Brevet FR2286416A1 — publié le 19760423

La présente invention concerne le développement d'émulsions aux halogénures d'argent à grains fins exposées du type de Lippmann. Les émulsions de Lippmann qui ont normalement une granulométrie moyenne inférieure à 0,1 m (100 nm), sont particulièrement importantes pour la préparation de pellicules ou de plaquesp hotographiques d'une haute résolution destinées à la microphotographie, à l'enregistrement de phénomènes nucléophysiques, à la préparation de masques pour la fabrication de circuits microélectroniques intégrés, à des application holographiques, à la mémorisation de données à haute densité, etc. Lors de la fabrication de circuits microélectroniques intégrés, on trace, à une échelle considérablement agrandie, des dessins des differents masques successifs nécessaires à la fabrication d'un circuit intégré, après quoi les dessins sont réduits, éventuellement par étapes successives, puis reprodits sur une pellicule ou une plaque photographique, formant ainsi le masque prêt à l'emploi. Par diverses étapes de traitement photographiques et chimiques (photo-morsure de plaques vernies), les imagesd es masques ainsi réalisés sont ensuite transférées sur la surface sur laquelle le circuit intégré doit être rélisé, de façon à former les éléments de circuit requis. Les matériaux photographiques destinés à la fabrication de masques du type décrit ci-dessus doivent avoir un haut pouvoir de résolution et une bonne netteté de reproduction des bords, tandis qu'ils doivent permettre une reproduction correcte des dimensions de l'image. Des problèmes spécifiques se posent lors de la reproduction de très petits détails en raison de l'étalement de l'image, des effets de contiguïté, etc. Pour autant que les détails de l'image ne soient pas trop petits, on peut minimiser ces problèmes en incorporant, dans l'émulsion de Lippmann, des colorants absorbant la lumière, ainsi que des composés réduisant les déformations de l'image et améliorant la n etteté des bords.Toutefois, les détails de l'image, par exemple les lignes et les fentes d'une largeur géométrique inférieure à l'épaisseur de l'émulsion, en particulier d'une largeur inférieure à 5 m, par exemple de 2 à 3 m, posent toujours un certain nombre de problèmes. En raison du manque de netteté aux bords et du gradient de densité, on ne peut effectuer une mesure microscopique sufffisamment précise des détails reproduits et une impression suffisamment précise sur la surface prévue pour le circuit intégré, étant donné que la largeur géométrique de ces petits détails ne peut être reproduite dans les tolérances admises de 10 % maximum, de préférence 5 % par rapport à la largeur géométrique. A présent, on a constaté que, lorsque les émulsions de Lippmann exposées sont développées au moyen de solutions visqueuses et non au moyen des solutions liquides ordinaires, les détails de l'image ayant une largeur géométrique de 5 m ou moins sont reproduits avec un meilleur gradient de contraste et une plus grande netteté des bords, de sorte qu'ils peuvent être soumis à une mesure microscopique et imprimés dans les tolérances de largeur admises ainsi qu'on l'a mentionné précédemment. De plus, on obtient un meilleur équilibre entre la densité des très petits détails de l'image et celle des plus gros détails de cette dernière, de sorte que l'on peut mieux déterminer l'intensité de la lumière requise pour l'impression. La traitement par solution visqueuse d'un matériau pelliculaire photographique est connu dans la technique, en particulier dans le cas du traitement de pellicules cinématographiques, de façon à permettre un traitement rapide à haute température, tout en évitant, dans les installation de traitement, d'importants volumes de solutions de traitement qui doivent être maintenues sous