Brevet FR2118851A1 — publié le 19720804

La présente invention a trait à une tête de détection à réponse rapide pour laser ainsi qu'à son procédé de fabrication. I1 est bien connu que le faisceau lumineux cohérent et mono- chromatique émis par un laser pelit titre modulé en le faisant traverser un système optique à biréfrlngoeice électrique aux accès duquel on applique des signaux électriques de caractéristiques va ribles avcc le temps. Lorsqutune tete de détection pour laser reçoit ce faisceau lumineux modulé, des signaux électriques apparaissent en sortie de la tête qui sont sensiblement identiques à ceux appliqués au système optique à biréfringence électrique précité. Les signaux électriques à transmettre par un faisceau laser peuvent faire varier de façon continue, soit l'amplitude, soit la phase ou la fréquence, soit la polarisation dudit faisceau laser. Dans tous les cas, la réponse en fréquence d'une tête de détection doit castre aussi uniforme que possible dans toute la bande des fréquences occupée par les signaux électriques modulateurs.Cette bande peut avoir une largeur de plusieurs centaines de MHz, voire quelques GHzO On sait également que, par "modulation interne" d'un laser on peut obtenir des impulsions lumineuses brèves à grande cadence de répétition, la durée de ces impulsions étant de l'ordre de 1 nanoseconde dans le cas d'un laser à hélium-néon, de 0,25 nanoseconde dans le cas d'un laser à argon, de quelques dizaines de picosecondes dans le cas d'un laser à grenat dyttrium-aluminium dopé au néodyme. De tels lasers conviennent donc pour les systèmes de transmission d'information ds lesquels les signaux électriques peuvent être échantillonnés et transmis par le faisceau du laser sous forme d'impulsions. En particulier, ces lasers donnent entière satisfaction dans les systèmes multivoies à modulation par impulsions et codage (systèmes dits M.I.C.) dans lesquels on bénéficie des qualités des systèmes de transmission numérique qu'ils utilisent. Ceux-ci permettent en effet de s'affranchir des fluctuations du signal lumineux dues à la propagation, tout en reduisallt l'effet de bruit. Les têtes de détection pour laser, affectées à de tels systèmes de transmission, doivent avoir un temps de réponse du même ordre de grandeur que celui du modulateur optique à biréfringence électrique utilisé à l'émission, ce qui n'est pas le cas pour les têtes de détection actuellement connues. La présente invention a pour bus essentiel de présenter une tête de détection à perl'ormances améliorées en ce qui concerne son temps de réponse. On sait que l'organe principal d'une tête de détection pour laser est le photodétecteur qui transforme le flux lumineux reçu en signal électrique. Dans le cas où le rayonnement reçu par le photodétecteur a une composition spectrale comportant une composante continue et des composantes de fréquences aiulaires Q1,Q2 ... , ,..0 #j,..., le courant fourni par le photodétecteur a des composantes ios il 2'..o ij.... telles que ij = A (E7r) qj Pj où e est la charge élémentaire de l'électron, h la constante de Planck, Q la fréquence de l'onde lumineuse porteuse, qj le rendement quantique effectif à la fréquence fl. J P la puissance lumineuse fournie par la composante à fréquence flj du rayonnement laser, A une constante qui dépend des unités choisies Dans le cas d'unetête de détection pour laser, le photodétecteur préféré est une photodiode, dont le rendement quantique est plus grand que celui d'un photomultiplicateur ou d'un phototube à ondes progressives. I1 est rappelé qu'une photodiode est constituée par lLse la- Qtte en matériau semi-conducteur, comportant une jonction PN polarisée en inverse par une source à courant continu à travers une résistance de valeur appropriée. Lorsque la jonction n'est pas éclairée, la photodiode est le siège d'un très faible courant dit d'obscurité. Lorsque la jonction est éclairée, la photodiode four- nit un courant dit d'illumination qui est fonction - de la nature du matériau constitutif de la diode, - de la surface active de la diode, - de la puissance du rayonnement incident et de la composition spectrale de celui-ci. La qualité d'une photodiode est caractérisée par deux paramètres : son rendement quantique et son coefficient de multiplication. Le rendement quantique effectif d'une photodiode est le produit de deux termes - le rendement photo-électrique proprement dit, c'est-à-dire