Brevet FR2359511A1 — publié le 19780217

L'invention concerne un procédé permettant la fabrication de plusieurs éléments de détection de rayonnement infrarou- ge, chaque élément comportant un corps qui est réalisé en matériau sensible au rayonnement infrarouge et dont la surface est pratiquement rectangulaire, ce corps étant muni de deux contacts électriques peu ohmiques qui, sur la surface du corps, sont situés de part et d'autre d'une zone sensible de ltélément. La fabrication de détecteurs de rayonnement infrarouge, comporte la formation des éléments de détection, le montage de ceux-ci sur des substrats adéquats, l'élaboration des connexions électriques vers ces éléments, le contrôle des éléments munis desdites connexions, et le montage final éventuel des éléments et contacts dans une enveloppe adéquate. Sous certaines formes, les détecteurs de rayonnement infrarouge ne comportent qu'un seul élément de détection, tandis que sous dtautres formes, ils comportent plusieurs éléments de détection, ceux-ci formant par exemple une série linéaire.Dans le cas de dispositifs dont le fonctionnement est fonction de la photoconductibilité intrinséque du matériau sensible au rayonnement infrarouge, la fabrication des éléments comporte des opérations telles que la préparation dudit matériau, le façonnage d'élément (s) par combinaison d'un décapage et d'un polissage, des traitements de surface, et l'élaboration de ouches de contact. Pour certains détectellrs de rayonnement infrarouge, la préparation du matériau sensible au rayonnement infrarouge, par exemple le tellurure double de cadmium et de mercure, est difficile, ce matériau étant en outre cofiteu . Pour cela, toutes les dispositions pouvant être priseseu cours de la fabrication des éléments et conduisant à un gain d'un tel matériau sont importantes. 2autrefois, on est confronté avec le problème qu'il peut exister une grande variété d'exigences à l'égard d'éléments dont les dimensions diffèrent, les caractéristiques et les configurations de montage étant fonction du genre de détecteur de rayonnement infrarouge à fabriquer : étendue de la zone sensible des éléments est, par exemple, faible, au point de ne mesurer que 25 /u x 25 /u ou grande, au point de mesurer 2 mm x 2 mm. Lorsque l'élément de détection ou les éléments de détection est (sont) réalisé (s) à partir d'une plaquette en matériau sensible au rayonnement infrarouge, on est donc confronté avec les frais élevés si, pour chaque configuration différente, on utilise, comme corps de base, une nouvelle plaquette en un tel matériau. Pour la fabrication de détecteurs comportant une série d'éléments de détection de rayonnement infrarouge, un autre problême de rendement de fabrication survient lorsque, comme cela est habituellement le cas, la série d'éléments est formée par un groupe ou par plusieurs groupes, chaque groupe étant formé dans un corps commun en matériau sensible au rayonnement infrarouge. Cette approche dite "monolithique11 de la fabrication d'un groupe d'éléments de détection conduit à bon nombre de problèmes. Par conséquent, dans le cas où par exemple un groupe de dix éléments est formé dans un corps en forme de peigne, on est confronté avec le problème que si après le montage des éléments et l'élaboration de leurs connexions électriques, l'on constate qu'un des éléments distincts d'un groupe est défectueux, il faut remplacer l'entier groupe d'éléments.D'autres problèmes encore surviennent dans ladite approche monolithique, particulièrement à l'égard de l'é- cartement des éléments distincts d'un groupe formé dans un corps commun. l'ors que la séparation des zones de surface active des éléments dans un tel corps est obtenue par décapage, il existe une limite de l'écartement minimal susceptible d'être réalisé, étant donné que généralement, lors du décapage du corps en matériau sensible au rayonnement infrarouge, la largeur d'un canal estmrmalement beaucoup plus grande que l'épaisseur du corps. Meme si l'épaisseur du corps est réduite à 6 microns, il n1 est pas facile de réaliser par décapage un écartement inférieur à 6 microns entre les éléments. De plus, si le processus est tel que les éléments distincts sont façonnés avant la réduction finale de l'épaisseur, la manipulation et le traitement subséquent des corps dont l'épaisseur est aussi petite peuvent être extrêmement difficiles. Un autre problème survenant aussi bien dans le cas d'un détecteur à élément unique que dans celui de détecteurs à plusieurs éléments, est l'élaboration des connexions électriques vers llêément (ou les éléments) de détection de rayonnement in infrarouge, Jusqu a présent, cette élaboration a résulté du fait de réunir des conducteurs en fil à des parties de surface métallisées de l'élément ou des éléments, ce qui a lieu par exemple par thermocompression ou par soudage.Consécutivement à la défor- nation de l'extrémité de fil lors de l'opération de liaison, comme c1 est le cas par exemple lors d'une liaison par tête de clou, il faut prendre des mesures pour s'assurer que la zone de l'élé- ment à laquelle le fil est raccordé, suffise pour que l'extrémité de fil déformée se situe entièrement sur l'élément. Cela est de nature à compliquer sans raison le façonnage de l'élément et est à même d'imposer d'autres restrictions -à l'écartement minimal réalisable entre des éléments voisins d'une série. D'autres problèmes encore surviennent à l'occasion oe la connexion des autres extrémités des conducteurs en forme de fil aux conducteurs de sortie, par exemple par soudage. Un autre problème qui est inhérent à l'approche dite 11monolithique" de la fabrication des éléments survivent dans le cas où l'on désire réaliser un détecteur à plusieurs éléments dans lequel l'écartement entre deux éléments voisins appartenant par exemple à une sérle linéaire, n'est pas le même partout. Cette différence est désirée par exemple si l'on exige différents degrés de pouvoir de ré#olutIon