Brevet FR2299624A1 — publié le 19760827

La présente invention concerne un procédé et un disposi- tif optiques, donc non destructifs, de détermination des états de surface, en particulier les paramètres de la rugosité. L'in- vention concerne notamment un procédé et un dispositif permettant le contrEle qualitatif et quantitatif desdits paramètres dans une fabrication en série. Â titre de document antérieur illustratif de l'état de la technique, on peut citer l'article de Mme F. BERNY et M.C. IMBERT dans le bulletin BNM de Janvier 1973 vol. 4, n 15. Le schéma illustratif de ce procédé connu est représenté à la figure 1 annexée au présent mémoire descriptif. D'autres systèmes connus, dits profilomètres, permettent, soit optiquement, soit par des palpeurs, de visualiser le profil suivant une ligne. Ils nécessitent la présence continue d'un opérateur. te dispositif èt le procédé suivant l'invention permettent d'atteindre directement deux critères statistiques caractéristiques de la surface rugueuse à savoir l'écart quadratique moyen ou rugosité 6 et la distance de corrélation T . Dans lesprocédés connus, cette détermination n'était possible que de manière indirecte et/ou après des calculs compliqués. Dans le système connu décrit dans l'article de Mme F. BERNY et M. C. IMBERT cité plus haut, deux mesures sont nécessaires pour déterminer la rugosité d'un échantillon. Ces deux me- sures sont de plus ponctuelles, ce qui présente les inconvénients qu'on décrira plus loin, notamment dans le cas d'un échantillon présentant des ondulations périodiques. La détermination des deux critères statistiques caractéristiques des états de surface, l'écart quadratique moyen 6 et la distance de corrélation T, est soumise tout d'abord au choix d'un modèle mathématique approprié pour représenter la- surface rugueuse. Le modèle gaussien permet l'étude d'une surface rugueuse aléatoire parfaitement définie par une seule rugosité 6 et une seule distance de corrélation T. Un tex modèle gaussien se trouve justifié dans de nombreux cas,notamment pour les chant lons obtenus par électroérosion, grenaillage, ou encore par rectification plane. Dans certains cas, la surface rugueuse se trouve constituée par la superposition de plusieurs rugosités.Pour des échantillons tournés ou fraisés par exemple, on distingue l'ondulation périodiaue, due à l'avance de l'outil et des irrégularités aléatoires. I1 faut alors utiliser un modèle mathémati- que tenant copte de cette rugosité composée, a partir duquel on obtent # et T, ayant préalabletrent déter-iné l'ondulation qui rassemble des défauts de Darse fréquence spatiale.Le cas de l'échantillon rugueux constitué d'une seule sorte de rugosité caractérisée par un seul écart quadratique moyen 6 et par une seule distance de corrélation T, si l'échantillon est aléatoire, ou par la hauteur et la période des irrégularités, si l'échantil- lon est périodiques a eté traité par Beckmann et Spizzichino (publié par Pergamon Press, londres-New-York 1963), la distribution en amplitude du faisceau lumineux cohérent étant uniforme. Beckmann (Proceeding of the IEEE vol.53 N 1965), a également traité le cas où la rugosité d'une surface se trouve constituée de plusieurs sortes de rugosités, celles-ci étant toutes des fonctions aléatoires, indépendantes et stationnaires,avec chacune leur propre distribution statistique et leur propre fonction de corrélation. L'intensité renvoyée a ainsi été reliée à certains modèles précis de surfaces rugueuses. Les considérations théoriques qui sont à la base de la présente invention ont été faites dans le c-as d'une distribution d'amplitude de faisceau gaussienne et pour des échantillons composés d'une seule sorte de rugosité, défauts du 3ème ou 4ème ordre, l'ondulation, défaut du 2ème ordre, étant censée ne pas in tervenir. Pour les échantillons à rugosité composée tels que ceux obtenus par tournage ou fraisage, un modèle plus élaboré s'est avéré nécessaire. Un modèle a de mEme été adapté aux échantillons cylindriques. La présente invention sera exposée en s'aidant des figures,parmi lesquelles Fig. 1 est un schéma de principe d'un procédé connu de la détermination de la rugosité. Fig. 2 est un schéma de principe du dispositif de variation de 8 suivant; l'invention. Fig. 3 illustre la répartition des pics dans le cas de