Brevet FR2260186A1 — publié le 19750829

La présente invention concerne un procédé de réalisation de dispositifs semiconducteurs comportant la création d'au moins deux zones séparées de caractêristiques différentes affleurant la surface active du dispositi. On sait que la tendance actuelle de l'évolution des dispositifs électroniques, par exemple celle des circuits intégrés, va de plus en plus dans le sens de la miniaturisation et de la précision des caractéristiques obtenues. Par exemple, on souhaite utiliser des fréquences de plus en plus élevées et plus les fréquences d'utilisation sont élevées, plus les dimensions des régions à créer et les distances qui les séparent sont petites, plus la précision des dimensions doit être grande. On cherche notamment à diminuer les aires de manière à réduire les capacités collecteur-substrat et base-collecteur. La réalisation de transistors haute fréquence dans les circuits intégrés présente, en particulier, de nombreuses difficultés Dans la création de zones diffusées successives dans la technique dite plane, la possibilité du cumul des erreurs dans la position des masques successifs conduit à disposer de larges tolérances, et à augmenter les dimensions des éléments, et les distances qui séparent ceux-ci. On a proposé, pour éviter le cumul des erreurs, d'utiliser un double système de masquage, dans lequel une pluralité de fenêtres sont ouvertes dans un premier masque, chacune de ces fenêtres étant successivement laissée libre en vue d'une diffusion tandis que les autres sont obstruées par un second masque. De tels procédés ont été proposés à plusieurs reprises, notamment dans le brevet français n.0 2 086 373 intitulé "Procédé pour la fabrication d'un composant semiconducteur", dans le brevet fran çais n0 2 133 908 intitulé "Procédé pour la fabrication d'ensembles semiconducteurs" et dans le brevet français n0 2 160 667 intitulé Perfectionnement à la fabrication des. circuits intégrés monolithiques". Toutefois ces procédés présentent de nombreux inconvénients, notamment parce qu'ils entralnent de nombreuses photodéfinitions suivies chacune d'attaques corrosives et extrêmement polluantes et qui, par ailleurs, alourdissent le procédé. De plus, les procédés suivant les brevets français n0 2 086 373 et 2 133 908 ne sont pas applicables à une longue séquence, compor Ladite seconde zone peut naturellement et avantageusement être créée par implantation tandis que ladite première fenêtre est obstruée par un produit photosensible opaque aux ions. Il doit être clair que chacune des fenêtres mentionnées cidessus peut être multiple, c'est-à-dire comporter une pluralité de fenêtres élémentaires ouvertes simultanément, appelées lumières, ci-dessous dans ce mémoire, obstruées simultanément, implantées simultanément, au moins pendant une partie du processus. Il doit être clair aussi que, il peut être nécessaire d'effectuer un dopage commun par au moins deux fenêtres et un dopage spécial par l'une d'entre elles et que, dans ce cas, l'ouverture considérée joue à un moment le rôle de fenêtre et à un autre moment celui de lumière, Ce procédé présente de nombreux avantages : la première couche de masquage peut, en effet, recevoir par photogravure, en une seule opération, une série de fenêtres dont il est possible de fixer la position relative à 0,1 micromètre près0, les différentes zones seront donc implantées l'une par rapport à l'autre avec la précision la meilleure possible. Cette première couche de masquage est réalisée en un matériau dans lequel les opérations de photogravure peuvent être effectuées avec précision, par exemple en silice ou en nitrure de silicium. Elle peut aussi être complexe et composée de plusieurs lits successifs ayant des propriétés différentes en ce qui concerne l'adhérence et l'opacité aux ions. On peut notamment utiliser une couche complexe plutôt qu'une couche simple, pour bénéficier simultanément du haut pouvoir d'arrêt de l'un des matériaux (nitrure de silicium par exemple) qui permet d'éviter les fortes épaisseurs dont la gravure est plus difficile et/ou moins précise en définition et en dimensions, de la possibilité d'élimination facile ultérieure de l'un des lits, d'un bon état de surface, etc... On peut notamment, quand le processus comporte plusieurs implantations d'ions ayant des pouvoirs de pénétration différents, effectuer d'abord les implantations des ions ayant les plus grands pouvoirs de pénétration avec un masque créé à partir d'une couche complexe opaque à ces ions, puis éliminer au moins un lit superficiel avant d'effectuer les implantations suivantes en utilisant le masque résiduel constitué par les lits profonds de la couche complexe opaque aux ions de moindre pouvoir de pénétration. tant un nombre d'cpérations d'ouvertures de fenêtres supérieur à deux car le nombre de couches de types différents superposées qu'impose la diffusion à haute température pour l'êlaborat#on des masques ne saurait être multiplié. En termes clairs, par 1' utili- sation d'une couche de résine photosensible, d'une couche de nitrure et d'une couche de silice, ils ne permettent de faire que deux ouvertures Du reste, les applications décrites dans ces brevets ne concernent que l'autoalîgnement des contacts d'émetteur et de base. Par ailleurs, le procédé proposé par le brevet français n0 2 160 667 est tout à fait irréalisable, la diffusion d'un émetteur et d'une base par a même fenêtre entraînant des courts-circuits, le chemin de conduction du collecteur étant insuffisant et le chemin de conduction de la base devant entraver des claquages avec la couche enterrée de collecteur. La présente invention apporte une solution à ces problèmes en permettant un autoalignement entraînant un petit nombre de gravures corrosives, des distances plus précises, des dimensions plus petites, et de ce fait, des aires plus faibles La présente invention concerne un procédé de réalisation de dispositifs semiconducteurs comportant la création, au cours de phases successives de la réalisation, d'au moins deux zones séparées de caractéristiques différentes affleurant la face active du dispositif, remarquable en ce que, au moins une première zone étant élaborée par une première implantation d'ions avant la création d'une seconde zone, on recouvre ladite face dudit dispositif d'au moins une couche de matériau opaque aux ions à implanter pub, par photogravure, on crée dans cette couche un masque en ouvrant au moins deux fenêtres nécessaires à la création desdites zones, puis ou recouvre ladite face active d'une épaisseur opaque aux ions utilisés dans ladite première implantation d'un produit photosensible dont, après éclairement, on élimine les nappes obstruant la fenêtre par laquelle s'effectue la première implantation tandis que l'on conserve pendant ladite première implantation les nappes obturant les autres fenêtres, en ce que l'on effectue ladite implantation, puis en ce que l'on élimine ensuite lesdites nappes bombardées et en ce que ayant obstrué toutes les fenêtres sauf a fenêtre par laquelle doit être créée la seconde zonqb on élabore ladite seconde zone. Un tel processus peut être particulièrement intéressant pour bénéficier à la fin de la fabrication d'une plus grande planéité. La profondeur desdites fenêtres peut être telle que celles-ci traversent complètement ladite couche opaque aux ions à implanter. La profondeur desdites fenêtres peut aussi être dans un premier temps limitée aux lits superficiels. De telles fenêtres dont la profondeur est limitée aux lits superficiels sont appelées fenêtres borgnes ci-dessous dans ce mémoire. Les lits profonds de ladite couche peuvent alors être perméables au moins aux ions à implanter les premiers. On implante alors lesdits ions à implanter les premiers par cette fenêtre et à travers les lits profonds, les autres fenêtres étant obstruées par un produit