Brevet FR2098324A1 — publié le 19720310

L'ir.vention concerne un dispositif semiconducteur muni d'un corps semiconducteur qui comporte un transistor et dans lequel est enfoncée une configuration en matériau isolant s'étendant sur au moins une partie de son épaisseur à partir d'une surface principale du corps sericonducteur dans ledit corps, qui présente une première partie en forme de couche confinant à la surface principale et sur toute sa périphérie et sur toute son épaisseur à une première partie de la configuration enfoncez, partie en forme de couche dans laquelle la zone de base du transistor confine à la surface principale et sur toute sa périphérie à la première partie de la configuration, la zone d'émetteur confinant à la surface principale étant appliquée dans la zone de base et la zone de collecteur comportant une partie située au-dessous de la zone de base. De plus, l'invention est relative à un procédé permettant de réaliser le dispositif semiconducteur. Un tel dispositif semiconducteur comportant un transistor a té décrit dans la demande de brevet néerlandais No. 6.614.016 (PHN 1970) et offre des avantages notables. La jonction collecteur-base ne se termine pas par une forte courbure près de son bord, quasi perpendiculairement à la surface principale, mais est limitée latéralement par la configuration, afin d'éviter ladite courbure, ce qui influe avantageusement sur les proprio tes électriques du transistor. De plus, la configuration enfoncée permet d'utiliser une cowbinaison de couches isolantes épaisses et r#inces, offrant leurs avantages respectifs. Le contact du collecteur d'un tel transistor comportant une configuration enfoncée est appliqué à la face inférieure du corps semi- conducteur, alors que les zones de base et de collecteur sont contactées à la face supérieure du corps semiconducteur. Toutefois, pour plusieurs applications, notamment dans le cas d'utilisation d'un dispositif semi- conducteur intégré, il est désirable qu'aussi la zone de collecteur soit contactée à la face supérieure du corps semiconducteur. i cet effet, on peut simplement tér.ager une ouverture dans la couche isolante enfoncée à côté de la zone de base, et contacter la zone de collecteur par l'intermédiaire de cette ouverture. Toutefois, cette dernière méthode présente plusieurs désavantages. La précision observée pendant l'application d'une ouverture dans une épaisse couche isolante n'est pas très grande. Comme il est connu, de telles ouvertures peuvent etre r#,enage'es plus rigoureusement dans une couche isolante à mesure que l'épaisseur de cette dernière est plus petite. De plus, un contact de connexion relié par l'intermédiaire d'une ouverture ménagée dans une couche isolante à une zone semiconductrice est généralement constitue par une couche métallique appliquée dans l'ouverture et s'étendant sur la couche isolante. Le risque d'endomragement, par exemple sous forme de fissures, d'une telle couche métallique au bord d'une ouverture ménagée dans une couche isolante épaisse est très grand. De plus, la distance comprise entre une telle ouverture pour le contact du collecteur et la zone de base doit être choisie supérieure à la distance admissible au mini#um, du fait qu'il faut tenir compte de tolérances concernant la détermination de l'endroit où doit être ménagée l'ouver- ture et cela implique que le transistor occupe plus d'espace que dans le cas d'une déterminatior. plus exacte de l'endroit de cette ouverture par rapport à la zone de base L'invention vise entre autre à fournir un dispositif semiconducteur du genre mentionné dans le préambule, dans lequel la zone de collecteur peut être contactée à la surface principale, ce qui permet d'éviter lesdits désavantages, et qui convient en outre notamment à être utilisé dans un dispositif semiconducteur intégré. L'invention est entre autre basée sur l'idée que ce but peut être atteint par une forme appropriée de la configuration. Conformément à l'invention, un dispositif semiconducteur du genreventionné dans le préambule est caractérisé en ce que le corps semiconducteur comporte une seconde partie en forme de couche située à côté de la première partie en forme de couche et confinant à la surface principale et sur au moins une partie de sa périphérie et sur toute son épaisseur à une seconde partie de la configuration appliquée simultanément avec la première partie de la configuration, cette seconde partie en forme de couche étant munie d'une partie de la zone de collecteur confinant à la surface principale et appelée par la suite "partie de connexion", laquelle partie n'est séparée de la première partie en forme de couche que par une partie appartenant à au moins l'une desdites deux parties de la configuration, partie qui est appelée par la suite "partie de séparation et qui est reliée à la partie de la zone de collecteur située au-dessous de la zone de base par une partie de connexion de la zone de collecteur située, au poins partiellement, au-dessous de la partie de séparation. Du fait que la partie de connexion de la zone de collecteur n'est pas située au-dessous de la configuration enfoncée comme la zone de base mais à côté de celle-ci, on peut contacter la zone de collecteur par l'intermédiaire de cette partie de connexion, tout en évitant l'application d'une ouverture dans la configuration. De plus, l'emplace- ont de la zone de base aussi bien que celui de .a partie de connexion de la zone de collecteur sont déterminés par la configuration enfoncée. Cola veut dire que, lors de la réalisation du dispositif semiconducteur, ltewplacewent de la zone de base t celui de la partie de connexion sont déterminés à l'aide du même nasq-#e, notamment celui à l'aide duquel la configuration enfoncée est appliquée, dont le masque à l aide duquel les première et seconde parties de cette configuration sont simultanément appliquées, et cela implique que la détermination de l'emplacement de la partie de connexion par rapport à la zone de base est très précise et qu'il ne faut pas tenir compte de tolérances se produisant inévitablement dans le cas d'utilisation de plusieurs masques. La zone de collecteur présente donc une partie de connexion située dans la seconde partie superficielle en forme de couche du corps semiconducteur qui, tout comme la première partie en forme de couche dans laquel e est située la zone de base,montredans la configuration en matériau isolant, les surfaces des première et seconde parties en forme de couche étant de préférence pratiquement situées dans un même plan. Lors de la réalisation du dispositif semiconducteur, après l'application de la configuration enfoncée lors de laquelle se forment simultanément les première et seconleparties de la configuration, ces parties ont la même épaisseur uniforme (vu dans une direction perpendiculaire à la surface principale du corps semiconducteur8. Puis, il est possible d'appliquer au besoin des différences en épaisseur, par exemple par décapage local de la configuration. Toutefois, afin de simplifier le processus, les première et seconde parties ont de préférence pratiquement la même épaisseur uniforme. La configuration ou l'une de ses parties présente une épaisseur uniforme lorsque, vu en section, l'épaisseur mesurée entre deux bords voisins de la configuration est partout pratiquement la même, avec la réserve que près de ces bords, l'épaisseur puisse être différente. On peut obtenir une configuration, dont une ou plusieurs parties s'étendent oIns profondément dans le corps semiconducteur qu'une autre partie ou d'autres parties de la configuration, par exemple en faisant décaper localement le corps semiconducteur avant l'application do la confi ruration erfnrcêe. Toutefois, des formes do réalisation importantes simples du dispos#tif emiconducteur conforme à l'invention sont caractérisées en ce que les première et seconde parties de la configuration enfoncée s'étendent quasi uniformément sur la même distance mesurée à partir de la surface principale du corps semiconducteur dans celui-ci. La configuration ou l'une de ses parties s'étend quasi uni formémont sur une distance déterminée mesurée à partir de la surface principale dans le corps semiconducteur, si, vu en section du corps semiconducteur avec la configuration ou l'une de ses parties, la configuration s'étend continuellement entre deux de ses bords voisins sur cette distance déterminée mesurée à partir de la surface principale dans le corps semiconducteur, avec la réserve que près desdits bords, la configuration puisse s'étendre sur une plus petite distance dans le corps semiconducteur. La partie de connexion de la zone de collecteur comporte de préférence une zone de contact sous forme d'une zone superficielle du même type de conduotion que celui de la zone de collecteur, cette zone de contact présentant la même épaisseur et les mêmes profils de dopage que la zone d'émetteur. Une telle zone de contact présente un dopage élevé et permet d'obtenir une bonne connexion avec le collecteur. De plus, l'invention est basée sur l'idée qu'un dispositif semiconducteur conforme à l'invention peut être réalisé d'une fanon simple sous forme d'un dispositif semiconducteur intégré comportant des zones isolantes réalisées au moins partiellement, en matériau isolant de fanon qu'une partie du matériau isolant d'une zone isolante