Brevet FR2460040A1 — publié le 19810116

La présente invention concerne un procédé pour réaliser une diode Schottky, notamment du type comportant une couche épitaxiale portant une couche d'oxyde, une couche métallique établissant le contact Schottky et un anneau de garde métallique. Dans le domaine des composants à semiconducteurs il est connu d'utiliser, notamment dans des circuits de détection ou de mélange à haute fréquence, des diodes Schottky consitutées par un contact métal-semiconducteur faiblement dopé, qui présente des propriétés de redressement. Cependant un inconvénient de telles diodes réside dans le fait que dans de nombreuses applications, leur tenue en tension est un facteur de limitation important. Sur la figure 1, annexée à la présente demande, on a représen- té une vue en coupe schématique d'une diode Schottky réalisée au niveau d'une couche 2 de silicium monocristallin du type n et sur- montée d'une couche métallique 3. La référence 4 désigne la couche d'oxyde de silicium SiO2. Or la région 1, qui constitue la zone de charge d'espace, possède, au niveau du pourtour de la diode, un rayon de courbure faible et il en résulte un champ électrique élevé qui provoque fréquemment un claquage prématuré de la diode. Ce der- nier ainsi que le courant dans la diode sont également très sensi- bles aux effets de surface. Dans l'art antérieur, une première solution, illustrée sur la figure 2 annexée à la présente demande, a consisté à utiliser un anneau de garde 5 réalisé par diffusion, de type p, dans le cas d'un silicium de type n. Sur la figure 2, on a conservé les mêmes références que celles de la figure 1 pour désigner des éléments de même nature. Dans ce cas, le résultat obtenu est une extension de la zone de charge d'espace 6, avec une forme plus arrondie sur les bords de la diode Schottky, ce qui entraîne une amélioration de la tenue en tension, mais à partir d'un certain niveau un courant finit par passer dans la diode à jonction, parasite, que constitue l'anneau de garde et qui peut stocker des porteurs de charge dans certaines conditions de polarisation, et il en résulte un temps de commutation élevé. Il a alors été proposé (figure 3), pour éviter tout stockage de porteurs minoritaires et supprimer le passage du courant parasite, de mettre en place deux anneaux de garde 7, 8 l'un de type n+, l'autre de type p+, réalisant deux jonctions disposées t8te-b8che. Cette disposition augmente assurément l'étendue de la zone de charge d'espace, qui prend la forme 9, 2 2460040 mais, outre le fait que cette solution est assez complexe, ceci se traduit par un accroissement de la surface de l'élément, ce qui est nuisible pour l'obtention d'une densité élevée d'intégra- tion des circuits. Enfin une autre solution a été proposée selon laquelle une amélioration de la tenue en tension est obtenue à l'aide d'un anneau de garde métallique 10 (figure 4) déposé sur le pourtour en biseau de l'oxyde SiO2 4. En donnant à cet anneau 10 une forme particulière, telle que représentée, le champ électrique se trou- ve réduit au niveau des bords de la diode, ce qui améliore la te- nue en tension. La zone de charge d'espace est désignée dans ce cas par la référence 11. Néanmoins il s'avère que les résultats dépendent du profil de l'anneau de garde et que la limitation pro- vient de la périphérie. Dans les trois solutions connues visant à améliorer la tenue en tension de diodes Schottky, cette tenue en tension reste cependant de qualité médiocre; la caractéristique de la diode est loin d'être idéale et on lui adjoint, en outre, dans les deux premières solutions connues, des éléments parasites, du type capa- cités, diode de stockage, etc. Pour résoudre ce problème l'invention utilise le fait connu, selon lequel la zone de charge d'espace est d'autant plus étendue que le dopage est plus faible, et met en oeuvre de façon particulière ce principe en réalisant un appauvrissement ("déplé- tion") de la zone de charge d'espace au niveau de la périphérie de la diode, et ce notamment dans le cas d'une diode Schottky comportant un anneau de garde métallique, ce qui accroît plus en- core les performances d'une telle diode, et ce sans l'adjonction d'éléments parasites tels qu'indiqués plus haut. Ce problème est résolu conformément à l'invention grâce au fait qu'il consiste à appauvrir la zone de charge d'espace sur le pourtour de la diode en modifiant localement le dopage de la couche épitaxiale. Selon l'invention cette modification locale du dopage de la couche épitaxiale est réalisée jusqu'à compensa- tion du dopage de cette couche, et ce au moyen d'une implantation d'ions de bore. D'autres caractéristiques de mise en oeuvre du procédé selon l'invention ressortiront de la description donnée ci-après. A titre d'exemple on a décrit ci-dessous et illustré sché- matiquement aux dessins annexés un mode d'exécution du procédé conforme à l'invention. Les figures 1 à 4, dont il a déjà été fait mention, illus- trent l'art antérieur dans le domaine des diodes Schottky. Les figures 5 à 9 illustrent les différentes phases de mise en oeuvre du procédé conforme à l'invention, dans le cas d'une diode Schottky du type à anneau de garde métallique. Pour la mise en oeuvre du procédé