Brevet FR2389232A1 — publié le 19781124

L'invention concerne la production de matériaux et de structures semi-conducteurs et concerne plus précisément un dispositif destiné à former deys structures périodiques semi-conductrices par croissance épitaxiale en phase gazeuse. On connaft déjà des dispositifs dont le principe de fonctionnement repose sur une ormationdestructuressemi-conductHEespéridkues par croissance épitaxiale en phase gazeuse obtenue par une modification périodique rapide de la concentration en constituant variable d'un flux ou écoulement gazeux arrivant au support å partir de sources de matières premières. Le dispositif connu de formation de structures périodiques semi-conductrices par croissance épitaxiale en phase gazeuse comporte un réacteur tubulaire monté verticalement et rempli d'un gaz qui contient un réactif permettant la réalisation d'une réaction chimique de transfert. le support est monté dans le réacteur tubulaire qui a une capacité d'environ 100 cm3. Placés en dehors du réacteur, les éléments chauffants des sources et du support créent la différence de températures requise entre source et support pour produire la réaction chimique de transfert. Les sources des substances qui constituent les couches de la structure semiconductrice périodique en croissance peuvent être placées aussi bien d l'intérieur qu'a l'extérieur du réacteur tubulaire.Les sources qui fournissent les constituants volatils sont placées en dehors du réacteur tubulaire3 alors que la source de constituant peu volatil est logée à l'intérieur du réacteur tubulaire. Le mécanisme permettant d'obtenir la susecession imposée pour tordre d'arrivée des substances des sources au support est formé d'un système d'injection disposé à ltextérieur du réacteur tubulaire et muni d'une soupape à trois voies à solénoide et d'un relais électronique temporisé servant à manoeuvrer la soupape. Le système. d'injection de ce dispositif connu est destiné à réaliser un dosage rapide des constituants de la phase gazeuse, les proportions étant fonction de la position de la soupape à trois voies à solénoide qui règle l'arrivée des matières premières venant des sources disposées en dehors du réacteur tubulaire. Le relais électronique temporisé impose la périodicité des manoeuvres de la soupape à solénoide et définit la durée du cycle d'injection assurant l'admission dans le réacteur tubulaire du mélange gazeux de chacune des compositions (formules) qui correspondent aux compositions des couches alternantes dans la structure semi-conductrice périodique en croissance. Voir notamment A.E. Bakeslee, C. F. Aliótta, "Manmade superlattice crystals", IBM J. Research and Development, 1970, V. 14, n 6, pages 686-688. Le dispositif connu décrit précédemment est utilisé pour produire par croissance épitaxiale une structure semi-conductrice périodique de type "super-réseau" à partir d'une solution solide de GaAs1-xPx valeurs alternantes de x (x étant la part en moles du constituant GaP dans la solution solide GaAsl~xPx)' Les sources d'arsenic et de phosphore sont constituées ici par des bouteillers contenant de la phosphine.PH3 et de l'arsine AsH3 mélangées à de l'hydrogène qui se trouve en dehors du réacteur, alors que la source de gallium est constituée par du gallium métallique placé dans une nacelle qui se trouve dans la partie supérieure du réacteur tubulaire.Dans le réacteur, on admet en continu un mélange de gaz H2 et HC1, ce dernier étant un réactif garantissant l'exécution de la réaction chimique de transfert, l'écoulement d'arsine également admis dans le réacteur tubulaire s'effectuant a débit constant alors que l'écoulement de phosphine est périodiquement coupe au moyen de la soupape à trois voies à 4Blénofde. Au moyen du dispositif connu qui vient entre décrit, on a réalisé par croissance des structures semi-conductrices périodiques de périodes comprises entre 225 A et 1000 A et d'amplitude Ax de variation périodique de la teneur en phosphore s'échelonnant de 0,1 à 0,4 partie molaire. Dans le cas où le cycle dtinjection est de 2 