Brevet FR2406307A1 — publié le 19790511

La présente invention concerne un dispositif semiconducteur, créé dans une tablette semiconductrice où l'on distingue une première face, ou face active, et une deuxième face opposée à la première, dispositif comportant au moins une jonction P-N dont le plan est sensiblement parallèle à ladite première face, pourvu d'une couche mince à rle passivant reposant sur au moins une fraction de sa surface, au moins une plage métallique de contact étant prévue sur au moins ladite première face. L'invention concerne plus particulièrement les dispositifs semiconducteurs réalisés selon la structure en relief dite "mésa" dans lesquels la ou les jonction(s) P-N, suivant qu'il s'agit de diodes ou de dispositifs plus complexes, s'étend(ent) jusqu'à la périphérie du mésa. On sait que, d'une façon générale, les dispositifs semiconducteurs doivent être passivés sur leur surface, au moins en regard des zones où affleurent les jonctions, ceci afin d'en stabiliser les caractéristiques électriques. La passivation doit être particulièrement soignée pour les dispositifs destinés à travailler sous de hautes tensions ; c'est le cas notamment pour les diodes de type mésa. Par l'expression "couche mince à rôle passivant" employée ci-dessus, il y a donc lieu d'entendre un revêtement capable d'assurer dans de bonnes conditions et durablement la protection physique et chimique de la surface et du volume qu' elle recouvre, et l'indépendance électrique du dispositif semiconducteur vis-à-vis de charges extérieures susceptibles d'en troubler le fonctionnement. La solution la plus généralement employée pour passiver un dispositif semiconducteur consiste à déposer sur la face active de ce dispositif, et sur ses flancs lorsqu'il s'agit d'un dispositif de type mésa, une couche isolante de bioxyde de silicium -éventuellement doublée d'une couche de bioxyde de silicium dopé par exemple au phosphore- ou d'un verre de composition chimique choisie, localisée ou étendue à la totalité de ladite face et desdits flancs. On sait, par ailleurs, que les dispositifs semiconducteurs de très petites dimensions sont communément fabriqués à des centaines d'exemplaires identiques dans des plaquettes de relativement grande surface. Ces dispositifs sont délimités entre eux par des sillons plus ou moins profonds creusés dans la plaquette ; lesdits sillons déterminent des lignes de fracture le long desquelles seront finalement séparés lesdits dispositifs. Lorsqu'il s'agit de dispositifs mésa, il est clair que des jonctions affleurent à la surface des sillons. La couche mince à rôle passivant doit donc notamment recouvrir la surface de ces sillons, au moins de part et d'autre desdites jonctions. Ainsi qu'il est décrit par exemple dans le brevet américain 3,579,815, le procédé habituellement mis en oeuvre pour réaliser des dispositifs mésa passivés, consiste, après que les sillons de délimitation ont été creusés dans la plaquette, à revêtir la totalité de la plaquette d'une couche d'oxyde ; cette couche est ensuite gravée chimiquement, ou grattée, afin d'y dégager des aires de contact sur le silicium sous-jacent, dans les limites desquelles on dépose alors des plages métallisées de contact. Finalement, les dispositifs sont séparés les uns des autres, par exemple par sciage de la plaquette suivant les axes des sillons. Le procédé de passivation brièvement rappelé ci-dessus présente un inconvénient sérieux en ce que la prise de contacts sur la plaquette impose une attaque chimique ou mécanique de la couche d'oxyde passivante. La couche d'oxyde est, en effet, à caractère vitreux, donc de nature fragile et la gravure ou le grattage risque de l'endommager. Ces opérations peuvent notamment donner lieu à la naissance de microfissures susceptibles, ultérieurement, de se propager plus avant dans la couche et de la rendre ainsi perméable aux agents extérieurs, à l'humidité surtout. En particulier, les bords de la couche, en lisière des aires de contact sont particulièrement perturbés et peuvent être à ltorigine de fuites importantes entre la couche d'oxyde et les métallisations de contact adjacentes. D'autre part, le fait même d'avoir à graver ou à gratter la couche d'oxyde après son dépôt constitue en soi une séquence opé- ratoire, donc une cause d'alourdissement de la fabrication et un germe de déchets présents et, peut-être à venir. L'invention vise à simplifier