Brevet FR2077628A1 — publié le 19711029

i 2077628 La présente invention concerne un procédé amélioré de passivation d'un dispositif semi-conducteur et plus particulièrement, un dispositif semi-conducteur comportant une pellicule composite dans laquelle il ne se produit pas de craquelures. 5 On a proposé à ce jour un grand nombre de techniques de passi-vation de dispositifs sèmi-conducteurs pour les protéger des modifications irréversibles gênantes de leurs paramètres électriques. Comme la surface du dispositif semi-conducteur est active et tend à être influencée par l'environnement, elle doit être proté-10 gée par une pellicule de passivation appropriée. On choisit la nature de la pellicule en fonction de son effet de passivation. Dans un type de dispositif semi-conducteur où au mçins un bord de la jonction pn se prolonge jusqu'à un plan superficiel du corps semi-conducteur, on recouvre la surface du bord 15 d'une pellicule de bioxyde de silicium formée par oxydation thermique de la surface du corps. La pellicule de bioxyde de silicium ainsi formée est appelée ci-après pellicule de Si02(0T). On a utilisé la pellicule de SiO^ (OT) non seulement comme pellicule de passivation mais également comme pellicule-cache pour doper des 20 impuretés dans le corps. La pellicule de Si02 (OT), constitue une des pellicules de passivation les mieux appropriées, car elle ne provoque que de faibles effets superficiels sur la jonction pn. En particulier, elle ne crée qu'une faible densité de charge à la surface du corps. Pour ces raisons, on a beaucoup utilisé 25 la pellicule de Si02(0T) comme pellicule de passivation. Cependant en pratique, il faut recouvrir la pellicule de SiOg (OT) d'un verre phosphoreux constitué par un mélange vitreux de pentoxyde de phosphore 1*2^5 et bi°xyde de silicium Si02, car la pellicule de Si02 (OT) a une très faible résistance aux 30 ions alcalins. En d'autres termes, les substances alcalines, telles que les ions sodium, les ions lithium ou similaires, qui tendent à être entraînées dans la pellicule de Si02 (OT) lors du dopage en impuretés, de la gravure chimique, de la connexion des électrodes etc..., peuvent entraîner des modifications gênantes 35 des paramètres électriques du dispositif. Pour éliminer ou réduire l'action des ions alcalins, on superpose une pellicule de verre phosphoreux (appelée ci-après pellicule de verre ?20,j - Si02) sur la pellicule de Si02(QT), si bien que les ions alcalins sont captés par le verre PgO^-SiOg. Dans 40 un procédé de préparation de la pellicule de verre PgO^-SiOg, 71 Ô 2614 2 2077628 °9 place un échantillon constitué d 'un substrat de silicium et la pellicule de..§i02 (OT) dans une atmosphère gazeuse contenant de 1'oxychlorure de phosphore POCl^, dé l'azote et de l'oxygène gazeux maintenus à une température à laquelle l'oxychlorure de 5 phosphore se décompose pour se déposer sous.forme de P20^ sur pellicule .de Si02 (OT). On chauffe le dépôt de PgO^ et de Si02(0T) pour qu'ils diffusent mutuellement, formant ainsi un mélange vitreux ayant une épaisseur et une concentration en P20^ déterminées selon la température de chauffage et la durée de chauffage. Il 10 est nécessaire d'utiliser une telle pellicule double pour passiver le dispositif, étant donné qu'on ne peut pas totalement éviter l'inclusion d'ions alcalins. Du reste il est impossible d'éliminer complètement les ions alcalins en pratique. Bien qu'on puisse éviter l'influence gênante des ions alcalins 15 en utilisant la pellicule double précitée, une gêne importante est due au fait que la pellicule de verre P20^-Si02 résiste mal à l'humidité. • Donc il est nécessaire de protéger la pellicule double -de l'humidité au moyen d'une autre pellicule résistant bien à l'humidité. 