Brevet FR2046839A1 — publié le 19710312

La présente invention concerne la mise en forme, le décapage, et le nettoyage des éléments, des revêtements, et des films par érosion induite par un potentiel électrique appliqué entre au moins deux électrodes contenues dans un environnement à basse pression. 5 Diverses techniques sont connues et ont été utilisées pour le décapage, la mise en forme, et le nettoyage des objets,'des revêtements, etc.. Les procédés les plus courants sont l'abrasion physique et le décapage chimique. Cependant, ces techniques ont des limites, particulièrement lorsqu'on les utilise dans les applications modernes de fabrication électronique telles 10 que la fabrication des composants semiconducteurs microminiaturisés. Les limitations des dispositifs d'abrasion physique sont évidentes lorsque l'objet à travailler est très petit et les détails très compliqués. En outre, dans beaucoup d'applications, particulièrement dans la fabrication des dispositifs semiconducteurs, le décapage chimique ne se révèle pas 15 complètement satisfaisant. Par exemple, il est impossible avec le décapage chimique de produire une rainure dans un matériau qui ait des parois parallèles. En outre, le décapant chimique peut avoir des effets nuisibles sur des éléments associés, surfaces et revêtements. Dans la production des masques, de la métallurgie semiconductrice, et des opérations s'y rattachant, 20 le décapage sous jacent du matériau décapé est un inconvénient très sérieux. Le décapage par pulvérisation a été utilisé dans de telles applications avec un grand succès. Il est particulièrement intéressant pour des matériaux qui sont difficiles à décaper par des moyens chimiques, comme par exemple du nitrure de silicium. Dans le décapage par pulvérisation, on élimine 25 le matériau de l'objet par bombardement de l'objet avec des ions à énergie élevée qui sont dirigés normalement à travers un masque définissant la configuration à décaper dans l'objet. Les techniques de décapage par pulvérisation nécessite la disposition de l'objet à décaper revêtu d'un masque sous une pression réduite dans un gaz inerte tel que de l'argon et le maintient 30 de l'objet contenant le masque à un potentiel continu négatif qui ionise des atomes gazeux et forme une gaine ionique (espace noir de Crook) autour de l'objet. Cette gaine ionique contient des ions positifs d'énergie élevée qui bombardent le matériau pour réaliser le décapage par pulvérisation. La difficulté avec le décapage par pulvérisation en courant continu est 35 qu'une charge électrique a tendance à se créer autour de l'objet à décaper après le bombardement de l'objet par les ions lorsque ceux-ci ont perdu leur énergie. Le décapage par pulvérisation HF élimine ce problème. La technique de décapage est décrite et revendiquée dans la demande de brevet déposée en France le 1 Mars 1967 par la demanderesse obtenu sous le numéro 40 1 538 335 et le principe du fonctionnement y est décrit. 70 17085 2 2046839 La technique du dépôt du matériau par pulvérisation HF est connue depuis longtemps. Il a été établi plus récemment que durant le dépfit d'un matériau par pulvérisation HF une ré-émission du matériau que l'on déposait se produisait souvent. Le matériau ré-émis se déposant en fait sur certaines: 5 parties de l'appareil ou de la cible. Il y a une probabilité qu'une partie de ce matériau soit de nouveau ré-émis et se retrouve dans le dépôt pulvérisé. Dans le décapage par pulvérisation HF où le travail ou substrat est par essence la cible, les mêmes conditions existent. Le matériau qui est éliminé et l'objet que l'on décape se déposent sur diverses surfaces de 10 la chambre à vide, et une certaine fraction de ce matériau sera ré-émise et reviendra à l'objet. Un tel redépôt du matériau durant le décapage par pulvérisation HF est inacceptable pour plusieurs raisons. Si la surface que l'on décape f=st constituée de plus d'un matériau, par exemple, des matériaux a et b exposés 15 aux surfaces A et B, respectivement, alors durant le décapage prar pulvérisation, le matériau a sera redéposé sur la surface B et le matériau b sera redéposé sur la surface A déréglant ainsi les taux d'élimination relatifs de ces deux matériaux, rendant