Brevet FR2252661A1 — publié le 19750620

L'invention concerne des perfectionnements à ltemission-détection d'ondes électromagnétiques de très haute fréquence mettant en oeuvre une jonction Josephson et plus particulièrement des perfectionnements au couplage entre une jonction Josephson et un rayonnement électromagnétique hyperfréquence. On sait que les jonctions Josephson sont constituées d'une barrière électrique fine isolante ou semi-conductrice enserrée entre deux électrodes en matériau supra-conducteur. Dans une première forme de réalisation de telles jonctions, dites jonctions à pointe, l'une des électrodes est constituée d'une pointe fine en matériau supra-conducteur susceptible d'être déplacée et amenée en contact avec une surface d'un corps supra-conducteur, la barrière isolante étant alors constituée par la présence d'une couche oxydée à l'endroit de l'une ou l'autre électrode supraconductrice.Dans une seconde réalisation de telles jonctions, dénommées jonctions planes, les deux électrodes sont constituées par les surfaces planes enserrant étroitement par leurs deux faces en regard une fine couche de matériauisolant ou semw-conducteur. On sait que de telles jonctions, polarisées par une tension continue, sont p ticulLerement sensibles aux champs électriques à très halite fréquence, mais il est toujours avéré diffttilS d'extraire le rayonnement haute fréolence de la zone mmediatement voisine de la #onction où celui-ci est créé lorsque celle-ci travaille à ltemission, sauf si la jonction est couplée à une antenne Dans ce cas, il est alors nécessaire d'avoir un bouclage en retour pour assurer le fonctionnement de l'ensemble. Ce mode opératoire est plus particulièrement approprié aux jonctions à pointe car la pointe constitue une sorte d'antenne permettant d' extraire le rayonnement et d'assurer ainsi un certain couplage entre une telle jonction à pointe et une enceinte formant cavité électromagnétique, dans laquelle est placée la jonction, Au contraire, les jonctions planes présentent une très faible impédance d'onde et il est particulièrement difficile de coupler celles-ci au rayonnement régnant dans une enceinte à cavité électromagnétique hyperfréquence. La présente invention vise un procédé et un dispositif d'émissionréception d'un rayonnement électromagnétique de très haute fréquence, en particulier entre une jonction Josephson et une enceinte formant cavité électromagnétique, où le couplage entre ladite jonction et ledit rayonnement est considérablement amélioré. Un autre objet de l'invention est la réalisation d'une jonction Josephson qui est, en elle même, équipée de moyens améliorant son couplage avec un champ électromagnétique à très haute fréquence régnant dans le voisinage immédiat de la jonction, Encore un autre objet de la présente invention est un spectromètre mettant en oeuvre la détection de modifications électromagnétiques dans une cavité haute fréquence, ceci par le moyen d'une jonction JOSEPESON équipée des moyens perfectionnés de couplage avec ladite cavité-électromagnétique. Dans le procédé selon l'invention, on établit b proximité immédiate de la jonction placée dans une cavité électromagnétique, un circuit de couplage fermé sur ladite jonction incorporant une self en série avec une capacité et/ou une résistance, ladite self étant formée par au moins une boucle d'induction placée en un endroit de champ magnétique intense orienté substantiellement perpendiculairement au plan de ladite boucle. On réalise ainsi un boucle en retour p# réinjection dans la jonction d'une partie de l' énergie électromagnétique de la cavité.Bien entendu, il convient alors de régler la tension de polarisation de la jonction Josephson pour accorder la fréquence de travail de la jonction sur la fréquence de résonance de la cavité électromagnétique. L'invention a éalement pour objet une jonction Josephson, du genre incorporent une jonction proprement dite, comprenant, solidairement à un substrat-support, une barrière électrique fine isolante ou semiconductrice enserrée entre deux électrodes on watériau supra-conducteur, ainsi que deux conducteurs d'alimentation connectés respectivement à l'une et à l'autre des dites électrodes ; selon l'invention, cette jonction comporte, en outre, solidaire ég21ement dudit substrat-support, un circuit à self en série avec une capacité et/ou une résistance, ledit circuit étant connecté aux électrodes de la jonction, ladite self étant formée par un conducteur en boucle d1lnduction. Cette boucle d'induction est avantageusement formée par un évidement