Brevet FR2118846A1 — publié le 19720804

La présente invention concerne un détecteur semiconducteur destiné à la mesure et à l'analyse de rayonnements ionisants et de particules d'énergie élevée et comportant un corps monocristallin semi-conducteur dans lequel sont formées, d'une part, une couche semi-conductrice d'untypede conduction déterminé portée au moins en partie par la surface externedudit corps et, d'autre part, une zone de type de conduction opposé séparée de ladite couche par une couche intermédiaire intrinsèque. On qualifiera ci-après d'intrinsèque, tout semiconducteur dans lequel les densités d'électrons et de trous sont à peu près égales dans des conditions d'équilibre thermique, qu'il s'agisse d'un semi-conducteur presque pur, ou qu'il s'agisse d'un semi-conducteur comportant simultanément des impuretés donnant les deux types de conduction dans une proportion telle que celles-ci se compensent. On sait que, pour la détection ou la spectrométrie de certains rayonnements ou certaines particules, on peut utiliser une diode semi-conductrice polarisée dans le sens du blocage. Une zone désertée ou zone de charge d'rapace apparaît alors de part et d'autre de la jonction de la diode ainsi polarisée. Lorsqu'une particule incidente pénètre dans cette zone, elle y crée une paire électron-trou qui engendre ellemême un courant que l'on peut recueillir sous forme d'impulsion de tension aux bornes d'une résistance appropriée. Les impulsions ainsi obtenues peuvent ensuite être analysées par des dispositifs électroniques prévus à cet effet. On constate que, pour obtenir le maximum d'efficacité de la diode, il faut que la surface de la jonction et le volume de la zone désertée soient les plus grands possibles. L'une des diodes semi-conductrices utilisées en détection est celle du type "détecteur à barrière de surface". Un tel détecteur est obtenu généralement à partir d'une plaquette monocristallie de silicium ou de germanium généralement de type de conduction P dans laqullcàl'aide d'une impureté de type N, lithium par exemple,on crée, d'une part une région dudit type N et une région compensée ou intrinsèque I. Dans la plupart des cas, ce détecteur est du type planaire et la fenêtre d'entrée des rayonnements est obtenue par élimination localisée de la couche P, les parois de l'évi dement ainsi créé étant recouvertes d'une mince pellicule métallique, de platine ou d'or par exemple, pour équilibrer le potentiel. Cette configuration permet de réaliser une prise de contact sur la couche P restant à la périphérie dudit évidement, mais il va de soi que cette plage réservée à la prise de contact constitue un écran au passage des rayonnements et limite en conséquence l'efficacité du détecteur. De plus, ce type de détecteur présente un autre inconvénient grave, à savoir que l'épaisseur du cristal dans lequel il est réalisé et, en conséquence, l'épaisseur de la couche utile, restent très limitées, ce qui ne permet pas de détecter des particules d'énergie élevée. On a déjà essayé de remédier à ces inconvénients en utilisant comme détecteur de rayonnements, et notamment de rayonnements X, un détecteur cylindrique de type NIP à couches coaxiales, la fenêtre d'entrée desdits rayonnements étant alors constituée par ltune des deux faces planes du cylindre. Dans ce cas, le volume utile de la zone désertée est considérablement augmenté, mais la surface utile de la jonction, donc de la Fenêtre d'entrée, est toujours limitée en raison de la présence des couches N et P à la périphérie et au centre de ladite fenêtre. De plus, la région centrale constitue encore une masse inutile trop importante par rapport au volume total du détecteur. En outre, le contrôle de l'état de surface des couc es constituant le détecteur est très délicat et la courbure du champ électrique entraîne une perte de collection de particules sur la surface recevant les rayonnements. On connaît également un détecteur dit "en puits" parce qu'il comporte une cavité, un tel détecteur permettant de mesurer les rayonnements ou les radiations émis par une source disposée au fond dudit puits et constituée, le plus souvent, par un corps se présentant sous une forme solide ou liquide. Sous leur forme actuelle, les détecteurs en puits, généralement de type NIP comme certains détecteurs plans et comme les détecteurs à couches coaxiales, ne présentent un intérêt que pour l'analyse des rayonnements émis par cette source, mais pas pour ceux provenant de ltextérieur. La présente invention a pour but laobtention d'un détecteur de rayonnements ou de particules, dont la surface utile de la fenêtre d'entrée soit la plus grande