le procédé incontrôlable. En outre, mime si le matériau de la surface que l'on décape est un composé uniforme, il peut 20 contenir des impûretés, et l'un des objets du procédé de pulvérisation est de les éliminer. Leur retour continu à la surface que l'on décape pejt être très indésirable. Comme exemple, considérons le décapage par pulvérisation des surfaces d'oxyde d'un dispositif semiconducteur. Il est bien connu que soit toutes, soit les seules couches les plus extérieures, d'un tel 25 oxyde peuvent être contaminées par des ions sodium qui ultérieurement, introduiront une instabilité dans un dispositif semiconducteur protégé de cette façon. L'élimination de l'oxyde et des ions sodium durant le procédé de décapage par pulvérisation est souhaitable. Cependant, dans les appareils de décapage par pulvérisation conçus actuellement, une fraction des ions 30 sodium sera toujours ramenée à la surface d'oxyde qui est décapée ae telle sorte qu'il ne sera pas possible d'éliminer complètement cette source ce contamination. Dans certaines opérations, comme par exemple dans la fabrication de la couche d'isolement sur le canal d'un transistor à effet de champ, même de très petites quantités de contaminant sont inacceptables. 35 Un objet de la présente invention est de réaliser dans un appareil de décapage par pulvérisation un moyen interceptant et retenant les matériaux éliminés de l'objet que l'on décape. Un autre objet de la présente invention est de réduire les problèmes de contamination dans le décapage par pulvérisation. 40 Un autre objet de la présente invention est de réduire la contamination 70 17085 3 2046839 de l'élément que l'on décape par pulvérisation. Un autre objet de la présente invention est de réaliser un nouvel appareil qui minimisé la ré-émission durant les opérations de décapage par pulvérisation. 5 L'invention réside dans un élément capteur qui piège les particules éliminées par décapage par pulvérisation. L'élément, que l'on peut appeler correctement un "capteur',' est disposé à l'intérieur de la chambre de pulvérisation à proximité de l'électrode soutenant l'objet que l'on décapage.par pulvérisation. L'élément peut, si on le désire, servir comme électrode à 10 l'intérieur de la chambre. En général l'élément capteur comprend plusieurs éléments de surface qui sont inclinés ou transversaux par rapport à la surface de l'électrode support d'objet. Ces surfaces sont adaptées soit pour oetenir ou dévier les particules pulvérisées sur des surfaces associées jusqu'à ce qu'elles y adhèrent de façon permanente. 15 D'autres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront mieux de l'exposé qui suit, fait en référence aux dessins annexés à ce texte, qui représentent un mode de réalisation préféré de celle-ci. La figure 1 représente une vue en coupe représentant une réalisation spécifique préférée de l'élément capteur de l'invention et son association 20 avec les éléments d'un appareil de décapage par pulvérisation. La figure 2 représente une vue en section d'une réalisation spécifique préférée de l'élément capteur de l'invention. La figure 3 représente une vue selon la coupe 3-3 de la figure 2. La figure 4 représente une vue de dessous en coupe d'une autre réalisa-25 tion spécifique préférée du capteur de l'invention. La figure 5 représente une vue en coupe selon l'axe 5-5 de la figure 4. Les dispositifs de pulvérisation HF, pour le dépôt de films, ou pour le décapage d'objets, utilisent les caractéristiques différentes de mobilité 30 des électrons et des ions. La fréquence appliquée est supérieure à la fréquence de résonance ionique du plasma dans l'espace lumineux, et inférieure à la fréquence de résonance électronique du plasma. Les gaines d'ions, auxquelles on se réfère comme espace noir, se forment à proximité des électrodes. En première approximation, l'espace lumineux est à un potentiel uniforme et 35 la différence de potentiel entre les électrodes se produit au travers des espaces noirs. En outre, l'espace lumineux de la décharge est couplé capaci-tivement à travers les espaces noirs aux électrodes et son potentiel est toujours plus positif que les surfaces des électrodes. Ainsi, lors d'un dépôt par pulvérisation, durant