Brevet FR2392495A1 — publié le 19781222

La préaente invention concerne un procédé de réalisation d'un dispositif semiconducteur réalisé sur une plaquette comportant au moins une face active recouverte d'un manteau de protection en au moins un premier matériau diélectrique, ledit manteau comportant une ouverture dans laquelle affleure au moins un matériau semiconducteur, ladite face active étant munie d'au moins une configuration de conducteurs raccordée S au moins une région semiconductrice affleurant dans ladite ouverture, procédé suivant lequel on élabore sur ladite face active au moins une eouehe auxiliaire comportant au moins un évidement ayant la forme de ladite configuration recouvrant ladite ouverture ainsi que des nappes dudit manteau, puis on dépose sur l'ensemble de ladite face active une pellicule conductrice dont certaines nappes recouvrent ladite couche auxiliaire et d'autres nappes reeeuyrc#t-1#-evidement et selon lequel on élimine, par la suite, par attaque sélective, ladite couche auxiliaire dont le départ entraînecelui des nappes de ladite pellicule conductrice situées sur ladite couche auxiliaire en laissant subsister les nappes situées dans ledit évidement et constituant ladite configuration. La présente invention concerne également les dispositifs obtenus par ce procédé. Elle est applicable notamment aux composants optoélectroniques et aux circuits intégrés multicouches. Dans le but de réaliser simultanément un grand nombre de prises de contact avec différentes zones de transistors ou de circuits intégrés créés dans une plaquette semiconductrice, on a préconisé d'utiliser un procédé de pelage connu dans la littérature américaine sous le nom de "lift-off". Selon ce procédé, on dépose sur l'ensemble de la face active de la plaquette une couche isolante ci-dessous désignée par manteau en raison du grand nombre de couches intervenant dans la fabrication de tels dispositifs et de la nécessité de les désigner de façon claire. Dans ce manteau, on perce des ouvertures aux emplacements prévus pour les contacts. On dépose ensuite une couche auxiliaire dans laquelle on ouvre un évidement dont le contour qui est celui de la configuration désirée enclave les dites ouvertures et des nappes dudit manteau isolant. Sur la surface ainsi obtenue, on dépose une pellicule du matériau conducteur devant constituer la configuration de prises de contact, certaines nappes de ladite pellicule se déposant sur les nappes restantes de ladite couche auxiliaire et d'autres au fond de l'évidement et, par attaque latérale des nappes restantes de la couche auxiliaire on élimine simultanément lesdites nappes et celles des nappes de la pellicule conductrice qu'elles portent. On a le plus souvent réalisé ladite couche auxiliaire en laque photosensible; malheureusement, les laques de ce type ne supportent pas de températures supérieures à 15000 sans se détruire (en donnant très souvent des produits de décomposition détériorant la qualité de la surface) et il serait souhaitable fréquemment d'effectuer le dépôt de la configuration métallique à chaud sur une plaquette à 200, 300 ou même 40000. C'est en particulier le cas des dispositifs réalisés dans des plaquettes de composés dits III-V parce qu'ils sont constitués d'au moins un corps de la troisième colonne et d'au moins un corps de la cinquième colonne du tableau périodique des éléments, par exemple du phosphure de gallium (Ga P), de l'arséniure de gallium (Ga As) et de l'arseniu- re de gallium et d'aluminium (As Ga AQ) sur lesquels il est nécessaire d'effectuer le dépôt métallique de contact à haute température pour obtenir une bonne adhérence. C'est également le cas des matériaux dits,pour une raison analogue, Il-Vi, comme par exemple le tellurure de zinc (ZnTe)ou le séléniure de zinc (ZnSe). Ces matériaux sont en effet des corps à grande largeur de bande interdite et, de ce fait, ils sont recouverts de nombreux états de surface. Cela entraîne une barrière entre le volume du matériau et le métal qui sera déposé. Afin de surmonter cette barrière il faut une grande intimité entre le métal et le matériau considéré, et cette intimité ne peut être obtenue que par un dépôt effectué "à chaud". On a également réalisé ladite couche auxiliaire en métal ce qui permet, dans certains cas, d'effectuer le dépôt à chaud, jusqu'à 300 ou 400 C, de ladite pellicule métallique de la configuration. Toutefois, de telles couches doivent toujours être constituées de deux lits: soit de deux métaux, de l'aluminium pour le lit sous-jacent et du chrome pour le lit supérieur, soit d'un lit sous-jacent d'un métal oxydable anodiquement et d'un lit supérieur de I1 oxyde de ce métal: l'aluminium et l'alumine. En fait, la couche auxiliaire métallique comporte toujours un lit sousjacent en aluminium.Or, immédiatement après le dépôt de ce lit, des nappes de celui-ci reposent directement sur le matériau semiconducteur, et il est parfois difficile de trouver un bain qui permette d'éliminer l'aluminium sans attaquer le semiconducteur sous-jacent. Tel est le cas des corps dits III-V et notamment de l'As Ga AQ. De plus cette technique est d'une grande complexité et difficile à mettre en oeuvre, les ensembles des deux couches métalliques adhèrent souvent mal l'un à l'autre et certains des bains, à l'acide fluorhydrique par exemple, sont dangereux et on préfère les éviter puisque ces solutions entraînent un décapage total ou partiel des couches diélectriques éventuellement présentes sur ladite surface. La présente invention apporte une solution à ces difficultés. Elle prend en considération les propriétés de certains polymères organiques dont la Demanderesse a étudié la stabilité à la chaleur et l'aptitude à la gravure. La présente invention résulte également d'études de la Demanderesse concernant le pelliculage de ces polymères. Ces études ont notamment montré que, dans certaines conditions, des lits de grande planéité et d'une grande uniformité pouvaient être obtenus, que, moyennant certains traitements, plusieurs lits adhérant les uns aux autres, déposés successivement, pouvaient constituer une couche plane, homogène, d'une épaisseur suffisante pour présenter une dénivellation permettant une dissolution latérale facile de ces polymères. En effet, la présente invention concerne un procédé d'obtention d'un dispositif semiconducteur réalisé sur une plaquette comportant au moins une face active recouverte d'un manteau de protection en au moins un premier matériau diélectrique, ledit manteau comportant une ouverture dans laquelle affleure au moins un matériau semiconducteur, ladite face active étant munie d'au moins'une configuration de conducteurs raccordée à au moins une région semiconductrice affleurant dans ladite ouverture, procédé selon lequel on élabore sur ladite face active au moins une couche auxiliaire comportant au moins un évidement ayant la forme de ladite configuration recouvrant ladite ouverture ainsi que des nappes dudit manteau, puis on dépose sur l'ensemble de ladite face active une pellicule conductrice dont certaines nappes recouvrent ladite couche auxiliaire et d'autres l'évidement, puis on élimine par attaque sélective ladite couche auxiliaire dont le départ entraîne celui des nappes de ladite pellicule conductrice situées sur ladite couche auxiliaire en laissant subsister les nappes situées dans ledit évidement et constituant ladite configuration, caractérisé en ce que ladite couche auxiliaire comporte au moins un lit constitué principalement en un corps choisi parmi les polyimides, les polyamides-imides, les polyimides modifiés par un amide, les acides polyamides, les polyamino-imides, en ce que ladite couche subit au moins un traitement thermique, en ce que l'on effectue sur ladite couche auxiliaire le dépôt d'un film dans lequel on crée un masque à travers lequel, par gravure, on élabore ledit évidement, en ce que ledit masque est éliminé et en ce que, ensuite, on effectue à chaud le dépôt de ladite pellicule conductrice. L'invention présente de nombreux avantages. En effet, les corps déterminés par la Demanderesse supportent la chaleur jusqu'à 4000C et même, pour certains d'entre eux, 6000C, sans se détériorer, ce qui permet d'effectuer en leur présence des traitements thermiques. On peut les disposer en couches d'épaisseur constante adhérant au substrat, ce qui permet la gravure. On peut donner à ces couches une épaisseur suffisante pour qu'il y ait rupture de la pellicule du métal de la configuration sur le pourtour de celle-ci. On peut donner à ces couches une épaisseur par exemple sensiblement égale au double de l'épaisseur métallique de ladite configuration c'està-dire de l'ordre de 1,5 pm ou plus élevée. On peut constituer ces couches de plusieurs lits adhérant parfaitement l'un à l'autre, les différents lits étant traités de la même manière ou de manière différente. Ceci permet notamment d'obtenir des lits bénéficiant de vitesses d'attaque différentes De plus, ces couches sont ou peuvent être rendues adhérentes aux métaux, notamment à l'aluminium et à l'or, ainsi qu'aux semiconducteurs, à la silice et au nitrure de silicium. De plus, contrairement aux couches de laque photosensible, ces couches sont stables aux rayonnements lumineux ce qui n'est pas sans intérêt pour les commodités de manipulation. Par ailleurs, l'utilisation de couches auxiliaires en des corps tels que ceux définis précédemment permet, par le procédé de l'invention, d'obtenir des dispositifs semiconducteurs d'une très bonne planéité, même lorsqu'il s'agit de dispositifs présentant plusieurs configurations de conducteurs situées à des niveaux de hauteur différents de la structure (circuits dits "multicouches"). En outre, dans ces dispositifs réalisés selon l'invention, on parvient à ce que lesdits conducteurs aient une section relativement plus élevée, à espace disponible égal, que celle des conducteurs appartenant à des dispositifs analogues réalisés selon des techniques conventionnelles. Ces deux derniers avantages seront explicités à la faveur d'un exemple de réalisation d'un circuit bi et tricouche décrit dans la seconde partie du présent mémoire. La présente invention peut être utilisée dans plusieurs types de réalisation et notamment de deux manières différentes. Dans un premier mode de réalisation, ladite couche auxiliaire est déposée directement d'une part sur ledit matériau de protection et d'autre part à l'intérieur des ouvertures qu'il présente sur ledit matériau semiconducteur. Dans ce mode de réalisation l'épaisseur de la couche auxiliaire est, comme il a été dit cidessus, avantageusement plus élevée que l'épaisseur de la pellicule dans laquelle est élaborée ladite configuration, de manière à favoriser la rupture de la pellicule métallique ainsi que l'atta- que latérale de la couche auxiliaire Ce mode de réalisation permet notamment d'obtenir d'excellents contacts sur des matériaux nécessitant pour cela un dépôt métallique à haute température. Dans un second mode de réalisation, préalablement au dépôt de la couche auxiliaire, on dépose sur l'ensemble de la face active une couche intermédiaire en un second matériau diélectrique différent du premier, puis on dépose sur cette couche intermédiaire ladite couche auxiliaire, ensuite on élabore dans ladite couche auxiliaire ledit évidement, puis dans ladite couche intermédiaire un alvéole ayant le même contour que l'évidement. Enfin, on dépose ladite pellicule conductrice puis on élimine ladite couche auxiliaire. Avantageusement, on donne à ladite couche intermédiaire une épaisseur voisine de celle de la pellicule métallique, ce qui permet d'obtenir une surface pratiquement plane, les nappes de ladite configuration métallique bordant efficacement les nappes subsistant de la couche intermédiaire, notamment en raison du dépôt à chaud de ladite pellicule métallique. Ce mode de réalisation est utilisé essentiellement dans des circuits multicouches dans lesquels la configuration ainsi créée constitue une configuration sous-jacente à une autre configuration. En effet, sur la surface plane ainsi créée, on peut disposer un nouveau manteau isolant sur lequel on élabore une seconde configuration de conducteurs. Si la structure désirée est une structure à deux niveaux, dite bicouche, on peut créer la seconde configuration par le procédé classique. Si la structure désirée est une structure tricouche, on utilise de nouveau, pour créer la seconde configuration intermédiaire, le procédé selon l'invention dans son deuxième mode de réalisation. On obtient alors une nouvelle surface pratiquement plane sur laquelle il est possible de déposer un troisième manteau isolant et d'élaborer une troisième configuration de conducteurs. Du fait qu'elle donne la possibilité de déposer à chaud la pellicule conductrice dans laquelle est obtenue la configuration, la présente invention permet de meilleurs contacts, un grain plus fin et, par fluage, une meilleure répartition du métal de ladite configuration qui permet d'obtenir une surface d'une grande planéité dépourvue de failles, sur laquelle un manteau isolant et une nouvelle configuration peuvent être établis sans rupture. La couche auxiliaire, dans les corps retenus par l'invention, peut être attaquée et éliminée chimiquement par la morsure d'une solution très diluée d'une base forte (Na O H, KO H) ou par une base faible, notamment par de l'hydrate d'hydrazine. Elle peut être gravée à travers