2 et 3. La figure 2 illustre un premier état - état entraînant la réduction du débit - des deux états possibles du premier élément 10, premier état pour lequel le piston 12 est appliqué contre l'embout 112. La figure 3 illustre le deuxième état - état entraînant le passage du plein débit - du premier élément 10, pour lequel le piston 12,est appuyé sur la butée 19. On convient de désigner par S, la section transversale maximum de la tête 121 du piston 12, la la section transversale de la queue du piston 12, la la section de l'espace médian 1211 du contact piston-cylindre, S3, la section de la tubulure de départ 13, P, la pression de l'eau à l'entrée de la tubulure 15, AP1, la perte de charge dans la tubulure 13 et le tuyau 14, AP2, la perte de charge totale dans les voies 20, 21 et le tronc commun 22, F, la force qui s'exerce sur le piston 12 côté alimentation, f, la force qui s'exerce sur le piston 12 côté utilisation. F et f sont considérés parallèlement à l'axe du piston et du cylindre. Le piston étant placé comme il est montré sur la figure 2, cela signifie que le second élément 30 est en position fermée (pas de pièces en cours de lavage dans le bac 1, support 39 incliné). On notera que le volume llC formant ladite chambre est alors à son maximum. Le mouvement de l'eau est nul dans les conduits 17, 20 et 21 ; la perte de charge dans ces conduits est nulle et la pression y est sensiblement égale à P, comme d'ailleurs dans le volume 11C et dans le volume annulaire limité par le cylindre 11 et l'espace périphérique 1212. F = PS f = P(S s2) + AP1. 53 Il est clair que F est supérieure à f et le piston 12 agit alors comme un simple clapet, restant plaqué contre l'embout 112. Lorsque l'on dispose des pièces sur le plateau 39, celuici vient reposer sur la cale 41 ce qui entraîne l'ouverture de l'élément 30 et celle du conduit 17. I1 se produit alors une décompression dans la chambre 11C. Dans la mesure où la perte de charge dans les espaces interstitiels de glissement entre le piston 12 et le corps 111 du cylindre 11 est forte par rapport à la perte de charge dans le circuit du conduit 17 (embouts 114 et 36, tuyau 17) cette décompression est quasi totale et la pression dans la chambre 11C devient sensiblement égale à la pression atmosphérique; elle est alors, à peu de chose près, la même que celle présente aux extrémités inférieures du conduit 17 et du tuyau 14. Très peu après l'ouverture du conduit 17, on a F = Psl f = P (S - s2) + #P1-s3 F - f = Ps1 - PS + Ps2 - AP1.s3 F - f = P(s1 + S2 - S) - AP1.s3 Si S > sl + s2, F - f est, à coup sûr, négatif, et le piston 12 décolle de l'embout 112. A partir de cet instant-là, l'eau circule dans les voies 20 et 21 ce qui contribue au recul du piston et un nouveau régime d'équilibre s'établit auquel correspondent les équations suivantes: F = Psl = (AP1 + AP2) s f = AP S F - f = (AP1 + AP2) sl - AU1 S Pour un AP1 donné, en faisant S suffisamment grand et AP2 suffisamment petit, on obtient que F - f soit négatif, auquel cas le piston 12 se meut en direction de l'embout 113 et vient se placer contre la butée 19. Dans le cas où, par exemple, AP2 serait trop important, ce qui correspondrait à des sections trop faibles des voies 20 et 21, le piston pourrait osciller dans le cylindre entre ses deux positions stables extrêmes. Pour un dispositif ne comportant pas de voie à débit réduit 23, les équations sont les mêmes que ci-dessus, sauf qu'il faut y supprimer le terme AP1 53 Ces équations ne pretendent pas à une rigueur parfaite, en ce sens, notamment, que les valeurs des pressions retenues ne sont pas toujours celles des pressions-réellement mises en jeu. Cependant, ces équations ont le mérite de donner une image simple et exploitable du mode de fonctionnement du dispositif. I1 va de soi que la fixation précise, dans chaque cas particulier, des valeurs dimensionnelles absolues et relatives, celles des sections des différentes voies par exemple, est liée à des essais pratiques. A titre indicatif, il est donné ci-après quelques chiffres concernant un dispositif construit par la Demanderesse et destiné à contrôler le débit dans une installation de rinçage