Brevet FR2167826A1 — publié le 19730824

La présente invention concerne un procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs ainsi qu'un dispositif d'exposition utilisé pour mettre en oeuvre ce procédé. D'une façon plus particu lièvre, la présente invention a trait à un nouveau procédé de formation de points de phosphore dans un tube image ordinaire du type à masque perforé ou de points de phosphore et de points de photorésist-tEliminés par la suite pour former les points de phosphore aux positions qu'ils occupent) dans le tube image de télévision en couleurs du type dit à matrice noire dans lequel une couche ou pellicule absorbant la lumière est présente dans les interstices compris entre les points de phosphore, le diamètre des points de phosphore ou de photorésist étant plus petit que le diamètre des trous du masque perforé, la présente invention concernant également un dispositif d'expolsition utilisé pour mettre en oeuvre ce procédé, En ce qui concerne la présente invention, l'exposition destinée à la formation d'un écran au phosphore comprend à la fois l'exposition d'une couche de phosphore contenant une matière photosensible pour former des points de phosphore ainsi que l'exposition d'une couche photosensible ou d'une couche absorbant la lumière et contenant une matière photosensible pour former des points de photorésist. Toutefois, sauf indication contraire, l'explication ci-après sera donnée à propos de l'exposition d'une couche de phosphore et due la formation de points de phosphore. les procédés utilisés jusqu'à présent pour former des points de phosphore ayant un diamètre plus petit que les trous du masque perforé comprennent le procédé dans lequel un agrandit le diamètre des trous du masque perforé en attaquant à l'acide ce masque perforé après l'exposition d'une couche de phosphore à travers le masque perforé et le procédé dans lequel on réduit momentanément le diamètre des trous du masque perforé, par exemple en revêtant le masque avec un agent d'enduction tel qu'une peinture, cette peinture étant ensuite enlevée par lavage de façon que les trous retrouvent leur diamètre initial après l'exposition d'une couche de phosphore à travers le masque perforé revêtus On a également proposé, en tant que procédé sans aucun traitement spécial du masque perforé, un procédé électronique dans lequel on expose la couche de phosphore à un faisceau d'électrons qui est focalisé quand il passe à travers les trous du masque perforé ainsi qu'un procédé optique utilisant une source lumineuse en forme d'anneau, comme par exemple une source lumineuse annulaire, ou une source de lumière ponctuelle tournant sur une orbite annulaire (source que l'on appellera par la suite source de lumière rotative). Parmi les procédés ci-dessus, le procédé électronique et le procédé optique qui ne font appel à aucun traitement spécial du masque perforé sont supérieurs du point de vue des cotts de fabrI- cation. Toutefois, le procédé électronique est très compliqué étant donné qu'il faut former une couche conductrice sur la surface intérieure du fond du tube et maintenir sous vide un dispositif produisant un faisceau d'électrons ainsi que le fond du tube. Le procécé optique, par ailleurs, est plus avantageux, car il permet, grâce à l'utilisation d'une source lumineuse en forme d'anneau d'obtenir une configuration de spot de lumière ou répartition de l'intensité d'éclairement uniques sur la couche de phosphore exposée, configuration ou répartition que l'on ne peut pas obtenir avec la source de lumière plane habituelle. Toutefois, quand on effectue en réali- té une exposition au moyen du procédé optique, l'utilisation de la source lumineuse en forme d'anneau, comme par exemple une sourcé de lumière. annulaire ou -une - source de lumière rotative, pose un sérieux problème, qui fait que l'onne peut pas obtenir un écran au phosphore de haute qualité. On va maintenant décrire ce problème à propos du cas de l'utilisation d'une source de lumière rotative. En supposant que le rayon de rotation de la source de lumière rotative est R et que le diamètre de la source de lumière est d, le diamètre d'image réel Dmin et le diamètre d'image apparent Dmax de la source de lumière rotative sont égaux à ceux d'une source de lumière plane ayant un diamètre de 2 R + d; Si on augmente le rayon de rotation R pour réduire le diamètre