Brevet FR2229142A1 — publié le 19741206

La présente invention concerne la réalisaticn de fils supportés particulièrement intéressants corme réserves ou caches dans la réalisation de circuits imprimés. Les techniques récemment nises au point relatives à la fabrication des circuits imprimes comprennent l'utilisation de films supportés d'oxyde de fer. Les dessins formés par de tels films sont déjà très utilisés dans des installations pilotes comme caches photographiques cohérents destinés à délimiter des régions de matières de réserves photosensibles qui doivent être irradiées, par impression par contact ou par projection. De telles techniques sont décrites par exemple dans les articles 120, Journal of the Electrochemical Soc., page 545 (Avril 1973), 118, J. Electrochem. Soc., 341 (1971), et 118, J. Electrochem. Soc., 776 (1971). Des filns d'oxyde de fer, convenablement réalisés, sont préférables aux matières utilisées jusqu a présent, par exemple aux émulsions photographiques classiques, simplement à cause de leur dureté et de leur résistance à l'abrasion qui sont améliorées. Cette considération seule, qui prolonge notablement la durée des caches, suffit a' justifier leur utilisation. Un avantage particulier de cet oxyde de fer est qu'il est très transparent dans le spectre visible. Une telle matière est suffisamment opaque pour qu'elle puisse être utilisée avec les radiations ultraviolettes de longueurs d'onde relativement courtes qui sont nécessaires & la délimitation des dessins sur les matières classiques de réserve photographique. La transpa rence dans-le spectre visible permet l'utilisation du cache dans les-techniques d'éclairement par derrière, si bien que la mise en position repérée des détails du circuit créés au cours des phases précédentes peut etre réalisée.Cette caractéristique est particulièrement avantageuse dans le cas des circuits ayant une résolution très poussée et qui sont très petits, des types actuellement mis au point, et les spécialistes considèrent er général que I'utilistion d'un dessin en oxyde de fer est satis faisant. Comme décrit dans les références précitées, la réalisa tion d'un dessin en oxyde de fer, sous forne d'un cache Oil atl- trement, dépend de la solubilité du film. Cette solubilité ou nature soluble, généralement attribuée à la nature atnorj > he du film, comme déterminé par diffraction des rayoas X, est essentiellement considérée comme suffisante lorsqu'elle permet le retrait d'un film de 1 micron d'épaisseur par HCl 6N, er 1 heure à température ambiante.Cette solubilité permet la formatif de dessins par mise en oeuvre des procédés classiques utilisés pour les réserves photographiques, comprenant le dépôt d'une couche de réserve photographique positive ou négative, et l'ir-- radiation sélective de parties qui doivent être retirées ou retenues, au cours dtune phase ultérieure de dissolution. La formation du dessin est alors réalisée par immersion, par exemple dans une matière acide convenable. Selon l'invention, la formation du dessin est réalisée par insolubilisation sélective du film d'oxyde de fer qui est par ailleurs soluble, la formation du dessin provoquant le retrait des parties solubles par traitement de la totalité du film dans un solvant approprié. Selon une caractéristique fon damentaie de l'invention, l'insolubilisation est due à l'irradiation du film par des ondes électromagnétiques ou des électrons. L'expérience suggère que le mécanisme impliqué est un simple chauffage. Ainsi, on constata que toute radiation absorbée dans le film soluble donne satisfaction selon l'invention. Les radiations comprises dans la plage de longueurs d'onde partant de la lumière infrarouge et passant dans le spectre visible, le spectre ultraviolet et atteignant le spectre des rayons X et des rayons gamma, conviennent. Un mode de réalisation avantageux qui évite l'utilisa- tion de caches et de réserves auxiliaires au cours de la formation du dessin et qui en conséquence peut donner une résolution améliorée, comprend l'utilisation d'un faisceau focalisé programmé, par exemple un faisceau laser. Des électrons ayant l'énergie nécessaire pour qu'ils pénètrent vers l'interface film-substrat, sont en général disponibles uniquement sous forme de faisceau. Un tel faisceau peut être utilisé avec balayage, de manière qu'il passe séquentiellement dans les parties transparentes de caches-mères Le mode de réalisation le pi us courant est cependant celui qui met en oeuvre un faiseeau programmé qui est lui-même convenablement modulé de maniére qu'il constitue un générateur primaire de dessin. