Brevet FR2369016A1 — publié le 19780526

L'invention est relative à un procédé d'exposition dlun substrat à une source d'émission, procédé selon lequel on effectue une occultation périodique du substrat de manière à l'isoler périodiquement de l'émission de la source. Plus particulièrement, l'invention concerne un procédé de fabrication, par évaporation sous vide, d'un dépôt, sur un substrat. Généralement, l'occultation périodique est réalisée à l'aide d'un cache rotatif -dont le plan moyen est sensiblement perpendiculaire à la direction joignant le centre de la source d'émission au centre du substrat, ce cache tournant autour d'un axe orienté suivant cette direction. Le profil du cache est déterminé de telle sorte que l'on obtienne une loi préalablement choisie d'exposition des différentes zones du substrat. Toutefois, les procédés mis en oeuvre, jusqu'a ce jour, permettent d'obtenir, essentiellement, des zones d'égale exposition ayant une forme circulaire, de révolution autour de l'axe de rotation du cache. En particulier, lors du dépôt d'une couche de matière par évaporation sous vide, les lignes d'égale épaisseur sont des circonférences. Or, pour certaines applications, on souhaite obtenir des courbes d'égale exposition, notamment des courbes d'égale épaisseur, qui n'ont pas une forme de révolution mais, par exemple, une forme elliptique. C'est le cas, comme expliqué plus loin, d'une lame de Schmidt destinée à travailler en réflexion ; la face réfléchissante de la lame de Schmidt doit avoir alors une forme asphérique, qui n'est pas de révolution. L'invention a pour but, surtout, de fournir un procédé d'exposition d'un substrat à une source d'émission tel qu'il réponde mieux que jusqu'à ce jour aux diverses exigences de la pratique et notamment tel qu'il permette de réaliser, sur le substrat, des zones d'égale exposition ayant une forme déterminée, qui peut ne pas être de révolu-tipn. Selon l'invention, le procédé d'exposition d'un substrat à une source d'émission, procédé selon lequel on effectue une occultation périodique du substrat de manière à l'isoler periodiquement de émission de la source, est caractérisé par le fait que l'on réalise entre le substrat et la source un mouvement relatif de translation alternatif, notamment rec tiligne, suivant une direction transversale par rapport à celle joignant le centre de la source au centre du substrat, l'occultation et le mouvement de translation étant combinés de manière telle qu'on obtienne, sur le substrat, des courbes d'égale exposition à la source ayant une forme déterminée, notamment une forme elliptique. Plus particulièrement, dans le cas d'un procédé de fabrication, par évaporation sous vide, d'un dépôt sur un substrat, la source d'émission est constituée par une source de matière soumise à évaporation sous vide. de telle sorte que de la ma et qu'une partie de cette matière se dépose sur le substrat, tière soit émise sous forme de vapeur/, et les courbes d'égale exposition à la source correspondent à des courbes d'égale épaisseur du dépôt de matière réalisé sur le substrat. De préférence, l'occultation périodique et le mouvement relatif de translation alternatif du substrat sont réalisés avec des périodes très différentes ayant notamment un rapport environ égal à 100 ; la période la plus grande est elle-même faible par rapport à la durée totale de l'exposition du substrat à la source, le rapport de cette période la plus grande à la durée totale d'exposition étant notamment inférieur à 1/100. On peut prévoir un mouvement de rotation relatif entre le substrat et la source d'émission. Avantageusement, le procédé d'exposition comporte au moins deux phases, à savoir une première phase au cours de laquelle le substrat est exposé à la source d'émission sans qu'un mouvement de translation alternatif lui soit communiqué, et avec une première loi d'occultation périodique, et une seconde phase au cours de laquelle le mouvement relatif de translation alternatif est réalisé entre le substrat et la source, une seconde loi d'occultation périodique pouvant être éventuellement utilisée. Plus généralement, on peut superposer sur le substrat plusieurs expositions obtenues avec des lois d'occultation différentes correspondant à autant de mouvements de translation alternatifs dans des directions différentes. L'invention concerne également un dispositif pour la mise en oeuvre d'un procédé tel que défini précédemment. Le dispositif,selon l'invention, comprend une source d'émission, un support propre à porter le substrat