Brevet FR2065609A1 — publié le 19710730

-1- 2065609 On utilise couramment des couches multiples de grilles conductrices, chaque couche étant isolée des couches adjacentes par un diélectrique intermédiaire pour interconnecter les régions actives et/ou passives d'un substrat semi-conducteur et 5 pour connecter le ou lés circuits électriques prévus dans ou sur le substrat à des circuits extérieurs. De telles, structures à couches multiples ont toujours été sources d'ennuis. Les rendements de fabrication sont faibles par suite de ruptures éventuelles des conducteurs ou de court-circuitage intempestif d'tme 10 coucha conductrice donnée sur une autre en raison de la présence de piqûres.ou fissures dans le diélectrique intermédiaire. Eh outre, des criques apparaissent souvent dans les conducteurs en regard des trous pratiqués à travers le diélectrique et utilisés pour établir un contact entre des couches métalliques adjacentes, 15 ou aux transitions au-dessus des couches métalliques sous-jacentes. En outre, les contacts intermétalliques entre des couches conductrices adjacentes sont souvent de médiocre qualité. En conséquence, lés rendements de fabrication de dispositifs semiconducteurs à couches multiples, c'est-à-dire les pourcentages 20 de dispositifs utilisables obtenus dans chaque série de production sont notoirement faibles. L'invention permet de résoudre pratiquement tous les problèmes de court-circuit et de circuit ouvert des structures de métallisation à couches multiples de la technique antérieure, 25 ce qui permet d'augmenter le rendement de fabrication de ces structures. Suivant l'invention, leglaces latérales abruptes et les arêtes vives normalement produites sur les conducteurs métalliques par le procédé consistant à former ces conducteurs par 30 corrosion dans une couche métallique déposée- sont complètement éliminées et remplacées par des faces latérales inclinées et par des arêtes très arrondies. Le terme "arête" est utilisé ici pour désigner l'intersection d'une face latérale d'un conducteur avec sa face supérieure. En conséquence, les couches superposées 35 de diélectrique et de métal ne changent plus de niveau brusquement au moment de franchir des conducteurs sous-jacents mais, au contraire, changent de niveau graduellement et suivant une progression douce pour franchir ces conducteurs. Il en résulte une 70 38681 -2- 2065609 élimination presque complète des ruptures de conducteurs aux points de croisement du circuit. En conséquence, il déviant possible de superposer des grilles d'interconnexion à couches multiples à des substrats semi-conducteurs, ce qui a pour effet de 5 mettre à la disposition des fabricants un grand choix de variantes de construction. Un résultat immédiat de l'invention réside en ce que l'utilisation d'une série de cbuches métalliques superposées sur un dé semi-conductéûr devient rentable en raison des hauts rendements de production de la structure décrite que 10 permet le procédé suivant l'invention. On a' én effet fabriqué dés structures comportant jusqu'à trois couches de métal en utilisant les techniques suivant l'invention avec des rendements de production considérablement plus élevés que ceux des procédés de fabrication de la technique antérieure. 15 Pour obtenir les conducteurs à faces latérales inclinées et arêtes arrondies suivant l'invention, il est essentiel de mettre au point un nouvel acide capable de provoquer un soulèvement ou décollement contrôlé du matériau de masquage utilisé pour définir la grille conductrice sur une couche métallique. Géné-20 ralement, pour produire une couche métalliquë d'interconnexion sur un dé semi-conducteur, on dépose tout"d'abord sur celui-ci une couche diélécbriqué, souvent de silice si le substrat semiconducteur sous-jacent èst "du silicium. On dépose ensuite en phase vapeur une feuille de métal conducteur sur la couche di-25 électrique. Cette couche métallique' est alors masquée avec un matériau choisi9 par exemple, la réserve de photo-gravure KMER (nom commercial). Le matériau de masquage est retiré sur la partie d© la coucha Multiple qui doit être éliminée-par corrosion, 1© matériau de masquage résiduel définissant la grille conduc-30 trice qui doit subsister- sur'le dé.