Brevet FR2381387A1 — publié le 19780915

L'invention est relative à un dispositif pour exposer un substrat, notamment une lentille optique ou un miroir, à une source d'émission, notamment une source d'évaporation à flux moléculaire. L'invention a pour but, surtout, de rendre ce dispositif tel qu'il réponde mieux que jusqu'à présent aux diverses exigences de la pratique, et notamment tel qu'il permette d'exposer, simultanément, plusieurs substrats à une même source d'émission et d'obtenir, sur ces substrats, des lois d'exposi tion prédéterminées. Un tel dispositif, selon l'invention, est caractérisé par le fait qu'il comprend, en combinaison - des moyens de support du substrat dans une position écartée radialement par rapport à un axe passant par le centre de la source, cet axe étant notamment confondu ou voisin de l'axe d'émission de la source correspondant à un flux d'émission maximum - des moyens d'entrainement en rotation du substrat autour d'un axe perpendiculaire au plan moyen de ce substrat et passant par son centre, cet axe étant confondu avec l'axe optique dans le cas d'une lentille ou d'un miroir - et des moyens d'occultation périodique placés entre le substrat et la source d'émission comprenant un cache rotatif muni d'ouvertures dont la forme et la position sont déterminées de manière telle qu'elles permettent de réaliser une loi d'exposition prédéterminée du substrat. Avantageusement, les moyens de support sont agencés pour porter plusieurs substrats, à une même distance radiale de l'axe passant par le centre de la source, et donc répartis sur une couronne, de telle sorte que plusieurs substrats soient soumis, simultanément, à la même loi d'exposition. Des moyens sont avantageusement prévus pour entrainer, en rotation, les moyens de support du ou des substrats autour de l'axe passant par le centre de la source, de manière à compenser un éventuel défaut de révolution de l'indicatrice d'émission de la source. Les moyens de support comprennent, de préférence, un barillet pour chaque substrat, ce barillet étant monté rotatif, autour d'un axe coïncidant avec 1 t axe optique de la lentille ou du miroir, dans un bâti susceptible d'être entrainé en rotation autour de l'axe passant par le centre de la source. Le cache rotatif peut comporter plusieurs ouvertures identiques, déduites l'une de l'autre par une rotation autour du centre du cache et disposées sur une couronne, ces ouvertures coopérant avec un ou plusieurs substrats situés à une distance déterminée de l'axe passant par le centre de la source. Les substrats peuvent être répartis en plusieurs couronnes concentriques, auxquelles correspondent, sur le cache rotatif, des ouvertures associées, éventuellement constituées par une série d'ouvertures, également réparties suivant des couronnes ; les ouvertures de chaque couronne peuvent être déterminées soit de manière à assurer une même loi d'exposition pour les substrats associés, soit pour déterminer des lois d'exposition différentes pour chaque couronne. Avantageusement, on peut disposer les substrats de manière telle qu'ils tournent autour d'un axe passant par leur centre, mais incliné par rapport à l'axe passant par le centre de la source ; les barillets prévus pour supporter ces substrats sont montés rotatifs autour d'un tel axe incliné ; les axes de rotation des différents substrats sur euxmêmes concourent en un même point situé sur l'axe passant par le centre de la source. Une telle disposition est particulièrement intéressante pour des substrats, notamment des lentilles optiques ou des miroirs , ayant un grand diamètre. Le cache rotatif peut alors être formé par une surface tronconique perpendiculaire aux axes inclinés de rotation des substrats, cette surface tronconique comportant des ouvertures appropriées et étant entrainée en rotation autour de l'axe passant par le centre de la source. L'invention concerne également un cache rotatif pour un dispositif tel que défini précédemment, et qui comporte une série d'ouvertures disposées sur une couronne, ces ouvertures étant identiques et se déduisant par rotation les unes des autres. L'invention consiste, mises à part les dispositions exposées ci-dessus, en certaines autres dispositions dont il sera plus explicitement question ci-après à propos de modes de réalisation particuliers décrits avec référence aux dessins ci-annexés, mais qui ne sont nullement limitatifs. La figure 1, de ces dessins, montre schématiquement en élévation un dispositif pour exposer un substrat à une source d'émission, conforme à l'invention. La figure 2, est une vue partielle en plan du dispositif