Brevet FR2134361A1 — publié le 19721208

La présente invention concerne les dispositifs d'affichage et d'illumination à filaments incandescents ainsi que les procédés de fabrication de tels dispositifs et, nlus particulièrement, des agencements améliorés de filaments incandescents ainsi que des procédés de fabrication de tels agen-5 cements, notamment en ce qui a trait, par exemple, aux dispositifs d'affichage à filaments incandescents. Conformément aux principes de la présente invention, des techniaues de fabrication planaires sont employées pour réaliser des éléments incandescents améliorés du genre "microfilaments" olanires pouvant aisément être utilisés dans des dispositifs d'affichage et d'illumination 10 intégrés. Jusqu'à présent, les filaments destinés à de tels dispositifs ont en général été fabriqués en connectant individuellement chaque filament, quel qu'en soit le type, à des bornes appropriées faisant également fonction de support. Cette méthode prend évidemment beaucoup de temps, est extrêmement 15 coûteuse, et limite les dimensions et la forme des filaments qui peuvent en pratique être réalisés. Par exemple, l'un des dispositifs d'affichage communément employés dans l'art antérieur est fabriqué en liant auxdites bornes des enroulements de fil faisant fonction de filaments incandescents individuels. Il est évident que le procédé de liaison qui doit être employé 20 en pareil cas est compliqué et coûteux, et que les dimensions, la forme et l'efficacité du dispositif fabriqué sont limitées. Etant donné que ces enroulements faisant fonction de filaments doivent être liés aux bornes qui les supportent, il est nécessaire que les filaments individuels soient tendus et aient une forme rectiligne. Il n'est donc pas 25 possible de donner de façon sélective aux différents filaments des formes particulières. Il est en conséquence nécessaire, non seulement que chacun des filaments soit rectiligne, mais aussi, lcrsqu'ils sont installés dans un dispositif d'affichage, que des dispositions particulières soient prises pour que les filaments se recouvrent aux bornes auxquelles ils sont connectés 30 afin de réduire au minimum les zones d'obscurité dans les symboles affichés. Cela est dû, en partie au moins, au fait que les Dertes de conduction qui se produisent aux bornes des filaments s'opposent à une illumination adéquate de la totalité de la longueur des filaments. Lorsque, par exemple, des caractères alphanumériques sont réalisés oar illumination sélective de différents 35 filaments, ces derniers sont disposés de panière à se recouvrir à leurs bornes afin que la totalité de le langueur des segments de ligne constituant le caractère alphanumérique soit illuminée et que le caractère paraisse relativement continu. Un tel agencement est décrit de façon détaillée dans le brevet des E.U.A n° 3 408 523 délivré le 29 Octobre 1960. 40 On voit donc que la fabrication de filaments incandescents dans les 72 09921 2 2134361 conditions décrites ci-dessus et dans le brevet précité exi^e des procédés incommodes et complexes. De plus, les dispositifs d'affichage ainsi fabriqués sont épais, volumineux, et d'une efficacité médiocre, car, afin que les filaments se recouvrent» il est nécessaire de les disposer dans des Dlans 5 différents. La réduction de l'épaisseur des disnositifs implique évidemment des tolérances critiques et pose de difficiles problèmes de réalisation pratique qui affectent considérablement leur fiabilité. L'un des objets de la présente invention est donc de fournir un procédé amélioré de fabrication de filaments incandescents. 10 Un autre objet de l'invention est de fournir un dispositif d'affichage amélioré à filaments incandescents ainsi qu'un type de filament amélioré destiné à ce dispositif. Un autre objet de l'invention est de fournir un filament incandescent amélioré destiné à être utilisé dans des dispositifs d'affichage et dans 15 des dispositifs analogues. Un autre objet de l'invention est de fournir un dispositif amélioré d'affichage de caractères alphanumériques. Un autre objet de l'invention est de fournir un procédé extrêmement efficace de fabrication de dispositifs d'affichage intégrés à filaments 20 incandescents. Un autre objet de l'invention est de fournir un procédé de fabrication de dispositifs d'affichage à filaments incandescents dans lesquels tous les filaments de chaque dispositif se trouvent dans un plan unique, chacun des dispositifs pouvant prendre n'importe quelle forme désirée. 