Brevet FR2266187A1 — publié le 19751024

lia présente invention concerne un appareil et un procédé d'impression par projection, par exemple lors de la fabrication de dispositifs à semi-conducteur. Au cours de la réalisation de dispositifs à semiconducteur par les techniques photolithographiques, une plaquette semi-conductrice est revêtue d'un film photosensible appelé "réserve photographique", et qui est exposé à une lumière actinique projetée à travers un cache. lie développement et l'attaque sélective de la réserve exposée provoquent la formation d'un dessin à la surface de la plaquette, ce dessin pouvant être utilisé pour la formation de zones de diffusion, de conducteurs et analogues.La fabrication moderne des circuits intégrés nécessite plusieurs phases d'impression successives, chaque exposition à l'aide d'un cache devant être réalisée dans des positions repérées avec précision par rapport aux dessins formés antérieurement, tes deux techniques couramment utilisées lors de la mise an oeuvre de caches sont l'impression par contact dans laquelle le cache est au contact de la couche de réserve photosensible ou très près de celle-ci, et l'impression par projec- tion dans laquelle le cache forme une image sur la réserve photographique. L'impression par projection présente l'avantage que le cache n'est pas au contact de la réserve si bien que les risques de détérioration accidentelle par usure de la réserve ou du cache sont évités.Un inconvénient est que, de façon gêné- ralle. l'augmentation de la résolution de l'objectif utilisé pour la #ormation de l'image s'accompagne d'une réduction du champ image 'est-à-dire une réduction de la surface du cache qui peut former ure image sur la plaquette. Ce compromis entre la résolution et le champ image peut limiter l'application de l'impression par projection a la réalisation des circuits intégrés à grande échelle dans lesquels des dessins coriplexes et importants ayant des dimensions extrême- me-t faibles sont formés sur une plaquette semi-conductrice unique. li'inveiftion concerne un perfectionnement aux procédés el appareils d'impression par projection. Dans un mode de réalisation, l'invention ccncerne un appareil d'impression par projection qui comprend un dispositif de formation d'une image d'une partie d'un cache sur une partie d'une matière photosensible, et un dispositif de déplacement simultané du cache et d# la matière, le cache et la matière étant fixes l'un par rapport à l'autre, de manière que des parties différentes du cache forment des images sur des parties différentes de la matière. De préférence, le dispositif de formation d'image forme une partie d'image ayant la même orientation par rapport au déplacement du cache et de la matière que la partie correspondante du cache. De préférence, le dispositif qui forme l'image comprend un nombre pair de lentilles ou d'objectifs qui retournent l'image. De préférence aussi, le dispositif de formation d'image comprend un nombre impair de miroirs dirigeant la lumière du cache vers la matière suivant un trajet replié. lie dispositif de formation d'image comprend avantageusement une lentille de champ, une première lentille d'inversion étant destinée à former l'image du cache sur un plan image qui se trouve dans la lentille de champ, une seconde lentille d'inversion étant destinée à former l'image de ce plan image sur la matière lie dispositif de déplacement peut provoquer une exploration de la matière suivant une trame. De préférence, le dispositif de formation d'image comprend un dispositif projetant un faisceau lumineux d'intensité non uniforme en l'absence de modulation par le cache, l'appareil étant tel que, lors du fonctionnement, l'exploration de la matière suivant une trame provoque le recouvrement des images des explorations successives sur la matière.De préférence, ce recouvrement est tel que la somme des intensités lumineuses incidentes non modulées soit la même sur toutes les parties de la matière explorées par le faisceau lumineux. De préférence, la répartition a une caractéristique sensiblement triangulaire. lie dispositif de formation d'image peut comprendre un orifice rectangulaire placé sur le trajet du faisceau lumineux et établissant cette caractéristique de répartition triangulaire. L'appareil peut comprendre un élément piézo-électrique supportant la matière, un dispositif dirigeant un faisceau lumineux de manière que, lors du fonctionnement, celui-ci soit réfléchi par la