Brevet FR2353650A1 — publié le 19771230

La présente invention concerne les procédés de pulvérisation cathodique HF avec polarisation du substrat et se rapporte plus particulièrement à des procédés de dépôt par pulvérisation cathodique, avec repulverisation des couches de matière électriquement isolante utilises dans les opérations de fabrication de dispositifs à couches minces. Plus particulierement, la présente invention se rapporte à la construction de têtues magnétiques à couches minces ou de circuits à semi-conducteurs intégrés, opérations au cours desquelles une couche ou pellicule isolante ou de passivation est déposée par pulvérisation cathodique HF avec polarisation du substrat sur un substrat polycristallin ou dont la surface présente des microrugo sités. - Le phénomène de pulvérisation cathodique HF avec polarisation du substrat ou de "repulvérisation" en général est connu dans la technique et. implique la re-émission de la matière isolante déposée au cours de l'opération de pulvérisation cathodique par l'effet du bombardement ionique concommittant de la couche isolante déposée. On pense qu'un appareil permettant d'obtenir cette caractéristique de repulvérisation a été décrit pour la première fois dans l'article "Thin Films Deposited by Bias Sputtering" de L.I. Maissel et autres, Journal of Applied Physics, janvier 1965, page 237, article dans lequel cette technique est decrite comme une technique de pulvérisation en courant continu modifiée, appelé "Pulvérisation polarisée".L'application des principes de la repulvérisation à la pulverisation HF a ete décrite dans un article intitulé: "Reemission Coefficients of Silicon and Silicon Dioxyde Films Deposited Through RF and DC Sputtering" Journal of Applied Physics, novembre 1967, page 4656. En effet, la repulvérisation est le bombardement avec des ions positifs, d'un substrat ou pellicule déposee au cours de son dépôt. Par conséquent, au cours de la pulvérisation HF avec polarisation, il se produit toujours un dépôt et un décapage simultanés. La technique antérieure a reconnu que la pulvérisation HF avec polarosation améliore la qualite et l'uniformité des pellicules, conne indiqué, par exemple dans le brevet français No. 70 15372 déposé par la demanderesse le 28 avril 1970.Son utilisation pour aplanir partiellement des pellicules électri- quement isolantes fortement déformees par les lignes de circuits intégrés sous-jacentes a été décrite dans le brevet français No. 74 18493 deposé par la demanderesse le 21 mai 1974 tandis que l'utilisation de la repulvérisation sation pour enlever totalement toutes les parties surélevées d'une couche isolante déposée afin d'aplanir complètement la surface de la couche a été enseignée dans le brevet français No. 71 40205 déposé par la demanderesse le 4 novembre 1971. Bien que la repulvérisation ait ete utilisée dans une certaine mesure pour la fabrication de têtes magnétiques et de circuits intégrés à couches minces soit uniquement en tant que technique de dépôt, dans le but d'améliorer la qualite des pellicules déposées par pulvérisation, soit pour aplanir partiellement ou complètement les pellicules fortement déformées par suite de la présence des structures sous-jacentes, la repulvérisation n'a pas été, jusqu'à présent, utilisée sur des substrats polycristallins ou microrugueux d'une maniere qui assure la formation d'une mince pellicule isolante qui supprime sensiblement les irrégularités de surface dues à l'attaque préférentielle des joints de grains ou à des défauts de la surace du substrat. Comme déjà indiqué, au cours de la pulverisation HF avec polarisation, il se produit toujours un dépôt et un décapage simultanés sur la surface du substrat. On a découvert que les substrats en ceramique polycristalline ont tendance à être attaqués préférentiellement à leurs joints de grains qui s'élargissent au cours du dépôt, par pulvérisation HF avec polarisation, de matières isolantes. Ceci provoque le depolissage du substrat par approfondissement et elargissement des joints de grains. Ensuite, à mesure que la pellicule isolante s'accumule sur le substrat qui a ainsi été attaqué préférentiellement, la surface de la pellicule garde sensiblement le même contour que le substrat attaqué préférentiellement