25 Un autre objet de l'invention est de fournir un dispositif dCaffichage à filaments incandescents qui puisse être fabriqué sans assemblage mécanique. Un autre objet de la présente invention est de fournir un dispositif d'affichage amélioré à filaments incandescents dans lequel ces derniers deviennent incandescents à des températures plus basses que précédemment 30 ce qui permet d'augmenter leur durée de vie. Ce résultat est obtenu parce que le filament planaire, conformément à la présente invention, fournit une plus grande surface de radiation dans les limites des dimensions des caractères employées. Un autre objet de l'invention est de fournir un dispositif d'affichage 35 amélioré ainsi qu'un filament incandescent d'un prix de revient peu élevé et présentant une fiabilité élevée ainsi qu'un meilleur rendement. Bien que des techniques de fabrication planaire aient précédemment été appliquées à divers procédés de fabrication de circuits intégrés et de dispositifs semiconducteurs, ces techniques n'ont pas été employées jusqu'à 40 présent aux fins de la fabrication de filaments incandescents conformément 72 09921 3 2134361 aux principes de la orésente invention. L'un des problèmes aue pose la technologie nlanaire de l'art antérieur se rapoorts aux croisements effectués dans les circuits intégrés. On trouvera à titre d'exemple une description de ce oroblème et de certaines mesures 5 prises pour le résoudre dans l'article de Leoselter intitulé "New Gold Cros-sovers Interconnect Integrated Circuits", paru dans le numéro de Février 1968 de la publication intitulée "Bell Laboratories pecord". Un procédé, conforme aux principes de la présente invention, de fabrication, soit individuellement, soit en lots, de "microfilaments" incandescents, 10 faisant appel à une technologie planaire, est décrit ci-après, ce procédé oermettant de réaliser sans assemblage mécanique des ensembles de dispositifs d'affichage et de dispositifs analogues, de telle sorte que tous les filaments se trouvent dans un plan unioue. Le dispositif d'affichage ainsi fabriqué est peu onéreux, simple, fiable et efficace, avec des éléments incandescents 15 auxquels on peut donner toute forme désirée et qui fonctionnent à des températures d'illumination moyennes réduites. D'autres objets, caractéristiques et avantages de la orésente invention ressortiront mieux de l'exposé qui suit, fait en référence aux dessins annexés à ce texte, qui représentent un mode de réalisation préféré de celle-ci. 20 La figure 1 représente une série d'étapes A-J, oui constituent des exemples typiques des étapes qui peuvent être emplpyées pour la mise en oeuvre du procédé de la présente invention. La figure 2 représente une vue en perspective d'une configuration typique de filaments incandescents obtenuB à l'aide du procédé de la présente invention. 25 La figure 3 représente une série d'étapes A-F, qui sont des exemples typiques de celles qui peuvent être employées aux fins de la réalisation d'un filament du tvpe à canaux, conformément à la présente invention. La figure 4 représente une série d'étapes A-D, analogues à celles de la figure 1, et qui permettent de remplir un substrat à canaux afin de fournir 30 un support provisoire, puis de vider ce substrat de manière à ne laisser qu'un filament libre reliant les extrémités du canal à la manière d'un pont. La figure 5 représente une cellule typique d'affichage à 16 segments de caractères alphanumériques fabriauée, de même qu'un grand nombre de cellules identiques, à l'aids d'un uniaue procédé, conformément à la orésente invention. 35 La ^igure 6.représente une matrice typique de 5 x 7 filaments incandes cents fabriauée, ée même qu'un grand nombre de matrices identiques, à l'aide d'un unique procédé, conformément à la présente invention. □n a représenté sur la figure 1, les principales étapes, A-J, de la mise en oeuvre d'un procédé de fabrication d'un "microfilament" du typa 40 représenté en perspective sur la figure 2. 