Brevet FR2212556A1 — publié le 19740726

L'invention concerte un r-ocEdc de mise au poi tzrécise diun objectif relativement à des surfaces rugueuses-ou lisses, ainsi que des dispositifs mettant en oeuvre ce procédé. On connaît déjà différents procédés permettent de mesurer des distances par voie optico-électronique, ou de mettre au point des objectifs sur des distances quelconques0 On utilise à cet effet des lunettes à un seul objectif munies d'appareils auxiliaires, ou des lunettes doubles à axes d'observation distants l'un de l'autre. La coincidence des images fournies par les pu pilles ptiques, où le contraste maximum du réglage d'image, est enregistré au moyen d'un dispositif d'exploration photo-électrique. La présente invention se propose de fournir un procédé de mise au point d'un objectif relativement à une surface, mais en vue de palpage sans contact de cette surface, ainsi que des dispositifs mettant en oeuvre ce procédé, qui peuvent trouver application tant pour des surfaces réfléchissantes non structurées que pour des surfaces rugueuses, notamment en métrologie. Dans un procédé du genre mentionné dans l'introduction, l'invention consiste en ce que l'image d'un objet est formée, sur un parcours incluant le trajet objectif-objet de mesure, de façon qu'il se forme une image nette de l'objet sur au moins un réseau pour deux distances différentes de l'otjet, que les flux lumineux quittant le ou les réseaux subissent sur le réseau une modulation de brillance variable dans le temps et sont ensuite exploités par voie photo-électrique, et que la mise au point de l'objectif est commandée en fonction du signal d'exploitation, de telle sorte que les degrés de modulation des signaux associés aux deux images nettes de l'objet présentent un rapport prédéterminé. D'autres variantes du procédé et des dispositifs conformes à l'invention sont caractérisés dans les sous-revendlcatlons. L'invention est décrite ci-aprs de façon plus détaillée en référence aux dessins schématiques annexés, donnés à titre d'exemples de réalisation et dans lesquels : Fig. 1 représente un dispositif avec deux images de l'objet et deux réseaux séparés pour le palpage de surfaces rugueuses; Fig. 2 représente un dispositif pour le palpage de surfaces rugueuses, comportant une plaque biréfringnnte de dissociation d'image; Fig,- 3 représente un dispositif pour le palpage de surfaces rugueuse avc une lentille bifocale de dissociation d'image; Fig. 4 représente un dispositif pour le palpage de surfaces rugueuses avec deux réseaux accolés l'un derrière l'autre;; Fig. 5 représente un dispositif pour -le palpage de surfaces rugueuses avec deux réseaux échelonnés juxtaposés; Fig. 6 représente un dispositif pour le palpage de surfaces rugueuses avec un réseau à mouvement périodique; Fig. 7 représente un dispositif pour le palpage de surfaces rugueuses avec un réseau sans direction privilégiée de diffraction. Fig. 8 représente un dispositif pour le palpage de surfaces lisses avec reproduction successive de l'image d'un réseau sur l'objet mesuré et sur un deuxième réseau; Fig. 9 représente un dispositif pour le palpage de surfaces lisses avec un prisme de Wollaston et un réseau; Fig. 10 représente un dispositif pour le palpage de surfaces lisses avec une structure diffractrice supprimant dans une large mesure la diffraction d'ordre nul.. Fig. 11 représente un dispositif pour le palpage de surfaces lisses avec deux plaques de dispersion identiques; Dans la fig. 1, l'image d'un objet statistique 1 à surface rugueuse devant être mesuré est projetée, au moyen d'une optique 2 et d'un diviseur de rayons 3, dans deux plans d'image séparés, qui se trouvent au voisinage de deux réseaux 4 et 5. L'optique peut être ajustée de telle façon que l'une des images se trouve un peu avant le réseau 4 en direction des rayons et l'autre image un peu en arrière du réseau 5, ou vice-versa.Des optiques convergentes 22,23 amènent à deux récepteurs photo-électriques 6, 7 les flux lumineux filtrés sur les réseaux 4,5. Par un mouve- ment transversal relatif entre les images de l'objet et les seaux, par exemple par suite de tremblements de la main- de l'uti- lisateur du dispositif, les flux lu'r::.ineux subissent sur les réseaux une- modulation variable dans le temps. è degré de trodula- tion