Brevet FR2150756A1 — publié le 19730413

La présente invention concerne un procédé et un appareil perfectionnés pour une épitaxie en phase liquide (LPE), et, plus particulièrement, un procédé et un appareil dans lesquels la masse en fusion a une épaisseur et une composition uniformes durant la croissance des couches épitaxiales. L'épitaxie en phase liquide est un procédé connu et s'est avérée être très efficace pour la formation de couches semi-conductrices (de grande qua lité) appartenant aux groupes Itt-V, I1 est également possible de déposer les composés et alliages des groupes III-V ainsi que les matériaux du groupe IV avec ce procédé. En outre, l'épitaxie LPE est un procédé connu pour le dépôt de films de grenat. Plus particulièrement, l'épitaxie LPE est d'un usage très répandu car les diodes électroluminescentes faites au moyen de ce procédé avec les composés A1GaAs, GaAs et GaP produisent les rendements quantiques externes les plus élevés jamais trouvés dans ces matériaux.On peut se reporter aux ouvrages suivants pour trouver une description des procédés utilisés pour la fabrication des diodes 1 H. Rupprecht et al, Applied Physics Letters, II, 81 (1967) 2. K. J. Linden, Infrered Physics, 10, 141 (1970). 3. R.H. Saul et al, J. Appl. Phys. Letters, 15, 229 (1969) L'épitaxie en phase liquide peut être également utilisée pour fabriquer des lasers à faible seuil à partir des diverses jonctions de GaAs-AlGaAs formées selon le procédé LPE. On peut se reporter par exemple à l'ouvrage de M.B. Panish et al, Appl. Phys. Letters, 16, 326, (1970). Certaines propriétés doivent être obtenues dès la fabrication de bonnes couches épitaxiales. Ces propriétés sont les suivantes surface lisse appropriée au photo-traitement, épaisseur uniforme des couches, reproduction de films de qualité constante. Les techniques classiques par immersions successives utilisées dans le procédé LPE ne donnent pas ces résultats. Avec les techniques de l'art antérieur, certaines quantités résiduelles provenant de la masse en fusion sont généralement obtenues sur la surface de la pastille après la croissance. Il en est ainsi, par exemple, lorsque le gallium est un composé présent dans la masse en fusion. Le gallium résiduel reste sur la surface de la pastille après la croissance de la couche épitaxiale. Ob obtient alors des surfaces inégales, des épaisseurs de couche variables, et des gradients de concentration non uniformes dans une direction perpendiculaire à la surface du substrat. Un autre problème rencontré avec les techniques LPE de l'art antérieur réside dans le fait que de grandes quantités de corps mis en jeu doivent être généralement ajoutées à la masse en fusion durant le procédé de croissance, étant donné que la précipitation des corps dans la masse en fusion se fait sur des emplacements autres que le substrat. En conséquence, le rendement du dépôt sur la surface du substrat est faible. En outre, il est souhaitable de n'utiliser qu'un faible volume de la masse en fusion pour le dépôt épitaxial afin de réduire le prix de la croissance LPE. Pour pallier ces inconvénients, un nouveau procédé LPE a été conçu, procédé dans lequel les couches épitaxiales déposées ont une épaisseur uniforme et une surface très lisse ; en outre, elles peuvent être traitées par des techniques photolithographiques sans raffinage supplémentaire. En Outre, 1 'ef- ficacité de la croissance est nettement améliorée, si bien qu'il faille seulement un faible volume de la masse en fusion pour obtenir le dépôt épitaxial. Tout matériau qui peut croître en solution peut être déposé par ce procédé et il est possible d'obtenir une opération continue. Les films produits ont des gradients de concentration uniformes dont la mesure se fait perpendiculairement à la surface du substrat, et tous les corps en précipitation dans la masse en fusion se déposent sur le substrat plutôt que de se précipiter dans la masse en fusion en des emplacements autres que le substrat lui-même. En conséquence, un objet fondamental de la présente invention consiste à fournir un procédé LPE perfectionné qui puisse être utilisé pour déposer des couches épitaxiales ayant une épaisseur uniforme. Un autre objet de la présente invention consiste à fournir un procédé LPE perfectionné pour déposer des couches épitaxiales ayant une surface lisse appropriée au photo-traitement. Un autre objet de la présente invention consiste à fournir un procédé LPE perfectionné pour déposer des couches épitaxiales, dans lequel le volume de la masse en fusion requise soit très faible. Un autre objet de la présente invention consiste à fournir un procédé LPE perfectionné dans lequel toute la précipitation se fait sur la surface du substrat. Un autre objet de la présente invention consiste à fournir un procédé LPE perfectionné afin de pouvoir reproduire des films de bonne qualité. Un autre objet de la présente invention consiste à fournir un appareil pour permettre la croissance épitaxiale LPE, dans lequel la géométrie de la