Brevet FR2386907A1 — publié le 19781103

La présente invention concerne un dispositif semiconducteur comportant au moins une couche plane à propriétés d'électroluminescence comprise entre une première région de même type de condûcti- vité et une seconde région de type de conductivité opposé avec laquelle elle forme une jonction P/N, des électrodes de contact étant prévues sur une partie au moins de la face de chacune desdites régions opposée à ladite couche. Dans un grand nombre d'applications des dispositifs semiconducteurs électroluminescents, notamment lorsqu'ils doivent être couplés à des fibres optiques, l'émission de lumière doit être localisée et adaptée aux dimensions des fibres ou des récepteurs. On cherche également à améliorer la vitesse de réponse des dispositifs en réduisant la capacité des jonctions par une réduction de leur surface. Dans le cas de lasers, on tend également à réduire la surface de la partie émissive pour diminuer le seuil d'apparition du rayonnement cohérent. La localisation d'une émission électroluminescente peut être obtenue, soit en restreignant à une région limitée l'introduction d'éléments actifs, par exemple par une diffusion localisée, soit en rendant inactive une partie d'une couche active initialement de grande surface, soit en canalisant un courant d'excitation sur une petite portion d'une couche active de grande surface. Plusieurs de ces possibilités sont mentionnées notamment dans la demande de brevet français n0 2 147 322 déposée le 28 Juillet 1972 sous le titre "Laser à semiconducteurs, où sont décrites différentes formes de localisation de la zone émissive d'un laser semiconducteur et en particulier des régions isolantes réalisées de façon que le courant d'excitation eirculant'danls le sens passant de la diode laser soit refoulé suivant des trajets étroits entre lesdites régions.Dans ces dispositifs, ctest parfois une couche voisine de la couche active, non la couche active elle-même, qui limite la section de passage de courant et la localisation de l'émission n'est pas effective; parfois la couche active est effectivement localisée, mais la section de passage du courant se trouve restreinte jusqu'à l'électrode de contact, où la faible surface de contact qui en-résulte risque d'entrainer un échauffement excessif. De plus, la localisation prévue dans ces lasers exige une succession d'opérations de décapage, d'oxydation et de dépôt qui doivent toutes être localisées et sont toutes délicates. Un des buts de la présente invention est de remédier aux inconvénients mentionnés ci-dessus et de fournir un dispositif électroluminescent dont l'émission est localisée et dont la réalisation ne nécessite pas un trop grand nombre d'opérations délicates. La couche à propriétés d'électroluminescence d'un dispositif semiconducteur électroluminescent peut être nommée ci-après couche électroluminescente, étant entendu que le phénomène de luminescence n'a lieu que dans la partie active de cette couche, dite zone radiative, sous l'effet d'une excitation électrique convenable. Il est à noter que le qualificatif de quasi-isolante, employé ci-après, s'applique à une région dont le matériau a été traité pour présenter une très forte résistivité, supérieure à celle du matériau non traité d'une région voisine dans un rapport d'au moins 10 et de préférence d'au moins 100 à 1000, mais inférieure à celle des isolants comme les oxydes utilisés en électronique; le matériau quasi-isolant correspond par exemple à un semiconducteur dont la concentration en porteurs de charge a été fortement diminuée par une implantation de protons et qui n'a pas subi ultérieurement de traitement thermique à haute température. Selon l'invention, le dispositif semiconducteur comportant au moins une couche plane à propriétés d'électroluminescence, comprise entre une première région de même type de conductivité et une seconde région de type de conductivité opposé avec laquelle elle forme une jonction P/N, des électrodes de contact étant prévues sur une partie au moins de la face de chacune desdites régions opposée à ladite couche, est remarquable principalement en ce que l'étendue de la partie active de la jonction et l'étendue de la partie radiative de la couche à propriétés d'électroluminescence sont circonscrites par une région quasi-isolante, dont l'épaisseur est limitée de part et d'autre de ladite jonction de façon qu'un courant circulant entre lesdites électrodes dans le sens passant de la jonction, ait une densité plus forte au niveau de la jonction et de ladite couche qu'à proximité desdites électrodes. De part et d'autre de la couche électroluminescente; il