Brevet FR2094112A1 — publié le 19720204

i 209^112 la présente invention concerne un disposi-, tif semi-conducteur en silicium dans lequel il existe une adaptation améliorée entre les coefficients de dilatation thermique d'un corps passivant une jonction et un élément semi-conducteur 5 en silicium. La présente invention concerne, de plus, un procédé de fabrication d'un tel dispositif. On connaît des dispositifs semi-conducteurs en silicium dans lesquels le verre est utilisé à la fois pour la passivation d'une jonction et pour toute l'enveloppe hermétique et isolante de l'élément semi-conducteur en silicium. Un exemple d'un tel dispositif est le redresseur A14 vendu par la General Electric Company. Bien que ce procédé d'enrobage hermétique donne toute satisfaction pour des dispositifs semi-conducteurs en silicium de petit diamètre dont le-courant est faible, les 15 différences entre les coefficients de dilatation thermique du silicium et du verre empêchent ce procédé d'être appliqué à la fabrication de dispositifs dans lesquels la largeur de l'élément semi-conducteur en silicium se rapproche de 3,75 mm, car dans de tels éléments de plus grande largeur, le verre subit des contrain-20 tes plus importantes. Par des études très poussées, on a recherché un verre qui, à la fois peut convenir comme élément de passivation d'une jonction et dont le coefficient de dilatation thermique s'adapte suffisamment à celui du silicium pour lui 25 permettre d'être utilisé avec succès, sur un élément au silicium de plus grand diamètre, comme matériau unique d'étanchéité et d'enrobage. On a trouvé, par exemple, que des verres tendres qui pourraient convenir par ailleurs, c'est-à-dire dont la température de cuisson ou de ramollissement est inférieure à 700°C, 30 présentent un coefficient de dilatation thermique trop élevé pour des éléments semi-conducteurs en silicium de plus grandes dimensions. Bien qu'on ait identifié plusieurs verres dont les coefficients de dilatation thermique s'adaptent^suffisamment à celui du silicium, ces verres ne peuvent en général être utilisés par 55 liaison directe avec le silicium soit du fait de leur température de fusion extrêmement élevée, par exemple supérieure à 900°C, saifc du fait de l'altération des caractéristiques électroniques des éléments semi-conducteurs en silicium à l'endroit de leurs jonctions et qui est due, par exemple, aux atomes de substances 40 alcalines mobiles .à l'intérièur du verre. 71 20676 2 2094112 En conséquence, la présente invèntion concerne un nouveau dispositif de passivation dans lequel un isolant composite peut être utilisé à la fois comme élément de passivation d'une jonction, et à volonté, comme enveloppe isolan-5 te unique d'un élément semi-conducteur en silicium, en particulier d'un élément semi-conducteur de puissance et dont la largeur est supérieure à 3,75mm. Dans ce "but, le dispositif semi-conducteur selon l'invention comprend un élément semi-conducteur en sili-10 cium dans lequel est disposée une jonction coupant l'un de ses bords. Deux électrodes conductrices sont associées à l'élément semi-conducteur et sont séparées par la jonction. Un corps protecteur est solidarisé par cuisson avec le bord de l'élément qui est coupé par la jonction et il est constitué par un agré-15 gat comprenant essentiellement un élément de passivation en verre tendre dont le coefficient de dilatation thermique est supé- —7 rieur à celui du silicium, mais est inférieur à 45 x 10 '/°G ainsi que par des particules libres d'un oxyde métallique dont le coefficient de dilatation thermique est inférieur à celui 20 du silicium. La quantité de particules d'oxyde métallique est suffisante pour réduire le coefficient de dilatation thermique du corps protecteur à une valeur inférieure à celle de l'élément de passivation en verre. Suivant un autre espect, la présente inven-25 tion concerne un procédé dans lequel on met en oeuvre un élément semi-conducteur dans lequel est disposée une jonction coupant l'un de ses bords. Un agrégat disposé sur le bord comprend essentiellement