Brevet FR2081941A1 — publié le 19711210

L'invention a pour objet un procédé de mesure et de représentation digitales d'une vitesse de changement de fréquence d'un train d'impulsions. Une application avantageuse d'un tel procédé réside dans la mesure de l'épaisseur et de la vitesse de formation de films déposés en phase vapeur dans une installation d'évaporation sous vide. Un procédé connu pour contrôler l'épaisseur de matériau déposé sur un support consiste à mesurer le changement de fréquence naturelle d'un cristal de quartz qui se produit lorsque la masse du cristal augmente, c'est-à-dire lorsqu'un film de vapeur est déposé sur le cristal. Le problème principal résultant de l'utilisation d'un cristal de quartz de cette manière est la mesure,dans les conditions de fonctionnement, des changements de fréquence relativement faibles qui se produisent. Une technique connue consiste à comparer la fréquence d'un oscillateur commandé par un tel cristal de contrôle à la fréquence d'un second oscillateur et de dériver un signal différence, ou fréquence de sondage, qui fournit une mesure des faibles changements de la fréquence du cristal de contrôle pendant le dépôt du film. Le choix dt second oscillateur présente certains problèmes. Par exemple, si on utilise un oscillateur de référence à cristal de quartz à fréquence fixe, après une opération de fonctionnement, la fréquence de contrôle aura changé en raison de la constitution du film déposé. Avant le connenment de l'opération sui vante,la lecture de la fréquence existantedoit être réduite à zéro si l'organe de sortie d'informatio doit représenter de fréquence l'augmentation/, qui est proportionnelle à l'épaisseur de film déposée. Ainsi, l'appareil doit être démonté, le cristal de contrôle nettoyé, et l'appareil remonté.Ceci prend du temps et limite le fonctionnement en continu de l'installation. Si l'on utilise un oscillateur à fréquence variable comme oscillateur de référence, on s'aperçoit que, bien qu'un avanta- ge soit obtenu par la possibilité de déplacer le "zéro" de l'os cillateur de référence avant chaque utilisation, un inconvénient résulte da fait que lWosíllateur variable n'est pas assez stable pour produire un signal constant d'une précision suffisante Il est possible, en utilisant la présente invention, de bénéficier,d'un procédé et d'un dispositif de mesure de l'6pais- seur et de la vitesse de formation d'un film déposé qui pallient les inconvénients précédents. Â cet effet l'invention a pour objet un procédé de mesure et de représentation digitales d'un changement ou d'une vitesse de changement de fréquence d'un train d'impulsions caractérisé par le fait qu'on transmet le train d'impulsions à une porte qu'on fait ouvrir la porte à des intervalles de fréquence prédéterminée, qu'on transmet les impulsions traversant la porte à une mémoire pour une période d' échantillonnage prédéterminée, qu'on compose les impulsions en mémoire aux impulsions traversant la porte pendant une période d' échantillonnage subséquente et qu'on représente digitalement la différence entre les impulsions mémorisées et celles de la période d'échantillonage subséquente. L'invention a également pour objet un dispositif pour la mesure et la représentation digitales d'un changement ou d'une vitesse de changement de fréquence d'un train d'impulsions, ca ractérisé par le fait qu'il comprend une porte, une minuterie agencée pour ouvrir et fermer la porte à intervalles de fréquen- ce prédéterminée pour une période prédéterminée d'échantillonns- ge, des moyens pour mettre en mémoire les impulsions traversant la porte et pour comparer les impulsions mémorisées aux impulsions traversant la porte pendant une période d'bohantil- lonnage subséquente, et des moyens d'affichage pour représenter digitalement la différence entre les impulsions mémorisées et celles de la période d'échantillonnage subséquente. Dans le but de faire comprendre clairement 1'Invention, diverses formes de réalisation en seront décrites ci-après à titre d'exemple, en se référant au dessin annexé, sur lequel - la figure 1 est un schéma de circuit par blocs montrant le montage des composants de base d'un appareil propre à l'application du