Brevet FR2051832A1 — publié le 19710409

La présente invention est relative â un procédé et un dispositif de polissage. On fabrique aujourd'hui couramment dans l'industrie électronique des circuits intégrés sous forme de pastilles relativement grandes dont chacune contiens uo grand nombre de circuits distinctsDa la fabrication des pastilles de circuits, il est souvent utile de polir chaque face des pastilles il a jusqu'à maintenant été nécessaire de polir séparément chaque face de la pastille Le polissage individuel successi@ des deux faces opposées des pastilles de circuits n'est pas désirable à au moins dett points-de-vue.Tout-d'abord, Si les deux faces de la pastille doivent etre polies, il est nécessaire de retourner les pastilles par rapport à un dispositif utilisé Ceci introduit une opération supplémentaire dans le procédé de fabrication, ce qui augmente le prix de revient des circuits intégrés sous forme de pastilles. De plus, ce qui est encore plus important, quand on ne polit qu'une face à la fois, des concentra tions de tensions inégales ont tendance à se développer sur les faces opposées de la pastille. Ces concentrations de tensions peuvent entratner, pendant les opérations ultérieures, des détériorations de la pas- tille. La présente invention a pour objet un procédé pour le polissage simultané des deux faces d'une pastille de circuits intégrés. Le dispositif utilisé comporte des supports qui maintiennent et déplacent les pastilles par rapport à deux organes polisseurs. L'emploi de ce dispositif diminue le temps nécessaire au polissage des pastilles de circuits. D'autre part, le dispositif ne développe pas de concentrations de tensions inégales dans les pastilles. Dans sa forme préférée de mise en oeuvre, le dispositif à polir suivant l'invention comporte un support de maintien d'un article à usiner entre deux organes polisseurs. De préférence, le support est formé d'un matériau organique sou ple, et est construit de-façon à déplacer l'article à usiner par rapport aux organes polisseurs. D'autres caractéristiques de l'invention apparat tront au cours de la description qui va suivre. Au dessin annexé, donné uniquement à titre d'exemple la Fig. 1 est une vue en perspective éclatée d'un dispositif à polir suivant l'invention; la Fig. 2 est une vue en perspective de l'un des supports du dispositif de la Fig. 1, à plus grande échelle que cette Fig. En se référant au dessin, on a représenté un dispo- sitif à polir 10 suivant l'invention. Ce dispositif est destiné au polissage de pastilles de circuits intégrés, et autres articles minces dispositif travaille en poliseant simultanément les deux faces de ces pastilles, sans amener la formation de contraintes ou tensions locales inégales dans lesdits artieles. Le dispositif à polir 10 comprend plusieurs suppe 12 pour les articles à polir. Les supports 12 sont de ferme circula-- et à peu près de même épaisseur que les articles devant être polis le dispositif 10. Chaque support porte sur sa périchérie des dente d'engrenage et comporte six trous 16 recevant les articles e polir, et présentant les mimes formes et dimension que ceux-cl Le dispositif 10 comprend également deux organes polisseurs 18 et 20. Ceux-ci ont une forme annulaire et portent, resp tivement, des surfaces de polissage 22 et 24. L'organe 18 comporte, as voisinage de sa périphérie, des trous 26 régulièrement espacés.Ces trous se prolongent à travers la surface de polissage 22 de l'organe 18 Le dispositif 10 comporte en outre deux couronnes dentées 28 et 30, disposées respectivement à l'extérieur et à l'intérieur de l'organe polisseur 20. Les couronnes dentées 28 et 30 sont prolongées vers le haut jusqu'à un niveau légèrement plus élevé que la surface 24 de l'organe polisseur 20, et chacune porte une série de dents 32 appropriées, pouvant engrener avec les dents 14 des supports 12. En fonctionnement, chaque article à polir est placé dans l'un des trous 16 de chaque support 12. Chaque article est placé dans un trou 16 de façon que chacune de ses faces soit tournée vers l'une des extrémités du trou 16. Après avoir placé dans chacun des trous 16, un article non poli, les supports 12 sont placés entre les couronnes dentées 28 et 30, les dents 14 des supports 12 engrenant avec les dents 32 des couronnes 28 et 30. L'une des faces de chaque article vient ainsi au contact de la surface 24 de l'organe polisseur 20. Quand tous les supports 12 ont été ainsi disposés entre les couronnes dentées 28 et 30, l'organe polisseur 18 est placé entre les couronnes 28 et 30 de façon que la surface 22 de l'organe 18 vienne au contact des surfaces des articles opposées à celles se trous au contact de la surface 24. Des moteurs et transmissions appropriés (non représents) mettent en mouvement les uns par rapport aux autres les supports 12 et les surfaces 22 et 24. Cette action polit ainsi simultanément les deux faces des articles portées par les supports 12. De préférence, les couronnes dentées 28 et 30 tour nent l'une par rapport à l'autre, de façon que les supports 12 tournent sur des axes passant par leurs centres respectifs et soient en meme temps entraînés dans un mouvement circulaire autour d'un axe passant par le centre de la couronne dentée 30. De préférence, les organes polisseurs t8 et 20 sont construits de façon qu'ils tournent à des vitesses différentes et dans des sens différents, conformément aux conditions particulières de l'opération de polissage. Pendant le mouvement relatif des supports 12 et des organes polisseurs les uns par rapport aux autres; une substance abrasive, comme l'un quelconque des produits connus de polissage, est introduite périodiquement, par les trous 26, dans l'intervalle compris entre les surfaces 22 et 24. Grâce au mouvement relatif des supports 12 et des surfaces 22 et 24, ces surfaces et la substance