y a épanouissement des lignes de courant et la densité de courant plus forte produite par la striction des lignes de courant au niveau de la couche à propriétés d'électroluminescence permet d'avoir une émission localisée de forte intensité pour des valeurs de courant modérées, tout en laissant aux zones de contact une surface suffisante pour obtenir un contact de faible résistance, un échauffement limité et une occultation minimale de la surface d'émission. La surface réduite de la jonction entraîne une réduction de la capacité de cette jonction et la vitesse de réponse du dispositif à des impulsions de courant en est d'autant plus rapide. De plus, la région qui limite l'étendue de la partie radiative est une région quasi-isolante, à forte résistivité, de même nature et de même composition que le matériau constituant la couche à propriétés d'électroluminescence. L'ensemble des couches et régions du dispositif constitue un tout homogène, ce qui élimine les contraintes dues à une hétérogénéité de matériau, comme dans les dispositifs connus où la zone radiative est limitée par un matériau isolant, par exemple un oxyde, ou par un matériau de composition différente. Dans une première forme de réalisation du dispositif, la pre mière région est une région superficielle, dont une surface peut constituer la face de sortie du rayonnement du dispositif, et elle est faite d'un matériau de largeur de bande interdite plus grande que celle du matériau de la couche électroluminescente, ladite région superficielle et ladite couche formant une hétérostructure dont l'interface a une étendue active limitée par la région quasiisolante et constitue une barrière de potentiel ayant pour effet de confiner dans la couche électroluminescente les porteurs de charge injectés à travers la jonction P/N, ladite couche électroluminescente ayant de préférence une épaisseur inférieure à la longueur de diffusion de ces porteurs. Le confinement simultané, en surface grâce à la région quasiisolante et en épaisseur grâce à l'hétérostructure,èst particulièrement favorable à l'efficacité de luminescence de la partie radiative du dispositif, la région superficielle conservant tout son volume utile et le contact sur la face de sortie de cette région superficielle conservant, comme le contact de l'autre électrode,sa surface maximale disponible. La conjugaison du confinement des porteurs en surface et en épaisseur améliore les caractéristiques optoélectroniques d'un dispositif. Si l'on définit un facteur de mérite du dispositif comme étant le rapport de l'efficacité de luminescence au temps de réponse du dispositif, on constate que le confinement des porteurs de charge, associé à l'augmentation de la densité de courant au niveau de la couche électroluminescente et à la diminution de la capacité de jonction, permet d'améliorer le facteur de mérite du dispositif dans un rapport de 2 au moins, par rapport à un dispositif ne présentant pas les effets conjugués de ces deux confinements. Dans une variante de la forme de réalisation précédente, la seconde région est aussi constituée de matériau de plus grande largeur de bande interdite que celle du matériau de la couche électroluminescente; la jonction P/N entre ladite région et ladite couche électroluminescente est une hétérojonction qui provoque un gradient dé potentiel dont l'effet est d'accroître l'efficacité d'injection des porteurs de charge minoritaires dans la partie radiative de la couche électroluminescente et, de ce fait, d'améliorer le rendement de luminescence Les effets conjugués de l'amélioration d'efficacité d'injection, due à l'hétérojonction, et de la striction des lignes de courant au niveau de cette hétérojonction, due à la région quasi-isolante, permettent d'obtenir un facteur de mérite optimal, correspondant à la fois à une bonne efficacité de luminescence et à une grande rapidité de réponse, tout en laissant disponibles des surfaces de contact maximales, ainsi que des surfaces de sortie de rayonnement non occultées permettant un grand choix de géométries et de couplages optiques. Il est à noter que, grâce à la forte densité de courant due à la localisation de la zone radiative par la région semi-isolante, et à la forte valeur de courant que permettent les grandes surfaces de contact des deux électrodes, l'hétérojonction et le confinement en épaisseur sont plus efficaces que dans le cas où la densité de courant est limitée, car la forte densité de courant entraîne une concentration de porteurs minoritaires plus grande et une probabilité de recombinaisons radiatives plus grande par rapport à la probabilité de recombinaisons