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront mieux de la description qui va suivre, faite en référence au dessin annexé sur lequel la figure 1 est une élévation frontale d'une ébauche non traitée comprenant une couche d'oxyde de fer soluble sur un substrat ; la figure 2 est une élévation de la structure de la figure 1, après irradiation 0élective selon l'invention ; et la figure 3 est une élévation de la structure des figures 1 et 2, après retrait des parties non irradiées de la couche d'oxyde de fer. L'invention repose sur l'insolubilisa.tion d'un film d'oxyde de fer. par exemple le film 12 représenté sur la figure 1. Il est donc nécessaire selon l'invention que le film, va traitement, présente la solubilité nécessaire. Ce crité- re doit etre satisfait quelle que soit la manière dont est réalisé le film d'oxyde. Des procédés qui conviennent pour la réalisation des films d'oxyde sont décrits dans les articles précités. Des films solubles ont été préparés par dépôt chimique en phase vapeur à partir de composés contenant du fer, par exempte du fer carbonyle, et des ébauches préparées par mise en oeuvre de ce procédé sont actuellement disponibles dans le commerce. On a aussi préparé des films qui conviennent par pulvérisation, par exemple en atmosphère contenant de l'oxyde de carbone. Un procédé recemnent is au point est décrit dars 1 article de L.F. Thompson, Journal of the Electrochemical Society, 1974. Ce procédé implique la rupture par ox.yda-tion de polyvinylferro- cène ou d'une matière analogue qui est habituellement appliqué sur le substrat sous forme d'une solution. On considère couramment que le film soluble d'oxyde est sous forme "Fe2O3". Cependent, des expériences indiquent que le film a une composition plus complexe et en réalité, cel le-ci peut varier dans une certaine mesure suivant le procédé utilisé pour sa préparation. Par exemple on note que dans certaines circonstances, le film oxydé contient des quantités considérables de carbone. Dans les cas habituels, ce carbone est présent sous forme du composé Fe(C03)2. Une telle inclusion est commune lorsque les filas sont prépare à partir d'un composé de carbonyle ou par oxydation à basse température de poids vinylferrocène (380 C ou moins).Certains spécialistes ont supposé que le carbonate contenu par le film améliorait s soluillite, et or a observé en fait que C02 était parfois libéré au cours du procédé d'insolubilisati on. Cependant, on n préparé des films solubles d'oxyde dans des cas ou la teneur en carbonate n'est pas détectable. Par exemple, le procédé d'oxydation utilisé pour la préparation du film de polyvinylferrocène à des tempérakures supérieures à 380 C environ (mais intérieures a une valeur maximale de l'ordre de 420 C environ) donne des films d'oxyde convenablement solubles ayant une teneur faible ou nulle en carbonate.Le traitement des films solubles, dEl- le que soit leur préparation, à des températures de 380 C ou plus, peut provoquer la libération le C02 sans que les films deviennent insolubles. Quel que soit le procédé de réalisation du film d'oxyde, on considère qu'il convient de la caractérise par l'expression "amorphe". On constate que les analyses par diffraction des rayons X ou électrons na révèlent aucun ordre à grande distance, de l'ordre de 50 ou plus. On constante de façon régulière que les films caractérisés par l'état amorphe, dans les limites indiquées, sont suffisamment solubles pour que l'invention puisse entre mise en oeuvre. Le critère essentiel de solubilité est considéré dans le présent nemoire, comme la disparitier d 'un ilm de 1 micron d' éPaisseur en 1 heure ou moins. lorsqu'il est imprégn rar une solution aqueuse d'acide chlorhydrique 6N, à température ambiante. Ce réactif particulier, bien qu'il soit utilisé avanta- geusement corme référence dans cette définition et bien qu'il donne tout à fait satisfaction selon l'invention, est