Brevet FR2429445A1 — publié le 19800118

L'invention est relative à un circuit électro-optique intégré destiné à la commutation spatiale de signaux acheminés par voie optique. Plus précisément, elle concerne un tel circuit du genre comportant d'une part, à la surface d'un substrat en matériau dié- lectrique, au moins deux guides minces de lumière latéralement délimités et en intersection, réalisés en un matériau électro-optique dont l'indice de réfraction est plus élevé que celui du matériau du substrat pour la lumière à guider, d'autre part une paire d'électrodes en forme de peignes plaquées sur l'intersection des deux guides, les deux électrodes comportant chacune une pluralité de dents parallèles, les dents d'une pluralité alternant avec les dents de l'autre pluralité, de telle sorte qu'une différence de potentiel électrique appliquée entre les deux électrodes engendre par effet Pèckels dans l'intersection un gradient périodique d'indice de réfraction formant un réseau de Bragg qui provoque le transfert dans l'un des guides d'une fraction de l'énergie lumineuse transportée par l'autre guide et que l'intersection constitue ainsi un point de commutation optique On entend ici par "lumière" toute radiation électro-magnétique de longueur d'onde telle qu'elle peut être soumise aux phénomènes de réfraction dans un milieu diélectrique solide. L'invention concerne non seulement un circuit du genre précité, mais aussi les dispositifs de commutation comportant ce circuit et un procédé de réalisation de ce circuit. On connait déjà des circuits du genre précité. Ils sont réa- lisés dans le but de commuter le maximum d'énergie lumineuse. Ainsi qu'on le montrera dans le cours de la présente description, il est alors nécessaire de prévoir une grande longueur d'interaction - de l'ordre de plusieurs milliers de longueurs d'ondes - entre le champ électrique appliqué au moyen des électrodes et le flux lumineux à commuter, c'est-à-dire que les deux guides doivent avoir un tronçon commun d'une longueur supérieure à 1 millimètre. D'autre part, le rendement énergétique élevé de la commutation réduit d'autant plus l'intensité du flux lumineux subsistant dans un guide après commutation dans l'autre guide que ce flux subsistant a subi des pertes par diffraction en traversant la partie du tronçon commun soumise au champ des électrodes.Il en résulte que les circuits électro-optiques intégrés connus du genre précité présentent les inconvénients suivants encombrement d'autant plus grand qu'ils comportent davantage de guides de lumière et de points de commutation, - impossibilité pratique de commuter simultanément le signal d'un guide vers plusieurs autres guides. L'invention est fondée sur la constatation, faite par les inventeurs, qugil est possible de ne commuter qu'une faible fraction de 1énergie lumineuse du signal incident acheminé par un guide tout en maintenant dans cette fraction commutée un excellent rapport signal à bruit. Elle permet de réaliser par un procédé simple des circuits électro-optiques intégrés du genre précité qui sont de petites dimensions tout en comportant de nombreux points de commutation en vue de commuter simultanément le signal d'un guide vers plusieurs autres guides, ou le signal de plusieurs guides vers un autre guide, ou encore le signal de plusieurs guides vers plusieurs autres guides.L'invention permet ainsi de réaliser des commutateurs ou autocommutateurs de signaux optiques de données ou de télécommunications - notamment de signaux téléphoniques ou visiophoniques - qui sont économiques, peu encombrants et d'une grande souplesse d'utilisation. Un circuit électro-optique intégré du genre précité conforme à l'invention est caractérisé, selon sa définition la plus générale, d'une part en ce qu'il comporte deux pluralités de guides minces de lumière, chaque guide d'une pluralité de guides étant intersecté par tous les guides de l'autre pluralité et étant conformé de telle sorte que les deux pluralités de guides forment un réseau maillé orthogonal, d'autre part en ce que les dents de la paire d'électrodes plaquée sur chaque intersection sont orientées parallèlement à l'une des bissectrices des quadrants formés par les directions d'orthogonalité de ladite intersection. Avantageusement : - à moins que des contraintes d'utilisation ne l'interdisent, les guides de chaque pluralité sont rectilignes