Brevet FR2445512A1 — publié le 19800725

L'invention concerne un dispositif optique de détection d'écart de position, destiné plus spécialement au maintien de la mise au point dans un appareil de projection de motifs tel que le photorépéteur et au maintien d'un grandissement constant dans un appareil de masquage électronique. Dans de nombreuses applications, on cherche à conserver dans un plan déterminé une surface S théoriquement plane pendant que l'on Inscrit des motifs sur cette surface au moyen notamment d'un faisceau lumineux ou d'un faisceau d'électrons, tandis que la surface se déplace selon deux directions perpendiculaires, de façon à obtenir un traCé de motifs, avec éventuellement répétition. Dans les systèmes optiques de projection de motifs du type photorépéteur, il est prévu un asservissement de mise au point agissant sur le porte-cbjecbif en vue de maintenir constante la distance entre 11 objectif et la zone insolée de la surface Cet asservissement est décrit dans la demande de brevet français déposée par la demanderesse sous le numéro 76 34 9 Les moyens d'asservissement comprennent des moyens élastiques à l'état de contrainte tendant à éloigner l1objectif de la surface, et des barres piézoélectriques commandées électriquement par le signal d'erreur, tendant à contrecarrer plus ou moins l'effet des moyens élastiques.Les signaux de commande des barres piézoélectriques proviennent de senseurs pneumatiques associés à l'obJectif. Dans les appareils de masquage électronique, la tolérance sur la mise au point est plus grande que pour les photorépéteurs. Par contre, le mode de maintien de la plaque à isoler ne comportant pas d'aspiration, comme dans les photorépéteurs en général, les défauts de planéité de la surface sont plus importants et entraient des variations dans les dimensions de l'image inscrite. Les moyens utilisés dans les photorépéteurs ne conviennent pas, la présence de senseurs pneumatiques étant difficile à réaliser à cause de contraintes de vide exigées par tout dispositif à électrons. Dans le cas de photorépéteurs, les moyens utilisés présentent des inconvénients dûs au fait que les moyens élastiques d'une part et les barres piézoélectriques d'autre part imposent à la surface des contraintes mécaniques en permanence et peuvent être sensibles aux différences de Nem.pérature L'invention permet de remédier aux inconvénients cités par un dispositif convenant aux deux types de systèmes décrits et ayant une sensibilité au moins aussi grande que les moyens d'asservissement connus. Selon l'invention les moyens capteurs détectant les écarts de position ne sont pas liés avec les éventuels moyens mécaniques agissant sur la surface pour corriger ces erreurs. Le dispositif ne perturbe donc pas la surface ni mécaniquement, ni chimiquement.Il s'agit d'un dispositif optique dont les éléments sont disposés de telle sorte qu'ils laissent toute la place nécessaire aux éléments principaux de l'appareil, qu'il s'agisse d'une optique classique ou électronique. Selon un mode préféré de réalisation, le dispositif selon l'invention comprend des moyens de projection,sur une zone donnée de la surface dont on désire détecter la position par rapport à un plan de référence, d'un faisceau de lumière rasante et de moyens de détection situés sur le trajet du faisceau réfléchi par la surface permettant la mesure du déplacement de la tâche de diffraction produite sur un plan donné, ce déplacement étant, dans une certaine gamme, proportionnel à l'erreur de position, l'influence des défauts de planéité étant négligeable.Les signaux délivrés par les moyens de détection peuvent servir à corriger la position de la surface. Dans les systèmes d'inscription par faisceau d'électrons, ils peuvent être utilisés pour faire varier l'angle de déflexion du faisceau afin de l'adapter à la distance entre la surface et l'optique électronique. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention appa paîtront dans la description ci-après, en relation avec les figures annexées - La figure l représente un dispositif de mesure d'écart par rapport à un plan de référence, utilisé dans l'invention. - La figure 2 est un schéma explicatif. - La figure 3 représente une variante des moyens détecteurs. - La figure 4 est un schéma explicatif. - Les figures 5, 6, 7 représentent trois exemples d'application de l'invention. Le problème se pose, dans les asservissements de position, de mesurer en un point ou une zone prédéterminée l'écart d'une surface S par rapport à un plan de référence S0. La surface S peut présenter des défauts de planéité qui se traduisent localement d'une part par un écart z, pris dans une direction Z perpendiculaire à S0, entre un point I sur le plan S0 et la surface S, d'autre part, par un écart angulairecr de la tangente à la surface S dans la zone concernée par rapport au plan S0. La grandeur que lton désire mesurer est l'écart z, quelque soit la valeur de l'angle eî, de façon par exemple à ramener un point de la surface S au point I, par une boucle de rétroaction, sans chercher à faire coïncider les surfaces S et S0 aux alentours du point I. Le dispositif de mesure de l'écart z visé dans la présente invention est représenté sur la figure l dans le cas Où la surface S coSncide parfaitement avec un plan de référence prédéterminé So (z = 0, ti o). il comprend une source l, de préférence un laser délivrant un faisceau 2 qui est focalisé en un point I prédéterminé du plan S0 grâce à un système de lentilles Bla L2 et un miroir de renvoi M.La surface S est réfléchissante, du moins partiellement, et le faisceau 2 se réfléchit en un faisceau 4 vers une lentille LD, par exemple une lentille cylindrique et est renvoyé par un miroir N vers des moyens photodétecteurs 3. La surface S est éclairée en lumière rasante : l'angle d'incidence #est supérieur à 800. La lentille L5 permet au photodétecteur de recueillir l'image de la tache de diffraction de centre I produite par le faisceau 2 sur la surface S, avec un grandissement G. La tache de diffraction de centre I a des dimensions qui dépendent de l'ouverture numérique de la lentille L2. Dans le cas où la lentille L2 est cylindrique, elle aura une forme de trait. La largeur de la tache de diffraction dans le plan de la face d'entrée du détecteur 3 est donc égale au produit de la largeur de la tache en I par le grandissement G. La figure 2 reprend, de façon simplifiée, le schéma de la figure l, en supprimant le miroir N, ainsi que les éléments situés en amont de la lentille L2, qui reçoit donc un faisceau parallèle 2. Sur la figure sont représentées deux positions possibles pour la surface S. Les implifications introduites par rapport à la figure l permettent de voir les conséquences qui résultent d'un déplacement de cette surface pour le > réfléchi k. Les traits pleins correspondent au cas de la figure i, où S est confondu avec le plan de référence Les traits pointillés correspondent au cas où la surface 3 est en position Sb parallèle à S, et est distante de SO d'une grandeur z.Dans le premier cas, le faisceau 2 qui se focalise sur le plan SO en I, est réfléchi en un faisceau ka dont l'axe passe par le centre de la lentille L3 et qui se focalise en une tache de centre J,a située sur un plan P sur lequel se situerait la face d'entrée du détecteur 3 représenté sur la figure l, en l'absence du miroir N. Dans le deuxième cas, le faisceau 2 focalisé en I, se réfléchit sur la surface Sb en un faisceau 4b dont l'axe ne passe plus par le centre de la lentille L5 et qui se focalise en un point B, image par rapport à la lentille L3 d'un point A, lut-même image par rapport à la surface Sb du point I.Le faisceau 4b forme sur le plan P une tâche dont le centre Jb est distant du centre Ja d'une grandeur d. On montre facilement que d = 2Gz sin #, a #étant l'angle d'incidence du faisceau 2 par rapport au plan SO et G le grandissement apporté par la lentille L3 entre les points I et Ja. a On voit que d est d'autant plus grand que l'angle et le grandissement G sont grands.D'autre part, on peut montrer que le décalage h entre les deux plansimage est égal à 2 G2 z cos o# , donc d'autant plus faible que l'angle est grand, et que l'élargissement de