Brevet FR2090057A1 — publié le 19720114

La présente invention concerne des éléments semi-conducteurs et, en particulier, un procédé de fabrication d'éléments semiconducteurs et les éléments réalisés par ce procédé. L'invention a des applications dans le domaine de la. géné-5 ration avec un rendement élevé, de signaux hyperfréquence ou haute fréquence dans des dispositifs comportant des guides d'ondes ou d'autres lignes de transmission. Plus particulièrement, une réalisation préférée de l'invention concerne des éléments semi-conducteurs sous forme d'ensembles de micro-circuits à diodes pour 10 l'amplification efficace de signaux hyperfréquence ou haute fréquence et un procédé de fabrication d'ensembles superficiels de ce genre de diodes sous forme de micro-circuits classiques planaires ou autres, capables de fonctionner efficacement à grande puissance. 15 Des oscillations haute fréquence, puisées ou entretenues sont facilement engendrées dans des oscillateurs, et des amplificateurs dans lesquels des résonateurs à cavité ou autres, ou des dispositifs à ligne de transmission haute fréquence sont.associés, à des diodes actives à semi-conducteurs présentant une résistance 20 négative utilisable quand elles sont placées dans des champs électriques de polarisation. Des dispositifs connus permettent de coupler efficacement cette énergie, avec des champs de polarisation, à des diodes à semi-conducteurs isolées fonctionnant suivant divers modes différents et inhabituels, y compris des diodes à se-25 mi-conducteurs qui donnent lieu, par exemple, à des phénomènes d'avalanche et liés a.u temps de transit, ou à des modes à haut ren dement. Les dispositifs connus ne comportent pas de moyens pour remédier aux difficultés qui limitent par inhérence l'utilisation 30 de diodes "en bloc" classiques comme transformateurs d'énergie haute fréquence. Il existe une demande croissante pour des diodes à semi-conducteurs capables d'utiliser plus complètement les possibilités qu'offrent les nouveaux circuits oscillateurs et amplificateurs à grand rendement. Un fonctionnement amélioré à grande 35 puissance est particulièrement souhaité, mais des essais d'utilisation de diodes branchées en série, de forme essentiellement classique, n'ont obtenu qu'un succès mitigé, même si les diodes avaient été choisies individuellement avec soin. A la connaissance de la Demanderesse, on n'a pas réalisé d'ensembles efficaces de 40 diodes à semi-conducteurs- du type à- diodes superficielles incorpo 71 17474 2090057 rées dans des micro-circuits planaires ou ayant d'autres configurations, caractérisés par une polarisation uniforme, une interaction uniforme avec un champ haute fréquence et des éléments-de régulation permettant d'obtenir une température uniforme. Les 5 constantes de temps thermiques n'ont pas par ailleurs été convenablement réglées dans le cas du fonctionnement à grande puissance. L'invention a pour objet un procédé de réalisation d'une masse de semi-conducteurs avec une couche superficielle, et com-10 portant les opérations ci-après : formation d'une mince région allongée ayant un premier type de conductivité, adjacente à 1a, surface libre de la. couche superficielle, formation d'une région mince allongée ayant un second type de conductivité, adjacente à la surface libre de la couche superficielle très près de la 15 région ayant le premier type de conductivité pour former avec elle une jonction de semi-conducteurs à faible capacité, formation d'une première couche d'une matière électriquement isolante, mais conductrice de la chaleur, sur cette jonction et sur des parties de la surface libre"de la couche superficielle pour permet-20 tre à la chaleur de s'écouler le long de celle-ci et fixation de couches électriquement conductrices à des régions allongées minces dans le but d'appliquer une tension aux bornes de la jonction, l'élément semi-conducteur selon l'invention, ayant une couche superficielle avec une surface libre, comprend une première ré-25 ' gion mince allongée avec une conductivité d'un premier type,adjacente à la surface libre, une seconde région mince allongée d'un second type de conductivité adjacente à la surface libre et très proche de la. première région pour former près de ladite surface libre une jonction de semi-conducteur avec elle et un dispo-30 sitif conducteur de la chaleur, électriquement isolant, pour pas-siver ladite jonction et destiné à être raccordé à un refroidis-seur de cette jonction. Les diodes superficielles peuvent, par exemple, former-selon un mode d'exécution de l'invention - des ensembles réguliers 35 ou ordonnés à la surface d'une plaquette à micro-circuits. Les diodes de cet ensemble et certaines interconnexions entre circuits sont ensuite disposées de manière à former une configuration compatible avec les nécessités d'un couplage et d'une production d'énergie haute fréquence, tout en satisfaisant en même temps aux 40 limitations imposées par là nécessité d'appliquer des tensions de 71 17474 3 2090057 polarisation appropriées à chaque diode superficielle. De plus, selon le mode- d'exécution préféré, des trajets d'écoulement de la chaleur à faible impédance thermique couplent efficacement les jonctions des diodes superficielles au refroidisseur exté-5 rieur du circuit oscillateur pour permettre un fonctionnement à grande puissance. Le procédé préféré de réalisation comprend les opérations ci-après:pose de caches, morsure, diffusion d'un dopant et diffusion par pénétration d'un dopant de manière à former les éléments semi-conducteurs de l'ensemble, dépôt de matériaux 10 électriquement conducteurs et dépôts- spéciaux d'une matière conductrice de la chaleur, mais électriquement isolante, pour créer des trajets d'écoulement de la chaleur et réaliser une passivation protectrice finale du produit. On décrit ci-après, à titre d'exemple, un procédé de réa-15 lisation d'un élément semi-conducteur selon l'invéntion, en sè référant aux dessins annexés, sur lesquels : Les figures 1 à 8 sont des vues en perspective partielle et à très grande écjy^lle, représentant les diverses phases de la 20 réalisation dudit élément semi-conducteury ,Ija "figure 9 est- une vue en élévation avec coupe partielle, représentant un^ensemble série-parallèle réalisé à partir de ces éléments; ,r la figure 10 est une vue en élévation et coupe partielle j-25 représentant un dispositif à ligne de transmission utilisant l'ensemble de semi-conducteurs de 1a. figure 9; Les figures 1 à 8 sont destinées à expliquer les opérations à effectuer pour la.'réalisation d'un ensemble intégré de diodes planaires à avalanche à grand rendement, pour décrire l'ensemble 30 de diodes à semi-conducteurs lui-même "et, de plus, pour représenter les nouveaux éléments intermédiaires semi-conducteurs réalisés selon ce procédé. Il va de soi que la surface utile occupée par l'ensemble de diodes est imposée en partie par le choix du circuit hyperfré-35 