Brevet FR2192391A1 — publié le 19740208

Les lignes à retard ayant des paramètres dtinductance et de capacité distribuées sont connues et décrites par exemple dans le brevet américain NO 2 915 718. Dans une construction connue, un isolateur en plastique ayant une constante diélectrique inférieure à 6 est pris en sandwich entre un conducteur dtun plan de masse et un conducteur transportant un signal et il vient en contact avec ce conducteur. Le plan de masse et le diélectrique sont constitués par des cylindres tandis que le conducteur transportant un signal a une forme en hélice. Le diélectrique et le conducteur transportant un signal fournissent la capacité et l'inductance distribuées.Dans une telle unité, une instabilité mécanique des conducteurs et du diélectrique en fonction de la température est de nature à se produire et elle ne contribue pas à la stabilisation des propriétés électriques des paramètres distribués en fonction de la température. Selon la présente invention, un film mince diélectrique inorganique non métallique, vitrifié et fritté ayant une constante diélectrique supérieure à 8, forme la capacité distribuée dtune ligne à retard, De tels diélectriques sont particulièrement les céramiques, certains verres ou des verres-ceramique. Le diélectrique est pris en sandwich entre un conducteur du plan de masse ayant une forme sinueuse de préférence en hélice qui fournit une inductance distribuée et un conducteur transportant un signal et il vient en contact avec ces conducteurs. Un des conducteurs est fixé à une tige, de préférence un substrat diélectrique cylindrique, qui peut astre solide ou creuse. Le conducteur du plan de masse ou le conducteur de transport d'un signal peuvent entre fixés au plan de masse.Le conducteur du plan de masse est de préférence constitué par un film mince ayant une conductance suffisante pour rendre les pertes minima. Pour empA- cher les pertes par courant de Foucault dans le plan de masse, ce film peut astre divisé en un certain nombre de bandes allongées Ces bandes doivent astre connectées ensemble de facon à créer une continuité capacitive. L'utilisation d'un diélectrique inorganique dtune classe déterminée ayant une constante diélectrique contrôlable comprise entre 8 et 2 000 et une épaisseur comprise entre 0,013 mm et 0,38 mm, permet obtenir une très large gamme de temps de retard et des impédances caractéristiques dans un ensemble de dimensions essentiellement constantes. Des lignes avec des retards allant de une manoseconde > plusieurs microsecondes et des impédances comprises entre 25 et 25 000 ohms peuvent être fabriquées en faisant varier la formule de la céramique et la géométrie du dispositif. Ce groupe déterminé de diélectrique perrnet aussi de concentrer le champ électrique entre les conducteurs de transport de signal et du plan de masse dans le volume du diélectrique directement entre les detix conducteurs, c'est-à-dire que le champ électrique des bords est rendu minimum. La forte constante diélectrique du diélectrique considéré fournit une grande valeur de la capacité distribuée de façon à rendre la longueur de la ligne à retard minimum tout en fournissant une faible impédance caractéristique de la ligne.Une faible impédance caractéristique est souhaitable dans la plupart des applications parce qu'elle permet un transfert a'énergie maximum entre une source de commande à faible impédance et une charge connectée à la ligne à retard sans qutil soit nécessaire dtutiliser des transformateurs dtimpédanceO Un autre avantage important d'un diélectrique de la classe envisagée concerne ses caractéristiques de stabilité de température qui lui sont inhérentes.En particulier, les diélectriques couramment disponibles dans la classe envisagée ayant des constantes diélectriques comprises entre 8 et 2 000 qui sont commercialement disponibles à relativement bas prix ont un coefficient de capacité faible en fonction de la température ctest-à-dire que, quand la température varie, la constante diélectrique du diélectrique ne change pratiquement pas. Les lignes à retard construites selon 11 invention présentent une stabilité de température telle que le retard varie de plus ou moins 200 par million