Brevet FR2458901A1 — publié le 19810102

La présente invention se rapporte aux dispositifs à ondes magnétostatiques qui comprennent une lamelle ferrimagnétique à la surface de laquelle sont agencées des électrodes d'excitation filiformes. Lorsqu'on fait circuler un courant alternatif de fréquence appropriée le long de ces électrodes et lorsqu'on soumet la lamelle à un champ magnétique de polarisation dont l'intensité est choisie en fonction de cette fréquence, des ondes magnétostatiques de volume ou de surface sont émises perpendiculairement à la direction du courant excitateur. Ces ondes peuvent être recueillies par une autre électrode, ce qui donne naissance à un courant induit. Avec deux électrodes fili- formes disposées en vis-à-vis et jouant respectivement les rôles de transducteurs d'émission et de réception, on peut réaliser une transmission par ondes magnétostatiques présentant une fonc- tion de transfert déterminée. Cependant, cette fonction de trans- fert présente des ondulations gênantes produites par les réfle- xions que subissent les ondes magnétostatiques en atteignant les bords de la lamelle ferrimagnétique. Pour pallier cet inconvénient, on peut traiter les bords de la lamelle ferrimagnétique de façon à diminuer les réflexions d'ondes magnétostatiques. Dans ce sens, on peut mentionner la méthode qui consiste à découper obliquement les bords de la lamelle ferrimagnétique par rapport à la direction de propaga- tion des ondes magnétostatiques. Ceci a pour effet d'allonger le trajet des ondes réfléchies avant qu'elles n'atteignent les transducteurs, mais cette méthode dont l'efficacité n'est que partielle, entraîne un gaspillage de matière puisqu'il faut donner une forme en biseau à la plaquette ferrimagnétique. Une autre solution consiste à roder les bords de la plaquette à l'aide d'un outil chargé d'abrasifs, mais il est difficile d'obtenir de façon reproductible une transition suffisamment progressive entre la partie rodée et la partie non rodée pour que les réflexions soient fortement réduites. La diminution des réflexions peut encore être obtenue en déposant sur la plaquette ferrimagnétique un ruban magnétique ou des particules magnétiques présentant des pertes magnétiques importantes, mais la discontinuité des propriétés 2458-901 magnétiques de ce dépô5t et du substrat constitue un facteur de réflexion. Dans le cas de la technologie utilisant comme substrat un grenat ferrimagnétique tel que le grenat d'yttrium et de fer, on peut réaliser un dépôt par épitaxie d'un matériau similaire, mais à fortes pertes magnétiques tel que le grenat de terbium et de fer. Cette technologie est cependant onéreuse et complexe et elle laisse subsister un facteur de réflexion, puisque ce dépôt introduit une discontinuité d'épaisseur. On sait actuellement fabriquer des substrats pour dispo- sitifs à ondes magnétoélastiques qui présentent une faible atté- nuation. A cet effet, on prend pour base un support en grenat de galodinium et gallium (GGG) dont la surface a été soigneusement polie pour atteindre une faible densité de défauts, par exemple inférieure à 1/cm2. On fait croître sur ce support par épitaxie en phase gazeuse ou liquide un film mince de grenat d'yttrium et de fer (YIG) pour lequel la raie de résonance ferrimagnétique a une largeur qui ne dépasse pas une fraction d'Oersted. Il en résulte des pertes de propagation de l'ordre de 38 dB/!us en bande X. Afin d'obtenir localement une forte atténuation sans créer de discontinuité susceptible d'engendre des réflexions, ltinvention propose d'utiliser une technique de sablage créant à la surface du film un nombre important de défauts microscopiques grâce auxquels on peut élargir sensiblement la raie de résonance ferrimagnétique ce qui rend le film localement plus absorbant. L'invention a pour objet un dispositif à ondes magnéto- statiques comportant des moyens atténuateurs localisés sur un substrat ferrimagnétique de manière à recevoir les ondes magnéto- statiques provenant de transducteurs constitués par des électrodes filiformes, caractérisé en ce que ces moyens atténuateurs com- prennent au moins une zone dont l'atténuation a été sensiblement accrue par un traitement local créant en surface des défauts qui résultent d'impacts produits par l'action locale d'un jet de particules abrasives. L'invention a également pour objet le procédé de fabrication du dispositif mentionné ci-dessus qui consiste à masquer les zones du substrat qui ne doivent pas présenter de détériorations superficielles et à effectuer un sablage des zones restantes pour y faire croître sensiblement l'atténuation des ondes magnétostatiques, sans qu'il se forme une discontinuité assez sensible pour les réfléchir. L'invention sera mieux comprise au moyen de la description ci-après et des figures annexées, parmi lesquelles - la figure 1 illustre la structure des domaines au sein d'une couche ferrimagnétique épitaxiée; - la figure 2 est une vue isométrique d'un premier dispo- sitif à ondes magnétostatiques selon l'invention; - la figure 3 représente deux dispositifs à ondes magnéto- statiques réunis sur un même substrat ferrimagnétique; - la figure 4 représente une variante de réalisation du dispositif à ondes magnétostatiques