Brevet FR2148644A1 — publié le 19730323

La présente invention se rapporte d'une façon générale aux techniques d'évaporation et de dépôt sous vide et elle concerne, plus particulièrement, un appareil et des procédés pour revëtir sous vide des substrats avec des couches métalliques ou autres. Depuis quelques années, le dépôt sous vide de certaines matières sur des substrats est devenu l'un des procédés les plus couramment utilisés dans l'industrie. D'un intérët particulier dans ce domaine, est l'utilisation de chauffage par faisceau électronique dans un environnement sous vide afin de produire une vapeur d'une matière métallique ou céramiaue ou encore d'une autre matière et établir ainsi un revêtement de cette matière sur un substrat. La source de vapeur, dans une telle application, peut comprendre un creuset contenant du cuivre, du bore ou un autre métal, un alliage métallique ou une matière non métallique qu'on désire évaporer.On fait passer un faisceau électronique de grande intensité sur le contenu du creuset pour évaporer la matie' re et produire un faisceau de vapeur qui sort par l'ouverture du creuset et qui, au moment où il heurte la surface du substrat, se condense sur celui-ci et forme un dépôt analogue à une pellicule. Les techniques de chauffage par faisceau électronique et d'évaporation du type qui vient d'être décrit peuvent servir non seulement pour l'établissement de revêtements métalliques ou autres qui doivent rester de façon permanente sur les substrats (par exemple l'aluminisation ae l'acier ou la métallisation d'un substrat en verre ou en une matière plastique), mais aussi pour la formation d'un clinquant métallique autonome ou d'une couche autonome du même type, comme il est expliqué par exemple dans les brevets des Etats-Unis d'Amérique N08 3.181.209, 3.183.563 et 3.270.381, Pour de telles applications, on effectue le dépit sous vide sur un substrat pouvant porter une couche appropriée d'un agent de sdparation, la pellicule métallique déposée étant ultérieurement enlevée de manière à former le clinquant désiré. En particulier, dans les applications qui utilisent un chauffage par faisceau électronique, on cherche à aboutir à des entrées d'énergie encore plus importantes afin de disposer d'un procédé qui soit véritablement à l'échelle industrielle. On a cependant constaté dans ce domaine que le problème déåà ancien, concernant l'évaporation et le dépôt sous vide, se pose dans des conditions plus aiguës lorsqu'on cherche à obtenir des produits d'une qualité supérieure. En effet, l'évaporation plus rapide provoque dans le courant de vapeur qui sort du creuset de chauffage l'apparition d'un grand nombre de particules macroscopiques (phase liquide) qutil ne faut pas confondre avec les particules d'une dimension atomique ou moléculaire (phase gazeuse).Ces plus grosses particules peuvent provenir, par exemple, de l'existence de zones chaudes dans le bain de fusion pouvant provoquer des é- claboussures ou des phénomènes analogues, ou bien ces particules peuvent provenir simplement de l'action mécanique des gaz occlus ou d'autres impuretés dans le bain de fusion. Quoiqu'il en soit, le dépôt de ces grosses particules sur le substrat se traduit par des défauts dans le revetement, par exemple sous forme de piqG- res, de gouttelettes adhérentes et d'autres irrégularités de la surface de la pellicule déposée, ces défauts détériorant sérieusement les propriétés physiques et même les propriétés chimiques des pellicules.Quand, par exemple, on utilise le procédé pour préparer un clinquant, le produit résultant aura vraisemblablement des propriétés inférieures de résistance, c'est-à-dire que les déchirures sous l'effet des contraintes se produiront aux emplacements de la pellicule comportant les défauts précités et ces emplacements eux-memes correspondent en majeure partie à ceux portant les particules macroscopiques précitées. On a cherché à éliminer ces particules macroscopiques du courant de la matière d'évaporation contenant les particules de grosseurs atomiques et moléculaires et ce problème a été abordé de plusieurs façons différentes. Parmi les suggestions de la technique antérieure, on indiquera l'utilisation de chicanes fixes en vue d'établir un trajet sinueux entre la source de vapeur et le substrat et aussi l'utilisation d'ajutages pour le courant gazeux de la matière évaporée en vue de dévier les plus grosses particules, ainsi que diverses autres techniques plus ou moins élaborées.Alors que les expédients Préconisés donnent des résulrelativement tats/efolcaces~dans des opérations de dépôt sous vide à petite é- chelle, on peut dire que les resultats obtenus laissent beaucoup à desirer dans les installations comportant un débit élevé d'admission d'énergie, car les mesures envisagées