possible, Son idée de base est de faire subir à un détecteur des adaptations destinées à augmenter d'une manière importante la surface et le volume utiles du détecteur et à éviter les masquages dus aux plages métalliques réservées aux prises de contact. Selon l'invention, un détecteur semi-conducteur à deux contacts destiné à la mesure et à l'analyse de rayonnements ionisants et de particules d'énergie élevée et comportant un corps monocristallin semi-conducteur dans lequel sont formées, d'une part, une couche semi-conductrice d'un type de conduction déterminé portée par la surface externe dudit corps et, d'autre part, une zone semi-conductrice de type de conduction opposé, séparée de ladite couche par une couche intermédiaire intrinsèque, est remarquable en ce que sa fenêtre d'entrée est formée dans au moins une partie de ladite couche semi-conductrice qui recouvre la majeure partie de la surface externe dudit corps, et en ce que l'un de ses contacts étant agencé sur ladite zone, l'autre desdits contacts est agencé sur ladite couche semiconductrice, sur la partie de celle-ci la plus proche de la portion la plus externe, par rapport audit corps, de ladite zone. Le principal avantage d'un tel détecteur réside dans le fait que la fenêtre d'entrée présente une plus grande surface utile grâce à la suppression du masquage provoqué habituellement par les plages métallisées de contact : en effet, sur ce détecteur, les contacts sont disposés à l'arrière. Enfin, la réalisation ne nécessite la mise en oeuvre que de procédés et de techniques connus, c'est-à-dire qu'elle rend possible l'utilisation d'appareillages déjà existants utilisés jusqu'à présent dans la réalisation d'autres types de détecteurs. Le corps cristallin peut présenter la forme d'une plaquette dont ladite couche semi-conductrice recouvre l'une des deux grandes faces et au moins une partie des faces latérales, tandis que ladite zone est formée sur l'autre desdites grandes faces de la plaquette, le contact relié à ladite couche étant disposé sur la portion desdites faces latérales la plus proche de la grande face portant ladite zone. Toutefois, de préférence, le corps monocristallin semi-conducteur est pourvu d'un évidement dont les parois portent ladite zone semi-conductrice. Dans ce cas, il est avantageux que ltun des contacts du détecteur soit agencé, à l'intérieur de l'évidement, sur ladite zone, tandis que l'autre desdits contacts est agencé sur la partie de ladite couche semi-conductrice disposée au voisinage de la face dudit corps dans laquelle débouche ledit évidement. De préférence également, ce corps monocristallin est en germanium, en silicium ou tellurure de cadmium, et il est avantageusement de type P renforcé en surface d'une couche d'indium, d'aluminium ou d'un alliage gallium-indìum, suivant les cas, la couche N et la couche intrinsèque étant obtenues respectivement par dépôt et diffusion de lithium, Dans une première forme de réalisation du détecteur selon l'invention, le lithium, préalablement déposé sur les parois de l'évidement, est entraîné par un champ électrique vers la surface externe du corps recouverte d'une couche d'un alliage gallium-indium, l'épaisseur de ladite couche de galliumindium étant ensuite réduite sur au moins une partie de sa surface. Dans une telle forme de réalisation, il est possible d'obtenir, d'une manière simple, une fenêtre d'entrée ne dépassant pas 1 p d'épaisseur. De plus, dans ce cas, les opérations nécessaires à la réalisation sont réduites au minimum. Dans une deuxième forme de réalisation du détecteur selon l'invention, après dépit du lithium sur les parois de l'évidement et entraînement vers la surface externe préalablement recouverte d'une couche d'un alliage gallium-indium, cn élimine totalement ladite couche de gallium-indium sur au moins une partie de ladite surface externe du détecteur et on dépose ensuite sur la couche intrinsèque ainsi mise à nu, une pellicule métallique d'or ou de platine ou de tout autre métal approprié. Cette pellicule métallique joue le role de fenêtre d'entrée et permet en outre d'équilibrer le potentiel dans le volume du détecteur. Le fait d'utiliser de l'or ou du platine permet d'obtenir une fenêtre d'entrée de très fine épaisseur, de l'ordre de 0,1F , ce qui évite l'absorption d'un certain nombre de rayonnements. Dans une troisième forme de réalisation du détecteur selon l'invention, après dépôt du lithium sur les faces externes du détecteur et entraînement vers les parois de l'évidement préalablement recouvertes d'une couche d'un alliage galliumindium, on élimine totalement la couche superficielle de lithium