Brevet FR2167828A1 — publié le 19730824

La présente inventipn concerne un procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs et un dispositif d'exposition.utilisé pour mettre en oeuvre ce procédé, D'une façon plus particulière, la présente invention a trait à un nouveau procédé pour former des points de phosphore dans un tube image ordinaire de télévision en couleurs du type à masque perforé ou des points de phosphore et des points de photorésist (éliminés par la suite pour former les points de phosphore aux positions qu'ils occupent) dans le tube image de télévision en couleurs du type dit à matrice noire dans lequel on forme une couche absorbant la lumière dans les interstices compris entre des points de phosphore, le diamètre des points de phosphore ou des points de photorésist étant plus petit que le diamètre des trous du masque perforé et la présen- te invention concerne également un dispositif d'exposition utilisé pour mettre en oeuvre ce procédé, Selon la présente invention, l'exposition servant à former un écran au phosphore comprend à la fois l'exposition d'une couche de phosphore contenant une matière photosensible pour former des points de phosphore et l'exposi- tion d'une couche photosensible ou d'une couche absorbant la lumière et contenant une matière photo sensible pour former des points de photorésist, Toutefois, sauf indication contraire, l'explication donnée dans l'exposé qui va suivre sera faite à propos de l'exposition d'une couche de phosphore et de la formation de points de phosphore0 Les procédés que l'on a proposé jusqu'à présent pour former des points de phosphore ayant un diamètre plus petit que le diamètre des trous du masque perforé comprennent un procédé dans lequel on augmente le diamètre des trous du masque perforé en attaquant à l'acide ce masque perforé après l'exposition d'une couche de phosphore à travers le masque perforé ainsi qu'un procédé dans lequel on réduit momentanément le diamètre des trous du masque perforé, par exemple en revêtant le masque perforé avec un agent d'enduction tel qu'une peinture, la peinture étant enlevée par lavage pour que les trous retrouvent leur diamètre initial après l'exposition d'une couche de phosphore à travers le masque perforé revêtu.On a également proposé, comme procédé sans traitement spécial du masque perforé, un procédé électronique dans lequel on expose la couche de phosphore à un faisceau d'électrons qui est focalisé lorsqu'il passe à travers les trous du masque perforé et un procédé optique utilisant une source de lumière en forme d'anneau, comme plus exemple une source de lumière annulaire ou une source de lumière ponctuelle tournant sur une orbite annulaire (source que l'on appellera par la suite source de lumière rotative). Parmi les procédés ci-dessus, le procédé électronique et le procédé optique, qui ne font appel à aucun traitement spécial du masque perforé, sont supérieurs du point de vue du rendement de fabrication et, par conséquent avantageux du point de vue du prix de revient. Toutefois, le procédé électronique est très compliqué car il est ns'cssaire de former une couche conductrice sur la surface intérieure du fond da tube at de maintenir sous vide uL dispositif produisant un faisceau d'électrons ainsi que le fond du tube0 Le procédé optique, par ailleurs, est plus avantageux car il permet, grâce à l'utilisation d'une source de lumière en forme d'anneau, d'obtenir une configuration de spot de lumière ou répartition d'intensité d'éclairage... uniques sur la couche de phosphore exposée, configuration ou répartition que l'on ne peut pas obtenir avec la source de lumière plane habi tulle. Toutefois, quand on effectue en réalité une exposition au moyen du procédé optique, la source de lumière en forme d'anneau, comme par exemple une source de lumière annulaire ou une source de lumière rotative, pose un sérieux problème qui fait que l'on ne peut obtenir un écran au phosphore de haute qualité. On va maintenant exposer ce problème à propos du cas où l'on utilise une source de lumière rotative. En supposant que le rayon de rotation de la source de lumière rotative est R et que le diamètre de la source de lumière est d, le diamètre d'image réel Dmin et le diamètre d'image apparent Dmax de la source de lumière rotative sont égaux à ceur d'une source de lumière plane ayant un diamètre de 2 R f d. Si n augmente le rayon de rotation R de façon à réduire le- diamètre d'image réel Dmit pour former un point d'un diamètre plus petit que le diamètre des trous. du mas- que perforé, le diamètre d'image apparent Dmax. augmente ïnévi- tablement. Si on augmente le diamètre