Brevet FR2067256A1 — publié le 19710820

1Q 40802 1 2067256 La présent® invention se rapporte à tin appareil de revêtement par pulvérisation à décharge gazeuse, comportant une électrode cible perfectionnée qui simplifie la construction et l'utilisation de l'appareil et qui, contrairement aux appareils connus, 5 n'est pas sujette à des pertes capacitives. Dans de nombreuses applications, on a à revêtir des objets d'une ou plusieurs pellicules minces. Par exemple, la plupart des composants microélectroniques sont fabriqués par application de minces pellicules d'une matière conductrice ou semi-conductrice 10 sur la surface d'un substrat. L'un des principaux types d'appareils utilisés pour déposer ces pellicules minces utilise pour former le revêtement le phénomène de pulvérisation. C'est-à-dire qu'une cible composée de la matière choisie pour le revêtement est bombardée avec des ions positifs à haute énergie qui en arrachent des 15 particules. Les particules ainsi arrachées se déposent et adhèrent sur les substrats, qui sont disposés dans la ligne de visée de la Cible bombardée. La mince pellicule voulue est donc produite par l'accumulation des particules déposées sur le substrat. Les opérations de pulvérisation de la cible et de dépôt sonfc 20 obtenues dans le cas le plus fréquent par production d'une décharge gazeuse entre la cible et une électrode, qui peut être le support des objets constituant les substrats. Habituellement, la décharge gazeuse est amorcée et entretenue par application d'une éner-25 gie électrique à haute fréquence, par exemple à fréquence radio-électrique, à la cible ou à l'autre électrode. On peut trouver des descriptions d'appareils de pulvérisation cathodique de ce type dans les brevets français N* I 556 849 du 21 Mars 1968; sous le N' 95 3H du 20 Août 1968 ( addition au I 556 849 )i sous 30 le N* I 579 863 du 12 Septembre 1968; et sous le N* I 588 300 du 8 Octobre I96§. Ii'élecfrrode cible utilisée pour ces appareils est habituellement constituée par une plaque qui porte sur une face une couche de la Matière de revêtement voulue. Cette plaque est sus-25 pendue à l'intérieur d'une chambre qui enferme les substrats, et gui contient une atmosphère réglée et très raréfiée appropriée pour 1* pulvérisation par décharge gazeuse. Dans la technique antérieure, BM) 70 40802 2 2067256 il était nécessaire de préroir un écran de mise à la nasse qui entourait toutes les surfaces de la plaque à l'exception de la face portant la matière de revêtement, afin de limiter à cette face les effets de la décharge gazeuse. En l'absence d'un écran de aise à la masse dans les électrodes de la technique antérieure, il se produit un arrachement de matière dessurfaces de l'électrode autres que la surface qui porte la matière désirée. Ceci entraîne nne contamination du revêtement déposé sur le substrat.. Pour éviter efficacement la formation d'une décharge gazeuse sur les surfaces de la cible-qui ne sont pas faites de la matière de revêtement désiré, il faut que l'écran de mise à la masse soit très rapproché de l'électrode. Ceci a pour effet d'établir une capacité entre l'électrode et l'écran, ce qui entraîne de grandes pertes de puissance et, quelquefois, des éclatements d'arcs. L'intensité de la décharge gazeuseefc D'autres inconvénients qui affectent les installations dé la technique antérieure consistent dans la nécessité de.placer l'électrode cible dans une chambre à vide poussé contenant une atmosphère réglée appropriée pour favoriser la décharge gazeuse. C' est-à-dire qu'il est nécessaire de prévoir à travers la paroi de la chambre à vide des dispositifs de traversée électriques et de refroidissement relativement-compliqués pour connecter l'électrode cible aux sources d'électricité et de fluide de refroidissement qui sont placées à l'extérieur de cette chambre. Ces dispositifs compliqués sont coûteux et très encombrants. L'invention a pour but de réaliser un appareil