Brevet FR2116351A1 — publié le 19720713

La présente invention se rapporte à un transducteur à semiconducteur et concerne plus particulièrement un transducteur électromécanique perfectionné à semiconducteur. Divers types de transducteurs électromécaniques à semiconducteur ou de transducteurs sensibles à la pression à semiconducteur ont été proposés et utilisés. Un transducteur de ce genre utilise deux jonctions pu dans un semiconducteur. Le dispositif semiconducteur, qui est généralement en silicium, comporte une jonction pu dont les caractéristiques électriques varient quand on lui applique une force mécanique ou une pression. En conséquence, il est possible de réaliser un dispositif sensible à la pression en prévoyant un moyen pour appliquer une pression à la jonction d'un tel dispositif semiconducteur. L'un des défauts des transducteurs sensibles à la pression classiques utilisant une jonction pu est leur faible sensibilité. C'est la raison pour laquelle on est obligé d'associer ces transducteurs à un dispositif actif tel qu'un transistor dans les applications pratiques. Un autre grave défaut de ces transducteurs est la médiocre linéarité de leur courbe caractéristique qui limite leur domaine d'application. De plus, comme l'on sait, les dispositifs semi -conducteurs utilisant des jonctions p-n exigent des traitements à des températures élevées, ce qui complique leur fabrication et augmente leur coût. On a également proposé d'utiliser un autre type de transducteur comportant une barrière de Schottky formée entre un semiconducteur et un métal. L'une des difficultés qu'on rencontre avec ce type de transducteur est que la barrière risque d'être endommagée quand on applique une fore mécanique ou une pression à la couche de métal, laquelle est tendre. Diverses demandes de brevets japonais, déposées par la Demanderesse de la présente invention, décrivent un élément semiconducteur composite comprenant une pellicule d'oxyde d'étain (Sn02) déposée sur un substrat semiconducteur, par exemple en silicium, et ayant des propriétés photoélectriques et de redressement. Plus précisément, un tel élément composite est obtenu par un procédé qui consiste à chauffer un monocristal de silicium de type n, servant de substrat, dans un tube de quartz, à introduire de la vapeur d'un sel d'étain, tel que le bichlorure de diméthyl-étain ( (CH3)2SnC12) dans ce tube de quartz afin de déposer une pellicule d'oxyde d'étain sur ledit substrat de silicium par pyrolyse. I1 s'est confirmé qu'entre la pellicule d'oxyde d'étain et le substrat de silicium de l'élément composite ainsi obtenu, il se forme une barrière, qui est probablement une barrière de Schottky, dont les propriétés de redressement ressemblent étroitement à celles d'une jonction p-n. Cette barrière peut avantageusement être utilisée comme dispositif de redressement ou comme dispositif photoélectrique. Comme l'on sait, une mince pellicule d'oxyde d'étain est à la fois trans parente et conductrice. En conséquence, en adaptant l'élément composite pour que la lumière atteigne ladite barrière à travers la pellicule d'oxyde d'étain, on obtient un dispositif photoélectrique. On a observé que les caractéristiques spectrales d'un tel dispositif photoélectriques sont telles qu'il est plus sensible dans la région de la lumière visible du spectre, que les dispositifs photoélectriques classiques au silicium. Il présente aussi un signal de sortie plus élevé sous un éclairement plus faible et a des courbes caractéristiques de température et de réponse satisfaisantes. La structure, les caractéristiques, les applications et les procédés de fabrication des dispositifs semiconducteurs composites mentionnés ci-dessus sont décrits plus en détail dans les demandes de brevets japonais suivantes déposées par la Demanderesse de la présente invention : demande n" 27545/1969 du 9 Avril 1969 ; demande nO 62728/1969 du 7 Août 1969 ; demande nO 62730/1969 du 7 Août 1969 ; demande n" 62733/1969 du 7 Août 1969 ; demande n" 76483/1969 du 24 Septembre 1969 ; demande nO 77192/1969 du 26 Septembre 1969 et demande n" 79098/1969 du 2 Octobre 1969. Du fait qu'un tel élément composite présente des propriétés de redressement avantageuses, il doit être possible de l'utiliser comme dispositif sensible à la pression. En résumé, la présente invention a pour objet un transducteur élctromé- canique à semiconducteur qui comprend un élément semiconducteur composite comportant une pellicule d'oxyde d'étain déposée sur un substrat semiconducteur et présentant des propriétés de redressement, et un moyen pour appliquer une force mécanique sur cet élément. On a découvert que les caractéristiques électriques d'un tel élément composite comprenant une pellicule d'oxyde d'étain déposée sur un substrat semiconducteur, présentent des variations quand on applique une force mécanique. Plus précisément, le courant inverse de cet élément composite est directement proportionnel à la force mécanique appliquée à celui-ci. La présente