Brevet FR2080909A1 — publié le 19711126

La présente invention concerne des accéléromètres angulaires. Des accéléromètres angulaires connus comportent une masse tournante qu'on doit supporter convenablement et équilibrer avec soin pour que l'appareil ne soit pas sensible aux accélérations 5 linéaires. De plus, la masse doit posséder une symétrie de rotation si l'appareil doit être insensible aux vitesses angulaires qui agissent suivant des axes qui se trouvent dans un plan perpendiculaire à l'axe de rotation de la masse. Il est difficile de réaliser avec précision des accéléromètres angulaires de ce type pour» 10 mesurer de petites accélérations angulaires (par exemple de l'ordre 2 de 100 radians/seconde ou moins). L'invention concerne un accéléromètre angulaire perfectionné qui comprend un récipient de fluide, un transducteur à pression différentielle comportant une première chambre de fluide d'un côté 15 d'une membrane conductrice de l'électricité, une seconde chambre de fluide de l'autre côté de la membrane et deux électrodes distantes placées de part et d'autre de la membrane et reliées, à une source d'énergie électrique établissant une différence de potentiel entre elles, le. récipient allant d'une chambra à 20 l'autre, et un dispositif électronique destiné à détecter les fléchissements de la membrane dus aux accélérations angulaires du fluide dans le récipient et dans les chambres, et à exercer sur la membrane une force électrostatique d'équilibrage par application d'une tension qui dépend de l'accélération angulaire du fluide. 25 Dans un mode de réalisation, chaque électrode est munie d'un anneau de garde qui, lorsqu'il est convenablement relié à une source d'énergie électrique, permet la création entre les électrodes et la membrane d'un champ électrostatique uniforme, et cette disposi- -tion permet une détermination précise de l'espace entre chaque 30 électrode et la membrane à l'aide de mesures de capacité. Dans vin autre mode de réalisation de l'invention, le récipient de fluide comporte un tube formant plusieurs tours et permettant l'accroissement de la sensibilité de 1'accéléromètre. Le fluide peut être un gaz sous pression élevée, de manière 35 à accroître la sensibilité de 1'accéléromètre. Dans une variante, on peut monter le récipient de fluide et le transducteur de pression différentielle à l'intérieur d'un réservoir hermétique scellé, 71 01187 -2- 2080909 contenant du gaz sous pression élevée, le récipient de fluide comportant un simple orifice de sortie permettant le passage du gaz. De préférence, le gaz a un poids moléculaire élevé. Dans un autre mode de réalisation, des entretoises maintien-5 nent les deux électrodes équidistantes des faces opposées de la membrane. Dans un mode de réalisation d'accéléromètre, le récipient de fluide forme un rotor fluide qui s'enroule autour du transducteur de pression différentielle en formant un ensemble rotor-transduc-10 teur. Lorsqu'il fonctionne, 11accéléromètre est solidaire d'un corps dont on veut mesurer l'accélération angulaire. Lorsque le corps subit une accélération angulaire, une masse de fluide contenue dans le récipient subit aussi une accélération et, du fait de son iner-15 tie, crée une différence de pression de part et d'autre de la membrane. Cette différence de pression tend à faire fléchir cette membrane, le» électrodes forment avec la membrane des condensateurs qu'on monte dans des branches opposées d'un pont capacitif. Le pont est excité par une tension alternative. On applique aussi une dif-20 férence de potentiel continu élevée, de l'ordre de 300 volts, entre les électrodes par l'intermédiaire d'inducteurs placés dans deux branches du pont. De cette manière* la membrane se trouve dans un champ électrostatique intense. Lorsque celle-ci est équi-distante des électrodes, le signal de sortie du pont est nul. Lors-25 que la membrane dévie, l'amplitude du signal de sortie du pont varie en fonction de la différence de capacité des deux condensateurs constitués par la membrane et les électrodes. Le" déphasage du signal de sortie par rapport à la tension alternative appliquée indique le sens de la déviation. 