Brevet FR2045704A1 — publié le 19710305

La présente invention concerne un dispositif de couplage pour la réalisation de certaines opérations typiques au cours de la fabrication et/ou vérification de composants semi-conducteurs, en particulier pour la disposition automatique de structuresétran gères quelconques dans un montage tramé, ces structures pouvant être mises en place soit comme zones individuelles, disposées dans le schéma tramé à volonté, soit en lignes et/ou colonnes.De telle e structures étrangères sont nécessaires comme repères de position pour la conjugaison de masques photographiques, d'un Jeu de masques, avec la plaquette de semi-conducteurs, comme champ de vérification pour le contrôle des opérations technologiques individuelles dans le cadre du processus de fabrication totale d'éléments semi-conducteurs et de circuits intégrés monolithiques, par exemple suivant le procédé utilisant là technique planaire, et pour la disposition systéiatique de structures dif f4rentes, c!est-à-dire de circuits intégrés monolithiques dif férente, sur une plaque de semi-conducteurs, comme pratiqué en TUS de l'intégration des groupes. Une fois terminé le processus de la fabrication, au cours duquel les masques photographiques ont été appliqués et après l'exécution des opérations sur ltensemble, les plaques de semiconducteur sont vérifiées au moyen de dispositifs de contrôle auteiatique à sondes multiples. A ce stade de vérification, il *axt tenir compte des caractéristiques géométriques et électri- ques différentes de structures étrangères intercalées, afin d'obtenir des résultats de mesure valables et de plus pour proté ger ss structuresayant des réseaux de contact disposés d'une façon différente, contre leur destruction par les sondes. Jusqu'd présent, on ne connatt que des dispositifs supplémentaires des appareils semi- automatiques, destinés à réaliser des masques photographiques, permettant une intercalation de champ de vérification. Ces appareils travaillent automatiquement, en séquences alignées. Si cela est absolument nécessaire on fait usage de structures étrangères, le plus souvent par une intervention manuelle dans le procédé automatique Seule cette méthode est appliquée à la vérification au moyen des dispositifs d'essai à sondes multiples. Actuellement on ne connatt aucun dispositif d'essai à sondes multiples tenant compte de struetu res étrangères automatiquement, sur la base d'une programma tion spéciale. Les appsrI1s connus ne permettent pas une disposition automati que de structures étrangères dans un schéma de trame. Au contraire, une intervention manuelle est continuellement nécessaire au cours du processus de fabrication et de vérification. Il n'est pas besoin de démontrer davantage que cela réclame une qualification élevée du personnel. Cependant, même dans ce cas, des défauts de production, dus à l'influence individuelle sont inévitables. De ce fait, la qualification du personnel et le rendement en résultant exercent une influence sensible sur la rentabilité de la fabrication et de la vérification des circuits intégrés-monilithiques, en particulier à l'utilisation d'un grand nombre de structures étrangères importantes.Leur répartition compliquée dans le schéma de trame, à l'aide de moyen semi-automatiques, entraîne forcément tous les inconvénisirti ae l'imperfection humaine. L'invention a pour but d'améliorer les résultats techniques et économiques soumis à 11 influence subjective au cours d'un pro cessas de fabrication et/ou de-vérification de composants sesi- conducteurs de contribuer, notamment à un rendement élevé, à la réalisation des masques photographiques de haute qualité, et de permettre des répartitions compliquées de structures dtrangbree dans le schéma tramé. L'invention vise à produire un dispositif de couplage pour la réalisation de certaines opérations typiques au cours * la fabrication et/ou vérification des composants semi-condueteure, en particulier pour une disposition automatique de structures étrangères quelconques dans un schéma tramé, dans lequel, i l'aide de dispositifs de présélection appropriés et avant la mise en marche du processus de fabrication et/ou de vérification les coordonnées d'emplacement des structures étrangères sont programmées. Le dispositif de couplage doit permettre des cycles en peigne, utilisés à la réalisation des masques photographiques exclusivement et en partie aux dispositifs d'essai à sondes multiples, de même que des cycles en méandres, utilisés pour la plupart aux dispositifs d'essai sondes multiples. Selon l'invention, ce résultat est obtenu de façon qu'il est prévu deux compteurs électroniques pour le comptage respec tivement des colonnes et des lignes des structures disposées dans un schéma tramé prédéterminé, reprdsentant chaque fois un dessin