Brevet FR2110344A1 — publié le 19720602

21103W L'invention, concerne un dispositafioueteur dont le corps semiconducteur comporte au moins une. zone de collecteur de premier type de conduction, au aoins une zone de base de deuxième type de conduction, contiguë à une surface 5 pratiquement plane recouverte au -.aoins en partie d'une couche isolante, ainsi qu'une zc.-e d5 émetteur de premier type de conduction, qui n'est contiguë qu'à ladite surface et pour le reste entourée entièrement de ladite zone de base, cette zone d'émetteur comportant au moins deux régions d'émetteur pratiquement 10 parallèles en forme de bande. De tels dispositifs sont connus, notamment sous forme de transistors haute fréquence de grande puissance. La fabrication de transistors haute fréquence de puissance relativement élevée rend indispensable la solution de plusieurs problèmes, 15 parmi lesquels sont à citer l'obtention d'un haut degré de fonctionnement d'émetteur en présence d'intensités de courants d'émetteur relativement élevées, ainsi qu'une répartition aussi uniforme que possible du courant d'émetteir sur la surface d'émetteur. Les efforts visant à donner à ces problèmes la 20 meilleure solution possible ont conduit à la formation de divers types de transistor. Pour ceux-ci, le problème principal est l'obtention d'une structure d'émetteur qui, pour une surface d'émetteur déterminée, fournit une longueur de bord d'émetteur aussi grande que possible, étant donné que l'injection de porteurs 25 de charge minoritaires a lieu principalement le long de ce bord d'émetteur. Dans une première structure connue, appelée ci-après "structure interdigitale", la zone d'émetteur comporte des régions en forme de bande de largeur constante, alors que les couches de 30 contact d'émetteur et de base sont des configurations en forme de peigne dont les dents s'adaptent les unes dans les autres, tandis que généralement, tant la zone d'émetteur que la zone de base sont contactées pratiquement sur leur surface entière par une couche métallique à travers des ouvertures pratiquées dans la 35 couche isolante. Dans une deuxième structure connue, appelée ci-après "structure d'émetteur perforée", on a pratiqué dans une zone d'émetteur cohérente un certain nombre d'ouvertures à travers lesquelles la zone de base s'étand jusqu'à la surface. A travers 40 des fenêtres pratiquées dans la couche isolante, tant la zone 71 36315 " 2110344 d'émetteur que les parties de surface auxquelles la zone de base est contiguë sont contactées à l'aide de couches métalliques en forme de bande, qui s'imbriquent les unes dans les autres. Dans une troisième structure connue, appelée "structu-5 re de recouvrement" ("overlay structure"), la zone d'émetteur est formée par un grand nombre de zones partielles distinctes, disposées en rangées et qui dans chaque rangée sont interconnectées par une couche métallique qui se raccorde aux zones partielles à travers des fenêtres de la couche isolante, alors qu'entre les 10 couches métalliques se trouvent des bandes métalliques contactant la zone de base. Dans toutes ces structures connues, pour une surface d'émetteur totale déterminée, le bord d'émetteur est très long. Pour des transistors devant fonctionner à des fréquences très 15 élevées. ci s'efforce de donner une valeur aussi élevée que possible rapj:.rt entre la> longueur de bord d'émetteur et la surface d'émetteur, ceci visant tant l'obtention d'un degré de fonctionnement d'émetteur aussi élevé que possible que le maintien aussi réduit que possible des capacités des jonctions p-n 20 existantes. Dans la pratique, on impose à ces efforts une limite qui est donnée par les tolérances à respecter lors de la fabrication en grande série. En effet, on doit empêcher que dans la couche isolante, les fenêtres de contact dépassent en partie le 25 bord des régions d'émetteur et de base à contacter, ce qui pourrait court-circuiter la jonction émetteur-base. Par conséquent, lorsqu'on met en oeuvre des procédés de photoréservation habituellement utilisés pour la fabrication, en particulier la tolérance pour l'alignement des masques utilisés pour les fenêtres de contact 30 d'émetteur et de base est très sévère lorsque dans au moins une direction, les régions d'émetteur et de base ont des dimensions très réduites. En outre, on préfère le plus souvent que les couches métalliques devant établir le contact avec les régions de base ne se situent pas au—dessus des régions d'émetteur, étant 35 donné que la couche isolante au-dessus de la^zone d'émetteur est généralement beaucoup plus