un élément de passivation en verre tendre dont le coefficient de dilatation thermique est supérieur à celui du —7 30 silicium, mais inférieur à 45 x 10 /°C et des particules d'un oxyde métallique dont le coefficient de dilatation thermique est inférieur à celui du silicLum. La quantité de particules d'oxyde métallique est suffisante pour réduire le coefficient de dilatation thermique du corps protecteur à une valeur infé-35 rieure à celle du verre. L'ensemble est chauffé jusqu'à la température de cuisson du verre. A titre d'exemple, on a décrit ci-après et représenté au dessin annexé deux formes de réalisation du dispositif selon l'invention. 40 La figure 1 est une coupe verticale schéma- 71 20676 3 2094112 tique d'une première forme de réalisation de l'invention. La figure 2 est une coupe verticale schématique d'une seconde forme de réalisation de l'invention. Pour faciliter l'illustration de l'in-5 vention, les épaisseurs des éléments semi-conducteurs sont exagérées en comparaison de leur largeur dans ces deux figures. De plus, on a évité de sectionner les éléments semi-conducteurs afin de ne pas surcharger les figures. La figure 1 représente un dispositif 10 semi-conducteur 100 qui comprend un élément semi-conducteur en silicium 102. L'élément semi-conducteur comporte une première et une seconde surface principale 104 et 106' opposées. Une jonction 108, disposée à l'intérieur de l'élément semi-conducteur coupe un bord périphérique 118 de celui-ci. La partie de 15 l'élément semi-conducteur qui est située entre la jonction et la première surface principale peut être d'un premier type de con-ductivité, tandis que le restant de l'élément semi-conducteur est d'un type de conductivité opposé. Une première électrode conductrice 110 est associée à la première surface principale 20 par un contact 112, tandis qu'une seconde électrode conductrice 114 est associée, de la même manière, par un contact 116 à la seconde surface principale. Les électrodes et les contacts peuvent être réalisés d'une façon classique et peuvent comporter chacun un ou plusieurs éléments ou couches. Dans la forme préfé-25 rée de l'invention, les électrodes sont des plaques de revêtement en un métal réfractaire, par exemple du molybdène ou du tungstène, dont le coefficient de dilatation thermique est infé- H rieur à 55 x 10 /°C. On réduit ainsi les efforts d'origine thermique qui sont transmis par les électrodes à l'élément 30 semi-conducteur et on facilite également la liaison de l'élément passivant, comme expliqué ci-après. Les contacts peuvent comporter une soudure soit dure, soit tendre, pour les plaques de revêtement en métal réfractaire. Dans la forme préférée de l'invention, le bord périphérique 118 est chanfreiné, de manière à 35 étaler le champ de surface qui est associé à la jonction. Le chanfrein du bord périphérique peut être soit positif, soit négatif, suivant le sens donné à ces termes dans la technique. Les avantages qu'offre un chanfreinage de la surface périphérique sont décrits complètement, par exemple, dans le brevet U.S.A. 40 n° 3 491 272. Bien entendu, il n'est pas essentiel que le chaR- 71 20676 + 2094112 frein du "bord périphérique soit positif ou négatif. Un corps diélectrique protecteur 120 est lié au "bord périphérique de l'élément semi-conducteur en silicium. De préférence, la rigidité diélectrique du corps protecteur est 5 au moins de 4000 volts/mn, et sa résistivité est au moins de 1010 ohm-cm. Le coefficient de dilatation thermique du corps protecteur est inférieur à celui qu'il est possible d'obtenir avec des éléments de passivation en verre tendre classiques. De préférence, le coefficient de dilatation thermique du corps se 10 rapproche de celui de l'élément semi-conducteur en silicium. A ce point de vue, il convient de noter que les mesures du coefficient de dilatation thermique du silicium monocristallin ont —7 montré qu'il était compris entre 30 et 37 x 10 /°0 suivant le plan cristallographique choisi. Une adaptation exacte des 15 coefficients de dilatation thermique du corps