72 09921 4 2134361 Pendant l'étape A, un substrat 1, constitué par exemple Dar de la céramique, est d'abord recouvert d'une couche 3 en ratériau réfléchissant. On notera que le substrat 1 Deut être constitué par l'un auelconcue de différents supports sur lesquels un matériau réfléchissant, tel que du métal, peut 5 être déposé. La couche 3 doit servir de surface réfléchissante pour le filament incandescent qui sera finalement obtenu. On notera également que la couche 3 peut être déposée par pulvérisation ou toute autre technique classique. La couche 3, qui est de préférence en chrome ou en tungstène, est ensuite décapée de manière à obtenir la configuration désirée. Comme le montre l'éta-10 pe B, cette configuration peut avoir une forme analogue à celle du filament incandescent que l'on désire fabriquer. Ceci ressort plus clairement de la figure 2, ol la configuration de la couche réfléchissante 3 est identique à celle du filament incandescent 15. La couche 3 ayant été décapée (étape B], on dépose sur celle-ci (étape 15 C) une couche 5 dont la fonction est de servir de support à une couche de matériau incandescent qui sera ultérieurement appliquée. La couche 5 peut être en verre, par exemple en verre Corning du type 7070. On notera que, bien qu'un unique filament incandescent soit décrit à l'aide de la figure 1, un nombre quelconque de filaments incandescents peut être fabriqué à 20 l'aide de ces mêmes étapes. Ainsi, les différentes étaDes de déûSt et de décapage pourraient évidemment servir à fabriquer dans le même temps un nombre quelconque de filaments ayant des configurations différentes. En fait, l'une des caractéristiques les qlus importantes de la présente invention réside dans le fait qu'elle permet la fabrication simultanée d'un strand 25 nombre de cellules d'affichage identiques comportant des filaments incandescents. Après le déoôt de la couche 5, qui peut être en verre, des trous sont percés au travers de cette couche et du substrat (étape D). Ces trous peuvent être perçés à l'aide de diverses techniques. Par exemole, il est commode 30 d'utiliser une technique faisant appel à un faisceau d'électrons. Les trous peuvent également être perçcés mécaniquement. Les trous 7 et 9 (étape D] sont ensuite remplis d'un matériau conducteur afin de former les bornes 11 et 13 (étape E). Ce remplissage peut être effectué par électroDlaquage, les trous étant remplis, par exemple, de cuivre. Divers métaux autres que 35 le cuivre oeuvent évidemment être employés pour réaliser les bornes 11 3t 13. Ces bornes doivent surtout être suffisamment résistantes pour supporter ultérieurement le filament incandescent qui sera suspendu entre elles, et être conductrices. Une fois les bornes 11 et 13 réalisées, une couche de matériau incandes-40 cent 15 est déposée sur la couche de verre 5 et mise en contact avec, les 72 09921 5 2134361 bornes (étape F]. Dans la réalisation préférée, la couche 15 est en tungstène, mais d'autres matériaux incandescents connus peuvent également être utilisés. Diverses techniques connues peuvent être utilisées pour déposer cette couche incandescente, par exemple une technique d'évaDoration cathodique de pulvéri-5 sation ou de dépôt chimique en phase vapeur. Un procédé particulier permettant de déposer la couche 15 en tungstène à l'aide de techniques sélectives de dépôt chimique en Dhase vapeur est décrit plus loin à l'aide de la figure 3. La couche 15 est ensuite décapée de manière à obtenir la configuration 10 désirée du filament (étape G). Comme on l'a précédemment indiqué, une configuration possible du filament est représentée sur la figure 2. Différentes techniques de décapage peuvent être utilisées à^bétte fin. Par exemple» des techniques classiques faisant appel à l'emploi ds matériaux photorésistants et de décapage chimique peuvent aisément être utilisés pour décaper 15 la couche 15 de la façon désirée. On sait que l'emploi de techniques utilisant des matériaux photorésistant permet de fabriquer des configurations de filament minuscules et complexes. L'importance de l'emploi de ces dernières techniques est mise en évidence par le fait que, comme on le verra plus loin, elles permettant de fabriquer des filaments individuels de dimensions extrêmement 20 réduites en vue de leur utilisation dans un ensemble matriciel, résultat que les techniques classiques de fabrication mécanique ne permettraient pas d'obtenir. On notera également que ces techniques classiques de photodécapage peuvent être employées pour décaper la configuration désirée dans la couche réfléchissante 3. 