purement illustratif et diverses ratières d1a%taqu' conviennent. En rea- lité, l'irradiation des fil d'oxyde préparés selon l'invention provoque la réduction par un facteur 10 au moins Je la solubilité, dans pratiquèment la totalité des matières d'attaque du film non traité.L'épaisseur du filn est un paramètre qui peut varier en fonction de critères particuliers de formation du dessin ou d'utilisation finale L'invention ne dépend pas d'une épaisseur particulière du film, toute épaisseur possible pouvant etre rendue insoluble par irradiation, de manière que la matière soit retenue sélectivement dans une matière appropriée d'attaque. Bien qu'il n'existe pas de limites bien déterminces sur l'épaisseur, la continuité du film est assurée par o des épaisseurs de l'ordre de 500 A ou même moins, et des épais seurs d'environ 2 microns suffisent dans les applications actu tellement envisagées.Ces limites correspondent à une plage probable d'utilisations avantageuses. Le film irradié ou les parties irradiées sont en général caractérisées en partie ou en totalité par la structure de Fe2O3 OC. Dans certaines circonstances, lorsque les conditions sont telles qu'une perte notable d'oxygène apparaît, une partie de la matière peut etre transformée en Fe3O4. Par exemple, une telle perte peut apparaître dans des films irradiés contenant jusqu'à 50 ss en poids de Fe304.L'invention ne repose pas sur la composition chimique ou la nature cristallographque parti- culière du film irradié, mais sur l'observation que l'irradiation, lorsqu'elle est mise en oeuvre dans les conditions indiquées, provoque une variation suffisante de solubilité entre les parties non irradiées et irradiées pour qu'un dessin puisse être formé par immersion ou traitement du film dans sa totalité. Un avantage important des caches connus a' l'oxyde de fer est la trarsparence suffisante du fille pour que la lumière visible traverse le cache et permette la mise en position repe- roc des détails placés au au-dessous.Cette caractéristique est particulièrement utile pour les très petits circuits de résolu- tion poussée, préparés par impression par contact. bcrs d'une impression par projection, la caractéristique de transparence ou d éclairement par derrière peut avoir une importlllce réQiL-e. et l'automatisation, mêrue lors de l'utilisation de procedés d'impression par contact, peut conduire finalement it une utilité réduite de la transparence. L'oxyde de fer est une matière intéressante à la fois pour la formation des caches et des re- serves au moins en partie du fait de ses excellentes caracté- ristiques physiques, par exemple de sa bonne résistance à l'r brasion. Quelle qu'en soit la valeur, la matière cristallisée obtenue par irradiation selon l'invention, bien qu'elle ait des caractéristiques relativement réduites d'absorption dans le spectre visible, continue a etre suffisamment tlansparente pour qu'elle puisse constituer un cache avec éclairement par derrière. Une description détaillée des critères auxquels doivent satisfaire les substrats n'est pas considérée dans le présent mémoire. Les substrats sont en général choisis en fonction de l'utilisation prévue qui nécessite elle-meme que les substrats puissent supporter les diverses conditions rencontrées au cours du traitement. Dans le cas des caches utilisés par transparence, la matière du substrat doit évidemment être suffisamment transparente pour qu'elle permette un alignement visuel. L'utilisation des caches implique en général une transparence suffisante aux radiations qui doivent être utilisées. (Dans le cas des réserves photographiques habituelles, le cache doit être transpa- rent dans le proche ultraviolet). Des exemples de matières de caches transparents sont la silice fondue, le saphir et les verres d'oxydes mixtes tels que les borosilicates, etc. Lorsqu'un film formé d'oxydes est utilisé comme réserve, le substrat est évidemment l'objet qui est traité. Celui-ci peut avoir une surface simple ou composite, portant diverses matières telles que du silicium, de la silice, de l'oxyde de tantale ou du nitrure de tantale et divers métaux tels que le titane, le plati- nen or, le tantale, etc. On a indiqué que l'insolubilisation reporait sur l'ir radiation qui provoquait une