Brevet FR2360118A1 — publié le 19780224

La présente invention a pour objet un procédé d'asservissement de l'épaisseur d'un étalon de type Fabry Pérot et un système d'asservissement pour la mise en oeuvre de ce procédé, On connaSt de nombreuses méthodes pour asservir l'épaisseur d'un étalon Fabry-Pérot. Selon une première méthode, un pinceau de lumière collîmaté convenablement orienté traverse un étalon dont l'epaisseur est modulée. La modulation de l'intensité du faisceau lumineux transmis par l'étalon est comparée å la modulation de l'épaisseur. On en deduit un signal d'erreur utilisé pour corriger l'épais- seur moyenne de l'étalon. L'inconvénient que présente une telle méthode est évident : par principe même, l'épaisseur n'est pas fixe. En outre, elle dépend beaucoup de l'orientation du pinceau lumineux collimaté, de sorte qu'il faut s'assurer que cette orientation est stable, ce qui nécessite des moyens complexes. Selon une autre méthode, voisine de la précédente, on module la fréquence de la source -lumineuse émettant le faisceau de mesure. Si cette méthode permet bien, contrairement a la précédente, d'obtenir une épaisseur fixe, elle pré- sente néanmoins l'inconvénient de nécessiter une source lumineuse dont la fréquence est modulée, ce gui conduit encore a des moyens complexes. En outre, et comme dans 1 thode pré- cédente, l'épaisseur de l'étalon Fabry-Pérot ainsi contrôlez dépend de l'orientation du faisceau lumineux de mesure, ce qui nécessite que des précautions particulières soient prises. Enfin, la modulation de fréquence de la source lumineuse doit s'effectuer avec une amplitude qui est fonction de l'épaisseur de ltetalon Fabry-Pérot , en conséquence, une même source ne peut pas store utilisée simultanément pour l'asservissement de plusieurs étalons s'ils sont d'épaisseurs très différentes. Selon une autre méthode connue, on éclaire l'étalon Fabry-Pérot å asservir par un faisceau de lumière convergent ou divergent ; l'image des anneaux a l'infini est reprise par une caméra de télévision ou par un récepteur du genre mosaïque. Une telle méthode présente l'inconvénient de nécessiter sne source lumineuse très puissante puisque le faisceau lumineux n'est pas collimaté et un système récepteur très coûteux ; en outre, les informations fournies ne sont pas facilement exploitables. La présente invention a justement pour objet un procédé d'asservissement de l'épaisseur d'un étalon Fabry Pérot qui ne présente pas les inconvénients sus-mentionnés. En particulier, il autorise l'utilisation d'une source de lumière de faible puissance, il ne réclame pas une grande précision sur l'orientation du faisceau lumineux a la traverse de l'étalon et il conduit à un système de détection peu onéreux. Ce résultat est obtenu en formant, à partir d'une source de lumière une image quasi-ponctuelle à l'infini, qui décrit une figure géométrique dont la forme est telle qu'elle coupe le système d'anneaux de Newton associé à l'étalon. Cette source mobile à l'infini éclaire l'étalon qui la transmet chaque fois que la source à l'infini coïncide avec un anneau. On détecte les instants d'spparition des pics de lumière et par un calcul simple, réalisé automatiquement a l'aide d'un circuit de traitement de signal, on en déduit l'excédent fractionnaire de l'étalon. Cet excédent fractionnaire est comparé à une valeur de référence pour former un signal d'erreur que l'on applique sur des moyens de commande de l'épais- seur de l'étalon. De préférence, la figure géométrique décrite par la source-image à l'infini est formée de deux cercles sécants, de diamètre au moins égal au diamètre du premier anneau de Newton, Mais, d'autres figures pourraient être utilisées : croix, carré, etc... ta figure bicyclique semble néanmoins préférable car elle conduit à des calculs simples et par conséquent, à des moyens de calcul peu onéreux. Le procédé de l'invention peut s'sepliquer simultané- ment à plusieurs zones d'un mEme étalon Fabry-Pérot, par exemple à trois zones disposées à 1200 les unes des autres, Il peut également s'appliquer simultanément A plusieurs étalons Fabry Pérot, d'épaisseur quelconque, et cela