Brevet FR2321136A1 — publié le 19770311

L'invention concerne un microscope comportant nn système servant à éclairer un objet, un système d'objectif pour représenter ledit objet, un polariseur et un analyseur disposé derrière le système d'objectif l'angle compris entre la direction de polarisation du polariseur et celle de l'analyseur étant réglable, microscope dans lequel un premier élément divisé en deux régions de propriétés optiques différentes est disposé dans la voie lumineuse devant l'objet, alors qu'un second élément, divisé en deux régions de propriétés optiques différentes est disposé dans la voie lumineuse derrière ledit système d'objectif, les régions séparées du premier élément sont ajoutées optiquement aux régions séparées du second élément. Un tel microscope peut etre utilisé pour observer des structures de phase, ce qui a été décrit entre autres dans le Drevet des Etats Unis N 2.516.905. Suivant la théorie d'Abbe, la représentation de l'objet s'obvient par interférence des faisceaux diffractés par l'objet (ordre supérieur) avec le faisceau non diffracté (ordre zéro). Entre le faisceau a'ordre zéro dt coté et les faisceaux d'ordre supérieur de l'autre côté peut être introduite une différence de phase supplémentaire (suivant Zernike). De ce fait, la structure de phase de objet est transformée en une structure a'intensité visible dans l'image de l'objet. Le microscope selon te brevet américain N 2.516.905 comporte un diaphragme présentant une oiverture annulaire disposé dans ou près du plan d'objet du système de condenseur. Ce diaphragme est représenté par ledit système de condenser et le système d'objectif dans ou près du plan focal arrière du système d'objectif. A cet endroit est disposé un polariseur composé qJi est constitué rar une région circulaire centrale et qui est entour d'une région annulaire. De préférence, les régions ont des directions de polarisation perpendiculaires entre elles.La région circulaire centrale est traversee pour le faisceau d'ordre zéro, alors ue la région annulaire n'est traversée que par des faisceaux diffractés. Le faisceau d'ordre zéro acquiert une autre direction de polarisation que ces faisceaux diffractés. Une plaque réglable en matériau biréfringent disposé derrière le polariseur composé permet de régler la différence en phase entre le faisceau d'ordre zéro et les faisceaux diffractés. Dans ie dispositif conqi, une zone annulaire de l'ouverture du système optique forma par le système de condenseur et le système d'objectif est uniquement remplie, ce qui conduit à une plus grande profondeur de netteté et, par conséquent, à une discrimination de la profondeur moins favorable. La présente invention vise à fournir un microscope, notamment pour représenter, sous forme différenciée, un objet de phase, microscope qui ne présente pas le susdit inconvénient et qui présente une structure simple et facilement réglable. Le microscope conforme à l'invention est caractérisé en ce que chacune des régions du second élément est disposée tant dans la voie de lumière diffractée par l'objet que dans la voie de lumière non diffractée. La présente invention est basée sur l'idée principale de diviser le faisceau d'éclairage en deux faisceaux partiels présentant des états de polarisation différents et remplissant ensemble toute l'ouverture du système optique formé par le système de condenseur et le système d'objectif. La séparation en état de polarisation des faisceaux partiels s'effectue par exemple à l'aide de deux polariseurs présentant des directions de polarisation différentes ou à l'aide d'un polariseur non divisé, qui est suivi de deux plaques demi-onde présentant des orientations différentes et placées dans un plan, plaques demi-onde qui occupent ensemble toute la section du faisceau.Chacun des faisceaux partiels est divisé par 11 objet en un faisceau d'ordre zéro et en faisceaux diffractés.Le second élément peut être constitué par exemple par deux plaques demi-onde présentant des orientations différentes et situées dans un plan, ces plaques delri-onde étant disposées dans la section du faisceau de façon que de la lumière diffractée de chaque faisceau partiel traverse une autre plaque demi-onde que la lumière non diffractée. L'idée principale, qui est à la base de la presente invention, peut être appliquée à la représentation, sous forme différenciée, d'un objet de phase, mais également à la représentation sous forme non différenciée dudit oojet de phase. le plus, l'invention peut entre appliquée à la représentation d'objets