Brevet FR2101039A1 — publié le 19720331

L'invention se rapporte à une structure de mémoire à éléments intégré3 ainsi qu'à son procédé de fabrication. On connaît des structures de mémoires magnétiques du type de celle qui a été décrite et représentée dans le brevet français N 1.520.404 dépose le 7 octobre 196, dans lesniuelles des éléments conducteurs, en forme de bonde ou de fil, revêtus chacun d'une pellicule de matière magnétique, sont disposés parallèlement les uns aux autres sur un bloc métallique non magnétique qui forme le support de la structure et sert de misse lors de l'exploitation de la mémoire. Ces éléments conducteurs sont isolés entre eux au moyen d'une couche isolante lui, dépose préalablement sur le support, supprime tout contact électrique entre lesdits éléments et le support.Cette couche isolante est généralement constituée par de la silice ou du monooxyde de silicium. Le dépôt des diverses couches métalliques constitutives des éléments conducteurs revêtus de matière magnétique peut être réalisé en faisant appel à des méthodes connues telles que, par exemple, l'évaporation sous vide. Mais le procédé qui est le plus avantageux en raison de son prix de revient très bas et qui permet d'obtenir, à basse température, des couches métalliques de plusieurs microns d'épaisseur et des couches magnétiques minces, anisotropes, à magnétostriction moyenne nulle et dont l'épaisseur et les propriétés magnétiques sont adjustables dans de très larges limites, est le procédé de dépôt électrolytique.La mise en oeuvre -de ce procédé exige cependant que la couche isolante qui est dé- posée sur le support soit revêtue au préalable d'une couche adhérente continue de matériau conducteur. Pour réaliser le dépôt de cette couche conductrice sur la couche isolante, on utilisait jusqu'ici le procédé bien connu de vaporasitation sous vide. Mais ce procède, tiii I permet de déposer une couche métallique sur une très grande variété de matériaux isolants, présente cependant l'inconvénient de nécessiter l'emploi d'un matériel relativement complexe et coûteux et dont la mise en oeuvre requiert des conditions opératoires particulièrement précises pour obtenir des dépôts métalliques dont les propriétés sont pratiquement identiques d'un échantilion à l'autre.C'est pourquoi on cherchea éviter d'avoir recours à ce procédé pour fabriquer des structures de mémoires du type susmentionné. Pour permettre la fabrication des structures de mémoires de ce type, par des procédés ne faisant pas appel à l'é- vaporation sous vide, on a donc songé à effectuer le dépôt du matériau conducteur sur la couche isolante en utilisant un procédé de métallisation chimique. Malheureusement ce procédé n'a pu jusqu'à présent être mis en oeuvre au cours de la fabrication de ces structures de mémoires, du fait que la métallisation chimique n' est possible que sur des matériaux particuliers qui ne peuvent pas être employés pour servir de couche isolante dans ces structures.En effet, ces matériaux commencent à se détériorer dès que leur température dépasse une centaine de degrés. Ils ne pourraient résister, par conséquent, à l'action de la chaleur à laquelle ils seraient soumis, lors du traitement de recuit qu'il est nécessaire d'effectuer pour éviter la dégradation, dans le temps, des propriétés du matériau magnétique. La présente invention remédie à ces inconvénients et propose une structure de mémoire du type susmentionné dont les différentes couches métalliques constitutives sont obtenues, de façon simple et reproductible, en faisant uniquement appel à des procédés électrolytiques et de métallisation chimique. Un objet de l'invention concerne une structure de mémoire comprenant un support plan, une couche isolante reposée sur ]e support, une pluralité d'éléments magnétiques idetiqca disposés parallèlement les uns aux autres sur ladite couche et-une pellicule intermédiaire de métal conducteur interposée entre cha- que élément magnétique et la couche isolante, ladite structure étant caractérisée en ce que la couche isolante est constituée d'une substance polymérisée résultant de la combinaison dtun durcisseur et d'un vernis polymérisable formé à partir d'une résine époxy, d'un acide gras en quantité déterminée pour doubler sensiblement l'équivalent époxy de la résine, d'une résine urée- formol en une proportion inférieure à 10 % du poids de la résine époxy, et d'un diluant organique quelconque, autre qu'un ester D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront dans la description suivante, donnée à titre d'exemple non limitatif, et en e référant aux dessins annexés sur lesquels La figure 1 est une vue partielle en perspective d'une structure de mémoire à couches magnétiques coupées, La figure 2 est une vue partielle en perspective d'une structure de mémoire à circuit magnétique fermé, Les figures 3 A, 3 B, 3 C, 3 D sont