de revêtement du type à pulvérisation, qui comporte une éleetrode cible exempte des difficultés et inconvénients décrits ci-dessus. Suivant son aspect principal, l'invention a pour objet un appareil de revêtement comportant une électrode cible qui constitue elle-même une partie de la paroi de la chambre à vide qui contient l'atmosphère réglée appropriée pour la pulvérisation et qui comporte une partie située à l'extérieur de la chambre. Dans cet agencement, 1' électrode peut être construite de telle façon que la seule partie contenue dans la chambre et sur laquelle la pulvérisation se produit , constitue la surface but laquelle la matière désirée est fixée. Il n'est donc plus nécessaire de prévoir une plaque de mise bad original '70 40802 5 2067256 ' à la masse qui entoure les autres parties 'de l'électrode pour évi ter que des particules ne soient arrachées de ces parties, la construction suivant l'invention évite les pertes capacitives et les éclatements d'arcs, ainsi que les limitations qui sont liées à ces 5 phénomènes. En outre, avec cette construction, il n'est plus nécessaire de prévoir des mécanismes de traversée normalement utilisés pour transmettre l'énergie électrique à l'électrode et pour assurer le refroidissement de cette électrode. L'énergie peut être transmise directement à la partie de l'électrode qui se trouve à 10 1'extérieur de la chambre, pourvu que cette partie soit en liaison conductrice de l'électricité avec la surface de l'électrode cible qui est située à l'intérieur de la chambre. Des serpentins de refroidissement peuvent également être utilisés à l'extérieur de la chambre à vide pour évacuer la chaleur de la partie de l'électrode 15 qui se trouve à l'extérieur de l'atmosphère réglée, afin de refroidir également la surface de l'électrode, à partir de laquelle s'effectue la pulvérisation cathodique et qui est à l'intérieur de la chambre. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention 20 apparaîtront au cours de la description. Au dessin annexé, donné uniquement à titre d'exemple, - la Pig. 1 est une vue en coupe d'une forme préférée de l'appareil de revêtement suivant l'invention ; - la Fig. 2 est une vue en coupe partielle d'un exemple 25 type d'électrode cible utilisée dans les appareils de revêtement de la technique antérieure ; - la Fig. 3 est une vue en coupe à plus grande échelle qui représente l'électrode cible suivant l'invention ; et - la Pig. 4 est une vue en plan à plus petite échelle, 30 prise suivant le plan indiqué par les lignes 4-4 de la Pig. 1 et qui représente le dispositif obturateur de l'appareil de revêtement suivant l'invention. La Pig. 1 est une vue en coupe représentant un appareil préféré de revêtement suivant l'invention qui peut être utilisé pour 35 pulvériser successivement plusieurs matières différentes sur des substrats, par exemple sur des plaquettes de microcircuits. C'est-à-dire que l'appareil, désigné dans son ensemble par la référence 11 peut être utilisé pour déposer successivement plusieurs couches 70 uoaoâ 4 2067256 de matières différentes sur des substrats sans qu'il soit nécessaire d'avoir accès à l'intérieur de la chambre entre les opérations de dépôt des différentes couches. Cet appareil comprend une chambre à vide extérieure 12, destinée à contenir une atmosphère réglée 5 appropriée pour la production d'une décharge gazeuse qui provoque la pulvérisation désirée. Comme dans les réalisations classiques, un orifice d'évacuation 13 met la chambre en communication avec une pompe à vide pour faire le vide dans cette chambre, l'appareil comprend également des moyens (non représentés) permettant d'in-1o troduire un gaz à basse pression dans la chambre pour former une atmosphère réglée appropriée pour la production des décharges gazeuses. Comme dans la technique classique, l'atmosphère est généralement constituée par un gaz inerte, tel que l'argon, mais elle peut comporter également d'autres gaz si