Brevet FR2124489A1 — publié le 19720922

L'invention concerne un procédé permettant d'appliquer une configuration de conducteurs sut. une mince feuille ' 'flexible, isolante, en matière synthétique, cette configuration de conducteurs étant constituée par deux groupes de conducteurs, alors qu'aux extrémités des deux groupes de conducteurs dirigées l'une vers l'autre, des emplacements de contact d'un corps semiconducteur peuvent être fixés. . " .. Avec un procédé de ce genre, il est connu de recouvrir la mince feuille d'une couche métallique.; par dépôt par évapora-tion et d'obtenir- les conducteurs en décapant là couche métallique à l'exception des conducteurs â l'aide d'un procédé de photodécapàge. Ce procédé de fabrication est relativement coûteux et prend beaucoup de temps. - " "" . L'invention a pour but de fournir un procédé meilleur marché et plus rapide avec lequel on peut contrôler-la précision des configurations de conducteurs formées, de façon très fine et on peut régler à discrétion l'épaisseur des conducteurs. Pour atteindre ce but, on applique selon l'invention sur la mince feuille des rangées de traces de conducteurs, alors que les extrémités extérieures des traces de conducteurs de groupes correspondants sont reliées en une rangée avec un trajet de traces métalliques continu, tandis qu'entre une partie au moins de configuration des conducteurs successifs dans une rangée^ une trace de liaison est appliquée entre les trajets de traces métalliques, ces traces étant renforcées par croissance galvanique avec au moins une couche métallique. Par la croissance galvanique on peut obtenir les conducteurs de façon plus rapide et meilleur marché en un processus continu. On peut obtenir une configuration de traces de conducteurs particulièrement fine et précise, en utilisant un composé photosensible qui après irradiation est à même de fournir des germes métalliques à partir d'une solution de sels métalliques, cette configuration de germes pouvant être ensuite renforcée. Lors de la galvanisation, tous.les conducteurs d'une configuration doivent être portés à la même tension électrique de façon à obtenir la même épaisseur pour, tous les conducteurs. Pour résoudre ce problème d'une façon avantageuse po.ur la production en grande série, on applique les trajets de traces métalliques et les traces de liaison. A l'aide de cette mesure, il est possible de galvaniser tout en conservant une grande similitude d'épaisseur de couche. Dans une forme de réalisation avantageuse, on applique entre chacune des configurations de traçes de conducteurs successives une trace de liaison. Dans ce cas, les traces de liaison sont COPY 72 03794 2 2124489 de préférence constituées par deux parties essentiellement perpendiculaires au trajet des traces métalliques, qui dans le sens longitudinal des trajets de traces métalliques sont déoalées, alors que les deux parties sont reliées par une partie divisée dans le sens des trajets des 5 traces métalliques. Cette forme de réalisation offre l'avantage que les traces de liaison peuvent alors servir également comme repères d'alignement lors d'opérations ultérieures, par exemple lors de la fixation d'un corps semiconducteur, lorsqu'on effectue des mesures électriques etc.... Dans une autre forme de réalisation, au moins 10 une trace de conducteur de chaque configuration de conducteurs est reliée â une trace de liaison. Le conducteur envisagé constituera en général le contact de masse du dispositif semiconducteur alors qu'à la trace de liaison une autre partie à mettre à la masse d'une enveloppe de semiconducteur peut être fixée. 15 Pour obtenir un seul support d'un corps semicon ducteur, on découpe une partie de la mince feuille, comportant la configuration des conducteurs sans les trajets des traces métalliques. La description qui va suivre, en regard de la figure unique annexée donnée à titre d'exemple non limitatif, fera bien 20 comprendre comment l'invention peut être réalisée. La figure représente une mince feuille 1 en matière synthétique isolante, du point de vue électrique, flexible. La mince feuille est constitué'e de préférence par un polyimide et a une épaisseur de par exemple 23 Microns. Sur la feuille 1, on applique des 25 rangées de configurations Je conducteurs 2, 3. Les conducteurs d'une configuration sont constitués par deux groupes, les conducteurs 2 formant un groupe et les conducteurs 3 constituant l'autre groupe. Les conducteurs sont destinés à être utilisés comme organes d'amenée de courant pour un corps semiconducteur non représenté, par exemple un circuit in-50 tégré. A cet effet, des emplacements de contact de ce corps semiconducteur sont reliés aux extrémités dirigées l'une vers l'autre des conducteurs 2, 3. Pour l'obtention d'une bonne fixation, il est nécessaire que l'épaisseur de tous les conducteurs 2, 3 d'une configuration de conducteurs ait la même valeur. Pour pouvoir obtenir une fabrication rapide 35 et peu coûteuse, la croissance des conducteurs se fait au moyen d'un processus galvanique. De préférence, les configurations de traces métalliques sont appliquées sur la mince feuille 1 à l'aide d'un composé photosensible qui après irradiation est â même de fournir des germes 40 métalliques à partir d'une solution de sels métalliques, comme des sels 72 03794 3 2124439 de mercure, des sels d'argent, des sels d'or, des sels de platine ou des sels de palladium. Lors de l'application de la configuration de germes des traces métalliques, on applique également des configurations de germes de trajets métalliques 4 avec lesquels