des vues en coupe illustrant différentes étapes du procédé utilisé pour réaliser une structure de mémoire du type représenté sur la figure 1, Les figures 4 A, 4 B, 4 C, 4 D sont des vues en coupe illustrant différentes étapes du procédé utilisé pour réaliser une structure de mémoire du type représenté sur la figure2. La structure de mémoire représentée sur la figure 1 comprend essentiellement un bloc matallique, non magnétique i0, recouvert d'une couche de matière isolante 11. Au point de vue électrique, ce bloc 10 sert de masse lors de l'exploitation de la mémoire. Sur la surface de la couche isolante bl sont formées des bandes métalliques composites 12, parallèles les unes aux autres, ui constituent les éléments magnétiques de la mémoire, chaque bande comprenant une couche magnétique mince 13 recouverte d'une couche électriquement conductrice 14, elle-même revêtue d'une seconde couche magnétique mince J5. La couche conductrice 14 peut être réalisée en tout métal bon conducteur de ltélectricité, tel que, par exemple, le cuivre.Une série de conducteurs parallèles 16 est placée au-dessus des bandes métalliques 12, perpendiculairement à celles-ci. Ces conducteurs 16 sont isolés entre eux et isolés des bandes métalliques 12 au moyen d'une feuille isolante 17. Les couches magnétiques minces 13 et 15 présentent dans leur plan une direction de facile aimantation F A et une direction de difficile aimantation D A, la direction facile F A étant orientée, pour toutes les couches magnétiques, soit parallélement aux conducteurs 16 comme dans le cas de la figure 1, soit perpendiculairement à ceux-ci.On sait que les conducteurs qui sont parallèles à la direction de facile aimantation F A, c'est-à-dire les conducteurs 16 dans le cas de la figure 1, sont appelés les conducteurs de "mots", les autres conducteurs, c'est-à-dire les conducteurs 14 dans le cas de la figure 1, étant appelés les conducteurs d'information ou de "digits". On sait aussi que, dans une structure de mémoire du type de celle représentée sur la figure 1, un élément ou "point" de mémoire est défini par une surface de matière ferromagnétique limitée par la largeur d'une bande 12 et la projection orthogonale des deux bords d'un conducteur 16. La structure de mémoire qui vient d'être décrite est dite à couches magnétiques couplées. Dans cette structure, en effet, chaque bande métallique 12 comprénd deux couches magnétiques 13 et 15, de sorte que le flux magnétique dû à l'induction magnétique de la portion de couche magnétique 13 de chacun des points de mémoire, se referme, non seulement dans l'air, mais aussi dans la portion de la couche magnétique 15 du point mémoire considéré. Pour cette raison, les éléments de mémoire de cette structure sont dits à circuits magnétiques quasi-fermés. La structure de mémoire représentée sur la figure 2 est analogue à celle de la figure 1, à cette différence que chaque bande métallique 12 comporte en outre deux couches magnétiques verticales 18 et 19, dites de fermeture de trajet de flux, qui longent l'ensemble des bords latéraux des couches 13, 14 et 15 pour établir un trajet de flux magnétique rigoureusement continu entre les bords des couches magnétiques 13 et 15. Les élé ment s de mémoire de cette structure, dans laquelle chaque couche conductrice 14 est recouverte sur ses quatre côtés de matière magnétique, sont dits à circuits magnétiques fermés. Selon une caractéristique de l'invention, la couche de matière isolante 11 est, dans chacune des structures représentées sur les figures 1 et 2, formée d'une matière résultant de la polymérisation, au moyen d'un durcisseur approprié, du vernis isolant, appelé aussi résine mère, qui fait l'objet de la demande de brevet français qui a été déposée le 22 Juillet 1970 par la demanderesse, sous le titre : "Vernis isolant métallisable et son procédé de fabrication". On rappelle que cette résine mère est formée à partir d'une résine époxy, d'un acide gras en quantité déterminée pour doubler sensiblement l'équivalent époxy de la résine, d'une résine urée-formol en une proportion inférieure à 10 % du poids de la résine époxy, et d'un diluant organique quelconque, autre qu'un ester.On rappelle en outre que cette résine époxy peut, plus particulièrement, être du type épichlo rhydrine-diphénylolpropane. La structure de mémoire qui a été décrite précédemment en se référant à la figuré 1 peut être réalisée en utilisant, de préférence, le procédé de fabrication suivant. Sur un support IQoonstitué, par exemple, par une plaquette de laiton rodé ou encore par une mince feuille de cuivre collée sur une plaque isolante céramo-plastique, on dépose une couche du vernis obtenu en mélangeant à la résine mère, qui a été préparée selon le procédé décrit dans la demande de brevet susmentionnée,un durcisseur capable de provoquer la polymérisation de cette résine.A titre