topologique des composants semi-conducteurs ou des circuits intégrés monolithiques, les deux compteurs étant raccor- dés à une unité de commande qui détermine le déroulement -coor- donné de toutes les opérations d'un cycle complet de mouvement. L'emplacement d'une structure quelconque dans le schéma tramé est parfaitement déterminé par les états stationnaires des éléments de mémoire desdits compteurs et par les chiffres représentés de ce fait. Chacun des deux compteurs est relié à un certain nombre de dispositifs de présélection, combinés entre eux par des montages, fondamentaux logiques, dont les signaux de sortie, par l'intermédiaire d'autres montages fondamentaux logiques et digitaux, influent sur l'unité de commande de lZappareil respectif et de ce fait interviennent dans le déroulement du procédé. Le montage est disposé de manière qu'à tous les points de la trame, prédéterminés par les dispositifs de présélection, les opérations typiques soient ou empêchées ou exécutées seulement à ces points de trame. Par opérations typiques il faut entendre le processus de pose pendant la réalisation des masques photographiques, l'arrêt du mouvement de la table, l'abaissement des sondes d'essai et enfin le processus de vérification auto nautique des circuits intégrés monolithiques dans l'ensemble de la plaque. La sélection des zones individuelles, disposées à volonté dans le schéma tramé, se fait de façon que les sorties chaque fois d'un dispositif de présélection du compteur de colonnes et d'un dispositif de présélection de lignes sont combinées par paire au moyen d'un élément E. Chaque paire de dispositifs de présélection prédétermine la position d'une zone individuelle Les sorties de tous les éléments ET sont combinées au moyen d'un élément OU. Une intervention dans le déroulement normal du processus ne se produit qu'à des points de la trame dont les coordonnées correspondent à un des chiffres réglés sur les paires des dispositifs de présélection. Afin de faciliter une sélection des lignes complètes, un dispositif de présélection pour chaque ligne est raccordéau compteur de lignes. Un-certain nombre de dispositifs de présélection défini par le but d'emploi, est monté en parallèle et combiné par l'intermédiaire d'un élément OU. La sélection des colonnes complètes s'effectue de la même façon que celle des lignes sauf que les dispositifs de présélection sont reliés au compteur de colonnes La transition de la suppression des opérations typiques au:: points présélectionnés de la trame pendant un cycle complet du mouvement du dispositif de positionnement à l'exécution desdites opérations, au cours des cycles de mouvement subséquents, seu lement audits points de trame présélectionnés, se produit du fait qu'après les éléments OU, prévus pour la présélection des zones individuelles, des colonnes ou de lignes, un négateur est mis hors circuit au moyen d'un commutateur, à la suite de quoi le- niveau logique et par conséquent l'actionnement sur l'organe de réglage prévu pour le déelenchement des opérations typiques sont inverses . l'aide d'autres commutateurs, les sorties desdits éléments OU peuvent être reliées de manière sélective avec l'organe de réglage et la sélection des zones individuelles et/ou des lignes et/ou colonnes est ainsi fixée. On peut utiliser les dispositifs de présélection des zones individuelles éga- lement pour la présélection des lignes et colonnes, dans le cas ou il faut présélectionner ou seulement des zones individuelles ou seulement des lignes et/ou des colonnes.En utilisant des dispositifs de présélection- séparés pour les zones individuelles, les colonnes et les lignes, ainsi qu'une combinaison OU additionnelle, on peut faire usage desdites trois variantes de la prS lection en même temps et indépendamment.Par suite, au premier cycle de mouvement il est aussi possible, en rapport avec le ré- glage des dispositifs de présélection correspondants, d'éliminer les zones individuelles, les lignes et les colonnes quelconques et ensuite, au cours des cycles de mousement subséquents, par une variationappropriée de réglage des dispositifs de présélection et de la position des commutateurs, de n'intercaler chaque fois que certaines parties des points de la trame, auparavant éliminés. Après autre parvenu, au cours du procédé à un point de la trame prédéterminé au moyen des dispositifs de présélection, l'intervention partielle dans le déroulement du processus se produit par la combinaison des signaux de sortie des dispositifs de pré sélection avec ceux pour le déclenchement des opérations typiques du procédé, au moyen d'un élément ET. Le déclenchement des opérations typiques est effectué en principe par les signaux de sortie des dispositifs de présélection des compteurs de distance déterminant le module en direction