et par degré centigrade de variation de température. Pour obtenir ce résultat souhaitable, la ligne à retard de la présente invention est de préférence fabriquée en utilisant des techniques de dépit à film mince. Un premier film métallique est formé en rev8tant le substrat cylindrique dtune encre métallique qui est fixée par chauffage. Si le premier film métallique est utilisé comme conducteur de transport de signal, des parties de ce film sont sélectivement éliminées par polissage ou par d'autres opérations convenables de façon à rendre ce conducteur spiralé. Le film diélectrique est déposé à partir d'une suspension et chauffé. Le premier revêtement conducteur et le film diélectrique peuvent être chauffés ensemble ou séparément. Normalement, le diélectrique est chauffé dans une atmosphère inerte ou oxydante de façon à éviter les changements nuisibles des propriétés diélectriques.Dans les applications spéciales où il est nécessaire d'avoir des valeurs de capacité extrêmement éle vées, le chauffage dans une atmosphère réductrice telle que l'hydro- gène peut être envisagé. Le diélectrique est chauffé à une température suffisamment élevée pour le traiter mais suffisamment faible pour empêcher une réaction défavorable avec le revêtement métallique. Une gamme de températures convenable est celle comprise entre 750 C et 1 350il. Le deuxième conducteur ou conducteur extérieur est appliqué en utilisant un dépôt de film mince ou bien en appliquant un fil à la périphérie du revêtement de céramique arrivé à maturation. L'invention se propose donc de fournir - une ligne à retard à paramètres distribués nouvelle et perfectionné et un procédé de fabrication correspondant - une ligne à retard à paramètres distribués, nouvelle et perfectionnée ayant des caractéristiques améliorées de stabilité en températu re; - une ligne à retard à paramètres distribués ayant une capacité d'irez tabilité relativement forte de façon à obtenir un retard optimum et une impédance caractéristique minimum. Ces buts et caractéristiques ainsi que d'autres, seront mieux compris en se référant à la description qui suit et aux dessins annexés sur lesquels s - la Fig. 1 est un schéma dtun circuit d'une ligne à retard à paramètres distribués présentant des dispositions permettant de connecter la charge à une prise intermédiaire ou à un curseur - la Fig. 2 est une vue coupée de côté dtun premier mode de réalisation d'une ligne à retard à paramètres distribués selon l'invention;; - la Fig. 3 représente une vue coupée dtune ligne à retard à paramètres distribués suivant la ligne 3-3 de la Fig. 2 - la Fig. 4 est une vue coupée de côté d'un autre mode de réalisation de l'invention dans lequel un curseur est utilisé pour commander le retard et - la Fig. 5 est une vue coupée de c8té dtun autre mode de réalisation dans lequel le conducteur du plan de la masse et le conducteur de transport de signal de la Fig. 2 sont inversés. Sur la Fig. 1, la source tl d'un signal électrique peut être une source pulsatoire comme dans un calculateur électronique ou dans un système porteur à microondes et elle est connectée entre une borne 12 d'une bobine d'induction de transport de signal ou dtune ligne 13 et une borne de masse 14. Entre le conducteur 13 et la masse 14 est disposée une capacité 15.Une charge appropriée 116 est connectée entre le conducteur de masse 14 et la borne de sortie 16. Le niveau du retard du signal entre la source tl et la charge 16 est commandé par la longueur N de la ligne 13 entre les bornes 12 et 16, l'in- ductance L par unité de longueur de la ligne 13 et la-capacité C par unité de longueur de la capacité distribuée 15 étant en accord avec l'expression Selon 1tinvention, la valeur de C est déterminée en utilisant un film mince inorganique et non métallique comme diélectrique pour la capacité distribuée 15. En choisissant les valeurs de C et L, le retard et ltimpédance caractéristique donnée par peuvent être amenés aux valeurs désirées.La valeur de C est déterminée en changeant la constante diélectrique ou l'épaisseur du film ou les deux tandis que la valeur de L est déterminée en faisant varier le nombre de spires et la section droite de la spirale. Pour commander le