25 Une fois le filament incandescent décapé conformément à l'étape G, une couche de matériau conducteur 17 est déposée sur la surface opposée 19 du substrat 1 et est mise en -contact avec les bornes 11 et 13 (étape H]. La couche 17 est ensuite décapée de telle sorte que seules les parties 21 et 23 de la couche demeurent respectivement en contact avec les bornes 30 11 et 13 (étape I). Les parties 21 et 23 constituant des contacts électriques peuvent avoir la forme de doigts de contact ou de fils conducteurs. La couche 17 peut être en matériau conducteur quelconque, par exemple en cuivre. La couche 5 formant support est ensuite retirée (étape J] à l'aide d'un procédé approprié quelconque, par exemple par décapage chimique. 35 La figure 2 est une vue en perspective d'une configuration typique d'un filament incandescent fabriqué conformément à la présente invention. Il ressort de la figure 2 que le substrat 11 peut être constitué par une céramique quelconque, comme on l'a précédemment mentionné à propos de la figure 1. De même, le filament 15 peut être fabriqué à partir de différents 40 matériaux incandescents. L'agencement représenté sur la figure 2 ne constitue 72 09921 6 2134361 qu'un exemple des différents agencements que la présente invention permet de fabriquer. A cet égard, le filament 15 Deut avoir diverses configurations. De même, le substrat 1 peut avoir n'importe quelles dimensions raisonnables et peut supporter autant de filaments que le permettent les dimensions choisies. 5 En ce qui concerne la fabrication de filaments multiples sur un substrat afin de créer, par exemple, une cellule d'affichage, ou autre dispositif analogue, on notera que les différentes étapes décrites à propos de la -Figure 1 dans le cas d'un unique filament restent inchangées. Les techniques de la présente invention permettent donc de réaliser des ensembles de cellules 10 d'affichage. La figure 3 représente une série d'étapes A-F qui peuvent remplacer certaines des étapes de la figure 1. On notera à cet égard que les étapes de la figure 1 permettent d'obtenir un filament incandescent qui, dans un plan, a la forme de créneaux. En principe, le filament 15 de la figure 2 peut avoir une largeur de l'ordre de 12 microns et une épaisseur de l'ordre de 1 micron, et se trouver à une distance de 0,12mm au-dessus du substrat 1. Des filaments d'une largeur et d'une épaisseur inférieures à celles-ci peuvent évidemment être fabriqués, mais il est également évident que la rigidité du filament constitue un facteur important dans tout agencement 20 pratique. A cet égard, les étapes représentées sur la figure 3 illustrent un procédé qui peut être employé pour donner au filament la forme de canaux afin d'augmenter sa rigidité. Les étapes préparatoires représentées sur la figure 3 sont analogues à celles représentées sur la figure 1. En conséquence, l'étape A de la figure 2.5 3 correspond à l'étape C de la figure 1 et nécessite les mêmes étapes préalables, c'est-à-dire les étapes A et B de la figure 1. De même, l'étape B de la figure 3 correspond à l'étape D de la figure 1. Cependant, acres que les trous 7 et 9 aient été percés afin de créer les bornes 11 et 13, au lieu de déposer une couche de matériau incandescent, comme indiqué dans l'étape 3^ F de la figure 1, une couche de matériau, qui répond de façon sélective au dépôt, chimique en phase vapeur, du matériau incandescent à employer, est ensuite déposée. Cette dernière couche est la couche 25 de l'étape C, figure 3, et peut être constituée par l'un des différents matériaux qui sont capables de trovoquer la nucléation de la vapeur du matériau incandescent 35 à déposer. Si, par exemple, le matériau incandescent à employer est du tungstène et si la couche 5 est en verre Corning 7070, la couche 25 peut être en cuivre, puisque le cuivre provoquera la nucléation de la vapeur de tungstène cependant que le verre Corning 707Q aura pour effet d'aplanir la couche de vapeur de tungstène» 40 Après que la couche 25, qui est par exemple en cuivre, ait été déposée 72 09921 7 2134361 sur la couche 5, nui est car exemple en verre Corning 7070, la couche de cuivre, qui doit agir % la façon d'un moule, est décapée de manière à obtenir la configuration désirés du filament à fabricuer. Comme le montre la -figure 3, étape D, la couche de cuivre 25 est décapée de manière à former un moule 5 de cuivre présentant une configuration analogue à celle de l'élément 15 de la figure 2. Les dimension? de ce moule doivent évidemment être inférieures à celles du filament incandescent qui devra être réalisé au-dessus de lui. Comme le montre la figure 3, la section du moule en cuivre 27 est inférieure à celle des bornes 11 et 13 et occupe une position centrale sur ces bornes. 