Brevet FR2415348A1 — publié le 19790817

La présente invention concerne des appareils à rayonnement corpusculaire, en particulier des appareils à rayonnement électronique servant à l'irradiation d'une cible, qui disposent de moyens pour la déviation du faisceau de rayonnement électronique sur la cible et d'équipements permettant au faisceau de rayonnement électronique dévié d'être focalisé dynamiquement sur la cible. Des appareils à rayonnement électronique de ce genre sont utilisés par exemple pour produire des dessins d'irradiation préprogrammés sur des pastilles semi-conductrices revêtues de vernis, en vue de la fabrication de composants micro-électroniques. Dans des appareils à rayonnement électronique destinés au domaine d'application mentionné, afin d'obtenir une sonde électronique sur la cible, soit la section de rayonnement la plus étroite (point de croisement ou noeud de faisceau) produite dans le système générateur de rayonnement, soit le champ lumineux limité par des diaphragmes est représenté à l'aide de lentilles opto-électroniques sur la cible et dévié à l'aide d'un système déviateur sur un endroit préétabli par le programme de commande. Comme on le sait, lors de la représentation (focalisation) opto-électronique et de la déviation il se produit toute une série de défauts d'image indésirables (aberrations) qui conduisent à une distorsion de la sonde électronique et de son profil d'intensité. Par analogie avec la classification des défauts d'image en cas de représentation habituelle d'un objet à surface étendue on peut procéder à une classification des aberrations d'un faisceau électronique dévié en remplaçant formellement les coordonnées d'objets rapportées au plan de la cible par les composantes de la translation réalisée avec l'équipement déviateur.Dans ce sens on parle, dans le cas d'un faisceau électronique focalisé sur un plan de cible en tant que plan d'image et ensuite dévié sur un endroit quelconque du plan de cible, de défocalisation, astigmatisme, coma, distorsion et défauts chromatiques en tant que phénomènes dus à la déviation. Par rapport à l'irradiation d'une cible sous la forme d'une représentation sirnultanée de l'ensemble d'un objet étendu, par exemple un modèle, l'amenée de charges réalisée par des impulsions de courant commandées par programme et se succédant dans le temps offre l'avantage que quelques-uns des défauts d'image Qmentionnés peuvent être compensés dans chaque position de déviation de la sonde électroni On sait que sous le non t de "correttion dynamique d'aberrations dues à la-déviation" ont" été faites des propositions ayant pour objet une compensation de la défocalisation et de l'astigmatisme provoqués par déviation (brevet de l'Allemagne de l'Est No. 64 108).Les moyens de compensation sont une lentille (faible) additionnelle pour la focalisation ultérieure et un stigmateur du deuxième ordre pour la compensation de l'astigmatisme dû à la déviation. La commande de leur pouvoir d'action, c'est-à-dire dans le cas de moyens de compensation magnétiques du courant d'excitation et dans le cas de moyens de compensation électrostatiques de la tension aux électrodes, s'effectue d'après la loi caractéristique des aberrations concernées dues à la déviation ou sous une forme représentant cette loi de manière simplifiée (demande de brevet publiée de l'Allemagne de l'Ouest No. 2 521 579). L'utilisation de moyens de compensation agissant magnétiquement est préférée à celle de moyens de compensation à action électrostatique. Une lentille de focalisation magnétique destinée à la compensation de la défocalisation due à la déviation provoque cependant en même temps une rotation d'image proportionnelle à son excitation et qui, conjointement avec la déviation et la commande dynamique,*conduit à une distorsion anisotrope. Afin d'éviter celle-ci, il faut, soit placer la lentille de focalisation devant le système déviateur, comme cela se fait généralement jusqu'à présent, soit compenser la distorsion anisotrope au moyen d'une rotation électrique de la direction de déviation, comme cela a été proposé dans un cas particulier (voir G.L. Varnell, D.F. Spicer, A.C. Rodger, J.Vac. Sci. Technol. volume 10 (1973) pp. 1048 à 51). I1 a en outre été mené des recherches visant à permettre au système déviateur d'être dimensionné optimalement en combinaison avec l'objectif de formation d'image, qui est également de préférence de type magnétique, en vue de réduire les aberrations dues à la déviation (E. ttunro, J. Vac. Sci. Technol. volume 12 (1975) pp.1146 à 50). Les paramètres du dimensionnement sont essentiellement la position caractéristique (devant l'objectif, au niveau de l'objectif ou derrière celui-ci) ainsi que le nombre des étages (un ou