Brevet FR2433970A1 — publié le 19800321

Le présente invention concerne la fabrication de monocristaux, en par ticulier par tirage des monocristaux à partir d'un bain de fusion, et a notamment pour objet un dispositif de tirage d'un monocristal sur une amorce à partir d'un bain de fusion. L'invention peut être appliquée avec une efficacité maximale au tirage de monocristaux orientés de grand diamètre à partir d'un bain, par exemple de monocristaux optiques et de scintillation (chlorure de sodium, chlorure de potassium, bromure de potassium, fluorure de lithium, iodure de sodium, iodure de césium, etc.), de monocristaux semiconducteurs (germanium,silicium, solutions solides de tellurures d'étain et de plomb). Les dispositifs connus pour le tirage de monocristaux sur une amorce à partir d'un bain par la méthode de -Czochralski comprennent une chambre étanche avec des parois refroidies par eau. A l'intérieur de la chambre, dans sa partie inférieure, est placé un creuset dont l'axe vertical se confond, en règle générale, avec l'axe vertical de la chambre. Autour du creuset est placé un dispositif chauffant calorifugé. A la partie supérieure de la chambre est placée une tige verticale dont l'axe se confond avec celui du creuset. La tige traverse de manière étanche le couvercle de la chambre et peut coulisser axialement. Sur le bout inférieur de la tige est fixé un porte-amorce, et le bout supérieur de la tige est lié à un système moteur assurant sa rotation et son coulissement. Le tirage d'un monocristal s'effectue de la façon suivante. On fait fondre la matière de départ dans le creuset et on fait descendre la tige en rotation avec l'amorce jusqu a ce que celle-ci contacte le bain. Après fusion partielle du bout inférieur de l'amorce, on fait baisser la température du bain jusqu a une valeur à laquelle la fusion de l'amorce s'arrête. Ensuite on tire lentement la tige en rotation avec l'amorce; on obtient ainsi la croissance sur l'amorce d'un monocristal dont le diamètre désiré est obtenu par un réglage approprié de la température du bain. L'élaboration de monocristaux à propriétés prédéterminées et à structure cristalline parfaite requiert l'observation d'une série de conditions complexes, telles que le maintien de la stabilité et de la symétrie axiale du champ thermique dans le monocristal en cours de croissance et dans le bain I'entourant, le maintien de la forme requise du front de cristallisation, l'exécution dlun brassage énergique du bain afin que la matière en fusion lèche le front de cristallisation, le maintien de la vitesse de croissance du monocristal et de son diamètre à des valeurs stables. Quoique ces dispositifs de tirage par la méthode Czochralski, en comparaison des autres dispositifs connus pour le tirage de monocristaux à partir d'un bain, permettent d'élaborer des cristaux de meilleure qualité (structure plus parfaite, orientation cristallographique précise, distribution plus uniforme des impuretés d'addition ou de dopage, etc.), ils présentent des inconvénients consistant en ce que la symétrie axiale du champ thermique du bain remplissant le creuset est perturbée et que les possibilités de brassage du bain par le monocristal tournant en cours de croissance sont limitées.L'asymétrie du champ thermique dans le creuset peut provoquer la solidification de la matière du bain sur les parois du creuset, ce qui se traduit par une diminution de la surface libre du liquide et, par conséquent, par une diminution du diamètre du monocristal qu'il est possible de tirer à partir d'un creuset donné. En outre, l'asymétrie du champ thermique dans le bain fait apparattre des fluctuations périodiques indésirables de la vitesse de croissance du monocristal, dont la période est multiple de la période de rotation du monocristal.Par suite de l'éventualité d'un écart du centre de gravité du monocristal en cours de croissance par rapport à son axe de rotation, la vitesse de rotation de la tige avec le porte-amorce ne peut être augmentée autant qu'on le souhaiterait, ce qui limite également les possibilités de brassage du bain par le monocristal tournant en cours de croissance. On connatt aussi un dispositif (brevet américain N03865554, cl. 23-273, I975), comprenant une chambre étanche dans laquelle sont disposés coaxialement une tige porte-amorce tournante et un creuset monté sur un support solidaire dtune tige verticale traversant d'une maniere étanche le fond de la chambre