la partie du cycle où l'électrode cibla 40 est polarisée négativement, des ions positifs sont attirés a travers les 70 17085 4 2046839 espaces noirs adjacents à la cible pour bombarder la cible. Les ions amènent l'éjection d'atome de la cible qui se déposent sur les surfaces des alentours, particulièrement l'élément que l'on revet, qui est fixé à proximité de la cible. Dans le décapage par pulvérisation durant la partie du cycle où l'élec-5 trods supportant l'objet à décaper est polarisée négativement, les ions positifs sont attirés au travers de l'espace noir adjacent à l'électrode pour bombarder et erroder l'objet. Dans la seconde partie du cycle, les électrons sont attirés vers la cible correspondante ou vers l'objet qui est décapé pour neutraliser toute formation de charge. Durant cette dernière 10 partie du cycle, il se produit un phénomène semblable au bombardement des ions positifs entre l'espace lumineux et l'électrode opposée qui est conductrice. En modificant la disposition physique de l'alimentation HF et des électrodes, les écartements et les dimensions des électrodes, le phénomène désiré, c'est-à-dire, le dépôt ou le décapage, peut être déclenché et peut être optimisé. 15 En général, cependant, il existe une certaine repulvérisation dans toute opération de pulvérisation, ce qui, dans le cas d'un décapage par pulvérisation, se traduit par le fait qu'une partie du matériau déjà errodée et déposée sur diverses^ parois de la chambre de pulvérisation et renvoyée sur le substrat. Cela introduit une contamination qui est indésirable. 20 On peut'maintenant se référer aux dessins accompagnant, les figures 1 à 5, qui représentent des réalisations spécifiques préférées de l'invention. En référence à la figure 1, on représente schématiquement un appareil de pulvérisation 10 comprenant une chambre contenant une électrode 12 support de substrat' et un élément capteur 14. La chambre est formée d'un fond 16 25 de matériau conducteur, d'une paroi cylindrique 18 située sur la plaque 1e, faite de verre ou de métal, et de la plaque supérieure 20 qui peut faire partie de l'élément capteur 14 ou être une unité séparée. La plaque 20 est sur la paroi 18 et est réalisée de préférence avec un matériau conducteur. Les joints 22 assurent une étanchéité du type à vide entre la plaque 16 30 et la paroi 18 d'une part et la paroi 18 et la plaque 20 d'autre part. Sait la plaque 20, soit la plaque 16, ou les deux sont reliées à la masse 21. L'électrode 12 est classique et ne fait pas partie de l'innovation de l'invention. L'électrode 12 est formée d'un élément électrode 24 constitué d'un matériau conducteur convenable, d'un élément isolant annulaire 26 constitué, 35 d'un matériau diélectrique convenable qui supporte l'élément électrode 24 et l'isole de la plaque de fond 16, et de l'écran 28. Si on le désire, l'élément 24 peut être réalisé avec un dispositif de refroidissement à fluide convenable qui comprend un tube 29 disposé concentriquement dans la tige creuse qui introduit ou retire un fluide réfrigèrent de la paroi creuse 40 de l'élément 24 sous jacent à la surface supérieure. Comme indiqué par les 70 17085 5 2046839 flèches 30 et 31 on peut faire circuler le fluide réfrigèrent pour obtenir le refroidissement. Les substrats S reposent sur une plaque de verre ou autre plaque diélectrique 32 qui repose à son tour sur la surface supérieure de l'électrode 24. L'alimentation d'énergie HF 34 est connectée à l'électrode 5 24 par un condensateur 35. Le condensateur 35 empêche l'écoulement du courant continu mais ne gêne pas le courant alternatif à la fréquence produit par l'alimentation 34. La plaque 16 et toute autre surface conductrice au potentiel de masse sert comme seconde électrode de la chambre. La chambre 10 est évacuée par une pompe à vide 36. On peut introduire un gaz inerte tel que de l'argon 10 dans la chambre 10 par l'entrée 38. L'élément capteur 14 est disposé au-dessus de l'électrode 12 support de substrat comme représenté dans la figure 1. L'élément capteur 14 dans la réalisation représentée comprend des chicanes, formées de plusieurs ailettes tronconiques, concentriques, disposées sur la plaque 20. L'ailette peut 15 être constituée de tout