Brevet FR2263600A1 — publié le 19751003

La présente invention concerne le donaine des générateurs électroniques de dessins, et en particulier les générateurs de dessins à utiliser dans la fabrication des semiconducteurs Ta fabrication des dispositifs seniconducteurs actuels utilise une série d'opérations qui nécessitent l'impression d'une image précise, très détaillée, sur une surface sensi bilisée d'une plaquette de semiconducteur.A titre d'exemple, différentes régions sont diffusées dans une plaquette de sem- conducteur, en appliquant un revêtement sensibilisé à la couche d'oxyde sur la plaquette, en exposant le revêtement à travers un masque, pour imprimer l'image du circuit désiré en développant le revêtement et en dissolvant la partie développée ou la partie non-développée, en gravant la couche d'oxyde dans les régions exposées sous l'effet du développement du revêtement, en éliminant par dissolution le reste de revienent développé en diffusant les impuretés désirées dans les régions exposées de la sous-couche de semi-conducteur et en réoxydant la surface exposée de la sous-couche.L'impression de l'image sur la surface sensibilisée se fait par contact, le caté mage du masque plat étant placé contre la surface sensibilisée de la plaquette de manière à reproduire l'image du masque sur la surface sensibilisée, aussi précisénent que possible. Par conséquent, il en résulte une abrasion et une détérioration mécanique du masque, ce qui limite le nombre des utilisations possibles d'un masque avant de le changer. Le cotit du remplacement de ces masques contribue nettement au prix du circuit intégré résultant. les masques typiquemen* utilisés pour la fabrication des semiconducteurs sont constitués d'un métal, d'un film d'halogénure métallique sur une plaque de verre que l'on expose au dessin choisi et que l'on développe comme un négatif photogra phique. Donc, pour fabriquer un tel masque, le dessin que l'on désire est créé à la main à échelle agrandie sur un fond con tractant. Ce dessin est ensuite photographié, puis réduit à la dimension désirée par une série de réductions photographiques. A un certain stade des procédés de photograrhie et de réduction photographique, un film est exposé de manière répétitive au dessin, en formant une matrice par utilisation d'un appareil à repétition qui permet de reproduire des centaines de fois sur un matériau å masques, le dessin unique de 0,64 cm2 environ. Le développement de la plaque de masque termine la préparation bien qu'il soit habituel qu'un tel masque puisse servir de modèle pour la fabrication d'autres masques et permettre le remplacement des masques fabriqués sans avoir à appliquer d'o- pération de répétition ou de réduction photographique pour les nouveaux masques. Il apparaît d'après la description ci-dessus que le procédé classique de fabrication des masques pose un certain nombre de problèmes. Le tracé original du circuit est sujet à des inexactitudes et à des erreurs humaines qui peuvent passer inaperçues jusqu'à ce que les dispositifs soient complètement fabriqués avec le nasque obtenu. e la même maniera toute modification du masque nécessite une modification ou un nouveau dessin, ainsi qu'une répétition de toutes les opérations de fabrication du masque.En outre, les limitations de 11 équipement utilisé, comme l'équipement optique du procédé de photoréduction et l'équipement de pose et de réoétftion introduisant une limite aux details que l'on peut réaliser sur le masque, surtout en limitant la dimension des composants individuels des circuits intégrés. On a admis qu'il était souhaitable de créer directement une image de masque de dimension désirée et l'on a construit un équipement électronique, générateur d'images pour exposer directement la plaque à masques sensible aux électrons à une image électronique créée par ces générateurs.Ces genérateurs utilisent un canon à électrons classique, formant un faisceau d'électrons par l'émission thermoïonique d'un filament chauffé. émission est limitée par différentes ouvertures, concentrée par des lentilles magnétiques, et déviée tar des bobines de déflexion commandées extérieurement pour créer l'ima- ge souhaitée. lSis ce système n 'a pas encore été largement accepté car il présente certaines limitations. Ces limitations comprennent: 1. Une zone de balayage à grande résolution limite. Pour former des faisceaux d'électrons de faible diamètre il faut que le masque soit placé à une distance relativement faible de la dernière lentille électronisue. Cette courte distance de travail limite la zone de balayage par suite de la distorsion de la déflexion et du défaut de concentration de la déflexion qui dépendent tous deux de l'angle de déflexion. 2. Une faible vitesse de balayage des colonnes classiques d'optique électronique à lentilles magnétiques. Les bobines de déflexion sont placées dans l'alésage d1un noyau de fer des lentilles. La vitesse de déflexion de la dernière lentille est freinée par les courants de Foucault et les flux de liaisons créés dans la zone entourant les bobines de déflexion ce gul provoque un trainage de la position du faisceau par rapport au signal de déflexion. 3. La durée de vie limitée de la cathode des appareils à cathode teriiooiqne, la durée d'une cathode est typiquement de l'ordre de 100 heures. Ceci est dû à ltébullition du matériau de la cathode et à la contamination de la surface d'émission, 4. Hystérésîs. Comme on utilise des lentilles à noyau de fer au voisinage des bobines de déflexion, le système de déflexion magnétique introduit une inexactitude dans la position de balayage par suite de l'hystérésis du système de déflexion magnétique. Cette erreur vient naturellement s'ajouter à l'erreur de la vitesse de balayage du paragraphe 2 ci-dessus. 5. La faible brillance aux grands angles de balayage. Pour réaliser de grands angles de balayage et assurer la couverture et la formation du dessin sur de grandes surfaces, il faut que l'angle final d'ouverture diminue afin de réduire au minimum la distorsion et la déconcentration de la déflexion. En outre, comme l'aberration sphérique d'une lentille donnée augmente avec la distance de fonctionnement, l'ouverture doit être limitée pour que le faisceau reste étroit et trace des dessins de grande résolution. Le résultat de cette diminution de llan- gle d'ouverture aux distances de travail élevées est une réduction du courant d'un faisceau de dimensions données, de sorte qu'il faut beaucoup plus longtemps pour former un diagramme donné. Le temps nécessaire pour former un dessin est un paramètre très important pour des appareils de ce type puisqu'il déterminera dans une grande mesure la productivité de ces appareils. On a donc besoin d'un procédé de création d'images électroniques qui forment un faisceau électronigue précis, rapidement contrôlable et de courant relativement grand, ainsi que d'un système permettant les opérations répétées pour pouvoir. commander par calculateur un faisceau aui forme des masques de très grande qualité et de très grande résolution. On propose lin générateur de dessins à faisceau électroniaue tour la production ranide et précise d'images électroniques sur une surface comme une surface revêtue d'un matériau sensible aux électrons. Le générateur de dessins est constitué d'un canon électronique à émission sons champ, (cathode