Brevet FR2072138A1 — publié le 19710924

La présente invention concerne un dispositif de prise et de transfert mécanique et pneumatique et plus particulièrement un dispositif de transfert sélectif de micro-plaquettes semi-conductrices minuscules entre des stations disposées circonférenciellement afin de soumettre les dites micro-plaquettes à 5 différentes phases de traitement. De nombreux équipements électroniques:' eomprer.nent des composants électroniques minuscules sous forme de micro-plaquettes qui, lors de leur fabrication, doivent être déplacés entre des stations de traitement et-ou d'essais et de vérification. Dans le passé, les micro-plaouettes électroniques 10 ou composants similaires étaient saisis individuellement à partir d'un bol d'alimentation unique et déplacés depuis le bol d'alimentation vers une autre partie quelconque du dispositif a proximité immédiate dudit bol afin d'y être traités. Il peut être nécessaire d'utiliser plusieurs bols d'alimentation pour maintenir un rendement maximum. Cependant, avec certains numéros de 15 micro-plaquettes, de petites quantités inhabituelles peuvent ne nécessiter que deux ou même un seul bol d'alimentation, puisaue les bols d'alimentation n'assurent une alimentation efficace que dans le cas où leur niveau de remplissage est maintenu à une hauteur appropriée. L'installation d'un , système de manipulation de micro-plaquettes permettant le changement du 20 nombre de bols entraine trois problèmes principaux. Ls crayon à dépression ou autre moyen destiné à l'extraction physique de la micro-plaquette individuel le d'un bol donné pour son transfert à une autre station du dispositif, ne doit pénétrer dans aucun autre bol à l'exception du bol approprié. Afin de ne pas déranger l'orientation des micro-plaquettes dans un bol sélectionné 25 pendant le positionnement du crayon, la dépression ne doit être appliquée au crayon que juste avant son mouvement vers le haut à partir du bol sélectionné. De plus, un crayon chargé doit être maintenu avec une dépression constante lorsqu'il quitte son bol approprié, jusqu'au moment où il atteint une station de triage où la micro-plaquette se détache du crayon à déoression sous 30 l'effet du rétablissement de la pression normale ou par l'application d'une pression supérieure à la pression atmosphérique, provoquant lé déchargement forcé de la micro-plaquette. La présente invention concerne un dispositif de manipulation des microplaquettes à bols multiples qui comprend un ensemble bras-crayons à huit 35 positions de la forme d'une araignée portant quatre paires de crayons, les crayons de chaque Daire étant positionné à 160° l'un par rapport à l'autre. Des bras flexibles montés sur l'araignée rotative, portent à chacune de leurs extrémités un crayon auquel est appliquée sélectivement une dépression ou une pression pneumatique positive. L'araignée à bras porte-crayons est indexée 40 de 45° d'une station à une autre. Un, deux, ou quatre bols sont situés dans bad original 70 43247 2 2072138 uns position adjacente sous les bras et le dispositif utilise un collecteur réglable à quatre pistes ainsi qu'un dispositif d'actionnement de crayon réglable permettant de saisir sélectivement les micro-plaquettes dans un, deux ou quatre bols et de les transférer, u-dessus de chaque -bras de crayon, 5 - se trouve un sélecteur de crayon pré-réglé à quatre conditions., les sélecteurs étant usinés en tant que sélecteur droit ou gauche, et.deux, sélecteurs droits étant toujours suivis par deux sélecteurs gauche. Les bras flexibles sont actionnés par une araignée à huit positions qui ne tourne Pas mais à un. mouvement de va et vient vertical et comprend des sélecteurs d'enfoncement 10 réglables manuellement sur chaque bras, entrant en contact avec les sélecteurs de-crayon et provoquant le fléchissement des bras de crayon sélectionnés. Un ensemble collecteur à dépression fixe comprend un jeu de quatre pistes de collecteur, une pour chaque paire de bras de: crayon flexible. Les bras ces crayons sont raccordés nneumatiquement aux ouvertures de détec-1b tion du collecteur dans le moyeu, la dépression permanente, l'interruption de dépression, "et la pression pneumatique, positive étant produites aux stations des"bols■ c" alimentation par le réglage'manuel de deux arhres ou valves de commande de dépression à l'une des quatre différentes positions et au moyen d'un codeur synchronisé sur l'indexage de l'araignée.. La-pression posi-20 tive provoque le détachement ce la micro-plaquette â une. station de.triage donnée. - . ' La- figure 1 est une vue partiellement schématique et. en couoe-partielle du dispositif de manipulation pneumatique de micro-plaquettes à, bols, multiples de la présente invention. 25 La figure 2 est une vue de" dessus» partiellement en coupe, d'une partie du dispositif représenté à la figure 1; représentant les composants, principaux du dispositif j ' La figure 3 est une vue ce dessus du disque c'u collecteur fixe formant une partie du dispositif ; 30 La figure 4 est une vue de dessus de la plaque du collecteur fixe, qui se trouve sous le disque du collecteur fixe de la figure 3 et qui lui est raccordé. - - . La figure 5 est une vue en perspective de l'un des^sélecteurs de bras de' crayon de la présente invention. ; 35 La figure 6 est une vue en perspective de l'un des sélecteurs d'enfoncement réglables portés par chaque bras de l'araignée ; La figure 7 est une vue de dessus du sélecteur d'enfoncement représenté dans la figure 6 ; . Les figures 8a à 8g sont des vues en coupe diverses.et une vue d'extré-40 mité de l'ensemble collecteur fixe avec la valve du collecteur n° 1 dans une bad ofuginak 70 43247 3 2072138 position sélectionnés ; Les figures 9a à 9g sont des vues en coupe et une vue d'extrémité d'une partie de l'ensemble collecteur représentant la valve de collecteur n°2 dans une position sélectionnée ; S La figure 10 est une représentation graphique des positions de réglase des divers composants réglables du dispositif de manipulation de micro-plaquettes de la présente invention pour des modes à bol unique