quence dans lequel on utilise cet ensemble. Par exemple, les dimensions et 1a. configuration d'un ensemble à utiliser avec un guide d'ondes à faible perte à saillie intérieure, peuvent être en ■ général déterminées à partir-des dimensions de l'intervalle disponible au-dessus de la saillie intérieure elle-même, dans lequel le 40 champ électrique hyperfréquence est concentré et a une forme régu 71 17474 4 2090057 lière appropriée. Par exemple, l'ensemble pour un guide à saillie intérieure dans la bande K„ peut être placé sur un support mesu- ci rant 0,62 x 0,32 cm. Lés dimensions et la configuration d'un ensemble à employer 5 en shunt dans un câble coaxial peuvent être imposées respectivement par le rapport des diamètres des conducteurs de ce câble coaxial et par les répartiteurs de champ électrique placés en général dans ledit câble coaxial. Un ensemble peut être réalisé sur une tige cylindrique pleine ou creuse de matériau semi-conducteur 10 pour être inséré en série avec le conducteur central d'un câble coaxial. Par conséquent, l'ensemble peut n'occuper qu'une partie de la section transversale d'une ligne de transmission creuse ou peut être réparti régulièrement dans toute ladite zone de la section transversale. Des ensembles de diodes selon l'invention 15 sont réalisés par raccordement en série, en parallèle ou en série-parallèle des nouvelles diodes superficielles entre les conducteurs de la ligne de transmission. Sur la figure 1, la matière de départ fondamentale pour l'ensemble est une plaque-support 1 plane en un matériau, semi-20 conducteur avec un léger dopage du"type n, tel que le silicium (sensiblement intrinsèque, mais avec une légère prépondérance de donneurs). La couche 1 a été recouverte par épitaxie d'une couche 2 d'un matériau du type n, par exemple du silicium dopé à un taux compris entre 5 x 10^ et 2 x lo"1^ at/cnr5. Le taux de dopage 25 et l'épaisseur de la. couché épitaxiale 2 sont de préférence choisis de manière à permettre un fonctionnement avec pénétration sans intervention'.de modes indésirables de fonctionnement des diodes. Par exemple, la couche 1 peut être épaisse de 50 à 100 microns et la couche 2 épaisse de 5 microns. Les dopants pour 30 les couches 1 et 2 peuvent être de l'arsenic ou de l'antimoine. L'antimoine est lé dopant préféré pouces couches 1 et 2, étant donné qu*il diffuse lentement et par conséquent est relativement peu déplacé lors des diffusions ultérieures du phosphore et du bore. Par conséquent, lé profil de conductivité entre 35 les couches 1 et 2 reste relativement fixe. Les couches 1 et 2 décrites ci-dessus peuvent être réalisées par divers procédés ' classiques et, par conséquent, q_u*il est inutile de décrire en détail. On dépose ensuite une couche 3 de silice d'environ 0,5 40 micron d'épaisseur sur la couche 2 du type n de la plaquette afin 71 17474 2090057 de l'utiliser ultérieurement comme cache perforé pour la.diffusion par pénétration des dopants. Avant le dépôt de 1a. couche 3, la surface de cette couche peut être convenablement préparée par nettoyage, par exemple par lavages successifs, à la température 5 ambiante, au trichloréthylène, à l'alcool méthylique et à l'acide fluorhydrique suivis d'un rinçage dans de l'eau chaude désionisée agitée, puis d'un séchaêe dans un courant chaud d'azote pur et sec. La plaquette nettoyée est placée tout de suite après dans une enceinte close où circule un courant d'oxygène et d'azote pur 10 et sec auquel on ajoute ensuite un courant de SiH^ ,ou monosilane, gazeux, pendant environ 5 mn pour provoquer la formation d'une couche 3 de silice ayant l'épaisseur désirée. On interrompt ensuite • le courant de monosilane réactif et ce monosilane est balayé de l'enceinte en continuant à faire passer de l'oxygène et de l'a-15 zote pendant un certain temps. En variante, on peut faire croître la couche 3 sur le silicium dans une ambiance d'oxygène ou de vapeur d'eau, à chaud. La plaquette, qui a maintenant la structure représentée sur la figure 1, est retirée immédiatement de ladite chambre de 20 réaction avec le monosilane et on applique une couche de matériau pour réserve photographique, de manière connue, sur la couche additionnelle de silice 3. Un cache (non représenté) comportant un grand nombre de fentes allongées parallèles équidistantes, est placé au contact de la couche 3 de silice et la couche de réserve 25 photographique est exposée à un rayonnement actinique de manière connue. Après exposition, la matière pour réserve photographique est développée et les régions non exposées de ladite matière sont enlevées de manière connue. On plonge ensuite la plaquette dans une solution agitée 30 d'un mordant convenable pour dissoudre les parties à nu de la couche 3 de silice , à travers les ouvertures allongées de la couche provisoire de matériau pour réserve photographique. Le mordant peut, par exemple, être une solution contenant 1 partie d'acide fluorhydrique et 9 parties de fluorure d'ammonium. La plaquette 35 est ensuite lavée dans de l'eau désionisée puis séchée. Le reste de la réserve photographique peut maintenant être enlevé par un produit chimique approprié, par exemple une solution de 1 partie d'acide sulfurique et 9 parties d'acide nitrique agissant à une température d'environ 100°C pendant environ 10 mn. 40 Le dispositif a"maintenant l'aspect représenté sur la figure 71 17474 « 2090057 2 , la couche 3 de silice comportant des ouvertures régulièrement èspacées telles que les ouvertures ou fenêtres allongées 4 et 5. Dans le support cité ci-dessus à titre d'exemple, pour un"ensemble dont la largeur et la longueur sont respectivement de 0,32 5 et 0,62 cm, chacune de ces ouvertures a. une largeur d'environ'25 microns et une longueur d'environ 1 000 microns . L'intervalle' entre les ouvertures 4 et 5 est, par exemple, de 100 micr'ons. Comme l'indiqué la figure 9, on obtient ainsi un ensemble vertical d'ouvertures 4 et 5, tel qu'il est nécessaire pour la 10 réalisation d'une face ou électrode de chacune des séries de diodes de la file 8 de la figure 9 (électrodes 11, 12, 13 et 14 ,par exemple). En même temps, le cache peut être déplacé dë. manière à réaliser une seconde file d'ouvertures pour former une face ou électrode de cha.cune des diodes d'une file parallèle, 9 de diodes 15 en série, la file 9 étant convenablement espacée de la file 8. - ' Les parties correspondantes de 1a, troisième file semblable 10 de diodes peuvent être réalisées de manière analogue par la même, opération. Les ouvertures, telles que les ouvertures 4 et 5 ménagées 20 dans la couche de silice 3, sont destinées à permèttre'la diffusion d'un dopant du type p tel que le bore dans la couche 2 pour former de minces couches allongées telles que les couches 20 et • 21 (figure 3) de matériau semi-conducteur du type p+, à-peu près juste au-dessous de ces ouvertures. Les couches 20, 21 ont envi-25 ron 0,1 micron d'épaisseur. Etant donné que le