Brevet FR2050486A1 — publié le 19710402

L'invention concerne tm transistor à effet de champ muni d'un substrat semiconducteur d'un type de conduction, comportant deux zones de l'autre type de conduction situées l'une à côté de l'autre, zones qui confinent à une surface du substrat 5 et qui constituent les zones électrode du transistor, alors que sur ladite surface est appliquée une couche isolante sur laquelle sont appliquées au moins deux électrodes porte qui sent situées entre les zones électrode et entre lesquelles est appliquée, dans le substràt semiconducteur, une zone diffusée de l'autre type de 10 conduction confinant à ladite surface et appelée par la suite . "zone constituant îlot". Il est souvent désirable de relier une électrode porte à une diode prètectrice. Une telle diode protectrice protège la couche isolante située au-dessuus de l'électrode porte contre 15 le risque de claquage lorsque la différence de potentiel à laquelle est soumise la couche isolante risque d'atteindre une valeur trop élevée. XI est souvent difficile de connecter d'une façon satisfaisante une électrode porte à une diode protectrice qui est 20 également appliquée dans le substrat semiconducteur. Une telle connexion peut être constituée par un conducteur appliqué sur la couche isolante. Ce conducteur ne peut croiser d'une façon isolée une autre électrode porte ou ne le peut qu'à l'aide d'une structure compliquée coûteuse. De plus, il est souvent indési-25 rable qu'ion tel conducteur se trouve partiellement au—dessus d'une zone électrode, du fait que cela risque d'introduire une capacité indésirable. D'une façon générale, il faut en outre une très courte connexion à résistance basse entre une électrode porte et une 30 diode protectrice y reliée afin d'empêcher la destruction de cette connexion par chauffage dans le cas de grands courants traversant la diode et pour éviter une trop grande inertie de la diode. C'est que la résistance de la connexion peut avoir pour effet que la couche isolante située au-dessous de l'électrode 35 porte claque plus tôt que la diode protectrice, même ei la tension de claquage de la diode protectrice est inférieure à celle de la couche isolante. XI est évident que dans le cas d'utilisation d'un autre composant semiconducteur à connecter à une électrode porte, kO il se présente des problèmes analogues à ceux décrits ci-dessus 70 24779 -2- 2050486 pour une diode protectrice. L'invention vise à fournir une structure simple pour un transistor à effet de champ comportant au moins deux électrode porte et un composant semiconducteur relié à line électrode porte, 5 notamment une diode protectrice, structure qui permet une très courte connexion à l'électrode porte et qui ne croise pas une autre pélectrode porte et ne se trouve pas partiellement au-dessus de la zone électrode du transistor à effet de champ. Conformément à l'invention, tin transistor à effet de 10 champ du genre décrit dans le préambule est caractérisé en ce que la zone constituant îlot présente une ouverture dans laquelle le substrat d'un type de conduction s'étend jusqu'à ladite surface et dans laquelle est appliqué un composant semiconducteur connecté à une électrode porte. Le composant est appliqué dans 15 le transistor à effet de champ de telle façon que l'effet exercé par ce dernier n'en soit pratiquement pas affecté. L'invention importe surtout pour un transistor à effet de champ dans lequel l'une des deux zones électrode est entourée de l'une des deux électrodes porte, cette électrode porte par 20 l'autre des deux électrodes porte et cette autre électrode porte par l'autre des deux zones électrode. Dans une telle structure, Ï1 était surtout difficile de connecter un composant semiconducteur à une électrode porte, surtout à l'électrode porte (intérieure), difficulté pour laquelle l'invention fournit une solution 25 simple et efficace. Une forme de réalisation très importante d'un transistor à effet de champ conforme à l'invention est caractérisée en ce