protecteur et de l'élément en silicium n'est pas nécessaire pour tirer profit de l'invention et dans la plupart des cas elle est impossible à réaliser en pratique. Le corps protecteur peut être réalisé, sui-20 vant la présente invention, par le mélange d'un verre tendre classique de passivation et d'un oxyde métallique sensiblement exempt de substances alcalines mobiles, tous les deux sous forme de particules. Des exemples de verres tendres de passivation classiques sont donnés dans les brevets U.S.A. n° 2 889 952, 25 n° 3 420 685 et n° 3 441 422. Le terme "verre tendre", tel qu'il est utilisé ici, concerne un verre dont la température de cuisson (ou de ramollissement) est inférieure à 700°C. De tels verres peuvent être solidarisés par cuisson sur le bord des éléments semi-conducteurs en silicium sans altération des caractéristiques 30 physiques ou électriques de ces éléments. Bien que tous les verres tendres de passivation existants présentent des coefficients de dilatation thermique très supérieurs à celui du silicium, certains d'entre eux ont des coefficients de dilatation thermique extrêmement élevés. En conséquence, il est préférable, 35 pour la mise en pratique de la présente invention, de n'utiliser que les verres dont les coefficients de dilatation thermique sont _7 de 45 x 10 /°C ou moindres. Les termes "coefficient de dilatation thermique" tels qu'ils sont utilisés ici indiquent le coefficient de dilatation thermique linéaire moyen et, comme les autres paramètres qui sont donnés, ils concernent la gamme normale 71 20676 5 2094112 de températures de fonctionnement du dispositif, c'est-à-dire une température comprise entre 0 et 300°C. Dans une forme avantageuse de l'invention, les particules d'oxyde métallique sont des particules de silice 5 amorphe. Les particules de silice amorphe sont particulièrement avantageuses car leur coefficient de dilatation thermique extrê- n mement bas est inférieur à 15 x 10 '/°0. Il est également possible d'utiliser, à la place des particules de silice, des particules de verres classiques, sensiblement exempts de substances alcalines mobiles et dont les coefficients de dilatation thermique sont inférieurs à celui du silicium. On trouve dans le commep-ce de nombreux verres de ce type. Des exemples de verres appropriés sont donnés ci-après dans le tableau I. Les ingrédients qui iie sont pas énumérés sont des impuretés constituées par des 15 oxydes métalliques. TABLEAU I Nom Commercial Coefficient de Principaux ingrédients - # dilatation thermique en poids X 10""7/°C AlgO^ B2°3 Si02 GE-GrSCl 12,8 5,4 11,3 82,6 GE-GSC2 16,8 4,8 10,5 83,5 GE-GSC3 13,3 5,1 12,1 81,9 GE-GSC4 22,4 1,1 17,6 79,9 Les températures de cuisson de tous ces 25 verres sont supérieures à 700°C et ils sont définis dans le présent mémoire comme étant des verres durs. Bien qu'il soit préférable d'utiliser des verres sensiblement exempts de substances alcalines, on sait que les atomes de substances alcalines ne sont nuisibles que dans la mesure où ils sont mobiles. Des 30 substances alcalines peuvent être incorporées aux verres durs lorsqu'elles sont présentes sous la forme d'une liaison chimique qui 'supprime la migration des atomes aidas ions de substances alcalines. Il est préférable d'utiliser des verres durs dont la teneur en poids totale de substances alcalines est inférieure à 5$ environ. ^5 Pour former le corps protecteur, on broie et on mélange le verre tendre de passivation et les particules d'oxyde métallique. Bien que les dimensions des particules n'aisit pas d'importance primordiale, il est préférable d'utiliser des particules qui passent par une maille de tamis de 0,149 mm et de 4° préférence par une maille de 0,047 mm. Il est préférable que 71 20676 6 2094112 les dimensions de particules de verre tendre soient inférieures aux dimensions des particules d'oxyde métallique afin de faciliter la liaison. On sait également que le rapport entre la surface disponible et le poids des particules d'oxyde métà.lique et 5 des particules de verre peut être réglé par un réglage