d'image réel Dmin afin de former ui point ayant un diamètre plus petit que le diamètre des trous du masque perforé, le diamètre d'image apparent Dmax se trouve inévitablement accru. Si l'on augmente exagérément le diamètre d'image apparent DmaX, on obtient deux points de lumière adjacentes qui se chevauchent.Dans ce cas, il se produit le phénomène dit de voile ou le chevauchement des points de phosphore. Dans certains masques perforés, on a recours à une gradation de diamètre de manière que le masque comporte des trous de grand diamètre dans sa partie centrale et des trous de diamètre diminuant progressivement en direction de sa partie périphérique. On procède ainsi principalement pour assurer une redondance ou excédent d'impact du faisceau dans la partie périphérique de l'écran au phosphore du tube image de télévision en couleurs du type sans matrice.Dans le cas d'un tube image de télévision en couleurs du type sans matrice dans lequel le masque perforé utilisé présentant une gradation de diamètre, ainsi que dans le cas d'un tube image de télévision en couleurs du type à matrice dans lequel le masque perforé utilisé ne présente pas de gradation de diamètre, des points de photorésist (ou des points de phosphore) plus petits, mais présentant des rapports de réduction plus grands par rapport au diamètre des trous du masque perforé à-mesure que l'on se dirige vers la partie périphérique de écran au phosphore, sont nécessaires du point de vue de la redondance de pureté des couleurs, étant donné que le diamètre des points de photorésist pour la formation de points de phosphore détermine la surface phosphorescente.En d'autres termes, bien que le diamètre des points de phosphore ou des points delhotorésist doive diminuer en direction de la partie périphérique de l'écran, il n'est pas nécessaire que le diamètre des trous du masque perforé soit aussi réduit que le diamètre des points. C'est pourquoi le rapport entre le diamètre des trous du masque perforé et le diamètre des points varie avec la distance par rapport au centre du masque perforé. Ceci revient à dire que le rayon de rotation optimal de la source de lumière rotative, en ce qui concerne la partie centrale de l'écran diffère du rayon de rotation en ce qui concerne la partie périphérique de cet écran. Pour la partie périphérique de l'écran, le rayon de rotation doit augmenter de manière à former des points présentant des rapports de réduction plus élevés vis-à-vis du diamètre des trous du masque perforé. Toutiois,sile rayon de rotation est fixé à une valeur suffisamment importante pour convenir à ia partie periphérique de l'écran, les points de photorésist formés dans la partie centrale de l'écran présentent une surface exagérément grande au point d'entratner un chevauchement des points de photorésist adjacents, de sorte que les points de phosphore ne peuvent pas titre formés dans la partie centrale.Inversement, si le rayon de rotation est fixé à une valeur convenant pour la partie centrale de l'écran, les points de photorésist formés dans la partie périphérique de l'écran sont trop grands, ce qui entrasse une rédùction de la redondance ou excédent-dçimpact du faisceau et une detériora- tion considérable de la qualité de l'écran au phosphore. C'est pourquoi la présente invention a pour objet un procédé de formation d'écran au phosphore d'un tube image de télévision en couleurs pouvant remédier aux inconvénients ci-dessus propres au procédé de la technique antérieure et permettant de former l'écran au phosphore constitué par des points de phosphore ayant des diamètres plus petits que le diamètre des trous du masque perforé0 La présente invention a encore pour objet un procédé de formation écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs pouvant remédier aux inconvénients ci dessus propres au procédé de la technique antérieure et permettant de former l'écran au phosphore constitué par des points de phosphore ayant un diamètre plus pétrit que le diamètre des trous du masque perforé par formation de points de photorésist ayant des diamètres plus petits que l**diamètre des trous du masque perforé sur une couche photosensible a' des positions de celle-ci correspondant aux positions des points de phosphore, par élimination de la couche photosensible à l'exception des points de photorésist, par formation d'une couche absorbant la lumière sur