Brevet FR2107928A1 — publié le 19720512

-1- 2107928 La présente invention se rapporte aux composants électroniques à film mince, tels que les dispositifs semiconducteurs, et concerne plus particulièrement l'appareil destiné à leur fabrication. Pour la fabrication des dispositifs à film mince, il est néces-5 saire d * amener un certain nombre de caches successivement en coïncidence précise avec un support, le repérage de chaque cache par rapport au support doit tomber dans une tolérance très serrée de l'ordre du micron. La difficulté de ce processus se complique du fait que, lorsque le déplacement des caches est exécuté dans le 10 vide, tous les mouvements doivent être transmis par l'intermédiaire de traversées tenant le vide. Diverses tentatives ont déjà été faites pour obtenir le repérage de caches successifs par rapport à un support, avec la précision désirée. Toutefois, lorsqu'on opère dans le vide, une précision d'un micron ne peut être obtenue de manière 15 répétée. Lorsqu'on opère dans le vide, aucun gaz n'est présent pour permettre aux pièces métalliques de glisser l'une sur l'autre de la manière connue aux conditions atmosphériques normales. Les pièces métalliques dans le vide adhèrent, et s'opposent au glissement. De 20 . plus, aux conditions de haut vide, la plupart des lubrifiants ne peuvent être utilisés en raison de leurs pressions de vapeur qui produisent une contamination. La présente invention a pour objet un appareil pour la préparation d'un composant électronique sur un support, par dépôt par éva-25 poration, qui supprime les inconvénients des appareils antérieurs. A cette fin, l'invention réside dans un appareil pour la préparation d'un composant électronique sur un support par dépôt par évaporatiçn, caractérisé par un certain nombre de caches agencés en série et présentés en ordre de succession à une station de dépôt, 30 des moyens comprenant un châssis supportant et déplaçant successivement chaque cache pour l'amener à la station de dépôt et l'en dégager, des moyens comprenant un logement pour emmagasiner une source d'alimentation d'un matériau de support, logement qui présente une surface de montage du support séparée de la station de dépôt, des 35 moyens pour supporter une source du matériau à déposer à travers les caches sur le matériau de support, cette source se situant du côté des caches opposé à celui du logement, un volet disposé entre 71 34057 -2- 2107928 cette source de matériau et le châssis de monture des caches, des moyens pour faire mouvoir le matériau de support afin de 1'amener en coïncidence avec la station de dépôt et la dégager de celle-ci, des moyens pour aligner avec précision le cache et le matériau de 5 support, des moyens pour rapprocher et éloigner l'un de l'autre le logement et le châssis, et des parois formant -une chambre à vide et renfermant les susdits éléments. L'invention ressortira mieux de la description qui va suivre d'une forme préférée de réalisation représentée à titre d'exemple 10 et des dessins annexés, sur lesquels : - La figure 1 est une vue schématique d'un mécanisme de changement de caches réalisé selon la présente invention; - La figure 2 est une vue en plan du mécanisme représenté par la figure 1 ; 15 - La figure 3 est une vue agrandie en coupe verticale suivant la ligne III-III de la figure 2; - La figure 4 est une coupe verticale suivant la ligne IV-IV de la figure 3; - La figure 5 est une vue de côté en coupe transversale d'un dis-20 positif semiconducteur fabriqué selon l'invention; - La figure 6 est une vue fragmentaire d'un secteur de la roue porteuse de caches; - La figure 7 est une vue en élévation suivant la ligne 7IÏ-VII de la figure 6, montrant d'autres dispositifs de commande; et ,25 - La figure 8 est un schéma de montage des cellules photo-électriques, des amplificateurs et du servomoteur. Les mêmes références numériques désignent les parties similaires sur la totalité des diverses figures des dessins. 