Brevet FR2198233A1 — publié le 19740329

Cette invention concerne la structure d'inductances sur tilms minces incorporées dans des circuits intégrés à semiconducteurs. Avec les progrès de la technique des circuits intégrés a semiconducteurs, on I fortement réduit la surface unitaire a éléments actifs comme les transistors et les diodes et d'eéments passifs comme les résistances, tandis que le coût unitaire de ces éléments subissait également une remarquable diminution. Toutefois, en ce qui concerne les inductances, cellesci continuent d'occuper, sur un substrat de silicium, une surface qui augmente avec le coefficient d'inductance propre, et leur coût augmente également, ce qui donne lieu à certaines difficultés d'application aux circuits intégrés. Par exemple, on décrit dans "PROCEEDINGS OF TE IEEE", Vol. 59, n 10, Oct., 1971, pp. 1506-1510r une inductance formée par dépit sur un substrat en saphir d'un film conducteur présentant un dessin en spirale. Selon cet exemple, on ne peut obtenir qu'un coefficient d'inductance de 40 nH pour une surface de 1 zmn2 environ. On utilise fréquemment une inductance obtenue en enroulant une bobine autour d'un noyau annulaire de ferrite lorsqu'il est besoin d'un grand coefficient d'inductance. Toutefois, cette inductance n'est pas satisfaisante pour des applications aux circuits intégrés du fait qu'elle possède un grand diamètre externe de l'ordre d'au moins 2 à 3 un et qu'elle est conteuse. C'est donc un objectif de la présente invention de fournir une nouveile inductance sur film mince qui est d'une dimension réduite et qui possède un grand coefficient d'inductance. Un autre objectif de la présente invention est de fournir une inductance sur film mince dont le coefficient peut être maintenu constant indépendamment des valeur@ de l'intensité du courant et qui montre une caractéristiqué sati@faisante de fréquences en dépit du fait qu'on utilise une substanne $fe@ro- ma@nétique. Un autre objectif de la présente invention @s@ de fourni@ une inductance sur film mince peu coûteuse que l'on ont faci lement fabriquer. Selon la présente invention, on fournit une inductance sur film mince comprenant un conducteur électrique et un film ferromagnétique anisotrope uniaxe qui entoure ledit conducteur et dont l'axe d'aimantation "difficile" est perpendiculaire au sens de passage du courant dans ledit conducteur. D'autres objectifs, caractéristiques et avantages de la présente invention apparaîtront lors de la description détaillée suivante faite en relation avec les dessins annexes, dans les quels La figure 1 est une vue schématique en perspective montrant la structure fondamentale de principe d'une inductance sur film mince selon la présente invention; La figure 2 représente la courbe de perméabilité relative et la courbe d'hystérésis obtenues pour l'inductance sur film mince de la présente invention; La figure 3 est une vue schématique en perspective d'un mode de réalisation de la présente invention; Les figures 4a à 4d montrent les opérations successives de la fabrication de l'inductance sur film mince représentée sur la Figure 3; La figure 5 est une vue schématique en coupe d'un autre mode de réalisation de la présente invention;; La figure 6 est une vue schématique en perspective de l'in- ductance sur film mince représentée sur la Figure 5; et La figure 7 est une vue schématique en coupe d'un autrE mode de réalisation de la présente invention Si l'on se reporte maintenant à la Figure 1, qui représente la structure fondamentale de principe d'une inductance sur film mince selon la présente invention, on peut voir que l'inductance sur film mince comprend un conducteur électrique 1 et un film ferromagnétique anisotrope uniaxe 2.Selon la présente invention, ce film ferromagnétique anisotrope uniaxe 2 entoure le @@ducteur électrique 1 et son axe d'aimantation difficile perpondiculaire au sens de passage du courant dans le con beor l Ains@. le champ magnétique produit par le passage cou@ant dans @e couducteur 1 entours le conducteur 1, et @@rection d'aimantation du film @erromagnétique 2 coîncide @@@@@@@ d'aimantation difficile. @. peut former le film ferromagnétique 2 entourant le conducteur 1 par placage d'un alliage binaire de fer et de nickel nommé Permalloy sur le conducteur 1, comme cela sera décrit de façon plus détaillée ci-dessous. on peut cbtenir l'anisotropie uniaxe du film ferromagnétique 2 en appliquant un fort champ magnétique à l'alliage pendant opération de placage ou en effectuant un recuit de l'alliage dans un champ magnétique intense. Ceci est décrit dans "The Journal of the Institute of Electronic Communication Engineers of Japan", Vol. 51, n 6, June 