Brevet FR2095388A1 — publié le 19720211

L'invention concerne un dispositif semiconducteur intégré monolithique muni d'un corps semiconducteur comportant un groupe de transistors bipolaires, dont chacun présente une zone émettrice, une zone de hase et une zone collectrice, qui confinent à une surface du corps 5 semiconducteur, de façon que dans le corps saaiiconâactjstir la zone de hase entoure la zone émettrice et la zone collectrice la zone de hase, les zones émettrice et collectrice présentant un premier type de conduction et la zone de hase l'autre type de conduction, alors que le groupe comporte un premier sous-groupe et un second sous-groupe et les transistors 10 bipolaires du premier sous-groupe sont isolés de ceux du second sous-groupe, qui est constitué par des transistors bipolaires présentant une zone collectrice commune. Dans de tels dispositifs semiconducteurs connus, tous les transistors bipolaires du groupe se trouvent dans des îlots isolés, 15 c'est-à-dire des parties d'un premier type de conduction du corps semiconducteur confinant à la surface dudit corps et entourés dans celui-ci . par du matériau semiconducteur de l'autre type de conduction. Les îlots de ces dispositifs connus sont du genre fréquemment utilisée dans la technique de circuits intégrés et sont constitués par 20 des parties d'une couche épitaxiale présentant un premier type de conduction et séparées entre elles par des zones isolantes de l'autre type de conduction s'étendant sur toute l'épaisseur de la couche épitaxiale qui, elle, est appliquée sur un substrat semiconducteur de l'autre type de conduction. 25 L'invention vise entre autres à simplifier la structure d'un dispositif semiconducteur du genre mentionné dans le préambule de façon que le groupe de transistors bipolaires occupe moins d'espace, le rendement de la réalisation soit amélioré, un plus large choix concernant l'endroit des transistors du second sous-groupe soit possible et la 30 configuration de câblages à appliquer dans de tels dispositifs sur une couche isolante appliquée sur le corps semiconducteur puisse être simplifiée. A cet effet, un tel dispositif semiconducteur intégré monolithique conforme à l'invention est caractérisé en ce qu'un corps semi-35 conducteur comporte un substrat semiconducteur d'un premier type de conduction sur une surface duquel est appliquée une couche semiconduc-trice épitaxiale, également d'un premier type de conduction, et qui présente, sur au moins la majeure partie de son épaisseur, une résistivi-té plus basse que celle de la couche épitaxiale, vue à partir de la 40 surface opposée à celle sur laquelle est appliquée ladite couche épi- 71 22288 2 2095388 taxiale, le corps semiconducteur comporte au moins une couche enterrée de l'autre type de conduction-servant de zone isolante et s'étendant à partir de l'ambiance de la face de séparation comprise entre le substrat et la couche épitaxiale dans le substrat sur une partie de l'épaisseur de 5 ce dernier, la couche épitaxiale comporte des zones superficielles isolantes qui s'étendent jusqu'à ladite couche enterrée, de sorte que le corps semiconducteur comporte au moins une partie isolée d'un premier type de conduction confinant à la surface de la couche épitaxiale et entourée, dans le corps semiconducteur, par des zones isolantes et 10 chaque transistor du premier sous-groupe se trouve dans une telle partie isolée, alors que le substrat d'un premier type de conduction et une partie d'un premier type de conduction de la couche épitaxiale située à côté des parties isolées comportant les zones isolantes et confinant, sur toute son étendue, au substrat d'un premier type de conduction 15 appartiennent à la zone collectrice commune des transistors du second sous-groupe, les zones de base et émettrice de ces derniers transistors se trouvant entièrement dans ladite partie de la couche épitaxiale. Dans un dispositif semiconducteur conforme à l'invention, les transistors bipolaires du second sous-groupe ne sont donc pas appliqués 20 dans un îlot. Cela simplifie