Brevet FR2341944A1 — publié le 19770916

La présente invention concerne un procédé d'obtention d'un circuit intégré de type planaire comprenant au moins un niveau de connexions et coiportant, sur une face active d'une plaquette semiconductrice, au moins un premier lit en un premier matériau isolant dans lequel, au cours du procédé est ouverte au moins fenêtre nécessaire à la formation et à la prise de contact de. éléments actifs et passifs dit circuit intégré. La présente invention concerne également les produits fabriqués par ce procédé. On sait que la réalisation de circuits intégrés comporte la fabrication, dans une région semiconductrice d "n type de conduction donné, d1ilets de type de conduction identique ou opposé. Ces flots sont obtenus par diffusion ou implantation d'impuretés appropriées, à partir de la surface d'une plaquette portant ladite région semiconductrice, à travers des ouvertures pratiquées dans un lit isolant recourrant ladite surface. Les flots sent souvent imbriqués les uns dans les autres de telle sorte que, pour obtenir de ben résultats, il est indispensable que les ouvertures pratiquées dans l'isolant pour les diverses opérations, soient situées avec précision; ceci implique une parfaite maîtrise des problèmes de gravure et des problèmes corollaires tels que l'étanchéité des lits isolants, la sous-gravure notamment. Les ouvertures ainsi pratiquées soit ultérieurement cos- blées par des nappes d'une pellicule conductrice déposée, constituait un contact entre la région sous-jacente et d'autres plages métalliques éventuellement disposées sur l'isolant. Ces opérations entraînent la formation, à la périphérie desdites ouvertures, de dénivellations en forme de marches. Compte tenu du nombre de fonctions remplies par les dispositifs semiconducteurs utilisant des circuits intégrés, ceux- ci comportent de Multiples connexions, et une structure de connexions à plusieurs niveaux s'avère souvent nécessaire: une pre l'ère configuration de conducteurs est réalisée, un niveau lit isolant est déposé et des fenêtres y sont ouvertes aux emplacements voulus, puis une seconde configuration de conducteurs est réalisée. Dans le cas d'une telle structure b plusieurs niveaux de connexions, connue sous le nom de multicouche, un alignement des photogravures successives reste toujours difficile è obtenir. et, les traitements successifs nécessaires provoquent des dénivellations nombreuses et importantes dans chaque lit isolant; ces dénivellations forment des marches qui provoquent dans les lits qui les recouvrent l'apparition de pointa faibles et d'amin- crissements qui sont des amorces de rupture, la rupture complète pouvant être le fait d'un traitement mécanique, chimique, électrique ou thermique ultérieur. Dans le but d'éliminer ce type de dénivellations, on a proposé, dans le brevet français J 2 162 657, d'une part, de créer sur un premier lit d'oxyde de silicium dopé par voie thernique et présentant des ouvertures, un second lit d'oxyde de si- licium obtenu par un procédé pyrolitique et sur lequel on crée ensuite un masque photorésistant à travers les ouvertures duquel on attaque ledit second lit et, d'autre part, de déposer une pellicule métallique et d'éliminer le masque et le métal qu'il supporte. L'application de ce procédé conduit toutefois L des mécomptes car il est difficile d'éliminer le second lit d'oxyde sans éliminer une partie du premier. La présente invention a pour but de remédier à ces inconvénients. En effet, la présente invention concerne un procédé d'obtention d'un circuit intégré de type planaire comprenant au moins un niveau de connexion et comportant, sur une face active de la plaquette semiconductrice, au moins an premier lit en un premier matériau isolant dans lequel, au cours di procédé, est ouverte au moins une fenêtre destinée à la formation et è la prise de contact dos éléments actifs et passifs dudit circuit intégré, remarquable principalement en ce que l'on recouvre ledit premier lit d'un lit intermédiaire de protection, on us deuxième matériau isolant, dans lequel est ouverte une lumière sensiblement en regard de l'emplacement de ladite fenStre, en ce que, ultérieurement on dépose un troisième lit en ne substance isolante différente avait deuxième matériau et susceptible entre attaquée par un mordant restant inactif vis-à-vis audit deuxième matériau, en ce que, au moyen d'un masque et dudit mordant, on crée dans ledit troisième lit, au moins une ouverture dont le contour laisse libre, au moins sur ure partie de la périphérie de ladite lumière, use plage dudit deuxième matériau, après quoi on dépose sur l'ensemble de la plaquette me pellicule métallique et, par élimina- tion dudit masque, on enlève les nappes de ladite pellicule métal- lique reposant sur celui-ci. Ce procédé permet de