Brevet FR2316723A1 — publié le 19770128

la présente invention concerne les dispositifs d'amenée de pièces en vue de leur traitement multilatéral par un flux de matière appropriée, par exemple par un faisceau d'ions. Le dispositif peut trouver des applications dans différents domaines de la technique et astre utilisé conåointement avec des installations dans lesquelles on obtient ledit flux de matière appropriée, par exemple un jet de liquide, un flux de particules chargées accélérées ou de particules neutres, etc. En particulier, il est possiblb d'utiliser le dispositif pour amener des plaques (ou pièces) en semi-conducteurs au plan de cible d'une installation à faisceau d'ions pour traiter leur surface par un faisceau d'ions accélérés d'une matière. On connais un dispositif amenant des pièces (à peu près une centaine de pièces) pour leur traitement bilatéral par un faisceau d'ions (certificat d'auteur de L'URUS N0 1104551/26-25 daté du 22.09.1966). Etant donné qu'on comprendra plus complètement les particularités du dispositif de la présente invention en le comparant d'une manière détaillée avec le dispositif connu qui vient autre mentionné, ce dernier va maintenant titre décrit A l'aide des trois premières planches de dessins annexées, sur lesquelles 2 - les figures 1 et 2 schématisent en deux projections le dispositif connu servant à amener les pièces pour leur traitement par un faisceau d'ions, et équipez d'un transporteur sous forme d'une channe tendue entre deux roues à channe - la figure 3 représente un cas particulier d'amenée de pièces en w e de leur traitement par un faisceau d'ions, dans lequel 11 angle entre l'axe du faisceau d'ions et le plan de la surface à traiter n'est pas égal à 900 - les figures 4, 5 représentent les schémas des trajectoires des faisceaux d'ions en deux projections Le dispositif connu comporte un corps étanche 1 (figure 1) dans lequel est fixé un transporteur continu 2. Du côté du faisceau d'ions 3, on a prévu dans le dispositif deux ouvertures 4 et 5 A travers lesquelles passe le faisceau d'ions 3.Les ouvertures 4 et 5 sont fermées par des portières 6 et 7 disposées dans le plan dans lequel se trouve le plan de cible de l'installation à faisceau d'ions et par lesquelles passe le faisceau d'ions 3. Les sondes 8 destinées à mesurer et à contrtler la distribution de la densité du courant du faisceau d'ions 3 suivant la superficie de cible sont montées dans les portières 4 et 5. Pour ouvrir les portières 6 et 7, on tourne les leviers 9 et 10. Les ouvertures 4 et 5 sont dotées de vannes il réglant la largeur desdites ouvertures. Ie corps étanche 1 est doté d'une bride 12 à l'aide de laquelle le dispositif est fixé à l'installation å faisceau d'ions (elle est représentée sur la figure en pointillés) et d'une bride 13 fermée d'une manière étanche par le couvercle 14, pour le chargement et le déchargement du transporteur continu 2 des cassettes 15 contenant des pièces à traiter. Dans la cassette t5, il est possible de fixer une ou plusieurs pièces à traiter en fonction du rapport entoiles dimensions de la pièce et de la superficie du cible. Le transporteur continu 2 comprend une channe 16 tendue entre deux roues à chaîne identiques : roue menante 17 et roue menée 18. Ia roue à channe menante 17 est calée sur l'arbre 19 (figure 2) relié à une commande extérieure (non repésentéeY. La channe 16 est dotée de suspensions 20 auxquelles sont suspendues les cassettes 15 contenantles pièces à traiter. Le pas de fixation des cassettes 15 & la chaîne 16 (figure 1) est égal au quart de la longueur du cercle primitif des roues à chaste 17 et 18, ce qui donne la possibilité de disposer la cassette t5' avec les pièces amenées pour le traitement en face de l'ouverture 4 et la cassette 15" avec les pièces en face de l'ouverture 5.En déplaçant périodiquement le transporteur continu 2, on charge les cassettes 15 à travers la bride ouverte 13.Ceci fait, on ferme la bride 13 avec le couvercle étanche 14 et on évacue l'air de l'intérieur du