que dans l'ouverture de la zone constituant îlot est appliquée une diode protectrice qui est connectée à une électrode 30 porte. La diode protectrice est de préférence connectée à une électrode porte du fait qu'il est désirable que la distance comprise entre line diode protectrice connectée à cette électrode porte et la zone électrode située tout près de l'autre électrode porte, appartenant généralement à l'entrée électrique du tran-35 sistor, soit aussi petite que possible, comme il sera expliqué ci—après en détail. D'une façon générale, l'autre électrode porte peut être connectée sans inconvénients à une diode protectrice située à courte distance de la zone électrode se trouvant près de cette autre électrode porte en appliquant cette diode 40 protectrice dans une ouverture de cette zone électrode ou hors 70 24779 -3- 2050486 de cette zone électrode. De préférence, la diode protectrice comporte une première zone superficielle de l'autre type de conduction et une deuxième zone superficielle d'un type de conduction qui confine 5 à la première zone superficielle et dont le dopage est plus élevé que celui du substrat. La jonction pn de la diode située entre ces zones superficielles présente, alors une plus basse tension de claquage, ce qui fournit une bonne protection, alors que le courant traversant la diode peut être amené ou évacué par 10 l'intermédiaire du substrat. La deuxième zone superficielle peut entourer entièrement la première zone superficielle. Ainsi, on évite la formation de canaux superficiels reliant la zone constituant îlot à la première zone superficielle de la diode. 15 La première zone îlot peut être connectée à une électrode porte de façon que la diode ne présente qu'une seule jonction pn. Il faut assez souvent une diode protectrice à deux jonctions pn, de façon que l'électrode porte présentant des 20 tensions.négative et positive par rapport au substrat et connectée à la diode puisse fonctionner et qu'une protection s'obtienne contre les impulsions de tension positive et négative se produisant à l'électrode porte par rapport au substrat. C'est pour cette raison qu'une autre forme de réalisation préférenifciel-25 le conforme à l'invention est caractérisée en ce que la diode protectrice comporte une troisième zone superficielle d'un ty£e de conduction qui, dans le substrat semiconducteur, est entièrement entourée de la première zone superficielle, alors que la troisième zone superficielle est connectée à une électrode porte. 30 il est généralement désirable d'amener ou d'évacuer le courant à travers la diode protectrice située dans l'ouverture de la zone constituant îlot par l'intermédiaire de la zone électrode située tout près de l'électrode porte non connectée à ladite diode protectrice, zone électrode qui appartient à l'en-35 trée électrique du transistor à effet de champ. Dans ce cas, le courant doit traverser une partie à valeur ohmique élevée du substrat, alors que la résistance à ce courant est de préférence basse. De ce fait, une forme de réalisation intéressante et préférentielle d'un transistor à effet de champ conforme à l'in-^0 vention est caractérisée en ce que la deuxième zone superficielle 70 24779 2050486 de la diode protectrice est connectée à une zone électrode par une zone de connexion, qui est constituée par une zone superficielle d'un type de conduction, dont le dopage est plus élevé que celui de la zone constituant îlot et connecté à la deuxième 5 zone superficielle, zone de connexion, qui coupe une partie de la zone constituant îlot contiguë aux ouvertures et qui croise l'électrode porte non connectée à la diode et qui confine à la zone électrode, tout en formant une jonction pn, qui est court-circuitée par une couche métallique située sur le substrat semi-10 conducteur. Le fonctionnement du transistor à effet de champ n'est guère influencé par la zone de connexion lorsque les dimensions de cette dernière sont choisies petites. La tension de claquage se produisant entre la zone constituant