un contrôle chimique rigoureux et continuellement rencuvelées. Toutefois, il est assez surprenant de constater que le développement des matériaux de Lippmann à l'aide de solutions visqueuses offre les avantages précités. Dès lors, sous son aspect le plus large, la présente invention prévoit un procédé de développement d'émulsions photographiques exposées du type de Lippmann, ce procédé étant effectué au moyen d'une composition de traitement visqueuse. Plus particulièrement, la présente invention prévoit un p rocédé pour la reproduction des détails d'une image ayant une largeur géométrique de 5 m ou moins, par exposition et développe ment d'une émulsion photographique de Lippmrmn, le développement étant effectué au moyen d'une composition visqueuse. Le révélateur peut autre du type habituel auquel un agent inerte, plus particulièrement une matière filmogène soluble dans les alcalis, est ajouté en une quantité requise pour conférer la viscosité désirée à la solution sans altérer ses propriétés photographiques au point de ne pouvoir y remédier, par exemple par une élévation du pH ou de la concentration des agents de développement et autres ingrédients du révélateur. La viscosité devant titre conférée par l'agent épaississant peut etre aisément déterminée par lthomme de métier. Lorsque pour le développement, une couche visqueuse du révélateur est coulée sur le matériau exposé, la viscosité doit Aftre suffisante pour éviter un déplacement de cette couche, ce qui pourrait donner lieu à un traînage et d'autres effets inopportuns, tandis que la viscosité ne doit pas-non plus Xetre trop élevée sous peine de rendre difficile la coulée du révélateur en une couche uniforme de l'épaisseur désirée. En règle générale, la viscosité peut varier entre environ 30 cP (centipoises) et environ 5000 cP et, de préférence, elle est comprise entre environ 70 et environ 300 cP. Comme agent épaississant, on peut utiliser n'importe quel composé à poids moléculaire élevé stable vis-à-vis des alcalis et soluble dans des solutions alcalines aqueuses, par exemple l'hydr6xy-éthyl-cellulose et ses dérivés, la carboxy-méthylcellulose et ses dérivés, l'amidon ou la gomme et leurs dérivés, les esters alginiques et leurs dérivés, par exemple leurs sels, des agents épaississants synthétiques tels que la polyvinylpyrrolidone, l'alcool polyvinylique, le sel de sodium de l'acide polyniéthacrylique, le semi-amide du copolymère d'éther méthyl vinylique et de maléate d'ammonium, etc. La composition de développement visqueuse peut comprendre les agents révélateurs habituels, par exemple les hydroquinones, les pyrocatéchols, les aminophénols, les 3-pyrazolidinones, l'acide ascorbique et ses dérivés, les hydroxylamines, etc. Il est préférable d'utiliser une combinaison d'agents révélateurs exerçant un effet superadditif, par exemple l'hydroquinone avec le sulfate de -métbyl-p-sminophénol ou un autre dérivé connu de p-aminophénol, ainsi que l1bydroquinone avec la 1-phényl 3-pyrazolidinone ou d'autres dérives de 3-pyrazolidinone. Le révélateur peut également contenir l'un ou l'autre des ingrédients connus, par exemple des agents retardateurs de développement tels que le bromure de potassium, des agents séquestrants de calcium, des agents antivoiles, des solvants d'halogénures d'argent, des agents de conservation de révélateurs, par exemple le sulfite de sodium, des bisulfites, des composés accélérateurs de développement de suif onium, de pJiosphonium et, en particulier, d'ammonium, par exemple des composés d'onium du type décrit dans les brevets américains 3.682.634 demandé le 22 septembre 1970 aux noms de Jozef Brans Willems, Paul Maurice Schots, Robert Joseph Pollet et Theofiel Haubert Ghys et 3.713.827 demandé le 7 octobre 1970 aux noms de Jozef Tyrans Willems, Robert Joseph Pollet, Paul