Brevet FR2339953A1 — publié le 19770826

La présente invention concerne premièrement un procédé d'obtention de films minces en silicium de type N, deuxièmement un procédé d'obtention de diodes à barrière de surface, utilisant notamment les films minces en silicium de type N, obtenus conformément à la présente invention,- et troisièmement un détecteur de particules, à barrière de surface, notamment à perte d'énergie dE/dx, pouvant comporter une diode à barrière de surface, obtenue conformément à la présente invention. Par référence aux figures î à 4 des dessins annexés,- iden- tifiés ci-après, on a déjà proposé un procédé pour la réalisation de détecteurs de particules, à barrière de surface, notamment des détecteurs à perte d'énergie dE/dx, comportant successivement une première pha#se d'obtention d'un film mince en silicium de type N, et une deuxième phase d'obtentlon d'une diode mince à barrière de surface, utilisant le film mince obtenu à la fin de la première phase précitée La première phase d'obtention du film mince en silicium de type N consiste en un cycle opératoire comprenant au moins les opérations suivantes a) par référence à la~ figure t, on utilise une plaquette 1 de silicium comprenant, d'une part un substrat 2 monocristallin de type N , relativement épais, et d'autre part une couche épitaxique 3 de type N, relativement mince, b) par référence à la figure 2, on procède à une dissolution électrolytique du substrat 2 de la plaquette 1, en présence d'un électrolyte aqueux comprenant des ions fluorure, dans les conditions opératoires suivantes b.t) la plaquette 1 de silicium est polarisée électrique ment et positivement, b.2) au moins une partie de la face extérieure 4 du subs trat 2 est mise en contact avec l'électrolyle, tandis que la face extérieure 5 de la couche épitaxique 3 est protégée contre toute mise en contact avec lsélectro- lyte précité, b.3) une section 6 d'attaque électrolytique, correspondant sensiblement à l'aire de détection du détecteur en cours de fabrication, située sensiblement au centre de la face extérieure 4 du substrat 2, est mise en con tact avec l'électrolyte, tandis que la partie restan te 7 de la face extérieure 4 du substrat 2 précité, extérieure à la section 6 d'attaque sus-mentionnée, est protégée contre toute mise en contact avec ltélec- trolyte précité, b.4) l'état d'avancement de la dissolution électrolytique est contrôlé par référence au courant d'électrolyse, et on arrete cette dissolution électrolytique, à par tir du moment où le courant précité diminue, ctest-à- dire à partir du moment où la dissolution électrolyti que atteint la couche épitaxique 3. Par référence à la figure 3, à la fin de cette première phase du procédé, on obtient donc une plaquette 1 de silicium de type N, comprenant, d'une part une couronne périphérique 8 du substrat 2 de type N , relativement épaisse, et d'autre part un film 9 de la couche épitaxique 3 de type N, relativement mince, supporté par la couronne périphérique 8 précitée, dont la face intérieure 10, du côté de la couronne 8, est bordée par cette dernière, et correspond à l'aire de détection du détecteur en cours de fabrication. Par conséquent, cette première phase du procédé met à profit la propriété selon laquelle le substrat de type N+, faiblement résistif, est plus facilement dissout par électrolyse que la couche épitaxique de type N, fortement résistive. Par référence à la figure 4, la deuxième phase du procédé de fabrication utilise le film mince en matériau semi-conducteur monocristallin de type N, obtenu à la fin de la première phase de fabrication décrite précédemment, et par conséquent une plaquette 1 de silicium conforme à la figure 3. Cette deuxième phase de fabrication comporte les opérations suivantes a) on dép#ose sur l'une des faces du film mince 9, appelée ci après face de contact redresseur, et plus précisément sur la face extérieure 5 de la plaquette 1 de silicium obtenue con formément à la##figure 3, au moins une couche métallique 11 assurant avec le film mince 9 un contact électrique redres seur ; il s'agit donc d'une couche 11 d'un métal, par exem ple or, susceptible de former une barrière de Schottky avec le film mince 9, b) on dépose sur l'autre face du film mince 9, appelée ci-après face de contact ohmique, et plus précisément sur la face in térieure 10 de la plaquette t de silicium obtenue conformé ment à la figure 3, au moins une couche métallique 12 assu rant avec le film mince 9 un contact électrique ohmique ; il s'agit par exemple d'aluminium. les dépôts métalliques il et t2 sont~préférentiellement obtenus par évaporation sous vide. Par un enrobage approprié de la diode mince à barrière de surface#, obtenue conformément à la figure 4, on aboutit finalement au détecteur à barrière de surface recherché. l'objet principal de la présente invention concerne le procédé d'obtention d'un film mince en silicium monocristallin de type N, constituant la première phase du procédé décrit précédemment, concernant la fabrication d'un détecteur mince à barriere de surface. ce titre, la présente invention a pour but de préciser les conditions opératoires permettant d'obtenir au moins l'un quelconque des résultats suivants 1) d'un cycle opératoire a- un autre, le film mince en silicium de type N, obtenu selon le processus décrit précédemment, présente, pour une même plaquette de silicium de départ, des caractéristiques géométriques (épaisseur, parallélisme des deux faces), physiques (état de surface des deux faces), é lectriques (capacité, résistivité, etc..), et électroniques, homogènes et reproductibles, 2) pour un même cycle opératoire, les paramètres opératoires choisis permettent d'obtenir un film mince en silicium de ty pe N, présentant des caractéristiques, notamment d'uniformité de l'état de surface et d'épaisseur homogène, y compris pour des épaisseurs relativement faibie# et dés surfaces relative ment importantes, compatibles- avec les spécifications exigées dans la pratique pour les diodes minces à barrière de surfa ce, notamment pour les détecteurs nucléaires à perte d'éner gie dE/dx, )) la fiabilité du procédé précité, c'est-à-dire son taux de réussite pour obtenir un film mince de silicium de type N, ayant des caractéristiques prédéterminées, est particulière ment importante. Un obj-et secondaire de la présente invention concerne le procédé d'obtention de diodes minces à barrière de surface, constituant la deuxième phase du procédé décrit précédemment, concernant la fabrication d'un détecteur-mince à barrière de surface. A ce titre, la présente invention a pour but de définir des conditions opératoires 1) simplifiant la manipulation des films minces de silicium uti lisés, et par conséquent limitant les risques de rupture de ces derniers, 2) renforçant la solidité des diodes minces obtenues, donc les rendant aisément manipulables, 3) compatibles avec les techniques usuelles de fabrication de détecteurs nucléaires minces. Au total, et globalement, la présente invention se propose de réaliser des détecteurs à barrière de surface, notamment des détecteurs à perte d'énergie dE/dx, présentant les avantages sui vante 1) ils sont robustes et résistants, y compris lorsque le film de silicium de type N est relativement mince et de grande surface, 2) leurs caractéristiques électriques et électroniques demeurent stables au cours du temps ; ils sont par conséquent fiables, et permettent des mesures physiques reproductibles, )) leur prix de revient est particulièrement modique, 4) ils sont facilement démontables. Avant d'exposer complètement les principes de la présente invention, il convient de souligner- qu'aucune des techniques usuelles, présentement connues, de fabrication de films minces en silicium monocristallin de type N, de diodes à barrière de surface, et de détecteurs nucléaires à barrière de surface, notamment à perte a'énergie dE/dx, ne permet de satisfaire, de manière immédiate, les différents objets de la présente invention, énoncés précédemment. En effet, d1un# part chacune des techniques précitées demeure relativement complexe, et conduit à un prix de revient prohibitif, et d'autre part, comme lZexposé ci-après le révélera, la présente invention n'a été rendue possible que par la conjonction de disciplines aussi différentes que la physique nucléaire, la chimie physique, et la physique du solide. Par ailleurs, les performances requises pour les détecteurs nucléaires, imposent la détermination et le choix critique de conditions opératoires particulièrement précises et fines , à chaque stade de la fabrication des détecteurs précités. L'objet principal de la présente invention, défini précédemment, concernant le procédé décrit ci-dessus d'obtention dtun film mince en silicium monocristallin de type N, est satisfait pour l'essentiel, lorsque le cycle opératoire mis en oeuvre comporte ira combinaison les caractéristiques suivantes en ence qui concerne la dissolution électrolytique, le paten tiel anodique de la plaquette de silicium, par rapport à une électrode de référence, est maintenu constant et choisi en fonction des spécifications suivantes 1.1) il est inférieur au potentiel de début d'électropolis sage, correspondant au maximum de la courbe représen tant l'intensité du courant d'électrolyse en fonction du potentiel anodique par rapport à l'électrode de ré férence précitéej 1.2) il est tel qu'à la fin de la dissolution électrolyti- que, la section de la face intérieure (référence nume- rique 10 de la figure D) de la couche épitaxique (film mince 9 de la figure 3), en correspondance avec la section d'attaque électrolytique (référence numérique 6 de la figure 2), a un aspect mat, 2) la dissolution électrolytique est suivie d'un décapage chimi que doux de la plaquette de silicium, telle qu'elle est obte nue à la figure 5 ; ce décapage comprend au moins 2.1) une attaque chimique lente de la plaquette de silicium, avec une solution oxydante comprenant au moins un com posé modérément oxydant, de 19acide