Brevet FR2085355A1 — publié le 19711224

La présente invention concerne des jauges à ionisation et a trait, plus particulièrement, aux jauges du type magnétron à cathode chaude capables de mesurer des pressions de gaz extrêmement faibles, c1 est-à-dire de fonctionner dans la région dite de l'ultra-vide. Les jauges d'ionisation à cathode chaude sont des appareils couramment utilisés pour la mesure des pressions de gaz dans les conditions de vide poussé. Ces appareils comportent, en général, au moins trois électrodes notarjiient une cathode thermoionique, une électrode d'accélération d'électrons ou anode et une électrode collectrice d'ions. Les électrons émis par la cathode et attirés par l'anode~subissent des collisions ionisantes avec les molécules de gaz à l'intérieur de la jauge, qui forment des ions positifs recueillis par le collecteur d'ions. Aux basses pressions, la probabilité de ces collisions est proportionnelle au nombre des molécules de gaz. Par conséquent, la mesure du courant ionique constitue une mesure de pression du gaz, le premier étant, dans certaines limites, une fonction linéaire de cette dernière. Dans l'art connu, ces jauges d'ionisation se présentent sous plusieurs formes dont la plus simple est semblable à une triode classique. Celle-ci comporte, par exemple, un filament constituant la cathode, une grille polarisée positivement par rapport à la cathode constituant l'anode et une plaque, située à l'extérieur de l'espace grille-cathode et polarisée négativement par rapport à la cathode, constituant le collecteur d'ions, Le collecteur d'ions et l'anode sont de préférence respectivement réalisés sous forme d'un cylindre et d'une hélice coaxiaux, la cathode étant située au moins approximativement dans leur axe. L'inconvénient principal des jauges de ce type est la production, sous l'effet du bombardement électronique de l'anode, de rayons X mous. Ce rayonne-lent irradiant l'électrode collectrice d'ions engendre la photo-émission d'électrons de cette dernière, ces jauges fournissent par conséquent, en dessous d'un certain seuil, des mesures -2as3e. Il a ét- propos-, dans l'article de Bayard et Al?ert, dans la revue américaine "Review of Scientific Instruments" vol. 21 (195ou à la page 571 de réduire l'influence de ces rayons X en plaçant la cathode à l'extérieur d'une anode cylindrique grillagée, le collecteur d'ions sous forme d'un fil fin étant situé à l'intérieur de cette anode. Ces jauges sont capables de mesurer des pressions de gaz jusqu'à un seuil inférieur de l'ordre de 10-10 torr. Il a été également proposé d'améliorer la sensibilité des jauges à ionisation, en allongeant les trajectoires des électrons émis par la cathode sous l'effet d'un champ magnétique, transversal au cÏïamp électrique entre l'anode et la cathode, car cet alloenent augmente la probabilité des collisions susmentionnées. Dans de telles jauges, dites du typemagnétron, décrits dans les brevets français NO 1.212.476 du 17 Octobre 1958 et NO 1.344.686 du 15 Janvier 1963, par exemple, l'anode est réalisée sous forme d'une paroi cylindrique, le filament étant situé approximativement dans l'axe de ce cylindre. Deux électrodes sous forme de disques sont disposées de part et d'autre de l'anode, l'une au moins de celles-ci étant le collecteur dotions. Les jauges du type magnétron susmentiormées fonctionnent généralement au delà de la coupure, c'est-à-dire que, sous l'effet du champ magnétique axial et des tensions de polarisation des électrodes judicieusement choisies, la majeure partie des électrons, poursuivant des trajectoires cycloSdaux ou hélicoSdaux, par exemple, n'atteignent pas l'anone et forment une charge d'espace évoluant autour de la cathode. Dans ces conditions, le courant d'anode est de l'ordre de 105 fois plus faible que dans les jauges à ionisation conventionnelles (jauge Bayard - Alpert, par exemple). On pourrait donc espérer réduire la limite