Brevet FR2141402A1 — publié le 19730126

Dans les pompes mécaniques classiques employées pour l'obtention d'un vide primaire, comme les pompes à palettes ou à piston oscillant, les parties actives de pompage comportent des zones de frottement qui sont lubrifiées. Du fait de la présence d'un film d'huile entre les parties actives de pompage, ces pompes mécaniques classiques atteignent un taux de compression élevé car, en permettant le frottement, ce film d'huile réduit les fuites latérales et radiales du fluide à pomper en supprimant pratiquement tout jeu entre ces mimes par ties actives. Egalement, la présence de cette huile uniformise dans la masse de la pompe la répartition des calories résultant de l'effet de pompage et des frottements mécaniques, ce qui permet d'éviter les dilatations différentielles pouvant amener le blocage des différents organes. Mais l'étanchéité de ces pompes vis-à-vis de l'extérieur n' est pas intégrale et la lubrification des zones de frottement provoque une pollution du fluide et des enceintes à pomper. Malgré les artifices employés pour y remédier, il en résulte de graves inconvénients dans beaucoup d'applications. Afin d'éviter radicalement ces inconvénients, on a déjà proposé des pompes à vide du type volumétrique dont l'étanchéité est intégrale vis-à-vis de l'extérieur grâce à un soufflet et dont les parties actives de pompage se débattent entre elles suivant un cycle de translation circulaire exacte et engendrée, sans aucun frottement, ni lubrification. De telles pompes sont notamment décrites dans le brevet français NO 1.502.080 du 6 Octobre 1966 au nom de Paul Vulliez et dans son premier Certificat d'Addition N0 93.048 du 29 Septembre 1967. Pour se rapprocher des performances des pompes mécaniques classiques utilisées dans le vide primaire, les pompes à vide du type décrit dans le brevet français NO 1.502.080 et dans son premier Certificat d'Addition NO 93.048 doivent avoir 1/ Une conformation efficace des organes actifs de pompage. 2/ Une constance du très faible jeu latéral et radial entre les surfaces actives de pompage, ce qui implique - une grande précision de fonctionnement cinématique avec absence de tout phénomène de flexion ou déformation dû aux efforts résultant du mouvement et des effets de pression - l'absence de toute dilatation différentielle consécutive à l'échauffement produit par le pompage et le mouvement mécanique, cette dilatation différentielle ayant obligatoirement pour résultat de modifier la rigueur dimentionnelle relative et par suite le jeu entre les surfaces actives de pompage. 'la présente invention se rapporte à des pompes à vide du der-- nier type susvisé, comportant un corps fixe ayant une entrée et une sortie pour un fluide de travail, un passage pour ce fluide de travail qui s'étend entre ladite entrée et ladite sortie et qui est disposé à l'intérieur dudit corps, -des mayens mobiles pour effectuer un déplacement du fluide de travail de ladite entrée à ladite sortie, un mécanisme par lequel lesdits moyens mobiles sont reliés audit corps et supportés par lui, ledit mécanisme comportant au moins trois manivelles d'égale excentricité, accouplées d'une manière synchronisée les unes avec les autres pour commander un mouvement de translation circulaire exacte desdits moyens mobiles par rapport audit corps pendant le fonctionnement de la pompe, des moyens pour entraîner lesdits moyens mobiles et leur faire effectuer ledit mouvement, ledit passage ayant des parois qui sont conformées de manière à épouser la configuration de l'enveloppe de l'espace balayé par lesdits moyens mobiles penw dant leur mouvement, lesdits moyens mobiles et les parois les plus proches dudit passage étant séparés par un petit jeu constant quelle que soit la position desdits moyens mobiles, et des moyens de soufflet étanche dont les extrémités sont fixées respectivement auxdits moyens mobiles et audit corps pour isoler ledit passage de l'atmosphère. Plus particulièrement, dans le Certificat d'Addition NO 93.048 cité ci-dessus, il est décrit en référence aux figures 8 et 9 une telle pompe à vide dans laquelle les moyens mobiles como portent un disque mobile présentant d'un côté une saillie en for- me de spirale et de l'autre cté un organe