et parallèles, les deux pluralités formant ainsi un réseau à mailles rectangulaires ou carrées, - si le substrat est lui-même en matériau électro-optique, les guides sont réalisés par diffusion localisée à la surface dudit substrat d'au moins un élément dopant dont la présence accroc l'indice de réfraction de ce matériau, - afin d'obtenir une diaphonie minimale entre deux guides orthogonaux en l'absence d'une différence de potentiel entre les électrodes plaquées sur leur intersection, l'indice de réfraction de celleci est sensiblement supérieur à indice de réfraction dans ces guides hors de l'intersection. Un commutateur de signaux optiques selon Iginventin, comportant un réseau de commutation de signaux optiques et une unité de commande, délivrant à partir de signaux dtinstructions de commutation de qui lui sont adressés des signaux de commande/commutation à des points de commutation déterminés du réseau, est caractérisé en ce que ledit réseau est constitué par au moins un circuit électro-optique intégré selon l'invention, dans lequel les intersections constituent les points de commutation et en ce que l'unité de commande est munie d'une pluralité de liaisons électriques de sortie dont chacune est reliée à la paire d'électrodes d'une intersection.Avantageusement, le réseau de commutation comporte une pluralité de circuits électrooptiques intégrés disposés selon un arrangement bi-dimensionnel et des moyens pour connecter optiquement en série chaque guide d'une pluralité de guides de chaque circuit à un guide de la même pluralité d'un circuit contigu. Quant au procédé de l'invention , destiné à réaliser des circuits électro-optiques selon l'invention dans lesquels le substrat est en matériau électro-optique et les guides sont réalisés par diffusion localisée d'au moins un élément dopant, il consiste à déposer l'élément dopant sur le substrat au travers d'un masque découvrant les emplacements des guide puis à imposer au substrat un traitement de diffusion solide de l'élément dopant.Avantageusement, afin d'obtenir dans les intersections un indice de réfraction supérieur à 1' indice dans les guides hors des intersections, un premier dépôt est d'abord réalisé au travers d'un premier masque découvrant les emplacements de la première pluralité de guides puis un deuxième dépôt est réalisé au travers d'un deuxième masque découvrant les emplacements de la deuxième pluralité, de telle sorte que l'épaisseur totale déposée aux emplacements des intersections est égale à la somme des épaisseurs déposées aux emplacements des guides de chaque pluralité et que, après diffusion, la teneur en élément dopant est sensiblemet plus élevée dans les intersections que dans les guides. D'autres dispositions et avantages de l'invention apparaitront dans la description d'exemples de réalisation qui suit et qui se réfère aux dessins annexés dans lesquels - la figure 1 est une vue de dessus d'un circuit électro-optique intégré connu appartenant au genre précité, - la figure 2 est une section selon le plan 2-2 de la figure 1, - la figure 3 est une vue de dessus schématique d'une forme de réalisation plus générale dudit circuit connu, - La figure 4 est une vue en perspective d'un circuit électrooptique intégré conforme à l'invention, - La figure 5 est un schéma d'un commutateur de signaux optiques comportant un circuit electro-optique hybride constitué par l'assemblage de circuits électro-optiques intégrés conformes à l'invention, - La figure 6 est une section transversale partielle, selon le plan 6-6 de la figure 7 d'un organe de liaison optique de deux guides à connecter en série, - La figure 7 est une section partielle selon le plan 7-7 de la figure 6, - La figure 8 est une vue de dessus de la portion d'organe de liaison représentée dans les figures 6 et 7, - La figure 9 est un schéma d'intersection de deux guides d'un circuit électro-optique intégré selon l'invention, - Les figures 10 et il sont des vues de dessus d'un même fragment de circuit électro-optique intégré conforme à l'invention, à deux étapes successives de mise en oeuvre du procédé de l'invention. Les largeurs des composants électriques et optiques sont en général représentées dans toutes ces figures à une échelle très supérieure à celle des longueurs. L'échelle des épaisseurs est encore supérieure. On considère d'abord les figures 1 et 2. Le circuit qu'elles