Maurice Schots et Wheofiel Hubert Ghys, par exemple le chlorure de 1,1'-tétraméthylène-bis-pyridinium, le bromure de 1,1'-éthylène-2,2'-dipyridinium, les composés de polyoxyalkyîene, ainsi que d'autres ingrédients connus utilisés dans les compositions révélatrices. Le révélateur visqueux destiné au développement des émulsions de Lippmnnn suivant la présente invention peut autre utilisé à la fois pour le traitement négatif et le traitement par inversion. La composition révélatrice visqueuse peut être appliquée au matériau photographique exposé et en être éliminée conformément à l'un ou l'autre des procédés connus On peut également prévoir d'autres étapes de traitement telles- qu'un fixage et un blanchiment, mais sans qu'elles doivent nécessairement être effectuées au moyen des compositions de traitement visqueuses. Outre les effets souhaitables décrits précédemment, le développement à l'aide d'un révélateur visqueux offre également les avantages connus vis-à-vis d'un traitement classique à l'aide d'un révélateur liquide. En premier lieu, des substances chimiques franches sont toujours appliquées à l'émulsion exposée tandis qulelles sont ensuite mises au rebut après avoir rempli leur fonction.Dès lors, il ne se pose aucun problème de-- conditionne- ment, de contrtle de solution, de renouvellement et de récupéra tion. De plus, étant donné que les substances chimiques ne subissent aucune perturbation sur la pellicule au cours de la durée de traitement prescrite, le degré et l'uniformité du développement peuvent être maintenus très constants, de sorte que le développement à l'aide d'un révélateur visqueux se prote parfaitement à un traitement automatique des matériaux de Lipp- mann destinés à la fabrication de masques électroniques. Les matériaux photographiques appropriés pour un développement à l'aide d'un révélateur visqueux suivant la présente invention englobent les émulsions aux halogénures d'argent du type de Lippmsnn. On peut préparer des émulsions aux halogénures d'argent du type de Iippmann conformément aux procédés bien connus dans la technique et qui sont décrits dans la littérature (voir, par exemple, P.Glafkidôs, "Photographic Chemistry", volume I, 1958, pages 365-368, Mees/James 11The heory of the Photographic Process", 1966, page 36 et '1National Physicail Laboratory", "Notes on Applied Science" no. 20 : "Small Scale Preparation of Bine-Grain (Colloidal) Photographic emulsions", B.ll.Grawford, Londres, 1960). On peut également préparer ces émulsions conformément à la tech- nique décrite dans le brevet américain no. 3.801.326 demandé le 31 mars 1971 au nom de Frans Henri Glanes. On peut obtenir des émulsions aux halogénures d'argent à grains très fins du type de Lippmann par précipitation de l'halo génure d'argent en présence de mercapto-composés hétérocycliques comme décrit dans le brevet britannique 1.204.623 demandé le 22 février 1968 par Kodak Go., de mercapto-composés hétérocycliques précurseurs comme décrit dans la demande de brevet 2.161.044 publiée en République Fédérale d'Allemagne demandée le 9 décembre 1971 par Agfa-Gevaert AG, de composés du type décrit dans les brevets américains 3.661.592 demandé le 2 octobre 1970 aux noms de Herman Âdelbert Philippaerts, Robert Joseph Pollet, Joues Frans Willems et Brans Henni Claves, et 3.7040130 demandé le 2 octobre 1970 aux noms de Robert Joseph Pollet, Herman Adelbert Philippaerts, Jozef Frans Willems et Frans Henry Glaes, ainsi que de composés du type décrit dans l'édition de février 1972 de "Research Disclosures1', Disclosure RD 9401, "Industrial Opportunities Limited'l, Savant, Hampshire, Grande Bretagne. L'épaisseur de la couche d'émulsion d'un matériau photo graphique utilisé conformément à la présente invention est de préférence comprise entre environ 3 rm (microns) et environ 