Brevet FR2269194A1 — publié le 19751121

La présente invention est relative à -un dispositif de balayage à faisceau de particules chargées et elle concerne plus particulièrement un dispositif de ce type qui est sensible à un-signal de commande numérique. On a décrit au brevet des Etats-Unis d'Amérique NO 3 803 443 un dispositif de balayage à faisceau de particules chargées. Dans ce dispositif plusieurs plaques de commande sont disposées intercalées entre une cathode et une cible pour commander le passage de particules chargées telles que des électrons et des ions entre la cathode et la cible. Chaque plaque de commande comporte plusieurs trous qui sont alignés avec des trous correspondants prévus dans les autres plaques de commande. tes trous alignés forment des canaux pour le faisceau. lies plaques de commande comportent des électrodes conductrices disposées par paires et qui sont agencées suivant des dessins codés prédéterminés à zones rectangulaires.Des tensions sont appliquées sélectivement aux électrodes des plaques de commande au moyen d'un circuit de commutation afin de concentrer par voie électrostatique les particules chargees à travers les trous d'électrodes choisies tout en empêchant simultanément le passage de particules chargées à travers les trous que comportent les électrodes restantes. De cette façon, au moyen d'une commande sélective de la commutation de la plaque de commande, un faisceau-ou plusieurs faisceaux peuvent etre dirigés sur. une partie choisie ou des parties choisies de la cible un même moment.Dans un autre mode de réalisation d'un dispositif de balayage par électrons tel que celui décrit dans lue brevet des Etats Unis d'Amérique N0 3 408 532, on utilise des plaques de commande formant cathodes secondaires à la plàce de la concentration é-lectrostatique, les plaques de commande formant cathodes secondaires étant disposées en sandwich entre une cathode plate et une plaque plane formant cible. Dans le dispositif utilisant les plaques de commande formant cathodes secondaires celles-ci remplissent à la fois les fonctions de commande et de multiplication d'électrons.Ces dispositifs de balayage décrits présentent des avantages distincts par rapport aux dispositifs de balayage à tube cathodique de la technique antérieure du fait de leur forme compacte, de leur linéarité élevée et de leur capacité de réponse à des signaux numériques de commande adressés de façon aléatoire. Ces dispositifs de balayage à faisceau de particules chargées nécessitaient des variations importantes de tension sur les plaques de commande. Les tensions nécessaires sur les plaques de commande ou de commutation, comme on peut les appeler, doivent présenter un potentiel élevé (de façon caractéristique de 75 à 100 volts au-dessus du potentiel de la cathode). Ces potentiels élevés sont nécessaires pour différentes raisons. Des cathodes de la technique antérieure telles que celles décrites dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique NO 3 769 540 nécessitaient un courant élevé de sorte que la cathode pouvait émettre des électrons avec une bonne uniformité à la première plique de commutation. On doit également obtenir une densité de courant suffisante des électrons pour permettre une visualisation lumineuse sur l'écran luminescent.Ceci nécessite des. tensions très élevées entre la cathode et la première plaque de commutation pour obtenir à la fois l'uniformité et une visualisation suffisamment brillante. Lorsque le courant provenant de la zone de la cathode arrive à la première plaque de commutation de la série de plaques de commutation il se produit une atténuation du faisceau d'électrons en raison de l'effet de masquage géométrique sur la plaque de commutation. Les électrons frappant les trous traversent ceux-ci tandis que ceux frappant la zône de la plaque de commutation entre les trous ne traversent pas ces derniers. Les modèles antérieurs de dispositifs de balayage à faisceau de particules chargées se sont attaqués au problème de l'atténuation en appliquant un potentiel bien plusélevé sur la seconde plaque de commutation lorsque l'on désire obtenir l'état de conduction. Ce potentiel très'relevé sur la seconde plaque de commutation a pour effet de déformer en les gonflant les lignes équipotentielles en avant de la première plaque de commutation et en formant une lentille électrostatique positive.Ceci attire les électrons qui auraient frappé la périphérie des trous de la première plaque de commutation et attire les électrons dans et à travers les trous au lieu de leur permettre de se perdre lorsqu'ils frappent la périphérie des trous. Le problème pour fournir un