et à bols multiples. En se reportant à la figure 1 ces dessins, on voit que le dispositif ce manipulation de micro-plaquettes à bols multiples de la présente invention 10 comprend le plateau fixe 10 qui porte l'ensemble collecteur fixe 12 de forme annulaire» et au travers du centre duquel passe, de manière concentrique, un ensemble araignée à bras porte-crayons flexibles indexable et rotatif 14, et un ensemble araignée d'enfoncement à mouvement de va et vient mais non rotatif 16. L'ensemble d'enfoncement 16 est entrainé suivant un mouvement de va et vient 15 cians la direction des flèches 16 par un moyen comprenant un moteur d'entraine-ment 20, un réducteur de vitesse 22, qui à son tour est raccordé par l'intermédiaire de l'indexeur 24 à l'ensemble de bras porte crayons flexibles et rotatifs 14. Le plateau 10 peut en fait faire partie d'un boitier dont seul le panneau 20 supérieur 26 est représenté, le panneau comportant une ouverture pour recevoir les éléments d'indexage et d'entraînement suivant un mouvement de va et vient qui s'étendent vers le haut à partir de l'indexeur 24 et du réducteur 22. Ces éléments, ainsi que le moteur_d'entraînement 20 sont portés par le plateau du boitier et fixés par des moyens non représentés. L'arbre d'entraînement 30 25 s'étend entre et raccorde le moteur d'entraînement 20 et le réducteur 22. Le raccordement d'entraînement d'indexage peut nrendre la forme d'un arbre d'entraînement à clavette 32 muni d'une ou plusieurs saillies 34 qui sont reçues à l'intérieur d'une rainure 36 formée à l'intérieur de l'extrémité inférieur du moyeu du collecteur à dépression rotatif 36 formant un élément 30 de l'ensemble araignée à bras porte crayons flexibles et indp.xables 14. Sous cet aspect, le collecteur fixe annulaire 12 comprend une plaque annulaire inférieure 40 qui se trouve sous le disque de collecteur annulaire fixe 42 un peu plus éoais mais de Ciamètre plus faible. Le cisqus rie collecteur 42 est rabattu an 44 et son extrémité intérieure csfinit la surface de portée 35 cylindrique 46 qui reçoit la section en saillie 4ô du moyeu eu collecteur S dépression 3E. La partie rabattue 44 du disque du collecteur 42 est, à cet égare, crise entre la claaus? eu collecteur fixe 40 et le moyeu rotatif 36. L'ensemcle bras porte crayons flexibles 14 comprend, ce plus, à son extrémité supérieure, une araignée rigide 49 définie par des bras fixes 51 dont la 40 fonction est de supporter les bras de l'araignée flexible 50 sur le moyeu 36 bad 70 43247 2072138 c!u collecteur de dépression rotatif. Tous ces éléments sont en métal ainsi que le bloc annulaire intermédiaire 54 qui sépare les bras flexibles supérieurs et inférieurs 56 et 56. Les bras 56 et 58 sont de préférence en acier élastique et sont raccordés l'un à l'autre à leurs extrémités extérieures par le bloc 5 60, ces blocs étant munis d'ouvertures verticales afin de recevoir les crayons à dépression individuels 62, qui y sont fixés. Les. bras 56 et 58 fléchissent d'une manière appropriée, le bloc 60 et son crayon 62 étant rappelés vers le haut par les ressorts hélicoïdaux 64. Une extrémité de ces ressorts est fixée par l'axe 66 à l'extrémité extérieure du bras 51 s'étendant radialement de 10 l'araignée rigide 49 et l'autre extrémité est raccordée au bloc 60 par l'axe fileté 68. Les crayons à dépression sont en eux mêmes bien étudiés et constituent un moyenâ'application de la dépression aux extrémités 70 (de préférence sous la forme d'un tube creux}, la dépression étant distribuée au bloc 60 par 15 l'intermédiaire d'une tuyauterie flexible 72 ou d'un tube similaire dont l'extrémité intérieure est vissée au bloc annulaire 54 par l'intermédiaire d'un embout fileté séparé 74. En outre le moyeu du collecteur 38 porte, espacés circonférenciellement, des alésages verticaux, tels que 76 comportant des ouvertures de détection telles que 78 en diverses positions radiales, les 20 alésages étant raccordés à leur tour à des passages horizontaux respectifs 80 portés par le bloc annulaire 54 et se terminent aux embouts respectifs 74 pour les bras opposés radialement. Ainsi, la dépression ou la pression positive appliquée aux divers passages verticaux, tels que 76, du moyeu du collecteur de dépression rotatif est délivrée aux crayons associés 62 à des 25 positions espacées circonférenciellement et définies par les huit bras porte-crayons flexibles de l'ensemble 14. Un contre-écrou de palier 33 sur l'extrémité supérieure de l'arbre 32 fixe avec précision l'ensemble araignée rotatif 14 à l'arbre d'entrainement à clavette 82 afin d'assurer une rotation bien centrée. 30 L'arbre 32 comporte un alésage central au travers duquel font saillie, d'une manière coaxiale, un support d'ensemble araignée d'enfoncement à mouvement de va et vient et l'arbre d'entrainement 82. Comme indiqué précédemment, l'arbre 82 ne tourne pas, mais se déplace suivant un mouvement de va et vient ce la manière indiquée par la flèche 18 au moyen d'un dispositif à"cames (non 35 représenté] de façon que le mouvement limité vers le haut et vers le bas soit appliqué à l'ensemble araignée d'enfoncement 16. L'ensemble 16 constitue une araignée rigide comprenant un moyeu central 84 raccordé à l'extrémité de l'arbre 82 au moyen d'un embout fileté 86 qui fait saillie vers le haut au travers de celui-ci et reçoit un ensemble écrou et rondelle de blocage 88. 