1'appareil porte la référence générale 10 sur la figure 1. Il 30 comprend un c_i.sposi"cif 12 porteur de caches, un porte-support 14, des sources 16 de matériau à déposer, un mécanisme 18 pour entraîner en rotation le dispositif 12 porteur de caches, un mécanisme 20 pour relever et abaisser le porte-support 14, un volet 22, et des parois (non représentées) destinées à former une chambre à vide ren-35 fermant les éléments sus-énumérés. Le dispositif 12 porteur de caches est un organe rotatif "ou roue porteuse de caches (figure 2) qui est disposée horizontalement et 71 34057 -3- 2107928 montée sur un arbre rotatif 24. l'arbre 24 est entraîné par une boîte de transmission à croix de Malte portant la référence générale 26 (figure 1), qui entraîne par intermittence la roue 12 suivant une série d,arcs de nombre égal à celui des caches montés sur 5 cette dernière. La boîte de transmission 26 est elle-même entraînée au moyen par exemple d'un moteur (non représenté) par l'intermédiaire d'un arbre rotatif 18 et des engrenages biseautés 28 et 30, dont le premier actionne également un engrenage biseauté 32 entraînant en rotation un volet 22. 10 Bn se référant plus particulièrement à la figure 2, le volet 22 est un organe en arc-de-cercle, par exemple une lame semi-circulaire, qui est disposé entre les sources 16 du matériau de dépôt et le porte-support 14. L'arbre de commande de la roue 12 entraîne également le volet 22, de sorte que ce dernier peut être contrôlé au 15 cours de "l'espace mort1* de la boîte de transmission à croix de Malte 26. Suivant une variante, les éléments mécaniques destinés à entraîner en rotation la roue 12 et le volet 22, comprenant la boite de transmission à croix de Malte 26, peuvent être remplacés par des 20 dispositifs électriques tels que des servomoteurs, avec un dispositif de positionnement extérieurement étalonné comprenant une cellule photo-électrique, ce qui supprime la nécessité de joints tenant le vide pour le prolongement des éléments mécaniques tels que les arbres rotatifs à travers la barrière de vide. 25 Sur les figures 1 et 2, un certain nombre de caches d'évapora-tion 34, 36, 38 et 40 sont disposés à intervalles équidistants à la périphérie de la roue 12. Les caches sont montés en place sur des supports de caches ou châssis similaires 42. On peut utiliser tout nombre désiré de supports de caches 42, lesquels sont fixés à la 30 roue 12 de manière convenable, par exemple au moyen de boulons 44. Les divers caches 34 à 40 sont montés en place avec précision sur leurs châssis respectifs 42 par des moyens convenables, tels que des boulons 46, de telle sorte que le dessin de chaque cache soit disposé sur une ouverture 48, afin de présenter le dessin du 35 cache particulier précisément en position au poste de dépôt, c'est-à-dire sous le porte-support 14. Afin de situer avec précision les dessins des divers caches 34 à 40 les uns par rapport aux autres à 71 34057 -4 - 2107928 la station de dépôt, les caches et le porte-support 14 sont pourvus ' de dispositifs d'alignement qui comportent des trous et de préférence deux trous 48 et 50 (figure 2) destinés à recevoir une paire, de chevilles d'alignement, 52 et 54» partant d'une surface infé-5 rieure 56 du porte-support 14. Ainsi que représenté sur la figure 4, les trous 48 et 50 sont alignés sur une paire de trous 58 et 60 formés dans le support de caches 42, de manière que la totalité de la longueur des chevilles 52, 54 soit utilisée lorsque le porte-support 14 s'abaisse de la manière indiquée ci-après. On remarquera que les 10 chevilles 52 et 54 peuvent être interchangées avec les trous 58 et 6Q Afin d'obtenir la tolérance désirée d'un micron pour la localisation de la série de caches en place à la station de dépôt, les chevilles de repérage 52 et 54 sont polies