Brevet FR2279303A1 — publié le 19760213

La présente invention, due à Georgy Avenirovich Kitaev, Vadim Alexandrovich Ploskikh, Viktor Georgievich Kurbakov, Viktor Alexeevich Minkov, Tatyana Nikolaevna Zlatkovskaya, Evangelina Nikhailovna Chernyshova, Gennady Miichailovich Fofanov, Viktor Timofeevich Brunov, Evgeny Pavlovich Kotov, se rapporte à la fabrication des éléments de commutation pour les équipements radio-électriques et radio-électroniques et concerne, plus précisément les structures multicouches, notamment les plaquettes à cablages imprimés, les grands circuits intégrés, les boucles, etc., ainsi que les procédés de formation de connexions intercouches dans les structures à couches multiples. On connaît des structures qui se composent de couches alternées métalliques et diélectriques, dans lesquelles les couches métalliques sont reliées entre elles par des connexions métalliques, exécutées sous la forme des films métalliques déposés sur les surfaces suivant l'épaisseur des couches diélectriques et métalliques d'une structure à couches multiples. Dans ces structures connues, les collnexions métalliques intercouches sont exécutées sous la forme des films métalliques dont la densité et la conductibilité électrique à l'endroit de leurs contacts avec les couches métalliques ne rappellent qu'approximativement les mêmes caractéristiques des films métalliques. On sait que les connexions métalliques intercouches sont séparées des couches métalliques de la structure multicouche par des couches intermédiaires, dont la résistivité est supérieure à celle du métal des couches métalliques, notamment par des couches d'oxydes ou par des couches de métaux chimiquement déposées ou enfin par des films de vernis conducteur, de sorte que la résistance électrique entre les couches métalliques de la structure s'accrott, tandis que la résistance mécanique, de la structure qui comporte des connexions intercouches connectant entre elles les couches de métal, diminue. La présence des couches intermédiaires susmentionnées résulte des procédés connus d'exécution des connexions intercouches. On connais un procédé d'exécution, des connexions métalliques intercouches dans une structure constituée de couches alternées de métal et de diélectrique, consistant à former un film électroconducteur auxiliaire sur la surface des couches de diélectrique et de métal à métalliser, qui est recouvert ensuite d'un film métallique obtenu par dépôt électrolytique. Ce procédé connu consiste essentiellement à déposer, sans passage de courant électrique, un film de métal à partir des solutions contenant un réducteur, sur les surfaces des couches de diélectrique et de métal à métalliser, et à y appliquer ensuite, par dépôt électrolytique, un film métallique. Le plus souvent, on utilise à cet effet un film auxiliaire de cuivre déposé à partir de solutions alcalines de sels complexes de cuivre contenant le formaldéhyde en tant que réducteur. Plus rarement, on applique des films auxiliaires de nickel ou de cobalt contenant du phosphore, notamment à partir des solutions alcalines de sels de ces métaux, par précipitation du métal à l'hypophosphite. Encore plus rarement, on utilise un film auxiliaire d'argent, ou un film auxiliaire de palladium, etc., obtenus par précipitation, sans passage de courant électrique, à partir de solutions de sels de ces métaux, ces solutions contenant des réducteurs dissous. On connaît également des procédés permettant d'obtenir des films électroconducteurs auxiliaires par application, sur la surface à métalliser des couches de diélectrique et de métal des colles et des vernis électroconducteurs. Quand on applique des films électroconducteurs auxiliaires à partir de solutions alcalines contenant des sels de métaux et un réducteur, tels que des films de cuivre, d'argent, etc., déposés, sans passage de courant électrique, sur une structure composée de couches alternées de diélectriques et de métal n'appartenant pas au groupe de métaux nobles, par exemple de cuivre, le traitement de la structure par une solution alcaline conduit inévitablement à l'oxydation des couches de métal qui précède le dépit, sans passage de courant électrique, d'un film électroconducteur auxiliaire. Dans ces cas, une composante des connexions métalliques intercouches, de pair avec le film électroconducteur auxiliaire, est aussi une couche d'oxydes qui sépare les couches métalliques de la structure du film électroconducteur auxiliaire. On connaît aussi des procédés de création des connexions métalliques intercouches dans une structure multicouche, comprenant des couches alternées de cuivre et de diélectrique, par formation de ces connexions à partir des solutions alcalines de cuivrage, en couche épaisse, sans passage de courant élec trique, comportant dans certains cas le dépôt électrolytique d'un film métallique. Tous les procédés indiqués ci-dessus nécessi#tent la présence d'un film électroconducteur auxiliaire utilise pour obtenir des connexions intercouches métalliques dans une structure multicouche et servant à la formation ultérieure, par dépôt électrolytique, d'un film métallique. Le film électroconducteur auxiliaire fait partie intégrante des connexions métalliques