1968, pp. 723-732. L'axe d'aimantation difficile apparatt dans une direction perpendiculaire à celle de l'application du champ magnétique intense pendant l'opéra- tion de placage ou le recuit. On va maintenant discuter de la valeur du coefficient de l'inductance sur film mince de la présente invention ainsi obtenue. On suppose que, dans la structure d'inductance sur film mince représentée sur la Figure 1, a et b sont respectivement la largeur et l'épaisseur du conducteur 1, et t est l'épaisseur du film ferromagnétique 2. Lorsque la relation entre a et t est généralement donnée par a > t, la densité de flux magnétique dans le film ferromagnétique 2 est sensiblement uniforme dans la direction de l'épaisseur du film ferromagnétique 2 si le courant passe dans le conducteur I dans le sens indiqué par la flèche x sur la Figure 1. Ainsi, la longueur moyenne du circuit magnétique, 1m, est, dans ce cas, donnée par l'équation suivante: 1 = 2 (a + b + 2 t) ................ (1) m Si l'on suppose que 1x est la longueur du film ferromagnétique 2 dans le sens x du passage du courant, alors la réluctance Rc du film ferromagnétique 2 entourant le conducteur 1 est donnée par l'équation suivante: R = 1 x m = 2 (a + b + 2 t) ..... (2) o. c t. 1x o. c. t. 1x Où u0 est la perméabilité du vide et c est la perméabilité relative du film ferromagnétique 2 dans la direction de l'axe d'aimantation difficile. Généralement, le coefficient d'inductance L qui apparat lorsqu'un noyau présentant une réluctance R c entoure N conducteurs dans lesquels passe le meme courant I dans le meme sens, est donné par L = ## ....... (3) où pl est le flux magnétique total traversant le noyau.Ce flux magnétique total ld est donné par ~ NI (4) R c Ainsi, à partir des équations (3) et (4), on peut exprimer le coefficient d'inductance L sous la forme L = N2/Rc ......... (5) En remplaçant RC de l'équation (5) par sa valeur dans l'équation (2) et en exprimant le résultat dans les termes du système d'unités MKS, l'équation (2) se transforme en l'équation suivante: L = 2 # #c N . t . lx . 10-7 H ... (6) a + b + 2 t Sur la Figure 2, la courbe A représente la perméabilité relative c du film ferromagnétique 2 dans le sens de l'axe d'aimantation difficile, et la courbe B représente le cycle d'hystérésis du film ferromagnétique 2 dans la meme direction. On voit sur la Figure 2 que la perméabilité relative pc dans la direction de l'axe d'aimantation difficile est pratiquement constante jusqu'en un point voisin de l'intensité du champ magnétique H. correspondant à la densité de flux saturée de la courbe d'hystérésis B. Ainsi, comme on le comprend en considérant l'équation (6), le coefficient d'inductance de l'inductance sur film mince selon la présente invention est maintenue constant indépendamment du courant de fonctionnement (le courant I passant dans le conducteur 1) jusqu'en un point situé immédiatement avant le point de saturation du film ferromagnétique 2. Sur la Figure 2, les courbes en trait plein représentent des valeurs réellement mesurées et les courbes en trait pointillé représentent des valeurs idéales. On doit comprendre en considérant la Figure 2 que la courbe d'hystérésis B dans la direction de l'axe d'aimantation difficile est rectiligne par rapport à celle relative à la direction de l'axe d'aimantation facile et à celle de la technique antérieure. Ainsi, les pertes d'hystérésis ou les pertes électriques, qui donnent lieu à une diminution du facteur de qualité Q de l'inductance, sont moindres que ce qu'elles étaient jusqu'ici, et il est créé une moindre quantité de chaleur en utilisation. Ceci est un avantage souhaitable pour les éléments de circuits intégrés. En nutre, il est dit que l'aimantation dans la direction de l'axe d'aimantation difficile est produite par la rotation du spin magnétique. Ainsi l'inductance peut répondre d façon fiable à des variations du champ magnétique c'est-à-dire à des variations de courant haute fréquence tassant darus le conducteur 1, et montre une caractéristique baute fréquence sat@sfaisante. Dans une expérience faite par les inventeurs, le conducteur a été plaqué au moyen d'un alliage binaire de fer et de nickel, soit de Permalloy, dans les conditions indiquées sur le Tableau 1, et on a montre que le film ferromagnétique 2 présentait une anisotropie uniaxe jusqu'à une épaisseur de film de l'ordre de 5 microns. En outre, la perméabilité relative dans la direction de l'axe d'aimantation difficile est, dans ce cas, comprise entre 1.000 et 3.000. TABLEAU 1 Composition de la solution Sulfamate de nickel 307 g/l de placage Sulfate ferreux 9,5 g/l Chlorhydrate d'hydroxy lamine 6,0 g/l Acide borique 1,25 g/l