le processus de fabrication de dispositifs semiconducteurs passivés, en évitant toute opération de gravure de la couche mince à rôle passivant. L'invention a également pour but d'éviter à la couche mince à rôle passivant toute perturbation sur ses bords, à la fois sur ses bords adjacents aux plages métalliques de contact et sur les bords des portions de cette couche qui revêtent les parois des sillons. L'invention prend notamment en considération le fait que le profil des sillons joue un rôle éminent dans la qualité d'un revêtement passivant et qu'il y a donc lieu d'étudier particulièrement ce profil. Selon l'invention, un dispositif semiconducteur créé dans une tablette semiconductrice où l'on distingue une première face, ou face active, et une deuxième face opposée à la première, dispositif comportant au moins une jonction P-N dont le plan est sensiblement parallèle à ladite première face, pourvu d'une couche mince à rôle passivant reposant sur au moins une fraction de sa surface, au moins une plage métallique de contact étant prévue sur au moins ladite première face, est notamment remarquable -en ce que le matériau constitutif de ladite couche mince à rôle passivant et le matériau prévu au moins en surface de ladite plage métallique de contact sont deux matériaux présentant une faible, sinon nulle, adhérence mutuelle, -et en ce que le profil de la surface latérale de la tablette est tel que l'on distingue au moins deux parties dans cette surface latérale, soit, ladite première face étant disposée horizontalement et supposée définir le niveau supérieur de la tablette, -une première partie adjacente au bord de la première face, sensiblement verticale, située tout entière au-dessus du niveau de ladite jonction, -et une deuxième partie, oblique, entourant un volume de section horizontale croissante en direction de la deuxième face de la tablette, sur laquelle affleure ladite jonction. La première des deux dispositions prévues par l'invention, consistant à choisir, pour la couche mince à rôle passivant, un matériau qui n'adhère pas sur la surface métallique des plages de contact, permet de modifier heureusement le processus de réalisation du dispositif semiconducteur, en formant dès lors lesdites plages de contact avant de procéder au dépôt de la couche mince passivante, En effet, après le dépôt généralisé. de la couche passivante sur la surface de la tablette y compris sur les surfaces métallisées de cette tablette, les portions de ladite couche passivante reposant sur lesdites surfaces métallisées peuvent en être éliminées très aisément (par exemple, par un simple soufflage ou par un brossage très doux) en raison de leur faible adhérence sur ces surfaces.Ceci sans dégrader les portions de la couche passivante reposant par ailleurs sur les autres surfaces de la tablette. De cette modification du processus de fabrication du dispositif semiconducteur résultent deux avantages appréciables. D'abord, il n'est plus besoin de graver ou de gratter la couche passivante pour y ouvrir des fenêtres de contact : d'où la suppression d'une opération longue et délicate. Ensuite, les risques de dégradation de la couche passivante, durant la fabrication,diminuent ; cette couche est moins agressée, notamment sur la tranche des fenêtres de contact : d'où un risque atténué de voir se créer des chemins de fuite aux interfaces de contact entre la tranche d'une plage métallisée et la tranche de la couche passivante. La seconde des deux dispositions prévues par l'invention, consistant à profiler d'une façon déterminée la surface latérale de la tablette du dispositif semiconducteur, répond également au souci de ne pas perturber la couche passivante en lisière des portions de cette couche qui reposent sur ladite surface latérale. En effet, le profil choisi rend difficile, sinon impossible, le dépôt de matériau passivant sur la première partie de cette sur latérale, face/ ceci en raison de sa verticalité, tandis que le dépôt s'effectue normalement sur la partie oblique (ou deuxième partie) de ladite surface. La portion de la couche passivante qui repose sur la partie oblique latérale est donc séparée, dès le dépôt, de la portion de cette même couche qui repose sur la première face de la tablette. Aussi, lorsque l'on élimine le matériau passivant reposant sur les surfaces métallisées de la première face, ne risque-t-on pas de créer des fissures en