suivant l'axe de celle-ci et liée à un système assurant sa rotation et placé sous le fond de la chambre. Autour du creuset et du support est disposé un dispositif chauffant calorifugé. Le tirage du monocristal est exécuté dans ces dispositifs avec rotation simultanée de la tige porte-amorce et de la tige porte-creuset, cette rotation pouvant leur être imprimée en sens contraire. De tels dispositifs assurent la symétrie axiale du champ thermique du bain dans le creuset et un brassage énergique du bain par le monocristal en cours de croissance. Toutefois, par suite de l'évacuation intense de la chaleur par la tige, la température de la partie centrale du fond du creuset est toujours plus basse que celle de sa périphérie. Il peut s' ensuivre une solidification nuisible au fond du creuset, c'est-à-dire une perturbation des conditions normales de tirage du monocristal, notamment un dégagement, au fond du creuset, de bulles de gaz qui montent à travers l'épaisseur du bain pour arriver au front de cristallisation et s'intégrer ensuite dans le monocristal. Cet inconvénient se manifeste d'une manière particulièrement sensible lors du tirage de gros monocristaux, car pour assurer la stabilité d'un creuset et dVun bain de grandes masses il faut une tige de diamètre suffisamment grand. En outre, le support du creuset constitue un écran entre la surface du fond du creuset et le dispositif chauffant. I1 en résulte une limitation des possibilités de création du champ thermique prescrit dans le bain auprès du fond du creuset. La combinaison des deux inconvénients indiqués limite notablement les possibilités de commande de la forme du front de cristallisation. Notamment, dans les dispositifs décrits, il est impossible de créer le front de cristallisation plat qui, dans la pratique, est nécessaire pour l'élaboration de monocristaux parfaits. Un inconvénient sérieux d'un tel dispositif est la pollution du bain par la matière constitupnt le creuset, du fait de la nécessité de surchauffer le bain par suite de la liaison du creuset avec la tige thermoconductrice. En outre, les dispositifs décrits sont peu fiables, car la partie supérieure de la tige portant le support du creuset et le support lui-mêse se trouvent toutprès du dispositif chauffant, ce qui entrasse leur érosion intense, leur gondolage et, en définitive, leur mise hors d'usage. On s'est donc proposé de créer un dispositif pour le tirage d'un mono- cristal sur une amorce à partir d'un bain, dans lequel la conception de la fixation du creuset et la mise en rotation du creuset pendant le tirage du monocristal seraient telles qu'elles assureraient, pour un champ thermique symétrique par rapport à son axe, la transmission sans entrave de la chaleur du dispositif chauffant à toute la surface du creuset sans surchauffe des parois du creuset, préviendraient la diminution de la température de la périphérie vers le centre du fond du creuset, et, de plus, créeraient des conditions favorables à l'obtention d'un champ thermique prédéterminé quelconque dans le bain, et previendraient le processus indésirable de dissolution de la matière du creuset dans le bain. La solution consiste en un dispositif pour le tirage d'un monocristal sur une amorce à partir d'un bain, comprenant une chambreétanchedans laquelle sont placés un creuset lié cinématiquement à un système moteur assurant sa rotation, un dispositif chauffant calorifugé ou à isolation thermique entourant le creuset, une tige montée coaxialement au creuset, portant un porte-amorce et liée à un système moteur assurant sa rotation et son coulissement vertical, dispositif dans lequel, d'après l'invention, la chaîne cinématique de liaison du creuset avec le système moteur assurant sa rotation comporte un anneau porteur sur lequel est placé le creuset pour leur rotation simultanée pendant le tirage du monocristal. La fixation du creuset sur un anneau porteur tournant supprime l'effet d'écran entre le creuset et le dispositif chauffant, provoqué par un élément intermédiaire quelconque, permet la transmission sans entrave de la chaleur à toute la surface du creuset et l'obtention dans le bain qui s'y trouve d'un champ thermique prédéterminé quelconque tout en assurant la symétrie axiale dudit champ. De la sorte, l'invention permet de commander efficacement la forme du front de cristallisation,.tout en assurant un brassage énergique du bain, c' est-à-dire de réaliser le tirage des monocristaux dans une