Brevet FR2053245A1 — publié le 19710416

i 20S3245 Dans l'industrie de la fabrication des composants électroni-niques, les circuits intégrés et autres dispositifs sont normalement fabriqués sous la forme de pastilles ou de tranches dont chacune contient un grand nombre de circuits distincts. Jusqu'à 5 présent, les procédés de fatrlcation des pastilles comprenaient pour la plupart une succession d'opérations exécutées par charges discontinues. C'est-à-dire que, pour la plupart des phases de la fabrication, chaque phase était appliquée simultanément, à un grand nombre de pastilles c'est-à-dire à une charge. 10 L'utilisation du traitement par charges discontinues dans la fabrication des pastilles pour circuits intégrés entraîne divers problèmes. L'un des plus importants de ces problèmes réside dans la durée du cycle ; c'esÇ-à-dire du temps total nécessaire pour produire une pastille finie. Par exemple, la durée du cycle pour 15 un exemple normal de traitement de fabrication de pastilles par charges discontinues est de quatre à douze semaines, alors que le temps total pendant lequel on travaille réellement sur chaque pastille au cours du traitement est d'environ 6 jours. Ces cycles de grande longueur sont indésirables dans la 20 fabrication des pastilles pour diverses raisons. Par exemple, lorsque la durée du cycle d'un traitement est supérieure au délai de livraison des commandes de produits réalisés par ce procédé, il est nécessaire d'établir des prévisions de commandes de produits et de commencer la fabrication des pastilles en se basant 25 sur ces prévisions. Si les prévisions étaient fausses, il en résulte une production d'un stock inutile. Même lorsque les prévisions sont correctes, le fait que, toutes les offres de prix ne sont pas suivies de commande nécessite fréquemment l'établissement de plus d'une seule offre de prix 30 pour la même charge de pièces en cours de traitement. Il en résulte que, si plus d'une offre est acceptée, le fabricant sera amené à informer certains clients que leur commande ne peut pas être honorée. Il en résulte que les cycles longs entraînent un mécontentement des clients. 35 Les cycles longs sont également indésirables dans les opéra tions de fabrication des pastilles pour des raisons autres que les relations avec les clients. L'une de ces raisons réëide dans l'état du stock. Normalement dans la fabrication des pastilles par charges discontinues^plusieurs milliers de pastilles sont en 40 cours de fabrication à tout instant. En outre, les cycles longs 70 27906 2 2053245 entraînent la nécessité de disposer d'un stock de produits finis beaucoup plus important que le stock qui serait nécessaire autrement, parce que les commandes des clients ne peuvent pas être honorées par fabrication des pastilles au fur et à mesure de la 5 réception des commandes. Une autre raison pour laque lie les cycles longs sont indésirables réside dans le fait que, s'il se produit un défaut dans l'installation, il peut s'écouler plusieurs mois avant que ce défaut ne soit détecté. De même, il se passe un temps très long 10 avant qu'on ne puisse connaître l'effet des corrections et des modifications apportées à l'installation . Il est fréquent de produire une très grande quantité de circuits défectueux pendant la période comprise entre l'apparition d'un défaut et l'introduction d'une correction effective de ce défaut. 15 Un autre type de problème qui résulte de l'utilisation de techniques de traitement par charges discontinues dans la fabrication des pastilles consiste dans la détérioration des pastilles au cours du traitement de fabrication. Aussi soigneusement que l'installation de traitement par charges discontinues ait été organisée, 20 il est impossible de traiter les pastilles à la même cadence dans toutes les phases de 1'installation.