20 Pour résoudre le problème ci-dessus, on a réalisé des dispositifs semi-conducteurs comportant une pellicule en trois couches ou une pellicule triple. Une pellicule au nitrure de silicium (appelée ci-après pellicule Si^N^) constitue l'une des pellicules caractéristiques résistant à l'humidité. Comme la pellicule de Si^N^ pos-25 sède non seulement une bonne résistance à l'humidité, mais a également une remarquable résistance aux ions alcalins., elle constitue une matière particulièrement appropriée pour réaliser une - pellicule de passivation. Selon un procédé de préparation d'une pellicule de Si^N^, on 30 introduit un substrat de silicium dans une atmosphère gazeuse contenant du monosilane SiH^ et de.1'ammoniac NH^ maintenus à une température à laquelle-les composés réagissent pour former un dépôt de hi*tr,ure. de silicium. Si^N^. . Lors de nombreuses tentatives d'utilisation- d 'une pellicule de • 35 Si^N^ superposée à; la pellicule, double, précitée, on a. constaté qu'il se produisait :presque.;toujQurs4 des -craquelures dans la pel--licule de. Si^N^ ou dans la pellicule:-à trois couche s. Bien que la V Demanderesse n'ait pas; parfaitement élucidé l'origine des craquelures, les. résjal.tats de'. seS. ^expériences, montrent, quFune, des cau-40 ses peut en être la différence importante des coefficients de 71 02614 3 2077628 dilatation thermique des pellicules de Si^N^ et de verre de P Bien qu'il soit possible de diminuer légèrement la tendance à la formation de craquelures en réduisant l'épaisseur de la pelli-10 cule de Si^N^, il se forme de nombreux trous d'épingle dans la pellicule qui altèrent la résistance à l'humidité et aux agents chimiques. Par conséquent, le dispositif semi-conducteur tend à devenir sensible à l'environnement. Donc, il existe line épaisseur minimum nécessaire pour obtenir la passivation cherchée. La De-15 manderesse a conclu selon le résultat des expériences que l'épaisseur minimum de la pellicule de Si^N^ doit être d'ail moins 800 angstroms, et mieux de 1000 angstroms. Dans le cas d'une telle pellicule de Si^N^, les expériences de la Demanderesse ont montré qu'il n'était pratiquement pas possible d'empêcher la formation 20 de craquelures dans la pellicule de Si^N^ formée selon les procédés classiques. Ceci peut expliquer pourquoi on n'a pas utilisé la pellicule de Si^N^ comme pellicule de passivation à l'échelle industrielle. L'invention concerne un dispositif semi-conducteur ayant une 25 pellicule de passivation composite améliorée. L'invention vise également tin dispositif semi-conducteur comportant une pellicule de passivation à quatre couches, chaque couche étant disposée et superposée dans un ordre tel qu'il ne se produise pas de craquelures dans la pellicule, ce qui permet de préparer des dispositifs 30 semi-conducteurs ayant une excellente résistance à l'humidité avec un rendement élevé. L'invention vise également un dispositif semi-conducteur comportant une telle pellicule de passivation à quatre couches constituée d'une première pellicule de bioxyde de silicium formée 35 par oxydation thermique à la surface du corps de silicium, d'une pellicule de verre phosphoreux superposée à la première pellicule de bioxyde de silicium, une seconde pellicule de bioxyde de silicium forinée par des vaporisations d'un dépôt chimique sur la pellicule de verre phosphoreux, et une pellicule de nitrure de sili-40 cium formée" sur lai seconde pellicule de bioxyde de silicium. 