invention apporte aussi des perfectionnements à un tel transducteur qui ont pour effet d'augmenter sa sensibilité à la pression. Ceci peut être réalisé en utilisant une structure conçue pour que la force mécanique soit appliquée de manière à developper des contraintes de cisaillement dans la bar rière. Dans un tel mode de réalisation, une couche d'oxyde d'étain est déposée sur une surface rugueuse ou inégale ou sur une surface ayant de petites irrégu larités du substrat semiconducteur. En conséquence, l'interface ou la barrière de celui-ci présente des irrégularités ou des inégalités correspondantes.Quand on applique une force mécanique à une aire donnée de la couche d'oxyde d'étain, il se développe une contrainte de cisaillement dans l'interface ou dans la barrière d'une partie en biseau.On a découvert que, quand une telle partie de la barrière est soumise à un effort de cisaillement, on obtient une sensibilité plus grande à la pression que dans le cas ou la force mécanique est appliquée verticalement sur la barrière ou quand la barrière est soumise à un effort de compression. En conséquence, la présente invention a pour but de fournir un transducteur électromécanique à semiconducteur ~ Ayant une excellente sensibilité à la pression - qui peut être facilement pourvu d'un élément permettant d'appliquer la pression - dont la construction est simple et dont la fabrication est aisée - qui peut être fabriqué à une température relativement basse - qui peut être fabriqué à bon marché: et, - qui utilise un élément semiconducteur composite comprenant un substrat semiconducteur et une couche d'oxyde d'étain déposée sur celui-ci, formant ainsi une barrière ayant des propriétés de redressement entre eux. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple non limitatif, en référence au dessin annexé, dans lequel - la figure 1 est une vue en coupe d'un transducteur à semiconducteur conforme à l'invention; - la figure 2 est un diagramme montrant la courbe caractéristique de l'é- lément semiconducteur composite du transducteur de la figure 1 ; - la figure 3 est un graphique montrant la courbe caractéristique de conversion électromécanique du transducteur de la figure 1; - la figure 4 est une vue en coupe d'un transducteur conforme à un autre mode de réalisation de l'invention ; ; - la figure 5 est une vue en coupe à plus grande échelle montrant l'élément de pression au contact de l'élément semiconducteur composite d'un autre mode de réalisation de l'invention ; - la figure 6 est un diagramme permettant de comparer les caractéristiques de conversion électromécaniques des transducteurs des figures 1 et 5; - la figure 7 est une perspective agrandie d'une partie d'un transducteur conforme à un autre mode de réalisation de l'invention; - la figure 8 est une vue en coupe d'une autre variante d'exécution du transducteur selon l'invention; - la figure 9 est une coupe montrant encore un autre mode de réalisation du transducteur selon l'invention; - la figure 10 est une vue en plan d'une autre variante d'exécution de l'invention;; - la figure Il est une vue en plan d'un autre mode de réalisation conforme à l'invention et, - la figure 12 est une vue en coupe d'une dernière variante de réalisation de l'invention. Sur toutes les figures du dessin, les mêmes références désignent les mêmes éléments. En se référant à la figure 1, on voit une coupe schématique d'un transducteur électromécanique conforme à un mode de réalisation de la présente invention. Le transducteur représenté comprend essentiellement un composé semiconducteur et un élément de pression prévu sur celui-ci. L'élément semiconducteur comprend, par exemple, un substrat de silicium n 1 dont la résistivité spécifique est d'environ 1 ohm/cm et une pellicule 2 d'oxyde d'étain (SnO2)déposée sur la face supérieure de ce substrat par pyrolyse d'un sel d'étain tel que le bichlorure de diméthyl-étain. La pellicule d'oxyde d'étain 2 du dispositif selon l'invention doit être choisie de façon à présenter une conductivité elevée et constitue elle-même un semiconducteur de type n. Cette conductivité doit être voisine de celle d'un métal, e'est-à-dire, 20 doit présenter une concentration en électrons libres d'environ 10 atomes par 3 cm . La couche d'oxyde d'etain, ayant les propriétés d'un semiconducteur de type n, peut être formée par une réaction chimique rapide produisant du SnO2. Ce résultat est probablement dû à un excès de métal (à un manque d'oxygène) résultant de la rapidité de la réaction. On a découvert que les éléments composites ayant une telle structure et composition présentent des caractéristiques de redressement et aussi, un effet photoélectrique quand des radiations sont appliquées à l'hétérojènction formee à l'intérieur de ceux-ci. L'une des explications possibles de cette découverte est que, si l'on considère l'oxyde d'étain comme un métal, cette hétérojonction se comporte comme une barrière de Schottky formée entre la pellicule de Sn02et le substrat