Brevet FR2434790A1 — publié le 19800328

La présente invention concerne un procédé de fabrication, à un coût relativement faible,de corps de carbure de silicium lié par réaction, ayant une excellente qualité, notamment parce qu'ils ne sont pratiquement pas poreux. On décrit l'invention essentiellement en référence à la fabrication de bagues d'étanchéité de carbure de silicium mais il faut noter que le procédé convient à la fabrication de corps destinés à des applications différentes et nombreuses. On sait déjà que les bagues d'étanchéité de carbure de silicium utilisées par exemple pour l'étanchéité au niveau d'arbre rotatifs de pompes de suspensions;et analogues, sont avantageuses étant donné la dureté et donc la grande résistance à l'usure, la conductibilité thermique et la résistance aux chocs thermiques élevés du carbure de silicium. I1 estsouhaitable que les bagues d'étanchéité aient une masse volumique elevée et donc une faible porosité afin que leurs propriétés soient optimales. Evidemment, il est aussi souhaitable qu'elles soient fabriquées à faible coût de manière que l'utilisateur n'ait pas à payer un exces de prix pour l'utilisation de ces bagues d'étanchéité par rapport à celles qui sont formées d'autres matières. On sait que les bagues d'étanchéité de carbure de silicium peuvent être prépares par réalisation d'une ébauche annulaire de carbure de silicium et de carbone puis par imprégnation de ébauche par du silicium, sous forme vapeur ou liquide, de manière que le silicium réagisse avec le carbone de l'ébauche et forme une quantité supplémentaire de carbure de silicium in situ, la quantité de silicium utilise correspondant à la quantité stoechiométrique nécessaire à la réaction avec la totalité du carbone de l'ébauche. De tels corps sont considérés comme formés de carbure de silicium lié par réaction. Cependant, l'obtention d'une structure ayant une porosité pratiquement nulle est difficile par mise en oeuvre de ces techniques.En outre, les opérations ultérieures de découpe et d'usinage permettant l'obtention des dimensions nécessaires et de la surface très lisse des bagues individuelles d'étanchéité, sont difficilesdonc coûteuses étant donné la très grande dureté du carbure de silicium. L'invention concerne un procédé de fabrication de bagues d'étanchéité de carbure de silicium lié par réaction, ayant une porosité pratiquement nulle et pouvant être cependant préparées à un prix relativement faible étant donné la relative facilité de l'usinage des surfaces d'étanchéité qui doivent être bien lisses, après l'imprégnation par le silicium de l'ébauche de carbure de silicium et de carbone, et aussi grâce à l'élimi- nation du réglage très précis de la composition et d'autres mesures de réglage nécessaires jusqu'à présent. En résumé et comme décrit en référence à la fabrication de bagues d'étanchéité, le procédé selon l'invention, dans un mode de réalisation avantageux, comprend la formation d'un ensemble comprenant une ébauche annulaire poreuse de carbure de silicium et de carbone, placée en contact intime avec une ébauche annulaire formée essentiellement de silicium élémentaire finement divisé et contenant aussi du carbone finement divisé et réparti uniformément à l'intérieur, les deux ébauches étant placées face axiale contre face axiale, l'ensemble étant ensuite chauffé à la température de fusion du silicium. La quantité de silicium élé- mentaire de la seconde ébauche citée est supérieure à la quantité nécessaire à la réaction avec la totalité du carbone des deux ébauches.Lorsque le silicium atteint sa température de fusion une partie réagit avec le carbone avec lequel il est mélangé et, forme du carbure de silicium qui constitue un liant friable et très poreux. Ce liant guide le courant de silicium fondu qui s'écoule dans l'ébauche poreuse de carbure de silicium et de carbone, et une partie du silicium fondu réagit avec le carbone de cette ébauche et forme une quantité supplémentaire de carbure de silicium, une partie restante du silicium fondu remplissant les cavités formées entre les grains de carbure de silicium si bien que le corps réalisé n'est pratiquement pas poreux.Après refroidissement, le carbure de silicium friable et l'excès éventuel de carbone élémentaire, à la surface du corps non poreux, peuvent être facilement retirés, par exemple par usinage ou une autre opération d'abrasion, étant donné la nature friable du liant du carbure de silicium poreux et la dureté relativement faible du 'silicium élémentaire. Comme