et permet tant d'exposer une face de ce substrat a la source d'émission, des moyens d'occultation périodique du substrat, notamment constitués par un cache rotatif dont le plan moyen est sensiblement perpendiculaire à la direction joignant le centre de la source au-centre du substrat, ce cache tournant autour d'un axe orienté suivant cette direction, et est caractérisé par le fait qu'il comporte des moyens de guidage permettant un depla- cement relatif en translation, notamment rectiligne,entre le substrat et la source, et des moyens pour communiquer un tel mouvement relatif de translation entre source et substrat. De préférence, les moyens de guidage sont prévus pour permettre un déplacement en translation du substrat par rapport au support, suivant une direction transversale par rapport à la direction joignant les centres de la source et du substrat, et les moyens d'entrainement sont propres à déplacer le substrat par rapport au support, suivant le mouvement de translation alternatif. Les moyens de guidage sont agencés pour assurer le guidage dans deux plans parallèles prévus sur le support, ces moyens de guidage étant avantageusement formés par deux rails parallèles prévus sur le support, tandis que le substrat est monté dans un barillet muni de galets propres à rouler dans les susdits plans ; les moyens d'entraînement en translation alternative du substrat comprennent, avantageusement, un bras rotatif portant un doigt excentré par rapport à l'axe de rotation de bras, et propre à communiquer au barillet le mouvement alternatif. Le doigt porté par le susdit bras peut coopérer avec une fente prevue dans le barillet et orientée transversalement par rapport à la direction des déplacements rectilignes du barillet. Le dispositif comprend des moyens d'entraînement en rotation du support, du susdit doigt et du cache. Une application particulièrement intéressante du procédé de l'invention et du dispositif pour la mise en oeuvre de ce procédé réside dans la fabrication d'une lame due Schmidt dont au moins une face est une surface asphérique sans symétrie de révolution cette lame étant destinée à travailler en réflexion ; les susdits procédés et dispositifs permettent de réaliser la surface asphérique par dépôt d'une couche de matière par évaporation sous vide. L'invention consiste, mises à part les dispositions exposées ci-dessus, en certaines autres dispositions dont il sera plus explicitement question ci-après, à propos d'un mode de réalisation préféré décrit avec rrence au dessin ci-annexé, mais qui n'est nullement limitatif. La figure 1 de ce dessin montre, schématiquement, en coupe axiale, avec parties arrachées, un dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon l'invention. La figure 2 est une vue en plan d'un cache rotatif utilisé dans le dispositif de la figure 1. La figure 3 est une vue partielle suivant III-III, de la figure 1, à échelle réduite. La figure 4 est un schéma montrant une lame de Schmidt travaillant en réflexion La figure 5, enfin, représente des courbes d'égale épaisseur de la lame de la figure 4. En se reportant à la figure 1, on peut voir un dispositif 1 pour l'exposition d'un substrat 2 à une source d'émission 3. Plus particulièrement, le dispositif 1 permet de réaliser, par évaporation sous vide d'un matériau contenu dans la source d'émission 3, un dépôt 4 sur la face 2a du substrat 2 tournée vers la source 3. Le dispositif I comprend une enceinte la schématiquement représentée,à l'intérieur de laquelle un vide suffisant est réalisé ; la source de matière 3 soumise à évaporation est également représentée schématiquement. Le substrat 2 est monté dans un barillet 5, muni de part et d'autre de galets 6, propres à rouler sur deux rails parallèles 7, portés par un support 8. Le barillet 5 comporte une fenêtre 9 tournée vers la source 3, de manière a' permettre une exposition de la face 2a à l'émission de la source. Le support 8 est monté rotatif autour de l'axe A passant par le centre de la source 3 et par le centre de la face 2a. Cette face 2a est généralement plane et perpendiculaire à l'axe A ; toutefois, la face 2a pourrait avoir une autre forme, par exemple une forme sphérique. L'entraînement en rotation du support 8 est assuré par un pignon moteur 10 coopérant avec une couronne dentée Il solidaire en rotation d'un manchon cylindrique 12 appartenant au support 8. Les moyens d'entraînement en rotation formés par le pignon 10 et la couronne Il sont propres à communiquer au support 8 et donc au barillet 5 et au substrat 2, un