Brevet FR2138116A1 — publié le 19721229

La présente invention concerne les techniques de montage et d'accord des circuits intégrés micro-ondes, pour des pastilles à diodes non en capsules et plus particulièrement des circuits intégrés micro-ondes utilisant des lignes de transmission "microbandes" et plus particulièrement 5 un dispositif et/ou un procédé de ces types. Des circuits intégrés micro-ondes hybrides connus comportent un plan de masse métallique lié à un côté d'un support isolant, et le circuit intégré micro-onde est formé de fils métalliques relativement minces sur l'autre côté du support. Des constituants du circuit montés en shunt ont été 10 fixés à ces circuits en formant des trous, par exemple, traversant complètement la ligne en "microbande", le support isolant et le plan de masse et en soudant, par exemple, l'élément de circuit au côté inférieur du plan de masse. Des conducteurs de l'élément de circuit dépassent des trous et sont liés au film métallique formant le circuit en microbande. Dans d'autres cas, les éléments 15 devant être fixés aux circuits intégrés, par exemple les diodes, non en capsules ont été disposés dans des trous formés à travers le support isolant à partir du côté sur lequel la ligne de transmission en microbande est formée. La diode non en capsule est liée par soudage à la soudure tendre ou autre au plan de masse dans le trou ainsi formé dans le support. La formation de ces trous 20 est coûteuse et il en résulte des conducteurs relativement longs allant de la diode à une ou plusieurs parties des conducteurs en microbandes situées sur la partie supérieure du support. Quand des fréquences pour le circuit micro-onde sont augmentées, par exemple à la bande X allant de 15,5 à 12 gigahertz, la neutralisation ou la prise en considération de la réactance 25 associée aux conducteurs de la diode devient un facteur de plus en plus important. De plus, quand un élément tel qu'une diode a été lié dans un trou du support, il est pratiquement impossible de l'enlever pour la réparation sans endommager l'ensemble du circuit. La présente invention a pour objet un circuit intégré micro-30 onde et un procédé pour l'accorder. L'invention a aussi pour objet un appareil et un procédé perfectionnés pour monter des pastilles à diodes non en capsules sur la partie supérieure du support d'un circuit intégré micro-onde pour améliorer le rendement et la possibilité de réparation, et aussi pour réduire le prix de la fabrication 35 et améliorer la reproductibilité du circuit. Le taux de perte à l'insertion de la haute fréquence entre les états de polarisation directe et inverse est amélioré en accordant la pastille à diode, ce qui devient possible parce que la pastille est montée sur la partie supérieure du support. 72 17916 2 2138116 L'invention a l'avantage de permettre l'élimination du trou coûteux dans le support et la plaque de base au plan de la masse auquel la pastille à diode doit être soudée.Elle supprime aussi, la liaison de la pastille dans un trou borgne devant avoir lieu au fond du trou etles états parasites 5 électriques supplémentaires présents dans le trou. De plus, cela permet la mise en résonance de la capacité de la jonction de la diode et de l'inductance des conducteurs directement sur la pastille non en capsule. La technique selon l'invention peut être utilisée pour des commutateurs à diodes, des atténuateurs, des déphaseurs, des limiteurs et des 10 modulateurs d'amplitude utilisant les techniques des circuits intégrés microondes. Suivant un mode de mise en oeuvre de l'invention, un circuit intégré micro-onde hybride comporte un plan de masse métallique, un support isolant lié à un côté de ce plan de masse métallique, un film conducteur 15 définissant une ligne de transmission en microbande liée à l'autre surface du support, une branche en film accordable liée à ce second côté du support et ayant une extrémité d'entrée formant un intervalle avec la ligne de transmission, et une pastille de semiconducteur micro-onde comportant des conducteurs montés sur le côté du support portant le film et connectées entre la ligne de 20 transmission en microbande et l'entrée de la branche accordable, les conducteurs ayant une certaine réactance et la longueur de la branche accordable apportant une valeur de réactance telle qu'elle puisse être accordée avec la réactance des conducteurs. Selon un autre mode de mise en oeuvre de l'invention, la 25 pastille en semiconducteur du circuit micro-onde hybride décrit est une diode PIN. Les caractéristiques de l'invention ressortiront plus particulièrement de la description