le nombre de paires "électron-trou" créées en moyenne parphoton incident; - le rendement de collection de ces paires par les électroiis de la photodiode. A chaque valeur de la tension de polarisation de la diode correspond une valeur de rendement quantique. De plus, comme on l'a déjà vu ci-dessus, à chaque fréquence fl composante du rayonnement J lumineux reçu correspond un rendement quantique qj. Pratiquement, on apprécie le rendement quantique d'une diode en considérant seulement celui, qO, relatif à la composante indépendante des fréquences composantes. Le coefficient de multiplication d'une photodiode a pour expression 'Es IES -IOS IE - IO - IO et IB sont les intensités respectives du courant d'obscurité et du courant d'illumination, à à la tension de polarisation à laquelle est soumise la diode - IoS et 'Es les intensités respectives du courant d'obscurité et du courant d'illumination, à la tension de polarisation pour laquelle la diode est saturée, c'est-à-dire proche du claquage. Or, on connais déjà, no-tamtens par le brevet français 1 568 411 du 12 Avril 1968, un procédé de fabrication de photodiodes à réponse rapide et réalisant un bon compromis entre les valeurs du rendement quantique et du coefficient de multiplication, ces diodes étant obtenues à partir d'une placuette de silicium de type N, par evapo- ration d'aluminium en couche mince, formation des jonctions PN par alliage grâce àun traitement thermique approprié, découpe des diodes individuelles et élimination par morsure chimique des microplasmas des bords de jonctions. La présente invention a pour premier but d'apporter à ce procédé de fabrication de photodiodes les perfectionnements nécessaires pour que ces diodes aien des performances encore améliorées et bien reproductibles. Quelle que soit la qualité des phobodiodes ainsi obtenues, même capables de suivre des brains d'impulsions d'une fréquence de l'ordre de 3 à 4 gigahertz, la réponse d'une tête de détection ne peut Qtre satisfaisante que si le circuit électrique associé à la photodiode es-t lui aussi convenablement étudié. Il s'agit en particulier de réduire les tends de montée des signaux électriques issus de la photodiode. L'expérience montie que la valeur du rapport signal/bruit des signaux fournis dépend - des valeurs des paissances P fournies par les composantes à fré J quances #j du ra-onnemellt lumineux - des rendements quantiques de la photodiode - du schéma équivalent de la photodiode et de son circuit électrique associé - des bruits produits par la photodiode elle-même,par les composants du circuit électrique associé et, plus particulièrement, par le préamplificateur qui suit la photodiode, Il convient toutefois de remarquer que cette dernière source de bruit est d'autant moins importante que le coefficient de photomultiplication de la photodiode est plus élevé. Or, on contact déjà notamment - par le brevet français 1 553 083 du 2 Décembre 1968, un procédé de fabrication en série d'une résistance électrique semi-conductrice pour circuits miniaturisés hybrides, par exemple en silicium de type P, résistance qui n'introduit pratiquement ni capacité ni inductance parasites appréciables dans les montages d'utilisation et qui peut pratiquement être employée dans tous circuits à réponse rapide, que ces circuits soient le siège de régimes transitoires ou fonctionnement en régime permanent à des fréquences très élevées de l'ordre du gigahertz - par la demande de brevet frangais PV 70/08 152 du 6 Mars 1970 intitulée "Atténuateur miniaturisé hybride à résistances et charge résistive miniaturisée hybride ainsi que procédé de fabrication de ces composants" aux noms des deux actuels demandeurs troisième et quatrième nominés, de Bernard LORIOU et de gaude TELL, un procédé de fabrication d'un atténuateur hybride à ligne à ruban, utilisant précisément des résistances semi-conductrices du type rappelé cidessus, et obtenu par métallisation d'une plaquette d'alumine en couche relativement épaisse (5 à 10 Fm) d'or par sérigraphie, puis montage de résistances semi-conductrices du type défini par le brevet français 1 553 083 précité, par sinople positionnement sur les couches à connecter par elles et passage au four à 4500C pour formation d'un eutectique de soudure orasemi-eondueteur. En partant d'une tête de détection à réponse rapide pour laser et comport;!nt, comme il est eosmu, une photodiode alimentée à partir