des lignes (direction x) et en direction des colonnes (direction y), ctest-à-dire, par les signaux qui arrivent à l'entrée respectivement du compteur de colonnes et du compteur des lignes et y sont comptés comme points de la trame.Afin d'assurer un fonctionnement sans défaut, le signal de sortie du compteur de distance des colonnes est retardé eu retenu au moyen d'un multivibrateur monostable, jusqu'à ce que le signal de présélection, qui doit parcourir le canal de présélection, constitué par. les compteurs de colonnes, les dispositifs de présélection et les circuits fondamentaux logiques, et qui est par suite en retard, soit arrivé à la seconde entrée de l'éldeent ET et statiquement appliqué. Le signal de sortié dudit élément Ex est amené à l'organe de réglage qui effectue les opérations typiques.Cette disposition est utilisable pour le cycle en peigne de même que pour ceux en forme de méandres cependant en principe il ntest approprié que pour la commande des opérations typiques avec les dispositifs d'essai à sondes multiples. Par ailleurs, à la réalisation des masques photographiques le signal de déclenchement doit arriver à l'organe de réglage sans retard, pour déclencher l'opération de poseo Sinon, les mouvements irréguliers du dispositif de mise en place donnent naissance à un dérangement inadmissible des structures dans le schéma de la trame. Pourtant, si le signal de déclenchement est amené sans retard, en tournant le multivibrateur monostable, à l'élément ET, au moment où il parvient aux points présélectionnés de la trame, le signal retardé du canal de présélection n'est pas encore appliqué, de sorte que l'opération est déclenchée, bien qu'elle doive être justement empêchée et vice-versa. On peut résoudre ce problème en réglant, pour un point à présélectionner xn , Yn , les dispositifs correspondants de présélection sur les chiffres (xn-1) et Yn. Pour un fonctionnement sans défaut , la largeur du signal de déclenchement doit être inférieure à la durée du retardement dans le canal de présélection. On obtient un fonctionnement absolument sûr en amenant les signaux de sortie des éléments OU des dispositifs de présélection respectivement des zones individuelles et des colonnes (la présélection des lignes n'en est pas touchée) à un multivibrateur monostable, dont les signaux de reIE-ation riRF-ogrades font basculer un multivibrateur bistable de sa position initiale (position synchronisée de repos) à la position de travail.La sortie du multivibrateur bistable est reliée à l'élément ET, prévu pour combiner les signaux de déclenchement et de présélection, et amène à celui-ci le signal nécessaire statique de présélection, avant que le signal de déclenchement soit arrivé. Les dispositifs de présélection couplés au compteur de lignes, doivent être aussi réglés sur le chiffre (xn - 1). Moyennant un autre multivibrateur monostable, dont le temps de retardement est inférieur à celui du premier multivibrateur, par chaque impulsion de déclenchement le multivibrateur bistable est remis à sa position initiale. Si l'on veut éviter des complications, il faut tenir compte du fait, que cette disposition de couplage n'est appropriée que pour un cycle peigne. Au cas où il serait nécessaire de disposer un grand nombre de structures étrangères, comme zones individuelles, lignes et/ ou colonnes) on peut utiliser comme dispositifs de présélection non pas des commutateurs mécaniques mais des éléments de mémoire électromécaniques ou électroniques. Oeux-ci sont réglés, au cours du mouvement du dispositif de mise en place, pour le point subséquent de la trame ou par lignes, à l'aide de dispositifs de mémoire intermédiaires, par exemple des bandes perforées ou des mémoires à noyau. Si, au cours du premier cycle de mouvement, tant des lignes que des colonnes sont omises, il niest permis, pendant les ey- cles de mouvement subséquents, de positionner aux points dtinter- section Ses lignes et colonnes que soit le dessin des lignes soit le dessin des colonnes. Ceci peut être effectué du fait que les signaux de présélection des dispositifs de présélection de lignes ou de colonnes sont reliés par un élément ET, qu'une négation est interposée et que ces signaux sont appliqués à un autre élément ET, auquel on amène en même temps les signaux des dispositifs de présélection des lignes, des colonnes et des zones individuelles, combinés à volonté au moyen d'un élément OU. La sortie du second élément ET est reliée avec l'élément ET pour la combinaison des signaux de déclenchement et de préséleotion par l'intermédiaire du négateur ou directemen. Au cas où l'on amène les signaux du dispositif de présélection des zoes indi viduelles après la négation, au second élément ET, on obtient par un réglage approprié des présélections respectives, en plus une