Brevet FR2128465A1 — publié le 19721020

L'invention concerne un procédé permettant la fabrication d'un dispositif semi-conducteur comportant un corps semiconducteur on forme de plaque dont les faces principales opposées sont pratiquement rectangulaires, alors qu'à la première face 5 principale s'étendent au moins deux zones dont les types de conduction diffèrent et qui sont contactées par deux électrodés s1 étendant sur cette première face principale de part et d'autre d'une ligne par laquelle cette face rectangulaire est divisée en deux parties. L'invention concerne particulièrement mais non 10 pas exclusivement un procédé permettant la fabrication d'un composant semi-conducteur bilatéral commandé, ainsi qu'un dispositif semi-conducteur obtenu par la mise en oeuvre de ce procédé. Lors de la fabrication de dispositifs semi—conducteurs il est courant de former simultanément plusieurs composants dans 15 un corns semi-conducteur commun affectant la forme d'une plaque de grande surface, ces composants étant obtenus du fait que sur la première face principale du corps, on effectue une série d'opérations par exemple une oxydation, un décapage, une diffusion et l'établissement de contacts sur plusieurs parties rectangulaires 20 contigues de la surface, et du fait qu'ensuite on divise le corps suivant des limites orthogonales de ces parties rectangulaires, de façon que l'on dispose ainsi d'un certain nombre de composants distincts. L'application la plus courante de ce procédé est la fabrication de transistors et de circuits intégrés. Les liaisons 25 qui à la première face principale existent entre les électrodes et les zones dont les types de conduction diffèrent sont formées normalement par des parties distinctes d'une couche métallique d'emploi courante, précipitée après l'élaboration des zones par diffusion et l'élaboration des ouvertures nécessaires dans une 30 couche de surface isolante afin de dénuder ainsi certaines parties de ces zones. Pour pratiquer les ouvertures nécessaires dans la couche isolante, et pour élaborer les parties de la couche métallique d'emploi courante, tm utilise généralement des ^ ^ 0 . procédés pho t o 1 i t hographie et de décapage. Lorsqu'il s'agit. ds 35 une plaque comportant un grand nombre de composants, cela signifie des opérations de masquage et d'alignement devant être effectuées avec grande précision. Les dispositifs semi-conducteurs qui conviennent pour la commande de puissance "onde complète" (full wave) d'un courant ko alternatif sont connus et comport ent généralement, un corps semi 72 07040 2128465 conducteur comportant cinq zones successives dont les types de conduction alternent de zone zone, les zones s'étendant entre les faces principales opposées du corps et formant entre celles-c i trois .jonctions p-n. Normalement, ces dispositifs ont d'une 5 part deux électrodes de courant principal, chaque face principale en portant une, et d'autre part une seule électrode-porte située sur une des faces principales. Ces dispositifs, connus sous le nom de? "triacs", sont bilatéraux et peuvent conduire dans les deux sens lorsqu'une source de courant alternatif est connectée 10 aux électrodes de courant principal. Les dispositifs peuvent acquérir l'état conducteur soit dans le premier quadrant soit dans le troisième quadrant, d'un courant alternatif, si un potentiel approprié est appliqué à l'électrode-porte. Dans la forme de triac la plus courante, la commutation dans les premier et troi-15 sième quadrants peut avoir lieu sous l'effet d'une tension qui est soit positive soit négative par rapport à la tension appliquée à l'électrode de courant principal adjacente, située sur la même face principale. En ce qui concerne la forme du corps semiconducteur, il existe en principe deux formes de triac. Suivant 20 la première forme, le corps est généralement rectangulaire, et les zones extérieures sont parallèles aux bords du corps, ceci étant également le cas des deux électrodes à la première face principale du corps. Suivant l'autre l'orme, sur le corps en forme de plaque, les zones extérieures et leurs parties chevauchantes 25 à des faces opposées de la plaque, forment ensemble une configuration assez compliquée, l'électrode-porte étant élaborée au cen- x d 0 s / tre do la première face de plaque, alors qu'une electrodes de courant principal est élaborée sous la forme d'un anneau qui entoure• l'électrode-porte centrale. Lors de la fabrication de ces dis-30 positifs, il est, pour des raisons d'économie, désirable d'effectuer des opérations telles qu'une oxydation, une diffusion et un établissement de contacts en vue de former plusieurs triacs sur une même plaque et de diviser celle-ci