71 02614 4 2077628 D'autres caractéristiques et avantages de l'invention assortiront de la description qui va suivre faite en regard des dessins annexés. Sur ces dessins 5 - La figure 1 représente un graphique montrant le nombre de trous d'épingle dans une pellicule de Si^N^, - la figure Z représente un graphique montrant une courbe de l'épaisseur limite de formation des craquelures dans les pellicules de verre de P^O^-SiOg et de Si^N^, 10 - la figure 3 représente un graphique montrant le rapport entre une épaisseur limite d'apparition de craquelures et la température à laquelle on dépose Si^N^ sur la pellicule de SiO^for-mée par oxydation thermique, - la figure 4 représente un graphique montrant l'épaisseur li-15 mite d'apparition des craquelures dans une pellicule de SiÛ2 formée par vaporisation d'un dépôt chimique et une pellicule de sî3V - la figure 5 représente le rayon.de courbure de corps semiconducteurs portant diverses pellicules de passivation et par 20 comparaison à celui du corps en silicium, - la figure 6 représente un graphique montrant le rapport entre la concentration de ^2^5 dans une pellicule de verre de ^2^5"" Si02 et l'épaisseur limite d'apparition des craquelures dans une pellicule de Si^N^, et 25 - les figures 7(a) à 7(e) représentent des procédés de préparation d'un dispositif semi-conducteur selon l'invention. Les expériences de la Demanderesse, ont montré qu'une pellicule O de Si^N^ doit avoir une épaisseur d'au moins environ 1000 A pour qu'on obtienne une diminution suffisante des trous d'épingle. Ceci 30 s'explique à l'examen de la figure 1, correspondant à une pellicule de Si^N^ formée dans les conditions les meilleures, c'est-à-dire pour un rapport du débit de l'ammoniac gazeux NH^ au monô-silane SiH^ de 25 en volume et à une température de dépôt de Si^N^ de 830°C. Bien qu'on puisse réduire le nombre des trous 35 d'épingle présents dans la pellicule de Si^N^ en modifiant les conditions de formation, cette modification entraîne d'autres inconvénients. Donc, dans la présente invention l'épaisseur minimum O de la pellicule de. Si^N^ est d'environ 1000 A. La limite supérieure de l'Jpaisseur de la pellicule de Si^N^ sera indiquée ultérieu-40 rement, en fonction d'autres données. • 71 02614 5 2077628 Comme précédemment indiqué, dans les dispositifs semi-conducteurs comportant une pellicule de passivation composite constituée de pellicules de Si^N^ et de verre de P20^-Si02, il est presque impossible d'empêcher la formation de craquelures. Pour ana-5 lyser la cause de la formation de craquelures, la Demanderesse a étudié les coefficients de dilatation thermique du silicium, du verre de P20^-Si02, de Si02 (OT), de Si02 (V.Û.C.) et de Si^N^. Comme on ne peut pas déterminer parfaitement les coefficients des dilatations thermiques des pellicules de verre de P20^-Si02 et de 10 Si02 (V.Û.C.), on les a déterminés en fonction de l'importance du rayon de courbure, c'est-à-dire de l'angle de pliage des échantillons; l'un de ces échantillons est constitué d'un corps en silice épais de 50 microns et d'une pellicule de verre de P20^~ Si02 épaisse de 1500 A; et l'autre est constitué du même substrat 15 et d'une pellicule de Si02 (VDC) épaisse de 1000 A. Les coefficients de dilatation thermique du substrat et de l'élément en silicium et des pellicules correspondent à l'ordre suivant : Si02 (0T) 20 Les coefficients de dilatation thermique des matières ci-dessus figurent dans le tableau 1 suivant. Tableau 1 Matières Coefficients de dilatation thermique 25 Si02 (0T) 4,0 x 10"7/°C .verre de P20^ Si02 de l'ordre de 10~^/°C Si0~ (VDC) de "l'ordre de 10"6/°C •2 SioN, 3,85 x 10"6/°C L3'4 Si' 3,74 x 10~6/°C 30 Les résultats suivants montrent la différence importante des coefficients de dilatation thermique du verre de P20^-Si02 et des pellicules de Si^N^ et que cette différence importante provoque les