Brevet FR2130399A1 — publié le 19721103

L'invention concerne un circuit comportant au moins ion composant alimenté par rayonnement et un dispositif semiconducteur comportant un composant alimenté par rayonnement et pouvant être utilisé dans un tel circuit. 5 Elle vise notamment à éviter l'utilisation de lignes d'alimentation destinées à connecter à une source d'alimentation externe pour faire fonctionner au moins une partie d'un tel circuit, de façon que celui-ci se prête notamment à être réalisé sous forme d'un dispositif semiconducteur intégré, de-sorte "JOfiU'on peut omettre plusieurs points de coimexion d'alimentation sur ce dispositif semiconducteur, ou alors de= telle manière que les points de connexion ne sont utilisés que pour les signaux d'entrée et de sortie. D'une façon générale, un circuit conforme à l'invention se distingue donc des circuits de transistors 15 connus commandés par de la lumière, où des signaux lumineux commandent la conductibilité d'un transistor alimenté par une source de courant électrique, du fait que dans un circuit conforme à l'invention, de l'énergie est fournie pour l'amplification électrique par de la lumière incidente ou, en général, 20 par du rayonnement incident. Par l'expression "rayonnement" il y a lieu d'entendre non seulement de la lumière visible, mais également de la « ^ lumière infra-rouge ou ultraviolette, en général c'est le rayonnement nécessaire pour lequel le matériau semiconducteur 25 présente une conversion en énergie électrique. Par "alimentation", il faut entendre, dans la suite du présent mémoire, l'apport d'énergie nécessaire pour l'amplification de signaux, c'est-à-dire de procurer au moins la majeure partie du courant principal traversant le composant 30 envisagé. Dans un transistor bipolaire, ce courant principal est constitué par le courant émetteur-collecteur, dans un tran-s istor à effet de champ par le courant de canal de la source au drain, dans un transistor unijonction ou à double base par le courant circulant d'une base vers l'autre etc. De plus, le 35 fonctionnement d'un tel composant requiert généralement un autre courant ou tension de réglage, qui doit être anuané à une électrode de commande et qui peut éventuellement aùasi être fourni à l'aide de rayons incidents. Dans les dispositifs semiconducteurs décrits ci-après, le rayonnement, peut servir 40 éventuellement uniquement pour produire des tensions ou des 72 09444' -2- 213039V courants de réglage. Les circuits de transistors alimentés à l'aide de rayonnement connus comportent un élément semiconducteur, dont au moins une jonction pn est soumise à irradiation de façon 5 qu'une telle jonction se comporte comme une source de courant d'alimentation électrique pour au moins un autre transistor du circuit. Suivant un premier aspect de l'invention, un circuit du genre mentionné dans le préambule est caractérisé en ce qu'il 10 comporte un premier transistor et toi second transistor montés en cascade et que le courant principal du premier transistor s'obtient au moins essentiellement par rayonnement de la jonction émetteur-base du second transistor. En croissant, pour l'alimentation du premier transistor, la jonction émetteur-15 base du second transistor, on peut obtenir des circuits convenant notamment aux fonctions logiques, telles qu'une porte "Non—Ou" (porte "NOR"^ respectivement pour une faible puissance et/ou une amplification linéaire, telle que des appareils auditifs. Les avantages ainsi obtenus résident surtout dans des simplifi-20 cations notables dans la technologie d'intégration. De préférence, le circuit selon cet aspect de l'invention est caractérisé en ce que les émetteurs du premier transistor et du second transistor sont réalisés sous forme d'une zone cohérente d'un type de conduction dans un élément 25 semiconducteur, zone dans laquelle sont présentes des zones de base séparées du type de conduction opposé, les jonctions base-collecteur du premier et du second transistor étant insérées dans ces zones de bases. Selon un deuxième aspect de l'invention, un circuit 30 du genre mentionné dans le préambule est caractérisé en ce qu'il comporte un composant servant de commutateur électronique et fonctionnant, soit à l'état d'enclenchement, soit à l'état de déclenchement, et que le courant d'alimentation du circuit est assuré par une jonction redresseuse exposée à un rayonnement et 35 placée parallèlement au trajet de courant principal du circuit, cette jonction fonctionnant de ce fait dans la proximité soit de la valeur de courant de cuurt-circuit, soit de la valeur de courant nul d'une caractéristique courant-tension engendrée par le rayonnement, suivant que le ci.r,r,K^+ se trouve à l'état d' 40 enclenchement ou à l'état de déclenchement, la tension engendrée COPY 72 09444 -3- 2130399 ainsi à la jonction redresseuse étant appliquée à un autre composant servant de commutateur électronique, afin d'assurer sa commande. De ce fait, on tire parti de l'effet remarquable que la jonction redresseuse fait simultanément office de source 5 d'alimentation et de charge pour le transistor. Un circuit selon le deuxième aspect de l'invention convient notamment aux Eircuits digitaux de circuits logiques. De tels circuits logiques comportent assez souvent un grand nombre de transistors intégrés sur un seul corps semiconducteur 10 et reliés entre-eux par des conducteurs de façon à former plusieurs points de connexion pour au moins-une entrée, une sortie et pour l'alimentation électrique. L'invention permet d'éviter, au moins en majeure partie, l'utilisation de conducteurs assurant l'alimentation. 15 L'invention vise entre autres à fournir des disposi tifs semiconducteurs comportant une structure de transistor simple et efficace munie d'une jonction pn à ajuster par rayonnement, pouvant avantagement être utilisés dans les circuits conformes à l'invention. 20 Un autre but de l'invention consiste à fournir une structure semiconductrice, dans laquelle le rendement de la conversion de rayons en un courant photoélectrique dans une « jonction irradiéee est très avantageux. Selon un troisième aspect de l'invention, un disposi-25 tif semiconducteur convenant à un circuit selon un aspect précédent de l'invention, muni d'un corps semiconducteur comportant un transistor muni de zones d'émetteur, de base et de collecteur, qui sont munies chacune d'un contact de connexion, alors que des moyens optiques sont prévus pour mettre la 30 jonction émetteur-base du transistor, au moins temporairement, par rayonnement optique dans le sens direct et ainsi qu'une source d'alimentation pour mettre la zone de collecteur à l'état où celle-ci fonctionne comme collecteur, des signaux d'entrée électriques sont appliqués au transistor entre les 35 contacts de coimexion des zones de base et d'émetteur et des signaux de sortie électriques sont prélevés sur le contact de coimexion de la zone de collecteur, est caractérisé en ce que la zone de collecteur confine à une surface principale du corps semiconducteur et, vue sur cette surface principale, toute ho ia zone de collecteur étant située sur une partie de la zone COPY H UV444 4- 2130399 de base qui confine, autour de la zone de collecteur, à la surface principale,, la zone de base et la zone de collecteur ne confinant ensemble que localement à la surface principale et la zone d'émetteur s'étendant au-dessous de toute la zone de base, 5 les moyens optiques permettant d'appliquer, par l'intermédiaire de la surface principale, des rayons optiques au voisinage dé la jonction base-émetteur du transistor, de sorte que le courant ]5hoto-électrique engendré par les moyens optiques dans la jonction émetteur—base dépasse, dans le cas d'un court—circuit 10 externe de cette jonction, celui dans la jonction collecteur-base dans le cas d'un court-circuit externe de cette jonction. Le troisième aspect de l'invention est entre autres basé sur l'idée que, du point de vue absorption de rayons, il est préférable d'utiliser un transistor ânversé, c'est-à-dire 15 un transistor dont la jonction émetteur-base est située plus profondément dans le corps semiconducteur que la jonction collecteur-base, bien que l'utilisation d'un transistor inversé puisse se traduire par un plus faible facteur d'amplification. De plus, le facteur d'amplification obtenu des transistors 20 suffit largement aux circuits décrits ci-dessus. L'utilisation des transistors inversés permet une forme d'intégration particulièrement avantageuse, comme il sera expliqué en détail ci-après. L'invention est basée entre autres sur l'idée que 25 la structure de transistor inversé décrite ci—dessus peut offrir certains avantages, comparativement au transistor planar au silicium usuel, dont la zone d'émetteur est constituée par une zone superficielle à dopage élevé confiant à line surface du corps semiconducteur et dans lequel la jonction émetteur-base 30 est située tout juste au-dessous de cette surface, alors que le rayonnement optique est appliqué au voisinage de la jonction émetteurWbase par l'intermédiaire de ladite surface. Cela est en corrélation avec le fait que la mince zone d'émetteur n'absorbe essentiellement que de la lumière 35 bleue, par exemple dans le cas d'utilisation des matériaux semiconducteurs usuels, tels que du germanium et du silicium, et, de plus, que les paires électron-trou ainsi formées dans la zone d'émetteur à dopage élevé se recombinent essentiellement avant de pouvoir coopérer au courant photoélectrique dans la 40 jonction émetteur—base. La recombinaison rapide est due à la con— 72 09444 -5- 2130399 centration élevée en impuretés dans la zone d'émetteur d'un transistor planar usuel et cette concentration en impuretés doit être élevée, la zone d'émetteur s'obtenant normalement par diffusion dans une partie superficielle d'une zone de 5 base déjà diffusée. La lumière verte et la lumière rouge pénètrent plus profondément dans le corps semiconducteur du transistor, de sorte que cette absorption ne contribue guère au courant photoélectrique traversant la jonction émetteur-base, alors que la lumière rouge constitue un composant impor-^0 tant du rayonnement émis des sources de rayonnement usuelles, telles que des lampes à incandescence. Dans un dispositif semiconducteur selon le troisième aspect de l'invention, la zone de collecteur est réalisée sous forme d'une zone superficielle confinant à la surface princi-pale du corps semiconducteur, alors que vue à partir de la surface principale, la jonction émetteur-base est située plus profondément dans le corps semiconducteur au-dessous de la jonction base-eollecteur, ce qui s'est avéré avantageux pour engendrer un courant photo-électrique et/ou une tension photo-électrique dans la jonction émetteur-base. Pour la réalisation du dispositif semiconducteur conforme à l'invention, on est plus libre en ce qui concerne le choix du dopage de la zone d'émetteur que pour la réalise.tion d'un transistor planar usuel, du fait que la zone d'émetteur 25 ne doit pas être appliquée sous forme d'une zone superficielle difEisée dans une partie superficielle d'une zone de base déjà diffusée. Ainsi, le dopage de la zone d'émetteur peut plus facilement satisfaire aux exigences imposées pour produire un courant photo-électrique et/ou une tension photo-élec-30 trique dans la jonction émetteur-base. La partie de la zone de base confinant à la surface principale du corps semiconducteur présente de préférence une concentration en impuretés qui s'accroît dans une direction vers ladite surface principale, du fait qu'une concentration 35 élevée en impuretés à la surface principale réduit la recombinaison superficielle des porteurs de charge dans la zone de base, de sorte que le facteur, d'amplification du transistor augmente. De plus, la concentration en impuretés peut augmenter graduellement comme dans une zone superficielle diffusée, ou 40 en marches dans une direction vers la surface principale. 