ensuite en morceaux. On part par exemple d'un corps en forme de plaque qui par la sui-35 te est divisé en morceaux par voie ultra-sonique. Toutefois, cette technique convient le mieux pour des dispositifs qui ont une grande surface et qui sont parcourus par un courant d'intensité relativement élevée, étant donné que le nombre de triacs susceptibles d'être formés sur une même plaque est limité. Par contre, 40 lorsqu'il s'agit des dispositifs qui ont une petite surface et 72 07040 3 2128465 qui sont parcourus par un courant d'intensité relativement faible, il est tout indiqué de choisir pour le corps semiconducteur la forme rectangulaire, puisqu'on a alors la possibilité de fabriquer économiquement un grand nombre de triacs à partir d'une seule pla-3 que. Lors de la fabrication de ces triacs rectangulaires sur une même plaque, l'élaboration des deux électrodes sur une face principale constitue une opération pouvant au besoin conduire à des gains importants, étant donné que l'aménagement des ouvertures, par exemple dans une couche d'oxyde, et l'élaboration d'une couche 10 métallique déposée subséquemment par évaporation par la mise en oeuvre de procédés de photolithographie et de décapage, sont des opérations critiques et requièrent, pour le positionnement, des opérations d!alignement de masque critiques. A mesure que l'ensemble formé par les électrodes est plus compliqué, les soins dont on 15 entoure l'alignement doivent généralement être plus grands. Ces considérations sont valables également lors de la fabrication d'autres dispositifs comportant deux électrodes sur une même face principale, de tels dispositifs étant par exemple des transistors et des thyristors. 20 Conformément à l'invention, un procédé permettant la fabrication d'un dispositif semi-conducteur du genre mentionné dans le préambule est remarquable en ce que pour former plusieurs composants semi-conducteurs sur plusieurs parties de face rectangulaires contigties, on forme, sur une face principale d'un 25 corps semi-conducteur des zones dont les types de conduction diffèrent, deux zones de types de conduction différents étant contigties à chaque partie de face, après quoi on élabore sur cette face principale des couches constituant électrodes par la formation de plusieurs bandes métalliques qui sont pratiquement paral-30 lèles entre elles ainsi qu'à un jeu de diagonales parallèles des parties de face précitées, alors que chacune de ces parties de face est contactée par deux parties de bande métallique adjacentes qui se situent de part et d'autre de la diagonale de ladite partie de face rectangulaire, cette diagonale étant parallèle à ces 35 bandes métalliques, alors qu'après l'élaboration des bandes métalliques constituant électrodes, on divise en morceaux l'ensemble formé par le corps semi-conducteur et les électrodes suivant les limites desdites parties de face rectangulaires, de façon que 1' on dispose d'un certain nombre de composants, une face principale 40 rectangulaire de chaque composants étant munie de deux électrodes 72 07040 k 2128465 quasi parallèles situées de part et d'autre d'une diagonale de ce~fe-te face principale. Lors de l'emploi du -procédé conforme à l'invention, il est possible de réduire considérablement les frais puisque l'éla-5 boration des électrodes sur les parties de face rectangulaires sur lesquelles se situe un composant qui affecte la forme de bandes métalliques parallèles qui s'étendent sur le corps semi-conducteur commun, peut avoir lieu d'une manière relativement simple et peu coûteuse, et par ailleurs avantageusement comme il sera en-10 core décrit par la suite sans devoir mettre en oeuvre un procédé photolithographique. Du fait d'élaborer des bandes de couche métallique qui sont parallèles à une diagonale, cette façon de réaliser le contact est particulièrement avantageuse puisque les deux bandes-électrodes s'étendant suivant la diagonale peuvent avoir 15 une surface qui est plus grande que celle qui s'obtiendrait dans le cas où les bandes doivent être élaborées parallèlement à un des côtés de la partie de face rectangulaire. La surface agrandie est avantageuse lors de l'élaboration d'autres liaisons conduisant aux bandes métalliques, par exemple du fait d'y fixer des conduc-20 teurs de connexion par thermocompression ou par soudage direct. L'établissement des contacts en diagonale est utilisé avantageusement lorsque les parties de face rectangulaires sont carrées. De préférence, les bandes métalliques ont partout la même largeur. Lorsque les parties de face rectangulaires sont carrées, les deux 25 bandes-électrodes sur chaque composant peuvent couvrir la même surface et être élaborées symétriquement par rapport à la diagonale. Ceci peut être avantageux lors de la fabrication de triacs de formes déterminées, ce qui sera décrit dans la suite de cet exposé. 