plage étendue de régimes technologiques. En outre, la fixation du creuset sur un anneau porteur tournant permet de prévenir la pollution du bain par la matière du creuset. Simultanément, l'invention permet d'élever notablement la fiabilité du dispositif, grâce à la suppression de la solidification nuisible du bain sur le fond du creuset. I1 est important que la chaîne cinématique de liaison du creuset avec le système moteur assurant sa rotation comporte, dans la chambre étanche, un réducteur à deux étages, dont le pignon menant de premier étage est calé sur l'arbre de sortie d'un autre réducteur situé avec son système moteur en dehors de la chambre, et dont le pignon menant du second étage coopère avec l'anneau porteur pour l'entratner en rotation. Ceci permet de simplifier la conception du dispositif et de l'employer dans les installations connues pour le tirage de monocristaux par la méthode Czochralski, équipées d'une tige verticale -traversant à joint étanche le fond de la chambre suivant son axe, et de prévenir la pollution du bain par la matière du creuset. I1 est avantageux que l'anneau porteur soit réalisé sous la forme d'une couronne dentée. Ceci simplifie la conception du dispositif et élève sa fia bilité. I1 est très avantageux que la channe cinématique de liaison du creuset avec le système moteur assurant sa rotation comporte, dans la chambre étanche, un roulement entourant le calorifugeage ou isolation thermique, la bague fixe de ce roulement étant fixée au fond de la chambre coaxialement à la tige porte-amorce, et un réducteur dont le pignon menant est calé sur l'arbre de sortie du système moteur de rotation situé en dehors de la chambre, et dont l'élément mené est réalisé sous la forme d'une couronne dentée emmanchée sur la bague mobile du roulement et liée à l'anneau porteur pour ltentralner en rotation. Ceci permet de faire coïncider l'axe de rotation du creuset avec l'axe de rotation du monocristal en cours de croissance, et, par cela-même, de tirer des monocristaux de diamètre proche de celui du creuset. I1 est commode, au point de vue technologique, de monter l'anneau porteur sur un support cylindrique fixé par sa tranche inférieure sur la couronne dentée, coaxialement à celle-ci, de façon à entourer le dispositif chauffant avec son calorifugeage. Ceci assure la symétrie axiale du champ thermique dans la chambre et augmente la fiabilité du dispositif, grâce à la disposition du réducteur et du roulement dans une zone de la chambre éloignée du dispositif chauffant, près de ses parois refroidies. I1 est très utile de monter l'anneau porteur sur le support cylindrique de façon qu'il puisse être décalé dans le plan horizontal par rapport à l'axe de la tige porte-amorce. Ceci permet de mettre facilement en coincidence l'axe du creuset avec l'axe de rotation non seulement avant la mise en marche du dispositif, mais aussi, si nécessaire, directement pendant le tirage du monocristal. I1 est aussi très avantageux de réaliser l'anneau porteur sous la forme de deux viroles à parois minces et concentriques, réunies l'une à l'autre par des rayons uniformément répartis suivant une circonférence et disposés tangentiellement à la virole intérieure. Ceci permet de prévenir le gondolage de l'anneau porteur sous l'effet du gradient de température radial, car les déformations dues à la température ne provoquent qu'une rotation relative de la virole intérieure et de la virole extérieure sans affecter la planéité. En outre, une telle conception de l'anneau porteur réduit à un minimum l'évacuation radiale de la chaleur à partir du creuset fixé sur lui, ce qui facilite l'obtention du champ thermique nécessaire dans le bain. Dans ce qui suit, l'invention est expliquée par la description détaillée, à titre d'exemples non limitatifs, de différents modes de réalisation illustrés par les dessins annexés, dans lesquels: - la figure I représente schématiquement une vue d'ensemble d'un dispositif pour le tirage d'un monocristal sur une amorce à partir d'un bain, conforme à l'invention (coupe longitudinale); - la figure 2 représente le même dispositif, mais avec un autre mode de réalisation du système moteur assurant la rotation du creuset, conformément à l'invention (coupe longitudinale); - la figure 3 représente un anneau porteur conforme à l'invention (vue de dessus). L invention a donc pour objet un dispositif pour le tirage d'un monocristal sur une amorce à partir d'un bain. Le