l'on veut obtenir une pul-15 vérisation réactive. La chambre à vide 12 est formée par une paroi latérale cylindrique 14 et par des parois d'extrémités présentant la forme de disques circulaires, la paroi supérieure 16 et la paroi inférieure 17. La chambre 12 comprend une partie supérieure et une par-20 "tie inférieure qui peuvent se séparer l'une de l'autre, au niveau d'un joint latéral 18, de manière à permettre d'accéder à l'intérieur de la chambre pour l'entretien et également pour l'introduction et l'extraction des substrats à revêtir. Des moyens sont prévus à l'intérieur de la chambre pour 25 porter en des points espacés un certain nombre de substrats à revêtir. Plus particulièrement, une table 19 présentant la forme d' un disque est disposée à l'intérieur de la chambre et montée, co-axialement sur un arbre 21. Ainsi qu'on l'a représenté sur le dessin, cet arbre 21 traverse la paroi inférieure 17 de la chambre 12, 30 à travers un joint de traversée rotatif à vide qui est représenté schématiquement par des roulements à billes 22 et par un orifice d'évacuation 23 qui assure la protection du vide. La rotation de l'arbre 21, qui est engendrée à l'extérieur de la chambre, fait tourner la table 19 à l'intérieur de cette chambre, ainsi qu'il est 35 avantageux pour des raisons qui ressortiront plus clairement de la suite. La table 19 comprend une électrode annulaire 24 au potentiel de la masse et qui est montée au moyen de blocs 26 de matière ?0 40802 5 2067256 isolante, à l'intérieur d'une cavité annulaire 27 pratiquée dans la surface supérieure de la table 19. Le bord de la table est soutenu par des pieds 28 qui s'élèvent sur le fond 17 de la chambre, en des points espacés à l'intérieur de cette chambre. Une portée à 5 billes '29 interposée entre chaque pied 28 et la table 19 permet à la table de tourner par rapport aux pieds. L'électrode annulaire 24 est adaptée pour porter en différents emplacements espacés de sa surface supérieure, des lots de substrats 30 à revêtir. Dans la forme de réalisation représentée, 10 cette électrode joue également le rôle de l'une des électrodes aux moyens desquelles les décharges gazeuses désirées sont entretenues à l'intérieur de la chambre à vide. Des moyens sont prévue pour refroidir l'électrode 24. A cet effet, des tubes 25 d'entrée et de sortie de fluide de refroidissement passent dans l'arbre 21 et sont 15 reliés à des passages de refroidissement appropriés (non représentés) qui sont formés dans le corps même de l'électrode. Dans de nombreux cas, il est souhaitable de nettoyer les surfaces dés substrats avant de procéder au revêtement de ces derniers, ce qui s'effectue par arrachement de la matière superficiel-20 le souillée des substrats. Il est donc souhaitable de pouvoir appliquer une énergie électrique à haute fréquence à l'électrode annulaire 24 et à faire travailler les substrats comme des électrodes cibles sur lesquelles se produit l'arrachement des particules. L' appareil comporte à cet effet des moyens permettant d'appliquer 25 une énergie électrique à haute fréquence à l'électrode 24. Plus particulièrement, une tige conductrice 31 convenablement isolée pénètre de bas en haut dans la chambre 12, en traversant la paroi d'extrémité inférieure 17 au moyen d'un joint de traversée électrique à vide, représenté schématiquement en 32. La tige 31 se termine 30 en un point adjacent au bord périphérique de l'électrode 24 et plusieurs plots 33 font saillie vers le bas sur la face inférieure de l'électrode 24 pour coopérer sélectivement avec la tige 31. Les plots 33 sont espacés sur la périphérie de l'électrode, de manière que l'un de ces plots soit en position de coopération avec la tige 35 31 chaque fois que les substrats 30 sont placés en face d'une électrode cible. Suivant une caractéristique particulière, l'appareil suivant l'invention comprend des électrodes cibles qui, non seulement 70 40802 6 2067256 se comportent comme des