Brevet FR2074740A1 — publié le 19711008

La présente invention concerne un procédé de fabrication de masques à haute définition formés de feuilles métalliques percées drouvertures aux tracés géométriques strictement déterminés. On sait qu'actuellement bon nombre de dispositifs électroni ques élémentaires (condensateurs, résistances, thermistances, composants à semiconducteurs, etc...) ou complexes tels que, par exemple, les microstructures du type circuit intégré ou micro- circuit, sont réalisés, partiellement ou intégralement, sous la forme de couche minces métalliques ou diélectriques dépossées sur un substrat suivant des configurations définies, par des tech- niques d'évaporation sous vide ou de pulvérisation cathodique. La définition des surfaces à recouvrir est obtenue au moyen de masques (dénommés aussi "pochoirs" ou encore "caches") qui sont disposés devant les substrats durant les opérations de dépôt. Différentes méthodes peuvent être mises en oeuvé pour la fabrication d'un masque : usinage mécanique, gravure ionique, usinage par faisceau électronique, photogravure, etc... La méthode de photogravure est la plus couramment employée parce que donnant les meilleurs résultats aux moindres frais.Suivant cette méthode et de façon connue, on applique un revêtement d'une résine photosensible sur la totalité de la surface de la feuille métallique à traiter, on expose cette surface à un flux lumineux riche en radiations ultra-violettes au travers d'un cliché photographique définissant le tracé du masque à réaliser, on développe l'image produite sur la résine par l'exposition aux ultra-violets, on durcit la résine restante qui forme alors un enduit de protection des parties de surface qu'elle revêt, on attaque à l'acide les fractions non protégées de la feuille jusqu'à ce que ladite feuille soit ajourée et on dissout la résine de protection. Le principal inconvénient de cette méthode de photogravure est lié au fait que l'acide ne s'attaque pas au métal seulement dans une direction strictement perpendiculaire au plan de la feuil- le, mais aussi latéralement, en mordant sous la résine de protection, le long des bords, dès qu'une profondeur suffisante de décapage a été atteinte. Le profil en épaisseur des bords des ou vertures manque donc de rectitude ce qui nuit à la précision de la découpe obtenue. Le défaut est d'autant plus accusé que i'épaisseur de la feuille à graver est plus importante.Or, il est indispensable que ladite feuille ait une épaisseur suffisante de manière à ce que le masque obtenu possède une planéité et une rigidité convenables de sorte que pendant le dépôt du materiau éva ioré ou pulvérisé au travers de- ses -ouvertures-, un contact aussi serré que possible puisse être établi entre ledit masque et le substrat qu'il recouvre. On a cherché à pallier l'inconvénient cité ci-oessus de la photogravure par divers moyens ou artifices bien connus de l'hom- me Ue l'art et qu'il n'est pas nécessaire ce répertorier. Il y a lieu toutefois de retenir l'invention, proposée dans le brevet français 1 373 468 du 30 Octobre 1963, d d'un masque découpé dans une plaque métallique comportant deux feuilles superposées et solidaires de métaux différents susceptibles chacun d'être attaqué sélectivement à l'aide de solutions acides auxquelles l'autre est réfractaire.L'une des feuilles, en cuivre, est très mince (2,5 à 25 microns) et forme le masque proprement dit ; l'autre feuille, en aluminium, est plus épaisse (50 à 250 microns) et constitue l'armature du masque qui confère à celui-ci sa bonne tenue mécanique. Chaque feuille est attaquée chimiquement suivant un tracé défini par un cliché convenable. Il s'ensuit que la feuille de cuivre, mince, présente des ouvertur-es dont les bords sont sensibiement moins déformés suivant leur épaisseur que ceux des masques conventionnels et que la feuille d'aluminium, plus largement attaquée, remplit son rôle de soutien mécanique sans faire ombre au droit desdites ouvertures. Ce procédé de réalisation d'un masque photogravé est de mise en oeuvre complexe et onéreuse. Il oblige à employer des feuilles métalliques composites, à les impressionner symétriquement sur chaque face ce qui entralne à soigner particulièrement le placement des masques et à opérer l'attaque chimique en au moins deux fois avec des solutions acides différentes. L'emploi