gênent l'écoulement d'un débit important de vapeur ou sont d'une mise en oeuvre incommode pour d'autres raisons. En conséquence, les principaux buts de l'invention sont : - de réaliser un appareil et un procédé qui permettent l'élimination efficace de particules macroscopiques présentes dans le courant d'évaporation au sein de l'appareil de dépôt sous vide; - de réaliser un appareil et un procédé qui, en permettant d'opérer une sélection de vitesses entre les particules dans le courant de la matière d'évaporation dans l'appareil de dépôt sous vide, donnent la possibilité de déposer sur un substrat interposé dans le trajet du courant une couche très uniforme de la matière évaporée; et - de réaliser un appareil d'évaporation sous vide avec chauffage par faisceau électronique, de nature à déposer des pellicules métalliques d'une très grande uniformité et présentant, en conséquence, d'excellentes propriétés de résistance et d'absence de défauts. Selon l'invention, on aboutit aux objectif s précités ainsi qu'à d'autres qui ressortiront à la lecture de la description ci-après, en utilisant un appareil et un procédé dans lesquels un courant d'évaporation, qui a été établi par exemple par chauffage au faisceau électronique d'une source de métal, est soumis périodiquement à une action de balayage dans le sens transversal au moyen d'un intercepteur qui comprend un ou plusi eurs éléments à surface de contact. Dans un exemple représentatif, un tel intercepteur est constitué de plusieurs pales de ventilateur relativement plates qui effectuent une action de balayage transversal dans le courant de la substance évaporée sous 1, effet de la rotation d'un moyeu sur lequel lesdites pales sont montées. La périodicité des balayages (par les surfaces successives) est telle que pratiquement toutes les particules dont les vitesses sont inférieures à une valeur préalablement choisie sont arrêtées par une surface et sont retenues sur celle-ci, alors que la majeure partie des particules dont les vitesses sont supérieures à la valeur minimale prescrite peuvent traverser sans difficulté l'espace balayé, pratiquement en l'absence de tout contact avec la surface de balayage ou de rétention sur une telle surface. Le résultat net de cet agencement est d'opérer une sélection de vitesses entre les particules dans le courant de la substance évaporée.Etant donné que les particules les plus lentes sont principalement les particules macroscopiques qui sont, en majeure partie, à l'origine des piqûres et autres défauts dans les pelli cules déposées, l'invention qui permet l'élimination sélective des grosses particules assure le dépôt d'une pellicule beaucoup plus uniforme, d'où augmentation de lazésistance de cette pellicule et amélioration des propriétés électriques et chimiques. D'autres buts et avantages de l'invention ressortiront de la description détaillée qui va en être faite ci-après en se référant aux dessins schématiques annexés, sur lesquels La figure 1 est un schéma général du principe sur lequel est fondé le fonctionnement de l'appareil selon l'invention. La figure 2 est une vue partie coupe et partie élévation d'un mode de réalisation préféré de l'appareil selon l'in vention. La figure 2A est une vue en plan du dispositif de balayage utilisé dans l'appareil selon la figure 2. Les figures 3 et 3A sont, respectivement, une élévation en bout et une coupe transversale simplifiées d'un autre mode de réalisation de l'appareil. La figure 4, enfin, représente schématiquement la partie fondamentale d'un autre mode de réalisation de l'appareil. Avant d'étudier les modes de réalisation de l'appareil selon l'invention, on peut utilement se référer à la figure 1 qui est un schéma du principe de fonctionnement de l'invention. Dans un but de simplicité, la source de la matière évaporée est représentée comme étant une source ponctuelle 3. Dans la pratique réelle et comme on le verra par la suite, la source 3 est légèrement plus étendue, pouvant être par exemple un creuset contenant un bain de fusion métallique et il va de soi que le procédé se déroule dans une chambre sous vide. Si l'on considère cependant le cas idéal représenté, on voit que le courant évaporé provenant de la source 3 progresse vers un substrat 5 sur lequel on se propose de déposer une pellicule.Alors qu'en réalité le courant d'évaporation s'élargit pour prendre une forme conique 7-7' en direction du substrat 5, on peut dans un but analytique ne prendre en considération que les particules qui suivent la ligne médiane 9 du trajet, cette ligne 9 étant représentée en pointillé comme une ligne droite entre la source 3 et le substrat 5. Les spécialistes de la question des sources d'une matière d'évaporation, par exemple sous forme de creusets chauffés par des faisceaux