non radiatives, un bilan plus favorable à l'électroluminescence signifiant une amélioration du rendement de luminescence. Dans les différentes formes de réalisation décrites, le dispositif peut comporter une région supplémentaire située sous la seconde région, de même type de conductivité que cette dernière. Cette région supplémentaire relativement très épaisse sert de substrat en cas de réalisation du dispositif par une succession d'opérations de dépôt épitaxique. L'étendue de la région faisant office de substrat déborde largement de l'étendue de la zone radiative et sa résistivité est très faible; le substrat est très dopé et de même type de conductivité que la seconde région. Le dépôt épitaxique de la seconde région n'a pas à être localisé , la totalité du volume du substrat est utilisée pour le passage du courant d'excitation du dispositif. Le dispositif peut également comporter une région supplémentaire située au-dessus de la première région, superficielle, de même type de conductivité que la couche électroluminescente. La région supplémentaire, fortement dopée de préférence, est destinée à pallier les difficultés éventuelles de contact entre la première région et l'électrode correspondante, par exemple lorsque le matériau de la première région a une forte réactivité et une aptitude à s'oxyder.L'étendue de la région supplémentaire déborde sensiblement de l'étendue de la zone radiative, et Si l'absorption par le matériau de la région supplémentaire du rayonnement émis par la partie radiative de la couche électroluminescente est prohibitive, une fenêtre peut être ouverte dans cette région sans augmenter sensiblement la résistance du contact, l'épanouissement des lignes de courant dans la région superficielle du dispositif selon l'invention permettant d'assurer dans tous les cas une grande surface de contact sans occultation par l'électrode de contact, Les différentes formes de réalisation décrites ci-dessous utilisent des structures à couches superposées, plus ou moins complexes, comme celles que l'on trouve dans des dispositifs connus, comme par exemple les diodes et les lasers à simple ou à double hétérostructure.Mais dans les dispositifs connus, la localisation de la zone d'émission électroluminescente au moyen de régions isolantes entraîne une localisation correspondante d'au moins une des deux surfaces de contact, au détriment de la conductance de ce contact ou au détriment de l'aire de la surface de sortie du rayonnement et/ou au détriment de l'aire de contact avec un dissipateur thermique. Dans une autre variante de réalisation, la région de type de conductivité opposé à celui de la couche électroluminescente est une région superficielle et elle a, avec la région supplémentaire qui la recouvre éventuellement, une épaisseur suffisante pour assurer la tenue mécanique du dispositif. De ce fait, la partie radiative du dispositif, partie de la couche électroluminescente, dont l'étendue est restreinte par la région quasi-isolante d'épaisseur limitée, est très proche de l'électrode contiguë à la première région, qui peut être elle-même très mince. Comme la face émissive du dispositif est du côté de la région superficielle,le dispositif peut être fixé, par la totalité de la surface de ladite électrode contiguë à la première région, à un dissipateur thermique efficace. Ainsi on constate que dans la présente variante de réalisation, la proximité de la zone active par rapport au dissipateur associée à l'importance de la surface de contact, assure une dissipation optimale, en même temps qu'un contact optimal. La région quasi-isolante qui limite l'étendue de la zone radiative et celle de la partie active de jonction P/N peut déborder en épaisseur sur la première région et sur la seconde région, une condition impérative étant qu'elle n'atteigne pas les faces du dispositif sur lesquelles sont prévues les électrodes. Selon une forme de mise en oeuvre préférentielle, la région quasi-isolante a une épaisseur sensiblement égale à celle de la couche à propriétés d'électroluminescence et pénètre très légèrement dans la seconde région de façon à limiter efficacement la surface de la jonction P/N. Dans une variante de mise en oeuvre, la région quasi-isolante est plus épaisse que la couche électroluminescente et pénètre légèrement dans les régions contiguës à cette dernière. La réalisation du dispositif ne requiert pas d'opérations multiples, complexes ou délicates. En effet, l'invention concerne également un procédé préférentiel de réalisation du dispositif, selon lequel la région à plus forte résistivité, quasi-isolante, qui limite l'étendue de la partie