Brevet FR2088118A1 — publié le 19720107

, 2088118 La présente invention concerne la mesure des caractéristiques électriques des composants électroniques, notamment des composants dits rapides, c'est-à-dire dont les temps de réaction sont de l'ordre de la nanoseconde. Elle s'applique plus particulièrement au cas où ces composants sont complexes, c'est-à-dire assurent plusieurs fonctions qui sont généralement de nature logique, et où de nombreux 5 composants doivent être mesurés. De tels composants sont le plus souvent réalisés sous la forme de circuits intégrés. Ces circuits intégrés dont les dimensions sont très faibles sont contenus dans une capsule dont sortent un certain nombre de conducteurs assurant les ^Q connexions extérieures. Si le nombre de fonctions assurées par le.circuit est grand, le nombre de ses conducteurs de connexion doit lui-même en principe être grand ; il est par exemple de 14 dans le cas des circuits dont le boîtier est du type connu sous le nom de "Fiat Pack". Les conducteurs extérieurs d'un tel circuit se présentent sous la forme de bandes métalliques souples qui sont appelées ^ g parfois "pattes". Lorsque l'on veut mesurer les caractéristiques d'un tel circuit intégré, il est nécessaire de connecter les bornes des appareils de mesure à ces pattes. Ceci peut se faire par soudure, ce qui présente l'inconvénient de risquer de détériorer les pattes, par flexion ou par échauffement, voire le circuit lui-même. Une telle ^mesure est par exemple nécessaire comme contrôle de fabrication. Il n'est évidemment pas souhaitable qu'un tel contrôle risque de détériorer les composants contrôlés. Aussi, a-t-il déjà été proposé d'assurer les connexions entre les.pattes et les bornes correspondantes des appareils de mesure par simple pression de conducteurs convenables sur ces pattes. Pour cette raison et pour d'autres tenant au 2g risque de détérioration des pattes dans les transports divers que peut subir le circuit intégré, il est habituel de disposer ces circuits intégrés enfin de fabrication dans une boîte de matière plastique rigide appelée porteur (carrier). Un tel porteur comporte sur l'une de ses faces une ou plusieurs ouvertures à travers lesquelles il est possible d'atteindre les pattes de connexion du circuit intégré. 2qI1 y a intérêt à ce que ce porteur ne soit séparé.du circuit intégré que lorsque ce dernier doit être mis en place définitivement. Il résulte de tout ceci que les mesures de caractéristiques du circuit intégré ne doivent être faites de préférence qu'en laissant ce circuit intégré dans son porteur. Du point de vue électrique, il faut tenir le plus grand compte de la détério-2gration susceptible d'être apportée aux signaux par l'appareillage mis en oeuvre dans la mesure. En particulier lorsqu'il s'agit de circuits électroniques rapides, il est extrêmement important d'une part de ne pas allonger les fronts de montée ou de descente des signaux, d'autre part, sinon de ne pas retarder ces signaux, du moins de ne les retarder que de durées prédéterminées telles que l'on puisse dé-4Qfinir les caractéristiques temporelles réelles des circuits mesurés à partir des 70 18352 2088118 indications des appareils de mesure. En pratique, cela se traduit par le fait que t les signaux circulent entre les appareillages de mesure et le circuit mesuré par des lignes coaxiales. de telles lignes présentent une impédance bien constante, 50 Ohms en général, et ne déforment pas les signaux. Il est cependant nécessaire g pour en tirer profit que la structure coaxiale des lignes se continue jusqu'à une distance aussi faible que possible du circuit mesuré, c'est-à-dire, que les conducteurs de raccordement entre la ligne coaxiale proprement dite et les pattes du circuit intégré soient aussi courts que possible. A l'autre extrémité de ces lignes coaxiales de transmission, le problème ne se pose pas de la même manière car il est facile de prévoir sur les appareils de mesure des bornes qui continuent électriquement la structure coaxiale. Du côté du circuit intégré au contraire, il est extrêmement difficile, si