10 'Jne fois que la couche de cuivre 25 a été décapée pour former, un moule, l'étape de dénôt sélectif oar vapeur chimique est éffsctuée. En conséquence, la structure de la figure 3101 est introduite dans une chambré de déoct chimique en phase veneur dans laquelle elle est exposée à une vapeur de tungstène. Cette dernière se dépose de façon sélective sur le cuivre nuisque 15 la surface de la couche 5 en verre a nour effet d'aplanir la vapeur de le couche de tungstène, ce qui empêche toute accumulation importante de tungstène sur celle-ci. Une fois que l'épaisseur désirée de tungstène a été déposée sur le cuivre, de ^açon à constituer un -ilament incandescent 29, l'étape de dé^Bt chimique est terminée et le dispositif est retiré de la chambre. 20 La couche 5 en verre et le cuivre sont ensuite retirés car décapage, de manière à laisser, de la même -^açon eue celle précédemment décrite à propos de la ^igure 1, le filament incandescent susoendu entre les bornes 11 et 13 (étape F). Comre on peut le voir, 1s filament-résultait 29 a la forme d'un canal, ce qui lui confère une rigidité supplémentaire» 25 La figure 4 représente une série d'étape? -A-C d'une autre variante du orocédé de -Fabrication de filaments incandescents de la figure 1. Dans cette nouvelle variante, au lieu d'employer une couche provisoire faisant fonction de support, comme dans les cas précédemment décrits, on se sert d'un substrat 31 en céramiaue comportant un canal 33 pouvant être formé 30 nar décapage pu par toute autre tschnipue classioue ds retrait de matériau. Comme dans le cas de 72 09921 3 2134361 le canal 33 sera rempli de cuivre [référence 39 de la figure 4(8)). Le canal 33 ayant été rempli, une couche de matériau incandescent est alors déposée, nuis décapée de manière à constituer le filament incandescent décrit précédemment, comme on peut le voir sur la figure 4(C) où le filament 5 incandescent 41 présente une forme analogue à celle décrite à propos des figures 1 et 2. Après décapage du filament 41, le cuivre 39 qui remplit le canal 33 peut être retiré de manière à laisser le filament 41 relier les parois du canal à la manière d'un pont et en contact avec les bornes 35 et 37. On observera que, lorsque la couche 5, faisant fonction de support, 10 de la figure 1 et le corps 39, faisant également fonction de support, de la figure 4, sont en matériau isolant, il n'est pas absolument nécessaire de les retirer. Il est cependant évident qu'en pareil cas, le filament incandescent fonctionnerait à des niveaux de puissance inutilement élevés. Il est donc préférable de suspendre une partie substantielle du filament incan-15 descent dans l'air afin de diminuer la dissipation de chaleur. La figure 5 représente une cellule d'affichage classique alphanumérique à 16 segments dont les filaments incandescents sont fabriqués conformément à la présente invention. Comme on peut le voir, chaque segment présente une configuration à créneaux analogue à celle précédemment décrite. D'autres 20 configurations peuvent évidemment être employées. Le Drocédé de fabrication de la cellule à 16 segments de la figure 1 est le même que celui décrit, par exemple, à Dropos de la figure 1■ Cependant, il est évident qu'il convient d'utiliser les différentes étapes du Drocédé aux fins de la fabrication simultanée d'ensembles de segments, et non pas d'un unique élément. A titre 25 indicatif, la cellule de la figure 5 a une hauteur de 3,81mm et une largeur de 2,54mm. Il conviendrait donc, aux fins de la fabrication d'une cellule du type représenté sur la figure 5, de choisir initialement un substrat 15 en céramique de dimensions légèrement supérieures à celles d'un ensemble de cellules (caractères alphanumériques). Une couche faisant fonction de 30 support provisoire serait ensuite déposée sur ce substrat (non représenté) et des trous seraient percés dans celui-ci à des emplacements appropriés. Ces trous seraient percés, par exemple, à l'aide d'une technique faisant appel à l'emploi