un masque par deux procédés différents au moins, entre lesquels on peut choisir suivant le substrat. L'un de ces procédés est une attaque chimique, analogue à la morsure mentionnée ci-dessus. Elle peut être réalisée au moyen d'un masque créé dans un film en laque photosensible. Si cette laque est une laque positive, les fenêtres du masque et les évidements de la couche auxiliaire peuvent être obtenus en une seule opération. Le second procédé de gravure est celui de l'attaque par plasma d'oxygène. De préférence, on le met en oeuvre au moyen d'un masque créé dans un film métallique. On peut également le mettre en oeuvre avec un masque créé dans un film d'un composé déposé à basse température, notamment dans un film d'oxyde de silicium ou de nitrure de silicium obtenu par la technique de "déposition par plasma". Ces deux procédés de gravure constituent deux modes de mise en oeuvre de la présente invention. Avantageusement, ladite couche auxiliaire comporte au moins deux lits, un lit sous-jacent et un lit supérieur que l'on traite de manière que ledit lit sous-jacent et ledit lit supérieur soient attaqués à des vitesses différentes. Préférentiellement, après le dépôt du premier lit sous-jacent, on fait subir à celui-ci un traitement thermique sévère, puis on dépose le lit supérieur et on fait subir d l'ensemble un traitement thermique moins sévère, par exemple à une température moins élevée ou pendant une durée moindre, ou les deux. Par la voie humide, l'attaque du lit supérieur est plus rapide, ce qui permet un pelage plus rapide et plus facile. Par la voie gazeuse, l'attaque du lit sous-jacent est plus rapide; on peut ainsi créer un surplomb permettant au cours du stade ultérieur une meilleure rupture de la pellicule métallique de la configuration. La présente invention, élaborée pour les matériaux semiconducteurs à grande largeur de bande interdite, est applicable à tous les matériaux semiconducteurs, notamment aux matériaux dits III-V, aux matériaux dits Il-Vi, au silicium, au germanium, etc... pour lesquels elle permet une mise en oeuvre plus facile que les procédés traditionnels et sur lesquels elle permet d'élaborer des circuits intégrés multicouches comportant des niveaux intermédiaires plus plans, donc des configurations comportant moins de ruptures lors de la fabrication et en durée. On sait que certains des corps déterminés par la Demanderesse ont déjà été utilisés, notamment dans l'industrie des semiconducteurs, comme agents de passivation et comme revêtements protecteurs de dispositifs terminés, ainsi que comme couches isolantes entre des nappes de contacts. De telles applications sont décrites notamment dans le brevet français 2 022 876 et dans la demande française 2 209 218. La Demanderesse a, elle-même, déposé le 4 Février 1977 une demande de brevet français enregistrée sous le numéro 77 03 108 dans laquelle elle décrit l'utilisation de couches de ces corps en tant que masques pour le bombardement d'objets par des particules de haute énergie.Il est très clair que l'application faite de ces corps dans la présente invention est tout à fait différente; elle prend pour point de départ des propriétés différentes et aboutit à des résultats différents particulièrement avantageux. La description qui va suivre, en regard des dessins annexés, d'exemples non limitatifs, permet de mieux comprendre les avantages de la présente invention ainsi que ses modes de mise en oeuvre, et les types de réalisation auxquels elle permet d'aboutir. Les figures la à lh représentent, en coupe, les différentes phases de l'élaboration, par le procédé selon la présente invention et suivant son premier mode de mise en oeuvre dans une réalisation du premier type, d'une diode électroluminescente en phosphure de gallium. Les figures 2a à 2h représentent, également en coupe, les différentes phases de l'élaboration, par le procédé selon la présente invention et suivant son deuxième mode de mise en oeuvre dans une réalisation du deuxième type, de la configuration de conducteurs sous-jacente d'une partie d'un circuit intégré au silicium comportant un ensemble stratifié multicouche de configurations de conducteurs dans lequel le niveau sous-jacent, au moins, est élaboré selon la présente invention. Les figures 2i à 2Q représentent, également en coupe, l'achèvement dudit circuit intégré dans le cas où l'ensemble stratifié est un bicouche. Les figures 3a à 3g représentent, également en coupe, l'éla- boration de la seconde configuration de conducteurs du même dit circuit intégré, dans le cas où l'ensemble stratifié est un tricouche dont l'élaboration de ladite seconde configuration met en jeu une nouvelle fois le procédé selon la présente invention. Il est à remarquer que, pour rendre les figures plus claires, les proportions ne sont pas conservées. Sur la figure la on a représenté une plaquette 1 comportant notamment une région 2 en phosphure de gallium de type N dopée par exemple au soufre et à l'azote et une région 3 incluse dans la région 2 de type P dopée au zinc d'une épaisseur de l'ordre de 10 pm affleurant à la surface de la face active 4 de la plaquette 1 sur une plage 4a. La région 2 est superposée à une région 16 de type N+ mentionnée plus loin dans ce mémoire. La jonction 5 entre les régions de types opposés 2 et 3 est une jonction électroluminescente et l'ensemble constitue un émetteur de lumière. La composition des couches 2 et 3 est favorable à un haut rendement d'émission lumineuse de la jonction 5 et la lumière émerge par la face active 4. Sur la figure la, on a représenté également en 6 un manteau de protection en nitrure de silicium dont l'épaisseur est par exemple de l'ordre de 0,1 um comportant au droit de la région 3 une ouverture 7 d'une aire inférieure à celle de la surface d'affleurement de la région 3 et disposée de telle sorte que la ligne d'affleurement,sur la face 4,de la jonction 5,soit protégée par le manteau 6. Cette ouverture 7 partage, au plan de la figure, le manteau 6 en deux nappes 6a et 6b. Sur la figure lb on a représenté en 8 une couche d'un des corps déterminés selon l'invention. Cette couche est composée de deux lits, un lit sous-jacent 8a et un lit supérieur 8b. Pour des raisons de simplification ces deux lits ne. sont pas représentés séparément sur les figures Ic a# lh qui suivent. Cette couche peut être constituée principalement d'un acide polyamide c'est-à-dire d'un corps ayant une structure comportant la répétition de l'élément structural. dans lequel -- - représente une isomérie, Q est un radical organique tétravalent contenant au moins deux atomes de carbone, un maximum de deux groupes carbonyles dans chaque élément structural étant rattaché à un atome de carbone quelconque dudit radical tétravalent, et D est un radical divalent contenant au moins deux atomes de carbone, les groupes amides de liaison entre des éléments structuraux adjacents étant fixés à des atomes de carbone séparés dudit radical tétravalent et dans lequel n est un nombre entier suffisamment élevé pour que ledit acide polyamide ait une viscosité au moins égale à 0,1 centipoise et de préférence comprise entre 0,3 et 30 centipoises dans un solvant convenable. Par traitement thermique ou chimique de tels polyacides peuvent donner le polyimide correspondant, c'est-à-dire des corps ayant une formule comportant la répétition de l'élément structural: dans lequel Q2, D2 et n2 ont les mêmes caractéristiques que Ql, nl ss D1 ci-dessus. Des polyimides correspondant à une telle formule peuvent constituer ladite couche, soit qu'ils soient créés à partir de l'acide polyamide correspondant, par élimination d'une molécule d'eau soit par tout autre moyen, notamment par réaction d'au moins une diamine sur un dianhydride d'acide tétracarboxylique. Avantageusement, pour une plus grande stabilité thermique, le radical tétravalent Q contient au moins un cycle non saturé de six 2 atomes de carbone de type benzénique, les quatre radicaux carbonyles étant unis directement à des atomes de carbone distincts d'un cycle benzénique hexagonal du radical Q2 et les deux autres radicaux carbonyles de chaque paire étant unis à des atomes de carbone adjacents d'un cycle du radical Q2. Notamment Q2 est un cycle benzénique (dianhydride pyromellitique)et D2 un oxydiphényle de formule De tels polyimides et notamment le polyimide représenté par la formule lia sont obtenus en général en deux phases. On crée d'abord, par polycondensation d'une diamine et d'un dianhydride d'un acide tétravalent en solution dans un solvant polaire, un acide polyamide de formule I. La solution de cet acide polyamide dans un solvant polaire constitue un prépolymère. De tels prépolymères seront désignés par PI dans la suite de ce mémoire. Ultérieurement, dans une seconde phase, par chauffage, on chasse de cette solution le solvant polaire et on élimine des molécules d'eau dudit acide polyamide pour obtenir le polyimide. Dans l'application selon la présente invention, le dépôt de la couche ou celui des lits la composant éventuellement peut, avantageusement, être effectué avec ledit prépolymère et la seconde phase est accomplie par chauffage du dépôt sur l'objet. Cette couche peut être constituée par un polyimide modifié par un amide comprenant notamment la répétition de l'élément structural où n3 est un nombre entier d'au moins 5, D3 est un radical divalent amide comprenant toujours au moins le radical divalent R3 et Q3 représente un radical tétravalent comportant au moins un noyau benzénique. Q3 peut également être un cyclohexane, le radical D3 étant notamment identique à R. La couche 8 peut également comporter des polyamides imides de formule générale dans laquelle D4 désigne la liaison de valence simple ou un radical organique divalent comportant de 1 à 24 atomes de carbone, Q4 désigne un radical tétravalent de formule générale: dont les deux atomes de carbone sont reliés d'une part, chacun à l'un des deux radicaux carbonyles de la fonction imide par l'intermédiaire des radicaux R4 et R' 4et dont l'un est d'autre part relié à l'atome d'hydrogène et l'autre d la fonction amide.Les radicaux R4 et R' sont identiques ou différents et représentent H,CH3 ou CQ et sont reliés l'un à l'atome dthydrogène et l'autre à la fonction amide. D' 4 désigne un radical organique divalent possédant au moins deux atomes de carbone, n4 peut être nul ou représenter un nombre de 1 d 12, E et E' peuvent être identiques ou différents et représenter un radical de formule générale ou encore Q4,D4, R4, R'4 ayant la même signification que ci-dessus et qui contiennent de 0,5 à 50 radicaux N - D' 4 - Ns par radical D4. La couche 8 peut également être constituée de polyamines à groupements imides et notamment de polyamines à groupements imides répondant essentiellement à la formule générale dans# laquelle les groupements Q5 sont reliés aux groupements NH, a et b sont des nombres allant de 2 à 6 environ, c et d représentent chacun un nombre égal à 1, la somme c + d ne dépassant pas 6 environ, n5 est un nombre de 1 à 12 environ, n's est nul ou est un nombre inférieur à Il environ, n" 5 est un nombre compris entre 2 et 50. De plus, les nombres a, b, c, d, n5, n' #, n"5 sont tels que an5 = bn'5 + cn"5 et que le rapport bn'5 + (c + d) n # ans soit supérieur à 1 et ne dépasse pas 2. Le radical désigne l'un des radicaux de formules dans lesquelles R"s ou R15 identiques ou différents représentent H, CH3 ou CQ. R'5 désigne un radical organique de valence a dérivant d'un polyimide insaturé de formule générale R5 désigne un radical organique de valence b dérivant d'un polyamide de formule générale R5 (NH2)b, R5 et R15 peuvent notamment représenter un radical divalent telle qu'un radical alcoylène linéaire ou ramifié, ou un radical aromatique tel qu'un radical phénylène, eyclohexylène, etc... La couche 8 peut également être constituée principalement de polyamides imides comportant la répétition de l'élément structural dans lequel Tl représente un radical organique trivalent comportant au moins deux atomes de carbone et D6 représente un radical divalent ne comprenant que des atomes d'hydrogène, de carbone, d'azote, de soufre et d'oxygène. Il contient au moins deux atomes de carbone et peut être alicyclique, aromatique ou hétérocyclique. Plus particulièrement, D6 peut être un radical cycloalcoylène à 5 ou 6 atomes de carbone dans le cycle, un radical hétérocyclique divalent contenant au moins un des atomes 0, N, S, un radical benzénique ou aromatique polycyclique; ces radicaux peuvent porter des substituants. D4 peut également comprendre plusieurs radicaux benzéniques ou alycycliques liés directement ou par un atome ou groupement divalent. Avantageusement, Tl est un noyau benzénique. Tl peut également comporter deux noyaux benzéniques réunis par un radical carbonyle. Avantageusement, D6 comporte au moins un noyau benzénique et préférentiellement est le radical divalent dans lequel R6 représente le radical méthylène ou un atome d'oxygène et n6 est un entier de 40 à 15 000. La couche 8 peut également être constituée par des polyimides obtenus à partir d'au moins un NN' bisimide d'un acide dicarboxylique non saturé de formule générale dans lequel B et B' sont des radicaux organiques divalents et B contient au moins une double liaison carbone carbone. Ces polyimides peuvent résulter de ltaction d'un tel bisimide ou d'un mélange de tels bisimides sur des cyclopentadiénones ou/et des