semiconducteur. En se référant à la figure 2, on voit la courbe caractéristique de l'élé- ment semiconducteur composite de la figure 1. Sur ce graphique, la courbe A représente la courbe caractéristique positive ou directe de cet élément composite, tandis que la courbe B représente la courbe caractéristique négative ou inverse de celui-ci. On va décrire maintenant plus en détail la structure de ce transducteur et un procédé de fabrication de celui-ci en regard de la figure 1. On forme une pellicule de matière isolante 2, par exemple, de Si02, sur la face principale d'un mono-cristal de silicium de type nl ayant une résistivité spécifique d'environ 12/cm, l'épaisseur de cette pellicule étant de 8000 A. Le substrat semiconducteur 1 peut soit être une combinaison d'une couche n ayant une résistivité spécifique élevée déposée sur une autre couche n ayant une résistivité spécifique relativement basse ou bien une couche n déposée sur toute la surface ou sur une partie de la surface d'une couche p. La pellicule de Si02 peut être formée soit par une réaction thermique connue, soit par une réaction de pyrolyse de silane à une température relativement basse. Un tel procédé de formation d'une pellicule isolante est universellement connu des techniciens avertis. Une pellicule d'une autre matière isolante quelconque peut être utilisée à la place de cette pellicule Si02. Parmi ces autres matières isolantes, on peut citer, par exemple, le nitrure de silicium (Si3N4), le verre au plomb (Si02 - PbO) et le verre d'alumine (Si02-Al203). La pellicule isolante 2 est, de préférence, formée à une température relativement basse, de préférence, inférieure à environ 9000C. Un chauffage à une température très élevée nécessite un appareillage plus coûteux, et, de plus, augmente les risques d'endommager le substrat semiconducteur. On élève ensuite une partie de la pellicule isolante 2 par un traitement de photogravure de façon à produire, par exemple, une ouverture circulaire 302. il est également possible de déposer la pellicule isolante 2 de manière à ménager cette ouverture 302. Toutefois, en formant d'abord une pellicule isolante d'épaisseur uniforme sur toute la face principale du substrat, et en enlevant ensuite la partie inutile de cette pellicule par un procédé de photogravure, on obvient le contour désiré avec une plus grande précision. Des pellicules de Si02, Si02-PbO, etc., peuvent être traitées avec un degré élevé de précision par ce procédé de photogravure. L'étape suivante consiste à former une pellicule d'oxyde d'étain 3 sur toute la face principale comportant la pellicule isolante 2 afin de produire un élé- ment semiconducteur composé. Ceci est accompli en chauffant d'abord le substrat semiconducteur 1 à environ 500"C dans un tube de réaction en quartz, puis en y introduisant une vapeur contenant de l'étain afin de déposer par pyrolyse une pellicule d'oxyde d'étain 3 sur le substrat 1. C'est pour cette raison que l'on peut utiliser le bichlorure de diméthyl-étain ( (CH3)2SnCl2). Ce composé a donné les meilleurs résultats. Toutefois, il est également possible d'utiliser une solut ion aqueuse de tétrachlorure d'étain (SnCl4) ou sa solution dans un solvant organique. Comme gaz porteur, on peut utiliser une atmosphère oxydante, telle que l'air ou l'oxygène. La pellicule d'oxyde d'étain 3 peut être déposée à une épaisseur d'environ 7000A en prolongeant la réaction de pyrolyse pendant 60 secondes. Pour améliorer la conductibilité de la pellicule 3, on mélange à la réaction environ 0,5X en poids d'oxyde d'antimoine (si203). On a découvert qu'un semiconducteur constitué par du silicium n convient pour constituer le substrat dudit élément composite. Toutefois, un semiconducteur composite ayant des caractéristiques de redressement analogues peut aussi être réalisé avec du silicium p.Cependant, en utilisant un semiconducteur p, on constate qu'il est préférable d'exécuter la réaction de formation de dépôt de Sn02 à une température un peu plus élevée ou de faire subir un traitement thermique approprié à l'élément composite résultant du dépôt de la pellicule d'oxyde d'étain à la température de réaction in diquée ci-dessus. On a également découvert que des éléments composites ayant des caractéristiques de redressement similaires peuvent être fabriqués en utilisant pour le substrat du germanium Ge ou de l'arséniure de gallium GaAs. Des électrodes 4 et 4' sont ensuite formées sur les deux grandes faces du substrat comme le montre la figure 1. Ces électrodes 4 et 4' sont produites en déposant du nickel par vaporisation sous vide à une épaisseur d'environ 8000 A. On branche une source dénergie électrique 6, à travers un ampèremétre 7 entre les électrodes 4 et 4' de façon à appliquer une polarisation inverse à la bar rière de l'élément composite. Une aiguille de pression 5 est placée de façon que sa pointe ou son extrémité soit au contact de la surface de la couche d'oxyde d'étain 3. L'aiguille de pression 5 est convenablement