Brevet FR2449275A1 — publié le 19800912

Domaine technique. La présente Invention concerne des perfectionnements aux appareils d'analyse optique, notamment l'éclairage des monochromateurs à diffusion d'énergie reçue par un échantillon, notamment le rayonnement Raman après éclairement par un faisceau ASER. que ce soit par diffusion perpendiculaire au faisceau LASER ou par diffusion dans l'axe dudit faisceau (rétro-Raman) lesdits appareils comprenant - une seurce de faisceauLASER, - une optique de focalisation du faisceau sur l'échantillon, un dispositif de réglage de la position de 'echantillon, - une optique de collection du rayonnement Raman et de focalisation de celui-ci sur la première fente du monochromateur, - un dispositif annexe à miroirs d'éclairage en "rétro-Raman". Problème posé. Pour éclairer correctement un monochromateur, en particulier un monochromateur triple tel que celui qui a été décrit dans la nouvelle revue d'optique appliquée, année 1972, tome 3 n 5, page 281 à 234 dans un article intitulé, "Comparaison entre un double et un triple monochromateur en spectrométrie Raman-LASER" et rédigé par messieurs G. ARIE, J. -Cl. LESCOUARC' et R. DEMOL, on cherche 2 récolter le maximlim d la faible lumière intéressante diffusée par l'échantillon. L'énergie du rayonnement Rm.an étant faible, alors que l'énergie parasite, au contraire, est très intense, il est nécessaire d'utiliser un monochromateur ayant des caractéristiques particulières.Ce probleme a déjà été évoqué, pour une application dans l'infrarouge, par Madame Michèle SERGENT-ROZEY dans un article intitulé Etude d'un montage améliorant la formation des images dans un spectromètré à réseau" publi dans la revue d'optique, tome 44, n04 de 1965. Partant de ce travail Monsieur DEMOL a réalisé un triple monochromateur a réseau plus spécialement adapte " la spectromé@rie Raman. Ce monochromateur est décrit dans un mémcire pour l'obtention du diplôme d'études supérieures de sciences phsiques, rédigé par Monsieur Robera DEMOL, ayant pour titre : "Réalisation d'un spectromètre à monochromateur triple et à excitation par LASER pour l'étude de spectres Raman de très basse fréquence" ; il a été publié par l'Université des Sciences et Techniques de Villeneuve d'Ascq, le 21 mars 1974. Les problèmes particuliers d'éclairage d'un monochromateur flaman ont été traités dans une première communication à l'Académie des Sciences de Paris (compte-rendu, tome 262, pages 702 à 705 du 7 mars 1966) du professeur Maichel DELHAYE et de Monsieur Michel MIGEON qui ont présenté un calcul qui montre que la concentration optique apporte un gein inversement proportionnel au diamètre du faisceau excitateur, ce qui permet de diminuer le temps de balayage ou le temps de pause et d'accrot- tre la résolution.Dans une deuxième communication à l'Académie des Sciences de Paris (compte-rendu, tome 262, pages 1513 à 1516 du 13 juin 1966) les mêmes auteurs ont montré que la réduction du diamètre du faisceau LASER entraîne un gain en intensité et permet d'atteindre une résolution élevée à partir d'un échantillon de très petit volume. La distribution de l'intensité d'un faisceau LASER est gaussienne ce qui entrain, dans la zo@e focale, une foca lisftion en forme de rétrécissement appelée "waist" par les anglo-saxons. Cette focalisation est étudiée de façon mathé- mastiques par E.D. HIRLEMAN et W.H. STEVENSON dans un article publié aux pages 3496 à 3499 de la revue "Applied Optics", volume 17, n021 du ler novembre 197.D'aprés le calcul théorique de HIRLEMAN et STEVENSON si, en se référant b la figure 7, - wO est le rayon du "waist" focalisé par la lentille 2 de longueur focale f - Wi le rayon du "waist" du faisceau émis par l'émetteur LASER 9 - zi la distance du "waist" du faisceau émis par l'émetteur LASER 9 à la lentille 2 - zO la distance du waist" du faisceau LASER focalisé par la lentille 2 fF est un paramètre de dimension défini par II w2 À où À est la longueur d'onde, on a la relation Comme on l'a écrit plus haut, l'important est d'obtenir le maximum de rayonnement dans une fente qui doit etre la plus fine possible pour augmenter la résolution du monochromateur.En termes plus simples et pour "vulgariser" les articles scientifiques évoqués plus haut, si "a"' est l'image dans la fente de la trace "a" du faisceau LASER sur l'échantillon, que "b" est la largeur d'ouverture de la fente et que "G" est le grandissement de l'optique de collection on a la relation de