Brevet FR2042495A1 — publié le 19710212

i 20^2495 La présente invention concerne un transducteur de contraintes mécaniques comprenant un élément semi-conducteur dans lequel un effet piézoélectrique fourni par une pellicule semi-conductrice déposée par évaporation sous vide sur une pellicule flexible et 5 isolante de l'électricité est utilisé pour la conversion de contraintes mécaniques en courants électriques, et concerne aussi une tête de pick-up équipée d'un tel transducteur. Il a été antérieurement proposé ët réalisé des éléments transducteurs électro-acoustiques utilisant un effet de résistance pié-10 zoélectrique fourni par un cristal monobloc de silicium ou de germanium. Mais, pour obtenir un effet de conversion suffisant et une tension de sortie suffisamment élevée, il est nécessaire de réaliser l'élément transducteur piézoélectrique des appareils de ce type sous la forme d'une tige très petite ou d'une bande très mince dont p 15 la surface de la section droite est inférieure à 0,1 mm1 , cette tige, ou cette bande, devant être accolée à un système mécanique en vibration qui leur applique des contraintes unidirectionnelles. Les éléments transducteurs de ce type, dans lesquels le cristal monobloc utilisé doit être très petit, ne sont susceptibles 20 d'effectuer que des vibrations mécaniques d'amplitude très limitée et, par suite, des difficultés ont été fréquemment rencontrées dans la construction des parties mécaniques des transducteurs de ce type étudiés pour avoir des propriétés acoustiques satisfaisantes. D'autre part, des procédés de préparation des semi-conducteurs 25 d'une très haute précision doivent être utilisés pour la construction de ces appareils, du fait du très haut degré de finition qu' ils exigent, et les éléments ainsi préparés n'ont pas une résistance mécanique suffisante, ce qui se traduit par de fréquentes mises au rebut à l'assemblage des pièces du transducteur. 50 Par suite, l'un des objets de la présente invention est la réalisation d'un transducteur de contraintes mécaniques à semiconducteur, de fabrication facile et susceptible de produire un bon effet de conversion du fait qu'il comporte une pellicule semi-conductrice déposée par évaporation sous vide sur une pellicule flexi-35 ble et isolante de l'électricité et qu'il utilise l'effet de résistance piézoélectrique de cette pellicule semi-conductrice. Un autre objet de l'invention est la réalisation d'une tête de pick-up comportant un transducteur de contraintes mécaniques à semi-conducteur dans lequel est utilisé l'effet de résistance piézo-40 électrique d'une pellicule semi-conductrice déposée par évaporation 70 16806 2 2042495 sous vide sur une base constituée par une pellicule mince, flexible et isolante de l'électricité. Le transducteur de contraintes mécaniques à semi-conducteur objet de l'invention comprend : un élément transducteur des 5 contraintes se présentant sous la forme d'un élément semi-conduc-teur pelliculaire constitué par une base formée par une pellicule mince, flexible et isolante de l'électricité; deux électrodes espacées l'une de l'autre formées sur cette base et une pellicule semi-conductrice piézorésistante déposée par évaporation sous vide sur 10 ladite base entre lesdites électrodes; un dispositif permettant d'appliquer une force extérieure sur ladite pellicule semi-conductrice de façon que toute variation de cette force extérieure se traduise par des variations de la tension mécanique qui s'exerce sur cette pellicule; et des dispositifs recevant par lesdites élec-15 trodes les signaux électriques provenant des variations piézoélectriques de la résistance électrique de ladite pellicule semi-conductrice dues aux variations des contraintes internes subies par cette pellicule du fait des variations de ladite force extérieure. Le transducteur de l'invention peut subir des déformations 20 importantes du fait que la base isolante et la pellicule semi-conductrices sont très flexibles, et il en résulte que l'effet de conversion produit par ce transducteur est excellent. Par suite, le transducteur de l'invention a des propriétés meilleures que les transducteurs du même type à cristal monobloc. 