Brevet FR2273259A1 — publié le 19751226

La présente invention est relative à des dispositifs de mesure de grandeurs physiques qui utilisent les variations de temps de transit d'ondes acoustiques résultant de variations dimensionnelles d'un corps déformé sous l'effet de la grandeur à mesurer, notamment une force ou une pression On connais déjà de nombreux dispositifs de mesure de force ou de pression dont le type le plus courant est constitué d'une balance de force à rééquilibrage automatique; le rééquilibrage est généralement obtenu au moyen d'un moteur magnéto-électrique dont la bobine mobile est parcourue par un courant continu proportionnel a la force à mesurer. Quoique ces dispositifs donnent en général satisfaction, ils présentent néanmoins deux inconvénients : d'une part, ils ne sont pas entièrement statiques, le montage du fléau mobile de la balance nécessitant une suspension à rubans croisés délicate réaliser et sensible aux vibrations parasites; d'autre part, ils ne fournissent pas directement des informations sous forme numérique, ce qui peut être souhaitable dans un certain nombre d'applications, par exemple en régulation sous commande d'un calculateur; en effet, la force à mesurer étant convertie én un courant continu proportionnel, ceci entra âne alors l'utilisation ultérieure d'un convertisseur analogique-numérique. On connait aussi d'autres dispositifs de mesure de force utilisant la tension d'un élément vibrant, tel qu'une corde ou un ruban, dont les vibrations transversales sont entretenues par des moyens d'excitation électromagnétiques et dont la fréquence des oscillations. mécaniques varie comme la racine carrée de la force-agissant sur la tension dudit élément. Ce genre de dispositif fournit ainsi une information en terme de fréquence facile a mesurer, par exemple à Raide d'un fréquencemètre numérique, mais il présente encore l'inconvénient que cette fréquence n'est pas liée à la force à mesurer par une relation linéaire. L'invention a pour but de remédier aux inconvénients des dispositifs précédents en prévoyant un dispositif de mesure de force ou de pression entièrement statique fournissant une information sous forme de fréquence ou de phase directement proportionnelle a la grandeur à mesurer. Le dispositif de mesure faisant l'objet de l'invention est plus précisément basé sur la mesure du temps de transit de signaux acoustiques se propageant dans un corps solide acoustIquement conducteur et élastiquement déformable sous l'effet de la grandeur physique à mesurer pour laquelle il joue le rale d'élément sensible. L'invention part en effet, du principe que le temps de transit de tels signaux d'un point a un autre du corps est proportionnel å la distance entre ces points, et que ce temps se trouve modifié si le corps est déformé, la variation de temps de transit résultant des variations dimensionnelles du corps solide sous l'effet de la grandeur physique qui lui est appliquée. Le dispositif de mesure, suivant l'invention, comporte un corps solide acoustiquement conducteur et élastiquement déformable sous l'action de la grandeur physique à mesurer, et il est caractérisé en ce qu'il comprend - des moyens d'émission pour engendrer dans ledit corps au moins un signal acoustique se propageant sous forme d'ondes élastiques suivant un trajet déterminé, - des moyens de réception disposés sur ledit trajet pour recevoir ledit signal, et - des moyens pour mesurer la variation du temps de transit de ce signal le long dudit trajet entre les moyens d'émission et de réception qui résulte de la déformation, ladite variation étant représentative de la grandeur physique ayant provoqué la déformation élastique du corps solide. L'invention n'est pas limitée à l'utilisation d'ondes acoustiques se propageant dans la masse du corps, mais elle s'étend aussi aux ondes élastiques de surface, telles que des ondes de Rayleigh, qui ont notamment la propriété de se propager uniquement à la surface d'un corps solide servant de conducteur acoustique suivant des trajets indépendants et non interférants. I1 est aussi possible d'utiliser pour la mesure du temps de transit un paramètre tel que fréquence ou phase1 lié au temps de propagation du signal- acoustique et modifié quand la grandeur physique agissante varie. La mesure de l'amplitude de cette grandeur est ainsi ramenée à la mesure de ce paramètre. A cet effet, divers moyens d'émission et de réception de signaux acoustiques vont être décrits suivant le type de déformation du corps solide et le type d'ondes de propagation considérés. Comme élément élastiquement déformable sensible à l'action de la grandeur physique, l'invention permet l'utilisation de corps solides tels que : fil, ruban, lame, poutre, potence, membrane, etc ... de préférence en matériau métallique, auxquels il est possible d'associer des transducteurs acoustiques fournissant une résolution nettement inférieure à la longueur d'onde utilisée sur la mesure de la distance du trajet acoustique servant de base. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description qui va suivre et du dessin annexé donnés à titre d'exemples non limitatifs. Sur ce dessin les fig. 1 à 4 sont des schémas de principe expliquant le fonctionnement de dispositifs conformes à l'invention. la fig.5 représente un mode de réalisation pratique d'un dispositif conforme à l'invention applicable à la mesure de pressions différentielles. les fig 6A et 6B représentent schématiquement un dispositif conforme à l'in vention pour la mesure d'une force de flexion la fig.7 est le schéma du circuit électrique correspondant. la fig.8 est un schéma explicatif du fonctionnement d'un réseau à ondes de surface soumis à une déformation. a fin.9 est le schéma d'un circuit à mesure de variation de fréquence. sera fig. 10 est une variante du dispositif des fig. 6A, 6B. . lesfig.ll à 13 représentent schématiquement des transducteurs d'ondes de surface utilisables conformément à l'invention. . la fig.l4 montre schématiquement un dispositif suivant l'invention utilisant des ondes de surface pour la mesure d'une force de traction. . la fig. 15 est le schéma d'un capteur de pression à membrane conforme à l'in vention. On sait qu'une force donnée agissant sur un corps donné produit sur celui-ci une déformation proportionnelle et réversible dans le domaine élastique. Par ailleurs, la célérité du son C dans un matériau de forme déterminée ne dépend que de sa masse volumique pet de son module d'élasticité E. Dans le cas d'une onde de compression, mais cette formule conserve une forme analogue si l'onde acoustique est du type torsion ou cisaillement module de torsion. G étant le En particulier, des déformations bien déterminées et reproductibles et des allongements de temps de transit d'un ébranlement acoustique peuvent astre obtenues de manière simple et commode en choisissant un conducteur acoustique déformable de type filiforme. Sur la fig.l, le corps solide déformable élastiquement et acoustiquement conducteur est constitué par un fil élastique 1 de nature quelconque, par exemple métallique, fixe à une de ses extrémités 2 sur un bloc support 3 qui porte un émetteur acoustique 4 tel que, par exemple, une pastille piézo-électri que, de compression ou de cisaillement suivant le type d'ondes que l'on choisit d'utiliser, susceptible d'être excité par une tension électrique V appliquée à ses bornes. Cet émetteur peut encore être constitué par un élément magnétostrictif, excité par un courant électrique, si le fil est constitué en matériau magnétostrictif. A son autre extrémité 5, le fil est attaché à un support mobile 6 portant un récepteur acoustique 7, de préférence du même genre que l'émetteur 4,capable de détecter l'arrivée d'un ébranlement acoustique produit par un émetteur après propagation dans le fil 1. Si le capteur est une pastille piézo-électrique, une impulsion brève de tension électrique V' peut ainsi être recueillie à ses bornes. Désignant par lo la longueur du fil 1 et par C la célérité du son dans ce fil, on observe entre le moment d'application de la tension V et l'instant d'apparition de l'impulsion V' un retard to = 10 c Sous l'effet d'une force de traction F appliquée sur le support 6 et agissant longitudinalement sur le fil 1, celui-ci s' allonge d'une quantité dl et on observe un nouveau retard t = lo + dl. Le calcul montre que la variation de C temps de transit dt = t-to est de la forme dt = K.F., où K est un coefficient constant égal à 1 lo , S désignant la section du fil. E CS On voit que la mesure de la variation du temps de transit dt fournit une mesure de la force F appliquée. La mesure de ce temps de transit pourrait être réalisée directement par exemple au moyen d'un chronomètre électronique, mais il est préférable de le lier à un autre