- • Dans l'a technique antérieure, la corrosion s'effectue de manière à éviter" tout ©seollëmè'nt -du;-matériau de-réserve de photo-gravure définiissaat la 'grillé" conductrïcé-32a ''conséquence, les conducteurs -métalliques èous-j'acents au •matériau-de5 réserve 35 d@ photô-grawra oat "des faces latérales abrupte^ et -des arêtes viveso Après achèvement -d® .la corrosion, on retir© "le---matériau d® réserve d® phcto-gravure: conducteurs métalliques résiduels , On dépose ensuite me couche -diélectrique sur les condus- 70 38681 -3- 2065609 teurs métalliques, puis on dépose en phase vapeur une seconde couche métallique sur ce diélectrique intermédiaire. Généralement, des trous de contact sont prévus dans le diélectrique intermédiaire pour permettre l'établissement d'un contact élec-5 trique entre les première et seconde couches métalliques. Toutefois, le diélectrique présente des arêtes vives au-dessus des arêtes des conducteurs métalliques sous-jacents. Ces arêtes vives introduisent des discontinuités dans la seconde couche métallique nouvellement déposée en phase vapeur. Après éliminait) tion par corrosion des parties de la seconde couche métallique qu'on ne désire pas conserver, les conducteurs métalliques résiduels se fissurent ou se brisent souvent aux discontinuités brusques du diélectrique sous-jacent. Au contraire, suivant l'invention, le corrosif utilisé 15 pour éliminer les parties de chaque couche multiple qu'on ne désire pas conserver a la propriété de soulever le matériau de masquage pendant la corrosion. En conséquence, le corrosif qui est un mélange d'acides nitrique, phosphorique et acétique concentrés dans le cas où les conducteurs sont en aluminium ou en 20 un alliage aluminium-silicium, non seulement corrode le métal exposé, mais encore élimine par corrosion des quantités appréciables du métal sur les faces supérieures et sur les arêtes des conducteurs exposées par le soulèvement du matériau de masquage. Cette corrosion supplémentaire incline notablement les 25 faces latérales et arrondit dans line mesure appréciable les arêtes des conducteurs qui subsistent après l'achèvement de la corrosion. En conséquence, la couché conductrice déposée après l'achèvement de la corrosion et le nettoyage de la pastille vient chevaucher chaque conducteur sous-Jacent en s'élevant 30 suivant une progression douce et en montant graduellement sur ce conducteur au lieu de changer "brusquement de niveau. La seconde couche métallique déposée sur ce diélectrique ne subit par conséquent, que des variations de niveau graduelles aux points de franchissement de conducteurs sous-jacents, au lieu de brusques 35 décrochements verticaux. En conséquence, l'intégrité structurelle de cette seconde couche est maintenue au-dessus de ces zones de transition, ce qui élimine les circuits ouverts et les micro-fissures courants dans les structures à couches multiples de la technique antérieure. 70 38681 -4— 2065609 L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description détaillée qui suit et à l'examen des dessins joints, qui en représentent, à titre d'exemple non limitatif, un mode de réalisation. 5 Sur ces dessins : les fig. 1a et 1b sont des "vues en coupe verticale d'une structure type de la technique antérieure avec un circuit ouvert type formé dans un conducteur en raison d'orne transition brusque dans une grille conductrice sous-jacente} 10 les fig. 2a à 2e représentent le procédé de corrosion utilisé dans la technique antérieure pour produire des conducteurs métalliques dans une uni que couche conductrice; les fig. 3a à 3e représentent le procédé de corrosion utilisé suivant l'invention pour produire les conducteurs à 15 faces latérales inclinées et à arêtes arrondies conformes à l'invention, et les fig. 4a et 4b représentent les transitions arrondies au-dessus de conducteurs sous-jacents que le procédé et la structure suivant l'invention permettent d'obtenir. . 