suivante, donnée à titre d'exemple et faite en se référant aux dessins annexés sur lesquels : 30 - la figure 1 représente schématiquement un circuit intégré micro-onde selon un mode de mise en oeuvre de l'invention, - la figure 2 est une coupe suivant la ligne 2-2 de la figure 2, - la figure 3 est une coupe similaire à celle de la figure 2 suivant un autre mode de mise en oeuvre de l'invention, 35 - la figure 4 est une coupe similaire à celle de la figure 2 suivant un autre mode de mise en oeuvre de l'invention, - la figure 5 est un circuit équivalent montrant le fonctionnement suivant une première caractéristique de l'invention, et 72 17916 3 2138116 - la figure 6 est un circuit équivalent montrant le fonctionnement suivant une seconde caractéristique de l'invention. La technique selon l'invention est utilisée pour des circuits intégrés micro-onde (CIM) pour le montage d'une pastille à diode non en capsule 5 10 sur un support en matière céramique 11 auquel est lié un film ou plan de masse métallique 12, la pastille à diode étant électriquement mais non mécaniquement en shunt dans une ligne de transmission en microbande 13, La configuration shunt est désirée dans de nombreux circuits micro-onde tels que des commutateurs, des atténuateurs, des déphaseurs, des limiteurs et des modulateurs 10 d'amplitude. La ligne de transmission en microbande 13 peut Stre déposée sous la forme d'un film sur le côté supérieur du support isolant 11 de n'importe quelle façon connue. Le support 11 peut être, par exemple, en verre ou en un autre isolant Ayant les caractéristiques électriques voulues. Le plan de masse 15 12 peut Être un film métallique mince, par exemple en argent. La ligne de s transmission micro-onde et les éléments connectés à cette ligne peuvent aussi être en argent et du type de circuit imprimé. Le circuit représenté sur le support en matière céramique 11 et sur le plan de masse 12 peut être une partie d'un circuit plus important comportant d'autres éléments. .20 Les dimensions de la ligne de transmission en microbande 13 y compris son épaisseur, sa largeur et sa longueur, peuvent être déterminées d'une façon connue en fonction des fréquences et des impédances utilisées. En considérant les figures 1 et 2, la pastille et la diode non en capsule 10 est une diode PIN ayant des conducteurs de sortie 14 et 15, 25 le conducteur 14 étant lié à la microbande 13 et le conducteur 15 étant lié à une branche 16 quart d'onde légèrement raccourcie. La branche 16 quart d'onde peut être un film mince déposé sur le côté supérieur du support en matière céramique 11 de la même façon que la microbande 13. Une diode PIN est un dispositif à jonction PIN dans lequel 30 la région P et la région N sont séparées par une région intrinsèque I mince. Il doit être compris que sur la figure 2, les épaisseurs des différents éléments sont exagérées, car le plan de masse 12 est un film métallique très mince, le support diélectrique 11 est une pièce relativement mince et la microbande 13 est de même un film métallique très mince. De même, 35 les conducteurs 14 et 15 de la diode PIN 10, bien que suffisamment épais pour supporter la pastille, sont encore relativement minces, et la diode elle-même, quand elle est destinée à fonctionner dans la plage des gigahertz;, a des dimensions presque microscopiques. Ainsi, bien qu'il existe un intervalle 17 N 72 17916 4 2138116 entre la diode 10 et la surface supérieure du support en matière céramique 11, il doit être compris qu'un tel intervalle est de l'ordre, par exemple, du centième de millimètre. La branche quart d'onde 16 peut avoir une impédance carac-5 téristique d'environ 20 ohms et son bord extrême ou arrière 18 est en circuit ouvert par rapport au plan de masse 12. Le bord avant de la branche 16 comporte deux parties 19 et 21 inclinées par rapport aux côtés pour permettre le découplage par rapport à la microbande 13, et il doit être compris que la distance entre le sommet 22 et le centre de la microbande 13 est très faible. 