d'un corps conducteur situé à la périphérie extérieure du substrat support et connecté dite part du côté d'un bord dudit évidement à une première électrode de la jonction proprement dite, ###### d'autre ppart du du caté de l'autre bord dudit évidement à une partie métallique plane formant première plaque de capacité coopérant, à interposition d'un film diélectrique avec une partie en regard, formant seconde plaque de capacité, d'un film métallique s'étendant jusqu'à une seconde électrode de ladite jonction proprement dite. De façon avantageuse, le corps conducteur présentant l'évidement et le film métallique s'étendant jusqu'à la seconde électrode sont tous deux en matériau supra-conducteur. Les caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront d'ailleurs de la description qui suit, à titre d'exemple, en référence au dossier annexé dans lequel . La figure 1 est une #3.e schématique en perspective et coupe d'une jonction Josephson selon l'invention t La figure 2 est une vue schématique en coupe transversale de cette même jonction ; onction . La figure 3 est une vue à échelle agrandie d'un détail de la figure 2 . La figure -4 est un spectromètre à cavité électromagnétique selon l'invention. En se référant au dessin, une Jonction Josephson selon l'invention com- prend un substrat-support t de forme générale cylindrique présentant une facesupport transversale d'extrêmité 2. Ce substrat-support 1 est constitué d'un noyau central 3 en matériau supra-conducteur, par exemple en alliage plomb-étain, servant de premier conducteur d'alimentation relié à une borne d'une source électrique de tension continue ; ce noyau 3 est encastré avec interposition d'une gaine isolante 4 par exemple en araldite, dans un manchon annulaire 5, également en matériau supraconducteur, par exemple en soudure plomb-étain, lui-meme enserré dans une gaine 6 par exemple de laiton et raccordé à 1' autre borne de la source électrique de tension continue. Dans la gaine de laiton 6 est noyé, substantiellement parallèlement à l'axe, un tronçon de fil 7 en matériau supra-conducteur, par exemple en niobium, dont une face terminale 8 affleure au niveau de la face-support 2 du substrat 1.Ce tronçon de fil de niobium 7 est isolé, sur une partie de sa longueur à partir de la face terminale 8, par une gaine isolante 9, par exemple en araldite, en laissant toutefois libre de tout isolement l'autre partie terminale 7 du tronçon de fil de niobium 7, qui est électriquement connectée par soudage au manchon 5 formant le second conducteur d'alimentation. La jonction Josephson est elle-mveme formée, de façon usuelle, par deux électrodes en matériau supra-conducteur enserrant une barrière électrique en mate riau isolant ou semi-conducteur. Dans le cas présent, une première électrode de la jonction est constituée par la face terminale 8 du fil de niobium 7, tandis que la barrière isolante est formée par une couche oxydée 10 de ladite face terminale de ce fil de niobium 7.L'autre électrode de la jonction est constituée par un dépôt en couche mince 11 de matériau supra-conducteur tel que plomb, qui se prolonge audelà de la jonction proprement dite radialement vers le centre de la jonction en un bras 12 qui stévase ensuite en une partie circulaire 13 échancrée en 13' recouvrant presque toute la face terminale du noyau 3 et mveme débordant quelque peu au delà de la gaine isolante 4 en regard de la face terminale du manchon 5, avec interposition d'une nappe isolante 14, prenant naissance en 15, au niveau du manchon extérieur 6, sur la partie terminale de la gaine isolante 9, de façon à éviter tout contact de l'électrode 11 avec le manchon 6, bien entendu sans atteindre la zone de la face terminale 8 constituant la jonction proprement dite.Cette nappe isolante 14 s'étend en 16 et 17 respectivement, au niveau des manchons 5 et 4 en s'étendant sous tout le bras 12, et la partie circulaire 13 de l'extension d'électrode 11, toujours en débordant vers 1' extérieur de ladite extension 12-13 d'électrode 11, de façon à éviter tout contact entre cette extension 12-13 d'électrode il et le manchon en matériau supra-conducteur 5, et en présentant un évidement interne circulaire 18, de diamètre inférieur au diamètre du noyau intérieur 3, de façon à permettre un contact électrique du prolongement 13 d'électrode Il avec le nnyau intérieur 3 et seulement avec ce noyau intérieur 3.On voit qu'on a réalisé ainsi une connection électrique entre le noyau 3 et l'électrode 11 par l'intermédiaire de la zone centrale de la partie circulaire 13 et du bras 