d'autres procédés de fabrication que la photogravure permet, moyennant bien sûr des frais plus importants, d'obtenir des masques aux profils d'ouvertures plus réguliers. Mais aucun des procédés jusqu'alors mis en oeuvre n'a pu remédier à cet autre défaut dû à 7a structure même des substances employées liée à leur mode de cristallisation suivant des plans préférentiels, dé- faut qui se manifeste sous la forme de rugosités et d'excroissances de plus ou moins grande importance. Ces -rugosités et excroissances s ' inscrivent en relief le long des parois des ouvertures et forment ombre sur le substrat lors de l'utilisation des masques. Le but de la présente invention est la réalisation, par un procéde de fabrication nouveau, de masques dont les ouvertures sont parfaitement définies, géométriquement régulières et conformes aux tracés des dessins de base, exemptes de zones d'ombre et dotés d'une tenue mécanique convenable, ne présentant donc aucun des défauts signalés précédemment. L'invention est basée sur l'observation faite dans le passé, que le dépôt sous forme moléculaire de certaines substances sur des surfaces présentant des défauts ou des irrégularités structurales -par exemple liés à l'état cristallin du matériau de ces surfaces-défauts marqués par la présence de grains à arêtes vives, peut, suivant en particulier la nature desdites substances et celle dudit matériau, suivant aussi l'épaisseur du dépôt effectué, atténuer, arrondir et même effacer lesdits défauts ou irrégularités. Suivant l'invention, un procédé de fabrication de masques à haute définition formés de feuilles métalliques percées d' ouver- tures aux tracés géométriques strictement déterminés, e-st notamment remarquable en ce que lesdites feuilles sont engendrées par dépôt électrolytique sur des électrodes de recueil elles-mêmes définies en fonction desdits tracés. Les masques ainsi réalisés sont ensuite désolidarisés des électrodes de recueil par simple décollement. De la mise en oeuvre du procédé selon l'invention résultent pour les masques des propriétés particulières les rendant très avantageux. En premier lieu, le profil en épaisseur des bords des ouvertures se présente évasé à partir de la face du masque qui était en contact avec l'électrode de recueil. Un tel profil est intéressant sous un triple aspect : d'une part, en raison de ce qu'il vermet que les tracés des ouvertures soient parfaitement définis ces tracés sont, en effet, strictement déterminés au seul niveau de ladite face, les couches succesives du dépôt métallique, en retrait par report aux couches scus-jacentes, ne risquant pas e faire ombre-, d'autre part en ce qu'il rend possible -également à cause de l'absence d'effet d'ombre- la réalisation de asques sufisamment épais oui ont ainsi une bonne tenue mécanique, enlin en ce qu'il donne une meilleure facilité d'emploi du masque en autorisant que la source du matériau, durant par exemple une opération d'évaporisation, soit excentrée par rapport audit masque. En second lieu, le tracé géométrique des bords des ouvertures est net, exempt de toute aspérité ou profil à angle vif. Cette qualité de définition résulte de l'emploi conjugué du procédé de dépôt par électrolyse et d'une électrode de recueil de très faible épaisseur. Les ions métalliques qui s'accumulent sur la cathode ou électrode de recueil au cours du processus d'électrolyse engendrent, en effet, un dépôt exempt de formes aiguës qui a tendance à effacer les défauts et irrégularités de l'élêctrode sous-jacente. D'autre part, l'emploi d'une électrode de recueil très mince permet de limiter considérablement le nombre et l'importance desdits défauts et irrégularités. Plus l'électrode est mince, mieux le dessin du cliché mère est-reproduit avec fidélité. Pratiquement, pour réaliser l'électrode de recueil, il suffit de déposer sur un substrat, en verre par exemple, une pellicule métal lique (chrome, nickel, etc...) de quelques 1000 à 1500 A d'épaisseur, qui adhère assez fortement audit.substrat et de photograver cette pellicule suivant la technique habituel. I1 y a lieu d'ajouter aux divers avantages cités ci-dessus, celuides facilités apportées à la fabrication des masques par le procédé selon l'invention. L'opération de-gravure, lors de la réalisation de l'électrode de- recueil, ne peut entraîner que des dif férencès pratiquement