masse en fusion puisse être déterminée de façon contrôlable durant la croissance. Un autre objet de la présente invention consiste à fournir un appareil perfectionné qui permette la croissance épitaxiale LPE et qui empêche toute précipitation des corps dans la masse en fusion avant le dépôt sur le substrat. Le procédé LPE conforme à la présente invention peut s'appliquer au dépôt de tout matériau qui peut croire en solution. Ceux-ci peuvent être des éléments, des composés et des alliages. A titre d'esemple, on peut citer les semi-conducteurs, les grenats, les oxydes. Le substrat sur lequel se fait le dépôt est choisi de manière à avoir une constante réticulaire compatible avec la constante réticulaire du matériau à déposer. Une nacelle contenant une source des matériaux à déposer est tout d'abord chauffée à la température requise de sorte que la matière en fusion contenant ces matériaux soit saturée par les matériaux de source dissous. Cette température dépend des matériaux à déposer. Par exemple, dans le cas d'un dépôt type de Ai Gal As, une température de 9300C est appropriée. La tem x pérature de la masse en fusion est ensuite abaissée pour assurer sa saturation. A ce stade, la surface de matière en fusion ne peut plus accepter de dépôt et il y a un excès de matériau dans la solution. La matière en fusion est ensuite placée sur le substrat et la température est élevée légèrement pour assurer lthumidification du substrat, la nouvelle température étant égale ou inférieure à la température de départ.Il y a ensuite croissance d'une couche épitaxiale par refroidissement de la matière en fusion dont la température est alors inférieure ou égale à la température de départ. La masse en fusion excédentaire est ensuite enlevée de la surface de la pastille en déplaçant la chambre contenant la masse en fusion sur la surface de la pastille. Bien entendu, la pastille peut être déplacée si on le préfère à la place de la chambre contenant la masse en fusion. Dans le procédé LPE amélioré, il est seulement nécessaire de chauffer les matériaux de source pour former une masse en fusion en phase liquide. Si cette masse en fusion est ensuite mise en contact avec le substrat, il y a croissance d'une couche épitaxiale. Ils'est pas absolument nécessaire que la masse en fusion soit saturée ou que le substrat soit humidifié avant le dépôt. Cepen dant, le fait de suivre un traitement comportant les étapes indiquées dans le paragraphe précédent, va permettre d'obtenir des couches épitaxiales de grande qualité. Dans ce procédé, le volume de la messe en fusion est très rigoureusement contrôlé. La masse en fusion a une épaisseur qui est uniforme sur toute la zone surfacique du substrat. En outre, la composition de la masse en fusion dans un sens perpendiculaire à la surface du substrat est la même pour toute la masse en fusion. De façon générale, l'épaisseur de la masse en fusion est choisie pour correspondre approximativement à la longueur de la diffusion des corps mis en jeu pour former le matériau à déposer, ou bien elle peut être inférieure à cette longueur. En conséquence, le procédé utilise une masse en fusion qui se limite à un volume particulier. La masse en fusion est habituellement mince sur toute la surface de la pastille et les pertes émanant de la masse en fusion sont maintenues uniformes et en équilibre avec le procédé de croissance lors du dépôt. Comme perfectionnements supplémentaires, il y a, d'une part, une température uniforme de la masse en fusion sur la surface de la pastille et, d'autre part, une plus grande température de la masse en fusion sur la surface qui ne fait pas contact avec la surface de la pastille. C'est-à-dire > il y a un gradient de température croissant lorsque l'on s'écarte à partir de la surface du substrat. L'appareil utilisé dans la présente invention se caractérise par une chambre utilisée pour contenir la masse en fusion durant le dépôt. Cette chambre est délimitée de tous côtés et est complètement remplie de la masse en fusion. Un moyen de pression est utilisé pour maintenir la masse en fusion dans la chambre et pour forcer la masse en fusion de manière à ce qu'elle ait une épaisseur uniforme dans tout son volume. La pression annule également la tension de surface des constituants de la masse en fusion afin de les empêcher de s'agglomérer dans la masse en fusion. Ceci maintient uniforme la composition de la masse en fusion dans tout son volume. Des moyens sont utilisés pour assurer un mouvement relatif entre la chambre de la masse en fusion et le substrat sur lequel a lieu le dépôt.Durant le refroidissement de la masse en fusion, les corps dans la masse en fusion vont se déposer uniformément sur la surface du substrat. Le four dans lequel l'appareil est placé est bien connu dans l'art et représente les sources de chauffage utilisées pour fournir des températures suffisantes pour chauffer la masse en fusion. D'autres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront de la description qui