deux) et leur angle de positionnement. La condition que la lentille de focalisation impose dans le cas d'une compensation dynamique de la défocalisation due à la déviation n'est pas étudiée. Toutefois, dans un article de H.C. Pfeif fer paru dans la revue J. Vac. Sci.Technol. volume 12 (1975) pp. 1170 à 73 est décrit un agencement qui tient compte des résultats publiés par E. Munro dans la revue J. Vac. Sci. Technol. volume 12 (1975) pp. 1146 à 50 et dans lequel une lentille de focalisation placée devant le système déviateur exerce encore son action de sorte qu'il ne se produit pas de distorsion anisotrope due à la lentille de focalisation commandée dynamiquement. Afin d'améliorer encore la qualité optique du faisceau de rayons dévié il a été proposé, en fonction de l'excitation du système déviateur, de faire varier l'emplacement et la direction du faisceau de rayonnement dans le plan objet de l'objectif réellement ou virtuellement de telle manière que, en plus d'une compensation dynamique de la défocalisation et de l'astigmatisme dus à la déviation, les défauts d'image dus à la déviation et se présentant sous la forme d'une coma et de défauts chromatiques se trouvent compensés (brevet de l'Allemagne de l'Est No.126 382). Dans ce cas, il demeure, en tant que seul défaut d'image dépendant encore de 1; déviation, la distorsion due à la déviation et dont la partie anisotrope peut, comme on le sait déjà, être compensée électroniquement, ce qui implique cependant une complication additionnelle de la commande dynamique du système déviateur et est par conséquent indésirable. Pour la même raison, la commande dynamique d'un stigmateur est également indésirable. La présente invention crée un procédé et un dispositif correspondant qui ne présentent pas les inconvénients des solutions techniques connues et permettent par conséquent un accroissement de la productivite. Ainsi, l'utilisation du procédé et du dispositif suivant l'invention est appelée, par exemple dans le cas d'un appareil de traitement par rayonnement électronique, à permettre de supprimer des temps de déplacement de platine puisqu'un agrandissement considérable du champ de travail est rendu possible. La présente invention a pour objet en particulier, de créer un procédé et un dispositif correspondant destinés à corriger les aberrations dues à la déviation et permettant de corriger toutes les aberrations suivantes dues à la déviation, du moins pour autant qu'elles se situent dans le domaine du troisième ordre : défauts chromatiques, coma, astigmatisme, défocalisation et distorsion. I1 s'agit en outre, suivant la présente invention, de corriger la distorsion de format se produisant pour une sonde d'une certaine étendue en cas de compensation dynamique de la défocalisation due à la déviation. Pour un procédé destiné à corriger les aberrations dues à la déviation dans un appareil à rayonnement corpusculaire, en particulier dans un appareil de traitement par rayonnement électronique, dans lequel une section de rayonnement limitée par des diaphragmes est représentée sur un plan de cible et est déviée à ce niveau sur un endroit présélectionné à volonté à l'intérieur d'un champ de travail, et dans lequel une image du point de croisement, ou noeud de faisceau, est formée dans le plan de la pupille d'entrée d'un objectif déviateur, la défocalisation due à la déviation étant compensée dynamiquement par une lentille de focalisation agissant sur le faisceau de rayonnement dévié, la solution apportée suivant la présente invention au problème posé consiste en premier lieu à éliminer des aberrations chromatiques et de la coma dues à la déviation par réglage des angles de positionnement et des excitations d'un système déviateur à plusieurs étages constitué par deux ensembles de moyens de déviation. Afin de corriger l'astigmatisme dû à la déviation, l'astigmatisme du premier ensemble de moyens déviateurs est compensé par l'astigmatisme du second ensemble de moyens déviateurs, l'astigmatisme isotrope et l'astigmatisme anisotrope dus à la déviation étant réglés respectivement par la position et par la longueur de champ du premier ensemble de moyens déviateurs. Afin de corriger la distorsion due à la déviation, la distorsion des deux ensembles déviateurs est compensée par la distorsion dynamique, due à la déviation, que la lentille de focalisation provoque lors de la compensation dynamique de la défocalisation due à la déviation, en réglant la position axiale de la lentille de focalisation. La distorsion de format provoquée lors de la compensation dynamique de la défocalisation due à la déviation doit être corrigée pour de grands formats tels qu'ils sont courants par exemple dans le cas de générateurs de mire. Suivant l'invention, la