froide) dont l'émission est concentrée tar une lentille électrostatique et déviée ensuite tar des bobines de déflexions commandées par un calculateur, avec des convertisseurs numériques analogiques intermédiaires. L'effacement du faisceau .e fait tar une bobine d'effacement séparée, également commandée par calculateur qui dévie le faisceau hors limite et sur le bord d'une plaaue d'ouverture.On obtient un faisceau stable, à courant élevé en chauffant des électrodes à émission de champ de préférence dans la gamme des 500 à 600 C. Un dispositif correctement polarisé qui peut entre, par nature, un tube multiplicateur d'électrons recueille l'émission secondaire de l'objet sur lequel est concen tré le dessin électronique, et qui peut servir conjointement avec les signaux de déflexion à créer un indicateur à tube cathodique.L'objet sur lequel le faisceau se forme est monté sur une table-X-Y contrôlable avec précision grâce à une commande par calculateur et à des circuits de commande convenables. Une inexactitude de la position réelle de la table est détectée par des détecteurs convenables et peut servir, soit pour former des signaux de correction destinés aux bobines de déflexion qui devient soizneusement le faisceau suivant la vraie position de la table, soit moyennant l'emploi d'une table convenable, pour stas- surer que la servo-commande de la table est dans la position rée]le dnsiree, avec la gamme d'exactitude nécessaire. Pn outre la dose d'exposition est maintenue constante, même en présence de fluctuations du courant du faisceau, en assurant un produit faisceau du courant d'exposition, temps d'exposition constant. La fig. 1 est un croauis schématique du canon à électrons à émission sous chant du générateur de diagrammes à faisceau d'électrons de l'invention La fig. 2 est un schéma de principe du générateur de diagrammes à faisceau d'électrons de l'invention 'ta fig. 3 est un schéma de principe semblable à celui de la Fig. 2, illustrant encore le système de commande d'exposition; ta fig. 4 est une vue en coupe partielle de l'association du scintillateur et des tubes lumineux destinés à recueillir les électrons secondaires; La tig. 5 est un schéma de principe du dispositif de commande d'exposition. En se référant d'abord à la Fig.1, on peut voit un croquis schématique du canon à électrons à émission sous champ électrostatique du générateur de diagrammes, à faisceau d'électrons de l'invention. Les composants du générateur de diagrammes, intérieurs à l'enceinte 22 sont généralement placés dans une chambre où l'on peut faire un vide relativement poussé, de préférence dans la gamme des 6,65 10-4 et 6,65 10-7 Pa ou inférieure à cette valeur. Unspointe 24 d'émission sous champ est généralement placée en haut de la chambre 22 et généralement alignée avec l'ouverture de la lentille électrostatique, constituée par les pièces 26 et 28.Une source d'alimentation de la pointe 30, polarise négativement la pointe 24 par rapport aux pièces 26 de la lentille électrostatique de manière à créer une émission de champ fixe depuis la pointe et à accélérer les électrons émis vers la lentille électrostatique. Il faut naturellement distinguer 1' émission thermoionique de cette émission de champ dans laguelle un champ électrique élevé au voisinage de l'émetteur abaisse la barrière de potentiel de surface de manière à ce qu'un nombre notable d'électrons puisse franchir la barrière par effet tunnel mécanique quantique. Les courants émis peuvent être très élevés car tous les électrons dirigés vers la surface du métal participent à ce courant, et pas seulement ceux qui occurent les derniers niveaux de la distribution de Fermi, comme dans l'émission thermoionique. Les anodes 26 et 28 sont polarisées et disposées de manière à concentrer effectivement l'émission de champ de la pointe 24, toute la tension d'aecélération des électrons étant la tension de la source d'alimentation 32 connectée entre la pointe 24 et les anodes 28. Dans une réalisation préférée de l'invention, les anodes 28 comme la plupart des autres composants intérieurs à la chambre 22 sont maintenues au potentiel de la masse si bien que a tension entre la pointe et les anodes 28 est la tension d'accélération définitive des électrons du faisceau d'électrons, La pointe d'émission sous champ 24, généralement en tungstène, est maintenue à un potentiel négatif élevé et la première anode 26 est polarisée positivement par rapport à la pointe, de 2 000 volts environ.Ceci crée un champ élevé autour de la jointe qui permet l'émission de champ. La seconde anode est au potentiel de la masse, et en réglant le rapport entre la tension de la pointe et la tension d'accélération, on peut focaliser la pointe de tungstène en un point situé au-delà de la seconde anode 28. La dimension de l'image de la teinte pro- duite par le canon est donnée par l'équation où dt est le diamètre de la pointe, d la dimension de spot concentré, m le grandissement de canon, Vo l'énergie d'émission initiale des électrons qvittant la pointe, et Vt le potentiel électrostatique appliqué à la pointe.Donc, avec une pointe de dimension dt d'environ 5 000 angstrôms, un rapport de grandissement n = 1 et une énergie initiale d'émission des électrons, Vo de 0,2 électron-volt, et un potentiel électrostatique de la pointe de 2 000 volts, la dimension du spot du faisceau produit sera d'environ 50 angströms. Cette concentration électrostatique est bien connue dans l'art antérieur et a été appliquée à titre d'exemple dans le microscope électronique CWICSCAlT 100 fabriqué tar la Coates et Welter instrument Corporation, Sunnyvale, Californie, une filiale de l'Anerican Optical Corporation. L'ouverture de la lentille électrostatique mesure environ 600 microns, et un autre diaphragme 34 ayant une ouverture de 200 microns environ, est monté au-dessous pour limiter encore la dimension du faisceau. Au-dessous de ce dernier dia phragme se trouve un jeu de bobines de déflexion 36 qui as sur rent la déflexion électromagnétique du faisceau, auquel on a donné le repère général 38, au moment où il traverse le champ magnétique créé par les bobines de déflexion. Les bobines de déflexion 36 sont prévues pour dévier le faisceau dans une direction X proportionnellement à un signal électrique appliqué sur la ligne 40, et pour dévier le faisceau dans une direction linéaire proportionnellement à un signal appliqué sur la -ligne 42.On obtient donc ainsi un contrôle indépendant du faisceau dans les directions X et Y. Dans le jeu 36 des bobines de déflexion se trouve aussi un enroulement supplémentaire qui répond à un signal électrique appliqué sur la ligne 44. Cet enroulement est aussi placé de manière à dévier le faisceau mais ne réalise pas une déviation proportionnelle, au contraire il est prévu pour faire dévier le faisceau en dehors de la zone utile, plus précisément pour le dévier vers l'ouverture d'effacement 46 montée.entre les bobines de déflexion et la pièce sur laquelle on dirige généralement le faisceau (c'est-à-dire la cible). On peut donc appliquer à la ligne 44 un seul signal du type " par tout ou rien" pour orienter le faisceau en dehors de la gamme utile et par conséquent annuler le signal.D'avantage de l'emploi d'un enroulement d'effacement séparé ctest que les enroulements de déflexion et les circuits de commande de ces enroulements