et peut ainsi être moins lisse que le substrat initial avant le début de l'opération de pulvérisation HF avec polarisation. Il s'avère que le problème de l'attaque préférentielle n'est pas évité en polissant la matiere polycristalline avant la pulverisation HF avec polarisation etant donne que le micro-satiné du substrat ne protege pas les joints de grain du substrat en matiere céramique polycristalline contre l'attaque préférentielle et contre la reproduction par le revêtement isolant de la déformation de la surface attaquée.De même, des micro-rugosites ou rayures, de l'ordre de 500A au moins, formees sur un substrat quelconque, qu'il soit amorphe, monocristallin ou polycristallin, ont tendance à constituer un emplacement pour l'attaque préférentielle au cours de la pulvérisation HF avec polarisation. Une telle attaque préférentielle due à la microrugosité du substrat transmet la déformation quelle produit à la surface du revêtement déposé Dans le sens ou il est utilisé ici le terme "micro-rugosite" désigne toute irrégularité de surface ou rayure o de +100 à 500 A environ. Le revêtement isolant peut avoir un effet sur la matière déposée ensuite et en particulier sur les propriétés des pellicules magnétiques minces déposees ultérieurement. Il est, par conséquent, désirable que les joints des grains ou les défauts du substrat ne se transmettent pas à la surface de la matière isolante déposée et surtout que les joints de grains et les defauts ne soient pas agrandis de telle sorte qu'ils accroissent leurs effets sur le revêtement isolant du fait de la tendance naturelle du substrat a être attaqué préférentiellement le long des joints de grains et des défauts de surface au cours de la pulvérisation HF avec polarisation. Par conséquent, l'un des buts de la présente invention est de proposer un procédé pour former une couche isolante sur un substrat polycristallin ou microrugueux sensiblement plat et lisse d'une matière telle que la surface de la couche isolante déposée soit aussi lisse ou plus lisse que le substrat initial. Un autre but de la présente invention est de proposer un procédé pour former des couches isolantes ayant des surfaces extremement lisses sur des substrats polycristallins ou micro-rugueux, ce procédé utilisant tout d'abord une pulvérisation HF à polarisation HF à faible coefficient de ré-emission suivie d'une pulvérisation supplémentaire à coefficient de re-émission plus élevé après que le substrat ait eté pratiquement complètement recouvert de matiere isolante amorphe Un autre but de la présente invention est de proposer un procédé de pulvérisation HF, avec polarisation, de matière isolante sur un substrat polycristallin ou micro-rugueux sans pratiquement aucune attaque préférentielle initiale des joints de grains des cristaux ou des parties micro-rugueuses du substrat. Encore un autre but de la présente invention est de réaliser un organe magnétique présentant des propriétés magnétiques perfectionnées, cet organe etant déposé sur la surface lisse d'une couche déposée par pulvérisation HF avec polarisation produite conformement à la présente invention. La présente invention a ainsi pour objet un procédé pour former une couche électriquement isolante sur un substrat polycristallin ou microrugueux qui comporte les étapes qui consistent à soumettre le substrat à une pulvérisation HF avec polarisation en utilisant un faible coefficient de re-émission initial puis, après qu'une couche sensiblement continue de matière isolante amorphe a été formée sur le substrat, à accroître le coefficient de re-emission à un niveau plus élevé. Des rapports de puissance particuliers et les coefficients de re-emission associés à ces rapports donnent des résultats particulièrement souhaitables. Le dépôt initial peut-etre effectué avec des coefficients de re-emission compris entre 0,15 et 0,35, la valeur préférée étant de 0,25.La pulverisation ultérieure à un coefficient de re-émission plus élevé peut être effectuée en utilisant un coefficient quelconque supérieur a 0,6. Cependant, il est connu dans le technique et il est considéré préférable d'effectuer la repulvérisation en utilisant un coefficient de re-émission compris entre 0,65 et 0,75 pour former une surface de pellicule isolante