Brevet FR2379167A1 — publié le 19780825

La présente invention concerne un otage de sortie pour un dispositif à transfert de charges, comportant une série de condensateurs à couche isolante et/ou de condensateurs à couche d' arrêt, qui est dispose sur une surface d'un substrat en un ma tériau semiconducteur dope et dans laquelle les électrodes exte- rieures des condensateurs à couche isolante et/ou des condensateurs à couche d'arrêt peuvent etre chartes par des tensions de cadence, ledit dispositif comportant une première région disposée à la surface du substrat et possédant un dopage oppose à ce dernier et qui peut être raccorddepar l'intermediaire du substrat à un condensateur à couche isolante ou à un condensateur à couche d'arrêt de la série des condensateurs et simultanoment à une en trée d'un amplificateur de sortie, et comportant une seconde r6- gion séparée de la première région par un espace intercalaire et disposée à la surface du substrat et possédant un dopage opposé à celui dudit substrat et qui est reliée à un contact de raccordement accessible depuis l'extorieur, et comportant une électrode disposée au-dessus de l'espace intercalaire et qui est séparée du substrat par une couche électriquement isolante et peut être char Se par des tensions de cadence particulières. Un Stage de sortie pour un dispositif à transfert de charges du type indiqué plus haut est connu d'après l'article de littérature Archiv für Elektronik und Ùbertragungstechnik, Vol. 28(1974) cahier 9, page 386J colonne de gauche. Dans l'étage de sortie représente sur la figure 6 de ce document, la première et la seconde régions sont désignées, y compris l'électrode, par Trs.1. Du point de vue de la constitution il s'agit là d'un transistor à effet de champ. Sur cette figure la première région est située à gauche de l'électrode tandis que la seconde région est située à droite de cette dernière. La première région est reliée à un amplificateur de sortie qui est désigné par Tris.2. L-'électrode neut être chargée au choix par des tensions particulières de cadence ou par une tension continue. La seconde région est chargée en permanence par une tension continue UT.La première région est raccordée par l'internXédiaire du substrat à un condensateur à couche isolante du dispositif à transfert de charges, dont l'électrode extérieure est chargce par des tensions de cadence 03. A cet effet on utilise deux condensateurs à couche isolante, qui sont disposés entre la première région et le condensateur à couche isolante du dispositif à transfert de charges, à la surface du substrat, et dont les élec trodes extérieures sont ci#argées par une tension continue Uv, Dans de tels étages de sortie les tensions par ticulières de cadence, avec lesquelles l'électrode est chargée, réalisent un surcouplage par l'intermédiaire de capacités parasites avec la première région. De ce fait l'évaluation du signal de sortie est fortement compliquée. C'est pourquoi la présente invention a pour but de perfectionner un étage de sortie pour un dispositif à transfert de charges du type indiqué plus haut, dans le but d'éviter de tels surcouplages de cadence. Ce problème est résolu grâce au fait qu'entre l'électrode et la première région est disposée au moins une seconde électrode qui est également séparée du substrat par une couche électriquement isolante et peut être chargée par une tension continue. A titre d'exemple on a décrit ci-dessous et illustré schématiquenent aux dessins annexés deux exemples de réalisation de l'objet de l'invention. La figure 1 représente une coupe transversale, prise le long de l'ensemble du dispositif à transfert de charges d'un étage de sortie réalisé suivant la technique porte aluminium. La figure 2 représente également une coure transversale, prise le lon, de l'ensemble du dispositif à transfert de charges, d'un étage de sortie réalisé suivant la technique alw: nium-silicium. Conformément à la figure 1 une couche électriquement isolante 2, par exemple en bioxyde de silicium, est déposée sur une surface du substrat 1, par exemple constituée par du silicium dopé du type p.Cette couche électriquerent isolante porte les électrodes extérieures des condensateurs à couche isolante du dispositif à transfert de charges, parmi lesquelles seules les trois dernieres sont représentées et sont dési*nues par les références 3 à 5, une électro#e 6 qui peut être chargée par une tension continue et qui est disposée entre la première région 7, disposée à la surface du substrat et dopée avec un dopage