sources de matière de revêtement mais qui, en outre * constituent des éléments de la paroi de la chambre, de sorte qu'elles comprennent des parties situées à l'extérieur de 1' atmosphère réglée de la chambre. Cette caractéristique est nouvelle 5 par rapport aux électrodes.cibles classiques, dont un exemple type est représenté sur la Pig. 2. Ces électrodes cibles de la technique antérieure comportent un joint de traversée à vide 34 relativement compliqué qui a pour fonction d'alimenter l'électrode cible 36 à la fois en fluide de refroidissement, qui est par exemple de 10 l'eau, et en énergie électrique. Sans ces électrodes de la technique antérieure, il est nécessaire de prévoir un écran 38 mis à la masse autour de toutes les surfaces de l'électrode qui' ne portent pas de couche 37 de matière de revêtement. Cet écran de mise à la masse a; pour fonction de limiter la décharge gazeuse à la face qui 15 porte la couche 37 de manière à éviter l'arrachement de métal d' autres surfaces de l'électrode- et la contamination résultante du revêtement déposé sur le substrat. Pour que l'écran 38 de mise à la masse soit efficace pour cette application, il doit être relativement rapproché de l'électrode 36. Cette proximité crée une ca-20 pacité entre l'électrode et l'écran, et cette capacité entraîne de grandes pertes d'énergie et provoque quelquefois l'éclatemént d'arcs. Il en résulte que, dans la technique antérieure, l'intensité de la décharge gazeuse et de la pulvérisation de la matière désirée sont fortement limitées par la nécessité de la présence de 25 cet écran. Le fait que les électrodes cibles incorporées dans l'appareil suivant l'invention, et dont chacune est désignée dans son ensemble par la référence 41, constituent des éléments de la paroi qui délimite la chambre à vide 12, combiné à d'autres raisons^sup-30 prime chez ces électrodes les inconvénients inhérents aux électrodes de la technique antérieure. Suivant l'invention, chaque électrode cible 41 comporte une plaque en forme de disque, conductrice de l'électricité et de la chaleur, qui comprend une première face 43 ou base qui est située à l'intérieur de la chambre, et une face 35 opposée 44 située en dehors de l'atmosphère réglée de la chambre. Une couche 46 de la matière de revêtement désirée est convenablement fixée à la plaque 42 et recouvre toute sa face 43. Des moyens sont prévus pour isoler électriquement la 70 40802 7 2067256 plaque 42 de chaque électrode cible de la partie restante de la paroi de la chambre 12. A cet effet, un rebord cylindrique 47 en matière isolante, par exemple en céramique, est fixé à la face 44 de chaque plaque 42, le long de son bord. Une bride annulaire 48 5 fait saillie vers 1'extérieur sur l'extrémité supérieure du rebord 47, pour permettre de fixer l'électrode cible à la structure de la paroi de la chambre. Cette bride est fixée à la paroi 16 de la chambre par des moyens démontables de manière à permettre de séparer 1' électrode de la chambre à volonté pour faciliter l'accès à la face 10 43 de cette électrode et à la couche 46. Plus particulièrement, plusieurs vis espacées 49 traversent la bride 48 et sont vissées dans des trous filetés de la paroi 16. Des garnitures d'étanchéité constituées par des bagues toriques 51 ferment hermétiquement le joint formé entre les brides 48 et la paroi 16, le long de la péri-15 phérie des ouvertures de cette paroi dans lesquelles les électrodes sont respectivement disposées. Il ressort de ce qui précède qu'il n'est pas nécessaire de munir l'électrode cible suivant l'invention d'un écran mis à la masse. Ceci résulte du fait que la seule partie sous tension de 20 l'électrode cible qui se trouve dans l'atmosphère réglée et qui peut entretenir une décharge luminescente est la face 43 qui porte la couche 46. Il n'est donc pas nécessaire*de prévoir un écran mis à la masse pour empêcher la décharge gazeuse de se produire sur d' autres surfaces de l'électrode