Saccharate de @odium 3,75 g/l A@lde citrique 25,0 g/l @e pér@ture de la solution de placage 60 C # 0,5 C Densité de courant 2,5 A/dm2 Champ magnétique appliqué 40 Oe Lor@qu'on applique un traitement de requit à un film de Permalloy @@@@é par placage électrol#tique, on effectue de préférence le re quit à 460 C pendant 200 heures sous vide. On suppose maintenant que la perméabilité @el@tive c dans a direction de l'aimantation difficile est 2 OOQ que a, b et de l'éguation (6) sont respectivement égaux à 50, 2 et 5 m et que 1x = 1 cm. De l'équation (6),on obtient donc une valeur d'inductance L = 10-8 H, puisque N = 1 cans de c@s. ceci est la valeur du coefficient de l'inductance su film mince selon l'invention, et on doit comprendre que l'inductance sur film mince de la présente invention possède un coefficient suffisamment grand malgré le fait que sa taille est très réduite par rapport à ce type d'inductances dans la technique antérieure. Lorsqu'on utilise pour former le film ferromagnétique 2 li Permalloy contenant du nickel en plus grande proportion que @@@er, sa densite de flux de saturation est Je de 0,8 à 1,2 wb/m2. Ainsi, le flux magnétique maximal dans le Permalloy dont l'épaisseur t et la longdeur 1x sont lespec vement 5 microns et 1 cm, est compris entre 4 et 6 x 10-8 @b. D'autre part, la valeur maximale Imax du courant passant dans e conducteur 1 est dcnnée par l'équation suivante, que l'on obtient en modifiant l'équation (3): N #max Imax = A .............. (7) L En portant dans l'équation (7) le coefficient d'inductance L = 10-6 H, le flux magnétique maximal max 2 4 - 6 x 10-8 Wb, et N = 1, la valeur Imax est donnée par Imax = 4 - 6 x 10-2 A Cette valeur da courant est suffisamment acceptable pour des amplificateurs à transistors. La figure 3 montre un mode de réalisation de l'inductance sur film mince selon la présente invention. Si l'on se reporte @ l@ Figure 3, l'inductance sur film mince est désignée dans on ensemble par le numéro de référence 10, et est formée et maintenue sur un substrat ll. Des films de permalloy déposés @@ placage 12 et 13, qui correspondent au film ferromagnétique 2 de la Figure 1, sont disposés en couches sur le substrat 11, et un film d'aluminium 14, qui correspond au conducteur électrique 1 de la Figure 1, est pris en sandwich entre les @@@@@ de pormalloy 12 et 13.On prévoit aux extrémités opposées @@ film d'aluminium 14 deux parties formant bornes 14a et 14b @@@@@@@@ à être @@rnectées électriquement à des fils. De fagor s@@haitable, le substrat 11 est exempt de tout @@@, pré@@ente die surface plane et li@@e et n'est sensiblement @@@@@@qu@ par des agente de @@@apage que sont appliqués @@@ 12, 13 et 14 que l'on a dep@sés sur le substret. Des @é @@@x convenables qui satis@ont à ces conditions comprennent 1 verre à vitres ordinaire, le verre ne contenant aucun métal alcalin (par exemple, le verre type 7059 de "Corning Company"), le verre de quartz, le quartz monocristallin, l'alumine monocristalline (c'est-à-dire le saphir), le spinelle monocristallin, etc...On peut utiliser comme substrat Il une plaque obtenue en appliquant une mince couche de verre dont la surface a été rendue lisse, sur la surface d'une céramique frittée, par exemple une céramique à l'alumine, une céramique à la glucine ou une céramique à la magnésie. On peut encore utiliser une plaque de silicium ou une plaque de silicium portant une couche superficielle d'oxyde. La surface du substrat ll est, de façon souhaitable, finie à une planéité superficielle de 1 à 2 microns de manière à améliorer la précision de l'opération de photogravure décrite ci-dessous. En outre, la rugosité superficielle est, de façon souhaitable, inférieure à 0,05-0,1 micron de manière que la pellicule de Permalloy déposée soit magnétiquement uniforme. On va maintenant décrire en se reportant aux Figures 4a à 4d les etapes successives de la fabrication de l'inductance sur film mince représentée sur la Figure 3. Si l'on se reporte à la Figure 4a, on note qu'un film de permalloy 12 d'une épaisseur de 5 microns environ est déposée électrolytiquement sur un substrat 11 dans les conditions indiquées sur le Tableau 1. Lorsque le substrat 11 est un isolant électrique, on peut déposer le film de Permalloy 12 en effectuant initialement un placage non électrolytique ou un dépôt de vapeur sous vide d'un métal conducteur à la surface du substrat 11 sur lequel on doit former l'inductance, de manière à déposer un film conducteur d'environ 0,05 à 0,2 micron d'épaisseur sur sa surface, puis en effectuant un placage en se servant du film conducteur comme électrode.Pendant cette opération de placage, on applique un champ magnétique