base a' = a x G "a" doit avoir l'intensité maximum et correspond au "waist" du rayon LASER après l'optique de concentration de celui-ci sur l'échantillon. si "b" est supérieur à a', on diminue la résolution et on augmente l'énergie parasite sans augmenter l'énergie Raman qui pénètre à l'intérieur du monochromateur. Si b est inférieur Q a', on perd de l'énergie et on aurait intérêt à augmenter le grandissement "G" de l'objectif. Si b = a' on a le réglage optimum de la fente pour le grandissement "G" et pour l'image "a". Il existe donc une relation optimum entre a, G et b. On peut agir sur "a" en changeant la focale de l'optique de focalisation du rayon LASER. On peut agir "G" en changeant la focale de l'op- tique formant l'image a' de a dans la fente. On peut enfin agir sur "b" en ouvrant ou en fermant la fente. Etat de la techni,que antérieure et inconvénients. Dans les monochromateurs existants et décrits par Madame Michèle SERGENT-ROZEY et Messieurs G. ARIE, J.-C1. LESCOUARC'H et R. DEMOL, l'optique de focalisation sur l'échantillon est à focale fixe, tout comme l'optique de l'objectif grandissant l'image du rayon LASER sur l'échantillon sur la fente du monochromateur. On ne peut donc jouer sur la plage focalisée du rayon LASER sur l'échantillon "a", ni sur son image "a'" sur la fente qui est seule réale. Dans certains monochromateurs on a introduit des optiques à focale variable mais les réglages se font indépendâmment. I1 faut aussi régler la position de l'échantillon manuellement. Pour des observations en rétro-Raman, dans l'état actuel des choses, on intercepte le rayon LASER par un miroir plan avant l'échantillon pour le renvoyer dans un petit miroir sphérique situé entre l'objectif et l'échantillon. Cette disposition a le double inconvénient de nécessiter un réglage séparé du petit miroir sphérique pour focaliser convenablement le faisceau LASER sur l'échentillon et d'intercepter une partie du rayonnement Raman diffusée c partir de l'échantillon vers l'objectif. De toute façon les monochromateurs existants ne permettent pas de réler convenablement l'image "a'" dans la fente car celle-ci est composée d'éléments sur lesquels il est difficille d'observer une image. Dans l'observation rétro-Raman, avec la disposition actuelle, il est bien certain que le réglage du petit miroir sphérique exige un très grand soin aussi bien dans la focalisation que dans la position de ce miroir par rapport à l'échantillon. La présente invention est destinée à remédier à ces divers inconvénients. Exposé de l'invention. L'invention est caractérisée principalement par le fait que l'on combine un ensemble de moyens nouveaux avant l'entrée du monochromateur, lesdits moyens étant a) une optique de focalisation du faisceau LASER sur 1 'échan- tillon dont on peut faire varier la focale, b) une optique double de collection du rayonnement Raman comp- sée de deux optiques complémentaires séparées par un espace dans lequel le faisceau a une conicité fixe à savoir - du côté de l'échantillon, un objectif dont on peut faire varier la focale, - du côté de la fente, d'une optique fixe captant le faisceau et le focalisant sur la fente, c) entre l'optique de collection et la fente, un dispositif comprenant un miroir qui renvoie le faisceau sur un écran de contrôle dont la position est conjuguée de celle de la fente, d) un dispositif annexe à miroirs renvoyant le faisceau LASER parallèlement à l'axe de l'optique double de collection, le dernier miroir de ce dispositif se situant entre l'optique et l'obiectif de l'optique double, et réfléchissant le faisceau LASER vers l'obJecti', e) une logique de régulation actionnant l'ouverture de la fente, en fonction des images sur l'écran de contrôle et des exigences de la résolution que l'on désire en tenant compte des caractéristiques de l'optique de focalisation du faisceau LASER sur l'échantillon et de l'objectif de l'optique double de collection. La variation de la focale de l'optique de focalisation du faisceau LASER sur l'échantillon tout comme de l'obJec- tif peut s'obtenir par un échange pur et simple des lentilles. Une solution commode consiste à utiliser des optiques à focale variable ; celles-ci ont cependant l'inconvénient d'absorber de l'énergie lumineuse mais elles ont l'avantage de faciliter leur pilotage par la logique de régulation. Celle-ci peut, dans le cas d'optiques interchangeables, tenir compte des caractéristiques de ces optiques automatiquement, par un