insensibles entre le tracé découpé dans la pellicule métallique et celui du cliché photographique de départ, ceci du fait de la très faible épaisseur de ladite pellicule. il s'ensuit qu'il n'est pas nécessaire, comme il est pratiqué suite vant la technique. habituelle, d'apporter audit cliché photographique des rectifications destinées à compenser les défauts de rectitude introduits par la gravure.Ceci reste valable quelle que soit l'épaisseur du masque à réaliser ultérieurement à l'aide de l'électrode de recueil. Le dispositif mis en oeuvre par la demanderesse pour la réalisation de masques à haute définition suivant le procédé objet de l'invention, dispositif qui fait lui-même expressément partie de ladite invention, comprend essentiellement une cuve en un matériau isolant contenant un bain pour électrolyse, qui est divisée en deux compartiments par une cloison isolante disposée verticalement. Dans l'un des compartiments est immergée l'anode, dans l'autre la cathode ou électrode de recueil définie précédemment. Lesaits compartiments communiquent entre eux par le moyen d'un conduit tubulaire également fait en un matériau isolant, disposé longitudinalement dans la cuve et qui traverse ladite cloison. Avantageusement le conduit tubulaire est rectiligne et sa section est constante, au moins du côté du compartiment cathode. L'électrode de recueil est placée à l'extrémité correspondante dudit conduit tubulaire, plaquée contre ce conduit de manière à ce qu'elle l'obstrue. Ledit conduit tubulaire est percé de trous ou lumières au voisinage de son extrémité, côté cathode, afin de permettre à l'électrolyte de s'écouler et aux gaz de d'échapper. Côté compartiment anode, celle-ci est disposée en un quelconque endroit de la cuve, à distance suffisante de l'entrée du conduit.Une pompe de circulation, extérieure à la cuve et munie d'un filtre destiné à piéger les particules solides, assure la circulation de l'électrolyte du compartiment anode vers le compartiment cathode par le chemin du conduit tubulaire. On sait qu'une cellule pour électrolyse ainsi constituée ermet d'obtenir que la répartition du courant sur l'entière surface de l'électrode de recueil placée en extrémité de conduit soit uniforme. Il est indispensable toutefois que les rapports de la longueur ou profondeur du conduit aux dimensions de son ouverture (côté, largeur, diamètre) soient suffisament élevés (en principe > 1,5) et que le conduit conserve un profil constant au moins sur a partie directement en rapport avec l'électrode de recueil et soumise impérativement aux exigences dimensionelles indiquées. Ainsi, obtient-on que l'épaisseur du dépôt soit uniforme sur la plus grande partie de le surface de l'électrode de recueil. Il subsiste toutefois de petites irrégularités en bordure de ladite surface, aux endroits de celle-ci les plus croches des lumières par lesouelles s'écoule l'électrolyte ; l'épaisseur de métal déposé y est sensiblement moindre. Par contre, il se forme un dépôt à l'ex- térieur du conduit tubulaire, également au niveau desdites lumières, le long u front de joint entre l'électrode e recueil et les parois dudit conduit tubulaire.Ce phénomène, lié à l'effet de turbulence qui se manifeste au sein de l'électrolyte dans les régions voisines des lumières et dû à la tendance de certaines lignes de courant à se refermer sur l'électrode de recueil par l'extérieur du conduit tubulaire, est gênant, d'abord par le défaut même qu'il engendre, ensuite par ce que son effet parasite se répercute sur la relation épaisseur déposée-temps de dépôt et qu'il devient par suite difficile de déterminer à quel instant précis arrêter l'opération d'électrolyse pour obtenir une épaisseur de dépôt don née. Il est possible de remédier partiellement à cet état de choses en déposant, tout au long du front de joint défini ci-cessus et particulièrement dans les zones critiques placées au niveau des lumières, une couche d'une laque à la- fois isolante et réfractaire aux attaques du liquide électrolytique. Cette solution, pour assez efficace qu'elle soit, manque de facilité car elle introduit une onération supplémentaire et un temps mort important d'attente du séchage de la laque. La demanderesse ayant observé qu'en dis osant ces éléments déflecteurs sur le trajet du flux électrolytique qui s'échappe du conduit tubulaire au travers