entourant le transistor eit constituée par ladite première partie et/ou ladite seconde partie de la configuration enfonce. Ainsi, une forme de réalisation importante du dispositif semiconducteur conforme à l'invention est caractérisée en ce que le corps semiconducteur comporte plusieurs composants, parmi lesquels le transistor, disposés dans plusieurs parties semiconductrices, appelées "îlotsn, qui sont séparées entre elles et confinent à la surface principale, de fanon qn'entre lesdits îlots se trouvent des zones isolantes, qui sont formées au moins dans la proximité de la surface principale par des parties de la configuration enfoncée, entourant les îlots et appeléesnparties isolantes", les première et seconde parties de la configuration enfoncée constituant ensemble, outre ladite partie de séparation, une partie entourant simultanément la zone de base et la partie de connexion de la zone de collecteur du transistor, partie qui appartient, au moins partiollement,à une partie isolante d'une zone isolante entourant le transistor. Les zones isolantes peuvent être réalisées entiârement en matériau isolant, alors que le corps semiconducteur est cOnstItué par plusieurs corps partiels séparés constitués par les îlots, qui peuvent être appliqués sur un support comrun en matériau isolant par exemple du côté de la surface principale. De ce fait, une forme de réalisation préférentielle est caracté risée en ce que le corps semiconducteur comporte un corps semiconducteur constituant support sur lequel est appliquée une couche épitaxiale confinant à la surface principale et subdivisée par les zones isolantes en parties appartenant aux lots, le support comportant un substrat dont les flots sont isolés par au moins une jonction pn. il est avantageux d'utiliser une couche enterrée pour la réalisation do la partie de conrexion de la zone de collecteur reliant la partie de connexion à la partie de la zone de collecteur située au-dessous de la zone de base. De ce fait, une forme de réalisation importante est caractérisée entre ce que la zone de collecteur du transistor constitue une jonction pn isolante avec le substrat et présente une partie située dans la couche épitaxiale et une partie située dans le support, la partie enterrée étant située partiellement au-dessous de la partie de séparation de la configuration enfoncée et faisant partie, au moins partiellement, de la partie de connexion de la zone de collecteur. Les zones isolantes peuvent être formées ontiorement par des parties isolantes do là configuration, qui est enfoncée sur toute l'épaisseur de la couche épitaxiale dar.s~+e corps semiconducteur et les parties isolantes s'étendent jusqu au substrat, alors que la partie de connexion de la zone de collecteur disposée au-dessous de la partie de séparation de la configuration n'est constituée-que par une couche enterrée disposée dans le corps -semiconducteur. De plus, il rst possible que les parties isolantes de la configuration ne s 'étendent que jusque dans la proximité de la fonction pn entre le substrat et la couche é#-btaxiale, alors qu'en régime la zone désertée de cette jonction pn s'étend jusqu'aux parties isolantes. Toutefois, une fors de réalisation selon laquelletil faut appliquer une configuration moins profondément enfoncée ou, en d'autres termes, pour laquelle peut être utilisée une couche épitaxiale épaisse sans qu'il soit nécessaire d'appliquer une configuration enfoncée jusqu'à une profondeur iwpratique, est caractérisée en ce qu'une zone isolante co-porte une zone, "ont le type de conduction est le même que celui du substrat et qui est située entre la partie isolante de la configuration enfoncés appartenant à ette zone et Le substrat. La con' -uration peut être réalisée en appliquant par exemple des evfcrcemerts dans le corps semiconducteur et en les remplissant ensuite de matériau isolant. De préféreno#, la partie enfoncée est constituée par du matériau isolant foré par transformation du matériau semiconducteur du corps semiconducteur. Si le corps semiconducteur est en silicium, il est possible d'obtenir une configuration en oxyde de silicium par oxydåtion locale du corps semiconducteur. De plus, une transformation en carbure de silicium par exemple est possible. De plus, l'invention est relative à un procédé permettant de réaliser un dispositif semiconducteur conforme à l'invention caractérisé en ce qu'une première partie superficielle de la surface principale d'un corps semicDnducteur muni d'une zone d'un premier type de conduction, confinant, au moins localement, à une surface principale du corps semiconducteur, de façon à s'étendre au-dessousvie ladite première partie superficielle et une seconde partie superficielle de la surface principale séparée de la première partie et confinant à ladite zone sont masquées, une première partie entourant entièrement la première partie superficielle, et une seconde partie entourant au moins partiellement la seconde partie superficielle d'une configuration enfoncée en matériau isolant s'étendant dans le corps semiconducteur à partir de la surface principale sont simultanément appliquées par transformation de matériau semiconducteur non masqué en matériau isolant, de façon à obtenir une première partie en forme de couche du corps semiconducteur confinant sur toute sa périphérie et sur toute son épaisseur à la première partie de la configuration et une seconde partie en forme de couche du corps semiconducteur confinant sur au moins une partie de sa périphérie'et sur toute son- épaisseur à la seconde partie de la configuration, parties en forme de couche qui ne sont séparées l'une- de l'autre que par une partie de séparation appartenantà au moins 1'une desdites deux parties de la configuration et la configura tion s'enfonce sur une distance stétendánt à partir de la- surface principale dans le corps semiconducteur de façon qu'une partie de la zone soit située au-dessous de la partie de séparation, une zone de base du transistor confinant à la première partie superficielle et sur toute sa périphérie à la première partie de la configuration est appliquée dans la première partis en forme de couche et constitue une jonction pn avec la zone et une zone d'émetteur du transistor confinant à la première partie superficielle est appliquée -dans la zone d#e base, le tout de façon qu'au moins une partie #de la zohe confinant partiellement à -la -seorMie partie superficielle et située partiellement au-dessous de la partie de séparation et au-dessous de la zone de base constitue la zone de collecteur du transistor. Une forme de réalisation importante concernant la réalisation d'un dispositif ~semiconducteur intégré est caractériséeen ce quton utilise un corps semiconducteur, dont une zone d'un premier type de conduction confine à toute la surface principale et est isolée par une jonction pn d'un substrat de l'autre type de conduction situé au-dessous de la zone, la zone est subdivisée en îlots voisins, séparés, par aprlication, dans la zone, de zones Isolantes, constituées, au moins Tres de la surface prin#ipal#, par des parties er. matériau isolant, qui sont appelées, par la suIte "parties isolantes" et qui se raccordent à l'isolant du coté substrat, les parties isolantes étant appliquées simultanément avec et de la wête ça5nr zone es prewière et seconde parties de la configuration et faisant partie de cette dernière, et qu'une partie de la configuration entourant situltanément la zone de base et la partie confinant à la seconde partie superficielle et appelée "partie de connexion" ue la zene de connexion et appartenant au moins à l'une des deux parties constituées par les première et seconde parties de la configuration est au moins partiLlerent réalisée sous forme d'au moins une partie d'une partie isolante d'une zone isolante entourant le transistor. Comme il est usuel pour les circuitsintégrés comportant des îlots, il est possible d'appliquer plusieurs composants, tels que des transistors, des résistances à diode et des conden-ateurs dars les lots. Le corps semiconducteur comportant la zone du premier type de conduction se réalise d'une façon simple en partant d'un corps semiconducteur, dont au moins la partie confinant à l'une de ses surfaces, appelée "surface de support", est de l'autre type de conduction et en appliquant sur ladite surface de support une coucheépitaxiale du premier type de conduction aspartenant à ladite zone. Une forme de réalisation préférentielle importante du procédé conforme à l'invention est caractérisée en ce quele support est muni d'une zone superficielle du premier type de conduction confinant à la surface de support, zone superficielle qui est située au-dessous de la partie de séparation à appliquer de la configuration enfoncée et qui est entourée de la zone isolante appliquée entourant le transistor, après quoi la couche épitaxiale est appliquée. De ce fait, on obtient une partie de connexion à basse valeur ohmique de la zone de collecteur et une réduction de la résistance du collecteur. Une forme de réalisation du procédé selon lequel il ne faut appliquer qu'une configuration enfoncée s'étendant sur une partie de l'épaisseur de la couche épitaxiale, est caractérisée en ce que dans des zones superficielles du corps semIconducteur confinant à la surface de support et située au-dessous