30 Le signal de sortie du pont capacitif parvient à un démodula teur par l'intermédiaire d'un amplificateur. Le démodulateur donne un signal de sortie sous forme d'une tension continue dont la valeur est proportionnelle à l'amplitude du signal de sortie du pont et dont ia polarité dépend du déphasage relatif de ce signal. Cette 35 tension continue délimite un rapport état 1/état 2 du. signal d'une série d'impulsions rectangulaires fournies par un déclencheur haute tension commandé par un basculeur de Sohmidt. Ces impulsions BAD ORIGINAL 71 01187 -3- 2080909 alternent entre deux tensions continues de valeur absolue égale, mais de signe opposé, la valeur absolue étant égale au potentiel appliqué aux électrodes. Le rapport signal non nul/signal nul des impulsions est tel que la tension continue moyenne fournie par le 5 déclencheur haute tension et appliquée à la membrane est juste suffisante pour créer une pression électrostatique entre la membrane et les électrodes qui équilibre la différence de pression de part et d'autre de la membrane. Aussi la déviation résultante de la membrane est presque nulle et celle-ci reste en position centrale entre 10 les deux électrodes. La tension continue moyenne appliquée à la membrane est proportionnelle à la différence de pression entre les deux chambres qui est elle-même proportionnelle à l'accélération angulaire du rotor fluide. On enregistre ou on affiche la tension continue moyenne à l'aide d'un dispositif indicateur qu'on peut 15 étalonner de façon à lire directement l'accélération angulaire. Un accéléromètre angulaire selon l'invention et conforme, à la description précédente ne nécessite pas d'étalonnage, puisque la différence de pression entre les deux chambres, due à une accélération angulaire donnée,peut être calculée à partir des don-20 nées géométriques du récipient et de la densité du fluide particulier contenu. De plus, on peut calculer la sensibilité du transducteur de pression différentielle à partir des données géométriques du dispositif à électrodes et de la tension continue élevée appliquée entre celles-ci. 25 Si le récipient contient un gaz, l'appareil a une sensibili té indépendante de la température et le facteur d'amortissement de l'appareil ne varie pratiquement pas avec la température. On peut réaliser un tel accéléromètre de façon qu'il soit extrêmement robuste et qu'il puisse supporter des accélérations 30 angulaires bien supérieures aux accélérations prévues sans détérioration. Il n'est sensible qu'au déplacement angulaire et ne nécessite pas d'équilibrage. D'autres caractéristiques et avantages ressortiront mieux de la description qui va suivre, faite en regard des dessins annexés 35 sur lesquels : la figure 1 est une vue en perspective d'un ensemble rotor-transducteur d'un, accéléromètre angulaire ; 71 01187 -4- 2080909 la figure 2A représente schématiquement une coupe du transducteur de l'ensemble de la figure 1 et un schéma d'un circuit électronique relié au transducteur dans 1'accéléromètre ; la. figure 2B est un schéma du circuit équivalant à un pont 5 capacitif réalisé dans 1'accéléromètre de la figure 2A ; les figures 3A, 3B et 3C sont des diagrammes montrant la forme d'impulsions produites par exemple par le circuit électronique de la figure 2A lorsque 1'accéléromètre subit diverses accélérations angulaires ; et 10 la figure 4 est une coupe schématique d'un ensemble rotor à plusieurs tours-transducteur d'un accéléromètre et de son boîtier. Les figures 1 et 2A représentent un accéléromètre angulaire qui comprend un transducteur A de pression différentielle comportant deux chambres cylindriques 1 et 2 séparées par-une fine mem-15 brane 3 électriquement conductrice et légèrement tendue, par exemple en "Melinex" métallisé (marque de fabrique). Deux électrodes 4 et 5 placées de part et d'autre de la membrane sont maintenues à distances égales- de celle-ci par des entretoises armalaires 6 en matière isolante, et des anneaux de garde 7 et'8,respectivement, 20 les entourent. Un rotor fluide 42 sous forme d'un tube est relié par les orifices 9 et 10 aux chambres 1 et 2 sous pression, et le tube s'enroule un certain nombre de fois autour d'un corps 11 du transducteur, formant un ensemble rotor-transducteur1! Le tube 42 et les chambres 9 et .10 contiennent de l'air 43. Les électrodes 2$ 4 et 5 forment avec la membrane 3 deux condensateurs dont la matière diélectrique est de l'air. La figure 2B représente ces deux condensateurs par les références 34 et 35 respectivement, qui forment deux branches d'un pont capacitif. Le pont comprend aussi deux inducteurs 12 et 13 associés et trois autres condensateurs 14» 30 15 et 32 montés en pont comme représenté. Les inducteurs 12 et 13 sont reliés par induction à un inducteur 19 lui-même relié à un amplificateur 16. Le pont