d'image apparent DmaX exagérément, deux points lumineux adjacents se chevauchent Dans ce cas, il se produit le phénomène dit de voile ou le chevauchement des points de phosphore. Certains masques perforés présentent une gradation et comportent dans leur partie centrale des trous de grand diamètre et le diamètre des trous diminue progressivement vers la partie.q iriphrique du masque. I1 en est ainsi principalement pour;*-awzer tzne.reaonaance d'impact du faisceau dans la partie périphérique de l'écr.an.au phosphore du tube image de télévision en couleurs du type à matrice.Dans. le cas d'un tube image de télévision en couleurs du type sans matrice dans lequel le masque perforé utilisé présente une gradation de diamètre des trous ainsi que dans le cas du tube image de télévision en couleurs du type avec matrice dans lequel le masque perforé utilisé ne présente pas de gradation de diamètre des trous, des points de photorésist (ou des points de phosphore) plus petits présentant des rapports de réduction plus élevés vis-à-vis du diamètre des trous du masque perforé sont nécessaires, à mesure que l'on s'éloigne de la partie périphérique de l'écran au phosphore, du point de vue de la redondance de pureté des couleurs, étant donné que le diamètre des points de photorésist servant à la formation des points de phosphore déterminent la surface phosphorescente0 En autres termes, bien que le diamètre des points de photorésist ou des points.de phosphore doive:. diminuer vers la partie périphérique de l'écran, il n'est pas nécessaire que le diamètre des trous du masque perforé di minue autant que le diamètre des points0 Par conséquent, le rapport entre le diamètre des trous du masque perforé et le diamètre des points varie avec la distance par rapport au centre du masque perforé. Ceci signifie que le rayon de rotation otpimal de la source de lumière rotative pour une partie centrale de l'écran au phosphore diffère .du rayon de rotation de cette source pour une partie périphérique de ltécrane Pour la partie périphérique de l'écran, il faut que le rayon de rotation augmente de manière à former des points présentant des rapports de réduction plus élevés par rapport au diamètre des trous du masque perforé.Toutefois, si on ne fait en sorte que le rayon de rotation soit suffisamment grand pour convenir à la partie périphérique de l'écran, les points de photorésist formés dans la partie centrale de l'écran sont excessivement grands ce qui entraone un chevauchement des points de photorésist adjacents de sorte que les points de phosphore ne peuvent pas 8tre formés dans la partie centrale0 Inversement, si on fait en sorte que le rayon de rotation ait une valeur convenant pour la partie centrale de l'écran, les points de photorésist formés dans la partie périphérique de l'écran sont trop grands, ce qui en traSne une réduction de la redondance ou excédent d'impact du faisceau et une détérioration extr8mement importante de la qualité de l'écran au phosphorez C'est pourquoi la présente invention a pour objet un procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs qui peut remédier aux inconvénients ci-dessus propres au procédé de la technique antérieure et qui permet de former l'écran au phosphore comprenant des points de phosphore ayant un diamètre plus petit que le diamètre des trous du masque perforé, La présente invention a encore pour objet un procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleur qui peut remédier aux inconvénients cidessus propres au procédé de la technique antérieure et permet de former un écran au phosphore comprenant des points de phosphore ayant des diamètres plus petits que le diamètre des trous du masque perforé par formation e points de photorésist ayant des diamètres plus petits que le diamètre des trous du masque perforé sur une couche photosensible, à des positions de celleci correspondant aux positions des points de phosphore, par élimination de la couche photosensible à l'exception des points de photorésist, par formation d'une couche absorbant la lumière sur les points de photorésist et dans les interstices compris entre ces points, par élimination ultérieure des points de photorésist et des parties de la couche absorbant la lumière sur les points de photorésist puis par formation des points de phosphore aux positions occupées précédemment par les points de photorésist0 La présente invention a encore pour objet un procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs qui peut remédier aux inconvénients ci-dessus propres au procédé de la technique antérieure et permet de former l'écran au phosphore constitué par des points de