des dimensions des particules. Il est possible de faire varier dans une large mesure la proportion des particules d'oxyde métallique par rapport aux particules de verre tendre. Il est préférable de n'incorporer que la quantité minimale de particules d'oxyde D métallique qui est nécessaire pour donner au corps protecteur le coefficient de dilatation thermique voulu. En général, le rapport en poids, entre les particules de verre tendre et les particules d'oxyde métallique utilisées est de 8:1 ou plus élevé On se rend compte que les avantages offerts par la présente 15 invention et qui sont dus à une réduction du coefficient de dilatation thermique du corps protecteur à une valeur inférieure à celle du verre tendre, peuvent être obtenus simplement par l'incorporation de quantités très faibles de particules d'oxyde métallique. 20 Dans une forme préférée de l'invention, le mélange de particules de verre tendre et d'oxyde métallique est disposé sur le bord coupé par une jonction de l'élément en silicium monocristallin et il est cuit jusqu'à la température de ramollissement du verre tendre ou à une température légèrement ^ 25 supérieure. Un véhicule volatilisable tel que de l'eau désioni-sée ou un véhicule organique liquide classique peut être utilisé pour donner à l'ensemble des particules la forme d'une suspension facilement mise en place. Le véhicule peut être éliminé par séchage ou cuisson de manière à laisser l'ensemble à l'empla 30 cernent voulu sur l'élément semi-conducteur. L'ensemble est ensuite chauffé jusqu'à la température de cuisson du verre tendre de passivation afin de former le corps protecteur. Il peut être cuit de la même manière qu'une fritte de verre est cuite d'une façon classique. yj Lorsque les particules d'oxyde métallique contiennent une quantité de substances alcalines faible mais appréciable, pouvant atteindre 5i° en poids, et qui d'ailleurs peut être incorporée soit pendant la formation de la matière, soit pendant son broyage ou sa manipulation ultérieure, les particules contaminées par l'alcali peuvent être utilisées avec 71 20676 7 2094112 succès pour les dispositifs semi-conducteurs de l'invention si l'on a soin de réaliser une barrière ou couche d'arrêt qui s'oppose à la migration de la substance alcaline dans l'élément semi-conducteur. Conformément à un premier procédé, 1'élément 5 semi-conducteur peut être oxydé au préalable afin de produire une couche d'oxyde sur le bord qui est proche de la jonction qui doit être passivée. Par exemple, l'élément semi-conducteur peut être plongé dans de l'acide nitrique bouillant. On peut également utiliser d'autres techniques connues pour le dépôt de couches D d'oxyde de silicium, la couche d'oxyde constitue une barrière ou couche d'arrêt qui s'oppose à la migration de la substance alcaline dans l'élément semi-conducteur. Au lieu.de former une couche d'oxyde sur le bord de l'élément semi-conducteur avant la mise en place de l'ensemble de passivation, il est également possible 5 d'utiliser un composé décomposable d'un métal tel que du plomb ou de l'arsenic, qui peut stimuler la formation d'un oxyde sur le bord de l'élément en silicium. Par exemple, on peut former une barrière ou couche d'arrêt s'opposant à la migration de la substance alcaline, en saturant l'eau désionisée qui est 20 utilisée comme véhicule avec une matière telle qu'un halogénure de plomb ou d'arsenic, car l'halogénure du métal se décompose sous l'effet de la chaleur à une température inférieure à la température de cuisson du verre tendre et il réagit avec le silicium du bord de l'élément semi-conducteur, de manière à accélérer 25 son oxydation. On obtient le même résultat si une barrière ou couche d'arrêt s'opposant à la migration de la substance alcalin^ est formée avant que la température n'atteigne des valeurs supérieures à 500°C environ, pour lesquelles il se produirait une migration rapide de la substance alcaline dans le silicium. 