sont reliées les extrémi-5 tés des traces métalliques qui forment les conducteurs 2, respectivement 3. Les trajets de traces métalliques sont reliés pendant la galvanisation au pôle négatif d'une source de tension, les traces métalliques étant donc également portées à cette tension négative. Lors de la croissance galvanique des traces et des conducteurs, la résistance de tran-10 sition entre les trajets et traces métalliques 4 et un galet conducteur placé dans un bain galvanique pour la mince feuille, qui transmet également la tension négative aux trajets de traces métalliques peuvent différer entre eux. Le ce fait, il pourrait se présenter des irrégularités dans l'épaisseur des traces métalliques, auquel cas l'épaisseur des con-15 ducteurs du groupe 2 ne serait pas la même que l'épaisseur des conducteurs du groupe 3» H peut également arriver que la conduction électrique dans les configurations de germes ne soit pas partout la même, de sorte que, surtout dans le cas de minces feuilles longues et larges, l'épaisseur de la couche posée par voie galvanique pourrait différer localement. 20 Pour empêcher cela, on applique au moins en quelques endroits entre les trajets 4 une trace de liaison conductrice 5- La tension de tous les conducteurs de toutes les rangées est alors la même, de sorte que l'on obtient une même épaisseur de conducteurs. Ces traces de liaison 5 sont de préférence situées entre les configurations successives. Dans ce cas, la 25 trace de liaison ne doit pas être enlevée lors de l'utilisation de la configuration de conducteurs comme support pour un corps semiconducteur. D'autre part, les traces de liaison peuvent servir de repères d'alignement lors de la fixation du corps semiconducteur aux conducteurs, lors du détachement des trajets dé traces métalliques 4 des conducteurs et 30 lors de la mesure électrique automatique. A cet effet, la trace de liaison a de préférence la forme représentée sur la figure, constituée par deux parties perpendiculaires aux trajets de traces métalliques 4 et décalées entre elles et une partie de liaison s'étendant dans le sens des trajets de traces métalliques. 35 Dans une forme de réalisation avantageuse, on applique d'abord sur la configuration des germes métalliques une couche de cuivre de 6 microns d'épaisseur par voie galvanique. Sur cette couche de cuivre, on a déposé une couche de nickel d'une épaisseur de 2 microns, après quoi on a appliqué une couche d'or de 1 micron. Avec cette forme 40 de réalisation, l'élément semiconducteur était soudé aux conducteurs. 72 03794 4 2124489 Les configurations de traces peuvent également être appliquées d'une autre façon avant de passer à la galvanisation. C'est ainsi que l'on peut par exemple appliquer sur la mince feuille une très mince couche métallique et obtenir la configuration de traces au 5 moyen d'un procédé de décapage photochimique. On donne la préférence cependant au procédé décrit précédemment pour l'application des traces. Pour l'application comme support pour des corps semiconducteurs, on fixe un corps semiconducteur à chaque configuration de conducteurs, par exemple en soudant les emplacements de contacts du tO corps semiconducteur aux conducteurs, après quoi les trajets de traces métalliques 4 sont coupés par exemple suivant les lignes en pointillés représentées sur la figure. Une "bande ainsi obtenue peut être testée électriquement et l'on peut découper à n'importe quel moment des parties de feuille distinctes avec un corps semiconducteur. Cette coupure se 15 situe alors de préférence sur la partie médiane de la trace de liaison. 72 03794 5 2124489 REVENDICATIONS : 1. Procédé permettant d'appliquer une configuration de conducteurs sur une mince feuille flexible, isolante, en matière synthétique, cette configuration de conducteurs étant constituée par deux 5 groupes de conducteurs, alors qu'aux extrémités des deux groupes de conducteurs dirigées l'une vers l'autre, des emplacements de contact d'un corps semiconducteur peuvent être fixés, ce procédé étant caractérisé en ce qu'on applique sur la mince feuille des rangées de traces de conducteurs, alors que les extrémités extérieures des traces de conducteurs 10 de groupes correspondants sont reliées en une rangée avec un trajet de traces métalliques continu, tandis qu'entre une partie au moins de configuration des conducteurs successifs dans une rangée une trace de liaison est appliquée entre les trajets de traces métalliques, ces traces étant renforcées par croissance galvanique avec au moins une couche métallique. 15 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'entre chacune des configurations de traces conductrices successives on applique une trace de liaison. 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que les traces de liaison sont constituées par deux'parties essen- 20 tiellement perpendiculaires au trajet des traces métalliques, qui dans le sens longitudinal des trajets de traces métalliques sont décalées, alors que les deux parties sont reliées par une partie divisée dans le sens des trajets des traces métalliques. 4. Procédé selon la revendication 2 ou 3, caracté-25 risé en ce qu'au moins une trace de conducteur de chaque configuration de conducteurs est reliée à une trace de liaison. 5. Procédé selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que l'on découpe de la feuille une partie comportant une configuration de conducteurs sans les trajets des traces métalliques. 30 6. Mince feuille pourvue de conducteurs obtenus par la mise en oeuvre du procédé selon l'une des revendications 1 à 5-