central de liaison, en forme de canon, relié aux manivelles et entouré par le soufflet tandis que le corps comporte un disque fixe ayant une saillie en forme de spirale intercalée avec la saillie du disque mobile. Be Demandeur a découvert que cet agencement donne de bons résultats lorsque le jeu constant prévu entre les spirales des deux disques n'est pas très petit, ce qui correspond à des applications où le taux de vide demandé à la pompe n'est pas très é)e- vé. Mais un tel agencement présente par contre l'inconvénient da entraîner des risques de contacts intempestifs lorsque le jeu constant est prévu très petit en vue d'un taux de vide poussé. Le Demandeur attribue cet inconvénient au fait que le mouvement cammlniqué à partir des manivelles au disque mobile passe par l'intermédiaire d'un organe central, lequel peut entraîner un fouettement dont l'amplitude, éventuellement petite au centre, va en augmentant vers la périphérie du disque, en entraînant alors des risques de contacts intempestifs. Le Demandeur a découvert que ce risque peut entre évité et qu'il est possible d'obtenir un fonctionnement considérablement amélioré avec une construction plus simple et plus robuste, lorsque l'organe de liaison entouré par le soufflet est prévu solidaire, non pas du disque mobile, mais du disque fixe. La présente invention a pour objet des perfectionnements aux pompes â vide intégralement sèches et étanches et à cycle de translation circulaire, permettant, avec une construction simple et robuste, d'obtenir des performances comparables à celles des pompes mécaniques classiques, ceci sans aucun risque de pollution, ni de fuite, ni d'échauffement excessif, ni de grippage par faux contact. Suivant l'invention, une pompe à vide est caractérisée en ce que les manivelles qui déterminent le mouvement de translation circulaire et qui sont disposées à la périphérie entraînent directement le disque mobile occupant une position centrale circons crite par lesdites manivelles, tandis que le disque fixe est relie au corps fixe par un fût central fixe entouré par le soufflet dont une extrémité est reliée directement ou indirectement au disque mobile et dont l'autre extrémité est reliée au corps fixe. Cette disposition a pour résultat d'éviter dans la transmission du mouvement tout organe intermédiaire central qui soit susceptible d'engendrer des fouettements allant en s'amplifiant vers la périphérie. Au contraire l'extrême précision qui se trouve dé jà réalisée par la position en zone périphérique des manivelles ne fait qu'augmenter lorsque l'on se rapproche du centre. On obtient ainsi une très grande précision de mouvement permettant un très petit jeu entre les spirales sans risque de contact et la pompe est ainsi susceptible de réaliser un vide pousse. Plus précisément ce résultat est obtenu par le fait de prévoir un corps fixe constitué de préférence en une seule pièce et dont la partie centrale est entourée par le soufflet et dont la partie périphérique comporte trois évidements agencés pour le po sitionnement rigoureux des arbres. Cette disposition donne une grande rigidité d'ensemble empêchant les déformations de flexion dues à l'effet de pression dans la zone centrale de refoulement de la spirale fixe et permettant une grande précision du cycle de translation circulaire engendré par les trois manivelles travaillant ainsi sans porte à faux, donc sans déformation de flexion. Par ailleurs, le fait de prévoir un fût central fixe entouré par le soufflet pour supporter la spirale fixe facilite les conditions d'aspiration et de refoulement du fluide à pomper. Plus particulièrement l'aspiration peut être prévue d'une manière sim- ple dans l'intervalle annulaire compris entre le fût central fixe et le soufflet qui l'entoure, tandis qu'un conduit de refoulement avec sa soupape peut être facilement placé suivant l'axe du fût central fixe. On notera également qu'une position verticale est favorable à la purge et à l'expulsion de tout liquide pouvant provenir de vapeurs condensables à l'intérieur des spirales. Suivant une autre caractéristique de l'invention, il est prévu un ensemble de dispositions permettant la suppression de toute dilatation différentielle susceptible de modifier les jeux de