la quantite de silicium utilisée dépasse celle qui est stoechiométriquement nécessaire à la réaction avec la totalité du carbone, il n'est pas nécessaire que la quantité de silicium de l'ébauche de silicium et de carbone soit réglée précision, tout excès pouvant être facilement retiré du corps non poreux fabriqué pour la raison précitée. De la même manière, le réglage très précis de la porosité de l'ébauche de carbure de silicium et de carbone ou de la quantité précise de carbone contenue n'est pas nécessaire puisque l'utilisation d'un excès de silicium élémentaire dans l'ébauche de silicium et de carbone assure un contrôle suffisant de qualité et la formation de corps non poreux. Ainsi, de petites variations de la quantité de silicium élémentaire contenue entre les bagues individuelles terminées d'étanchéité n'ont pas d'effet notable sur la qualité et les excellentes caractéristiques de ces bagues. Ce comportement, ajouté à la facilité des opérations finales d'usinage donnant la finition de surface et la dimension précise voulue, permettent une fabrication de coût relativement faible. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront mieux de la description détaillée qui va suivre de l'invention. On considère d'abord les matières utilisées. Les gra nulés de carbure de silicium utilisés comme matière première peuvent être formés de carbure de silicium alpha de qualité classique du commerce, facilement disponible sur le marche et avec une dimension granulaire ou granulométrie quelconque comprise entre 0,021 et 0,127 mm. I1 est avantageux que la granulométrie soit relativement étalée. Par exemple, lors de la mise en oeuvre de l'invention, du carbure de silicium alpha de 0,025 mm peut être utilise avec une granulométrie telle que 50 % environ des particules ont une dimension comprise entre 10 et 25 microns, les 50 % restants étant répartis de façon relativement uniforme entre 4 microns et une valeur aussi faible que 0,5 micron, si bien que la dimension particulaire moyenne est d'environ 10 microns. Comme indiqué précédemment, on peut utiliser le cas échéant du carbure de silicium de granulométrie plus faible ou plus élevée. Le carbone utilisé pour chacune des ébauches peut être sous forme de carbone amorphe ou de graphite. La dimension particulaire du carbone est de préférence inférieure au micron, une granulométrie comprise 0,01 et 1 micron environ, avec une dimen sion particulaire moyenne de 0,1 micron, étant excellente. Le silicium utilisé dans l'ébauche de silicium et de carbone peut être de qualité du commerce, avec de préférence une dimension particulaire comprise entre environ 0,044 et 0,149 mm, une dimension de 0,074 mm étant avantageuse. La granulométrie de la poudre de silicium de 0,074 mm est telle que les particules ont une dimension comprise entre environ 10 et 150 microns, la dimension particulaire moyenne étant d'environ 75 microns. Dans la composition des mélanges utilisés pour la formation des ébauches, il est souhaitable qu'un liant organique donne une bonne résistance mécanique à l'état cru aux ébauches et puisse ainsi être manipule sans risque d'effritement ou de rupture. Evidemment, bien avant que le silicium atteigne sa température de fusion lors de la mise en oeuvre du procédé de l'invention, le liant-organique se décompose en carbone élémen- taire et ajoute une petite quantité de carbone à celle qui est presente dans les mélanges utilisés pour la formation des ébauches. On peut utiliser des liants organiques de typos très divers, par exemple des résines acryliques, du butyral polyvinylique, de l'acétate de cellulose, de la methylcellulose s ou du polyéthylèneglycol. I1 est souhaitable que le liant organique soit hydrosoluble, comme l'indique clairement la description qui suit du procédé, car la fabrication peut être peu coûteuse et simple. On considère maintenant la formation des compositions et la préparation des ébauches. Le mélange utilisé pour l'ébauche de carbure de silicium et de carbone contient de préférence 75 à 95 parties en poids de carbure de silicium environ, 5 à 25 parties en poids de carbone élémentaire environ (sous forme de carbone arnorphe ou de graphite) et 5 à 15 parties en poids environ d'un liant organique. Pour une telle composition, lorsque le silicium fond au cours de la mise en oeuvre du procédé (le liant organique s'etant décomposé en carbone préalablement), les quantités reiatives de carbure de silicium et de carbone dans l'ébauche correspondent sensiblement à 70 à 