25 D'autre part, l'élément à résistance piézoélectrique de l'invention comportant une pellicule piézorésistante déposée par évaporation sous vide, il est possible, en utilisant un masque approprié pendant l'opération de dépôt de cette pellicule, de fabriquer ces éléments piézorésistants en grande série. L'élément plé-30 zorésistant de l'invention, tout en étant suffisamment flexible, a une résistance mécanique suffisante pour l'emploi envisagé. Le semi-conducteur transducteur des contraintes mécaniques de l'invention constitue un transducteur électro-acoustique de grande utilité particulièrement utilisable dans les microphones et dans les têtes 35 de pick-up. D'autres buts, caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description qui va suivre, description faite à titre purement explicatif et nullement limitatif et avec référence aux dessins joints dans 3ê squels : 40 La figure 1 est une vue en coupe d'un élément transducteur 70 16806 3 2042495 à pellicule semi-conductrice déposée par évaporation sous vide et constituant l'élément transducteur proprement dit du transducteur de l'invention. La figure 2 est vin schéma illustrant le principe du fonc-5 tionnement d'un transducteur muni de l'élément de la figure 1. La figure 3 est vin schéma représentant un autre mode de réalisation du transducteur de l'invention. La figure 4 est une vue en perspective d'un mode de réalisation d'une tête de pick-up conforme à l'invention. 10 La figure 5 est une coupe axiale faite dans la tête de pick-up de la figure 4. La figure 6 est une vue en perspective du mécanisme intérieur du pick-up de la figure 4. La figure 7 est une vue en perspective et en écartelé des 15 pièces du mécanisme de la figure 6. Les figures 8a et 8b sont respectivement des vues en bout de deux modes de réalisation différents de la section transductri-ce de la tête de pick-up de la figure 5. La figure 9 est un schéma illustrant le fonctionnement de 20 la tête de pick-up des figures 4 et 5. La figure 10 est une vue en perspective d'un autre mode de réalisation du mécanisme de la figure 6. La figure 11 est une coupe axiale faite dans un autre mode de réalisation de la tête de pick-up de l'invention. 25 La figure 12 est une vue en perspective du mécanisme inté rieur de la tête de pick-up de la figure 11. La figure 13 est une vue en perspective et en écartelé des pièces constitutives du mécanisme de la figure 12. Les figures 14a et 14b sont respectivement des vues en 30 bout de deux autres modes de réalisation de la tête de pick-up de la figure 11. La figure 15 est un schéma illustrant le fonctionnement de la tête de pick-up de la figure 11. La figure 16 est une coupe axiale faite dans un autre mo-35 de de réalisation de la tête de pick-up de l'invention. La figure 17 est une vue en perspective du mécanisme intérieur de la tête de pick-up de la figure 16. La figure 18 est une vue en perspective et en écartelé des pièces constitutives du mécanisme de la figure 17. 40 La figure 19 est une vue en bout de la section transduc- 70 16806 4 2042495 trice de la tête de pick-up de la figure 16. La figure 20 est un schéma illustrant le fonctionnement de la tête de pick-up de la figure 16. La figure 21 est une vue en perspective d'un autre mode 5 de réalisation du mécanisme intérieur de la tête de pick-up de la figure 16. La figure 22 est une vue en perspective et en écartelé du mécanisme de la figure 21. La figure 23 est une vue en bout de la section transduc-10 trice de la tête de pick-up de la figure 21. La figure 24 est une vue en perspective du mécanisme intérieur d'un autre mode de réalisation de la tête de pick-up de la figure 16. La figure 25 est une coupe axiale faite dans un autre mo-15 de de réalisation de la tête de pick-up de l'invention. La figure 26 est une vue en perspective et avec arrachements partiels du mécanisme intérieur de la tête de pick-up de la figure 25. La figure 27 est une vue en perspective et en écartelé des 20 pièces constitutives du mécanisme de la figure 26. La figure 28 est un schéma illustrant le fonctionnement de la tête de pick-up de la figure 25. La figure 29 est une vue en perspective du mécanisme intérieur d'un autre mode de réalisation de la tête, de pick-up de l'in-25 vention. La figure 30 est une coupe axiale faite dans le mécanisme intérieur de la figure 29. La figure 31 est une vue en perspective et en écartelé des pièces constitutives du mécanisme de la figure 29. 