mouvement général de rotation autour de l'axe A ayant pour effet d'intégrer une dissymétrie éventuelle de l'indicatrice d'é- mission de la source 3. Selon une variante, le mouvement de rotation relatif entre le support 8 et la source 3 pourrait être obtenu en faisant tourner la source autour de l'axe A, le support 8 restant immobile. Les rails 7 constituent des moyens de guidage, dans deux plans parallèles, permettant un déplacement en translation, rectiligne, du barillet 5 et donc du substrat 2 par rapport au support 8. Selon la représentation de la figure 1, ce mouvement de translation s'effectue suivant une direction perpendiculaire au plan de la figure. Des moyens d'entraînement E sont prévus pour communiquer un mouvement de. translation rectiligne alternatif au barillet 5 et donc au substrat 2, par rapport au support 8. Ces moyens E comprennent un bras rotatif 13 solidaire d'un arbre 14 coaxial au manchon 12 et monté de manière à pouvoir tourner, autour de l'axe A, librement par rapport au manchon 12 et au support 8. Les moyens d'entraînement en rotation de l'arbre 14 et du bras comprennent un pignon moteur 15 engrenant avec une couronne dentée 16 solidaire en rotation de l'arbre 14. Le bras 13 porte un doigt 17, excentré par rapport à l'axe de rotation A ; ce doigt 17 communique au barillet 5 le mouvement de translation rectiligne alternatif. Pour cela, on peut faire coopérer le doigt 17 avec une fente 18 prévue dans le barillet et orientée transversalement par rapport à la direction des déplacements rectilignes du barillet 5 (voir fig. 3). De préférence, la fente 18 est rectiligne et perpendicu laire à la direction des rails 7 ; cette fente zou 18 étend de part et d'autre du plan longitudinal moyen du barillet 5 d'une distance au moins égale à l'excentration du doigt 17. Lors de la rotation du bras 13, la coopération du doigt 17 et de cette fente 18 transforme le mouvernent circulaire du bras 13 en mouvement rectiligne alternatif du barillet 5, comme un système mécanique bielle-manivelle équivalent. Des moyens d'occultation 19 formés par un cache rotatif 20 sont disposés entre le substrat 2 et la source 3. Le cache 20 est formé par un disque comportant une fenêtre 21 (figure 2) de profil déterminé en fonction de la distribution souhaitée pour l'épaisseur du dépôt sur la face 2a. Le plan du disque 20 est perpendiculaire à l'axe A et le centre O du disque est situé sur cet axe A. Le cache 20 est porté par une couronne 22 dentée extérieurement, montée de manière à pouvoir tourner autour de 1Paxe A passant par le centre de cette couronne et perpendiculaire au plan de la couronne ; un pignon moteur 23 engrène extérieurement avec la denture de la couronne 22 de manière à l'entraîner en rotation. Cette couronne 22 comporte en son centre une ouverture 24, de telle sorte que l'occultation périodique de la face 2a du substrat soit assurée par le cache 20. Ltoccultation périodique et le mouvement de translation alternatif du substrat 2 sont réalisés avec des périodes très différentes ayant notamment un rapport égal à environ 100. Autrement dit, la vitesse de rotation du cache 20 (inversement proportionnelle à la période) est très différente de la vitesse de rotation du bras 13 (inversement proportionnelle à la période du mouvement de translation alternatif du barillet 5 et du substrat 2). La période la plus grande des deux mouvements (mouvement de rotation du cache et mouvement alternatif du substrat 2), est elle-mêrne faible par rapport à la durée totale Te de l'ex- position du substrat 2 à la source. Le rapport de cette période la plus grande à la durée totale d'exposition est de préférence inférieur à 1/100. Le mouvement de rotation communiqué au support 8 et donc également au substrat 2 par rapport à la source d'émission 3 a une période très différente de la période d'occultation la vitesse de rotation du support 8 est très inférieure à la vitesse de rotation du cache 20. Des moyens 25 pour estimer la quantité de matière déposée sur la face 2a sont prévus. Ces moyens comprennent au moins un quartz piezo-électrique 26 disposé à proximité du cache 20 et exposé à l'émission de la source 3. Ce quartz est monté fixe et sa face exposée à la source 3 reçoit un dépôt de matière dépendant du temps d'exposition. Un oscillateur (non représenté) est piloté par le quartz 26 et la fréquence de cet oscillateur dépend de la quantité de matière déposée sur le quartz. Dtaprès la variation de fréquence de l'oscillateur, on peut estimer la quantité de matière déposée sur le