cible. Le résultat est qu'on évite 25 les pertes par capacités et autres pertes électriques qui sont liées à l'utilisation d'un écran. Il convient de remarquer que la plaque 42 à exciter de chaque électrode cible est espacée, à peu près dans toute son étendue, de toutes les autres parties conductrices de la paroi délimi-30 tant la chambre, ce qui réduit au minimum les pertes électriques entre la plaque et le reste de la paroi de la chambre. Le seul endroit où l'espace est très faible entre la plaque 42 et la paroi de la chambre est situé sur le bord périphérique de la plaque. La capacité qui peut s'établir en cet endroit de très petite surface 35 est très faible. Toutefois, si on le veut, on peut encore éliminer cette capacité, il suffit pour cela d'allonger axialement le rebord céramique 47 afin d'enfoncer la plaque 43 plus profondément à l'intérieur de la chambre et de l'éloigner ainsi davantage de la 70 40802 8 2067256 paroi 16. Le fait que chaque électrode cible 41 peut être séparée de la chambre constitue un avantage important de l'appareil suivant l'invention. Lorsqu'on veut remplacer une matière de revêtement 5 par une autre, il suffit de remplacer l'une des électrodes cibles par une autre qui porte la matière de revêtement désirée. En outre, il est facile d'appliquer la couche de matière de revêtement sur la face de l'électrode cible lorsque cette électrode a été séparée du reste de l'appareil. Dans le cas des électrodes cibles de la 10 technique antérieure, telles que celle qui est représentée sur la Pig. 2, il est au contraire nécessaire d'appliquer un revêtement sur une plaque séparée, amovible, qui est ensuite fixée à l'électrode cible au moyen d'une vis ou organe analogue. L'utilisation de cette pièce séparée intermédiaire limite la conductance électri-15 que et thermique de la liaison entre l'électrode cible et la couche de matière de revêtement. Un autre important avantage de l'appareil suivant l'invention consiste en ce que la plaque qui constitue l'électrode cible peut être à la fois refroidie et alimentée de l'extérieur de 20 la chambre . En effet, pour refroidir la surface 44 de la plaque et pour refroidir par conséquent la surface bombardée 46 de cette plaque, on utilise un tube 52, dans lequel on fait passer un fluide de refroidissement, et qui est enroulé et appliqué sur la surface 44 d'une façon qui établit une bonne transmissibilité de la cha-25 leur. Pour transmettre l'énergie électrique à la plaque, il suffit d'un conducteur 53 d'électricité à haute fréquence qui est simplement fixé à la surface 44 de la plaque 42. Ainsi qu'on l'a mentionné plus haut, l'appareil suivant l'invention peut être utilisé pour pulvériser successivement dif-30 férentes matières sur divers substrats disposés en des emplacements séparés sur l'électrode 24. A cet effet, les diverses électrodes 41 portent des couches 46 de diverses matières de revêtement. En faisant tourner la table 19 au moyen de l'arbre 21 , on peut placer les substrats disposés dans un emplacement distinct sur l'électro-35 de 24 en face ou dans le prolongement axial de l'électrode cible qui porte la matière dont on veut revêtir les substrats. En outre, des moyens sont prévus pour confiner la décharge gazeuse produite à l'intérieur de la chambre de manière que seule celle des électro 70 40802 9 2067256 des cibles qui est choisie projette sa matière. Plus particulièrement, un diaphragme composé de deux disques espacés, le disque supérieur 56 et le disque inférieur 57, est interposé entre les électrodes cibles et les substrats. Ces deux disques 56 et 57 sont mon-5 tés coaxialement sur ion arbre 58 qui est dirigé de bas en haut et traverse un dispositif 59 de joint rotatif à vide pour sortir de la chambre où il peut recevoir son mouvement. Ainsi qu'on l'a mieux représenté sur la Fig. 4, chacun des deux disques 56 et 57 présente deux ouvertures, 61 pour l'un 10 des disques, et 62 pour l'autre, L'une