opposé à celui dudit substrat, et l'électrode 5, et en outre l'électrode 8 qui est disposée audessus de l'espace intercalaire entre la prerie-re région 7 et la seconde région 9 disposée également à la surface du substrat.La première région 7 peut être raccordée. l'entre de l'amplificateur de sortie. La seconde région 9, qui possède également un do pave oppose à celui du susbtrat, est reliée à un contact de rac cordenent accessible depuis l'extérieur et auquel peut être appli quée une tension continue. Des tensions particulières de cadence peuvent être appliquées S l'électrode 8. Entre l'électrode 8 et la première région 7 est alors disposée, sur la couche électrique rayent isolante, une seconde électrode qui peut être chargée par une tension continue.Toutes les électrodes sont réalisées en alur;i- nium. L'insertion de l'électrode 1 permet d'éviter l'apparition de surcouplages de cadence depuis l'électrode 8 à la première re bion 7. L'exernle de réalisation représenté sur la figure 2 se différencie de celui de la figure 1, par l'insertion d'électrodes supplémentaires. Ceci est conditionné par l'autre processus de fabrication. L'électrode 3 de la figure 1 est constituée, sur la figure 2,-par les deux électrodes 31 et 32, parmi lesquelles l'électrode 32 est constituée par du polysilicium qui est recouvert par une couche électriquement isolante, tandis que l'élec- trode 31 est constituée en aluminium. Il en est de même pour les électrodes 4 et 8 de la figure 1.D'après la figure 2 l'électrode 4 est constituée par l'électrode en polysilicium 42 et par l'élec- trode en aluminium 41, cependant que l'électrode 8 est constituée par l'électrode en polysilicium 82 et par l'électrode en aluminium 81. Dans l'exemple de réalisation de la figure 2, l'électrode 5 de la figure 1 est également constituée simplement par une électrode en aluminium 51. Les deux électrodes 6 et 10 de la figure 1 sont constituées, dans l'exemple de réalisation de la figure 2, par les électrodes en polysilicium 62 et 102.Alors que le dispositif à transfert de charges de l'exemple de réalisation de la figure 1 est un dispositif pour un fonctionnement triphasé, c'est-à-dire qu'il faut appliquer à trois électrodes voisines trois cadences de décalage ou transfert réciproquement déphasées ~1 ~2 et ~3, dans l'exemple de réalisation de la figure 2 il s'agit d'un dispositif à transfert de charges pour un fonctionnement biphasé. Dans ce dispositif deux cadences de décalage ou de transfert réciproquement déphasées P1 et ~ doivent être appliquées à respectivement deux couples d'électrodes voisins. Chaque couple d'électrodes est constitué par une électrode en aluminium et une électrode en polysilicium. La dernière électrode 51 fait assurément exception à cette disposition. Les tensions particulières de cadence doivent être appliquées en conunun aux électrodes 81 et 82. Tout le reste dans le cas de l'exemple de réalisation de la figure 2 possède une constitution identique aux parties correspondantes de l'exemple de rEa- lisation de la figure 1. REVENDICATION Liage de sortie pour un dispositif à transfert de charges, comportant une série de condensateurs à couche isolante et/ou de condensateurs à couche d'arrêt, qui est disposée sur une surface d'un substrat en un matériau semiconducteur dopé et dans laquelle les électrodes extérieures des condensateurs à couche isolante et/ou des condensateurs à couche d'arrêt peuvent être chargées par des tensions de cadence, ledit dispositif comportant une première région disposée à la surface du substrat et possédant un dopage opposé à ce dernier et qui peut être raccorde par l'intermédiaire du substrat à un condensateur à couche isolante ou à un condensateur à couche d'arrêt de la série des condensateurs et simultanément à une entrée d'un amplificateur de sortie, et comportant une seconde région séparée de la première région par un espace intercalaire et disposée à la surface du substrat et possédant un dopage opposé à celui dudit substrat et qui est reliée à un contact de raccordement accessible depuis l'extérieur, et comportant une électrode disposée au-dessus de l'espace intercalaire et qui est séparée du substrat par une couche électriquement isolante et peut être chargée par des tensions de cadence particulières, caractérisé par le fait qu'entre l'électrode et la première région est disposée au moins une seconde électrode (10, 102) qui est également séparée du substrat par une couche électriquement isolante et qui peut être chargée par une tension continue