dépend de la distance comprise entre le plan d'image etJe plan du réseau et passe par un maximum lorsque ces deux plats coincident. En raison de la disposition décrite, il est clair que les degrés de modulation des signaux de sortie des r4cette'-irs 6 et 7 passent l'un aprs l'autre par leurs maxima pendant a foca- 'isation de l'ontique 2. l'optique est focalisée de façon nua oes deux degrés de modulation présentent entre eux un rapport prédéterminé, par exemple soient égaux.Par suite de la raideur des flancs des courbes de discrimination, la focalisation est dans ce cas particulièrement sensible et ajustable avec précision. a- près l'allure de sens opposé des deux courbes dans la zone du rapport prédéterminé entre les degrés de modulation, on peut définir le signe algébrique de l'écart séparant la focalisation instantanée de la valeur de consigne désirée, La fig. 2 représente une variante du dispositif sus-décrit, dans laquelle l'image d'un objet 1 est projetée dans deux plans d'lmage très voisins au moyen d'une optique 2, ainsi que dlune plaque biréfringente 8 produisant deux flux lumineux de polarisation complémentaires.- Entre les deux plans d'image est disposé un réseau 4', dont l'Ordre de diffraction +1 est séparé par filtrage au moyen d'un diaphragme filtrant de fréquence locale 9, logé à l'intérieur de l'optique 2.Après le filtrage sur le réseau 4', les flux lumineux de polarisation complémentaires des deux images sont amenés respectivement, chacun par un diviseur polarisant 10 et une optique convergente 11, a' un groupe de récepteurs photoélectriques 6',7s. Les récepteurs de chaque groupe sont.disposés de telle manière que les fractions de flux lumineux différemment diffractées sur le réseau produisent des signaux électriques en opposition de phase. Ces signaux sont utilisés de manière connue, par exemple en combinaison avec un amplificateur push-pull; pour supprimer les fractions parasites de signaux avec la même phase. Avec ce dispositif, un mouvement relatif objet-optique détermine comme précédemment un mouvement transversal relatif entre le réseau et les deux images. Les signaux électriques prenant naissance aux sorties des récepteurs 6',7' sont équIvalents å ceux du dispositif suivant la fig. 1 et sont exploités de manière analo grue. Dans le dispositif selon la fig. 3, l'image de l'objet 1 est reproduite, au moyen d'un élément bifocal 2' de l'optique 2, dans deux plans d'image se trouvant au voisinage at de part et d'autre d'un réseau 4'. La division polarisante selon la fig. 2 est supprimée dans ce dispositif, dans lequel les flux lumineux sont amenés directemént, par une optique convergente 11, a' des récepteurs photo-électriques correspondants 6,7. Pour le reste, ce dispositif est équivalent à'celui de la fig. 2 dans son agencement et sa fonction. Le dispositif représenté dans la fig. 4 est prévu pour des objets de mesure qui diffractent uniformément la lumière en quatre directIons au moins. L'image de l'objet 1 n'est projetée qu'une fois, mais le dispositif comporte deux réseaux 4",5", qui nossèdent des directions de division différentes et sont placés sur différents côtés au voisinage du plan d'image. A l'intérieur de l'optique de projection 2 est monté un diaphragme de filtrage de fréquence locale 9', adapté aux situations des ordres de diffraction des deux réseaux 4",5". Deux groupes de récepteurs photoélectriques 6' et 7', destinés à convertir les modulations des flux lumirLeux filtrés sur les réseaux 4",5", sont imbriqués l'un dans l'autre dans ce dispositif et reçoivent la lumière par uné lentille convergente 11. Avec ce dispositif, la mise au point de l'optique 2 est réalisée, comme indiqué plus haut, par exemple par un équilibrage sur une modulation de signal identique des courbes de discrimination correspondant aux deux réseaux0 Avec la variante du dispositif représenté dans la fig. 5, on obtient les deux courbes de discrimination précitées déphasées, grâce à deux réseaux 4",5" échelonnés en direction de l'axe optique. A chacun des-deux réseaux sont associés un condenseur 11',11" et un groupe de récepteurs photo-électriques et, aux deux réseaux, est associé un diaphragme de filtrage de fréquence locale commun 9. La fonction de ce dispositif est la meme que celle des variantes déjà