mince qu'au-dessus de la zone de base, et que par conséquent, il y a grand risque de court-circuit à travers les ouvertures pratiquées dans cette mince couche isolante. Pour répondre à cette préférence lorsqu'il s'agit de régions ko d'émetteur et de base présentant une dimension très réduite dans 71 36315 3 „ 2110344 au moins une direction, il faut également respecter une tolérance très sévère lors de l'alignement du masque utilisé- pour la métal-lisation. Par1ces très fortes exigences, le déchet lors de la 5 fabrication en grande série est relativement grand lorsqu'il s'agit de la fabrication de types de transistor connus pour lesquels on utilise des régions d'émetteur et de base présentant des dimensions très réduites dans au moins une direction. L'invention vise entre autres à fournir un dispositif 10 semiconducteur présentant une nouvelle structure de transistor convenant pour fonctionner à une puissance relativement élevée et à des fréquences élevées, dans lequel les difficultés survenant avec les structures connues sont évitées ou du moins réduites dans une mesure considérable. 15 L'invention repose entre autres sur l'idée que lorsqu' on utilise une structure modifiée émetteur-base combinée avec l'élaboration judicieuse des fenêtres de contact d'émetteur et de base, la tolérance lors de l'alignement des divers masques peut être moins sévère que dans les structures connues correspondantes, 20 ce qui permet d'obtenir un rendement beaucoup plus grand lors de la fabrication en grande série. Par conséquent, un dispositif semiconducteur du genre mentionné dans le préambule et conforme à l'invention est remarquable en ce que d'une part les régions d'émetteur en forme de 25 bande sont formées par des parties larges alternant avec des parties étroites, alors qu'au moins deux parties larges successives d'une telle région d'émetteur se situent en face de deux parties larges successives d'une région d'émetteur voisine, de sorte qu'entre des régions d'émetteur voisines se situe une région 30 de base, en forme de bande, affleurant ladite surface et comportant également des parties larges alternant avec des parties étroites, et que d'autre part, les régions d'émetteur et de base en forme de bande sont connectées électriquement à travers des fenêtres de contact de la couche isolante, à des couches métalliques situées 35 a-u moins en partie sur la dite couche isolante, les fenêtre > de contact situées sur les dites régions d'émetteur et de base n'étant situées qu'au-dessus des parties larges de ces régions. Comparé aux dispositifs connus déjà décrits, le dispositif conforme à l'invention a le grand avantage que les en-40 droits occupés par les fenêtres de contact d'émetteur et de base 71 36315 2110344 sont décalés l'un par rapport à l'autre, ce décalage permettant une tolérance moins sévère pour l'alignement des masques correspondants. De plus, en dehors des endroits où sont élaborées les fenêtres de contact, c'est—à—dire à l'endroit desdites parties 5 étroites, les régions d'émetteur et de base peuvent être très étroites sans poser pour autant une limite à la tolérance d'alignement des masques. Un autre avantage du dispositif conforme à l'invention est que par rapport à la surface d'émetteur, la longueur du 10 bord d'émetteur ainsi obtenue est supérieure à celle obtenue dans les structures connues, par exemple la structure de recouvrement et la structure d'émetteur perforée. Comparé à cette dernière structure, le dispositif conforme à l'invention a en outre l'avantage que les régions d'émetteur en forme de bande sont séparées 15 l'une de l'autre par les régions de base en forme de band§ de sorto que lor: de l'emploi de résistances série d'émetteur, le courant qui trave :e chaque région d'émetteur peut être influencé à l'aide d'une telle résistance série entièrement indépendante, en vue d'obtenir une répartition uniforme du courant d'émetteur, ce 20 qui permet entre autres d'éviter ce qu'on appele "le deuxième claquage" (Second breakdown"). Dans la structure d'émetteur perforée, ceci n'est possible qu'en partie, étant donné qu'à travers la zone d'émetteur, un courant peut s'écouler entre deux résistances série d'émetteur, voisines dans cette structure. De plus, 25 ^ans le dispositif conforme à l'invention, la métallisation de base peut au besoin être élaborée exclusivement en dehors de la zone d'émetteur, contrairement à ce qui est le cas pour la structure d'émetteur perforée. Comparé à la structure interdigitale précitée, le 30 dispositif conforme à l'invention a le grand avantage que, suivant des calculs, pour une même surface de base et une même longueur de bord d'émetteur dans le dispositif conforme à l'invention, le pas des régions d'émetteur en forme de bande; ,c ' est-à-dire la distance d'axe en axe de ces régions est supérieureau pas dans 35 la structure interdigitale. De ce fait, la largeur de la bande métallique qui contacte une région d'émetteur peut être plus grande, ce qui a comme conséquence une plus faible chute de tension dans cette bande. 