lisière de la couche déposée sur ladite partie oblique latérale. Avantageusement, par ailleurs, il est prévu une troisième et une quatrième parties dans le profil de la surface latérale de la tablette tel que défini précédemment. Ladite troisième partie, sensiblement verticale, fait suite à la deuxième partie en direction de la deuxième face de la tablette ; cette partie est donc située tout entière au#dessous du niveau de la jonction P-N. La quatrième partie, sensiblement horizontale, fait suite à la troi sième partie et définit le bord de coupe à partir duquel les dispositifs réunis sur une même plaquette durant la plupart des phases de leur élaboration sont finalement séparés. Le matériau passivant se dépose sur la quatrième partie horizontale mais pas, ou très peu, sur la troisième partie verticale.Cette dernière partie provoque une coupure dans la couche passivante qui évite que la portion de cette couche reposant sur ladite deuxième partie oblique, subisse des dégradations le long de son bord inférieur adjacent à ladite troisième partie lors de l'opération de séparation des dispositifs. En ce qui concerne la mature des matériaux mis en jeu, il a été trouvé avantageux par la Demanderesse d'utiliser du bioxyde de silicium comme matériau de la couche mince à rôle passivant en combinaison avec l'or comme matériau superficiel des plages de prise de contact. Il est connu que le bioxyde de silicium n'adhère pratiquement pas sur l'or et qu'on peut donc l'éliminer facilement par un simple soufflage lorsqu'il s'y dépose. Suivant une forme de réalisation de dispositifs semiconducteurs selon l'invention -par exemple, de diodes de type mésa- une plaquette de silicium dans laquelle il a été créé une jonction P-N, est revêtue sur ses deux faces d'un lit de nickel, puis d'un lit d'or, ou bien encore d'un lit de chrome, ensuite d'un lit de nickel, enfin d'un lit d'or, ledit lit d'or superficiel formant la plus grande partie du volume de cette couche métallique destinée à former les plages de contact des multiples diodes identiques à créer dans ladite plaquette. La plaquette est ensuite quadrillée de traits de scie diamantée à partir de sa face active, afin d'y délimiter par des sillons une pluralité de tablettes, chaque tablette correspondant à une diode future.La profondeur et le profil des traits de scie sont tels que la surface latérale de chaque tablette répond au dessin précédemment défini par l'invention. ta plaquette ainsi préparée, et sans aucun masquage préalable, reçoit alors un dépôt passivant de bioxyde de silicium. On soumet ensuite cette plaquette à un traitement de soufflage sous air sec, afin d'éliminer le revêtement poudreux de bioxyde de silicium qui s'est déposé sur l'or. Enfin, on procède à la séparation définitive des tablettes par une quelconque des techniques bien connue de l'homme de l'art, par exemple par sciage. On remarquera qu'aucun traitement de photogravure n'a été mis en oeuvre dans ce procédé d'élaboration de diodes selon l'invention ; en particulier, il n'a pas été imposé de traitement de photogravure à la couche mince passivante. Selon une caractéristique optionnelle de l'invention, applicable au procédé de réalisation de diodes brièvement décrit cidessus, la plaquette, après son quadrillage à la scie diamantée est soumise à un léger traitement de décapage afin d'éliminer de la surface des sillons la pellicule de silicium qui a été perturbée par le sciage. Il est à noter que ce traitement n'entraîne pas d'opération de masquage. Le silicium est seulement attaqué dans les sillons ; ailleurs, il est protégé par l'or. Il se produit cependant une légère sous-gravure sous l'or en bordure de chaque sillon, qui est avantageuse en ce sens que le matériau passivant ne peut ensuite venir se déposer dans la petite cavité créée par cette sous-gravure.Ainsi, les portions de la couche passivante reposant sur la face active de chaque tablette et celles reposant sur la surface latérale de ces tablettes sont-elles strictement séparées dans le cas où un peu de matériau passivant se serait déposé sur la partie verticale des sillons adjacente à ladite face active ; ceci pourrait arriver dans l'hypothèse où ladite partie verticale aurait une hauteur un peu faible en raison, par exemple, du peu de profondeur de la jonction. La description qui va suivre, en regard des dessins annexas, donnés à titre indicatif, fera bien comprendre