cristallisation locale du fi In d'oxyde. On pense que la cristallisation est due à un chauffage local, la température du film dans la partie irradiée atteignant une valeur au moins égale à 420 C environ. Cette hypothèse repose sur une ruasse d'expériences coprenant notamment des expériences de chauffage dans lesquelles par exemple de telles températures provoquent une insolubilisation.On constante que les variations spectrales dues à un chauffage dans j a masse correspondent de façon générale à celles qui sont observées d--ns le film irradié, et on observe de plus ne les formes des spectres d'absorption et les valeurs des maxima sont analogues. Les expositions aux radiations électromagnétiques et aux faisceaux électroniques sont analogues ou Identiques, en ce qui concerne le mécanisme responsable de la formation du des -sin. Des considérations de réalisation varient en fonction du type d'énergie utilisé. Ainsi, alors que la pénétration a uic profondeur suffisante peut etre un paramètre utilisé lors du traitement par un faisceau eleetronique, l'oxyde de fer est suffisamment transpalent aux radiations électromagnétiques de la plupart des longueurs d'onde pour que cette caractéristique ne soit pas importante dans le cas de ces radiations.Les deux types de traiter eut sont décrits dans la suite. On considère d'abord le traitement par les radiations électromagnétiques. Il est heureux que le film non traité présente une absorption suffisante sur un très large spectre pour que des conditions nécessaires à 'insolubilisa+ ion à l'aide de sources lumineuses disponibles soient possibles. L' insolu- bllisation est obtenue par irradiation à des longueurs d'ondes allant du lointain infrarouge à l'extrémité de courtes longueurs d'onde du spectre visible. L'absorption est suffisante pour que l'insolubilisation apparaisse même en dehors de cette plage, aux. longueurs d'onde des rayons X et des rayons gamma. Quelle que soit la longueur d'onde des radiations électromagnétiques utilisées, la pénétration doit être suffisante pour que l'insolubilisation de la région intéressante du film, à l'interface fiin-s & strat, soit assurée. On constante expié rimentalement que, lorsque l'intensité lumineuse est réduite, dans des conditions égales par ailleurs, il existe un point à partir duquel apparait l'insolubilisetion uniquement dans des régions du film qui se trouvent au-dessous de la surface libre. Une réduction par rapport à cette valeur provoque un amincis-- sement du film insolubilisé, au point que, pour les très faibles intensités, seule la région de l'interface est insolubilisée. En général, il est indésirable que l'intensité lumineuse ou l'exposition intégrée dépasse notablement la valeur né cessaire à l'insolubilisation de toute l'épaisseur du film. Le dépassement par une grande valeur de cette quantité peut provo quer une perte de résolution du fait de la conduction calorifi- que dans le film et/ou de la réflexion à l'interface. L'exposition intégrée ou intensité maximale tolérable est déterminée en fonction des pertes par éveporation. Au-dessus d'une certaine valeur, la matière superficielle bout, Si bien qu'il apparaît un amincissement du film insolubilisé qui est retenu après développement.Bien que dans certains cas, un certain amincissement soit tolérable, le procédé met en général en oeuvre des quantités d'énergie intégrée qui ne provoquent pas une perte notable par évaporation. Il est clair que la quantité d'énergie utilisée dépend de divers paramètres, par exemple de l'absorption du film à la longueur d'onde particulière des radiations utilisées, de la température ambiante, de la conductibilité thernique des films et des substrats, du pouvoir de réflexion du substrat, de la surface irradiée à un moment donné, etc. L'invention repose sur l'observation que l'insolubilisation donnant les ca ractéristiques indiquées apparat après irradiation par des ondes électromagnétiques.. L'énergie maximale, pour un jeu donné de conditions d'utilisation7 est facilement déterminée. Ainsi, par exemple, l'irradiation peut strie édifiée progressivement pour un jeu donné de conditions. Une valeur maximale avantageuse correspond à la quantité d'énergie qui provoque une perte notable par évaporation. Unc