8 tandis que la granulométrie moyenne des grains d'halogénure d'argent est de préférence inférieure à 80 nm. Le rapport entre l'halogénure d'argent et le liant colloïdal hydrophile est, de préférence, d'aloi moins 1:2 et, tout au plus, de 4:1. Gomme sels photosensibles, on peut utiliser différents sels d'argent tels que le bromure d'argent, l'iodure d'argent, le chlorure d'argent ou des halogénures d'argent mixtes tels que le chlorobromure d'argent, le bromoiodure d'argent eR; le le chlorobromo- iodure d'argent. Les émulsions au bromoiodure d t argent ayant une teneur en iodure de 8 moles % maximum et une granulométrie moyen ne de 80 nm maximum sont préférées. Be liant colloïdal hydrophile utilisé comme véhicule pour l'halogénure d'argent peut être n'importe quel colloïde hydro- phile habituellement utilisé dans les émulsions photographiques photosensibles, par exemple, la gélatine, l'albumine, la zéine, la caséine, l'acide alginique, le collodion, un dérivé de cellulose tel que la carboxy-méthyl-cellulose, un colloïde hydrophile synthétique tel que l'alcool polyvinylique et la poly N-vinyl-pyrrolidone, etc. On peut éventuellement utiliser des mélanges compatibles de deux ou plusieurs colloïdes pour disperser l'halogénure d'argent. Les émulsions photosensibles aux halogénures d'argent utilisées conformément à la présente invention peuvent etre soumise ses aussi bien à une sensibilisation chimique qu'à une sensibili- sation- spectrale. Elles peuvent être soumises à une sensibilisation spectrale en utilisant l'un ou l'autre des sensibilisateurs spectraux connus tels que les cyanines et les colorants de mérocyanines destinés aux matériaux photographiques photosensibles aux balogé- nures d'argent Les émulsions aux halogénures d'argent suivant la présente invention sont le plus avantageusement sensibilisées pour la zone verte du spectre. La lumière d'exposition comprend, de préférence, des radiations lumineuses d'une longueur d'onde à laquelle l'émulsion a été sensibilisée. Des colorants de mérocyanines particulièrement appropriés pour la sensibilisation spectrale des émulsions de Lippmann utilisées conformément à la présente invention ont été décrits dans les brevets britanniques 654.683 demandé le 24 février 1948 par Kodak lbimited, 904.332 demandé le 5 juillet 1957 par Gevaert Photo-Producten N.V., 1.090.626 demandé le 11 octobre 1965 par Agfa-Gevaert AG et 1.298.335 demandé le Il décembre 1968 par Gevaert-Agfa N.V., dans les brevets américains 2.526.632 demandé le 8 septembre 1948 aux noms de Leslie G.S.Brooker et Frank L.White, 3.705.038 demandé le 7 octobre 1970 aux noms de Herman Adelbert Philippaerts, Thefofiol Rubert Ghys et fleuri Depoorter, 3.752.673 demandé le 20 janvier 1971 aux noms de fleuri Depoorter et Theofiel Hubert Ghys, 3.765.900 demandé le 20 janvier 1971 aux noms de fleuri Depoorter et Theofiel Faubert Ghys et 3.765.901 demandé le 20 janvier 1971 aux noms de Jazef Remi Schellekens, Theofiel Hubert Ghys et fleuri Depoorter, dans les brevets belges 568.840 demandé le 24 juin 1958 au nom de Gevaert Photo-Producten N.V., 654.816 demandée 26 octobre 1964 par Bgfa AG, 662.796 demandé le 21 avril 1965 par ssgSa AG, 701.921 demandé le 27 juillet 1967 par Konishirokti Photographic Industry Ltd., 710o831 demandé le 19 juin 19o8 par Eonishiroku Photographic Industry Ltd. et 723.720 demandé le 12 novembre 1968 par Kodak Limited, dans les brevets français 942.838 demandé le 12 juillet 1946 par Kodak Limited, 994.762 demandé le 8 septembre 1949 par Gevaert Photo Producten N.V. et 1.017.981 demandé le 24 février 1948 par Kodak, Ltd. etc. Les émulsions précitées peuvent être soumises à une sensi- bilisation chimique en procédant à la maturation en présence de faibles quantités de composés sulfurés tels que le thiocyanate d'allyle, l'allyl-thiourée, le