d'amplitude tant sous forme différenciée que sous forme non différenciée. Finalement, les microscopes conformes à l'in vent ion peuvent être tant du genre à transmission que du genre à réflexion. La forme de réalisation définitive d'un microscope conforme à l'invention est déterminée par le but spécial dudit microscope. La description ci-après, en se référant aux dessins annexés, le tout donné à titre d'exemple non limitatif, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. Les figures 1, 3, 6, 8, 10, il et 12 représentent schématiquement plusieurs formes de réalisation d1un microscope conforme à l'invention et les figures 2a, 2b, 4a, 5, 7a, 7b, 7c, 7d, 9a et 9b illustrent le fonctionnement desdites formes de réalisation. Dans ces figures, les éléments correspondants sont désignés par des chiffres de référence identiques. La figure 1 représente un microscope à transmission. Le système d'éclairage est contitué par une source lumineuse k, une lentille de champ V et un système de condenseur C, qui n'est représenté que par une seule lentille pour la-clarté du dessin. Le système d'éclairage n'est donné qu'à titre d'exemple. La présence d'un système de condenseur n'est pas essentielle pour la présente invention. Le système de condenseur assure la concentration de la lumière sur un objet de phase P, qui présente par exemple une structure cosinusoïdale dans la direction x. L'objet de phase divise le faisceau d'éclairage en un faisceau d'ordre zéro, qui traverse, de façon non diffractée , l'objet et en faisceaux diffractés déviés de plusieurs ordres.Dans la voie lumineuse, derrière l'objet, est disposé un système d'objectif 0, qui est représenté, ici aussi, par une seule lentille, afin de-faciliter la compréhension du dessin. En l'absence de dispositions spéciales il est impossible d'observer l'objet de phase dans le plan image B. En effet, laconfigura- tion d'intensité par exemple qui se forme par interférence du faisceau d'ordre zéro et du faisceau d'ordre -10 éliminerait la configuration d'intensité, qui se forme par interférence du faisceau d'ordre zéro et du faisceau d'ordre + 10. Conformément à l'invention, on ajoute au microscope plusieurs éléments additionnels afin de pouvoir observer une structure de phase. Ces éléments sont représentés en plan sur la partie de droite de la figure 1. La direction y est la direction perpendiculaire au plan du dessin de la partie de gauche de la figure I. 1. Dans la partie de gauche du plan focal du condenseur est disposé un premier polariseur E et dans la partie de droite dudit plan un second polariseur F. Les directions de polarisation 1 et 2 de ces polariseurs sont perpendiculaires entre elles. 2. Dans la partie de gauche, aussi bien que dans la partie de droite du plan ajouté par le système de condenseur et le système d'objectif au plan focal du condenseur, plan qui coïncide pratiquement avec le plan focal arrière du système d'objectif, est disposée une plaque demi-onde. Les directions principales 3 et 4 des plaques E' et F' font des angles d'environ 22,50 avec la direction de polarisation 2. 3. Dans la proximité du plan image B est disposé un analyseur A, dont la direction de passage 5 est réglable. Au lieu d'être disposés exactement au plan focal du condenseur, les polariseurs E et F peuvent également être disposés dans la proximité dudit plan. Dans ce cas les représentations des polariseurs ne coïncident plus avec le plan focal arrière du système d'objectif. Les directions de polarisation des polariseurs ne sont données qu'à titre d'exemple. Les polariseurs peuvent présenter d'autres directions de polarisation pourvu qu'elles soient perpendiculaires entre elles. Envisageons un faisceau partiel 1, dont la figure 1 ne représente que le rayon principal, qui atteint l'object à partir du polariseur E. Ce faisceau est divisé entre autres en un faisceau d'ordre zéro 10 et deux faisceaux de premier ordre 1 et l+1. Pour la clarté du dessin, les faisceaux d'ordres supérieurs à 1 se passent de comnientaires. Le faisceau10 traverse la plaque demi-onde E'. Une telle plaque remplace la direction de polarisation par son image de main contraire par rapport à la direction principale de ladite plaque. La plaque demi-onde F' remplace la direction de polarisation du faisceau partiel {~1 également par son image de main contraire. Après avoir traversé les plaques demi-onde E' et F', les vecteurs électriques des vibrations des faisceaux partiels 10 et l-1 sont comme ceux représentés sur la figure 2a. Cette figure représente également la direction