fluorhydrique, et un agent modérateur d'oxydation ; pendant cette at taque chimique, la plaquette est protégée contre toute mise en contact avec de l'air, 2.2) un lavage de la plaquette de silicium attaquée chimi quement, avec de l'eau désionisée ; pendant ce lavage, la plaquette est également protégée contre toute mise en contact avec l'air. l'objet secondaire de la présente invention, défini précé demment, concernant le procédé décrit ci-dessus d'obtention de dio des minces à barrière de surface, est satisfait pour l'essentiel par le mode opératoire suivant. Préalablement au dépôt des couches métalliques de contact redresseur et de contact ohmique, on fixe le film mince en silicium monocristallin de type X, sur un bloc de support comprenant un trou central, avec une résine de type N, et ceci avec les conditions opératoires suivantes 1) le film mince est disposé sur le bloc de support précité, de manière à recouvrir le trou central, et un joint de la rési ne de type N assure un premier raccordement entre le bord su périeur du*trou central précité et la face de contact redres seur du film mince, 2) un congé de la résine de type N est déposé le long de la bor dure du trou central du bloc de support précité, de manière à assurer un second raccordement entre- le bord inférieur du trou central précité et la face de contact ohmique du film mince. La présente invention est maintenant décrite par référence aux dessins annexés dans lesquels - comme indiqué dans le préambule de la description, la figure 1 représente de manière schématique une vue en coupe d'une pla quette de silicium monocristallin de type N, servant de point de départ au procédé d2obtention de films minces en silicium de type N, selon l'art antérieur, - comme indiqué dans le préambule de la description, la figure 2 représente de manière schématique une vue en coupe de la pla quette de silicium représentée à la figure 1, pendant la dis solution électrolytique du procédé d'obtention de films min ces en silicium, selon l'art antérieur, - comme indiqué dans le préambule de la description, la figure 3 représente de manière schématique une vue en coupe de la pla quette de silicium représentée à la figure 1, après la dis solution électrolytique du procédé d'obtention de films min ces en silicium, selon l'art antérieur, - comme indiqué dans le préambule de la description,la figure 4 représente de manière schématique une vue en coupe d'une dio de à barrière de surface, comportant une plaquette de sili cium telle que représentée à la figure 3, et obtenue conformé ment au procédé d'obtention de diodes à barrière de surface, selon l'art antérieur, la figure 5 représente de manière schématique l'appareillage ayant servi à la détermination des conditions opératoires op tima, relatives à la dissolution électrolytique du substrat d'une plaquette de silicium de type N, conformément à la pré sente invention, la figure 6 représente une vue en coupe verticale et axiale, des différents éléments d1un boîtier de support assurant le maintien d'une plaquette de silicium pendant la dissolutiôn électrolytique, la figure 7 représente, par référence à la dissolution élec trolytique selon l'invention, les variations de la densité du courant d'électrolyse (j, exprimé en mA/cm2), en fonction des variations du potentiel V0 de l'anode, par rapport à une électrode de référence au calomel ; les courbes correspondan tes seront appelées ci-après courbes intensité-potentiel, la figure 8 représente, par référence à la dissolution élec trolytique selon l'invention, les courbes intensité-potentiel pour différentes intensités d'éclairement ; sur cette figure, ltéclairement nul correspond à un courant de O la figure 9 représente, par référence à la dissolution élec trolytique selon l'invention7 la variation, à polarisation anodique V constante, de la densité J du courant d'électroly o se, en fonction de la distance anode-cathode, la figure tO représente, par référence à la dissolution élec trolytique selon l'invention; la lavariation, à polarisation anodique V constante, de la densité j du courant d'électro o lyse, en fonction de la température, la figure Il représente, par référence à la dissolution élec trolytique selon l'invention, la variation, à polarisation anodique V constante, de la densité j du courant d'électro o lyse, en fonction de la normalité en ions fluorure de l'élec- trolyte, la figure 12 représente, par référence à la dissolution élec trolytique selon ltinvention, la variation, à polarisation anodique V constante, de la densité j du courant d'électro o lyse, en fonction de la vitesse angulaire d'agitation de l'é lectrolyte, et par conséquent de la puissance mécanique in jectée dans- l'électrdlyte, -#la figure 13 représente, par référence à la dissolution élec trolytique selon l'invention, et pour un potentiel anodique V0 constant, la variation en fonction du temps de la densité j du courant d'électrolyse, - les figures 14a à 14d représentent, par référence à l'obten tion selon 11 invention de diodes minces à-barrière de surface, les différentes étapes de mise en place d'une plaquette de si licium conforme à la figure 3, sur un bl & de support, - 'les figures 15a à 15d représentent, par référence à l'obten- tion selon l'invention de diodes minces à barrière de surface, les différentes étapes d'évaporation d'or (figures 15a et 15b), et d'aluminium (figures 15c et 15d), sur un bloc de sup port traité conformément à la figure 14, - la figure 16 représente une vue en coupe axiale et verticale des différents éléments d'un détecteur nucléaire conforme à la présente invention, - la figure 17 représente le spectre d'énergie obtenu avec une diode mince à barrière de surface, fabriquée conformément à lfinvention, en présence d'une source d'américium 241 émettant des particules oL de 5,48 MeV. Conformément à la figure 5, on a représenté schématiquement le matériel d'électrolyse ayant permis la détermination des conditions opératoires conformes à la présente invention, relatives à la dissolution électrolytique du substrat 2 d'une plaquette de silicium 1, telle que représentée à la figure 1, conformément au processus décrit par référence aux figures 2 et 3. 1)'une manière générale, un appareillage similaire à celui représenté à lawfigure 5 peut être utilisé pour procéder à la dissolution électrolytique sus-mentionnée, et par conséquent effectuer la première phase de fabrication d'une d#iode mince à barrière de surface, conformément aux indications données dans le préambule de la présente description. l'appareillage de la figure 5 peut être décomposé en : 1) une cellule d'électrolyse 13 et son appareillage annexe, - 2) un circuit électrique d'électrolyse, 3) des moyens de contrôle de l'électrolyse. la cellule d'électrolyse 13 consiste essentiellement en un récipient inattaquable par l'acide fluorhydrique, par exemple en polyéthylène, rempli avec un électrolyte aqueux comprenant des ions fluorure, par exemple une solution aqueuse a'acide fluorhydrique. Dans le récipient 13, une anode constituée par la plaquette de silicium 1, et une cathode 14 en platine sont immergées dans ltélec- trolyte. La cellule d'électrolyse 13, et une électrode de référence 15 au calomel sont plongées dans un bain thermostaté contenu par un récipient 16. l'électrode de référence 15, et le bain d'électrolyse contenu par la cellule 13 sont reliés l'une à l'autre, par une jonction ionique 17, consistant en un gel constitué à partir d'agar-agar. L'extrémité de la jonction ionique 17, voisine de l'anode t, est effilée et placée le plus près possible de cette dernière, par exemple à une distance d'environ 5 mm.Cette disposition permet de rendre négligeable la faible chute ohmique existant entre la plaquette anodique 1 en silicium, et l'électrode de référence 15. le bain thermostaté, contenu par le récipient 16, est agité en permanence par un agitateur 17, mis en mouvement par un moteur électrique 18, lui-meme commandé par un système 19 et un thermomètre à contact 20. Un serpentin 21 de refroidissement} et une résistance 22 de chauffage du bain thermostaté ont été prévus sur le récipient 16.Un barbotage d'azote 23 débouche dans l'élec- trolyte de la cellule 13 d'électrolyse L'électroLyte est constamment agité par un barreau aimanté 24, mis en rotation par un moteur électrique 25, alimenté électriquement par une source 26 de tension régulée.G'ensemble des éléments décrits précédemment, à l'excep- tion des éléments 19, 18 et 26, est disposé dans une boite 27 permettant de créer l'obscurité à l'intérIeur de ses parois Ltinté- rieur de la boite 27 peut etre éclairé par une lampe 28, alimentée électriquement par une source de courant variable 29. le circuit électrique d'électrolyse est constitué essentiellement par un potentiostat 30 à trois connexions électriques 31 à 33, connectées électriquement respectivement, à l'anode 1, à la cathode 14, et à ltélectrode de référence 15, par un fil de platine 34. le potentiostat 50, de type électronique, permet de débiter et réguler un courant continu entre l'anode 1 et la cathode 14, et plus précisément d'ajuster la tension anode/cathode, afin que le potentiel de l'anode t, #par rapport à l'électrode de référence 15, soit égal à la valeur choisie, et ceci quelles que soient les variations des conditions d'électrolyse. Dans ces conditiorrs, le potentiel absolu de l'anode 1, est égal à soit V0 + ER , ER étant le potentiel de l'électrode 15 de ré férence au calomel, égal à -0,25 V à 200C, soit à VAC + EC + fe i , EC étant le potentiel absolu de la cathode 14, Pe la résistance électrolytique entre l'anode et la cathode, i l'intensité du courant d'électrolyse, et VAC la différence de potentiel entre l'anode 1 et la cathode 14. De manière connue en soi, la différence de potentiel V0 , entre l'anode et l'électrode de référence, est maintenue constante en agissant sur la tension de sortie VAC , entre les bornes 31 et 32 du potentiostat 30. les moyens de contrôle de l'appareillage d'électrolyse comprennent