Brevet FR2060008A1 — publié le 19710611

La présente invention se rapporte à un transducteur de contraintes à semi-conducteur qui transforme des contraintes mécaniques en électricité en utilisant un élément de pellicule de semiconducteur. 5 On a proposé précédemment divers types d'éléments de trans formation du son, utilisant les effets de piézorésistance de monocristaux de silicium et de germanium. Cependant, pour obtenir un effet suffisant de la transformation et de la tension de sortie, n'importe lequel des éléments de la technique antérieure doit ê-10 tre fabriqué sous forme de tiges ou de plaques minces ayant une surface en section transversale extrêmement faible, telle que 0,1 p mm ou moins, et, en outre, il doit être lié à un dispositif de vibrations mécaniques afin de recevoir une contrainte uni-axiale. Un tel élément de la technique antérieure utilisant un monocristal 15 a une compliance mécanique si faible que des difficultés ont été fréquemment rencontrées durant la construction mécanique pour obtenir un dispositif de transformation à caractéristiques sonores satisfaisantes. En outre, la fabrication de l'élément semi-conducteur, impliquant un travail extrêmement délicat, a demandé un de-20 gré élevé d'habileté et, de plus, par suite de la résistance mécanique insuffisante, l'élément ainsi obtenu fréquemment ne pouvait plus être mis en service durant le montage. En conséquence, l'objet principal de la présente invention est de fournir un transducteur de contraintes à semi-conducteur 25 qui utilise l'effet de piézorésistance d'une couche semi-conductrice déposée sur une pellicule mince flexible d'une matière isolante et qui, en conséquence, peut être produit par un procédé simple. Selon la présente invention, une contrainte ou un effort de flexion est imposé à l'élément semi-conducteur de piézorésistance 30 uniformément en continu, à travers une matière visqueuse, et une concentration locale d'une contrainte excessivement grande peut ê-tre évitée. En conséquence, une rupture de l'élément peut être é-vitée. De plus, tout effet d'amortissement désiré peut être obtenu en choisissant convenablement la configuration de la base de pel-35 licule isolante, la configuration d'une structure de support et le type de matière visqueuse pouvant s'écouler. En d'autres termes, l'effet d'amortissement, la compliance et la tension de sortie peuvent être conçus très facilement. Un autre avantage de la présente invention est que, puisque l'élément de piézorésistance semi-con-^0 ducteur est une résistance pure, il ne sera pas soumis à une indue- 70 16809 2. 2060008 tion nocive et, en outre, puisqu'il est formé par évaporation sous vide, on peut lui donner une dimension extrêmement faible et il peut être utilisé d'une manière stable, même lors -d'excitations à fréquences élevées. Un autre avantage excellent de la présente in-5 vention est que l'élément peut être produit en grande quantité par un seul procédé, si bien qu'on peut obtenir des éléments de qualité uniforme à de faibles prix de revient et, en outre, leur construction est simple. * - D * autres caractéristiques de la présente invention apparaî-10 tront d'après la description suivante des exemples de réalisation de la présente invention, en relation avec les dessins ci-joints dans lesquels : , La figure 1 est une vue en coupe transversale donnant un e-xemple de l'élément de pellicule à un semi-conducteur déposé, à u~ 15 tiliser dans le transducteur de contraintes à semi-conducteur de la présente invention. La figure 2 est un schéma pour expliquer la construction de base et le fonctionnement du dispositif selon la présente invention. Les figures 3a, 3b et 3c représentent une série de vues re-20 présentant différentes formes de l'élément de pellicule à semiconducteurs déposés La figure 4 èst une vue en coupe transversale représentant un exemple de réalisation d'une cellule pick-up selon la présente invention. . 25 ' La figure 5 est une vue en perspective dé la cellule pick-up représentant l'intérieur de là construction. La fijgure 6 est une vue en perspective expïosée de la cellule pick-up. * ' ' La figure 7 est une vue frontale de l'élément de pellicule à 30 semi-conducteurs déposés. Les figures 8 et 9 sont des vues frontales des autres formes dé l'élément de pellicule à semi-conducteurs déposés. La figure 10 est une vue en coupe"transversale d'un autre e-xemple de réalisation de la cellule pick-up selon la présente in-35 vention. ' La figure 11 est une vue en perspective de la cellule pick-up de la figure 10, la calotte frontale ayant été retirée. La figure 12 est une vue en perspective"éxplosée de la cellule pick-up de la figure 10. 40 Les figures 13 et 14 sont des vues frontales des autres for- 70 16809 3. 