quantité minimale d'énergie correspond à la quantité qui pro-voque la conservation de la totalité de l'épaisseur du film apyres irradiation et attaque. Par exemple, on montre que les quantités d'énergie peuvent être comprises entre 1 watt/mm2 et 105 watt/mm2, avec des temps efficaces d'exposition, dans des conditions statiques ou par un faisceau mobile, comprises entre 50 ns et 5 ninutes. Le paramètre le plus important mour l'irradiation par un faisceau électronique est la profondeur de pénétration. Lla- dhérence des parties insolubilisées au cours du développement dépend de la transformation de l'oxyde à l'interface film-substrat. Lorsque la tension accélératrice ne donne pas une telle pénétrion, le fIlm se dissout à l'interface et la parties solubilisée se soulève au cours de l'attaque. La relation exacte entre l'épaisseur du film et la profondeur de pénétration en fonction de la tension accélératrice, est donnée par la formule suivante z = 0s046 Va 1,75 (1) Z étant l'épaisseur du film exprimée en microns, p étant le poids spécifique exprimé en g/cm3 (5 environ pour l'oxyde con sidéré) et V étant la tension accélératrice exprimée en kV. a Lorsque les électrons ont la vitesse convenable, il faut que l'énergie intégrée soit suffisante pour qu'elle assure l'insolubilisation. Une série d'expériences relatives par exemple à la comparaison des spectres d'absorption, permet facilement de montrer que effet de l'irradiation électronique est simplement une cristallisation accompagnant l'apparition locale d'une température suffisamment élevée du film. La ternpératu- re minimale nécessaire est en général de l'ordre de 420 C. t- te valeur nécessaire reste valable en général quel que soit le procédé utilisé pour le dépôt du film soluble. Ainsi, par exemple, on observe que dans certaines circonstances, des quantités notables de C02 se dégagent au cours de la formation du dessin, indiquant ainsi la présence de carbonate dans le film soluble. Lors de l'utilisation du vide, nécessaire pour l'irradlatlull par des électrons, une certaine perte d'oxygèiie est prévue, si bien que le film contient une certaine quantité de Pue 304 Aucune de ces variations n'a un effet apparent sur l'énergie approximative nécessaire à l'insolubilisation ou sur les propriétés du film développé. Au cours de l'analyse fInale, l'insolubilisation dépend d'un certain nombre de conditions de traitement. Un paramètre important à cet effet est la température globale du film, et ainsi, on constate que les vitesses d'analyse, dans le cas de faisceaux électroniques programmés ayant une intensité donnée, pouvent être notablement accrues par maintien du film à une température élevée, par exemple pouvant atteindre 40DrC environ. Des températures élevées, pouvant atteindre par exemple 420 C, peuvent être tolérées pendant des périodes qui peuvent atteindre environ 5 heures, sans insolubilisation notable. L'obtention d'une température donnée est nécessaire pour que l'insulubilisation soit assurée, compte tenu des autres facteurs affectant les pertes calorifiques. Par exemple, le pouvoir réflecteur du substrat, l'épaisseur du film et la conductibilité thermique du substrat et du film ont un certain effet. En général, lors d'une utilisation à température ambiante avec un film d'une épaisseur de l'ordre de 2 000 A, ltinso- lubilisation est assurée avec une dose intégrée ayant une valeur minimale d'environ 5.102 C/cm2. Cette valeur correspond à une densité de courant dans le faisceau d'environ 2 5.103 A/m .L'utilisation de sources électroniques classiques à filaments de tungstène permet l'utilisation de vitesses d'analyse correspondant 'a plusieurs centimètres par seconde, pour -o un faisceau dont le diamètre est d'environ 1 OOC A. En résumé, la tension accélératrice nécessaire à la pé nétration est facilement calculée ou déterminée expérimentalement de manière simple. La dose ne peut pas être calculée facilement. Cependant,quand les propriétés de transmission sont mo- difiées dans une certaine mesure au cours de l'insolubilisation, le procédé peut être contrôlé visuellement. Au point de vue éco nomique, l'utilisation d'une quantité d'énergie supérieure dan la quantité minisslale n' est pas avantageuse.De plus, le dépas sement de l'énergie