correction de la distorsion de format isotrope s'effectue par réglage de la position axiale de la pupille d'entrée et la distorsion de format anisotrope par une rotation d'image inverse à l'intérieur de la lentille de focalisation. Pour la mise en oeuvre du procédé on part d'un dispositif comportant une lentille magnétique servant d'objectif déviateur et dans laquelle se trouvent coaxialement à l'axe optique un système déviateur à plusieurs étages et une lentille de focalisation commandée conformément à la loi suivante IF = a . (ix + iy) (1) y dans laquelle IF désigne le courant passant par la lentille de focalisation, i et i désignent le courant passant par la confi x y guration de conducteurs du système déviateur respectivement pour la direction de déviation x et la direction de déviation y. Le dispositif suivant l'invention est caractérisé en ce que chaque étage déviateur se compose de plusieurs douilles placéés les unes dans les autres et sur les surfaces formant enveloppe desquelles sont disposés des déflecteurs, les longueurs L et les angles de positionnement azimutallPdes étages déflecteurs présentant des valeurs préétablies qui, de même que la position axiale du système déviateur à plusieurs étages, sont fixées de telle manière que des aberrations chromatiques, de la coma et de l'astigmatisme dus à la déviation et attribuables à l'objectif déviateur disparaissent, et en ce que la lentille de focalisation est constituée par au moins deux bobines de focalisation superposées dont les positions axiales et longueurs 1 sont telles que la distorsion due à la déviation et provoquée lors de la compensation dynamique de la défocalisation due à la déviation soit égale, en valeur absolue, à la distorsion due à la déviation et attribuable à l'objectif déviateur mais soit inverse de cette dernière distorsion. Etant donne qu'en cas de changement du champ de travail ou par suite d'un champ de travail non plan une focalisation ultérieure du faisceau de rayonnement peut devenir nécessaire, il est avantageux de disposer sur une douille intérieure, dans les positions axiales établies, deux bobines de focalisation additionnelles dont les longueurs sont telles que pour un réglage quelconque du courant d'excitation aucune distorsion due à la déviation ne soit provoquée. Afin de permettre une alimentation électrique bifilaire, il est avantageux que les bobines de focalisation soient réalisées de façon à être disposées sous forme de deux ou un autre nombre pair de couches. De plus, il est recommandable que les bobines de focalisation soient connectées par paires de façon à former chaque fois un dipôle de focalisation.Afin de favoriser le procédé de compensation les dipôles de focalisation peuvent être montés en série. On peut également prévoir à l'intérieur du système déviateur d'autres bobines excitées constamment et destinées au réglage opto-électronique des angles de positionnement. Une rotation mécanique des étages déviateurs les uns par rapport aux autres devient alors complètement ou partiellement superflue et, par exemple, deux étages déviateurs peuvent être groupés en un seul. Du point de vue du réglage de l'équipement opto-électronique, il est avantageux que les étages déviateurs soient réalisés de manière à être séparés électriquement les uns des autres. En vue de permettre une adaptation précise de la compensation et de favoriser le processus de compensation il est avantageux que les bobines de focalisation soient également séparées électriquement les unes des autres. L'invention est expliquée plus en détail ci-dessous à l'aide d'un exemple de réalisation illustré aux dessins annexés. La fig. I sert à élucider les désignations utilisées dans le texte et correspond à la technique antérieure. La fig. 2 montre, pour un objectif déviateur comportant un système déviateur à un seul étage, la position typique des réseaux d'aberrations, tels qu'ils s'établissent en cas de variation des paramètres de ce système déviateur. La fig. 3 montre la position que les réseaux d'aberrations relatifs à la coma, à l'astigmatisme et à la distorsion (dus à la déviation) d'un objectif déviateur ayant fait l'objet d'une correction en ce qui concerne des erreurs chromatiques dues à la déviation, occupent en cas de variation des paramètres d'un système déviateur à trois étages ainsi que la position que le réseau d'aberrations relatif à la distorsion due à la déviation et provoquée dynamiquement occupe en cas de variation des paramètres d'un dipôle de focalisation. La fig. 4 sert à élucider le procédé pour le réglage axial des bobines de focalisation de façon que la défocalisation et la distorsion dues à la déviation soient compensées sans pour autant provoquer une distorsion de format. La