matériau convenable l'aluminium étant un exemple typique. Les ailettes 40 peuvent être formée sur la plaque 20 par tout procédé convenable tel que usinage, ou moulage, elles peuvent également être formées séparéement et fixées par soudure, etc... Fondamentalement, on représente la même réalisation de l'assemblage capteur dans les figures 4 et 5. Bien 20 que l'élément capteur 14 soit représenté supporté sur le sommet de la paroi 18, il peut être supporté par tout autre moyen simple, comme par exemple, par des tiges verticales fixées sur la plaque inférieure 16. Durant le procédé de décapage l'électrode 12 et ses éléments associés sont tous bombardés par les ions positifs. Dans le procédé les ions positifs 25 errodent les parties non masquées et exposées du substrat, S. Cependant, le masque utilisé normalement sur les substrats, et la plaque de verre 32, sont bombardés. Lorsque ce matériau est éliminé ou errodé il s'élimine dans aes directions au hasard et peut finalement se déposer sur les diverses surfaces de l'appareil de pulvérisation comprenant la paroi 18 et l'élément 30 capteur 14. Cependant, l'élément capteur 14 est adapté pour capturer et retenir la partie principale de ce matériau pulvérisé puisqu'il est disposé en face de l'électrode 12. Comme on l'a déjà mentionné, dans toute opération de pulvérisation il existe une ré-émission du matériau de la paroi et particulièrement du matériau déposé sur les parois de la chambre de pulvérisation. 35 II est indésirable que ce matériau, comme par exemple, le photorésistant ou le matériau de la plaque de verre 32 soit redéposé sur la surface que l'on décape. L'élément capteur 14 est disposé de telle sorte que les particules, à la fois chargées et neutres, frappent la surface des ailettes 40. Après dépôt sur ces surfaces, le matériau sera soit fixé ou soit ré-émis. Puisque 40 le bombardement ionique qui est responsable de la ré-émission du matériau 70 17085 2046839 se fait dans une direction verticale, le matériau ré-émis ainsi se déplacera vers l'arrière ou vers le côté intérieur des ailettes adjacentes. Là il peut soit se fixer ou de nouveau être ré-émis. Si il est de nouveau ré-émis, la probabilité est qu'il se déposera sur une autre ailette. Avec cette cisposi-5 tion d'ailettes, la probabilité que les particules restent à l'intérieur du capteur est très élevée. En général, la disposition est telle que le matériau pénètre toujours de plus en plus dans le capteur diminuant ainsi la probabilité qu'il en ressorte. Une situation analogue est le lancement d'une balle dans une chambre ayant une petite'fenêtre unique. La balle après 10 être rentrée dans la chambre rebondira au hasard sur les parois de la chambre et finalement s'arrêtera. Bien qu'il existe une probabilité finie que la balle rebondisse hors de la chambre par la même fenêtre d'où elle est venue, la probabilité est relativement petite si la fenêtre est petite. Une autre fonction du capteur est d'éviter le retour des matériaux déposés sur le 15 capteur, et aussi d'éviter que les matériaux du capteur soient délogés par des particules et retournent sur l'électrode support de substrat. Le capteur 14 aussi bien que les autres surfaces de la chambre de pulvérisation sont soumis au bombardement à la fois par les particules neutres et chargées. Ce bombardement peut amener la ré-émission du matériau de la surface du 20 capteur,ou des parois. Cependant, on peut voir que la probabilité de la sortie du matériau de l'élément capteur 14 est très inférieure à celle de la sortie d'une surface neutre. Lorsque des ions ou les particules frappent une surface, la ré-émission du matériau se produit au point d'impact. Lorsque les particules incidentes arrivent sous un angle d'incidence oblique, la 25 ré-émission se produit dans la direction arrière. Par exemple, si les ions incidents frappent la surface à un angle de B0°C la majorité des atomes émis ou matériau quitteront la surface à un angle d'approximativement 60° par rapport, à la normale mais dans la direction opposée. Même pour des ions qui frappent la surface normalement, les atomes émis la quittent avec une 30 distribution en cosinus plutôt qu'uniquement dans une direction perpendiculaire à la