Brevet FR2124313A1 — publié le 19720922

Jusqu'a présent, la fabrication d'ensembles semi-conducteurisolant-métal intéressants a été compliquée par la tendance des surfaces non dopées à subir une auto-inversion. Les tentatives précédemment faites pour limiter ou contrecarrer les effets d'une telle auto-inversion des surfaces non dopées prévoient, par exemple, l'utilisation de techniques dites de "barrages de voSe formés par diffusion et le dopage à l'aide d'or ou d'autres- métaux nobles. Toutefois, les techniques de "barrages de voie" imposent, dlune part, des opérations de masquage supplémentaire et exigent, d'autre part, une superficie fortement accrue, ce qui limite beaucoup la densité fonctionnelle de la structure résultante; par ailleurs, les autres procédés permettant de contrecarrer l'autoinversion des surfaces non dopées, par utilisation d'or, ou autres traitements susceptibles de limiter l'intersion dans une certaine mesure, ont des effets annexes nuisibles, tels qu'une augmentation des fuites aux jonctions. Or, le procédé suivant l'invention per iet de supprimer les problèmes posés par l'auto-inversion, sans opérations de masquage supplémentaire ni mise en oeuvre de matériaux risquant d'accroftre les fuites aux jonctions. Comme on 11 exposera, le procédé suivant l'invention exige au maximum quatre opérations de masquage et n'exige, pour un ensemble de fonctions équivalent, qu'une superficie plutôt inférieure que supérieure à celle nécessaire suivant la technique antérieure . Par exemple, un procédé antérieur typique utilisant des barrages de voies diffusés implique au moins cinq stades de masquage et exige en outre plus de superficie que la réalisation de dispositifs classiques métal-oxyde-semi-conducteur. En outre, l'application de l'invention n'augmente pas les fuites aux jonctions,com- me c'est le cas pour le dopage à l'or. Le procédé suivant l'invention met en oeuvre des techniques de gravure préférentielle auto-limitative assurant la démarcation automatique des régions désirées, telles-que zones-voies et zones-contacts, dans la pastille de cristal de support. Pour la formation d'une zone-voie, par exemple, et comme on lteosera,une opération de masquage photo-résistant est suivie par l'attaque d'une couche couvrante de bioxyde de silicium,cette attaque s'arrêtant à la surface d'une couche sous-jacente de silicium déposé. On attaque ensuite la couche de silicium sous-jacente à l'aide d'un décapant ou mordant pour le silicium qui agit relativement peu sur les couches de bioxyde de silicium environnantes et sousjacentes.Ce mordant détruit entierement le silicium dans la. région préalablement démarquée par enlèvement du bioxyde de silicium qui la recouvrait. L'attaque $'arrente pratiquement à la surface des couches de nltrure ou de bioxyde de silicium sous-Jacentes. En conséquence, le faible chevauchement dioxyde résultant est seulement dt à la diffusion latérale des régions de course et de plaque ou drain sous un diélectrique nitrure/oxyde. On n'a pas à prévoir de marge de chevauchement sur le masque de grille pour avoir la certitude que la mince région diélectrique s'étende de bout en bout de la source au drain. L'électrode métallique peut présenter un supplément de largeur pour recouvrir et commander toute la région de voie, sans l'effet nocif de suppl6rnent de capacité de Miller, du fait que le bioxyde de silicium des régions de source et de drain-peut avoirj extérieurement à la zone-voie, des milliers drangstrUms d'éFaissèur .Le bioxyde de silicium grossit préférentiellement dans ces régions, où la couche de nitrure/oxyde a été préalablement éliminée par la première opération de masquage, du fait que la couche de nitrure fait obstacle à la diffusion pendant 1 t oXydation ultérieure. De meme, dans les zones-contacts désirées, le procédé décrit ci-dessus assure comme suit une attaque à auto-limitation et à auto-démarcation. Par la seconde opération de masquage, photorésistant, on définit des motifs de contact, dont les pourtours débordent un peu les zones-contacts finalement désirées. On attaque alors le bioxyde de silicium déposé demeurant exposé pour dénuder le silicium déposé sous-jacent. On utilise un mordant attaquant préférentiellement le silicium pour éliminer le silicium déposé alors exposé, le bioxyde de silicium déposé situé au-dessus et autour du silicium exposé jouant le rôle de masque pour confiner l'attaque du silicium déposé aux seules zones-contacts désirées.L'attaque du silicium s'effectue jusqu a ce que tout le silicium soit éliminé de la zone-contact et l'action du mordant préférentiel