d'une source de polarisation avec condensateur de découplage, et débitant en parallèle sur une résistance de charge et un préamplificateur relié à ladite résistance par un tronçon de ligne coaxiale, la présente invention a pour second but, en mettant à profit certaines dolznées de la demande de brevet français PV 70/08 152 précitée, de modifier cette tête classique et son procédé de fabrication, de façon à éliminer pratiquement toutes réactances nuisant à la rapidité de réponse de cette tête, tout en intégrant dans latte des éléments qui en étaient jusqu'à maintenant séparés. A cette fin, une tête de détection du type que l'on vient de définir se caractérise en ce qu'elle est constituée par une plaquette en matériau isolant, poreuse d'une lieene à ruban d'impédance caractéristique égale à la résistance de charge, et dont le ruban porte directellent la photodiode en forme de pastille non encapsulée, la résistance de charge en forme de simple pavé semi-conducteur, enfin le condensateur de découplage, cette plauette étant à coniiec- ter d'un côté à la source de polarisation, de l'autre au tronçon de ligne coaxiale allant au préamplificateur. Le procédé suivant l'invention de fabrication d'une telle tête de détection se caractérise en ce qu'il, comprend les étapes suivantes (a) en fonction des données que sont, d'une part la résistance caractéristique de la ligne, ainsi On verra clairement plus loin que, dans ces conditiolls, la tête suivant l'invention - ne présente plus de réactances (capacité et auto-inductance) dues précédemment au bottier de la photodiode et aux connexions de sortie de la tête - présente une boule adaptation d'impédance sur une large bande de fréquences grâce à la ligne à ruban et à la résistance semi conductrice - intègre le condensateur de découplage et la résistance de charge qui, dans l'art antérieur, ne faisaient pas partie de la tête proprement dite. Quant au procédé suivant l'invention de fabrication d'une telle tête, il présente principalement les perfectionnements ou avantages suivants - en ce qui concerne la fabrication en série des photodiodes ellesmêmes, suppression de l'étape dlencapsulage - en ce qui concerne la fabrication en série des têtes, bénéfices déjà connus résultant de la simplicité d'établissement de la ligne à ruban, de la fixation des composants sur cette ligne à ruban, de l'ajustement de la valeur de la résistance semi-conductrice. La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui suit d'un exemple de réalisation de la tête suivant l'invention de détection à réponse rapide pour laser, ainsi que de son procédé de fabrication, en référence aux dessins annexés dans lesquels - la Fig. 1 est un montage de tête classique de détectionpour3aser; --la Fig. 2 est un schéma équivalent de la seule photodiode - la Fig. 3 est un montage suivant l'invention de la tête de détection pour laser - les Figs. 4a et 4b sont des vues respectivement côté recto et en coupe suivant la ligne IV-IV de la Fig. 4a, d'une tête en fabrication après métallisation formant la ligne à ruban et perçage des trous ; ; - les Figs. 5a et 5b sont des vues analogues respectivement à celles des Figs. 4a et 4b d'une tete eii fabrication après mise en place de la photodiode et de la résistance - la Fig. 6 est une vue analogue à celle de la Fig. 5a, d'une tête en fabrication, après mise en place du condensateur de découplage et métallisation des trous - la Fig. 7 est une vue par le dessus due la tête terminée une fois mise en place dans un support permettant ses connexions - la Fig. 8 est une vue en coupe suivant la ligne VII-YE de la Fig. 7, du m8me support porteur de la toto suivant l'invention. Telle quelle est représentée à la Fig. 1, une tête de détection pour laser comprend essentiellement les éléments suivants - Ph photodiode de bornes A et B - S source à courant continu de polarisation de la photodiode - C condensateur de découplage de la source S - R résistance de charge, généralomen prise égale à 50 ohmsO Le circuit équivalent de la photodiodes est celui indiqué à la Fig. 2 où les différents éléments représentent - I la photodiode proprement dite qui n'est autre qu'un injecteur de courant où l'intensité électrique débitée est grosse mode proportionnelle à celle du rayonnement lumineux reçu - Cj la capacité de la jonction de la photodiode qu'on s'efforce de réduire en polarisant celle-ci en inverse - Rs la résistance série