va suivre, donnée à titre d'exemple non limitatif, en se reportant aux dessins annexés, sur lesquels La figure 1 représente l'appareil préféré pour une épitaxie LPE, dans lequel la masse en fusion est contenue suivant un volume uniforme. La figure 2 représente une coupe de l'appareil de la figure 1 suivant les lignes 2-2 de la figure 1. Les figures 3A et 3B représentent des profils de températures pour l'appareil représenté sur les figures 1 et 2. La figure 4 représente la répartition de l'épaisseur d'une couche épitaxiale et montre la bonne uniformité de ltépaisseur des films déposés au moyen du procédé conforme à la présente invention. La figure 5 représente un autre mode de réalisation d'un appareil utilisé pour une épitaxie LPE perfectionnée. La figure 6 représente un schéma d'un appareil qui peut être utilisé pour fournir une épitaxie LPE continue. Les figures 7A et 7B sont d'autres modes de réalisation de la partie de maintien des substrats de l'appareil de la figure 1 où le dépôt doit se faire sur plusieurs substrats. La figure 1 montre un mode de réalisation qui est utilisé pour le procédé LPE perfectionné conforme à la présente invention. Le mode de réalisation comprend un four de diffusion classique ayant un tube de quartz 10 entouré d'une source de chauffage 12. Le tube 10 est généralement en quartz, tandis que la source de chauffage commandée 12 peut être, par exemple, des bobines de chauffage. Cette source fournit la chaleur sur la périphérie du tube en quartz 10 de manière à chauffer l'appareil de dépôt 14 placé dans le tube 10. L'appareil LPE 14 comprend une nacelle 16 dans laquelle se trouvent des plaques mobiles 18 et 20. Ces plaques, ainsi que la nacelle 16, peuvent se déplacer séparément au moyen d'un mécanisme tel que les éléments poussoirs en forme de tiges 22. La nacelle 16 repose sur une plate-forme 24, qui, à son tour, est supportée par des rails de guidage 26. Si besoin est, la plateforme 24 peut être mobile de manière à déplacer l'appareil LPE 14 le long du tube en quartz 10. Une chambre 28 est placée dans la nacelle 16 et cette chambre reçoit le substrat 30. La chambre 28 est suffisamment profonde pour que le substrat 30 ne soit pas à ras bord avec le sommet de la nacelle 16. En conséquence, une masse en fusion peut être placée au sommet du substrat 30 dans la chambre 28. L'épaisseur de la couche épitaxiale soumise à une croissance est déterminée par la profondeur de l'intervalle 29. Une chambre 32 est également placée dans la nacelle 16 et contient le matériau de source 34. On aménage dans la plaque coulissante 18 une chambre 36 (qui a environ la dimension du substrat) dans laquelle est placée de façon uniforme la masse en fusion 38. Par suite de la présence de la plaque coulissante 20, la masse en fusion 38 est renfermée de tous côtés et est soumise à des pressions de sorte que tout le volume de la chambre 36 va être rempli par la masse en fusion 38. La pression est celle provoquée par le poids de la plaque 20 et n'est appliquée que pour étaler uniformément la masse en fusion dans la chambre 36. La pression empêche également les corps de la masse en fusion de s'agglomérer par suite de la tension superficielle. Cette masse en fusion contient les corps à déposer sur le substrat 30.De façon générale, la 2 masse en fusion contient 1-2g de matériau à déposer par cm de substrat. La plaque coulissante 20 a de nombreuses ouvertures 40A, 40B, 40C et 40D dans lesquelles peuvent être placés divers dopants ou autres matériaux pour un dépôt sélectif dans la masse en fusion 38. Ces ouvertures 40A-40D sont recouvertes respectivement, de plaques mobiles 42A-42D en vue d'un accès sélectif aux ouvertures 40A-40D. Un courant de gaz, indiqué par la flèche 44, traverse le tube ouvert en quartz 10 durant le dépôt épitaxial. Ce gaz peut être un gaz de formation (90% de N2 - - 10% de H ) ou tout autre gaz 2 connu, tel que l'argon. Le courant de gaz maintient le système inerte et fournit une atmosphère de réduction pour enlever tous oxydes se formant à l'interface masse en fusion-substrat. La figure 2 est une coupe de côté de la figure 1 suivant la ligne 2-2 de la figure 1. L'appareil 14 comprend une nacelle 16 qui reçoit les plaques mobiles 18 et 20. Comme cela a été mentionné préalablement, ces plaques peuvent coulisser sur la longueur du tube 10 de manière à amener en contact la masse en fusion et le substrat en vue d'un dépôt épitaxial. La nacelle 16 repose sur la plate-forme 24 qui, à son tour, est supportée par les rails de guidage 26. Comme cela est mis en évidence sur la figure 2, la masse en fusion 38 est placée sur l'axe central du tube 10. De plus, la nacelle 16 est placée entre la masse en fusion 38 et la source 12. La combinaison de ces deux facteurs permet à la masse en fusion d'avoir une température sur sa surface supérieure supérieure à celle de sa surface inférieure. C'est-à-dire > il y a une température de masse en fusion croissante dans le sens positif v, Le fait que la masse en fusion