d'exemple, cette résine mère peut être celle dont la préparation a été indiquée dans ladite demande et qui est préparée à partir de la résine époxy "Epikote 1001" qui est sell-lue -:i Ronce par la Compagnie Française -des Produits Chimiques SHEDS. Le durcisseur qui a été préférentiellement choisi pour durcir cette résine mère est une polyaminoamide qui est fabriquée industriellement par la Société américaine dite "General Mills Inc" et qui est vendue en France sous le nom de "Versamid 600" par la Société dite "Schering France". C'est ainsi que la polymérisation de la résine mère citée à titre d'exemple est obtenue en mélangeant à 244 grammes de cette résine mère, une quantité de "Versamid 600" voisine de 82 grammes. Pour étendre, sur le support 10, le mélange formé par la résine mère et son durcisseur, on utilise une tournette, constituée essentiellement d'un plateau circulaire horizontal qui est entraîné en rotation par un moteur électrique dont on peut faire varier la vitesse -en agissant sur la tension d'alimentation. Cet étendage est effectué dans les conditions qui ont été exposées dans la demande de brevet susmentionné. Lorsque cet étendage est terminé, le support 10 revêtu de sa couche de vernis est placé dans une étuve à 1250 C. pendant 24 heures, pour provoquer la polymérisation du vernis. Une seconde couche de vernis est déposée, dans les mêmes conditions, sur cette première couche et polymérisée à son tour, à 1250 Cependant 24 heures. En effectuant l'étendage du vernis sur le support, en deux couches successives, à la vitesse de 900 tours à la minute, on obtient finalement, après polymérisation, un film de vernis isolant 11 ayant une épaisseur totale de 13 microns et présentant un état de surface tel que o l'amplitude des défauts de surface est de l'ordre de 1000 A.On peut aussi réaliser l'étendage du vernis dans les mêmes conditions que précédemment, mais en opérant à la vitesse de 1500 tours à la minute. Le film de vernis isolant 11 que l'on obtient alors, après polymérisation, présente une épaisseur de 10 microns et des dé o fauts de surface dont l'amplitude est inférieure à 800 A. On peut indiquer encore que, lorsqu'on effectue l'étendage du vernis dans ces mêmes conditions, mais avec une vitesse de 2000 tours à la minute, on obtient, après polymérisation, un film de vernis isolant 11 -de 8 microns d'épaisseur et possédant des défauts de surface o dont l'amplitude est comprise entre 300et 500 A.Il y a lieu de signaler que ces valeurs qui viennent d'être donnéés à titre d'exemple varient suivant les dimensions du support et que, dans l'exem- ple décrit, elles sont relatives à un support de forme rectangulaire ayant 5 cm de longueur et 2,5 cm de largeur. Le film de vernis isolant 11 qui est déposé sur le support 10, de la manière qui vient d'être indiquée, est ensuite revêtu d'une couche métallique continue, fortement adhérente, déposée par voie chimique. Dans l'exemple décrit, cette couche métallique est obtenue en utilisant une solution de cuivrage connue, capable de former sur le film 11 un dépôt chimique de cuivre. Cependant, avant de mettre en oeuvre ce procédé chimique de métallisation, il faut d'abord créer, par une attaque chimique convenable, un microrelief à la surface du film de vernis, ce microrelief étant indispensable pour permettre une bonne adhérence du métal sur ce vernis. Pour réaliser cette attaque on peut utiliser avantageusement le procédé qui a été décrit dans la demande de brevet susmentionné. Le film de vernis isolant 11 est alors prêt pour être revêtu d'une couche métallique déposée par voie chimique. Pour obtenir sur ce film un dépôt chimique de cuivre, on utilise, dans l'exemple décrit, une gamme de produits industriels qui sont vendus en France par la Société française dite "Pernix-Enthone", sous les noms de "Sensitizer 432", "Activator 440", "Enplate CU 400-A", "Enplate CU 400-B". On opère pratiquement de la façon suivante. Le support 10 revêtu de son film de vernis 11 est d'abord immergé, pendant cinq minutes, dans la solution suivante composée de - "Sensitizer 4321' 1 volume. - Eau désionisée 15 volumes. Le support revêtu de son film de vernis est ensuite rincé, puis immergé, pendant deux minutes, dans une solution comprenant - "Activator 440"................ 1 volume. - Eau désionisée 16 volumes. Après un nouveau rinçage, on immerge le support et son film, pendant deux minutes, dans une solution de cuivrage chimique ayant la composition suivante - "Enplate CU 400-A'.' 