72 09444 -6- 2130399 Une forme de réalisation importante du dispositif semiconducteur selon le troisième aspect de l'invention, qui présente une structure simple facile à réaliser et qui convient notablement à l'intégration, est caractérisée en ce que le 5 corps semiconducteur comporte un substrat semiconducteur muni d'une couche épitaxiale: dans laquelle se trouve la zone de base du transistor, alors qu'au moins la partie du substrat contiguë à la couche épitaxiale appartient à la zone d'émetteur. De préférence, dans le corps semiconducteur, la zone 10 d'émetteur entoure entièrement la zone de base et confine également à la première surface. Cela implique tm agrandissement de la jonction émetteur-base à irradier et, par conséquent, du courant photo-électrique à obtenir pour une étendue constante de la zone de base. De plus, la zone d'émetteur peut au besoin 15 être mise en contact avec la première surface. Un autre agrandissement de la jonction émetteur-base et, par conséquent du courant photo-électrique à obtenir s'obtient du fait que la zone d'émetteur comporte une zone superficielle située à côté de la zone de collecteur et appelée 20 par la suite zone marginale d'émetteur, qui est séparée par la zone de base de la partie de la zone d'émetteur située au-dessme de la zone de base et qui confine à une partie de la zone d'émetteur située à côté de la zone de base et confinant à la première surface principale. 25 Une forme de: réalisation importante du dispositif semiconducteur selon le troisième aspect de l'invention, qui concerne entre autres l'intégration des circuits conformes à l'invention comportant les transistors munis d'émetteurs interconnectés, est caractérisée en ce que le corps semiconducteur 30 comporte, outre le susdit transistor, également tm autre transistor muni d'une zone de collecteur confinant à la surface principale du corps semiconducteur, zone de collecteur qui, vue sur la surface principale, est située sur une partie de la zone de base de l'autre transistor, ladite zone de base con-35 finant autour de la zone de collecteur à la surface principale, alors que la zone d'émetteur, qui est commune à l'autre transistor et le transistor déjà mentionné, s'étend au-dessous de toutes les zones de base des deux transistors. XI est évident que plus de deux transistors comportant une zone d'émetteur kO commune peuvent être incorporée dans le dispositif semiconduc 12 09444 -7- 213039V teur et en pratique, ce cas se présente fréquemment. De préférence, les moyens optiques sont des moyens susceptibles d'irradier aussi l'environnement de la jonction émetteur-base de l'autre transistor afin de polariser ladite jonction au moins temporairement par rayonnement optique dans la direction directe, et une forme de réalisation importante est caractérisée en ce que la zone de collecteur d'un transistor est connectée à la zone de base de l'autre transistor, que des signaux électriques d'entrée sont appliqués à. la zone de base de l'un des transistors et que des signaux de sortie électriques présents à la zone de collecteur de l'autre transistor sont évacués. Ainsi, on a obtenu, d'une façon simple et efficace qu'une partie notable d'un circuit conforme à l'invention se présente sous forme intégrée. Les zones de base des transistors avec une zone d'émetteur commune d'un dispositif semiconducteur conforme à Ifinvention sont de préférence séparées, l'une de l'autre, de telle façon que des transistors latéraHX parasites dont les zones d'émetteur et de collecteur sont formées par les zones de base des transistors avec une zone d'émetteur commune ne provoquent pas ou guère d'effet perturbateur. De ce fait, une forme de réalisation préférentielle est caractérisée en ce qu'une zone superficielle appartenant à la zone d'émetteur commune et présentant un dopage jilus élevé que celui de la zone de base est située entre la zone de base de l'un de transistors et celle de l'autre transistor. Grâce aux zones à dopage élevé situées entre les zones de base, l'effet des transistors latéraux est au moins en majeure partie supprimé et la recombinaison superficielle est affaiblie. XJne autre forme de réalisation préférentielle est caractérisée en ce qu'une couche isolante enfoncée dans le corps semiconducteur est située entre la zone de base de l'un des transistors et celle de l'autre et s'étend, à partir délia. surface principale, dans le corps semiconducteur sur une partie de l'épaisseur dudit corps. Ainsi, il ne peut guère se produire tin effet de transistor latéral. L'invention fournit en outre une structure pour la zone d'émetteur d'un transistor avec une jonction émetteur-base à ajuster par rayonnement, structure qui facilite l'obtention d'un courant photo-électrique dans la jonction émetteur- 12 09444 -8- 2130399 base par absorption de rayonnement au voisinage de cette jonction et qui permet néanmoins d'obtenir un bon facteur d'amplification. Selon un quatrième aspect de l'invention, un dispositif semiconducteur convenant à tin circuit conforme à l'invention, 5 comportant un corps semiconducteur muni d'un transistor comportant une zone d'émetteur, -une zone de base et line zone de collecteur, alors que des moyens optiques sont prévus pour mettre, au moins temporairement, par rayonnement optique, la jonction émetteur-base du transistor dans la direction directe et ainsi 10 qu'une source d'alimentation pour mettre la zone de collecteur à l'état où celle-ci fonctionne comme collecteur, est caractérisé en ce que la zone d'émetteur comporte deux zones partielles limitrophes d'un premier type de conduction, jdont la première zone partielle présente une résistivité supérieure 15 à celle de la second zone partielle, la première zone partielle étant située entre la zone de base et la second zone partielle de façon à former avec la zone de base de l'autre type de conduction au moins la majeure partie de la jonction émetteur-base. 20 Le quatrième aspect de l'invention est basé entre autres., sur l'idée que la zone d'émetteur d'un transistor d'un dispositif semiconducteur, convenant à un circuit conforme à l'invention, dans lequel la jonction émetteur-base est mise par rayonnement optique dans le sens direct,ne présente pas de 25 préférence seulement le dopage élevé usuel d'une zone d'émetteur. On a constaté que la première zone partielle présentant une résistivité augmentée de la zone d'émetteur d'un dispositif semiconducteur selon le quatrième aspect de l'invention améliore l'effet électro-optique de la jonction émetteur-30 base, c'est-à-dire 1'engendrement d'un courant photo-électrique dans la jonction émetteur-base, alors qu'il se produit néanmoins un rendement d'émetteur convenable, Pour obtenir un rendement d'émetteur raisonnable, l'épaisseur de la première zone partielle présentant la résistivité augmentée est en réalité de préférence 35 inférieure à la longueur de diffusion des porteurs minoritaires dans la première zone partielle. Etant donné la qualité supérieure des matériaux semiconducteurs actuellement utilisés, matériaux qui présentent des longueurs de diffusion de 100 ,ja. et plus il n'en résulte en pratique guère qu'une limitation de l'épais-hO seur de la première zone partielle, du fait que. dans la tech 72 09444 -9- 2130399 nique des semiconducteurs, les zones d'un composant semiconducteur présentent généralementvne épaisseur notablement inférieure à 100 yU. Dans les formes de réalisation pratiques d'un dispositif semiconducteur selon le quatrième aspect de l'invention, 5 l'épaisseur de la première zone partielle est généralement choisie entre 0,1 et 50 yu. De préférence la jonction émetteurybase est constituée par l'une zone partielle et la zone de base, tout au plus à l'exception des parties marginales de la jonction émetteur-10 base. Une forme de réalisation importante d'un dispositif semiconducteur selon le quatrième aspect de l'invention est caractérisée en ce que la zone de collecteur confine à une surface principale du corps semiconducteur et que vue sur:' ladite 15 surface principale totite la zone de collecteur est située sur une partie de la zone de base, qui confine, autour de la zone de collecteur, à la surface principale et, qui est entièrement située sur la première zone partielle de la zone d'émetteur, ladite zone partielle étant située sur la seconde zone partielle 20 de la zone d'émetteur et étant limitée, dans des directions parallèles à la surface principale^ par une région entourant la zone de base et s'étendant, à partir de la surface principale, dans le corps semiconducteur, région qui se raccorde à la partie de la seconde zone partielle située au-dessous de la première 25 zone partielle et cette région constituant avec ladite première zone partielle une jonction, qui contrecarre l'infiltration de porteurs minoritaires à partir de la première zone partielle dans la région. Fait étonnant, dans cette forme de réalisation, le 30 transistor présente un coefficient d'amplification particulièrement avantageux, ce qui doit être attribué à ce qui suit: lorsque la jonction émetteur-base est mise en sens direct, des porteurs de charge provenant de la zone de base sont également injectés dans la zone d'émetteur où ils constituent des porteurs minori-35 tairs. Une telle injection doit être aussi faible que possible pour assurer l'obtention d'un bon rendement d'émetteur. Les porteurs de charge de minorité injectés dans la première zone partielle de la zone d'émetteur ne peuvent guère s'infiltrer dans la second zone partielle à dopage plus élevé de la zone ko d'émetteur, et, de plus, ils ne peuvent guère s'échapper latéra 72 09444 -10- 2130399 lement par suite de la présence desdites régions. Ainsi, les porteurs minoritairss injectés dans la première zone partielle confinant à la zone de base présentent une longue durée de séjour, de sorte que l'injection des porteurs de charge prove-5 nant de la zone de base dans la première zone partielle est limitée. Une forme de réalisation avantageuse d'un dispositif semiconducteur selon la quatrième aspect de l'invention, qui convient notamment à être réalisée comme dispositif semiconduc-10 teur intégré, est caractérisée en ce que le corps semiconducteur comporte un substrat semiconducteur sur lequel est appliquée une couche épitaxiale confinant à une surface principale du corps semi-conducteur, couche épitaxiale dans laquelle se trouve la zone de base sous forme d'une zone confinant, autour 15 de la zone de collecteur, à la surface principale et ne s'étendant que sur une partie de l'épaisseur de la couche épitaxiale et au-dessous de toute la zone de collecteur confinant à la surface principale, alors qu'au moins la partie de la couche épitaxiale située au-dessous de la zone de base appartient à 20 la première zone partielle de la zone d'émetteur, et qu'au moins la partie du substrat contiguë à la couche épitaxiale appartient à l'autre zone partielle de la zone d'émetteur, des moyens optiques étant prévus pour appliquer du rayonnement par l'intermédiaire de la surface principale au voisinage de la 25 jonction émetteur-base» La région s'étend de préférence sur toute l'épaisseur de la couche épitaxiale et présente le même type de conduction que celui de la zone d'émetteur et un dopage plus élevé que la zone de base et appartient à l'autre zone partielle de la zone 30 d'émetteur. De plus, la région peut être réalisée avantageusement en matériau isolant et peut s'étendre dur toute l'épaisseur de la couche épitaxiale. Afin d'obtenir un facteur d'amplification aussi 35 avantageux que possible du transistor, la première zone partielle n'est de préférence pas plus grande qu'il ne faut, ce à quoi une forme de réalisation préférentielle d'un dispositif semiconducteur selon le quatrième aspect de l'invention est caractérisée en ce que la zone de base est limitée par la région bO dans les directions parallèles à la surface principale. 