représentent est du genre décrit dans la note de Bor-Uei CHEN et Archie LEE publiée dans le fascicule Al1-2 (pages 173 à 175) des preprints du colloque 100C'77 (Integrated Optics and Optical Communications, 1977). Sur une plaquette Ol en niobate de lithium (LiNbO3), deux guides de lumière en couche mince 02 et 03, en intersection par un tronçon commun 04, sont formés par diffusion de titane. L'épaisseur du titane avant diffusion est de l'ordre de 0,02/4m et la largeur des guides de 4/ut, la largeur du tronçon commun 04 est de 30/um. m. Une couche d'alumine 05 de 0,2~ m d'épaisseur est déposée à la surface de la plaquette 01. La figure 1 n'en montre qu'une partie afin de découvrir partiellement les guides 02 et 03. Une paire d'électrodes 06 - chacune en forme de peigne à trois dents dont le pas est de 8pm - est plaquée sur la couche d'alumine 05 au-dessus de la partie médiane du tronçon 04.Les dents de chaque peigne, parallèles à l'axe longitudinal dudit tronçon, s'intercalent entre les dents de l'autre pour former un réseau de dents d'un pas de 4 tu. Sous l'effet d'une différence de potentiel appliquée entre les bornes 061 et 062 de la paire d'électrodes 05, les dents de celle-ci engendredpar effet Pockels dans la zone du tronçon 04 qu' ellesrecouvrent un gradient périodique d'indice de réfraction dont la période spatiale est de 8.u m et qui joue vis à vis des ondes lumineuses polarisées incidentes provenant de l'un ou l'autre guide 02 ou 03 le rôle dtun réseau de Bragg d'un pas de 8 Alm. Il en résulte que - lorsque les deux électrodes de la paire 05 sont au même potentiel, le réseau de Bragg n'est pas formé et un flux lumineux polarisé admis à une extrémité de l'un des guides (par exemple l'extrémité 021 du guide 02) au moyen d'un organe du genre connu (prisme, réseau ou fibre optique) atteint l'autre extrémité (ici 022) du même guide; - lorsqu'une différence de potentiel est appliquée entre les deux électrodes, il se forme un réseau de Bragg dont l'efficacité est d'autant plus grande que la différence de potentiel est elle-même plus grande, une fraction du flux lumineux admis par l'extrémité 021 du guide 02 est réfléchie par le réseau vers l'extrémité 032 du guide 03, une autre fraction est diffractée par le réseau dans diverses directions et la fraction subsistante continue à s'acheminer vers l'extrémité 022. Outre la présence de la couche diélectrique d'alumine 05, destinée essentiellement à éviter des pertes de lumière par interaction entre le matériau électro-optique du tronçon 04 et le métal des électrodes 06, d'autres précautions sont prises pour obtenir un rendement optimal de commutation. A cet effet - les parties des guides (par exemple 023) assurant le raccordement de ceux-ci avec le tronçon 04 sont conformées pour obtenir une conduction adiabatique de la lumière; la figure 1 n'en donne qu'une représentation simplifiée; - l'intervalle entre guides est réduit de telle sorte que le ré- seau de Bragg est frappé par la lumière sous une incidence très faible; celle-ci est d'environ 20 dans l'exemple décrit, c'est-à-dire que l'angle a fait par les axes médians des parties de raccordement des deux guides au tronçon est d'environ 40. Ces précautions permettent d'obtenir, d'après le document précité, un rendement de commutation important, pouvant atteindre 80 pour une tension de 12,5 V appliquée entre les électrodes. On notera qu'il est nécessaire d'obtenir dans le circuit considéré un rendement de commutation aussi élevé que possible afin que le signal issu de la commutation conserve un rapport signal à bruit convenable; du fait de la faible valeur de l'angle d'intersection des deux guides, la diaphonie entre ceux-ci lorsque le noeud de commutation est au repos demeure en effet importante (de l'ordre de -10dB). Mais ce rendement élevé est obtenu au prix d'un encombrement important du noeud de commutation constitué par le tronçon 04 et par les parties de raccordement des guides telles que 023.Dans l'exemple décrit ici, cet encombrement atteint 5 mm, valeur incompatible avec la nécessité de loger de nombreux noeuds de commutation dans un espace réduit. Le circuit de l'art antérieur représenté par les figures 1 et 2 présente un autre inconvénient notable. On a représenté schématiquement dans la figure 3 le circuit de la figure 1 avec les deux guides 02 et 03, leur tronçon commun 04 et la paire