phosphore ayant des diamètres plus petits que le diamètre des trous du masque perforé par formation de points de photorésist ayant des diamètres plus petits que le diamètre des trous du masque perforé sur une couche absorbant la lumière à des positions de celle-ci correspondant aux positions des points de phosphore, puis par élimination ultérieure des points de photorésist, et, par formation des points de phosphore aux positions occupées précédemment par les points de photorésist. La présente invention a aussi pour objet le procédé ci-dessus dans lequel le rapport entre le diamètre des trous du masque perforé et le diamètre des points de phosphore ou des points de photorésist diminue progressivement vers une partie périphérique du masque perforé. La présente invention a également pour objet un dispositif d'exposition utilisé pour mettre en oeuvre le procédé ci-dessus conforme à la présente invention0 Selon un aspect de la présente invention, la demanderesse a créé un procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs consistant à former une couche de phosphore en revotant la surface intérieure du fond du tube image de télévision en couleurs avec une matière à base de phosphore contenant une matière photosensible, à exposer sélectivement ladite couche de phosphore à la lumière en provenance d'une source de lumière en forme d'anneau à travers un masque perforé et à éliminer la partie non exposée de la couche de phosphore l'exposition de cette couche de phosphore étant effectuée par interposition d'un agencement d'obturateur entre la source de lumière en forme d'anneau et le masque perforé précité et par variation séquentielle des dimensions de la source de lumière en forme d'anneau dans une plage prédéterminée de manière à modifier la répartition de la transmission de lumière à travers l'agencement d'obturateur précité en mtme temps que la variation de la dimension de la source de lumière en forme d'anneau, gracie à quoi on fait varier la surface exposée de la couche de phosphore. Selon un autre aspect de la présente invention, la demanderesse a créé un dispositif d'exposition destiné à outre utilisé dans le procédé de formation d'écran au phosphore d'un tube image de télévision en couleurs et comprenant une source de lumière en forme d'anneau, ce dispositif d'exposition comportant un dispositif pour faire varier séquentiel lementles dimensions de ladite source de lumière en forme d'anneau dans une plage prédéterminée, un agencement d'obturateur intercalé entre ladite source de lumière en forme d'anneau et le masque perforé, un dispositif pour modifier la répartition de la transmission de lumière de l'agencement d'obturateur précité et un dispositif d'intxrdépendance couplé tant au dispositif servant à faire varier les dimensions de la source de lumière en forme d'anneau qu'au dispositif précité servant à modifier la répartition de la transmission de lumière de ltagencement d'obturateur pour rendre dépendant l'un de l'autre les fonctionnements respectifs de ce dispositif et de cet agencement, grâce à quoi on fait varier la superficie'exposée d'une couche de phosphore formée sur un fond de tube image de télévision en couleurs0 Les objets, les caractéristiques et les avantages ci-dessus ainsi que d'autres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention seront mieux compris à la lecture de la description détaillée faite ci-après en référence au dessin annexé sur lequel la figure 1 est une vue montrant les configurations de spot de lumière sur une couche de phosphore obtenue dans un exemple du procédé de la technique antérieure de formation d'écran au phosphore d'un tube image de télévision en couleurs la figure 2 est une représentation schématique d'un mode de réalisation du dispositif d'exposition utilisé pour mettre en oeuvre le procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs selon la présente invention la figure 3 donne un exemple de division d'un disque pour former des pales gauchies de l'obturateur à pales gauchies du mode de réalisation de la figure 2 la figure 4 donne un exemple d'une pale gauchie de l'obturateur à pales gauchies du mode de réalisa- tion de la figure î la figure 5 est un graphique montrant les caractéristiques de transmission de lumière de l'obturateur à pales gauchies du mode de réalisation de la figure 2 la figure 6 est une vue schématique et partiellement en coupe donnant un exemple de la structure ou construction de certaines parties du dispositif d'exposition de la figure 2 ; et la figure 7 montre les configurations de spot de lumière sur la couche de phosphore obtenue au moyen du dispositif