12 09444 -11- 2130399 De plus, l'invention fournit une structure d'un transistor présentant Line jonction émetteur-base à mettre par rayonnement optique dans le sens direct, dans laquelle le courant photo-électrique qui se produit à peu près inévitable-5 ment en pratique dans la jonction collecteur-base et qui est assez souvent indésirable, est petit par rapport au courant photo—électrique se produisant dans la jonction émetteur-base. Selon un cinquième aspect de l'invention, un dispositif semiconducteur convenant à un circuit conforme à l'invention, 10 muni d'un corps semiconducteur comportant un transistor muni d'une zone de collecteur disposée d'un côté du corps semiconducteur et constituant une jonction collecteur-base avec la zone de base du transistor et d'une zone d'émetteur s'étendant au moins au-dessous de la zone de collecteur, vue dudit côté du 15 corps semiconducteur, et constituant la jonction émetteur—base avec la zone de base, alors que des moyens optiques sont prévus pour mettre £a jonction émetteur-base, au moins temporairement, par rayonnement ôptique, dans le sens direct et d'une source d'alimentation permettant de porter la zone de collecteur à 20 l'état où celle-ci fonctionne comme un collecteur est caractérisé en ce que, vue dudit côté du corps semiconducteur, la jonction collecteur-base présente une étendue latérale notablement inférieure à celle de la jonction émetteur b^se et que le courant photo-électrique engendré par les moyens optiques dans la 25 jonction émetteur-base dépasse, dans le cas d'un court-circuit externe de cette jonction, celui traversant la jonction collecteur-base dans le cas d'un court—circuit externe de ladite jonction. Le cinquième aspect de l'invention est donc entre 30 autres basé sur l'idée qu'un courant photo-électrique, qui est faible par rapport au courant photo-électrique traversant la jonction émetteur—base, s'obtient dans la jonction collecteur-base par différence en grandeur desdites jonctions et qu'un facteur d'amplification suffisamment élevé est donc possible. 35 Malgré le fait que la jonction collecteur-base présente une plus petite étendue que celle de la jonction émet» teur-base, il s'avère possible d'obtenir tin facteur d'amplification très utilisable, par exemple un facteur d'amplification du courant de collecteur par rapport au courant de base 40 supérieur à 10, grâce à la qualité élevée actuelle des matériaux /2 IW444 -12- 2(30399 semiconducteurs. De préférence, les moyens optiques permettent d'appliquer par l'intermédiaire de ladite face du corps semiconducteur des rayons au voisinage de la jonction émetteur-base, et le courant photo-électrique traversant la jonction 5 collecteur-base peut être diminué davantage à l'aide d'une couche métallique connectée à la zone de collecteur (électrode métallique) qui, vu du côté du corps semiconducteur, se trouve, au moins en majeure partie, au-dessus de la zone de collecteur. De plus, il est avantageux d'utiliser une zone de collecteur constituée par une couche contenant du métal et appliquée sur la zone de base de façon à former avec cette dernière une jonction de Schottky. La couche contenant du métal peut blinder la jonction collecteur-base de rayons émis par les moyens optiques de façon à contribuer à l'obtention d'un très 15 faible courant photo-électrique dans la jonction collecteur-base . Une autre forme de réalisation d'un dispositif semiconducteur selon le cinquième aspect de l'invention est caractérisée en ce que le transistor comporte plusieurs zones de collec-20 teur juxtaposées, situées dudit côté du corps semiconducteur. L'utilisation de plusietirs collecteurs permet d'obtenir d'une façon avantageuse des sorties séparées électriquement pour être appliquées à des entrées séparées des transistors suiveurs. De plus, la commande du débit de courant d'un collecteur permet 25 de régler le facteur d'amplification de l'autre collecteur. De préférence, l'étendue de la jonction émetteur-base dépasse au moins 2 fois celle d'une jonction collecteur-base . La description ci-après, en ce référant aux dessins 3° annexés, le tout donné à titre d'exemple non limitatif, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. La figure 1 monte les caractéristiques courant-tension d'une jonction pn à l'état irradié et à l'état non irradié. La figure 2 monte un exemple de réalisation d'un 35 circuit conforme à l'invention. La figure 3 monte plusieurs caractéristiques courant-tension des transistors du circuit représenté sur la figure 2. La figure k est une section d'un dispositif semi-40 conducteur conforme à l'invention. 72 09444 -13- 2130399 La figure 5 est une section d'une autre forme de réalisation d'un dispositif semiconducteur conforme à l'invention. La figure 6 est une section d'une autre forme de 5 réalisation d'un dispositif semiconducteur conforme à l'invention dont les figures 7» 8, 9 et 10 montrent chacune une section d'une partie d'une variante. La figure 11 est une section d'une forme de réalisa-10 tion d'un dispositif semiconducteur conforme à l'invention, dont la figure 12 montre le schéma d'un circuit. la figure 13 montre un autre exemple de réalisation d'ion circuit conforme à l'invention. 15 La figure 14 est une section d'une partie d'une autre variante du dispositif semiconducteur représenté star la figure 6. La figure 15 montre un dernier exemple de réalisation d'un circuit conforme à l'invention à l'état intégré. 20 La courbe a de la figure 1 monte la caractéristique courant-tension d'une jonction pn dans un dispositif semiconducteur à l'état non irradié et la courbe b à l'état irradié. Des paires électron-trou sont générées par absc-vptlcn 25 lorsqu'on fait tomber des rayons de longueur d'onde appropriée au voisinage de la jonction pn. Par suite de la tension de diffusion traversant la jonction pn, les porteurs minoritaires générés dépassent cette jonction, c'est-à-dire les trous générés dans la région du type de conduction n se déplacent 30 vers la région du type de conduction p et des électrons générés dans la région du type de conduction p se déplacent vers la région du type de conduction n. Lorsqu'on court-circuite les extrémités de la jonction pn, tous les porteurs minoritaires, qui ont traversé la jonction pn et qui sont devenus 35 alors des porteurs majoritaires, sont évacués et n'influent pas sur la tension de diffusion. A l'extérieur, ils peuvent être mesurés comme courant photo-électrique: courant de court-circuit Ig. Lorsque les extrémités de la jonction pn ne sont pas interconnectées à l'extérieur, les trous générés s'accumulent dans 40 la région de type de conduction p et les électrons générés dans 72 09444 -14- 2130399 la région de type de conduction n, ce qui a pour effet la polarisation en sens direct de la jonction pn. La tension photo-électrique V , qui se produit dans le sens direct dans la jonction pn, est égale à la tension dans la jonction pn qui 5 serait nécessaire sans irradiation pEjjr engenriier un courant I dans la jonction. Ce phénomène est utilisé d'une façon particulière dans le circuit décrit ci-après. La figure 2 montre un circuit selon le premier aspect 10 de l'invention, notamment une porte "Non-Ou" (porte "NOR" ) constituée par au moins deux transistors ••• et suivie d'un transistor suiveur T^. Les entrées A, B.... du circuit porte sont constituées par les électrodes de base des transistors à fonction de porte , T^..., alors que leurs trajets 15 émetteur-collecteur sont shuntés par le trajet émetteur-base du transistor suiveur T^. En présence de sources de courant I1, I^, présentant la polarité indiquée représentée sur le dessin entre la base et les émetteurs, le transistor ne conduit (par suite de la source de courant actif en sens 20 direct) que si ni le transistor , ni le transistor T^ sont conducteurs, c'est-à-dire si tant à l'entrée A qu'à l'entrée B se produit tm potentiel de la terre, au moins un potentiel d'une valeur inférieure à celle de la tension de seuil de l'entrée de base interne des transistors , Tg respectivement, de sorte que 25 les courants provenant des sources 1^, 1^ respectivement passent à la masse. Lesdites sources de courant s'obtiennent par irradiation des jonctions émetteur-base des transistors , T,,... et T^. 30 Comme il a déjà été décrit ci-dessus à l'aide de la figure 2, en l'absence des signaux aux points A et B( reliés aux bases des transistors correspondants respectivement), ces transistors sont conducteurs par suite du courant photoélectrique engendré traversant la jonction émetteur-base de 35 façon qu'ils dérivent le courant photo-électrique traversant la jonction émetteur-base du transistor (ainsi que les courants photo-électriques éventuellement parasites engendrés traversant la jonction collecteur base), de sorte qu'il ne subsiste trop peu de courant pour la base du transistor pour rendre 40 ce transistor conducteur. Le courant photo-électrique traversant 72 09444 -15- 213039V la jonction émetteur-base du transistor est représenté sur la figure 3 en fonction de la tension émetteur-base dudit transistor par la courbe c; le courant émetteur—collecteur du transistor , respectivement T2, est représenté sur cette 5 figure en fonction de la tension émetteur-collecteur dûdit transistor par la courbe d. Dans les conditions décrites ci-dessus, le circuit parvient à l'état d'équilibre L, dont la valeur de tension correspondante reste inférieure à celle de la tension de seuil de l'entrée base-émetteur du transistor 10 Lorsque les tensions se produisant aux points A, aussi bien qu'aux points B, deviennent inférieures à cette tension de seuil des transistors , T2 respectivement, le transistor , aussi bien que le transistor sont bloqués et il s'applique un courant émetteur-collecteur en fonction de la tension émet— 15 teur-collecteur de ces transistors, comme l'indique la courbe e sur la figure 3, et il s'établit l'état d'équilibre H. Le transistor devient conducteur, de sorte que la tension se produisant à son collecteur (point D) baisee pratiquement jusqu'à la tension de la Terre. 20 Selon le deuxième aspect de l'invention, on tire parti d'une façon particulière de la caractéristique b, voir la figure 1, pour l'alimentation du trajet du courant principal pour un commutateur électronique, par exemple un transistor, fonctionnant, soit à l'état d'enclenchement, soit à l'état 25 de déclenchement, aussi bien que pour la formation de l'impédance de charge dudit commutateur électronique. Comme il a déjà été décrit ci-dessus, 3a jonction redresseuse irradiée peut faire partie d'ion transistor suiveur , qui est alors enclenché et déclenché suivant l'état du premier transistor; 30 toutefois, la jonction redresseuse peut également faire partie du premier transistor qui est alors simultanément porté à l'état d'enclenchement ou de déclenchement par l'état de tension dans la jonction redresseuse. Un exemple selon ce deuxième aspect de l'invention 35 est représenté sur la figure 15» Un corps semiconducteur 96 de type de conduction p, dont la surface 95 est recouverte d'une couche isolante 9k, comporte les îlots 97» 98, 99 de type de conduction n, qui confinent à la surface 95» Dans l'îlot 97 est appliqué un transistor à effet de champ VT1 présentant une kO zone de source 100 de type de conduction p et une zone de 72 U9444 -16- 2130399 drain 101 de type de conduction p. Sur la couche isolante 9k est appliquée, entre les zones d'alimentation et de drai-n 100 et 101, l'électrode de grille 102 du transistor à effet de champ VT.j . La zone de stmrce 100 est connectée, à l'aide du 5 conducteur 103, à l'îlot 97 de type de conduction n et à la partie de type de conduction p entotirant l'îlot du corps semiconducteur 96. La zone de drain 101 est connectée, par l'intermédiaire d'un contact 104, à un contact 105 de l'îlot 98. L'îlot 98 constitue, en combinaison avec la partie 10 entourante de type de conduction p du corps semiconducteur 96 la jonction pn 106. Les environs de ladite jonction pn 106 