l'image en est égal à # = 2 G z cos# où f est la distance focale de la (G + 1) f lentille L. A titre indicatif, le dispositif peut être réalisé avec une lentille L3 de grandissement G = 10 et de distance focale f = 5 cm, avec un faisceau 2 d'angle d'incidence 800. On obtient alors d = 20 z ; h = 50 z et = 0,05 z. On peut remarquer que le décalage h est très faible par rapport à la distance entre la lentille L5 et le plan P et qu'il conduit à un élargissement d'image négligeable par rapport au déplacement d'image d. De plus, si la lentille L3 a un diamètre de i cm, son ouverture numérique est alors égale à 0,1 et, pour un faisceau 2 de longueur d'onde 800 nm, la largeur de la tache de centre I est alors 8 /um, et celle de la tâche de centre J, a est 80 /u!fl. Pour un écart z de l /um, on a donc d = 20 /um, h = 50 /um, E =0,05 /um à comparer avec la largeur de tache de 80 /um. Le déplacement d est égal au quart de la largeur de la tache. Pour détecter un tel déplacement, on peu utiliser comme moyen photodêtecteur une phociodiode à du: secteurs dont le plan de séparation est centre sur la meolne de la tacle au point image de J par rapport au miroir Y.On peut aussi, comme illustré sur la figure j, utiliser deux photodiodes Si et 52 recueillant chacune une partie du faisceau 4 séparé en deux faisceaux 41 et 42 par un miroir 40 en forme de dièdre dont l'arête coTncide avec l'axe du faisceau dans sa situation 4a.Les signaux S1 et s2 délivrés par les Ceux photodiodes ( ou de fanon équivalente par les deux secteurs d'une photodiode à secteurs) sont égaux quand l'écart z est nul. Pour un écart z non nul, ils ont entre eux une différence s proportionnelle à la différence d'intensité lumineuse entre les deux parties du faisceau. Pour de faibles valeurs du déplacement, l'expérience montre que l'on peut considérer que la différence s est proportionnelle à la valeur de l'écart z. Le dispositif décrit est destiné à faire partie d'une boucle d'asservissement visant à faire coïncider un point de la surface S avec le point I du plan SO. A cet effet, il faut qu'il soit sensible à un décalage z, quelque soit le décalage angulaire J entre la surface S et le plan SO, du moins si ce décalage angulaire reste inférieur à une certaine limite que l'on pourra déterminer expérimentalement ou théoriqllement. La figure k permet de juger les effets éventuels d'un décalage angulaire cumule avec un décalage z, sur le déplacement de la tache de diffraction dans le plan P. La position 5b de la surface S lorsqu'elle est parallèle à SO et le faisceau réfléchi 4b correspondant sont représentés en traits pleins. La position Sc de la surface S lorsqu'elle fait, avec le plan 5o un angle dr et le faisceau 4 c correspondant qui produit sur le plan P une tache de centre JO sont représentés en en pointillés. L'existence de l'angle conduit à une modification du déplacement de la tache de diffraction sur le plan P. Cette modification est d'autant plus importante que l'écart z est grand. Lorsque z = 0, il n'y a pas de déplacement de la tache. Quelque soit l'angle de la surface S en I, l'image de la tache de centre I reste une tache de centre Ja. D'autre part, on peut démontrer et vérifier expérimentalement que la contribution de l'angle # au déplacement de la tache sur le plan P est du deuxième ordre par rapport à la contribution de z. Ainsi, si cr est faible par rapport à l'angle 2 cet angle étant lui-mtme inférieur a 2t3 environ, l'influence de Or peut être néglizee Par ailleurs, pour que les aberrations sphériques, dûtes au décentrement du faisceau 4 lorsque z est différent de 0, puissent être négligées, il faut que z reste inférieur à une certaine limite. Enfin, lorsqu'on réalise une boucle d'asservissement de position, la valeur de z tend à diminuer et plus la surface S se rapporche du plan SO, moins l'influence de Crdevient sensible et lorsque a atteint le plan de référence, erntintervient plus.Toutes ces remarques permettent dans les applications envisagées de ne considérer que les écarts z et de ne pas tenir compte des écarts or. La figure 5 illustre un exemple