12 du prolongement d'électrode il. Dans Te manchon 5, au niveau de la face-support 2 a été pratiquée une gorge circulaire 20 coaxiale au manchon 5. Cette gorge 20 a été comblée par une résine isolante 21 ayant de faibles pertes haute fréquence. Le comblement de la gorge 20 permet en outre liélaboration selon la technique de dépôt en couche mince de la nappe isolante 14 (15-16-17) et du film supra-conducteur (11-12-13). De telles techniques qui mettent en oeuvre la projection cathodique sont décrites dans la demande de brevet en France du 30.3.1973 pour "jonction Josephson et son procédé de fabrication" au nom de la demanderesse. On a constitué ainsi un circuit fermé de réaction aux bornes de la jonction Josephson, indépendant du circuit de polarisation en courant continu formé, comme on l'a vu, par le noyau supra-conducteur 3, le film mince (13,12,11) d'une part, le manchon supra-conducteur 5, le fil de niobium 7 d'autre part. Ce circuit de réaction est destiné à autre sensible essentiellement à des champs magnétiques de très haute fréquence (champ "hyperfréquence"). Pour comprendre la structure de ce circuit, il convient de rappeler que dans un matériau supra-conducteur, les courants quelle que soit d'ailleurs leur fréquence, cheminent en surface et en tout cas ne se referment jamais dans la masse. Si donc on considère la structure représentée à la figure 2, on voit que ce circuit de réaction comporte aux bornes de la jonction Josephson (8-10-11) une capacité en série avec une self. La capacité est constituée par deux plaques électrodes formée d'une part par une partie 12' du bras 12 du prolongement d'électrode 11, d'autre part par la partie 5' en regard de la face terminale du manchon 5, ces deux parties en regard 12' et 5' étant séparées par la fine couche isolante 16.Il faut noter à ce sujet que cette capacité (5'-12') n'est pas inappréciable : en effet, on sait qu'une capacité est proportionnelle à la surface des plaques-électrodes et inversement proportionnelle à la distance séparant les plaques-électrodes ; si la surface des électrodes est réduite, au contraire la distance séparant ces plaques-électrodes est estrê- mement faible, car la nappe isolante 14 (;5-16-17) est formée, comme on l'a vu, en couche très mince, de tordre de quelques centaines d'angströms. La self est elle-même essentiellement formée par le cheminement d'un cpu- rant qui a été déformé en boucle par la présence de la gorge 20. En effet, le courant alternatif qui s'établit -pour quelque raison que ce soit- au travers de la capacité (12'-5') se referme, à l'intérieur du substrat-support 1, en suivant un parcours en surface dans le manchon supra-conducteur 5.Ce courant s'établit donc d'abord dans 11 électrode capacitive 5' selon la flèche f1, suit un trajet substantiellement linéaire le long d'un bord latéral d'éloignement 30 de la gorge 20 selon la flèche fil puis le long dlun bord de fond 31 de ladite section droite selon la flèche f3, enfin le long d'un bord latéral de rapprochement 32 selon la flèche f4 l'ensemble des bords 30, 31, 32 représente le contour ouvert d'une section droite de la gorge 20 passant par le plan radial médian de la jonction Josephson proprement dite (c'est-à-dire le plan de coupe selon la figure 2).Après quoi, le courant suit le contour formé par un bord de surface 33 (selon la flèche f5) et un bord latéral 34 (selon la flèche f6) de la section droite du noyau 5 pour se refermer en 7' sur le fil de niobium 7. On comprend que la section droite (30-31-32) de la gorge 20 forme une boucle pour le courant, donc une self ; cette self est de très faible valeur, lais forme avec des courants hyperfréquence, une réaction non négligeable À cette self de gorge 20 s'aJoute d'ailleurs la self produite par les différents supra-conducteurs qui conduisent le courant alternatif.Si un champ magnétique hyperfréquence est établi perpendiculairement au travers de la section droite (30-31-32) de la gorge 20, il en résulte un courant hyperfréquence dans le circuit self-capacité qui vient d'être décrit. Réciproquement, si le circuit self-capacité qui vient d'être décrit est le siège d'un courant hyperfréquence, il s'établit notamment au travers de la section droite (3#31 -32) de la gorge 20 un champ magnétique hyperfréquence. On constate donc que la gorge 20 qui a été faite sous forme de gorge circulaire n'est efficace que dans une faible partie de sa longueur de part et d'autre du plan radial médian de jonction (plan de la figure 2) et qu'on aurait pu se contenter d'établir un évidement ayant une