tel potentiel élevé consiste en ce qu'une telle quantité d'énergie cinétique est appliquée aux électrons,que de très grandes variations de tension sont nécessaires pour les couper. Si un électron traverse un trou quelconque dans la série de plaques de commutation avec une grande valeur d' énergie cinétique en électrons-volts, une réduction d'au moins la même quantité d'électrons-volts est alors nécessaire pour couper ensuite le courant d'électrons.Il existe ainsi une variation nécessaire élevée de la tension dans les plaques de commutation pour obtenir une visualisation suffisamment brillante. Un dispositif de balayage à faisceau de particules chargées qui permet d'obtenir des tensions de commutation plus faibles aux plaques de commutation, une densité de charge uniforme des électrons émis et une moindre puissance sur la cathode1 est représenté et décrit dans la demande de brevet des Etats-Unis d'Amérique N0 467 934 déposée le 25 Avril 1974. 1'un des buts de l'invention est de fournir un dispositif de balayage perfectionné à faisceau de particules chargées. Un autre but de l'invention est de réaliser un dispositif de balayage à faisceau de particules chargées perfectionné comportant une commande améliorée de l'émission à partir de la cathode. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaltront au cours de la description qui va suivre faite en se référant aux dessins annexés donnés uniquement à titre d'exemples et dans lesquels la Fig. 1 est une vue schématique d'un mode de réalisation d'un dispositif de balayage à faisceau de particules chargées-; la Fig. 2 est une vue en coupe transversale montrant la construction du mode de réalisation représenté à la Fig. 1; la Fig. 3 est une vue en coupe transversale montrant des détails des canaux pour le faisceau d'électrons dans le mode de réalisption des Fig. 1 et 2; la Fig. 4 montre la irone de la cathode du mode de réalisation des Fig. 1 et 2 de façon plus détaillée; la Fig. 5 montre les cathodes de façon plus détaillée; ; la Fig. 6 montre le circuit de commande pour les cathodes; les Fig. 7 et 8 montrent l'effet sur l'émission par la cathode des potentiels appliqués sur les sections des électrodes négatives de la cathode. En se référant aux Fig. 2 et 3 on voit en coupe transversale la construction d'un mode de réalisation du dispositif suivant l'in- vention. On remarquera que dans un but illustratif on a représenté un écran de dimensions 8 x 8 mais que dans la plupart des réalisations pratiques on peut utiliser un nombre de canaux bien supérieur pour réaliser une visualisation ayant une définition bien plus éle e. Un boîtier étanche au vide est formé au moyen d'un élément latéral 11, d'une plaque céramicue 12 et d'un écran 14 en verre. Le boitier ainsi formé est mis sous vide de façon à réaliser une ambiance de vide pour les composants qu'il contient. ta cathode 16 qui est représentée de façon plus détaillée à la Fig. 4 est soutenue le long de ses bords'opposés sur des barres 18. Une plaque intermédiaire d'entrée 20 est montée directement en face dela cathode 16 et cette plaque intermédiaire d'entrée 20 est formée d'un métal massif tel qu'un alliage de nickel et de fer. La plaque intermédiaire d'entrée 20 est séparée de la cathode 16 au moyen d'entretoises isolantes 25. Il est ensuite prévu dans l'empilement des plaques de commande ou de commutation 25 à 3G, qui sont séparées et isolées les unes des autres au moyen de plaques isolantes 33 qui peuvent être en une matière céramique. La plaque 25 est séparée de la plaque 20 formant lentille au moyen de barres entretoises isolantes 35. Comme on le voit à la Fig. 2, les plaques de commande sont formées d'un substrat diélectrique 40 qui peut être en une matière telle que de la céramique ou du verre, présentant des électrodes analogues 43 et 44 en une matière ayant une conductivité élevée telle que de l'or ou du cuivre déposé sur des surfaces opposées de ces plaques.Les électrodes sont agencées suivant un dessin prédéterminé à unes rectangulaires comme représenté à la Fig. 1 les électrodes opposées 43 et 44 de chaque plaque de commande présentant le même agencement de zones rectangulaires disposées en opposition les unes aux autres suivant une disposition en images spéculaires. Les électrodes 43 et 44 sont reliées électriquement au moyen de revêtements 46 qui sont déposés sur les parois des trous s'étendant entre les faces opposées des plaques. Une plaque modulntrice 50 est montée au-dessus de la plaque de commande 30 et séparée de celle-ci par une plaque isolante 53. ta plaque modulatrice 50 est analogue dans l'ensemble de sa réalisation aux plaques de commande en ce au'elle