Brevet FR2117849A1 — publié le 19720728

7T 3543£ - 1 - 21T7849 L'invention se rapporte à un procédé et un appareil de réalisation de couches optiques ou optieo^électriques ou autres, par exemple pour filtres diehrolques du type comprenant un substrat optique sur lequel de nombreuses couches extrêmement minces de matière formant fil'tre optique sont déposées» 5 Ces âLânents comportant des dépîts en couches sont bien connus actuellement dans les arts et Ieindustrie et leur valeur commerciale et scientifique est bien reconnue. L'un des inconvénients de certains procédés de production de ces éléments comportant des dépSts en couches est le vide extrêmement 10 poussé qui est nécessaire à leur application. D'autres procédés de l'art an térieur nécessitent la mise en oeuvre d'appareillages électroniques compliqués et cofïteux,. tels que ceux nécessaires à 1'évaporation par faisceau d'électrons» le nettoyage par décharge en effluves ou la pulvérisation à haute fréquence pour la fabrication de filtres optiques correspondants. Certains des procédés de l'art antérieur pour la réalisation de ces éléments comportant des dépôts en couches onts par ailleurs, l'inconvénient de nécessiter des températures extrêmement élevées» par exemple supérieures au point de ramolisseraent d'un substrat de verre» par exemple. Bien que certains de ces procédés puissent être utilisés pour revêtir des 20 feuilles de verre, ils ne peuvent pas être utilisés pour revêtir des substrats préalablement mis en forme, par exemple des lentilles, des verres plans optiques ou autres, car ceux-ci risquent de se déformer ou de changer de forme, en particulier a la température de ramoli s s ement et à des températures supérieures. Cette déformation représente aussi 25 un grave inconvénient pour des pièces devant être revêtues et qui compor tent des graduations très précises ou des repères de mesure de préeision. Dans ces cas, il suffit de températures supérieures à 250°C pour provoquer des dégâts irréparables. De plus» les procédés nécessitant des températures très> élevées, par exemple supérieures à 500®, ne peuvent pas être 30 utilisés pour la plupart des substrats de matière plastique. Des techniques semblables de réalisation de couches ont été proposées pour effectuer des dépôts de composants optico-éleetriques, par exemple des couches pour cellules photo-électriques ou des trames de lecture photographique. On a suggéré en particulier de déposer des pel-35 licules minces sous vide poussé et des procédés de croissance épitaxiale à température extrêmement élevée. Gn a également utilisé en rapport avec ces procédés des masques mécaniques ou des réserves photographiques pour former des dessins par déposition sélective,, Certains des procédés de i*"art antérieur consistent à réa-40 liser des dépSts en phase vapeur à partir d'une atmosphère-riefee eïî la matière devant être déposée- ou riche en uir précurseur ou un corps- réaction - 71 35435 - 2 - 2117849 nel,qui forme-directement ou indirectement la matière constituant la couche résultante. Ces procédés ont le défaut de soulever des difficultés pour le dépêt simultané d'un grand nombre de revêtements sensiblement égaux de haute qualité. On pense que ce défaut provient de différences 5 locales de concentration du corps réactionnel et, au moins en partie, de l'interférence chimique avec le substrat et, d'après les études effectuées dans le cadre de l'invention, on pense que cette interférence provient de la quantité excessive des corps réactionnels. Un autre inconvénient des nombreux procédés de l'art antérieur 10 pour la fabrication de ces filtres optiques et couches optico-électriques concerne la qualité de la couche et on pense qu'elle provient de la nature de la portée optique du transfert du dépôt dans de nombreux procédés mettant en oeuvre un vide poussé. Il en résulte des difficultés à réaliser une couche uniforme, quelle que sait la forme du substrat, par exemple 15 à former un dépôt uniforme sur une surface concave ou convexe ou sur un substrat de forme irrégulière sur lequel la matière destinée à former la couche vient se déposer lorsque le procédé utilisé est mis en oeuvre sous vide poussé et qu'il s'agit, par exemple» d'un dépôt de vapeur par bombardement électronique. Par- exemple, l*une des difficultés que soulèvent 20 ces procédés de revêtement est que la couche tend à laisser des emplacements non recouverts. On pense que ces emplacements non recouverts sont provoqués pai*'lTombre portée" par des irrégularités minuscules de surface. Ces irrégularités portant une "ombre" sur les régions qui se trouvent immédiatement derrière elles pour la matière de revêtement de la source se déplaçant 25 en ligne droite, on observe de minuscules irrégularités en relief et "les zones d'ombre" situées derrière elles sont insuffisamment revêtues ou même ne comportent aucune matière de dépôt. Un autre inconvénient des procédés de dépôt sous vide poussé et à portée optique est la difficulté qu'ils soulèvent à réaliser des 30 dépôts uniformes sur des objets de formes irrégulières et à revêtir uniformément et simultanément un grand nombre de substrats. L'invention a pour objets un procédé et un appareil de production de composants optiques et électro-optiques ou autres» par exemple de filtres optiques tels que des filtres dichroïques» ne nécessitant pas 35 un vide poussé, ni des températures extrêmement élevées, et ne nécessitant pas non plus un appareillage électrique ou électronique très compliqué tel que celui des dispositifs de dépôt et de bombradement par faisceau d'électrons-.. Ce procédé de réalisation de pièces à couches simples ou multiples permet d'en traiter plusieurs- sisraïteanéneïït et» par exemple, un grand 40 nombre»- de- filtres ou d* autres- c(mp&&aanfcs peuvent être produits simultané 71 35435 - 3 - 2117849 ment avec une grande uniformité. Ce procédé permet, de plus, le dépôt de couches formant des dessins miniatures ou microminiatures et la profondeur, ainsi que la croissance d'une couche de transition peut être contrôlée de très près. Finalement, le procédé simple et fiable de l'invention 5 permet de produire des couches continues et uniformes de filtres optiques d'excellente qualité,quelle que soit la forme du substrat et même si celui-ci comporte de minuscules irrégularités en saillie. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention res-sortiront de la description qui va suivre, faite en regard des dessins 10 annexés illustrant un mode de réalisation donné à titre explicatif et nullement limitatif. Sur ces dessins, la figure 1 est une élévation d'une lentille optique revêtue d'un filtre dichroïque ; 15 la figure 2 est une coupe transversale partielle à échelle très agrandie selon la ligne 2 - 2 de la figure 1 ; la figure 3 est un graphique illustrant le coefficient de transmission en pour cent en fonction de la longueur d'ondes, ce graphique illustrant les propriétés optiques du filtre dichroïque des figures 20 1 et 2 ; et la figure 4 est un schéma d'un appareillage avantageux pour la mise en oeuvre du procédé de l'invention. La lentille optique 10 des figures 1 et 2 comporte des couches multiples 12 de filtre dichroïque déposées sur la surface convexe 25 14. Les couches 12 sont déposées d'après le procédé de l'invention et plus particulièrement d'après celui qui sera décrit plus bas à titre d'exemple. Le secteur de filtre représenté sur la figure 2 comprend un substrat 16 de verre comportant un premier revêtement 18 d'oxyde de fer, une seconde couche 20 d'oxyde de chrome, une troisième couche 22 d'oxyde 30 de fer, une quatrième couche 24 d'oxyde de chrome et une couche extérieure 26 d'oxyde de fer. Dans le secteur représenté, l'interface 28 entre le substrat 16 de verre et la couche 18 est relativement nette. Toutefois, des zones 30, 32, 34 et 36 de transition relient les couches 18 et 20, 20 et 22, 35 22 et 24, ainsi que 24 et 26. Dans ces zones,qui sont relativement étroites, la concentration de la couche intérieure décroît et celle de la couche suivante croît du côté du substrat vers l'extérieur. La lentille revêtue des figures i et 2 a des propriétés optiques illustrées sur le graphique de la figure 3- On remarque que le 40 coefficient de transmission de la lumière, dont la longueur d'onde est 71 35435 - 4 - 2117849 supérieure à 0,7^u,est pratiquement constant à environ 58 Le procédé et l'appareil de l'invention sont extrêmement 5 simples et fiables ; l'appareil sera décrit en premier et le procédé sera décrit en regard d'un exemple et avec plus amples explications. L'exemple avantageux de réalisation de l'appareillage de l'invention représenté schématiquement sur la figure 4 comprend plusieurs éléments réliés hermétiquement. Les évaporateurs 40 et 42 de cet exemple 10 ont un volume d'environ 0,5dm^. Ils sont chauffés par des éléments 44 et 46 représentés schématiquement sous forme de résistances à filament. Tout autre procédé et appareil convenables peuvent chauffer les évaporateurs 40 et 42. Les éléments de chauffe 44 et 46 comportent, de préférence, des régulateurs automatiques de la température des évaporateurs 15 40 et 42. L'un des évaporateurs 40 et 42, ou tous les deux, peuvent être balayés par un courant d'hélium ou d'autre gaz inerte provenant d'un collecteur 50 et par des conduits 52 et 5k, Les références 53 et 55 désignent schématiquement des dispositifs d'alimentation et de dosage en corps réactionnels volatils (ou gazeux) envoyés dans les évapora-20 teurs-mélangeurs 40 et 42. Le débit de sortie des évaporateurs doit être commandé avec grande précision et donc ceux-ci fonctionnent de préférence à sec et sont balayés par un courant, le liquide volatil ,étant additionné en continu au moyen d'un piston classique à avance constante, commandé de préférence de manière classique par un moteur électrique à vitesse 25 variable et à train démultiplicateur. Les références 56 et 58 représentent schématiquement des dispositifs de dosage et de commande des courants gazeux. Bien que, sur le dessin schématique, les courants gazeux de balayage des évaporateurs représentés traversent des plaques poreuses 30 submergées 59 et 59'» tout autre dispositif convenable tel qu'une admission submergée, une plaque frittée, etc., peut être utilisé pour mettre en contact intime le gaz de balayage de l'évaporateur et le corps vaporisé. Des conduits 60 et 62 transportent le mélange de gaz 35 effluent des évaporateurs 40 et 42 vers un second collecteur 64. Des robinets 66 et 68 permettent d'ouvrir ou de couper la circulation entre les évaporateurs 40 et 42 et le collecteur 64. Les références 69 et 69' représentent schématiquement des soupapes de sécurité en cas de surpression . Des conduits 70, 72 et 74 débouchant dans le collecteur 64 ali-40 mentent celui-ci en corps réactionnel ou en gaz de balayage tels que de 71 35435 - 5 - 2117849 l'anhydride carbonique, de l'oxygène ou de l'azote. Les références 76, 78 et 80 représentent schématiquement des dispositifs de commande et de dosage des débits gazeux passant dans les conduits 70, 72 et 7k. Le conduit ?4 reçoit un courant gazeux d'un collecteur 82, qui alimente 5 également un conduit 84 comportant un robinet 86. Le collecteur 64 débouche dans une chambre mélangeuse 90 de volume relativement important, d'environ quatre dur®, comportant de préférence plusieurs chicanes 92. La chambre mélangeuse 90 est équipée d'un élément chauffant 9^ régulateur de température, représenté sché-10 matiquement. Un conduit 96 dirige 1'effluent de la chambre mélangeuse 90 par l'intermédiaire d'un robinet 98 dans un conduit 99 raccordé hermétiquement à la chambre 100 de revêtement. La température du courant gazeux dilué admis dans la chambre 100 est maintenue à une valeur inférieure à celle du dépêt et infé-15 rieure à celle à laquelle il se produit une réaction chimique notable dans la phase-vapeur. La chambre 100 de revêtement a un volume relativement 3 * important de plus de 100 dm , y compris le volume des éléments qu'elle contient et ^lle renferme des supports 102 et 104 de plusieurs lentil-20 les 10. Les supports 102 et 104 de l'exemple représenté comportent de nombreux passages facilitant les mouvements des gaz autour des lentilles 10. Les éléments 102 et 104 représentent schématiquement, soit des supports, soit des séparateurs, dont chacun supporte une série de lentilles 10. L'élément 102 du dessin supporte une première série de lentil-25 les 10 et l'élément 104, une autre série de lentilles. Les lentilles 10 représentées sont aussi séparées horizontalement les unes des autres, afin que la phase gazeuse de la chambre 100 puisse accéder facilement à leurs surfaces. L'évacuation de la chambre 100 passe par un conduit 106 dans lequel le débit peut être réglé par un robinet 108. Un élé-30 ment chauffant ÎlO maintient les lentilles 10 se trouvant dans la chambre 100 à une température sensiblement constante, par exemple de 200°C. L'élément chauffant peut être du type à forte résistance, à haute fréquence ou autre. Une pompe mécanique 112 peut être prévue pour faciliter 35 la circulation dans la chambre 100 et pour faire remonter la pression nécessaire au recyclage d'une partie ou pratiquement de la totalité du courant gazeux retournant dans l'appareillage par le conduit 116 de recyclage; La référence 114 désigne un extracteur classique à azote liquide destiné à refroidir sensiblement toutes les vapeurs pouvant être conden-40 sées et extraites du courant de recyclage. 