20 Les fig. 1a et 1b représentent une structure à couches multiples de la technique antérieure. Dans un substrat semi-conducteur 11 d'un premier type de conductibilité est diffusée une région 6 du type de conductibilité opposé. Le substrat 11 est, généralement, du silicium bien qu'on puisse également utiliser, 25 si on le désire, n'importe quel autre matériau semi-conducteur tel que du germanium ou de l'arséniure de gallium. À la surface supérieure du substrat 11 est superposée une couche diélectrique 12 adhérente. Généralement, si le substrat 11 est du silicium, le diélectrique 12 est de la silice. Une fenêtre 25 est découpée 30 dans la couche de silice 12 pour définir la région du substrat 11 dans laquelle la région 6 est diffusée. L'utilisation d'une couche d'oxyde 12 comme masque pour la diffusion de la région 6 est bien connue dans cette technique et est décrite dans le brevet des Etats Unis d'Amérique n° 3*025.589 délivré le 20 mars 35 1962 et au nom de la Demanderesse. Une seconde couche 12a d'oxyde est ensuite reformée sur la partie du substrat 11 exposée par la fenêtre 25» Une nouvelle fenêtre 25a est découpée dans cet oxyde. Le contact électrique 70 38681 -5- 2065609 avec la région diffusée sous-jacente 6 sera établi à travers cette fenêtre. La couche conductrice 13 j qui est généralement line couche d'aluminium, mais qui peut également être une couche d'un 5 autre métal conducteur quelconque tel4u'une combinaison moly-manganèse-or, est ensuite déposée sur les couches diélectriques 12 et 12a et sur la fenêtre 25a à travers la couche 12a. Le métal 13 établit un contact ohmique avec une partie de la surface supérieure de la région 6 diffusée dans le substrat 11. Dans ce 10 qui va suivre, on désignera l'ensemble comprenant le substrat 11 et toutes couches superposées de matériaux diélectriques ou de conducteurs, sous le nom de "pastille 10M. Comme représenté sur la fig. 1a, le conducteur 13 se termine ajuste à droite de la fenêtre 25a de la couche diélec-15 trique 12a. L'extrémité du conducteur 13 désignée par la référence 24a présente une arête vive. En conséquence, la couche diélectrique 14 superposée présente également une arête vive 24b adjacente à l'arête 24a. Ensuite, une seconde couche de métalli-sation, la couche 15, est déposée en phase vapeur sur la surface 20 supérieure de la couche diélectrique 14. Le métal 15 présente de même une arête vive 24c due à la présence de l'arête vive 24a du conducteur métallique 13. Comme représenté sur la fig. 1b, l'arête 24c de la couche métallique 15 se fendille ou se fissure souvent, ce qui produit un état de circuit ouvert dans le con-25 ducteur 15» Cette défectuosité suffit souvent pour détruire complètement le dispositif. La fig. 1a représente une troisième couche diélectrique la couche 16, superposée à la couche métallique 15» Au-dessus de la couche 16 est placé un conducteur métallique formant une 30 troisième couche conductrice, le conducteur 17• Comme représenté sur la fig. 1a, le conducteur 17 est perpendiculaire au conducteur 15 et s'étend dans un plan parallèle au plan contenant celui-ci. Le conducteur 17 présente également des arêtes vives, ce qui forme des arêtes vives correspondantes dans la couche 35 d'isolement superposée 18. Ces arêtes désignées par 22a et 22b sur la fig. 1a peuvent provoquer des criques dans Tin conducteur de quatrième couche quelconque devant franchir le conducteur 17« Les fig. 2a à 2e mettent en évidence le procédé de la 70 38681 -6- 2065609 technique antérieure au moyen duquel non seulement le conducteur 17 mais également les conducteurs 13 et 15 sont produits à partir d'tme couche de métal déposée en phase vapeur. Les fig. 2a à 2e représentent seulement un petit fragment de la