repérage adéquat, par crans, comme ceux existant dans les cassettes d'appareils photos 110 pour adapter leurs réglages co la sensibilité du film, ou dispositif magnétique, par exemple. Les caractéristiques des deux optiques de l'optique double peuvent faire que le faisceau qui les sépare soit, d'une façon générale, conique. Toutefois, il est bien préférable, pour les raisons qui seront exposées plus loin, de s'arranger pour avoir un faisceau parallèle entre ces deux optiques. Suivant une première version, le miroir entre l'optique de collection et la rente est un miroir escamotable sus ceptible de prendre deux positions, à savoir : - l'une permettant à l'image de l'échantillon diffusant le rayonnement Raman de se former directement sur la fente, - l'autre envoyant ladite image sur un écran de contrôle avec, éventuellement, réflexion sur un autre miroir. Suivant une deuxième forme de réalisation, le miroir entre l'optique de collection et la fente, est un miroir semi-transparent qui est combiné avec un dispositif d'éclairage de la fente pour produire une image de celle-ci sur l'écran de contrôle après réflexion sur l'échantillon et passage dans l'optique double de collection. Dans cette version, on peut améliorer la possibilité de réglage par le fait que le dispositif d'éclairage de la fente émet une lumière filtrée différente de celle du LASER. Solution au problème. avantages et résultats industriels. Grâce à la logique de régulation, on règle rapidement et simultanément la surface d'impact du faisceau LASER sur l'échantillon "a", le grossissement de l'optique de collection "G" et la largeur de la fente "b". Grâce au système de miroir escamotable ou semi-transparent, qui renvoie l'image Raman qui devrait se produire sur la fente, sur un écran de contrôle dont la position est conjuguée à celle de la fente par rapport audit miroir, on peut opérer le réglage rapidement et efficacement. Dans la version avec miroir semi-transparent et dispositif d'éclairage de la fente, on obtient une deuxième image de celle-ci sur l'écran de contrôle et un moyen de réglage automatique permet d'aboutir à un réglage parfait lorsque l'on parvient à faire coincider l'image de la fente, obtenue par illumination de celle-ci et réflexion de son image sur l'échantillon avec l'image de la partie de l'échantillon illuminée par faisceau LASER. Lorsque, entre les deux optiques de l'optique de collection, le faisceau est parallèle, un avantage considérable du dispositif est obtenu dans l'observation par "rétro-Raman". En effet, 11 optique de collection de rayonnement Raman, ou tout au moins la partie de cette optique à focale variable permet de focaliser le rayonnement LASER sur l'échantillon en même temps que le réglage du grandissement du rayonnement Raman qui survient au meme endroit. En effet, entre cette optique à focale variable et l'optique fixe de ladite optique de collection, les rayonnements sont à faisceaux parallèles, que ce soit le rayon LASER incident ou le rayonnement Raman réémis en sens inverse. En effectuant le réglage de l'optique à focale variable, on opère donc simultanément, automatiquement et avec précision les deux réglages du rayons LASER incident et du rayonnement Raman diffusé. Toujours dans ltobservation en rétro-Raman, le miroir, qui est un miroir plan, de renvoi du rayon LASER et qui se trouve entre l'objectif à focale variable et l'optique fixe, dans l'optl- que de collection, peut être déplacé facilement dans cette zone sans affecter le réglage de l'appareil tant qu'il réémet un faisceau LASER parallèle à l'axe de l'optique de collection. On peut d'ailleurs monter ce miroir.de manière à le faire osciller, ce qui permet d'explorer ltéchantillon. Il faut aussi remarquer que le miroir plan de renvoi du faisceau LASER se trouve dans une zone de l'optique de collection où le faisceau Raman a la plus grande section ; donc ledit miroir plan en intercepte une faible proportion. Enfin le réglage simultané de l'optique de focalisation de l'optique de collection et de l'ouverture de la fente assure une grande rapidité du réglage et une facilité d'emploi. Cet ensemble d'avantages apporte un résultat industriel important dans un monochromateur qui peut être mis en oeuvre beaucoup plus facilement et rapidement avec un réglage précis donnant une meilleure efficacité à l'appareil. L'invention sera mieux comprise à l'aide de la description ci-après qui en donne quelques exemples non limitatifs de