Brevet FR2167827A1 — publié le 19730824

La présente invention concerne des procédés de formation d'seran au phosphore de tube image de télévision en couleurs ainsi que des dispositifs d'exposition pour mettre en oeuvre de tels procédés. D'une façon plus particulière, la présente invention concerne un procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs où il est nécessaire de former des points de diamètre plus petit que le diamètre des trous du masque perforé, par exemple des points de phosphore dans le cas de tubes images ordinaires pour télévision en couleurs du type à masque perforé ou des points de phosphore et des points de photorVsist pour former des pores dans une couche absorbant la lumière dans des parties de celle-ci correspondant à la position des points de phosphore b former, dans le cas de tubes images de télévision en couleurs B masque perforé du type X matrice noires La présente invention a également trait b un dispositif dtexposition pour mettre en oeuvre un tel procédé. Dans le présent exposé9 ltexpressiat !exposition pour former des écrans au phosphore" signifie9 dans le cas des tubes images de télévision en couleurs habituels, leexposition d'une couche de phosphore pour former des points de phosphore tandis qu'elle signifie, dans le cas des tubes images de télévision en couleurs du type k mstrice noire où les interstices entre les points adjacents sont remplis d'une matière absorbant la lumière;; l'exposition d'une couche de phosphore pour former les points de phosphore ainsi que l'exposition d'une couche de photorésist ou couche absorbant la lumière pour former des pores dans une couche absorbant la lumière, dans des parties de celle-ci correspondant à la position des points de phosphore à former. Pour former des écrans au phosphore comprenant des points de phosphore de diamètres plus petits que ceux des trous du masque perforé, on a proposé jusqutà présent un procédé tel que celui dans lequel on expose une couche de phosphore à un faisceau d'électrons à travers un masque perforé ou celui dans lequel on réduit momentand- ment le diamètre des trous du masque perforé et on effectue une exposition optique d'une couche de phosphore en utilisant le masque perforé dont on a réduit le diamètre des trous auxquels on redonne le diamètre initial après l'exposition. Toutefois, le procédé de la technique antérieure mentionné en premier et utilisant un faisceau d'électrons est très compli quJ étant donné qu'il est nécessaire de former une couche conductrice sur la surface inrieure du fond du tube en verre et de maintenir sous vide un dispositif produisant un faisceau d'électrons ainsi que le fond du tube. Dans le procédé de la technique antérieure mentionné en dernier, il est très difficile, dans la pratiquez de réduire momentanément le diamètre des trous du masque perforé.En outre, il est extrtmement difficile, au moyen de l'exposition optique utilisant une source lumineuse plane et un masque perforé ordinaire sans aucun traitement de ee dernier, d'obtenir un diamètre des points plus petit que celui des trous du masque perforé Pour remédier aux inconvénients ci-dessus, on a proposé un procédé de formation de points de phosphore en exposant une couche de phosphore à la lumière provenant d'une source lumineuse annulaire ainsi qu'un procédé de formation de points de phosphore par l'exposition d'une couche de phosphore à une source lumineuse ponctuelle tournant sur une orbite analogue k un anneau. Toutefois, quand on effectue en fait ltexposition au moyen de la source lumineuse annulaire ou de la source lumineuse tournante précitées, on rencontre diverses difficultés. Pour un tube image de télévision en couleurs comportant, par exemple, un masque perforé présentant un pas de trou de 096 mm, une relation désirée entre le diamètre des trous du masque perforé et le diamètre des points de phosphore est telle que le diamètre des trous du masque perforé et le diamètre des points de phosphore correspondant à ces trous sont respectivement de 0,334 mm et 0,260 mm dans une partie centrale du masque perforé, de 0,310 mm et 0,220 mm dans une partie du masque perforé se trouvant à environ 150 mm du centre de ce masque et 0,300 mm et 0,200 mm dans une partie située à environ 200 mm du centre de ce masque.En d'autres termes, dans le tube image de télévision en couleurs, le diamètre des points de phosphore est avantageusement plus petit vers la partie marginale du masque per- foré afin d'assurer une redondance d'impact pour améliorer la pureté des couleurs, mais il n'est pas nécessaire que le diamètre des trous du masque Iefrr soit aussi réduit que le diamètre des points vers la partie marginale du masque