paramètre, tel que la fréquence, plus facilement mesurable de façon continue. Le schéma du dispositif correspondant est représenté fig.2. Le fil l,par exemple, en matériau magnétostrictif, est comme précédemment monté entre deux supports 3 et 6, le support 3 étant fixe, tandis que le support 6 est mobile et soumis à l'action de la force F. Un émetteur acoustique 4, du genre magnétostrictif est solidaire du support 3 et un récepteur 7, de même type que l'émetteur 4, est solidaire du support 6. Ce récepteur est relié à l'entrée d'un amplificateur 8, alimenté par une source de courant continu 9 et ayant sa sortie reliée à un fréquencemètre 10 et à l'émetteur 4 de manière à constituer avec le fil 1 un système bouclé en autooscillation sur une fréquence qui varie en fonction de la force F. On choisit, par exemple en règlant le déphasage du signal dans l'amplificateur 8 le mode d'oscillation qui correspond à une période égale au temps de propagation t du signal acoustique de l'émetteur- 4 au récepteur 7 (ou à un sous-multiple de ce temps). Ce temps vaut d'après la relation précédente. En posant : lo = to C d'où la fréquence des oscillations qui est une expression linéaire décroissante de la fréquence f en fonction de la force appliquée F, fo étant la fréquence du système oscillant quand la force F est nulle. Le fréquencemètre 10, mesurant cette fréquence peut ainsi être étalonné directement en unités de force. En vue de s'affranchir presque totalement d'un coefficient de température éventuel provenant par exemple de l'existence d'un coefficient thermoélastique du matériau constituant le conducteur acoustique, ou de sa dilatation thermique, il est prévu d'utiliser simultanément deux dispositifs semblables à celui de la fig. 2. Le montage représenté fig.3 comprend un premier système auto-oscillant formé des éléments 1 à 8 dont le fil I est soumis à l'action de la force F, et un second système auto-oscillant lA à 8A dont le fil lA est de même nature et à la même température que le fil l, mais n'est pas soumis à l'action de la force F. Les deux signaux d'entrée (ou de sortie) des awplificateurs8 et SA sont appliqués aussi sur un circuit mélangeur Il, suivi d'un filtre passe-bas 12 et d'un fréquencemètre 13. Les fréquences des deux système oscillants sont f = C (1- F ) et fo = C lo ES lo Le battement des deux fréquences fournit une fréquence différentielle df =(f - fo) isolée par le filtre passe-bas 12 et affichée par le fréquencemètre 13. df = C F lo ES Au lieu d'utiliser la fréquence comme paramètre de mesure, il est aussi possible d'utiliser la phase : on effectue une mesure de la différence de marche dl des ondes acoustiques en mesurant le déphasage produit par le passage d'une onde progressive de fréquence f fournie par un générateur stable. Le schéma de ce dispositif est représenté fig,4 : un fil I en matériau magnétostrictif est monté comme précédemment.Un générateur 14 de signaux périodique de fréquence stable f est relié, d'une part à émetteur acoustique 4, d'autre part à une entrée d'un dispositif de mesure de phase 15. L'autre entrée de ce dispositif est reliée au récepteur 7. Le générateur 14 fournit à l'etteur 4 un signal électrique converti par cet émetteur en un signal acoustique qui se propage dans le conducteur I et parvient au récepteur 7 avec un déphasage o = 2 w lo en l'absence de force FJ x et quand la force F est appliquée. étant la longueur d'onde. Le phasemètre 15 affiche une information forme o + d de la Elle comporte un terme fixe fo provenant du conducteur acoustique non soumis à la force F et un terme variable df provenant de l'allongement dû à la force F. Ce terme variable mesure donc la force F d'après les relations vues précédemment. Le zéro du dispositif de mesure de phase peut être calé sur o et l'appareil étalonné directement en unités de force. A titre exemple, un fil de longueur lo = 0,1 m ayant un module d'élasticité E = 200.000 N/mm2 est soumis à une contrainte F= 1.000 N/mm2. I1 propage -S un signal acoustique de fréquence f = 1 MHz. La célérité C du son vaut 5000 m/s.Entre l'absence de contrainte et l'application de celle-ci, le dépha sage db est obtenu alors db = 2tu.101 radians ~ 35,8 degrés angulaires La fig.5 représente en coupe axiale un capteur de pressions différentielles suivant l'invention, dans lequel ces pressions sont converties en force résultante. I1 est constitué par un corps