Brevet FR2337892A1 — publié le 19770805

La présente invention concerne les procédés de fabrication des produits a' relief de configuration prédéterminée, à l'aide de matériaux sensibles aux rayonnements électromagnétiques et corpusculaires (actiniques). Le procédé peut être appliqué à la fabrication des hologrammes, des réseaux de diffraction, des polariseurs de rayonnement électromagnétique, des masques photographiques, des éléments de microcircuits, des cartes à circuits imprimés, des cellules de mémoire, des clichés d'imprimerie, etc. On connait un procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée avec utilisation d'un matériau sensible aux rayonnements électromagnétiques, comprenant les opérations suivantes : dépôt d'une couche de métal sur un substrat, déport sur la couche de métal d'une couche de substance minérale susceptible, sous l'action d'un rayonnement électromagnétique, d'interagir chimiquement avec la couche de métal en formant des produits de réaction ayant des propriétés physiques et chimiques différentes de celles de la couche de métal et de la couche de substance minérale, la matière choisie pour la couche de métal étant un élément du groupe constitué par Ag, Cu, Pb, Cd, Zn, Fe, Sn, As, Bi, Co, Ce, Mg, Hg, Ni, Se, Si, T1, Te et V, et la matière choisie pour la couche de substance minérale étant un élément ou un composé du groupe constitué par S, Se, composés ou mélanges M-X et composés ou mélanges M X-Y, où M est un métal choisi dans le groupe constitué par As, Sb, Bi, Se, Te, Cu, Zn, Cd, Hg, Pb, Cr, Ga, In, T1, Ce, Sn, Fe, Co, Ni et Ag, et X,Y sont des éléments choisis dans le groupe constitué par les halogénures, le soufre, le sélenium et le tellure, projection sur les couches déposées d'une image de configuration prédéterminée, exposition et élimination des portions en excès des couches jusqu'à obtention du produit à relief de configuration prédéterminée. Quand on utilise le procédé connu de fabrication de produits a relief, il faut utiliser pour-l'irradiation des flux de rayonnement électromagnétiquettrès intenses, car les matières sensibles au rayonnement électromagnétique utilisés dans ce procédé, parmi lesquelles celle choisie pour la couche de métal est l'un quelconque des éléments énumérés plus haut, à l'exception de Ag et Cu, n' ont qu'une très faible sensibilité ( > 10 J/cm2). La fabrication d'un hologramme de dimensions suffisantes (par exemple de 60x90 mm2) par le procédé connu, même en mettant en oeuvre des lasers superpuissants, est pratiquement difficile. En outre, quand on applique le procédé connu à la fabrication de produits à relief, on ne peut pratiquement utiliser le rayonnement électromagnétique dans les domaines rouge et proche infrarouge du spectre. Ceci est dû au fait que les matières chimiquement stables, sensibles au rayonnement électromagnétique, utilisées dans le procédé connu, ne sont sensibles que dans les domaines ultraviolet, violet, bleu et vert du spectre, alors que dans les domaines rouge et proche infrarouge ils sont pratiquement insensibles (par exemple As2S3-Ag, As2S5-Ag, (AsS-I)-Ag, etc), aussi la fabrication de produits à relief avec utilisation de telles matières, par le procédé connu, est-elle difficilement réalisable. Même dans le cas où la couche de métal est réalisée en argent, il faut des flux de rayonnement électromagnétique intenses, car les matières chimiquement stables obtenues -substance minérale sur argent- ont une faible sensibilité (environ de 0,1 à 1,0 J/cm2). Si lton utilise le cuivre en tant que métal, les matériaux sensibles aux rayonnements électromagnétiques et corpusculaires obtenus -substance minérale sur cuivre- sont chimiquement instables dans le temps, par suite du déroulement intensif d'une réaction chimique spontanée entre la couche de cuivre et la couche de substance minérale. Le but de l'invention est de fournir un procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée qui permettrait d'utiliser pour l'irradiation des rayonnements électromagnétiques et corpusculaires d'intensité plus faible, d'utiliser un rayonnement électromagnétique situé dans le rouge ou l'infrarouge proche, ainsi que d'utiliser en tant que matière pour la couche de substance minérale une gamme plus étendue de substances minérales. La solution consiste en ce que, dans un procédé comprenant les opérations suivantes :dépôt d'une couche de métal sur un substrat, dépôt sur la couche de métal d'une couche de substance minérale susceptible d'interagir chimiquement avec la couche de métal en formant des produits de réaction ayant des propriétés physiques et chimiques différentes de celles de la couche de métal et de la couche de substance minérale, projection sur les couches déposées d'une image de configuration prédéterminée, exposition et élimina tion des portions en excès des couches jusqu'à obtention du produit à relief de configuration prédéterminée, d'après l'invention, avant de déposer la couche de substance minérale sur la couche de métal, on dépose sur celle-ci une couche barrière en une substance différente de celle de la couche de métal et de celle de la couche de substance minérale et inerte vis-à-vis de la couche de métal et de la couche de substance minérale en l'absence de rayonnement électromagnétique ou corpusculaire, l'épaisseur de la couche barrière étant suffisante pour prévenir l'interaction chimique entre la couche de métal et la couche de substance minérale en l'absence de rayonnement électromagnétique ou corpusculaire, mais permettant cette interaction en présence d'un rayonnement électromagnétique ou corpusculaire, et, lors de l'élimination des portions en excès des couches, on élimine aussi les portions en excès de la couche barrière. Les opérations indiquées peuvent être exécutées dans un autre ordre, c'est-à-dire selon un procédé comprenant les opérations suivantes : dépôt d'une couche de substance minérale sur le substrat, dépôt sur la couche de substance minérale d'une couche de métal susceptible d'interagir chimiquement avec la couche de substance minérale en formant des produits de réaction ayant des propriétés physiques et chimiques différentes de celles de la couche de substance minérale et de la couche de métal, projection sur les couches déposées d'une image de configuration prédéterminée, exposition et éli mination des portions en excès des couches jusqu'à obtention du produit à relief de configuration prédéterminée, procédé dans lequel, d'après l'invention, avant de déposer la couche de métal sur la couche de substance minérale, on dépose sur celle-ci une couche barrière en une substance différente de celle de la couche de métal et de celle de la couche de substance minérale et inerte vis-à-vis de la couche de métal et de la couche de substance minérale en l'absence de rayonnement électromagnétique ou corpusculaire, l'épaisseur de la couche barrière étant suffisante pour prévenir l'interaction chimique entre la couche de métal et la couche de substance minérale en l'absence de rayonnement électromagnétique ou corpusculaire,mais permettant cette interaction en présence d'un rayonnement électromagnétique ou corpusculaire, et, lors de l'élimination des portions en excès des couches, on élimine aussi les portions en excès de la couche barrière. Il est avantageux, afin de simplifier la méthode de fabrication, de réaliser la couche barrière par traitement de la surface de la couche de métal dans une atmosphère d'oxygène et/ou de fluor, chlore, brome, iode, soufre, sélénium, tellure. Pour améliorer la qualité de fabrication des pièces, le plus avantageux est de déposer la couche barrière par évaporation sous vide. La couche barrière peut être aussi déposée par voie chimique. Pour simplifier la méthode de fabrication des produits à relief, il est souhaitable de déposer la couche barrière par immersion dans une solution contenant la substance choisie pour la couche barrière. Il est avantageux de réaliser la couche barrière par immersion dans un milieu actif susceptible d'interagir avec la couche de métal en formant la couche barrière. La couche barrière peut aussi être déposée par aspersion. Dans le cas où après irradiation on élimine la couche de substance minérale n'ayant pas réagi chimiquement avec la couche de m- tal, pour obtenir des produits à relief de qualité il est avantageux qu'aux endroits non irradiés la couché barrière soit éliminée après élimination de la couche de substance