«Ceci entraîne une accumulation de pastilles antre les parties rapides et les parties lentes de cette installation. Les différences de temps d'attente des pastilles des diversesaccumulations peuvent fréquemment se 25 traduire par un défaut d'uniformité des caractéristiques électriques . Finalement, lorsque les pastilles sont produites par un traitement par charges discontinues, il est pratiquement impossible de maintenir constamment les pastilles dans le même ordre de suc-30 cession au cours de leur traitement. Lorsque les pastilles ne sont plus dans l'ordre, il est fifficile de déterminer la source exacte des difficultés de la fabrication. De même, les modifications des paramètres du traitement ne donnent pas lieu à des coupures nettes entre les caractéristiques des pastilles produites 35 avant et après les modifications parce qu'il est impossible de déterminer qu'elles sont les pastilles qui ont été traitées conformément à un Jeu de paramètres et celles qui ont été traitées conformément à un autre Jeu. L'invention se rapporte à une installation de fabrication 40 de composants par traitement continu. Cette installation travaille 70 27906 3 2053245 sur les pastilles par traitement individuel, et dans un ordre déterminé. Chaque phase du traitement exécutée par l'installation prend exactement le même temps et éxécute exactement l'opération exigée par une pastille individuelle sans qu'il soit nécessaire 5 d'établir un compromis avec les nécessités de traitement d'autres pastilles. La durée maximale du cycle de l'installation est de 6 jours. Les pastilles peuvent donc être fabriquées pratiquement sur commande. Les phases du traitement exécutés par l'installation 10 se succèdent immédiatement de sorte que le stock de pastilles au cours de traitement dans l'installation est entièrement composé de pastilles sur lesquelles on exécute réellement un travail. En outre, les installations traitent'les pastilles toujours exactement dans le même ordre de succession de sorte 15 qu'on peut facilement retrouver la source des défauts de l'installation et également déterminer l'effet des modifications apportées aux paramètres de l'installation. Suivant une forme préférée de réalisation, l'invention a pour objet une installation de fabrication de composants électro-20 niques dans laquelle les pastilles sont transportées successivement entre plusieurs postes de travail dont chacun exécute une opération de fabrication séparée sur les pastilles. Ces pastilles sont de préférence positionnées et maintenues dans leur ordre de succession au fur et à mesure de leur transport 25 et les postes de travail exécutent leurs opérations de fabrication respectives dans un temps prédéterminé. D'autres caractéristiques de l'invention apparaîtront au cours de la description qui va suivre. Au dessin annexé, donné uniquement à titre d'exemple : 30 la Fig.' 1 est une représentation schématique d'une partie de l'installation de fabrication suivant l'invention ; la Fig. 2 est une représentation achématique d'une autre partie de cette installation. Le dessin représente schématiquement, une installation de 35 fabrication de composants électroniques suivant l'invention. Cette installation 10 constitue une partie représentative d'une plus grande installation de fabrication de composants qui fabrique automatiquement des dispositifs planar en silicium, tels que des circuits intégrés, transistors, résistances et composants 40 électroniques du même type. Ces produits sont réalisés sous 70 27906 4 2053245 la forme de pastilles ou de lamelles dont chacune comprend un nombre relativement grand de composants distincts . L'installation de fabrication 10 représentée sur le dessin, de même que l'installation complète dont elle fait partie, 5 diffère des installations de fabrication de composants électroniques de la technique antérieure de ce qu'elle fabrique des pastilles de composants en continu. Dans l'installation 10, les pastilles sont transportées individuellement de l'un à l'autre d'une série de postes de travail dont chacun exécute une opéra -10 tion individuelle sur chaque pastille. Ces pastilles sont numérotées, et travaillées dans leur ordre de succession sur toute la longueur de l'installation. Chaque poste de l'installation exécute son opération respective dans un temps optimal de sorte que les pastilles ne s'accumulent en aucun point de l'ins-15 tallation. L'installation 10 diffère également des installations de fabrication de composants de la technique antérieure en ce qu'elle est entièrement commandée par un ordinateur. En effet, un ordinateur est connecté au dispositif transporteur de l'ins-20 tallation et a pour fonction de commander l'acheminement des pastilles à chacun des postes de travail de l'installation et leur évacuation de ces postes. Ces postes sont autonomes en ce qui concerne leur fonctionnement mécanique, électrique aussi bien que chimique, et peuvent être remplacés indépendamment les 25 uns des autres. Toutefois, ces postes ne comportent pas les dispositifs de coordination, d'asservissement à la séquence et de commande qui sont