Brevet FR2386815A1 — publié le 19781103

L'invention est relative à un appareil pour la mesure de contraintes, elle a trait, plus partîculierement, à un transducteur de contrainte capacitif bi-axial L1 analyse des deformations ou efforts s exerçant sur les divers éléments d'une structure est generalement souhaitée afin de s'assurer que ces éléments sont convenablement adaptes pour supporter les deformations imposees à la structure, avec une marge correcte de sécurité. Bien que les de formations puissent etre calcules facilement pour les structures simples supportant des charges connues, les calculs-sont souvent extremement complexes et, dans nombre de circonstances, pratiquement impossibles lorsqutil 'agit de structures coma eues et/ou de charges inconnues. Ainsi, dans de nombreuses applications, il est souhaitable de definlr les déformations de façon empirique. Dune maniere générale, il n'est pas possible de mesurer direc tement les deformations. Au mieux, la contrainte imposee à un matériau, ou sa déformation, qui sont en relation directe avec l1effrt exercé sur ce matériau, sont mesurées en utilisant des jauges de contrainte. Une jauge ou transducteur de contrainte est donc un dispositif qui présente une modification d'une propriété électrique, en réponse a une contrainte ou une déformation du matériau sur lequel cette jauge ou ce transducteur sont fixés. La jauge de contrainte à résistance est le type de jauge le plus communement utilisé; elle comporte un fil dont la résistance électrique varie lorsqu'il est étiré. Le fil de la jauge de contrainte à résistance est fixé à la surfate du matériau soumis a mesure de contrainte, de sorte que tout effort se traduira par une varia Tison correspondante de résistance.Des circuits électroniques convenables, comportant comme élément essentiel un pont de Wheatstone, sont utilisés pour déceler et mesurer la variation en rd- sistance, et, par suite, effort exerce. Nalheareusement, les fils qui possedent les caractéristiques souhaitables pour etre utilisés dans les jauges de contrainte àrésistance- subissent des variations de résistance en réponse aux variations de température. A court terme, ces variations peuvent être compensées par des circuits de-compensa- tion de température.Toutefois, une exposition prolongée à tem- pérature élevée peut se traduire par des variations de resis-- tanc, dues au phénomène connu sous le nom de vieillissement thermique qui ne peuvent généralement pas cotre compensées Un autre type de jauge ou transducteur de contrainte utilise, comme base de mesure, des modifications de capacité électrique en réponse a un effort. Jusqu' présent, les transducteurs de contrainte capacitifs ont été conçus de telle fa çon que les éléments fonctionnels du-dispositif sont sous contrain te.Dans ces transducteurs de contrainte capacitifs et dans les transducteurs de contrainte à résistance qui, de manière similaire, imposent de contraindre l'élément à résistance elec- trique, les propriétés électriques des dispositifs tendent à varier lorsqu1ils sont longuement soumis à contrainte, en raison de la déformation permanente imposée aux éléments contrainte2 ce phénomène etant dénommé, d'une manière générale "fluage". En conséquence du fluage et du vieillissement thermique, les transducteurs de contrainte sont généralement instables lorsqu'ils sont utilisés sur de longues periodes de temps, et particul-iè- rement à températures élevées. En général, les jauges de contrainte sont unîdirection- nelles, ce qui signifie qu'elle sont sensibles seulement aux variations de dimension dans uné seule direction. Afin dana- lyser, de façon précise, les efforts en un endroit2 il -est nécessaire de mesurer les contraintes selon au moins deux d1- rections, de façon à pouvoir déterminer l'orientation et l'am- plitude réelle de ces contraintes.A cette fin, au qoin deux jauges de contrainte peuvent être montées très proches l'une de l'autre sur la surface soumise à mesure de contrainte, avec un décalage angulaire de valeur connue entre elles. Cette ap- proche tend à devenir imprécise car les contraintes mesurées ne sont pas exercées au meme endroit précis. En conséquence il est généralement préférable d'utiliser des jauges de contrainte susceptibles d'entre empilées pour former un transducteur multi- axial sensible aux contraintes exercées dans différentes dsirec- tions et décelées pratiquement au meme