Brevet FR2253221A1 — publié le 19750627

L'invention a trait à une méthode et un dispositif pour accroître la profondeur de champ ainsi que la résolution des microscopes optiques. Dans l'observation d'images microscopiques ou photographiques, par exemple lors d'examen de plans en coupe en médecine, biologie, etc..., et plus particulièrement lors du test de la qualité de surface dans le contrôle des procédés de fabrication, il est apparu de façon évidente que l'examen au microscope de surfaces dont l'irrégularité est égale ou plus élevée que la résolution latérale et donc également plus élevée que la profondeur de champ des microscopes utilisés, demande beaucoup de temps et une concentration très forte. C'est un fait connu, qu'étant donné le caractère ondulatoire de la lumière, pour une résolution de microscope prédéterminée, il faut une ouverture d'objectif donnée dont l'angle limite la profondeur de champ pouvant être obtenue. C'est-à-dire que lorsque des détails de structure de l'ordre du micron doivent être examinés, la profondeur de champ se trouve également dans cette gamme. Si l'on doit examiner une surface dont l'irrégularité est environ de.l'ordre de dix fois la résolution nécessaire, le réglage du microscope doit être modifié environ dix fois pour chaque gamme d'objet. De plus, une lumière parasite qui se forme aux points d'objet qui ne sont pas mis au point avec précision, produit une réduction du contraste qui est très importante. Ces inconvénients peuvent être éliminés seulement partiellement en accroissant la profondeur de champ. L'article: "A" method to increase the depth of focus by two step image processingfl.de G. Hauser, Optics Communication,-Vol.6.No.1, septembre 1972, décrit une méthode d'accroissement de la profondeur de champ d'un système. Cette méthode, cependant, à part une déformation partielle de l'image, présente l'inconvénient supplémentaire qu'il faut prendre d'abord une photographie de l'objet à examiner, le manque de précision de cette photographie devant être partiellement annulée ensuite conformément à la méthode. L'article "Optische Abbildung unter Uberschreitung der beugungsbedingten Auflosugsgrenze", deW. Lukosz et M. Marchand, Physikalisches Institut, Technische Hochschule Braunschweig, Germany, Optica Acta 10, pp 241, 1163, décrit une méthode possible mais compliquée d'acoroissement de la résolution. Pour un examen microscope à résolution élevée d'un nombre important d'éléments avec des surfaces planes imparfaites, les deux procédés mentionnés précédemment ne sont pas recommandés à cause de leur complexité et de leur faible précision. Dans la microscopie électronique, un objet est examiné point par point avec une sonde tres fine consistant en un faisceau d'électrons. Etant donné les caractéristiques de concentration particulièrement élevées du faisceau d'électrons, et les faibles longueurs d'onde qui sont associées aux électrons suivant l'équation de Schrodinger, la résolution et la profondeur de champ de ces dispositifs sont bien meilleurs que celles des microscopes lumineux. Cependant, étant donné la complexité des microscopes électroniques, ils ne conviennent pas aux problèmes qui doivent être résolus par l'invention. En outre, il y a ce qu'on appelle des microscopes de télévision dans lesquels l'objet ou une image de l'objet est explorée point par point. On n'obtient pas d'accroissement de la résolution ou de la profondeur de champ avec cette méthode. Un transfert des lois physiques et des étapes techniques concernant la profondeur de champ et la résolution élevée des microscopes électroniques, aux microscopes lumineux, n'est pas possible étant donné que les images sont obtenues de manière entièrement différente. La demande de brevet allemande OS 2.013.101 décrit une tige de verre tournant dans l'espace pour obtenir un déplacement périodique du plan de focalisation. Cependant, avec ce dispositif, seuls des plans objets éloignés les uns des autres par au moins plusieurs fois la profondeur de champ peuvent être observés, car avec des distances plus courtes, l'image d'un ou plusieurs plans objets adjacents est toujours obtenue de façon plus ou moins précise, de sorte que, le contraste du plan objet considéré, est fortement réduit. A cause de la tige de verre disposée de façon à -tourner dans l'espace objet, ce dispositif ne peut être utilisé qu'avec des grossissements relativement petits et donc de grandes profondeurs de champ, de sorte que, généralement, seuls des plans objets espacés d'au moins 10 à 20 , peuvent être obtenus. Ainsi, l'utilisation de tels dispositifs est exclue pour la plupart des fonctions précisées plus haut. L'objet principal de cette invention est donc de fournir une méthode et un agencement permettant d'accroitre la profondeur de champ et, ou bien, la résolution des microscopes optiques et permettant également d'obtenir l'image de plans objets avec un fort grossissement, sans que l'image ne soit perturbée par les zones planes de l'objet qui se trouvent un peu en dehors de la profondeur de champ. Conformément à cette invention, la méthode est caractérisée par le fait qu'une image de l'objet est explorée point par point avec un diaphragme à un seul ou plusieurs trous d'épingles, situé dans le plan conjugué du plan sur lequel l'objectif du microscope est mis au point. Dans ce but, on utilise le fait que, sur un diaphragme à trous d'épingle, conjugué avec le plan de miss au point de façon très précise, seule est obtenue l'image des points qui se trouvent exactement dans le plan de mise au point.Si dans les points images il y a des trous d'épingles du diaphragme qui ont approximativement les dimensions de ces points images, toute la lumière ou une grande partie de celle-ci, est transmise à travers le diaphragme et peut, par exemple via un diviseur de faisceau et une lentille, au moyen d'observation , photographie ou d'un tube de caméra de télévision, être observée dans le plan image de cette lentille. Pour un point objet qui ne se trouve pas dans le plan sur lequel l'objectif est mis au point de façon précise, c'est un fait connu, que dans le plan conjugué l'image n'est pas non plus mise au point de façon précise.De ce fait, si un point objet n'est pas exactement mis au point, un trou d'épingle du diaphragme ne permet le passage que d'une petite partie de la lumière émanant de ce point objet,Dans ce cas, avec un réglage correct du système, la lumière n'est qu'une perturbation mineure, si il y a perturbation, dans le plan d'observation. Si le trou d'épingle du diaphragme effectue une rotation ou une oscillation dans une direction se trouvant dans un plan conjud gué du plan de miss au point, l'objet tout entier est exploré point par point, mais seuls les points qui se trouvent dans le plan de mise au point ou plus précisément, dans la zone de profondeur de champ de l'objectif, contribuent avec une pleine intensité à l'image formée dans le plan d'observation.En déplaçant l'objet dans la direction de l'axe optique, il est alors possible de rendre visibles successivement des plans différents.d'une- surface d'objet irrégulière avec un bon contraste et une parfaite résolution. Cette mesure est réalisée de sorte que la profondeur de champ qui est normalement, approximativement égale à la résolution, est accrue de façon multiple. Une réalisation préférée de la méthode de l'invention est caractérisée par le fait que le diaphragme à trous d'épingle, situé dans un plan conjugué du plan sur lequel l'objectif est mis au point de façon précise, explore, en dehors de l'image de l'objet, les zones de l'objet dans ledit plan de l'objec- tif du microscope, avec un dispositif de point lumineux mobile. Cette exploration peut être réalisée soit par un déplacement du diaphragme, soit par des déflec- teurs de lumiere mécaniques, électro-optiques ou magnéto-optiques.. Selon une autre réalisation du procédé de l'invention, l'objet ou le plan sur lequel l'objectif est mis au point de façon précise, est décalé avec une grande rapidité de façon périodique, dans la direction de l'axe optique, de façon à obtenir l'image de tous les points de l'objet entre les deux positions extrèmes de l'objet ou du plan, avec un contraste élevé et une bonne résolution dans le plan d'observation. Si l'exploration se fait parallèlement ou verticalement au plan de l'objet avec une vitesse suffisante, les nombreuses images individuelles sont intégrées par l'oeil à une seule image précise. Pour des photographies, l'exploration peut se faire à une vitesse moindre. Selon une autre -réalisotion préférée du procédé de l'invention, la