95 % en poids de carbure de silicium pour 5 à 30 % en poids de carbone.L'extrémité supérieure de la plage de carbure de silicium et l'extrémité inférieure de la plage de carbone restent à peu près les mêmes que dans la ma tière initiale puisque, lors de l'utilisation de 5 K en poids seulement de liant et comme un petit pourcentage seulement de la molécule de liant est sous forme de carbone, la quantité de carbone introduite par décomposition du liant est négligeable. Un exemple de composition permettant la formation d'une ébauche de carbure de silicium et de carbone comprend 80 parties en poids de carbure de silicium de 0,025 mm, 20 parties en poids de noir de carbone, 10 parties en poids de polyéthylèneglycol et 100 parties en poids d'eau. Lors de la formation du mélange, il est souhaitable que l'eau, le polyéthylèneglycol et le carbone soient d'abord mélangés sous forme d'une suspension, le carbure de silicium étant alors ajouté à la suspension et mélangé à celle-ci. Après cette opération, l'eau est évaporée et la matière résultante comprend des particules de carbure de silicium revêtues d'un mélange de liant et de carbone. Une quantité mesurée de ce carbure de silicium granulaire fluide et revêtu peut alors être comprimée dans des moules métalliques complémentaires sous forme d'une ébauche de carbure de silicium et de carbone.Evi gemment, la forme des moules est choisie afin que l'ébauche ait la forme voulue, des moules annulaires etant utilisés pour la formation des ébauches destinées à la réalisation de bagues d'étanchéité. Suivant le liant pdrticulier choisi, un chauffage peut être nécessaire ou non au cours de l'opération de compression afin que l'ébauche ait une bonne résistance mecanique à l'état cru. Lorsque le liant est du polyéthylèneglycol, aucun chauffage n'est nécessaire. Au cours de I'opération de compression utilisée pour la formation de l'ébauche de carbure de silicium et de carbone, la pression appliquée doit être de préférence telle que l'ébauche ait une masse volumique apparente comprise entre environ 1,4 et 2,5 g/cm3, par exemple de l'ordre de 1,8 g/cm3. Lorsque la masse volumique apparente de l'ébauche est comprise dans la plage pré- citée, la porosité de l'ébauche est telle que 20 à 50 % en volume environ de l'ébauche sont sous forme de cavités délimitées entre les grains revêtus de carbure de silicium. Ces cavités sont réparties uniformément et communiquent les unes avec les autres. Suivant le mélange exact utilisé et la porosité voulue, on peut utiliser une pression comprise entre 2,1.107 et 1,4.108 Pa. Le mélange destiné à l'ébauche de silicium et de carbone doit contenir avantageusement 90 à 97 parties en poids de silicium environ, 3 à 10 parties en poids de carbone élémentaire environ et 3 à 10 parties en poids de liant environ. Le carbone peut être amorphe ou sous forme de graphite, et le liant peut être le même que celui qui est utilisé pour la formation de l'ébauche de carbure de silicium et de carbone. Comme décrit précédemmentpOur l'ébauche de carbure de silicium et de carbone, dans l'ébauche de silicium et de carbone, lorsque le silicium atteint sa température de fusion, le liant organique s'est décomposé et a ajouté une petite quantité de carbone à celle qui était déjà présente.Pour les compositions correspondant aux plages précitées, les quantités relatives de silicium et de carbone dans l'ébauche à la fin de la décomposition du liant sont d'environ 87 à 97 % en poids de silicium pour 3 à 13 % en poids de carbone. Un exemple de mélange permettant la formation d'ébauches de silicium et de carbone comprend 94 parties en poids de silicium de dimension particulaire de 0,074 micron, 6 parties en poids de noir de carbone ou de graphite de dimension particulaire d'environ 0,1 micron, 5 parties en poids de polyéthylèneglycol et 100 parties en poids d'eau.Le mélange est alors formé puis séché comme décrit précédemment en référence à l'ébauche de carbure de silicium et de carbone, et la poudre revêtue resul- tante de silicium peut alors être mise en forme dans des moules métalliques complémentaires, l'ébauche obtenue ayant la configuration voulue. La pression utilisée- peut être comprise entre 2,1.107 et 1,4.108 Pa. L'ébauche de silicium et de carbone peut être comprimée à une masse volumique élevée et en conséquence sans cavités intermédiaires, bien que la présence des cavités ne soit pas nuisible. Lors de la mise en oeuvre de l'invention dans des modes dc. realisation avantageux, la quantité de silicium