30 Suivant un mode de réalisation préféré du procédé conforme à l'invention, le positionnement des bandes métalliques quasi parallèles à la première face principale résulte de l'emploi d'un masque de cire qui à cette face principale est élaborée du fait que de la cire est injectée à travers les ouvertures d'un 35 masque métallique élaboré sur cette face principale. Lorsque le procédé conforme à l'invention est réalisé de la façon décrite ci-dessus, il est possible de réduire considérablement les frais de fabrication puisqu'il n'est pas nécessaire de recourir à la mise en oeuvre d'un procédé photolithographique. La technique de ho l'injection de cire à travers un masque métallique est possible 72 07040 5 2128465 du fait, que l'ensemble d'électrodes réalisé sous la forme de plusieurs bandes métalliques parallèles a une forme très simple et que le masque métallique nécessaire est un masque simple du -ta.lt qu'il Hbit comporter qu'un certain nombre d'ouvertures pa— 5 ralleles en forme de bande pouvant être élaborées par une technique leiaiiveinent peu coûteuse, par exemple une érosion par é — tincelage. En outre, grâce à la forme relativement simple de 1' ensemble fui me par les électrodes, l'alignement (positionnement) du masque métallique n'est pas trop critique. 10 Le mode de réalisation préféré précité suivant lequel on procède à une injection de cire afin de définir l'endroit occupé par les bandes constituant électrodes, peut comporter l'élaboration du masque de cire sous la forme de bandes sur des parties d'une couche isolante formée sur la première face principa-15 le, le reste de la couche isolante étant ensuite élir.in' à l'aide d'un décapant qui n'attaque pratiquement pas le masque de cire, après quoi, sur les parties dénudées de la surface du corps semi-conducteur, on élabore les bandes métalliques constituant électrodes. Les bandes métalliques résultent par exemple d'un 20 dépôt par évaporation d'une couche métallique couvrant la surface entière ainsi que les parties dénudées de la surface du corps semi-conducteur et le masque de cire, alors qu'ensuite, le masque de cire et les parties de couche métallique situées sur ce masque sont dissoutes de façon que r>e subsistent que les bandes cons-25 tituant électrodes, en contact avec les parties dénudées de la surface du corps semi-conducteur. Après le décapage des parties de couche isolante non masquées et 1'éloignement subséquent du masque de cire, les bandes constituant électrodes peuvent également être formées si, sans l'emploi de courant électrique, 30 un métal est précipité sur les parties dénudées de la surface du corps semi-conducteur. Lors de l'emploi du procédé conforme à l'invention, il est possible d'effectuer sur chaque partie de face rectangulaire au moins une diffusion pour obtenir les zones, de différents 35 types de conduction, qui affleurent la surface, les zones diffusées étant symétriques par rapport à la diagonale. Cette symétrie est avantageuse lorsque les deux électrodes du composant sont échangeables, par exemple pour certaines formes de composants bilatéraux commandés, décrits par la suite; en effet, les élec-40 trodes peuvent alors couvrir des surfaces égales et être symé 72 07040 O 2128465 triques aussi par rapport à la diagonale. On peut ainsi simplifier les autres opérations de fabrication, ce qui permet de réduire considérablement les frais. Le procédé conforme à l'invention peut être utilisé 5 avantageusement pour la fabrication d'un composant semi-conducteur bilatéral commandé dont la première face principale rectangulaire est munie de deux parties de bande métallique constituant électrodes, à savoir une électrode de courant principal et une électrode-port e . 10 Suivant un mode de réalisation du procédé permettant l'obtention d'un tel composant bilatéral commandé, les parties de face rectangulaires contigues de la première face principale du corps sont carrées, alors que sur chaque partie de face, on a formé dexix zones diffusées dont les surfaces sont pratiquement 15 égales et qui sont symétriques par rapport à une diagonale de la partie de face, après quoi on élabore les bandes métalliques constituant électrodes sont élaborées de façon à être quasi parallèles aux diagonales des parties de face. Un tel composant semi-conducteur bilatéral commandé est décrit dans la dc.*:.^nde 20 do. bxeve.î ^xa:ij3iS N- , déposée sir.ultanfcir.ent -t la présente pour : "Dispositif sari-conducteui i coirp^sant h: l.