intercouches, il constitue un élément intermédiaire entre le métal des couches et le film métallique obtenu par dépôt électrolytique. Etant donné que le film électroconducteur auxiliaire est relié au métal des couches métalliques par l'intermédiaire d'une couche d'oxydes séparatrice, la connexion intercouche présente une résistance électrique accrue dont la valeur n'est pas stable au cours d'utilisation. Tous les procédés énumérés ci-dessus, permettant la formation d'un film électroconducteur auxiliaire, comportent, soit la mise en oeuvre de solutions onéreuses qui perdent plus ou moins leur stabilité après l'introduction en leur sein de réducteurs, soit l'emploi de colles et de vernis électroconducteurs onéreux. Le but de la présente invention est d'obtenir une structure multicouche exempte des défauts indiqués. Un autre but de l'invention consiste à élaborer un procédé de formation de connexions intercouches dans une structure multicouche permettant de s'affranchir des inconvénients mentionnés -plus haut. On s'est donc proposé de créer une structure composée de couches alternées de métal et de diélectrique, comportant des connexions intercouches, pour la connexion des couches de métal entre elles, et telle que la résistance électrique entre les couches métalliques de la structure soit stable et la résistance mécanique de l'adhésion des connexions intercouches aux bouts des couches de métal de la structure augmente avec le temps. On s'est également proposé d'élaborer un procédé de formation de connexions intercouches dans une structure multicouche du genre en question, avec la mise en oeuvre de solutions stables et peu onéreuses de métallisation servant à obtenir des films électroconducteurs continus, constituant les connexions inter couches, sur les bouts ou bords des couches d'une structure multicouche, de manière que les connexions multicouches permettent d'assurer une bonne adhésion du métal déposé électrolytiquement aux faces suivant l'épaisseur des couches métalliques de la structure. Le problème posé est résolu > ar le fait que, dans une structure multicouche constituée de couches alternées de métal et de diélectrique, comportant des liaisons intercouches servant de connexion des couches métalliques entre elles, ces connexions intercouches sont réalisées, selon l'invention, par une solution solide contenant du mercure et un métal plus électropositif, dans la série des forces électromotrices des éléments, que le métal constituant les couches de la structure Il est rationnel de revêtir la connexion intercouche d'un film métallique obtenu par dépôt électrolytique. Il est souhaitable de diviser les bouts des couches diélectriques, revêtus de jonctions intercouches, par des couches complémentaires de métal, dIsposées parallèlement aux couches de la structure, en sections approximativement égales en épaisseur à la couche la plus mince de diélectrique. Ce problème est aussi résolu grâce au fait que dans le procédé de formation de connexions intercouches dans une structure multicouche par création d'un film électroconducteur sur les surfaces à métalliser, ce film est obtenu, selon l'invention, en immergeant la structure multicouche dans une solution contenant les ions d'un métal plus électropositif, dans la série des forces électromotrices des éléments, que le métal des couches métalliques, ions capables d'entrer en réaction d'oxydation réduction avec le métal des couches métalliques, et en maintenant la structure dans cette solution jusqu'à obtenir un film électroconducteur continu, et en faisant subir ensuite à la structure un traitement par une solution contenant les ions de mercure. Le problème posé est en outre résolu par le fait que, dans le procédé de formation de connexions intercouches dans une structure multicouche par obtention d'un film électroconducteur sur les surfaces à métalliser, ce film électroconducteur est formé, selon l'invention, en immergeant la structure dans une solution contenant les ions de mercure et en maintenant la structure dans cette solution jusqu'à obtenir un film de mercure métallique sur des surfaces métalliques de la structure, et en traitant ensuite la structure par une solution contenant les ions d'un métal plus électropositif, dans la série des forces électromotrices des éléments, que le métal des couches métalliques de la structure, et capables d'entrer en réaction d'oxydation et de réduction avec le métal des couches métalliques, et en maintenant la structure dans cette solution jusqu'à obtenir un film électroconducteur continu sur toute la surface devant être métallisée. I1 est avantageux, après la formation du film électroconducteur suivant le dernier procédé, de traiter la structure par une solution contenant les ions de mercure. I1 est souhaitable de déposer électrolytiquement une couche métallique complémentaire sur le film électroconducteur obtenu par l'un des procédés indiqués ci-dessus. I1 est en outre souhaitable, avant de former une connexion intercouche, de traiter les surfaces à métalliser par une solution de sensibilisateur. il est souhaitable, après le traitement de la structure par une solution contenant des ions de mercure, de lui faire subir le traitement par une solution qui