thiosulfate de sodium, etc.On peut également soumettre les émulsions à une sensibilisation au moyen de réducteurs, par exemple des composés d'étain du type décrit dans le brevet français 1.146.955 demandé le Il avril 1956 par Gevaert Photo-Producten N.V. et dans le brevet belge 568.687 demandé le 18 juin 1958 par Farbenfabriken Bayer AG. des composés d'acide imino-amino-méthane-sulfinique du type décrit dans le brevet britannique 789.823 demandé le 29 avril 1955 par Gevaert Photo-Producten N.V., ainsi que de petites quantités de composés de métaux nobles tels que l'or, le platine, le palladium, l'iridium, le ruthénium et le rhodium.On peut également utiliser des combinaisons de ces agents de sensibilisation chimique, par exemple une sensibilisation à l'or et au soufre,- ainsi qu'une sensibilisation par réduction et â l'or. Les émulsions peuvent également contenir des composés qui sensibilisent l'émulsion par une accélération du développement, par exemple des composés du type des polyoxyallkylènes tels que les produits de condensation dioxydes d'alkylène qui sont décrits entre autres dans les brevets américains 2.531.832 demandé le 12 juin 1947 au nom de William Âlexander Stanton et 2 533.990 demandé le 10 juin 1947 au nom de Ralph Kingsley Blake, dans les brevets britanniques 920.637 demandé le 7 mai- 1959 par Gevaert-Photo-Producten N.V., 940.051 demandé le 1 novembre 1961 par Gevaert Photo-Producten N.V., 945.340 demandé le 23 octobre 1961 par Gevaert Photo-Producten N.v. et 991.608 demandé le 14 juin 1961 par Kodak Limited, ainsi que dans le brevet belge 648.710 demandé le 2 juin 1964 par Gevaert Photo Producten N.V., de mme que les composés d'onium connus, notamment les composés d'ammonium quaternaire, de phosphonnum quaternsine et de suif omnium quaternaire, ainsi que les dérivés d'opium d' amino-N-oxydes du type décrit dans le brevet britannique 1.121.696 demandé le 7 octobre 1965 par Gevaert-Agfa N,V, L'émulsion peut également contenir des stabilisants, par exemple des thioxo-composés hétérocycliques azotés tels que la benzothiazoline-2-thione et la 1-phènyl-2-tétrazoline-5-thione, ainsi que des composés du type de l'hydroxytriazolopyrimidine. Les émulsions précitées peuvent également être stabilisées avec des composés de mercure tels que ceux décrits dans les brevets belges 524.121 demandé le 7 novembre 1953 par Kodak S.A. et 677.337 demandé le 3 mars 1966 par Gevaert-Agfa N.V., dans le brevet britannique 1.173.609 demandé le 12 décembre 1966 par la Demanderesse et dans le brevet américain 3.179.520 demandé le 13 février 1963 aux noms de Yoshio Mira, Akra Eumai et Yosuke Nakaj ima. L'émulsion peut également contenir des composés qui -atténuent les déformations de 1 image et améliorent la netteté des bords, par exemple des composés du type décrit dans les demandes de brevets 2.161.045 demandée le 9 décembre 1971 par Âgfa-Gevaert AG, 2.254.357 demandée le 7 novembre 1972 par Agfa- Gevaert ÂG, 2.254.358 demandée le 7 novembre 1972 par Âgfa- Gevaert ÂG et 2.255.032 demandée le 10 novembre 1972 par Âgf a- Gevaert AG, tous publiées en République Fédérale d1llemagne. On peut utiliser, dans les émulsions suivant la présente invention, l'un ou l'autre des agents de durcissement appropriés pour les colloïdes hydrophiles par exemple les sels de chrome, d'aluminium et de zirconium, le formaldéhyde, les-dialdéhydes, les hydroxy-aldéhydes, l'acroleine, le glyoxal, les acides aldéhydiques halogénés, par exemple l'acide mucochiorique et l'acide mucobromique, les dicétones telles que la divinylcétone, les composés comportant un ou plusieurs groupes vinyl-sulfonyle, par exemple, la divinyl-sulfone, le 1,3,5-trivinyl-sulfonyl- benzène, les hexahydro-s-triazines comportant des groupes vinylcarbonyle, halogénacétyle et/ou acryle, par exemple, la 