sur au moins une partie de la surface externe du détecteur et l'on dépose ensuite sur la couche intrinsèque ainsi mise à nu une pellicule d'aluminium. Dans ce cas, la pellicule d'aluminium a pour fin une bonne adhérence entre le substrat semi-conducteur et la couche métallique et, par conséquent, un bon contact électrique. De plus, l'aluminium présente l'avantage d'avoir un coefficient très faible d'absorption des rayonnements. Avantageusement, le détecteur selon l'invention est réalisé dans un bloc semi-conducteur de forme géométrique de révolution et présente une structure coaxiale. Le choix de cette forme et de cette structure permet d'accroître dtune part la rigidité mécanique, d'autre part la surface et le volume utiles et rend possible la diminution de la capacité. De préférence, il peut être formé dans un cylindre d'un matériau semi-conducteur dans une première face plane duquel est creusé éventuellement un évidement cylindrique coaxial, la fenêtre d'entrée des rayonnements étant formée au moins par la deuxième face plane et/ou une portion des parois latérales dudit cylindre. Un tel détecteur présente l'avantage de pouvoir être réalisé facilement à partir de moyens techniques simples et connus, donc d'être facilement reproductible et relativement peu comateux. Le détecteur peut également être élaboré dans une demi-sphère d'un matériau semi-conducteur, l'évidement creusé dans ladite demi-sphère étant de même configuration et concentrique. Un tel détecteur ne présente pas d'arêtes vives, ce qui permet d'assurer une meilleure homogénéité du champ électrique et d'augmenter la valeur de la tension de claquage. Les figures du dessin annexé feront bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. Sur ce dessin Les figures 1 et 2 illustrent, schématiquement et en coupe, la réalisation d'un détecteur du type dit planaire conforme à l'invention. Les figures 3 et 4 montrent schématiquement, en coupe, deux étapes de réalisation d'un détecteur cylindrique conforme à l'invention. La figure 5 est une coupe schématique d'une variante de réalisation d'un détecteur cylindrique. La figure 6 représente, schématiquement et en coupe, un détecteur hémisphérique conforme à l'invention. La figure 7 est une coupe schématique d'un détecteur cylindrique de type coaxial traversé de part en part et suivant son axe par un évidement également cylindrique. La figure 8 représente schématiquement et en coupe un détecteur cylindrique ne comportant aucun évidement. Il est à noter que sur les dessins, les dimensions ne sont pas proportionnées, ceci afin de rendre les figures plus claires. Le détecteur montré par les figures 1 et 2 est obtenu à partir d'une plaquette de germanium, de type P par exemple. Sur l'une des faces principales 1 de la plaquette, ainsi que sur les faces latérales 2, on dépose une mince couche de l'alliage eutectique de gallium et d'indium. Ce dépit de quelques microns d'épaisseur est obtenu par métallisation ou alliage, ou encore par frottement, à l'aide d'un coton par exemple, des faces concernées avec ledit alliage. On obtient ainsi une mince couche 3 de type P+. On badigeonne ensuite la face principale 4 opposée à la face 1 avec du lithium en suspension dans de l'huile, ce qui permet d'obtenir une zone 5 de type N+. La zone 5 peut également être obtenue par métallisation ou diffusion sous vide. A partir de la face 4,on effectue un rodage ou une attaque chimique de manière à obtenir une gorge périphérique 6 qui a pour but d'isoler la zone 5 de type N+ de la couche 3 de type P. On fait diffuser ensuite des ions lithium de la zone 5 dans le matériau de base de type P ; à cet effet, il suffit de polariser la couche 3 et la zone 5 en inverse pour obtenir l1entraînement des ions de lithium à travers la région 7 primitivement de type P et la transformation au moins partielle de celle-ci en région intrinsèque I par compensation des impuretés P par des ions lithium. Le détecteur P I N étant ainsi formé, on creuse à partir de la face 1 un évidement 8 de dimensions identiques à celles de la zone 5 après rectification. Le fond de cet évidement 8 peut atteindre par exemple la couche compensée 7 et constitue la fenêtre d'entrée des rayonnements figurés par les flèches F. Au préalable, pour renforcer et stabiliser cette fenêtre d'entrée, on a déposé une mince pellicule métallique 9, d'or ou de platine par exemple. Les contacts 10 et il du détecteur sont réalisès au plus loin de la face 1 constituant la fenêtre d'entre et respectivement sur la couche 3 et la zone 5. A cet effet, le contact 10 de la couche 3 est agencé sur la partie de celle-ci située au plus