Brevet FR2240528A1 — publié le 19750307

La présente invention concerne un procédé de realisation de barrières d'isolement à section sensiblement rectangulaire entre régions d'un dispositif semiconducteur réalisé partir d une plir- quette en silicium dont elles affleurent la face active. On sait que# les différents- composants répartis sur une meme plaquette semiconductrice sont sépares les uns des autres par des éléments d'isolement de forme allongée qui constituent généralement des réseaux orthogonaux. On sait aussi que la tendance actuelle du développement des dispositifs semiconducteurs est vers une miniaturisation des plus pouss#ées qui permette d'augmenter la densité des composants réunis sur une meme plaquette. De ce fait, on souhaits que les réseaux d'isolement occupent sur la surface du dispositif l'aire la plus faible possible. il est souvent avantageux de réaliser ltisolement des différents dispositifs créés sur une plaquette semiconductriee, notamment l'isolement des circuits intégrés, au moyen de barrières crééss dans des logements creusés dans la substance semiconduc triee et de substances isolantes. par exemple, dans le brevet français 1 527 898 intitulé "Agencement de dispositifs semiconducteurs portés sur un support commun et son procédé de fabrication1' déposé par la Demanderesse, on décrit un procédé selon lequel des logements sont creusés par attaque chimique localisée, du silicium par exemple, par un mélange d'acide nitrique et d'acide fiuorhydrique. Les parois desdits logements sont ensuite recouvertes d'une couche isolante, puis l'espace vacant est comblé par le dépit de-substances adéquates. Ce procédé présente toutefois des inconvénients. En particulier il a été Jusqu'à présent impossible de le réaliser avec des barrières ayant un profil rectangulaire. En eflf~et, on sait que les attaques par voie chimique des substances cristallisées dépendent énormément des plans cristallins et des directions cristallines. Or, excepté quelques directions privilégiées, situées dans des plans cristallographiques qu'il est incommode et inhabituel d'uti liser, cane peut obtenir par voie chimique des creusures à profil rectangulaire. De plus, les-directions privilégiées étant rarement orthogonales il n'est pas possible de constituer des réseaux orthogonaux. Le profil des creusures obtenues par voie chimique, dans des plans et des directions utilisables pour créer des barrières d'isolement est très éloigné de la forme rectangulaire et la largeur en surface du logement étant toujours très supérieure à sa profondeur, l'aire occupée par la barrière d'isolement est élevée. Par exemple, si le plan de la face active, à partir de la 111 quelle l'attaque est effectuée est parallèle au plan cristallin, la gravure s'étend sous la couche de protection et la largeur de cette gravure intempestive, dite sous-gravure, est extrêmement importante : grossièrement, elle est égale à la profondeur dudit logement ; la largeur dudit logement à la surface du dispositif est donc égale à la somme de la largeur de la fenêtre pratiquée dans la couche de protection et de deux fois la profondeur dudit logement. Donc, le profil de la creusure a une forme grosssièrement ovale. Par contre, si l'on choisit pour la face active du dispositif une surface parallèle au plan dit 100, et que l'on effectue l'attaque à la potasse ou avec une substance organique, la sous-gravure est très faible, mais le profil du logement a la forme d'un triangle dont la base est de l'ordre de 1,4 fois la hauteur. Le fait que les logements obtenus par ces procédés aient des parois inclinées présente aussi des inconvénients. En effet, pour éviter les opérations de dépôt, on a proposé de combler les logements pratiqués dans le silicium, par une oxydation du silicium avoisinant La face active de la plaquette est recouverte d'une pellicule étanche à l'oxygène. La substance étanche à oxygène habituellement utilisée est le nitrure de silicium ; mais, pour éviter la présence d'états de surface, il est nécessaire de faire précéder le dépôt de nitrure par la création, sous oxygène sec, d'une sous-couche d'oxyde thermique de bonne qualité.De plus, comme l'attaque chimique du nitrure à l'acide phosphorique est longue (de tordre de 30 à 60 minutes) et qu'elle ne peut être faite qu'à chaud, il est nécessaire de créer, par une transformation de l'étage superficiel de la pellicule de nitrure en oxyde, une fine couche d'oxyde qui est gravée