ordinairement incorporés dans les machines de traitement des pastilles. Les fonctions normalement exécutées par ces dispositifs sont assurées suivant l'invention par l'or-30 dinateur qui règle le déclenchement, la progression et l'arrêt de chaque opération exécutée par chaque poste de travail de l'installation. Cet ordinateur est à son tour commandé par un ensemble de cartes d'instruction de sorte que l'on peut régler, modifier, ou changer entièrement les traitements de fabrication 35 exécutés par le dispositif 10 par simple changement des instructions portées par les cartes dudit ensemble. Ainsi qu-fon l'a représenté sur les Fig. 1 et 2, l'installation 10 comprend un module 12 à chambre noire représenté sur la Fig. 1 et un module de dépôt 14 qui est représenté sur la Fig. 2. 40 L'installation 10 comprend de plus un ordinateur 16 qui commande 70 27906 5 2053245 le fonctionnement du module 12 à chambre noire et du module de dépôt 14. L'ordinateur 16 est connecté auxmodules 12 et 14 par un multiplexeur 18 qui interconnecte répétitivement l'ordinateur 16 à chacune des parties des modules 12 et 14 en une 5 succession rapide. Dans le fonctionnement de l'installation 10, le module 12 à chambre noire reçoit les pastilles une à une d'une navette 20 ou d'un autre mécanisme d'alimentation. Au moment de la réception chaque pastille est constituée par un substrat composé de 10 silicium sur l'une des faces de laquelle est formée une couche de silice. Les pastilles utilisées dans l'installation 10 diffèrent des pastilles classiques en ce sens que chaque plaquette est numérotée individuellement. La numérotation est exécutée par formation d'une série d'encoches en code binaire sur la 15 tranche de chaque pastille. Les pastilles débitées au module 12 à chambre noire, par la navette 20 sont reçues par un couloir pneumatique 22 de transport des pastilles. Ce couloir pneumatique 22 s'étend sur toute la longueur du module 12 et a pour fonction de transporter les pastilles en série, de l'un à l'autre des 20 divers postes de travail du module. Ce couloir pneumatique 22 est essentiellement composé d'une glissière dont le fond est percé d'une ligne de trous de petit diamètre répartis le long de son axe. On fait passer de l'air comprimé à travers les trous de cette glissière, pour former des Jets d'air comprimé au-dessus 25 de sa surface. Les Jets portent les pastilles sur un coussin d'air et propulsent ces pastilles le long du couloir sur toute la longueur du module 12. Chaque pastille qui est introduite dans le module 12 est initialement transportée par le couloir pneumatique 22 à un 30 poste 24 de lecture de pastilles. A ce poste 24, la pastille tourne devant un dispositif de lecture des pastilles comprenant une lampe et une cellule photoélectrique. Ce dispositif de lecture engendre un signal représentatif du nombre codé sur la tranche de la plaquette et transmet le signal à l'ordinateur 16 35 de l'installation 10. Celui-ci met en mémoire le numéro de chaque pastille qui a été lu par le poste de lecture 24 et il enregistre ainsi l'ordre de succession avec lequel les pastilles sont introduites dans le module 12. Les numéros peuvent se suivre dans un ordre 40 quelconque, croissant, décroissant ou mixte. Toutefois, lorsqu'un 70 27906 6 2053245 ordre de succession a été établi, il doit rester maintenu pendant toute la traversée de l'installation 10. Si une pastille en cours de traitement dans l'installation 10, sort de l'ordre de succession d une façon quelconque, l'ordinateur 16 interrompt automatiquement le fonctionnement de toute l'installation. Dès qu'une pastille a été lue au Doste de travail elle est transportée par le couloir pneumatique 22 à un poste de travail 26 qui a pour fonction de nettoyer les pastilles. Au poste 26, la pastille est disposée sur une broche et elle est fixée à celle-ci par la mise en action d'un orifice d'aspira- 10 tion qui y est formé. La broche est ensuite abaissée dans une chambre et mise en rotation à une vitesse relativement élevée. Pendant la rotation de la broche, une solution de nettoyage est pulvérisée sur la pastille. Chacun des postes de l'installation 10 est entièrement com-15 mandé par l'ordinateur 16. Par exemple, au poste de nettoyage 26, les pastilles ne sont pas placées sur la broche tant que l'ordinateur 16 n'a pas vérifié que la broche était prête accepter une pastille de l'orifice d'aspiration de la broche n'est pas mise en action tant que la pastille