photosensible. Dans un temps ultérieur, on peut protéger au moins une partie des fenêtres déjà ouvertes, notamment par un produit photosensible, puis on approfondit les fenêtres laissées libres de manière à traverser la couche opaque aux ions, enfin à travers les fenêtres ainsi approfondies, on crée de nouvelles régions. Utiliser des fenêtres borgnes présente un certain nombre d'avantages. D'abord, le lit restant permet de protéger la surface semiconductrice. Par exemple, une fine couche d'oxydes de silicium sur une surface de silicium permet de conserver à celle-ci une propreté parfaite obtenue par décapage à l'acide chlorhydrique de la surface de nettoyage, décapage qui ne peut être refait en cours de fabrication puisqu'il nécessite une température comprise entre 1000 et 12000 C. Dans la mesure où l'on souhaite un tel lit de protection, on peut aussi le créer après ouverture des fenêtres et implanter à travers ce lit. On peut aussi souhaiter garder un lit en nitrure dans un but de passivation. Utiliser des fenêtres borgnes peut être particulièrement intéressant, quand on veut conserver aussi jusqu'à la fin, sur une région, une protection dans laquelle on ouvre, pour terminer une lucarne pour la réalisation des contacts. Dans tous les cas, ces fenêtres servent au passage des ions et de moule pour le dépôt des caches. La séquence des caches de masquage ne nécessite qu'une précision dimensionnelle bien moindre et, à moins d'erreurs grossières, un écart dans la position de ces caches est sans conséquence sur le résultat ; leur réalisation est donc plus aisée et peu coûteuse. Selon l'invention, ces caches sont réalisés directement en un produit photosensible, soit du type dit positif, soit du type dit négatif. On sait, en effet, que les produits photosensibles, pour les épaisseurs ordinairement utilisées lors de photodéfinitions, sont opaques aux ions ayant l'énergie utilisée habituellement en -implantation. Il importe, pour rendre claire la suite de ce mémoire, de bien établir la différence entre les deux modes d'utilisation de ces produits photosensibles dans le procédé selon la présente invention. On sait que les produits photosensibles sont des substances que la lumière ultra-violette transforme soit par dépolymerisa- tion (produit dit positif, généralement à base de phénol-formal de'hyde), soit par polymérisation (produit dit négatif, généralement à base de cis-polyisoprène). Dans tous les cas, le produit non polymérisé peut être plus facilement éliminé par dissolution que le produit polymérisé. Ces produits sont utilisés habituellement dans la technique des semiconducteurs dans des opérations de photogravure, au cours desquelles le produit est déposé sur la couche que l'on désire graver, transformée sur certaines plages, par un éclairement localisé de ces plages, obtenu généralement par un procédé photographique et éliminé par dissolution aux emplacements où il n'est pas polymérisé. La trame obtenue ainsi par ce que l'on peut appeler une photodéfinition sert de masque pour une opération de gravure de la couche sous-jacente, à la suite de laquelle la trame est elle-même le plus souvent éliminée. La précision de la gravure dépend alors de la précision de la photo initiale et de la méthode d'attaque. Cette précision présente dans toute la technique des semiconducteurs une importance essentielle. La création d'un masque par cette méthode comporte donc deux dépôts successifs, une photographie, une première dissolution, une attaque corrosive pour gravure et un nouvel enlèvement par décollement. Dans le procédé selon la présente invention, un produit photosensible est utilisé d'abord pour obtenir par photogravure comme ci-dessus, la série de fenêtres de la couche de masquage. Un ou plusieurs produits photosensibles sont utilisés ensuite pour obtenir par photodéfinition les caches opaques aux ions qui obstruent, lors de chaque implantation, les fenêtres destinées à d'autres implantations. Chacune de ces opérations comporte un dépat, une photogravure et un enlèvement ou décollement ; elle ne comporte aucune attaque corrosive pour gravure. Dans le procédé selon l'invention, la précision de la photodéfinition des caches n a en rien besoin d'être grande, puisque la couche de masquage photogravée est à elle seule un obstacle aux ions. Les caches peuvent déborder largement autour des fenêtres qu'ils obstruent. Il doit être clair que ce n'est pas la qualité des photodéfinitions qui assure la qualité du positionnement de l'ensemble, il est acquis, la précision de cette photo est liée en fait à la largeur de la nappe qui sépare les deux fenêtres dont l'une est dévoilée et l'autre est obstruée. Si l'on donne à cette nappe une largeur de 3 #m, la tolérance de la précision de la position du cache est de 1,5 Fm de part et d'autre de la position moyenne, ce qui est facile à réaliser. Or une telle distance de 3 jum est parfaitement compatible avec le procédé selon l'invention alors qu'il est incompatible avec tout autre procédé de fabrication connu. En effet, pour une couche épitaxiale d'une épaisseur de 1,5 um, on peut. se borner à examiner le "pire cas" de deux régions voisines n+ et p+ profondes toutes les deux devant traverser cette couche épitaxiale. L'implantation du p+ (en bore par exemple) pouvant se faire facilement à une profondeur de 1 jum et l'implantation du n+ (en phosphore par exemple) pouvant se faire facilement à une profondeur de 0,8 #m, la diffusion complémentaire nécessaire pour traverser la couche épitaxiale provoque une diffusion latérale du p+ de 0,4 pm et celle du n+ de 0,6 pm. La précision d'une distance sur une photogravure étant de l'ordre de 0,1 pm et l'extension de la zone de charge d'espace de la région p dans la région n étant de l'ordre de 1 #m, en donnant à la nappe une largeur de 3 rm, on dispose encore d'une tolérance de 0,9 pm plus que suffisante pour faire face au petit nombre d'aléas que comporte ce procédé. Ce procédé permet de supprimer les tolérances de superpositionnement. Aucun autre procédé actuellement connu ne permet un tel résultat. Les procédés par dépôt de diffusion, qui ne permettent aucun autoalignement, nécessitent pour une couche épitaxiale de 1,5 )Im, une distance entre fenêtres supérieure à 7 pm, soit 1,2 pm pour chacune des diffusions latérales, 1 ,um d'extension de zone de charge d'espace, 2 )um de tolérance de position de masque de photogravure et 1,5 )um étant une valeur faible pour faire face aux aléas plus nombreux dans ce procédé. Les procédés par implantation sans autoalignement permettent, en raison de l'extension plus limitée des diffusions latérales, une distance entre fenêtres de 6 pm environ. L'avantage de la miniaturisation et de tout ce qu'il entralne est donc très clair. Toutes les implantations doivent naturellement être effectuées à une température inférieure à la température de destruction du produit photosensible, et on attend que celui-ci soit éliminé pour effectuer les recuits nécessaires. Toutefois, il est possible avant la première implantation, d'élaborer une ou plusieurs zones par diffusion à travers au moins une des fenêtres ouvertes lors de la création du masque. Il est à remarquer par ailleurs que, en tout état de cause, il est impossible d'obtenir un tel autoalignement en utilisant au lieu des méthodes d'implantation des méthodes de diffusion, en raison des dépôts de diffusion. En effet, ces dépôts ne peuvent être faits qu'à une température élevée qui empêche tout système de masquage utilisant les laques photosensibles. Ces caches séquentiels de masquage obstruant successivement les différentes fenêtres du même masque sont une façon originale d'obturer et de dévoiler certaines de ces fenêtres. Ces caches peuvent être aussi nombreux qu'on le désire et on peut réaliser successivement par des fenêtres séparées, des régions p, n, p+, n+ de profnndeurs diverses