en quoi consiste l'invention. Les figures 1 à 5 illustrent, selon des vues schématiques en coupe, quelques unes des principales étapes de la fabrication de diodes de type mésa à surface passivée selon l'invention. Dans cet ensemble de figures, les figures 3a, 4a et Sa correspondent à un premier profil de la surface latérale des diodes, tandis que les figures 3b, 4b et 5b correspondent à un second profil de ladite surface latérale. Les figures 6a et 6b représentent, à titre comparatif, le profil de la partie latérale d'une diode selon l'invention, respectivement tel qu'il apparaît en vue plus petite sur la figure 5b et tel qu'il résulte de la mise en oeuvre d'une caractéristique optionnelle de l'invention. Les figures 7 à 10 illustrent, selon des vues schématiques en coupe, quelques unes des principales étapes de la fabrication de transistors de type mésa à surface passivée selon l'invention. Il est à noter que, sur les différentes figures, les proportions géométriques correspondant à la réalité n'ont pas été respectées, notamment en ce qui concerne les épaisseurs relatives des couches de passivation par rapport à celles des structures ; ceci dans le but que lesdites figures soient parfaitement claires. D'autre part, pour aider à la compréhension, il a été effecté les mêmes repères chiffrés aux éléments de structure identiques ou sensiblement analogues que l'on retrouve sur différentes figures. Les diodes D1 et D2 représentées respectivement sur les figures Sa et 5b ont été réalisées en même temps que des centaines d'autres diodes identiques dans des plaquettes semiconductrices en silicium de relativement grande surface, plaquettes délimitées d'abord en tablettes (chaque tablette correspondant à une diode) puis découpées ensuite, selon un processus opératoire décrit plus loin en regard des figures 1 à 5. Ainsi qu'il a été écrit dans la première partie du présent mémoire, la diode D1, par exemple, a été créée dans une tablette semiconductrice 100 où l'on distingue une première face 100a, ou face active, et une deuxième face 100b opposée à la première cette diode comporte une jonction J1 dont le plan est sensiblement parallèle à ladite première face 100a ; elle est pourvue d'une couche mince à rôle passivant 777 reposant sur au moins une fraction de sa surface (reposant en l'occurrence sur sa seule surface latérale) ; ladite diode comporte, de plus, une plage métallique de contact 22 surmontant la totalité de la surface de sa première face 100a et une plage métallique de contact 33 recouvrant l'entière surface de sa deuxième face lOOb. Selon l'invention, la diode D1 est notamment remarquable en ce que "le matériau constitutif de ladite couche mince à rôle passivant 777 et le matériau prévu au moins en surface de ladite plage métallique de contact 22 (et le matériau prévu en surface de la plage métallique 33) sont deux matériaux présentant une faible, sinon nulle, adhérence mutuelle". D'autre part, la diode D1 est également remarquable en ce que "le profil de la surface latérale de la tablette 100 est tel que l'on distingue au moins deux parties dans cette surface latérale, soit, la première face 100a étant disposée horizontalement et supposée définir le niveau supérieur de la tablette, -une première partie 5, adjacente au bord de la première face ioda, sensiblement verticale, située tout entière au-dessus du niveau de la jonction F1 -et en deuxième partie 6, oblique, entourant un volume de section horizontale croissante en direction de la deuxième face 100b de la tablette 100 (volume englobant la région 12, et, en partie, les régions 11 et 13 de la masse semiconductrice comprise dans les limites de ladite tablette), sur laquelle affleure ladite åoncw tion J1." Sur ces figures, il apparaît que les parties verticale 5 et oblique 6 des diodes D1 et D2 sont adjacentes. Cette disposition n'a pas un caractère strict. On pourrait parfaitement envisager de compléter les profils desdites diodes, par exemple par une partie horizontale intercalée entre les parties 5 et 6 ; il n'a pas été tracé de figures correspondant à de tels profils. Selon une caractéristique complémentaire de l'invention qui se trouve illustrée sur la diode D2 delafigure 5b, le profil de la surface latérale d'une diode selon l'invention peut comporter, tel qu'il a été écrit dans la première partie du présent mémoire, en plus des première partie 5, verticale, et deuxième