la structure du dispositif semiconducteur, ce qui se traduit par une augmentation du rendement, lors de la fabrication. Du fait que le transistor bipolaire second sous-groupe ne nécessite pas l'application de zones isolantes, l'encombrement est réduit. De plus, on dispose d'une plus grande liberté en ce qui concerne le 25 choix de l'endroit où doivent être disposés ces transistors, du fait qu« ces derniers ne sont pas appliqués dans un îlot, ce qui permet de simplifier le câblage assurant l'interconnexion des transistors de tout le groupe. ïïn conducteur électrique pour la zone collectrice commune des transistors du second sous-groupe peut être simplement connecté au sub- 30 strat à basse valeur ohmique, ce qui simplifie davantage ledit câblage. / Grâce à l'utilisation d'un substrat à valeur ohmique relativement basse et d'une couche épitaxiale à valeur ohmique relativement élevée, les transistors du second sous-groupe présentent une zone collectrice nn+ ou pp+, ce qui exerce un effet favorable sur les propriétés de ces tran-35 sistors. Pour les applications requérant une isolation électrique des transistors du premier sous-groupe, les transistors de ce sous-groupe peuvent être répartis sur plusieurs parties isolées d'un premier type de conduction du corps semiconductèur. 40 La zone collectrice d'un transistor bipolaire, du premier sous- 71 22288 3 2095388 groupe présente de préférence une couche enterrée d'un premier type de conduction, dont le dopage est plus élevé que celui d'une autre partie de la zone collectrice et qui s'étend au-dessous de la zone de hase du transistor. De ce fait, on réduit la résistance collectrice du transis-5 tor. Afin de réduire la résistance collectrice des transistors bipolaires du second sous-groupe, une forme de réalisation conforme à l'invention est caractérisée en ce que la zone collectrice commune des transistors bipolaires du second sous-groupe présente une couche enter-10 rée d'un premier type de conduction, dont le dopage est plus élevé que celui d'une autre partie de la zone collectrice commune appartenant à la couche épitaxiàle d'un premier type de conduction et qui s'étend au-dessous de la zone de base des transistors du second groupe et est située, sur au moins une partie de son épaisseur, dans la couche épi-15 taxiale et s'étend sur tout au plus une partie de l'épaisseur du substrat dans ce dernier. L'invention importe surtout pour des dispositifs semiconducteurs intégrés dans lesquels les deux sous-groupes des transistors bipolaires sont disposés dans un corps semiconducteur commun ininterrompu 20 et dans lesquels tous les transistors appliqués dans des îlots isolés (parties isolées, du corps semiconducteur) sont constitués par des transistors bipolaires. La description ci-après, en se référant aux dessins annexés, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. 25 La fig. 1 représente schématiquement une section d'une partie d'un premier exemple de réalisation d'un dispositif semiconducteur conforme à 1'invention. Les figures 2 et 3 montrent chacune un stade de la fabrication Les figures 4» 5 et 6 montrent chacune une variante du dispo-30 sitif semiconducteur représenté sur la fig. 1. Sur les figures, les pièces correspondantes sont désignées par les mêmes chiffres de référence. Le dispositif semiconducteur intégré monolithique, dont la fig 1 représente une partie, présente un corps semiconducteur 1 muni d'un 35 groupe de transistors bipolaires auxquels appartiennent les transistors T.j, Tg» T3 ^4» ^es zones émettrices 4» 5» 6 et 7» les zones de base 11, 12, 13 et 14 et les zones collectrices 8, 9 et 10 de ces transistors confinent à la surface 18 du corps semiconducteur 1 de façon qu'une zone de base entoure une zone émettrice et une zone collectrice une zone de 40• base dans le corps semiconducteur. Les zones émettrices 4» 5» 6 et 7 et 71 22288 4 2095388 les zones collectrices 8, 9 et 10 sont d'un premier type de conduction, dans le présent exemple de réalisation du type n, et les zones de base 11, 12, 13 et 14 de l'autre