Brevet FR2115167A1 — publié le 19720707

La présents invention a pour objet un procédé de fabrication de. circuits intégrés qui psrmet d'obtenir un produit final conforme à la conception du produit initial. A l'état actuel de l'art de la fabrication des circuits intégrés, ^ il est de pratique courant que le client transmette à l'unité de fabrication les données caractérisant le circuit qui doit être fabriqué. Une erreur, même unique, dans les données utilisées par le fabricant entraînera un produit défectueux et la perte de temps et d'argent. Par conséquent, il est extrêmement important de s'assurer que le produit "circuit intégré 10 final" soit conforme aux données originales, et en particulier de déterminer qu'aucune erreur ne s'est produite durant la transmission des données au fabricant ou durant le procédé de fabrication de masques. Oans l'art antérieur on a tenté d'éliminer les erreurs en présentant les données sous deux formats différents; un schéma de principe du bloc "*5 et une représentation numérique. Ces formats sont convertis dans le même langage puis comparé. Ce procédé a été décrit dans " A computer-Aided Nethod for Checking and Making Plonolithic Integrated Circuit Masks" par D.M. Sheppard, W.T. James, M.E. Harris, et A.M. Barone, présenté à "Western Electronic Show and Convention," les 23-26 Août, 1966. Cependant, il n'était pas cer-20 tain que l'un des deux formats fut en accord avec les données de conception originales caractérisant le bloc de circuit intégré. En outre, la transmission des données d'un emplacement à l'autre nrétait pas mise en cause. Par conséquent, un objet principal de la présente invention est d'apporter un procédé de réalisation d'un circuit intégré qui virtuellement élimine 25 toutes les erreurs et qui assure que le produit final est conforme à la conception du bloc original. Un autre objet est de réaliser plusieurs contrôles et comparaisons durant le procédé de fabrication du circuit afin de détecter toutes les erreurs avant la fabrication d'un produit défectueux. 30 On obtient ces objets à l'aide d'un nouvel arrangement permettant de contrôler de façon répétée les données reçues, les masques et le produit final en se référant aux données transmises originellement du client au fabricant. D'autres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention 35 ressortirait mieux de l'exposé qui suit, fait en référence au dessin annexé à ce texte, qui représente un mode de réalisation préféré de celle-ci. La figure représente un diagramme décrivant les étapes successives du procédé selon la présente invention. Le procédé de fabrication d'un circuit intégré selon la présente invention 40 commence lorsque le client envoie une commande au fabricant appelée 71 37752 2 2115167 "numéro de référence", c'est-à-dire envoie un dessin de circuit particulier. Le circuit intégré est personnalisé par une table de vérité indiquant une configuration de "diglts" qui définit la logique fonctionnelle du circuit demandé sous la forme d'un ensemble de, 512 "digits" 1" et "digit 0" par 5 exetrple. Le fabricant conserve un stock de pastilles de circuits intégrés dont tous les circuits sont actifs, corresDondant à un ensemble où tous les transistors sont connectés et représentent dans chaque cas les digits "1". Lorsque l'ensemble de configurations de digits est reçu en provenance du 10 client, on réalise un masque avec une languette, c'est-à-dire un rectangle de 0,051 x 0,102mm, qui apparaît sur le masque partout où un digit "0" apparaît dais l'ensemble dé configurations de digits. Ce masque est surimposé à une couche photorésistante sur la "pastille mère", puis on expose le photorésistant à la lumière à travers le masque, les parties non exposées 15 du photorésistant étant ensuite éliminées, et les parties de circuits sous les languettes étant éliminées par décapage, ce qui laisse un circuit correspondant à la cfemande de l'utilisateur. Puisque la commande du client consiste en une configuration de digits simples, elle peut être sujette à une erreur accidentelle telle que la 20 perte ou interposition de un ou plusieurs digits. Afin d'éliminer cette possibilité, chaque commande est transmise par le le client au fabricant sous deux formats séparés et distincts. Par exemple, le premier format peut consister en une configuration de digits binaires codée en EBCDIC (Extended Binary Coded Décimal Interchange Code). Une configuration telle 25 que 1011001111000110... sera alors exprimée sous la forme F1FOF1F1FOFOF1F1F1F1FOFOFQF1F1FO ... , Le second format peut consister en une représentation héxadécimale des configurations de digits codées en EBCDIC. Par exemple, la représentation héxadécimale de la configuration ci-dessus serait B3C6 .. ^ et son codage 30 en EBCDIC serait C2F3C3F6 ... Les deux formats contiennent la même information sous des formes différentes et distinctes et jouent ainsi le rôle d'une sûreté contre une erreur accidentelle. Par exemple, si l'on interposait le second et le troisième digit de la configuration traitée sans détection, le premier format devrait 35 se lire F1F1F0F1 ... et le second format devrait devenir C4F3 ... . Une telle altération est presque impossible sur des lignes qui sont protégées par des contrôle de parité et d'addition. En se référait au dessin, les deux formats définissent la commande du client en 1 et 2 sont reçus par le fabricant et sont immédiatement compa-40 rés en 3 afin de s'assurer que le contenu, des deux informations est identique. 