--. ccw-'ndo". Sur l? première face principale, une des électrodes peut être utilisée comme électrode-porte, et l'autre électrode comme électrode de courant principal, le dispositif ayant alors pratiquement les mêmes 25 caractéristiques pour chacune des deux possibilités de connexion. L'emploi du procédé conforme à l'invention, conduisant à des é-lectrodes orientées suivant une diagonale et affectant la forme de parties de bandes de couche métallique permet de réduire considérablement les frais de fabrication. Lorsque les bandes ont 30 partout la même largeur et sont symétriques par rapport aux diagonales, l'orientation du composant, effectuée subséquemment à la division du corps semi-conducteur en morceaux, n'est pas critique. En outre, une des deux électrodes en forme de bande est disponible pour être contactée comme élect rode-port e, alors qu ' 35 au besoin, le composant peut être contacté et être placé dans une enveloppe qui pour l'électrode-porte et l'électrode de courant principal contigue présente des bornes pratiquement identiques. Lesdites zones obtenues par diffusion à la première face principale peuvent se présenter sous la forme de zones conti-hO nues en forme de bande, formant des rangées parallèles sur la 72 07040 l 2128465 surface du corps semi-conducteur, les axes de ces zones correspondant pratiquement aux limites des parties de face rectangulaires. Lorsque ces zones diffusées affectent ladite forme, le masquage nécessaire pour effectuer la diffusion est simplifié 5 puisqu'il est possible d'utiliser la technique d'injection de cire à travers un masque métallique comportant des ouvertures,-afin de définir ainsi la position d'une configuration de cire sur une couche isolante sur la première face principale, les surfaces de couche isolante non masquées étant éliminées, après quoi a lieu 10 la diffusion dans les parties ainsi dénudées de la surface semi-conductrice. Du fait que les zones diffusées sont formées par des rangées de bandes, la fabrication du masque métallique muni d'ouvertures est relativement facile, et résulte par exemple d' une érosion par étincelage, le masque présentant ainsi plusieurs 15 rangées d'ouvertures. Le masque métallique que l'on utilise pour définir l'endroit de la configuration de masquage nécessaire pour la diffusion peut être un peu plus oc; ; ■-ue le ras^ue qui est utilisé pour la définition de l'endroit de la configuration de masquage en vue de l'élaboration des électrodes. 20 La description suivante, en regard des dessins annexés, le tout donné à titre d'exemple, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. La figure 1 montre la configuration de diffusion et les couches constituant électrodes sur la face principale supé-25 rieure d'un corps semi-conducteur d'un composant semi-conducteur bilatéral commandé, fabriqué par la mise en oeuvre du procédé conforme à l'invention. La figure 2 montre la configuration de diffusion et les couches constituant électrodes sur la face principale infé-30 rieure opposée à la face se rapportant à la figure 1, du même composant semi-conducteur. La figure 3 est une coupe transversale suivant le plan 111-111 sur la figure 1. La figure '4 est une coupe transversale suivant le plan 35 IV—IV sur la figure 2. La figure 5 est une vue en plan d'une partie de la face supérieure d'une plaque en silicium dans laquelle-sont disposas plusieurs composants répondant aux figures 1 à k, la figure illustrant le procédé conforme à l'invention dans un stade après l'éla-ko boration des bandes métalliques constituant électrodes et avant la division de la plaque en vue d'obtenir les éléments distincts. 72 07040 8 2128465 La figure t> est une vue en plan d'un masque utilisé lors de la mise en oeuvre du procédé conforme à l'invention. La figure 7 est une vue en plan détaillée d'une partie du masque représenté sur la figure O. 5 D'abord, le composant semi-conducteur en question sera décrit en référence aux figures 1 à 'i , alors qu'ensuite, en référence aux figures 5» 6 et 7 on décrira la fabrication du composant par la mise en oeuvre du procédé conforme à l'invention. Le dispositif qui est représenté sur les figures 1 à 10 •'+ est un triac de forme nouvelle devant fonctionner à une intensité de courant effective de 8 ampères (R.M.S.) ou moins, et comporte un élément semi-conducteur en forme de plaque en silicium mesurant 2,5 mm x 2,5 mm et prsentant une épaisseur de 230 /U. Le corps comporte d'une part une zone intérieure 21, de type de con-15 duction n, (voir les figures 3 et M présentant une épaisseur de 110 u, et d'autre part des première et deuxième zones diffusées extérieures 22, 23, de type de conduction p, chacune ayant une épaisseur de 60 /u, élaborées l'une à la face supérieure et l'autre à la face