d'un faisceau d'électrons de manière à réaliser les bornes 43-B3 de la figure 5. Ces trous seraient ensuite remplis et une couche de 35 tungstène, par exemple, serait déposée sur la totalité de la surface de la couche faisant fonction de support, comme dans le cas de la figure 1 précédemment décrite. Les différents filaments de la figure 5 seraient ensuite formés à l'aide de techniques de photodécapage et la couche faisant fonction de support serait ensuite retirée. Comme on peut le voir sur la figure, la section des différentes bornes est sensiblement plus grande que celle 40 72 09921 9 2134361 des filaments représentés. Une cellule alphanumérique à 16 segments analogue à celle représentée sur la figure 5, utilisant un filament de tungstène d'une largeur d'environ 12 microns et d'une épaisseur d'environ 1 micron, suspendue à 0,12mm au-dessus du subtrat à l'aide de bernes séparées par un intervalle de 2,54mn, fonctionne en principe à une température de 1200°C. Des températures de fonctionnement de cet ordre confèrent au filament une longue durée de vie. La figure 6 représente un autre exemple d'une cellule d'affichage à filaments incandescents fabriquée confcrmément à la présente inventipn. Comme on peut le voir, la figure 6 comporte un ensemble de filaments incandescents individuels 85. Ces filaments individuels, qui peuvent avoir n'importe quelle forme planaire, peuvent être adressés de façon sélective de manière à créer des caractères alphanumériques choisis. En principe, la cellule alphénumérique de la figure 6 peut être une matrice 5x7 ayant, par exemple, une hauteur de 3,81mm et une largeur de 2,54mm, la distance centre à centre entre les filaments incandescents étant de 0,63mm. Il est évident que, dans ces conditions, les dimensions des différents filaments peuvent être de l'ordre de 0,38mm, par exemole. Il est évident qu'un dispositif d'affichage constitué par des matrices de filaments, incandescents du type et des dimensions indiqués ci-dessus, ne peut pas être fabriqué, en pratique, à l'aide de techniques d'assemblage classiques. Cependant, en utilisant les techniques de décapage planaire de la présente invention, une grande quantité de cellules d'affichage de ce type peuvent être fabriquées simultanément. On notera que, bien que la configuration en créneaux ou en zig-zag du filament incandescent planaire décrite ci-dessus n'est que l'une des nonbreuses configurations susceptibles d'être réalisées à l'aide de la présente invention, cette configuration particulière constitue un compromis entre la rigidité requise pour qu'un filament puisse être tendu entre des bornes-séparées par des distances allant jusqu'à 2,54mm, et la caractéristique d'impédance de commande électrique requise pour être adaptée aux circuits logiques standard utilisés dans le dispositif de commande d'affichage. De plus, cette ccnfigu-ration permet d'obtenir une source d'illumination à la fois efficace et visuellement agréable. A cet égard, il convient de nnter que, puisqu'un norrbre relativement faible de bornes de supports peuvent être fabriquées à l'aide de la orésente invention, les pertes de conduction aux extrémités des filaments sont réduites au minimum. Afin de réduire ces pertes davantage encore, les filaments peuvent être fabriqués de telle sorte qu'ils s'amincissent au fur et à mesure qu'ils se rapprochent des bornes. On a également constaté que les filaments de tungstène réalisés à l'aide 72 09921 10 2134361 du procédé décrit à propos de la figure 1, présentent une légère courbure vers le haut au-dessus de la surface du substrat 1, comme le montre la figure 2, après le retrait de la couche 5 faisant fonction de suoport provisoire. Ceci présente un avantage évident, car, lorsque le filament est excité, 5 il se dilate en réponse à la chaleur ainsi engendrée. En conséquence, grâce à cette légère courbure, le filament, lorsqu'il se dilate, s'écarte de la surface du substrat 1, ce qui prévient tout contact éventuel avec celui-ci. On notera à ce propos que cette légère courbure vers le haut peut être incorporée au procédé en choisissant, pour réaliser la couche faisant fonction 10 de support provisoire, un matériau dont le coefficient de dilatation thermique est nettement inférieur à celui du substrat, de telle sorte que les couches combinées s'incurvent vers le haut dans leur partie centrale lors du refroidissement, après le dépôt de la couche servant de support. Bien que l'on ait décrit dans ce qui précède et représenté sur les 15 dessins les caractéristiques essentielles de l'invention appliquées à un mode de réalisation préféré de celle-ci, il est évident que l'homme de l'art peut y apporter toutes modifications de forme ou de détail qu'il juge utiles, sans pour autant sortir du cadre de ladite invention. 