minérale. Dans le cas où après irradiation on élimine la couche de métal n'ayant pas réagi chimiquement avec la couche de substance minérale, il est avantageux qu'aux endroits non irradiés la couche barrière soit éliminée après élimination de la couche de métal. Pour obtenir des produits à relief de haute qualité, le plus avantageux est d'éliminer les portions en excès de la couche barrière par attaque chimique. Pour simplifier la méthode de fabrication des produits à re# lief, il est souhaitable d'éliminer les portions en excès de la couche barrière par voie mécanique. L'élimination des portions en excès de la couche barrière peut aussi steffectuer par voie thermique, par sublimation. Pour augmenter la sensibilité de la matière, il est avantageux, pendant l'irradiation de mettre cette#matière dans un champ électrique. Le procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée faisant l'objet de l'invention, présente les a vantages suivants. Primo, dans la fabrication des produits à relief, l'irradiation est exécutée avec des flux de rayonnement électromagnétiques ou corpusculaires moins intenses. Secundo, utilisation du rayonnement électromagnétique dans le rouge et l'ir.8rarouge proche. Tertio, utilisation pour la couche de substance minérale et pour la couche de métal de toute une série de substances, qui ne pouvaient pratiquement être utilisées dans le procédé connu par suite du déroulement intensif de réactions chimiques spontanées entre la couche de métal et la couche de substance minérale. Dans ce qui suit, l'invention est expliquée par la description d'exemple de réalisation et des dessins qui représentent, conformément à l'invention, en coupe - la Fig 1, la disposition des couches du matériau sensible aux rayonnements électromagnétiques et corpusculaires, déposées sur un substrat; - la Fig. 2, la disposition des couches du matériau sensible aux rayonnements électromagnétiques et corpusculaires, déposées dans l'ordre inverse; - la Fig. 3, le schéma d'irradiation du matériau représenté sur la Fig.1; - la Fig. 4, le matériau après son irradiation par des rayons actiniques; - la Fig. 5, le matériau après élimination de la couche de substance minérale et de la couche barrière aux endroits non irradiés;; - la Fig. 6, le matériau après élimination de la couche de métal aux endroits non protégés par les produits de réaction; - la Fig. 7, le produit à relief fini; - la Fig. 8, le schéma d'irradiation d'une variante du matériau représenté sur la Fig.l; - la Fig. 9, le matériau après son irradiation par des rayons actiniques; - la Fig.10, le produit à relief fini, réalisé avec le matériau représenté sur la Fig.8; - la Fig.11, un matériau analogue à celui représenté sur la Fig.l; et le schéma de son irradiation à travers un masque à différentes transparences; - la Fig.12, le matériau après son irradiation par des rayons actiniques; - la Fig. 13, le produit àrelief fini ; - la Fig. 14, un matériau dans lequel la couche de substance minérale se trouve à l'état gazeux, et le schéma d'irradiation de ce matériau; - la Fig. 15, un matériau comme celui de la Fig.14 après son irradiation par des rayons actiniques; la ig. 16, le produit à relief-fini; la Fig. 17, un matériau comme celui de la Fig.15 après élimination de la couche barrière et de la couche de métal aux endroits non irradiés;; - la Fig. 18, le produit à relief fini; - la Fig. 19, un matériau dans lequel la couche de substance minérale est à l'état liquide, et le schéma d'irradiation de la matière; - la Fig. 20, un matériau comme celui de la Fig.19 après irradiation par des rayons actiniques; - la Fig . 21, le produit à relief fini; - la Fig. 22, une disposition des couches du matériau déposées sur une sous-couche, laquelle se trouve sur un substrat; la Fig. 23, une disposition des couches du matériau comme celles de la Fig. 22, et le schéma d'irradiation; - la Fig. 24, la disposition des couches du matériau après irradiation par des rayons actiniques; - la Fig. 25, la disposition des couches du matériau après élimination de la couche de substance minérale et de la couche barrière aux endroits non protégés par les produits de réaction; ; - la Fig. 26, la disposition des couches du matériau après élimination de la couche de métal et de la sous-couche aux endroits non protégés par les produits de réaction; - la Fig. 27, la disposition des couches du matériau après élimination des produits de réaction; - la Fig. 28, le produit a' relief fini. La figure I représente un substrat 1 sur lequel, selon l'invention, ont été déposées unecouche 2 de métal, une couche barrière 3 et une couche 4 de substance minérale susceptible d'interagir chimiquement avec la couche 2 de métal aussi bien sous l'action du rayonnement électromagnétique ou corpusculaire, que sans action d'un tel rayonnement, et de former des produits de réaction ayant des propriétés physiques et chimiques différentes de celles de la couche 2 de métal et de la couche 4 de substance minérale. En tant que substrat 1 on utilise un isolant (verre, quartz, mica, céramique, etc...) ou un semiconducteur, un métal, une pellicule organique (par exemple en Téflon, Lavsan, etc...), un papier, du bois,etc. L'épaisseur et les dimensions du substrat 1 sont variables et choisies selon les objectifs concrets et les dimensions du produit à fabriquer. La qualité du façonnage de la surface du substrat 1, sur lequel est déposée la couche de métal, dépend elle aussi du produit à fabriquer. La surface du substrat l peut etre rugueuse, polie, décapée, etc... Pour la couche 2 de métal on utilise l'argent, le cuivre et d'autres métaux, alliages ou mélanges de métaux, qui interagissent chimiquement avec la couche 4 de substance minérale, aussi bien sous l'action d'un rayonnement électromagnétique ou corpusculaire, que sans action d'un tel rayonnement, en formant des produits de réaction. L'épaisseur de la couche 2 de métal est choisie dans l'intervalle compris entre quelques dizaines d'angströms et quelques millimètres. Les épaisseurs les plus convenables pour la couche 2 de mé o tal sont celles situées dans l'intervalle 300-2000 A.La couche barrière 3 est d'ordinaire réalisée avec une substance différente de celle de la couche 2 de métal et de la couche 4 de substance minérale et inerte vis-à-vis de la couche 2 de métal et de la couche 4 de substance minérale en l'absence de rayonnement électrtmagnétique ou corpusculaire, son épaisseur étant choisie suffisante pour prévenir l'interaction chimique entre la couche 2 de métal et la couche 4 de substance minérale en l'absence de rayonnement électromagnétique ou corpusculaire, mais devant permettre une telle interaction en présence d'un rayonnement électromagnétique ou corpusculaire. Pour la couche barrière 3 on peut utiliser un grahd nombre de substances minérales et organiques.Notamment on peut utiliser à cet effet les métaux tels que Au et/ou Zn, Cd, Mg, Ai, Ga, In, Te, Si, Ce, Sn, Pb, As, Sb, Bi, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Mo, Ta, W, Re, Os, Ir, Pt, leurs alliages, ainsi que leurs oxydes, sulfures, tellurures, halogénures, phosphures. Pour la couche barrière 3 on peut aussi utiliser des substan ces organiques telles que le polyéthylène, le polystyrène, le polypropylène, les polyméthacrylates les polycarbonates, les chlorures de polyvinyle, le polytétrafluoréthylène, les résines époxydes, la colophane, l'anthracène, etc... L'épaisseur de la couche barrière 3 est choisie dans l'intervalle 20-300 . Les expériences ont montré que les épaisseurs convenant le mieux pour la couche barrière se situent dans l'intervalle 30-150 . Pour la couche 4 de substances minérales on choisit des substances minérales contenant du soufre, du sélénium, du sélénium et des halogénures (par exemple, S, Se, Se-I, Se-Br, Se-Cl, Bi2S3, As2Se3, Bi2Se3, GeSe, Geste2, As-Se-I, As-Se-Br, Bi-Se-I, Sb-Se-I, KAsSe2, NaAsSe2, etc...). L'épaisseur de la couche 4 de substance minérale est choisie dans l'intervalle compris entre quelques dizaines d'angstroms et quelques millimètres. Les épaisseurs les plus convenables pour la couche 4 sont celles situées dans l'intervalle 200-3000 . Le procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée faisant l'objet de l'invention, comprend le dépôt successif, sur le substrat 1 (figure 1), d'une couche 2 de métal, d'une couche barrière 3 et d'une couche 4 de substance mînérale.Les méthodes de dépôt de ces couches peuvent être sifférentes (oxydation de la surface de la couche de métal, évaporation sous vide, dépôt par voie chimique, immersion pendant un certain temps dans une solution, aspersion, etc...)