alphapyrones; le radical B est alors préférentiellement le radical méléique. Ces polyimides peuvent résulter également simplement du chauffage d'un tel NN' bisimide d'u#n acide dicarboxylique non saturé de formule I ou d'un mélange de tels bisimides dont le radical B' comprend plusieurs atomes de carbone et peut être un radical alcoylène substitué ou non, un radical arylène substitué ou non, hydrogéné ou non, ou des radicaux arylènes substitués ou non, hydrogénés ou non, liés par au moins un des radicaux suivants CH2, SO2, et O et dans lequel B a de préférence pour formule où R7 à R7 sont des hydrogènes ou des radicaux alcoylènes substitués ou non, ces radicaux comprenant un ou plusieurs atomes de carbone. Ces polyimides peuvent résulter également d'une réaction comportant au moins l'action d'au moins un NN' bisimide d'un acide dicarboxylique non saturé de formule VII sur au moins une diamine primaire de formule générale H N - A - NH (VIII) 2 1 2 le radical B étant un radical éthylénique divalent comportant entre deux atomes de carbone adjacents une double liaison carbone carbone et dérivant d'un anhydride éthylénique de formule générale les deux valences étant donc portées par les deux dits atomes de carbone adjacents, par exemple les radicaux R8 et R' 8comprenant au moins un atome de carbone et le radical R"8 comportant au moins un cycle comportant au moins 4 atomes de carbone. Les radicaux AI et B peuvent être identiques ou différents et représentent de préférence un radical alcoylène linéaire ou ramifié ayant environ moins de 13 atomes de carbone, un radical cycloalcoylène à 5 ou 6 atomes de carbone dans le cycle, un radical hétérocyclique contenant au moins un des atomes 0, N et S, un radical#benzénique ou aromatique polycyclique, substitués ou non, un ensemble de plusieurs radicaux benzéniques ou alicycliques reliés directement par un atome ou par un groupement divalent. D'une manière générale le radical divalent Al ne possède pas plus de 30 atomes de carbone. On peut notamment utiliser les polyaminobismaleimides de formule générale dans laquelle Bl est un radical divalent constitué de deux cycles benzéniques reliés par le radical CH2 qui résulte de la réaction d'une diamine primaire sur le NN' bisimide de l'acide maléique, notamment en présence d'un excès de diamine. Ladite réaction comprend plusieurs phases: la première est la préparation par mélange intime dudit bisimide et de ladite diamine d'un prépolymère désigné par P2 ci-dessous dans ce mémoire. Cette préparation est suivie d'un chauffage qui peut s'effectuer ou non au sein d'un solvant dipolaire inerte qui permet d'obtenir le polymère de départ. Ultérieurement, on élimine par chauffage le solvant et on achève ainsi le durcissage des polyimides. Dans l'application selon la présente invention, le dépôt de la couche ou celui des lits la composant éventuellement peut, avantageusement, être effectué avec ce polymère de départ, l'éli- mination du solvant et le durcissage des polyimides étant accomplis par chauffage du dépôt sur l'objet. Ces polyimides peuvent également résulter de l'addition au prépolymère P2 d'un polyesther insaturé et la diamine primaire peut être remplacée par une polyamide de formule générale A (NH2) x (x) x étant un nombre supérieur à 2 et A2 un radical organique de valence 2, comportant de préférence 3 à 5 groupements NH2 par molécule, ces groupements pouvant être portés par noyau benzénique substitué ou non par plusieurs noyaux benzéniques reliés entre eux par un lien valentiel ou par un atome ou groupement inerte. où y représente un nombre allant de 0,1 à 2 environ, le symbole R10 désignant un radical hydrocarboné divalent qui dérive d'un corps ayant une fonction cétone ou une fonction aldéhyde de formule générale RIO O dans laquelle l'atome d'oxygène est lié à un atome de carbone du radical Rra. Ces polyimides peuvent résulter d'une réaction entre au moins un desdits NN' bisimides d'un acide dicarboxylique non saturé de formule générale I et au moins une diamine primaire de formule VIII et/ou au moins une polyamine de formule générale X définis comme ci-dessus. Ces polyimides peuvent résulter également d'une réaction entre au moins un desdits NN' bisimides d'un acide dicarboxylique non saturé de formule générale VII et au moins une diamine primaire de formule VIII et/ou au moins une polyamine de formule générale X définis comme ci-dessus et au moins un monomère autre qu'un bisimide de formule VII comportant une double liaison carbone carbone polymérisable, notamment des monomères possédant au moins un groupement - CH = Cx polymérisable de type vinylique, maléique et allylique et qui peuvent être des esters, des éthers, des hydrocarbures, des hétérocycles substitués des composés organométalliques ou organométalloîdiques. Ces polyimides peuvent résulter également d'une réaction entre au moins un desdits NN' bisimides d'un acide dicarboxylique non saturé de formule I, préférentiellement une dimaléimide, une polyamine ayant au moins deux groupes amino primaires et au moins un produit réagissant amine choisi dans le groupe comprenant: 1) - des polyamines ayant au moins un groupe amino secondaire et un total d'au moins deux groupes amino primaire et secondaire, 2) - des monoamines primaires, et, 3) - des groupes -amino secondaires. Par ailleurs, des polyimides permettant de réaliser l'invention peuvent résulter aussi de la réaction entre d'une part, au moins un oligomère à groupements imides de formule générale dans laquelle y représente un nombre allant de 0,1 à 2 environ, le symbole R11 désignant un radical hydrocarboné divalent ayant de 1 à 8 atomes de carbone qui dérive d'un corps ayant une fonction cétone ou une fonction aldéhyde de formule générale R11 O dans laquelle l'atome d'oxygène est lié a un atome de carbone du radical R11; le symbole B11 représente un radical éthylénique divalent possédant de 2 à 24 atomes de carbone et comportant entre deux atomes de carbone adjacents une double liaison et dont les deux valences sont portées par les deux dits atomes de carbone adjacents par exemple les radicaux R' et R''ll comprenant au moins un atome de carbone et le radical Rmll comportant au moins un cycle comprenant au moins 5 atomes de carbone et, d'autre part, une polyamine pouvant être représentée par la formule générale donnée ci-dessus (X). Des informations sur ces différents corps et sur la manière de les préparer sont données dans les brevets américains numéros 3 179 614 - 3 179 634 et 3 179 635, et aussi dans les brevets ou demandes françaises numéros I 455 514 - 1 555 564 - 1 188 634 2 022 609 - 2 022 876 - 2 041 296 - 2 058 452 - 2 094 607 2 102 878 - 2 142 741 - 2 142 742 - 2 142 743 - 2 142 744 2 156 424 - 2 207 160. Des polyimides permettant de réaliser l'invention peuvent résulter de la condensation de monomères contenant des noyaux aromatiques liés entre eux par des enchaînements carbinols libres ou substitués, lesdits monomères possédant à la fois des fonctions amines libres ou acylées et des centres fonctionnels acide o dicarboxylique, anhydride o dicarboxylique, o carboxyester ou o diester, susceptibles de réagir sur les aminés pour donner des cycles imides. Ces corps sont obtenus à partir de monomères difonctionnels dont la formule générale est représentée en XIIIa et XIIIb cidessous dans laquelle Y représente un atome d'hydrogène ou un atome d'hydrogène plus un hydracide ou encore un radical acyle, R12 est un atome d'hydrogène, un reste alcoyle, alcoylcarbonyle, aryle, arylcarbonyle, alcoyle ou arylimino carbonyle, triméthyl silyle etc..., R'12 et R12 sont des atomes d'hydrogène, des radicaux alcoyles, alcoxyalcoyles, hydroalcoyles, aryles, etc... B2 est un radical aromatique divalent, homocyclique ou hétérocyclique, les deux valences étant situées sur des atomes de carbone distincts en position quelconque l'un par rapport à l'autre. T2 représente un radical aromatique trivalent homocyclique ou hétérocyclique, les trois valences étant situées sur des atomes de carbone distincts, deux de ces valences étant obligatoirement en position ortho l'une par rapport à l'autre. La synthèse des monomères est effectuée par l'une ou l'autre des méthodes connues, utilisées habituellement dans la préparation du benzhydrol ou de ses dérivés. Le groupe hydroxyle peut rester libre ou être engagé dans une réaction pour donner un éther, un ester, un uréthane, un siloxane. Des informations sur ces corps et sur la manière de les obtenir sont données dans le brevet français 1 601 091. Une fois les monomères obtenus, le choix des conditions de polycondensation dépend de la nature des groupes fonctionnels fixés sur la molécule du monomère. On peut notamment utiliser le mélange des monoesters isomères: amino-3', carboxyl-3 méthoxy carbonyl-4 benzhydrol et amino-3' carboxy-4 méthoxy carbonyl-3 benzhydrol. Les corps cités ci-dessus présentent une bonne adhérence aux plaquettes 1, notamment aux éléments semiconducteurs et aux substances de recouvrement, oxyde de silicium et nitrure de silicium, habituellement utilisées. Les couches obtenues à partir de ces corps ont, après des recuits adéquats, de bonnes qualités de stabilité à l'humidité et à la chaleur tout en restant gravables par attaque plasma et, le plus souvent, par une solution très diluée de base forte (soude, potasse), ou par une solution d'une base faible, par exemple d'hydrate d'hydrazine. Elles présentent la possibilité d'être étalées en lits épais adhérant les uns aux autres pour former des couches, tout en conservant une planéité suffisante. L'passeur obtenue pour chaque lit est fonction notamment de la viscosité du produit de départ et celle-ci est ajustable. Un certain nombre des essais de la Demanderesse qui ont donné des résultats favorables, ont été effectués avec du monoester méthylique de l'acide aminobenzhydrol dicarboxylique de formule corps qui appartient à la famille des corps de formule XIII mentionnés ci-dessus et peut être obtenu dans le commerce sous la forme d'une solution à environ 60% dans un mélange de M-Méthyl pyrrolidone (désignée ci-dessous par N M P) et de méthanol (80/20) sous le nom de Nolimid 605. Dans la solution ainsi fournie, la polycondensation est partiellement effectuée de manière que la viscosité à 200 soit de l'ordre de 40 poises. Le corps mentionné ci-dessus est désigné ci-dessous dans ce mémoire par "corps de base A" et ladite solution par "solution de base A". On pourrait également utiliser une solution de ce corps dans d'autres solvants polaires mais avec moins de succès. La polycondensation est achevée ultérieurement in situ. Ce polyimide permet d'obtenir un produit de transformation analogue à celui des duromères courantes sans avoir recours à une réaction chimique de dernière heure. Les solutions de dépôt sont obtenues en provoquant une agitation vigoureuse. L'expérience a montré à la Demanderesse que, pour obtenir des couches très uniformes avec ledit corps de base A et ladite solution de base A, il était utile d'employer comme diluant un mélange de N méthylpyrolidone (N M P), solvant polaire, et de cétone, par exemple l'acétone, la méthyléthylcétone, la méthylisobutylcétone qui améliorent la qualité filmogène de la solution, et qu'il fallait utiliser des solutions récemment préparées. La Demanderesse a obtenu des résultats particulièrement favorables avec l'acétone. La viscosité décroît avec l'augmentation de la quantité d'acétone dans la solution mais,contrairement à ce que l'on pourrait penser à priori, l'épaisseur des lits obtenus ne dépend de la proportion d'acétone ou de la viscosité que d'une manière assez complexe. Les tableaux I et Il présentent la synthèse d'un certain nombre d'essais. Le tableau I concerne la proportion de N M P et d'acétone dans un certain nombre de diluants qui ont donné des résultats favorables. Le tableau Il concerne le nombre de parties de diluant utilisé pour une quantité donnée de solution de base A, la viscosité en centipoises de la solution obtenue et l'épaisseur en micromètres des lits obtenus par le procédé à la tournette décrit ci-dessous. L'épaisseur donnée dans ce tableau est celle d'un seul lit après recuit obtenu comme indiqué plus loin dans ce mémoire. Mélanges diluants de la solution de base A Appellation | Nombre de parties N M P Acétone G2 1 C3 1 2 C9 1 9 TABLEAU I Couches obtenues avec solutions du corps de base A Diluant Nombre de parties Viscosité Epaisseur Appellation utilisé Diluant Solution en cp de base A S1 C2 1 1 18 1 S2 C3 1 1 15 1,5 s3 C9 1 1 9 4,5 54 C9 2 1 4 2,5 TABLEAU Il Les lits et les couches obtenus par le procédé décrit cidessous avec les solutions des tableaux I et Il sont d'excellente qualité; le recouvrement est complet, sans trous ni cratères, de qualité homogène, sans grains noirs ni cristaux. Une fois le lit déposé, le solvant peut être évaporé au cours d'un recuit sous gaz neutre. Ce recuit peut avantageusement être effectué en deux temps; le premier, d'une durée de 30 minutes à une température de 850C, pour évacuer les cétones, et le second, à une température de 1500C, pendant 30 minutes, pour éliminer le reste du solvant. Dans l'un et l'autre cas, on peut déposer un second lit qui subit le même traitement ou, si on le souhaite, un traitement différent, et qui adhère parfaitement au premier. D'autres essais de la Demanderesse, qui ont donné des résultats également favorables, ont utilisé au départ une solution