des parties isolantes à appliquer, la concentration en impuretés déterminant l'autre type de conduction est augmentée, après quoi la couche épitaxiale est appliquée et que des zones de l'autre type de conduction appartenant aux zones isolantes et confinant au substrat sont obtenues par diffusion dtimpuratés à partir desdites zones dans la couche épitaxiale et que la configuration ne s'enfonce que sur une partie de l'épaisseur de la couche épitaxiale dans cette couche. Une autre forme de réalisation du procédé selon lequel il faut appliquer une configuration ne s'étendant que sur une partie de l'épaisseur de la couche épitaxiale est caractérisée en ce qu'avant l'application de la configuration enfoncée, par transformation de matériau semiconducteur non masqué en matériau isolant, des impuretés provoquant l'autre type de conduction sont appliquées dans des parties superficielles du corps semiconducteur correspondant aux parties isolantes à appliquer et diffusées plus profondément dans le corps semiconducteur pendant l'application de la configuration de façon à former des zones de l'autre type de conduction situées entre les parties isolantes et le substrat tout en appartenant auxdites zones isolantes. Si, pendant l'application de la configuration enfoncée, du matériau semiconducteur du corps semiconducteur est transformé en matériau isolant, ce matériau isolant est généralement plus volumineux que le matériau semiconducteur initial, de sorte qu'on obtient une configuration qui s'enfonce dans le matériau semiconducteur sur une partie de son épaisseur et qui dépasse ledit corps semiconducteur sur la partie résiduel- le de son épaisseur. Si le corps semiconducteur est en silicium et l'on applique une configuration en oxyde de silicium par oxydation locale du corps semiconducteur, on obtient une configuration en oxyde de silicium enfoncée dans le corps semiconducteur sur pratiquement la moitié de son épaisseur.De ce fait, une configuration préférentielle du procédé conforme å l'invention est caractérisée en ce qu'avant l'application de la configuration enfoncée, des parties superficielles du corps semiconducteur sont enlevées à l'endroit d'au moins une partie de la configuration à appliquer de façon a obtenir des enfoncements situés à partir de la surface principale sur une partie de l'épaisseur du corps semiconducteur dans ce dernier,ap?es quoi la configuration est appliquée par transformation de matériau semiconducteur non masqué en matériau isolant remplissant lesdits enfoncements sur au moins une partie de leur profondeur. En appliquant d'abord les enfoncements, on obtient une configuration enfoncée sur la majeure partie de son épaisseur ou même sur toute son épaisseur. La description ci-après, en se référant aux dessins annexés, le tout donr.é à titrs d'exemple non limitatif, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. La fig. 1 montre en section transversale un exemple de réalisa tinn d'un transistor conforme à l'invention. Les figures 2 et 3 montrent en section tranaversale des stades de la réalisation dudit transistor à l'aide d'un procédé conforme à l'in vention. ta fig. 4 montre en section transversale suivant le plan IV,IV de la fig. 5 une partie d'un exemple de réalisation d'un dispositif semiconducteur intégré conforme à l'invention. La fig. 5 est une vue en plan de ce dispositif semiconducteur intégré. Les figures 6, 7, 8 et 9 montrent en section transversale des stades de la réalisation de ce dispositif semiconducteur intégré à l'aide d'un procédé conforme à l'invention. La fig. 10 montre un détail d'un exemple de réalisation différant légèrement de l'exemple de réalisation représenté sur la fig. 4. La fig. 11 montre une partie d'un exemple de réalisation d'un dispositif semiconducteur intégré conforme à l'invention muni de deux transistors et d'une zone collectrice commune. Les figures 12, 14, 17, 20 et 21 morArent en section transversale des parties d'autres exemples de réalisation de dispositifs semiconducteurs intégrés conformes à l'invention. La fig. 13 montre un détail d'un dispositif semiconduc#teur différent légèrement de celui représenté sur la fig. 12. La fig. 15 montre en section transversale un stade de la réalisation d'un dispositif représenté sur la fig. 14 à l'aide d'un procédé conforme à l'invention. La fig. 16 montre un détail d'un dispositif semiconducteur différent légèrement de celui représenté sur la fig. 14. Les figures 10 et 19 montrent des stades de la réalisation du dispositif représenté sur la fig. 17 selon un procédé conforme à l'invention. Sur les figures les parties correspondantes sont désignées par les mêmes chiffres de référence. Comme premier exemple de réalisation, on va décrire un dispositif semiconducteur sous forme d'un transistor conforme à l'invention; voir la fig. 1. Le transistor comporte un corps semiconducteur 1 et une configuration 2 en matériau isolant enfoncée dans ledit corps et dans ce dernier sur pratiquement toute son épaisseur à partir de la surface principale 3 d corps. Le corps 1 présente une première partie en forme de couche 4, qui confine à la surface principale 3 et, de plus, sur toute sa périphérie et sur toute son épaisseur à une première partie 5 de la configuration enfoncée 2. Dans la partie en forme de couche 4 est située la zone de base 6 du transistor voisine de la surface principale 3. Cette zone de base 6 confine sur toute sa périphérie et sur toute son épaisseur à la première partie 5 de la configuration 2. Dans la zone de base 6 est appliquée la zone d'émetteur 7 du transistor voisinede la surface principale 3. La zone de collecteur 26 comporte une partie 8 située au-dessous de la zone de base 6. Conformément à l'invention, le corps semiconducteur 1 comporte une seconde partie en forme de couche 9, qui confine à la surface principale 3 et qui est située à côté de la partie en forme de couche 4. La partie en forme de couche 9 confine sur toute sa périphérie et sur toute son épaisseur à une seconde partie 10 de la configuration, enfoncée 2, partie 10 qui est appliquée simultanément avec la première partie 5 de la configuration 2.La seconde partie en forme de couche 9 constitue une partie confinant à la surface principale 3 et appelée "partie de connexion" de la zone de collecteur 26, partie# de connexion qui n'est séparée que par une partie Il appartenant auxdites deux parties 5 et 6 de la configuration 2 et appelées "parties de séparation" de la première partie en forme de couche 4 et,par conséquent, de la zone de base 6. La partie de connexion 9 est reliée par une partie de communication 12 de la zone de collecteur 26 située partiellement au-dessous de la partie de séparation 11 à la partie 8 de la zone de collecteur située au-dessous de la zone de base 6. La partie de connexion 9 de la zone de collecteur est munit d'une zone de contact 13 sous forme d'une zone superficielle du même type de conduction que la zone de collecteur. La zone 13 a la même épaisseur et le même profil de dopage que la zone d'émetteur 7 et peut donc être appliquée simultanément aveç la zone d'émetteur 7. La zone d'émetteur d'un transistor constitue. une zone à, dopage élevé et la zone de contact 13 le fait également. La zone de contact 13 permet d'obtenir une connexion électrique convenable avec la zone de collecteur 26#. Comme il ressort. nettement de la fig 1, il n'est pas nécessaire de ménager par décapage une ouverture dans une, partie en forme de couche isolante épaisse de, la configuration pour contacter la zone de collecteur, ni pour contacter la zone d'-émetteur et la zone de base, du fait que la zone de olleoteuic montre sous forme de la partie en forme de couche 9 dans la configuration les surfaces des, parties en forme de couche 4 et 9 étant pratiquement situées dans le même plan 3. Les première et seconde parties 5 et 10 de la configuration 2 ont la même épaisseur uniforme. Cela n'est pas toujours nécessaire ou désirable, comme il sera expliqué ci-après à l'aide d'un exemple de réalisation. De plus, les première et seconde parties 5 et 10 de la configuration 2 sont situées uniformément sur la même distance mesurée à partir de la surface principale 3 dans le corps 1. Cela n'est pas non plus toujours nécessaire ou désirable, comme il sera expliqué ci-ap?es à l'aide d'un autre exemple de réalisation. La partie de connexion 9 de la zone de collecteur peut s'étendre jusqu'au bord du corps semiconducteur 3 de façon que la seconde partie 10 de la configuration 2 n'entoure que partiellement la partie en forme de couche 9. De plus, la partie de connexion 9 de la zone de collecteur peut entourer entierement la première partie en forme de couche 4, par conséquent la zone de base 6. La configuration 2 s'étend plus profondément dans le corps semiconducteur1, vu à partir de la surface principale 3, que la zone de base 6. Toutefois, il est également possible que la zone de base stétende un peu plus profondément dans le corps 1 que la configuration 2. On va maintenant décrire la réalisation du transistor à l'aide d'un exemple de réalisation du procédé conforme à l'invention. On part d'un corps semiconducteur qui comporte une zone d'un premier type de conduction qui confine, au moins localement, à une surface principale du cors semiconducteur et dont une première partie superficielle de la surface