en différents endroits de la série d'élé- ments de détection.La formation de plusieurs éléments dans un seul corps, l'écartement entre deux éléments voisins n'étant t'as la même partout en différents endroits de- la série d'éléments conduit à bon nombre de difficultés et peut augmenter fortement les frais nécessaires à engager en ce qui concerne la quantité de matériau nécessaire. l'1 invention indique un procédé permettant la fabrication de plusieurs éléments de détection de rayonnement infrarouge, chaque élément comportant un corps qui est réalisé en matériau sensible au rayonnement infrarouge et dont la surface est pratiquement rectangulaire, ce corps étant muni de deux contacts électriques peu ohmioues qui, sur la surface du corps, sont situés de part et d'autre d'une zone sensible de l'élément. Conformément à l'invention, ce procédé est rew quable en ce qu'une plaquette en matériau sensible au rayonnement infrarouge est fixée å un corps servant de support, que dans le matériau de plaquette sont formés plusieurs premiers canaux pratiquement parallèles pour façonner sur le corps-support plusieurs bandes pratiquement parallèles en matériau sensible av rayonnement infrarouge, qu'il est procédé à un traitement pour réduire l'épaisseur desdites bandes et pour incurver les bords longitudinaux exposés de ces bandes, que dans le matériau de plaquette qui forme lesdites bandes sont formés plusieurs deuxièmes canaux pratiquement parallèles dans une direction qui est quasiment perpendiculaire à la direction longitudinale desdites bandes pour façonner sur le corps de support une série d'éléments rectangulaires en matériau sensible au rayonnement infrarouge, deux faces opposées de chaque élément ayant des bords incurvés, que du matériau électriquement conducteur est déPosé pour former, sur la surface de chaque élément, deux couches de contact électrique distinctes qui avoisinent les bords incurvés opposés précités, et enfin que les éléments avec leurs couches de contact sont prélevés du corps de support. Comme il sera décrit dans la suite de l'exposé, ce procédé peut conduire à des avantages importants à l'égard du gain de matériau, de la facilité d'obtenir des éléments dont les zones sensibles diffèrent, d'une meilleure performance de fonctionnement du détecteur, d'un faible écartement entre les éléments d'un détecteur à plusieurs éléments, et de l'élaboration de connexions électriques extérieures. Le procédé donne aux éléments une forme individuelle plutot que l'aspect d'un ensemble monolithique, et cela de façon que l'assemblage et la connexion subséquents des éléments au cours de la fabrication d'un détecteur de rayonnement infrarouge soient facilités comme on le désire.En particulier, l'élaboration deseSéments avec leurs couches de contact qui avoisinent les bords incurvés opposés permet d'effectuer par la suite, soit dans un détecteur à élément unique soit dans des détecteurs à plusieurs éléments, l'assemblage des éléments lorsque les connexions électriques appartenant à ceux-ci sont formées à l'aide de couches conductrices déposées. Cela exclu la nécessité d'une liaison par thermocompression ou par soudage des fils, ce qui rencontre les désavantages déjà mentionnés dans cet exposé.En ce qui concerne ce procédé d'assemblage et de connexion on est prié de se référer à la demande de brevet britannique NO 30806.75 déposée simultanément avec la présente au nom de thllard Limited le 23/7/1975. L'assemblage des éléments distincts sur un substrat est réalisé par exemple du fait que les éléments sont fixés au substrat isolant à l'aide d'une résine époxy. Un tel procédé peut être mis en oeuvre aussi bien pour des détecteurs à élément unique que pour des détecteurs à plusieurs éléments.Dans le cas de détecteurs à plusieurs éléments, on profite du grand avantage que l'écartement entre les éléments voisins dans le dispositif peut répondre aux désirs. '='écartement peut être beaucoup plus petit que dans le cas de détecteurs monolithiques à plusieurs éléments, tandis qu'en outre, par exemple dans une série linéaire, le pas entre les éléments peut être varié suivant les besoins. De plus, on a facilité de façon simple la formation éventuelle de séries bidimensionnelles à écartement quelconque entre les éléments voisins. Le procédé conforme à l'invention et mis en oeuvre pour la formation des éléments, permet des gains considérables en matériau étant donné que dans toute plaquette soumise à ce procédé, il est facile de façonner des éléments dont les zones sensibles diffèrent, par exemple par le choix judicieux de l'écartement des deuxièmes canaux En outre, on améliore de cette façon les performances de fonctionnement des éléments, étant donné qu'il est facile d'adapter au procédé différents traitements de surface. Eventuellement avant la fixation de la plaquette en matériau sensible au rayonnement infrarouge au corps de support, elle est soumise à un traitement d'oxydation dans le but de former un oxyde sur la surface de plaquette devant être fixée audit corps. De cette façon, la surface des éléments sensibles au rayonnement infrarouge fabriqués ensuite, située à 1 'opposé de la surface qui, lors du fonctionnement du détecteur est frappée par le rayonnement, sera munie d'une couche dont on a constaté qu'elle améliore les performances des éléments de détection. Drentuellement après avoir fixé. la plaquette en matériau sensible au rayonnement infrarouge au corps de support et avant de former les premiers canaux dans le matériau de la plaquette, on réduit l'épaisseur de celle-ci en travaillant la surface de plaquette située du côté opposé au corps de support. Cette réduction d'épaisseur résulte par exemple de-plusieurs polissages au cours desquels la surface devient de plus en plus lisse, par exemple en changeant la dimension des particules abrasives utilisées au cours des différents polissages et également en modifiant en correspondance la dureté du moyen