maintenir le premier lit et le lit intermédiaire è une épaisseur constante et connue en évitant une attaque superficielle de ceux-ci. Il est ainsi possible d'obtenir une bonne planéité de la surface extérieure du dispositif et d'éviter les dénivellations, donc, de ce fait, les ruptures possibles de nappes de connexions.En outre, la superposition de deux lits isolant. différents usure un isolement parfait entre la pellicule métallique et la plaquette du fait que la probabilité de coinci- dence des défauts d'isolement possibles de l'un et de l'atre lit, est pratiquement nulle. Ceci permet de donner b ce. lits des épaisseurs relativement très faibles. Pans ne première forme de lise en oeuvre de procédé selon l'invention, on ouvre la entre dans le premier lit avant de déposer le lit intermédiaire et, préférentiellement, on effectue le dépôt dudit lit intermédiaire de protection de manière telle que celui-ci recouvre bien la paroi latérale intérieure de ladite feaStre et ne présente pu de solution de continuité sur le pourtour de cette entre, puis on ouvre ladite lumière dans le lit intermédiaire en laissant subsister de ce dernier au soins la partie protégeant ladite paroi latérale et une marge périphérique débordant b l'intérieur de la entre ainsi que toute la partie protégeant la surface du premier lit. Cette forme de mise an oeuvre permet de protéger la paroi latérale de la entre pratiquée dans le premier lit et d'éviter une sous-gravure et permet également de laisser déborder le lit intermédiaire dans I' oirverture pratiquée dans le premier lit pour protéger les jonctions affleurant souvent sous cette ouverture. Dans ui dispositif semiconducteur, la qualité de l'isole- ment on surface dépend non seulement de l'épaisseur nais aussi de la qualité du premier lit isolant déposé è la surface de la plaquette. La qualité de ce lit est tributaire de la succession des traitements chimiques qu'il subit, notamment lors des gravures des dépôts effectués à sa surface0 Dans cette forme de lise en oeuvre, le lit intermédiaire de protection enveloppe totalement le premier lit et le met B l'abri des agents chimiques utilisés lors des opérations ultérieures. Cet avantage concourt ainsi k faciliter la réalisation de lits sensiblement plans sans dénivel- lations importantes et concourt, de plus, k améliorer la stabilité électrique des dispositifs. Dans une seconde forme de mise on oeuvre du procédé selon l'invention, on dépose le lit intermédiaire avant d'ouvrir la fenêtre dans le premier lit, et l'ouverture de la luvibre dans le lit intermédiaire de protection et celle de la entre dans le premier lit sont réalisées successivement, le lit intermédiaire de protection pouvant Stre utilisé coule masque pour l'attaque dudit premier lit. Cette solution est utilisable lorsque la lumière et la entre à graver débouchent sur me région résistant aux moyens de gravure, agents chimiques, de photogravure ou autre. Cette solution peut autre appliquée lorsque la lumière et la fenêtre sont utilisées comme passage de diffusion ou d'implantation dans la plaquette semiconductrice, d'îlots devant être parfaitement alignés, par rapport k ladite lumière et b ladite entre, ce qui est le cas par exemple pour les dispositifs à haute fré- quence à structure interdigitée et chaque fois que les flots sont très étroits et très proches les uns des autres. Il va de soi que, dans les deux formes de mise en oeuvre décrites ci-dessus, il est possible et souvent avantageux d'effectuer une implantation d'ions à travers le premier lit et/ou le dit intermédiaire, dans le but de réaliser un îlot ou une couche implantée superficielle. L'opération d'implantation intervient k un stade ou à un autre du procédé selon la profondeur et l'étendue de l'implant b réaliser. Un but particulier du procédé selon l'invention étant de réaliser des dispositifs dits multicouches, il est préférable de déposer une pellicule métallique d'épaisseur sensiblement égale à celle du troisième lit de façon à obtenir une surface résultante sensiblement plane. Avantageusement, le troisième lit isolant, qui sert de support dans la formation, par polage, des nappes métalliques localisées (procédé connu dans la littérature anglo-saxonne sous le nom de "lift-off") a une épaissi relativement importante. Ceci d'une part facilite la séparation des nappes de la pellicule métallique, d'autre part, permet k ce troisième lit d'ttre relativement moins endommagé par l'agent chimique utilisé pour le polage. fln outre, la pellicule métallique b partir de laquelle sent formées lesdites nappes deit avoir wne épaisseur forte pour assurer des liaisons électriques de résistance superficielle (résistance par carré unitaire) minimale. Au contraire, l'épaisseur du premier lit et celle du lit intermédiaire de protection doivent