principale, partie sous laquelle s'étend ladite zone, et une partie superficielle de la surface principale confinant à la zone sont masquées. Les deux parties superficielles sont séparées l'une de l'autre. Dans le présent exemple de réalisation, on utilise un corps semiconducteur 1 (voir la fig. 2)qui appartient entièrement à ladite zone et qui est constitué par un support en silicium monoristallin du type n t2 d'une épaisseur d'environ 200/u et d'une résistivité d'erviron 0,01 ohm.cm, corps sewicondxvteur sur la surface 15 duquel est appliquée une couche épitaxiale en silicium du type n 14 d'une épaisseur d'environ 5/u et d'une résistivité d'environ 0,5 ohm.cm La surface de la couche épitaxiale 14 constitue la surface principale 3, dont les parties 3a et 3b sont masquées à l'aide des couches de masquage 16 et 17. Les couches de masquage 16 et 17 sont en nitre de silicium et peuvent tre appliquées d'une façon usuelle, par exemple en appliquant d'abord sur toute la surface 3 une couche en nitrure de silicium et en y faisant passer ensuite un mélange d'hydrogàne, de silane et d'ammoniac à une température d'environ 10OC C et en enlevant ensuite localement cette couche en nitrure par décapage. Ensuite, la première partie 5, qui entoure entièrement la première partie superficielle 3a, et la seconde partie 10, qui entoure la seconde partie superficielle 3b, de la configuration enfoncée 2 en matériau isolant, qui s'étend à partir de la surface principale 3 dans le corps 1 sont sibultarément appliquées par transformation d'un matériau semiconduc teur non masqué en matériau isolant(voir également la fig. 3). Du silicium non masqué est transformé de façon usuelle par oxydation dans la configuration 2 en oxyde de silicium. Toutefois, on obtient une configuration en oxyde de silicium 2, qui ne s'est enfoncée que jusqu'à peu près la moitié de son épaisseur dans le corps 1. C'est pour cette raison que des parties superficielles du corps semiconducteur 1 sont enlevées à l'endroit de cette configuration, avant l'application de cette dernière, de façon à obtenir des enfoncements 18, qui s'étendent à partir de la surface principale 3 sur une partie de l'épaisseur du corps 1 dans ce dernier, après quoi la configuration 2 est appliquée par transformation de silicium non masqué en oxyde de silicium, qui remplit les enfoncements 18. Les enfoncements 18 ont une profondeur d'environ 1/u et la configuration 2 en oxyde de silicium une épaisseur d'environ 2pi. Par suite de l'application de la configuration 2, on a obtenu une première partie en forme de couche 4 du corps semiconducteur 1, partie qui confine sur toute sa périphérie et sur toute son épaisseur à la première partie 5 de la configuration 2 et une seconde partie en forme de couche 9 du corps 1, qui confine sur toute sa périphérie et sur toute son épaisseur à la seconde partie 10 de la configuration 2. Les parties en forme de couche 4 et 9 ne sont séparées l'une de l'autre que par la partie de séparation 11 de la configuration 2 appartenant aux parties 5 et 10. La configuration 2 s'enfonce surune distance déterminée dans le corps semiconducteur de façon qu'une partie de la zone du premier type de conduction soit située au-dessous de la partie de séparation 11, zone qui comprend tout le corps semiconducteur 1 dans le présent exemple de réalisation,bien qu'il soit également possible qu'il ne comprenne qu'une partie superficielle confinant à la surface principale 3 du corps semiconducteur. Après l'application de la configuration 2, les couches en nitrure de silicium 16, 17 sont remplacées de façon usuelle par des couches en oxyde de silicium 19, 2C d'une épaisseur d'environ 0#2 J. Puis, on applique selon des méthodes de masquage et de diffusion usuelles, dans la première partie en forme de couche 4 la zone de base 6 confinant à la première partie superficielle 3a et sur toute sa péripherie à la première partie 5 de la configuration 2 et constituant la jonction pn 21 avec la zone #, 9, 12, 13 (voir la fig. 1). La zone de base du type p s'obtient par exemple par diffusion de bore et présente une épaisseur d'environ 1,8pi.#le confine donc sur toute son épaisseur à la première part 5 de la configuration 2. La diffusion de la base ne nécessite pas une techt:ique de masquage précise, la configuration pouvant constituer un masque. De plus, la zone de base à appliquer doit confiner sur toute sa périphérie à la partie 5 de la confi-uration 2. La zone d'émetteur 7 et la zone collectrice de contact 13 sont appliquées d'une façon usuelle, par exemple par diffusion de phosphore et resertent une épaisseur d'environ i##. La diffusion de la zone collectrice de contact ne requiert pas une technique de masquage précise, ceci pour les emes raisons que celles mentionnees ci-dessus pour l'applica- tion de la zone de base. La zone du type 8, 9, 12, 13, qui confine partiellement à la seconde partie superficielle 3b et qui est située au-dessous de la partie de séparation Il et de la zone de base 6 constitue la zone de collecteur 26 du transistor. ne qui importe dans le procédé décrit ci-dessus c'est que l'emplacement de la partie de connexion 9 de la zone de collecteur 26 par rapport à la partie en forme de couche 4, donc par rapport à la zone de base 6 n'est déterminé qu'à l'aide d'un processus de masquage, notamment celui nécessaire pour l'application de la configuration 2, de sorte que cette détermination de l'emplacement est exacte et pratiquement sans tolerances, ce qui implique un gain d'espace. La distance comprise entre les zones 5 et 13 est d'environ 1/u. Il y a lieu de noter que pour la clarté des dessins, les figures 1 à 3 ne représentent pas lesphénomènes de décapage marginal et d'oxydation marginale. En réalité, les enfoncements 18 et la configuration 2 s'étendent latéralement sur une petite distance au-dessous du masque 16, 17. Les zones 6, 7 et 13 sont munies, d'une façon usuelle, respectivexent d'une couche de contact de la base 21, d'une couche de contact de l'émetteur 22 et d'une couche de contact du collecteur 23, qui sont constituées par exemple par une couche métallique en aluminium. Les couche métalliques 21 et 22 s'étendent sur la configuration 2 et leurs parties situées sur la configo-ation sont reliées à un conducteur de connexion, ce que ne contre la fig. 1 que pour la ouche de contact de la base 21, voir le conducteur de connexion relié 24. La couche métallique 23 est prat quebent située sur la zone de contact du collecteur 13 et cette dernière est reliée à un conducteur de connexion 25.La zone de contact 13 peut être plus petite, la couche métallique 23 s'étendant sur la configuration 2 et étant reliée au-dessus de cette configuration 2 au conducteur de connexion 25. Vu dans un plan perpendiculaire à la configuration 2, les différentes zones et parties du transistor présentent les dimensions usuelles pour un transistor, la zone de collecteur 13 et la zone de contact du collecteur 23 présentant les dimensions usuelles pour une couche de contact métallique. La zone de base peut être appliquée avant l'application de la configuration 2, d'une fanon telle que,- lors de l'apSlioation de cette dernière, le reste du corps semiconducteur 1 constitue la zone du premier type de conduotion ne confinant pas à la partie superficielle 3a mais s'étendant au-dessous de cette partie superficielle. On va maintenant décrire un exemple de réalisation d'un dispositif semiconducteur muni d'un transistor T sous forme d'un dispositif semiconducteur intégré conforme à l'invention, à l'aide des figures 4 et 5. La configuration 2 en matériau isolant est située à partir de la surface principale 3 danå i corps semiconducteur 1 sur une partie de 11 épaisseur de ce corps dans ce dernier. La première partie en forme de couche 4 du corps semiconducteur 1 confine sur toute sa périphérie et sur toute son épaisseur à la première partie 5 de la configuratióh~ enfoncée 2. Dans la partie 4 est appliquée la zone de base 6 du transistor T confinant à la surface principale 3 sur toute sa périphérie et toute son épaisseur à la partie 5 de la configuration 2 et dans cette zone de base 6 est appliquée la zone d-'émetteur 7 confinant à la surface principale. La zone de collecteur 26 comportejiie partie située au-dessous de la zone de base. Â coté de la première partie en forme de couche 4 est située une seconde partie en forme de couche 9 du corps semiconducteur 1, partie 9 qui confine sur toute es périphérie-et sur toute son épaisseurà la seconde partie 10 de la configuration enfoncée 2. La seconde partie en forme de couche 9 constitue une partie de connexion de la zone de collecteur 26 confinant à la surface principale 3, partie de connexion qui n'est séparée de la première partie en forme de couche 4, et donc de la zone de base 6 que par la partie de séparation il appartenant aux parties 5 et 10 de la configuration enfoncée 2.La partie de connexion 9 est reliée à la partie 8 de la zone de collecteur située au-dessous de la zone de base 6 par la partie de communication 32 située partiellement au-dessous de la partie de séparation 11. Les parties 5 et 6 de la configuration ont la même épaisseur uniforme (mesurée perpendiculairement à la surface principale 3) et s'étendent uniformément sur la même distance à partir de la surface principale 3 dans le corps 1. Les surfaces3a