dimension des trous d'épingle du diaphragme d'exploration est choisie de telle façon qu'en dehors de l'ordre zéro, le rayonnement diffracté du premier ordre, au moins, se trouve dans l'ouverture de l'objectif du microscope, et que leurs images se trouvent dans le plan de mise au point à l'intérieur de la gamme de résolution maximum de l'objectif. Cette invention améliore non seulement la profondeur de champ, mais également le contraste et; jusqu'à un certain point, la résolution latérale, en excluant largement la lumière venant de plans d'objet non mis au point. D'autres caractéristiques de l'invention apparaitront même à la lumière des dessins suivants: La figure 1. est une représentation schématique de l'image d'un diaphragme qui se trouve dans un plan conjugué du plan sur lequel l'objectif du microscope est mis au point. La figure 2 est une représentation schématique d'un microscope avec éclairage de Kohler, et dispositif additionnel pour réaliser le procédé de cette invention. Les figures 3 et 4 sont des représentations schématiques de réalisations de l'invention. La figure 5 est une représentation schématique du diaphragme à trous d'épingle multiples utilisés dans le dispositif conformément à la figure 4. Sur la figure 1, un faisceau 10 convergeant au centre d'une lentille 2, selon la façon d'un éclairage de microscope de type Kàhler, frappe un diaphragme à trous d'aiguille multiples 1, dans lequel, pour plus de clarté dans la représentation, seuls figurent deux trous d'aiguille 5 et 6. Le diamètre d'environ 30 p des trous d'aiguilles 5 et 6 est choisi de telle façon que, en dehors de l'ordre zéro, le rayonnement diffracté du premier ordre au moins atteignant le plan de la lentille 2, se trouve à l'intérieur de l'ouverture de cette lentille.Si cette condition est réalisée, on.obtient l'image des trous d'aiguille 5 et 6 (le point 8, par exemple) dans le plan 12 conjugué du plan 13 du diaphragme 1, l'-objectif 2, étant régné pour la mise au point sur le plan 12. Le diamètre du point 8, dépend du grossissement par la lentille d'objectif 2.Si par exemple, cette lentille produit un grossissement de l'ordre de 30 fois, et si la résolution est d'environ 1 p, le point 8 aura un diamètre de 1 p, ' et aura à- son tour pour image dans le plan 13 un point lumineux d'un diametre de 30 p. Il est évident que l'image du point 8 se trouve complètement dans le trou -d'épingle du diaphragme 6, de sorte que toute la lumière provoquant cette image puisse passer à travers le masque 1. Si la lentille 2 avait une résolution inférieure par exemple 3p, le trou 6- n'aurait- pas son image nette danse plan 12.En outre, l'image d'un pqint lumineux ayant un diamètre de 1 U seulement dans le plan 12 neserait pas nette dans le plan 13 conjué du plan 12. Ainsi, les caractéristiques de transmission du diaphragme 1 seraient considérablement détériorées si, une fraction seulement de la lumière provoquant l'image du point 8, dans le plan de diaphragme 13, pouvait passer par les trous d'épingle du diaphragme 5 ou 8 Les diamètres des trous d'épingle du diaphragme 5 et 6 doivent donc être choisis de telle façon qu'en dehors de leurs ordres de diffraction zéro, les rayonnements diffractés du premier ordre au moins se trouvent dans l'ouverture de la lentille 2, et que les images des trous d'épingle du diaphragme ne soient pas plus petits que la résolution de cette lentille. Si l'image d'un trou d'épingle de diaphragme, sur la figure 1, Cle trou d'aiguille 53-se trouve non dans le plan 12, mais au delà, elle ne ressemble plus à un point, comme ce serait le cas/ie plan 12, mais elle a la forme d'un point lumineux allongé 7, dont le diamètre est fonction de la distance entre le plan 12 et la zone correspondante de l'objet 11. Comme cela est également représenté sur la figure 1, l'image d'un point 9 dans le point allongé 7 se forme, non dans le plan de diaphragme 13, mais dans un plan. 14 en-dessous du plan 1-3, alors que dans le plan 13 il se forme une image avec un diamètre beaucoup plus grand dont une fraction seulement de la lumière peut passer à travers le trou d'épingle 5 du diaphragme. Le pourcentage de lumière qui passe à travers le trou d'épingle 5, du diaphragme est encore inférieur lorsqu'il s'agit de l'image du point allongé 7, sur un objet 