Brevet FR2099654A1 — publié le 19720317

L'invention concerne un procédé pour la formation des contacts sur un corps semiconducteur muni de plusieurs électrodes, au moyen d'un système de conducteurs électriques formé à partir d'une feuille de métal et s'éten-dant à la manière de languettes à partir d'un cadre de maintien vers l'intérieur de ce cadre et dont les extrémités libres sont mises en liaison conductrice avec les différentes électrodes. Dans des procédés connus de ce genre, 10 on a l'habitude de partir d'une bande de métal plate et de former dans celle-ci, par exemple par■découpage ou corrosion, un certain nombre de systèmes de conducteurs de ce genre, alignés côte à côte. Chaque système de conducteurs présente un cadre extérieur, à partir duquel les conducteurs individuels s'éten-13 dent vers l'intérieur du cadre à la manière de languettes et dans le plan de la bande. L'un de ces conducteurs d'amenée en languette s'élargit en forme de palette et sert de support pour le cristal semiconducteur qmi y est fixé par alliage, par soudure ou par collage. Cette languette élargie occupe une 20 position centrale à l'intérieur du cadre de maintien. Les autres conducteurs se terminent peu avant le support en forme de palette du cristal. Leurs extrémités sont en liaison conductrice, au moyen de fils fins, avec les électrodes correspondantes du corps semiconducteurs, lesquelles sont de préférence 25 disposées exclusivement d'un côté du corps semiconducteur. Le dispositif, et notamment les extrémités des conducteurs en forme de languettes, ainsi que le suppcrrt en forme de palette peut être enrobé dans un bloc de matière plastique. Selon une autre solution possible, les extrémités des conducteurs en forme 30 de languettes et le support en forme de palette se terminent dans la partie inférieure d'une enveloppe en un matériau isolant, par exemple en céramique ou en verre. On les fait alors passer à travers la paroi latérale de la partie inférieure de l'enveloppe, de manière étanche et isolée. Après la mise en place 35 du dispositif semiconducteur dans cette partie inférieure de l'enveloppe, celle-ci est fermée avec un couvercle en matière isolante qui est soudé à l'enveloppe. Pour illustrer le procédé connu de formation des contacts, on se référera à la figure 1. Le système 40 semiconducteur 1, par exemple un circuit intégré, muni d'élec- 71 27574 2 2099654 trodes de connexion, est fixé sur un support 2 en forme de palette, façonné à partir d'une feuille de métal. Le support 2 en forme de palette sé raccorde, par son "manche" 2a, au cadre de maintien 3 ën feuille de métal, lequel entoure complètement 5 le support 2 et est situé dans le même plan que celui-ci, A partir d'autres points de ce cadre de maintien 3 s'étendent râdialement, en direction du support 2, des conducteurs k en forme de languettes, leur nombre correspondant aux nécessités du cas considéré. Pour des raisons évidentes, ces conducteurs 10 sont nettement séparés du support 2 du système semiconducteur. Pour l'établissement du contact de chaque électrode du système semiconducteur 1, il est prévu un fil fin de contact correspondant 5» qtii s'étend de l'électrode considérée à l'extrémité du conducteur k en forme de languette. 15 Le cadre de maintien 3» le support 2.et les conducteurs d'amenée en forme de languettes 4 présentent une épaisseur suffisante pour pouvoir supporter les efforts mécaniques qui s e produisent lors de la fabrication et de la formation des contacts à là machine. Par contre, les fils 20 de contact 5 sont très minces. Une autre solution comparable a été décrite dans le brevet français 71 17 ^80. Le support métallique 2 comportant un dispositif selon la figure 1 est remplacé par un support en une matière isolante qui est muni de voies élec-25 triquement conductrices à sa surface. Ces voies conductrices (qui ne se croisent pas) se terminent à la périphérie du support isolant et sont soudés respectivement aux extrémités de conducteurs électriques en forme de languettes à l'intérieur du cadre de maintien. Ainsi, les conducteurs d'amenée en 30 languette portent le support pour le système semiconducteur, support qui est constitué en particulier par une plaque de matière isolante et qui n'a donc pas besoin d'être raccordé directement au cadre de maintien 3. Le système semiconducteur est posé par son 35 côté mtfni d'électrodes sur le support isolant, de telle sorte que chaque électrode vienne s'appliquer sur l'autre extrémité de l'une dès voies