soit plus froide sur la surface qui fait contact avec le substrat, assure la précipitation des corps dans la masse en fusion 38 sur le substrat. Bien entendu, le fait que la masse en fusion soit de tous côtés soumise à une pression, va faire que celle-ci a une composition uniforme dans tout son volume. Les figures 3A et 3B montrent des profils de températures de la masse en fusion qui sont mesurés dans le sens (Y) perpendiculaire à la surface du substrat et dans le sens (X) de la longueur du tube. D'après la figure 3A, on peut voir que la température T1 au sommet de la masse en fusion est supérieure à la température T2 au bas de la masse en fusion (surface en contact avec le substrat). Sur la figure 3B, on peut voir que la température de la masse en fusion dans le sens X est constante. Il est souhaitable que la température de la masse en fusion le long de toute la surface inférieure soit constante afin d'assurer un dépôt d'épaisseur uniforme sur la zone du dépôt épitaxial. Les matériaux de l'appareil (14) Les matériaux choisis pour l'appareil 14 dépendent des corps à déposer. On a utilisé des matériaux inertes de sorte qu'il n'y ait pas d'interférence avec la réaction requise. Par exemple, du charbon de grande pureté (graphite), du quartz ou des nitrures conviennent pour de nombreux matériaux semiconducteurs. Le quartz ne convient pas si l'aluminium doit être un corps de réaction étant donné que le quartz n'est pas inerte en présence de l'aluminium. Dans un autre exemple, du platine de grande pureté convient pour le dépôt épitaxial des films de grenat étant donné qu'aucune réaction ne va avoir lieu entre le platine et les films de grenat à déposer. Matériaux à déposer Tout matériau qui est capable de croitre en solution peut être déposé de façon épitaxiale avec l'appareil représenté sur la figure 1. Par exemple, des semiconducteurs, tels que les éléments du groupe IV, les composés et alliages des groupes m-V, des grenats, des métaux et des oxydes peuvent tous être déposés par épitaxie en phase liquide. En général, le procédé et l'appareil #crits peuvent être utilisés pour une épitaxie en phase liquide de tout matériau qui peut subir une croissance à partir de la phase liquide., où le liquide est le corps à déposer lui-mëme ou une solution contenant ce corps. La source contient les matériaux à déposer à partir de la masse en fusion. Par exemple, une source contenant GaAs et AlAs est utilisée pour déposer le composé Gal Al As. Substrats appropriés Le substrat 30 n'est pas critique et est généralement choisi comme étant un matériau ayant une constante réticulaire compatible à la constante réticulaire du matériau à déposer. A titre d'exemple, les couches épitaxiales de Al Ga As peuvent être déposées sur un substrat de GaAs à partir d'une x l-x masse en fusion contenant Ga, Al et As. Procédé de l'épitaxie en phase liquide (LPE) Avant de décrire d'autres modes de réalisation de la présente invention, il semble intéressant de revoir les étapes utilisées pour le dépôt épitaxial. Pour cela, on va se reporter à la structure des figures 1 et 2. Suivant ltappa- reil représenté sur les figures 1 et 2, le substrat est placé dans la chambre 28 et les matériaux de source sont placés dans la chambre 32. La source est ensuite chauffée à une température suffisante et pendant un temps suffisant pour créer une masse en fusion 38 dans les chambres 28 et 32. Pour être str que la masse en fusion est bien saturée, la température est ensuite abaissée. Une masse en fusion saturée ne va pas tendre à dissoudre le substrat lorsqu'elle va être amenée en contact avec le substrat. La masse en fusion et le substrat sont ensuite mis en contact entre eux, par exemple, au moyen de la plaque coulissante 18 afin d'amener la masse en fusion sur le substrat 30. La température est ensuite élevée légèrement pour assurer une humidification appropriée du substrat. L'humidification du substrat renforce l'adhérence du dépôt épitaxial. Une couche épitaxiale est ensuite soumise à une croissance par refroidissement de la masse en fusion à une température qui, habituellement, ne dépasse pas la température de départ. A ce moment, la masse en fusion est enlevée de la surface de la pastille en déplaçant la plaque 18 qui revient alors à sa position d'origine, laissant ainsi apparaître une surface lisse sur la couche de croissance épitaxiale qui est dépourvue de tout constituant excédentaire provenant de la masse en fusion. Comme cela a été mis en évidence préalablement, le fait de simplement mettre en contact la masse en fusion et le substrat va provoquer le dépôt épitaxial. Cependant, de meilleurs dépôts sont obtenus lorsque d'autres étapes sont incluses dans le procédé. Dans la réalisation pratique de la présente invention, il a été observé que les pertes de chaleur dans la masse en fusion doivent être contrôlées très rigoureusement pour que ces pertes soient les mêmes dans toute la masse en fusion. Pour cette raison, la masse en fusion ne doit pas prendre la forme