fig. 5 montre la façon dont est réalisé un objectif déviateur comprenant un système déviateur à trois étages et un dipôle de focalisation qui dans le cas d'un dipôle de focalisation excité dynamiquement suivant la loi (1) est exempt de toutes aberrations du troisième ordre dues à la déviation. Dans le cas du dispositif de la technique antérieure représenté à la fig. 1 le plan objet 1, qui peut en général être considéré comme étant le plan image intermédiaire soit de la source de rayonnement (point de croisement ou noeud de faisceau) soit de la section de rayonnement (champ lumineux) limite par des diaphragmes, est représenté sur le. plan formant cible 5 par un objectif magnétique présentant l'intervalle 4 limité par les pièces polaires 2 et 3.Le système déviateur à trois étages 6, 7, 8 résultant de la combinaison du système déviateur correcteur placé devant l'objectif et comportant les étages déviateurs 6 et 7 avec l'étage déviateur 8 placé au niveau de l'intervalle 4 possède les degrés de liberté suivants qui jouent un rôle lors du dimensionnement du système en vue de la correction de l'erreur chromatique, de la coma et de l'astigmatisme dus à la déviation angle de positionnementCP,, nombre de spires Wk, longueur Lk et position médiane Mk d k = 1, 2, 3. Le prototype de la configuration des conducteurs est un cadre de fils placé en forme de selle sur le cylindre à rayons et comportant les conducteurs longitudinaux 9, 10 parallèles à l'axe et les conducteurs transversaux 11, 12 perpendiculaires à l'axe.Plusieurs cadres de fils emboités forment un enroulement et deux enroulements diamétralement opposés constituent un déflecteur. Deux déflecteurs croisés forment un étage déviateur et plusieurs étages déviateurs forment un système déviateur. Les cadres de fils représentés à la fig. 1 forment chaque fois le déflecteur qui, placé dans l'étage concerné et le cylindre de rayon, dévie le faisceau de rayonnement par exemple dans la direction x. En direction radiale plusieurs enroulements peuvent être placés les uns a la suite des autres, par exemple afin de renforcer l'action déflectrice ou bien, en cas de connexion en opposition, afin de compenser le champ extérieur au niveau du circuit de fer 13 de la lentille d'objectif. Le système déviateur se compose donc de plusieurs douilles cylindriques placées concentriquement les unes dans les autres et dont chacune porte un système déflecteur pour la direction de déviation x et la direction de déviation y. Au champ magnétique de l'objectif déviateur constitué par l'objectif et le système déviateur se superpose en outre le champ magnétique de la bobine de focalisation 14. Celle-ci est réalisée sous forme de bobine annulaire et présente la longueur 1 et la position médiane m. Le prototype de la configuration des conducteurs est la couronne de fil coaxiale. Plusieurs couronnes de fil superposées en direction axiale forment un enroulement et plusieurs enroulements placés les uns à la suite des autres en direction radiale forment une bobine. Afin de compenser la défocalisation due à la déviation, la bobine 14 est alimentée avec un courant respectant la loi (1) et qui est inverse de celui dans l'enroulement excitateur 15 de la lentille d'objectif. Dans le dispositif représenté à la fig. 1, la bobine de focalisation 14 commandée dynamiquement suivant la loi (1) en vue de la compensation de la défocalisation due à la déviation provoque une distorsion dynamique due à la déviation et qui, par suite des propriétés opto-électroniques d'un objectif déviateur corrigé en ce qui concerne l'erreur chromatique et la coma dues à la déviation, augmente la distorsion (due à la déviation) de l'objectif déviateur. En conséquence, un tel dispositif ne convient que pour l'irradiation de petits champs de travail pour lesquels la distorsion induite due à la déviation est encore négligeable. Si, afin d'éviter la distorsion induite due à la déviation, on voulait placer la bobine de focalisation 14 au-dessus du système déviateur, alors il faudrait, pour obtenir la même défocalisation, exciter la bobine 14 à un degré plusieurs fois plus élevé puisque l'action amplificatrice produite par la superposition du champ magnétique de la bobine 14 au champ magnétique de l'objectif, se trouve supprimée. A la fig. 2 est représentée graphiquement la relation fonctionnelle entre, d'une part, les paramètres de dimensionnement que sont la longueur L et la position médiane M d'un système déviateur à un seul étage et, d'autre part, les compo santes ,edes aberrations se produisant sur le trajet de rayonnement dévié de formation d'image par l'objectif (fig.l) et rapportées à des unités appropriées de la déviation,de l'ouverture et de la vitesse d'émission (en fonction de la