des deux ouvertures 61 est centrée sur l'une des ouvertures 62 pour laisser la matière arrachée de l'électrode cible choisie traverser le diaphragme et se déposer sur les substrats situés sur la table à l'emplacement placé directement au-dessous de cette électrode, La deuxième ouverture 15 61 du disque 56 du diaphragme recouvre une partie pleine du disque 57 ; cette disposition est prévue pour permettre le "nettoyage" de l'une quelconque des électrodes cibles, en permettant à cette électrode cible de pulvériser sa matière sur le disque 57. L'autre ouverture 62 du disque inférieur 57 est prévue pour permettre le net-20 toyage des substrats, par pulvérisation de sa matière sur le disque supérieur du diaphragme, ce qui s'effectue en appliquant l'énergie électrique à l'électrode table 24, ainsi q^i'on l'a décrit plus haut. Il est visible que l'on peut imprimer une rotation au diaphragme en agissant de l'extérieur de la chambre, sur l'arbre 58, pour pla-25 cer l'une choisie des ouvertures de ce diaphragme en face de l'une choisie des électrodes cibles afin de pouvoir procéder à la pulvérisation voulue. Il ressort de ce qui précède que le fait que l'électrode 30 cible constitue un élément de la paroi de la chambre qui contient l'atmosphère réglée utilisée pour la pulvérisation apporte de nombreux résultats avantageux. 70 40802 10 2067256 EEVHUttCAMOHS 1 - Appareil de revêtement par pulvérisation dans lequel une matière est arrachée de la surface d'une électrode cible par 5 une décharge gazeuse pour se déposer sur la surface d'un substrat, cet appareil étant caractérisé en ce qu'il comprend une chambre qui contient une atmosphère réglée appropriée pour la pulvérisation et le dépôt, une électrode cible qui comporte, à l'intérieur de la chambre, une surface active faite de la matière à pulvériser, des 10 moyens logés dans la chambre pour supporter un substrat en un emplacement approprié pour que ladite matière se dépose sur ce substrat, et des moyens capables d'amorcer et d'entretenir une décharge gazeuse à l'intérieur de la chambre pour pulvériser ladite matière à partir de la surface de l'électrode cible pour qu'elle se 15 dépose sur le substrat, l'électrode cible définissant une partie de la paroi de la chambre et comprenant une partie située à l'extérieur de l'atmosphère réglée de ladite chambre. 2 - Appareil suivant la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens utilisés pour amorcer et entretenir une décharge 20 gazeuse dans la chambre comprennent des moyens permettant d'appliquer une énergie électrique à haute fréquence à ladite surface de l'électrode cible, en ce que des moyens sont prévuà pour isoler électriquement la partie sous tension de l'électrode cible du reste de la paroi de la chambre, et en ce que la partie de l'électrode 25 cible destinéè à être mise sous tension est espacée, à peu près en totalité, des autres parties conductrices de l'électricité de la paroi qui délimite la chambre, de manière à réduire au minimum les pertes électriques entre la partie sous tension de l'électrode cible et le reste de la paroi de la chambre. 30 3 - Appareil suivant la revendication 2, caractérisé en ce que la partie de l'électrode cible qui est située à l'extérieur de l'atmosphère réglée de la chambre est reliée par une liaison conductrice de l'électricité à ladite surface active de l'électrode cible située dans la chambre, et en ce que les moyens utilisés 35 pour appliquer une énergie à haute fréquence à ladite surface active de l'électrode cible comprennent un conducteur électrique fixé à la partie de l'électrode cible qui est située à l'extérieur de l'atmosphère réglée. 70 40802 11 2067256 4 - Appareil suivant la revendication 2, caractérisé en ce que la partie de l'électrode cible qui est située à l'extérieur de l'atmosphère réglée contenue dans la chambre est reliée à ladite surface active de l'électrode cible par une liaison bonne con- 5 ductrice de la chaleur, et en ce que des moyens sont prévue pour refroidir ladite partie extérieure afin de refroidir ladite surface active. 