d'un ménisque, comme cela est le cas dans les systèmes de l'art antérieur, par exemple dans le système décrit dans le brevet US 3 565 702 et M. B. Panish et autres J. Phys. Solids, Pergamon Press, Vol. 30, pages 129 à 137 (1969). Les pertes de chaleur provenant de la masse en fusion sont maintenues uniforme et on obtient une température uniforme de l'interface substrat-masse en fusion. La pression est appliquée à la masse en fusion de sorte que celle-ci va occuper tout le volume de la chambre 36. Cette pression est appliquée par la plaque 20. Ceci assure une épaisseur uniforme de la masse en fusion lorsqu elle est amenée en contact avec le substrat 30. Cette pression empêche également les constituants de la masse en fusion de s'agglomérer par suite de leur tension superficielle. Les avantages du procédé et de l'appareil conformes à la présente inven tion sont montrés au moyen d'un dépôt de Al Ga As sur un substrat, tel que x l-x GaAs. Par suite de sa tension superficielle ou surfacique, Ga tend à s'agglomérer dans la masse en fusion. En outre, l'arséniure de gallium-aluminium tend à se précipiter dans la solution et il s'en suit qu'un excédent de matériau dans la masse en fusion doit être utilisé de manière à composer cette perte. Cette condition rend difficile de prédire et de contrôler l'épaisseur finale de la couche épitaxiale de A1 Gal As. Dans la réalisation pratique de la présen x te invention, la quantité de matériau requise est reproduite de façon contrôlable et, partant, la couche de croissance épitaxiale présente une épaisseur et une composition uniformes. Etant donné que la masse en fusion est très mince, la seule précipitation se fait sur le substrat, ce qui donne finalement un meilleur rendement. La mince masse en fusion n'affecte pas la température sur la surface du substrat. L'épaisseur de la masse en fusion est déterminée par la longueur de la diffusion des corps dans la masse en fusion. L'épaisseur de la masse en fusion est inférieure à la longueur -de diffusion pour la nucléation des corps dans la masse en fusion. En conséquence, il n'apparait aucune nucléation spontanée et toute nucléation se fait sur le substrat. La longueur de diffusion de corps est fonction de la mobilité des corps, du milieu contenant les corps, de la température et de la concentration des corps. De façon type, la longueur de diffusion des matériaux utilisés pour la fabrication de diodes démission de lumière est de l'ordre de lem, si bien qu'une épaisseur de la masse en fusion de 0, 050, 6 cm est convenable. La masse en fusion ne peut pas être excessivement mince, ou bien il n'y aura pas assez de matériau dans la masse en fusion pour assurer la croissance suivant l'épaisseur requise. Si la masse en fusion est trop épaisse, on va retrouver les problèmes de l'art antérieur, à savoir, une croissance inefficace et une nucléation spontanée. De façon générale, le rapport entre la zone surfacique de la masse en fusion et de l'épaisseur de la masse en fusion est élevé (environ 10 pour une croissance de Al Gal As x l-x Les propriétés du film épitaxial formé par ce procédé sont bonnes et reproductives. Les films ont une épaisseur uniforme avec un faible pourcentage de la variation de leur épaisseur par opposition aux films de l'art antérieur qui montrent une variation d'épaisseur de 100-200 %.En outre, le rendement des films bons obtenus au moyen de ce procédé est nettement supérieur à celui des procédés de l'art antérieur où les films épais étaient soumis à une croissance et ensuite rodés de manière à fournir l'épaisseur finale requise. L'utilisation de la technique de rodage détériore sérieusement le rendement des films bons. Outre le fait d'offrir une épaisseur uniforme, ces films sont lisses et prêts à subir un traitement photolithographique sans préparation supplémentaire. Par ailleurs, le procédé est avantageux étant donné que seules de fai bles quantités de constituants sont nécessaires dans la masse en fusion I risque toute la précipitation se fait à la surface du substrat. La figure 4 montre la répartition de l'épaisseur des couches d'une pastille soumise à une croissance au moyen du procédé et de l'appareil de la présente invention représentés sur la figure 1. Dans ce cas particulier, la couche épitaxiale est Al Gal As. La dimension de la couche épitaxiale est de 0,8 x 1,8cm. La gamme des températures de croissance va de 955 à 900 C. La cadence du refroidissement est de 0, 4 C/mn. D'après cette répartition, on peut facilement observer que des épaisseurs rigoureusement uniformes sont obte nues sur tout le dépôt épitaxial. Outre l'épaisseur uniforme de chaque dépôt, il y a une bonne possibilité de reproduction des films entre des dépôts épitaxiaux successifs.La possibilité de reproduire des films d'épaisseur uniforme entre les dépôts épitaxiaux faits sur plusieurs cycles de traitement, a une tolérance d'environ - 4 %. Autres modes de réalisation La figure 5 montre un appareil 46 dans lequel la masse en fusion est déplacée