à une dimension précise, pratiquement égale au diamètre des trous 48 et 50. Pour faciliter 15 l'engagement et le dégagement des chevilles 52, 54 par rapport aux trous correspondants, leurs extrémités inférieures sont de préférence coniques. le porte-support 14 comprend une partie centrale 62 présentant une surface inférieure 56, deux paires de bras ou rebords s'étendant 20 en sens opposés 64, 66, 68 et 70, et une paire de tourets 72- et 74. les tourets 72, 74, contiennent une longue bande de matériau flexible telle qu'un film ou ruban 76, composé d'une matière de support convenable. En variante, le ruban de support 76 peut être une plaque non flexible, de verre par exemple. Toutefois, lorsqu'il s'agit de 25 fabriquer plusieurs composants électroniques, l'usage d'une bobine de support flexible 76 est préférable afin de profiter dans l'appareil dans son ensemble de l'usage répété des caches de manière successive sans supprimer le vide dans l'enceinte qui les renferme, le ruban 76 est monté sur le touret d'alimentation 72 duquel il 30 passe sur la surface 56 au touret enrouleur 74. les tourets sont montés sur des arbres 78 et 80 qui sont maintenus en place aux extrémités des bras 64 à 70 par des dispositifs similaires de retenue 82. lorsqu'une superficie donnée du ruban 76 a été exposée au dépôt 35 de vapeur à travers les divers caches 34 à 40, le touret enrouleur 74 est entraîné en rotation en sens inverse des aiguilles d'une montre au moyen de l'arbre 80 pourvu d'un doigt radial 84 qui s'en 71 34057 -5- 2107928 gage sur une paire de doigts 86 et 88 situés sur l'extrémité d'un arbre 90. Le porte-support 14 est monté pivotant au-dessus de la station de dépôt, c'est-à-diré au-dessus du cache 40, de telle sorte que 5 les chevilles 52, 54 soient maintenues pratiquement en alignement sur les trous correspondants 48, 50 des divers caches 34 à 40. Le porte-support 14 peut être équilibré ou suspendu de toute manière convenable, par'exemple au moyen d'une paire de tourillons 92 et 94 qui partent des côtés opposés du porte-support dans une position 10 située pratiquement au-dessus du centre de gravité de ce dernier, et de préférence dans un plan passant par l'axe des chevilles 52,54. Le mécanisme 20 destiné à relever et abaisser le porte-support 14 est de préférence un levier, tel qu'un balancier 96 (figure 1) présentant une partie horizontale 98, une partie verticale 100 et 15 un point d'appui 102. Une barre de manoeuvre 104 est connectée à l'extrémité inférieure de la partie 100 et se déplace d'un mouvement de va-et-vient ainsi que l'indique la flèche 106. jan référence à la figure 2, la partie 98 est bifurquée à son extrémité de gauche, et comprend des bras 108 et 110. La surface supérieure de chaque 20 bras est pourvue d'une encoche 112 dans laquelle les tourillons 92 et 94 peuvent glisser d'un mouvement limité. Chaque encoche 112a pour but de limiter le mouvement latéral des tourillons 92 et 94 afin de maintenir ainsi l'alignement des chevilles 52, 54 avec les trous 48, 50. 25 îar suite, lorsque la barre 104 se déplace vers la gauche (selon la figure 1) le levier 96 fourne dans le sens des aiguilles d'une montre (ainsi que l'indique la flèche 114), afin de relever le porte-support 14 jusqu'à ce que les extrémités inférieures des chevilles 52, 54 se dégagent de la surface supérieure du cache 40. In-30 versement, lorsque la barre 104 se déplace vers la droite (selon la figure 1), le levier 96 tourne en sens inverse des aiguilles d'une montre (ainsi que représenté par la flèche 114), de sorte que le porte-support 14 s'abaisse jusqu'à ce que le ruban 76 soit amené en contact avec le masque 40, ainsi qu'indiqué en traits interrompus 35 116 (figure 3). Afin d'obtenir un dispositif à film mince satisfaisant, les caches 34 à 40 sont localisés avec précision sur les supports de 71 34057 -6- 2107928 cach.es 42. Chaque cache 