35435 - 6 - 2117849 Un dispositif 120 de refroidissement représenté schémé-tiquement sous forme d'un serpentin refroidi à l'eau est destiné à empêcher le conduit 99 d'être chauffé excessivement par conduction par la chambre 100.Les fumées apparentes dans le conduit 99 indiquent que la température du courant gazeux est trop élevée et l'apport de chaleur doit être réduit en amont. Exemple L'invention sera décrite à titre d'exemple pour la fabrication à l'échelle industrielle de filtres de verre à bande passante dans la plage de la lumière visible, mais à forte absorption dans la plage des ultra-violets du spectre (par exemple de filtres pour lunettes de soleil). On commence par nettoyer les lentilles à l'acide fort, par exemple à l'acide sulfurique ou nitrique concentré, afin d'éliminer tous les contaminants organiques et minéraux possibles. Ce traitement à l'acide est suivi d'un rinçage à l'eau et d'une neutralisation. On neutralise le verre en le plongeant dans une solution d'hydroxyde d'ammonium et d'eau oxygénée. Cette opération est suivie d'un second rinçage à l'eau et le verre est séché dans un mélange de solvant qui absorbe l'eau adhérente au verre et permet le séchage par évaporation instantanée sans résidu. Le séchage est effectué avantageusement à l'aide d'un mélange d'étha-nol, de méthanol, d'acétate d'isoamyle et d'isobutanol, dans le rapport 5 : 1 :0,5:0,4. Le verre séché est prêt à recevoir le dépêt. Pour effectuer le dépît, on place le verre ainsi séché sur les supports 102 et 104 de la chambre 100 en prenant soin de ne pas recontaminer la surface devant être revêtue, puis on chauffe à 200°C. On cemmence par purger le circuit comprenant le collecteur 82, les conduits 74 et 84, le collecteur 64, la chambre mélangeuse 90, le conduit 99» la chambre 100 et l'évacuation 106 par balayage à l'azote. Cependant, tout autre gaz inerte tel que l'hélium, le néon ou un autre gaz noble peut être utilisé pour le balayage. Les conduits débouchant dans les évaporateurs 40 et 42 et en sortant sont, de même,balayés de préférence par un gaz inerte au début des opérations. Lorsque le balayage initial est terminé, les robinets 86 et 80 sont fermés, afin que la circulation d'azote soit interrompue. Le robinet 76 est ouvert et réglé à un débit de 5000 ml/mn d'anhydride carbonique. Le robinet 78 est réglé à un débit d'oxygène de 5 ml/mn parvenant dans le collecteur 64. L'évaporateur 40 est chargé d'acétylacetonate de fer et il est porté à une température élevée légèrement inférieure au point d'ébullition de l'acétylacétonate de fer à pression atmosphérique. L'évaporateur 40 est ensuite balayé par de l'hélium 35435 - 7 - 2117849 provenant du collecteur $0 et du conduit 52 à un débit de 5000 ml/mn réglé par le dispositif 56 de dosage et de commande. Donc, l'anhydride carbonique, l'oxygène et l'hélium formant le support de l'acétylacétonate de fer gazeux sont intimement mélangés dans le collecteur 64 et la chambre 90. Le courant turbulent en serpentin du mélange passant par la chambre 90 autour des chicanes 92 non seulement provoque le mélange intime des gaz, mais en assure également l'équilibre thermique. Les conduits 96 et 99 dirigent le mélange gazeux résultant dans la chambre 100 de réaction ou de dépôt. Ainsi, la concentration de gaz inerte de balayage diminue progressivement dans la chambre 100 au fur et à mesure de l'admission du premier mélange décrit de dépôt. A l'inverse, la concentration du mélange de dépôt augmente progressivement dans la chambre 100 au fur et à mesure de l'évacuation du gaz inerte de balayage initial. Les substrats de verre sont maintenus approximativement à 200°C pendant le processus de dépôt. Pendant la période suivante, un revêtement uniforme d'excellente qualité d'oxyde de fer se forme sur les surfaces à découvert des substrats 10. L'invention n'est pas liée à une théorie du mécanisme chimique de formation du dépôt par ce procédé. Après une période prédéterminée, les robinets 56 et 66 sont fermés et les robinets 68 et 58 sont ouverts. Le robinet 58 est réglé de manière que le débit du courant de balayage de ^.'évaporateur 42 soit d'environ 5000 ml/mn. L'évaporateur 42 avait été préalablement chargé de chrome-carbonyle et il est maintenu à une température légèrement inférieure au point d'ébullition de ce composé. Le fort débit volu-mique de balayage maintient les évaporateurs 40 et 42 à une température inférieure au point d'ébullition à pression atmosphérique du produit évaporé. Le courant primaire d'hélium contenant du chrome-carbonyle et arrivant dans le collecteur 64 par le conduit 62 est ainsi mélangé de la m8me manière à un courant secondaire d'oxygène et d'anhydride carbonique, qui est maintenu au débit constant mentionné plus haut et ces courants primaire et secondaire sont intimement mélangés et leur température est équilibrée dans la chambre 90. On peut considérer que le mélange résultant des courants primaire et secondaire est un courant "tertiaire" contenant du chrome-carbonyle et de l'oxygène en faible quantité. La concentration de l'acétylacétonate de fer dans le gaz tombe brusquement dans le collecteur 64 et dans la chambre 90 et la concentration du chrome-carbonyle monte brusquement à son niveau d'équilibre dans ce collecteur 64 et dans la chambre mélangeuse 90. Le conduit 99 dirige le courant gazeux tertiaire contenant le chrome-carbonyle dans la chambre 100 de dépôt de grand volume. On comprend que la concentration d'acétylacétonate 71 35435 - 8 - 2117849 de fer diminue progressivement, relativement, dans la chambre 100 de réaction au fur et à mesure de l'augmentation progressive, dans cette dernière, de la concentration de chrome-carbonyle à son niveau d'équilibre, c'est-à-dire approximativement à celui de sa concentration dans le courant 5 tertiaire. Le dépêt des pellicules correspondantes sur les substrats 10 pendant la période relativement brève au cours de laquelle un mélange d'acé-tylacétonate de fer et de chrome carbonyle est disponible a pour conséquence qu'il se forme des zones de transitions 30» 32, 3^ 36. A cette étape du processus décrit ci-dessus, la période pendant laquelle la con-10 centration d'acétylacétonate de fer décroît dans la chambre 100 et pendant laquelle la concentration de chrome-carbonyle augmente dans cette chambre dépend essentiellement du débit gazeux, car le volume de la chambre î.00 est constant. Il en résulte de manière fiable la formation d'une zona uniforme 30 entre les couches 10 et 20 au cours de processus séparés,à condition que les 15 débits gazeux et les températures soient les mêmes à chaque processus individuel. Lorsque l'acétylacétonate de fer est balayé et éliminé de la chambre 100 et que le chrome-carbonyle atteint sa concentration d'équilibre, une couche formée essentiellement d'oxyde de chrome se dépose.A la fin d'une autre période prédéterminée au cours de laquelle une couche d'oxyde de chrome d'excel-20 lente qualité est déposée, les robinets 68 et 58 sont fermés. Les robinets 56 et 66 sont immédiatement réouverts et le courant d'hélium envoyé dans l'évaporateur 40 est également réglé à 5000 ml/mn. La concentration du chrome-carbonyle tombe très brusquement à une valeur pratiquement nulle dans le collecteur 64 et le mélangeur 90 et la concentration d'acétylacé-25 tonate de fer augmente très brusquement à son niveau approximatif d'équilibre. A ce moment, le courant gazeux primaire contient de nouveau de l'acétylacétonate de fer et le courant gazeux secondaire contient toujours de l'oxygène en faible quantité, le courant tertiaire quittant le mélangeur 