parfaitement alignées, ce qui n-'était pas le cas des procédés- décrits dans les brevets mentionnés cidessus. On sait que la première photogravure est toujours facile à faire et particulièrement précise parce qu'elle est faite sur une surface plane. Dans le procédé selon la présente invention cet avantage bénéficie à l'ouverture de toute la série de fenêtres créées simultanément au cours de cette opération dans une couche uniforme. Les dimensions et les distances sont donc parfaitement bien respectées. Par ailleurs, ce procédé permet d'obtenir en fin de processus une planéité plus grande, puisqu'il ne comporte pas ou comporte peu d'oxydations, donc il est beaucoup plus facile de créer des connexions sans que celles-ci se rompent et le rendement de fabrication est meilleur. S'il est nécessaire d'ouvrir des fenêtres à des emplacements où d'autres fenêtres ont déjà été ouvertes, par exemple pour faire une base et un émetteur, on peut créer un deuxième masque à partir du premier car il reste des repères de mise en place. On sait que, lorsqu'il est nécessaire de créer par photogravure plusieurs masques les uns à la suite des autres, les gravures sont d'autant plus précises que la surface à graver est plus plate, et que, du fait de l'accumulation des épaisseurs, les gravures successives sont de moins en moins précises. Dans le procédé selon la présente invention, toutes les fenêtres séparées ouvertes dans le premier masque bénéficient de cette précision. De plus, la gravure d'un second masque comportant évèntuellement une fenêtre à un emplacement-où il en a déjà été ouvert une, étant une seconde gravure, bénéficie encore d'une bonne précision d'autant plus que, comme il est indiqué ci-dessous dans ce mémoire, l'épaisseur du premier masque peut être ramenée à une épaisseur très faible, de l'ordre du dixième de pm, notamment par l'utilisation d'une couche initiale de masquage complexe. De plus, s'il est nécessaire, après une première gravure, d'ouvrir plusieurs fenêtres destinées à des opérations d'implantation différentes, par exemple pour la création d'un émetteur et d'un contact de base après la création d'une base, on peut appliquer une nouvelle fois l'invention au cours du même processus, en ouvrant dans le second masque une série de fenêtres que l'on obstrue successivement par des caches en produit photosensible tandis que l'on effectue une implantation par la fenêtre laissée libre. Il est avantageux dans ce cas, de créer le premier masque dans une couche complexe et d'éliminer au moins un des lits supérieurs de la couche complexe avant de- déposer sur la face active au moins un lit dans lequel le second masque est créé de manière à bénéficier à la fin du processus d'une plus grande planéité. Il est à remarquer que les produits photosensibles polymérisé sés subissent à la suite de bombardements ioniques et notamment à partir de doses supérieures à 1015 atomes/cm2 un accroissement de leur degré de polymérisation. De ce fait, ils sont particulièrement difficiles à éliminer. Dans un premier mode de mise en oeuvre de la présente invention, on élimine ledit produit photosensible après bombardement par un oléum ou par un mélange d'oléums, acide nitrique fumant, mélange sulfochromique, mélange d'acide sulfurique fumant et d'eau oxygénée. Ce mode de mise en oeuvre est particulièrement applicable au cas d'une plaquette en silicium que les mélanges d'oléums recouvrent d'une fine pellicule d'oxyde qui empêche l'attaque, et lorsque les doses d'implantation ne sont pas très supérieures à 1015 atomes/cm2. Dans un second mode de mise en oeuvre préférentiel de la présente invention, on élimine le produit photosensible bombarde en utilisant le procédé qui fait l'objet de la demande de brevet français déposée simultanément avec la présente demande et au nom de la Demanderesse sous le titre "Procédé de masquage pour la création de zones semiconductrices fortement dopées Selon ce procédé on élimine le produit photosensible bombardé en plaçant la plaquette dans une enceinte où sont introduites des vapeurs de composés oxydants, par exemple d'oxygène sous une pression comprise entre 10 et 2000 pascals et on active ces vapeurs dans un champ d'une haute fréquence comprise par exemple entre 5 et 35 MHz. L'atmosphère de gaz oxydants brûle la laque quelle que soit la dose d'implantation utilisée sans altérer les plages libres de la surface. Ce procédé est appelé dans la suite de ce mémoire, "pulvérisation plasma". La description qui va suivre, en regard des dessins annexés, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. La figure 1 représente les différentes étapes de la réalisation de l'ensemble de deux transistors PNP à base épitaxiale, l'un latéral, le second transversal à collecteur à la masse, avec un seul masque par le procédé selon la présente invention. La figure 2 représente les différentes étapes de la réalisation d'un transistor haute fréquence intégré dans un circuit intégré par le procédé selon la présente invention. La figure la représente en 1 une plaquette épitaxiale en silicium dont le substrat 2 de type p porte une couche épitaxiale 3 de type n d'une épaisseur comprise entre 1 et 2,5 pm, par exemple 1,5 ym. Sur cette couche épitaxiale a été créée la couche de masquage 4. Cette couche peut être une couche simple en oxyde de silicium d'une épaisseur de 1 pm environ, mais une épaisseur aussi forte conduit à des photogravures de faible précision. On peut donc avantageusement utiliser une couche complexe comportant trois lits; le lit 4b en nitrure de silicium d'une épaisseur comprise entre 0,1 et 0,3 ym, soit 0,2 pm par exemple, d'une grande opacité aux ions pour une faible épaisseur (son pouvoir d'arrêt est supérieur d'un facteur 1,7 environ à celui de l'oxyde de silicium) est déposé sur un mince lit 4a de silice thermique d'une épaisseur de l'ordre de 0,01 à 0,04 pm obtenu par oxydation et destiné d'une part à servir de couche d'arrêt au moment de la gravure du nitrure, d'autre part à améliorer l'é- tat de surface pour éviter l'apparition des charges éléctriques à l'interface du nitrure de silicium avec le silicium.Les couches de nitrure de silicium ne pouvant être obtenues commodément sous une forte épaisseur et notamment sous une épaisseur suffisante pour qu'elles constituent un obstacle aux ions utilisés pour les régions profondes de type p, on recouvre ce lit 4b d'un lit de silice 4c d'une épaisseur de 0,25 à 0,6 fm. Ce lit 4c est fortement dopé, par exemple avec 3 à 15 % et préférentiellement 10 ss en poids avec de l'oxyde de phosphore P2O5 de manière à ce que sa vitesse d'attaque dans l'acide fluorhydrique soit élevée. La séparation entre ces trois lits n'est indiquée sur les figures que là où cela est nécessaire, c'est-à-dire sur les figures la et le. Sur cette couche de masquage a été déposée une couche 5 d'un produit photosensible. La plaquette à ce stade de sa fabrication est représentée figure la. Dans cette couche de produit photosensible, on sépare par ce que l'on appelle dans ce mémoire, photodéfinition, c'est-à-dire par transformation à partir d'une photographie et dissolution des plages non polymérisées, les nappes 5a, 5b, 5c, 5d,....5k de la couche 5, créant les préfenêtres 6a, 6b, 6c, 6d....6j. La plaquette à ce stade est représentée figure lb. A partir des pré fenêtres 6 ainsi obtenues, on crée dans cette couche, par gravure, la série des fenêtres 7 dont la fenêtre 7a constituée des lumières 7al, 7a2, 7a3 est destinée à la création de murs d'isolement de type p+, la fenêtre 7b constituée par les lumières 7bol, 7b2, 7b3 est destinée à la création des sorties de type n+ des bases de deux transistors, la fenêtre 7c constituée des lumières 7cl, 7c2 est destinée aux sorties de type p+ de collecteur du premier transistor latéral le transistor transversal ayant le collecteur à la masse, et la fenêtre 7e comportant les