perforé. En d'autres termes, le rapport entre les diamètres des trous du masque perforé et le diamètre des points de phosphore qui leur correspondent varie avec la distance b partir du centre du masque perforé.Pour cette raison, il est souhaitable que le diamètre de la source lumineuse annulaire soit déterminé en fonction de la distance depuis l'axe du tube jusqugg la position du point de phosphore à former. Par exemple, en désignant par R le diamètre de la source lumineuse annulaire servant à former les points de phosphore à une position correspondant au centre du masque perforé, une source lumineuse annulaire d'un diamètre environ 1,5 R est souhaitable pour former des points de phosphore k une position située à 150 mm du centre du masque perforé et une source lumineuse annulaire d'un diamètre d'environ 2,0 R est souhaitable pour former des points de phosphore B une position située à 200 mm du centre du masque perforé. Jusqutà présent, dans le procédé de formation d'écran au phosphore par exposition d'une pellicule de phosphore à la lumière d'une source lumineuse annulaire, on a utilisé une source de lumière annulaire ayant un diamètre constant. C'est pourquoi on nta pu obtenir une diminution progressive du diamètre des points de phosphore depuis la partie centrale vers le bord de l'écran au phosphore. Par ailleurs, les points présentent une tendance à une dégradation de leur configuration et à un manque d'uniformité désirée de leurs diamètres. La présente invention a pour objet un procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs constitué par des points de phosphore ayant des diamètres plus petits que ceux des trous du masque perforé. La présente invention a encore pour objet un procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs dont le diamètre des points de phosphore diminue progressivement depuis la partie centrale de l'écran vers son bord à une vitesse supérieure k la vitesse de réduction progressive du diamètre des trous du masque perforé depuis la partie centrale de ce dernier vers son bord. La présente invention a également pour objet un dispositif d'exposition pour mettre en oeuvre le procédé ci-dessus. La présente invention a aussi pour objet un tube image de télévision en couleurs présentant une meilleure pureté des couleurs. Selon un premier aspect de l'invention, la demanderesse a créé un procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs consistant à former une couche de phosphore en revOtant la surface intérieure du fond du tube image de télévision en couleurs avec une matière à base de phosphore, à exposer sélectivement ladite couche de phosphore à la lumière en provenance d'une source lumineuse annulaire, cela à travers un masque perfor, et à éllimizer la partie non exposée de ladite couche de phosphore, l'exposition delta couche de phosphore précitée étant effectuée en faisant en sorte que le diamètre apparent de ladite source lumineuse annulaire vu k partir de la couche de phosphore exposée précitée augmente en fonction de la distance à partir du centre de ladite couche de phosphore exposée vers une région marginale de cette dernière. Selon un autre aspect de la présente invention, la demanderesse a créé un dispositif d'exposition utilisé pour former un écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs, ce dispositif comprenant une enceinte logeant une source de lumière annulaire et un système optique pour effectuer une exposition, l'enceinte précite servant aussi à supporter un fond de tube image de télévision en couleurs muni sur sa surface intérieure d'une couche à exposer, ledit fond supportant aussi un masque perforé et le- dispositif susvisé comprenant, en outre, un agencement optique supporté par ladite enceinte pour s'interposer entre ladite source lumineuse annulaire et le masque perforé, l'agencement optique précité ayant un.effet tel que le diamètre apparent de ladite source de lumière annulaire vu à partir de ladite pellicule exposée croit à mesure qutaugmente l'angle compris entre l'axe passant par le centre de ladite source lumineuse annulaire et la direction du faisceau de lumière en provenance de cette source lumineuse. On va maintenant décrire la présente invention en se réfé- rant au dessin annexé sur lequel: la figure 1 est une vue en coupe montrant un exemple du dispositif d'exposition utilisé pour mettre en oeuvre le procédé de formation d'écran au phosphore d'un tube image de télévision en couleurs selon la présente invention; la figure 2 est une vue en coupe montrant un exemple d'une lentille optique du dispositif de la figure 1. Si lton se réfère maintenant à la figure 1, on voit que la référence 1 désigne un dispositif d'exposition