fonctionnement entre les parties actives de la pompe. A cet effet, le corps, les organes actifs de pompage, les organes mécaniques de transmission de mouvement sont choisis de préférence dans des matériaux ayant un même coefficient de dilatation et une même conductibilité thermique, tous ces organes étant par ailleurs solidaires entre eux et indépendants d'un capot extérieur qui les entoure. Dans ces conditions, le jeu de fonctionnement reste constant à chaque mise en route de la pompe, même si celle-ci démarre à des valeurs différentes de température d'ambiance. Dès la mise en route, des moyens de circulation d'un fluide refroidisseur entrent en action de façon à ce que les calories produites par l'effet de pompage et le mouvement mécanique soient uniformément réparties entre le corps, les organes actifs de pompage et les organes de transmission de mouvement. On supprime ainsi tout gradient de température entre ces différentes pièces et à cette condition les jeux de fonctionnement entre les parties actives de pompage restent inchangés. Cette suppression du gradient de température est d'autant plus importante que les performances de la pompe dépendent du faible jeu de fonctionnement et que la quantité de calories émises par l'effet du pompage augmente elle-même avec l'accroissement des performances. On notera que dans ce type de pompe où les parties actives de pompage n'ont aucun frottement entre elles, la quantité de calories produite reste notablement inférieure à celle produite par une pompe classique comme celle du type à palettes où le frottement donne naissance à un échauffement important qui s 'ajou- te à celui dû à l'effet thermodynamique du pompage. De ce fait, la pompe suivant l'invention peut fonctionner à des vitesses supérieures à celles desdites pompes classiques et par là même atteindre des performances comparables. Le fluide de refroidissement est puisé dans un réservoir si- tué dans le bas du capot extérieur et envoyé sous pression par un canal dans le fût central fixe vers une galerie ménagée dans le disque fixe et pour passer ensuite dans une cavité ménagée dans un bulbe central de la spirale du disque fixe. Il est ensuite pulsé dans une cavité identique ménagée dans un bulbe central de la spirale du disque mobile. Be mouvement de celui-ci provoque un effet centrifuge énergique qui amène le léchage de ce disque mobile par le fluide, lequel est renvoyé en grande partie vers le capot le long duquel il ruisselle en étant refroidi avant de gagner le réservoir. Pour ce mode de refroidissement on utilise de l'huile qui par projection et gravité assure également le graissage des organes de transmission du mouvement. Dans une forme d'exécution de l'invention, le disque mobile est simple c'est-à-dire avec une seule saillie spirale, qui, en coopérant avec la saillie spirale fixe, forme un seul organe actif de pompage. Dans une variante qui vise l'obtention d'un vide plus poussé, le disque mobile est prévu en deux parties dont les saillies spirales se font vis-à-vis d'une manière espacée et entre lesquelles est disposé le disque fixe ayant des saillies spirales de chaque côté pour coopérer respectivement avec les saillies spirales des deux parties du disque mobile pour former ainsi deux organes actifs de pompage. Dans cet agencement les deux spirales par lesquelles passe en premier le fluide à pomper sont des spirales sans bulbe central où le fluide reçoit un effet centrifuge, lequel améliore dans les basses pressions le taux de vide de l'ensemble actif de la pompe. Ces spirales ne subissent pratiquement pas d'échauffement, leur taux de compression n'étant notable qu'aux basses pressions. On appréciera que la construction avec fût central fixe permet une réalisation particulièrement simple de cet agencement à deux paires de spirales solidaires de l'unique équipage d'entratç nement et avec un seul soufflet d'étanchéité. Du point de vue performances industrielles obtenues, on note ra que le type de pompe à une seule paire de spirales est capable en refoulant directement à une pression atmosphérique égale à 760 torr, d'atteindre un vide limite de 1/100e de torr, mesuré à la jauge X OD, ce qui donne un coefficient de compression E = 76.000, et ceci avec des courbes