inférieure du corps en silicium. Avec la zone 20 21, les zones 22 et 23 forment des jonctions p-n J^ et Jp. Une première zone diffusée 2k, de type de conduction n, présentant une épaisseur de 15 u, forme une jonction p-n .J^ avec la première zone 22 de type de conduction p et s'étend à la face inférieure du corps. Les deuxième et troisième zones diffusées 25 et 26, du 25 type de conduction n, forment des jonctions p—n J> , J„ avec la ■+ 5 deuxième zone 23, de type de conduction p, et se situent à la face supérieure du corps. Les jonctions J ^ et J0 couvrent la surface du corps semi-conducteur et se terminent dans des faces latérales. La 30 jonction se termine en partie dans les faces latérales et en partie dans la face inférieure du corps, (voir la ligne en pointillé sur la figure 2). Les jonctions et 72 07040 2128465 A la face inférieure du corps se trouve une électrode 2/, formée par une couche métallique et hachurée sur la figure 2. Cette électrode 27 couvre la surface entière en silicium constituant la face inférieure et est formée par une couche de nickel 5 dont 1 ' épaisseur'est comprise entre 2 et 3 .n et sur laquelle se trouve une couche d'or dont l'épaisseur est inférieure à 1 ^u. De cette façon, l'électrode 27 forme à la face inférieure du corps en silicium un contact ohmique avec la première zone 22 de type de conduction p et la première zone diffusée 2k, de type de con-10 duction n; à l'endroit où la jonction «J^ se situe à la surface, 1' électrode 27 court—circuite la jonction et forme une première électrode de courant principal. A 1•endroit où les deuxième et troisième zones diffusées 25 et 26, de type de conduction n, s'étendent à la face su-15 périeure du corps, ces zones 25 et 26 sont par rapport à la diagonale CD entre les angles opposés de la face. A la face supérieure se situent deux électrodes également en nickel (épaisseur comprises entre 2 et 3 yu) sur lesquelles on a élaboré une couche d'or (épaisseur inférieure à 1 ,u). La largeur des bandes est é-20 gale à 1 millimètre. Ces électrodes sont pratiquement parallèles à la diagonale CD. A la face supérieure du corps en silicium, 1' électrode métallique 28 établit un contact ohmique commun avec la deuxième zone 23 de type de conduction p, et la deuxième zone diffusée 25 de type de conduction n, alors qu'une partie de 25 la jonction J^, où celle-ci se termine à la face supérieure, est court-circuitée par ladite électrode 28. A la face supérieure du corps en silicium, l'autre électrode métallique forme un contact ohmique commun avec la deuxième zone 23 de type de conduction p et la troisième zone diffusée 26 du type de conduction n, alors 30 qu'une partie de la jonction J_, où celle-ci se termine à la face supérieure, est court-circuitée par ladite électrode 29» Les électrodes 28 et 29 forment ensemble une deuxième électrode de courant principal et une électrode-porte, et les deux connexions de ces électrodes sont possibles. Grâce à la position particuliè— 35 re des zones 25 et 26 de type de conduction n de chaque face par rapport à la zone 2k de type de conduction n et la symétrie de ces zones 25 et 26 par rapport à la diagonale CD, le dispositif a pratiquement les mêmes caractéristiques que pour les deux possibilités de connexion. Pour ces deux connexions possibles, la 40 commutation du dispositif de l'état non conducteur à l'état con 72 07040 2128465 ducteur peut avoir lieu dans les premier et troisième quadrants à l'aide de tensions d'électrode-porte 28 ou 29 qui sont positives ou négatives • vj- irp^crt c la tension de l'électrode de courant principal 29 oa 28. Pour une description plus détaillée du dispo-5 sitii', et la configura t ion des diverses zones, on est prié de se référer à la de'iiande de brevet déjà cit?s. Les stades principaux lors de la fabrication d'un composant répondant aux figures 1 à 4 seront maintenant décrits en référence aux figures 5, 6 et 7. On part d'une plaque en sili-10 ciurn de type de conduction n, présentant une résistivité de • 25 ohms.cm, un diamètre de 35 mm et une épaisseur de O, 35 mm. Avant de procéder à la première diffusion, la plaque subit un meu-lage et un décapage afin que ces deux faces principales soient optiquement planes. Ensuite, sous l'effet d'une diffusion d ' im-15 puretés d'une diffusion d'impuretés d'accepteur dans les faces principales opposées de la plaque, on forme les zones extérieures 22 et 23 de type de conduction p, et les jonctions et , chacune de celles-ci pénétrant sur environ 00 yu à partir de la face correspondante. 