à partir d'une unique source de lumière. Pour cela, il suffit d'utiliser des lames semitransparentes pour prélever autant de faisceaux FxTtiels provenant de la source bicyclique que d'étalons à asservir. L'invention a égalementour objet un système d'asservissement qui met en oeuvre le procédé qui vient d'être défini. Ce système comprend essentiellement une source lumineuse, des moyens optiques de balayage permettant de donner de ladite source une image quasi-ponctuelle à l'infini décrivant une figure géométrique qui coupe le système d'anneaux de Newton associé audit étalon ; des moyens optiques pour diriger une partie de la lumière émise par ladite source à l'infini vers une zone de l'étalon ; un récepteur recevant le faisceau lumineux transmis par l'éta- lon ; un ensemble de traitement de signal calculant, à partir des signaux émis par le récepteur, l'excédent fractionnaire de l'étalon t un comparateur recevant sur ses entrées l'exc- dent calculé et un excédent de référence, la différence entre ces excédents constituant un signal d'erreur appliqué à des moyens de commande de l'épaisseur de l'étalon dans ladite zone. La variante qui semble Entre la plus avantageuse correspond au cas ot les moyens optiques de balayage donnent de la source une image qui décrit alternativement deux cercles sécants, de diamètre au moins égal au diamètre du premier anneau de Newton. De tels moyens peuvent etre de natures diverses et notamment de nature électrooptique, mais dans une variante simple et peu conteuse, ces moyens sont de type mécanique et comprennent un miroir tournant associé à un système de hachage, Les moyens de commande de l'épaisseur de l'étalon peuvent entre de nature quelconque et notamment pidzoelectrique, mais dans une variante économique, ces butées sont de type électromagnétique. De préférence, la source lumineuse -est ztabilisee en fréquence. Elle peut etre avantageusement constituée par un laser à gaz, à hélium et néon par exemple. Le procédé de l'invention et son système de mise en oeuvre s'appliquent à tout type d'étalons, qu'ils soient-plans ou sphériques. De toute façon, les caractéristiques et avantages de la présente invention apparattront mieux après la description qui suit, d'exemples de réalisation donnés à titre explicatif mais nullement limitatif, en référence aux figures annexées sur lesquelles - la figure 1 est un schéma synoptique du système d'asservissement selon l'invention - la figure 2 illustre un mode de réalisation particulier des moyens de balayage - la figure 3 est une construction géométrique permettant le calcul des caractéristiques de l'étalon ;; - la figure 4 est un schéma synoptique des moyens de traitement du signal - la figure 5 illustre un mode particulier de réalisation du circuit de détection des instants d'apparition des pics du signal de réception - la figure 6 est une coupe d'un étalon Fabry-Pérot perfectionné pouvant être asservi par le procédé de l1inven- tion - la figure 7 est une vue de dessus d'une des pièces essentielles de l'étalon de la figure 6. Sur la figure 1,eet représenté un schéma synoptique du système d'asservissement selon-l'invention. Une source lumineuse S, constituée de préférence par un laser stabilisé en fréquence, émet un faisceau lumineux 10. Des moyens de balayage 12, dont la structure sera précisée ultérieurement, donnent une image à l'infini S" qui décrit une figure géométrique 14. Dans la variante illustrée sur la figure 1, il s'agit de deux cercles sécants. A l'aide de lames semi-transparentes 11 i on forme des faisceaux de mesure 161, 162... destinés à éclairer les étalons Fabry-Pérot FP1, FP2... dont on veut asservir l'épaisseur. On ne se préoccupera par la suite, que de l'asservissement d'un seul étalon, l'étalon FP1.Cet étalon est cons titué par deux lames réfléchissantes 18 et 20, dont llécarte- ment peut titre réglé au moyen de butées, généralement au nombre de trois, dont une seule est représentée : la butée Le faisceau lumineux issu de la source a l'infini S" traverse l'étalon Fabry-eXrot P1 dans la zone 22 où s'effectue l'asservissement de l'épaisseur. Un récepteur photoélectrique R1 est