sont soumis aux rayons 107, ce qui assure l'alimentation de lâ zone de drain 101. De plus, la diode formée par l'îlot 98 et la partie entourante de type de conduction p du corps 15 96 fait office d'impédance de charge du transistor à effet de champ VT^. La tension se produisant au contact 105 est appliquée à l'électrode porte 108 d'un autre transistor à effet de champ VT^, qui est situé dans l'îlot 99 et qui est muni d'une zone 20 de source 109 de type de conduction p connectée, à l'aide d'un conducteur 111, à l'îlot 99 et à la partie entourante de type de conduction p du corps 96, ainsi que d'une zone de drain 110, de type de conduction p. Ainsi, on obtient un effet de commutation analogue à celui décrit à l'aide de la figure 2 et con— 25 cernant les transistors bipolaires. Le deuxième aspect de l'invention est également réalisé dans le circuit représenté sur la figure 2. Du fait que les trajets du courant principal - ce sont les trajets émetteur-collecteur - des transistors et T,, sont montés en parallèle 30 à la jonction semiconductrice constituée par le trajet base- émetteur du transistor , cette jonction semiconductrice alimente d'une part en courant les transistors et (représentés par la source de courant photo-électrique I^)» d'autre part, la variation de la tension de cette jonction semiconduc-35 trice, donc la jonction entre lg. base et l'émetteur du transistor T^, permet de commander le transistor T^, qui fait office d'autre commutateur électronique. En pratique, le circuit porte représenté sur la figure 2 ne constitue qu'une petite partie de tout un circuit 40 intégré comportant généralement entre le point C et la terre 72 09444 -17- £IJU377 plus de deux transistors à fonction de porte et T2 munis de leur trajet collecteur-émetteur, (fan-in) et de plus comportant non seulement le transistor muni de son trajet base-émetteur mais plusieurs transistors de ce genre (fan—out). 5 C'est ainsi que les points A, respectivement B, sont connectés aux sorties C de circuits porte analogues aux précédents, comme la sortie C du circuit représenté sur le dessin est connectée aux entrées (correspondant à ^) de circuits porte analogues suivants. XI importe que le facteur /9 d'amplification du 10 courant collecteur-base des transistors utilisés dépasse suffisamment le nombre de transistors dits "fan-out", de sorte que la partie horizontale de la courbe d sur la figure 3 reste au-dessus du point de travail L. On va maintenant décrire plusieurs exemples de 15 réalisation des dispositifs semiconducteurs conformes à l'invention. Ledit circuit semiconducteur représenté sur la figure k, qui convient à un circuit selon la figure 2, comporte tm corps semiconducteur 1 muni d'un transistor . Ce transis-20 tor T.j comporte une zone d'émetteur 12, une zone de base 13 et une zone de collecteur 14, qui sont munies chacune d'un contact de connexion 15» 16 et 17 respectivement. On a prévu plusietirs moyens optiques, par exemple une source lumineuse, pour mettre, au moins temporairement, la jonction d'émetteur-base 19 vit; 25 transistor dans le sens direct par rayonnement à l'aide de rayons 10, qui sont constitués par exemple par de la lumière visible. De plus, on a prévu une source d'alimentation, qui, dans le présent exemple de réalisation, est constituée par la jonction d'éijietteur-base irradiée 39 du transistor pour 30 mettre la zone de collecteur ik du transistor à l'état collecteur. Des signaux d'entrée électriques sont appliqués, à l'aide d'une source de signal 5» au transistor entre les contacts de connexion 16 et 15 de la zone de base 13 •-et de la zone d'émetteur 12. Des signaux de sortie électriques peuvent 35 être prélevés sur le contact de connexion 17 de la zone de collecteur 14, dans le présent exemple de réalisation, ils sont appliqués au transistor T^« Selon le troisième aspect de l'invention, la zone de collecteur 14 confine à la surface principale 6 du corps kO semiconducteur 1 et, vue sur ladite surface principale 6, toute Il U7H44 -1 ti- Z i ù 0 3 '/ ' la zone de collecteur 1 4 est située sur une partie de la zone de base 13» la zone de base entourant la zone de collecteur 14 confine à la surface principale 6, la zone de base et la zone de collecteur 14 ne confinent ensemble que localement à la 5 surface principale 6 et la zone d'émetteur 12 s'étend au-dessous de toute la zone de base 13» Les moyens optiques 8 sont des moyens permettant d'appliquer, par l'intermédiaire de la surface principale 6, des rayons optiques 10 aux environs de la jonction émetteur-base 19 du transistor , de sorte que le courant 10 photo-électrique engendré par les moyens optiques 8 dans la jonction émetteur—base 19 dépasse, dans le cas d'un court-circuit de cette jonction 19» celui qui traverse la jonction de collecteur-base 18 dans le cas d'un court-circuit externe de cette jonction 18. 15 Le corps semiconducteur 1 comporte un substrat 2 semiconducteur de type de conduction n et une couche épitaxiale 3 de type de conduction p appliquée sur ledit substrat 2, dans lequel se trouve la zone de base 13 de type de conduction p du transistor • Le substrat 2, qui confine à la couche 20 épitaxiale 3, appartient à la zone d'émetteur de type de conduction n du transistor . La zone de collecteur 14 est de type de conduction n. Outre le transistor , le corps semiconducteur 1 comporte tin autre transistor muni d'une zone de collecteur 25 34 de type de conduction n, qui confine à la surface principale 6 du corps semiconducteur 1. Vue sur la face principale 6, cette zone de collecteur 34 est située sur une partie de la zone de base 33 du type de conduction p du transistor T^, la zone de base 33» qui entoure la zone de collecteur 34 confinant à la 30 surface principale 6. La zone d'émetteur 12, qui est commune aux transistors et T^, s'étend sur toute la zone de base 13 et 33 des transistors et Les moyens optiques 8 appliquent également des rayons 10 au voisinage de la jonction émetteur-base 39 du 35 transistor afin de la mettre, au moins temporairement, en sens direct par rayonnement optique. La zone de collecteur 14 d'un transistor est connectée à la zone de base 33 de l'autre transistor T^« Des signaux d'entrée électriques sont appliqués à l'aide de la source de signal 5 à la zone de base 13 du transistor et 40 72 09444 -19- 2130399 des signaux de sortie électriques sont prélevés sur la zone de collecteur 34 du transistor Tj, ce qui est représenté symétriquement sur la figure 4 par le bloc 7 • Le corps semiconducteur 1, qui est par exemple en 5 silicium, est recouvert d'une couche isolante 9» par exemple en oxyde de silicium, qui est appliquée sur la surface principale 6 et dans laquelle sont ïàénagées des ouvertures permettant l'application des contacts 16, 17» 36 et 37 pour les zones de base et de collecteur des transistors et T^. Pour la 1° clarté du dessin, les connexions électriques sont représentées symétriquement sur la figure 4. En pratique, elles sont constituées, entièrement ou partiellement, de façon usuelle, par des conducteurs, constitués par exemple par de 1'aluminium et appliqués sur la couche isolante 9» 15 De plus, le dispositif semiconducteur représenté sur la figure 4 comporte un transistor du même genre que celui du transistor , ce transistor fonctionnant d'une façon analogue à celle du transistor . Le transistor est muni d'une zone d'émetteur 12 de type de conduction n, qui est 20 commune à la zone d'émetteur des transistors et T^, d'une zone de base 23 de type de conduction p et d'une zone de collecteur 24 de type de conduction n. Les zones de base et de collecteur sont munies des contacts 26 et 27» La zone de collecteur 24 est connectée à la zone de base 33 du transistor 25 et des signaux d'entrée sont appliqués à la zone de base 23» la source de signal nécessaire à cet effet n'étant pas représentée sur la figure 4, afin de faciliter la compréhension. Le dispositif semiconducteur représenté sur la figure 4 convient donc au circuit représenté sur la figure 2. 30 Les transistors T1, T2 et et les points A, B, C et D sont représentés, tant sur la figure 4 que sur la figure 2. Dans le corps semiconducteur 1, la zone d'émetteur commune 12 entoure les zones de base 13, 23 et 33 et confine à la surface principale 6, alors qu'entre les zones de base 35 13, 23 et 33 des transistors , T2 et sont situées les zones superficielles 4 appartenant à la zone d'émetteur commune 12 et présentant un dopage plus élevé que celui des zones de base 13, 23 et 33. Par suite de la présence des zones superficielle 4 à dopage plus élevé les transistors parasites, tels bO que les transistors parasites comportant les zones 23, 4 et 24 H UV444 -2Q- i i 30399 ne présentent pas ou guère d'effet perturbateur. Le dispositif semiconducteur représenté sur la figure h constitue une structure particulièrement simple et compacte pour le circuit représenté sur la figure 2 à l'état intégré, 5 l'alimentation électrique étant obtenue à l'aide de rayonnement» Cette structure simple et compacte présentant une zone d'émetteur commune aux transistors s'obtient par l'utilisation des transistors inversés, c'est-à-dire des transistors, dont au moins la majeure partie de la jonction émetteur—base est située 10 plus profondément dans le corps semiconducteur qu'au moins la majeure partie de la jonction collecteur-base. Comme il a déjà été expliqué ci-dessus, il en résulte un effet favorable sur le courant photo-électrique et/ou une "tension photo-électrique à engendrer dans les jonctions émetteur—base à l'aide des rayons 15 constitués par exemple par de la lumière visible. Pour de nombreux circuits, par exemple celui représenté sur la figure 2, ces avantages „■ conpensent largement le facteur d'amplification plus faiblesdes transistors inversés. Le dispositif semiconducteur représenté star la figure 20 4 se réalise à l'aide des méthodes usuelles dans la technique des semiconducteurs. On part d'un substrat en silicium 2, de type de conduction n sur lequel est appliquée une couche en silicium épitaxiale 3» de type de conduction p. Dans cette couche 3 sont obtenues par diffusion d'impuretés les zones k 25 de type de conduction n, qui présentent un dopage plus élevé que celui des parties restantes de type de conduction p de la couche épitaxiale 3» après quoi sont appliquées, également par diffusion d'impuretés, les zones de collecteur 14, 2k et 3k de type de conduction n. La couche isolante 9 en oxyde de 30 silicium et les contacts 16, 17» 26, 27, 36, 37 des zones de base et de collecteur 13» 14, 23» 2k, 33 et 3k et le contact 15 de la zone d'émetteur 12 sont également appliqués d'une façon usuelle dans la technique des semiconducteurs. Les zones de base 13» 23 et 33 peuvent être munies 35 par diffusion d'impuretés, d'une couche superficielle à dopage plus élevé (p+) de façon que les parties des zones de base 13, 23 et 33 confinant à la surface principale 6 présentent une concentration d'impuretés s'accroissant dans la direction de ladite surface principale. De ce fait, la combinaison super-40 ficielle dans les zones de base diminue, ce qui influe avan 72 09444 -21- 2130399 tageusement sur le facteur d'amplification des transistors T.