sont soigneusement étudiés pour assurer le degré de précision et de linéarité nécessaire, et comme on le verra par la suite, pour fonctionner en réponse à un signal numérique provenant d'un dispositif numérique de commande, qui esUtysiquement un ordinateur enumérique. Donc, les circuits des enroulements de déflexion primaires tendent à avoir un temps de réponse plus long qu'un simple circuit d'excitation par tout ou rien d'enroulement d'effacement.Par consé quent, l'emploi d'un enroulement d'effacement séparé permet lleffacement total du faisceau sans interférer avec le signal de déflexion I, Y du faisceau et permet le retablissement du faisceau à la position X-Y désirée, à la fin du signal d'effacement. À ce sujet, il faut aussi remarquer que la déflexion commandée par la bobine d'effacement doit être suffisante pour faire passer le faisceau dune position X-Y quelconque de la zone utile à une position en dehors de la zone utile, afin que l'effacement soit assuré, indépendamment du signal de déflexion appliqué sur les lignes 42. Be faisceau, quand il n'est pas déporté hors de la zone utile, descend par l'ouverture d'effacement 46 et le dispositif recueillant les électrons secondaires 50, sur la surface de l'objet 52 sur lequel est formé le diagramme, genéralement une plaque masque photosensible. L'objet ou cible 52 est monté sur un plateau X-Y que l'on peut faire déplacer en continu ou par échelons dans les directions x et Y, d'une façon précise et controlable en réponse aux signaux de commande appliqués sur les lignes 56 et 58. Au moment où le faisceau d'électrons frappe la cible, un certain nombre d'électrons secondaires sont émis par la cible, ils peuvent dépasser, en nombre, les électrons du faisceau d'électrons. Ces électrons secondaires sont en général des électrons d'énergie relativement faible et sont émis en un diagramme diffus, tout à fait opposé à une configuration bien orientée. En polarisant la surface réceptrice du dispositif 50 à une valeur légèrement positive par rapport à la surface de la cible, ces électrons secondaires sont recueillis par le dispositif 50 pour former un courant sur la ligne 60, qui dépend du nombre des électrons secondaires émis. (Le dispositif 50 est, de préférence, un multiplicateur d'électrons, et la surface de réception peut, à titre d'exemple, être formée par la première plaque d'un tube multiplicateur).Ceci fournit une mesure instantanée des électrons secondaires émis, qui peut se combiner à l'information de la bobine de déflexion pour pouvoir être affichée sur un tube cathodique et donner une image grossièrement agrandie du diagramme en cours de formation par le générateur de diagrammes, ou balayer une surface recouverte d'une résine sensible aux électrons exposée et développée afin de représenter rapidement l'ims- ge déveloMib (par exemple suivant un mode de balayage de microscope électronique). Dans une autre réalisation, on peut utiliser des détecteurs de réflexion en remplacement ou en supplément du dispositif à émission secondaire 50, pour détecter la réflexion de la cible. Ces détecteurs se caractérisent par un seuil de sensibilité d'énergie électronique qui leur permet de détecter les électrons, à haute énergie, comme les électrons réfléchis, mais pas les électrons de faible énergie comme les électrons secondaires. Pour certaines applications, cette variante offre des avantages, et fournit un contraste différent de l'image représentée sur l'écran du tube cathodique.Dans ce but, il est possible d'employer des diodes photosensibles, comme celles que fabrique la Solid State Radiations Inc, l'os Argelès, Californie (leur série PIH comme les diodes 010 - PIN, - T05, 050 - PIN - T08 etc..) Pour rendre maximal le signal dérivé, les diodes doivent être placées de manière à intercepter autant d'électrons réfléchis que possible. Les avantages de l'emploi du phénomène d'émission de cathode froide en présence d'un champ, dans un générateur de diagrammes comme celui de l'invention sont multiples. Corme il n'est pas nécessaire d'employer de lentilles magnétiques, il n'y a pratiquement pas d'hystérésis dans le balayage, et les vitesses de balayage peuvent entre plus grandes qu'avec une émission thermoionique. En outre, la précision que l'on peut obtenir sur la position du faisceau est plus grande du fait qu'il n y a pas d'hystérésis et qu'il y a moins de diaphragmes qui pourraient se contaminer et se charger pour dévier le faisceau d'une manière incontrôlée et indésirable.En utilisant une émission à cathode froide, on peut aussi avoir une zone de balayage plus grande, c'est-à-dire que le faisceau de plus petit diamètre formé par le canon à émission par cathode froide, peut être projeté sur une plus longue distance, en réduisant ainsi la distorsion et le défaut de mise au point par déflexion, puisque le faisceau peut couvrir des surfaces plus grandes avec des angles de déviation plus petits En outre, le canon à cathode froide a une durée d'utilisation de I 000 heures alors que les cathodes thermoioniques classiques ne durent que 10 à 100 heures. La brillance ou les densités de courant que l'on peut obtenir en utilisant l'émission de cathodes froides sont aussi relativement plus grandes si bien oue le temps nécessaire pour former un diagramme donné, avec l'appareil de l'invention peut etre inférieur d'un ordre de grandeur au temps qu'il faut avec les appareils classiques à cathode thernolonique. Pour aider encore à maintenir un faisceau stable à densité de courant élevée, en utilisant une pointe d'émission sous champ électrique, on a trouvé avantageux de chauffer la pointe d'émission. Ceci tend à éliminer les contaminants qui, sinon, risqueraient d'empêcher ou d'intensifier l'émission et de provoquer des dérives ou fluctuations indésirables des densités de courant du faisceau. Une source de chauffage de la pointe 62, est donc prévue pour appliquer de l'énergie électrique au filament de la pointe d1 émission 24.Dans une réalisation plel eree, la ointe 24 est si > .plement fixée à un fil support 64 et la source de chauffage prévue pour faire circuler un-courant dans le fil support de tanière à le porter à la température désirée.On a observé qu'il était possible d'accentuer, à la fois, la stabilité et la densité de courant en chauffant la pointe à une température comprise entre 300 et 8000C, et de préférence entre 500 et 6000C; des températures plus élevées pouvant créer une émission thermoionique et que même en chauffant la pointe dans la gamme de température indiquée on obtenait une meilleure stabilité de courants de densité élevée aux dépens d'une augmentation de l'aberration chrozatique. Nais, étant donné la faible dimension de spot que l'on peut obtenir, on peut tolérer certaines dégradations (Si on désire encore un spot plus petit, on peut prévoir une lentille électrostatique ou magnétique sous le canon à émission sous champ électrique pour obtenir une nouvelle réduction du faisceau et une résolution de fabrication encore meilleure). Dans la réalisation préférée, la chambre 22 est équipée d'un système de verrouillage qui permet d'introduire la cible 52 dans la chambre à vide ou de l'en retirer sans avoir à soumettre l'intérieur de la chambre à vide à la pression ou à la contamination extérieure, et sans avoir de longues périodes de temps mort, dues au pompage. On élimine