en premier lieu et qui sert ensuite de contre-masque pour les attaques successives du nitrure, de la sous-couche d'oxyde et du silicium. Une fois la creusure effectuée, la plaquette est soumise à un traitement oxydant. Le foisonnement de l'oxyde de silicium créé sur les parois de la creusure comble ladite creusure et forme la barrière isolante. Toutefois, du fait même qu'il foisonne, l'oxyde de silicium a tendance à déborder et à soulever la pellicule de protection sur les bords de la creusure et à prendre une forme défectueuse dite en nbec d'oiseau". Ce défaut est drautant plus accentué que ltoxydation est profonde et que la paroi de la creusure est inclinée. Il entraîne une possibilité de rupture des#interconnexicns déposées à la surface de la plaquette. Par ailleurs, la succession de quatre attaques chimiques (trois pour ltouverture de la pellicule en nitrure de silicium et en oxyde de silicium, la quatrième pour ltouverture de la fait nure), des rinçages et les manipulations que ces opérations en tralnent ne sont pas favorables à une bonne qualité des plaquettes Notamment, l'attaque du nitrure de silicium est faite généralemelt à l'acide phosphorique ce qui entraxe une pollution phosphorée très pernicieuse. La présente invention a pour but de pallier ces ineonvénients. Elle utilise un procédé nouveau qui permet d'attaquer tous les corps -durs dans une direction donnée. Elle permet d'obtenir notamment des barrières d'isolement de profil reetangulaire, de faible encombrement et de grande hauteur. Selon la présente invention, un procédé de réalisation de barrières d'isolement à section sensiblement rectangulaire entre régions d'un dispositif semiconducteur réalisé à partir d'une plaquette en silicium dont elles affleurent la face active est notamment remarquable en ce que lesdites barrières sont réalisées la de/façon suivante -on recouvre ladite face active d'au moins une pellicule 'au constituée de matériaux composés de silicium et d'au moins un élément dont la masse atomique est comprise entre 11 et 17. -puis on recouvre ladite pellicule d'un film protecteur dans lequel, par un procédé de photogravurè, on ouvre des fenêtres aux emplacements# des barrières à créer. -puis, aux emplacements desdites barrières on crée des creusures-en plaçant ladite plaquette dans une enceinte où sont in troduites des vapeurs de composés fluorés sous une pression comprise entre 10 et 10 OÇO pascals et on active ces vapeurs dans un champ électrique haute fréquence. -on interrompt ltopération de creusage lorsque lesdites creu sures, après avoir traversé ladite pellicule, ort atteint dans le silicium la profondeur désirée. -puis, avec des substances appropriées, on comble les creusures créées. L'atmosphère de gaz fluorés ionisés attaque d'abord et élimine les plages libres de la pellicule en un composé de silicium. Il est à noter que le choix d'un composé de silicium comme matériau constituant la pellicule est essentiel car c'est avec le silicium que le fluor réagit pour former des composés volatils qui sont éliminés. L'atmosphère de gaz fluorés attaque ensuite le silicium mis à nu et creuse celui-ci sans qu'il y ait de sous-gravure. Quel que soit le plan choisi pour la face active, le profil de la creusure obtenue est rectangulaire, et quel que soit le procédé choisi pour combler la creusure on peut donner à la barrière isolante obtenue un profil approximativement rectangulaire. Il n'y a pas de direction privilégiée, les barrières à profil rectangllaire peuvent avoir toutes les directions. Elle peuvent notamment constituer des réseaux orthogonaux. Par ailleurs, alors que pour attaquer par voie chimique humide le silicium, l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, il faut utiliser des solutions différentes, ce qui impose une série d'opérations successives et entraîne des pollutions multiples, avec ce procédé, une seule opération non polluante suffit De plus, cette opération est rapide. Le gain est encore plus sensille lorsque, pour une raison quelconque, il devient avantageux ou indispen sable d'employer comme pellicule du nitrure de silicium, car il est alors nécessaire de prévoir une sous-couche en oxyde de silicium et parfois une couche superficielle en oxyde de silicium. La succession des bains nécessaires pour éliminer successivement ces trois épaisseurs, puis pour creuser le silicium, est remplacée par une seule opération. Un des avantages essentiels réside en ce