de transmission 5 de l'analyseur A. Le faisceau d'ordre du faisceau l' qui est symétrique par rapport au faisceau pilet qui frappe l'objet à partir du polariseur F, traverse la plaque demi-onde F' et le faisceau l'+1 d'ordre +1 traverse la plaque demi-onde E' . Après avoir traversé les plaques demi-onde, les vecteurs électriques des faisceaux partiels 1' et l8+1 sont comme ceux o représentés sur la figure 2b. Des vecteurs électriques des faisceaux f.0 et l-1 de la figure 2a et, l'o et l' + de la figure 2b, seuls les composants projetés sur la direction de transmission 5 de l'analyseur sont transmis. Il y a interférence entre les composants transmis des faisceaux partiels 10 et l-1' de sorte qu'il se forme une configuration dtintensité dans le plan image B. Cette configuration d'intensité est sinusoRdaleS ayant comme argument + kx, k représentant la fréquence spatiale dans l'image. k est donné par k N ## , p représentant la période de la structure d'objet et N le grossissement du système d'objectif.Les composants transmis interférents des faisceaux partiels l0' et l+1' provoquent une configuration d'intensité également sinusoidale. l'argument étant cependent -kx. En effet, le faisceau partiel l' +1 est diffracte sous un angle négatif par rapport au faisceau partiel Des figures 2a et 2b il ressort que les faisceaux partiels l0 et l0' présentent les mémes directions de polarisation.Les directions de polarisation des faisceaux partiels l-1 et l+1' sont perpendiculaires aux susdites directions de polarisaticn. Les derniers faisceaux partiels ont soumis une refraction douole différente, ce qui a pour effet que la différence en phase entre l0 et l-1 ne subit pas de variations, mais que la differénce en phase entre l0' et l+1' présente une variation #, ce qui est indique sur les figures 2a et 2b en donnant à l-1 et li+I des directions opposées. De plus, comme on ie sait, dans un objet de phase les deux faisceaux partiels diffractés du premier ordre présentent une phase moyenne, qui diffère de W de celle du faisceau partiel de l'ordre 2 zéro.Si les faisceaux partiels l0 et l0' sont représentés par respec- tivement ei#t et ei#t les composants transmis par l'analyseur d'un objet de phase pur sont de l0: e i#t. sin # de l0': ei#t. sin # @ @@ #/2 cos # (1) de l 1 : e i(#'t - kx+#+#). cos # (2) de 1' +1: e 2 représentant l'angle de l'analyseur (voir la figure 2b). Les configurations d'intensité résultant de l'interférence des faisceaux partiels l0 et l-1 et l'interférence des faisceaux partiels l0' et l+1' ont la même forme, à savoir sin# + sin'#cos#sinkx. et s'intesifient cnc. Sans utilisation ces éléments D, F, E' et F', les configurations l'intensité seraient en opposition de phase et s'élimineraient. De plus, il se produit pour kx ;= O un minimum dans les configurations d'intensité, de sorte que la configuration d'intensité dans le plan image constitue le dérivé vers x de ia structure de phase de l'objet P. Si l'objet présentait une structure d'amplitude pure, il n'y aurait pas ne différence de phase de 'Yi /2 radian entre les faisceaux partiels diffractés et non diffractés. Dans ce cas, les faisceaux partiels l-1 et l+1' pourraient être représentés par: : : ei( Jt + kx) (3) l'+1 :x J(w't - kx +? > i ) (4) La configuration d'intensité des faisceaux partiels l0 et l-1 serait en opposition de phase avec celle des faisceaux partiels 1' et 1'+1 Dans o le microscope représenté sur la figure 1 des structures d'amplitude sont donc supprimées. Dans ce microscope, dans le cas d'un objet de phase, la modulaticn de la configuration d'intensité totale dans le plan inage B, et par conséquent le contraste, peut-être établie par variation de la direction de transmission 5. Etant donné la forme de la configuration d'intensité, une réduction de l'angle # (voir les figures 2a et 2b) permet d'agrandir la profondeur de modulation de la configuration d'intensité totale. Dans le microscope conforme à l'invention, il est possible de régler la soi-disant région d'espacement du facteur de conversion de phase à intensité. Ce facteur de conversion est le rapport entre la profondeur de modulation de la configuration d'intensjté dans l'image et la profondeur de modulation de la structure de phase de l'objet. Le facteur de conversion de phase à intensité est proportionnel à l'intensité totale de tous les faisceaux (1 et 1' sur la figure 1) pour lesquels se produit la situation que les faisceaux partiels non diffractés et l'un des faisceaux partiels diffractés traversent plusieurs plaques demi-onde. Pour