utilise dans l'ébauche de silicium et de carbone doit être au moins égale et de préférence au moins.légèrement supérieure à la quantité nécessaire à la réaction avec tout le carbone des deux ébauches avec formation de carbure de silicium, avec en outre la quantité nécessaire au remplissage de toutes les cavités restant entre les particules de carbure de silicium lorsque tout le carbone de l'ébauche de carbure de silicium et de carbone a réagi et a formé du carbure de silicium En conséquence, plus la quantité de carbone présente dans les deux ébauches est importante, plus la porosité de l'ébauche de carbure de silicium et de carbone est élevée, et plus la quantité de silicium qui doit être utilisée dans l'ébauche de silicium et de carbone est importante. On considère maintenant le traitement des ébauches afin qu'elles forment le produit final. On prépare un ensemble comprenant une ébauche de carbure de silicium et de carbone et une ébauche de silicium et de carbone, placées en butée, surface contre surface. Lors de la fabrication d'une bague d'étanchéité, cet ensemble comprend une ébauche annulaire de carbure de silicium et de carbone et une ébauche annulaire de silicium et de carbone, placées l'une contre l'autre dans l'alignement axial. La bague de silicium et de carbone a de préférence mais non obligatoirement un diamètre interne et un diamètre externe identiques à ceux de la bague de carbure de silicium et de carbone. L'épaisseur de la bague de carbure de silicium et de carbone est au moins à peu près celle qui est voulue pour la bague d'étanchéité formée, mais elle n'est pas inférieure à l'epais- seur voulue, et l'épaisseur de la bague de silicium et de carbone est déterminée d'après la quantité de silicium utilisée, suivant les différents facteurs décrits précédemment. Les deux ébauches peuvent aussi être sous forme d'une ébauche en une seule pièce, ayant une couche de carbure de silicium et de carbone et une couche de silicium et de carbone, à la place e la formation séparée des deux ébauches et de leur empilement l'une sur l'autre sous forme de-l'ensemble. Ainsi, le mélange utilisé pour l'ébauche de-carbure de silicium et de carbone peut être comprimé à la configuration voulue dans un jeu de moules métalliques complémentaires puis le moule mâle est retiré et, l'ébauche de carbure de silicium et de carbone restant dans le moule femelle, le mélange de l'ébauche de silicium et de carbone peut être placé sur l'ébauche de carbure de silicium et de carbone et le mélange de silicium et de carbone est alors comprimé sous forme d'une couche qui adhère à la couche inférieure de carbure de silicium et de carbone, l'ébauche com posite formée étant alors retirée du moule. Cette technique est avantageuse dans les opérations de production en grande série car elle élimine la nécessité de l'empilement ultérieur d'une ébauche sur l'autre et les deux ébauches qui forment l'ensemble sont mises ensemble et sont assemblées avec la précision voulue. L'ensemble des ébauches est ensuite chauffé à une température qui suffit à la décomposition du liant. Ce chauffage peut être réalisé à l'air bien qu'il soit préférable qu'il soit réalisé en atmosphère non oxydante, par exemple formée par un mélange d'azote et d'hydrogène, à raison de 85 % en volume d'azote et 15 % en volume d'hydrogène qui constituent un excellent mélange. Pendant la décomposition, la plus grande partie au moins des atomes de carbone du liant reste sous forme de carbone dans l'ébauche et les autres ingrédients du liant tels que l'hydrogène et l'oxygène, quittent l'ébauche sous forme gazeuse ou vapeur.En général, ia température utilisée pour cette opération de chauffage qui décompose le liant peut être comprise entre environ 300 et 4500 C, la température et le temps exacts de cette opération dépendant du liant particulier utilisé. Lorsque le liant est un polyethylèneglycol, le chauffage à une température de 3750C pendant une heure en atmosphère d'azote et d'hydrogène donne tout à fait satisfaction. Lorsque le liant s'est décomposé comme indiqué précédemment, l'ensemble est porté à une température au moins égale à la température de fusion du silicium, en atmosphère inerte ou de préférence sous vide. Evidemment, plus le vide est important et plus les résultats sont bons ; un vide compris entre 1.10 2 et 1.10 1 torr donne d'excellents résultats. Lorsqu'on veut utiliser une atmosphère inerte, on utilise de préférence une température supérieure à celle qui est nécessaire lors de