d'un prépolymère de type P1 résultant de la polycondensation d'une solution de diamine diphényl éther et de dianhydride pyromélitique dans le N méthyl pyrolidone, ou mieux, dans un mélange de toluène ou d'un autre hydrocarbure et de N méthylpyrolidone. De telles solutions auxquelles on a ajouté un agent mouillant peuvent être obtenues dans le commerce sous le nom de Pyre ML. Ce corps est désigné ci-dessous dans ce mémoire par "corps de base B" et ladite solution par "solution de base But'. La Demanderesse a notamment eu de bons résultats avec les Pyre ML RC 5057 et RC 5044 qui contiennent environ de 16 à 17% en poida de polymère solide- dont la viscosité est de l'ordre de 50 à 70 poises. La Demanderesse a également observé qu'avec de telles solutions il était préférable d'utiliser comme diluants des mélanges de N M P et de xylène. Le tableau III donne la composition des diluants utilisés pour la réalisation des solutions dont le résultat est donné dans le tableau IV. On remarque que la viscosité de ces solutions, adéquates pour obtenir les épaisseurs désirées, est de l'ordre de 1000 à 2000 centipoises et très différente de celle qui était nécessaire avec les solutions du corps de base A, pour obtenir les épaisseurs désirées. Les solutions 510, S13, SIP, S15, ont donné des résultats excellents, supérieurs à ceux donnés par les autres solutions. Le recouvrement est complet, homogène, sans trous, cratères, ni grains. Une fois le lit déposé, le solvant peut également être évaporé au cours d'un recuit sous azote à une température inférieure à 1750C, par exemple de 60 minutes à 1000G ou mieux, de 30 minutes à 1500C. On peut alors déposer un second lit qui adhère parfaitement au premier. Mélanges diluants du corps de base Il Appellation Nombre de parties Solution N M P Xylène B2 1 1 B3 1 2 B4 | t 4 TABLEAU III Couches obtenues avec solution du corps de base Il Nombre de parties Appellation Type Diluant Solution Pyre ML utilisé Solution PyreML utilisé brut S5 RC 5044 B2 1 1 85 1,10 s6 1 2 270 1,35 S7 1 4 1070 1,50 s8 B3 1 1 120 1,25 S9 1 2 450 1,50 S10 i 4 1350 S13 1 4 1900 1,95 S14 RC 5057 B2 i 4 1,60 S15 B3 1 4 1,95 S16 B4 1 4 2,05 TABLEAU IV Dans le présent exemple, l'invention est mise en oeuvre en nettoyant préalablement des plaquettes circulaires d'un diamètre de 50 mm environ par un recuit à l'air sec ou sous azote sec d'une durée de 30 minutes à 2000C. Ce recuit assure le nettoyage de surface nécessaire à une bonne adhérence des corps selon l'invention sur la plaquette semiconductrice. Il permet une bonne adhérence à la fois sur le nitrure de silicium et sur le GaP affleurant dans l'ouverture 7. Il est å remarquer que la Demanderesse a étudié l'adhérence des deux corps cités en exemple dans ce mémoire. Elle a observé que celle-ci était excellente sur les métaux, notamment sur l'aluminium et sur l'or, qu'elle était bonne sur le silicium et que, sur le nitrure de silicium et sur la silice, l'adhérence du corps de base A était meilleure que celle du corps de base B. La Demanderesse a observé également qu'il était important d'éliminer toute trace d'eau. Le recuit préconisé ci-dessus peut avantageusement être porté à une heure si nécessaire. L'adhérence s'améliore progressivement lors des différents traitements thermiques. L'adhérence du corps de base B sur l'oxyde de silicium devient bonne après un recuit prolongé à 400 C. On crée ensuite séquentiellement deux lits dont l'empilement constitue ladite couche auxiliaire. Comme il a déjà été dit ci-dessus, le dépôt s'effectue sur une tournette, appareil bien connu dans l'industrie des semiconducteurs où il est généralement utilisé pour le dépôt des laques photosensibles. La plaquette qui doit recevoir le dépôt est fixée sur la tournette, par exemple par dépression. La Demanderesse a observé qu'il était préférable d'effectuer un dépôt de polymère sur la plaque en rotation lente (RL), de 500 à 1000 tours/minute, et de stabiliser ensuite le lit déposé par une rotation rapide (RR) de 2000 à 6000 tours/minute.On verse donc d'abord une quantité suffisante de solution (ou plutôt un excès de celle-ci) que l'on laisse s'étaler sur la plaque en rotation lente (RL) pendant un temps suffisamment long (30 s) de façon à ce que la plaque soit recouverte d'une couche uniforme de polymère, puis on accélère progressivement la rotation et on laisse celle-ci se poursuivre pendant 1 minute et 30 secondes. L'excès de solution est éliminé par la force centrifuge à l'extérieur de la plaquette. Ce temps total de pelliculage est relativement long mais utile pour obtenir un lit homogène et stable qui permet de stocker la plaque avant le premier recuit. Il est clair que c'est la conjonction de la valeur de la viscosité et de la vitesse de rotation de la tournette, notamment quand celle-ci est en rotation rapide qui, pour un produit donné, règle l'épaisseur du lit déposé. Ceci n'est pas vrai d'un produit à un autre du fait des différences de polymérisation. Par exemple, pour une vitesse RL de 1000 tours/minute, les épaisseurs en micromètres des lits déposés par les solutions S1 et S13 sont données, pour une vitesse RL de 1000 tours/minute et pour diverses valeurs de la vitesse RR, dans le tableau V ci-dessous. RR en tours minute 1800 2000 2800 | 4000 5000 6000 7000 SI 2,8 2,5 2,3 513 3,5 : 2,5 1,9 1,75 1,60 1,55 TABLEAU V On recuit alors sous azote la plaquette comme il a été dit ci-dessus de manière à éliminer le solvant du lit qui vient d'être ainsi créé. On crée alors de la même manière, éventuellement un second lit par centrifugation et recuit. Ces lits adhèrent parfaitement au précédent et au suivant. Si l'on désire que les deux lits 8a et 8b qui constituent la couche bénéficient de propriétés identiques (vitesse d'attaque, dureté, etc...), une fois déposés les lits constituant une couche de l'épaisseur désirée et une fois le dernier lit séché comme indiqué ci-dessus, on effectue la polymérisation de l'ensemble par un recuit à une température plus élevée que celles qui ont précédemment été utilisées pour le séchage desdits lits. La polymérisation débute vers 1800C pour le corps de base B (P M L), vers 1650C d'une façon moins nette pour le corps de base A (Nolimid). Pour le corps B on peut monter jusqu'à 400 C, pour le corps A la polymérisation n'est vraiment complète qu'à partir de 300 C La Demanderesse a observé qu'il était préférable d'effectuer cette polymérisation en deux étapes: une première étape de prépolymérisation et une seconde étape de polymérisation totale. La prépolymérisation peut s'effectuer à 2000C ou à 2500CI Pour le corps A, la Demanderesse a finalement préféré au couple 2000C pendant 120 minutes, le couple 2500C pendant 60 minutes. Pour le corps B la réaction de polymérisation étant relativement rapide un recuit d'une heure à 2500C ne se justifie éventuellement que par des raisons d'adhérence. Tous ces recuits s'effectuent par exemple sous balayage d'azote sec. Les balayages utilisés ont été notamment de l'ordre de 3 Minute pour le séchage, de 7 Minute pour la prépolymérisation, de 5 /minute pour la polymérisation. A oyes températures, la polymérisation totale n'est pas obtenue mais elle n'est pas nécessaire. Toutefois, lors du dépôt à température élevée, de 300 à 5000C par exemple, du métal de la configuration, ladite polymérisation peut être obtenue. Du fait que ces corps supportent des températures de 500 à 6000C, on peut effectuer des dépôts métalliques à ces températures ou à des températures inférieures, de 300 à 40000 par exemple, encore beaucoup plus élevées que celles que supportent les laques photosensibles. A des degrés de polymérisation différents, correspondent des propriétés différentes. Un lit ayant un haut degré de polymérisation est plus dur, l'attaque plasma selon le second mode de mise en oeuvre est plus rapide; un lit ayant un plus faible degré de polymérisation est moins dur, l'attaque chimique est plus rapide. Si lton désire que le lit sous-jacent 8a ait un plus haut degré de polymérisation que le lit supérieur 8b, ap#rès avoir évaporé le solvant du lit sous-jacent 8a on effectue un premier traitement de polymérisation avant de déposer le lit supérieur 8b. Selon le premier mode de mise en oeuvre de la présente invention décrit à l'occasion de cet exemple, ladite couche 8 est gravée par attaque d'une solution diluée de base forte, soude ou potasse, ou par de l'hydrate d'hydrazine. On utilise alors avantageusement comme masque un film de laque photosensible représenté en 9 sur la figure le. Le pelliculage de la laque photosensible peut avantageusement se faire sur polyimide sec sortant du traitement thermique cidessus ou d'un recuit de 30 minutes à 2000C sous N2 sec. Pour le délaquage il faut éviter les délaquages à base d'acide nitrique fumant ou de plasma d'oxygène car ils détruisent le polyimide. On utilise donc les solutions de délaquage douces bien connues de l'homme de l'art des semiconducteurs, à base de phénol et de perchloroéthylène, par exemple le Micro-Strip de chez Hunt Chemical, qui n'attaque pas le polyimide recuit à 2000C. Le traitement bien connu consiste en une immersion de 10 minutes dans le "Micro-Strip" à 90 + 50C. Avec l'hydrate d'hydrazine, on utilise, pour créer le film de laque photosensible 9 représenté sur la figure lc, une laque photosensible dite négative (c'est-à-dire une laque qui se polymérise sous l'influence des ultra-violets et dont on élimine la partie non exposée) plutôt qu'une laque positive (c'est-à-dire une laque qui se dépolymérise sous l'influence des ultra-violets et dont on élimine la partie exposée), celle-ci étant attaquée par l'hydrate d'hydrazine; les laques négatives résistent d'autant mieux à l'hydrate d'hydrazine qu'elles sont plus visqueuses: par exemple les laques Waycoat SC180 et SC450 bien connues pour la fabrication des semiconducteurs résistent convenablement, mais leur viscosité même empêche leur utilisation pour les géométries fines. L'hydrate d'hydrazine attaque, à la température ambiante, les corps de base A et B mentionnés ci-dessus à la vitesse de 0,25 um à la minute s'ils sont recuits à 2500C, ce qui correspond à un temps de 4 à 5 minutes pour une épaisseur de 1 um. Cette vitesse est plus faible pour les polymères qui ont été recuits à 400 C. L'utilisation d'hydrate d'hydrazine est particulièrement recommandée pour l'élaboration de diodes au Ga AQ As qui sont attaquées par les solutions diluées de soude, en particulier lorsque la proportion molaire d'aluminium est de 20% de l'ensemble d'aluminium et gallium. Par contre, en ce qui concerne l'élaboration des dispositifs au GaP, la Demanderesse préfère utiliser les solutions de soude, plus actives. Avec une solution de soude tamponnée contenant 3 grammes de soude plus 30 grammes de phosphate de sodium (Na3PO4, 12 H20) dissous dans 1 litre d'eau, la vitesse d'attaque est relativement rapide, environ de 4 pm/minute; les laques peuvent être positives ou négatives. Par exemple, avec la laque positive AZ 1350 H, bien connue dans l'art des semiconducteurs et commercialisée par Shipley, et avec la laque négative Waycoat IC de 60 CP, également bien connue dans l'art des semiconducteurs et vendue par Hunt Chemical, laques de faibles viscosités, il est possible de réaliser des photos de géométrie assez fine. Pour le délaquage, on peut employer l'acétone pour la laque AZ 1350 H et le Micro-Strip pour la laque Waycoat. Puisque la composition de la solution de gravure ci-dessus est voisine de celle du révélateur de la laque positive déjà citée AZ 1350 H, il est commode d'utiliser une laque positive et d'effectuer en une seule opération la révélation de la laque et la gravure, ce qui réduit le nombre des opérations. On peut également tamponner la solution de soude avec du carbonate de soude: l'attaque est plus lente, donc plus reproductible. La Demanderesse a notamment utilisé deux lits déposés avec la solution Si, d'une épaisseur de 1,5 vm. Une fois le lit sous-jacent déposé, le solvant a été évaporé par un recuit de 30 minutes à une température de 85 C, suivi d'un recuit de 30 minutes à 1500C et d'une prépolymérisation à 2500C pendant 60 minutes. Le dépôt du lit supérieur a été suivi des deux recuits de 30 minutes respectivement à 850C et à 1500C. La plaquette,avant l'attaque par la solution de soude, est représentée sur la figure Id. Le film 9 est séparé au plan de la figure en trois nappes référencées 9c, 9d, 9e. Le dispositif après gravure est représenté sur la figure te; la couche auxiliaire 8 selon l'invention a, comme le film 9, été partagée au plan de la figure en trois nappes indicées c, d et e, séparées par l'évidement 10. La nappe 8d sert à protéger la partie centrale de la diode électroluminescente#par où émerge la lumière; elle laisse libre un anneau 4a1 de la plage 4a d'affleurement de la région 3 sur la face active 4. Les nappes 8e et 8e laissent libres les plages 6ai et 6bl des surfaces des nappes 6a et 6b du manteau de protection 6 adjacentes à l'ouverture 7. On élimine les nappes 9c, 9d et 9e de la laque photosensible comme il a été dit ci-dessus. On porte alors la plaquette 1 à une température d'environ 2500C sous un vide secondaire et on effectue par évaporation le dépôt du métal de la configuration métallique. On utilise avantageusement pour cela un alliage à base d'or comportant par exemple du béryllium ou du zinc. La Demanderesse a utilisé avec succès un alliage d'or et de béryllium