40 Les. bras de l'araignée d'enfoncement 90 s'étendent radialement vers l'extérieur, bad original 70 43247 5 2072138 sont au même nombre et espacés circonférenciellement à 45° (dans le cas d'un ensemble à huit bras), de la même manière que les bras de l'araignée flexible sousjacente 50. L'extrémité extérieure de chaque bras est alésée et filetée en 92 afin de recevoir un axe fileté 94 qui porte un sélecteur 5 d'enfoncement rotatif 96. Chaque sélecteur d'enfoncement SE; constitue un support en forme de disque 86, (voir figure 6) portant, espacés circonférenciel-lement, et à angle droit, des secteurs codés colorés 102, 10?, 104 et 105 de coupe irrégulière. Les plus grands des secteurs opposés 102 et 103 cornoor-tent sur leurs surfaces intérieure et extérieure, des évidsmsnts en 1G7 et 10 109 respectivement. A est égard, chaque sélecteur d'enfoncement 96 est positionné sur une section terminale de diamètre réduit 108 c'un axe fileté 94 qui s'étend vers le .bas à partir c'une section à diamètre plus important 110. Une rondelle 112 maintient la base 98 sur l'axe fileté mais permet une rotation réglable du 15 dispositif d'enfoncement autour de l'axe fileté 34. Un ressort hélicoïdal 114 est comprimé entre l'extrémité extérieure du bras 90 et l'arrière du sélecteur d'enfoncement 96 ramenant ainsi le sélecteur d'enfoncement en contact avec la rondelle 112. La périphérie du dispositif d'enfoncement 96 de la base du dispositif d'enfoncement en forme de disque 96 porte des rainures 20 codées colorées 100 en diverses positions le long de sa périphérie et un ensemble d'arrêt consistant en un ressort en porte à faux 116 et en un élément d'arrêt 116, s'étendant vers le bas à partir du bord extérieur extrême du bras 90 de telle façon que_l'élément d'arrêt 118 est rappelé par ressort contre la périphérie du disque 96 afin de s'asseoir dans une des rainures 100 25 et bloquer le sélecteur d'enfoncement à une position angulaire sélectionnée correspondant au mode de fonctionnement désiré pour le dispositif de manipulation de micro-plaquettes. Comme indiqué précédemment, la position en rotation de chaque sélecteur d'enfoncement 96 est réglée pour correspondre à une position pré-réglée 30 ' sélectionnée d'un sélecteur de crayon correspondant 106 porté par chacun des ensembles bras d'araignée flexibles et tournants 50. A la différence de l'ensemble bras porte crayons flexibles indexés 14, chacun des sélecteurs d'enfon- -cernent demeure à' une station pré_assignée, par exemple, le sélecteur d'enfoncement droit 96 (représenté dans la figure 1) se trouve sur le bold'alimsnta-35 tion 120 tandis que le sélecteur d'enfoncement gauche 36 peut, en fait, se trouver sur une station ce vérification 122, c'est-à-dire à 160° de celui-ci. L'n sélecteur de crayon est représenté dans la figure 5 et comporte une section de base124 qui comprend des trous décalés 126 devant recevoir des axes de montage 127 portés par l'enserrble bloc 60 pour permettre le réglage de 40 chaque sélecteur de-crayon identique 106 aux diverses positions angulaires et bad original 70 43247 b 2072138 radiales sélectionnées par rapport au bloc de montage BO. Aux extrémités opposéssdu sélecteur 106, se trouvent des prolongements"128 et 130 se projetant vers le haut en forme de prismes et comportant une configuration spécifiquement adaptée pour être associés aux diverses projections de secteur 102, 103 5 104, 105 se projetant vers le bas à partir de la section de base 98 ce chaque sélecteur d'enfoncement 9B. La face extérieure de la projection de secteur 128 est codée en jaune. Les trous de montage 126 du sélecteur de crayon sont décalés longitudinalement et radialement de façon que, par une "rotation de 180° de celui-ci, les diverses projection# 128 et 130 soit à la fois radia-10 lement et angulairement décalées par rapport à l'ensemble d'enfoncement se trouvant au-dessus dans la mesure où l'axe vertical de la machine définit par l'arbre 82 est concerné. Des vis sont utilisées pour la fixation de chaque sélecteur de crayon en une position pré-réglée sur son bloc 60. Un aspect important de l'invention réside dans la méthode permettant 15 d'appliquer sélectivement au crayon particulier 62, une dépression et une pression positive, soit par intermittence, soit continuellement comme désiré. Ceci est particulièrement difficile puisque, l'ensembli bras porte crayons flexibles 14 étant indexé d'une station à une autre, si chacun des ensembles à bras flexibles 51.se trouve sous les bras respectifs de l'ensemble ri'en-20 foncement oscillant 16, les crayons portés par les bras sont fléchis [si sélectionnés) dans une position immédiatement adjacente ou en contact avec les divers bols contenant les micro-plaquettes à transporter. Le plateau 10 porte l'ensemble collecteur fixe 12 qui comprend la plaque du collecteur 40 et le disque du collecteur un peu plus épais 42. En se 25 reportant à la figuré 4, on voit que la plaque de collecteur 40consiste en une pièce moulée irrégulière du en une nièce usinée comprenant une saillie radiale 138 se terminant par une surface extérieure aplanie 140. Trois alésages s'étendent vers l'intérieur de ladite plaque en 144, 146 et 148.Une première piste ou gorge radiale 150 plutôt étroite et de la forme d'un évi-30 dement rectangulaire s'étend circonférenciellemen't sur une distance approximative de 18D°, à partir d'un point défini par 1'extrémité "intérieure de l'alésage 144. Un prolongement 158 de la même piste ayant mime position radiale, s'étend circonférenciellement dans la direction opposée sur 90° approximativement à partir d'un point situé à l'extrémité intérieure de l'a-35 lésage 148 figure 4. L'alésage 146 s'étend vers l'intérieur d'une distance légèrement plus importante et débouche dans Une piste ou évidement intermédiaire 154 qui comprend une section à surface plus large 154a s'étendant dans le sens horaire sur une distance circonférencielle excédant légèrement 180°, comprend également une partie circonférencielle plus petite 154b s'éten-40 dant sur un angle approximatif de 45° et se termine par "une gorge étroite 154c bad ôriginal 70 43247 7 2072138 s'étendant approximativement sur la même longueur circonférencielle. Une ouverture centrale importante 156 est prévue pour recevoir la partie rabattue 44 c!u disque de collecteur plus épais 42. Un petit évidement 152 est compris entre' l'ouverture 156 et 1'évidement intermédiaire 154b. 5 L'alésage 144 est raccordé par l'intermédiaire du tube 153 à une source de pression pneumatique positive assurant la fonction de décharge. L'alésage 146 est couplé oneumatiquement par l'intermédiaire du tube 155 à une source de dépression permanente et l'alésage 146 par l'intermédiaire du tube 157, à l'interruption de dépression. L'application d'une pression pneumatique positive, d'une 10 dépression de