de polissage utilisé au cours du procédé, jusqu'à l'obtention de l'épaisseur désirée. Le traitement qui vise la réduction de l'épaisseur des bandes et celui visant l'incurvation des bords longitudinaux exposés de ces bandes comportent par exemple un polissage combiné avec et suivi d'un décapage. Eventuellement après formation des seconds canaux dans le matériau constituant la plaquette, des portions de surface exposées des éléments sont soumises à un traitement de passivation. Cette passivation dans ce stade de fabrication, effectuée après le façonnage rectangulaire1 est avantageuse en raison de ce qu'il est possible ainsi- d1oxyder des surfaces latérales exposées qui appartiennent aux éléments et qui, dans l'élément finalement obtenu, avoisinent les parties de surface principales de la zone sensible au rayonnement infrarouge. Ladite passivation est intéressante puisque dans le cas d'un dispositif dans lequel lesdites surfaces latérales n'ont pas été passivées, on pourrait constater une dégradation des performances lorsque le dispositif est soumis à des températures élevées. Suivant un mode de réalisation préféré, immédiatement avant le traitement de passivation, les portions de surface exposées des éléments subissent un décapage. Le traitement de passivation peut être limité aux zones de surface centrales appartenant aux éléments et s'étendant transversalement à ces éléments, lesdites zones centrales étant définies par des parties de couche masquante situées de part et d'autre desdites zones centrales et à côté des bords incurvés des éléments. Les parties de couche masquante sont par exemple en photorésist. Après le traitement de passivation et avant l'élabora- tion des couches de contact, lesdites parties de couche masquante sont retirées, puisqu'il est élaboré une autre couche masquante façonnée de façon que chaque zone de surface passivée est couverte d'une partie de couche masquante à l'exception de deux bandes périphériques opposées appartenant à la zone de surface oxydée envisagée et s'étendant quasi parallèlement aux bords incurvés des éléments, puisque, les parties de couche masquante restant en place, il est enlevé du matériau des bandes exposées des zones de surface passivées. De cette façon, la dimension latérale des zones de surface passivées est réduite légèrement avant l'élaboration des couches de contact, et cela dans le but d'éviter des problèmes d'a dignement de masques à l'occasion de cette élaboration. Ledit enlèvement de matériau dans le but de réduire la dimension latérale des zones de surface passivées peut avoir lieu oar polissage, par exemple à l'aide d'un chiffon et d'un très fin produit abrasif. A titre d'exemple, ladite autre couche masquante est en ptlotorésist, et les couches de contact électrique sont formées par dépôt d'un matériau électriquement conducteur sur les parties de surface exPosées des -éléments et des parties de surface de couche masquante en photorésist, ce dépôt étant suivi de l'élimination par voie chimique de la couche masquante en photorésist et du matériau conducteur électrique déposé sur celle-ci. De cette façon, le matériau conducteur déposé est éloigné d'au-dessus des zones de surface activés des éléments par une technique dite de soulèvement". ("lift off" technique).Comparativement à une technique suivant laquelle le matériau conducteur est d'abord déposé sur ltentière surface et ensuite façonné par voie photolithographique, en particulier dans le cas où le matériau conducteur dépose est de l'or, la mise en oeuvre de la technique précisée ci-dessus est avantageuse, étant donné qu'il n'est pas possible de décaper le matériau conducteur sans éloignement de la couche de passivation sous-jacente et éventuellement du matériau formant les éléments. Eventuellement, après l'application des couches de contact, chaque élément est prélevé du corps de support à l'aide d'organes mécaniques, par exemple un outil fin. Dans le cas où pour ce prélèvement on utilise des organes mécaniques, les éléments peuvent être prélevés d'endroits sélectionnés de la série et soumis à des opérations de contrôle, par exemple la mesure de la résistivité, de la réponse, de la longueur d'onde de coupure, de la constante de temps et du paramètre DX, dans le but d'évaluer les caractéristiques des éléments et leur répartition dans la série. De cette façon, on peut dresser une carte mentionnant les caractéristiques des éléments, et ensuite, quelques-uns de ceux-ci peuvent être sélectionnés pour être éliminés suivant les caractéristiques désirées des détecteurs à fabriquer. Un tel contrôle est utilisé avantageusement lorsque les propriétés de la plaquette qui a servi de base ne sont pas les mêmes sur l'étendue complète de la plaquette. Pour la fabrication d'un détecteur comportant plusieurs élémentsoensibles au rayonnement infrarouge, un groupe d'éléments adjacents dans la série aménagée sur le corps de support est prélevé auvu des caractéristiques évaluées des éléments prélevés dans des buts de contrôle. Dans la plaquette, au moins les premiers canaux pratiquement parallèles ont le même écartement. De cette façon, tous les éléments produits subséouemment ont la même dimension transversale dans une direction entre les bords incurvés de deux faces opposées. En modifiant l'écartement entre lesdits deuxièmes canaux qui sont formés dans les bandes façonnées précédemment dans le matériau sensible au rayonnement infrarouge, il est possible de modifier la largeur des éléments, cXest-à-dire la dimension transversale dans la direction parallèle auxdits bords incurvés. De cette façon, dans une plaquette quelconque servant de base, il est possible de former plusieurs éléments dont les zones de surface actives ont au moins deux superficies différentes. Le procédé conforme à l'invention peut être mis en oeuvre pour la fabrication d'éléments de détection ce rayonnement infrarouge réalisés en différents matériaux, en particulier des