les points de photorésist et dans les interstices séparant ces points de photorésist, puis par élimination des points de photorésist et des parties de la couche absorbant la lumière se trouvant sur ces points de photorésist et, finalement, par formation des points de phosphore aux positions occupées précédemment par les points de photorésist. La- présente invention a aussi pour objet un procédé de formation d'écran au phosphore d'un tube image de télévision en couleurs pouvant remédier aux inconvénients cidessus propres au procédé de la technique antérieure et permet tant de former l'écran au phosphore constitué par des points de phosphore ayant des diamètres plus petits que le diamètre des trous du masque perforé par formation de points de photo- résist ayant des diamètres plus petits que le diamètre des trous du masque perforé sur une couche absorbant la lumière à des positions de celle-ci correspondant aux positions des points de phosphore, puis par élimination des points de photo résist et, enfin, par formation des points de phosphore aux positions occupées précédemment par les points de photorésist. La présente invention a encore pour objet le procédé ci-dessus dans lequel le rapport entre le diaw mètredes trous du masque perforé et le diamètre des points de phosphore ou de photorésist diminue progressivement en direc tion de la partie périphérique du masque perforé. Un autre objet encore de l'invention réside dans un dispositif d'exposition utilisé pour mettre en oeuvre le procédé ci-dessus conforme à l'invention0 Selon un aspect de la présente inven tion, la demanderesse a créé un procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs consis tant à former une couche de phosphore par revêtement de la surface intérieure du fond d'un tube image de télévision en couleurs avec une matière à base de phosphore et contenant une substance photosensible, à exposer sélectivement à travers un masque perforé ladite couche de phosphore à la lumière en pro venance de source de lumière en forme d'annaaue à éliminer la partie non exposée de la couche de phosphore, l'exposition de. ladite couche de phosphore étant effectuée par interposition d'un agencement de diaphragme entre ladite source lumineuse en forme d'anneau et ledit masque perforé et par variation, d'une façon séquentielle des dimensions de ladite source de lumière en forme d'anneau dans une plage prédéterminée pour modifier l'angle solide dudit agencement de diaphragme conjointement avec la variation des dimensions de la source de lumière en forme d'anneau, ce qui a pour effet de faire varier la super ficie exposée de la couche de phosphore, Selon un autre aspect de la présente invention, la demanderesse a créé un dispositif d'exposition destiné à être utilisé dans le procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs et comportant une source lumineuse en forme d'anneau le dispositif d'exposition susvisé comprenant un dispositif pour faire varier séquentiellement les dimensions de la source de lumière en forme d'anneau précitée dans une plage prédéterminée, un agencement de diaphragme intercalé entre ladite source lumineuse en forme d'anneau et ledit masque perforé, un dispositif pour modifier l'angle solide dudit agencement de diaphragme et un dispositif d'interdépendance couplé tant au dispositif servant à faire varier les dimensions de la source lumineuse en forme d'anneau qugau dispositif servant à modifier l'angle solide dudit agencement de diaphragme afin de rendre-interdépendant le fonctionnement de deux dispositifs, grce à quoi la surface exposée d'une couche de phosphore formée sur le fond d'un tube image de télévision en couleurs est amenée à varier0 Les objets, caractéristiques et avantages ci-dessus ainsi que dartres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention seront nieux compris à la lecture de la description détaillée faite ci-après en référence au dessin annexé, sur lequel la figure 1 est une vue montrant les configurations de taches ou spots de lumière sur une couche de phosphore dans un exemple du procédé de la technique antérieure de formation écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs la figure 2a est une représentation schématique d'un mode de réalisation du dispositif d'exposition utilisé pour mettre en oeuvre le procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs, selon