Brevet FR2174774A1 — publié le 19731019

La structure des dispositifs semiconducteurs à effet de champ dits gridistors comportant une grille plane enterrée et traversée par des multiples canaux verticaux a été décrite notamment dans le brevet français NO 1.317.256 du meme titulaire et ses additions Nos. 93.1 il du 13 Juin 1967, 93.763 du 17 Octobre 1967, 93.857 du 30 Novembre 1967 et 94.388 du 21 Mars 1968 et plus récemment, dans la demande de brevet NO P.V. 71-28.793 du 4 Aoft 1971 aux noms de Stanislas TESZNBR Daniel LECROSNIER et Gérard PILOUS. La structure comporte une grille formée en matériau semiconducteur d'un type de conductivité donné, enterrée dans un substrat semiconducteur du type de conductivité opposé, celui-ci étant muni sur ses deux faces de couches surdopées de ce meme semiconducteur, pour prise de contact de source et de drain. Le substrat lui-m#me est d'une pièce, ou éventuellement constitué des deux couches superposées du mtme type, mais de différentes concentrations de porteurs de charge. La caractéristique de l'invention est de former une structure de gridistor, dont le substrat comportera au moins trois couches superposées du même type de conductivité et de différentes concentrations de porteurs de charge, en plus des deux couches surdopées servant aux contacts, bien entendu. L'objet de l'invention est double s en premier lieu, réduire les capacités parasites de la structure en vue d'accrottre son facteur de mérite et par suite, sa fréquence limite de fonctionnement;et en second lieu, de rectifier le profil des canaux traversant la grille, en vue dtaccrottre la valeur de la résistance différentielle de drain, toutes conditions égales d'ailleurs, ainsi que celle du rapport de la transconductance au courant de drain. Quant aux capacités parasites, il a été déjà démontré dans les brevets antérieurs que la structure de gridistor se prêtait remarquablement bien à leur réduction grace aux possibilités qu'elle offre de l'affinement de sa géométrie, se traduisant par une diminution de la part de la surface donnant lieu auxdites capacités. L'objet de la présente invention est d'aller encore plus loin dans la voie d'amenuisement de ces capacités parasites et ce par la réduction de la capacité spécifique qui les détermine. Ce résultat est obtenu en bordant les deux faces de la grille - ou la portion utile de l'épaisseur de la grille dans le cas où le profil de canaux est divergent d'un c#té ou des deux cotés à la fois - de couches de semiconducteur du mtme type mais d'une résistivité plus élevée que celui des canaux - ou de la portion utile ce ceux-ci. Cette réduction de la capacité spécifique portera normalement - mais pas nécessairement d'une manière égale - sur les capacités d'entrée et de sortie du gridistor fonctionnant en amplificateur. Quant à la rectification du profil de canaux, il en a déjà été question dans l'addition NO 93.763 citée ci-dessus. L'objet de la présente invention est d'améliorer le procédé et le résultat obtenu, ainsi que de la généraliser à d'autres profils de canaux que celui considéré dans ladite-additiôn. Ce résultat est obtenu dans la présente invention en faisant pénétrer à l'intérieur de l'espace de grille, ou en maintenant légèrement en-deça de cet espace l'une ou l'autre ou les deux couches de relativement haute résistivité spécifiées ci-dessus. La répartition des couches multiples ainsi formées, ainsi que la gradation de leurs résistivités admettent certaines variantes qui seront définies dans la suite. Par ailleurs, l'invention concerne également les procédés de fabrication de telles structures. Ces procédés utilisant les techniques de dépit épitaxique, de diffusion et/ou dtimplantation d'ions seront également exposés dans la suite de la description. Pour comprendre l'intérêt de l'invention* on rappellera tout d'abord la situation des capacités parasites dans la configuration du gridistor ainsi que les dispositions prises pour les réduire au maximum dans les structures de l'art antérieur. A la suite de ce rappel, on décrira le perfectionnement apporté par la présente et ce pour différentes variantes de structure. D'autre part, on rappellera l'aménagement du profil des canaux réalisé dans l'art antérieur et on décrira les perfectionnements apportés par l'invention à cet égard pour deux types de profil de canaux, pris à