corps 1 étanche et de la chambre de l'installation à faisceau d'ions jusqu'à l'obtention du vide requis. On produit dans l'installation un faisceau d'ions en mouvement 3 et on l'amène à l'une des portières, par exemple à la portière 7. En se servant des sondes 8 on établit la densité requise du courant du faisceau d'ions 3 et une répartition uniforme de la densité du courant du faisceau d'ions 3 suivant la superficie du cible.On ouvre la portière 7 et le faisceau d'ions en mouvement 3 se dirige par l'ouverture 5 vers la surface des pièces à traiter fixées dans la cassette immobile 55n. Â la fin du traitement de la cassette 15", le transporteur 2 est déplacé d'un pas à l'aide de l'arbre l9 et la cassette suivante 15 est amenée pour le traitement. Le déplacement ultérieur des cassettes avec les pièces se produit automatiquement suivant un programme préétabli. r Pour traiter le côté opposé des pièces fixées dans les cassettes 15 on ferme la portière 7, puis on dirige le faisceau d'ions 3 de cette matière ou d'une autre matière vers la portière 6, après quoi on répète les opations décrites. Toutefois, dans le dispositif connu, les deux opérations d'amenée des cassettes 15 contenant les pièces à traiter et de rotation desdites cassettes de 1800 sont réalisées par le même iuveiant du transporteur 2. Cela limite tant le choix de la conception du transporteur 2 que l'orientation de l'aie longitu8dnaB du transporteur continu "NN" par rapport à l'axe "MM" du faisceau d'ions 3. L'ase "MM" doit etre orienté obligatoirement parallèleaent à l'axe "NN" . n conséquence, non seulement la cassette 15' ou 15 amenée pour le traitement se trouve dans la zone d'action du faisceau d'ions 3, mais aussi les autres cassettes 15 fixées sur le transporteur continu, ce qui se traduit par une altération de la qualité des pièces traitées. Au cas où on a besoin de traiter les pièces de deus côtés, on doit choisir une telle conception de la cassette 15 avec les pièces que la surface à traiter soit sans jeux:, ni fentes, ni orifices par lesquels le faisceau d'ions 3 pourrait pénétrer dans la cassette 15 suivante avec des pièces. Dans le cas contraire, on doit avoir recours à des mesures supplémentaires de protection; par exemple, on-place entre les cassettes 15 avec les pièces à traiter une cassette 21 dotée d'un écran (figure 5), ou bien on dispose derrière la cassette à irradier i5';iS" un écran qui est retiré pendant la période de mouvement du transporteur 2 (représentés en pointillés sur les figures 1,2).Cependant, la première mesure de protection réduit le rendement du dispositif, tandis que la deuxième complique la conception du dispositif et diminue la fiabilité de son fonctionnement. Des difficultés analogues apparaissent au cas où on a besoin de traiter les pièces sous un angle autre que 900 entre le plan de la cassette 15' contenant les pièces et l'ase "MM" du faisceau d'ions 3, car alors la cassette 15 suivant la cassette en cours de traitement est soumise à une irradiation partielle par le faisceau d'ions 3. te traitement des cassettes 15 contenant les pièces se fait par un faisceau d'ions 3 dont l'axe "MM" est décalé de la ligne axiale centrale "SE" (figure 3) de l'installation à faisceau dotions vers les parois de sa chambre à vide (non représentée). Cela augmente ltéventualité que le faisceau d'ions 3 touche les parois latérales du corps étanche 1 (voir les faisceaux d'ions 22 sur la figure 3), ce qui conduit à leur pulvérisation sous l'action du faisceau d'ions en augmentant dans la zone de travail du dispositif la teneur en produits de pulvérisation qui réduisent la qualité des pièces à traiter. En outre, le décalage de l'aie "MM" du faisceau d'ions 3 par rapport à la ligne axiale "ZE" de l'installation à faisceau d'ions détermine une distance différente des cassettes 15' et 15" par rapport au plan focal 23 du faisceau d'ions 3, ce qui diminue la reproductibilité du traitement en abaissant la qualité des pièces traitées. Par suite du jeu entre les bords des ouvertures 