54 à 40 est fixé en place par des boulons 46. Des évaporations à travers les divers caches sont alors exécutées sur une plaque d'essai à travers le cache 34. Le dessin ainsi obtenu est ensuite utilisé comme norme pour aligner les autres ca-5 ches 36 à 40, en observant au microscope le dessin normalisé évaporé à travers le cache à aligner. Le cache est alors mis en place et les boulons 46 sont serrés pour fixer solidement celui-ci au châssis 42 porte-cache. En fonctionnement, un dispositif à film mince 118, tel que celui 10 représenté sur la figure 5, est produit de la manière suivante : la barre de manoeuvre 104 est entraînée vers la gauche (selon la figure 1) afin de relever le porte-support 14 jusqu'à la position en trait plein représentée à la figure 3» Le mécanisme de rotation 18 fonctionne alors pour amener le premier cache, par exemple le cache 40, 15 à la station de dépôt située sous le porte-support 14-, le volet 22 occupant la position en trait plein représentée à la figure 1. Puis la barre de manoeuvre 104 est entraînée vers la droite (selon la figure 1) afin d'abaisser le ruban de support 76 sur le cache 40, ainsi que représenté par la position 116 en traits interrompus. Une 20 source d'évaporation appropriée 16a est alors chauffée par des moyens convenables, par exemple par -une bobine 120 de chauffage par résistance. Lorsque la température d1évaporation de la source, qui peut être constituée d'un métal tel que l'or ou l'aluminium, atteint une valeur convenable pour le régime particulier d'évaporation du métal à 25 déposer, le volet 22 est amené à la position représentée en traits interrompus sur la figure 1, à partir d'une position située entre la source 16a d'évaporation et la station de dépôt. Lorsque l'épaisseur désirée d'une couche 122 (figure 5) d'une source de drain telle que de la vapeur d'or par exemple est déposée, le. volet 22 est ramené 30 à la position située entre la source 16a et la station-de dépôt,' et le courant alimentant la bobine de chauffage 120 est coupé. Le porte-support 14 est ensuite relevé et le cache suivant 34 est amené en place pour remplacer le cache 40, par la rotation du dispositif 12 porteur de caches; le processus que l'on vient de décrire 35 est alors répété en effectuant 1'évaporation d'une autre source.16b, 16c ou I6d. De la sorte, chaque opération d'évaporation est effectuée à tour de rôle jusqu'à achèvement d'un dispositif -11.8 complet. 71 34057 -7- 2107928 Plus particulièrement, le dispositif ou semiconducteur à film mince 118 de la figure 5 est constitué d'un support flexible 76, de l'électrode de .source 122, de l'électrode de drain 124 pourvues de conducteurs 126 et 128, d'une couche de matériau isolant 130, d*une 5 couche de matériau de semiconducteur 132, et d'une électrode au contact de grille 134. Lé support 76 peut être constitué de toute matière flexible telle que, peur exemple, de papier,; du téréphtalate de polyéthylène vendu dans le commerce sous la Marque Déposée Mylar; des esters et 10 éthers de cellulose tels que l'éthyl cellulose; de l'acétate de cellulose et du nitrate de cellulose; de la cellulose régénérée telle que la cellophane; du chlorure de polyvinylidène, vendu sous la Marque Déposée Saran; un film de polyioide nylon et des films de poly-amide-imide; du polytétrafluoréthylène vendu sous la Marque Déposée 15 Téflon; du polytrifluoromonochloréthylène, vendu sous la Marque Déposée Kel F; ainsi que des rubans et clinquants flexibles de métaux: nickel, aluminium, cuivre, étain, tantale et leurs alliages, et des alliages de fer tels par exemple qu'une bande d'acier inoxydable de faillie calibre. 