que, du fait de l'absence de sous-gravure, la largeur du logement est réduite à la largeur de la fenêtre qui n'est plus limitée que par la finesse des masques. On peut donc obtenir ainsi des barrières isolantes d'urefinesse impossible à obtenir par d'autres procédés. Un des aspects essentiels du procédé selon l'invention est de rendre indépendante l'une de autre la hauteur et la largeur des barrières ainsi créées. De ce fait, il est possible de créer par ce procédé non seulement des barrières fines, mais aussi des barrières hautes, d'une hauteur telle que l'on aurait précédemment renoncé aux technologies qui les rendaient indispensables. I1 permet notamment d'obtenir des barrières plus hautes que larges. Comme il a été dit ci-dessus, ce procédé permet d'obtenir des réseaux orthogonaux de barrières isolantes fines et hautes dans n importe-quel plan cristallographique. Il permet donc d'utiliser comme face active d'une plaquette n'importe quel plan et notamment le plan 111 qui présente notamment l'avantage d'être le mieux connu-et le plus utilisé. La vitesse de diffusion des impuretés, la vitesse de croissance des couches epitaxiales, la vitesse de croissance des couches d'oxyde par dépôt et par oxydation ont été étudiées à fond et cette connaissance donne aux fabrications une qualité et une fiabilité supérieures. On peut ainsi réduire la dimension des barrières isolantes et augmenter la densité des composants sur une plaquette de manière fiable. La présente invention concerne également les plaquettes semiconductrices en silicium comportant des barrières isolantes à section rectangulaire créées par ce procédé et réparties ou non en réseaux orthogonaux. Elle concerne notamment les plaquettes comportant des barrières hautes et droites. La présente invention peut être réalisée suivant plusieurs modes dont chacun présente ses avantages propres. Dans un premier mode de réalisation, 11 opération decreusage est poursuivie Jusqu'à obtenir un logement ayant approximativement la profondeur désirée, puis lton comble ce logement par dépôt. Ce dépôt peut être effectué en plusieurs stades. Il peut notamment comporter d'abord le dépôt d'une pellicule isolante fine recouvrant toute la surface active de la plaquette y compris les parois des creusures, par exemple en oxyde de silicium ou en nitrure de silicium, puis, le dépôt de silicium polycristallin. On peut alors éroder la surface de la plaquette jusqu'au niveau de la surface du silicium. Le=proeédé selon l'-imvention dans c#e mode de réalisation permet notamment d'obtenir des circuits intégres isolés par des barrières isolantes ayant les mêmes qualités thermiq#ues# que le substrat et dont la densité des composants estsbeaucoup plus forte que celle que l'on pouvait obtenir jusqu'à présent Il permet également d'obtenir des barrières isolantes dont la largeur est strictement limitée à la largeur de la creusure donc les barrières les plus étroites possibles compke tenu de la finesse des masques. Dans un second mode de réalisation, ladite pellicule isolante est constituée de matériaux étanches à oxygène et l'opération de creusage est interrompue après la création d'une rainure constituant l'amorce du logement et à partir de laquelle on oxyde le silicium enveloppant ladite rainure. C'est l'oxyde ainsi créé qui constitue la barrière d'isolement. Au cours de cette opération, d'une part, oxygène diffuse dans le silicium à partir des rainures, transformant en silice la poche de silicium qui enveloppe ladite rainure, d'autre part, le volume d'oxyde de silicium créé à partir d'une quantité donnée de silicium initial étant beaucoup plus important (environ 2 fois) que le volume du silicium, l'oxyde créé foisonne et remplit ladite rainure. On obtient ainsi une barrière isolante en silice, incorporée dans un logement de silicium défini par la limite de diffusion de l'oxygène. Le procédé selon l'invention dans ce mode de réalisation permet notamment de réduire la dimension des becs d'oiseau au bord des rainures comblées par oxydation du fait que l'angle que forment les parois de la creusure avec la plage de la surface active de la plaquette où affleure la barrière d'isolement n'est plus un angle aigu. Par ailleurs, 1 t oxyde de silicium étant créé simultanément à partir de toute la surface des parois de la rainure, c'est-à-dire à partir de son fond et à partir des parois latérales, le comblement de ladire rainure est différent suivant que, pour une raison