30 La figure 32 est un schéma illustrant le fonctionnement de la tête de pick-up de la figure 29* et La figure 33 est une vue en perspective, avec arrachement partiel, d'un microphone muni d'un transducteur conforme à l'invention. 35 La figure 1 représente un mode de réalisation d'un élément transducteur conforme à l'invention comprenant une mince pellicule semi-conductrice déposée par évaporation sous vide sur une base se présentant sous la forme d'une mince pellicule de matière isolante de l'électricité, polyimide, polyamide ou mica, d'une épaisseur de 40 plusieurs dizaines de microns, suffisamment résistante à la chaleur 70 16806 5 2042495 et d'une très grande flexibilité. Deux électrodes, distantes l'une de l'autre, sont respectivement formées sur les extrémités opposées de la base par évaporation sous vide d'un métal, nickel, chrome ou or, par exemple. Une matière semi-conductrice, susceptible 5 de fournir un effet de résistance piézoélectrique important, silicium, germanium ou alliage indium-antimoine dopés à l'aide d'impuretés appropriées, est déposée sous forme d'une bande et par évaporation sous vide avec emploi d'un cache approprié, de façon à former une pellicule piézorésistante 3 qui réunit l'une à l'autre 10 les électrodes 2 et 2'. De la sorte, lorsque la pellicule piézorésistante 3 est soumise à des tensions mécaniques variables qui s'exercent suivant la droite qui relie les électrodes 2 et 2' et qui proviennent de sa déformation sous l'effet d'une force transversale variable qui lui est appliquée, les contraintes mécaniques qu' 15 elle subit varient, cë qui provoque des variations de la résistance électrique qui existe entre les électrodes 2 et 2'. La figure 2 montre schématiquement le principe du fonctionnement d'un transducteur de contraintes mécaniques utilisant l'élément semi-conducteur de la figure 1. Un bloc 4, en matière 20 isolante de l'électricité et qui supporte l'élément semi-conducteur, forme un évidement central 5 au-dessus duquel s'étend la pellicule piézorésistante 3 de l'élément semi-conducteur, les électrodes 2 et 2' étant solidement ancrées sur les bords supérieurs de 1'évidement 5. De la sorte, la pellicule piézorésistante 3 est constamment 25 maintenue sous tension mécanique. Cette tension, sans être particulièrement forte, doit être suffisante pour que l'élément transducteur ne se plisse pas ni ne s'incurve sous son propre poids. La pellicule piézorésistante 3 est soumise à des variations de tension mécanique suivant des directions parallèles à sa 30 surface, comme indiqué par les flèches 8 et 8', lorsqu'un organe 6 en contact avec la partie centrale de l'élément transducteur imprime à celui-ci des vibrations transversales schématisées par la double flèche 7. Ces variations de tension mécanique sont accompagnées de déformations de la pellicule. 35 Puisque la pellicule piézorésistante 3 est soumise simul tanément à ces variations de tension mécanique et à ces déformations, sa résistance électrique subit des variations proportionnelles aux variations des contraintes de vibration qui lui sont imprimées par l'organe 6, et ces variations de résistance électrique 40 sont transformées en variations correspondantes de la tension élec 70 16806 s 2042495 trique aux bornes d'une résistance de charge 10 montée en série dans un circuit passant par une batterie 9, ou par toute autre source de courant continu appropriée, et par la pellicule piézorésistante 3. Les composantes alternatives de cette tension sont 5 captées par un condensateur 11 et sont envoyées dans un amplificateur extérieur approprié pour être transformées ensuite en énergie acoustique. Le