conductrices, si bien que chacun des Conducteurs en forme de languette est mis en contact de cette manière avec une électrode du système semiconducteur à connectez: h0~ De préférèricé, lès'voies conductrices sont disposées sur le 71 27574 3 2099654 support isolant de manière à s'étendre en direction radiale à partir de la périphérie de ce dernier et à se terminer à courte distance de leur point de rencontre. Elles sont réunies à ce niveau par le système semiconducteur posé, tandis qu'elles 5 sont connectées respectivement, par leurs autres extrémités, à des conducteurs en forme de languettes qui prennent naissance sur le cadre de maintien. Or, il serait souhaitable de pouvoir raccorder directement les conducteurs en forme de languettes du 10 système de conducteurs décrit aux électrodes du dispositif semiconducteur à connecter. Il rie serait alors plus nécessaire d'introduire les organes intermédiaires précités, à savoir un fil de contact ou une plaque de support- pour le semiconducteur, munie de voies conductrices. 15 L'invention a pour but de résoudre ce problème. Elle concerne en outre un procédé pour la réalisation, de façon avantageuse, d'un système de conducteurs qui convient particulièrement pour la formation des contacts. Pour résoudre le premier problème, 1'inven-20 tion propose, dans le cadre du procédé défini dans le préambule du présent mémoire, que l'épaisseur du matériau soit réduite aux extrémités des conducteurs d'amenée en forme de languettes, en comparaison de leurs parties contiguës au cadre de maintien, et que ces extrémités soient directement raccordées aux élec— 25 trodes correspondantes du corps semiconducteur. Dans ces conditions, les conducteurs en forme de languettes, établissant les contacts des électrodes, sont de préférence les seuls éléments porteurs à être directement connectés au corps semiconducteur. A la suite de quoi, le dispositif semiconducteur 30 connecté est enrobé dans une matière isolante avec le système de conducteurs d'amenée, à l'exception des parties extérieures des connexions et du cadre de maintien. Il existe, pour le procédé de l'invention, des variantes préférées qui vont maintenant être définies. 35 Variante 1 L'essentiel de cette variante consiste en ce que la feuille de métal qui doit être façonnée pour former le système de conducteurs est garnie, sur l'un de ses côtés, d'un masque complet de vernis photosensible recouvrant seule-40 ment les parties de la feuille qui formeront ultérieurement le 71 27574 k 2099654 cadre de maintien et la totalité des conducteurs en forme de languettes, tandis que l'autre côté de la feuille est garni d'un masque incomplet de vernis photosensible recouvrant seulement les parties de lafèuille à façonner devant former le cadie 5 de maintien et les parties contiguës à ce cadre des conducteurs en forme de languettes ; que des évidements marqués sont alors formés par corrosion dans la feuille de métal au moyen de ces deux masques de vernis photosensible ; que le côté de la feuille qui était revêtu jusqu'ici du masque complet de vernis est 10 ensuite recouvert entièrement de vernis photosensible ; et enfin que l'opération de corrosion est poursuivie jusqu'à ce que les parties de la feuille correspondant aux conducteurs en forme de languette soient nettement séparées les unes des autres, tant au niveau de leurs extrémités amincies que le 15 long du reste de leur étendue. Variante II Une autre variante consiste en ce que la feuille de métal à façonner pour former le système de conducteurs est garnie, sur l'un de ses côtés, d'un masque complet de verni_s 20 photosensible recouvrant seulement les parties de la feuille y qui forment le cadre de maintien à réaliser ultérieurement et la totalité des conducteurs d'amenée en forme de languettes ; que d'autre part l'autre côté est garni d'un masque incomplet de vernis photographique ne recouvrant que les parties de la 25 feuille qui correspondent au cadre de maintien et aux parties des conducteurs d'amenée en languette contiguës à ce cadre et présentant l'épaisseur normale de la feuille ; puis que des évidements sensibles sont formés par corrosion dans la feuille de métal au moyen de ces deux masques de vernis photosensible ; 30 que le masque incomplet de vernis photographique est ensuite complété de sorte qu'il corresponde au masque complet,. même au niveau des extrémités libres des conducteurs en forme de languettes et qu'il coïncide avec ce masque ; et que l'opération de corrosion est alors