et 3b des parties en forme de couche 4, 9 s'étendent pratiquement dans le meme plan 3. La zone de collecteur 25 est munie ' une zone de contact du collecteur 13 située dans la partie de connexion 9 et présentant la meme épaisseur et le même profil de dopage que la zone d'émetteur 7. La zone de contact du collecteur 13 confIne sur toute a périphérie et sur toute son épaisseur à la seconde partie 10 a la Gonti uration et n'est séparée de la zone de base 6 que par la partie de séparation 11. Les zones 6, 7 et 13 sont reliées aux couches de contact métalliques 21, 22 et 23. Dans le présent exemple le réalisation, le corps semiconducteur comporte plusieurs composants, entre autres le transistor T, composants qui sont disposés dans plusieurs zones semiconductrices séparées (6, 7, 26,,' 40 à 49 confinant à la surface principale 3 et appelées par la suite ";lots". Afin de faciliter la compréhension des dessins, seuls les îlots 6, 7, 26 et 40 ont été représentés complètement sur les figures 4 et 5. De plus, on a omis sur la fig. 5 les couches isolantes recouvrant les îlots et les couches de contact reliées aux zones semiconductrices et représenté les ouvertures nagées dans les couches isolantes pour les couches de contact en traits interrompus. Le composant disposé dans l'îlot 40 est un élément de résistance R comportant une zone swoerfoielle 50 munie des couches de contact 51 et 52. La zone superficielle 50 a le même type de connexion que la zone de base 6 et de plus, ces zones présentent le même profil de dopage et la même épaisseur. Entre les flots s'étendent des zones isolantes formées par des parties entourant les îlots de la configuration enfoncée, parties qui sont appelées par la suite "parties isolantes". L'îlot (6, 7, 26) est entouré de la partie isolante 52 et l'îlot 4G de la partie isolante 54 de la partie enfoncée. La première partie 5 et la seconde partie 10 de la configuration 2 ne constituent pas seulement la partie de séparation mais étalement une partie isolante 53 entourant situltanétent la zone de base 6 et la partie de connexion 9 de la zone de collecteur 26 et constituant une zone isolante entourant le transistor. Le corps semiconducteur'1 comporte un corps support semiconducteur 55 sur lequel est appliquée une couche épitaxiale 56 confinant à la surface principale 3 et subdivisée par les zones isolantes, telles que les zones 53, 54, en parties appartenant aux ilots (6, 7, 26) et 40 à 49. Le support comporte un substrat 57, dont les îlots sont isolés par une jonction pn. L'îlot (6,7, 26) est isolé par la jonction pn 58 et l'flot 40 par la jonction 59 du substrat 57. La zone du collecteur 26 du transistor T constitue la jonction pn isolante 58 avec le substrat 57 et comporte une partie 8,9 située dans la couche épitaxiale 56 et une partie 32 située dans le support 59, partie qui est appelée "partie enterrée". La partie enterrée 32 est située partillement au-dessous de la partie de séparation 11 de la configuration enfoncée 2 et constitue la partie de communication de la zone du collecteur 26. La configuration enfoncée est constituée par du matériau isolant formé par transformation du matériau semiconducteur du corps 1. Le transistor T s'obtient d'une fanon analogue à celle dont s'obtient le transistor représenté sur la fig. 1. Les parties superficielles séparées 3a et 3b de la surface principale 3 d'un corps en silicium 1 (voir la fig. 6) muni d'une zone du type n 69 confinant à la surface principale 3 sont masquées en appliquant d'une fanon usuelle les couches en nitrure de silicium 60, 61. Une première partie 5 (voir également la fig. 7), qui entoure la partie superficielle 3a et une seconde partie 10 entourant la partie superficielle 3b de la configuration enfoncée 2 sont appliquées simultanément en faisant transformer, d'une fanon usuelle, du silicium non masqué en oxyde de silicium isolant, par exemple en faisant passer de la vapeur à une température d'environ 1000 C. Ainsi, on a obtenu les parties en forme de couche 4, 9 du corps semiconducteur confinant sur toute leur périphérie et sur toute leur épaisseur respectivement aux parties 5, 10 de la oonfigurat on 2. Les parties en forme de couche 4, 9 ne sont séparées l'une de l'autre que par la partie de séparation 11, qui appartient à la première partie 5 et la seconde partie 10 de la configuration 2. La configuration 2 s'enfonce dans le corps semiconducteur jusqu une profondeur déterminée à partir de la surface principale, une partie 32 de la zone 69 étant toujours située au-dessous de la partie de séparation. Afin d'atteindre que la configuration 2 s'enfonce sur pratiquement toute son épaisseur dans le corps 1 et d'obtenir ainsi une surface pratiquement plane du dispositif semiconducteur, on applique avant l'oxydation permettant d'obtenir la configuration 2 en oxyde de silicium à l'aide de couches en nitrure comme masque, des enfoncements 62 qui s'étendent à partir de la surface principale 3 dans le corps semiconducteur 1 jusqu'à une profondeur égale à la moitié de la profondeur requise à laquelle est située la configuration 2 dans le corps 1, après quoi la configuration 2 est appliquée par oxydation de façon que les enfoncements 62 serdtplissent d'oxyde de silicium. -- Après l'application de la configuration 2, les couches en nitrure åe silicium 60, 61 sont remplacées par des couches en oxyde de silicium 63,64 et la zone de base go type p 6, la zone d'émetteur du type n 7 et la zone de contact du collecteur du ttpe n 13 sont apiliquées selon les éthodes de masquage et diffusion usuelles, respectivement par diffusion de ri, et de phosphore, les zones 7 et 13 pouvant être appliquées simultanément. La zone de base 6 constitue une jonction pn 65 avec la partie 26 de la zone 69. Cette partie, qui confine partiellement à la seconde partie superficielle 31 et qui est située partiellement au-dessous de la partie de séparation 11 et au-dessous de la zone de base 6 constitue la zone du collecteur du transistor T. Dans le présent exemple de réalisation, on utilise un corps semiconducteur 1, dont la zone du type n 69 (voir la fig. 6) confine à toute la surface principale 3 et est isolée par une jonction pn 66 d'un substrat du type p 57 situé au-dessous de la zone 69. La zone 69 est subdivisée en flots vois.:-s (6, 7, 26) et 40 à 49 (voir également les figures 6 et 5)par application, dans la zone 69, de zones isolantes constituées par les parties en matériau isolant de la configuration 2, ces parties étant appelées par la suite parties isolantes et se raccordant à l'isolation du côté de substrat. Voir les parties isolantes 53 et 54 dans les figures 7, 4 et 5 autour des ilots (5, 7, 26) et 40. Les zones isolantes s'obtiennent donc simultanément avec la configuration 2 corse parties de cette dernière.La partie 53 entourant la zone de base 5 et a partie de connexion 9 de la zone du collecteur 26 appartenant à la première partie 5 de la seconde partie 10 de la configuration enfoncée 2 est donc réalisée comme partie isolante dans cet exemple donc comme zone isolante entourant le transistor T. Outre l'îlot à appliquer (6, 7, 26) qui est masqué pendant l'application de la configuration 2 par les couches en niture de silicium 60, 61 (voir la fig. 6), les autres il ts à obtenir sont masqués pendant l'application de la configuration 2 par transformation de matériau semiconducteur non masqué afin de les protéger contre cette transformatIon. C'est ainsi que l'îlot à obtenir G est masqué contre oxydation par la couche en nitrure de silicium 65. Après l'application de la configuration, toutes les couches de masquage sont remplacées par des couches en oxyde de silicium, la couche en nitrure de silicium 65 étant remplacée par la couche en oxyde de silicium 67. La zone du# type 50 de ltélérent de résistance R (voir les figures 4 et 5) s'obtient par diffusion de -bore, opération qui est si multanérnent effectuée avec celle permettant d'obtenir la zone de base 6. Le corps -semiconducteur 1 muni de la zone du type n 69 s'obtient à partir d'un support semiconducteur 55 (voir la fig, 8) en silicium du type de conduction p, d'une résistivité d'environ 2 ohms.cm et d'une épaisseur d'environ 200/u et par application, sur une surface dudit support, appelée par la suite surface de support 68, d'une couche en silicium épitaxiale du type n 66 d'une résistivité d'environ 0,2 ohrr.cm et d'une épaisseur d'environ 2/u (voir la fig. 9). Le support est muni d'une zone superficielle du type n 32a confinant à la surface de support 68, par exemple par diffusion d'arsenic, voir la fig. 8, zone qui est située au-dessous de la partie de séparation à appliquer 11 (voir la fig. 7) de la configuration 2 et qui est entourée par la zone isolante 53 entourant le transistor à appliquer T, après quoi on applique la couche épitaxiale 56. Le support 55 comporte ensuite le substrat du type p 67 et la partie enterrée du type n 32, qui constitue ensemble avec la couche épitaxiale du type n 56 la zone du type n 69. La partie enterrée32 a une épaisseur d'environ 5/LI. À partir de la partie enterrée 32 peut se produire une diffusion d'arsenic dans la couche épitaxiale 56,ce qui est représenté sur la fig. 9 en traits interrompus. La configuration 2 s'enfonce à une profondeur supérieure à 11 épaisseur de la couche épitaxiale dans le corps semiconducteur 