s et où la vitesse de croissance épitaxiale est de 40 microns/h, on a réalisé une structure semi-conductrice périodique présentant des couches de 110 A d'épaisseur et des écarts d'épaisseur, par rapport à sa valeur moyenne sur toute la structure périodique formée, ne dépassant pas 1X. Au moyen du dispositif connu qui vient d'entre décrit, il est possible de former des structures périodiques semi-conductrices à partir de solutions solides de différente nature, bien que dans tous les cas, il faille utiliser des matières premières gazeuses. Le dispositif connu ne permet d'obtenir la formation d'une structure périodique que dans une atmosphère gazeuse en écoulement, car le mécanisme disposé en dehors du réacteur qui permet de réaliser la succession imposée pour 11 ordre d'arrivée des substances des sources au support ne permet pas d'effectuer le dosage périodique des substances sous une pression qui diffère sensiblement de la pression atmosphérique, c' est-a-dire sous vide, ou bien au contraire sous pression interne de 5 a 10 atmosphères. Les possibilités limitées de la technique antérieure ont comme conséquence que, pour obtenir des structures périodiques, il est impossible de mettre en oeuvre des processus de sublimation sous vide et de transfert chimique, aussi bien sous pression réduite (0,1 atmosphère ou moins) que sous pression élevée (5 à 10 atmosphi?res), ce qui limite donc la gamme des substances et des réactions chimiques utilisables pour la préparation de certaines structures semi-conductrices périodiques importantes. Parmi les sources utilisées, dans le dispositif connu, on pourrait citer des substances volatiles et des composés gazeux qui doivent être synthétisés au préalable et avoir un haut degré de pureté, qui doivent présenter une haute stabilité chimique au cours du stockage et de lutilisation (lors du passage par la soupape à trois voies å solénotde, ainsi que par les tubulures de connexion) et qui doivent être chimiquement neutres vis-à-vis du matériau du réacteur tubulaire. Ainsi, dans le dispositif connu, il est impossible d'obtenir une structure périodique a partir d'une solution solide de CaxAl As, car le trichlorure d'aluminium qui est indispensable a la préparation d'une telle structure réagit activement avec le quartz du réacteur tubulaire aux températures régissant la croissance épitaxiale. Le dispositif connu est caractérisé par des pertes importantes en substances de départ, ce qui s'explique par l'utilisation d'une atmosphère gazeuse en écoulement dans le réacteur tubulaire. C'est ainsi qu'en cas de formation de la structure il sort du réacteur avec l'écoulement du mélange gazeux environ 95% des substances de départ, et, dans le cas optimal, 5% seulement se déposent sur le support sous forme de couches épitaxiales de la structure produite. La basse productivité du dispositif connu s'explique par un faible volume du réacteur tubulaire dans lequel, pour obtenir des structures du type super-réseau avec une période d'environ 200 A, on ne peut placer qu un petit support d'un diamètre inférieur a 15 mm. Pour former par croissance épitaxiale des structures semi-conductrices de ce type, il faut renouveler la phase gazeuse toutes les secondes environ, ce qui n'est possible que si le réacteur tubulaire, la valve de solénoïde et les tubulures de connexion ont un faible volume. Pour cette raison, l'augmentation de la produc tivité par accroissement du volume du réacteur tubulaire ne peut être réalisée qu'au prix de l'abaissement de la précision de dosage des matières premières et, par conséquent, de la détérioration de la qualité de la structure formée. En outre, on perd la possibilité d'obtenir des structures du type super-réseau à faible période et à limites nettes de séparation entre les couches. On stest donc proposé de créer un dispositif de formation de structures semi-conductrices périodiques par croissance épitaxiale en phase gazeuse, grâce auquel, étant données la conception du réacteur et la disposition des sources de substances et du support relativement au réacteur, il