près de la zone 5. Ainsi, la fenêtre d'entrée n'est pas masquée par les contacts et l'efficacité du détecteur s'en trouve accrue. Le détecteur illustré par les figures 3 et 4 est obtenu à partir d'un lingot monocristallin de germanium, de type P par exemple. Par meulage et rectification, on obtient un corps cylindrique dans lequel on creuse, à partir d'une de ses faces planes, un évidement 12, également cylindrique et de même axe que ledit corps. Sur la face cylindrique 13 dudit corps, on dépose une mince couche de l'alliage eutectique de gallium et d'indium. Ce dépôt de quelques microns d'épaisseur est obtenu par métallisation et alliage ou par frottement, à l'aide d'un coton par exemple, de la face 2 avec ledit alliage qui se trouve liquide à la température ambiante. Il permet de former ou de renforcer une couche 14 de type P. On badigeonne ensuite les parois 15 de l'évidement 1 avec du lithium en suspension dans de l'huile, ce qui permet d'obtenir une zone 16 de type N. Ce dépôt de la zone 16 peut également être obtenu par métallisation ou diffusion sous vide. Après diffusion du lithium dans le matériau de base de type P, il suffit de polariser la couche 14 et la zone 16 en inverse pour obtenir l'entraînement des ions de lithium à travers la région 17 primitivement de type P et la transformation au moins partielle de celle-ci en région intrinsèque par compensation des impuretés P par des ions lithium. Le détecteur P I N étant ainsi formé, on rabote la face plane opposée à celle comportant l'évidement jusqu'à une profondeur telle que l'épaisseur de la couche 14a sur ladite face ne soit plus que de 1 > environ (voir figure 4). Cette pellicule 14a de faible épaisseur constitue la fenêtre d'entrée des rayonnements figurés par les flèches F. Eventuellement, cette couche 14a de Ga-In peut être renforcée et stabilisée par une couche métallique, mince également, d'or ou de platine non représentée sur la figure. Les contacts 18 et 19 du détecteur sont réalisés au plus loin de la face constituant la fenêtre d'entrée et respectivement sur la couche 14 et la zone 16. Selon l'invention, le contact 18 est disposé sur la couche 14, sur la portion de celle-ci la plus proche de la portion 16a la plus externe de la zone 16, au voisinage de la face plane dans laquelle est ménagé l'évidement 12. On constate que la fenêtre d'entrée 14a représente la surface totale de la face opposée à celle comportant l'évidement et n'est pas masquée par les contacts : en conséquence, l'effet cacité du détecteur se trouve considérablement accrue par rapport à celle d'un détecteur classique de dimensions comparables. La figure 5 représente une variante de réalisation du détecteur de la figure 4. Le détecteur cylindrique illustré par la figure 5 est obtenu de façon semblable à celle mentionnée ci-dessus, mais dans ce cas, après formation des couches 14, 16 et 17 constituant le détecteur N I P, on rabote d'une part la face dudit détecteur opposée à celle comportant 1'évidement 12 et, d'autre part, une portion de la paroi latérale du cylindre, de façon à faire apparaître en ces endroits la couche 17. Sur la surface de la couche 17 ainsi mise à nu, on dépose une couche métallique 20, d'or ou de platine par exemple, qui constitue la fenêtre d'entrée. Les contacts 18 et 19 sont formés sur le reliquat de la couche 14 et sur la zone 16 comme dans 1 'exemple précédent, le contact 18 étant disposé sur la portion de la couche 14 voisine de la portion 16a la plus externe de la zone 16. Cette variante permet de détecter des rayonnements provenant transversalement ou latéralement et représentés sur la figure par les flèches F, ce qui a pour but d'augmenter encore l'efficacité du détecteur. La figure 6 illustre un détecteur ayant une configura- tion sensiblement hémisphérique. Comme dans les exemplee précédents, ce détecteur est obtenu à partir d'un lingot monocristallin de germanium de type P, le corps sensiblement hémisphérique étant obtenu ensuite par meulage et rectification. Par une technique identique, on creuse ensuite l'évidement 21 de formes homologues à celles dudit corps. Sur la surface hémisphérique 22 dudit corps, on dépose une mince couche 23 de l'alliage eutectique gallium-indium et l'on badigeonne ensuite la face 24 de l'évidement 21 de lithium pour obtenir la zone 25. Par diffusion, une partie du lithium est entraînée dans le corps monocristallin par des techniques connues et citées précédemment pour former la couche intrinsèque 26. Conformément à la figure 6, on élimine alors la majeure partie de la couche 23 pour permettre la formation de la couche métallique 27 d'or ou de platine