de petites fréquences spatiales dans la structure d'objet,l'angle de diffraction est petit, de sorte que le facteur de conversion de phase à intensité est faible.Pour de grandes fréquences spatiales, une grande partie des faisceaux partiels tombe hors de l'ouverture du système d'objectif. Il existe un maximum pour le facteur de conversion de phase à intensité maximum qui est determiné par l'ouverture efficace du système d'objectif. Dans le plan focal arrière du système d'objectif peut être disposé un diaphragme réglable D, qui déternine alors l'ouverture efficace du système d'objectif. Une variation du diamètre du diaphragme permet de régler la région d'espacèment. Dans le microscope représenté sur la figure 1 chacun des faisceaux 1 et 1, traverse une plaque biréfringente (E', F). Ces plaques ne sont exactement des plaques demi-onde que pour la lumière d'une seule longueur d'onde. Dans le cas d'utilisation de lumière nonmonochromatique, i'effet du microscope n1 est pas optimal. Une deuxième forme de réalisation d'un microscope comme représenté sur la figure 3 présente ce désavantage dans une mesure notablement réduite. La voie de rayonnement dans le microscope selon la figure 3 est la meme que celle du microscope selon la figure 1. De ce fait, cette voie de rayonnement n'est pas représentée sur la figure 3.Dans le microscope selon la figure 3, un polariseur K présentant une direction de polarisation fixe 8 est disposé dans la voie lumineuse devant le système de condenseur et derrière le système d'objectif est appliqué un analyseur A présentant une direction de transmission réglable 5. Dans le plan focal du système de condenseur sont disposées deux plaques demi-onde G et H présenfant des directions principales 6 et 7. Sur les figures 4a et 4b, les vecteurs électriques des faisceaux partiels l0, l-1, l0' et l+1' sont représentés après la transmission des plaques demi-onde E' et F'. Les angles compris entres les vecteurs des faisceaux partiels lo, 1, l0' et l' 1 sont les mazes que ceux des figures 2a et 2b. Le miscroscope selon la figure 3 représente, tout comme celui selon la figure 1, un objet de phase sous forme différenciée et tout en supprimant une structure d'amplitude. Lors du passage des plaques demi-onde, les faisceaux partiels 1 et l' subissent une réfraction double totale zéro. Pour les o o faisceaux partiels l-1 et 1' +1, la réfraction totale n'est pas zéro, mais les plaques demi-onde ont ensemble, en bonne approximation, un effet achromatique, ce qui peut etre expliqué à l'aide de la soi-disant Boule de Poincaré. Commue le décrit J.H. Poincaré dans : "Théorie-Mathematique de la Lumière", Edition George Carré, Paris 1892, Volume 2, Chapitre 2, il est possible de représenter sur une boule tous les états de polarisation à l'aide de points, voir la figure 5. Un tel point q est déterminé par les angles 2Z en 2 0,0 = 0 correspondant à la lumière polarisée linéairement, ce qui veut dire que l'équateur représente tous les états de polarisation linéaires.Les pâles q1 et q2 (pour lesquels 0= 450 ) représentent de la lumière polarisée circulairenent. L'effet des éléments biréfringents peut être représenté comme une rotation autour d'un axe horizontal dans le plan d'équateur. C'est ainsi que le passage de la plaque demi-onde H, respectivement de la plaque demi-onde F' peut être représenté par une rotation de 1800 autour de l'axe aa', respectivement autour de l'axe bb'. Lorsque l'état de polarisation du faisceau 1 représenté par le point p0, à l'état idéal, c'est-à-dire dans le cas d'utilisation de la longueur d'onde requise pour la lumière, le faisceau partiel l-1 présente l'état de polarisation P1 avant le passage de la plaque demi-onde F' et l'état de polarisation p2 après avoir traversé cette plaque. Dans le cas d'utilisation d'une autre longueur d'onde pour la lumière, la rotation de l'axe aa' sera par exemple légèrement supérieure (notamment un petit angle ##à 1800 voir le point p'1 sur la figure 5. Toutefois, dans ce cas, la rotation autour de l'axe bb'est également supérieure d'un petit angle 1800, de sorte que le point p12 coïncide dans une approximation de premier ordre, avec le point p2. Dans le microscope selon la figure 3, le polariseur peut être disposé de façon rotative et l'analyseur de façon fixe sans modifier le fonctionnement dudit microscope. Bien que le microscope selon la figure 3 soit conçu en première instance pour la représentation de structures de phase sous forme différenciée, il peut être rendu propre par une simple intervention, à la