l'utilisation du vide afin que l'infiltration du silicium fondu dans l'ébauche de carbure de silicium et de carbone soit optimale et relativement rapide. Des atmosphères inertes qui conviennent sont l'argon, l'hélium et l'hydrogène.Celui-ci, bien qu'il joue le rôle d'une atmosphère réductrice vis-à-vis des oxydes d'impuretés qui peuvent être présents, est inerte vis-à-vis des in grédients essentiels. La température et le temps utilisés de préférence, surtout lors du chauffage sous vide, correspondent à une température de 1450 à 16500C pendant 0,5 à 6 heures, la température et le temps exacts dépendant de l'épaisseur du corps réalisé et de la porosité de l'ébauche de carbure de silicium et de carbone. En genéral, plus l'épaisseur est grande, plus la porosité est faible et plus la température et le temps utilisés pour l'opération doivent être élevés.Par exemple, dans le cas d'un corps ayant une épaisseur de 12,7 mm, formé par une ébauche de carbure de silicium et de carbone, ayant une masse volumique apparente d'environ 1,8 g/cm3, le chauffage sous vide à une température de 15000C pendant 2 heures donne satisfaction. Lors de l'utilisation, d'une atmosphère inerte, des températures pouvant atteindre 20000C peuvent être souhaitables pour l'obtention d'une infiltration optimale pendant une courte période. Pendant l'opération de chauffage, au moment où le si- licium commence à fondre, une partie de celui-ci réagit avec le carbone de l'ébauche de silicium et de carbone et forme du carbure de silicium. Ce dernier constitue un liant friable très poreux qui est destiné à contenir le courant de silicium restant et à le guider, sous forme fondue, dans l'ébauche poreuse de carbure de silicium et de carbone. Ainsi, le liant friable et poreux empêche l'écoulement du silicium fondu sur le bord et le long des côtés de l'ébauche de carbure de silicium et de carbone. Lorsque le silicium fondu s'infiltre dans l'ébauche de carbure de silicium et de carbone, une partie réagit avec le carbone de cette ébauche et forme du carbure de silicium supplémentaire et, lorsque tout le carbone a réagi et forme du carbure de silicium, les pores restants sont remplis par le silicium élémentaire. En conséquence, le corps résultant a une résistance mécanique élevée, est en une seule pièce, est formé de carbure de silicium lié par réaction et ayant des pores remplis de silicium si bien que l'ensemble forme une structure qui a une porosité pratiquement nulle. Lorsque l'infiltration est terminée, et lorsque le corps résultant est retiré de la chambre de chauffage et refroidi, le liant de carbure de carbure de silicium friable et l'excès de silicium de la surface du corps peuvent être facilement retirés par une opération simple d'abrasion ou d'usinage. Lors de la fabrication de bagues d'étanchéité, l'opération est alors suivie par un polissage qui donne la finition lisse voulue à la surface de la bague d'étanchéité, de préférence inférieure à 1,5 micron. En conséquence, l'invention permet la réalisation de bagues d'étanchéité et d'autres corps de carbure de silicium et de carbone, sous une forme pratiquement non poreuse et pour un faible coût de fabrication. I1 est souhaitable, pendant le chauffage, que l'ensemble des ébauches soit orienté verticalement, l'ébauche de carbure de silicium et de carbone se trouvant en dessous et l'ébauche de silicium et de carbone au-dessus puisque, avec cette orientation, le silicium fondu s'écoule dans l'ébauche de carbure de silicium et de carbone et imprègne celle-ci à la fois par capillarité et par gravité. Cependant, comme le silicium fondu peut s'écouler dans l'ébauche de carbure de silicium et de carbone uniquement par capillarité, l'orientation précitée de l'ensemble n'est pas essentielle.En outre, bien qu'il n'y ait aucune raison en général pour l'utilisation d'un ensemble de plus de deux ébauches, on peut utiliser effectivement au mains trois le cas échéant, un exemple étant celui d'une ébauche de carbure de silicium et de carbone placée entre deux ébauches de silicium et de carbone. Dans tous les modes de réalisation décrits précédemment, le mélange du silicium élémentaire et du carbone est utilisé sous forme d'une ébauche formée par la technique décrite selon laquelle un liant est incorporé au mélange et celui-ci est comprimé afin qu'il forme l'ébauche. Cette utilisation du mélange de silicium et de carbone sous forme d'une ébauche est avantageuse ; cependant, elle n'est pas essentielle pour la mise en oeuvre de l'invention. Ainsi, l'invention