de la figure 1. La figure 3 est une vue en plan d'un cache rotatif. La figure 4 est une représentation de la loi d'émission de la source en fonction de la distance radiale à l'axe passant par le centre de la source, avec et sans cache rotatif. La figure 5 montre, en plan, un autre mode de réalisation de cache rotatif. La figure 6 montre, semblablement à la figure 5, une partie d'un autre type de cache rotatif. La figure 7, enfin, montre une variante du dispositif selon l'invention. En se reportant à la figure 1, on peut voir un dispositif 1 pour exposer un substrat 2 à une source d'émission 3. Pour les applications plus particulièrement envisagées dans cette description, le substrat 2 est constitué par une lentille optique L ou un miroir, tandis que la source d'émission 3 est constituée par une source d'évaporation de matière à flux moléculaire, en vue de réaliser un dépôt de cette matière sur la face 2a de la lentille L exposée à la source. La source d'émission 3 comprend généralement un creuset 4 à l'intérieur duquel est placéela matière à évaporer, ce creuset étant chauffé par tout moyen approprié, notamment électriquement. La répartition de l'émission de la source 3, dans l'espace, présente des directions suivant lesquelles l'intensité du flux d'émission est plus ou moins forte. On a dessiné, sur la figure 1, un axe A passant par le centre de la source et correspondant au flux d'émission ayant l'intensité maximale. La lentille L est maintenue par des moyens de support 5 dans une position écartée radialement d'une distance d par rapport à un axe de rotation d'ensemble 6 passant par le centre de la source ; cet axe 6 est confondu avec l'axe A ou voisin de cet axe. La lentille L a généralement un contour circulaire les moyens de support comprennent un barillet 7, agencé pour porter la lentille 2, de manière que la face 2a soit exposée à la source 3 ; ce barillet 7 comporte, du côté opposé à la source 3, un arbre 8, parallèle à l'axe géométrique 6. L'arbre 8 est monté rotatif dans un bras ou bâti 9. Des moyens 10 sont prévus pour entrainer en rotation l'arbre 8 autour de son axe géométrique, qui est confondu avec l'axe optique de la lentille L. On assure, ainsi, une rotation de cette lentille L autour de son propre axe optique. Les moyens d'entraînement 10 peuvent comprendre un moteur électrique porté par le bras 9 entraînant une roue dentée qui coopère avec un pignon porté par l'arbre 8. Des moyens Il sont, en outre, prévus pour entraîner en rotation le bras 9 autour de l'axe de rotation d'ensemble 6. Avantageusement, les moyens de support 5 sont agencés pour porter plusieurs lentilles L à une même distance radiale de l'axe 6. Pour cela, par exemple, plusieurs bras 9 sont prévus, solidaires les uns des autres. Ainsi, plusieurs lentilles L, identiques, peuvent être disposées suivant une couronne, avec leurs centres situés à la même distance radiale d de l'axe 6 de rotation d'ensemble. Le nombre des lentilles L que l'on peut disposer sur une couronne dépend, d'une part, de la distance d déterminant la circonférence moyenne de cette couronne et, d'autre part, du diamètre de la lentille L. Des moyens d'occultation périodique B sont placés entre la lentille L et la source d'émission 3; ces moyens B comprennent un cache rotatif 12 formé par un disque plan perpendiculaire à l'axe 6. Le cache 12 est muni d'au moins une ouverture 13 (figure 3) dont la forme et la position sont déterminées de manière telle qu'elles permettent de réaliser une loi deux position prédéterminée de la face 2a à la source d'émission 3. Comme visible sur la figure 3, l'ouverture ou fenêtre 13 s'étend sur presque toute la circonférence et a une dimension radiale r qui diminue progressivement de l'extrémité 13a à l'extrémité 13b. L'étendue angulaire maximale de l'ouverture 13 est obtenue le long de la circonférence moyenne 13m de cette ouverture. Le cache 12 est entraîné en rotation autour de l'axe 6. On conçoit que la durée d'exposition d'un point de la lentille L est proportionnelle à la longueur de l'arc de ltouverture 13 correspondant à la position radiale du point considéré de la lentille L. On a représenté, sur la figure 4, en tirets, la loi de distribution de l'intensité du flux émis par la source 3, en fonction de la distance radiale à l'axe A dans un plan perpendiculaire à cet axe. D'après cette courbe, on voit que l'intensité maximale est assurée suivant l'axe A (confondu avec l'axe 6). On a désigné par SO ( p ) la courbe en tirets. La présence d'un cache tel que 12 entre la source d'émission 3 et la lentille L modifie la loi de répartition. En