l'on veut laisser le circuit dans son porteur, d'intégrer la patte et le conducteur de raccordement tout au moins dans sa partie immédiatement voisine de celle qui assure le contact avec la patte, dans une struc-,jgture coaxiale. Dans ces conditions, le contact est assuré par l'âme de la ligne coaxiale, qui est privée de son blindage sur une certaine longueur. Cette disposition présente évidemment l'inconvénient que l'impédance n'est pas conservée dans la partie de la ligne de transmission, située entre le composant et le début de la structure coaxiale. On cherche à minimiser la longueur de cette partie en 2Qrapprochant au maximum la structure coaxiale du composant. Mais on est limité dans cette voie par l'encombrement même des câbles coaxiaux qui empêche de les serrer au voisinage du composant électronique. Les pattes de ce dernier sont très rapprochées .les unes des autres, de telle sorte que les câbles trop épais ne peuvent être serrés d'aussi près. 2g En ce qui concerne la définition précise des temps de propagation, une solution simple consiste, pour les lignes assurant la transmission des signaux en provenance du circuit intégré et se dirigeant vers les appareils de mesure, à donner à toutes ces lignes la même longueur. En ce qui concerne les signaux envoyés par les appareils de mesure vers le circuit intégré, une solution connue consiste à 3q1bs appliquer par l'intermédiaire d'une ligne coaxiale sur une borne de contact aussi proche que possible de la patte sur laquelle ces signaux doivent être envoyés, puis à reprendre ces signaux sur cette même borne par une. autre ligne coaxiale qui les conduit vers une borne appropriée de l'appareil de mesure, et qui présente la même longueur que les lignes coaxiales assurant la transmission des ggsignaux en provenance du circuit. De cette manière, on dispose sur l'appareillage de mesure d'une référence de temps permettant de définir les délais apportés par le circuit intégré. Une tête de mesure (fixture board) est une structure qui assure la liaison % entre le circuit intégré dans son porteur et l'appareillage de mesure. Une telle ^pstructure a deux rôles : l'un est de porter les lignes de transition reliant 70 18352 3 2088118 l'appareillage de mesure au circuit intégré, l'autre est d'assurer les connexions. Comme il a déjà été indiqué, ces connexions ne posent pas de problèmes du côté de l'appareillage de mesure mais en posent par contre de délicats du côté du circuit intégré. 5 Une tête de mesure comporte classiquement une plaque rigide à laquelle sont plus ou moins fixés les cables coaxiaux assurant les transmissions en question. Cette plaque porte des organes de contact élastiques permettant d'assurer la connexion entre les ames des câbles coaxiaux et les pattes du circuit mesuré. Ces organes de contact peuvent être par exemple constitués d'un fil élastique qui 10 fléchit lorsque son extrémité vient en contact avec les pattes. Pour que l'élasticité soit suffisante, il est nécessaire de donner à la partie élastique du fil une longueur suffisante. Or, cette longueur constitue, sur .la ligne de transmission, une interruption de la structure coaxiale entraînant une rupture d'impédance et une déformation des signaux. On est donc amené, soit à sacrifier, l'élasticité 15 dans une certaine mesure, c'est-à-dire à risquer de détériorer mécaniquement les pattes du circuit (pression trop forte] ou d'introduire une résistance électrique de contact aléatoire (pression trop faible!), soit à accepter une certaine détérioration des signaux par rupture d'impédance. Un but de la présente invention est de constituer une tête de mesure pour 20 composants électroniques telle que les contacts avec les pattes du circuit mesuré soit assurés d'une façon sûre, sans risque de détérioration des pattes et en minimisant la longueur de la ligne de transition dépourvue de structure coaxiale. La présente invention a pour objet une tête de mesure pour composant électronique muni de plusieurs bornes de connexion, appelées ici "pattes", et main-25 tenues sur une surface sensiblement plane solidaire