extension, dans une direction perpendiculaire au plan radial médian (plan de la figure 2), qui soit suffisante pour constituer une résistance au cheminement de courant d'un ordre de grandeur supérieur à celui offert par la section droite (30-31-32) dans le plan médian. Il s'est avéré préférable, parce que plus commode à élaborer et sans aucune contre-indication, d'usiner une gorge circulaire complète. il faut toutefois remarquer que la gorge 20 peut contribuer à améliorer l'efficacité du dispositif sur toute sa longueur par des configurations aptes à améliorer le couplage avec la structure hyperfréquence (d'émission ou de détection). Ainsi la gorge circulaire 20, adaptée à une configuration de champ magnétique annulaire, contribue, et cela même dans les zones éloignées de celle formant self, à la pénétration du champ dans cette gorge et en conséquence à une meilleure introduction du courant haute fréquence. Pour les mêmes raisons le profil de la gorge peut être non rectangulaire, par exemple semi-circulaire. Dans ces conditions, la jonction Josephson et le dispositif décrit constituent un circuit complet capable de fonctionner de manière résonante. Lorsque la jonction Josephson travaille en émettrice hyper-fréquence dans une cavité 40, dont le substrat support de jonction constitue par exemple une partie du fond, le circuit self-capacité décrit ci-dessus fournit la contreréaction nécessaire permettant d'adapter la jonction Josephson au milieu environnant formé par la cavité guide d'ondes électromagnétiques. Cette réaction modifie le courant de la jonction Josephson ; le taux de modification de courant, ou "réponse" de la jonction Josephson à cette réaction est le produit complexe de différents facteurs. Ainsi la réponse dépend de façon importante du rapport S où S S est la surface de la section droite de la gorge 20 et L ~ L est la self formée par la boucle de courant (30-31-32) au niveau de la section droite de la gorge 20. Ce rapport S dépend lui-même de la largeur du bras (12) au niveau de la gorge 20. Par conséquLent, l'optimisation du couplage peut être assurée en donnant à cetté largeur du bras conducteur 12 la plus grande importance possible. Toutefois, il faut noter que plus on accroît cette largeur et plus le champ à l'intérieur de la gorge 20 au niveau du plan médian de jonction est perturbé par ce bras supra-conducteur qui forme écran entre ce champ dans la gorge et le champ dans la cavité. Il existe donc une valeur optimale de la largeur du bras conducteur (12) que l'on doit chaque# fois déterminer expérimentalement. On détaille maintenant les modalités de réalisation d'une telle jonction Josephson. On constitue un substrat-support sous forme cylindrique en solidarisant entreeux par une couche "araidite" isolante 4, le noyau 3 et le manchon 5 en supraconducteur, le tout étant enserré dans le manchon protecteur de laiton 6. Ce manchon de laiton sert également de support à la jonction Josephson proprement dite ou plus précisément de support à l'électrode inférieure de cette jonction. Dans l'exemple décrit ci-dessus etreprésenté au dessin, cette partie inférieure de jonction est constituée par un tronçon de fil de niobium 7 inséré dans une rainure lon gitudinale du manchon de laiton 6, mais on aurait pu tout aussi bien déposer sur la face frontale de ce manchon de laiton 6un film en matériau supra-conducteur qui aurait constitué ltélectrode inférieure de la jonction.Il y a lieu de noter tout e- fois que lfutilisation d'un fil de niobium est particulièrement souhaitable car, d'une part il constitue une structure en matériau supra-conducteur particulièrement solide, d'autre part il s'oxyde très facilement et on peut constituer ainsi, très aisément, par exemple par séjour en atmosphère oxydante contrôlée, une fine couche d'oxyde de niobium qui forme une excellente barrière isolante de jonction. On soude donc une extrémité d'un tronçon de fil de niobium 7 convenablement gainé d'un isolant au manchon 5, puis on le place dans la rainure du manchon de laiton On polit la face terminale découverte du fil de niobium mécaniquement, et on creuse par usinage une gorge circulaire 20 dans le manchon supra-conducteur 5. On comble cette gorge 20 par une matière isolante présentant peu d'absorption électromagnétique aux fréquences considérées et ayant en outre des qualités mécaniques suffisantes pour pouvoir Btre polie et résister aux cyclages thermiques. Après quoi, on polit soigneusement la face terminale du substrat-support ainsi équipé. Ce polissage doit être effectué avec un soin extrême