matériaux très coûteux. Un tel matériau est le tellurure double de cadmium et de mercure : la préparation de ce matériau dans le but de lui donner les propriétés désirées dure longtemps et nécessite de réaliser des gains de matériau là où cela est possible au cours de formation des éléments. toutefois, le procédé peut être utilisé avantageusement aussi pour la production d'éléments de détection de rayonnement infrarouge formés par d'autres matériaux pour lesquels la nécessité de réaliser des gains n'est Las tellement importante, un tel matériau étant par exemple l'antimoniure d' indium. La description suivante, en regard des dessin s annexés, le tout donné à titre d'exemple, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. La figure 1 est une coupe transversale d'une plaquette en tellurure double de cadmium et de mercure, montée sur un bloc de polissage et illustrée dans un stade de fabrication qui a suivi un traitement de surface. La figure 2 est une coupe transversale de la même plaquette après son montage sur un autre bloc de polissage. La figure 3 est une coupe transversale de ce qui subsis- te de la plaquette sur ledit autre bloc de polissage après la ré réduction de Ilépaisseur de ladite plaquette. La figure 4 est une vue en plan de la plaquette sur ledit autre bloc de polissage après un autre stade de fabrication. La figure 5 est une coupe transversale suivant le plan V-V sur la figure 4. La figure 6 est une coupe transversale de la plaquette sur ledit autre bloc de polissage agrès une nouvelle réduction de l'épaisseur de cette plaquette0 La figure 7 est une vue en plan d'une partie de la plaquette après un autre stade de fabrication. Ia figure 8 est une coupe transversale suivant le plan Vili-Vili sur la figure 7. La figure 9 est une coupe transversale suivant le plan It-IX sur la figure 7. Les figures 10, 11 et 12 sont des coupes transversales qui illustrent la plaquette obtenue dans d'autres stades de fa fabrication. La figure 13 est une vue en plan de la même partie de plaquette dans un autre stade de fabrication, subséquent à un traitement de passivation0 La figure 14 est une coupe transversale suivant le plan XIV-IIV sur la figure 13. Les figures 15 et 16 sont des coupes transversales de la même partie de plaquette illustrée dans deux autres stades de fabrication. La figure 17 est une coupe transversale suivant le plan X\TII-lvII sur la figure 18 et montre la même partie de plaquette dans un stade de fabrication qui suit le stade dans lequel des éléments distincts de la plaquette ont été mis de couches de contact. La figure 18 est une vue en plan de la partie de plaquette concernée par la figure 17. La figure 19 est une vue en plan à plus grande échelle d'un élément avec des couches de contact, attaché au bloc de polissage. La figure 20 est une coupe transversale suivant le plan XX-XX sur la figure 19. La figure 21 est une coupe transversale suivant le plan XXI-XXI sur la figure 19. Sur les figures en question, les dimensions n'ont pas été reproduites à la même échelle, de sorte que les proportions entre les dimensions n'ont pas été respectées ; dans un dispositif réalisé en pratique, particulièrement les épaisseurs des diverses couches en relation avec les dimensions latérales de celles-ci sont beaucoup plus petites que celles reproduites sur les figures. Ci-après, on décrit la fabrication de nombreux éléments de détection de rayonnement infrarouge réalisés en tellurure double de cadmium et de mercure, le nombre d'éléments étant de l'ordre de deux mille. Dans l'exemple envisagé, la composition du matériau utilisé, c'est-à-dire le rapport entre les poids atomiques de cadmium et de mercure, est telle qu'elle donne lieu à une longueur d'onde de coupure de tordre de 12 microns. On part d'une plaquette affectant la forme d'un disque et réalisée en tellurure double de cadmium et de mercure ; le diamètre approximatif de ce disque est 10 mmr et son épaisseur approximative est 0,5 mm. Cette plaquette 1 est montée sur un bloc de polissage en matière céramique 2, muni d'une couche de cire 3. Ce bloc 2 comporte des épaulements dont la hauteur est égale à 200 microns. Le polissage de la surface de plaquette dépassant le dessus desdits épaulements est effectué par une machine rotative utilisant un moyen de polissage et une pâte abrasive. Cette machine procède à plusieurs polissages, et après chaque polissage, les irrégularites de la structure cristalline sont devenues progressivement moins grandes, l'épaisseur étant pour cela réduite à la valeur désirée de 200 microns. Cette réduction progressive des irrégularités de surface est -réalisée par l'emploi de particules abrasives de plus en plus fines d'agents de polissage dont les duretés diffèrent. Le polissage est poursuivi jusqu'au point où la surface de la plaquette se situe dans le plan dans lequel se trouvent les surfaces supérieures des épaulements du bloc 2.Pour supprimer ce qui reste comme irrégularités de la surface, on procède à un décapage à l'aide d'un agent décapant contenant du brome#et du méthanol. Ensuite, on ef~ectele une oxydation alors que la plae,uet- te 1 est maintenue fixée au bloc de polissage 2, de sorte que cette oxydation a lieu sur la surface supérieure ainsi que sur des surfaces latérales. La figure 1 montre la plaquette I dont l'épaisseur est égale à 200 microns et qui a une couche de surface oxydée 4. Ensuite plaquette 1 est enlevée au bloc de polissage 2 et est fixée à un autre bloc de polissage 5, en aluminium de forte épaisseur, cette fixation ayant lieu par l'intermédiaire de la surface principale oxydée 4 de la plaquette. Le corps de support que forme le bloc 5 a des épaulements extérie-,lrs dont la hauteur est égale à 25 microns, tandis qu'entre ceux-ci, la surface du bloc porte une couche 6, en tantale. La plaquette 1 est fixée à cette couche 6 à l'aide d'une couche. en cire 7. Bien que la couche de surfaceoxydée 4 ait été représentée sur la