de débit comparables à celle les des pompes primaires classiques. Ce résultat est obtenu avec un jeu de fonctionnement de l'ordre de 8/100e de mm et avec une vitesse comprise, suivant le volume engendré par la pompe, entre 1000 t/m et 2200 t/m. Dans les mêmes conditions, le vide limite atteint par le type de pompe à deux paires de spirales se situe à une valeur voisine de 1/1000e de torr, soit un coefficient de compression voisin de K = 760.000. Des formes d'exécution de l'invention sont ci-après décrites r à titre d'exemple, en référence aux dessins annexés dans les quels la figure 1 est une vue, en coupe verticale suivant la ligne I-I de la figure 2, d'une pompe à vide à une seule paire de spirales la figure 2 est une vue de la même pompe en coupe horizonta le suivant la ligne II-II de la figure 1, les spirales étant dans une position instantanée précédant la fin d'aspiration la figure 2a est une vue analogue à la figure 2 mais en poa sition instantanée de fin de refoulement et de pleine aspiraticn la figure 3 est une vue schématique du même appareil, où est représenté le circuit d'huile servant au refroidissement et à lt égalisation des températures des parties actives de pompage et au graissage des organes de transmission de mouvement la figure 4 est une vue d'une variante de pompe à vide à deux paires de spirales, en coupe verticale suivant la ligne IV-IV de la figure 5, dans une position angulaire différente la figure 5 est une vue en coupe horizontale suivant la 1- gne V-V de la figure 4. Dans le mode de réalisation représenté aux figures 1, 2, G~. et 3, on voit une pompe à vide intégralement sèche et étanche E--:o â cycle de translation circulaire. Cette pompe comporte un corps fixe 10 ayant un disque fixe 13' qui présente sur un de ses cotés une saillie en forme de spirale 13. Un disque mobile 23' est op posté au disque fixe 13' et possède également une saillie en forme de spirale 23 intercalée avec la saillie 13 du disque fixe 13' et de même amplitude angulaire. Un mécanisme est prévu pour relier le disque mobile 23' au corps 10 et le supporter. Ce mécanisme comporte au moins trois manivelles 20 d'égale excentricité E, accouplées d'une manière synchronisée les unes avec les autres pour commander un mouvement de translation circulaire du disque mobile 23' par rapport au corps fixe 10 pendant le fonctionnement de la pompe. Des moyens moteurs 19 décrits plus loin en détail sont prévus pour entraîner le disque mobile 23' et lui faire effectuer ledit mouvement. Les spirales 13 et 23 sont séparées par un petit Jeu constant, quelle que soit la position du disque mobile 23'. Un soufflet étanche 11 a des extrémités fixées respectivement au disque mobile 23' en 28 et à une base 10" du corps fixe 10 en 30. Le disque mobile 23' est directement relié par sa périphérie aux trois manivelles 20, tandis qu'un fût central fixe 10' relie le disque fixe 13' à la base fixe 10" du corps fixe 10 et est entours par le soufflet 11. Le soufflet métallique 71 utilisé pour réaliser l'étanchéité intégrale du système est positivement protégé contre tout effort de torsion fonctionnel ou accidentel du fait de la cinématique du système d'entraînement à trois manivelles synchronisées 20. De ce fait et à condition d'observer les règles liant la longueur du soufflet à l'excentricité de fonctionnement, la durée de vie de cet organe dans les applications du vide est pratiquement illimitée. Plus particulièrement, la pompe est à une seule paire de spirales 13, 23. Elle présente un axe A. Son corps fixe 10 est monobloc et se compose de la partie centrale ou fût 10', de la base 10" et d'une partie périphérique 10"'. Celle-ci entoure le soufflet Il lui-meme entourant le fût 10'. La partie périphérique 10"' comporte trois évidements 12 si- tués à 120 degrés les uns des autres. Sur le fût central 10' du corps fixe 10, vient se centrer le disque fixe 13' énergiquement bloqué par des boulons 14 avec interposition d'un joint statique d'étanchéité 15. Les trois parties du corps situées dans l'axe vertical des évidements 12, sont usinées pour recevoir des paliers de guidage 16 et 17 et une butée axiale 18, qui servent au positionnement rigoureux de chacun des trois arbres 19 dont les manivelles 20 entrainent, suivant