d'une part pour préparer une surface aussi nette que possible pour former la jonction proprement dite, d'autre part pour permettre le dépôt ultérieur des films conducteur et isolant qui s'étendront sur une structure de réception hétérogène, car, comme on l'a vu, le substrat-support a une structure composite, puisqu'il est composé d"'araldite", de matériau supraconducteur et de laiton.Un tel polissage permet d'éviter des ruptures du film au passage d'un matériau au suivant. Une fois ce polissage mécanique effectué, on assure une préparation encore plus poussée de la face terminale 8 du fil de niobium 7. A cet effet, on soumet cette face 8, et seulement cette face, à une opération de décapage par bombardement ionique en plaçant le substrat-support dans une enceinte sous atmosphère contrôlée , en face d'une cathode. Une fois ce décapage ionique terminé, on forme la barrière électrique ; celle-ci peut être élaborée en plaçant le substrat-support dans une atmosphère oxydante contrôlée, mais on peut également procéder au dépit d'une fine couche de matériau semi-conducteur, par exemple du Tellure, du Sélénium, du Germanium ou autre.On procède ensuite au dépôt, en des zones con tralées, d'une couche isolante 14 (15-16-17) par exemple en Sio, dont le but est double : d'une part la couche isolante 14 évite que le film supérieur (11-12-13) * sera déposé ultérieurement, ne vienne en contact avec la masse du manchon de laiton 6 et du noyau supra-conducteur 5, d'autre part cette couche isolante constitue en 16 et 17 le diélectrique de#la capacité (5'-12'). On notera en passant que la surface des plaques-électrodes de capacité, c'esta-dire la surface de la partie 5', ou de la partie en regard 12', doit être d'un ordre de grandeur (par exemple 10 ou 100) plus grande que la surface de la jonction proprement dite. En effet, il convient que la capacité parasite de la jonction proprement dite soit négligeable par rapport à celle formée par le conducteur (5'-12') qui forme la capacité active pour le bon écoulement des courants haute fréquence. En pratique, le film de Sio présente une épaisseur minimale compatible avec l'obtention d'une bonne continuité de la couche, ceci afin d'éviter les courts-circuits. Une épaisseur de couche isolante de 1' ordre de quelques centaines d'Angströms convient. La dernière opération consiste à déposer le film supérieur en matériau supra-conducteur. (11-12-13) Son contour est déterminé de façon à former : en 11 l'électrode supérieure la jonction proprement dite ; en 12 un bras, ou pont supraconducteur, au-dessus de la gorge 20 ; en 13, une zone de contact avec l'amenée supra-conductrice centrale fournie par le noyau 3 ; bien entendu, ce film (11-1213) ne doit jamais venir en contact avec les manchons 5 ou 6 du substrat-support. h titre d'exemple, on pense qu'une des applications de ce mode d'émissionréception d'ondes électromagnétiques est la spectrométrie. On a représenté à la figure 4 et très schématiquement un spectromètre à cavité électromagnétique selon l'invention et le dispositif émetteur-détecteur est identique à celui représenté à la figure 2. Les chiffres de référence sont les mêmes. Il suffit de noter que l'échantillon est introduit dans la cavité 41, par exemple/unUtu8~-echiantillon42 associé à un circuit de pompage 43 qui permet soit de faire un vide, soit d'introduire de l'hélium gazeux ; l'échantillon, dont on examine l'absorption d'énergie à la fréquence considérée, provoque un changement du coéfficient de surtension de la cavité, donc un changement de signal de réponse. Il ressort de ce qui précède que la sensibilité d'un tel spectromètre donc l'intér8t essentiel d'un tel appareil, dépend directement de la possibilité de coupler efficacement une jonction Josephson et une cavité. Une fois qu'un tel couplage est obtenu, et on a vu plus haut en détail comment l'obtenir, un tel spectromètre présente de nombreux avantages par rapport aux spectromètresclassiques. D'une part, il est réalisé avec une grande simplicité constructive, puisqu'il n'est plus besoin de source haute fréquence et de détecteur séparés : la jonction Josephson remplit en effet à la fois le rôle de source émettrice haute fréquence et de détecteur. D'autre part, la fréquence d'oscillation-détection de la jonction Josephson peut varier dans une gamme étendue de fréquence.Il suffit en effet de faire varier la polarisation (Vo) de la jonction pour changer la fréquence de travail. Il faut cependant noter que l'accord entre la fréquence de travail réglable de la jonction Josephson et la fréquence de