2060008 mes de l'élément de pellicule à semi-conducteurs déposés. La figure 15 est une vue en coupe transversale d'un autre e-xemple de réalisation de la cellule pick-up selon la présente invention. 5 La figure 16 est une vue en perspective de la cellule pick- up de la figure 15. La figure 17 est une vue en perspective explosée de la cellule pick-up. La figure 18 est une vue développée de l'élément de pellicu-10 le à semi-conducteurs déposés et, Les figures 19 et 20 sont des vues en coupe transversale d'un microphone dans lequel la présente invention est mise en oeuvre . En se référant d'abord à la figure 1, on représente un exem-15 pie de réalisation de l'élément de pellicule à semi-conducteur déposé, utilisé dans le dispositif de la présente invention. Sur cette figure, la référence 1 désigne un substrat, qui se compose d'une pellicule fortement flexible et isolante, résistant à la chaleur, en matière telle qu'une polyimide, une polyamide ou du mica, 20 et ayant une épaisseur d'environ plusieurs dizaines de microns. Les références 2, 2' désignent des électrodes qui sont prévues sur la plaque de base 1 en déposant un métal, tel que du nickel, du chrome ou de l'or, par évaporation sous vide. La référence 3 désigne un élément semi-conducteur à piézorésistance, qui est formé en 25 déposant une matière semi-conductrice à grand effet piézorésistant, par exemple du silicium, du germanium, de l'indium, de l'antimoine ou analogues, avec une quantité convenable d'une impureté choisie qui y est mélangée, par évaporation sous vide sous la forme d'une bande reliant les électrodes 2, 2', en utilisant un masque conve-30 nable. En conséquence, quand l'élément semi-conducteur à piézorésistance 3 subit un changement de tension dans la direction pour connecter les électrodes 2, 2' ou une déformation sous une contrainte de flexion exercée sur toute sa masse, un changement se produit dans la résistance sur les bornes électrodes par suite d'une dévia-35 tion mécanique. La figure 2 est une vue qui explique le principe d'un dispositif de transformation de contraintes incorporant l'élément de pellicule à semi-conducteur déposé, construit comme on l'a décrit ci-dessus. La référence 4 désigne un support isolant supportant une extrémité, c'est-à-dire l'électrode 2, de l'élément de 40 pellicule à semi-conducteur déposé et la référence 5 désigne un au 70 16809 u. 2060008 tre support supportant l'autre extrémité de l'élément. Le support 5 est pourvu d'une cavité 6 dans laquelle sont reçus l'autre électrode 2' et l'élément semi-conducteur à piézorésistance 3 de l'élément de pellicule à semi-conducteur. La cavité 6 est remplie 5 d'une matière visqueuse 7, se composant d'une graisse à base de silicone ou analogues, et l'autre partie d'extrémité de l'élément de pellicule à semi-conducteur déposé est supportée par le support 5 par l'intermédiaire de la matière visqueuse 7 pouvant s'écouler. Dans la construction décrite ci-dessus, quand le support 4 10 ou 5 est déplacé dans la direction de la flèche 8, une contrainte de flexion se produit dans l'élément semi-conducteur à piézorésistance 3, par suite de l'effet d'amortissement de l'élément 7. Par suite, l'élément semi-conducteur à piézorésistance 3 est tiré ou comprimé et sa résistance interne varie selon le déplacement du 15 support 4. En conséquence, on comprendra que, lorsqu'une source de courant continu 9, telle qu'une batterie, et une résistance de charge 10 sont connectées en série avec l'élément semi-conducteur à piézorésistance 3 pour former un circuit fermé, le changement de résistance de l'élément semi-conducteur 3 est détecté sous forme 20 d'un changement de tension à l'extrémité de borne de la résistance de charge 10, et le composant résultant en courant alternatif est pris dans un condensateur 11. La résistance de l'élément semi-conducteur à piézorésistance 3 peut être changée d'une manière semblable en déplaçant le support 5 dans la direction de la flèche 12, 25 tout en maintenant stationnaire le support 4. La construction de l'élément de pellicule 3 à semi-conducteur déposé peut varier beaucoup, tel qu'on l'indique dans l'exemple de la figure 3. Par exemple, l'élément de pellicule à semi-conducteur déposé peut être construit comme on le représente sur la figure 3a, 30 dans laquelle deux éléments semi-conducteurs à piézorésistance 3, 3' sont formés sur une plaque à base de pellicule isolante 1, des premières extrémités étant connectées aux électrodes 2, 2" respectivement et les autres extrémités étant connectées à l'électrode commune 2', afin d'être utilisées en série, ou tel que représenté 35 sur la figure 3b, dans laquelle le substrat de pellicule isolante est pourvu d'évidements 13, 13' sur les deux bords latéraux afin de rendre important le changement de résistance des éléments semiconducteurs 3, 3' provoqué par une contrainte de flexion imposée au substrat de pellicule isolant 1 ou, en outre, comme on le reprë-40 sente sur la figure 3c dans laquelle une électrode 2", connectée à 70 16809 5. 