une thermistance 35, plongée dans le bain thermostaté 16, re liée électriquement à un amplificateur 56, un amplificateur redresseur 37, permettant de mesurer le cou rant consommé par le moteur 25 de mise en rotation du barreau aimanté 24; en effet, la tension d'alimentation du moteur 25 étant régulée, la mesure du courant consommé--correspond à la puissance absorbée par le moteur 25, et par conséquent à la vitesse d'agitation, et à la puissance mécanique injectée dans l'électrolyte ; la vitesse d'agitation du barreau 24 peut être mesurée, en procédant à un étalonnage préalable de la vi tesse absolue de rotation, avec un stroboscope (loi linéraire intensité électrique-vitesse de rotation), une diode à barrière de surface (non représentée sur la figu re 5), placée dans le bain d'électrolyse, près de la plaquette anodique 1, dont le courant inverse permet d'appréhender la quantité de lumière arrivant sur l'anode 1, à partir de la source lumineuse 28, dont la puissance lumineuse est variable, un enregistreur 38à six voies, permettant d'enregistrer en continu, premièrement la tension V0 entre l'anode 1 et ltélec- trode de référence 15, deuxièmement la tension V d'électrolyse entre l'anode 1 et la cathode 14, troisièmement llintensité I du courant d'électrolyse, quatrièmement la température T du bain thermostaté 16, cinquièmement la vitesse de rotation du barreau d'agitation 24, et sixièmement la tension de pola risation E de la diode de détection lumineuse précédemment ci tée, - un enregistreur 39 à une voie, à déroulement rapide du papier, permettant d'enregistrer en continu l'intehsité I du courant d' électrolyse - un multimètre électronique 40, permettant de mesurer la ten sion V0 de lssanode 1, par rapport à l'électrode de référence 15, - un voltmètre 41, permettant de mesurer la tension d'électro lyse, entre l'anode t et la cathode 14, - un ampèremètre ou pico-ampèremètre 42, permettant de mesurer l'intensité I du courant d'électrolyse, - une réglette-graduée 43, permettant de mesurer l'écartement entre l'anode 1 et la cathode 14 Afin d'effectuer la dissolution électrolytique du substrat 2 de la plaquette 1 en silicium, avec les conditions opératoires précisées dans le préambule de la description par référence aux figures 2 et ), on utilise un boîtier démontable 44 de support, tel que représenté à la figure 6.Ce boîtier est en matériau chimiquement inattaquable au cours de l'électrolyse, par exemple en po lyéthylène, et est destiné à la réception de la plaquette 1 de si licium Il comprend 1) un couvercle 45 comprenant - premièrement un perçage central et transversal 46, de symétrie axiale 47,tronconique, débouchant sur sa face interne 48 selon une ouverture interne 49, avant une section droite circulaire, identique à la section 6 d'attaque électrolytique de la plaquette de silicium 1 représentée à la figure 2, et correspondant sensiblement à l'aire de détection du détecteur mince à barrière de surface, en cours de fabrication, - deuxièmement, un évidement 50 continu annulaire, #à la périphérie de llouverture 49 interne circulaire, creusé autour de cette dernière, destiné à la réception d'un joint 51-torique intérieur d'étanchéité, - troisièmement un conduit 52, assurant le passage diun conducteur métallique 53, et trois perçages périphérie ques 54, répartis autour de l'axe de symétrie 47, desti nés chacun au passage dtun boulon, 2) un corps 55 comprenant, premièrement sur sa face interne 58 un évidement intérieur 56, continu et annulaire, ayant une dimension radiale supérieure à celle de l'ouverture interne 49 du couvercle 45, destiné à la réception de la plaquette de silicium 1, avec éventuellement un élément ou bague de cen trage 57, deuxièmement, et toujours sur la face interne 58 du corps 55, un évidement extérieur 59, annulaire et continu, ayant une dimension radiale supérieure à celle de 11 évidement intérieur 56 précité, destiné à la réception d'un joint 60 torique extérieur d'étanchéité, 3) une connexion électrique de la plaquette de silicium 1 avec l'extérieur du boîtier 44 de support, comprenant le conduc teur électrique 53 précédemment cité, et un ressort métal lique annulaire 61 de contact électrique, mis en contact avec la plaquette de silicium 1 selon les modalités pratiques exposées ci-après. le boîtier de support 44, renfermant la plaquette de si cium 1, est disposé dans la cellule d'électrolyse 13 de la figure 5, de manière à permettre la dissolution électrolytique du substrat 2, selon la section d'attaque électrolytique r de la figure 2, correspondant à l'ouverture interne 49 du boîtier 44. les expériences détaillées ci-après sont effectuées avec les conditions standard suivantes 1) les plaquettes -de silicium utilisées ont 3 à 4 cm de diamè tre, et une épaisseur totale de 220 slm ; le substrat 2 de silicium de type N+, est dopé à l'antimoine, a une orienta tion cristalline 1,1,1 ,-et une résistivité voisine de 0,0105l.cm ; la couche épitaxique 3 de silicium de type N est dopée au-phosphore, a la même orientation cristalline, et une résistivité-supérieure à 1 ;Q.cm ; l'épaisseur du substrat 2 est environ de 220 yLm, tandis que l'épaisseur de la cou che épitaxique 3 varie de 4 à 50 2) ltélectrolyte contenu par la cellule d'électrolyse 13 est de l'acide fluorhydrique 1,25 N, ce qui correspond à environ 43,1 cm3 d'acide fluorhydrique à 50 ffi par litre dsélectrolyte, 3) la température du bain thermostaté 16 est maintenue à 200C, 4) la distance entre la plaquette anodique 1 de silicium, et la cathode 14, est maintenue à 2,6 cm, 5) la section 6 attaque électrolytique (conférer figure 2), exposée à l'électrolyte, est environ de 170 mm2, 6) la vitesse de rotation du barreau magnétique 24 d'agitation est de 300 tours/mn, 7) l'électrolyte du récipient 13 est purgé en continu par un barbotage d'azote, 8) la dissolution électrolytique est effectuée à l'abri de la lumière, 9) les co#urbes reliant l'intensité I du courant d'électrolyse, mesurée sous la forme de la densité j du courant d'électro lyse (en mA/cm2), à la tension V0 de l'anode 1 par rapport à l'électrode de référence 15, appeléesci-après courbes inten sité-potentiel, sont établies en imposant le potentiel Vo de l'anode 1, et en mesurant à l'état d'équilibre (c'est-à-dire après une période transitoire pendant laquelle les concentra tions aux électrodes et les vitesses de transport des dif férentes substances évoluent-dans le temps), l'intensité du courant stationnaire d'électrolyse ; ce mode opératoire per met en effet d'obtenir très rapidement un état d'équilibre. Conformément à la figure 7, la courbe intensité-potentiel établie dans les conditions standard précisées auparavant, relative à la dissolution électrolytique du substrat 2 de silicium de type Ni, présente approximativement trois régions principales I) une première région 62 (VO inférieur à I V), dans laquelle le logarithme de l'intensité du courant d'électrolyse varie approxîmatiyement linéairement par rapport au potentiel ano dique V0 ; le potentiel limiteS à partir duquel le logarithme précité ne varie plus linéairement en fonction du potentiel anodique V0, est donc environ de 1 V, 2) une deuxième région intermédiaire 63, dans laquelle la courbe intensité-potentiel s'écarte progressivement de la linéarité, pour atteinre successivement un maximum, puis un minimum à partir duquel le courant augmente à nouveau, 3) une dernière région 64, dans laquelle le cour#ant d'électro lyse crolt de façon parabolique jusqu'à atteindre une valeur limite. On a établi que les différentes régions discernées précédemment correspondent dans la pratique à des sones de travail dif férentes - dans la première région 62, le silicium se dissout lentement, et un film superficiel épais se forme simultanément sur sa surface en contact avec llélectrolyte ; dans ces conditions, la face intérieure 10 du film de silicium 9 obtenu (conférer figure 3) présente un aspect défectueux, - dans la région intermédiaire 63, deux zones de travail dis tinctes peuvent être distinguées, à savoir une première zone 100, dite de pré-électropolissage, comprise entre le potentiel limite (environ 1 V) de la première région 100 et le potentiel de début d'électropolissage, correspondant au maximum de la courbe- intensité-potentiel, et une deuxième zone 65, dite d'é lectropolissage, comprise entre le potentiel de début d'élec tropolissage précité, et la dernière région 64 ; dans la pre mière zone, la face intérieure 10 du film mince présente un aspect mat, souvent coloré, tandis que dans la deuxième zone, la face intérieure précitée présente un aspect métallique brillant, - dans la dernière région 64, l'attaque électrolytique est beau coup plus rapide, et dans ces conditions, on obtient un film de silicium 10 présentant une surface intérieure piquée, et par conséquent de qualité défectueuse. les résultats expérimentaux obtenus conformément à la figure 7 suggéreraient de choisir un potentiel anodique de la plaquette de silicium, par rapport à 11 électrode de référence au calomel, situé dans la zone d'électropolissage 65 de la région intermédiai- re 63 de la courbe intensité-potentiel ; c'est en effet dans cette région particulière que l'on obtient un film mince 9 présentant une face intérieure 10 parfaitement brillante. En fait, une étude systématique de l'état de surface de la face intérieure -10 des films 9, obtenu dans la région intermédiaire 63 de la figure 7, amène aux deux constatations suivantes 1) il est difficile d'obtenir facilement, de façon reproducti ble, des films 9 présentant une épaisseur homogène et un état de surface uniforme, 2) en effet, pendant la dissolution électrolytique, de manière incbntrôlable, il se forme un dépôt superficiel, d'épaisseur voisine de 0,1 micron,sur la face intérieure 10 du film min ce 9 ; pour réaliser une diode mince à barrière de surface, comme exposé dans le préambule de la description, il est donc nécessaire d'enlever ce dépôt superficiel par un traitement chimique ultérieur approprié ; or, l'expérience montre que, dans la deuxième zone 65 d'électropolissage, il est pratique ment impossible d'éliminer le dépôt superficiel précité, et obtenir une surface intérieure 10 parfaitement nette, par une attaque chimique douce, et par conséquent contrôlable ; par contre, cette élimination par une attaque chimique douce, est parfaitement possible dans la première zone 100 de pré électropolissage. On a donc découvert que, si l'on utilise les conditions opératoires suivantes, les défauts précités peuvent etre éliminés 1) le potentiel de polarisation anodique est, dune part infé rieur au potentiel de début d'électropolissage de la figure 7, c'est-à-dire au potentiel correspondant au maximum de la courbe intensité-potentiel représentée, d'autre part choisi de telle manière qu'à la fin ae la dissolution électrolytique, la face intérieure 10 de la couche épitaxique 3, ou film min- ce 9 de silicium (conférer figure 3) a un aspect mat et de couleur foncée (vert, bleu ou noir), 2) les films minces 9 ainsi obtenus sont ensuite soumis au#déca- page chimique doux décrit précédemment par référence à la dé finition générale de l'invention. Ctest seulement de cette manière, que le dépôt superficiel précité peut etre éliminé facilement par un traitement chimique con trôlable pour obtenir un état de surface du film mince uniforme et reproductible d'un échantillon à un autre. Par référence à la figure 7, le potentiel de polarisation anodique est donc choisi dans la région intermédiaire 6), à gauche de la zone d'électropolissage 65 définie précédemment, à droite du potentiel limite correspondant à la fin de la première région 62 de la figure 7, et par conséquent dans la zone 100 de cette dernière, dite zone de pré-électropolissage. Par exemple, le potentiel anodique de la plaquette 1 de silicium, par rapport à l'électrode de référence 15 au calomel, à 200C, est égal à 3,2 + 0,7 V, On précise maintenant ci-après différentes conditions opératoires, complétant le processus de- fabrication d1un film mince en silicium monocristallin de type N, conforme à la présente invention, tant au niveau de l'étape de dissolution électrolytique, qui au niveau de l'étape de décapage chimique. Premièrement, grâce à la source 17 de lumière blanche de l'appareillage d'électrolyse représenté à la figure 5, émettant une lumière de longueur d'onde inférieure à 1 micron, et par conséquent inférieure à la longueur d'onde seuil du silicium, on a étudié l'influence de l'intensité lumineuse sur la courbe intensitépotentiel tracée à la figure 7, tout d'abord sur un échantillon de silicium de type v (résistivité inférieure à 0,015 n.cm), et ensuite sur un échantillon de silicium de type N (résistivité de llor- dre de#20fl.crn). L'intensité lumineuse est mesurée, comme indiqué précédemment, par référence au courant inverse d'une diode à barrière de surface, placée près de l'anode 1,-dans la cellule d'électrolyse 15 de la figure 5. Dans le premier cas, l'action de la lumière n'est pas observable, car la conductivité à température ambiante est si grande qu'elle masque l'effet photoconducteur. Dans le second cas, la figure 8 montre que l'éclaire~ment minimum, correspondant à une variation du courant inverse de la diode de détection lumineuse, de l'ordre de 0,95 > A, multiplie par# 3 l'intensité du courant de l'électrolyse. le facteur de multiplication augmente ensuite très rapidement. On déduit de ces expériences qu'au moins la partie finale de la dissolution électrolytique, c'est-à-dire la partie de cette dernière pendant laquelle l'attaque électrolytique atteint la couche épitaxique 3 de la plaquette de silicium t, doit être effectuée dans l'obscurité, si l'on désire détecter de manière stre et reproductible le moment où la couche épitaxique précitée est atteinte par lgélectrolyse. Par contre, si l'attaque électrolytique concerne uniquement le substrat 2 de faible résistivité, celle-ci peut alors, sans inconvénient, entre réalisée en pleine lumière. Deuxièmement, grâce à la réglette graduée 43 de llappareil- lage d'électrolyse représenté à la figure 5, on a étudié l'influence de la distance séparant l'anode 1 et la cathode 14,sur l'interne sité du courant d'électrolyse. Pour différents potentiels V de o l'anode, onobtient les courbes représentées à la figure 9. Grâce aux courbes de la figure 9, on peut établir que, dans la région où la densité de -courant est la plus sensible à la variation de la distance anode-cathode, par exemple au voisinage de la distance minimum (2,6 cm), augmenter d'1 cm la distance précitée entraîne en moyenne une diminution du courant d'électrolyse d'envi- ron-9 #. On en déduit que, pendant la dissolution électrolytique, et d'un cycle opératoire à un autre, la position de la plaquette de silicium 1, par rapport à la cathode 14, doit être maintenue constante à + 1 mm. Troisièmement, on a établi expérimentalement que le film mince 9, obtenu par dissolution électrolytique, présente une épaisseur bien homogène et un état de surface bien uniforme, lorsque le courant d'électrolyse est collecté sur la périphérie de la section 6 d'attaque électrolytique (conférer figure 6), et non à un endroit quelconque de la plaquette de silicium 1. En conséquence, par référence à la figure 6, la connexion électrique de la plaquette de silicium 1, avec l'extérieur du bot- tier de support 44, est établie selon le processus opératoire suivant 1) préalablement à la dissolution -électrolytique, un dépôt péri phérique métallique de contact électrique, circulaire, ayant une dimension radiale supérieure à celle de l'évidement péri phérique 50 du couvercle 45, est déposé sur la face extérieur re 4 du substrat 2, à la périphérie et autour de la section d'attaque électrolytique 6 (conférer figure 23, définie par l'ouverture interne 49 du couvercle 45, 2) dans le boîtier de support, la connexion électrique précitée est établie par l'intermédiaire du ressort métallique 61 de contact électrique, continu et circulaire, ayant une dimen sion radiale identique à celle du dépôt périphérique précité de contactélectrique ; le ressort 61 est alors pressé entre le dépôt périphérique précité et le couvercle 45. Quatrièmement, de manière à faciliter l#échappement des gaz formés au cours de la dissolution électrolytique, le boîtier de support 44, et par conséquent la plaquette de silicium 1, sont disposés verticalement dans la cellule d'électrolyse 13 de la figure 5. Cinquièmement, afin d'uniformiser la distribution du courant sur la section d'attaque électrolytique 6 (conférer figure 2), la cathode 14 utilisée pendant la dissolution électrolytique a une surface développée importante ; il s'agit par exemple d1une toile plutôt que d'un fil. Sixièmement, on a découvert que les plaquettes de silicium conformes à la figure 1, disponibles dans le commerce, c'est-à-dir# comprenant un substrat de type N et une couche épitaxique de type N, présentent souvent le défaut suivant. Au cours de la fabrication, à la suite de certaines opérations de finition, ayant pour but d'éliminer les protubérances éventuellement produites au cours de la croissance en phase vapeur de la couche épitaxique, cette dernière peut se trouver percée. Il est évident qu'une couche épitaxique trouée ne permet pas d'obtenir, en fin de dissolution électrolytique du substrat, un film épitaxique présentant à la fois une épaisseur homogène et un état de surface uniforme. Aussi, doit-on particulièrement soigner, tant au niveau du fabricant qutà celui de l'utilisateur,- la sélection des plaquettes de silicium utilisées pour la dissolution électrolytique. Cellesci doivent présenter une couche épitaxique microscopiquement continue, c'est-à-dire révélant un aspect non troué à l'observation avec un microscope. Septièmement, on a établi expérimentalement que la qualité du contact électrique entre la plaquette de silicium 1 et la ou les parties métalliques reliées électriquement à la sortie anodique 31 du potentiostat SO, et plus précisément du contact électrique entre le dépôt périphérique métallique décrit précédemment par réfé rence à la figure 6, et le ressort métallique 61, avait une influence importante sur l'état de surface et l'épaisseur du film mince 9 obtenu à la fin de la dissolution électrolytique. A cet égard, on a découvert que le ou les films oxydés présents sur la face extérieure 4 du substrat 2 altéraient l'adhésion du métal de contact électrique sur le substrat précité, et par conséquent augmentaient la résistance de contact de la liaison électrique correspondante métal-semi conducteur. Or, cette résistance de contact doit etre la plus faible possible, afin d'éviter tout échauffement important pour des densités de courant dsélectrolyse importantes. En conséquence, afin d'améliorer le contact électrique envisagé précédemment, il est nécessaire d'éliminer les films d'oxyde de silicium précités, ainsi que toutes les impuretés éventuellement adsorbées à la surface de la plaquette de silicium 1 ; ceci est obtenu par un nettoyage chimique de la plaquette 1, précédant la dissolution électrolytique. Ce nettoyage chimique préalable comprend par exemple - un nettoyage de la plaquette-de silicium 1 avec un solvant or ganique (acétone par exemple), afin de dissoudre les graisses superficielles, - un lavage de la plaquette ainsi nettoyée, avec de l'eau désio misée bouillante, - une immersion de la plaquette lavée dans un bain d'acide fluo-- rhydrique (78 cm3 d'acide fluorhydrique à 50 ffi par litre de bain), durant t5 mn, - un nouveau lavage de la plaquette immergée, avec de l'eau dé sionisée bouillante. Toutes ces opérations sont éventuellement effectuées avec une agitation ultra-sonique. Huitièmement, l'état de surface de la plaquette de silicium peut 8tre tel que le nettoyage chimique préalable, défini précédemment, précédant la dissolution électrolytique, n'est pas suffisant pour permettre ultérieurement une attaque électrolytique homogène. Dans ces cas, il est nécessaire, avant toute attaque élec- trolytique proprement