surface. Ainsi, dans la réalisation représentée dans la figure 1, et aussi dans les figures 4 et 5, des particules ou atomes provenant de l'électrode 12 frapperont la surface 42 de l'ailette 40 avec un angl 70 17085 7 2046839 très faible de matériau provenant de la région entourant l'électrode 12. Le matériau qui est monté dans les ailettes peut finalement se déposer sur la surface 45 qui du fait de la position des ailettes n'est pas soumise à une grande quantité de bombardement puisque seules les particules se dépla-5 cant avec le meême angle que les ailettes provenant de l'électrode 12 frapperont la surface. Dans le phénomène dont on a déjà parlé, le matériau pulvérisé éliminé de l'électrode 12 des substrats S et des surfaces associées sera en général neutres, seule une très petite fraction étant chargée. Le principe utilisé 10 dans l'élément capteur de l'invention ne dépend d'aucun principe électrostatique mais repose pûrement sur des principes géométriques mécaniques. On doit comprendre que le potentiel électrique du capteur 14 n'est pas de grande importance puisqu'une pulvérisation supplémentaire, en raison du potentiel négatif par rapport à la décharge lumineuse, entraînera encore un piègage 15 du matériau par le mécanisme décrit. Cependant, en pratique on ne peut pas souhaiter l'obtention d'une repulvérisation excessive puisqu'elle augmenterait la probabilité de la fuite de certains matériaux. De préférence, le capteur doit être maintenu au potentiel le plus bas possible par rapport au plasma. On peut réaliser cela en le connectant électriquement à la masse ou à la 2D plaque de fond 1B comme représenté dans la figure 1. Le capteur 14 peut 6tre situé à une distance convenable de la surface de l'électrode 12 support de substrat. En pratique, on a trouvé que l'écartement entre les ailettes peut être approximativement le tiers de la hauteur des ailettes. On doit comprendres qu'il n'est pas nécessaire que les ailettes aient une forme 25 circulaire. Les ailettes peuvent avoir une configuration carrée, rectangulaire ou autrement peuvent être une série d'ailettes droites parallèles si on le désire. En référence maintenant aux figures 2 et 3, on représente une seconde réalisation spécifique préférée de l'élément capteur de l'invention. L'élément 30 capteur est formée de plusieurs ailettes tubulaires concentriques ou cylindriques 52 supportées par une plaque 20. Les ailettes 52 ont une longueur telle qu'elles fournissent une surface adéquate dans laquelle les particules provenant de la région de l'électrode 12 sont amenées séquentiellement à rebondir et finalement à se fixer sur la surface. Cela signifie, que la 35 disposition des ailettes piège effectivement tout matériau délogé de l'ailette par bombardement d'ions ionique ou de matériaux neutres. Le principe de base du piègage de matériau est le même que celui décrit pour la réalisation du capteur représenté dans les figures 4 et 5. Cependant, la configuration représentée dans les figures 2 et 3 peut être fabriquée plus facilement. 40 Comme dans le cas de la réalisation du capteur précédent, les ailettes peuvent 70 17085 8 2046839 avoir toute configuration comme par exemple être rectangulaires, carrées, et peuvent être formées de plusieurs ailettes parallèles. Diverses autres dispositions géométriques des ailettes sont possibles. L'expérience a montré que la configuration représentée ici offre", les résul-5 tats les plus satisfaisants avec un coût de fabrication minimium car elles sont disposées d'une façon telle qu'elles sont suffisantes pour attraper toute particule ré-émise et agir ainsi comme dispositif dé chicanes pour éviter là redéposition du matériau sur la surface que l'on traite. L'exemple suivant est présenté pour illustrer l'efficacité de l'appareil 10 et du procédé de l'invention et ne doit pas limiter le cadre de l'invention. Exemples Quatre pastilles de silicium de 8 ohms/cm sont numérotées de 1 à 4 . et oxydées dans un four sec avec un environnement d'oxygène pur à une pression d'une atmosphère, à une température de 1000oC.0n forme un revêtement de 15 Si02 thermique, d'une épaisseur de 1000Â. L'échantillon numéro 1 est-utilisé comme échantillon de contrôle dans un but