d'application du dispositif de détection d'éca.rt à 12 asservissement de focalisation d'un appareil optique de projection de motifs. Un tel appareil est décrit: notamment dans les demandes de brevet français déposées par la demanderesse sous les numéros 76e4 914 et 77 il 910. Ses principaux éléments, représentés sur la figure 5, sont une source 5 délivrant un faisceau 13, éclairant par l'intermédiaire d'un condenseur 8 un objet 6 qui est un masque, c 'est-a-dire une plaque dont la variation de transparence forme un motif, et qui est porté par un porte-objet 7. Le motif est destiné à être reproduit, et éventuellement répété selon une disposition en lignes et en colonnes, sur une plaque 9 recouverte d'une résine photosensible 10. Un objectif il porté par un porte objectif 12 forme sur une zone de la plaque 9 l'image de l'objet 6. En fonction de la transparence variable de l'objet, la couche photosensible 10 est impressionnée avec une énergie variable selon le motif.Afin d'obtenir la répétition, l'objet 9 est porté par une table 13 déplaçable pas à pas dans son plan, selon deux directions perpendiculaires X et Y grâce à deux moteurs Mx et My La plaque 9 peut être maintenue sur la table 13 par un dispositif d'aspiration non représenté. Elle peut Aetre en verre, métal ou diélectrique et constituer un masque destiné ultérieurement au report en vraie grandeur sur un substrat semiconducteur. Elle peut être elle-même un semi-conducteur, recouvert d'une couche isolante sous-jacente à la couche photosensible 10, par exemple du silicium recouvert de silice.Un réglage de mise au point étant effectué avant les opérations de transfert, il est indispens#le de mantenk ce réglage autant talLe l'orm.don afin que la mise autant soi assurée pour chaque nouvelle zone im- pressionnée, malgré les défauts de planéité de la plaque 9 et les variations d'épaisseur de la couche 10. A cet effet, le dispositif de la figure 1 est associé à l'appareil de projection. Le faisceau 2, dont la longueur d'onde est choisie en dehors du spectre de sensibilité de la résine, est focalisé dans la zone en cours d'impression, le point I étant à la surface de la couche 10, lorsque la mise au point est réalisée.Du fait de l'incidence rasante du faisceau 2, les différents éléments du dispositif peuvent être inclus dans l'appareil complet sans gêner le passage du faisceau 13. Le photodétecteur3 délivre deux signaux si et t dont on a vu que la différence s caractérise l'écart z entre la surface S, dans la zone d'impression, et le plan SO correspondant à une mise au point effective. Des moyens d1exploitation de ces signaux sont représentés à titre d'exemple sur la figure.Les signaux sl et s2 sont apliqués à un amplificateur différentiel 14 dont la sortie est reliée à un amplificateur de puissance 15 qui délivre un signal d'erreur à un troisième moteur Mz agissant, comme les moteurs MX et My sur la table 13, mais dans une direction Z perpendiculaire aux directions X et Y, c'est-à-dire parallèle à l'axe de projection.Grâce au moteur Mz, la surface S est ramenée, avant l'impression de chaque nouvelle zone, dans le plan de référence SO. ta boucle d'asservissement décrite ici à l'occasion de l'application à la mise au point d'un appareil de projection peut être utilisée dans n1 importe quel autre type d'appareil pour toujours ramener une surface S dans un plan de référence, du moins dans une zone donnée. Dans un appareil de projection tel que celui de la figure 5, le but est de réaliser une mise au point toujours correcte, donc de maintenir constante la distance entre l'objet à insoler et l'objectif. Au lieu d'obtenir ce résultat par un asservissement de la position de l'objet, comme décrit précédemment, on peut aussi réaliser un asservissement semblable sur l'objectif, le plan de référence SO n'étant alors plus fixe, mais lié à l'objectif, à une distance prédéterminée de la pupille de sortie de celuici. Dans ce cas, l'ensemble du dispositif optique de détection doit être lié à l'objectif de façon que tout déplacement de celui-ci entraîne un déplacement identique du plan SO et plus