régime permanent, et d'une pression d'interruption de dépression par l'intermédiaire des tubes 153, 155 et 157 est commandée par un codeur photo-électrique 11, figure 1, qui porte un disque de codage entrainé cyclique-ment ou un autre élément similaire (non représenté). Le disque est entrainé à partir du réducteur 22 par l'intermédiaire de l'arbre d'entrainement 13 15 associé à la rotation de l'indexeur. La logique pneumatique 15 pour les tubes à clapets 153, 155 et 157'est directement commandée par des signaux de sortie électriques issus du codeur 1S par l'intermédiaire du câble 17. Le oisque du collecteur 42 est positionné au-dessus de la plaque de collecteur 40, 1'évidement important 154 étant placé au-dessous des trois pistes portées par le disque de 20 collecteur 42, de sorte que la section 154b soit au-dessous de deux pistes tandis que les évidements 152 et 154c ne soient plus que sous une seule piste du disque de collecteur 42. Le disque 42 est fixé et scellé en haut de la plaque de collecteur 40, la partie rabattue 44 étant positionnée à l'intérieur de l'ouverture 156 de la plaque 4Û. A cet RP.arc le oisque 42 comme représenté dans 25 la figure 3, est orienté dans cette figure suivant une position icentinue à celle occupée nar rapDort à la plaque 40 lorsque l'assemblage nst effectué de la manière représentée à la figure 1. Un alésage relativement important 156 du disque 42 a son axe aligné avec l'axe de 1'évidement 160 formé à l'intérieur de la plaque 40, tandis eue l'alésage agrandi 1B2 du même disque se trouve sur 30 l'évicement 163 ce la claque 4P. Er perdant ceci jj l'esprit, en voit facilement la manière suivant laquelle le ciscue et la rlenue sont orientés engulairefont l'un pôr rapport à l'autre lorsqu'ils sont assemblés. L'ensemble peut compren-cre un moyen ee raccordement aux diverses positions comme cêfini par les ou-verturesce raccordement 165 formé à l'intérieur ce la claque inférieure 4C pour 35 verrouiller pnysiquement 1s risque ce collecteur 42 à la plaque sous-jacente. Lans ce type ce cispositicn,la plaque inférieure 40 agit comme un moyen ce cistrxbution cour les cuatre pistes de collecteur espacées radialement indiquées en 164, 166, 168 et 170 sur la surface supérieure 172 du cisque 42. Chacune des pistes espacées radialement 1C4 à 170 est associée à deux ensembles particuliers 40 ce bras flexibles opposés 50 et-sont raccordés pneumatiquement par l'intermé- bad original 70 43247 8 2072138 diaire des ouvertures de détection qu'ils comportent» Par exemple, comme repésenté dans la figure 1, le crayon droit 62 est raccordé pneumatiquement, par les passages verticaux au moyeu du collecteur 76 et par l'ouverture de détection 78, à la piste de collecteur intermédiaire 168 tandis que la surface 5 pleine du moyeu du collecteur 36 se trouve sur les pistes 164, 166 et 170. De plus, l'ouverture de détection gauche 78 est raccordée à 1'évidement 154a as la plaque 40 par l'intermédiaire du passage 79. Le.moyeu 38, comme représenté dans la figure 2, comporte quatre paires d'alésage verticaux décalés radialement et circonférenciellement, dont les alésages les plus à l'extérieur 10 174 et 176 sont représentés, grâce à l'éclatement d'une partie des araignées des ensembles 14 et 16. A cet égard la piste du collecteur la plus à l'extérieur 164 comprend essentiellement une série de perforations espacées circonférenciellement 178, tandis qu'une partie de la piste la plus à l'intérieur 170 constitue, pour la plus grande partie, des rainures incurvées discontinues 15 180, 180a, 180b. Cependant, de chaque côté d'une ouverture ou évidement agrandi 182, pour chaque piste, se trouvent des perforations séparées 192 et 184. L'ouverture ou évidement 162 n'est pas raccordé à la plaque de collecteur sous-jacente 40, mais le disque 42 porte un alésage radial 186 qui débouche dans 1'évidement 182 en 188, l'extrémité extérieure de cet alésage étant 20 exposée à l'atmosphère. Ainsi la station juste avant l'évidement 182 est la station de triage ou de décharge. Lorsque l'ouverture de détection du moyeu, associée au bras aligné radialement avec elle, se déplace au-dessus du trou 192, une pression positive remplace la dépression à l'intérieur du crayon uniquement lorsque le codeur actionne le commutateur déchargeant en force la 25 micro-plaquette [non représentée] qui se trouve au-dessus de l'extrémité ouverte du tube du crayon 70 à la station de triage. A nouveau, pour un fonctionnement correct, des parties de la piste de. collecteur la plus à l'intérieur 170 sont raccordées pneumatiquement aux autres parties de la piste adajcente suivante 168 par des prolongements ce rainures radiales tels qu'en 30 190, 190a et 190b. La dépression est appliquée sélectivement aux Daires séparées de crayons penaant la rotation en cycles complets, soit continuellement, c'est-à-dire comme une dépression constante soit par intermittence pendant certaines parties de chaque cycle. La sélectivité est obtenue par le oré-réglage des arbres 35 de dépression pour l'application et la cistibrution commandées de la Dépression aux quatres pistes de collecteur par l'intermédiaire de l'ensemble collecteur fixe 12 et au moyen du codeur 11. La condition c'interruntion en dépression est procuite par une valve commandée par un codeur commandant soit une déprassior. psrtsvnente, soit une dépression nulle. Toutes les ouvertures 40 circulaires 178 sont toujours exposées ù la dépression permanente lorsque le bad original 70 43247 9 2072138 dispositif est en mode de fonctionnement. En se reportant à la figure 2, la valve de dépression n° 1 est identifiée en 200 tandis que la valve de dépression n° 2 est déplacée c'approximativement 45° par rapport à cettedernière elle est identifiée en 202. Chaque valve ce dépression comprend un arbre de 5 dépression rotatif. L'arbre de cépression rotatif 204 est reçu à l'intérieur d'un alésage 162 du cisque 42 tandis que l'arbre 206 ce la valve de dépression n° 2, 202 est reçu s l'intérieur de l'alésage 1 58. Les axes, en saillie 208 situés à proximité de l'extrémité extérieure de chaque arbre