inférieure de pression mesurable par une jauge du type magnétron, qui est en première approximation imposée par le phénomène de rayons X, dont l'intensité est proportionnelle au courant d'anode, dans la méme proportion. Une autre solution pour réduire l'effet des rayons X sur le collecteur d'ions dans une jauge du type-magnétron a été proposée dans le brevet américain NO 3.320.455 du 22 Avril 1966. Elle consiste à réaliser l'électrode accélératrice (anode) sous forme hélicoi- dale ou sous celle d'un cylindre creux, de disposer le collecteur dlions sous la forme d'un fil fin dans l'axe de l'anode, de disposer un filament circulaire (cathode) de l'un des côtés de l'anode et d'adjoindre à cet ensemble une électrode collectrice d'électrons du c8té opposé de l'anode, de manière qu'il n'y ait pas de visibilité directe entre le collecteur d'ions et la surface du collecteur d'électrons bombardé par ces derniers. Cette mesure réduit notablement le rayonnement émis vers le collecteur d'ions.Une telle jauge permet de mesurer des pressions de gaz inférieures à 10 12 torrs. L'expérience a pourtant montré que, même dans de teliescondi- tions, la limite théorique inférieure, située aux alentours de 10-15 torrs, ne peut pas etre atteinte, car il existe un courant résiduel du collecteur d'ions, qui est principalement dû aux phénomènes de dégazage et de désorption électronique. Ces phénomènes sont respectivement causés par l'échauffement des électrodes par les électrons qu'ils reçoivent et par le bombardement par des électrons à haute énergie qui libèrent des molécules de gaz neutres et ionisées, ces dernières venant s'ajouter aux molécules ionisées à l'intérieur du volume d'ionisation. Pour résumer, on peut affirmer que les jauges du type magnétron connues présentant généralement aux très basses pressions, les inconvénients suivants - une faible sensibilité exprimée en A/torr, ce qui rend leur exploitation, avec des amplificateurs de courant conventiorniels, dillicile pour des pressions inférieures à 10-11 torrs - des taux de dégazage importants ; - des taux de désorption électronique notables ; - des instabilités erratiques caractérisées notamment par plusieurs régimes possibles de fonctionnement, ces instabilités pouvant provenir d'une adaptation inadéquate du circuit magnétique à la forme et aux dimensions des électrodes de la jauge ou des défauts de l'aimant utilisé. L'invention a pour objet d'éviter les inconvénients des jauges du type magnétron connus et de fcurnir une jauge à sensibilité accrue et permettant de réduire notablement la limite inférieure des pressions de gaz qu'elle peut mesurer, et présentant des possibilités multiples d'utilisation. La jauge à ionisation du type magnétron à cathode chaude, objet de l'invention- comporte : une anode sous la forme d'une grille cylindrique fine, un collecteur d'ions axial sous forme d'un fil pénétrant d'un côté dans l'espace délimité par l'anode, et au moins un filament sous forme d'une épingle à cheveux situé à proximité de l'axe de l'anode et pénétrant du c8té opposé dans l'espace anodique, la distance entre les extrémités adjacentes du filament et du collecteur étant de l'ordre de 5 à 8 mm. Deux électrodes délimitant le volume d'ionisation sont disposées de part et d'autre de l'anode, à proximité de ses extrémités. Elles comportent des ouvertures centrales circulaires afin de permettre la pénétration respective du collecteur et du filament dans l'espace anodique. Dans l'un des modes de réalisation de la jauge suivant l'inven tion, ces deux électrodes sont réalisées sous la forme d'un disque plein ou d'une grille et, portées au m8me potentiel inférieur à celui de la cathode et supérieur à celui du collecteur d'ions, jouent les rôles d'écran. Dans un autre mode de réalisation,l' électrode située du côté du collecteur d'ions est réalisée sous la forme d'une grille fine ou d'un anneau présentant une surface relativement