2 volumes. - "Enplate CU 400-B" 5 volumes. - Eau désionisée 9 volumes. En opérant dans ces conditions, on obtient., sur le film de vernis isolant t 1, un dépôt chimique de cuivre parfaitement adhérente ayant une épaisseur sensiblement égale à 0,2 micron. Cette opération de. dépôt chimique est suivie d'un rinçage, d'un séchage à 1'air comprimé filtré, et d'un stockage pendant douze heures environ, à une température de l'ordre de 200 C., pour permettre le ressuage des produits de dissolution. La couche de cuivre qui a été déposée par voie chimique sur le film de vernis 11, de la manière qui vient d'être indiquée, se révèle incapable d'être revêtue elle-même d'une couche d'alliage ferromagnétique déposée électrolytiquement et ayant les propriétés désirées. La raison en est que le cuivre déposé par voie chimique sur le film de vernis 11 est constitué de sphérules juxtaposées dont l'activité chimique n'est pas homoghne. De plus, ce cuivre pré-sente une résistivité électrique relativement élevée. C'est pourquoi, avant de déposer la couche ferroma magnétique, on recouvre la couche de cuivre chimique d'une pellicule de cuivre déposée par voie électrolytique. Cette pellicule de cuivre qui peut être formée à l'aide d'un électrolyte de type connu, est obtenue, dans l'exemple décrit, au moyen d'un bain de cuivrage électrolytique qui a la composition suivante - Sulfate de cuivre (S04 Cu, 5H2O).... 250 grammes - Acide sulfurique pur à 660 Baumé 50 grammes -"Brillanteur UBAC N 1"............... 5 ml - Chlorure de sodium + 0,01 gramme - Eau désionisée QSP................... 1 litre le Brillanteur UBAC N 1 qui entre dans la composition de cet électrolyte est un produit qui est fabriqué industriellement et qui est vendu sous cette marque, en France, par la Société française dite "Société Continentale PARKER". Cet électrolyte est maintenu à une température constante, de l'ordre de 200 C. Én opérant dans ces conditions, avec une densité de courant constante dont la valeur est sensi blement égale à 4A/dm, on obtient, avec cet électrolyte, sur la couche de cuivre chimique utilisée comme cathode, un dépôt de cuivre présentant l'avantage d'être brillant et d'avoir une résistivité électrique relativement faible, de l'ordre de 1,8. 10-8 ohm-mètre. Cette opération de dépôt électrolytique est réalisée, dans ces conditions, pendant un temps au moins égal à 40 secondes, pour permettre de déposer, sur la couche de cuivre chimique, une pellicule de cuivre électrolytique dont l'épaisseur est au moins égale à 0,5 micron.On a constaté en effet qu'en déposant, sur une pellicule de cuivre électrolytique ayant au moins cette épaisseur, un film mince de matériau ferromagnétique, ce film présentait une dispersion angulaire magnétique très faible et compatible avec l'utilisation de ce film dans les structures de mémoire. Il est utile de signaler ici que cette dispersion angulaire magnétique est pratiquement inférieure à 10. Selon une autre caractéristique de l'invention, le matériau magnétique qui est utilisé pour constituer la couche 13 de la structure de mémoire représentée sur la figure 1, est un alliage ternaire de fer, de nickel et de cobalt qui présente l'avantage de pouvoir être déposé, par voie électrolytique, directement sur un substrat de cuivre.Dans l'exemple décrit, cet alliage est obtenu au moyen d'un électrolyte ayant la composition suivante - Sulfate de nickel(S04Ni, 6H20) 512,1 g/litre soit Ni métal....................... 114,5 g/litre - Sulfate de fer (S04Fe, 7 H20) 22,235 g/litre soit Fe métal....................... 4,47 g/litre - Sulfate de cobalt (S04Co, 7 H20) 5,7 g/litre soit Co métal....................... 1,2 g/litre - Acide borique (B03H3) 25 g/litre - Thiourée SC (NH2)2.................. 0,2 g/litre -,Sulfate Lauryl de sodium (Agent mouillant) 0,420 g/litre - Eau déminéralisée QSP............... 1 litre - pH 2,5 La valeur du pH est ajustée à 2,5±0,05 à l'aide d'une solution 2 M d'acide citrique. Les rapports des concentrations des différents ions métalliques du bain à la concentration totale en ions métalliques de ce bain sont les suivants I1 convient de signaler que I1 alliage magnétique susmentionné peut également être obtenu avec des électrolytes contenant un taux d'ions fer compris sensiblement entre 3 % et 5 ffi et un taux d'ions cobalt compris sensiblement entre l % et 2 %, le taux d'ions nickel restant alors compris sensiblement entre 96 % et 93 %. L'électrolyse est effectuée en plaçant dans cet électrolyte, maintenu à une température constante de l'ordre de 280C., l'ensemble formé par le support 10 et le film de vernis isolant 11 qui a été recouvert, comme on l'a dit plus haut, d'une couche de cuivre déposée par voie chimique et d'une couche de cuivre déposée électrolytiquement. Sur cette couche de cuivre électrolytique, utilisée en tant que cathode, on dépose une couche d'allia ge magnétique, en opérant avec une densité de courant constante de l'ordre de 16 mA/cm2, à une température constante de 280 C. et sans agitation, l'électrolyte étant placé sous une atmosphère neutre (atmosphère d'azote) pour éviter l'oxydation des ions ferreux à l'air.Par ailleurs l'oxydation anodique de ces ions ferreux est supprimée par l'emploi d'un compartiment anodique qui est