type de conduction, donc du type p. Le groupe de transistors comporte un premier sous-groupe auquel appartiennent les 5 transistors et T2 et un second sous-groupe auquel appartiennent les transistors T, et T.. 3 4 Afin de faciliter la compréhension, on a admis ci-après que le premier sous-groupe ne comporte que les transistors et et le second sous-groupe les transistors et T^. Toutefois, il est évident qu'un 10 sous-groupe ou les deux peut ou peuvent comporter un plus grand nombre de transistors ou seulement un transistor. Les transistors bipolaires et du premier sous-groupe sont isolés des transistors et du second sous-groupe et les transistors Tj et du second sous-groupe présentent une zone collectrice commune 15 10. Conformément à l'invention, le corps semiconducteur 1 comporte un substrat semiconducteur du type n 2 sur une surface 16 duquel est appliquée une couche épitaxiale 3 présentant le même "type de conduction mais une résistivité plus élevée. Dans le présent exemple de réalisation, 20 le substrat de type n 2 présente sur toute son épaisseur une résistivité plus basse que celle de la couche épitaxiale 3» vue à partir de la surface 2, qui est opposée à la surface 16 sur laquelle est appliquée la couche épitaxiale 3> La couche épitaxiale 3 est donc une couche du type n. Le corps semiconducteur comporte une couche enterrée du type p 15 25 servant de zone isolante et s'étendant & partir de l'ambiance de la face de séparation 16 comprise entre le substrat 2 et la couche épitaxiale 3 dans le substrat 2 sur une partie de l'épaisseur dudit substrat. La couche épitaxiale 3 comporte des zones superficielles isolantes 17» qui s'étendent jusqu'à la couche enterrée 15» Ces zones 17 peuvent consister 30 entièrement ou partiellement Œ-1311 matériau isolant ou comme dans l'exemple dont il s'agit être formées par des zones superficielles du type p, de sorte que le corps semiconducteur 1 comporte les parties isolées du type n 8, 9» qui confinent à la surface 18 de la couche épitaxiale 3 et qui sont entourées de zones isolantes du type p 15» 17 dans le corps 35 semiconducteur 1. Les transistors et Tg du premier sous-groupe se trouvent dans les parties isolées 8, 9» constituant ainsi les zones collectrices 8, 9 des transistors et Tg. Le substrat du type n 2 et une partie 20 du type n de la couche épitaxiale 3 confinant sur toute son étendue au substrat du type ri 2 et située à côté des parties isolées 40 8, 9 munies des zones isolantes 15» 1.7 appartiennent à la zone collec 71 22288 5 2095388 trice commune du type n 10 des transistors et du second sous-groupe. Les zones de base et émettrice 13, 14 et 6, J sont entièrement situées dans la partie.du type n 20 de la couche épitaxiale 3, Les transistors bipolaires et du premier sous-groupe 5 sont répartis sur deux parties isolées du type n 8, 9 du corps semiconducteur 1 et sont donc également isolés entre eux. Dans le présent exemple de réalisation, les zones collectrices 8, 9 cLes transistors T^ et du premier sous-groupe comportent une couche enterrée du type n 21, respectivement 22, dont le dopage est plus 10 élevé que celui d'une autre partie 23, respectivement 24 des zones collectrices 8, 9. Les parties 23 et 24 des zones collectrices 8, 9 confinent à la surface 18 de la couche épitaxiale 3• De ce fait, la résistance collectrice de ces transistors est abaissée. Les couches enterrées 21 et 22 s'étendent au-dessous de la zone de base 11, 12» 15 La zone collectrice commune 10 des transistors T, et T, du 3 4 second sous-gr.oupe comporte également une couche enterrée du type n 25, dont le dopage est plus élevé que celui d'une autre partie du type n 26 de la zone collectrice commune 10 appartenant à la couche épitaxiale 3* Cette partie 26 touche à la surface 18 de la couche épitaxiale 3« La 20 couche enterrée 25 s'étend au-dessous de la zone de base 13» 14 des transistors et et est située dans la couche épitaxiale 3 sur une partie de son épaisseur. La couche enterrée 25 s'étend en outre sur une partie de l'épaisseur de substrat 2 dans ce dernier. Grâce à la couche enterrée 25, la résistance collectrice des 25 transistors et est réduite et leurs propriétés correspondent mieux à celles des transistors et ce qui peut être désirable. Si cela n'importe pas pour l'application à laquelle est destiné le dispositif semiconducteur, la couche enterrée du type n 25 peut être omise et l'on peut appliquer par exemple seules les couches enterrées du type p 21, 22. 