des lumières -ces éléments déflecteurs étant destinés à orienter la trajectoire dudit flux et à allonger les lignes de fuite du courant- on parvenait, suivant la forme et la disposition adoptée desdits éléments, à réduire plus ou moins, mais toujours nettement, les irrégularités d'épaisseur de dépô-t, a songé à compléter le dispositif tel que décrit précédemment de la manière suivante : des canalisations latérales ont été disposées le long de la conduite tubulaire côté électrode de recueil ; elles récupèrent le liquide sortant du conduit tubulaire et l'acheminent en direction de la cloison de compartimentage de la cuve où il se disperse dans la masse du liquide environnant. L'expérience a montré que ce complément d'appareillage s'avérait totalement efficace : les irrégularités d'épaisseur de dépôt sont complètement éliminées et le déroulement de l'opération d'électrolyte dévient parfaitement contrôlable. Les masques à haute définition réalisés selon le procédé objet de l'invention à laide du dispositif décrit ci-dessus peuvent être formés sur divers substrats, la qualité du substrat déterminant la qualité du masque obtenu. Avantageusement, le support mécanique est de verre po-li et l'électrode de recueil est constituée par une fine couche de chrome déposée par exemple par évaporation sous vide et ensuite photogravée en conformité du dessin du masque à réaliser. Le masque est engendré par un dépôt métallique, de nickel par exemple, obtenu à partir d'un- bain électrolytique de comnosition convenable. Le nickel offre l'avantage d'être un métal magnétique et la fixation du masque pour son utilisation p-eut an être grandement facilitée. La plage maximum d'erreur sur la fidélité des tracés d'ou- vertures dans les masques obtenus à partir dè chrome sur verre poli est de + 0,5/u. L'électrode de recueil peut être réalisée plus succintement en évitant de procéder à la photogravure de la couche de chrome. Le dessin du masque est alors défini par la couche de résine photosensible qui reste adhérente à la ouche de chrome après l'impres- sion aux rayons actiniques. Le masque en nickel croit sur les parties métalliques séparant les flots de résine figurant les ouvertures. La qualité du masque et sa fidélité au tracé mère sont aussi très bonnes. La supériorité du premier mode opératoire (avec gravure de la couche de chrome) sur le second réside en ce que, dans le premier cas, la couche de chrome reste adhérente au verre lorsqu'on décolle le masque de l'électrode de recueil ; ladite électrode de recueil demeure intacte et peut servir à nouveau, et à de multiples reprises. Par contre, dans le second cas, les plaques de résine sont décollées en même temps que le masque et-il faut procéder à la reconstitution de l'électrode de recueil si l'on désire d'autres masques. Il est aussi possible selon une-variante du second mode opératoire (résine définissant les ouvertures du masque) de déposer la résine photosensible directement sur un substrat métallique rigide au lieu d'employer un support verre-chrome. L'état de surface du métal sous-jacent, même poli, étant grossier comparé à celui de la pellicule de chrome, les masques obtenus sont de moins bonne qualité et la précision de reproduction n'atteint plus que t 3 . D'autre art, il faut aussi reconstituer l'élec- trode de recueil pour chaque masque à réaliser. La description qui va suivre en regard des dessins annexés, donnés à titre d'exemple non limitatif, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. Les Figs. 1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f, illustrent de façon schématique les étapes essentielles menant à la réalisation d'un masque à haute définition selon le procédé objet de l'invention. Les Figs. 2a, 2b, 2e, 2d, correspondent, avec une disposition schématique du même type, aux différents stades de la réalisation d'un masque également suivant le procédé objet de l'inven- tion, mais selon une variante de fabrication. Le Fig. 3 est une vue agrandie d'un agencement équivalent à celui de la Fig. 1f, montrant, présentée en coupe, une portion de l'électrode de recueil revêtue du dépôt métallique formant le masque. La Fig. 4 représente, vue en perspective et de façon simplifiée, une-céllule pour électrolyse d'un modèle permettant la réalisation de masques selon le procédé de l'invention. La Fig. 5 est une