Brevet FR2073256A1 — publié le 19711001

20732S6 Pour réaliser une résistance en circuit intégré, il est connu de déposer sur un substrat diélectrique une couche de cuivre. On dépose ensuite line couche de matériau résistif, en général du tantale. On attaque ensuite, à travers un contre masque portant 5 en négatif la forme de la résistance à réaliser le cuivre à travers la couche de tantale. Le cuivre disparaissant aux endroits non protégés, le tantale qu'il supporte est arraché. Cet arrachement étant irrégulier, la valeur de la résistance n'est pas déterminée avec une précision suffisante. 10 La présente invention a pour objet une résistance intégrée sur un substrat ^résistance dont la valeur est déterainée avoc une haute précision et un procédé de fabrication de cette résistance. La résistance intégrée sur un substrat diélectrique selon 15 l'invention est caractérisée•en ce qu'elle comporte une bande de matériau conducteur s'étendant dans une couche d'oxyde de ce matériau. Le procédé suivant l'invention est au type dans lequel on utilise un masque ayant la forme de la future résistance. 20 II se caractérise essentiellement en ce que la résistance est obtenue à la suite des étapes suivantes : (i) dépôt sur un substrat diélectrique d'une couche d'un matériau conducteur oxydable, d'épaisseur prédéterminée, (ii) dépôt sur cette couche au moyen d'un masque d'une couche pro 25 tectrice ayant la forme de la future résistance, (iii) oxydation de la partie de la couche non protégée par la couche protectrice. L'invention sera mieux comprise au moyen de la description ci-après en se référant aux dessins annexés dont les figures 1 à 30 7 représentent en coupe transversale deux exemples de réalisation de résistance au cours des différentes étapes de fabrication. La figure 8 représente vue du dessus la résistance selon l'i vention. Les figures 1 à 4 se rapportent à un premier exemple de réa-„ lisation. 35 Les figures 5 a 7 se rapportent a un deuxieme exemple. 69 41888 2 2073256 la figure 3 représente vue du dessus une résistance au stade final de sa fabrication. Sur la figure 1, on voit un substrat 1 de silice.-Sur ce substrat a été déposée une couche 2 de tantale ou de nitrure 5 de taircale • Dur la figure 2, irne couche d'altuninium 3 a été déposée sur l'ensemble à travers un masque ajrant la forme de la résistance à obtenir. Sur la figure 3? les parties non protégées de la couche 2 10 ont été oxydées, à la suite d'un traitementthermique sous oxygène à température de l'ordi^e de 500° G. Lf couche d'oxyde de tantale est visible en 4. lia partie non oxydée, c'est à dire la partie de la couche qui a été protégée do l'oxydation par le masque 3, est visible en 5. 15 Figure 4, le masque protecteur a été éliminé au moyen d'une attaque acide sélective. La résistance est formée de la zone 5. Son épaisseur est celle de la couche primitive 2, et sa forme est déterminée rigoureusement par celle du masque 3. 20 La résistance est ainsi formée d'une piste de tantale noyée dans une couche d'oxyde de tantale. Les figures 5 a 7 représentent dans les mêmes conditions un élément au cours des diverses étapes au cours d'ion second exemple de réalisation du procédé suivant l'invention. 25 Sur la figure 5, le substrat 1 de silice a été recouvert d'une couche 2 de tantale. Sur la figure 6, au travers d'un masque ayant la forme de la résistance à réaliser, une couche 7 de silice a été déposée. Figure 7, l'ensemble a été soumis à une oxydation anodique. 30 La silice n'étant pas conductrice, l'oxydation se fera uniquement sur la partie conductrice » c'est à dire sur le tantale. Une couche d'oxyde sera formée en 8. Les zones 9 protégées par le masque ne seront pas oxydées. On aura un résultat identique à celui de la première méthode. 35 II n'est pas nécessaire d'éliminer la couche de silice. BAD ÔRt&MAL 69 41888 2073256 La figure 8 représente vue du dessus la résistance obtenue. Ce sera une pis "te 9 de tantale ayant la forme d'une grecque noyée dans une couche d'oxyde de tantale. Deux contacts classique 11 et 12 sont prévus aux extrémités de la résistance. L'invention présente sur les méthodes connues l'avantage d'une précision beaucoup plus grande. L'épaisseur de la couche résistante est déterminée par l'épaisseur de la couche de départ. De plus, le tantale superflu est oxydé sur place, et non éliminé par arrachement. 69 41888 2073256 HEVENDICATIOaS 1. Procédé de fabrication de résistances pour circuits intégrés du type dans lequelle on utilise un masque ayant la forme de la future résistance,'déposée sur un substrat diélectrique caractérisé par les étapes suivantes % 5 (i) dépôt sur un substrat diélectrique d'une couche d'un matériau conducteur oxydable, d'épaisseur prédéterminée , (ii) dépôt sur cette couche d'un masque protecteur ayant la géométrie de la future résistance , (iii) oxydation de la partie de la couche non protégée par le , 10 masque. 2. Méthode selon 1,caractérisée en ce que le matériau oxydable est le tantale, le masque protecteur étant fait d'aluminium. 3. ï-ïéthode selon 2., caractérisée en ce que l'oxydation est obtenue par im traitement thermique, et en ce qu'elle compx"end 15 une étape ultérieure, au cours de laquelle le masque est éliminé. 4. Méthode suivant 1, caractérisée en ce que le matériau oxydable à utiliser est le tantale, le masque étant fait de silice, 11 oxydation se faisant au moyen d'un bain électrol.ytique. 5. Résistance intégrée sur un substrat diélectrique, caracté-20 risée en ce qu'elle comporte, déposée sur un substrat diélectrique, une bande de matériau conducteur s'étendant dans une couche d'oxyde de ce matériau, également déposée sur le substrat.