titre exemple. Enfin, on décrira rapidement les procédés de réalisation des dispositifs suivant l'îniention. On se référera dans cet exposé aux dessins annexés dans lesquels: - la Fig. 1 représente schématiquement, en coupe et en perspective, la structure d'un gridistor de l'art antérieur* en localisant les capacités parasites; les Figs. 2, 3, 4 et 5 explicitent schématiquement par des vues en coupe l'aménagement de la structure suivant l'invention pour différentes variantes de profil des canaux; - la Fig. 6 montre-une variante de la structure de la Fig. 3, les Figs. 7, 7a, 7b, 7c, 7d, 7e rappellent l'adaptation du profil de canaux obtenue dans les structures de l'art antérieur; et v les Figs. 8, 9 et 10 expliquent les rectifications de ce profil dans les structures suivant l'invention. La structure représentée sur la Fig. 1 comporte, à titre d'exemv ple, les canaux 1 de section rectangulaire, délimités par des barreaux de grille 22 sn semiconducteur de type opposé à celui des canaux et de section également rectangulaire. Les barreaux sont réunis entre eux par le cadre 3 qui relie en meme temps la grille à la surface du dispositif permettant ainsi la prise de contact et l'alimentation de la grille. Il est à signaler# que les deux électrodes terminales sont situées s l'une sur une couche surdopée, non repré sentée, à la surface supérieure à l'intérieur du cadre 3, autre sur toute la surface inférieure d'une couche surdopée, également non représentée. La structure de la Fig. 1 est supposée avoir une géométrie très affinée, la section de barreaux 2 étant pratiquement égale à celle de canaux 1, et de plus les canaux étant courts et à profil idéalisé à bords parallèles. Or, mOrne pour une telle structure, les surfaces donnant lieu aux capacités parasites constituent la majeure partie de la surface totale. On le voit aisément sur la figure où ces surfaces sont marquées par des hachures en croix. Les parties 4 et 5 correspondent aux faces supérieure et inférieure des barreaux de grille; la partie 6 aux faces verticales de la cuvette formée par le cadre 3,; la partie 7 enfin à la face verticale extérieure et à la face horizontale inférieure de ce cadre.C'est ainsi que dans le cas considéré la surface des capacités parasites correspond à environ 70 % de la surface totale et, le substrat étant supposé homogène, la capacité parasite intervient pour 70 lao dans la valeur de la capacité globale entre la grille d'une part, et la source et le drain d'autre part. Il apparatt donc particulie'rer#ent important de chercher à la réduire. Les Figs. 2, 3, 4, 5 et 6 fournissent une solution à ce pro blème. En effet, on remarque sur la Fig. 1 que les surfaces des capacités parasites 4, 5, 6 et 7, se situent pratiquement en totalité soit au-dessus, soit au-dessous de la grille 2. D'où l'idée d'assurer une réduction massive de la valeur de ces capacités, par la diminution de la capacité spécifique les déterminant. Cette diminution est obtenue par l'augmentation de la résistivité des couches où se développent les charges d'espace correspondant à ces capacités, car comme on le sait, dans un milieu semiconducteur l'épaisseur de la charge d'espace est inversement proportionnelle à la racine carrée de la concentration en porteurs de charge de ce milieu semiconducteur.Or, à mobilité constante des porteurs de charge, la résistivité de semiconducteur est inversement proportionnelle à ladite concentration. C'est ainsi que sur la Fig. 2 qui reproduit en coupe et à l'échelle réduite la structure de la Fig. 1 (en y adjoignant les couches surdopées formant les contacts terminaux 8 et 9, respectivement de source et de drain ou réciproquement) on a affaire, à la différence de la Fig. l*à un substrat à trois couches superposées. La couche 10, contenant des canaux du type N aura, par exemple pour du silicium, une résistivité de 0,6 ohm.cm avec une concentra- tion N#lO16at/om3 et les couches 11 et 12 qui l'encadrent auront, elles, une résistivité de 3 ohm. cm, avec une concentration N#l,3.1O15at/cm3 (on remarque que la concentration varie, en sens inverse, plus vite que la résistivité, car dans cette zone de valeurs, la mobilité de porteurs varie assez sensiblement en fonction inverse de cette concentration)* De la sorte, la capacité parasite sera réduite dans le rapport #lO/1,3, soit à environ 36 * de la