la présente invention la figure 2b est une vue schématique et partiellement en coupe montrant un exemple de la construction de certaines parties du dispositif d'exposition de la fi gure,2a ; et la figure 3 est une vue montrant les configurations de taches ou spots de lumière sur une couche de phosphore obtenue au moyen du dispositif. d'exposition de la figure 2a La relation entre le diamètre des trous du masque perforé et le diamètre des points de photorésist ou de phosphore dans le cas, par exemple, d'un tube image de télévision en couleurs de 50 cm dont le pas des trous du masque est de 0,6 mm, est avantageusement telque le diamètre des trous du masque perforé et le diamètre des points sont respectivement de 0,320 mm et 0,260 mm dans une partie centrale du masque perforé, de 0,310 mm et 0,210 mm dans une partie du masque perforé éloignée de 150 mm du centre de ce masque et de 0,300 mm et 0,200 mm dans une partie du masque perforé éloignée de 200 mm du centre dudit masque, Pour répondre à de telles exigences, il faut que le rayon R de rotation de la source de lumière rotative soit de 1,2 mm pour la partie centrale du masque perforé et de 2,0 mm pour une partie du masque perforé éloignée de 200 mm du centre de ce masque, La figure 1 montre des tracés ou courbes de la configuration ou intensité d'éclairement relative du point lumineux produit sur la couche de phosphore à travers les trous du masque perforé dans un exemple du procédé d'exposition de la technique antérieure pour la formation d'un écran au phosphore, cela pour diverses valeurs du rayon R de rotation d'une source de lumière rotative (avec un diamètre de source de lumière de 0,6 mm) Sur la figure 1'axe des abscisses représente le rayon du point de phosphore et l'axe des ordonnées représente lXintensité d'éclairement relative sur la couche de phosphore, En O est indiqué le rayon requis du point dans une partie centrale du masque perforé, en S est indiqué le rayon requis du point dans une partie périphérique du masque perforé éloignée de 200-mm du centre-de ce masque et en C est indiquée la distance de centre à centre entre points adjacents On voit que l'on peut former des points ayant un diamètre de 0,260 mm dans la partie centrale du masque perforé si R " 1,2mou Toutefois, avec ce rayon R, acun point ne peut âtre formé dans la partie périphérique du masque perforé éloignée de 200 mm du centre de ce masque, Pour former des points ayant un diamètre de 0,200 mm dans la partie périphérique du masque perforé éloignée de 200 mm du centre de ce masque, on peut donner au rayon de rotation R de la source de lumière rotative la valeur de 2,0 mmO Cependant, avec ce rayon R, il se produit un chevauchement des points dans la partie centrale du masque perforé0 On remédie, selon la présente invention aux inconvénients ci-dessus de la formation de l'écran au phosphore en faisant varier séquentiellement le rayon de rotation de la source de lumière rotative ou bien les dBmenS ons de la source de lumière annulaire dans une plage prédéterminée de façon à augmenter ainsi progressivement la surface exposée du fond du tube image de télévision en couleurs depuis une partie centrale vers une partie périphérique de ce fond ou bien à diminuer progressivement la superficie exposée depuis la partie périphérique vers la partie centrale0 On va maintenant décrire un mode de réalisation préféré de la présente invention en se référant aux figures 2 (a-b) et 3 La figure 2a montre un dispositif d'exposition utilisé pour mettre en oeuvre le procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs selon la présente invention0 Sur la figure,la réO férence 1 désigne un fond de tube dont la surface intérieure est revêtue d'une couche de phosphore contenant une matière photosensible d'une façon classique, la référence 2 désigne un masque perforé, la référence 3 désigne le sommet d'une enceinte ou chambre dc exposition, la la référence 4a désigne une source de lumière rotative 9 la référence 4 désigne un moteur destiné à faire tourner la source de lumière rotative 4a au- tour d'un axe de rotation 5, la référence 4b désigne la même source de lumière rotative dans sa position située sur le e8- té de l'axe de rotation 5 opposé à la position-occupée par la source 4a, la référence 6 désigne un premier mécanisme d'en traitement comprenant un mloromoteur et un mécanisme d'avance