procédé - la figure 2 est un schéma du fonctionnement séquentiel d'impulsions du circuit - la figure 3 est analogue à la figure 1, pour une autre forme de réalisation - la figure 4 est analogue à la figure 1, pour une autre forme encore de réalisation. EA se référant à la figure 1, on voit qu'un premier os cillateur à cristal à fréquence fixe (appelé ci-après ncrist21 de contrôle") est monté dans une chambre de dépôt le long dun support à recouvrir. La sortie a du cristal de contrôle est connectée à un mélangeur 10 auquel est également connectée, sur son entrée, la sortie b d'un second oscillateur à cristal à fréquence fixe monté à l'extérieur de la chambre de dépôt. Ce second oscillateur sera appelé ci-après "cristal de référence. La sortie du mélangeur 10, qui fournit à chaque instant la différence entre les fréquences des deux cristaux, est fournie à une porte Il qui est commandée par une minuterie 12 qui ouvre la porte 11 pendant une période de, par exemple, une seconde pendant le temps de recyclage (appelé ci-après "cycle") de, par exemple, cinq-secondes, ceci constituant le cycle efficace du système. La minuterie 12, dans ce cas, est une minuterie à cristal qui peut être déclenchée soit manuellement, soit par oscillateur à impulsions d'horloge. La sortie de la porte Il est connectée à un compteur à décade principale 13 ainsi qu'à un comparateur 14, par linter médiaire du compteur à décade et d'un conducteur 13a. La sortie de la porte 11 est également connectée à une porte 15 par un conducteur 13b. Le compteur 13 est relié à des bascules à verrouillage X et 3 qui sont reliées sélectivement au comparateur 14 à travers une porte OU 16. Le comparateur 14 est relié à la porte 15 dont la sortie est fournie à un compteur d'excès 17 qui actionne une unité d'affichage numérique 18. Une unité 19 comprenant une série d'interrupteurs à roues moletées représentant, par exemple, les unités, les dizaines, les centaines et les milliers peut être préréglée pour obtenir un signal de contrôle lorsque la limite préréglée a été dépassée, comme on va le décrire. La minuterie à cristal 12 est connectée au compteur à décade 13 et à la bascule Â ainsi que le compteur d'excès 17 et l'unité d'affichage 18 dans le but de mettre à jour et de rétablir ces composants comme on va le décrire. La bascule B est mise à jour seulement une fois au début et une impulsion de rétablissement manuelle est nécessaire avant qu'elle puisse être mise à jour à nouveau. L'impulsion de rétablissement manuelle vide tous les bascules et compteurs. Donc, en fonctionnement, avant dépôt, la porte OU 16 met en circuit la bascule 3 avec le comparateur 14. Le cristal de contrôle et le cristal de référence oscillent.en fournissant une sortie différentielle du mélangeur 10. La minuterie 12 ouvre la porte pour une seconde à chaque cycle de cinq secondes pour permettre à un certain nombre d'impulsions d'atteindre le compteur à décade 13, ces impulsions étant mémorisées dans la bascule B et apparaissent au comparateur 14. Le même nombre d'impulsions apparaît également sur la ligne 13a. La porte 15 est ouverte lorsque le comparateur 14 voit le même nombre dlim- pulsions apparaître respectivement de la bascule B et du conducteur 13a.Ainsi, la porte 15 est ouverte mais il n' a pas a'impulsions en excès provenant de la porte 11; de ce fait, la porte 15 ne laisse passer aucun signal et l'unité d'affichage lit donc zéro. L'unité d'affichage est mise à jour une fois au cours de chaque cycle de cinq secondes et continuera de lire zéro jusqutà ce que le nombre d'impulsions provenant de la porte 11 augmente. Dans la description, on supposera que le nombre d1impul- sions par seconde avant dépôt est x et que, aprbs le dépôt, x + 10 impulsions par seconde sortent de la porte 11. Donc, après dépôt, le cristal de contrôle montre une fréquence d'oscillation réduite à cause de l'augmentation de sa masse, et pour chaque seconde sur cinq pendant laquelle la porte 11 est ouverte, x + 10 impulsions, apparaissent sur la ligne 13a. Â ce moment, x impulsions par seconde sont toujours mémorisées dans la bascule 13 et, donc, la porte 15 est ouverte lorsque le comparateur a analysé x impulsions sur la ligne 