vs'arrente pratiquement quand ce dernier atteint la surface du bioxyde de silicium sous-jacent. Après enlèvement du masque photo-résistant et oxydation ultérieure des surfaces de silicium exposées, on pose un nouveau masque photorésistant pour pouvoir éliminer sélectivement l'oxyde isolant fraichement formé des ,zones-contacts, afin que des connexions métallisées.puissent ensuite entrer en contact électrique avec les zones voulues.Ce nouveau masquage est à auto-démarcation en ce sens qu'on peut tolérer des écarts sur-ltemplacement et sur les dimensions du motif pourvu qu'une partie de la zone-contact désirée demeure exempte de masque et que le masque couvre la couche de bioxyde de silicium fratchement formée sur les tranches précédemment exposées du silicium déposé. Comme on l'exposera, le procédé suivant l'invention facilite la fabrication ultérieure d'un grand nombre de dispositifs semi-conducteurs tels que dispositifs complémentaires, à voies N, à voies P et bipolaires, car les zones-voies protégées par la structure nitrure-oxyde faisant obstacle à la diffusion ne sont pas sensiblement affectées par les stades ultérieurs de fabrication de semi-conducteurs, tels qutoxydaotion par voie sèche ou humide. Suivant le procédé général considéré,une nouvelle attaque est nécessaire pour faire communiquer les contacts de l'ensemble avec les zones ayant subi une diffusion , dites ci-après ozones diffusées". Le procédé suivant l'invention augmente le rendement et la fiabilité en prévoyant, pour cette attaque, un écran antimordant qui protège les zones-voies critiques de l'ensemble pour le cas où la couche photo-résistante présenterait des défauts, tels que des piqûres, Le procédé suivant l'invention permet aussi de s'opposer à l'inversion superficielle indestra-kle. En particulier, les zones de silicium déposé sont des électrodes noyées adjacentes à un ou plusieurs côtés de telle ou telle zone diffusée et qui peuvent notamment entourer complètement les zones source-drajn de tout dispositif.Ces électrodes distinctes , noyées, en silicium déposé, peuvent entre à des potentiels électriques égaux ou différentes, selon l'effet désiré sur l'inversion superficielle. Les divers potentiels électriques appliqués aux dispositifs pourront être fixes ou pulsés, suivant le cas. Le procédé suivant l'invention permet de réduire l'aire de la zone-ontact nécessaire entre la couche conductrice métallisée et les régions diffusées sous-jacentes. Cette réduction est possible parce que le pourtour de chaque région diffusée s' étale vers l'extérieur pendant les traitements thermiques, en stécartant de la ligne de démarcation initiale.La technique d'attaque préférentielle adoptée pour le masquage de contacts ultérieur limite attaque au seul pourtour initialement démarqué des régions ayant alors diffuse. Ainsi,on peut supprimer les marges et tolérances qui limitent les aptitudes et obtenir un contact fiable entre la couche métallisée et la couche diffusée sans risquer de contact indésirable, nuisible au rendement, entre la couche métallisée et le substrat ou corps de semi-conducteur. La suppression de ces marges et tolérances permet d'obtenir des dispositifs et structures d'encombrement plus faible, à fonctionnement de qualité. Le procédé permet encore d'obtenir des jonctions à scellement permanent en faisant diffuser les jonctions sous le diélectriw que nitrure/oxyde et en évitant de les ré-exposer à des milieux éventuellement contaminants, par exemple dans des fours ainsi que pendant les opérations de masquage photo-résistant de masquage et d'attaque. Le procédé suivant l'invention permet donc de s'opposer à l'inversion superficielle. En outre, l'auto-repérage qu'il assure réduit l'aire nécessaire pour la réalisation de contacts fiables et améliore en outre le fonctionnement du dispositif en minimisant la capacité de Miller et la superficie des régions diffusées. Le procédé suivant l'invention est indiqué pour la fabrication de dispositifs et ensembles à effet de champ à voies P, à voies N et com plémentaires et des types bipolaires NPN PNP et complémentaires. L'invention sera illustrée sans être limitée par la description ci-après faite en référence aux figures 1 à 12 qui sont des schémas représentant les diverses étapes successives pour la admise en oeuvre d'un mode de réalisation particulier du procédé selon l'invention. La figure 1 représente un substrat ayant la forme d'une pastille ou couche 1 de semi-conducteur, constituée par exemple de silicium monocristallin. La pastille 1 représentée à la figure 1 peut être obtenue par des techniques usuelles