n'a pas été mise en 20 position sur cette broche. La broche n'est pas abaissée dans la chambre tant que l'orifice d'aspiration n'a pas fixé une pastille sur la broche et elle n'est pas mise en rotation avant d'avoir été disposée dans la chambre. La solution de nettoyage n'est pas pulvérisée sur la pastille avant que la broche ne soit 25 mise en rotation. De même, chaque phase du fonctionnement de chacun des postes de travail de l'installation 10 est commandée, en ce qui concerne son déclenchement, sa commande et son interruption, par l'ordinateur 16. Lorsqu'une pastille a été nettoyée par le poste de travail 30 26, elle est transportée par le couloir pneumatique 22 à un poste 28 de retournement de la pastille. La seule fonction de ce poste 28 est de retourner chaque pastille traitée, par l'installation 10 par rapport au couloir pneumatique 22. Le poste 28 est commandé par l'ordinateur 16 en ce sens que les pastilles 35 ne sont pas admises à pénétrer dans ce poste tant qu'il n'est pas prêt à exécuter me opération de retournement d'une pastille, et que l'opération de retournement de la pastille n'est pas déclenchée tant qu'une pastille n'a pas été convenablement positionnée. 40 A sa sortie du poste 28, chaque pastille est transportée 70 27906 7 2053245 à un poste 30 de revêtement des pastilles. Ce poste 30 est construit de la même façon que le poste 26 de nettoyage, en ce sens qu'il comprend une broche d'abaissement et de mise en rotation des pastilles, dans laquelle est formé un orifice d'aspiration, 5 le poste comprenant de plus une chambre et un gicleur. Le poste 30 a pour fonction de revêtir la face arrière de chaque plaquette d'une couche de matériau de réserve photographique, tel que la substance connue sous le nom de KMER. Du poste 30, le couloir pneumatique 22 transporte chaque 10 pastille à un poste de chauffage 32. Ce poste 32 comporte une partie chauffée du couloir 22 et a pour fonction de cuire le revêtement de matériau de réserve photographique qui a été appliqué sur la pastille au poste 30. Lorsqu'une pastille a été chauffée au posté 32, elle est 15 ensuite amenée au poste d'exposition 3^> auquel le revêtement de matériaux de réserve photographique déposé sur la partie est exposée à la lumière. L'exposition de ce matériau à la lumière le polymérise pour la transformer en une substance qui est très résistante à l'attaque par les solutions de déca-20 page. Lorsqu'une pastille quitte le poste 34 toute sa surface arrière est donc revêtue d'une substance résistante au décapage. Du poste 34, le couloir de transport pneumatique 22 transporte chaque pastille à un poste de retournement 36, puis à un poste de rotation 38 et à un poste de chauffage 40. Le poste 25 36 est identique en construction et en fonction au poste 28. Lorsqu'une pastille quitte le poste 36, sa face arrière est donc en appui sur le couloir de transport pneumatique 22. Le poste 38 est identique en construction et en fonctionnement au poste 30 et il a pour fonction de déposer un revêtement d'un matériau 30 de réserve photographique sur la face avant de chacune des pastilles qui circulent dans l'installation 10. Le poste 40 est identique en construction et en fonction au poste 32 et a pour effet de cuire le revêtement de matériau de réserve photographique sur la face avant des pastilles. 35 Lorsque la face avant d'une pastille a été revêtue d'un matériau de réserve photographique, cette pastille est amenée à un poste 42 de centrage et d'exposition. A ce poste 42, la pastille est exactement centrée sur un masque qui porte un dessin correspondant aux zones de revêtement de silice formé 40 sur le substrat en silicium de la pastille qui devra être 70 27906 8 2053245 s * decape. Les pastilles alignées sont exposées à l'action d'une source lumineuse à travers le masque. Cette technique a pour effet de faire agir la lumière sur des parties de la couche de matériau de réserve photographique, portée par la face avant 5 de chaque pastille qui correspondent aux parties de la couche de silice déposée sur cette pastille qui ne doivent pas être décapées. Le masque empêche la lumière d'atteindre les parties de la couche de matière de réserve photographique qui correspondent aux parties de la couche de silice qui doivent être 10 décapées. Lorsque la pastille a été exposée au poste 42, elle est ensuite transférée, à un poste de développement 44 qui est construit de la même façon que les postes 26 et 38. A ce poste de développement, la pastille est arrosée d'une matière qui enlève les 15 parties de la couche de matériau de réserve photographique qui n'ont pas été exposées à la lumière au poste 42. C'est-à-dire que les parties de la couche de matériaux de réserve photographique qui couvrent les parties de la couche de bioxyde silicium qui doivent être décapées sont ainsi éliminées. 