10 Les conducteurs 14 et 15, bien que très courts, ont cependant une réactance inductive faible, de l'ordre de quelques dixièmes de nanohenrys, et cette réactance inductive, qui est une forme parasite, associée à la pastille à diode est accordée par une résonance série résultant de la branahe quart d'onde raccourcie 16. La branche 16 peut avoir initialement une longueur précise 15 d'un quart d'onde au centre de la bande de fréquence devant être utilisée et avoir la longueur de la façon représentée par les lignes en tirets 23. Après détermination de la réactance inductive des conducteurs 14 et 15, la longueur de la branche quart d'onde 16 peut être réglée pour supprimer une partie du film métallique jusqu'à atteindre la ligne 18. Avec la longueur réglée à la 20 ligne 18, la réactance capacitive au sommet 22 de la branche, qui est légèrement plus courte que la longueur quart d'onde précise, est en résonance avec la réactance inductive des conducteurs 14 et 15, comme dans un circuit résonnant série classique. Au point où le conducteur 14 est lié à la microbande 13, 25 il existe une branche d'accord d'impédance élevée 24 associée à la microbande, La branche d'accord à impédance élevée est nécessaire pour accorder la capacité de la jonction de la pastille à diode à la polarisation inverse de la façon expliquée ci-après, La branche d'accord 24 peut avoir une largeur telle qu'elle 30 ait une impédance caractéristique d'environ 90 ohms. La longueur de la branche d'accord 24 est de l'ordre de la longueur d'une demi-onde au centre de la bande de fréquence utilisée. Quand la branche ayant environ cette longueur est déposée sur le support isolant 11, de préférence en formant une partie de la microbande 13, la longueur de la branche 24 peut être raccourcie à partir de sa longueur 35 initiale représentée par les lignes en tirets 25, jusqu'à la ligne 26 représentée en trait plein. La longueur représentée par la ligne en trait plein 26 est légèrement inférieure à une demi-longueur d'onde, ce qui donne à la branche 24 une réactance inductive pouvant être voisine de 100 ohms. 72 17916 5 2138116 La figure 5 représente les éléments 10, 16 et 24 de la figure 1 sous la forme d'un circuit équivalent re présentant la pastil lp. à diode polarisée dans le sens direct dans un circuit intégré micro-onde. Sur la figure 5, le rectangle en tirets 10 représente la pastille à diode 10 de la figure 1, 5 comportant une résistance Rg en parallèle avec une capacité C.. La capacité Cj est celle de la jonction entre les régions P et N de la diode. Typiquement, la résistance Rg peut être dans ce cas de l'ordre de 2 ohms et la capacité de l'ordre de 0,2 picofarads pour une diode PIN. La capacitance de la capacité Cj de la diode à l'état de polarisation directe, représentée sur la figure 5, 10 est une réactance d'environ 100 ohms ou plus dans la bande X, et par suite elle peut être négligée par rapport aux 2 ohms de la résistance polarisée dans le sens direct R dans le cas considéré. s La réactance inductive des conducteurs 14 et 15 de la diode PIN est représentée par l'enroulement unique 14, 15. Le condensateur 16 de la 15 figure 15 représente la capacité de la branche quart d'onde 16 raccourcie de la façon décrite ci-dessus, et quand le raccourcissement a la valeur voulue, la réactance capacitive du condensateur 16 et la réactance inductive des conducteurs 14 et 15 forment un ensemble résonnant série. En fait, la réactance nette est réduite à zéro et, par suite,le seul élément d'impédance dans le circuit 20 équivalent est la résistance de 2 ohms de la diode. Il existe par suite pratiquement un court-circuit entre le point 13 représentant le centre de la microbande 13 et la masse 27. La masse 27 qui n'est pas ïéell^ment la masse parce que les films minces se trouvent sur le côté supérieur du support isolant, est en fait 25 une masse quand le circuit équivalent est représenté avec les constantes groupées comme c'est le cas sur la figure 5. La branche 24 ayant une longueur légèrement inférieure au quart d'onde peut avoir une réactance inductive d'environ 100 ohms et elle est représentée connectée à la masse pour la même raison que celle expliquée par 30 rapport à la branche quart d'onde 16. La branche 24 n'a pratiquement aucun effet dans les conditions de polarisation directe décrites en raison de l'impédance faible entre le point 13 (ligne de transmission) et la masse à travers la diode 10 et la branche quart d'onde 16. Sur la figure 6, la diode représentée par le rectangle en 35 tirets 10A peut être la même que la diode représentée en 10 sur la figure 5, mais à l'état de polarisation inverse dans ce cas. Il doit être compris que l1état de polarisation inverse peut être obtenu par application d'une tension de polarisation d'une polarité différente sur les bornes voulues sans changer autrement le circuit. 