dite, de renforcer le nettoyage chimique# préalable. Ceci peut être obtenu selon au moins l'un quelconque des modes suivants 1Y lorsque la face extérieure 4 du substrat 2 de la plaquette t de silicium présente un aspect granuleux relativement gros sier, le nettoyage chimique préalable décrit précédemment, ayant la dissolution électrolytique, consiste cette fois-ci en un décapage chimique fort, effectué avec une solution oxydante comprenant au moins un composé fortement oxydant (acide nitrique par exemple), et de l'acide fluorhydrique, 2) au niveau de la dissolution électrolytique, et préalablement à cette dernière, on contrôle le potentiel anodique de la plaquette 1 de silicium, par rapport à l'électrode de réfé rence 15 au calomel ; lorsque le potentiel anodique contrôlé est inférieur à -t50 mV, on procède à la dissolution élec trolytique ; mais si le potentiel anodique contrôlé est supé rieur à -150 mV, on procède alors une pré-attaque électroly tique, pendant environ une--dizaine de minutes, en polarisant la plaquette de silicium 1 à environ -12 V par rapport à l'électrode de référence 15 ; si, à la fin de la pré-attaque électrolytique ainsi effectuée, le potentiel anodique contrôlé n'est toujours pas inférieur à -150 mV, avants dissolution électrolytique, on procède alors au décapage chimique fort, envisagé et décrit au paragraphe précédent. Neuvièmement, avec l'appareillage représenté à la figure 5, on a déterminé expérimentalement, à potentiel anodique constant, l'influence de la température sur la densité du courant d'électrolyse ; conférer figure 10. Il résulte des courbes représentées sur cette figure que, lorsque la température passe de 20 à 250C, la densité du courant d'électrolyse s'élève en moyenne d'environ 25 %. On en déduit que, pendant la dissolution électrolytique, la température de l'électrolyte doit être maintenue constante-à + 0,50C, si l'on veut obtenir des films minces reproductibles d'un cycle opératoire à un autre. Dixièmement, toujours avec l'appareillage de la figure 5; on a étudié expérimentalement l'influence de la normalité en ions fluorure de l'électrolyte, et par conséquent de la normalité en acide fluorhydrique de l'électrolyte, sur la densité du courant d'électrolyse ; conférer figure 11. Conformément à cette dernière, on remarque que, lorsque la concentration d'acide, et par conséquent la normalité en ions fluorure, passe de 1 à 2-N, l'intensité du courant d'électrolyse est multipliée en moyenne par un facteur 2. On en déduit que, d'un cy cle opératoire à un autre, la normalité en ions fluorure de l'électrolyte doit être maintenue constante à + 0,05 X, pour obtenir des résultats reproductibles. Onzièmement, on a établi expérimentalement qu'une agitation mécanique de l'électrolyte, pendant la dissolution électrolytique, était nécessaire pour, dfune part acheminer vers l'anode de lXélectrolyte, et d'autre part éloigner de cette dernière les produits de réaction. Cette agitation permet aussi de minimiser l'é- chauffement local du au passage du courant à travers le contact électrique résistif entre le semi-conducteur et la connexion électrique anodique, et ceci permet de maintenir une température plus uniforme dans l'électrolyte. Mais, une agitation mécanique excessive est à éviter, car on risque alors de modifier l'uniformité de la dissolution électrolytique, à la surface du substrat de la plaquette de silicium. Conformément à la figure 12, on a étudié, à polarisation anodique VO constante, l'influence de la vitesse angulaire d'agitation de l'électrolyte, et par conséquent de la puissance mécanique injectée dans--l2électrolyte, sur la densité du courant d'élec#trolyse. On constate alors que, lorsque la vitesse de rotation s'é- lève de 50 t/mm, le courant d'électrolyse croît en moyenne de 8 à 9 %. On en déduit donc que la puissance mécanique injectée dans l'électrolyte doit etre maintenue constante, afin d'obtenir des résultats reproductibles d'un cycle opératoire- à un autre. Douzièmement, lorsque la dissolution électrolytique est effectuée avec un barbotage d'azote dans l'électrolyte, on a établi expérimentalement qui était important que l'arrivée du gaz dans l'électrolyte soit effectuée, dans la cellule d'électrolyse 13, derrière la plaquette de silicium 1, sur son axe de symétrie. Ceci permet en effet de ne pas ralentir la dissolution électrolytique, car, d'une manière générale, le dégagement gazeux dans l'électrolyte disperse les ions fluorure et gene leur transport vers la plaquette anodique de silicium. Treizièmement, on a représenté sur la figure 13, pour un potentiel anodique Vo constant, la variation de-la densité du courant d'électrolyse en fonction du temps. On constate alors que la courbe obtenue comprend un plateau ou niveau supérieur J1 , correspondant à la dissolution électrolytique du substrat 2, et un plateau ou niveau inférieur J2 , correspondant à la dissolution électrolytique de la couche épitaxique 3. Ces deux niveaux sont sé- parés par une zone intermédiaire, dans laquelle la densité de courant diminue de 90 % en 1 h 30 environ. Afin d'obtenir un film mince 9, dont la face intérieure 10 ne présente absolument plus aucune trace du substrat 2, orra établi expérimentalement qu'il était nécessaire à cette fin jarreter la dissolution électrolytique lorsque le-courant d'electrolyse atteint le niveau inférieur de la courbe représentée à la figure 13, c'est à-dlre environ 3 à 4 mA/cm2, et non lorsque le courant d'électrolyse quitte le niveau supérieur de la courbe de la figure 15. Quatorzièmement, pour réaliser une attaque chimique lente de la plaquette de silicium, postérieure à la dissolution électrolytique, relativement uniforme et efficace, on a établi expérimen talement qu'un nettoyage préalable était souvent nécessaire, de manière à éliminer les poussières, les graisses, les matières ioniques, notamment les ions métalliques apportés éventuellement par le ressort 61 de contact électrique (conférer figure 6) ; ce nettoyage comprend notamment un traitement de la plaquette de silicium avec de l'acide fluorhydrique dilué, et-éventuellement un séjour de 24 heures de la plaquette précitée, dans de l'acide chlorhydrique concentré, au cas où la concentration en ions métalliques est importante. En effet, les impuretés adsorbées par la plaquette de silicium au cours de la dissolution électrolytique, et éventuellement le film d'oxyde de silicium se formant au contact de l'air, masquent partiellement la surface à attaquer chimiquement, et sont par conséquent, soit des sites réactifs préférentiels, soit un obstacle à l'attaque chimique lente, ce qui nuit bien évidemment à la qualite du film mince obtenu. Quinzièmement, pour obtenir des conditions isothermiques satisfaisantes au cours de l'attaque chimique lente de la plaquette de silicium, favorisant un bon état de surface pour le film mince finalement obtenu, il est conseillé d'utiliser des volumes de liquide assez grands, et d'assurer une agitation mécanique régulière de la solution oxydante, -en contact de la plaquette de silicium traitée. En effet, l'agitation mécanique supprime les mouvements de convection conduisant à des différences locales de températures à la surface de la plaquette de silicium, et augmentant ainsi sa rugosité moyenne superficielle. #De plus, cette agitation mécanique améliore, pendant toute l'attaque chimique lente, l'expulsion des bulles gazeuses résultant de la réaction chimique, pouvant entraîner la formation de trous, et accentuer le relief superficiel de la plaquette de silicium. Beizièmement, l'expérience a aussi montré qupun meilleur état de surface était obtenu en effectuant l'attaque chimique lente de la plaquette de silicium en une seule fois, la rugosité superficielle de cette dernière augmentant avec le nombre d'attaques chimiques lentes successives. Dix-septièmement, on a établi expérimentalement que le fait de sortir la plaquette de silicium de la solution oxydante, et de la plonger immédiatement dans l'eau, pouvait laisser des résidus épais et très variés à la surface du film mince, nuisant bien evi demment à la qualité de l'état de surface recherchée pour ce der-nier. Pour éviter cela, il est important d'arrêter l'attaque chimique lente de la plaquette desilicium, par dilution, c1est-à- dire en ajoutant un grand volume d'eau à la solution oxydante, et ceci sans retirer la plaquette de silicium du bain d'oxydation. Ensuite par dilution et décantation alternées, on réalise un premier lavage du silicum, toujours sans exposer ce dernier à l'air. Dix-huitièmement, comme le lavage final de la plaquette de silicium attaquée chimiquement a une très grande influence sur l'e tat de surface du film mince obtenu, celui-ci est préférentiellement effectué de la manière suivante. Sans exposer la plaquette de silicium à l'air, on fait circuler en continu, au contact de cette dernière, un courant d'eau désionisée ; on suit l'état d'avancement du lavage en contrôlant la résistivité de l'eau désionisée ayant circulé au contact de la plaquette de silicium traité. Cette dernière n'est pas mise en contact avec l'air, tant que la résistivité de l'eau désionisée n'est pas supérieure à 2,5 *-t. Dix-neuvièmement, la solution oxydante ayant conduit à la meilleure attaque chimique lente de la plaquette de silicium, comprend environ 200 mg de permanganate de potassium, 50 ml d'acide fluorhydrique, et 50 mi d'acide acétique (agent modérateur d'oxyda- tion). Pour terminer, et en ce qui concerne le procédé. d'obtention de films minces conforme à la présente invention, les conditions opératoires précisées auparavant permettent d'obtenir les performances suivantes - par un examen au microscope interférentiel, les franges d~in- terférence obtenues sont très parallèles, ce qui traduit une bonne planéité de la face intérieure 10 du film mince 9, - en mesurant l'intensité lumineuse d'un faisceau laser,- trans- mise par les films minces obtenus, on a pu établir que les dé nivellations de la face intérieure 10 sont