figure 2, on n'a sas représenté cette couche dans les. figures suivantes dans le but de ne pas compliquer inutilement celles-ci. On procède ensuite à plusieurs polissages à l'aide d'un engin rotatif dans lequel est vtilisée une pâte d'oxyde d'aluminium (A1203) les dimensions des particules dans cette pâte et les moyens de polissage étant choisis de façon qu'à mesure de la progression des polissages, les irregularites dans la surface de plaquette diminuent de plus en plus.Le polissage est poursuivi ji#squ 'su point où la surface polie de la plaquette 1 se situe pratiquement dans le plan contenant également les surfaces supérieures des épaulements du bloc 5. La figure 3 montre la plaquette 1 après la réduction de son épaisseur, l'épaisseur de cette plaquette étant maintenant égale à environ 25 /u. La plaquette 1 présentant cette épaisseur réduite et restant fixée, par l'intermédiaire de Ra couche en cire 7, à la couche en tantale 6 sur le bloc de polissage 5, on élabore une couche en photorésist sur la surface supérieure de la plaquette 1. Ensuite, on procède à une opération de photomasquage et de développement dans le but de façonner plusieurs ouvertures pratiquement parallèles en forme de bande dans la couche en photorésist. Puis, on procède à un décapage à l'aide d'un agent décapant adé quart attaquant le tellurure double de cadmium et de mercure pour former dans la plaquette les premiers canaux 8, qui sont pratiquement parallèles et qui définissent sur le bloc de polissage plusieurs bandes 9 pratiquement parallèles en tellurure double de cadmium et de mercure. Les figures 4 et 5 montrent les car ;x 8 et les bandes 9. Dans cet exemple, la largeur des canaux 8 est égale à environ 50' /u, cependant que la largeur de toutes les bandes atteint environ 200 Le stade suivant de la fabrication est l'enlèvement des parties de couche en photorésist qui subsistent sur les bandes 9. Ensuite, on réduit l'épaisseur desditespartîes 9 à environ 8 tandis qu'en même temps on incurve dans une certaine mesure les bords longitudinaux supérieurs exposés desdites bandes 9. Cela s'obtient en effectuant d'abord un polissage avec un engin utilisant un fin moyen de polissage et un agent abrasif fin, ce polissage étant poursuivi jusqu'au point où l'épaisseur des bandes 9 est devenue égale à environ 12 /u, ledit polissage étant suivi d'un décapage des bandes 9 dans le but d'ôter le matériau jusqu'au point d'obtenir une épaisseur de l'ordre de 4 /u à 5 /u. De cette façon, les bords longitudinaux supérieurs des bandes sont arrondis, et cela est mis à profit t'our les connexions extérieures des éléments après leur fabrication. De plus, on a constaté que le décapage exerce un effet de sensibilisation qui améliore les performances des éléments.La figure 6 est une coupe transversale des bandes 9 après le#décapage. Du fait que sur le dessin toutes les dimensions n'ont pas été reprodalites à la même échelle, l'arrondi des bords longitudinaux n'apparaît pas clairement, mais dans la pratique, on a constaté qu'en coupe transversale, l-'incur- vation s'étend sur une distance au moins égale à 15 /udepuis le fond jusqu'à chaque bord longitudinal. A remarquer également que durant le polissage, effectué dans le but de réduire l'épaisseur de 12 #u à une épaisseur comprise entre 7 /u et 8 /u, les parties exposées-de la couche en cire dans les canaux 8 sont décapées. Par conséquent, dans la coupe transversale constituant la figure 6, la couche en cire 7 existe maintenant uniquement en-dessous de chaque bande 9. Le stade suivant de la fabrication est l'élaboration d'une couche en photorésist sur les surfaces supérieums des bandes. Par un procédé conventionnel de photomasquage et de dévelop pensent, on enlève de ladite couche en photorésist plusieurs bandes pratiquement parallèles qui sont perpendiculaires aux parties 9, et on procède au décapage du matériau exposé des parties 9 à l'aide d'un agent décapant adéquat attaquant le tellurure double de cadmium et de mercure pour former ainsi plusieurs canaux pratiquement parallèles 10 dans le matériau des bandes 9 pour fa çonner de la sorte sur le bloc de polissage une série d'éléments pratiquement rectangulaires Il en tellurure double de cadmium et de mercure. La figure 7 est une vue en plan d'une partie de la plaquette après la formation des canaux 10 et donc après le façon nage des éléments 11. Le restant de la couche en photorésist utilisée pour le masquage avant été ôté.La figure 8 est une coupe transversale suivant le plan Vili-Vili sur la figure 7, la figure 9 étant une couse transversale suivant le plan IX-IS sur la même figure. La figure 8 montre l'arrondi des bords des éléments Il sur deux faces opposées, ces bords étant à comparer aux bords prati- quement verticaux (ligure 9) des deux autres faces des éléments. Dans cet exemple, le décapage ayant pris fin, la largeur des canaux 10 est égale à environ 30 /u, tandis que comme le montre la figure 7, la surface finale des éléments Il mesure 200 #u x 50 /u. Le stade suivant de la fabrication est ltélaborasion d'une autre couche en photorésist 12 sur la surface des éléments 11, sur les portions de surface exposées de la couche en cire 7, et sur la couche en tantale 6 supportée par le bloc de polissage 5. Par une opération de photomasquage et de développement, la couche en photorésist 12 est façonnée de façon à comporter des ouvertures 13 (figure 10), ces ouvertures affectant la forme de bandes dont la largeur est égale à environ 50 /u et qui sont parallèles aux canaux 8, lesdites ouvertures 13 laissant à découvert d'une part une extrémité des éléments 11, munie d'un bord arrondi, et d'autre part également une partie de la couche en tantale 6, sur le bloc de polissage 5, tantale duquel la couche en cire 7 avait été ôtée au préalable au cours de la réduction de l'épaisseur de la plaquette. La figure 10 est une coupe transversale qui correspond à celle constituant la figure 8 et montre la