Brevet FR2373868A1 — publié le 19780707

L'invention concerne un procédé pour donner un aspect réticulaire à une cible pyro-electrique d'un tube vidicon par l'emploi de particules à grande énergie qui doivent éloigner sélectivement certaines parties de la matière pyro-électrique constituant la cible. Habituellement, une cible pyro-électrique acquiert son aspect réticulaire par la pose d'un masque sur une surface de la cible tout en laissant à découvert des zones de surface sélectionnées. Celles-ci sont soumises à l'influence d'agents décapants chimiques qui éloignent une certaine partie de la matiere pyro-électrique entre les zones couvertes de la cible. Ensuite, le masque est eloi- gne par la mise en oeuvre de procedés chimiques humides habituels. Toutefois, cette façon de faire signifie des restrictions qui sont inhérentes à la perte de différences de niveau sciemment établies, ce qui est inacceptable lorsque les dimensions de la structure réticulaire sont petites afin de pouvoir profiter d'un pouvoir de résolution maximal. Le but de l'invention est d'indiquer un procédé pour donner à la cible pyro-electrique d'un tube vidicon une structure reticulaire dont les dimensions sont plus petites et dans laqtlelle la disparition de différences de niveau sciemment établies estmoins prononcée que lors de la mise en oeuvre desdits procédés chimiques humides habituels. Conformement à l'invention, on élabore sur la couche pyroélectrique une couche protectrice ou un masque qui délimite les zones dont il y a lieu d'éloigner la matière pyro-électrique. Ensuite, la couche pyro-électrique est soumise à l'influence de particules à grande énergie qui enlèvent en partie de la matière pyroélectrique dans les zones exposées. Puis, on éloigne le masque ou couche protectrice. La couche protectrice ou masque est par exemple en photorésist, mais il peut également stagir d'une couche déposée par evaporation ou par pulvérisation cathodique. Dans les derniers cas, la couche protectrice est formée par un materiau qui se pulvérise dans une mesure moins forte comparativement à la matière pyro-électrique. La configuration de masquage dans cette couche peut etre formée par délimitation à l'aide de photorésist, suivie d'une pulvérisation cathodique par courant continu, ce qui ne donne pas lieu au décapage du photorésist ou de la matière pyro-électrique. Le masque étant formé, les zones exposées en matière pyroélectrique, par exemple le sulfate de triglycine, sont soumises à l'influence de particules à grande énergie. Ces particules appartiennent par exemple à un large faisceau dtions neutralisés très uniforme, obtenu par ionisation d'argon au potentiel d'environ 5 000 Volts et par neutralisation de la charge ionique après l'ac- célération des particules. Cette technique est connue sous le nom de t'broyage ionique" (ion milling) et a comme conséquence l'enlève- ment d'une certaine partie de la matière pyro-électrique par les particules énergétiques qui passent en incidence rasante au-dessus des surfaces exposées de la cible. Une autre façon pour donner un aspect réticulaire à la cible est l'éloignement de la matière pyro-électrique à l'aide d'un plasma haut fréquent qui peut être réactif ou non. Pour former un plasma haut fréquent réactif, un gaz réactif est ajouté au plasma, ce qui augmente l'effet décapant de ce plasma à I'égard de la matière pyro-électrique. Ainsi, dans le cas où la matière pyro-électrique est du sulfate de triglycine (utilisé couramment), on utilise comme plasma le t'FREON-14" (un fluorocarbone) qui attaque fortement le sulfate de triglycine tout en n'attaquant pas le masque. La matière pyro-électrique ayant été éloignée dans la mesure désirée par le plasma haut fréquent, on éloigne le masque ou couche protectrice. Cela a lieu facilement par la mise en oeuvre de procédés chimiques humides, par exemple la dissolution du masque à l'aide d'un solvant. L'éloignement du masque peut avoir lieu également par un plasma haut fréquent dont la composition est modifiée par l'ajout d'un gaz qui entre en réaction avec la matière du masque mais non pas avec la matière pyro-électrique. Un tel gaz est le "FREON-14t', c'est-à-dire un fluorocarbone qui de préférence attaque le masque mais non pas la matière pyro-électrique. REVENDICATIONS 1. Procédé pour donner un aspect réticulaire à une cible pyro-électrique d'un tube vidicon, caractérisé en ce que ce procédé comporte la formation d'un revêtement protecteur sur des zones sélectionnées d'une couche en matière pyro-électrique, l'éloignement sélectif de matière pyro-électrique desdites zones du fait de les soumettre i l'influence de particules à grande énergie, et l'éloignement subséquent du revêtement protecteur pour former de la sorte une surface à aspect réticulaire sur ladite couche en matière pyro-électrique. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le revêtement protecteur est en photorésist. 3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le revêtement protecteur est déposé par évaporation. 4. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le revêtement protecteur est formé par un matériau qui se pulvérise dans une mesure moins forte que la matière pyro-électrique. 3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que les particules i grande énergie appartiennent à un plasma haut fréquent. 6. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que le plasma haut fréquent est réactif et éloigne sélectivement la matière pyro-électrique. 7. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la matière pyro-électrique est éloignée sélectivement de zones non munies de matière protectrice par broyage ionique. 8. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la matière protectrice est éloignée sélectivement b l'aide d'un plasma haut fréquent.