comportement dynamique d'un tel système transducteur des contraintes mécaniques en énergie électrique est parfaitement 10 réversible. Par conséquent, les forces génératrices de contraintes dans la pellicule semi-conductrice peuvent aussi être appliquées comme représenté sur la figure 3 dans laquelle le bloc 4, qui porte la pellicule piézorésistante 3, se déplace sous l'action d'une force extérieure, la pellicule 3' se déformant sous l'effet 15 de la force extérieure qui lui est appliquée par le bloc 4 et du fait qu'elle est en contact par sa partie centrale avec un organe 6 fixe. La description ci-après d'une tête de pick-up conforme à l'invention et utilisable sur ion appareil de reproduction sonore 20 stéréophonique sera faite avec référence aux figures 4 à 9. Sur la figure 4, une pointe de lecture 12 suit le sillon sonore d'un disque phonographique et en reçoit des vibrations, et un bras en porte-à-faux 13, en alliage léger, transmet les vibrations perçues par la pointe de lecture 12 à une section transduc-25 trice. Un fil métallique fin 14, de très petit diamètre, fait office de support pour la pointe de lecture 12 et pour le bras vibrant 13 dans leur parcours du sillon sonore du disque, ce fil é-tant rigidement fixé par l'une de ses extrémités dans l'extrémité intérieure du bras 13 par l'intermédiaire d'un bouchon 15. Un sup-30 port 16 maintient, de façon que sa position soit réglable, le fil métallique 15 à l'intérieur du corps de la tête de lecture du pick-up, ce support étant maintenu fixé dans le corps de la tête de lecture et étant séparé de l'extrémité intérieure du bras 13 par une distance inférieure à 1 mm mais toutefois suffisante pour que la 35 pointe de lecture et le bras 13 puissent effectuer librement leurs vibrations avec le fil 14 comme support d'extrémité. Un croisillon 17, formant quatre bras radiaux 18, 19, 20 et 21, applique une pression sur une mince pellicule semi-conductrice formée par évaporation sous vide et provoque ainsi des varia-40 tions de la résistance électrique de cette pellicule. Les bras 70 16806 7 2042495 radiaux 18, 19, 20 et 21 forment respectivement sur leur extrémité libre des dents 22, 23, 24 et 25 coniques, polies et dont le sommet arrondi forme surface de contact. L'extrémité intérieure du bras 13 est fixée dans l'alésage central 26 du croisillon 1J et de 5 façon que les bras 18, 19, 20 et 21 de ce croisillon soient perpendiculaires au bras 13, de sorte que les vibrations de la pointe de lecture 12 transmises par ce bras se répartissent suivant quatre directions. Une bague de support 27 constitue un amortisseur qui étouf-10 fe les vibrations de résonance de l'ensemble formé par la pointe de lecture 12, le bras en porte-à-faux 13 et le croisillon 17, et est elle-même supportée par vin bloc isolant qui sera décrit plus loin. L'appareil comporte une base 28 qui se présente sous la forme d'une pellicule mince, flexible et isolante de l'électricité sembla-15 ble à la base 1 des figures 1 et 2. Cette base isolante 28 a, par exemple, la forme générale carrée de la figure 8a. Les côtés de cette base isolante 28 ont chacun plusieurs millimètres de longueur, et cette base forme en son centre une ouverture 29. Des pellicules semi-conductrices et piézorésistantes 30, 31, 32 et 33 20 sont respectivement formées par évaporation sous vide sur les surfaces rectangulaires délimitées par les côtés et les bords de l'ouverture centrale 29 de la base 28, et des couples d'électrodes 34, 34'i 35, 35'; 36, 36' et 37, 37formées par évaporation sous vide, sont respectivement recouvertes par les extrémités des pellicules 25 piézorésistantes 30, 31, 32 et 33. L'élément à pellicule semi-conductrice peut aussi avoir la forme représentée sur la figure 8b sur laquelle on voit que des parties en retrait 38, 39, 40 et 41 sont prévues respectivement par les côtés de la base isolante 28 pour augmenter l'amplitude des va-30 riations de la résistance électrique des pellicules semi-conductrices et piézorésistantes 30, 31, 32 et 33 dues aux variations des tensions qu'elles subissent. La base isolante 