continu de 40 à 50 oe dans une direction perpendiculaire au plan du dessin, de manière à obtenir le film de Permalloy anisotrope uniaxe 12 dont l'axe d'aimantation difficile se trouve dans la direction horizontale du dessin. On applique ensuite un film d'aluminium d'environ 0,2 à 0,5 micron d'épaisseur par dépôt de vapeur sous vide sur ce film de Permalloy 12. on soumet ensuite ce film d'aluminium à une électrolyse en utilisant le film de Permalloy 12 comme anode dans une solution aqueuse contenant 50 g/l d'acide chromique, de manière à former un film 16 de A1203 (film d'oxydation anodique). On applique ensuite par dépit de vapeur sous vide un film d'aluminium 14 d'environ 3 microns d'épaisseur destiné à servir de conducteur électrique, sur le film 16 de A1203, et on dispose sur le film d'aluminium 14 un film 17 de vernis photosensible (photoresist) en vue du décapage des parties non nécessaires du film 14 de manière à permettre d'obtenir une forme prédéterminée pour le conducteur, comme on le voit sur la Figure 3. On immerge alors la structure représentée sur la Figure 4a dans une solution alcaline de manière à enlever par décapage des parties non nécessaires du film 16 de A1203 et du film d'aluminium 14, sauf les parties protégées par le film de vernis photosensible 17 sans attaquer le film de Permalloy 12. La figure 4b montre l'état après cette opération de décapage. On enlève le film de vernisphotosensible 17 immédiatement après l'opération de décapage ci-dessus, et on forme un film 18 de A1203 sur la surface exposée du film d'aluminium 14 en pratiquant une électrolyse utilisant le film d'aluminium 14 comme anode. Ainsi, on couvre entièrement le film d'aluminium 14, qui est un conducteur, au moyen de films transparents 16 et 18 de A1203 (non représentés sur la Figure 4c), qui sont des isolants électriques. Après le traitement isolant décrit ci-dessus, on évapore un film conducteur (non représenté) environ 0,1 à 0,2 micron d'épaisseur sur toute la surface supérieure de la structure représentée sur la Figure 4c. ce film conducteur est, de façon souhaitable, formé d'un matériau comme le Permalloy, ou un alliage semblable, possédant une perméabilité élevée de façon à réduire la réluctance du film de Permalloy ferromagnétique à déposer sur le film conducteur au cours de l'opération suivante. En utilisant ce film conducteur comme électrode, on effectue un placage dans les mêmes conditions que celles employées au cours du dépôt du film de Permalloy 12, de manière à déposer un second film de permalloy 13 sur le film conducteur tout en appliquant un champ magnétique. On dispose un film de vernis photosensible (photoresist) 19 sur ce film de Permalloy 13 dans le but de décaper des parties non nécessaires du film 13, de manière à obtenir une forme prédéterminée comme celle indiquée sur la Figure 3. Cet état est représenté sur la Figure 4d. On immerge alors la structure représentée sur la Figure 4d dans une solution acide, par exemple une solution de persulfate d'ammonium, de manière à retirer des parties non nécessaires des films de Permalloy 12 et 13 et du film conducteur (non représent6), sauf les parties recouvertes du film de vernis photosensiEle 19. On retire alors le film de vernis photosensible 19 de manière à obtenir une inductance sur couche mince comme celle nasntrée sur la Figure 3 On a lassé non décapées des parties du film de Permalloy 12 qui ont la meme forme que celles des parties formant bornes 14a et 14b du film d'aluminium 14, et celles-ci se trouvent sous ces parties formant bornes 14a et 14b.Toutefois, du fait que le film de Permalloy 13 ne se trouve pas au-dessous de ces parties du film de Permalloy 12, on ne fait que former un circuit magnétique ouvert entre eux en dépit du passage du courant dans les parties formant bornes 14a et 14b. Ainsi, le coefficient d'inductance de l'inductance sur film mince est donné par les parties se recouvrant des films de permalloy supérieur et inférieur 13 et 12. On recouvre, au niveau de leur surface extérieure, les parties formant bornes 14a et 14b du film d'aluminium 14 au moyen de films 16 et 18 de A1203 électriquement isolants1 qui sont transparents et d'une épaisseur d'environ 0,1 à 1 micron. On peut connecter ces parties formant bornes 14a et 14b à des fils de cuivre ou d'or par soudage par ultrasons. Dans le mode de réalisation décrit ci-dessus1 les films de Permalloy ferromagnétiques 12 et 13 ont été formés par placage électrolytique0 Touteftis, on peut déposer sur un substrat mono- cristallin Il des films de ferrite monocristalline anisotrope uniaxe par croissance épitaxiale, au lieu d'utiliser le Per malloy. En outre, on peut utiliser