permet à l'utilisateur ce tourner physiquement la valve à l'intérieur de son alésage 1D respectif afin de modifier les conditions d'écoulement pour l'ensemble collecteur fixe. En se référant à la figure 1, on voit que l'arbre es valve de dépression îi°1 204 est reçu à l'intérieur de l'alésage 162, s'étend sur la longueur de celui-ci, et comprend divers alésages -s1 étendant radialement qui sont raccordés pneumatiquement par un alésage axial 210 que l'on voit 15 plus en détails dans les figures Ba à 8g et qui s'étend partiellement sur la longueur de celui-ci. A des positions angulaires et longitudinales sélectionnées, on trouve ces passages radiaux pour l'alignement sélectif avec les passages de pistes ce collecteur pour les pistes 164 à 170 à l'intérieur du disque de collecteur 42 permettant l'application de la dépression è ces cistes 20 à partir du dispositif d'alimentation comme aéfini par les passages ou évxde-ments de fluide portés par la plaque de collecteur 40. A cet égard, en se référant à la figure 8a qui représente une coupe radiale de l'ensemble collecteur 14, on voit que les positions relatives des passages radiaux en b, c, d.e, et f, sont facilement définies. En se référant ensuite à la figure 8b, on voit 25 que l'arbre de valve 204 comprena un alésage radial unique 210 qui est représenté dans cette position comme étant aligné avec un alésage vertical ou trou circulaire 184 dans le disque 42, cet alséage radial correspondant à la piste 170 de l'enserït)le collecteur. La figure 8c représente une autre coupe radiale dans laquelle l'arbre 204 est pourvu d'une paire d'alésages radiaux 30 à'angle droit 214 et 214a, l'alésage 214, dans cette position de rotation De l'arbre 204, étant aligné avec l'alésage 184 associé à la piste 168 de l'ensemble collecteur. A la position définie par la coupe radiale d, et représenté dans la figure 8c, un alésage radial unique 216 est en alignement avec l'alésage vertical 164 associé à la piste 166 de l'ensemble collecteur. Le 35 coupe radiale de la figure 6e représents l'utilisation c'un alésage de traversée définissant ces sections d'alésage 218 et 216b et une section à angle crcit 218a. Dans le cas présent, l'alésage radial 218 raccorde pneumatiquement l'alésage longitudinal 210 à l'ouverture 164 de la piste 164. A la coupe radiale f, comme représenté cans la figure bf, le cisque collecteur 42 porte un petit 40 alésage vertical 222 débouchant dans l'évidement opposé 158 de la plaque de bad 70 43247 10 2072138 collecteur 40 et l'arbre 204 porte des alésages de traversée par paire définissant des sections d'alésage radiaux 220, 220a, 220b et 220c. Les axes se projetant radialement 208, adjacents à l'extrémité extérieure de l'arbre 204, peuvent être colorés mais les arbres sont de préférence en forme de V 5 aux extrémités avec des gorges 209 à angle droit également prévues comme indiqué par les couleurs rouge, bleu, et jaune, afin de faciliter la rotation par l'utilisateur de la valve à une position qui est non seulement déterminée par le nombre de bols sélectionnés mais associée au codage de couleurs similaires sur les sélecteurs de crayon pré-réglés 106, et les sélecteurs d'enfonce-10 ment réglables 96. La valve de dépression n°2 en 202 est réalisée d'une manière similaire et l'on peut se référer aux figures 9a à 9g inclus qui représentent la valve cans une de ses positions réglées et également la trajectoire d'écoulement de la dépression qui lui est appliquée. Dans ce cas, en supplément à l'arbre 206 15 de la valve nc 2, comportant un alésage longitudinal 240 qui s'étend sur la plus grande partie de sa longueur mais est complètement fermée aux deux extrémités, on a prévu des évidements ou rainures longitudinales supérieure et inférieure 242 et 244, opposés circonférenciellement les unes par rapport aux autres, et s'étendant sur une longueur définie par les pistes de collecteur 20 164 à 170. De plus, comme on le voit dans la figure 9e, la périphérie "remplie" ou "pleine" de l'arbre 206 est allégée et dans la figure 9c, la plus grande partie des surfaces périphériques, allant au-delà de 180° est dégagée. La plaque de collecteur sous-jacente 40 est munie de trois passages ou évidements séparés pour fluide ; le passage le plus à l'intérieur radialement 152 et les 25 passages 154c et 158 s'étendant radialement dans cet ordre. La manière suivant laquelle le fluide est sélectivement délivré aux quatres pistes 164 à 170 à partir de la position sélectionnée représentée et également les variations possibles, peuvent apparaître facilement en se référant aux coupes radiales figures 9b à Gf inclus. A cet égard, en se référant à la figure 9b, l'alésage 30 longitudinal 240 de l'arbre 206 comprend un alésage radial unique 246 s'étendant à partir de celui-ci, dans la position représentée-, et est coupé de l'ouverture 180b définissant partiellement la piste 170". Cette piste est, cependant, en communication pneumatique avec la rainure ou évidement de surface longitudinale 242 de l'arbre de valve 206 et complète un circuit pneumati-35 que vers le trou ou alésage vertical 178 dans le disque de collecteur 42. Dans la figure 9c, l'arbre de valve 206 est à nouveau prévu avec un alésage radial unique 254 s'étendant à partir de l'alésage longitudinal 240, qui, dans la position représentée, est isolé de la rainure longitudinal 242 à l'intérieur du disque de collecteur 42 bien que, à ce moment, l'évidement 152 40 de la plaque de collecteur soit en communication pneumatique avec l'évidement bad original 70 43247 11 2072138 ou rainure longitudinal inférieur 244 de l'arbre de valve 206 par l'intermédiaire de l'alésage 243. Dans la figure 9d s'étendent, en direction opposée, les alésages radiaux 246 et 248a à partir de l'alésage longitudinal 240 à l'intérieur de l'arbre 206 mais dans la position représentée, ces deux alésaçres 5 sont isolés pneumatiquement ce la rainure 193 Définissant partiellement la piste 166 de l'ensemble collecteur. Cependant, l'évidement périphérique longitudinal 242 est en communication pneumatique avec la piste 166 et également avec les pistes 