comprend des électrodes 50a et 50b Bn une matière ayant une conductivité élevée telle que de l'or ou du cuivre sur ses surfaces opposées et qui sont reliées entreelles par des parties conductrices SOc déposées sur les parois des trous des plaques, les couches conductrices 50a à 50e étant déposées sur un substrat diélectrique 50d. ta plaque modulatrice 50 diffère cependant des plaques commande en ce que les électrodes 50a et 50b ne sont pas agencées suivant une disposition en zonés rectangulaires mais sont plutôt déposées surla totalité de la surface de la plaque. De même dans la plaque modulatrice, comme on le voit au dessin, la longueur des trous est notablement plus grande que celle de la plaque de commande, le choix du rapport longueur/diamètre etant déterminé pour fournir des propriétés de coupure moins brutales afin de faciliter le traitement d'un signal due modulation. Toutes les plaques qui viennent d'etre décrites présentent plusieurs trous 60, des trous correspondants dans les plaques successives étant alignés les uns avec les autres afin de former des canaux pour le passage du faisceau d'électrons entre la cathode 16 et la cible 15 luminescente sur l'écran 14. Une plaque intermédiaire d'entrée 20et une plaque modulatrice 50 ne sont pas essentielles pour le fonctionnement de base du dispositif, et un faisceau d'électrons peut être adressé à la cible à partir de la cathode en réponse à des signaux de commande numériques sans ces plaques particulières. Cependant, chacune d'elles permet d'assurer une fonction particulière qui peut être nécessaire pour satisfaire aux impératifs d'une application donnée. Ainsi, la plaque modulatrice 59 autorise la modulation en intensité du faisceau lorsque ceci peut etre nécessaire tandis que la plaque intermédiaire d' entrée assure un courant d'entrée accru qui contribue à une intensité plus grande de la visualisation. lie dispositif suivant l'invention est représenté schématiquement à la Fig. 1. Chacune des plaques de commande 25 à 30 comporte- deux électrodes 25a, 25b à 30a, 30b sur chacune de ses faces opposées. Ainsi, les électrodes sur les surfaces opposées qui ne sont pas représentées sont des images spéculaires des électrodes représentées au dessin. tes électrodes sont en une matière ayant une conductivité élevée telle que de l'or- ou du cuivre, et chaque électrode 25a à 30a est isolée électriquement de 1!électrode correspondante 25b à 30b qui lui est associée.Comme on l'a expliqué plus haut, en référence aux Fig. 2 et 3, leslélectrodes sur les surfaces opposées sont reliées électriquement les unes aux autres au moyen de revête ment s conducteurs qui peuvent être réalisés en la même matière que les électrodes sur les parois des trous qui les traversent. Des signaux numériques de commande sont appliqués à partir d'une source de signaux de commande 70 à un circuit logique d'adressage 71 qui fournit un signal de commande approprié à chacun de plusieurs circuits de commutation 75 à 80. Ces circuits de commutation 75 à 80 peuvent être des circuits électroniques de commutation tels que des basculeurs, capables de relier alternativement les tensions qui leurs sont appliquées à l'une ou à l'autre des électrodes disposées par paires de la plaque de commande particulière associée en réponse à l'adressage logique. Des tensions sont appliquées aux circuits de commutation 75 à 80 pour être utilisées pour commander les électrodes à partir de sources d'énergie 83 à 88 respectivement.Une tension d'accélération de faisceau est appliquée entre la cathode 16 et la cible 14 à partir de la source de tension 73. Les circuits de commutation 75 à 80 reçoivent des premières tensions V2 à V de sources 7 d'énergie 83 à 88 respectivement qui sont des tensions positives par rapport à la masse et une seconde tension V qui est une tension né c gative par rapport à la masse. Les circuits de commutation en réponse aux circuits logiques d' adressage 71 relient alternativement les tensions V2 à V7 suivant le cas à l'une des deux électrodes de chaque plaque de commande et ap pliquent la tension V à l'autre paire d'électrodes. Dans un but il c lustratif toutes les électrodès recevant la tension V sont repré c sentées en grisé, tandis que celles recevant les tensions V2 à V7 sont représentées en blanc. Dans ces conditions un faisceau d'électrons désigné par une droite 89 passe à travers un seul canal formé par les trous des plaques, le courant d'électrons étant bloqué à travers tous les autres canaux en raison de l'effet d'une tension de coupure Vc apparaissant quelque part dans chacun de ces autres canaux. Ainsi, au moyen d'une commande sélective de la