30 Le dispositif semiconducteur représenté sur la fig. 1 se réa lise entièrement à l'aide des processus usuels dans la technique des semiconducteurs, alors que les zones et les couches des transistors, tout comme les zones isolantes, peuvent présenter les dimensions usuelles. C'est pour cette raison que la réalisation du dispositif semicon-35 ducteur représenté sur la fig. 1 ne sera décrite qu'à grands traits. On part d'un substrat de silicium du type n 2 présentant une résistivité d'environ 0,01 ohm.cm, voir la fig. 2. Dans le substrat 2 est appliquée une zone superficielle du type p 15a, par exemple par diffusion de bore. La concentration superficielle de la zone 15a est de 1 Q g 40 10 atomes de bore par cm par exemple. Dans la zone superficielle 15a 71 22288 6 2095388 et à côté de cette zone sont appliquées les zones superficielles du t n 21a, 22a et 25a, par exemple par diffusion d'arsenic et dans une cc - 20 3 centration superficielle de par exemple 10 atomes d'arsenic par cm . Les zones 21a, 22a et 25a sont notablement plus minces que la zone 15**-* 5 Sur le substrat 2 est appliquée une couche de silicium épitax iale du type n 3» par exemple une épaisseur de 6 microns et une résisri-vité de 0,6 ohm.cm, voir la fig. 3« Une diffusion de par exemple du Tiorr-e dans la surface 18 de la couche épitaxiale 3 permet d'obtenir les zoiwo superficielles isolantes du type p 17 • Lors de l'application de la cc 10 3 et des zones 17» il se produit une diffusion des impuretés à l'aide desquelles sont appliquées les zones 15&» 21a, 22a et 25», de sorte o.ue ces dernières épousent les formes des zones 15, 21, 92 et 25 représer, tées sur la fig. 3« Les zones 17 s'étendent jusqu'à la zone 15 et isolent les 15 parties du type n 8,9 de la partie du corps semiconducteur 1 située hors des zones 17, 15» La jonction comprise entre la couche épitaxiale et * substrat est représentée schématiquement par la face de séparation 16. Puis, on applique, par diffusion de bore par exemple, les zonea de base du type p 11, 12, 13 et 14 (voir la fig. 1) et par dif-20 fusion de phosphore par exemple, les zones émettrices du type n 4» 5» ^ et 7. Les zones collectrices de contact du type n 27 et 28 des transistors et dont le dopage est plus élevé que celui des parties 23, 24 des zones collectrices 8, 9 peuvent également être appliquées r r diffusion de phosphore et de préférence simultanément avec l'applicat"1"-, 25 des zones émettrices 4» 5» 6 et 7• La concentration superficielle des 18 3 zones de base est par exemple de 10 atomes de bore par cm et les concentrations superficielles des zones émettrices et des zones collet - 20 3 trices de contact de 10 atomes de phosphore par cm . La couche épitaxiale 3 est munie d'une façon usuelle d'une 30 couche isolante 29. Dans le présent exemple de réalisation, la couche ly est en oxyde de silicium et s'obtient par oxydation de la couche épitaxiale 3» La couche isolante 3 peut servir, d'une façon usuelle, de masque de diffusion pendant l'application des zones 4» 5» 6, 7» 11» 12, 13» 14, 17» 27 et 28 et sont appliquées à cet effet avant l'application 55 de ces zones. C'est ainsi que la couche isolante 29 peut être réalisée nitrure de silicium et appliquée après diffusion. Les conducteurs 30 peuvent être connectés à des zones des transistors , Tg» et par l'intermédiaire d'ouvertures ménagées dans la couche isolante 29» Ces conducteurs s'étendent jusqu'au-dessus d» 40 la couche isolante 3 et constituent sur cette derniere au moins une BAD ORIGINAL 71 22288 7 2095388 partie d'une configuration de câblages formant les connexions électriques entre plusieurs parties