Brevet FR2079433A1 — publié le 19711112

L'invention concerne un dispositif semiconducteur comportant un corps semiconducteur dont une surface est recouverte au moins partiellement d'une couche isolante, ce corps semiconducteur ayaïxt au moins une zone de base, d'un premier type de 5 conduction, affleurant la surface et entourant dans le corps au moins une zone d'émetteur, d'un deuxième type de conduction, qui par l'intermédiaire d'une fenêtre de contact d'émetteur ménagée dans la couche isolante est connectée électriquement à une couche métallique qui à l'extérieur de la fenêtre se raccorde à une 10 extrémité d'une résistance série formée par une couche de matériau résistant alors que l'autre extrémité de la résistance est connectée à un conducteur de connexion. L'invention concerne également un procédé permettant la fabrication d'un tel dispositif. 15 Les dispositifs semiconducteurs tels que décrits ci- dessus sont connus et généralement utilisés sous la forme de transistors, bien que lesdites zones d'émetteur et de base puissent appartenir également à d'autres dispositifs semiconducteurs, par exemple des diodes, des thyristors, des structures 20 formées par cinq couches de type de conduction alterné, et d'autres composants de ce genre. Le brevet américain No. 3.225.261 par exemple décrit des transistors haute fréquence, du genre précité, équipés d'une résistance série dans la connexion d'émetteur. Dans de tels transistors, une zone de base 25 comporte généralement un grand nombre de zones d'émetteur interconnectées, tandis qu'il existe généralement aussi plusieurs zones de base. La couche de matériau résistant (couche résistante) qui est alors branchée en série avec une zone d'émetteur, sert principalement à répartir uniformément le courant d'émet-30 teur sur les différentes zones d'émetteur, afin d'empêcher pour ces transistors entre autres ce que l'on appelle le second claquage. ("Second breakdown"). Dans ces dispositifs semiconducteurs, la couche résistante est utilisée exclusivement pour former lesdites résis-35 tances série. Comme couche résistante, on peut utiliser un matériau présentant une résistivité relativement élevée, mais il est possible aussi d'utiliser une couche convenablement conductrice, par exemple une couche métallique, dont l'épaisseur toutefois doit alors être suffisamment faible afin d'obtenir 40 la valeur de résistance série requise. 71 04774 -2- 2079433 L'invention repose entre autres sur l'idée que dans de nombreux cas, outre pour lfélaboration de ladite résistance série, le matériau de la couche résistante peut être utilisé à de tout autres fins sur d'autres endroits du dispositif, de 5 sorte que lors de la fabrication de celui-ci, il est possible d'atteindre un but multiple sans devoir effectuer des stades de fabrication additionnels. Par conséquent, conformément à l'invention, un dispositif semiconducteur du genre mentionné dans le préambule est 10 remarquable en ce que, outre d'être utilisée pour former la résistance série, la couche résistante est élaborée également sur d'autres endroits du corps, et y est entièrement recouverte d'une couche métallique. Dans le dispositif conforme à l'invention, suivant le 15 matériau choisi, la couche résistante peut par exemple servir aussi de couche intermédiaire (à résistance négligeable dans le sens de son épaisseur) pour établir une meilleure adhérence entre la métallisation et la couche isolante, ou entre la métallisation et le corps semiconducteur, ou de couche de 20 séparation entre deux métaux ne pouvant être mis en contact que très difficilement. La couche résistante peut être utilisée également pour empêcher le court-circuitage d'une jonction p-n, ce qui sera; décrit plus en détail ci-aprSs. Dans cet ordre d'idées, un mode de réalisation préféré 25 du dispositif conforme à l'invention est remarquable en ce que, outre à l'endroit de ladite résistance série, la couche résistante est élaborée également dans la fenêtre de contact d'émetteur. Dans cette fenêtre, ladite couche résistante peut servir par exemple pour perfectionner le contact entre la zone d'émet-30 teur et ladite couche métallique. Au besoin, la couche résistante peut être élaborée également sous la couche métallique entre la résistance série et la zone d'émetteur sur la couche isolante, par exemple pour établir une meilleure adhérence entre la couche métallique et la couche isolante. 