réagit sélectivement avec le métal des couches métalliques ou bien avec le métal des couches métalliques et les parties poreuses du film électroconducteur se trouvant sur les surfaces métalliques de la structure, en vue d'éliminer ces parties. Après cela, on peut déposer électrolytiquement un revête- ment métallique sur le film électroconducteur. I1 est avantageux de procéder à la formation du film électroconducteur dans un champ électrique variable. Le champ électrique variable peut être produit en appliquant une tension alternative aux couches métalliques de la structure. Le champ électrique variable peut être également obtenu en appliquant une tension alternative à des électrodes autonomes placées dans la solution servant à la formation du film électroconducteur et disposées de part et d'autre de la structure. il est également rationnel de procéder à la formation du film électroconducteur dans un champ ultrasonore. Pour l'obtention du film électroconducteur, on peut utiliser une solution contenant un sel de palladium de 0,0005 à 0,5 mole/l un sel de cuivre de 0,0005 à 0,5 mole/l un acide minéral de 0,001 à 1,0 mole/l ou bien une solution contenant un sel d'argent de 0,0005 à 0,5 mole/i l'ammoniac de 0,1 à 12,5 molefl. La structure multicouche proposée, constituée par des couches alternées de métal et de diélectrique, comportant des connexions intercouches connectant les couches de métal entre elles, dans laquelle les connexions intercouches sont réalisées en une solution solide contenant le mercure et un métal plus électropositif, dans la série des forces électromotrices des éléments, que le métal des couches de la structure, est caractérisée par une résistance mécanique élevée et une résistance électrique minimale et stable en cours de service des connexions intercouches.Une des versions de la structure multicouche, dans laquelle les bouts des couches diélectriques, revêtues de connexions intercouches, sont divisées par des couches métalliques complémentaires disposées parallèlement aux couches de la structure, en parties approximativement égales en épaisseur à la couche diélectrique la plus mince, est intéressante en ce sens que la structure multicouche devient plus stable contre l'exfoliation dans des conditions sévères d'utilisation. A la différence des procédés connus, les procédés proposés dans la présente invention permettent d'obtenir des connexions intercouches dans des solutions acides (pu%5), ce qui prévient la formation de couches d'oxydes séparatrices à la surface de séparation entre les bouts ou bords des couches de métal et le revêtement métallique obtenu par dépôt électrolytique. Dans le cas où le film électroconducteur continu est enlevé au bout des couches métalliques, le dépôt électrolytique d'un revêtement métallique peut être réalisé facilement et sans défauts, grâce à la conductibilité élevée du film électroconducteur déposé sur le diélectrique. Dans ce cas, le revêtement métallique, obtenu par dépôt électrolytique, adhère directement aux faces en bout des couches métalliques de la structure, ce qui permet d'obtenir une liaison maximalement résistante des couches métalliques de la structure entre elles, tout en assurant une résistance électrique minimale et stable des connexions intercouches. Le dépôt du mercure sur le film de métal électropositif permet d'augmenter sensiblement la conductibilité électrique de la connexion intercouche toute entière et facilite le contrôle visuel de la formation de la connexion intercouche, grâce à la couleur blanche vive du film de mercure. Dans ce qui suit, l'invention est expliquée par la description de modes de réalisation concrets et par des dessins annexés qui représentent la figure 1, la vue isométrique d'une structure multicouche selon l'invention ; la figure 2, la vue isométrique d'une autre version de structure multicouche, selon l'invention les figures 3, a, b, c, d, e, f, g, les étapes du processus d'obtention d'une connexion intercouche avec la mise en oeuvre d'un film électroconducteur en métal électropositif grâce à la formation d'une solution solide contenant le mercure, selon l'invention les figures 4, a, b, c, d, e, f, g, les étapes du processus d'obtention d'une connexion intercouche à partir d'une solution solide contenant le mercure avec l'amalgame, par contact préliminaire des couches métalliques de la structure, selon l'invention. La structure multicouche représentée à la fig. 1 comprend: des couches métalliques 1, séparées par des couches diélectriques 2, un film électroconducteur constitutif d'une connexion intercouche 3 représentant une solution solide à base de mercure contenant un métal plus électropositif, dans la série des forces électromotrices des éléments, que le métal des couches métalliques, et un film de revêtement métallique 4 obtenu par dépôt électrolytique. La fig. 2 montre une autre version de structure multicouche dans laquelle, à la différence de la structure multicouche représentée par la fig. 1, les faces en bout des couches 2 diélectriques, revêtues de connexions intercouches 3, sont divi suées par des couches métalliques complémentaires 1', disposées parallèlement aux couches 1 et 2 de la structure, en parties approximativement