de façon circulaire dans un système à four vertical, par opposition au déplacement horizontal de la masse en fusion dans le système horizontal de la figure 1. L'appareil 46 comprend une nacelle 48 ayant une cavité 50 dans laquelle est placé un substrat 52. Au-dessus de la nacelle 50 se trouve un récipient mobile 54 dans lequel se trouvent les chambres 56A et 56B. Dans ces chambres, se trouvent les masses en fusion respectives 58A et 58B. La plaque supérieure 60A au moyen d'un élément de vissage 62A (ou d'un poids) maintient sous pression la masse en fusion 58A de sorte que celle-ci remplisse complètement la chambre 56A.De même, la plaque supérieure 60B, au moyen d'une vis 62B (ou d'un poids) maintient sous pression la masse en fusion 58B pour obtenir pareillement le même résultat. Le support de la masse en fusion 54 est rotatif afin d'amener les masses en fusion 58A et 58B en contact avec le substrat 52. Le mécanisme de déplacement du support 54 est la vis 64. Bien qu'elles ne soient pas montrées sur le dessin, des sources de chauffage, semblables à celles de la figure 1 qui entourent l'appareil 46, permettent de chauffer la masse en fusion. n nty a presque aucun gradient de température sur la surface du substrat et, par rotation de la masse en fusion, tout corps excédentaire sur la surface du substrat est enlevé afin de fournir une surface lisse. Il est également possible de développer cet appareil en vue d'un dépôt sur des substrats multiples ou afin de fournir des couches épitaxiales multiples de compositions différentes. Par exemple, si les corps dans les masses en fusion 58A et 58B sont différents, l'appareil 46 peut être utilisé pour fournir des couches épitaxiales de compositions différentes par simples rotations successives du support 54. La figure 6 montre un mode de réalisation qui va fournir une croissance continue. Le tube en quartz 10 de la figure 2 n'est pas représenté, pas plus que ne le sont les sources de chauffage. U est bien compris que ces éléments sont fournis de la manière représentée sur la figure 1. L'appareil 66 se caractérise par un moyen qui est utilisé pour recharger la masse en fusion après utilisation et pour enlever la masse en fusion de la chambre lorsqu'il est souhaité fournir une fusion différente. L'appareil 66 comprend une nacelle 68 contenant les chambres 70A et 70B. Ces chambres reçoivent respectivement les substrats 72A et 72B. Une première plaque coulissante 74 placée sur la nacelle 68 contient une chambre 76 dans laquelle se trouve la masse en fusion 78. Tout d'abord, la masse en fusion 78 est placée dans le renfoncement 80 de la nacelle 68 qui contient le matériau de source 82. La plaque supérieure 84 correspond à la plaque 20 de la figure 1 et, afin de rendre le dessin plus clair, les chambres (40A-40D, figure 1) utilisées pour recevoir les éléments de dopage des différents corps, ne sont pas représentées dans la plaque 84. Cependant, il est bien compris que ces chambres pourraient être fournies de la même manière que les chambres 40A-40D alors aménagées dans la plaque 20 de la figure 1. L'appareil 66 diffère de l'appareil 14 de la figure 1 en ce que un moyen 88 est utilisé pour recharger la masse en fusion 78 dans la chambre 76 ou pour l'enlever de celle-ci. Dans le cas le plus simple, le moyen 88 comprend un réservoir 90 dans lequel les constituants de la masse en fusion sont maintenus sous pression par la plaque supérieure 92. Si besoin est, plusieurs réservoirs 90 peuvent être utilisés pour une entrée séquentielle des nouveaux constituants de la masse en fusion dans la chambre 76. La soupape Vl connecte le réservoir 90 à la chambre 76 au moyen du tube 94. Un tube 96 est également connecté à la soupape V1, lequel tube relie le système à l'atmosphère. De dessous la chambre 76 part un tube 98 dans lequel on peut faire le vide au moyen de la soupape V2. Pour enlever la masse en fusion de la chambre 76, la soupape V2 est connectée d'une source de vide tandis que la soupape V1 s'ouvre sur l'atmosphère. Pour restaurer les constituants de la masse en fusion de la chambre 76, la soupape V2 est fermée tandis que la soupape V1 s'rouvre sur le réservoir 90. En même temps, la soupape Vl/enst plus reliée à ltatmosphère. Ainsi, plusieurs substrats 72A, 72B, etc ... peuvent recevoir des dépôts épitaxiaux en provenance d'une masse en fusion 78 rechargée constamment. Cette opération peut se faire en déplaçant la plaque coulissante 70A pour que les substrats soient placés sous la masse en fusion rechargée 78. Les figures 7A et 7B montrent deux autres agencements d'une nacelle 100 utilisée pour porter les substrats. Cette nacelle peut être la nacelle 16 de la figure 1 ou la nacelle 68 de la figure 6. Sur la figure 7A, la nacelle 100 comporte deux chambres 102A et 102B. Les substrats 104A et 104B sont placés respectivement dans ces chambres. Ainsi, plusieurs substrats peuvent être placés dans chaque nacelle afin de permettre de multiples dépôts de la même masse en fusion. Sur la figure 