lisse. Dans le sens où cette expression est utilisée'ici, un coefficient de reémission de 0,2, par exemple, indique que 20% du film total déposé sont ré-émis du fait de l'action thermique et du bombardement ionique. D'une manière similaire, un coefficient de ré-émission de 0,7 indique que 70% du dépôt total sont ré-emis, laissant seulement 30% sur les surfaces de substrat. Pour la mise en oeuvre de ce procédé, le substrat qui doit être revêtu n'a pas besoin d'être positionné ou orienté d'une manière spéciale à l'intérieur de l'appareil de pulvérisation. La préparation de la mince couche isolante sur le substrat polycristallin ou micro-rugueux est basée sur la sélection initiale de la caractéristique de repulvérisation à faible coefficient de ré-émission, qui ne produit que peu ou pas d'attaque préférentielle le long des joints de grains et des défauts jusqu'a ce que le substrat soit presque complètement revêtu d'une couche isolante amorphe ayant une surface qui reproduit les caractéristiques de surface du substrat tandis que le dépôt effectué ensuite avec un coefficient de ré-émission plus élevé n'a pas d'effet sur le substrat et favorise le polissage de la surface isolante déposée par les procédés de repulvéri- sation connus dans la technique. Cependant, sans les deux étapes, la surface finale isolante lisse ne pourrait pas être produite sur des substrats polycristallins ou micro-rugueux. D'autres objets, caracteristiques et avantages de la présente invention ressortiront mieux de l'exposé qui suit, qui repésente des modes de réalisation preférés de celle-ci. Le procédé de l'invention peutêtre utilise pour appliquer une ou plusieurs couches de materiau isolant sur un substrat polycristallin quelconque. Il est applicable aux céramiques polycristallines et plus particulièrement aux substrats en ferrite. Il est également applicable aux métaux polycristallins. Le procédé est également utilisé pour effectuer le dépôt de pellicules lisses sur des substrats monocristallins ou amorphes qui présentent des défauts de surface pouvant atteindre une hauteur de 500A.La matiere isolante déposée par pulvérisation HF avec polarisation du substrat peut être une matière quelconque, capable d'entre initialement déposée dans une condition amorphe avec un faible coefficient de ré-émission, telle que l'alumine (At203), le dioxyde de silicium (Si02) ou le nitrure de silicium (Si3N4) par exemple. Bien que l'utilisation de ces matières pour la formation de têtes magnétiques soit connue, le procédé de la presente invention peut être appliqué à la fabrication d'un dispositif miniature quelconque. Les autres details de la fabrication de tels dispositifs miniatures sont bien connus dans la technique et ne constituent pas une limitation à la portée de la présente invention. Le procédé de la présente invention, qui supprime l'attaque préférentielle des joints de grains ou des défauts du substrat, sera décrit maintenant d'une manière plus détaillée. On admet que le substrat qui est utilisé pour le dépôt est sensiblement lisse et a été préparé confor mément aux techniques de fabrication courantes. Le procédé de l'invention comporte les étapes qui consistent à placer tout d'abord le substrat préparé à l'intérieur de l'appareil de pulvérisation HF avec polarisation. La structure de départ peut être soit un substrat monolithique, soit un substrat sur lequel certaines étapes de traitement de fabrication ont précédemment été exécutées. La seule condition requise pour la mise en oeuvre du procédé de la présente invention est que la surface polycristalline ou micro-rugueuse qui doit être revêtue d'une couche lisse de matière isolante doit être sensiblement lisse, les irrégularités de cette couche doivent avoir une hauteur de crête à creux qui ne dépasse o pas 500A environ dans les régions qui doivent être revêtues d'une matière isolante conformément au procédé de la présente invention.Ensuite, con formément à un mode de réalisation de la présente invention, de l'alumine (At203), par exemple, est déposée par pulvérisation HF avec polarisation sur un substrat en ferrite avec un coefficient de ré-émission de 0,25 de sorte que l'attaque préférentielle du substrat est ainsi évitée, en une épaisseur d'au moins 500 et au