30 Ie procédé qui consiste à former au préalable une couche d'oxyde comme couche d'arrêt s'opposant à la migration, avant l'application de l'ensemble de passivation, présente l'avantage de donner au dispositif un meilleur comportement électrique. On a observé qu'il est possible de faire ap-35 pel à la couche d'arrêt s'opposant à la migration de la substance alcaline pour supprimer complètement les altérations que subit la jonction pendant l'application du corps protecteur et on a observé des améliorations importantes et surprenantes des caractéristiques de blocage de la tension dans la jonction. 40 Cependant, la formation préliminaire d'une couche d'arrêt consti 71 20676 8 2094112 tue une opération supplémentaire du procédé qui peut ne pas être admissible, du point de "vue économique, dans tous les cas. De plus, lorsqu'on utilise une technique de formation d'un oxyde, par exemple lorsque l'élément semi-conducteur est plongé dans de 5 l'acide nitrique, il faut que le traitement du corps protecteur soit entrepris avant que les contacts ne soient appliqués sur l'élément en silicium. Lorsque la couche d'arrêt est formée pendant l'opération de cuisson du fait de l'incorporation d'une matière accélérant l'oxydation, on observe une certaine altéra-10 tion des caractéristiques de blocage de la jonction, par exemple inférieure à 10$, mais l'importance de cette altération est réduite d'une manière appréciable à une valeur inférieure à celle qui est observée pour des dispositifs formés sans couche d'arrêt s'opposant à la migration de la substance alcaline, mais 15 dont les teneurs en substances alcalines sont comparables. Dans la plupart des cas, la couche d'arrêt entre en solution dans le verre tendre de passivation à sa température de cuisson, de sorte qu'elle n'existe pas comme élément distinct dans le corps protecteur lorsqu'il est cuit. 20 Dans la forme du dispositif qu'on voit sur la figure 1, non seulement le corps protecteur est lié au bord de l'élément semi-conducteur, mais encore il est lié à la périphérie des plaques de soutien en métal réfractaire. En conséquence, les électrodes et le corps protecteur enferment ensemble 25 d'une manière hermétique l'élément semi-conducteur. On supprime ainsi la nécessité d'un enrobage ultérieur du dispositif. On sait, bien entendu, qu'un autre enrobage ou d'autres couches protectrices peuvent être déposées sur le dispositif, à volonté. Par exemple, le dispositif représenté pourrait être monté dans 30 un boîtier scellé hermétiquement, ou bien il pourrait être enrobé dans une matière plastique et diélectrique suivant des techniques bien connues. Lorsqu'on envisage une enveloppe protectrice supplémentaire, on se rend compte que le corps protecteur peut présenter des irrégularités mécaniques qui le rendent 35 moins imperméable au fluide. Lorsque le corps protecteur comporte des irrégularités mécaniques qui ne lui permettent pas d'être utilisé comme barrière ou couche d'arrêt hermétique,ou lorsqu'elles le rendent douteux à ce point de vue, il peut être avantageux 40 de modifier la réalisation du dispositif semi-conducteur de la 71 20676 9 2094112 aanière représentée sur la figure 2. Les éléments du dispositif 200 qui sont identiques à ceux du dispositif semi-conducteur 100 sont indiqués par des références numériques semblables et ne sont pas décrits à nouveau. Le corps protecteur 220 peut être 5 identique au corps 120 ou bien peut en différer de la manière indiquée plus haut. Dans la forme préférée de l'invention, la couche 222 est un glaçage ou émail en verre tendre de passivation. Le glaçage peut être appliqué à l'aide de techniques classiques lorsque le corps protecteur a été formé par cuisson. Du 10 fait qu'il est inutile de chauffer tout le dispositif jusqu'à la température de cuisson du glaçage ou émail, le corps protecteur ne subit pas nécessairement une seconde cuisson. Normalement, le glaçage est choisi de manière que son coefficient de dilata- —7 tion thermique soit de 45 x 10 '/°(3 ou moindre, de la même 15 manière que le verre tendre de passivation utilisé dans le corps protecteur, mais on se rend compte que lorsque le coefficient de dilatation thermique