du composant, tête de mesure comportant une plaque de connexion rigide, qui est considérée ici comme horizontale pour faciliter la description, et à laquelle sont fixées au moins partiellement des lignes de connexion, une première extrémité de chacune de ces lignes étant apte à venir en contact avec l'une desdites pattes lorsque le compo-30sant à mesurer est appliqué contre une face de cette plaque, cette face étant considérée ici comme la face supérieure pour faciliter la description, la deuxième extrémité de cette ligne étant munie d'une prise de raccordement apte à assurer la connexion entre cette ligne et une borne d'un appareil de mesure, tête de mesure caractérisée en ce que ladite plaque de connexion est isolante ®®et percée de trous dans lesquels sont disposées des douilles métalliques, des picots métalliques coulissant verticalement à frottement doux dans ces douilles en dépassant simultanément par le haut et par le bas, des moyens élastiques étant fixés sous ladite plaque de manière à tendre à pousser élastiquement vers le haut l'extrémité inférieure desdits picots, ladite première extrémité de chacune ^desdites lignes étant connectée à l'une desdites douilles, la répartition géomé- 70 18352 4 2088118 brique desdits trous sur ladite plaque correspondant à celle desdites pattes sur ladite surface sensiblement plane, de manière que, par application du composant sur cette plaque dans une position convenable, lesdites pattes viennent s'appuyer sur l'extrémité supérieure desdits picots. 5 A l'aide des figures schématiques 1 à 5 ci-jointes, on va décrire, ci-après, à titre d'exemple non limitatif un mode de mise en oeuvre de la présente invention. Les éléments qui se correspondent sur les diverses figures portent sur celles-ci les mêmes nombres' de référence. La figure 1 représente une vue en perspective éclatée d'un circuit intégré 10 et de son porteur. La figure 2 représente une vue en perspective générale d'une tête de mesure selon la présente invention. La figure 3 représente une vue en perspective éclatée et partielle de la tête de mesure de la figure 2. 15 Les figures 4 et 5 représentent des vues en coupe partielle de.la même tête de mesure selon les plans de coupe 4-4 et. 5-5 de la figure 3. On voit sur la figure 1 un circuit intégré sous la forme d'un bloc parallélé-pipédique de matière plastique 2. C'est à l'intérieur de ce bloc qu'est disposée la plaquette de silicium constituant la partie active du circuit. Ce bloc porte 20 d'une part une colonne de masse 4 constituant une de ses bornes de connexion. On voit d'autre part quatorze bandes métalliques telles que B sortant de ce bloc 2. Ces bandes qui sont souples et qui constituent des bornes de connexion du circuit intégré sont appelées couramment des pattes. Il est cependant bien . évident que la présente invention s'appliquerait tout aussi bien à une tête de 25 mesure destinée à des composants dont les bornes de connexion présenteraient une forme différente. Les pattes telles que 6 sont disposées dans un mime plan. On voit aussi le corps B st le couvercle 10 d'un porteur à l'intérieur duquel est disposé le circuit intégré pendant tout le temps qui sépare la fin de sa fabrication de sa mise en place définitive en vue de son utilisation. Le 30 corps 8 est creusé sur sa face supérieure d'un creux rectangulaire destiné à recevoir le bloc 2. Le fond de ce creux est percé d'une ouverture 11 qui permet lorsque le porteur est fermé d'apercevoir la fa'ce inférieure du bloc 2. Le corps 8 porte deux rangées de reliefs tels que 12 aptes à maintenir les pattes telles que B. Enfin, ce bloc B porte un rebord 14 dans lequel vient s'enclencher élasti-35quement le couvercle 10 au moyen de reliefs tel que 16 portés par ce rebord et coopérant avec des creux tels que 18 portés par le couvercle 10. CE couvercle est percé de deux ouvertures rectangulaires telles que 20 permettant d'accéder aux pattes du composant lorsque celui-ci est enfermé dans le porteur. Une perforation centrale 22 est destinée à permettre le passage de la colonne de masse 4. 