13a, les dix impulsions restantes étant autorisées à passer sur la ligne 13b et à travers la porte 15 pour- être mémorisées temporairement dans le compteur d'excès 17. L'unité d'affichage 18 est mise à jour à la fin de lapériode d'échantillonnage d'une seconde et, en conséquence, le nombre 10 apparaît numériquement sur l'unité 18 pendant les quatre secondes restantes du cycle. Après mise à jour de l'unité d'affichage 18, le compteur de déformation est rétabli pour être prêt à. recevoir le compte suivant provenant de la porte 15. Pour remettre le système à zéro, on.appuie sur un bouton de remise à zéro, ce qui produit une impulsion de rétablissement manuelle qui vide toutes les bascules et compteurs. La première lecture après le rétablissement manuel met à jour la bascule 3 de sorte qu'elle mémorise ensuite z + 10 impulsions par seconde. Donc, après un second dépôt, une autre lecture peut être effectuée. De cette manière, l'épaisseur d'un revêtement appliqué sur le cristal de contrôle et, donc, sur le support, dans la chambre de dépôt peut être lue sous forme d'un nombre équivalent de réduction d'impulsions par seconde de la fréquence d'oscillation du cristal de contrôle, et l'ensemble du système peut être rétabli, o'est-à-dire que la référence peut être redécalée après chaque opération. On notera que la fréquence de battement augmente du même nombre d'impulsions par seconde que celui dont diminue la fréquence du cristal de contrôle. On conçoit également que le nombre apparaissant sur l'unité d'affichage 18 peut être conçu de manière à représenter directement l'épaisseur du dépôt. On a établi que le changement de la fréquence de fonctionnement du cristal de contrôle après dépôt est proportionnel à 11 épaisseur du film déposé stip.. le cristal. Donc : changement de fréquence r épaisseur du film xK où E est une constante. Le changement de fréquence du cristal de contrôlé est une fonction de la surface du film déposé. Donc, si, pour un matériau de revêtement particulier, la surface est choisie de telle manière que, lorsque ladite surface de revêtement est appliquée au cristal, E soit égal à l'unité, en masquant convenablement le cristal.avant le dépôt et en appliquant la surface choisie de revêtement Kn 1 et changement de fréquence = épaisseur du film, et on obtient une lecture directe de l'épaisseur du film obtenue. En se référant à la figure 2, on voit-que, pendant cha- que cycle de cinq secondes, la minuterie 12 excite la porte 11 pour l'ouvrir pour une période d'échantillonnage d'une se conde à la fin de laquelle, lorsque la porte se referme, la bascule À est mise à jour pour mémoriser temporairement le compte d'impulsions dans le compteur à décade 13 et l'unité d'affichage 18 est mise à jour pour mémoriser et afficher Le compte dans le compteur de déformation 17. Immédiatement après, le compteur à décade et le compteur de déformation sont vidés ou remis à zéro pour être prêts à recevoir le compte te d'impulsions du cycle suivant. Si le dépôt a lieu pendant une certaine période de temps, la vitesse d'accroissement de l'épaisseur du film peut être déterminée comme suit La porte OU 16.est commutée pour connecteur la bascule Â au comparateur 14. On suppose que, avant que le dépôt commence, le nombre d'impulsions par seconde apparaissant à la porte 11 pour chaque période d'échantillonnage d'une seconde pendant chaque cycle de cinq secondes est x.Lorsque la porte 11 se ferme à la fin de la première période d' échantillonnage, x im- pulsions sont passées dans le compteur à décade 13 et dans le comparateur 14 le long de la ligne 13a. 1 la fin. de la période d'échantillonnage,.la.bascule A est mise à jour et Z impulsions sont reçues du compteur 13. Donc, les deux séries d'impulssions apparaissant au comparateur 14 sont égales en nombre et la porte 15 est ouverte. Il nty a pas de nombre excédent d'impulsions, de sorte que l'unité d'affichage 18 lit zéro. Si le dépôt est ensuite commencé et que la vitesse de dépôt est telle qu'elle donne un accroissement de oient impulsions par seconde pour chaque cycle, à la fin de la période suivante d'échantillonnage, (x + 100) impulsions seront passées dans le compteur à décade 13 et dans le comparateur 