on part d'un substrat de silicium fortement dopé, du type n +, 12, sur lequel on dépose une couche épitaxiale de type n 13, puis une couche d'oxyde SiO2 14. Après masquage, on effectue conformément à l'invention, une implantation d'ions de bore (flèches 15) assurant une compensation locale du dopage de la couche épitaxiale dans les zones 16 et 17, mais sans atteindre le changement de type (figure 5). Ensuite on dépose une nouvelle couche 18 de SiO2 et, en outre, on désoxyde la face arrière 19 de la structure (figure 6), de sorte que lors de la formation ultérieure d'une couche 20 de SiO2 dopée au phos- phore (SiO2-P205), il se produira une diffusion du phosphore (flè- che 21), créant ainsi un réseau de piégeage pour les impuretés mé- talliques. On dépose alors ladite couche 20, puis on dépose une résine photosensible 21 bien connue sous le nom de "photoresist", qu'on éclaire, moyennant l'interposition d'un masque approprié. On dissout ensuite les zones éclairées, et on réalise finalement une structure à profil étagé en biseau de l'oxyde 18, selon une technique classique basée sur une différence des vitesses d'atta- que chimique dans l'oxyde 18 et dans la couche d'oxyde dopé 20 (figure 7). Cette forme en biseau de la couche d'oxyde au-dessus des zones 16 et 17 est nécessaire pour obtenir une variation pro- gressive du champ électrique en surface et un appauvrissement ("déplétion") progressif des charges d'espace dans la couche épitaxiale. Conformément à l'invention on règle alors le dopage au niveau du contact Schottky au moyen d'une implantation permettant de définir parfaitement ce qu'on appelle la hauteur de barrière Schottky et qui est un paramètre intervenant dans la formule donnant le courant traversant la diode. Ensuite on dé- pose sur la structure obtenue et on grave un métal approprié 22, comme représenté sur la figure 8, constituant à la fois le métal du contact Schottky et un anneau de garde, la zone de charge d'espace obtenue 23 ayant la forme représentée. On voit nettement que cette zone est plus étendue que dans le cas des dispositifs de l'art antérieur et présente deux parties renflées dans les zones 16, 17 au niveau de la périphérie du contact Schottky. Par ailleurs on peut, après avoir déposé le métal, le faire réagir avec le silicium au moyen d'un traitement thermique pour obtenir un siliciure métallique et on élimine ensuite le métal en excès. On dépose ensuite (figure 9), sur le siliciure 24, un sandwich 25 comprenant un métal réfractaire 26 agissant en tant que barrière de diffusion métallique et un métal d'inter- connexion 27. Après gravure on aboutit au dispositif représenté sur la figure. Conformément à l'objet de l'invention, la compensation locale du dopage initial de la couche épitaxiale assure une exten- sion de la zone de charge d'espace dans les zones compensées, beaucoup plus importante que ne le permet un anneau de garde mé- tallique seul et l'on obtient par conséquent une augmentation de la tenue en tension de la diode sans addition d'éléments parasites tels que capacités ou stockage de porteurs. R E V E N D I C A T I O N S 1. Procédé pour accroître la tenue en tension d'une diode Schottky, du type comportant une couche épitaxiale portant une cou- che d'oxyde, une couche métallique établissant le contact Schottky et un anneau de garde métallique, caractérisé par le fait qu'il consiste à appauvrir la zone de charge d'espace sur le pour- tour de la diode par modification locale du dopage de la couche épitaxiale. 2. Procédé suivant la revendication 1, caractérisé par le fait qu'on modifie localement le dopage de la couche épitaxiale jusqu'à compensation du dopage initial de cette couche. 3. Procédé suivant les revendications 1 et 2 prises dans leur ensemble, caractérisé par le fait qu'après masquage de la couche épitaxiale de type n, déposée sur un substrat de type n, on réali- se la modification locale du dopage initial de la couche épitaxiale au moyen d'une implantation d'ions de bore. 4. Procédé suivant les revendications 1 à 3 prises dans leur ensemble, caractérisé par le fait qu'on compense tout d'abord localement le dopage initial de la couche épitaxiale de type n, qu'on dépose alors sur l'ensemble une couche d'oxyde (SiO2), dont la partie supérieure est dopée, et dans laquelle on réalise de façon connue une ouverture dont le bord possède un profil en biseau, qu'on règle alors le dopage au niveau du contact Schottky par implantation d'ions pour définir parfaitement la hauteur de barrière Schottky, et qu'on dépose ensuite un métal approprié sur l'ensemble de la structure au niveau du contact. 5. Procédé suivant la revendication 4, caractérisé par le fait que lors du dépôt du métal au niveau du contact Schottky, on dépose simultanément un anneau de garde métallique recouvrant le pourtour du contact et d'un seul tenant avec le métal du contact. 6. Procédé selon l'une des revendications 4 ou 5, caractérisé par le fait que, avant la réalisation du dopage superficiel de la couche d'oxyde, on désoxyde la face arrière de la structure de sor- te que, lors du dopage superficiel ultérieur, notamment au phosphore, il se produit une diffusion du phosphore constituant un réseau de piégeage d'impuretés métalliques.