35 XI est très avantageux lorsque l'invention est mise à profit pour la protection d'une jonction émetteur-base. Souvent, notamment lorsqu'il s'agit de transistors pour fréquences élevées, cette jonction p-n est située à une très faible distance du bord de la fenêtre de contact d'émetteur. En effet, ^0 lors de la fabrication de ces transistors, la fenêtre de 71 04774 -3- 2079433 diffusion d'émetteur est souvent utilisée également comme fenêtre de contact d'émetteur dans la couche isolante généralement en oxyde de silicium, alors qu'à travers cette fenêtre, l'émetteur est diffusé de façon à pénétrer très peu, alors qu'ensuite, 5 on évacue par un décapage de très courte durée, la couche, généralement une couche d'oxyde, qui pendant cette diffusion s'est formée dans la fenêtre sur la surface semiconductrice. Une zone d'émetteur obtenue de la sorte est connue sous le nom de "washed-out emitter". Pour une telle zone d'émetteur, la distance 10 entre le bord de la fenêtre de contact d'émetteur ét la jonction émetteur-base correspond environ à la profondeur sur laquelle pénètre la diffusion. Cette distance est tellement faible que lors du dépôt par évaporation de la couche de contact d'émetteur dans la fenêtre, et en présence des accroissements de tempéra-15 .ture se produisant pendant et après ce dépôt ainsi que lors du montage finalç cette couche de contact, par exemple une couche d'aluminium, court-circuite la jonction émetteur—base par l'attaque soit de l'oxyde ou du matériau semiconducteur, soit de ces deux substances. Dans cet ordue d'idées, un mode de réalisa-20 tion préféré très important du dispositif conforme à l'invention est remarquable en ce que la couche résistante sfétend le long du bord entier de la fenêtre de contact d'émetteur et s'y raccorde à la couche isolante. Cette couche résistante, dont le matériau est avantageusement le titane, protège la couche iso-25 lante et le matériau semiconducteur contre l'attaque et empêche ledit court-circuit. Dans un cas se produisant très souvent en pratique, on choisit l'aluminium comme matériau constituant la couche métallique, tandis que le corps semiconducteur est en silicium et la couche isolante en oxyde de silicium qui, comme 30 le silicium, est attaqué facilement par l'aluminium. Lorsqu'on utilise une couche résistante en titane, on obtient pour le mode de réalisation préféré cité en dernier lieu une protection suffisante de la jonction émetteur-base. L'invention concerne également un procédé très effi-35 cafie permettant la fabrication du dispositif semiconducteur décrit. Ce procédé, suivant lequel on élabore d'abord dans le corps la zone d'émetteur et la zone de base, alors qu'à la surface du corps on forme une couche isolante dans laquelle on ménage la fenêtre d'émetteur, est remarquable en ce qu'ensuite, b0 on élabore une couche résistante dont une partie se trouve dans 71 04774 2079433 la fenêtre d'émetteur et une autre partie à l'extérieur de celle-ci, cette couche résistante étant ensuite couverte partiellement d'une couche métallique dont line première partie se trouve au moins partiellement dans la fenêtre d'émetteur tandis qu'une 5 seconde partie, non cohérente avec la première partie, est élaborée à l'extérieur de la fenêtre d'émetteur et sert de conducteur de connexion pour la zone d'pmetteur, alors qu'entre les première et seconde parties de ladite couche métallique s'étend une partie de couche résistante qui n'est pas munie de 10 la couche métallique et contacte les deux parties de celle-ci. Ce procédé permet d'obtenir le dispositif conforme à l'invention sans qu'il soit nécessaire d'effectuer des stades additionnels de diffusion ou d'alignement, indispensables lorsqu'on met en oeuvre le procédé connu pèur la fabrication des 15 dispositifs connus. Suivant un mode de réalisation préféré, on met alors en oeuvre le procédé permettant l'obtention d'un "washed-out emitter" décrit ci-dessus, procédé au cours duquel on diffuse dans le corps d'abord la zone de base tandis qu'ensuite, à 20 travers une ouverture dans la couche isolante, on diffuse la zone d'émetteur, alors que la fenêtre de contact d'émetteur est élaborée ensuite par décapage poussé jusqu'à, découvrir entièrement la partie superficielle - située dans 1'ouverture - de la zone d'émetteur. 