quelconque, la barrière est créée à partir d'une rainure large ou à partir d'une rainure étroite, Pour une rainure dont la larg##e#ur est supériegureZà deux fois la profondeur, la partie médiane de la rainure est comblée essen tieilement avec de oxyde créé à partir du fond derrla irainure. Le bord dé la barrière présente toujours une forme dite en bec d'oiseau, mais cette forme étant atténuée du fait de l'orienta- tion ces parois, ledit bec d'oiseau perturbe moins les interconnexions d'aluminium. Pour une rainure dont la largeur est inférieure à deux fois la profondeur, la partie médiane de la rainure est comblée essentiellement par la jonction de l'oxyde créé sur les parois latérales situées de part de d'autre de la rainure. Le profil supérieur de la barrière ne présente plus de bec d'oiseau. Il est seulement légèrement bombé. D'une manière générale, le procédé selon la présente invention dans ce second mode de réalisation permeUant de partir de rainures moins volumineuses~ la profondeur d'oxydation nécessaire pour combler lesdites rainures est plus faible, donc aussi la durée de ltopération dfoxydation, ce qui entrasse une réduction de l'oxydation parasite superficielle qui crée le bec d'oiseau, Celui-ci est donc très atténué.L'étroitesse des creusures qui permet de combler la creusure par la-jonction des deux couches d'oxyde issues des deux sources differentes que constituent les deux parois opposées l'une à l'autre permet de raccourcir encore les durées d'oxydation ety de ce faits de diminuer encore ce défaut. La détermination des dimensions des rainures à creuser pour 11 obtention des barrières désirées peut zetre déduite des données connues : le volume de l'oxyde créé est de deux fois le volume du silicium transformé, la vitesse de diffusion de l'oxygène est presque identique dans toutes les directions, la largeur de la rainure ne peut être inférieure inférieure auxlimites imposées par le masquage qui sont actuellement de l'ordre de 1,5 p. Pour une barrière deux fois plus large que haute, on peut uti- liser avantageusement une rainure d une profondeur comprise entre 0,4 et 0,6 fois la hauteur de la barrière désirée. Pour une barrière deux fois plus haute que large, on peut utiliser avantageusement une-rainure d'une largeur comprise entre trois et cir#huitièmes de la largeur désirée pour la barrière et ens iblement d'une profondeur e g aIe-à la hauteur désirée de laquelle on sous trait le quart de la largeur de ladite barrière, ou plus-généralement comprise entre quatorze et quinze seizièmes de la hauteur désirée La présente invention permet l'obtention de barrières étroites et profondes qui seront comblées en un temps relativement bref par de l'oxyde issu des parois latérales. Il permet de réduire la dimension des barrières isolantes et de placer celles-ci près des jonctions. En évitant une série d'attaques chimiques suivies chacune d'opérations de rinçage et de séchage, il raccourcit les opérations, évite la pollution des plaques et permet une meilleure qualité. Du fait que le procédé selon l'invention évite les attaques chimiques, il permet, de plus, de se libérer de la création, par oxydation de l'étage superficiel du nitrure, de la fine couche d'oxyde qui sert de contre-masque lors des attaques chimiques en raison de la fragilité des résines photosensibles. La durée de fabrication de la plaquette en est raccourcie et les risques de pollution en sont encore diminués. Pour mettre en oeuvre la présente invention, dans l'un ou l'autre de ses modes de réalisation, on utilise avantageusement comme composé fluoré le tétrafluore de carbone. On peut penser que ce gaz est décomposé en radicaux libres et en fluor ionisé libre qui attaquent les composés de silicium et le silicium. Toutefois, la Demanderesse n'entend pas lier la présente invention à cette explication. Comme film de protection on peut utiliser une laqué photosensible organique ou une pellicule en métal mou, aluminium ou nickel par exemple. En effet, un métal mou n'est pas détruit par l'effet de pulvérisation lié au phénomène utilisé pour le creu sagei et le plasma fluoré n'attaque pas les pellicules organiques. Avantageusement, les barrières isolantes selon l'invention sont créées avant la réalisation des régions diffusées ou implantees. Ainsi, le comblement des logements, soit par dépôt, soit par oxydation, ne perturbe pas les diffusions. Dans le secnnd mode de mise en oeuvre, on utilise avahtageusement