~. Plusieurs cas sont possibles. Par exemple, toutes les trois couches peuvent être disposées successivement par évaporation sous vide. Ceci permet de fabriquer des produits de très haute qualité.Par exemple, sur un substrat de verre poli on dépose sous vide (2~10#5 torr) une couche 2 en argent d'une épaisseur de o 2000 A, une couche barrière 3 en trisulfure d'arsenic d'une épais o seur de 40 A et une couche 4 en triséléniure d'arsenic d'une épais o seur de 700 A. En se servant d'une installation à vide à trois réchauffeurs, les trois opérations sont exécutées sans cassage du vide. Ceci assure une bonne adhérence des couches entre elles et prévient la pollution des interfaces par les impuretés du milieu ambiant. Dans un autre cas, la couche 2 de métal est déposée sur le substrat sous vide, la couche barrière 3 est déposée par immersion du substrat 1 avec la couche 2 de métal dans une solution (par exemple dans une faible solution alcoolique de colophane), puis la couche 4 de substance minérale est déposée sous vide. Dans un troisième cas, la couche 2 de métal est déposée par voie chimique, tandis que la couche barrière 3 et la couche 4 de substance minérale sont déposées sous vide. Les méthodes de dépôt de couches constitutives peuvent encore être combinées d'autres manières. Le procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée faisant l'objet de l'invention comprend aussi le cas où la couche 2 de métal est assez épaisse (par exemple feuille métallique mince, plaquette) et fait elle-même office de substrat. Dans ce cas le substrat 1 (figure l) est absent. Par exemple, sur une plaquette de cuivre de 1 mm d'épaisseur on dépose sous vide (2.10-5 torr) une ruche barrière 3 en chrome d'une épaisseur de 30 , puis une couche 4 en trisulfure d'arsenic d'une épaisseur de 650 . Le procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée faisant l'objet de l'invention comprend aussi le dépôt inverse des couches sur le substrat. Ainsi, la Fig. 2 représente un substrat 1 sur lequel on a d'abord déposé une couche 4 de substance minérale, puis une couche barrière 3 et enfin une couche 2 de métal. Par exemple, sur un support 1 en verre on dépose sous vide (1.10-5 torr), successivement, une couche 4 en biséléniure de germanium d'une épaisseur de 2000 , une couche barrière 3 en trisulfure d'arsenic d'une épaisseur de 50 et une couche 2 en argent o d'une épaisseur de 500 A. L'emploi d'une matière à disposition inverse des couches est utile, par exemple, dans la fabrication des réseaux de diffraction holographiques, car dans ce cas on peut réaliser des produits à haut relief et, par conséquent, à haute efficacité de diffraction. La Fig. 3 représente la même disposition des couches qu'à la Fig. 1 et le schéma de projection de l'image sur ces couches et d'exposition. A travers le masque 5 ayant des portions opaques 6 et transparentes 7 en accord avec la configuration voulue du produit à relief à fabriquer, on irradie la matière par des rayons actiniques 8. Le masque 5 peut être un négatif photographique ordinaire, un masque métallique ajouré se trouvant à l'état libre ou bien solidarisé à un support transparent aux rayons actiniques 8, etc... Le rayonnement électromagnétique ou corpusculaire 8 peut être de la lumière (ultraviolette, visible, infrarouge), des flux d'élec- trons, des rayons X et d'autres rayonnements. La projection de l'image sur les couches superposées, représentées sur les figures 1 et 2, s'effectue suivant la méthode de l'impression par contact ou par projection optique (par exemple, à l'aide d'un agrandisseur photographique ou bien, dans le cas d'enregistrement d'hologrammes, par projection d'une image d'interférence formée par deux faisceaux laser). L'irradiation par rayons électromagnétiques des couches superposées représentées sur les figures 1 et 2 s'effectue aussi bien du côté des couches supérieures (couche 4 sur la figure 1 et couche 2 sur la figure 2) que du côté du substrat, si celui-ci est transparent aux rayonnements actiniques. Sil'irradiation est exécutée du côté de la couche 4 de substance minérale, comme représenté en figure 3, l'épaisseur de la couche 4 est choisie telle que le rayonnement actinique atteigne principalement les interfaces des couches 4, 3 et 2. Dans le cas où llé- paisseur de la couche 4 serait trop grande, le rayonnement serait principalement absorbé loin des interfaces venant d'être indiquées et l'interaction chimique entre les couches 4 et 2 serait faiblement stimulée. Les épaisseurs convenant le mieux pour la couche 4 sont celles situées dans l'intervalle 100-3000 . Si l'irradiation est exécutée du côté de la couche 2 de métal (par exemple pour la disposition des couches représentées sur la figure 2), dans ce cas la couche 2 est réalisée de manière à être semi-transparente au rayonnement actinique. L'épaisseur d'ordinaire adoptée pour la couche 2 de métal se situe alors dans l'intervalle compris entre quelques dizaines d'angstrôms et 600 à 700 . Au cours de l'irradiation, aux endroits atteints par le rayonnement électromagnétique ou corpusculaire, la couche 4 de substance minérale interagit chimiquement avec la couche 2 de métal en formant des produits de réaction 9, comme représenté en figure 4. L'épaisseur des produits de réaction 9 est proportionnelle à l'exposi- tion, c'est-à-dire au produit de l'intensité d'irradiation par la durée d'irradiation. La#Fig. 4 illustre le cas où, sous l'action du rayonnement électromagnétique, une partie de la couche 4 de substance minérale a interagi chimiquement avec une partie de la couche 2 de métal. Se Ion l'épaisseur de la couche 4 et de la couche 2, ainsi que selon l'exposition, les produits de réaction 9 peuvent au besoin être formés sur toute l'épaisseur de l'une des couches 4 ou 2, ou bien dans les deux couches simultanément. -Les produits de réaction 9 contiennent dans tous les cas la partie de la couche barrière 3 se trouvant aux endroits irradiés.Selon la substance de la couche barrière 3, dans un cas ses parties mentionnées forment simultanément avec la couche 4 les produits 9 de réaction avec la couche 2 de métal,et dans le second cas (si la substance de la couche barrière 3 est un métal) elles forment simultanément avec la couche 2 les produits 9 de réaction avec la couche 4 de substance minérale. Dans le troisième cas, si la substance de la couche barrière 3 nta pas la faculté d'interagir chimiquement avec les couches 2 et 4 sous l'action du rayonnement électromagnétique ou corpusculaire, elle pénètre dans les produits de réaction 9. La Fig. 5 représente une disposition des couches comme celle de la Fig. 4, après élimination de la couche 4 de substance minérale n'ayant pas réagi chimiquement avec la couche 2 sous l'action du rayonnement électromagnétique ou corpusculaire. L'élimination de la couche 4 s'effectue par attaque chimique, c'est-à-dire à l'aide- d'une solution qui dissout la couche 4 de substance minérale. Par exemple, si la couche 4 est réalisée avec des composés minéraux tels que le trisulfure d'arsenic, le triséléniure d'arsenic, le biséléniure de germanium, l'élimination de sa partie n'ayant pas réagi avec la couche 2 s'effectue à l'aide d'une solution aqueuse à 510 96 d'hydroxyde de potassium, de sodium, etc...La durée d'élimination de la couche 4 dépend de son épaisseur, de la concentration de la solution et de sa température, et se situe dans un intervalle compris entre quelques secondes et quelques minutes. Par exemple, si la couche 4 est en trisulfure d'arsenic et que son épaisseur est o de 1000 A, la durée de son élimination avec une solution aqueuse d'hydroxyde de potassium à 1 % est de quelques secondes. Comme le fait apparaître la Fig. 5, la couche barrière 3 est aussi éliminée aux endroits n'ayant pas été irradiés. L'élimination de la couche barrière 3 peut être exécutée aussi bien simultanément avec la couche 4 que séparément. Ainsi, par exemple, si l'on a choisi pour la couche 4 le triséléniure d'arsenic, et pour la couche barrière 3 le bisulfure de germanium, à l'aide d'une solution aqueu se d'hydroxyde de potassium-à 5 % on élimine simultanément la couche 4 et la couche barrière 3. Si le procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminé est appliqué avec une disposition des couches telle