|, et De plus, le champ de propagation ainsi formé dans les zones de base chasse les porteurs minoritaires libres générés par rayonnement dans les zones de base vers 5 les jonctions émetteur-base. Au lieu des zones diffusées 4, de type de conduction n, on peut appliquer entre les zones de base 13» 23 et 33 des transistors , T^ et dans le corps semiconducteur 1, des couches isolantes enfoncées s'étendant à partir de la 10 surface principale 6 dans le corps 1 et sur une partie de 1' épaisseur dudit corps. Ces couches isolantes s'obtiennent par exemple par oxydation locale du corps 1, opération pour laquelle une couche en nitrure de silicium peut être utilisée comme masque. Les zones 4 sont en oxyde de silicium et s* 15 étendent sur toute l'épaisseur de la couche épitaxiale 3« La figure 5 montre Tin dispositif semiconducteur selon le quatrième aspect de l'invention, comportant tm corps semiconducteur 40 présentant un transistor muni d'une zone d'émetteur 44, de type de conducteur n, une zone de base 20 45, de type de conduction p t une zone de collecteur 46, de type de conduction n. On a prévu des moyens optiques 8, par exemple sous forme d'une lampe à incandescence, pour mettre ]a jonction émetteur-base 55» au moins temporairement dans le sens direct par rayonnement optique. De plus, on a prévu 25 une source d'alimentation pour mettre la zone de collecteur 46 à l'état collecteur. Cette source d'alimentation n'est pas représentée sur la figure 5 pour la clarté du dessin, mais peut être analogue à celle utilisée pour la zone de collecteur 14 du transistor représenté sur la figure 4. 30 Selon le quatrième aspect de l'invention, la zone d'émetteur 44 de type de conducteur n comporte deux zones partielles contiguës 47» 48, de type de conducteur n, dont la zone partielle 48 présente une résistivité supérieure à celle de la zone partielle 47. La zone partielle 48 est située 35 entre la zone de base 45 et l'autre zone partielle 47 et constitue la jonction émetteur-base 55 avec la zone de base de type de conduction p. Le dispositif semiconducteur représenté sur la figure 5 peut être utilisé dans le circuit selon la figure 2. 40 Du fait que la zone d'émetteur 44 comporte une zone 72 09444 -22- 2130399 partielle à basse valeur ohmique 47 et une zone partielle à valeur ohmique élevée 48, la durée de vie des porteurs minoritaires se trouvant dans la partie au voisinage de la jonction émetteur-base 55 constituée par la zone partielle 48 est pro-5 longée et, de ce fait, 1*engendrement d'un courant photo-électrique traversant cette jonction est avantageusement influencé. Le rendement d'émetteur et, de ce fait, le facteur d'amplification du transistor est convenable, pourvu que la zone partielle à valeur ohmique élevée 48 ne soit pas trop épaisse. Pour que le 10 rendement d'émetteur soit bon, il faut que l'épaisseur de cette couche partielle soit inférieure à la longueur de diffusion des porteurs minoritaires dans ladite zone partielle. Dans le cas d'utilisation des matériaux semiconducteurs actuels, par exemple du silicium, de qualité supérieure, la longueur de 15 diffusion est de plusietirs dizaines de ^u et l'épaisseur de la zone partielle 48 située au-dessous de la zone partielle 47 est de préférence comprise entre 0,1 et 50 ^u. Le dispositif eemiconducteur représenté sur la figure 5 peut être réalisé à l'aide des techniques des semiconducteurs 20 usuelles. On part d'un substrat en silicium 41 de type de conduction n, sur lequel est appliquée une couche en silicium épitaxiale 42 de type de conduction p. Sur la couche 42 est appliquée une couche en silicium épitaxiale 43 de type de conduction n. Ensuite, les zones diffusées 49 de type p+, qui s'étendent 25 sur toute l'épaisseur des couches épitaxiales 42, 43, les zones 50 de type de conduction p+, qui s'étendent sur toute l'épaisseur de la couche épitaxiale 43 et la zone partielle 47 de type de conduction n+ de la zone d'émetteur 44, qui s'étend sur une partie de l'épaisseur de la couche épitaxiale 30 43, sont appliquées par diffusion d'impuretés. Le corps semiconducteur est recouvert d'une couche passivante et isolante 51 en oxyde de silicium. Dans cette couche 51 sont ménagées des ouvertures permettant de munir la couche d'émetteur 44 et la zone de base 45 à laquelle appartiennent les zones 50, des contacts 35 52, 53 respectivement. La zone de collecteur 46, à laquelle appartiennent les zones 49» est munie d'un contact 54. Le quatrième aspect de l'invention peut être avantageusement combiné avec le troisième aspect de l'invention. Lorsqu'on utilise une zone d'émetteur comportant deux zones 40 partielles dans le dispositif semiconducteur représenté sur la 72 09444 -23- 2130399 figure 4, on obtient le dispositif semiconducteur représenté sur la figure 6. Dans les figures h et 6, les parties analogues comportent les mêmes chiffres de référence. 1 J. La zone de collecteur 14 de type de conduction n" du 5 transistor représentée sur la figure 6 confine à la surface principale 6 du corps semiconducteur. Vue sur la surface principale, toute la zone de collecteur 1 4 est située sur une partie de la zone de base 13 de type de conduction p, la zone de base 13 entourant la zone de collecteur 14 confinant à la surface 10 principale 6. La zone de base 13 est entièrement située sur une zone partielle 12a de type de conduction n de la zone d'émetteur 12 et ladite zone partielle 12a sur l'autre zone partielle 12a de type de conduction n de la zone d'émetteur 12. La zone partielle 12a de type de conduction n a une résis-15 tivité supérieure à celle de la zone partielle 12d de type de conduction n+. Dans des directions parallèles à la surface principale 6, une zone partielle 12a est limitée par une région 4 de type de conduction n entourant la zone de base 13 et s'étendant à partir de la surface principale 6 dans le corps 20 semiconducteur, région 4 qui se raccorde à la partie de l'autre zone partielle 12d de type de conduction n+ située au-dessus de ladite zone partielle 12a. La région 4 de type de conduction nT constitue, en combinaison avec la zone partielle 12a de type de y + conduction n une jonction 60, de type de conduction n n, qui 25 contrecarre l'infiltration de porteurs minoritaires (trous) à partir de ladite zone partielle 12a dans la région 4. La jonction 61a de type de conduction n+n comprise entre ladite zone partielle 12a et l'autre zone partielle 12d constitue également une entrave pour les trous s'infiltrant à 30 partir de ladite zone partielle 12a dans la zone partielle 12d. Cela implique que lors du fonctionnement du transistor , des trous injectés à partir de la zone de base 13 de type de conduction p dans la zone partielle de type de conduction n 12a de la zone d'émetteur 12 séjournent plus longtemps dans ladite zone 35 partielle 12a, ce qui améliore le rendement d'émetteur et le facteur d'amplification du transistor T.,. Les transistors TP et présentent une structure analogue à celle du transistor et comportent respectivement une zone partielle d'émetteur 12b, 12c respectivement, de type 40 de conduction n, qui constituent avec la zone partielle d'émerfc- 72 09444 -2k- 2130399 teur 12d de type de conduction n+ la jonction 61b, 61c respectivement de conduction n+n. Les transistors T1, T2 et présentent une zone d'émetteur commune 12. Tout comme le dispositif semiconducteur représenté 5 sur la figure k, le dispositif semiconducteur représenté sur la figure 6 comporte lé circuit selon la figuré 2 à 1*état ~ intégré. Le corps semiconducteur 1 comporte un suDstrat 2 de type de conduction n+ sur lequel est appliquée une couche- épita-10 xiale 3» qui confine à la surface principale 6 du corps semiconducteur 1. Dans la couche épitaxiale 3 se trouvent les zones de base 13» 23 et 33 qui confinent, autour des zones de collecteur ~\k, 2k et 3k, à la surface principale 6 et qui ne s'étendent que sur une partie de l'épaisseur de la couche épitaxiale 3 et 15 qui sont situées au-dessous de toutes les zones de collecteur 14, 2k et 3k respectivement. Les parties de la couche épitaxiale 3 situées au-dessous des zones de base 13» 23 et 33 appartiennent aux zones partielles 12a, 12b et 12c de la zone d'émetteur commune 2. Le substrat 2 confinant â. la couche épitaxiale 3 appartient 20 à l'autre zone partielle 12d de la zone d'émetteur commune 12. Les moyens optiques 8, tels qu'une lampe à incandescence, appliquent par l'intermédiaire de la surface principale 6, des rayons au voisinage des jonctions émetteur-base 19, 29 et 39» Dans le présent exemple de réalisation, les zones de 25 base 13, 23 et 33 sont limitées, dans les directions parallèles à la surface principale 6, par des régions k de type de conduction n+, et à l'exception des parties marginales 19a, 29a et 39a de la jonction émetteur-base 19» 29 et 39» ces jonctions sont formées par les zones partielles 12a, 12b et 12c et des 30 zones de base 13» 23 et 33. De ce fait, les zones partielles 12a, 12b et 12c sont aussi petites que possible, ce qui est avantageux pour le rendement d'émetteur. Dans le présent exemple de réalisation, les zones k de type conduction n+ s'étendent sur toute l'épaisseur de la couche épitaxiale 3» elles présentent 35 le même type de conduction star la zone d'émetteur coianune 12, elles appartiennent à l'autre zone partielle 12d de type de conduction n+ de cette zone d'émetteur 12 et elles présentent un dopage plus élevé que celui des zones de base 13, 23 et 33» de sorte qu'elles sont à même de supprimer les effets des 40 transistors parasites entre ces zones de base. 72 09444 -25- 2130399 Les régions 4 de type de conduction n+ peuvent être remplacées par des régions en matériau isolant, par exemple en oxyde de silicium, qui s'étendent sur toute l'épaisseur de la couche épitaxiale 3» Lorsque le corps semiconducteur 1 est en 5 silicium, ces régions isolantes en oxyde de silicium s'obtiennent par exemple par oxydation locale du corps en silicium à l'aide d'un masque en nitrure de silicium. Le corps semiconducteur représenté sur la figure 6 se réalise de la façon suivante. 10 On part d'un substrat en silicium 2 de type de con duction n+ présentant une résistivité d'environ 0,01 ohm.cm et une épaisseur d'environ 250 yu. On peut appliquer d'abord une couche épitaxiale 36 de type de conduction n et ensuite une couche épitaxiale 3a de type de conduction p. Toutefois, 15 dans le présent exemple de réalisation, on applique d'abord une couche épitaxiale 3 en silicium de type de conduction n présentant une résistivité d'environ 0,2 ohm.cm et une épaisseur de 6 yU. Puis, la couche superficielle 3a de type de conduction p présentant une épaisseur de 3 /a. et une concentration super- 18 ' 20 ficielle d'environ 10 atomes de bore per cm3 est appliquée par diffusion de bore. Puis, on applique, par diffusion de phosphore, les régions 4 de type de conduction n+, qui s'étendent sur toute l'épaisseur de la couche épitaxiale 3« De même, par diffusion de phosphore, on applique les zones de collecteur 25 14, 24 et 34, d'une épaisseur de 2,5 /U. La concentration super— 20 ficielle des zones 4, 14, 24 et 34 a-st d'environ 10 atomes de phosphore par cm3. L'épaisseur des zones partielles 12a, 12b et 12c de type de conduction n est donc d'environ 3 yu. D'une façon usuelle, on applique sur la surface principale une couche 30 isolante 9 en oxyde de silicium dans laquelle sont ménagées des ouvertures pour permettre l'application des contacts d'aluminium 16, 17, 26, 27» 36 et 37» connectés avec des conducteurs en aluminium situés sur la couche isolante 9, en vue de former des connexions électriques. Ces connexions électriques ne sont 35 représentées que symétriquement sur la figure 6. La zone d'émetteur 12 est munie de façon usuelle d'un contact 5« Vues sur la surface principale 6, les zones de collecteurs présentent une surface d'environ 20 x 20 ^u, et les zones de base 13» 23 et 33 d'environ 50 x 70 yu, alors que les zones 40 4 de type de conduction n+ ont une largeur d'environ 10 yu. 72 09444 -26- 2130399 XI est également possible d'appliquer par diffusion locale les zones de base 13» 23 et 33 dans la couche épitaxiale 3, alors que les parties de type de conduction n sont situées entre les zones de base et confinent à la surface principale 6, 5 parties dans lesquelles peuvent être appliquées les régions 4 de type de conduction n+. La figure 7 montre cette forme de réalisation pour le transisibr et son environnement. Dans ce cas, les régions 4 de type de conduction n+ sont situées à quelque distance des zones de base 13, 23 et 33» alors que la 10 configuration ainsi obtenue est moins compacte. Ici aussi, les régions 4 de type de conduction n+ peuvent être remplacées par des régions en