du dispositif semiconducteur. Les conducteurs 30 Sont par exemple réalisés en aluminium. Le dispositif semiconducteur a une structure simple du fait 5 que seuls les transistors et Tg sont appliqués dans des îlots isolés et il peut donc être réalisé avec un rendement favorable en grandes séries. De plus, les transistors T^, T^, qui ne sont pas appliqués dans un îlot isolé, occupent moins d'espace que dans le cas où ils seraient appliqués dans un îlot isolé, et de plus, on est plus libre en ce qui 10 concerne le choix de l'endroit de ce transistor, ce qui est avantageux si l'on veut obtenir sur la couche isolante 29 un câblage aussi simple que possible, présentant de courtes connexions. Une connexion électrique avec la zone collectrice commune 10 des transistors T, et T„ est reliée au substrat à basse valeur ohmique £ 15 du type n 2 et est représentée sur la fig. 1 par le chiffre de référence 31. Cette connexion 31 peut être constituée par une plaque conductrice sur laquelle est fixé, par soudage ou alliage, le substrat 2. S'il faut munir la zone collectrice 10 au-dessus du dispositifsemiconducteur d'un conducteur de connexion, la partie 26 de la zone collectrice commune 10 20 peut être munie d'une zone collectrice de contact du type n du genre de celui des zones collectrices de contact 27 et 28 auxquelles est relié le conducteur de connexion par l'intermédiaire d'une ouverture ménagée dans la couche isolante 29. L'utilisation d'un substrat 2, dont la résistivité est plus 25 basse que celle de la couche épitaxiale 3 permet d'obtenir, en l'absence de la couche enterrée 25, une zone collectrice commune rm+ des transistors Tj et T^, qui présentent une basse résistance collectrice. Pour un grand nombre d'applications, il est possible d'appliquer un potentiel de référence aux bornes du substrat du type n. A cet effet, le substrat 30 est par exemple mis à la terre. Si une application du dispositif semiconducteur représentéesur la fig. 1 permet d'utiliser une résistance collectrice en série plus élevée, on peut omettre les couches collectrices enterrées 21, 22 et 25. Ainsi, on obtient une structure comme celle représentée sur la fig. 35 4« Il peut être désirable de choisir une plus épaisse couche épitaxiale 3 et/ou une plus basse concentration en impuretés dans le substrat 2, du moins près de la face de séparation 16 et dans la couche enterrée 15» La fig. 5 montre une forme de réalisation qui diffère légèrement de celle représentée sur la fig. 1 et dans laquelle la couche 40 épitaxiale du type n 3 est constituée par deux couches épitaxiales 71 22288 2095388 partielles du type n 3a et 3b présentant à peu près la même résistivité, alors que les couches collectrices enterrées du type n 21, 22 et 25 s'étendent des deux côtés de la face de séparation 40 entre ces couches partielles 3a et 3^« 5 Lors de la réalisation, on n'applique dans le substrat 2 que la zone superficielle du type p 15a et non les couches superficielles de type n -21a, 22a et 25a (voir également la fig. 2). Ces couches superficielles du type n sont appliquées dans la couche partielle épitaxiale 3a, après l'application de cette couche partielle, après quoi on appli-10 que la couche partielle épitaxiale 3b. Du reste, la réalisation du dispositif représenté sur la fig. 5 s'effectue d'une façon analogue à. celle du dispositif représenté sur la fig. 1 . Du fait que dans l'exemple de réalisation représenté sur la fig. 5» les couches enterrées 21 et 22 sont appliquées de façon à être 15 séparées de la couche enterrée 15» on est plus libre en ce qui concerne le choix des impuretés et leur concentration pour ces couches. Du reste, les couches 21 et 22 peuvent confiner â la couche 15» Dans cet exemple de réalisation aussi, il e'st possible de n'appliquer que les couches enterrées du type n 21, 22 et d'omettre la 20 couche enterrée du type n 25. De plus, on peut appliquer pour les transistors Tj et une autre couche collectrice enterrée du type n, qui s'étend également au-dessous des zones de base 13, 14 et s'obtient à partir d'une