quartz et, par corrélation, la quantité de matière déposée sur la face 2a. On peut prévoir plusieurs quartz pour faire une moyenne des estimations, par exemple- trois quartz régulièrement espacés angulairement, à 120 , au voisinage de la périphérie du cache 20. Pour realiser un dépôt de matière sur la face 2a, dont les courbes d'égale épaisseur ont une forme souhaitée, on détermine la forme de la fenêtre cet la loi du mouvement de translation alternatif du substrat 2, de telle sorte que la combinaison de ces deux paramètres permette ltobtention d'un dépôt dont les courbes d'égale épaisseur ont la forme la plus voisine possible de celle souhaitée. La réalisation du dépôt résulte, d'une manière évidente, des explications précédentes. On expose le substrat 2 à l'émission de la source 3 dont la matière est évaporée sous vide. Le cache 20 est entraine en rotation lors de ces opérations, ainsi que le support 8. Le bras 13 est également entraîné en rotation de telle sorte que le substrat 2 effectue un mouvement de translation alternatif suivant la direction perpendiculaire au plan de la figure 1. Généralement, les mouvements de rotation du cache 20, du support 8 et du bras 13 sont des mouvements circulaires uniformes ; le mouvement de translation rectiligne du barillet 5 et du substrat 2, par rapport au support b, est un mouvement rectiligne sinusoïdal. Avantageusement, on prévoit au moins deux phases pour la réalisation du dépôt de matière sur la face 2a. Au cours d'une première phase, le bras 13 n'est pas entrainé en rotation et est bloqué par rapport au support 8 dans une position pour laquelle le centre du substrat se trouve sur l'axe a. Ainsi, dans cette première phase, seuls les mouvements de rotation du cache 20 et du support sont assurés ; le mouvement de translation alternatif du substrat 2 n'a pas lieu. La couche de matière déposée sur la face 2a, lors de cette première phase, présentera donc des courbes d'égale épaisseur ayant une forme circulaire de révolution. Lors d"une- seconde phase, le mouvement de translation alternatif du substrat sera réalise en entraînant cette fois, le bras 13 en rotation ; une seconde loi dloccult tion périodique de la face 2a peut être prévue lors de cette seconde phase, par exemple en modifiant la forme de la fenêtre 21. En opérant ainsi, en plusieurs phases, on peut obtenir des courbes égale épaisseur, dans le dépôt réalisé sur la face 2a, ayant une forme plus proche de la forme souhaitée que dans le cas où le dépôt est réalisé en une seule phase. Plus généralement, on peut superposer plusieurs dépôts obtenus avec des lois d'occultation différentes prévues pour chaque dépôt successif, et associées à autant de mouvements de translation alternatifs du substrat 2 dans des directions différentes On peut ainsi réaliser, pratiquement, une distribution de l'épaisseur du dépôt selon une loi quelconque. Une application particulièrement intéressante concerne la fabrication d'une "lame de Schmidt" (dispositif optique destiné à corriger des aberrations) destinée à travailler par réflexion, afin d'avoir une etendue spectrale très large, non limitée par l'absorption et par la dispersion du matériau constituant la lame. On rappelle qu'une "lame de Schmidt" travaille, en général, en transmission et sous incidence moyenne nulle. Une face de cette lame est plane, tandis que l'autre est une surface asphérique. Pour une "lame de Schmidt", travaillant en transmission sous incidence moyenne nulle, il existe une symétrie de révolution, de telle sorte que les courbes d'égale épaisseur sur la surface asphérique sont des cercles. La réalisation d'une telle surface asphérique, de révolution, tout en étant délicate, reste classique. Toutefois, dans le cas d'une "lame de- Schmidt" L (fig.3), travaillant par réflexion, notamment pour un télescope compor tant un miroir concave M, il apparaît que le plan moyen de cette lame doit être incliné sur l'axe optique d-d du miroir M, pour permettre au faisceau parallèle de luire incidente F de tomber sur la"lame de Schmidt" L et d'être réfléchi vers le miroir M pour converger au foyer f. La lame L est placéeau centre de courbure C du miroir M, le foyer f étant situé à mi-distance du centre de courbure et du sommet D du miroir. Il apparaît ainsi que, pour une lame L qui travaille en réflexion, il nty aura pas de symétrie de révolution n raison de l'indicence moyenne non nulle du faisceau de lumière. Pratiquement, les courbes d'égale épaisseur de la lame L sont des ellipses e (fig. 5) dont le grand axe est