reliée, de façon connue, à la source d'énergie mécanique ou de pression à mesurer. Comme aiguille 5, on utilise une tige de verre ayant, à sa pointe, un rayon de courbure d'environ 100)1. En variante, une tige faite d'une autre matière, telle qu' un métal ou ayant une forme différente, pourrait être utilisée. On a découvert qu'il existe en gros, une relation de proportionnalité li néaire ou directe entre la force mécanique appliquée à la barrière au moyen de l'aiguille 5 et le courant inverse circulant à travers l'élément semiconducteur quand la tension de la source électrique 6 est règlée à un niveau donné. La présente invention utilise ce phénomène. En se référant à la figure 3, on voit la courbe caractéristique de courant inverse du transducteur de la figure 1, en fonction de la pression. Plus préci sément, ce graphique montre la courbe caractéristique de courant inverse en fonction de la pression quand une polarisation inverse de 1 V est appliquée entre les électrodes 4 et 4'. Cette courbe montre clairement que le transducteur a une sensibilité satisfaisante et une linéarité relativement bonne. Bien qu'il soit pré férable que l'aiguille de pression 5 soit placée près du centre de la barrière formée par le substrat 1 et la pellicule d'oxyde d'étain, on dispose néanmoins d'un large choix d'emplacements pour celle-ci.On obtient une courbe caractéristique stable du fait de la grande dureté de la pellicule d'oxyde d'étain 3 qui assure la non-déformation de la pellicule en service, pendant de longues périodes de temps. Il ressort clairement de l'exposé ci-dessus, que le transducteur électromécanique selon l'invention est facile à fabriquer, à une excellente sensibilité à la pression et, en conséquence, est extrêmement utile dans certaines applications, comme par exemple dans les lecteurs phonographiques. En se référant à la figure 4, on voit en coupe un transducteur correspondant à un autre mode de réalisation de l'invention dans lequel une bille 5' est utilisée à la place de l'aiguille de pression 5. Sur la figure 1, on voit qu'avec l'aiguille 5, la pression à laquelle la barrière est exposée peut varier avec la direction du vecteur de la force mécanique appliquée au moyen de cette aiguille de pression 5. Par contre, dans le mode de réalisation de la figure 4, la bille de pression 5' peut rouler et, par conséquent, la pression peut être appliquée perpendiculairement à la surface d'oxyde d'étain, au point où la bille est au contact de cette surface, même si la direction de la force mécanique appliquée à la bille 5' n'est pas perpendiculaire à ladite surface. La courbe caractéristique représentée sur la figure 3 correspond à un mode de réalisation dans lequel le substrat de l'élément semiconducteur composite du transducteur de la figure 1 avait un poli de miroir. En fait, dans le cas de l'élément semiconducteur composite photosensible mentionné dans les applications de la technique antérieure, le poli de miroir de la surface du substrat était considéré comme utile. Or, on a découvert pendant les recherches auxquelles la présente invention a abouti qu'il est préférable de laisser la surface du substrat du transducteur de l'invention rugueuse ou inégale. On va décrire ciaprès en détail un tel mode de réalisation de l'invention. En se référant à la figure 5, on voit une vue en coupe à grande échelle de l'aire de contact de l'aiguille de pression d'un mode de réalisation dans lequel la surface du substrat du transducteur de la figure 1 est restée rugueuse ou inégale. L'une des faces principales du substrat semiconducteur 1 présente de nombreuses inégalités et la pellicule d'oxyde d'étain 3 est déposée sur cette surface. En conséquence, quand un élément de pression approprié, tel que l'aiguille 5, avec un rayon de courbure à la pointe de 100yfait pression sur la pellicule d'oxyde d'étain 3, l'aiguille 5 vient partiellement au contact de certaines parties saillantes de la pellicule d'oxyde 3.Quand une charge s'exerce sur l'aiguille de pression 5, une contrainte mécanique se développe dans une partie de la pellicule d'oxyde d'étain 3 et dans le substrat semiconducteur 1 et cette contrainte a une influence sur la barrière mentionnée, influence qui peut être mise en évidence sous la forme d'une variation du courant inverse traversant la bar rière à l'aide d'un dispositif de détection approprié, tel que 1 'ampèremètre 7 branché en série avec la source de polarisation inverse 6, comme représenté sur la figure 1. On a découvert que le transducteur électromécanique de la figure 5 ayant la construction ci-dessus, présente une sensibilité à la pression considérablement améliorée. La figure 6 est un graphique montrant les variations de l'intensité du courant inverse en fonction de la charge dans le transducteur de la figure 5. Sur cette figure, la courbe A correspond à un dispositif sensible à la pression dont la surface a un poli de miroir, comme celui décrit ci-dessus en regard de la figure I, tandis que la