appelé communément enceinte ou bottier d'esFosition logeant une source de lumière annulaire 2 ayant un diamètre de 3 à 5 mm, une lentille optiquefixe 3 et une lentille correctrice 4 pour corriger le trajet du faisceau lumineux en provenance de la source lumineuse annulaire 2 pour simuler le trajet réél du faisceau d'électrons. -Le fond b- d'un tube image de télévision en couleurs pourvu d'un masque perforé 5 -est fixé au sommet du dispositif d-'exposition 1, comme on peut le voir.Le fond 6 est recouvert drune couche :1 phosphore formée sur sa surface intérieure par application d'u-- matière à base de phosphore sur ledit fond avant de le monter slr le dispositif dtexposition. La couche de phosphore peut Outre formée par la mise en oeuvre d'un procédé bien connu que l'on ne décrira pas ici. La référence 7 désigne l'axe du tube image et la référence 8 l'axe passant par le centre de la source de lumière annulaire 2. L'axe central 8 s'écarte de l'axe 7 du tube en correspondance avec la position des trois canons d'électrons disposés dans le tube image de télévision en couleurs. La lentille optique 3 est supportée par un support approprié (non représenté) de telle sorte que son centre se trouve dans la position illustrée sur l'axe 8 de la source de lumière annulaire 2. La figure 2 montre un exemple de la lentille optique 3. Son rayon de courbure est différent-entre sa partie centrale et sa partie périphérique ou marginale Dans l'exemple illustre, la surface inférieure est plate et la surface supérieure consiste en une surface plate dans sa-partie centrale et en une surface convexe dans sa partie marginale cette dernière ayant un pouvoir de grossissement qui est presque le double de elui de la partie centrale. Le fond 6, dont la surface intérieure est revGtue de la couche de phosphore, étant monté sur le dispositif d'exposition comme représenté sur la figure 12 on expose la pellicule de phosphore à la lumière en provenance de la source de lumière annulaire 2 à travers la lentille optique 3 et la lentille correctrice 4. Etant donné que le fond 6 est pourvu du masque perforé, la lumière traversant les trous de ce masque tombe sur la couche de phosphore sous la forme de points A ce moment, les faisceaux de lumière ne sont pas réfractés par la partie centrale plate de la lentille 3 mais le sont par la partie convexe marginale avant d'atteindre la couche de phosphore.Dans le présent mode de reali- sation, la surface convexe marginale de la lentille 3 a un pouvoir de grossissement qui est presque le double de celui de la partie centrale. De ce fait, si on indique par R le diamètre de la source de lumière 2, la lumière transmise par la partie convexe marginale de la lentille 3 est équivalente à la lumière en provenance d'une source de lumière annulaire ayant un diamètre de 2 R Après liex- position, au cours de laquelle la partie centrale de la couche de phosphore a été exposée k la lumière transmise par la partie plate centrale de la lentille 3 et la partie périphérique restante de la couche de phosphore a été exposée à la lumière transmise par la partie convexe marginale de la lentille, on enlève le fond de tube du dispositif d'exposition pour soumettre la couche de phosphore à un traitement bien connu destiné k éliminer la partie non exposée de cette couche. De cette façon, il est possible de former des points de phosphore ayant les dimensions désirées Bien que le mode de réalisation précédent ait utilisé, dans un but de simplification de'la description, la lentille optique 3 dont la surface supérieure;est constituée de deux surfaces différentes, à savoir une surface plate centrale et une surface convexe marginale dont le pouvoir de grossissement est presque le double de celui de la surface centrale, la surface supéneure de la lentille 3 peut, bien entendu, comporter un nombre plus grand de parties de surfaces présentant des pouvoirs de grossissement voulus.D'une façon générale, selon la présente invention9 au cours de la phase d'exposition, les diipensions apparentes de la source de lumière annulaire varient en fonction de l'angle de déviation de la lumière depuis ladite source lumineuse, c'est-k-dire l'angle compris entre la direction du faisceau lumineux en provenance de la source de lumière et l'axe central de cette source, grace à quoi on peut former des points de phosphore de dimensions voulues. De plus, bien que le mode de réalisation précédent concerne l'exposition d'une pellicule de phosphore formée sur la surface intérieure du fond de tube image fixé sur le sommet du dispositif dtexpossition, on peut aussi appliquer facilement l'invention à la formation d'un écran au phosphore pour tube image de télévision