20 Le papier peut être de tout type et texture superficielle, soit rugueuse, soit unie, tel que par exemple le papier de chiffons, le papier de pulpe de bois, le papier de cellulose alpha, le papier Eraft, etc.. A titre d'illustration, lçs dispositifs semiconducteurs de la présente invention ont été fabriqués avec des cartes à 25 jouer, du papier à lettres, et du papier de journal comme support. Le terme "flexible" utilisé dans la description du support désigne un matériau qui peut être enroulé autour d'un mandrin d'un diamètre maximal de 25 mm, et de préférence d'un mandrin d'un diamètre de l'ordre de 3 mm; les supports flexibles portant un transistor à 30 effet de champ (TB0) du type représenté sur la figure 5 ont été cintrés suivant des rayons ne dépassant pas 1,6 mm sans dégradation des caractéristiques de fonctionnement. En référence à nouveau à la figure 5, l'électrode de source 122 et 1*électrode de drain 124 sont disposées sur le support flexible 35 76 et sont expacées l'une de l'autre. La distance entre les électrodes de source et de drain n'est pas critique et dépend des propriétés désirées. La source 122 et le drain 124 peuvent être constitués 71 34057 -8- 2107928 de toute matière électriquemenl/konductrice convenable, telle qu'un métal choisi dans le groupe comprenant l'or, l'argent, l'aluminium, le nickel, et leurs alliages. L'électrode de source 122 et l'électrode de drain 124 doivent avoir une épaisseur suffisante pour as-5 surer leur fonction de contacts ohmiques. Pour la plupart des dis- O positifs, une épaisseur de 80 à 3 000 A, et de préférence de 100 à O 300 A, a donné satisfaction. La couche 130 s'étend entre la source 122 et le drain 124. Elle recouvre de préférence partiellement ces électrodes 122 et 124-1U La couche d'isolement 130 peut être constituée d'un isolant électrique convenable choisi dans le groupe comprenant les isolants inorganiques tels que l'oxyde de silicium, le bioxyde de silicium, l'oxyde d1 aluminium,- le fluorure de calcium, le fluorure de magnésium, et des produits organiques polymérisables tels que des poly-15 mères d'hexachlorobutadiène, le divinyl benzène, les aryl sulfones, les alkényles fluorés (par exemple le polytétrafluoréthylène) et le para-xylène. La couche d'isolement Z0 doit être aussi mince que possible de manière qu'une modulation du courant du dispositif ne puisse être 20 produite à tension relativement basse. Toutefois, ceùte couche doit servir d'isolement électrique adéquat. On a parfois constaté qu'une o couche de 100 A renfermait des trous d'épingles affectant préjudi-ciablement sa fonction d'isolement électrique. Une épaisseur d*envi- ci A ron 300 A semble être le minimum assurant l'absence de trous d'épin- O 25 gles, alors que 1 000 A paraît être l'optimum entre une couche isolante exempte de vides et la modulation à basse tension. Lorsque la tension de fonctionnement du dispositif atteint 100 volts, une o epaisseur dienviron 3 000 A est désirable, et dans le cas d'une tension de fonctionnement de 200 volts, une épaisseur d'environ O 30 5 000 à 6 000 A est désirable. La couche 130 peut être monocristalline, polycristalline, ou amorphe. La couche de semiconducteur 132 peut varier d'une épaisseur moyenne de 40 angstroms à plusieurs milliers d'angstroms pour les matériaux à plus large intervalle de bande, tels que le sulfure de 35 cadmium et le séléniure de cadmium. La couche 132 peut être constituée d'un semiconducteur tel que le sulfure de tellure et de cadmium, le séléniure de cadmium, le silicium, l'arséniure d'indium, l'arséniure de gallium, l'oxyde d'étain et le tellure de plomb. 71 34057 -9- 2107928 La couche 132 peut ne pas recouvrir complètement la couche 130, et s*étendre de la source 122 au drain 124. Il suffit seulement qu'elle sépare l'électrode de grille 134 de la couche d'isolement 130. 5 L'électrode de grille 134 est disposée sur la couch.