courbe B correspond à un dispositif sensible à la pression conforme au mode de réalisation de la figure 5. Dans le mode de réalisation dont le substrat a une surface présentant un poli de miroir, la pellicule d'oxyde d'étain est déposée sur cette surface du substrat semiconducteur selon un procédé couramment utilisé dans la technologie des semiconducteurs, par exemple, pour fabriquer des transistors du type à diffusion. Par contre, aucun procède compliqué n' est nécessaire pour produire les inégalités de la grande face du substrat semiconducteur du mode de réalisation de la figure 5. Alors que le substrat semiconducteur normalement utilisé dans un semiconducteur du type à diffusion reçoit un poli de miroir après le rodage, le substrat semiconducteur pour le mode de réalisation de la figure 5 peut être préparé sans ce poli de miroir. Toutefois, au besoin, il pourrait aussi recevoir un poli de miroir, puis être soumis à un décapage chimique. La surface du substrat semiconducteur ainsi préparée, présente de nombreuses petites concavités et con vexités dont la profondeur ou la hauteur est d'environ 1 p et qui sont espacées les unes des autres de plusieurs microns. En utilisant comme aiguille de pression 5 une aiguille chromée, on obtient la courbe caractéristique ci-dessus avec une tension de polarisation de 5 V. Cette différence remarquable des courbes caractéristiques de sensibilité à la pression que montre la figure 6 peut être attribuée à la différence des états de surface du substrat sur lequel la pellicule d'oxyde d'étain est déposée. Ceci s'explique comme suit On suppose que la charge appliquée développe une contrainte de cisaillement dans la barrière de l'élément composite, cette contrainte de cisaillement influentant la barrière redresseuse. En se référant à la figure 5, on voit que la charge F appliquée à l'aiguille 5 développe une composante de force F1 agissant dans la direction d'un biseau de la pellicule d'oxyde étain, développant ainsi une contrainte de cisaillement dans la barrière. Cette contrainte de cisaillement a une plus grande influence sur la barrière que la contrainte verticale de compression qui s'exerce sur celleci. Ceci peut s'expliquer, entre autres, par le fait que le module de cisaillement est plus petit que le module de Young. La relation entre le module de cisaillement N et le module de Young E s'écrit comme suit E 2 ( 1 + K ) dans laquelle K est le rapport de Poisson, qui est normalement d'environ 0,3 pour les métaux et les substances analogues. En conséquence, le module de cisaillement n'est que d'environ 0,4 fois celui du module de Young.Ceci implique que sous une charge donnée, la déformation par cisaillement est plus importante que celle par compression. Une autre raison réside dans le fait que l'élément semiconducteur composite contenu dans le transducteur de la présente invention comprend une hétérojonction entre deux matières ayant des natures différentes, notamment entre un semiconducteur et de l'oxyde d'étain. Or, la pellicule d'oxyde d'étain 3 est déposée par pyrolyse sur le substrat semiconducteur 1. En conséquence, l'adhérence mécanique de cette pellicule sur le substrat n'est pas aussi forte que dans le cas d'une jonction entre les mêmes matières. De plus, le substrat semiconducteur 1 et la pellicule d'oxyde d'étain 3 sont suffisamment durs et petits pour le module de cisaillement.De ce fait, quand la composante de force f1 est appliquée à la pellicule d'oxyde d'étain 3, suivant la direction d'un biseau, il se produit entre la pellicule 3 et le substrat semiconducteur 1 un cisaillement qui ne s 'accompagnepas de de déformations de la pellicule d'oxyde 3 et du substrat semiconducteur 1, ceci influençant la barrière redresseuse. Comme on le verra par la suite, la pente du biseau des irrégularités ou des iné galités de la surface du substrat semiconducteur 1 est si faible que la composante f1 de la charge F qui agit suivant la direction du biseau de la pellicule d'oxyde d'étain 3 est supposée être relativement petite. Néanmoins, une amelioration remarquable de la sensibilité à la pression peut être réalisée avec une aussi minuscule composante de force f1. Ce fait souligne l'utilité de la présente invention. On voit donc, que cette dernière raison est plus significative. D'une manière générale, il est difficule de produire des irrégularités vives dans la surface du substrat semiconducteur. C'est ainsi, par exemple, qu'en utilisant un procédé classique de décapage chimique sélectif pour produire des rainures sur le substrat, le plus grand angle possible de la paroi ou du biseau des rainures, par rapport à la surface principale du substrat, n'est que de 30 à 45". MEeme si les irrégularités plus raides pouvaient être produites par un autre moyen quelconque, il serait difficile de déposer une pellicule d'oxyde d'étain par pyrolyse sur des parois ou des rainures aussi raides. Il ressort clairement de la description ci-dessus, que le transducteur électromécanique