partie 6, oblique, une troisième partie 8, sensiblement verticale, faisant suite à ladite deuxième partie 6 en direction de la deuxième face 100b de la tablette 100 ; la partie 8 est donc située tout entière au-dessous du niveau de la jonction J1 La création de la troisième partie 8 implique celle d'une quatrième partie 9, sensiblement horizontale, qui la suit immédiatement et qui représente le bord de coupe à partir duquel la tablette 100 a été séparée d'autres tablettes réalisées identiquement et simultanément sur une même plaquette. Avantageusement, le matériau de la couche passivante 777 est du bioxyde de silicium et le matériau de surface des plages métalliques 22 et 33 est de l'or. D'une part, la couche passivante 777 est formée, de préférence et de façonconnue, de trois lits successifs : un premier lit de bioxyde de silicium pur, en contact direct du matériau semiconducteur sous-jacent, puis un second lit de bioxyde de silicium dopé au phosphore, enfin un troisième lit, de surface, de bioxyde de silicium pur. On sait que le bioxyde de silicium dopé au phosphore a un rôle actif dans la neutralisation d'impuretés métalliques telles que les ions sodium mais qu'il est avide d'eau. Le bioxyde de silicium pur du premier lit empêche surtout le phosphore du second lit de migrer dans le matériau semiconducteur. Le bioxyde de silicium pur du troisième lit empêche l'eau présente dans le deuxième lit de monter en surface du dépôt, ce qui, dans le cas du dépôt ultérieur d'une laque par exemple peut nuire à l'adhérence de cette dernière. D'autre part, les plages métalliques 22 et 33 sont formées, de préférence et également selon une pratique connue, d'au moins deux lits superposés : le premier est un lit d'accrochage sur le matériau semiconducteur, en nickel par exemple ; le second, qui est nettement plus épais que le précédent, est en or. Le fait de former tant la couche passivante que les plages métalliques en plusieurs lits ne représentant pas une nouveauté et n'apportant rien à la substance même de l'invention, il n'a pas été fait de distinctions entre lesdits lits sur les figures. A la faveur de la description qui va suivre du procédé commun de réalisation des diodes D1 et D2, apparaîtront les avantages liés aux profils respectifs de ces diodes. Sur la figure l, il a été représenté un fragment d'une plaquette semiconductrice 10 en silicium dans l'épaisseur de laquelle on distingue, depuis la face inférieure lOb vers la face supérieure 10a, trois régions superposées : une région 11 de type de conductivité P+, une région 12 de type de conductivité P et une région 13 de type de conductivité N+. Une surface J de jonction P-N a donc été créée à l'interface entre les régions 12 et 13. Sur l'entière étendue de chacune des deux faces 10a et lOb de la plaquette 10 pourvue de sa jonction J il a été déposé une couche métallique de contact, 2 sur la face lova, 3 sur la face lOb. Ces couches 2 et 3 comprennent chacune un premier lit de nickel d'une épaisseur de l'ordre de 0,2 vm, puis un second lit d'or de 0,5 à 1 um d'épaisseur, le premier lit étant obtenu, par exemple par la méthode dite "du nickel BRENNER et le second par évaporation (voir figure 2). La plaquette ainsi préparée est creusée mécaniquement, à partir de sa face lova, de sillons 4. Ces sillons répartis en deux séries parallèles, une série faisant un angle donné avec une autre, déterminent dans ladite plaquette une pluralité de tablettes 100, chaque tablette correspondant à une future diode. Chaque tablette, suivant le tracé des sillons donc une section hori zontale variable de forme ou carrée, ou rectangulaire, ou polygonale. Les sillons 4 s'enfoncent en profondeur jusque dans la région 11, si bien que les tablettes sont en partie séparées mais restent cependant reliées mécaniquement pour la suite des opérations. Le profil des sillons détermine en partie celui de la surface latérale des tablettes 100. Suivant une première forme de profil des sillons 4 conduisant la réalisation de diodes du type D1 de la figure Sa, ce profil détermine, sur la surface latérale des tablettes 100, une partie verticale 5 puis une partie oblique 6. Les parties obliques 6 des différentes tablettes voisines 100 se rejoignent directement au fond des sillons (voir figure 3a).La plaquette ainsi usinée et reposant horizontalement sur sa face lOb reçoit alors un dépôt 7 de bioxyde de silicium formé à basse