égales en épaisseur à la couche diélectrique la plus mince 2'. Comme métal pour des couches métalliques 1 et 1' de la structure nulticouche représentée par les figures 1 et 2, on peut utiliser un métal appartenant au groupe : Cu, Ag, Zn, Al, Pb, Sn, Ti, Fe, Ni. La couche métallique complémentaire 1' peut être réalisée sous forme de portion, non reliée à la couche métallique 1, dans le même plan horizontal de la structure multicouche. Les figures 3 a, b, c, d, illustrent les étapes de réalisation de connexions intercouches 3, avec une formation préalable du film électroconducteur 3', à partir des métaux plus électropositifs, dans la série des forces électromotrices des éléments, que le métal des couches métalliques 1 de la structure et le dépôt ultérieur d'un film de mercure 3 " sur le film 3t. La figure 3e montre l'étape d'élimination du film électroconducteur continu seulement aux faces en bout des couches métalliques 1 de la structure et la formation d'un film auxiliaire 5. La figure 3f montre l'étape du dépôt électrolytique du revêtement métallique 4 sur le film auxiliaire 5 qui couvre le diélectrique et sur les faces en bout des couches métalliques 1 de la structure. La figure 3g montre l'étape du dépôt de revêtement métallique 4 sur le film électroconducteur continu 3' qui aboutit à la formation d'une solution solide à base de mercure, entre les bouts des couches métalliques 1 et le revêtement 4 obtenu par dépôt électrolytique. Les figures 4a, b, c, d, e, f, g, montrent les étapes de formation des connexions intercouches 3 d'après le procédé préconisant, à la différence du procédé illustré par les figures 3a, b, c, d, e, f, g, le dépôt préalable d'un film 6 de mercure sur les faces en bout des couches métalliques 1 de la structure permettant une adhésion plus solide du revêtement métallique 4 (fig. 4g), obtenu par dépôt électrolytique aux faces en bout des couches métalliques 1. La première variante du procédé permettant d'obtenir les connexions intercouches métalliques dans une structure multicouche peut être résumée comme suit La structure multicouche représentée à la fig. 3a est immergée dans un bain de solution contenant les ions d'un métal plus électropositif, dans la série des forces électromotrices des éléments, que le métal des couches métalliques, capables d'entrer en réaction d'oxydation réduction avec le métal constituant les couches métalliques 1. On utilise, en tant que solution de ce genre, une solution contenant : AgN03 de 0,0005 à 0,5 mole/l NH40H de 0,1 à 12,5 moles/l ou bien une solution contenant PdCl2.2H20 de 0,0005 à 0,5 mole/l CuCl2.2H20 de 0,0005 à 0,5 mole/l H2S04 de 0,001 à 1,0 mole/l ou enfin, une solution contenant PdCl2.2H20 de 0,0005 à 0,5 mole/l HC1 de 0,001 à 1,0 mole/l. La structure est maintenue dans ladite solution jusqu'à obtenir un film électroconducteur continu 3' (fig. 3b) en argent ou en palladium. Dans ce procédé, le film d'argent ou de palladium se forme aussi bien sur les faces en bout des couches métalliques 1, que sur les faces en bout des couches diélectriques 2 de la structure multicouche et le film obtenu sur les bouts des couches diélectriques 2 présente une structure monolithe, tandis que le film produit sur les bouts des couches métalliques 1 possède une structure poreuse. Avant d'être immergée dans l'une des solutions indiquées ci-dessus, la structure multicouche est parfois traitée par l'une des solutions de sensibilisateur connues, contenant par exemple Sn2+ les ions Sn ou Ti . Cette opération accélère et régularise considérablement le processus de formation d'un film électroconducteur continu. En outre, la formation d'un film électroconducteur continu s'opère parfois dans un champ électrique alternatif. A cet effet, bn applique une tension alternative aux couches métalliques extérieures 1 de la structure multicouche, ou bien on introduit dans le bain de solution des électrodes autonomes et on dispose la structure multicouche entre ces électrodes. Quand les opérations sont conduites dans un champ électrique alternatif, la formation du film électroconducteur continu se produit plusieurs fois plus vite. L'utilisation des couches métalliques extérieures 1 de la structure comme électrodes provoque l'échauffement du système à cause du dégagement de chaleur lors du passage du courant électrique à travers la solution. Pour empêcher cet effet de se produire, on a recours, dans certains cas, à des électrodes autonomes introduites dans la solution et isolées électriquement de la solution, de manière à ne pas provoquer son échauffement dA à la résistance ohmique de la solution. La vitesse de formation du film électroconducteur continu dans ces solutions dépend aussi de la température des solutions l'élévation de la température fait accélérer le processus. Le processus de formation du film électroconducteur continu est mené, dans certains cas, en appliquant un champ ultrasonore à la solution et à la structure plongée dans la solution. Après cela, la structure multicouche portant sur les bouts des couches métalliques 9 et des couches diélectriques 2 d'un film électroconducteur 3' est immergée dans une solution contenant les ions de mercure qui entrent en interaction avec le métal des