de la figure 1; - la figure 5 illustre le procédé de fabrication des dispo- sitifs représentés aux figures 2 à 4; - la figure 6 représente la fonction de transfert d'un dispositif à ondes magnétostatiques. Sur la figure 1, on peut voir la structure d'un film mince ferrimagnétique 1 dont la partie L1 située à gauche de l'axe X1X2 est pratiquement dépourvue de défauts et dont la partie L2 située à droite de l'axe X1X2 a été détériorée superficiellement par sablage. Cette structure peut être visualisée en champ magné- tique faible ou nul à l'aide d'un microscope polarisant dans le cas o la lamelle ferrimagnétique est assez mince pour permettre une observation par transmission optique. Par effet Faraday, on peut distinguer les domaines magnétiques 2 et 3. Dans la région Li, ces domaines se présentent sous la forme de bandes claires et obscures formant un agencement d'aspect régulier. L'écarte- ment des bandes change avec l'intensité du champ magnétique appli- qué. La forte mobilité desbandes avec un champ appliqué de faible intensité permet d'identifier cette région comme étant celle o les ondes magnétostatiques peuvent se propager avec une faible atténuation. Au contraire, le sablage appliqué dans la région L2 a engendré en surface de nombreux défauts qui ont complètement changé l'aspect des domaines magnétiques. Ceux-ci sont en effet morcelés de façon très irrégulière et leur mobilité est prati- quement nulle lorsque le champ magnétique varie. L'expérience montre qu'un sablage de faible importance qui n'engendre pas de discontinuité marquée entre les deux régions L1 et L2 a complètement changé l'aspect et la mobilité des domaines magnétiques. De plus, si la région L2 reçoit une onde magnétostatique, elle atténue beaucoup plus fortement cette onde que la région L1. L'onde magnétostatique subit une atténua- tion pratiquement totale pour une distance de parcours de 2 mm dans la région L2. L'absence de discontinuité marquée fait que le franchissement de la ligne X1X2 ne donne pas lieu à une réfle- xion. Hormis les pertes, les propriétés magnétiques des régions L1 et L2 sont les memes. L'observation basée sur l'effet Faraday permet de doser l'action du sablage en densité, durée et distance buse-échantillon de manière à satisfaire au critère de pertur- bation des domaines magnétiques, c'est-à-dire à leur aspect irrégulier et à l'absence de mobilité. Le dispositif à ondes magnétostatiques de la figure 2 met en oeuvre la technique de sablage en vue d'absorber les ondes magnétostatiques de volume excitées par l'électrode filiforme 6. Le dispositif se compose par exemple d'un support 4 en grenat de galodinium-gallium sur lequel on a épitaxié un film 5 de grenat d'yttriumfer. Un champ magnétique H est appliqué perpendiculairement à la surface XOY de film 5. Le transducteur d'émission des ondes magnétostatiques de volume est constitué par l'électrode 6 orientée parallèlementà l'axe OX. L'entrée E du transducteur d'émission est reliée à un générateur électrique et l'extrémité opposée est reliée à la masse M. Le transduc- teur 6 est à rayonnement bilatéral. Les ondes rayonnées en sens inverse de l'axe OY sont absorbées par la zone sablée 8 qui pré- cède le bord arrière du film 5. Les ondes rayonnées dans le sens de l'axe OY sont reçues par le transducteur de réception 7 cons- titué lui aussi par une électrode filiforme 7. L'électrode 7 a une extrémité reliée à la masse et l'autre extrémité S alimente une charge électrique 11. Les ondes magnétostatiques de volume qui ont pu franchir le transducteur 7 sont absorbées par une zone sablée 9 qui précède le bord avant du film 5. Bien entendu, la configuration des électrodes 6 et 7 n'est pas limitée à un seul élément rectiligne par transducteur. On peut aussi adopter une configuration en méandre o les éléments rayonnants forment un réseau ou une grille de barreaux parallèles inter- connectés. Il va sans dire que des zones sablées 8 et 9 peuvent s'étendre jusqu'aux bords du film 9. Sur la figure 2, les zones d'atténuation 8 et 9 s'opposent à la réflexion des ondes magnétostatiques de volume. On peut également mettre en oeuvre une zone d'atténuation pour s'opposer à la transmission des ondes magnétostatiques entre deux dispo- sitifs disposés en cascade sur un substrat commun. La figure 3 illustre un tel agencement o les mêmes réfé- rences désignent les mêmes éléments que sur la figure 2. L'agen- cement de la figure 3 diffère du précédent par l'orientation du champ magnétique inducteur Ho qui est dans le plan du film 5 et perpendiculaire aux électrodes 6, 7, 12 et 13. Les ondes échangées sont encore des ondes magnétostatiques de volume émises bilatéralement. L'électrode 12 constitue le transducteur d'émission d'un second dispositif E S2 qui est isolé du premier dispositif E S. par la zone d'atténuation 9. L'électrode 13 joue le rôle de transducteur de réception pour le second dispositif d'échange. La zone d'atténuation 14 sert à empêcher la réflexion des ondes magnétostatiques qui ont pu franchir le transducteur 13. On voit que les échanges par ondes magnétostatiques de volume symbolisées par les vecteurs d'ondes k1 et k2 sont efficacement découplés par la présence de la zone d'atténuation 9. La création par sablage