rester faibles pour réduire les dénivellations à la périphérie des ouvertures. Généralement, sur la plaquette de silicium le premier et le troisième lits sont en dioxyde de silicium et le lit intermédiaire de protection est par exeple en nitrure de sili- cium ou a oxyde de titane ou en alumine. Dans les différents cas, le tordant utilisé pour la création de l' ouverture dans le troisième lit est avantageuse- ment constitué d'un mélange connu d'acide fluorhydrique et de fluorure d'ammonium qui attaque la silice SiO2 sans détériorer le lit intermédiaire de protection0 Le choix do. différent. matériaux utilisés pour les différents lits est fait en fonction de leur résistance ou de leur non résistance aux agents de gravure et aussi de leur compa tibilité et de leurs qualités d'adhérence mutuelle. De plus, employés en association avec certaines pellicules métalliques telles que l'aluminium, ils peuvent contribuer k l'amélioration de planéité desdites pellicules métalliques. C'est notamment le cas du nitrure de silicium qui peut servir de tampon k certapines contraintes et éviter la formation de protubérances. Il va de soi que la réalisation des différentes ouvertures, des lumières et des fenêtres, pratiquées dans les différents lits, peut Stre obtenue par la technique de gravure dans un plasma gueux, technique permettant notamment certaines gravures sélectives et assurant une bonne définition et une précision dans les dimensions et l'emplacement des ouvertures, lumières et fenêtres. Dans une première forme de réalisation, le nuque déposé aur le troisième lit isolant est obtenu á partir dune laque photosensible et la pellicule métallique déposée par la suite est, do préférence, de l'aluminium pur ou allié. Dans une seconde forme de réalisation, le nuque déposé sur le troisième lit est obtenu dans un film d'aluminium et la pellicule métallique déposée par la suite comporte successivement, en lits superposés, du titane, du platine, de l'or et du tungstène. Utilisé comme masque de pelage un film d'aluminium présente l'avantage d'apporter une meilleure définttien des contours des nappes à créer sur le dispositif semiconducteur. Par ailleurs, les composants de la pellicule métallique, choisis pour leurs qualités d'adhérence et de conductibilité électrique permettent d'obtenir une bonne qualité de prises de contact, notamment sur des régions de type P fortement dopées. L'interpo- sition d'une pellicule de siliciure de platine utilisée comme sous- couche sur une région de type P faiblement dopée améliore égale- ment la qualité du contact électrique. Avantageusement, on recouvre le reliquat du troisième lit et de la pellicule métallique d'un nouveau lit isolant, de préférence en oxyde de silicium. Ceci fait partie des opérations de finition des dis- positifs semiconducteurs, pour protéger l'ensemble de la sur face desdits dispositifs ou pour réaliser éventuellement de nouvelles configurations conductrices. Es effet, l'invention concerne également le procédé de réalisation d'un circuit intégré comprenant mi moins deux niveaux de connexions, remarquable principalement en ce que le reliquat des différents lits et celui de la première pellicule métallique constituant un premier niveau de connexions, sont recouverts d'un quatrième lit en un matériau isolant et d'un cinquième lit en un matériau différent du précédent, dans le8- quels, au moyen d'au moins un deuxième masque, on ouvre des fe- nitres au moins aux emplacements de contact prévus entre ledit premier niveau et un second niveau, en ce que l'on dépose sur l'ensemble de la plaquette un sixième lit en une substance isolante différente du matériau du cinquième lit et susceptible d'être attaquée par un agent inactif vis-à-vis dudit cinquième lit, en ce que, su moyen d'un troisième masque et dudit agent, on crée dans ce sixième lit une ouverture dont le contour laisse libre au moins une plage desdits emplacements de contact prévus, on ce que l'on dépose sur l'ensemble de la plaquette une seconde pellicule métallique après paroi, par élimination dudit troisième mas- que, on enlève les nappes de ladite seconde pellicule métallique qui reposent sur ce dernier. De préférence le quatrième et le sixième lit sont en oxyde de silicium alors que le cinquième lit est par exemple en nitrure de silicium ou en oxyde de titane ou en aluminium. Par ailleurs la seconde pellicule métallique formant le second niveau de connexions est constituée de même matériau que la première pellicule métallique formant le premier niveau de connexions. Avantageusement le sixième lit, qui sert do support dans la formation, par pelage, des nappes de la seconde pelll- cule métallique, est prévu relativement épais pour mieux résister aux agents de décapage et pour faciliter la séparation desdites nappes. Il en est de même