séparé du compartiment cathodique par un diaphragme et qui contient un électrolyte exempt de sels métalliques réductibles. Ce dernier électrolyte, ou anolyte, est constitué, dans l'exemple décrit, par une solution aqueuse de sulfate de sodium et d'acide borique, ajustée à un p11 de 2,5+0,05 par addition d'une solution 2M d'acide citrique. le dépôt d'alliage magnétique est réalisé en présence d'un champ agnd uQ uniforme produit par deux bobines montées en position de Helmholtz. Il convient de signaler que l'électrolyte susmentionné, qui est utilisé pour réaliser la couche magnétique, permet d'obtenir un alliage magnétique dont la composition est peu sensible aux variations de la densité de courant. En outre cet électrolyte présente l'avantage, par rapport aux autres électrolytes connus, de permettre le dépôt d'une couche d'alliage ferromagnétique directement sur un support de cuivre, c'est-à-dire sans ou' il soit nécessaire de déposer au préalable, sur ce support, une sous-couche d'un métal conducteur, non magnétique, à grain fin, tel que l'or par exemple. En opérant dans les conditions indiquées plus haut, on obtient, avec cet électrolyte, une couche d'alliage magnétique qui content sensiblement 17 % de fer, 75 46 de nickel et 8 % de cobalt, qui a une magnétostriction pratiquement nulle et qui est caractérisée par les paramètres magnétiques suivants - champ d'anisotropie Hk = 5 oersteds. - champ coercitif H c = 4 oersteds. - dispersion angulaire magnétique 0(90 = 10 Le dépôt électrolytique est effectué dans ces conditions, pendant un temps déterminé, de manière à obtenir une couche magnétique dont l'épaisseur est égale, dans l'exemple dé o crit, à 1000 A. Lorsque cette opération de dépôt est terminée, l'ensemble formé par le support 10, le film de vernis isolant 11, la couche de cuivre déposée par voie chimique et la couche de cuivre électrolytique recouverte d'alliage magnétique, est retiré du bain et rincé. Une seconde couche de cuivre électrolytique, de 8 à 16 microns environ d'épaisseur, est alors déposée sur la couche d'alliage magnétique, en utilisant le même bain de cuivra ge électrolytique que celui dont on a donné plus haut la composition, et en opérant avec ce bain dans les mêmes conditions, c'est à-dire à une température constante de l'ordre de 200 C., et avec une densité de courant constante voisine de 4 A/dm2. Dans le cas où on désire fabriquer une structure de mémoire du type de celle représentée sur la figure 1, on dépose, sur la seconde couche de cuivre électrolytique, une seconde couche d'alliage magnétique identique à la première, cette seconde couche d'alliage étant obtenue en utilisant le même bain et en opérant dans les mêmes conditions que celles qui ont permis de déposer la première couche d'alliage magnétique. La structure que l'on obtient, après toutes ces opérations, est celle qui a été représentée, en coupe, sur la fi gure 3 A. On reconnaît, sur cette figure, le support 10 qui est constitué ici par une feuille de cuivre 30 collée sur une plaque isolante céramo-plastique 31, la couche de vernis isolant 11, la couche de cuivre 32, de 0,2 micron d'épaisseur, déposée par voie chimique, la première couche de cuivre électrolytique 33, dont l'épaisseur est au moins égale à 0,5 micron, la première couche o ferromagnétique 13, de 1000 A d'épaisseur, qui a été déposée sur la couche 33, la seconde couche de cuivre électrolytique 14, de 8 microns d'épaisseur, qui a été déposée sur la couche 13, et o enfin la seconde couche ferromagnétique 15, de 1000 A d'épaisseur, qui a été déposée sur la couche 14. Dans le but de réaliser une mémoire du type de celle représentée sur la figure 1, on utilise un procédé de gravure pour découper~en bandes parallèles les différentes couches métalliques superposées de la structure montrée sur la figure 3 A. Ce procédé de gravure peut être l'un de ceux qui sont habituellement utilisés dans l'industrie de fabrication des mémoires à pellicules magnétiques minces. La technique utilisée dans l'exemple décrit consiste à employer une résine photosensible fabriquée par la société dite "Eastman Kodak Company" et connue dans le commerce sous le nom de "K.T.F.R." (Kodak Thin Film Resist).Cette résine photosensible est appliquée sur la seconde couche ferromagnétique 15, comme le montre la figure 3 B, et exposée ensuite à une source lumineuse, à travers un cache possédant des ouvertures parallèles. Sur la figure 3 B, les parties de la couche de résine photosensible, référencée 40, qui ont été soumises à l'insolation ont été représentées en noir. Le dépouillement du dessin formé par les parties de cette couche de résine qui ont été ainsi exposées, est réalisé alors par immersion, pendant une minute, dans une solution qui est fabriquée industriellement sous le nom de "Developer KHMER" par la susdite société "Eastman Kodak Company". La couche de résine