1,3,5triacryloyl-hexahydro-1,3,5-triazine, la 1,3-diacryloyl-5-acétylhexahydro-1,3,5-triazine, la 1,3,5-trichloracétyl-hexahydro1,3,5-triazine, etc. Les émulsions peuvent également contenir des colorants absorbant la lumière qui sont choisis de façon à absorber la lumière de la longueur d'onde à laquelle le matériau est exposé, réduisant ainsi la dispersion et la réflexion de la lumière dans le matériau photographique. Pour de plus amples détails concernant ces colorants, on peut se référer au brevet belge 699.375 demandé le 1er juin 1967 par Kodak Go. et à la littérature des brevets mentionnés dans cette spécification, ainsi qu'au brevet américain 3.652.280 demandé le 8 décembre 1969 aux noms de Maurice Hector De Belder, Rene Omer Pupille, Hetman Adelbert Philippaerts, Theofiel Faubert Ghys et fleuri Depoorter. De préférence, les colorants sont utilisés dans des q ités calculées de façon à obtenir, par micron d'épaisseur d a couche d'émulsion, une densité comprise entre 0,05 et 0,20, mesurée dans la zone spectrale de la lumière d'expositio h - Il peut également être avantageux de prévoir, entre le support et la couche d'émulsion, une couche antihalo du type décrit dans 11 édition de mai 1974 de "Researeh l3isclosureJ'- Disclosure RD 12 106 Les émulsions peuvent etre coulées sur une large variété de supports dtemnlsions photographiques.Gomme supports spécifiques, on mentionnera, par exemple, une pellicule d'ester de cellulose, une pellicule de polyvinyl-acétal, une pellicule de polystyrône, une pellicule de téréphtalate de poliyéthiylène, ainsi que les pellicules apparentées de matières plastiques, de même que le papier et le verre. 'lors de la fabrication de matériaux en plaques à haut pouvoir résolvant en vue de la préparation de masques destinés à être utilises dans l'industrie électronique, on utilisera le plus avantageusement des supports en verre eu égard à leur haute stabilité dimensionnelle. Afin d'améliorer l'adhérence de la couche d'émulsion à des supports en verre lors de la préparation de matériaux en plaques à haut pouvoir résolvant, on peut incorporer, à 11 émulsion, les composés de silicium décrits dans le brevet britannique 1.286.Mi7 demandé le 18 novembre 1968 par Gevaeft-Âgf a N.V. Les émulsions photosensibles peuvent également contenir tous les autres types d'ingrédients tels que des-plastifiants, des adjuvants de coulée, etc. Bien que l'invention ait été décrite en se référant en particulier à la préparation de masques tels que ceux utilisés dans la fabrication de circuits microélectroniques intégrés, on obtient les mêmes effets favorables en traitant, à l'aide d'un révélateur visqueux, des matériaux de Lippmann utilisés dans dtautres applications dans lesquelles une reproduction précise des très petits détails de l'image est alune importante primor- diale. L'exemple suivant illustre la présente invention. Exemple On utilise deux plaques photographiques comprenant chacune un support en verre sur lequel est coulée une émulsion- au bromoiodure d'argent du type de Lippmann ayant des grains d'un dia mètre moyen de 50 nm et contenant un sensibilisateur spectral pour la zone verte du spectre, ainsi qu'un colorant améliorant le pouvoir résolvant en une quantité correspondant à une densité (mesurée dans la zone verte du spectre3 de 0,07 par micron d'épaisseur de la couche. On développe ces plaques après les avoir exposées par contact à travers un masque au ehrome en utilisant le filtre de bande U 525 (vendu par la Demanderesse) ayant une largeur de bande de 52 nm avec un pouvoir de transmission maxima à 525 nm. On développe une des plaques en utilisant un révélateur liquide A comprenant, par litre sulfate de p-N-méthylaminophénol 5 g hydroquinone 25 g sel de sodium d'acide échylène-diamine tétracetigpe 1 g sulfate de potassium 50 