zone superficielle du type n, qui est appliquée dans le substrat 2 avant l'application de la couche partielle épitaxiale 3&« 25 Cette autre couche enterrée peut former une épaisse couche enterrée avec la couche enterrée 25, afin de réduire la résistance collectrice des transistors et T^. Il est également possible de n'appliquer que cette autre couche enterrée pour les transistors T^ et T^. Pour les exemples de réalisation décrits ci-dessus, on peut 30 partir d'un substrat de type n 2 comportant, outre une impureté provoquant une conduction de type n, également une impureté provoquant une conduction de type p, qui diffuse plus lentement que l'impureté provoquant la. conduction de type n. La couche enterrée de type p 15 s'obtient dans ce cas par exo-diffusion locale de façon que l'impureté du type 35 n exo-diffuse plus rapidement que l'impureté du type p, de sorte que cette dernière impureté va dominer dans une couche superficielle. La fig. 6 montre un; exemple de réalisation qui ne diffère de celui représenté sur la fig. 1 que par le fait que, vu à partir de sa surface 42 opposée à la surface 16 sur laquelle est appliquée la couche 40 épitaxiale 3, le substrat 2 ne présente une plus basse résistivité que 71 22288 9 2095388 la couche épitaxiale 3 que sur une partie d de son épaisseur D. Ainsi, le substrat 2 comporte une couche 2b, dont la résistivité est supérieure à celle de la partie sous-jacente 2a. La jonction comprise entre la couche 2b et la partie 2a est représentée schématiquement par la face de 5 séparation 50. La couche enterrée du type p 15 est en majeure partie appliquée dans la couche 2b à résistivité plus élevée, alors que les couches enterrées du type n 21, 22 et 25 s'étendent sur une partie de leur épaisseur dans la couche 2t>. Pour la réalisation de cet exemple ' , on part 10 d'un substrat du type n 21, qui comporte une couche superficielle du type n 2b, dont la résistivité est supérieure à celle de la partie sous-jacente du type n 2a du substrat 2. Dans la couche 2b sont appliquées les zones superficielles du type p et du type n du genre représenté sur la fig. 2, après quoi la réalisation s'effectue d'une façon analogue à 15 celle décrite pour la réalisation du dispositif semiconducteur représenté sur la fig* 1. La couche 2b du substiat 2 s'obtient par exo-diffusion ou par dépôt épitaxial de matériau semiconducteur sur la partie 2a. La couche 2b présentant une résisitivité supérieure permet un 20 plus large choix pour les concentrations en impureté3des couches enterrées. La couche 2b ne présente pas nécessairement une résistivité plus élevée que celle de la couche épitaxiale 3» La résistivité de la couche 2b peut être égale ou légèrement supérieure à celle de la couche épitaxiale 3. 25 Au besoin, la couche enterrée 25 peut être omise ou être com binée avec une seconde couche enterrée du type n, qui s'étend à partir de la surface 50, au moins dans la direction de la couche enterrée 25 et dont le dopage est plus élevé que celui de la partie 26 de la couche épitaxiale 3« De plus, il est possible d'omettre toutes les couches 30 enterrées du type n. D'une façon générale, la couche enterrée du type p 15 s'étend en pratique jusqu'au moins la partie 2a. Finalement, il y a lieu de noter que les zones isolantes 17» 25 peuvent être munies d'un conducteur de connexion, afin d'appliquer un potentiel aux bornes de ces zones de façon qu'une jonction pn touchant 35 à cette zone est polarisée da.ns le sens de blocage et que l'isolation requise soit ainsi obtenue. Toutefois, selon un autre aspect de l'invention, les zones isolantes sont de préférence flottantes, ce qui veut dire qu'elles ne présentent pas de connexion ou de liaison permettant d'y appliquer un potentiel autre que celui qu'accepteraient ces zones 40 annu cette connexion ou liaison. Gela est surtout d'importance si le 7! 