photo sensible 40 subit ensuite un rinçage dans une solution composée de - Alcool isopropylique .. l volume. - "Developer KHMER" 3 volumes. Après cette opération, seules ne subsistent sur la couche ferromagnétique 15, que les parties de la couche photosensible 40 qui ont été soumises à l'insolation. La structure ainsi traitée est ensuite placée, pendant 20 minutes dans une étuve à 800 C., pour y subir une cuisson. Après quoi, la seconde couche ferromagnétique 15 est gravée par immersion, pendant deux à trois secondes environ, dans une solution aqueuse contenant 100 grammes par litre de persulfate d'ammonium et maintenue à la température ambiante. Au cours de cette opération, les parties de la couche ferromagnétique 15 non masquées par la couche photosensible 40 sont attaquées, les parties masquées de la couche 15, restant pratiquement inattaquées. Après rinçage, la couche de cuivre 14 est gravée à son tour à l'aide d'une solution sulfochromique composée de - Anhydride chromique Cr 03 .... 25O g - Acide sulfurique à 660 Baume 25 g - Eau désionisée QSP................ 1 litre Cette solution sulfochromique, qui est utilisée à une température de 550 C., présente l'avantage de ne pas attaquer l'alliage magnétique qui constitue les couches 13 et 15. Lorsqu'on opère avec cette solution, pendant un temps de. l'ordre de deuxminutes, les régions de la couche de cuivre 14 non recouvertes par les parties restantes de la couche magnétique 15 se trouvent enlevées, de sorte que, après cette opération, la première couche ferromagnétique 13 apparaît surmontée d'un réseau de conducteurs parallèles en cuivre 14, chaque conducteur étant recouvert par l'alliage ferromagnétique 15, lui-même revêtu de résine photo sensible 40.Après un nouveau rinçage, la première couche ferromagnétique 13 est gravée à son tour, dans les mêmes conditions que celles indiquées pour la gravure de la couche ferromagnétique 15, et avec la même solution de persulfate d'ammonium. Après quoi, on rince à nouveau, puis on grave les couches de cuivre 32 et 33 en utilisant la solution sulfochromique susmentionnée et en effectuant l'attaque, avec cette solution, pendant 20 à 30 secondes environ. La structure que l'on obtient, après toutes ces opérations, a l'aspect indiqué sur la figure 3 C. La couche de résine photosensible 40 qui recouvre les parties restantes de la couche 15 est alors retirée par immersion dans du xylène. La structure obtenue après le retrait de cette couche 40 aété représentée sur la figure 3 D. Pour réaliser une mémoire du type de celle de la figure 1, il reste à former, sur cette structure, une couche isolante 17 surmontée d'un réseau de conducteurs 16 parallèles entre eux et orthogonaux aux conducteurs 14. Dans l'exemple décrit, cette couche isolante 17 est obtenue en déposant, sur la structure représentée sur la figure 3 D, une couche de vernis isolant, formé par le mélange d'un durcisseur et de la résine mère faisant l'objet de la demande de brevet susmentionné. La polymérisation de cette résine mère est effectuée dans les conditions qui ont été déjà exposées plus haut. Cette couche de vernis. isolant 17 est revêtue à son tour d'une couche de cuivre déposée par voie chimique et d'une couche de cuivre électrochimique. On grave enfin ces deux couches de cuivre pour former le réseau de conducteurs 16, en opérant d'une manière analogue à celle qui a été décrite plus haut pour réaliser le réseau de conducteurs 14. Si, maintenant, on désire fabriquer une mémoire du type de celle représentée sur la figure 2, on dépose, successivement, sur le support 10, une couche de vernis isolant métallisable 11, une couche de cuivre chimique 32, une couche de cuivre électrolytique 33, une première couche ferromagnétique 13 et une seconde couche de cuivre électrolytique 14, ces différentes couches étant déposées dans les mêmes conditions que celles qui ont été exposées précédemment. Sur la couche de cuivre 14, on applique une couche de résine photosensible 40, par exemple de résine "K.T.F.R.", que l'on expose ensuite à une source lumineuse, à travers un cache possédant des ouvertures parallèles. La figure 4 A montre l'aspect de cette structure, les parties exposées de la résine photosensible 40 étant représentées en noir sur cette figure.On enlève alors les parties non exposées de cette résine et on procède ensuite à la gravure de la couche 14 par immersion dans la solution sulfochromique dont on a indiqué plus haut la composition. La structure obtenue après cette gravure a été représentée sur la figure 4 B. On voit alors, en se référant à cette figure, que la couche de cuivre 14 se trouve maintenant découpée en une série de bandes conductrices parallèles que l'on désigne sous le nom d'éléments conducteurs de la structure.On retire ensuite la couche de résine photosensible 40 à l'aide de xylène et, après rincage, on dépose, sur