sélection des zones individuelles positionnées sur les lignes ou colonnes présélectionnées. Afin d'éliminer, pour la durée du cycle de mouvement respectif à priori les lignes, sur lesquelles par suite des réglages de présélection aucune opération ne sera déclenchée et de réduire ainsi la perte de temps, les signaux de présélection des dispositifs pour la présélection des zones individuelles et des lignes sont combinés par des éléments OU et reliés avec l'unité de commande au moyen des circuits fondamentaux logiques et digitaux appropriés. En outre, par un signal du dispositf, sur lequel le chiffre maximal de la présélection de lignes est appliqué, le cycle de mouvement est terminé. L'invention permet une disposition complètement automatique de structures étrangères en forme de zones individuelles de li gnes ou de colonnes dans un schéma tramé et l'élimination de toute intervention manuelle au cours du procédé entier de la production et vérification. D'une part, la dépense de service est réduite de ce fait au minimum, d'autre part, un déroulement str du processus est garanti.De plus, la précision, le rendement technique et économique et la streté des résultats de mesure pendant la vérification des plaques de semi-conducteur avec le dispositif d'essai à sondes multiples sont élevés et le temps nécessaire pour la réalisation des masques photographiques de même que les frais de service sont réduits, étant donné que le travail des opérateurs est limité à 11 échange des objets et au réglage du programme. Une description de plusieurs formes de réalisation qui va suivre à titre d'exemple non limitatif, en référence aux dessins annexés, permettra de mieux comprendre l'invention. tes circuits fondamentaux sont disposés de manière à obtenir pour toutes les variantes mentionnées un flux fermé des signaux. On-a pris pour base un cycle de mouvement en peigne, cependant une adaptation à un mouvement en méandres est possible, aux- dessins annexés. La fig. 1 montre un dispositif de couplage pour la production de signaux de présélection séparés pour des zones indivi duelles, des lignes et des colonnes quelconques. La fig. 2 montre un dispositif de couplage po la prodlen tion de signaux de préselection pour des zones individuelles des lignes et des colonnes quelconquess La fig. 3 montre un dispositif de couplage pour la combi- naison de signaux de présélection de zones individuelles ou de lignes ou de colonnes avec les sigmxx pour le déclenchement des opérations pour dispositifs d'essai à sondes multiples. La fig. 4 montre un dispositif de couplage pour la combinaison de signaux de présélection de zones individuelles, de lignes ou de colonnes avec les signaux pour le déclenchement des opérations des appareilspour la réalisation des masques photogra phiques. La fig. 5 montre un dispositif de couplage pour la combi naison de signaux de présélection de zones individuelles et de lignes et colonnes avec les signaux pour le déclenchement des opérations pour dispositifs d'essai à sondes multiples. La fig. 6 montre un dispositif de couplage pour la combinaison de signaux de présélection de zones individuelles et de lignes et colonnes avec les signaux pour le déclenchement des opérations des appareils pour la réalisation des masques photographiques. La fig. 7 montre la disposition de structures dans un schéma traz6, les structures etrangbres étant représentées en forme de zones individuelles, de lignes et de colonnes. La fig. 1 montre un dispositif de couplage pour la production de signaux de présélection suivant l'invention. D ès que, pendant le mouvement du dispositif de mise en position des lignes une colonne est atteinte, un signai de sortie d'un compteur de distance de colonnes, non représenté aux dessins, passe par l'en trée 38 à un compteur de colonnes 1. Celui-ei est connecté avec des dispositifs de présélection 3a à 3m, dont les sorties mènent à un élément OU 9. A la sortie 34 de l'élément OU 9, un signal L se produit sitôt qutun des chiffres présélection nés aux dispositifs de présélection 3a à 3m est en accord avec le chiffre indiqué au compteur de colonnes 1.De la même façon les signaux de sortie d'un compteur de distances de lignes, non représenté aux dessins, passent au cours du mouvement dans la direction des colonnes par l'entrée 39 à un compteur de lignes 2. auquel des dispositifs 4a à 4n de présélection sont raccordés, dont les sorties mènent à un élément OU 100 Chaque fois qu'unie ligne correspondant à un des chiffres réglés aux dispositifs 4a à 4n est atteinte, il se produit un signal L à la sortie 35 de l'élément OU 10. Les signaux de présélection pour des zones individuelles sont produits par une combinaison par paires respectivement des dispositifs - 5a, 51 et 6a à 61 de présélection, raccordés respectivement au compteur de