72 17916 6 2138116 A l'état de polarisation inverse, la diode 10A a un circuit équivalent formé par R et C. en parallèle, R ayant une valeur d'environ s j s 10.000 ohms et ayant environ la même valeur que précédemment, c'est-à-dire 0,2 picofarad ou une valeur réactive d'environ 100 ohms pour les conditions 5 particulières. Dans ce cas, la valeur ohmique de Rg est importante par comparaison avec la réactance de de 100 ohms, et par suite la résistance Rg peut être négligée dans le circuit équivalent de la figure 6. Le circuit équivalent comporte par suite l'inductance groupée des conducteurs 14 et 15 , la capacité groupée et la capacité 16 de la branche quart d'onde raccourcie 16. Dans 10 ce cas aussi, la réactance inductive des conducteurs 14 et 15 est accordée par la réactance capacitive de la branche quart d'onde raccourcie 16 (condensateur 16) laissant l'élément de capacitance d'environ 100 ohms comme seul élément effectif dans ce circuit. Sur la figure 6, les différentes masses 27 sont des masses 15 pour les mêmes raisons que celles expliquées par rapport à la figure 5. Cependant, dans ce cas,la réactance inductive de la branche 24 est en parallèle avec la réactance capacitive de C.. La réactance inductive de la branche 24 étant de 100 ohms comme la réactance capacitive de se traduit par le fait que ces deux éléments sont dans un circuit résonnant parallèle qui doit être 20 considéré comme un circuit d'impédance élevée, ou en fait un circuit ouvert au point 13. L'effet de la capacité de la diode 10A à l'état de polarisation inverse est ainsi supprimé en tant qu'élément effectif dans le circuit parce que l'impédance élevée est établie en combinaison avec la réactance inductive de la branche 24. Dans le circuit intégré micro-onde tel que décrit, les effets 25 parasites des effets de la capacité de la diode et des effets inductifs des conducteurs sont ainsi complètement éliminés d'une façon très simple et peu coûteuse. Le circuit de polarisation pour la diode 10, ainsi que pour la diode 10A, comporte en plus des éléments décrits ci-dessus la branche de 30 by-pass quart d'onde 30 (impédance caractéristique d'environ 20 ohms), la bande d'une longueur quart d'onde 28 (impédance caractéristique d'environ 90 ohms) reliant une extrémité de la branche 30 à l'extrémité avant de la bande 30 à l'extrémité avant de la branche 16 et la bande de retour de polarisation en courant continu 29 qui a une longueur d'un quart d'onde (impédance caractéris-35 tique 90 ohms) et la branche quart d'onde 31 (impédance caractéristique 20 ohms). La branche 29 est connectée à la masse (en courant continu seulement) par une autre bande 32, la masse étant dans ce cas établie à travers une bande métallique mince passant autour du bord du support jusqu'à la surface supérieure de 72 17916 7 2138116 celui-ci. La polarisation est en courant continu et peut être appliquée à la borne 33 qui est connectée par un conducteur très étroit 34 à l'extrémité avant 35 de la branche quart d'onde 30. La branche quart d'onde 30, la bande quart d'onde 28, la 5 bande quart d'onde 29, la branche quart d'onde 31 et la bande 32 sont bien entendu des films métalliques minces déposés par des techniques connues sur le support en matière céramique 11 de la façon décrite pour les autres éléments du circuit, et qui peuvent être formés par des techniques appropriées de formation des circuits imprimés ou autres. 10 La branche quart d'onde 30 a une longueur exactement d'un quart d'onde, et étant en circuit ouvert à son extrémité 36, représente un court-circuit au point 35 où la polarisation en courant continu est appliquée. La bande 38 ayant exactement une longueur d'un quart d'onde reflète par suite le court-circuit 35 sous la forme d'un circuit ouvert au point 37 où elle est 15 raccordée à la branche quart d'onde raccourcie 16. La branche 31, qui a exactement une longueur d'un quart d'onde, eBt un circuit haute fréquence ouvert à son extrémité 38. Cela est par suite reflété sous la forme d'un court-circuit au point 39 à l'extrémité avant de la branche 31. Par suite, un circuit ouvert est reflété au point 40 et la ligne 20 de transmission 13 ne "voit" aucun courant haute fréquence dérivé au point 40. La diode 10 peut ainsi être polarisée dans le sens direct ou inverse suivant les besoins sans influer sur le fonctionnement des éléments du circuit intégré micro-onde. La figure 3 représente une disposition similaire à celle 25 décrite par rapport à la figure 2 mais suivant laquelle la diode est une unité 41 dont la base peut être soudée à la branche quart d'onde raccourcie 16, un conducteur 42 étant connecté au côté supérieur de la diode et étant lié au centre de la ligne de transmission 13. Sur la figure 1, la pastille de la diode 41 et le conducteur 42 sont représentés en tirets. 