retard entre la source 11 et la charge 16, une prise peut être prévue sur le conducteur 130 Sur la figure, une prise 17 est connectée au contact 16 qui, à son tour, est connecte, à la charge four a nissant ltinductance de ligne désiréee Dans cette connexion, une résistance d'extrémité est de préférence connectée à la borne de sortie 16. La valeur de cette résistance est choisie de façon à être égale à l'impédance caractéristique de la ligne dans le but de rendre minima les réflexions inhérentes à une terminaison en circuit ouvert.Cette résistance peut être appliquée au substrat par des techniques connues (non représentée) ou bien une résistance discrète peut être connectée aux bornes 14 et 16. La prise 17 peut être fixée en un point déterminé ou bien elle peut être un curseur analogue à un curseur de potentiomètre, auquel cas le retard entre la source 11 et la charge 16 peut varier à volonté. Dans une application caractéristique à un calculateur, le retard fourni par la ligne de la présente invention est compris entre 1 et 2 000 inanosecondes suivant la longueur de la ligne et la position de la prise 17 sur la ligne. Sur les Figs. 2 et 3, le substrat cylindrique diélectrique 21 est représenté plein mais il peut être creux et il est revêtu des films minces coaxiaux 22 et 24. Un film diélectrique inorganique non métallique et chauffé 23 est pris en sandwich entre deux films métalliques mutuellement isolés et séparés 22 et 24 ayant respectivement une surface intérieure fixée au substrat 31 et une surface extérieure découverte. Le film métallique 24 a une forme sinueuse en hélice qui fournit un conducteur inductif de transport de signal à paramè- tres distribués correspondant à la bobine 13 de la Fig. 1 tandis que le film 22 est un conducteur plan de masse qui fonctionne comme le conducteur de masse 14. La capacité distribuée 15 est fournie par le film diélectrique 23.Aux extrémités opposées du film 24, sont connectés électriquement et mécaniquement des conducteurs 25 et 26 qui correspondent respectivement aux bornes 12 et 16, tandis qu'un autre conducteur 27 est électriquement et mécaniquement connecté à un point intermédiaire du film 24 qui fournit une prise fixe 17. Un conducteur 28 est électriquement et mécaniquement connecté à une e--trémité du film 22 de façon à fournir une borne de masse de la ligne à retard. Ces diverses connexions peuvent être obtenues de différentes manières, par exemple par soudure, thermo-compression ou fixation adhésive conductrice. Le substrat rigide, cylindrique, et diélectrique 21 est de préférence en alumine, en stéatite, en mullite ou en un verre convenable tel que le pyrex et il a des caractéristiques mécaniques et électriques stables à haute température et des caractéristiques chimiques telles qu'il soit capable de supporter des températures supérieures aux températures mises en oeuvre pour fabriquer la ligne à retard. Le substrat 21 a par exemple une longueur comprise entre 1 et 10 cm et un diamètre compris entre 1S25 mm et 6 mm. La longueur et le diamètre de la tige 21 sont déterminés par le retard de temps désiré entre la borne d'entrée 12 et la borne de sortie 16 ou la prise intermédiaire 17 si cette dernière est utilisée. Un film mince conducteur du plan de masse 22 en un métal noble est fixé a' la périphérie du substrat 21, ce film 22 étant formé à partir dtune encre métallisée. Le film 22 est de préférence formé d?un mélange palladium-argent ou palladium-platine, mais il peut être constitué par n'importe quel mélange ou alliage de métaux ou bien par un métal sous forme d'élément0 Le choix dtun métal particulier est déterminé par son coût, par la possibilité de fixer le métal au substrat et par la possibilité pour ce métal de constituer un reve- tement diélectrique en film mince d'une classe déterminée. De préférence le film 22 a une épaisseur comprise entre 0,006 mm et 0,075mm. L'épaisseur o,ooG nmi est nécessaire pour permettre au revêtement d'avoir la conductance requise pour éliminer les pertes, tandis que des revêtements dépassant 0,075 lini d'épaisseur conduiraiellt à un prix plus élevé sans accroître les performances électriques. Pour empêcher les courants de Foucault de circuler dans le