14. Ce dernier a mémorisé le nombre nominal Z d'impulsions apparaissant toujours dans la bascule A et, après que x impulsions sont apparues sur la ligne 13a, la porte 15 s'ouvre et les cent impulsions restantes passent dans le compteur d'excès 17.Une nouvelle fois, l'unité d'affichage est mise à jour pour lire 100, la bascule À est mise à jour pour recevoir les (t + 200) impulsions du compteur à décade 13 et ce dernier, ainsi que le compteur d'excès, est rétabli. On voit donc que l'unité d'affichage, à chaque instt, lit donc que l'unité d'affichage, à chaque ainsi tant, lit la différence entre le nombre d'impulsions prises dans le dernier échantillonnage et le nombre pris dans l'avantdernier échantillonnage, c' est-à-dire que la lecture fournit l'augmentation d'impulsions par seconde par cycle de cinq setondes, ou, par un choix convenable de la période d'Ochantil- lonnage et de la durée du cycle, la lecture peut indiquer, directement le changement de fréquence par seconde. La fréquence est proportionnelle à l'épaisseur et la lecture est donc équivalente à l'augmentation d'épaisseur par seconde. On voit donc que, si l'épaisseur augmente linéairement, le nombre apparaissant sur l'unité d'affichage restera le même jusqu'à ce que le dépôt cesse. Les durées d'échantillonnage et de cycle mentionnéeX sont bien entendu données à titre d'exemples exclusivement. L'unité d'interrupteurs à roues moletées 19 peut être utilisée lorsque le système doit mesurer l'épaisseur aussi bien que l'accroissement d'épaisseur lorsque le signal provenant du compteur d'excès 17 dépasse la valeur désirée réglée sur l'unité 19, cette dernière émet un signal de sortie qui peut être utilisé pour commander, par exemple, le fonctionnement de la chambre de dépôt de telle sorte qu'un degré désiré de vitesse de dépôt peut être pré-réglé et commandé. On comprend que la minuterie 12 peut être de tout type convenable, et peut être prévue pour un déclenchement par horloge ou manuel. De plus, la durée de cycle de cinq secondes, la durée d'échantillonnage d'une seconde, et les valeurs 10, 100, etc.., données ici,le sont exclusivement à titre d'exemple uniquement et ont été choisies pour la simplicité de la description. Le montage décrit ne fonctionnera que Si la fréquence d'entrée augmente par rapport au temps. Le dépôt sur le cristal de contrôle augmente la masse du cristal et sa fréquence, de ce fait, diminue. Il est donc nécessaire, comme on l'a décrit, de générer une fréquence de "référence", à laquelle on compare la fréquence de contrôle. La différence entre les deux fréquences est une fréquence croissante et c'est cette:.fréquence différen- ce qui est fournie au montage. Il est avantageux d'avoir un montage fonctionnant sur une fréquence d'entrée décroissante, car on peut-supprimer l'oscillateur de "référence" et le mélangeur produisant la fréquence différence. Les systèmes représentés aux figures 3 et 4 fonctionnent avec une fréquence d'entrée décroissante. Dans ces deux figures, les mêmes chiffres de référence sont utilisés pour indiquer des parties correspondant à celles de la figure la En se référant à la figure 3, la sortie du cristal de contrôle est fournie directement à la porte 11. Le montage est le même qu'à la figure 1-entre la porte 17 et-la porte OU 16. La sortie de la porte OU 16, cependant, est fournie à une unité arithmétique 30 qui reçoit également la sortie du compteur principal à décade.La sortie de unité 30 est fournie à une bascule à verrouillage 31 et la sortie de la bascule 31 à l'unité d'affichage 18. Le fonctionnement du circuit est le suivant. Ia porte 11 est ouverte pour une période d'échantillonnage d'une seconde pendant laquelle les impulsions sont fournies au compteur prin cipal à décade 13. À la suite de la fermeture de la porte, la bascule À est mise à jour et la sortie du compteur apparaît à la sortie de la bascule et ensuite le compteur principal à décade est rétabli. La porte 11 est fermée pendant une seconde et ensuite ouverte à nouveau pendant une nouvelle période d'é chantillonnage d'une seconde. Pendant la seconde période d'é chantillonnagei des impulsions sont à nouveau fournies au comp teur principal à décade 13. Lorsque