de"comparaison. Les échantillons 2, 3 et 4 reçoivent une couche de 250Â de verre phosphosilicate (PSG) qui est déposée par exposition des pastilles a un. courant gazeux de POC1 chauffé à 850°Ç:. Le verre phosphosilicate résultant "est alors éliminé de la pastille 20 numéro 2 par décapage par pulvérisation avec un appareil de- décapage par pulvérisation classique qui ne comprend pas un capteur du type décrit dans cette demande de brevet. Le verre phosphosilicate sur les pastilles 3 et 4 est éliminé avec un appareil de décapage par pulvérisation comprenant un élément capteur comprenant une plaque support et plusieurs chicanes con-25 centriques. Ce décapage par pulvérisation est.réalisé à 1BO watts durant un temps suffisant pour éliminer la couche de verre phosphosilicate. Immédiatement après.le décapage de la couche de verre, on dépose du. nitrure de silicium par pulvérisation réactive en utilisant un appareil de pulvérisation HF classique comprenant une cible de silicium, de l'aZote gazeux dans la 30 chambre à une pression de 3 microns, et une densité d'énergie de 4,2 watts 2 par cm . On évaporé alors des points d'aluminium sur la surface de la couche de nitrure de silicium résultante avec un canon à électron. La structure résultante est connue comme condensateur serniconducteur-isolant-métal (MIS), dont les propriétés sont bien connues. La capacité d'une telle structure -35 MIS est une fonction du potentiel continu appliqué au travers de la structure. En mesurant la capacité C en fonction du potentiel continu V, il est possible de déterminer le potentiel de bande plate qui est une caractéristique des propriétés de la surface du- semiconducteur et est très"imoortante pour la détermination des propriétés des dispositifs électroniques semiconducteurs. 40 Les propriétés du dispositif sont décrites par l'équation simple: 70 17085 9 2046839 ' aù Nfb est appelé la charge de bande plate, et q est l'unité de la charge électronique. De façon semblable, la stabilité de la surface semiconductrice après contrainte électrique thermique est mesurée par la charge en PB 5 II est souhaitable d'obtenir A NpB petit pour les dispositifs électroniques semiconducteurs. La relation de A NpB avec les autres paramètres est: q A Nfb=C A VpB Les mesures du potentiel de bande plate VpB ont été effectuées après la mise en place des électrodes, après recuit, et après mise sous contrainte de 10 température. La charge de bande plate N,-_ a été déterminée initialement et ro après les opérations de décapage. Les résultats sont donnés dans la tahle suivante» 15 20 Echantillon Initial 11 2 Nx10 /cm FB Modification après contrainte 11 2 A Nx10 cm FB Commentaires 1. Si02 + Si3N4 1,43 2,57 Sans PSG, sans capteur 2. Si02 (+PSGJ + Z,0 1,5 Sans capteur Si3N4 3. Si02 (+PSG) + 0,78 0,83 Capteur - Si3N4 4» Si02 C+PSG) + 0,80 0,91 Capteur Siaw4 ne A est une mesure de l'instabilité de la surface semiconductrice. " FB L'instabilité de la surface semiconductrice dans cette série d'essais est en relation directe avec la quantité de contaminants réintroduits durant le décapage par pulvérisation des couches de verre phosphosilicate dans les essais 2, 3 et 4. La pastille 1 est un échantillon de contrôle. La paa- 3q tille 2 représente les effets d'élimination de Wa+ avec le PSG, qui a été enlevé par décapage par pulvérisation sans élément capteur. L'amélioration, c'est-à-dire, l'abaissement dB A l\LD, est évidente. Les pastilles 3 et 4 rb représente l'amélioration obtenue après décapage par pulvérisation du PSG . avec l'élément capteur» On remarque que la charge de bande plate A N , est ru 35 inférieure dans les pastilles 3 et 4 en comparaison à celle de la pastille 2. La différence de A N entre 1 et 2 est due à l'effet d'élimination pro- ru 70 17085 10 2046839 venant de la couche de verre phosphosilicate utilisée dans 2. La table ci-dessus représente de façon très claire, les effets de l'utilisation d'un élément capteur dans l'appareil de décapage par pulvérisation La réduction de A NpB dans les pastilles 3 et 4 en comparaison de la 2 est 5 due a une réduction de la production de contaminants lors de l'élimination de la couche PSG par décapage par pulvérisation» l'élément capteur évitant en outre la recomtamination. Bien que l'on ait décrit dans ce qui précède et représenté sur le dessin les caractériatiques essentielles de l'invention appliquées à un mode de 10 réalisation préféré de celle-ci, il est évident que l'homme de l'art peut y apporter toutes modifications de forme ou.de détail qu'il juge utiles, sans pour autant sortir du cadre de ladite invention. 