faible. Une telle électrode, portée à un potentiel légèrement supérieur à celui de la cathode , fonctionne ici en tant que collecteur d'électrons primaires. Un filament auxiliaire, qui sert en particulier au dégazage par bombardement électronique des électrodes composant la jauge, est disposé à l'extérieur de l'espace anodique. I1 permet de réduire notablement l'effet du dégazage et de la désorption électronique. La jauge suivant l'invention comporte en outre un aimant permanent cylindrique amovible ou un solénorde alimenté par une source de courant continu. Cet aimant ou solénoïde présente une longueur telle que le volume d'ionisation soit situé dans un champ magnétique homogène. Ceci signifie que, pour un aimant permanent, sa longueur correspond à au moins 1,6 fois la hauteur de l'anode. Lorsque l'aimant est retiré de la jauge ou l'excitation du solénorde est coupée, la jauge suivant l'invention présente l'avantage de pouvoir fonctionner comme une jauge Bayard - lipert, le filament auxiliaire jouant ici le rôle de la cathode. L'invention sera mieux comprise et d'autres caractéristiques et avantages apparattront à l'aide de la description ci-après et des dessins annexés sty rapportant, - la figure 1 représente une section droite verticale d'un mode de réalisation d'une jauge suivant l'invention - la figure 2 représente une coupe haute suivant la ligne X - X de la figure 1 - la figure 3 représente une section droite verticale d'un détail correspondant à un autre mode de rdalisation de l'invention. Sur les figures les memes éléments ont été désignés par les mêmes nombres de repère. Sur les figures 1 et 2 une jauge à ionisation du type magnétron à cathode chaude comprend une enveloppe 1 réalisée, par exemple, en verre ou d'une matière vitreuse sous la forme d'un cylindre creux d'une manière semblable à un tube électronique classique. L'une des extrémités du cylindre est raccordée à un tube 31 en verre également, destiné à relier la jauge à un système à contrôler.A l'intérieur de cette enveloppe 1 sont situés les éléments actifs de la jauge constitués par une anode 2 sous forme d'un grillage cylindrique rigidifié aux deux extrémités par deux anneaux métalliques 3 et 4 sur lesquels sont soudés les supports de ltélectrode, dont l'une est représentée par l'élément 12, par deux filaments de travail 6 et 6a en épingle à cheveux à proximité de et symétriquement par rapport à l'axe de la jauge et par un collecteur d'ions 5, sous forme de fil métallique, placé dans l'axe du volume d'ionisation. A l'extérieur de ce volume, le collecteur d'ions 5 est entouré d'un tube ou manchon 11, le protégeant contre les effets des défauts d'isolement ou du rayonnement X émis par l'anode et réfléchi. Les filaments 6 et 6a et le collecteur d'ions 5 pénètrent respectivement de part et d'autre à l'intérieur du volume d'ionisation et leurs extrémités adjacentes sont séparées entre elles par une distance d'au moins 5 mm correspondant environ-au septième de la hauteur de ce volume. le volume d'ionisation est respectivement limité de deux côtés de l'anode au moyen d'un écran 7 du côté filament et d'une plaque 8 du côté collecteur, situés très près des extrémités de l'anode, sans la toucher. Cet écran 7 peut etre constitué par une grille ou une électrode pleine en forme de disque muni d'une ouverture centrale permettant le passage des filaments 6 et 6a. Il est supporté par une tige-support 13 soudé à un passage 23 scellé hermétiquement dans le verre de l'enveloppe 1. La plaque 8 est également réalisée au moyen d'une électrode pleine ou d'une grille, ou encore, lorsqu'elle remplit le rôle de collecteur d'électrons primaires, au moyen d'une électrode annulaire 8a à faible surface effective, comme illustrée par la figure 3. Elle est supportée par une tige-support 14 soudée à un passage 24. La jauge suivant l'invention comporte en outre un filament auxiliaire 9, en épingle à cheveux