réalisation pratique et qui sont illustrés par les dessins joints. Brève description des figures. Dans lesdits dessins la figure 1 est un schéma de principe de l'ensemble de l'appareil rassemblant toutes les versions prévues ; la figure 2 est un schéma de principe du monochromateur fonctionnant en Raman direct et avec un miroir escamotable de renvoi sur un écran la figure 3 est un schéma de principe similaire à celui de la figure 2 mais comprenant, en plus un dispositif d'illumination Se la fente du monochrîmateur avec un miroir semi-transparent destiné à fournir sur l'écran de contrôle à la fois une image de la fente éclairée obtenue par réflexion sur l'échantillon et une image du rayonnement diffusée par l'échantillon ; la figure 4 est un schéma simplifié montrant comment se fait l'éclairage en observation "rétro-Raman" dans un monochroma teur classique la figure 5 est un schéma montrant comment se fait l'éclairage en opération rétro-Raman dans le monochromateur suivant l'invention la figure 6 est un schéma montrant comment fonctionne l'éclai- rage de l'échantillon dans un monochromateur classique la figure 7 représente l'illustration du calcul de HIRLEMAN et STEVENSON dans la focalisation d'un faisceau LASER par une lentille. Description de quelques modes de réalisation. Dans l'éclairage d'un monochromateur classique (figure 6) un faisceau LASER 1 incident est focalisé par la lentille 2 sur l'objet 3 à analyser. Le faisceau 1 forme sur ledit objet 3 une plage illuminée "a" qui est la trace du faisceau LASER sur l'échantillon 3. A partir de cette plage "a", diffuse un rayonnement Raman qui est grossi par l'optique de collection 4 et qui est focalisé en a' dans la première fente 5 du monochromateur. Comme on l'a vu au début du présent mémoire, le problème est de régler correctement cette image "a"' de "a" dans la fente 5. Le montage décrit est le montage à diffusion latérale dans lequel'l'axe d'optique de collection 4 est perpendiculaire à l'axe de la lentille 2. Dans le montage classique permettant d'opérer en "rétro-Raman" (figure 4) le faisceau LASER incident est renvoyé sur l'objet 3 par un premier miroir plan 6 et un deuxième miroir sphérique 7 qui est situé en avant de l'optique de collection 4. Le faisceau 1 est donc focalisé par le miroir sphérique 7 sur la plage "a" et le rayonnement Raman diffusé 5 est grandi dans l'optique 4 et focalisé en "a." dans la fente 5. I1 est certain que le miroir sphérique 7 intercepte une partie du rayonnement Raman 8 dans une zone où celui-ci a une section qui n'est pas la plus grande et qu'il nécessite un réglage indépendant. Le dispositif d'éclairage de monochromateur de l'invention prévoit un ensemble de perfectionnements permettant de faciliter ou d'accélérer les différents réglage de la plage a et des fentes 5, en particulier de eur largeur b" (figure 1) et d'apporter des améliorations dans la qualité de l'image "a"' et de son réglage. A cet effet en se référant à la figure 2, on voit les principaux aménagements de l'invention qui consistent en ce que le faisceau LASER 1 produit par l'émetteur ou source de faisceau LASER 9 passe dans une optique de focalisation 10 dudit faisceau suivant la plage a de l'objet 3, ladite optique 10 ayant une focale que l'on peut modifier soit par échange des lentilles, soit par utilisation d'une optique à focale variable. Une deuxième particularité de Invention réside dans le fait que l'optique de collection 4 du rayonnement Raman est double et qu'elle est composée, du côté de l'échantillon ou objet 3, d'un objectif à focale 11 que l'on peut modifier (soit par échange de lentille, soit par exemple d'un dispositif à focale variable, et, du côté de la fente 5, d'une optique fixe 12. Les deux optiques 11 et 12 sont séparées par un faisceau conique mais on peut les choisir de manière qu'elles aient ceci de particulier que le faisceau diffusé 13 qui les traverse se constitue en un faisceau rayons parallèles entre l'objectif 11 et l'optique. 