active de la jonction et de la couche électroluminescente est obtenue par implantation d'ions canalisés et localisés en profondeur. On sait qu'une implantation d'ions, de nature, d'énergie et de dose convenables,permet de transformer, localement au besoin grâce à un masque adéquat, une région de matériau semiconducteur en une région de matériau quasi-isolant en réduisant fortement la concentration de porteurs libres dans le matériau par création de défauts d'irradiation. On sait également que dans certaines conditions d'orientation du cristal semiconducteur, par rapport à la direction d'implantation des ions, on peut mettre profit l'effet dit de canalisation pour que la région modifiée se situe à une certaine profondeur plutôt qu'en surface. Selon une forme préférentielle du procédé selon l'invention, les ions utilisés sont des protons, l'effet#de canalisation permettant en outre d'utiliser des protons d'énergie relativement faible.En effet, on sait que la profondeur atteinte par les protons avant leur implantation est beaucoup plus impor tante lorsque l'on utilise l'effet de canalisation et comme la zone perturbée par les protons est celle où ceux-ci perdent leur énergie et s'implantent, le bombardement de protons avec effet de canalisation permet d'obtenir des zones perturbées en profondeur et essentiellement en profondeur. Par exemple, alors qu'un bombardement de protons ayant une énergie de 100 keV, effectué sur une plaquette d'arséniure de gallium en dehors des angles d'incidence favorables à la canalisation, par exemple à 70 de l'axe comme cela est pratiqué habituellement, permet d'atteindre une profondeur de 1 pm dans un tel semiconducteur, un bombardement de protons de même énergie effectué par exemple normalement au plan (100), si le cristal bombardé est orienté selon ce plan, permet d'atteindre une profondeur de l'ordre de 3 vm dans le même matériau, l'épaisseur de matériau rendu quasi-isolant étant inférieure au micromètre, fonction de l'énergie des protons et de la précision de la canalisation. Pour une même profondeur atteinte, l'effet de la canalisation permet d'utiliser des ions d'énergie beaucoup plus faible, ce qui nécessite, pour arrêter ces ions, un masque de localisation beaucoup moins épais et, de ce fait, plus facile à réaliser et permettant une meilleure définition. De plus les protons d'énergie plus faible ne nécessitent pas un matériel d'implantation de grande puissance, inapte à une fabrication industrielle et difficile à mettre en oeuvre. Le procédé selon l'invention peut également être mis en oeuvre en utilisant une implantation d'autres ions que les protons, par exemple des ions de bore implantés dans un semiconducteur composé III-V comprenant au moins un élément de chacune des colonnes III et V de la classification périodique des éléments. La description qui va suivre, en regard des dessins annexés, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. La figure 1 est une coupe schématique d'un dispositif selon l'invention dans une première forme de réalisation. La figure 2 est une coupe schématique d'un dispositif selon l'invention dans une deuxième forme de réalisation-. La figure 3 est une coupe schématique d'un autre dispositif selon l'invention. La figure 4 est une coupe schématique d'un quatrième dispositif selon l'invention. Les figures 5a à 5e illustrent, par des coupes schématiques d'un dispositif, les principales étapes d'un procédé de réalisation selon l'invention. La figure 6 est une vue en plan d'un autre dispositif, dont les figures 7a à 7c représentent une coupe à trois stades de sa fabrication. Il est à noter que, sur les dessins, les proportions géométriques n'ont pas été respectées, certaines dimensions en épaisseur ont été fortement exagérées à seule fin de rendre les figures plus claires. Le dispositif représenté sur la figure 1 est une diode électroluminescente comportant une couche à propriétés d'électroluminescence comprise entre une région sous-jacente 1 et une région superficielle 2. Une zone radiative 3 de la couche électroluminescente est circonscrite par une région annulaire 4 quasi-isolante, d'épaisseur légèrement plus forte que l'épaisseur de la couche électroluminescente. La face d'émission du rayonnement est la face supérieure 5 sur laquelle est disposée une électrode métallique 6. Une électrode métallique 7 recouvre la face opposée du dispositif. La couche électroluminescente et la région superficielle 2 sont du même type de conductivité, la région sous-jacente 3 est de type opposé et forme ainsi une jonction 8. Par polarisation directe de cette jonction 8 appliquée entre les