Brevet FR2363882A1 — publié le 19780331

La présente invention a pour objet un analyseur ionique à émission secondaire, munit'un canon à électrons. Elle trouve une application dans l'analyse par spectrométrie de masse des corps électriquement isolants. L'émission ionique secondaire accompagne la pulvérisation d'une cible sous l'effet d'un bombardement par des particules primaires (en général des ions ) de quelques keV d'énergie. L'analyse des ions secondaires peut fournir notamment un spectre de masse représentatif de la composition de la cible. Certains appareils dits "microscopes ioniques" permettent en outre l'enregistrement d'une image de distribution des éléments dans la cible. Lorsqu'on applique cette technique a des échantillons isolants, on crée entre une face frontale et la surface de l'echantillon un champ électrostatique ; ladite surface est conductrice, soit naturellement du fait des impuretés superficielles soit artificiellement grâce au dépit préalable d'une couche conductrice ; sous l'impact des particules primaires, la zone érodée de l'échantillon redevient isolante puis acquiert une charge électrique superficielle notamment sous l'influence du bombardement par les particules primaires et sous celle du départ des particules secondaires ; cette charge superficielle perturbe suffisamment le potentiel de la cible, pour que soit réduite voire mEme annulée la transmission des ions secondaires, vers le spectrometre de masse notamment Divers perfectionnements ont été imaginés pour permettre, à l'aide de ces appareils, l'analyse des corps isolants. On trouvera par exemple dans l'article de H.W. Werner et A.E Morgan, publié dans "Journal of Applied Physics", volume 47, nO 4, avril 1976, page 1232, une étude comparative des différents procédés envisagés. Certains consistent a déposer une grille conductrice la surface de l'échantillon a analyser. D'autres font appel à une compensation du potentiel de la cible par une tension variable superposée à la tension d'accélération Enfin, et selon un procédé qui se rapproche le plus de l'objet de la présente invention, il a été proposé de bombarder la cible par un faisceau d'électrons conjointement avec le faisceau de particules primaires, ceci en vue de réduire la charge d'espace au voisinage de la cible. On trouvera une mention de ce dernier procédé, d'une part, dans l'article de KQ Nakamura et al., intitulé "A new technique for analyzing insulating materials by means of the ion microanalyzer" publié dans les "Proceedings of the sixth International Conference on X-RAY Optics and Microanalysis", publié par "University of Tokyo Press", page 499 et, d'autre part, dans l'article de R,F.K. Herzog et al intitulé "Recent results obtained with the sputtering ion source for solid" publié dans les comptes rendus de la 15è conférence de Denver de 1967 Ce procédé de bombardement électronique d'une cible isolante est également mentionné dans l'article de K. Wittmaack publié dans le journal "Review of Scientific Instruments", volume 47, nO 1, janvier 1976, page 157-158, mais seulement à propos d'analyseurs ioniques munis d'un spectromètre de masse quadrupolaire. Ce procédé connu n'est en fait appliqué que dans des appareils où le champ électrique d'extraction des ions secondaires au voisinage de la cible est faible (de l'ordre de 0,1 kV/mm). Ce champ agit donc peu sur le faisceau auxiliaire d'électrons dirigé sur la cible, Or, dans les microscopes ioniques à émission secondaire, comme on le verra par la suite, le champ électrique au voisinage de la cible est beaucoup plus important * il est de l'ordre de lkV/mme Ceci est lié au fait que, pour obtenir de la cible une image réelle agrandie, il est nécessaire d'utiliser un champ d'extraction suffisamment important, Le bombardement de cette cible par un faisceau d'électrons pose donc des problèmes spécifiques à ce genre d'appareil. La présente invention a justement pour objet l'application de ce procédé connu, aux appareils du genre analyseur ionique à fort champ électrique au voisinage de la cible La caractéristique essentielle de la présente invention est l'utilisation d'un canon à électrons qui émet un faisceau d'électrons à travers la lentille d'extraction disposée en regard de la cible, Le champ électrique d'extraction influe sur la trajectoire des électrons mais les caractéristiques électriques et mécaniques du canon à electrons de l'invention sont telles que l'arrosage de la cible par le faisceau électronique s'effectue correctement. De façon plus précise, la présente invention a pour objet un analyseur ionique à émission secondaire, muni d'un canon à