40 71 36315 5 2110344 Bien qu'il soit possible d'utiliser également des régions d'émetteur et de base en forme de bande qui présentent par exemple des parties larges et étroites limitées entièrement ou en partie par des lignes incurvées ou des lignes en zigzag, il 5 est dans la pratique souvent préférable que du moins les longs côtés situés en regard et appartenant à deux régions d'émetteur voisines en forme de bande soient crénelés, c'est-à-dire que pratiquement, ces côtés longs soient formés entièrement par des tronçons de lignes droites pratiquement perpendiculaires divisant 10 les régions d'émetteur en parties étroites de même largeur, et en parties larges de même largeur également. Dans ce cas, la région de base intermédiaire en forme de bande présente alors deux côtés longs crénelés. Les angles des côtés crénelés peuvent être plus ou moins arrondis. 15 L'autre côté long d'une région d'émetteur peut être formé par exemple par une ligne droite, par exemple lorsque cette région se trouve à la fin d'une série de régions d'émetteur en forme de bande. Toutefois, il est avantageux qu'au moins une région d'émetteur, et de préférence toutes les régions d'émetteur soient 20 symétriques par rapport à leur axe. On obtient ainsi une structure compacte symétrique présentant un bord d'émetteur de longueur maximale. Les parties étroites, ainsi que les parties larges d'une région d'émetteur ou de base en forme de bande peuvent 25 différer en longueur suivant la direction longitudinale de la région. De préférence toutefois, les parties étroites ainsi que les parties larges des dites régions d'émetteur et de base ont la même longueur suivant la direction longitudinale de ces régions. De plus, la longueur des parties étroites d'une région en forme 30 de bande peut différer de celle des parties larges, tandis qu'il est possible aussi que la longueur des parties étroites soit égale à celle des parties larges, l'ensemble étant conçu de façon à obtenir une longueur de bord d'émetteur, une résistance de base et une capacité émetteur-base des plus favorables possibles. 35 En égard à l'épaisseur généralement faible de la couche isolante élaborée sur la zone d'émetteur, la distance entre les régions d'émetteur en forme de bande, ainsi que la largeur de la couche métallique qui contacte les régions de base en forme de bande situées entre les régions d'émetteur, sont telles que les kO couches métalliques qui contactent la zone de base ne s'étendent 71 36315 « 2110344 pas au-dessus de la zone d'émetteur. Bien que dans le cas où chacune des régions d'émetteur en forme de bande est entourée entièrement de la zone de base* ces régions d'émetteur puissent fonçtionner comme des émetteurs, 5 distincts d'un transistor comportant plusieurs émetteurs, il est préférable d'interconnecter électriquement ces régions dans la plupart des cas. Au besoin, on peut alors brancher des résistances série dans la liaison. Celle-ci peut être établie, entièrement ou en partie, soit à l'aide de conducteurs de préférence métal-10 liques situés à l'extérieur du matériau semiconducteur, soit à l'aide d'une région semiconductrice de premier type de conduction, appartenant à la zone d'émetteur. La description suivante, en regard des dessins annexés, le tout donné à titre d'exemple, fera bien comprendre 15 comment l'invention peut être réalisée. La figure 1 est une vue en plan d'un dispositif conforme à l'invention. La figure 2 est une coupe transversale suivant le plan II-II sur la figure 1. 20 La figure 3 est une couOe transversale suivant le plan III-XII sur la figure 1. La figure 4 est une coupe transversale suivant le plan XV-IV sur la figure 1. La figure 5 est une vue en plan du dispositif 25 représenté sur la figure 1, dans laquelle on montre les limites des régions diffusées. Les figures 6, 7 et 8 sont des coupes transversales suivant le plan IV-IV sur la figure 1 et montrent le dispositif dans trois stades successifs de sa fabrication. 