1, par exemple jusqu'à une profondeur de-2s1-à 2,2/u, mesurée à partir de la surface principale 3. Les couches de masquage en nitrure de silicium 60, 61 et 65 ont une épaisseur d'environ 0,2wu et peuvent être appliquées par passage d'un mélange d'hydrogène, de silane et d'atroniac à une température d'environ 1000 C. Ces couches snnt remplacées de façon usuelle par des couches en oxyde de silicium 63, 65 et 67 d'une épaisseur d'environ 0,2p1. La zone de base 6 et la zone de résistance 50 ont ome épaisseur d'environ 1/u et la zone d'émetteur 7 et la zone de contact du collecteur 13 une épaisseur d'environ 0,6/u. Sur la fig. 5, les dimensions de la zone de base 6 sont d'environ 45 x 30/u, celles de la zone d'émetteur d'environ 20 x 20/u, celles de la zone de contact du collecteur 13 d'environ 20 x 30/u, et la largeur B des parties isolantes 53,54 et de la partie de séparation 11 d'environ 10 à 15/u Du fait que le substrat du type p 57 présente une valeur ohmique relativement élevée (2 ohms.cw), il peut se produire dans le substrat des canaux conducteurs confinant à la configuration 2 et reliant entre eux les îlots.Il est possible d'empêcher la formation de ces canaux en augmentant le dopage du type p dans le substrat au-dessous de la configuration 2, ce qui est indiqué sur les figures 4, ó, 7 et 9 par les zones 71, qui sont obtenues par diffusion de bore dans les zones 71a du support (voir la fig. M). On peut étalement choisir un support 55 d'une valeur osmique très basse, d'une résistivité d'environ 0,02 ohm.cm par exemple, ce qui entraîne cependant une basse tension de claquage des jonctions pn 5d, 59 (voir a fig. 4). Une autre possibilité montre la fig. 10 qui, potr la clarté du dessin, ne représente qu'une partie du dispositif semiconducteur correspondant à la partie de gauche de la fig. 4. La configuration 2 ne s'tend pas jusque dans le substrat 57 mais jusque dans la zone désertée 73 de la jonction pn 76 qui est limitée par le trait interrompu 74. Cette zone désertée 73 se produit pendant le fonctionnement du dispositif semiconducteur dans le cas d'une tension usuelle se produisant dans le sens de blocage aux extrémités de la jonction pn 66. Lors du fonctionnement, cette zone désertée bloque l'isolation entre les îlots. Dans l'exemple de réalisation décrit ci-dessus, la zone de base 6 peut également être appliquée# avant l'application de la configuration 2. La fig. 11 montre un transistor T1 analogue au transistor T selon les figures 4, 5. Toutefois, le transistor T1 présente une zone de collecteur 26 commune à un transistor T2, qui est également analogue au transistor T selon les figures 4, 5. Dans cette structure, la partie 53 de la configuration 2, qui entoure la zone de base 6 et la partie de connexion 9 de la zone du collecteur du transistor T1 n'appartient pas entièrement à une zone isolante, la partie 75 de la partie 53 servant de partie de séparation entre la partie de connexion 9 de la zone du collecteur et de la zone de base 6 du transistor T2. La fig. 12 montre en section une partie d'un exemple de réalisation d'un dispositif semiconducteur conforme à l'invention qui ne diffère de celui représenté sur les figures 4, 5 que par le fait que les zones isolantes 2, 76 comportent des zones 76 du même type de conduction que le substrat 57 et qui son-t situées entre le substrat 57 et les parties isolantes 53 et 54 les zones isolantes 2, 76. Les zones 76 présentent donc une conduction Wu type p. La a raalisation du dispositif reprêseïftée sur la fig. 12 ne diffère guère de celle du dispositif repréjei:t# sur les figures 4, 5. Dans des zones superficielles 71a du support 55 confinant à la surface de support 63 (voir la fig. #) et situées au-dessous des parties isolantes à Rppliquer 53, 54, la concentration en impuretés provoquant la conduction du type p est augmentées par exemple par diffusion de bore. Ensuite, on applique la couche épitaxiale du type n 56 (voir étalement la fig. 12) et l'on obtient des zones 76 du type de conduction p qui sont situées dans la couche épitaxiale et qui appartiennent aux zones isolantes 2,76 et,de plus, qui confinent au substrat 57 par diffusion d'impuretés à partir des zones 71a dans la couche épitaxiale 56. La configuration 2 ne s'enfonce que sur une partie de l'épaisseur de la couche épitaxiale 56 dans cette couche et les zones isolantes 2, 76 ne se forment que dans la proximité de la surface principale 3 par les parties isolantes 53 et 54 de la configuration enfoncée 2. Les zones 76 confinent à la configuration 2. Il est également possible que la configuration 2 ne s'enfonce pas jusqu'aux zones 76 dans le corps semiconducteur 1 mais seulement jusque dans la zone désertée 78 de la jonction pn 77,(voir la fig. 13), limitant le substrat et la zone 76. La fig. 13 ne montre qu'une partie du dispositif semiconducteur correspondant à la partie de gauche du dispositif semiconducteur représenté sur la fig. 12. La zone désertée 78 comprise entre la jonction pn 77 et le trait interrompu 80 se produit en régime dans le cas d'une tension usuelle se produisant dans le sens de blocage aux extrémités de la jonction pn 77. Dans des structures analogues à celles représetées sur les figures 12 et 13 on peut utiliser une plus épaisse couche épitaxiale 76, par exemple d'une épaisseur de 4/u, tout en évitant une configuration 2 à enfoncer à une profondeur impratique de façon à disposer de plus d'espace au-dessous de la partie de séparation 11 dela configuration 2 pour la partie de communication de la zone de collecteur. svantuellement la partie enterrée 32 peut être omise. La fig. 14 montre un autre exemple de réalisation dans lequel les zones isolantes (2, 81) comportent des zones du type p 81 comprises entre le substrat 57 et les parties isolantes 53 et 54. Toutefois, les zones 81 ne s'obtiennent pas par diffusion à partir du substrat 57 mais de la façon suivante. Pour appliquer la configuration 2, les zones du type p 81a confinant aux anfoncements 62, qui correspondent aux parties isolantes à appliquer 54, 53, sont appliquées dans la couche épitaxiale 56 (voir la fig. 15 et comparer celle-ci avec la fig. 6).Les zones 81a peuvent être appliquées, par exemple par implantation d'ions à l'aide de l'effet de masquage des couches en nitrure de silicium 6G, 61 et 65. Les couches en nitrure de silicium dépassent quelque peu les enfoiicements 62 par suite de l'effet décapage marginal se produisant pendant l'application par décapage des enfoncements 62. Ce phénomène n'est pas représenté sur la fig. 45 (ni dans la fig. 6), ceci afin de faciliter la compréher.sion des dessins.Ensuite, la confiburation enfoncée 2 en oxyde de silicium est appliquée par oxydation de façon que les zones 81a avancent par diffusion pour air: dire la configuration enfoncée 2. La configuration 2 ne s'enfonce que sur ur.e sortie de l'épaisseur de la couche épitaxiale76 dans cette der@ière, alors relue l?s zones 31 du type p confinant à la confisuration 2 s'étendent jusque dans le substrat du type p 57. Bu reste, la réalisation du dispositif représenté sur la fig. 14 est analogue à celle du dispositif représenté sur les figures 4 et 5. Les zones 81 ne doivent pas nécessairement atteindre le substrat 57 mais il suffit qu'elles atteignent la zone désertée 82 de la jonction pn 83 (voir la fig. 16).Cette zone désertée se produit pendant le fonctionnement du dispositif seticonducteur dans le cas d'une tension de blocage usuelle se produisant aux extrémités de la jonction pn 83. La fig. 16 ne montre qu'une partie du dispositif semiconducteur correspondant à la partie de gauche de a fig. 14, ceci afin de faciliter la compréhension du dessin. Il est évident que la structure représentée sur la fig. 11 peut être punie de zones isolantes (2, 76) selon la fig. 12 ou de zones isolantes (2,81) selon la fig. 14. De plus, il y a lieu de noter que les zones isolantes du genre décrit ont déjà été décrites dans la demande de brevet néerlandais No. 7.010.204 (rzy 4973). Dans les exemples de réalisation décrits ci-dessus, toute la configuration 2 s'enfonce pratiquement sur toute son épaisseur dans le corps semiconducteur 1. Pour atteindre ce résultat, les enfoncements 62 sont ménagés dans le corps 1 avant l'application de la configuration 2 (voir les figures 6 et 15). Si l'on n'applique pas les enfoncements 62, on obtient une configuration 2 en oxyde de silicium qui s'enfonce dans le corps seticonducteur sur pratiquerent la moitié de son épaisseur. Il est également possible de faire en sorte qu'une partie de la configuration 2 s'enfonce sur toute son épaisseur et une autre partie de cette confi uration sur seule une partie de son épaisseur dans le corps semiconducteur. La fig. 17 en entre un exemple et est relative à un dispositif semiconducteur, qui ne diff#re de celui représenté sur les figures 4 et 5 que par le fait que la partie de séparation de la configuration 2 n'enfonce jusqu a peu près la moitié de son épaisseur dans le corps semiconducteur 1, alors que le reste de la configuration 2 s'enfonce pratique-ent sur toute son épaisseur dans ledit corps.Cette structure s'obtient en appliquant des enfoncements 62 à l'endroit de la configuration à appliquer (voir la fig. 6) à l'exception de l endroit de la partie de séparation à appliquer de la configuration 2 et en appliquant ensuite par