îlot et le substrat est abaissée par la zone de connexion, dont le $ype de 15 connexion est le même que celui du substrat mais dans un grand nombre d'applications, cela ne suscite pas d'inconvénients. Il s'avère que la caractéristique indiquant le claquage de la diode protectrice est améliorée par la zone de connexion. Une très courte connexion ne présentant qu'une valeur 20 obhmique basse entre une électrode porte et le composant y xeLié se trouve dans une forme de réalisation conforme à l'invention, qui est caractérisée en ce que l'électrode porte connectée au composant semiconducteur disposé dans l'ouverture de la zone constituant Ilot comporte un élargissement auquel peut 25 être connecté un conducteur de connexion et dont la majeure partie est située sur la couche isolante et au-dessus de l'ouverture et qui est connectée au composant par l'intermédiaire d'une ouverture ménagée dans la couche isolante. L'élargissement sert donc également à munir l'électrode porte d'un conducteur de 30 connexion. La description ci-après,en se référant au dessin annexé, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. La fig. 1 montre une vue en plan d'un transistor à effet de champ conforme à l'invention. 35 La fig. 2 montre une section dudit transistor à effet de champ suivant le plan II—II de la fig. 1. La fig. 3 montre un circuit comportant un transistor à effet de champ conforme à l'invention. Le transistor à effet de champ représenté sur les fig. ^0 1 et 2 comporte un substrat semiconducteur 1 d'ion type de con 70 24779 -5- 2050486 duction muni de deux zones 3 et k de l'autre type de conduction situées l'une à côté de l'autre et confinant à une surface 2 du-dit substrat, ces zones 3 et k constituant les zones électrode du transistor. Sur la surface 2 est appliquée une couche isolante 5 5 sur laquelle sont appliquées des électrodes porte 6 et 7 se trouvant entre les zones électrode 3 et k. Entre ces électrodes porte est appliquée, dans le substrat semiconducteur 1, une zone diffusée 8 de l'autre type de conduction, cette zone étant appelée par la suite "zone constituant Ilot". Ladite zone constituant 10 îlot 8 confine à la surface 2. Conformément à l'invention, la zone constituant îlot 8 comporte tme ouverture 9 dans laquelle atteint le substrat 1 la surface 2 et dans laquelle est disposé un composant semiconducteur comportant les zones 10, 11 et 12 et connectées à l'élec-15 trode 7« Dans le présent exemple de réalisation, une zone électrode 4 est entourée d'une électrode porte 7» qui est entourée de l'autre électrode porte 6 et cette dernière, à son tou*, par l'autre zone électrode 3« 20 Le composant semiconducteur (10, 11 et 12) est connecta à une électrode-porte 7 et constitue une diode protectrice. La diode protectrice ne peut comporter que la zone 11, qui forme une jonction pn 13 avec le substrat 1. Du fait quel! le substrat 1 doit présenter une valeur ohmique élevée afin d'assurer le 25 bon fonctionnement du transistor à effet de champ, la tension dé claquage de la jonction pn 13 est souvent trop élevée pour asstr rer une protection suffisamment sûre. C'est pour cette raison que dans le présent exemple de réalisation, la diode protectrice est munie d'une première zone superficielle 11 de l'autre type 30 de conduction et d'une deuxième zone superficielle" 12 d'un type de conduction, qui confine à ladite zone 11 et dont le dopage est plus élevé que celui du substrat 1. Du fait que le dopage de la zone 12 dépasse celui du substrat 1, la tension de claquage de la jonction pn ik formée entre les zones 11 et 12 est inférieure 35 à celle de la jonction pn 13» La deuxième zone superficielle 12 entoure entièrement la première zone superficièlle, ce qui empêche la formation de canaux superficiels reliant la zone 11 à la zone constituant îlot 8. kO La zone 11 peut être connectée à l'électrode porte 7 de 70 24779 -6- 2050486 façon que la diode protectrice ne comporte qu'une seule jonction pn 1 h. Toutefois, il est assez souvent