cylindrique 20, épais et massif, dans lequel ont été pratiqués deux logements 21, 22, permettant de recevoir les différents organes de mesure. Ces logements sont remplis d'huile et deux membranes d'isolement 23, 24 empêchent l'écoulement de l'huile et assurent la transmission des pressions pl et p2, (pZ > pl) régnant dans des chambres d'extrémité 25, 26 dont on veut mesurer la différence dp = p2 - pl.Ces chambres sont délimitées par des flasques 27, 28, fixés sur le corps 20 par l'intermédiaire de joints d'étanchéité. Un soufflet de mesure 29 de section efficace s disposé dans le premier logement 21 est soumis à la pression différentielle dp transmise par l'huile. I1 convertit cette pression différentielle en une force s (p2 - pl) s'exerçant sur un fil conducteur acoustique 1, magnétostrictif, de section S et de longueur L par exemple en alliage de nickel. Ce fil 1 a une extrémité fixée à la tête 30 du soufflet 29 et son autre extrémité fixée sur une pièce d'ancrage 31 maintenue butée par un ressort de débrayage 32.Ce ressort 32 permet, lors d'une différence de pression dp trop élevée, le fonctionnement d'un dispositif à double dlapet 33, monté sur la tige 29a du soufflet 29 qui, en obturant l'entrée du soufflet, protège celui-ci et le fil 1 contre les efforts trop intenses. Le fil 1 est entouré d'une bobine excitatrice 4 fixée sur la tête 30 du soufflet 29 qui suit par conséquent le mouvement de celui-ci. Une bobine réceptrice 7 entourant l'autre extrémité du fil est fixéesur la pièce d'ancrage 31. Un ressort 34 règlable de l'extérieur par l'intermédiaire d'un jeu de leviers 35 et une vis de règlage 36, permet de précontraindre le fil 1 et exerce une force constante Fo quand les pressions pl = p2 sont égales. Dans l'autre logement 22 est disposé de façon analogue un second conducteur type filiforme lA. > de type acoustique filiforme 1A., de même que le fil 1, de section S' et de longueur L' munis de bobines excitatrice 4A et réceptrice 7A. I1 est précontraint par un ressort 37, règlable de l'extérieur par un jeu de leviers 38 et unevis de règlage 39, qui exerce une force constante F'o Tous les organes décrits baignent dans l'huile sous pression entre les membranes 23 et 24. Suivant le circuit électrique déjà représenté fig.3 , les bobines 4 et 7 montées sur le fil 1 sont couplées par l'intermédiaire d'un amplificateur 8, et les bobines 4A et 7A montées sur le fil lA sont couplées par l'intermé- diaire d'un amplificateur 8A. Ces amplificateurs sont à l'extérieur du corps 20 et sont alimentés par une source de courant continu 9. Les fils de liaisons des bobines sortent par des perles de verres isolants et étanches 40 et 41. Les bobines réceptrices 7 et 7A sont aussi reliées aux entrées d'un circuit mélangeur 11 qui est suivi d'un filtre passe-bas 12 et d'un fréquencemètre 13 de préférence de type numérique; les fils 7 et 7A sont ainsi montés dans deux systèmes auto-oscillants à des fréquences f et f'. f Dans ces conditions, l'amplificateur 8 reçoit des signaux de fréquence telle que L'amplificateur 8A reçoit des signaux de fréquence f' telle que toujours d'après les relations précédentes. La fréquence de battement df = (f-f') des signaux recueillis à la sortie du filtre 12 est affichée sur le fréquencemètre 13 En agissant sur les vis de règlage 36 et 39 > on ajuste les forces Fo, F'o de façon que d'où df = C 1 ( p2 - pl) s LES On voit que la fréquence de battements df est bien proportionnelle à la différence des pressions p2 - pl . En variante, le fil lA servant d'élément de comparaison peut être supprimé et remplacé par un élément purement électronique, tel qu'un oscillateur fonctionnant à la même fréquence f' et possédant le même coefficient de température. D'autres exemples d'application de l'invention vont maintenant être décrits mettant en oeuvre plus particulièrement des ondes élastiques de surface. Suivant un premier exemple représenté aux fig. 6A et 6B, on utilise une poutre ou une lame 1, encastrée à une extrémité 2, de matière quelconque, par exemple en acier et pouvant subir des déformations élastiques par application d'une force F de flexion s'exerçant à son extrémité libre 5. Dans le domaine élastique réversible, la déformée sera parfaitement déterminée (fig. 6B). En particulier, près de l'encastrement apparaissent les plus fortes contraintes et déformations relatives. Les fibres situées sur la face