de cette seconde pellicule dont les nappes doivent assurer des liaisons électriques de résistance par carré minimale.En outre, l'épaisseur de l'ensemble des quatrième et cinquième lits doit être suffisante pour assurer la tension d'isolement nécessaire entre loi doux niveaux de ca- pesions et ne pas créer de capacités parasites trop importantes. Il est b noter que, par la superposition du quatrième et du cinquième lit, on assure un très bon isolement, la probabilité de coïncidence des défauts de l'un et l'antre lit étant en effet pratiquement nulle. Pour éviter une sous-gravure, lors de l'ouverture des fenêtres dans le quatrième et le cinquième lit, il peut Stre avantageux d'ouvrir les fenêtres dans le quatrième lit avant de déposer le cinquième, celui-ci recouvrant alors la paroi interne de l'embrasure de ces tres, et les lumières ouvertes dans le cinquième lit laissant subsister de ce dernier ne marge péri- phérique à l'intérieur desdites fenêtres. Bien que la dénivellation provoquée par les fenStres ouvertes dans le quatrième et le cinquième lits soit peu marquée, du fait de la faible épaisseur qui est suffisante pour assurer l'isolement, il peut Stre nécessaire dans certains cas, d'obtenir une meilleure planéité du second niveau de connexion et éventuel- liement des autres niveaux supplémentaires, le procédé selon l'invention étant applicable dans le cas de trois niveaux de connexions ou davantage. Suivant; une variante de mise en oeuvre du procédé selon l'invention, assurant une très bonne planéité des niveaux de con flexions successifs, les reliquats du troisième lit et celui de la première pellicule métallique constituant un premier niveau de connexion, sont recouverts d'un quatrième lit en matériau iso lant et d'un cinquième lit en un matériau différent du précédent, dans lesquels, au moyen d'un deuxième masque, on ouvre des fenê- tres au moins aux emplacements de contact prévus entre ledit premier niveau et un second niveau.On dépose sur ltenseable de la plaquette une deuxième pellicule métallique et on élimine ledit deuxième masque et les nappes de ladite deuxième pellicule métalli- que reposant sur celui-ci, en ce que l'on dépose sur l'ensemble de la plaquette un sixième lit en une substance isolante di- férente du matériau du cinquième lit et susceptible entre attaquée par un agent inactif vis-à-vis dudit cinquième lit et de la deuxième pellicule métallique, en ce que, au moyen d'un troisième masque et dudit agent, on crée dans ce sixième lit une ouverture dont le contour laisse libre an moins une plage du reliquat de ladite deuxième pellicule métallique, en ce que l'on dépose sur l'ensemble de la plaquette une troisième pellicule métallique après quoi, par élimination dudit troisième masque, on enlève les nappes de ladite troisième pellicule métallique qui reposent sur ce dernier. De préférence, les deuxième et troisième pellicules métalliques formant le second niveau de connexions sont cons- titubées du même matériau que la première pellicule métallique formant le premier niveau de connexions. Avantageusement, l'épaisseur du sixième lit ,qui sert de support dans la formation, par pelage des nappes de la troisième pellicule métallique, est pour des raisons de résistance aux agents de décapage et pour faciliter la séparation des nappes de ladite troisième pellicule métallique, relativement importante. n en est de même de l'épaisseur de cette troisième pellicule dont les nappes doivent assurer des liaisons électriques de résistance par carré minimale La description qui va suivre en regard des dessins annexés fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. Les figures la à li représentent, en coupe partielle et schématique, diverses étapes de réalisation d'un dispositif simple par le procédé selon l'invention. La figure 2 est une vue de dessus d'un même dispositif dent la figure 3 illustre schématiquement une coupe selon la ligne III-III de la figure 2. Les figures 4a à 4n représentent en coupes partielles et schématiques, diverses étapes de la réalisation d'un dispositif semi-conducteur dit multicouches par le procédé selon l'invention. Les figures 5i à 5n représentent en coupes partielles et schématiques différentes étapes de la réalisation d'un autre dispositif multicouches dans une variante de mise en oeuvre du procédé selon l'invention. Il est à noter que, sur les figures, les dimensions sont considérablement exagérées et non proportionnées, ceci afin de rendre les dessins plus clairs. Conformément aux figures 1, 2 et 3, un dispositif semi-conducteur faisant l'objet de la présente invention est constitué d'une plaquette comportant une pluralité de régions de types de conduction et de concentrations différents. Dans le cas desdites figures, on a choisi une plaquette substrat 1 de silicium