Brevet FR2262742A1 — publié le 19750926

La présente invention concerne une pompe ie rotor est au moins partiellement en forme de cloche et porte des aubes sr son cté extérieur. Les pompes turbomoléculaires connues sont des pompes d vide secondaires qui rejettent les gaz dans un espace ou une enceinte où il doit régner déjà un vide préliminaire ou primaire assez poussé, ce qui nécessite généralement l'utilisation d'un dispositif de pompage primaire coûteux, par exemple à deux étages, pour produire ce vide primaire. L'objet de l'invention est une~turbopompe moléculaire dont le rotor est au moins partiellement en cloche et porte des aubes sur son c8té extérieur, mais qui est réalisée de manière que le dispositif de pompage destiné à faire le vide primaire peut être simplifié. Une turbopompe moléculaire selon ltinvention est caractérisée en ce que l'espace à l'intérieur de la cloche formée par le rotor contient un corps fixe dont la face externe dirigée vers la paroi interne du rotor présente une rainure hélicoïdale, en ce que le canal annulaire formé entre ce corps fixe et la paroi interne de la cloche formée par la rotor se raccorde au canal dtentrainemant des gaz situé entre le stator et le rotor et dans lequel font saillie les aubes du rotor et du stator, et en ce que la rainure hélicoidale sur le corps fixe possède un pas tel que cette rainure produit une évacuation des gaz en coopération avec la paroi interne tournante du rotor.Dans une turbopompe moléculaire ainsi réalisée, le corps fixe présentant la rainure hélicoidale remplace au moins lrun des tages d'un dispositif de pompage primaire, de sorte que la dépense nécessaire jusqu'à présent pour produire le vide primaire requis peut etre réduite considérablement. Le corps fixe placé à l1intérieur du rotor est avantageusement un corps cylindrique creux car cela permet un mode de construction simple et comparable aux turbopompes moléculaires connues. Ce corps fixe peut cependant avoir aussi la forme de n'importe quel corps de révolution a section conique par exemple. Il est en outre avantageux que la section transversale de la rainure hélicoidale diminue dans le sens de lraugmentation de la pression car cela augmente l'effet d'entrainement des gaz. D'autres caractéristiques et avantages de l'.nveutlon ressortiront plus clairement de la description qu va suivre d'un exemple de réalisation non limitatif, ainsi que de la figure unique du destin annexé qui est une coupe axiale åtune turbopompe moleculaíre selon l'invention. La turbopompe moléculaire 1 représentée sur le dessin comprend un stator 2 et un rotor 3. Le rotor 3 est réalisé en forme de cloche du coté primaire, de sorte qu'il définit à l'intérieur un espace 4 dans lequel sont logés les roulements à billes 5 et 6 pour l'arbre 7 ainsi que le moteur d'entraînement 8. Dans cet espace 4 est disposé,en outre,un corps fixe 9 qui a dans ce cas à peu près la forme d'un cylindre creux et dont la face externe tournée vers la paroi interne du rotor présente une rainure hélicoïdale 10.Le corps 9 est monté de façon étanche, par son extrémité inférieure, sur la bride de fixation inférieure lî de la pompe, et l'extrémité inférieure du corps 9 est par ailleurs réalisée de manière que le canal annulaire formé entre le rotor 3 et le corps cylindrique 9 se raccorde au canal d'entraînement des gaz que définissent entre eux le stator 2 et le rotor 3 de la pompe 1. L'écoulement des gaz évacués par la turbopompe moléculaire est indiqué par les flèches 12 à 15. Les gaz sont évacués de la pompe 1, plus précisément de la partie de l'espace 4 située à l'intérieur du corps cylindrique fixe 9, à travers une tubulure de raccordement 16 (flèche 17). Suivant l'efficacité du corps 9, les gaz sortant de.la tubulure 16 peuvent etre rejetés directement à l'atmosphère ou etre amenés à travers une conduite de vide 18 à une pompe primaire simple 19. R E V E N D I C A T I O N S 1. Pompe è vide turbomoléculaire dont le rotor est au moins partiellement en forme de cloche et porte des aubes sur son côté extérieur, caractérisée en ce que l'espace à l'intérieur de la cloche formée par le rotor contient un corps fixe dont la face externe dirigée vers la paroi interne du rotor présente une rainure hélicoidale, en ce que le canal annulaire formé entre ce corps fixe et la paroi interne de la cloche formée par le rotor se raccorde au canal d'entraînement des gaz situé entre le stator et le rotor et dans lequel font saillie les aubes du rotor et du stator, et en ce que la rainure hlicoRdale sur le corps fixe possède un pas tel que cette rainure produit une évacuation des gaz en coopération avec la paroi interne tournante du rotor. 2. Pompe à vide turbomoléculaire selon la revendication I, caractérisée en ce que le corps fixe est cylindrique et creux. 3. Poupe à vide turboicléculaire selonla revendication 1, caractérisée en ce que le corps fixe est un corps de révolution à section conique. 4. Poupe à vide turbomoléculaire selon l'une quelconque des revendications 1. 2 et 3, caractérisée en ce que la section transversale de la rainure hlicoSdale diminue dans le sens de l'augmentation de la pression.