commutation des plaques 25 à 30, le faisceau d'électrons peut être commandé de telle sorte qu'il excite une seule portion élémentaire de l'écran 14 à la fois. La commande est effectuée en raison de la concentration électrostatique obtenue au moyen des lentilles électroniques formées entre les parties d'électrodes des plaques successives auxquelles sont appliquées les potentiels V2 à V7. les canaux associés aux électro des auxquelles est appliquée la tension V sont coupés, les électrons c étant repoussés dans ces canaux et attirés à l'extérieur par les électrodes. La cible 14 est balayée en fonction ae l'application qui est faite du tube. Le balayage est déclenché par la source 70 de signal de commande, des signaux appliqués au circuit logique d'adressage 71 sélectionnant les plaques de commutation 25 à 30 pour commander le faisceau d'électrons suivant le balayage désiré. Par exemple, le balayage dans des applications pour la télévision peut etre effectué de gauche à droite et de la partie supérieure vers la partie inférieure de la cible ou écran 14. t'émission d'électrons par la cathode est commandée en fonction du balayage de l'écran 14. Cette émission commandée à partir de la cathode 16 est décrite plus complètement dans la description de cette cathode. lia plaque d'entrée 20 qui est utilisée pour augmenter le courant est dans son ensemble réalisée d'une façon analogue aux plaques de commande 25 à 30, excepté qu'elle est faite d'un métal massif. Une tension V1 est appliquée à la plaque intermédiaire d'entrée 20. Une plaque de modulation 50 peut etre utilisée pour moduler en intensité le signal en réponse à une source 90-de signal de modulation. lia plaque 50 de modulation est dans son ensemble réalisée d'une façon analogue aux plaques de commande 25 à 30 et comporte une électrode analogue sur chacune de ses grandes surfaces opposées, des revêtements conducteurs sur les parois du trou 60 reliant électriquement lesdites surfaces.La plaque 50 de modulation est cependant conçue dans son ensemble de façon à présenter une épaisseur notablement plus grande de façon qu'elle présente un trou plus long que les plaques de commande afin de procurer des caractéristiques de coupure moins brutales afin de recevoir de façon appropriée des signaux de modulation ayant une plage dynamique raisonnable. On remarquera que tendis que le dispositif suivant l'invention a été décrit en référence à la commande d'un faisceau d'électrons, il peut être utilisé d'une façon tout aussi avantageuse pour la commande de faisceaux formés d'autres types de particules chargées telles que des ions positifs ou négatifs. La surface de la cathode 16 est représentée de façon plus détaillée à la Fig. 4. Deux électrodes imbriquées 65 et 67 sont formées sur une plaque de support 69. L'électrode 67 est reliée à un potentiel négatif et l'électrode 65 est reliée à un potentiel positif. Plusieurs filaments 71 constitués par un fil métallique sont suspendus en avant de la surface de la cathode 16, chaque filament 71 étant disposé en avant de ltélectrode 67 ayant un potentiel nega- tif. Les filaments 71 sont reliés à une source d'énergie au potentiel de la masse afin de chauffer les filaments 71 pour provoquer l'émis- sion d'électrons à partir de ceux-ci. Les électrodes 65 et 67 peuvent être obtenues directement par évaporation sur la plaque de sport 69 et,être isolées l'une de l'autre. torsque les filaments sont chauffés, des électrons sont émis vers la plaque 20 formant lentille. tes électrons sont émis de façon uniforme avec une densité de courant suffisante en direction de la plaque formant lentille enfin de procurer une bonne brillance. On a représenté seulement trois filaments à la Fig. 4. La surface de la cathode comporte en réalité plusieurs filaments, chacun de ceux-ci étant disposé en avant d'une zône- rectangulaire sur l'élec- trode 67. Les champs électriques avant et latéraux provenant des électrodes 65 et 67 au voisinage des filaments 71 permettent d'obtenir une disposition vers l'avant et étalée de trajectoires d'électrons provenant des filaments. il n'y a pas d'émission d'électrons ou seulement une faible émission vers l'arrière en direction de la plique 69 de sorte que l' énergie nécessaire pour la cathode est réduite. t'uniformité de la densité de courant des électrons émis est suffisante pour que la distance des filaments à 18. plaque formant lentille soit faible. Ceci réduit également l'énergie nécessaire pour la cathode. La densité de courant en avant est également suffisante à lc première plaque de commutation 25 pour que le potentiel appliqué à cette plaque 25 puisse etre relativement faible