de zones d'atténuation est également efficace pour s'opposer à la transmission ou à la réflexion d'ondes magnétostatiques de surface. Le dispositif de la figure 4 diffère du dispositif de la figure 2 par le fait que le champ inducteur Ho est orienté paral- lèlement au conducteur 6. Dans ce cas, les ondes magnétostati- ques sont des ondes de surface excitées préférentiellement suivant une direction par le transducteur 6. La direction d'émission est représentée par le vecteur d'onde it. L'orientation préférentielle du vecteur Q est parallèle au vecteur produit vectoriel O X n, o it désigne la normale à la surface du film 5 dirigée vers l'exté- rieur du film 5. La zone d'atténuation 9 absorbe les ondes magné- tostatiques de surface émises par le transducteur 6 et qui ont franchi le transducteur récepteur 7. La zone d'atténuation 8 per- met d'absorber les ondes résiduelles qui, malgré l'émission pseudounidirectionnelle, peuvent se réfléchir sur le bord arrière du film 5. Sur la figure 5, on peut voir un substrat ferrimagnétique 17 au cours de l'opération de sablage. La zone de propagation dans laquelle on désire conserver une faible atténuation est protégée par un masque 18. Le jet de particules 16 est issu d'une buse 15 dirigée vers la zone d'absorption non masquée. On peut déplacer la buse 15 dans la direction 19 si la zone d'impact des particules 16 ne recouvre pas complètement la zone d'absorp- tion désirée. Il y a lieu de noter que dans le cas d'une structure dans laquelle on épitaxie le matériau ferrimagnétique sur un support préalablement poli, on peut effectuer le sablage de la surface du support avant épitaxie. Lors de la croissance du film épitaxié, l'état de surface du support est tel que les zones d'atténuation désirées présentent de nombreux défauts. Bien entendu, les zones d'atténuation sont moins bien délimitées que lorsqu'on effectue le sablage à la surface du film épitaxié. La figure 6 illustre l'amélioration obtenue par la techni- que de sablage décrite ci-dessus. Le diagramme de la figure 6 montre en trait plein la fonction de transfert 20 d'un dispositif à ondes magnétostatiques non muni de zones d'atténuation. Cette fonction de transfert présente des ondulations imputables aux réflexions parasites. En prévoyant des zones d'atténuation par sablage, la fonction de transfert présente une allure plus régu- lière représentée pa la courbe en pointillé 21. En abscisse on a porté la fréquence f et en ordonnée le module [AI du rapport de transmission. La technique du sablage est particulièrement simple à mettre en oeuvre. Comme elle n'introduit pas de discon- tinuité sensible dans la surface de la lamelle ferrimagnétique, il est possible de photograver des motifs recouvrant les zones sablées, car l'état de surface de ces zones est peu détérioré. REVENDICATIONS 1. Dispositif à ondes magnétostatiques comportant des moyens atténuateurs localisé sur un substrat ferrimagnétique de manière à recevoir les ondes magnétostatiques provenant de transducteurs constitués par des électrodes filiformes, caractérisé en ce que ces moyens atténuateurs comprennent au moins une zone dont l'atté- nuation a été sensiblement accrue par un traitement local créant en surface des défauts qui résultent d'impacts produits par l'ac- tion locale d'un jet de particules abrasives. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que cette zone est une zone absorbante marginale. 3. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que cette zone située à l'intérieur de l'étendue du substrat, est une zone absorbante de découplage entre deux ou plusieurs cellules échangeant des ondes magnétostatiques. 4. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'il est polarisé magnétiquement de manière à propager des ondes magnétostatiques de volume ou de surface. 5. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que le substrat ferrimagnétique est épitaxié sur un support. 6. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que les défauts de surface sont situés sur la surface libre du substrat. 7. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que les défauts de surface sont situés à l'interface entre le substrat ferrimagnétique et son support. 8. Procédé de fabrication du dispositif selon l'une quelcon- que des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il con- siste à masquer les zones du substrat qui ne doivent pas présenter de détériorations superficielles et à effectuer un sablage des zones restantes pour y faire croître sensiblement l'atté- nuation des ondes magnétostatiques sans qu'il se forme une discon- tinuité assez sensible pour les réfléchir. 8 2458901 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que le dosage de l'opération de sablage est reconnu suffisant par un examen optique du substrat ferrimagnétique mettant en évidence les domaines magnétiques et laissant apparaître leur morcellement irrégulier et leur absence de mobilité dans les zones soumises au sablage. 10. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que la surface sablée est la surface libre du substrat. 11. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que la surface sablée est la surface polie d'un support sur laquelle le substrat est épitaxié.