30 La figure 4 représente une connexion du type inverse suivant laquelle la diode 43 est liée à sa base à la ligne de transmission 13 et est connectée par un conducteur 14 à la branche quart d'onde raccourcie 16. Sur la figure 1, la pastille à diode 43 et le conducteur 44 sont représentés en tirets. En résumé, de la façon décrite ci-dessus, le circuit de base 35 pour incorporer la pseudo-pastille à diode montée en shunt (électriquement mais non mécaniquement) est un circuit intégré micro-onde (CIM) de la façon représentée sur la figure 1. Une branche en circuit ouvert quart d'onde raccourcie en microbande imprimée (impédance caractéristique environ 20 ohms) est utilisée 72 17916 8 2138116 pour établir un court-circuit haute fréquence au côté arrière de la diode montée en shunt électriquement mais non mécaniquement. La polarisation en courant continu est alors appliquée au côté arrière de la diode à ce court-circuit haute fréquence. Des branches d'impédances faibles établissent aussi 5 des courts-circuits haute fréquence sur la ligne de polarisation en courant et le retour de la polarisation en courant continu qui a lieu à travers la ligne de transmission en microbande. Cette approximation place la ligne de transmission à la masse en courant continu et ne nécessite pas de condensateur de blocage des micro-ondes (contribuant à une perte élevée et à une réactance 10 en ondes très courtes) à l'entrée et à la sortie du circuit. En plus de permettre le montage sur la partie supérieure de la structure, l'invention permet l'accord (résonnant) des paramètres de la jonction de la pastille à diode et des éléments parasites. Dans les applications mentionnées ci-dessus, des circuits 15 micro-ondes, la diode, en particulier une diode PIN, doit avoir deux états de polarisation, c'est-à-dire un état en polarisation directe à perte élevée et un état en polarisation inverse à perte faible. Quand la diode est polarisée dans le sens direct, soit par une tension en courant continu, soit par l'action limitatrice d'un niveau 20 élevé de courant haute fréquence, la jonction établit une résistance de court-circuit haute fréquence (environ 2 ohms) à la masse. Cette résistance est en série avec l'inductance parasite du conducteur (ou des conducteurs) connectant la pastille à la ligne de transmission. Pour assurer un court-circuit idéal à la masse (correspondant à la perte maximale possible) à la fréquence de 25 fonctionnement désirée, l'inductance peut être mise en résonance série en raccourcissant la branche de 20 ohms (impédance caractéristique) du côté arrière de la diode pour établir la faible capacitance d'accord nécessaire. Le circuit équivalent de la diode à résonance série est représenté sur la figure 5. 30 Quand la diode est polarisée en sens inverse (par une tension en courant continu) ou quand aucune polarisation n'est appliquée, la jonction établit un circuit ouvert haute fréquence capacitif (environ 0,2 pF) à la masse. La réactance inverse de la diode existe seule parce que l'inductance parasite des conducteurs a déjà été accordée par la branche de 20 ohms raccourcie. 35 Pour établir un circuit ouvert idéal à la masse (correspondant à la perte minimale possible à la fréquence désirée de fonctionnement), la capacité peut être en résonance parallèle en réglant la branche de 90 ohms aux bornes du 72 17916 9 2138116 circuit à diode équivalent pour établir l'inductance d'accord nécessaire. Le circuit équivalent de la diode à résonance parallèle est représenté sur la figure 6. Le support sur lequel les circuits ci-dessus sont appliqués 5 peut être en n'importe quelle matière telle que l'alumine, une ferrite ou de l'oxyde de béryllium ayant n'importe quelle constante diélectrique et n'importe quelle épaisseur. En plus des pastilles à diodes non en capsules, des diodes à conducteurs de sortie en barrettes peuvent être aussi montées et être accordées en utilisant la technique décrite. • 10 . Les fabricants de circuits intégrés à micro-ondes nécessitant une diode montée en shunt ont placé jusqu'ici la pastille non en capsule dans un trou formé à travers le support jusqu'au plan de masse. Les éléments d'accord ne peuvent pas alors être placés directement sur la pastille à diode et il en résulte en haute fréquence des performances très dégradées. 