Brevet FR2372571A1 — publié le 19780623

L'invention concerne un procédé d'attaque plasma tique, selon lequel de la matière est enlevée d'un substrat situé sur une plaque de support, au moyen d'une décharge plasmatique et selon lequel la température du substrat est réglée. On utilise de plus en plus des procédés d'attaque plasmatique et un enlèvement ou décapage plasmatique dans la technologie des semiconducteurs dans le cas de procédés d'attaque ou de corrosion photolithographiques-, à la place d'une attaque chimique. Dans le cas du procédé d'attaque plasmatique,de la matière est enlevée au substrat à l'aide d'une décharge plasmatique qui s'effectue dans une enceinte réactionnelle en quartz. L'enlèvement ou le décapage plasmatique est un procédé d'attaque plasmatique au cours duquel.des vernis photosensibles sont éliminés d'une surface du substrat au cours d'une décharge plasmatique. Afin d'éviter des endommagements par rayonnemellt, il est connu de protéger la zone claire du plasma de la partie d'attaque ou corrosive par un bouclier métallique perforé ("tunnel d'attaque"). Etant donné que la vitesse d'attaque lors de l'attaque plasmatique dépend de la température locale de la surface du substrat, il faut être certain lors de la réalisation du procédé d'attaque plasmatique que la température du substrat est constante et distribuée uniformément sur la surface du substrat. Dans les installations d'attaque plasmatique utilisées habituellement dans la technologie des semiconducteurs, on ne peut maintenir constante la température des substrats, pendant le processus d'attaque, qu'en chauffant préalablement les substrats dans un plasma de gaz inerte et en maintenant constante la température des substrats ainsi obtenue, lors du processus ultérieur d'attaque plasmatique, en commandant la puissance électrique excitant le plasma. Une modification de la puissance électrique dans la décharge plasmatique amène toutefois par ailleurs une modification du milieu d'attaque.En outre dans le cas de durées assez longues d'attaque plasmatique, la pièce d'insertion formant "tunnel" située dans les installations d'attaque plasmatique, possède une capacité calorifique trop faible en sorte que, même après le préchauffage des substrats dans un plasma de gaz inerte, il faut s'accommoder d'une montée supplémentaire de la température. Les "tunnels d'attaque" fournis par les fabricants d'appareils nten- tralnent c s, donc r~sseacequi concerne la constance en température, l'a- mélioration indiquée également à ce sujet, sauf à la rigueur dans le cas de temps de traitement très courts. En principe il existe une différence entre la température initiale et la température finale.Cette différence est plus faible après un préchauffage et dans le cas d'un travail de brève durée en particulier dans le cas de l'utilisation de pièces accumulant la chaleur, elle peut être éventuellement négligée. L'invention a pour but d'indiquer un moyen permettant de commander la température des substrats devant être attaqués et de la maintenir constantes dans une installation d'atta- que plasmatique. Ce problème est résolu conformément a l'invention grâce au fait que la régulation de la température des substrats est réalisée au moyen d'une plaque de support des substrats,.pouvant être refroidie etXou pouvant être chauffée et avec laquelle lesdits substrats sont en contact thermique. Conformément a l'invention il est prévu d'utiliser dans le cas du procédé d'attaque plasmatique, une plaque de support des substrats qui peut être chauffées et/ou refroidie.~Si conformément à une variante particulière de l'invention, cette plaque de support des substrats est munie d'une conduite tubulaire, un liquide mis en température peut être pompé d travers cette conduite tubulaire et, de cette façon, le support des substrats et de ce fait, simultanément-, lesdits substrats peuvent être maintenus a une température constante. On utilise de préférence une plaque de support dont le matériau est identique au matériau du tunnel d'attaque.On obtient ainsi des conditions homogenes pour le procédé d'attaque plasmatique, ce qui pernet d'améliorer la reproductibilité dudit procédé A titre d'exemple on a décrit ci-dessous et illustré scllématiquene au dessin annexé un mode d'exécution du procédé conforme à l'invention. Dans une enceinte 1, dans laquelle le vide peut être fait par pompage, par l'intermédiaire d'une conduite de vidage 2, est situé le tunnel d'attaque 3 qui -est constitué par exemple par un tube d'aluminium cylindrique comportant des parois ajourées. L'enceinte 1 est munie en outre d'une entrée de gaz 4 par laquelle pé nature le gaz qui est utilisé lors de l'attaque plasmatique. A l'intérieur du tunnel d'attaque est située la plaque 5 de support des substrats, sur laquelle les substrats 6 sont placés. Une conduite tubulaire 7 s'étend a l'intérieur de la plaque 5 de support des substrats.Cette conduite tubulaire 7 traverse la plaque frontale 8 , à laquelle est fixée la plaque 5 de support des substratus, en sorte qu'un milieu liquide de refroidissement ou de chauffage peut être amené à circuler depuis l'extérieur à travers cette conduite tubulaire 7. La plaque 5 de support des substrats s'appuie sur des bagues d'étanchéité 9 en sorte que l'enceinte 1 est fermée de façon étanche. Le vide est réalisé par pompage dans l'enceinte de réaction 1 et cette dernière est alors remplie par le milieu d'attaque ou milieu corrosif, par exemple du fréon, à une pression comprise entre 0,5 et 1 torr. L'entrée de gaz 4 permet un débit d'introduction de fréon d'environ 50 ml/mn. Cet écoulement d'entrée de fréon frais est compensé par un pompage siul- tané de l'enceinte réactionnelle au moyen de la conduite de vidage 2. Pendant l'attaque plasmatique des substrats 6 un fluide de refroidissement est pompé à travers la plaque 5 de support des substrats en sorte que la quantité de chaleur dégagée lors de l'attaque plasmatique des substrats est évacuée à travers les substrats dans la plaque de support et, de 1à, dans le fluide de refroidissement. REVENDICATIONS 1. Procédé d'attaque plasmatique, selon lequel de la matière est enlevée d'un substrat situé sur une plaque de support, au cours d'une décharge plasmatique et selon lequel la température de substrat est réglée, caractérisé par le fait que la régulation de la température du substrat est réalisée au moyen d'une plaque (5) de support des substrats pouvant être refroidie et/ou chauffée et avec laquelle lesdits substrats (6) sont en contact thermique. 2. Procédé d'attaque plasmatique suivant la reven-. dication 1, caractérisé par le fait qu'on utilise une plaque (5) de support du substrat munie d'une conduite tubulaire (7). 3. Procédé d'attaque plasmatique suivant l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé par le fait qu'on utilise une plaque (5) de support des substrats qui est constituée par le même matériau qu'un tunnel d'attaque (3), qui l'entoure.