due au substrat de la photodiode - C b la capacité du bottier de la photodiode - L0 l'auto-inductance due aux connexions, Parmi ces valeurs - C. et R5 sont directement liées à la structure de la photodiode J résultant de sa fabrication (nature du substrat, surface active,etc.);; - C b et Lc dépendent au contraire du eonditionnement de la photodiode sur lequel on peut réagir plus facilement. Dans un encapsulage en fiche classique dite "BNC", L est de c l'ordre de 1 à 2 nH et C b d'environ 1 à 2 pF; de telles valeurs ont pour effet d'augmenter notablement le temps de réponse de la photodiode. D'un autre caté, dans un encapsulage en fiche BNC, les éléments de polarisation (C de la Fig. 1) et de charge (R de la Fig. 1) ne sont pas incorporés à la tête, ce qui complique leur utilisationO Telle qu'elle est représentée à la Fig. 3, une tête suivant l'invention de détection pour laser est organisée de la façon suivante Une placue-sup"ort 10 en matériau diélectrioue, par exemple en alumine, porte - une photodiode 11 à réponse rapide, un condensateur de découplage 12 et une résistance de charge 13, connectés entre eux comme il est indiqué ci-après - une ligne à ruban 14 dont les accès d'entrée 14riz 142 sont respec vivement connectés à un ruban de recto de la plaque et à un "plan de masse de verso de la plaque, celui-ci étant destiné à dtre relié à la terre; la résistance caractéristique de la ligne à ruban est naturellement prise égale à la valeur ohmique de la résistance 13 - deux paires de bornes extrêmes dont une d'entrée de polarisation 101, 102 et une de sortie 103, 104 de la ligne à ruban0 La photodiode il est connectée entre les points 101 et 104, le condensateur 12 entre les points 101 et 102, la résistance 13 entre les points 141 et 142. Les bornes 101, 102 sont connectées d'autre part à une source de courant continu 1 par une ligne 2, de façon à assurer la polarisation de la photodiode 11.Les bornes 103, 104 sont connectées d'autre part par un tronçon de ligne coaxiale 3 aux bornes d'entrée d'un préarlificateur 4, lequel alimente les circuits extérieurs d'utilisation des courants fournies par la tête suivant l'invention. Une telle tête apporte les avantages suivants - la tecinologie hybride utilisée, si elle limite quelque peu la miniaturisation, permet en revanche une excellente reproductibilité - la capacité de boîtier C b et l'auto-inductance de connexion L c sont éliminées grace au montage direct de la pastille de photodiode sur la lierne à ruban - cette ligne à ruban et la résistance semi-conductrice de charge permettent une bonne adaptation sur une large bonde de fréquences - la tête obtenue assurc une intégration du condensateur de dé cou- plage et de la résistance de charge. Dans un exemple particulier de fabrication de photodiodes, on a procédé de la façon suivante. On part d'un coté d'une lamelle de silicium de type N et de résistivité d'environ 1 ohm-cm, par exemple comprise entre 0,8 et 1b2 ohm-cm, cette résistivité étant choisie comme compromis pour que la diode puisse fonctionner convenablement au voisinage de la tensioii de claquage. Une telle lamelle-peut être fournie par le fabricant sous forme de rondelle d'environ 25 nm de diamètre et 200 pm d'épaisseur, rondelle qui est surfacée par un procédé dit "lustrox" associant une action chimique et une action abrasive mécanique. Ceci permet de supprimer la séquence de traitements chimiques, effectuée au stade des plaquettes dans le procédé décrit par le brevet français 1 568 411 précité. On découpe au diamant cette lamelle en plaquettes rectangulaires d'environ 11 x 6 mm et on dégraisse ces plaquettes par des immersions successives dans des bains d'acétone subissant l'action d'ultra-sons; on les stocke dans de l'acétone jusqu'à utilisation. On part, d'un autre coté, d'un fil d'aliminium d'une pureté garantie de 9 J999 % et d'un diamètre de l'ordre de 2 mm. On coupe des lon Pour procéder, à l'emplacement de chaque future diode, aux opérations essentielles de métallisation à l'aluminium en couc'ne mince, puis de formation d'une jonction PN, on utilise l'enceinte décrite par le brevet français 1 568 411 précité, sous un vide de 5 x 10-6 torr. On comnence par porter chaque plaquette de silicium traitée à une température voisine de 2000C au moyen d'un ruban de tungstène et le creuset renfermant un tronçon de fil d'aluminium, à une température voisine de 900 C pendant 1 