d'exposition de la figure 4. La relation entre le diamètre des trous du masque perforé et le diamètre des points de photorésist ou de phosphore dans le cas, par exemple, d'un tube image de télévision en couleurs de 50 cm par exemple, dont le pas des trous du masque perforé est de 0,60 mmsest, de façon avantageuse, teleque le diamètre des trous du masque perforé et le diamètre des points sont respectivement de 0,320 mm et de 0,260 mm dans une partie centrale du masque perforé, de 0,310 mm et 0,210 mm dans une partie du masque perforé éloignée de 150 mm du centre de ce masque et de 0,300 mm et 0,200 mm dans une partie du masque perforé éloignée de 200 mm du centre de ce masque.Pour répondre à de telles exigences, le rayon R de rotation de la source de lumière rotative doit outre de 192 mm pour la partie centrale du masque perforé et de 2,0 mm pour une partie du masque perforé éloignée de 200 mm du centre de ce masque0 La figure 1 montre des tracés ou courbes de la configuration ou intensité d'éclairement relative du spot de lumière produit sur une couche de phosphore à travers des trous d'un masque perforé dans un exemple du procédé d'exposition de la technique antérieure pour la formation d'un écran au phosphore, cela pour diverses valeurs du rayon R de rotation d'une source de lumière rotative (avec un diamètre de source de lumière de 0,6 mm).Sur la figure, l'axe des abscisses représente la distance correspondant au rayon des points de phosphore et l'axe des ordonnées représente l'intensité d'éclairement relative sur la couche de phosphore. En 0 est indiqué le rayon requis du point dans la partie centrale du masque perforé, en ss est indiqué le rayon requis du point dans une partie périphérique du masque perforé située à 200 mm du centre de ce masque et, au point C, est indiquée la distance de centre à centre entre points adjacents.On voit que l'on peut former des points ayant un diamètre de 0,260 mm dans la partie centrale du masque perforé si on fait en sorte que R = 1,2 mme Toutefoi avec ce rayon R, on ne peut former aucun point dans la partie périphérique du masque perforé située à 200 mm du centre de ce masque. Pour former des points ayant un diamètre de 0,200 mm dans la partie périphérique du masque perforé située à 200 mm du centre de ce masque, le rayon de rotation R de la source de lumière rotative peut 8tre de 2,0 mme Toutefois, avec ce rayon R, un chevauchement des points se produit dw*.la partie centrale du masque perforé. Selon la présente invention, on remédie aux inconvénients ci-dessus de la formation de l'écran au phosphore en faisant varier séquentiellement le rayon de rotation de la source lumineuse rotative ou les dimensions de la source lumineuse annulaire dans une plage prédéterminée de mani ère à augmenter ainsi progressivement la superficie exposée du fond du tube image de télévision en couleurs depuis une partie centrale vers une partie périphérique dudit fond ou bien en réduisant progressivement la superficie exposée depuis la partie périphérique vers la partie centrale0 On va maintenant décrire un mode de réalisation préféré de la présente invention en se référant aux figures 2 à 7. La figure 2 montre un dispositif d'exposition utilisé également pour mettre en oeuvre le procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs selon la présente invention Sur la figure, la référence 21 désigne un fond de tube image dont la surface intérieure est revêtue d'une couche de phosphore contenant une matière photosensible, d'une façon classique, la référence 22 désigne un masque perforé, la référence 23 désigne une enceinte ou chambre d'exposition, la référence 24a désigne une source lumineuse rotative, la référence 24 désigne un moteur destiné à faire tourner la source lumineuse rotative 24a autour d'un axe de rotation 25, la référence 26 désigne un premier mécanisme d'en- traitement comprenant un micromoteur et un mécanisme d'avance à vis pour faire varier le rayon de rotation de la source lumineuse rotative 24a, la référence 28 désigne un second mécanisme d'entraînement comprenant un micromoteur et un mécanisme d'avance à vis, la référence 27 désigne un dispositif d'inter dépendance pour rendre interdépendant le premier et le second mécanisme d'entrarnement, la référence 29 désigne un obturateur à pales gauchies, la référence 30 désigne l'axe du tube image de télévision en couleurs et la référence 31 désigne une lentille correctrice pour corriger le trajet du flux de lumière en provenance de la source de lumière rotative 24a de façon à simuler le trajet réel du faisceau d'électrons. Les figures 3 et 4 donnent un exemple de construction