couche en photorésist 12 et les ouvertures 13 de celle-ci. Dès-à-présent, par pulvérisation cathodique, on forme une couche en or dont l'épaisseur est égale à 0,5 /u. Cette couche est donc déposée sur la couche en photorésist 12 ainsi que dans ses ouvertures 13. La couche 12 est ensuite dissoute dans un dissolvant adéquat, et l'or déposé sur cette couche 12 est ainsi enlevé par une technique dite de "soulèvement" ("lift-off" technique). La figure 11 est une coupe transversale qui correspond à celle constituant la figure 10 et qui montre des bandes de couche en or 14 dont la largeur approximative est égale à 50 /u et qui établissent le contact entre les surfaces supérieures des éléments 11 et la couche en tantale 6 sur le bloc 5. Ces bandes de couche en or 14 sont indispensables pour établir cette connexion électrique dans un stade de fabrication ultérieur suivant. En effet, en raison d'une part de la couche d'oxyde élaborée initialement et localisée sur la surface inférieure des éléments Il et d'autre part de l'écartement entre lesdits corps et la couche en tantale 6 séparés par la couche en cire 7, les éléments 11 pourraient, en l'absence des bandes en or 14, été isolées effectivement. Une autre couche-en photorésist 15 est appliquée sur la surface supérieure de l'ensemble, tandis que par une opération de photomasquage et de développement, des ouvertures 16 affectant la forme de bandes rectangulaires à largeur d'environ 80 /u sont formées dans ladite couche 15. La. figure 12 est une coupe transversale qui correspond à celle constituant la figure 11 et montre les ouvertures 16 centrées sur les surfaces des éléments 11. Suivant la longueur des corps élémentaires, c'est-à-dlre dans la direction de la coupe constituant la figure 11, la largeur desdites ouvertures 16 est légèrement plus grande que la largeur finalement désirée pour les zones de surface actives des éléments. Alors que la couche en photorésist 15 façonnée de la sorte reste en place, les portions de surface exposées sont soumises à une sensibilisation par décapage pour ôter du matériau sur une épaisseur au maximum égale à 1 /u. Ensuite, on procède à un traitement de passivation. La figure 12 montre schématiquement en pointillé la couche de passivation 16 formée sur les surfaces exposées des éléments 11. Les parties résiduelles de la couche en photorésist 15 sont ensuite dissoutes. La figure 13 est une vue en plan de l'ensemble qui comporte encore les bandes en or 14 et les éléments Il dont des parties de surface mnt munies d'une couche de passivation 17. La figure 14 est la coupe transversale de l'ensemble représenté sur la figure 13.Dans la ale en plan constituant la figure 13, les bandes en or 14 sont hachurées en pointillé dans le but de rendre la figure plus explicite A noter que les ouvertures en forme de bonde 16 pratiquées dans la couche de- photorésist 15 ciecovraient en partie les canaux 10 set'arant les éléments 11. Certaines narties de surfaces latérales longitudinales desdits éléments Il ont ainsi été exposées également au traitement de #assivation, et à cet égard, cette passivation dans ce stade de -?abrication qui suit le stade du façonnage des éléments, peut être avantageuse. Le stade suivant de la fabrication est l'application d'une autre couche en photorésist 18, cette application étant suivie d'un photodécapage et d'un développement pour la formation d'ouvertures dans cette couche 18. Ces ouvertures affectent une forme telle que chaque zone cie sirface passivée 17 sur chaque élément 11 reste couverte de ladite couche en photorésist 18, exception faite de deux parties de bande périphériques 19 situées de part et d'autre, et s'étendant quasi parallèlement aux bords incurvés des éléments 11.La couve en photorésist 18 est conservée dans les canaux 10 entre les corps élémentaires ainsi que dans les canaux 8 comme le montre la figure 15. Entre les éléments 11, ladite couche îa couvre les parties de couche exposées en tantale 6 et chevauche également en tartie les bandes de contact en or 14, là ou celles-ci se trouvent sur la couche en tantale 6. Ensuite, en présence le la couche en photorésist 18 façonnée de la sorte, on procède à un enlèvement de matériau des bandes exposées 19 des zones de surface passivées. Cet enlèvement résulte d'ur polissage à l'aide d'un chiffon et d'un fin agent abrasif. Cet enlèvement de matériau peut avoir lieu de cette façon étant donné-que, généralement, la couche en photorésist ré- siste mieux à l'action d'un agent abrasif que la couche de surface passivée et qu'en outre, l'épaisseur de la couche en photorésist est beaucoup plus grande. De cette façon, la couche de surface passivée est enlevée des bandes exposées 19. pour permettre l'élaboration ultérieure de couches de contact sur les éléments, et cela sans problèmes d'alignement. Après le polissage décrit ci-dessus, une couche en or 20 dont l'épaisseur est égale à 0,5 /u est déposée sur la surface supérieure de l'ensemble, y compris les parties de couche 18 en photorésist et les portions de surface exposées des éléments 11. L'or est déposé par pulvérisation cathodique, et la figure 16 est une coupe transversale qui correspond à celle constituant la figure 15 et qui montre la couche en or 20 couvrant la surface de la partie de couche 18 en photorésist et les portions de surface exposées des éléments. A noter que du fait que l'on a enlevé par polissage la couche de surface passivée le long des bandes 19 (figure 15), ladite couche en or 20 n'est pas en contact avec les surfaces des éléments 11 là où se trouve une telle couche de passivation, ce qui veut dire que les bords de la couche de contact en or 20 sont élabores en auto-alignement avec les bords de la partie résiduelle de la couche de surface passi vexe. Après le dépôt de la couche en or 20, par effet de soulèvement, on dissout les parties subsistantes de la couche en photorésist 18 et, partant, les parties de la couche en or 