colonnes 1 et au compteur de lignes 12, aveo les éléments ET 7a à 71, dont les signaux de sortie passent par l'intermédiaire d'un élément OU 8 à la sortie 36. Ici, pourvu que les conditions de la présélection des lignes et des colonnes d'une des paires de dispositifs 5a, 6a à 51, 61 de présélection soient remplies,il se produit des signaux de présélection. Le dispositif de couplage représenté à la fig. 2 diffère de celui selon la fig. 1 en ce que les dispositifs de présélection respectivement 5a à 51 et 6a à 61 sont utilisés non seulement pour la présélection des zones indivlduelles mais encore pour celle des lignes et des colonnes.Dans ce ouas, un nombre plus petit de dispositifs de présélection est nécessaire, cependant on ne peut présélectionner indépendamment que des lignes et des colonnes, et non des zones individuelles et respectivement des lignes et des colonnes, alors qu'avec le montage suivant la fig. 1, toutes les trois variantes de présélection peuvent être réglées et intercalées indépendamment les unes des autres Les signaux de sortie des dispositifs 5a à 51 pour la présélection des colonnes sont combinés au moyen d'un élément OU 43 et émis par la sortie 40, tandis que les signaux de sortie des dispositifs 6a à 61 pour la présélection des lignes amont combinés au moyen d'un élément OU 44 et émis par la sortie 41. À la sortie 42 de l'élément OU 8 les signaux de présélee- tion des zones individuelles sont disponibles. La fig. 3 montre un dispositif de couplage pour la combinaison des signaux de présélection différents avec les signaux pour le déclenchement des opérations typiques. Àu moyen d'un commutateur 33, une des sorties 40, 41, 42 des éléments OU 43, 44 ou 8 est reliée à un élément ET 12, ou directement ou par l'intermédiaire d'un négateur 11.En outre, le signal de déclenchement se trouvant à l'entrée 38 du compteur de colonnes 1 est également amené à 1téldment ET 12, par l'intermédiaire d'un univibrateur 14. L'univibrateur 14 fait retarder le signal de déclenchement, pour équilibrer le temps de retardement qui se manifeste dans le canal de présélection, constitué par les compteurs respectivement de colonnes 1 et de lignes 2, les dispositifs 5 et 6 de préseleotion, les éléments ET 7 et les éléments OU 8, 43, 44 et pour assurer la coincidence des signaux à l'élénient ET 12. Les conditions de présélection, réglées- selon le cas, étant -remplies, il se produit à la sortie du négateur il un signal 0, ceest-i-dire durant la position representee du commutateur 27, qui est utile pour le déclenchement ou la suppression de l'opération aux points présélectionnés de la trame, les signaux de déclenchement ne peuvent pas passer à l'orgue de réglage 13, dont la sortie 37 sert au déclenchement de l'opération. De ce fait, à tous les points présélectionnés de la trame 11 opération est emp8ehée ou omise. Par contre, dans l'autre position du commutateur 27, l'opération n'est effectuée quWaux points de la trame, déterminés par les dispositifs de présélection 5 et 6.Les points de raccordement 34' , 35' , etc... représentent des points de connexion qui doivent être reliés aur points- de raccordement analogues 34, 35, etc,... La fig. 4 montre un dispositif de couplage où le temps de retardement des canaux de présélection est éliminé de prime abord et le signal de ddelenchement amené à l'organe 13 de réglage sans retard. Les signaux de présélection respectivement de zones individuelles et de colonnes arrivent du canal par l'intermédiaire d'un commutateur 33b à entrée d'un multivibrateur monostable 15, qui fait basculer unmultivibrateur bistable 17 de sa position initiale, avec un retard # 15 Un négateur 26 ne sert qu'à produire la polarité appropriée du signal.Après un certain retardement # 16 , un autre multivibrateur mono stable 16 remet le multivibrateur bistable 17 par le signal déclenché dans sa position initiale, autant que celui-ci se trouve dans la position de travail, à la suite d'un signal de présélection. Une sortie du multivibrateur 17 est reliée, directement par le commutateur 33a ou par l'intermédiaire du négateur 11 indireo- tement avec l'élément ET 12.Lorsqu'un point de la trame, indi qud par la présélection d'une zone individuelle- ou d'une colonne est atteint, le multivibrateur bistable 17 se trouve tout d' eaZ bord dans sa position initiale de manière quen le eosmutateur 27 étant dans la position représentée, le signal de déclenchement pour le même point de la trame, mené directement à l'élément ET 12, puisse passer à l'organe de réglage 13 et déclencher 11 opération. Du fait qu'au bout du temps de retardement #15 le multivibrateur bistable 17 bascule dans sa position de travail, le point de trame subséquent atteint, à l'élément BT 12 se trouve un signal 0, de aorte que le signal de déclenchement ne