valeur correspondant à la Fig. 1. Par soie de conséquence la capacité totale sera réduite d'environ 45 %. Cette réduction de la capacité se traduira dans les performances du gridistor par le doublement, à peu près, du produit F 3 gain x largeur de bande passente en amplificateur et par une aug mentation sensiblement du même ordre de f rrfréquence maximale max d'oscillation. Certes, l'augmentation de la résistivité des couches adjacentes à la grille, du ctté source et du c8té drain, se traduira automatiquement par l'élévation des résistances parasites série correspondantes. Cependant, ces résistances parasites n'interviennent dans la partie réelle de la conductance d'entrée#et de sortie du système que multipliées par le carré des capacités corres pondantes On voit ainsi que la répercussion sur ces conductances sera très faible.De plus, la structure du grldistor admet une certaine élévation de la résistivité des couches adjacentes, car les liaisons des canaux avec la source et le drain se font à travers l'entière -ou la presque entière - section de la structure. Ainsi donc pour préciser les idées par un exemple numérique, en supposant que l'épaisseur et la longueur de canaux ainsi que l'épaisseur et la hauteur de barreaux de grille soit de 1 fim, le substrat en silicium comportant les trois couches ayant des résistivités spécifiées ci-dessus* on peut atteindre un facteur de mérite F de l'ordre de 20 GlIz et une fréqllellce maximale fmax de il ordre de 50 GHz. Une telle structure peut autre réalisée par la technique d'implantation dtions dans le substrat en opérant suivant l'un des procédés ci-après. Dans un premier procédé, on commence par fo m er dans un nubl strat en silicium N, dopé à l'antimoine et au phosphore par exemple, des couches multiples. On forme ainsi sur la semelle surdopée 9, N+ les couches 12, N#; 102 N et il N par dép#tsépitaxiques successifs. On procède alors aux diffusions de la couche surdopée 8 N+ et du cadre 3 P+, et à la constitution du masque métallique, afin d'effectuer des implantation sélectives. La première implantation est une implantation profonde, dite en volume, d'une grille dopée en impuretés du type P et notamment d'ions de bore dans le substrat en silicium N et la deuxième implantation est une implantation sensiblement moins profonde que la première en ions d'argon ou de phosphore par exemple, afin de rendre pratiqueraert isolante ou compensée une fraction de l'épaisseur de la grille à partir de la surface. Cette opération a été décrite dans la demande de brevet français N P.V. 71-28.793 déjà citée. Ces implantations faites, on effectue un traitement thermique de régénération du matériau semiconducteur, soit en conservant le masque métallique et l'utilisant ensuite comme une des électrodes terminales, conformément à la demande de brevet précitée, soit en enlevant le masque au préalable, l'électro- de terminale correspondante étant alors réalisée par une métallisation déposée sur la couche 8. L'autre électrode terminale esttou- jours formée par métallisation de la face inférieure de la couche 9 et l'électrode de grille par métallisation du cadre 3. Le deuxième procédé met en oeuvre également la technique d'implantation d'ions mais à faible profondeur. Une seule implantation est effectuée, celle d'impuretés du type opposé à celui du substrat (des ions de bore, par exemple). Le substrat comporte ici seulement les couches 9, 12 et 10.A la suite de cette implantation d'ions et du traitement thermique subséquent, on complète le substrat par le dépit épitaxiqlle de la couche 11, effectué à la température la plus b-asse possible (par exemple, dépit au silane à une température au plus égale à 1000 C). Enfin, on implante ou l'on diffuse le cadre 3 et la couche 8, que lton métallise pour en former respecti- vement comme ci-dessous, l'électrode de grille et une des électrodes terminalesa l'autre électrode terminale étant formée sur la couche 9. Toutefois, meme en utilisant des technologies aussi évoluées que celles spécifiées ci-dessous, le profil de canaux s'écartera plus ou moins de la représentation à bords parallèles des Figs. 1 et 2. En fait, on constate une certaine divergence de ces bords par suite des phénomènes parasites, dus dans le premier procédé, plus particulièrement à la perméabilité partielle des flancs non abrupts des barreaux du