pastille 10 5 représentée sur les fig. 1a et 1b. Ce fragment comprend une partie de la couche diélectrique 16 et une partie de ia couche métallique 17- Sur les fig. 2a à 2e est en outre représentée, sur la couche, métallique 17» une couche 23 de matériau, de masquage, généralement de réserve de photo-gravure EMER. Les par-10 ties de la couche de réserve d® photo-gravure 23, superposées à des parties de la couche d© métal 17 déposée en phase vapeur» à éliminer par corrosion sont enlevées par des techniques photolithographiques "bien connues. En conséquence, la réserve de photo-gravure 23. ne demeure que sur les parties du métal 17 des-15 tinées à former les conducteurs de troisième couche sur la pastille 10 représentée sur les fig. 1a et 1b. . Ensuite, on met un corrosif en contact avec la surface exposée de la couche métallique 17. Ce corrosif est soigneusement choisi de tell® manière qu3il n'attaque pas le matériau de 20 masquage 23 par en dessous et ae provoque pas son soulèvement. En conséquence, le corrosif r©ag@ les parties exposées de la couche métallique 17, mais laisse pratiquement intactes les parties de cette couche s8étendant au-dessous du matériau de masquage 23» Bien entendu, il se produit néanmoins une certaine 25 érosion latérale par le corrosif des parties de la couche métallique 17 s0 étendant au-dessous du matériau de masquage 23. Mais dm fait que la- largeur du conducteur est à peu près dix fois plus grands que son épaisseur, cette érosion latérale n'a pratiquement pas d8 effet sur les dimensions finsilea du conducteur. 30 lait plus important, le corrosif ne peut pas pénétres dans l'in-- fcerface entre le matériau d© masquage 23 et le métal sous-jacent 17. Si eoasêoueacsj - las- faces latérales du conducteur 17 restent • sensiblement verticales "et les. arêtes 1?a et 17b d© ©e çonduo- • teur représentées, • par exemple3 sur la fig, 2e restent vives et 35 en eoatact -arec la couche superposée de matériau d© masquage 23« II en r-ésults qus-, lorsque la couche diélectrique 18 de le/igo 1a est déposée &■&%* 1® conducteur 17» les arêtes 22a et 22b de cetêe coucke sont également vivas» foute couche métallique &épo- 70 38681 -7- 2065609 sée sur ces arêtes présentera selon toute probabilité des criques et des ruptures sur ces arêtes. Le procédé suivant l'invention est représenté sur les fig. 3a à 3e. La fig. 3a représente une structure identique à 5 celle de la fig. 2b où le masque 23 définit encore la grille conductrice à former dans la couche métallique 17. La structure représentée sur la fig. 3a est mise en contact avec un corrosif. Ce corrosif est soigneusement choisi, non seulement de façon qu'il élimine les parties exposées de la couche métallique 17, 10 mais encore qu'il creuse celle-ci par en-dessous et pénètre dans l'interface entre la couche de matériau de masquage 23 et le conducteur métallique 17 sous-jacento En conséquence, comme représenté sur la fig. 3b,.le matériau de masquage 23 se soulève à l'aplomb des arêtes 23a et 23b. Ainsi, le corrosif attaque le 15 métal sous-jacent 17 non seulement dans une direction perpendiculaire au plan de celui-ci, mais encore dans une direction parallèle à ce plan. L'exposition de la surface supérieure de la couche métallique 17 sous-jacente au matériau de masquage 23 a pour effet de eor-r-oder- les faces latérales, la surface supé-20 rieure et, en particulier, les arêtes 17a et 17b (fig. 2e) du métal 17. A mesure que le processus se poursuit, le corrosif continue à détruire la liaison entre le matériau de masquage 23 et la couche métallique sous-jacente 17 jusqu'à ce que, finalement, à la fin du processus de corrosion, les arêtes vives 25 normalement présentes dans les parties résiduelles du métal conducteur 17 soient complètement éliminées. Ce processus est mis en évidence sur les fig. 3b à 3 ou un composé aluminium-silicium ne contenant pas plus de 2 % de silicium, le corrosif utilisé pour produire la structure représentée sur la