couches métalliques 1 de la structure, grace à la structure poreuse des parties du film électroconducteur continu 3', par exemple dans une solution contenant Hg(N03 > 2 de 0,00005 à 1,0 mole/1 H2S04 de 0,001 à 3,0 moles/l. A la suite d'un tel traitement, on obtient sur toute la surface du film électroconducteur 3', y compris les surfaces des pores des parties poreuses et sur les bouts des couches métalliques 1 de la structure, un film de mercure métallique 3 qui dissout avec le temps le métal constituant le film électroconducteur continu 3' et le métal des couches métalliques 1 de la structure pour former une connexion intercouche 3 sous forme de composé intermétallique comprenant les métaux susindiqués. Dans certains cas, la connexion intercoucheainsi obtenue est protégée par un revêtement métallique 4 (fig. 3g) déposé électrolytiquement. Il est à noter que le dépôt électrolytique du métal accélère la formation de la solution solide, si bien qu'on obtient une bonne adhésion aux bouts des couches métalliques 1 du revêtement électrolytique 4, grâce à la formation d'une solution solide contenant le métal des couches métalliques 1, le métal du film électroconducteur continu 3' et le mercure. Dans certains cas, la structure multicouche, portant sur les bouts des couches métalliques 1 et des couches diélectriques 2 du film électroconducteur continu 3', est plongée dans une solution qui réagit sélectivement avec le métal des couches métalliques 1. Pour une telle solution, on utilise, lorsque les couches métalliques 1 de la structure sont en cuivre, une solution contenant H202 de 0,001 à 1,8 mole/l HC1 de 0,01 à 3,0 moles/l ou une solution contenant HO de 0,005 à 2,5 moles/l H4 de 0,01 à 1,0 mole/l ou une solution contenant Cul12 de 0,005 à 1,0 mole/ HC1 de 0,01 à 1,0 mole/l ou enfin, une solution contenant HO de 0,01 à 2,0 moles/l H2S04 de 0,01 à 1,0 mole/l un agent chélateur tel qu'un versène T de 0,005 à 2,5 moles/i. A la suite d'un tel traitement, les parties poreuses du film de connexion intercouche 3 sont éliminées aux faces en bout des couches métalliques 1, tandis que les parties monolithes sur les bouts des couches diélectriques 2 se trouvent conservées, ce qui aboutit à la formation d'un film électroconducteur auxiliaire 5, comme il est indiqué à la figure 3e. Dans certains cas, l'élimination des parties spongieuses de la connexion intercouche 3 est réalisée en appliquant un champ ultrasonore à l'une des solutions indiquées et à la structure plongée dans cette solution. Dans uoeautre sous-variante du meme procédé, le film électroconducteur auxiliaire 5 est formé dans une solution qui réagit sélectivement avec le métal des couches métalliques 1 et avec les parties poreuses du film constituant connexion intercouche 3.On utilise à cet effet une solution contenant HO de 0,0003 à 9,0 molegl H2504 de 0,0001 à 2,0 moles/l ou une solution contenant HO de 0,0003 à 9,0 moles/l H2S04 de 0,005 à 2,5#moles/l (NH4)2S2O8 de 0,003 à 3,0 moles/i ou enfin, une solution contenant H202 de 0,0003 à 9,0 moles/l H de 0,003 à 3,0 moles/l un versène T de 0,004 à 0,3 mole/i. Après cela, la structure multicouche est retirée de cette solution, lavée à l'eau et décapée avec une solution d'acides, par exemple avec une solution à 10% de H2S04. Ce traitement per met un nettoyage complet des bouts des couches métalliques 1 de la structure en éliminant les parties poreuses du film 3'. Ensuite, la structure portant le film électroconducteur 5 auxiliaire, ainsi obtenu, est immergé dans un électrolyte quelconque pour déposer le revêtement métallique 4 d'épaisseur désirée. Pour mieux expliquer le sens de la présente invention, on donne ci-après quelques exemples concrets de réalisation du procédé proposé pour la formation de connexions intercouches d'une structure multicouche, dans laquelle les connexions intercouches sont réalisées en une solution solide contenant le mercure et un métal plus électropositif, dans la série des forces électromotrices des éléments, que le métal constituant les couches de la structure. Dans certains cas, la structure multicouche mentionnée est représentée par des plaquettes de circuits imprimés comportant des trous métallisés de connexions intercouches, ces plaquettes étant des représentants les plus typiques des structures multicouches composées de couches diélectriques et métalliques alternées. Exemple 1.- On considère une structure multicouche aux dimensions de 200 x 300 mm, ayant une épaisseur de 1,6 mm environ et comprenant 4 couches de cuivre et 3 couches de diélectrique verre-époxy. L'épaisseur des couches de cuivre est identique pour toutes les couches et est égale à 0,035 mm, tandis que lté- paisseur des couches de diélectrique verre-époxy est différente dans toutes les couches, et est égale respectivement à 0,1 mm 0,5 mm ; 0,8 mm. La structure est percée de 1000 trous débouchants de 1 mm de diamètre, dont les parois sont constituées par l'alternance des bouts des couches de cuivre et de diélectrique verre-époxy. La structure qui vient d'être décrite, dont les surfaces extérieures des couches de cuivre sont protégées par un film de vernis nitrocellulosique, est plongée dans une solution contenant PdCl2. 