22288 10 2095388 substrat â basse valeur ohmique 2 constitue la ligne d'alimentation positive du dispositif semiconducteur intégré. D'une façon générale, cela signifie en pratique que les zones superficielles isolantes 17 font entièrement recouvertes par la couche isolante 29. Les zones isolantes 5 flottantes 17» 25 prouvent que la capacité composée formée par les capacités en série des jonctions pn limitant les zones isolantes 17, est petite et pratiquement constante, au moins dans une zone importants de différences de potentiel se produisant entre les bornes des zone:-isolantes. Ladite capacité composée est pratiquement constante du fait 10 que dans le cas d'une variation de différence de potentiel se produicast aux bornes des zones isolantes, la capacité d'une des jonctions pn limitant ces zones augmente et celle de l'autre diminue ou inversement. Oîiï est provoqué du fait que l'une de ces jonctions pn est polarisée en s indirect et l'autre en sens indirect. 15 D'une façon générale, on peut poser que dans un dispositif semiconducteur intégré comportant des zones isolantes en forme de cuv-at-te de l'autre type de conduction qui isolait une partie superficielle d'un premier type de conduction d'une autre partie d-'un premier type de conduction du corps semiconducteur, il est avantageux que les transistors 20 sçÊe$fc flottant s. Il est évident que l'invention n'est pas limitée aux formes de réalisation décrites ci-rdessus et que le technicien pourra en réaliser un grand nombre de variantes sans sortir du cadre de l'invention. C'est ainsi que la partie du type n 20 de la couche épitaxiale 3» qui 25 appartient à la zone collectrice commune des transistors et peut être constituée par deux parties qui sont séparées entre elles par les parties isolées 8 et 9 comportant les zones d'isolation 15 et 17 et qui ne sont reliées entre elles que par l'intermédiaire du substrat du t-- ? n 2 de façon que les zones de base et émettrice du transistor SOteUi; 30 appliquées dans l'une de ces parties séparées et les zones de base et émettrice du transistor 4 dans l'autre desdites parties. Dans ce cas; la couche enterrée 25 est également constituée par deux parties séparées, dont l'une est située au-dessous de la zone de base du transis"cr Tj et l'autre au-dessous de la zone de base du transistor T^. L'appliea-35 tion des transistors et dans des parties séparées dé 3.a couche épitaxiale peut être d'importance si l'on veut obtenir un câblage simple sur la couche isolante 29. Les deux sous-groupes peuvent contenir entre autres un plus gèand^nombre que deux transistors bipolaires, et d'a-tr-^s composants peuvent être prévus, tels que des résistances et des dici-c, 40 et dans ce cas* l'invention importe surtout pour les dispositifs ser.i- BAD ORIGINAL 71 22288 11 2095388 conducteurs dans lesquels les transistors à appliquer dans des parties isolées ne sont constitués que par des transistors bipolaires. Des matériaux semiconducteurs autres que le silicium, par exemple un composé III,V, peuvent être utilisés d'une façon usuelle avec des impuretés 5 convenant à cet effet. Dans les exemples de réalisation décrits ci-dessu^ la conduction du type n peut être remplacée par une conduction du type p et inversement. Dans les exemples de réalisation décrits ci-dessus, on peut appliquer d'une façon simple un transistor pnp en appliquant une partie du type n isolée, qui constitue la zone de base dudit transistor, 10 les zones isolantes entourant la partie du type n constituant la zone collectrice du type p du transistor pnp et en appliquant dans l'autre partie isolée une zone superficielle du type p, qui constitue la zone émettrice du transistor pnp. Les couches enterrées 21 et 22 ne confinent pas nécessairement aux zones superficielles isolantes 17 et peuvent 15 être situées à quelque distance de ces dernières. 