par exemple, placé à l'extérieur du volume d'ionisation, et sa hauteur est au moins égale à celle de l'anode 2. Le filament auxiliaire 9 est supporté à ses extrémités à l'aide de deux tiges-supports 17 et 18, respectivement reliées mécaniquement et électriquement à deux passages 27 et 28. Les extrémités des filaments de travail 6 et 6a sont également respectivement fixées à des supports 15, 16 et 15a, 16a, ces supports étant respectivement fixés à l'enveloppe 1 au moyen des passages 25, 26 et 25a et-26a. On remarquera ici, qu'il est possible de ne munir, la jauge suivant l'invention, que d'un seul filament 6, ce dernier étant dans ce cas situé dans un plan axial de cette jauge. L'expérience a montré que la longueur optimale du filament 6 (et 6a) à l'intérieur du volume d'ionisation est de l'ordre de 10mm (longueur développée de 20 mm environ). La distance entre les extrémités voisines du filament 6 et du collecteur 5 se situe avantagew sement entre 5 et 8 mm. Ceci signifie que pour une jauge suivant l'invention, avec une anode 2 ayant une hauteur de 35 mm environ, le collecteur 5 peut avoir des longueurs comprises entre 17 et 20 mm Dans le cas d'une hauteur d'anode différente, il y a intérêt à respecter une longueur de filament de 10 mm environ et une distance entre collecter et filament comprise entre 5 et 8 mm. La longueur du collecteur découle automatiquement de ces considérations. On notera ici, que l'enveloppe 1, constituée dans ce cas de plusieurs parties, peut également Qtre réalisée en un métal, tel que le molybdène, l'acier inoxydable ou tout autre métal réfractaire non-ferromagnétique avec des pièces isolantes en verre ou en céramique de haute densité et de très faible porosité. Le filament de travail est, de préférence, un fil de tungstène fin activé et le filament auxiliaire en tungstène. La jauge suivant l'invention comporte en outre un aimant permanent 10 (ou un solénoïde) cylindrique amovible pouvant entre emmanché sur l'enveloppe 1. Le positionnement correct de l'aimant 10 est assuré, par exemple, au moyen d'un élargissement de l'enveloppe qui est protégé par deux anneaux métalliques 29 et 30. La longueur de l'aimant 10 est choisie de manière à assurer à l'intérieur du volume d'ionisation unchamp magnétique axial homogène. Ceci peut entre obtenu au moyen d'un aimant cylindrique permanent dont la longueur correspondàaumoins 1,6 fois la hauteur de l'anode. la jauge représentée sur les figures 1 et 2 et reliée par le tube 31 à un système de pompage à surveiller, fait généralement partie d'un dispositif de mesure de pression suivant l'art connu, non représenté sur les figures, comportant des sources de tension continue de préférence stabilisée, un système de régulation du courant de chauffage du filament éventuel, permettant de stabiliser ltémission d'électrons de celui-ci et un dispositif de mesure ou d'enregistrement du courant ionique. Ce dispositif de mesure comporte un indicateur (galvanomètre) et éventuellement un amplificateur à courant continu.Pour le fonctionnement en régime magnétron, les tensions produites par les sources susmentionnées sont les suivantes: - la tension du collecteur d'ions Vci, qui est la plus négative de toutes les tensions appliquées à la jauge et, dans l'un des modes de fonctionnement possibles de cette dernière, elle peut entre reliée à la masse (Vci = OV) - la tension cathodique Vk, appliquée sur l'une des bornes 25 ou 26, est positive par rapport à la tension collecteur Vci ; dans un mode de fonctionnement préféré de la jauge, elle se situe aux environs de 100V - la tension anodique Va appliquée à la borne 22, est positive par rapport à celle de la cathode Vk ; elle doit etre adaptée à l'inten sité du champ magnétique dans le volume d'ionisation, afin que la jauge travaille au delà de la coupure ; ainsi, par exemple, pour une induction magnétique B de 0,0325 Tesla environ, la tension anodique V se