tendue 42 au-dessus de la ligne neutre 43 subissent des allongements, celles situées sur la face comprimée 44 au-dessous subissent des compressions et tout corps de petites dimensions lié à la surface suit ce mouvement d'extension ou de compression. Deux couples d'émetteurs 45, 45A et récepteurs 46, 46A d'ondes élastiques de surface sont disposés respectivement sur les faces supérieure 42 et inférieure 44 de la poutre 1 à une distance lo , l'un et l'autre servant de base de mesure. Les émetteurs 45, 45A sont disposés à proximité deiltencastrement où les contraintes sont maximales et reliés à un générateur 47 de tension alternative à haute fréquence f (fig.7) . L'émetteur 45 envoie des ondes de surface vers le récepteur associé qui n'interfèrent pas avec les ondes émises par l'émetteur 45A vers le récepteur associé 46A d'apres les propriétés de ce type d'ondes. En effet, les ondes élastiques de surface répondent bien à cette condition, car-leur profondeur de pénétration est faible, de l'ordre de la longueur d'onde; comme elles n'intéressent que la surface, elles sont donc séparées et indépendantes si elles se propagent sur les deux faces opposées d'une poutre d'épaisseur nettement supérieure à la longueur d'onde utilisée. C désignant la célérité de son dans le matériau utilisé pour cette poutre le temps de transit du signal d'onde acoustique entre chaque couple d'émetteur récepteur est, en l'absence de force appliquée, to = lo . Après déformation C la distance entre les éléments 45, 46 devient lo + dl, tandis que, entre les éléments 45A, 46A, elle devient lo - dl. Il en résulte des temps de transit respectifs tl = lo + dl et t2 = lo - dl , d'où une variation dt = tl-t2= 2dl C C C ou en variation relative : dt ~ 2dl t lo On voit donc que la variation de temps de transit est bien proportionnelle à la variation dimensionnelle dl.Cette variation de temps de transit peut être convertie dans le circuit représenté fig.7 en variation de phase plus aisément mesurable, de la façon suivante La phase 1 de l'onde reçue par le récepteur 46 est de la forme 1 = 21T(lo+dl) f et la phase 2 de l'onde reçue par le récepteur 46A est C de la forme 2 = 2TT(lo - dl) f. On voit que le déphasage d = 1 - 02 = C 2'Tr.2dl f est proportionnel à dl, c'est à dire à la force à mesurer F. En C reliant les récepteurs 46 et 46A à un phasemètre 48, ce dernier affiche-une indication représentative de la force F appliquée. Cette variation de temps de transit peut aussi être convertie en variation de fréquence en utilisant comme émetteur et récepteur des transducteurs à large bande constitués par des réseaux en forme de dents de peigne, qui en l'absence de force appliquée sur la poutre, ont un pas correspondant à la longueur d'onde du signal acoustique.Après déformation de la poutre sous effet de la force appliquée} les réseaux ont leur pas modifié différemment suivant qu'ils se trouvent sur la face 42 ou 44 et leurs pas deviennent respectivement, comme on l'a représenté à grande échelle fig. 8, Xî = o + dX sur la face tendue 42 = Xo - o - dX sur la face comprimée 44 la variation dX dépendant des formes géométriques de la poutre et de la force E Si les dents de peigne constituent des microcapteurs sensibles aux ondes de surface, il ne peut y avoir corrélation entre les divers signaux reçus par les dents d'un même peigne que si le pas du peigne correspond à une longueur d'onde (ou un multiple de longueur d'onde) de l'ébranlement qui l'excite.La somme dés signaux reçus par les divers microcapteurs lors du passage d'une onde de surface sinusordale sera maximale si sa longueur d'onde est égale à > 1. Pour un type d'onde se propageant avec la célérité C, la fréquence de "résonance" sera pour le peigne tendu, et pour le peigne c d'où une différence de fréquences fo désignant la fréquente de résonance en l'absence de force appliquée. La différence df est bien proportionnelle à dN c'est à direà l'allongement relatif produit par la force F appliquée. Pour pouvoir mesurer cette variation de fréquence de résonance des réseaux ceux-ci sont branchés dans deux circuits auto-oscillants, du genre déjà utilisé à la fig. 2, suivant le schéma de la fig.9 où l'on voit les récepteurs 46,46A rebouclés sur les émetteurs 45h5Apar l'intermédiaire d'amplificateurs 8, 8A respectivement. Les récepteurs 46, 46A sont reliés à un circuit mélangeur 11, suivi d'un filtre passe-bas 