électrons, pour l'analyse d'un échantillon isolant ; cet analyseur est du genre de ceux qui comprennent une source de particules primaires dirigées sur une cible constituée par l'échantillon isolant à analyser et une lentille d'extraction des ions secondaires émis par la cible une source de haute tension continue crée entre la face frontale de ladite lentille et la cible un champ électrique d'extraction supérieur à 0,1 kV/mm. L'analyseur ionique de la présente invention est caractérisé en ce qu'il comprend en outre un canon à électrons disposé dans l'axe d'un canal percé dans le support de la face frontale de la lentille d'extraction ce canon comprend un filament émissif et une électrode d'accélération disposée dans l'axe du canal ; une source de tension porte le filament à une haute tension négative par rapport à ladite électrode d'accélération t le faisceau d'électrons traverse la lentille d'extraction en empruntant le canal, dmerge du canal par la face frontale de la lentille subit le champ d'extraction et vient enfin frapper la cible. De préférence, l'électrode accélératrice des électrons et la lentille d'extraction des ions secondaires sont reliées entre elles mécaniquement et électriquement. Deux variantes de réalisation sont prévues selon que les ions secondaires sont chargés positivement ou négativement. Ces deux variantes différent par l'orien- tation et la position du canal par rapport à 1'axe de la lentille, par l'intervalle entre cible et lentille et par les valeurs des tensions et des champs appliqués Dans le cas où le canal du canon à électrons est incliné par rapport à la face frontale, on calcule l'inclinaison de ce canal et la tension d'accélération des électrons pour que le faisceau d'électrons atteigne la cible en son centre, c'est-à-dire dans l'axe delta lentille d'extraction. Les dimensions de la tache électronique sur la cible dépendent du champ d'extraction établi entre la cible et la lentille et également des dimensions des diaphragmes eventuellement disposés dans le canal du canon à électrons, Selon une variante avantageuse, la tension d'accélération des électrons peut Btre modulée en amplitude, ce qui engendre un balayage de la cible par le faisceau d'électrons. Il va de soi que l'invention n'est pas limitée à l'utilisation d'un canon à électrons mais que sa portee s'étend, dans le cadre des équivalences, à tout canon à particules chargées et notamment aux canons à ions négatifs ou positifs ; les moyens pour réaliser de tels canons sont en effet, équivalents des moyens qui vont entre décrits maintenant à titre purement explicatif dans le cas d'un canon à électrons, Les caractéristiques et avantages de l'invention apparaltront mieux après la description qui suit d'exemples de réalisation donnés à titre nullement limitatif, en référence aux dessins annexés sur lesquels - la figure 1 représente le schéma d'un analyseur ionique à émission secondaire équipé d'un canon à électrons, selon l'art- antérieur la figure 2 représente le système d'extraction d'un analyseur équipé dgun filament émetteur d'électrons disposé au voisinage de la cible, selon l'art antérieur - la figure 3 représente le schéma de principe d'un microscope à émission secondaire, selon l'art antérieur - la figure 4 représente en coupe la forme habituelle donnée à la lentille d'extraction des ions secondaires dans un microscope du genre de celui de la figure 3 - la figure 5 représente, en coupe, le schéma d'un canon à electrons,. selon la présente invention - la figure 6 représente une disposition du canon à électrons lorsqu'il est monté sur la lentille d'extraction selon une première variante correspondant à une extraction d'ions positifs - la figure 7 représente une disposition proche de la précédente dans une seconde variante correspondant à une extraction d'ions négatifs - la figure 8 est une vue schématique illustrant la trajectoire des électrons dans l'espace d'extraction - la figure 9 représente quelques trajectoires possibles des électrons entre la lentille et la cible dans le cas où le champ d'extraction est adapté à des ions secondaires positifs ; - la figure 10 représente d'autres trajectoires possibles pour les électrons dans le cas où le champ d'extraction est adapté à des ions secondaires négatifs ;; - la figure 11 représente une trajectoire privilégiée des électrons, atteignant le centre de la cible, les ions secondaires étant positifs ; - la figure 12 représente cette mime trajectoire privilégiée lorsque les ions secondaires sont négatifs - la figure 13 illustre un exemple des résultats obtenus à l'aide de l'appareil objet de l'invention. Sur la figure 