effectuée, en utilisant les deux masques 35 désormais complets de vernis pho.tographiq.ue à titre de- masques de gravure, dans une mesure suffisante...pour que les parties de la feuille correspondant aux conducteurs d'amenée- en bO Variante III 71 27574 5 2099654 Dans ce cas, il est tout d'abord produit, par estampage et/ou corrosion, une cavité en forme de cuvette dans la feuille métallique à façonner pour former le système de conducteurs d'amenée. Puis les conducteurs d'amenée en 5 forme de languettes, et le cadre de maintien qui les relie sont façonnés à partir de la feuille par estampage et/ou corrosion, de sorte que les extrémités libres de tous les conducteurs d'amenée en languette soient formées à partir du fond de la cavité en écuelle. 10 Dans toutes ces variantes du procédé, il y a lieu d'observer ce qui suit. a) Dans tous les cas, les écarts mutuels des extrémités libres des conducteurs en forme de languettes seront choisis de façon à correspondre exactement aux distances mutuelles 15 entres les électrodes du corps semiconducteur à connecter. b) Les extrémités des conducteurs en forme de languettes, qui présentent une épaisseur réduite du matériau, forment, dans la partie des conducteurs en forme de languettes qui présente l'épaisseur normale de la feuille, un évidement en 20 formé de cuvette à fond plat bien que discontinu en raison de la structure des conducteurs en forme de languettes, fond sur lequel 'le système de semiconducteur à connecter est déposé et fixé par alliage ou par soudure par ses électrodes. Au centre du fond de cette évidement en forme dé" cuvette, il ne se trouve 25 aucun des conducteurs dans la plupart des cas, comme cela apparaît sur la figure b. Au-dessus ou, selon le cas, au-dessous du centre dégagé du système de conducteurs se trouve la partie centrale du corps semiconducteur, lequel se présente en particulier sous forme de plaquette. Les électrodes ou, selon le 30 cas, les points de connexion du corps semiconducteurs se trouvent approximativement au bord du cristal semiconducteur et sont disposés de façon qu'ils correspondent, quant à leur position mutuelle, aux écarteraents respectifs des extrémités des conducteurs en forme de languettes. Ainsi, les extrémités des 35 conducteurs peuvent être amenées sans difficulté dans la position nécessaire à l'établissement des contacts par rapport aux électrodes du cristal semiconducteur, avec lesquelles elles sont ensuite reliées définitivement par soudure ou par alliage, par exemple par 'soudure aux ultra-sons. ^0 c) A partir des extrémités des conducteurs en forme 71 27574 6 2099654 de languettes qui doivent être connectées aux électrodes, ces conducteurs divergent radialeraent jusqu'à ce qu'ils atteignent le cadre de maintien. En coupe longitudinalej ils se composent d'une partie plus mince correspondant à 11évidement en forme 5 de cuvette et d'une partie plus épaisse, située plus à l'extérieur, qui présente, de même que le cadre de maintien, l'épaisseur initiale de la feuille métallique utilisée pour la confection de cette structure. d) Les différents conducteurs en forme de languettes 10 peuvent être renforcés mécaniquement par des entretoises en dehors des extrémités amincies. Lorsque le montage du système semiconducteur est achevé, et notamment lorsque ce système a été mis en place dans un boîtier ou dans une enveloppe en matière plastique, ces entretoises sont éliminées, de même que le 15 cadre de maintien. e) Tandis que les dimensions latérales (en particulier les largeurs) des extrémités libres des conducteurs en forme de languettes doivent être adaptées précisément à la forme géométrique des électrodes à connecter, il existe également, 20 en ce qui concerne la réduction à effectuer de l'épaisseur du matériau, une épaisseur maximale adaptée aux dimensions des dispositifs semiconducteurs à connecter : en effet, l'épaisseur de la feuille aux extrémités amincies des conducteurs en forme de languettes ne doit pas être supérieure à une valeur corres-25 pcaufant aux dimensions latérales de ces électrodes. C'est ainsi que la confection de structures ultra-fines n'est possible que si l'épaisseur maximale correspond aux dimensions de ces stnuctures. Si l'on veut par exemple confectionner un conducteur en forme de languette de 50 microns 30 de largeur, cela n'est possible dans des conditions économiques et eu égard au façonnage correct des détails, que si le matériau à partir duquel on veut réaliser cette structure présente au maximum