de l'obturateur à palesgauchies 29. L'obturateur 29 comprend six pales 33, en forme de secteurs,, que l'on a obtenues en divisant uniformément un disque comme représenté sur la figure 3. Chaque pale 33 a la forme d'une hélice dont la moitié située vers le centre et dont la moitié située vers la périphérie at ubis une torsion d'environ 900 autour de l'axe central 35 dans des directions opposées, comme représenté sur la figure 49 La figure 5 montre des courbes de la répartition de la transmission de lumière obtenue avec l'obtu- rateur 29 ayant la construction ci-dessus0 Dans une certaine position, la pale gauchie 33 ne laisse pratiquement passer aucune lumière dans sa partie située- vers le centre et le coefficient de transmission de lumière augmente progressivement vers la partie périphérique, c'est-à-dire vers l'arc de cercle, comme représenté par la courbe 36 sur la figure 5o Quand la pale gauchie 33 tourne par exemple autour de l'axe central 35 dans la direction de la flèche représentée sur la figure 4, la partie pour laquelle le coefficient de transmission lumière est maximal s'écarte progressivement de la partie centrale vers la partie- d'arc périphérique et, dans une certaine position ultérieure de la pale, la répartition de transmission de lumière est celle représentée par la courbe 37. Quand la pale gauchie 33 a tourné autour de l'axe central 35 de 900, la partie centrale de la pale gauchie présente le coefficient de transmission de lumière maximal représenté par la courbe 38a Pour éliminer les irrégularités de la répartition de lumière à travers 1-' obturateur 29 dans la direction de sa circonférence, on fait tourner, de préférence, l'obturateur 29 d'une seule pièce autour de son axe central 34. Gracie à l'agencement ci-dessus, on peut modifier la répartition de transmission de lumière en faisant tourner les pales gauchies individuelles 33 autour de leurs axes respectifs 35o insi. en faisant varier séquentiellement le rayon de rotation de la source de lumière rotative 24a dags une plage prédéterminée en synchronisme avec la rotation des pales gauchies 33, il est possible d'augmenter progressivement la superficie exposée du fond de tube image depuis une partie centrale jusqu'à sa partie périphérique, grâce à quoi on peut former l'écran au phosphore désiré, Après exposition, on procède au développement de la couche de phosphore d'une manière habituelle pour éliminer la partie non exposée de la couche de phosphore, gracie à quoi on obtient l'écran au phosphore. Dans le mode de réalisation de la figure 2, le second mécanisme d'entraSnement 28 utilisant un micromoteur est réalisé de manière à faire tourner les pales in- dividuelles gauchies 33 de l'obturateur 29 autour de leurs axes respectifs 35 en synchronisme les unes avec les autres et son fonctionnement est asservi, par le dispositif d'interdépendance 27 au fonctionnement du premier mécanisme d'entraSnement 26 utilisant un micromoteur pour faire varier le rayon de rotation de la source de lumière rotative 24a l'e dispositif d'interdépendance 27 peut comprendre une source d'énergie électrique fournissant des signaux de commande électriques simultanément au premier et au second mécanismes d'entraSnement 26 et 28 afin de faire fonctionner ces mécanismes en synchronisme mutuel ou bien il peut comprendre un mécanisme de came couplé aux micromoteurs des premiers et seconds mécanismes d'entraenement. D'une façon générale, il peut outre constitué par un dispositif approprié quelconque servant à asservir l'un à autre les premiers et seconds mécanismes d' entratnement La figure 6 montre un exemple typique de la construction et de la disposition de la source lumineuse rotative 24a et du premier mécanisme dlentraSnement 26 représenté sur la figure 20 Sur la figure 6, un moteur 24c sert à faire tourner la source lumineuse rotative 24a autour de son axe de rotation 25 Ce moteur; est monté sur une embase appropriée non représentée et il comporte un arbre 24d supportant un premier élément 12 qui lui est fixé au moyen d'une vis. Le premier mécanisme d'entratnement 26 est monté sur la face supérieure de l'élément 12o De plus, un second élément 13 est monté sur l'élément 12 et peut coulisser par rapport à ce derny9 dans la direction de la flèche Ae Bien que cela ne soit pas représenté, la source lumineuse rotative 24a est fixée à 1'é1é- ment 13 à une position prédéterminée sur l'axe central 14 de l'élément 13. Le premier mécanisme d'entraSnement 26 comprend un micromoteur 26a, l'arbre de rotation 26b de ce moteur et un mécanisme d'avance à vis 26co Le mécanisme d'avance à vis 26c comprend un filetage extérieur