11, avec un diamètre plus grand que le point lumineux 8. La figure 2 est une représentation schématique d'un éclairage de microscope du type Kohler, et d'un dispositif pour réaliser le procédé de l'invention. Le faisceau 10, émanant d'une source lumineuse 3, est concentré à travers une lentille 16 dans le trou d'épingle d'un diaphragme 1i, et au moyen d'une lentille 18, il est transformé en un faisceau convergeant sur une lentille d'objectif 2. Le faisceau qui quitte la lentille 18, passe à travers un diviseur de faisceau 19, un diaphragme à trou d'épingles d'exploration rotatif 21, et la lentille 2, pour générer dans le plan 12, des images des trous d'épingle 25 et 25. Le trou d'épingle 26 forme une image nette dans le plan 12 conjuguée du plan de diaphragme4 Les trous d'épingle du diaphragme, 25 et 26, ont des dimensions telles (ici ils ont un diamètre de 30 pI qu'au moins le rayonnement diffracté du premier ordre se trouve dans l'ouverture de la lentille 2, et que le diamètre du point 8, représentant l'image du trou d'épingle du diaphragme n'est pas plus petit que la résolution de la lentille 2. Avec un grossissement de la lentille 2, de 30 fois, le diamètre d'un point 8 est de 1 pomme cela a déjà été expliqué pour le détail de la figure 1, l'image du point lumineux 8 est nette dans le plan 13 du diaphragme 21, et-passe-complètement à travers le trou d'épingle 25 du diaphragme 26, ou du moins, presque complètement. Une partie de la lumière est déviée au diviseur de faisceau 19, vers une lentille 20, et génère un point lumineux concentré 23, dans la zone d'un plan d'observation 22.La partie du faisceau 10, venant de la source lumineuse 3, qui passe à travers le trou d'épingle 25, du diaphragme, est concentrée dans la zone 7 du plan 12, en-dessous de ce plan, et forme une image floue sous forme d'un point lumineux allongé 7. L'image de chaque point 9, de ce point allonge du fait que la zone de l'objet 11 dans laquelle il se trouve, se trouve en-dessous du plan 12, se forme non dans le plan 13 conjugué de celui du diaphragme 21, mais, dans un plan 14 situé en-dessous, et qui est conjugué du plan dans lequel se trouve le point lumineux 9, de sorte que dans le plan du diaphragme 21 est généré un point lumineux dont le diamètre est plus grand que le trou d'épingle 25 du diaphragme.L'image du point allongé 7, dans le plan du diaphragme 21, a un diamètre encore plus grand que l'image du point 9, de sorte qu'une petite fraction seulement de la lumière qui provoque l'image du point lumineux 7, dans le plan de diaphragme 21, peut passer à travers le trou d'épingle du diaphragme 25. Cette lumière qui émane du trou d'épingle 25 ne formant, comme cela a été noté plus haut, qu'une petite fraction de la lumière qui vient heurter le diaphragme par en-dessous , génère dans le plan d'évaluation 22, un point lumineux 37 qui a un éclat si faible qu'il n'est pas visible, ou au moins pas génant. Cela a lieu particulièrement dans les cas où un dispositif pour le réglage d'une valeur de seuil est utilisé. Si le diaphragme 21 qui, en dehors des trous d'épingle 25 et 26, présente un grand nombre d'autres trous effectue une rotation rapide autour d'un axe 24, tous les points de l'objet 11, dans la portée de la lentille d'objectif 2, sont explorés successivement, et mis en image sur le plan d'évaluation 22. L'intensité des points objets dont on a obtenu l'image dans le plan d'évaluation 22, (qui se trouvent dans le plan 12), est bien plus forte que l'intensité des images des points objet en dehors de ce plan. Dans le plan d'évaluation 22, apparait donc une image . de points objet qui se trouvent dans le plan 12.Tous les points objets qui se trouvent à l'extérieur de ce plan n'ont pas une image nette dans le plan 13, ce qui ne provoque qu'un éclairage faible des trous d'épingle du diaphragme4 Si l'objet 11 est décalé vers le haut d'une distance telle que le point 9 se trouve dans le plan 12, on peut alors former une image nette de ce point, et de tous les autres -points de l'objet 11 qui se trouvent au même niveau, dans le plan d'évaluation 22, tandis qu'on n'obtient pas d'image nette du point 8 et de tous les autres points de l'objet qui se trouvent au même niveau. La figure 3 est une représentation schématique d'une réalisation de l'in ventionqui