2060008 une électrode 2' est prévue côte à côte par rapport à une électrode 2, afin de faciliter la connexion des électrodes aux éléments extérieurs. En plus de celles décrites ci-dessus, de nombreuses autres constructions peuvent être, bien sûr, utilisées.. • 5 La construction pratique de la cellule pick-up selon la pré sente invention sera maintenant décrite ci-dessous : En se référant aux figures 4, 5 et 6, les références suivantes désignent : 13 une pointe d'aiguille qui trace la.piste sonore d'un disque de phonographe pour détecter la vibration ; 14 une 10 suspension en porte-à-faux pour transmettre la vibration de la pointe d'aiguille 13 à une unité de transduction électromécanique, cette suspension étant constituée par une matière en alliage léger, et 15 un fil ultra-fin constituant un pivot de vibration quand la pointe d.'aiguille 13 et la suspension 14 vibrent selon la piste 15 sonore. Le fil. ultra-fin 15 est fixé fermement à. une extrémité par une entretoise 16 qui est montée dans l'extrémité intérieure de la suspension 14. La référence 17 désigne un élément de support pour fixer le fil ultra-fin 15 au corps principal, c'est-à-dire le bloc de mon-20 tage de la cellule. L'élément de support 17 est fixé sur le fil ultra-fin 15, avec un léger intervalle de 1 mm ou moins entre ce fil et l'extrémité intérieure de la suspension 14, afin de prévoir la vibration libre de la pointe, d'aiguille 13 et de la suspension 14 autour du fil ultra-fin 15. 25 La référence 18 désigne un élément de support qui provoque un serrage entre cet élément et une matière de support d'amortissement 20, se composant d'une matière élastique ou analogue, un substrat de pellicule isolant 19 ayant un film semi-conducteur déposé dessus. 30 La référence 2.1 désigne un bloc de montage cylindrique constitué d'une matière isolante et ayant un ëvidement 22 formé sur une face d'extrémité. Le fond de l'évidement 22 est pourvu d'un évidement 23 à une partie pour recevoir une extrémité de la matière de support d'amortissement 20. Un trou allongé 25 est percé à par-35 tir du centre de l'évidement 23, en faisant communiquer l'évidement 23 avec un évidement 24 prévu dans l'autre surface d'extrémité du bloc de montage 21. D'autre part, des tiges de bornes 26 sont encastrées dans le bloc de montage 21, leurs extrémités opposées faisant projection 40 dans l'évidement 22 sur une face d'extrémité et l'évidement 24 sur 70 16809 6. 2060008 l'autre face d'extrémité du bloc de montage, respectivement, et les extrémités faisant projection dans l'évidement 24 sont connectées à des fiches 28 qui sont respectivement prévues sur une plaque de bornes 27 fixée fermement dans l'évidement 24. 5 Dans le montage de la cellule pick-up, l'élément de support 18 est d'abord monté à l'extrémité de borne de la suspension 14 et puis la piaque de base de pellicule isolante ,19 et la matière de support d'amortissement 20 sont agencées de manière à serrer le substrat de film isolant 19 entre l'élément de support 18 et le 10 support d'amortissement 20, Puis, l'élément de support 17 est inséré dans le trou 25 dans le bloc de montage 21, tout en maintenant le support d'amortissement 20 en contact par pression avec le fond de l'évidement 23 et est fixé au bloc de montage 21 au moyen d'un adhésif ou analogue. Ici, le substrat de film isolant 19 correspond 15 au substrat 1 représenté sur les figures 1 et 2 et à des bras solidaires 29, 30 reposant dans le même plan en relation sensiblement perpendiculaire pour former un V, tel que représenté sur la figure 6. Le substrat de pellicule isolant 19 est pourvu d'un trou 31 à la partie fléchie à travers lequel l'élément de support 17 est in-20 séré, et est serré entre l'élément de support 18 et le support d'amortissement 20. Tel que représenté sur la figure 7, sur chacun des bras 29, 30 on forme, par évaporation sous vide, des éléments semi-conducteurs à piézorésistance 36, 36 ou 37, 37 dans les mêmes conditions 25 que celles présentées sur la figure 1, les premières extrémités é-tant connectées, aux électrodes 34, 34' ou 35, 35' et les autres extrémités étant connectées à des électrodes communes 32 ou 33. Les bras 29, 30, pourvus des éléments semi-conducteurs à piézorésistance 36, 36 et 37, 37, respectivement, sont placés dans l'évidement 30 22 du bloc de montage 21 avec un espace rempli d'air entre eux et la paroi inférieure de l'évidement, et cet évidement 22 est rempli d'une matière visqueuse 38 pouvant s'écouler. Ainsi, on verra que les bras 29, 30 sont maintenus par le bloc de montage 21 à travers la matière visqueuse 38 pouvant s'écouler. Les électrodes 34, 34 35 et 35, 35 sont connectées aux tiges de bornes 26, respectivement, et les deux.