conforme à la figure 5 utilise avantageusement l'hétérojonction entre le substrat semiconducteur et la pellicule d'oxyde d'étain, de sorte que cette jonction est soumise à des contraintes de cisaillement en adoptant une construction telle 'une composante de force de la charge appliquée peut agir d extension dans la direction/de la pellicule d'oxyde d'étain. Un tel transducteur est d'une construction simple et est facile à fabriquer. La figure 7 est une perspective partielle agrandie d'un autre mode de réa lisation de la presente invention analogue à celui de la figure 5. En se référant à la figure 7, on voit que des rainures 50 sont formées, à la manière d'un réseau, sur la grande face d'un substrat semiconducteur 51 et qu'une pellicule isolante 52 est déposée sur les surfaces planes de celui-ci autres que les rainures 50. Une pellicule d'oxyde d'étain 53 est ensuite déposée sur toute la grande face du substrat, comprenant les rainures 50 et la pellicule isolante 52. Les rainures 50 peuvent, comme il a été indiqué ci-dessus, être facilement formées par décapage chimique. La pellicule isolante 52, peut, par exemple, être une pellicule de nitrure de silicium. Quand on utilise une pellicule de nitrure de silicium, elle peut servir de masque pour former sélectivement les rainures 50 par décapage chimique.Dans ce mode de réalisation, la pellicule isolante 52 est interposée de façon à ne pas agir sur l'hétérojonction aux endroits où les contraintes de cisaillement n'ont pas lieu et où des contraintes de compression se produisent. De ce fait, le rapport entre l'aire,soumise à des contraintes de cisaillement par rapport à toute l'aire de l'hétérojonction est augmenté, amélio- rant encore davantage les caractéristiques de sensibilité à la pression du dispositif. En se reportant à nouveau à la figure 1, on voit que l'électrode 4 n'est formée que sur la partie périphérique de la pellicule d'oxyde d'étain 3. En conséquence, il est clair que la barrière de l'élément semiconducteur composite utilisé dans le transducteur de la figure 1 est exposé à la lumière incidente. Comme il a été mentionné ci-dessus, l'élément semiconducteur composé du transducteur de la figure 1 peut être utilisé comme dispositif photoélectrique. En conséquence, en adaptant le transducteur de la figure 1 de façon que sa barrière puisse être éclairée à travers la pellicule d'oxyde d'étain, on obtient un transducteur semiconducteur convertissant l'énergie de la lumiere, ainsi que les forces mécaniques, en énergie électrique. Un tel transducteur est adapté pour un grand nombre de nouvelles applications. Toutefois, dans certaines applications, on peut avoir besoin d'un transducteur qui n'est pas sensible à la lumière incidente mais qui réagit simplement à des forces mécaniques. Dans ce cas, il est nécessaire d'éviter l'influence des variatiors de l'intensité de la lumière extérieure sur la caractéristique de sensibilité à la pression du transducteur. La figure 8 est une vue en coupe d'un autre transducteur conforme à l'invention conçu à cette fin. Sur la figure 8, on voit qu'une pellicule de protection opaque 21, par exemple, en nickel, a été déposée sur la couche d'oxyde d'étain 8, de manière à être au contact de l'électrode 4. Etant donné que la lumière incidente dirigée vers la barrière est interceptée par la pellicule de protection 21, il est inutile de loger tout le dispositif dans un boîtier opaque. La pellicule de nickel 21 sert en même temps d'électrode. Toutefois, le nickel n'a qu'une dureté relativement faible et, par conséquent, quand on exerce un effort au moyen de l'élément de pression, il subit une déformation plastique, ce dont résulte une caractéristique de sensibilité à la pression instable. En conséquence, il est recommandé de choisir, pour l'écran opaque, une matière plus résistante. Comme matière pour la pellicule 21 satisfaisant à la condition ci-dessus, on peut citer le molybdène, le tungstène, le platine et le chrome. La pellicule doit être assez épaisse pour intercepter effectivement la lumière, tout en restant le plus mince possible, l'épaisseur recommandée étant de l'ordre de O,lp. En variante, on peut utiliser un oxyde métallique tel que l'alumine. La mince pellicule 21 ci-dessus, qui sert à arrêter la lumière incidente, constitue en même temps une protection pour la mince couche d'oxyde ou pour la barrière sur laquelle agit l'aiguille de pression. Lorsque la mince pellicule 21 doit servir de pellicule de protection, elle peut être faite de bioxyde ou de nitrure de silicium. La figure 9 est une vue en coupe illustrant un transducteur conforme à l'invention comportant une pellicule de protection en bioxyde de silicium. Le transducteur de la figure 9 est produit en déposant d'abord la mince couche d'oxyde 3 sur une aire définie, puis en déposant la pellicule de bioxyde de silicium 2 sur et autour de la couche d'oxyde d'étain 3, de sorte que cette dernière est protégée à l'endroit où elle vient au contact de l'aiguille