40 Deux orifices de guidage de diamètres inégaux 24 et 26 sont percés tant dans le 70 18352 s 2088118 couvercle 10 que dans le corps 8 de part et d'autre du bloc 2. Ils permettent, par coopération avec deux colonnes de guidage convenables d'assurer le positionnement du porteur. Il doit être bien compris que l'ensemble qui vient d'être décrit ne constitue nullement l'invention, celle-ci pouvant s'appliquer tout aussi g bien à d'autres types de porteurs et de composants pourvu que ceux-ci présentent des bornes fixées sur une surface sensiblement plane et sur lesquelles on puisse prendre un contact élastique. L'ensemble des éléments qui viennent d'être décrits, c'est-à-dire le porteur du circuit intégré, sera dorénavant désigné par la référence 30. On voit sur la figure 2 l'ensemble de la tête de mesure, selon l'invention. Cette tête comporte une plaque isolante rigide qui a été précédemment désignée sous l'appellation plaque de connexion, et qui porte la référence 32. Cette plaque est constituée d'une résine isolante et elle est rigide.. Elle est fixée sur une plaque d'aluminiim 34 elle-même fixée à ses deux extrémités sur deux poutres 36 et porte un grand nombre de câbles coaxiaux, par exemple dix-huit, tels que 44, 46 et 48 qui réunissent des éléments de prise de contact non représentés sur la figure 2 à des prises coaxiales fixées au tableau 40, telles que 50, 52 et 54. On voit aussi une ligne d'alimentation 56 réunissant un câble de connexion 32 à une prise 20 58 située sur le même tableau 40. Le rôle des lignes de transmission constituées par les câbles tels que .44, 46 et 48 est de transmettre les signaux des appareillages de mesure qui sont .connectées aux bornes telles que 50, 52 et 54, aux circuits intégrés et réciproquement. Les longueurs de toutes ces lignes sont donc rendues égales, pour les raisons précédemment indiquées. Quant à la ligne 56 sson rôle est 25 d'assurer l'alimentation en courant continu. Comme un circuit intégré nécessite souvent l'emploi de plusieurs tensions de polarisation continues, plusieurs lignes telles que 56 sont normalement utilisées, une seule étant représentée pour simplifier le dessin. Ces lignes d'alimentation ne sont pas nécessairement du type co-axial, et leur longueur peut être a priori quelconque. 30 Sur la figure 2, le porteur 30 est représenté posé sur la plaque de connexion 32. Il apparaît sous la forme d'un bloc parailélépipédique traversé par deux colonnes de guidage 60 et 62, dont seules les extrémités supérieures sont visibles. Les parties médianes de ces colonnes de guidage sont en effet engagées dans les trous 24 et 26 du porteur 30, et leurs extrémités inférieures sont fixées à la 35 plaque 32. Ces colonnes assurent un positionnement correct du porteur 30 par rapport à cette plaque quel que soit le soin apporté à la mise en place de ce porteur. On voit également sur la figure 2, un ensemble presseur destiné à appliquer le porteur 30 contre la face supérieure de la plaque de connexion 32 avec une 40 pression élastique. Cet.ensemble presseur se compose d'une plaque de pression 64 70 18352 6 2088118 çercée de deux orifices verticaux destinés à recevoir les colonnes de guidage 60 et 62 et munie de deux tiges 66 et 68 qui la relient à un support 70. Ces deux tiges sont entourées dans leur partie comprise entre la plaque d'appui 64 et le support 70 par deux ressorts 67 et 69 respectivement. Elles traversent des trous 5 percés dans ce support de telle sorte qu'elles puissent coulisser dans ces trous et elles sont munies de goupilles de façon à ce qu'elles ne puissent pas se séparer de ce support. L'ensemble ainsi réalisé constitue un moyen de liaison élastique entre le support 70 et la plaque de pression 64. Le support 70 peut pivoter autour d'un axe horizontal porté par un levier 72 muni d'une manette 74 qui permet 10 de le faire osciller autour d'un axe horizontal porté par un bloc d'articulation 76. Si le levier 72 est dans sa position basse, c'est-à-dire sensiblement horizontal, la plaque de pression 64 presse le porteur 30 contre la plaque ae connexion 32, la position de cette