70 17085 11 2046839 REVENDICATIONS 1.- Appareil pour décapage par pulvérisation d'un objet comprenant: - une chambre de. pulvérisation qui renferme une atmosphère gazeuse à pression réduite, une paire d'électrodes, à-l'intérieur de ladite chambre 5 de pulvérisation, des moyens pour appliquer un potentiel HF entre les électrodes, des moyens pour supporter, sur l'une desdites ..électrodes,, un objet a décaper, le potentiel HF appliqué étant suffisamment élevé pour induire le,décapage..par pulvérisation d'une surface libre d'un tel objet par bombardement d'ions de l'atmosphère gazeuse inerte,, et caractérisé en ce qu'il 10 comporte - - un dispositif-capteur de matériaux, disposé à une certaine distance et ...... - - . de la surface libre de 1'objet/de l'électrode supportant ledit objet, qui capte et retient le matériau éliminé durant le décapage et minimise la ré- émission du matériau dont elle est constituée, diminuant ainsi la contamina- 15 tion de l'objet que l'on décape par pulvérisation. 2.- Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit dispositif capteur de matériau comprend plusieurs chicanes espacées sur sa surface. 3.- Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que lesdites chicanes sont formées de plusieurs ailettes de forme cylindrique disposées 20 concentriquement. 4.- Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que lesdites chicanes sont formées de plusieurs ailettes dé forme tronconique disposées concentriquement . 5.- Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que lesdites chica-25 nés sont formées de plusieurs ailettes inclinées supportées sur une base plate. B.- Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que le dispositif de chicane est connecté électriquement audit potentiel HF et est utilisé, au moins en partie, comme seconde électrode. 30 7.- Appareil pour décapage par pulvérisation d'un objet comprenant; une chambre à vide dans laquelle se trouve une paire d'électrodes dont l'une sert dB support aux objets à décaper; - un moyen pour appliquer un potentiel entre les électrodes; 70 17085 12 .2046839 - ledit appareil étant caractérisé en ce qu'il comporte en outre: un dispositif capteur de matériaux, disposé à une certaine distance de ladite électrode support d'objets, qui capte et retient le matériau éliminé durant le décapage et minimise la ré-émission du matériau qu'il contient 5 diminuant ainsi la contamination de l'objet que l'on décape par pulvérisation. 8.- Appareil de décapage par pulvérisation selon la revendication 7, caractérisé en ce que ledit moyen d'application dB potentiel est une alimentation de potentiel continue, l'objet à décaper étant supporté par l'électrode ca- 10 thode. 9.- Appareil de décapage par pulvérisation selon la revendication 8, caractérisé en ce que ledit dispositif capteur est l'anode. 10.- Procédé de décapage par pulvérisation caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: •• - " , 15 - excitation d'une paire d'électrodes séparées avec une énergie HF, - introduction entre les électrodes d'une surface d'objet qui doit être traitée par décapage par pulvérisation, et - utilisation, à une certaine distance de la surface.libre dB l'objet, d'une surface équipotentielle qui capte les matériaux provenant de la pulvé- . - *5 • > 20 risation sur l'électrode support. 11.- Procédé selon la revendication 10;'caractérisé, en ce que ladite surface équipotentielle est maintenue au potentiel de masse. - . 12.- Procédé selon la revendication 10 caractérisé en ce que plusieurs matériaux différents son décapés simultanément par pulvérisation. 25 13.- Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'objet à décaper par pulvérisation comprend une couche de masquage in situ qui recouvre et protège une partie de la surface de l'objet et laisse exposées les parties qui doivent être éliminées.