disposé derrière la lame 20. Le signal qu'il émet est véhiculé par une connexion 24 vers des moyens de traitement du signal 26.Si l'épaisseur d'un morne étalon est asservie en plusieurs zones, il faut autant de récepteurs photoélectriques que de zones et les signaux délivrés par tous ces récepteurs sont dirigés vers le circuit de traitement 26. Sur la figure, un second récepteur R2 est représenté en pointillé à titre illustratif. La fonction essentielle du circuit 26 est de délivrer un signal d'erreur qui est appliqué par la connexion 28 sur des moyens de commande de la butée B1, afin de modifier l'épais- seur de l'étalon dans la zone de mesure 22 pour lui donner la valeur voulue. La structure du bloc 26 sera décrite en détail à l'aide de la figure 4. La figure 2 illustre un mode de réalisation des moyens de balayage 12 qui permettent d'obtenir de la source S une image bicyclique à l'infini. Tel qu'il est représenté, ce système de balayage comprend une première lentille L1 qui focalise le faisceau émis par la source S en un point A voisin d'un trou percé dans un miroir Mg. Le faisceau lumineux se réfléchit ensuite sur un miroir sphérique M1 dont l'axe fait un petit angle avec la direction moyenne du faisceau incident. Ce miroir M1 est animé d'un mouvement de rotation commandé par un moteur ml. Ce premier miroir donne de la source S une image qui décrit un cercle. Un dispositif de hachage comprend un miroir tournant M2 constitué par des pales réfléchissantes et un miroir M3 disposé à l'arrière des pales du miroir M2.Ce système constitue un hacheur (en terminologie anglo-saxonne, un "chopper") lorsqu'il est animé d'un mouvement de rotation provoqué par un moteur m2. Le faisceau lumineux se réfléchit alternativement sur les pales de M2 et sur le miroir M3. Les courbures et inclinaisons des miroirs M2 et M3 sont liées de façon que les deux faisceaux réfléchis se croisent dans un plan P. Lorsque ive faisceau lumineux se réfléchit sur le miroir M2, l'image dans P décrit un premier cercle correspondant à la rotation du miroir M1. Lorsque le faisceau incident n'est pas interrompu par le miroir M2, il se réfléchit sur le miroir M3 et donne naissance à un deuxième cercle, non confondu avec le premier. Les vitesses relatives de rotation des miroirs M1 Cet M2 sont réglées pour que l'image effectue un tour complet alternativement sur un cercle puis sur l'autre : par exemple le moteur m2 tourne environ trois fois moins vite que le mo-teur ml si le miroir M2 possède deux pales Dans ces conditions, un observateur placé en 0 aperçoit une image bicyclique I Il va de soi qu'au lieu d'utiliser des miroirs sphériques, on peut choisir des miroirs plans associés à des lentilles sphériques, sans puu -ee1a sortir du -cadre de l'invention. Si l'on revient maintenant à la figure 1, on voit que, lorsque les moyens 12 sont ceux de la figure 2, le fais ceau lumineux qui traverse l'étalon FP1 est -déterminé - par une pupille P', qui est l'image du premier miroir tournant M1, située sensiblement àmi-distance entre les lames 18 et 20 ; cette pupille P' est conjuguée du plan P d'intersection des faisceaux réfléchis par les miroirs M2 et M3 t cette condition qui n'est pas critique, peut être obtenue au moyen d'une lentille 32 - par le double cercle à l'infini 14 decrit par la source image S". L'image P' deP est reprise par une lentille 34 disposée à la sortie de l'étalon et focalisée sur le récepteur R1, qui se trouve ainsi conjugué de P ; mais, là encore, cette condition n'est pas critique. Le récepteur R1 peut être de tout type connu et être constitué, notamment, par une cellule photorésistante ou par un photomultiplicateur ouPper une photodiode. Il fournit un signal en forme de pics séparés par des intervalles de faible amplitude ; l'origine de ces pics est la suivante : l'énergie reçue par le récepteur est très faible lorsque l'orientation du faisceau lumineux incident, qui est déterminée par la position de la source S" sur la figure bicyclique 14, est telle qu'il n'y a pas d'interférence constructive entre les différents faisceaux réfléchis. Lorsque cette orientation correspond à une interférence