bore ést très peu volatil, on peut déposer une couche mince de ce matériau ou de son oxyde sur la couche 2 à découvert de semi-conducteur par pulvérisation ou vaporisation dans le vide, ou par simple dépôt mécanique ou chimique. Par ailleurs, on peut effectivement diffuser du bore 30 à l'état de vapeur si la plaquette est mise au oontact de cette vapeur dans un réacteur placé dans un four porté à environ 1 100°C pendant une période d'environ 10 mn, tout en faisant passer'un courant d'oxygène sec au contact du dispositif. Le bore pénètre ensuite dans 1a. couche 2. J>5 Quand les couches diffusées telles que 20 et 21 sont com plètement formées, on forme une couche régulière 3a de silice (figure 4) à la surface de la couche 2. Pour obtenir un produit uniforme, la couche de silice 3 employée lors du dépôt du bDre peut être enlevée par le mordant à l'acide fluorhydrique et fluo-40 rure d'ammonium décrit ci-dessus. La plaquette est ensuite net 71 17474 t 2090057 toyée et la nouvelle couche 3a de silice est déposée en utilisant le procédé décrit ci-dessus au monosilane. La couche Ja. peut avoir sensiblement la même épaisseur que la couche J>. Le cache précédemment employé, comportant un grand nombre 5 d'encoches parallèles allongées équidistantes est placé au contact de la surface 3a de silice, une matière pour réserve photographique ayant été appliquée contre la surface 3a immédiatement après le traitement par le monosilane. On place le cache dans une nouvelle position, après l'avoir déplacé, à peu près perpendiculairement 10 à la grande dimension de l'ouverture 4 de la figure 2 d'une quantité sensiblement égale à la largeur de l'ouverture 4 plus une quantité qui doit être égale à la largeur de la jonction finale de la diode, par exemple 1,5 micron. La couche de matériau pour réserve photographique est exposée à un rayonnement actinique puis 15 est développée de manière connue, après quoi on enlève le matériau non impressionné. La plaquette est à nouveau plongée dans une solution agitée de mordant pour dissoudre la partie de la couche 3a. de silice à nu à travers les ouvertures allongées de la couche de matériau 20 pouçé'éserve photographique. La plaquette est nettoyée et le matériau pour réserve photographique impressionné restant est enlevé par immersion dans une solution appropriée. La couche de silice 3a, a à ce stade, l'apparence représentée sur la. figure 4, la couche 3a. comportant un nouveau groupe d'ouvertures régulièrè-25 ment espacées,commeles ouvertures allongées 25 et 26, dont la longueur et la largeur sont sensiblement égales à celles des ouvertures 4 et 5 ménagées dans la couche 3 de silice de la figure 2. Comme on le voit (figure 9)* on obtient ainsi une file verticale d'ouvertures semblables aux ouvertures 25 et 26, nécessaire 30 pour obtenir une seconde face ou électrode pour chacune des séries de diodes de la file 8 de 1a. figure 9 (électrodes 31, 32, 33 et 34, par exemple). Une seconde file d'ouvertures peut être ' réalisée en même temps pour former une face ou électrode 35* 36, 37 et 38 pour toutes les diodes superficielles en série de la file 35 parallèle 9 de diodes en série. Les parties correspondantes de la troisième file 10 de diodes semblables peuvent être réalisées en même temps. Les ouvertures telles que 25 et 26 ménagées dans la couche de silice 3a sont destinées à perméttre la diffusion d'un dopant 40 du type n tel que le phosphore dans 1a. couche 2 pour former un 71 17474 s 2090057 second ensemble de couches minces allongées, telles que les couches 27 et 28 (figure 4) de matériau semi-conducteur du type n+, à peu près juste au-dessous de ces ouvertures. Les couches 27 et 28 ont sensiblement la même épaisseur que les couches 20 et '21. 5 ' Le dopage par le phosphore est réalisé facilement en phase vapeur d'uné. manière semblable à celle - employée pour le bore. Le phosphore diffuse à travers les ouvertures -25 et 26 de la couche 2, dans une chambre de réaction, à partir de là vapeur de pentoxyde de phosphore, par exemple, à une température de 1050°C pendant 10 15 mn. Après retrait de ,1a chambre de diffusion du phosphore, on Voit, comme l'indique la figure 4, que chaque couche allongée + , du type n , telle que-les couches .20 ou 21, est associee intimement avec une couche- de type p ,telle que les'couches 27 et 28 dopées au phosphore, et que les couches associées, telles que les cou-15 ches 20 et 27, ont sensiblement la même épaisseur. Il va de soi que lés figures du dessin sont très fortement agrandies pour représenter et exposer plus commodément l'invention. Par exemple, l'intervalle entre les couches dopées, ou électrodes, 20 et 27, est d'environ 1 ,-5 micron. - 20 On choisit le phosphore et le bore pour former par dopage .t. J. ' * les couches correspondantes des types, n et p , d épaisseurs sensiblement égales, parce que ces substances ont des vitesses de diffusion sensiblement égales dans la. silice employée pour la plaquette à diodes. On voit sur la. figure 5, qu'on utilise avan-25 tageusement un procédé de diffusion par pénétra.tion à peu près classique, étant donné les vitesses semblables de diffusion du bore et du phosphore pour faire pénétrer davantage par diffusion les diverses couches 20, 27, 21 et .28 dans la couche 2 et, de là, dans la couche-support 1 dè là"plaquette. 30 L'opération de diffusion par pénétration est facilitée par la. présence d'une nouvelle couche 3b, qui évite les pertes par diffusion vers l'extérieur du bore et du phosphore. La diffusion est continuée au delà du point-où les profils de dif- + 4- fusion des types n. et p pénètrent dans le support 1 pour former 35 les diverses régions 20b, 27b, 21b et 28b. L'opération de diffusion par pénétration est réalisée dans 'un-four à une température de l'ordre de 1050°C, pendant 200 mn et dans une atmosphère d'azote sec. L'importance de la diffusion par pénétration peut être contrôlée en utilisant un pont de mesure des capacités pendant ou 40 après l'opération pour mesurer, par exemple, l'intervalle entre - 71 17474 9 2090057 les régions p+ et n+. Il convient d'observer que 1a. courbure, par exemple, à la partie inférieure de la. couche.27b n'empêche pas les claquages par avalanche le long de -la face vérticale de la couche 27a. On 5 observe cela parce que le support 1 est seulement légèrement dopé. Les tensions de claquage peuvent dépasser par exemple 100 volts dans la couche intrinsèque 1, tandis que la tension de claquage dans la couche. 