est possible détendre la gamme des substances de départ et des reactions chimiques utilisables à des substances et à des réactions indispensables à ltobtention en phase gazeuse de plusieurs structures particulièrement importantes ainsi que d'au g 'augmenter la produc- tivité en réduisant au maximum les pertes en substances initiales, et d'améliorer la qualité et la pureté des couches alternantes des structures semi-conductrices obtenues. Dans la solution envisagée, il est utilisé un dispositif de formation de s truc turcs semi-conductrices périodiques par croissance épitaxiale en phase gazeuse comprenant un réacteur tubulaire a support incorporé rempli d'un gaz qui contient un réactif garantissant la réalisation d'une réaction chimique de transfert, au moins deux sources de substances constituant les couches de la structure semi-conductrice périodique voulue ainsi que des éléments chauffants des sources et du support disposés en dehors du réacteur auprès de ces derniers et créant la différence de températures entre sources et suppott indispensable à l'exécution de la réaction chimique de transfert.La solution consiste en un semblable dispositif se distinguant, suivant I'invention, en ce qu'il possède un moteur électrique disposé en dehors du réacteur et destiné à faire tourner le réacteur sur son axe longitudinal, cinématiquement lié à ce dernier, et au moins un groupe d'éléments disposés à l'intérieur du réacteur et comportant une monture destinée à porter au moins deux sources de substances consistant en matériaux semi-conducteurs solides différents qui sont installées dans un même plan et- adjacentes entre elles, un bloc assurant la fixation d'au moins un support, et un élément permettant le maintien d'un écart constant entre les surfaces du support et des sources, le réacteur étant étanche et étant incliné de façon que l'angle de son axe longitudinal avec le plan horizontal soit compris entre 10 et 800, la monture de chaque groupe étant rigidement fixée à l'intérieur du réacteur dans une position garantissant l'orthogonalité des surfaces des sources relativement à l'axe longitudinal du réacteur et le bloc correspondant destiné à la fixation du support étant placé au-dessus de la monture librement par rapport au réacteur à une distance de la monture réalisant, entre les surfaces du support et des sources, l'écart requis, qui est choisi dans un intervalle de 50 microns à 1 mm, et étant monté au moyen de l'élément servant à maintenir un écart constant entre les surfaces. Il est avantageux que chaque bloc destiné à la fixation du support soit réalisé sous forme d'un corps dissymétrique ayant une face plane servant a la fixation du support, tandis que l'élément qui maintient un écart constant peut être réalisé sous forme d'une -tige dont l'une des extrémités est rigidement liée au corps dissymétrique et est placée du côté de sa face plane orthogonalement à cette dernière et dont l'autre extrémité est placée au centre de la monture orthogo- nalement à surface et permet une rotation relative de la tige et du support lors de la rotation du réacteur sur son axe longitudinal. I1 est tout aussi avantageux de réaliser chaque bloc de fixation du support sous forme d'un corps cylindrique ayant une embase plane de fixation du support d'un diamètre choisi dans un intervalle de 1 à 1,5 fois le rayon de la section transversale du réacteur tubulaire, et de donner à l'élément assurant le maintien d'un écart constant la forme d'un cadre d'épaisseur constante, fixé du cté de la surface des sources, le long de la ligne de contact de la monture avec la surface interne du réacteur. D'autres caractéristiques et avantages de la pré sente invention seront mieux compris à la lecture de la description qui va suivre de plusieurs exemples concrets de réalisation, illustrés par les dessins annexés sur lesquels - la figure 1 représente schématiquement le dispo sitif de formation des structures semi-conductrices périodiques par croissance épitaxiale en phase gazeuse, suivant l'invention; le réacteur tubulaire étant vu