lutilisation d'une mire créneau. Fig. 4 montre des diaphragmes utilisés pour sélectionner la lumière réfléchie spéculairement et la lumière diffusée. Fig. 5 est un schéma illustrant la géométrie de la tête dans une cinématique où la tête est considérée comne fixe. Fig. 6 est un détail de figure, mais dans une cinémati- que où l'échantillon est fixe. Fig. 7 est une coupe longitudinale de la tête suivant l'invention, la coupe gauche correspondant au cas où 8 Q 850 et la coupe droite au cas où 0 Q 45 . Fig. 8 est une coupe de la tête suivant la ligne C1C'1, C2C'2. Le montage connu de la figure I servira maintenant de base à l'exposé théorique pour illustrer le procédé de l'invention. Dans le cas d'un échantillon plan et suivant la figure 1, un faisceau lumineux de rayons parallèles et cohérents #1O issus d'un laser H3-N3 arrive sur une surface rugueuse aléatoire de plan moyen xOy sous une incidence Q. Un objectif de centre O1 est placé près de la surface.On observe, dans son plan focal I' Y', d'une part la lumière réfléchie spéculairement, d1aitre part la lumière diffusée par I'échantillon. On appelle I (X'Y') l'in- tensité obtenue en un point quelconque P' (X',Y') du plan focal X'Y' lorsque la réflexion est faite sur un échantillon rugueux défini par # et T, Io (X',Y') l'éclairement obtenu en P' si l'é- chantillon est remplacé par un miroir taillé dans le même matériau. il vient # est la longueur d'onde du faisceau laser #oest le rayon du faisceau laser donné par le constructeur0 F est la focale de l'objectif O. rugosité apparente. Les conditions suivantes doivent etre satisfaites Dans la pratique, on prend #o > 1000 # Pour les échantillons anisotropes présentant des irrégularités # (x) suivant la direction z, les résultats précédents sont légèrement modifiés, notamment (III) devient Pour l'interprétation des résultats, on se référera à la publication de Mme F. BERNY etMr.CIMBERT citée supra. On rappellera que l'angle Q ne doit pas être supérieur à 870 à cause des effets d'ombre. Le problème auquel la présente invention apporte une solu- tion est celui d'une application industrielle des déterminations de rugosité. En effet, une détermination qui exige un appareillage délicat, difficile à régler et manipuler ou dont les déterminations nécessitent un temps considérable ou des calculs compliqués, ne peut avoir que des utilisations limitées dans l'industrie et en particulier ne convient pas pour des contrôles de fabrications en série. Les dispositifs selon l'invention, et dont un schéma est donné à titre d'exemple par la fig. 2 > présentent la particularité de comprendre des moyens permettant de connaître rapidement, par lecture ou comptage direct, au moins un paramètre de la rugosité. Ces moyens peuvent être, par exemple un apparaillage d'a- fichage numérique ou une imprimante disposés à la sortie d'un organe de calcul tel qu'un calculateur analogique ou,de façon plus simple encore, un écran sur lequel apparaissent un petit nombre de taches lumineuses sur un fond relativement uniforme, taches qu'il suffit de compter pour obtenir une valeur approchée de la rugosité. Un autre élément de nature à concourir au résultat cherché par l'invention est une tête pour faire varier l'angle dtinciden- ce sur l'objet sans que varient ni la position du rayon incident qui entre dans la texte, ni la position du rayon réfléchi qui en sort. Du fait de cette tête, les réglages de l'appareil sont rendus particulièrement simples, ce qui est essentiel pour un emploi industriel. De préférence, cette tête comprend un système de translation portant sans jeu sur un poussoir dont l'axe est l'axe de la texte, ledit poussoir étant muni de deux fraisages inclinés d'une même valeur par rapport audit axe de la tête et destinés à régler l'écartement de deux supports de miroirs symétriques par rapport audit axe de la texte, lesdits supports étant articulés autour d'un axe commun perpendiculaire audit axe de la tête, et de manière à constituer un système de ciseaux eux-mêmes pourvus d'axes en contact sans jeu avec lesdits fraisages dudit support. Avantageusement, la tête fait varier l'angle d'incidence Q d'une manière linéaire par rapport au déplacement de la commande dudit système de translation, cette linéarité pouvant être obtenue par la présence, sur les axes des ciseaux, de