éléments semi-conducteurs à piézorésistance 36, 36' ou 37, 37' sont connectés en série les uns avec les autres. 39 désigne une calotte frontale de la cellule pick-up. Le fonctionnement de la cellule pick-up de la présente inven-40 tion ayant la construction telle que décrite ci-dessus sera briève 70 16809 7- 2060008 ment expliquée ci-dessous en se référant à la figure 5. Lorsqu'une vibration est transmise à la pointe d'aiguille 13, telle qu'indiquée par les flèches 40, cette pointe d'aiguille 13 et la suspension 14 sont déplacées dans les mêmes directions. En 5 conséquence, les éléments semi-conducteurs à piézorésistance 36, 36', parallèles aux flèches 40, subissent une vibration telle qu'indiquée par les flèches 43, si bien qu'une contrainte de flexion est créée dans les éléments semi-conducteurs à piézorésistance 36, 36' par la matière visqueuse 38 pouvant s'écouler. Par suite, la ré-10 sistance interne sur les éléments semi-conducteurs 36, 36' sur les électrodes varie selon le changement de contrainte, et la vibration mécanique de la pointe d'aiguille 13 est détectée sous forme de signal électrique. D'autre part, les autres éléments semi-conducteurs à piézo-15 résistance 37, 37' subissent une force de rotation autour de l'axe en pointillés, tel qu'indiqué par les flèches 44. En conséquence, une contrainte de flexion n'est pas sensiblement imposée aux éléments de semi-conducteurs 37, 37' et, de ce fait, le changement de la résistance interne est très faible. 20 II sera évident que la condition décrite ci-dessus sera in versée quand la pointe d'aiguille 13 vibre dans une direction à angle droit par rapport aux flèches 40. En plus de la construction représentée sur la figure 7, l'élément de pellicule sur lequel est déposé le semi-conducteur peut 25 avoir la construction telle que représentée sur la figure 8, dans laquelle chacun des bras 29, 30 de la plaque de base de pellicule isolante 19 est pourvue de deux électrodes 45, 45' ôu 46, 46' et d'un élément semi-conducteur à piézorésistance 47 ou 48, ou bien la construction peut être telle que représentée sur la figure 9, 30 dans laquelle une entaille 49 est formée dans la plaque de base de pellicule isolante 19 s'étendant jusqu'à la partie centrale de cette dernière et les éléments semi-conducteurs à piézorésistance 51, 52 sont respectivement formés sur les bras 29, 30, les premières extrémités étant connectées à une électrode commune 50 et les au-35 très extrémités étant connectées aux électrodes 53, 54 respectivement, ces électrodes 53, 54 étant étendues pour faciliter la connexion avec les tiges de bornes, ou bien on peut prévoir toute autre construction. Un autre exemple de réalisation de la cellule pick-up selon 40 la présente invention sera décrit en se référant aux figures 10, 70 16809 8. 2060008 11 et 12. Dans ces figures, 113 désigne une pointe d'aiguille qui trace la piste sonore d'un disque de phonographe pour détecter une vibration et 114 désigne une suspension pour transmettre la vibration de la pointe d'aiguille 113 à l'unité de transduction électro- f 5 mécanique, cette suspension étant constituée d'une matière en alliage léger. La référence 115 désigne un support constitué d'une matière plastique et adapté pour maintenir un élément de pellicule, sur lequel on dépose un semi-conducteur et, entre cette matière et un élément de support qu'on décrira ultérieurement. Le support 115 10 est pourvu d'un trou axial 116 à travers son centre. La référence 117 désigne l'élément de pellicule sur lequel on dépose un semi-conducteur, comprenant un substrat de pellicule isolant en forme de croix 123 ayant quatre bras 118, 119, 120 et 121 dans le même plan et sensiblement à angle droit, et pourvu d'un 15 trou de traversée 122 en son centre, et deux éléments^ semi-conducteurs à piézorésistance 124 et 124', 125 et 125', 126 et 126' ou 127 et 127' prévus côte à côte sur chacun des bras, les premières extrémités étant connectées à une électrode commune 128, 129, 130 ou 131 et les autres extrémités étant connectées aux électrodes 20 132 et 132', 133 et 133', 134 et 134' ou 135 et 135' respectivement. La référence 136 désigne un élément de support cylindrique ayant une partie en gradin à diamètre réduit 137 à une extrémité. La partie 137 est pourvue d'un trou 138 pour recevoir l'extrémité intérieure de la suspension 114. 