de découpage, polissage et nettoyage. La pastille 1 peut être un semi-conducteur du type N ou du type P. D'une façon conventionnelle, la pastille 1 est rôdée, nettoyée, dégraissée et chimiquement décapée pour éliminer les défauts de rodage de sa surface, et pour préparer la pastille en vue des étapes ultérieures du procédé. Une fois que toutes les opérations ci-dessus ont été réalisées, on dépose ou on forme sur la surface de la pastille 1 un film ou couche 2 dtigolant, cette couche pouvant Entre constituée par exemple de bioxyde de silicium ou d'un autre matériau approprié. La couche isolante 2 peut ëtre réalisée par exemple en oxydant par voie thermique la pastille 1 de semi-conducteur à une température comprise entre 850 et 11500C. L'oxydation est effectuée dans un four en atmosphère d'oxygène sec ou en présence devapeur d'eau à titre d'agent oxydant convenable. Une épaisseur p- propriée de la couche isolante 2 peut aller de 300 à 3000 angs trous. L'oxydation de la pastille 1 en vue de former la couche 2 peut tre réalisée par d'autres moyens, par exemple par une décomposition pyrolytique de siloxanes ou par oxydation d'un silane ou par anodisation du silicium,ou autre moyen analogue. Dans l'étape consécutive du procédé, comme le représente la figure 2 , une seconde couche isolante 3 peut être déposée sur la première couche isolante 2. La deuxième couche isolante 3 est constituée de nitrure de silicium ou d'un autre matériau ou d'un ensemble de matériaux, qui permet d'augmenter les propriétés diélectriques de la première couche isolante 2. Le dépôt de la couche 3 peut être réalisé par une technique quelconque connue; par exemple, on peut obtenir ce résultat par le procédé décrit dans l'article de 9wann et autres paru dans le Journal of Elec trochemical Society, 1967, Vol.144,pp.713-715. On choisit le rapport des épaisseurs des couches 2 et 3 d'après les caractéristiques électriques désirées dans le produit final.Pour l'obtention d'un dispositif à effet de champ,par exemple, l'épaisseur de la couche isolante 3 est du même ordre que celle de la couche isolante 2. On délimite ensuite un motif choisi sur la couche isolante 3 à l'aide d'une couche photo-résistante 4 (figure 3). Pratiquement, il peut être souhaitable de former sur la couche de nitrure de silicium 2 une couche d'oxyde constituant un masque auxiliaire, suivant la technique antérieure. La démarcation au masque photorésistant est assurée par l'une quelconque de techniques existantes bien connues. Par exemple, on recouvre d'abord d'une mince couche photo-résistante 4 la surface de la couche isolante 3. Après séchage , on expose sélectivement la couché photo-résistante à de la lumière ultra-violette projetée à travers les zones transparentes d'un cache en verre-émulsion, appliqué contre la surface de la pastille 1 par dessus la couche photo-résistante 4.Les zones ainsi exposées de la couche photo-résistante polymérisent et subsistent, en formant un motif adhérent résistant à l'attaque,après enlèvement des parties non exposées de la couche photo-résistante. L'élimine tion des parties non exposées de cette couche peut s'opérer à l'aide d'un solvant convenable tel que le xylène. Des compositions photo-résistantes servant couramment à cette fin sont actuellement fabriquées par Eastman-Kodak Company et vendues par elle sous les dénominations "NPR", KHMER et "KPL". L'ensemble résultant,montré sur la figure 3,subit alors un séchage destiné à durcir le motif polymérisé formé par la couche photo-résixtante 4,puis on soumet l'ensemble à une attaque, par exemple à l'acide phosphorique chaud,pour supprimer toutes les parties de la couche isolante 3 non protégées par la couche polymérisée 4,résistant à l'attaque. On élimine ensuite les parties sousjacentes de la couche isolante 2,par exemple à l'aide d'une solution de bifluorure d'ammonium,afin de dénuder certaines parties du substrat 1 semi-conducteur. On élimine ensuite les parties polymérisées de la couche photo-résistante 4,par exemple à l'acide sulfurique. On forme alors dans le substrat 1 des zones diffusées, telles que représentées sur la figure 4, par des moyens et techniques bien connus Par exemple, on fait diffuser des dopants du type N dans un substrat du type P, ou inversement, Les régions diffusées sont indiquées en 5 et 6 sur la figure 4. Par exemple, la région 6 peut représenter la source et le drain- diffusés d'un seul dispositif à effet 8' champ en cours de fabrication à la surface et au sein de la pastille-support 1. La couche nitrure/oxyde 3G/2G constitue alors, dans cet exemple, le diélectrique situé sous