sur la couche 26. Les contacts 28 et 29 sont ensuite agencés, d'une part sur le reliquat de la couche 23 disposé au voisinage de la face plane dans laquelle est pratiqué l'évidement 21, d'autre part sur la zone 25 située à l'intérieur de l'évidement 21. Le contact 28 de la couche 23 est disposé sur la portion de celle-ci la plus proche de la portion 25a la plus externe de la zone 25. Cette forme de réalisation présente les mêmes avantages que l'exemple illustré par la figure 5 et permet notamment de détecter aussi bienles rayonnements transversaux que latéraux figurés par les flèches F. Le détecteur cylindrique montré par la figure 7 est obtenu par meulage et rectification d'un bloc semi-conducteur monocristallin, en germanium de type P par exemple. A partir de l'une des faces planes du cylindre, on creuse un évidement 31 également cylindrique et de même axe que le bloc semi-conducteur. Cet évidement 31 traverse totalement le détecteur. Sur sa paroi, on dépose une mince zone pelliculaire 32 de lithium, tandis que la face latérale externe 33 du détecteur est recouverte d'une couche 34 de type P, formée d'un alliage d'indien et de gallium par exemple. La compensation de la région 35 située entre les couches 32 et 34 est obtenue de façon semblable à celle mentionnée cidessus. On rabote ensuite la plus grande partie de la surface de la couche 34 jusqu'à atteindre la couche intrinsèque 35 et l'on dépose sur cette couche ainsi mise à nu une pellicule métallique 36, d'or ou de platine par exemple, qui constitue la fenêtre d'entrée des rayonnements figurés par les flèches F. Les contacts 37 et 38 sont formés sur le reliquat de la couche 23 et sur la couche 22 comme dans l1exemplepré- cédent, le contact 37 de la couche 34 étant disposé sur la portion de celle-ci la plus proche de la portion 32a la plus externe de la zone pelliculaire 32. Le dépôt de la pellicule métallique 36 est réalisé le plus souvent par métallisation sous vide et il y a lieu de noter que dans ce cas le détecteur doit pouvoir tourner dans l'enceinte de métallisation de manière à obtenir une répartition uniforme de la couche. La figure 8 représente un détecteur également cylindrique. Comme dans les exemples précédents, ce détecteur est obtenu à partir dlun lingot monocristallin de germanium de type P, le corps sensiblement cylindrique étant réalisé ensuite, par meulage et rectification. Sur l'une des faces planes 41 du cylindre et sur la paroi latérale 42, on dépose suivant la technique déjà citée, une couche 43 de lithium. Après diffusion, ledit lithium est entraîné dans le corps monocristallin durant un temps tel que, au centre du cylindre, subsiste une zone 44 en forme de noyau du type de conduction d'origine, ctest-à-dire P. La région 45 comportant des ions de lithium est alors compensée. Conformément à la figure 8, on élimine la majeure partie de la couche 43, pour permettre la formation de la couche métallique 46 d'or ou de platine sur la région 45. Des contacts 47 et 48 sont ensuite agencés, d'une part, sur le reliquat de la couche 43, d'autre part, sur la surface externe de la région 44, le contact 47 de la couche 43 étant disposé sur la portion de celle-ci la plus proche de la surface externe de la zone 44. Les exemples précédemment cités concernent des détecteurs réalisés à partir d'un cristal de germanium dans lesquels la diffusion et l'entraînement du lithium se font de ladite zone vers l'extérieur, mais il va de soi que lton peut utiliser un corps en silicium ou en un autre matériau semiconducteur approprié et que le lithium peut être déposé sur la face externe du détecteur. Dans ce dernier cas, il y aura lieu de remplacer la couche d'or ou de platine par de l'aluminium par exemple et il ne sera pas obligatoire de réaliser un évidement, la zone de type P pouvant être obtenue par entraî- nement limité et contrôlé du lithium dans le corps semiconducteur à partir de la surface externe. REVENDICATIONS 1.- Détecteur semi-conducteur à deux contacts, destiné à la mesure et à l'analyse de rayonnements ionisants et de particules d'énergie élevée et comportant un corps monocristallin semi-conducteur dans lequel sont formées, d'une part, une couche semi-conductrice d'un type de conduction déterminé portée par la surface externe dudit corps et, d'autre part, une zone semi-conductrice de type de conduction opposé, séparée de ladite couche par une couche intermédiaire intrinsèque, caractérisé en ce que sa fenêtre d'entrée est formée dans au moins une partie de ladite couche semi-conductrice qui recouvre la majeure partie de la surface externe dudit corps et en ce que un de ses contacts étant agencé sur ladite zone, l'autre desdits contacts est agencé sur ladite couche semi-conductrice, sur la partie de celle-ci la plus proche de la portion la plus externe, par rapport audit corps, de ladite zone. 2.