25 La référence 139 désigne un bloc de montage isolant servant simultanément d'enveloppe de cellule. Ce bloc 139 a des évidements 140, l4l sur les faces d'extrémité opposées, et un trou axial s'é-tendant entre les centres des évidements 140., 141 pour recevoir l'élément de support 136. Les tiges de bornes 143 sont encastrées 30 dans le bloc de montage 139, leurs extrémités opposées faisant projection dans les évidements 140, 141, respectivement et une plaque de borne 145 ayant des tiges de bornes 144 s'étendant à travers est montée fixement dans l'évidement 141, ces tiges 144 étant connectées aux extrémités des tiges de bornes 143 faisant projection dans 35 les évidements 141. La cellule pick-up ayant la construction décrite ci-dessus est montée à la manière suivante d'abord, la partie à diamètre réduit 137 de l'élément de support 136 est inséréedans le trou de traversée 122 formé, dans le substrat de pellicule isolant 119 de 40 l'élément de pellicule 117 sur lequel est déposé le semi-conducteur 70 16809 9. 2060008 et le support 115 est monté sur la partie 137» cette dernière étant reçue dans le trou axial 116 du premier élément pour serrer l'élément de film 117 entre le support 115 et l'épaulement 146 connectant la partie à diamètre réduit à la partie à plus grand diamètre 5 de l'élément de support 136. Alors, la suspension 1-14 est insérée dans le trou axial 138 de l'élément de support 136 par une pression et l'élément de support 136 portant la suspension 114 est inséré dans le trou 142 du bloc de montage isolant 139 et y est fixé par un adhésif ou a-10 nalogue. - A l'état monté, les bras 118, 119, 120 et 121 de l'élément de pellicule 117-, sur lequel est déposé le semi-conducteur, sont placés dans l'évidement 140 du bloc 139 et l'évidement 140 fermé par une calotte frontale 147 est rempli par une matière visqueuse 15 148 pouvant s'écouler. En conséquence, les bras 118, 119, 120 et 121 sont supportés par l'enveloppe de cellule, composée du bloc de montage isolant 139 et de la calotte frontale 147, à travers la matière visqueuse 148 pouvant s'écouler. D'autre part, les électrodes 132, 132' ; 133, 1331 ; 134, 134' 20 et 135, 135' sur llélément de pellicule 117 sont connectées aux tiges de bornes 143 dans cet état. Le fonctionnement de la cellule pick-up construite comme on l'a décrit ci-dessus sera brièvement expliqué ci-dessous en se référant à la figure 12. L'élément de pellicule 117 sur lequel on dé-' pose le semi-conducteur est solidaire de la suspension 114. En 25 conséquencey une vibration transmise à la suspension à partir de la pointe d'aiguille 113 se propage dans quatre directions à partir de l'élément de support 136 en forme de croix. Lorsqu'une vibration, telle qu'indiquée par les flèches 119, 30 est envoyée à la pointe d'aiguille 113, cette pointe 113 et la suspension 114 vibrent dans la même direction que celle indiquée par les flèches 149, le centre de vibration étant placé à l'élément de support 136. Lorsque la suspension 114 vibre à la manière décrite, les 35 bras 118 et 120 de l'élément de pellicule 117, qui sont parallèles aux flèches 149, subissent une vibration telle qu'indiquée par les flèches 150, 151 respectivement et, de ce fait, les éléments semiconducteurs à piézorésistance 124, 124' et 126, 126' formés sur les bras respectifs 118, 120 sont soumis à une contrainte de flexion 40 provoquée par la force d'amortissement de la matière visqueuse pou 70 16809 10. 2060008 vant s'écouler 148. Les changements résultants des résistances internes des éléments semi-conducteurs 124, 124' et 126, 126' sont détectés à travers les tiges de bornes 144, qui correspondent à la vibration de la pointe d'aiguille 113. . r 5 D'autre part, les autres bras de l'élément de pellicule 117, c'est-à-dire les bras 119 et 121 perpendiculaires aux flèches 149, subissent une force de rotation autour de l'axe en pointillés, tel qu'indiqué par les flèches 142, 153. En conséquence, les éléments semi-conducteurs 125, 125' et 127, 127* prévus sur ces bras 119, 10 121 ne sont soumis sensiblement à aucune contrainte de flexion et, en conséquence, le changement de la résistance interne est très faible. Lorsque la pointe d'aiguille 113 est amenée à vibrer dans la direction des flèches 154 perpendiculairement à la direction des 15 flèches 149, les résistances internes des éléments semi-conducteurs 125, 125' et 127, 127' sont modifiées fortement et celles des éléments semi-conducteurs 124, 124' et 126, 126' ne sont pas sensiblement modifiées, comme on le comprendra facilement. Les figures 13 et 14 représentent d'autres formes de l'élé-20 ment de péllicule 117 sur lequel est déposé un semi-conducteur. Sous la forme représentée sur la figure 13, chacun des quatre bras 118, 119, 120 et 121 de la plaque de base de pellicule isolante 123 est pourvu d'un élément semi-conducteur à piézorésistance 155, 156, 157 ou 158 et de ses électrodes 