20 Par la mise en oeuvre d'un procédé habituellement uti lisé dans la technique des s emi-conducteurs, la plaque est ensuite munie d'une couche d'oxyde couvrant entièrement la plaque. Ensuite, sur cette couche d'oxyde, on élabore des couches de masquage sur des faces opposées de la plaque, la configuration de ces 25 couches de masquage étant telle à fournir les zones extérieures diffusées 2k, 25 et 26 de type de conduction n sur plusieurs endroits de la plaque, par diffusion de phosphore dans les parties dénudées en silicium formées par éloignement local des couches d'oxyde dans les ouvertures de la couche de masquage. Ces couches 30 de masquage sont formées par exemple par l'emploi d'un photoré-sist. Toutefois, suivant un mode de réalisation préféré, on utilise la technique d'injection de cire à travers des ouvertures pratiquées dans des masques métalliques élaborés sur les faces. supérieure est La formation de la configuration de masquage a la ace/aecriïe 35 en détail ci—après. Le masquage et la diffusion de phosphore subséquente ont lieu de façon à former les zones 2k, 2" et 26, de type de conduction n, sur chacune d'un certain nombre de parties carrées contigiies de la plaque. Dans chaque cas, les profondeurs de jonction des zones 2k, 25 et 26 de type de conduction n attei-40 gent environ 15 yU, et la concentration de surface est environ 72 07040 " 2128465 2 1 10 atomes de phosphore/cm3. Grâce à l'oxydation qui se produit lors de la diffusion de phosphore, des couches d'oxyde couvrent les faces supérieure et inférieure de la plaque. Ensuite, une autre configura-5 tion de masquage est élaborée à la face supérieure de la façon suivante. Comme le montre la figure 6, la plaque est placée dans un support, avec un masque métallique 41, sur la couche d'oxyde élaborée sur la face supérieure. Ce masque 41 comporte une plaque métallique qui a plusieurs ouvertures affectant la forme de bandes 10 42, et résultant d'une érosion par étincelage. La figure 7 montre en détail une partie du masque, alors que les parties métalliques qui subsistent entre les ouvertures 42 sont hachurées. Sur cette figure 7, les lignes 44 en traits mixtes, et les lignes 45 également en traits mixtes et perpendiculaires aux lignes 44, définis-15 sent un certain nombre de parties carrées contigiies mesurant 2,5 x 2,5 mm, la surface de ces parties correspondant à celle des parties de face carrées des endroits de plaque sur lesquels a eu lieu la diffusion du phosphore afin de former les zones 24, 25 et 26, de type de conduction n. Dans le support, le masque métal-20 lique 41 est aligné par rapport à la plaque, de sorte que les parties carrées sur le masque correspondent pratiquement aux endroits précités de la plaque. Les ouvertures 42 sont parallèles aux diagonales ^g^^parties carrées, tandis qu'en ce qui concerne la partie gaarree ABCD représentée sur la figure 7, deux parties de 2 5 ^jbatfde métallique 46 du masque métallique se situent de part et d' autre de la diagonale CD. Les parties 46 qui ont une largeur de 1 mm, sont symétriques par rapport à la diagonale CD, alors que la surface et l'endroit de ces parties 46 correspondent aux couches constituant électrodes, à élaborer ensuite. Sur la surface 30 de la couche d'oxyde, on élabore une configuration en ; ru— jetant cette matière sur le masque 41. Le masque ayant été .iliciné, on obtient une configuration qui est formée par un certain nombre de bandes de cire diagonales qui correspondent à l'endroit des ouvertures 42. Les parties non masquées de la couche d'oxyde, 35 situées à la face supérieure, sont ensuite élic.in-53S _ sous l'effet d'un décapage à l'aide d'acide fluorhydrique. En même temps, avec le même produit, on =?li*rine la couche d'oxyde située sur la face inférieure opposée. Ensuite, le masque de cire est éliriné de la face supérieure -st c*'. r!ir.ir.e ensuite le masque de cire. Puis, sur les parties de face dénudées en forme de bande en silicium, on 72 07040 12 2128465 élabore des couches constituant électrodes à la face supérieure masquée par l'oxyde, ainsi que sur la face inférieure dénudée entière, la formation de ces électrodes résultant de ce que, en 1'absence de courant électrique, une couche de nickel (épaisseur 5 comprise entre 2 et 3 ,u) et ensuite une couche d'or (épaisseur / inférieure à 1 ,u) sont précipitées sur les endroits en question. De cette Jafon, on forme sur la face supérieure un certain nombre de bandes métalliques parallèles, constituant électrodes, et sur la face inférieure une couche continue, constituant électrode. 