plaque de pression étant alors celle qui est représentée en trait tirsté. Si au contraire le levier 72 est dans sa position haute,, il est 15 possible, soit d'enlever le porteur 30, soit de mettre le porteur 30 dans sa position représentée sur la figure s'il n'y était pas précédemment. Le bloc d'articulation 76 est muni d'un ressort 78 tendant à redresser le levier'72, c'est-à-dire à le mettre dans sa position haute. On voit également sur la figure un bloc de verrouillage 80 qui comporte une 20 tige horizontale 82 qui est poussée par un ressort non représenté dans la position représentée sur la figure. Cette tige 82 peut être tirée à la main pour l'écarter de cette position vers la gauche et le bas de la figure. L'extrémité de cette tige 82 est biseautée à son extrémité située vers le haut et à droite de la figure de telle sorte que si à l'aide de la manette 74 on abaisse le levier 72, ce 25 levier vienne s'appuyer sur la face biseautée de la tige 82 et la repousse vers le bas et à gauche de la figure de sorte qu'il puisse s'engager au-dessous de cette tige. Lorsqu'il est engagé au-dessous, cette tige revient sous l'action du ressort déjà mentionné dans sa position .représenté sur la figure et verrouille le levier 72 dans sa position basse. 30 Lin tel dispositif permet très simplement de mettre en place un porteur tel que 30. Le levier 72 étant maintenu dans sa position haute par le ressort 78, il suffit d'enfiler ce porteur sur les colonnes de'guidage 60 et 62 puis, d'abaisser en un seul mouvement le levier 72 jusqu'à sa position basse à laquelle il se verrouille automatiquement. Si au contraire, on veut enlever le porteur 30, il suffit 35 de tirer sur la tige 82 vers le bas et à gauche, ce qui déverrouille le levier 72 et lui permet, sous l'action du ressort 78, de remonter tout seul dans sa position haute ; il est alors facile d'enlever le porteur 30. Un point important est que le porteur 30 subit une pression élastique assurée par des ressorts 67 et 69 qui ont une longueur suffisante pour que la force exercée sur le porteur 30 reste dans des 40limites convenables, c'est-à-dire suffisamment faibles pour qu'il n'existe aucun 70 18352 7 2088118 risque de détérioration du porteur 30 ou des pattes telles que B, tout en étant suffisamment forte pour que les contacts électriques soient convenablement assurés. La figure 3 permet de voir d'une façon plus détaillée les éléments qui sont situés sur la plaquette de connexion 32. On y voit, outre les colonnes de guidage g B0 et 62 déjà mentionnées, un certain nombre de picots tels que le picot 90. Sur cette figure, la constitution de ces picots n'est pas visible en détail mais il doit être compris qu'ils peuvent se déplacer verticalement élastiquement, de telle sorte que lorsque le porteur 30 est appliqué contre la plaque 32 ces picots viennent en contact avec les pattes de connexion et s'enfoncent sous la pression 10 exercée par ces pattes. Ceci contribue à éviter de détériorer ces pattes tout en assurant un bon contact électrique. Bien entendu, la disposition de ces picots correspond à celle des pattes de manière que chacune de ces pattes corresponde à un picot. Ces picots coulissent dans des douilles qui sont situées dans la plaque 32 mais qui sont peu visibles sur la figure 3. Ces douilles sont entourées d'une 15 flaque de métal de soudure qui permet de les connecter à l'extrémité du conducteur axial d'une ou de plusieurs lignes telles que 44, 46 ou 40. On réalise ces lignes sous la forme de cibles du type dit ."micro-coaxial" dont le diamètre extérieur est de 0,9 mm. Cette petite valeur de ce diamètre permet une proximité particulièrement poussée entre les picots tels que 90 et la partie des lignes qui concernent une 20 structure coaxiale. En effet, ces picots sont disposés à très petite distance les uns des autres en raison du faible écartement des pattes . Pour permettre plus aisément l'implantation des picots et leur connexion aux lignes telles que 44, 4B et 48, des picots sont disposés non pas en ligne, mais en quinconce, c'est-à-dire que certains de ces