un matériau ferromagnétique constitué principalement de fer. Un matériau préférentiel est un alliage d'aluminium et de fer, par exemple un alliage de fer appelé Aluperm qui contient de 12 à 16%, en poids, d'aluminium. I1 existe une grande différence entre les pressions de vapeur d'aluminium et du fer à la meme température. Pour obtenir un film formé par dépit de vapeur présentant un rapport de composition voulu, il est donc souhaitable d'utiliser un alliage aluminium-fer dans lequel la teneur en aluminium est inférieure à celle donnée par le rapport de composition voulu. En outre, on peut obtenir un film d'alliage aluminium-fer présentant un rapport de composition voulu à l'aide du procédé de l'évaporation éclair , dans lequel on laisse tomber par intermittence en petites quantités de fines particules de l'alliage présentant le rapport de composition voulu, sur un creuset chauffé à une température élevée. Aucune contrainte mécanique notable n'est communiquée à un film ferromagnétique d'un alliage de silicium et de fer, et, ainsi, cet alliage peut contenir de 5 à 15%, en poids, de silicium. Du fait de la grande teneur en silicium, on réduit la conductivité, ce qui réduit l'effet de peau, et on peut obtenir une perméabilité élevée méme aux fréquences élevées. on peut également réduire les pertes par courants de Foucault. Pour les raisons données, ci-dessus, l'alliage silicium-fer est efficace pour la fabrication de la pellicule ferromagnétique. Dans un circuit intégré, il est souhaitable que le choix de la forme de chaque élément particulier soit libre. On rencontre fréquemment des difficultés lors de la conception et de la fabrication d'un tel circuit, en particulier lorsque les bornes des éléments sont écartées les unes des autres d'une grande distance et que des fils de grande longueur peuvent Outre employés. Dans un cas semblable, on peut connecter en série plusieurs inductances sur film mince semblables à celle représentée sur la Figure 3, de manière à obtenir une inductance compos8epossé- dant tout coefficient d'inductance voulu. Le mode de réalisation décrit ci-dessus se rapporte au cas où N = 1 dans l'équation (6). Toutefois, N peut etre supérieur ou égal à 2 au lieu autre égal à 1. Une telle inductance sur film mince présente un agencement de liaisons mutuellesd'un film ferromagnétique et de plusieurs couches ou spires de conducteurs électriques. On peut fabriquer une telle inductance sur film mince au moyen d'opérations identiques à celles décrites en rapport avec les Figures 4a à 4d et celleci présente une structure identique à celle montrée sur la Figure 3, mais on ne donnera pas une description détaillée des étapes de fabrication de façon à éviter les répétitions. D'abord, on dépose un film de Permalloy sur un substrat. Puis, selon les opérations montrées sur les Figures 4a à 4c, on dispose en couches sur le film de Permalloy plusieurs (par exemple trois) combinaisons conducteur-isolant, consistant chacune en un film d'aluminium entierement entouré par un film de A1203, c'est-à-dire consistant chacune en un film d'aluminium conducteur du courant électriquement isolé par un film de A1203, et on dépose un autre film de permalloy de manière à recouvrir ces combinaisons, aussi bien que le film de Permalloy précédemment déposé, comme le montre la Figure 3. On dispose un film de vernis photosensible (photoresist) d'un modèle voulu de manière à couvrir des parties du film de Permalloy supérieur, et on effectue le décapage de manière à enlever des parties non nécessaires.Enfin, on utilise des fils de cuivre ou d'or pour connecter en série les films d'aluminium stratifiés de manière que ces films puissent former une bobine ou qu'un courant puisse passer dans ces films d'aluminium dans le mme sens. Lorsqu'il faut un coefficient d'inductance de grande valeur et que l'épaisseur, aussi bien que la surface d'occupation de l'élément formé sur le substrat, sont limités, on prépare plusieurs unités comportant chacune plusieurs films d'aluminium stratifiés semblables à ceux décrits ci-dessus, et on peut connecter en série successivement les films d'aluminium de ces unités de manière à former une inductance sur couche mince présentant tout coefficient d'inductance voulu. On peut former sur le meme unique substrat constitué d'un matériau magnétique anisotrope uniaxe une inductance sur couche mince comprenant plusieurs inductances unitaires. Dans ce cas, il est nécessaire d'agrandir la distance séparant les unités par rapport au cas où on utilise un matériau non magnétique comme substrat, de manière à éviter l'interaction magnétique entre les unités. On peut obtenir une telle inductance sur couche mince