une excentricité de valeur E, une pièce de transfert 21 par l'intermédiaire de roulements 22. Le disque mobile 23' portant la spirale 23 est rendu solidaire de la pièce de transfert 21 par une série de boulons 24. Be disque mobile 23' comporte sur sa face supérieure des nervures de renforcement 25 destinées à éviter les déformations dues à l'effet de pression. Sur les arbres 19 sont calées des masses d'équilibrage 26 et sur les manivelles 20 d'autres masses d'équilibrage 27. Ces différentes masses sont calculées et positionnées de façon à réaliser un équilibrage statique et dynamique parfait des organes en mouvement de translation circulaire. A sa partie supérieure, le soufflet 11 est soudé à une cloche 28 dont le serrage par des boulons 24 sur la pièce de transfert 21 comprime un joint statique 29 qui assure ainsi l'étanché- ité entre cette cloche 28 et la spirale mobile 23. A sa partie inférieure, le soufflet Il est soudé à une pièce annulaire 30, elle-m8me serrée sur le corps par les boulons à tête noyée 31 avec interposition d'un joint statique d'étanchéité 32. On voit à la figure 1 en 33 la tubulure d'aspiration de la pompe qui est solidaire du corps 10 et en 35 le conduit de refoulement, lequel comporte une soupape 34 et fait partie d'une pièce 36. Celle-ci traverse le fût central 10' du corps 10 et est serrée sur ce fût avec interposition de Joints d'étanchéité 37 et 38 destinés à empêcher les fuites d'huile de refroidissement vers l'extérieur. On notera que le conduit 35, la soupape 34 et la pièce 36 sont coaxiaux avec l'axe A de la pompe. L'enceinte à vider est raccordée à la tubulure d'aspiration 33 solidaire du corps 10. Dès la mise en service de la pompe le fluide gazeux à pomper est soumis à l'effet continu et progressif de compression dû au débattement en translation circulaire de la spirale mobile 23 par rapport à la spirale fixe 13. il se crée alors une aspiration de ce fluide gazeux dans l'espace annulaire délimité par l'intérieur du soufflet 11 et de la cloche 28 et 1' extérieur du fût central du corps 10 et de la spirale fixe 13, et ensuite un refoulement de ce meme fluide gazeux par la soupape 34 et le conduit 35. Le fonctionnement de la paire de spirales 13 et 23 est celui d'une pompe multiétagée et est décrit ci-après en référence aux figures 2 et 2a qui correspondent à des positions instantanées différentes. Chaque tour de la spirale défini par un développement angulaire de 3600 correspond à un étage de compression. Â chaque cycle de translation circulaire, le déplacement de chacun des contacts de séparation (au jeu près) permet à chaque étage de réaliser sa propre compression progressive, les volumes emprisonnés restant en permanence isolés les uns des autres par autant de barrières de séparation que la pompe comporte d'étages. Plus précisément, on voit (figure 2) que les spirales 13 et 23 sont représentées dans une position précédant la fin de l'asspiration Lorsque la position des spirales correspond à cette fin du temps d'aspiration les deux premiers volumes emprisonnés en V1 subissent après un premier cycle de translation circulaire une première compression les réduisant aux deux volumes V2. Ceuxci après un second cycle subissent une seconde compression et sont réunis dans le même volume V3 qui au cours du troisième cycle subit l'effet de la compression finale pour être totalement expulsé (aux fuites près) par la soupape 34, les spirales se trouvant alors en position instantanée de fin de refoulement et pleine aspiration comme représenté à la figure 2a. On notera que le gros bulbe central de chaque spirale 13 et 23, outre l'avantage de comporter une cavité extérieure 43, 45 pour le refroidissement, permet par sa conformation épaisse la réduction des fuites radiales et latérales dans la zone où la compression est la plus forte. Egalement pour une m8me excentration de fonctionnement E, l'épaisseur de ce bulbe central augmente le volume commun V3 de compression finale et permet ainsi de dimensionner convenablement l'orifice d'échappement en 34. On appréciera que toute l'enceinte de la pompe où se réalise le vide est totalement isolée à la fois de l'extérieur et d'un çircuit d'huile de refroidissement et de lubrification décrit ciaprès