picots sont plus proches du bloc 2 que d'autres. Comme il a été 25 déjà dit précédenment, toutes les connexions extérieures du composant semi-conducteur mesuré ne sont pas réalisées par des lignes telles que 44, 4B et 48. Par exemple, certains picots tel que le picot 92 sont utilisés uniquement pour amener au composant une tension de polarisation continue. De mime, la colonne de masse 4 du composant est portée à un potentiel continu par l'intermédiaire d'une douille 94 30 de diamètre considérablement plus grand que celui des douilles qui entoure les picots tels que 90, cette douille 94 occupant une position centrale. Pour connecter la douille 94 ou les douilles correspondant aux picots tels que 92 il serait certes possible d'utiliser des lignes du même type que les lignes 44, 4B et 48. Cependant, il apparaît plus aisé de transmettre les courants continus par l'inter-35 médiaire de métallisations portées par la plaque de connexion 32. Cette plaque est en effet du type couramment utilisé pour réaliser des circuits imprimés. C'est pourquoi, on voit sur la figure 3, trois métallisations plus ou moins concentriques et qui partent les références 96, 98 et 100. La métallisation 96 permet de connecter la douille 94. Elle se poursuit en effet jusqu'à cette douille. La 40 métallisation 98 permet d'alimenter le picot 92. La métallisation 100 joue enfin 70 18352 B 2088118 le rôle d^une masse générale. Les distances des bandes subsistant entre ces métallisations sont choisies suffisamment faibles pour que l'impédance des lignes qu'elles constituent soit suffisamment faible. Ces métallisations sont d'autre part interconnectées en haute fréquence par des capacités telles que représentées 5 symboliquement en 102, d'une valeur de 10 000 Picofarads par exemple, compte tenu des très hautes fréquences utilisées. Les métallisations 96 et 9B sont reliées par des lignes d'alimentation te.lles que 56 à des prises telles que 58 portées par le tableau 40. Les figures 4 et 5 permettent de mieux voir la constitution des picots tels 10 qUe 90 ou 92. On voit sur la figure 4 que le picot .90 est constitué d'une partie cylindrique allongée, arrondie à l'extrémité supérieure et munie à son extrémité inférieure d'une embase telle que 110. Cette embase s'appuie sur une plaque de caoutchouc 112 qui est elle-même maintenue contre la plaque de connexion 32 par une plaque d'appui 114 constituée d'aluminium par exemple et fixée à la plaque 15 34. C'est dans cette plaque d'appui 114 que sont fixées les colonnes de guidage 60 et 62. La plaque de caoutchouc 112 tend à repousser le picot tel que 90 vers le haut. Dans l'exemple décrit, son épaisseur est sensiblement égale à celle de la plaque 34 et il est bien évident que des épaisseurs différentes pourraient être choisies.. Il est également évident que d'autres moyens pour repousser élastique-20ment les picots 90 vers le haut pourraient être utilisés. Par exemple des ressorts individuels s'appuyant sur la plaque 114. Chaque picot tel que 90 coulisse à frottement doux dans.une douille telle que 116 qui est fixée dans un trou percé dans la plaque de connexion 32. Cette douille assure le contact électrique entre le picot 90 et une flaque de métal de soudure étalée autour de cette douille sur 25 la face supérieure de la plaque de connexion 32. Comme il a été déjà indiqué à l'occasion de la description de la figure 3, c'est sur une telle flaque que sont soudées les âmes des conducteurs coaxiaux tels que 44, 46 et 48. Sur la partie de gauche de la figure 4, le porteur 30 est représenté dans une position où il est simplement engagé sur les colonnes de guidage 60 et 62. Par contre, sur la-partie 30 (jg droite de la même figure, le porteur 30 est représenté appliqué contre la plaque de connexion 32 par la plaque de pression 64. C'est sur cette moitié de droite de la figure 4 que l'on voit les pattes telles que 6 s'appuyer sur l'extrémité supérieure arrondie des picots tels que 90 et où l'on voit également l'embase telle que 110 de ces picots enfoncée dans la plaque de caoutchouc 112. La figure 5 permet de voir en