parvient pas à l'organe de réglage 13 et par conséquent le pas du processus est empêché. Après le temps de retardement La fig. 5 montre un dispositif de couplage analogue} à ee- lui représenté sur la fig. 3. Le dispositif permet de disposer des structures étrangères diverses en colonnes, lignes et zones individuelles en mSme temps et d'une manière absolument indépendante. On considère le cas le plus compliqué, illustré à la fig. 7, oh les structures étrangères des colonnes diffèrent de celles des lignes et celles-ci diffèrent des structures étrangères des zones individuelles. Les signaux de présélection, émis par le dispositif de couplage de la fig. 1, sont amenés par l'intermédiaire des commutateurs 28, 29, 30 et d'un élément OU 18 à un élément ET 21 et passent de celui-ci dans le dis positif pour la combinaison des signaux de présélection et ceux de déclenchement, représenté déjà àla fig. 3.Les commutateurs 31 et 32 étant dans la position représentée, à,la seconde en- trée de l'élément ET 21 se produit, par l'intermédiaire d'un élément OU négateur 20 (élément NAND), un signal L. De ce fait, au cours du premier cycle de mouvement, à tous les points de la trame indiqués par les dispositifs de présélection, ltexé- cution de l'opération typique est empêchée. Au cours des cycles de mouvement suivant, à la suite de la-manoeuvre du commutateur 27, on obtient avec le commutateur 29 fermé la mise en place des structures étrangers des colonnes, avec le commutateur 30 fermé la mise en place des structures des lignes et avec le com mutateur 28 fermé la mise en place des structures des zones individuelles.La combinaison des signaux de présélection de lignes et de ceux de colonnes au moyen d'un élément ET 19 est obtenue du fait qu'aux points dtintersection des lignes et des colonnes est disposée soit la structures étrangère de la ligne soit celle de la colonne. Dans la position représentée du commutateur 32, durant le cycle de mouvement en cours, aux points d'intersection seront disposées les structures étrangères, d'est à-dire par exemple, le commutateur 29 fermé, elles seront adjointes aux colonnes, b l'autre position du commutateur 32 par contre elles seront omises.Des structures étrangères se trouvant sur lignes ou colonnes, mais non identiques à ces structures, peuvent être disposées en plus, par une combinaison de signaux de présélection de zones individuelles et ceux de points dtinterseotion au moyen de l'élément OU 20 et par un réglage ap approprié des dispositifs de présélection 5 et 6. Ces zones sont supprimées, lorsque le commutateur 31 se trouve dans la position non représentée. La fig. 6 est une représentation d'un dispositif de couplage offrant les mimes possibilités comme celui illustré à la fig. 5, seulement les signaux de déclenchement arrivent sans retard à l'organe de réglage, comme dans le dispositif suivant la fig. 4. Les multivîbrateurs monostables 22 et 29 et les multivibrateurs bistables 24 et 25 correspondent quant à leur fonctionnement aux unités 15 et 17 de la fig. 4, l'une des ómbinaisons servant à la mise en place descolonnes et l'autre à la mise en place des zones individuelles. Les négateurs 26 et 26a ne sont prévus -qu'à l'adaptation des signaux. Les fig. 1 et 2 montrent en outre des éléments de montage réduisant la durée du cycle de mouvement du dispositif de mise en place. A la sortie 46 d'un élément OU 45, prevu pour la combinaison logique des dispositifs de présélection de lignes pour des zones individuelles & à 61 et représentés à la fig. 1, il se produit un signal, en tant que l'indication du compteur 2 correspond à un de ces chiffres de présélection. De même, lorsque un des chiffres aux dispositifs de présélection des lignes 4a à 41 correspond à l'indication du compteur, on obtient un signal à la sortie 35 de l'élément OU 10. Quand on amène ces deux signaux à l'unité de commande du dispositif de mise en place non représenté aux dessins, seulement les lignes contenant les points de trame présélectionnés sont parcourues. De plus, les sorties 47 et 48 des dispositifs de présélection respectivement 61 et 4n, auxquels le chiffre maximal de présélection est continuellement appliqué, sont reliés à l'unité de commande, ce qui produit l'arrêt du dispositif de mise en place à la fin du mouvement. On obtient le même effet en reliant les sorties 41 et 47 respectivement de l'élément OU 44 et du dispositif 61 de présélection, représentés à la fig. 2, avec l'unité de commande. Enfin la fig. 7 montre en représentation schématique les diverses possibilités de la mise en place de structures étrangé; res dans un schéma complet de la trame. Les structures étrangères sont déterminées comme zones individuelles par les paires de coordonnées xn , ynyn (x3 Y2 ; Z8 Y 3 ; x9 y9 et x2 y10), comme colonnes par les valeurs