12 isolant la fréquence différentielle df,çet d'un fréquencemètre 13, par exemple de type numérique affichant la fréquence df. Ce fréquencemètre peut aussi être étalonné directement en unités de force. I1 est à remarquer que le fait de faire une double mesure sur la face tendue et sur la face comprimée, double avantageusement la différence de fréquence mesurée, mais qu'une seule de ces mesures est nécessaire si l'on prend la différence de fréquence par rapport à la fréquence centrale fo d'excitation du peigne émetteur. I1 est possible d'échanger les positions des émetteurs et récepteurs, suivant le schéma de la fig. 10 , ces derniers étant alors placés dans la zone de contraintes maximales, tandis que les émetteurs sont localement peu déformés. Dans ce cas, la fréquence ne variant pratiquement pas à ltémission, la mesure est réalisée sous forme de déphasage au moyen d'un circuit de mesure de phase comme dans la fig. 7. La fig.ll montre une forme de réalisation d'un transducteur pouvant servir d'émetteur ou de récepteur d'ondes de surface. I1 se compose d'une couche mince piézo-électrique 50 déposée localement sur la poutre 1. Ce dépôt est constitué par un matériau tel que par exemple le titanate de baryum ou le zirconate de plomb, et est obtenu par évaporation ou de préférence par projection d'un jet de plasma ou encore par détonation. Sur cette couche 50 sont ensuite déposées les électrodes métalliques 51 en forme de réseau ou de dents de peigne, réunies à une de leurs extrémités à un conducteur commun 52. Dans le cas représenté d'un peigne à phase unique, chaque dent constitue avec la surface de la poutre métallique 1 l'une des armatures d'un capteur piézo-électrique élémentaire. Dans le cas d'un émetteur, le réseau en forme de dents de peigne est excité par un générateur de tension alternative de fréquence telle que la longueur dtonde dorrespondant à la célérité de son dans le matériau de la poutre soit égale au pas du réseau (ou à un sous-multiple de ce pas). Dans le cas d'un récepteur, il apparaît sur chaque armature du capteur piézo-électrique élémentaire, des charges égales et de signes opposés lors du passage de la déformation locale accompagnant l'onde de surface. Le passage du front d'onde cheminant à la célérité du son intéresse successivement tous les capteurs Flémentaires. Les armatures en dents de peigne étant réunies au conducteur commun 52, il n'apparaitra dans celui-ci un signal de grande amplitude que si tous les signaux élémentaires reçus par les dents 51 sont en phase. La fréquence de l'onde de surface doit donc "être bien définie et correspondre à une longueur d'onde égale à celle du pas du réseau. Afin d'obtenir des résonances aiguës, le transducteur est avantageusement constitué par un grand nombre de dents ayant la plus grande régularité spatiale possible. il est à noter que des transducteurs à double réseau d'électrodes interdigitées alimentées par le générateur en opposition de phase et fonctionnant suivant le même principe sont également utilisables. Les fig. 12 et 13 représentent d'autres formes de réalisation de transducteurs applicables à l'émission ou à la réception d'ondes élastiques de surface. A la fig.l2 on voit fixé sur la lame 1 un coin 53, par exemple un coin métallique soudé sur la lame, portant sur une de ses faces un émetteur piézo-électrique 54 de type habituel, relié dans le cas d'un émetteur à un générateur de tension alternative (non representé), et sur son autre face un absorbant acoustique 55, tel que du caoutchouc ou une résine souple. L'onde de compression issue de l'émetteur 54 se transforme à l'interface coin-lame en une onde de surface de longueur d'onde égale à la projection de la longueur d'onde de compression Xt dans le coin.L'absorbant 55 atténue les ondes de compression réfléchies sur la face correspondante. il est aussi possible d'engendrer simultanément deux ondes de surface indépendantes au moyen d'un même émetteur commun, suivant le montage représenté fig. 13 ; la lame 1 travaillant à la flexion d'après le principe indiqué fig.6 doit transporter deux ondes de surface indépendantes. A cet effet, un émetteur piézo-électrique 56 de type habituel est noyé dans la masse de la lame 1 au voisinage de sa ligne moyenne 43, de façon à émettre des ondes de compression vers les faces tendue 42 et comprimée 44 de la poutre.A l'aplomb de l'emet- teur 56, les faces 42 