électrodes 6 et 7, la zone 3 est rendue électroluminescente. On constate que la section de passage du courant est restreinte au niveau de la couche électroluminescente et de la jonction 8, que par contre la section de passage du courant est considérable au voisinage aussi bien de l'électrode 6 que de l'électrode 7, et que l'électrode 6 présente une grande surface de contact tout en laissant sur la face 5 une large fenêtre de sortie du rayonnement. Bien que la région superficielle 2 puisse parfois être faite du même matériau que la zone-radiative 3, le plus souvent la structure du dispositif comporte une région superficielle faite d'un matériau différent choisi en fonction de sa transparence vis-à-vis du rayonnement émis par la zone 3, pour sa conductivité et pour la compatibilité entre les deux matériaux. Ainsi, le dispositif représenté sur la figure 2 comporte une zone radiative 23, partie d'une couche électroluminescente comprise entre une région superficielle 22 et une région sous-jacente 21.La couche électro luminescente est de type P, fortement dopée, la région 22 est de type P également et faite d'un matériau dont la largeur de bande interdite est plus grande que celle du matériau de la couche électroluminescente, la région 21 est de type N et faite également d'un matériau dont la largeur de bande interdite est plus grande que celle du matériau de la couche électroluminescente. La région 21 recouvre un substrat 29 de type N, fortement dopé. La zone radiative 23 est circonscrite par une région de forte résistivité 24 quasi-isolante, dont l'épaisseur est légèrement plus grande que l'épaisseur de la couche électroluminescente.La jonction 28 entre la couche électroluminescente et la région sous-jacente 21 est une hétérojonction dont l'effet est d'améliorer l'efficacité d'injection des électrons de la région 21 vérs la zone 23 et, de ce fait, d'améliorer l'efficacité de luminescence de cette dernière. La limite entre la couche électroluminescente et la région superficielle 22 provoque une barrière de potentiel qui tend à confiner les électrons dans la zone 23 et de ce fait améliore le rendement de luminescence de cette zone. De plus, la région 22, ayant une plus grande largeur de bande interdite que la couche électroluminescente, est transparente pour le rayonnement émis par cette dernière. Des électrodes de grande surface, 26 sur la région superficielle 22 et 27 sur le substrat 29, permettent d'alimenter le dispositif sous une tension directe, avec des courants élevés. Le dispositif représenté sur la figure 3 comporte une zone radiative électroluminescente 33, limitée latéralement par une région quasi-isolante 34 et contiguë à une région sous-jacente 31 et à une région superficielle 32. Sous la région 31, un substrat 39 supporte le dispositif. Une région supplémentaire 30 est faite d'un matériau qui est compatible avec le matériau de la région 32 et présente de meilleures qualités de contact ou de plus grandes facilités d'établissement de contact avec le métal d'une électrode telle que l'électrode 36. Le substrat 39 peut également être fait du même matériau que la région 30, ce qui présente l'avantage de permettre un bon contact avec l'autre électrode 37 La région quasi-isolante a sensiblement même épaisseur# que la couche à propriétés d'électroluminescence. Par exemple, la zone radiative 33 est faite d'un composé semiconducteur comprenant du gallium, de l'aluminium et de l'arsenic Gal xAQxAs avec x = 0,1 dopé au germanium, la région 31 et la région 32 aont faites de composés Gal AR As avec y = 0,3, la région 31 étant dopée à l'étain et la région 32 au germanium, le substrat 39 et la région 30 sont en arséniure de gallium Ga As, les contacts sur ce dernier matériau étant de meilleure qualité que les contacts sur les composés de l'aluminium, le substrat 39 est dopé au silicium ou au tellure, la région 30 est dopée au germanium. Grâce à l'ouverture 35 pratiquée dans la région 30, l'absorption de cette dernière n'intervient pas. Par contre la grande surface des électrodes 36 et 37 et des régions 32, 31 et 39, permet un épanouissement des lignes de courant de part et d'autre de la zone radiative 33 et un écart important entre la densité de courant dans la zone 33 et la densité de courant au contact des électrodes. Le dispositif représenté sur la figure 4 a une structure différente des dispositifs décrits ci-dessus, la région 49 servant de substrat étant la région superficielle, de type de conductivité opposé à celui de la couche électroluminescente. La région 49 forme avec la zone radiative 43 une jonction 48, dont l'étendue est limitée par une région