maximum sur environ un tiers de l'épaisseur de la couche isolante qui doit être déposée. Ensuite on poursuit l'application du revêtement avec un coefficient de ré-émission plus éleve, d'environ 1 pour 2 pour produire une surface lisse. Ces étapes de traitement sont effectuées en utilisant l'appareillage classique de dépôt par pulvérisation HF avec polarisation du substrat pour déposer la matière isolante. Cet appareil peut être initialement ajusté à un faible coefficient de ré-émission d'environ 0,2 de sorte qu'il y a très peu de ré-émission ou d'enlèvement de la matière du substrat ou de la matière isolante à partir de la couche qui est deposée, de sorte que le cycle est principalement un cycle de dépôt avec peu ou pas d'attaque préférentielle du substrat. Un appareil approprié pour la mise en oeuvre de ce procédé a été décrit dans un article publié dans "IBM Technical Disclosure Bulletin", de septembre 1971, page 1032 et intitulé: "Power Network for Substrate" de R.P. Auyang et autres. Dans l'appareil de pulvérisation HF présenté dans cet article, il est prévu un circuit répartiteur de courant pour un appareil HF piloté muni de commandes indépendantes pour le courant de repulvérisation et pour la phase électrique entre la cathode porte-cible et l'anode porte-substrat. Dans un tel appareil, un générateur HF alimente en courant une cathode portant une cible de la matière isolante qui doit être déposée sur le substrat qui est porte par l'anode. Dans le mode de fonctionnement habituel, la cible, le substrat et leurs électrodes respectives sont contenus dans une chambre a vide.Dans l'appareil décrit dans la publication citée, un condensateur de couplage ayant une capacité comprise entre 50 et 250 pF est inclus, le condensateur permettant l'ajustement de la répartition du courant au cours du fonctionnement. L'anode porte-substrat est alimentée par un câble de transmission de 50 ohms accordé. Un réseau d'adaptation inférieur transforme l'impe- dance d'entrée de l'électrode du substrat en une charge d'entrée de 50 ohms de sorte que le câble de connexion fonctionne en ligne à retard. La phase électrique entre l'électrode de la cible et l'électrode du substrat est ajustée pour obtenir les rapports de repulvérisation désirés en choisissant'la longueur appropriée pour le câble à retard. Du fait que le câble est accordé, l'effet de la repulvérisation est facilement contrôle par des wattmetres mesurant l'énergie directe et l'énergie réfléchie connectés au câble ainsi que par la commande de la polarisation en courant continu appliqué à l'électrode du substrat. Dans cet appareil, les parois de la chambre agissent comme si elles constituaient une troisième électrode qui est mise à la masse de sorte que l'appareil est, en fait, un système à substrat excité avec un dispositif à trois électrodes. Dans les modes de réalisation préférentiels, le substrat est place sur une plaque metallique en une matière à faible rendement de pulvérisation, cette plaque recouvrant la face de la cathode. Cette plaque métallique constitue un conducteur de la chaleur entre le substrat et l'électrode. Dans les modes de réalisation préférentiels, l'électrode du substrat est également refroidie par circulation d'eau. L'effet de refroidissement de la plaque métallique et de l'électrode refroidie par l'eau, combine à la faible densité de courant utilisée au cours du cycle de dépôt initial, a tendance à favoriser la formation de la matière isolante sous une forme amorphe. Dans un mode de réalisation préférentiel, on peut faire fonctionnner l'appareil du commerce cité cidessus dans les conditions moyennes initiales suivantes jusqu'à ce que le substrat soit revêtu d'une couche sensiblement continue de matière isolante: puissance totale 0,70 kW; puissance fournie à l'anode du substrat 0,04 kW; puissance fournie à la cathode de la cible 0,66 kW; pression d'argon dans la chambre 12 mum de Hg, longueur de la ligne à retard: 381cm; espacement entre les électrodes 2,54cm. Après le dépôt initial de la matière isolante amorphe, le rapport de repulvérisation est accru de sorte que la puissance fournie à la cathode de la cible est de 0,47 kW et que celle fournie à l'anode du substrat est de 0,23 kW. En employant les conditions ce-dessus