situé dans le plan de la figure 4 et dont le petit axe est perpendiculaire au plan de cette figure Le procédé de l'irvention mis en oeuvre avec le dispositif de la figure 1 permettra de réaliser sur une face plane (ou sphérique) 2a un dépôt de matière, par évaporation sous vide, tel que les lignes d'égale épaisseur, après dépôt, soient des ellipses. Avec une telle "lame de Schmidt", on peut réaliser un télescope à grand champ ayant une grande bande passante. Avec le procédé de 11 invention, on réalise avec une grande précision le dépôt souhaité ; à titre d'exemple on peut indiquer une précision de l'ordre de 0,2 ck sur la obtenue surépaisseur,/dans les conditions expérimentales courantes. Pour la réalisation d'une "lame de Schmidt" travaillant par réflexion, de bons résultats ont été obtenus avec un substrat 2 en verre ou en silice et un dépôt de monoxyde de silicium par évaporation sous vide ; on a ainsi pu réaliser des épaisseurs de dépôt allant jusqu'à 20 microns. I1 est bien entendu qu'il s'agit d'un exemple particulier et que d'autres substances appropriées peuvent être déposées avec le même procédé sur d'autres types de substrats. Le procédé et le dispositif de l'invention ne sont pas limités à l'évaporation sous vide mais pourraient convenir pour toute exposition d'un substrat à une source d'émission en vue de réaliser sur le substrat des courbes d'gale exposition ayant une forme non circulaire. Par exemple, la source 3 pourrait être une source de radiations électromagnétiques et le substrat 2 réalise en une mature sensible u ces radiations. il convient de remarquer que l'exposition du substrat à la source et plus particulièrement le dépôt sur la face 2a dans le cas d'une évaporation sous vide, se fait par intégra- tion de trois mouvements > à savoir - rotation relative entre le cache et la source - mouvement de translation rectiligne périodique entre le substrat et la source - mouvement de rotation relatif entre l'ensemble du substrat et du support , et la source. Ce dernier mouvement n'est pas necessaire si l'indica- trice d'émission de la source 3 possède une symtrie de révolution compatible avec la précision demandée. Il convient de noter que tous les mouvements sont des mouvements relatifs entre deux éléments; l'un de ces éléments peut être fixe et l'autre mobile ou inversement. Le cas échéant, les deux éléments pourraient etre mobiles. Comme autres applications du procédé et du dispositif de l'invention, on peut indiquer la réalisation de toute lame corrigeant les aberrations d'un système optique au moyen d'une surface asphérique de révolution ou non ; cette surface asphérique sera formée par celle d'un dépôt obtenu par évaporation sous vide selon le procédé de l'invention. On peut,également, réaliser des atténuateurs optiques selon une loi quelconque, ou des filtres interférentiels non uniforrnes de loi quelconque. REVENDICATIONS 1. Procédé d'exposition d'un substrat à une source d'e- mission, selon lequel on effectue une occultation périodique du substrat de manière à l'isoler périodiquement de ltemission de la source, caractérisé par le fait que l'on réalise, entre le substrat et la source, un mouvement relatif de translation alternatif notamment rectiligne, suivant une direction transversale par rapport à celle joignant le centre de la source au centre du substrat, l'occultation et le mouvement de translation étant combinés de maniere telle qu'on obtienne, sur le substrat, des courbes d'égale exposition à la source ayant une forme déterminée, notamment une forme elliptique. 2. Procédé de fabrication, par évaporation sous vide, d'un dépôt, sur un substrat, selon la revendication 1, caractérisé par le fait que la source d'émission est constituée par une source de matière soumise à une évaporation sous vide, de telle sorte que la matière soit émise sous forme de vapeur, et qu'une partie de cette matière se dépose sur le substrat, et que les courbes d'égale exposition à la source correspondent à des courbes d'égale épaisseur du dépôt de matière réalisé sur le substrat. 3. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que l'occultation périodique et le mouvement relatif de translation alternatif du substrat sont réalisés avec des périodes très différentes ayant notamment un rapport égal à environ 100, la période la plus grande étant elle-même faible par rapport à la durée totale de l'exposition du substrat à la source, le rapport de cette période la plus grande à la durée totale d'exposition étant notamment inférieur à 1/100. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que l'on réalise un mouvement de rotation relatif entre le substrat et la source d'émission, la période de ce mouvement relatif de rotation du substrat étant très différente de la période d'occultation. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait qu'il comporte au moins deux phases, à savoir une première phase au cours de laquelle le substrat est exposé à la source d'émission sans qu'un mouvement relatif de translation alternatif lui soit communiqué, et avec une première loi d'occultation pCriodique, et une seconde phase au cours de laquelle le mouvement relatif de translation alternatif est réalisé entre le substrat et 1s source, une seconde loi d'occultation périodique étant éventuellement utilisée. 6. Procédé selon la revendication 5, caractérisé par le fait que l'on superpose sur le substrat plusieurs dépôts obtenus avec des lois d'occultation différentes correspondant à autant de mouvements de translation rectilignes alternatifs dans des directions différentes. 7. Application d'un procédé selon la revendication 2 ou selon l'ensemble de la revendication 2 et l'une quelconque des revendications 3 à 6), à la fabrication d'une lame de Schmidt dont au moins une face est une surface sphérique sans symtrie de révolution, le susdit procédé étant utililisé pour réaliser cette surface asphérique, ladite lame de Schmidt étant notamment destinée à travailler en réflexion, sous une incidence non nulle. 8. Lame de Schmidt selon la revendication 7, caractérisée par le fait qu'elle comprend un substrat en verre ou en silice et un dépôt de monoxyde de silicium formant la surface asphérique, l'épaisseur du dépôt pouvant atteindre 20 nlicrons. 9. Dispositif pour la mise en oeuvre d'un procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, comprenant une source d'émission, un support propre à porter le substrat et permettant d'exposer une face de ce substrat à la source d'émission, des moyens d'occultation périodique du substrat notamment cons titués par un cache rotatif dont le plan moyen est sensiblement perpendiculaire à la direction joignant le centre de la source au centre du substrat, ce cache tournant autour d'un axe porté par cette direction, caractérisé par le fait qu'il comporte des moyens de guidage permettant un déplacement relatif en translation, notamment rectiligne, entre le substrat et la source, et des moyens d'entraînement pour communiquer un tel mouvement relatif de translation entre source et substrat. 10. Dispositif selon la revendication 9, caractérisé par le fait que les moyens de guidage sont prévus pour permettre un déplacement en translation du substrat par rapport au support, suivant une direction transversale par rapport à la direction joignant les centres de la source et du substrat et les moyens d'entraînement sont propres à déplacer le substrat par rapport au support, suivant le mouvement de translation alternatif. 11. Dispositif selon la revendication 10, caractérisé par le fait que les moyens de guidage sont agencés, notamment sous la forme de rails, pour assurer le guidage dans deux plans parallèles prévus sur le support et que le substrat est monté dans un barillet muni de galets propres à rouler dans ces plans, les moyens d'entraînement du substrat suivant le mouvement rectiligne alternatif comprenant un bras rotatif portant un doigt excentré par rapport à son axe de rotation, et propre à communiquer au barillet le mouvement rectiligne alternatif1 e doigt coopérant, notamment, avec une fente prévue dans le barillet et orientée transversalement par rapport à la direction des déplacements rectilignes du barillet. 12. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 9 à 11, caractérisé par le fait qu'il comprend des moyens d'entraînement en rotation du support, autour d'un axe passant par le centre de la source et le centre du substrat, des moyens d'enXraînement en rotation du bras portant le doigt et des moyens d'entraînement en rotation du cacne, ces moyens d'entrai- nement comprenant chacun, de préférence, un pignon coopérant avec une couronne dentée. 13. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 9 à 12, caractérisé par le fait qu'il comporte des moyens d'estimation de la quantité de matière déposée sur le substrat, ces moyens d'estimation comprenant notamment un quartz piezoélectrique, soumis à l'émission de matière provenant de la source, de telle sorte que la fréquence d'un oscillateur piloté par ce quartz varie selon la quantité de matière déposée sur ce quartz.