situe aux environs de 400 V - la tension d'écran Ve, appliquée à la borne 23, est inférieure à la tension cathodique Vk, afin de repousser les électrons vers l'intérieur du volume d'ionisation et supérieure à la tension du collecteur V Vci, pour ne pas attirer d'une manière notable les ions positifs destinés au collecteur 5, elle se situe, de préférence, aux environs de 30 volts - la tension de plaque V dépend du mode de fonctionnement de la jauge suivant l'invention, c'est-à-dire - pour une jauge du type magnétron simple, la tension de plaque V est égale à la tension d'écran Ve susmentionnée, et p - pour une jauge du type magnétron avec collecteur d'électrons, la tension de plaque V doit titre supérieure à celle de la cathode Vk, pour attirer les électrons, mais inférieure à celle de l'anode Va, afin que les trajectoires d'électrons soient aussi longues que possible, la probabilité des collisions ionisantes étant fonction de la longueur de ces trajectoires ; dans ces conditions V se situe p aux environs de 130 V. D'autre part, l'un des filaments de travail 6 ou 6a doit etre soumis à une tension de chauffage appliquée aux bornes 25 et 26 ou 25a et 26a. Cette tension de chauffage est, de préférence régulée, de manière connue, afin de présenter une émission thermoionique stable. Pour une jauge magnétron simple, le courant anodique est proportionnel à l'émission d'électrons, l'entrée du dispositif de régulation sera donc connectée à l'anode de la jauge.Pour une jauge magnétron avec collecteur d'électrons, c'est le courant de ce dernier qui estutilisé pour la régulation de la tension de chauffage du filament. Ij est également possible d'effectuer le chauffage du filament à l'aide d'une source de courant continu ou alternatif quelconque, toutefois la précision des indications du dispositif de mesure, dans ce cas, diminue. En fonctionnement, des électrons sont émis, par exemple, par le filament 6. Initialement, les électrons émis ont tendance à autre accélérés vers l'anode. Cependant, sous les effets conjugués des champs électrique et magnétique croisés, qui existent dans l'espèce d'interaction, les électrons suivent des parcours curvilignes allongés, en général de forme cycloEdale ou hélicordale, et ils circulent autour de la cathode et du collecteur en formant une charge d'espace négative.Du fait du champ magnétique très intense, les électrons sont empêchés de s'approcher de l'anode et sont astreints à des mou veaertss à l'intérieur d1 un cylindre défini par la surface de coupure du magnétron, cette dernière étant fonction des intensités respectives des champs électrique et magnétique régnant dans le volume d'ionisation. Les électrons en mouvement entrent en collision avec des molécules, les ions ainsi créés sont captés par le collecteur d'ions 5 et produisent un courant collecteur Ici qui, mesuré par le dispositif de mesure, est fonction, dans certaines limites linéaire , de la pression. La forme du collecteur d'ions 5, dans la jauge suivant l'invention, lui permet d'attirer les ions positifs de la majeure partie du volume d'ionisation, conférant ainsi à l'appareil une grande sensibilité. Ce volume d'ionisation est limité latéralement par l'anode cylindrique grillagée 2, du côté filament par l'écran 7, polarisé négativement par rapport au filament 6, repoussant de ce fait les électrons vers le collecteur d'ions 5, et par la plaque 8. Cette plaque 8, en régime magnétron simple, est portée au même potentiel que l'écran 7 et repousse les électrons vers le centre de 1' espace anodique, obligeant ainsi la majeure partie des électrons à osciller à l'intérieur de la surface de coupure avant de retourner au filament 6, positif par rapport au collecteur 5, à l'écran 7 et à la plaque 8. En régime magnétron avec collecteur dl électrons primaires, cette plaque 8, polarisée positivement par rapport au filament 6, attire les électrons émis par ce dernier qui décrivent