à vis pour faire varier le rayon de rotation de la source de lumière rotative 4, la référence 8 désigne un second mécanisme d'entrainement comprenant un micromoteur et un mécanisme d'avance à vis, la référence 7 désigne un dispositif d'interdépendance pour rendre interdépendants les premier et second dispositifs d'entra nemen' 6 et 8,la référence 9 désigne un agencement de disphragme comprenant des éléments formant écran 9a et gb, l'élément formant écran 9a étant conçu pour être déplacé par le second mécanisme d'entraînement 8 dans la direction de l'axe 10 du tube image de télévision en couleurs0 Le dispositif d'interdépendance ? peut consister en une source d'énergie électrique fournissant des signaux de commande électrique simultanément aux premier et second mécanismes 6 et 8 pour faire fonctionner ces mécanismes en synchronisme mutuel ou bien il peut comprendre un mécanisme mécanique à came couplé aux micromoteurs des premier et second dispositifs d'entraSnementO D'une façon gé nérale, il peut titre constitué par un dispositif quelconque pouvant assurer l'interdépendance voulue des premier et second mécanismes d'entraSnemente La référence li désigne une len tille correctrice servant à corriger le trajet du flux lumi neux en provenance de la source de lumière rotative 4a pour simuler le trajet réel du faisceau d'électrons0 L'agencement de diaphragme- 9 est intercalé entre la source lumineuse rota tive 4a ou 4b et le masque perforé 2 et son angle solide est modifié en fonction de la variation du rayon deRotation de la source de lumière rotative0 Avec les dispositions constructives décrites ci-dessus, le rayon de rotation de la source de lumiè re rotative tournant autour de l'axe 5 est modifié par le pre mier dispositif d'entraînement 6, tandis que le second dispo sitif d'entrarnement 8 peut fonctionner de façon à abaisser ou entraSner le retrait de l'élément formant écran 9a par rap port à sa position illustrée jusqu'à une position qui se trouve juste au-dessus de l'élément formant écran iz de façon à aug menter de À jusqu'à B la superficie exposée du fond du tube. En d'autres termes, le rayon de rotation de la source de lu mière rotative peut être modifié séquentiellement--dans- une plage ge-prédéterminée et la superficie exposée du fond peut etre accrue en synchronisme avec le mouvement de la source de lu mière rotative depuis une partie centrale du fond du tube vers une partie périphérique de ce fond, grâce à quoi on peut former un écran au phosphore comprenant des points adéquats tant dans la partie centrale que dans la partie périphérique0 Après l'ex position, on procède au développement de la couche de phosphore d'une façon habituelle pour. éliminer la partie non exposée de la couche de phosphore en obtenant ainsi l'écran de phosphore. La figure 2b montre un exemple carac teristique de la construction et de la disposition de la source de lumière rotative 4a ou 4b, du premier mécanisme d4entra- nement 6, du second mécanisme d'entraonement 8 et de l'agence ment de diaphragme 9 représentés sur la figure 2a* Sur la fi gure 2b, un moteur 4c sert à faire tourner la source de lu mière rotative 4a autour d'un axe de rotation 5 Ce moteur est monté sur un support approprié non représenté et son arbre de rotation 4d porte un premier élément l2 qui lui est fixé au moyen d'une vise Le premier mécanisme d'entratnement 6 est monté sur la face supérieure du premier élément 12 De plus, un second élément 13 est monté sur l'élément 12 et peut coulisser par rapport à ce dernier dans la direction de la flèche A Bien que cela n'apparaisse pas sur la figure, la source de lumière rotative 4a est fixée à l'élément 13 à une position prédéterminée sur un axe central 14 de l'élément 130 Le premier mécanisme d'entraSnement 6 comprend un micromoteur 6a, l'arbre de rotation 6b de ce moteur et un mécanisme. d'avance à vis 6c. Le mécanisme d'avance à vis 6c consiste en un filetage mâle ou filetage extérieur formé sur l'arbre 6b et en un filetage femelle ou filetage intérieur formé dans l'élément 13 En faisant fonctionner le moteur 4c, c9est-à-dire en faisant tourner l'arbre 4b, on fait tourner la source de lumière rotative 4a autour de l'axe de rotation 5, tandis qulen faisant tourner le micromoteur 6a, cQest-à-dire en faisant tourner l'arbre 6b, on déplace l'élément 13 par rapport à l'élément 12 grâce au mécanisme