à 1% de béryllium. L'épaisseur déposée est de l'ordre de 0,3 à 0,6 um. Sur une région de type N on peut utiliser un alliage à base d'or comportant du-germanium ou du silicium. L'expérience a montré que, à cette température l'activité thermodynamique de surface était suffisante pour que se crée une liaison intime entre ladite surface et ledit métal. La plaque à ce stade est représentée figure if. La pellicule d'or est figurée en 11; elle comporte au plan de la figure les nappes liai, lIa2, Ilas déposées sur les nappes 8c, 8d, 8e de la couche auxiliaire 8, et la nappe llb, dont la partie Ilbi repose sur la plage 6a1 de la surface de la nappe 6a, dont la partie llb2 repose sur la plage 6bl de la surface de la nappe 6b, tandis que la partie annulaire Ilbs repose sur l'anneau 4ai. En raison de l'épaisseur de la couche 8, de l'ordre du triple de celle de la pellicule 11, il y a rupture de la pellicule d'or le long des lignes 12a, i2b, 12c, et la couche auxiliaire 8 apparaît latéralement à nu. On attaque alors latéralement ladite couche auxiliaire 8 avec une solution de soude, comme il est dit ci-dessus. Le début de la morsure au niveau du lit supérieur 8b de cette couche est représenté en 13a, 13b et 13c sur la figure îg. L'attaque, en éliminant la couche 8, emporte les nappes d'or liai, lia2, lia3. On peut aider l'élimination par des procédés classiques de grattage ou d'arrachement par une feuille de matière plastique recouverte dtun adhésif et collée sur la face active du dispositif. La diode électroluminescente ainsi formée est représentée sur la figure lh. La configuration 15 est composée des nappes llb3, qui fait contact avec la région 3, et des nappes llbl et lob2. La configuration 15 obtenue par le procédé selon l'invention est, du fait qu'elle a été déposée à chaud, particulièrement adhérente au GaP et au nitrure de silicium; le contact est d'excellente qualité, parfaitement ohmique. Le procédé selon l'invention permet d'obtenir ce résultat et, de plus, de l'obtenir par un procédé peu complexe. On achève le dispositif en ramenant la plaquette à une épaisseur de 150 um environ et en déposant sur la face 17 opposée à la face 4, selon des techniques très connues, une couche d'or dopée au silicium 18 de 0,3 um d'épaisseur qui constitue, travers la région 16 de type N+, le contact à la région 2. On recuit alors la plaquette sous azote pendant 15 minutes à 5000C. L'effet de ce recuit est de diminuer la valeur de la résistance des contacts. Il importe de remarquer à ce sujet qu'un tel recuit ne rend pas la résistance de contact ohmique si elle ne l'est pas. Pour obtenir l'ohmicité de la résistance il importe d'effectuer le dépôt à chaud, ce qui est rendu possible par la présente invention. On effectue alors la découpe des plaquettes le long des côtés 19. Le fonctionnement en durée des dispositifs est bon, les contacts restent ohmiques et stables. Aucun décollement ne se produit. La figure 2a représente une plaquette 20 en silicium monocristallin dans laquelle notamment a été créé, par la méthode dite plane, å partir d'une face active 21, un transistor de type NPN constitué du collecteur 22, de la base 23 et de l'émetteur 24. Ladite face active 21 est recouverte d'un manteau diéleetri- que de protection 25. Ce manteau, d'une épaisseur de 0,1 pm, est constitué principalement d'un lit de 0,07 um d'épaisseur en nitrure de silicium qui constitue le premier matériau diélectrique. En fait, pour des raisons d'état de surface, ce lit repose sur un lit d'oxyde de silicium, non représenté sur les figures, d'une épaisseur de 0,03 pm. Le matériau désigné ici comme étant le premier matériau diélectrique est le nitrure de silicium. Ce manteau 25 comporte, en vue de l'établissement des contacts d'émetteur et de base, deux ouvertures 26 et 27 à l'intérieur desquelles apparaissent les plages 21a et 21b de la face active de la plaquette et situées respectivement sur l'émetteur et sur la base et qui séparent, au plan de la figure, ledit manteau 25 en trois nappes 25a, 25b et 25c. Sur ce manteau de protection 25 on effectue le dépôt d'une couche intermédiaire 28 d'oxyde de silicium d'une épaisseur de 0,8 pm, sensiblement égale à l'épaisseur de la pellicule métallique de la configuration à créer. D'une manière parfaitement connue on dépose ladite couche intermédiaire d'oxyde de silicium à basse température (3700 C) par décomposition et oxydation du silane SiH4 par l'oxygène dans un balayage d'azote. En raison de l'importance de la planéité dans cet exemple, il doit être clair qu'une épaisseur du manteau 25 est de 10 à 15% celle de la couche intermédiaire 28 et que la dénivellation créée par l'ouverture est donc très faible. On dépose ensuite sur toute la surface active de la plaquette, avec la solution Si2, une couche 29 du corps de base B d'une épaisseur de 1,7 um. On évapore le solvant au cours d'un recuit sous azote de 50 minutes à 1500 C, puis on effectue une polymérisation par un recuit de 60 minutes à 2500C, ou mieux 40000. La plus haute température fournit une couche auxiliaire plus dure permettant une attaque plasma plus rapide et évitant le fluage en cas de recuit ultérieur. Compte-tenu du résultat souhaité dans le dispositif décrit dans cet exemple, c'est-à-dire l'obtention, pour une certaine surface, d'une parfaite planéité sans qu'existe de faille, et permettant d'élaborer sur cette surface une seconde configuration, on dépose une couche à un seul lit. Dans le cas légèrement différent où l'on souhaiterait que, sur le bord des évidements, le lit supérieur de la couche selon l'invention déborde le lit inférieur, constituant un surplomb permettant une meilleure brisure du métal de la configuration, on pourrait déposer un premier lit que l'on polymériserait pendant 1 heure à 40000 et sur lequel on déposerait un second lit que l'on polymériserait pendant 1 heure à 25000. Dans le but d'utiliser le second mode de mise en oeuvre, on dépose par évaporation sous vide, sur la couche auxiliaire 29, un film métallique 30 d'une épaisseur de l'ordre de 0,7 ou 0,8 um. Si, comme c'est le cas dans cet exemple, l'on n'est pas gêné par la présence d'un réseau d'aluminium destiné à d'autres usages, on peut utiliser un film d'aluminium qui adhère bien au polyimide. On dépose ensuite une couche 31 de laque photosensible de type quelconque, positive ou négative. La plaquette à ce stade est représentée sur la figure 2b. Par des procédés de photographie et de dissolution connus dans l'art des semiconducteurs et mentionnés ci-dessus dans ce mémoire, on crée dans la couche 31 une préforme ayant un contour inverse de la configuration à obtenir et comportant, au plan de la figure 2c, les nappes 31a, 31b, 31c. Puis, par attaque des plages devenues apparentes du film d'aluminium 30 on élabore dans celui-ci un masque dont les nappes 30a, 30b et 30c, visibles au plan de la figure 2c, sont séparées les unes des autres par les fenêtres 32a et 33a. Cette attaque de l'aluminium peut avantageusement être conduite avec de l'acide phosphorique chauffé à 400C qui n'attaque pas le polyimide recuit à 25000. Il est clair que la fonction du film de laque photosensible 9 utilisé dans l'exemple concernant le premier mode de mise en oeuvre dans lequel des nappes de ce film constituent le masque luimême est différente de la fonction de la couche de laque photosensible 31 du présent exemple concernant le second mode de mise en oeuvre dans lequel cette couche 31 est utilisée comme préforme en vue de la création, par gravure dans le film métallique 30, du masque à travers lequel s'effectue la gravure de la couche auxiliaire 29. Il est compréhensible que d'autres métaux présentant les qualités adéquates d'adhérence au polyimide, d'inertie vis-à-vis du plasma oxygène, d'inertie d'une de leurs solutions de gravure vis-à-vis du polyimide et vis-à-vis, éventuellement, d'un autre métal, notamment de l'aluminium, peuvent être utilisés. Il est clair également, que ce film métallique 30 peut être composé de plusieurs lits de métaux#différents, par exemple d'un premier lit sous-jacent en chrome qui adhère bien au polyimide, d'un second lit en nickel qui sert de lit intermédiaire et enfin d'un lit supérieur en or qui résiste bien au plasma d'oxygène ce qui n'est le cas ni du chrome, ni du nickel. Ces différents lits sont avantageusement déposés par évaporation sous vide, le chrome étant chauffé par effet Joule et le nickel et l'or par bombardement électronique. Dans des expériences conduites par la Demanderesse, l'épaisseur du lit de chrome était de 0,1 um, celle du nickel de 0,3 um et celle de l'or de 0,1 um. On peut effectuer l'attaque de l'or avec une solution à base d'iode et d'acide borique, celle du nickel avec une solution à base d'acide nitrique et d'eau oxygénée et celle du chrome avec une solution à base d'acide sulfurique et sulfate cérique. La première et la troisième de ces solutions présentent vis-à-vis du polyimide une bonne inertie (ce qui est particulièrement important en ce qui concerne la troisième qui repose sur le polyimide); l'inertie vis-à-vis du polyimide de la solution d'attaque du nickel est passable. Il est à remarquer également que ces trois solutions (surtout la première et la troisième) possèdent vis-à-vis de l'aluminium une bonne inertie, ce qui est important et permet d'utiliser, en présence d'aluminium, cet ensemble de trois lits. Une fois le masque métallique 30a, 30b, 30c créé, on soumet la plaquette à un plasma d'oxygène. Pour mettre ce procédé en oeuvre, la Demanderesse a utilisé un appareil produit par la firme "International Plasma Corporation" dans lequel elle a établi une pression d'oxygène d'environ 7,5t10 3 Newton / m2#. La vitesse d'attaque dépend des recuits qu'a subis le polyimide et de la puissance développée dans l'appareil; elle est beaucoup plus grande pour le corps de base A que pour le corps de base B. A 300 W on élimine une épaisseur d'environ 4,5 Vm en 5 minutes du corps de base A, et une épaisseur d'environ 2 um du corps de base B en 20 minutes, ces deux corps ayant été recuits à 40000 sous N2 pendant 30 minutes. A 500 W on élimine une épaisseur de 2 pm du corps de base B en 12 ou 13 minutes. Le plasma d'oxygène élimine les nappes restant de la couche de laque photosensible. Il n'attaque ni le nitrure de silicium, ni le phosphure de gallium, ni le silicium, ni l'arséniure de gallium, ni l'araéniure de gallium et d'aluminium et recouvre simplement les chemins d'aluminium d'une mince couche d'alumine qui s'élimine très facilement. La plaquette après la gravure est représentée sur la figure 2d. Sous les fenêtres 32a et 33a ont été créés les évidements 32 et 33 qui séparent au plan de la figure les nappes 29a, 29b, 29c de la couche auxiliaire 29 dont il est commode, pour la suite de ce mémoire , de référencer les flancs de coupures 29x. Si l'on avait constitué la couche auxiliaire 29 de deux lits et que l'on ait recuit le lit sous-jacent à une température plus élevée que le lit supérieur, le lit sous-jacent serait plus dur que le lit supérieur et, de ce fait, attaqué plus rapidement que lui. On obtiendrait alors une légère sous-gravure-du lit sousjacent par rapport au lit supérieur, qui permettrait une meilleure rupture de la pellicule métallique de la configuration. En effet, plus un corps est dur mécaniquement, plus son attaque au plasma est rapide. Par l'utilisation, au contraire, d'une couche auxiliaire homogène, la sous-gravure est très faible et on obtient des flancs 29x rectilignes et dépourvus d'encoches perpendiculaires au plan de la plaquette, dits en langage de métier "verticaux't. L'intérêt de ce mode de mise en oeuvre qui réside d'abord dans la possibilité qu'il offre de permettre la gravure du polyimide complètement polymérisé après recuit à 40000, évitant tout fluage, réside surtout, précisément, dans la possibilité d'obtenir par le moyen de la gravure par plasma des flancs verticaux et réguliers. Dans les procédés par voie humide, la largeur de la sousgravure est approximativement égale à l'épaisseur de la couche gravée; comme chaque nappe a deux flancs, une épaisseur de 0,7 um entraîne, pour une dent dont la largeur est, par exemple de 5 pm, une perte d'aire d'au moins 25% en surface de ladite dent. Ce mode de mise en oeuvre permet donc de réaliser des ouvertures beaucoup plus petites, donc de densifier les circuits. Avec une solution très diluée d'acide phosphorique on élimine alors d'une manière connue les nappes 30a, 30b et 30c d'aluminium. La plaquette à ce stade est représentée# sur la figure 2e. Sous les évidements 32 et 33, on creuse alors dans la couche intermédiaire d'oxyde de silicium 28 des alvéoles par attaque de l'oxyde de silicium au moyen d'une solution contenant 10% d'acide fluorhydrique ou d'une solution d'acide fluorhydrique tamponnée au fluorure d'ammonium. On sépare ainsi, au plan de la figure, dans la couche 28, les nappes 28a, 28b et 28c dont les flancs référencés 28x apparaissent. Les solutions utilisées ne dissolvent le nitrure de silicium et le silicium lui-mênie qu'assez peu pour que l'on puisse interrompre l'attaque en temps utile. La plaquette à ce stade est représentée sur la figure 2f. La qualité de la forme des alvéoles est excellente, notamment en raison de la qualité de la forme des évidements. Cette attaque met à nu, outre les plages 21a et 21b de la surface 21 de la plaquette, des nappes du manteau 25 adjacentes à ladite plage 21a