159, 159' ; 160, 160' ; 161, 25 161' ou 162, 162'. La forme représentée sur la figure 14 est semblable à celle de la figure 13, du fait que chacun des bras 118, - 119, 120 et 121 est pourvu d'un élément semi-conducteur 155, 156, 157 ou 158 mais est différent de cette dernière, du fait que les premières extrémités des éléments semi-conducteurs 156* 157 sont connectées à une électrode commune 163 et les premières extrémités 30 des autres éléments semi-conducteurs 158, 155 sont connectées à une autre électrode commune 164. Un autre exemple de réalisation de la cellule pick-up selon la présente invention sera décrit en détail en se référant aux fi-.35 gures 15, 16 et 17. En se référant aux-figures 15, 16 et 17, la référence 213 désigne une pointe d'aiguille pour détecter une vibration en traçant la piste sonore d'un disque de phonographe, et la référence 214 désigne une suspension constituée d'une matière en ' alliage léger et adaptée pour transmettre la vibration de la poin-40 te d'aiguille 213 à une unité de transducteur électromécanique. La 70 16809 ii. 2060008 référence 215 désigne vin fil ultra-firi pour constituer un centre de vibration quand la pointe d'aiguille 213 et la suspension 214 vibrent selon la piste sonore. Le fil ultra-fin 215 est fermement supporté par une entretoise 216 montée dans l'extrémité intérieure de 5 la suspension 214. 217 désigne un élément de support pour fixer le fil ultra-fin 215 au corps principal de la cellule, c'est-à-dire un bloc de montage. L'élément de support 217 est fixé au fil ultra-fin 215, avec un léger intervalle de 1 mm ou moins maintenu entre cet élément et l'extrémité intérieure de la suspension 214, afin 10 de prévoir la vibration libre de la pointe d'aiguille 213 et de la suspension 214 autour du fil ultra-fin 215» La référence 218 désigne un élément de support pour maintenir entre cet élément et un support d'amortissement 220 d'une matière élastique un élément de pellicule, ayant des couches de semi-con-15 ducteur déposées dessus. Tel qu'indiqué dans la vue développée de la figure 6, l'élément de pellicule 219 sur lequel est déposé un semi-conducteur comprend un substrat de pellicule isolant 224 ayant deux bras solidaires 221, 222, agencés sensiblement à angle droit et ayant un 20 trou de traversée 223 perforé aux parties de base des bras, et sur chaque bras 221 ou 222 on forme deux éléments de semi-conducteur à piézorésistance 225, 225' ou 226, 226' côte à côte par évaporation sous vide, les premières extrémités étant connectées aux électrodes 227, 228 ou 229, 230 et les autres extrémités étant connectées 25 à une électrode commune 231 ou 232. Ainsi, les éléments semi-conducteurs 225, 225' ou 226, 226' sont connectés entre eux en série. Les bras 221 et 222 sont fléchis à leur base dans la même direction pour s'étendre parallèlement l'un à l'autre, comme on le représente bien sur la figure 17. 30 La référence 223 désigne un bloc de montage isolant qui peut être séparé en deux pièces, c'est-à-dire un corps principal 234 et un fragment 239, et qui est de forme cylindrique à l'état monté. L'intérieur du corps principal 234 du bloc de montage est pourvu de deux surfaces axiales perpendiculaires et les premières extré-35 mités des surfaces sont évidées comme en 235» 236. Légèrement en arrière de l'autre extrémité du corps principal 234, on forme une cavité 237 et un trou de traversée 238 perforé axialement au centre par rapport à une face d'extrémité du corps principal 234 pour s'ouvrir dans cette cavité 237. 40 D'autre part, le fragment 239 a une forme telle que, lors- 70 16809 12. 2060008 qu'il est monté sur le corps principal 234, les parties évidées 235, 236 du corps principal ne s'ouvrent que sur une face d'extrémité du bloc de montage. La référence 240 désigne des tiges de bornes encastrées dans 5 le fragment 239 du bloc de montage 233, les premières extrémités faisant projection depuis une face d'extrémité du fragment et les autres extrémités faisant projection à l'intérieur à des emplacements, légèrement à l'intérieur de l'autre face d'extrémité de ce fragment. 