constructive, l'éta- lon est transparent et l'intensité lumineuse reçue par le récepteur est maximale ; cette situation est celle qui correspond aux anneaux de Newton qui, par définition, correspondent aux orientations pour lesquelles l'étalon est transparent. Ainsi, chaque fois que dans son mouvement la source franchit un anneau, la lumière est transmise vers le récepteur. De la connaissance des instants d'apparition de ces pics, on peut déduire l'épaisseur de l'étalon, comme il va être main tenant expliqué à l'aide de la représentation géométrique de la figure 3. A une longueur d'onde de fonctionnement # déterminée et pour une épaisseur donne e de l'étalon Fabry-Pérot, on sait que le diamètre angulaire du premier anneau de Newton à l'infini a pour valeur Le système optique de la figure 2 peut toujours être réglé pour que le diamètre angulaire des cercles à l'infini de la figure bicyclique soit supérieur à cetta wa- leur, de sorte que l'un au moins des deux cercles coupe nécessairement les anneaux associés à l'étalon, c'est la raison pour laquelle on forme une image bicyclique car avec un seul cercle on pourrait être dans la situation où ledit cercle et les anneaux seraient concentriques de sorte qu'aucun point d'intersection n'apparaîtrait.Sur la figure 3, celui des deux cercles qui coupe les anneaux porte la référence K et il a pour centre le point A. Deux anneaux de Newton, d'ordre p1 et p2, sont représentés affectés des références Rlet R2. Si les ordres plet P2 sont consécutifs, on a p1 - p2 = 1. te centre du système d'anneaux est le point B et l'un des points d'intersection du cercle K avec l'anneau R1 est désigné par C. Entre les côtés a, b, c, du triangle ABC, on a la relation classique a2 = 2 + c2 - 2bc cos où A désigne l'angle au sommet A Le coté a est donné par la loi des anneaux de Newton : si p0 désigne l'ordre au centre (p0 = 2e/X), on a I I a = e (P1 - p0) pour le cercle R1 et e (P2 - p0) pour le cercle R2.Si l'on désigne par A1 et A2les angles au centre A pour les points d'intersection du cercle K avec respectivement l'anneau R1 et l'anneau R2, on a donc les relations b2 + c2 - 2bc cos e (p1 - p0) (1) A1 = b2 + c2 - 2bc cos A2 = e-(P2 Po (2) b +c Le signal émis par le récepteur comprend des pics qui correspondent aux points d'intersection du cercle K avec les anneaux R1 et R2 La connaissance de la position des pics permet de déterminer la valeur des angles A1 et A2. Des deux relations (1) et (2), on tire la valeur de la distance c séparant le centre A du cercle K du centre des anneaux B h (pl - p2)/lb(cos A1 cos A2) (3) La relation (1) e 1 - permet de déterminer P1 - pu en fonction de b qui est connu et de c donné par (3) P1 - Po = (b2 + C2 ~ 2bc cos A1) e -I Lorsque l'épaisseur e est égale à un nombre entier de fois la demi longueur d'onde A/2, l'ordre au centre p0 est un entier, de sorte que la quantité p1 - po est un entier. Lorsque e diffère d'un nombre entier de fois A/2, la quantité P1 - Po comprend une partie entière et une partie fractionnaire qui est l'excédent fractionnaire de l'étalon ; on l'obtint donc immédiatement par soustraction de la partie entière de la quantité calculée p1 - Po- Toute variation de l'épaisseur se traduit par une variation de l'excédent fractionnaire. Pour maintenir constante l'épaisseur de l'étalon, il suffit donc de maintenir constant l'excédent fractionnaire. A cette fin et selon l'invention, on le compare à une valeur de référence et on forme un signal d'erreur proportionnel à la différence entre la valeur mesurée et la valeur de référence.Cette opération ne pose pas de problême et peut être effectuée par exemple au moyen d'un comparateur recevant deux tensions, l'une représentant la valeur de l'excédent calculé et l'autre la valeur de l'excédent de référence. Dans le cas d'un étalon sphérique, le calcul est un peu plus compliqué, mais le principe est le même. Le principe du calcul de l'excédent fractionnaire ayant été donné, on examine maintenant les moyens pour l'effectuer. Ils sont schématiquement représentes sur la figure 4. Les moyens de traitement utilisés dans l'invention, comprennent un circuit 40 de