monocristallin, de type N par exemple (fig. 1a) dans lequel on a créé par diffusion la région 2 de type de conduction oposé P (fig. 1b). Conformément à l'invention, cette plaquette 1 est recouverte d'un premier lit 3 en un matériau isolant, oxyde de silicium SiO2 par exemple, de quelques centaines d'angströms d'épaisseur et dans lequel on a pratiqué deux ouvertures de fenêtres 4 et 5 qui découvrent une portion de la surface de la région 2 (fig. 1c). Sur ce premier lit 3, sur la tranche 3a dudit lit 3 et sur la périphérie 4a et 5a des ouvertures 4 et 5, en a déposé un deuxième lit isolant 6 à partir d'une couche uniforme dans laquelle ont été ouvertes des lumières sensiblement en regard des fenêtres 4 et 5 (fig. 1d). L'épaisseur de ce lit 6, cité dans ce mémoire sous le nom de lit intermédiaire de protection, est sensiblement du même ordre de grandeur que celle du premier lit 3. Par ailleurs, ce lit intermédiaire 6 est constitué avantageusementde nitrire de silicium , SI3 N4, et conformément à l'invention, ce lit 6 a pour but de protéger ledit premier lit 3 de tous les agents atmosphériques ou chimiques environnants susceptible de le polluer ou de l'attaquer. Dans l'exemple de lise en oeuvre choisi, on a diffusé des impuretés de type N par exemple par les feabtres 4 et 5 pour obtenir les fileta 7 et 8 (fig. le).Il va de soi que lesdits ilSts 7 et 8 peuvent être créés à un stade antérieur de la fabrica tison, Sur le lit intermédiaire 6, ainsi que dans les fenFtres 4 et 5, est ensuite déposé un troisième lit isolant 9 on une substance isolante différente de celle constituant le deuxième lit et susceptible d'8tre attaquée par un mordant restant inactif vis-à-vis de la substance du deuxième lit; ce lit 9 est avantageusement constitué d'oxyde de silicium. Contrairement aux lits précédents 3 et 6, l'épais- seur dudit lit 9 est importante et peut entre de l'ordre de lu. Ce lit 9 est recouvert d'une couche d'aluminium 10 (fig. lf) que l'on photograve pour pouvoir attaquer le lit sous-jacent 9 suivant une configuration choisie, par exemple pour creuser l'ouverture 11 laissant réapparaître 4 et 5 et une portion du lit intermédiaire 6 (fig. lg). La couche d'aluminium 10 constitue un masque obtenu par des moyens classiques, k savoir un masquage par une laque photosensible polymérisée localement et attaquée k l'aide d'un révélateur et attaque de 1' aluminium, par exemple k l'aide d'une solution k base d'acide phosphorique PO4H3 d'acide nitrique NO3H et d'acide acétique CH3COOH, portés à 55^C. Lelit 9 sous-jacent est attaqué sélectivement k l'aide d'une solution d'acide fluorhydrique FH et de flourure d'ammoniu FNH4, qui reste inactive visà-vis du lit intermédiaire 6 protégeant le premier lit 3. Â la suite de la dereibre photogravure, on dépose la pellicule métallique 12 constituée de Ti, Pt, Au et W par exemple. Cette pellicule métallique 12 se trouve divisée en doux portions 12a et 12b, l'une sur le reliquat du masque 10 d'aluminium l'autre dans la fenêtre 11 (fig. 1h). 3a attaquant le reliquat d'aliminium du masque 10, on obtient la structure illustrée par la figure li. Cette structure permet d'obtenir des configurations de connexion comportant des motifs plus ou moins complexes. Par exemple selon les vues partielles des figures 2 et 3, simultané- ment k la formation de la pellicule métallique 12b, on a réalisé la pellicule métallique 13 également en Ti, Pt, Au, V. Il ra de soi que d'autres formes de mises en oeuvre peuvent tre utilisées pour réaliser de telles structures0 Il est possible notamment de créer les ilôts 7 et 8 par implantation ionique k travers l'un des premiers lits 3 et 6 ou k travers les deux et d'ouvrir les fenêtres 4 et 5 après cette opération, un même masque en laque photosensible pouvant servir k 1' implantation localisée desdits ilôts et k l'ouverture desdites fenêtres. n est également possible d'utiliser une laque photosensible pour former le masque 10 et de l'aluminium pur ou allié pour former la couche 12. Be même l'attaque du reliquat d 'aluminium peut être obtenue k partir d'une solution k bases de chlorure de fer FeCI3 et d'acide clorhidrique ClH. Les figures 4a k 4n illustrent différentes étapes de réalisation d'un dispositif semi-conducteur communément appelé "multicoches". comportant deux niveaux de connection. Conformément k ces figures, on part d'un substrat 21, de silicium mono- cristallin de type X par exemple (fig. 4a) dans lequel on crée des régiens 22 et 23 de type P (fig.4b) et ensuite un ilôt 24 de type N (fig. 4c). Suivant le procédé selon l'invention, la surface du substrat 21 est recouverte d'un premier lit isolant 25, en oxyde de silicium SiO2 par exemple, dans lequel sont ouvertes les fenêtres 26 et 27 (fig. 4d). L'épaisseur de ce premier lit 25 est sensiblement égal k 1000 Â Co premier lit