d'électrodes 06. On suppose en outre la présence d'un troisième guide 07 et d'un deuxième noeud de commutation constitué par un tronçon 08 commun aux guides 02 et 03 et par une paire d'électrodes 09 plaquées sur ce tronçon. En désignant les noeuds de commutation par les repères de leurs électrodes - si le noeud 06 fonctionne, le signal admis par l'extrémité 021 du guide 02 et subsistant à la sortie du noeud est considérablement affaibli, à la fois par la commutation vers le guide 03 et par les pertes; - dans ces conditions , le signal obtenu à la sortie 072 du guide 07 par une deuxième commutation à partir du guide 02 au moyen du noeud 09 est pratiquement inutilisable. Ces graves inconvénients sont radicalement évités dans le circuit de l'invention. La figure 4 en représente une forme de réalisation. Deux pluralités A et B de guides minces de lumière latéralement délimités sont forméesà la surface dune plaquette 10 en niobate de lithium par diffusion localisée de titane. Dans chaque pluralité les guides sont rectilignes et parallèles. Chaque guide d'une pluralité intersecte orthogonalement tous les guides de l'autre pluralité, c'est-à-dire que les deux pluralité forment un réseau maillé à mailles rectangulaires ou carrées. La pluralité A comporte 5 guides Al, A2. . AS et la pluralité B comporte 4 guides B1, B2, B3 et B4. Ces nombres de guides sont ici suffisants pour montrer les possibilites de commutation du circuit sans trop compliquer la figure. En réa- lité, ils peuvent être beaucoup plus élevés et sont limités seulement par les possibilités techniques de réalisation. Les intersections des guides sont désignées dans la figure par la lettre C suivie du repère numérique du guide A correspondant puis du repère numérique du guide B correspondant. Par exemple, C52 désigne l'intersection du guide A5 et du guide B2. La surface de la plaquette 10 dans laquelle les guides sont ménagés est recouverte d'une couche d'alumine 20. La figure 4 ne montre qu'une partie de cette couche afin de démasquer partiellement les guides. Une paire d'électrodes 30, comportant une électrode 31 et une électrode 32, est plaquée sur la couche 20 au droit de chaque intersection. La figure ne montre que la paire plaquée au droit de l'intersection C33. De même que les électrodes des autres paires, l'électrode 31 et l'électrode 32 sont respectivement connectées par des conducteurs 41 et 42 à des sorties déterminées d'une unité de commande (non représentée) dans le but d'appliquer une différence de potentiel déterminée entre ces deux électrodes. Celles-ci sont toutes deux en forme de peignes à dents parallèles de même pas. Les dents de chaque électrode s'insèrent entre les dents de l'autre pour former un réseau de dents dont le pas est la moitié du pas des dents de chaque peigne. Dans toutes les paires d'électrodes du circuit, les dents sont parallèles à la même bissectrice des mêmes quadrants des intersections.Dans la figure 4, la bissectrice choisie est celle qui forme un angle de -450 avec les axes des canaux A pris comme origine. L'application de la différence de potentiel délivrée par 1' unité de commande à la paire d'électrodes d'une intersection déterminée engendred3nc dans celle-ci un gradient périodique d'indice dont la direction forme, dans le plan d'incidence de la lumière, un angle-de +450 avec le canal A de l'intersection et dont le pas est égal au pas des dents de chaque peigne La lumière acheminée par le guide A ou le guide B de l'intersection frappe donc sous une incidence de 450 le réseau de Bragg engendré par les électrodes. On va maintenant donner à titre d'exemple quelques indications technologiques et numériques pour montrex que la circuit de la figure 4 permet d'assurer, grâce à la disposition de ses guides et de ses électrodes, la commutation, vers un guide de l'une des pluralités de guides d'une fraction de l'énergie d'un signal acheminé par un guide de l'autre pluralité, de telle sorte que la fraction commutée, tout en conservant un excellent rapport signal à bruit, est suffisamment faible pour que la fraction non commutée demeure capable de subir d'autres commutations. On rappelle que, dans l'exemple considéré, le substrat est en niobate de lithium et que les guides sont formés par diffusion sélective de titane. La largeur des guides est de 25 Lm, leur pas (c'est-a-dire l'entraxe de deux guides