^132 entre 1*électrode de source 122 et l'électrode de drain 124. La grille 134 est constituée d'un métal bon conducteur tel qu'un métal choisi dans le groupe comprenant l'aluminium, le cuivre, l'ctain, l'argent, l'or et le platine. Afin de s'assurer que l'électrode de grille 134 10 assure une conductibilité élevée, elle doit avoir une épaisseur de 300 à 1 000 A, et de préférence de 500 à 1 000 A. Les transistors à effet de champ du type représenté sur la figure 5 ont des caractéristiques de fonctionnement stables et ont travaillé à des fréquences allant jusqu'à 60 MHz. On a fait fonc-15 tionner ces transistors pendant plus de 1 000 heures sans modification pratiquement mesurables de leurs caractéristiques. Le dispositif de la présente invention peut être utilisé pour toute application n'exigeant pas mie forte puissance, une fréquence très élevée ni une haute température. Les dispositifs fabriqués ont 20 été utilisés dans les amplificateurs en cascade, les convertisseurs abaisseurs et les circuits oscillateurs. On a constaté que les dispositifs du type représenté à la figure 5 présentaient les caractéristiques de rendement suivantes : - Transconductance - environ 6 000 micro-mhs à un courant de 25 drain de 4 mA.. - Température de fonctionnement - jusqu'à 150°G de température ambiante - Tension maximale Source-Drain - plus de ZOO volts. Les divers mouvements de l'arbre 90, de la barre 104 et du méca-30 nisme de rotation 18 peuvent être obtenus par manoeuvre manuelle ou automatique. Le mécanisme de rotation 18, l'arbre 90 et la barre 104 ont des dispositifs de commande extérieurs aux parois formant la chambre à vide, lesquelles commandes sont accouplées aux parties situées à l'intérieur de cette chambre d'une manière classique, par 35 exemple au moyen de champs magnétiques. Lorsque l'appareil est destiné au fonctionnement automatique, il peut être commandé au moyen de ruban magnétique ou d'une calculatrice. 71 34057 Les diverses sources 16a, 16b, 16c et I6d du matériau de dépôt correspondent aux matériaux constituant les couches 122 et 124, ainsi que la couche d'isolement 130, la couche seaiconductrice 132 et le contact de grille, respectivement. 5 Une autre forme de réalisation du mécanisme 18 destiné à entraîner en rotation la roue 12 porteuse de caches et le volet 22 est représentée par le dispositif électrique des figures 6, 7 et 8. La roue 12 est pourvue d'un certain nombre d'encoches, telles que l'encoche 136 représentée dans un secteur de la roue sur la figure 6. 10 Le nombre d'encoches 13o est égal à celui des caches 42. De plus, bien que l'encoche 13o soit représentée et décrite comme se situant à la périphérie de la roue, ces encoches peuvent être des ouvertures ou trous formés dans la roue en des endroits autres que la périphérie . 15 A la figure 7, une encoche 136 est représentée associée à un dispositif photodétecteur, tel qu'une paire de cellules photoélectriques 138 et 140, une source lumineuse telle qu'une lampe 142 et un condenseur 144. La lampe 142 est 'disposée sous la roue 12 de manière à diriger un rayon lumineux 146 sur le parcours de déplacement des 20 diverses encoches 136. Lorsqu'une encoche 136 passe sur le rayon lumineux 146, les cellules photoélectriques 138 et 140 sont excitées et arrêtent la rotation de la roue 12. Plus particulièrement, les axes centraux des cellules 138 et 140 sont espacés d'une distance (w) égale à la largeur (w) de l'encoche 25 136» Lorsque cette encoche se déplace sur le parcours du rayon lumineux 146, l'une des cellules photoélectriques 138 et 140 se trouve d's,bord exposée au faisceau dépendant du sens de rotation de la roue. L'autre cellule se trouve alors exposée de manière croissante au faisceau 14t, et l'èxposition de la cellule exposée en premier lieu 30 diminue. Lorsque les degrés.d'exposition des cel- ,au faisceau 146 Iules photoélectriques 138, 140/deviennent égaux, la roue 12 s'arrête de tourner et se trouve pratiquement en alignement pour l'opération de masquage correspondante. Àins:. que le montre la figure 8, une paire de signaux V-j et Y2 35 sont transmis des cellules