couteaux portant sur les frai sages dudit poussoir. De façon simple, on peut prévoir que le système de translation est une vis micrométrique dont l'axe porte sans jeu sur ledit poussoir. e cantrage du faisceau sur l'echantillon, seul réglage qui reste à faire lorsqu'on utilise cette tête, peut être obtenu de façon très simple avec un viseur placé dans l'axe de la tête et dirigé vers l'echantillon : il suffit de déplacer l'échantillon par rapport à la texte par translation le 'long de-son--axe- jusqu'à amener lepoint d'incidence sur l'axe du viseur. Suivant-une modalité avantageuse de l'invention, le dispositif comprend une mire périodique interposée sur le trajet du faisceau en anont ou en aval de l'échantillon. Cette mire permet d'obtenir, sur un écran, des pics (ou taches) de diffraction de la lumière réfléchie, qui se détachent sur le fond relativement plus uniforme de la lumière diffusée, et on peut mesurer les intensités de ces pics. Il est particulièrement intéressant d'utiliser comme mire une mire à créneau o,u mire de Foucault, qui donne une série de pics, alors qu'une mire sinusoïdale, par exemple, ne donne que deux pics correspondant à deux harmoniques. Les' pics-donnés par la mire créneau sont de hauteur décroissante jusqu'à disparition dans le fond diffus, et il suffit de les compter pour avoir une indication'de la rugosité. Le con- trôle d'une fabrication de série n'exige pas, dès lors, une at- tention très soutenue et peut même être confiéJà la limite, à un personnel illettré. On montre, en effet, qu'avec la mire créneau, on obtient dans le plan de l'image le spectre de la mire se détachant sur un fond plus ou moins diffus (cf.f.3). Les pics sont répartis suivant les directions #g/2ao où q est un nombre entier variant de 0 à # et où 2ao est la période de la mire; si l'échantillon aléatoire est isotrope on a : où2b, est la largeur d'une fente de la mire (# # ao) avec les conditions: T1 # Pour un échantillon donné, le nombre de pics visibles sur le fond diminue quand 0 diminue ou quand la rugosité augmente puisque l'importance du fond diffus augmente.On peut comparer différents échantillons de rugosités voisines en comptant, à ; constant, le nombre de pics apparaissant sur le fond diffus. Si un échantillon type a été choisi, et sa rugosité fRpréa- lablement déterminée, il est facile, dans une fabrication en série, d'éliminer les échantillons non conformes sans avoir à effectuer de mesures quantitatives. Il suffit d'observer le spectre de la mire et de comparer le nombre de pics observés. Dans le cas d'échantillons cylindriques, il suffit d'ajou- ter des lentilles cylindriques additionnelles dans le plan de l'objectif 01 afin que le faisceau réfléchi spéculairement soit toujours focalisé dans le plan focal de Oi Pour des échantillons usinés par rabotage comme les écran tillons N 1, R.B. 14 et 15 du "Rugotest" LCA -CEA, la valeur 6 déduite de la formule ########## = e -g n'est qu'approximative car ils présentent une ondulation périodique gênante.Celle-ci est d'ailleurs mise en évidence sans la mire créneau par son spectre visible dans le plan X' Y' qui est constitué d'une série de pics régulièrement répartis. il est facile d'en déduire le pas de l'ondulation due à 11 avance de l'ou- til. L'intensité du pic réfléchi spéculairement dépend à la fois de la profondeur de ltondulation et de la profondeur de la rugosité. De même, en première approximation, l'intensité d1un pic différent du pic central dépend à la Sois de la profondeur de l'ondulation et de la rugosité dans une région où le fond diffus peut entre négligé.Les échantillons ne présentant d'irrégularités que suivant x, il vient: étant un terme aléatoire et 2 une sinusoïde de période #o. Il vient, pour le pic central d'ordre zéro Jo fonction de Bessel d'ordre O h amplitude de l'ondulation. Pour un pic d'ordre m, on obtiendrait un terme en Quand les échantillons sont obtenus par rabotage, il y a donc lieu d'utiliser la formulation corrigée (VII), dans le cas où Si on souhaite utiliser la mire de Foucault, il y a lieu de faire attention à l'interpréta- tion des résultats. Une mesure de la lumière diffusée dans une sone étendue permet de moyenner le fond diffus et de mesurer un échantillon présentant une ondulation périodique gênante. La figure 2 illustre un mode de réalisation