la même épaisseur, c'est-à-dire 50 microns. Mais d'autre part, en dehors des extrémités des conducteurs en ferme de 35 languettes qui doivent être connectées aux électrodes et surtout au niveau du cadre de maintien de. ces conducteurs d'amenée, il convient, pour des raisons mécaniques et technologiques d'usinage, que les épaisseurs et aussi les largeurs soient nettement supérieures aux valeurs que peuvent présenter les électrodes desti-40 nées à être mises en contact avec,les élèctrodés du corps 71 27574 7 2099654 s emi conducteur. C'est donc pour les raisons exposées ci-dessus qu'il est procédé à une diminution de l'épaisseur de feuille (-et aussi de la largeur) des conducteurs en forme de languettes, au niveau des extrémités libres de ceux-ci. Cette structure peut être par exemple obtenue : 1. Par corrosion plus ou moins rapide, produite par une pression variable de pulvérisation avec le même agent de corrosion ou par interruption du processus de corrosion lorsque la profondeur d'attaque de la structure fine est atteinte ; puis par masquage du côté à structure fine lors de l'opération ultérieure de formation de la structure épaisse par corrosion finale (bf. Variante i) ; 2. Par pré-étampage de la partie à structure fine et estampage fin, suivi par un estampage grossier (cf. Variante IXI supra). On comprend que, surtout dans les Variantes I et II de la confection de la structure des conducteurs en forme de languettes et du cadre qui les retient, il est nécessaire de tenir compte de la corrosion sous-jacente au-dessous du masque de vernis photosensible qui se produit forcément. II convient donc de donner au masque de vernis photosensible des dimensions quelque peu supérieures à celles de la structure que l'on cherche à obtenir. Conformément à l'invention, tous les procédés décrits dans les Variantes I, II et III sont complétés en plaçant le corps semiconducteur à connecter de façon que ses électrodes soient amenées en contact avec les extrémités des conducteurs en forme de languettes, extrémités qui sont adaptées, en ce qui concerne leurs dimensions, aux rapports correspondants des électrodes du corps semiconducteur, et reliées de façon définitive à~ ces extrémités. Le procédé selon les Variantes I et II sera décrit en détail ci—après, et représenté dans les figures 2, 3 et h, tandis que la figure 5 montre la disposition du corps semiconducteur à connecter avec les conducteurs en forme de languettes, dans le cas d'un dispositif semiconducteur.obtenu par la mise en oeuvre du procédé suivant l'invention. La feuille métallique initiale 11, utilisée pour le façonnage du système de conducteurs, est par exemple 71 27574 8 2099654 en Vacon ou en laiton. Elle présente par exemple une épaisseur de 300 microns. L'un des côtés de cette feuille est recouvert par un masque12 de vernis photosensible qui correspond execte-ment à la structure du système de conducteurs que l'on veut 5 confectionner. Par exemple, il correspond approximativement, avec la partie correspondant au cadre de maintien, à la structure d'une roue dont le moyeu est supprimé. Sur le côté opposé de la feuille 11 est alors appliqué un masque incomplet de \ernis photosensible, dans lequel 10 les "rayons de roue" correspondant aux conducteurs d'amenée en languette sont plus courts que dans le cas du masque complet de vernis photosensible, mais qui correspond par ailleurs exactement, dans toutes ses autres parties, au masque complet 12 de vernis photosensible et qui doit être placé exactement en coïncidence 15 avec ce dernier sur la feuille 11. La disposition des deux masques de vernis photosensible l'un par rapport à l'autre est représentée sur les figures 2, 3 et 4• La figure 2 représente une vue partielle de dessus, du côté du masque incomplet de vernis photosensi-20 ble, tandis que la figure 3 représente le profil d'une coupe méridienne suivant II-II de la figure 2. Sur la figure 4 est également représenté le profil de la même coupe méridienne, mais cette fois après l'achèvement définitif du traitement de corrosion et immédiatement avant l'élimination des masques de vernis 25 photosensible présents pendant la seconde phase de corrosion. En figure 2 les extrémités des "rayons de roue" du masque complet de vernis photosensible, qui n'apparaissent pas sur la représentation de la figure 3 et qui ne sont pas recouvertes par le masque incomplet de vernis pho-30 tosensible, ont été indiquées en pointillés. Le système représenté sur les figures 2 et 3 est