Brevet FR2134511A1 — publié le 19721208

La présente invention concerne une ampoule en verre de silice, silice ou matière siliceuse semblable, qui est employée en particulier pour la mise en oeuvre d'opérations de diffusion dans la technique des semi-conducteurs. 5 Jusqu'à présent on employait pour la mise en oeuvre d'opérations de diffusion dans la technique des semi-conducteurs des ampoules en verre de siiice. Ces ampoules ont une forme cylindrique. Une des extrémités de ces ampoules est fermée par un fond arrondi. L'autre, extrémité est fermée en introduisant dans 1'ampoule,après l'avoir garnie avec la matière à traiter, 10 une pièce de fermeture en verre de silice, en forme de bouchon, et en fermant l'ampoule, après y avoir fait le vide, avec ladite pièce de fs-rmeture. Pour ces ampoules connues, le rapport espace utile/longueur totale de l'ampoule est peu intéressant. 15 laquelle le rapport espace utile/longueur totale de 1'ampcule est nettement augmenté-, par conséquent, l'espace utile est relativement plus grand pnur une même longueur d'ampoule. d'opérations de diffusion concernant .les semi-conducteurs par une ampoule 20 en verre de silice, silice ou matière siliceuse analogue et comportant un tronçon de tube destiné à recevoir la matière première, du fait que, selon l'invention, les extrémités de ce tube sont rabattues de manière à former un collet et que l'une des extrémités rabattues est fermée par un couvercle dont le bord est appliqué contre la partie rabattue du tube de manière à 25 être bloqué et à former un joint étanche aux gaz, ce couvercle comportant au minimum une tubulure alors que l'autre extrémité rabattue peut être fermée de manière étanche aux gaz par un fond. La réalisation selon l'invention de l'ampoule présente - compte non tenu de l'avantage qu'on dispose désormais d'un plus grand espace utile pour une même longueur d'ampoule que. dans le 30 cas des ampoules connues - l'avantage que la liaison étanche aux gaz du couvercle avec le bord rabattu du tube peut ê.tre réalisée par soudage de manière simple et que, même après avoir rempli l'espace utile dt la matière à traiter, le fond peut être soudé aussi facilement sur ]'autre extrémité rabattue du tube. Avec les ampoules connues, le soudage du corps de l'ampoule 35 et du bouchon de fermeture était très difficile à réaliser, si bien que les ampoules se brisaient fréquemment et que les liaisons entre le corps de l'ampoule et le bouchon enfoncé dedans n'étaient pas étanches. On a observé L'invention a pour objet la réalisation d'une ampoule pour Cet objet est atteint en particulier pour la mise en ->euvre 72 14712 2 2134511 qu'il était avantageux de donner au couverclt et au fond de l'ampoule selon l'invention la forme d'une calotte, en particulier d'une calotte sphérique. En outre, on préfère, en particulier dans h.- cas des f..ndâ et couvrait ^ en forme de calotte sphérique, que leur face bombée st.- trouve dans la 5 partie tubulai.re de l'ampoule. On obtient, grâce à. c.tte vc.s L i s.-jt ion du couvercle et du fond, des ampoules résistant part, icul i é r La figure représente un exemple de ré 11isation d'une amp, 10 La référence 1 désigne le tronçon tubulai.re de l'ampoule. Les deux extrémités 2, '5 de ce tronçon sont rabattues en formant un collet. Un couvercle 4 est placé contre l'extrémité 3 rabattue de manière à être bloqué et former un joint étanche aux gaz. Le couve relu -'i et l'extrémité rabattue 3 sont réunis 1 'uu à l'autre de préférence pat un joint soudé . 15 Le couvercle 4 comporte une tubulure 6 employée par exempit pour faire le vide dans l'ampoule. L'autre extrémité 2 de l'ampoule est fermée par un fond 7. Ce fond 7 est ensuite placé, sur l'extrémité, rabattue 2 du tube 1, après que la matière 3 (représentée en trait mixte, sur le dessin) a été mise en place dans l'ampoule. Ensuite, le fond 1 est réuni également à 20 l'extrémité 2 du tube par un joint soudé 9. On a observé, qu'il est avantageux de donner au couvercle 4 et au fond 7 la forme d'une calotte, en particulier sphérique, et - en fait - de faire pénétrer les faces bombées desdites calottes dans le tube 1. Cette forme de réalisation présente encore l'avantage qu'elle permet de maintenir une nacelle placée dans l'ampoulf, 25 et qui supporte les plaquettes de semi-conducteurs, à distance des joints soudés 5 et 9. De plus, cette forme de réalisation résiste bien aux efforts de pression. En cas de besoin, le fond 7 peut également comporter une tubulure 10, représentée en pointillé sur la figure. Kn particulier, une tubulure séparable,dans laquelle on place par exemple la source du produit 30 à diffuser, a donné de. bons résultats. Bien entendu, diverses modifications peuvent être apportées par l'homme de l'art aux dispositifs ou procédés qui viennent d'Être décrits uniquement à titre d'exemples non limitatifs, sans sortir du cadre de 1 1 invention. bad original 72 14712 3 2134511 REVENDICATIONS 1. Ampoule en verre de silice, silice ou matière siliceuse semblable, destinée en particulier à la mise en oeuvre d'opérations de diffusion intéressant les semi-conducteurs, avec un tube destiné à recevoir la matière première, caractérisée en ce que les extrémités du tube sont rabattues et une première extrémité ainsi rabattue est obturée par un couvercle dont le bord est appliqué contre le bord rabattu du tube par un joint étanche aux gaz et immobilisé, ce couvercle comportant au moins une tubulure, et la seconde extrémité rabattue peut être obturée d'une manière étanche aux gaz avec un fond. 2. Ampoule selon la revendication 1, caractérisée, en ce que le couvercle et le fond ont la forme d'une calotte sphérique. 3. Ampoule selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisée en ce que les parties convexes du couvercle et du fond pénètrent dans ledit tube. 4. Ampoule selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que le fond comporte une tubulure.