photoélectriques 138 et 140 à un amplificateur différentiel 148. Tant que les cellules 138 et 140 sont inégalement exposées au faisceau lumineux 146, les signaux V-| et ?2 71 34057 -11- 2107928 ont line valeur différente et 11 ampl i.ficateur 148 envoie un signal Vi - V2 (en raison de la différence des signaux de sortie des cellules photoélectriques) à un second amplificateur 150 qui fournit du courant à un servomoteur 152. A cette fin, un interrupteur 154 5 se ferme. Le servomoteur 152 entraîne l'arbre 24 (figure 8) qui fait tourner la roue porteuse de caches 12 (figure 1). Lorsque la roue 12 doit tourner à nouveau pour une autre opération de masquage, l'interrupteur 154 est amené à une autre position où tin signal Vi est reçu pour démarrer à nouveau le servomoteur 152. Lorsque la 10 roue 12 se déplace, l'encoche 136 passe hors du parcours du faisceau lumineux 146 et l'interrupteur 154 reprend sa position de fermeture du circuit entre le servomoteur 152 et l'amplificateur 150, après quoi le moteur continue à faire tourner la roue 12 jusqu'à ce qu'une autre encoche 136 affecte le circuit de la manière décrite. 15 II est évident que l'interrupteur 154 peut être actionné soit manuellement, soit automatiquement en l'accouplant à la position relevée du. porte-support. Bien que l'invention ait été particulièrement décrite en référence au mécanisme représenté en détail aux dessins, elle peut 20 être mise en oeuvre avec tous autres mécanismes équivalents ou similaires. Bien que la table 12 soit représentée rotative, les caches 36, 38, 40 et 42 peuvent être montés sur une table ou support à va-et-vient linéaire qui est déplacée alternativement par un mécanisme 25 à bielle et vilebrequin actionné par la boîte de transmission 26. Les bobines de chauffage par résistance peuvent également être remplacées par un canon à faisceau électronique. 71 34057 12 2107928 REVENDICATIONS 1* Appareil de préparation d'un composant électronique sur un support par dépôt de vapeurs caractérisé par un certain nombre de caches agencés en série et présentés successivement à une station 5 de dépôt, des moyens comprenant un châssis pour supporter et faire mouvoir chaque cache successivement vers la station de dépôt et hors de celle-ci, des moyens comprenant un logement pour 1*emmagasinage d'une alimentation d'un matériau de support, logement présentant une surface de monture de support séparé de la station de 10 dépôt, des moyens pour supporter une source de matériau à déposer à travers les caches sur le matériau de support, cette source étant située du côté des caches opposé à celui du logement, un volet disposé entre cette source et le châssis de monture des caches, des moyens pour amener le matériau de support en coïncidence et en non -|5 coïncidence avec la station de dépôt, des moyens pour aligner avec précision le cache et le matériau de support, des moyens pour déplacer le logement ou le châssis l'un par rapport à l'autre, et des parois formant une chambre à vide et destinées k contenir les éléments indiqués ci-dessus* 20 2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé par le fait que le châssis est une roue pouvant tourner» 3« Appareil selon les revendications 1 ou 2, caractérisé par le fait que le matériau de support est disposé entre la surface de monture de celui-ci et le cache, à la station de dépôt. 25 4. Appareil selon les revendications 1, 2 ou 3, caractérisé par le fait que les moyens destinés à l'alignement précis du cache et du matériau de support comprennent des chevilles de guidage et des orifices destinés à recevoir ces dernières» 5. Appareil selon l'une quelconque des revendications 1 k 4, 30 caractérisé par le fait que le moyen de déplacement du logement est un levier sur lequel le logement est monté pivotants 6. Appareil selon la revendication 5, caractérisé par le fait que le levier présente une extrémité bifurquée au-dessus de la station de dépôt, et le logement est monté pivotant entre les fourches 35 de cette extrémité. 