15 Par la technique selon l'invention, la pastille à diode non en capsule est placée sur le côté supérieur du support au lieu d'être placée dans un trou formé dans le support jusqu'au plan de masse. De même, cette nouvelle technique permet l'addition de branche d'accord en microbandes imprimées directement à l'endroit de la pastille à diode alors qu'aucun élément 20 d'accord ne pouvait être placé dans le trou du support. Par suite, l'invention permet d'éliminer le trou coûteux dans le support et la plaque de base (au plan de la masse) à laquelle la pastille à diode doit être soudée. L'invention supprime aussi la liaison de la pastille devant être effectuée dans un trou borgne et les parasites élec-25 triques supplémentaires existant dans le trou. Elle permet d'établir la résonance entre la capacité de la jonction de la diode et l'inductance des conducteurs directement à la pastille non en capsule. Bien que certaines valeurs soient indiquées ci-dessus pour les constantes, il doit être compris que ce sont seulement des exemples pour 30 les conditions particulières considérées, avec la fréquence dans la bande X. Pour d'autres conditions, d'autres constantes peuvent être utilisées. Bien qu'ure diode PIN soit considérée ci-dessus, il doit être compris que d'autres diodes haute fréquence peuvent être utilisées, par exemple, des diodes à barrière de Schottky ou des diodes à barrière chaude. De plus, 35 des pastilles à transistors non en capsules peuvent être montées, être raccordées et être polarisées aux fréquences des micro-ondes, par exemple la bande X, en utilisant des techniques décrites ci-dessus. Bien entendu, la description qui précède n'est pas limitative et l'invention peut être mise en oeuvre suivant d'autres variantes sans que l'on 40 sorte de son cadre. 72 17916 10 2138116 REVENDICATIONS 1. Circuit intégré micro-onde hybride comportant un plan de masse métallique, un support isolant lié à l'une des faces du plan de 5 masse métallique, un film conducteur définissant une ligne de transmission en microbande, liée à l'autre surface du support, et une branche en film accordable liée à ce seconde côté du support, caractérisé par le fait que la branche en film accordable comporte une extrémité d'entrée formant un intervalle avec la ligne de transmission, et une pastille en semiconducteur micro-onde 10 comportant des conducteurs de sortie montés sur le côté du film du support et connectés entre la ligne de transmission micro-onde et l'entrée de la branche accordable, ces conducteurs ayant une certaine réactance et la longueur de la branche accordable établissant une valeur de réactance telle qu'elle soit accordée avec la réactance des conducteurs. 15 2. Circuit selon la revendication 1, caractérisé en ce que la pastille en semiconducteur micro-onde est une diode non en capsule. 3. Circuit selon la revendication 2, caractérisé en ce que la pastille en semiconducteur est une diode PIN. 4. Circuit selon la revendication 2, caractérisé en ce que 20 la pastille en semiconducteur est une diode à barrière de Schottky. 5. Circuit selon la revendication 2, caractérisé en ce que la diode fonctionne avec polarisation dans le sens direct. 6. Circuit selon la revendication 2, caractérisé en ce que la diode est actionnée dans une direction de polarisation inverse et a une 25 certaine réactance, et une seconde branche accordable en film est liée à l'autre côté du support et comporte une extrémité d'entrée fixée à la ligne de transmission à côté de la connexion à cette ligne d'une sortie de la diode et la longueur de cette seconde branche accordable établit une valeur de réactance telle qu'elle soit accordée avec la réactance de la diode. 30 7. Circuit selon la revendication 3, caractérisé en ce que la diode PIN comporte des conducteurs en forme de barrettes. 8. Circuit selon la revendication 1, caractérisé en ce que la réactance des conducteurs est inductive et la réactance de la branche accordable est capacitive. 35 9. Circuit selon la revendication 6, caractérisé en ce que la réactance de la diode est capacitive et la réactance de la seconde branche accordable est inductive. 72 17916 ii 2138116 10. Circuit selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'accord est sensiblement une résonance série. 11. Circuit selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'accord est sensiblement une résonance parallèle. 5 12. Circuit intégré micro-onde hybride comportant un plan de masse métallique, un support isolant lié à une surface de ce plan de masse métallique, un film conducteur définissant une ligne de transmission en microbande liée à l'autre surface du support et une première branche accordable en film liée à ce second côté du support, caractérisé en ce que la branche 10 accordable en film comporte une extrémité d'entrée formant un intervalle avec la ligne de transmission, le circuit comportant une pastille en semiconducteur micro-onde comportant des conducteurs, montée sur le côté du support portant le film et connectée entre la ligne de transmission en microbande et l'entrée de la branche