du corps protecteur est supérieur à celui de l'élément semi-conducteur, on peut admettre pour le glaçage ou émail un coefficient plus élevé. On se rend compte qu'au 20 lieu d'utiliser un verre tendre classique de passivation, pour le glaçage, il est possible d'utiliser divers autres verres dont les températures de cuisson sont égales ou inférieures à la température de cuisson du verre tendre incorporé au corps protecteur. Du fait que le glaçage est séparé de l'élément semi-25 conducteur par le corps protecteur, la jonction de ce dernier est beaucoup moins sensible à la substance alcaline que peut contenir le glaçage. En conséquence, il est envisagé que le glaçage puisse avoir une teneur en substance alcaline pouvant atteindre 5% en poids, qu'il y ait ou non initialement une cou-30 che d'arrêt s'opposant à la migration de la substance alcaline. Lorsque le glaçage est appliqué, une partie du corps protecteur et/ou du glaçage peut être dévitrifié, de manière à former une barrière cristalline en matière céramique à leur interface. La couche dévitrifiée donne une résistance mécanique supplémentaire 35 à la structure composite. Bien qu'on n'ait décrit que certains modes de réalisation avantageux de l'invention, on se rend compte qu'elle peut subir de nombreuses modifications. Par exemple, bien que pour des raisons de clarté, on ait décrit l'invention 40 comme un dispositif ne comportant qu'une seule jonction, c'est- 71 20676 10 2094112 à-dire un redresseur, on se rend compte qu'elle peut être appliquée facilement à la construction de transistors, de thyristors et d'autres dispositifs semi-conducteurs à jonctions simples ou multiples qui nécessitent la passivation d'une jonction à son intersection avec le bord d'un élément en silicium. 71 20676 2094112 REYENDICATIONS 1. Dispositif semi-conducteur, caractérisé en ce qu'il comprend un élément semi-conducteur en silicium contenant une jonction qui coupe l'un de ses "bords, deux électrodes conduc- 5 trices étant associées à l'élément semi-conducteur et étant séparées par ladite jonction, un corps protecteur solidarisé par cuisson avec le bord coupé par ladite jonction de l'élément étant formé par un agrigat comprenant essentiellement un verre tendre de passivation dont le coefficient de dilatation thermique est —7 10 supérieur à celui du silicium et est inférieur à 45 x 10 /°C ainsi que des particules d'un oxyde métallique sensiblement exempt de substances alcalines mobiles, dont le coefficient de dilatation thermique est inférieur à celui du silicium, et dont la quantité est suffisante pour réduire le coefficient de dila-15 tatiofi thermique du corps protecteur à une valeur inférieure à celle du verre de passivation. 2. Dispositif semi-conducteur suivant la revendication 1, caractérisé en ce que le corps protecteur est associé d'une manière étanche auxdites électrodes. 20 3. Dispositif semi-conducteur suivant la reven dication 1, caractérisé en ce que le corps protecteur et les électrodes enrobent hermétiquement l'élément semi-conducteur. 4. Dispositif semi-conducteur suivant la revendication 1, caractérisé en ce que ledit verre tendre de passiva-25 tion est un verre au borosilicate de zinc. 5• Dispositif semi-conducteur suivant la revendication 1, caractérisé en ce que les particules d'oxyde métallique sont constituées essentiellement par de la silice amorphe. 6. Dispositif semi-conducteur suivant la reven-30 dication t, caractérisé en ce que les particules d'oxyde métallique sont constituées essentiellement par un verre dur. 7. Dispositif semi-conducteur suivant la revendication 1, caractérisé en ce que le coefficient de dilatation thermique du corps protecteur est approximativement égal à celui 35 du silicium. 8. Dispositif semi-conducteur suivant la revendication 1, caractérisé de plus, en ce qu'un glaçage ou émail recouvre le corps protecteur. 9. Dispositif semi-conducteur suivant la réVen-40 dication 1, caractérisé en ce qu'il comprend, de plus, un glaçage 71 20676 12 2094112 constitué essentiellement par un verre tendre de passivation qui recouvre le corps protecteur. 