2 (la région"active) peut être voisine de 30 volts. De plus, les parties qui dépassent, comme la couche 21b pénétrant 10 dans la couche support 1, ne contribuent pas de manière appréciable à la capacité des diodes, étant donné le dopage léger de la couche support 1. L'ensemble'dé-la figure 5 est soumis, après la. diffusion par pénétration, à deux opérations qui engendrent la. structure 15 de la figure 6. Tout d'abord, la couche d'oxyde 3b de la figure 5 est enlevée, comme dans.le procédé décrit ci-dessus d'attaque de la silice. Par ailleurs on enlève une petite couche superficielle de la couche épitaxiale de silice 2; cette opération d'enlèvement est entreprise pour éliminer toute courbure ou saillie, 20 par exemple de la couche diffusée 20a à proximité de la. surface supérieure de la- couche 2, provoquée par ségrégation du dopant ou d'une impureté dans la couche initiale 1 d'oxyde. Ces anomalies peuvent provoquer des courts-circuits ou d'autres défauts de fonctionnement d'une diode élémentaire. L'enlèvement d'une couche 25 à-la partie supérieure de la surface de la couche 2(d'épaisseur inférieure à 0,25 micron) est facilement réalisé en utilisant des procédés classiques, mécaniques ou d'attaque chimique. En variante on peut procéder à une oxydation répétée de la surface de la couche 2 de silicium, suivie de plusieurs éliminations par voie chi-30 miqué des couches d'oxyde formées dans ces conditions. Pour empêchera croissance de ces anomalies, on peut employer Si^N^ à la place de Si02 pour réaliser les caches de diffusion, étant donné que Si^N^ est plus efficace pour l'élimination des dopants ou impuretés. -En tout cas, le produit, désiré est celui de la figure 6, 35 où l'on-voit que la couche épitaxiale modifiée de 2a_ a formé au-dessus de la plaquette une surface lisse 39* nécessaire pour l'achèvement du produit.. Dans une opération de façonnage ultérieure, on forme des trajets conducteurs de 1'électricité au-dessus de.la. surface 40 lisse 39. Cependant, il est commode -avant cette opération - de 71 17474 2090057 former sur certaines .parties de la surface 39 une couche 40 d'oxyde de béryllium; on sait que l'oxyde..de béryllium a une"bonne conductivité thermique tout en possédant en même temps .la résis-tivité électrique élevée caractérisant de nombreux oxydes élec-5 triquement isolants. La couche 40 d'oxyde de béryllium permet de réaliser des canaux d'écoulement représentant des trajets de circulation de la -chaleur à faible impédance, en particulier à partir des jonctions des diodes allongées, telles que les jonctions reetilignes 41- et 42 des figures 7 et 8; à partir des inter 10 valles reetilignes"entre les diodes, tels que l'intervalle 43, pour aboutir à la zone de raccordement 44 dudit oxyde de béryllium et, de là, à un bord de celle-ci tél que le bord 50 représenté sur la figure. 9, qui peut être relié directement, à un re-froidisseur classique. La couche 40 est réalisée de manière à re-15 couvrir toute la surface 39 à part les zones occupées par les - ' couches formant les diodes ou les éléments , par exemple les éléments 20a, 27a, 21a. et 28a. Lôrs dé'la préparation de l'opérâtion de pulvérisation, on réalise un cache ayant la forme, désirée pour réaliser la cou-20 che 40 avec des parties continues pour barrer le chemin à l'oxyde de béryllium provenant des surfaces des couches 20a, 27a, 21a., 28a. et analogues, et ce cache .est placé au contact de'la surface 39- La. plaquette et le. cache qui lui est solidement fixé sont placés dans une chambre de pulvérisation, avec réaction, afin de 25 jouer le rôle d'anode pour .le dépôt d-'-oxyde de béryllium. Une cathode en béryllium métallique, en général de mêmes dimensions que l'anode , est placée en face de la surface de l'anode -, ces électrodes étant séparées par un intervalle d'.environ 3 cm. On peut employer un courant continu ou haute fréquence pour la -30 pulvérisation à partir d'une source constituée par du béryllium. En variante, on peimt employer la pulvérisation haute fréquence dans une atmosphère inerte à partir d'une source constituée par de l'oxyde de béryllium. On peut réaliser une pulvérisation avec réaction dans 35 un mélange, dans le rapport .1:1, d'argon et d'oxygène gazeux avec des potentiels cathodiques de l'ordre de 3 000 volts et une pression totale des gaz comprise entre 10 et 30 microns de mer-eure, les valeurs des paramètres indiqués pouvant être quelque peu modifiées.Les vitesses de dépôt sont de l'ordre de 0,1 mi-40 cron/mn, si bien qu'on peut facilement obtenir des pellicules 71 17474 11 2090.057 d'oxyde d'épaisseur appréciable permettant une bonne conduction de la chaleur. Lorsque la couche 40 d'oxyde de béryllium est achevée, son épaisseur peut être de l'ordre de 3 microns. La plaquette est ensuite retirée de la chambre de pulvérisation et on enlève 5 le cache. L'aspect de la plaquette .est semblable à celui représenté sur 1a. figure 7, mais il manque des conducteurs tels que les conducteurs 60, 61 et 62. . Comme l'indiquent"les figures -7 et 9, on doit appliquer maintenant des conducteurs tels que les conducteurs 60, 61 et 62 de 10 la figure 7, à la partie supérieure de la couche 40 d'oxyde"de béryllium.'Des électrodes 81:, 82, .81 a et 82a. de rècouvrement sont formées au-dessus des éléments 20a,"27a, 21a, 28a respectivement. Le groupe comportant les conducteurs '60, 61 et '62,constitue simplement un exemple parmi l'ensemble des raccordements de conduc-15 teurs qu'on peut ainsi réaliser. Comme l'indique la figure 9,des conducteurs additionnels sont associés à la. file 8 de diodes superficielles en série. Par exemple, le conducteur 60 est relié à l'électrode 11, le conducteur 61 relie les électrodes 31 et 12, le conducteur 62 relie les électrodes 32 et 13, le conducteur 63 20 relie les électrodes 33 et 14 et l'électrode 34 est reliée au conducteur 64. Tous ces éléments doivent être formés à la partie supérieure de la couche 40 en même temps.que des éléments conducteurs correspondants des files 9 èt-10 des diodes en série. De plus, des éléments de circuit conducteurs 70, 70ja et 71 > 71a -25 sont réalisés pour relier le conducteur 60 aux conducteurs, correspondants des extrémités supérieures des files 9 et 10 et également pour relier le conducteur d'extrémité 64 aux conducteurs correspondants des extrémités inférieures des.files. Un matériau pour réserve photographique est étalé sur la sur-30 face de la couche 40 d'oxyde de béryllium de manière connue. Un rayonnement actinique est projeté sur un cache préparé à l'avance, du type nécessaire pour former des conducteurs tels que les conducteurs 60 à 64 et 70, 70a, 71 et 71b. En même temps, des couches conductrices de recouvrement 81, 82",'81a, 82a sont formées respec-35 tivement sur les couches 20a, 27_a, '21aret 2Sju La. matière pour réserve photographique non imprèssionnée est enlevée pour mettre à nu les parties de la couche 40 où des conducteurs doivent être formés, par exemple par une opération classique de .dépôt par voie chimique ou électrique. D'autres parties de la plaquette ne devant 71 17474 12 2090057 pas être recouvertes par un matériau conducteur peuvent être masquées de manière appropriée. Après dépôt, on enlève le matériau pour réserve photographique et.les autres matériaux utilisés pour les caches,et le produit obtenu, ayant l'apparence représentée sur 5 la figure 7, est nettoyé et séché» ... Si on se reporte en particulier à la. file des diodes 8 des figures 7 et 9, on voit que les conducteurs 70,60 à 64 et 71, et les conducteurs superposés associés à ceux-ci', tels que'les conducteurs de recouvrement 81., 82, 81a, 82a de la figure 7, qui 10 peuvent être du cuivre, de l'argent ou de l'or déposé par' électrolyse, forment un trajet bon conducteur de l'électricité vis-à-vis de toutes les jonctions de diodes reetilignes ou allongées, telles que les jonctions 41, 42 et facilitent ainsi le fonctionnement efficace de l'ensemble, éri permettant de polariser 15 toutes les parties des jonctions allongées sensiblement .