la grille du dispositif à effet de champ. Pour assurer, au stade illustré par la figure 4,une diffusion du type P, on peut opérer par exemple, une diffusion classique de bore en utilisant du tri chlorure de bore comme source d'impureté. Le trichlorure de bore est introduit directement à un débit dosé, dans un courant de gaz porteur, qui peut être partiellement formé d'oxygène pour limiter l'apparition de piqûres dans le substrat. La température de diffusion est d'environ 10200C et le temps de diffusion d'environ 60 minutes. Ladiffusion de bore est bien connue du technicien et est décrite dans un ouvrage intitulé "Microelectronies", par Edward Keonjian, édité par la MacGraw Hill Company,lnc., 1963, pages 274-276. On dépose alors sélectivement une couche isolante 7 sur les régions diffusées du substrat semi-conducteur, comme illustré par la figure 5. Par exemple, on peut soumettre l'ensem- ble à une oxydation sélective de la pastille 1 qui provoque la formation de couches de bioxyde de silicium 7 et 7C, qui peuvent subir un grossissement thermique dans le four de diffusion pendant le stade de diffusion illustré par la figure 4. I1 est convenable que les couches de bioxyde de silicium 7 et 7C aient une épaisseur plusieurs fois supérieure à celle des couches d'isola- tion de grille 2G/3G, afin de réduire en proportion la valeur par unité de surface de la capacité de Miller parasite associée au chevauchement de la grille.On peut introduire dans le four de diffusion de l'oxygène ou du gaz humide pour assurer l'oxydation thermique illustrée par la figure 5. Pendant cette oxydation thermique, la couche de nitrure 3 oppose un obstacle au milieu thermiquement oxydant,de sorte qu'on peut obtenir par grossissement toute épaisseur convenable de bioxyde de silicium thermique sur les surfaces du substrat initialement exposées, tandis que les surfaces du substrat protégées par les couches isolantes 2 et 3 ne sont pas affectées. On forme alors une couche 8 de semi-conducteur, tel que du silicium,sur la surface des couches de bioxyde de silicium 7,7C et de la couche de nitrure de silicium 3, 3G, comme illustré par la figure 6. Ce dernier stade peut etre assuré par une technique classique , par exemple par réaction de tétrachlorure de silicium. L'épaisseur de la couche de-silicium 8 peut être de 500 à 5000 A .Par exemple, on peut former la couche de silicium 8 soit par vaporisation sous vide de silicium se déposant sur les couches chauffées 7 et 3,soit dans un tube fermé dans lequel on fait véhiculer par un halogène ou un halogénure du silicium provenant EL'une source maintenue à faible température jusqu'aux couches 3 et 7-r-- tées à haute température, soit dans un tube ouvert dans lequel le silicium se dépose, par réaction de tétrachlorure de silicium ou autres silanes chlorés avec de l'hydrogène, sur la surface des couches d'oxyde et de nitrure chauffées. La température de dépôt de la couche de silicium 8 peut entre voisine de 1200 C et la vitesse de dépôt de l'ordre de 1 à 5 ss .On peut alors doper la couche de silicium déposée à l'aide d'un dopant du type N ou du type P. On peut incorporer le dopant à la couche de silicium pendant dépôt ou le faire ensuite diffuser dans cette couche. Une fois cette opération terminée,on dépose une couche isolante 9,par exemple de bioxyde de silicium (figure 7) sur la couche de silicium 8. On peut opérer ce dépôt de toute manière connue de l'homme de l'art. Par exemple, on peut avantageusement déposer la couche de bioxyde de silicium 9 par oxydation de silane . Cette couche 9 peut avoir, par exemple, une épaisseur de o 3000 à 20.000 A. -On attaque ensuite des parties choisies de la couche de bioxyde de silicium 9, après une seconde opération de masquage photo-résistant illustrée par la figure 8,pour définir les zonesvoies et les zones-contacts.L'attaque sélective de la couche de bioxyde de silicium 9 dénude des parties choisies de la couche de silicium sous-jacente 8, indiquées en 8G et 8C sur la figure 8. On peut alors utiliser un mordant classique pour silicium en vue de supprimer les régions 8G et 8C en silicium déposé, comme illustré par la figure 9, et de dénuder certaines parties 3G de la couche 3 de nitrure de silicium et 7C de la couche 7 de bioxyde de silicium. Cette dernière attaque n'exige pas de masquage par une couche photo-résistante, car la couche de silicium 8 s'élimine beaucoup plus vite que les régions sous-jacentes et environnantes 7 et 9,en bioxyde de silicium. Il en résulte ltenlè- vement de la couche supérieure de silicium dans les régions désirées, telles que zones-voies et