10 La figure 5 est la vue en plan de la face supérieure d' une partie du corps en silicium après la formation des bandes de couche métallique constituant électrodes. Dans la partie centrale de la figure, on a représenté un dispositif présentant une surface carrée à diagonales A-B et C-D tel que le dispositif représenté 15 sur les figures 1 et 2 et comportant les électrodes 28 et 29, hachurées. Les lignes horizontales 44 et les lignes verticales 45 sont les endroits où il y a lieu d'entailler à la scie la plaque en vue de la diviser en morceaux. La figure permet de rendre compte que les électrodes 28 et 29 du dispositif central appar-20 tiennent à des bandes continues qui sont parallèles à la diagonale C-D. La bande à partir de laquelle est formée l'électrode 28 du dispositif central fournit également l'électrode 29 dans le dispositif situé immédiatement sous le dispositif central, ainsi que l'électrode 28 dans le dispositf situé immédiatement à droite 25 du dispositif central. La bande à partir de laquelle est formée l'électrode 29 du dispositif central, fournit également l'électrode 28 du dispositif situé Immédiatement au-dessus du dispositif central, ainsi que l'électrode 28 du dispositif situé immédiatement à droite du dispositif central. La figure 5 permet de rendre comp-30 te de la configuration de diffusion des zones 25 et 26 de type de conduct-on n sur des parties contigiies de la plaque. Les jonctions et Jj_ se terminent dans les deux faces A-C et B-D. Par des jone-tionslimitées de la sorte, on a établi la continuité des zones 25 et 26»de type de conduction n,d'endroits limitrophes suivant la 35 verticale, et les zones extérieures 23 t.,-- re rendue tir»;» •1* endroits limitrophes suivant la v rticale sont donc continues. Ces zones 23 s'étendent donc en rangées en forme de bande sur la plaque, ce que font également les zones 25 et 26 de type de conduction n. Ceci simplifie dans une certaine mesure le masquage qui 40 est nécessaire pour la formation des zones 25 et 26 de type de conduction n par diffusion de phosphore dans les parties de face 72 07040 2128465 dénudées de la plaque, formée par décapage sélectif de la couche d 'oxyde à la face supérieure. Le masque métallique utilisé comporte un certain nombre d'ouvertures en forme de bande, donc les dimensions et l'endroit correspondent à la zone 23, de type de coa-3 duction p, qui doit subsister. Les ouvertures à travers lesquelles on a procédé à l'injection de cire, forment des rangées qui sont parallèles aux lignes 44, alors que par suite de la continuité de la zone 23 de type de conduction p, lesdites ouvertures du masque sont continues dans chaque rangées. De ce fait, on peut, 10 par érosion par étincelage, fabriquer le masque métallique de manière relativement^coéteuse. Après la formation des couches constituant électrodes, la plaque est divisée en morceaux par sciage le long des lignes 44 et 45- Ensuite, chaque composant A-B et C-D, ainsi obtenu, 15 est soumis à un décapage en vue de supprimer 1'endommagement éventuel des faces latérales qui aurait pu é"tre le résultat du sciage. Ensuite, chaque composant est monté sur une embase appropriée alors que par la mie en oeuvre d'un procédé, habituel dans la technique des semi-conducteurs, on établit les connexions condui-20 sant aux électrodes. Le procédé conforme àl1 invention peut également être utilisé pour la fabrication d'autres dispositifs comportant deux électrodes situés à une même face principale, de tels dispositifs étant par exemple des transistors et des thyristors. L'invention 25 n'est pas limitée aux exemples décrits, car tout en restant dans le cadre de l'invention, le technicien est à même d'en réaliser de nombreuses variantes. On peut en particulier réaliser des géométries de zones semi-conductrices autres que les géométries décrites. Il est encore possible d'utiliser des matériaux autres 30 que ceux qui ont été spécifiés dans les exemples, tant en ce qui concerne le matériau semi-conducteur, le matériau constituant les bandes métalliques, et les matériaux constituant les couches isolantes et les couches de masquage. Il est encore- possible de remplacer simultanément tous les types de conduction par les ty-35 pes de conduction opposés, si on inverse les tensions de polarisation appliquées. 