masque d'implantation d'ions et dans le deuxième procédé, à ltexodifrusion et la diffusion de la grille dans la couche épitaxiée. La Fig. 3 représente une telle structure, qui est analogue a celle de la Fig. 2 sauf qu'elle comporte des canaux 13 à profil divergent. Corrélativement, la section des barreaux de grille 14 est ici tronconique, leurs surfaces, supérieure et inférieure, sten trouvant sensiblement augmentées. Par suite, la part prise dans la capacité totale par les capacités parasites est nettement accrue. Dtautre part, du fait de la divergence accusée du profil des canaux, seule une partie de leur longueur est effectivement opérante. La constitution du substrat suivant l'invention* en trois couches, dont la couche 15 est de résistivité relativement faible (par exemple, pour du silicium du type N, de l'ordre de 0,6 à 1 ohm.cm) et les couches 16 et 17 adjacentes à celle-ci sont de résistivité relativement élevée (par exemple, de l'ordre de 2,5 à 4 ohm.cm) a ici un double effet. D'une part, les capacités parasites sont sensiblement réduites, ce qui diminue la capacité totale d'une manière encore plus sensible que dans la structure de la Fig. 2. D'autre part, le profil opérant des canaux est nettement amélioré et une partie au moins de la longueur parasite de canal est rendue effectivement opérante. C'est à cet effet que la couche 17 pénètre dans l'espace des canaux 13 et le plan inférieur de la couche 16 se situe légèrement au-dessus de cet espace. On y reviendra à propos de la Fig. 6 et on expliquera les raisons de ces particularités en commentant les Figs. 9 et 10. Les Figs. 4 et 5, qui ne diffèrent entre elles que par les positions respectives de la source et du drain montrent une structure à canaux 18 dont le profil est caractérisé par une double divergence curviligne. Corrélativement, la section des barreaux 19 est augmentée et prend la forme d'un carré complété de part et d'autre par deux demi-cercles. De ce fait, la part dans la surface totale de la surface des capacités parasites est encore plus importante que sur la Fig. 3; d'autre part, le profil de canaux est passible d'une rectification encore plus accusée. Cette structure est réalisable par la technologie usuelle en matière de gridistor, telle qu'on l'a décrite antérieurement, notamment dans le brevet N 1.317.256 et ses additions, déjà cités. Cette technologie peut se résumer comme suit. Dans le cas de la Fig. 4, on forme le substrat par la couche 9 N+ (ici couche de drain), la couche 22, N , et la couche 20, N. Puis on crée un masque d'oxyde pour la diffusion sélective de la grille. On diffuse la grille 19 (par exemple avec du Cl3 a travers ce masque. Puis on effectue un dépôt épitaxique de la couche 21, NI, Enfin on diffuse la cadre 3 P et la couche 8 x+ (couche de source) à travers des masques établis à cet effet. Dans le cas de la Fig. 5, -on forme le substrat par la couche 9, N+ (ici couche de source) et la couche 26, N#. Puis on orée un masque dioxyde pour la diffusion sélective de la grille. On prédit fuse la grille 19 à travers ce masque. Puis on effectue un dépit épitaxique de deux couches superposées 24, N et 25, N . Enfin on diffuse le cadre 3 P+ et la couche 8 N+ (couche de drain). Le plan de dépit épitaxique (du dépit unique de la Fig. 4 et du premier des deux dépits de la Fig. 5) constitue normalement un plan sensiblement médian de la grille; la couche N se situant audelà de ce plan en direction du drain, devra donc être incluse dans le substrat de la Fig. 4 (avec drain dans la partie inférieure de la structure) et au contraire, constituer la première couche épitaxiée dans le cas de la Fig. 5 (avec drain dans la partie supérieure; Cela explique à la fois, les différences entre les structures des Figs. 4 et 5 et des détails techniques de leur fabrication. Ceci étant exposé, l'introduction du perfectionnement suivant l'invention, donne lieu aux mimes remarques que dans le cas de la Fig. 3, étant entendu que l'amélioration qui en résulte est ici encore plus importante. Cela est vrai tant pour la réduction de la capacité opérationnelle de la structure (qui dépasse ici 50 $ de la capacité de la structure à résistivité homogène) que de la rectification du profil de canaux et par cela de la réduction de la longueur parasite de ceux-ci comme cela sera expliqué plus loin. Ce besoin de