20 sur cette couche 18. Sur chaque élément Il, il subsiste ainsi deux couches de contact en or 21 et 22 entre lesquelles est définie une zone de surface active mesurant 50 /u x 50 /u. Les couches de contact 21 recouvrent le bord arrondi d'un côté des éléments, cependant que les couches de contact 22 recouvrent partiellement les bandes en or 14 couvrant le bord arrondi de l'autre côté des éléments.Par conséquent, on peut parler d'une certaine asymétrie pour autant que d'un côté, les couches de contact 22 sont en partie plus épaisses que les couches de contact 21 de 11 autre côté. La figure 17 est une coupe transversale d'une partie de ' 'ensemble après la dissolution des parties de couche 18, en photorésist, la figure 18 étant la vue en plan de cette partie d'ensemble. Le fait d'avoir arrondi au préalable. les bords opposés des éléments sur lesquels on a élaboré les couches de contact 21 et 22, permet d'utiliser au cours de la suite de la fa brication d'un détecteur de rayonnement infrarouge, lesdits élé ment s 11 et lesdites couches de contact de façon que le contact électrique extérieur avec ces éléments soit facilité simplement par le dépôt d'un film. A cet égard, on est prié de se référer à la demande de brevet britannique NO du806.75 déjà citée précédemment. Dans le stade de fabrication illustré par les figures 18 et 19, on dispose d'un grand nombre, à savoir environ 2000, éléments 11 en tellurure double de cadmium et de mercure avec des couches de contact qui tous restent fixés au bloc de polissage 5 par l'intermédiaire de la couche en cire 70 On appréciera que, en raison de la façon dont s'est déroulée la fâbrication cette fabrication partant donc d'une plaquette découpée d'un lingot, il est possible de modifier dans une certaine mesure les caractFristiques des éléments Il de l'entière série.Dans le but de pouvoir utiliser effectivement les éléments 11 sans perte appréciable, le stade suivant de la fabrication est l'enlèvement d'éléments distincts Il en des endroits sélectionnés dela série, ceux-ci étant ensuite soumis à différents Contrôles comme décrit précédemment. De cette façon, on peut établir une "carte" mentionnant les caractéristiques élémentaires pour la série entière, et utiliser cette carte lors de la sélection d'un élément Il ou de plusieurs éléments Il à prélever dans la suite de la fabrication d'un détecteur de rayonnement infrarouge.Particulièrement dans le cas de la fabrication d'un détecteur comportant plusieurs éléments, il est alors sélectionné un groupe d'éléments adjacents dans la série sur le bloc de polissage, dans-le but de procéder à un prélèvement correspondant aux caractéristiques évaluées des éléments distincts prélevés précédemment pour les contrôles. Dans l'exemple envisagé, les éléments Il sont prélevés distinctement du bloc de polissage par voie mécanique, notamment par soulèvement depuis la couche de cire, à l'aide d'un outil fin. La figure 19 est une vue en plan à plus grande échelle d'un élément Il encore fixé au bloc de polissage 5 par l'intermédiaire de la couche en cire 7, la figure 20 étant une coupe transversale suivant le plan 2 sur la figure 19, alors que la figure 21 est une coupe transversale suivant le plan tRT-x I sur ladite figure 19.Sur les figures 20 et 21, la ligne en pointillé 4 indique la couche de passivation formée avant' le montage de la plaquette sur le bloc de polissag# 5. Da couche de passivation formée après la sensibilisation de la couche de surface active subséquemment au façonnage de l'élément est indiquée par la ligne en pointillé 17, tandis que la figure 21 permet de se rendre compte que cette très mince couche de surface est formée également l-e long des parties avoisinantes des faces latérales longitudinales de l'élément 11. Les limites latérales de la zone de la surface supérieure, zone sur laquelle a eu lieu le traitement de passivation, sont indiquées par les lignes 24, en pointillé Et en croix, sur la figure 19. La figure 20 permet de constater que la couche de contact en or dont l'épaisseur est égale à 0,5 /v s'étend par-dessus le bord arrondi de l'élément 11 d'un côté de celui-ci. Sur le bord arrondi de l'autre côté de cet élément 11, se trouve la partie résiduelle de la bande en or 14, d'épaisseur 0,5 /u. Sur cette partie de la bande 14 se trouve la couche de contact en or 22, d'épaisseur 0,5 /u, ladite couche de contact 22 s'étendant plus loin et recouvrant la surface supérieure de ltélément 11. Par conséquent, d'un côté de cet élément 11, l'épaisseur de la couche de contact en or 14, 22 est égale à 1 /u cependant que de l'autre côté, l'épaisseur de ladite couche en or est pratiquement constante et égale à 0,5 #u. Bien que dans cet exposé l'invention soit décrite à l'aide de formes de réalisation et d'application déterminées, le technicien pourra en réaliser de nombreuses variantes sans sortir du cadre de l'invention. Le procédé est applicable également à la fabrication d'éléments de détection de rayonnement infrarouge réalisés en un autre matériau, par exemple I'antimoniure d'indium. Au lieu de réaliser une série telle que représentée sur la figure 17 où tous les éléments 11 ont la même dimension et comportent des zones de surface actives identiques, le procédé peut être mis en oeuvre également pour réaliser, à partir d'une seule plaquette de base, une série dans laquelle lesaéments ont au moins deux dimensions différentes. Cela est réalisable simplement au cours du premier photomasquage mis en oeuvre pour définir la largeur des bandes 9. Bien que dans la réalisation décrite le procédé comporte l'application de couches de contact ohmique sur les éléments formés par un-même matériau et utilisés dans des détecteurs dont le fonctionnement est basé sur la photoconducti- bilité intrinsEque, on peut, tout en restant dans le cadre de l'invention, mettre en oeuvre également un procédé suivant lequel chacun des éléments présente une jonction t'-n située dans la