particulièrement du point I.Un asservissernt agissant -sur l'objectif est employé par exemple dans l'appareil de projection de motifs à grandissement constant décrit dans la demande de brevet français n0 77 17 910 déposée par la deman- deresse. Une partie de l'appareil de projection ainsi que le dispositif de détection d'erreur associé et les boucles d'asservissement, sont représentés sur la figure 6. L'objectif il et tous les éléments du dispositif de détection sont solidaires d'un me chariot lOO représenté de façon symbolique et dont le mouvement est commandé par le moteur 8 . Le porte-objet 7 est solidaire d'un deuxième chariot 102.L'écartement des deux chariots peut être réglé par des moyens intercalaires 101. Au cours d'une même opération de transfert, cet écartement est invariable, donc le porte-objet se déplace selon l'axe Z de la même quantité que l'objectif. Avant le début d'une opération de transfert, la distance objet-objectif et la distance objectif-plaque 9 sont réglées grossièrement par déplacement du chariot 100 et action sur les moyens intercalaires 101. La construction de l'appareil est prévue pour que, lorsque la distance objectif-plaque est à peu près réglée, le point de focalisation I du faisceau 2 se trouve à peu près à la surface de la plaque 9.Un reglage plus fin de la position du point I par rapport à la plaque 9 peut-être obtenu par rotation du miroir M, comme le montre la flèche m. Pour cela, le miroir M est monté sur un support 103 qui possède un axe de pivotement perpendiculaire au plan de la figure, par exemple parallèle à Y, par rapport au chariot 100. Lorsque le miroir M pivote, le point I se déplace dans le plan XZ. La position en X n'est pas critique, pourvu que le point I se trouve à proximité de la zone insolée et on peut ainsi régler la position en Z. Un autre réglage est nécessaire, celui du photodétecteur 3 dont l'axe doit se trouver rigoureusement confondu avec l'axe du faisceau 4, lorsque la mise au point est effectuée. C'est le centrage de la courbe de détection. Pour permettre ce réglage, dans le cas d'une photodiode à secteurs, celle-ci est montée dans un support 104 qui possède un ou deux degrés de liberté en translation par rapport au chariot 100. Pour apprécier de façon précise le centrage, on dispose sur le trajet du faisceau 4 une lame semi-transparente 16. La partie réfléchie du faisceau est reprise par un occulaire 17 et l'image de la tâche de diffraction en I est recueillie sur un écran On peut ainsi régler la distance objectif-plaque à la valeur désirée, puis déplacer le support iok de la photodiode 5 de façon à obtenir sur ses deux sorties des signaux st et s2 égaux. L'exploitation des signaux si et s2 effectuée par la boucle d'asservissement est la suivante : les signaux sl et s2 sont appliqués à un diviseur de tension l40 dont le signal de sortie E est proportionnel à S3. est proportionnel à s . A condition que la différence sl Si soit suffisamment fa1b#e, Lest de la forme 1 L donc E - l est proportionnel à la différence sl s2 et peut commander une boucle d'asservissement linéaire comprenant l'am plîficateur 15 et le moteur Mz L'intérêt d'un diviseur de tension par rapport à un amplificateur différentiel est la suppression des effets dûs à des fluctuations d'intensité du faisceau 4 arrivant sur le photodétecteur. Ces fluctuations peuvent être dûes à des défauts de la source laser, et surtout à des irrégularités dans le pouvoir de réflexion de la plaque 9 lorsque celle-ci n'est pas vierge mais comporte des motifs déjà inscrits.Ces fluctuations interviennent lors de la détection si la différence sl - s2 n1 est pas nulle. En effet, cette différence est proportionnelle à l'intensité dans chaque partie du faisceau, donc dépend de l'intensité totale. Avec un diviseur 51 de tension, le rapport s est indépendant de l'intensité. Une autre application de l'invention est le maintien d'un grandissement constant dans un appareil de masquage électronique. Les principaux éléments d'un tel appareil sont représentés sur la figure 7. Un canon à électrons 21 dont l'anode est portée à un potentiel