fig. 3e comprend, suivant un mode de réalisation, 20 c/o d'acide acétique concentré, 20 % d'acide nitrique 35 concentré et 60 % d'acide phosphorique concentré, tous ces pourcentages étant en volume. Le corrosif est chauffé à une température donnée, généralement de l'ordre de 85° - 15°C. Le processus de corrosion se poursuit pendant une période de temps choisie, 70 38681 2065609 généralement de l'ordre d'une à deux minutes, jusqu'à ce que les parties exposées de la couche métallique 17 (fig. 3a) soit complètement éliminées. L'achèvement de la corrosion est déterminé par observa-5 tion visuelle. La pastille est retirée de la solution corrosive et observée Un assombrissement de la surface signifie que le métal non masqué a été éliminé et que l'oxyde sous-jacent à ce métal est visible. Après élimination complète du métal non masqué, la surface exposée apparaît sombre. Aucune corrosion perceptible 10 de l'oxyde ne se produit. Un procédé type permettant de déposer deux couches de métallisation est le suivant : les références numériques de cette description se réfèrent à la fig. 4b. La première couche 13 d'aluminium est déposée en phase vapeur sur la couche d'oxyde 15 12 présente sur le substrat 11. Cet aluminium étant en contact avec le silicium de la couche d'oxyde 12 et du substrat 11 contient tin faible pourcentage de silicium. Le substrat peut être chauffé ou non, bien qu'un chauffage assure généralement l'obtention d'une couche d'aluminium pl$rs uniforme et de meilleure 20 qualité. La couche d'aluminium 13 est masquée au KMER. Les parties non masquées de l'aluminium 13 sont éliminées par la solution corrosive spéciale suivant l'invention qui soulève, en outre, le matériau de masquage définissant la grille conductrice, ce qui arrondit toutes les arêtes et ce qui incline toutes les 25 faces latérales des conducteurs résiduels. Ce corrosif est à 85°C et comprend 20 % en volume d'acide acétique concentré, 20 % en volume d'acide nitrique concentré et 60 % en volume d'acide phosphorique concentré. Après achèvement de la corrosion, tout matériau de masquage résiduel est éliminé. On forme alors par 30 croissance une couche d'oxyde 14 contenant une quantité choisie de phosphore sur la première couche d'aluminium 13 et sur la couche d'oxyde exposée 12. Généralement, cette seconde couche diélectrique 14- a une épaisseur d'environ 0,5 micron. Ensuite, on masque la couche diélectrique 14 et l'on pratique par corro-35 sion des trous de contact à travers ce diélectrique jusqu'à des conducteurs d'aluminium 13 sous-jacents choisis. On dépose alors ■une épaisseur choisie d'une seconde couche d'aluminium telle que la couche 15 (fig. 4b) sur la couche diélectrique 14. Pour ce 70 38681 -9- ■2065609 dépôt, le substrat est chauffé à environ 350°C. l'épaisseur de la couche 15 est de l'ordre d'un micron. Le masquage de cette seconde couche d'aluminium pour définir la. grille conductrice à former dans cette couche est suivi d'une corrosion effectuée à 5 l'aide de la même solution que celle qui a été utilisée pour corroder la.première couche d'aluminium, ou bien avec une solution corrosive standard s'il n'est pas nécessaire d*incliner les faces latérales ni d'arrondir les arêtes de ces conducteurs. Après achèvement de la corrosion, la pastille 10 est rincée dans 10 l'eau désionisée et frittée à 4-20°C pendant dix minutes. Le frittage assure un bon contact,électrique entre les deux couches d'aluminium et est également utilisé pour appliquer une mince couche d'or sur le côté arrière de chaque pastille ou dé en vue de permettre sa fixation sur un support. 