surface de la matière suivant un angle aigu en éclairage rasant, et un dispositif commandé par le faisceau de lumière réfléchie et destiné à- créer un signal électrique de commande représentatif de la position du faisceau, l'élément piézo-électrique étant commandé par le signal de commande et réglant ainsi la position matérielle de la matière. lie générateur du signal de commande peut comprendre une plioto-diode double. L'appareil peut comprendre un dispositif destiné à éclairer la matière par une lumière non-actinique, et un dispositif d'observation d'une image de la matière, superposée au cache. li'invention concerne aussi un procédé d'impression par projection d'une représentation sur une matière photosensible, selon lequel une partie d'un cache délimitant ladite représentation forme une image sur la matière, et le cache et la matière sont déplacés, en restant fixes l'un par rapport à l'autre, de manière que les parties différentes du cache forment des images sur des parties différentes de la matière. De préférence, la partie qui donne l'image a la meme orientation par rapport au déplacement du cache et de la matière que la partie correspondante du cache. lie déplacement du cache et de la matière peut être tel que la matière est explorée suivant une trame. De préférence, la lumière non modulée transmise par le cache a une répartition d'intensité lumineuse sensiblement triangulaire, et le déplacement est tel que les images des explorations successives se recouvrent sur la matière d'environ 50 k. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront mieux de la description qui va suivre, faite en référence aux dessins annexés sur lesquels la figure 1 représente un schéma d'un dispositif d'impression par projection selon l'invention la figure 2 est un diagramme du trajet d'exploration de l'appareil d'impression de la figure 1 la figure 3 représente schématiquement les effets de la réflexion par des miroirs sur l'orientation la figure 4 est un diagramme représentant les variations de l'intensité lumineuse, portées en ordonnées, en fonc tion de la distance, portée en abscisses, et elle représente l'effet de l'exploration par recouvrement la figure 5 représente schématiquement un orifice destiné former une répartition de la lumière du type représenté sur la figure 4, et qui peut être utilisé dans l'appareil de la figure 1 ;; la figure 6 est un schéma d'un servomécanisme de mise en position qui peut être utilisé dans l'appareil de la figure 1 ; la figure 7 est un graphique permettant la description du trajet d'exploration d'un appareil selon l'invention ; la figure 8 représente schématiquement un orifice qui peut être utilisé selon l'invention la figure 9 est un diagramme représentant, en ordonnées, l'intensité lumineuse, et en abscisses, la distance les figures 10 et il représentent schématiquement des explorations avec recouvrement, représentées à titre d'explication. lia figure 1 représente un appareil de projection d'une image d'un cache Il sur un revêtement 12 de réserve photographique placé sur une plaquette semi-conductrice 13, l'appareil comprenant deux lentilles 15 et 16 de formation d'images, une lentille 17 de champ, et des miroirs 18, 19 et 20. lie cache et la plaquette sont montés sur une table commune 22 de translation qui est destinée à être déplacée suivant une trame d'exploration par un mécanisme 23 d'entraînement qui peut par exemple déplacer la table 22 d'abord en direction x, vers les valeurs positives, puis sans transition, en direction y vers les valeurs négatives, puis en direction x vers les valeurs négatives, puis en direction y -ersAes valeurs négatives, la séquence précédente étant alors répétée.Le trajet résultant, décrit par un point de la table, est représenté par la courbe 25 de figure 2. La réserve photographique 12 est exposée à une image du cache 11 par projection de lumière actinique d'une source 26 à travers le cache, suivant le trajet optique 27, jusqu'à la plaquette 13. La lentille 15. forme une image du cache dans un plan image 28 placé dans la lentille 17 de champ, la lentille 16 formant une image du plan 28 sur le revêtement 12 de réserve. lie rôle de la lentille de champ, associée aux deux autres len tilles, est l'augmentation de l'efficacité de la projection sur le revêtemellt de réserve et l'augmentation du champ de vision.; l'article Applied Optes : A Guide to Yiodern Optical System Design", par Beo Levai, John Wiley & Sons, Zinc, 1968, page 