x des coordonnées (x7 ; x8) et comme lignes par les valeurs y des coordonnées (y8). La structure étrangers de la ligne se trouve au point dtintersec tion de la ligne y7 avec la colonne x7 et la structure étrangère de la colonne se trouve au point d'intersection de la ligne y8 avec la colonne x8. La zone individuelle x8 y3 contient une autre structure étrangère que l'autre partie de la colonne 8. REVENDICATIONS 1 - Dispositif de couplage pour la réalisation de certaine opérations typiques au cours de la fabrication etbou vérifica- tion de composants semi-conducteurs, en particulier pour la mise en place automatique dans un schéma tramé de structure étrangère quelconque, telle que des repères de mise en place, des dispositifs deessai ou des circuits de commutation, de configura tion différente, caractérisé en ce qu'on monte à la sortie d'un compteur de distances de colonnes sur entrée 38 d'un compteur électronique de colonnes 1 et la sortie d'un compteur de distances de lignes à l'entrée 39 d 'un compteur #2, la sortie du compteur de colonnes 9 étant reliée aux entres d-tun certain nombre de dispositifs 3 de présélection de colonnes et de dis posât fis 5 de présélection pour les coordonnées de colonnes de zones individuelles, la sortie du compteur de lignes 2 aux entres d'un certain nombre de dispositifs 4 de présélection de lignes de mCme que de dispositifs 6 de présélection pour les coordonnées des lignes de zones individuelles, d'amener les sorties des dispositifs 3 de présélection de colonnes à un élément OU 9 et les sorties des dispositifs 4 de présélection de lignes à.un autre élément OU 10, les sorties des dispositifs 5 de présélection pour les coordonnées des colonnes de zones individuelles 5 étant reliées, au moyen d'éléments ET 7, dont les sorties mènent à un élément OU 8, par paires aveo les sorties des dispositifs 6 de présélection pour les coordonnées de lignes de zones individuelles et un multivibrateur monostable 14 pour la dilatation des impulsions de déclenchement, relié d'un c5té avec l'entrée 38 du compteur 1 de colonnes, aussi bien qu'une des sorties 40, 41, 42 d'un des éléments OU 8, 43, 44 pour la combinaison des dispositifs de présélection, les der niera par l'intermédiaire de commutateurs 33, 27, étant montés, soit directement soit par l1intermédiaîre dhn négateur 11 pour la suppression de tous les poins de la trame présélectionnée, à un 'qément ET 12 pour la combinaison des signaux de déclenchement et de présélection, dont la sortie mène à un organe 13 de réglage pour la commande des opérations typiques. 2 - Dispositif de couplage suivant la revendication 1, caractérisé en ce quall est prévu une combinaison logique comprenant les sorties des dispositifs de présélection 5a à 51 ; 6a 61 pour les coordonnées de colonnes et de lignes des zones individuelles, combinées par paires avec les éléments ET 7a à 71 ceux-ci combinés entre eux au moyen d'un élément OU 8, aussi bien que les dispositifs de présélection 5a à 51 pour les coordonnées de colonnes des zones individuelles combinés par l'intermédiaire d'un élément OU 43 et les dispositifs de présélection 6a à 61 pour les coordonnées de lignes des zones individuelles combinés par l'intermédiaire d'un élément OU 44. 3 - Dispositif de couplage suivant l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que la sortie 42 de l'élément OU pour la combinaison de tous les dispositifs de présélection de zones individuelles 8 ou la sortie 40 de 11 élément OU 43 pour la combinaison de tous les dispositifs de présélection de colonnes 43 est couplé, par l'intermédiaire d'un négateur 26 pour l'adaptation de signaux, d'un multivibrateur monostable 15 pour le retardement des signaux de présélection et d'un multivibrateur bistable 17 pour l'emmagasinage des signaux de présélection des colonnes et des zones individuelles, à l'entrée du négateur 11 pour la suppression des points de trame prdad- lectionnés, et l'entrée 38 du compteur de colonnes 1 est reliée avec l'entrée d'un multivibrateur monostable 16 pour le retardement des signaux de déclenchement, dont la sortie mène au multivibrateur bistable 17 pour l'emmagasinage des signaux de présélection de colonnes et de zones individuelles, le temps de retardement du multivibrateur monostable 15 étant supérieur à celui du multivibrateur monostable 16. 