g I -phényl-5-mercaptot étrazole 200 mg sulfite de sodium 40 g hydroxyde de sodium pour obtenir un pfl de Il On développe l'autre plaque en utilisant un révélateur visqueux B obtenu en ajoutant 30 g par litre de carboxyméthyl- cellulose de sodium au révélateur A On applique les révélateurs sur les plaques pendant 10 minutes à 2000 Les résultats obtenus avec le révélateur B sont nettement meilleurs que ceux obtenus avec le révélateur h en ce qui con cerne la netteté des bords dans des lignes d'une largeur aussi faible que 1 Fm. De plus, avec le révélateur B, on obtient, dans la densité moyenne des différentes largeurs de lignes, un meilleur équilibre qu'avec le révélateur A. Le révélateur B donne des résultats supérieurs identiques lorsqu'on ajoute 15 g de bromure de potassium par litre aux révélateurs. ERDIGATI0NS 1. Procédé de développement d'émulsions aux halogénures d'argent exposées du type de Lippmann ayant des grains d'un dia mètre moyen inférieur à 100 nm, caractérisé en ce que le développe- ment est effectué au moyen d'une composition de traitement visqueuse. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que cette composition de traitement visqueuse comprend un agent épaississant filmogène soluble dans les alcalis. 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que cet agent épaississant est la carboxyméthyl-cellulose de sodium. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications I à 3, caractérisé en ce que là composition de traitement visqueuse a une viscosité comprise entre environ 70 cP et environ 300 cP. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que l'émulsion de lbippmann est une émulsion au bromoiodure d'argent. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que l'émulsion est soumise à une sensibilisation spectrale pour la zone verte du spectre. 7. Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'émulsion comprend un colorant absorbant la lumière en une quantité calculée de façon à obtenir, par micron d'épaisseur de la couche d'émulsion, une densité comprise entre environ 0,05 et environ 0,20, mesurée dans la zone spectrale de la lumière d'exposition. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications I à 7, caractérisé en ce que l'émulsion est coulée sur un support en verre 9. Procédé pour la reproduction de détails d'une image ayant une largeur géométrique de 5 llm ou moins par exposition et développement d'une émulsion photographique de Lippmann, caractérisé en ce que le développement est effectué au moyen d'une composition de traitement visqueuse. 10. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que cette composition de traitement visqueuse contient un agent épaississant filmogène soluble dans les alcalis. 11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que cet agent épaississant est la carboxyméthyl-cellulose de sodium. 12. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 11, caractérisé en ce que la composition de traitement visqueuse a 1me viscosité comprise entre environ 70 cP et environ 300 cP. 13. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 12, caractérisé en ce que l'émulsion de lLippmann est une émulsion au bromoiodudre d'argent. 14. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 13, caractérisé en ce que l'émulsion est soumise à une sensibilisation spectrale pour la zone verte du spectre. 15. Procédé selon la revendication 14, caractérisé en ce quel1émulsion contient un colorant absorbant la lumière en une quantité calculée de façon à obtenir, par micron dlepaisseur de la couche d'émulsion, une densité comprise entre environ 0,05 et environ On20, mesurée dans la zone spectrale de la lumière d'exposition. 16. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 15, caractérisé en ce que l'émulsion est coulée sur un support en verre.