isolant 25 est recouvert d'un deuxième lit 28 dit lit intermédiaire de protection en nitrure de silicium Si3N4 dans lequel après dépôt sent ouvertes des lumières sensiblement en regard des fenêtres 26 et 27 (fig. 4e). Conformément k la figure 4f, l'ensemble de la surface est recouvert d'un troisième lit isolant 29 de SiO, puis d'une laque photosensible 30. Celle-ci est utilisee pour le mastuage et la photogravure dudit lit 29 dans lequel on crée, par exemple, un évidement 31 en regard de l'ilôt 24, des fenêtres 26 et 27, et d'une portion du lit intermédiaire 28 (fig. 4g). Suivant le procédé selon l'invention et avant d'enlever le reliquat de laque 29, on dépose une pellicule métallique d'aluminium 32 qui se divise en deux portions l'une 32a aur le reliquat de laque de la couche 29, l'autre 32b dans l'évidement 31 (figure 4a). L'élimination du reliquat de laque 29 provoque la disparition de la portion d'aluminium 32a. On obtient alors un premier niveau d'interconnexions du dispositif multicouches comportant trois lit isolants 25, 28 et 29 et une connexion métallique 32b. SQr l'ensemble est ensuite déposé un nouveau lit isolant 33 en oxyde de silicium SiO2 suivi d'un lit intermé- diapre de protection 34 en nitrure de silicium Si3N4. Ce lit correctement gravé à l'aide d'un masque de laque photosensible par exemple, peut être lui-même utilisé comme masque pour l'attaque localisée du lit sous-jacent 33. La gravure du lit 34 et du lit 33 permet d'obtenir notamment un évidement 36 représenté sur la figure 4i. Il est k noter que la gravure du lit 33 k l'aide du masque formé dans le lit 34 ne peut être opérée de cette manière que dans la mesure où les dimensions de l'évidement 36 permettent de creuser ce dernier au-dessus d'un matériau inattaquable par agent de gravure, c'est-à-dire dans l'exemple décrit, au- dessus de l'aluminium de ilôt 32b. En variante il est possible d'ouvrir l'évidement 36 dans le lit 33 et de déposer ensuite le lit 34 dans lequel est ouvert une lumière sensiblement su regard de l'evidement 36.Le masque de laque 35 qui a servi k la gravure du lit 34 est laissé en place. Puis par une méthode identique à celle déjk utilisée pour former l'ilôt on dépose une pellicule métallique 32b, qui remplit l'évidement 36 d'un pilot d'aluminium 37 connu par les spécialistes sous le nom de "via" On raison de son utilisation pour mettre en liaison électrique des couches métali- ques conductrices séparées par au moins une couche isolante. Par élimination de la couche de laque 35 ayant servi en premier lieu k la gravure au moins du lit 33, puis de support k la pellicule d'aluminium nécessaire k la formation du via 37, on obtient la structure représentée par la figure 42. Le lit intermédiaire 34 et l'ilôt 37, sont recouverts successivement d'un lit isolant 38 en silice SiO2 et d'un photo sacque constitué k partir d'une couche de laque photesensible 39 (fig. 4k), on photograve le lit 38 à l'aide du masque 39 pour créer un évidment 40 (fig. 41). Peur éviter ne attaqua des lits sous-jacents de nitrure de silicium ou d'aluminium, en particulier des lit s 34 et 37, en utilise avantageusement un procédé de gravure par la technique de plasma gazeux, par exemple à l'aide d'un gas d'attaque sélective tel que le gaz fourni par le firme I.P.C. sous le nom commercial de gaz A. L'évidement 40 jet b nu la surface de l'ilt 37 et une portion de la surface du lit intermédiaire 34. Âpres la gravure sélective du lit 38, k l'aide du masque 39, on recouvre celui-ci d'une pellicule d'aluminium qui forme une nappe 41a et, simultanément, rempli la fenêtre 40 d'une nappe 41b du même matériau. La nappe 41b se trouve alors en contact avec l'ilôt 32b par l'intermédiaire du via 37, l'ilôt 32b et le via 37 étant également on aluminium. On a ainsi la structure illustrée par la figure 41 et après élimination de la couche de laque 39, qui entraîne avec elle la portion 4la d'aluminium qui la recouvre, en est conduit à la dernière étape de réalisation illustrée par la figure 4n Avec cette structure, par le procédé selon l'inven- tion on a obtenu, sans dénivellations importantes, un dispositif multicouches comportant deux niveau: de connexions 32b et 41b reliés par un vis dans cet exemple l'îlot 24 et l'îlOt 23 re lié. entre six par la connexion 32b se trouvent on contact élec- trique également avec la connexion 41b par l'intermédiaire de l'ilôt 37. Selon une variante du procédé décrit ci-dessus représen tée on regard des figures Si k Sn, on peut se dispenser de déposer la pellicule métallique de remplissage de l'évidement 36, supprimant ainsi l'ilôt 37. Selon cette variante, on crée an quatrième lit 133 (fis. 5i) correpondant au lit 33 de la figure 4i mais qui peut être beaucoup plus mince, puis on dépose un lit intermédiaire de protection 134, et dans ces lits, grâce