nécessaire à l'ínsulubilistLt on de la tota- lité d'épaisseur du film, pour un facteur élevé, peut provoquer une certaine fissuration du film insolubilisé Les sources électroniques disponibles, les filaments de tungstène, i'hexabonire de lanthane et les appareils à émis- sion dans un champ, limitent actuellement les opérations possibles pour l'utilisation d'un faisceau. L'utilisation du recouvrement par un faisceau électronique par exemple d'un cache partiel n'est pas considérée actuellement comme commode en pratique. L'utilisation de sources électroniques de densité élevée peut rendre possible ce type de traitement dans le futur. Essentieliement lorsque le film dcit titre utilisé comme réserve mais aussi lorsqu'il doit être utilisé comme cache, la résolution est améliorée lorsque la définition du dessin est réalisée à l'aide d'un faisceau programmé direct. La limite imposée au procédé mettant en oeuvre un cache est due à la diffraction par effet Rayleigh et aux autres pertes au niveau des bords du cache. Lorsque le dessin formé d'oxyde de fer est réalisé à l'aide d'un cache, une telle limite est imposée par le cache utilisé à ce stade.Lorsque le film d'oxyde de fer est utilisé lui-mêrne comme cache et non pas comme réserve directe, il apparait à ce stade une limite imposée par le même mécanisme En général, les pertes aux bords, introduites par le dessin d'oxyde de fer utilisé comme cache, sont faibles par rapport à celles des autres matières de cache, étant donné la possibilité d'utilisation de films minces, cette possibilité étant due en partie à l'excellent contraste assur par le film aux courtes longueurs d'onde.Les possibilités de dépôt et de traitement de films continus, par exemple jusqu a 200 A ou moins, suivant la technique de dépôt, suggèrent que les perte aux bords sont inférieures à celles des films formés par émulsion qui sont habituellement relativement épais. Les films traités selon l'invention ont une transparen- ce suffisante au moins à certaines longueurs d'onde du spectre visible, pour que le colle puisse être utilisé avec c-claire- ment par derrière, en transparence. Le spectre réel du film soluble ne varie que légèrement au cours du traitement. Les films produits d'une maniore ou d'une autre, par exemple par rupture oxydante de polyvinylferrocene ou par dépôt chimique en phase vapeur continuent à présenter leur réduction relative- ment progressive de transparence vers les courtes longueurs d'onde. dans le spectre visible.Tous les films traités selon l'invention sont suffisamment transparents pour qu'ils permettent un alignement visible dans les conditions de fabrication utilisables industriellement. Le développement réel du -film traité, portant un-dessin formé par un faisceau programmé owa l'aide d'un cache, est réalisé comme décrit par exemple dans l'article 1-0, Journal of the Electroehemical Society, 545 (Avril 1973). L'oxyde de fer soluble est considéré en ce qui concerne sa solubilité dans l'acide chlorhydrique 6N. L'insolubilisation suffit pour que le développement lui-m8me ne soit pas primordial. Des périodes bien supérieures à celles qui sont nécessaires pour le retrait des films solubles, dans diverses matières d'attaque, provoquent une réduction peu perceptible ou nulle de la matière insolubilisée. Le développement peut être réalisé à température ambiante, bien que la température puisse varier en fonction d'autres critères de traitement. On considère maintenant des exemples de mise en oeuvre de l'invention. A. On utilise comme ébauche une couche de fer oxydé o de 3 000 A d'épaisseur, formée sur du verre, par décomposition thermique de fer pentacarbonyle. Le dessin est formé à l'aide o d'un faisceau laser ionique à argon, fonctionnant à 5 145 A.La dimension du point focalisé correspond sensiblement a un diamètre de 3 microns. La densité d'énergie est d'environ 105 watts/ -mm2.La vitesse d'analyse eat d'environ 2 000 cm/s. Le développement (environ 3 minutes dans HOl 6N à température ambiante) provoque la formation d'un dessin dont lcs lignes ont une largetir d'environ 1 micron. B. L'ébauche polyvinylferrocene ayant un poids moléculaire moyen o d'environ 80 000. L'épaisseur d'oxyde est d'environ 2 000 A, et elle est obtenue par traitement d'un