représentation de structures d'amplitude de façon différenciée. A cet effet, on dispose, conformément à l'invention, devant l'analyseur réglable une plaque quart d'onde M (sur la figure 3 représentée en pointillés). La direction principale de cette plaque coïncide avec la direction t. Par suite de la présence de la plaque quart d'onde, les expressions 1) et 2) deviennent pour une structure de phase. l ei (#t + kx + '+1:X ei(#'t - kx+#+#) Il en résulte qu'une structure de phase est supprimée dans le microscope. En présence de la plaque quart d'onde, les expressions 3) et 4) deviennent pour une structure d'amplitude: l-1:X ei(#t + kx + #) 2 1' .i (#'t - kx + II + Il ) 7 La variation dans la configuration d'interférence des faisceaux l0 et l-1 est en phase avec celle de la configuration d'interfé rence des faisceaux partielle l0' et l+1' de sorte que ces configurations +# s'intensifient. De plus, étant donné le facteur e1#/2 , la structure d'am plidude est représentée de façon différenciée. Au lieu de disposer la plaque quart d'onde devant l'analyseur réglable, il est possible de la disposer derrière le polariseur si ce dernier est disposé de façon à pouvoir être réglé et l'analyseur occupe une position fixe. La figure 6 représente une autre forme de réalisation d'un microscope conforme à l'invention. Ce microscope se distingue de celui selon la figure 3 par le fait que deux plaques quart d'onde N1 et N2 qui remplissent chacune la moitié d'une demi pupille, sont disposées entre le polariseur K et deux plaques demi-onde H et G. Les directions principales 9 et 10 des plaques quart d'onde sont respectivement parallèles et perpendiculaires, à la direction de transmission 5 de l'analyseur qui est disposé de façon fixe. Le polariseur est disposé de façon à pouvoir tourner. La figure 6 et les figures suivantes ne représentent plus le système de condenseur, ni l'objet, ni le système d'objectif. Tout comme sur la figure 3, ceux-ci sont disposés entre les plaques demi-onde G,-H et plaques demi-onde F', E'. Le faisceau l(incidence à partir de gauche) et le faisceau 1' (incidence à partir de droite), qui sont polarisés su-ivant la direction 8, peuvent etre compensés à partir d'un composant, qui est polarisé dans la direction x (ly et lx') et d'un composant polarisé dans la direction y (ly et l'y) Lors du passage de la plaque quart d'onde N1, le faisceau est ralenti de #/2 par rapport au faisceau ly, alors que Le faisceau y est ralenti de #/2 par rapport au faisceaux lx'.Les faisceaux lx, ly, 1' et 1' traversent les plaques demi-onde G et H, le système de x y condenseur, ltobjet, le système d'objectif et les plaques demi-onde Et et F' de la êe façon que les faisceaux l et 1' de la figure 3. A partir des faisceaux lx et ly se forment les faisceaux non diffractés lx,o et ly,o et les faisceaux diffractés de ler ordre -1 , lx,-1 et ly-1 alors qu'à partir des faisceaux 1' et 1' se forment les faisceaux partiels x y diffractés l'x,o et l'y,o et les faisceaux partiels l'x,+1 et l'y,+1 diffractés d'ordre +1. Les vecteurs électriques de ces faisceaux partiels sont représentés sur les figures 7a, 7b, 7c, et 7d. De par la direction de transmission donnée 5 de ltanalyseur, il ne se produit, dans le plan image, que des interférences entre les faisceaux partiels i et l y,o x,-1 et entre les faisceaux partiels l'y,o et l'x,+1. Le faisceaux partiel lx,-1 retarde de #/2 en phase sur le faisceau partiel ly,o et le faisceau partiel l'y,o retarde de #/2 sur le faisceau partiel l'x,+1.Dans la notation utilisée, dans les cas où l'objet présente une structure de phase, les faisceaux partiels peuvent être représentes par ly,o: Xei(#t + #/2) lx,-1: Xei(#t + kx + #/2) l'y,o: Xei#'t i (Jtt - kx + N + #/2 +#) l' x,+1 On peut en déduire directement que les variations dans les configurations d'interférence sont en phase et qu'une structure de phase est représentée de façon non différenciée. Si l'objet présente une struc ture d'amplitude, un facteur #/2 serait éliminé dans les expressions 2 lx,-1 et l'x,+1 et les configurations d'intensité s'élimineraient. Dans le microscope selon la figure 6, le polariseur peut etre disposé de façon fixe, la direction de polarisation s'étendant sui vant l'axe x, et l'analyseur peut être rendu rotatif, comme l'indique la partie de droite de la figure 6. Un faisceau 1, qui traverse la plaque quart d'onde n1, est ralenti de t par rapport au faisceau 1', qui traverse la plaque quart d'onde N2.Les faisceaux partiels lo et l 1 qui sont o formés à partir du faisceau 1 et les faisceaux