positif par rapport à la cathode au moyen d'une source de tension 22 délivre un faisceau 23 d'axe Z. Un condenseur 24 le fait converger vers la pupille d'entrée d'une optique électronique 25. Cette optique électronique fait converger le faisceau 23 à la surface d'une plaque 9 recouverte d'une couche 29 sensible aux électrons. Des moyens de déflexion électromagnétiques 26 se situant par exemple en aval de l'optique 25 permettent de déplacer le point d'impact du faisceau 23 sur la surface de la couche 29, en vue de réaliser un balayage dans une direction X d'amplitude OX et dans la direction perpendiculaire Y d'amplitude A Y .Des moteurs Mx nç ass;rer.t un déplacement pas à pas dans les direction X et Y ,de façon que le balayage puisse couvrir, par plages successives, toute la surface de la plaque. Un caculateur 28 commande l'extinction du faisceau 23 selon un programme pré-établi et coopère avec le balayage de la plaque de façon à former un motif. Par suite d'irrégularités de surface de la couche 29, ou du manque de planéité de la plaque 9 elle-même qui peut par exemple être bombée puisque aucun dispositif d'aspiration ne peut être utilisé pour maintenir la plaque contre la table 13, en raison du vide dans lequel est placé l'appareil, la distance ente les moyens 26 et la couche 29 peut varier. Dans ce cas, le grandisement introduit par l'appareil varie. Il est possible de réaliser un asservis- sement de position de la plaque a, comme il a été décrit pour le photorépéteur.Un autre moyen de maintenir un grandissement constant est d'agir sur l'angle de déflection. Pour cela, le dispositif selon l'invention peut être utilisé et il a été repré- senté sur la figure 6. Les signaux sl et s2 issus du photodétecteur 3 sont, comme précédemment, appliqués à un amplificateur différentiel 14 et le signal ##d'erreur s sert à commander les moyens de commande 27, qui comprennent par exemple un amplificateur à gain variable.Le gain étant prédéterminé en l'absence d'erreur de position de façon à obtenir une amplitude de déflexion prédéterminée, on fait en sorte que, pour un écart détecté z conduisant à un signal d'erreur s, la variation du gain, donc de la deflexion angulaire, soit porportionn#elle à s, donc à z.8 étant l'angle de déflexion maximal, ZO la distance entre le centre de déflexion et la surface de la couche 29 quand elle est en position correcte SO, le déplacement maximal sur SO est #X Z0#. Si ZO varie d'une grandeur z, pour conserver # X constant, il faut faire varier O d'une grandeur zz #. A titre indicatif, = 5 cm, 6 rad. Il est possible d'obtenir une variation relative du courant de commande des moyens de déflexion de l'ordre Je de lO-3, donc = des erreurs de position de l'ordre de 50 Xum, ce qui correspond à l'ordre de grandeur typique des défauts de planéité de la plaque 9. Un écart résiduel z de 50 /um conduirait, si oe n'apportait pas de cor- rection à O, à une erreur sur #X de 0,5 /um, alors que5X vaut 500/Um. , Le fait de ne pas corriger la position de la plaque 9 conduit à une erreur de mise au point mais celle-ci n'est en général pas gênante car la mise au point est moins critique que dans le cas du photorépéteur. Pour corriger cette erreur, on peut envisager de modifier le courant de commande des bobines de focalisation contenues dans l'optique 25, de la même façon qu'avec les bobines de déflexion. L'intérêt de la commande électrique par rapport à un asservissement mécanique de position réside dans sa rapidité. Tout au long du balayage, on obtient le grandissement désiré.Bien entendu, pour les éléments optiques du dispositif de mesure, il convient de choisir des caractéristiques permettant de détecter des écarts de position de 50 /um ou plus. On choisira un grandissement G moins important et une tache de diffraction plus large que dans l'exemple décrit en relation avec la figure ?. En se reportant à cette figure 2, on peut vérifier que le décentrage du faisceau 4 sur la lentille L3 pour un décalage z de tordre de 50 /um est suffisamment faible pour que l'aberration sphérique puisse être négligée. En effet, ce décentrement