en coupe longitudinale; - la figure 2 représente, vueen coupe longitudinale, une partie du réacteur tubulaire du dispositif comportant une des variantes de réalisation du bloc de fixation du support et de la tige, suivant 1 'invention; - la figure 3 représente, vue en coupe longitudinable, une partie du réacteur tubulaire du dispositif comportant une variante de réalisation du bloc de fixation du support sous forme d'un corps cylindrique, suivant l'invention. On considère plus en détail l'exemple de la réalisation du dispositif de formation de structures semi-conductrices période diques par croissance épitaxiale en phase gazeuse, représentée sur la figure 1. Ici, le réacteur tubulaire 1 est une ampoule étanche de quartz remplie de gaz qui contient un réactif garantissant l'exécution d'une réaction chimique de transfert. Selon la structure semi-conductrice périodique qu'il s'agit obtenir, les sources de substances et le type de réaction chimique de transfert à utiliser, on établit au préalable la composition requise du gaz a l'intérieur du réacteur 1 et, par conséquent} l'état du milieu gazeux, c'est-à-dire une pression supérieure à la pression atmossphérique, la pression atmosphérique ou une pression réduite. Le réacteur tubulaire 1 est installé de manière que son axe longitudinal 2 et le plan horizontal fasse un angle a choisi dans un intervalle de valeurs compris entre 100 et 800. Entourant extérieurement le réacteur 1, sont placés des éléments chauffants 3 des sources et des éléments chauffants 4 du support protégés du milieu extérieur par une enveloppe 5 montée sur une plaque de support 6 et fixée par son extrémité la plus élevée à un montant vertical 7, comme le montre la figure 1. Sur cette même plaque de support 6, est installé un moteur électrique 8 destiné à entrainer le réacteur 1, cinématiquement réuni par un accouplement 9 à un arbre 10 fixé à la partie terminale inférieure du réacteur 1. La partie terminale supérieure du réacteur est mécaniquement liée à un arbre 11 disposé-comme arbre 10 dans l'axe 2 du réacteur 1. L'extremité de sortie de arbre ll-est montée dans un palier 12 du montant vertical 7. Au voisinage de la partie terminale supérieure et de la partie terminale inférieure du reacteur 1 sont disposés des blocs 13 d'éléments chauffants de fond qui préviennent la condensation sur les parois en quartz du réacteur l, du réactif chimique utilisé pour le transfert, ainsi que des produits de la réaction. A l'intérieur du réacteur 1, est logé au moins un groupe d'éléments. Chaque groupe comprend une monture 14 d'au moins deux sources 15 et 16 de substances disposées à proximité l'une de l'autre et composant les couches de la structure semi-conductrice périodique en croissance, un bloc 17 destiné à fixer au moins un support 18 et un élément garantissant le maintien d'un écart constant entre les surfaces des sources 15 et 16 de substances et du support 18. Le dessin considéré représente deux de tels groupes, dont un élément (par groupe) comprend deux sources 15 et 16 et un support 18, bien que leur nombre-ne soit pas limité par llexemple concret considéré et puisse être quelconque, choisi en conformité avec les prescriptions fixées pour la productivité du dispositif. Les sources 15 et 16 de substances. composant les couches de la structure semi-conductrice périodique en croissance sont des lames exécutées en matériaux semi-conducteurs solides différents. Ces lames sont montées dans la monture 14 des sources 15 et 16 et sont adjacentes entre elles. Chaque monture 14 de sources 15 et 16 est fixée h l'intérieur du réacteur tubulaire 1 au moyen des bossages (ou ergots) 19 et se trouve dans une position garantissant l'orthogonalité des surfaces des sources 15 et 16 par rapport l'axe longitudinal 2 du réacteur 1. Chaque bloc correspondant 17 destiné a la fixation du support 18 est disposé à l'intérieur du réacteur 1 au-dessus de la monture correspondante 14. I1 est monté librement par rapport au réacteur 1. Le bloc-17 destin à la fixation du support 18 se trouve à une distance de la