détermination de l'instant d'apparition des pics C, C', C" et C"' du signal délivré par le récepteur R1. Ce circuit est relié par des connexions 42 à un microprocesseur 44 qui calcule l'excédent fractionnaire de l'étalon et qui forme un signal d'erreur apparaissant sur la connexion de sortie 46. Si ce signal d'erreur est de type numérique, il peut être mémorisé dans une mémoire 48 reliée à un convertisseur analogique-numérique 50 Si le signal est analogique, la mémoire et le convertisseur sont inutiles.Un amplificateur 52 amplifie le signal d'erreur et commande une butée électromagnétique ou piézoélectrique B1 de l'étalon Fabry-Pérot FP1 soumis au contrle. L'ensemble du récepteur R1, du circuit 40, du microprocesseur 44, des organes d'amplification et de la butée micrométrique, constitue une boucle d'asservissement. Le circuit 40 de détermination de l'instant d'apparition des pics du signal délivré par le récepteur R1 peut être de tout type connu et ne pose pas de difficulté particulière à l'homme de l'art. A titre explicatif, il est représenté figure 5 une variante possible dans laquelle le signal reçu est traité au moyen de deux comparateurs C1 et C2 recevant une tension de référence V délivrée par le microprocesseur. Si le microprocesseur fonctionne en numérique, un convertisseur analogique-numérique 60 est prévu pour délivrer aux comparateurs C1 et C2 une tension V de type analogique. La tension délivrée par le récepteur R1, prealablement amplifiée par un amplificateur 62, est appliquée sur le premier comparateur C1 et, par l'intermédiaire d'une diode Zener 64 et d'une résistance 66, sur le second comparateur C2.Ce système à deux comparateurs permet de déterminer l'instant de passage de la tension V1 à la valeur V puis l'instant de passage de la tension V2 à la même valeur V Le microprocesseur agit sur le circuit 60 de telle façon que l'on ait toujours V2 4 V $ V1, il permet donc de mesurer (par lecture du nombre d'impulsions fournies par l'horloge à l'instant où la condition V = V1 ou V = V2 provoque une interruption du microprocesseur) les abscisses des points de la courbe correspondant aux valeurs V1 et V2. Les tensions V1 et V2 sont réglées de façon à encadrer V si V devient égal à la valeur supérieure V1, on modifie V1 et V2 pour obtenir deux nouvelles valeurs VE et V'2, en notant l'instant ob V est égal à V1 On pourra prendre, en pratique la nouvelle valeur inférieure V'2 égale à la valeur initiale supérieure V1. Ainsi, Vprend des valeurs successives jusqu'à une valeur maximale correspondant au sommet du signal,ce qui permet de localiser l'instant d'apparition dudit sommet. Naturellement, on pourrait employer d'autres systèmes de détection de l'instant où le signal passe par un maximum sans pour cela sortir du cadre de l'invention Par exemple, on pourrait utiliser un système à mémoire (formée par une capacité) et un comparateur qui détecte l'instant où le signal mémorisé devient supérieur au signal instantané ce qui se produit dès que le signal est passé par un maximum. On pourrait encore utiliser un circuit dérivateur et un circuit détectant le changement de signe de la pente du signal, etc. Dans le cas du circuit de la figure 5, on utilise avantageusement deux circuits monostables 68 et 70 reliés au microprocesseur par les connexions 42. Ils permettent une opération de comptage d'impulsions d'horloge dans le microprocesseur. Les circuits utilisés dans le microprocesseur sont représentés de façon schématique sur la figure 4 à laquelle on peut se reporter à nouveau. Le circuit 72 est commandé par les impulsions provenant des monostables du circuit 40. Elles reflètent l'abscisse curviligne des points C, C', C" et C"'. Les opérations effectuées par le microprocesseur sont rythmées par une horloge H. La détermination de l'abscisse curviligne des points d'intersection de K avec R1 et R2 à partir des instants d'apparition des pics suppose que la vitesse de rotation du moteur ml entrainant le miroir M1 soit connue, ce qui peut être obtenu en utilisant les impulsions de l'horloge H du microprocesseur pour commander ledit moteur ml, qui peut être alors avantageusement