ainsi la cause principale de contamination de ce type d'appareils et on diminue la durée du cycle de traitement des objets-cibles dans l'appareil. Ces dispositifs de verrouillage sont bien connus de l'art antérieur. I1 est naturellement difficile de placer avec une grande précision llobjet-cible sur le plateau X-Y, problème qui peut encore être rendu plus difficile par l'existence des passages ou dispositifs de verrouillage déjà mentionnés. Aussi, comme on emploie généralement l'appareil en mode répétitif pour former des masques ayant une matrice de plus petits masques qui doivent être placés avec précision, les uns par rapport aux autres, la précision du système à répétition peut tre limitée par la précision du système répétitif de mouvement de plateau X-Y.On a trouvé une méthode pour résoudre ce dernier problème qui consiste à utiliser un plateau facilement contrôlable avec une précision raisonnable, ainsi que des capteurs de position qui détectent, de façon très précise, la position du plateau et forment des signaux correcteurs à appliquer aux signaux de déflexion X-Y du faisceau de façon à dévier légèrement le faisceau suivant la véritable position du plateau. On forme donc ainsi des signaux de correction qui corrigent la position du faisceau en fonction de l'inexactitude mécanique de la position commandée du plateau. Ces signaux peuvent entre appliqués sur les lignes 66 et 68 et combinés aux signaux de commande de déflexion X et Y pour obtenir la correction désirée. On peut utiliser différents dispositifs pour détecter avec précision les positions exactes du plateau comme on l'a vu ci-dessus. L'un de ceux qui ont été employas est un inter féromètre à laser comme il en existe maintenant dans le commerce. On peut utiliser un tel dispositif pour déterminer précisément la position du plateau dans une plage raisonnable des mouvements du plateau. Nais ces dispositifs sont coûteux et comme il faut deux axes d'information (I et Y), il Saut utiliser deux interféromètres, ce qui augmente sensiblement le prix de revient global du système. Un autre moyen précis de détection de la position du plateau peut entre obtenu en prévoyant des réseaux de phase holographiques sur chaque axe et en utilisant des capteurs optiques pour détecter la position des réseaux fixes par rapport aux réseaux mobiles du plateau. Un tel système est aussi très précis et relativement économique. 11- faut aussi remarquer que si, dans la réalisation préférée, les signaux des lignes 66 et 68 indiquant la véritable position du plateau servent à former des signaux correcteurs destinés aux enroulements de déflexion du faisceau, ces signaux peuvent aussi autre appliqués au-disposi- tif de commande du plateau, suivant le type de plateau utilisé (des plateaux ayant des pièces coulissantes, peuvent présenter des frottements non négligeables ce qui rend difficile la commande asservie de très petits mouvements du plateau visant à corriger la position du plateau). Après avoir décrit le canon à électrons et son support, on va maintenant décrire tout 1 1ensemble en se référant à la Fiv.2. La commande principale du système est assurée par le calculateur numérique 70, de construction classique, qui fonctionne suivant un programme, et les circuits d'entrée 72 sont prévus pour fournir, au calculateur, les données de base servant à la génération des diagrammes. (Dans la réalisation préférée on utilise un calculateur Nova 800, fabriqué par Data General Inc, Southboro, Mas.) Les circuits d'entrée, de construction également classique (dont certains sont disponibles auprès de la Data General) peuvent employer des cartes perforées, des bandes perforées, des bandes magnétiques et autres types de mémoire d'informations que l'ordinateur peut lire, soit entièrement avant que la formation du diagramme commence, soit progressivement au fur et à mesure de la génération des diagrammes pour réduire la capacité de la mémoire nécessaire au calculateur. En général, les données ne seront pas fournies, point par point, au calculateur mais le calculateur sera programmé pour déchiffrer des informations codées et simplifiées et former les signaux de sortie désirés. À titre d'exemple particulier, on peut prévoir un sous-programme qui commande le faisceau d'électrons pour tracer une zone rectangulaire, et faire déclencher ce sousprogramme par une entrée qui identifie les coordonnées X et Y de chaque angle de la zone rectangulaire et commande l'exécution de ce sous-programme en utilisant les coordonnées comme références (ou par une entrée préalablement stockée dans le calculateur).De cette façon, on peut former rapidement et précisément des diagrammes relativement compliqués, sous le contrôle du calculateur, en utilisant des informations appliquées au calculateur sous une forme relativement simple. ( On remarquera aussi que l'on peut notablement dérégler la concentration en faisant varier la tension de la pointe d1 émission 24 pour obtenir un spot de plus grande dimension sur la cible. Ainsi, dans une autre réalisation, le calculateur numérique peut aussi délivrer un signal de sortie qui commande la tension de la pointe de Saçon à tracer des lignes ou à remplir des surfaces en utilisant un spot de dimensions agrandies. Bien sûr, un spot de plus grande dimension signifie en général une densité de courant du- faisceau réduite, si bien qu'il faut une vitesse de balayage plus faible pour que le matériau sensible aux électrons soit correctement exposé, toutes choses facilement réalisables sous la commande d'un calculateur programmé). Bes sorties primaires du calculateur numérique présentées, de préférence, sous forme de bits parallèles sont schématiquement représentées sur la Fig.2, plus précisément une commande de déflexion dans la direction I, une commande de déflexion dans la direction Y, un signal d'effacement, un signal de commande du plateau dans la direction X et un signal de commande du plateau dans la direction Y. Bes commandes dans les directions I et Y sont, dans une réalisation préférée des signaux à 16 bits qui donnent une résolution de plus ou moins un demi sur 216 ou approximativement plus ou moins un demi sur 65 OQO. Donc, pour une surface de balayage de 5 mn sur 5 mn environ, chaque bit représente un dénlacement du faisceau de 76 x 10~6mu environ, ce qui donne la résolution et la précision de la position du faisceau désirées. Bes signaux numériques de déflexion dans les directions X et Y sont convertis en signaux analogiques de déflexion par les convertisseurs numériques-analogiques 74 et 76. 