Brevet FR2048035A1 — publié le 19710319

20k8035 La présente invention concerne des procédés pour améliorer 1'adhérence entre des matériaux conducteurs et des matériaux isolants. Plus précisément, elle concerne un procédé pour améliorer l'adhérence entre une couche conductrice et un substrat de matériau isolant aux températures de dépôt de 500°C 5 et en dessous. La couche conductrice déposée sur la surface du substrat est reliée chimiquement au substrat de matériau isolant par le procédé de la présente invention à des températures relativement basses et auxquelles l'adhérence entre le conducteur et le substrat s'avère être faible ou inexistante lorsqu'il est fait usage des procédés de l'art antérieur. 10 Chaque fois que se fait sentir le besoin de conducteurs portés par un substrat isolant» comme cela est souvent le cas dans l'art des circuits intégrés, il se pose le problème d'obtenir une bonne adhérence entre le substrat diélectrique ou isolant et le métal choisi. Parce qu'il est souhaité, en outre, pouvoir commander la profondeur des diffusions, lors de la 15 formation des transistors dans des systèmes de circuits intégrés, les températures utilisées dans les autres étapes du traitement, par exemple, le dépôt des interconnexions, et autres sont souvent limitées aux températures qui n'affectent pas les diffusions préalablement établies. En outre, le chauffage excessif des contacts ohmiques, tels que les contacts de Pt-Si, 20 provoque une dégradation en présence d'un métal réfractaire déposé. Par suite de ces besoins il est automatiquement imposé une limite aux métaux qui peuvent être déposés à ces faibles températures tout en maintenant toujours une bonne adhérence avec le substrat sousjacent diélectrique ou isolant. 11 en résulte que les matériaux conducteurs, qui ont autrement des caractéristiques souhai-25 tables pour être utilisés dans les systèmes de circuits intégrés, n'entrent plus en ligne de compte car, en utilisant les procédés de l'art antérieur, l'adhérence raisonnable au substrat sousjacent peut uniquement être obtenue à des températures relativement hautes. Par exemple, un empêchement majeur à utiliser le tungstène ou le molybdène en tant que métal intermédiaire en 30 remplacement de l'aluminium comme interconnexion conductrice dans, des circuits intégrés, réside dans l'impossibilité de déposer ces métaux à des températures nominalement faibles et d'obtenir une adhérence satisfaisante avec les couches sous-jacentes de bioxyde de silicium. Très souvent, lorsque des matériaux satisfaisants tels que le tungstène et le molybdène ne peuvent pas être 35 utilisés, il est fait usage de quelque métal de transition adhérent. Par exemple, le chrome qui est fortement adhérent au bioxyde de silicium est souvent utilisé en tant que métal de transition intermédiaire pour empêcher toute dégradation de l'adhérence durant l'opération. A ce stade, il est à remarquer que l'adhérence entre le conducteur et le substrat isolant ou 40 diélectrique n'est pas habituellement un problème lorsqu'aucune limite n'est 17726 2 20^8035 imposée aux températures qui peuvent être utilisées durant le dépôt du matériau conducteur. Il est également connu qu'il y a certains systèmes conducteurs-diélectriques qui assurent de façon inhérente une bonne adhérence et qui ne nécessitent aucun autre métal ou autre traitement intermédiaire pour 5 améliorer l'adhérence. Un exemple de système conducteur isolant de ce type est l'aluminium sur de l'oxyde d'aluminium. Ainsi, l'art antérieur permet au réalisateur de circuits imprimés d'utiliser des systèmes qui ont une bonne adhérence ou bien permet au réalisateur de circuits d'utiliser des matériaux conducteurs qui peuvent uniquement être déposés à des températures élevées 10 ou bien permet à ce dernier d'utiliser des systèmes dans lesquels il est nécessaire d'utiliser un métal de transition. Tous ces choix disponibles imposent des limites aux procédés de fabrication ainsi qu'aux structures obtenues finalement et, comme dans la plupart des cas où il y a seulement des choix limités, un bon nombre d'efforts actuels continue d'être concentré sur 15 ces choix. En conséquence, tout système qui permettrait d'éviter les procédés de l'art antérieur et qui fournirait un plus grand choix de procédés métallurgiques capables de déposer des métaux à de faibles températures tout en étant fortement adhérent à un substrat diélectrique ou isolant, serait immédiatement accepté dans l'art des circuits intégrés ainsi que dans les 20 autres arts où il est important de faire adhérer des métaux à un substrat diélectrique à des températures