d avance à vis 6c de manière à faire varier ainsi le rayon de rotation de la source de lumière rotative 4aO Le se- cond mécanisme d'entraSnement 8 comprend un élément 15 fixé à l'élément formant écran 9a de l'agencement de diaphragme Ce second mécanisme comprend un micromoteur 8a, l'arbre de rotation 8b de ce-moteur et un mécanisme- d'avance à vis 8cO Le mécanisme d' avance à vis 8consiste en un filetage mAle ou filetage extérieur formé sur l'arbre 8b et en un filetage femelle ou filetage intérieur formé par l'élément 15 Le micromoteur 8a est monté sur un support approprié non représenté0 En faisant tourner le micromoteur 8a, c'est-à-dire en faisant tourner l'arbre 8b, on peut abaisser, egest-à-dire rappeler, l'é- lément formant écran 9a grace au mécanisme d'avance à vis. Les micromoteurs 6a et 8b sont, de préférence, des moteurs reversibles, car le moteur 6a peut alors augmenter ou diminuer le rayon de rotation de la source de lumière rotative et le moteur 8a peut rappeler ou faire avancer l'élément formant écran 9aO L'élément 12 est, de préférence, monté sur l'arbre de rotation 4d du moteur 4c, de telle sorte que la position de la source de lumière rotative puisse titre réglée dans la direction de l'axe So La figure 3 montre des courbes ou traces de la configuration ou intensité d'éclairage relative de la tache lumineuse produite au moyen du dispositif d'exposition de la figure 2a sur la couche -de phosphore présenta sur la surface intérieure du fond du tube, les courbes étant obtenues par variations du rayon R de rotation de la source lumineuse rotative0 Sur la figure, l'axe des abscisses repré- sente la distance correspondant au rayon des points de phosphore et l'axe des ordonnées représente l'intensité d'éclairage relative les mimes remarques faites à propos de la figure 1 pour 0, S et C étant également valables icio On voit, sur la figure-3 qu'en faisant varier le rayon R de rotation de la source lumineuse rotative de O mm à 2,0 mm, on peut former des points adéquats tant dans la partie centrale que dans la partie périphérique de la couche de phosphore, La vitesse d'accroissement du rayon de rotation peut titre constante ou variable suivant les besoins, Bien que, dans l'exemple précédent, le rayon de rotation varie de O à 2 mm, lcintervalle de cette variation peut etre déterminé de façon appropriée en tenant compte des dimensions de la source lumineuse rotative ainsi que d'autres facteurs, Dans le mode de réalisation précédent de la figure 2, il nsest pas nécessaire que la partie centrale du fond du tube soit exposée quand on expo-se sa.partie.péri- phérique.Par conséquent, on peut intercaler un filtre approprié, si beeoin est, par exemple entre l'agencement de diaphragme me 9 et la lentille correctrice 11, de façon à arrêter le flux de lumière se dirigeant vers la partie centrale quand on expose la partie périphérique de ce fond, De plus, on peut utiliser, à la place de la source lumineuse rotative, une source lumineuse annulaire et on peut faire varier progressivement ses di mentions, En outre, l'utilisation de micromoteurs dans les premier et second mécanisme d'entratnement n'est donnée qu'à titre illustratif et non limitatif0 Par ailleurs aussi, au lieu d'augmenter progressivement la superficie exposée depuis une partie centrale du fond en direction de la partie périphérique de ce dernier comme mentionné ci-dessus, il est aussi possible de réduire progressivement la superficie exposée depuis la partie périphérique vers la partie centrale0 Alors que le mode de réalisation pré cédent concerne le procédé de formation de points de phosphore par exposition d'une couche de phosphore contenant une matière photosensible et formée sur la surface intérieure d'un fond de tube, l'invention peut également entre appliquée facilement à la formation d'un écran de.phosphore d'un tube image de télévision en couleurs du type à matrice noire dans lequel une matière absorbant la lumière, comme par exemple du graphite, est disposée dans les interstices séparant -le-s points de phosphore. Dans ce cas, une couche absorbant la lumière et comportant un grand nombre de pores dans lesquels doiveht être formés des points de phosphore respectifs est tout d'abord formée sur la surface intérieure du fond du tube. Dans un premier procédé de formation de couche poreuse absorbant la lumière, on forme une couche