soumis alors à un premier traitement de corrosion. La durée de ce traitement de corrosion est choisie d'aprôs différents points de vue selon qu'il s'agit de l'une ou l'autre des Variantes X et II. 35 Si l'on applique la Variante II, l'épaisseur des conducteurs en forme de languettes aux extrémités qui doivent être reliées avec le système semiconducteur, est déterminée par la différence entre l'épaisseur initiale de, la feuille 11 et la profondeur totale de corrosion atteinte lors de la 40 première phase de corrosion. Par contre, dans le cas de la, 71 27574 9 2099654 Variante I, c'est la différence des deux profondeurs de corrosion atteintes lors des deux phases de corrosion qui détermine l'épaisseur du matériau aux extrémités amincies des conducteurs d'amenée en languette. la profondeur atteinte est celle qui est indiquée en hachures serrées sur la figure 3« S'agissant de la Variante X, à la suite du traitement de corrosion, ce système est complètement revêtu de vernis photosensible 14 du côté muni du masque cora-10 plet 12, tandis que le masque incomplet 13 demeure inchangé. Ces conditions sont représentées sur la figure 4 qui est elle aussi une coupe méridienne passant par la ligne II-II de la figure 3-Par contre, dans la Variante II, le masque complet 12 de vernis photosensible reste inchangé, tandis que le masque incomplet 15 13 de vernis photosensible est complété de manière à correspondre exactement au masque complet de vernis photographique. durée du second traitement de corrosion est choisie exactement de façon que le matériau de la feuille métallique 11 soit 20 éliminé dans les zones où il n'était masqué pendant aucune des deux phases de corrosion. Ainsi, la structure du cadre de maintien et des conducteurs en forme de languettes qui naissent de ce cadre se présente avec des extrémités qui offrent la réduction voulue de l'épaisseur de matière. 25 Le dispositif obtenu est alors pourvu de contacts selon ce qui est indiqué sur la figure 5. Il présente un cadre de maintien 41 , à partir duquel les conducteurs en forme de languettes 42 s'étendent vers l'intérieur. La forme géométrique de ces conducteurs est quelque peu différente par 30 rapport aux systèmes de conducteurs selon la figure 1, mais cela n'a aucune importance en ce qui concerne l'invention. D'après les enseignements de l'invention et à la suite du procédé de fabrication décrit, leurs extrémités dirigées vers l'intérieur ont une épaisseur de métal nettement plus faible que 35 les autres parties du système de conducteurs. Le dispositif à cristal semiconducteur 45» muni des électrodes 44, est placé sur les extrémités 43 des conducteurs en forme de languettes 42, de sorte que chacune de ces extrémités prenne contact exactement avec une électrode 44. Dans cette position, les 40 électrodes sont raccordées définitivement aux extrémités 43. 5 Pendant la première phase de ■ corrosion, Avec l'un et l'autre de ces systèmes, la 71 27574 10 2099654 Le dispositif ainsi obtenu est enrobé dans un bloc de matière plastique 46. Ensuite^: le cadre 41 et les entretoises complémentaires 47 éventuellement prévues entre les conducteurs en forme de languettes sont supprimés. Les parties des conducteurs d'amenée en languette 42 qui sortent de l'enveloppe en matière plastique 46 servent alors au montage ultérieur du dispositif dans un appareil électrique. L'enveloppe en matière plastique 46 a été omise dans sa moitié gauche pour montrer la liaison, par leurs extrémités, des conducteurs 42 avec les électrodes 44 du dispositif semiconducteur 45. 71 27574 2099654 REVENDICATIONS 1) Procédé pour la formation des contacts d'un corps semiconducteur à plusieurs électrodes, au moyen d'un système de conducteurs électriques formé à partir d'une feuille 5 de métal qui s'étendent à la manière de languettes à partir d'un cadre de maintien vers l'intérieur de ce cadre et dont les extrémités libres sont mises en liaison conductrice avec les électrodes respectives, caractérisé par le fait que l'épaisseur du matériau est réduite aux extrémités des conducteurs en forme 10 de languettes en comparaison des parties de ceux-ci qui sont contiguës au cadre de maintien,.et que ces extrémités sont raccordées directement aux électrodes correspondantes du corps semiconducteur. 