459, décrit en détail le rôle d'une telle lentille. Comme décrit dans la suite, l'utilisation d'un nombre pair de lentilles est nécessaire pour la formation de l'image, dans le mode de réalisation représenté, de manière que les effets de retournement d'image soient compensés. Comme décrit précédemment, une résolution élevée à l'aide d'une lentille quelconque de formation d'image ne peut être habituellement obtenue qu'au prix de la réduction du champ image. Dans le cas considéré, les lentilles 15 et 16 ont une résolution extrêmement élevée et en conséquence ont un champ image de surface inférieure à celle du cache 11. Ainsi, à un moment donné, seule une petite partie du cache 11 forme une image sur le revêtement 12. Cette caractéristique est représentée sur la figure 2 qui représente uniquement une partie 29 d'image projetée à un moment donné. Cependant, l'exploration assurée par la table 22, le long du trajet 25, est réalisée de manière que, à la fin de l'exploration, toutes les parties du cache Il aient formé une image sur le revêtement 12.Ainsi, à la fin de l'exploration, la surface totale du cache Il a formé une image sur le revêtement 12 de réserve, par formation successive des images des parties différentes du cache. Il est évidemment nécessaire que le champ image corresponde au dessin d'exploration suivant une trame de manière que le faisceau lumineux de la source 26 puisse être projeté à travers toutes les parties du cache 41, et que toutes ces parties aient formé une image sur la plaquette 13. Comme le cache et la plaquette sont rigidement associés au point de vue mécanique, il est important que l'image d'exploration forméesur le revêtement 12 suive le trajet lumineux sur le cache 11. Ainsi, un nombre pair de lentilles de formation d'image peut être utilisé car une lentille unique de formation d'image retourne l'image par rapport à l'objet, une seconde lentille pouvant être utilisée pour la compensation de ce retournement. Un fait moins évident est que, lorsque le trajet optique doit être replié par réflexion, le nombre de miroirs utilisés doit être impair. Cette caractéristique apparaît clairement sur la figure 3 qui montre les conséquences de l'utilisation d'un nombre pair de miroirs. Lorsqu'une image projetée par le cache a l'orientation représentée par la flèche 30A, elle a l'orientation représentée par la flèche 303 après une première réflexion, et l'orientation représentée par la flèche 30C après la seconde réflexion.Ainsi, lors de l'utilisation de deux miroirs seulement, l'orientation de l'image sur la plaquette a un sens opposé à celui de l'objet sur le cache, et l'exploration, lors du déplacement du cache et de la plaquette dans les mêmes directions, donne une image floue. lie même problème se pose lors de l'utilisation d'un nombre pair de miroirs, alors qu'un nombre impair de miroirs donne une même orientation à l'image et à l'objet. Ainsi, il est préférable que l'appareil comprenne trois miroirs tels que les miroirs 18, 19 et 20 de la figure 1. Evidemment, d'autres combinaisons de lentilles et de miroirs peuvent donner l'orientation voulue pour l'image. Un autre avantage du ~système optique représenté sur la figure 1 est qu'il permet avantageusement la mise en position repérée du cache par rapport à la plaquette, par éclairement de la plaquette avec une lumière non-actinique. Le miroir 20 peut être avantageusement un miroir dichroïque qui réfléchit la lumière actinique mais qui est partiellement transparent à la lumière non-actinique. Ainsi, ce miroir constitue un réflecteur efficace pour la lumière provenant de la source 26, mais permet aussi avantageusement l'introduction de lumière non-actinique de la source 32 dans le système optique au cours de la phase de mise en position repérée. La source lumineuse 26 et un microscope 33 sont avantageusement montés sur une même table mobile 34 qui est réglée avant mise en position repérée de manière que le miroir 35 intercepte le trajet optique 27. La plaquette 13 est alors éclairée par la lumière non-actinique de la source 32, et tout dessin porté par la plaquette forme une image sur le cache 11, par l'intermédiaire des lentilles 16 et 15. Lorsque l'image de la plaquette et du cache est observée dans un microscope 33, le cache Il peut etre orienté de manière qu'il soit convenablement disposé par rapport à la plaquette. Après mise en position repérée, la source 26 est ramenée vers la position représentée sur la figure 1, et