comme pellicule étanche à l'oxygène une couche de nitrure de silicium. La présente invention concerne également les plaquettes de silicium comportant des barrières créées par le présent procédé. La description qui va suivre en regard des dessins annexés donnés à titre d'exemple non limitatif, fera bien comprendre comment l'invention peut entre réalisée. Sur la figure I, on a représenté très schématiquement en coupe trois défauts auxquels la présente invention porte remède. Sur la figure 2, on a représenté les différents stades de la fabrication d'une plaquette réalisée selon L'invention dans son premier mode de mise en oeuvre. Sur la figure 3, on a représenté schématiquement en coupe un dispositif permettant le procédé de creusure utilisé dans la présente invention. Sur la figure 4, on a représenté les différents stades de la fabrication d'une plaquette réalisée selon ltinvention dans son second mode de mise en oeuvre. Sur les différents schémas de la figure 1, on a désigné par un même repère, schéma à un autres les éléments homologues. Sur la figure la on a représenté un bloc de silicium 1 recouvert d'un film protect#eur 2, dans lequel on a créé une creusure 3 par attaque chimique à travers la fenêtre 4 de largeur L pratiquée dans le film 2. Sur cette figure la, la surface active 5 de la plaquette est parallèle au plan cristallin 111 non représenté- sur la figure, et la largeur de la sous-gravure 6 de part et d'autre de la fenêtre au niveau de la surface de la plaquette est approximativement égale-à la profondeur de la creusure. La largeur A de ltouverture en surface de ladite creusure est 2p + L. Si la creusure doit traverser une couche épitaxiale dont ltépaisseur est de l'ordre de 2 pin pour atteindre une couche profonde comme la limite inférieure de la largeur L de la fenêtre que l'on peut obtenir par photogravure est de l'ordre de 2 inn, la largeur de la plus petite ouverture en surface de la creusure est de l'ordre de 6 jnn. La forme de la creusure est grossièrement ovale. Dans la figure lb, la surface active 5 de la plaquette est parallèle au plan cristallin 100 non représenté- sur la figure, la largeur de la sous-gravure 6 est faible, le profil de la creusure obtenue est triangulaire, la profondeur maximum p étant de L'ordre de 0,7 fois la largeur L de la entre 4 pratiquée dans la couche oxyde 2. Dans la figure lc, on a représenté en 1 la plaquette de silicium recouverte du film de protection 2, percé dtune fenêtre 4 par laquelle a été créée dans un stade précédent, par attaque, une rainure 3a représentée en pointillé. k partir de cette rainure, on a oxydé le silicium, créant ainsi un logement 3b, comblé d'oxyde de silicium créé in situ par oxydation du silicium enveloppant la rainure. Cet oxyde de silicium dont le volume est deux fois le volume du silicium de départ et qui, en foisonnant, comble la rainure, soulève les bords 2a et 2b du film de protection. Ce défaut est d'autant plus marqué que les parois de la rainure sont plus inclinées, ctest-à-dire que les angles qu'elles forment avec la surface de la plaquette sont aigus. Il se crée alors une petite crête aiguë.Ce défaut est, d'autre part, d'autant plus marqué que la largeur à combler est plus grande et que l'oxydation dure plus longtemps. L'exemple suivant, 1'un dispositif réalisé par le procédé selon l'invention dans son premier mode de mise en oeuvre et décrit en regard de la figure 2 est donné à titre non limitatif. Partant d'une plaquette 10 de silicium monocristallin de type P par exemple, de 180 à 220 > nn d'épaisseur environ, destinée à servir de substrat, on effectue sur cette plaquette, par épitaxie, le dépôt d'une couche 11 de type N jusqu'à atteindre une épaisseur de dépôt de 3 Fm, sur laquelle on crée une pellicule d'oxyde de silicium 12 de quelques centaines d'Angströms d'épaisseur. La plaquette, après ce dépôt, est représentée sur la figure 2a sur laquelle la ligne J figure la jonction P/N entre le substrat 10 et la cruche 11. L'opération suivante consiste à déposer un film protecteur 13 de laque photosensible, dans lequel on ouvre des fenêtres 14 ayant des dimensions identiques (largeur et longueur) à celles que souhaite pour les logements à creuser (fig. 2b). L'opération suivante consiste à réaliser les creusures 15. Dans ce but, on introduit la plaquette dans un récipient, par exemple en verre, représenté figure 3 en 31. Ce récipient étanche est muni de deux tubulures 32 et 33 dont