mentionnées et en utilisant un substrat qui est polycristallin ou qui comporte des défauts ou microrugosités pouvant atteindre environ 500A de hauteur, une couche isolante ayant un excellent satiné peut être obtenue avec une couche isolante initiale d'au moins 500 d'épaisseur et avec une épaisseur de la couche finale de matière isolante comprise entre 1500 et environ o 2000A, par exemple.Dans ces conditions, on a trouvé que la vitesse de dépôt de la matière isolante au faible coefficient de ré-émission initial est comprise entre environ 37 et environ 43 /mn, la vitesse de dépôt de 40 /mn étant préférée. La vitesse de dépôt au second coefficient de re émission ou coefficient supérieur est comprise entre environ 27 et o environ 33A/mn. En augmentant la puissance de pulvérisation on obtient un accroissement de la vitesse avec une élévation de température négligeable pour la pastille. Ceci peut s'expliquer par l'accroissement de l'efficacité de l'ionisation qui résulte de l'accroissement de la puissance de l'anode. o Ainsi, le depôt initial, jusqu'à une épaisseur d'au moins 500A environ, peut être achevé en environ 12 a 14 minutes. Le dépôt de la matiere isolante au coefficient de re-émission supérieur est quelque peu plus lent mais une épaisseur d'environ 1000 , au rapport de repulvérisation supérieur, peut être obtenue en 30 à 37 minutes environ. AInsi, l'obtention d'une épaisseur totale de 1500 nécessite un temps de dépôt effectif total inférieur à une heure. Conformément à la présente invention, on constate que la surface de la matière isolante déposée après la seconde étape de pulvérisation est aussi lisse ou plus lisse que le substrat initial avec une rugosité de crête à creux inférieure a 250A. L1obtention d'un tel satiné excellent en une période de temps aussi courte est avantageuse à la fois du fait qu'elle présente un haut degré d'utilité, d'une manière générale, et du fait qu'elle permet d'obtenir une surface permettant le dépôt ultérieur de matières magnetiques qui présentent d'excellentes caractéristiques magnétiques dans une tête magnétique. Par exemple, la présente invention est utilisable pour la fabrication de têtes magnétiques du type décrit dans le brevet français No 74 29333 déposé par la demanderesse le 22 août 1974. Dans les modes de réalisation décrits dans ce brevet, des structures de tête sont produites en utilisant de la ferrite comme substrat sur lequel des couches isolantes sont déposées. Ensuite, une pellicule magnétique, par exemple une pellicule magnétoresistive, est déposée sur la couche isolante Comme on le décrira plus en detail ci-après, les meilleures caractéristiques magnétiques des pellicules magnétorésistives sont obtenues si plusieurs caractéristiques magnétiques de la pellicule sont optimisées. Ces caractéristiques optimales sont obtenues si la pellicule est déposée sur une surface très lisse telle qu'un revêtement isolant lisse.La demanderesse a constaté que, dans le cas ou le revêtement isolant est depose en une seule étape par la technique de pulvérisation HF avec polarisation du substrat habituelle, avec un coefficient de rQ-émission éleve, tel que 0,7, les caractéristiques magnétiques sont insuffisantes. Cependant, lorsque l'on emploie le procédé en deux étapes de la presente invention qui utilise un premier coefficient de ré-émission faible suivi par un coefficient de ré-émission plus élevé, des surfaces isolantes plus lisses sont obtenues de sorte que les pellicules magnétiques qui sont déposées ensuite ont des caractéristiques magnéto-résistives et autres caractéristiques magnétiques supérieures. Des exemples typiques des techniques de dépôt et de photolithogravure utilisées pour produire de telles têtes sont décrits dans le brevet No. 74 29333 ci-dessus mentionné. Le procédé de la présente invention peut facilement être utilisé pour former des couches isolantes dans d'autres structures de tête magnétique et dans des circuits intégrés. Dans une application spécifique à la fabrication d'une tête magnetique, de l'alumine (au1203) a été deposee sur une ferrite polycristalline polie, conformément aux enseignements de la présente invention, puis du permalloy magnétorésistif a eté dépose sur la surface de la couche isolante résultante. Dans un