-Détecteur semi-ccrducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le corps cristallin présente la forme d'une plaquette dont ladite couche semi-conductrice recouvre l'une de deux grandes faces et au moins une partie des faces latérales, tandis que ladite zone est formée sur l'autre des dites grandes faces de la plaquette, le contact relié à ladite couche étant disposé sur la portion desdites faces latérales la plus proche de la grande face portant ladite zone. 3.- Détecteur semi-conducteur selon la revendication 1, comportant un évidement dont les parois portent ladite zone, caractérisé en ce que l'un des contacts du détecteur est agencé, à l'intérieur de l'évidement, sur ladite zone, tandis que 11 autre desdits contacts est agencé sur la partie de ladite couche semi-conductrice disposée au voisinage de la face dudit corps dans laquelle débouche ledit évidement. 4.- Détecteur semi-conducteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que le corps semi-conducteur et l'évidement sont cylindriques et coaxiaux. 5.- Détecteur semi-conducteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que le corps semi-conducteur et l'évidement sont hémisphériques et sensiblement cylindriques. 6.- Détecteur semi-conducteur selon l'une quelconque des revendications 3 ou 4, caractérisé en ce que l'évidement traverse le corps de part en part. 7.- Détecteur semi-conducteur selon la revendication 1s, caractérisé en ce que ladite zone est formée par un noyau interne affleurant une face externe dudit corps et en ce que l'un des contacts du détecteur est agencé sur la partie extérieure de ladite zone, tandis que l'autre desdits contacts est agencé sur la partie de ladite couche semi-conductrice disposée au voisinage de la face dudit corps dans laquelle affleure ladite zone. 8.- Détecteur semi-conducteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la fenêtre d'entrée des rayonnements est formée par une portion de ladite couche semi-conductrice éliminée au moins partiellement. 9.- Détecteur semi-conducteur selon la revendication 8, caractérisé en ce que la fenêtre d'entrée est formée par une portion de la couche intermédiaire intrinsèque de laquelle la couche semi-conductrice a été éliminée et recouverte d'une mince couche métallique. 10.- Détecteur selon l'une quelconque des revendications 8 ou 9, caractérisé en ce que ladite couche semi-conductrice est éliminée au moins partiellement de la totalité de la surface du corps semi-conducteur, excepté au voisinage de ladite zone. 11.- Détecteur semi-conducteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le corps semi-conducteur est en germanium de type P, la couche semiconductrice comportant de l'indium, tandis que ladite zone et la couche intermédiaire intrinsèque comportent du lithium. 12.- Détecteur semi-conducteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le corps semi-conducteur est en silicium ou tellurure de cadmium de type P, la couche semi-conductrice et la couche intrinsèque comportant du lithium, tandis que ladite zone comporte de l'indium. 13.- Détecteur semi-conducteur selon l'une quelconque des revendications Il ou 12, caractérisé en ce que la couche ou la zone comportant de l'indium est en un alliage galliumindium. 14.- Détecteur semi-conducteur selon les revendications 9 et Il prises simultanément, caractérisé en ce que la mince couche métallique èst en un métal précieux compris dans le groupe formé par l'or et le platine. 15.- Détecteur semi-conducteur selon les revendications 9 et 12 prises simultanément, caractérisé en ce que la mince couche métallique est en aluminium. 16.- Procédé de réalisation d'un détecteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel, le corps semi-conducteur étant initialement de type P, on obtient ladite couche semi-conductrice externe, ladite couche intermédiaire intrinsèque et ladite zone par dépôt, puis diffusion d'ions lithium, caractérisé en ce que, après formation desdites couches et zone, on élimine au moins partiellement ladite couche externe et on forme la fenêtre d'entrée des rayonnements, tout en laissant subsister une partie de ladite couche au moins au voisinage de ladite zone, après quoi on agence les contacts du détecteur, l'un de ceux-ci étant disposé sur ladite zone et l'autre sur la partie restante de ladite couche semi-conductrice la plus proche de la portion la plus externe, par rapport audit corps, de ladite zone.