rectification du profil de canaux peut demander une stratification plus poussée de la structure en général et du substrat en particulier. Ctest le cas de la variante de la structure de la Fig. 3, variante que montre la Fig. 6, en coupe partielle à l'échelle agrandie. Cette variante est essentiellement caractérisée par ce que la couche centrale 15 Ns est ici divisée en deux couches superposées 151 N1 et 152 N2 ayant des résistivités différentes. Cet artifice permet un profilage plus affiné du canal, comme l'on expliquera plus loin, à l'aide d'exemples numériques. Au préalable cependant, il convient de circonscrire le second objet de 11 invention, en faisant ressortir son caractère de nouveauté. il est bien connu de modifier le profil de canal à section constante en un profil à section variable jusqu'à un optimum de variation. Cela a fait l'objet des brevets français Nos. 1.177.006 du-27 Mai 1957 et 1.185.824 du 6 Novembre 1957 du meme titulaire. Dans la présente invention au contraire, il s'agit d'aménager un profil par trop divergent en réduisant cette divergence, si possible jusqu'à l'optimum souhaité. Par ailleurs, dans l'addition NO 93.763, déjà citée, a été présenté un système d'aménagement d'un profil de canal à double divergence par gradation de la résistivité du substrat mais en opérant seulement sur une moitié de la longueur du canal, coté source. Dans la présente invention, on étend cet aménagement à toute la longueur du canal, en encadrant la partie centrale de couches de résistivité plus élevée et éventuellement, en affinant la profilage par une stratification de cette partie centrale. Pour mieux comprendre l'effet de ces perfectionnements on se référera aux Figs. 7, 8, 9 et 10. Les Figs. 7as 7b, 7c, 7d et 7e expliquent l'aménagement du profil suivant l'addition NO 93.763. La Fig. 7a entre le profil de canal à double divergence, semi-circulaire, en substrat homogène 27. Le demi-cercle 28 représente le profil formé par diffusion, le demi-cercle 29, le profil de canal délimité par la charge d'espace due au potentiel de jonction PN. L'épaisseur de cette charge est bien évidemment uniforme tout le long de ce profil. il en est tout autrement sur les Figs. 7b et 7c correspondant aux structures suivant Figs. 7d et 7e, respectivement. La structure 7d est caractérisée par un substrat comportant la couche 27, Ns sur laquelle une couche 31, NI, a été déposée par épitaxie, couche ayant une résistivité nettement plus élevée (2,5 fois dans le cas considéré). La couche 8, N w est la couche de contact de source et la couche 9, N+, est la couche de contact de drain. Les canaux sont indiqués ici par 33, la grille par 19. Comme précédemment le demi-cercle 28 représente le profil formé par diffusion.Par contre, le profil délimité par la charge d'espace due au potentiel de la jonction PN est tout à fait différent; du fait de la différence des résistivités des deux couches, la charge d'espace est notablement plus développée (de l'ordre de 1,6 à 1,7 fois) dans la couche 31 que dans la couche 27 (voir respectivement les tracés 32 et 30). il s'ensuit que le profil effectivement opérant en tenant compte du développement de charges d'espace, devient sur une portion non négligeable de la longueur du canal, pratiquement rectiligne et à simple divergence.Si lton prend comme divergence optimale, le rapport de 1,5, indiqué dans le brevet français N0 1.185.824 précédemment cité, et ce entre l'ouverture à la sortie et l'ouverture à l'entrée du profil, délimité par la charge d'espace due à la jonction PN, on voit que la longueur utile du canal constitueront ici environ 30 * de la longueur totale. il en est de mtme pour les Figs. 7c et 7e, qui ne diffèrent des précédentes que par les positions respectives de la source, ici couche 9, et du drain, ici couche 8. Par voie de conséquence, les situations respectives des couches 27 et 31 sont également inversées, ainsi que le profil de canaux 34 par rapport à celui de canaux 33, comme on le voit en comparant les Figs. 7b et 7c. Par contre, la Fig. 8 correspondant à la structure de la Fig.4 conforme à l'invention (cas, où la source est localisée à la partie haute de la structure, étant pris à titre d'exemple), montre une amélioration de profil nettement supérieure.Pour faciliter la comparaison avec les Figs. 7a à 7e, on prendra ici pour le profil diffusé 