parallèles) est de 125 tu et leur épaisseur efficace d'environ 1 fa. On peut donc loger 8 guides de chaque pluralité à la surface d'une plaquette de substrat carrée de 1,2 mm de côté. Pour réduire la diaphonie entre deux guides orthogonaux en l'absence de commutation, la teneur en élément dopant (ici le titane) des intersections est sensiblement supérieure à celle des guides. L'indice de réfraction du matériau des intersections est ainsi sensiblement supérieur à l'indice du matériau des guides hors des intersections.Cette disposition nouvelle est dérivée de celle déjà proposée pour les intersections de guides minces de lu mière latéralement délimités en résines polymériques (voir par exemple l'article de T. Kurokawa et S. Oikawa dans Applied Optics, Avril 1977, volume 16, nO 4, pages 1033 à 1037). Elle est obtenue ici, lorsque les guides sont réalisés par diffusion, au moyen d'un procédé conforme à l'invention qui sera décrit plus loin. Si les électrodes étaient déposées directement sur la couche guidante, elles produiraient une variation périodique de l'indice effectif du mode guidé - le rôle de l'alumine est donc non seulement d'annuler l'absorption due au métal, mais surtout d'éviter la diaphonie lorsque le noeud est au repos (tension nulle). Son épaisseur est d'environ 0,05rm. Les paires d'électrodes sont réalisées par depôt sélectif d'aluminium. Leur épaisseur est de 0,2 m. La largeur des dents est de 0,5 et et la distance qui sépare une dent d'une électrode des dents voi- sines de l'autre électrode de la paire est aussi de 0,5/ m. Le pas du réseau de Bragg engendré est donc de 2tm. La tension applicable entre les électrodes doit demeurer inférieure à la valeur de claquage qui est ici, compte tenu du champ de claquage du niobate de lithium (environ 50 kV/cm) et de l'intervalle entre les dents, d'environ 2,5 V. Hormis cette condition, la valeur de ladite tension n'est pas critique car, dans le domaine de tension considéré, le rendement de commutation est une fonction croissante de ladite valeur. Ce n'est pas la cas du circuit de l'art antérieur précédemment considéré, dans lequel la valeur de la tension appliquée (12,5 V) correspond à un maximum relativement "pointu" de la fonction de rendement de commutation, de part et d'autre duquel le rendement décroît sensiblement. La tolérance sur la position angulaire des électrodes est relativement large. Elle dépend entre autres facteurs de l'ouverture numérique des guides, c'est-à-dire de la différence d'indice effectif (vis à vis du mode guidé) entre les guides et le substrat. Une tolérance de 0,50 convient pratiquement dans tous les cas. En vue d'obtenir une efficacité de commutation maximale dans un noeud de commutation et le minimum de dégradation de la fraction de flux non commutée traversant ce noeud - le substrat en niobate de lithium est prélevé par coupe Z; autrement dit l'axe optique Z du substrat, dans la direction duquel le coefficient électro-optique est maximum, est perpendiculaire au plan d'incidence défini par les guides, comme le montre la flèche empennée de la figure 4; - la plus grande fraction possible de la lumière polarisée admise aux entrées des guides est polarisée en mode TM, c'est-à-dire dans la même direction que l'axe optique Z du substrat car la fraction polarisée en mode TE n'est pas affectée par le réseau de Bragg pour l'incidence de 450;; - le rapport entre le pas des dents de chaque électrode, autrement dit le pas du réseau, et la longueur d'onde de la radiation est déterminé pour obtenir la réflexion de Bragg à 900 selon un ordre de diffraction déterminé; dans l'exemple considéré, le pas de 2/ > m du réseau a été choisi pour obtenir la diffraction selon le sixième ordre de la lumière (dont la longueur d'onde est de 0,63ffium) délivrée par un laser hélium-néon. Dans ces conditions on constate par le calcul et l'expérimen- tation - que le couplage entre deux guides orthogonaux est de -60dB en l'absence de champ électrique à l'intersection de ces deux guides; - que le couplage entre ces deux guides est de -20 dB en présence du champ appliqué par les électrodes pour la différence de po tentiel maximale de 2,5 V; - que le rapport signal à bruit du signal obtenu par commutation est par conséquent de 40 dB. Moyennant des conditions convenables d'exploitation, le circuit électro-optique intégré de l'invention permet donc effectivement