accordable, les conducteurs ayant une certaine réactance indue-15. tive et la longueur de la branche accordable établissant une valeur de réactance capacitive telle qu'elle résonne pratiquement en série avec la réactance inductive des conducteurs, la diode fonctionnant dans une direction de polarisation inverse et ayant une certaine réactance capacitive, et une seconde branche accordable en film liée à l'autre côté du support et ayant une extré-20 mité d'entrée fixée à la ligne de transmission à côté de la connexion à celle-ci d'une sortie de la diode, la longueur de cette seconde branche accordable établissant une valeur de réactance inductive telle qu'elle résonne pratiquement en parallèle avec la réactance capacitive de-la diode. 13. Circuit selon h revendication 10, caractérisé en ce que 25 la longueur de la branche accordable est un peu inférieure à un quart de longueur d'onde à la fréquence utilisée. 14. Circuit selon la revendication 11, caractérisé en ce que la longueur de la seconde branche accordable est un peu inférieure à la moitié de la longueur d'onde à la fréquence utilisée. 30 15. Procédé pour accorder un circuit intégré micro-onde hybride comportant un plan de masse métallique, un support isolant lié à une surface du plan de masse métallique, un film conducteur définissant une ligne de transmission en microbande liée à l'autre surface du support et une première branche en film liée à ce second côté du support, la branche accordable en film 35 comportant une extrémité d'entrée formant un intervalle avec la ligne de transmission, le circuit comportant une pastille en semiconducteur micro-onde ayant des conducteurs de sortie montés sur le côté du support portant le film et connectée entre la ligne de transmission en microbande et l'entrée de la 72 17916 12 2138116 branche accordable, les conducteurs ayant une certaine valeur de réactance inductive et le dispositif semiconducteur ayant une certaine réactance capacitive, et une seconde branche en film étant liée au second côté du support et ayant une extrémité d'entrée fixée à la ligne de transmission 5 à côté de la connexion des conducteurs de la diode à cette ligne, caractérisé en ce que la longueur de la première branche est raccourcie à moins d'un quart de longueur d'onde à la fréquence utilisée pour établir une réactance capacitive telle qu'elle résonne sensiblement en série avec la réactance inductive des conducteurs, la longueur de la seconde branche étant ensuite 10 raccourcie à moins de la moitié d'une longueur d'onde à la fréquence utilisée pour établir une réactance inductive telle qu'elle résonne pratiquement en parallèle avec la réactance capacitive du dispositif semiconducteur. 16. Circuit selon la revendication 12, caractérisé en ce qu'une bande en film d'un quart de longueur d'onde ayant une impédance carac- 15 téristique est en série avec une seconde branche quart d'onde d'une impédance caractéristique inférieure formée sur le second côté du support, l'extrémité avant de la bande en film étant connectée à l'extrémité avant de la première branche accordable en film, l'extrémité arrière de la seconde branche quart d'onde étant en circuit ouvert avec distribution constante, une connexion 20 d'entrée de polarisation en courant continu étant établie entre les jonctions de la bande en film et de la seconde branche quart d'onde de l'autre côté du support et un film de retour de polarisation en courant continu étant formé Bur le second côté du support, ce film étant formé par une bande étroite quart d'onde unie à la ligne de transmission et se terminant à une troisième 25 branche quart d'onde, la jonction entre cette bande étroite et la troisième branche quart d'onde étant à la masse et l'extrémité de la troisième branche quart d'onde étant en circuit ouvert. 17. Circuit intégré micro-onde hybride comportant un plan de masse métallique, un support isolant lié à une surface de ce plan de masse 30 métallique, un film conducteur lié à l'autre surface du support et une branche accordable en film liée à ce second côté du support, caractérisé en ce que la branche accordable en film comporte une entrée formant un intervalle avec le film conducteur, le circuit comportant un semi-conducteur micro-onde non en capsule comportant des conducteurs de sortie montés sur le côté du support 35 portant le film, le semiconducteur étant connecté entre le film conducteur et l'entrée de la branche accordable, les conducteurs ayant une certaine réactance, et la longueur de la branche accordable établissant une valeur de réactance pour être accordée avec la réactance des conducteurs.