monture 14 des sources 15 et 16 définie par l'écart requis p entre les surfaces de la source 15 et 16 et du support 18 disposées à faible distance entre elles. Généralement, on choisit cet écart p lors du montage du bloc 17 et de la monture 14 dans un intervalle de 50 microns à 1 nn en se guidant d'après les conditions dans lesquelles se déroule la réaction chimique de transfert utilisée qui permet d'effectuer tsur å tour le transfert des substances depuis les sources 15 et 16 au support 18. On règle la valeur de cet écart ss au moyen d'un élément garantissant le maintien de l'écart constant, qui peut être réalisé sous forme d'une tige 20 réunie au bloc 17 par des vis 21 et 22. Le bloc 17 destiné a la fixation du support 18 est réalisé sous forse d'un corps dissymétrique en graphite présentant une face plane destinée au support 18. Dans l'orifice central débouchant du bloc 17, est logée la tige de quartz 20 rigidement fixée dans ledit orifice, au moyen de la vis de réglage 22 et de la vis d'arret 21, perpen diculairewent a la face plane du bloc 17. L'extrémité émergente de la tige 20 est placée dans un enfoncement 23 pratiqué au centre de la monture de graphite 14 des sources 15 et 16. La tige 20 peut être par ailleurs fixée dans l'orifice débouchant du bloc 17 au moyen d'une seule vis 22. Il est possible de prévoir en outre une autre variante d'exécution de la tige 20 rels tivesent au bloc 17, à savoir sous forme d'une pièce ronobloc unique, qui est représentée sur la figure 2. Le bloc 17 destiné à fixer le support 18 peut entre réalisé sous forse d'un corps cylindrique en graphite, tel que représenté sur la figure 3. Sur-la base plane du corps cylindrique est fixé le support 18, le diamètre de cette base étant égal a l å 1,5 rayon de la section transvetsale dutEacteur tubulaire 1. A une partie de la surface intérieure du réacteur tubulaire 1, vient s'app-liquer intimement un cylindre creux en graphite 24 qui permet de réaliser le coefficient de frottement requis entre le bloc 17 et la surface intérieure du réacteur 1. Le moyen destiné à maintenir un écart constant est réalisé sous norme d'un cadre en graphite 25 d'épaisseur constante, immo bilié du c8té des surfaces des sources 15 et 16 le long de la ligne de contact de la monture en graphite 14 des sources 15 et 16 avec la surface intérieure du réacteur tubulaire 1. Pour choisir l'angle a, on rattache à réaliser la rotation relative du bloc 17 et de la monture 14 tout en maintenant un jeu B constant. On considère le fonctionnement du dispositif destiné à former une structure semi-conductrice périodique par croissance épitaxiale en phase gazeuse, suivant l'invention, dans le cas, choisi en exemple, où l'on cherche à obtenir une structure périodique de guide d'ondes à partir du système GaAs-GaP. On utilise dans ce cas une réaction chimique de transfert avec l'iode, tandis que le support 18 (figure 1) utilisé est une lame de GaAs d'orientation (111). La source 15 est dans le cas considéré une lame semi-circulaire GaAs et la source 16 est une lame semi-circulaire GaAsg gPo 10 la monture 14 et le bloc 17 sont alors disposés l'un par rapport à l'autre de façon qu'entre la surface du support 18 et les surfaces qui lui sont parallèles des sources 15 et 16, il y ait un écart ss égal à 200 microns.Le réacteur tubulaire 1, à l'intérieur duquel a été logée une ampoule contenant une prise d'iode (qui est un réactif chimiquevecteur) est mis sous vide par un procédé connu jusqu'd une pression résiduelle de 1 x 10-5 mm de Hg; on le ferme hermétiquement et on le place sous un angle a égal à 450 Ensuite, on porte la monture 14 et le bloc 1.7 à une température de service moyenne de 8300C et on règle la puissance des éléments chauffants 3 eut 4 de façon à obtenir une différence de 20 C entre la température des sources 15 et 16 et celle du support 18. Ensuite, on déscelle par un procédé connu l'ampoule d'iode qui répand une quantité permettant d'obtenir une teneur pondérale en iode dans l'enceinte du reacteur 1 égale à 10 mg/cm . Pour une température de service