à la même tension de polarisation correcte. Par conséquent, pratiquement toute la longueur de chaque jonction de diode 41,-42, est -employée efficacement pour un échange d'énergie entre là'tension de polarisation de la diode et les champs oscillant à fréquence élevée 20 qui peuvent être présents à proximité de l'ensemble de diodes.. La couche 40 d'oxyde de béryllium est en contact intime avec chaque jonction de -diodes, par exemple lesjonctions 41, -42, afin d'éliminer rapidement l'énergie calorifique provenant"des 'jonctions qui, dans le.cas contraire, éleverait la température des - jonctions 25 conduisant à une détérioration du fonctionnement de celles-ci. Pour compléter la structure dudit ensemble, on forme un film final 85 d'oxyde de béryllium, épais. ..par exemple de .10 microns, et fixé solidement par dépôt direct--au silicium de la surface 39, si bien que le film 85 convient parfaitement comme 30 couche passivante protectrice, et, par ailleurs, convient très bien pour la dissipation de quantités modérées d'énergie calorifique. On réalise facilement des films plus épais en augmentant les dimensions de la. cathode et la durée de la. pulvérisation. Pour un motif semblable, on crée par pulvérisation une coubhe 86 35 d'oxyde de béryllium sur la surface libre de la. couche 1. Avant de déposer la couche 86, on diminue l'épaisseur-de la couche 1 pour former la couche la de la figure-8» On obtient-ce résultat par une opération classique d'attaque chimique, d'une couche 85 d'oxyde de béryllium masquée par de la cire, et 1.'attaque. chimique progres-40 se jusqu'à ce que la couche 1a^ ait une épaisseur voisine d'environ 71 17474 i3 2090057 0,5 micron. On retire ensuite la plaquette du mordant, la nettoie puis la sèche. Pour dissiper des quantités relativement importantes d'énergie calorifique, on peut se procurer dans le commerce -une 5 plaque plus épaisse d'oxyde de béryllium ayant les mêmes largeur et longueur que l'ensemble final et la fixer à la couche 85 d'oxyde de béryllium déposée par pulvérisation. On peut également fixer une autre plaque semblable à la couche 86 d'oxyde de béryllium. Les couches 85 et 86 jouent deux rôles, agissant comme 10 conducteurs de la chaleur vers des refroidisseurs disponibles ou comme couches protectrices passivantes pour le dispositif semiconducteur. Ces deux avantages sont la conséquence du fait que l'oxyde de béryllium déposé par pulvérisation est lié intimement à la surface du semi-conducteur. 15 Les ensembles de diodes ayant la forme géométrique étu- . diée dans les paragraphes ci-dessus peuvent être utilisés en particulier pour les oscillateurs et amplificateurs à grand rendement et pour les oscillateurs et amplificateurs hyperfréquence plus classiques. Par exemple, on peut les utiliser pour des oscillateurs 20 à grand rendement constitués par des diodes à semi-conducteurs à avalanche comportant un circuit à ligne de transmission pour adapter une diode ou un ensemble de diodes à la charge de l'oscillateur à une fréquence d'émission donnée, tandis que des harmoniques jusqu'à une fréquence égale à la fréquence d'avalanche 25 sont favorisés dans ce circuit, mais sont séparés de la sortie effective dudit circuit. Des circuits à ligne de transmission ayant ces caractéristiques sont décrits dans la demande de brevet britannique H"0 22.247/71 correspondant au brevet français N° 71. 07 875 du 8 Mars 1971 au nom de la Demanderesse. Dans ces 30 circuits résonnants multiples, l'utilisation des diodes à grand rendement est caractérisée par l'emploi d'un courant de polarisation des diodes, uniquement en présence d'un champ oscillant haute fréquence couplé à ladite diode. Lorsqu'on utilise des diodes à grand rendement dans un 35 tel appareil, la diode ou les diodes sont normalement polarisées à une tension voisine de leur tension de claquage. Les signaux haute fréquence ou hyperfréquence, lorsqu'ils sont superposés à la tension de polarisation unidirectionnelle, provoquent.d1 importantes variations de la tension et du courant instantané dans les 40 diodes, variations qui sont telles qu'une grande résistance négative 71 17474 h 2090057 apparaît à .une fréquence égale à celle du signal appliqué à la diode. cala, engendre une onde de.courant-contenant de nombreux harmoniques, qui sont également appliqués .aux bornes des diodes de manière .à amplifier les signaux de fréquences égales à celle de ces 5 harmoniques, augmentant ainsi le rendement de conversion de l'ensemble de diodes. En général, on peut utiliser l'ensemble de diodes dans un système à ligne de transmission dont .les caractéristiques satisfont au critère de fonctionnement à grand rendement pour les.diodes du type IMPATT (à temps de transmission de l'impact de 10 l'avalanche) ou d'autres .diodes à temps de transit. La forme géométrique de l'ensemble de diodes superficielles décrit incite fortement à les utiliser dans des circuits hyperfréquence, par exemple comportant un guide d'ondes à saillie intérieure. En particulier, la technique des circuits intégrés uti-15 lisée pour réaliser des structures planes permet la réalisation d'une manière fiable d'un grand nombre de diodes superficielles faisant partie d'un .ensemble qui peut être couplé efficacement, à un champ hyperfréquence et qui est correctement monté pour une polarisation des diodes. En ce qui concerne le circuit de polarisa-20 tion et le circuit hyperfréquence, les diodes superficielles superflues ou de qualité inférieure peuvent être-facilement court-circuitées et leur présence peut être, ainsi,, négligée. Un ensemble de diodes superficielles qui peut être couplé correctement au champ oscillant hyperfréquence doit également 25 dissiper facilement la chaleur. On voit que les-diodes superficielles allongées employées dans cet ensemble ont une impédance -thermique relativement .basse et comportent des. électrodes conductrices superficielles qui peuvent être placées perpendiculairement au vecteur électrique hyperfréquence. L'échauffement est maximal 30 sur l'axe des jonctions de diodes allongées étant donné que les axes de' ces jonctions comportent des sources de chaleur à leurs deux extrémités et que les éléments en oxyde de béryllium facilitent la dissipation de cette énergie, uniformisant plus complètement la température des jonctions. 