désirable de pouvoir utiliser l'électrode porte 7 avec des tensions négative et positive par rapport au substrat 1, et dans ce cas il est désirable 5 d'avoir une protection contre le risque de claquage de la couche isolante 5 par suite des impulsions de tension positive et négative se produisant dans l'électrode porte 7 par rapport au substrat 1. C'est pour cette raison que, dans le présent exemple de réalisation, la diode protectrice comporte une troisième zone 10 superficielle 10 d'un type de conduction,qui est entièrement entourée de la première zone superficielle 11 dans le substrat semiconducteur, alors que cette troisième zone superficielle 10 est connectée à l'électrode porte 7« De ce fait, la diode comporte une deuxième jonction pn 15» alors que la diode présente 15 une structure pnp ou npn. Dans le cas d'utilisation d'un transistor à effet de champ du genre que concerne le présent exemple de réalisation, la zone électrode extérieure 3 constitue généralement la zone d'alimentation et appartient à l'entrée électrique du transis— 20 tor, alors que la zone électrode intérieure h constitue la zone d'évacuation et appartient à la sortie électrique du transistor. Le courant traversant la diode protectrice et se produisant par exemple dans le cas de claquage de 1s, diode est de préférence amené ou évacué par l'intermédiaire de la zone électrode 3• De 25 plus, il est désirable que pour es ccréant, la résistance du transistor à effet de champ soit basse. Afin d'éviter que ce courant doive traverser taie partie du substrat à valeur ohmique élevée 1, la deuxième zone superficielle 12 de la diode protectrice est connectée à la zone électrode 3 par une zone de con-30 nexion 'i6. Cette zone de connexion 16 est constituée par une zone superficielle d'un type de conduction, dont le dopage est plus élevé que celui de la zone constituant 'îlot 8 et qui est connecté à la deuxième zone superficielle 12, puis, qui coupe une partie 17 de la zone donstituant îlot 8 confinant à l'ouver— 35 ture 9» qui croise 1 électrode porte o non connectée à la diode et qui confine à la zone électrode 3 tout en formant une jonction pn 18. La jonction pn 18 est courtcircuitée par la couche métallique 19 située sur le substrat semiconducteur. La couche métallique 19 est située dans l'ouverture 20 de la couche isolan-40 te 5 e£ constitue en outre le contact de connexion pour la zone 70 24779 -7- 2050486 électrode 3m La couche métallique 19 présente un élargissement 21 qui est situé sur la couche isolante 5 et auquel peut être connecté un conducteur de connexion. La zone électrode 3, la couche métallique 19 et la zone de connexion 16 constituent tme voie à 5 faible résistance pour les courants à amener à ou à évacuer de la diode. De plus, ce trajet est court. Si la diode serait appliquée par exemple dans tme ouverture ménagée dans la zone électrod©' 4, ce trajet serait plus long. Du fait que la zone de connexion 16 est petite par 10 rapport à la zone de canaux située entre la zone constituant îlot 8 ét la zone électrode 3» le fonctionnement du transistor n'est pas ou guère influencé par cette zone de connexion. Il y a lieu de noter que dans la zone constituant îlot 8, du courant peut circuler autour de l'ouverture 9, de sorte que 15 cette ouverture 9 n'influe guère sur lë fonctionnement du transistor. La tension de claquage se produisant entre la zone constituant îlot 8 et le substrat 1 est réduite par la zone de connexion 16 qui présente le même type de connexion que le substrat 20 1 et dont le dopage dépasse celui dudit substrat 1. Cela ne suscite pas d'inconvénients dù fait qu'en i^égime, la différence de potentiel se produisant entre la zone constituant îlot 8 et le substrat 1 n'est pas grande. Si la zone protectrice (10, 11 et 12) était appliquée dans une ouverture ménagée dans la zone 25 électrode 4 et connectée par tme zone de connexion 16 à la zone électrode 3, la tension de claquage se produisant entre la zone électrode 4 et le substrat 1 serait abaissée, ce