lloté-^ation d'exploration est répétée pour la formation de l'image du nouveau cache sur la plaquette. On considère maintenant le dessin d'exploration qui doit être utilisé pour l'exposition sensiblement uniforme du revêtement 12 de réserve photographique. Lorsque la partie 29 d'image de la figure 2 une configuration rectangulaire, lorsque le trajet d'exploration suivant une trame est du type représenté sur la figure 2 et lorsqu'il n'apparaît aucun recouvrement des images des lignes successives d'exploration, la répartition de l'intensité lumineuse peut être uniforme de manière que la réserve photographique soit exposée de façon uniforme. On note facilement cependant qu'une exploration complète de l'ensemble du cache est très difficile sans recouvrement et sans discontinuité dans l'image totale représentée par la partie explorée. Aussi, il est avantageux, pour que toutes les caractéristiques du cache aient formé une image, que les images se recouvrent au cours d'exploeations successives. La lumière non modulée projetée sur le revêtement de réserve peut avoIr une répartition triangulaire d'intensité lumineuse pour éviter une exposition non uniforme à la suite du recouvrement. Dans le cas d'un recouvrement de 50 % des explorations des images successives, la répartition totale de l'intensité lumineuse sur le revêtement de réserve a une caractéristique du type représenté sur la figure 4 qui représente les variations de l'intensité lumineuse en fonction de la distance dans une direction correspondant à la direction y de la figure 2. Ainsi, la répartition ttianrilaire de la lumière au cours d'une ligne d'analyse est représentée par la courbe 37, la répartition de l'intensité dans l'exploration suivante est représentée par la courbe 58, l'exploration suivante étant représentée par la courbe 39 etc.Lorsque les images des explorations successives se recouvrent de 50 %, la courbe 38 recouyre la courbe 37 de 50 %. Lorsque chaque répartition a la même forme triangulaire et lorsque le recouvrement correspond à 50 % comme représenté, la somme des intensités à toutes les distances y est constante, c'est-à-dire que la somme des intensités est toujours égale à Eo quelle que soit la distance, comme on peut facilement le noter. La répartition triangulaire représentée sur la figure 4 peut être obtenue par disposition sur le trajet du faisceau lumineux d'un orifice 40 délimité par un quadrilatère régulier, du type représenté sur la figure 5. Plus précisément, un tel orifice représenté sous forme d'un losange doit être disposé dans le plan image 28 de la figure 1, et il donne alors une répartition d'intensité lumineuse qui correspond à la configuration géométrique de l'orifice. D'autres répartitions de la lumière peuvent donner une répartition totale uniforme du type précité, mais l'utilisation d'un orifice délimité par un quadrilatère, imposant une répartition triangulaire, présente des avantages évidents de simplicité. De plus, la configuration de l'orifice peut être adaptée de manière que l'orifice compense les défauts d'uniformité de l'intensité de la source 26.Un traitement rigoureux en fonction de ces considérations est décrit dans la suite du présent mémoire, pour l'obtention d'une exposition uniforme. On peut noter d'après la description qui précède que la formation de l'image d'un cache de surface relativement importante sur une plaquette de grande surface peut être réalisée à l'aide de lentilles de résolution très élevée, ayant des champs image de faibles dimensions correspondantes. Lors de l'utilisé tion de lentilles ayant des petits champs image, d'autres caractéristiques optiques avantageuses, telles qu'une faible distorsion, peuvent être obtenues. Enfin, l'exposition de la réserve photographique peut etre très uniforme par utilisation d'un orifice approprié ou "diaphragme de champ" placé au niveau de la 1 n- tille de champ. Etant donné la profondeur de champ limitée des lentilles de résolution élevée, l'utilisation d'un servo-mécanisme du type représenté sur la figure 6 peut être avantageux pour le maintien du revêtement 12 de réserve dans le plan image de la lentille 16 lors de l'opération d'exploration. Un faisceau de lumière non-actinique provenant d'un laser 41 est focalise, en incidence rasante, à la surface du revêtement de réserve. Une lentille 42 forme sur une photodiode double 43 une image du faisceau lumineux rétréci au niveau de la surface de la réserve. La position de la lumière sur la