4 et 5 (figure 1) et les bords des cassettes 15' et 15", une partie du faiceau d'ions 3 (faisceaux 24 sur la figure 3 et faisceaux 25 sur la figure 4) pénètrent derrière les cassettes 15' et 15". Ces faisceaux 24 et 25 passent le long du transporteur continu 2 jusqu au couvercle étanche 14 en rencontrant sur son trajet des parties des mécanismes opératoires (suspension 20,arbre 19,etc.) qui sont pulvérisées par le faisceau d'ions. Etant donné que les cassettes 15 contenant les pièces à traiter se trouvent dans la zone d'action du faisceau d'ions 3 et dans l'espacement où se trouvent des wrcdutu -e tulvérisation, ces produits risquent d t atteindre les pièce~, ce qui conduit à une baisse de leur qualité. La chape 16 du transporteur continu 2 porte une charge importante, car un nombre notable de cassettes contenant des pièces i traiter (de plusieurs dizaines jusqu a une centaine de pièces) est fixé sur elle.Il s'ensuit une variation de la position des suspensions 20 et, par conséquent, une variation de la position des cassettes 15, 15', 15K contenant les pièces à traiter par rapport aux dimensions des ouvertures 4 et 5, ce qui augmente d'une part les jeux à travers lesquels les faisceaux d'ions 24 (figure 3) et les faisceaux d'ions 25 (figure 4) arrivent derrière la cassette à irradier 15' ou 15", et d'autre part augmente le risque que ces faisceaux atteignent les pièces se trouvant dans les cassettes 15. Les cassettes 15 contenant les pièces sont chargées et déchargées du transporteur qui est monté rigidement dans un corps étanche. Ces opérations prennent beaucoup de temps, il en résulte une baisse du rendement du traitement. entant donné. que la cassette 15' ou 15" amenée pour le traitement est immobile, on ne peut utiliser le dispositif connu que pour un nombre limité de types dtinstallation8 à faisceau d'ions. Donc, le dispositif mentionné ne peut titre utilisé que potr les installations à faisceau d'ions sous forme d'une tige mince pouvant se déplacer uniquementdans une seule direction. On s'est donc proposé de mettre au~point un dispositif pour amener des pièces en vue de leur traitement par un faisceau d'ions tout genre, avec n importe quel mouvement et n' importe quel angle d'incidence sur la pièce à traiter. Ce problème est résolu du fait que dans un dispositif amenant des pièzes une A une dans un plan de cible pour leur traitement multilatéral par un faisceau d'ions, du type comportant un corps étanche pourvu d'une ouverture destinée au passage du faisceau d'ions et fermée par une portière dotée de sondes permettant de contrôler la répartition du courant d'ions suivant la superficie du cible, et dans lequel est monté un mécanisme servant à la fixation et au transport des pièces à traiter et réalisé sous formé d'un transporteur continu, suivant l'invention le transporteur continu est logé dans un cadre monté dans un corps de manière qu'il puisse pivoter conjointement avec ledit transporteur autour de l'axe longitudinal dudit cadre disposé sous un angle par rapport à l'axe du faisceau d'ions et passant par la pièce amenée pour le traitement, ce qui permet de soumettre la pièce au traitement de tous les cotés sans modifier la direction du faisceau d'ions et de disposer les autres pièces et mécanismes transmettant le déplacement au transporteur et au cadre en dehors de la zone d'action du faisceau. Il est avantageux d'établir entre l'axe longitudinal du cadre et l'axe du faisceau d'ions un angle égal à 90d. En outre, il est avantageux que le transporteur soit amovible. Il est désirable d'équiper ledit transporteur de cassettes amovibles dans lesquelles sont fixées les pièces & traiter. Le dispositif objet de l'invention, d'amenée de pièces en vue de leur traitement par un faisceau d'ions va maintenant être décrit à l'aide d'un exemple de réalisation concret mais non limitatif, avec références aux deux autres planches de dessins annexés, sur lesquels - les figures 6, 7 représentent les schémas en deux projections, du dispositif doté d'un