les conducteurs 14 obtenus par gra vure et sur les tarties à nu de la couche ferromagnétique 13, une seconde couche ferromagnétique 15. Une cliche le résine photosensible 41 est déposée ensuite sur ceinte seconde couche ferreamagné- tique 15 et exposée à l'action de la lumière, à travers un cache possédant des ouvertures semblables à celles-du cache ayant servi pour la gravure des conducteurs 14, mais de largeurs plus petites, comme on peut le voir en se référant à la figure 4 C.Après avoir retiré les parties non exposées de la résine photosensible 41, on procède à la gravure des couches ferromagnétiques 13 et 15, en utilisant la même solution de persulfate d'ammonium que celle indiquée précédemment, et en opérant pendant environ 5 à 6 secondes (temps nécessaire à la gravure d'une couche ferromagnétique de 2000 A 'épaisseur). Il y a lieu de mentionner ici que, du fait de la plus faible largeur des ouvertures du cache utilisé pour l'insolation de la couche photosensible 41, les portions verticales de-la couche magnétique 15 ne sont pas attaquées au cours de cette gravure, de sorte que, à la fin de cette gravure, chaque conducteur 14 reste recouvert de matière magnétique sur ses quatre côtés.On procède ensuite, à l'aide de la solution sulfochromique, à la gravure des couches de cuivre 32 et 33. Lorsque cette opération est terminée, on retire les parties restantes de la résine photosensible 41 par immersion dans du xylène. La structure que l'on obtient, à la suite de toutes ces opérations, est représentée sur la figure 4 D. Pour réaliser une mémoire du type de celle de la figure 2, il reste à former, sur cette structure, une couche isolante 17 surmontée d'un réseau de conducteurs 16 parallèles entre eux et orthogonaux aux conducteurs 14. Cette couche isolante 17 et ces conducteurs 15 peuvent être réalisés par la mise en oeuvre des procédés qui ont été exposés plus haut dans la description. A titre d'exemple, on a réalisé, en utilisant le procédé qui vient d'être décrit, une mémoire du type de celle représentée sur la figure 2, dans laquelle les conducteurs 14 et 16, d'une largeur sensiblement égale à 100 microns, sont écartés les uns des autres d'une distance voisine de 100 microns. On obtient ainsi une densité d'emmagasinage de l'ordre de 800 bits par centimètre carré. Bien que l'on ait décrit, dans ce qui précède, et représenté sur les dessins, les caractéristiques essentielles de l'invention, il va de soi que l'homme de métier peut y apporter toutes modifications de forme et de détail jugées utiles, sans pour autant sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1) Une structure de mémoire comprenant un support plan, une couche isolante déposée sur le support, une pluralité d'élements magnétiques identiques disposés parallèlement les uns aux autres sur ladite couche et une pellicul-e intermédiaire de métal conducteur interposée entre chaque élément magnétique et la couche isolante, ladite structure étant caractérisée en ce que la couche isolante est constituée d'une substance polymérisée résultant de la combinaison d'un durcisseur et d'un vernis polymérisable formé à partir d'une résine époxy, d'un acide gras en quantité déterminé pour doubler sensiblement l'équivalent époxy de la résine, d'une résine urée-formol en une proportion inférieure à 10 % du poids de la résine époxy, et d'un diluant organique quelconque, autre qu'un ester. 2) Une structure de mémoire selon revendication 1, dans laquelle la résine époxy utilisée pour former le vernis polymérisable est du type épichlorydrine-diphénylolpropane. 3) Une structure de mémoire selon revendication 1, dans laquelle la pellicule intermédiaire est formée par une première couche de cuivre déposée, par voie chimique, sur la couche isolante et par une seconde couche de cuivre déposée électrolytiquement sur ladite première couche de cuivre. 4) Une structure de mémoire selon revendication 2, dans laquelle chaque élément magnétique est constitué de deux couches de matière ferromagnétique, séparées l'une de l'autre par une bande de métal conducteur. 5)Une structure de mémoire selon revendication 2, dans laquelle chaque élément magnétique est constitué par une bande de métal conducteur, revêtu, sur ses quatre côtés, de matière ferromagnétique. 6) Une structure de mémoire selon l'une des revendications 4 et 5, dans laquelle la matière ferromagnétique est un alliage ternaire qui contient sensiblement 17. de fer, 75 % de nickel et 8 % de cobalt. 7) Une structure de mémoire selon l'une des revendications 4 et 5, dans laquelle la bande métallique de chaque élément magnétique est formée par du cuivre électrolytique. 