qui serait désavantageux. Du fait que la zone protectrice est située dans l'ou-30 verture 9 de la zone constituant îlot 8 et que l'électrode porte 7 connectéer à la diode protectrice est située entre la zone constituant îlot 8 et la zone électrode 4, donc tout près de la zone constituant îlot 8, il est possible d'obtenir tme très courte connexion entre l'éléctrode porte 7 et la diode protectrice, 35 cette connexion ne croisant pas nécessairement l'électrode porte 6 et n'étant pas non plus située partiellement au-dessus d'une zone électrode. L'électrode porte 7» qui est connectée à la diode protectrice 10, 11, 12 disposée dans l'ouverture 9 de la zone 40 constituant îlot 8, comporte un élargissement 22 auquel peut 70 24779 -g- 2050486 être connecté un conducteur de connexion et dont la majeure partie est située sur la couche isolante 5 et au-dessus de l'ouverture 9 de la zone constituant ilot 8 et qui est connecté à la zone 10 de la diode 10, 11, 12 par l'intermédiaire d'une ouverture 5 23 ménagée dans la couche isolante 5» L'élargissement 21 constitue simultanément une courte connexion à faible résistance entre la diode et l'électrode porte 7 et une couche métallique connectée à l'électrode porte 7 et à laquelle peut être connecté ion conducteur de connexion. 10 Dans le présents exemple de réalisation, l'électrode porte 6 est connectée à une diode protectrice d'une façon analogue à celle de l'électrode porte 7* Tout comme la diode 10, 11 et 12, cette diode protectrice 24, 25» 26 comporte une première zone 25 de l'autre type de conduction, une deuxième zone 16 d'un type 15 de conduction, qui est située à côté de la première zone 25 et qui l'entoure entièrement, et une troisième zone 24 d'un type de conduction qui est située dans la première zone 25» La diode 2k, 25, 26 comporte donc deux jonctions pn 27 et 28. La troisième zone 24 est connectée, par 1'intermédiaire de l'ouverture 29 ménagée 20 dans la couche isolante 5» à la couche métallique 30 qui est située sur la couche isolante 5 et cette couche métallique 30 est connectée à l'électrode porte 6 par le conducteur 31 situé sur la couche isolante 5« La deuxième zone 26 confine à la zone électrode 3, tout 25 en formant la jonction pn 32 qui, comme le montre la fig. 1, est courtcircuitée à deux endroits par la couche métallique 19 dans l'ouverture 20 de la couche isolante 5« Les deux diodes protectrices sont donc montées entre une électrode porte et la zone électrode 3« 30 De plus, la couche métallique 30 sert à permettre de connecter un conducteur de connexion à l'électrode porte 6. Une couche métallique 34 est connectée à la zone électrode 4 par 1'intermédiaire de 1« ouverture 33 ménagée dans la couche isolante 5• 35 Le transistor à effet de champ décrit ci-dessus peut être réalisé d'une façon entièrement connue à partir de matériaux usuels. C'est ainsi que le substrat 1 est constitué par un corps de silicium monocristallin de type de coiiduction p présentant une 40 résistivité d'environ 10 ohms/cm. Les zones 3, 4, 8, 11 et 25 70 24779 -9- 2050486 peuvent s'obtenir simultanément par diffusion de phosphore et présentent le type de conduction n, une épaisseur d'environ 2,5 18 yu et une concentration superficielle d'environ 10 atomes de phosphore par cm3 .Les zones 10, 12, 16, 24, 2.6 s'obtiennent si-5 multanément par diffusion de bore et présentent le type de conduction p*f une épaisseur d'environ 1 et une concentration 20 ' superficielle d'environ 10 atomes de bore par cm3• Les autres dimensions des zones peuvent être choisies de façon usuelle suivant les propriétés requires. Les jonctions pn 14, 15, 27 et 28 10 présentent des tensions de claquage d'environ 8 Volts et la couche isolante située au-dessous des électrodes porte 6 et 7 une tension de claquage d'environ 100 Volts. La couche isolante 5 peut être constituée par de l'oxyde silicium et/ou du nitrure de silicium et les couches 15 métalliques, les électrodes porte et le conducteur en aluminium. Dans l'exemple de réalisation décrit ci—dessus, les zones diode 10, 12, 24 et 26 et la zone de connexion 16 sont plus minces que les zones diode 11 et 25, les zones électrode 3 et 4 et la zone constituant Ilot 8. Toutefois, les zones 10, 12, 20 14, 26 et 16 peuvent être plus épaisses que les zones 11, 25, 3, 4 et 8. Les zones 11 et 25 peuvent entièrement situées dans les zones 12 et 26. La fig. 3 montare' iun circuit comportant un transistor à effet de champ F du genre représenté sur les fig. 1 et 2. Les 25 bornes de connexion correspondent aux couches métalliques 21s 22, ? 