de pression et, en même temps, la partie apparente de la du le 1ong/ddue bord barrière, le long/de la couche d'oxyde d'étain est couverte et protégée. La figure 10 est une vue en plan d'un autre mode de réalisation de l'invention qui comprend deux transducteurs 61 et G2 formés séparément sur un substrat commun 1 et deux résistances 63 et 64 reliées respectivement à ces deux transducteurs. L'organe de pression n' a pas été représenté, pour simplifier. Plus précisément, une couche isolante 2, par exemple, de bioxyde de silicium, est déposée sur un substrat commun 1 et dans la couche isolante 2, on ménage deux ouvertures à travers lesquelles le substrat 1 est apparent. Ces ouvertures sont esquissées en tirets sur la figure 10. Au-dessus de ces ouvertures, on dépose une couche d'oxyde d'étain pour produire deux transducteurs 61 et 26.Comme le montre clairement la figure 10, cette couche d'oxyde d'étain s 'étend sur la couche isolante 2, sous la forme d'un mince ruban en zigzag, et constitue ainsi une résistance ayant une valeur prédéterminée. Des bornes ou des électrodes 65,66 et 67 sont formées, comme représenté. Une autre borne ou électrode (non-représenté) est prévue sur le substrat 1. Comme on le comprend aisément, les transducteurs 61 et 62 et les résistances 63 et 64 constituent ce qu'il est convenu d'appeler un circuit en pont et, par conséquent, les infimes différences entre les forces mécaniques appliquées aux transducteurs 61 et 62 peuvent être détectées avec précision. C'est ainsi, par exemple, que quand le fléau d'une balance est supporté de manière à appliquer une pression aux transducteurs 61 et 62, l'équilibre de cette balance peut être détecté avec une grande précision. On va décrire ci-après une autre application intéressante du mode de réalisation de la figure 10. On relie les électrodes 65 et 66 en série à une source électrique alternative appropriée et on prévoit un élément d'application de force mécanique respectivement sur chacun des transistors 61 et 62, ces deux éléments étant soumis à une même force mécanique également appliquée aux deux transducteurs. Ainsi, les deux transducteurs, dont chacun peut être considéré comme un diode en raison de ses propriétés de redressement, sont montés en série, mais en sens opposés. Pendant une alternance donnée du courant alternatif, la pression appliquée aux transducteurs produit une variation du courant inverse dans l'un d'entre eux et fait circuler un courant direct dans l'autre, et inversement.Il en résulte que le courant circulant alternativement à travers les deux transducteurs est proportionnel à la force appliquée à ceux-ci. En variante, il est également possible d'utiliser une source électrique continue dont la polarité est commutée de façon aléatoire ou régulière. qui La figure 11 est une vue en plan d'un transducteur,/correspond à une autre variante de réalisation de l'invention. Ce mode de réalisation comprend un transducteur 70 qui répond à la pression qui lui est appliquée, et un transducteur 71 qui répond à la lumière incidente, les deux transducteurs 70 et 71 étant formés sur le même substrat 1. Sur cette figure, on a volontairement omis de représenter les moyens d'application de pression, pour simplifier. La couche d'oxyde d'étain formant les deux transducteurs 70 et 71 est continue et, par conséquent, les deux transducteurs 70 et 71 n'en constituent qu'un seul. Ainsi, le mode de réalisation de la figure 1 produit un transducteur répondant à la fois à la pression et à la lumière incidente. La figure 12 est une vue en coupe montrant un transducteur conforme à un autre mode de réalisation de l'invention qui comprend la combinaison d'un transducteur sensible à la pression conforme à celle-ci et d'un transistor. En consi dérant la figure 12, on voit que ce mode de réalisation comprend un substrat comportant une couche n*51 et une couche n'82, un transistor étant formé dans la moitié de gauche de ce substrat. Ce transistor comprend la couche n'82 faisant fonction de collecteur, une couche p-83 servant de base et une couche n-84 comme émetteur. Sur la figure, on voit aussi une couche de bioxyde de silicium 89, tandis que ledit transistor est produit selon la technique planar connue. L'électrode 87 pour l'émetteur 84 et l'électrode 86 pour la base 83 sont produites par un procédé connu. Pour produire le transducteur représenté, on forme d'abord le transistor sur le substrat, comme décrit ci-dessus, puis on produit le transducteur selon l'invention, la raison en étant que ce transducteur peut être produit par des traitements à une température relativement basse, tandis que la préparation du transistor demande des traitements à des températures relativement élevées, par exemple, une diffusion sélective. Sur la moitié de droite du substrat répré senté est formé un transducteur sensible a la pression, ce transducteur comprenant le substrat 82, la pellicule d'oxyde d'étain 85 et l'élément de pression 88. Comme il a été expliqué en détail en se référant au mode de réalisation de la figure 1, le transducteur selon l'invention est supérieur aux transducteurs analogues connus et est capable de donner des résultats satisfaisants dans de nombreuses applications. Toutefois, dans certaines applications où une sensibilité à la pression plus élevée est nécessaire, le mode de réalisation de la figure 12 peut se révéler avantageux. il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées aux exemples représentés et décrits, sans sortir pour autant du cadre de l'invention. REVENDICATIONS l.