capacitif reçoit une tension alternative fournie par un oscillateur 17 par l'intermédiaire d'un condensateur 18 et de la membrane 3. Une borne de l'oscillateur 17 est au poten-35 tiel de la masse comme le raccordement des condensateurs 14 et 15 et de l'inducteur 19. L'amplificateur 16 est relié à un démodulateur 20 dont une borne d'entrée (non représentée) est reliée à 71 01187 -5- 2080909 l'oscillateur 17. Le démodulateur 20 excite un générateur 21 fournissant des ondes en dents de scie, qui, à son tour, déclenche un basculeur de Schmidt 22. Le basculeur 22 commande un commutateur 23 à haute tension. Une source haute tension, non représentée, 5 exerce entre les électrodes 4 et 5» par 1'intérmédiaire d'une résistance 24 de l'inducteur 12 et d'une résistance 25 de l'inducteur 13» une tension continue élevée de l'ordre de 300 volts. Le commutateur 23 reçoit la même différence de potentiel élevée par les bornes 26 et 27. Une sortie numérique du commutateur 23 10 est reliée à la membrane 3 par l'intermédiaire d'une résistance 28. Une résistance 29 et une capacité 31 filtrent le signal numérique haute tension du commutateur 23, et fournissent un signal analogique affiché par un dispositif indicateur 30, par exemple un voltmètre numérique. 15 Pour l'utilisation, 1'accéléromètre est monté sur un corps dont on veut mesurer l'accélération angulaire. Lorsque le corps est fixe ou n'est soumis qu'à une accélération linéaire, ou bien lorsqu'il tourne à vitesse constante,, la pression exercée par le fluide de part et d'autre de la membrane 3 est la même et celle-ci res-20 te à égale distance des deux électrodes 4 et 5. Ainsi, les capacités des condensateurs 34 et 35 formés par les électrodes 4 et 5 avec la membrane 3 sont égales.Si on applique une tension alternative au pont capacitif par l'intermédiaire de l'oscillateur 17 et de la capacité du condensateur 18, lorsque les condensateurs 34 et 25 35 ont des capacités égales, la tension de sortie aux bornes de l'inducteur 19 est nulle. Lorsque le corps accélère angulairement, l'inertie du fluide 43 qui se trouve à- l'intérieur du tube 42 provoque la création d'une différence de pression de part et d'autre de la membrane 3 qui a 30 tendance à fléchir. Le fléchissement provoque l'augmentation de la capacité de l'un des condensateurs 34 et 35 et la diminution de celle de l'autre. Si la capacité du condensateur 34 devient supérieure à celle du condensateur 35» le signal de sortie alternatif du pont peut par exemple être en phase avec la tension alternative 35 appliquée. Si la capacité du condensateur 35 devient supérieure à celle du condensateur 34» le signal' alternatif du pont est déphasé par rapport à la tension alternative appliquée. Dans chaque cas, 71 01187 -6- 2080909 l'amplitude de la tension alternative fournie par le pont dépend de l'importance du fléchissement de la membrane. La tension alternative fournie par le pont excite un amplificateur 16 puis un démodulateur 20 dont une entrée est reliée 5 à l'oscillateur 17. Le démodulateur 20 fournit un signal de sortie continu dont l'importance dépend de l'amplitude du signal alternatif du pont et dont la polarité dépend de la phase du signal de sortie alternatif du pont. Cette tension continue polarise alors le générateur 21 d'ondes en dents de scie. L'amplitude et la po-10 larité de la tension continue données par le démodulateur déterminent le temps pendant lequel l'onde en dents de scie, au cours de son cycle, suffit pour déclencher le basculeur de Schmidt 22 auquel elle est reliée. Lorsque les capacités des condensateurs 34 et 35 sont égales, le potentiel moyen de l'onde en dents de 15 scie suffit pour déclencher le basculeur 22, au cours de chaque cycle, pendant un temps t^ qui est égal au temps pendant lequel l'onde n'est pas suffisante pour déclencher le basculeur* Celui-ci fournit alors des impulsions avec un rapport état t/état2 du signal, tel que représenté sur la figure 3A. 20 Lorsque les capacités des condensateurs 34 et 35 ne sont pas égales et que la tension alternative fournie par le pont est par exemple en phase avec la tension alternative appliquée, le potentiel moyen de l'onde en dents dçécie suffit pour déclencher le basculeur 22 pendant un temps t^, au cours de chaque cycle, quiest inférieur 25 au temps t^ pendant lequel le signal est insuffisant pour déclencher le basculeur. En conséquence, le signal fourni par le basculeur 22 est une série d'impulsions dont le rapport état l/état'2 du signal est t^:t^, comme représenté sur la figure 3B. De façon analogue, lorsque les capacités des condensateurs 30 34 et 35 ne sont pas -égales et que le signal alternatif fourni par le pont est déphasé par rapport à la tension alternative appliquée, le potentiel moyen de l'onde en dents de scie est alors suffisant pour déclencher le basculeur 22, au cours de chaque cycle, pendant un temps t^ qui est supérieur au temps tg pendant lequel l'onde est in-35 suffisante pour déclencher le basculeur. En conséquence, le signal fourni par le basculeur 22 est une série d'impulsions dont le rapport état l/état 2 du signal est égal à t^:tg» comme représenté sur la figure 30. 