température, par exemple par craquage de silane, dépôt dont des portions 71 recouvrent les plages d'or 22 découpées dans la couche métallique 2 et des portions 77 recouvrent les parties obliques 6 de la surface latérale des tablettes 100 ; la tranche verticale desdites plages 22 est peu ou pas recouverte et les parties verticales 5 de la surface latérale des tablettes 100 ne sont recouvertes qu'à leur base sur une hauteur correspondant sensiblement à l'épaisseur du dépôt 77 (voir figure 4a).Cette épaisseur n'est pas critique et se situe, pour la totalité de ses deux lits superposés, vers 0,5 pm. On soumet ensuite la plaquette 10 à un courant d'air sec ou à un brossage très doux, de manière à éliminer les portions 71 de la couche 7 qui reposent sur les plages métalliques de contact 22 ; ce traitement ne cause aucun dommage aux portions 77 de ladite couche 7 reposant sur la surface latérale des tablettes 100. Enfin, la plaquette 10 est séparée en une pluralité de tablettes 100 -de préférence par sciage à partir du fond des sillons 4- chaque tablette correspondant à une diode D1 (voir figure 5a). Il apparaît sur cette figure Sa que les couches de passivation 777, nées des portions de dépôt 77 qui recouvraient les parois obliques des sillons 4 n'ont subi aucun dommage à leur extrémité supérieure où elles viennent mourir progressivement sur les surfaces verticales 5 ; ceci étant lié au fait que les portions 71 de la couche 7 qui reposaient sur les plages métalliques 22 étaient séparées dès le dépôt, decelles 77 reposant sur les parois obliques des sillons 4. Par contre, les couches 777 montrent des irrégularités de surface à leur extrémité inférieure là où elles remplissent le fond des sillons 4 ; ces irrégularités sont nées du sciage qui a présidé à la séparation des tablettes 100. Il faut noter toutefois que lesdites irrégularités se situent en un endroit généralement éloigné de la jonction J1 et qu'elles ne présentent pas de ce fait un caractère aigu de gravité. C'est toutefois pour remédier à cette imperfection qu'il y a lieu, dans les cas délicats, de parfaire le profil des sillons 4 ainsi qu'il est montré sur la figure 3b. La figure 3b fait suite, dans cette deuxième forme de création de diodes selon l'invention, à la figure 2 précédemment décrite. La plaquette 10, préparée telle qu'il apparaît sur la figure 2, est donc creusée de sillons 4 qui déterminent sur la surface latérale des tablettes 100, une partie verticale 5 puis une partie oblique 6, comme précédemment, avec, en plus, une partie verticale 8, puis un plat 9 qui constitue le fond desdits sillons. La plaquette 10 reçoit alors le dépôt 7 de bioxyde de silicium (voir figure 4b). Ce dépôt est fractionné en plusieurs portions des portions 71 qui reposent sur les plages métalliques 22, des portions 777 qui revêtent les parties obliques 6 de la surface latérale des tablettes 100, et des portions 72 qui reposent sur les plats 9. On élimine, par soufflage ou par brossage, comme indiqué précédemment, les portions 71 dudit dépôt, et la plaquette 10 est finalement séparée en une pluralité de tablettes 100, chaque tablette correspondant à une diode D2 (voir figure 5b). Il faut bien remarquer que la forme conférée aux sillons 4 afin d'obtenir des diodes profilées latéralement telles que l'est la diode D2, permet que les différentes portions 71, 72 et 777 du dépôt 7 de bioxyde de silicium soient parfaitement séparées, dès leur création. Naturellement, il faut, pour cela, conférer aux parties verticales 5 et 8 de la surface latérale des diodes une hauteur suffisante par rapport à l'épaisseur du dépôt 7. Aussi, les couches passivantes 777, non seulement restent lisses et régulières à proximité de leur bord supérieur, comme dans le cas des diodes D1, mais elles le sont également au voisinage de leur bord inférieur là où leur épaisseur diminue graduellement jusqu'à la frontière que constitue l'arête commune limitant les parties 6 et 8.Ces couches ne subissent en effet aucun dommage le long de leur bord inférieur lors de l'éclatement de la plaquette 10 en ses différentes tablettes 100, la séparation se faisant à partir des parties planes 9. Lors de cette séparation les portions 72 du dépôt de bioxyde de silicium qui reposent au fond des sillons 4 sont très agressées, mais ceci n'a aucune importance du fait qu' elles ne jouent aucun rôle dans la structure. Suivant une caractéristique