la porte OU 16 est commutée pour transmettre à sa sortie la sortie de la bascule o, la sortie de la porte OU 16 à la fin de la seconde période d' échantillonnage sera le compte de fréquence pendant la première période d'échantillonnage. Cette sortie (qu'on appellera b) est fournie à l'unité arithmé tique 30 et, simultanément, la sortie du compteur 13 est également fournie directement à l'unité 30. Si on appelle a le compte de fréquence pendant la seconde période d'échantillonnage, l'unité 30 produit un signal de sortie (b-a). Le signal, qui met à jour la bascule À, met également à jour la bascule 31 et (b-a) est donc affiché sur l'unité d'affichage 18. Ceci est un processus continu et l'affichage 18 représente une lecture équivalente à une vitesse de changement de fréquence. Celle-ci peut, comme dans la forme de réalisation précédente, être adap tée pour représenter une vitesse d'augmentation d'épaisseur. Si on désire représenter l'augmentation d'épaisseur pen dant une certaine période, la porte OU 16 est commutée pour transmettre la sortie de la bascule B. Au contraire de la bas cule A, la bascule 3 n'est mise à jour qu'une seule fois pen dant une mériode de mesure, exactement au début de cette pério de, sa sortie représentant toujours la fréquence initiale de contrôle. L'additionneur 30, la bascule 31 et l'affichage 18 fonctionnent comme précédemment avec la différence que l'affi- chage montre une lecture représentant l'accroissement total d'épaisseur au lieu de la vitesse d'accroissement de l'épais- seur. En se référant à la figure 4, la sortie de la porte Il est connectée à un circuit 40 additionneur et soustracteur. La sortie de ce circuit 40 est connectée à une bascule 41 dont la sortie est connectée à un affichage 18. La sortie du circuit 40 est également connectée à une bascule préréglée 42 et la sortie de la bascule 42 à une porte OU 43. Les périodes d'échantillonnage et la-fréquence sont les mêmes que dans la réalisation de la figure 3. Pendant la première ou la deuxième période d'échantillonnage, un certain nombre d'impulsions prove nient du cristal de contrôle peuvent traverser la porte 11 et entrer dans le circuit 40 qui additionne le nombre d'impulsions. Pendant la période d'échantillonnage suivante, le circuit 40 soustrait les impulsions passant à travers la porte Il du total compté par lé circuit*40 pendant la première période d'Ochan- tillonnage. Comme la fréquence du cristal de contrôle décroît avec le temps, il y aura une différence positive entre les deux comptes. Un signal de mise à jour à la bascule 41 transmet cette différence à la sortie de la bascule 41 et.la différence est affichée sur l'affichage 18, et un signal de rétablissement au circuit 40 ramène ce circuit à zéro. Ceci également est un processus continu et l'affichage 18 montre unie lecture équivalente à une vitesse de changement de fréquence proportionnelle au changement d'épaisseur. Si on désire représenter ltaugmentation d'épaisseur pendant une certaine période, la porte OU est commutée pour connecter la sortie de la bascule préréglée 42 au circuit 40. La bascule préréglée mémorise l'addition pendant la première période d'échantillonnage d'une seconde. Lorsque cette quantité est commutée au circuit 40 à la fin d'une certaine période, la soustraction dans le circuit 40 produira une -différence qui est égale au changement total de fréquence pendant la période, et, donc, proportionnelle au changement total d'epaisseur. Àu lieu d'inclure la porte 43 et la bascule 42 pour obtenir une lecture d'épaisseur totale, la minuterie 12 peut etre réglée pour qu'un signal de rétablissement ne -soit émis qu'après la fin de la période pendant laquelle l'épaisseur doit être mesurée. Ceci signifie que des comptes différence sur le circuit 40 s'accumuleront et l'affichage 18 montrera toeujour le changement total de fréquence. Bezsystème décrit fournit la mesure du changement de fréquence d'un oscillateur à cristal à fréquence fixée nomimalen ment, ce changement étant dû au dépôt, et la mesure est effec tuée digitalement en utilisant des compteurs, des portes, des bascules à verrouillage et des comparateurs. L'ajustement du zéro, ou son équivalent, après chaque dépôt, est obtenu en mémorisant un compte initial d'impulsions, en le comparant à un compte arrivant et en affichant l'excédent sur le compteur d'affichage. De plus, la vitesse de dépôt est établie/par diffbrentia- tion comme dans les systèmes connus, mais par deux comptages d'impulsions faits à des temps séparés, et en affichant la dif référence, du fait que la relation entre l'épaisseur du revêtement et la fréquence d'oscillation est linéaire à un haut degré de précision pour des faibles changements de fréquence. R E V E N D 10 À T I O N S 1.