25 La fenêtre de contact de base peut être élaborée dans plusieurs sèades de la fabrication. De préférence toutefois, avant d'élaborer la couche résistante, on forme dans la couche isolante la fenêtre de contact de base tandis qu'ensuite, à l'extérieur de cette fenêtre, on élabore la couche résistante, 30 la couche métallique étant élaborée ensuite de telle façon qu'une partie de celle-ci se raccorde à la zone de base par l'intermédiaire de la fenêtre de contact de base. Ce faisant, il n'existe donc pas de matériau de la couche résistante dans la fenêtre de contact de base entre la zone de base et la couche métallique, 35 ce qui généralement est ce que l'on souhaite. La description suivante, en regard des dessins annexés, le tout donné à titre d'exemple, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. La fig. 1 est une vue en plan d'un dispositif semiconduc-hO teur conforme à l'invention. 71 04774 -5- 2079433 Les figures 2, 3 et 4 sont des coupes transversales suivant les plans II-II, III-III et IV-IV du dispositif représenté sur la fig. 1. Les figures 5 à 10 sont des coupes transversales du 5 dispositif se rapportant aux figures 1 à 4, représente dans des stades successifs de sa fabrication. La fig. 11 est une coupe transversale d'un autre dispositif conforme à l'invention. Les figures sont schématiques et les dimensions n'ont 10 pas été représentées à la même échelle. Pour la clarté des figures, on a exagéré notamment les épaisseurs. Les éléments qui correspondent sur les différentes figures ont été indiqués par les mêmes repères. Sur la vue en plan constituant la fig. 1, les couches métalliques ont été hachurées. 15 Sur les figures 1 à 4, il s'agit d'un dispositif formant un transistor planaire et comportant (voir les figures 2 et 3) un corps semiconducteur 1 en silicium, une surface 2 de ce corps étant recouverte partiellement d'une couche isolante 3 dn oxyde de silicium. A cette surface 2 affleure une zone de 20 base diffusée 4, de type de conduction p, pénétrant sur une profondeur de 1 micron et formant une jonction p-n collecteur-base 6 avec la partie de corps 5, de type de conduction n, constituant le collecteur du transistor. Ladite région 5 est formée par une couche épitaxiale ayant un dopage pratiquement homogène 25 et une résistivité de 1 ohm.cm. Cette couche est élaborée sur un substrat fortement dopé 7 de type de conduction n, ayant une résistivité de 0,01 ohm.cm. Dans la zone de base 4, on a diffusé (voir la fig. 3) un grand nombre de zones d'émetteur 8, de type de conduction n, pénétrant sur 0,6 micron et ayant line largeur 30 de 3 microns, chaque zone d'émetteur étant entourée entièrement' de la zone de base 4 et formant avec celle-ci une jonction p-n base-émetteur. Dans la coupe transversale formant la fig. 3, on a représenté une de ces zones 8 avec sa fonction p-n correspondante 9 • 35 A travers une fenêtre de contact d'émetteur (dont le bord est indiqué par 10 sur les figures 1 et 3) dans la couche d'oxyde 3, la zone d'émetteur 8 est connectée électriquement à une couche métallique 11, en aluminium. Dans cet exemple, cette liaison a lieu par l'intermédiaire de la couche inter-40 médiaire 12 dont le but et la composition seront expliqués plus 71 04774 -6- 2079433 en détail ultérieurement. En dehors de la fenêtre 10, la couche d'aluminium 11 se raccorde à une extrémité d'une résistance série R, formée par une couche résistante 12 constituée d'une mince couche de titane dont l'épaisseur est telle que la couche 5 ait une résistance de 3 ohms par carré. L'autre extrémité de cette résistance série R est connectée à un conducteur de connexion qui a la forme d'une couche d'aluminium 13. Les résistances série d'émetteur R