Brevet FR2348131A1 — publié le 19771110

La présente invention concerne une structure de transport sur support fluide pour le transport de pièces de travail plates et plus particulièrement, une structure de transfert fermé permettant un écoulement sans entrave d'objets plats tels que des pastilles semiconductrices. Les structures de. transport sur support fluide pour le transport d'objets plats sont bien connues dans l'art antérieur et présentées par exemple dans les brevets des E U.A N02.805.898, 3.614.168, 3.731.823, 3.890.508 et dans le brevet N0 72 17155 déposé en France par la demanderesse le 4 Mai 1972. En général, ces structures consistent en une embase de transport disposée sur une source de gaz sous pression tel que de l'air, qui est éjecté au travers d'un série de perforations ménagées dans l'embase de transport, ces perforations étant norwalement inclines dans le sens de déplacement des pièces de travail. Ces perforations inclinées fournissent les composantes verticale et horizontale de l'écoulement du gaz. La composante verticale applique une force de soulèvement a l'objet entraîné qui est normalement maintenu a une certaine distance au-dessus de 1 'embase de transport.La composante horizontale est d'une configuration telle qu'elle applique une force d'entraînement aux articles dans la direction de déplacement désirée Generalement, l'embase de transport pneumatique peut être réalisée en métal léger ou en matière plastique metallisée. Pour le transport d'objets sensibles a la contamination tels que les pastilles semiconductrices, il est souhaitable de protéger ces pièces de travail contre la contamination de l'environnement en enfermant l'embase de. transport dans une enveloppe ou un conduit approprié. Pour permettre l'observation visuelle de l'état et de la position des pièces de travail, ces enveloppes ou ces conduits doivent être de préférence fabriquées en un matériau diélectrique transparent tel qu'une matiere acrylique. Malheureusement, l'écoulement du gaz d'entraînement confiné l'intérieur de l'enveloppe se caractérise par une tendance a la formation d'électricité statique à l'intérieur de l'enveloppe ou du conduit pouvant provoquer l'arrêt ou des mouvements erratiques de la piece de travail le long de l'embase de transport, plus particulierement lorsque ces pièces de tramail sont constituées d'un matériau diélectrique comme le sont les pastilles semiconductrices de silicium. On a constaté selon la présente invention, que l'accumulation des charges statiques pourrait être éliminée en revêtant l'intérieur de l'enveloppe renfermant l'embase de. transport, d'un film conducteur transparent mince mis & la masse en association avec la surface metallique de l'embase de transport. Comme indique précédemment, 1 'embase de transport comportera normalement une surface métallique conductrice qui sera due soit à la fabrication de l'embase à partir d'un métal léger, soit à la fabrication de celle-ci à partir d'un polymère diélectrique tel que le chlorure de polyvinyle et à la metallisation de l'embase plastique avec un métal ou un alliage conducteur tel que l'aluminium ou un alliage nickel-chrome. L'enveloppe ou le conduit renfermant l'embase de transport peut être fabriquée en un matériau diélectrique transparent approprié tel que le plastique acrylique, intérieurement revêtu d'un film conducteur transparent mince tel que par exemple un film de nickel-chrome, d'aluminium etc... D'une manière classique, ces films peuvent être déposés sur une épaisseur de l'ordre de 10.000 Angstroms. En conséquence, un objet de la présente invention est de fournir une nouvelle structure de transport sur support fluide enfermée dans une enveloppe de matériau diélectrique transparent, permettant le transport sans entrave d'objets plats et minces. Un autre objet de la présente invention est de fournir un systeme à support fluide libre de charges statiques enfermé dans une enveloppe di électrique transparente dont les surfaces intérieures sont revêtues d'un film conducteur transparent mis à la masse électriquement. D'autres objets, caractértstiques et avantages de la présente invention ressortiront mieux de l'exposé qui suit, fait en référence au dessin annexé à ce texte, qui représente un mode de réalisation préféré de celle-ci. La figure unique est une representation en perspective d'une réalisation de la présente invention. Comme on le voit dans la figure, le système de transport comprend une embase de transport pneumatique 1 présentant une surface horizontale plate 