inférieures à 500°C. De façon générale, le procédé de la présente invention comprend l'étape qui consiste à introduire un matériau différent d'un matériau non conducteur dans un substrat non conducteur ou isolant pour y former des emplacements 25 contenant des ions libres qui sont capables d'agir chimiquement avec un matériau conducteur déposé sur la surface du substrat. Le cation métal du substrat est remplacé par un matériau ayant des caractéristiques métalliques et ayant une valence différente du cation métal du substrat isolant. Par suite de la différence des valences, les anions libres deviennent disponibles et 30 sont capables d'agir chimiquement avec le catîân . métal déposé sur la surface du substrat. Conformément à un aspect plus particulier de la présente invention, il est fait usage d'un substrat de matériau isolant, tel que du bioxyde de silicium, du nitrure de silicium ou de tout autre matériau isolant. Un 35 cation métal, tel que de l'aluminium ou du phosphore est introduit dans le substrat par diffusion ou par bombardement ionique. Le second cation est introduit de façon telle qu'il n'affecte que les parties suîrPaciques du substrat et fait que la partie globale du substrat n'est pas affectée quant à ses propriétés diélectriques. Finalement, line douche de matériau conducteur d' 40 un troisième cation est déposée par pulvérisation ou par évaporation sous vide, 17726 3 2048035 sur la surface du substrat, lorsque le matériau conducteur, qui est de préférence un métal réfractaire tel que le tungstène ou le molybdène devient chimiquement lié au substrat en fournissant un électron aux emplacements contenant les anions libres. Le dépôt du métal réfractaire se fait à des tem-5 pératures de 500°C et donne finalement un revêtement métallique fortement adhérent sur la surface d'un substrat isolant non sujet à l'effritement ou ne pouvant être autrement séparé du substrat par suite d'un manque d'adhérence. En conséquence, un objet de la présente invention consiste à fournir un procédé de perfectionnement de l'adhérence entre un métal et un diélec-10 trique. Un autre objet de la présente invention consiste à fournir un procédé de perfectionnement de l'adhérence entre un métal et un diélectrique à des températures égales à 50D°C, où même inférieures. Un autre objet de la présente invention consiste à fournir un procédé de 15 perfectionnement de l'adhérence entre un métal et un diélectrique dans lequel le cation métal d'origine du diélectrique est remplacé par un cation métal qui a une plus grande affinité pour l'anion du substrat que le cation métal d'origine. De cette manière, il est obtenu une liaison chimique sans avoir besoin d'ajouter une couche métallique intermédiaire. 20 D'autres objets, caractéristiques et avantages de l'invention ressorti- ront de la description qui va suivre, donnée à titre d'exemple non limitatif, en se reportant aux dessins annexés, sur lesquels : - la figure 1 représente un organigramme relatif aux principales étapes du procédé d'amélioration de l'adhérence entre un matériau conducteur et 25 un substrat diélectrique ou isolant. - La figure 2A représente le schéma d'une molécule de bioxyde de silicium telle qu'elle apparait normalement avec l'atome de silicium totalement lié à ses atomes d'oxygène associés suivant une configuration en forme de tétraèdre. 30 - La figure 2B représente un schéma de la molécule de la figure 2A dans lequel l'anion silicium a été remplacé par un cation aluminium de plus faible valence donnant lieu à une déficience d'électrons et montrant un ion oxygène libre pouvant satisfaire un électron disponible provenant d'un métal, ce qui est représenté sous forme de ligne en pointillés. 35 - La figure 2C représente un schéma de la molécule de la figure 2A dans lequel le cation silicium a été remplacé par un cation phosphore de plus grande valence que le silicium et qui attire un ion oxygène supplémentaire. Cette figure représente également 1'emplacement de l'ion oxygène libre satisfait par un électron disponible provenant d'un métal. L'électron supplémen-40 taire du ion phosphore peut également attirer des ions métal positivement 17726 4 2048035 chargés dans le courant de vapeur venant frapper la surface du substrat, améliorant ainsi l'adhérence. Dans le mode de réalisation préféré, conformément aux étapes du procédé décrit dans l'organigramme représenté sur la figure 1, un substrat pourvu 5 d'une couche conductrice fortement adhérente sur sa surface, est formé de la façon suivante ; ETAPE 1 : Obtention d'un substrat de matériau isolant contenant un premier cation et un premier anion. Les