film precurseur en po- lymère appliqué en solution dans le benzène à la tournette. La formation du dessin met en oeuvre la source de l'exemple A. Le diamètre au faisceau est d'environ 700 microns, la densité d'énergie étant de l'ordre de 20 watts/tn2. Le temps d'exposition est de 15 secondes. Le développement par attaque est réalisé dans les mêmes conditions que dans l'exemple A.Cette expérience, réalisée pour qu'elle montre les possibilités d'utilisation d'énergie peu intense, provoque la formation d'un point insen similis d'environ 400 microns de diamètre. C. On suit un procédé analogue à celui de 11 exemple B, mais en utilisant un laser à rubis transmettant 2 kW/mm2 à 6 943 À, transmis en 2 ms. On forme ainsi des points insolubles de 3 min de diamètre. D. On suit un procédé analogue à celui de l'exemple B, mais en utilisant un laser à C02 à 10,6 microns, fonctionnant par impulsions à une fréquence de 100 impulsions par seconde, avec une durée d'exposition de 1 seconde. Les ésultats sont analogues à ceux qu'on obtient dans l'exemple C. E. Le film oxydé soluble est produit par oxydation de polyvinylferrocène de poids moléculaire élevé appliqué à la tournette dans du benzène, sur un substrat en silice fondue. c L'oxyde soluble a une épaisseur d'environ 2 000 A. La formation du dessin est réalisée atec une source électronique à filaments de tungstène, ayant pour caractéristiques : 10 kV, 10-7 A, et un diamètre de 1 00u A. Le faisceau balaie le film d'oxyde à raison de 0,4 cm/s environ. Après irradiation, on immerge le film dans une solution 6N d'aide chlorhydrique à température ambiante pendant une période de 3 minutes environ. On rince alors le substrat et le revêtement et on les sèche. La résolution du dessin est meilleure que 1 micron. F. L'ébauche comprend une couche d'oxyde de fer solu o ble de 3 000 A d'épaisseur, sur un substrat de verre, la couche étant formée par dépit chimique en phase vapeur à partir de fer pentacarbonyle. Un faisceau électronique programmé, formé aussi par une source à filaments de tungstène, balaie ltébauche à 25 cm/s environ. La tension accélératrice est aussi de 10 kV environ, et l'intensité d'environ 4.10 7 A. Le dessin formé après développement, comme dans l'exemple E, a une largeur de ligne d'environ 1,5 micron et une résolution qui est encore meilleure que 1 micron environ. G. On suit le procédé de l'exemple F mais en utilisant une tension accélératrice de 20 kV. Les résultats sont analogues mais il apparaît un certain élargissement de la ligne, qui prend une épaisseur de 2 microns environ. H. On remet en oeuvre le procédé de l'exemple G, avec une réduction du courant du faisc au à 2.10 7 A, avec une vitesse de balayage de 100 mm/s. La largeur de la ligne dans le dessin développé est d'environ 1 micron. I. On réalise un dessin de réserve dans un film solu o ble d'oxyde de 3 000 A d'épaisseur, sur une plaquette de silicium ayant un film passivant de silice formé thermiquement et de 2000 d'épaisseur. Les caractéristiques du faisceau sont 20 kV 4.10-7 A et une vitesse de balavage de 250 mm/s. Le de 20 kV, 4.10 7 A et une vitesse de balayage de 250 mmXs. Le dessin résultant présente une largeur de trait d'environ 1,5 micron. Il est bien entendu que l'invention n' été décrite et représentée qu'à titre d'exemple préférentiel et qu'on pourra apporter toute équivalence technique dans ses éléments constitutifs sans pour'autant sortir de son cadre. REVENDICATIONS 1. Procédé de réalisatiool d'un filon formant un dessin, supporté par un substrat, et ayant une-composition qui contient du fer oxydé, le procédé comprenant le retrait de parties d'un film continu contenant du fer oxydé sur un substrat. par dis solution dans un solvant, le film, avant formation du dessin, étant suffisamment soluble pour qu'une épaisseur de 1 micron du film soit retirée par dissolution en solution aqueuse d'acide chlorhydrique 6N en 1 heure à température ambiante, ledit procédé étant caractérisé en ce qui comprend la formation du dessin sur le film continu par irradiation sélective de parties du film à l'aide d'énergie, de ânière que les parties irradiées deviennent relativement insolubles, les parties irradiées correspondant au dessin voulu, le retrait sélectif étant assu ré par traitement du film dans sa totalité avec un solvant de manière que les parties non irradiées du film soient retirées et que le film formant le dessin voulu soit conservé. 