doivent perfectionner la répartition du courant sur les zones d'émetteur, et empêcher 10 ce que l'on appelle le deuxième claquage, ("Second breakdown"). La zone de base h est contactée (voir la fig. Z) à l'aide d'une couche d'aluminium 15 par l'intermédiaire d'un certain nombre de fenêtres de contact de base qui dans la couche d'oxyde 3 sont situées entre les zones d'émetteur 8. Sur les 15 figures 1 et 2, le bord d'une de ces fenêtres est indiqué par 14. La zone de collecteur 5 est contactée par l'intermédiaire du substrat fortement dopé,7 et une couche métallique 16 sur ee substrat. Conformément à l'invention, la couche résistante 12, est 20 élaborée, outre à l'endroit de la résistance série R, également ailleurs sur le corps, et dans cet exemple notamment dans la fenêtre de contact d'émetteur 10 où cette couche 12 est couverte entièrement de la couche d'aluminium 11 et est utilisée pour un ■bout autre but. Par la très faible profondeur de pénétration 25 notamment de la diffusion d'émetteur ët par la façon, décrite en détail ci—après, dont la fenêtre de contact d'émetteur a été élaborée, la jonction p-n 9 se trouve à une très faible distance (quelques dizaines de micron) du bord 10 de cette fenêtre. Or, on saitfc que lors de l'élaboration d'une couche d'aluminium dans 50 cette fenêtre, l'oxyde et le silicium au bord de la fenêtre sont attaqués dans une certaine mesure par 1'aluminium, ce qui dans le cas;jprésent constituerait un grand risque de couit-circuitage de la jonction p-n 9° Dans le dispositif conforme à l'invention, tel que décrit ci-dessus, ce risque est inexistant, étant donné ^5 que la couche de titane 12 s'étend la fenêtre de contact d'émetteur le long du bord entier 10 de cette fenêtre et qu'elle se raccorde audit endroit à. la couche d'oxyde 3. Ceci apparaît clairement dans les figures 3 et 4, cette dernière illustrant par une coupe transversale schématique suivant le plan IV-IV de £|_q la fig. 1 et à échelle agrandie un détail du transistor décrit. 71 04774 2079433 Etant donné que jusqu'à une température relativement élevée, l'oxyde de silicium et le silicium ne sont pratiquement pas attaqués par le titane, cette couche de titane, outre de former la résistance série d'émetteur R, établit également une protec-5 tion convenable de la jonction p-n 9 contre on court-circuit par la couche d'aluminium 11. La résistance de la couche de tiane entre la couche d'aluminium 11 et la zone d'émetteur 8, constituée par la résistance dans le sens de l'épaisseur de la couche de titane, 10 est bien entendu négligeable en comparaison avec la résistance R constituée, elle, par la résistance dans une direction parallèle à la surface de la couche de titane, Le dispositif décrit est fabriqué de la façon suivante. On part d'une plaque de silicium 7» de "type de conduction n, 15 . présentant une résistivité de 0,01 ohm.cm et une épaisseur de 200 microns. Par polissage et décapage, une surface de plaque est rendue aussi exempte que possible d'imperfections cristallines, après quoi, par la mise en oeuvre des techniques habituelles, on précipite sur la surface une couche épitaxiale 5> 20 en silicium de type de conduction n, présentant une résistivité de 1 ohm.cm et une épaisseur de 12 microns. Les autres stades de fabrication sont décrits en référence aux figures 5 à 10, simplifiées du fait qu'on n'y représente plus le substrat 7 qui pour ces stades ne joue plus aucun 25 rôle. Comme la fig. k, les figures 5 à 10 sont des coupes transversales schématiques suivant le plan IV-IV de la fig. 1. La plaque de silicium obtenue est ensuite oxydée dans une atmosphère d'oxygène humide pendant 90 minutes â une température de 1100°C, après quoi a lieu un masquage suivi d'un 30 décapage qui dans la couche d'oxyde obtenue forme la fenêtre utilisée pour la diffusion de la base. Dans cette couche, on diffuse ensuite du bore jusqu'à une profondeur de 0,8 micron de façon à obtenir une résistance d'environ 150 ohms par carré. Pendant cette diffusion se forment la zone de base h et une 35 couche d'oxyde 3» de sorte que l'on obtient la structure illustrée sur la fig. 5« Dans la couche d'oxyde 