et 44 sont localement munies d'un réseau de rainures 57, 581 inclinées à 45C et au pas voisin de la longueur d'onde résultant de la fréquence d'émission sur lesquelles les ondes de compression se réfléchissent et sont converties en ondes de surface. L'émetteur 56 peut être excité par un générateur à fréquence unique et les,récepteurs sont reliés à un circuit de mesure de phase, du genre de celui décrit à la fig.7. Dans certaines applications, il apparait des limitations au nombre de dents de peigne qu'il est possible de déposer sur le corps déformable si celui-ci doit être de faibles dimensions. On est alors conduit à resserrer les dents de peigne et constituer un dispositif opérant à fréquence plus élevée, mais cela entraîne des inconvénients pour les capteurs industriels opérant dans des ambiances sévères. Si l'on veut faire usage de la variation du pas des réseaux, ainsi constitués et utiliser leur variation de fréquence de résonance, on doit veiller à obtenir une déformation régulière en tout point du corps déformable. I1 est alors avantageux d'utiliser un corps de forme isodéformable, c'est à dire appropriée pour que la déformation relative soit la même en tout point dans une même direction. Par exemple, dans le cas d'utilisation d'une poutre encastrée, on donne à celle-ci une forme triangulaire isocèle et non plus rectangulaire, et la force s'exerçant à un sommet du triangle normalement à son plan moyen lui fait subir une déformation de flexion constante en tout point de la poutre, de sorte que les transducteurs émetteur et récepteur sur une même face voient tous deux leur fréquence de résonance varier dans les mêmes proportions.La sélectivité du dispositif est ainsi augmentée. Dans les exemples précédemment décrits, il est fait usage de la variation de fréquence propre des transducteurs de passage de l'onde de surface sous l'effet de leur déformation mécanique, mais il est aussi possible d'utiliser des transducteurs comme détecteurs de phase d'une onde progressive, ladite phase variant avec la déformation mécanique imposée, suivant le schéma représenté fig. 14 La poutre ou la lame 1, ancrée en 3, est soumise à une force longitudinale. detraction F1 s'exerçant à son extrémité libre 5. Un emetteur d'ondes de surface 45 à bande passante relativement large, par exemple du type à réseau décrit ci-dessus, émet une onde progressive sur la face 4 de la lame. La détection de cette onde est effectuée au moyen d'un récepteur 4tri, de même type que l'émetteur 45 et aussi à bande passante relativement large.S et E désignant la section et le module d'élasticité de la lame, lo la distance séparant les transducteurs 45 et 46, en l'absence de force appliquée et 1 après application de cette force ,la phase 8 de l'onde reçue par le transducteur 46 est d'où qui est de la forme 0 = Qo + de On voit que le déphasage df = 2Ti-.flo F1 C ES est proportionnel à la force F1 appliquée. Pour éviter des phénomènes dtinterférence avec les ondes de surface réfléchies aux extrémités, il est préférable de disposer à chaque extrémité de la lame 1 des absorbants 59, 60 , par exemple du caoutchouc ou de la résine souple. Le déphasage df est mesuré au moyen d'un phasemètre 48 ayant ses entrées raccordées au générateur 47 d'excitation de l'émetteur 45 et au récepteur 46 (après amplification). Dans le mode de fonctionnement précédent, il est aussi avantageux d'utiliser la propriété des ondes de surface de se propager suivant certains trajets définis par des nervures ou des rigoles pratiquées à la surface du corps solide de propagation et servant de guides d'ondes de surface. A titre d'exemple on va décrire une application de cette propriété à un capteur de pression différentielle mettant en oeuvre une membrane ondulée, mince et déformable, sur laquelle est appliquée la pression à mesurer. Sur le schéma de la fig. 15, une membrane circulaire ól, présentant des ondulations naturelles, est encastrée sur sa périphérie et munie sur l'une de ces ondula tions 62, drun émetteur 63 d'ondes élastiques de surface. Deux ondes sont émises suivant les flèches de part et d'autre de l'émetteur sur l'ondulation 62. L'une de ces ondes est arrêtée par un absorbant 64 déposé sur cette ondulation à proximité de l'émetteur.L'autre se propage le long de I'ondulation jusqu'à un récepteur d'ondes de surface 65 déposé sur l'ondulation au voisinage de l'absorbant 64. il