substrats utiles dans la réalisation de la présente invention sont 10 des matériaux isolants ayant de bonnes propriétés diélectriques et sont, généralement, les oxydes, nitrures, carbures et autres composés du silicium s et du germanium. Parmi ces matériaux, les plus largement utilisés sont le bioxyde de silicium et le nitrure de silicium. Etant donné que le bioxyde de silicium est le matériau diélectrique le plus connu et le plus grandement 15 utilisé, ce matériau sera utilisé à titre d'exemple dans la description suivante. Le bioxyde de silicium, qui peut être formé sur la surface d'une pastille semi-conductrice, au moyen de procédés bien connus, contient 1 cation silicium ayant une valence plus 4 et 4 anions oxygène qui lui sont liés suivant 20 l'agencement représenté sur la figure 2A. Sur la figure 2A, chaque atome de silicium est lié à quatre atomes d'oxygène par une double liaison électronique. D'après la figure 2A il est évident qu'il n'y a aucun emplacement disponible contenant des ions libres ou non satisfaits. La liaison serait semblable pour les autres anions tels que l'azote, le carbone le phosphore, 25 le souffre, le tellure ou le sélénium. Le substrat de silicium contenant une couche surfacique de bioxyde de silicium est nettoyé, d'une façon quelconque bien connue, avant le traitement du substrat conformément aux directives de la présente invention. Les substrats au silicium oxydé peuvent être attaqués, par exemple, dans une so-30 lution chaude concentrée de H^So^ et K2Cr20^, rincés à l'eau distillée et séchés. Le substrat est maintenant prêt pour la seconde des étapes de réalisation représentée sur la figure 1. ETAPE 2 : Introduction par substitution dans ledit substrat d'un second cation différent dudit premier cation par ta) diffusion à l'état solide ; Cb) dif-35 . fusion par phase vapeur ; (c) bombardement ionique. Dans cette étape, l'aluminium, par exemple, qui a une valence plus faible (+3) que le silicium (+4) est introduit par substitution dans les couches surfaciques du substrat soit là où il y a une absence d'ion métal, soit par déplacement du ion silicium. Cependant, dans ces conditions, les 40 liaisons des ions oxygène ne sont pas satisfaites et un emplacement devient 17726 5 2048035 disponible pour la formation de liaisons métal-oxygène. Le cas obtenu dans ces conditions où. un métal de plus faible valence est substitué à un métal dé plus grande valence est représenté schématiquement sur la figure 2B. Sur cette figure, l'atome aluminium ayant une valence de +3 est introduit à la place 5 de ce qui était le tétraèdre de silicium-oxygène. Par suite de la différence des valences, seulement trois des quatre atomes oxygène disponibles ont leurs liaisons satisfaites et un emplacement vide représenté sous forme de ligne en pointillés entre l'atome aluminium et l'un des atomes oxygène est alors disponible pour une liaison métal-oxygène formée ultérieurement. 10 D.'autres. matériaux ayant des valences supérieures à la valence du silicium peuvent être introduits pour fournir des emplacements pour d'autres liaisons métal-oxygène. Cet agencement est représenté schématiquement sur la figure 2C où du phosphore ayant une valence de +5 est introduit par substitution dans le tétraèdre silicium-oxygène. Dans ces conditions le phosphore 15 est capable de satisfaire les liaisons des quatre ions oxygène associés et, en outre, il est capable de former une liaison supplémentaire avec un autre ion oxygène. Lorsqu'il en est ainsi, la liaison de ce ion oxygène n'est pas satisfaite et il y a disponibilité d'un emplacement pour tout autre liaison métal-oxygène formée ultérieurement, comme le montre la ligne en pointillés 20 entre le phosphore et un des atomes oxygène de la figure 2C. Le second cation de valence plus forte ou plus faible que la valence du cation dans le substrat, peut être introduit dans le substrat par un des nombreux procédés quelconques bien connus. Par exemple, lorsqu'il est souhaité remplacer le cation silicium par un cation aluminium dans le 25 tétraèdre silicium-oxygène, quelques monocouches d'aluminium (environ 20 8] sont déposées par évaporation sous vide ou par pulvérisation sur la surface de la pastille de silicium oxydé. Puis, par diffusion à l'état solide à une température d'environ C400°C), l'aluminium se diffuse dans la partie surfa-cique de la couche au bioxyde de silicium. Il n'est pas nécessaire que cette 30 diffusion se fasse de façon à affecter plus de quelques couches surfaciques du bioxyde de silicium. Pour obtenir les résultats requis dans la mise en pratique de la présente invention, il n'est