moyenne du processus égale à 8300C, la pression de la prise d'iode évaporée crée a l'intérieur du réacteur 1 une pression supérieure a4 atmosphères} ce qui contribue à intensifier la réaction chimique de transfert et permet d'obtenir une vitesse de croissance épitaxiale élevée atteignant 420 microns/heure. On réalise la formation par croissance épitaxiale de la structure périodique considérée composée de couches alternantes de GaAs et de GaA80 gBo 1 en deux stades D'abord la monture 14 restant immobile relativement au bloc 17 pendant 80 secondes, on forme une couche tampon de GaAs de 10 microns d'épaisseur. Ensuite, on met en marche le moteur électrique 8 qui assure la rotation du réacteur 1 solidairement avec la monture 14 des sources 15 et 16 relativement au bloc 17 qui porte le support 18 fixé au-dessus. Dans ce cas, Si le dispositif estréalisé comme représenté sur la figure 1, le bloc 17 sous forme d'un corps dissymétrique va rester fixe par rapport à la monture tournante 14 des sources 15 et 16 étant donné que le centre de gravité du bloc 17 est constamment disposé au-dessous de l'axe longitudinal 2 du réacteur 1 qui coïncide avec l'axe de rotation de la monture 14 alors que le coefficient de frottement entre le graphite de la monture 14 et le quartz de la tige 20 reste modéré. Lorsque le bloc 17 est réalisé comme représenté sur la figure 3, le bloc de graphite 17 pendant la rotation du réacteur 1 va rouler sur le cylindre de graphite 24 à la surface intérieure du réacteur tubulaire 1; axe de rotation du bloc 17 destiné à la fixation du support 18 se trouvera toujours au-dessous de l'axe 2 du réacteur 1 qui coricide avec l'axe de rotation de la monture 14 des sources 15 et 16. Ainsi, dans les deux C88, on aboutit a l'alternance des sources 15 et 16 par rapport au support 18 par suite de la rotation du réacteur 1 sur l'axe 2. On forme une structure semi-conductrice périodique > de période de 2400 A, composée de 100 périodes et ayant une épaisseur totale de 24 microns, en faisant faire 100 tours au réacteur 1 sur l'axe 2, à une vitesse de rotation de 30 tours par minute pendant 200 secondes. Ensuite, on arrête la rotation, on refroidit le réacteur 1, on l'ouvre et on extrait le support 18 portant la structure semi-conductrice périodique obtenue par croissance à partir du système GaAs-GaP Lors de la formation par croissance d'une structure de ce genre utilisant une pression de vapeurs d'iode dépassant de plusieurs fois la pression atmosphérique, on cherche à établir une vitesse de croissance épitaxiale élevée, tout en maintenant la haute perfection de la structure cristalline périodique et le poli de la surface dé la couche épitaxiale, en réalisant ainsi une augmentation de la productivité dans un rapport de 5/1 à 6/1 par comparaison au dispositif connu. En utilisant un dispositif de ce genre, il est possible de faire croître une structure périodique semi-conductrice épitaxiale de type super-réseau formée partir du système GaAs-AlAs. Pour la fabrication d'une structure de ce genre, on utilise comme support 18, à l'encontre de ce qui a été dit précédemment, une lame de GaAs d'orientation (100), on prend comme source 15 une lame de GaAs sous forme d'un secteur tronqué d'un angle de 300 et, comme source 16, une lame portant une couche, obtenue par croissance épitaxiale, de Ga0,8Al0,2As d'une épaisseur de 50 microns sur support en arséniure de gallium sous forme d'un secteur tronqué d'un angle de 600. On règle L'écart ss å la valeur 100 microns, on met le réacteur 1 sous une pression résiduelle de 1 x 10 6 me de Hg3 on le ferme hermétiquement et on l'installe sous un angle a égal à 30t. On porte les sources 15 et 16 à une température de 7200C et le support 18 à une température de 6900C. Pour réaliser la réaction chimique de transfert, on crée une concentration ou une teneur pondérale en iode dans le réacteur 1 égale à 1 mg/cm3 et une pression de vapeur diode de 0,4 atmosphère, ce qui aboutit à une vitesse de croissance de la couche épitaxiale de 3,6 microns/h. On réalise par croissance une