craquelures des pellicules. .La figure 2-montre une courbe de l'épaisseur limité produisant ,35 des craquelures^ on constate que l'augmentation de l'épaisseur de la .pellicule de verre .de PgO^-SiOg tend à augmenter la production de craquelures dans la pellicule de.Si^N^. Comme précédemment ■ indiqué, l'épaisseur minimum de la "pellicule de Si^N^ est d'environ 1000 A. De ce jpoint de vue, plus,l'épaisseur "de la pellicule 40 de Si^N^ est importante, meilleure est la pellicule. Cependant, BAD ORIGINAL 71 02614 6 2077628 comme le montrent les résultats de la figure 2, il existe une limite supérieure de l'épaisseur, de la pellicule de Si^N^. A cet égard, là Demanderesse.estime qu'une épaisseur de Si0N. de 1000 à 3000 A est convenable. 5 D'autre part, l'épaisseur de la pellicule de verre de P2®5~ SiO^ est nécessairement limitée dans une gamme particulière en ce qui concerne la fixation des alcalins et la bonne qualité. . La Demanderesse estime que la pellicule de Fo0cSi0o doit avoir O & J & une épaisseur d'au moins environ 500 A pour qu'on obtienne une 10 fixation des composés alcalins suffisante. Gomme on forme la pellicule de PgO^-SiOg par diffusion mutuelle de P-gO^ et *>ar chauffage, et que l'épaisseur de la pellicule de P20^-Si02 est déterminée par la température et la durée de chauffage, il se produit une modification des dimensions de la jonction pn souhaitée 15 lorsqu'on chauffe le corps de façon trop importante. Par conséquent, l'épaisseur maximum de la pellicule de verre de P20^-Si02 est d'environ 2000 À lorsqu'on la superpose à la pellicule de Si3N4' On a constaté que la création d'une craquelure n'est pas néces-,20 sairement provoquée uniquement par les différences des coefficients -de dilatation thermique des pellicules de Si^N^ et de verre . de P20^-Si02. Ceci est démontré par les résultats représentés par la figure 3. La courbe 1 représente l'épaisseur limite d'échantil-- Ions revêtus d'une pellicule de Si0o (0T) de 7000 A et d'une pel-25 lic.ule de P20^-Si02 épaisse de 1400 A, et la courbe II représente l'épaisseur limite d'échantillons revêtus d'une, pellicule de Si02 (0T) épaisse de 7920 A. Toutes lès pellicules, de Si^N^ sont réalisées .pour un débit de 5 ml/minute de S.iH^, le rapport volu-mique de NH^/SiH^ est de 30 et le. débit d'azote de 10 1./minute. 30 Selon, la .figure 3, on voit que la formation de la pellicule de P20^-Si02 ,entre la pellicule de Si^N^ et la pellicule de Si02 (0T) abaisse l'épaisseur limite de la pellicule de Si^N^,comme le montre la courbe I. Comme l'augmentation de la température.de dépôt de Si^N^ abaisse 1'épaisseur limité, la création de craquelures 35 peut être provoquée par une- "autre causé. Â cet égard, la Demanderesse pense que les craquelures peuvent" également" être'provoquées par réaction chimique entre les pellicules de Si^N^ et de verre de P20^-Si02 et qu'on supprime cet inconvénient en plaçant une sorte de pellicule filtrante entre les deux pellicules ci-dessus. 40 Les travaux de la Demanderesse ont montré qu'une pellicule de BAD ORIGINAL 71 02614 7 2077628 bioxyde de silice obtenue par vaporisation d'un dépôt chimique, c'est-à-dire une pellicule de Si02 (VDC), constitue une pellicule appropriée entre les pellicules de Si^iï^ et de PgO^-SiOg. La pellicule de SiOg (VDC) a un coefficient de dilatation thermique 5 voisin de ceux des pellicules de et P20^-Si02. De plus, cet te pellicule ne réagit pas avec Si^N^. Par conséquent, en créant une pellicule de Si02 (VDC) entre les deux pellicules ci-dessus, on empêche pratiquement la formation de craquelures. Il va de soi que la pellicule de Si02 (VDC) devra avoir une épaisseur convena-10 ble pour que l'effet recherché soit