1a sortie des convertisseurs numériques-analogiques est appliquée aux enroulements de déflexion, par les lignes 40 et 42, les signaux de correction de position X et Y du plateau des lignes 66 et 68 étant ajoutés à ces signaux de déflexion par les circuits d'ad- dition 78 et 80 pour former une correction de déviation, selon la véritable position du plateauX-Y. Bes signaux analogiques de déflexion X et Y des lignes 40 et 42 peuvent aussi être couplés à un circuit 82 de commande de la déflexion d'un tube cathodique qui, à son tour entraîne le dispositif de déflexion X et Y d'un indicateur cathodique 84 à l'unisson avec le balayage X-Y du faisceau d'électrons sur la surface de la cible 52. D'effacement du faisceau est assuré par un générateur de signaux d'effacement qui peut accepter un signal à un bit pour produire un signal d'effacement, par tout ou rien, sur la ligne 44. l'e calculateur présente aussi des signaux X-Y de commande du plateau X-Y par l'intermédiaire des contrôleurs 88 et 90 qui sont couplés au plateau X-Y dans le générateur de diagramme 20. La nature de ces derniers signaux numériques et des signaux qui en sont dérivés, dépendra, naturellement, du type particulier de plateaux X-Y utilisés, puisque tout plateau relativement précis et facile à commander convient bien pour etre associé à ce système à condition qu'il puisse fonctionner dans le vide. afin, le signal venant du dispositif 50 et indiquant la grandeur de l'émission secondaire de la cible est appliqué, par la ligne t au circuit 86 de commande de la densité du faisceau du tube cathodique qui commande I 'intensité du faisceau dans le tube rons cathodiques 84 pour réaliser le contraste des zones de diagramses. (Le signal d'effacement n'a pas besoin d'être appliqué directement à à l'indicateur cathodique puisque l'effacement est effectivement détecte par un signal sur la ligne 60, en indiquant l'absence d'électrons secondaires éis par la cible). Dans la fabrication des masques appliquant l'invention il est important que le dosage de l'exposition de la résine expose aux électrons soit uniforme sur toute la surface d'un masque et aussi d'masque à l'autre. Ceci garantit non seulement une vitesse maximale de formation des masques, compatible d'une exposition adéquate de la résine sensible aux électrons, mais aussi des largeurs de lignes reproductibles et une définition répétitive des bords étant donné ou'un dosage excessif entraînera des effets secondaires dûs à une exposition notable de la résine sensible aux électrons, au-delà du domaine réservé au faisceau.Un procédé évident pour obtenir cela consiste à maintenir constant le courant d'exposition du faisceau par un contrôle approprié de l'émetteur d'électrons (dans l'invention, la pointe d'émission dans un champ électrique). Nais cela ne s'obtient pas facilement puisque le rapport entre le courant du faisceau d'exposition et le courant total du faisceau varie avec le temps de sorte que i'on ne peut pas obtenir le résultat souhaité en maintenant simplement constant le courant total. Une a-atre approche consiste donc à mesurer le courant du faisceau d'exposition et à contrôler, l'émetteur d'électrons pour faire varier le cournt total comme il le faut afin de maintenir le courant du faisceau 'exposition constant. Pais ceci ne s'obtient pas facilement puisque la pointe d'émission en présence d'un champ électrique se trouve typiquement à une tension de 10 000 volts ou plus, par rapport aux enroulements de concentration sur la cible, etc..., et qu'en plus, les fluctuations de tension nécessaires, sur la pointe d'émission sous champ, et pour obtenir ce résultat sont suffisantes pour poser des problèmes par suite du couplage entre la pointe et les autres structures. rivant l'invention, le dosage d'exposition est maintenu sensiblement constant, non pas en maintenant constant le courant total d'exposition mais en maintenant constant le produit du courant du faisceau d'exposition et du temps d'exposition. En se référant maintenant à la fig. 1, on peut voir le procédé utilisé pour détecter le courant du faisceau d'exposition. L'association d'un scintillateur, d'un tube de lumière et d'un photomultiplicateur sert de capteur pour détecter l'émission secondaire d'électrons par la cible. (Dans la fabrication des masses, l'émission des électrons secondaires ainsi que les électrons réfléchis est; constante sur toute la surface du masque, de meme que l'épaisseur de la résine sensible aux électrons sera uniforme sur toute la surface du masque, et sera à son tour placée sur une couche uniforme de matière pour masque, comme du silicium, le chrome et autres corps semblables suivant le type de masque à fabriquer).Ce détecteur, partiellement représenté sur la fig.4 est constitué d'un collecteur 100 et d'un tube lumineux 102 couplé à un photomultiplicateur 1oW, délivrant un signal de sortie du photomultiplicateur sur la ligne 106. La périphérie de l'extrémité 102 du tube lumineux 102 reçoit une haute tension de polarisation, et la surface 110 de l'extrémité est couverte d'un matériau scintillateur si bien que les électrons secondaires recueillis par une tension relativement basse sur le collecteur 100 sont assez accélérés pour frapper le matériau scintillateur avec une vitesse assez grande pour déclencher une émission lumineuse ayant une intensité proportionnelle à la vitesse de recueil des électrons quoi, dans le cas de la fabrication des photomasques est directement proportionnelle au courant d'exposition du faisceau, Le signal délivré par le tube photomultiplicateur est donc proportionnel au courant du faisceau d'exposition.L'ensemble scintillateur, tube lumineux, photoziiiltiplicateur a été utilisé pour le balayage pes microscopes électroniques par la Coates and Welter Instrument Corporation, Sunnyvale, Californie, et le scintillateur était l'Endural Electron Detector, de cette Société. En se référant maintenant à la fig. 5, on peut voir le schéma de principe du circuit utilisé pour traiter le signal de de sortie du photomultiplicateur et obtenir le signal destiné à maintenir le courant du faisceau constant. Le signal de sortie du tube photomultiplicateur sur la ligne 106 est inversé par l'amplicateur intermédiaire A8, et amplifié par l'amplicateur ÂI. La sortie de l'amplificateur A1 est couplée à l'entrée positive de l'amplificateur opérationnel A2 et à l'entrée négative de l'amplificateur opérationnel A3, utilisé comme amplificateur inverseur.Le signal arrivant sur l'entrée positive de l'amplificateur opérationnel A4 par la ligne 108 est donc l'inverse de entrée de l'amplificateur opérationnel A2, sur la ligne 110. Les sorties des amplificateurs A4 et R2 sont respectivement couplées par les résistances R1 et R2 aux -bases des transistors T1 et 22. Les émetteurs des transistors TI et T2 sont couplés respectivement aux sources d'alimentation +VS et -VS, par les résistances respectives R3 et R4. Les collecteurs des transistors Ti et T2 sont couplés aux points opposés d'un pont formé par les diodes Dl, D2, D3 et D4. On peut expliquer le fonctionnement des amplificateurs A4 et A2 ainsi que celui des transistors TI et T2 de la manière suivante : quand le signal de sortie du photomultiplicateur 104 augmente, la tension diminùe sur la ligne 108. En conséquence 13 = (VS-V112)R3. Mais, V112 répond à la sortie d'un tube photomultiplicateur sur la ligne 106. On remarquera cependant que le signal de la ligne 106 n'est pas le seul signal appliqué à I 'an- plificateur A1.En particulier, en plus du couplage du signal sur la ligne 107, au travers de la résistance réglable P1 et de la résistance série R5, un signal venant d'une référence de tension tVR, par la résistance R6, est également appliqué (une résistance de contreréaction R7 est également prévue pour compléter le circuit de l'amplificateur Ad, étant entendu que les résistances de réaction des autres amplificateurs ont été omises sur le dessin pour faciliter les explications et clarifier le circuit). Les résistances R6 et P1 sont utilisées comme démultiplicateur et pour régler le niveau de polarisation du circuit On supposera que le signal de sortie du photomultipli- cateur est un signal positif.