- Procédé de mesure et de représentation digitales d'un changement ou d'une vitesse de changement de fréquence d'un train d'impulsions, caractérisé par le fait qu'on transmet le train d'impulsions à une porte, qu'on fait ouvrir la porte à des intervalles de fréquence prédéterminée, qu'on transmet les impulsions traversant la porte à une mémoire pour une période d'échantillonnage prédéterminée, qu'on compare les impulsions en mémoire aux impulsions traversant la porte pendant une période d'échantillonnage subséquente et mulon représente digitalement la différence entre les impulsions mémorisées et celles de la période d'échantillonnage subséquente. 2.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé par le fait que les impulsions sont fournies à la mémoire par l'intermédiaire d'un compteur à décade. 3.- Procédé selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé par le fait que la mémoire comprend un organe de mémoire qui est mis à jour une fois pour présenter à sa sortie le nombre initial d'impulsions passant à travers la porte pendant la première période d'échantillonnage. 4.- Procédé selon la revendication 3, caractérisé par le fait que la mémoire comprend un autre organe de mémoire qui est mis à jour de manière répétée pour présenter à sa sortie le nombre d'impulsions passant à travers la porte pendant la période d'échantillonnage immédiatement précédente. 5.- Procédé selon la revendication 4, caractérisé par le fait que les sorties desdits organes sont fournies à une-porte OU qui transmet la sortie d'un organe ou de l'autre à un comparateur. 6.- Procédé selon la revendication 5, caractérisé par le fait que le comparateur compare la sortie de l'organe de mémoire à la sortie du compteur à décade et coopère avec une porte pour fournir la différence à un compteur d'excès qui est connecté à un affichage. 7.- Procédé selon la revendication 6, caractérisé par le fait que le comparateur comprend une unité arithmétique qui compare la sortie de l'organe de mémoire à la sortie du compteur à décade et fournit la différence entre les sorties à une mémoire secondaire et, de là, par l'intermédiaire d'un signal de mise à jour, à un affichage. 8.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé par le fait que les impulsions sont fournies à un circuit additionneur soustracteur qui est branché comme mémoire ou partie de mémoire et compare les impulsions pendant une période d'échantillonnage à celles pendant une autre période d1échantillonnage pour produire un signal différence qui est fourni à un organe de mémoire et,de là, au moyen d'un signal de mise à jour, à un affichage. 9.- Procédé selon la revendication 8, caractérisé par le fait que le circuit additionneur-soustracteur est rétabli après chaque cycle d'addition-soustraction, le compte initial du circuit additionneur- soustracteur étant fourni à un organe de mémoire et le compte dans organe de mémoire étant comparé au compte pendant la période d'échantillonnage subséquente pour donner une différence sur une période étendue. 10.- Procédé de mesure de l'épaisseur ou de la vitesse de formation d'un film déposé dans une chambre de dépôt en plaçant dans la chambre un oscillateur à cristal et en mesurant et représentant digitalement un changement ou une vitesse de changement de fréquence du train d'impulsions provenant de l'oscillateur par le procédé selon l'une des revendications 7 à 9. 11.