5 - Appareil suivant la revendication 2, caractérisé en ce que l'électrode cible comprend une plaque conductrice de l'élec- 10 tricité qui définit une partie de ladite paroi de la chambre, une première face de cette plaque, située à l'intérieur de la chambre, formant ladite surface active qui porte la matière à projeter par pulvérisation, la deuxième face, opposée à la première étant située à l'extérieur de la chambre pour constituer ladite partie 15 extérieure, les moyens utilisés pour isoler électriquement la partie sous tension de l'électrode cible du reste de la paroi de la chambre comprenant un rebord en matière isolante qui relie le bord de la plaque au reste de la paroi de la chambre. 6 - Appareil suivant la revendication 1, caractérisé en 20 ce que l'électrode cible peut être sélectivement séparée du reste de la paroi qui définit la chambre, afin de faciliter l'accès à sa face normalement située dans la chambre, qy.i porte la matière à pulvériser. 7 - Appareil suivant la revendication 6, caractérisé en 25 ce que l'électrode cible comprend une plaque conductrice de l'électricité qui peut être montée dans une ouverture de la paroi de la chambre pour définir une partie de cette paroi, une première face de ladite plaque, située dans la chambre, constituant ladite surface active qui porte la matière à pulvériser, et en ce que des 30 moyens sont incorporés à ladite électrode cible pour isoler électriquement la partie sous tension de cette électrode cible du reste de la paroi de la chambre, ces moyens comprenant un rebord de matière isolante, qui s'étend le long du bord de cette plaque, 1' électrode cible comprenant de plus une bride qui fait saillie sur 35 ce rebord vers l'extérieur pour permettre de fixer cette électrode par des liaisons démontables à la paroi de la chambre, tout autour de l'ouverture. 8 - Appareil de revêtement capable de pulvériser succès- "S "nr -iay c-œs sivement sur un substrat diverses matières arrachées à diverses électrodes cibles par une décharge gazeuse, cet appareil étant caractérisé en ce qu'il comprend une chambre qui contient une atmosphère réglée appropriée pour la pulvérisation et le dépôt, plu-5 sieurs électrodes cibles, dont chacune comporte à l'intérieur de la chambre une surface active faite d'une matière à pulvériser, des moyens logés à l'intérieur de la chambre pour supporter un substrat destiné à être revêtu, des moyens moteurs capables de provoquer un. déplacement relatif entre les moyens supports et les élec-10 trodes cibles pour placer sélectivement le substrat en divers emplacements à l'intérieur de la chambre de manière qu'il reçoive la matière arrachée de l'une choisie, desdites électrodes cibles, des moyens capables d'amorcer et d 'entretenir des décharges gazeuses dans ladite chambre pour arracher sélectivement la matière de 15 l'une choisie des électrodes cibles pour qu'elle se dépose sur le substrat, chacune des électrodes eibles définissant une partie de la paroi de la chambre et une partie de chaque électrode.étant située à l'extérieur de l'atmosphère réglée de la chambre. 9 - Appareil suivant la revendication 8t caractérisé en 20 ce que lesdits moyens capables-d'amorcer et d'entretenir des déchar- . ges gazeuses à l'intérieur de ladite chambre comprennent des moyens permettant d'appliquer sélectivement une énergie à haute fréquence à chacune des électrodes cibles, et en ce que des moyens sont prévus pour isoler électriquement la partie sous tension de chacune 25 des électrodes cibles du reste de la paroi de la chambre, la partie sous tension de chaque électrode cible étant à peu près en totalité espacée des autres parties conductrices de la paroi qui définit la chambre, de manière à réduire au minimum les pertes électriques entre la partie sous tension de chacune des électrodes ei-30 bles et le reste de la paroi de la chambre. 