partiels 1' et l'+1, qui o sont formés à partir du faisceau 1' peuvent être représentés, dans le cas où l'objet presente une structure de phase,par lo: Xei(#t - #/2) l-1: Xei(#t + kx + #/2 - #/2) l'0: Xei(#'t) l'+1: Xei(#'t - kx + #/2 + La variation se produisant dans la configuration d'interférence des faisceaux partiels lo et l-1 est en phase avec celle de la configuration d'interférence des faisceaux partiels l'o et l'+1 et une structure de phase est représentée de façon différenciée. Pour une structure d'amplitude, les variations se produisant dans les configurations d'interférence seraient en opposition de phase, de sorte que la structure d'amplitude est supprimée. La figure 6 représente une autre forme de réalisation d'un microscope conforme à l'invention. Ce microscope diffère de celui selon la figure 6 par le fait qu'on a disposé, au lieu de deux plaques quart d'onde N1 et N2, une seule plaque demi-onde R qui ne remplie qu'une seule demi-pupille, la direction principale 11 étant parallèle à Itaxe x. Un faisceau 1 provenant de gauche subit une rotation supplémentaire de la direction de polarisation par rapport à un faisceau I' entrant dans l'en- semble à sortir de la droite. Les faisceaux 1 et 1' sont influencés avantage dune façon analogue à celle de la figure 3.Sur la figure 9a respectivement 9b, sont représentés respectivement les vecteurs electri- ques des faisceaux partiels 1 et 1 1, et des faisceaux partiels 1' et o o l'+1. L'angle #' indique l'orientation de l'état de polarisation des faisceaux entrants l et 1'. D'une façon analogue à celle indiquée pour les figures 2a 2b, 7a, 7b, , 7c, et 7d, il est possible de former des comparaisons pour les faisceaux partiels l0, l-1, l'0 et l'+1 De ces comparaisons il ressort qu'une structure d'amplitude est représentée de façon non différenciée et qutune structure de phase est supprimée. Dans les dispositifs de microscope décrits ci-dessus, les plaques demi-onde ou les plaques quart d'onde présentant des directions principales différentes recouvrent la moitié de gauche ou de droite de la pupille, de sorte que ces dispositifs sont anisotropes. Dans le cas où il s'agit de représenter, de façon non différenciée, des structures de phase ou d'amplitude, la transmission de contrat te peut être rendue isotrope, conformément à l'invention, par utilisation de plaques quart d'onde ou de plaques demi-onde sous forme circulaire. La figure 10 représente une réalisation isotrope du microscope selon la figure 8. La figure 11 représente un microscope conforme à l'inven- tion, permettant de représenter de façon différenciée une structure d'amplitude. Ce microscope est achroatique pour les faisceaux partiels non diffractés, pais il ne l'est pas pour les faisceaux partiels diffractés. Ce microscope comporte un polariseur K présentant une direction de polarisation 8, deux plaques quart d'onde S1 et S2 présentant des directions principales 12 et 13, deux autres plaques quart d'onde S'1 et S'2 présentant des directions principales 14 et 15 et un analyseur A présentant une direction de transmission réglable 5. Le système de-condenseur, l'objet et le système d'obwectif doivent être appliqués, dans cet ordre de socession, entre les plaques quart d'onde S1 et S2 et les plaques quart d'onde S'1 et S'2. Le faisceau partiel I forme par ltobjet à partir de o faisceau lS qui provient de la aucune, traverse successivement deux plaques quart d'onde S1 et S'1 presentant des directions principales perpendiculaires entres elles. Ce faisceau subit un retard de phase total de #/2. Il en est de même pour le faisceau partiel l'o de l'ordre zéro qui est formé par l'objet à partir du faisceau lt, qui provient de la droite. Le faisceau partiel 1 # de l'ordre -1 traverse les plaques quart d'onde S1 et S'2 présentant les êes directions principales, ce qui correspond au passage d'une seule plaque demi-onde.Le faisceau partiel 11+1 d'ordre +1 parcourt en réalité une seule plaque demi-onde, notamment les plaques S2 et S'1, , qui sont disposées en série. Les directions de polarisation de faisceau partiel l-1 et 1'+1 sont remplacées par leur image de main contraire respectivement par rapport aux directions 12,14 et aux directions 13,15.Si l'on admet que les faisceaux partiels lo et l'o peuvent être représentés respectivement par ei#t et ei#'t les faisceaux l-1 et , +1 peuvent être représentés, dans le cas d'une structure, a'amplitude, par # j (Wt + kx + t/2 ) l'+1: Xei(#'t - kx + #/2 + #) Les variations se produisant dans les configurations d'interférence