de l'invention. La lumière issue du laser 1 est polarisée par le polariseur 2, modulée par un modulateur 3 qui peut être un disque percé de trous équidistants et animé d'un mouvement de vitesse angulaire constante ou tout autre procédé connu, renvoyée verticalement par le miroir 4, déviée par la face polie du prisme 5 qui la renvoie sur l'échantillon suivant un angle 0, le prisme 7 et le miroir 4', identiques à leurs homologues 5 et 4, étant disposés symétrique- ment à eux-ci par rapport à l'axe vertical passant par E et dans un plan vertical perpendiculaire à l'axe du rayon issu du laser, de façon à ce que la lumière soit renvoyée dans l'objectif 8 parallèlement à la lumière issue du laser 1-.En 13 est représentee une mire créneau interposée dans le plan de la pupille de l'objectif 8 et en 10 un miroir occultable qui, pivotant autour de son axe 10', permet d'envoyer la lumière soit sur le plan de visualisation 11, généralement un dépoli, soit sur le dispositif de mesure 12 par l'intermédiaire de l'objectif 9 et du diaphragme 12'. Le diaphragme 12f permet de sélectionner soit le pic spé- culaire, soit le fond diffus, pour la mesure d'un échantillon grâce aux formes indiquées sur les figures 4a,4b et 4c. Le modulateur 3 pilote une détection synchrone liée au dispositif de mesure 12. La figure 5 montre la géométrie de la tête en E'1 sous l'incidence de 450 (trajet de la lumière À'1 E'1 B'1), en E de 850 (trajet de la lumière AEB), et entre ces deux valeurs extrê- mes une position quelconque E"1 (trajet de la lumière A"1 E"1 B"1) sous l'incidence 0. Les prismes 5 et 7 faisant office de miroir,et dont seule la trace de la face utilisée est représentée, sont disposés symé- triquement par rapport à la verticale- CE et de bout par rapport au plan EB. Dans la figure 6, qui est un détail de la précédente dans une cinématique où l'échantillon est considéré comme fixe, on a désigné respectivement par R, Et et H" les projections sur l'axe vertical LL' passant par s des points A, A' et A" et par C,C' et C" les intersections des normales au miroir en A,A' et A" respectivement. On remarquera que les points E' et C sont voisins mais non confondus avec l'axe LL'. Dans ces conditions, le déplacement extrême AA' est donné par AA' = l(1-cotg 850) = 27X375 mm pour 1 = 60 mm. Avec 1= AB/2 = AH demi-entraxe de miroirs. Pour le point courant, on a AA" = 1(cotg 0 - cotg 85 ). Le dispositif réalisé est tel que l'axe de rotation des miroirs 5 et 7, perpendiculaire au plan d'incidence, est situé au voisinage de E. Lorsque Q diminue de 85 à 450, les miroirs montent symétriquement, les points À (ou B) se plaçant en A'1 (ou B'1) comme le montre la figure 4. Il faut alors remonter la têts de la distance EE'1 si on désire que l'échantillon reste fixe. C'est-à-dire que pour Q = 450 on ait bien : EE'1 + AA'1 = AA' = 27,375 mm. De plus la mécanique est réalisée de telle sorte que le déplacement extrême EE1 soit égal à 13 mm. Lorsqu'on considère le trajet du faisceau moyen A'' EB", le déplacement AA" (ou BB") est réalisé en deux parties : tout d'abord les miroirs 5 (ou 7) tournent et se décalent de AA"1 (ou BB"1), ensuite le bloc tête remonte de la quantité EE"1, l'entraxe A" B restant constant. On montre que l'on a EE"1 ex- primé en mm : Dans ces conditions, l'axe de la tete est confondu avec la bissectrice IL' des angles incident et réfléchi spéculairement par l'échantillon. Un viseur dont l'axe est confondu avec CC' permet de vérifier le centrdge du faisceau clest-å-dire la coin-- cidence de CC" et LL". La correspondance des valeurs de 0, AA'', AA''1 et est donnée par le tableau ci-dessous. 0 AA" mm AA"1 mm EE"1 mm 85 0 0 0 82 1,59 0,84 0,75 80 2,66 1,40 1,27 75 5,41 2,84 2,57 60 14,70 7,72 6,98 50 22,55 11,84 10,71 45 27,375 14,375 13 On décrira maintenant un mode de réalisation mécanique de la tête permettant dè faire varier l'angle Q. Il est évident d'a- près les calculs ci-dessus que la gamme angulaire en a été volontairement limitée,non pour des raisons de principe, mais pour réaliser une tête de dimensions relativement réduites. Au prix d'une augmentation de l'encombrement, la plage de variation de l'angle 0 peut entre élargie sans difficulté jusqu'aux environs de 00. Elle peut aussi être élargie jusqu'à 870 environ, cette dernière limite pouvant toutefois