30 et 34 des figures précédentes et portent les mêmes chiffres de référence que cés couches métalliques. La diode D^ connectée à l'électrode porte 7 correspond à la diode 10, 11, 12 et la diode connectée à l'électrode porte 6 correspond à la diode 24,25,2*6 . 30 des figures précédentes. Un circuit d'entrée EX est inséré par l'intermédiaire des bornes 30 et 21 entre l'électrode porte 6, qui n'est pas connectée à la diode protectrice D^ située dans l'ouverture 9 de la zone constituant îlot 8 et la zone électrode 3 qui est si— 35 tuée le plus près de cette électrode porte 6. Un circuit de sortie E0 est monté entre les deux zones électrode 3 et 4 par l'intermédiaire des bornes 21 et 34. A l'électrode-porte 7» qui est connectée à la diode D^ située dans l'ouverture 9 de la zone constituant îlot 8 est appliquée une tension afin de régler le 40 transistor P. Cette tension de réglage peut être variable. 70 24779 Les diodes D et D sont donc montées entre respecti-1 vement les électrodes porte 7 et 6 et la borne d'entrée 21 et des courants de charge et de claquage en forme d'impulsions peuvent circuler, par l'intermédiaire de voies de courant à basse 5 résistance, entre les diodes D^ et Dg et les électrodes porte 7 et 6 et entre les diodes et Dg et la borne d'entrée 21 reliée à la masse. Le circuit représenté sur le dessin est préférable à un circuit dans lequel le circuit d'entrée est connectée à la 10 borne 34 (donè la zone électrode 4), du fait que lesdits courants sont amenés ou évacués par les diodes et D^, de préférence par l'intermédiaire d'une borne d'entrée, donc par l'intermédiaire de la borne 21 connectée à la zone électrode 3« Pour des raisons d'ordre technique, la borne d'entrée 15 21 est généralement reliée à la masse par l'intermédiaire d'une résistance K. et d'un condensateur de découplage C. 11 est évident que l'invention n'est pas limitée à l'exemple de réalisation décrit ci-dessus et que le technicien pourra en réaliser de nombreuses variantes sans sortir du cadre 20 de l'invention. l»a zone de connexion 16 réduit la résistance pour les courants circulant entre la diode 10, 11, 12 et la zone électrode 3 et améliore la caractéristique courant-tension de la diode. Toutefois, cela n'est pas nécessaire pour toutes les applications, de sorte que dans plusieurs applications, la zone 25 16 petit être omise» Le transistor peut contenir plus de deux électrodes porte et plus d'une sons constituant îlot, et dans plus d'une zone constituant îlot peut être ménagée une ouverture dans laquelle est appliquée ua® diode protectrice connectée à une électrode porte. De plus, une zone constituant îlot peut 30 contenir par exemple deux ouvertures dans lesquelles est située une diode protectrice, les diodes protectrices étant connectées à plusieurs électrodes porte. La diode protectrice 24, 25, 26 peut être appliquée dans une ouverture de cette zone et non à côté de la zone électrode 3» De plus, un autre composant, par 35 exemple une résistance, peut être appliqué dans une ouverture d'une zone constituant îlot. D'autres matériaux usuels que ceux mentionnés ci-dessus peuvent être utilisés, alors que le corps semiconducteur peut être constitué par un composé XXI-V. 70 24779 -11- 2050486 REVENDICATIONS i 1, Transistor à effet de champ muni d'un substrat semiconducteur d'un type de conduction, comportant deux zones de l'autre type de conduction situées l'une à côté de l'autre, zones 5 qui confinent