outre la position de la colonne de masse 4 dans la douille 94. La tête de mesure qui vient d'être décrite est particulièrement simple quant à sa construction et particulièrement efficace quant à sa mise en oeuvre. En effet, les longueurs des lignes de transmission qui ne sont pas constituées par une struc- 40 ture coaxiale sont réduites au minimum grâce d'une part à l'utilisation de câbles 70 18352 9 2088118 coaxiaux de petit diamètre, d'autre part, les picots qui assurent la connexion peuvent être placés très près du point où les pattes telles que B sortent du bloc tel que 2, ce qui réduit encore la longueur de la partie non adaptée de la ligne transmission. Il est d'autre part bien évident que la réalisation de picots 5 tels que 90 coulissant à travers des douilles telles que 116 fixées dans des trous percés dans une plaque isolante telle que 32 ne présente aucune difficulté. En effet, on connaît de telles douilles et de tels picots qui sont généralement destinés non pas à assurer des contacts avec pression élastique mais à constituer des fiches de connexion mâles et femelles séparables. Selon l'invention, ces 10 deux éléments sont montés de façon inséparable mais coulissants. Il est évidemment favorable quant au prix de revient de la tête de mes.ure qu'elle comporte, comme élément de contact élastique des éléments produits en grande série comme éléments de connexion amovibles. D'autre part, l'organe de rappel élastique, constitué, par la plaque de caoutchouc 112 appuyée sur-la plaque d'appui. 114 présente un prix-. 15 de revient très faible et une grande facilité de mise en oeuvre.-Enfin, et quoi-r qu'une double élasticité ne soit pas strictement nécessaire, il est favorable que non seulement les picots tels que 90 s'appuient élastiquement sur les pattes telles que B mais encore que l'ensemble du porteur 30 soit appliqué lui-même d'une manière élastique contre la plaque de connexion 32. L'utilisation de la tête de 2omeSLire selon l'invention est extrêmement simple et pour peu que le fonctionnement des appareils de mesure soit rendu automatique, elles peuvent être confiées à un personnel peu qualifié. Les porteurs sont en effet peu fragiles et il est extrêmement simple de les enfiler sur des colonnes de guidage telles que 60 et 62, toute possibilité d'erreur étant évitée par les diamètres différents de ces co-25 lonnes et des orifices tels que 24 et 26 leur correspondant dans le porteur 30. Un tel personnel peut d'autre part sans difficulté manier le levier 72, qui est muni d'une butée vers le bas constituée par le bloc de verrouillage 00. En raison de la présence des ressorts 67 et 69 et de la longueur de ces ressorts et des tiges B6 et 60, un abaissement brutal du levier 72 ne risque d'entraîner aucune 30détérioration, soit de la tête de mesure, soit du porteur. Enfin, il est bien évident que cette tête de mesure peut être utilisée sans aucun changement pour tous les circuits intégrés équivalents quant à leur aspect extérieur. Seule dans ce cas varie la séquence des opérations effectuées par l'appareillage de mesure. Dans le cas où l'on veut adapter la tête de mesure à des circuits intégrés dont la 35présentation extérieure serait différente, pourvu que les conditions précédemment énoncées soient satisfaites, c'est-à-dire que les bornes extérieures des circuits intégrés se présentent d'une façon analogue à celle qui a été envisagée, il est facile de remplacer la plaque de connexion telle que 32 par une autre plaque munie de picots et de douilles répartis selon une disposition nouvelle correspondant à 401a disposition des bornes de connexion du nouveau circuit intégré. 70 18352 ™ 2088118 Bien entendu, quoique les dispositions qui ont été décrites pour la mise en oeuvre de l'invention aient été considérées comme avantageuses dans une réalisation particulière, elles pourraient être remplacées, sans sortir du cadre de cette invention, par d'autres dispositions produisant les mêmes effets techniques. 