71 01187 -7- 2080909 Chaque impulsion fournie par le basculeur 22 excite le commutateur 23 qui fournit une tension continue élevée, représentée par Y sur la figure 2A, à la membrane 3 par l'intermédiaire de la résistance 28. En l'absence d'impulsion provenant du basculeur 22, 5 le commutateur 23 applique à la membrane 3 un potentiel élevé V de polarité opposée. Le potentiel élevé continu a la même valeur que le potentiel appliqué aux électrodes 4 et 5 et le potentiel moyen appliqué à la membrane 3 par le commutateur 23 a une polarité qui est la même que l'électrode vers laquelle elle est déviée. 10 Ainsi, en cas de fléchissement accidentel de la membrane suffisant pour que celle-ci vienne très près de l'une ou de l'autre des électrodes, la membrane et cette électrode ont le même potentiel et il ne se produit pas d'arc susceptible de les détériorer ; en cas de contact, il ne se produit pas de courant de surcharge. 15 En conséquence, lorsque les condensateurs 34 et 35 ont des capacités égales, c'est-à-dire lorsque la membrane n'est pas fléchie, le basculeur 22 fournit une série d'impulsions dont le rapport état 1/état 2 du. signal est tel que représenté sur la figure 3A et une tension V alternative excite le circuit de 20 filtrage comprenant la résistance 28 et la capacité 18. Ainsi, la membrane 3 subit la tension moyenne de cette tension alternative V. Comme la membrane 3 se trouve dans un champ électrostatique élevé, étant donné le potentiel continu appliqué aux électrodes 4 et 5, un potentiel moyen positif provoquera son fléchissement 25 dans un sens et un potentiel négatif dans l'autre sens. La fréquence de la tension alternative est suffisamment élevée, étant donné la fréquence mécanique de la membrane 3 et celle du circuit de filtrage formé par.la résistance 28 et la capacité 18, ponr • que la membrane ne fléchisse pas lorsque le potentiel 30 moyen exercé sur elle par le commutateur 23 est nul. Cependant, lorsque les condensateurs 34 et 35 n'ont pas des capacités égales, c'est-à-dire lorsque la membrane 3 a été fléchie par une différence de pression existant entre les deux chambres 1 et 2, du fait d'une accélération angulaire, le basculeur 22 35 fournit une série d'impulsions dont le rapport état t/état '2 du signal est tel que représenté sur l'une des figures 3B et 3C. L'amplitude et la polarité de la tension moyenne fournie par 71 01187 -8- 2080909 le circuit de filtrage dépendent du sens et de l'importance du fléchissement de la membrane 3. La tension moyenne fournie par le circuit de filtrage et la différence de pression entre les deux chambres 1 et 2, les électrodes étant équidistantes de la 5 membrane, sont reliées par l'équation : dans laquelle v est la tension moyenne (volts), p est la différence """ — 2 10 de pression entre les deux chambres (Newtons par m ),d est la distance entre chaque électrode et la membrane (mètres), k^ est la constante diélectrique relative du fluide, k est la constante — 12 ^ diélectrique du vide (8,854 x 10" F/m) et 2V est le potentiel appliqué aux électrodes (volts). On peut mesurer la distance d 15 entre chacune des électrodes et la membrane,avec la constante diélectrique relative du fluide k- ,à l'aide d'un pont capacitif, si chaque électrode comprend un anneau de garde tel que décrit et relié convenablement au pont, de façon que chaque anneau soit au même potentiel que l'électrode qu'il entoure. On peut ainsi 20 calculer la sensibilité du transducteur, -c'est-à-dire la tension moyenne pour une différence de pression donnée entre les deux chambres, à partir de la formule ci-dessus, sans étalonnage. Si les-'distances entre chaque électrode et la membrane sont inégales, on utilise une formule un peu plus compliquée. . En 25 disposant convenablement le circuit électronique décrit, on peut obtenir que l'amplitude