20 A sa sortie du poste de développement 44, chaque pastille est transportée par le couloir pneumatique 22 pour traverser un poste de chauffage 46, un poste de revêtement 48 et un poste de chauffage 50 pour parvenir à un poste de centrage et d'exposition 52. Les postes 46 et 50 sont identiques en construction 25 et en fonctionnement au poste 32 et le poste 48 est identique en constructioijfet en fonctionnement au poste 38. Le poste 52 est identique au poste 42, sauf qu'au poste 52, la couche de matériau de réserve photographique déposée sur la face avant de chaque pastille est exposée à travers un masque et présente 30 une surface noire légèrement plus grande que celle du masque qui eâfc utilisée au poste 42. Les postes 48, 50 et 52 sont inclus dans l'installation 10 de façon à assurer le revêtement des parties de chaque pastille qui ne doivent pas être décapées et de façon à assurer l'exposition des parties qui doivent être 35 décapées. A sa sortie du poste 52, chaque pastille est amenée à un poste de développement 54 qui est identique en construction et en fonctionnement au poste 44. Lorsqu'une pastille a été traitée par le poste de développement, elle est amenée à un poste de 40 vérification 56. A ce poste, chaque pastille passe fcour à tour 70 27906 9 2053245 par plusieurs positions de vérification sous la commande de l'ordinateur 16. La pastille est contrôlée visuellement à chacune des positions de vérification. Si une pastille ne satisfait pas au contrôle, l'ordinateur 16 agit sur le couloir pneumatique 22 5 de façon à envoyer la pastille dans une navette 59. Si la pastille satisfait au contrôle, l'ordinateur 16 commande le couloir pneumatique de façon à faire passer la pastille par un poste de chauffage 60 pour l'envoyer à un poste de décapage 62. Ce poste de décapage 62 comprend un bac de solution de déca-10 page dans lequel est monté un dispositif de transport des pastilles. Le poste 62 comprend également plusieurs rampes qui plongent dans différentes parties du bac. Les dispositifs transporteurs font passer chaque pastille dans le bac,à une vitesse uniforme. La durée de la période d'exposition de chaque pastille 15 à l'action de la solution de décapage est donc commandée par le choix de la rampe par laquelle la pastille plonge dans le bac. Le choix de la rampe par laquelle chaque pastille s'engage dans le bac est commandé par l'ordinateur 16 en fonction des besoins du traitement de fabrication de chaque pastille particulière. 20 Lorsqu'elle sort du poste de décapage 62, chaque pastille est transportée, par le couloir pneumatique 22 à travers un poste de rinçage 64. A ce poste, la pastille est débarrassée de la solution de décapage qu'elle porte encore à la sortie du poste de décapage 62. La pastille traverse ensuite un poste 66 de rinçage 25 à l'acétone, qui élimine la solution de rinçage appliquée par le poste 64. Ensuite, elle traverse un poste de séchage 68 oui élimine l'acétone qu'elle porte à la sortie du poste 66. Lorsqu'une pastille quitte le poste de séchage 68, elle traverse un poste de chauffage 70 pour parvenir à un deuxième poste 30 de décapage 72. Ce poste 72 est identique au poste'62 en ce sens qu'il comporte un bac de décapage dans lequel est monté un dispositif transporteur, et des rampes qui dirigent les pastilles dans différentes parties du bac. Ici à nouveau, le choix de la rampe par laquelle la pastille plonge dans le bac 35 du poste 72 est commandée par l'ordinateur 16. Lorsqu'une pastille a traversé le poste 72, elle traverse un poste de rinçage 74, un poste 76 de rinçage à l'acétone et un poste de séchage 78 pour parvenir à un poste de nettoyage et de séchage 80. Le poste 80 est construit de la même façon que 40 le poste 26 et il a pour fonction de projeter une solution de 70 27906 10 2053245 nettoyage sur chaque pastille qui circule dans l'installation 10. Le poste 80 a également pour effet d'enlever la solution de nettoyage en projetant un jet d'azote sur chaque pastille. Lorsqu'une pastille a été nettoyée et séchée au poste 80, 5 elle est transportée par le couloir pneumatique 