b un masque formé dans une couche de laque 135, on ouvre une lumière 137. Puis la couche de laque 135 est éliminée (fig. 5j) le lit intermédiaire 134 et les parties apparentes de la portion de pellicule métallique 32b sont recouvertes successivement d'un lit isolant 138 en silice SiO2 et d'un photomasque 139 (fig. 5k).Ledit lit 138 est gravé comme le lit 38 de la figure 4k pour créer un évidement 140 (fig. 51), mais dans ce cas, la gravure peut être effectuée par un moyen classique de décapage chimique avec une solution à base d'acide fluorhydrique et du fluorure d'ammonium, les infiltrations de l'agent de décapage n'étant généralement plus à craindre. L'évidement créé met à nu une plage de l'îlot 32b et une portion du lit intermédiaire 434. Après la gravure, on recouvre le masque d'une pellicule d'aluminium qui forme une nappe 141a et une nappe 141b (fig. 5m) de même étendue que la nappe 41b de la figure 4m, mais qui remplit l'évidement 136, établissant ainsi un contact entre les deux niveaux de connexions. La couche masquante 139 est ensuite éliminée, entraînant avec elle la portion 141a d'aluminium qui la recouvre (fig. 5n). La variante de mise en oeuvre qui vient d'être décrite en regard des figures Si à 5n comporte moins d'opérations que le mode de mise en oeuvre décrit en regard des figures 4i à 4n, mais il en résulte une moins bonne planéité du second niveau de connexion qui est suffisante dans beaucoup de cas. La présente invention est applicable à la réalisation des circuits intégrés de toutes sortes, en particulier des circuits semiconducteurs intégrés complexes, nécessitant au moins deux niveaux de connexions. - REVENDICATIONS 1.- Procédé d'obtention d'un circuit intégré de type planaire comprenant au moins un niveau de connexions et comportant euritne face active d'une plaquette semi-conductrice, au soins an premier lit en un premier matériau isolant dans lequel, au cours du procédé, est ouverte au moins une fenêtre destinée k la formation et k la pris. de contact des éléments actifs et passifs dudit circuit intégré, caractérisé en ce que l'on recouvre ledit premier lit d'un lit intermédiaire de protaction, en un deuxième matériau isolant, dans lequel est ouverte une lumière sensiblement en regard de l'emplacement de ladite fenêtre, en ce que, ultérieurement, on dépose un troisième lit en une substance isolante différente dudit deuxième matériau et susceptible d'être attaquée par un mordant restant inactif vis-k-vis tuait deuxième matériau, en ce que au moyen d'n masque et dudit ornant, on crée dans ledit troisième lit, une ouverture dont le contour laisse libre au moins sur une partie de la périphérie de ladite lumière, une plage dudit deuxième matériau, après quoi on dépose sur l'ensemble de la plaquette ne pellicule iétalliquo et, par élimination dudit masque, on enlève les nappez de ladite pellicule métallique reposant sur celui-ci. 2.- Procédé selon la revendication l,caractérisé en ce que l'en ouvre ladite fenêtre dans le premier lit avant de déposer ledit lit intermédiaire. 3.- Procédé selon la revendication 2,caractérisé en ce que ledit lit intermédiaire recouvre la paroi latérale intérieure de ladite fenêtre et en ce que l'on ouvre ladite lumière dans ledit lit intermédiaire en laissant subsister de ce dernier au moins la partie protégeant ladite paroi latérale et une marge p*- riphérique débordant k l'intérieur de ladite fenêtre ainsi que la partie protégeant la surface du premier lit. 4.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'ouverture de la lumière dans le lit intermédiaire de protection et celle de la fenêtre dans le premier lit sont réalisées successivement,le lit intermédiaire de protection étant utilisé comme masque pour l'attaque dudit premier lit. S.- Procédé selon l'une des revendications 1 k 4, caractérisé on ce que l'épaisseur de ladite pellicule métallique est sensiblement égale à celle dudit troisième lit. 6.- Procédé selon l'une des revendications 1 à 5, ca ractérisé en ce que le premier et le troisième lit sont en dioxyde de silicium. 7.- Procédé selon lune des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le lit intersddiaire de protection est en un matériau choisi dans le groupe comprenant le nitrure de silicium, l'oxyde de titane et l'alumine. 8.- Procédé selon l'une des revendications 6 et 7 ca ractérisé en ce que le mordant utilisé pour la création de l'ouverture dans le troisième lit est un mélange d'acide fluorhydrique et de fluorure d'ammonium. 9.- Procédez selon la revendication 1, caractérisé en ce que le masque déposé sur ledit troisième lit est obtenu k partir d'une laque photosensible et en ce que la pellicule métallique est en aluminium. 10.