abrasive contribuent au polissage des parties dés articles disposés dans les trous 16. Comme les deux faces de chaque article sont présentées au polissage, le dispositif 10 polit simultanément les deux faces de chaque article. D'autre part, comme les supports 12 présentent à la fois les deux faces aux organes polisseurs, le dispositif n'amène pas la formation de concentrations de tensions inégales sur les faces opposées des articles en cours de polissage. Les couronnes 28 et 30 de la machine 10 peuvent être constituées par l'un quelconque des divers matériaux couramment employés à la confection des engrenages. Les organes polisseurs 18 et 20 sont de préférence en un matériau dur et résistant comme l'acier inoxydable ou la fonte. Les stirfaces 22 et 24 sont formées par l'un quelconque des matériaux communément utilisés pour le polissage, comme le feutre, le drap de billard, la toile à voile, la toile à tente, etc.. La nature du matériau formant le support 12 est très importante. Ce matériau doit être résistant à l'abrasion et ne pas avoir tendance à former, par usure, de petites particules granuleuses. il doit également être suffisamment résistant aux attaques d'ordre chimique, de nombreuses substances employées au polissage étant, soit légèrement acides, soit légèrement basiques. Enfin, le matériau des supports 12 doit avoir la résistance nécessaire à des engrenages. il a été trouvé que le téréphtalate de polyéthylène convient à la fabrication des supports pour le polissage des pastilles de circuits intégrés. On peut aussi utiliser le polytétrafluoréthylène, ainsi que les diverses résines thermoplastiques telles que polyéthylène, polystyrène, etc... pour les supports utilisés dans les divers dispositifs de polissage. En résumé, les supports 12 doivent être en un maté riau organique souple, assez résistant pour pouvoir constituer des dentures d'engrenages. En fonctionnement, le dispositif à polir représenté au dessin polit simultanément les deux faces d'articles de faible épaisseur. Utilisé dans le cadre général d'une fabrication de circuits intégrés, le dispositif est très intéressant en ce qu'il supprime la nécessité de retourner les pastilles de circuits intégrés, par rapport aux dispositifs à une seule surface de polissage. La disposition des supports 12, pour soumettre simultanément les deux faces des pastilles de circuits intégrés aux forces de polissage, permet d'éliminer les amorces de tensions qui se développent souvent sur les faces opposées des pastilles de circuits intégrés quand une seule face est en cours de polissage à un moment donné. REVENDICATIONS 1. - Dispositif pour le polissage simultané des deu faces d'un article à usiner, caracterise eyl ce qnfil comporte un support pour recevoir un article à usiner! deux surfaces de polissage disposee sur des faces opposées du support, et des moyens pour la mise en mouve ment relatif du support et desdites surfaces par rapport les uns a autres 2. - Dispositif suivant la revendication 1, caracté- risé en ce que le support est agencé de façon à mettre les faces opp- sées de l'article respectivement en contact avec les deux surfaces de polissage. 3. - Dispositif suivant la revendication 1 caracté risé en ce que le support est constitué par un matériau organique soum ple. 4. - Dispositif suivant la revendication 3 caracté risé en ce que le support comporte au moins une ouverture de réception d'un article. 5. - Dispositif suivant la revendication 1, caracté- risé en ce que les moyens de mise en mouvement comportent des organes pour le maintien et la mise en rotation du support. 6. - Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprénd des moyens pour l'introduction d'un composé de polissage entre les surfaces de polissage. 7. - Procédé de polissage d'articles minces, caracté- risé en ce que on forme au moins une ouverture pour la réception d'un article dans un support; on place un article dans ladite ouverture; on positionne le support entre deux surfaces de polissage; on polit simultanément les deux faces de l'article par mise en mouvement relatif du support et desdites surfaces par rapport les uns aux autres. 8. - Procédé de polissage suivant la revendication 7, caractérisé en ce que le montage d'un article est réalisé de façon qu'une des faces de l'article soit dans l'une des extrémités de l'ouver- ture, et la face opposée de la pièce dans l'autre extrémité de ladite ouverture. 9. - Procédé de polissage suivant la revendication 7, caractérisé en ce que le placement du support est réalisé de façon qu'une des faces de l'article soit en contact avec l'une des surfaces de polissage, et la face opposée en contact avec l'autre surface de polissage 10. - Procédé de polissage suivant la revendicaci@@@ 7, caractérisé en ce que le polissage simultané des doux faces de la pièce est réalisé en faisant tourner les surfaces autour d'un pre@e@@ axe, et en faisant tourner simultanément le support autour d'un secon axe parallèle au premier. 11. - Procédé pelissage suivant la revendiestie 7, caractérisé en ce qu'une substance abrasite est introduite entre le support et les surfaces de polissage, 12. - Support pour le polissage simultané des deux faces d'articles minces, caractérisé en ce qu'il comprend un corps en un matériau organique souple à peu près de m8me épaisseur que l'article ce corps comportant au moins une ouverture de réception de l'article 13. - Support suivant la revendication 12, caractér risé en ce que le corps de ce support est constitué par un matériau appartenant au groupe formé par le téréphtalate de polyéthylène ou le polytétrafluoréthylène. 14. - Support suivant la revendication 12, caraotew risé en ce que le corps du support est circulaire et comporte plusieurs ouvertures en des points espacés au voisinage de sa périphérie, une série de dents étant formée sur sa périphérie.