permet de réaliser le procédé de l'invention d'une façon particulièrement simple et claire. Le faisceau 10, émanant d'une source lumineuse 3 est concentré à travers une lentille 16 dans le trou d'épingle d'un diaphragme à trou d'épingle 17, et vient heurter une lentille 18 à travers laquelle il est transformé en un faisceau convergeant au centre de la lentille objectif 2 du microscope. Le faisceau passe à travers l'élément 42 consistant en un élément porteur transparent 40, une couche partiellement réfléchissante 39 et, un diaphragme d'exploration 41.Ce diaphragme contient en dehors des trous d'épingle représentés par 25 et 26, plusieurs autres trous d'épingle dont le diamètre, comme cela a été expliqué plus en détails dans la description des figures précédentes, est situé entre 30 et 50 ij Le faisceau qui passe à travers la couche partiellement réfléchissante 39 et les trous d'épingle 25 et 26, vient heurter une lentille 2, et le rayonnement diffracté du premier ordre au moins, se trouve dans l'ouverture de cette lentille. Comme cela a éteuf décrit en détails pour les autres figures, le trou d'épingle 26, du diaphragme, forme une image nette, sur le point 8, dans le plan 12, de l'objet 11, ce point 8, formant à son tour une image nette dans la zone du trou d'épingle 26 qui se trouve à proximité immédiate d'un plan 13, conjugué du plan 12.L'inclinaison de l'élément 42, par rapport au plan 13, a été exagérée sur la figure pour permettre une meilleure compréhension. Le rayon qui passe à travers le trou d'épingle 28 dans une direction ascendante, est partiellement réfléchi sur-la couche partiellement réfléchissante 39, passe à travers le trou d'épingle pour la seconde fois, et atteint, via un miroir 42, une lentille 50, à travers laquelle il est concentré en un point lumineux 53, dans un plan d'observation 52 où il génère une image nette du point lumineux 8, qui, lui-même représente une image du trou d'épingle 28. Comme cela a également été expliqué en détails pour les figures 1 et 2, le rayon qui passe à travers le trou d'épingle 25, génère sur la surface, en dessous du plan 12 de l'objet 11, un point lumineux, représentant une image floue; ce point lumineux 7 donne à son tour une image non nette, à l'intérieur de la zone du trou d'épingle 25, de sorte qu'une petite partie seulement de la lumière qui génère cette image est réfléchie sur la couche partiellement réfléchissante 39, et génère, dans le plan d'évaluation 52, via-un miroir 43 et une lentille 50, une image 57, d'une intensité très faible, représentant le trou d'épingle 25.En dehors des trous d'épingle 25 et 26 etc... qui permettent le passage de la lumière sur et à partir de la couche partiellement réfléchissante 39, la surface du diaphragme d'exploration consomme de l'énergie c'est-à-dire qu'elle est en noir mat. Si l'élément 42, consistant en l'élément porteur 40, la couche partiellement réfléchissante 39, et le diaphragme à trous d'aiguille 41, effectue une rotation à vitesse élevée au moyen de l'axe 24, toute la surface de l'objet Il qui se trouve dans la portée de la lentille d'objectif 2, est explorée point par point, de sorte que, dans la zone du plan d'évaluation 52, une image très nette avec un fort contraste des éléments de surface de l'objet 11 se trouvant dans le plan 12, devient visible.Tous les éléments de surface de l'objet Il qui se trouvent en dehors du sont complètement invisibles, ou perturbent très peu le contraste des images des éléments de surface de l'objet Il qui se trouvent dans le plan 12. Si un autre plan de l'objet 11 doit être rendu visible, des éléments piezoélectriques ou magnétostrictifs 45, portant la table 44-, permettent de décaler l'objet 11 vers le haut ou vers le bas dans la direction de l'axe optique de la lentille d'objectif 2, à une distance telle qùe, le plan de l'objet 11 qui sert à la reproduction dans le plan d'évaluation 52, coincide avec le plan 12. Cependant, il est également possible de décaler l'objectif 2, de façon périodique, au lieu de l'objet 11.Si toute la surface de l'objet 11 doit-être rendue visible, ou doit être évaluée en même temps, une autre tension est appliquée aux éléments piézoélectriques ou magnétostrictifs 45, avec une fréquence qui est beaucoup plus élevée ou beaucoup plus faible que la