164 et 170. A la position du collecteur définie par la vue en coupe de la figure 9e, 10 un évidement périphérique complet, défini par la section de surface extérieure de diamètre réduit 250, représente le raccordement pneumatique continu de l'alésage 178 associé à la piste 164 aux deux passages longitudinaux 242 et 244 de l'arbre 206. L application d'une Dression pneumatique à l'alésage longitudinal 240 est 15 obtenue à la position radiale de collecteur définie par la vue en coudb de la figure 9f, dans laquelle l'arbre 206 porte quatre alésages verticaux à angle droit 258, 258a, 258b et 258c de façon que, dans uns quelconque des quatre positions sélectionnées, l'alésage longitudinal 240 soit en communication pneumatique avec le passage d'application de pression 158 associée à la plaqua 20 de collecteur sous-jacente 40 par l'intermédiaire de 1'alésais vertical 250 eu disque de collecteur se trouvant au-dessus 42. A nouveau, en se référant à la figure 9g, les sur'cr'-r. dégagées en forme de V sur l'extrémité avant du cisque ce valve 20G sont colorées afin c'inciquer la position de '®cr ce la valve n°2 qui correspond à celle ce l'arhre do valve r,°1. 25 Lne représentation schématique ces réglages de T.ode et les effets de ceux-ci peuvent être constatés visuellement en se référant à la figure 10. Dans cette figure, l'ensemble collecteur 12 est représenté schématiqusment sous une forme rectangulaire plate plutôt que sous la forme d'un disque annulaire. La valve de dépression i:°2,202 est représentée comme étant juste à 30 la gauche ce la valve de dépression n°1,200 et les première, deuxième, troisième et quatrième pistes sont identifiées en 164, 166, 168 et 17G respectivement. Pour les quatre pistes, l'évidement çe grande dimension 182 ce l'ensemble collecteur-valve permet l'application rie la pressien atmosphéricue acres la station de triage. Les stations d'indexage 1,2,3,4,5,6,7 et 8 sent identi-35 fiées ce droite à gauche, à la fois en asscciaticn avec l'ensemble collecteur fixe 12, avec les sélecteurs de crayon 10E réglables de l'ensemble de bras porte crayon flexibles rotatif 14, et avec les sélecteurs d'enfoncement en forme de cisque réglables 96. De plus, pour le fonctionnement en mode à bol unique, en mode à deux bols, ou en mode à quatre bols, les positions des arbres 40 ce valves n° 1 et n° 2, 204 et 206 respectivement sont représentés comme ? bad original 70 43247 12 2072138 correspondant à ceux indiqués dans la table suivante MODE SELECTEUR DE BRAS PORTE CRAYON ENFONCEMENT ASM Bol unique Deux bols Quatre bols Glissement j aune j aune j aune j aune r ouge b leu j aune v ert ARBRE à DEPRESSION N° 1 rouge bleu jaune idem ARBRE COLLECTEUR N° 2 rouge bleu jaune idem Il est donc nécessaire de prérégler d'abord les positions du sélecteur de crayon à toutes les stations dans lesquelles les sections extrêmes droites 128 et 130 ont des positions variables à la fois angulairement et radialement par rotation de celles-ci autour ds l'axe excentrique. Ainsi, quatre positions indépendantes, décalées angulairement de 22 degrés 1/2 et radialement par une rotation complète de 180° sont prévues. Ces positions correspondent alors par rotation manuelle des sélecteurs d'enfoncement à un bol unique, à deux bols, et à quatre bols pour chaque station, et avec la rotation des arbres de valve colorés, 204 et 205, aux positions indiquées à la droite de la figure 10. Les instructions pour réaliser cela sont simples et définies facilement à l'aide du tableau ci-dessus. Suivant les exigences du bol d'alimentation, le code de couleur désigné est sélectionné pour les arbres de dépression n°1 et n°2 en se référant au tableau de fonctionnement du bol d'alimentation. Deux conditions de dépression peuvent être crées à chaque station de bol d'alimentation telles que la dépression permanente ou l'interruption de dépression, comme désiré. Ces conditions se produisent toujours à toutes les stations de bol dans le collecteur à quatre pistes fixes et sont transmises aux ouvertures de détection dans l'ensemble moyeu de collecteur de dépression rotatif. Après que chaque crayon ait saisi une micro-plaquette par l'intermédiaire de "1'interrnption de dépression", la dépression complète sera maintenue pendant tout le cycle de la machine par la sélection appropriée des valves de dépression N° 1 et n° 2 jusqu'à ce que la station de triage soit atteinte (dans ce cas, la station 6), où l'ouverture ce détection reçoit une pression positive de l'évidement du collecteur fixe 192 et la micro-plaquette se trouve rejetée directement électro-pneumatiquementpî^interrrédiaire du coceur 11. La mise en nhase précise de "l.1 interruotion de dépression" est réalisée au moyen du codeur photo 11 qui commanoe toutes les fonctions de cycle de la machine et est entrainé par l'arbre d'entrainement d'entrée 30. En fonctionnement, la référence au code de fonctionnement du bol d'alimentation indiqué dans le tableau, indique que lorsqu'un mode à bol unique est bad original 70 43247 13 2072136 nécessaire, l'utilisateur de la machine positionne 1b numéro 1, sur le moyeu 38 et corresnondant à un bras donné, à la station d'indexage n°1 st place le sélecteur d'enfoncement 96 au bol 1 (station 1) sur 1b roucre, appareillant toutes les zcnes* jaunes possibles sur les positions es sélecteur de l'ensemble 5 ce bras porte-crayon flexible 14. Les ansernbles d'enfoncement aux stations c'alignement, ce contact et ds triarre (stations 5,B,7 st 63 sont réglés d'une manière similaire an s'assurant ru mouvement du crayon vers le bas et vers le haut à chaque station ainsi sélectionnée. Puisque les stations de bol n° 2, 3 et 4 ne sont pas utilisées les sélecteurs d'enfoncement à ces stations 10 sont réglés sur la zone de couleur verte, dans la zone jaune de n'importe quelle position de sélecteur de crayon pré-réglé assurant un saut de l'action ASM du bras d'enfoncement, ce qui se traduit par un déplacement nul du crayon dans les bols 2,3,4. De plus, les arbres de dépression 204 st 20B pour les valves iM° 1 et 2 respectivement de l'ensemble collecteur de dépression