en utilisant un matériau ferromagnétique anisotrope uniaxe pour former le substrat commun des inductances unitaires sur couches minces. On forme sur ce substrat commun des conducteurs électriques isolés les uns des autres comme cela a été décrit en rapport avec les Figures 4a à 4d, et on dispose naturellement ces conducteurs de manière qu'ils 8 t étendent perpendiculairement à l'axe d'aimantation difficile du substrat commun ferromagnétique, Ce substrat commun ferromagnétique sert à former une partie du film ferromagnétique entourant les conducteurs électriques, et on dispose sur les conducteurs électriques un autre film ferromagnétique d'une manière décrite en rapport avec les Figures 4a et- 4d. Lorsqu'on utilise le substrat commun ferromagnétique pour former une partie du film ferromagnétique entourant les conducteurs électriques de la manière décrite ci-dessus, les valeurs a, b et t de l'équation (2) donnant la réluctance et permettant d'obtenir le coefficient d'inductance sont simplement changées, et il ne se produit aucune influence sur la perméabilité, ce qui est un point essentiel pour l'obtention des i de la présente invention. Ainsi, on peut facilement obtenir une inductance sur couche mince présentant un coefficient d'inductance prédéterminé. En outre, du fait que les inductances unitaires sur couches minces sont écartées les unes des autres d'une distance relativement grande, il ne se produit pratiquement aucune interférence magnétique.L'utilisation du substrat commun pour former une partie du film ferromagnétique entourant les conducteurs électriques est avantageuse en ce sens qu'on peut grandement réduire le nombre des étapes de fabrication, ainsi que le nombre des parties, ce qui contribue fortement à la réduction des coûts. I1 est nécessaire d'empêcher des pertes par hystérésis et des pertes par courants de Foucault de se produire dans le matériau ferromagnétique incorporé dans l'inductance lorsque l'inductance présentant une structure semblable à celle décrite ci-dessus fonctionne avec un courant de haute fréquence. La structure de film mince de ce matériau ferromagnétique est efficace à empecher ces pertes. Le fait d'interposer le film électriquement isolant entre les films minces de matériau ferromagnétique sert efficacement à isoler électriquement ces films mincêsles uns des autres et réduit les pertes par courants de Foucault à une valeur minimale. L'effet de peau apparait dans le domaine des hautes fréquences. La profondeur Cçde l'effet de peau est donnée par. Où , p f et p sont respectivement la résistivité du matériau ferromagnétique, la perméabilité relative du matériau ferromagnétique, la fréquence de travail et la perméabilité du vide. En raison de cet effet de peau, le champ haute fréquence est concentré dans la région allant de la surface du matériau magnétique à la profondeur S de 1' effet de peau donné par l'équation ci-dessus.Ainsi, seule la partie pelliculaire du matériau ferromagnétique sert efficacement aux lignes de force magnétiques, et les parties du matériau ferromagnétique situées au-delà de la profondeur f de de effet de peau sont pratiquement inutiles et ont pour fonction d'augmenter les pertes par courants de Foucault. Dans un autre mode de réalisation de la présente invention, on choisit l'épaisseur du film ferromagnétique de façon quelle soit inférieure ou égale à la profondeur de l'effet de peau, de manière à utiliser effectivement le matériau ferromagnétique. La surface de la boucle d'hystérésis qui est reliée aux pertes par hystérésis est beaucoup plus petite dans la direction de l'axe d'aimantation difficile que dans la direction de l'axe de facile aimantation. Lorsqu'on agence l'anisotropie magnétique uniaxe dans la couche mince de matériau ferromagnétique de manière que 1 'axe de facile aimantation coricide avec la direction de passage de courant dans le conducteur, le champ magnétique induit par le courant est appliqué dans la direction de l'axe d'aimantation difficile du film ferromagnétique. Ainsi, en plus de l'avantage conféré par la structure de film mince, on peut réduire les pertes par hystérésis et cet avantage est plus important dans le domaine des hautes fréquences. Si l'on suppose que (d, R et I sont respectivement le flux magnétique total passant dans le circuit magnétique formé par les films ferromagnétiques, la réluctance du matériau ferromagnétique et le courant passant dans le conducteur, alors le coefficient d'inductance L est donné par : L = # /I et, puisque # = I/R, L s'exprime sous la forme : L = 1/R Ainsi, le coefficient d'inductance L est inversement proportionnel à la réluctance R. On voit que l'on peut augmenter le