22 à un poste de contrôle 82 qui est analogue en construction et en fonctionnement au poste 56. Les pastilles qui ne satisfont pas au contrôle exécuté au poste 82 sont dirigées par l'ordinateur 16, vers une navette 84. Les pastilles qui satisfont au contrôle sont évacuées 10 du module 12 à chambre noire, et introduites dans le module de dépôt 14 par le couloir pneumatique 22. Il va de soi que les divers postes de travail qui constituent le module à chambre noire 12 sont entièrement autonomes et entièrement indépendants les uns des autres. Autant que possible, 15 les postes de travail sont de construction identiques entre eux, ainsi que identiques à la construction d'organes de remplacement qui sont constamment disponibles, pour le cas où l'un des postes viendrait à défaillir. Les postes 26, 30, 38, 44, 48, 54 et 80 sont donc de construction identique et pourraient être interchangés 20 sans que ceci ne modifie le fonctionnement du modulel2. De même, les postes 32, 40, 46, 50, 60 et 70 sont de construction identique, de même.que les postes 28 et 36. Naturellement, un grand nombre des postes de travail identiques entre eux qui sont 25 contenus dans le module 12 exécutent des fonctions différentes, parce qu'ils sont commandés différemment par l'ordinateur 16. Il est également évident que, pour différents dispositifs, les modules peuvent être disposés dans un ordre de succession différent. 30 Lorsque chaque pastille est amenée au module de dépôt 14 par le couloir pneumatique 22, elle est initialement débitée à un poste 86 de lecture des pastilles, qui est identique au poste 24 du module 12. Au poste 86, le numéro codé sur la tranche de la pastille est lu et transmis à l'ordinateur 16 qui 35 vérifie la conformité de l'ordre de succession des pastilles qui pénètrent dans le module 14 avec l'ordre de succession que ces pastilles présentent au moment où elles pénètrent dans le module à chambre noire 12. Après avoir subi l'opération de lecture au poste 86, chaque 40 pastille est transportée au poste 88 de dépolissage qui est ana 70 27906 2053245 logue aux postes de décapage 62 et 72 en ce qu'il comprend plusieurs rampes et un bac dans lequel est monté un dispositif de transport des pastilles. Chaque pastille descend le long d'une rampe pour plonger dans le bas sous la commande de l'ordinateur 5 16. A sa sortie du poste 88, la pastille traverse un poste de rinçage 90, puis un poste 92 de rinçage à l'acétone et un poste de séchage 94 qui sont respectivement identiques aux postes 64, 66 et 68 du module 12. Les postes 88 à 94 ont pour fonction d'éliminer les couches de matériau de réserve photographique 10 qui protégeaient les parties de la couche de silice portée par la pastille pendant le traitement de cette pastille dans les postes de décapage 62 et 72. Les pastilles nettoyées qui quittent le poste, 94 sont transportées par le couloir pneumatique 22 à un poste 96 de transfert 15 des pastilles. A ce poste 96, une tête à ventouse 98 de transfert des pastilles qui est montée oscillante, place les pastilles par paires dans des navettes 100 de transport des pastilles. Chacune de ces navettes 100 comporte deux cavités réceptrices de pastilles. Les navettes 100 sont réalisées en quartz et ont 20 pour fonction de porter et de transporter ces pastilles pendant le traitement de dépôt. Les navettes 100 sont transportées initialement le long d'un couloir pneumatique 102 à un couloir de four 104. Surce couloir 104 les navettes sont transportées par un convoyeur de navettes 25 106 à travers un four de dépôt 108 . Dans ce four 108, une matière qui contient une impureté telle que le bore, l'arsenic, le phosphore ou équivalent, est déposée sur les pastilles. Lorsque les pastilles quittent le four 108 toute la surface de chaque pastille, en particulier les parties de la couche de 30 silice qui ont été éliminées par le décapage pendant le traitement de la pastille dans le module 12 sont revêtues d'une couche d'une matière qui contient une impureté. Lorsque les navettes 100 quittent le four 108, elles transportent les pastilles à un poste 110 de transfert des pastilles. 