à quatre 15 pistes fixe 12 sont positionnés d'une manière correspondante au tableau et en se référant à la figure 113, l'arbre n° 2, 206 est réglé sur le rouge tandis que l'arbre n°1, 204 est réglé ou tourné également en position rouge. Le mode à bol unique expose toujours toutes les ouvertures de détection, c'est-à-dire les passages ou alésages verticaux 78, 176 et 174 du moyeu du collecteur à dépres-20 sion rotatif 3d aux conditions "d'interruption de dépression" lorsqu'ils tournent dans la station de bol n°1 et quand ils la quittent, les ouvertures de détection sur les quatre pistes de l'ensemble collecteur de dépression fixe maintiennent une condition de dépression constante. Ceci assure un positionnement de micro-plaquettes fix's sur tous les crayons pendant tout le cycle 25 d'indexage jusqu'à ce que la station de triage soit atteinte. Le fonctionnement de la machine assure un indexage ce 45° de station à station et l'enfoncement suivant des bras de l'araignée rigide 90 provoque l'enfoncement sélectif des crayons individuels suivant la position du crayon respectif et des sélecteurs d'enfoncement. 30 D'une manière similaire dans le mode à deux bols, la couleur bleue définit le mouvement de l'ensemble d'enfoncement aux stations de bol N°1 et i\'°2 uniquement dans le cas d'une "interruption ce dépression" parallèle apparaissant à chaque deuxième cycle de machine. Avec une condition verte" sur les sélecteurs d'enfoncement dans les bols n° 3 et n° 4, le mouvement du craycn demeura 35 fixe et au-esssus de ces tels. £fin de maintenir une micro-plaquette sur chaque crayon après avoir quitté les conditions "d'intsrruntion de dépression", . les arbres ce dépression n°1 et n°2 doivent être positionnés comme indiqué dans le tableau. Précisément, les deux arbres de dépression fi°1 et H°2 doivent être dans la position de coce rie couleur bleue comme indiqué par la figure 10. 40 Dans le fonctionnement à quatre bols, les jaunes du sélecteur d'enfon- bad original 70 43247 14 2072138 cernent aux stations de bol [\l°1 à 4 correspondent au jaune sur chacune des qufetre positions de sélecteur de crayon différentes. Toutes .les opérations de bol sont entièrement illustrées dans la figure 10 avec les sélecteurs de crayon 106 positionnés correctement par rapport aux sélecteurs d'enfoncement 36 pour chacune des stations d'indexage. De plus, les arbres de dépression 204 et 206 pour les valves de dépression 1 et 2 sont positionnés sur le jaune comme indiqué dans le tableau, ce qui résulte en une condition "d'interruption de aépression"appliquée simultanément aux quatre stations de bol, condition qui est toujours suivie par une condition de dépression continue à partir du bol en position haute et jusqu'à la station de triage. Il est bien évident que c'est seulement à chaque quatrième cycle de machine que le mouvement de saisie parallèle se produit aux zones de bol. Cette caractéristique permet d'avoir un maximum de temps pour l'alimentation correcte des micro-plaquettes dans les bols. Comme on peut le voir d'autre part dans les figures Sa à 6g et dans les figures 9a à 9g, l'application sélective de dépression dans les conditions "d'interruption de dépression" et dans les conditions de dépression continues par la rotation sélective des arbres de valve dé dépression 204 et 206 apparaît facilement en raison Ces divers passages nneumatiaues associes formés à l'intérieur de l'arbre de valve rotatif, le disque de collecteur associé 42 recevant celui-ci et la plaque de collecteur fixe sous-jacente 40. La, présente invention constitue une amélioration caractéristique puis-au'elle est bénéfique cans au moins trois domaines importants, la commodité et la souplesse, le rendement plus élevé et les performances optimum de expression. En ce qui concerne la commodité, des opérateurs de peu d'expérience peuvent l'utiliser et aucun outillage spécial n'est nécessaire lorsque l:on change les modes ce fonctionnement de la machine. De plus, le temps nécessaire à cette phase est estimé à trois minutes maximum. Deuxièmement, puisque les deux mouvements cinématiques du système d'entraînement, à savoir la rotation et le soulèvement sont indépendants l'un de l'autre pendant le cycle complet de la machine, un couple plus faible est nécessaire résultant en un rendement meilleur de la machine et en une durée de vie augmentée pour l'unité d'entrainement et d'embrayage. Finalement, le volume compact de l'ensemble collecteur de dépression fixe av'ec les longueurs de ligne minimum, agissent en association avec les quatre pistes de dépression perforées et résultent en .une réponse pneumatique plus rapide et en un temps mort minimum pendant la phase de démarrage de la rotation. Bien que l'on ait décrit dans ce qui précède, et représenté sur les dessins, les caractéristiques essentielles de l'invention, appliquées à un moDB ce réalisation préférée de celle-ci, il est évident que l'homme de l'art oeut y apporter toutes modifications de forme ou détail qu'il juge utiles sans pour autant sortir du cadre de ladite invention. bad original 70 43247 15 2072138 REVENDICATIONS 1. Dispositif de manipulation d'éléments de faible dimension du genre comprenant : un premier ensemble en forme d'araignée, rotatif st comportant des bras souples s'étendant radialement et uniformément espacés, 5 des dispositifs de maintien d'éléments, chacun des dispositifs étant porté par un bras souple, un second ensemble en forme d'araignée, non rotatif, mais soumis à un mouvement de va-et-vient vertical, monté coaxialement au-dessus dudit premier ensemble et comportant des bras rigides correspondant aux bras du premier 1D ensemble, ce dispositif étant caractérisé en ce qu'il comporte : des moyens pour indexer l'ensemble rotatif en forme d'araignée depuis une station à une autre station, les stations étant définies par les bras rigides s'étendant radialement, 15 des moyens portés par l'ensemble non rotatif en forme c'araignee, ces dits moyens provoquant la flexion des bras souoles lorsque les deux ensembles en forme d'araignée sont alignés anEulairement et que ledit ensemble non rotatif supérieur est déplacé vers l'ensemble rotatif inférieur. 