et la polarité de la tension moyenne appliquées à la membrane 3 à la suite d'un fléchissement quelconque, soient telles qu'elle crée une pression électrostatique, entre la membrane et les électrodes 4 et 5, qui équilibre la différence 30 de pression et maintient ainsi la membrane 3 presque plate et dans une position presque équidistante des électrodes. Un c!j.spositif indicateur 30, par exemple un voltmètre numérique, qu'on peut étalonner de façon à lire directement des accélérations angulaires, mesure le potentiel moyen du commutateur 35 23 qui est proportionnel à l'amplitude et au sens de l'accélération angulaire subie par le corps, cette mesure étant effectuée par l'intermédiaire de la résistance 29. 71 01187 -9- 2080909 La formule 2 ci-dessous donne la différence de pression 2 P (N/m ) entre les chambres 1 et 2 en fonction de l'accélération 2 angulaire constante a (radians/s ) : P = rc/2 D2 p na (2) 5 dans laquelle D est le diamètre moyen de l'hélice (mètres), P est la densité du fluide (air) 43 (kg/m^) et n est le nombre de tours de l'hélice. Comme la membrane 3 ferme le tube 42, 1'accéléromètre est sensible aux accélérations angulaires seules et insensible 10 aux accélérations linéaires. Ainsi, il n'est pas nécessaire d'étalonner la sensibilité de l'appareil, c'est-à-dire qu'on peut calculer la tension moyenne fournie pour une accélération angulaire donnée par le rotor en fonction de la géométrie et des propriétés de l'air qui se trouve dans le rotor, en particulier 15 de sa densité, ainsi que la sensibilité calculée du transducteur de pression différentielle. Il faut noter que le diamètre interne du tube 42 détermine l'amortissement en fréquence de 1'accéléromètre, lors de variations de l'accélération angulaire. La figure 4 représente un mode de réalisation d'accéléro-20 mètre qui comprend un transducteur de pression différentielle ayant deux chambres cylindriques 50 et 51 séparées par une fine membrane 52 conductrice de l'électricité et légèrement tendue. Deux anneaux de garde 56 et 57 entourent les électrodes 53 et 54 de chaque côté de la membrane et sont reliés rigidement à celle-ci 25 par une colle en formant deux ensembles électrodes- anneaux de garde. Des entretoises annulaires 55 en matière isolante maintiennent ces ensembles à égale distance de la membrane. Un tube 59 de rotor fluide est relié par des orifices 58 et 60 aux chambres 51 et 50, et il s'enroule un certain nombre de fois 30 autour du corps 61 du transducteur auquel il est fixé, dans un évidement, à l'aide d'une colle 73. Les tronçons du tube 59 reliant les cercles extérieurs du tube aux entrées 58 et 60 des chambres 51 et 50 ont la même orientation radiale par rapport aux cercles du tube. Cependant, on peut réduire la sensibilité de l'accéléro-35 mètre aux accélérations angulaires de l'appareil autour d'une direction normale à l'axe de la spirale en mettant un demi-tour supplémentaire et en disposant les tronçons suivant des 71 01187 -10- 2080909 orientations radiales diamétralement opposées. Le corps 61 du transducteur comporte deux moitiés serrées de manière à former un ensemble, chaque moitié ayant une partie cylindrique surélevée 70 b sa face externe. Le corps 61 du trans-5 ducteur est isolé des ensembles électrodes-anneaux de garde par une matière isolante 62. Des raccordements électriques 63 et 64 aux anneaux de garde 56 et 57 se trouvent à l'extérieur du corps 61 dont ils sont isolés par des joints verre-métal. De façon analogue, les raccordements électriques 65, 66 et 67 aux deux 10 électrodes 53 et 54 et à la membrane 52 sortent du corps 61. De plus, des raccordements électriques 63, 64, 65, 66 et 67 peuvent être reliés en des points convenables d'un circuit électrique tel que représenté sur la figure 2A. Un boîtier hermétique _ .est forme 68/de deux parties soudees l'une a l'autre le long d'une circon-15 férence et soudées aux parties surélevées 70 du corps 61 par des cordons de soudure 69. Le tube 59 possède un orifice 71 communiquant avec l'espace annulaire 72 enfermé entre le boîtier 68 et le corps 61. L'espace 72, le tube 59 et les chambres 50 et 51 contiennent un gaz de poids moléculaire élevé, par exemple du 20 gaz connu sous la marque de fabrique "ARCTON" 13 à une pression d'environ 4 atmosphères. Le poids moléculaire de 1'"ARCTON" 13 est 104,47. Le fonctionnement de 1'accéléromètre angulaire est identique à celui qu'on a décrit à propos de 1'accéléromètre de la figure 1. 