- Transducteur électromécanique à semiconducteur, caractérisé en ce qu'il comprend un élément semiconducteur composite comportant une pellicule dioxyde d'étain déposée sur un substrat semiconducteur, de façon à former entre eux une barrière ayant des caractéristiques de redressement, et un moyen pour appliquer une force mécanique sur cet élément composite. 2.- Transducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le semiconducteur est un élément du groupe comprenant le silicium, le germanium, et l'arséniure de gallium. 3.- Transducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le semiconducteur est du silicium. 4.- Transducteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que le semiconducteur est du silicium de type n. 5.- Transducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend, en outre, des moyens pour appliquer une polarisation inverse à l'élément semiconducteur composite. 6.- Transducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen pour appliquer la force mécanique a la forme d'une tige dont l'extrémité est au contact de la pellicule d'oxyde d'étain. 7.- Transducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen pour appliquer la force mécanique a la forme d'une bille dont une partie est au contact de la pellicule d'oxyde d'étain. 8.- Transducteur électromécanique à semiconducteur, caractérisé en ce qu'il comprend un élément semiconducteur composite incluant un substrat semiconducteur ayant une face principale, une pellicule de matière isolante formée sur une partie de cette face principale du substrat et une pellicule d'oxyde d'étain déposée sur la surface du substrat définie par la pellicule de matière isolante, de manière qu'une barrière ayant des propriétés de redressement soit formée entre le substrat et la pellicule d'oxyde d'étain, et un moyen pour appliquer une force mécanique sur l'élément semiconducteur composite. 9.- Transducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une pellicule de protection déposée sur la pellicule d'oxyde d'étain. 10.- Transducteur selon la revendication 9, caractérisé en ce que la pellicule de protection est suffisamment dure pour protéger la pellicule d'oxyde d'étain des dommages causés par le moyen d'application de la force mécanique. 11.- Transducteur selon la revendication 9, caractérisé en ce que la pellicule de protection est opaque. 12.- Transducteur selon la revendication 9, caractérisé en ce que la pellicule de protection est transparente. 13.- Transducteur selon la revendication 8, caractérisé en ce que la face principale du substrat et la pellicule d'oxyde d'étain sont conçues pour qu une contrainte de cisaillement s'exerce sur la partie de la barrière comprise entre eux, en fonction de la force exercée par le moyen d'application de la force mécanique. 14.- Transducteur selon la revendication 13, caractérisé en ce que la barrière est inégale. 15. Transducteur selon la revendication 13, caractérisé en ce que la face principale comprend une saillie au sommet de laquelle est déposée une couche isolante, la pellicule d'oxyde d'étain étant déposée sur la face principale du substrat, de manière qu'une barrière ayant des propriétés de redressement soit formée dans une partie en biseau de la saillie. 16.- Transducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'au moins deux couches d'oxyde d'étain sont déposées sur un substrat commun, de manière à former au moins deux éléments semiconducteurs composites avec des barrières séparées, dont chacune présente une caractéristique de redressement déterminée. 17.- Transducteur selon la revendication 16, caractérisé en ce que deux résistances sont prévues, ces deux résistances formant avec les deux barrières séparées un circuit en pont. 18.- Transducteur selon la revendication 17, caractérisé en ce qu'une couche isolante est déposée sur l'une des faces principales du substrat, les résistances étant constituées par une couche d'oxyde d'étain s'étendant au-dessus de la couche isolante. 19.- Transducteur selon la revendication 1, pour convertir de l'énergie mécanique et de l'énergie lumineuse en énergie électrique, caractérisé en ce que l'élément semiconducteur composite est conçu pour que la lumière incidente vienne frapper la barrière. 20.- Transducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'un dispositif semiconducteur actif est formé dans le substrat pour coopérer avec l'élément semiconducteur composite.