2. Dispositif selon la revendication 1 caractérisé en ce que le dispositif de 20 maintien d'éléments comprend un crayon à dépression, l'application d'une pression pneumatique négative-appliquée à ce crayon lui permettant de maintenir l'élément. 3. Dispositif selon les revendications 1 ou 2 caractérisé en ce oue les moyens provoquant la flexion des bras souples du premier ensemble rotatif, compor- 25 tent d'une part des sélecteurs d'enfoncement pouvant tourner, chacun des bras du ceuxième ensemble soumis à un mouvement vertical de va et vient comportant un ces dits sélecteurs d'enfoncement, et d'autre part des sélecteurs ds crayon, ces derniers pouvant également tourner et étant situés à l'extrémité des bras du premier ensemble rotatif et sur le chemin parcouru par les sélecteurs 3C d'enfoncement qui leur sont associés. 4. CisDositif selon la revendication 3, caractérisé en ce: nue chaaua sclqctaur d'enfoncement rotatif comnorte un disnua renfermant olusieurs extensions ou nroiecticns espacées nirculairsmer.t, ayant des corrfi Furetions irréFulicres et s'étendant du disqus vers le bas st ce, à des positions raciales différentes; 35 et en ce que chaque sélecteur ce crayon comporte ur. élément en forme dn U, rotatif et monté sur la surface suoérieure de chacun ces uras souples, permetbad original 70 43247 16 2072138 tant un réglage angulaire autour d'un axe excentrique et comportant des saillies à ses extrémités qui ont une configuration et des positions radiales compatibles avec les projections portées, par le sélecteur d'enfoncement rotatif et adaptées pour s'engager dans celui-ci. 5 5. Dispositif selon la revencication 4, caractérisé en ce que chaque cisque de sélection d'enfoncement rotatif comporte plusieurs encoches périphériques à raison d'une encoche pour chaque position c!e réglage angulaire du sélecteur d'enfoncement rotatif, et en ce qu'un ressort en porte à -Taux a une extrémité fixée à l'extrémité de chaque bras de la deuxième araignée, un élément d'arrêt 10 étant porté par chaque ressort et rappelé par ressort à l'intérieur d'une encoche périphérique sélectionnée. 6. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un moyen d'application sélective de dépression permanente, d'interruption de dépression ou de pression pneumatique positive audit crayon à dépression 15 afin de maintenir les contacts entre l'élément de faible dimension et le crayon pendant le transport, mais permettant de détacher l'élément à une station donnée. 7. Dispositif selon la revendication B, caractérisé en ce que le moyen d'application d'une dépression ou d'une pression pneumatique positive au crayon 20 à dépression comprend : un ensemble collecteur fixe positionné sous la première araisnée rotative indexable, et comportant des passages de fluide, un moyen de collecteur relié à la première araignée indexable, tournant avec elle et comportant des ouvertures de détection, pour le fluide, ces sa 25 ouvertures déplaçant en alignement avec les passages de fluide portés par le collecteur fixe, et des moyens permettant le raccordement pneumatique des crayons individuels portés par chaque bras aux ouvertures de détection à l'intérieur du moyeu collecteur rotatif. 30 8. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que le collecteur fixe comprend en outre un moyen de réception de pression positive. 9. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que le collecteur fixe et le moyeu collecteur comprennent des éléments annulaires positionnés coaxia-lement, le collecteur fixe comprenant plusieurs passages de fluide définissant 35 des pistes pneumatiques individuelles, espacées radialement, le moyeu collec bad original 70 43247 17 20727 38 teur rotatif portant ces ouvertures ds détection nt des bras dsux a deux couplés et ds direction opposée, égaux en nombre aux pistes porteras par le collecteur fixe, les ouvertures de détection étant adaptées de façon à tourner autour des trajectoires concentriques aux pîst-rs r^c^etives. 5 1G. Dispositif - salon la revendication U, caractér;sâ t?n .cp qu'il cc-prenc1 an outre au noins une valve ce riéarossion portée par la collsctsur fixa, nermet-^ant ainsi c'anoliouiir sélectivement la dépression aux pistas du collecteur. 11. Cispositif selon la revendication 0, caractérisé en es que le collecteur fixe comprenc uns plaque de collecteur sous-iâcente st un riiscus de collecteur 10 suoérieur, ries nessapss ds fluide associés dans la plaque de collecteur fixe et dans le cisque rie collecteur fixe, des moyens portés par la plaque de collecteur peur raccorder les dits passages à plusieurs lignes d'alimentation ce dépression séparées, des alésages radiaux portés car le disaus de collecteur fixe supérieur, des arbres ds dépression à valve rotatifs st situés à 15 l'intérieur des dits alésages, et ces moyens de nassags es fluide oortés par les arbres de dépression pour raccorder sélectivement les passages de fluide, comprenant les pistes de dépression du disauerie collecteur fixe, aux passages ce fluics situés à l'intérieur ds la claque ds collecteur fixe. 12. Dispositif selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'il comprend sn 20 outre, un moyen de passage eu fluide porté nar le disque de collecteur fixe permettant une communication pneumatique séquencielle avec toutes les ouvertures de détection portées par le moyeu de collecteur rotatif, et un moyen pour le raccordement pneumatique dudit passage à l'atmosnhère afin de libérer la pression pneumatique du crayon individuel après eue l'élément rie faible 25 dimension ait été séparé du crayon à une station donnée. 13. Dispositif selon la revendication 12, caractérisé en ce eus les extrémités exposées ries arbres de dépression rotatifs portés Dar le collecteur fixe, le sélecteur d'enfoncement rotatif, et le sélecteur de crayon rotatif sont codés par couleur d'une manièrs correspondants afin de faciliter le fonctionnement 30 sélectif avec plusieurs bols du dispositif de manipulation" c'éléments de faible dimension. bad ORIGINAL t