décrites. Avec un seul réseau 4"' et une reproduction simple de 1 'ima- ge de l'objet de mesure 1, on peut se contenter, en montant dépla çable ce réseau 4"' , de prévoir, par exemple, un entralnement par solénorde 12 (Fig. 6). Lorsque cet entraînement agit~par oscilla- tions périodiques obliquement par. rapport a l'axe optique, le mouvement transversal relatif du réseau 4"' en vue de la production de la modulation des signaux variable dans le temps est assuré simultanément.Au réseau est associé, par l'intermédiaire d'un condenseur 11, un récepteur photo-électrique unique 6", dont la sortie est connectée alternativement à deux discriminateurs, en concordance de phase avec les positiqns extrêmes du réseau 4"'. Pour le reste, ce dispositif équivaut à celui de la fig. 2 dans son montage et sa fonction. Outre les moyens sus-décrits, on peut faire appel aux moyens suivants pour produire la modulation des signaux variable dans le temps a) par un mouvement transversal propre des objets mesurés, b) par un mouvement transversal imprimé mécaniquement au(ou aux)réseatD de référence, c) -par un mouvement transversal du réseau de référence, agencé en onde ultrasonore se déplaçant dans un liquide, d par l'utilisation comme structure de référence d'une cellule cristalline liquide, à laquelle est appliquée une tension alternative directrice, e) par un décalage de l'image par rapport au réseau de référen ce au moyen d'un miroir oscillant et/ou d'une plaque plane déplacée dans le parcours convergent des rayons et/ou d'une lentille oscillante, f) par un déphasage en fonction du temps entre différentes com posantes des rayons dans le plan de FOURIER, g) par utilisation d'un laser à deux fréquences pour l'éclaire- ment de l'objet. L'utilisation d'un réseau de référence comportant seulement une structure à une corrdonnée pour la corrélation avec des structures de mesure correspondantes entraîne, en combinaison avec le diaphragme filtrant de fréquence locale associé, une mise à pro fit peu économique de la quantité de lumière partant de la structure mesurée. La figure 7 représente un dispositif analogue à celui de la fig. 2, qui permet d'utiliser la lumière dispersée dans tous les azimuts. Le réseau de référence 20 est agencé dans ce cas en réseau de diffraction à constante uniforme et à cône de dispersion symétrique en rotation. Un réseau de ce genre peut être réalisé, par exemple,au moyen de petites billes de diamètre uniforme appliquées en répartition statistique sur une plaque de verre.Le réseau ainsi obtenu peut être utilisé aussi bien comme original que comme matrice. Le diaphragme filtrant de fréquence locale 21 et les groupes de récepteurs photo-électriques 22,23 sont adaptés au réseau 20 et munis respectivement d'un interstice annulaire et de surfaces réceptrices en forme d'anneaux. La fig. 8 montre un dispositif destiné à l'exploratIon de surfaces réfléchissantes. Etant donDé que ces surfaces en tant qu'objets de mesure non structurés ne produisent elles-memes aucun signal de mesure lorsqu'ellessont reproduites sur un réseau, il est prévu un réseau auxiliaire 1', dont l'image est projetée d'abord, par une optique 2t' et un diviseur de rayons 3', sur la surface de mesure 1, puis, après réflexion, sur le réseau de référence 4', au moyen de ce même diviseur 3', d'une optique 13 venant à la suite, ainsi que d'une plaque de quartz 8. Après le réseau de référerce 4' sont montés un diviseur polarisant 10, un condenseur 11 et un groupe de récepteurs photo-électriques 6',7'. La fonction de ce dispositif est analogue à celle du dispositif représenté dans la fig. 2. C'est seulement pour compléter le dessin qu'on y a fait figurer les composants montés à la suite du diviseur 3'. Ces composants peuvent être remplacés toùtefois par l'un quelconque des dispositifs correspondants déjà décrits. Contrairement aux dispositifs décrits en référence aux fig. 1 à 7, on ne peut pas déterminer à partir de la fréquence des signaux, avec le dispositif représenté dans la fig. 8, la vitesse transversale de l'objet de la mesure, car cette fréquence dépend dans ce cas d'un mouvement du réseau auxiliaire 1'.Il faut signaler qu'on peut modifier le dispositif représenté en prévoyant dans le parcours des rayons un polariseur rotatif, qui commute alternativement le-parcours