photodiode dépend de la hauteur de la plaquette et des -ignaux différents sont créés de manière connue en fonction de la présence du point dlincidence au-dessus ou au-dessous d'un emplacement de référence sur la photodiode double. lie signal créé est amplifié et parvient à un dispositif piézo-électrique 44 de translation qui se dilate ou se contracte en direction verticale en fonction du signal reçu, si bien qu'il règle la surface de la plaquette à la hauteur voulue en fonction de tout signal créé. lia plaquette 12 est de préférence fixé mécaniquement au dispositif 44 de translation, par un mandrin 46 à aspiration. On considère maintenant les détails du mode de réalisation décrit jusqu'àpr4serrt à titre illustratif. Dans l'appareil de la figur#e 1 destiné à la formation de dessins complexes de circuits imprimés, des techniques mécaniques très élaborées doivent être mises en oeuvre pour l'obtention de la précision voulue d'exploration. Lors de l'utilisation des techniques connues, des paliers pneumaUiqu;s peuvent supporter la table 22 et permettent le maintien d'une linéarité d'exploration avec une précision meilleure que I à 4 s d'arc, la reproductibilité étant de + 0,05 micron pour une exploration de 10 cm.Le cas échéant, plusieurs paliers pneumatiques distants d'environ 30 cm sont associés par une surface commune de travail, dans chaque direction, et peuvent -réduire les erreurs de mise en position. La table peut être explorée en direction x à une vitesse de 5 cm/s, le déplacement dans la direction y étant réalisé par des paliers de 4 mm. Chaque déplacement- peut être commandé par des moteurs pas à pas associés à un dispositif de transformation appropriée en un déplàcement linéaire de coulisseaux montés sur des paliers pneumatiquès. Des commandes connues peuvent assurer une correction automatique de la position. lies lentilles 15 et 16 peuvent être toutes deux en réalité des objectils;à plusieurs éléments de .1/10 X. La lentille 17 de champ peut aussi être un objectif à plusieurs lentilles, destiné à délimiter un diaphragme de champ comme décrit précédemment. La lumière actinique peut avoir une longueur d'onde prédominante à 0,407 micron. La lumière non-actinique de la source 32 peut avoir essentiellement une longueur d'onde de 0,546 micron, et une lentille mobile peut compenser les différences de longueurs d'orlle, comme décrit dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n0 3 528 252. Dans le cas de la vérification de la focalisation comme décrit en référence à la figure 6, le laser 41 teut être un laser hélium-néon émettant une lumière non-actinique à 6328 A. Dans le cas d'un faisceau laser collimaté de 1,5 mm, focalisé par une lentille cylindrique ayant une distance focale de 25 mm, une lentille 10X formant l'image, la diode double peut être d'un type qui crée un signal présentant une variation de 20 Xo pour un déplacement de 1 micron. lies dispositifs piézoélectriques de translation sont disponibles dans le commerce et permettent une plage de déplacements de 12 à 18 microns pour une charge axiale de 4,5 kg, et de tels dispositifs conviennent pour la réalisation du dispositif 44.D'autres données et caractéristiques de fonctionnement utilisées au cours de l'explora- tion d'une plaquette d'environ 50 mm de diamètre figurent dans le tableau qui suit. Caractéristiques du systèmr optique Ouverture 1,5 Diamètre maximal du champ image 8 mm Grossissement 1X Longueur d'onde d'exposition 0,405# Longueur d'onde d'alignement 0,546#(avec lentille mobile) Distorsion inférieure à 0,1 Distance focale environ 40 mm Source lumineuse lampe à arc dans le mercure de 350 W Uniformité d'éclairement 3 % Uniformité d'exposition 1 % Durée estimée d'exposition sur une plaquette de 50 mm 20-30 s précision d'alignement mettant + 0,5 en oeuvre des repères de référence + 0,2 assurant un alignement automatique + 0,25 Détail minimal reporté sur le silicium 2,0# Diamètre de la plaquette 50 mm Diamètre maximal e plaquette 400 mm Vitesse de la table 5 cm/s + t ffi Palier de déplacement de la table 4 mm + Distance comprise entre l'axe central du cache et l'axe central de la plaquette 20 cm lie brevet des Etats-Unis d'Amérique n0 3 573 849 décrit certains procédés de réglage du déplacement d'une table de translation avec une grande précision, ces techniques convenant selon l'invention. La réalisation convenable des mécanismes d'entraînement, en fonction d'une exploration suivant une trame voulue, est à la portée