contrairement aux dispositifs antérieurs. La cathode 16 est d'une façon générale une source de particules chargées. lies partìcules chargées peuvent être autres que des électrons, par exemple des ions positifs ou négatifs. Lorsque des particules chargées autres que des électrons sont émises, une source allongée de ces particules doit etre utilisée à la place des filaments. Chaque zône rectangulaire de l'électrode 67 reliée à un potentiel négatif est divisée en un eertain nombre de secteurs 81 à 92 électriquenent isolés les uns des autres comme représenté à la Fig. 5. Te filament 71 est suspendu en avant de l'électrode 67 et est relié à une source d'énergie. Ainsi, les secteurs 81 à 92 reliés en semble s'étendent perpendiculairement aux filaments 71. Les secteurs correspondants de chaque zône rectangulaire de l'électrode 67 sont reliés ensemble en série, des liaisons 101 à 112 passant au-dessous des zônes rectangulaires de l'électrode 65. lies liaisons 101 à 112 sortent de l'enveloppe et sont reliées au circuit logique de cathode représenté à la Fig. 6. lies connexions 101 à 112 sont reliées à plusieurs amplificateurs intermédiaires 121 à 132, chaque liaison 101 à 112 étant reliée à un amplificateur intermédiaire 12t à 132. On a représenté à la Fig. 6 seulement des amplificateurs intermédiaires 121 et 132, les autres étant représentés en traits interrompus. Chaque amplificateur intermédiaire 121 à 132 comporte une entrée d'autorisation reliée à un étage d'un registre à décalage 135 à douze étages. Le registre 135 à décalage comporte une première entrée d'horloge 137 et une entrée série de trame 139. Ces entrées 137 et 139 proviennent d'une source de signal de commande comme représenté à la Fig. 1.Chaque amplificateur intermédiaire 121 à 132 est relié au premier potentiel négatif VC2 141 et à second potentiel négatif V03 142. lies premier et second potentiels 141 et 142 sont tous deux négatifs par rapport à la tension de référence 143 du filament et par rapport au potentiel positif VC1 145 fourni à la cathode positive 65. lies amplificateurs intermédiaires 121 à 132 appliquent normalement un potentiel négatif VC3 à chaque secteur 81 à 92 de l'électrode négative 67. L'application d'un potentiel négatif Vc3 à un secteur 101 à 112 coupe l'émission de cette partie du filament 71 comme représenté à la Fig. 7, L'application d'un potentiel négatif V02 tel que représenté à la Fig. 8 provoque une émission à partir du filament 71. Lorsque le signal d'entrée de trame est décalé dans un étage du registre à décalage 135 l'amplificateur intermédiaire correspondant 121 à 132 est autorisé à appliquer un potentiel négatif Vs2 au secteur correspondant 101 à 112 au lieu du potentiel négatif Vc3, provoquant une émission à partir du filament 71 situé en avant de ce secteur, Normalement deux ou plus de deux des secteurs 101 à 112 re çoivent un potentiel négatif V02 qui leur est appliqué au même moment. En cours de fonctionnement de la cathode 16 lorsque l'écran est balayé par le faisceau d'électrons, des signaux de balayage sont appliqués sur la borne 139 du registre à décalage 135. Par exemple si le balayage -s'effectue de la partie supérieure à la partie inférieure de l'écran 14, les signaux de balayage appliqués au registre à décalage 135 sont décalés tout d'abord dans les deux étages du registre à décalage 135 qui correspondent aux secteurs 81 et 82 appliquant un potentiel négatif V02 aux secteurs 81 et 82, et provoquant une émis, sion d'électrons par les filaments 71 en avant des secteurs 81 et 82 de l'électrode imbriquée 67, 1'émission d'électrons traverse alors les plaques de commande 25 à 30 commutées sélectivement pour exciter la partie choisie de l'écran 14.Lorsque ce dernier est balayé du haut vers le bas le signal de balayage est décalé vers le bas, les étages du registre à décalage 135 appliquent un potentiel négatif V02 aux secteurs dans lesquels on désire l'émission et appliquent un potentiel négatif V03 sur les secteurs dans lesquels on ne désire pas l'émission comme représenté aux Fig. 7 et 8. Ceci permet d'utiliser une plaque intermédiaire 20 massive en métal dans des conditions thermiques meilleures par rapport à l'ambiance. De même, du fait que les électrodes commutées ne recueillent jamais un courant quelconque et ont de faibles capacités on peut utiliser un circuit de commande métal-oxyde semi-conducteur. tes tensions désirées V01 V02 et V03 sont les suivantes V01 +6 à +48 volts par rapport à la tension V02 -2 à -12 volts de référence du filament. V05 -30 à -60 volts Revendications 1 - Dispositif de balayage à faisceau de particules chargées caractérisé en ce qu'il comprend