que celle de la figure 2, après irradiation on élimine d'abord la couche 2 de métal qui nta pas interagi chimiquement avec la couche 4 de substance minérale. Pour éliminer la couche 2 de métal on utilise des solutions d'acides tels que les acides sulfurique, nitrique, fluorhydrique, chlorhydrique, etc.. Par exemple, si la couche 2 est réalisée en argent, l'élimination des portions de cette couche stef-- fectue avec un mélange sulfo-chromique (H2S04+K2Cr207). Aux endroits non irradiés, la couche barrière 3 est éliminée simultanément avec la couche 2 ou séparément, selon la substance avec laquelle elle est réalisée. Si la couche barrière 3 est en métal, on l'élimine simultanément avec la couche 2 à l'aide de solutions d'acides tels que les acides sulfurique , nitrique, fluorhydrique, chlorhydrique, etc...Si la couche barrière 3 est réalisée en substances-vitreuses de chalcogénures, on l'élimine à l'aide de solutions aqueuses d'hydroxydes de potassium, de sodium, d'ammonium,etc. Dans le cas ou la couche barrière 3 est réalisée avec des substances organiques, on l'élimine aux endroits non irradiés à l'aide de solvants organiques (benzène, acétone, alcool, éther, tétrachlorure de carbone, essence de térébenthine, etc... )-.Ainsi, par exemple, si la couche barrière 3 est en polyéthylène, on l'élimine avec du tétrachlorure de carbone; si elle est en colophane, on l'élimine avec de l'alcool éthylique,etc. La Fig. 5 représente en coupe le produit à relief pouvant être considéré comme fini. Le relief est formé par les produits de réaction 9 en saillie au-dessus de la surface de la couche 2 de métal. De cette façon on a obtenu des hologrammes amplitude-phase d'objets tridimensionnels, des réseaux de diffraction et d'autres produits holographiques. Les réseaux de diffraction holographiques amplitude-phase ont été obtenus par projection, sur la disposition de couches représentées sur les figures 1 ou 2, d'une image d'interférence formée par deux faisceaux laser cohérents, irradiation et élimination après irradiation de la couche 4 de substance minérale et de la couche barrière 3 aux endroits non irradiés. En changeant l'angle entre les faisceaux laser on modifiait la densité spatiale du réseau de diffraction. Une telle méthode de fabrication des réseaux de diffraction est simple et ne requiert pas d'équipement complexe. D'après l'invention, les réseaux de diffraction peuvent être fabriqués à l'aide de lasers émettant un rayonnement non seulement dans l'ultraviolet, le bleu et le vert, mais aussi dans le rouge et l'infrarouge proche, par exemple, à l'aide d'un laser à hélium-néon (6328 A). Ceci est très commode, car les lasers à hélium-néon ont une longue durée de vie et produisent un rayonnement suffisamment stable. Le dépôt de la couche barrière 3 sur la couche 2 de métal avant le dépôt sur celle-ci de la couche 4 de substance minérale a permis d'utiliser dans le procédé de fabrication des produits à relief d'une configuration prédéterminée, d'après l'invention, pour la couche 4, toute une série de substances minérales constituant avec la couche 2 de métal une matière qui est également sensible dans le rouge et l'infrarouge proche.Sans dépôt de la couche barrière 3, la fabrication des réseaux de diffraction à l'aide d'un laser à hélium-néon se heurtait à de grandes difficultés, liées à l'instabilité chimique de la matière sensible aux rayonnements électromagnétiques et corpusculaires. Il est à noter que les produits de réaction 9 formant le relief du produit représenté en figure 5 ont des propriétés qui se modifient partiellement au cours du stockage et de l'utilisation du produit à relief, ce qui se traduit par une altération du produit à relief avec le temps. Pour obtenir un produit à relief de configuration prédéterminée doué de propriétés plus stables dans le temps, ainsi que, dans certains cas, un relief plus élevé, on pousse plus loin l'attaque du produit à relief représenté sur la Fig. 5, par exemple en éliminant la couche 2 de métal aux endroits non protégés par les produits de réaction 9 (figure 6). Les produits de réaction 9 font alors office de masque pour l'attaque de la couche 2 de métal.L'élimination de la couche 2 de métal s'effectue à l'aide de solutions d'acides tels que les acides sulfurique, nitrique, fluorhydrique, chlorhydrique, mélange sulfo-chromique (H2S04+K2Cr207), etc.. Par exemple, la couche d'argent est éliminée à l'aide d'une solution aqueuse à 1 % d'acide nitrique ou de mélange sulfo-chromique (H2S04+K2Cr207). Après élimination de la couche 2 de métal aux endroits non protégés par les produits de réaction 9, on élimine les produits de réaction 9. La Fig. 7 représente un produit à relief fini, après l'éli- mination des produits de réaction 9 montrés sur la figure 6. Les produits de réaction 9 sont éliminés par attaque chimique, par voie me- canique, thermique, etc... L'élimination des produits de réaction 9 par attaque chimique s'effectue à l'aide de solutions aqueuses concentrées d'alcalis, d'hydroxyde d'ammonium, etc.. Les produits de réaction 9 sont éliminés dans certains cas par voie mécanique, en les essuyant à l'aide d'un tissu, ainsi que par voie thermique en les portant à une température à laquelle ils disparaissent de la surface de la couche 2 de métal par sublimation. Le produit en relief représenté en Fig. 7, se compose d'un substrat 1 et de portions de la couche 2 de métal aux endroits irradiés par un rayonnement électromagnétique ou corpusculaire. On a fabriqué de cette façon des produits à relief tels que des réseaux de diffraction, des polariseurs de rayonnement électromagnétique, des masques photographiques, des cartes à circuits imprimés, des élé- ments conducteurs de microcircuits, etc. Si les produits à relief sont fabriqués avec disposition inverse des couches, comme représenté en Fig.2, après élimination de la couche 2 de métal n'ayant pas réagi chimiquement avec la couche 4 de substance minérale sous l'action du rayonnement électromagnétique ou corpusculaire, et de la couche barrière 3 aux endroits non irradiés, on élimine la couche 4 de substance minérale aux endroits non protégés par les produits de réaction 9, qui font office de masque protecteur. Ceci fait, au besoin on élimine les produits de réaction 9. Le produit à relief est dans ce cas semblable à celui représenté sur la figure 6 (les produits de réaction ne sont pas éliminé#s) ou sur la figure 7 (les produits de réaction sont éliminés), avec la seule différence que les portions de la couche 4 de substance minérale sont substituées aux portions de la couche 2 de métal. Le procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée faisant l'objet de l'invention permet de fabriquer des produits dont la hauteur du relief va jusqu'à quelques milliers d'angströms. La Fig.-8 représente une disposition des couches et un schéma de projection de l'image sur elles, qui sont les mêmes qu'a la Fig. l, avec la seule différence que l'épaisseur de la couche 2 de métal est bien plus forte que celle de la couche 4 de substance minérale. Dans ce cas,après irradiation on obtient l'image représentée sur la figure 9. Etant donné que ltépaisseur de. la couche 2 de métal est bien plus forte que celle de la couche 4 de substance minérale, les produits de réaction 9 qui se forment dans ce cas traversent complètement la couche 4 de substance minérale en épaisseur et ne pénètrent dans la couche 2 de métal qu'en partie, sans la traverser.Par exemple, si la couche 2 de métal est en argent, d'une épaisseur de quelques milliers d'angströms, la couche barrière 3 en trisulfure d'arsenic d'une épaisseur de 30 t et la couche 4 de substance mi o nérale en triséléniure d'arsenic d'une épaisseur de 600 A, après irradiation de telles couches superposées avec une lampe à vapeur de mercure (d'une puissance de 250 W), placée à 30 cm, pendant 2 minutes, toute la couche 4 aura réagi chimiquement avec la couche 2j alors que seule une partie de la couche 2 aura réagi chimiquement avec la couche 4. Après irradiation on élimine les portions de la couche 4 n'ayant pas réagi chimiquement avec la couche 2, les portions de la couche barrière 3, mises à nu après élimination des portions de la couche 4, et les produits de réaction 9. L'élimination de ces couches est exécutée avec un seul produit d'attaque, ou bien avec plusieurs produits d'attaque choisis pour chacune des couches. Pour l'élimination des couches on utilise les produits d'attaque mentionnés plus haut dans la partie de la description concernant les figures 4 à 7. Le produit à relief fini obtenu après élimination de ces couches est représenté sur la figure 10. Ce produit est constitué par un substrat 1, sur lequel se trouve une couche 2 de métal avec des saillies 10 et des creux 11 en accord avec la configuration prescrite. On a fabriqué de cette façon des hologrammes de phase (réseau de diffraction), des clichés photographiques, etc... La hauteur du relief atteint sur ces produits 1000 à 5000 . Par exemple, de tels réseaux de diffraction ont été réalisés sur une couche d'argent d'une épaisseur de 3000 , ainsi que sur une couche de cuivre d'une épaisseur de 5000 La Fig. 11 représente une disposition des couches comme celle de la Fig.1, et le schéma d'irradiation des couches à travers un masque 5' dont la transparence est différente en des points différents. Le masque 5' a des portions opaques 6, des portions transparentes 7, des portions demi-transparentes 12 et des portions à transparence variable 13. Un tel schéma d'irradiation est réalisé en exé- cutant l'irradiation à travers un négatif à demi-teintes ordinaire ou lors de 11 enregistrement de l'image holographique d'objets. La Fig#. 