oxydation la configuration 2. La structure représentée sur la fig. 17 présente l'avantage que l'enfoncement moins profond de la partie de séparation 11 permet d'obtenir une meilleure communication entre la partie de connexion 9 et la partie 8 de la zone du collecteur 26 située au-dessous de la base 6, alors que la partie enterrée 32 peut éventuellement être omise. La configuration 2 représentée sur la fig. 17 peut être simplement appliquée de la façon suivante: Sur le corps semiconducteur 1 (voir la fig. 18) est appliquée une couche de masquage 85 en nitrure de silicium sur laquelle est appliquée une couche en oxyde de silicium 86, ces couches átant enlevées à l'endroit des parties isolantes à appliquer 53 et 54. Ensuite, seule la couche en oxyde de silicium 86 est enlevée à l'endroit de la partie de séparation à appliquer Il et les enfoncements 62 sont décapés à l'endroit des parties isolantes 53, 54 et, ceci fait, on a obtenu la structure représentée sur la fig. 18. Puis, la couche en nitrure de silicium 85 est enlevée par décapage sélectif à l'endroit de la partie de séparation à appliquer 11, la couche en oxyde de silicium 66 servant de masque de décapage. Ainsi, on a obtenu la structure représentée sur la fig. 19 et l'on peut appliquer la configuration 2 par oxydation. Dans ltexerple de rsallsation représentée sur la fig. 17, la premiere partie 5 de la configuration 2 entourant la zone de base 6 et la seconde partie 10 de la aonfiguration 2 entourant la partie de connexion 9 de la zone du collecteur 26 ne s'étendent pas uniformément sur la même distance mesurée à partir de la surface principale dans le corps semiconducteur 19 ceci à l'opposé des exemples de réalisation précédents. Toute foi s, lesdites parties 5 et 10 présentent la même épaisseur uniforme et sont appliquées simultanément. Il est cependant également possible d'enlever, au moins partiellement, par décapage la partie saillante de la partie de séparation 11. Ainsi, les parties 5 et 10 ne présententplus une épaisseur uniforme.Dans cet exemple de réalisation, les parties en forme de couche 4, 9 sont situées sur la même distance à partir de la surface principale 3 dans le corps 1 que la partie de séparation 11, alors que les parties isolantes 53, 54 s'étendent plus profondément dans le corps 1 Dans l'exemple de réalisation décrit ci-dessus, il est possible d'enlever, entièrement ou partiellement, le substrat 57, par exemple par décapage. La fig. 20 montre le dispositif semiconducteur représenté sur la fig. 12, le substrat 57 étant enlevé jusqu'à la partie enterrée 32.Sur la partie enterrée 32 peut être appliquée une couche métallique 90, afin de réduire la résistance du collecteur, alors que la face inférieure du collecteur peut au besoin être reliée ou interconnectée par l'intermédiaire de cette couche metallique, Il est étalement possible d'enlever par décapage les parties résiduelles du type p 57, 71 et 76 sur a fig. 20, après quoi le substrat n'est entièrement enlevé et les zones isolantes sont constituées par les parties isolantes 53, 54 et par des rainures trouvant à l'endroit des zones 76. Ces rainures peuvent éventuellete!:t être remplies d'un matériau isolant.Ainsi, on n'a plus d'isolation pn, ni de capacités parasitaires cohérentes et le corps semiconducteur 1 est alors constitué par plusieurs parties séparées (îlots). D'une façon analogue à celle décrite pour le dispositif représenté sur la fig. 12, le substrat 57 du dispositif représenté sur les figures 4, 5 et celui du dispositif représenté sur la fig. 11 peuvent être enlevés et le subtrat 57 et les zones 81 du dispositif représenté sur la fig. 14. De plus,il est possible de ne pas appliquer les zones 76 71, respectivement les zones 81 dans le dispositif représenté sur les figures 12, 14 et d'appliquer une couche enterrée 32 qui s'étend jusqu'à tous les îlots, d'enlever le substrat 77 et de ménager par décapage des rainures au-dessous des parties isolantes 53 et 54 de la configuration 2, perpendiculaire-ent à travers la partie enterrée 32 et jusqu'à ces parties isolantes, après quoi on obtient le dispositif représenté sur la fig. 21 comportant les parties enterrées 32a, 32b, etc. L'application des parties enterrées 32a, 32 etc. ne requiert plus de masquage.On peut partir d'un corps support du type p 55, qui est muni d'une couche diffusée ou epî'taxiale du type n à dopage élevé, et appliquer sur cette couche la couche épitaxiale du type n à dopage moins élevé 56. De plus, il est possible de partir d'un support entièrement constitué par du silicium à basse valeur ohmique du type n. Dans le dispositif représenté sur la fig. 21, le corps semiconducteur est constitué par les parties séparées (îlots) la, lb, 1c etc. Les dispositifs décrits ci-dessus peuvent être munis d'une façon usuelle de conducteurs présentant des élargissements auxquels peuvent être reliés les conducteurs de connexion et qui sont de préférence appliquée sur la configuration enfoncée 2. Il est évident que l'invention n'est pas limitée aux exemples de réalisation décrits cI-dessus et que l'initié peut en réaliser de nombreuses variantes sans sortir du cadre de l'invention. C'est ainsi que le support utilisé ne doit présenter qu'une conduction du type p pour la partie confinant à la surface de support 68 (voir la fig. 8) et que le trait interrompu 90 peut présenter le type de conduction n. Les couches de masquage 60, 61 et 65 (voir la fig. 6) peuvent être constituées par une couche en silicium qui est appliquée sur le corps semiconducteur 1 et sur laquelle est appliquée une couche en nitrure de silicium, de fanon qu'après l'application de la configuration 2 et après l'enlèvement des couches de nitrure de silicium, on obtient les couches en oxyde de silicium 63, 64, 67 (voir la fig.7).Une partie de la périphérie des couches d'émetteur 7 des exemples de réalisation décrits ci-dessus pour confiner à la configuration enfoncée 2. L'oxydation nécessaire pour obtenir la configuration 2 peut être interrompue et lors de cette interuption, on peut enlever, au moins partiellement, par décapage l'oxyde de silicium dé b obtenu. Ainsi, il n'est pas nécessaire de ménager les enfoncements 62 (voir par exemple la fig. 2) avant l'oxydation pour obtenir une configuration 2 enfoncée sur toute son épaisseur dans le corps semiconducteur. Il n'est pas nécessaire de remplacer les couches en nitrure de silicium 60, 61 et 65 par les couches en oxyde de silicium 63, 64 et 67 (voir les figures 6 et 7). Les couches en nitrure de silicium 60, 61, 67 peuvent également être iilisees pour le masquage pendant les étapes de diffusion. La seconde partie en forme de couche 9 du corps semiconducteur 1 (voir par exemple la fig. 24) n'appartient pas nécessairement à la partie de connexion de la zone du collecteur 26 et peut comporter par exemple une autre diode. Deux îlots différents peuvent êtreinterconnectes d'une fanon analogue à celle dont la partie de connexion 9 est reliée à la partie 8 de la zone du collecteur située au-dessous de la zone de base 6 dans les exemples de réalisation décrits ci-dessus. On peut utiliser d'autres matériaux semiconducteurs usuels que le silicium, la configuration peut être constituée par des rainures remplies de matériau isolant ou par du matériau isolant obtenu par transformation de matériau semiconducteur en matériau isolant. C'est ainsi que le matériau semiconducteur de carbure de silicium peut être transformé par oxydation en oxyde de silicium. REVENDICATIONS s 1. Dispositif semiconducteur mufli d'un corps semiconducteur qui comporte un transistor et dans lequel est enfoncée une configuration en ma tériau isolant s'étFndant sur ausur#au moins une partie de son épaisseur à partir d'une surface principale du corps semiconducteur dans ledit corps, qui présente une première partie en forme de couche confinant à la surface principale et sur toute sa périphérie et sur toute son épaisseur à une première partie de la configuration enfoncée, partie en forme de couche dans laquelle la zone de base du transistor confine à la surface principale et sur toute sa périphérie à la première partie de la configuration, la zone d'émetteur confinant à la surface #principale étant appliquée dans la zone de base et la zone de collecteur comportant une partie située au-dessous de la zone de base, caractérisé en ce que le corps semiconducteur comporte une seconde partie en forme de couche située à côté de la première partie en forme de couche et confinant à la surface principale et sur au moins une partie de sa périphérie et sur toute son épaisseur à une seconde partie de la configuration appliquée simultanément avec la première partie de la configuration, cette seconde partie en forme de couche étant munie d'une partie de la zone de collecteur confinant à la surface principale et appelée par la suite "partie de connexion", laquelle partie ntest séparée de la première partie en forme de couche que par une partie appartenant à au moins l'une desdites deux parties de la configuration, partie qui est appelée par la suite "partie de séparation" et qui est reliée à la partie de la zone de collecteur située au-dessous de la zone de base par une partie de connexion de la zone de collecteur située, au moins partiellement, audessous de la partie de séparation. 