tension) à la cathode, cette relation étant figurée par des réseaux 16, 17, 18 et 19 relatifs respectivement à la distorsion, à l'astigmatisme, à la coma et à l'erreur chromatique dus à la déviation. Le long des lignes coordonnées marquées de flèches simples,le paramètre de dimensionnement qu'est la longueur L du système déviateur reste constant et seule la position médiane M change. Le long des lignes coordonnées marquées de doubles flèches,la position du sommet inférieur du système déviateur reste constante et la longueur L augmente dans le sens des doubles flèches. Dans le cas d'un système déviateur à un seul étage, obtenu à partir du système déviateur à trois étages de la fig. 1, en supprimant les étages déviateurs correcteurs 6 et 7, les paramètres que sont la longueur L et la position médiane M peuvent être choisis de telle sorte que,soit la distorsion due à la déviation, soit l'astigmatisme dû à la déviation se trouve corrigé, alors que pour aucune paire de valeurs L, M la coma et l'erreur chromatique dues à la déviation ne disparaissent. La forme et la position des réseaux d'aberrations sont caractéristiques de l'objectif représenté à la fig. 1 et ne changent que peu en cas de variation des paramètres de la formation d'image par l'objectif. Les paramètres de la formation d'image par l'objectif sont entre autres le rapport des alésages des pièces polaires 3 et 2, l'échelle de représentation du plan 1 sur le plan 5 et la distance focale de l'objectif. Dans le cas d'un système déviateur à trois étages les angles de positionnement et les excitations (nombres d'ampèretours) des différents déflecteurs peuvent être réglés en fonction de la longueur L et de la position médiane M du système déviateur de telle manière que les grandeurs complexes que sont la déviation ainsi que l'erreur chromatique et la coma dues à la déviation prennent des valeurs préétablies. Ainsi, les valeurs préétablies d'erreurchromatique et de coma dues à la déviation peuvent être par exemple nulles. Abstraction faite de la défocalisation due à la déviation, il reste alors encore, en tant qu'aberrations, l'astigmatisme et la distorsion dus à la déviation.Afin de faire bien ressortir qu'ils dépendent des paramètres L et M il convient de remplacer la condition "coma due à la déviation = O" par la condition suivant laquelle le rapport entre les excitations des déflecteurs respectivement pour la direction de déviation x et la direction de déviation y reste constant. Dans le cas de la formation d'image par l'objectif suivant la fig. 1, les réseaux d'aberrations 20, 21 et 22 relatifs respectivement à la coma, à l'astigmatisme et à la distorsion dus à la déviation présentent l'allure de courbe représentée à la fig. 3. Le long des lignes coordonnées mar quées de flèches simples la longueur L du système déviateur reste constante et seule sa position médiane M varie.Le long des coordonnées marquées de doubles flèches, la position du sommet inférieur du système déviateur reste constante et les longueurs des étages augmentent de la même quantité dans le sens des doubles flèches de sorte que la longueur L du système déviateur croît.Pour tous les paramètres L et M l'erreur chromatique due à la déviation est nulle. La fig. 3 montre qu'il existe des valeurs L et M pour lesquelles l'astigmatisme dû à la déviation disparait, ce qui est le cas au point 23, et la valeur 24 relative à la coma due à la déviation est proche de zéro, alors que la valeur 25 pour la distorsion due à la déviation est sensiblement éloignée du zéro.En faisant varier un paramètre de la formation d'image par l'objectif, par exemple l'alésage de la pièce polaire d'objectif 3 située du côté de la cible de la fig. 1, on peut obtenir que les points 23 et 24 coincident dans l'origine des coordonneesu = O,te= 0, c'est-à- dire que l'astigmatisme et la coma dus à la déviation disparaissent simultanément, alors que le réseau d'aberrations relatif à la distorsion due à la déviation reste sensiblement à l'extérieur de l'origine des coordonnées. Des explications concernant le réseau 26 relatif à la distorsion induite due à la déviation seront données à la fin de la description de la fig. 4. En vue du dimensionnement du système de bobines de focali sation la position axiale m #z = cF . (x + y) (2) qui est inverse de la défocalisation (due à la déviation) imputable a l'objectif déviateur, et provoque ainsi une distorsion due à la déviation et définie comme suit : #(x + iy) = (#F + i~F) . (x + y) (x + iy) (3) Le coefficient de la défocalisation cF et les coefficients #F' #F de la distorsion induite, respectivement isotrope et anisotrope, due à la déviation dépendent de la position m de la bobine exploratrice. A la fig. 4, les courbes 27, 28 et 29 