71 37752 3 2115167 La comparaison consiste à décoder chaque configuration en une série de digits et à comparer les digits correspondant un à la fois. Si la comparaison indique une non-identité, la commande est rejetée en 4 et l'on demande au client de retransmettre la commande. Si les deux formats valides sont acceptés ^ par le fabricant, on utilise un format pour construire un produit et l'on utilise l'autre format comme référence constante pour s'assurer de l'intégrité de toutes les opérations ultérieures de fabrication. On traite les données du premier format en 5 avec un programme appelé post-processeur de table lumineuse Drogrammable pour engendrer un jeu de 10 cartes de programme apoelé code de traçage général en 6. Ce dernier spécifie une série de signaux pour commander une table lumineuse programmable représentée en 7. La table lumineuse engendre sur une plaque photographique l'ensemble des languettes correspondant au masque qui doit être utilisé pour fabriquer le circuit intégré. L'image possède dix fois la taille réelle et le masque 15 est réalisé à partir de la plaque à l'aide d'une résolution photographique classique utilisant la technique arrêt et répétition. La plaque exposée à l'aide de la table lumineuse programmable est alors agrandie à cent fois sa grandeur nature en 8. Le second format a été traité par un programme auquel on se réfère 20 en 9 sous la forme d'un post-processeur IBM 1627 qui convertit le second format en signaux d'entrée du traceur pour commander un traceur IBM 1627 représenté en 11. Ce dernier engendre alors un agrandissement de cent fois la taille réelle de l'ensemble des languettes désignées par le second format. Cet agrandissement est effectué sur du mylar translucide et est représenté 25 en 12. Les deux modèles engendrés en 8 et 12 sont alors comparés en 13 en superimposant le modèle de mylar sur l'autre modèle pour s'assurer de la corrêspohdariÉe des languettes dans les"deux cas. Si elles correspondent, le circuit intégré est fabriqué à partir de la plaaue engendrée par la table lumineuse programmable en 7 pour fournir un produit èri 14. Ce produit 30 est alors vérifié "par un "système de test automatique indiqué en 15 par comparaison, représenté en 16, de produit avec le second format "spécifié originellement. L'identité entre le dessin spécifié et le produit fini est ainsi assuré. Bien que l'on ait décrit dans ce qui précède et représenté sur le 35 dessin, les caractéristiaues essentielles de l'invention appliquées à un mode de réalisation préféré de celle-ci, il est évident que l'homme de l'art peut y apporter toutes modifications de forme ou de détail qu'il juge utiles, sans pour autant sortir du cadre de ladite invention. 71 37752 4 2115167 REVENDICATIONS 1.- Procédé de fabrication de circuits intégrés caractérisé en ce que: on transmet, d'un premier emplacement à un deuxième emplacement, deux formats, séparés et différents, d'informations digitales, chacun d'eux 5 définissant le circuit intégré à fabriquer, on réalise, à partir d'un premier des deux formats, une première configuration initiale, on réalise, à partir du second format, une deuxième configuration initiale, # 10 on compare les deux configurations pour déterminer si elles correspondent. 2.- Procédé de fabrication de circuits intégrés caractérisé en ce que: on transmet, d'un premier emplacement à un deuxième emplacement, deux formats, séparés et différents, d'informations digitales, chacun d'eux définissant le circuit intégré à fabriquer, 15 on compare les deux formats, on réalise, à partir d'un premier des deux formats, une première configuration initiale, on réalise, à partir du second format, une deuxième configuration initiale, on compare les deux configurations pour déterminer si elles correspondent. 20 3.- Procédé de fabrication selon l'une des revendications 1 ou 2 caractérisé en ce que la première configuration initiale définit le masque qui doit être utilisé pour la fabrication du circuit intégré et en ce que la deuxième configuration initiale est représentative de ce même masque. 4.- Procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications 1 à 3 25 caractérisé en ce que les configurations initiales réalisées à partir des deux formats sont agrandies. 5.- Procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce qu'en outre: on fabrique un circuit intégré selon les informations du premier format, 30 on compare le circuit intégré Fabriqué avec les informations du second format. 6.- PRocédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que le premier emplacement est la situation géograde phique d'un client et le deuxieme emplacement est une usine/fabrication.