zones-contact, mais les régions sous-jacentes en bioxyde et en nitrure de silicium ne sont pratiquement pas affectées.Ainsi, les zones-voies et zones-contacts critiques sont démarquées automatiquement,car l'attaque demeure limitée à a couche supérieure de silicium déposé. Les parties de la couche de silicium 8 qui subsistent entourent les organes formés par diffusion et constituent un réseau d'interconnexion. Ni les dimensions ni l'emplaement du motif n'imposent pour le second masquage de tolérances critiques ni de marges com pensatcires, puisqu'une attaque préférentielle et qui s'arrëte de automatiquement est convenablement délimitée sur/regiontbrécédem- ment formées. Le seul impératif est que les motifs obtenus par enlèvement de la couche photorésistante soient un peu plus grands que les zones -voies et zones-contacts désirées. Les pourtours des motifs de second masquage déterminent ceux des motifs 10 et 11 (figure 8)obtenus par attaque de la couche d'oxyde déposé 9. On peut alors exposer l'ensemble à une atmosphère oxydante portée à une température convenable,par exemple de 9200C,pour oxyder les tranches exposées du silicium et les transformer en régions isolantes 14,en bioxyde de silicium. Après le stade illustré par la figure 10, on procède à un troisième masquage photo-résistant et l'on forme un masque photorésistant polymérisé 15 sur ltensemble, par les moyens classiques décrits plus haut. Dans ce cas, les motifs exposés correspondent aux zones-contacts. On utilise par exemple une solution d'acide fluorhydrique pour éliminer l'oxyde exposé 7Ç dans la zone-contact voulue, qu'on a préalablement démarquée en superposant dans cette région le second motif de masquage au premier, comme décrit cidessus.Dans ce cas, et comme illustré par la figure 11 ,un mordant tel qu'unie solution-tampon d'acide fluorhydrique élimine l'oxyde exposé 7C, mais demeure virtuellement sans effet sur la couche environnante de nitrure de silicium 2.A ce troisième stade de masquage, seules les zones-contacts sont exposées. Ces zones doivent être un peu plus petites que celles du second masque afin que le bioxyde de silicium 14 soit protégé par le polymère photo-résistant 15A pendant l'attaque de l'oxyde exposé 7C. Les seuls impératifs régissant les dimensions et ltempla- cement du motif sont qu'il faut ménager une zone-contact d'aire minimale et qu'il faut faire protéger toutes les surfaces du silicium déposé précédemment exposées et alors oxydées comme dans les régions 14 et qui seront situées sous un motif conducteur métallique,par les parties 15A de la troisième pellicule de masquage photo-résistant 15. La figure montre comment on satisfait à ces conditions et montre aussi~comment on peut tolérer dans la structure des écarts sur les motifs 16 délimités par le troisième masque, meme au point de laisser une fraction du bioxyde de silicium 7C subsister dans la zone-contact. Après avoir opéré l'attaque illustrée par la figure 11, on peut éliminer la couche photo-résistante 15 par toute technique eonvenable, comme précédemment décrit. On ménage des trous de contact desservant la source, le drain et les grilles de transistor, les points voulus de résistances ou analogues qu'on peut former dans le substrat, par exemple par diffusion,ainsi qu'un trou de contact desservant la couche de silicium 8, laquelle s'étend sur toute la surface active du substrat, entourant et reliant ainsi les divers dispositifs formés dans ce dernier par diffusion On soumit alors la pastille 1 à une métallisation (couche 17 )délimitée par masquage photo-résistant analogue à ceux décrits ci-dessus. Ce quatrième stade de masquage démarque les motifs conducteurs métalliques, notamment grilles 17A, contacts 17B desservant les régions de ditfusion,contact 17C desservant la couche de silicium 8 et interconnexions .On a représenté le contact 17C matériellement interposé entre les contacts 17A et 17B, mais ceci à simple titre d'exemple, car on peut pratiquement le placer en tout endroit du substrat; on le place en général dans un endroit dégagé, sur un bord de l'aire active. Pour éviter l'inversion superficielle, on relie le contact 17C à une source de tension indépendante des tensions de source, de drain et de grille. Typiquement, on le connecte au substrat, qui peut etre mis à la masse . Toutefois, il se révèle avantageux d'appliquer , pour des dispositifs à voies N, une polarisation de - 5 volts et, pour des dispositifs à voies P, une tension positive comparable. La structure de semi-conducteur résultante est alors terminée. Toutefois,on peut déposer sur sa surface une couche