35 A ce poste 110, les pastilles sont séparées des navettes et transférées à un couloir pneumatique 112 par une tête 114 de transfert des pastilles qui est commandée par une dépression et qui est montée coulissante. Lorsque les pastilles ont été extraites des navettes 100, ces dernières sont amenées au poste 40 96 par le couloir 102. Les pastilles qui ont été extraites des 70 27906 12 2053245 navettes sont évacuées du module de dépôt 14 par le couloir pneumatique 112. Il convient de remarquer que le module de dépôt 14 par le couloir pneumatique 112. Il convient de remarquer que le module de dépôt 114 comprend deux fours, deux couloirs 5 pneumatiques, deux têtes de transfert etc, qui sont identiques dans chaque paire de dispositifs. Ceci a pour but d'assurer la continuité du fonctionnement de l'installation 10. En effet, si l'un des organes de l'une des deux moitiés du module 14 tombe en panne, les pastilles peuvent être immédiatement traitées par 10 l'autre moitié du module 14. En outre, l'utilisation d'ensemble de traitement parallèle des pastilles permet d'assurer un entretien pédiodique et des réparations périodiques du module 14 sans perturber le fonctionnement de l'installation 10. Les pastilles qui sortent du module de dépôt 14 sont transpor-15 tées par le couloir pneumatique 112 qui les introduit dans un module de diffusion (non représenté). Ce module de diffusion est de construction identique à celle du module de dépôt 14, mais il fonctionne différemment en ce sens qu'il a pour fonction de faire pénétrer dans la masse des pastilles les impuretés de 20 la couche contenant les impuretés qui a été déposée sur les pastilles par le module 14. C'est-à-dire que les impuretés de la couche contenant les impuretés sont obligées de pénétrer dans les parties du substrat en silicium des pastilles qui ont été dénudées par le décapage des couches de silice que les pastilles 25 présentent à leur sortie du module 12. Cet effet donne des qualités semi-conductrices aux parties des substrats de silicium qui ont été dénudées par l'opération de décapage. Dans l'ensemble de l'installation de fabrication dont l'installation 10 constitue une partie représentative, chaque pastille 30 traverse plusieurs modules à chambre noire, plusieurs modules de dépôt et plusieurs modules de diffusion. Chaque module à chambre noire est analogue au module représenté sur la Fig. 1 sauf que certains postes de travail peuvent être ajoutés à un module particulier ou supprimés suivant le besoin. En outre, les postes 35 de travail des divers modules sont mis en action différemment sous la commande de l'ordinateur 16 pour assurer le traitement optimal des plaquettes à chaque poste de travail dans l'ensemble de l'installation. Ceci est particulièrement vrai pour les postes de décapage qui utilisent des solutions différentes et lin dans lesouels les Dastilles sont exposées à l'action des solu 70 27906 13 2053245 tions pendant des périodes différentes durées, ces durées étant déterminées par l'épaisseur de la couche d'oxyde particulière sur laquelle on travaille dans un module à chambre noire particulier. De même, tous les modules de dépôt et de diffusion de 5 l'ensemble de l'installation sont construits de la même façon sauf que les divers modules de dépôt peuvent être utilisés pour déposer sur les pastilles des couches dont le type diffère suivant les besoins du traitement particulier considéré. L'installation de fabrication suivant l'invention est 10 supérieure aux installations de la technique antérieure parce qu'elle traite les pastilles d'une façon plus uniforme. Chaque pastille est en effet transportée rapidement dans l'ensemble de l'installation de sorte qu'elle ne subit aucune contamination pendant l'attente d'un traitement. Les pastilles sont transportées 15 automatiquement de l'un à l'autre des postes de travail de l'installation, dans leur ordre de succession de sorte que l'on dispose d'une possibilité continue d'action sur la fabrication de chaque pastille. En outre, étant donné que chaque poste travaille individuellement sur chaque pastille, et étant 20 donné que les opérations de fabrication de l'installation sont entièrement commandées par un ordinateur, chaque pastille est traitée sans qu'il n'y ait à établir de compromis avec les besoins d'autres pastilles. Etant donné que l'installation représentée travaille en 25 continu, et individuellement sur les diverses pastilles, la durée du cycle, c'est-à-dire la durée de passage d'une pastille dans l'installation est réduite au minimum absolu. Les avantages qui résultent de la réduction de la durée du cycle de traitement des pastilles, sont tellement nombreux que l'utilisation de ?0 cette installation serait rentable même si elle n'apportait que ce seul résultat. Par exemple, étant donné que chaque pastille qui est contenue dans l'installation à un moment donné quelconque, subit effectivement un traitement, le stock des pièces en cours de traitement est réduit au minimum absolu. De même, 35 étant donné que les pastilles finies peuvent être produites en un temps relativement court, l'installation peut être utilisée pour produire des pastilles pour lesquelles on a reçu des ordres fermes au lieu de travailler sur des prévisions. Ceci permet de réduite considérablement les investissements en stocks de produits finis. 