en couleurs du type dit X matrice noire dans lequel l'écran au phosphore comprend une matière absorbant la lumière, ou une substance noire telle que du graphite, remplissant les interstices entre les points de phosphore. Dans ce cas, on forme d'abord sur la surface intérieure du fond du tube image une couche poreuse absorbant la lumière, comportant un grand nombre de pores et dans laquelle doivent Outre formés les points de phosphore respectifs. Dans un premier procédé de formation de la couche poreuse absorbant la lumière, on forme une couche de photorésist sur la surface intérieure du fond en revOtant ce dernier avec une substance dite photorésist, telle que de l'alcool polyvinylique.On monte ensuite le panneau pourvu de la couche de photorésist conjointement avec le masque perforé sur le dispositif d'exposition 1 de la figure 1. On expose alors la couche de photorésist à la lumière en provenance de la source de lumière annulaire 2 et on effectue un traitement approprié pour former des points de photorésist correspondant aux points de phosphore à former de la même manière que celle mentionnée précédemment à propos de la formation des points de phosphore.Ensuite, on applique une matière absorbant la lumière ou une substance noire telle que du graphite sur la surface intérieure du fond de tube image sur laquelle ont été formés les points de photorésist, puis on élimine les points de photorésist conjointement avec les parties de la couche absorbant la lumière qui se trouvent sur ces points, en obtenant ainsi ladite couche poreuse absorbant la lumière sur la surface intérieure du fond de tube. L'élimination des points de photorésist et des parties de couche de substance noire se trouvant sur ces points peut être effectuée par un procédé quelconque bien connu. Ensuite, on forme une couche de phosphore sur la totalité de la surface de la couche poreuse absorbant la lumière en relçlis- sant ainsi ses pores.On expose alors cette couche de phosphore en montant le fond comportant ladite couche sur le dispositif d'exposition 1 et on la soumet à un traitement de la même maniere que mentionné précédemment, gracie à quoi on forme les points de phosphore désirés dans les pores respectifs de la couche poreuse absorbant la lumière. Dans un autre procédé de formation de couche poreuse ab sorbant la lumière, on dépose une matière absorbant la lumière et contenant une substance dite photorésist sur la surface intérieure du fond 6 avant de monter ce fond sur le dispositif d'exposition. Pour la formation de cette couche absorbant la lumière, on peut utiliser nrimporte quel procédé bien connu. En montant le fond de tube image sur le dispositif d'exposition 1, on expose la couche absorbant la lumière à la lumière en provenance de la source de lumière annulaire 2 de la même manière que mentionné précédemment pour former des points de photorésist dans la couche absorbant la lumière. Ensuite, après avoir enlevé le fond de tube image du dispositif d'exposition, on élimine par un procédé bien connu approprié les points de photorésist, c'est-k-dire les parties de la couche absorbant la lumière qui ont été exposées, grâce à quoi on obtient la couche poreuse absorbant la lumière.Ensuite, on forme une couche de phosphore sur la totalité de la surface de la couche poreuse absorbant la lumière, en remplissant ainsi les pores de celle-ci, puis on expose la couche de phosphore ainsi formée en montant de nouveau le fond de tube image sur le dispositif d'ex- position 1 et on la traite de la mEme manière que dans le premier procédé mentionné çi-avant, en formant ainsi les points de phosphore désirés dans les pores respectifs de la couche poreuse absorbant la lumière. Selon la présente invention, la source de lumière peut Outre une source de lumière annulaire9 comme mentionné précédemment, ou une source de lumière ponctuelle tournante. De plus, la lentille optique mentionnée précédemment n'a aucun caractère limitatif et toutes les lentilles optiques ayant une configuration quelconque peuvent entre utilisées pourvu que l'on pisse obtenir les mimes effets que mentionné précédemment. De plus, bien que le mode de réalisation précédent ait utilisé une seule lentille, nette façon de procéder n'est en aucun cas limitative et des effets-similaires peuvent être obtenus en utilisant une combinaison de plusieurs lentilles, une combinaison d'une lentille ou de lentille avec une ou des plaques optiques ou encore des éléments optiques autres que des lentilles comme9 par exemple9 un prisme REVENDICATIONS 1. Procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs caractérisé par le fait qu'il consiste à former une couche de phosphore en revOtant la surface intérieure d'un fond de tube image de télévision en couleurs avec une matière à base de phosphore, à exposer sélectivement ladite couche de phosphore à la lumière en provenance d'une source de lu mière annulaire à travers un masque perforé et à éliminer la partie non exposée de ladite couche de phosphore, l'exposition de ladite couche de phosphore étant effectuée de telle sorte que le diamètre apparent de ladite source de lumière annulaire vu à partir de ladite couche de phosphore exposée s'accroisse à mesure qu'augmente la distance entre le centre de ladite couche de phosphore exposée et une région située sur cette dernière. 