12 représente la disposition des couches, après leur irradiation par un rayonnement électromagnétique à travers un masque 5' ayant des transparences différentes en ses divers points. Etant donné que 11 épaisseur des produits de réaction 9 est proportionnelle à l'exposition, 11 épaisseur de ces produits est différente aux divers points, comme montré sur la Fig. 12, selon la transparence des portions du masque 5'. Après élimination de la couche 4 de substance minérale n'ayant pas réagi chimiquement avec la couche 2 de métal, ainsi que de la couche barrière 3 aux endroits n'ayant pas été exposés au rayons nement électromagnétique, on obtient le produit à relief fini représenté en figure 13. On a fabriqué de cette manière les hologrammes d'objets diffusant et dispersant la lumière. L'enregistrement des images holographiques a été exécuté avec les rayons d'un laser à hélium-néon, et la restitution des images a été exécutée à l'aide des rayons de lasers (à argon, à helium-néon), de lampes à vapeur de mercure avec emploi d'un filtre, et d'autres sources. La Fig. 14 représente une disposition des couches de la matière sensible aux rayonnements électromagnétiques ou corpusculaires, dans laquelle la couche 2 de métal et la couche barrière 3 sont déposées sur un substrat 1, et la couche 4' de substance minérale est en phase gazeuse et mise en contact avec la couche barrière 3. Sur cette figure est montré le masque 5", à travers lequel s'effectue l'irradiation. Ce cas est réalisé en plaçant le substrat 1 avec la couche 2 et la couche barrière 3 dans un récipient étanche contenant de la vapeur d'une substance minérale. Pour cela, le récipient contenant la substance minérale est réchauffé jusqu'à la température permettant d'obtenir la tension voulue de vapeur de la substance. Par exemple, si lton utilise pour la couche 4 le trisulfure d'arsenic, un récipient de quartz garni de cette substance est porté à une température de 250 à 200 OC. Sous l'action du rayonnement électromagnétique 8 ayant traversé les portions transparentes 7 du masque 5", la couche 4' de substance minérale, se trouvant en phase gazeuse, interagit chimiquement avec la couche 2 de métal en formant des produits de réaction 9, comme représenté sur la figure 15. En l'absence de rayonnement électromagnétique, la couche barrière 3 s'oppose à l'interaction chimique entre les couches 4' et 2. Après irradiation, le substrat I avec la couche 2, la couche barrière 3 et les produits de réaction 9 sont sortis du milieu gazeux. Le substrat 1 avec les couches superposées obtenues constitue le produit à relief fini. Au besoin, on peut continuer le façonnage de ce produit. Par exemple, en éliminant les produits de réaction 9 comme représenté sur la Fig. 16.La couche barrière 3 peut ne pas être éliminée, surtout si elle a été réalisée avec une substance résistant à l'action du milieu ambiant (par exemple Cr, Au, etc...). Le produit à relief a des saillies 14 et des creux 15. Dans un autre cas, les produits de réaction 9 (figure 17) ne sont pas éliminés au début; ils sont utilisés en tant que masque protecteur lors de l'élimination des portions de la couche 2 de métal aux endroits 16 non irradiés, et ce n'est qu'ensuite que les produits de réaction 9 sont éliminés pour obtenir le produit à relief fini représenté sur la figure 18. Dans certains cas, quand les produits de réaction 9 qui se forment sont volatils, le produit fini est obtenu directement au cours de l'irradiation, sans traitement complémentaire. La Fig. 19 représente une disposition des couches de la matière sensible aux rayonnements électromagnétiques et corpusculaires, dans laquelle la couche 2 de métal et la couche barrière 3 sont déposées sur un substrat 1, et la couche 4" de substance minérale se trouve en phase liquide. Ceci est obtenu en plaçant le substrat 1 avec la couche 2 de métal et la couche barrière 3 dans un bac 17, dans lequel se trouve la substance minérale en fusion. La couche 4" de substance minérale est aussi obtenue sur la couche barrière 3 en y déposant une couche mince de substance minérale en poudre (par exemple, du triséléniure d'arsenic finement réduit dans un mortier) puis en chauffant le substrat 1 avec les couches 2, 3 et 4" jusqu'a' la température de fusion de la substance minérale.La substance miné rale fond et s'étale sur la surface de la couche barrière 3 en couche mince. Sous l'action du rayonnement électromagnétique 8 ayant traversé les portions transparentes 7 du masque 5" (figure 19) la couche 4" de substance minérale, se trouvant en phase liquide, interagit avec la couche 2 de métal en formant des produits de réaction 9". En absence de rayonnement électromagnétique, la couche barrière 3 s'op pose à l'interaction chimique entre les couches 4" et 2. Après irradiation, on sort du milieu liquide le substrat 1 avec la couche 2,la couche barrière 3 et les produits de réaction 9" (figure 20), et on le lave dans une solution qui élimine les particules de substance minérale s'étant déposées et n'ayant pas réagi chimiquement avec la couche 2 de métal.On obtient ainsi le produit à relief fini représenté sur la figure 28. Au besoin, on élimine les produits de réaction 9" et on obtient le produit à relief représenté sur la figure 21. Le procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée faisant l'objet de l'invention, permet de réaliser le relief non seulement dans les couches constituant la matière sensible aux rayonnements électromagnétiques et corpusculaires (c'est -à-dire dans la couche 2 de métal ou la couche 4 de substance minérale), mais aussi dans une sous-couche différente des couches 2 et 4. Les figures 22 et 28 représentent les étapes de la fabrication de produits à relief, d'après l'invention, dans lesquels le relief est réalisé dans une sous-couche 18 déposée sur le substrat 1. Dans ce cas, la matière sensible aux rayonnements électromagnétiques et corpusculaires est utilisée en tant que photorésist pour former un masque protecteur de configuration requise en vue de l'attaque ultérieure de la sous-couche 18. Le procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée faisant l'objet de l'invention comprend le dépôt successif sur un substrat 1 (figure 22) d'une sous-couche 18, d'une couche 2 de métal, d'une couche barrière 3 et d'une couche 4 de substance minérale. Pour la sous-couche 18 on peut utiliser les métaux, surtout ceux qui sont actuellement largement utilisés en microélectronique et dans d'autres domaines (par exemple le chrome, le nickel, le titane, l'aluminium, etc...), les isolants, les semiconducteurs (silicium, germanium, arséniure de gallium, etc.), les pellicules organiques, etc.. La sous-couche 18 peut être déposée sur le subs trat 1, mais elle peut aussi faire office de substrat si elle est suffisamment robuste. Dans ce cas le substrat 1 est absent.Le dépôt de la sous-couche 18 sur le substrat 1 est exécuté par n'importe quel le méthode connue (évaporation sous vide, dépôt par voie chimique, par fusion, etc...) Le dépôt de la couche 2 de métal, de la couche barrière 3 et de la couche 4 de substance minérale s'effectue par les mêmes méthodes que celles mentionnées dans la partie de la description concernant les figures 1 et 