lumières 7e1 et 7e2 est destinée à la création de deux émetteurs de type p+. On peut effectuer l'attaque du Si 02 avec une solution d'acide fluorhydrique tamponnée au fluorure d'ammonium. L'attaque s'arrête automatiquement au nitrure de silicium que l'on attaque à l'acide orthophosphorique à chaud (par exemple à 145c C pour de l'acide dilué comportant 10 ffi d'eau). L'attaque s'arrête automatiquement à la couche 4a d'oxyde de silicium, facile à éliminer si on le souhaite puisqu'elle est très mince. Il est à remarquer que les résultats de la gravure de cette couche complexe comportant un lit superficiel de silice sur un lit profond de nitrure sont très supérieurs à ceux de la gravure du système inverse mentionné ci-dessus ; en effet, quand on doit éliminer un lit profond épais de silice, on est amené à exagérer la gravure pour être sûr d'avoir éliminé tout le lit, ce qui conduit à des sous-gravures. Tandis que dans la structure proposée dans cet exemple, la sous-couche étant en nitrure est attaquée tout droit sans sous-gravure. La gravure des fenêtres est encore meilleure si elle est effectuée par pulvérisation de plasma avec des vapeurs fluorées. Toutefois, elle est difficile à arrêter juste après la couche de nitrure. Une fois la gravure effectuée, on élimine par les méthodes habituelles les nappes 5a, 5b, 5c,.. etc de produit photosensible polymérisé. C'est l'ensemble de- la photodéfinition des différentes nappes de la couche 5, séparées par les préfenêtres 6a, 6b, 6c,..., et la gravure à partir de ces pré fenêtres, 6, des fenêtres 7 auxquelles s'ajoute l'élimination des nappes polymérisées 5 que l'on appelle dans ce mémoire photogravure. La création d'un masque par cette méthode comporte donc deux dépôts, une photographie, une première dissolution, une attaque et une nouvelle dissolution La plaquette à ce stade est représentée figure lc. L'ouverture des fenêtres 7 sépare au plan de la figure la couche de masquage en nappes repérées 4ml, 4nul,..,. 4X1 o La position de cette photogravure a été définie par rapport à la position de la couche enterrée 8 de type n+ comme il est habituel de le faire à 1 ou 2 pm près, ce qui n'intervient pas dans le procédé selon l'invention. On sait que la première photogravure est toujours facile à faire et particulièrement précise parce qu elle est faite sur une surface plane. Dans le procédé selon l'invention, cet avantage bénéficie à l'ouverture de toute la série de fenêtres créées simultanément au cours de cette opération dans une couche uniforme Les dimensions et les distances sont donc parfaitement bien res pestées. On dépose alors à la surface de la plaquette une couche 9 de produit photosensible et, par photographie et dissolution, on sépare dans cette couche, les nappes 9a, 9b, 9c et gd, qui vont, selon la présente invention, servir de caches opaques aux ions lors de la première implantation IIll. Il doit être très clair que ce n'est pas la qualité de cette photographie qui assure la qualité du positionnement de l'ensemble; il est acquis.'La précision que doit avoir cette photographie est discutée ci-dessous dans ce mémoire. Le premier cache obstrue les fenêtres 7b, 7c, 7e et laisse libres les fenêtres 7a. La première implantation, qui est une implantation de murs d'isolement de type p+ est une implantation profonde/ ctest-à-dite faite à un niveau situé entre 0,8 et 1,2 um de la surface Elle est faite avantageusement avec des ions bore dont l'énergie est comprise entre 100 et 200 keV, par exemple 150 keV, les doses à implanter étant comprises entre 1015 et cm atomes par cl2, par exemple 3.1ou5 atomes par cm2. C'est l'énergie de ces ions bore qui impose une épaisseur minimale à la couche de masquage complexe, son épaisseur maximale étant fixée par des commodités de photogravure. Cette anergie impose une épaisseur au cache. Les régions implantées sont représentées en lOal, lOa2, lOa3, figure ld. Aux autres emplacements les ions sont arrêtés : au niveau des fenêtres 7b, 7c et 7e ils sont arrêtés par le cache 9 aux alentours des fenêtres 7a d'implantation par les plages 4mil, 4nul, 4sll, 4t11, 4w et 4x11 de la couche de masquage 4, ailleurs, par la superposition du cache et du masque. Toutes les résines photosensibles soit positives, soit négatives que la Demanderesse a essayé conviennent, et leur opacité aux ions dont l'énergie est dans la gamme de celle qui est utilisée pour l'implantation est du même ordre de grandeur que celle d'une couche d'oxyde de silicium. On peut employer par exemple une épaisseur de 1 ym d'une laque positive du type Shipley à base de crésol-formaldéhyd# dont on élimine les nappes dépolymérisées par un révélateur à base d'une solution aqueuse de phosphate disodique. Il ést 8 remarquerque cette opération comporte une photodéfinition du cache mais aucune gravure. On a représenté sur la figure ld en 9b1 la limite de la nappe 9b du cache 9 sur la nappe 4n1 de la couche de masquage qui sépare la fenêtre 7al d'implantation' du bore profond des murs p+ que ce cache doit laisser libre, de la fenêtre 7bl d'implantation du phosphore du contact n+ de base que ce cache doit recouvrir. La largeur de cette nappe et la précision de l'opération de photodéfinition sont liées. Si l'on donne à cette nappe une largeur de 3 pm, la tolérance de la précision de la position du cache est de 1,5 ,um de part et d'autre. de la position moyenne ce qui, en photodéfinition est facile à réaliser. Or une telle distance de 3 pm est parfaitement compatible avec le procédé de fabrication selon l'invention alors qu'il est incompatible avec tout autre procédé de fabrication connu comme/le montre plus loin dans ce mémoire. Après le bombardement ionique l'élimination du produit photosensible durci est avantageusement effectuée par pulvérisation plasma. On place la plaquette dans une enceinte vidée où l'on introduit,une pression d'une centaine de pascals d'oxygène, et avantageusement un peu de vapeur d'eau. On active ce gaz par un champ de haute fréquence dont la fréquence est avantageusement comprise entre 12 et 15 MHz. Le produit photosensible est complètement brûlé et éliminé sans qu'il reste le moindre dépôt polluant. Par contre, le nitrure de silicium ou la silice du masque restent totalement inattaqués. Il apparaît sur les surfaces de silicium libre une légère couche de silice qui arrête immédiatement l'attaque. L'élimination dure de 15 à 25 minutes. On élimine alors par trempage dans une solution d'acide fluorhydrique le lit 4c d'oxyde de silicium. Du fait que cet oxyde obtenu par dépôt n'a pas été recuit et qu'il est dopé au phosphore, ce lit s'élimine facilement. Une fois le lit 4c d'oxyde de silicium éliminé, on effectue sous azote un recuit de redistribution du p+ déjà implanté de manière que les régions lOal, 10a2, 10a3, en diffusant, atteignent le substrat 2. Ce recuit supprime les défauts cristallins dûs à l'implantation ionique. Il est fait avantageusement à 10300 C sous azote pendant 1 heure environ. Si cela était nécessaire, on pourrait, à ce stade de la fabrication, faire une diffusion oxydante. Par une nouvelle opération de photodéfinition, on crée alors le cache 11 en produit photosensible dont les nappes lla, llb, llc laissent libres les fenêtres 7cl et 7c2 de création du contact de collecteur du transistor latéral, les fenêtres 7e1 et 7e2 des émetteurs des deux transistors. De nouveau, il importe de remarquer que ce n'est pas la qualité de cette photo qui assure la qualité du positionnement de l'ensemble qui est acquis. Ces régions d'émetteur et de collecteur du transistor pnp latéral de type p et peu profondes, par exemple 0,35 um, sont créées simultanément par une implantation 1112 d'ions bore peu énergétiques de l'ordre de 20 keV, et les nappes 4m2, 4n2,..., 4x2 réduites aux deux lits 4a et 4b de la couche de masquage sont suffisamment opaques aux ions utilisés. C'est