15 Aucune théorie satisfaisante expliquant l'action du cor rosif spécial suivant l'invention n'a encore été mise au point. Toutefois, on pense qu'une réaction concurrentielle se produit entre l'acide nitrique et l'acide phosphorique dans la solution corrosive. L'acide nitrique est un agent oxydant. L'acide phos-20 phorique est Tin agent réducteur. On pense que l'acice nitrique subit en fait une migration par effet capillaire le long de l'interface entre .la couche d'aluminium et la réserve superposée définissant la grille conductrice. L'acide nitrique brise toute liaison existant entre laréserve et l'aluminium sous-25 jacent. L'acide acétique inhibe la réaction d^L'acide nitrique, mais non celle de l'acide phosphorique. En conséquence, l'acide nitrique soulève la réserve, puis l'acide phosphorique corrode l'aluminium exposé, ce qui incline les faces latérales du conducteur corrodé tout en arrondissant ses arêtes. L'acide.acétique 30 ralentit le soulèvement de la réserve de photo-gravure. Les tableaux I, II, III et IV indiquent les effets de divers mélanges d'acides phosphorique, nitrique et acétique, tous concentrés, en fonction de la température, sur les angles des faces latérales d'un conducteur d'aluminium avec le plan horizon-35 tal et décrivent l'aspect des arêtes dès intersections de ces faces latérales avec la face supérieure du conducteur d'aluminium. Les faces latérales des conducteurs sont essentiellement les faces latérales du conducteur 17 représenté sur la fig. 2e 70 38681 -10- 2065609 qui s'étendent vers le haut à partir de la couche isolante 16 pour rejoindre la couche de réserve de1 photo-gravure 23 sur cette figure» L'analyse des tableaux montre, qu'ea général, • à mesure que le pourcentage d'acide nitrique contenu dans la so-5 lution corrosive diminue, la "température à laquelle apparaissent l'inclinaison des faces latérales et l'arrondi des arêtes,s'élève. Mais à mesure que la température Vélève, la; vitesse de la réaction de corrosion augmente. En conséquence, l'expérience a montré qu'un opérateur ne peut généralement pasminuter de façon 10 précise le processus lorsque la' température1 du corrosif est supérieur à 100°G® TABLEAU I \ Tempé- ' rature. Oonc entrât!on (pourcentage volu-métrique) Remarques; " ■ " ; Angle des faces latérales avec 1'horizontale Aspect de l'arête à l'intersection entre une-face latérale et la face supérieure 60° 0 6Q%: acide phos environ 45° Vive phorique -- •- 20 % àeidelal- - " feiattê 20 % acide acé tique ■ - • — 65® 0 -• "'■ ' â® e&visoa 30® ~ " ■ 70® G d®' - ©aviron J0° ^arrondi nai s sant j 80® G * d° environ;'30®-où largement arrondie ■■■ - Moins ■90® G - . d®'. I moins de 30° complètement arron . dis ■100® G d® tend positivement discernable aais -ysrs 30® encore arrondi© 105° G d® tend positivement . discernable ■ mai a irsrs-30® ■- :eaeoïe arrondi© 110°G : - environ. 30° i •#ive " - 70 38681 -11" 2065609 TABLEAU II Température C oncentrât!on Remarques.. (pourcentage volumétri que) Angle des faces latérales avec 11horizontale Aspect de l'arête à l'intersection entre une face latérale et la face supérieure 50° 0 70% d'acide phos- phori-que 15% d'acide nitrique 15% d'acide acétique environ,. 70° vive 60° C d° environ 70° vive 70° C d° environ 30° arrondi naissant 80° G d° environ 30° arrondi plus marqué 90°C d° légèrement supérieur à 30° très bien arrondie 100° G d° légèrement supérieur à 30° la partie supérieure de l'arête est encore arrondie mais l'arête tend à devenir vive près de sa "base 110°G d° entre 30 et 4-5° vive TABLEAU III Température C onc entrati on Remarques 70°C, 80°C et 90®C 70°C, 80°C et 90°C 80% d'acide phosphorique 10% d'acide nitrique 10% d'acide acétique 90% d'acide phosphorique 5% d'acide nitrique 5% d'acide acétique A 70°C et à 80°C, les faces latérales font un angle d'environ 60° avec l'horizontale. A 90°C, l'angle des faces latérales est plus petit qu'aux températures plus basses. Aux trois températures, les trois arêtes aux intersections des faces latérales avec la face supérieure sont vives. A ces trois températures, les faces latérales sont presque verticales (elles font un angle d'environ 85° avec l'horizontale) et les arêtes aux intersections des faces latérales avec les faces supérieures sont vives. 