est égal à 2sinua ss soit 125 /um pour z = 50 /um et Ge = 800. En raison de la plus grande valeur du déplacement de la tache de diffraction dans le plan P, il convient de choisir des moyens photodétecteurs capables de mesurer un tel déplacement de façon linéaire par rapport à z. EEVEND ICA TIONS t. Dispositif optique de détection d'écart de position permettant de mettre en évidence le déplacement d'une surface par rapport au plan d'inscription d'un système d1 inscription de motifs, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de projection d'une tache de lumière monochromatique sur le plan d'inscription, des moyens collecteurs de la lumière réfléchie par la surface dont l'axe optique passe par le centre de la tache et formant l'image de la zone éclairée de la surface dans un plan de détection P avec un grandissement G, le point de rencontre de l'axe optique avec le plan P étant le conjugué du centre de la tache par rapport aux moyens collecteurs, et des moyens photodétecteurs fournissant des indications relatives au déplacem,ent de l'image sur le plan P lorsque la surface se déplace par rapport au plan d'inscription dans une direction perpendiculaIre à celui-ci. 2. Dispositif selon la revendication l, caractérisé en ce que les moyens de projection comprennent un laser délivrant un faisceau lumineux et un ensemble de lentilles et de miroirs focalisant le faisceau dans une zone prédéterminée du plan d'inscription. 3. Dispositif selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que les moyens collecteurs comprennent une lentille cylindrique. 4. Dispositif selon l'une des revendications l à 3, caractérisé en ce que les moyens détecteurs comprennent une photodiode à deux secteurs dont le plan de séparation entre les deux secteurs contient l'axe optique. 5. Dispositif selon l'une des revendications l à 3, caractérisé en ce que les moyens détecteurs comprennent un dièdre réfléchissant, dont l'arête coupe l'axe optique, partageant le faisceau réfléchi en deux parties et deux photodiodes recevant respectivement les deux parties du faisceau. 6. Système d'inscription de motifs sur une plaque comprenant une table supportant la plaque, munie de moyens de déplacement de la plaque dans son plan et des moyens de projection d'un faisceau modulé dont le plan-image d'inscription est prédéterminé, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un dispositif optique selon l'une des revendications d à 5) solidaire des moyens de projection > des moyens électriques fournissant un signal d'erreur fonction des indications fournies par les moyens photo-détecteurs et des moyens mécaniques conm#andés par ce signal d'erreur permettant de faire coïncider la zone d'inscription de la plaque et le plan d'inscription. 7. Système d'inscription selon la revendication 6, caracte- risé en ce que les moyens mécaniques agissent sur la table supportant la plaque. 8. Système d'inscription selon la revendication 6, caracte- risé en ce que les moyens mécaniques agissent sur les moyens de projection. 9. Système d'inscription de motifs selon l'une quelconque des revendications 6 à 8 comprenant une source lumineuse et un objectif projetant sur une plaque recouverte d'une couche photo- sensible l'image d'un objet interposé entre la source et i 'objec- tif, caractérisé en ce que les moyens mécaniques effectuent un asservissement de mise au point. 10. Système d'inscription de motifs permettant le trac programmé de motifs sur une plaque au moyen d'un faisceau focalisé de particules chargées, la plaque étant recouverte d'une couche sensible aux particules, et comprenant des moyens de dé flexion du faisceau permettant un balayage par lifflnes, caractérisé en ce qu'il comprend un dispositif optique selon l'une des revendica- tions 1 à 5, des moyens électriques fournissanc un signal d'erreur fonction des indications fournies par les moyens photodétecteurs et des moyens électriques reliés aux moyens de déflexion et permettant de faire varier 11 angle de déflexion en fonction du signal d'erreur de façon à maintenir sur la plaque un grandissement de motifs constant.