transporteur continu en forme de tambour, conformément à l'invention - les figures 8, 9 représentent les schéias en deux projections, de la trajectoire du faisceau d'ions dans le corps du dispositif conforme à l'invention. Le dispositif, objet de l'invention, pour l'amenée des pièces une à une dans un plan de cible pour leur traitement multilatéral par un faisceau d'ions en mouvement 3 comporte un corps étanche 26 (figure 6) pourvu d'une ouverture 27 dotée de vannes mobiles 28 et à travers laquelle passe le faisceau d'ions 3. L'ouverture 27 est fermée par la portière 30 dans laquelle sont montées les sondes 31 destinées i mesurer et à contrôler la répartition de la densité du courant du faisceau d'ions 3 suivant la superficie de cible de l'installation à faisceau d'ions, Les portières 30 sont ouvertes à l'aide de la manette -32, Dans le corps étanche 26 sont placés trois mécanismes opératoires : un mécanisme pour la fixation et le transport des pièces à traiter, un mécanisme amenée des cassettes contenant les pièces en vue de leur-traitement, et un mécanisme de pivotement du cadre dans lequel est placé le transporteur continu. Le mécanisme pour la fixation et le transport des pièces à traiter comporte un transporteur continu, réalise' sous forme d'un tambour amovible 33 monté sur le moyeu 34 fixé au cadre 35 (figure 7) et tournant autour de son axe transversal "00"'. Dans le tambour amovible 33 sont prévues les rainures radiales 36 dans lesquelles sont disposées et fixées les cassettes 37 contenant les pièces à traiter. Cependant, il convient de noter que le transportéur continu peut être réalisé sous une forme autre que celle d'un tambour, cette dernière ayant été choisie pour simplifier la construction. Etant donné que les cassettes 37,- dont on peut utiliser plusieurs dizaines et même plus d'une centaine, sont disposées dans le tambour amovible 33, le chargement et le déchargement s'effectue en un très court laps de temps (1 à 2 mn). Etant donné que le chargement des cassettes remplies de pièces sur le transporteur (tambour 33) et leur déchargement s t effectuent en dehors de l'installation, il est possible maintenant de réaliser ces opérations simultanément avec le fonctionnement de l'installation à faisceau d'ions Le mécanisme servant à tourner le tambour amovible 33 (figures 6, 7) comporte un arbre 38 relié à une commande extérieure (non représentée). L'arbre 38 porte un pignon cylindrique 39 se trouvant en prise avec le pignon 40 (figure 7). Sur l'arbre 41 dudit pignon est calée une vis sans fin 42 reliée à la roue tangente 43 calée sur l'arbre 44. L'arbre 44 est fixé sur le cadre 35 suivant son axe transversal 0i0'" (figure 7). Le moyeu 34 est fixé à demeure sur l'arbre 44. Le mécanisme de pivotement du cadre 35~(figure 6) comprend un arbre 45 dont une extrémité est solidaire du cadre 35 tandis que l'autre extrémité porte un volant 46 se trouvant à l'extérieur du corps étanche 26. Be-volant 46 est doté d'un verrou 47 entrant en contact avec l'arrêtoir 48 solidaire de la paroi extérieure u corps étanche 26.L'arbre 45 tourne librement autour de l'axe longitudinal OC du cadt- 35 passarr tar a cassette à traiter @@ contenant les pièces et qui se trouve dans le plan de cible de l'installation à faisceau d'ions. L'axe longitudinal "00,' du cadre 35 est disposé sous un angle de 900 par rapport à l'axe "MM" du faisceau d'ions 3. L'axe "MM" du faisceau d'ions 3 coincide dans ce cas avec la ligne axiale centrale "KK" (figure 8) de l'installation à faisceau d'ions. Etant donné que l'axe longitudinal "OO" du cadre 35 (figure 6), qui sert en même-temps d'axe longitudinal du transporteur continu ( tambour 33 ) , est perpendiculaire à l'axe "MM" du faisceau d'ions 3, le transporteur continu se trouve en dehors de la ione d'action du faisceau d'ions 3 3 et de l'espace qui peut contenir des produits de pulvérisation des parois intérieures du corps étanche 26 sous l'action du faisceau d'ions 3. En plus, en plaçant les cassettes 37 contenant les pièces à traiter