2H20 5.10 3 mole/l CuCl2.2H2O 5.i0-2 mole/l H2S04 1,2.10 mole/i, à une température de 25 C, et est maintenue dans cette solution pendant 10 minutes, jusqu'à la formation d'un film électroconducteur continu en palladium métallique, présentant une structure poreuse sur les bouts des couches de cuivre et une structure monolithe sur les bouts des couches de diélectrique verre époxy. L'passeur du film de palladium monolithe obtenu sur le diélectrique ne dépassait pas, dans ces conditions, 200 nm. La structure traitée de cette manière est retirée de la solution, lavée pendant 1 minute à l'eau courante, et plongée dans une solution contenant Hg(N03)2 0,4 mole/l H 2504 10 mole/l à une température de 30'C, après quoi elle est traitée pendant 10 secondes, jusqu'à obtenir un film de mercure sur toute la surface du film électroconducteur de palladium. A la suite de ce traitement, on a obtenu un film électroconducteur comprenant des films alternés de palladium et de mercure, qui se transforme avec le temps en une solution solide contenant le mercure, le palladium et le cuivre. Gracie au traitement indiqué, on obtient une conductibilité électrique stable des parois des trous qui es. trois fois supérieure à la conductibilité électrique d'un film de palladium. La structure multicouche ayant subi un tel traitement est lavée pendant 2 minutes à l'eau courante, après quoi on élimine la couche de vernis de protection, et on prépare la structure pour la métallisation électrolytique, en grattant les surfaces extérieures de la structure, en les décapant avec une solution à 10% d'acide sulfurique et en la lavant à l'eau. Après cela, la structure est plongée dans un bain d'éthylènediamine pour cuivrage électrolytique, et y est maintenue pendant 45 minutes à une densité cathodique D = 1,5 A/dm. c Grâce à ce traitement, on a obtenu, dans tous les trous de la structure multicouche, des connexions intercouches en cuivre représentant un film de cuivre électrolytique de 0,035 mm d'épaisseur qui est relié aux bouts des couches métalliques de la structure multicouche et aux bouts de diélectrique verre-époxy par une solution solide contenant le mercure et le palladium. Exemple 2. La structure multicouche décrite dans l'exemple 1 est traitée, avant d'être immergée dans une solution pour l'application d'un film électroconducteur continu, par une solution de sensibilisateur contenant Sn 2 2 3.10 moleta HCl 1,0 mole/ à à une température de 250C pendant 2 minutes. Ce traitement permet d'accélérer de dix fois environ le processus de formation du film électroconducteur continu en palladium. Toutes les autres opérations se font comme dans l'exemple 1. Exemple 3.- On considère une plaquette de circuits imprimés aux dimensions de 480 x 320 mm, ayant une épaisseur de 3,5 mm environ, comprenant 16 couches de cablage, ayant 3000 trous de 0,8 mm de diamètre, dans laquelle les parois des différents trous comportent des quantités non uniformes, distribuées non uniformément suivant l'épaisseur de la plaquette, de sorties en bout du circuit. Les trous de cette plaquette comportent aussi des bouts des couches de cuivre non reliés au circuit, et réa usés sans forme de contacts complémentaires, non reliés au circuit dans toutes les couches de la plaquette, de manière que les parois des trous se présentent sous forme d'alternance régulière de bouts de cuivre d'une épaisseur de 0,35 mm et de bouts de diélectrique verre-époxy d'une épaisseur de 0, 5 mm.On traite cette plaquette dans une solution de sensibilisateur, comme il a été décrit dans l'exemple 2, après quoi on lave la plaquette à l'eau courante, et on l'immerge dans une solution contenant AgN03 5,10-2 2 mole/l NH40H 7,0 moles/l à une température de 20 C, et on la maintient dans cette solution jusqu'à la formation d'un film continu d'argent ayant une structure poreuse sur les bouts des couches de cuivre et une structure monolithe sur les bouts des couches de diélectrique. Ensuite, on extrait la plaquette de ladite solution, on la lave à l'eau et on l'immerge dans une solution contenant Hg(N03)2 0,01 mole/l H2 504 0,1 mole/l à une température de 25 C, et on la traite par cette solution pendant 25 secondes. Le traitement indiqué permet d'obtenir, dans chaque trou, un film de mercure sur la surface du film d'argent sous la forme d'un film d'argent monolithe sur les bouts de diélectrique, grâce à l'élimination des seules parties poreuses du film d'argent continu. aux bouts des couches de cuivre constituant les parois des trous.La conductibilité électrique de part en part des parois des trous se trouve conservée, ce qui permet le dépôt électrolytique de cuivre, comme il est décrit dans l'exemple 1, de manière que les connexions intercouches représentant des films de cuivre électrolytiquement déposé ont été réalisées en une seule pièce avec tous les bouts de cuivre des parois des trous de la plaquette, si bien que toute la plaquette s'est trouvée consolidée d'une manière complémentaire par des connexions intercouches nervurées suivant toutes les couches et tout le champ de la plaquette. Exemple 4.