quasi-isolante 44. Une région 42, relativement mince, de même type de conductivité que la zone radiative est constituée, comme la région 49, d'un matériau à plus grande largeur de bande interdite que le matériau de la couche électroluminescente. Des électrodes 46 et 47 sont agencées sur tes faces externes des régions 42 et 49 respectivement. Avantageusement un tel dispositif est réalisé par croissance épitaxiale sur un substrat provisoire, puis retournement et élimination du substrat provisoire, la région quasi-isolante 44 étant réalisée par implantation de protons dans la couche luminescente, à travers la région 42, après élimination du substrat provisoire. Un dispositif selon l'invention est réalisé préférentiellement selon un procédé mettant en oeuvre une implantation profonde d'ions mettant à profit le phénomène de canalisation. Selon ce procédé, une plaquette comportant les couches superposées nécessaires est d'abord réalisée par une méthode connue, par exemple de dépôt épitaxial en phase liquide, notamment si le matériau semiconducteur utilisé est un composé comprenant au moins un élément de la colonne III de la classification périodique des éléments et au moins un élément de la colonne V, comme l'arséniure de gallium et d'aluminium par exemple. Ainsi, la plaquette représentée sur la figure Sa comporte quatre couches dont une couche épaisse 51 d'arséniure de gallium et d'aluminium Gal xAQxAs avec x = 0,3, dopée au germanium pour présenter le type de conductivité P, une couche 50 du composé Ga, AR As avec y = 0,1, dopée pour présenter le type P également, une couche 52 du même matériau que la couche 51 mais dopée à l'étain pour présenter le type de conductivité N#, et une couche 55 d'arséniure de gallium Ga As fortement dopée au germanium, de type P+. La couche 50 a une épaisseur d'environ 1 um, la couche 52 une épaisseur de l'ordre de 4 vm et la couche 55 une épaisseur de sium. Les couches sont déposées par épitaxie sur un substrat d'arséniure de gallium 61, fortement dopé de type N, et les grandes faces parallèles de l'ensemble sont orientées selon le plan (100). Sur la face externe de la couche 55, on dépose par évaporation un film mL nce d'aluminium 56 et une fenêtre 62 est ensuite gravée dans le film 56 et dans la couche 55, la fenêtre 62 étant destinée à la sortie du rayonnement émis par le dispositif. On dépose ensuite un masque 59 de résine imperméable au bombardement de protons. Ce masque est par exemple constitué d'une pellicule de polyimide de 3 uln d'épaisseur, gravée travers un masque réalisé par dépôt d'une laque photosensible adéquate. Le masque 59 comporte au moins une ouverture annulaire correspondant à la surface de la région profonde quasi-isolante que l'on veut obtenir autour de la zone radiative. La plaquette, étant placée sur un support selon la grande face du substrat 61, parallèle au plan cristallographique (100) et opposée au masque 59, est soumise à un bombardement de protons d'une énergie de 200 keV, dirigés perpendiculairement à la plaquette selon la direction ; la dose est de l'ordre de 1013 à 1014 protons/cm2 et les protons pénètrent à une profondeur comprise entre 5 et 6 um. Les défauts de réseau cristallin créés par les protons provoquent une très forte augmentation de la résistivité dans la région atteinte 54, celle-ci présentant dès lors les caractères d'une région quasi-isolante avec une concentration en porteurs de charge inférieure à celle de la zone radiative, dans un rapport de l'ordre de 1000, et délimitant dans la couche 50 une zone 53 située à l'aplomb de la fenetre 55.Des ions autres que des protons peuvent également être utilisés dans d'autres conditions d'implantation, par exemple des ions oxygène. On procède ensuite à l'élimination du masque 59 de façon à libérer la fenêtre 62 de sortie du rayonnement; cette élimination peut être obtenue par un traitement au plasma d'oxygène par exemple. L'opération suivante est le dépôt, sur la face arrière du substrat 61, d'une électrode 57 d'étain, ce métal étant choisi en fonction de la nécessité de souder ultérieurement le dispositif sur une embase de dissipation de chaleur. Pour éviter l'influence de la pellicule métallique destinée au contact sur l'implantation des protons dans la région quasiisolante et pour s'assurer de l'homogénéité de cette dernière, il est parfois préférable de former cette pellicule de contact sur la face de sortie du rayonnement, après l'implantation des protons plutôt qu'avant. Ainsi le dispositif représenté en plan sur la figure 6 comporte une électrode 76 constituée par une pellicule métallique déposée sur la face de sortie après