endroit sur la surface dii materiau soumis à mesure de contrainte. L'invention a pour objectif un transducteur de contrainte capacitif présentant une stabilité amélioree à long terme. L'invention a également pour objectif un transducteur de contrainte capacitif pratiquement non affecté par le vieillissement thermique et le fluage. L'invention a encore pour objectif une structure de transducteur de contrainte capacitif particulièrement bien adaptée pour permettre un empilage et former un transducteur de contrainte capacitif multi-axial L'invention a enfin pour objectif un transducteur de contrainte capacitif de construction précise, simple et fiable. A cette fin, l'exemple de réalisation recommandé conforme à l'invention fournit un transudcteur de contrainte capacitif bi-axial sous forme d'une structure à lamelles définissant deux transducteurs de contrainte capacitifs dont les orientations sont orthogonales. Chaque transducteur de contrainte capacitif comporte des plaques capacitives de transmission, lesquelles sont excitées par un oscillateur, et une plaque capacitive de mesure disposée parallèlement et espacée par rapport aux -plaques de transmission. Un mécanisme d'occultation sous forme de deux plaques évidées est monté entre les plaques de transmission et la plaque de mesure. Les extrémités des plaques évidées se prolongent au-delà de la structure en lamelles et sont fixées à'la surface soumise à mesure de contrainte. Un effort produira un déplacement relatif des plaques évidées, ce qui se traduira par une variation du couplagecapacitif entre les plaques de transmissiàn et la plaque de mesure par l'intermédiaire des ouvertures des plaques évidées. Cette capacité différentielle dépend, en conséquence, de la contrainte à mesurer; elle est décelée et mesurée à l'aide de circuits électroniques convenables. Plus précisément, deux signaux d'amplitudes égales, mais déphasés de 1 & , issus d'un oscillateur, sont transmis aux plaques de-transmission de chaque jauge de contrainte. Le mécanisme d'occultation formé par les plaques évidées fonctionne de manière à accrottre la capacité entre une plaque de transmission et la plaque de mesure, et à réduire simultanément ;La capacité entre l'autre plaque de transmission et la plaque de mesure, en réponse à un effort. La variation résultante-dans les niveaux des signaux est détectée par un démodulateur sensible à la phase, lequel fournit un signal analogique proportionnel à la contrainte exercée. Les plaques évidées formant le mécanisme d'occultation du transducteur de contrainte capacitif conforme à l'invention n'étant pas soumises à effort, les effets de fluage sont pratiquement éliminés De plus, toutes les plaques capacitives sont m-aintenues d'une manière stable l'une par rapport à l'autre, ce qui réduit encore les effets du fluage et ceux du vieillissement thermique, et conduit à un transducteur de contrainte capacitif dont la stabilité à long terme est améliorée. Les circuits électroniques utilisés avec un transducteur de contrainte capacitif bi-axial conforme à l'invention ne sont relativement pas affectés par une dérive de l'amplificateur ou par les signaux parasites. Plus précisément, les sorties du transducteur de contrainte peuvent etre maintenues à un potentiel de masse virtuelle par utilisation d'une contre-réaction convenable dans les amplificateurs raccordés en sortie du transducteur. Ainsi, si les capacités entre les plaques de transmission et la plaque de mesure ne sont pas équilibrées, l'amplificateur fournira, en sortie, par le circuit de contre-réaction, la charge nécessaire pour ramener l'entrée au potentiel de masse virtuelle. Les conducteurs de sortie du- transducteur capacitif étant au potentiel-de masse, l'ensemble n'est pas sensible à la capacité entre ces conducteurs et la masse. En conséquence, un câble blindé å la masse peut être utilisé-pour protéger les conducteurs contre les signaux parasites. Les conducteurs de raccordement aux deux plaques fe mesure, dans un transducteur bi-axial, peuvent etre montés dans la même gaine de blindage-sans qu'il y ait interférence. Les câbles peuvent hêtre longs et enroulés sans effet d'affaiblissement. Les caractéristiques et avantages d'un dispositif conforme à ltinformation apparaitront clairement à la lecture de la description qui suit, faite, à titre du exemple non limitatif, en se reportant aux dessins annexés qui représentent - figure 1, une vue. en perspective, partiellement en arraché, d'un transducteur de contrainte capacitif bi-axial selon un exemple de réalisation recommandé conforme à l'invention, - figure 2, une vue latérale en coupe du dispositif représenté figure 1, - figures 3a et 3b, des vues en plan des plaques capacitives de transmission du dispositif représente figure 1, - figure 4, une vue en plan, partiellement en arraché, des pla ques évidées formant le mécanisme d'occultation du dispositif représenté figure 1, - figure 5,. le schéma électrique du transducteur de contrainte capacitif bi-axial conforme à l'invention, avec es circuits électroniques associés. On se référera-tout d'abord aux figures 1 et 2 sur lesquelles est illustré un transducteur de contraintecapacitif bi-axial A selon un exemple de réalisation recommandé conforme à l'invention. D'une manière générale, le transducteur A comporte trois plaquettes-supports ou lamelles 10, 12 et 14 disposées en pile et dé-finissant entre elles deux intervalles. Un premier transducteur de contrainte capacitif 16, sensible à un effort exercé dans une première direction ou axe, est formé dans l'intervalle défini entre les surfaces voisines espacées des plaquettes 10 et 12. De la meme façon, un second transducteur de contrainte 161 est formé dans l'intervalle défini entre les surfaces voisines espacées des plaquettes 12 et 14.Le second transudcteur de contrainte 16' est sensible à un effort exercé dans une seconde direction ou axe orthogonal au premier axe. Ainsi, selon l'exemple de réalisation recommandé conforme à 1'invention, le second transducteur 16' est pratiquement identique en construction au premier transducteur 16, mais il est angulairement décalé de 90 par rapport à ce dernier, afin de rendre orthogonaux les axes de sensibilité des deux transducteurs. En conséquence, seul le premier transduc teur 16 sera décrit en détail, étant bien entendu que la description faite est tout autant valable pour le second transducteur 16'.Pour faciliter la compréhension, les éléments correspondantes du second transducteur 16' portent, sur les dessins, les memes références numériques que celles utilisées pour le premier transducteur 16, affectées du signe "prime"; par exemple, les éléments -22, 24,, etc... du premier transduc-teur 16 correspondent aux éléments 22', 24', etc... du second transducteur 16'. Le transducteur 16 comporte deux plaques capacitives de transmission 22 et 24 montées sur la surface de la plaquette 12, à l'intérieur de l'intervalle. Les plaques 22 et 24 sont dénommées plaques de transmission car elles sont excitées par les signaux des circuits électroniques utilisés avec le transducteur. Si l'on se reporte à la figure 3a, on voit que les plaques de transmission 22 et 24 sont coplanaires, leur configuration étant celle dgune série de projections ou doigts parallèles et allongés, reliés par leurs bases. Les doigts des plaques de transmission 22 et 24 sont intercalés afin de définir une rangée de doigts parallèles et alternés apparte- nant aux plaques de transmission 22 et 24.Comme il apparaitra plus clairement dans ce qui suit, les doigts des plaques de transmission 22 et 24 sont disposés perpendiculairement à 11 axe de sensibilité à l'effort du transducteur 16. Ainsi, si l'on se reporte à la figure 3b où sont illustrées les plaques de transmission 22t et 24' du second transducteur 16', on peut voir que ces plaques de transmission sont décalées de 90 par rapport aux plaques de transmission 22 et 24, ce qui rend llaxe de sensibilité à l'effort de ce second transducteur orthogonal à l'axe de sensibil-ité à effort du premier transducteur. Un revetement diélectrique 26 est applique sur-les plaques-de transmission capacitives 22 et 24. Le revêtement diélectrique 26 a pour fonction d'isoler les plaques de transmission 22 et 24 des autres éléments du transducteur 16. On laisse non-isolé un coin de chacune des plaques de transmission 22 et 24, de façon à pouvoir y accorder des conducteurs électriques 38 et 40, par point de soudure classique. Une plaque capacitive de mesure 28 est montée sur la surface de la plaquette-support 10, à l'intérieur de llinter- valle. Cette plaque de mesure 28 est ainsi maintenue parallèle et espacée vis à vis des'plaques de transmission 22 et 24. La plaque-de mesure 28 est pratiquement rectangulaire et montée à l'aplomb de la région où se trouvent les doigts