de pièces détachées pour composants semiconducteurs. La tête 121 et la queue 122 du piston 12 ont, respectivement, un diamètre de 24 mm et de 12 mm. Les diamètres intérieurs des différents embouts 112, 113 et 114 sont, respectivement, de 5,5 mm, 7 mm et 2,5 mm pour des longueurs de 32 mm (embouts 112 et 113) et de 18 mm (embout 114). Les voies 21 et 22 ont un diamètre de 3,5 mm. Celui de la voie 23 est de 1 mm et celui du tronc commun 22 de 7 mm. Le jeu laissé entre la tête 121 et la queue 122 du piston d'une part, le corps 111 du cylindre d'autre part, se situe entre 0,08 et 0,12 mm. Tel que dimensionné, ce dispositif assure le passage d'un courant d'eau de l'ordre de 6 1/mon à plein débit, et de l'ordre de 0,6 1/mon à débit réduit. Son fonctionnement s'est avéré correct pour des pressions d'alimentation en eau se situant dans la plage de 1 à 6 bars. On se reporte maintenant à la figure 4, sur laquelle est représentée, de façon schématique, une installation de lavage comportant par exemple trois bacs 100, 101 et 102, disposés en cascade, l'alimentation en eau de ces bacs étant assurée à travers un seul élément ouverture-réduction 10 tel que celui de la figure 1. Par contre, on compte autant d'éléments de commande 300, 301, 302, semblables à l'élément 30 de la figure 1, que de bacs de lavage. Le conduit principal 17 de liaison entre l'élément 10 et les élé- ments 300, 301 et 302, est divisé, après sa sortie de l'élément 10 et à travers un dispositif diviseur convenable 42, en trois conduits secondaires 170, 171, 172 qui aboutissent aux éléments 300, 301 et 302. Selon le processus classique adopté pour les lavages, les pièces séjournent successivement dans les bacs 102, puis 101, et enfin 100. Le système de commande à trois éléments 302, 301 et 300, permet d'obtenir que le plein débit d'alimentation en eau ne soit coupé que lorsque tous les bacs sont vides de pièces. Dans le cas représenté sur la figure 4, les bacs 100 et 101 sont vides de pieces, tandis que des pièces, figurées par la charge 43, reposent sur le support 39 du bac 102. Les éléments 300 et 301 sont donc fermés, tandis que l'élément 302 est ouvert. Le débit de l'eau d'alimentation est maximum. Dans une forme voisine de réalisation de l'installation de la figure 4, il est à noter que l'on pourrait prévoir un élément 10 muni de trois embouts 114, ces trois embouts débouchant dans la chambre 11C. Les conduits 170, 171 et 172 seraient rejoints directement à l'élément 10 et le diviseur 42 serait alors inutile. La simplicité d'installation du dispositif selon l'invention, jointe à sa facilité de réalisation, qui apparaissent clairement au vu de la figure 1, en font un appareillage particulièrement économique, surtout dans la forme de mise en oeuvre présentée sur la figure 4. - REVENDICATIONS 1.- Dispositif permettant de faire varier, selon le besoin, le débit d'un fluide liquide dans une canalisation, ledit dispositif se composant, essentiellement, d'un premier élément dit de réduction-ouverture, disposé en série sur ladite canalisation, puis d'un second élément, dit de commande, pouvant occuper deux positions, à chacune de ces positions correspondant un état particulier -réduction ou ouverture- dudit premier élément, caractérisé -en ce que ledit premier élément comporte un cylindre dans lequel se meut un piston, ledit cylindre étant relié sur ses faces opposées par rapport à la direction de translation dudit piston, côté sommet au réseau d'utilisation en fluide et côté base au réseau d'alimentation, -en ce que, par ailleurs, ledit piston comporte une voie interne au moins, assurant, aux instants convenables, une communication entre lesdits réseaux d'alimentation et d'utilisation, -et en ce que ledit cylindre et ledit piston sont conformés de façon telle qu'ils déterminent entre eux une chambre partiellement isolée desdits réseaux d'alimentation et d'utilisation, chambre à laquelle est raccordé un conduit assurant une liaison hydraulique entre lesdits premier et second éléments. 2.- Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit piston est fait tel que l'on y distingue deux parties, une première partie, ou tête de piston, placée dans le cylindre côté du réseau d'utilisation, et une deuxième partie, ou queue de piston, prolongeant immédiatament ladite première partie et de relativement faible section par rapport à cette première partie, les deux parties coulissant dans des volumes -respectivement premier et deuxième volumes- de section correspondante dudit cylindre. 3.- Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que ledit premier volume dans lequel coulisse la tête de piston est prolongé derrière cette tête par rapport au réseau d'utilisation, par un autre volume, ou troisième volume, isolé partiellement du deuxième volume dans lequel coulisse la queue du piston, et qui forme, en partie, ladite chambre. 4.- Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que, à un stade du fonctionnement, la tête du piston étant alors en contact avec le sommet du cylindre sur lequel débouche une tubulure de départ du réseau d'utilisation, ledit contact a lieu seulement sur une fraction des espaces en regard de ladite tête et dudit sommet, fraction englobant l'entrée de ladite tubulure. 5.- Dispositif selon l'ensemble des revendications 1 et 4, caractérisé en ce que ladite voie interne au piston assurant la communication entre les réseaux d'alimentation et d'utilisation, débouche sur la face dudit piston tournée vers ledit sommet du cylindre en dehors de l'espace réservé au contact piston-cylindre. 6.- Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit piston comporte une autre voie interne de communication au moins, de section inférieure à celle de la voie précitée, qui débouche en regard de ladite tubulure de départ du réseau d'utilisation. 7.- Dispositif selon l'ensemble des revendications 5 et 6, caractérisé en ce que lesdites voies de communication ont un tronc commun, de section supérieure à celle de chacune d'elles, qui s'étend, au moins en partie, à l'intérieur de la queue dudit piston et qui débouche en regard de la base du cylindre où se trouve une tubulure reliant ledit cylindre au réseau d'alimentation. 8.- Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que, d'une part les espaces interstitiels de glissement entre ledit piston et ledit cylindre, d'autre part le circuit dudit conduit assurant la liaison hydraulique entre lesdits premier et second éléments, ont des dimensions choisies telles, que la perte de charge dans lesdits espaces est forte par rapport à la perte de charge dans ledit circuit. 9.- Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit second élément est un interrupteur hydraulique capable d'ouvrir et d'obturer ledit conduit. 10.- Dispositif selon les revendications 1 et 9, caractérisé en ce que ledit conduit est divisé en au moins deux conduits secondaires, un interrupteur hydraulique étant placé en série dans chacun de ces conduits secondaires. 11.- Dispositif selon l'une des revendications 9 et 10, caractérisé en ce que ledit interrupteur consiste en une pince sur une branche de laquelle est fixée une tubulure raccordée par sa sortie audit conduit et dans l'autre branche de laquelle est logé un pointeau capable de s'ajuster étroitement sur l'entrée de ladite tubulure, la fermeture de la pince étant assurée par un ressort en l'absence d'effort exercé sur l'une desdites branches. 12.- Appareillage prévu pour le nettoyage de pièces et comportant au moins un bac de lavage alimenté en fluide de lavage par l'intermédiaire d'un premier élément selon l'ensemble des revendications 1 à 8 que commande un second élément selon la revendication 11, caractérisé en ce que ladite pince est liée mécaniquement par sa branche mobile portant ledit pointeau, l'autre branche étant fixe, à un support disposé au fond dudit bac et reposant sur deux cales, lequel support reçoit les pièces à nettoyer et peut occuper deux positions, l'une sensiblement horizontale, en appui sur les deux cales lorsque des pièces y sont déposées, ce qui entraîne, par l'intermédiaire de ladite liaison mécanique, l'ouverture de ladite pince, l'autre, inclinée, en appui sur une seule cale lorsque la charge est nulle, cette dernière position correspondant à la fermeture de la pince sous l'effet dudit ressort.