représentent, pour le cas de la formation d'image par l'objectif de la fig. 1, respectivement l'évolution de cF de ~ WF etW F F qui est obtenue lorsque la position m de la bobine exploratrice passe progressivement du plan objet 1 jusqu'au plan formant cible 5. La lentille de focalisation se compose de N bobines individuelles disposées le long de l'axe optique dans différentes positions m#(# = 1,2 ... N). Le rapport du nombre de spires de laV--ième bobine individuelle à celui de la bobine exploratrice est désigné par n - . Une valeur négative du rapport des nombres de spires signifie que le sens de passage du courant dans la bobine individuelle est opposé à celui dans la bobine exploratrice. Les conditions suivantes doivent être remplies. La compensation dynamique de la défocalisation (due à la déviation et présentant le coefficient C inférieur à O) de l'objectif déviateur exige que La compensation dynamique de la distorsion (due à la déviation) imputable à l'objectif déviateur et présentant les composantes #A, #A exige que La distorsion de format anisotrope est corrigée lorsque la somme de toutes les valeurs nest nulle En général N = 4 bobines individuelles suffisent pour remplir les conditions exprimées par les équations (4) à (7).A cet égard, il est seulement imposé à la position axiale des bobines individuelles la condition que le déterminant du système d'équations ne disparaît pas et dans ce sens le dimensionnement d'une lentille de focalisation constituée par quatre bobines individuelles n'est pas dépourvu d'ambiguité. Il existe donc la possi bilité de répondre à des exigences de simplification en réduisant par exemple le nombre des bobines de focalisation, comme expliqué dans l'exemple suivant. La lentille de focalisation se compose de deux bobines de focalisation 30 et 31 qui sont disposées à des hauteurs différentes dans une douille intérieure 49 du système déviateur, comme représenté à la fig. 5. Sa position axiale est désignée à la fig. 4 par ml et m2- Le sens du passage du courant dans la bobine 30 est opposé à celui dans l'enroulement excitateur 15 de l'objectif de la fig. 1 et produit une défocalisation posi tive iXz z qui est inverse de la défocalisation due à la dévia- tion et imputable à l'objectif déviateur. Le coefficient c F de la défocalisation de la bobine de focalisation 30 présente par conséquent une ordonnée positive 32.Les valeurs pour les coefficients - F et - U;F de la distorsion induite (due à la déviation) prise comme valeur négative sont indiquées par les ordonnées 33 et 34. La bobine 31 comporte le même nombre de spires que celui de la bobine 30 et est parcourue par le même courant que celui de la bobine 30 mais en sens opposé, de sorte que la somme des excitations des bobines 30 et 31 est nulle. Le coefficient s'établissant ainsi pour la défocalisation du dipôle de focalisation formé par les bobines 30 et 31 est représenté par la différence 35 des valeurs d'ordonnée 32 et 36. Les composantes du coefficient de la distorsion induite (due à la déviation) s'établissant ainsi résultent des différences 39 et 40 respectivement entre les valeurs d'ordonnée 33 et 37 ; 34 et 38.La longueur m2 - ml et la position du dipôle de focalisation sont amenées à varier et en même temps le coefficient a dans l'équation de consigne (1) est réglé de façon que la défoca- lisation (due à la déviation) de l'objectif déviateur se trouve compensée. Entre les composantes de la distorsion induite (due à la deviation)lbFUeF et les paramètres que sont la longueur et la position du dipôle de focalisation existe une relation fonctionnelle qui est représentée à la fig. 3 par le réseau 26. Le long des lignes coordonnées marquées de flèches simples la longueur m2 - ml du dipôle de focalisation reste constante et sa distance par rapport à la cible augmente dans le sens des flèches. Le long des lignes coordonnées marquées de doubles flèches la position reste fixe et la longueur augmente dans le sens des flèches. Pour un objectif déviateur comportant un dipôle de focalisation du type représenté à la fig. 5, il a été constaté que le réseau de la distorsion négative due à la déviation et provoquée dynamiquement par le dipôle de focalisation pouvait être amené à recouvrir le réseau de la distorsion due à la déviation et provoquée par l'objectif déviateur, comme le montre la fig. 3.. Un tel recouvrement, en particulier du point 25 par le réseau 26) signifie que la lentille de focalisation composée seulement de deux bobines permet de remplir non seulement les conditions (4) et (7) mais aussi les conditions (5) et (6). L'allure des courbes - z F et - tFF fait apparaitre F que les conditions (4) à (7) peuvent être remplies avec un dipôle de focalisation même lorsque les