zone sensible et dans lequel les couches de contact s'étendent sur les bords incurvés de part et d'autre de la zone sensible d'un élément tout en établissant le contact avec les régions de types de conduction p et n dans cette partie. REVENDICAXIONS : 1. Procédé permettant la fabrication de plusieurs éléments de détection de rayonnement infrarouge, chaque élément comportant un corps qui est réalisé en matériau sensible au rayonnement infrarouge et dont la surface est pratiquement rectangulaire, ce corps étant muni de deux contacts électriques peu ohmiques qui, sur la surface du corps, sont situés de part et d'autre d'une zone sensible de l'élément, caractérisé en ce qu'une plaquette en matériau sensible au rayonnement infrarouge est fixée à un corps servant de support, que dans le matériau de la plaquette sont formés plusieurs premiers canaux pratiquement parallèles pour façonner sur le corps-support plusieurs bandes pratiquement parallèles en matériau sensible au rayonnement infrarouge, qu'il est procédé à un traitement pour réduire l'épaisseur desdites bandes et pour incurver les bords longitudinaux exposés de ces bandes, que dans le matériau de la plaquette qui forme lesdites bandes sont formés plusieurs deuxièmes canaux pratiquement parallèles dans une direction qui est quasiment perpendiculaire à la direction longitudinale desdites bandes pour façonner sur le corps de support une série d'éléments rectangulaires en matériau sensible au rayonnement infrarouge, deux faces opposées de chaque élément ayant des bords incurvés, que du matériau électriquement conducteur est déposé pour former, sur la surface de chaque élément, deux couches de contact électriques distinctes qui avoisinent les bords incurvés#opposés précités, et enfin que les éléments avec leurs couches de contac sont prélevés du corps de support. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'avant la fixation de la plaquette en matériau sensible au rayonnement infrarouge au corps de support, elle est soumise à un traitement d'oxydation dans le but de former un oxyde sur la surface de plaquette devant être fixée audit corps. 3. Procédé selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'après avoir fixé la plaquette en matériau sensible au rayonnement infrarouge au corps de support et avant de former les premiers canaux dans le matériau de la plaquette, on réduit l'épaisseur de celle-ci en travaillant la surface de plaquette située du côté opposé au corps de support. 4. Procédé selon lrune des revendications 1 à 3, caract1é- risé en ce que le traitement qui vise la réduction de l'épaisseur des bandes et celui visant l'incurvation des bords longitudinaux exposés de ces bandes comportent par exemple un polissage combiné avec et suivi d'un décapage. 5. Procédé selon l'une des revendications I à 4, caractérisé en ce qu'après la formation des seconds canaux dans le matériau constituant la plaquette, des portions de surface exposées des éléments sont soumises à un traitement de passivation. 6. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que, immédiatement avant le traitement depassîvation, les portions de surface exposées des éléments subissent un décapage. 7. Procédé selon l'une des revendications 5 ou 6, caractérisé en ce que le traitement de passivation est limité aux zones de surface -c#rtrales appartenant aux éléments et s'étendant transversalement à ces éléments, lesdites zones centrales étant définies par des parties de couche masquante situées de part et d'autre desdites zones centrales et à côté des bords incurvés des éléments. 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'après le traitement de passivation et avant l'élaboration des couches de contact, lesdites parties de couche masquante sont retirées, puisqu'il est élaboré une autre couche masquante façon née de façon que chaque zone de surface passivée est couverte d'une partie de couche masquante à 1 'exception de deux bandes périphériques opposées appartenant à la zone de surface envisagée et s'étendant quasi parallèlement aux bords incurvés des éléments, puisque, les parties de couche masquante restant en place, il est enlevé du matériau des bandes exposées des zones de surface pas sivées. 90 Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que ledit enlèvement de matériau résulte d'un polissage. 10. Procédé selon la revendication 93 caractérisé en ce que ladite autre couche masquante est en photorésist, et que les couches de contact électrique sont formées par dépôt d'un matériau électriquement conducteur sur les parties de surface exposées des éléments et des parties de couche masquante en photorésist, ce dépôt étant suivi de 11 élimination par voie chimique de la couche masquante en photorésist et du matériau conducteur électrique déposé sur celle-ci. 11. Procédé selon l'une des revendications 1 à 10, caractérisé en ce qu'après l'application des couches de contact, chaque élément est prélevé du corps de support à l'aide d'organes mécaniques. 12. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce que les éléments p#euvent être prélevés d'endroits sélectionnés de la série et soumis à des opérations de contrôle dans le but d'évaluer les caractéristiques des éléments et leur répartition dans la série. 13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce que pour la fabrication d'un détecteur comportant plusieurs éléments sensibles au rayonnement infrarouge, un groupe d'éléments adjacents dans la série aménagée sur le corps de support, est préle- vé au vu des caractéristiques évaluées des éléments prélevés dans des buts de contrôle. 14. Procédé selon l'une des revendications 1 à 13, caractérisé en ce que dans la plaquette, au moins les premiers canaux pratiquement parallèles ont le même écartement. 15. Procédé selon l'une des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que le matériau sensible au rayonnement infrarouge est du tellurure double de cadmium et de mercure.