90 étant un mélange homogène de deux courants. Cependant, le nouveau 30 courant tertiaire porteur d'acétyUacétonate de fer étant envoyé dans la chambre 100, il se produit de nouveau une augmentation relative progressive de la concentration en acétylacétonate de fer et la concentration de chrome-carbonyle diminue progressivement. La seconde zone de transition 32 entre les couches 20 et 22 se forme à ce moment auquel l'atmos-35 phère de la chambre 100 contient de l'acétylacétonate de fer, ainsi que du chrome-carbonyle. Les processus décrits au cours desquels les courants gazeux sont transférés alternativement par les évaporateurs 42 et 4o sont répétés pour la réalisation d'un nombre total de cinq couches, dont trois sont 40 en oxyde de fer et deux en oxyde de chrome, des zones relativement étroites de transition étant situées entre ces couches, la durée totale du. 71 35435 - 9 - 2117849 dépêt étant inférieure à une heure. Toutes les lentilles placées dans la chambre 100 sont revêtues de manière identique et uniforme. Le procédé décrit dans l'exemple ci-dessus comprend des balayages à vitesse élevée des évaporateurs. Il n'est toutefois pas essen-5 tiel que ces courants de balayage passent par les évaporateurs dans le cadre de l'invention. Il est toutefois essentiel que les corps réaction-nels volatils soient intimement mélangés et dilués au courant porteur inerte avant qu'ils n'entrent en contact avec le substrat. Ainsi, par exemple, il est possible, dans le cadre de l'invention, d'introduire le 10 corps volatil réactionnel pur directement dans un courant gazeux de grand volume passant dans le collecteur 64, bien que ce mode de mise en oeuvre soit moins avantageux. Il est aussi évident qu'il n'est pas toujours essentiel d'apporter de la chaleur à l'évaporateur. Il est toutefois préférable que l'évaporateur fonctionne à température suffisamment élevée 15 pour qu'il soit maintenu à l'état sensiblement "sec" par un gaz débité à vitesse relativement élevée, alors qu'il est chargé en continu de corps réactionnel volatil liquide au débit constant nécessaire d'addition, bien que relativement faible, afin de faciliter la commande et la repro-ductibilité. 20 II est essentiel, dans le cadre de l'invention, que la concentration totale des corps réactionnels dans le couran^ gazeux inerte de support soit inférieure à 5 ^ en volume/volume. Il est très avantageux que la concentration du corps réactionnel dans le courant gazeux porteur soit inférieure à î 4 v/v et des concentrations des corps réactionnels 25 individuels inférieures à 0,1 v/v sont extrêmement avantageuses. Bien qu'il puisse apparaître que ces faibles concentrations en produits de revêtement en phase gazeuse soient inefficaces, tout au moins dans le sens du transfert de masse, ces courants gazeux de corps réactionnel à faible concentration selon l'invention produisent des couches dont 30 l'uniformité et 'la qualité n'ont pas pu être atteintes par les procédés de l'art antérieur. Ce facteur est particulièrement important dans les chambres de dépêt dans lesquelles un grand nombre de substrats sont revêtus simultanément ou dans lesquelles un grand nombre de; substrats sont traités simultanément pour être revêtus de couches reproductibles et pra-35 tiquement identiques, en particulier sous forme de dessins fins et microminiatures. En interdisant au gaz vecteur de corps réactionnel relativement dilué de stagner, et en provoquant un balayage des substrats par le gaz vecteur, les couches déposées sont extrêmement uniformes et d'excellente qualité. Bien que l'invention ne soit pas liée par une théorie 40 des mécanismes qui se produisent, des observations répétées permettent 71 35435 - 10 - 2117849 de penser que l'un des facteurs qui est à la base de l'excellente qualité et de la grande uniformité des produits réalisés selon l'invention est le fait que les courants de gaz dilué éliminent pratiquement les variations locales de composition de la phase-vapeur qui sont une source ou 5 une cause d'irrégularité des couches déposées, la réaction gênante de la phase-vapeur étant aussi virtuellement éliminée. Bien que le procédé de l'invention ne doive être lié par aucune théorie particulière, il est possible que les réactions aient lieu exclusivement dans une phase adsor-bée à la surface du substrat. Il faut remarquer que même aux concentrations 10 les plus avantageuses des corps réactionnels, par exemple inférieures à 1 en v/v ou moins, le balayage à grande vitesse de ces corps dilués assure un transfert de masse plus que convenable. L'exemple précédent n'a été donné qu'à titre illustratif et ne doit en aucun cas limiter le type des gaz de balayage ou des compo-15 sés des corps réactionnels pouvant être mis en oeuvre dans le cadre de l'invention. Tout produit contenant un métal et pouvant être évaporé peut être chargé dans les évaporateurs 40 et 42, à condition que ce produit se décompose ou dépose une couche de la composition voulue à la surface chauffée du substrat. Il est bien évident que le nombre des évaporateurs 20 et le nombre des types de couches peuvent être supérieurs à deux, comme dans l'exemple décrit et représenté. Des compositions en plus grand nombre peuvent être déposées, le cas échéant, pour former un filtre optique selon l'invention. D'autres produits volatils pouvant être utilisés pour pro-25 duire une couche d'oxyde de fer comprennent tous les composés volatils organo-métalliques de fer, par exemple le fer pentacarbonyle associé à de l'oxygène dans le second courant de balayage. De même, tout composé volatile de chrome, par exemple le chlorure de chrcmyle, peut être utilisé dans l'évaporateur 42. Il n'est donc pas nécessaire, dans le cas de l'in-30 vention, de limiter les composés utilisés aux composés organo-métalliques, car ces composés peuvent être soit organo-métalliques, soit minéraux. Les composés métalliques utilisés selon l'invention sont ceux qui ont une forte tension de vapeur, dépassant de préférence 40 mm de Hg à des températures relativement basses de l'ordre de 200°C. Toutefois, les composés ayant 35 des tensions inférieures de vapeur peuvent aussi être utilisées et, par exemple, le formiate d'argent a une faible tension de vapeur à 200°C, mais un tel composé peut être utilisé pour doper les pellicules de la phase-vapeur du procédé de l'invention. Les procédés de dopage seront évoqués plus en détail par la suite. Le second gaz porteur n'est pas limité à 40 l'anhydride carbonique mentionné dans l'exemple, mais peut être de l'azote 71 35435 - ii - 2117849 de l'oxygène, de l'eau oxygénée ou des gaz analogues. L'oxygène n'est utilisé qu'en très faible pourcentage et uniquement lorsque le revêtement doit être un oxyde. Ainsi, dans les modes mentionnés de mise en oeuvre, le 5 courant gazeux primaire de balayage contenant un métal est mélangé, conformément à l'invention,à un courant gazeux secondaire qui contient un second corps réactionnel en faible concentration. Le second corps réactionnel mentionné dans le mode décrit