des trajectoires théoriquement hélicoEdales avant de l'atteindre. Pour ce mode de fonctionnement il est indispensable que la plaque 8 soit constituée par un anneau ou une grille de faible surface réelle, afin que les limitations théoriques, dues aux rayons X émis par la plaque et à la désorption électronique, restent inférieures à celles des jauges du type Bayard - Alpert par exemple.Le fait de ne polariser la plaque 8 que par une tension Vp légèrement suéprieure à la tension Vk, permet, d'une part, d'allonger les trajectoires des électrons et, d'autre part, de réduire I'énergie,de l'impact des électrons sur la plaque 8, et, par conséquent, réduire l'intensité du rayonnnement X qu'elle émet et de sa désorption électronique. L'expérience a montré que, dans une jauge à ionisation du type magnétron avec collecteur d'électrons primaires, l'ensemble des phénomènes de rayons X et de désorption électronique provoquent un signal équivalent à une pression de gaz de l'ordre de 2. torrs, cette dernière constituant la limite théorique vers les très basses pressions de cette jauge. Le filament auxiliaire 9 est également utilisé pour procéder efficacement au dégazage de la jauge. A cet effet, l'anode 2, le collecteur 5, l'écran 7 et la plaque 8 sont portés à un potentiel dit de dégazage fortement positif par rapport au filament 9, afin d'être convenablement chauffés par bombardement électronique. Cette tension est choisie de manière que le courant cathodique dans le filament 9 soit de l'ordre de quelaues dizaines de milliampères. Dans le mode de réalisation décrit précédemment la tension de dégazage se situe aux alentours de + 800 V, avec un courant cathodique de 40 à 60 mA. La présence de ce filament auxiliaire 9, dans la jauge suivant l'invention, permet de l'utiliser égalent comme une jauge Bayard Alpert conventionnelle, lors de la disparition du champ magnétique par le retrait de l'aimant 10 ou de la coupure de l'excitation du solénoïde utilisé. Dans ce mode de fonctionnement, le filament auxiliaire 9, porté à une tension Vka + 100 V et servant de cathode, l'anode 2 étant polarisé à + 250 V environ, la jauge permet de mesurer des pressions comprises entre quelques 10-10 torrs et 10~4 torrs. Le tableau ci-dessous fournit, à titre indicatif, les paramètres de réglage correspondant aux différents modes de fonctionnement, pour le mode de réalisation préféré de la jauge suivant l'invention. Régime Régime En jauge magnétron magnétron simple avec collecteur Dégazage Bayard-Alpert d'électrons Tension collecteur Vci OV OV 800V OV Tension des filaments de 100V 100V OV hors travail circuit (cathode) Vu Tension 400V 400V 800V 250V anodique V a Tension V 30V 30V 800V 30V écran V e lension 30v 130V 800V 30v plaque V 30V 130V 800V 30V Tension filament hors hors OV 100V auxiliairSVka circuit circuit Sensibilité 0,25 0,25 - 0.15. 10-2 A/Torr A/?orr 0a15 A/?orr Courant anode Ia 5.10-8A - - 10-4 à 10-2A Courant plaque 0 A A - 10-A De ce qui précède on peut voir aisément que la jauge à ionisa tion suivant l'invention présente les avantages suivants - limite vers les très basses pressions réduite, en régime magnétron simple, - sensiblité accrue, - facilité des opérations de dégazage, i - possibilité d'utiliser la même jauge pour mesurer des pressions de l'ordre de 10 14 à 10-8 torrs, en régime magnétron, et de 10-10 à 10-4 torrs, en jauge Bayard - Alpert. - la possibilité d'utiliser des amplificateurs de courant continu conventionnels pour obtenir une indication exploitable de la pression à mesurer. Elle peut titre utilisée, pour mesurer les basses pressions de gaz, avec tous les systèmes de pompage à vide poussé ou ultra-vide. - REVENDICATIONS 1 - Jauge à ionisation à cathode chaude pour la mesure de très basses pressions, caractérisée par le fait qu'elle comporte en combinaison - une enveloppe cylindrique (1) étanche agencée pour titre reliée à un circuit de vide ; - une