ou filetage mOle formé sur l'arbre de rotation 26b et un filetage intérieur ou filetage femelle formé dans l'élément 13.En faisant fonctionner le moteur 24c, c'est-à-dire en faisant tourner l'arbre 24d, on fait tourner la source lumineuse rotative 24a autour de l'axe de rotation 25 tandis qu'en faisant fonctionner le micromoteur 26a, c'est-àdire en faisant tourner l'arbre 26b, on déplace l'élément 13 par rapport à l'élément 12 au moyen du mécanisme d'avance à vis 26c, ce qui fait varier le rayon de rotation de la source lumineuse rotative 24a. Le micromoteur 26a est de préférence un moteur réversible pour que l'on puisse ainsi augmenter ou réduire le rayon de rotation de la source lumineuse rotative0 L'élément 12 est, de préférence, monté sur l'arbore de rotation 24b du moteur 24c de telle sorte que la position de la source lumineuse rotative puisse outre réglée dans la direction de lgaxe 25 La figure 7 montre des courbes de la configuration ou intensité relative d'éclairement du spot de lumière produit, au moyen du dispositif d'exposition de la figure 2, sur la couche de phosphore se trouvant sur la surface intérieure du fond du tube image1 les courbes étant obtenues en faisant varier le rayon de rotation R de la source lumineuse rotative.Sur la figure, l'axe des abscisses représente la distance correspondant au rayon des points de phosphore et l'axe des ordonnées représente l'intensité d'éclairement relative, les mêmes remarques faites à propos de la figure 1 pour les points 0, S et C étant valables pour la présente figure On peut voir, d'après la figure 7, quten faisant varier le rayon de rotation R de la source lumineuse rotative de O mm à 2,0 mm , on peut former des points adéquats tant dans la partie centrale que dans la partie périphérique de la couche de phosphore, La vitesse d'accroissement du rayon de rotation peut outre constante ou peut varier suivant les besoins.Alors que dans l'exemple précédent, le rayon de rotation variait de O à 2 mm, la plage de cette variation peut 8tre déterminée de façon appropriée en tenant compte des dimensions de la source lumineuse rotative ainsi que d'autres facteurs, Alors que l'obturateur 29, à pales gauchies, du mode de réalisation de la figure 2 était intercalé entre la source lumineuse rotative 24a et la lentille correctrice 31, il est aussi possible de le disposer entre la lentille correctrice 31 et le masque perforé 22 Dune façon générale,on peut placer l'obturateur à pales gauchies à n'importe quelle position appropriée entre la source lumineuse rotative et le masque perforé De plus, bien que l'obturateur illustré 29 à pales gauchies comprenne six pales gauchies 33, le nombre de pales gauchies peut être choisi librement En outre, à la place de la source lumineuse rotative1 on peut utiliser une source lumineuse annulaire et on peut faire varier progressivement ses dimen suions. Par ailleurs, 13utilisation de micromoteurs dans le premier et second mécanismes dBentraSnement ne limite en aucune façon la présente invention En outre, au lieu d'augmenter progressivement la superficie exposée depuis une partie centrale du fond du tube vers une partie périphérique de ce fond comme mentionné ci-dessus, il est également possible de diminuer progressivement la superficie exposée depuis la partie périphérie que vers la partie centrale Alors que le mode de réalisation précédent concernait un procédé de formation de points de phosphore par exposition daune couche de phosphore contenant une matière photosensible formée sur la surface intérieure d'un fond de tube image, la présente invention peut aussi entre appliquée facilement à la formation d' un écran au phosphore d'un tube image de télévision en couleurs du type à matrice noire dans lequel une matière absorbant la lumière, par exemple du graphite, est disposée dans les interstices séparant les points de phosphore0 Dans ce cas, on forme d'abord sur la surface intérieure du fond de tube image une couche poreuse absorbant la lumière et comportant un grand nombre de pores, couche dans laquelle doivent être formés les points de phosphore respectifs, Dans un premier procédé de formation de couches poreuses absorbant la lumière, on forme une couche photosensible sur la surface intérieure du fond de tube en appliquant un revêtement d'une matière photosensible telle que de l'alcool polyvinylique.Ensuite, on expose la couche photosensible pour former des points de photorésist après avoir monté le fond du tube image rev8tu de la couche photosensible, et cela conjointement avec un masque perforé, sur le dispositif d'exposition de la figure 2. On développe alors la couche