10 - Appareil suivant la revendication 9, caractérisé en ce que les moyens qui supportent le substrat destiné à être revêtu comprennent une table montée pour tourner par rapport aux emplacements des diverses électrodes cibles afin de placer sélectivement 35 le substrat en divers emplacements pour faire déposer sélectivement sur ce substrat la matière des diverses électrodes cibles, et en ce que lesdits moyens moteurs comprennent des moyens qui font 70 40802 13 2067256 11 - Appareil suivant la revendication 8, caractérisé en ce que les moyens capables de confiner la décharge gazeuse de manière à arracher la matière de la seule électrode cible choisie comprennent un obturateur interposé entré les moyens supports et 5 les électrodes cibles et qu'on peut déplacer pour permettre une pulvérisation directe de la matière de l'électrode cible choisie, qui peut être l'une quelconque des diverses électrodes cibles, sur le substrat porté par les moyens supports. 12 - Appareil suivant la revendication 8, caractérisé es 10 ce que les moyens contenus dans la chambre pour supporter un substrat destiné à être revêtu sont appropriés pour porter plusieurs substrats en des emplacements distincts, et en ce que les moyens moteurs sont capables de disposer sélectivement chacun desdits emplacements distincts en bonne position pour recevoir les matières 15 arrachées des électrodes cibles choisies. 13 - Appareil suivant la revendication 8, caractérisé en ce que la partie de chaque électrode cible qui est située à l'extérieur de l'atmosphère réglée de ladite chambre est reliée à la surface active de l'électrode cible qui porte la matière à pulvéri- 20 ser, par une liaison bonne conductrice de l'électricité et de la chaleur, en ce que des moyens sont prévus pour refroidir la partie extérieure de chacune des électrodes cibles afin de refroidir ladite surface active, et en ce que des moyens sont prévus pour appliquer une énergie électrique à haute fréquence à la surface ac-25 tive de chacune des électrodes cibles, ces derniers moyens comprenant, pour chacune desdites surfaces actives, un conducteur électrique fixé à la partie de l'électrode cible correspondante qui est située à l'extérieur de l'atmosphère réglée. 14 - Appareil suivant la revendication 8, caractérisé en 30 ce que chacune des électrodes cibles comprend une plaque conductrice de l'électricité qui peut se loger dans une ouverture correspondante de ladite chambre pour définir une partie de ladite paroi, une première face de ladite plaque pouvant être placée à l'intérieur de la chambre pour constituer ladite surface active qui porte 35 la matière à pulvériser, un rebord en matière isolante qui s'étend le long du périmètre de chacune desdites plaques, pour isoler la plaque du reste de la paroi de la chambre, et une bride qui fait saillie vers l'extérieur sur le rebord de chacune des électrodes 70 40802 14 2067256 cibles afin de permettre de fixer cette électrode à la paroi de la chambre par des liaisons démontables tout autour de l'ouverture correspondante de cette paroi. 15 - Appareil suivant la revendication 8, caractérisé en. ce qu'il comprend des moyens qui limitent l'étendue de la décharge gazeuse produite à l'intérieur de la chambre de manière à faire travailler uniquement l'électrode cible choisie. 16 - Appareil suivant la revendication 15» caractérisé en ce que les moyens qui limitent l'étendue de la décharge gazeuse comprennent un obturateur intercalé entre l'ensemble des électrodes cibles et les moyens supports, qui présente une ouverture prévue pour le passage de la matière pulvérisée par l'électrode cible choisie, et qui peut se déplacer par rapport aux électrodes cibles, entre diverses positions qui mettent respectivement ladite ouverture en face de l'une choisie des électrodes cibles, pour permettre la pulvérisation directe des matières arrachées à ladite électrode cible sur le substrat.