conducteur plan de masse 22, ce qui augmenterait I'inductance du plan de masse et par conséquent atténuerait les composantes du signal haute fréquence en créant une distorsion des bords avants des impulsions propagées dans la ligne à retard, ce conducteur 22 est divisé en un certain nombre de bandes allongées 32 qui sont courtcircuitées à une extrémité du cylindre 21.Dans ce but, une série de bandes étroites et allongées 31 sont découpées dans la plus grande partie du film 22 en sorte que le conducteur de masse comporte des bandes allongées 32 qui sont mutuellement isolées les unes des autres dans toute leur lontueur sauf à leurs extrémités contiguës aux conducteurs 28 où elles sont courtcircuitées par un segment annulaire 33 du film 22. D'une façon caractéristique, neuf bandes étroites 31 sont découpées à des intervalles de 400, chaque bande ayant une courbure de tordre de 5e. Le film mince 23, diélectrique, inorganique, non métallique, vitrifié et fritté recouvrant le film mince 22 et la partie du substrat 21 qui n'est pas couverte par les bandes 32 est de préférence constitué par un mélange de céramiques contenant par exemple des titanates, des stannates, des zirconates ou des argiles tels que le Willamstoeiite, ayant des caractéristiques mécaniques stables et une constante diélectrique stable en fonction de la température. Ce diélectrique peut aussi être constitué par un verre convenable ou un verre céramique tel que le pyrocéram. Les céramiques préférées sont de la classe constituée par les titanates de baryum. La constante diélectrique de ce matériau en verre, en céramique ou en verre-céramique est comprise entre 8 et 2 000.Les diélectriques de cette classe ont un degré élevé de stabilité mécanique et électrique en fonction de la température, de telle sorte que les caractéristiques de retard de la ligne sont sensiblement indépendantes de la température. La constante diélectrique relativement élevée d'environ 8 ou plus permet aux spires contiguës du conducteur en hélice 24 entre séparées dtune distance du même ordre de grandeur que la largeur du conducteur tout en permettant à presque tout le champ électrique (environ 95 ) fourni par le conducteur de transport de signal de traverser le diélectrique jusqu'au conducteur du plan de masse sans toucher les spires contiguës du conducteur en hélice. Une longueur minimum de la ligne à retard est prévue parce que le diélectrique permet d'obtenir une forte capacité par unité de longueur Un diélectrique caractéristique tel qutune céramique au titanate de baryum fournissant de très bons résultats pour le film 23 est le composé K 125 vendu par American Components, IncO Cette céramique a une constante diélectrique d'environ 125, un coefficient de température de la constante diélectrique entre 250C et 850C de plus ou moins 150 par million, un facteur de dissipation de 0,5 * ou moins, un champ diélectrique continu dépassant 300 volts par 0,025 mm et une résistance d'isolement dépassant 1011 ohms pour 6,5 cm2 de surface et 0,025 mm d'épaisseur. L'davantage dtutiliser des céramiques ayant des constantes diélectriques comprises entre 8 et 2 000 est que de telles céramiques ont les coefficients de température requis de la constante diélectrique de façon à fournir la capacité stable désirée. La plupart des céramique s ayant une constante diélectrique dépassant 2 000 ne sont pas stables en température au niveau demandé. Le film mince diélectrique 23 a une épaisseur radiale comprise entre 0,013 un et 0,38 mm de façon à fournir les caractéristiques électriques requises. Dtune façon générale, les épaisseurs inférieures à 0,025 mm sont difficiles à fabriquer du fait de la forte probabilité de créer des trous d'aiguilles tandis que les épaisseurs supérieures à 0,25 nin sont susceptibles de créer des fissures pendant le séchage et le chauffage. Le conducteur hélicoïdal 24, situé au dessus du film 23, peut être formé par un film mince métallique en un métal à forte conductibilité, obtenu par exemple en chauffant et déposant de l'argent sur la céramique ou sur son revêtement de cui vire. Suivant une variante, le conducteur 24 peut être un fil de cuivre émaillé ayant une section droite circulaire ou