35 également semi-circulaire, le meme rapport (longueur/ ouverture) = 2 alors que sur la Fig. 4 ce rapport est égal à 1. Ceci étant, le profil délimité par la charge d'espace due à la jonction comporte trois parties suivantes t la portion centrale 36 correspondant à la couche 20, d'une résistivité de 1 ohm~cm, la portion coté source, correspondant à la couche 21 d'une résistivité de 2,5 ohm. cl et la portion 38 c3té drain, correspondant à la couche 22 d'une résistivité de 3 ohm.cm. Par cet artifice et par le raccordement des charges d'espace dans ces trois couches superposées, le profil résultant montre la réduction de la portion parasite de la longueur de canal à 50 G environ. De plus, il convient de na pas perdre de vue que la part utile de la longueur croit dans une certaine mesure avec la polarisation de la grille, ainsi que du drain, par rapport à la source. La résistance différentielle de drain est ainsi au moins quadruplée par rapport au cas où le substrat a une résistivité uniforme; elle est encore a peu près double de celle que l'on obtient dans la structure de la Fig. 7. Les conclusions sont bien évidemment les mimes pour ce qui concerne la structure de la Fig. 5 à l'ialversion du profil de canaux près. La Fig. 9 montre le profil de canaux 13 de la Fig. 3, dont la divergence résultant de l'implantation d'ions (tracé 39) a été volontairement quelque peu exagérée. Le profil délimité par la charge d'espace due au potentiel de jonction comporte ici également trois portions : centrale 40, côté source 41 et côté drain 42, cor respondmnt respectivement aux couches 15, 16 et 17. Pour fixer les idées par un exemple numérique, ce profil a été calculé pour des résistivités suivantes S couche 15 : 1 ohm~cm, couche 16 S 2,5 ohm. cm, couche 17 : 3 ohmcm. On remarquera, comme déjà précédemment signalé, que la couche 17 pénètre assez profondément dans l'espace de grille et la couche 16 se situe légèrement au-dessus de cet espace; ces positions respectives sont justifiées par le besoin dtas- surer un passage à peu près continu du profil d'une couche à l'autre. il est bien entendu, cependant, que ces situations devraient autre aménagées en fonction des résistivités choisies. Ceci étant, on constate qutavec la divergence du profil implanté admise ci-dessus, l'amélioration obtenue ici, bien que fort appréciable, peut autre encore estimée comme insuffisante, si l'on tient au rapport optimal d'ouvertures à la sortie et à l'entrée du canal = 1,5, indiqué ci-dessus. La Fig. 10, correspondant à la variante de structure suivant la Fig. 6, montre un aménagement complémentaire de ce profil, grâce à la stratification de la couche centrale 15 et à une avancée plus accentuée de la couche 17.Les résistivités des quatre couches superposées seront prises comme suit : couche 17 : 3 ohm.cm, couche 151 : 1,5 ohm.cm, couche 152 0,6 ohm. cm, couche 16 : 2,5 ohm. cime Dans la gradation des résistivités de la couche 15, l'artifice consiste à réduire la résistivité dans la zone de l'ouverture la plus étroite 152 et à l'accroitre au-delà, zone 151, tout en conservant la résistivité moyenne sensi blement inchangé: :, Le profil obtenu, tracé en 41, 402* 401 et 42 est alors parfaitement acceptable, car la longueur parasite de canal est réduite à moins de 50 * déjà à ce niveau initial de développement des charges espace. La résistance différentielle de drain est au moins quintuplée par rapport au cas où le substrat est d'une resis- tivité uniforme. il est bien entendu par ailleurs que les formes et les mate- riaux utilisés pour la mise en oeuvre de 11 invention peuvent varier sans pour cela sortir du cadre de celle-ci pour autant que les principes énoncés ci-dessus soient appliqués. REVEND I CATI ON S 1 - Structure de transistor à effet de champ du type gridistor comprenant un substrat semiconducteur d'un type de conductivité donné, deux couches extrêmes surdopées sur les faces dudit substrat pour prise de contact de source et de drain, une grille enterrée dans ledit substrat en semiconducteur du type de conductivité opposé, ladite grille étant traversée par une pluralité de canaux conducteurs du type de conductivité donné daractérisée en ce que ledit substrat comporte, outre les deux couches extrtmes surdopées, au moins trois couches internes superposées dont la couche centrale dans laquelle est formée la grille et sont placés les canaux conducteurs a une résistivité relativement faible par rapport à celle, relativement élevée des couches latérales situées de part ét d'autre de la couche centrale, ces couches latérales étant substantiellement situées au-dessus et au dessous de la grille et la bordant 2 - Structure de transistor à effet de champ du type gridistor conforme à la revendication 1 caractérisée en ce que l'une des couches latérales à résistivité relativement élevée pénètre dans 11 espace de grille et constitue par suite une partie des canaux conducteurs. 