précisément la condition d'opacité aux ions de l'implantation 1112 qui commande l'épaisseur minimum de la couche 4b de nitrure de silicium. La plaquette à ce stade est représentée figure le où 12al et 12bl sont le contact de collecteur du transistor latéral dont 13al est l'émetteur et où 14al est l'émetteur du transistor transversal. La dose implantée est de l'ordre de 10.15 atomes /cm2. Le cache 11 est alors éliminé, soit par le procédé de pulvérisation plasma mentionné ci-desus, soit par attaque dans l'acide nitrique. On crée alors, en un produit photosensible, le troisième cache 15 dont les nappes 15a, 15b, 15c, 15d représentées sur la figure If laissent libres les fenêtres 7bl, 7b2, 7b. De nouveau, il importe de remarquer que ce n'est pas la qualité de cette photo qui assure la qualité du positionnement de l'ensemble, elle est acquise. On effectue alors, pour créer des contacts de base de type n+ une implantation II13 d'ions arsenic d'une énergie de 30 keV pour avoir une profondeur d'environ 0,2 m. La dose implantée est de 3.1015 atomes/cm2. On crée ainsi les régions 16 et 17 de contact de base respectivement du transistor latéral et du transistor transversal. On élimine alors par pulvérisation plasma, comme indiqué cidessus, le cache 15. On effectue alors un recuit sous azote à 10000 C pendant 20 mn pour obtenir le recuit des défauts créés par les implantations ainsi qu'une légère diffusion. La plaquette à ce stade est représentée figure lg. Si l'épaisseur de la couche épitaxiale est de 1,5 m, le cas présent est beaucoup plus favorable que le "pire cas" envisagé ci-dessus dans ce mémoire. La diffusion latérale du p+ est de 0,4 Xm etcelle du n de 0,l > im. La précision d'une distance sur une photogravure étant de l'ordre de 0,1 Fm et l'extension de la zone de charge d'espace de la région p dans la région n étant de l'ordre de 1 m, en donnant à la nappe 4n1 une largeur de 2,2 m on dispose encore d'une garde de 0,4 Wm très suffisante pour faire face aux nombre d'aléas pratiquement nul que comporte ce procédé puisque le dispositif est réalisé avec un seul masque. Il n'y a à prévoir aucune tolérance de superpositionnement. Elles peuvent être supprimées. On peut alors créer les contacts en déposant de l'aluminium dans les fenêtres de diffusion, ce qui donne un dispositif à base, émetteur et collecteur ouverts. On peut aussi recréer à la surface une pellicule d'oxyde, par exemple en effectuant le dernier recuit sous oxygène et ouvrir dans cette pellicule des fenêtres pour les contacts. -latéral Ainsi, on a créé un transistor T1 pnp à base épitaxiale B1 dont l'émetteur El et le collecteur Cl sont représentés sur la figure lg, et un transistor T2 pnp transversal à base épitaxiale et à collecteur à la masse dont la base B2, l'émetteur E2 et le collecteur C2 sont représentés aussi sur la figure ig. Lorsqu'on le désire on peut obtenir simultanément des résistances de fortes valeurs en créant leur corps et, éventuellement, leur tête en même temps que les régions de type p. On peut aussi faire un dopage p+ supplémentaire pour créer les corps des résistances de faible valeur, les têtes des résistances, et l'utiliser pour améliorer l'émetteur du pnp transversal, et faire un surdopage de l'émetteur et du collecteur du pnp latéral. Il suffît d'ajouter dans le masque initial une fenêtre, composée du nombre adéquat de lumières, et de faire une opération de photodéfinition supplémentaire. Un tel dispositif est obtenu avec un seul masque, les dimensions et les distances peuvent donc être particulièrement précises et, dans ce masque, on a seulement trois types de fenêtres, chacune comportant plusieurs lumières. Avec tout autre procédé il serait nécessaire de faire, pour la création de chaque type de conduction, un masque gravé, ce qui entraînerait trois photogravures; le procédé serait beaucoup plus long et très polluant De plus la mlnlatuisation serait moindre. TABLEAU entre Cause Art Invention régions Cause Art Invention p+/p diffusion latérale 0,5 + 2,5 0,1 + 0,4 zone de charge d'espace 1,5 1,5 position 2 O garde 1 0,5 Total 7'5 2,5 p+/p+ Total 6 2 p/p diffusion latérale 1 0 ou zone de charge d'espace 1 1 p/n+ position O O garde 0,5 O Total théorique 2,5 1 Le tableau donne les tolérances en micromètres dans l'ancien et le nouveau procédé. En fait, en ce qui concerne la dernière ligne la tolérance est de l'ordre de 2yum en raison des problèmes de photographie. Le gain sur l'encombrement èt sur la capacité substrat-caisson est d'un facteur 2. La figure 2a représente en 21 une plaquette épitaxiale en silicium dont le substrat 22 de type p porte une couche épitaxiale 23 de type n, d'une épaisseur comprise entre 1 pm et 2,5 pm, soit par exemple 1,5 pm. Sur cette couche a été déposée la couche de masquage 24 constituée pour les mêmes raisons que dans l'exemple ci-dessus 'et pour d'autres raisons qui apparaissent ci-dessous, de trois lits.Le lit 24b en nitrure de silicium d'une épaisseur comprise entre 0,1 et 0,3 > xm, soit 0,2 > im par exemple, est déposé sur un mince lit 24a de silice thermique d'une épaisseur de l'ordre de 0,01 à 0,04 m -obtenu par oxydation et destiné- à servir de couche d'arrêt au moment de la gravure du nitrure et à améliorer l'état de surface pour éviter l'apparition des charges électriques à l'interface du nitrure de silicium avec le silicium. Les couches de nitrure de silicium ne pouvant être obtenues commodément sous une forte épaisseur, et notamment sous une épais 5ed :suSPisante pour qu'elles constituent un obstacle aux ions utilisés pour les régions profondes de type p, on recouvre ce lit 24b d'un lit de silice 24c d'une épaisseur de 0,25 à 0,6 m. Il doit être parfaitement clair que les fourchettes indiquées ci-dessus ne sont pas valables simultanément. Par exemple, la couche complexe doit comporter au minimum un lit 24a de 0,03 pm s'il accompagne l'ensemble d'un lit 24b en ni truré de 0,1 Fm et d'un lit 24c en silice de 0,45 Fm ou s'il accompagne l'ensemble d'un lit 24b en nitrure de 0,2 m et d'un lit 24c de 0,28 m et au maximum un lit 24a de 0,05 m, un lit 24b de 0,3 m et un lit 24c de 0,6 m. Les contingences qui imposent des limites aux différentes épaisseurs de couche sont mentionnées ci-dessous dans ce mémoire. Le lit 24c est fortement dopé, par exemple avec 3 à 15 % et préférentiellement 10 % en poids d'oxyde de phosphore P2O5 de manière à ce que la vitesse d'attaque dans l'acide fluorhydrique soit élevée. Dans cette couche complexe, on ouvre par photogravure au cours d'une étape à la suite de laquelle la plaquette est reprd- sentée sur la figure 2a, la série des fenêtres 25 dont les fenêtres 25a comportant les lumières 25al et 25a2 sont destinées à la création des murs d'isolement de type p+, la fenêtre 25b à la création du contact collecteur de type n+ et la fenêtre 25c à la création de la base de type p.L'ouverture de ces fenêtres sépare au plan de la figure, la couche de masquage 24 en nappes repérées 24ml, 24nul' 24pu, 24qu, 2 1 La position de cette photogravure doit être définie par rapport à la position de la couche enterrée 26de type n+ comme il est habituel de le faire à 2 pm près, ce qui n'intervient pas dans le procédé selon la présente invention. La qualité de cette première photogravure facile à faire, et particulièrement précise parce qu'elle est faite sur une surface plane bénéficie à l'ouverture, de toute la série de fenêtres ouvertes simultanément au cours de cette opération dans une couche uniforme. Les dimensions et les distances sont donc parfaitement bien respectées. Sur la figure 2b on a représenté en- 27a, 27b, 27c, des nappes du premier cache 27 opaque aux ions que l'on utilise lors de la première implantation 1121 Ce cache obstrue les fenêtres 25b et 25c et laisse libre les fenêtres 25a1 et 25a2. Ses caractéristiques dépendent des caractéristiques des ions implantés. Cette première