- La structure multicouche décrite dans l'exemple 1 est immergée dans une solution contenant Hg(NO3)2 10 3 mole/l 2 H 2S04 10 mole/l où elle est maintenue pendant 20 secondes jusqu'à la formation sur la surface de cuivre d'un film de mercure ayant une épaisseur de 10 microns. Après cela, la structure est plongée dans un bain contenant la solution pour l'application d'un film continu en palladium, décrit dans l'exemple 1.Dans ce bain, on produit, à l'aide d'un générateur à magnétostriction, un champ ultrasonore, et on réalise l'application d'un film continu de palladium dans les conditions suivantes fréquence des oscillations du champ 18 kHz courant d'aimantation du générateur à magnétostriction 18 A tension d'anode 4,5 kV tension de sortie 250 à 280 V Grâce à ce traitement, on assure une formation régulière du film électroconducteur continu sur les parois des trous, le temps de formation de ce film étant le même que dans l'exemple 1, tandis que son épaisseur est devenue 5 fois plus faible. Ensuite, la structure a subi les traitements suivant les régimes décrits dans l'exemple 1. Exemple 5.- La structure multicouche, décrite dans l'exemple 1, avec le film de connexion intercouche 3, déposée sur les bouts des couches métalliques 1 et des couches diélectriques 2, est immergée dans une solution contenant HO 1,0 mole/l H2504 10 1 mole/l et placée dans un bain ultrasonore fonctionnant en régime indiqué dans l'exemple 4. Ce traitement a permis d'enlever régulièrement les parties spongieuses de film connexion intercouche aux bouts des couches de cuivre, le temps de nettoyage des bouts des couches en cuivre étant réduit jusqu'à 5 secondes. Le dépôt électrolytique du revêtement métallique est ensuite réalisé comme il est décrit dans l'exemple 1. Exemple 6.- Une structure multicouche aux dimensions de 100 x 100 mm, comprenant 5 couches de cuivre de 0,035 mm d'épaisseur et 4 couches de diélectrique en céramique de 1 mm d'épaisseur, présentant 20 trous débouchants de 1 mm de diamètre, dont les deux couches extérieures de cuivre sont recouvertes d'un film de vernis et connectées à une cource de courant alternatif, est immergée dans une solution contenant PdCl2 5.10 3 mole/l H S02 10 2 mole/l dans laquelle elle a été traitée sous l'action d'un champ électrique alternatif ayant les caractéristiques suivantes fréquence du champ 50 Hz tension 2,5 V intensité 1 A à une température de 20oC. Gracie à ce traitement, le film électroconducteur continu en palladium de 100 mm d'épaisseur a été obtenu pendant 2 minutes. Après cela, la structure a été lavée à l'eau et a été amalgamée, comme il est indiqué dans l'exemple 1. Les parties spongieuses des connexions intercouches ont été éliminées aux bouts des couches de cuivre et le revêtement électrolytique a été déposé comme il est décrit dans l'exemple 1. Exemple 7.- On met la structure multicouche décrite dans l'exem- ple 1, dans une solution pour l'application du film électroconducteur continu en palladium, indiquée dans l'exemple 1, entre deux électrodes en treillis de cuivre doré, disposées parallèlement l'une à l'autre, ayant les dimensions de 200 x 300 mm et connectées sur une source de courant alternatif. On place la structure multicouche parallèlement aux électrodes autonomes à une distance de 20 mm de chacune d'elles.Aux électrodes autonomes est appliqué un courant alternatif de 4,5 A sous une tension de 4,8 V, et on maintient la structure multicouche dans ladite solution à une température de 200C. Ce traitement provoque une élévation de la température de la solution, et permet d'assurer une formation régulière pendant 3,5 mn d'un film électroconducteur continu en palladium de 200 nm d'épaisseur sur les parois des trous. Après cela, on traite la structure multicouche aux régimes indiqués dans l'exemple 1. Exemple 8.- Une plaquette de circuits imprimés aux dimensions de 200 x 200 mm, ayant une épa#isseur de 2,2 mm environ, comprenant 10 couches de circuit, présentant 800 trous de 1 mm de diamètre dont les parois sont constituées par des bouts alternés de cuivre et de diélectrique polyimides a été placée dans une solution servant à l'application d'un film électroconducteur continu en palladium décrite dans exemple 1, entre deux électrodes en treillis de cuivre verni, disposées parallèlement, à proximité immédiate de ces électrodes. A ces électrodes autonomes, isolées de la solution par un film de vernis, on applique une tension alternative de 500 V, et on maintient la structure multicouche dans ces conditions sous une températur de 25-C. A la suite de ce traitement, on obtient sur les parois des trous de la plaquette, un film de palladium uniforme de 2CO nm d'épaisseur, pendant 4,7 minutes. Après cela, on effectue le traitement ultérieur de la plaquette et la formation des connexions multicouches, comme il est décrit dans# l'exemple 1. Comme il va de soi, et comme il résulte d'ailleurs déjà de ce qui précède, l'invention ne se limite nullement à ceux de ses modes d'application, non plus qu'à ceux des modes de réalisation de ses diverses parties, ayant été plus spécialement envisagés ; elle en embrasse, au contraire, toutes les variantes. REVENDICATIONS 1. Structure multicouche constituée de couches alternées de métal et de diélectrique et comportant des connexions intercouches connectant des couches de métal entre elles, caractérisée par le fait que les connexions intercouches sont réalisées par une solution solide contenant le mercure et un métal plus électropositif, dans la série des forces électromotrices des é- léments, que le métal constituant les couches métalliques de la structure. 