7» Appareil selon la revendication 6, caractérisé par le Ait que le logement est pourvu d*un tourillon traversant chacun de ses cÔ 71 34057 -13- 2107928 tés, ces tourillons étant montés dams des encoches de réception formées dans les fourches de 1*extrémité bifurquée. 8. Appareil selon la revendication 7, caractérisé par le fait que les fourches d'extrémité présentent des surfaces supérieures 5 sur lesquel^P^éont disposés des couteaux dont sont pourvus les tourillons. 9. Appareil selon la revendication 8, caractérisé par le fait que ces surfaces supérieures sont pourvues d*encoches de réception des tourillons dans lesquelles ces derniers sont montés en ayant un 10 mouvement de coulissement limité. 10. Appareil selon l*une quelconque des précédentes revendications 4 à 9, caractérisé par le fait que les chevilles partent en descendant de la surface de monture du support, et par le fait que le dispositif de guidage de réception consiste en ouvertures de ré- 15 cep-Gion des chevilles formées dans le châssis. 11. Appareil selon la revendication 10 caractérisé par le fait que les chevilles comprennent une cheville d'alignement située de chaque côté de la surface de monture du support, et que les ouvertures comprennent une ouverture située de chaque côté du cache. 20 12. Appareil selon la revendication 11 caractérisé par le fait que les axes des chevilles sont disposés dans un plan vertical qui passe par les axes des tourillons. 13. Appareil selon l'une quelconque des précédentes revendications caractérisé par le fait que le volet a un mouvement intermit- 25 tent entre une première et une seconde position, la première position se .trouvant en alignement avec la station de dépôt et la source du matériau de dépôt, la seconde position se situant hors de cet alignement, et les moyens destinés à faire mouvoir successivement" les caches vers la station de dépôt et hors de celle-ci 30 sont acouplés au volet afin de placer celui-ci à sa première position au cours du déplacement des caches, et à sa seconde position lorsque chaque cache est à la station de dépôt. 14. Appareil selon l'une quelconque des revendications 2 à 13, caractérisé par le fait que les moyens entraînant la roue en rota- 35 tion comportent un servomoteur et un dispositif de photodétection accouplé au moteur, ainsi qu'une source lumineuse associée au photodétecteur, la roue se situant entre le photodétecteur et la 71 34057 -14- 2107928 source lumineuse, la roue étant pourvue d.* ouverture s destinées à transmettre un faisceau lumineux de la source lumineuse au photodétecteur, le nombre de ces ouvertures étant égal au nombre de caches montés sur la roue, de telle sorte que chaque cache de la roue soit amené en coïncidence avec le matériau du support à la station de dépôt lorsque ce faisceau lumineux excite le photodétecteur. 13. Appareil selon la revendication 14, caractérisé par le fait que le photodétecteur comprend une paire de cellules photoélectriques espacées, les centres de ces cellules étant espacés d'une distance égale à la largeur des ouvertures, et un amplificateur différentiel situé entre les cellules photoélectriques et le servomoteur qui reçoit les signaux produits par les cellules et transmet un signal différentiel au moteur, de telle sorte qu'une exposition inégale d'une cellule au faisceau lumineux par rapport à l'autre cellule excite le moteur de rotation de la roue des caches jusqu'à ce que les cellules photoélectriques soient également exposées au faisceau lumineux. 16. Appareil selon l'une quelconque des précédentes revendications caractérisé par le fait que le matériau du support est flexible. 17. Appareil selon l'une quelconque des précédentes revendications caractérisé par le fait que ie matériau du support est rigide.