optionnelle de l'invention applicable quel que soit le type de profil des diodes réalisées, les plaquettes 10, après le creusement des sillons 4 (voir figures 3a et 3b) sont soumises à un léger traitement de décapage. Elles sont trempées, par exemple, dans un mélange d'acide nitrique (90%) et d'acide fluorhydrique (10%), pendant 1 mn environ ; une telle solution attaque le silicium, mais non l'or. Le silicium est seulement attaqué dans les sillons 4 et il se produit une légère cavité de sous-gravure 113, sous la couche métallique 22, de la région 13 des diodes (voir figure 6b). Aussi, lorsque le traitement de décapage étant terminé, on procède à un dépôt généralisé de bioxyde de silicium sur la plaquette 10, ce matériau ne peut absolument pas se déposer dans la petite cavité 113.On acquiert ainsi la certitude que les dépôts 71 et 777 de matériau passivant sont bien séparés, une certaine liaison pouvant se manifester dans le cas où les dispositifs réalisés étant très compacts, la hauteur de la partie verticale 5 du profil des diodes serait réduite. Les figures 6a et 6b montrent les aspects de la couche passivante 777 respectivement dans le cas où il n'a pas été procédé audit traitement de décapage et dans le cas contraire. A titre indicatif, dans un exemple non limitatif de réalisation selon l'invention d'une diode au silicium de type D2, les régions 11, 12 et 13 de la diode ont respectivement pour hauteur 70, 80 et 70 um, tandis que la partie verticale 5 a une hauteur de 20 pm, que la partie verticale 8 a une hauteur de 10 vm, et que la partie oblique 6 couvre une dénivellation de 150 vm. Sur la figure 7, il est représenté une plaquette semiconductrice comportant des jonctions et des plages métalliques de contact, préparée en vue de la réalisation de transistors mésa à surface passivée répondant aux caractéristiques de l'invention. La plaquette 40 présente plusieurs régions superposées, soit depuis sa base, une région 41 par exemple de type N+, une région 42 de type N, une région 43 de type P, une région 44 de type P+. Dans la réginn 44 il a été créé des régions45 de type N+ appelées à former les émetteurs des transistors. Une jonction J est présente à l'interface des régions 42 et 43, jonction qui s'étend sur toute la section de la plaquette. Une plage métallique 3 comportant de l'or en surface recouvre la face inférieure de la plaquette.Des plages métalliques 23 et 24 ont été constituées sur la face supérieure de ladite plaquette, par exemple par gravure chimique d'un dépôt métallique continu préalablement déposé sur cette plaquette, les premières devant former les contacts de base et les seconds les contacts d'émetteur des transistors ; ces plages comportent également de l'or en surface. La plaquette ainsi structurée est creusée de sillons 4 dont le profil est semblable à celui des sillons décrits précédemment en regard de la figure 3b et qui prédivisent ladite plaquette en tablettes 400, chacune de ces tablettes devant fournir un transistor. On retrouve donc ici chacune des parties 5, 6, 8 et 9 caractérisant le profil de la surface latérale des dispositifs selon l'invention (voir figure 8). La plaquette creusée de ses sillons reçoit par sa face supérieure un dépôt de bioxyde de silicium (voir figure 9). Ce dépôt se partage en portions 71 qui reposent à la fois sur les plages métalliques 23 et 24 et sur le silicium à nu entre ces plages, 777 qui recouvrent les parties obliques 6 de la surface latérale des tablettes 400, et 72 qui reposent au fond des sillons 4. Il est procédé ensuite à un brossage ou a un soufflage de la surface de la plaquette à l'issue duquel le bioxyde de silicium qui reposait auparavant sur les plages métalliques 23 et 24 est éliminé, tandis que ce bioxyde de silicium demeure entre lesdites plages et, bien sûr, dans ses portions 777 et 72. Enfin, la plaquette 40 est séparée en ses tablettes 400 (voir figure 10). Chaque tablette constitue un transistor mésa avec son collecteur 41/42 muni d'une plage de contact 34, sa base 43/44 munie de sa plage de contact 23 et son émetteur 45 dont la plage de contact est en 24. La rapide description faite ci-dessus du procédé de réalisation d'un transistor et les figures qui accompagnent cette description montrent que les dispositions selon l'invention ne sont pas seulement applicables à la réalisation de dispositifs simples tels que des diodes, mais qu'elles peuvent être avantageusement étendues à celles de dispositifs semiconducteurs plus complexes pour lesquels une passivation de-très bonne qualité mécanique est nécessaire. - REVENDICATIONS 1.