matériau isolant. Les sources de courant 1^, I2 et 1^ représentées sur la figure 2 peuvent être constituées par les jonctions émetteur-15 base irradiées 19» 29 et 39 représentées sur la figure 6. Toutefois, le rayonnement incident 10 atteint l'environnement des jonctions collecteur-base 18, 28 et 38 , aâssi bien que celui des jonctions émetteur-base 19» 29 et 39» de sorte qu'outre les sources de courant 1^, 1^ et 1^, il se produit des sources 20 de courant actif entre les zones de base 13» 23 et 33 ©t les zones de collecteur 14, 24 et 34. Les dernières sources de courant exercent un faible effet perturbateur sur le fonctionnement du circuit représenté sur la figure 2, effet qui est cependant négligeable grâce à la configuration choisie, comme il 25 ressort de ce qui suit. Le dispositif semiconducteur représenté sur la figure 6, est muni d'un corps semiconducteur 1 comportant un transistor T^, qui présente une zone de collecteur 14 se trouvant d'un côté (le côté de la surface principale 6) du corps 30 semiconducteur 1 et constituant line partie de la jonction collecteur-base 18 du transistor et qui présente une zone d'émetteur 12 située au moins partiellement, au—dessous de la zone de cpllecteur 14, vue du côté mentionné ci-dessus (celui de la 'surface principale 6) et formant la jonction émetteur-base 19 35 munie de la zone de base 13; par ailleurs des moyens optiques 8 sont prévus pour mettre, au moins temporairement, la jonction émetteur-base 19 par rayonnement optique en sens direct pour qu'une source d'alimentation (formée par la jonction irradiée 39) permette de mettre la zone de collecteur 14 à l'état où 40 celle-ci fonctionne comme collecteur; Dans le dispositif semi 72 09444 -27- 2130399 conducteur représenté sur la figure 6 la jonction base-collecteur 18 présente, vue dudit côté de la surface principale 6, une étendue latérale notablement inférieure à celle de la jonction émetteur-base 19, de sorte que dans le cas d'un 5 court-circuit externe de ladite jonction, le courant photoélectrique engendré par les moyens optiques 8 et traversant ladite jonction émetteur-base 19 est supérieur à celui traversant la jonction collecteur-base 18 dans le cas d'un court-circuit externe de cette dernière jonction. 10 Du fait que les moyens optiques 8 appliquent du rayonnement 10 par l'intermédiaire dudit côté de la surface principale 6 du corps semiconducteur 1 au voisinage de la jonction émetteur-base 19» une partie notable de la jonction collecteur-base 18 est blindée du rayonnement 10 par le contact 1-5 17» qui est constitué par une couche en aluminium. Vue sur la surface principale 6, la couche en aluminium 17 connectée à la zone de collecteur 14 peut même dépasser toute la zone de collecteur 14, comme le montre la figure 7» et blinder ainsi pratiquement la jonction collecteur-base 18. 20 Pour les transistors et on remarque également que l'étendue latérale des jonctions collecteur-base 18 et 38 est notablement inférieure à celle des jonctions émetteur-base 29 et 39 et que les contacts 27 et 37 réalisés en une couche en aluminium assurant le blindage d'au moins la majeure 25 partie des jonctions collecteur-base 28 et 38 contre le rayonnement 10. Une amélioration poursuivie s'obtient en utilisant, au lieu des zones de collecteur comportant une zone de type de conduction n+, des zones de collecteur formées par une 30 couche contenant un métal et s'appliquant sur les zones de base de façon à former avec ces dernières une jonction de Schottky, ce qui est illustré puur le transistor par la figure 8. La couche contenant un métal 63 constitue la jonction de Schottky 64, ce qui veut dire la jonction collecteur-base 64, 35 avec la zone de base 13. Une jonction de Schottky n'est guère sensible à la lumière et offre en outre l'avantage d'augmenter la vitesse du circuit. Les zones de collecteur 14, 24 et 34 représentées sur la fig. 6 présentent un dopage élevé, de sorte que des 40 porteurs de charge libres générés par le rayonnement dans ces 72 U9444 -28- 2130399 zones se recombinent en majeure partie avant de pouvoir contribuer à la formation du courant photo-électrique dans les jonctions collecteur-base 18, 28 et 38. Les zones de base 13» 23-et 33 sont des zones diffu-5 sées présentant line concentration en impuretés décroissante dans des directions s'étendant vers les jonctions émetteur-base 19» 29 et 39» de sorte que lesdites zones présentent un champ d'accélération et que des électrons générés dans les zones de base ne se déplacent guère vers les jonctions collecteur-base 10 mais vers les jonctions émetteur-base. Un choix approprié des épaisseurs et des dopages de différentes zones permet d'influer davantage sur les courants photo-électriques engendrés. C'est ainsi que l'épaisseur des zones de collecteur 1 4, 2k et 3k est inférieure à la profondeur 15 d'infiltration d'au moins une partie notable du rayonnement 10 dans le corps semiconducteur 1. De plus, les jonctions émetteur-base 19» 29 et 39 sont situées plus profondément que les jonctions collecteur-base 18, 28 et 38 et lazone d'émetteur commune 12 comporte les zones partielles à valeur ohmique 20 élevée 12a, 12b et 12c, ce qui influe avantageusement sur l'absorption de rayonnement dans l'environnement des jonctions émetteur-base. De plus, on peut agrandir la jonction émetteur-base des transistors en munissant la zone d'émetteur d'un transistor 25 d'une zone superficielle située à côté de la zone de collecteur appelée zone marginale d'émetteur, qui est séparée par la zone de base de la partie de la zone d'émetteur située au—dessus de la zone de base et qui confine à une partie de la zone d'émetteur située à côté de la zone de base et confinant à la surface 30 principale. Cela est illustré pour le transistor par la figure 9. Le transistor présente une zone d'émetteur 12 comportant la zone marginale d'émetteur 65, qui est située à côté de la zone de base 13 et qui confine à la partie k de la zone d'émetteur 12 contiguë à la surface principale 6. 35 Le rayonnement utilisé 10 doit être adapté d'une façon usuelle pour les dispositifs semiconducteurs photosensibles au matériau semiconducteur utilisé. Dans le présent exemple de réalisation, le rayonnement 10 doit donc être à même de générer des porteurs libres dans du silicium. C'est ainsi 40 que le rayonnement 10 peut être constitué par du rayonnement 72 09444 -29- 2130399 visible et/ou infra-rouge et une partie notable est constituée de préférence par du rayonnement à une longueur d'onde située dans la proximité de 800 ^u. Comme source de rayonnement 8, on peut utiliser toute source de rayonnement émettant des rayons 5 de longueur requise, par exemple une lampe à incandescance ou une lampe à décharge. Il est également possible d'utiliser la lumière du jour. De plus, la source de rayonnement peut être constituée par une source de rayonnement de recombinaison du type de conduètion pn. Cette dernière source de rayonnement peut 10 non seulement être combinée avec le corps semiconducteur 1 mais elle peut être insérée dans ledit corps semiconducteur 1. Les moyens optiques servant à appliquer le rayonnement 10 peuvent donc comporter une source de rayonnement combinée ou non avec le corps semiconducteur 1 ou être insérés 15 dans ledit corps semiconducteur 1 ou encore ils ne peuvent être constitués que par des moyens permettant d'appliquer du rayonnement au corps semiconducteur 1, comme par exemple une fenêtre transmettant du rayonnement et disposée dans une enveloppe du dispositif semiconducteur, fenêtre par laquelle on 2 0 fait tomber par exemple la lumière du jour sur le corps seaii— conducteur 1. Le corps semiconducteur 1 peut faire partie d'un plus grand corps semiconducteur 1, tant dans la direction latérale, c'est-à-dire dans des directions parallèles à la 25 surface principale, que dans la direction de 1'épaisseur, c'est-à-dire dans une direction perpendiculaire à la surface principale 6. Des exemples de réalisation décrits ci-dessus, il ressort que des économies technologiques notables et des 30 avantages de caractère électrique peuvent être obtenus dans le cas d'application de l'invention. D'une façon générale, il suffit d'utiliser quatre masques pour le processus de fabrication, on obtient une densité de remplissage particulièrement élevée des éléments actifs, les émetteurs des transistors utilisés 35 sont a priori en contact, les tins avec les autres (emetteur commun), de sorte que des conducteurs de connexion sont superflus, les collecteurs par contre sont automatiquement séparés les uns des autres, les résistances peuvent être omises entièrement, ce qui implique un très grand gain d'espace, l'enceinte 40 comprise entre les régions utilisées 4 qui séparent les zones 72 09444 -30- 2130399 de base est entièrement remplie d'éléments actifs, des couches enterrées sont superflues, des câblages servant à appliquer des tensions d'alimentation peuvent être omis. En pratique, on obtient l'avantage que tous les courants peuvent varier d'une 5 façon analogue avec l'intensité de la lumière incidente, de sorte que les circuits ne sont guère sensibles aux perturbations. Une surfcharge par une trop grande intensité lumineuse n'est guère à craindre pourvu que l'augmentation de la température qui se produit dans ce cas ne soit pas trop élevée, les tensions 10 engendrées n'augmentent qu'avec le logarithme de l'énergie de rayonnement incidente, de sorte que le circuit fournit automatiquement une certaine limitation de ces tensions. Un transistor, par exemple du dispositif semiconducteur représenté sur la figure 6, peut comporter plusietirs zones 15 de collecteur 14a, 14b et "\kc situées du côté de la surface principale 6, comme le montre la figure 10 pour un tel transistor. L'utilisation de plusietirs zones de collecteur permet d'obtenir d'une façon simple, des sorties séparées électriquement qui peuvent être connectées à des entrées séparées des transis-20 tors suiveurs. De plus, la commande du débit de courant à l'une des zones de collecteur permet de régler le facteur /3 d'amplification pour les autres zones de collecteur. C'est ainsi lorsque l'une des zones de collecteur, , reliée par exemple 14a,eât/aune résistance variable, par exemple, et qie le 25 trajet collecteur-émetteur d'un transistor commandé, est connecté à l'émetteur 12, le facteur fb d'amplification de courant collecteur-base pour un autre collecteur, par exemple 14b, peut varier avec ladite résistance variable. En pratique, un facteur d'amplification (3 d'une 30 valeur égale à 10 s'avère facilement obtenable pour un transistor inverse conforme à l'invention. Cela suffit pour la plupart des applications pratiques. En appliquant plusieurs zones de collecteur séparées 14a, 14b, 1kc (voir la figure 10) on constate, fait étonnant, 35 que le facteur 0 augmente proportionnellement plus que le nombre de zones de collecteur. C'est ainsi que lorsque l'une des zones de collecteur présente une valeur 10, cas dans lequel les autres zones de collecteur restent à potentiel flottant, on obtient, dans le cas d'utilisation de deux zones un facteur 40 égal à environ 25» dans le cas d'utilisation de trois zones, 72 09444 -31- 2130399 un facteur $ d'environ 40 etc. Cela s'applique dans le cas où toutes les zones de collecteur ont les mêmes dimensions« Apparemment, cet effet est basé sur le fait que l'effet "collecteur" va s'étendre sur une plus grande surface que la surface 5 réunie proprement dite des zones de collecteur. L'écartement entre lesdites zones de collecteur est de préférence de l'ordre de grandeur de l'épaisseur de la base située au-dessous des zones de collecteur. Les régions 4 du type de conduction n+ du dispositif 10 semiconducteur représenté sur la figure 6 visent entre autres à empêcher un effet de transistor latéral entre les zones de base des différents transistors. Toutefois, il peut se produire des conditions dans lesquelles tm effet de transistor latéral entre deux zones juxtaposées est désirable. 