une surface formant-source de particules chargées pour fournir un courant uniforme de particules chargées sur une surface prédéterminée, ladite surface formant source comprenant des moyens allongés générateurs de particules chargées pour engendrer des particules chargées, une première électrode ayant un potentiel négatif disposée en arrière desdits moyens générateurs, et une seconde électrode ayant un potentiel positif imbriquée avec ladite première électrode, la première électrode étant divisée en plusieurs secteurs, une cible, plusieurs plaques de commande intercalées entre ladite source et la cible pour commander le passage entreelles desdites particules chargées, chacune desdites plaques de commande ayant plusieurs trous, des trous correspondants desdites plaques de commande étant alignés de façon à former des canaux pour le faisceau de particules chargées entre la source et la cible, lesdites plaques de commande comportant chacune plusieurs électrodes sur au moins llune de leurs surfaces, ces électrodes sur chacune desdites surfaces étant électriquement isolées les unes des autres,des moyens 1-our fournir des potentiels à au moins l'une desdites électrodes de chacune desdites plaques de commande successives afin de concentrer lesdites particules chargées à travers des trous choisis des plaques de commande, et des moyens pour fournir un potentiel de coupure aux électrodes restantes desdites plaques de commande, de telle sorte qu'un faisceau de particules chargées soit concentré par lesdits potentiels de concentration à travers les canaux formés par les trous choisis. 2 - Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en ce que lesdits moyens allongés générateurs de particules prévus dans ladite surface formant source sont constitués par un filament de forme allongée. 3 - Dispositif suivant la revendication 2, caractérisé en ce que ladite surface formant source de particules chargées comprend une surface plane sur laquelle sont disposées les items première et seconde électrodes imbriquées. 4 - Dispositif suivant la revendication 3, caractérisé en ce que le filament prévu dans la surface formant source de particules chargées comprend plusieurs fils métalliques. 5 - Dispositif suivant la revendication 4, caractérisé en ce qu'il comprend une source d'énergie qui est reliée audit filament afin d'engendrer des électrons à partie de ladite source. 6 - Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en ce que lesdites électrodes sont agencées suivant une configuration en zônes rectangulaires agencées en code binaire. 7 - Dispositif suivant la revendication 6, caractérisé en ce que chaque surface rectangulaire de ladite première électrode est divisée en plusieurs secteurs isolés les uns des autres, des moyens étant prévus pour relier entre - eux les secteurs correspondants de chacune desdites zônes rectangulaires perpendiculairement auxdits filaments. 8 - Dispositif suivant la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens pour fournir normalement un premier potentiel négatif auxdits secteurs reliés entre-eux de ladite première électrode afin de couper l'émission à partir de la portion du filament se trouvant en avant de ce secteur et auquel est appliqué ledit premier potentiel négatif, et pour fournir sélectivement un second potentiel négatif auxdits secteurs reliés entre-eux afin de provoquer une émission à partir de la partie du filament se trouvant en avant du secteur auquel est appliqué ledit second potentiel négatif. 9 - Dispositif suivant la revendication 8, caractérisé en ce que ledit premier potentiel négatif est plus négatif que ledit second potentiel négatif. 10 - Dispositif suivant la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens pour fournir sélectivement ledit second potentiel négatif auxdits secteurs relis entre-eux de la première électrode afin de provoquer l'émission sélective d'électrons à partir de ladite source de particules chargées. 11 - Dispositif suivant la revendication 6, caractérisé en ce que lesdites plaques de commande sont constituées par un substrat diélectrique, lesdites électrodes étant déposées sur ledit substrat. 