vue partielle agrandie, en coupe longitudinale de la ortie du dispositif selon la Fig. 4 située côté cathode. Selon un premier mode de réalisation d'un masque à haute définition conformément au procédé objet de l'invention, un support 11 en verre, d'une épaisseur variable en fonction de sa surface mais généralement comprise entre 0,8 et 2 mm et présentant sur sa face utile une parfaite homogénéité et une haute qualité de fini de surface, est recouvert (voir Fig. la) d'une très fine pellicule métallique adhérente 12 (chrome, nickel, nickel-chrome, or, etc...). Cette pellicule peut être déposée par toute techni que valable; par exemple par évaporation sous vide ou par pulvérisation cathodique. Avantageusement, ladite pellicule est en chrome et son épaisseur est comprise entre 1 000 et 1 500 A ; cette épaisseur n'est d'ailleurs pas critique. Le support 11 recouvert de la pellicule 12 est ensuite placé sur un dispositif rotatif et recouvert d'un film 13 d'un matériau photorésistant par exemple "négatif" c'est-à-dire qui se po lymérise dans les zones exposées à la lumière ultra-violette (voir Fig. lb). Le support ll est entraîné en rapide rotation durant quelques s-econdes, ce qui permet de réduire à environ 1 l'épais- seur du film 13. Le film 13 est ensuite exposé à la lumière ultra-violette à travers un cliché photographique reproduisant en sombre les zones où le masque devra être percé d'ouvertures. ADrès exposition, les parties non polymérisées du film 13 sont enlevées à l'aide d'un solvant adéquat et le film développé est cuit à une température convenable et variable selon ses caractéristiques afin de le durcir (voir Fig. 1c). Au stade suivant, le support 11 revêtu comme il est représenté sur la Fig. le est immergé par exemple dans une solution de soude additionnée de ferrocyanure ae potassium. A la suite de cette immersion les portions de la pellicule de chrome 12 non protégées -ar la résine sont dissoutes (voir Fig. ld). La durée de l'opération est courte (de l'ordre de 2 mn) étant donné que ladite pellicule est très peu épaisse. L'opération de dissolution du chrome étant terminée, les parties restantes du film 13 sont enlevées à l'aide d'un solvant aproprié à la résine employée. Le support 11 et son revêtement de chrome convenablement gravé sont levés à l'alcool isopropylique et séchés. L'électrode ce recueil oui va permettre de réaliser le masque est maintenant prête (voir Fig. le) et définie par une plage métallique continue découpée par un ou plusieurs trous ou espaces de formes et de dimensions appropriées telles que les espaces 14. L'électrode de recueil peut aussi se présenter sous la forme illustrée par la Fig. 2c où la pellicule de chrome, laissée intacte, est seulement protegée par des îlots de résine photosensible 23. Ce sont ces îlots qui, dans cette forme de réalisation, concrétisent les emplacements des ouvertures à prévoir dans le masque futur. Il suffit donc, pour réaliser ainsi l'électrode de recueil, de pratiquer comme il a été dit en commentaire des Figs. la, lb et 1c soit : recouvrir le support 21, en verre, d'une pellicule de chrome 22 d'épaisseur comprise entre 1 OOO et 1 500 (voir Fig. 2a), déposer sur le chrome un film 23 de résine photosensible (voir Fig. 2b), impresionner ensuite la résine photosensible à travers un cliché photographique, dissoudre enfin les parties non impressionnées. Plus simplement encore, le support peut être en métal (acier inoxydable, nickel, cuivre, etc..., oli sur sa face utile et recouvert sur cette face d'îlots de résine à l'emplacement des ouvertures du masque. Cette dernière forme de réalisation de l'é- lectrode de recueil n'a pas fait l'objet d'illustrations, étant donne son apparentement avec la forme précédente. Les masques sont obtenus par dépôt électrolytique, par exemple de nickel, sur les parties métalliques découvertes des électrodes de recueil, ledit dépôt étant opéré à l'aide d'une installation illustrée par les Figs. 4 et 5. Lorsque l'électrode Ue recueil est de la forme correspondant à la Fig. 1e, le revêtement en nickel 15 prend l'aspect représenté sur la Fig. 1f. En fonction de la plus ou moins grande épaisseur de la couche 15, le nickel déborde plus ou moins sur la surface des espaces 14 ce qui réduit d'autant les dimensions des cécoures ou ouvertures correspondantes du masque. La Fig. 3, plus