photosensible sur la surface intérieure du fond d'un tube en revêtant celui-ci avec une matière photosensible tel que de l'alcool polyvinylique0 Ensuite, on exposaaaonche-photnsan sible pour la formation de points de photorésist, après avoir monté le fond revêtu de la couche photosensible conjointement avec un masque perforé sur le dispositif d'expositide la.figure 2aO On développe alors la couche photosensible exposée par un procédé bien connu de façon à éliminer ses parties à l'exception des parties formant les points de photorésist.Ensuite, on applique une matière absorbant la lumière, comme par exemple du graphite sur la surface intérieure du fond comportant les points de photorésist et on élimine ensuite les points de photorésist et les parties de la couche -absorbant la lumière recouvrant ces points par un développement bien connu, en formant ainsi sur la surface intérieure du fond du tube une couche poreuse absorbant la lumière0 Ensuite, on forme une couche de phosphore sur la surface totale de la couche poreuse absorbant la lumière en remplissant les pores avec cette couche. On expose ensuite cette couche de phosphore pour former les points de phosphore après avoir monté le fond revêtu de la cou-. che de phosphore sur le dispositif d'exposition de la figure 2a. On développe alors la couche de phosphore exposé-e par un procédé bien connue manière à éliminer ses parties autres que celles formant les points de phosphore, grâce à quoi on obtient les points de phosphore désirés dans les pores respectifs de la couche poreuse absorbant la lumière. Dans un autre procédé de formation de couche-poreuse absorbant la lumière, on forme d'abord une couche absorbant la lumière sur la surface intérieure du fond du tube en revotant celui-ci avec une matière absorbant la lumière et contenant une matière photosensible. Ensuite, on expose la couche absorbant la lumière pour former des points de photorésist après avoir monté le fond de tube, rev8tu de la couche absorbant la lumière, conjointement avec un masque perforé sur le dispositif d'exposition de la figure 2a. On développe ensuite la couche absorbant la lumière exposée au moyen d'un procédé bien connu, de façon à éliminer ses parties formant les points de photorésist, en obtenant ainsi une couche poreuse absorbant la lumière sur la surface intérieure du fond de tube. Ensuite, comme mentionné ci-dessus, on forme, expose et développe une couche de phosphore, gracie à quoi on obtient les points de phosphore désirés dans les pores respectifs de la couche poreuse absorbant la lumière. Le mode de réalisation précédent de l'invention est donné à titre illustratif et non limitatif, mais on peut imaginer diverses.iaoificat1ons ou variantes. Comme on l's décrits grace au procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs et au dispositif d'exposition utilisé pour mettre en oeuvre ce procédé selon la présente invention, il est possible de supprimer les fluctuations des diamètres des points de phosphore, d'empocher la dégradation de la forme des points de phosphore et d'obtenir des points de phosphore d'un diamètre voulu, plus petit que le diamètre des trous du masque perforé. Il est ainsi possible de former un écran au phosphore d'une haute qualité REVENLI CÂTI ONS 1. Procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs caractérisé par le fait qu'il consiste à former une couche ou pellicule de phosphore en revêtant la surface intérieure du fond de-tube image de télévision en couleurs avec une matière à base de phosphore et contenant une matière photosensible, à exposer sélectivement ladite couche de phosphore à la lumière en provenance dtune source lumineuse en forme d'anneau, à travers un masque perforé, puis à éliminer la partie non exposée de la couche de phosphore, l'exposition de ladite couche de phosphore étant effectuée par interposition d1un agencement de aia -phragme entre ladite source de lumière en forme d'anneau et ledit masque perforé et par variation séquentielle des dimensions de ladite source lumineuse en forme d'anneau dans une plage prédéterminée pour modifier l'angle solide dudit agencement de diaphragme conjointement avec la variation des dimensions de ladite source lumineuse en forme d'anneau en faisant varier ainsi la superficie exposée de la couche de phosphore. 