2. Procédé selon lirevendication 1 , caractérisé en ce qu'il comprend la délimitation des parties formant le dessin par les orifices d'un cache. 3. Procédé selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que l'énergie est pratiquement sous forme collimatée. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend le balayage d'énergie sensiblement collimatée sur des parties successives de la région du film qui correspondent au dessin voulu. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérwsé en ce qu'il comprend la réalisatlon d'irradiation sélective avec de l'énergie d'ondes électromagnétiques. 6. Procédé selon les revendications 4 et 5 prises en semble, caractérisé en ce qu'il comprend la réduction brutale de l'amplitude de l'énergie des ondes électromagnétiques à certains intervalles, cette réduction correspondant aux limites du dessin voulu. 7. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en e qutil comprend la réalisation de l'irradiation de minière que 1' énergie des ondes t'lectromagnétiques parvienne sinultanément sur pratiquement la totalité d'un cache dont les orifices délimitent les parties qui forment le dessin. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 5 à 7, caractérisé en ce que l'énergie des ondes électromagné- tiques est à une longueur d'onde appartenant au spectre infrarouge ou visible. 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'il comprend l'utilisation d'énergie d'ondes électromagné o tiques ayant une longueur d'onde maximale à 5 500 A environ. 10. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que l'énergie des ondes électromagnétiques est au moins en partie focalisée et délimite un point ds imension comprise en tre 1 a 2 et plusieurs millimètres carrés, une partie quel- conque du dessin étant exposée pendant un temps compris entre 50 ns et 5 minutes, la densité d'énergie dans le point étant au moins égale à 1 W/mm2. 11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce qu'il comprend le balayage de parties successives d'une region du film avec des ondes électromagnétiques essentiellement focalisées, à une vitesse au moins égale à 0,1 cm/s, et une densité d'énergie au moins égale à 3.102 W/mm2. 12. Procédé selon la revendication 11, caractérisé ert ce qu'il comprend le réglage de la vitesse de balayage entre 0,1 et 2000 cm/s, le réglage de la densité d'énergie entre 3.102 et 1.105 W/mm2. 13. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comprend l7irradiation avec une énergie sous forme d'un faisceau d'électrons accélérés à une tension suffisante pour que les électrons pénètrent notablement sur toute l'épaisseur du film. 14. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce qu'il comprend ltirradiation sélective du fil d'épaisseur o comprise entre 500 A et 1 micron environ, avec des électrons accélérés, la tension accélératrice étant choisie à une valeur sensiblement de l'ordre de Va donnée par l'équation Z = 0,046Va 1,75 # Z étant l'épaisseur du film exprimée en microns, # étant poids spécifique expriirle en g/cm3 et Va étant la tension accé- lératrice exprimée en kV. 15. Procédé selon l'une des revendications 13 et 14, caractérise en ce qu'il comprend le réglage de la densité de courant du faisceau de l'électron accéléré de manière qu'elle soit au moins égale à 5.103 A/c-r.2, le produit énergétique dans le film, dû à l'irradiation, correspondant à au moins 2.10 coulombs ar centimètre carre. 16. Procédé selon l'une quelconque des revendications 13 à 15, caractérisé en ce qu'il comprend le substrat h l'état non chauffé, par mise en oeuvre d'un procédé différent d'une ir radiation électronique. 17. Procédé selon l'une quelconque des revendications ,3 à 15. caractérisé en ce qu'il comprend le maintien du subtrat à température élevée pendant irradiation. 18. Procédé selon la revendication 17, caractérisé en ce que le substrat est maintenu à une température inférieure ou égale à 400 C environ. 19. Produit, caractérisé en ce qu'il est formé par mise on couvre d'un procédé selon l'une quelconque dc revendications précédentes.