25 Cependant, l'appareil de la figure 4 possède une sensibilité accrue, ce qu'on peut voir à partir de l'équation 2 ci-dessus, du fait de la densité supérieure du gaz "ARCTON" à haute pression, en comparaison de celle de l'air à la pression atmosphérique utilisé dans l'appareil de la figure 1. 30 L'accéléromètre de la figure 4 peut fonctionner dans des atmosphères très diverses,car le point d'ébullition de "ARCTON" 13 est -81,4°C. Dans un autre exemple d'accéléromètre, le fluide est un liquide, par exemple .une huile silicone. Dans ce cas, l'appareil 35 permet la mesure d'accélérations angulaires très faibles, de c p l'ordre de 10 rad /s . Il faut par contre, maintenir à température constante ce type d'accéléromètre étant donné 71 01187 -11- 2080909 l'incompressibilité du liquide, ou,dans une variante, il faut que le tube 42 du rotor ait une élasticité suffisante pour empêcher l'établissement d'une pression trop élevée du fait de la dilatation du liquide. Il est bien entendu que la présente invention n'a été décrite et représentée qu'à titre d'exemple préférentiel et qu'on pourra apporter toute équivalence technique dans ses éléments constitutifs, sans pour autant sortir du cadre de ladite invention, qui est défini dans les revendications annexées. 71 01187 -12- 2080909 JflgyEHMCATIOKS 1. Accéléromètre angulaire, caractérisé «n ee qu'.il comprend un tube torique ou en spirale contenant du fluide et un transducteur de pression différentielle relié au tube de manière à mesurer 5 une pression différentielle créée dans le fluide du tube lors d'une accélération angulaire autour de l'axe du tube en spirale ou torique. 2. Accéléromètre selon la revendication 1, caractérisé en ce que le tube comprend sensiblement un nombre entier de tours 6S"t 10 augmenté d'un demi-tour/enroulé en spirale autour du transducteur et a ses extrémités reliées à celui-ci par des passages de fluide d'orientations radiales opposées par rapport à la spirale. 3. Accéléromètre selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce qu'il comprend un récipient externe scellé, 15 rempli de fluide et dans lequel sont montés le tube et le transducteur, le tube possédant un orifice qui permet la communication directe du tube et du récipient pour le fluide. 4. Accéléromètre selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le fluide est un gaz dont le poids 20 moléculaire est supérieur à celui de l'air. 5. Accéléromètre selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le fluide est un gaz dont la pression est supérieure à la pression atmosphérique. 6. Accéléromètre selon l'une quelconque des revendications 25 précédentes, caractérisé en ce que le transducteur comprend un support annulaire, une membrane souple ayant une surface électriquement conductrice et montée sur le support annulaire, deux électrodes montées à une certaine distance de part et d'autre de la membrane dont elles sont isolées, un circuit de mesure 30 de capacité relié aux électrodes et sensible aux variations différentielles des capacités existant entre la membrane et les électrodes de manière à détecter un -fléchissement de la membrane lorsqu'il existe une différence de pression dans le fluide qui se trouve de part et d'autre de la membrane, et un circuit 35 d'équilibrage relié au circuit de mesure de capacités et à la membrane et destiné à appliquer une tension créant une force électrostatique contrebalançant l'effet du fléchissement dû à la différence de pression. 71 01187 -13- 2080909 7. Accéléromètre selon la revendication 6, caractérisé en ce que le circuit d'équilibrage comprend une source d'énergie électrique reliée aux électrodes et destinée à appliquer à l'une d'elles un premier potentiel et à l'autre un second potentiel, 5 un circuit de commutation relié à la source d'énergie et au circuit de mesure de capacité et destiné à fournir un signal commuté de façon répétée entre le premier et le second potentiel avec un rapport état 1/état 2 du signal dépendant du signal fourni par le circuit de mesure de capacité, et un circuit de f-iltrage 10 relié au circuit de commutation et à la membrane et destiné à appliquer à la membrane le potentiel moyen du signal commuté. 8. Accéléromètre selon l'une des revendications 6 et 7, caractérisé en ce que le transducteur comprend aussi des anneaux de garde électrostatique entourant les électrodes et reliés au 15 circuit de mesure de capacité de manière que le champ électrostatique créé entre les électrodes et la membrane soit sensiblement uniforme.