intercalés des plaques de transmission 22 et 24. La plaque de mesure 28 est ainsi dénommée parce qu'elle est reliée à des circuits électroniques convenables afin de détecter toute modification dans -la capacité différentielle avec les plaques de transmission 22 et 24. Un conducteur électrique 36 est raccordé à la plaque de mesure, de préférence par point de soudure sur un coin de la plaque. La surface de-la plaque de mesure 28 est recouverte dlune couche diélectrique 30, identique au revêtement diélectrique 26 qui recouvre les plaques de transmission 22 et 24; la couche diélectrique 30 isole la plaque de mesure 28 des autres éléments du transducteur 16. On se reportera maintenant aux figures 2 et 4 sur lesquelles est illustré un mécanisme d'occultation qui - entre les plaques de transmission 22 et 24, et la plaque de mesure 28a la forme de plaques évidées 32 et 34. Les plaques évidées 32 et 34 sont supportées, dans l'intervalle défini entre les plaquettes-supports 10 et 12, de façon à pouvoir être déplacées parallèlement à l'taxe de s & sibilité à l'effort du transducteur 16. Leplaques évidées 32 et 34 se prolongent extérieurement aux plaquettes-supports 10 et 12, de part et.d1autre-de ces dernières, pour être fixées à la surface soumise à mesure de contrainte. A cette fin, deux entretoises 33 et 35 (figure 1) sont respectivement montées vers les extrémités extérieures des plaques évidées 32 et 34.L'épaisseur des entretoises 33 et 35 correspond à la distance entre les plaques 32 et 34 et la surface soumise à mesure de contrainte. Ainsi, la compression ou l'extension de la surface soumise à mesurer de contrainte se traduiront par un déplacement relatif des plaques évidées 32 et 34. Ce déplacement est utilisé pour modifier la capacité différentielle entre les plaques de transmission 22 et 24 et la plaque de mesure 28. Ainsi, le principe de fonctionnement du transducteur de contrainte est de définir la capacité active: entre la plaque de mesure 28 et les plaques de transmission 22 èt 24 par les positions relatives des plaques évidées. La capacité active entre la plaque de-transmission 22 et la plaque sensible 28 est proportionnelle à l'aire de la fente capacitive C1. Si I'on considère seulement une des fentes C1 et si l'on. néglige les effets de frange, la capacité,entre-la plaque de transmission 22 et la plaque de-mesure 28 est égale à C1 = k x1 lc, où K est une constante proportionnelle, fonction de l'espacement entre plaques et du coefficient diélectrique, x1 et lc étant définis figure 4.De la même façon, la capacité entre la plaque de transmission 24 et la plaque de mesure 28 est égale a: C2 = k x2 1c La capacité différentielle est, en conséquence, égale a: Cd =C1 1 C2 = k 1c (x1 - x2); mais puisque xc = xl + xa + x2, on peut écrire : Cd = k lc (2xl + xa - xc). Ainsi, la capacité différentielle dépend tant des positions relatives des plaques évidées que des dimensions des ou- vertures 32a et 34a et de la constante k. La sensibilité du transducteur au déplacement relatif des plaques évidées est exprimée par K = N dCd/dx1 = 2 N k lc, x où N est le nombre d'ouvertures 32a ou 34a, une seule de ces ouvertures ayant été considérée dans l'analyse-faite. Comme il a été dit précédemment, la structure et le fonctionnement du transducteur orthogonal 16' sont pratiquement identiques à la structure et au fonctionnement du transducteur 16. Bien entendu, le transducteur 16' est destiné à mesurer les contraintes exercées orthogonalement à l'axe de sensibilité à l'effort du transducteur 16, et, en conséquence, tous les éléments du transducteur 16' sont décalés de900 par. rapport aux éléments correspondants du transducteur 16. Sous leurs autres aspects, la structure et le fonctionnement sont identiques à la structure et au fonctionnement décrits dans ce qui précède. Le transducteur de contrainte capacitif bi-axial A, selon un exemple de réalisation recommandé conforme à l'invention, comporte des protections contre les interférences et les signaux parasites. Plus précisment, deux plaques de blindage 20 sont montées sur les surfaces extérieures des plaquettessupport 10 et 14 et sont raccordées à la masse afin de blinder le transducteur A. De la meme façon, les plaques évidées 32, 34, 32' et 34' sont raccordées à la masse. Si le transducteur A est monté sur une surface métallique raccordée à la masse, la mise à la masse des plaques évidées peut se