d'environ 3 à 4 soit de l'ordre de 0,3 micromètre, - comme-limites au procédé décrit précédemment, des films de 4,6 micromètres.d'épaisseur et de 51 mm2 de surface, et d'autres de 10 micromètres et de 317 mm2, ont pu etre obtenus confor mément au processus opératoire décrit précédemment. En ce qui concerne le procédé -d'obtention de diodes minces à barrière de surface, défini de manière générale dans le préambule de la présente description, permettant de réaliser des diodes similaires à celles de la figure 4, on a cherché à résoudre les problèmes suivants. Pour améliorer la protection mécanique et électrique des bords de la plaquette de silicium, avant le dépôt des couches mé talliques 11 et 12 de contact redresseur et de contact ohmique, on fixe le film mince, et plus précisément la plaquette de silicium conforme à la figure 3, sur un bloc de support (conférer figures 14 et 15), ce dernier comprenant un trou central 67. Cette fixation est effectuée avec une résine appropriée. Pour ne pas perturber le fonctionnement électronique de la diode mince, on utilise alors des résines époxy spéciales, appelées résines de type N, présentant le meme type de conductivité que le film mince de silicium. La composition et la nature de telles résines ont été déjà explicitées, notamment dans les documents suivants - Anderson-Lindstrom, Nuclear Instruments and Methods, 40 (1966) 277, - Fox, IRE Transnuclear NS 9 (1962) 213. Néanmoins, cette solution conduit à la formation d'une jonction NP au niveau du contact or-résine, ce qui peut provoquer un claquage de la diode mince,#lorsque les tensions applicuées sont de l'ordre de quelques centaines de volts. Pour résoudre ce dernier problème, on a déjà proposé de -recouvrir avec un anneau de résine de type P, le joint de résine de type m, reliant le bord du trou central 67 du bloc de support 66, avec la face extérieure 5 du film mince 9 de silicium. Par résine de type P, on entend le fait que cette dernière présente une conductivité de type P ; il s'agit par exemple d'une résine sans amine, légèrement dopée à l'iode. Mais cette solution se révèle pas fois impossible dans la pratique, car certaines résines de type P utilisées et proposées sèchent en moins d'une minute. Pour remédier aux Inconvénients de la méthode précédemment mentionnée, permettant de résoudre le dernier problème précité, on choisit selon l'invention les modalités opératoires suivantes 1) le film'mince 9, et plus précisément la plaquette de silicium 1 obtenue de la manière décrite précédemment, sont disposés sur le bloc de support 66, et un joint 68 de la résine de ty pe N assure un premier raccordement entre le bord supérieur 69 du trou central 67 et la face 5 de contact redresseur du film mince 9 (conférer figures 14a et 14boy 2) conformément à la figure 14d, un congé 7t de la résine de ty pe N est déposé le long de la bordure du trou central 67 du bloc de support 66, de manière à assurer un second raccorde ment entre le bord inférieur 70 du trou central 67 précité et la face 5 de contact redresseur du film mince 9. Par conséquent, la présente invention se caractérise par le fait que ltanneau de type P utilisé selon l'art antérieur peut être maintenant remplacé par un congé de résine de type N. Préférentiellement, le congé 71 de la résine de type N est déposé# (figure 14d) après séchage #(figure 14c) du joint 68 de la résine précitée De manière à'améliorer encore la protection des bords de la diode mince à barrière de surface, en cours de fabrication, conformément à la figure 14c, la partie de la face 4 opposée à la face 5 de contact redresseur, en correspondance avec la partie pleine du bloc de support 66, est recouverte avec la résine de type X, en faisant légèrement déborder cette dernière sur l'autre partie de ladite face opposée, .en correspondance avec la partie creuse 67 du bloc de support 66. Afin d'obtenir de très bons contacts électriques avec le bloc de support 66, mais aussi afin de protéger la surface de ce dernier de toute contamination ultérieure, les dépôts de la couche métallique 11 de contact redresseur, et de la couche métallique 12 de contact ohmique (figures 15c et lad), sont effectués en au moins 1) une première étape (figures 45a et 15c), pendant laquelle on dépose une première couche métallique sur la face appropriée de l'ensemble bloc de support 66/film mince 9, 2) une dernière étape (figures 15b et lad), pendant laquelle on dépose une dernière couche métallique, uniquement sur la par tie de la même face de 11 ensemble précité, en correspondance avec la partie pleine da bloc de support 66. Selon l'épaisseur de la diode, à titre-d'exemple, on dépose de 40 à 60 yvg/cm2 d'or, et environ 40 vlg/cm2 d'aluminium. Préférentiellement, le bloc de support 66 est en céramique, et plus précisément celle connue sous le nom de "lava". Afin d'obtenir des caractéristiques électriques satisfaisantes pour les diodes fabriquées (notamment caractéristiques de courant inverse), il est préférable d'effectuer toutes les opérations précitées, par exemple de casser le vide nécessaire à l'éva- poration des dépôts métalliques, en utilisant de l'air comprenant environ 50 % (en poids) d'humidité. Ceci permet notamment une bonne reproductibilité des caractéristiques des diodes minces obtenues, et surtout conditionne l'établissement de l'effet redresseur de ces dernières. Conformément à la présente invention, et par référence à la figure 16, un détecteur de particules,à barrière de surface, comprend 1) un bloc de support tel qu'obtenu à l'issue des opérations con formes aux figures 14 et 15, 2) un corps 72, en matière plastique, comprenant un perçage cen tral 73, transversal et tronconique, dont la plus petite sec tion droite a une dimension radiale au moins égale à celle de l'aire de détection du détecteur, 3) un couvercle métallique 74, 4) une connexion électrique entre le contact ohmique du bloc de support 66 et l'extérieur du détecteur, comprenant un cordon métallique continu 75 de contact électrique, 5) une connexion électrique entre le contact redresseur du bloc de support 66 et l'extérieur du détecteur, comprenant un res sort métallique 76 de contact électrique, 6) des vis 77 de solidarisation transversale des éléments préci- tés dans l'ordre suivant, à savoir le corps 72, le cordon mé- tallique 75, le bloc de support 66,# le ressort métallique 76 et le couvercle métallique 74. les caractéristiques les plus significatives des diodes minces à barrière de surface, préparées selon le procédé d'obtention décrit précédemment, ont été établies pour deux diodes, ciaprès référencées par diode 1 et diode 2. Premièrement, en disposant chaque diode mince entre une source de particules ## de 5,48 MeV (américium 241r, et une diode épaisse à barrière de surface, et en évaluant la perte d'énergie des particules & précitées dans la diode mince, on a évalué, à 4 i près, ltépaisseur des diodes 1 et 2. On obtient alors pôur les diodes 1 et 2, respectivement des épaisseurs de 4,6 + 0,2 , et 7,1 + 0,5 m. les diodes 1 et 2 ont donc les caractéristiques suivantes - épaisseur : celles précitées, - surface : 44,7 et 34,7 mm2 respectivement, - résistivité : 27,0 et 22,2#.cm respectivement. Deuxièmement, avec la même source d'américium 241, on a mesuré le déplacement du pic & enfonction de la tension de pola- risation appliquée à la# diode mince à barrière de surface. Pour les diodes minces 110 1 et 110 2, la position du pic#reste stable quand on élève la tension de polarisation, ce qui traduit le fait que la désertion de la diode est totale et immédiate. Troisièmement, on a déterminé la capacité électrique des diodes 1 et 2, à l'aide d'un pont électronique de mesure de capacité, en fonction de la tension de polarisation. En ce qui concerne la diode n 1, on constate que sa capacité décroît très vite en fonction de la tension de polarisation, pour atteindre une capacité limite voisine de 1000 pF, correspondant sensiblement à la capacité géométrique de la diode 1. Un comportement similaire est observé pour la diode 2. Quatrièmement, on a déterminé les caractéristiques laver ses des diodes 1 et 2. On constate alors que le courant inverse demeure faible, par exemple de l'ordre de 1,1 A A/cm2 à 9 V pour la diode 1. Cinquièmement, au moins pour la diode n 1, on a constaté que le bruit efficace du détecteur décrit rapidement en fonction de la tension de polarisation inverse appliquée, et se stabilise alors à une faible valeur ; ceci traduit un bon fonctionnement du détecteur. Par ailleurs, toujours pour la diode 110 f, on a constaté que le bruit efficace stabilisé (environ 43,5 keV) de la diode correspond sensiblement au bruit thermique calculé (environ 44,3 keV). Sixièmement, conformément à la figure 17, et avec une source d'américium 241, on a tracé le spectre d'énergie de la diode 110 1, avec une tension de polarisation de 9,5 V. La résolution de la diode 110 1, caractérisée par la pleine largeur à mi-hauteur (FWHM) du pic 9~ , est de 179 keV pour la résolution expérimentale, et meilleure que 136-keV pour la résolution corrigée. Pour terminer, on peut récapituler le procédé de fabrication d'un détecteur nucléaire mince selon l'invention,sous la forme du processus opératoire suivant 1) caractéristiques des plaquettes de silicium utilisées substrat 2 : type N+ ; dopé à l'antimoine ; résistivité infé rieure à 0,015 # cm, orientation cristalline 1, 1, 1 ; densité de dislocations inférieure à 5 000/cm3 ; épaisseur 220 + 20 m ; bon état de surface, couche épi : type N ; dopée au phosphore ; sélectionnée pour toxique avoir un film épitaxique de bonne qualité (non percé) ; épaisseur et résistivité choisies en fonction de la tension de polarisation du détec- teur, et de sa tension de claquage, 2) nettoyage chimique préliminaire - laver soigneusement à l'acétone les deux faces de la pla quette, en présence d'agitation ultra-sonique (environ 10 mn), - nettoyer à l'eau désionisée bouillante en présence d'agité tation ultra-sonique (10 mn), - traiter à l'acide fluorhydrique dilué ( ~ 1 N), en agitant régulièrement la solution (15 mn), - rincer 11 échantillon à l'eau désionisée bouillante en présence d'agitation -ultra-sonique (10 mm), - sécher. Cas pa#rticulier le substrat présente généralement une surface d t aspect mat, laissant apparaître un grain très fin. Si, par contre, le substrat est d'aspect huileux, à grains assez gros, un décapage chimique, avant dissolution électrolytique, est indispensable. Dans ce cas, on réalise les opérations suivantes : - protéger la couche épitaxique, et effectuer à la surface du substrat une attaque chimique, avec une solution oxydante ayant la composition suivante : 100 mi HN03 , 50 mi HF , 50 mi CH3 C02 H Vitesse d'attaque (à 250C) : 19 ysmlminute. - réaction effectuée à température ambiante, - assurer une agitation constante de la solution oxydante pen dant l'attaque, - plonger l'échantillon dans la solution oxydante pendant une minute, - arrêter le décapage chimique par dilution avec de l'eau désio nisée (bien diluer le mélange avant de retirer l'échantillon), - laver soigneusement à l'eau désionisée, - sécher. 