source de champ magnétique amovible (10) entourant l'enveloppe (1), et à l'intérieur de I'envelo3pe (1) - une anode cylindrique grillagée (2) - au moins un filament thermoionique dit de travail (6, 6a) en épingle à cheveux situé au voisinage de l'axe de l'anode (2) - un collecteur d'ions (5) filiforme placé essentiellement dans l'axe de l'anode (2) - un écran (7) en forme de disque et une plaque (8 ou 8a) placés de part et d'autre et au voisinage des extrémités de l'anode (2), constituant avec cette dernière les limites du volume d'ionisation de la jauge le filament (6) et le collecteur d'ions (5) pénétrant de part et d'autre à l'intérieur du volume d'ionisation ainsi défini, la distance entre les extrémités adjacentes du filament (6) et du collecteur (5) étant supérieure ou égale à 5 millimétres, ladite jauge comportant en outre des passages en matériau conducteur (22 à 27) isolés de l'enveloppe pour relier respectivement les diverses électrodes (2, 3, 6, 7 et 8) à des sources de tension de polarisation et de chauffage, et pouvant fonctionner soit en régime de magnétron simple, lorsque la plaque (8) est polarisée négativement par rapport au filament (6), soit en régime de magnétron avec collecteur d'électrons primaires, lorsque la plaque (8) est polarisée positivement par rapport au filament (6). 2 - Jauge à ionisation suivant la revendication 1, caractérisée par le fait qu'elle comporte, en outre, à l'extérieur de l'anode (2), au moins un filament auxiliaire (9), dont la longueur est au moins égale à celle de l'anode (2). 3 - Jauge à ionisation suivant la revendication 2. caractérisée par le fait qu'elle comporte, à l'extérieur de l'anode (2), deux filaments auxiliaires situés symétriquement par rapport à l'axe de cette dernière. 4 - Jauge à ionisation suivant/ es revendications 1 ou 2, caracté risée par le fait que la longueur, a l'Intérieur du volume d'ionisa - - - -- - - - -- R +11 tion, dudit filament de travail t6)7 ut-enDirons de 10 mm et la distance entre les extrémités voisines de celui-ci et dudit collecteur d'ions (5) est comprise entre 5 et 8 mm. 5 - Jauge à ionisation suivant l'une des revendications 1 ou 2, caractérisée par le fait qu'elle comporte un filament de travail (6) unique, situé dans un plan passant par l'axe de l'anode (2). 6 - Jauge à ionisation suivant l'une des revendications 1 ou 2 caractérisée par le fait qu'elle comporte deux filaments de travail (6 et 6a) situés symétriquement par rapport a l'axe de l'anode et à proximité de cet axe. ~ 7 - Jauge à ionisation suivant l'une des revendications 1 à 6 caractérisée par le fait que l'écran (7) est réalisé sous forme d'un disque métallique plein muni d'une ouverture centrale permettant le passage du ou des filaments (6 et 6a). 8 - Jauge à ionisation suivant l'une des revendications 1 à 6 caractérisé par le fait que l'écran (7) est réalisé sous forme d'un disque en grillage métallique muni d'une ouverture centrale pour permettre le passage du ou des filaments (6 et 6a). 9 - Jauge à ionisation suivant l'une des revendications 1 à 8, caractérisée par le fait que la plaque (8) est réalisée sous forme d'un disque métallique plein muni d'une ouverture centrale pour laisser passage au collecteur d'ions (5). 10 - Jauge à ionisation suivant l'une des revendications 1 à 8, caractérisée par le fait que la plaque (8) est réalisée au moyen d'un grillage fin en forme de disque muni d'une ouverture centrale pour le passage du collecteur d'ions (5). Il - Jauge à ionisation suivant l'une des revendications 1 à 8, caractérisée par le fait que la plaque (8a) est réalisée sous forme d'un anneau entourant le collecteur d'ions (5) à proximité de l'ex- trémité de l'anode (2) et dont le centre se trouve approximativement dans l'axe de cette dernière. 12 - Jauge à ionisation suivant l'une des revendications 1 ou 2, caractérisée par le fait que la source de champ magnétique (10) est constituée par un aimant permanent cylindrique amovible dont la longueur est supérieure à 1,6 fois la hauteur de l'anode (2). 