faire par raccordement à la surface soumise à mesure de contrainte. En variante, lorsque le transducteur est utilisé sur une surface isolée ou non raccordée à la masse, des conducteurs de mise à la masse devront être prévus pour les plaques évidées.En plus de la protection obtenue par le blindage et la mise à la masse des plaques évidées, un isolement supplémentaire contre les interférences et les signaux parasites est dû aux circuits électroniques utilisés avec le transducteur A, comme il sera maintenant décrit. On serepôrtera à la: figure 5 où sont illustrés les circuits électroniques utilisésavec le transducteur A, pour une description détaillée de ces circuits. Les transducteurs 16 et 16' étant pratiquement indépendants, deux voies de mesure électroniques identiques sont prévues pour les transducteurs 16 et 16', à cette exception près qu'une seule source de signal peut être utilisée pour exciter les deux transducteurs. Le transducteur 16 est excité par deux signaux porteurs d'égale amplitude, mais déphasés de 1800, fournis par un oscillateur 60 dont l'impédance- de sortie est très faible. Ainsi, un premier signal de phase issu due l'oscillateur 60 est transmis à la plaque de transmission 22 par l'intermédiaire du conducteur 38. De la meme façon, le second signal de phase de sortie de l'oscillateur 60 (déphasé de 1800 par rapport. au premier) est transmis à la plaque de transmission 24 par l'intermédiaire du conducteur 40.Puisqu'un seul oscillateur 60 peut être utilisé pour exciter à la fois les transducteurs 16 et 16', les plaques de transmission 22 et 22t sont raccordées en parallèle au conducteur 38, tandis que les plaques de transmission 24 et 24' sont raccordées en parallèle au conducteur 40. Le transducteur 16 peut être considéré comme deux condensateurs variables combinés de façon telle que leurs capacités varient à l'inverse l'une de l'autre, comme il est schématiquement illustré figure 5. Les sorties des deux condensateurs sont communes et constituées par la plaque de mesure 28 raccordée au conducteur de sortie 36.- En l'absence d'une contrainte imposée, les fentes capacitives C1 et C2 formées par les plaques évidées 32et 34 sont pratiquement identiques en dimensions, de sorte qu'au niveau de la plaque de mesure 28 les amplitudes du premier signal d'oscillateur en phase et du second signal d'oscillateur déphasé son-t égales.Des signaux d'amplitudes égale-s tendent à s'annuler l'un l'autre, ce qui rend la sortie du transducteur 16 nulle en 11 absence d'une contrainte imposée. La compression de la surface soumise à mesure de contrainte provoque le rétrécissement des fentes capacitives C1 et l'élargissement des fentes capacitives C2. Cela se traduit par la réduction de l'amplitude du signal d'oscillateur en phase, lequel est formé sur la plaque de mesure 28 par l'intermédiaire de la fente capacitive C1, et par l'accrois- sement simultané de l'amplitude du signal d'oscillateur déphasé, lequel est formé sur la plaque de mesure 28 par l'intermédiaire de la fente capacitive C2. Ainsi, un effort de compression se traduira par un signàl de sortie déphasé sur le conducteur 36. D'une manière similaire, une contrainte d'extension se traduira par l'élargissement de la fente capacitive C1 et le rétrécis- sement de la fente capacitive C2, et, en conséquence, par l'apparition d'un signal en phase sur le conducteur de sortie 36. Pour déceler et mesurer le signal formé sur le conducteur de sortie 36, ce dernier est raccordé à ltentrée d'un.amplifica- teur de charge G22 à fin d'amplification. L'amplificateur de charge 62 comporte un condensateur de réaction 66 couplant sa sortie 64 à l'entrée de raccordement du conducteur 36. La contreréaction imposée par le condensateur 66 permet de maintenir le conducteur 36 à un potentiel de masse virtuelle. Plus précisément, l'apparition d'un signal sur le conducteur 36 se traduit par une charge réactive de condensateur 66 suffisante pour ramener le conducteur 36 à un potentiel de masse virtuelle. En maintenant les conducteurs 36 des circuits à un potentiel de masse virtuelle, on réduit encore la sensibilité aux variations de capacité du câble et aux signaux parasites.De plus, le conducteur 36 peut etre prévu sous la forme d'un simple câble blindé et raccordé à la masse sans craindre des effets d'affaiblissement. Le conducteur 36' affecté au transducteur orthogonal 16' peut être prévu en parallèle