1, est représenté schématiquement un analyseur ionique à émission secondaire equipe d'un canon à électrons selon l'art antérieur (article de K. Nakamura et al déjà cité) 0 L'analyseur représenté comprend une source d'ions primaires 10 émettant un faisceau d'ions dirigés sur une cible 12. Les ions secondaires émis par cette cible sont extraits par l'électrode 14 et analysés dans le spectromètre de masse 16. Un canon à électrons 18 est utilisé pour diriger obliquement sur la cible 12 un faisceau d'électrons 19 destiné à neutraliser la charge d'espace qui se forme lorsque l'échantillon à analyser est isolant. L'appareil représenté sur la figure 1 n'est pas du genre de ceux qui donnent une image de la cible par un procédé d'optique ionique. Le champ électrique qui règne au voisinage de la cible est peau important ; en conséquence, le faisceau d'électrons 19 émis par la source 18 est très large et n'est sensiblement pas modifié dans sa trajectoire par le champ d'extraction qui s'étend entre la cible 12 et l'électrode 14. La figure 2 représente schématiquement un système d'extraction d'un autre type d'analyseur de l'art antérieur. Ce système comprend une cible 20 bombardée par un faisceau d'ions primaires 22, une électrode d'extraction 24 et un filament émissif 26. Ce filament n'émet pas à proprement parler un faisceau électronique collimaté mais plutt un nuage électronique au voisinage de la cible 20 ; les électrons émis ont encore pour effet de neutraliser partiellement la charge d'espace qui apparat lorsque la cible est isolante. Dans le dispositif de la figure 2, comme dans celui de la figure 1, le champ électrique qui règne au voisinage de la cible est faible, inférieur à 0,1 kV/mm, ce qui autorise l'utilisation d'un dispositif très simple comme source d'électrons, puisque le r61e perturbateur du champ d'extraction est minime. On observera en outre, que les moyens décrits aux figures 1 et 2 supposent que le signe des ions secondaires n'est pas celui des électrons, c'est-à-dire que ces ions sont chargés positivement. En effet, si les ions extraits étaient négatifs les électrons émis par le filament 26, ou par le canon 18, seraient collectés par l'électrode d'extraction 24 ou 14 et n'atteindraient pas la cible. Le dispositif de la présente invention remédie à cet inconvénient car il est utilisable quel que soit le signe des ions secondaires et en particulier s'ils sont négatifs. En outre, les deux sources d'électrons qui viennent d'être décrites (respectivement 18 et 26) à propos des analyseurs ioniques de l'art antérieur, ne sont pas applicables aux appareils du genre microscope ionique comme il va maintenant être expliqué ; La structure d'un microscope ionique est représentée schématiquement sur la figure 3. On en trouvera une description détaillée par exemple dans l'ouvrage intitulé "Précis de spectro pétrie de masse analytique", publié sous la direction de A. Cornu, aux Presses Universitaires de Grenoble. La figure 3 représente l'appareil dit microscope ionique de Castaing-Slodzian. Il comprend un canon à ions primaires 30, des plaques de défleon 32 et un échantillon 34 constituant la cible. Les ions secondaires émis par cette cible sont extraits à l'aide d'une lentille d'extraction 36, dite à immersion. Un électro-aimant 38 joue le rle de prisme magnétique, aux points stigmatiques duquel sont placés des diaphragmes 40 et 42. A la traversée du diaphragme 42, les ions sont renvoyés par un miroir électrostatique 44.Ils traversent à nouveau le prisme magnétique 38 et sont dirigés ensuite vers un téléobjectif constitué par une lentille 46 qui forme une image réelle agrandie de la cible sur la cathode d'un convertisseur ions-électrons 48. L'impact des ions sur la cathode provoque l'émission d'électrons secondaires qui sont accélérés et focalisés sur un écran fluorescent 50 ou sur un scintillateur 52. Si l'image électronique est reçue sur l'écran fluorescent 50, elle peut être observée au moyen d'une lunette binoculaire 54. Si l'image est reçue sur le scintillateur, un photomultiplicateur 6 peut être utilisé pour constituer un détecteur donnant une mesure du courant ionique global lors de l'utilisation de l'appareil en spectromètre de masse. Le grandissement de l'image électronique peut être compris entre 75 et 150, le diamètre de la zone de la cible dont on forme 1 image étant compris entre 350 et 150 microns. La résolution spatiale est en général de l'ordre du micron. Le canon à électrons utilisé selon l'invention est adapté pour perfectionner notamment les appareils du genre de celui de la figure 3. Il s'adapte sur la lentille d'extraction, qui