de mise en oeuvre et destiné à produire une couche d'oxyde est l'oxygène. Toutefois, si la couche dépo-10 sée doit être un sulfure, un séléniure, un téllurure, un nitrure, un arséniure, un phosphure ou tout autre composé, il suffit de remplacer l'oxygène en faible concentration dans le courant secondaire par une relativement faible quantité d'hydrogène sulfuré, d'hydrogène sélénié, d'hydrogène telluré, d'ammoniac, d'hydrogène arsénié ou de phosphine, I5 ou autre. Ainsi, le type de matière déposée et destinée à former la couche optique peut être modifié par variation de la composition du courant gazeux entrant dans la chambre de dépSt, soit par modification du type de produit entrant dans les évaporateurs 40 et 42, soit, en variante, conformément à l'invention, le type de produit passant les évaporateurs, 20 par exemple l'évaporateur 40 et entrant dans le collecteur, peut rester constant. Dans ce dernier cas, le second corps réactionnel, par exemple l'oxygène mélangé à l'anhydride carbonique peut être éliminé et remplacé par des quantités correspondantes d'un troisième corps réactionnel, par exemple d'hydrogène sulfuré destiné à être mélangé à l'anhydride 25 carbonique pour produire un courant secondaire de H^S-CO^. La modification de la composition du courant secondaire produirait ainsi des couches alternées d'oxyde de fer et de sulfure de fer, par exemple. La couche déposée par le procédé de l'invention peut aussi être dopée par addition de très faibles quantités de composés volatils 30 métalliques constituant un activateur à l'un ou l'autre des composés passant dans les évaporateurs ou au courant secondaire gazeux contenant un corps réactionnel. Par exemple, du plomb tétraéthyle peut être vaporisé dans un courant d'azote balayant l'évaporateur à une température de 25° c et à un débit de 5000 ml/mn. Le corps réactionnel secondaire pour-35 rait être de l'hydrogène sulfuré, à un débit de 5 ml/mn au lieu de l'oxygène. L'argon pourrait remplacer l'anhydride carbonique. Un précurseur-activateur de l'argent ou du cuivre, par exemple du formiate de cuivre, pourrait être vaporisé dans le second évaporateur dans le l'argon ou de l'hélium à 100°c ou du chlorure d'argent pourrait être évaporé à 400°c. 40 Dans certains cas, le métal lui-même pourrait être évaporé 35435 - 12 - 2117849 et dilué conformément à l'invention pour être incorporé dans une couche, en particulier pour constituer un dopant.. Un composant optique tel qu'un filtre formé d'une seule couche de dépôt pourrait aussi être réalisé conformément à l'invention. Un exemple d'application du procédé de l'invention au dé-p8t d'une couche de revêtement présentant une transition continue et progressive d'une densité à une autre est celui du revêtement de fibres optiques de verre. Par exemple, dans le cadre de la suite des opérations décrites en détail dans l'exemple précédent, une couche de matière ayant un indice relativement faible de réfraction est déposée initialement sur les fibres de verre et la concentration du précurseur de la couche dans la phase gazeuse de balayage est réduite progressivement sur une période relativement longue, par exemple d'une demi-heure. Simultanément, la concentration du précurseur d'une seconde couche, par exemple ur.e couche ayant un indice relativement élevé de réfraction, est augmentée progressivement pendant la même période. Il en résulte une couche formant une zone de transition ou revêtement des fibres de verre, dont le faible indice de réfraction augmente progressivement avec la distance à la fibre. Une couche réfléchissante pourrait être déposée, le cas échéant, sur la surface extérieure de la fibre revêtue de la manière décrite ci-dessus suivant le procédé de l'invention. Ces revêtements améliorent; les caractéristiques de réflexion et le coefficient d'absorption et sont destinés à empêcher les interférences avec les fibres voisines. Le procédé de l'invention est aussi très utile pour le dé-p8t de couches opaques, ou réfléchissantes, ainsi que de couches transparentes. Par exemple, une couche extérieure d'oxyde d'un métal voulu est déposée, conformément à l'invention, de la manière décrite. L'oxyde est ensuite réduit dans une atmosphère exempte d'oxygène, par exemple par de l'hydrogène, de l'ammoniac, de l'oxyde de carbone ou autre, de préférence par introduction du gaz réducteur à faible concentration dans un courant se déplaçant à grande vitesse, par exemple à raison de 5 ml/mn dans un courant de 10 000 ml/mn. Il est préférable de réaliser une couche additionnelle d'oxyde au-dessus d'une couche du métal réduit, afin de la protéger de la corrosion atmosphérique ou de constituer un écran. Toutefois, il est inutile de déposer une couche protectrice d'oxyde sur les miroirs d'osmium ou de rhodium. Cependant, ces couches, par exemple d'osmium ou de rhodium, sont déposées de préférence sur une couche de base formée d'un oxyde d'étain, de titane, de chrome ou de fer. Une couche avantageuse de revêtement d'une pellicule formant miroir est formée de bioxyde de silicium. 1 35435 - 13 - 21 17849 Pour certains miroirs, par exemple de fer, un balayage par de l'anhydride carbonique avant l'exposition à l'oxygène atmosphérique passive le métal du miroir et offre une protection au moins temporaire contre la corrosion. Dans ce dernier cas, il n'est pas nécessaire de déposer une couche d'oxyde avant d'exposer le métal à l'oxygène de l'atmosphère. Lorsque le procédé de l'invention est appliqué à la réalisation d'éléments optico-électriques de lecture ou analogues tels que des trames, une fine pellicule de réserve photosensible peut être déposée sur un substrat de verre nettoyé de la manière décrite dans l'exemple. Une réserve photographique formant un dessin(soit positif,soit négatif) est réalisée et mise en place sur les substrats d'après des procédés classiques bien connus (voir par exemple les prospectus N° P.? et P. 91 "Photo Fabrication" publiés par la Société Eastman Kodak). Les substrats comportant le dessin voulu sont ensuite transférés dans la chambre 100 de revêtement et la couche voulue est produite par balayage et par les processus décrits dans l'exemple. A la fin du dépôt d'une couche, la réserve est enlevée par un procédé classique. La ou les couches préférées devant être déposées pour la réalisation de trames ou de dessins transparents sont en oxyde métallique, par exemple de fer, de chrome, de cobalt, de nickel, d'uranium, de cuivre, de manganèse, de vanadium, des terres rares, de plomb, etc. • Une seule couche peut suffir si elle doit avoir uniquement des caractéristiques d'absorption. Si elle doit avoir des caractéristiques dichroïques ou de réflexion, il faut des couches multiples, par exemple telles que décrites dans l'exemple. Pour réaliser des dessins opaques, la composition réactionnelle est choisie de manière qu'elle produise un oxyde qui est ensuite réduit par un gaz dilué correspondant de manière qu'il forme un dépôt métallique réfléchissant. Pour produire la couche métallique