appareil de dépôt du type déjà décrit, l'alimentation en courant HF avait une fréquence nominale de 13,56 MHz à une puissance de 5 kw. Un système à substrat excité utilisant des électrodes de 40,64 cm de diamètre a eté utilisé. En utilisant une densité de puissance de 0,54 W/cm2, on a déposé une première couche ayant une épaisseur d'environ 900 en utilisant une puissance fournie à la cathode de la cible de 0,66 kW et une puissance fournie a l'anode du substrat de 0,04 kW ou coefficient de rémission de Q,25. Ensuite, une autre couche d'alumine d'environ 2000X d'épaisseur a été déposée, en utilisant un coefficient plus élevé d'environ 0,7 avec 0,47 kW fournis à la cathode de cible et 0,23 kW fournis à l'anode du substrat.Les mesures effectuées ont indiqué qu'après le second dépôt, la surface de l'alumine déposée avait un satiné presentant des irrégularités dont la hauteur de crête à creuc était inférieure ou égale à 250 , la plus faible mesure de crête à creux que le système de mesure utilisé était capable d'effectuer. Ensuite, une pellicule de permalloy magnétorésistif de 400 d'épaisseur a été déposée sous vide sur la surface de l'alumine isolante. Les caractéristiques magnétiques de la pellicule de permalloy résultante sont données dans l'exemple 1 du tableau I ci-dessous. Dans le tableau I, HCe désigne le champ coercitif suivant l'axe d'aimantation facile, un champ coercitif HCe inférieur ou égal à 1,5 Oe était désirable pour les pellicules magnétiquement douces. "Hk" désigne l'anisotropie et il est désirable qu'elle soit comprise entre environ 2,5 et 5,5 Oe. D'une maniere similaire, "HCh" designe le champ coercitif suivant l'axe d'aimantation difficile et ce facteur doit être inférieur ou égal environ 1,5 Oe, "ssb" designe l'obliquité tandis que "a" designe la dispersion. L'obliquité "ss" devrait être inferieure ou égale à 5 tandis que la dispersion " " devrait être, de préférence, inférieure ou égale à 100. On a trouvé que ces spécifications des pellicules magnétiques étaient nécessaires pour produire des bons détecteurs magnéto o résistifs avec des pellicules de permalloy ayant une épaisseur de 400A. Des caractéristiques désirables sont notamment une réponse convenable aux champs magnétiques externes et un bruit de Barkhausen minimal. Aux fins de comparaison, un substrat en ferrite polie similaire a été revêtu d'alumine en une unique étape sur la même épaisseur totale en utilisant un faible rapport de repulvérisation de 1 pour 17 avec une puissance fournie à la cathode de 0,66 kW et une puissance fournie à l'anode de 0,04 kW. Les mesures effectuées au moyen de la méme technique ont indiqué que la surface de la couche d'alumine deposee en une seule étape avait un satiné présentant des irrégularités dont la hauteur de crête à creux était considérablement supérieure à 250A. Ensuite, la pellicule isolante résultante a été revêtue sous vide d'une couche de permalloy de 400 d'épaisseur, de la même manière que dans l'exemple 1. Les résultats de cette expérience témoin ont éte donnés dans le tableau I, sous la rubrique exemple 2. Les caracteristiques magnétiques du permalloy déposé produit sur la surface d'alumine rugueuse de l'exemple 2 en utilisant une seule étape à faible coefficient de rg-émission montrent que les pellicules magnétiques produites ont des qualités insuffisantes par rapport aux caractéristiques magnétiques de permalloy de l'exemple 1 déposé. sur la couche isolante produite conformement au procede en deux étapes de la présente invention. On peut voir ainsi qu'un faible coefficient de ré-emission n'est pas en lui-meme suffisant pour fournir une surface lisse. Dans les exemples 1 et 2, les donnees magnétiques ont été obtenues par des techniques magneto-optiques. TABLEAU I Substrat et Procédé HCe HK HCh B a Ex le 1: Ferrite polie munie d'une couche d'Aa203 par le procédé en deux étapes 1,4 Oe | 3,7 Oe 0,5 Oe | 30 4o Exemple 2:: Ferrite polie munie d'une couche d'A&alpha;2O3 par le procédé en une seule étape 3,6 Ce 6,8 Oe 0,5 Oe 50 8 D'une manière similaire, au cours de la preparation d'une tête magnétorésistive du type décrit dans le brevet français No. 74 29333, les enseignements de la présente invention ont été appliqués au dépôt de la matière isolante entre une première