du type pas à pas. Cette connexion entre le microprocesseur et le moteur est reférencée 27. La connaissance des abscisses curvilignes permet de déterminer les angles A1 et A2 et comme on l'a vu plus haut, de calculer l'excédent fractionnaire de l'étalon. Ce calcul est effectue par le circuit 72 dont la sortie 76 est appliquée sur l'une des entrées d'un comparateur 78 qui reçoit sur l'autre entrée une valeur de référence délivrée par un circuit 80. Ce circuit est accessible à l'opérateur qui peut y afficher la valeur désirée et la faire varier le cas échéant. Le comparateur 78 délivre un signal d'erreur qui agit sur la butée B1. Eventuellement, l'excédent fractionnaire peut être affiché au moyen d'un dispositif 82 d'affichage relié à la sortie du circuit 72. Si ce dernier est adapté au calcul de l'épaisseur de l'étalon, celle-ci peut être affichée par des moyens 84. Le microprocesseur peut remplir des fonctions accessoires, comme par exemple le calcul de la distance AB = c, ce qui permet à l'opérateur de régler mécaniquement le système optique pour que cette distance ne soit pas trop grande Il est possible de faire varier l'épaisseur de l'éta- ion. de plusieurs fois A/2 en modifiant de façon continue l'excédent fractionnaire de référence affiché par les moyens 80 audelà de la valeur habituelle comprise entre 0 et 1 Par conséquent, le système de l'invention constitue non seulement un système d'asservissement de l'épaisseur, mais également un moyen de commande de ladite épaisseur. Le procédé d'asservissement et le système de mise en oeuvre qui viennent d'être décrits s'appliquent à tout type d'étalon, mais ils sont particulièrement avantageux dans le cas de l'étalon perfectionné illustré par la figure 4 Sur cette figure, l'étalon représenté est constitué par deux lames 90 et 92 disposées aux extrémités d'un corps 94 par l'intermédiaire de supports métalliques respectivement 96 et 98. La pièce 96 est fixée sur le corps 94 et la pièce 98 permet le réglage de la position de la lame 92, donc de l'épais- seur de l'étalon.Cette épaisseur est déterminée, en première approximation, par la longueur 1 du corps 94 et par l'épaisseur 1' de la pièce métallique 96 supportant la lame 90 Il est avantageux de constituer le corps 94 en un matériau ayant un faible coefficient de dilatation ; en outre, on choisit les distances 1 et 1' de telle sorte que le rapport 1/1' soit égal au rapport des coefficients de dilatation respectivement de la pièce métallique 96 et du corps 94. De cette manière, l'épaisseur de l'étalon, sensiblement égale à C1 - 1') est relativement insensible à la température puisque la dilatation du corps 94 est alors compensée par la dilatation du support 96 agissant en sens opposé. Avec un tel étalon, il a été observé, pendant une période de plusieurs mois, une dérive de l'épaisseur inférieure à 0,1 vm en l'absence de contrôle de température. A titre explicatif, le corps 94 peut être en silice ou en invar et la pièce 96 en acier inoxydable. La partie 98 permettant le réglage de la lame 92 comprend une pièce 100 serrée sur une pièce 102 par des ailes 104. Entre la pièce 104 et la pièce 102, se trouvent des rondelles dont l'épaisseur est ajustée à la construction et qui ne sont pas représentées. La pièce 100 sert au réglage fin. Elle est illustrée en coupe sur la figure 6 et en vue de dessus sur la figure 7. Elle est constituée par trois anneaux L, M, N taillés à partir d'une pièce unique de métal dur L'anneau L est fixé en G, G1 et G2 à la pièce 102. Il est solidaire en P1, P2, P3 des anneaux M et N. L'anneau N porte la lame 92 del'étalon. Le réglage fin est obtenu par déformation de l'anneau L par deux moyens a) l'un mécanique, constitué par trois butées micrométriques 106 prenant appui sur les points Q1' Q2' Q3 t b) l'autre électrique, constitué par trois butées électromagné tiques 108 prenant appui en P1, P2, P3. Ce sont ces butées électromagnétiques qui sont commandées par le signal d'er- reur, comme il a été décrit précédemment, REVENDICATIONS 1. Procédé d'asservissement de l'épaisseur d'un étalon de type Fabry-Pérot, caractérisé en ce que - à partir d'une source