l'une, 32, sert à faire le vide dans ledit récipient 31 et l'autre, 33, est munie d'une fuite réglable non représentée sur la figure. Sur cette figure, on a représenté en 34 un support sur lequel sont disposées en 35 les plaquettes à traiter. On a représenté en 36 les spires d'un équipement haute fréquence. On opère de la façon suivante : on ouvre le récipient 31 par déplacement du couvercle 37, puis on met en place le support 34 chargé des plaquettes 35. Aorès avoir remis le couvercle 37 en place, on onfait le vide pour éliminer l'azote et l4oxygène > puis on établit > dans le récipient, par la tubulure D3 un balayage de tétrafluorure -de carbone de manière que la pression soit de ltordre de 100 pascals, (elle peut être comprise entre 10 et 10 000 pascals, avantageusement entre 100-et 1000 pascales). L'ionisation est crée par un champ dont la fréquence est avantageus#ement comprise entre 12 et 15 MEz et dont la puissance peut être de quelques centaines de watts. Le tétrafluorure de carbure est détruit et des radicaux fluorés ionisés et du fluor actif sont répandus dans le récipient. Ces radicaux attaquent le silicium. La vitesse d'attaque n'étant pas proportionnelle au temps, il est nécessaire d'effectuer quelques expériences pour déterminer la durée de l'opération en fnnction dela profondeur de la creusure désirée. Dans descas précis, pour obtenir une creusure qui traverse une pellicule d'oxyde thermique de 200 et une couche de silicium d'une épaisseur de 3 m, par une fenêtre large de 2,5 pm, la Demanderesse a constaté qu'une durée de 18 minutes était nécessaire. La plaquette est alors rincée. Puis le film 13 de laque protectrice est éliminé par les procédés habituels. On peut ainsi obtenir une creusure étroite (l 3 m), profonde et d'un profil rectangulaire. Par attaque chimique, si la surface active est parallèle au plan 111 > - la largeur de la creusure à la surface serait de 11 pm. L'intérêt du procédé proposé pour améliorer la miniaturisation et augmenter la densité des éléments passif s et actifs des #ircùits intégrés est donc très grand. La plaquette à ce stade de sa fabrication est représentée fig. 2c. La totalité de la surface active, y compris celle des creusures, est alors recouverte par croissance d'une pellicule isolante 16, par exemple en oxyde de silicium (ou encore d'une pellicule formée de nitrure de silicium inséré entre deux lits d'o xyde de silicium) d'une épaisseur de llordre de l- m. La plaquette à ce stade de la fabrication est représentée figure 2d. Après le dépôt de la pellicule 16, on comble les creusures au moyen d'une substance 17 solide, thermiquement compatible avec le substrat, par exemple du silicium polycristallin. La plaquette à ce stade est représentée figure- 2e. Puis on élimine les parties inutiles des dépôts 17 et 16 par rodage jusqu a la face supérieure 18 de la couche 11. On obtient ainsi les barrires d'isolement à section rectangulaire. La plaquette à ce stade, représentée figure 2f, et comportant des cordons d'isolement constitués de portions de la pellicule 16 et de la substance de remplissage 17, peut être recouverte d'une couche de protection, recevoir des zones diffusées et des contacts selon les techniques connues. L'exemple suivant d'un dispositif réalisé par le procédé selon l'invention dans son deuxième mode de mise en oeuvre et décrit en regard de la figure 4 est donné à titre non limitatif. Sur un substrat 41 de type P, dont la face active est dans le plan 111 par exemple, on crée par diffusion de phosphore de forme appropriée des couches internes 42 de type N+, (voir fig. 44 Ces couches occupent toute la surface de la face active sauf les emplacements où seront créées, selon l'invention, des barrières isolantes séparant des composants. On a choisi un exemple comportant aussi des barrièr#es séparant deux régions d'un même composant. Puis, sur le substrat 41, on dépose une couche épitaxiale 43 de 1,5 pm d'épaisseur de type N. Sur cette couche N, on crée, par oxydation du silicium sous oxygène sec, une couche superficielle d'oxyde de silicium de quelques centaines d'A0ngstrbms d'épaisseur destinée à maintenir un bon état de surface. Puis, sur cette couche superficielle, on dépose une pellicule étanche à l'oxygène de nitrure de silicium de 1 200 A d'épaisseur. Aucune attaque ne devant eAtre#conduite par voie chimique, une couche de laque photosensible constitue un masque suffisamment solide et la création d'un contre-masque