pas nécessaire que l'oxygène libre ou tout autre anion soit présent sur toute l'épaisseur du substrat. Il est seulement nécessaire qu'il y ait une forte concentration d'oxygène libre, 35 ou de tout autre anion approprié, à la surface. Ceci est très important en ce sens que les propriétés fondamentales du substrat diélectrique d'origine restent inchangées. Il est également à remarquer que l'épaisseur du substrat reste inchangée par rapport à ce qu'il était avant le dépôt des monocouches d'aluminium. Ceci représente une caractéristique importante du procédé de 40 la présente invention par comparaison aux techniques de l'art antérieur. Les 17726 6 2048035 procédés de l'art antérieur tels que le dépôt d'un métal intermédiaire nécessitent que le métal intermédiaire et le métal final à déposer soient séparés par un interface de métal pur. Dans ce cas, le critère de bonne adhérence est que le métal intermédiaire ait de bonnes caractéristiques d'adhérence entre 5 le métal et le matériau diélectrique. Dans ces conditions, le métal à déposer rencontre alors un métal plutôt qu'une surface diélectrique telle qu'elle est rencontrée par le métal à déposer dans la présente application, et une épaisseur finie de métal, quoique petite, doit être disponible pour obtenir une bonne adhérence dans les conditions de l'art antérieur. 10 D'autres procédés d'introduction d'un cation de plus forte ou plus faible valence dans le substrat diélectrique, par exemple, par diffusion à la phase vapeur ou bombardement ionique, peuvent être utilisés avec un effet équivalent. En contrôlant la température dans le cas du premier procédé et la tension cas du second, la profondeur sur laquelle est introduit le second catiàfi peut 15 être minitieusement commandée. Comme cela a été indiqué plus haut, d'autres matériaux tels que le fer, le chrome, le magnésium, le tantale, ïe zirconium, le bore et le béryllium peuvent être utilisés de la même façon que l'aluminium et le phosphore et, parce qu'ils fournissent des ions oxygène libres ou non satisfaits, lorsqu'ils 20 sont introduits par substitution, ils peuvent, comme avec l'aluminium et le phosphore, former des liaisons avec les métaux qui ont quelques affinité pour les ions oxygène. A ce stade, il est à remarquer que la présente invention ne se limite pas seulement à l'usage des diélectriques composés d'un oxyde de métal. Par 25 exemple, le cation de silicium forme d'excellents diélectriques avec les anions d'azote, de carbone, de phosphore, ds souffre, de tellure et de sélénium Une excellente adhérence peut être obtenue entre ces diélectriques et les métaux qui sont sous forme de nitrure, carbure, phosphure, sulfure, tellurure et séléniure lorsque les seconds cations de valence plus forte ou plus faible 30 sont introduits à la place du silicium. D'après ce qui précède, il est clair que la présente invention est de très grande utilité et rend possibles des systèmes métal-diélectrique qui jusqu'ici n'auraient pas fourni une bonne adhérence lorsque la liaison se fait à des températures de 500°C même au-dessus Le seul critère à observer en regard du matériau diélectrique est que le 35 second cation, lorsqu'il est introduit par diffusion ou par tout autre procédé, soit capable de former un composé avec les anions déjà présents et que les emplacements puissent former une liaison cation-anion avec le métal à déposer. En rappelant maintenant que la couche au bioxyde de silicium a été formée et qu'une couche d'aluminium a été déposée et diffusée dans les couches sur-40 faciques de bioxyde de silicium, la dernière étape du procédé de la présente 17726 7 2048035 invention se fait de la façon représentée sur la figure 1. ETAPE 3 Dépôt d'une couche de matériau conducteur sur la surface dudit substrat, ledit matériau conducteur déposé comprenant un troisième cation ayant une 5 affinité pour ledit premier anion, dépôt se faisant par Ca] évaporation sous vide, ou Cb) pulvérisation. Par suite de nombreuses caractéristiques souhaitables, les métaux ré-fractaires tels que le tungstène et le molybdène sont reconnus depuis longtemps comme pouvant être utilisés dans les interconnexions des circuits 10 intégrés. Cependant, comme cela a été mentionné ci-dessus, il ne sont pas utilisés par suite des températures élevées requises par leur dépôt. La température de dépôt des métaux réfractaires de la présente invention n'est pas en elle-même inhabituelle et se fait aux températures de 500°C, même en dessous. Ce qui est inhabituel est en fait, qu'aux températures de l'ordre 15 de 325°C, il est obtenu une excellente adhérence tandis que dans les mêmes