porte la référence 36 sur cette figure et qui est située en regard de la cible-échantillon 34. Cette lentille d'extraction est représentée plus en détail sur la figure 4. Elle comprend un corps 60 percé d'un orifice 62 évasé, par exemple à 450. La lentille présente une face frontale 64 percée d'un diaphragme d'extraction 66. A titre explicatif, le diamètre de l'ouverture 62 peut être de quelques millimètres, par exemple 6 mm et le diamètre du diaphragme 66 d'environ 1 mm. C'est à travers une lentille de ce genre que, selon l'invention, sont dirigés les électrons destinés à venir frapper la cible isolante. La disposition caractéristique de l'invention est celle qui est représentée en coupe sur la figure 5. Sur cette figure, la lentille d'extraction porte la référence 70 ; elle possède un axe 71 de symétrie et elle est disposée en regard de la cible 72 ; l'espace d'extraction compris entre la face frontale 74 de la lentille et la surface de la cible 72 est le siège d'un champ électrique d'extraction E résultant de l'application d'une haute tension, au moyen d'une source 76, entre la cible et le corps de la lentille d'extraction, qui est à la masse. Selon l'invention, le canon à électrons comprend un canal 80 traversant le corps de la lentille 70. Ce canal est incliné sur l'axe 71 de la lentille. Les électrons sont émis par un filament 84 alimenté au moyen d'une source de tension 86. Les électrons émis par le filament sont attirés par une électrode d'accélération 88 portée à un potentiel positif par rapport au filament, au moyen d'une source de haute tension 90. Eventuellement, un diaphragme 92 est placé dans le canal 80 par exemple à une distance supérieure au diamètre du canal, là où le champ d'accélération est quasiment nul. Un diaphragme de sortie 94 peut être dispos à l'endroit où le canal 80 émerge dans l'espace d'extraction, au niveau de la zone frontale 74 de la lentille 70. Les électrons émis par le filament 84 sont accélérés par l'électrode 88, ils traversent la lentille 70 en empruntant le canal 80 et ils émergent dudit canal par la face frontale de la lentille ; ils sont alors soumis au champ d'extraction E qui règne entre la cible et la face frontale de la lentille. La trajectoire des électrons dans cet espace dépend du signe et de l'amplitude du champ électrique utilisé pour extraire les ions secondaires, Cette trajectoire sera étudiée en détail à l'aide des figures 8 à 12. Dans la pratique, le canon à électrons de l'invention se présente sous la forme qui est illustrée par les figures 6 et 7. Ces deux figures correspondent à deux variantes qui diffèrent par l'inclinaison du canal par rapport à l'axe de la lentille et par les valeurs des tensions appliquées comme on le verra par la -suite. Sur ces figures, le filament -100 est tenu par un support 102 et alimenté par une connexion 104, elle-même tenue par un support de connexion 106. Cet ensemble est relié au corps de la lentille 110 par une colonnette isolante 112 qui s'appuie sur l'électrode d'accélération 114 qui, dans les variantes illustrées, est solidaire mécaniquement et électriquement du corps de la lentille 110. Le canal 116 fait avec l'axe de symétrie 118 de la lentille un angle de 75 pour la variante de la figure 6 et un angle de 420 pour celle de la figure 7. Le canal 116 emerge de la face frontale de la lentille par une ouverture 120 qui est éloignée de 5 mm de l'axe 118 pour la variante de la figure 6 et de 8 mm pour celle de la figure 7.Ces inclinaisons du canon par rapport à l'axe et les distances choisies sont celles qui permettent d'obtenir un faisceau électronique qui, compte tenu du champ d'extraction des ions secondaires, atteint la cible au voisinage de son centre, c'est-à-dire sur l'axe de symétrie 118, comme il sera expliqué à l'aide des figures 8 à 12. Le filament est de préférence en tantale ; et il est chauffé par une source de courant régulée fournissant par exemple 6 A sous 0,2 Vo Le faisceau d'électrons possède une intensité qui peut atteindre 150 microampères; La figure 8 est une vue schématique illustrant la trajectoire des électrons dans l'espace d'extraction. La trajectoire est rapportée à deux axes rectangulaires Or et Oz dont l'origine 0 est placée sur le diaphragme de sortie du canal. L'axe Or est situé dans le plan de la face frontale de la lentille et l'axe Oz lui est perpendiculaire. On désigne par L l'ecar- tement entre la face frontale 74 de la lentille 70 et la surface de la cible 72, par V la tension appliquée à la cible 72 par rapport à la lentille 70, par a l'angle que fait le faisceau d'électrons par rapport à l'axe de l'ensemble au