effet, lorsqu'on se situe à une distance p 1 de l'axe 6, on voit, d'après la figure 3, qu'à cette distance, aucune ouverture n'est prévue dans le cache 12, de telle sorte que la partie correspondante de la lentille L ne sera pas exposée à la source 3. La zone d'exposition maximale de la lentille L à la source 3, correspond à la ligne moyenne 13m de l'ouverture 13, située à une distance p 2 de l'axe 6. Du fait de la présence d'une bande de matière 14 entre les deux extrémités 13a, 13b, de l'ouverture 13, la courbe S ( p ) représentant la loi de répartition modifiée par la présence du cache rotatif 12 aura son maximum légèrement en-dessous du point correspondant de la courbe SO ( P ). Comme représenté sur la figure 2, on conçoit que les lignes d'égale intensité du flux, dans le cas de la loi de répartition S ( C ) modifiée par le cache sont des circonférences centrées sur l'axe 6. Un point p situé à une distance x du centre optique AJ de la lentille L décrit, du fait du mouvement de rotation de la lentille L autour de son axe optique, une circonférence centrée sur le point C1) . Ainsi, le point p va balayer une zone comprise entre les deux lignes d'égale intensité limite mi , iM X formées par des circonférences, centrées sur l'axe 6, et tangentes extérieurement et intérieurement à la circonférence décrite par le point p.Tous les points de la lentille L situés à la même distance x du centre bJ se trouvent sur cette circonférence et balayent la même zone de telle sorte que les lignes d'égale exposition, et donc d'égale épaisseur de la couche déposée sur la face 2a, en fin d'opération, seront des circonférences centrées sur aJ , centre optique de la lentille. On obtient donc une exposition, et un dépôt de matière, de révolution autour de l'axe optique de la lentille L ou plus généralement du substrat.L'intensité d'émission à laquelle est soumis le point p correspond à une intensité moyenne pour la zone comprise entre les lignes i et i I1 apparaît clairement, d'après la figure 2 que des lentilles L identiques dont les centres optiques sont situés à une même distance d de l'axe 6 seront toutes soumises à une même loi d'exposition. On conçoit également que la loi d'exposition, sur chaque lentille L, exprimée en fonction de la distance radiale x au centre 60 de la lentille (loi f (x) ) est obtenue en combinant la distance d et la forme et les dimensions des ouvertures telles que 13 du cache rotatif. Si la face 2a exposée à la source 3 est une portion de surface sphérique concave ou convexe de rayon R, les lignes d'égale exposition et donc d'égale épaisseur sur la face 2a restent des circonférences ; toutefois la loi de répartition de l'épaisseur dépendra à la fob due la distance x au centre W de la lentille et du rayon de courbure R de la surface sphérique. On pourra encore traiter simultanément plusieurs lentilles à la condition que les faces exposées aient toute la même courbure. Il convient de noter que pour obtenir des lignes d'égale exposition, notamment des lignes d'égale épaisseur de matière déposée, sur la face 2a, formées par des circonférences centrées sur W comme expliqué précédemment, il convient de choisir une période de rotation de la lentille L autour de l'axe 8 qui soit faible devant la durée totale d'exposition par période faible, on désigne une période de l'ordre de cent fois plus petite que la durée totale d'exposition ou d'évaporation. Dans les explications précédentes, données avec référence à la figure 2, on a supposé implicitement que la source d'émission 3 envoie un flux réparti suivant une loi de distribution présentant une symétrie de révolution et engendrant les lignes d'égale intensité formées par des circonférences centrées sur l'axe 6. Dans la pratique cette condition n'est jamais réalisée, ce qui signifie que la loi de distribution représentée sur la figure 4 en tirets n'est valable que pour une position angulaire déterminée. Cette loi de distribution est, d'une manière générale, fonction à la fois de la distance radiale et et de la position angulaire 0 , la loi étant de la forme S ( p , 8 Le mouvement de rotation d'ensemble prévu pour les bras 9 autour de l'axe 6 permet de compenser ce défaut de symétrie de révolution et d'éviter que les lois d'exposition des lentilles L, situées sur une même couronne centrée sur l'axe 6, dépendent de la position angulaire de ces lentilles sur la couronne.La période de rotation du mouvement d'ensemble des bras 9 et des barillets 7 autour de l'axe 6 doit être très petite par rapport à la durée d'évaporation (inférieure à 1/lOOème) tout en restant grande par rapport à la