12 - Dispositif de balayage à faisceau d'électrons caractérisé en ce qu'il comprend un canon à électrons pour fournir un courant uniforme d'électrons sur une surface prédéterminée, ce canon comprenant une plaque plane, une première électrode ayant un potentiel négatif sur ladite plaque plane, plusieurs filaments de forme allongée pour engendrer aes electrons disposés en avant de ladite premiè re électrode, et une seconde électrode ayant un potentiel positif sur ladite- plaque plane et étant imbriquée avec ladite seconde électrode, ladite première électrode étant divisée en plusieurs secteurs, une cible, plusieurs plaques de commande intercalées entre ladite source etladite cible pour commander le passage des électrons entreelles chacune desdites plaques de commande comportant plusieurs trous, des trous correspondants desdites plaques de commande étant alignés pour former des canaux de passage pour le faisceau d'électrons entre la source et la cible, lesdites plaques de commande ayant chacune plusieurs électrodes sur au moins une de leurs surfaces, ces électrodes sur chacune desdites surfaces étant isolées électriquement les unes des autres, des moyens pour fournir des potentiels à au moins t'une des électrodes de chacune des plaques de commande successives pour concentrer lesdits électrons à travers des trous choisis des plaques de commande, et des moyens pour fournir un potentiel de coupure aux électrodes restantes desdites plaques de commande, de telle sorte qu'un faisceau d'électrons soit concentré par lesdits potentiels de concentration à travers les canaux formés par lesdits trous choisis. 13 - Dispositif de balayage à faisceau dsélectrons caractérisé en ce qu' il coprend un canon à électrons fournissant un courant uniforme d'électrons sur une surface prédéterminée, ce canon comprenant une plaque plane, une première électrode disposée sur ladite plaque plane, cette premiere électrode comportant une série de zônes rec- tangulaires parallèles, une seconde électrode disposée sur ladite plaque plane et isolée de ladite première électrode, cette seconde électrode comportant une série de zônes rectangulaires parallèles imbriquées avec celle de ladite première électrode, plusieurs filaments de forme allongée pour engendrer des électrons, disposés en avant de chaque zône rectangulaire de ladite première électrode, la première électrode étant divisée en plusieurs secteurs, des moyens pour appliquer un potentiel négatif à chacune des zônes rectangulaires de ladite première électrode et un potentiel positif à chaque zône rectangulaire de Ladite seconde électrode, une cible, plusieurs plaques de commar,de intercalées entre ladite source et la cible pour commander le passage des électrons entre-elles, chacune desdites plaques de commande comportant plusieurstrous, des trous correspondants desdites plaques décommande étant alignés pour former des canaux de passage pour le faisceau d'électrons entre la source et la cible, lesdites plaques de commande ayant- chacune plusieurs électrodes sur au moins l'une de leurs surfaces, ces électrodes sur chacune desdites surfaces étant isolées électriquement les unes des autres, des moyens pour fournir des potentiels à au moins l'une des électrodes de chacune desdites plaques de commande successives pour concentrer lesdits électrons à travers des trous choisis des plaques de commande, et des moyens pour fournir un potentiel de coupure aux électrodes restantes desdites plaques de commande, de telle sorte qu'un faisceau d'électrons soit concentré par lesdits potentiels de concentration à travers les canaux formés par lesdits trous choisis. 14 - Dispositif de balayage à faisceau de particules chargées caractérisé en ce qu'il comprend une surface formant source de particules chargées pour fournir un courant uniforme de particules chargées sur une surface prédéterminée, cette source comprenant des moyens allongés générateurs de particules chargées pour engendrer des particules, une première électrode ayant un potentiel négatif disposée en arrière desdits moyens générateurs d'électrons et une seconde électrode ayant un potentiel positif imbriquée avec ladite première électrode, une cible, plusieurs plaques de commande disposées intercalées entre ladite source et la cible pour commander le passage des particules chargées entre-elles, chacune desdites plaques de commande ayant plusieurs trous, des trous correspondants desdites plaques de commande étant alignés pour former des canaux de passage pour lesdites particules chargées entre la source et la cible,ces plaques de commande ayant chacune plusieurs électrodes sur au moins l'une de leurs surfaces, les électrodes sur chacune desdites surfaces étant isolées électriquement les unes des autres, des moyens pour fournir des potentiels à au moins l'une des électrodes de chacune des plaques de commande successives pour concentrer lesdites particules chargées à travers les trous choisis des plaques de commande et des moyens pour fournir un potentiel de coupure aux électrodes restantes desdites plaques de commande, de telle sorte qu'un faisceau de particules chargées soit concentré par lesdits potentiels de concentration à travers les canaux formés par lesdits trous choisis. 