d'obtenir dans un guide choisi comme guide de sortie un signal de commutation dont le rapport signal à bruit est excellent bien que la fraction prélevée sur le signal incident du guide d'entrée soit très faible. A titre d'exemple, on a montré sur la figure 4 comment des signaux incidents (représentés par des flèches non empennées) admis par les extrémités A21 et A51 des guides A2 et A5, circulent dans ces guides jusqu'à leurs extrémités opposées A22 et A52, tout en atteignant également, à la suite de commutations commandées par les électrodes des noeuds C21, C22, C24, C51, C52 et C54, les extrémités B12, B22 et B42 des guides Bi, B2 et B4. Le fonctionnement du circuit de la figure 4 est absolument réversible. Autrement dit, des signaux admis par les extrémités B12, B22 et B42 des guides B1, B2 et B4, atteindraient les extrémités opposées B11, B21 et B41, tout en étant en outre dérivés vers les extrémités A21 et A51 des guides A2 et A5 au moyen des noeuds de commutation désignés précédemment. On remarquera enfin que le sens de la déviation d'un signal incident imposée par un noeud de commutation est fixé par l'orientation des électrodes et par la direction du guide acheminant ce signal incident. Par exemple, lorsque l'orientation des paires d'électrodes 30 est conforme à celle adoptée dans la figure 4, la commutation, vue du dessus du circuit, est dextrogyre pour tout signal commuté d'un guide A vers un guide B et elle est senestrogyre pour tout signal commuté d'un guide B vers un guide A. Le fait que les circuits de l'invention ont des accès d' entrée ou de sortie sur leurs quatre côtés permet de les associer selon des assemblages matriciels, c'est-à-dire de les disposer et de les connecter optiquement en lignes et en colonnes pour réaliser des circuits électro-optiques hybrides à grande capacité de commutation. La figure 5 représente schématiquement un exemple d'un tel circuit hybride, utilisable par exemple dans un autocommutateur téléphonique ou visiophonique spatial. Ce circuit hybride comporte un nombre QP de circuits intégrés 100, arrangés en Q colonnes de P lignes. Chaque circuit comporte N guides A et N guides B, soit N2 points de commutation. Le nombre total des points de commutation du circuit hybride est donc de QpN2 correspondant aux intersections de NP guides A et de NQ guides B.Dans chaque ligne (ou colonne) les guides A (ou B) de même rang des circuits constitutifs sont connectés en série au moyen de liaisons optiques 200 dont on donnera plus loin un exemple préférentiel de réalisation. Les commutations sont commandées par une unité d'aiguillage 300. Celle-ci comporte autant de sorties 301 que de noeuds de commutation C, chacune de ces sorties étant connectée à l'un des conducteurs (par exemple le conducteur 41 de la figure 4) de chaque paire d'électrodes 30. Les conducteurs 42 sont connectés à une masse commune ou à tout autre conducteur de retour. L'unité d'aiguillage 300 est en fait une table de correspondance qui détermine, en fonction des adresses dans la matrice d'une voie d'entrée (connectée par exemple à un guide A) et d'une voie de sortie (connectée à un guide B) le rang de la sortie 301 qui doit établir dans la paire d'électrodes 30 du noeud de commutation correspondant la différence de potentiel qui déclenche la commutation demandée. Les liaisons optiques 200 peuvent être réalisées au moyen de coupleurs optiques à prismes et réseaux de surface du genre connu. Mais ce type de couplage risque d'introduire une diaphonie entre les guides parallèles voisins. Il est préférable de réaliser le couplage au moyen de fibres optiques. Comme le montrent les figures 6, 7 et 8, une plaquette 400 en silicium supporte les substrats 100 de tous les circuits. La plaquette 400 est conformée de telle sortie qu'elle réserve entre les substrats des cordons 401 dans lesquels sont ménagées des gorges de centrage des fibres intermédiaires 200, et que les noyaux de celles-ci soient centrés sur les axes des guides A ou B à connecter. Le même genre de disposition est avantageusement utilisable pour le centrage des fibres destinées à la liaison des guides avec les interfaces d'entrée et/ou de sortie, non représentés, destinés au couplage du circuit hybride avec d'autres organes du commutateur. Les guides des circuits décrits en référence aux figures 4 et 5 sont rectilignes et séparés des guides