électroniques, comprendront aisément que le courant de la substance évaporée dirigé vers le substrat 5 con tient deux types de particules. En premier lieu, le courant contient des particules de dimensions atomiques et moléculaires formant une phase gazeuse vraie et ce sont ces particules qu'on désire déposer sur le substrat 5 pour assurer ltétablissement d'une pellicule hautement uniforme.La portion de la vapeur contenant ces particules peut, selon une première approximation, être considérée comme un gaz idéal dans lequel la vitesse moyenne des particules est déterminée par l'équation de Maxwell bien connue dans laquelle U = la température absolue, L = poids atomique (moléculaire) de la substance et a = constante = 1,712 x 10 4. En second lieu, le courant de vapeur contient cependant un nombre important de particules de grosseur macroscopique dont 11 origine est variable. Par exemple pendant le chauffage, des zones chaudes qui ont été chauffées de façon irrégulière peuvent apparaître dans le bain de fusion ce qui provoque une éjection soudaine de particules solides ou liquides.Des résultats analogues peuvent provenir de la présence de certaines impuretés, notamment d'occlusions gazeuses, dans la substance en cours d'évaporation. Cependant, indépendamment de l'origine des particules macroscopiques, on constate dans la pratique que pendant le dépôt sur des substrats tels que 5, ces particules introduisent des irrégularités dans la pellicule formée, ces irrégularités étant le plus souvent des piqûres, des gouttelettes adhérentes ou des défauts du même type dans la pellicule. La demanderesse prend en considération la découverte, qui peut être vérifiée expérimentalement et selon laquelle les particules macroscopiques du type indiqué sont en général éjectées du bain de fusion ou autre source 3 avec une énergie cinétique d'une valeur comparable à celle de l'éjection des particules de dimension atomique ou moléculaire. En raison de la différence relativement importante entre les masses des deux types de particules, on peut déduire de la découverte précitée que les particules macroscopiques progressent dans le courant a'évaporation à ne vitesse beaucoup plus faible, comme on peut d'ailleurs le prévoir en tenant compte de l'équation : dans laquelle V est la vitesse d'une particule de masse M et d'énergie cinétique E.En conséquence, en étaDlissant une sélection de vitesses dans le courant d'évaporation, on peut éliminer sélectivement les particules macroscopiques indésirables. En se référant au schéma ae la figure 1, on voit que la sélection de vitesses est réalisée par un balayage du courant d'évaporation dans une direction sensiblement transversale à l'aide d'une surface en mouvement 11. La surface 11 est donc déplacée de la position inaiquée en 11' sur une distance transversale "W". En supposant que le temps nécessaire pour ce déplacement soit T, il est évident que dans le montage représenté, la surface 11 intersecte le trajet 9 au moment T/2 secondes après le début du bala sage. Ainsi, sn une particuie se trouve au point 13 qui correspond au bord inférieur de la surface il au temps t = o, c'est-àdire au début du balayage, il est évident que cette particule ne peut traverser efficacement l'espace balayé que si sa vitesse est supérieure à L/(T/2), "L" étant l'extension de la surface dans la direction du trajet 9. Etant donné que la vitesse des particules dans le courant d'évaporation est une fonction décroissante de leur dimension, comme on l'a déjà dit, il est évident que selon le temps U et la longueur du trajet L dans la zone de balayage, les particules d'une dimension donnée préalablement établie sont balayées de façon préférentielle par la surface 11, sont bloquées et sont retenues sur cette surface. Dans la pratique, il est certain que l'analyse permettant ae déterminer la nature exacte des particules qu'il y a lieu d'empêcher de passer est quelque peu plus complexe car on s'est contenté de ne prendre en considération que le cas du trajet moyen 9.Les particules qui suivent le trajet défini par la ligne 7', par exemple, ne sont interceptées par la surface 11 qu a un moment qui se situe entre tL72 et T. I1 est cependant évident que l'enlèvement préférentiel des particules macroscopiques plus lentes se produit en tous les points ae la zone balayée et on compend donc que pratiquement toutes les particules qui pénètrent dans iíespace balaye au temps t = o sont retenues à la condition que leur durée de passage soit supérieure à T. Pour illustrer le principe de l'invention, la figure 1 représente une géométrie de balayage rectangulaire mais on verra par la suite que d'autres géométries sont applicables et sont en ralit' plus pratiques. On verra également que l'agencement le plus courant consiste à