28 forme respectivement en chacun de ses coins des languettes 42, 43, 44 et 45 qui en font partie intégrante et qui s'étendent perpendiculairement au 35 plan commun des pellicules piézorésistantes 30, 31, 32 et 33, les électrodes 34, 3435, 35', 36, 36', 37 et 371 étant respectivement prolongées le long des languettes 42, 43, 44 et 45 et jusqu'à l'extrénité de celles-ci. Les pellicules piézorésistantes 30, 31, 32 et 33 sont respectivement en contact avec les dents 22, 23, 24 40 et 25 du croisillon 17 et reçoivent ainsi les pressions appliquées 70 16806 8 2042495 par ce croisillon. Un bloc 46, isolant de l'électricité, forme sur l'une de ses faces d'extrémité un évidement 47 en forme de croisillon dans lequel se loge la base isolante 28 de façon que les pellicules pié-5 zorésistantes 30, 31, 32 et 33 portées par cette base 28 soient placées respectivement et transversalement au-dessus de chacun des bras de 1*évidement 47, ceci pour que ces pellicules piézorésistantes 30, 31, 32 et 33 puissent subir des variations de tension mécanique suffisantes sous l'effet des pressions qui leur sont respec-10 tivement appliquées par les dents 22, 23, 24 et 25 du croisillon 17. Le support 16 s'introduit par l'une de ses extrémités dans l'alésage central 48 du bloc isolant 46 et y est maintenu en place par une vis 49 qui est bloquée après un réglage de l'ensemble destiné à assurer que les dents 22, 23, 24 et 25 du croisillon 17 ap-15 pliquent chacune et respectivement une pression appropriée sur les pellicules piézorésistantes 30, 31, 32 et 33. Au lieu que le support 16 soit maintenu en position par la vis 49, il pourrait être fixé de toute façon appropriée dans le bloc 46, par exemple, à l'aide d'un adhésif. Des bornes 50, convenablement connectées avec 20 les électrodes 34, 34'; 35, 35'; 36, 36' et 37, 37', permettent de recueillir à l'extérieur les tensions variables qui prennent naissance sur ces électrodes. Ces bornes 50 sont fixées dans une plaquette porte-bornes 52 en matière isolante de l'électricité, et le mécanisme intérieur qui vient d'être décrit est tout entier logé 25 dans une enveloppe constituée par une section avant 53, une section intermédiaire 54 et une section arrière 55. Le fonctionnement de la tête de pick-up conforme au mode de réalisation de l'invention qui vient d'être décrit, est illustré par le schéma de la figure 9. Cette figure 9 représente la 30 tête de pick-up sous forme schématique et les mêmes références y sont utilisées pour désigner des éléments similaires à ceux des figures 4 à 8. Lorsque la pointe de lecture 12 est animée de vibrations qui s'effectuent dans la direction indiquée par la flèche 56, le bras en porte-à-faux effectue des oscillations dans un plan pas-35 sant par cette flèche autour du point d'appui 57 constitué par l'extrémité avant du fil métallique fin 14. Les dents 23 et 25 du croisillon 17 effectuent alors des mouvements de pivotement oscillatoires autour du point d'appui 57 et suivant les sens indiqués par les flèches 58 et 59. 40 Du fait de ce mouvement oscillatoire inverse des dents 23 70 16806 9 2042495 et 25, lorsque la dent 23 applique une pression sur la pellicule piézorésistante 21, la dent 25 s'écarte de la pellicule piézorésistante 33 et la pression exercée sur cette pellicule diminue. Dans ce cas, les dents 22 et 24 du croisillon sont animées de vi-5 "brations qui s'effectuent comme l'indiquent les flèches 60 et 6l autour d'un axe représenté par la droite pointillée qui les joint et ne provoquent donc pas des variations de la résistance électrique des.pellicules piézorésistantes 30 et 32. La description qui précède se rapporte au cas où la pointe de lecture 12 vibre dans 10 un plan passant par la flèche 56. Mais, lorsque cette pointe 12 est animée d'oscillations vibratoires dans un plan perpendiculaire à la direction indiquée par la flèche 56, les pellicules piézorésistantes 30 et 32 reçoivent des pressions variables génératrices de signaux électriques, tandis qu'aucune variation de résistance 15 électrique ne se produit dans les pellicules piézorésistantes 31 