implantation, qui est une implantation de murs d'isolement de type p est une implantation profonde, 'c'est-à-dire qu'elle atteint un niveau situé entre 0,8 et 1,2 pm de la surface.Elle est faite avantageusement avec des ions de bore dont l'énergie est comprise entre 100 et 200 keV, par exemple 150 keV, les doses implantées étant comprise entre 10.15 et 5.1015 atomes/cm2, par exemple 3.1015 atomes/cm2. Les régions implantées sont représentées en 28al et 28a2, figure 2b. C'est l'énergie de ces ions qui impose une épaisseur minimale à la couche de masquage, son épaisseur maximale étant fixée par des commodités de photogravure. Cette énergie impose aussi une épaisseur de cache. On réalise avantageusement celui-ci avec une résine photosensible soit positive, soit négative. Toutes les résines que la Demanderesse a essayé conviennent et leur opacité aux ions dont l'énergie est dans la gamme de celle qui est utilisée pour l'implantation est du même ordre de grandeur que celle d'une couche d'oxyde de silicium. On peut employer par exemple une épaisseur de 1 pm d'une laque positive du type Shipley à base de crésol-formaldéhyde dont on élimine les nappes dépolymérisées par un révélateur à base d'une solution aqueuse de phosphate disodique, et après le bombardement ionique, les nappes bombardées soit par attaque d'un mélange d'oléums ou par de l'acide nitrique fumant, ou par les produits du commerce d'élimination de la laque polymérisée. Ces procédés conviennent pour l'élimination de la laque après bombardement seulement si la dose est Il est à remarquer que cette opération comporte une photo mais qu'elle ne comporte aucune gravure. On a représenté sur la figure 2b en 27au, la limite de la laque 27a sur la nappe 24nl de la couche de masquage qui sépare la fenêtre 25a1 d'implantation du bore profond des murs p+ que ce cache doit laisser libre de la fenêtre 25b d'implantation du phosphore du contact n+ de collecteur que ce cache doit recouvrir. La largeur de la nappe 24nl et la précision de l'opération de photodéfinition sont liées. Si on donne à cette nappe la largeur de 3 pm, la tolérance de la précision de la position du cache est de 1,5 pm de part et d'autre de la position moyenne ce qui, en photoéîimination, est facile à réaliser. Or, une telle distance de 3 pm est parfaitement compatible avec le procédé de fabrication selon l'invention, alors qu'il est incompatible avec tout autre procédé de fabrication connu comme on le montre plus loin dans ce mémoire. Par une nouvelle opération de photodéfinition, de préférence identique à la première, on crée alors le cache 29 dont deux nappes 29a et 29b qui recouvrent les fenêtres 25al, 25a2 et 25c, et qui laissent libre la fenêtre 25b sont représentées sur la figure 2c. Par une implantation 1122 d'ions phosphore d'une énergie comprise entre 130 keV et 260 keV et préférentiellement de 170 keV, on crée la région 30a de type n+ de contact de collecteur d'une profondeur comprise entre 0,6 et 1 fm, par exemple de 0,8)lu. La dose est avantageusement comprise entre 2.1015 et 5.î015 atomes/ cm2, par exemple de 3.1015 atomes/cm2. La plaquette à ce stade est représentée figure 2c. Puis on élimine le cache 29 par pulvérisation plasma puisque les dodes implantées sont importantes. On élimine alors, par trempage dans une solution d'acide fluorhydrique, le lit 24c d'oxydes de silicium. Du fait que cet oxyde obtenu par dépôt n'a pas été recuit et qu'il est dope au phosphore, ce lit s'élimine facilement. Il reste alors à la surface du dispositif les nappes 24m2, 24n2 > 24p2 > 24q2 > 24r2 de la couche de masquage réduite aux lits 24a et 24b. Une fois le lit 24c d'oxyde de silicium éliminé, on effectue sous azote un recuit de redistribution du p+ et du n+ déjà implantés de manière que les régions 28a et 30a, en diffusant en 28b et 30b, atteignent le substrat 22 de la couche enterrée 26. Ce recuit supprime aussi les défauts du cristal dûs à l'implantation ionique. Il est fait avantageusement à 10300 C sous azote pendant une heure environ. Si la couche épitaxiale a une épaisseur de 1,5 pm et les implantations p+ une profondeur de 1 m et l'implantation n+ de 0,8 la ladiffusion latérale du p+, comme celle du n+ sont, l'une de 0 > 4 um et l'autre de O,6#m. La précision d'une distance sur une photogravure étant de l'ordre de 0,1 pm et l'extension de la zone de charge d'espace de la région p dans la région n étant de l'or- dre de 1 m, en donnant à la nappe 24n1 une largeur de 3 m, on dispose encore d'une garde de 0,9 m plus que suffisante pour faire face au petit nombre d'aléas que comporte ce procédé. Or, aucun procédé actuellement connu ne permet un tel résultat. Les procédés par dépôt de diffusion qui, dans ce cas, ne permettent aucun autoalignement, nécessitent, pour une couche dpitaxiale de 1,5 pm, une distance entre fenêtres supérieure à 7 pm, soit 1,2 pm pour chacune des diffusions latérales, 1 gum d'extention de zone de charge d'espace, 2 pm de tolérance de position de masque de photogravure, 1,5 pm étant une valeur faible pour faire face aux aléas plus nombreux dans ce procédé. Les procédés par implantation sans autoalignement permettent, en raison de l'extension plus limitée des diffusions latérales, une distance entre fenêtres de 6 m environ. L'avantage de miniaturisation et de tout ce qu'il entrain est donc clair. Si cela était nécessaire, on pourrait facilement à ce stade de la fabrication, faire une diffusion oxydante. Par une nouvelle opération de photodéfinition, on crée alors le cache 31 en produit photosensible dont les nappes 31a et, qui recouvrent les fenêtres 25al, 25a2 25b et laissent libre la fenêtre 25c sont visibles- sur la figure 2d. Par cette fenêtre 25c on doit effectuer l'implantation 1123 des ions bore destinés à créer la région de base 32 de type p. Du fait que cette région est une région peu profonde, 0,35 ym au maximum, les ions utilisés sont relativement peu énergétiques, de l'ordre de 17 keV et les nappes 24m2, 24n2, 24p2 > 24q2 > 24r2 > réduites aux lits 24a et 24b de la couche de masquage sont suffisamment opaques aux ions utilisés. C'est la condition d'opacité aux ions bore de l'implantation 1123 et aux ions d'arsenic de l'implantation 1125 qui commande l'épaisseur minimum de la couche 24b de nitrure de silicium, de 0,1 ,um si la couche 24a de SiO2 est de 0,03 pm. La dose d'ions bore de l'implantation 1123 est d'environ 4.1013 atomes/cm2. La répartition des ions implantés n'a pas été modifiée par recuit. De ce fait, la largeur de la nappe 24p de la couche de masquage peut être limitée à 3 pm et même à une valeur inférieure, alors que, par un procédé de diffusion, 6 pm seraient nécessaires, et par un procédé d'implantation sans autoalignement, 5 pm seraient nécessaires. La figure 2d représente la plaquette à ce stade de la fabrication, juste avant l'élimination du cache 31. L'émetteur et le contact de base doivent être alignés rigou- reusement l'un par rapport à l'autre et aussi proches que possible l'un de l'autre de manière que la résistance d'accès du transistor soit la plus faible possible. On applique alors, pour aligner l'un par rapport à l'autre cet émetteur et ce contact, une seconde fois l'invention. Dans ce but, on fait alors croître sur las plages libres de la surface de la plaquette, une légère couche d'oxyde de silicium de 0,03 ,um d'épaisseur environ pour reconstituer la couche 24a. Puis, on effectue sur toute la surface de la plaquette le dépôt d'un nouveau lit 24d de nitrure de silicium d'une épaisseur de 0,1 pm. La présence de ce lit donne un bon nombre de possibilités -il permet de faire un recuit sous atmosphère oxydante, et aussi de faire éventuellement des diffusions oxydantes. D'autre part, il constitue la protection de la surface de la base dans laquelle on ouvre la lucarne de contact de base, ce qui évite de réobturer toutes les fenêtres à la fin de la