minute, moyennant quoi tout l'aluminium est vaporisé. On porte ensuite la plaquette ainsi métallisée à une température de 585 C, température d'eutectique de l'alliage aluminium-silicium. On maintien cette température pendant 5 minutes pour éviter la formation dalots d'aluminium. On laisse ensuite la plaquette se refroidir jusqu'à l'ambiante0 On procède alors à uil premier contrôle rapide des diodes obtenues permettant de juger-de leur qualité et de ne poursuivre la fabrication que si le résultat de ce colltrle est satisfaisant (les prises de contact se font par un contact fixe sur le silicium de la plaquette d'un côté, par un contact glissant a ressort en or de l'autre). Pour éliminer les microplasmas sur les bords de la jonction de c1iaque diode de la plaquette, on utilise la technique connue dite "mesa". Après avoir protégé la zone centrale de la surface de la jonction de chacune des diodes de la plaquette au moyen d'une résine photosensible dite "SHIPLEY" polymérisée à la lumière ultra-violette à travers un masque approprié, on i3nerge la plaquette dans un bain constitué par la solution acide commue dite "CP 4" (en volume', 50 partiesd'acide nitrique, 30 parties d'acide fluorhydrique et 30 parties d'acide acétique) pour mordre les bords de la jonction de chaque diode; on élimine la résine polymérisée au moyen d'un solvant approprié. On procède à un second contrôle des diodes obtenues; en particulier, on trace la courbe caractéristique de chaque diode en utilisant confie source d' illumination un laser héliuu-néon. On découpe enfin la plaquette en pastilles carrées de 0,7 mn de côté, porteuses chacune d'une diode, et on élimine celles qui ont été jugées défectueuses. Le procédé suivant 1' invention de fabricatioii d'une tête de détection pour laser peut se dérouler de la façon suivante. On part de plaquettes, par exemple d'alumine, dont les dimensions correspondent à l'encombrement des éléments qu'elles doivent supporter. On les métallise à l'or par sérigraphie, procédé bien connu permettant de réaliser des couches métalliaues d'épaisseur suffisante et uniforme et de configuration bien définie. Le verso des plaquettes ne posant pas de problème, on recouvre le recto d'une trame métalli On rappe-le que le ruban 141, 103 doit avoir une largeur e 3 fonction de 11 épaisseur w de la plaquette 10, de la constante diélectrique E de l'isolant qui la constitue et enfin de 11 impédance caractéristique choisie pour la liane à ruban. En partant d'autre part d'une plaque de silicium de type N et de résistivité donnée, homogène et stable en température, à de faibles tolérances près, par exemple à + 0,2 % et d'épaisseur optimale ayant une de ses faces dtun beau poli, on a découpé à la scie diamantée ladite placue en résistances brutes dont les dimensions ont été calculées pour que ces resistances aient la valeur ohmique voulue par léger défaut. Après avoir percé chaque plaquette de deux trous 15, 16, on dispose sur le recto la pllo-touiode 11 et la résistance 13 déjà préparées, aux emplacements voulus, en s'aidant d'ui micromètre ocu:uuue pour centrer au mieux la résistance dans la région qui lui est affectée On porte ensuite les plaquettes ainsi garnies à une température supérieure à celle de formation de l'alliage eutectique or/semi-conducteur, durant environ 5 minutes, les plaquettes étant ensuiteabandonnées au refroidissement jusqu'à l'ambiante. On ajuste individuellement la valeur ohmique de la résistance 13 de chaque plaquette, soit ici à 50 ohms, par enlèvement de matière au moyen d'ui jet de poudre abrasive, par exemple d'alumine, en opérant sou ohmmètre en courant continu. On relie ensuite la photodiode 11 à la plage 101 au moyen d'un fil d'or 111, soudé par thermocompression sur la metallisation de la photodiode 11. Les plaquettes ont alors l'aspect donné par les Figs 5a et 5b. On procède à la métallisation des trous 15, 16 de chaque plaquette, à froid, au moyen d'une pâte à l'argent. On observera que tette métallisation à l'argent ne peut être faite plus tôt, car elle empêcherait de procéder à la vérification de la photodiode 11 et à l'ajustage de la valeur de la résistance 13 sur chaque plaquette. Enfin, on fixe le condensateur 12 au moyen d'une bâte à l'argent, et l'on munit la diode 11 d'un enrobage, par exemple de résine siliconée. Les têtes roprenaent dites sont termines et ont l'as pect donné par la Fig. 6. On a représenté aux Fis. 7 