3) contact électrique anodique en vue de la dissolution élec trolytique - évaporer, à travers un cache convenable, un anneau péri phérique d'aluminium (pureté 99,99 %) sur la surface substrat, - pression : 10 -5 mm Hg - épaisseur minimum 10 pqg/cm2 (@* 400 A0)-. 4) dissolution électrolytique : a) conditions dtélectrolyse : - électrolyte : acide fluorhydrique 1,25 N (43,1' cm3 HF 50 ffi dans 1 000 cm3 de solution), - température : 200C, - agitation mécanique : 500 t/mn (correspondant aux conditions suivantes : 151,5 l de solution dans un bé- cher de 2 1, barreau magnétique de 6 cm de long), - écartement anode-cathode : 2,6 cm, - solution purgée par barbotage dtazote pur (l'arrivée du gaz est placée près d'une paroi du bécher, et centrée sur l'anode et le plus loin possible), - dissolution effectuée à labri de la lumière, b) mode opératoire : - laisser atteindre la température a'équilibre de la cellule d'électrolyse. Si le potentiel de la plaquette de silicium V , en o circuit# ouvert, est inférieur à 150 mV, les conditions dtélectrolyse sont bonnes. Dans le cas contraire, effectuer une pré-attaque électrolytique, en polarisant l'anode à 12 V, pendant une dizaine de minutes. Contrôler ensuite le potentiel anodique en circuit ouvert ; s'il n'est pas inférieur à 150 mV, le traitement avec le mélange oxydant signalé -précédemment, est obligatoire. - commander la dissolution en polarisant l'anode de silicium de telle sorte que la densité du courant d'électrolyse soit de (48 + 10) mA/cm2 ; cette va leur correspond à une tension anodique voisine de (3,2 + 0,6) V. Dans ces conditions,la dissolution dure 5 à 6 heu res. - arrêter 1 t électrolyse lorsque la densité de courant égale 3 à 4 mA/cm2. Cette valeur, déterminée expé rimentalement, est le minimum à atteindre pour as surer une dissolution complète du substrat. -5) lavage intermédiaire - sortir le boîtier étanche (conférer figure 6) de la cel lule d'électrolyse, - le rincer soigneusement à l'eau désionisée, - retirer la plaquette de silicium, et la laver de nouveau à l'eau désionisée, - laisser sécher, à labri de la poussière. 6) décapage chimique doux : Dans toutes les opérations suivantes, la plaquette de si licium ne sera jamais mise en contact direct avec les réci pients. Elle est placée dans une nacelle en téflon, et y sera maintenue jusqu'à la déposition de la résine. a) nettoyage préalable - laver la plaquette de silicium au trichloréthylène, en agitant mécaniquement la solution (15 mn), - traiter si nécessaire à l'acide chlorhydrique con centré, jusqu'à disparition des traces de cuivre qui pourraient etre en surface (environ 24 heures), et rincer à l'eau désionisée, - traiter la plaquette à l'acide fluorhydrique dilué ( ~ 1 N) pendant 15 mn environ ; assurer une agita tion constante. b) attaque chimique lente - pendant le traitement à l'acide fluorhydrique, pré parer la solution oxydante ayant la composition sui vante : - 200 mg RMn 04 (composé modérément oxydant), - 50 mi HF, - 50 mi CH3 C02 H (agent modérateur d'oxydation). Vitesse d'attaque : 0,06, & minute. Mélanger les trois constituants. Agiter pendant 15 minutes (dissolution complète du permanganate). la solu tion oxydante doit etre utilisée fraîchement préparée (moins de trois heures après sa préparation). - après -traitement à 11 acide fluorhydrique, plonger la plaquette dans la solution de permanganate où une bonne agitation est maintenue constante. Teiller à ce que la plaquette reste toujours immer- gée dans la solution. Cette attaque dure 15 minutes pour les plaquettes de faible épaisseur (inférieure à 10 m), ou 20 minutes pour les plaquettes d'épaisseur plus élevée, ou de gran de surface (supérieure à 170 mm2). - arreter la réaction en diluant la solution oxydante par un grand volume d'eau désionisée, - effectuer plusieurs dilutions et décantations suc cessives, sans jamais exposer le silicium à l'air. c) traitement final et lavage final : - traiter la plaquette de silicium-à acide fluorhy drique dilué (# I N) pendant 30 minutes ; assurer une agitation constante, - effectuer plusieurs dilutions et décantations suc cessives, sans jamais exposer le silicium à l'air, - toujours sans retirer la plaquette de la solution diluée, effectuer un lavage, en continu, à l'eau deux fois désionisée, - arreter l'opération lorsque la résistivité de l'eau est supérieure à 2,5 Mn, - retirer la plaquette du bain, - laisser sécher sous une hotte dépoussiérée. - 7) fixation du film mince sur le bloc de support : a) préparation de-la résine : - mélanger la résine époxy et le durcisseur dé type amine (N), dans les proportions 10/1.Bien malaxer les deux constituants, - mettre le mélange quelques instants sous vide pri maire, pour faire disparaltre les bulles d'air qui se forment au moment de la préparation. b) préparation du bloc de support en céramique (lava) - nettoyer la céramique à l'acétone, puis à l'eau dé sionisée, quelques instants, en présence d'agitation ultra-sonique, - sécher à l'air chaud', c) mise en place du film dans la céramique - enduire la céramique avec le mélange de résine N préparé# précédemment (figure 14a), - poser la plaquette (face extérieure épitaxique en contact avec le colle)( figure 1 4b), - recouvrir le substrat du même mélange (figure 14c), - faire déborder légèrement la résine N sur le film, - laisser sécher dans une enceinte, à l'abri de la poussière, dans une atmosphère à 50 ffi dlhumidité re lative, pendant 24 heures. Dans cette enceinte, le pourcentage d'humidité pré cité- correspond à celui de l'air en contact avec une solution saturée de nitrate de calcium[Ca(No3)2 4H20J. - après séchage, déposer un léger congé de résine, de meme type N, côté épitaxique, près du bord de la cé- ramique (figure 14d), - laisser sécher, comme précédemment, dans une atmos phère à 50 % d'humidité relative. 8) évaporations La pièce où ont lieu les évaporations, est maintenue dans une atmosphère à environ 50 % d'humidité relative. a) évaporation de l'or : - évaporer, côté épitaxique, sur le film mince, la résine et la céramique, une couche d2or (figure 15a Pression : 10-5 mmBg Epaisseur : 40 g/cm2 ( ~ 207 ) surfilmde silicium dsépaisseur inférieure à 10 m, 60 g/cm2 (# 310 ) surfilm de silicium d'épaisseur supérieure à 10 m. - après évaporation, faire entrer, dans l'enceinte à vide, de#l'air à environ 50 fo d'humidité relative, - laisser séjourner le film 24 heures dans une atmos phère à 50 % d'humidité, -évaporer, en protégeant le film à l'aide d'un cache convenable, une seconde couche d'or, sur la résine et la céramique (figure 15b), Epaisseur minimum : 60 rg/cm2, - entrée d'air à environ 50 % d'humidité, - stockage dans une atmosphère à 50 % d'humidité, si les évaporations d'aluminium ne sont pas immédiates. b) évaporation de l'aluminium - évaporer, côté substrat, sur le film mince, la résine et la céramique, une couche d'aluminium (figure 15c). Pression : 10-5 -5 mm Hg, Epaisseur : 40 ,'#g/cm2 (1480 A). - après évaporation, faire entrer dans l'enceinte à vide de l'air à environ 50 fo d'humidité relative, - évaporer, en protégeant le film à l'aide d'un cache convenable, une seconde couche d'aluminium, sur la résine et la céramique (figure 15d). épaisseur minimum : 60 Alg/cm2 (2220#A0). - entrée d'air à environ 50 % dthumidité. 9) vieillissement - laisser séjourner le film, au minium une semaine, après la première évaporation Pour, dans une atmosphère à 50 % d'humidité relative, - si le montage du détecteur, dans un boîtier adapté, n'est pas immédiat, le conserver alors dans une atmosphère sè che (enceinte contenant un déshydratant tel que le sili cage I). 10) -Montage mécanique (figure 16). - placer le bloc de support en céramique, sur lequel est fixé le film mince en silicium, dans le corps en plexi glass, en intercalant le cordon ou anneau étamé entre le plexiglass et la face d'aluminium, - monter l'ensemble dans le couvercle de laiton doré, en intercalant le ressort entre le couvercle et la face or, - fixer le montage avec trois vis de serrage, La diode est alors apte à fonctionner. 11) Conservation - pour le stockage, conserver les diodes dans une atmos phère sèche (enceinte contenant du silicage l), - REVENDICATIONS 1.