aplatie. La surface de la section droite de ce conducteur 24, qutil soit constitué par un film ou par un fil, doit être suffisamment importante pour fournir la conductibilité permettant au signal de se propager dans la ligne à retard sans atténuation substantielle. Les périphéries des surfaces de section droite du conducteur peuvent être comprises entre 0F1 un et 25 mm, équivalent à des dimensions de fils A W G 44 à 20. Un espacement convenable entre les conducteurs est de 0,025 un à 0,25 un. La ligne à retard des Figs. 2 et 3 est de préférence formée en appliquant un mélange d'une encre métallisée à l'aide d'un métal précieux formant le conducteur 22 à film mince du plan de masse à un substrat 21 en alumine. Avant le chauffage, l'encre métallisée comprend environ 50 Çj en poids de métal et environ 50 fip en poids d'une matrice de verre fritté et dtun solvant. Dans une encre au palladium et à l'argent utilisable, le mélange métallique comprend entre 10 et 25 ffi de palladium et entre 90 et 75 do d'argent. Une encre métallisée caractéristique qui fournit de bons résultats est l'encre CP 1 123 fabriquée par American Components, Inc. Avant le chauffage du revêtement 22, des bandes 31 sont formées en découpant mécaniquement ce film mince 22 de façon à découvrir le substrat 21. Après que le revêtement métallique 22 a été appliqué complètement à la périphérie de la tige d'alumine 21, il est chauffé à une température suffisante pour éliminer le solvant et fondre le verre fritté, de telle sorte que ce verre se fixe en formant une matrice autour des particules de métal. Une température appropriée pour cette opération de chauffage est comprise entre 7500C et 1 0750C pour une encre métallisée caractéristique. Lt opération suivante consiste à effectuer un revêtement du film diélectrique 23 sur la partie découverte du substrat 21 entre les bandes 31 et sur le film mince 22 à partir du bord de la tige 21 contiguë au conducteur 25 jusqu'au voisinage de l'autre extrémité de la tige, de façon à fixer le conducteur 28 au film 22. Le film 23 est appliqué sous forme d'une suspension de particules diélectriques dans un liant renfermant des matériaux minces. La suspension diélectrique est alors chauffée à une température comprise entre 750C et 1 350 OC. Si l'opération de chauffage est effectuée à une température inférieure à 7500C, le diélectrique n'est pas complètement amené à maturation et par suite il ne présente pas les propriétés électriques requises.Si la réaction est effectuée à une température supérieure à 1 350ex, une réaction défavorable se produit entre le diélectrique et le film 22 en métal noble, en sorte que le diélectrique peut devenir un semi-conducteur et que ses propriétés diélectriques sont altérées de façon importante. La constante diélectrique et d'autres paramètres du film diélectrique peuvent être commandés en faisant varier la température de chauffage. Une suspension diélectrique convenable est une solution de titanate de baryum du type K 125 fabriquée par American Components, Ino Pour la céramique du type E 125, le chauffage s'effectue dans une atmosphère oxydante qui peut être de l'air, de façon à empêcher une réduction de la céramique. La réduction de la céramique du type K 125 est néfaste parce qutelle provoque une diminution importante de la constante diélectrique de cette céramique et une augmentation importante de sa conductibilité, facteur qui affecte défavorablement les performances de la ligne à retard.Pour d'autres diélectriques, il est préférable d'effectuer le chauffage dans une atmosphère inerte parce que l'atmosphère réductrice peut provoquer des effets défavorables sur la conductance du diélectrique, Avec des films diélectriques appartenant à une classe déterminée, après que le film diélectrique 23 a été chauffé, un conducteur 24 de transport de signal lui est appliqué. Si le conducteur 24 est un fil émaillé, il est enroulé sur le film 23 en utilisant des techniques dtenroulement habituelles. Si ce conducteur est un film mince en argent métallisé, l'assemblage cylindrique est revêtu d'une encre a base d'argent, par exemple du type DUPENT 4 731 puis chauffé.Des parties du revêtement d'argent sont sélectivement éliminées