période de rotation des lentilles L sur elles-mêmes, c'est-à-dire autour de l'axe 8. En pratique, la période de rotation des lentilles L sur elles-mêmes est inférieure à 1/100sème de la période de rotation des bras 9 autour de l'axe 6. La période de rotation du cache 12, pour conduire à de bons résultats, doit être beaucoup plus petite que la période du mouvement de rotation des lentilles L sur elles-mêmes pratiquement, il est souhaitable que cette période de rotation du cache soit inférieure à 1/100ème de la période de rotation de la lentille L sur elle -même. Lorsque le diamètre utile des lentilles L sur lesquelles un dépôt doit être effectué devient faible, par exemple de l'ordre de 30 mm, la réalisation d'un cache 12 tel que celui représenté sur la figure 3 devient difficile, notamment en raison du faible rayon de courbure du profil de l'ouverture au niveau de l'extrémité 13b. En outre, la partie de matière 14 qui seule maintient la zone intérieure du cache travaille en flexion et le cache présente une rigidité insuffisante. On remédie à ces inconvénients en réalisant, dans le disque, un profil d'ouvertures périodiques comme montré sur la figure 5. Le cache 12' est divisé en n secteurs 15 d'ouverture angulaire 360on et dans chaque secteur le profil de découpe 16 est le même. Le disque 12' comporte donc n ouvertures 16 identiques se déduisant les unes des autres par une rotation angulaire autour du centre du disque 12'. Dans l'exemple représenté sur la figure 5,n = 6. Le cache 12' de la figure 5 permet d'obtenir le même résultat que le cache 12 de la figure 3 si les ouvertures 16 ont été déterminées de manière à produire le même résultat que la seule ouverture 13. On peut remarquer que le cache 12t aura une rigidité supérieure à celle du cache 12 de la figure 3. En effet, même si les bandes de matière 17 subsistant entre deux ouvertures voisines 16 sont plus réduites que la bande de matière 14 de la ligure ; les conditions de travail de ces bandes de matière 17 sont bien meilleures que celles de la bande 14 (figure 3) soumise à un effort de flexion élevé dû à la zone intérieure de matière qui se trouve en porte à-faux. En outre, en raison de la multiplicité des ouvertures 15 du cache 12', la période de modulation du flux molécu- laire émis par la source 3 est divisée par le nombre n de secteurs, ce qui permet de respecter les rapports de période évoqués précédemment sans être contraint de donner une vitesse de rotation excessive au cache tournant 12'. On avait indiqué, en effet, que ce cache devait avoir une période de rotation de l'ordre de 1/100ème de la période de rotation de la lentille L sur elle-meme. Jusqu'à présent, on a considéré des lentilles L réparties sur une seule couronne centrée sur l'axe 6. On peut prévoir plusieurs couronnes concentriques de lentilles L centrées sur l'axe 6. Un tel montage permet, notamment pour des lentilles de petit diamètre, de traiter en une même opération un plus grand nombre de lentilles. Dans ce cas, le cache tournant 12" (figure 6) doit présenter autant de couronnes d'ouvertures qu'il y a de couronnes de lentilles. Le cache 12" représenté sur la figure 6 convient à deux couronnes de lentilles concentriques ; la couronne extérieurede lentilles coopère avec la ou les ouvertures du groupe E1, tandis que la couronne intérieure de lentilles coopère avec les ouvertures du groupe E2. Le cache 12" a été représenté avec des profils périodiques pour chaque couronne , les ouvertures identiques, se déduisant l'une de l'autre par une rotation autour du centre du disque, sont désignées par 16a pour le groupe E1 et par 16b pour le groupe E2. On conçoit que la série d'ouvertures 16a pourrait être remplacée par une seule ouverture équivalente, semblable à l'ouverture 13 de la figure 3. I1 en est de même pour la série d'ouvertures 16b. Avantageusement, les ouvertures 16a, 16b sont décalées angulairement d'un angle cK les unes par rapport aux autres de manière à améliorer la rigidité du cache. En effet, les bandes de matière 17a séparant les ouvertures 16a se trouvent également décalées par rapport aux bandes de matière 17b séparant les ouvertures 16b. Il convient de remarquer que dans le cas où l'on souhaite réaliser une même loi d'exposition f (x) pour les lentilles des deux couronnes concentriques associées aux séries d'ouvertures E1 et E2, les ouvertures 16b ne se déduiront pas par homothétie, ayant pour centre le centre du disque 12", des ouvertures 16a du fait que la loi d'émission de la source 3 dépend de la distance p à l'axe 6. On peut, naturellement, avec un cache tel que 12", réaliser des lois