12. L'optique fixe 12 produit une image a' dans la fente 5 dont la largeur "b" est commandée par un dispositif moteur 14. L'optique de focalisation 10, l'objectif 11 et le dispositif moteur 14 de commande des fentes 5 sont reliés, respectivement par les lignes 15, 16, 17 à une logique de régulation L qui permet d'obtenir le réglage optimum, c'est-à-dire la meilleure image possible "a"' dans la fente 5. Dans le cs d'optiques 10 et ll à focale variable on prévoit un dispositif moteur pour chacune d'elle qui est relié aux lignes 15 et 16. On obtient un réglage analogique des focales qui est facilement réalisable de façon connue à l'aide de la logique 2. Dans le cas d'optique 10 et 11 à focales fixes mais interchangeables, on prévoit sur chacune d'elles un système de repérage connu par crans, comme ceux qui existent, par exemple dans les cassettes d'appareils photos de format 110, pour adapter le réglage desdits appareils à la sensibilité du film ; on peut aussi prévoir un système de repérage. Les systèmes de repérage envoient un signal à la logique L qui peut en tenir compte pour le réglage des fentes 5 et pour détecter la compatibilité des optiques 10 et 11 afin d'avertir l'opérateur de sa mauvaise manoeuvre. Une autre particularité importante de l'invention réside dans le fait que l'on prévoit un miroir escamotable 19 entre l'optique fixe 12 et la fente 5 qui intercepte le faisceau du rayonnement Raman et produit une image a"" " de la plage "a" sur l'écran 20 dont la position est conjuguée de celle des fentes 5 par rapport au miroir 19. La version d'éclairage de monochromateur représentée à la figure 2 fonctionne de la manière suivante. Lorsque l'on a positionné correctement l'objet ou échantillon 3 et que l'on a focalisé le faisceau LASER 1 sur la plage na", on obtient de cette plage "a" une image "a"" sur écran 20 lorsque le miroir escamotable 19 est placé dans le trajet du faisceau 13 à la sortie de l'optique 12. Le réglage se fait, non seulement, comme il est classique, par déplacement de l'échantillon suivant les flèches 21, 22 mais aussi en agissant par l'intermédiaire de la logique du réglage L à la fois sur l'optique de focalisation 10, l'objectif 11 et la largeur "b" de la fente 5. Lorsque l'image û" est correcte, on fait pivoter le miroir 19 et l'image "a'" de a se forme dans la fente 5. Pour parfaire les possibilités de réglage (figure 3) on prévoit une source de lumière 23 de couleur différente de celle émise par l'émetteur 9, ladite source étant focalise par une optique 24, sur la fente 5 (image p), à l'aide du miroir mobile 25 pour produire l'image "p Avec ce dispositif, lorsqu'on est parvenu, au moyen de la logique L, à faire coincider l'image "p1, n de la fente "p" avec l'image "a"" de la plage "a" de l'échantillon 3, on a réalisé un réglage parfait de l'appareil. Cette disposition permet, avec des optiques à focale variable, par un dispositif à colncidence, de réaliser un réglage automatique de l'appareil qui agit sur la logique L. Une autre particularité importante de l'invention réside dans le dispositif qui est représenté à la figure 5 et que l'on voit d'une façon d'ensemble à la figure 1. I1 s'agit de profiter du fait que le faisceau 13 entre l'objectif 11 et 11 optique fixe 12, est parallèle pour renvoyer le faisceau parallèle LASER incident 1 vers l'objet ou échantillon 3 au milieu de ce faisceau parallèle 13 pour focaliser ledit faisceau LASER automatiquement sur l'objet ou échantillon 9. A cet effet, on prévoit deux miroirs plans 30, 71 (figure 1) qui dévient le faisceau 1 en des tronçons successifs respectifs 32, 33, le faisceau 33 étant dirigé sur un petit miroir plan 34, situé entre l'objectif à focale variable 11 et l'optique fixe 12 pour renvoyer un tronçon de faisceau 35 parallèlement au faisceau 13 vers l'optique à focale variable 11 pour précisément focaliser le tronçon de faisceau 35 suivant un faisceau 36 qui concentre le faisceau LASER sur l'échantillon 3. I1 est certain que le miroir 34 peut avoir une position quelconque dans le faisceau 13 entre l'objectif 11 et l'optique 12 à condition qu'il réémette un tronçon de faisceau 35 parallèle à l'axe de l'optique de collection 4. A la figure 1, tous les éléments qui viennent d'etre décrits sont rassemblés et se retrouvent de la même façon. On a toutefois prévu que les images sur l'écran 20 se formaient après réflexion sur un miroir supplémentaire 37. REVENDICATIONS 10/ Perfectionnements aux appareils d'analyse opticue, notamment à l'éclairage des monochromateurs à diffusion d'énergie reçue par un échantillon, notamment le rayonnement Raman après éclairement par un faisceau LASER, que ce soit par diffusion perpendiculaire au faisceau LASER ou par diffusion dans l'axe dudit faisceau (rétro-Raman) lesdits appareils comprenant - une source de faisceau LASER, - une optique de focalisation du faisceau sur l'échantillon, - un dispositif de réglage de la position de l'échantillon, - une