2. Une série de perforations 3 est ménagee dans l'embase 1 et les extrémités supérieures de ces perforations sont de niveau avec la surface 2. Les perforatons ou buses 3 sont orientées selon un certain angle par rapport à la surface 2, dans la direction de déplacement de la pièce de travail 4 qui peut être une pastille semiconductrice se déplaçant le long de l'embase de transport 1 comme indiqué par la flèche 5. On trouve en-dessous de l'embase de transport 1, en communication avec les buses 3, une chambre 6 faisant fonction de source de gaz sous pression tel que de l'air, et appliquant celui-ci, au travers des buses 3 selon une composante d'écoulement verticale et une composante d'écoulement horizontale. La composante d'ecoulement verticale soutient l'article au-dessus de l'embase de transport 1 tandis que la composante d'écoulement horizontale entraîne l'article 4 le long de l'embase de transport. L'embase de transport 1 peut être fabriquée à partir d'une grande variéte de materiaux tels que l'aluminium, les matières pastiques et autres matériaux similaires. Pour obtenir un environnement exempt d'électricité statique, selon la présente invention, on dispose d'une surface d'embase 2 électriquement conductrice, ce qui est normal lorsque l'embase est fabriquée en un métal conducteur tel que l'aluminium.Cependant, lorsque ces embases de transport sont fabriquées en matériau polymère diélectrique tel que le chlorure de polyvinyle, la surface de l'embase de transport au moins, sera revêtue d'une couche conductrice tel qu'un revêtement métallisé d'aluminium, d'alliage nickel-chrome et autres matériaux similaires Afin de protéger les articles sensibles à la contamination environnante, tels que les pastilles semiconductrices, la surface 2 de l'embase d'entraînement est enfermée dans une enveloppe protectrice 10 de matériau transparent tel qu'une matière plastique acrylique qui est normalement diélectrique. Cette enveloppe forme en effet avec 1 'embase de transport 1, un conduit au travers duquel l'article 4 est entraîne, ainsi qu'un canal emprisonnant le gaz éjecte au travers des buses 3. L'ecoulement du gaz dans l'enveloppe 10 crée normalement une charge statique sur l'enveloppe ce qui peut provoquer des arrêts ou des mouvements erratiques des articles. Pour assurer la décharge de ces charges statiques, l'intérieur de l'enveloppe transparente 10 est revêtu d'un film conducteur transparent mince Il de n'importe quel matériau approprié tel que du nickel-chrome et de l'aluminium et autres materiaus similaires, par un moyen connu dans l'art antérieur. Des films transparents de métaux et d'alliages peuvent être appliqués avec des épaisseurs de l'ordre de 10.000 Angstroms. L'elimination de la charge statique est assurée par une mise à la masse appropriée de la surface 2 de l'embase de transport et de l'enveloppe 10 comme montré dans la figure. Cette décharge des charges statiques permet également d'éviter toute charge statique lorsque 1 'article 4 est constitué dtun matériau diélectrique tel que les pastilles semiconductrices en silicium, étant donné que la conductivité de la surface 1 et de l'enveloppe 10 evite toute formation de charge statique complémentaire et ainsi aucune force électrostatique ne peut être créée, ce qui évite toute interaction physique. Bien que l'on ait décrit dans ce qui précède et représenté sur les dessins, les caractéristiques essentielles de la présente invention appliquées à un mode de réalisation préféré de celle-ci, il est évident que l'homme de l'art peut y apporter toutes modifications de forme ou de détail qu'il juge utiles, sans pour autant sortir du cadre de ladite invention. REVENDICATIONS 1. Conduit pneumatique caractérisé en ce qu'il comprend une paroi diélectrique transparente emprisonnant un écoulement gazeux, un moyen générant ledit écoulement gazeux, un revêtement de métal conducteur transparent sur la face intérieure de cette paroi, adjacent audit écoulement gazeux et un moyen de mise à la masse dudit revêtement. 2. Dispositif de transport caractérisé en ce qu'il comprend une embase de transport pneumatique, un moyen délivrant un milieu de propulsion gazeux à ladite embase afin d'assurer le transport des articles portés par celle-ci, un capot diélectrique transparent pour ladite embase définissant avec cel 1 e-ci une chambre à fluide pour contenir l'ecoulement dudit milieu, un revêtement métallique conducteur transparent sur la face intérieure dudit capot adjacent à ladite embase et un moyen de mise à la masse dudit revêtement.