photosensible exposée au moyen d'un procédé connu pour éliminer toutes ses parties à l'exception des parties formant les points de photorésfst, Ensuite, on applique une matière absorbant la lumière, par exemple du graphite, sur la surface intérieure du fond du tube image comportant les points de photorésist puis on élimine les points de photorésist et les parties de la couche absorbant la lumière au moyen d'un développement bien connu, en formant ainsi une couche poreuse absorbant la lumière sur la surface intérieure du fond du tube imageO-Ensuite, on forme une couche de phosphore sur la superficie complète de la couche poreuse absorbant la lumière en remplissant les pores de cette dernière. On expose alors la couche de phosphore pour former les points de phosphore après montage du fond de tube revêtu de la couche de phosphore sur le dispositif d'exposition de la figure 2. On développe alors la couche de phosphore exposée par un procédé bien connu pour éliminer toutes ses parties à l'exception des parties formant les points de phosphore, grâce à quoi on forme les points de phosphore voulus- dans les pores respectifs de la couche poreuse absorbant la lumière. Dans un autre procédé de formation de couche-poreuse absorbant la lumière, on forme d'abord une couche absorbant la lumière sur la surface intérieure du fond du tube en revêtant ce dernier avec une matière- formant la lumière et contenant une matière photosensible* Ensuite, on expose la couche absorbant la lumière pour former les points de photoré sist après montage du fond de tube revêtu de la couche absorbant la lumière, conjointement avec un masque perforé, sur le dispositif d'exposition de la figure 20 On développe ensuite la couche exposée absorbant la lumière au moyen d'un procédé bien connu pour éliminer ses parties formant les points de photorésist, en formant ainsi une couche poreuse absorbant la lumière sur la surface intérieure du fond du tube image. Ensuite, comme mentionné ci-dessus, on forme, on expose et on développe une couche de phosphore, grecs à quoi on obtient les points de phosphore désirés dans les pores respectifs de la couche-poreuse absorbant la lumière0 Le mode de réalisation précédent de l'invention n'est donné qu'à titre purement illustratif et non limitatif et on peut imaginer diverses variantes et modifications ainsi que d'autres applications0 Comme on l'a décrit, grace au pOocé- dé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs et au dispositif-d'exposition utilisé pour mettre en oeuvre ce procédé selon la présente invention, il est possible de supprimer les fluctuations des diamètres des points de phosphore, d'empocher la dégradation de la forme des points de phosphore et d'obtenir des points de phosphore ayant un diamètre voulu plus petit que le diamètre des trous du masque perforés I1 est ainsi possible d'obtenir un écran au phosphore de haute qualité, REVENDICATIONS 1. Procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs caractérisé par le fait qu'il consiste à former une couche de phosphore en revêtant la surface intérieure du fond de tube image de télévision en couleurs avec une matière à base de phosphore contenant une matière photosensible, 9 exposer sélectivement ladite couche de phosphore à la lumière en provenance d'une source de lumière en forme d'anneau à travers un masque perforé et à éliminer la partie non exposée de la couche de phosphore précitée, l'exposition de ladite couche de phosphore étant effectuée par interposition d'un agencement d'obturateur entre la source lumineuse en forme d'anneau et ledit masque perforé et en faisant varier séquentiellement les dimensions de la source lumineuse en forme d'anneau dans une plage prédéterminée pour modifier la répartition de transmission de lumière à travers l'agencement d'ob- turateur précité conjointement avec la variation des dimensions de ladite source lumineuse en forme d'anneau, ce qui a pour effet de faire varier la superficie exposée de la couche de phosphore. 