difficilement être dépassée pour des raisons théoriques liées à l'axistence d'effets d'ombre, comme il a été indiqué psus haut. On se réfère maintenent aux figures 7 et 8. La vis mïcrométrique 14 est pourvue d'un axe coulissant 15, portant sur une butée 19 emmanchée dureou fixée par tout autre procédé connu sur le poussoir 17, qui,par l'intermédiaire du ressort 18 appuyé sur une butée 18, rattrape en permanence le Jeu entre 15 et 16. Le poussoir 17 est pourvu de deux fraisages 17' et 17" inclinés d'une même valeur par rapport à l'axe vertical,destinés à régler l'écartement des deux supports de miroirs, 18' correspondant ail miroir 5 et 18" correspondant au miroir 7, ces supports étant articulés autour de l'axe 19 de manière à former un système de ciseaux. Le contact entre les bras des ciseaux 18' et 18"- et les fraisages 17' et 17" est réalisé par l'intermédiaire des axes 20" et 20" sortant des couteaux 21' et 21" de manière a ce que le point de contact desdits couteaux soit fixe, assurant ainsi la linéarité du déjplacement angulaire avec la course de la vis micrométrique 14.Un ressort 22 est monté entre les axex 20' et 20" de manière a assurer une force de rappel maintenant le contact entre les couteaux 21' et 21" et les fraisages 17' et 17". La figure 7 montre aussi une position-possible de la mire 13. On décrira maintenant et à titre d'exemple une opération de mesure suivant l'invention. l'échantillon est positionné sois la tête et par rapport à l'axe CC'. La tête une fois réglée à l'angle Q voulu, on tourne la vis micrométrique (non représentée) qui sert au déplacement de l'ensemble de la texte par rapport à l'échantillon, jusqu'à ce que l'on voie le faisceau lumineux incident sur l'échantillon centré, dans un viseur (non représenté), et disposé suivant l'axe CC' identique' d'ailleurs à C1C'1. La mesure peut eAtre alors effectuée à 11 aide du dispositif de mesure 12 ou du plan de visualisation 11. Le dispositif de me- sure 12 peut comprendre par exemple une on plusieurs photodiodes- Dans le cas de la détermination du critères 6, on fait en principe trois mesures avec une seule photodiode, à savoir une mesure dite normative de l'intensité réfléchie par une référence de même matériau que l'échantillon mais polie et une m@sure de la lumière renvoyée spéculairement par l'échantillon grâce au diaphragme 4a et,si nécessaire, une mesure de la lumière diffusée par l'échantillon, au voisinage immédiat du pic central, grâce au disphrag me 4c.Ces trois mesures sont introduites dans une mémoire digitale, puis@un calculateur analogique calcule la valeur de 6 qui est affichée numériquement. Il est possible en outre de calculer assez simplement T en faisant appel aux valeurs tabulées de la fonction f ou à des abaques et en effectuant, outre la mesure normative une mesure de la lumière diffusée par l'échantillon isotrope à l'aide du diaphragme 4b. - faire @@ est avantageuxde/entrer comme paramerre la valeur taDu lée du facteur de réflexion C du matériau constituant l'échantil- lon. Cela dispense d'effectuer une mesure normative avec, comme l'indique la théorie, un échantillon de référence poli du même matériau. Dans le cas d'une production en série, il est superflu d'èffectuer des mesures quantitatives pour chaque échantillon à contr8ler. On interpose alors une mire créneau 13. On peut alors compter le nombre de pics à laide d'un dispositif 12 adapté à cet effet, comprenant par exemple diverses photodiodes disposées aux endroits où les pics doivent apparattre. Une logique de comptage des pics détermine alors l'acceptation ou le rejet de la fabricationv Ce contr8le peut être effectué à une cadence aussi rapide que le permet le système de présentation des échantillons, ce système pouvant inclure un automatisme pour le rejet des échan- tillons, un tel dispositif étant bien connu de l'homme de l'art sous le nom "d'automate programmable". Enfin, pour de gros échantillons, il est prévu une tête orientable. Diverses mesures effectuées à l'aide du prototype et portant notamment sur des "Fugotest LCA-CEA bien connus dans le domaine du contrôle-qualité, on a montré qu'il était possible de mesurer de manière satisfaisante, outre les isotropes simples, les anisotropes simples, les échantillons présentant des directions croisées comme les pièces fraisées. Pour les