7B, la nacelle 100 est représentée comme ayant deux chambres 102A et 102B pour recevoir les substrats, chambres qui sont semblables à celles de la figure 7A. Cependant, la structure de la figure 7B est utilisée pour placer de multiples substrats dans chaque chambre de réception. Par exemple, les chambres de réception ont plusieurs cloisons 103, si bien que quatre substrats 104A peuvent être placés dans la chambre 102A et quatre substrats 104B peuvent l'être dans la chambre 102B. On peut multiplier ce type de cloisonnement afin de fournir une version développée de chaque appareil LPE représenté sur le dessin. Si besoin est, plusieurs masses en fusion peuvent être utilisées, une masse en fusion étant utilisée avec chaque chambre de réception de substrats.En outre, les masses en fusion peuvent être utilisées successivement sur le meme substrat de manière à fournir des couches épitaxiales uniformes de composition différente. Exemples Bien que la réalisation pratique de la présente invention soit claire pour l'homme de l'art, l'exemple suivant sert à illustrer les principes enseignés par la présente invention. Pour le dépôt de Al Ga As (x=0,35) sur GaAs, l'appareil 14 est sim x l-x plement chauffé à environ 930cl (gamme de températures allant de 900 à 1000"C) pendant environ 1/2 heure à 1 heure afin de fournir une masse en fusion saturée dont les matériaux de source sont GaAs et AlAs. ta masse en fusion est ensuite refroidie pendant environ 100 minutes pour abaisser sa température de 5-10 C. Ceci assure la saturation de la masse en fusion. La masse en fusion est ensuite amenée en position sur le substrat et la tempéra ture est légèrement élevée (jusqu'à la température de départ) pendant environ 1 à 5 minutes pour humidifier le substrat.La température est ensuite abaissée à une cadence de 0, 1-2 C/mn, jusqu'à ce que soit obtenue l'épaisseur requise du dépôt. De façon générale, la température est abaissée d'environ 20 à 50 C. A ce moment, la masse en fusion est enlevée de la surface de la pastille en ramenant la plaque 18 à sa position d'origine, laissant ainsi apparaitre une surface lisse sur la couche épitaxiale qui est dépourvue de tout gallium. La présente invention fournit donc un procédé LPE perfectionné dans lequel la géométrie et les caractéristiques de la masse en fusion sont minutieusement contrôlées. La masse en fusion a une épaisseur uniforme sur la surface du substrat et cette épaisseur est choisie de sorte qu'elle ne soit pas supérieure à la longueur de diffusion pour la nucléation des corps dans la masse en fusion. Ceci assure l'obtention de dépôts épitaxiaux d'épaisseur uniforme et très lisses. La masse en fusion est maintenue sous pression de sorte que son épaisseur soit uniforme et de sorte que la précipitation en des emplacements autres que la surface du substrat, ne soit pas possible. En outre, il y a un léger gradient de température dans l'épaisseur de la masse en fusion et la régulation des propriétés thermiques du système se fait minutieusement pour qu'il n'y ait pas de gradient de température dans un sens quelconque parallèle à la surface du substrat. Bien que l'on ait décrit dans ce qui: précède et représenté sur les dessins les caractéristiques essentielles de l'invention appliquées à un mode de réalisation préféré de celle-ci, il est évident que l'homme de l'art peut y apporter toutes modifications de forme ou de détail qu'il juge utiles, sans pour autant sortir du cadre de ladite invention. REVENDICATIONS 1. - Procédé de dépôt épitaxial de matériaux sous la forme de films mncss, à partir de la phase liquide desdits matériaux sur un substrat caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes a/ chauffage d'une source contenant le matériau, ce dernier comprend les espèces chimiques à déposer sous la forme d'une couche épitaxiale sur ledit substrat pour obtenir un bain en fusion à partir dudit matériau à déposer. b/ la mise en contact dudit bain et dudit substrat, ledit bain ayant une épaisseur uniforme à travers tout son volume, ladite épaisseur étant appropriée pour qu'une nucléation spontanée dudit matériau sur ledit substrat ne se produise pas. 2. - Procédé de dépôt épitaxial selon la revendication 1 dans lequel ledit bain en fusion est complètement renfermé dans une chambre durant le dépôt dudit matériau sur ledit substrat. 3. - Procédé de dépôt épitaxial selon la revendication 1 dans lequel un gradient de température existe à travers le bain. 4. - Procédé de dépôt épitaxial selon la revendication 1 dans lequel la température dudit bain à l'interface bain-substrat est pratiquement constante. 