dans les rainures radiales 36 du tambour amovible 33, on forme un écran compémentaire contre l'action des produits de pulvérisation , ce qui contribue à l'amélioration de la qualité des pièces. Du fait que l'axe "MM" du faisceau d'ions 3 cocide avec la ligne axiale centrale de l'installation à faisceau ' ions, le faisceau d'ions 3 ne touche plus les parois latérales du corps étanche 26 (figure 8) (voir la figure 3 où est représenté le prototype). En plus, les pièces à traiter fixées dans la cassette 3D' se trouvent disposées à une distance égale constante par rapport au plan focal 23 du faisceau d'ions 3.C'est pourquoi ci supprime d'une part la pulvérisation du matériau des parois latérales du corps étanche 26 sous l'action du faisceau d'ions 3, et d'autre part on élève la reproductibilité du traitement, ee qui contribue à l'amélioration de la qualité des pièces. Pendant le traitement des pièes par le faisceau d'ions 3, le cadre 35 est lié rigidement au corps étanche 26 à l'aide d'un verrou 47 qui entre en prise avec l'arrêtoir 48. Pour faire pivoter le cadre 35, on désengrene le verrou 47 de l'arrêtoir 48. On a- prévu en plus sur le cadre 45 un verrou 49 (figure 7) qui sert à réaliser la liaison rigide du moyeu 34 avec le cadre 35 au moment du pivotement du cadre 35 autour de son axe longitudinal "00w. On fait entrer le verrou 49 en prise avec le moyeu 34. Le mécanisme amenant les cassettes 37' (figure 6 et figure 7) contenant les pièces en vue de leur traitement par le faisceau d'ions 3 est constitué par un couli & eau 50 dont le support 51 soutien la cassette 37' avancée de la rainure radiale 36' du tambour 33. Le coulisseau 50 se déplace suivant une barre 52 fixée à demeure sur la paroi intérieure du corps étanche 26. Le coulisseau 50 est articulé par l'intermédiaire de l'axe 53 avec la bielle 54 qui est articulée avec la manivelle 56 par l'intermédiaire d'un autre axe 55.La La manivelle 56 est fixée sur une extrémité de l'arbre 57 tournant dans les paliers 58. Sur l'autre extrémité de l'arbre 57 est calé un pignon conique 59 se trouvant en prise avec le pignon conique 60 fixé sur l'arbre menant 61 relié à une commande extérieure (non représentée). L'arbre 61 tourne dans les paliers 62. Pour le montage et le démontage du tambour 33, on a prévu dans le corps 26 une ouverture 63 fermée par une portière étanche 64. La bride 65 sur le corps étanche 26 est destinée à accoupler le dispositif de l'invention à l'installation à faisceau d'ions. La surface intérieure des parois du corps étanche 26, se trouent dans la zone d'action du faisceau d'ions 3, est dotée d'un enrobage 66.Les écrans 67 montés dans le corps étanche 26 sont destinés à protéger le tambour amovible 33,le mécanisme qui l'entraîne en rotation, le mécanise-d.-piv9tement du cadre 35 et le mécanisme amenant les cassettes 37 contenant les pièces pour le traitement contre les produits éventuels de pulvérisation des parois intérieures du corps étanche 26 sous l'action du faisceau d'ions 3. Avant le commencement du travail, le coulisseau 50 se trouve en position extrême supérieure. Dans cette position la cassette 37' se trouvant au-dessus du support 51 du coulisseau 50 est libérée de la rainure 36'. La cassette 37' s'appuie alors contre le support 51. On prépare tout d'abord le dispositif au fonctionnement. A travers l'ouverture 63 on place sur le moyeu 34 le tambour 33 chargé des cassettes 37 contenant les pièces à traiter, et on l'y fixe. En se servant des vannes 28 on établit la dimension requise de l'ouverture 27. Ceci fait, on ferme d'une manière étanche l'ouverture 63 avec la portière 64 et on évacue l'air de l'intérieur du corps étanche 26 jusqu'à l'obtention du vide requis. On ferme l'ouverture 27 avec la portière 30. A l'aide de l'installation à faisceau d'ions on obtient un faisceau d'ions 3 en mouvement et on l'oriente par rapport à la portière 50. On établit la densité requise du-courant dans le faisceau d'ions, mesurée par les sondes 31. En se servant du volant 46, on met manuellement