réfléchissante, tout gaz ayant une aptitude suffisante à réduire l'oxyde métallique particulier en métal correspondant peut être utilisé. Par exemple, pour réaliser un miroir de fer, une couche extérieure d'oxyde de fer est réduite conformément à l'invention par de l'hydrogène, de l'oxyde de carbone, du méthane, etc. L'atmosphère de balayage dans laquelle le gaz réducteur est transporté est de préférence l'azote. S'il faut une passivation, par exemple d'un miroir de fer, un balayage du revêtement ou dépôt à l'anhydride carbonique convient pour une protection au moins temporaire. Une couche de bio-xyde de silicium ou d'un autre oxyde protecteur peut aussi convenir. Un procédé avantageux de réalisation d'une couche superficielle de bioxyde de silicium sur une couche réfléchissante conformément à l'invention con 35435 - 14 - 2117849 siste à évaporer du tétraéthoxysilanol dans un évaporateur avec balayage d'un gaz inerte, puis à additionner de l'oxygène par un second courant dilué de balayage et à mélanger ces courants dans les conditions décrites dans l'exemple. Pour réaliser une couche optico-électrique, du plomb tétra-éthyle peut être vaporisé dans un courant de gaz inerte balayant à grande vitesse l'évaporateur et le second gaz de balayage peut contenir de l'hydrogène sulfuré en faible concentration. Du chlorure d'argent ou du for-miate de cuivre peut être vaporisé à un débit extrêmement faible dais un second évaporateur, de la manière décrite plus haut, pour le dépôt de dopant constitué par de l'argent ou du cuivre en proportions extrêmement faibles dans la couche de sulfure de plomb. Le sulfure de plomb, ainsi dopé par de l'argent ou du cuivre,peut constituer un détecteur optique réalisant une lecture électrique. Le tableau suivant est destiné à illustrer le vaste domaine d'application du procédé de l'invention en fonction des constituants élémentaires des composés formant les couches. Le tableau énumère à titre d'exemple des composés ou éléments"volatils " par ordre alphabétique des symboles chimiques. Toutes les températures sont données à titre d'exemples non limitatifs. Dans ce tableau, " dop." est une abbréviation pour "dopant", "Mir." pour miroir et "Trans." pour couche transparente. Un "oui" sous 1'en-tête correspondant de colonne indique que le produit mentionné peut être utilisé facilement dans le cadre de l'invention pour constituer un dopant, une couche opaque (réfléchissante) ou transparente. 71 35435 - 15 - 2117849 TABLEAU Temps, Temp.de Formule du Var>. dépôt métal Nom du métal Comnosé vaporisé °C °C Dop. Mir. Trai Ag Argent Chlorure d'argent 400 300 oui oui Al Aluminium A12I6 50 200 dui oui As Arsenic A rsine (j\ sK-3) gaz 200 oui oui Chlorure (a sCl^ ) 30 200 oui oui Au Or (fyH9)3 P.AuCl 30 100 oui oui Be Béryllium diéthyl-béryllium 30 200 oui oui diméthyl- 100 200 oui oui ditertiobutyle 30 200 oui ■ oui Bi Bismuth BiHo gaz 200 oui oui BiCl^ 200 200 oui oui B Bore B2H6 gaz 300 oui oui Cd Cadmium Métal 400 Temp • oui de condens. Co Cobalt Co(C0)4 30 200 oui oui acétylacétonate 30 200 oui oui Cr Chrome dicumène-chrome 50 200 oui oui oui acétylacétonate 100 250 oui oui oui chlorure de chromyle 30 300 oui oui oui Cr(C0)6 30 300 oui oui oui Cs Césium Métal 400 T emp ■ • oui de condens. 300 Cu Cuivre Formiate 100 300 oui oui oui acétylacétonate 100 300 oui oui oui Fe Fer Fe (C0)5 30 200 oui oui acétylacétonate 300 200 oui oui Ge Germanium GeH/j, gaz 300 oui oui oui Gelo 30 300 oui oui oui Ge tOC2H5)3 C2H5 30 400 oui oui oui Hg Mercure Métal 200 100 Ternp. de condens 100 Diéthyl-mercure 50 200 oui non oui 71 35435 -16 - 2117849 Temp. Temp.de Formule du Vap. dép8t métal Nom du métal Composé vaporisé °C °C Dop. Mir. Trans. I Iode Iode (l2) 100 40-60 oui K Potassium Métal 300 Temp. de condens. oui Mg Magnésium Métal 500 Temp» de condens. oui Mn Manganèse Dicyclopentadiényle 30 200 oui oui Mo Molybdène Ho (C0)6 50 200 oui oui Ni Nickel Ni (CO)^ 30 200 oui oui acétylacétonate 100 300 oui oui Os Osmium OsCcO^CLj 100 300 oui oui P Phosphore Métal 200 150 oui ph3 gaz 200 oui oui Pb Plomb tétraéthyle 30 300 oui oui tétraméthyle 30 300 oui oui Rb Rhubidium Métal 400 Temp» de condens. oui Rh Rhodium RhCl20.3 CO 50 200 oui oui S Soufre Soufre 300 Temp-_ de condens. oui Sb Antimoine SbCl3 100 500 oui oui oui SbH^ gaz 100 oui oui oui Se Sélénium SeH2 gaz 300 oui oui oui Si Silicium Métal 500 Temp. de oui siCoc^V tetramethyle condens. Sn Etain 30 60 300 200 oui oui oui t étraéthyle 30 200 oui oui chlorure d'étain- triéthyle 30 200 oui oui Te Tellure Métal 500 Temp. de condens. oui Ti Titane tétraéthyle 30 300 oui oui Wo Tungstène w (co)6 50 200 oui oui Zn Zinc métal diéthyle 500 50 Temp. de condens. 200 oui oui 35435 - 17 - 2117849 L'ensemble du procédé de l'invention est mis en oeuvre de préférence approximativement à la pression atmosphérique. Il n'est toutefois pas nécessaire que tous les éléments du circuit soient maintenus exactement à la pression atmosphérique. En réalité, il est très avantageux que les gaz entrent à une pression légèrement supérieure à celle de l'atmosphère, par exemple à une surpression de un tiers de bar à un bar, de manière que les débits restent constants dans l'ensemble des circuits. Il est aussi possible de mettre en oeuvre des pressions supérieures à celle de l'atmosphère pour augmenter le taux de transfert de masse à condition que les limites essentielles de concentration ne soient pas dépassées. Par exemple, des pressions de l'ordre de 0,1 à 3 bars conviennent parfaitement bien, bien qu'il ne soit pas nécessaire que la pression soit élevée. D'après les températures de dépôt indiquées dans le tableau précédent, il est évident que celles qui sont appliquées dans le cadre de l'invention dont comprises, de préférence,entre 40 et 400°C. Les températures les plus avantageuses sont de l'ordre d'environ 100 à 280°C. Il est parfois utile que les températures de dépôt soient supérieures. Il est important que le courant de gaz dilué dirigé sur la chambre 100 soit à une température inférieure à celle du dépôt lorsque le mécanisme de dépôt inclut une réaction chimique. Les modes de réalisation dans lesquels les courants primaire et secondaire entraînent des premier et second corps réactionnels qui produisent un troisième composé dans la couche, par exemple de la manière décrite en détail dans l'exemple, sont de ce type. Toutefois, lorsque le processus comprend une condensation, par exemple lorsque le métal élémentaire est vaporisé et condensé, il est important que le courant de gaz dilué soit maintenu à une température supérieure à celle du dépôt. L'expression "température de dépôt" telle qu'indiquée est celle du substrat au moment du dépôt de la couche. Il est également possible, dans le cadre de l'invention, de recycler au moins en partie les gaz évacués par le conduit 106 sur le collecteur 64, par exemple par les conduits il6 et 70. A moins qu'un extracteur tel qu'un condenseur à azote liquide ne soit utilisé pour extraire les produits condensables d'un tel mode de réalisation, il est nécessaire d'évacuer la chambre 100 au moins à un débit réduit lorsqu'il faut passer du dépôt d'une couche à celui d'une autre, afin de réduire la période de dépôt des zones de transition telles que 30, 32, 3^ et 36. De même, bien que l'exemple décrit en détail plus haut représente un mode de mise en oeuvre avantageux dans lequel des zones relativement étroites de transition sont déposées automatiquement, il n'est pas nécessaire de réaliser de telles zones dans tous les cas. Par exemple, lors- 71 35435 .. 