70 18352 2088118 REVENDICATIONS 1/- Tête de mesure pour composants électroniques munis de plusieurs bornes extérieures de connexion, appelées ici pattes et maintenues sur une surface sensiblement plane solidaire du composant, tête de mesure comportant une plaque de 5 connexion rigide qui est considérée ici comme horizontale pour faciliter la description, et à laquelle sont fixées au moins partiellement des lignes de connexion à impédance constante, une première extrémité de chacune de ces lignes étant apte à venir en contact avec l'une desdites pattes lorsque le composant à mesurer est appliqué contre une face de cette plaque, cette face étant considérée ici comme la 10 face supérieure pour faciliter la description, la deuxième extrémité de cette ligne étant munie d'une prise de raccordement apte à assurer la connexion de cette patte et une borne d'un appareil de mesure, tête de mesure caractérisée en ce que ladite plaque de connexion est isolante et percée de trous dans lesquels sont disposés des douilles métalliques, des picots métalliques coulissant verticalement à frot-15tement doux dans ces douilles en dépassant simultanément par le haut et par le bas, des moyens élastiques étant fixés sous ladite plaque de manière à tendre à pousser élastiquement vers le haut l'extrémité inférieure de ces picots, ladite première extrémité de chacune desdites lignes étant connectée à l'une desdites douilles, la répartition géométrique desdits trous sur ladite plaque de connexion 20 correspondant à celle desdites pattes sur ladite surface sensiblement plane de manière que par application du composant sur ladite plaque dans uns position convenable, lesdites pattes viennent s'appuyer sur les extrémités supérieures desdits picots. 2/- Tête de mesure selon la revendication 1, caractérisée en ce que lesdits moyens 25élastiques sont constitués par une couche de matériau élastomère appliqué sous la face inférieure de ladite plaque de connexion par une plaque d'appui rigide fixée au-dessous de cette plaque de connexion de manière que les extrémités inférieures desdits picots s'appuient sur cette couche. 3/- Tite de mesure selon la revendication 2, caractérisée en ce que l'extrémité 30inférieure des picots est munie d'une embase plus large que le corps de ces picots, cette embase prenant appui sur ladite couche. 4/- Tête de mesure selon la revendication 1, caractérisée en ce que une face de ladite plaque de connexion est en partie recouverte de couches métalliques en contact avec certaines desdites douilles, ces couches métalliques étant inter-35connectées entre elles par des condensateurs et étant reliées à des sources de tension électrique continue. 5/- Tête de mesure selon la revendication 1, caractérisée en ce que ladite plaque de connexion porte des guides faisant saillie sur sa face supérieure et propres à guider le composant à mesurer jusqu'à ladite position convenable. 406/- Tête de mesure selon la revendication 1, caractérisée en ce que au-dessus de 70 18352 12 2088118 ladite plaque de connexion est fixé un dispositiT de pression apte h coi,server deux positions stables, une position haute, et une position basse, ce dispositif de pression lorsqu'il est dans sa position basse appliquant élastiquement le composant mesuré contre ladite plaque de connexion cians ladite position convenable, .g 7/- Tête de mesure sej.on la revendication b, caractérisée en ce que ledit, dispositif de pression est constitué par un levier oscillant entre une position haute et une position basse autour d'un axe sensiblement horizontal solidaire de ladite plaque de connexion, ce levier étant mun-1' de moyens tendant à l'amener dans sa position haute et de moyens de verrouillage aptes à le verrouiller dans 10 sa position basse lorsqu'il y.a été amené par action manuelle, ce levier, partant en outrg un axe horizontal auteur duquel oscilla un .support, une.plaque.de pression étant suspendue-à ce support par deux tiges susceptibles de coulisser et munie de ressorts, de manière que la distance entre cette plaque d'appui et ce support puisse varier &ntre deux limites et que lesdits ressorts tendent à éloigner 15 cette plaque de pression de ce support. 20 25 30 35 40