et dont les parties apparaissant au plan de la figure sont référencées 25ai et 25b2, et des nappes du manteau 25 adjaeentes à la plage 21b et dont les parties apparaissant au plan de la figure sont référencées 25bol et 25cri, On porte la plaquette à une température de 30000 à 40000 et, par évaporation sous vide, on dépose sur toute la surface de la face active une pellicule 34 d'aluminium, ou d'aluminium-silicium, ou encore d'aluminium-silicium-cuivre, d'une épaisseur de 0,7 Vm. Cette pellicule se partage au plan de la figure en 5 nappes, entre lesquelles, du fait de l'épaisseur de la couche auxiliaire 29, il y a rupture. Pour favoriser cette rupture, on peut garder la plaquette immobile pendant toute l'opération de dépôt d'aluminium. Les trois nappes 34a, 34b et 34c reposent respectivement sur les trois nappes restant 29a, 29b et 29c de la couche auxiliaire 29. Par contre, la nappe 34d repose, d'une part, sur la plage 21a où elle va constituer le contact avec l'émetteur et, d'autre part, sur les nappes 25ai et 25b2 du manteau 25, où elle va constituer une partie d'une première configuration sous-jacente de conducteurs. La nappe 34e repose, d'une part, sur la plage 21b où elle va constituer le contact avec la base et, d'autre part, sur les nappes 25bol et 25ci du manteau 25, où elle va constituer une partie de ladite première configuration sous-jacente de conducteurs. La plaquette à ce stade est représentée sur la figure 2g. Il est à remarquer que le choix des corps selon la présente invention, pour réaliser la couche auxiliaire 29, permet le dépôt de l'aluminium de la configuration à une température élevée ce que ne permettaient pas les autres procédés, notamment les procédés comportant l'utilisation comme couche auxiliaire d'une couche de laque photosensible instable à 15000 ou à 20000. C'est précisément cette température élevée lors du dépôt qui donne à la pellicule obtenue un certain nombre de ses qualités. Du fait qu'il est déposé à chaud l'aluminium se répartit mieux car il flue légèrement, il suit mieux les contours, notamment ceux de l'oxyde de silicium, ce qui assure la planéité dont on parle ci-dessus dans ce mémoire. De plus, le grain de l'aluminium déposé est fin. L'adhérence de l'aluminium sur le silicium est excellente, le contact est d'une bonne ohmicité et sa résistance est faible. La finesse du grain assure également une bonne conductivité aux conducteurs de la configuration. On plonge alors la plaquette dans un bain d'hydrate d'hydrazine qui attaque, par les flancs 29x, les différentes nappes de la couche auxiliaire 29. On peut faciliter l'élimination des nappes de ladite couche 29 et des nappes 34a, 34b, 34c de la pellicule 34 par grattage ou par retrait d'un film adhérent mais ce n'est pas indispensable. On peut remplacer le bain d'hydrate d'hydrazine par un bain d'acide nitrique fumant à 100%. La plaquette à ce stade est représentée sur la figure 2h. Les nappes 28a, 28b, 28c, d'une part,et les nappes 34d > 34e d'autre part ayant sensiblement la même épaisseur, la nouvelle surface de la face active de la plaquette est sensiblement plane. Le procédé utilisé évite le long des flancs 28x la présence de failles entre l'aluminium et l'oxyde ou limite leur largeur. Il ne reste que de légères inflexions. Bien qu'il soit difficile de donner des chiffres, on peut considérer qu'une faille de 0,11 ou même 0,3 vm ne présente pas d'inconvénients pour la création de la configuration supérieure, surtout si de telles failles sont peu profondes. Par contre, même en présence d'un manteau intercalaire tel que ceux qui seront décrits ci-dessous en regard des figures 2i à 2Q qui suivent et, ensuite, en regard des figures 3, une configuration supérieure, par exemple en aluminium, se rompt généralement pour une faille de 1 um, et toujours pour une faille de 2 pm. Le procédé selon l'invention exclut de tels accidents. Sur la figure 2i a été représentée la première étape de l'éla- boration de la deuxième configuration de conducteurs dans le cas où celle-ci constitue la configuration supérieure (circuit bicouche). Sur la surface plane créée selon l'invention et correspondant à la figure 2h on dépose par décomposition et oxydation du silane à faible température un manteau isolant 35 d'oxyde de silicium d'une épaisseur d'environ 0,7 pm. On pourrait également utiliser du nitrure de silicium. Du fait que les nappes 28a, 34d, 28b, 34e, 28c, constituent une surface pratiquement plane avec de simples inflexions et des failles très étroites aux jonctions entre nappes, le manteau 35 ne présente également que de légères inflexions.Puisque, dans exemple représenté sur les figures 2i à 2Q, le dispositif ne comporte que deux configurations stratifiées de conducteurs il est inutile que la seconde configuration détermine également une surface plane. On dépose donc directement sur ce manteau 35 une couche de laque photosensible 36. Par photogravure, on crée dans la couche 36 une fenêtre 37a, et > à travers cette fenêtre, par attaque à l'acide fluorhydrique tamponné, l'ouverture 37 dans le manteau d'oxyde de silicium 35. Cette ouverture sépare, au plan de la figure, le manteau 35 en deux nappes 35a et 35b et laisse apparaître la plage 38 de la surface de la nappe 34d de la première configuration. La plaquette à ce stade est représentée sur la figure 2j. Après avoir éliminé les nappes 36a et 36b restant de la couche 36 de laque photosensible, on dépose,sur toute la face active de la plaquette,par évaporation sous vide à froid, une pellicule 39,d'une épaisseur, par exemple, de 1 à 1,5um, en aluminium,ou en aluminiumsilicium, ou encore en aluminium-silicium-cuivre. Cette pellicule se dépose sans rupture sur les nappes 35a et 35b du manteau 35 ce manteau ayant une faible épaisseur,et à l'interieur de l'ouverture 37 sur la plage 38 où elle vient constituer en 40 un contact sur la nappe 34d de la première configuration sous-jacente de conducteurs. Sur la pellicule d'aluminium 39, on dépose ensuite une couche 41 de laque photosensible. La plaquette à ce stade est représentée sur la figure 2k. Par des procédés de photogravure très connus, mélange d'acide phosphorique H3 F04 et d'acide nitrique H NO3 à 400C, on grave la pellicule 39 en séparant par les évidements 42 les différentes nappes de la deuxième configuration, notamment les nappes 39a et 39b. La plaquette obtenue finalement est représentée sur la figure 2Q. Le dispositif ainsi réalisé comporte deux configurations de conducteurs à des niveaux différents: la configuration sous-jacente comporte les nappes 34d et 34e et la configuration supérieure comporte les nappes 39a et 39b. La nappe 39a est en liaison électrique avec la nappe 34d. Les nappes 34e et 39b sont reliées à d'autres éléments du circuit intégré non représentés sur la figure. La configuration supérieure de conducteurs est peu accidentée relativement à on épaisseur (dans un dispositif à plusieurs configurations de conducteurs dit multicouche, on donne généralement aux conducteurs de la configuration supérieure une épaisseur plus importante que celle allouée aux conducteurs de la/des configuration/s sous-jacente/s). La dénivellation de ltordre de 0,7 um repérée 391 sur la nappe 39a de la figure 2R correspond à l'ouvre ture de contact 37 creusée dans le manteau 35 > manteau dont l'épaisseur est précisément de 0,7 um. Il y a lieu de bien observer que, par le procédé selon l'invention, il est permis d'accorder aux conducteurs de la configuration sous-jacente du dispositif bicouche une section supérieure à celle qu'auraient ces conducteurs dans un dispositif analogue élaboré selon la technique conventionnelle. D'une part, en effet, selon la technique de la présente invention, le dispositif, après la création de la première configuration de conducteurs, se présente ainsi qu'il a été décrit précédemment en regard de la figure 2h: les espaces situés entre les nappes métalliques 34d et 34e sont occupés par les nappes 28a, 28b et 28c de matériau isolant, de sorte que la surface de l'ensemble est pratiquement plane, comme il a été déjà souligné précédemment. Le manteau 35 repose sur cette surface plane et il est donc lui-même plan. Aussi, les conducteurs de la configuration supérieure, tels que les conducteurs 34d et 34e, cheminent sur un plan et ne présentent de dénivellations que dans les seules ouvertures où ils entrent en contact avec des conducteurs de la configuration sous jacente. Par contre, lorsque l'on élabore un circuit bicouche par la technique conventionnelle et que l'on a créé la première configuration de conducteurs, les espaces compris entre ces conducteurs sont vides (il n'est pas formé de nappes équivalentes aux nappes 28a, 28b, 28c). Aussi, le revêtement isolant équivalent au manteau 35, que l'on doit déposer ensuite, présente-t-il un grand nombre de dénivellations ou marches de hauteur importante, égale à celle des conducteurs de la première configuration. La pellicule conductrice équivalente à la pellicule 39, dans laquelle sont formés les conducteurs de la configuration supérieure doit# également épouser le profil de ces nombreuses dénivellations ou marches, d'où il résulte un risque important de coupure desdits conducteurs. Pour remédier à ce risque de coupures, on fait en sorte que les variations de niveaux aux endroits des marches soient progressives et, pour cela, on modèle les conducteurs de la première configuration de façon à ce que leurs bords, au lieu d'être abrupts, soient chanfreinés. Ainsi, toutes les marches de la couche isolante qui les recouvre et les marches de la pellicule conductrice qui recouvre ladite couche isolante ont-elles un profil à faible pente. Mal heureusement, la formation de chanfreins sur les bords des conducteurs de la première configuration entraîne une diminution de la section de ces conducteurs - de l'ordre de 30 à 35% pour un conducteur d'une largeur de 7 à 8 um et d'une épaisseur de 0,7 um - et une diminution corrélative de la densité de courant admissible dans lesdits conducteurs.En outre, il faut que ces conducteurs aient une largeur minimum au niveau de leur face supérieure; aussi, la nécessité de la présence de chanfreins constitue-t-elle une entrave sérieuse à une réduction de la largeur des conducteurs, envisageable dans le but d'une densification des circuits. Par l'application du procédé selon l'invention à la réalisation d'un circuit bicouche, on évite les inconvénients cités cidessus de la technique antérieure, en réduidant lesdites variations de niveaux aux seules dénivellations liées aux ouvertures de contact entre des conducteurs appartenant à des configurations différentes. On peut alors laisser aux conducteurs de la première configuration leur pleine largeur sur toute leur épaisseur, ce qui représente un avantage très sensible tant en ce qui concerne la possibilité de meilleures performances dudit circuit sur le plan de la conduction électrique que de la tenue mécanique desdits conducteurs et des possibilités de miniaturisation des circuits. On a représenté sur la figure 3a la première étape de lt.éla# boration de la deuxième configuration de conducteurs dans le cas où celle-ci constitue une configuration intermédiaire entre une première configuration sous-jacente et une configuration supérieure ou troisième configuration (circuit tricouche). Sur la surface plane dont la création selon l'invention a été décrite en regard de la figure 2, on dépose un manteau isolant 45 constitué d'un lit sous-jacent 45x de 0,3 à 0,5 pm d'épaisseur d'oxyde de silicium obtenu par décomposition et oxydation du silane à basse température (37000), et d'un lit supérieur 45y de 0,1 à 0,15 um d'épaisseur de nitrure de silicium obtenu à basse température sous pression réduite à partir de silane et d'ammoniac.Les deux lits 45x et 45y du manteau isolant 45 représentés séparément sur la figure 3a, ne sont plus séparés sur les figures suivantes pour des raisons de simplification. Sur le manteau 45 on dépose une couche de laque photosensible 46 afin de former un masque et, par photogravure à travers ce masque, en attaquant le nitrure de silicium, par exemple avec un plasma d'un gaz couramment désigné sous l'appellation de Fréon 14 et répondant à la formule chimique CF4 (gaz éventuellement additionné de 8% d'oxygène) puis en attaquant ensuite l'oxyde de silicium à l'acide fluorhydrique tamponné au fluorure d'ammonium, on crée l'ouverture 47 laissant apparaître la plage 48 de la surface de la nappe 34d de la première configuration. Cette ouverture sépare, au plan de la figure, le manteau 45 en deux nappes 45a et 45b. On élimine alors les nappes restant de la couche de laque 46. La plaquette à ce stade est représentée sur la figure 3b. Sur la surface de la plaquette on dépose alors une couche intermédiaire d'oxyde de silicium 49 et une couche auxiliaire 50 du corps de base B, exactement comme on avait déposé précédemment les couches 28 et 29, et on les traite de la même manière. Sur ladite couche auxiliaire 50, on dépose, pour créer le masque de l'attaque plasma, un film d'aluminium 51 et on recouvre celui-ci d'une couche de laque photosensible 52. La plaquette à ce stade est représentée sur la figure 3c. Par le même procédé que celui qui a été décrit en regard des figures 2c et 2d, on crée par photogravure un masque dans le film 51 d'aluminium à partir duquel on ouvre, par attaque plasma, les évidements 53 et 54 dans la couche auxiliaire 50. Cette