le verrou 47 en prise avec l'arrêtoir 48, en assurant la liaison rigide du cadre 35 avec le corps étanche 26 et un angle déterminé entre l'axe "MM" du faisceau d'ions 3 et la surface des pièces à traiter fixées dans les cassettes 57. Le verrou 49 est mis hors de prise d'avec le moyeu 34, en assurant la possibilité de rotation libre du moyeu 54 et du tambour amovible 37 conjointement avec lui autour de l'axe transversal du " du cadre 55. Ensuite, on réalise le traitement des cassettes 37, contenant les pièces, par le faisceau d'ions 3. En faisanttourner la manette 32, on ouvre la portière 30 et le faisceau d'ions S parvient à la zone de travail du dispositif. On met en action le mécanisme amenant la cassette 37' contenant les pièces pour le traitement. La rotation est alors transmise de l'arbre menant 61 à la manivelle 56 par l'intermédiaire d'un couple de pignons coniques 60,59 et de l'arbre 57. A l'aide du mécanisme bielle-manivelle 56-53, la rotation de l'arbre 57 est transformée en mouvement de va-et-vient du coulisseau 50. De sa position extrême supérieure, le coulisseau 50 descend jusqu'à sa position extreme inférieure. Sous l'action de son poids propre, la cassette 37 fl descend conjointement avec le coulisseau dans le plan de cible de l'installation à faisceau d ions. Etant donné que la cassette 37' contenant les pièces est amenée pour le traitement par le faisceau d'ions 3 à partir de la rainure 36t du tambour 33, on a simplifié la conception des cassettes. On admet des jeux, des fentes et des orifices dans les cassettes. Ceci est important lorsqu'il est nécessaire de réaliser le traitement multilatéral des pièces, car dans ce cas on doit prévoir des ouvertures dans la cassette dans lesquelles sont disposées les pièces. Cependant, les dimensions et la forme des ouvertures dans la cassette ne correspondent pas parfois aux pièces à traiter. En plus, on simplifie la conception du dispositif en général, car dans le cas où on utilise des cassettes avec des fentes on n'a pas besoin d'utiliser une protection supplémentaire et on réalise le chargement complet du transporteur continu (du tambour 33) des cassettes 37 contenant les pièces à traiter indépendamment de 12 présence ou de l'absence des jeux, des fentes et des orifices dans les cassette. Toutes ces particularités élèvent l'aisance d'utilisation du dispositif et augmententson rendement. Une fois descendue la cassette 37' contenant les pièces, la commande de rotation de l'arbre 61 est mise au repos et les cassettes 37' sont traitées par le faisceau d'ions 3. Quand le traitement est terminé, la commande de l'arbre 61 est mise en action.Le coulisseau 50 revient en position extrême supérieure et engage la cassette 37' contenant-les pièces traitées dans la rainure radiale 36' du tambour amovible 33 Ceci fait, on met en marche le mécanisme de rotation du tambour démontable 33. Le couple moteur est transmis alors de l'arbre 38 par les pignons 39 et 40 à l'arbre 41 et pais, par l'intermédiaire du coupie-vis sans fin roue tangente, à l'arbre 44 sur lequel est monté le moyeu 34 portant le tambour amovible 33. Le tambour 33 tourne d'une position. La cassette 37' traitée contenant les pièces est fixée dans la rainure radiale 36' du tambour amovible 33 et la cassette 37 suivante est libérée de sa rainure radiale 36 et prend sa place sur le support 51 du coulisseau 50. S'il est nécessaire d'assurer un mouvement de va-et-vient de la cassette 37' contenant les pièces, la commande mettant l'arbre 61 en rotation fonctionne sans déclenchement, continuelle ert, tandis que le mécanisme de rotation du tambour amovible 35 nt pas mis en action lorsque le coulisseau 50 a atteint le point extrême supérieur. Après avoir terminé le traitement de la cassette 37' exécutant des mouvements de va-et-vient, on met au repos la commande de rotation de l'arbre 61 au moment où le coulisseau 50 a atteint le point extrême supérieur. Ceci fait, on met en action la commande de rotation de l'arbre 38 et on remplace les cassettes 