(On inverserait facilement un signal négatif grâce à un amplificateur inverseur non représenté). On peut exprimer le signal de sortie du tube photomultiplicateur comme une constante (x) multipliée par le courant Ieb du faisceau d'exposition. Le branchement de la résistance R6 à une tension de référence VR fournit un signal d'entrée supplémentaire K1 par l'amplificateur Ad. L'entrée totale de l'ampli- ficateur A1 peut donc s'écrire : -EoIeb + K1. Ce même signal, après les changements de gain, apparaît sur la ligne 108 et peut s'écrire: -K2Ieb + K3, les nouvelles constantes se rappor tant au nouvel ordre de grandeur du signal.Comme ci-dessss si l'amplificateur A4 est un amplificateur à grand gain, le même # signal apparaîtra sur la ligne 112 sous forme de la tension V112. En combinant ces équations, on obtient donc On remarquera qu'en choisissant correctement les paramètres, on peut faire Sz = VS, auquel cas De courant I3 peut donc être directement proportionnel au courant du faisceau d'exposition I. De même 14 est directement proportionnel au courant d'exposition, et en adaptant les composants l'idéal serait que I4 égale 53. La ligne 114 est couplée à la jonction entre les diodes D2 et D3 tandis que la ligne 116 est couplée à la jonction 124, entre les diodes D2 et D4, ainsi qu'à la masse à travers un condensateur Cl. La ligne 116 est aussi couplée à l'entrée négative de l'amplificateur opérationnel A5, dont la sortie est couplée à la ligne 114 et, par la résistance Rg, à un réseau constitué par la résistance R9, couplée entre la masse et l'entrée positive de l'amplificateur A5, et par le montage en série du condensateur C2 et de larésistance RlO, également couplée à la masse et l'entrée positive de 122 de l'amplificateur A5, L'amplificateur A5 fonctionne en détecteur à seuil, en délivrant une sortie positive de niveau élevé ou une sortie négative de niveau élevé suivant l'entrée différentielle qu'il reçoit. En outre, l'amplificateur A4 doit être un amplificateur à grande vitesse particulièrement caractérisé par un temps de commutation très court entre les sorties fortement positive et fortement négative et leurs opposées. En supposant que le courant de base des transistors T1 et T2 est faible, le courant dans la jonction 118 est 13, et le courant dans la jonction 120 est I4. Si l'on suppose, pour le moment, que le condensateur Cl a une charge suffisante pour que la tension, sur la ligne 116 dépasse la tension sur la ligne 122, dans ce cas, la sortie de l'amplificateur 1A5, sur la ligne 114 sera négative et zaintienara la jonction 124 à une tension inférieure à la tension sur les jonctions 118, 120 et 126. La diode D1 sera alors polarisée dans le sens direct et la diode D2, polarisée en sens inverse, de sorte que le courant 13 circule à travers la diode D1 et la ligne 114. En même temps, la diode D3 est polarisée en sens inverse.Le courant 14 circule donc à travers la diode 34, en tendant ainsi à décharger le condensateur C1 et à abaisser la tension sur la ligne 116. Quand la tension sur la ligne 116 décroît jusqu a la valeur de la tension sur la ligne 122, l'entrée différentielle de llampli,i- cafteur A5 s'inverse et la ligne 114 passe rapidement à une sortie fortement positive. Ceci fait passer la tension sur la ligne 122 à une valeur intermédiaire positive, définie par les résistances R8, R9 et R10, le condensateur C2 se chargeant doucement de sorte que la tension sur la ligne 122 s'approche assez rapidement d'une valeur plus élevée, déterminée par les résistances E8 et R9.Quand la ligne 114 est commutée à une valeur positive, la diode D3 est polarisée en direct, un courant 14 la traverse et la diode D4 est polarisée en sens inverse. En même temps, la diode D1 est polarisée en sens inverse si bien que le courant 13 circule au travers de la diode D2 en chargeant encore le condensateur CI jusqu a ce que la tension sur la ligne 116 augmente jusqu'à la tension de la ligne 122, et que la tension ligne 114 passe à une valeur négative. Il apparaît donc que la tension apparaissant sur la ligne 114 est un signal carré, dont la portion positive provient de la décharge du condensateur CI à une valeur négative déterminée et la portion positive, de la charge du condensateur C1, depuis une tension négative prédéterminée jusqu'à une valeur positive prédéterminée. Comme la vitesse de charge est fonction de 13 et 14, lesquels sont tous deux proportionnels au courant du faisceau d'exposition, il apparaît que la fréquence du signal carré de la ligne 114 est directement proportionnelle au courant du faisceau d'exposition. Le reste du circuit composé d'un amplificateur inverseur A5 des multivibrateurs à monostables OS2 et OSI, des portes NON n1 et N2 et N3 et de la porte NON-OU NORI constitue un doubleur de fréquence et un circuit de validation. En particulier, la borne 140 sert de borne de validation pour fournir un signal de validation au circuit répondant au courant du faisceau d'exposition décrit ci-dessus, dans lequel, la borne 142 peut servir d'entrée pour une fréquence fixe qui fait apparaître une sortie à fréquence fixe, sur la borne 144, indépendamment du courant du faisceau d'exposition.Quand le signal sur la borne 140 est à l'état élevé, la sortie de l'amplificateur A6 sur la ligne 146 est à ltétat inférieur, ce qui invalide la porte NON-ET N2. La tension sur la borne 140 valide la porte NON-ET rm, si bien que l'inverse de la tension carrée apparaissant sur la ligne 114 est appliqué, par la ligne 148, à lten- trée positive du multivibrateur monostable OS1 et à l'entrée négative du multivibrateur OS2.Ces circuits mono stables sont des bascules monostables, OS1 étant couplé de manière à délivrer une impulsion positive pour les portions positives du signal carré de la ligne 148, et 052 pour délivrer une impulsion positive pour les parties négatives du signal carré apparaissant sur la ligne 548. Les sorties des circuits monostables, sur les lignes respectives 150 et 152 servent d'entrées à la porte NON-OU NORD. La sortie de la porte NON-OU est donc à l'état supérieur qui maintient la sortie de la porte NON-ET N3 à l'état inférieur, jusqu'à ce que l'une ou l'autre des entrées des portes NON-OU soient pulsées à l'état supérieur.Si on suppose donc que la porte NON-ED N3 a validé le signal apparaissant sur la ligne 144, la sortie, sur la ligne 144 sera un train d'impulsions comprenant une impulsion par décalage, dans la direction positive de la tension de la ligne 114 et une impulsion pour chaque décalage dans la direction négative de la tension de la ligne 114, c'est-à-dire que sa fréquence de répétition est le double de celle du signal carré de la ligne 114. Dans une autre réalisation, on peut utiliser un oscillateur commandé par une tension, vendu dans le commerce sous le nom de Philbrick VCO No 4705 en remplacement du circuit de la Fig.5. En se référant maintenant à la Fig.3. on peut voir le schéma de principe illustrant la manière dont on utilise le circuit de la Big.5. Sur cette figure tous les éléments repérés par deux chiffres sont des éléments qui ont déjà été considérés au suet de la Fig.2 et qui ne seront donc pas décrits ici une nouvelle fois sauf le calculateur 70 qui, sur la Fig.3 a été séparé en un calculateur 70a et une mémoire 70b. Dans cette réalisation, la