supplémentaire de diélectrique formant un revetement de passivation résistant au rayage. Le procédé décrit est avantageux, comme noté plus haut, du fait qu'il permet de fabriquer des ensembles semiconducteurs métal-oxyde dans lesquels on peut s'opposer aux inver sionsiuperficielles et ce , par un procédé simplifié, n'exigeant qu'un milximum de stades de masquage. Comme indiqué, le procédé est en outre avantageux par la mise en oeuvre de techniques d'attaque préférentielle, auto-limitative, assurant automatiquement la démarcation des zones désirées. La structure résultante est stable et parfaitement indiquée pour dispositifs et ensembles à effet de champ à voies P, à voies N et complémentaires, ainsi que des types bipolaires NPN, PNP et complémentaires. I1 est évident pour le technicien qu'on pourra utiliser dans la mise en oeuvre de l'invention et dans la structure résultante des compositions équivalentes autres que celles nommément citées ci-dessus. En conséquence, on pourra apporter au mode de mise en oeuvre décrit et illustré toutes modifications et variantes, sans sortir pour cela du cadre de l'invention. -REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'un semi-conducteur-isolant-métal, dans lequel on utilise un substrat (1) semi-conducteur à conductibilité d'un certain type et on forme sur une face de ce substrat une première couche (2) isolante, caractérisé en ce qu'on forme une seconde couche (3) isolante sur cette première couche isolante, on forme sur la seconde couche isolante (3) une première couche (4) de démarcation selon un motif chois, on attaque sélectivement les parties de la seconde couche isolante (3) non protégées par ladite couche de démarcation (4), on élimine la couche de démarcation (4), on attaque sélectivement les parties de la première couche isolante (2) dénudées par attaque sélective de la seconde couche isolante (3),on fait diffuser sélectivement dans le substrat semi- conducteur (1) une impureté (5) dont la conductibilité est de type opposé, à travers les parties du substrat dénudées par attaque de la seconde couche isolante (j),on forme une troisième couche isolante (7) sur les zones diffusées du substrat, on forme une couche de semi-conducteur (8) sur la troisième couche isolante (7) et sur les parties restantes de la seconde couche isolante (3) , on forme une quatrième couche isolante (9) sur la couche de semi-conducteur (8), on attaque sélectivement certaines parties de la quatrième couche isolante (9) pour dénuder les parties sous-jacentes de la couche de semi-conducteur (8),on attaque les parties de la couche de semi-conducteur-(8) dénudées par l'attaque sélective de la quatrième couche isolante (9)pour dénuder des parties de la seconde (3) et de la troisième (7) couches isolante s, on forme une cinquième couche isolante (14) sur la surface exposée de la couche de semi-conducteur (8),on forme une troisième couche de démarcation (15) selon un motif choisi sur les troisième (7) , quatrième (9) et cinquième (14) couches isolantes, on attaque les parties de la troisième (7) et de la quatrième (9) couches isolantes exposées à travers la troisième couche de démarcation pour dénuder les zones diffusées (6) sousjacentes du substrat semi-conducteur et des parties sous-jacentes de la seconde couche isolante (3) et l'on effectue une métallisation (17) sur les parties ainsi dénudées du substrat (1) et les parties ainsi dénudées de la seconde couche isolante (3). 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que les première, troisième, quatrième et cinquième couches isolantes sont en bioxydes de silicium. 3. Procédé pour la fabrication d'un dispositif semi-conducteur isolant-métal consistant à prévoir un substrat (1) semi-conducteur à conductibilité dtun certain type, portant une première couche isolante (2) qui expose au moins une zone diffusée (5) du substrat et une seconde couche isolante (3) qui recouvre la première couche isolante (2),caractérisé en ce qu'on forme une troisième couche isolante (7) sur la zone diffusée du substrat, on forme une couche de semi-conducteur (8) recouvrant la troisième (7) et la seconde (3) couches isolantes , on forme une quatrième couche isolante (9) sur la couche de semi-conducteur, on attaque sélectivement certaines parties de la quatrième couche isolante (9) pour dénuder les parties sous-jacentes de la couche de semi-conducteur (8) et on attaque sélectivement les parties de la couche de semiconducteur (8) dénudées par l'attaque sélective de la quatrième couche isolante (9) pour dénuder les seconde (3) et troisième (7) couches isolantes 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le substrat semi-conducteur et en silicium monocristallin. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la seconde couche isolante est en nitrure de silicium. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5,caractérisé en ce que la couche de semi-conducteur recouvrant les seconde et troisième couches isolantes est en silicium. 7. Procédé de fabrication d'un dispositif semi-conducteur métal-isolant,consistant à prévoir un substrat (1) semi-conducteur monocristallin à conductibilité d'un certain type, portant une pellicule isolante d'oxyde (2) qui expose au moins une zone diffusée (5) du substrat (1) et une seconde pellicule isolante (3) recouvrant cette pelliculeK'oxyde (2), caractérisé en ce qu'on forme une seconde pellicule d'oxyde (7) sur la zone diffusée (5) du substrat, on forme une couche de semi-conducteur polycristallin (8) sur la seconde pellicule d'oxyde (7) et sur la seconde pellicule isolante (3),on forme une troisième couche d'oxyde (9) sur la couche polycristalline (8),on attaque sélectivement certaines parties de la troisième pellicule (9) d'oxyde pour dénuder les parties sous-jacentes de la couche polycristalline (8), et on attaque sélectivement les parties de la couche cristalline (8) dénudées par l'attaque sélective de la troisième pellicule (9) d'oxyde pour dénuder la seconde pellicule d'oxyde (7) ainsi que la seconde pellicule isolante (3). 8. Procédé selon la revendication 7,caractérisé en ce que on forme une quatrième pellicule d'oxyde (14) sur les tranches exposées de la couche polycristalline (8). 9. Procédé selon la revendication 8,caractérisé en ce qu'on forme une couche (15) de démarcation selon un motif choisi sur la seconde pellicule d'oxyde (7C) , on attaque les parties de la seconde pellicule d'oxyde (7C) exposées par ce motif pour dénuder la zone diffusée (5) sous-jacente de substrat (1) et on métallise la zone diffusée 173 ainsi dénudée du substrat (1). lO.Procédé selon l'une quelconque des revendications 7 à 9,caractérisé en ce que le substrat est en silicium, la pellicule d'oxyde en bioxyde de silicium et la seconde couche isolante en nitrure de silicium. ll.Structure de semi-conducteur comprenant un substrat en semi-conducteur à conductibilité d'un certain type et une première couche isolante (2) formée sur une face de ce substrat pour recouvrir cette face sous réserve dtau moins une zone diffusée (5) au'elle présente,caractérisée en ce ou' elle comporte - - - une seconde couche/t))~ fo̲mee sur la première couche isolante t2) une couche de semi-conducteur (8) formée sur la seconde couche isolante (3) et une troisième couche isolante (9) formée sur la couche de semi-conducteur (8 ). 12.Structure selon la revendication ll,caractérisée en ce que le substrat est en silicium monocristallin,en ce que les première et troisième couches isolantes sont en bioxyde de silicium et en ce que la seconde couche isolante est en nitrure de silicium. 13. Structure selon l'une des revendications 11 ou 1S, caractérisée en ce que la seconde couche isolante est en nitrure de silicium,en ce qu'une partie de cette seconde couche isolante est exposée à traversai couche de semi-conducteur et à travers la troisième couche isolante et en ce qu'une couche métallisée (17) recouvre ladite partie exposée de la seconde couche isolante (3). 14.Structure de semi-conducteur comprenant un substrat (1) en semi-conducteur monocristallin présentant une conductîbili- té d'un certain type , une pellicule (2) d'oxyde isolante formée sur la surface de ce substrat pour la recouvrir sous réserve d'au moins une zone diffusée (5) de cette surface, caractérisée en ce qu'elle comporte une seconde pellicule isolante (3) formée sur ladite pellicule d'oxyde, une couche polycristalline (8) formée sur la seconde pellicule isolante (3) et une autre pellicule d'oxyde(9 ) formée sur la couche polycristalline (8). 15. Structure selon la revendication 14,caractérisée en ce que le substrat monocristallin (l) est en silicium, les pellicules d'oxyde sont constituées de bioxydes de silicium et la seconde pellicule isolante est formée en nitrure de silicium. 16. Structure selon l'une quelconque des revendications 11 à 15,caractérisée en ce qu'une pellicule métallisée (14) recouvre la zone diffusée (5) exposée du substrat (1). 17.Structure selon la revendication 14,caractérisée en ce qu'une partie de la seconde pellicule isolante est exposée à travers la couche polycristalline et ladite autre pellicule d'oxyde et en ce qu'une couche métallisée (17) recouvre ladite partie exposée de la seconde pellicule isolante. 