15 La figure 11 montre un exemple d'un dispositif semi conducteur dans lequel se produit un effet de transistor latéral. La structure de cette disposition ne diffère de par exemple pour le transistor T^ de celle représentée sur la figure 6 que par le fait que la zone de base 13 de type de conduction p représen-20 tée sur la figure 6 est constituée, sur la figure 11, par deux parties 70 et 71 qui se trouvent tout près l'une de l'autre. Ainsi, la structure représentée sur la figure 11 comporte, outre un transistor,T_ présentant la zone d'émetteur 72 de type de conduction pn la zone de base 70 de type de conduction 25 p et la zone de collecteur 73 de type de connexion n , également tm autre transistor latéral T^ muni des zones d'émetteur et de collecteur 7° ët 71 de type de conduction p et de la zone de base 74 de type de conduction n. Les zones de collecteurs 73 et 71 sont interconnectées. Le schéma de remplacement électrique 30 est illustré par la figure 12. La source de courant s'obtient par irradiation de la jonction émetteur-base 75 du transistor T et la source de courant par irradiation de la jonction collecteur-base 76 du transistor T^. Le transistor T^ devient conducteur par irradiation 35 de la source de courant photo-électrique I^. Le courant provenant de la source de courant photo-électrique 1^ parcourt par conséquent essentiellement le trajet collecteur—émetteur du transistor T-. De ce fait, la tension baisse à l'électrode de collecteur 5 C^, du transistor T^ jusqu'en deçà de la tension à l'électrode 40 de base b du transistor T,., de sorte que le transistor pnp 72 09444 -32- 2130399 latéral est traversé par un courant qui est prélevé sur la source Finalement, on obtient un point d'ajustage M (voir la figure 3), auquel seule une petite fraction du courant provenant de la source I_ traverse comme courant de base le transis 5 5 tor T(,, de façon que celui-ci parvienne dans son domaine d'action linéaire. Utilisée comme commutateur électrônique, une telle disposition offre l'avantage que 1'acaumulation de charge ee produisant dans la zone de base suffit précisément pour le fonctionnement du transistor dans son état fortement conducteur. 10 Toutefois, le dispositif peut également être utilisé comme amplificateur linéaire à contre-réaction. La structure représentée sur la figure 6 permet égale ment de réaliser un autre amplificateur linéaire simple, dont le schéma a été représenté sur la figure 13. La structure des 15 transistors T^, T^2 et T^ correspond, ici aussi, à celle des transistors T^, T2 et T^ représentés sur la figure 6. Toutefois, le collecteur c du premier transistor est connecté à la base b du second transistor, le collecteur de ce dernier à la base du troisième transistor et, eilfin, le collecteur du 20 troisième transistor par l'intermédiaire d'un circuit transmettant un courant continu et comportant un haut-parleur ou téléphone L et un microphone M, à la base du premier transistor, Le condensateur C sert à supprimer la contre-réaction en courant alternatif. Tout comme il a été décrit pour l'exemple de réali-25 sation représenté sur les figures 11 et 12, par suite de la contre-réaction en courant continu se produisant par l'intermédiaire dudit circuit transmettant le courant continu, le cuurant de base disponible pour chacun des transistors (le reste du courant provenant des sources de courant photo-électri-30 ques ^13 descend dans la oascade par l'intermédiaire du circuit collecteur-émetteur du transistor précédent) est tel que lesdits transistors soient ajustés dans leur domaine d'action linéaire. Ainsi, on obtient un amplificateur extrêmement simple, par exemple pour des appareils auditifs, qui ne fonc-35 tionne que tant que l'élément semiconducteur est exposé à irra-dition. Pour obtenir des sources de courant I-j-j» -^13 grandeur convenaUe, il est recommandable que la surface des jonctions émetteur-base des transistors T^2 et T^ soit petite comparativement à celle du transistor T^^. 40 Une méthode simple pour le réglage (éventuellement 72 09444 -33- 2130399 automatique) de l'amplification s'obtient par l'utilisation par exemple de deux collecteurs, comme il a été décrit à l'aide de la figure 10. Lorsque l'un de ces collecteurs est connecté à la masse par l'intermédiaire d'une résistance variable, (par 5 exemple la résistance interne d'un transistor), le courant de signal circulant vers un autre collecteur devient tributaire de cette résistance et peut facilement — au besoin automatique—-arment - être réglé. Le circuit représenté sur la figure 2 peut être 10 agrandi de façon à obtenir un compteur à cylindre ou un registre à décalage. La forme la plus simple d'un compteur à cylindre est un flipflop bistable, qui se forme lorsqu'on relie le point de connexion D au point de connexion B par exemple. Dans ce cas, les transistors T^ et constituent un flipflop du type 15 Eccles Jordan. Il sera évident que l'invention n'est pas limitée aux •«exemples de réalisation décrits ci-dessus et que l'initié pourra en réaliser de nombreuses variantes sans sortir du cadre de l'invention. C'est ainsi qu'on peut appliquer sur la couche 20 isolante 9 dans les figures h et 6 une couche anti-réfléchissan-te par exemple. Afin d'augmenter la vitesse de commutation, les zones de base peuvent présenter au moins au-dessous des zones de collecteur, un dopage s'accroissant dans la direction des zones de collecteur vers la zone d'émetteur. Un tel dopage - ot>-25 tient par exemple par croissance, par exemple par implantation d'ions et par voie épitaxiale, opération pour laquelle on amène une quantité variable d'impuretés. Au lieu de partir d'un substrat 2 de type de conduction n+ (voir la figure 6), sur lequel est appliquée une couche épitaxiale 3 de type de conduction n 30 présentant un dopage plus bas, on peut également partir d'un substrat de type de conduction n+ et de munir celui-ci d'une couche superficielle de type de conduction n présentant un dopage plus bas, par diffusion d'impuretés. Les types de conduction peuvent être échangés dans les exemples de réalisation 35 décrits ci-dessus. D'autres matériaux semiconducteurs usuels et d'autres matériaux isolants tels que le silicium et l'oxyde de silicium peuvent être utilisés, par exemple les matériaux semiconducteurs A^j-By et les couches isolantes en nitrure de silicium. 40 Les régions h de type de conduction n représentées sur 72 09444 -34- L I «3U 3 '-7 7 la figure 6 peuvent non seulement être remplacées entièrement mais également partiellement par des zones en matériau isolant, comme le montre la figure 14 pour le transistor et son voisinage. Les zones 4 sont constituées par des régions partiel-5 les isolantes 4a et les régions partielles 4b de type de conduction n+. C'est ainsi que les régions partielles isolantes 4a sont constituées par de l'oxyde de silicium et s'étendent à partir de la surface principale 6 sur une distance légèrement supérieure à celle de la zone de base 13» Elles s'obtiennent par 10 oxydation locale du corps semiconducteur 1 à l'aide d'un masque en nitrure de silicium par exemple. Les zones partielles 4b de type de conduction n+ s'obtiennent d'une façon usuelle sous forme de couches enterrées. On peut composer plusieurs structures semiconductrâces, par exemple dans un seul corps semiconducteur, 15 de façon qu'une structure présente le type de conduction opposé à celui de l'autre. Les courants photo-électriques engendrés dans une structure peuvent alors assurer l'alimentation de l'autre structure et inversement. Du point de vue pratique de communication, on peut 20 introduire plusieurs raffinements, tels que la stabilisation de la quantité de lumière incidente, par exemple par commande de la source lumineuse en fonction de la tension photo—électrique engendrée. La contre-réaction électrique permet d'obtenir par exemple un oscillateur, dont la fréquence augmente avec l'inten-25 sité lumineuse, ce qui permet d'en déduire une grandeur de commande pour la source lumineuse. Pour l'obtention d'un signal de sortie de puissance plus élevée, cta. peut utiliser un ou plusieurs transistors de sortie, (montés comme émetteur suiveur) sur un élément comportant par exemple des dizaines ou des cen-30 taines de transistors alimentés par du rayonnement incident, de façon que la connexion de sortie des transistors de sortie devant être mise à line source de tension d'alimentation par l'intermédiaire d'une résistance de sortie (d'autres conducteurs étant superflus dans le circuit intégré pour permettre cette 35 alimentation). Les formes de réalisation décrites ci-dessus des dispositifs semiconducteurs et des configurations semiconduc-trices permettant d'obtenir la conversion d'énergie se produisant par fréquence à l'aide d'une jonction émetteur-base, 40 peuvent aussi être utilisées avantageusement dans d'autres cir 72 09444 -35 2130399 cuits que celui décrit ci-dessus, dans lesquels une jonction pn doit être mise en sens direct. 72 09444 -36- 2130399 REVENDICATIONS i 1. Circuit d'électronique comportant au moins un composant alimenté par du rayonnement, caractérisé en ce qu'il comporte un premier transistor et un second transistor montés en 5 cascade et que le courant principal du premier transistor s'obtient au moins essentiellement par illumination de la jonction émetteur-base du second transistor. 2. Circuit selon la revendication 1, caractérisé en ce que les émetteurs des premier et second transistors sont réalisés 10 sous forme d'une zone cohérente d'un type de conduction dans lin élément semiconducteur, zone dans laquelle sont présentes des zones de base séparées du type de conduction opposé et dans lesquelles sont insérées les jonctions base-collecteur des premier et second transistors. 15 3» Circuit selon la revendication 2, caractérisé en ce que dans une zone de base sont appliqués plusieurs collecteurs. 4. Circuit selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'amplification de signal vers un collecteur est réglée par un débit variable du courant de l'autre collecteur. 20 5» Circuit selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'à côté de la zone de base d'un transistor est appliquée une autre zone du même type de conduction qui constitue un transistor latéral avec la zone d'émetteur et ladite zone de base du premier transistor. 25 6. Circuit selon la revendication 5, caractérisé en ce que l'autre zone est connectée au collecteur du premier transistor. 7« Circuit selon la revendication 1 ou 2, comportant la cascade en courant continu de plusieurs transistors, dont le 30 dernier est connecté au premier transistor de la cascade par l'intermédiaire d'un circuit à contre-réaction transmettant du courant continu et comportant la charge, se circuit étant caractérisé en ce que la jonction base-émetteur du premier transistor présente une surface supérieure à celle des transis- 35 tors suivants. 8. Circuit comportant un composant servant de commuta teur électronique fonctionnant, soit à l'état d'enclenchement, soit à l'état de déclenchement, caractérisé en ce que le courant principal pour le commutateur est assuré par une jonction redres— 40 seuse exposée au rayonnement parallèle au trajet de courant 72 09444 -37- A 1 principal du commutateur, jonction qui, de ce fait, fonctionne, soit près de la valeur de courant de court-circuit, soit près de la valeur de courant nul de sa caractéristique courant-tension engendrée par le rayonnement, suivant que le commutateur occupe 5 sa position de déclenchement ou sa position d'enclenchement, la tension engendrée ainsi dans la jonction redresseuse étant appliquée, en vue d'assurer la commande, à un autre composant servant de commutateur électronique. 9. Circuit selon la revendication 8, caractérisé en 10 ce que les composants servant de commutateurs électroniques sont des transistors bipolaires. 