conditions, sauf en ce qui concerne l'introduction du second cation qui n'est pas utilisée, il est obtenu une faible adhérence sur un substrat comparable. Le dépôt du troisième cation, du tungstène par exemple, peut se faire par la réduction de l'hydrogène par l'hexafluorure de tungstène à la pression 20 atmosphérique. Les températures du substrat sont de l'ordre de 250-6Q0°C et le taux de dépôt est d'environ 1 000 R par seconde et peut être commandé sur une gamme de dépôt allant de 300 à 6000 R par seconde. Le dispositif pour réaliser le dépôt est entièrement construit dans de l'acier inoxydable, à l'exception d'une chambre à mélange en quartz et 25 d'un tube à réaction en quartz. L'hexafluorure de tungstène peut être très pur en prenant quelques précautions pour le maintien des spécifications. Un agent suscepteur fait dans du graphite spectrographiquement pur revêtu de tungstène à de hautes températures pour empêcher toute fuite de gaz durant le dépôt peut également être utilisé. Une description plus détaillée du système 30 se trouve dans la revue "IBM Research Report RC 2404, intitulée "Electrical Resistivity of Tungsten Films Prepared by WF_ Réduction" de A.F. Mayadas, b J.J. Cuomo et R. Rosenberg. Le tungstène, ou tout autre métal réfractaire, peut également être déposé sans s'écarter pour autant de l'esprit de la présente invention, au moyen de procédés de pulvérisation bien connus de l'honme 35 de l'art. D'autres métaux réfractaires appropriés sont le vanadium, le niobium, le tantale et le molybdène. Le principal critère à observer en regard du troisième cation réside dans le fait qu'il est capable de former une liaison chimique avec les anions non satisfaits résultant de l'introduction du second cation. Ainsi, le 40 tungstène est capable de former un oxyde de tungstène avec les ions oxygène 17726 8 2048035 libres des figures 2B et 2C. Le tungstène métal».par exemple, lors de son dépôt, devient ionisé et fournit un électron qui satisfait les besoins de liaison des ions oxygène et la liaison chimique du métal avec la surface du substrat. De la même manière le tungstène ou tout autre métal réfractaire mentionné 5 ci-dessus, est capable de former un nitrure de tungstène, ou un carbure de tungstène. Il est clair que, suivant les matériaux utilisés en tant que premier, second et troisième cations, et en tant qu'anion, les conditions requises pour leur formation ou dépôt vont varier, mais, il est également à remarquer que le dépôt du troisième cation se fait, dans tous les cas, aux tempé-10 ratures de 500°C et en dessous, et que la liaison obtenue finalement entre le matériau diélectrique et le métal, est très adhérente. Un certain nombre de comparaisons ont été faites pour savoir si les substrats fortement adhérents pouvaient ou non être obtenus en utilisant le procédé de la présente invention. Dans un premier exemple, l'oxyde d'aluminium 15 CA1_0) est déposé par pulvérisation sur une surface de bioxyde de silicium. 6 «3 Le dépôt de tunsgtène produit une adhérence relativement bonne jusqu'à environ 350°C, Le tungstène déposé directement sur des substrats au bioxyde de silicium dans des conditions autrement identiques, montre une faible adhérence en-dessous de 55Q°C avec un véritable effritement spontané en dessous de 500°C. 20 Le tungstène est également déposé sur du verre contenant 30% d'alumino-silicate à croissance par vapeur. L'adhérence obtenue apparait être au moins aussi bonne que celle obtenue pour le si&strat de Al^O^ °'3tenu Par pulvérisation. En fait, des tests utilisant dumolybdène montrent que l'adhérence au verre d'alumino-silicate est supérieure à celle obtenue avec Al^D^, les deux adhé-25 rences étant nettement supérieures à l'adhérence du tungstène sur le bioxyde de silicium. D'autres tests d'adhérence sont faits entre le tungstène et le bioxyde d'aluminium non traité et les surfaces de bioxyde de silicium traitées à l'aluminium. Une couche d'aluminium d'une épaisseur de 50 R est déposée au 30 travers d'un masque au centre d'une pastille de silicium oxydé à une température de 400°C et diffusée à cette température. Il est obtenu des topographies aux rayons X du film à température élevée C550°C) et du composé du substrat. Les topographies aux rayons X montrent un manque d'adhérence dans la partie masquée du substrat. 35 Un autre test semblable à celui décrit ci-dessus est fait à une tem pérature de 345°C. Un fort contraste d'adhérence dans la région périphérique indique que l'adhérence entre le tungstène et le film de SiO^ non traité est faible tandis qu'en l'absence de contraste d'adhérence dans la zone centrale à l'échantillon indique une bonne adhérence du film même à de faibles tem-40 pératures du substrat. 