attaque sépare dans ladite couche 50, au plan de la figure, les nappes 50a, 50b, 50c. Elle élimine également les nappes restant de la couche 52 de laque photosensible. La plaquette à ce stade est représentée sur la figure 3d. Comme on avait éliminé les nappes restant du film 30, on élimine les nappes restant du film 51. On creuse alors dans la couche d'oxyde intermédiaire 49 les alvéoles 55 et 56 qui séparent au plan de la figure, dans ladite couche, les nappes 49a, 49b, 49c, laissant apparaître la plage 48 à la surface de la nappe 34d et les plages 45ai, 45bol, 45b2 de la surface du manteau 45. La plaquette à ce stade est représentée sur la figure 3e. Il est clair que si, pour une raison quelconque, on soupai tait creuser les alvéoles 55 et 56 avant d'éliminer le film 51, il faudrait réaliser celui-ci en chrome, nickel et or, selon ce qui a été dit ci-dessus dans ce mémoire. On ~ On dépose alors sur l'ensemble de la face active de la plaquette, par évaporation sous vide à chaud, une pellicule 57 d'aluminium ayant sensiblement la même épaisseur que la couche 49 d'oxyde de silicium. Du fait des dénivellations créées délibérément par la couche auxiliaire 50 la pellicule 57 se rompt en nappes sépa rées. Les nappes 57a > 57b > 57c -sont sur les nappes 50a, 50b, 50c de la couche selon l'invention. La nappe 57e se dépose sur la plage 45b2 du manteau 45 dans l'alvéole 56 où elle va constituer une partie de la configuration de conducteurs intermédiaire .La nappe 57d se dépose dans l'alvéole 55 où, sur la plage 48 de la nappe 34d, elle va constituer un via et, sur les plages 45ai et 45bl du manteau 45, elle va constituer une partie de la configuration intermédiaire de conducteurs. La plaquette à ce stade est représentée sur la figure 3f. On attaque alors par leurs flancs, comme il a été dit cidessus, les nappes 50a, 50b et 50c restant de la couche auxiliaire 50 et on élimine simultanément ces nappes et les nappes 57a, 57b et 57c de la pellicule 57. La plaquette à ce stade est représentée sur la figure 3g. La surface obtenue est continue et sensiblement plane; cette surface présente un nombre restreint de dénivellations, telle que la dénivellation repérée 571 sur la figure 3g d'une profondeur comprise entre 0,4 et 0,6 um (sensiblement égale à l'épaisseur du manteau 45), aux seuls endroits des contacts entre les conducteurs des deux configurations. Sur cette surface on peut dès lors créer une troisième configuration de conducteurs par le procédé décrit en regard des figures 2i à 2Q. On obtient ainsi un dispositif tricouche, à trois niveaux de configurations,très fiable - REVENDICATIONS 1.- Procédé d'obtention d'un dispositif semiconducteur réalisé sur une plaquette comportant au moins une face active recouverte d'un manteau de protection en au moins un premier matériau diélectrique, ledit manteau comportant une ouverture dans laquelle affleure au moins un matériau semiconducteur, ladite face active étant munie d'au moins une configuration de conducteurs raccordée à au moins une région semiconductrice affleurant dans ladite ou verture, procédé selon lequel on élabore sur ladite face active au moins une couche auxiliaire comportant au moins un évidement ayant la forme de ladite configuration recouvrant ladite ouverture ainsi que des nappes dudit manteau, puis on dépose sur l'ensemble de ladite face active une pellicule conductrice dont certaines nappes recouvrent ladite couche auxiliaire et d'autres ltévidement, puis on élimine, par la suite, par attaque sélective, ladite couche auxiliaire dont le départ entraîne celui des nappes de ladite pellicule conductrice situées sur ladite couche auxiliaire en laissant subsister les nappes situées dans ledit évidement et consti tuant ladite configuration, caractérisé en ce que ladite couche auxiliaire comporte au moins un lit constitué principalement en un corps choisi parmi les polyimides, les polyamides-imides, les polyimides modifiés par un amide, les acides polyamides, les polyaminoimides, en ce que ladite couche subit au moins un traitement thermique, en ce que l'on effectue sur ladite couche auxiliaire le dépôt d'un film dans lequel on crée un masque à travers lequel, par gravure, on élabore ledit évidement, en ce que ledit masque est éliminé et en ce que, ensuite, on effectue à chaud le dépôt de ladite pellicule conductrice. 2.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit corps est un acide polyamide comportant la répétition de l'élément structural dans lequel - ,, représente une isomérie, est un radical orga- nique tétravalent contenant au moins deux atomes de carbone, un maximum de deux groupes carbonyles dans chaque élément structural étant rattaché à un atome de carbone quelconque dudit radical tétravalent, et D1 est un radical divalent contenant au moins deux atomes de carbone, les groupes amides de liaison entre des éléments structuraux adjacents étant fixés à des atomes de carbone séparés dudit radical tétravalent et dans lequel ni est un nombre entier suffisamment élevé pour que ledit acide polyamide ait une viscosité au moins égale s 0,1 et, de préférence, comprise entre 0,3 et 30 dans un solvant convenable. 3.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit corps est un polyimide ayant une formule comportant la répétition de l'élément structural dans lequel - > représente une isomérie, Q2 est un radical organique tétravalent contenant au moins deux atomes de carbone, un maximum de deux groupes carbonyles dans chaque élément structural étant rattaché à un atome de carbone quelconque dudit radical tétravalent et D2 est un radical divalent contenant au moins deux atomes de carbone. 4.- Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que le radical Q2 contient au moins un cycle non saturé de six atomes de carbone de type benzénique, les quatre radicaux carbonyles étant unis directement à des atomes de carbone distincts d'un cycle benzénique hexagonal du radical Q2 et les deux autres radicaux carbonyles de chaque paire étant unis à des atomes de carbone adjacents d'un cycle du radical Q2. 5.- Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que Q2 est un cycle benzénique et D2 un oxydiphényle de formule 6.- Procédé selon l'une des revendications 3, 4 et 5, caractérisé en ce que, à partir d'un prépolymère constitué à partir d'une solution d'un desdits acides polyamides dans un solvant polaire on crée au moins partiellement ladite couche et en ce que ultérieurement, par chauffage, on chasse le solvant polaire et on élimine des molécules d'eau dudit acide polyamide pour obtenir le polyimide. 7. - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ce corps est un polyimide modifié par un amide comprenant notamment la répétition de l'élément structural: où n3 est un nombre entier d'au moins 5, D3 est un radical divalent amide comprenant toujours au moins le radical Q3 représente un radical tétravalent comportant au moins un noyau benzénique. 8.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ce corps est un polyimide modifié parui amide comprenant notamment la répétition de l'élément structural où n3 est un nombre entier d'au moins 5, Q3 est un cyclohexane, D3 est le radical 9. - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que cette couche comporte les polyamides imides de formule générale dans laquelle:D4 désigne la liaison de valence simple ou un radical organique divalent comportant de 1 à 24 atomes de carbone, Q4 désigne un radical tétravalent de formule générale dont les deux atomes de carbone sont reliés d'une part, chacun à l'un des deux radicaux carbonyles de la fonction imide par l'intermédiaire des radicaux R4 et R'4 > l'un desdits atomes étant de carbone, d'autre part, relié à l'atome d'hydrogène et l'autre desdits atomes de carbone étant relié à la fonction amide, lesdits radicaux R4 et R'4 représentant H, CH3, ou CQ et étant reliés l'un à l'atome d'hydrogène et l'autre à la fonction amide, D'4 désigne un radical organique divalent possédant au moins deux atomes de carbone, n4 peut représenter un nombre de O à 12, E et E' identiques ou différents représentent un radical de formule ou encore et qui contiennent de 0,5 à 50 radicaux Dh. par radical 10.- Procédé selon la revendication i, caractérisé en ce que cette couche comporte des polyamines à groupements imides et notamment de polyamines à groupements imides répondant essentiellement à la formule générale dans laquelle les groupements Q5 sont reliés aux groupements NH, a et b sont des nombres allant de 2 à 6 environ, c et d représentent chacun un nombre égal à i, la somme c + d ne dépassant pas 6 environ, n5 est un nombre de 1 à 12 environ, n' 5 est nul ou est un nombre inférieur à il environ, ns est un nombre compris entre 2 et 50, les nombres a, b, c, d, n's, n'5, n115 étant tels que an5 = bn' + en, et que le rapport bn;; + (c+d) ns an5 soit supérieur à 1 et ne dépasse pas 2, R'5 désigne un radical organique de valence a dérivant d'un polyimide insaturé de formule générale R5 désigne un radical organique de valence b dérivant d'une polyamide de formule générale R5 (NH2)b, R5 et R'5 pouvant notamment représenter un radical divalent tel qu'un radical alcoylène linéaire ou ramifié, ou un radical aromatique tel qu'un radical phénylène ou cyclohexylène, et dans laquelle désigne l'un des radicaux de formules dans lesquels R" 5 ou Rts représentent H, CH3 ou Ct. 11.- Procédé selon la revendication 1 caractérisé en ce que ladite couche est constituée principalement de polyamides imides comportant la répétition de l'élément structural dans lequel T1 représente un radical organique trivalent comportant au moins deux atomes de carbone et Ds représente un radical divalent ne comprenant que des atomes d'hydrogène,de carbone, d'azote, de soufre et d'oxygène contenant au moins deux atomes de carbone, et n6 est un entier de 4o à 50 000. 12.- Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce que ledit radical D6 est le radical divalent dans lequel R6 représente le radical méthylène - CH2 - ou un atome d'oxygène et n6 est un entier compris entre 40 et 15 000. 13.- Procédé selon l'une des revendications il et 12, caractérisé en ce que T1 est un noyau benzénique, les deux groupes carbonyles étant en position ortho l'un par rapport à l'autre. 14.- Procédé selon l'une des revendications 11 et 12, caractérisé en ce que Tl comporte deux noyaux benzéniques réunis par un radical carbonyle: 15.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite couche est constituée par des polyimides obtenus à partir d'au moins un NN' bisimide d'un acide dicarboxylique non saturé de formule générale dans lequel B et B' sont des radicaux organiques divalents et B contient au moins une double liaison carbone-carbone. 16.- Procédé selon la revendication 15, caractérisé en ce que ledit radical B est le radical maléique. 17.- Procédé selon l'une des revendications 15 et 16, caractérisé en ce que le radical B' comprend plusieurs atomes de carbone, et en ce que lesdits polyimides résultent d'un chauffage dudit bisimide dudit acide dicarboxylique non saturé. 18.- Procédé selon l'une des revendications 15 et 16, caractérisé en ce que ledit polyimide résulte d'une réaction comportant au moins l'action d'au moins un desdits NN' bisimides d'un acide dicarboxylique non saturé sur au moins une diamine primaire de formule générale H N - A - NH 2 1 Al étant un radical divalent ne possédant pas plus de 30 atomes de carbone. 19.- Procédé selon au moins l'une des revendications 15, 16 et 17, caractérisé en ce que ledit corps est un polyaminobismaléimide de formule générale dans laquelle Bl est un radical bivalent constitué de deux cycles benzéniques reliés par le radical CH2 qui résulte de l'action d'une diamine primaire sur le NN' bisimide de l'acide maléique, notamment en présence d'un excès de diamine. 20.- Procédé selon l'une des revendications 18 et 19, caractérisé en ce que, à partir d'un polymère de départ obtenu par chauffage d'un prépolymère résultant du mélange dudit bisimide et de ladite diamine, dans un solvant on crée, au moins partiellement, ladite couche, et en ce que, ultérieurement, par chauffage, on chasse le solvant et on achève le durcissage des polyimides. 21.- Procédé selon la revendication 15, caractérisé en ce que ledit polyimide résulte d'une action comportant au moins l'action d'au moins un desdits NN' bisimides d'un acide dicarboxylique non saturé sur au moins une polyamine de formule générale A2 (NH2)x, x étant un nombre supérieur à 2, A2 étant un radical organique de valence 2 comportant 3 d 5 groupements NE2 par molécule, porté par au moins un noyau benzénique et en ce que l'on ajoute au mélange intime dudit bisimide et de ladite polyamine un polyesther insaturé avant de procéder au chauffage. 22.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdits polyimides résultant d'une action entre d'une part des oligomères à groupements imides de formule générale dans laquelle y représente un nombre allant de 0,1 à 2 environ, R11 désigne un radical hydrocarboné divalent ayant de 1 à 8 atomes de carbone qui dérive d'un corps ayant une fonction cétone ou une fonction aldéhyde de formule générale R11 = 0 dans laquelle ltato- me d'oxygène est lié à un atome de carbone du radical R11 > B11 est un radical éthylènique divalent et d'autre part, au moins une polyamine de formule générale A2(NH2)x, x étant un nombre supérieur à 2 et A un radical organique de valence 2 comportant de préférence 3 à 5 groupements NH2 par molécule, porté par au moins un noyau benzénique. 