concerne aussi l'utilisation d'un mélange de silicium et de carbone sous forme d'une poudre fluide donc sans utilisation d'un liant nécessaire.Lors de cette mise en oeuvre de l'invention, le silicium et le carbone finement divisés sont mélangés sous forme du mélange uniforme voulu, sans compression et sous forme fluide, et la quantité voulue de la masse particulalre fluide peut être versée sur l'ébauche de carbure de silicium et de carbone et autour de celle-ci. Lorsque cette dernière ébauche est sous forme d'une bague, il est souhaitable que la plus grande partie du mélange fluide de silicium et de carbone soit placée au centre et autour des faces de la bague, et en conséquence en contact intime avec les surfaces de la bague. Ensuite, le procedé est le même que celui qu'on a déjà décrit, l'ébauche de carbure de silicium et de carbone etant chauffée, au contact de la masse fluide, jusqu'à la température de fusion du silicium. Les dimensions particulaires et pourcentages de silicium élémentaire et de carbone en poudre, et la nature du carbone utilisé dans le mélange fluide peuvent correspondre aux indications données en référence aux modes de réalisation dans lesquels le mélange est sous forme d'une ébauche. Comme décrit précédemment, le procédé selon l'invention présente un avantage particulier pour la réalisation de corps pratiquement non poreux, les cavités interstielles des particules de carbure étant remplies de silicium élémentaire si bien que des corps excellents peuvent être fabriqués avec une quantité aussi faible qu'environ 60 % en poids de carbure de silicium, le reste étant formé de silicium élémentaire. Cependant, il faut noter que l'invention convient aussi à la formation de corps contenant une quantité faible ou nulle de silicium libre, l'opé- ration étant réalisée par utilisation de la seule quantité de silicium qui est nécessaire stoechiométriquement pour la réaction avec le carbone. I1 est bien entendu que l'invention n' a été décrite et représentée qu'à titre d'exemple préférentiel et qu'on pourra apporter toute équivalence technique dans ses éléments constitutifs sans pour autant sortir de son cadre. REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication de corps de carbure de silicium lié par réaction, caractérisé en ce qu'il comprend le chauffage, sous vide ou en atmosphère inerte, au moins à la température de fusion du silicium élémentaire, d'une ébauche poreuse contenant essentiellement un mélange uniforme de particules de carbure de silicium et de carbone élémentaire finement divisé, lorsque cette ébauche est au contact d'un mélange de silicium élémentaire finement divisé et d'une petite quantité de carbone élémentaire finement divisé, si bien que, lors du chauffage, une partie du silicium élémentaire du mélange silicium-carbone réagit avec le carbone du mélange silicium-ca,rbone et forme un liant friable poreux de carbure de silicium qui guide le courant de silicium élémentaire fondu du mélange dans l'ébauche poreuse, et qu'une partie au moins du silicium fondu réagit avec le carbone de l'ébauche ét forme une quantité supplémentaire de carbure de silicium, si bien que l'ensemble forme un corps de carbure de silicium lié par réaction. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la quantité de silicium élémentaire du mélange de silicium et de carbone est supérieure à la quantité stoechiométriquement nécessaire à la réaction avec la totalité du carbone du mélange silicium-carbone et de l'ébauche, et suffit au remplissage des cavités interstitielles du corps de carbure de silicium lié par réaction. 3. Procédé de fabrication d'un corps de carbure de silicium lié par réaction, caractérisé en ce qu'il comprend une première étape de formation d'un ensemble de deux ébauches placées en contact l'une avec l'autre, l'une des ébauches contenant essentiellement un mélange uniforme d'environ 70 à 95 % en poids de particules de carbure de silicium, le reste étant formé de carbone élémentaire finement divisé, l'autre des ébauches contenant essentiellement un mélange uniforme comprenant environ 87 à 97 % en poids de silicium élémentaire finement divisé, le reste étant sous forme de carbone élémentaire finement divisé, une seconde étape de chauffage de l'ensemble sous vide ou en atmosphère inerte, à la température de fusion du silicium, si bien qu'une partie du carbone élémentaire réagit avec le carbone de la seconde ébauche et forme un liant friable et poreux de carbure de silicium, le reste du silicium pouvant alors s'infiltrer dans la première ébauche et une partie au moins du silicium réagit avec le carbone de la première ébauche, celle-ci formant alors un corps de carbure de silicium lié par réaction, et une troisième étape ultérieure de retrait du liant poreux et friable de carbure de silicium du corps de carbure lié par réaction. 