à une surface du substrat et qui constituent les zones électrode du transistor, alors que sur ladite surface est appliquée une couche isolante sur laquelle sont appliquées deux électrodes porte qui sont situées entre les zones électrode et entre lesquelles est appliquée, dans le substrat semiconducteur, 10 une zone diffusée de l'autre type de conduction, qui sera appelée par la suite "zone constituant îlot" et qui confine à ladite surface, ce transistor à effet de champ étant caractérisé en ce que la zone constituant îlot présente une ouvertiare dans laquelle le substrat d'un type de conduction s'étend à ladite surface et 15 dans laquelle est appliqué un composant semiconducteur connecté à une électrode-porte. 2. Transistor à effet de champ selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'une des zones électrode est entourée de l'une de deux électrodes porte qui est entourée de l'autre de 20 deux électrodes porte et cette autre électrode porte par l'autre de deux zones électrode. 3« Transistor à effet de champ selon la revendication 1 ou 2,caractérisé en ce que dans 11 ouverture de la zone Constituant îlot est appliquée une diode protectrice connectée à une élec-25 trode porte. k. Transistor à effet de champ selon la revendication 3 caractérisé en ce que la diode protectrice contient une première zone superficielle de l'autre type de conduction et une deuxième zone superficielle d'un type de conduction qui confine à la pre-30 mière zone superficielle, mais dont le dopage est plus élevé que celui du substrat. 5« Transistor à effet de champ selon la revendication 4, caractérisé en ce que la deuxième zone superficielle entoure entièrement r la première zone superficielle. 35 6. Transistor à effet de champ selon la revendication 5» caractérisé en ce que la première eone diode est connectée à une électrode porte. 7. Transistor à effet de champ selon la revendication h ou 5, caractérisé en ce que la diode protectrice comporte une troi-40 sième zone superficielle d'un type de conduction qui est entière 70 24779 12 2050486 ment entourée de la première zone superficielle dans le substrat semiconducteur, alors que cette troisième zone superficielle est reliée à une électrode porte. 8. Transistor à effet de champ selon l'une des revendications 4 5 à 7» caractérisé en ce que la deuxième zone superficielle de la diode protectrice est connectée à une zone électrode par une zone de connexion, qui est constituée par une zone superficielle d'un type de conduction, dont le dopage est plus élevé que celui de la zone constituant îlot, zone superficielle, qui est connectée à la 10 deuxième zone superficielle et qui coupe une partie de la zone constituant îlot confinant à l'ouverture et qui croise l'électrode porte non connectée à la diode et de plus, qui confine à la zone électrode, tout en formant une jonction pn, qui est courtcircuitée par une couche métallique située sur le substrat semiconducteur. 15 9. Transistor à effet de champ selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que l'électrode porte connectée au composa* semiconducteur et disposée dans l'ouverture de la zone constituant îlot comporte un élargissement auquel peiit être connecté un conducteur de connexion et dont la majeure partie est située sur la cou-20 che isolante et au-dessus de l'ouverture et qui est connectée au composant, par l'intermédiaire d'une ouverture ménagée dans la couche isolante. 10. Circuit comportant un transistor à effet de champ selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'un circuit d'entrée est inséi-25 ré entre l'électrode porte non connectée à la diode protectrice située dans l'ouverture de la zone constituant îlot et la zone électrode située le plus près de cette électrode porte, puis, qu'un circuit de sortie est inséré entre les deux zones électrodes et de plus, qu'une tension de réglage est appliquée aux bornes de l'élee-30 trode porte connectée à la diode protectrice située dans l'ouverture de la zone constituant îlot.