d'oxyde de silicium par transformation du nitrure superficiel n'est pas nécessaire. Ainsi, la triple couche de protection est remplacée par une double couche, ce qui constitue un des avantages supplémentaires de la présente invention. L'ensemble protecteur que constituent la cruche supeffieielle d'oxyde de silicium-et la pellicule de nitrure de silicium est représenté globalement et indexé 44 sur la figure 4a qui représente la plaquette à ce stade de la fabrication. La couche enterrée 42 a alors une épaisseur d'environ ? pm. Cette épaisseur est d'environ 2,5 pli à la fin de la fabrication de la plaquette. On dépose alors à la surface de la pellicule 44 un film 45 d'une laque photosensible dans lequel on ouvre des fenêtres 46 (voir fig. 4b). On a représenté sur la figure des fenêtres de deux largeurs différentes : une fenêtre étroite 46a et deux feutres larges 46b correspondant à des creusures 47 de deux largeurs dif-férentes 47a et 47b.Les creusures 47a sont destinées, dans le cas présent, à réaliser des barrières étroites servant uniquement à l'isolement de deux régions ; leur largeur est de 2 pm. Les creusures 47b sont destinées à réaliser des barrières plus larges servant dtisolement entre deux composants et de supports d'interconnexions par exemple ; leur largeur est de 4 jnn. Il est à noter que des creusures étroites (Lv 2 m) peuvent également séparer des composants et pas seulement des parties de ces composants. Puis, comme il a été décrit à l'occasion de exemple précédent on place la plaquette dans-le plasma de fluor ionisé pour effectuer les creusures. Le creusage s'effectue en une seule opération à travers l'ensemble de la pellicule 44 et dans la couche 43. Selon le présent mode de mise ei oeuvre de l'invention, on limite la profondeur des creusures à environ 0,75 um. La plaquette à ce stade de sa fabrication est représentée sur la figure 4c. On élimine ensuite, par les procédés habituels, le reste du film protecteur 45 de laque photosensible. Puis, on effectue une oxydation profonde, sous oxygène humide, par exemple pendant 10 heures à 1 050 OC et les barrières 48b et 48a se créent (voir fig. 4d). A titre d'exemple, on décrit ci-dessous la manière d'achever sur cette plaquette un dispositif à effet transistor. Par photogravure à l'acide orthophosphorique on élimine la plage 44a de la pellicule 44 en nitrure de silicium et l'on crée par une diffusion de phosphore dans la portion 43a de la couche 43 une région N Cette région 43 N est suffisamment profonde pour être reliée électriquement à la zone 42a de la couche enterrée 42 de type N Cette zone 42a constitue le collecteur du dispositif dont la région 43a vasupporter le contact (voir fig. 4e). On élimine alors le reste de la pellicule 44 en nitrure de silicium, en utilisant l'acide orthophosphorique ou encore le procédé de pulvérisation de plasma. Puis on recouvre la plaquette d'une couche d'oxyde de silicium thermique et, à l'aide d'un masque classique en laque, non représenté sur la figure, on diffuse du bore, sur une profondeur de 0,6 Fun pour créer la base 49 de type P, puis de la même manière on diffuse du phosphore, sur une profondeur de 0,4 pm, pour créer l'émetteur 50 de type N La figure 4f représente la plaquette à ce stade de la fabrication juste après élimination des masques d'oxyde et avant recouvrement par la pellicule finale de protection et la création des contacts. Les deux barrières 48b concourent, avec la jonction N+/P 51, à isoler le transistor du reste de la plaquette, la barrière 48a isole lté-metteur 50 et la base 49 de la prise de contact de collecteur 43a. Cette topologie permet un grand gain de place. Il est clair que les barrières larges 48b et étroites 48a sont représentées ici dans des fonctions qui pourraient être dif férentes. - REVENDICATIONS 1.-- Procédé de réalisation de barrières d'isolement à section sensiblement rectangulaire entre régions dtun dispositif semicon docteur réalisé à partir d'une plaquette en silicium dont elles affleurent la face active, caractérisé en ce que -on recouvre ladite face active d'au moins une pellicule constituée de matériaux composés de silicium et d'au moins un élément dont la masse atomique est comprise entre Il et 17. -puis on recouvre ladite pellicule d'un film protecteur dans lequel, par un procédé de- photogravure > on ouvre des fenêtres aux emplacements des barrières à créer. -puis aux emplacements desdites barrières on#-crée des creusures en plaçant ladite plaquette -dans une enceinte où sont introduites des vapeurs#de composés fluorés sous une pression comprise entre 10 et 10 000 pascals et on active ces vapeurs dans un champ électrique haute fréquence. -on interrompt l'opération de creusage lorsque lesdites creusures, après avoir traversé ladite pellicule,ont atteint dans le silicium la profondeur désirée. -pUi5, avec des substances appropriées > on comble les creusures créées. 