8) Un procédé pour fabriquer une structure de mémoire comprenant un support plan, une couche isolante déposée sur le support, une pluralité d'éléments magnétiques identiques disposés parallelement les unettffires sur ladite couche et une pellicule intermédiaire de métal conducteur interposée entre chaque élémerlt magnétique et la couche Isolante, ledit procédé étant caractérisé en ce qu'il consiste à réaliser le mélange d'un durcisseur et d'un vernis polymérisable formé à partir d'une résine époxy, d'un acide gras en quantité déterminée pour doubler sensiblement l'équivalent époxy de la résine, d'une résine urée-formol en une proportion inférieure à 10 % du poids de la résine époxy, et d'un diluant organique quelconque, autre qu'un ester, à déposer ce mélange sur le support plan en une couche continue uniforme, à déposer, par voie chimique sur cette couche et après polymérisation, une couche de métal conducteur, à déposer par électrolyse une couche de cuivre sur ladite couche de métal conducteur, à déposer ensuite par électrolyse successivement, une première couche d'alliage ferromagnétique, une couche de cuivre et une seconde couche d'alliage ferromagnétique, et à graver de façon connue lesdites couches métalliques, ferromagnétiques ou non, pour former les éléments magnétiques constitutifs de cette structure. 9) Un procédé pour fabriquer une structure de mémoire comprenant un support plan, une couche isolante déposée sur le support, une pluralité d'éléments magnétiques identiques disposés parallèlement les uns aux autres sur ladite couche et une pellicule intermédiaire de métal conducteur interposée entre chaque élément magnétique et la couche isolante, ledit procédé étant caractérisé en ce qu il consiste à réaliser le mélange d'un durcisseur et d'un vernis polymérisable formé à partir d'une résine époxy, d'un acide gras en quantité déterminée pour doubler sensiblement l'équivalent époxy de la résine, d'une résine urée-formol en une proportion inférieure à 10 % du poids de la résine époxy, et d'un diluant organique quelconque, autre qu'un ester, à déposer ce mélange sur le support plan en une couche continue uniforme, à déposer par voie chimique, sur cette couche et après polymérisation, une couche de métal conducteur, à déposer par électrolyse une couche de cuivre sur ladite couche de métal conducteur, à déposer ensuite par électrolyse successivement, une première couche d'alliage ferromagnétique et une couche de cuivre, à graver de façon connue cette dernière couche de cuivre pour former une série de bandes conductrices., à déposer ensuite par électrolyse, sur ces bandes conductrices et sur les parties mises à nu de la première couche ferromagnétique, une seconde couche d'alliage ferroma gnétique, et à graver enfin les dIfférentes couches métalliques dans les parties comprises entre les bandes conductrices, de façon que après cette gravure, chaque bande se trouve revêtue, sur ses quatre côtés, de matière ferromagnétique. 10) Un procédé pour fabriquer une structure de mémoire selon l'une quelconque des revendications 8 et 9, caractérisé en ce que les couches d'alliage ferromagnétiques sont obtenues en déposant, sur les couches de cuivre électrolytique respectives utilisées comme cathodes, une pellicule d'alliage ferromagnétique, en utilisant un bain électrolytique ayant un pH de l'ordre de 2,5 et contenant des ions nickel, des ions ferreux et des ions cobalt, le rapport de la concentration des ions cobalt à la concentration totale en ions métalliques dans le bain restant compris sensiblement entre 1 % et 2 No et le rapport de la concentration des ions fer à la concentration totale en ions métalliques dans le bain restant comprise sensiblement entre 3 ss et 5 fo, ledit électrolyte contenant en outre un taux de thiourée de l'ordre de 0,2 gramme par litre. 11) Un procédé selon revendication 10, dans lequel le dépôt d'alliage ferromagnétique est effectué en opérant à une température constante de l'ordre de 280 C., et avec une densité de courant constante de l'ordre de 16 mA/cm2. 12) Un procédé selon revendication 10, dans lequel l'électrolyte utilisé à la composition suivante SO4Ni, 6 H20 512,1 grammes par litre S04Fe, 7 1120 22,235 grammes par litre SO4Co, 7 1120 5,7 grammes par litre Acide borique 25 grammes par litre Thiourée 0,2 gramme par litre Sulfate lauryl de sodium 0,42 gramme par litre et dans lequel le dépôt est effectué à une température constante de l'ordre de 280 C. et en opérant avec une densité de courant constante de l'ordre de 16 mA/cm2. 13) Procédé de fabrication d'une structure de mémoire comprenant un support plan,-une couche isolante consti tuée d'une substance polymérisétrésultant de la combinaison d'un durcisseur et d'un vernis polymérisable déposée sur ce support, au moins une série de bandes parallèles d'un métal conducteur placées sur ladite couche, une série d'éléments magnétiques déposés sur ces bandes, caractérisé en ce que lesdites bandes sont obtenues par une opération de métallisation chimique directe sur la couche isolante suivie d'une opération de décapage photochimique.