15 - Dispositif suivant la revendication 14, caractérisé en ce que lesdits moyens allongés de génération de particules dans ladite source sont constitués par un filament de forme allongée. 16 - Dispositif suivant la revendication 15, caractérisé en ce que ladite source de particules chargées comprend un organe plat sur lequel sont disposées lesdites première et seconde électrodes imbriquées. 17 - Dispositif suivant la revendication 16, caractérisé en ce que ladite source comprend plusieurs filaments. 18 - Dispositif suivant la revendication 17, caractérisé en ce qu'il comprend une source d'énergie reliée audit filament pour engendrer des électrons à partir de ladite source. 19 - Dispositif suivant la revendication 14, caractérisé en ce que lesdites électrodes sont agencées suivant une configuration en zônes rectangulaires disposées suivant un code binaire. 20 - Dispositif suivant la revendication 14, caractérisé en ce que lesdites plaques de commande sont constituées par un substrat diélectrique, lesdites électrodes étant déposées sur ce substrat. 21 - Dispositif de balayage à faisceau d'électrons caractérisé en ce qu t il comprend un canon à électrons pour fournir un courant uniforme d'électrons sur une surface prédéterminée, ce canon comprenant une plaque plane, une première électrode ayant un potentiel négatif sur ladite plaque,-plusieurs filaments de forme allongée pour engendrer des électrons disposés en avant de ladite première électrode, et une seconde électrode ayant un potentiel positif sur ladite plaque plane, imbriquée avec ladite seconde électrode, une cible, plusieurs plaques de commande intercalées entre ladite source et la cible pour commander 1 r écoulement des électrons entre-elles, chacune desdites plaques de commande comportant plusieurs trous, des trous correspondants desdites plaques de commande étant alignés pour former des canaux de passage du faisceau d'électrons entre la source et la cible, lesdites plaques de commande ayant chacune plusieurs électrodes sur au moins ltune de leurs surfaces, ces électrodes sur chacurie desdites surfaces'étant isolées électriquement les unes des autres, des moyens pour fournir des potentiels à au moins l'une desdites électrodes de chacune des plaques de commande successives pour concentrer lesdits électrons à travers des trous choisis de la plaque de commande, et des moyens pour fournir un potentiel de coupure aux électrodes restar,tes desdites plaques de-commande, de telle sorte qu'un faisceau d'électrons soit concentré par lesdits potentiels de concentration à travers les canaux formés par lesdits trous choisis, 22 - Dispositif de balayage à faisceau d'électrons caractérisé en ce qu'il comprend un canon à électrons pour fournir un courant uniforme d'électrons sur une surface prédéterminée, ce canon comprenant une plaque plane, une première électrode disposée sur ladite plaque, ladite première électrode étant constituée par une série de zônes rectangulaires parallèles allongées, une seconde électrode disposée sur ladite plaque plane et isolée de ladite première électrode, cette seconde électrode étant formée par une série de zônes rectangulaires parallèles imbriquées avec celles de ladite première électrode, plusieurs filaments de forme allongée pour engendrer des électrons et disposés en avant de chaque zône rectangulaire de ladite première électrode, des moyens pour appliquersun potentiel négatif à chacune des zônes rectangulaires de ladite première électrode et un potentiel positif à chacune des zônes rectangulaires de ladite seconde électrode, une cible, plusieurs plaques de commande intercalées entre ladite source et la cible pour commander le passage des électrons entre-elles, chacune desdites plaques de commande ayant plusieurs trous, des trous correspondants desdites plaques de commande étant alignés pour former des canaux de passage du faisceau d'électrons entre la source et la cible, lesdites plaques de commande ayant chacune plusieurs électrodes sur au moins l'une de leurs surfaces, ces électrodes sur chacune desdites surfaces étant isolée électriquement les unes des autres, des moyens pour fournir des potentiels à au moins l'une des électrodes de chacune des plaques de commende successives pour concentrer lesdits électrons à travers des trous choisis de la plaque de commande, et des moyens pour fournir un potentiel de coupure aux électrodes restantes desdites plaques de commande, de telle sorte qu'un faisceau dtélectrons soit concentré par lesdits potentiels de concentration à travers les canaux formés par lesdits trous choisis.