résonance de la cavité implique de modifier également la fréquence de résonance de la cavité ; ceci est d'ailleurs tout à fait possible en utilisant des cavités électromagnétiques accordables mécaniquement, par exemple des cavités à miroirs du type Perot-Fabry. Encore un autre avantage de cette possibilité d'accorder facilement la fréquence de la source est d'entraîner la suppression, dans un tel spectromètre, des dispositifs tels que réseaux qui permettent de faire varier la différence de marche.Donc, d'une part, on peut obtenir le spectre d'absorption directement en fonction de la fréquence, et, d'autre part, il est possible d'avoir un epectrom L=beaueoup plusxsimple et moins motteux (suppression des réseaux et des moyens de dépouillement par analyse de Fourrier) Un tel spectromètretravaille dans des fréquences très élevées, c'est-à-dire avec des longueurs d'ondes ultracourtes de l'ordre de 0,3 à 3 min On évite ainsi l'utilisation habituelle de tels générateurs type carcinotrons dont les prix sont très élevés et les modalités d'utilisation particulièrement dénuées de souplesse. Au lieu d'appliquer le dispositif émetteur-récepteur à jonction Josephson à une cavité électromagnétique, il est possible de le placer en bout d'un guide d'onde. De même, le dispositif selon l'invention peut étire appliqué à une cavité électro magnétique elle-même raccordée à un guide d'onde un tel guide d'onde peut être réalisé sous forme classique ou sous forme intégrée, c'est-à-dire ménagé dans le substrat-support en communication électromagnétique avec une partie du circuit de la jonction Josephson. REVENDICATIONS 1. Procédé d' émission-détection d'ondes élecbromagnétiques de très haute fréquence mettant en oeuvre une jonction Josephson, ctest-à-dire une jonction constitube d'une barrière électrique -fine isolante ou semi-eonductrice enserrée entre deux électrodes en matériau supra-conducteur à température de supra-conductivité et un rayonnement électromagnétique, caractérisé en ce que l'on établit à proximité de la jonction un circuit de couplage fermé sur ladite jonction, incorporant une self en série avec une capacité et/ou une résistance, ladite self étant formée par au moins une boucle d'induction placée en un endroit de champ magnétique intense orienté substantiellement perpendiculairement au plan de ladite boucle. 2. Procédé d'émission-réception selon la revendicetion 1 caractérisé en ce que le champ magnétique est confiné dans une cavité électromagnétique. 3 Procédé d' émission-réception selon la revendication 1 caractérisé en ce que le champ magnétique est confiné dans un guide d'onde. 4. Procédé d'émission-détection d'ondes électromagnétiques à très haute fréquence selon la revendication 1 ou 2 ou 3, mettant en oeuvre une jonction Josephson élaborée sur la face transversale d'extrtmité un substrat-support de forme cylindrique incorporant les conducteurs d'alimentation électrique de ladite jonction, caractérisé en ce que ladite face transversale d'extrêmitéde substrat- support est adjacente à une zone de rayonnement du champ électromagnétique et en ce que la boucle formant self et la capacité sont également formées au niveau de ladite face transversale de substrat-support. 5. Procédé d'émission-détection d'ondes électrcmagr,Ltiques à très haute fréquence selon la revendication 1, carKetézisé en ce qu'on règle la tension de polarisation de la jonction Josephson pour accorder la fréquence de travail de la jonction sur la fréquence du champ électromagnétique ou réciproquement. 6. Procédé d'émission-détection d'ondes électromagnétiques à très haute fréquence selon la revendication 2 ou 5, caractérisé en ce qu'on utilise une enceinte formant cavité électromagnétique du type à miroirs modificateurs de la fréquence de résonance. 7. Dispositif émetteur-détecteur ondes électromagnétiques à très haute fréquence, dite hyperfréquence, du genre incorporant une jonction Josephson, une unejonction constituée d'une barrière électrique fine isolante ou semi-conductrice enserrée entre deux électrodes en matériau supra-conducteur, une zone de confinement pour un-champ électromagnétique, dans laquelle ladite jonction est placée, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un circuit de couplage à self placée dans ladite zone de confinement et branchée aux bornes de ladite jonction en série avec une capacité. 8. Dispositif émetteur-détecteur d'ondes électromagnétiques selon la revendication 7, caractérisé en ce Qje la jonction est placée de façon adjacente à la zone de confinement de champ. 