du spécialiste. Il faut noter que diverses variantes sont possibles. Par exemple, des réflecteurs sphériques peuvent remplacer les lentilles, de manière connue, pour la formation des- images voulues ; cette caractéristique est particulièrement avantageuse car elle supprime les abérations chromatiques et le retournementdes images. On considère maintenant en détail les conditions nécessaires à un éclairemenD uniforme. On considère I1 exploration d'un champ image A suivant la direction X, la vitesse constante, comme représenté sur la figure 7. On suppose que l'analyse est répétée N fois le long d'axes également espacés y1, y2, y3, yn. lies champs peuvent se recouvrir ou non. lie champ image est la surface recouverte par l'orifice A. lie champ d'exposition est la surface totale recouverte par l'exploration de l'orifice A.Dans la suite, on détermine la condition d'exposition uniforme de tous les points p dans le champ d'exploration. On appelle I(x,y) l'intensité d'éclairement dans le champ image et P##(x,y) la fonction de champ qui est égale à I à l'intérieur du champ image et qui est égale à O à l'extérieur de ce champ image.Dans l'appareil d'impression par projection avec analyse, A(x,y) est le dia- phragme de champ placé dans le dispositif d'éclairement. L'expo- sition nette E1 (y) en un point p(x,y) résultant de la ième exploration Eo = constante L'exposition nette Et(y) au point p(x,y) résultant des N explorations est Une condition nécessaire et suffisante pour que le champ d'exposition soit uniforme est ou Ainsi, ces conditions indiquent que, lors de la formation des profils d'exposition a chaque exploration, il faut que la somme des expositions soit égale à une constante en tous les points y à l'intérieur du champ d'exposition. Dans les exemples qui suivent, on adopte l'hypothèse que l'éclairement est uniforme dans le champ d'exposition. On peut alors simplifier en considérant I(x,y) comme constant. W(y-y.) est la largeur de la fonction de champ à une distance ème Y-Yi du i axe d'exploration. Ainsi, pour un éclairement constant du champ image, la condition d'exposition constante dans le champ d'exposition est On considère alors un premier cas dans lequel les explorations ne se recouvrent pas La somme ne comprend qu'un seul terme, si bien que E = O; W(y) = constante dy L'orifice qui satisfait à cette condition est représenté sur la figure 8. Le profil d'intensité correspond à la figure 9. Comme noté, ce cas ne permet aucune tolérance permettant certaines erreurs sur la position d'analyse. Toute erreur d'exploration par rapport à l'axe véritable d'exploration provoque une variation de 100 % de l'exposition. On considère maintenant un second cas dans lequel les explorations se recouvrent de 50 %. La condition sur les largeurs d'orifice devient alors d rWi (y-y. ) +Wi+1(y-yi+l)] 3 Une solution de cette équation est la fonction d'orifice repré ventée sur la figure 10. A partir du dessin des explorations qui se recouvrent, on peut déterminer les largeursd'orifice, comme représenté sur la figure 11. lie profil d'exposition est alors comme représenté sur la figure 4. Lorsque la largeur maximale d'orifice est égale à 8 mm, la pente de chaque profil d'exposition est égale à lo/4 mm. Une erreur de position de 40 microns provoque une exposition de 1 % sur l'intensité d'exposition. De manière plus générale, lorsque l'éclairement dans le champ image I(x,y) n'est pas constant, un éclairement uniforme d'exposition est obtenu par résolution de l'équation intégrale 4, permettant la détermination de la fonction de champ A. Dans lappareil d'impression de l'invention, il est avantageux qutun diaphragme de champ analogue à l'orifice -c or- responde au second cas considéré. Pour l'obtention de cette exposition uniforme, une modification du diaphragme de champ permet la compensation d'une variation de 5 % de l'uniformité de l'éclairement. Il est bien entendu que l'invention n'a été décrite et représentée qu'à titre d'exemple préférentiel et qu'on pourra apporter tout équivalence technique dans ses éléments constitutifs sans pour autant sortir du cadre de l'invention, q#ui est défini dans les revendications annexées. RFV}NDICATIONS 1. Appareil d'impression par projection, caracttrisé en ce qu'il comprend un dispositif destiné à former une image d'une partie d'un cache sur une partie d'une matière photosensible, et un dispositif destiné à déplacer simultanemnnt le cache et la matière qui sont fixes l'un par rapport å l'autre, de manière que des parties différentes du cache formert des images sur des parties différentes de la matière. 