obtenu. Les recherches ont montré qu'une pellicule de Si0o (VDC) épais- O ^ se de 1000 à 6000 A convient bien. Lorsque la pellicule de Si0o O ^ ^ (VDC) a une épaisseur inférieure à 1000 A, elle n'empeche pas suffisamment la formation de craquelures dans les pellicules de O 15 Si^N^. Dans le cas où la pellicule est plus épaisse que 6000 A, . il est trop long de former une telle pellicule épaisse de Si02 (VDC) et des craquelures tendent à se produire en raison de la différence importante des coefficients de dilatation thermique de la pellicule de Si02 (VDC) et de la pellicule de Si^N^. Les résul-20 tats .représentés dans la figure 4 expliquent le choix de l'épaisseur de la pellicule de Si02 (VDC), en représentant l'épaisseur limite de formation de craquelures entre la pellicule de Si02 (VDC) et la pellicule de Si^N^. Ces résultats montrent que lorsque l'épaisseur de la pellicule de Si02 (VDC) augmente la tendance à la 25 formation de craquelures diminue. Dans les expériences, on forme O préalablement une pellicule de SiO^ (0T) de 6200 A et une pellicule de verre de P90j--Si05 (12 moles % de P^Oj-) sous la pellicule de Si02 (VDC). Les recherches ont également montré que la formation de cra-30 quelures dans les pellicules est due à la différence du module d'Young entre les pellicules étudiées. Les matières des pellicules et le corps de silice sont disposés selon le module d'Young de la façon suivante : Si0£ (VDC) 35 Les valeurs du module d'Young figurent dans le tableau 2. (Voir tableau 2 page 8). 71 02614 8 2077628 TABLEAU 2 Matières Modules d'Young Si02 (OT) 4 à 7 x 108g/cm2 verre de P20^-SiÛ2 de l'ordre de 108g/cm2 5 SiÛ2 (VDC) de l'ordre de 10®g/em^ Si^N^ 4,0 x lO^g/cm2 Si 1,7 x 109g/cm2 La Demanderesse a réalisé des essais dont les résultats sont représentés dans la figure 5. La figure 5» représente en ordonnée 10 le rayon de courbure en mm et en abscisse la nature des échantillons. Dans les échantillons représentés en A, (0) représente le rayon de courbure de la silice et (O) représente celui d'un échantillon constitué d'un substrat de silicium et d'une pellicule de O Si^N^ épaisse de 3940 A. De façon semblable, dans les échantillons 15 B, (0) représente des échantillons constitués d'un substrat de O silicium et d'une pellicule de SiOg (0T) de 7450 A, (x) représente des échantillons constitués d'un substrat de silicium et d'une O pellicule de SiO^ (0T) épaisse de 7300 A, et (0) représente un échantillon constitué d'un substrat de silicium, et d'une pellicu-20 le de SiOg (0T) épaisse de 7450 A et d'une pellicule de Si^N^ épaisse de 3900 A; dans les échantillons C, (0) représente des échantillons constitués par un substrat de silicium, une pellicule O de Si0o (0T) épaisse de 5810 A. et une pellicule de'verre de ° PgO^-SiOg épaisse de 1700 A, (x) représente des échantillons cons-25 titués d'un substrat de silicium, et d'une pellicule de SiO^ (0T) épaisse de 5450 A et d'une pellicule de verre de P20^-Si02 épaisse de 1510 A, et (0) représente un substrat de silicium et une pellicule de Si^N^ placée sur une pellicule de verre de PgO^-SiOg épaisse de 5810 A; e£ dans les échantillons B (0) représente un 30 échantillon constitué d'un substrat de silicium et d'une pelli- O cule de SiÛ2 (VDC) épaisse de 5240 A placée sur une pellicule de verre de P20^-Si02 semblable à celle des exemples (0) de C et les échantillons (0) correspondent à un substrat de silicium et à O line pellicule de Si^N^ épaisse de 3900 A placée sur la pellicule 35 de Si02 (VDC) ci-dessus. Dans cette expérience, tous les éléments représentés par (0), ont une pellicule de Si^N^ courbée en direction inverse par rapport à celle des échantillons représentés par (0) et (x). Comme les pellicules de SiOg (0T) et de verre, de PgO.