des rayons de mesure sur différentes directions de polarisation. Le diviseur polarisant 10 peut être alors supprimé. Contrairement au dispositif suivant la fig. 8, le dispositif représenté dans la fig. 9 est pourvu d'un seul réseau pour l'ex-- ploration de surfaces lisses. L'objet 1 est éclairé par une lampe 14 placée sur le côté du parcours principal des rayons, au moyen d'un condenseur 15, d'un miroir de-déviation 16, d'une optique 2"' et d'un prisme 17 dissociant les rayons en fonction de la po- larisation. Les faisceaux de rayons réfléchis sur l'objet 1 traversent de nouveau le prisme 17 et l'optique 2"' , passent latéralement devant le miroirde déviation 16 et par les ouvertures d'un diaphragme filtrant en série 9". A la suite de chacune de ces ou vertures est montée une lame A , orientée respectivement à +450 4, et -45 par rapport au prisme 17; ces lames convertissent en po iarisation circulaire la polarisation linéaire des faisceaux lumineux incidents. Les faisceaux lumineux projetés sont dissociés par une plaque de quartz 8 orientée à 450 par rapport au prisme ,7 et sont amené., au moyen d'une autre optique 13 au réseau de référence 4'. les flux lumineux modulés prenant ainsi naissance sont exploites à la manière déJa décrite (voir la fig. 2), à l'aide d'un d viseur-polarisant 10, d'une optique convergente 11 et de deux groupes de récepteurs rhoto-électriques 6',7'.Les plans de mise au point placés différemment par rapport au réseau de référence 4' sont créés dans ce dispositif par la plaque de quartz 8. La fig. 10 représente un dispositif dans lequel un réseau 4" est projeté sur lui-même au moyen d'une optique afocale 2 par l'intermédiaire de l'objet 1 et d'une plaque de quartz 8. Le réseau 4" peut être un réseau régulier ou une plaque dépolie crépon dant autant que possible à la condition + en vue de l'effacement de l'ordre de diffraction nul. Au point focal commun des deux composantes de l'optique afocale 2, il peut entre prévu en supplément un diaphragme d'arrêt 24 pour améliorer l'effacement de l'ordre nul. L'exploitation des flux lumineux modulés est effectuée comme précedemment par un diviseur polariaant 10, une optique convergente Il et deux groupes de récepteurs photo-électriques 6,7. Le dispositif représenté dans ia fig. 11 correspond à celui de la fig. 8 à la seule différence que les réseaux 1' et 4' (fig. 8) sont remplacés par deux plaques dépolies identiques 1',4'. Les distances comprises entre les composantes de l'optique 2" et les éléments de construction 1',1,3" et 4' doivent correspondre aux distances focales de ces composants. REVENDICATIONS 1. Procédé de mise au point précise d'un objectif relativement à des surfaces rugueuses ou lisses, caractérisé en ce que l'image d'un objet (iiî',4',17) est reproduite sur un parcours incluant letrajet obåectif-objet de mesure, de façon qu'il se forme une image nette de l'objet sur au moins un réseau (4,5; 4',5';; 4",5ni lu"',20) pour deux distances différentes de l'objet, en ce que les flux lumineux quittant-le ou les réseaux subissent sur le réseau une modulation de brillance variable dans le temps et sont ensuite exploités par voie photo-électrique, et en ce que la mise-au point de l'objectif est commandée en fonction du signal d'exploitation, de telle sorte que les degrés de modulation des signaux associés aux deux images nettes de l'objet présentent un rapport prédéterminé. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la modulation de brillance variable dans le temps des flux lumi neut est produite par un mouvement transversal relatif entre l'image de l'obJet et le réseau correspondant. 3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la modulation de brillance variable dans le temps des flux lumineux est produite par l'utilisation d'un éclairement avec plan de polarisation rotatif. 4. Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon 11 une quelconque des revendications 1 à 3, en vue du palpage- -de surfaces rugueuses, caractérise en ce qu'il comprend une optique (2) reproduisant l'image de l'objet (1) dans deux plans d'image différents, présentant un parcours de rayons de préférence parallèle et contenant un diviseur de rayons (3), en ce qu'en direction du parcours des rayons sont montés des réseaux (4,5) respectivement un peu avant l'un des plans d'image et un peu après l'autre plan d'image, et en ce qu'à chaque réseau est associé au moins un récepteur photo-électrique (6,7; 6',7'). 