de lumière, on forme une image quasi ponctuelle à l'infini, décrivant une figure géométrique dont la forme est telle qu'elle coupe le système d'anneaux loca lisé à l'infini associé audit étalon ;; - on éclaire la zone de l'étalon où l'on veut asservir l'épais seur par ladite source à l'infini - on détecte la lumière transmise par l'étalon, un pic d'inten sité étant détecté lorsque la source coZncide avec un anneau - on calcule, à partir de la connaissance des instants d'appa rition des pics, l'excédent fractionnaire de l'étalon dans ladite zone, - on compare cet excédent fractionnaire à un excédent de réfe- rence et on forme un signal d'erreur proportionnel à la diffé rence de ces excédents , - on applique le signal d'erreur sur des moyens de commande de l'épaisseur de l'étalon dans ladite zone. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on forme une image à 11 infini qui décrit alterativement deux cercles sécants de diamètre au moins égal au diamètre du premier anneau. 3. Procédé selon l'une quelconque-des revendications 1 et 2, caractérisé en ce qu'on forme, a partir de la source à l'infini, trois faisceaux pour éclairer trois zones de lWéta- lon disposées å 1200 les-unes des autres, et en ce que les trois signaux d'erreur sont appliqués respectivement sur trois moyens de réglage de l'épaisseur disposés chacun au voisinage des trois zones 4.Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 a 3, caractérisé en ce qu'on asservit une pluralité d'étalons Fabry-Pérot à l'aide d'une seule source de lumière dont on forme une image à l'infini décrivant ladite figure géométrique, le faisceau lumineux nécessaire a l'asservissement de l'un des étalons étant obtenu en prélevant une partie du faisceau de lumière émis par la source à l'infLnî et le dirigeant à travers ledit étalon à asservir 5. Système d'asservissement de l'épaisseur d'un étalon de type Fabry-Pérot, pour la mise en oeuvre du procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend :: - une source lumineuse, - des moyens optiques de balayage permettant de donner de ladite source une image quasi ponctuelle à l'infini décri vant une figure géométrique qui coupe le système d'anneaux localisé à l'infini associé audit étalon, - des moyens optiques pour diriger une partie de la lumière émise par ladite source à l'infini vers une zone de l'étalon, - un récepteur du faisceau lumineux transmis par l'étalon dans cette zone, - un ensemble de traitement de signal calculant, à partir des signaux émis par le récepteur, l'excédent fractionnaire de l'étalon, - un comparateur de cet excédent avec un excédent de référence, la différence entre ces excédents constituant un signal d'er reur appliqué feSs-moyens de txmEnande-de l'épaisseur de l'étalon dans ladite zone. 6. Système selon la revendication 5, caractérisé en ce que les moyens optiques de balayage donnent de la source une image qui décrit alternativement deux cercles-sécants de diamètre au moins égal au diamètre du premier anneau. 7. Système selon la revendication 6, caractérisé en ce que les moyens optiques de balayage sont constitués par : - un premier miroir tournant, d'axe non confondu avec le fais ceau issu de la source lumineuse et formant une image ponc tuelle décrivant un premier cercle, - un système de hachage comprenant un disque tournant muni de pales réfléchissantes et un miroir fixe disposé à l'arrière du disque, ce système donnant du premier cercle une image constituée par deux cercles distincts, l'un formé par les pales réfléchissantes, l'autre par le miroir fixe. 8. Système selon la revendication 5, caractérisé en ce que les moyens de commande de l'épaisseur de l'étalon sont des butées électromagnétiques. 9. Système selon la revendication 5, caractérisé en ce que la source lumineuse est stabilisée en frequence. 10. Système selon la revendication 5, caractérisé en ce que l'étalon Fabry-Pérot est constitué par deux lames réfléchissantes disposées aux extrémités d'un tube en un matériau thermiquement stable, l'une des lames étant fixée sur une pièce métallique déformable sous l'action de butées micrométriques et/ou de butées électromagnétiques.