30 Les figures 9a, 9b et 9c sont trois vues en plan illustrant trois autres façons dont peut être établie la structure émetteur-base d'un dispositif conforme à l'invention. Pour la clarté des figures, celles-ci sont schématiques, et les dimensions du dispositif n'ont pas été représentées 35 à la même échelle. Ceci est surtout le cas des épaisseurs. Généralement, les parties correspondantes sont indiquées par les mêmes références. Sur les figures 1 à 4, le dispositif comporte un corps semiconducteur en silicium 1, formé par un substrat 2 de 40 type de conduction n, présentant une épaisseur de 100 microns et une résistivxté de 0,07 ohm.cm. Sur ce substrat 2, on a formé épita- 71 36315 2110344 xialement une couche 3 de type de conduction n, présentant une résistivité de 0,9 ohm.cm et une épaisseur de 14 microns. Ce corps semiconducteur 1 comporte un transistor qui a une zone de collecteur formée par la couche 3 de type de conduction n, une zone de 5 base (4, 5) de type de conduction jd, diffusée dans la couche 3 et contiguë à une surface pratiquement plane 6, recouverte d'une couche isolante 7 en oxyde de silicium, ainsi qu'une zone d'émetteur de type de conduction n, comportant sept régions d'émetteur parallèles 8 en forme de bande (voir les figures 2, 3> k), en-10 tourées entièrement de la zone de base (4, 5) et contigués à la surface 6. Conformément à l'invention, les régions d'émetteur 8, en forme de bande, sont formées par des parties étroites 9 qui alternent avec des parties larges 10 (voir la figure 1), alors 15 qu'au moins deux, et dans cet exemple toutes les parties successives larges 10 d'une région d'émetteur 8 se situent en face de deux parties larges successives 10 d'une région d'émetteur voisine. De ce fait, entre chaque paire de régions d'émetteur voisines 8, on a formé une zone de base 11 (voir les figures 2 et 3) en forme 20 de bande, contigué à la surface 6 et présentant également des parties étroites 12 qui alternent avec des parties larges 13 (voir la figure 1). De plus, les régions d'émetteur 8 et les régions de base 11 sont connectées électriquement à des couches d'aluminium 14 et 15 (limitées par des pointillés sur la figure l) situées 25 partiellement sur la couche d'oxyde 7> ce contact étant établi à travers des fenêtres de contact 16, 17 pratiquées dans cette couche 7î les fenêtres de contact 16 situées sur les régions d'émetteur 8 ne se situent qu'au-dessus des parties larges 10 de ces régions 8, tandis que les fenêtres de contact 17 sur les régions 30 de base 11 ne se situent qu'au-dessus des parties larges 13 de ces régions 11. Dans ce dispositif, la zone de base de type de conduction £ est formée par deux régions dont les concentrations de dopage et les profondeurs de pénétration de dopage diffèrent, 35 une région 4 contenant la zone d'émetteur, ainsi qu'une zone périphérique annulaire 5 à concentration de dopage et profondeur de pénétration de dopage plus fortes pour obtenir une tension de claquage collecteur—base effective suffisamment élevéë. Simultanément avec la zone périphérique 5 (bord de base), on a diffusé une 40 région 18 (voir les figures 1 et 4) sur laquelle se raccordent d'un 71 36315 2110344 côté les couches de contact d'émetteur 14, et de l'autre côté une couche d'aluminium 19» voir la figure 1. Entre chaque couche de contact îk et la couche d'aluminium 19 se trouve ainsi une résistance série d'émetteur, formée par la partie de la région de 5 résistance 18, située entre la couche 19 et la couche 14; toutes les régions d'émetteur en forme de bande sont interconnectées électriquement à travers les couches 14 et 19 et la région 18. Toutes les couches de contact de base 15 sont raccordées à la couche d'aluminium 20. D'une manière connue, on a élaboré sur les 10 couches 19 et 20 les conducteurs de connexion d'émetteur et de base (non représentés sur les figures), tandis que sur la région de substrat 2, on a élaboré une couche de contact 21 servant de contact de collecteur et fixée sur la plaque de fond d'une enveloppe . 