en référence à la figure 3 où se trouve schématisé le parcours de l'huile. Dans le bas d'un capot extérieur 39 qui entoure d'une maniè re indépendante l'ensemble de la pompe, se trouve un réservoir d'huile dans lequel est immergée la pompe 40 entratnée par l'un des arbres 19. L'huile pulsée dans l'espace annulaire 41 entre l'extérieur de la pièce 36 et l'intérieur du fût central 10', arrive dans une galerie 42 ménagée dans le disque de la spirale fixe 13 et monte dans la cavité 43 prévue dans le bulbe central de la spirale fixe 13. Elle s'en échappe par le tube 44 pour être projetée à l'intérieur de la cavité 45 prévue dans le bulbe central de la spirale mobile 23. Du fait du mouvement, l'huile après avoir léché la surface externe de la spirale mobile 23 est énergiquement projetée le long du capot 39.L'ensemble de la partie mécanique se trouve lubrifié par projection, et la plus grande quantité de i'huile ruisselle le long du capot 39 pour retomber après s'être refroidie dans le réservoir de la pompe 40. On notera que lorsque la pompe est suffisamment grosse, on peut prolonger les cavités 43 et 45 du bulbe jusque dans tout ou partie du développement des spirales. On comprendra que le fait d'avoir une intense circulation d'huile de refroidissement notamment dans les cavités 43 et 45 situées immédiatement à l'extérieur de la zone centrale des spirales où l'effet de compression finale donne naissance à la plus grande quantité de calories et de faire ensuite circuler cette huile aussi bien à l'intérieur du fût central 10' qu'à l'extérieur des disques 13' et 23' des spirales 13 et 23 et que sur 1' ensemble du corps 10, produise une égalisation des températures dans tous les organes de la pompe situés à l'intérieur du capot 39. On évite ainsi toute dilatation différentielle entre ces mes organes, ce qui permet la conservation à tous les régimes du même jeu fonctionnel entre les spirales. Ce résultat constitue un facteur essentiel de sécurité de marche et de constance des excellentes performances industrielles atteintes par ces appareils. L'entraînement de la pompe (non représenté sur les dessins) se fait soit directement, soit indirectement, par l'un des trois arbres verticaux 19 sortant du capot 39. Un deuxième arbre 19 peut commander directement l'organe 40 destiné à pulser le fluide de refroidissement. On notera à ce sujet que pour les petites pompes dont le volume engendré est de l'ordre de 10 m3/heure à 15 m3/heure, ce fluide peut être de 1' air pulsé par un ventilateur centrifuge, dans des sections de passage convenablement aménagées à cet effet. En dehors de lthui- le servant à la fois au refroidissement des spirales et à la lubrification de la partie mécanique, on peut, cette dernière étant alors lubrifiée à la graisse, brancher le refroidissement sur une arrivée d'eau, la spirale mobile comportant dans ce cas, sur sa face supérieure, une capacité étanche reliée par deux tubes fle ribles, l'un au circuit venant de la spirale fixe, et l'autre à l'égout. Dans la pompe à vide représentée aux figures 1 à 3, on constate que la conformation des spirales avec un gros bulbe central creux vers l'extérieur est particulièrement favorable à l'obtention d'un vide limite primaire déjà excellent lorsque la pompe refoule directement à la pression atmosphérique La valeur de ce vide limite primaire peut être améliorée par l'adjonction d'une pompe du type à membrane entraînée par l'un des arbres 19 et dont l'aspiration est branchée au refoulement 35 des spirales avec de préférence un by-pass. Avec ce dispositif, cette pompe à membrane d'un faible volume engendré ne refoule ainsi directement à la pression atmosphérique qu'à partir d'une valeur dé suffisamment basse de la pression dans l'enceinte à vider. Pour certaines applications où l'utilisation de la membrane déformable est compatible avec le fluide à pomper et la qualité du vide à obtenir, cette adjonction constitue un moyen simple d' améliorer le vide limite du type de pompe à une seule paire de spirales et d'atteindre une pression de l'ordre de 1/1000e de torr. Un autre moyen d'améliorer le vide limite primaire consiste, comme représenté aux figures 4 et 5, à prévoir la pompe à deux paires de spirales. On se référera maintenant à