^-SiOg 40 ont des coefficients de dilatation thermique inférieurs à celui 71 02614 9 2077628 du silicium, les échantillons qui comportent de telles pellicules se plient dans la direction des pellicules formées. Dans le cas où on forme une pellicule de a le coefficient de dilatation thermique et le module d'Young les plus importants 5 des produits étudiés, les échantillons se plient vers les pellicules formées et le rayon de courbure est important par rapport au cas où on n'utilise pas de pellicule de Si^N^, c'est-à-dire que la formation d'une pellicule de Si^N^ rend le degré de courbure faible. 10 Pour éviter la formation de craquelures, il est remarquable qu'en combinant la pellicule de Si02 (VDC) avec la pellicule de Si^N^, le rayon de courbure diminue par rapport au cas où l'on n'utilise pas de pellicule de Si02 (VDC). H ressort de ce qui vient d'être dit, que la pellicule de 15 SiOg (VDC) est la plus appropriée pour réaliser les buts de l'invention. La Demanderesse a découvert qu'on peut diminuer la tendance à la formation de craquelures en abaissant la concentration de $2®$ dans la pellicule de verre de P20^-Si02 comme le montrent les 20 résultats représentés dans la figure 6. En général, du point de vue pratique, on utilise une concentration de d'environ 12 à 13 moles cependant, en abaissant la teneur en P20^ dans la pellicule de verre P20^-Si02 à environ 9 moles %, on abaisse considérablement la tendance à la formation de craquelures. Comme la 25 concentration de est déterminée par la température de chauf fage réalisant la diffusion mutuelle de P20^ et de SiO^, on détermine la concentration inférieure de ^aÇ°n à éviter un changement de dimensions de la jonction pn du dispositif. A cet égard, la Demanderesse suggère une concentration de P2O5 comprise 30 dans, la gamme de 5 à 9 moles %. Les figures 7(a) à 7(e) illustrent un procédé de préparation du dispositif semi-conducteur selon l'invention. Dans cet exemple, on utilise une technique particulière de formation des pellicules de passivation pour empêcher la formation de craquelures. 35 Comme le montre l'expérience, les craquelures apparaissent dans les parties où des efforts concentriques tendent à se produire, en particulier aux bords des trous ou des cannelures des. pellicules. Pour résoudre ce problème, le procédé.illustré Sans les figures 7(a) à-7(e) e^t mis en oeuvre de telle sorte que la pelli-40 cule de Si^N^ soit formée pour éviter la formation de craquelures. 71 02614 10 2077628 On forme tout d'abord une plaque de contact ayant une jonction pn entre une région 1 de type p et une région 2 de type n. On forme la région 2 de type n en dopant une impureté de type n par une ouverture 5 formée dans -une pellicule 3 de Si02 (OT). Lors du 5 dopage de l'impureté, on forme également une pellicule mince de SiQ2 (OT) à la surface exposée de l'ouverture jcomme le montre la figure 7(a). Après formation de la jonction pn désirée, on forme une pellicule 6 de PgO^-SiOg sur la pellicule de Si02 (OT) en chauffant le 10 dispositif pour faire diffuser du P20^ placé dans une atmosphère contenant.du POd^ et de l'azote et de l'oxygène gazeux sur la pellicule de SiOg (OT). Dans ce stade, l'épaisseur de la pellicule de Si02 (OT) diminue. Puis on recouvre la pellicule de P20^-Si02 par une pellicule 7 de Si02 (VDC). Une partie .8 correspondant à 15 l'ouverture reste concave. Ensuite, on élimine selon un procédé d'attaque chimique les parties de la pellicule composite correspondant à l'ouverture et à une cannelure de la plaque de contact. Si on met une pellicule de Si^N^ au contact du corps de sili-20 cium et qu'on l'élimine