mémoire est de préférence une mémoire à accès direct ou bien une mémoire comportant un canal d'accès, ctest-à- dire que l'on peut accéder à la mémoire à tout moment et que l'on n'est pas limité par une horloge.D'autre part, le calculateur 70a est destiné à mettre à jour en permanence llinforma- tion stockée dans la mémoire 70b, pour entre accessible quand cela est nécessaire pour fournir des informations sur la position et le temps d'exposition désiré, ainsi que des informations sur la mise au point du prochain point à former sur le diagramme. Cette réalisation peut être exploitée de la manière suivante : on établit d'abord un programme comprenant une pluralité d'instructions qui, sur présentation de certaines données peuvent servir à former des informations, - point par point, en ce qui concerne la concentration et le temps d'exposition d'une zone de surface géométrique donnée. A titre d'exemple on peut établir une instruction concernant un tracé rectangulaire à partir de certaines informations comme la longueur, la largeur et les coordonnées d'un angle du tracé, une autre instruction pour former des renseignements, point par point, pour des régions circulaires d'après leur diamètre et les coordonnées de leur centre, etc.Un tel programme servirait à la production de tous les masques, les données de chague masque individuel à utiliser avec ce programme, étant fournies sous forme de séquences d'identification de la position de la région et de la géométrie à utiliser avec les instructions qui, considérées dans leur ensemble définissent tout le diagramme à réaliser.Bien que lleffåcement ne soit pas nécessaire quand on passe d'une région géométrique à- une région géométrique connectée, on peut encore utiliser l'effacement dans cette procédure, pas à pas, afin qu'il n'y ait pas de controle à exercer sur la surface que le balayage doit éviter, en passant du dernier point d'un tracé au premier point de la région suivante. (On a observé qu'il était possible d'obtenir un effacement très efficace avec un diaphragme 300 comprenant une première plaque 302 à la masse et une seconde plaque de commande 304, au-dessus de la lentille électrostatique. On préfère un signal d'effacement négatif sur la ligne 306, car il dévie le faisceau en dehors du diaphragme avec moins de tendance pour le faisceau à intercepter l'une ou llau- tre plaque en libérant des contaminants, etc...) .Par conséquent, pour la première région géométrique à tracer par le faisceau électronique, le calculateur fournirait à la mémoire 70D des données sur les premiers points successifs à exposer, c'es-à- dire les coordonnées X Y sous forme numérique, une comnande de concentration et un compte d'exposition. (La mémoire est donc simplement un registre ou dispositif de stockage capable de fournir, de préférence, sur demande, des données sous forme numérique pour chacun des points successifs du diagramme à tracer).Les informations relatives au premier point sont alors utilisées pour fournir un signal qui a la commande de concentration 200 pour concentrer ou déconcentrer le faisceau de ma nière contr8lable, et balayer avec un tracé large ou étroit (le tracé d'une zone pleine peut être obtenu soit avec un faisceau concentré commandé par échelons serrés de courte durée pour balayer la zone, ou avec un faisceau non-concentré commandé par échelons plus grands et une vitesse plus lente pour imnression- ner la zone). Pour le premier point aussi, la mémoire fournit non seulement les signaux de déflexion XY, c'est-à-dire les coordonnées des points, aux commandes de déflexion 74 et 76, mais fournit aussi un compte d'exposition pour régler le décompte du compteur 204. Avant de stabiliser les signaux de déflexion X et Y, un signal devrait être fourni au générateur d'effacement pour effacer le faisceau jusqu'à ce que le système de déflexion se soit stabilisé. L'impression du premier point se fait alors puis le circuit 200 fournit aussi une fréquence de décompte au compteur 204 qui est proportionz Bb au courant du faisceau d'exposition. Quand le conpteur à rebours 204 arrive à zéro, un signal d'avance est appliqué, sur la ligne 206, à la mémoire 70b pour fournir les données concernant le point suivant à impressionner, au circuit de commande de concentration, au circuit de commande de déflexion et au compteur à rebours. il n'y a pas besoin d'effacement entre les points successifs d'une région de géométrie donnée, car le sous-programme devrait contrôler le tracé de la région de manière à ce que le faisceau ne passe jamais au-delà des limites de la région désirée. I1 apparaît, d'après les explications précédentes, que les déplacements du faisceau point par point couvrent une région particulière. En pratique, au moins pour un faisceau concentré, les temps d'exposition peuvent être aussi courts qu'un seul décomp'e du conteur à rebours, le temps nécessaire au déplacement du faisceau étant sensiblement comparable au temps individuel d'exposition.Par conséquent, dans ce cas le mouvement du faisceau est intermédiaire entre une exposition, étape par étape, et un mouvement de balayage continu le long d'une ligne trédéterminée. Be calculateur 70a, est naturellement utilisé pour mettre à jour, en permanence, les informations de la mémoire 70b, si bien que les données du point suivant sont toujours disponibles quand on les demande. il an paraît aussi que si le courant du faisceau d'exposition diminue, la vitesse avec laquelle le compteur décompte, depuis le nombre préréglé pour chaque point, diminue de façon à ce que le produit courant de faisceaux temps d'exposition reste constant.Enfin, quand on saute au tracé géométricue suivant, qu'il soit ou non relié à la surface précédente, un signal d'effacement est d'abord fourni pour effacer le faisceau, les coordonnées de la zone suivante sont présentées aux circuits de connande de déflexion X et Y et le signal de concentration est appliaué à la comnande de concentration. Après une période de durée prédéterminée, suffisante pour que les différents circuits se soient stabilisés, et gui peut être commandée par l'horloge du calculateur, le signal d'effacement est supprimé et l'exposition, point par point, de la région suivante se poursuit.On voit donc qu'il en résulte une exposition précise, point par point, d'un diagramme prédéterminé avec une exposition totale de chaque portion du diagramme, soigneusement commandée dans des linites données quelles que soient les variations raisonnables du courant du faisceau d'exposition, et que l'on obtient un grand degré d'exactitude et de répétabilité grâce à l'appareil de l'invention sur la base d'un jour à l'autre, même si les caractéristiques de la pointe d'émission sous champ électrique présente des dérives ou si une pointe de remplacement a des caractéristiques sensiblement différentes. Bes caractéristiques d'échelonnage et de répétition sont naturellement obtenues, à la fin de chaque diagramme, en effaçant encore le faisceau, en avançant le plateau X-Y sous le contrôle du calculateur, en replaçant le faisceau et en répétant la formation du diagramme, en un autre endroit, pour obtenir une matrice de diagrammes caractéristique des masques utilisés dans la fabrication des circuits intégrés. On a donc décrit ici un appareil générateur de diagrammes à faisceau électronique appliquant les principes de l'émission