10. Dispositif semi-conducteur suivant la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend, de plus, un 5 glaçage qui recouvre le corps protecteur et une couche de matière céramique dévitrifiée interposée entre le glaçage et ledit corps protecteur. 11. Dispositif combiné, caractérisé en ce qu'il comprend un élément semi-conducteur en silicium contenant une 10 jonction coupant l'un de 3es bords, une couche d'arrêt supposant à la migration d'une substance alcaline étant associée audit bord de l'élément et un agrigat de passivation recouvrant la couche d'arrêt et constitué essentiellement par un verre tendre de passivation dont le coefficient de dilatation thermi-15 que est supérieur à celui du silicium et est inférieur à n 45 x 10 /°C et par des particules d'oxyde métallique dont la teneur en substances alcalines est inférieure à 5$ en poids, le coeffieent de dilatation thermique des particules d'oxyde métallique étant inférieur à celui du silicium, et leur quantité 20 étant suffisante pour réduire le coefficient de dilatation thermique de l'ensemble à une valeur inférieure à celle du verre de passivation. 12. Dispositif combiné suivant la revendication 11,caractérisé en ce que la couehe d'arrêt s'opposant à la 25 migration de la substance alcaline est une couche de silicate de plomb. 13. Dispositif combiné suivant la revendication 11, caractérisé en ce que la couche d'arrêt s'opposant à la migration de la substance alcaline est une couche de silice. 30 14. Procédé caractérisé en ce qu'il consiste à réaliser un élément semi-conducteur contenant une jonction coupant l'un de ses bords, à disposer sur les bords de l'élément semi-conducteur un agrigat constitué essentiellement par un verre tendre de passivation dont le coefficient de dilatation 35 thermique est supérieur à celui du silicium et est inférieur à 45 x 10 /°C et par des particules d'un oxyde métallique sensiblement exempt d'une substance alcaline mobile dont le coefficient de dilatation thermique est inférieur à celui du silicium et dont la quantité est suffisante pour réduire la 40 dilatation thermique du eorps protecteur à une valeur inférieure 71 20676 13 2094112 à celui âu verre de passivation, et à chauffer l'ensemble jusqu'à la température de cuisson du verre de passivation. 15. Procédé suivant la revendication 14, caractérisé en ce qu'il consiste, de plus, à fixer des électrodes 5 sur l'élément semi-conducteur, à des positions relatives espacées par rapport à la jonction. 16. Procédé suivant la revendication 14, caractérisé en ce qu'il consiste, de plus à déposer un glaçage sur la surface de l'ensemble cuit. 10 17. Procédé caractérisé en ce qu'il consiste à réaliser un élément semi-conducteur contenant une jonction coupant l'un de ses bords, à former une couche d'arrêt s'opposant à la migration d'une substance alcaline sur le bord de l'élément, à disposer sur le bord de -l'élément un agrigat cons-15 titué essentiellement par un verre tendre de passivation dont le coefficient de dilatation thermique est supérieur à celui n du silicium et est inférieur à 45 x 10 /°C ainsi que par des particules d'un, oxyde métallique dont la teneur en une impureté constituée par une substance alcaline est inférieure à 5$, dont 20 le coefficient de dilatation thermique est inférieure au silicium, et dont la quantité est suffisante pour réduire le coefficient de dilatation thermique de l'ensemble à une valeur inférieure à celle du verre de passivation, et à chauffer l'ensemble jusqu'à la température de cuisson dudit verre. 25 18. Procédé suivant la revendication 17, caracté risé en ce que la couche d'arrêt s'opposant à la migration de la substance alcaline est formée par oxydation du bord de l'élément . 19. Procédé suivant la revendication 17, carac-30 térisé en ce que la couche d'arrêt s'opposant à la migration de la substance alacaline est formée par le mélange avee 1'agrigat, avant sa cuisson, d'un composé décomposable par la chaleur d'un métal susceptible d'accélérer l'oxydation du silicium.