2. Structure multicouche suivant la revendication 1, caractérisée par le fait qu'elle comporte un revêtement métallique déposé électrolytiquement sur la connexion intercouche. 3. Structure multicouche suivant les revendications 1 et 2, caractérisée par le fait que les faces en bout des couches de diélectrique, revêtues de connexions intercouches, sont divisées par des couches de métal complémentaires disposées parallèlement aux couches de la structure, en parties approximativement égales en épaisseur à la couche la plus mince de diélectrique. 4. Procédé de formation de connexions intercouches dans une structure multicouche suivant la revendication 1, par formation d'un film électroconducteur sur les surfaces à métalliser, caractérisé en ce que le film électroconducteur est obtenu en plaçant la structure multicouche dans une solution contenant les ions d'un métal plus électropositif, dans la série des forces électromotrices des éléments, que le métal des couches métalliques, et capables d'entrer en réaction d'oxydation réduction avec le métal des couches métalliques, en maintenant la structure multicouche dans ladite solution jusqu'à la formation d'un film électroconducteur continu, et en traitant ensuite la structure par une solution contenant les ions de mercure. 5. Procédé de formation de connexions intercouches dans une structure multicouche suivant la revendication 1, par formation d'un film électroconducteur sur les surfaces à métalliser, caractérisé par le fait que le film électroconducteur est obtenu en plaçant la structure dans une solution contenant les ions de mercure, et en la maintenant dans ladite solution jusqu'à la formation d'un film de mercure métallique sur les surfaces métalliques de la structure et en traitant ensuite la structure par une solution contenant les ions d'un métal plus électropositif, dans la série des forces électromotrices des éléments, que le métal des couches métalliques de la structure, et capables d'entrer en réaction d'oxydation réduction avec le métal des couches métalliques et en maintenant la structure dans ladite solution jusqu'à obtenir un film électroconducteur continu sur toute la surface à métalliser. 6. Procédé suivant la revendication 5, caractérisé par le fait qu'après la formation du film électroconducteur, la structure multicouche est traitée par une solution contenant les ions de mercure. 7. Procédé suivant l'une quelconque des revendications 4 et 5, caractérisé par le fait que sur le film électroconducteur il est formé un revêtement métallique, obtenu par dépôt électrolytique. 8. Procédé suivant l'une quelconque des revendications 4, 5 et 6, caractérisé par le fait qu'avant la formation de la connexion intercouche, les surfaces à métalliser sont traitées par une solution de sensibilisateur. 9. Procédé suivant la revendication 4, caractérisé par le fait qu'après le traitement par une solution contenant les ions de mercure, la structure est traitée par une solution qui réagit sélectivement avec le métal des couches métalliques, ou bien avec le métal des couches métalliques et les parties poreuses du film électroconducteur, disposées sur les surfaces métalliques de la structure, en vue d'éliminer ces parties. 10. Procédé de formation de connexions intercouches suivant la revendication 9, caractérisé par le fait que sur le film électroconducteur, il se forme un revêtement métallique ~obtenu par dépôt électrolytique. 11. Procédé de formation de connexions intercouches suivant l'une quelconque des revendications 4 et 5, caractérisé par le fait que la formation du film électroconducteur est effectuée dans un champ électrique alternatif. 12. Procédé de formation de connexions intercouches suivant la revendication 11, caractérisé par le fait que le champ électrique alternatif est produit en appliquant une tension alternative aux couches métalliques de la structure. 13. Procédé de formation de connexions intercouches suivant la revendication 11, caractérisé par le fait que le champ électrique variable est produit en appliquant une tension alternative à des électrodes autonomes placées dans la solution pour l'application d'un film électroconducteur et disposées de part et d'autre de la structure. 14. Procédé de formation de connexions intercouches suivant la revendication 4 ou 5, caractérisé par le fait que la formation du film électroconducteur est effectuée dans un champ ultrasonore. 15. Procédé de formation de connexions intercouches suivant la revendication 4 ou 5, caractérisé par le fait que la formation du film électroconducteur est effectuée dans une solution contenant un sel de palladium de 0,0005 à 0,5 mole/l un sel de cuivre de 0,0005 à 0,5 mole/l un acide minéral de 0,001 à 1,0 mole/l 16. Procédé de formation de connexions intercouches suivant les revendications 4 et 5, caractérisé par le fait que la formation du film électroconducteur est effectuée dans l.ne solution contenant un sel d'argent de 0,0005 à 0,5 mole/l l'ammoniac de 0,1 à 12,5 moles/l.