couche de permalloy et une seconde couche de permalloy. Dans l'application de la présente invention à cette structure, une puissance d'entree totale de 0,70 kW a été appliquée aux électrodes ayant un diamètre de 40,64cm. Au cours de la première étape. une épaisseur d'alumine d'environ 500 a été déposée avec une puissance fournie à la cathode de 0,66 kw. et une puissance fournie à l'anode de 0,04 kW, ce qui correspond à un coefficient de re-émission de 0,25. Ensuite, une couche supplementaire d'alumine ayant une épaisseur comprise o o entre 500A et 1000A a été déposee avec une puissance fournie à la cathode de 0,47 ki et une puissance fournie a l'anode de 0,23 kW ou coefficient de reémission de 0,7. Ensuite, une seconde pellicule de permalloy ayant o une épaisseur de 400A a été déposée sous vide sur l'alumine. Ce procédé a eté répéte sur plusieurs exemplaires et on a constate qu'il produisait des surfaces ayant des irrégularités dont la hauteur de crete a creux, suivant la mesure effectuée par la même technique, était inférieure à o 250A d'une manière extrêmement bien reproductible.Les caractéristiques magnétiques du permalloy déposé sur les surfaces d'aluminium lisses ont été données dans le tableau II sous les rubriques Exemples 3 à 8. (voir tableau II, page 12) Aux fins de la comparaison, les exemples 9 et 10 ont été effectués en déposant l'alumine conformément aux techniques "courantes" a coefficient de ré-émission élevé et sans l'utilisation d'une couche initiale à faible coefficient dere-émission. Les mesures effectuées suivant le même procédé ont indique que la surface de l' alumine déposée en une seule étape avait des irrégularités dont la hauteur de crête à creux o dépassait de beaucoup 250A.De même, que dans les exemples 3 à 8, la pellicule d'alumine résultante a ensuite été revêtue de permalloy. Les caractéristiques magnetiques du permalloy depose sur l'alumine déposée en utilisant la technique courante sont également données dans le tableau II, sous les rubriques Exemples 9 et 10. Dans ce cas également, on peut voir que les pellicules magnétiques déposées sur une surface isolante produite en deux étapes conformément à la presente invention sont supérieures, en ce qui concerne leurs caracteristiques, aux pellicules magnétiques produites par la mati ère isolante conformément au procédé courant en une seule étape à coefficient de ré-émission élevé de la technique antérieure. Le tableau III resume les résultats expérimentaux obtenus avec une version modifiée de l'équipement du comnerce précedemment identifié, montrant la relation conventionnelle, bien connue,qui existe entre le rapport pulvérisation/repulvérisation et le coefficient de re-émission p D'autres changements et modifications de la présente invention viendront à l'esprit des spécialistes de la technique. Des variations en ce qui concerne la puissance totale ou les dimensions des électrodes n'ont pas d'effet sur la mise en oeuvre de la présente invention.De même, ni l'espacement des électrodes ni la pression du gaz s'ils sont raisonnablement equilibrés pour un système normal, de la manière connue dans la technique n'ont pas d'effet sur l'application de la présente invention. TABLEAU II Procédé HCe Hk HCh ss &alpha; Exemple 3: En deux étapes 1,6 Oe 4,1 Oe 0,9 Oe 1 4 Exemple 4: En deux étapes 2,1 Oe 4,7 Oe 0,9 Oe 2 4 Exemple 5: En deux étapes 1,8 Oe 4,1 Oe 1,3 Oe 1,5 7 Exemple 6: En deux étapes 1,5 Oe 3,5 Oe 0,8 Oe 3,5 4 Exemple 7: En deux étapes 2,0 Oe 4,60Oe 1,4 Oe 27 * 8 Exemple 8: En deux étapes 1,3 Oe 4,0 Oe 1,0 Oe 2 4 Exemple 9: En une seule étape 3,4 Oe 3,9 Oe 2,7 Oe 49 12 Exemple 10: En une seule étape 4,9 Oe 8,6 Oe 1,8 Oe 4 7 * Mis délibérément en position oblique au cours du dépôt TABLEAU III Rapport de puissance Volts continus I A p 35/1 15 3,34 2,84 0,15 17/1 45 3,45 2,59 0,25 12/1 55 2,85 1,84 0,35 5/1 80 2,56 1,02 0,6 2/1 120 1,68 0,50 0,7 1,5/1 140 2,02 0,40 0,8 # = Poids de Al2O3 - milligrammes A = Poids de Al2O3 déposé sur une plaque carre de 25,4 mm de côté. t = coefficient nt de ré-émission = I-A Bien que l'on ait décrit dans ce qui précède les caractéristiques essentielles de l'invention appliquées à un mode de réalisation préféré de celle-ci, il est évident que l'homme de l'art peut y apporter toutes