est visible que sous l'effet de la deforma- tion due à l'application de la pression sur la mambrane la longueur du trajet acoustique de I'onde de surface entre les éléments 63, 65, se modifie et par conséquent, la phase du signal reçu, mesurée comme indiqué précédemment, est utilisable comme paramètre de mesure de la pression appliquée. A titre de variante, on peut utiliser une membrane ondulée avec une ondulation continue en forme de spirale aux extrémités de laquelle sont disposés un émetteur et un récepteur d'ondes de surface. Le trajet acoustique étant ici beaucoup plus long, il en résulte une sensibilité du dispositif notablement accrue. Bien entendu l'invention n'est pas limitée aux seuls modes de réalisation qui ont été décrits à titre d'exemples. En particulier, elle est aussi applicable à la mesur,e de grandeurs physiques autres qu'une force ou une pression, par exemple une température en mesurant la déformation d'un bilame, à chaque variation de température à partir d'une valeur de référence correspondant une variation de fréquence ou de phase déterminée. REVENDICATIONS 1) Dispositif de mesure d'une grandeur physique comportant un corps solide acoustiquement conducteur et élastiquement déformable sous l'action de ladite grandeur, des moyens d'émission pour engendrer sur ledit corps au moins un signal acoustique se propageant sous forme d'ondes élastiques de surface suivant un trajet déterminé, des moyens de réception disposés sur ledit trajet pour recevoir ledit signal, des moyens pour mesurer la variation de temps de transit de ce signal le long dudit trajet entre les moyens d'émission et de réception qui résulte de la déformation du corps solide, caractérisé en ce que lesdits moyens d'émission sont sensibles à la déformation locale du corps solide et fournissent un signal d'ondes de surface de fréquence variable avec cette déformation locale, et en ce que lesdits moyens pour mesurer le temps de transit sont constitués par un circuit de mesure de la variation de fréquence provoquée par ladite déformation locale. 2) Dispositif suivant la revendication 1, dans lequel lesdits moyens d'émission comportant au moins un réseau d'émission d'ondes de surface, caractérisé en ce que le pas dudit réseau est variable en fonction de ladite déformation locale. 3) Dispositif suivant la revendication 2, dans lequel ledit corps déformable est métallique et ledit réseau d'émission est constitué par des électrodes métalliques en forme de peigne déposées sur une couche mince de matériau piézo-électrique, caractérisé en ce que ledit matériau piézo-électrique est déposé à la surface dudit corps, et que lesdits moyens d'émission comportant en outre un générateur de tension alternative relié auxditee électrodes et ayant une fréquence telle que la longueur d'onde du signal émis correspondant à la célérité de propagation des ondes élastiques à la surface dudit corps soit égale au pas dudit réseau ou à un sous multiple de ce pas en l'absence de déformation. 4) Dispositif suivant la revendication 2 dans lequel le corps solide est encastré à une extrémité et déformable sous l'effet d'une force de flexion, caractérisé en ce que lesdits moyens d'émission comportent deux réseaux de rainures pratiquées respectivement sur les faces tendue et comprimée du corps solide et inclinées à 450 sur sa surface, et en ce qu'un émetteur tondes acoustiques de compression est noyé dans ledit corps au voisinage de sa ligne moyenne et à l'aplomb desdits réseaux, lesdits réseaux convertissant les ondes de compression issues dudit émetteur en ondes de surfaces et ledit émetteur étant excité par un générateur de tension alternative ayant une fréquence telle que la longueur d'onde du signal émis correspondant à la célérité de propaga tion des ondes élastiques à la surface dudit corps soit égale au pas desdits réseaux ou à un sous-multiple de ce pas en l'absence de déformation. 5) Dispositif suivant l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que lesdits moyens d'émission et de réception sont disposés sur un tracé en relief ou en creux existant à la surface du corps solide, ce tracé constituant ledit trajet déterminé pour la propagation du signal d'ondes de surface. Dispositif suivant la revendication 5, dans lequel le corps solide est une membrane ondulée, caractérisé en ce que ledit tracé est constitué par une des ondulations de ladite membrane.