35 Ceci est avantageux étant donné que la tension de claquage d'une jonction de diodes varie en fonction de la température,bien que cette variation soit relativement faible.dans le cas du silicium. On obtient également facilement une constante de temps thermique avantageusement réduite. 40 Les figures .9 et 10 représentent la manière dont l'ensemble 71 17474 15 2090057 des diodes superficelles est couplé, par exemple, au champ haute fréquence d'un oscillateur à guide di'ondes à saillie intérieure qui ■peut être du type décrit dans la demande de brevet britannique précitée. La ligne de transmission à guide d'ondes 5 représentée sur la figure 10 comporte deux parois latérales étroites 100 et 100a, une paroi supérieure 101 et une paroi inférieure 102, formant ensemble un rectangle". La paroi inférieure 102 comporté une partie, ou saillie intérieure 103 , pénétrant ceritralement dans la ligne de transmission, cette saillie inté-10 rieure 103 comportant une surface plane sensiblement parallèle à la surface plane intérieure 104 de la paroi 101. Les surfaces 1-intérieures des parois et de la saillie intérieure sont en maté ■ riau très conducteur des courants haute fréquence. L'ensemble 120 a des dimensions qui permettent de l'ajuster serré dans la 15 région au-dessus de la saillie intérieure 10J. La surface 50 supérieure électriquement conductrice de l'ensemble 120 est liée par conductivité électrique et thermique à la surface inférieure 104. Une tige 108 ou tout autre dispositif de centrage peut être . employé pour solidariser l'ensemble 120 avec la surface 104. 20 L'ensemble 120 comporte sur son bord opposé au bord 50 une couche isolante 110, de préférence en oxyde de béryllium, afin qu'il soit isolé" électriquement de 1a. saillie intérieure 103» Cependant, la couche 110 constitue un trajet à basse impédance pour la chaleur entre l'entrée 120 et le métal conducteur de la cha-25 leur de la saillie intérieure 103. Une tige conductrice 115 passant par le trou 116 de la^saillie intérieure 103, à travers une perle support isolante 117/sortant du guide d'ondës, est reliée électriquement aux éléments 71 et 71a. de circuit de l'ensemble. Elle est destinée à établir"une liaison entre une source de tension 30 de polarisation unidirectionnelle (non représentée) et les éléments de circuit 71* 71a. et, par conséquent les files 8, 9 et 10 de diodes. L'autre borne de la source de polarisation peut être couplée, par exemple, à la paroi 101 supérieure du guide et de là aux éléments de circuits 70 et 70a." 35 Un champ électrique hyperfréquence se propageant selon le mode TE, concentré principalement dans la région de l'intervalle entre les surfaces 50 et 105,est partout sensiblement perpendiculaire aux jonctions des diodes superficielles de chaque file. Chaque diode superficielle, avec ses électrodes conductrices pla-40 nés associées, est traversée par une partie sensiblement égale, 71 17474 i« 2090057 concentrée, du champ électrique oscillant effectif total qui existerait dans le guide d'ondes à saillie intérieure en l'absence de l'ensemble de diodes. Cette répartition du champ oscillant a-en partie- pour origine les conducteurs d'interconnexions 5 60 à 64, dont chacun est sensiblement perpendiculaire au champ électrique oscillant et le branchement en série des diodes superficielles dans chaque file. Un second 'avantage a pour origine la configuration choisie pour l'ensemble. En appliquant aux bornes 108 et 115 une tension 10 de polarisation qui est répartie de façon sensiblement uniforme entre les files 8,9 et 10 par les éléments de circuit correspondants 70,70a, 71, 71 a,des tensions de polarisation sensiblement égales' sont appliquées aux bornes de chaque diode superficielle de tout l'ensemble. De plus, la tension de polarisation appliquée 15 entre les divers points d'une diode superficielle allongée déterminée est sensiblement constante. Par conséquent, 1a. configuration choisie applique un champ électrique oscillant d'intensité prévisible, fonction de la tension de polarisation appliquée à chaque jonction de diodes superficielles. 20 Etant donné que les diodes superficielles elles-mêmes jouent le rôle d'une capacité par rapport aux ondes hyperfré--•quence se propageant dans.".le guide, ce rôle, à condition qu'il reste dans des limites raisonnables, est avantageux pour un échange efficace d'énergie avec le champ hyperfréquence. De plus, 25 • l'influence capacitive totale de ces diodes est facile à ajuster en agissant sur le groupement en série-parallèle de l'ensemble et peut être réglée en partie en choisissant une épaisseur très faible de la diode dans le support, de l'ordre de la profondeur de pénétration des courants haute fréquence dans la jonction de 30 semi-conducteurs. Etant donné que les conducteurs verticaux 61 à 63, par exemple, ont une influence inductive, celle-ci peut éga-lëment être réglée par le choix de leurs dimensions de manière à éliminer les résonances indésirables. Une caractéristique dis-tinctive générale des diodes considérées individuellement, est que 35 leur longueur est bien supérieure à la largeur de leur jonction. On choisit la longueur maximale des diodes elles-mêmes de façon qu'elle soit inférieure à celle qui leur permettrait d'entrer en résonance de la même manière que les lignes de transmission à bandes parallèles; cela signifie que la longueur de 1a. jonction 40 d'une diode superficielle doit être inférieure à \/2, \ étant 71 17474 2090057 la longueur de l'onde intéressée dans le matériau semi-conducteur de la jonction. Par conséquent, chaque diode superficielle est excitée en phase suivant le mode simple du champ électrique caractéristique des guides d'ondes classiques à saillie intérieure. 5 Bien que l'ensemble des diodes superficielles présente certaines des caractéristiques d'une diode unique ordinaire mis^én boîtier de manière classique, étant donné qu'il faut incorporer des éléments d'adaptation ou de transformation d'impédance à cause de sa caractéristique d'impédance effective en fonction de la fré-quence, on peut remédier à cet inconvénient de manière classique en utilisant des éléments classiques d'adaptation d'impédance. La désadaptation imposée par l'ensemble de diodes selon l'invention n'est pas, cependant , obligatoirement excessive, compte tenu du fait qu'on peut réaliser un ensemble pratique avec seulement 15 environ 5# de la surface de la plaquette se comportant comme un conducteur vis-à-vis de l'énergie hyperfréquence présente dans le guide d'ondes à saillie intérieure. La proportion d'énergie réfléchie par l'ensemble de microcircuits peut, par conséquent être modifiée ou corrigée par des 20 techniques classiques d'adaptation-d'impédance. . x On voit que l'ensemble de diodes à semi-conducteurs et son procédé de fabrication permettent d'obtenir de nouveaux circuits à diodes superficielles à semi-conducteurs utilisables avec un bon rendement pour des signaux haute fréquence de grande puissance. 