bain à partir duquel est tiré le monocristal est, par exemple, du silicium ou une solution solide de tellurures de plomb et d'étain. Le dispositif représenté par la figure I comprend une chambre étanche I avec un couvercle 2. Dans la chambre I sont pla cés un creuset 3 lié cinématiquement à un système moteur assurant sa rotation, un dispositif chauffant 4 ayant un calorifugeage ou isolation thermique 5 et entourant le creuset 3. Le calorifugeage est un bloc de graphite, constitué par cinq écrans cylindriques 5a, un écran de plafond 5b et un écran de fond 5c placé sur le fond de la chambre. Les deux premiers écrans cylindriques, à partir du dispositif chauffant 4, ont une rainure dans laquelle sont logés les éléments de la chaîne cinématique. Tout le calorifugeage repose sur l'écran de fond. Dans la chambre I est introduite une tige 6 montée coaxialement au creuset 3. Cette tige traverse à joint étanche le couvercle 2 de la chambre I, et à son bout est fixé un porte-amorce 7 maintenant une amorce 8. La tige 6 est liée à un système moteur (non représenté) assurant sa rotation et son coulissement vertical. La matière constituant le creuset peut être, dans ce cas, du quartz, du nitrure de bore, du nitrure de silicium, etc. La matière du porte-amorce 7 est le graphite. D'après l'invention, la channe cinématique reliant le creuset 3 au système moteur assurant sa rotation comporte un anneau porteur 9 auquel est suspendu le creuset 3 pour leur rotation simultanée pendant le tirage du monocristal. Le creuset 3 est suspendu à l'anneau porteur 9 à l'aide d'un portecreuset IO épousant la forme du creuset 3 et ayant à sa partie supérieure des rebords II, à l'aide desquels il prend appui sur l'anneau porteur 9. Le dispositif chauffant 4 est fixé sur des amenées de courant I2 qui sont introduites dans la chambre en traversant à joint étanche son fond I3, auquel elles sont fixées. La chalne cinématique de liaison du creuset 3 au système moteur assurant sa rotation comporte, d'après l'invention, un réducteur à deux étages placé dans la chambre étanche I. Le pignon menant I4 du premier étage de ce réducteur est calé sur l'arbre de sortie I5 d'un autre réducteur (non représenté) situé avec son système moteur (non représenté) en dehors de la chambre étanche I. Le pignon menant I4 coopère avec le pignon menant I6 du second étage du réducteur à deux étages au moyen d'un pignon intermédiaire I7 et d'un pignon mené I8. A son tour,le pignon menant I6 coopère avec l'anneau porteur 9 en le faisant tourner. L'anneau porteur 9 se présente dans ce cas sous la forme d'une couronne dentée dans laquelle sont creusées des gorges circulaires I9 et 2Q, respectivement dans la surface supérieure et dans la surface inférieure. La gorge I9 reçoit les rebords II du porte-creuset IO dans lequel est placé le creuset 3. Dans la chambre I il y a un support cylindrique 21 sur lequel est placé l'anneau porteur 9. Le support 21 est rigidement fixé par sa tranche infé- rieure dans une gorge circulaire 22 creusée dans l'écran de fond 5c, tandis que sa tranche supérieure s'engage dans la gorge circulaire 20 de l'anneau porteur 9. L'assemblage est réalisé de façon que l'anneau porteur 9 puisse glisser sur le bout supérieur du support 21. La figure 2 représente un dispositif convenant notamment pour le tirage, à partir d'un bain, de monocristaux d'halogénures alcalins, par exemple de chlorure de potassium, sur une amorce 8. Le dispositif, de même que le pre cédent, comprend une chambre étanche I avec un couvercle 2. Dans la chambre étanche I sont placés un creuset 3, lié cinématiquement à un système moteur assurant sa rotation, un dispositif chauffant 4 avec un calorifugeage ou isolation thermique 5, entourant le creuset 3, et une tige 6 qui est monte coaxialement au creuset 3 et au bout de laquelle est fixé un porte-amorce 7 maintenant une amorce 8. D'après l'invention, la chaîne cinématique de liaison du creuset 3 avec le système moteur assurant sa rotation comporte un anneau porteur 23 qui est placé dans la chambre I et reçoit le creuset 3 afin de tourner en commun avec lui pendant le tirage du monocristal. Le creuset 3 est fixé à l'anneau porteur 23 à l'aide de crochets 24 prévus à la partie supérieure du creuset 3. Au niveau de l'anneau porteur 23, la paroi latérale 25 de la chambre I est traversée à joint étanche par un poussoir 26 destiné à l'ajustement de la position du creuset 3 dans la chambre I. La chalnè