4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que la quantite de silicium élémentaire de la seconde ébauche est supérieure à la quantité stoechiométriquement nécessaire pour la réaction avec tout le carbone des deux ébauches et suffit au remplissage des cavités interstitielles du corps de carbure de silicium lié par réaction. 5. Procédé de fabrication d'un corps de carbure de silicium lié par réaction, caractérisé en ce qu'il comprend une première étape de formation d'un ensemble de deux ébauches.placées en contact mutuel, l'une des ébauches contenant essentiellement un mélange uniforme qui comprend environ 75 à -95 parties en poids de particules de carbure de silicium, 5 à 25 parties en poids environ de carbone élémentaire finement divisé et 5 à 15 parties en poids environ d'un liant organique, l'autre des ébauches contenant essentiellement un mélange uniforme qui comprend environ 90 à 97 parties en poids de silicium elementaire finement divisé,environ 3 à 10 parties en poids de carbone élémentaire finement divisé et environ 3 à 10 parties en poids d'un liant organique, une seconde étape de chauffage de l'ensemble à une température qui suffit à la décomposition du liant organique dans les ébauches, une troisième étape de chauffage de l'ensemble sous vide et en atmosphère inerte, à la température de fusion du silicium,si bien qu'une partie du silicium réagit avec le carbone dans la seconde ébauche et forme un liant friable et poreux de carbure de silicium, le reste du silicium s'infiltrant dans la première ébauche si bien qu'une partie du silicium réagit avec le carbone dans la première ébauche, celle-ci se transformant en un corps de carbure de silicium lié par réaction, et une quatrième étape ultérieure de retrait du liant poreux et friable de carbure du corps de carbure de silicium lié par réaction. 6. Procédé selon l'une des revendications 4 et 5, carac térisé en ce que la première ébauche a une porosité telle que 20 à 50 % environ du volume de l'ébauche sont formés par des cavités. 7. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que la quantité de silicium de la première ébauche suffit à la réaction avec tout le carbone des deux ébauches et au remplissage des cavités du corps lié par réaction. 8. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que la seconde étape de chauffage de l'ensemble est réalisée à une température comprise entre environ 300 et 4500C, et la troi sième étape de chauffage est réalisée à une température comprise entre environ 1450 et 16500C, sous vide. 9. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que le carbure de silicium a une dimension particulaire comprise entre 0,O21 et 0,127 mm, le carbone.ayant une dimension particulaire- inférieure au micron, le silicium ayant une dimensions particulaire comprise entre 0,44 et 0,149 mm. 10. Procédé de fabrication d'un corps contenant au moins60 % en poids environ de carbure de silicium et le reste formé pratiquement en totalité de silicium élémentaire, ledit procédé étant caractérisé en ce qu'il comprend le chauffage sous vide ou en atmosphère inerte, au moins à la température de fusion du silicium élémentaire, pendant 0,5 à 6 heures, d'une ébauche ayant une porosité telle qu'environ 20 à 50 g de son volume sont formés de cavités et comprenant essentiellement un mélange uniforme d'environ 70 à 95 % en poids de particules de carbure de silicium et d'environ 5 à 30 % en poids de carbone élémentaire finement divisé, le chauffage étant réalisé alors que l'ébauche est au contact d'un mélange uniforme d'environ 87 à 97 % en poids de silicium élémentaire finement divisé et de carbone finement divisé formant le reste, la quantité de silicium élémentaire étant supérieure à la quantité stoechiométriquement nécessaire à la reaction avec la quantité totale de carbone du mélange de silicium et de carbone et de l'ébauche. 11. Procédé selon l'une des revendications 1 et 10, caractérisé en ce que le mélange de silicium et de carbone est sous forme d'une ébauche. 12. Procédé selon l'une des revendications 1 et 10, carac térisé en ce que le mélange de silicium et de carbone est sous une forme fluide non tassée.