optique de collection du rayonnement Raman et de focalisation de celui-ci sur la première fente du monochromateur, - un dispositif annexe à miroirs d'éclairage en "rétro-Raman", c a r a c t é r i s é s par le fait qu'ils combinent a) une optique de focalisation du faisceau LASER sur l'échantillon dont on t eut faire varier la focale, b) une optique double de collection du rayonnement Raman composée de deux optiques compléntaires séparées par un espace dans lequel le faisceau a une conicité fixe à savoir - du côté de l'échantillon, un objectif dont on peut faire varier la focale, - du côté de la fente, d'une optique fixe captant le faisceau et le focalisant sur la fente, en l'adaptant à l'étendue géométrique du monochromateur, c) entre l'optique de collection et la fente, un dispositif comprenant un miroir escamotable qui renvoie le faisceau sur un écran de contrôle, dont la position est conjuguée de celle de la fente, d) un dispositif annexe à miroirs renvoyant le faisceau LASER parallèlement à l'axe de l'optique double de collection, le dernier miroir de ce dispositif se situant entre l'optique et l'objectif de l'optique double, et rdfléchissant le faisceau LASER vers l'objectif, e) une logique de régulation actionnant l'ouverture de la fente, en fonction des images sur l'écran de contrôle et des exigences de la résolution que l'on désire en tenant compte des caractéristiques de l'optique de focalisation du faisceau LASER sur l'échantillon et de l'objectif de l'optique double de collection. 20/ Dispositif d'éclairage de monochromateur, tel que défini dans la revendication 1, c a r a c t é r i s é par le fait que l'optique de focalisation du faisceau sur l'échantillon est une optique à focale variable. 30/ Dispositif d'éclairage de monochromateur, tel que défini dans la revendication 1, c a r a c t é r i s é par le fait que l'optique double de collection du rayonnement Raman est conçue de manière à réaliser entre l'objectif et l'optique fixe un faisceau parallèle. 40/ Dispositif d'éclairage de monochromateur, tel que défini dans la revendication 3, c a r a c t é r i s é par le fait que l1objectif est à focale variable. 5 / Dispositif d'éclairage de monochromateur, tel que défini dans les revendications 2 et 4, prise isolément, c a r a c t é r i s é par le fait que la logique de régulation aetionne simultanément - l'optique à focale variable de focalisation du faisceau LASER sur l'échantillon, - l'objectif de l'optique double de collection, - l'ouverture de la fente, en fonction des images sur l'écran de contrôle et des exigences de la résolution gue l'on désire. 6 / Dispositif d'éclairage de monochromateur, tel que défini dans l'une quelconque des revendications 1 à 5, prise isolément, c a r a c t é r i s é par le fait que le miroir entre l'optique de collection et la fente est un miroir escamotable susceptible de prendre deux positions, à savoir - l'une permettant à l'image de l'échantillon diffusant le rayons nement Raman de se former directement sur la fente, - l'autre envoyant ladite image sur un écran de contrôle avec, éventuellement, réflexion sur un autre miroir. 70/ Dispositif d'éclairage de monochromateur, tel que défini danses revendicationsi à 5, prise isolément, c a r a c t é r i s é par le fait que le miroir, entre l'optique de collection et la fente, est un miroir semi-transparent qui est combiné avec un dispositif d'éclairage de '-a fente pour produire une image de celle-ci sur l'écran de contrôle après réflexion sur l'échantillon et passage dans l'optique double de collection. d / Dispositif d'éclairage de monochromateur, tel que défini dans la revendication 7, c a r a c t é r i s é par le fait que le dispositif d'éclairage de la fente émet une lumière filtrée différente de celle du LASER. 9 / Dispositif d'éclairage de monochromateur, tel que défini dans l'une quelconque des revendications 1 à , prise isolément, c a r a c t é r i s é par le fait que le dernier miroir du dispositif annexe envoyant le faisceau LASER dans l'objectif de l'optique de collection peut se déplacer, tout en dirigeant le faisceau LASER, à 1'axe, focalisé sur l'échan- tillon. 100/ Dispositif d'éclairage de monochromateur, tel que défini dans la revendication 9, @ a r a c t é r i s é par le fait que le dernier miroir du dispositif annexe est monté de manière à pouvoir osciller de manière . couvrir la longueur de l'échantillon projetée à travers ltoptic,ue sur la fente d'entrée du monochromateur.