ces figures 4 et 5 où la disposition est analogue à celle qui vient d'être décrite en référen- ce aux figures 1 à 3, mais où la pompe est à deux organes actifs de pompage ayant chacun une paire de spirales. Plus précisément, la pompe à vide représentée à la figure 4 est un appareil dont la construction est semblable à celle de la figure 1, mais qui comporte d'une part une première paire de spirales 46 et 47 sans bulbe central (figure 5) et d'autre part une deuxième paire de spirales 13 et 23 avec bulbe central creux vers l'extérieur, qui est analogue à la paire de spirales décrite en référence aux figures 1 à 3 et dont la vue en coupe par une ligne a-a à la figure 4 est identique à ce qui est représenté à la figure 2a, dans la même position angulaire qu'à la figure 5. Dans la pompe des figures 4 et 5, on améliore le vide limite primaire en faisant passer le fluide à pomper dans la première paire de spirales 46 et 47 sans bulbe central. L'aspiration par l'orifice 33 se fait par les zones intérieures 48 et 49 et le refoulement par les zones périphériques 50 et 51 qui débouchent directement toutes deux dans les zones d'aspiration des deux spirales à bulbe 13 et 23, lesquelles assurent comme sur les figures 1 et 2 le refoulement direct à la pression atmosphérique. 'les deux spirales 46 et 47 ont un volume engendré qui est choisi très voisin de celui des spirales 13 et 23. Au début du pompage le volume aspiré en 33 est pulsé de l'intérieur vers l' extérieur des spirales 46 et 47 avec, comme pour les spirales 13 et 23, une constante séparation entre les volumes enfermés et les zones d'aspiration et de refoulement. L'identité des volumes engendrés par chacune des paires de spirales fait que pratiquement dans toute la phase du pompage préliminaire la compression due à l'action des spirales 46 et 47 reste très minime et qu'en conséquence leur échauffement est négligeable. Par contre dès que la pression à l'aspiration dans les zones 48 et 49 devient faible c'est-à-dire au voisinage de 1 torr, 1' efficacité des spirales 46 et 47 commence a contre, permettant ainsi à l'ensemble de la pompe d'atteindre un taux de vide limite d'une valeur meilleure que 1/1000e de torr, et ceci du fait que la résistance aux fuites à travers le jeu fonctionnel s'accroft fortement au fur et à mesure que la pression diminue. Les performances de la pompe des figures 4 et 5 sont dues à la mise en vitesse aux basses pressions, des molécules du fluide à pomper, cette mise en vitesse résultant à la fois de l'effet volumétrique et de l'effet centrifuge produit par le débattement en translation circulaire de la spirale mobile 46 par rapport à la spirale fixe 47. Du fait que leur efficacité -n'intervienne qu aux basses pressions, les deux spirales 46 et 47 n'engendrent pratiquement pas d'échauffement, et peuvent donner de bons résultats avec un jeu fonctionnel d'une valeur plus élevée que celui des spirales 13 et 23. Plus précisément, on voit figure 4 la spirale mobile à bulbe 23 dont le débattement en translation circulaire par rapport à la spirale fixe 13 est provoqué par le m8me ensemble mécanique que celui décrit pour les figures 1 et 2. Cette spirale fixe 13 appartient à une mime pièce 13', en forme de disque, dans la partie inférieure de laquelle est usinée la seconde spirale fixe 47, dans laquelle vient s'intercaler la seconde spirale mobile 46. Les deux disques 23' et 46' des spirales mobiles 23 et 46 sont rendus solidaires par la pièce annulaire 52 qui remplace la cloche 28 de la figure 1 et qui se trouve énergiquement serrée à la fois sur la pièce de transfert 21 et sur le disque 46' de la seconde spirale mobile 46. Les autres dispositifs appliqués à cette construction tels que refroidissement, joints statiques d'étanchéité, etc... sont semblables à ceux décrits en référence aux figures 1 et 2. On notera l'avantage de simplicité réalisé dans cette construction ou les deux paires de spirales fonctionnent grâce à un seul équipage de commande et avec un seul soufflet d'étanchéité par rapport à l'extérieur. La pompe à vide intégralement sèche et étanche suivant 1 'in- vention est particulièrement intéressante pour des applications dans le nucléaire, dans la fabrication des tubes et composants électroniques, dans