proche de la réalité en ce qui concerne les épaisseurs relatives de la pellicule 12 de chrome de l'électrode et de la couche 15 de nickel du masque, montre que lesdites ouvertures ont, à partir de la surface lia du support 11, une fore évasée et que par suite leurs dimensions, du point de vue de l'utilisation du masque, sont définies avec précision par une fine tranche de mé- tal, celle avoisinant ladite surface lia. Le procédé de dépôt selon l'invention permet que soient parfaitement contrôlées les dimensions des ouvertures. Avec l'ap pareillage qui va être décrit, il a été observe qu'en tout point de la surface de l'électrode l'importance du débordement de la couche métallique 15 sur les espaces 14, matérialisé sur la Fig. 3 par la distance AB séparant; au niveau de la surface lia, la tranche des découpes de l'électrode des bords du revêtement né- tallique, est égal à la moitié de l'épaisseur dudit revêtement. En fonction de l'épaisseur du masque à réaliser, on peut donc prédéterminer de quelle fraction de leur largeur ou de leur dia mètre les espaces 14 seront amputés par les retombes du rev'éte- ment 15. En supposant par exemple qu'il faille que la distance BD (largeur ou diamètre de l'ouverture de gauche dans la partie du masque schématisée en 15 sur la Fig. 3) soit de 20/u alors que le masque a une épaisseur de 15 , il est nécessairé de prévoir dans la couche 12 de chrome un espace de longueur ou de diamètre AC égal à +20 (BD) + 15/2 (AB) + 15/2 (CD) = 35 . L'expérience a montré qu'il était possible, compte-tenu de cette règle, d'ob tenir sur les dimensions des espaces une précision de # 0,5 et d'atteindre avec cette précision des dimensions minimales de l'or dre de 8,u. Lorsque l'électrode de recueil est de la forme schématisée sur la Fig. 2c le revêtement en nickel épouse l'aspect représenté en 24 sur-la Fig. 2d. Pour des raisons de clarté d'illustration il a eté tracé un film de résine 23 dont l'épaisseur est du même ordre de grandeur que celle du revêtement 24 formant le masque. En réalité, ce dernier est- relativement plus épais-si bien qu'il nkn résulte pratiquement aucun défaut de planéité tant de ses fa- ces inférieure que supérieure. Il est permis d'apprécier, au vu de la coupe de la Fig. 3. les avantages importants qui résultent de la forme évasée des ou vertures : précision des dimensions desdites ouvertures, absence de zones d'ombre, grande latitude de centrage de la source par rapport au masque. Pour décoller le revêtement 15 de son support, il suffit de tirer légèrement sur lui à partir d'un de ses coins ou de ses bords, lui-même décollé à l'aide d'un morceau de ruban adhésif posé sur sa surface ou bien à l'aide d'une lame fine. Ledit revêtement 15 peut être, comme il a été dit ci-dessus, en nickel, ou bien en or, ou bien encore en cuivre ou en tout autre métal ou alliage susceptible d'être déposé par électrolyse. La cellule pour électrolyse représentée sur la Fig. 4, qui est utilisée pour la réalisation de masques selon le procédé objet de l'invention, est limitée extérieurement par une cuve 40 en un matériau isolant tel que par exemple le chlorure de polyvinyle ou le polypropylène. Cette cuve contient un bain de composition appropriée à la nature du dépôt à effectuer, bain dont le niveau supérieur est matérialisé par le trait 41. Une cloison 42, également en un matériau isolant, partage la cuve 41 en deux comparti- ments 43 et 44 entre lesquels il est avantageux de réaliser, au niveau'des bords de ladite cloison, une bonne étanchéité.La cloison 42 peut être soutenue à l'aide de glissières en un matériau plastique souple fixées sur les parois verticales et le fond de la cuve 40, glissières qui servent en même temps de guide lors de l'immersion dans le bain de ladite cloison et qui assurent une étanchéité suffisante du fait de leur semi-élasticité. Ces glissières n'ont pas été représentées sur la Fig. 4 afin de ne pas nuire à la clarté du dessin. Les deux compartiments 43 et 44 communiquent entre eux sensiblement au niveau de la partie centrale de la cloison 42 par l'intermédiaire d'un conduit tubulaire isolant 45, auquel il a été donné, sur la Fig. 4, une section sensiblement carrée mais qui peut être de forme différente, conduit qui fait corps avec la cloison 42, la liaison le long de l'arête de joint 46 étant rendue étanche. Côté compartiment 