fabrication. Il permet aussi, par attaque sélective, d'ouvrir le contact de collecteur sans danger de court-circuit. Son épaisseur doit être suffisante pour remplir le rôle de couche de protection. Elle doit être inférieure à l'épaisseur de la couche 24b de nitrure pour permettre une attaque sélective et laisser celle-ci intacte comme obstacle opaque aux ions arsenic de l'implantation 1125. Sur cette couche 24d de nitrure de silicium, on dépose alors une couche 24e de silice. Cette couche 24e a une épaisseur de l'ordre de 0,35 pm pour que l'obstacle qu'elle constitue avec la couche 24d de nitrure puisse arrêter les ions bore de l'implantation p+'de contact de base. La plaquette à ce stade est représentée figure 2e. Sur cette deuxième couche complexe, constituée par la couche 24a reconstituée et par les lots restant de la couche 24b, et par les couches 24d et 24e, on effectue une gravure de la couche 24e, la deuxième seulement depuis le début de la fabrication. Il est à remarquer que cette deuxième photogravure, avec positionnement précis est facilitée par la planéité de surface conservée par le procédé mis en oeuvre. Au cours de cette gravure, mettant une deuxième fois en oeuvre de bout en bout le procédé selon l'invent ion, on ouvre dans la couche complexe 24 une série de fenêtres 33 dont la fenêtre 33a est destinée à la création du contact de base, la fenêtre 33b comporte les lumières 33bl destinée à la création de l'émetteur et la lumière 3b2 destinée à la création du contact de collecteur.On n a pas représenté sur les figures les différentes phases de la création du masque lui-même. La position de l'émetteur par rapport à l'extrémité 32a de la base 32 et la position du contact de base par rapport à l'extrémité 32b de ladite base 32, doivent être fixées de manière précise aussi le positionnement doit-il être fait de manière soignée. C'est le premier positionnement délicat qu'il y ait à faire. On peut le faire avantageusement à partir du bord du p du contact de base à l'extrémité 32b de la base. Cette série de fenêtres 33 ne traverse pas complètement la couche de masquage, elle laisse intacte le lit 24a et le lit 24d dont les nappes 24d1, 24d2, 24d3 restent apparentes ; la nappe 24d3 qui recouvre alors le contact de base constitue ensuite la nappe dans laquelle est ouverte la lucarne permettant de créer le contact de base. Cette série de fenêtres sépare au plan de la figure la couche 24 reconstituée en nappes 24s, 24t, 24u, 24v. La plaquette à ce stade est représentée figure 2f. On crée alors par photodéfinition le cache 34 dont les nappes 34a et 34b qui obstruent la fenêtre 33b, laissent libre la fenêtre 33a. On effectue alors par l'implantation 1124 de bore la création de la zone 35 de contact de base d'une profondeur de 0,4 pm. Compte tenu de la présence de la nappe 24d3, on utilise une dose 3.1015 atomes/cm2 obtenus avec des ions de 70 keV. La plaquette à ce stade est représentée sur la figure 2g Après avoir éliminé le cache 34, on effectue un recuit sous azote de 20 mn à 10000 C de manière à faire diffuser légèrement la base 32 et le contact de base 35. On crée alors par photodéfinition le cache 36 dont les nappes 36a et 36b obstruent la fenêtre 33a en laissant libre les deux lumières 33bl et 33b2 de la fenêtre 33b. Par une attaque corrosive à l'acide orthophosphorique, onéli- mine les nappes 24dl et 24d2 en nitrure de silicium ; cette attaque ne nécessite aucun positionnement. La durée de l'attaque est surveillée de manière que, dès que ces nappes sont éliminées, l'attaque soit interrompue. En effet, la lumière 33b2 de la fenêtre 33b est destinée à la création du contact de collecteur. Pour pallier aux écarts éventuels de mise en place ses dimensions sont telles que, si la mise en place est exacte, ladite fenêtre déborde de part et d'autre de la fenêtre 25b, laissant libre de part et d'autre de la nappe 24dl, deux nappes 24des et 24de2 constituées, en plus du lit profond 24a de silicium, par l'ensemble des deux couches 24b et 24d de nitrure de silicium. Au cours de l'attaque destinée à éliminer les nappes 24dl et 24d2, il importe que les nappes 24des et 24dc2 soient attaquées le moins possible, et qu'elles ne soient réduites que du lit 24d > laissant intactes les portions de nappe 24c désignées par 24cl et 24c2, figure 2h. Ces nappes 24c1 et 24c2 servent d'obstacle aux ions arsenic de l'implantation suivante. On crée alors par photodéfinition le cache 36 dont les nappes 36a et 36b obstruent la fenêtre 33a et laissant libre la fenêtre 33b. On effectue alors l'implantation Il d'une dose de l'ordre de 3.1015 atomes/cm2 d'ions arsenic d'une énergiede 80 keV, pour créer les deux régions n+ de 0,2 ym de profondeur, la région 37 d'émetteur et le surdopage 38 du contact de collecteur. La plaquette à ce stade est représentée figure 2h. On élimine alors le cache 36 et on effectue un recuit de 10 à 20 mn à 10000 C. Pour créer'le contact de base on ouvre alors dans la plage 24d de nitrure, la lucarne 39. Ceci est effectué de nouveau par photogravure, mais le positionnement n'est pas difficile car les tolérances ne sont pas serrées. La plaquette à ce stade est représentée figure 2i. On achève alors le circuit par élimination des nappes de la couche 24a libres dans les fenêtres et dépôt d#uminîum. On peut aussi faire croître une nouvelle couche d'oxyde thermique et rouvrir des fenêtres pour les contacts. Ainsi ce procédé permet d'obtenir avec un processus plus simple, une précision plus grande. En effet le procédé classique comporte sept photographies, sept photogravures avec six positionnements, tous importants, et difficiles à réaliser. Par positionnement difficiles à réaliser, il importe de comprendre, que la précision nécessairè étant grande, il faut utiliser une machine coûteuse, effectuer sur cette machine un réglage délicat et long, et que, quelque, soins que prenne l'ouvrière, on aboutit à un nombre élevé de rejets. Le procédé selon l'invention comporte huit photographies, mais dont cinq sont des photographies pour des opérations de pho des todéfinition et trois seulement,- pourÈohôtogravu'res. De plus, il ne comporte que deux positionnements dont un seul est important. De ce fait, les aires peuvent être réduites d'un facteur de 2 à 3 ce qui permet de miniaturiser et d'autre part de diminuer les capacités collecteur-substrat et base-collecteur et d'augmenter les fréquences d'utilisation. De plus, la résistance d'accès de la base est diminuée. A tolérances égales, on dispose d'une beaucoup plus grande sûreté de fabrication, le rendement de production avec de petites dimensions devenant égal au rendement de production avec de grandes dimensions. - REVENDICATIONS 1.- Procédé de réalisation de dispositifs semiconducteurs comportant la création, au cours de phases successives de la réalisation, d'au moins deux zones séparées de caractéristiques différentes affleurant la face active du dispositif, caractérisé en ce que au moins une première zone étant élaborée par une première implantation d'ions avant la création d'une seconde zone, on recouvre ladite face dudit dispositif d'au moins une couche de matériau opaque aux ions à implanter puis, par photogravure, on crée dans cette couche un masque en ouvrant au moins deux fenêtres nécessaires à la création desdites zones puis, on recouvre ladite face active d'une épaisseur opaque aux ions utilisés dans ladite première implantation d'un produit photosensible dont, après éclairement, on élimine les nappes obstruant la fenêtre par laquelle s'effectue la première implantation tandis que l'on conserve pendant ladite première implantation les nappes obturant les autres fenêtres, en ce que l'on effectue ladite implantation puis, en ce que l'on élimine ensuite lesdites nappes bombardées et en ce que, ayant obstrué toutes les fenêtres sauf la fenêtre par laquelle doit être créée la seconde zonesson élabore ladite seconde zone. 2.