2117849 qu'une couche a atteint la profondeur voulue, par exemple la couche 18, l'ensemble des circuits pourrait 8tre balayé par un courant de gaz inerte tel que de l'anhydride carbonique ou de l'azote (ou pourrait fonctionner avec les robinets 66 et 68 fermés lorsque l'extracteur il2* est en fonc-5 tionnement pour un processus à recyclage) et le second dépôt, par exemple de chrome-carbonyle peut être introduit dans la chambre 100 avec une faible proportion d'oxygène dans un courant dilué de balayage avec le résultat que l'acétylacétonate de fer n'est jamais présent pendant le dépôt de la seconde couche, par exemple d'oxyde de chrome. Dans ce mode de réa-10 lisation, les couches d'oxyde de fer et d'oxyde de chrome sont nettement démarquées. Toutefois, comme mentionné plus haut, il est préférable de mettre en oeuvre l'appareil de l'invention de la manière décrite pour réaliser des zones relativement étroites de transition 30, 32, 3^j 36 qui, dans certains cas, sont vraisemblablement très avantageuses. 15 Par ailleurs, il est possible, dans le cadre général de l'invention, d'augmenter l'épaisseur des zones 30, 32, 3^ et 36 en allongeant la période pendant laquelle plusieurs composés de dépôt sont admis simultanément dans le collecteur 64, par exemple par les deux conduits 60 et 62 de l'exemple représenté. Un tel mode de mise en oeuvre, dans lequel plusieurs 20 produits sont vaporisés simultanément, nécessite cependant un contrôle précis des débits d'admission dans les évaporateurs pour permettre une grande reproductibilité d'une campagne à la suivante. Les débits mentionnés dans l'exemple décrit en détail étant constanis et le volume occupé par les gaz, ainsi que d'autres cotes d'un appareil donné étant constants, 25 la commande des autres paramètres tels que le temps et la température permettent de réaliser des couches et des zones de transition, dont les dimensions sont bien reproductibles. Le réglage de la période pendant laquelle le produit de dépôt est admis dans le collecteur 64 commande de manière efficace et reproductible 1'épaisseur de la couche correspon-30 dante déposée sur les lentilles 10 pour une température constante donnée du substrat sur lequel les couches successives sont déposées. Les substrats pouvant Stre utilisés dans le cadre de l'invention comprennent le verre, les céramiques et les métaux, par exemple l'acier inoxydable, ainsi que les matières plastiques telles que le "Téflon", 35 les résines phénoliques, etc. Lorsque les substrats sont en matière plastique, il est préférable que celles-ci soient thermodurcissables. Le procédé de l'invention permet de réaliser des couches uniformes,quels que soient le profil, la forme ou l'accessibilité de la portée optique de la surface du substrat et quel que soit le nombre des 40 substrats traités simultanément. Le procédé de l'invention est aussi 71 35435 - 19 - 2117849 très avantageux pour le dépôt de dessins ayant des dimensions microscopiques, par exemple de dessins microminiaturisés sur un substrat. Dans ce contexte, l'invention n'est pas limitée à un procédé particulier de masquage ou de réserve du substrat pour le dépôt d'un dessin parti-5 culier. Il est toutefois préférable de mettre en oeuvre des techniques photographiques pour réaliser des masques ou des réserves sur le substrat. La combinaison de la technique classique de réalisation de dessins développés par les procédés de la photographie avec le procédé de dépôt de couches par courant dilué de balayage selon l'invention ouvre de nou-10 veaux horizons pour la réalisation de couches à dessins micorminiaturi-sés sans manipulation manuelle pour la production du dessin sur le substrat et sans manipulation du substrat lui-même. Donc, les couches résultantes sont déposées suivant des dessins dont les bords sont extrêmement nets, même lorsqu'ils sont observés sous un fort grandissement. 15 Donc, d'après la description précédente, il est évident que l'invention permet un progrès notable pour la fabrication simultanée d'un grand nombre d'éléments sur lesquels des dépôts sont réalisés, par exemple sur lesquels des dessins sont déposés sélectivement, et pour des filtres optiques, par exemple dichroïques, et pour le dépôt simultané de 20 ces couches sur toutes les surfaces des éléments, à moins que ces surfaces ne comportent des réserves convenables. On remarque également, d'après ce qui précède,que la nature de l'appareillage nécessaire est très semblable à celle des appareils utilisés dans les processus ordinaires de fabrication chimique, en particulier 25 en phase-vapeur, et que la nature des réglages et commandes du procédé est telle qu'ils peuvent être facilement automatisés. De plus, le niveau nécessaire de connaissances techniques du personnel est bas et permet cependant une grande reproductibilité avec une grande aisance de contrôle. De plus, le dépôt n'étant pas fonction de la portée optique du 30 trajet suivi par le produit déposé, le dépôt effectué sur les lentilles 10 selon l'invention est très uniforme, quelle que soit la forme de la surface du substrat revêtu. Dans l'exemple décrit, le dépôt des couches est effectué en continu. Il est bien évident, cependant, qu'il est possible d'effectuer le 35 dépôt par charges successives dans le cadre de l'invention. Il va de soi que l'invention n'a été décrite et représentée qu'à titre explicatif et nullement limitatif et qu'elle est susceptible de diverses variantes, sans sortir de son cadre. 1 35435 - 20 - 2117849 REVgSJDICATIOHS 1. Procédé de dépôt de couches minces sur des substrats par séparation de composants de mélanges gazeux ou en phase-vapeur, caractérisé en ce que la concentration des composants provoquant le dépôt ne dépasse pas 5 ^ en volume des mélanges et la séparation s'effectue à des températures comprises entre 40 et 400°C et avantageusement entre 100 et 280°C et sous une pression absolue comprise entre 0,1 et 4 bars. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que les composants produisant le dépôt comprennent au moins un dopant en concentration maximale de 0,1 $ en volume. 3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que les mélanges gazeux contiennent plusieurs composants provoquant un dépôt et dont la concentration individuelle de chacun est au maximum de 1 ^ en volume. 4. Procédé selon l'une des revendications 1 et 3» caractérisé en ce que la composition de la couche devant être produite est différente de celle de tous les composants produisant un dépôt. 