Brevet FR2046823A1 — publié le 19710312

La présente invention concerne des Microscopes électroniques. Dans un microscope électronique, il est nécessaire de prévoir, entre la source d*illumination ,coaprenant les lentilles 5 condensatrices et les objectifs, et le système de for-mat ion d8 i-mages, une chambre réservée à un échantillon ou objet et un dispositif pour introduire un objet dans ladite chambre de façon qu'il soit placé sur la trajectoire du faisceau et pour enlever un objet et le' remplacer par un autre. Etant donné que la tra-10 jectoire du faisceau d'un microscope électronique est sous vide, il est nécessaire de pouvoir changer l'objet sans casser le vide sinon le changement d'un objet nécessiterait beaucoup de temps. La présente invention a pour principal objet un appareil perfectionné par lequel un objet ou échantillon peut être changé 15 sans casser le vide. Selon la présente invention, une platine porte-objet df«n microscope électronique comporte une tige porte-objet qui peut être introduite longitudinalement à l'intérieur dsun élément de commande cylindrique creux s'étendant radialement à travers la 20 paroi latérale de 15instrument, un élément de fermeture pivotant qui peut être placé de manière à fermer hermétiquement la chambre réservée à l'objet et empêcher l'air û'entrer par l'élément de commande, un dispositif par lequel, lorsque la tige porte-objet est en position de commande et que l'objet se trouve 25 ,dans l'élément de commande, la tige peut faire tourner l'élément de commande pour actionner l'élément de fermeture entre ses positions d'ouverture et de fermeture ou inversement, et un élément d'étanchéité pour empêcher une fuite à travers l'élément de commande et la tige porte-objet lorsque l'élément de ferme-30 ture est ouvert. Selon une autre caractéristique, des dispositifs permettent de régler la position de l'objet par rapport à l'axe du faisceau, lesdits dispositifs comportant un premier chariot portant 1'objet ou échantillon et latéralement réglable dans une direction 35 parallèle à la tige porte-objet et un second chariot portant le premier chariot et mobile dans une seconde direction latérale qui est perpendiculaire à la première, les mouvements du second 70 22178 -2- 2046823 chariot étant- guidés, de manière à s©.produire sur un trajet circulaire dont le centre correspond à 1*élément d'étanehéité àe la tige porte-Qs^Qt ■ et €© 18élément de commande de façon que, lorsque les réglages sont effectués te la seconde direction 5 latérale, la tige porte-o'bjgà .gi¥0t© as tour de l'élément d'étan-càéifé,, D'autres avantages et caractéristiques de 1'invention ressortiront de la description qui va '.suivre faite en regard des dessins annexés, et donnant à titre explicatif, mais nulle- 10 ment limitatif, une forme de réalisation de l'invention. Sur ces dessins : la figure 1 est une coupe verticale drune platine porte-objet selon l'invention ; la figure 2 est une vus en plan de l'appareil représenté 15 sur la figure 1 j la figure 3 est une vue en perspective en arrachement de 1Jappareil de réglage de la position de l'objet ; et la figure 4 est une vue détaillée en coupe suivant la ligne IV-HT de la figure 1, et montrant 1*élément de fermeture. 20 Comme on le voit sur les dessins, la platine porte-objet comprend essentiellement une paroi latérale cylindrique creuse 1 entourant une chambre centrale 2 réservée à l'objet ou échantillon. Un. objet est représenté comme étant placé en 3 sur une tige porte-objet 4 passant dans un élément de commande cylindri-25 que creux 5, qui traverse radialement la paroi 1. A l'extrémité externe de la tige 4» est fixée une poignée 6. La poignée 6 comporte une goupille 7 qui, dans la position représentée, s'engage dans une encoche 8 d'un manchon de retenue 10„ Si la poignée 6 est tirée vers 18extérieur, c'est-à-dire vers 30 la droite en observant la figure 1r jusqu'à ce que la goupille 7 entre dans la partie radiale extrême de la fente 8, on peut faire tourner la poignée qui fait tourner le cylindre 5. Lorsque cette position est atteinte, l'échantillon 3 est extrait de la chambre et est introduit à 1•intérieur du cyclindre de comman-35 de 5° Ce dernier présente à son extrémité interne des dents 11 engrenant avec un pignon 12 porté par une broche 13. Un bras de coisiaaB.de 14 est assujetti à la broche 1J et un élément de ferme 70 22178 -3- 