72 07040 2128465 Revendications : 1. Procédé permettant la fabrication d'un dispositif semi-conducteur comportant un corps semi-conducteur en forme de plaque donc les faces principales opposées sont pratiquement rectangulaires, alors qu'à la première face principale s'étendent au moins deux zones dont les types de conduction diffèrent et qui sont contactées par deux électrodes s'étendant sur cette première face principale de part et d'autre d'une ligne par laquelle cette face rectangulaire est divisée en deux parties, caractérisé en ce que pour former plus i sur.? composants semi-conducteurs sur plusieurs parties de face rectangulaires contigiies, on forme, sur une face principale d'un corps semi-conducteur, des zones dont les type de conduction diffèrent, deux zones de différents types de conduction étant contigiies à chaque partie de face, après quoi on élabore sur cette face principale des couches constituant électrodes par la formation de plusieurs bandes métalliques qui sont pratiquement parallèles entre elles ainsi qu'à un jeu de diagonales parallèles des parties de face précitées, alors que chacune de ces parties de face est contactée par deux parties de bande métallique adjacentes qui se situent de part et d'autre de la diagonale de ladite partie de face rectangulaire, cette diagonale étant parallèle à ces bandes métalliques, alors qu'après l'élaboration des bandes métalliques constituant électrodes on divise en morceaux l'ensemble formé par le corps semi-conducteur et les électrodes suivant les limites desdites parties de face rectangulaires de façon que l'on dispose d'un certain nombre de composants, une face principale rectangulaire de chaque composant étant munie de deux électrodes quasi parallèles situées de part et d'autre d' une diagonale de cette face principale. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que les parties de face rectangulaires sont carrées. 3. Procédé selon l'un? r'-"C r^vr' J :> " oc c: ce que les bandes de couche métallique ont pratiquement la même largeur. 4. Procédé selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les bandes métalliques pratiquement parallèles sont formées à l'aide d'un masque qui sur une face principale est obtenu par injection de cire à travers les ouvertures pratiquées dans un r: ^cy,. métallique élaboré sur cette face principale. 5. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce 72 07040 15 2128465 que le masque de cire est élaboré sous la forme de bandes sur des parties d'une couche isolante formée sur la première face principale, le reste de la couche isolante étant ensuite éloigné à 1' aide d'un décapant qui n'attaque pratiquement ' ! ; J - oi.: , 3 après quoi, sur les parties dénudées de la surface du corps semiconducteur, on élabore les bandes métalliques constituant • électrodes . 6. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que les bandes métalliques résultent du fait qu'en l'absence de cou-10 rant électrique, un métal est précipité sur les parties dénudées de la surface du corps semi-conducteur. 7- Procédé selon l'une des revendications 1 à 6, caracté risé en ce que sur chaque partie de face rectangulaire, on procède à au moins une diffusion pour obtenir les zones de différents ty-15 pes de conduction qui affleurent la surface, les zones diffusées étant symétriques par rapport à la diagonale. 8. Procédé selon l'une des revendications 1 à 7) caractérisé en ce qu'on fabrique un composant semi-conducteur bilatéral commandé, dont la première face principale rectangulaire est mu- 20 nie de deux parties de bande métallique constituant électrodes, à savoir une électrode de courant principal et un électrode-porte. 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que les parties de farcrë rectangulaires contigiies sont carrées, a-lors aue suj?-—chaque partie de face on forme deux zones diffusées 30 qu'à la première face principale, lesdites zones diffusées se présentent sous la forme de zones continues en forme de bande formant des rangées parallèles sur la surface du corps semi-conducteur, les axes de ces zones correspondant pratiquement aux limites des parties de face rectangulaires. 33 11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que les zones diffusées continues en forme de bande sont formées à l'aide d'un masque qui à la première face principale est obtenu en inj-rct'-i4. une cire à travers les ouvertures d'un masque métallique élaboré sur cette face principale. ko 12. Procédé selon la revendication >11, caractérisé en ce que diwrf-'les surfaces sont pratiquement égales et qui sont symétriques par rapport à une diagonale de la partie de face, après quoi on élabore les bandes métalliques constituant électrodes de façon à être quasi parallèles aux diagonales des parties de face. 10. Procédé selon ;.la revendication 9» caractérisé en ce BAD ORIGINAL 72 07040 16 2128465 le masque de cire est élaboré sous la forme de zones parallèles en forme de bande sur une couche isolante formée sur la surface du corps semi-conducteur, alors qu'ensuite les parties subsistan tes de ladite couche isolante sont éliminées à l'aide d'un décapant qui n'attaque pratiquement pas le masque de cire, après quoi on procède à la diffusion dans les parties dénudées de la surface semi-conductrice. 13- Dispositif semi-conducteur obtenu par la mise en oeu vre du procédé selon l'une des revendications 1 à 12.