15 Les figures permettent de constater que les couches de contact de base 15 ne s'étendent pas au-dessus des régions d'émetteur 8, et on empêche ainsi un court-circuit à travers les minces parties de la couche d'oxyde 7> situées au-dessus de la région d'émetteur. Tous les côtés longs des régions d'émetteur 8 20 sont crénelés et formés par des tronçons de lignes droites pratiquement perpendiculaires, de sorte que tant les parties étroites que les parties larges des régions d'émetteur 8 et des régions de base 11 ont la même largeur. Par rapport à leur axe (22 sur la figure 1), toutes les régions d'émetteur sont symétriques, tandis 25 que la longueur des parties étroites (9, 12) ainsi que des parties larges (10, 13) des régions d'émetteur et de base 8 et 11, ont la même longueur dans la direction longitudinale de ces régions. La fabrication du dispositif décrit a lieu par exemple comme suit. On part d'une plaquette de silicium 2, de type 30 de conduction n, présentant une résistivité 0,07 ohm.cm, et une épaisseur de 200 microns. Par polissage et décapage, on élimine dans la mesure du possible toutes les fautes cristallines d'une surface de cette plaquette, après quoi, par la mise en oeuvre de techniques habituellement utilisées, cette surface est munie d' 35 une couche épitaxiale 3 en silicium de type de conduction n, présentant une résistivité de 0,9 ohm.cm et une épaisseur de 14 microns. Sur la plaquette de silicium ainsi traitée, on peut fabriquer simultanément plusieurs dispositifs conformes à l'invention. ^0 Le reste de la fabrication est décrit en référence 71 36315 ? 2110344 à la vue en plan constituant la figure 5 et aux coupes transversales suivant le plan XV-XV sur la figure 1, qui constituent les figures 6, 7 et 8. En premier lieu, par oxydation thermique pendant 90 minutes à une température de 1100°C dans une atmosphère 5 d'oxygène humide, on élabore sur la couche 3 une couche d'oxyde dans laquelle, de manière connue, la mise en oeuvre de procédés de décapage photolithographiques permet la formation de fenêtres à travers lesquelles on diffuse ensuite du bore pour former ainsi la région de résistance 18 et la zone périphérique de base annu-10 laire 5- La résistance en couche (sheet résistance) des régions 5 et 18 est égale à 6,3 ohms par carré. Dans la couche d'oxyde ainsi formée, on décape des ouvertures en vue de permettre une autre diffusion de base, de sorte que l'on obtient la structure illustrée sur la figure 6. Au-dessus de la région 18, on forme 15 alors également une ouverture dans l'oxyde afin d'obtenir, après la diffusion de base subséquente, une couche d'oxyde d'épaisseur constante au-dessus de la zone de base et au-dessus de la région 18. Les fenêtres de contact de base et l'ouverture à pratiquer dans la couche d'oxyde pour contacter la région 18, peuvent alors 20 être décapées sans inconvénient simultanément sans donner lieu pour autant à un décapage sous-jacent près des ouvertures de contact de base. Après la diffusion de base pour laquelle du bore est diffusé en une concentration de dopage telle que la 25 résistance par carré soit égale à 135 ohms, on a obtenu la structure sur la figure 7* Les régions 5 et 18 pénètrent alors sur une distance d'environ k microns, tandis que la partie k de la zone de base pénètre sur une profondeur de 1,7 micron. Après avoir décapé les fenêtres de diffusion 30 d'émetteur dans la couche d'oxyde, on élabore les régions d'émetteur 8 en forme de bande à l'aide d'une diffusion de phosphore, effectuée de façon à donner lieu à une résistance de 9 ohms par carré et Une profondeur de pénétration de 1 micron. On obtient ainsi la structure dont la vue en plan est illustrée sur la fi-35 gure 5 et dont la coupe transversale suivant le plan IV-IV est donnée sur la figure 8. En outre, les angles aigus qui sur la figure 5 sont, indiqués schématiquement dans les parties périphériques crénelés sont en réalité légèrement arrondis par suite d' une diffusion latérale. ko Ensuite, à l'aide d'un seul masque, on élabore 71 36315 2110344 les fenêtres de contact de base et d'émetteur, tandis que pour contacter la région 18, on pratique la fenêtre de contact nécessaire. Quant à la configuration de diffusion formée, la tolérance de l'alignement de ce masque est beaucoup moins sévère que 5 dans le cas par exemple d'une structure interdigitale dans laquelle les régions d'émetteur en forme de bande ont la même largeur que les parties étroites 9 des régions d'émetteur 8, en forme de bande. Les fenêtres de contact d'émetteur et de base 10 ayant été décapées, on dépose par évaporation, de manière connue, les couches d'aluminium 14, 15j 19 et 20, alors qu'à sa face inférieure, on décape le substrat 2 jusqu'à obtenir une profondeur de silicium totale de 115 microns environ. Ensuite, par des techniques connues, on termine le montage du dispositif et on le 15 place dans une enveloppe appropriée. La largeur des couches métalliques 1b peut être plus grande, et dans ce cas, la chute de tension dans ces couches est plus petite que celle dans une structure interdigitale comparable présentant des régions d'émetteur en forme de bande 20 de largeur constante. En effet, on peut démontrer que dans un dispositif conforme à l'invention, pour une même surface de la zone de base et pour une même longueur de bord d'émetteur, la distance d'axe en axe entre les régions d'émetteur est plus grande. 