modifications de forme ou de détail qu'il juge utiles, sans pour autant sortir du cadre de ladite invention. REVENDICATIONS 1. Procédé pour former un revêtement électriquement isolant ayant un satine de surface dont les irrégularités ont une hauteur de crête a o creux qui ne depasse pas 250A environ, sur un substrat polycristallin ou microrugueux ayant des irrégularités de surface dont la hauteur de crête o à creux peut atteindre 500A, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes qui consistent: à déposer par pulverisation HF, avec polarisation du substrat, une première couche sensiblement continue de matiere électriquement isolante sur le substrat avec un coefficient de re-emission de 0,35 ou moins; puis à déposer par pulvérisation HF, avec polarisation du substrat, une seconde couche de matière électriquement isolante sur la première couche avec un coefficient de re-émission de 0,6 ou plus pour donner un satiné de surface dont les irrégularités ne dépassent pas 250A environ de crête à creux. 2. Procédé selon la revendication 1 caractérisé en ce que le substrat polycristallin est une cramique. 3. Procédé selon la revendication 2 caractérisé en ce que la céramique est une ferrite. 4. Procédé selon l'une des revendications 1 à 3 caractérisé en ce que la première couche de matière électriquement isolante est amorphe. 5. Procéde selon la revendication 4 caractérisé en ce que la matière électriquement isolante de la première couche est choisie dans le groupe constitué par Al2O3, SiO2 et Si2N4. 6. Procedé selon l'une des revendication 1 à 5 caractérisé en ce que la matière électriquement isolante de la seconde couche est choisie dans le groupe constitué par At2O3 > SiO2 et Si3N4. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 a 6 caractérisé en ce que la première couche électriquement isolante est déposée avec un coefficient de ro-émission compris entre 0,15 et 0,35. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6 caractérisé en ce que la première couche électriquement isolante et déposee avec un coefficient de re-emission de 0,25. 9. Procédé selon l'une des revendications 1 à 8 caractérise en ce que la seconde couche électriquement isolante est déposée avec un coefficient de ré-émission compris entre 0,6 et 0,8. 10. Procédé pour former un revêtement électriquement isolant ayant un satiné de surface présentant des irrégularités dont la hauteur de crête o à creux ne dépasse pas 250A environ sur un substrat en ferrite polycristallin caractérisé en ce qu'il comporte les etapes qui consistent: a déposer par pulverisation cathodique HF, avec polarisation du substrat, une première couche sensiblement continue d'alumine amorphe électriquement isolante sur le ferrite à un coefficient de re-émission de l'ordre de 0,25. à déposer par pulvérisation cathodique HF, avec polarisation du substrat, une seconde couche d'alumine électriquement isolante sur la premiere couche d'alumine amorphe électriquement isolante à un coefficient de re-émission d'environ 0,7 pour donner un satiné de surface dont les o irrégularités de crête à creux ne dépassent pas 250A environ. 11. Procedé selon la revendication 10 caractérisé en ce que la couche isolante0 ayant un satiné de surface dont les irrégularités ne dépassent pas 250A environ de créte à creux est partiellement revêtue d'une matiere formant un reseau de lignes en relief ayant une épaisseur d'environ o 500A ou moins. 12. Procedé selon la revendication 11 caractérisé en ce que la matière precitee est une matiere magnétique. 13. Procédé selon la revendication 12 caractérisé en ce que la matière magnétique est du permalloy présentant un champ coercitif suivant l'axe d'aimantation facile (HCe) d'environ 1,5 Oe ou moins, une anisotropie (Hk) comprise entre 2,5 et 5,5 Oe, un champ coercitif suivant l'axe d'aimantation difficile (HCh) d'environ 1,5 Oe ou moins, une obliquité (ss) d'environ 50 ou moins et une dispersion (a) d'environ~ 100 ou moins. 14. Procédé selon la revendication 13 caractérisé en ce que l'on forme des connexions conductrices avec le permalloy, lesdites connexions et ledit permalloy étant recouvert d'une couche isolante, une couche de ferrite supplémentaire étant formee sur la couche isolante pour former une tête magnétique.