2.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le composé fluoré est du tétrafluorure de carbone. 3.- Procédé selon l'une des revendications précedentes, carac, térisé en ce que le composé fluoré est sous une pression comprise entre 100 et 1000 pascals. 4.- Procédé selon llune des-revendications précédentes, caractérisé en ce que l'enceinte de traitement est soumise à un ba- layage continuel du compo#sé fluoré. 5.- Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la fréquence du champ électrique utilisé est comprise entre 12 et 15 MHz. 6.- Procédé selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que ladite pellicule qui recouvre ladite face active est en nitrure de silicium. 7.- Procédé selon l'une des revendications 1 å 5, caractérisé -en ce que ladite-pellicule qui recouvre ladite face active est en oxyde de silicium. 8.- Procédé selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que ledit film protecteur est une laque photosensible. 9.- Procédé selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que ledit film protecteur est en un métal mou. 10.- Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que ledit métal mou est de l'aluminium. 11.- Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que ledit métal mou est du nickel. 12.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdites barrières sont réalisées avant la création des régions diffusées ou implantées. 13. - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ltopération de creusage est poursuivie jusqu'à obtenir un logement ayant approximativement pour profondeur la hauteur de la barrière désirée, puis en ce que l'on comble ce-logement par dépôt. 14.- Procédé selon la revendication 13 caractérisé en ce que l'opération de comblement par dépôt est effectuée en plusieurs stades comportant notamment -le dépôt d'une pellicule isolante fine recouvrant les parois des creusures, -puis le dépôt de silicium polycristallin. 15.- Procédé selon la revendication 14, caractérisé en ce que le dépôt de la pellicule isolante fine est effectué sur toute la surface active de la plaquette. 16.- Procédé selon la revendication 14, caractérisé en ce que, après les opérations de dépôt, on érode la surface de la plaquette jusqu au niveau de la surface du silicium. 17.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que -ladite pellicule recouvrant la face active est an un matériau étanche à oxygène, -1' opération de creusage est interrompue après la création d'une rainure entamant le silicium sur une profondeur inférieure à la hauteur de la barrière dtisolement à créer. -la plaquette est soumise à un traitement d'oxydation d'une durée telle que lesdites creusures soient comblées par l'oxyde de silicium créé autour de la rainure. 18.- Procédé selon la revendication 17 de réalisation d'une barrière deux fois plus large que haute, caractérisé en ce que la profondeur de la rainure d'amorçage est comprise entre 0,4 et 0,6 fois la hauteur de la barrière désirée. 19.- Procédé selon larevendication 17 de réalisation d'une barrière deux fois plus haute que large, caractérisé en ce que la largeur de la rainure est comprise entre trois et cinq huitièmes de la largeur désirée pour la barrière et en ce que la profondeur de ladite rainure est entre quatorze et quinze seizièmes de la hauteur désirée. 20.- Plaquette semiconductrice en silicium, caractérisée en ce qu elle comporte des barrières- créées- par le procédé selon l'une des revendications précédentes. 21.- Plaquette selon la revendication 20, caractérisée en ce que lesdites barrières ont une hauteur plus grande que la largeur de leur plage d'affleurement à la surface de la plaquette. 22.- Plaquette selon la revendication#20, caractérisée en ce que lesdites barrières constituent un réseau orthogonal 23.- Piquette selon la revendication 21, caractérisée en ce que le plan de la face active est le plan 111. 24.- Plaquette selon la revendication 21, caractérisée en ce que le plan de la face active est le plan 100.