71 22288 12 2095388 REVTOICATIONSi T« Dispositif semiconducteur intégré monolithique muni d'un corps semiconducteur comportant un groupe de transistors bipolaires, dont chacun présente taie zone émettrice, une zone de base et une zone collec-5 trice, qui confinent à une surface du corps semiconducteur, de façon que dans le corps semiconducteur la zone de base entoure la zone émettrice et la zone collectrice la zone de base, les zones émettrice et collectrice présentant un premier type de conduction et la zone de base l'autre type de conduction, alors que le groupe comporte un premier sous-10 groupe et un second sous-groupe et les transistors bipolaires du premier sous-groupe sont isolés de ceux du second sous-groupe, qui est constitué par des transistors bipolaires présentant une zone collectrice commune, caractérisé en ce qu'un corps semiconducteur comporte un substrat semiconducteur d'un premier type de conduction sur une surface duquel est 15 appliquée une couche semiconductrice épitaxiale, également d'un premier type de conduction, et qui présente, sur au moins la majeure partie de son épaisseur, une résistivité plus basse que celle de la couche épitaxiale, vue à partir de la surface opposée à celle sur laquelle est appliquée ladite couche épitaxiale, le corps semiconducteur comporte au 20 moins une couche enterrée de l'autre type de conduction servant de zone isolante et s'étendant à partir de l'ambiance de la face de séparation comprise entre le substrat et la couche épitaxiale dans le substrat sur une partie de l'épaisseur de ce dernier, la couche épitaxiale comporte des zones superficielles isolantes qui s'étendent jusqu'à ladite couche 25 enterrée, de sorte que le corps semiconducteur comporte au moins une partie.isolée d'un premier type de conduction confinant à la surface de la couche épitaxiale et entourée, dans le corps semiconducteur, par des zones isolantes, et chaque transistor du premier sous-groupe se trouve dans une telle partie isolée, alors que le substrat d'un premier type 30 de conduction et une partie d'un premier type de conduction de la couche épitaxiale située à cort# des parties isolées comportant les zones isolantes et confinant, star toute son étendue, au substrat d'un premier type de conductioa appartiennent S la zone collectrice commune des transistors d^jj. second sous-groupe, les zones de base et émettrice de 35 c®s dernier® trajasistors se trouvant entièrement dans ladite partie de la couche ^itaxiale. 2. 1-ispoaitif semiconducteur intégré monolithique selon la reven dication t, caractérisé en ce que les transistors bipolaires du premier sous-groupe sont répartis sur'plusieurs parties isolées d'un premier 40 type de conduction du corps semiconducteur. 71 22288 13 2095388 3« Dispositif semiconducteur intégré monolithique selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la zone collectrice d'un transistor bipolaire du premier sous-groupe présente de préférence une couche enterrée d'un premier type de conduction, 5 dont le dopage est plus élevé que celui d'une autre partie de la zone collectrice et qui s'étend au-dessous de la zone de base du transistor. 4-0 Dispositif semiconducteur intégré monolithique selon la revendication 3S caractérisé en ce que la zone collectrice 10 commune des transistors bipolaires du second sous-groupe présente une couche enterrée d'un premier type de conduction, dont le dopage est plus élevé que celui d'autre autre partie de la zone collectrice commune appartenant à la couche épitaxiale d'un premier type de conduction et qui s'étend au-dessous de la zone 15 de base des transistors du second groupe et est située, sur au moins une partie de son épaisseur, dans la couche épitaxiale et s'étend sur tout au plus une partie de l'épaisseur du substrat dans ce dernier» 5. Dispositif semiconducteur intégré monolithique, selon 20 l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que tous les transistors disposés dans des parties isolées d'un premier type de conduction du corps semiconducteur sont des transistors bipolaires. 6. Dispositif semiconducteur intégré monolithique selon 25 l'une des revendications 1 à 5» caractérisé en ce que les zones d'isolation sont flottantes. 7. Dispositif semiconducteur intégré monolithique selon la revendication 6, caractérisé en ce que les zones isolantes superficielles présentent l'autre type de conduction et qu'elles 30 sont entièrement recouvertes d'une couche isolante.