de faucon à former un réseau conducteur en hélice entre les conducteurs d'entrée et de sortie 25 et 26. Une élimination sélective du film 24 peut être obtenue de différentes façons, par exemple par jets de sable ou par une opération de décapage à ltaide d2un masque. Si le film 24 est en cuivre, le cuivre est placé sur le film diélectrique 23 par une opération d'électrolyse. Si le film 24 est du cuivre, la spirale peut être formée avec une grande précision en appliquant un matériau photo-résistant sur la surface périphérique découverte du revêtement 24 et en utilisant un faisceau laser fixe qui est concen tré sur ce matériau.Le substrat cylindrique 21 est entrainé en rotation par une vis conductrice de telle sorte que le faisceau laser trace une spirale sur le matériau photo-résistant. Ce matériau absorbe 11 énergie lumineuse en provenance du laser et il est ensuite évaporé de façon à former une zone découverte constituée par une spirale de cuivre et une zone complémentaire du matériau photo-résistant sur le film 24. La partie du cylindre entre les conducteurs 26 et le bord gauche du cylindre, comme représenté sur la Fig. 2, reste recouverte par le matériau photo-résistant. L'assemblage est alors plongé dans un décapant du cuivre, tel que du chlorure ferrique, en sorte que les zones de cuivre découvertes sont éliminées.Le matériau photo-résistant est alors éliminé par un solvant convenable qui laisse le conducteur hélicoïdal de transport de signal, une partie du film diélectrique 23 et une partie découverte du film conducteur 22 du plan de masse. Après que le matériau photo-résistant a été éliminé, des conducteurs 25 à 28 sont appliqués en utilisant des techniques de soudure classique. La configuration représentée sur les Figs. 2 et 3 peut être modifiée, conte e le montre la Fig. 5, de façon que la prise intermé- diaire 17 et le conducteur 27 qui lui est associé soient remplacés par le curseur 35 qui peut être en contact mécanique et électrique avec le conducteur 24 sur toute la longueur du conducteur. Le curseur 31 est déplaçable suivant une trajectoire axiale ou hélicoIdale correspondant au conducteur 24, de la même façon qu'un curseur sur un potentiomètre cylindrique à fil enroulé .Un conducteur de sortie est soudé au curseur 35, de telle sorte quine charge peut être connectée de façon à répondre au signal retardé fourni par le curseur en contact avec le film 24. Le curseur 35 peut autre placé en une position quelconque entre les extrémités du conducteur en hélice 24 de façon à fournir un grand nombre de temps de retard pouvant aller jusqu'au retard maximum de la ligne. Suivait un autre mode de réalisation de l'invention représenté sur la Fig. 4, les positions du film 24 et du film 22 sont inversées, en sorte que le film 24 est formé directement à la périphérie du substrat 21, tandis que le film 22 forme un revêtement extérieur de l'assemblage. Cette construction rend plus facile la construction mécanique, et améliore les propriétés d'écran électrique parce que le conducteur du plan de masse est extérieur au conducteur de transport de signal.La facilité de la construction mécanique est obtenue parce que des techniques de polissage mécanique de précision peuvent être utilisées pour fournir un conducteur de transport de signal ayant la largeur requise et des espacements voulus entre ses spires contigus, Au lieu des procédés coûteux mentionnés ci-dessus concernant l'élimination du segment indésirable du film de transport de signal, des bandes 31 peuvent être facilement découpées dans le conducteur extérieur 22 du plan de masse, de façon à réduire les cou rants de Foucault en utilisant un procédé d t élimination relativement simple parce que les bandes du plan de masse n'ont pas besoin d'être formées avec une précision particulièrement élevée. Bien que l'invention ait été décrite à laide de modes de réalisation donnés à titre d'exemples, il est clair que de nombreuses modifications peuvent leur être apportées sans sortir du cadre de ladite invention. REVENDICATIONS 1 - Ligne à retard à paramètres distribués pour une source de signaux électriques, caractérisée en ce qu'elle comprend un conducteur du plan de masse, un conducteur sinueux à self-induction de transport de signal, ayant une borne d'entrée connectée de façon à répondre à la source du signal et une borne de sortie séparée de cette borne d'entrée, et un film mince diélectrique, inorganique, non métallique,chauff, pris en sandwich entre ces deux conducteurs et en contact avec eux, ce film diélectrique ayant une constante diélectrique supérieure à 8, de façon à engendrer une capacité distribuée de la ligne à retard entre le conducteur de transport de signal et le conducteur du plan de masse. 