voisins par des intervalles identiques et constants. Cette conformation, qui facilite la réalisation et l'assemblage des circuits intégrés, n'est pas la seule possible. La seule condition nécessaire est l'orthogonalité des intersections. Comme on le voit dans la figure 9, un guide A et un guide B peuvent présenter des courbures aux intersections, du moment que les rayons de courbure sont suffisamment grands par rapport à lm longueur d'onde. Mais l'axe du guide A et l'axe du guide B doivent\/orthogonaux, c'est-à-dire que les tangentes T1 et T2 à ces axes au point d'intersection doivent être perpendiculaires.Les dents des électrodes sont orientées parallèlement à l'une des bissectrices B1 ou B2 des quadrants formés par ces tangentes. L'exemple de constitution physico-chimique que l'on a donné en référence à la figure 4 (substrat en niobate de lithium, guides enrichis en titane, ou plus précisément guides en titanate-niobate de lithium) n'est pas le seul concevable. Il suffit en principe que le substrat soit en matériau diélectrique et que les guides soient en un matériau diélectrique électro-optique d'indice de réfraction supérieur à celui du matériau du substrat. On peut par exemple réaliser des circuits selon l'invention dans lesquels le substrat est une plaquette de verre ou d'alumine monocristalline ou d'arséniure de gallium, tandis que les guides sont constitués par un dépôt de ZnO ZnTe etc... ou par diffusion ou épitaxie lorsque le substrat est en arséniure de gallium ou en un autre semiconducteur du même type.Cependant, il est plus avantageux d'utiliser un substrat en un matériau lui-même électro-optique (tel que le niobate de lithium déjà considéré ou encore le tantalate de lithium) car il devient possible d'obtenir des guides noyés à la surface du substrat et de caractéristiques bien déterminées par diffusion dosée de l'élément dopant. C'est ainsi que l'on peut réaliser des circuits conformes à l'invention - soit, comme on l'a déjà vu, comportant un substrat en niobate de lithium et des guides en titanate-niobate de lithium, l'élément dopant étant le titane, - soit comportant un substrat en tantalate de lithium et des guides en niobate-tantalate de lithium, l'élément dopant étant le niobium, - etc... Les guides sont alors réalisés par diffusion solide de dépôts d'élément dopant préalablement effectués au travers de masques découvrant les emplacements desdits guides. L'invention prévoit avantageusement de réaliser le dépôt en deux phases. Dans la première phase (voir figure 10), on dépose l'élément dopant destiné à la formation des guides d'une pluralité, par exemple les guides A, au travers d'un premier masque 51 formé sur le substrat et découvrant les emplacements de ces guides. Puis le masque 51 est enlevé et remplacé par un deuxième masque 52 (voir figure 11) qui découvre les emplacements des guides B. Un deuxième dépôt d'élément dopant est alors effectué. Le substrat est ainsi recouvert d'un quadrillage en élément dopant, dont l'épaisseur aux croisements est le double de lJépaisseur hors des croisements. Après diffusion la teneur en élément dopant des intersections des guides A et des guides B est sensiblement plus élevée que la teneur hors des intersections et le résultat désiré, c'est-à-dire l'accroissement de l'indice effectif de réfraction dans lesdites intersections, est obtenu. Les masques sont formés par une technique classique de photogravure au moyen d'une résine photosensible. L'élément dopant peut être déposé par exemple par projection sous vide. Le traitement de diffusion est du genre connu. Par exemple, si l'élément dopant est le titane, la diffusion est réalisée à 96O0C en présence d'argon puis d'oxygène. Quant aux électrodes, qui peuvent être en tout métal présentant les caractéristiques nécessaires (bonne conductibilité électrique, résistance à la corrosion, soudabilité),tel que l'aluminium ou l'or, elles peuvent être elles aussi réalisées par dépôt puis par photogravure dudit dépôt. On remarquera, pour terminer la présente description, que le circuit électro-optique intégré de l'invention convient tout à fait à la commutation de signaux binaires à très grand débit (plus de 109 bits/seconde) puisque la vitesse de commutation n'est limitée que par la capacité de valeur très faible (quelques picofarads) formée par chaque paire d'électrodes et ses connexions. REVENDICATIONS 