10. Circuit selon la revendication 8 ou 9, caractérisé en ce que la jonction redresseuse fait partie de l'autre composant servant de commutateur électronique. 15 11. Circuit selon la revendication 10, caractérisé en ce que la jonction redresseuse est constituée par la jonction base-émetteur d'un transistor bipolaire servant d'autre commutateur électronique. 12. Dispositif semiconducteur convenant à un circuit 20 selon l'une des revendications 1 à 11, comportant un corps semiconducteur comportant un transistor muni d'une zone d'émetteur, d'une zone de base et d'une zone de collecteur qui comportent chacune un contact de connexion, alors que des moyens optiques sont prévus pour mettre la jonction émetteur-base du trassi^tor, 25 au moins temporairement, par rayonnement optique en sens direct et ainsi qu'une source d'alimentation afin de porter la zone de collecteur à l'état où celle-ci fonctionne comme tm collecteur des signaux d'entrée électriques étant appliqués entre les contacts de connexion des zones de base et d'émetteur du transis-30 tor alors que des signaux de sortie électriques sont prélevés sur le contact de connexion de la zone de collecteur, ce dispositif semiconducteur étant caractérisé en ce que la zone de collecteur confine à une surface principale du corps semiconducteur et, vue sur cette surface principale, toute la zone 35 de collecteur étant située sur une partie de la zone de base qui confine, autour de la zone de collecteur, à la surface principale, la zone de base et la zone de collecteur ne confinant ensemble que localement à la surface principale et la zone d'émetteur s'étendant au-dessous de toute la zone de base, les 40 moyens optiques permettant d'appliquer, par l'intermédiaire de 72 09444 -38- 2130399 la surface principale, des rayons optiques au voisinage de la jonction base-émetteur du transistor, de sorte que le courant photo-électrique engendré par les noyens optiques dans la jonction émetteur-base dépasse, dans le cas d'un court-circuit 5 externe de cette jonction, celui dans la jonction collecteur-base dans le cas d'un court-circuit externe de cette jonction. 13» Dispositif semiconducteur selon la revendication 12, caractérisé en ce que la partie de la zone de base confinant à la surface principale du corps semiconducteur présente un 10 concentration d'impuretés s'accroissant dans la direction de la surface principale. 14. Dispositif semiconducteur selon la revendication 12 ou 13, caractérisé en ce que le corps semiconducteur comporte un substrat semiconducteur sur lequel est appliquée une couche 15 épitaxiale dans laquelle se trouve la zone de base du transistor alors qu'au moins la partie du substrat contiguë de la couche épitaxiale appartient à la zone d'émetteur. 15» Dispositif semiconducteur selon l'une des revendica tions 12 à 14, caractérisé en ce que la zone d'émetteur dans 20 le corps semiconducteur entoure entièrement la zone de base et confine à une surface principale du corps semiconducteur. 16. Dispositif semiconducteur selon la revendication 15» caractérisé en ce que la zone d'émetteur comporte une zone superficielle appelée zone marginale d'émetteur, située 25 à côté de la zone de collecteur, qui est aéparée par la zone de base de la partie de la zone d'émetteur située au-dessous de la zone de base et qui confine à une partie de la zone d'émetteur située à côté de la zone de base et confinant à une surface principale. 30 17, Dispositif semiconducteur selon l'une des revendica tions 12 à 16, caractérisé en ce que le corps semiconducteur comporte, outre le susdit transistor, également un autre transis tor muni d'une zone de collecteur confinant à la surface principale du corps semiconducteur, zone de collecteur qui, vue sur la 35 surface principale, est située sur une partie de la zone de base de l'autre transistor, ladite zone de base confinant autour de la zone de collecteur à la surface principale, alors que la zone d'émetteur, qui est comsune à l'autre transistor et le transistor déjà mentionné, s'étend au-dessous de toutes les 40 zones de base des deux transistors. 72 09444 39- 2130399 18. Dispositif semiconducteur selon la revendication 17» caractérisé en ce que les moyens optiques sont des moyens qui appliquent également des rayons au voisinage de la jonction émetteur—base de l'autre transistor, afin de la mettre, au moins 5 temporairement, par rayonnement optique, dans le sens directs 19. Dispositif semiconducteur selon la revendication 18, caractérisé en ce que la zone de collecteur d'un transistor est connecté électriquement à la zone de base de l'autre transis tor, des signaux d'entrée électriques étant appliqués à la zone 10 de base d'un transistor et des signaux de sortie électrique présents à la zone de collecteur de l'autre transistor étant prélevés . 20. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications 17 à 19, caractérisé en ce qu'entre les zones de base d'tm 15 transistor et de l'autre transistor est située une zone superficielle appartenant à la-zone d'émetteur commune et présentant un dopage plus élevé que celui de la zone de base. 1. Dispositif seniconducteur selon la revendication ih, et selon l'une des revendications 17 à 19» caractérisé ena 20 qu'entre les zones de base d'tm transistor et de l'autre transis or est située une couche isolante enfoncée dans le corps semiconducteur et s'étendant, à partir de la surface principale dans le corps semiconducteur sur une partie de l'épaisseur dudit corps. 25 22. Dispositif semiconducteur convenant à un circuit selon l'une des revendications 1 à 11, comportant un corps semiconducteur présentant un transistor muni d'une zone d'émetteur, d'une zone de base et d'une zone de collecteur, alors que des moyens optiques sont prévus pour mettre, au moins temporai-30 rement, par rayonnement optique, la jonction émetteur-base du transistor dans le sens direct et ainsi qu'une source d'alimentation pour porter la zone de collecteur à état où celle-ci fonctionne comme un collecteur, ce dispositif semiconducteur étant caractérisé en ce que la zone d'émetteur comporte deux 35 zones partielles limitrophes d'tm premier type de conduction, dont la première zone partielle présente une résistivité supérieure à celle de la seconde zone partielle, la première zone partielle étant située entre la zone de base et la seconde zone partielle de façon à former avec la zone de base de l'autre type 40 de conduction au moins la majeure partie de la jonction émetteur 72 09444 -40- 2130399 base. 23. . Dispositif semiconducteur selon la revendication 22, caractérisé en ce que tout au plus à l'exception des parties marginales de la jonction émetteur-base, cette dernière est 5 constituée par la première zone partielle et la zone de-base. 24. Dispositif semiconducteur selon la revendication 22 ou 23» caractérisé en ce que la zone de collecteur confine à une surface principale du corps semiconducteur et que vue sur ladite surface principale, toute la zone de collecteur est située sur 10 une partie de la zone de base qui confine, autour de la zone de collecteur, à la surface principale et, qui est entièrement située sur la première zone partielle de la zone d'émetteur, ladite zone partielle étant située sur la seconde zone partielle de la zone d'émetteur et étant limitée, dans des directions 15 parallèles à la surface principale, par une région entourant la zone de base et s'étendant, à partir de la surface principale, dans le corps semiconducteur, région qui se raccorde à la partie de la seconde zone partielle située au-dessous de la première zone partielle et cette région constituant avec ladite première 20 zone partielle une jonction, qui contrecarre l'infiltration de porteurs minoritaires à partir de la première zone partielle dans la régionv 25« Dispositi'f semiconducteur selon au moins l'une des revendications 22 à 24, caractérisé en ce que le corps semi-25 conducteur comporte tin substrat semiconducteur sur lequel est appliquée une couche épitaxiale confinant à phe surface principale dudit corps semiconducteur, couche épitaxiale dans laquelle se trouve la zone de base sous forme d'une zone confinant autour de la zone collecteur à la surface principale, 30 s'étendant sur une partie de l'épaisseur de ladite couche épitaxiale et étant située au-dessous de toute la zone de collecteur confinant à la surface principale, alors qu'au moins la partie de la couche épitaxiale située au-dessus de la zone de base appartient à la première zone partielle de la zone d'émet-35 teur et qu'au moins la partie du substrat contiguë à la couche ppitaxiale appartient à l'autre zone partielle et les moyens optiques sont des moyens susceptibles d'appliquer, par l'intermédiaire de la surface principale, des rayons au voisinage de la jonction émetteur-base. 40 26. Dispositif semiconducteur selon les revendications 72 09444 -i(i- 2130399 24 et 25, caractérisé en ce que la région s'étend sur toute l'épaisseur de la couche épitaxiale, en ce qu'elle présente le même type de conduction que celui de la zone d'émetteur et un dopage plus élevé que celui de la zone de base et en ce qu'elle 5 appartient à l'autre zone partielle de la zone d'émetteur. 27. Dispositif semiconducteur selon la revendication 24 ou 25» caractérisé en ce que la région s'étend sur toute l'épaisseur de la couche épitaxiale et qu'elle est constituée par du matériau isolant. 10 28. Dispositif semiconducteur selon la .revendication 26 ou 27» caractérisé en ce que la zone de base est limitée par la région dans des directions parallèles à la surface principale. 29. Dispositif semiconducteur convenant à un circuit selon l'une des revendications 1 à 11, comportant un corps 15 semiconducteur comportant un transistor muni d'une zone de collecteur disposée d'un côté du corps semiconducteur et constituant une jonction collecteur-base avec la zone de base du transistor et d'une zone d'émetteur s'étendant au moins au-dessous de la zone de collecteur, vue dudit côté du corps semi— 20 conducteur, et constituant la jonction émetteur-base avec la zone de base, alors que des moyens optiques sont prévus pour mettre la jonction émetteur-base, au moins temporairement, par rayonnement optique, dans le sens direct et d'une source d'alimentation permettant de porter la zone de collecteur à l'état 25 où celle-ci fonctionne comme un collecteur, caractérisé en ce que vue dudit côté du corps semiconducteur, la jonction collecteur-base présente une étendue latérale notablement inférieure à celle de la jonction émetteur base et que le courant photoélectrique engendré par les moyens optiques dans la jonction 30 émetteur-base dépasse, dans le cas d'un court-circuit externe de cette jonction, celui traversant la jonction collecteur-base dans le cas d'ion court-circuit externe de ladite jonction. 30. Dispositif semiconducteur selon la revendication 29, caractérisé en ce que les moyens optiques sont des moyens 35 permettant d'appliquer, par l'intermédiaire dudit côté du corps semiconducteur, des rayons au voisinage de la jonction éinetteur-base. 31. Dispositif semiconducteur selon la revendication 30, caractérisé en ce que, vue dudit côté du corps semiconducteur, 40 una couche métallique connectée à la zone de collecteur se trouve COPY 72 09444 -42- 2130399 au-dessus d'au moins la majeure partie de la zone de collecteur. 32. Dispositif semiconducteur selon la revendication 29 ou 30» caractérisé en ce que la zone de collecteur est constituée par une couche contenant un métal et étant appliquée sur la zone 5 de base pour constituer une jonction Schottky avec la zone de base. 33. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications 29 à 32, caractérisé en ce que le transistor comporte plusieurs zones de collecteur juxtaposées situées dudit côté 10 du corps semiconducteur. 34. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications 29 à 33» caractérisé en ce que l'étendue latérale de la jonction émetteur-base est égale à au moins deux fois celle d'une jonction collecteur-base.