faire passer successivement une série de surfaces de balayage à travers le courant d'évaporation, ou bien encore à animer une ou plusieurs surfaces d'un mouvement de vaet-vient à travers le courant de manière à établir une suite ininterrompue de périodes T. La figure 2 représente schématiquement, partiellement en coupe et partiellement en élévation, un mode de réalisation préféré de l'appareil selon l'invention. L'appareil qui est désigné par la référence d'ensemble 21 comprend une chambre 23 dans laquelle un vide approprié peut être maintenu par une pompe à vide 25 indiquée schématiquement. Dans le bas de la chambre 23 est installé un creuset 27 construit en un matériau inerte convenable. Une substance d'évaporation 29, par exemple du cuivre, est disposée dans le creuset 27 et est chauffée à la température d'évaporation convenable par un canon à électrons 31 alimenté par une source de courant 33.Le canon peut être d'un modèle approprié quelconque en conformité avec les techniques traditionnelles; par exemple dans l'appareil représenté, on utilise un canon avec une déviation de 2700 et ce canon est alimenté par une source de courant de 10 kw. Le courant évaporé qui est établi par suite du chauffage effectué par un faisceau électronique 35 venant heurter la ma tière d'évaporation 29 est indiqué schématiquement en 37. Le courant 37 se dirige vers le substrat 39 sur lequel on désire déposer une pellicule de la matière évaporée. Le substrat 39 est supporté dans le trajet du courant 37 sur un socle convenable ou par un moyen analogue qui n'est pas représenté. Le substrat 39 peut Qtre formé en l'une quelconque de nombreuses matières qu'on sait pouvoir être revêtues par une technique de dépôt sous vide. Par exemple, le substrat peut comprendre une plaque de titane ou une feuille d'acier inoxydable, d'une matière plastique ou d'une matière analogue.Dans l'exemple choisi, le substrat 39 peut en outre être préalablement enduit d'un agent de séparation et l'application de cet agent sur le substrat peut se faire également par évaporation en utilisant un autre canon à électrons et un autre creuset qu'on installe également dans la chambre 23. Les agents appropriés de séparation sont notamment NaCl, A1203, le "selon", le polyéthylène ou un autre sel ou oxyde métallique. La présence de cet agent de séparation permet de détacher la couche ultérieurement déposée, par exemple la couche de cuivre, du subs trat afin d'obtenir un clinquant autonome. Selon l'invention, on installe dans la chambre 23 un dispositif de balayage 41 qui comprend un moteur 43, un arbre rotatif 45 entratné par le moteur 43 et un ventilateur 47 monté en rotation sur l'arbre 45. Un moyen de refroidissement, par exemple un serpentin 49 de circulation d'eau, peut également être prévu pour dissiper la chaleur considérable qui se développe pendant le fonctionnement du moteur 43 dans l'environnement du four, Le ventilateur 47 comprend un moyeu 51 à partir duquel s'étendent radialement plusieurs surfaces rectangulaires plates 53 analogues à des pales de balayage. Dans l'exemple choisi qui est représenté en plan sur la figure 2A, le dispositif de balayage 41 comporte au total vingt quatre pales, c'est-à-dire des pales espacées de 159 en 15 autour du moyeu 51. On voit que lors de la rotation du moyeu 51, les surfaces successives 53 balaient le courant 37 de la matière évaporée; d'autre part, étant donné que le dispositif 41 est monté de manière que son axe de symétrie soit disposé sur un côté du courant 37, il est évident que seules les surfaces 53 situées sur un côté (le côté gauche en observant la figure) du moyeu 51 balaient efficacement le courant 37. On comprend aisément, par analogie à l'analyse qui a é- té faite à propos de la figure 1, que si la largeur d'une pale sur la figure 2 est d, que le nombre de pales est N et que la vitesse angulaire du moyeu 31 est W , alors la vitesse critique Vp peut être définie par l'équation Toutes les particules dont les vitesses sont inférieures à Vp se- ront interceptées et retenues par les surfaces 53. L'équation (3) peut être utilisée dans l'exemple numérique suivant : on suppose qu'on désire éliminer toutes les particules dont la vitesse est inférieure à 6100 cm/s. La vitesse choisie est un chiffre intéressant pour l'application à l'équation (1) car avec le cuivre à 80onc la vitesse moyenne obtenue pour les particules de grosseur moléculaire est d'environ 7000 cm/s, de sorte que la vitesse choisie pour l'élimination est inférieurede l/lOème à la vitesse moléculaire et n'influe donc pas notablement sur les particules moléculaires. En supposant que W 1800 tours/minute = 60 m'radians/s et que le ventilateur comporte 24 pales, dans ce cas la distance d doit être de 8,4 cm pour que Vp soit égal à 6100 