- Dispositif semiconducteur créé dans une tablette semiconductrice où l'on distingue une première face, ou face active, et une deuxième face opposée à la première, dispositif comportant au moins une jonction P-N dont le plan est sensiblement parallèle à ladite première face, pourvu d'une couche mince à rôle passivant reposant sur au moins une fraction de sa surface, au moins une plage métallique de contact étant prévue sur au moins ladite première face, caractérisé -en ce que le matériau constitutif de ladite couche mince à rôle passivant et le matériau prévu au moins en surface de ladite plage métallique de contact sont deux matériaux pré sentant une faible, sinon nulle, adhérence mutuelle, - en ce que le profil de la surface latérale de la tablette est tel que l'on distingue au moins deux parties dans cette surface latérale, soit, ladite première face étant disposée horizontalement et supposée définir le niveau supérieur de la tablette, -une première partie, adjacente au bord de la première face, sensiblement verticale, située tout entière au dessus du niveau de ladite jonction, -et une deuxième partie, oblique, entourant un volume de section horizontale croissante en direction de la deuxième face de la tablette, sur laquelle affleure ladite jonction. 2.- Dispositif semiconducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdites première et deuxième parties de la surface latérale de la tablette sont adjacentes. 3.- Dispositif semiconducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdites première et deuxième parties de la surface latérale de la tablette sont séparées par une partie intermédiaire. 4.- Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications I à 3, caractérisé en ce que le profil de la surface latérale de la tablette est tel que lton distingue dans cette surface, en et plus des première et deuxième parties,l éventuellement de la partie intermédiaire précitées, une troisième partie, sensiblement verticale, adjacente à ladite deuxième partie et une quatrième partie, sensiblement horizontale, faisant suite à ladite troisième partie. 5.- Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications l à 4, caractérisé en ce que le matériau constitutif de ladite couche mince à rôle passivant est du bioxyde de silicium et en ce que le matériau prévu au moins en surface de ladite plage métallique de contact est de l'or. 6.- Procédé de réalisation de dispositifs semiconducteurs selon l'une des revendications 1 à 5 dans une plaquette semiconductrice comportant au moins deux régions superposées définissant une jonction P-N dont le plan est sensiblement parallèle aux faces de ladite plaquette, caractérisé essentiellement en ce que l'on revêt les deux faces de la plaquette d'un dépôt métallique, en ce que,ensuite, on creuse mécaniquement des séries de sillons à partir d'une des faces de la plaquette, lesdits sillons s1éten- dant en profondeur au-delà de ladite jonction et définissant dans la plaquette des tablettes contiguës dont les surfaces latérales ont un profil donné conforme à l'invention, en ce que, ensuite, on revêt ladite plaquette, reposant sur sa face opposée auxdits sillons, de matériau passivant, ledit matériau passivant étant tel qu'il présente une faible adhérence sur le matériau dudit dépôt métallique, en ce que, alors, on élimine mécaniquement les portions du revêtement de matériau passivant qui reposent sur les surfaces métalliques, et en ce que, enfin, on procède à la séparation complète desdites tablettes. 7.- Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que ledit dépôt métallique reposant sur la face de la plaquette à partir de laquelle sont creusés lesdits sillons est partagé en plages indépendantes avant le creusement de ces sillons. 8.- Procédé selon l'une des revendications 6 et 7, caractérisé en ce que, après le creusement desdits sillons et avant de revêtir la plaquette de matériau passivant, on procède à un décapage chimique de ladite plaquette, décapage qui épargne ledit dépôt métallique. 9.- Diode semiconductrice de type mésa au silicium, caractérisée en ce que sa structure répond à l'une des revendications 1 à 5 et en ce que son procédé de fabrication est conforme à l'une des revendications 6 et 8.