2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif de formation d'image est tel qu'il forme une partie d'image ayant par rapport au déplacement du cache et ~d-e la matière, une orientation qui est la même que celle de la partie correspondante du cache. 3. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce quo le dispositif de formation d'image comprend un nombre pair de lentilles ou objectifs assurant un retournement. 4. Appareil selon la revendication 3, caractérisé en ce que le dispositif de formation d'image comprend un nombre impair de miroirs destinés à diriger la lumière du cache vers la matière suivant un trajet rep:.ié. 5. Appareil selon la revendication 4, caractérisé en ce que le dispositif de formation d'image comprend une lentille de champ, une première lentille ou un premier objectif de retournement étant destiné à former l'image du cache sur un plan image disposé dans la lentille de champ, et une seconde lentille ou un second objectif de retournement étant destiné à former l'-image dudit plan image sur la matière. 6. Appareil selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le dispositif mobile est des tiné à provoquer une analyse de ] 7. Appareil selon la revendication 6, caractérisé en ce que le dispositif de formation d'image comprend un dispositif destiné à projeter un faisceau lumineux ayant une répartition non-uniforme d'intensité en l'absence de modulation par le cache, et le dispositif d'exploration de la matière suivant une trame provoque un recouvrement des images sur la matière lors des explorations successives. 8. Appareil selon la revendication 7, caractérisé en ce que le recouvrement est tel que la somme des intensités de la lumière incidente non modulée sur toutes les parties de la matière analysée par le faisceau lumineux est pratiquement constante. 9. Appareil selon la revendication 8, caractérisé en ce que la répartition de la lumière a une caractéristique sensiblement triangulaire. 10. Appareil selon la revendication 9, caractérIsé en ce que le dispositif de formation d'image comprend un orifice délimité par un quadrilatère et placé sur le trajet du faisceau lumineux de manière qu'il établisse la caractéristique triangulaire de répartition lumineuse. 11. Appareil selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il-comprend un élément piézoélectrique destiné à supporter la matière, un dispositif destiné à diriger un faisceau lumineux de manière que, lors du fonctionnement, ce faisceau soit réfléchi par la- surface de la matière en incidence rasante, et un dispositif commandé par le faisceau réfléchi et destiné à créer un signal électrique de commande représentatif de la position du faisceau, l'élément piézo-électrique étant commandé par le signal de commande et réglant la position réelle de la matière. 12. Appareil selon la revendication 11, caractérisé en ce que le générateur du signal de commande comprend une photodiode double. 13. Appareil selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend un dispositif destiné à éclairer la matière avec une lumière non-actinique, et un dispositif destiné à observer une image de la matière, superposée au cache. 14. Procédé d'impression per projection d'une représentation sur une matière photosensible, caractérisé en ce qu'une partie d'un cache délimitant ladite représentation forme une image sur la matière, et le cache et la matière qui sont fixes l'ton par rapport à l'autre se déplacent de manière que les parties différentes du cache forment des images sur des parties différentes de la matière. 15. Procédé selon la revendication 14, caractérisé en ce que la partie qui forme l'image a la meme orientation par rap port au déplacement du cache et de la matière, que la partie correspondante du cache. 16. Procédé selon l'une des revendications 14 et 15, carac térisé en ce que le déplacement du cache et de la matière est tel que la matière est explorée suivant une trame. 17. Procédé selon la revendication 16, caractérisé en ceque la lumière non modulée par le cache a une répartition sensiblement triangulaire d'intensité lumineuse, et le déplacement est tel que les images des explorations successives se recouvrent de 50 ffi sensiblement sur la matière. 18. Objet, caractérisé en ce qu'il est réalisé par mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 14 à 17.