- Procédé de mesure de l'épaisseur ou de la vitesse de formation d'un film déposé dans une chambre de dépôt en plaçant dans la chambre un oscillateur à cristal et en dehors de la chambre un autre oscillateur, en comparant les trains dtimpul- sions des deux oscillateurs pour produire un train d'impulsions différence et en mesurant et représentant digitalement un chan gement ou une vitesse de changement de fréquence dudit train d'impulsions différence par le procédé selon l'une des revendications I à 9. 12.- Dispositif pour la mesure et la représentation digitales d'un changement ou d'une vitesse de changement de fréquence d'un train d'impulsions, caractérisé par le fait qu'il comprend une porte, une minuterie agencée pour ouvrir et fermer la porte à intervalles de fréquence prédéterminée pour une période prédéterminée d'échantillonnage, des moyens pour mettre en mémoire les impulsions traversant la porte et pour comparer les impulsions mémorisées aux impulsions traversant la porte pendant une période d'échantillonnage subséquente, et des moyens d'affichage pour représenter digitalement la diffé- rence entre les impulsions mémorisées et celles de la période d t ohantillonnrge subséquente 1)o= Dispositif selon la revendioation 129 caractérisé par le fait qu'un compteur à décade est connecte entre la por te et les moyens de mémoire et de comparaison. 14.- Dispositif selon la revendication 13, caractérisé par le fait que les moyens de mémoire et de comparaison com prennent une mémoire pour mémoriser le nombre d'impulsions pendant une période initiale d'échantillonnage. 15.- Dispositif selon la revendication 14, caractérisé par le fait que les moyens de mémoire et de comparaison com prennent une autre mémoire pour mémoriser le nombre d'impul sions pendant chaque période dlechantillonnage. 16?- Dispositif selon la revendication 15, caractérisé par le fait que les moyens de mémoire et de comparaison com prennent un comparateur qui peut comparer une sortie de l'une des mémoires ou de l'autre, selon la position d'une porte OU disposée éntre2le comparateur et les mémoires, à la sortie du compteur à décade et ouvrir une porte pour permettre à la dif férence entre les deux sorties dtttre-fournie à un compteur d'excès et, de là- , à un affichage. 17.- Dispositif selon la revendication 16, caractérisé par le fait que les moyens de mémoire et de comparaison com prennent une unité arithmétique propre à comparer la sortie d'une mémoire ou de l'autre à la sortie du compteur à décade et d'amener la différence entre les sorties à une mémoire se condaire et de là, au moyen d'un signal de mise à jour provenant de la minuterie, à un affichage. 18.- Dispositif selon la revendication 12, caractérisé par le fait que les moyens de mémoire et de comparaison com prennent un circuit additionneur-soustracteur dont la sortie est connectée à une mémoire et, de là, à un affichage, la mé moire pouvant être remise à jour par la minuterie. 19c Dispositif selon la revendication 18, caractérisé par le fait que les moyens de mémoire et de comparaison com prennent une seconde mémoire propre à mémoriser les nombre d'impulsions pendant la période initiale d'échantillonnage et le fournir ( au circuit additionneur-soustracteur selon la position d'une porte OU reliant la mémoire et le circuit. 20.- Dispositif de mesure de l'épaisseur ou de la vitesse de formation d'un film déposé 'dans une chambre de dépôt comprenant un oscillateur à cristal disposé dans la chambre et?un dispositif pour mesurer et représenter digitalement un changemment de fréquence du train d'impulsions de l'oscillateur selon l'une des revendications 17 à 19. 21.- Dispositif de mesure de l'épaisseur ou de la vitesse de formation d'un film déposé dans une chambre de dépôt, comprenant un oscillateur à cristal disposé dans la ohambre, un oscillateur à cristal disposé hors de la chambre, des moyens pour comparer les trains d'impulsions des deux oscillateurs pour produire un trains d' impulsions différence et un dispositif pour mesurer et représenter digitalement un change- mens ou une vitesse de changement de fréquence de ce train d'impulsions différence selon l'une des revendications 12 à 19. 22.- Procédé de commande, proportionnelle ou autre, de la vitesse d'évaporation d'une source a'évaporation caracté- risé par le fait que l'on dérive un signal analogique d'un signal de vitesse numSrique obtenu par le procédé selon l'une des revendications 1 à 9.