2. Pour obtenir un produit de haute qualité, la sous-couche 18, la couche 2 de métal, la couche barrière 3 et la couche 4 de substance minérale sont déposées sous vide. Dans un second cas, la sous-couche 18 et la couche 4 sont déposées sous vide. Dans un troisième cas, la sous-couche 18 est déposée par voie chimique, la couche 2 et la couche 4 par évaporation sous vide et la couche barrière 3 par immersion dans une solution contenant la substance choisie pour la couche barrière 3.D'autres combinaisons des modes de dépôt des couches sont possibles. Le procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée faisant l'objet de l'invention comprend aussi le cas où l'on dépose sur la sous-couche 18 d'abord la couche 4 de substance minérale, puis la couche barrière 3 par un procédé connu quelconque, et seulement ensuite la couche 2 de métal. Pour la couche 2, la couche barrière 3 et la couche 4 de substance minérale on utilise les substances indiquées plus haut dans la partie de la description concernant les figures 1 et 2. La Fig. 23 représente une disposition des couches comme celle de la Fig. 22, et le schéma de projection de l'image, comprenant un masque 5 avec des portions opaques 6 et des portions transparentes 7, l'irradiation étant exécutée par un rayonnement électromagnétique ou corpusculaire 8. L'image peut être obtenue sur les couches par n'importe quel procédé connu (impression par contact, au moyen d'un système optique#ordinaire, procédé holographique, etc...). Sous l'action du rayonnement électromagnétique ou corpusculaire 8 ayant traversé les portions transparentes 7 du masque 5 (figure 23), la couche 4 de substance minérale interagit chimiquement avec la couche 2 de métal en formant des produits de réaction 9 (figure 24). En l'absence de rayonnement électromagnétique ou corpusculaire 8, la couche barrière 3 prévient l'interaction chimique entre les couches 4 et 2. Après irradiation on élimine la couche 4 de subs tance minérale n'ayant pas réagi chimiquement avec la couche 2 de métal, ainsi que la couche barrière 3 non irradiée par le rayonnement électromagnétique ou corpusculaire 8 (figure 25). Ces couches sont éliminées par les mêmes méthodes que celles indiquées dans la description concernant les figures 4, 5, 12, 13 (attaque chimique, voie mécanique, thermique, etc...). En particulier, si l'on a choisi le triséléniure d'arsenic pour la couche 4 et le trisulfure d'arsenic pour la couche barrière 3, on éliminera ces deux couches à l'aide d'une solution aqueuse d'iydroxyde de potassium à 5-10 %. La Fig. 26 représente la disposition des couches après élimination de la couche 2 de métal et de la sous-couche 18 aux endroits non irradiés par le rayonnement électromagnétique ou corpusculaire 8. Si la sous-couche 18 est en métal, on élimine ses portions de même que les portions de la couche 2, à l'aide de solutions d'acides, tels que les acides sulfurique , chlorhydrique, fluorhydrique, nitrique, mélange sulfo-chromique, etc... Ainsi, par exemple, si la sous-couche 18 est en chrome et la couche 2 en argent, à l'aide d'une solution aqueuse d'acide nitrique à 1 % on élimine les portions de la couche 2 d'argent, et à l'aide d'une solution aqueuse d'acide chlorhydrique à 15 % on élimine les portions de la sous-couche 18. Les produits de réaction 9 sont utilisés dans ce cas en tant que masque protecteur lors de l'attaque de la couche 2 et de# la sous-couche 18. L'opération achevée, on élimine les produits de réaction 9 et l'on obtient la disposition de couches représentée en figure 27,puis on élimine aussi les portions de la couche 2 qui étaient sous les produits de réaction 9 et l'on obtient le produit à relief fini,représenté en figure 28. Les produits de réaction 9 sont éliminés par attaque chimique, ou bien par voie mécanique ou thermique. La couche 2 de métal est éliminée par attaque chimique ou autre procédé connu. Par exemple, si la sous-couche est en chrome, la couche 2 en argent, la couche barrière 3 en bisulfure de germanium, la couche 4 en triséléniure d'arsenic, les portions de la couche 4 n'ayant pas réagi avec la couche 2 et les portions de la couche barrière 3 aux endroits non irradiés sont éliminées à l'aide d'une solution aqueuse d'hydroxyde de sodium à 5-10 910, les portions de la couche 2 aux endroits non protégés par les produits de réaction 9 sont éliminées à l'aide d'une solution aqueuse d'acide nitrique à 1 %, les portions mises à nu de la sous-couche 18 sont éliminées à l'aide d'une solution aqueuse d'acide sulfurique à 15 %, les produits de réaction 9 sont éliminés à l'aide d'une solution aqueuse concentrée d'hydroxyde d'ammonium, les portions de la couche 2 qui étaient sous les produits de réaction 9 sont éliminées à l'aide d'une solution aqueuse d'acide nitrique à 1 % et l'on obtient le produit représenté en figure 28. On a fabriqué ainsi des masques photographiques en chrome, nickel, cuivre. Le procédé faisant objet de l'invention permet de fabriquer des éléments optiques tels que des réseaux de diffraction, des polariseurs de rayonnement électromagnétique, des micro-graduations et des réticules de mesure, des éléments de microcircuits, des clichés d'imprimerie, etc... Pour une compréhension plus précise du procédé faisant l'objet de l'invention, on donne ci-après des exemples de réalisation. Exemple 1. Sur un substrat 1 (Fig.1) se présentant sous la forme d'une lame de verre à plans parallèles de dimensions 90 x 60 mm2 et de 2 mm d'épaisseur, on a successivement déposé par évaporation sous vide (2'10-5 torr) une couche 2 en argent d'une épaisseur de 4000 une couche barrière 3 en trisulfure d'arsenic d'une épaisseur de o 60 , une couche 4 de substance minérale en triséléniure d'arsenic d'une épaisseur de 600 . Puis on a projeté sur la matière sensible une image d'interférence à densité spatiale de 1200 lignes/mm, formée par deux faisceaux de lumière cohérents engendrés par un laser 6328 à hélium-néon ( ss = 6328 A). Sur la figure 3 ceci est convention- nellement représenté comme une irradiation à travers un masque 5 ayant des portions opaques 6 et des portions transparentes 7. Pour une puissance du rayonnement laser tombant sur la surface du matériau sensible de 3 10-4 W/cm2, la durée d'exposition nécessaire pour obtenir le noircissement correspondant à ltefficacité maximale de diffraction était de 30 à 40 s. Sous l'action du rayonnement électromagnétique 8 les couches 3 et 4 ont réagi chimiquement avec la couche 2 d'argent en formant des produits de réaction 9 (figure 4). Après exposition, le substrat 1 avec les couches 2, 3 et 4 a été plongé dans une solution aqueuse d'hydroxyde de potassium à 10 % à l'aide de laquelle ont été éliminées les parties de la couche 4 de triséléniure d'arsenic et de la couche barrière 3 de trisulfure d'arsenic, n'ayant pas réagi chimiquement avec la couche 2 d'argent (figure 5). Puis le substrat 1 avec les couches a été lavé dans de 1'eau distillée et séché. On a ainsi obtenu un hologramme amplitudephase, se présentant sous la forme d'un réseau de diffraction fonctionnant en réflexion. Au besoin, à l'aide d'une solution contenant 10 g de K2Cr207, 50 g de H2S04, 500 ml de H20, on éliminait la couche d'argent 2 aux endroits non protégés par les produits de réaction 9 (figure 6). Si cela était nécessaire on éliminait les produits de réaction 9 avec une solution aqueuse de NH40H à 25 %. Après toutes ces opérations on obtenait sur le substrat 1 une image en relief constituée par des bandes de la couche 2 d'argent (figure 7). Après revêtement de l'image représentée sur la fi o gure 7 avec une couche d'aluminium d'une épaisseur de 2000 A on a obtenu un réseau purement de phase, doué d'une haute stabilité. Exemple 2. Sur un substrat I (figure 11) en matière plastique de dimensions 80 x 80 mm2 et de 3 mm d'épaisseur, on a déposé successivement sous un vide de 3 10 torr, une couche 2 en argent d'une épaisseur de 1500 A, une couche barrière 3 en bisulfure de germanium d'une é- paisseur de 40 A et une couche 4 en triséléniure d'arsenic d'une é- o paisseur de 700 A. A l'aide du faisceau d'un laser à hélium-néon ( 9 = 6328A)on a enregistré l'image holographique d'un objet diffusant et dispersant la lumière (support de pièce). Sur la figure il, ceci est conventionnellement représenté comme une irradiation à travers un masque 5' ayant différentes transparences en ses divers points.L'objet était éclairé par un faisceau laser (puissance de l'ordre