9. Dispositif émetteurdétecteur d'ondes électromagnétiques selon la revendication 7, caractérisé en ce que la zone de confinement de champ est une enceinte électromagnétique, de préférence du type à miroirs modificateurs de la fréquence de résonance. 10. Dispositif émetteurdétecteur d'ondes électromagnétiques selon la revendication 7, caractérisé en ce que la zone de confinement du champ est la partie terminale d'un guide d'ondes. 11. Dispositif émetteur-détecteur d'ondes électromagnétiques selon la revendication 10, caractérisé en ce que le guide d'onde est du type intégré. 12. Dispositif ésetteurdétecteur d'ondes électromagnétiques à très haute fréquence, selon les revendications 7 et 8, caractérisé en ce que le circuit de couplage est établi au niveau d'une paroi de limitation de la zone de confinement du champ magnétique et est raccordé électriquement à ltune et l'autre électrode supraconductrice de la jonction. 13. Dispositif émetteurdétecteur d'ondes électromagnétiques à très haute fréquence, selon les revendications 7 et 12, caractérIsé en ce que la self est de type à boucle sous forme d'un évidement d'une partie de paroi de confinement de champ electromagnétique formant partie d'un conducteur d'alimentation à une électrode de la jonction, une matière isolante remplissant l'évidement de la paroi d'enceinte, ledit évidement ayant une grande dimension dans une direction #perpendicu- laire au plan de boucle. 14. Dispositif émetteur-détecteur d'ondes électromagnétiques à très haute fréquence selon les revendications 7 et 12, caractérisé en ce que la capacité est formée par une paroi-plaque de confinement de champ électromagnétique et un film mince conducteur avec interposition d'un film diélectrique. 15. Dispositif émetteurdétecteur d'ondes électromagnétiques à très haute fréquence selon la revendication 14 caractérisé en ce que le film mince conducteur est une extension d'une partie de film mince formant 1 tune des électrodes de la jonction Jose#qson. 16-. Dispositif émetteur-détecteur d'ondes électromagnétiques à très haute fréquence, selon la revendication 15, mettant en oeuvre une jonction Josephson élaborée sur une face transversale d' extrémité d'un substrat-support de forme cylindrique incorporant les conducteurs d'alimentation dont au moins un de section relativement importante aboutit à ladite face transversale d' extrémité de substrat-support, ladite face terminale formant partie de paroi de zone de -confinement de champ électromagnétique, caractérisé en ce que ledit évidement est ménagé dans 1' extrémité dtun conducteur de section relativement importante. 17. Dispositif émetteur-détect#ur tondes électromagnétiques à très haute fréquence selon la revendication 16, caractérisé en ce que les conducteurs d'ali- mentation étant constitués d'un noyau central et d'un manchon coaxial séparés par une gaine annulaire isolante, l'une des électrodes de la jonction est incorporée dans l'un des conducteurs et à fleur de la face d'extremité du substrat-support et l'évidement de boucle de self est ménagé dan ledit conducteur. 18. Dispositif émetteur-détecteur d'ondes électromagnétiques à très haute fréquence selon les revendications 14 et 16, caractérisé en ce que la paroi-plaque de capacité est formée par une partie affleurant dans la face d'extrêmité du substrat-support d'un conducteur de substrat-support alimentant la jonction. 19. Dispositif émetteur-détecteur- d'ondes électromagnétiques à très haute fréquence selon les revendications 1T et 18, caractérisé en ce que l'évidement formant la self et la plaque de capacité sont aménagés sur un premier conducteur d'alimentation. 20. Dispositif émetteur-détecteur d'ondes électromagnétiques à très haute fréquence selon la revendication 19, caractérisé en ce que la jonction Josephson proprement dite, l'évidement formant self et les plaques formant capacité sont successivement alignés selon une direction radiale de substrat-support cylindrique. 21. Dispositif émetteur-détecteur d'ondes électromagnétiques à très haute fréquence selon les revendications 15 et 19, caractérisé en ce que l'extension du film mince formant l'une des électrodes de la jonction s'étend en contact de la partie d'extrênlté d'un second conducteur d'alimentation de la jonction, le film mince diélectrique s'étendant d'une part sur toute la partie du premier conducteur d'alimentation recouverte par le film conducteur, d'autre part étant inexistant sur au moins une partie du second conducteur directement recouverte par le film conducteur. 