cm/s. Comme on l'a déjà dit, l'appareil selon l'invention est d'un intérêt particulier, parmi toutes les autres applications possibles, pour la fabrication d'un clinquant métallique de forte résistance. Pour préparer un tel clinquant, on commence par déposer une pellicule et ensuite on enlève cette pellicule d'un substrat, par exemple comme on le voit en 39 sur la figure 2, en incorporant habituellement une couche de séparation intercalaire pour faciliter le détachage. Comme le savent bien les spécialistes, on peut produire dans ces conditions du clinquant en continu en utilisant un agencement par lequel une bande porteuse continue passe à travers la zone de dépôt et ensuite arrive à un poste où s'effectue la séparation entre le clinquant et la bande porteuse. Les clinquants préparés selon l'invention sont notablement dépourvus de piqûres, de cratères et de particules noyées qui é- taient des inconvénients usuels pour toutes les matières déposées sous forme de vapeur par la technique antérieure. En conséquence, les clinquants possèdent une résistance élevée et une très bonne uniformité ce qui leur permet de répondre efficacement aux traitements physiques et chimiques comme par exemple la gravure. Les figures 3 et 3A sont, respectivement, une vue en bout et une vue en élévation représentant de façon très simplifiée un autre mode de réalisation de l'invention. Les surfaces utilisées pour balayer le courant d'évaporation 29 provenant d'une source ponctuelle idéalisée 55 sont constituées par des pales plates 57 qui sont montées dans des plans radiaux de façon à définir une cage cylindrique 59 fermée à une extrémité par une pièce terminale 61 et ouverte à l'autre bout pour permettre l'admis- sion de la source 55 de la matière d'évaporation et l'établisse- ment des connexions électriques 63. La cage 59 est entraînée en rotation autour de son axe longitudinal par un arbre 65 qui est accouplé à la pièce terminale 61 de sorte que les pales 57, de même que dans les autres modes de réalisation de l'invention, balaient le courant d'évaporation 29. On remarquera sur la figure 3 qu'un avantage important de ce mode de réalisation réside dans le fait que la géométrie utilisée permet à deux pales radiales 57 d'épouser sur les deux cotés la forme du courant d'évaporation 29, ce qui assure un balayage très efficace. Sur la figure 4, on a représenté la partie fondamentale d'un autre agencement conforme à l'invention. Le dispositif de balayage 67 comprend uniquement deux surfaces sous forme de deux lames plates 69 et .71 dont chacune est montée en rotation autour d'un axe 73 sur des bras 75 et 77. Ici encore, on a représenté dans un but de simplification la source d'évaporation 79 sous une forme ponctuelle et le courant résultant envisagé est représenté par le cône en pointillé 81.Au lieu d'un mouvement unidirectionnel des lames de balayage à travers le courant, comme c t était le cas dans les précédents modes de réalisation, le montage selon la figure 4 envisage un mouvement oscillant des surfaces 69 et 71 sous forme d'un mouvement de va-et-vient à travers le courant 81, c'est-à-dire depuis les positions indiquées en trait plein jusqu'aux positions indiquées en pointillé 69t et 71', avec retour aux positions initiales. Pour assurer ce mouvement oscillant, on peut utiliser un mécanisme approprié quelconque. On comprend également que si deux surfaces 69 et 71 sont envisagées sur la figure 4, on pourrait aussi bien utiliser une seule surface telle que 71 ou des surfaces multiples pour effectuer le même schéma de balayage. Dans tous les modes de réalisation qui ont été décrits, les surfaces de balayage sont des lames en tôle ou clinquant métallique mince, imperméable et léger. D'une façon plus générale, les lames pourraient être construites en d'autres matières capables de supporter les forces d'accélération et les températures de l'environnement considéré, y compris des matières perméables -telles que des toiles métalliques minces (avec des mailles suffisamment petites pour retenir les particules macroscopiques qu'on désire éliminer du courant d'évaporation). De même, bien que la description qui vient d'être faite utilise comme énergie d'évaporation le choc d'un faisceau électronique sur la matière à évaporer, l'invention est applicable à d'autres systèmes d'évaporation sous vide comportant l'utilisation ae moyens différents pour fournir l'énergie. Pour l'évaporation par faisceau électronique, l'intercepteur a été représenté comme étant er dehors d la trajectoire du faisceau électronique. Bien que cette caractéristique soit fréquemment avantageuse, elle n'est pas indispensable et dans certaines applications, il peut être préférable d'installer l'intercepteur dans la zone traversée par le faisceau électronique. I1 va de soi qu'on pourrait apporter diverses modifications aux modes de réalisation qui ont été décrits, r::i,uenent à titre d'exemples non limitatifs, sans sortir pour cela du cadre de l'invention. REVENDICATIONX. 