37' et 37 au-dessus du support 51 de la manière exposée ci-dessus. Les faisceaux d'ions 68 (figure 8) et les faisceaux d'ions 69 (figure 9) pénétrant derrière la cassette traitée 37' à travers les jeux résultant de différences de diamentions entre la cassette 37' et de l'ouverture 27 ne rencontrent plus les parties intérieures des mécanismes opératoires. En outre, an a prévu un enrobage de la paroi arrière du corps étanche 26 par une couche 66 (comparer avec la figure 1).La couche 66 est fabriquée à partir d'un matériau faiblement pulvérisable, sou-s- l'action du faisceau d'ions, OU du matériau utilisé pour la fabrication des pièces elles-mêmes, et les produits de pulvérization de ce matériau n'influent pas sur la qualité des pièces. C'est pourquoi la quantité de produits nuisibles à la qualité des pièces, qui se forment à la suite de la pulvérisation des parois intérieures du corps étanche 26, est insignifiante, même dans le cas du régime de traitement des cassettes 37 dans lequel la cassette 37' réalise des mouvements de va-et-vient dans le plan de cible de l'instaflation à faisceau d'ions. On assure ainsi les conditions pour l'obtention de pièces d'une haute qualité. Le jeu entre les bords de la cassette 37' et les bords de l'ouverture 27 n'est pas influencé par le degré de chargement du transporteur continu par les cassettes 37 contenant les pièces. Il convient de noter que ledit jeu dans le dispositif proposé est soit nul, soit très petit, et les faisceaux d'ions 68 (figure 8) ainsi que les faisceaux d'ions 69 (figure 9) sont sensiblement affaiblis. Ceci est obtenu grâce au fait qu'il est sensiblement plus simple de respecter une disposition précise de la cassette 37' libérée du transporteur continu (du tambour 33) par rapport à l'ouverture que dans le cas de la cassette 15' ou 15" (voir les figures 1, 2) fixée sur le transporteur à chaîne chargé 2. On assure ainsi les conditions pour l'obtention de pièces de haute qualité. i > fait qu la assette 37' (figure 6 et figure 7) amenée pour être traitée est disposée extérieurement au tranaporteur continu (du tambour 33) et peut etre réalisée, suivant les besoins, soit fixe, soit mobile en va-et-vient, le diepositif proposé est apte à fonctionner avec n'importe quel type d'installation à faisceau d'ions et ne dépend pas du genre de faisceau d'ions (en forme de bande de tige etc), et e son système de mouvement (dans une ou dans deux directions perpendiculaires), ce qui élargit sensiblement le domaine d'application du dispositif faisant l'obJet de l'invention. la rotation du tambour amovible 33, l'amenée de la cassette 37 pour le traitement et son retour dans la rainure radiale 36t du tambour 33 sont réalisés automatiquement suivant un programme préétabli. Au cas où on a besoin de traiter des pièces dans les cassettes sous un autre angle, par exemple pour traiter les cotés opposés des pièces, on tourne d'un angle déterminé, par exemple de 1800, le cadre 35 conjointement avec le moyeu 34 et le tambour amovible 33, A cet effet, on met en prise le verrou 49 avec le moyeu 34 et on désengage le verrou 47 d'avec l'rrevtoir 48. Le moyeu 34 ensemble avec le tambour 33 est alors rigidement accouplé au cadre 35, tandis que le cadre 35 peut tourner librement autour de son axe longitudinal "00". En se servant du volant 46, on tourne à la main le cadre 35 ensemble avec le moyeu 34 et avec le tambour amovible 33 d'un aRet déterminé. Ceci fait, on met le verrou 47 en prise avec l'arrêtoir 48 et on désengage le verrou 49 d'avec le moyeu 34. De ce fait, le cadre 35 est à nouveau rigidement accouplé au corps étanche 26, et le moyeu 34 avec le tambour 33 peuvent tourner autourvde l'axe transversal "0'0'" du cadre 35 . Dans cette nouvelle position du cadre 35 par rapport à l'axe "MM" du faisceau d'ions 3, on effectue le traitement des pièces fixées dans-les cassettes 37 de la manière exposée ci-dessus. Pour terminer on préparepe dispositif pour l'évacuation des pièces traitées. On ferme la portière 30 à l'aide de la manette 