sous champ électrique (cathode froide) et prévu pour être commandé par un calculateur afin d'exposer avec rapidité et précision une surface sensible aux électrons, suivant le diagramme désiré. L' appareil présente un certain nombre d'avantages par rapport aux appareils de l'art antérieur, dont une précision plus grande, une vitesse plus élevée et des densités du courant du faisceau, plus grandes, qui conduisent à un générateur de diagrammes plus efficace, de plus grande utilité et de plus forte productivité. Bien que l'invention ait été particulièrement présentée et décrite en se référant à des réalisations particulières, les spécialistes comprendront que différents changements de forme et de détails peuvent y entre apportés sans sortir de l'esprit ni de la portée de l'invention. REVENDICTIONS 1. Appareil utilisable dans un générateur de diagrammes à faisceau d'électrons constitué par un dispositif support de cible, un dispositif d'émission d'électrons sous l'effet d'un champ électrostatique élevé; un dispositif permettant d'imposer un champ électrostatique élevé au dispositif d'émis sion afin de provoquer l'émission sous champ électrique d'accélérer les électrons globalement en un faisceau et les orienter vers la cible; des dispositifs de concentration du faisceau sur la cible, des dispositifs de déflexion permettant de dévier le faisceau dans une plage controAlable en réponse à des signaux de commande de déflexion, et un dispositif d'effacement capabie de dévier le faisceau au-delà de la zone contrôlable et sur une pièce interceptant ce faisceau pour ltemp8cher de venir frapper la cible, en réponse à un signal électrique d'effacement. 2. Appareil suivant la revendication I caractérisé en ce qu'il comprend en outre un dispositif de chauffage du dispositif d'émission. 3. Appareil suivant la revendication i comprenant encore un collecteur d'électrons secondaires et un détecteur adjacent à la surface de la cible et polarisé de manière à accélérer les électrons secondaires émis par la cible vers le collecteur et le détecteur et pour fournir un signal de sortie électrique en réponse au nombre d'électrons secondaires recueillis. 4. Appareil suivant la revendication 1, caractérisé en ce que le support de cible est un support pouvant déplacer cette cible dans deux directions généralement perpendiculaires entre elles et perpendiculaires, approximativement, au faisceau, en réponse aux signaux de commande qui lui sont appliqués. 5. Appareil suivant la revendication 4, constitué encore d'un détecteur de position déterminant, avec précision, la position de la cible et délivrant des signaux en réponse à l'erreur entre la position de la cible et la position indiquée par les signaux de commande appliqués au support de cible. 6. Appareil suivant la revendication 5 comprenant encore des circuits permettant de combiner des signaux de sortie du détecteur de position et les signaux de commande du dispositif de déflexion pour former des signaux de commande destinés au dispositif de déflexion, modifiés suivant cette erreur. 7. Appareil suivant la revendication 3, caractérisé en ce qu'il comprend encore un tube cathodique, ce tube cathodigue étant couplé au collecteur et au détecteur ainsi au'aux signaux de commande des dispositifs de déflexion, de manière à ce que le tube cathodique puisse présenter un diagramme en cours de formation par le faisceau d'électrons, sur la cible. 8. Appareil suivant la revendication 1 caractérisé en ce qu'il comprend un détecteur délivrant un signal en réponse au courant du faisceau arrivant sur la cible, et des dispositifs de commande, couplés à ce détecteur pour faire avancer la position du faisceau en agissant sur le dispositif de déflexion en réponse au courant du faisceau frappant la cible. 9. Appareil suivant la revendication 8, caractérisé en ce que le dispositif de commande est capable de faire tro- gresser le faisceau à une vitesse sensiblement proportionnelle au courant du faisceau. 10. Appareil suivant la revendication 9 caractérisé en ce que le détecteur est constitué par un dispositif comprenant un tube photomultiplicateur qui recueille et détecte les électrons secondaires émis par la cible. 11. Appareil suivant la revendication 10 caractérisé en ce que le dispositif de commande comprend un oscillateur répondant au signal de sortie du tube photomultiplicateur pour délivrer une fréquence de sortie sensiblement proportionnelle au courant du faisceau. 12. Appareil suivant la revendication 11, caractérisé en ce que le dispositif de commande est encore constitué d'un dispositif de mémoire et de comptage, cette mémoire étant couplée au dispositif de déflexion et permettant de stocker des informations de commande pour la prochaine position souhaitée du faisceau, le compteur étant couplé à la sortie du tube photomultiplicateur et de la mémoire et pouvant former un signal d'avance pour la mémoire, sous la commande d'un signal de remise à zéro, cette mémoire pouvant encore présenter les informations de commande au dispositif de déflexion et ramener le compteur, à l'apparition de ce signal d'avance. 13. Appareil suivant la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif d'effacement est constitué d'un diaphragme formant une ouverture entre la source d'électrons et le dispositif de concentration, et un dispositif de commande d'effacement placé près du faisceau et entre la source d'électrons et le diaphragme, ce dispositif de commande dt'effacement permettant de dévier le faisceau en dehors de l'ouverture définie par ce diaphragme sous la commande de la tension de commande d'effacement. 14. Appareil utilisable dans un générateur de diagrammes à faisceau d'électrons, cet appareil comprenant un support de cible, une source d'électrons émettant des électrons et les dirigeant en faisceau vers la cible; un dispositif de déflexion du faisceau en réponse à des signaux de commande de déflexion; un dispositif fournissant des signaux de commande à ces dispositifs de déflexion; un détecteur détectant le courant du faisceau venant frapper la cible, ce détecteur étant couplé au dispositif de commande et pouvant faire avancer la position du faisceau à une vitesse variable avec le courant de ce faisceau0 15. Appareil suivant la revendication 14 comprenant encore un dispositif de concentration du faisceau, ce dispositif de commande étant couplé au dispositif de concentration pour concentrer le faisceau en liaison avec la commande de signaux de commande de déflexion. 16. Procédé de commande de l'exposition d'une cible à un générateur de diagrammes à faisceau d'électrons comprenant les opératlons suivantes (a) orientation d1un faisceau d1électrons vers la cible, (b) détection du courant du faisceau arrivant sur la cible; et (c) progression du faisceau à une vitesse fonction du courant du faisceau. 17. Procédé suivant la revendication 16, dans lequel l'opération (b) est réalisée en détectant les électrons secondaires émis par la cible. 18. Procédé suivant la revendication 16, dans lequel le faisceau avance à une vitesse sensiblement proportionnelle au courant du faisceau. 19. Procédé suivant la revendication 16, dans lequel l'opération (c) consiste à faire avancer le faisceau point par point à un rythme qui dépend du courant du faisceau et de sa concentration, et à contrôler la concentration en chaque point.