72 09921 11 2134361 REVENDICATIONS 1.- Procédé de fabrication de filaments incandescents, caractérisé en ce nu'il comprend les étapes suivantes: formation d'une couche servant de suoport sur une Dartie au moins d'une 5 surface d'un substrat isolants formation de trous à des errnlacements tels au'une Dartie au moins de ladite couche servant de suoDort soit disposés entre des paires choisies desdits trous,- formation de bornes conductrices dans lesdits trous; 1° formation d'un filament incandescent à surface relativement olate sur ladite couche de telle sorte aue ledit filament s'étende de façon continue entre lesdites paires de bornes conductrices; et retrait de ladite couche servant de support de manière oue les extrémités desdits filaments soient supportées par lesdites bornes et en contact avec 15 celles-ci. 2.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite couche servant de support sert à aonlatir la couché de vapeur du matériau incandescent utilisé et en ce que lesdits filaments incandescents sont réalisés en formant une configuration de matériau qui provoquera la nucléation de 20 la vapeur dudit matériau incandescent entre lesdites paires de bornes, puis en déposant la vapeur dudit. matériau incandescent sur celle-ci de telle sorte que ledit filament incandescent soit formé sur ladite configuration de matériau provoquant la nucléation. 3.- Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce aue ledit matériau 25 incandescent est du tungstène, ladite configuration de matériau provoquant une nucléation est en cuivre, et ladite couche servant de support est du verre Cornine 707D. 4.- Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3 caractérisé en ce eue ladite étape de retrait de ladite couche servant de support comprend 30 Une étape consistant à retirsr ladite configuration de matériau servant à provonuer la nucléation. 5.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'étape de formation dudit filament incandescent comnrend les étapes suivantes: formation d'une couche de matériau incandescent sur ladite couche servant 35 de support et sur lesdites bornes conductrices; st 72 09921 12 2134361 décapage de ladite couche de matériau incandescent de manière à former un filament incandescent relativement plat qui ='étende de façon continue entre lesdites bornes. B.- Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce aue lesdits filaments 5 incandescents sont formés de manière à présenter une configuration en créneaux entré lesdites bornes. 7.- Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que ledit filament incandescent est en tungstène. « 8.- Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que ledit mateî^au 10 incandescent est décapé à l'aide de techniaues de photodécaoage. 9.- Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que ledit matériau incandescent est décapé de manière à constituer un filament ayant une configuration en créneaux ou sinueuse. 10.- Procédé selon l'une Quelconque des revendications précédentes caractérisé 15 en ce nue, avant de former la couche servant de support sur le substrat isolant une couche de matériau réfléchissant est dénosée sur ledit substrat isolant. 11.- Procédé selon la revendication 10 caractérisé en ce que la ceSuÊhe de matériau réfléchissant est décapée selon la configuration que l'on veut obtenir pour le filament incandescent. 20 12.- Procédé selon l'une ouelconque des revendications Drécédentes caractérisé en ce que l'on forme sur la surface dudit substrat opposée à celle o-j a été formée la couche servant de support une couche d'un matériau conducteur et en ce que l'on décape "ledit matériau de manière à ce rue des lignes conductrices soient formées à partir des extrémités desdites bornes conductrices. 25 13.- Dispositif d'affichage mettant en oeuvre les filaments incandescents obtenus par le procédé de fabrication décrit dans l'une quelconaue des revendications précédentes.