de 6 10-4 W/cm2) parallèle élargi (jusqu'à 70 mm) à l'aide d'un collimateur. La lumière réfléchie par l'objet tombait sur les couches superposées, sur lesquelles des miroirs dirigeaient un faisceau de référence réfléchi par une lame d'acier introduite dans le faisceau principal sous un angle de 450. Sur la matière sensible aux rayonnements électromagnétiques et corpusculaires a été enregistrée l'image d'interférence formée par l'onde de référence et lton- de réfléchie par l'objet. La durée d'exposition était de 2 à 3 mn. Sous l'action du rayonnement électromagnétique 8, les couches 3 et 4 ont interagi chimiquement avec la couche 2 d'argent en formant des produits de réaction 9 (figure 12). Etant donné que la durée d'exposition était constante pour toute la surface, l'épaisseur des produits de réaction 9 était proportionnelle à l'intensité du faisceau incident. Ensuite, les parties de la couche 4 de trisulfure d'arsenic et de la couche barrière 3 de bisulfure de germanium n'ayant pas réagi chimiquement avec la couche 2 d'argent ont été éliminées à l'aide d'une solution aqueuse d'hydroxyde de sodium à 10 %. Ceci fait, l'échantillon a été lavé dans de l'eau distillée et séché. On a ainsi obtenu une image en relief représentant l'hologramme amplitude-phase dexltobjet (figure 13). Les images holographiques restituées de l'objet étaient de haute qualité.La restitution a été effectuée à l'aide d'un faisceau laser, ainsi que du rayonnement de lampes à vapeur de mercure avec emploi d'un filtre. Exemple 3. Sur un substrat 1 (figure 1) se présentant sous la forme d'une lame à plans parallèles en quartz fondu, de dimensions 50 x 50 mm2 et de 2 mm d'épaisseur, on a déposé successivement sous un vide de 4.10-5 torr, une couche 2 en cuivre d'une épaisseur de 2000 , une o couche barrière 3 en argent d'une épaisseur de 40 , une couche 4 en trisulfure d'arsenic d'une épaisseur de 8450 . Ensuite on a projeté sur les couches superposées une image d'interférence à densité spatiale de 1800 lignes/mm, formée par deux faisceaux cohérents de lumière engendrés par un laser à argon ( /te = 4880 X). Sur la figure 3 ceci est conventionnellement représenté comme l'irradiation à travers un masque 5 ayant des portions opaques 6 et des portions transparentes 7.Pour une puissance du rayonnement laser tombant sur la surface des couches de 2'10'3 W/cm2, la durée d'exposition nécessaire pour obtenir le noircissement correspondant à l'efficacité maximale de diffraction était de 2 à 3 mn. Sous l'action du rayonnement électromagnétique 8 (figure 3), la couche 4 a réagi chimiquement avec les couches 3 et 2, en formant des produits de réaction 9 (figure 4). Après irradiation, à l'aide d'une solution aqueuse d'hydroxyde de potassium à 2 % on a éliminé les parties de la couche 4 de trisulfure d'arsenic n'ayant pas réagi chimiquement avec les couches 3 et 2.Puis, à l'aide d'une solution contenant 10 g de K2Cr2 7, 50 g de H2S04, 500 ml de H20, on a éliminé la couche barrière 3 en argent et la couche 2 en cuivre, aux endroits non protégés par les produits de réaction 9. On a ainsi obtenu sur le substrat une image en relief (figure 6) constituant un réseau de diffraction. Au besoin, les produits de réaction 9 étaient éliminés à l'aide d'une solution aqueuse de NH4OH à 25 %. Dans ce cas on obtenait sur le substrat 1 une image en relief en cuivre. Exemple 4. Sur un substrat 1 (figure 14) se présentant sous la forme d'une lame de quartz fondu polie, à plans parallèles, de dimensions 60 x 60 mm2 et d'une épaisseur de 5 mm, on a dépose successivement sous un vide de 2 10-5 torr une couche 2 en cuivre d'une épaisseur o de 3000 et une couche barrière 3 en chrome d'une épaisseur de 40 . Ensuite on a placé le substrat 1 avec les couches 2 et 3 dans un récipient de quartz rempli de trisulfure d'arsenic gazeux, se trouvant à une température de 260 à 270 OC et à la pression atmosphérique. A l'aide d'un agrandisseur photographique on a projeté sur les couches superposées l'image d'un masque 5" (figure 14). La source de rayonnement était une lampe à vapeur de mercure à haute pression (250 W). Aux endroits irradiés, le milieu gazeux (couche 4) a réagi avec la couche 2 en formant des produits de réaction 9'.La couche barrière 3 prévenait l'interaction chimique spontanée du milieu gazeux 4' avec la couche 2 aux endroits non irradiés par le rayonnement électromagnétique. La durée d'exposition était de 1,5 à 2 mn. Ceci fait, on a sorti du récipient le substrat 1 avec les couches 2,3 et les produits de réaction 9'. Puis, à l'aide d'une solution aqueuse de NH40H à 25 % on a éliminé les produits de réaction 9' en obtenant ainsi le produit à relief représenté sur la figure 16. Dans une variante quelque peu modifiée, au début les produits de réaction 9' (figure 15) n'étaient pas éliminés, et ils servaient de masque protecteur pour l'attaque des parties de la couche barrière 3 et de la couche 2 aux endroits non irradiés par le rayonnement électromagnétique (figure 17). Les parties de la couche barrière 3 en chrome étaient éliminées dans une solution aqueuse d'acide chlorhydrique# å 15 %, et les parties de la couche 2 en cuivre étaient éliminées à l'aide d'une solution contenant 10 g de K2Cr207, 50 g de H2S04, 500 mi de H20. Ceci fait, les produits de réaction 9' étaient eux-mêmes éliminés à l'aide du produit d'attaque indiqué plus haut dans cet exemple. On a ainsi obtenu le produit à relief représenté sur la figure 18. Exemple 5. Sur un substrat 1 (figure 18) se présentant sous la forme d'une d'une lame de verre polie à plans parallèles, de dimensions 50x50 mm et d'une épaisseur de 3 mm, on a déposé successivement sous un vide o de 3~10-5 torr, une couche 2 en argent d'une épaisseur de 2500 , une couche barrière 3 en chrome d'une épaisseur de 30 . Puis on a placé le substrat 1 avec les couches 2 et 3 dans une cuvette de quartz 17, de façon qu'il soit horizontal, couches 3 et 2 en haut. On a recouvert la surface de la couche barrière 3 d'une fine couche de triséléniure d'arsenic en poudre. Ensuite, on a chauffé le substrat 1 avec les couches 2 et 3 et la poudre (par chauffage de la cuvette 17) jusqu'à la température de fusion du triséléniure d'arsenic (360 OC). A cette température le triséléniure d'arsenic fondait et s'étalait en formant à la surface de la couche barrière 3 une couche liquide 4". Ceci fait, à l'aide d'un agrandisseur photographique on a projeté sur les couches superposées l'image d'un masque 5" (figure 19). La source d'irradiation utilisée était une lampe à xénon à haute pression (500 W). Aux endroits irradiés la couche liquide 4" a réagi chimiquement avec la couche 2 en formant des produits de réaction 9" (figure 20).La couche barrière 3 prévenait la réaction chimique spontanée entre la couche liquide 4" et la couche 2 aux endroits non irradiés par le rayonnement électromagnétique. La durée d'exposition était de 20 à 30 s. Après irradiation on a sorti lten- semble de la cuvette 17. A l'aide d'une solution aqueuse de NH4OH à 25 % on a éliminé les produits de réaction 9" et on a obtenu le produit à relief représenté en figure 21. Exemple 6. Sur un substrat 1 (figure 1) se présentant sous la forme d'une feuille mince de nickel, d'une épaisseur de 1 mm; on a déposé sous un vide de 1-10-5 torr une couche 2 d'alliage Ag70Mn30, d'une épaisseur de 1500 A, puis on a plongé le substrat 1 avec la couche 2 dans une solution alcoolique de colophane à 1 %. On a sorti le substrat de la solution et, après séchage, on a obtenu la couche barrière 3. Ensuite, sous un vide de 3.10 5 torr on a déposé une couche 4 en verre de chalcogénure As35 Se55I10 d'une épaisseur de 700 . On a projeté sur les couches superposées une image d'interférence (à densité spatiale de 1600 lignes/mm), formée par deux faisceaux cohérents de lumière engendrés par un laser à hélium-nénn ( ) = 6328 A).Pour une puissance du rayonnement laser tombant sur la surface de la couche 4 égale à 3.10-4 W/cm2, la durée d'exposition était de 3-4 mn. Après irradiation, à l'aide d'une solution aqueuse d'hydroxyde de potassium on a éliminé les parties de la couche 4 n'ayant pas interagi chimiquement avec la couche 2. On a ainsi obtenu un hologramme amplitude-phase se présentant sous la forme d'un réseau de diffraction. Exemple 7. 