- Procédé d'obtention de films minces en silicium de type N, selon lequel on accomplit un cycle opératoire comprenant au moins les opérations suivantes : - a) on utilise une plaquette de silicium comprenant un substrat monocristallin de type N , relativement épais, et une couche épitaxique de type N, relativement mince, b) on procède à une dissolution électrolytique du substrat de la plaquette, en présence d'un électrolyte aqueux comprenant des ions fluorure, dans les conditions opératoires suivan tes :: b.1) la plaquette de silicium est polarisée électriquement et positivement, b.2) au moins une partie de la face extérieure du substrat est mise en contact avec ltélectrolyte, tandis que la face extérieure de la couche épitaxique est protégée contre toute mise en contact avec ledit électrolyte, b.3) une section d'attaque électrolytique, située au centre de la face extérieure du substrat, est mise en contact avec l'électrolyte, tandis que la partie restante de ladite face extérieure du substrat, extérieure à ladite section d'attaque électrolytique, est protégée contre toute mise en contact avec ledit électrolyte, b.4) l'état d'avancement de la dissolution électrolytique est contrôlé par référence au courant d'électrolyse, et on arrête ladite dissolution électrolytique, à par tir du moment où ledit courant diminue, ledit cycle opératoire étant caractérisé en ce que : 1) pour la dissolution électrolytique, le potentiel anodique de la plaquette de silicium, par rapport à une électrode de ré férence, est maintenu constant et choisi en fonction des spé eifications suivantes : 1.1) il-est inférieur au potentiel de début dtélectropolis- sage, correspondant au maximum de la courbe représen tant l'intensité du courant d'électrolyse en fonction du potentiel anodique par rappor#t à l'électrode de ré férence, 1.2) il est tel qu'à la fin de la dissolution électrolytique, la section de la face intérieure de la couche épitaxi que, en eorrespondance avec la section d'attaque élec trolytique, a un aspect mat, 2) après la dissolution électrolytique, on procède à un décapage chimique doux de la plaquette de silicium, comprenant au moins 2.1) une attaque chimique lente de la plaquette de silicium, avec une solution oxydante comprenant au moins un com posé modérément oxydant, de l'acide fluorhydrique, et un agent modérateur d'oxydation, pendant laquelle ladi te plaquette est protégée contre toute mise en contact avec l'air, 2.2) un lavage. de la plaquette de silicium attaquée chimi quement, avec de lteau désionisée, pendant lequel ladi te plaquette est protégée contre toute mise en contact avec l'air. 2.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que, pour la dissolution électrolytique, le potentiel anodique de la plaquette de silicium est supérieur au potentiel limite, à partir duquel le logarithme de l'intensité du courant d'électrolyse ne varie plus approximativement linéairement en fonction dudit potentiel anodique par rapport à l'électrode de référence, 3.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que au moins la partie finale de la dissolution électrolytique est effectuée dans l'obscurité. -4.- Procédé selon la revendication 1, selon lequel la dissolution électrolytique est effectuée avec un boîtier démontable de support, en matériau chimiquement inattaquable au cours de l'électrolyse, destiné à la réception de la plaquette de silicium, ledit boîtier comprenant - un couvercle comprenant, d'une part un perçage central et transversal, débouchant sur la face interne dudit couvercle selon une ouverture interne ayant une section droite identi que à la section d'attaque électrolytique de la plaquette de silicium, et d'autre part un évidement continu périphérique, creusé autour de l'ouverture interne, destiné à la réception d'un joint intérieur d'étanchéité, - un corps comprenant sur sa face interne; d'une part un évide ment intérieur continu, de dimen#sions radiales supérieures à celles de l'ouverture interne du couvercle, destiné à la ré- ception de la plaquette de silicium, et d'autre part un évide ment extérieur continu, de dimensions radiales supérieures à celles de ltévidement intérieur, destiné à la réception d'un joint extérieur d'étanchéité, - une connexion électrique de la plaquette de silicium avec l'extérieur du boîtier de support, caractérisé en ce que 1) préalablement à la dissolution électrolytique, un dépôt péri phérique métallique de contact électrique, de dimensions ra diales supérieures à celles de ltévidement continu périphéri que du couvercle, est déposé sur la face extérieure du subs trat, à la périphérie et autour de la section d'attaque é lectrolytique, 2) dans le boîtier de support, la connexion électrique précitée est établie par l'intermédiaire d'un ressort métallique de contact électr#ique, de dimensions radiales identiques à cel les dudit dépôt périphérique métallique, pressé entre ce der nier et le couvercle. 5.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la plaquette de silicium utilisée comprend une couche épitaxique miscroscopîquement continue. 6.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que, d'un cycle opératoire à un autre, la normalité en ions fluorure de liélectrolyte est maintenue constante à + 0,05 N. 7.- Procédé selon la revendication 1, selon lequel, pendant la dissolution électrolytique, l'électrolyte est constamment agité, caractérisé en ce que, d'une part l'agitation de l'électrolyte est effectuée essentiellement par voie mécanique, et d'autre part, pendant la dissolution électrolytique, et d'un cycle opératoire à un autre, la puissance mécanique injectée dans l'électrolyte est maintenue constante. 8.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la dissolution électrolytique est arrêtée lorsque lé courant d'électrolyse atteint le niveau inférieur de la courbe représentant ltintensité du courant drélectrolyse en fonction du temps. 9.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que 11 attaque chimique lente de la plaquette de silicium est arrê- tée par dilution, en ajoutant un volume d'eau important à la solution oxydante. 10.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que, avant l'attaque chimique lente de la plaquette de silicium, on effectue un nettoyage de cette dernière, permettant d'éliminer les poussières, les graisses, les matières ioniques, notamment les ions métalliques, ce nettoyage comprenant un traitement de ladite plaquette avec de l'acide fluorhydrique dilué. 11.- Procédé d'obtention de diodes minces à barrière de surface, selon lequel : a) on utilise des films minces en matériau semi-conducteur mono cristallin de type N, notamment les plaquettes de silicium obtenues conformément à la revendication 1, lesdites plaquet tes comprenant une couronne périphérique du substrat de type N , relativement épaisse, et un film de la couche épitaxique de type N, relativement mince, supporté par ladite couronne périphérique, dont la face intérieure, du côté de ladite cou ronne périphérique, est bordée par cette dernière, b) on dépose sur l'une des faces du film mince, dite face de contact redresseur, notamment la face extérieure de la pla quette de silicium obtenue conformément à la revendication 1, au moins une couche métallique assurant avec ledit film mince un contact électrique redresseur, c'est-à-dire une couche d'un métal, par exemple or, susceptible de former une bar rière de Schottky avec ledit film mince, c) on dépose sur l'autre face du film mi#nce, dite face de con tact ohmique, notamment la face intérieure de la plaquette de silicium obtenue conformément à la revendication 1, au moins une couche métallique assurant avec ledit film mince un con tact électrique ohmique, ledit procédé étant caractérisé--en ce que, préalablement au dépôt des couches métalliques de contact redresseur et de contact ohmi- que, on fixe le film mince sur un bloc de support, comprenant un trou central, avec une résine de type N, selon les modalités opératoires suivantes : : 1) le film mince est disposé sur le bloc de support, de manière à recouvrir le trou central, et un joint de la résine de type N assure un premier raccordement entre le bord supérieur dudit trou central et la face de contact redresseur du fils mince, 2) un congé de la résine de type N est déposé le long de la bor dure du trou central du bloc de support, de manière à assurer un second raccordement entre le bord inférieur dudit trou cen tral et la face de contact redresseur du film mince. 12.- Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce que la partie de la face opposée à la face de contact redresseur, en correspondance avec la partie pleine du bloc de support, est reeouverte avec la résine de type N, en faisant légèrement déborder cette dernière sur l'autre partie de ladite face opposée, en cor respondance avec la partie creuse du bloc de support. 13.- Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce que, au moins l'un quelconque des dépôts suivants, à savoir celui de la couche métallique de contact redresseur et celui de la couche métallique de contact ohmique, est effectué en au moins 1) une première étape, pendant laquelle on dépose une première couche-métallique sur la face appropriée de l'ensemble blôc de supportlfilm mince, 2) une dernière étape, pendant laquelle on dépose une dernière couche métallique, uniquement sur la partie de la même face de l'ensemblebloc de support/film mince, en correspondance avec la partie pleine dudit bIoc-de-support#. 14.- Détecteur de particules, à barrière de surface, carac térisé en ce qu'il comprend 1) un bloc de support, comprenant un trou central dont la sec tion droite est au moins égale à l'aire de détection du dé tecteur, sur lequel est disposé un film mince d'un semi conducteur monocristallin de type N, obturant le trou central, et recouvert d1un côté par au moins une-eouche métallique de contact redresseur, et de l'autre côté par au moins une cou che métallique de contact ohmique, 2) un corps comprenant un perçage central et transversal, dont la plus petite section droite a des dimensions radiales au moins égales à celles de l'aire de détection, 3) un couvercle métallique, 4) une connexion électrique entre le contact ohmique du bloc de support et liextérieur du détecteur, comprenant un cordon métallique continu de contact électrique, 5) une connexion électrique entre le contact redresseur du bloc de support et l'extérieur du détecteur, comprenant un ressort métallique de contact électrique, 6) un moyen de solidarisation transversale des éléments préci tés, dans l'ordre suivant, à savoir ledit corps, ledit cor d-on métallique, ledit bloc de support, ledit ressort métal lique, et ledit couvercle métallique.