70 38681 -12- 2065609 TABLEAU IV Température Concentration Remarques Toutes tem 60% d'acide phos On obtient des faces latérales pératures phorique inclinées avec des arêtes bien. 30% d*acide ni arrondies. 10% trique d'acide acé tique Toutes tem 60% d'acide phos On obtient un soulèvement consi pératures 10% phorique dérable et non uniforme du maté d'acide ni riau de masquage à toutes les 30% trique températures. d'acide acé tique Toutes tem 40% d'acide phos Résultats inutilisables. pératures phorique 40% d'acide ni trique 20% d'acide acé tique 10 15 Les fig. 4a et 4b représentent une structure sensiblement identique à celle de la fig. 1a, à cela près que les con-20 ducteurs métalliques 13, 15» 17 et le conducteur supplémentaire 19j représentés sur les deux figures 4a et 4b, ont tous été obtenus par corrosion conformément au procédé suivant l'invention. L'arête 24a du conducteur 13 est arrondie par le procédé suivant l'invention, d'où il résulte que l'arête 24c du conducteur 15 25 superposée à la partie terminale du.conducteur 13 est également arrondie. En conséquence, cette arête ne présente pas les criques qu'on observe couramment en ce point dans une grille métallique à couches multiples. De même, la section droite verticale de la couche conductrice 17 est arrondie d'où il résulte 30 que la couche métallique superposée 19 s'élève graduellement jusqu'au-dessus de la couche 17* Bien que l'invention ait été décrite dans son application à un dispositif semi-conducteur contenant deux, trois ou quatre couches, elle peut, bien entendu, être également utilisée pour 35 produire des dispositifs semi-conducteurs contenant un autre nombre désiré quelconque de couches. 70 38681 -13" 2065609 - BEVEMDIOATIOKS - 1 - Dispositif semi-conducteur du type comprenant un substrat s emi-conducteur contenant une série de coucb.es de conducteurs, chaque couche de conducteurs étant sépaxée des couches 5 de conducteurs adjacentes par des couches diélectriques intermédiaires et la couche inférieure de conducteurs étant séparée du substrat sous-jacent par une première couche diélectrique, les-dites couches de conducteurs étant sélectivement en contact avec lesdites couches de conducteurs adjacentes à travers des trous 10 des couches diélectriques intermédiaires et ladite couche inférieure de conducteurs étant sélectivement en contacij&vec des régions actives ou passives du substrat sous-jacent à travers des fenêtres pratiquées dans ladite couche diélectrique intermédiaire^ ledit dispositif étant caractérisé en ce que chaque conducteur 15 de chaque couche présente des faces latérales inclinées et des arêtes arrondies, moyennant quoi des conducteurs qui franchissent d'autres conducteurs sous-jacents subissent des transitions graduelles au-dessus de ces conducteurs inférieurs. 2 - Procédé de production de chacune des couches de con-20 ducteurs d'un dispositif semi-conducteur suivant la revendication 1, dans lequel chaque conducteur de la couche à produire présente des faces latérales inclinées et des arêtes arrondies, ledit procédé étant caractérisé en ce qu'il comprend les opérations consistant à déposer une couche de métal sur le diélec- 25 trique sous-jacent, ladite couche de métal adhérent audit diélectrique, à masquer ladite couche de métal pour définir la grille conductrice à former dans celle-ci, en laissant non masquées les parties de ladite couche de métal qui doivent être éliminées, à immerger la pastille dans un corrosif choisi qui, 30 non seulement, élimine les parties non masquées de la couche de métal, mais encore élimine à une vitesse choisie le masque définissant la grille conductrice à produire dans la couche de métal, de manière à corroder non seulement les régions non masquées de celle-ci, mais encore le métal exposé par le soulève-35 ment du matériau de masquage définissant la grille conductrice par rapport à la couche de métal et à retirer ladite pastille contenant ladite couche de métal corrodée de ladite solution après l'élimination complète du métal non masqué par le corrosif.