25 L'arrangement de l'ensemble des diodes superficielles du microcircuit est tel qu'il permet une interaction efficace avec des champs haute fréquence, tout en coopérant efficacement avec des dispositifs appliquant des tensions de polarisation, et avec une dissipation efficace de la chaleur dégagée dans chacune des diodes 30 de l'ensemble. On voit que l'invention-eét.-iapplicable à la. réalisation d'ensembles de diodes pour divers types d'oscillateurs ou d'amplificateurs haute fréquence et la réalisation d'ensembles à semi-conducteurs comportant des diodes fonctionnant suivant divers modes. 35 II va de soi que la présente invention n'a été décrite et représentée qu'à titre explicatif, mais nullement limitatif, et qu'elle est susceptible de diverses variantes sans sortir de son cadre» 71 17474 2090057 REVENDICATIONS 1 - Procédé de réalisation d'un élément semi-conducteur comportant une masse de semi-conducteurs avec une couche superficielle, caractérisé en ce qu'il comprend les opérations ci-après: 5 formation d'une mince région allongée d'un premier type de conductivité adjacente à la surface libre de ladite couche superficielle, formation d 'une mince région allongée d'un second type de conductivité adjacente à la surface libre de ladite couche superficielle, très près de ladite région ayant un premier type de conductivité, 10 pour réaliser ainsi une jonction de semi-conducteursde faible capacité, formation d'une première couche d'une matière électriquement isolante, conduisant la chaleur sur ladite jonction et sur des parties de la surface libre de ladite couche superficielle, pour permettre la circulation de la chaleur le long de "ladite pre-15 mière couche et fixation de couches conductrices de l'électricité aux dites régions allongées minces afin d'appliquer une tension a.ux bornes de ladit^jonction. 2 - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend l'opération de formation d'une seconde couche d'une 20 matière électriquement isolante, conduisant la chaleur, sur ladite couche mentionnée en premier de ladite matière, ladite seconde couche recouvrant, par ailleurs, au moins des parties desdites couches conduisant l'électricité. 3 - Procédé selon la. revendication 2, caractérisé par la 25 formation d'une seconde couche de matière électriquement isolante, conduisant la chaleur, sur une seconde couche superficielle de ladite masse de semi-conducteurs. 4 - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'opération de formation d'une mince ré-30 gion allongée du premier type de conductivité comprend les opérations ci-après: mise en place d'un cache perforé sur la surface libre de ladite couche superficielle et diffusion d'un dopant du type n à travers une ouverture dudit cache pour former une mince région allongée du type n+. 35 5 - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que l'opération de formation d'une mince région allongée du second type de conductivité comporte les opérations ci-après : mise en place d'Un cache perforé sur 1a. surface libre de ladite couche superficielle et diffusion d'un dopant du type p 40 à travers une ouverture ménagée dans ledit cache pour former une 71 17474 2090057 mince régior^âllongée du type p+. 6 - Procédé selon l'une des revendications 4 et 5, caractérisé en ce que l'opération de formation des régions minces allongées des premier et second types de conductivité comporte la 5 diffusion par pénétration profonde simultanée, et de quantités sensiblement égales desdits dopants du type n et du type p. 7 - Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'opération de formation des régions minces allongées des premier et second types de conductivité comporte l'enlèvement d'une 1P partie dudit matériau au-dessous de la surface libre de ladite couche superficielle pour réduire son épaisseur à moins de .0,5 micron pour former une nouvelle surface libre. 8 - Procédé selon 1a. revendication 1 , caractérisé en ce que l'opération de formation de la première"couche de matériau 15 isolant conducteur de la chaleur comporte les opérations ci-après: mise en place d'un cache perforé sur la surface libre de ladite couche superficielle et formation par pulvérisation à partir d'une cathode contenant du béryllium, dans une chambre où le corps semi-. conducteur est employé comme anode, d'une première couche 20 d'oxyde de béryllium recouvrant ladite jonction et des parties de la surface libre de ladite couche superficielle. 9 - Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que l'opération de mise en place de couches électriquement conductrices comprend les étapes ci-après: mise en place d'un cache 25 perforé sur ladite couche d'oxyde de béryllium et formation, à travers ledit cache perforé, de couchesélectriquement conductrices sur lesdites régions minces allongées et, tout au moins, sur des parties de ladite couche d'oxyde de béryllium. 10 - Procédé s.elon la revendication 9, caractérisé en ce 30 qu'il comprend 1'opération de formation d'une seconde couche d'oxyde de béryllium sur ladite première couche d'oxyde de béryllium, et, tout au moins, sur des parties desdites couches électriquement conductrices. 11 - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce 35 que la jonction de semi-conducteurs constitue une jonction faisant partie d'un groupe de telles jonctions formant un ensemble branché en série-parallèle constituant un ensemble de diodes haute fréquence à semi-conducteurs et en ce qu'un ensemble de minces régions allongées du premier type de conductivité est formé 40 à proximité de la surface libre d'une couche superficielle de 71 17474 20 2090057 la. masse de semi-conducteurs, un ensemble associé de minces régions allongées du second type de conductivité est formé à proximité de la. surface libre de ladite couche superficielle d^ ladite masse de semi-conducteurs, chacune desdites régions allongé 5 ./second type de conductivité étant formée très près d'une des régions allongées du premier type de conductivité pour former un ensemble correspondant des jonctions superficielles de semi-conducteurs de faible capacité, une première couche de matériau électriquement isolant, conducteur de la chaleur, étant formée 1o sur lesdites jonctions_et sur des parties de la surface libre de ladite couche superficielle pour permettre le passage de la chaleur le long de cette couche, ledit procédé comportant la formation simultanée des couches électriquement conductrices sur lesdites régions allongées minces, sur des premières parties de la-15 dite couche électriquement isolante, conduisant la chaleur , pour relier lesdites jonctions en série et sur des secondes parties de ladite couche électriquement isolante ,conduisant 1a. chaleur, pour brancher en parallèle lesdites files ei/série, et la formation d'une seconde couche de matière électriquement isolante, condui-20 sant la chaleur sur ladite première couche de cette matière, ladite seconde couche de matière électriquement isolante, conductrice de 1a. chaleur, recouvrant également tout au moins des parties des couches conductrices de l'électricité. 