grandeurs"ulA etieA sont A A nulles. En effet, dans les positions axiales 41 et 42 de la bobine exploratrice les ordonnées de la courbe ~ g F présentent la même valeur et tel est également le cas pour les ordonnées de la courbet > F alors que les ordonnées de la courbe c F sont différentes.Un dipôle de focalisation, constitué par deux bobines individuelles montées en opposition et disposées dans les positions axiales 41 et 42, a donc pour propriété qu'il provoque une défocalisation qui peut être réglée à volonté en agissant sur la valeur du courant passant par les deux bobines en sens inverse l'une par rapport à l'autre et qu'en même temps la distorsion due à la déviation et provoquée par l'une des deux bobines est compensée par celle provoquée par l'autre bobine, aucune rotation de format ne se produisant. Un tel dipôle de focalisation permet d'effectuerdes corrections de focalisation qui ne sont pas, suivant des lois déterminées, sous la dépendance de la déviation, comme c'est par exemple le cas pour celles qui sont nécessaires après le transport mécanique de la platine porte-objet en vue de la mise en place d'un autre champ de travail. I1 est en outre à noter que la position du réseau 26 de la fig. 3 peut également être changée en montant les deux dipôles de focalisation, mentionnés à titre d'exemple, en série et en les alimentant avec un courant conforme à la loi (1). Dans le cas de l'objectif déviateur représenté à la fig. 5, la section de rayonnement formée par le système condenseur situé au-dessous du plan 1 est représentée sur le plan formant cible 5 à l'aide du champ magnétique de l'objectif, produit par un courant électrique passant par l'enroulement 15 et par l'intervalle limité par les pièces polaires 2 et 3, et est déviée par le champ magnétique du système déviateur à trois étages 6, 7, 8 agissant sensiblement en direction perpendiculaire à l'axe. Les champs magnétiques de l'objectif et du système déviateur se superposent pour former le champ magnétique de l'objectif déviateur en tant que groupe générateur de champ. Les paramètres de ce groupe sont choisis de telle manière que l'action optique de l'objectif déviateur soit exempte d'aberration chromatique, de coma et d'astigmatisme dus à la déviation. Un étage déviateur se compose de plusieurs douilles 43, 44, 45, 46 placées les unes dans les autres et dont chacune contient un déflecteur. La douille 43 contient le déflecteur pour la déviation x, la douille 45 contient le déflecteur pour la compensation du champ extérieur de la déviation x et la douille 46 contient le déflecteur pour la compensation du champ extérieur de la déviation y. Les angles de positionnement, désignés par t1 t3 à la fig. 1, des étages déviateurs sont différents les uns des autres et résultent du procédé de dimensionnement décrit. De même, les longueurs L1 à L3 et les positions médianes M1 à M3 sont le résultat du procédé de dimensionnement décrit. La douille intérieure 49 contient les bobines de focalisation 30 et 31. Celles-ci présentent de préférence le même nombre de spires et sont parcourues par un courant électrique conforme à la loi (1), de sorte que la défocalisation due à la déviation-et attribuable à l'objectif déviateur se trouve compensée et, de préférence, aucune distorsion de format anisotrope n'est provoquée. Le sens du courant dans la bobine 31 est le même que celui dans l'enroulement excitateur 15. La position axiale des bobines de focalisation est choisie de façon que la distorsion (due à la déviation) provoquée par la lentille de focalisation compense la distorsion (due à la déviation) de l'objectif déviateur. La position axiale de la pupille d'entrée, asymptotique du côté objet, qui résulte de la représentation du point de croisement par le système condenseur, est réglée par les moyens de formation d'image du système condenseur de telle manière que la distorsion de format isotrope provoquée dans le cas de la lentille de focalisation commandée dynamiquement soit nulle. Dans la douille 49 peuvent encore être logees des bobines additionnelles 47, 48 qui permettent de réaliser une rotation opto-électronique par réglage de leur excitation. Elles peuvent servir à régler les angles de positionnement des étages déviateurs les uns par rapport aux autres de sorte qu'il existe la possibilité d'annuler la différence d'angle de positionnement par exemple entre les étages 7 et 8 et de réaliser ceux-ci en tant qu'étage déviateur unique. REVENDICATIONS 1 - Procédé destiné à corriger les aberrations dues à la déviation dans un appareil à rayonnement corpusculaire, en particulier dans un appareil de traitement par rayonnement électronique, dans lequel une section de rayonnement limitée par des diaphragmes est représentée sur-un