cinématique de liaison du creuset 3 avec le système moteur assurant sa rotation comporte, outre l'anneau porteur 23, un roulement et un réducteur placés dans la chambre étanche I. Le pignon menant 27 dudit réducteur est calé sur l'arbre de sortie 28 du système moteur assurant sa rotation (non représenté) et situé en dehors de la chambre étanche I. L'arbre 28 traverse le fond I3 de manière étanche. Le roulement comprend une bague mobile 29 et une bague fixe 30 qui est fixée au fond I3 de la chambre I, coaxialement à la tige 6 du porte-amorce 7. L'élément mené du réducteur est réalisé sous la forme d'une couronne dentée 3I emmanchée sur la bague mobile 29 du roulement et liée à l'anneau porteur 23 pour assurer sa rotation en commun avec le creuset 3. L'anneau porteur 23 est monté sur un support cylindrique 32, lequel est fixé par sa tranche inférieure à la couronne dentée 31, coaxialement à celle-ci et de façon à entourer le dispositif chauffant 4 et son calorifugeage 5. L'anneau porteur 23 est monté sur le support cylindrique 32 de façon qu'il puisse être décalé dans le plan horizontal par rapport à l'axe de la tige 6 du porte-amorce 7. I1 est constitué par deux viroles à parois minces et concentriques: une virole intérieure 33 (figure 3) et une virole extérieure 34, assemblées l'une à l'autre par des rayons 35 répartis uniformément suivant une circonference et disposés tangentiellement à la virole intérieure 33. Le dispositif pour le tirage d'un monocristal, représenté par la figure I, fonctionne de la façon suivante. Au commencement du processus, on place le porte-creuset IO sur l'anneau porteur 9 et on place dans le portecreuset IO le creuset 3 contenant la matière de départ. Ceci fait, on met en marche le système moteur assurant la rotation du creuset. La rotation est transmise au creuset 3, au moyen du pignon menant I6 du second étage du réducteur, et du pignon menue ?8, du pignon I7 intermédiaire et du pignon menant I4 du premier étage, à partir de l'arbre de sortie I5 du réducteur extérieur. On fixe dans le porte-amorce 7 une amorce 8 et on met en marche le système moteur assurant la rotation de la tige 6.Ensuite on crée dans la chambre I le milieu de travail nécessaire (vide ou contre-pression d'un gaz inerte) et on branche le dispositif chauffant 4 qui fait fondre la ma tière de départ. On fait descendre l'amorce 8 dans le bain 36, et, après sa fusion superficielle, on la fait remonter lentement à l'aide du système mo- teur assurant le coulissement vertical de la tige 6 avec le porte-amorce 7 et l'amorce 8. Durant le tirage, on règle la température du dispositif chauffant et la vitesse d'extraction de façon à obtenir un monocristal 37 de diamètre prescrit. La fiabilité, aux températures de déroulement du processus, de la partie cinématique du dispositif placé dans la chambre étanche I est obtenue en la fabriquant, en une matière thermostable, résistante aux actions mécaniques, notamment en graphite d'une pureté de la classe des semiconducteurs. La fabrication du calorifugeage et du réducteur à deux étages en graphite garantit le déroulement de la cristallisation dans des conditions de stérilité élevée. Le dispositif conforme à l'invention, représenté par les figures 2 et 3, fonctionne de la façon suivante. Avant de commencer le travail, on place le creuset 3 sur l'anneau porteur 23 et on introduit dans le creuset 3 la matière de départ, par exemple du chlorure de potassium. On met en marche le système moteur assurant la rotation du creuset 3. Le couple de l'arbre de sortie 28 est transmis au creuset 3 par l'intermédiaire du pignon menant 27, de la couronne dentée 31, du support cylindrique 32 et de l'anneau porteur 23. A l'aide du poussoir 26 on centre le creuset 3 en commun avec porteur 23, de telle façon que l'axe du creuset 3 soit confondu avec son axe de rotation et avec l'axe de la tige 6 du porte-amorce 7. On fixe une amorce 8 dans le porte-amorce 7 et on met en marche le système moteur assurant la rotation de la tige 6. Ensuite on branche le dispositif chauffant 4 et on fait fondre la matière de départ. On fait descendre lentement l'amorce 8 jusqu'à sa mise en contact avec le bain 36. Après fusion partielle de 1 'a- morce 8 et établissement de l'équilibre entre elle et le bain 36, en présen ce duquel il n'y a ni fusion, ni cristallisation sur l'amorce 8, on met en marche le système moteur assurant le coulissement vertical (remontée) de la tige 6 avec le porte-amorce 