coefficient dtinductance L en stratifiant le film ferromagnétique en plusieurs couches de manière à réduire le coefficient de réluctance. En outre, lorsque l'inductance présente une dimension fixe, la réluctance est déterminée par l'épaisseur des films ferromagnétiques stratifiés et le nombre de ces films. On ajuste de façon convenable les conditions du dépit de vapeur sous vide ou des traitements de dépôt semblables de manière que les films ferromagnétiques aient une épaisseur uniforme qui soit infé- rieure ou égale à la profondeur de l'effet de peau. Ainsi, la réluctance est déterminée par le nombre de films ferromagnétiques stratifiés. on doit donc comprendre que le coefficient de l'inductance selon la présente invention peut être déterminé selon ce qui est souhaité, par un choix convenable du nombre des films ferromagnétiques stratifiés. Lorsqu'on forme une série de ces films ferromagnétiques stratifiés, le champ coercitif de la structure stratifiée devient remarquablement plus petit que celui du film unique. Cette réduction du champ coercitif doit etre associée aux avantages déjà décrits visant à minimiser les pertes d'énergie. En outre, la linéarité de la boucle d'hystérésis et la réduction du champ coercitif ont un-effet efficace sur la réduction du temps de commutation due à l'aimantation par impulsions. Les figures 5 et 6 représentent un autre mode de réalisation de la présente invention. Un substrat 19 destiné à porter une inductance est fait, de façon souhaitable, d'un matériau qui est exempt de tout pore, d une surface plane et lisse et est d'une résistance mécanique suffisante pour supporter la manipulation. Des matériaux qui conviennent pour former le substrat 19 comprennent le verre à vitre ordinaire, le verre non alcalin, le verre de quartz, le quartz monocristallin et l'alumine monocristalline. On forme par dépôt de vapeur sous vide sur le substrat 19 un film 20 d'un matériau ferromagnétique, comme le Permalloy, d'une épaisseur de 0,1 micron, comme le montre la Figure 5. On utilise un masque au cours du dépôt de vapeur sous vide du film de Permalloy 20 de façon à obtenir une forme voulue. Pendant le dépit de vapeur sous vide de ce film de Permalloy 20, on applique un champ magnétique continu de 40 à 50 oe de manière à produire une anisotropie magnétique uniaxe dans le film de permalloy 20, si bien que l'axe d'aimantation difficile se trouve dans une direction voulue. Ensuite, on dépose sur le film de Permalloy 20 un film 21 d'un isolant électrique comme le mono-oxyde de silicium. La forme de ce film isolant 21 est la meme que celle du film de Permalloy 20. Ultérieurement, on dépose successivement par dépot de vapeur sous vide sur le premier film isolant 21 un second film de Permalloy 22 et un second film isolant 23. On dépose alors par dépôt de vapeur sous vide sur le film isolant 23 un film 25 d'un conducteur comme la aluminium, sur une épaisseur de 3 microns environ et une largeur de 50 microns. On peut déposer ce film conducteur 25 sur toute la surface du film isolant 23, et on peut retirer les parties non nécessaires du film conducteur par la technique de photogravure de manière à obtenir un dessin prédéterminé.Le film conducteur 25 a la forme d'une bande allongée qui présente une longueur de l'ordre de 3 mm dans la partie inductance, comme on le voit sur la Figure 6. On dépose alors par dépôt de vapeur sous vide et en utilisant un masque, sur le film conducteur 25 un troisième film 24 d'un isolant électrique comme le mono-oxyde de silicium. La forme de ce film isolant 24 est déterminée de façon convenable par le masque, de sorte que les parties terminales du film conducteur 25 sont dégagées du film isolant 24 en vue d'une connexion électrique à des fils. on dépose par dépôt de vapeur sous vide sur le film isolant 24 un troisième film de Permalloy 26, et celui-ci a une forme identique à celle du film isolant 24. On dépose successivement par dépôt de vapeur sous vide sur le film de Permalloy 26 un quatrième film isolant 27 et un quatrième film de Permalloy 28. On montre sur la Figure 6 une vue en perspective de la forme finale de l'inductance ainsi obtenue. Le nombre des films de Permalloy disposés au-dessus du film conducteur 25 peut etre supérieur à deux. On pourrait obtenir un coefficient d'inductance de 1 > i H en stratifiant des films de Permalloyl dans 1' inductance de façon à former une épaisseur totale de 5 microns On dépose par dépôt de vapeur soùs vide tous les films de Permalloy 20, 22, 26 et 28 pendant l'application d'un champ magnétique dans la direction du passage du courant dans le film conducteur 25, et, ainsi, ces films possèdent une anisotropie magnétique