12 - Elément semi-conducteur constitué par une masse com-25 portant'une couche superficielle avec une surface libre, caractérisé en ce qu'il comprend une première région mince allongée d'un premier type de conductivité à proximité de ladite surface libre, une seconde région mince allongée d'un second type de conductivité, située à proximité de ladite surface libre- et tout" 30 près de ladite première région- pour former à proximité de ladite surface libre une jonction de semi-conducteurs, avec ladite première région et une couche conductrice de la chaleur, électriquement isolante, pour passiver ladit^jonction, et destinée à être raccordée à un refroidisseur de ladite jonction. 35 13 - Elément selon la revendication 12, caractérisé en ce que ladite surface conductrice est constituée par du silicium ayant une conductivité du type n„ 14 - Elément selon l'une des revendications 12 et 13, caractérisé " en ce que ladite couche superficielle douée'd'une con-40 ductivité du type n est formée par épitaxie sur une couche de si 71 17474 21 2090057 licium de conductivité sensiblement intrinsèque. 15 - Elément selon l'une quelconque des revendications 12 à 14, caractérisé en ce que ladite première région douée du premier type de conductivité est constituée par une région de conductivité du type p+. 16 - Elément selon l'une quelconque des revendications 12 à 15, caractérisé en ce que ladite seconde région douée du second type de conductivité est constituée par une région de conductivité du type n . 17 - Elément selon 1a. revendication 16, caractérisé en ce que lesdites première et seconde régions contiennent, respectivement, du bore et du phosphore. ~ 18 - Elément selon l'une quelconque des revendications 12 à 17, caractérisé en ce que ladite couche isolante électriquement conductrice et conduisant la chaleur est constituée par de l'oxyde de béryllium. 19 - Elément selon l'une quelconque des revendications 12 à 18, caractérisé en ce qu'un des circuits conducteurs de l'électricité est lié auxdites régions minces allongées et qu'au-dessus de ladite couche conductrice de la. chaleur, électriquement isolante, il est lié électriquement par la jonction de semi-conducteurs . 20 - Elément Iselon la revendication 12, caractérisé en ce qu'il"comprend un premier groupe de régions minces allongées, douées d'une conductivité du premier type, situées à proximité de ladite surface libre, un seconc^éroupe de régions minces allongées, douées du second type de conductivité, situées à proximité de ladite surface libre, ledit premier groupe de régions étant placé très près, sans les recouvrir, desdites régions douées du second type de conductivité pour former à proximité de ladite surface libre un groupe de jonctions allongées de .semi-conducteurs, une couche conductrice de la chaleur, électriquement conductrice, destinée à passiver ledit groupe de jonctions allongées de semiconducteurs et à conduire la chaleur provenant dudit groupe de jonctions ainsi que des .circuitçâestinés à raqcorder .électriquement ledit groupe de jonctions de semi-conducteurs afin :d'appliquer une tension de polarisation à chaque jonction. 21 - Elément selon la revendication 20, caractérisé en ce que lésdites couches conductrices de la chaleur, électriquement isolantes, sont destinées à conduire la chaleur dans une direction 2090057 sensiblement parallèle auxdites jonctions allongées de semiconducteurs. 22 - Elément selon l'une des revendications 20 et 21, caractérisé en ce que lesdits éléments de circuit sont branchés 5 en série au contact de régions minces allongées de types de conductivité différents. 23 - Elément selon l'une quelconque des revendications 20 à 22, caractérisé en ce qu'il comprend des organes .pour coupler' électriquement ladite masse à une ligne de transmission haute 10 fréquence. 24 - Elément selon la revendication 23, .caractérisé en ce qu'il comprend des organes'de couplage thermique de ladite masse à une ligne de transmission haute fréquence. - - . 25 - Dispositif d'amplification d'ondes haute fréquence 15 comportant un champ électrique oscillant, caractérisé en ce qu'il comprend des éléments de: circuit constitués par des surfaces conduisant les courants-haute fréquence .agissant en commun, destinés à renforcer ledit champ électrique oscillant existant entre elles, une masse de semi-conducteurs placée dans 20 ledit champ électrique oscillant, ladite masse comportant une surface, de semi-conducteurs sensiblement parallèles audit champ électrique, une diode superficielle allongée, réalisée à proximité de ladite surface semi-conductrice et comportant une jonction allongée de semi-conducteurs placée à peu près perpendiculairement 25 audit champ électrique oscillant et des éléments de circuit pour appliquer une tension de polarisation aux bornes de ladite diode superficielle. 26 - Dispositif selon 1a. revendication 25, caractérisé en ce que'ladite diode superficielle allongée fait partie d'un circuit 30 série comportant plusieurs diodes superficielles allongées, réalisées^ proximité de ladite surface semi-conductrices pour former une file de diodes en série, lesdites diodes comportant des jonctions de semi-conducteurs toutes placées à peu près perpendiculairement audit champ électrique oscillant.• 35 27 - Dispositif selon l'une des .revendications 25 et 26,ca ractérisé en ce qu'une couche électriquement isolante, conduisant la chaleur, placée sur ladite jonction de semi-conducteurs est reliée thermiquement auxdits éléments de.circuit. - . 28 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 25 40 à 27, caractérisé en ce que ladite tension de polarisation et ledit 71 17474 71 17474 2090057 champ électrique oscillant sont sensiblement parallèles. 29 - Dispositif selon la revendication 28, caractérisé en cet .que ladite tension de polarisation est "inférieure à la tension de claquage caractéristique de ladite diode, afin de permettre à ladite diode de fonctionner en convertisseur d'énergie .selon un mode à rendement élevé en présence dudit champ élec trique oscillant. ...... . ... 30 - Dispositif selon .l'une quelconque des-revendications 25 à 29, caractérisé en ce que. ledit élément de circuit est cons titué par un guide d'ondes à saillie intérieure et en ce que ladite masse de semiconducteurs est placée dans ledit champ électrique oscillant entre la saillie -intérieure dudit guide d'ondes à saillie intérieure .et la .paroi opposée de ce dernier. 31 - Dispositif selon .l'une quelconque des revendications 25 à 30; -caractérisé en ce que ladite jonction de semi-conduc-téurs pénètre au-dessous de ladite surface de semi-conducteurs sur une distance sensiblement égale à la profondeur de pénétration des courants haute fréquence pour la longueur d'onde ampli fiée.