des faisceaux partiels 1 et 1~1 sont en phase avec celles o se produisant dans la configuration d'interférence de l'o et l'+1.De plus, les configurations d'interférence présentent un maximum pour = = - #/2, de sorte qu'une structure d'amplitude est représentée de façon différenciée. Le microscope selon la figure 11 est en gros analogue à celui de la figure 3. Le microscope selon la figure 11 peut être modifié d'une façon analogue à celle dont est modifié le microscope selon la figure 3, qui est représenté sur les figures 6,8 et 10. C'est ainsi qu'une structure d'amplitude peut être représentée de façon différenciée dans le cas où le microscope selon la figure 11 présente deux plaques quart-onde supplémentaires, dont les directions principales sont respectivement parallèles et perpendiculaires, à l'axe x (voir la figure 6) entre le polariseur et les plaques quart d'onde S1 et Toutefois, si dans la dernière disposition, le polariseur est rendu réglable et l'analyseur disposé de façon fixe, une structure d'amplitude est représente de façon non différenciée. Il est également possible d'appliquer, dans le microscope selon la figure 11, entre le polariseur et les plaques quart d'onde S1 et S3' une plaque demi-onde remplissant une seule demi-pupille et présentant une direction principale parallèle à l'axe x, et de disposer le polariseur de façon réglable et l'analyseur de façon fixe. Une structure de phase étant représentée de façon non différenciée. L'invention peut être appliquée non seulement aux microscopes fonctionnant avec la lumière transmise, mais également aux microscopes fonctionnant avec de la lumière réfléchie. La figure 12 illustre la façon dont la disposition selon la figure 11 peut être rendue appropriée à la lumière réfléchie. Sur cette figure, un faisceau d venant de la droite traverse un polariseur K présentant une direction de polarisation fixe 8. Ensuite le faisceau est réfléchi par un iroir diviseur BS vers l'objet P. Le faisceau traverse deux plaques quart d'onde S1 et S2 et le système d'objectif 0. Après réflexion par l'objet, les faisceaux partiels diffractés et non diffractés traversent à nouveau le système dtobjectif et les plaques quart d'onde S'1 (= S2) et S'2 (=S1). Dans la proximité du plan image du système d'objectif est disposé de façon à pouvoir tourner, un analyseur A. Dans la partie droite de la figure 12 sont indiquées les orientations relatives du polariseur, de 11 analyseur et des plaques quart d'onde.Les faisceaux partiels non diffractés par l'objet traversent, pendant leur aller et retour, deux plaques quart d'onde présentant des directions principales perpendiculaires entre elles, alors que les faisceaux partiels diffractés par l'objet traversent, pendant leur aller et retour, deux plaques quart d'onde présentant les mêmes directions principales de la façon indiquée par le microscope selon la figure 11. Le microscope selon la figure 12 peut être modifié d'une façon analogue à celle décrite pour le microscope selon la figure 11. Une éventuelle anisobroprie de phase du miroir diviseur BS peut etre compense par la disposition d'une plaque biréfringente supplérentaire U dans la voie lumineuse. oi le polariseur est disposé de façon fixe, cette plaque est disposée entre le miroir diviseur BS et l'analyseur A. Si le polariseur est disposé de fçon à pouvoir tourner, la plaque U doit etre disposée entre le polariseur et le miroir diviseur. La disposition selon la figure 12 présente l'avantage que de fausses réflexion prsvoiuées par l'objectif ne sont pas nuisibles. En effet, le rayonnement éventuelleent réfléchi par l'objectif traverse deux plaques deux plaques quart d'onde présentant des directions principales perpendiculaires entre elles, alors que les faisceaux partiels diffractés par l'objet traversent deux plaques quart d'onde présentant les memes directions principales. A lieu des plaques quart d'onde, il serait possible d'utiliser des plaques demi-onde dans le microscope selon la figure 12. Toutefois, dans ce cas, le microscope n'est plus achromatique et de fausses réflexions provoquées par l'objectif peuvent affecter l'effet. REVENDICATIONS. 