2o Procédé suivant la revendication 1, caractérisé par le fait que ladite source lumineuse en forme d'anneau est une source de lumière ponctuelle tournant sur une orbite annulaire, la variation des dimensions de ladite source lumineuse en forme d'anneau étant obtenue par variation du rayon de rotation de ladite source-lumineuse pionctuellee 30 Procédé suivant la revendication 1, caractérisé par le fait qu'il consiste, en outre, avant la formation de la couche de phosphore précitée, à former une couche photosensible par revêtement de la surface intérieure du fond du tube avec une matière photosensible, à exposer sélectivement la couch±photosensible à la lumière en provenance de la source lumineuse en forme d'anneau à travers le masque perforé, à éliminer-la partie non exposée de la couche photosensible, à former une couche absorbant la lumière sur la surface intérieure du fond du tube comprenant les parties exposées restantes de la couche -photosensible et et à éliminer les parties de. ladite couche absorbant la lumière sur lesdites parties restantes de la couche de photorésist exposée conjointement avec lesdites parties de couche photosensible, l'exposition de la pellicule photosensible précitée étant effectuée par interposition de l'agencement de diaphragme entre ladite source lumineuse en forme d'anneau et le masque perforé et par variation séquentielle des dimensions de ladite source lumineuse en forme d'anneau dans une plage prai'tnae' pour modifier l'angle solide de l'agencement de diafhra4=e~coajvvtemeDt avec la-variation des dimensions de.ladite source en forme d'anneau, ce qui a pour effet de modifier la superficie exposée de la couche photosensible0 4o Procédé suivant la revendication 1, caractérisé par le fait qu'il consiste, en outre, avant la formation de la couche de phosphore, ê former une couche absorbant la lumière en revotant la surface intérieure du fond du tube avec une matière absorbant la lumière et contenant une matière photosensible, à exposer sélectivement ladite couche absorbant la lumière à la lumière en provenance de la source lumineuse en forme d'anneau à travers le masque perforé et à éliminer les parties exposées de la couche absorbant la lumière, l'exposition de la couche absorbant la lumière étant effectuée par interposition de leagencement de diaphragme entre ladite source lumineuse en forme d'anneau et le masque perforé précité et par variation séquentielle des dimensions de ladite source lumineuse en forme d'anneau dans une plage predétermi- née pour modifier l'angle solide dudit agencement de diaphragme conjointement avec la variation des dimensions de ladite source lumineuse en forme d(anneau, ce qui a pour effet de modifier la superficie exposée de la couche absorbant la lumière. 5 Dispositif d'exposition pour la mise en oeuvre du procédé de formation d'écran de phosphore de tube image de télévision en couleurs selon l'une quelconque.des revendications précédentes, ce dispositif étant caractérisé par le fait qu'il comprend une source lumineuse en forme d'anneau, un dispositif pour faire varier séquentiellement les dimensions de ladite source lumineuse en forme d'anneau dans une plage prédéterminée, un agencement de diaphragme intercalé entre ladite source lumineuse en forme d'anneau et le masque perforé précité, un dispositif pour modifier l'angle solide dudit agencement de diaphragme et un dispositif d'interdépendance couplé tant au dispositif servant à faire varier les dimensions de ladite source lumineuse en forme d'anneau qu'au dispositif précité servant à modifier l'angle solide dudit agencement de diaphragme pour assurer l'interdépendance des fonctionnements des deux dispositifs, grâce à quoi on fait varier la superficie exposée d'une couche de phosphore formée sur le fond d'un tube image de télévision en couleurs0 60 Dispositif d'exposition suivant la revendication 5, caractérisé par le fait que la source lumineuse en forme d'anneau est constituée par une source de lumière ponctuelle tournant sur une orbite annulaire, le.dispositif précité servant à faire varier les dimensions de ladite source lumineuse en forme d'anneau étant constitué par des moyens servant à faire varier le rayon de rotation de ladite source lumineuse ponctuelle0 7o Dispositif d'exposition suivant la revendication 5, caractérisé par le fait que ladite source lumineuse en forme d'anneau est constituée par une source lumineuse annulaire0