dans le meme câble blindé. La sortie 64 oe l'amplificateur de charge peut être raccordée à un détecteur sensible à la phase 165, lequel fournit un simple signal continu proportionnel à la capacité différen tielle, donc proportionnel à la contrainte. Le détecteur 165, qui peut être un démodulateur, est utilisé pour éliminer les signaux porteurs alternatifs tout en préservant l'information d'amplitude utile. Le démodulateur est, de préférence, sensible à la phase afin de différencier les contraintes de compression et d'extension qui, ainsi que décrit précédemment, se traduisent par des signaux de sortie de phases opposées. Bien qu'une grande variété de matériaux puissent être utilisés pour réaliser un transducteur de contrainte capacitif bi-axial A conforme l'inventions certains matériaux conviennent plus particulièrement lorsque le transducteur est utilisé dans un environnement à haute température. Plus précisément, les plaquettes-supports 10,12 et 14 sont > de préférence, en aluminium, tandis que les plaques de transmission, les plaques de mesure et les plaques de blindage sont, de préférence, en platine et imprimées à la surface des plaquettes-supports 10,12 et 14. Les plaques évidées 32,34, 32' et 34'- sont, de préférence en acier inoxydable. Les ouvertures 32a,34a, 32a' et 34a' sont très convenablement formées par procéd de photogravure classique. Les couches d'isolation diA*lectriques 26,30,2G' e 30' peuvent être formées par un film mince céramique, tandis que les conducteurs 36,36' 38 et 40 peuvent etre en nickel. Tous ces matériaux sont choisis pour leur résistance à l'oxydation à tem rature élevée, ce. qui rend l'exemple de réalisation recommandé, conforme à l'invention, particulièrement adapté à un environnement à haute température. Une telle structure particulière a été utilisée avec succès, pendant de longues périodes de temps, à des températures d'environ 300oC. Bien entendu, on peut utiliser d'autres matériaux ayant les propriétés électriques convenables, adaptés à l'environnement envisagé. Une grande partie de la valeur de la capacité formée entre les plaques de transmission et la plaque de mesure dépend de l'intervalle d'air entre les plaques. Le trasducteur A, toutefois, fonctionnera avec tout fluide non-conducteur dans cet intervalle entre plaques, si ce fluide n'est physiquement d'aucun effet à l'encontre du mouvement des plaques évidées 32, 34, 32' et 34'. Bien qu'un transducteur A conforme à l'invention puisse être conçu à toute échelle souhaitée,. une structure bien adaptée se compose d'une pile de plaquettes d'environ 13 mm de côté et 2,5mm de hauteur. L'épaisseur recommandée pour toutes les plaques et couches, sauf les plaquettes-supports 10, 12, 14 est d'environ 0,025mm. Avec unie telle structure, on a trouvé que le nombre convenable d'ouvertures 32a ou 34a dans les plaques évidées 32 ou 34 est de quatre. Selon une telle structure, les plaques de transmission 22 et 24 comporteront chacune quatre doigts allongés, ce qui conduit à quatre fentes capacitives C1 pour le couplage de la pl-aque de transmission 22 à la plaque de mesure 28, et à quatre fentes capacitives C2 pour le couplage de la plaque de transmission 24 à la plaque sensible 28. Bien entendu, selon les dimensions et la configuration souhaitées pour le transducteur, d'autres dimensions et d'autres nombres d'ou vertures et fentes peuvent etre envisagés. I1 est bien entendu que la description nui précède, relative à un exemple de réalisation recommandé conforme à l'invention, n'est pas limitative, des variantes pouvant être envisagées sans, pour cela, sortir du cadre de l'invention et des revendications annexes. REVENDICATIONS 1. Transducteur de contrainte capacitif, caractérisé en ce qu'il comporte : au moins deux plaquettes-supports définissant entre elles un intervalle, deux plaques capacitives de transmission portées par la surface de l'une des plaquettessupports, à l'intérieur de l'intervalle, une plaque capacitive de mesure portée par la surface de l'autre plaquette-support,à l'intérleur de 13intervalle, laquelle plaque capacitive de mesure est parallèle aux plaques capacitives de transmission et espacée de ces dernières, et des moyens dioccultation monts entre les plaques capacitives de transmission et la plaque capacitive de mesu-re de façon à modifier la capacité différentielle entre.ces plaques en réponse au déplacement de ces moyens d'occultation. 