70 17726 9 2048035 D'après ce qui précède, il est clair qu'il est obtenu, un procédé de perfectionnement de l'adhérence entre, les films diélectriques et les métaux, procédé qui fournit une excellente adhérence des métaux réfractaires avec les films diélectriques incorporant un cation de silicium aux températures de 5 500°C et en-dessous. Il est évident que la présente description n'a été donnée qu'à titre d'exemple non limitatif et que de nombreuses variantes peuvent être, envisagées sans pour autant sortir du cadre et de la portée de la présente invention. 70 17726 10 2048035 REVENDICATION S 1. Procédé pour faire adhérer une couche conductrice et une couché de matériau isolant dans lequel la couche de matériau isolant comporte un premier cation et un premier anion, caractérisé en ce que : on introduit par substitution, dans la couche de matériau isolant, 5 un deuxième cation différent du premier cation et, on dépose une seconde couche de matériau conducteur sur la surface de la couche de matériau isolant, cette seconde couche renfermant un troisième cation ayant une affinité pour le premier anion, 10 2. Procédé selon la revendication 1 caractérisé en.ce qufe la valence du deuxième cation est différente de celle du premier cation. 3. Procédé selon les revendications 1 ou 2 caractérisé en ce que le troisième cation est différent des premier et deuxième cations et a moins d'affinité pour le prenier anion que le premier cation. 15 4. Procédé selon les revendications 1,2 ou 3 caractérisé en ce que les premier et troisième cations sont des cations métalliques, le deuxième cation est choisi dans le groupe comprenant les ions métalliques et les ions non métalliques, et le premier anion est un anion non métallique. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4 caractérisé en 20 ce que le premier cation est du silicium. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4 caractérisé en ce que le premier cation est du germanium. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6 caractérisé en ce que le deuxième cation est choisi dans le groupe comprenant l'aluminium, 25 le phosphore, le fer, le chrome, le magnésium, le tantale, le zirconium, le béryllium et le bore. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7 caractérisé en ce que le troisième cation est un métal réfractaire. 30 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 8 caractérisé en es que le troisième cation est choisi dans le groupe comprenant, le vanadium, le niobium, le tantale, le molybdène et le tungstène. 70 17726 11 2048035 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9 caractérisé en ce que le premier anion est un élément choisi dans le groupe contenant l'oxygène. l'azote et le carbone. 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 10 caractérisé en 5 ce que le dépôt de la seconde couche de matériau conducteur est réalisée â une température inférieure ou égale à 500°C. 12. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 11 caractérisé en ce que, pour introduire le deuxième cation dans la couche de matériau isolant : on forme quelques monocouches du deuxième cation sur la surface 10 de la couche de matériau isolant et, on chauffe la couche de matériau Isolant pour diffuser dans une partie de sa surface le deuxième cation. 13. Procédé selon, l'une quelconque des revendications 1 à 11 caractérisé en ce que, pour introduire le deuxième cationan^ la couche de matériau isolant : 15 on bombarde la surface de la couche de matériau isolant avec le deuxième cation, afin que ce dernier pénètre ladite surface. 14. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce que la couche de matériau isolant est un diélectrique. 20 15 Procédé pour faire adhérer une couche diélectrique et une couche conductrice du genre dans lequel on prend un substrat formé d'un matériau choisi dans«le groupe comprenant les oxydes, les nitrures et les carbures de silicium, caractérisé en ce que : on introduit par substitution dans le substrat un matériau ayant 25 une valence différente du silicium pour produire des ions libres capables de réaction chimique avec le matériau de la couche conductrice, ledit matériau, ayant une valeur différente du silicium, étant choisi dans le groupe comprenant l'aluminium, le phosphore, le fer, le chrome, le magnésium, le tantale, le zirconium, le bore et le béryllium, 30 on dépose une couche de matériau conducteur, ce dit matériau étant choisi dans le groupe comprenant le vanadium, le niobium, le tantale, le molybdène et le tungstène.