44, le conduit tubulaire 45 est terminé par un élément de façade 47 qui en fait le tour en débordant lé gèrenent de la périphérie dudit conduit (voir également la vue en coupe de la Fig. 5). Latéralement, toujours côté compartiment 44, le conquit 45 est percé de lumières 48 qui aébouchent, extérieurerent au conduit, dans deux canalisations 49 et 50 disposées de chaque côté dudit conduit, fermées côté extrémité de ce conduit et ouvertes en direction de la cloison 42. Les canalisations 49 et 50 peuvent être réalisées comme il a été indiqué sur la Fig. 4 sous la forme de deux coquilles semi-cylindrique accolées aux parois du conduit 45. Une conduite 51 plonge dans le bain côté compartiment 43, une autre conduite 52 est immergée côté compartiment 44. Une pompe extérieure à l'installation et non représentée aspire le li- quide par la conduite 52 et le refoule par la conduite 51 après qu'il ait traversé un filtre destiné à retenir les particules solides. Ledit filtre doit être équipé de cartouches pouvant retenir des particules très fines, de dimensions de l'ordre du micron, la moindre poussière solide risquant de provoquer une piqûre sur le masque. L'anode 53 peut être disposée en un quelconque endroit du compartiment 43; de préférence toutefois et ainsi qu'il a été indiqué sur la Fig. 4 au droit du conduit 45 à peu de distance de l'entrée de ce conduit. La cuve étant isoiante, l'anode peut y être également plaquée ou collée sur la paroi. Les éléments de suspension ou de fixation de l'anode ne sont pas figurés. Un fil de connexion 55 assure la liaison électrique entre l'anode et le pôle + de la batterie. L'électrode de recueil et son support 54 sont plaqués sur l'élément de façade 47 et maintenus dans cette position à l'aide, par exemple, du ressort 56 (voir Fig. 5).En fait, une pièce intermédiaire 57 en forme dé cadre et découpée dans un matériau conducteur -pièce visible sur la vue éclatée de la Fig. 4-, disposée entre l'élément de façade 47 et le pourtour de l'électrode de recueil assure d'une part la liaison électrique avec le pôle - de la batterie d'alimentation par le fil 58, d'autre part un contact électrique convenable avec ladite électrode de recueil. La pompe extérieure à la cuv entretient une agitation du liquide -d'électrolyse qui favorise l'homogénéité et le renouvellement de ce dernier en même temps qu'elle l'oblige à s'écouler du compartiment 43 vers le compartiment 44 par le moyen du conduit tubulaire 45. A l'extrémité dudit conduit 45, côté compar-timent 44, le liquide emprunte le chemin des lumières 48 et rejoint la masse liquide contenue dans ledit compartiment 44 à laquelle il se mélange après avoir circulé dans les deux canalisations 49 et 50. Les gaz engendrés par l'électrolyse empruntent également les lumières 48 pour s'échanger vers l'extérieur. Ainsi qu'il a été expliqué dans la première partie du présent mémoires les coquilles déflectrices 49 et 50 concourent à annuler l'effet ce bord qui, sans elles, se manifesterait par un dépôt sur le pourtour du cadre 57 et de l'électrode 54. La mise en place de la cloison 42 dans le bain ou son retrait entraînent l'immersion ou l'émersion du conduit 45 qui est solidaire de ladite cloison. La fixation de l'électrode de recueil sur l'élément de façade 47 aussi bien que sa récupération après constitution du masque sur cette électrode, peuvent donc aisément être obtenues. Le masque une fois réalisé et 'électrode de recueil qui le supporte récupérée, il suffit de désolidariser ledit masque de son support-en le décollant par l'un de ses coins ou l'un de ses bords à l'aide, par exemple, de bande adhésive ou bien d'une lame très fine et de poursuivre ensuite l'opération par traction sur le coin ou à partir du bord décollé comme s'il E 'agissait de "peler" le support. A titre d'exemple de mise en oeuvre de l'installation cidessus décrite pour la réalisation d'un masque en nickel selon le procédé objet del'invention, on peut avantageusement utiliser un bain dont la composition est la suivante 270 à 330 g/l de sulfate de nickel S04 Ni, 7 H20 45 à 55 g/l de chlorure de nickel Cl2 Ni, 4 H20 45 À 55 g/l d'acide borique $BO3H3 1 à 1,5 g/l d'alcool lauryl sulfone 1,5 à 2,5 g/l de saccharine 0,5 à 1,5 g/l de coumarine L'anode est en nickel pur dépolarisé tandis que le revêtement métallique de l'électrode de recueil est en chrome. Les caractéristiques de fonctionnement étant les suivantes: - Température 500 + 10 C, - Intensité de courant : 5 à 10 A/dm, - Vitesse d'écoulement ou liquide à l'intérieur du conduit 45 : 3 à 5 cm/sec, la croissance du masque s'effectue à la vitesse de 1 /mn sous une intensité de 5 A/dm. REVENDICATI0NS 1 Procédé de fabrication-de masques à haute définition formés de feuilles métalliques percées d'ouvertures aux tracés géo- métriques strictement déterminés, caractérisé en ce que lesdites feuilles sont engendrées par dépôt électrolytique sur des électrodes de recueil elles-mêmes définies en fonction desdits tracés. 