2) Procédé selon la revendication 1, carac-15 térisé par le fait qu'une feuille de métal qui doit être façonnée pour former le système de conducteurs est garnie, sur l'une de ses faces, d'un masque complet de vernis photosensible recouvrant seulement les parties de la feuille devant former ultérieurement le cadre de maintien et la totalité des conducteurs en 20 forme de languettes ; que l'autre face de la feuille est garnie d'un masque incomplet de vernis photosensible recouvrant seulement lés parties de la feuille à façonner pour former le cadre de maintien et les parties contiguës des conducteurs en forme de languettes ; que des évidements marqués sont alors formés 25 par corrosion dans la feuille de métal au moyen de ces deux masques de vernis photosensible ; que la face de la feuille qui était revêtue jusqu'ici du masque complet de vernis est ensuite recouverte entièrement de vernis photosensible ; que l'opération de corrosion est alors poursuivie jusqu'à ce que les parties 30 de la feuille correspondant aux conducteurs d'amenée en forme de languettes soient nettement séparées les unes des autres, tant à leurs extrémités amincies que le long du reste de leur étendue jusqu'au cadre de maintien ; et qu'enfin le corps semiconducteur à connecter est placer de telle manière que ses 35 électrodes soient en contact avec les extrémités des conducteurs en forme de languettes dont les dimensions sont adaptées aux rapports correspondants des électrodes du corps semiconducteur, et qu'il est connecté définitivement à ces extrémités. 3) Procédé selon la revendication 1, carac-kO térisé par le fait qu'une feuille de métal à façonner pour former 71 27574 12 2099654 le système dé conducteurs est garnie, sur l'une de ^es faces, d'un masque complet de vernis photosensible recouvrant seulement les parties de la feuille qui formeront ultérieurement le cadre de maintien et la totalité des conducteurs en forme de languettes ; que d'autre part l'autre face est garnie d'un masque incomplet de vernis photographique ne recouvrant que les parties de la feuille qui correspondent au cadre de maintien et aux parties contiguës ries conducteurs en forme de languettes ; puis que des évidement- marqués sont formes par corrosion dans la feuille de métal au ioyen de ces deux masques de vernis photosensible ; que le ransque incomplet de vernis photosensible est ensuite complété de façon qu'il corresponde au masque complet, même aux extrémités des conducteurs en forme de languettes et qu'il coïncide avec ce masque ; que l'opération de corrosion est alors effectuée, en utilisant les deux masques désormais complets à titre de masques de gravure, dans une mesure suffisante pour que les parties de la feuille correspondant aux conducteurs en forme de languettes soient nettement séparées les unes des autres sur toute leur longueur ; et qu'en fin le corps semiconducteur à connecter est placé de telle manière que ses électrodes soient en contact avec les extrémités des conducteurs en forme de languettes dont les dimensions sont adaptées aux rapports correspondants des électrodes du corps semiconducteur, et qu'il est connecté définitivement à ces extrémités. Procédé selon la revendication 1, caractérisé par le fait qu'une cavité en forme de cuvette est produite par estampage et/ou corrosion, dans la feuille de métal à façonner pour forcer le système de conducteurs d'amenée ; que les conducteurs d'amenée en forme de languettes et le cadre de maintien qui les relie sont alors d''gagés de la feuille par estampa-re et/ou corrosion, de façon que les extrémités libres de tous les conducteurs en forme de languettes soient formées dans le fond de la cavité en forme de cuvette pressentant une épaisseur réduite par- rapport au reste de la feuille ; et qu'enfin le corps semiconducteur à connecter est placé de telle manière nue ses électrodes soient en contact avec les extrémités des conducteurs en forme de languettes dont les dimensions sont adaptées aux rapports correspondants des électrodes du corps semiconducteur, et qu'il est connecté définitivement à ces extrémités. 5) Procédé selon l'une des revendications bad original 71 .27574- 13 2099654 1, 2, 3 ou '+, caractérisé par le fait qu'à la suite du montage du corps semiconducteur sur les extrémités des conducteurs en forme de languettes, ce corps est enrobé dans un bloc vie matière plastique avec les extrémités p.minries et au moins une partie des î>ones épaissie^ des conducteurs d'amenée en languette, puis que l'isol- tion nécessaire clés différents conducteurs en forme de languettes les uns par rapport aux autres e-~t réalisée en é-liminant le cadre de maintien qui les relie. 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