d'exposition et de dépôt de matière sur les lentilles L différentes pour chaque couronne de lentilles et pour chaque série d'ouvertures E1 et E2. Avec un arbre 8 parallèle à l'axe 6, comme montré sur la figure 1, il apparaît que, pour des raisons d'encombrement, lorsque l'on veut traiter des lentilles de grand diamètre, on est réduit à disposer ces lentilles sur une seule couronne à la limite même, le nombre de lentilles que l'on peut placer sur cette seule couronne se réduit à deux, la circonférence du diamètre utile de chaque lentille passant très près du centre du cache tournant 12. Dans ce cas, les variations de la loi d'émission suivant le diamètre de la lentille sont très importantes et il peut arriver qu'il n'existe pas de profil de cache correspondant à la distribution f (x) demandée pour le dépôt (ou l'exposition) de la face 2a. Pour remédier à cet inconvénient, on dispose les len tilles L1, L2 ...v. avec leurs axes optiques AL1, AL2 inclinés par rapport à l'axe de rotation d'ensemble 6 (voir figure 7). Ces axes optiques ALI et AL2.... concourent en un point O situé sur l'axe 6 et forment un angle aigu ss avec cet axe 6. Les barillets 7' supportant les lentilles L1? L2... sont agencés pour tourner autour d'un axe confondu avec l'axe optique Aloi, AL2 .... de chaque lentille. La position du point O est déterminée, par calcul, de manière à permettre d'obtenir les résultats les plus satisfaisants. L'ensemble des lentilles tourne autour de l'axe 6 comme expliqué précédemment. Le cache rotatif peut être constitué comme décrit précédemment par un disque plan perpendiculaire à l'axe 6. Toutefois, il est avantageux de prévoir un cache rotatif formé par une surface tronconique 18 (figure 7) perpendiculaire aux axes optiques AL1, AL2 .... des différentes lentilles. Des ouvertures 19 ayant une fonction semblable à celles des ouvertures 13 (figure 3) sont prévues dans ce cache 18. Naturellement, ces ouvertures peuvent être périodiques comme les ouvertures 16 de la figure 5 ou 16a, 16b, de la figure 6. Le cache tronconique 18 est solidaire, à sa partie supérieure,d'un disque 20 muni d'un arbre 21 perpendiculaire à son plan, propre à être entraîné en rotation, à la vitesse convenable. Un guidage en rotation 22 du cache 19 peut être prévu à sa partie inférieure. Le montage de la figure 7 permet de traiter, dans un espace réduit, et dans de bonnes conditions, des lentilles L1, L2 -- - de diamètres différents. Dans tous les cas, on peut utiliser des moyens pour contrôler la durée de l'exposition et plus précisément, dans l'application envisagée, l'épaisseur de la couche déposée sur la surface 2a. Ces moyens de contrôle peuvent être constitués par au moins l'un des moyens classiques suivants - contrôle optique par mesure de la réflexion et/ou de la transmission d'une plaque témoin recevant le dépôt, en même temps que les faces à recouvrir - contrôle de la variation de la fréquence d'un quartz recevant le dépôt, la fréquence d'un quartz dépendant de la couche déposée. La position la plus favorable des plaques ou quartz témoins 23 (figures 1 et 7) servant pour le contrôle, est celle située au voisinage de l'axe 6 et du plan moyen des surfaces à traiter. Du fait qu'aucune surface à traiter ne se trouve sur l'axe 6, il est toujours possible de dégager le centre du dispositif supportant et entraînant les pièces à traiter pour permettre le passage d'un faisceau lumineux destiné à être réfléchi ou être transmis par la plaque témoin et/ou pour la mise en place d'un détecteur à quartz. Le fonctionnement d'un dispositif conforme à l'invention et la réalisation d'un dépôt de matière sur la surface 2a résultent clairement des explications précédentes sans qu'il soit nécessaire d'insister à ce sujet. L'invention permet de traiter, dans une même opération, plusieurs lentilles. Les précisions d'usinage des ouvertures prévues dans les caches rotatifs ne sont pas trop sévères du fait que ces ouvertures sont éloignées du centre du cache et ne comportent pas de point de rebroussement comme ce serait le cas si la lentille à traiter avait son axe optique confondu avec l'axe de rotation du cache. En outre, il est possible de réaliser une pluralité d'ouvertures identiques sur une même couronne, ce qui permet dWbbtenir un même résultat pour le dépôt de la matière, tout en conduisant à un usinage plus facile des ouvertures. Le dispositif de l'invention peut convenir en particulier pour - l'asphérisation de miroirs plans ou sphériques - l'asphérisation de faces de lentilles planes ou sphériques - les traitements antiréfléchissants simples ou multicouche de