5. Dispositif pour.-la mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3 en vue du palpage de surfaces rugueuses, caractérisé en ce qu'il comprend une optique (2), de préférence à parcours parallaxe des rayons, reproduisant l'image de l'objet (1) dans deux plans d'image se suivant de près en combinaison avec une plaque biréfringente (8) en ce qu'en supplément un diaphragme filtrant de fréquence locale adapté (9,9') est monté à l'intérieur de cette optique (2), en ce qu'il est prévu un réseau (4') entre les deux plans d'image et en ce qu'à la suite des plans d'image est installé un diviseur polari- sant (10), dont les deux sorties sont associées, au moyen d'une optique convergente (1?), à au moins un récepteur photo-électrique (6',7'). 6. Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3 en vue du palpage 9e surfaces rugueuses, caractérisé en ce qu'il est prévu une optique (2), de préférence à parcours de rayons parallèle, reproduisant l'objet (1) dans deux plans d'image se suivant de près et contenant un élément de construction bifocal (2'), en ce qutà l'intérieur de l'optique est monté un diaphragme filtrant de fréquence locale adapté (9), en ce qu'entre les deux plans d'image est installé un réseau (4'), et en ce qu'à chaque plan d'image est associé, au moyen d'une optique convergente (11), un groupe de récepteurs photo-électriques (6,7). 7. Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une des revendications 1 à 3 et ainsi que selon l'une des revendications 5 ou 6 en vue du palpage de surfaces rugueuses, caractérisé en ce qu'au lieu des plans d'image sont montés très près l'un derrière l'autre deux réseaux (4",5"), dont les directions de division ne sont pas orientées parallèlement entre elles. 8. Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3 en vue du palpage de surfaces rugueuses, caractérisé en ce qu'il comprend une optique (2) projetant objet (1) dans un plan d'image au moyen d'un parcours de rayons de préférence parallèle, en ce qu'au lieu du plan d'image, transversalement de part et d'autre de l'axe optique, sont disposés des réseaux (411,511), dont les plans incluarlt le plan d'image se trouvent très près l'un derrière l'autre, en ce qu'à l'intérieur de l'optique (2) est monté un diaphragme filtrant de fréquence locale (9) adapté aux deux réseaux (4",5"), et en ce qu'à chaque réseau (4",5") est associé, par l'intermédiaire d'une optique convergente (1',1"), au moins un récepteur photo-élec trique (6,75. 9. Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3 en vue du palpage de slzrfa- ces rugueuses, caractérisé en ce qu'il comprend une optique (2) projetant l'objet (1) dans un plan d'image-au moyen d'un parcours de rayons de préférence parallèle, en ce qu'à l'endroit du plan d'large est disposé un réseau (4") susceptible d'être déplacé périodiquement en alternance dans deux plans très voisins par un entraînement mécanique (12), et en ce qu'au réseau est associé, par l'intermédiaire d'une optique convergente, au moins un récepteur photo-électrique (6!') interrogé en concordance de phase avec le mouvement du réseau. 10. Dispositif selon la revendication 9, caractérisé par un système d'entraînement qui déplace le réseau (4" à la fois longitudinalement et transversalement par rapport à l'axe optique 11. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'en plus du décalage en profondeur des images de l'objet, la plaque biréfringente (8) détermine un décalage transversal par (2n + 1) rapport à l'axe optique de 4 périodes (n = nombre entier) du réseau (4') et en ce qu'aux récepteurs photo-électriques (6,7) est raccordé un étage d'exploitation de phase fournissant des informations au sujet de la grandeur et la direction d'un mouvement transversal de l'objet (1). 12. Dispositif selon la revendication 5 ou 7, caractérisé en ce que le diaphragme filtrant de fréquence locale contient des éléments de construction optiques produisant entre les ouvertures correspondantes l'une à l'autre du diaphragme filtrant de fréquence locale (9,9') un déphasage dépendant de la polarisation de (2n + 1/4) de la longueur d'onde lumineuse > utilisée, et en ce qu'aux récepteurs photo-éiectriques (6,7,6',7') est raccordé un étage d'exploitation de phase fournissant supplémentairement des informations sur la grandeur et la direction d'un mouvement transversai de l'objet (1). 13. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que le réseau (20) est agencé sans direction de diffraction privilégiée et en ce qu'an conséquence le diaphragme filtrant de fré-quence locale (21) est muni d'un interstice annulaire de diamètre approprié et les récepteurs photo-électriques (22,23) de surfaces réceptrices en forme d'anneaux. 14. Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon l'u- ne quelconque des revendications 1 à 3, en vue du palpage de surfaces lisses, caractérisé en ce qu'il comprend une optique (2") de préférence à parcours de rayons pariie"Ie, reproduisant l'image d'un réseau (1') sur l'objet de mesure (1), en ce qu'un diviseur (3') est monté-dans le parcours des rayons entre le réseau et l'objet, et en ce qu'à la suite du diviseur, en direction opposée à l'objet, est installé un dispositif de projection et d'exploitation, par exemple conforme à l'une quelconque des revendications 5,6,9 ou 10. 15. Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3 en vue du palpåge de surfaces lisses, caractérisé en ce que,, pour la production d'un parcours de rayons de préférence parallèle, il est prévu une source lumineuse (14), un condenseur (15), un miroir de dé viation -(16) et une optique (2"g, en ce qu'à la suite est monté un prisme (17) dissociant les rayons en fonction de la polarisation et dirigeant ce parcours de rayons sur la surface à mesurer (1), ledit prisme étant suivi d'un diaphragme filtrant de fréquence locale (g"), de préférence par l'intermédiaire d'un parcours de rayons autocollimateur passant par le prisme-(17) et l'optique (2t'), en ce que le miroir de déviation (16) se trouve sur l'axe optique de l'optique (2"'), en ce qu'à la suite de chacune des deux ousertures du diaphragme filtrant (9") est montée une lame b (18,19) orientée respectivement à +450 et -450 par rapport au prisme (17), en ce qu'il est prévu une autre optique (13) reproduisant la surface à mesurer (1), en combinaison avec une plaque biréfringente (8), dans deux plans d'image se suivant de près, en ce qu'entre les deux plans d'image est intercalé un réseau (4') et en ce qu'aux plans image fait suite un diviseur polarisant (10), dont les' deux sorties sont associées chacune à un groupe de récepteurs photo-électriques (,7') par l'intermédiaire d'une optique convergente (11). 16. Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3 en vue de l'exploration de surfaces lisses, caractérisé en ce qu'il comprend une optique afocale (2)- projetant la structure diffractive (4"), avec: suppres- sion dans une large mesure de l'ordre de diffraction nul, au moyen d'une plaque biréfringente (8) et la surface à mesurer (1) en autocollimation dans deux plans dtimage situés à son voisinage immédiat de différents côtés, ladite optique afocale étant suivie d'un diviseur polarisant (10), dont les deux sorties sont associées chacune à un groupe de récepteurs photo-électriques (6 ,7 ) par l'intermédiaire d'une optique convergente (îî). 17. Dispositif selon la revendication 16, caractérisé en ce qu'un diaphragme (24) est prévu à l'intérieur de l'optique afocale (2) pour l'effacement de l'ordre de diffraction nul. 18. Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3 en vue du palpage de surfacés lisses, caractérisé par une optique (2") pour projeter une structure diffractive (1') en utilisant un miroir de déviation semi-translucide (3"), sur l'objet à mesurer (î) de préférence en autocóllimation, et sur une plaque biréfringente (8) dans deux plans, entre lesquels se trouve une deuxième structure diffractive (4') identique à la structure (1'), et à chacun desquels est associé, par l'intermédiaire d'un diviseur polarisant (10) et d'une optique convergente (îî), un groupe de récepteurs photo-électriques (6',?'). 19. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 3 et 8 à 16, caractérisé en ce que, pour la projection de deux images, on utilise, à la place de la plaque biréfringente et du diviseur polarisant, une optique à fort écart de longueur de couleur en combinaison avec un diviseur de couleurs.