22. Jonction Josephson, du genre incorporant une jonction Josephson pro prement dite comprenant, solidairement à un substrat-support, une barrière électrique fine isolante ou semi-conductrice enserrée entre deux électrodes en matériau supra-conducteur, ainsi que deux conducteurs d'alimentation connectés respectivement à-l'une et l'autre des dites électrodes, caractérisée en ce qu'elle comporte en outre, solidaire également dudit substrat-support, un circuit à capacité en série avec une self connecté aux électrodes de la jonction, ladite self étant formée par un conducteur en boucle d'Induction. 23. Jonction Josephson selon la revendication 22, caractérisée en ce que la boucle d'induction est formée par un évidement comble par une matière isolante d'un corps conducteur situé à la périphérie extérieure du substrat-support et électriquement raccordé d'ure part du côté d'un bord dudit évidement à une première électrode de la jonction proprement dite, d'autre part de l'autre bord dudit évidement à une partie métallique formant première plaque de capacité coopérant, à interposition d'un film diélectrique ou résistif avec une partie en regard d'un film métallique stétendant jusqu'à une seconde électrode de ladite jonction proprement dite et formant seconde plaque de capacité. 24. Jonction Josephson selon la revendication 23 caractérisée en ce que le corps conducteur présentant l'évidement est en matériau supra-conducteur. 25. Jonction Josephson selon la revendication 23, caractérisée en ce que le film métallique est en métal supra-conducteur. 26. Jonction Josephson selon les revendications 16 et 25, caractérisée en ce qu'une partie du film supra-conducteur forme la seconde électrode de la jonction Josephson proprement dite, 27. Jonction Josephson selon la revendication 23, caractérisée en ce que le film métallique reliant la partie formant seconde plaque de capacité et l'élec- trode de jonction proprement dite s'étend, avec interposition d'une couche isolante, sur ledit corps conducteur et sur la matière isolante de comblement dudit évidement. 28. Jonction Josephson selon l'une quelconque des revendications 22, 24 et 27, caractérisée en ce que le corps conducteur constitue le conducteur d'alimentation de ladite première électrode de la jonction proprement dite. 29. Jonction Josephson selon l'une quelconque des revendications 23, 25, 2w6 et 27, caractérisée en ce que le film constitue le conducteur d'alimentation de la seconde électrode de la jonction proprement dite et comporte une extension en contact avec un second conducteur d'alimentation du substrat-support. 30 Jonction Josephson selon les revendications 28 et 29, caractérisée en ce que les deux conducteurs sont coaxiaux et séparés par une gaine isolante. 31. Jonction Josephson selon l'une quelconque des revendications 22 à 30, caractérisée en ce que il une des électrodes de la jonction est constituée par la face terminale d'un tronçon de fil de niobium noyé dans l'un des conducteurs et la barrière électrique isolante par une couche oxydée de ladite face terminale de niobium. 32. Jonction Josephson selon la revendication 31, caractérisée en ce que le tronçon de fil de niobium est recouvert d'une gaine isolante et est soudé au conducteur. 33. Procédé d'élaboration d'une jonction Josephson selon l'une quelconque des revendications 22 à 32, caractérisé en ce qu'on prépare un substrat-support de forme cylindrique à conducteurs d'alimentation s'étendant axialement et séparés par un isolant en support, on usine une gorge circulaire coaxiale dans l'un des conducteurs, on la comble par un matériau isolant, on polit la face d' ext#mité dudit substrat-support, on décape ioniquement une partie destinée à former assise pour la jonction proprement dite, on forme la barrière de ladite jonction sur une facesupport en matériau supra-conducteur, on dépose une couche de matériau isolant, puis un film de matériau supra-conducteur forant l'autre face de jonction et une capacité au delà de la gorge par rapport à ladite jonction. 34. Procédé d'élaboration selon la revendication 33, caractérisé en ce qu'on forme la barrière par oxydation d'une partie terminale d'-al matériau supraconducteur noyé dans le substrat-support ou par dépit d'un film semi-conducteur sur une partie terminale d'un matériau supra-conducteur. 35. Application du procédé d'émission détection selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, ou du dispositif émetteur détecteur selon l'une quelconque des revendications 7 à 21, ou de la jonction josephson selon l'une quelconque des revendications 22 à 32 à la spectromètrle