2 Sur une plaquette de cuivre de dimensions 80 x 80 mm et de 4 mm d'épaisseur, on a déposé successivement sous un vide de 2.10-5 torr une couche barrière 3 en SiO2 d'une épaisseur de 40 et une o couche de biséléniure de germanium d'une épaisseur de 650 A . On a projeté sur les couches superposées une image d'interférence formée par des faisceaux lasers comme à l'exemple précédent. La durée d'exposition était de 5 à 6 mn. Après irradiation, à l'aide d'une solution aqueuse d'hydroxyde de potassium à 10 % on a éliminé les parties de la couche de biséléniure de germanium qui n'ont pas réagi chimiquement avec le cuivre. On a obtenu ainsi un hologramme amplitude-phase se présentant sous la forme d'un réseau de diffraction. Exemple 8. Sur un substrat 1 (figure 22) se présentant sous la forme d'une lame de verre polie à plans parallèles, de dimensions 70 x 70 mm2 et de 4 mm d'épaisseur, on a déposé par voie chimique une souscouche 18 en chrome d'une épaisseur de 2000 , puis on a déposé successivement sous un vide de 2.10-5 torr une couche 2 en argent d'une épaisseur de 1200 A, une couche barrière 3 en pentasulfure d'ar o senic d'une épaisseur de 50 A et une couche 4 en triséléniuré d'arsenic d'une épaisseur de 500 A. Ensuite on a exécuté l'irradiation à travers un masque 5, comme montré sur la figure 23. La source de lumière utilisée était une lampe à vapeur de mercure {d'une puis sance de 250 W), placée à 20 cm des couches. La durée d'exposition était de 10 à 20 s.Aux endroits irradiés# se sont formés des pro duits de réaction 9 (figure 24). Ceci fait, à l'aide d'une solution aqueuse d'hydroxyde de potassium à 10 %, on a éliminé les parties de la couche 4 de triséléniure d'arsenic et la couche barrière 3 en pentasulfure d'arsenic qui n'ont pas réagi chimiquement avec la cou che 2 d'argent (figure 25). Ensuite, à l'aide d'une solution aqueu se d'acide nitrique à 1 % on a éliminé la couche 2 d'argent aux en droits. non protégés par les produits de réaction, puis, à l'aide d'une solution aqueuse d'acide chlorhydrique à 15 % on a éliminé les parties de la sous-couche (figure 26) à ces mêmes endroits. On a ainsi obtenu un masque photographique comportant des portions trans parentes et opaques. Au besoin, à l'aide d'une solutionsaqueuse d'hydroxyde d'ammo nium à 30 % on éliminait les produits de réaction 9 (figure 27).A l'aide d'une solution aqueuse d'acide nitrique à 1 % on éliminait aussi les parties restantes de la couche 2 d'argent et l'on obtenait un masque photographique en chrome très stable, représenté en fi gure 28. Exemple 9. Sur une plaquette de verre à plans parallèles de dimensions 40 x 40 mm2 et de 2 mm d'épaisseur, sous un vide de 3.10-5 torr, à travers un masque cachant un quart de surface de la plaquette, on o a déposé une couche d'or de 1500 À. d'épaisseur, puis le masque était déplacé sur un autre bout du substrat et on déposait une cou che de triséléniure d'arsenic d'une épaisseur de 3000 R qui couvrait la partie non cachée du substrat et la plus grande partie de la cou che d'or. Puis, on cachait avec le masque la partie restante de la couche d'or et une portion de la couche de triséléniure d'arsenic déposée sur l'or après quoi on déposait successivement une couche d'aluminium de 200 A d'épaisseur et une couche d'argent d'une épais seur de 250 À. En utilisant une pâte d'argent on connectait à la couche d'argent et à la partie libre de la couche d'or des contacts servant à appliquer un champ électrique. Puis, on projetait sur la matière l'image d'un masque. En tant que source de radiation on u tilisait un laser néon-hélium d'une puissance du rayonnement de 40 mW.En absence du champ électrique la matière possédait une sen sibilité basse à l'irradiation, vu que la couche barrière d'alumi nium empêchait l'interaction chimique des couches de triséléniure d'arsenic et d'argent en absence d'un rayonnement électromagnétique et affaiblissait sensiblement cette interaction en présence d'un tel rayonnement. Lors de l'application d'un champ électrique à la matière, la sensibilité du système à la radiation du laser néon-hélium augmentait nettement car dans ce cas l'influence de la couche barrière diminuait, l'image du transparent s'enregistrait dans quelques secondes. Il est à noter que l'augmentation de la sensibilité de la matière se manifestait seulement dans le cas où à l'électrode supérieure (aluminium-argent) était appliqué un potentiel positif, la valeur de tension appliquée aux électrodes à partir d'une source de courant continu étant de 8 à 10 V. Après l'irradiation, au moyen d'une solution contenant 15 g de K2Cr207, 60 g de H2SQ4 et 500 ml de H20, on éliminait la couche d'argent n'ayant pas réagi avec la couche de triséléniure d'arsenic, puis, avec une solution aqueuse à 5 p.cent de KOH, on éliminait la couche d'aluminium aux endroits non protégés par les produits d'interaction chimique et on décapait à une profondeur déterminée (en fonction-du temps de décapage) la couche de triséléniure d'arsenic. De cette façon, il a été obtenu un produit à haut relief. REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée avec utilisation d'un matériau sensible aux rayonnements électromagnétiques et corpusculaires, consistant à déposer sur un substrat une couche de métal, à déposer sur la couche de métal une couche de substance minérale susceptible d'interagir chimiquement avec la couche de métal en formant des produits de réaction dont les propriétés physiques et chimiques sont différentes de celles de la couche de métal et de la couche de substance minérale, à projeter sur les couches déposées une image de configuration prédéterminée à exposer et à éliminer les portions en excès des couches jusqu'à obtention du produit à relief de configuration prédéterminée, caractérisé en ce que, avant de déposer la couche de substance minérale sur la couche de métal, on dépose sur celle-ci une couche barrière en une substance différente de celle de la couche de métal et de celle de la couche de substance minérale et inerte vis-à-vis de la couche de métal et de la couche de substance minérale en l'absence de rayonnement électromagnétique ou corpusculaire, l'épaisseur de la couche barrière étant suffisante pour pré- venir l'interaction chimique entre la couche de métal et la couche de substance minérale en l'absence de rayonnement électromagnétique ou corpusculaire, mais permettant cette interaction en présence d' un rayonnement électromagnétique ou corpusculaire, et, lors de lté limination des portions en excès des couches, on élimine aussi les portions en excès de la couche barrière. 2. Procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche barrière est obtenue en traitant la surface de la couche de métal dans une atmosphère d'oxygène et/ou de fluor, chlore, brome, iode, soufre, sélénium, tellure. 3. Procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche barrière est déposée sous vide. 4. Procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche barrière est déposée par voie chimique: 5. Procédé de fabrication de produits à relief de configura tion prédéterminée selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche barrière est déposée par immersion dans une solution contenant la substance choisie pour la couche barrière. 6. Procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche barrière est déposée par immersion dans un milieu liquide chimiquement actif. 7. Procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche barrière est déposée par aspersion. 8. Procédé de fabrication de produits à relief de configura tion prédéterminée, dans lequel, après irradiation on élimine la couche de substance minérale n'ayant pas réagi chimiquement avec la couche de métal, caractérisé en ce que la couche barrière est éliminée aux endroits non irradiés après élimination de la couche de substance minérale. 9. Procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée selon la revendication 8, caractérisé en ce que les portions en excès de la couche barrière sont éliminées par attaque chimique. 10. Procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée selon la revendication 8, caractérisé en ce que les portions en excès de la couche barrière sont éliminées par voie mécanique. 11. Procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée selon la revendication 8, caractérisé en ce que les portions en excès de la couche barrière sont éliminées thermiquement, par sublimation. 12. Procédé de fabrication de produits à relief de configuration prédéterminée selon la revendication 1, caractérisé en ce que pendant l'irradiation on applique à la matière un champ électrique.