fréquence d'exploration du diaphragme à trous d'aiguille 41. Grâce à cette tension qui a une fréquence d'environ 30 H3 ou 50 kH3 l'objet 11 est périodiquement décalé vers le haut ou vers le bas, dans la direction de l'axe optique de la lentille d'objectif 2, de sorte que toutes les zones de surface qui doivent être rendues visibles dans le plan d'évaluation 52 passent par le plan 12. De cette façon, tous les niveaux de surface de l'objet Il apparaissent dans le plan d'évaluation 52, en se succédant rapidement, comme des images très nettes.Pendant la mise au point d'un plan prédéterminé de l'objet 11, les zones de surface de l'objet Il sont pratiquement invisibles dans le plan d'évaluation 52, ou ne présentent qu'une perturbation négligeable du contraste des plans mis au point. Etant donné la succession rapide des images, les différentes images sont intégrées par l'oeil humain et apparaissent à l'observateur comme une image qui ne clignote pas, très nette et ayant une résolution qui est égale au segment de l'objet 11. Si l'image générée dans le plan d'évaluation 52, doit être ph-o- graphiée, l'exploration X-, Y-Z-, (c'est à-dire l'exploration provoquée par le diaphragme rotatif 41, et le mouvement vertical de la table 44), peut être rendue beaucoup plus lente. Pour une meilleure observation de l'image générée dans le plan d'évaluation 52, un écran de projection ou une plaque en verre peuvent être fournis. Cependant, il est également possible de générer l'image formée par la lentille 50j sur l'écran d'un tube de télévision, sur une matrice photodiode, ou sur un autre dispositif d'évaluation convenable. Il est bien sur, également possible de modifier à vitesse élevée la distance focale de la lentille d'objectif 2 par des moyens électro-optiques, au lieu de modifier la distance entre la lentille d'objectif 2 et l'objet 11. Si on réunit le diaphragme 41 et la couche partiellement réfléchissante en un élément commun, les perturbations provoquées par de la lumière parasite dans l'agencement de la figure 2 sont presque complètement supprimées. En outre, cette mesure tout comme un agencement en grille du diaphragme à trous d'épingle, augmente à un degré prédéterminé la résolution de tout le système optique, comme cela a été décrit par exemple dans "Optische Abbildung unter Uberschreitung der beugungsbedingten Auflösungsgrenze" de W.- Lukosz et Marchand, Optica Acta , 10, p241,1963. La figure 4 représente une autre réalisation de l'invention. La lumière qui émane de la source lumineuse 103, de préférence monochromatique, est concentrée à travers les lentilles 118, dans le trou d'épingle d'un diaphragme 117, et projetée au moyen d'une lentille 118, à travers un polarisateur 162, sur un élément rotatif 142 qui est conçu comme le montre l'agencement de la figure 5. La perpendiculaire de cet élément et l'axe optique des lentilles 116, 118, forment-un angle tel que la radiation sortant du polariseur 1S2 peut passer sans être altérée à travers la couche 39 de l'élément 142, cette couche ayant l'effet d'un diviseur de faisceau dépendant de la polarisation. La lumière qui passe à travers les trous d'épingle du diaphragme qui sont représentés sur le schéma comme des zones blanches, est concentrée sur un objet 111 à travers une lentille 158, un- miroir de déviation 143, et un objectif 102. Le diamètre des trous d'épingle du diaphragme et le grossissement des lentilles sont calculés comme cela a été décrit ppur les figures 1 à 3. Comme cela a déjà été décrit, les trous d'épingle sont fortement concentrés uniquement dans les zones de l'objet 111 qui se trouvent dans un plan conjugué avec l'élément 142.De même. seuls les points objets éclairés dans ce plan sont nettement mis au point sur l'élément 142. Lorsque le plan de polarisation de la radiation générant les images sur la partie supérieure de l'élément 142 est tourné de 900, et étant donné le fait que la radiation passe deux fois à travers la lame 183 quart d'onde, cette radiation est réfléchie sans perte à la couche 38, de sorte que les trous d'épingle du diaphragme ainsi éclairés forment des images dans un plan d'observation 161 avec une intensité maximum, via la lentille 158, un miroir de déviation 154, les lentilles 160 et un polariseur 164-supprimant la lumière parasite non désirée.Tous