3, on décape ensuite des fenêtres de diffusion d'émetteur, par l'intermédiaire desquelles on diffuse du phosphore devant former les zones d'émetteur 8. On ^0 obtient alors la structure illustrée sur la fig. 6, l'épaisseur 71 04774 -8- 2079433 de base étant quelque peu augmentée au cours de la diffusion de phosphore et atteignant maintenant 1 micron, tandis que les zones d'émetteur ont une épaisseur de 0,6 micron. Ensuite, on effectue un nouveau masquage et on décape 5 les fenêtres de contact de base 1 k-, pour obtenir ainsi la structure illustrée sur la fig. 7* Pendant la diffusion de phosphore, il s'est formé dans les fenêtres de diffusion d'émetteur une couche d'oxyde très mince 17 (voir la fig. 6), contaminée par le phosphore. On 10 forme maintenant les fenêtres de contact d'émetteur par un décapage de l'oxyde, effectué sur la surface de plaque entière jusqu'à la disparition de la couche 17, (une petite partie de la couche environnante 3 disparaît évidemment aussi). Une zone d'émetteur ainsi obtenue est connue sous le nom de "washed-out 15 emitter". Après ces opérations, on a obtenu la structure illustrée sur la fig. 8. Sur la surface entière de la plaque, on dépose ensuite par évaporation une mince couche de titane 12 jusqu'à l'obten-20 tion d'une résistance de 3 ohms par cairê. Par masquage et décapage, cette couche de titane est ensuite traitée de façon à prendre la forme qui sur la fig. 1 est limitée par le trait 18. Voir également la fig. 9° Au cours du stade suivant, on dépose par évaporation 25 une couche d'aluminium 19 sur la surface entière, voir la fig. 10. Cette couche 19 est ensuite masquée et décapée pour obtenir les parties de couche métallique hachurées sur la fig. 1, le décapage ayant lieu à l'aide d'un "liquide qui n'attaque pas la couche de titane 12. Conformément à l'invention, on élabore 30 alors partiellement dans la fenêtre de contact d'émetteur 10, une première partie 11 de la couche d'aluminium, tandis qu'une deuxième partie 13 » non cohérente à cette première partie 11, est élaborée en dehors de la fenêtre 10 et sert de conducteur de connexion pour les zones d'émetteur 8, Entre les deux parties 35 11 et 13 s'étend (voir la fig. 3) une partie de la couche résistante 12, cette partie étant exempte d'àluminium et contactant lesdites parties 11 et 13 de la couche d'aluminium. Après l'élaboration de la couche métallique 16 sur le substrat, on a finalement obtenu la structure correspondant aux 40 figures 1 à 4. 71 04774 -9- 2079433 A remarquer qu'il est possible d'élaborer sur la même plaque de silicium plusieurs zones de base, alors que pour augmenter la puissance à fournir, on peut fabriquer sur la même plaque cristalline plusieurs structures de transistor du genre 5 précité munies d'un collecteur commun, les zones de base ainsi que les zones d'émetteur étant interconnectées directement. Enfin, de manière connue, on termine le dispositif qui ensuite est placé dans une enveloppe adéquate. Comme le permet de constater la fig. 1, chaque groupe 10 de deux zones d'émetteur 8 a une partie de couche de titane commune dans l'exemple choisi. Parfois, suivant entre autres la distance existant entre les zones d'émetteur, il est également possible d'élaborer une seule partie cohérente de la couche résistante, partie à laquelle se raccordent la couche métallique 15 13 et toutes les couches de contact d'émetteur 11. Au besoin, chaque zone d'émetteur peut être munie d'une résistance série distincte, non associée à d'autres résistances. De plus, il n'est nullement indispensable que les parties de la couche résistante soient cohérentes à l'intérieur et à l'extérieur de la fenêtre 20 de contact d'émetteur. Au besoin, on peut modifier la succession dans laquelle les fenêtres de contact, les couches métalliques et les couches résistantes sont élaborées après la formation des zones d'émetteur. Dans l'exemple précité par exemple, les fenêtres de con-25 tact de base peuvent être élaborées également après la formation des fenêtres de contact d'émetteur. Suivant une autre variante, après la diffusion d'émetteur et la formation des fenêtres de contact d'émetteur, on