25 Outre la forme de régions d'éijietteur en forme de bande préconisée dans cet exemple, on peut au besoin utiliser des formes tout à fait différentes. A titre d'exemple, la figure 9 donne quelques possibilités à ce sujet, les références correspondant à ce3Les de l'exemple se rapportant aux figures 1 à 8. 30 A remarquer que sur la même plaquette de silicium, il est possible d'élaborer plusieurs zones de base, alors que pour augmenter la puissance à fournir, on peut, sur une même plaquette cristalline, fabriquer plusieurs transistors à collecteur commun du genre décrit, les zones de base ainsi que les 35 zones d'émetteur étant interconnectées. Par ailleurs, le transistor peut, avec d'autres éléments composants semiconducteurs, appartenir à un circuit intégré monolithique. Bien que l'invention soit décrite à l'aide d'une seule forme de réalisation et d'application déterminée, le tech-40 nicien pourra en réaliser de nombreuses vàriantés sans "sortir du 71 36315 2110344 cadre de l'invention. Outre pour des transistors, l'invention peut être mise à profit également pour d'autres dispositifs comportant une structiire transistorisée, par exemple des thyris-tors ou des structures stratifiées» On peut utiliser également 5 d'autres matériaux semiconducteurs, d'autres matériaux isolants, par exemple le nitrure 1s silicium, l'oxyde d'aluminium ou des combinaisons de ces composés. Les couches métalliques peuvent être formées par des métaux autres que celui préconisé dans la présente, tandis qu'également les résistances serie dsémetteur peuvent 10 être omises ou être réalisées sous une autre forme, par exemple sous forme de couches métalliques. 71 36315 2110344 REVENDICATIONS ; 1. Dispositif semiconducteur* dont le corps semiconducteur comporte au moins une zone de collecteur de premier type de conduction, au moins une zone de base de deuxième type de conduction, contigûé à une surface pratiquement plane recouverte au moins en partie d'une couche isolante, ainsi qu'une zone d'émetteur de premier type de conduction, qui n'est contigûé qu'à ladite surface et pour le reste entourée entièrement de ladite zone de base, cette zone d'émetteur comportant au moins deux régions d'émetteur pratiquement parallèles en forme de bande, caractérisé en ce que d'une part les régions d'émetteur en forme de bande sont formées par des parties larges alternant avec des parties étroites, alors qu'au moins deux parties larges successives d'une telle région d'émetteur se situent en face de deux parties larges successives d'une région d'emetteur voisine, de sorte qu'entre des régions d'émetteur voisines se situe une région de base, en forme de bande, afîleurant ladite surface et comportant également des parties larges alternant avec des parties étroites, et que d'autre part, les régions d'émetteur et de base en forme de bande sont connectées électriquement à travers des fenêtres de contact de la couche isolante, à des couches métalliques situées au moins en partie sur ladite couche isolante, les fenêtres de contact situées sur lesdites régions d'émetteur etde base n'étant situées qu'au-dessus des parties larges de ces régi ons. 2. Dispositif semiconducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que du moins les longs côtés situés en regard et appartenant à deux régions d'émetteur voisines en forme de bande sont crénelés. 3- Dispositif semiconducteur selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que par rapport à leur axe, au moins une, et de préférence toutes les régions d'émetteur en forme de bande sont symétriques. 4. Dispositif semiconducteur selon l'une des reven dications 1 à 3» caractérisé en ce que les parties étroites ainsi que les parties larges des région d'émetteur etde base en forme de bande ont la même longueur suivant la direction longitudinale de ces régions. 5- Dispositif semiconducteur selon l'une des reven dications 1 à 4, caractérisé en ce que les couches métalliques 71 36315 13 2110344 qui contactent la zone de base ne s'étendent pas au-dessus de la zone d'émetteur. 6. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications 1 à-5» caractérisé en ce que les régions d'émetteur en forme de bande sont interconnectées électriquement. 7. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que une ou plusieurs des régions d'emetteur en forme de bande comportent une résistance d'émetteur connectée en série avec ladite région d'émetteur.