l'industrie de la pharmacie, de l'alimentaire, etc... REVENDICATIONS 1) Perfectionnements aux pompes à vide intégralement sèches et étanches et à cycle de translation circulaire, ladite pompe comportant un corps fixe ayant un disque fixe qui présente sur un au moins de ses côtés une saillie en forme de spirale, un disque mobile opposé au disque fixe et ayant également au moins une saillie en forme de spirale intercalée avec la saillie du disque fixe et de même amplitude angulaire, un mécanisme par lequel le disque mobile est relié audit corps et supporté par lui, ledit mécanisme comportant au moins trois manivelles d'égale excentricité, accouplées d'une manière synchronisée les unes avec les autres pour commander un mouvement de translation circulaire du disque mobile par rapport audit corps pendant le fonctionnement de la pompe, des moyens moteurs pour entrarner le disque mobile et lui faire effectuer ledit mouvement, les spirales du disque fixe et du disque mobile étant séparées par un petit jeu constant quelle que soit la position du disque mobile, et des moyens de soufflet étanche dont les extrémités sont fixées respectivement au disque mobile et audit corps, perfectionnements caractérisés en ce que le disque mobile est directement relié par sa périphérie aux trois manivelles, tandis qu'un fût central fixe relie le disque fixe à une base fixe du corps et est entouré par les moyens de soufflet dont une extrémité est reliée au disque mobile et dont l'autre extrémité est reliée à ladite base. 2) Perfectionnements aux pompes à vide suivant la revendication 1, caractérisés en ce que la pompe est à un seul organe actif de pompage avec une seule saillie en spirale sur le disque fixe et une seule saillie en spirale sur le disque mobile. 3) Perfectionnements aux pompes à vide suivant la revendication 2, caractérisés en ce que les spirales ont un bulbe central creux vers l'extérieur. 4) Perfectionnements aux pompes à vide suivant la revendication 1, caractérisés en ce que la pompe est à deux organes actifs de pompage, le disque mobile étant prévu en deux parties dont les saillies spirales se font vis-à-vis d'une manière espacée et entre lesquelles est disposé le disque fixe ayant des saillies spirales de chaque côté pour coopérer respectivement avec les saillies spirales des deux parties du disque mobile, lesquelles sont as sociées au dit mécanisme d'entrainement qui est unique, tandis que l'ensemble actif est isolé de l'atmosphère par les dits moyens de soufflet qui sont formés par un soufflet unique. 5) Perfectionnements aux pompes à vide suivant la revendication 4, caractérisés en ce que les spirales d'un des organes actifs de pompage sont exemptes de bulbe central, tandis que les spirales de l'autre organe actif de pompage ont un bulbe central creux vers l'extérieur. 6) Perfectionnements aux pompes à vide suivant une des revendications précédentes, caractérisés en ce qu'en vue du refroidissement, un capot entoure la pompe d'une manière indépendante de celle-ci et comporte un réservoir de fluide de refroidissement dans lequel ce fluide est puisé et envoyé sous pression par un canal dans le fût central fixe vers une galerie ménagée dans le disque fixe et d'où le fluide passe dans une cavité ménagée dans la spirale du disque fixe, pour passer ensuite dans un conduit d'ou le fluide est renvoyé dans une cavité ménagée dans la spirale du disque mobile. 7) Perfectionnements aux pompes à vide suivant la revendication 6, caractérisés en ce que chacune des dites cavités pour le refroidissement est formée par un creux de la spirale ouvert vers l'extérieur. 8) Perfectionnements aux pompes à vide suivant la revendication 7, caractérisés en ce que le dit creux ouvert vers l'exté- rieur est ménagé dans un bulbe central de la spirale. 9) Perfectionnements aux pompes à vide suivant une des revendications précédentes, caractérisés en ce que l'aspiration de la pompe communique avec l'intervalle annulaire compris entre le fût central fixe et les moyens de soufflet qui entourent celui-ci. 10) Perfectionnements aux pompes à vide suivant une des revendications précédentes, caractérisés en ce qu'un conduit de refoulement muni d'une soupape est disposé à l'intérieur du fût central fixe.