241 désigne des tiges de bornes traversant la paroi d'ex-10 trémité du corps principal 234 pour la connexion avec un élément extérieur. La cellule pick-up ayant la construction décrite ci-dessus est montée à la manière suivante : d'abord, le support 218 est monté à l'extrémité intérieure de la suspension 214 et puis l'élément 15 de pellicule 219 sur lequel est déposé le semi-conducteur est monté sur la suspension 214, cette dernière traversant le trou de traversée 223 formé dans le substrat de pellicule isolant 224 du premier élément. Ensuite, la matière de support d'amortissement 220 est montée de manière à relier l'extrémité intérieure de la sus-20 pension 214 et l'élément de support 217 et, de ce fait, l'élément de pellicule 219 est serré entre le support 218 et le support d'amortissement 220. Èn achevant ceci, l'élément de support 217 est inséré dans le trou 238 du corps principal 234 du bloc de montage 233, tout en 25 insérant simultanément les bras 221, 222 de l'élément de pellicule 219 dans les cavités 235, 236, respectivement, en le maintenant hors de contact avec les parois intérieures des cavités. L'élément de support 214 ainsi inséré est fixé dans le trou 238 du corps principal 234, par exemple au moyen d'une vis 242. Dans ce cas, les électrodes 227, 228, 229 et 230 de l'élément de pellicule 219 30 sont connectées aux tiges de bornes 240 et les tiges de bornes 240 sont à leur tour connectées aux tiges de bornes 241. Après l'insertion des bras 221, 222 de l'élément de pellicule 219, les cavités 235, 236 sont remplies d'une matière visqueuse 35 243 pouvant s'écouler et les bras 221, 222 sont supportés par le bloc de montage 233 à travers la matière visqueuse 243. Le fonctionnement de la cellule pick-up ainsi montée sera brièvement expliqué ci-dessous : puisque l'élément de pellicule 219 est fixé sensiblement à l'extrémité de borne de la suspension 214, 40 une vibration transmise depuis la pointe d'aiguille 213 est propa 70 16809 13. 2060008 gée dans les directions d'une forme en V. Quand une vibration est transmise à la pointe d'aiguille 213, tel qu'indiqué par la flèche 244 sur la figure 17, cette pointe d'aiguille 213 et la suspension 214 vibrent dans la même direction que celle de la flèche 244 par 5 rapport au centre de vibration constitué par le fil ultra-fin 215. En conséquence, le bras 222 de la plaque de base de pellicule isolante 224 de l'élément de pellicule 219, qui se trouve dans un plan traversant la flèche 244, est amené à vibrer et les éléments semiconducteurs 226, 226' sur le bras 222 subissent une contrainte de 10 flexion en étant amortis par la matière visqueuse 243. Par suite, les résistances internes des éléments semi-conducteurs 226, 226T sont modifiées selon la vibration de la pointe d'aiguille 213 et les variations de résistances internes sont détectées par l'intermédiaire des tiges de bornes 241. 15 Dans ce cas, les autres éléments semi-conducteurs 225, 225' subissent la contrainte de vibration dans la direction du plan dans lequel ils se trouvent et, en conséquence, aucun changement ne se produit dans les résistances internes. D'autre part, quand la pointe d'aiguille 213 est mise à vi-20 brer dans la direction de la flèche 246, qui est perpendiculaire à la direction de la flèche 244, les éléments semi-conducteurs 225, 225' subissent une contrainte de flexion et les éléments semi-conducteurs 226, 226' ne subissent pas du tout de contrainte de flexion. En conséquence, les changements de résistances internes des 25 éléments semi-conducteurs 225, 225' sont détectés. Bien que, dans l'exemple de réalisation décrit ci-dessus, les deux séries de moyens de transducteurs électromécaniques prévus sur l'élément de pellicule sur lequel on dépose un semi-con-ducteur soient chacune formée de deux éléments semi-conducteurs, 30 elles peuvent être composées d'un seul élément semi-conducteur à piézorésistance ou peuvent avoir toute autre construction. On fera maintenant une description d'un microphone auquel la présente invention est appliquée. Les figures 19 et 20 donnent des exemples de microphones in-35 corporant le dispositif de transformation de contraintes à semiconducteur, basé sur le principe décrit ci-dessus. En se référant à la figure 19, le microphone représenté a la même construction que celui de la figure 2 dans laquelle le support 4 doit être déplacé. 314 désigne un diaphragme que l'on fait vibrer par un son. 40 Le diaphragme 314 est connecté à un élément de pellicule 315 sur 70 16809 14. 2060008 lequel on dépose un semi-conducteur. Les bords opposés de l'élément de pellicule 315 sont respectivement supportés dans les évidements 318, 318' par l'intermédiaire d'une matière visqueuse 319, 319' pouvant s'écouler, ces évidements étant opposés l'un à l'autre dans 5 la paroi périphérique intérieure d'un trou central 317 formé dans un bloc de montage 316. 320 désigne une enveloppe dans laquelle une plaque perforée protectrice 321 et les éléments respectifs décrits ci-dessus sont montés. Le microphone représenté sur la figure 20 est du même type 10 que celui de la figure 2 où le support 5 doit être déplacé. Sur la figure 20, des parties semblables sont indiquées par des références semblables. Un élément mobile 323 qui définit des évidements 322, 322' sur ces deux côtés est fixé à un diaphragme 314, tandis que deux éléments de pellicule 315» 315', sur lesquels est monté un 15 semi-conducteur, sont fixés à un élément fixe 324 à- des premières extrémités, et les autres extrémités des éléments de pellicule sont supportées dans les évidements 322, 322' respectivement par l'intermédiaire d'une matière visqueuse 319, 319'.pouvant s'écouler. 