20 Procédé suivant la revendication 1, caractérisé par le fait que la source lumineuse en forme d'anneau est une source lumineuse ponctuelle tournant sur une orbite annulaire, la variation des dimensions de ladite source lumineuse en forme d'anneau étant obtenue par variation du rayon de rotation de ladite source lumineuse ponctuelle;; 30 Procédé suivant la revendication 1, caractérisé par le fait qu'il consiste, en outre, avant d'effectuer la formation de ladite couche de phosphore, à former une couche photosensible en revêtant la surface intérieure du fond du tube image avec une matière photosensible, à exposer.sélecti- vement ladite couche photosensible à la lumière en provenance de la source lumineuse en forme d'anneau à travers le masque perforé, à éliminer la partie non exposée de ladite couche photosensible, à former une couche absorbant la lumière sur la surface intérieure du fond du tube image comprenant les parties exposées restantes de ladite couche photo sensible et à éliminer les parties de ladite couche absorbant la lumière présentes sur les parties restantes précitées de la couche de photorésist exposée en même temps que lesdites parties de couche photosensible, l'exposition de la couche photosensible étant effectuée par interposition d'un agencement d'obturateur entre la source lumineuse en forme d'anneau et le masque perforé précité et par variation séquentielle des dimensions de la source lumineuse en forme d'anneau dans une plage prédéterminée de façon à modifier la répartition de transmission de lumière à travers l'agencement d'obturateur précité conjointement avec la variation des dimensions de la source lumineuse en forme d'anneau, ce qui a pour effet de faire varier la superficie exposée de la couche photosensible. 4. Procédé suivant la revendication 1, caractérisé par le fait, qu'en outre, avant de former la couche de phosphore précitée, on forme une couche absorbant la lumière en revêtant la surface intérieure du fond du tube image avec une matière absorbant la lumière et contenant une matière photosensible, on expose sélectivement ladite couche absorbant la lumière à la lumière en provenance de la source lumineuse en forme d'anneau à travers le masque perforé et on limine les parties exposées de la couche absorbant la lumière, l'exposition de ladite couche absorbant la lumière étant effectuée par interposition de l'agencement d'obturateur entre la source de lumière en forme d'anneau et ledit masque perforé et par variation séquentielle des dimensions de la source lumineuse en forme d'anneau dans une plage prédéterminée de façon à modifier la répartition de transmission de lumière à travers l'agencement d'obturateur précité conjointement avec la variation des dimensions de ladite source de lumière en forme d'anneau, ce qui a pour effet de modifier la superficie exposée de la couche absorbant la lumière0 5. Dispositif d'exposition pour mettre en oeuvre le procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait qu'il comprend une source de lumière en forme d'anneau, un dispositif pour faire varier séquentiellement les dimensions de ladite source lumineuse en forme d'anneau dans une plage prédéterminée, un agencement d'obturateur intercalé entre ladite source lumineuse en forme d'anneau et ledit masque perforé, un dispositif pour modifier la.répS tion de iranami.sswn de lumière de l'agencement d'obturateur précité et un dispositif d'interdépendance ou d'asservissement mutuel couplé à la fois au dispositif servant à faire varier les dimensions de ladite source lumineuse en forme d'anneau et le dispositif servant à modifier la répartition de transmission de lumière de l'agencement obturateur précité pour rendre interdépendants les fonctionnements de ce dispositif et de cet agencement, grâce à quoi on fait varier la superficie exposée d'une couche de phosphore formée sur un fond de tube image de télévision en couleurs. 6o Dispositif d'exposition suivant la revendication 5, caractérisé par le fait que la source lumineuse en forme d'anneau est constituée par une source lumineuse ponctuelle tournant sur une orbite annulaire, le dispositif servant à faire varier les dimensions de la source lumineuse en forme d'anneau étant constitué par un dispositif destiné à modifier le rayon de rotation de ladite source lumineuse ponctuelle0 70 Dispositif d'exposition suivant la revendication 5, caractérisé par le fait que la source lumineuse en forme d'anneau est constituée par une source lumineuse annulaire. 80 Dispositif dexposition suivant la revendication 5, caractérisé par le fait que l'on réalise l'agencement d'obturation en divisant uniformément un disque en plusieurs éléments en forme de secteurs chacun de ces élémentsen forme de secteur ayant ls forne d'une hélice dont la moitié située vers le centre et la moitié située vers la périphérie, c'est-à-dire vers l'arc de. cancLe-, ont subi une torsion au tour de l'axe central de l'élément en forme de secteur sur en- viron 900 et dans des directions opposées, le dispositif servant à faire varier la répartition de transmission de lumière à travers l'agencement d'obturateur étant constitué-par un dispositif qui fait tourner en synchronisme les éléments individuels en forme de secteur autour de leurs axes centraux.