1. Microscope comportant un système servant à éclairer un objet, un système d'objectif pour représenter ledit objet, un polariseur et un analyseur disposé derrière le système d'objectif, 11 angle compris entre la direction de polarisation du polariseur et celle de l'analyseur étant réglable, microscope dans lequel un premier élément divisé en deux régions de propriétés optiques différentes est disposé dans la voie lumineuse devant l'objet, alors pu'un second élément, divisé en deux régions de propriétés optiques difféientes est disposé dans la voie lumineuse derrière ledit système d'objectif, les régions séparées du premier élément sont ajoutées optiquement aux regions séparées du second élément, caractérisé en ce que chacune des régions du second élément est disposée tant dans la voie de lumière diffractée par l'objet que dans la voie de lumière non diffractée. 2. Microscope lumineux selon la revendication 1, caractérisé en ce que les régions du premier élément et du second élément se situent des deux côtés d'un plan comprenant l'axe optique du microscope. 3. Microscope lumineux selon la revendication 1, pour la représentation, sous forme non différenciée, d'un objet, caractérisé en ce que l'une des régions du premier élément et l'une des régions d; second élément s*circulaires avec comme centre le point dtintersection de l'axe optique du microscope avec l'élément en question alors que l'autre région du premier élément et l'autre région du second élément présente chacune la forme dtun anneau situé autour de la première région. 4. Microscope lumineux selon la revendication 1 ou 2, pour l'observation en transmission d'un objet de phase, caracXrisé en ce que le polarisaur est constitué par deux polariseurs partiels fixes, présentant des di ections de polarisation perpendiculaires entre elles, ces polariseurs partiels constituant les régions du premier élément, et que les régions du second élément sont formées par deux plaques demi-onde, dont les directions principales fornent un angle de 135C entre elles. 5. Microscope lumineux selon la revendication 1 ou 2, pour l'observation en transmission d'un objet, caractérisé en ce que les régions du premier élément sont constituées par deux premières plaques demi-onde disposées entre le polariseur et le système de condenseur et, les régions du second élément, par deux autres plaques demi-onde disposées entre le système d'objectif et l'analyseur, les directions principales de deux plaques deni-onde conjuguées par le système de condenseur et le système d'objectif étant perpendiculaires entre elles. 6. Microscope lumineux selon la revendication 5, pour ltobservátion en transmission d'un objet d'amplitude, caractérisé en ce que dans la voie lumineuse, entre un polariseur réglable et les deux premières plaques demi-onde ou dans la voie lumineuse entre les deux autres plaques demi-onde et un analyseur réglable, est disposée une plaque quart d'onde remplissant la pupille, dont la direction principale coïncide avec la direction de polarisation du polariseur ou de l'analyseur fixe. 7. Microscope lumineux selon la revendication 1 ou 2, pour 11 observation en transmission d'un objet, caractérisé en ce que les régions du premier élément sont constituées par deux premières plaques quart d'onde disposées entre le polariseur et le système de condenseur et les régions du second élément sont constituées par deux autres plaques quart d'onde disposées entre le système d'objectif et l'analyseur, les directions principales de deux plaques quart d'onde conjuguées par le système de condenseur et le système d'objectif étant perpendiculaires entre elles et ces directions faisant un angle de 450 avec la direction de polarisation du polariseur ou de l'analyseur disposé de façon fixe. 8. Microscope lumineux selon l'ensemble des revendications 3 et 6 ou 7, caractérisé en ce qu'entre le polariseur et le premier élément divisé en régions sont disposées deux plaques quart d'onde, dont les directions principales sont perpendiculaires entre elles et l'une desdites directions coïncide avec la direction de polarisation du polariseur ou de l'analyseur disposés de façon fixe. 9. Microscope lumineux selon l'ensemble des revendications 3 et 6 ou 7, caractérisé en ce qu'entre le polariseur réglable et le premier élément divisé en régions est disposée une plaque demi-onde remplissant la moitié de la pupille du microscope, dont la direction principale est perpendiculaire à la direction de transmission de l'analyseur. 10. Microscope lumineux selon la revendication 1,2 ou 3, pour l'observation en réflexion d'un objet, un miroir diviseur étant disposé dans la voie lumineuse entre le polariseur et le système d'objectif pour la séparation du faisceau d'éclairage et le faisceau réfléchi par l'objet, caractérisé en ce que les régions conjuguées du premier élément et du second élément coïncident et sont disposées entre le miroir diviseur et le système d'objectif.