20 La présente invention n'est pas limitée aux exemples de réa lisation qui viennent d'être décrits, elle est au contraire susceptible de variantes et de modifications qui apparaîtront à l'homme de 1'art. 70 16809 15. 2060008 REVENDICATIONS 1 - Transducteur de contraintes à semi-conducteur, caractérisé en ce qu'il comprend un élément de pellicule sur lequel est déposé un semi-conducteur, ayant un élément semi-conducteur à pié- 5 zorésistance avec des électrodes aux extrémités opposées formées sur un substrat de pellicule isolant par évaporation sous vide, cet élément de pellicule ayant une partie supportée directement par un élément de construction d'un élément associé, l'autre partie étant supportée par un autre élément de construction de ce mê-10 me instrument par l'intermédiaire d'une matière visqueuse pouvant s'écouler, et, de ce fait, lorsqu'un des éléments de construction est mécaniquement déplacé pour transmettre une contrainte de flexion à l'élément semi-conducteur à piézorésistance de l'élément de pellicule, il se produit un changement de résistance interne de 15 l'élément semi-conducteur à piézorésistance selon la contrainte de flexion pour que ce changement de résistance interne soit détecté. 2 - Cellule pick-up incorporant le dispositif de la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle comprend une suspension en porte-à-faux ayant une pointe d'aiguille à une extrémité, un subs- 20 trat de pellicule isolant fixé à l'autre extrémité de la suspension et ayant deux bras s'étendant sensiblement perpendiculairement l'un à l'autre suivant une forme de V dans le même plan perpendiculaire à la suspension, chacun des bras du substrat de pellicule isolant ayant, formés dessus par évaporation sous vide, des 25 éléments indépendants semi-conducteurs à piézorésistance en forme de bande, chacun ayant des électrodes aux extrémités opposées, et les deux bras de la plaque de base de pellicule isolante étant supportés par la structure de bâti de la cellule pick-up par l'intermédiaire d'une matière visqueuse pouvant s'écouler, si bien qu'une 30 contrainte de vibration transmise à partir de la pointe d'aiguille peut être envoyée aux éléments semi-conducteurs à piézorésistance sous forme de contrainte de flexion pour provoquer un changement de résistance des éléments. 3 - Cellule pick-up incorporant le dispositif de la revendi-35 cation 1, caractérisée en ce qu'elle comprend une suspension ayant une pointe d'aiguille à une extrémité, une plaque de base de pellicule isolante prévue pour recevoir la vibration de la suspension et ayant quatre bras s'étendant sensiblement perpendiculairement les uns aux autres, suivant une forme croisée dans le même plan 40 perpendiculaire à la suspension, chacun des quatre bras du subs 70 16809 16. 2060008 trat de pellicule isolant ayant, formés dessus par évaporation sous vide, des éléments indépendants en forme de bande, semi-conducteurs, à piézorésistance, chacun ayant des électrodes aux extrémités opposées et ces quatre bras de la plaque de base de pellicule r 5 isolante étant supportés par la structure de bâti de la cellule pick-up par l'intermédiaire d'une matière visqueuse pouvant s'écouler pour qu'une contrainte de vibration transmise à partir de la pointe d'aiguille puisse être transmise respectivement aux éléments semi-conducteurs à piézorésistance sous forme de contrainte de fle-10 xion, pour provoquer un changement de la résistance des éléments. 4 - Cellule pick-up incorporant le dispositif de la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle comprend une suspension ayant une pointe d'aiguille à une extrémité, un substrat de pellicule i-solant fixé à l'autre extrémité de la suspension, et ayant plusieurs 15 bras sensiblement parallèles à la suspension, des éléments semiconducteurs indépendants, en forme de bande, à piézorésistance, é-tant sensiblement formés par évaporation sous vide sur chacun des bras, chaque élément ayant des électrodes aux extrémités opposées, et les bras respectifs de la plaque de base de la pellicule isolan-20 te étant supportés à leurs extrémités finales par la structure de bâti de la cellule pick-up par l'intermédiaire d'une matière visqueuse pouvant s'écouler, si bien qu'une contrainte de vibration transmise à partir- de la pointe d'aiguille peut être transmise aux éléments respectifs semi-conducteurs à piézorésistance sous forme 25 de contrainte de flexion, pour provoquer un changement de la résistance des éléments.