7 et l'amorce 8. Ceci fait, en réglant d'une manière appropriée la vitesse de tirage de la température du dispositif chauffant on obtient la croissance sur l'amorce 8 d'un monocristal 37 de diamètre requis. La description détaillée, donnée cidessus, des modes de réalisation du dispositif, objet de l'invention, montre que l'invention permet d'éviter la surchauffe du bain et, par cela-même, de supprimer la pollution du bain par la matière dont est constitué le creuset (par exemple, lors du tirage de monocristaux de silicium ou de tellurures d'étain et de plomb à partir d'un creuset en quartz). En outre, l'invention donne la possibilité de réaliser une distribution prédéterminée quelconque de la puissance de chauffe sur toute la surface du creuset et par conséquent d'obtenir le champ de température nécessaire dans le bain. De pair avec la possibilité de faire tourner le creuset a n'importe quelle vitesse voulue, à contresens de la rotation du monocristal en cours de croissance, cela permet de commander efficacement la forme du front de cristallisation et le degré de brassage du bain. L'ensemble de ces facteurs permet à l'invention d'élever notablement la qualité des monocristaux élaborés. Bien entendu, l'invention n'est nullement limitée aux modes de réalisation décrits et représentés qui n' ont été donnés qu a titre d'exemple. En particulier, elle comprend tous les moyens constituant des équivalents techniques des moyens décrits ainsi que leurs combinaisons, si celles-ci sont exécutées suivant son esprit et mises en oeuvre dans le cadre des revendications qui suivent. REVENDICATIONS I. Dispositif pour le tirage d'un monocristal sur une amorce à partird'un bain de fusion, du type comprenant une chambre étanche dans laquelle sont placés un creuset lié cinématiquement à un système moteur assurant sa rotation, un dispositif chauffant et une isolation thermique entourant le creuset, et une tige montée coaxialement au creuset, munie d'un porte-amorce et liéeà un système moteur assurant sa rotation et son coulissement vertical, caractérisé en ce que la chaine cinématique reliant le creuset au système moteur assurant sa rotation comporte, dans la chambre étanche, un anneau porteur sur lequel est placé le creuset pour leur rotation solidaire pendant le tirage du monocristal. 2. Dispositif selon la revendication I, caractérisé en ce que la channe cinématique reliant le creuset au système moteur assurant sa rotation comr porte, dans la chambre étanche, un réducteur à deux étages, dont le pignon menant du premier étage est calé sur l'arbre de sortie d'un autre réducteur situé avec son système moteur en dehors de la chambre, tandis que le pignon menant du second étage dudit réducteur à deux étages agit sur l'anneau porteur précité pour l'entrainer en rotation. 3. Dispositif selon l'une des revendications I et 2, caractérisé en ce que l'anneau porteur est une couronne dentée qui engrène avec le pignon menant du second etage du réducteur à deux étages. 4. Dispositif selon la revendication I, caractérisé en ce que la champ ne cinématique reliant le creuset au système moteur assurant sa rotation comporte, dans la chambre étanche, un roulement dont la bague immobile est fixée au fond de la chambre, coaxialement à la tige du porte-amorce, et un réducteur dont le pignon menant est calé sur l'arbre de sortie d'un système moteur de rotation situé en dehors de la chambre, tandis que l'élément mené dudit réducteur est réalisé sous la forme d'une couronne dentée emmanchée sur la bague mobile du roulement précité et liée audit anneau pcrteur pour l'entraîner en rotation. 5. Dispositif selon l'une des revendications I et 4, caractérisé en ce que l anneau porteur est monté sur un support cylindrique fixé par sa tranche inférieure sur ladite couronne dentée, coaxialement à celle-ci et de manière à entourer le dispositif chauffant et l'isolation thermique précités. 6. Dispositif selon l'une des revendications I, 4 et 5, caractérisé en ce que l'anneau porteur est monté sur le support cylindrique de façon qu'il puisse être décalé dans le plan horizontal par rapport à l'axe de la tige du porte-amorce. 7. Dispositif selon l'une des revendications I, 4, 5 et 6, caractérisé en ce que l'anneau porteur est constitué par deux viroles à parois minces et concentriques, reliées l'une à l'autre par des rayons répartis uniformément suivant une circonférence et disposés tangentiellement à la virole in térieure.