2. Procédé de fabrication de masques selon la revendication 1, caractérisé en ce oue l'électrode de recueil est formée par un revetement métallique pelliculaire déposé sur un support isolant. 3. Procédé de fabrication de masques selon la revendication 2, caractérisé en ce que les plages du revêtement pelliculaire de l'électrode de recueil correspondant aux ouvertures du masque sont éliminées par photogravure d'une surface métallique entière, lesdites plages étant préalablement définies à partir d'un cliché photographique et d'une résine photosensible. 4. Procédé de fabrication de masques selon la revendication 2, caractérisé en ce que les surfaces de l'électrode de recueil eorrespondant aux ouvertures du masque sont matérialisées sur le revêtement métallique par des dépôts de résine photosensible obtenus par dissolution sélective d'un dépôt préalablement effectué sur l'entière surface dudit revêtement et sensibilisé à travers un cliché photographique. 5. Procédé de fabrication de masques selon l'une des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que le support isolant est en verre. 6. Procédé de fabrication de masques selon l'une des revendications 2 à 5, caractérisé en ce oue le recouvrement métallique pellioulaireest en chrome. 7. Procédé de fabrication de masques selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'électrode de recueil est formée d'un élément métallique rigide partiellement revêtu sur sa face active de dépôts de résine photosensible obtenus par dissolution s-élective d'un dépôt préalablement effectué sur l'entière surface de ladite face active et sensibilisé à travers un cliché photographique. 8. Procédé de fabrication de masques selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'elément métallique rigide est en acier inoxydable 9. Procédé de fabrication de masques selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que lesdits masques, après forma tion par dépôt électrolytique, sont désolidarisés des électrodes de recueil par décollement mécanique. 10. Dispositif pour mise en oeuvre du procédé de fabrication de masques e haute définition selon l'une des revendications 1 à 9. comportant principalement deux électrodes une anode et une cathode (électrode de recueil) immergées dans une cuve contenant un bain électrolytique, caractérisé en ce que ladite cuve est divisée transversalement par une cloison intermédiaire en deux compartiments, un compartiment anodique et un compartiment cathodique, lesdits compartiments communiquant entre eux par le moyen d'un conduit longitudinal traversant ladite cloison. 11. Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que la cathode, dans le compartiment correspondant de la cuve, est disposée immédiatement à l'extrémité de la conduite longitudinale et obture cette dernière. 12. Dispositif selon l'une des revendications 10 à 11, caractérisé en ce que le conduitlongitudinal, côté cathode, est percé de lumières au voisinage de son extrémité. 13. Dispositif selon llune des revendications 10 à 12, caractérisé en ce que le conduit longitudinal, côté cathode, est muni de coquilles déflectrices dans le volume desquelles débouchent lesdites lumières. 14. Dispositif selon l'une des revendications 10 à 13, caractérisé en ce que la cuve, la cloison intermédiaire, le conduit longitudinal et les coquilles déflectrices sont en un matériau isolant. 15. Dispositif selon la revendication 14, caractérisé en ce que le matériau isolant est du chlorure de polyvinyle. 16. Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce qu'unie pompe de circulation et un filtre, extérieurs à la cuve, sont placés en série avec les volumes liquides contenus dans chacun des deux compartiments de ladite cuve.