structure semi- conductrice périodique de type super-réseau de période 1-00 A composée de 60 périodes et ayant une épaisseur totale de 0,6 micron en faisant tourner le réacteur 1 sur l'axe 2 pendant 10 Inn 9 une vitesse de rotation du-moteur électrique 8 égale à 6 tr/mn Ensuite, on arrete la rotation et on fait une pause de 10 mn, une couche de contact de GaAS de 0,6 micron d'épaisseur se formant sur-la structure périodique. Au cours de la croissance d'une telle structure du type super-réseau à partir d'un système GaAs-AlAs, le transfert chimique des produits contenant l'aluminium est localisé dans un faible volume de phase gazeuse entre les surfaces des sources 15 et 16 et du support 18. L'écoulement de ces produits dans le reste du volume du réacteur 1 est faible, de sorte qu'on n1 observe pratiquement pas d'interaction entre les iodures d'aluminium et les parois en quartz du réacteur 1. R E V E N D I C A T I O N S 1. Dispositif de formation de structures semiconductrices périodiques par croissance épitaxiale en phase gazeuse comportant un réacteur tubulaire a support incorporé, rempli dlun gaz qui contient un réactif destiné à llexécution d'une réaction chimique de transfert, au moins deux sources de substances composant les couches de la structure semi-conductrice périodique en croissance, ainsi que des éléments chauffants des sources et du support disposés en dehors du réacteur auprès de ces derniers et créant la différence de températures nécessaire a l'exécution de la réaction chimique de transfert, le dispositif étant caractérisé en ce qu'il possède un moteur électrique disposé hors du réacteur et servant å faire tourner le réacteur sur son axe longitudinal, cinématiquement lié au réacteur, et au moins un groupe d'éléments logé à l'intdrieur du réacteur, comportant une monture destinée a porter au moins deux sources de substances de matières semi-conductrices solides différentes installées dans un même plan et adjacentes entre elles, un bloc destiné a la fixation d'au moins un support, et un élément destiné à maintenir un écart constant entre les surfaces du support et des sources, le réacteur étant étanche et étant placé de manibre inclinée, l'angle entre son axe longitudinal et le plan horizontal étant choisi entre 100 et 800, la monture de chaque groupe étant installée à demeure a l'intérieur du réacteur dans une position garantissant l'orthogonalité entre les surfaces des sources et l'axe longitudinal -du réacteur, chacun des blocs correspondants destinés a fixer le support étant placé au-dessus de la monture librtaPnt par rapport au réacteur et a une distance de la monture garantissant entre les surfaces du support et celles des sources l'écart requis, qui est choisi dans un intervalle de 50 microns à 1 non, et étant fixé par l'intermédiaire de ltélément qui maintient l'écart constant entre lesdites surfaces. 2. Dispositif suivant la revendication l, caractérisé en ce que chaque bloc destiné à la fixation du support est réalisé sous forse d'un corps dissymétrique ayant une face plane servant à la fixation du support, tandis que l'élément qui maintient l'écart constant est exécuté sous forme d'une tige dont ltune des extrémités est rigidement liée au corps dissymétrique et se trouve fixée du côté de-sa face plane perpendiculairement a cette dernière et'dont l'autre extrémité est montée au centre de la monture perpendiculairement à la surface des sources et permet une rotation relative de la tige et de la monture lors de la rotation du réacteur autour de son axe longitudinal. 3. Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en ce que chaque bloc servant à la fixation du support est réalisé sous forme d'un corps cylindrique ayant une base plane de fixatipn du support d'un diamètre égal à 1 à 1,5 fois le rayon de la section transversale du réacteur, tandis que l'élément qui maintient l'écart constant est réalisé sous forme d'un cadre d'épaisseur constante, fixé du côté de la surface des sources le long de la ligne de contact de la monture avec la surface intérieure du réacteur.