2. Transducteur de contrainte selon la revendicationl, caractérisé en ce que les moyens d'occultation comportent deux plaques évidées pourvues chacune d t au moins une ouverture, les ouvertures de l'une des plaques recouvrant partiellement les ouvertures de l'autre plaque afin de définir entre elles des fentes capacitives, les dimensions de ces fentes capacitives étant modi-fiées par le déplacement-relatif des plaques évidées, ces dernières se prolongeant extérieurement- au-del-à de l'intervalle entre plaquettes-supports, et des moyens étant prévus pour accoupler les parties extérieures des plaques évidées à la surface soumise à mesure de contrainte. -3. Transducteur de contrainte selon la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens d'accouplement des parties extérieures de plaques évidées sont formés par deux entretoises dont 11 épaisseur correspond à la distance entre ces parties extérieures et la surface soumise à mesure de contrainte. 4. Transducteur de contrainte selon l'une quelconque des revendications pr4cédentes, caractérisé en ce que les plaques capacitives de transmission se présentent sous la forme d'un certain nombre de projections ou doigts allongés, parallèles et espacés, les doigts de l'une de ces pX g .'tant intercalés entre les doigts de l'autre 5.Transducteur de contrainte selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il est associé à un oscillateur fournissant des signaux porteurs alternatifs aux plaques capacitives de transmission, le.signal fourni à l'une de ces plaques étant déphasé de 1800 par rapport au signal fourni à 1 r autre plaque, ainsi qu'un détecteur sensible à la phase pour déceler l'amplitude et la phase des signaux formés sur la plaque'capacitive de mesure par l'intermédiaire des moyens d'occultation. 6. Dispositif de mesure de contrainte capacitif et multiaxial, caractérisé en ce qutil comporte un premier et un second transducteurs de contrainte-capacitifs conformes à l'une quelconque des revendications précédentes, lequel dispositif est formé par empilage d'au moins trois plaquettes-supports définir sant entre elles au moins deux intervalles, le premier transducteur de contrainte capacitif étant forme' dans l'un de ces intervalles et comportant au moins un élément de variation capacitive monté pour coulisser dans cet intervalle et se prolongeant extérieurement à ce dernier, le second transducteur de contrainte capacitif étant angulairement décalé par rapport au premier d'un angle prédéterminé, et le dispositif de mesure comportant des moyens d'accouplement entre les prolongements extérieurs des éléments de variation capracitive- et la surface soumise à mesure de contrainte. 7. Dispositif selon la revendication 6, caractérise en ce que l'angle prédétermine de décalage entre les premier et second transducteurs est égal pratiquement à 900, ce cui rend orthogonaux les axes de sensibilité à l'effort de ces premier et second transducteurs. 8. Dispositif selon la revendication 6 ou 7, caractérisé en ce que les moyens dtaccouplement sont formés par un ensemble d'entretoises dont les épaisseurs sont fonction des distances entre les prolongements extérieurs des éléments de variation ca pacitîve et la surface soumise à mesure de contrainte. 9. Dispositf selon l'une quelconque des revendications 6 à 8, caractérise en ce que chacun des premier et second transducteurs de contrainte capacitifs comporte au moins une plaque capacitive de transmission portée par la surface de l'une des plaquettes-supports, à l'intérieur de l'intervalle dans lequel le transducteur considéré est monté, ainsi qu'une plaque capacitive de mesure portée -par la surface de la plaquette-support qui définit cet intervalle avec la plaquette-support portant la plaque capacitive de transmission, la plaque capacitive de mesure étant disposez parallèlement à la plaque capacitive de transmission, et espacée de cette dernière, et l'élément de variation capacitive étant monté entre ces plaques capacitives de transmission et de mesure. 10. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 6 à 9, caractérisé en ce qu1il comprend un oscillateur fournissant un signal porteur altern-atif à chacune des plaques capacitives de transmission, ainsi q'un détecteur pour détecter les signaux porteurs alternatifs formés sur chacune des plaques capacitives de mesure au moyen des éléments respectifs de variation capacitive.