faces de lentilles de forte courbure pour obtenir ou bien un centrage uniforme, ou bien un centrage non uniforme de révolution suivant une loi imposée - traitement multidiélectrique type miroir froid, sur des surfaces de forte courbure - atténuateur dégradé radial de petite dimension - apodisation de lentilles de forte courbure. REVENDICATIONS 1. Dispositif pour exposer un substrat, notamment une lentille optique ou un miroir, à une source d'émission, notamment une source d'évaporation à flux moléculaire, caractérisé par le fait qu'il comprend, en combinaison : - des moyens de support du substrat dans une position écartée radialement par rapport à un axe passant par le centre de la source, cet axe étant notamment confondu ou voisin de l'axe d'émission de la source correspondant à un flux d'émission maximum - des moyens d'entraînements en rotation du substrat autour d'un axe perpendulaire au plan moyen de ce substrat et passant par son centre, cet axe étant confondu aec l'axe op tique dans le cas d'une lentille ou d'un miroir ; - et des moyens d'occultation périodiques placés entre le substrat et la source d'émission comprenant un cache rotatif muni d'ouvertures dont la forme et la position sont détermi- nées de manière tlele qu'elles permettent de réaliser une loi d'exposition prédéterminée du substrat. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé par le fait que les moyens de support sont agencés pour porter plusieurs substrats, à une meme distance radiale de l'axe passant par le centre de la source, et donc répartis sur une couronne, de telle sorte que plusieurs substrats soient soumis, simultanément, à la meme loi d'exposItion. 3. Dispositif selon ltune quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que des moyens sont prévus pour entraîner, en rotation, les moyens de support du ou des substrats autour de l'axe passant par. le centre de la source, de manière à compenser un éventuel défaut de révolution de l'indicatrice d'émission de la source. 4. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que les moyens de support comprennent un barillet pour chaque substrat, ce barillet étant monté rotatif, autour dsun axe coïncidant avec l'axe optique de la lentille ou du miroir, dans un bâti susceptible d'être entraîné en rotation autour de l'axe passant par le centre de la source. 5. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que le cache rotatif comporte plusieurs ouvertures identiques, déduites l'une de l'autre par une rotation autour du centre du cache et disposées sur une couronne, ces ouvertures coopérant avec un ou plusieurs substrats situés à une distance déterminée de l'axe passant par le centre de la source. 6. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que les substrats sont répartis en plusieurs couronnes concentriques, auxquelles correspondent, sur le cache rotatif, des ouvertures associées, éventuellement constituées par une série d'ouvertures, également réparties suivant des couronnes, les ouvertures de chaque couronne pouvant être déterminées soit de manière à assurer une même loi d'exposition pour les substrats associés, soit pour déterminer des lois d'exposition différentes pour chaque couronne. 7. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que les axes de rotation des substrats autour de leur centre sont parallèles à l'axe passant par le centre de la source, le cache rotatif étant avantageusement constitué par un disque plan perpendiculaire à l'axe passant par le centre de la source. 8. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé par le fait que les substrats sont montés de manière telle qu'ils tournent autour d'un axe passant par leur centre, mais incliné par rapport à l'axe passant par le centre de la source, les barillets prévus pour supporter ces substrats étant montés rotatifs autour d'un tel axe incliné, les axes de rotation des différents substrats sur eux-mêmes concourant en un même point situé sur l'axe passant par le centre de la source. 9. Dispositif selon la revendication 8, caractérisé par le fait que le cache rotatif est formé par une surface tronconique perpendiculaire aux axes inclinés de rotation des substrats, cette surface tronconique comportant des ouvertures appropriées et étant entraînée en rotation autour de l'axe passant par le centre de la source. 10. Cache rotatif pour un dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait qu'il comporte une série d'ouvertures disposées sur une ou plusieurs couronnes, les ouvertures d'une même couronne étant identiques et se déduisant les unes des autres par rotation autour du centre du cache.