3 3 - Structure de transistor à effet de champ du type gridistor conforme à la revendication 1 caractérisée en ce que les deux couches latérales à résistivité relativement élevée pénètrent toutes deux dans l'espace de grille, la couche centrale étant située substantiellement dans le plan médian de la grille mais, par rapport à ce plan médian, légèrement du ctté du drain de la structure. 4 - Structure de transistor à effet de champ du type gridistor conforme à la revendication 1 caractérisée en ce que la couche centrale est elle-m#me divisée en deux couches adjacentes de résistivité différentes mais toujours inférieures à celle des couches latérales. 5 - Structure de transistor à effet de champ du type gridistor conforme à l'une quelconque des revendications 1 à 5 dans lequel les canaux en lt absence de charge d'espace sont à bords parallèles. 6 - Structure de transistor à effet dé champ du type gridistor conforme å l'une quelconque des revendications 1 à 5 dans lequel les canaux en 1' absence de charge d'espace sont à bords divergents vers le drain. 7 - Structure de transistor à effet de champ du type gridistor conforme à l'une des revendications 1 à 5 dans lequel les canaux en l'absence de charge d'espace sont à profil d'abord convergent puis divergent. 8 - Procédé de fabrication d'une structure de transistor à effet de champ du type gridistor comprenant un substrat semiconducteur d'un type de conductivité donné, deux couches extremes surdo puées sur les faces dudit substrat pour prise de contact de source et de drain, une grille enterrée dans ledit substrat en semiconducteur du type de conductivité opposé, ladite grille étant traversée par une pluralité de canaux conducteurs du type de conductivité donné et au moins trois couches internes superposées dont la couche centrale dans laquelle est formée la grille et sont placés les canaux conducteurs a une résistivité relativement faible par rapport à celle, relativement élevée,des couches latérales situées de part et d'autre de la couche centrale, ces couches étant substantiellement situées au-dessus et au-dessous de la grille et la bordant caractérisé en ce que le substrat est formé sur une plaquette initialement surdopée, par les dépits épitaxiques successifs de la première couche ltat rale de la couche centrale et de la deuxième couche latérale2ladiffusion dans cette dernière couche latérale de la deuxième couche extrême surdopée, l'implantation de la grille substantiellement dans la couche centrale et l'implantation d'ions isolants ou d'ions compensants au-dessus de la grille. 9 - Procédé de fabrication d'une structure de transistor à effet de champ du type gridistor comprenant un substrat semiconducteur d'un type de conductivité donné, deux couches extrêmes surdopées sur les faces dudit substrat pour prise de contact de source et de drain, une grille enterrée dans ledit substrat en semiconducteur du type de conductivité opposé, ladite grille étant traversée par une pluralité de canaux conducteurs du type de conductivité donné et an moins trois couches internes superposées dont la couche centrale dans laquelle est formée la grille et sont placés les canaux conducteurs a une résistivité relativement faible par rapport à celle, relativement élevée es couches latérales situées de part et d'autre de la couche centrale, ces couches latérales étant substantiellement situées au-dessus et au-dessous de la grille et la bordant caractérisé en ce que le substrat est formé sur une plaquette initialement surdopée, par les dépits épitaxiques s#tccessifs de la première couche latérale et de la couche tion de la grille substantiellement dans la couche centrale et la formation par épitaxie de la deuxième couche latérale et la diffusion de la deuxième couche extrême.