et 8 le support affecté à la pla quette terminée constituant une tête suivant l'invention. Ce support comporte un corps métallique 20 de forme générale parallélépipédique, mais évidé à partir de l'une de ses grandes faces et parallèlement à celle-ci, de façon à laisser libre un logement 21. La plaquette 10 est disposée verticalement dans la région centrale eu logement 21. Elle est supportée à sa tranche inférieure par 11 extrémité d'une tige filetée 22 qui se visse dans la paroi inférieure du logement 21 au moyen d'un bouton moleté 22'. Elle est fixée grâce à deux autres tiges Illetées 231, 232 qui sexissent dans la paroi de fond du logement 21 au moyen de boutons moletés 23;;, 232 respectivement et qui s'appuient contre les deux branches latérales dtun ressort en U, 24, en alliage dit "chrysocale" (prise de terre) lesquelles attaquent le verso de la plaquette d'une part, et d'autre part à deux tétons 25, 26 qui sont les extremités des ames de câbles coaxiaux 27, 28 respectivement, et qui réalisent du côté recto de la plaquette les accès 107, 103 précités, Les accès 102, 104 de la plaquette sont connectés aux conducteurs externes des mêmes câbles coaxiaux par des fiches 29, 30 classiques. On voit que, pour plus de simplicité par symétrie des connexions, les cor exilons de la tête à la pile de polarisation sont faites par un tronçon de ligne coaxiale, ce qui est théoriquement non indispensable, mais ne présente évidemment pas d'inconvénient. Une tête suivant l'invention ainsi réalisée permet des temps de réponse de l'ordre de 0,2 nanoseconde, alors que celles de l'art antérieur ne permettent pas de tomber au-dessous dc 1 nanoseconde. REVENDICATIONS 1 - Tête de détection à réponse rapide pour laser et comportant une photodiode, alimentée a partir d'une source le polarisation avec condensateur de dé couplage, et débitant en parallèle sur une résistance de ciargo et un préamplificateur reliée à ladite résistance par un tronçon dc ligne coaxiale, caractérisée en ce qu'elle est constituée par une plaquette en matériau isolant, porteuse d'une ligne à ruban d'impédance égale à la valeur ohmique de la résistance de charre et dont le ruban porte directement la photodiode en forme de pastille non encapsulée, la résistance de charge en forme de sim ple pavé semi-conducteur, enfin le condellsateur de découplage, cette plaquette étant à connecter d'un cêté à la source de polarisation, de l'autre au tronçon de ligne coaxiale allant au préamplificateur. 2 - Procédé de fabrication en série d'une tête selon la revendication 1 de détection à réponse rapide pour laser, caractérisée en ce qu'il comprend les étapes suivantes (a) en fonction des données que sont d'une part la résistance caractéristique de la liane à ruban, ainsi que la valeur ohmique de la résistance de charge égale à la précédente, des caractéristiques physiques d'un silicium de type N en plaque dont une face a été polie et d'un matériau isolant également en plaque, on calcule les dimensions à donner, d'une part à la résistance semi-conductrice, d'autre part à la plaquette-support et au dessin de rilétallisation de son recto, sachant qu'elle doit également recevoir la photodiode et le condensateur de découplage (b) on découpe les résistances et les plaquettes aux djniei?sions ainsi calculées (c) on métallise SUl' une épaisseur finie de 5 à 10 m les plaquettes à l'or par sérigraphie et on stabilise les dévêts ainsi réalises en faisant séjourner les plaquettes dans un four à 650 C ; (d) après avoir percé chaque plaquette de ceux trous, on positionne sur son recto, aux emplacements voulus, une photodiode non encapsulée et une résistance; on porte les plaquettes ainsi garnies à une température suffisante pour assurer la soudure par formation de lteutectique or/semi-conducteur (e) on ajuste individueller.erlt la valeur ohmique de la résistance de chaque plaquette, par enlèvement de tmatiere, au moyen d'un jet de poudre abrasive, par exemple d t alumine, en opérant sous ohmmètre en courant coiitinu, un fil d'or soudé pa thermocompression reliant la métallisation de la photodiode à la plage de contact correspondante sur la plaquette-support (f) enfin on procède à la métallisation des deux trous de chaque plaquette, à froid, au moyen d'une pâte à l'argent, on fixe le condensateur de decouplage au moyen d'une pâte analogue et l'on munit la photodiode d'un enrobage, par exemple en patte siliconee.