18.Structure selon la revendication 17,caractérisée en ce que la seconde pellicule isolante est en nitrure de silicium. l9.Montage semi-conducteur en circuit solide comprenant un substrat (1) en silicium à conductibilité d'un premier type présentant une face supérieure,un premier dispositif formé dans ce montage et comprenant une première section (5) à conductibilité d'un second type s'étendant jusqu'à ladite surface, un second dispositif formé dans ce montage et comprenant une seconde saction (6) de conductibilité du second type s'étendant jusqu'à ladite surface et séparée de la première section,avec un espace séparant ces sentions et une couche recouvrant ladite surface, caractérisé en ce qu'il comporte des couches superposées d'oxyde de silicium (2) , de nitrure de silicium (3) et de silicium polycristallin (8) dans cet ordre , la couche citée en dernier lieu étant dopée pour avoir une résistivité faible, des moyens 17A, 173 de connexion avec lesdits premier et second dispositifs et des moyens séparés 17C de connexion avec la couche (8) de silicium polycristallin. 20.Montage selon la revendication 19 > caractérisé en ce qu'il comporte une seconde couche d'oxyde de silicium (9) qui recouvre la couche (8) de silicium polycristallin,et qui présente un trou, et une connexion électrique (17C) desservant la couche (8) de silicium polycristallin qui traverse ce trou et qui constitue lesdits moyens de connexion avec la couche (8) de silicium polycristallin. 21. Montage selon l'une des revendications 19 ou 20,caractérisé en ce que ledit premier dispositif constitue un dispositif à effet de champ comprenant des sections (5) espacées , à conductibilité dudit second type , séparées par une section à conductibilité dudit premier type, ces sections espacées étant recouvertes par une couche relativement épaisse d'oxyde de silicium (7) à travers laquelle des connexions électriques desservent chacune desdites sections5 ladite section à conductibilité du premier type étant recouverte par des couches superposées d'oxyde de silicium (2) et de nitrure de silicium (3) , dans cet ordre. 22. Montage selon l'une quelconque des revendications 19 à 21, caractérisé en ce que lesdites couches d'oxyde de silicium (2) et de nitrure de silicium (3) ont en combinaison une épaisseur d'environ 600 à 6000 A. 23. Montage selon la revendication 22,caractérisé en ce que la couche de silicium polycristallin a une épaisseur d'envi o ron 500 à 5000 24.Procédé pour l'obtention d'un montage semi-conducteur, caractérisé en ce que : (a) on forme une couche d'oxyde de silicium (2) sur une face exposée dfun substrat semi-conducteur (1) à conductibilité dtun premier type, lton doit former la source et le drain d'un transistor à effet de champ et un troisième trou traversant ces couches jusqu'au substrat en une zone où l'on doit former un second dispositif, (d) on fait diffuser une impureté dans les zones du substrat exposées par les trous, pour former dans le substrat des sections (5,6) à conductibilité d'un second type constituant lesdites zones (6) de source et de drain séparées par une zone de grille et constituant au moins une partie (5) dudit second dispositif , (e) on forme dans lesdits trous et au-dessus d'eux des couches (7) relativement épaisses d'oxyde de silicium, (f) on forme sur les parties exposées desdites couches de nitrure de silicium (3) et d'oxyde de silicium épaisses (7) une couche de silicium polycristallin (8) à résistivité relativement faible, (g) on élimine cette couche (8) de silicium poly cristallin de la partie de la couche (3) de nitrure de silicium en regard de ladite zone de grille 8G et l'on forme une grille (17A) sur la partie de la couche de nitrure de silicium (3) ainsi exposée et (h) on réalise des connexions électriques desservant lesdites zones (6) de source et de drain respectivement et ledit second dispositif,(5) et on réalise une connexion électrique (17C) séparée desservant la couche (8) de silicium polycristallin. 25.. Procédé selon la revendication 24,caractérisé en ce qu'on forme une couche (14) d'oxyde de silicium sur les bords de la couche (8) de silicium polycristallin exposées par élimination du silicium polycristallin opérée au stade (g) avant formation de la grille. 26. Procédé selon la revendication 25,caractérisé en ce qu'on forme une couche (9) d'oxyde de silicium sur la couche (8) de silicium polycristallin,entre les stades (f) et (g) ,et en ce quTau stade (g) on élimine,avec ladite partie de la couche (8) de siliciutbolycristallin,la partie de la couche (9) d'oxyde de silicium qui la recouvrait.