23.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdits polyimides résultent de la condensation de monomères contenant des noyaux aromatiques liés entre eux par des enchaînements carbinols libres ou substitués, lesdits monomères possédant à la fois des fonctions amines libres ou acyles et des centres fonction nels acide 0 dicarboxylique, anhydride O dicarboxylique, 0 carboxyesther ou 0 diester susceptibles de réagir sur les aminés pour donner des cycles imides. 24.- Procédé selon la revendication 23, caractérisé en ce que ces corps sont obtenus à partir de monomères difonctionnels dont la formule générale dans laquelle Y représente un atome d'hydrogène ou un atome d'hydrogène plus un hydracide ou encore un radical acyle, Ri2 est un atome dthydrogène, un reste alcoyle, acoylcarbonyle, aryle, arylcarbonyle, alcoyle arylimino carbonyle ou triméthyl silyle, Ruts2 et R1112 sont des atomes d'hydrogène, des radicaux alcoyles, alcoxy-alcoyles, hydroalcoyles ou aryles, B2 est un radical aromatique divalent, homocyclique ou hétérocyclique, les deux valences étant situées sur des atomes de carbone distincts, T2 représente un radical aromatique trivalent homocyclique ou hétérocyclique, les trois valences étant situées sur des atomes de carbone distincts deux de ces valences étant obligatoirement en position ortho l'une par rapport à 11 autre. 25.- Procédé selon la revendication 23, caractérisé en ce que ces corps sont obtenus à partir des monomères difonctionnels dont la formule généra dans laquelle Y, B2, T2 et R12 ont la même signification que dans la revendication 24. 26.- Procédé selon la revendication 24, caractérisé en ce que ce corps est obtenu à partir du monoesther méthylique de l'acide aminobenzhydrol dicarboxylique de formule 27.- Procédé selon la revendication 26, caractérisé en ce que la polycondensation est partiellement effectuée avant le dépôt et en ce qu'elle est achevée ultérieurement par chauffage de la couche déposée. 28.- Procédé selon la revendication 27, caractérisé en ce que ce corps est utilisé sous forme de solution dans la N-méthyl pyrrolidone. 29.- Procédé selon la revendication 28, caractérisé en ce que ladite solution est diluée avec une cétone. 30.- Procédé selon la revendication 29, caractérisé en ce que ladite cétone est de l'acétone. 31.- Procédé selon les revendications 5 et 6, caractérisé en ce que ledit corps est en solution dans un mélange formé de Nméthyl pyrrolidone et d'un hydrocarbure. 32.- Procédé selon la revendication 31, caractérisé en ce que ledit hydrocarbure est du toluène. 33.- Procédé selon l'une des revendications 31 et 32, caractérisé en ce que l'on ajoute à ladite solution du xylène en tant que diluant. 34. - Procédé selon l'une des revendications 6, 20 et 27, caractérisé en ce que ledit chauffage est effectué en deux temps, le premier temps étant à une température inférieure S celle du second temps. 35.- Procédé selon l'une des revendications 1 à 34, caractérisé en ce que ladite couche est composée de plusieurs lits déposés successivement, chaque lit étant traité par chauffage avant le dépôt du lit suivant. 36.- Procédé selon l'une des revendications I à 35, caractérisé en ce que le dépôt de chaque lit est effectué par centrifugation sur une tournette. 37.- Procédé selon l'une des revendications I à 36, caractérisé en ce que ledit film est en une laque photosensible. 38.- Procédé selon l'une des revendications 1 à 36, caractérisé en ce que ledit film est métallique. 39.- Procédé selon l'une des revendications 1 à 36, caractérisé en ce que ledit film est un composé déposé à basse température. 40.- Procédé selon l'une des revendications 37 à 39, caractérisé en ce que la gravure est effectuée par attaque chimique par une solution basique. 41. - Procédé selon l'une des revendications 38 et 39, caractérisé en ce que la gravure est effectuée par attaque par plasma d'oxygène. 42.- Procédé selon la revendication 40, caractérisé en ce que la solution basique est une solution diluée d'une base forte. 43.- Procédé selon la revendication 40, caractérisé en ce que la solution basique est une solution concentrée d'hydrate d'hydrazine. 44.- Procédé selon la revendication 37, caractérisé en ce que ledit film est en une laque positive et en ce que la gravure dudit masque et la gravure de l'évidement dans ladite couche auxiliaire sont effectuées en une seule opération avec une solution de base forte. 45.- Procédé selon l'une des revendications i à 44, caractérisé en ce que, lors du dépôt de ladite pellicule, ladite plaquette est portée à une température comprise entre 250 et 50000. 46.- Procédé selon l'une des revendications 1 à 45, caractérisé en ce que, préalablement au dépôt de la couche auxiliaire, on dépose sur l'ensemble de la face active une couche intermédiaire en un deuxième matériau diélectrique différent du premier, d'une épaisseur sensiblement égale à celle de ladite pellicule métallique, puis en ce que, après le dépôt sur ladite couche intermédiaire de ladite couche auxiliaire suivi du dépôt dudit film dans lequel on crée un masque à partir duquel on élabore dans ladite couche auxiliaire ledit évidement, on crée dans ladite couche intermédiaire, un alvéole de même contour que ledit évidement et, le masque ayant été préalablement éliminé, on dépose ladite pellicule conductrice, puis en ce que on élimine les nappes subsistant de ladite couche auxiliaire et les nappes de ladite pellicule les recouvrant, créant ainsi sur ladite face active une surface plane intermédiaire. 47.- Procédé selon la revendication 46 d'obtention d'un dispositif comportant une première et une seconde configurations de conducteurs à des niveaux différents, caractérisé en ce que, une fois réalisée ladite première configuration de conducteurs, on dispose sur ladite surface plane intermédiaire un second manteau constitué d'au moins un lit supérieur d'un troisième matériau diélectrique dans lequel, par photogravure, on crée au moins une seconde ouverture-située au-dessus d'une plage de ladite première configuration, puis on dépose sur toute la surface de la structure une seconde pellicule métallique dans laquelle, par photogravure, on élabore ladite seconde configuration de conducteurs dont au moins une nappe recouvrant ladite seconde ouverture fait contact avec ladite plage de ladite première configuration. 48.- Procédé, selon la revendication 46, d'obtention d'un dispositif comportant au moins une première et une deuxième configurations de conducteurs à des niveaux différents dont un niveau sousjacent, caractérisé en ce que, une fois réalisée la première configuration de conducteurs, on dépose sur ladite surface plane un deuxième manteau constitué d'au moins un lit supérieur fait en un troisième matériau diélectrique dans lequel,par photogravure, on crée au moins une deuxième ouverture située au-dessus d'une plage de ladite première configuration, puis on dépose successivement, sur toute la face active de la plaquette à ce stade de la réalisation une seconde couche intermédiaire d'un quatrième matériau diélectrique différent dudit troisième matériau, puis une deuxième couche auxiliaire en l'un des corps choisis parmi les polyimides, les polyamides-imides, les polyamides modifiés par un amide, les acides polyamides, les polyamino-imides > puis en ce que l'on fait subir à la plaquette au moins un traitement thermique, en ce que l'on effectue ensuite sur ladite deuxième couche auxiliaire le dépôt d'un deuxième film dans lequel on crée un deuxième masque à partir duquel on élabore dans ladite deuxième couche auxiliaire un second évidement ayant la forme de ladite deuxième configuration et recouvrant au moins ladite deuxième ouverture ainsi que des nappes dudit deuxième manteau et, après cette élaboration on creuse, dans ladite deuxième couche intermédiaire un deuxième alvéole de même contour que ledit deuxième évidement et ledit deuxième masque ayant préalablement été éliminé on dépose sur la face supérieure de la plaquette à cet instant là une deuxième pellicule conductrice d'une épaisseur sensiblement égale à celle de ladite seconde couche intermédiaire, puis, en ce que on élimine les nappes subsistant de ladite deuxième couche auxiliaire et les nappes de ladite deuxième pellicule les recouvrant, créant ainsi une deuxième surface plane intermédiaire. 49.- Procédé, selon la revendication 48, d'obtention d'un dispositif comportant une première, une deuxième et une troisième configurations de conducteurs à des niveaux différents, caractérisé en ce que, une fois réalisée ladite deuxième configuration de conducteurs, on dépose sur ladite deuxième surface plane intermé diaire un troisième manteau constitué d'au moins un lit supérieur d'un cinquième matériau diélectrique dans lequel, par photogravure, on crée au moins une troisième ouverture située au-dessus d'une plage de ladite deuxième configuration, puis on dépose sur toute la face active de la plaquette à cet instant là une troisième pellicule métallique dans laquelle, par photogravure, on élabore ladite troisième configuration de conducteurs dont au moins une nappe recouvrant ladite troisième ouverture fait contact avec ladite plage de ladite deuxième configuration. 50.- Procédé selon l'une des revendications 47, 48 et 49, caractérisé en ce que d'une part lesdits premier, troisième et cinquième matériaux diélectriques sont en un même matériau et, d'autre part, lesdits deuxième et quatrième matériaux diélectriques sont en un même matériau, les deux matériaux étant différents. 51.- Procédé selon l'une des revendications 1 à 50, caractérisé en ce que au moins le premier desdits manteaux comporte un lit sous-jacent fait dans ledit second matériau. 52.- Procédé selon l'une des revendications 1 à 51, caractérisé en ce que ledit premier matériau diélectrique est du nitrure de silicium et ledit second matériau diélectrique est de l'oxyde de silicium. 53.- Procédé selon l'une des revendications 1 à 52, caractérisé en ce que au moins ladite première pellicule conductrice est en aluminium. 54.- Procédé selon l'une des revendications 1 à 53, caractérisé en ce que au moins ledit premier film est en aluminium. 55.- Procédé selon l'une des revendications 46 et 48, caractérisé en ce que au moins l'un desdits masques est éliminé avant que ledit alvéole correspondant soit creusé dans ladite couche intermédiaire. 56.- Procédé selon la revendication 48, caractérisé en ce que au moins ledit second masque est éliminé avant que ledit deuxième alvéole soit creusé dans ladite deuxième couche intermédiaire et en ce que le métal du deuxième film est identique au métal de la première configuration. 57.- Procédé selon l'une des revendications 46 et 48, caractérisé en ce que au moins l'un desdits masques est éliminé après que ledit alvéole correspondant soit creusé dans la couche intermédiaire. 58.- Procédé selon les revendications 48 et 57, caractérisé ce que au moins ledit second masque étant éliminé après que ladite seconde fenêtre soit creusée dans ladite seconde couche intermédiaire, le métal dudit second film est différent du métal de ladite première configuration. 59.- Procédé selon la revendication 58, caractérisé en ce que le métal de ladite première configuration-étant de l'aluminium ledit second film est composé de trois lits, un lit inférieur de chrome, un lit intermédiaire de nickel et un lit supérieur d'or. 60.- Dispositif semiconducteur muni sur une face active d'au moins une configuration de conducteurs reposant partiellement sur un manteau d'un premier matériau diélectrique, ledit manteau comportant au moins une ouverture par laquelle ladite configuration est en contact électrique avec au moins une région semiconductrice sous-jacente, caractérisé en ce que ladite configuration est une nappe résultant d'un dépôt effectué à chaud sur l'ensemble de ladite face active, ladite nappe ayant été déposée au fond d'un évidement pratiqué dans une couche auxiliaire reposant sur ledit manteaux ledit évidement recouvrant et débordant ladite ouverture, ladite couche auxiliaire étant constituée principalement d'au moins un corps choisi parmi les polyimides, les polyamides-imides, les polyimides modifiés par un amide, les acides polyamides, les polyamino-imides et ayant été éliminée par une attaque qui a entraîné les nappes de ladite pellicule déposée à sa surface selon le procédé décrit dans l'une des revendications 1 à 59. 61.- Dispositif semiconducteur à plusieurs niveaux de configurations de conducteurs, réalisé par le procédé décrit dans l'une des revendications 47 et 48, caractérisé en ce que ladite première configuration est logée dans un alvéole de même contour que ledit évidement pratiqué dans une couche intermédiaire reposant sur le manteau sous-jacent, ladite couche étant en un second matériau diélectrique différent du premier, en ce que ladite couche est d'une épaisseur égale à celle de ladite configuration et en ce que elle engendre avec ladite configuration une surface sensiblement plane sur laquelle repose un second manteau en un matériau diélectrique, ledit second manteau comportant en regard d'une plage de ladite première configuration une ouverture et en ce que une seconde configuration de conducteurs repose sur ledit manteau et fait contact avec ladite première configuration à travers ladite ouverture.