2046823 ture 15 est porté par ladite "broche avec un certain degré de glissement . Comme on le voit plus clairement sur la figure 4, la rotation du cylindre de commande 5 fait tourner à la fois l'élément 5 de fermeture 15 et le "bras de commande 14. L'élément de fermeture 15 est mis tout d'abord en rotation pour couvrir l'ouverture du cylindre de commande et dans cette position, il entre en contact avec une butée 16 et le bras 14 est ensuite déplacé sur l'élément de fermeture 15 pour le pousser en le coinçant contre une bague 10 d'étanchéité 17 qui entoure l'ouverture. Lorsque cette position est atteinte, la tige porte-objet peut être entièrement extraite de l'élément de commande. Egalement, lorsqu'un nouvel objet est introduit, la tige porte-objet est tout d'abord introduite dans l'élément de commande cylindrique 5» l'élément de fermeture 15 15 est ensuite ouvert et la tige porte-objet est poussée radialement vers l'intérieur, jusqu'à ce que l'objet se trouve sur la trajectoire du faisceau. Pour assurer l'étanchéité constante de la chambre réservée à l'objet, lorsque l'élément de fermeture 15 est ouvert, îles bagues d'étanchéité 19 et 18 sont disposées autour de 20 l'élément de commande et de la tige porte-objet respectivement. Pour permettre un positionnement précis de l'objet par rapport à l'axe du faisceau, la tige 4 bute contre une butée 20 du premier chariot 21 et peut être positionnée par une tige 22 le long d'un axe X, c'est-à-dire parallèlement à la tige porte-objet. Le 25 chariot 21 est monté à son tour sur un second chariot 23 et est guidé sur ce dernier par des galets 24. Ce second chariot 23 peut être déplacé le long d'un arç de grand rayon, dont le centre.se trouve sur l'axe X, par des tiges de réglage 25 et 26 et il est également guidé par des galets 27. Les surfaces 28 du chariot 23 30 qui butent contre les galets 27 sont curvilignes, de sorte que le chariot 23 se déplace suivant un arc dont le centre correspond au joint d'étanchéité prévu à l'extrémité externe de l'élément de commande. Grâce à cette disposition, le mouvement suivant la direction Y suit un parcours circulaire et cela fait pivoter la 35 tige porte-objet autour de son joint d'étanchéité ; étant donné 70 22178 _4_ 2046823 que le joint d'étanchéité est flexible, ce mouvement peut être réalisé sans risque de fuite alors qu'une telle fuite pourrait se produire si toute la tige porte-objet était déplacée latéralement. 5 Un ressort de rappel peut être utilisé à la place de la tige 26 et un second ressort de rappel peut pousser la tige 4 de manière que les tiges 22 et 25 fonctionnent selon un mode de poussée et de traction. 70 22178 _5_ 2046823 BBTCTOICATIOIB t. Microscope électronique caractérisé en ce qu* il-comporte une platine porte-objet comprenant Use tige porte-objet pouvant être introduite longitudinalement à 18intérieur d2œi élément de 5 commande cylindrique creux passant radialement à travers la paroi latérale du microscope* un élément de fermeture pivotant pouvant être placé de manière à fermer hermétiquement la chambre réservée à l'objet et empêcher .l'air d?en1s:ee£.- par 12élément de commande, un dispositif par lequel» lorsque la tige porte-objet 10 est en position de commande et que l'objet se trouve dans l'élément de commande, la tige peut faire tourner ledit élément pour actionner 11élémènt de fermeture entre ses positions dîouverture et de fermeture ou inversement, et un élément d'étanchéité empêchant une fuite à travers l'élément de commande et la tige porte-15 objet,lorsque l'élément de fermeture est ouvert. 2. Microscope électronique selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte des dispositifs permettant de régler la position de.lrobjet par rapport à l8axe du faisceau,qui comprennent un premier chariot portant l'objet ou lïéchaatillœ|/'@gt JL&té=> 20 ralement réglable dans une direction parallèle à la tige porte- • objet,et un second chariot portant le premier et mobile dans une seconde direction latérale -.perpendiculaire - -à -la - -première, les mouvements du second chariot étant guidés de manière à se produire sur un trajet circulaire dont le centre correspond à l'élé-25 ment d'étanchéité de la tige porte-objet et de l8élément de commande de façon que, lorsque les réglages sont effectués dans la seconde direction latérale, la tige porte-objet pivote autour de l'élément d'étanchéité.