l'implantation de protons délimitant la zone radiative selon une aire circulaire restreinte 80 adaptée au couplage à une fibre optique. Ce dispositif est réalisé à partir d'une plaquette substrat 71, par exemple en forme de carré de 500 um de côté(fig. 7a), supportant un ensemble de trois couches épitaxiales dont une couche 75, constituant la première région superficielle, une couche à propriétés d'électroluminescence 70 et une couche 72 constituant la seconde région, de même type de conductivité que le substrat 71, de type opposé à celui des couches 70 et 75. Un masque 78 (fig. 7b), absorbant les protons, est formé sur la face externe de la couche 75 et délimite l'étendue de la zone radiative circulaire 73 au sein de la couche 70 avec un diamètre de l'ordre de 100 pm. Un faisceau de protons 79, dirigé selon un axe de canalisation provoque, en dehors de la zone protégée par le masque 78, la formation d'une région quasiisolante 74. Des électrodes, 76 sur la face de sortie du rayonnement et 77 sur la face arrière, sont ensuite déposées par un procédé à basse température (fig. 7c), puis le dispositif est fixé sur une embase faisant office de dissipateur thermique, puis les connexions sont ajoutées et le dispositif est encapsulé selon les techniques habituelles.. - REVENDICATIONS 1.- Dispositif semiconducteur comportant au moins une couche plane à propriétés d'électroluminescence comprise entre une première région de même type de conductivité et une seconde région de type de conductivité opposé avec laquelle elle forme une jonction P/N, des électrodes de contact étant prévues sur une partie au moins de la face de chacune desdites régions opposée à ladite couche, caractérisé en ce que l'étendue de la partie active de la jonction et l'étendue de la partie radiative de ladite couche sont circonscrites par une région quasi-isolante, dont l'épaisseur est limitée de part et d'autre de ladite jonction de façon qu'un courant circulant entre lesdites électrodes, dans le sens passant de la jonction, ait une densité plus forte au niveau de la jonction et de ladite couche qu'à proximité desdites électrodes. 2.- Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que, l'une au moins desdites première et seconde régions étant faite d'un matériau de plus grande largeur de bande interdite que le matériau de la couche électroluminescente, l'hétérostructure ainsi constituée a une surface active limitée par ladite région quasiisolante. 3.- Dispositif selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une région supplémentaire contigué à l'une desdites première et seconde régions et dont l'étendue est plus grande que l'étendue de la partie radiative de la couche électroluminescente. 4.- Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'épaisseur de la région quasi-isolante est sensiblement égale à celle de la couche électroluminescente et pénètre très légèrement dans la seconde région. 5.- Dispositif selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la région quasi-isolante est essentiellement constituée du même matériau composé semiconducteur III-V que la partie radiative da la couche électroluminescente, et en ce que le réseau cristallin de ladite région présente des perturbations induites par des ions implantés et une concentration moyenne en porteurs de charge inférieure d'au moins 1000 fois à celle de la partie radiative de la couche électroluminescente. 6.- Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que, étant constitué par des couches épitaxiales- recouvrant un substrat d'arséniure de gallium et d'aluminium orientées selon le plan cristallographique (100), la zone radiative électroluminescente et la région quasi-isolante sont comprises entre 3 et 6 micromètres de profondeur. 7.- Procédé de réalisation d'un dispositif selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'une plaquette comportant au moins une couche à propriétés d'électroluminescence située entre deux autres couches de matériau semiconducteur est soumise à un bombardement ionique localisé par un masque protégeant une zone limitée devant être radiative, les ions étant dirigés selon un axe de canalisation avec une énergie suffisante pour s'implanter essentiellement dans ladite couche. 8.- Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que la plaquette est soumise à un bombardement localisé de protons dirigés selon un axe de canalisation. 9.- Procédé selon l'une des revendications 7 et 8, caractérisé en ce que, la plaquette étant une plaquette de composé semiconducteur III-V orientée selon le plan cristallographique (100), les ions sont orientés dans la direction de l'axe .