2. Dispositif semiconducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que les première et seconde parties de la configuration enfoncée présentent pratiquement la même épaisseur uniforme. 3. Dispositif semiconducteur selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les surfaces des première et seconde parties en forme de couche sont pratiquement situées dans le même plan. 4. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les première et seconde parties de la configuration enfoncée s'étendent quasi uniformément sur la même distance mesurée à partir de la surface principale du corps semiconducteur dans celui-ci. 5. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la partie de connexion de la zone du collecteur comporte une zone de contact sous forme d'une zone superficielle du mflme type de conduction que la zone de collecteur, dont -l1épaisseur et le profil de dopage sont égau a ceux de la zone d'émetteur. 6. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le corps semiconducteur comporte plusieurs compo sants, parmi lesquels le transistor, disposés dans plusieurs'parties semiconductrices, appelées "lots", qui sont séparées entre elles et confi nent à la surface principale, de façon quwentre lesdits îlots se trouvent des zones isolantes, qui sont formées au moins dans laproximité de la sur face principale par des parties de la configuration enfoncée, entourant les Plots et appelées "parties isolantes"' les première et seconde parties de la configuration enfoncée constituant ensemble, outre ladite partie de séparation, une partie entourant simultanément la zone de base et la par tie de connexion de la zone de collecteur du transistor, partie qui appar tient, au moins partiellement, à une partie isolante d'une zone isolante entourant le transistor. 7. Dispositif semiconducteur selon la revendication 6, cara'ctérisé en ce que le corps semiconducteur comporte un corps semiconducteur constituant support sur lequel est appliquée une couche épitariale confi nant à la surface principale et subdivisée par les zones isolantes en parties appartenant aux flots, le support comportant un substrat, dont les Plots sont isolés par au moins une jonction pn, Dispositif semiconducteur selon la revendication 7, caractérisé en ce que la zone de collecteur du transistor constitue une jonction pn isolante avec le substrat et présente une partie située dans la couche épitaxiale et une partie située dans le support, la partie enterrée étant située partiellement au-dessous de la partie de séparation de la configu ration- enfoncée et faisant partie, au moins partiellement, de la partie de connexion de la zone de collecteur. 9. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications 6 à 8, caractérisé en ce qu'une zone isolante comporte une zone, dont le type de conduction est le même que celui du substrat et qui est située. entre la partie isol-ante de la configuration enfoncée appartenant à cette zone et le substrat. 10. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications 1 à 9 caractérisé en ce que la configuration enfoncée est constituée par du ma tériau isolant formé par transformation du matériau semiconducteur du corps semiconducteur. 11. Procédé permettant de réaliser un corps semiconducteur compor tant un transistor selon une des revendications 1 à 10, caractérisé en ce qu'une première partie superficielle de la surface principale d'un corps semiconducteur muni d'une zone d'un premier type de conduction, confinant, au moins localement, à une surface principale du corps semiconducteur, de façon à s'étendre au-dessous I lade l~ewière prtrci~a1e séparée da la première partie et confinant à ladite zone sont masquées, une première partie entourant entièrement la première partie superficielle, et une seconde partie entourant au mois partiellement la seconde tartie sugerficielle d'une configuration enfoncée an matériau isolant s'étendant dans le corps semiconducteur à partir de la surface p ..1cipale sont simultanérent appliquées par transformation de matériau seticonducteur non masqué en matériau isolant, de façon à obtenir une première partie on forme de couche du corps semiconducteur confinant sur toute sa périphérie et sur toute son épaisseur à la première partie de la configuration et une seconde partie en forme de couche du corps semiconducteur confinant sur au moins une partie de sa périphérie et sur toute son épaisseur à la seconde partie de la configuration, parties en forme de couche qui ne sont séparéesl'une de l'autre que par une partie de séparation appartenant à au moins l'une desdites deux parties de la configuration et la configuration s'enfonce sur une distance s'étendant à partir de la surface principale dans le corps semiconducteur de façon qu'une partie de la zone soit située au-dessous de la partie de séparation, une zone de base du transistor confinant à la première partie superficielle et sur toute sa périphérie à la premiere partie de la configuration est appliquée iwans la première partie en forme de couche et constitue une ponction pn avec la zone et une zone d'émetteur du transistor confinant à la première partie superficielle est appliquée dans la zone de base, le tout de façon qu'au moins une partie de la zone confinant partiellement à la seconde partie superficielle et située partiellement au-dessous de la partie Je séparation et au-dessous de la zone de base constitue la zone de collecteur du transistor. 12. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'on utilise un corps sebiconducteur, dont une zone d'un premier type de conduction confine à toute la surface principale et est isolée par une jonction pn d'un substrat de ' autre type de conduction situé au-dessous de la zone, la zone est subdivisée en ilots voisins,séparés, par application , dans la zone, de zones isolantes, constituées, au moins près de la surface principale, par des parties en matériau isolant, qui sont appelées, par la suite "parties isolantes"et qui se raccordent à l'isolant du côté substrat, les parties isolantes étant appliquées simultanément avec et de la même façon que les première et seconde parties de la confi guration et faisant partie de cette dernière, et qu'une partie de la configuration entourant simultanément la zone de base et la partie confiant à la seconde partie superficielle et appelée "partie de connexion" de la zone de connexion et appartenant à au moins l'une des deux parties constituées par les première et seconde parties de la configuration est au moins partiellement réalisée sous forme d'au moins une partie d'une partie isolante d'une zone isolante entourant le transistor. 13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce que le corps semiconducteur comportant la zone du premier type de conduction se réalise d'une façon simple en partant d'un corps semiconducteur, dont au moins la partie confinant à l'une de ses surfaces, appelée "surface de support", est de l'autre type de conduction et en appliquant sur ladite surface de support une couche épitaxiale du premier type de conduction appartenant à ladite zone. 14. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que le support est muni d'une zone superficielle du premier tpe de conduction confit nant à la surface de support, zone superficielle qui est située au-dessous de la partie de séparation à appliquer de la configuration enfoncée et qui est entourée de la zone isolante appliquée entourant le transistor, après quoi la couche épitaxiale est appliquée. 15. Procédé selon la revendication 13 ou 14, caractérisé en ce que dans des zones superficielles du corps semiconductêur confinant à la surface de support et située au-dessous des parties isolantes à appliquer, la concentration en impuretés déterminant l'autre type de conduction est augmentée, après quoi la couche épitaxiale est appliquée et que des zones de l'autre type de conduction appartenant aux zones isolantes et confinant au substrat sont obtenues par diffusion d'impuretés à partir desdites zones dans la couche épitaxiale et que la configuration ne s'enfonce que sur une partie de l'épaisseur de la couche épitaxiale dans cette couche. 16. Procédé selon l'une des revendications 12 à 14, caractérisé en ce qu'avant l'application de la configuration enfoncée par transformation de matériau semiconducteur non masqué en matériau isolant, des impuretés provoquant l'autre type de conduction sont appliquées dans des parties superficielles du corps semiconducteur correspondant aux parties isolantes à appliquer et diffusées plus profondément dans le corps semiconducteur pendant ltapplication de la configuration de façon à former des zones de l'autre type de conduction situées entre les parties isdantes et le substrat tout en appartenant aux dites zones isolantes. 17. Procédé selon l'une des revendications 11 à 16, caractérisé en ce qu'avant l'application de la configuration enfoncée, des parties superficielles du corps semiconducteur sont enlevées à l'endroit d'au moins une partie de la configuration à appliquer de façon à obtenir des enfoncements situés à partir la lasurface principale sur une partie de l'épaisseur du corps semiconducteur dans ce dernier, après quoi la configuration - t appliquée ar transformation de matériau semiconducteur non masqué en matériau isolant remplissant lesdits enfoncements sur au soins une e partie de leur profondeur.