point où il pénètre dans l'espace d'extraction, par E le champ électrique qui règne dans cet espace et par x l'abscisse de l'axe comptée sur l'axe Or. A titre explicatif, lorsque les ions secondaires extraits sont positifs, on a les valeurs approximatives suivantes V = 4,5 kV E = 1 kV/mm L = 4,5 mm lorsque les ions secondaires sont négatifs, V -4,5 kV E =-0,75kV/mm L = 6 mm A partir de l'équation fondamentale de la dynamique et compte tenu des conditions initiales imposées aux électrons (vitesse et direction), il est possible de calculer l'équation de la trajectoire qu'ils suivent depuis le point 0 jusqu'à la cible, Cette trajectoire est naturellement, quel que soit le sens du champ. d'extraction, une parabole dont l'équation peut se mettre sous la forme où r et z sont les coordonnées rapportées aux axes Or et Oz, Vg représente la tension d'accélération des électrons, qui détermine leur vitesse à l'origine. La figure 9 représente quelques trajectoires obtenues dans le cas où le champ E est dirigé de la cible vers la lentil le, ce qui correspond à une extraction d'ions secondaires positifs. Dans ce cas, les électrons sont accélérés dans leur chute sur la cible. Les courbes sont tracées dans le plan des axes Or et Oz pour différentes valeurs (1, 2, 4, 8 kV) de la tension d'accélé ration V0 Elles correspondent au cas particulier ot l'angle a est égal à 300. Pour cette même valeur de l'angle a, d'autres trajectoires des électrons sont représentées sur la figure 10 dans le cas où les ions extraits sont négatifs et où le champ d'extraction ralentit les électrons lorsqu'ils tombent sur la cible. Le paramètre est encore la tension d'accélération V, qui prend les valeurs 1, 2, 4, 6, 8, 16 kV. Etant donné l'orientation de la parabole, il est possible que dans certaines hypothèses, les électrons n'atteignent pas la cible, si le sommet de la parabole décrite est situé entre la lentille et la cible. Ce peut être le cas si la tension d'accélération est trop faible. Ces résultats permettent de déterminer les conditions à remplir pour que le point-d'impact du faisceau d'électrons sur la cible soit situé sur l'axe de la lentille d'extraction. Pour préciser ces conditions, il suffit d'écrire dans l'équation de la parabole que lorsque z = L, on a r = x. On obtient alors une relation entre la tension d'accélération V0, le champ d'extraction E et l'angle ry dginclinaison du canon. Cette relation dé- coule de l'équation précédente Cette condition est satisfaite pour les deux trajectoires 94 et 96 des figures 11 et 12 - la figure 11 correspond au cas où le champ électri que extracteur est de - 1 kv/mm, où L = 4,5 mm et ot x = 5 mm. Le couple o, Vg qui permet d'obtenir un faisceau électronique qui tombe au centre de la cible est alors a = 750 et Vg = 2,1 kV. Ces conditions peuvent être remplies par le canon de la figure 6 déjà décrit. - la figure 12 correspond au cas où L = 6 mm, x = 8 mm et E =+1 kVlmm. Pour une tension d'accélération des électrons de 2,1 kV/mm, l'angle a qui permet d'obtenir un impact au centre de la cible est alors de 420. Ces conditions peuvent être remplies par le canon de la figure 7 déjà décrit, La forme de l'impact du faisceau électronique sur la cible va dépendre de la forme de l'orifice de sortie situé sur la face frontale de la lentille à immersion. En effet, cet ori fice va faire partie d'une lentille convergente pour les électrons lorsqu'on extrait les ions positifs et d'une lentille divergente lorsqu'on extrait les ions négatifs. Comme le point d'impact du faisceau électronique sur la cible dépend, notamment de la tension VQ d'accélération des électrons, il est possible de balayer la cible par le faisceau d'électrons par la seule modification de cette ension d'accélération. Ceci peut être obtenu aisément si la source 90 de la figure 5 est une source modulable en amplitude. Cette modulation peut se faire par exemple à une basse fréquence, de l'ordre de 2500 Hz. Elle permet d'élargir la tache électronique dans le plan rOz. Ceci est utile dans le cas des ions positifs où la tache électronique est petite (lentille convergente). A titre explicatif, et dans ce cas, le diaphragme de sortie du canon peut être 2 par exemple une fente elliptique de 6 x 2 mm , dont le grand axe est perpendiculaire au plan rOz.Le balayage obtenu à l'aide d'une modulation de la tension d'accélération permet d'élargir la tache et d'atteindre des dimensions d'environ 1 x 0,8 mm. Toutes ces considérations sur les trajectoires des électrons au voisinage de la cible montrent que la situation est bien différente de celle des dispositifs de l'art antérieur et qu'il est nécessaire