Brevet FR2210761A1 — publié le 19740712

La présente invention concerne un procédé pour contrôler lté- paisseur d'une pellicule métallique. Un procédé conforme à l'invention consiste à utiliser la pellicule métallique pour compléter le circuit magnétique d'un enroulement faisant partie d'un oscillateur dont la fréquence est supérieure à 1 MHz, de sorte que l'épaisseur de la pellicule détermine 1' ampli- tude des signaux de sortie de l'oscillateur, et à mesurer ladite amplitude. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple, et faite par référence aux dessins annexés, sur lesquels - la Pig.l est un schéma du circuit utilisé pour la mise en oeuvre de l'invention; - la Fig.2 représente un détail du montage utilisé. Sn se référant aux dessins, on veut mesurer l'épaisseur d'une pellicule métallique déposée sur une bande 11 qui est utilisée pour fabriquer un condensateur. La bande 11 déroulée d'une bobine 12 et enroulée autour d'une seconde bobine 13 après avoir traversé l'entrefer séparant les deux parties 14 et 15 d'un circuit magnétique. La partie 14 est en forme de cuvette avec une saillie centrale autour de laquelle est bobiné en un enroulement 16, la partie 15 pouvant avoir une forme appropriée quelconque, bien que, sur la Fiv.2, elle ait la même forme que la partie 14.Le circuit magnétique, qui comprend les deux parties 14 et 15 est complété au moyen de la bande 11, de sorte que ltépaisseur de la pellicule métallique déposée sur la bande 11 établit le couplage entre les parties 14 et 15. Sur la Fig.l, la borne négative d'une batterie 17 est connec tée à une ligne d'alimentation 18 et sa borne positive est connectée à la ligne 18 par l'intermédiaire d'une résistance 19 et d'un condensateur 21 montés en série. La jonction de la résistance 19 et. du condensateur 21 est connectée à une ligne d'alimentation positive 22. Une extrémité de l'enroulement 16 est connectée à la ligne 22J son autre extrémité étant connectée au collecteur d'un transistor n-p-n- 23 dont l'émetteur est connecté à la jonction de deux condensateurs variables 24 et 25 montés en série aux bornes de ltenroule- ment 16. L'émetteur du transistor 23 est également connecté à la ligne 188 par l'intermédiaire d'une résistance 26, et sa base 23 est connectée à la ligne 18 par l'intermédiaire d'un condensateur 27, ainsi qu'à la jonction de deux résistances 28 et 29 montées en série entre les lignes 22 et 18.Un point variable sur la résistance 26 est connecté, par l'intermédiaire d'une résistance 31, à la borne d'inversion d'un amplificateur opérationnel 32 qui présente une boucle de réaction constituée par une résistance 33. La borne de sortie de l'amplificateur 32 est connectée à une borne 34 à partir de laquelle le signal de sortie du circuit est prélevé et transmis à un appareil d'enregistrement ou de mesure. le transistor 23 et les composants qui lui sont associés, constituent un oscillateur de forme connue dont la fréquence est supérieure à 1 MXz. L'amplitude du signal présent aux bornes de la résistance 26 dépend de l'épaisseur de la pellicule métallique sur la bande 11, de sorte que le signal de sortie à la borne 34 donne une indication de cette épaisseur. De préf6rence, la bande 11 s'enroule de façon continue depuis la bobine 12 sur la bobine 13, pour permettre une lecture continue de l'épaisseur de la pellicule. - REVENDICATION Procédé pour contrôler l'épaisseur d'une pellicule métallique, caractérisé en ce qu'il consiste à utiliser la pellicule pour compléter le circuit magnétique d'un enroulement faisant partie d'un oscillateur dont la fréquence est supérieure à 1 MEz, de sorte que l'épaisseur de la pellicule détermine l'amplitude du signal de sortie de l'oscillateur,et à mesurer ladite amplitude.