2 - Ligne à retard selon revendication 1, caractérisée en ce que des parties contiguës différentes du conducteur présentent des parties séparées les unes des autres par environ la largeur du conducteur, la capacité et ltespacement du conducteur étant tels que sensiblement tout le champ électrique de la source est concentré entre les deux conducteurs à travers le diélectrique sans être couplé à la partie contiguë du conducteur. 3 - Ligne à retard selon revendication 1, caractérisée en ce qu'elle renferme un substrat diélectrique supportant un desdits conducteurs, le film diélectrique recouvrant ce conducteur et l'autre conducteur recouvrant le film diélectrique. 4 - Ligne à retard à paramètres distribués pour une source d'un signal électrique, caractérisée en ce quelle comprend un conducteur annulaire du plan de masse, un conducteur à self-induction de transport (l'un signal enroulé en hélice et coaxial avec le conducteur du plan de masse, ce conducteur de transport de signal ayant une borne d'entrée connectée de façon à répondre à la source et une borne de sortie séparée de la borne d'entrée, un film mince diélectrique, inorganique, non métallique,chauffé, pris en sandwich entre ces deux conducteurs, ledit film diélectrique ayant une constante diélectrique supérieure à 8, de façon à engendrer une capacité distribuée de la ligne à retard entre les deux conducteurs. 5 - Ligne à retard à paramètres distribués pour une source d'un signal électrique, caractérisée en ce qu'elle comprend un substrat diélectrique en forme de barre, un premier conducteur fixé au substrat, un deuxième conducteur, un film mince inorganique, non métallique, chauffé, pris en sandwich entre ces deux conducteurs de façon à créer une capacité distribuée dans cette ligne à retard, un des conducteurs étant un conducteur du plan de masse, autre conducteur ayant une forme en hélice de façon à créer une selfinductance distribuée, 6 - Ligne à retard selon revendication 5, caractérisée en ce que le premier conducteur est un conducteur du plan de masse et le deuxième conducteur un conducteur de transport de signal. 7 - Ligne à retard selon revendication 6 renfermant en outre un curseur déplaçable suivant la direction longitudinale du substrat et en contact électrique avec le conducteur de transport de signal, et des bornes permettant de connecter la source et une charge entre une partie du conducteur de transport de signal et le curseur, en sorte que la position du curseur relative à cette borne détermine le retard de la ligne. 8 - Procédé de formation d'une ligne à retard à paramètres distribués sur un substrat diélectrique comportant les opérations suivantes : appliquer un film mince au substrat de façon à former un premier conducteur, recouvrir le film mince d'un revêtement de particules diélectriques non métalliques, inorganiques et d'un liant, chauffer la solution à une température suffisamment élevée pour amener le diélectrique à maturation et suffisamment faible pour empêcher une réaction défavorable entre le diélectrique et le film métallique, de façon à former un revêtement diélectrique à film mince sur le premier conducteur, appliquer un deuxième conducteur sur la céramique, un de ces conducteurs étant constitué par un élément sinueux à self-induction. 9 - Procédé selon revendication 8, caractérisé en ce que le film mince est obtenu en revêtant le substrat d'une encre métallique, en chauffant ce revêtement, puis après cette opération de chauffage, en appliquant un revêtement sur cette encre. 10 - Ligne à retard selon revendication 1, caractérisée en ce que le plan de masse est divisé en bandes de façon à rendre minima les courants de Foucault.