de prendre des précautions si l'on veut que le faisceau électronique atteigne la cible dans des conditions convenables. Ce n'était pas le cas avec les analyseurs ioniques à faible champ électrique de l'art antérieur. Le microscope ionique perfectionné qui rient d'être décrit peut être utilisé en particulier pour l'étude des couches superficielles isolantes et notamment pour le tracé des profils de concentration0 Un des résultats obtenus par l'appareil de l'invention est représenté à titre illustratif sur la figure 13 où l'on voit un profil de concentration de bore implanté à 60 ke*V dans de la silice. La profondeur est portée sur l'axe des abscisses et est exprimée en microns et le courant ionique détecté par l'appareil, qui est proportionnel à la concentration en bore, est porté en ordonnées et exprimé en microampères. D'autres résultats obtenus avec l'appareil objet de la présente invention ont été publiés dans la revue "Analusis", volume 4, n 4, 1976, pages 180 à 184 par B . Blanchard et al. Cette invention peut être étendue à tout appareil dans lequel règne un champ électrique de l'ordre de 1 kv/mm au niveau de l'échantillon~. Il suffit de modifier les tensions d'accélération pour que- l'impact electroniquese trouve sur la zone analysée. REVENDICATIONS 1. Analyseur ionique à émission secondaire, muni d'un canon à électrons pour l'analyse d'un échantillon isolant, ledit analyseur étant du genre de ceux qui comprennent une source de particules primaires dirigées sur une cible constituée par l'echan- tillon isolant à analyser, une lentille d'extraction des ions secondaires émis par la cible, une source de haute tension continue pour créer entre la face frontale de ladite lentille et la cible un champ électrique d'extraction, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un canon à électrons dispos dans l'axe d'un canal percé dans le support de la face frontale de la lentille d'extraction, ledit canon comprenant un élément émissif et une électrode d'accélération disposée dans l'axe du canal, une source de tension portant l'élément émissif à une haute tension négative par rapport à ladite électrode d'accélération, de sorte que le faisceau d'électrons traverse la lentille d'extraction, emprunte ledit canal, émerge par la face frontale de la lentille, subit le champ d'extraction et vient finalement frapper la cible. 2. Analyseur ionique selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'électrode accélératrice des électrons et la lentille d'extraction des ions secondaires sont reliées entre elles mécaniquement et électriquement. 3. Analyseur ionique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le canal du canon à électrons est incliné sur la face frontale de ladite lentille. 4. Analyseur ionique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le canal percé dans le corps de la lentille d'extraction est muni d'un diaphragme disposé dans une zone où le champ électrique d'accélération est nul. 5. Analyseur ionique selon la revendication 1, caractérisé en ce que les ions secondaires étant chargés positivement, la lentille d'extraction est portée à un potentiel négatif par rapport à la cible, les électrons étant alors accélérés entre la face frontale de la lentille d'extraction et la cible. 6. Analyseur ionique selon la revendication 5, caractérisé en ce que la source de haute tension polarisant le filament est modulable en amplitude, ce qui permet d'obtenir un balayage transversal de la zone d'impact des électrons sur la cible, 7. Analyseur ionique selon la revendication 2, caractérisé en ce que les ions secondaires étant chargés négativement, la lentille d'extraction est portée à un potentiel positif par rapport à la cible, les électrons étant alors décélérÉs entre la face frontale de la lentille d'extraction et la cible. 8. Analyseur ionique selon l'une quelconque des revendications 6 et 7,caractérisé en ce que la tension d'accélération des électrons est réglée en fonction de l'inclinaison du canal de telle manière que le centre du faisceau d'électrons sur la cible cotncide avec l'axe de la lentille d'extraction. 9. Analyseur ionique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caracterisé en ce que la lentille d'extraction est reliée à la masse, le filament du canon est porté à une haute tension négative et la cible à une haute tension du signe de la charge des ions secondaires. 10. Analyseur ionique selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que l'orifice de sortie des électrons de la face frontale de la lentille d'extraction a une forme telle que les électrons bombardent la surface utile de la cible.