élabore une couche de titane sur la surface entière, alors qu'ensuite, à l'endroit des fenêtres de 30 contact de base à former, on décape des ouvertures dans la couche de titane. La configuration de titane ainsi obtenue est ensuite utilisée comme masque pour le décapage des fenêtres de contact de base, puis, pour obtenir sa forme définitive, ladite configuration est au besoin soumise à un autre décapage, après 35 quoi on met en place 1'aluminium. Au besoin, le technicien peut encore agir auivant d'autres variantes. Pour autant que dans certaines de ces variantes, la couche résistante est élaborée également dans les fenêtres de contact de base sous la couche métallique, cette situation peut parfois, en fonction du dopage 4o superficiel de la zone de base, conduire à une résistance de 71 04774 -10. 2079433 base trop élevée, ce que l'on peut éviter par exemple par une diffusion de contact de base supplémentaire. Dans ce qui précède, on a choisi comme exemple le cas où la couche résistante est utilisée également comme couche de 5 protection. A l'égard des propriétés protectrices requises, un choix approprié du matériau constituant la couche résistante est alors évidemment indispensable.' Dans tous les cas possibles, le technicien peut faire facilement ce choix. Toutefois, la couche résistante peut également servir 1° à de tout autres fins que la protection de jonctions p-n; ladite couche peut par exemple servir à obtenir une meilleure adhérence et/ou un meilleur contact ohmique entre les couches métalliques et la couche isolante ou la surface semiconductrice. Ceci est important par exemple lorsqu'il s'agit d'une structure de 15 silicium planaire portant une métallisation formée par exemple par du molybdène, alors que comme couche résistante et en même temps comme couche d'adhérence, on peut utiliser également une très mince couche d'aluminium. La couche résistante peut être utilisée également 20 comme couche de transition entre deux couches métalliques ne pouvant être mises en contact qu'avec grandes difficultés, les matériaux formant ces couches étant par exemple l'or et l'aluminium. Lorsque, pour les figures 1 à h, on utilise par exemple ■une couche 13 en or et une couche 11 en aluminium, la couche 25 12 a une triple fonction, à savoir la formation de la résistance R, la protection de la jonction p-n 9, et la transition entre la » «>. couche d'or 13 et la couche d5aluminium 11. Pour la couche 12, on peut dans ce cas utiliser par exemple avantageusement aussi le molybdène. 30 Un exemple d'une telle structure est illustrée par la fig. 11 qui est une coupe transversale d'un transistor à zone de collecteur 20, à zone de base 21 et à zone d'émetteur 22. Une couche 23 en oxyde de silicium est élaborée sur la surface semi-conductrice. A travers une fenêtre ménagée dans cette couche 35 d'oxyde 23, une couche d'aluminium contacte la zone d'émetteur 22 et est interrompue à l'endroit de la résistance série d'émetteur, formée par une partie 25A de la couche de titane. Une autre partie 25B de la même couche de titane est élaborée ailleurs sur la couche d'aluminium 2k. L'ensemble est muni b0 d'une deuxième couche d'oxyde 26 comportant une fenêtre de 71 04774 -11- 2079433 sorte que de la partie de couche de titane 25B n'est dénudée qu'une partie. A travers ladite fenêtre, une couche d'or 27 contacte la partie de couche de titane 25B, de sorte que l'or et l'aluminium n'entrent pas directement en contact l'un avec 5 l'autre, de façon que l'on évite ainsi ce que l'on appele "ihe purple plaque".