plan formant cible et est déviée à ce niveau sur un endroit présélectionné quelconque à l'intérieur d'un champ de travail, et dans lequel une image du point de croisement, ou noeud de faisceau, est formée dans le plan de la pupille d'entrée d'un objectif déviateur, la défocalisation due à la déviation étant compensée dynamiquement par une lentille de focalisation agissant sur le faisceau de rayonnement dévié, caractérisé en ce que des aberrations chromatiques et de la coma dues à la déviation sont éliminées par réglage des angles de positionnement et des excitations d'un système déviateur à plusieurs étages constitué par deux ensembles de moyens de déviation, en ce que l'astigmatisme dû à la déviation et provoqué par le premier ensemble de moyens de déviation est compensé par l'astigmatisme dû à la déviation et provoqué par le second ensemble de moyens de déviation, l'astigmatisme isotrope et l'astigmatisme anisotrope dus à la déviation étant réglés respectivement par la position et la longueur de champ du premier ensemble de moyens de déviation, et en ce qu'en outre la distorsion due à la déviation et provoquée par les deux ensembles de moyens de déviation est compensée par la distorsion dynamique, due à la déviation, que la lentille de focalisation provoque en compensant dynamiquement la défocalisation due à la déviation. 2 - Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que la distorsion de format isotrope, provoquée lors de la compensation dynamique de la défocalisation due à la déviation, est corrigée par réglage de la position axiale de la pupille d'entrée. 3 - Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que la distorsion de format anisotrope provoquée par la lentille de foca1sation est compensée par une rotation d'image inverse à l'intérieur de la lentille de focalisation. 4 - Dispositif destiné à la correction des aberrations dues à la déviation dans un appareil à rayonnement corpusculaire, en particulier dans un appareil de traitement par rayonnement électronique, qui comprend une lentille magnétique servant d'objectif déviateur et dans laquelle sont disposés coaxialement à l'axe optique un système déviateur à plusieurs étages et une lentille de focalisation commandée conformément à la loi (1), caractérisé en ce que chaque étage déviateur est constitué par plusieurs douilles 43, 44, 45, 46 placées les unes dans les autres et sur les surfaces formant enveloppe desquelles sont disposés des déflecteurs, les longueurs L et les angles de positionnement azimutal'gdes étages déflecteurs présentant des valeurs préétablies qui, comme la position axiale du système déviateur à plusieurs étages, sont fixées de telle manière que l'aberration chromatique, la coma et l'astigmatisme provoquésdu fait de la déviation par l'objectif déviateur disparaissent et en ce que la lentille de focalisation est constituée par au moins deux bobines de focalisation 30, 31 superposées l'une à l'autre et dont les positions axiales et les longueurs 1 sont choisies de façon que la distorsion due à la déviation et provoquée lors de la compensation dynamique de la défocalisation due à la déviation soit inverse de la distorsion, due à la déviation, provoquée par l'objectif déviateur. 5 - Dispositif suivant la revendication 4, caractérisé en ce que sur une douille intérieure 49 sont disposées dans les positions axiales 41, 42 respectivement deux bobines de focalisation additionnelles dont les longueurs sont choisies de telle façon que pour une commande quelconque du courant excitateur aucune distorsion due à la déviation ne soit provoquée. 6 - Dispositif suivant l'une des revendications 4 et 5, caractérisé en ce que les bobines de focalisation sont réalisées sous forme de deux couches ou d'un nombre pair de couches. 7 - Dispositif suivant l'une des revendications 4 et 5, caractérisé en ce que les bobines de focalisation sont connectées par paires de façon à former chaque fois un dipôle de focalisation 8 - Dispositif suivant l'une des revendications 4 et 5, caractérisé en ce que les dipôles de focalisation sont montés en série. 9 - Dispositif suivant la revendication 4, caractérisé en ce que sur la douille intérieure 49 ou une douille voisine de celle-ci se trouvent, à l'intérieur du système déviateur, des bobines additionnelles 47, 48 excitées de manière constante et destinées au réglage opto-électronique des angles de positionne mentlf Y2 3 10 - Dispositif suivant la revendication 4, caractérisé en ce que les étages déviateurs sont réalisés de façon à être électriquement séparés les uns des autres. 11 - Dispositif suivant l'une des revendications 4 et 5, caractérisé en ce que les bobines de focalisation sont réalisées de façon à être électriquement séparées les unes des autres.