les points objets qui sont dans un plan qui n'est pas conjugué avec l'élément 142 forment des images floues sur l'élément 142, de sorte qu'une petite fraction seulement de la lumière générant ces images est réfléchie sur la couche 39 et génère une image d'intensité très faible dans le plan d'observation 161. L'objet peut être décalé périodiquement dans la direction de l'axe optique de l'objectif 102, comme pour la figure 3, par des moyens non représentés sur la figure 4, de sortie qu'avec un élément 142 tournant à une vitesse suffisante, on obtient uee image avec une grande profondeur de champ dans le plan d'observation 161. La figure 5 représente une section agrandie de l'élément 42 ou 142 qui consiste en un élément porteur transparent 40, en verre par exemple, une couche 39 faisant fonction de diviseur de faisceau dépendant de la polarisation, revêtue d'une couche de quartz 39a, et un diaphragme à trous d'épingle 41, en chrome par exemple et ayant une surface spéculaire. Outre l'examen visuel de pastilles semiconductrices présentant des irrégularités de surface, cette invention peut également s'appliquer à des examens automatiques. Pour cela, les points objets qui peuvent être observés dans chaque plan objet peuvent être divisés en groupes et mis en mémoire dans un ordinateur en fpnction de leurs hauteurs de profil. De la même manière, de grandes quantités de particules peuvent être examinées, comptées et classées en fonction de leur taille. Cette invention permet également des vues en coupe de corps transparents, de cristaux par exemple. Bien que l'on ait-décrit dans ce qui précède et représenté sur le dessin les caractéristiques essentielles de l'invention appliquées à un mode de réalisation préféré de celle-ci, il est évident que l'homme de l'art peut y apporter toutes modifications de forme ou de détail qu'il juge utiles, sans pour autant sortir du cadre de ladite invention. REVENDICATIONS 1.- Procédé pour accroître la profondeur de champ et la résolution d'un microscope optique, caractérisé par le fait qu'une image de l'objet à observer est explorée point par point par un diaphragme d'exploration à trous d'épingle, situé dans un plan conjugué du plan sur lequel l'objectif est mis au point. 2.- -Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'en dehors de l'exploration de l'image de l'objet, ledit diaphragme explore, grâce à un dispositif de point lumineux mobile, les zones environnantes de l'objet dans ledit plan sur lequel l'objectif est mis au point. 3.- Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que l'exploration de l'image de l'objet se fait dans une direction parallèle au plan sur lequel l'objectif est mis au point. 4.- Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'on effectue en outre un décalage vertical de façon à faire varier le plan sur lequel l'objectif est mis au point. 5.- Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que le est décalage vertical/réalisé par un décalage périodique de l'objet par rapport à l'objectif du microscope dans la direction de l'axe optique, d'une distance égale à la profondeur de champ. 8.- Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que le décalage -vertical est réalisé par un changement périodique de la distance focale de l'objectif du microscope, par des moyens électro-optiques par exemple, d'une distance égale à la profondeur de champ. 7.- Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'en dehors de l'ordre zéro, au moins le rayonnement diffracté du premier ordre -obtenu par diffraction à travers lesdits trous d'épingle du diaphragme se trouve dans l'ouverture de l'objectif du microscópe, le diamètre desdits trous d'épingle étant tel queS\8eudrismeliSeig0ens dd9ans le plan de mise-au point, est au moins égale à la résolution de l'objectif du microscope. 8.- Dispositif permettant de réaliser le procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7 caractérisé en ce qu'il comporte un diaphragme d'exploration à plusieurs trous d'épingle situé dans le plan conjugué du plan sur lequel l'objectif du microscope est mis au point, la perpendiculaire à ce diaphragme formant un angle aigu avec l'axe optique de l'objectif et ùn diviseur de faisceau situé en arrière du diaphragme dans la direction des rayons lumineux émanant de l'objet.