1. - Circuit électro-optique intégré destiné à la commutation spatiale de signaux acheminés par voie optique, du genre comportant d'une part à la surface d'un substrat en matériau diélectrique au moins deux guides minces de lumière latéralement délimités et en intersection, réalisés en un matériau électro-optique dont l'indice de réfraction est plus élevé que celui du matériau du substrat pour la lumière à guider, deautre part une paire d'électrodes en forme de peignes plaquées sur l'intersection des deux guides, les deux électrodes comportant chacune une pluralité de dents parallèles, les dents d'une pluralité de dents alternant avec les dents de l'autre pluralité de telle sorte qu'une différence de potantiel électrique appliquée entre les deux électrodes engendre par effet Pöc- kels dans l'intersection un gradient périodique d'indice de réfraction formant un réseau de Bragg qui provoque le transfert dans l'un des guides d'une fraction de l'énergie lumineuse transportée par l'autre guide, l'intersection constituant ainsi un point de commutation optique, caractérisé d'une part en ce qu'il comporte deux pluralités de guides de lumière, chaque guide d'une pluralité de guides étant intersecté par tous les guides de l'autre pluralité et étant conformé de telle sorte que les deux pluralités de guides forment un réseau maillé orthogonal, d'autre part en ce que les dents de la paire d'électrodes plaquées sur chaque intersection sont orientées parallèlement à l'une des bissectrices des quadrants délimités par ladite intersection. 2.- Circuit électro-optique intégré selon la revendication 1, caractérisé en ce que les guides des deux pluralités de guides sont rectilignes et forment un réseau maillé à mailles rectangulaires ou carrées. 3.- Circuit électro-optique intégré selon la revendication 1 ou la revendication 2, caractérisé en ce que l'indice de réfraction dans les intersections des guides est sensiblement plus élevé que l'indice de réfraction dans les guides hors des intersections. 4.- Circuit électro-optique intégré selon la revendication 1, 2 ou 3, caractérisé en ce que, le substrat étant en un matériau électro-optique, les guides sont constitués par diffusion localisée d'un élément dopant dont la présence accroît l'indice de réfraction de ce matériau. 5.- Circuit électro-optique intégré selon la revendication 4, caractérisé en ce que la teneur en élément dopant est sensiblement plus grande dans les intersections que dans les guides hors des in tersections. 6.- Circuit électro-optique intégré selon la revendication 4 ou la revendication 5, caractérisé en ce que le substrat est une plaquette monocristalline dont les faces sont perpendiculaires à ltaxe d'indice de réfraction le plus élevé du monocristal. 7.- Dispositif commutateur de signaux optiques, caractérisé en ce qu'il comporte au moins un circuit électro-optique intégré conforme à l'une quelconque des revendications 1 à 6. 8.- Dispositif commutateur de signaux optiques, caractérisé en ce qu'il comporte d'une part une pluralité de circuits électro-opti ques intégrés conformes à l'une quelconque des revendications 1 à 6 et disposés selon un arrangement bidimensionnel et d'autre part des moyens pour connecter optiquement en série chaque guide d'une pluralité de guides de chaque circuit à un guide de la même pluralité d'un circuit contigu. 9.- Dispositif commutateur de signaux optiques selon la revendication 7 ou la revendication 8, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une unité de commande d'aiguillage de signaux munie d'une pluralité de liaisons électriques de commande dont chacune est connectée à la paire d'électrodes d'une intersection. 10.- Procédé de réalisation d'un circuit électro-optique intégré selon la revendication 5, comportant une phase de dépôt d'élément dopant avec réserves par masquage sur la surface du substrat et une phase de diffusion de l'élément dopant dans le substrat, caractérisé en ce que la phase de dépôt comprend deux opérations de dépôt successives, l'une au moyen d'un masque découvrant les emplacements des guides de l'une des pluralités, l'autre au moyen d'un masque découvrant les emplacements des guides de l'autre pluralité, de telle sorte que l'épaisseur totale déposée aux emplacements des intersections est égale à la somme des épaisseurs déposées aux emplacements des guides de chaque pluralité.