40 70 27906 14 2053245 En dehors de la réduction du stock, la réduction de la durée du cycle de traitement des pastilles a en outre pour résultat d'assurer un plus grand rendement dans la production des pastilles. Par exemple, les pannes ou défauts de l'installation 5 se manifestent au bout de quelques jours au lieu de quelques semaines après. Ceci permet de prendre beaucoup plus rapidement les mesures correctives. En outre, l'effet des mesures correc-tives, aussi bien celles qui sont destinées à corriger les défauts de l'installation que celles qui sont destinées à améliorer les 10 performances de cette installation, ont une incidence beaucoup plus rapide sur la sortie de cette installation. En dehors du fait qu'elle traite des pastilles d'une façon beaucoup plus uniforme et qu'elle permet d'obtenir une durée de cycle de traitement des pastilles très réduite, l'installation 15 suivant l'invention est encore supérieure par le fait qu'elle maintient les pastilles dans le même ordre de succession pendant toute la durée du traitement de fabrication. Le travail dans l'ordre de succession simplifie considérablement la recherche des sources de défauts de l'installation aussi bien que ia 20 recherche des effets des modifications apportées à cette installation. En outre, l'adoption d'un fonctionnement en série et dans l'ordre permet d'utiliser l'installation pour éprouver des procédures expérimentales car elle permet en effet une identification rapide des pastilles échantillons ou éprouvettes. 70 27906 15 2053245 10 REVENDICATIONS 1/ Installation de fabrication de composants électroniques dans laquelle des pastilles semi-conducti'ices se déplacent d'un poste à un autre, cette installation étant caractérisée en ce qu'elle comporte une série de postes de traitement des pastilles qui exécutent chacun une seule opération de fabrication sur une seule pastille à la fois et un mécanisme servant à déplacer individuellement les pastilles de l'un à l'autre des postes. 2/ Installation suivant la revendication 1, caractérisée en ce que les postes sont agencés le long d'un trajet et en ce que le mécanisme de déplacement transporte chaque pastille sur toute la longueur de ce trajet. 3/ Installation suivant la revendication 1, caractérisée en ce que chaque poste exécute son opération de fabrication 15 respective suivant un signal reçu d'un circuit de commande. 4/ Installation suivant la revendication 2, caractérisée en ce que le circuit de commande peut être programmé pour modifier la nature de l'opération, l'instant de déclenchement de cette opération et l'arrêt de l'opération à chaque poste. 20 5/ Installation suivant la revendication 1, caractérisée en ce que le mécanisme d'entraînement des divers pastilles transporte ces pastilles suivant un trajet prédéterminé et en ce que les postes de traitement sont placés le long de ce trajet pour traiter successivement les diverses pastilles pendant qu'elles 25 sont transportées le long de ce trajet. 6/ Installation suivant la revendication 5, caractérisée en ce que les postes de traitement séparés qui sont disposés le long dudit trajet traitent lesdites pastilles une à une. 7/ Installation suivant la revendication 5, caractérisée 30 en ce que les pastilles sont transportées et maintenues dans un ordre de succession défini. 8/ Procédé de fabrication de composants électroniques, caractérisé en ce qu'il consiste à transporter une série de pastilles devant un certain nombre de postes de travail et à ef-35 fectuer une opération de fabrication sur chaque pastille individuelle à chaque poste. 9/ Procédé suivant la revendication 8, caractérisé en ce que lors du stade de transport on effectue une opération qui consiste à maintenir les pastilles dans un ordre prédéterminé. 40 10/ Procédé suivant la revendication 8, caractérisé en ce 70 27906 16 2053245 que chqque opération est accomplie dans un intervalle de temps prédéterminé.