5. - Procédé de dépôt épitaxial selon la revendication 1 dans lequel ledit substrat est GaAs et ladite couche épitaxiale est choisie dans le groupe comprenant Ga, Al, et As. 6. - Procédé de dépôt de couches épitaxiales à partir d'une phase liquide d'un matériau sur un substrat caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes ai formation d'un bain constituant la phase liquide à partir dudit matériau à déposer, b/ dépôt dudit matériau sur une surface dudit substrat par la mise en contact dudit bain et de ladite surface, le bain étant drune épaisseur uniforme, au dessus de ladite surface pendant l'opération de dépôt et d'une épaisseur telle qu'elle n'est pas supérieure à la longueur de diffusion pour la nucléation dudit matériau dans ledit bain. 7. - Procédé de dépôt de couches épitaxiales selon la revendication 6 dans lequel ledit bain est maintenu sous pression dans une chambre close durant l'opération de dépôt, ladite pression étant suffisante pour étaler ledit bain à travers le volume de ladite chambre close et pour contrebalancer l'effet de tension superficielle du matériau dans ledit bain. 8. - Procédé de dépôt de couches épitaxiales selon la revendication 6 dans 2 lequel ledit bain contient environ 1 à 2 grs de matériau par cm de la surface du substrat. 9. - Procédé de dépôt de couches épitaxiales selon la revendication 6 dans lequel la température à l'interface dudit bain et de ladite surface est inférieure à celle de la surface supérieure dudit bain. 10. - Procédé de dépôt de couches épitaxiales selon la revendication 6 dans lequel le rapport entre la surface dudit bain et son épaisseur est d'environ 10. 11. - Procédé de dépôt épitaxial de films sur un substrat caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes chauffage d'une source de matériau contenant les espèces chimiques à déposer sous la forme d'une couche épitaxiale sur la surface dudit substrat, à une première température et pendant un temps suffisant pour former un bain comprenant ledit matériau en fusion, mise en contact de ladite surface avec ledit bain, l'épaisseur dudit bain étant maintenue constante et étant d'un ordre de grandeur voisin de la longueur de diffusion pour la nucléation desdites espèces dans ledit bain, élévation de la température pour mouiller ladite surface, abaissement de ladite température à une deuxième température non supérieure à ladite première température pour permettre au dépôt épitaxial de s'effectuer sur ladite surface. 12. - Procédé de dépôt épitaxial selon la revendication 11 dans lequel ledit bain est contenu dans un volume d'épaisseur uniforme. 13. - Appareil pour le dépôt épitaxial de films sur un substrat, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de support dudit substrat, des moyens de retenue pour contenir un bain d'un matériau comportant des espèces chimiques à déposer, ces moyens maintenant l'épaisseur du bain constante dans tout son volume, des moyens de chauffage pour produire et maintenir ledit bain, et des moyens pour mettre en contact ledit bain et ledit substrat et permettre le dépôt épitaxial desdites espèces chimiques sur ledit substrat. 14. - Appareil pour le dépôt épitaxial selon la revendication 13 dans lequel lesdits moyens de retenue, maintiennent l'épaisseur dudit bain, voisine de la longueur de diffusion pour la nucléation desdites espèces à l'intérieur dudit bain. 15. - Appareil pour le dépôt épitaxial selon la revendication 13 dans lequel lesdits moyens de retenue comportent en outre des moyens d'application de pression pour étaler ledit bain uniformément dans le volume offert par lesdits moyens de retenue. 16. - Appareil pour le dépôt épitaxial selon la revendication 13 dans lequel 11 appareil comporte en outre des moyens pour ajouter et pour éliminer lesdites espèces chimiques dudit bain. 17. - Appareil pour le dépôt épitaxial de films sur un substrat caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de support dudit substrat, des moyens de support d'une source d'un matériau contenant les espèces chimiques à déposer, des moyens de chauffage de ladite source et produire un bain liquide contenant lesdites espèces chimiques, des moyens pour mettre en contact ledit substrat et ledit bain pour permettre au dépôt épitaxial de s'effectuer, des moyens de retenue pour maintenir ltépaisseur dudit bain uniforme durant le dépôt cette épaisseur n'étant pas supérieure à la longueur de diffusion pour la nucléation desdites espèces chimiques. 18. - Procédé de dépôt épitaxial selon la revendication 1 ou 11 dans lequel ladite épaisseur n'est pas supérieure à la longueur de diffusion pour la nucléa tion des espèces chimiques à l'intérieur dudit bain. 19. - Procédé de dépôt épitaxial selon la revendication 6 ou 18 dans lequel ladite longueur de diffusion est la plus petite des longueurs de diffusion des différentes espèces chimiques sélectionnées en vue du dépôt épitaxial. 20. - Procédé de dépôt épitaxial selon la revendication 1, 6 ou 11 dans lequel ladite couche épitaxiale comprend du matériau semiconducteur. 21. - Procédé de dépôt épitaxial selon la revendication 1, ou 11 dans lequel ladite couche épitaxiale est du grenat et ledit substrat un isolant. 22. - Procédé de dépôt épitaxial selon la revendication 12 dans lequel ledit bain est contenu dans une chambre sous une pression suffisante pour produire un étalement uniforme dudit bain dans ladite chambre.