32. On ferme d'une manière étanche la chambre à vide de la source de l'installation à faisceau d'ions, on casse le vide dans le corps étanche 2X, on ouvre la portière 64, on libère et on dépose du moyeu 34 le tambour 33 chargé des cassettes 37 contenant les pièces traitées. Ensuite on monte et on fixe un autre tambour amovible 33 chargé au préalable de cassettes 37 contenant des pièces non traitées. Ceci fait, on répète les opérations décrites plus haut; On libère des cassettes 37 avec les pièces traitées le tambour amovible 33 déposé et on le charge de cassettes 37 contenant des pièces non traitées.Les pièces traitées déchargées des cassettes 37 sont dirigées vers les opérations technologiques suivantes La cassette 37 libérée est remplie de nouveau de pièces pour le traitement par le faisceau d'ions. L'invention est caractérisée par de larges possibilités fonctionnelles et permet de résoudre un vae ensemble de problèmes techniques liés à la nécessité-d'zrener un grand nombre de pièces en vue de leur traitement multilatéral par un flux de matière appropriée. Les avantages importants du dispositif proposé sont son usage universel, son haut rendement, son faible encombrement, sa conception simple, sa longévité accrue et le fonctionnement fille de ses organes fonctionnels. Les avantages du dispositif proposé se manifestent le plus nettement quand il est employé dansbe traitement de pièces par un faisceau d'ions, car il assure alors une qualité plus élevée des pièces grtce aux meilleures conditions dans lesquelles se trouvent les pièces dans le dispositif pendant leur traitement. Le dispositif proposé trouve de larges applications dans les productions en grandes séries de différents appareils à semiconducteurs, par exemple pour l'ob$6Etion de couches diélectriques et alliées par la nouvelle méthode de pointe qu'est le bombardement ionique. Bien entendu, l'invention n'est nullement limité au mode de réalisation décrit et représenté qui n'a été donné qu'à titre d'exemple. En particulier, elle comprend tous les moyens constituant des équivalents techniques des moyens décrits ainsi que leurs combinaisons, Si celles-ci sont exécutées suivant son esprit et mises en oeuvre dans le cadre des revendications qui suivent. REVENDICATIONS 1. Dispositif d'amenés de pièces en sue de leur traitement par un faisceau d'ions, du type comportant un corps étanche pourvu d'une ouverture destinée au passage du faisceau d'ions et fermée par une portière équipée de sondes permettant de contrôler la répartition du courant d'ions suivant la superficie de cible, et dans lequel est monté un mécanisme servant i la fition et au transport des pièces à traiter logées dans des cassettes et réalise sous forme d'un transporteur continu, caractérisé en ce que le transporteur continu est logé dans un cadre monté dans le corps du dispositif et susceptible de pivoter conjointement avec ledit transporteur autour de son propre axe longitudinal passant par la pièce à traîter sous un angle par rapport à l'axe du faisceau d'ions, ce qui permet de traiter la pièce de tous les côtés sans modifier la direction du faisceau d'ions et de disposer en dehors de la zone d'action du faisceau les autres pièces et mécanismes transmettant le déplaceient au transporteur et au cadre. 2. Dispositif conforme à la revendication 1, caractérisé en ce que le transporteur continu est réa-Iisé sous forme-d'un tambour monté sur un moyeu fixé dans ledit cadre avec possibilité de rotation autour de son axe transversal. 3. Dispositif conforme à l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que le transporteur continu est réalisé amovible. 4. Dispositif conforme à l'une des revendications t à 3, caractérisé en ce que l'angle entre, d'une part, l'axe longitudinal du cadre passant par la pièce à traiter, et d'autre part, l'axe du faisceau d'ions, est de 900. 5. Dispositif conforme à l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que les cassettes dans lesquelles sont fixées les pièces à traiter sont amovibles.