1. Appareil de revêtement sous vide permettant de déposer une pellicule mince et uniforme sur un substrat, caractérisé en ce qu'il comprend une chambre sous vide; un moyen monté dans cette chambre pour créer un courant d'évaporation composé de particules ayant des dimensions variées et dont les vitesses sont une fonction décroissante de la grosseur des particules; un moyen pour positionner une surface à revêtir dans ledit courant afin de déposer la matière évaporée sur cette dernière; et des moyens pour balayer périodiquement le courant d'évaporation à l'aide d'une surface, à une vitesse telle que les particules dont les vitesses sont au-dessous d'une valeur prédéterminée sont pratiquement toutes arrêtées sur ladite surface de balayage, de sorte que lesdits moyens de balayage laissent passer de façon préférentielle vers le substrat des particules dont les dimensions sont audessous de la valeur prédéterminée, en vue de former un revêtement sur le substrat. 2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen de formation du courant comprend un canon à faisceau électronique et une source métallique disposée de manière à être chauffée par ledit faisceau. 3. Appareil selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la source métallique est du cuivre. 4. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de balayage comprennent plusieurs surfaces espacées qui passent successivement à travers le courant d'évaporation dans une direction sensiblement transversale0 5. Appareil selon la revendication 4, caractérisé en ce que le moyen de balayage comprend un moyeu rotatif portant une série de pales de ventilateur radiales, ce moyen étant monté de manière que la rotation du moyeu oblige les surfaces des pales à balayer le courant d'évaporation dans une direction transversale au sens de ce courant, 6. Appareil selon la revendication 5, caractérisé en ce que les pales sont des éléments plats, sensiblement rectangulaires, dont les plans sont dirigés suivant des rayons à partir du moyeu. 7. Appareil selon la revendication 6, caractérisé en ce que le moyeu est monté de façon que son axe soit déporté sur un côté par rapport à l'axe longitudinal de symétrie du courant d'é vaporation. 8. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen de balayage comprend une seule surface qui passe de façon répétée à travers le courant. 9. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de balayage comprennent plusieurs surfaces espacées qui effectuent, en un mouvement de va-et-vient, un balayage du courant- dans un sens sensiblement transversal. 10. Appareil selon la revendication 4, caractérisé en ce que les moyens de balayage comprennent une cage cylindrique ouverte à un bout et portant sur sa surface cylindrique une série d'ailettes radiales, cette cage étant montée en rotation et de façon que la source du courant d'évaporation soit placée à l'intérieur de la cage, de sorte que la rotation de la cage oblige les ailettes à traverser le courant d'évaporation. 11. Procédé d'enlèvement préférentiel de particules macroscopiques d'un courant d'évaporation comprenant des particules de grosseurs variées dont les vitesses sont une fonction décroissante de la grosseur des particules, caractérisé en ce qu'il consiste à balayer périodiquement le courant d'évaporation à l'aide d'une surface à une vitesse telle que pratiquement toutes les particules dont les vitesses sont inférieures à une valeur prédéterminée sont interceptées par la surface de balayage, de sorte qu'on obtient une élimination préférentielle des particules d'une grosseur au-dessus de ladite valeur prédéterminée de ce courant. 12. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'on effectue le balayage dans une direction sensiblement transversale à celle du courant d'évaporation. 13. Installation dans laquelle une matière est soumise à l'action d'une énergie, dans un environnement sous vide, de nature àobliger cette matière à s'évaporer à une vitesse qui procure un courant d'évaporation composé de particules ayant des vitesses variables, caractérisée en ce que le produit évaporé doit parcourir une zone traversée à intervalles réguliers par un intercepteur qui se déplace dans une direction sensiblement transversale à celle du courant d'évaporation, de sorte que toutes les particules dans le courant d'évaporation dont les vitesses sont telles que leur temps de passage à travers ladite zone soit plus grand que l'intervalle entre les passages successifs de l'intercepteur seront interceptées par ce dernier et élininées du courant d' évaporation0