13 - Jauge à ionisation suivant la revendication 12 caractérisée par le fait que la longueur de 1' aimant permanent amovible est approximativement égale au double de la hauteur de l'anode (2). 14 - Jauge à ionisation suivant l'une des revendications 1 ou 2 caractérisée par le fait que la source de champ magnétique (10) est constituée par un solénorde cylindrique entourant l'enveloppeetimini d'une source de courant continu. 15 - Dispositif de mesure de pression utilisant une jauge à ionisation suivant l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé par le fait qu'il comporte - un dispositif d'alimentation pour fournir des tensions de polarisation au collecteur d'ions (5), au filament de travail (6 ou 6a), à l'anode (2), à l'écran (7) et à la plaque (8), la tension fournie au filament de travail (6), étant supérieure à celle du collecteur d'ions (5) et inférieure à celle de l'anode (2) - une source de tension de chauffage du filament de travail (6) et - un dispositif indicateur pour mesurer la pression relié au moyen d'un amplificateur continu classique à l'électrode collectrice d'ions (5), 16 - Dispositif de mesure suivant la revendication 15, caractérisé par le fait que ladite source de tension de chauffage du filament de travail comporte un circuit de régulation du courant de chauffage, en vue de stabiliser le courant d'électrons primaires dans la jauge à une valeur prédéterminée. 17 - Dispositif de mesure suivant l'une des revendications 15 ou 16, caractérisé par le fait que ledit dispositif d'alimentation fournit la mEme tension de polarisation à l'écran (7) et à la plaque (8), cette tension étant supérieure à celle du collecteur d'ions (5) et inférieure à celle du filament (6 ou 6a), ladite jauge fonctionnant ainsi en régime de magnétron simple. 18 - Dispositif de mesure suivant la revendication 17, telle que rattachée à la revendication 16, caractérisé par le fait que l'entrée dudit circuit de régulation du courant de chauffage du filament de travail est couplée à l'anode (2). 19 - Dispositif de mesure suivant l'une des revendications 15 ou 16, caractérisé par le fait que ledit dispositif d'alimentation fournit une tension d'écran (7) supérieure à celle du collecteur d'ions (5), et inférieure à celle du filament (6) et une tension de plaque (8) supérieure celle du filament et inférieure à celle de l'anode (2); ladite jauge fonctionnant ainsi en régime magnétron avec collecteur d'électrons primaires constitué par laglaque (8). 20 - Dispositif de mesure suivant la revendication 19, telle que rattachée à la revendication 16,caractérisé par le fait que l'entrée dudit circuit de régulation du courant de chauffage du filament de travail est couplée à la plaque (8). 21 - Dispositif de mesure utilisant une jauge à ionisation suivant la revendication 2, la source de champ magnétique étant retirée ou son excitation coupée, caractérisé par le fait qu'il comporte un dispositif d'alimentation fournissant une tension de polarisation au collecteur d'ions (5), à l'anode (2) et au filament auxiliaire (9), la tension du filament auxiliaire étant supérieure à celle du collecteur d'ions (5) et inférieure à celle de l'anode (2), - une source de tension de chauffage du filament auxiliaire (9) et - un dispositif indicateur pour mesurer la pression, dont l'entrée est reliée au collecteur d'ions (5). 22 - Dispositif d'alimentation pour le dégazage d'une jauge suivant l'une des revendications 2 ou 3, caractérisé par le fait qu'il comporte - un circuit d'alimentation dont les bornes fournissant une tension négative sont respectivement reliées au filament auxiliaire (9) et aux filaments de travail (6 ou 6a) et les bornes fournissant une haute tension positive sont respectivement reliées au collecteur d'ions (5) à l'anode (2) à l'écran t7) et à la plaque (8).