2. Procédé pour former un écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs selon la revendication 1, cara'e'risé par le fait que l'on effectue l'exposition de ladite couche de phosphore en intercalant un dispositif optique entre ladite source de lumière annulaire et le masque perforé de telle sorte que le diamètre de ladite source de lumière annulaire vu depuis ladite couche de phosphore exposée, soit apparemment d'autant plus grand que itangls compris entre 1'axe central de ladite source de lumière annulaire et la direction du faisceau lumineux en provenance de cette source de lumière annulaire augmente. 3. Procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs suivant la revendication 2, caractérisé par le fait que l'indice de réfraction du dispositif optique précité augmente de la partie centrale vers la partie marginale de ce dispositif optique. 4. Procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs suivant la revendicatien 3, caracté- risé par le fait que le dispositif optique est une lentille optique dont au moins une des faces comprend plusieurs surfaces convexes concentriques présentant des pouvoirs de grossissement différents tels que ces pouvoirs augmentent à mesure que la distance entre ladite surface convexe et l'axe de la lentille optique préítee croit. 5. Procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs suivant la revendication 3, caractérisé par le fait que le dispositif optique précité est une lentille optique dont au moins une des faces comprend une surf ace plate centrale et une surface convexe marginale. 6. Procédé de formation d'écran au phosphore d'un tube image de télévision en couleurs suivant la revendication 1, caractérisé par le fait qu'il consiste, en outrez avant de former la couche de phosphore précitée, à former une couche de photorésist en revêtant la surface intérieure du fond du tube avec une substance à base de photorésist, à exposer sélectivement ladite couche de photorésist à la lumière en provenance de la source de lumière annulaire à travers le masque perforé, à éliminer la partie non exposée de ladite couche de photorésist, à former une couche at- sorbant la lumière sur la surface intérieure du fond du tube y compris les parties exposées restante-s de la couche de photorésist et k éliminer les parties de ladite couche absorbant la lumière sur les parties restantes de la couche de photorésist exposée en mOrne temps que lesdites parties de la couche de photorésiet, l'ex- position de la couche de photorésist précitée étant effçtuée en faisant en sorte que le diamètre apparent de ladite souris de lumière annulaire, vu de la couche de photcrésist exposée, augmente à mesure que la distance par rapport au centre de la couche de photorésist croit. 7. Procédé de formation d'cran au phosphore de tube image de télévision en couleurs suivant la revendioation 6, caraen térisé par le fait que l'on effectue l'exposition de ladite couche de photorésist en intercalant un dispositif optique entre la source de lumière annulaire précitée et le masque perforé de telle sorte que le diamètre de ladite source de lumière annulaire vu de ladite couche de photorésist exposée, augmente apparemment à mesure que croit l'angle entre l'axe central de ladite source de lumière annulaire et la direction du faisceau de lumière en provenance de cette source de lumière annulaire. 8. Procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs suivant la revendication 7, carac- térisé par le fait que l'indice de réfraction du dispositif optique précité augmente depuis la partie centrale vers la partie marginale du dispositif optique précité. 9. Procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs suivant la revendication 8, caracté- risé par le fait que le dispositif optique est une lentille optique dont au moins une des faces comprend plusieurs surfaces convexes concentriques ayant des pouvoirs d'amplification différents de telle sorte que ceux-ci augmentent à mesure que la distance entre ladite surface convexe et l'axe de la lentille optique précitée erofte 10. Procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs suivant la revendication 8, caractérisé par le fait que le dispositif optique précité est une lentille optique dont au moins une des faces comprend une surface plate centrale et une surface convexe marginale. 11. Procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs suivant la revendication 1, caractérisé par le fait qu'il consiste, en outre, avant de former ladite couche de phosphore, à former une couche absorbant la lu- mi ère en revOtant la surface intérieure du fond du tube image avec une matière absorbant la lumière et contenant une substance à base de photorésist, à exposer sélectivement ladite couche absorbant la lumière à la lumière en provenance de la source de lumière annulaire à travers le masque perforé et à éliminer les parties exposées de ladite couche absorbant la lumière, l'exposition de cette couche absorbant la lumière étant effectuée en faisant en sorte que le diamètre apparent de ladite source de lumière annulaire vu de la couche exposée absorbant la lumière augment à mesure que croit la distance entre le centre de ladite couche exposée absorbant la lumière et une surface sur cette couche. 12. Procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs suivant la revendication 11, carac térisé par le fait que l'on effectue l'exposition de ladite couche absorbant la lumière en intercalant un dispositif optique entre la source de lumière annulaire précitée et le masque perforé de telle sorte que le diamètre de ladite source de lumière annulaire vu de la couche exposée absorbant la lumière, augmente apparemment à mesure que l'angle entre l'axe de ladite source de lumière annulaire et la direction du faisceau de lumière en provenance de cette source de lumière annulaire augmente0 13. Procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs -suivant la revendication 12, carac térisé par le fait que l'indice de réfraction du dispositif optique augmente de la partie centrale vers la partie marginale du dispo sitif optique. 14. Procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision on couleurs suivant la revendication 13, carat térisé par le fait que le dispositif optique précité est une lentille optique dont au moins une des faces comprend plusieurs surfaces convexes concentriques présentant des pouvoirs de grossissement différents qui augmentent à mesure que la distance entre la surface convexe précitée et l'axe de la lentille optique susvisée augmente. 15. Procédé de formation d'écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs suivant la revendication 13, caractérisé par le fait que le dispositif optique précité est une lentille optique dont au moins une des faces comprend une surface plate centrale et une surface convexe marginale. 16. Dispositif d'exposition utilisé pour former un écran au phosphore de tube image de télévision en couleurs caractérisé par le fait qu'il comprend une enceinte logeant une source de lumière annulaire et un système optique d'expositions ladite en- ceinte servant également à supporter un fond de tube image de télévision en couleurs pourvu sur sa surface intérieure dtune couche k exposer, ledit fond supportant un masque perforé et le dispositif d'exposition susvisé comprenant, en outre, un dispil tif optique supporté par ladite enceinte de manière à se trouver entre la source de lumière annulaire et le masque perforé, le dispositif optique susvisé agissant de telle sorte que le diamètre apparent de ladite source de lumière annulaire vu depuis la couche exposée augmente à mesure que l'angle entre ltaxe central de ladite sourie de lumière et la direction du faisceau de lumière en provenance de la source de lumière annulaire augmente. 17. Dispositif d'exposition suivant la revendication 16, caractérisé par le fait que l'indiens de réfraction du dispesi tif optique augmente de la partie centrale vers la partie marginale du dispositif optique précité. 18. Dispositif d'exposition suivant la revendication 17, caractérisé par le fait que le dispositif optique est uns lentille optique dont au moins une des faces comprend plusieurs surfaces convexes concentriques présentant un pouvoir de grossis- sement augmentant à mesure que la distance entre ladite surface convexe et l'axe de la lentille optique augmente. 19. Dispositif d'exposition suivant la revendication 17, caractérisé par le fait que le dispositif optique est une lentille optique dont au moins une des faces comprend une surface plate et une surface marginale convexe. 20. Dispositif d'exposition suivant la revendication 17, caractérisé par le fait que le dispositif optique précité comprend plusieurs élements optiques.