( "la plaque pourpre"). De plus, la couche d'oxyde 26 protège contre corrosion par l'entourage la jonction or-titane. Dans tous ces cas, le point essentiel de l'invention 10 est que, pratiquement sans nécessiter des stades de fabrication supplémentaires, la couche résistante peut, dans le même dispositif, servir à de tout autres fins que la formation d'une résistance. Bien que l'invention soit décrite à l'aide d'une forme 15 de réalisation et d'application déterminée, le technicien pourra en réaliser de nombreuses variâmes sans sortir du cadre de l'invention. Outre pour des transistors, l'invention peut être mise à profit pour d'autres dispositifs équipés d'une résistance série dans le circuit émetteur, de tels dispositifs étant par 20 exemple des thyristors et des diodes. On peut également utiliser des matériaux semiconducteurs autres que le silicium, tandis que les couches isolantes peuvent par exemple être formées par du nitrure de silicium, de l'oxyde d'aluminium ou des combinaisons de ces substances. On peut utiliser aussi des couches 25 métalliques ou des couches résistantes formées gar des matériaux autres que ceux dont il est question dans cet exposé, le choix judicieux de ces matériaux pouvant, dans tous les cas possibles, être fait par le technicien. 71 04774 -12- 2079433 REVENDICATIONS : 1. Dispositif" semiconducteur comportant un corps semiconducteur dont line surface est recouverte au moins partiellement d'une couche isolante, ce corps semiconducteur ayant au moins une zone 5 de base, d'un premier type de conduction, affleurant la surface et entourant dans le corps au moins une zone d'éipetteur, d'un deuxième type de conduction, qui par l'intermédiaire d'une fenêtre de contact d'émetteur ménagée dans la couche isolante est connectée électriquement à une couche métallique qui à l'exté-10 rieur de la fenêtre se raccorde à une extrémité d'une résistance série formée par une couche de matériau résistant alors que l'autre extrémité de la résistance est connectée à un conducteur de connexion, caractérisé en ce que outre d'être utilisée pour former la résistance série, la couche résistante est élaborée 15 également sur d'autres endroits du corps, et y est entièrement recouverte d'une couche métallique. 2. Dispositif semiconducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche résistante est élaborée également dans la fenêtre de contact d'émetteur. 20 3. Dispositif semiconducteur selon la revendication 2, caractérisé en ce que la couche résistante s'étend le long du bord entier de la fenêtre de contact d'émetteur et s'y raccorde à la couche isolante. 4. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications 25 1 à 3, caractérisé en ce que le corps semiconducteur est en silicium, la couche isolante en oxyde de silicium, la couche résistante en titane, et la couche métallique en aluminium. 5- Procédé permettant la fabrication d'un dispositjf^semi conducteur selon l'yne des revendications 2 à h, procédé/lequel 30 on élabore d'abosÉd dans le corps la zone d'émetteur et la zone de base, alors qu'à la surface du corps on forme une couche isolante dans laquelle on ménage la fenêtre d'émetteur, caractérisé en ce qu'ensuite on élabore une couche résistante dont une partie se trouve dans la fenêtre d'émetteur et une autre 35 partie à l'extérieur de celle-ci, cette couche résisteinte étant ensuite couverte partiellement d1 une couche métallique dont une première partie se trouve au moins partiellement dans la fenêtre d'émetteur tandis qu'une seconde partie, non cohérente avec la première partie, est élaborée à l'extérieur de la 40 fenêtre d'émetteur et sert de conducteur de connexion pour la 71 04774 -13- 2079433 zone d'émetteur, alors qu'entre les première et seconde parties de ladite couche métallique s'étend une partie de couche résistante qui n'est pas munie de la couche métallique et contacte les deux parties de celle-ci. 5 6. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'on diffuse dans le corps d'abord la zone de base tandis qu'ensuite, à travers une ouverture dans la couche isolante, on diffuse la zone d'émetteur, alors que la fenêtre de contact d'émetteur est élaborée ensuite par décapage poussé jusqu'à 10 découvrir entièrement la partie superficielle située dans l'ouverture de la zone d'émetteur. Procédé selon l'une des revendications 5 ou 6, caractérisé en ce qu'avant d'élaborer la couche résistante, on forme dans la couche isolante la fenêtre de contact de base tandis qu'en-15 suite, à l'extérieur de cette fenêtre, on élabore la couche résistante, la couche métallique étant élaborée ensuite de telle façon qu'une partie de celle-ci se raccorde à la zone de base par l'intermédiare de la fenêtre de contact de base.