anisotropes simples, il est possible à la fois de mesurer la hauteur et la période des ondulations périodiques et les paramètres 6 et T de la rugosité aléatoire. Pour les pièces présentant des directions croisées, on mesure facilement (i , de même que pour les pièces tournées. Cn peut aussi utiliser la mire si l'ondulation périodique n'est pas trop importante. REVENDICATIONS 1. Dispositif pour la détermination de paramètres de la rugosité d'un objet par comparaison de la lumière réfléchie spéculairement par l'objet lorsqu'il reçoit un rayoh incident monochromatique cohérent avec la lumière diffusée par le meme objet éclairé de la même façon, caractérisé en ce qu'il comprend-des moyens permettant de connaître rapidement, par lecture ou comptage directs, au moins un paramètre de la rugosité. 2. Dispositif selon la revendication 1* caractérisé en ce qu'il comprend une tête pour faire varier l'angle d'incidence sur l'objet, les positions du rayon incident qui entre dans la tête et du rayon réfléchi qui en sort étant fixées. 3. Dispositif suivant la revendication 2, caractérisé en ce que la tête comprend un système de.translation portant sans jeu sur un poussoir dont l'axe est l'axe de la tête, ledit poussoir étant muni de deux fraisages inclinés dune même valeur par rapport audit axe de la tete, et destinés à régler l'écartement de deux supports de miroirs symétriques par rapport audit axe de la tettes lesdits supports étant articulés autour d'un axe commun perpendiculaire audit axe de la texte, et de manière à constituer un système de ciseaux eux-mêmes pourvus d'axes 20' et 20n en contact sans jeu avec lesdits fraisages dudit support. 4. Dispositif suivant lune quelconque des revendications 2 ou 3,caractérisé en ce que la tête fait varier l'angle d'incidence ; d'une manière linéaire par rapport au déplacement de la commande dudit système de translation. 5. Dispositif suivant la revendication 4, caractérisé en ce que ladite linéarité est obtenue par la présence sur les axes 20' et 20" de couteaux 17'et 17" portant sur les fraisages audit poussoir. 6. Dispositif suivant l'une quelconque des revendications 2 à 51 caractérisé en ce que ledit système de translation est une vis micrométrique dont l'axe porte sans jeu sur ledit poussoir. 7. Dispositif suivant l'une quelconque des revenications 2 à 6, caractérisé en ce que le centrage du faisceau sur l'échan- tillon est réalisé à l'aide d'un viseur placé dans l'axe de la tête, ladite texte pouvant se translater et l'échantillon restant fixe lorsqu'on fait varier l'angle d'incidence Q. 8. Dispositif suivant l'une quelconque des revendications I à 73 caractérisé en ce qu'il permet de faire varier l'angle d'incidence 0 de 0 à 87 . 9. Dispositif selon une des revendications 1 à 8, carac térisé en ae qu'il comprend une mire périodique interposée sur le trajet du faisceau en amont ou en aval de l'échantillon. 10. Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que la mire périodique est une mire créneau ou mire de Foucault. 11. Dispositif selon l'une des revendications 9 ou 10, caractérisé en ce qu'il comprend un écran placé en aval de l'objet à examiner et de la mire, et sur lequel on peut compter les pics du spectre de la mire qui se détachent sur le fond diffus, ce qui permet une détermination rapide de la rugosité. 12. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisé et ce qu'il comprend et plus des moyens pour mesurer l'intensité de la lumière réfléchie et/cu diffuse par l'objet, des moyens pour comparer rapidement les résultats de ces mesures avec des valeurs tabulées du coefficient de réfle xion C du matériau constituant l'échantillon, ces valeurs constituant une référence. 13. Dispositif selon la revendication 12, caractérisé en ce qu'il comprend un organe de calcul dans lequel on introduit, outre le résultat des mesures d'intensité due îa lumière, les valeurs tabulées du coefficient C. 14. Dispositif suivant l'une des revendications i à 13, et particlièrement adapt@ au contrôle d'une fabrication de série, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens pour présenter automatiquement les objets à contrôler, la mesure directe du / fond diffus ou le comptage et/ou la mesure de l'intensité des pics du spectre du réseau permettant d'accepter ou de rebuter automatiquement un objet.