uniaxe telle que l'axe d'aimantation difficile de chacun d'eux est situé dans la direction perpendiculaire à celle du passage du courant dans le film conducteur 25. En outre, les pertes par hystérésis dans les films de Permalloy sont remarquablement faibles du fait que le champ magnétique alternatif induit dans les films de Permalloy par le courant de haute fréquence passant dans le film conducteur 25 est dirigé vers l'axe d'aimantation difficile qui est perpendiculaire à l'axe de facile aimantation. Dans ce mode de réalisation, on a utilisé, à titre d'exemple, un substrat fait d'un isolant électrique qui est exempt de pores,a une surface plane et lisse et est d'une résistance mécanique suffisante pour supporter la manipulation. Toutefois, ce substrat peut etre un corps de céramique frittée poreux comme une céramique à l'alumine, une céramique à la glucine ou une céramique à la magnésie, dont la surface a été recouverte d'une mince couche de verre. En outre, le substrat peut etre un conducteur électrique dont la surface a été recouverte par dépôt de vapeur sous vide d'un film d'un isolant électrique comme le mono-oxyde de silicium. Le film ferromagnétique anisotrope uniaxe peut etre formé de ferrite nickel-zinc au lieu de Permalloy. Dans le mode de réalisation représenté sur les Figures 5 et 6, les films de permalloy 20, 22, 26 et 28 sont isolés les uns des autres par les films isolants 21, 23, 24 et 27 de monooxyde de silicium. Toutefois, les parties formant pattes de ces films de Permalloy peuvent autre rendues plus longues que celles des films isolants, de sorte que les parties formant pattes des films de Permalloy puissent être connectées ensemble en des points disposés au-delà des parties formant pattes des films isolants. Une telle structure est représentée sur la Figure 7.Si l'on se reporte à la Figure 7, on note qu'une série de films de Permalloy 31, 33, 34 et 36, formés sur un substrat 30 fait d'un isolant électrique, sont magnétiquement couplés les uns aux autres de manière à former un unique circuit magnétique fermé, si bien qu'on peut diminuer la réluctance et augmenter le coefficient d'inductance. Plusieurs films isolants 32, 35 et 37 sont disposés entre ces films ferromagnétiques et un film conducteur est disposé dans le film isolant 35. entre sur couChe mince selon la etre largement L'inducteur sur couche mince selon la présente invention peut/ utilisé, par exemple comme transformateur, filtre, élément à constante distribuée et ligne retardatrice d'impulsions, dans des circuits intégrés hautes fréquences destinés à etre employés dans des récepteurs de télévision, des postes de radio, et des dispositifs semblables. REVENDICATIONS 1. Inductance sur film mince comprenant un conducteur électrique et un film ferromagnétique anisotrope uniaxe entourant ledit conducteur, l'axe d'aimantation difficile dudit film ferromagnétique anisotrope uniaxe étant perpendiculaire à la direction du passage du courant dans ledit conducteur. 2. Inductance sur film mince comprenant un groupe d'au moins deux conducteurs électriques stratifiés isolés électriquement l'un de a autre, et un film ferromagnétique anisotrope uniaxe entourant ledit groupe de conducteurs, l'axe d'aimantation difficile dudit film ferromagnétique anisotrope uniaxe étant perpendiculaire à la direction du passage du courant dans ledit groupe de conducteurs, 3. Inductasoesur film mince selon la revendication 2, caractériséeen ce que plusieurs films ferromagnétiques d'une épaisseur inférieure ou égale à la profondeur de l'effet de peau à la fréquence de travail sont stratifiés par l'intermédiaire de films électriquement isolants de manière à créer un circuit magnétique entourant lesdits conducteurs. 4. Inductance sur film mince, comprenant un conducteur électrique et plusieurs films ferromagnétiques anisotropes uniaxes d'une épaisseur inférieure ou égale à la profondeur de l'effet de peau à la fréquence de travail, l'axe de facile aimantation de chaque dit film ferromagnétique anisotrope uniaxe coïncidant avec la direction du passage du courant dans ledit conducteur, et lesdits films ferromagnétiques anisotropes uniaxes étant stratifiés par l'intermédiaire de films électriquement isolants de manière à créer un circuit magnétique entourant ledit conducteur. 5. Inductance sur film mince selon la revendication 4, caractériséeen ce que lesdits films ferromagnétiques sont en contact mécanique les uns avec les autres, de manière à réduire la réluctance. 6. Inductance sur film mince selon la revendication 4, caractérisée en ce que lesdits films ferromagnétiques anisotropes uniaxes sont disposés concenttiquement autour dudit conducteur.