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le masque déposé sur ledit troisième lit est obtenu dans un film d'aluminium et en ce que la pellicule métallique comporte successivement des lits superposés, de titane, de platine, d'or et de tungstène. 11.- Procédé selon l'une des revendications 1 k 10, caractérisé en ce que le reliquat du troisième lit et de la pellicule métallique sont recouverts d'un nouveau lit isolant. 12.- Procédé d1 obtention d'un circuit intégré compre- nant au moins deux niveaux de connexions, selon l'une des revendications 1 k 10, caractérisé en ce que le reliquat des différents lits et celui de la première pellicule métallique, constituant un premier niveau de connexions, sont recouverts d'un quatrième lit en un matériau isolant et d'un cinquième lit en un matériau différent du précédent dans lesquels, au moyen d'au moins un deuxième masque on ouvre des fenêtres aux emplacements de contact prévus entre le premier et le second niveau de connexions, on dépose sur l'ensemble de la plaquette un sixième lit en une substance isolante différente du maté- riau du cinquième lit et susceptible d'être attaquée par un agent inactif vis-à-vis dudit cinquième lit et de la première pellicule jétaflique, en ce que, au moyen d'un autre masque st dudit agent, on crée dans ce sixième lit une ouverture dont le contour laisse libre au moins une plage de la partie décou- verte de la première pellicule métallique, es ce que l'on dépose air l'ensemble de la plaquette une seconde pellicule métallique après quoi, par élimination dudit autre masque, en enlève les nappes de ladite seconde pellicule métallique qui reposent sur ce derniere. 13.-Procédé selon la revendication 12, caractérisé on ce que l'on oeuvre loi fenêtre dans ledit quatrième lit avant de déposer lotit cinquième lit, o. dernier recouvrant la paroi intérieure desdites fenêtres et les ouverture pratiquées dans o. cinquième lit laissant subsister de ce dernier au loins la partie pretégeant ladite paroi latérale et une large périphé- rique à l'intérieur desdites fenêtres. 14.- Procédé d'obtention d'un circuit intégré comprenant au moins deux niveaux de connection, selon l'une des revendications 1 à 11, caractérisé en ce que le leliquant des différents lits et celui de la première pellicule métallique con- tituant an premier niveau de connexions, sont recouverus d'un quatrième lit en 'n matériau isolant et d'un cinquième lit en un matériau différent du précédent dans lesquels, au moyen d'au moins un deuxième masque on ouvre dos fenêtres au moins aux emplacements do contacts prévus entre ledit premier niveau et un second niveau, on dépose sur l'ensemble de la plaquette une deauxième pellicule métallique on élimine ledit deuxième masque et les nappes de ladite deuxième pellicule métallique reposant sur cellui-ci, en ce que l'on dépose sur l'ensable de la plaquette un sixième lit on une substence isolante différente du matériau du cinquième lit et suscepti- ble d'être attaquée par un agent inactif vis-à-vis dudit cinquième lit et de la deuxième pellicule métallique, en ce que, au moien d'un troisième masque et dudit agent, on crée dans ce sixième lit une ouverture dont le contour laisse libre an moins une plage du reliquant de ladite seconde pellcule métal lique, on ce que l'en dépose sur l'ensemble de la plaquette une troisième pellicule métallique après quoi, par élimination dudit troisième Maque, on enlève les nappes de ladite troisième pellicule métallique qui reposent sur ce dernier. 15.- Procédé selon l'une des revendications 12 b 14, caractérisé en ce que le quatrième et le sixième lit sont e oxyde do silicium. 16.- Procédé selon l'une des revendications 12 k 14 > caractérisé en ce que le cinquième lit cat fait du même na- tériau que lit intermédiaire de protection. 17.- Procédé selon l'une des revendications 12 à 14, caractérisé en ce que les deuxième et troisième pellicules métalliques formant le second niveau de connexions sont con- tituées du maie matériau que la première pellicule métallique formant le prier niveau de connexions. 18.- Circuit intégré réalisé en suivant un procédé conforme k l'une des revendications 1 k 17 et comportant sur une face active au moins un niveau de connexions, caractérisé en ce que au moins ladite face active est isolée localement de la pellicule métallique constituant ledit niveau de connexions, par us premier lit en un premier matériau isolant, recouvert d'un lit intermédiaire an un deuxième matériau isolant, ledit premier lit et ledit lit intermédiaire présentant des ouvertures sensiblement en regard comblées par ladite pellicule métallique, et en ce que un troisième lit, en une sabatance isolante diffé- rente dudit deuxième matériau et susceptible d'être attaquée par un mordant restant inactif vis-à-vis dudit deuxième matériau, occupe la surface complémentaire de la surface occupée par ladite pellicule métallique.