4 - Dispositif de couplage suivant l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les sorties 36, 34, 35 des éléments OU pour les combinaisons de présélection 8, 9, 10 sont menées, par l'intermédiaire de commutateurs 28, 29, 30 des signaux de présélection de zones individuelles, de colonnes ou de lignes, de manière selective à un élément1 OU 18 pour la combinaison de tous les signaux de présélection de zones individuelles, de colonnes et de lignes, relié, par l'intermédiaire d'un élément ET 21 pour la combinaison des signaux de présélection de zones individuelles, de colonnes et de lignes avec les signaux de points d'intersection et de zones individuelles, au négateur il pour la suppression de tous les points de trame présélectionnés, tandis quten même temps la sortie 4 de l'élément OU 9 pour la combinaison de tous les dispositifs de présélection de colonnes et la sortie 35 de l'élément OU 10 de tous les dispositifs de présélection de lignes sont combinées par l'intermédiaire d'un élément ET 19 et amenées à l'élément ET 21 pour la combinaison des signaux de présélection de zones individuelles, de colonnes et de lignes avec les signaux des points d'intersection et des zones individuelles, par l'intermé- diaire d'un commutateur 32 des signaux de présélection des points d'intersection de même que d'un élément OU 20 pour la combinaison des points d'intersection de'lignes, de colonnes et de zones individuelles, cet élément étant en outre relié avec la sortie 36 de l'élément OU 8 pour la combinaison de tous les dis posi-tifs de présélection de zones individuelles, par l'intermédiaire d'un commutateur 31 des signaux de présélection de zones individuelles. 5 - Dispositif de couplage suivant l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en oe qu'entre la sortie 34 de l'élément OU 9 pour la combinaison de tous les dispositifs de présélection de colonnes et une entrée de l'élément OU 18 pour la combinaison de tous les 9ignQ UX de présélection de zones individuelles de colonnes et de lignes, se trouvent, montés en série, un négateur 26 pour l'adaptation des signaux, un multivibrateur monostable 22 pour le retardement des signaux de présélection de colonnes, un multivibrateur bistable 24 pour la mémorisation des signaux de présélection de colonnes de même que le commutateur 29 des signaux de présélection de colonnes, entre la sortie 36 de l'élément OU 8 pour la combinaison de tous les dispositifs de présélection de zones individuelles et la seconde entrée de l'élé- ment OU 18 pour la combinaison de tous les signaux de préséleo- tion de zones individuelles, de colonnes et de lignes, sont disposés, montés en série, un négateur 26a pour l'adaptation des signaux avec un multivibrateur monos table 23 pour le retardement des signaux de présélection de zones individuelles, un multivibrateur bistable 25 pour l'emmagasinage des signaux de présélection de zones individuelles ainsi qu'un commutateur 28 des signaux de pré sélection de zones individuelles, les entrées équivalentes des multîvibrateurs bistables 25, 24 pour la mémorisation respectivement des signaux de présélection de colonnes et ceux de présélection de zones individuelles étant montées en pa allèle et menées à la sortie du multivibrateur monostable 16 pour le retardement des signaux de déclenchement, dont l'entrée est reliée avec l'entrée 38 du compteur de colonnes 1 et la sortie 35 de l'élément OU 10 pour la combinaison de tous les dispoeitîfs de présélection de lignes étant reliée, par l'intermédiaire d'un commutateur 30 des signaux de présélection de lignes, directement avec la troisième entrée de l'élément OU 18 pour la combinaison de tous les signaux de présélection de zones individuelles de colonnes et de lignes. 6 - Dispositif de couplage suivant l'une des revendications 1 à 5, caraotérisé en ce que pour la présélection de zones individuelles coordonnées xn yn au moyen des dispositifs 5, 6 de présélection de coordonnées des colonnes et des lignes ou pour la présélection de colonnes aux coordonnées Xn , les dispositifs 5, 3 de présélection, couplés au compteur de colonnes 1, sont chaque fois réglées à la valeur de xn - 1, tandis que les dispositifs 6, 4 de présélection, couplés au compteur de lignes 2, sont réglés-toujours à la valeur de y 7 - Dispositif de couplage suivant l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la sortie respectivement 46 et 41 de l'élément OU respectivement 45 et 44, constituant une combinaison logique des dispositifs 6a à 61 pour la présélection des coordonnées de lignes de zones individuelles et la sortie 35 de l'élément OU 10 pour la combinaison de tous les dispositifs de présélection de lignes avec l'unité de commande du dispositif de mise en position sont reliées de manière à ne pas permettre que le parcours des lignes présélectionnées par les dispositifs 6a à 61 pour la présélection de zones individuelles ou ceux 4a à 4n pour la présélection des lignes et que les sorties 47 et 48 des dispositifs de présélection (respectivement 61 et 4n) auxquels les chiffres maximaux de présélection sont appliqués, sont raccordées à l'unité de commande du dispositif de mise en place, de façon qu'après avoir passé la ligne présélectionnée par ce chiffre le processus de mise en place soit terminé.