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que au moins ladite seconde zone est créée par une seconde implantation à travers ladite seconde fenêtre, ladite couche dans laquelle on crée lesdites fenêtres étant opaque au moins aux ions à implanter dans lesdites zones, et en ce que pendant ladite seconde implantation, on recouvre la face active d'une nappe du produit photosensible opaque auxdits ions de la seconde implantation, laissant libre ladite seconde fenêtre, et en ce que l'on élimine ensuite ladite nappe bombardée. 3.- Procédé selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que l'une au moins desdites fenêtres est composée d'une pluralité de lumières. 4.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la profondeur desdites fenêtres est telle qu'elles traversent complètement ladite couche opaque auxdits ions à implanter. 5.- Procédé selon les revendications 1 et 4, caractérisé en ce que, avant la première implantation, au moins une troisième zone est élaborée par diffusion à travers au moins une des fenêtres ouvertes lors de la création du masque. 6.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite couche dans laquelle est créé ledit masque est une couche complexe constituée de plusieurs lits de matériaux différents. 7.- Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que le processus comportant plusieurs implantations d ions ayant des pouvoirs de pénétration différents, on effectue d'abord les implantations des ions ayant les plus grands pouvoirs de pénétration avec un masque créé à partir d'une couche complexe opaque à ces ions, puis on élimine au moins un lit superficiel avant d'effectuer les implantations suivantes en utilisant le masque résiduel constitué par les lits profonds de la couche complexe opaques aux ions de moindre pouvoir de pénétration. 8.- Procédé selon l'une des revendications 1 et 6, caractérisé en ce que la profondeur des fenêtres ouvertes dans la couche opaque aux ions à implanter est, dans un premier temps, limitée aux lits superficiels, les lits profonds de ladite couche étant perméables au moins aux ions à implanter les premiers puis, en ce que l'on implante ultérieurement lesdits ions à implanter les premiers par les fenêtres adéquates à travers lesdits lits profonds, les autres fenêtres étant obturées par un produit photosensible. 9.- Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que, après avoir dans ledit premiertempsouvert des fenêtres dont la profondeur est limitée auxdits lits superficiels, dans un temps ultérieur, on protège au moins une partie des fenêtres déjà ouvertes, notamment par un produit photosensible, puis on approfondit les fenêtres laissées libres de manière à traverser la couche opaque aux ions, enfinà travers les fenêtres ainsi approfondies, on crée de nouvelles régions. 10.- Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que, après avoir dans ledit premier temps ouvert lesdites fenêtres dont la profondeur est limitée auxdits lits superficiels, et effectué ladite implantation à travers lesdits lits profonds, on élimine le produit photosensible et on effectue un recuit sous atmosphère oxydante. 11.- Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que, après ladite implantation, on ouvre à l'intérieur de ladite fenêtre une lucarne traversant lesdits lits profonds, ladite lucarne étant entourée d'une ceinture constituée par des plages desdits lits profonds, et en ce que on effectue un dépôt au moins dans cette lucarne. 12.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que, dans une première phase, on crée,par le procédé selon l'invention, une première série de zones séparées les unes des autres au moyen d'un premier masque comportant une première série de fenêtres que llon obstrue successivement par une première série de caches, puis dans une seconde phase, on crée, en utilisant une seconde fois le procédé selon la présente invention, une seconde série de zones séparées les unes des autres au moyen d'un second masque comportant une seconde série de fenêtres, l'emplacement d'au moins une des fenêtres ouvertes dans le second masque coPncidant au moins partiellement avec l'emplacement d'au moins une des fenêtres Qu- vertes dans le premier masque et la position du second masque étant fixée à l'aide des repères constitués par le reste du premier masque, 13. - Procédé selon les revendications 6 et 12, caractérisé en ce que, après avoir effectué la première phase avec un masque créé dans une couche complexe, on élimine au moins un lit supérieur de ladite couche complexe avant de déposer sur la face active au moins un lit dans lequel le second masque est créé. 14.- Procédé selon l'une des revendications 12 ou 13 et selon la revendication 8, caractérisé en ce que le second masque est un masque créé dans une couche complexe constituée d'au moins deux lits déposés sur les nappes résiduiles du premier masque, en ce que on ouvre dans le lit supérieur dudit second masque une fenêtre sur une aire débordant de part et d'autre l'emplacement d'une fenêtre du premier masque, en ce que on effectue alors un certain nombre d'opérations et en ce que, ultérieurement, on élimine à l'intérieur de ladite fenêtre dudit second masque, le lit profond de ladite seconde couche complexe. 15.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en, ce que le produit photosensible bombardé est éliminé par introduction de la structure dans une enceinte comportant une vapeur oxydante sous une pression comprise entre 10 et 2000 pascals et activée par une énergie d'une haute fréquence comprise entre 12 et 35 MHz. 16.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche opaque aux ions à implanter est en oxyde de silicium. 17. - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche opaque aux ions à implanter comporte au moins un lit en nitrure de silicium. 18.- Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que la couche complexe opaque aux ions à implanter est constituée d'un lit inférieur principalement en nitrure de silicium et d'un lit supérieur principalement en oxyde de silicium. l9~- Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que la plaquette est en silicium et la couche complexe opaque aux ions à implanter comporte un lit profond principalement en oxyde de silicium, un lit moyen principalement en nitrure de silicium et un lit supérieur principalement en oxyde de silicium. 20.- Dispositif caractérisé en ce que il est réalisé selon l'une des revendications 1 à 3. 21. - Dispositif selon la revendication 20J caractérisé en ce que il comporte au moins un transistor latéral à collecteur épitaxial, dont la sortie collecteur, la sortie de base et l'émetteur sont réalisés par une série de fenêtres ouvertes dans une seule couche de masquage 22.- Dispositif selon la revendication 21, caractérisé en ce que il comporte des parois d'isolement, réalisées par une fenêtre ouverte dans la même couche de masquage. 23o~DispOsitif selon l'une des revendications 20 ou 22, caractérisé en ce que il comporte aussi un transistor transversal à base épitaxiale et collecteur à la masse dont l'émetteur et la sortie de base sont réalisés par des fenêtres ouvertes dans la même couche de masquage 24.- Dispositif selon la revendication 20, caractérisé en ce que il comporte au moins un transistor à collecteur épitaxial dont la sortie de collecteur et la base sont réalisées par une première série de fenêtres dans une même première couche de masquage, tandis que l'émetteur et la sortie de base sont réalisés par une deuxième série de fenêtres ouvertes dans une deuxième couche de masquage. 25.- Dispositif selon la revendication 24, caractérisé en ce que il est dans un caisson isolant dont les parois sont réalisées par une fenêtre appartenant à la première série de fenêtres ouvertes dans la même première couche de masquage.