par attaque chimique, la surface du corps devient rugueuse. Pour éviter ceci, on forme les pellicules minces 9 et 10 sur les surfaces exposées comme le montre la figure 7(c), avant de former la pellicule de Si^N^. Comme le montre la figure 7(d), les surfaces de la pellicule 25 7 de Si02 (VDC) superposées à la pellicule de verre de P20^-Si02, les; pellicules minces de Si02 (0T) et les bords des pellicules sont recouvertes d'une pellicule 14 de Si^N^ déposée à partir d'une atmosphère gazeuse contenant NH^ et SiH^. Sur le bord 17 de la pellicule 14 de Si^N^ il ne se produit pas d'effort concentri-30 que même si on élimine par attaque chimique les parties 17 et 18 comme le montre la figure 7(e). L'ouverture 15 est munie d'une ' électrode métallique 20 formée par vaporisation sous vide. Après formation de l'électrode, on forme la cannelure'19 dans la plaque de contact pour réaliser un-dispositif semi-conducteur comportant 35 une pellicule composite de passivation améliorée. Il va de soi que la présente - invention n'a été décrite et représentée qu'à titre purement explicatif"et.nullement limitatif et qu'elle est susceptible de diverses variantes sans sortir de v, son cadre. 71 02614 ii 2077628 REVENDICATIONS 1 - Dispositif semi-conducteur comportant une pellicule composite de passivation caractérisé en ce que la pellicule composite de passivation est constituée d'une première pellicule de bioxyde 5 de silicium formée par oxydation thermique à la surface du corps de silicium, d'une pellicule de verre phosphoreux superposée sur la première pellicule de bioxyde de silicium, une seconde pellicule de bioxyde de silicium formée par vaporisation d'un dépôt chimique sur la pellicule de verre phosphoreux et une pellicule de 10 nitrure de silicium formée sur la seconde pellicule de bioxyde de silicium. 2 - Dispositif semi-conducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la première pellicule de bioxyde de silicium, la pellicule de verre phosphoreux, la seconde pellicule de bioxyde de 15 silicium et la pellicule de nitrure de silicium ont respective-, ment une épaisseur de 4000 à 15.000 A, de 500 à 2000 A, de 1000 à 6000 A et de 1000 à 3000 A. 3 - Dispositif semi-conducteur selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'épaisseur de la première pellicule de bioxyde 20 de silicium et de la pellicule de verre phosphoreux est comprise entre 6000 et 16.000 A. 4 - Dispositif semi-conducteur selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'épaisseur de la première pellicule de bioxyde de silicium, de la pellicule de verre phosphoreux et de la seconde 25 pellicule de bioxyde de silicium est comprise entre 7000 et 18.000 A. 5 - Dispositif semi-conducteur comportant une pellicule composite de passivation, caractérisé en ce que la pellicule composite comporte une première pellicule de bioxyde de silicium formée par 30 oxydation thermique sur le corps de silicium, ladite pellicule ayant une épaisseur de-4000 à 15.000 a; une pellicule de verre phosphoreux superposée à ladite première pellicule de bioxyde de silicium, ladite pellicule ayant une épaisseur de 500 à 2000 £; une seconde pellicule de bioxyde de silicium formée par vaporisation d'un dépôt chimique sur la pellicule de verre phosphoreux, la seconde pellicule de bioxyde de silicium ayant une épaisseur de 1000 à 6000 A; et une pellicule de nitrure de silicium formée sur 35 la seconde pellicule de bioxyde de silicium, la pellicule de nitrure de silicium ayant une épaisseur de 1000 à-3000 A; l'épaisseur totale de la première pellicule de bioxyde de silicium, de la pellicule de verre phosphoreux et de la seconde pellicule de bioxyde de silicium étant de 7000 à 19.000 A.