5. Procédé selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que le mélange est produit par étapes successives, au moins deux premiers mélanges, dont chacun se compose d'un gaz inerte contenant un composant produisant un dépôt, étant mélangés. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que les composants produisant un dépôt comprennent un composé métallique, par exemple organométallique, notamment de fer, de chrome, de cobalt, de nickel, de cuivre, de manganèse, d'uranium, de vanadium, de plomb, ou des terres rares, ainsi qu'un agent gazeux d'oxydation ou de l'hydrogène sulfuré. 7. Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'agent gazeux d'oxydation est de l'oxygène en concentration maximale de 0,1 i> en volume. 8. Procédé selon la revendication I, caractérisé en ce qu'il comprend essentiellement les étapes suivantes : introduction du ou des substrats dans une chambre de volume relativement grand, comportant une évacuation, chauffage du ou des substrats pour les porter à température élevée, évacuation de l'atmosphère de la chambre par balayage par un gaz inerte ou par mise sous vide partiel, alimentation en continu de la chambre en un premier mélange gazeux de revêtement qui contient au moins un composé gazeux métallique, ce mélange étant capable de déposer à température élevée sur le ou les substrats une pellicule contenant un premier composé métallique, et alimentation de la chambre en un second mélange 71 35435 - 21 - 2117849 gazeux de revêtement contenant au moins un composé gazeux métallique, le second mélange étant capable de déposer à température élevée une seconde pellicule contenant un composé métallique, la concentration du premier mélange de revêtement diminuant progressivement et celle du second, augmentant progressivement et la concentration totale des composés métalliques étant inférieure à 5 en volume du mélange de revêtement. 9, Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il con-prend essentiellement les étapes suivantes : formation d'un premier mélange gazeux dilué d'un premier composé métallique dans une grande quantité de gaz porteur inerte, addition au premier mélange gazeux de l'un des composés gazeux suivants : H^S, AsH^, PH^, NHq ou HgTe, afin de produire un courant de gaz de revêtement, ledit premier composé métallique réagissant avec ledit composé gazeux pour former une couche sur le substrat, et balayage des surfaces à revêtir portées à une température comprise entre environ 100 et 280°C par le courant de gaz de revêtement, la concentration totale dudit composé métallique et de l'autre composé étant au maximum de 5 ^ en volume dans ledit courant. 10. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend essentiellement les étapes suivantes : chauffage de substrats dans une chambre de revêtement pour les porter à une température comprise entre 100 et 280°C, la chambre étant placée approximativement sous pression atmosphérique, formation d'un premier mélange gazeux dilué d'un premier composé métallique capable de réagir et d'un gaz porteur inerte, addition d'une quantité relativement faible d'un autre composé gazeux au premier mélange de manière à former un second mélange gazeux, ledit autre composé gazeux réagissant sur le premier de manière qu'une première couche se dépose sur les substrats chauffés, envoi du second mélange sur les substrats chauffés par alimentation de la chambre de revêtement en second mélange et évacuation continue de gaz de cette chambre, formation d'un troisième mélange gazeux formé d'un composé métallique pouvant être évaporé et d'un gaz porteur inerte, mélange intime avec le troisième mélange d'une quantité relativement faible d'un autre composé gazeux capable de réagir avec ce troisième mélango pour former une seconde couche sur la première, l'addition dudit autre composé au troisième mélange en formant un quatrième,et envoi du quatrième mélange gazeux sur les substrats par alimentation correspondante de la chambre de revêtement et évacuation continue de cette dernière, la concentration, en corps réactionnels étant au maximum de 5 $ en volume dans tous- les courants* gazeux entrant en contact avec les substrats. 71 35435 - 22 - 2117849 11. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que les substrats sont revêtus à travers des masques de manière que les couches minces ne se déposent que sur certaines surfaces. 12. Procédé selon l'une des revendications 1 et 8, caractérisé 5 en ce que l'alimentation alternée de la chambre de revêtement en les premier et second mélanges produit des première et seconde couches alternées en nombre quelconque qui sont séparées par des couches intermédiaires de composition variant progressivement. 13. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que 10 pour produire une pellicule opaque , le ou les substrats sont revêtus d'une couche d'oxyde, puis sont ensuite placés- en contact avec un gaz porteur inerte qui contient un composant réducteur tel que l'hydrogène, l'oxyde de carbone ou le méthane. 14. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que 15 les substrats revêtus sont ensuite passivés par un courant d'anhydride carbonique ou par une couche de bioxyde de silicium. 15. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, caractérisé en- ce qu'il est appliqué à la réalisation d'éléments photo-électriques actifs, de coir.posants optiques tels que des filtres dichroïques 20 ou des objets décoratifs et les substrats sont en céramique, matière plastique, métal élémentaire, verre ou fibres de verre. 16. Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, caractérisé en ce qu'il comprend les éléments suivants étanches au gaz et reliés hermétiquement : au moins 25 un évaporateur, dont la température est réglable, des premiers organes d'amenée de gaz porteur aux évaporateurs, un mélangeur de gaz relié à chacun desdits évaporateurs par plusieurs premiers conduits correspondants équipés d'organes destinés à les ouvrir ou les fermer sélectivement et à transférer un débit gazeux du circuit formé par ces premiers conduits 30 à un second circuit formé de seconds conduits d'évacuation d'un mélange entrant dans ledit mélangeur, une chambre de revêtement, dont la tempé- G"t rature est réglable/ comportant des supports de plusieurs substrats, les-dits seconds conduits dirigeant ledit mélange passant par le mélangeur dans ladite chambre de revêtement, cette dernière comportant une évacua-35 tion des gaz. 17. Dispositif selon la revendication 16, caractérisé en ce qu'il comprend par ailleurs des organes d'amenée d'un second courant de gaz porteur dans le gaz sortant des évaporateurs, ainsi qu'un doseur de l'addition d'un second corps réactionnel gazeux au second courant ga-40 zeux porteur en un point situé en amont du mélangeur. 71 35435 - 23 - 2117849 18. Dispositif selon l'une des revendications 16 et 17> caractérisé en ce qu'il est équipé pour recycler au moins une partie des mélanges évacués de la chambre de revêtement dans les mélanges destinés à former des dépôts.