et 33. De la sorte, les vibrations stéréophoniques captées passent par deux canaux différents et peuvent être détectées séparément. La figure 10 représente un autre mode de réalisation de 20 la tête de pick-up décrite ci-dessus. Ce mode de réalisation diffère du précédent en ce que les bras du croisillon 17 des figures précédentes y sont remplacés par des tiges radiales 62, 63, 64 et 65 (la tige 62 n'étant pas visible sur la figure) qui s'appuient directement sur les pellicules piézorésistantes 30, 31, 32 et 33 25 par leur surface latérale. Le fonctionnement de ce mode de réalisation est similaire à celui du précédent, et les vibrations stéréophoniques transmises par la pointe de lecture 12 passent par deux canaux différents et peuvent ainsi être détectées séparément. Un autre mode de réalisation de la tête de pick-up confor-30 me à l'invention et utilisable en stéréophonie est représentée sur les figures 11 à 15. Dans ce mode de réalisation, une pointe de lecture 112 suit le sillon sonore d'un disque et un bras en porte-à-faux 113, en alliage léger, transmet les vibrations reçues par la pointe de lecture 112 à une section de transduction des contraintes 35 mécaniques. Un support 114, en matière à élasticité visqueuse, forme point d'attache pour la pointe de lecture 112 et le bras en porte-à-faux 113 qui vibrent sous l'action de la gravure du disque, ce support formant un évidement cylindrique central 115 et un collet 116 et supportant un croisillon 117 découpé dans une plaque de 40 métal ou de matière plastique, percé d'un trou central 118 et for 70 16806 10 2042495 mant quatre bras radiaux 119, 120, 121 et 122 tous situés dans le même plan et perpendiculaires deux à deux. Une bague de poussée 123, en matière à élasticité visqueuse, est percée d'un trou axial 124 dans lequel se loge l'extré-5 mité arrière du support 114, c'est-à-dire l'extrémité de se support opposée à celle qui forme le collet 116. Le bras en porte-à-faux 113 se loge par son extrémité arrière dans le trou 115 du support 114, lequel passe par le trou 118 du croisillon 117 pour venir se loger dans le trou 124 de la bague 122, de sorte que le 10 croisillon 117 est enserré entre la bague 123 et le collet 116 du support 114. La bague 123 constitue, d'autre part, un amortisseur qui étouffe les vibrations de résonance de l'ensemble qui vient d'être décrit. Le croisillon 117 étant monté de la sorte, ses bras 119, 120, 121 et 122 sont dans un plan perpendiculaire à l'a-15 xe du bras en porte-à-faux 113. L'extrémité arrière du support 114 traverse la bague 123 et vient se fixer dans un tube 125, lequel supporte ainsi dans la tête de pick-up l'ensemble vibrant constitué par la pointe de lecture 112 et le bras en porte-à-faux 113. 20 L'appareil comprend une base 126 se présentant sous la forme d'une pellicule mince et flexible, en matière isolante de l'électricité et semblable à la base isolante 1 des figures 1 et 2. Cette base isolante 126 peut avoir, par exemple, la forme carrée représentée sur la figure 14a. Cette base 126 forme un carré 25 dont les côtés ont chacun plusieurs millimètres de longueur et est percée d'une ouverture centrale 127. Deux pellicules semi-conductrices et piézorésistantes, 131 et 132, sont déposées par évaporation sous vide respectivement sur un côté 129 et un côté adjacent 130 de la base qui se rejoignent à angle droit, ces côtés étant 30 compris entre les bords extérieurs de la base 126 et les bords de son ouverture centrale 127, et des couples d'électrodes, 133, 133' et 134, 134' étant formés de façon que chacune de ces électrodes se trouve engagée sous la pellicule piézorésistante 131 ou 132 adjacente. La base isolante 126 est munie d'une électrode auxiliaire 35 135 qui, au montage de la base 126 dans la tête de pick-up, vient en contact avec une borne auxiliaire de la tête. En variante, l'élément semi-conducteur de l'appareil peut avoir la forme représentée sur la figure 14b, sur laquelle on voit que les bords de la base isolante 126 forment respectivement des parties en retrait 40 136, 137, 138 et 139, ce qui a pour effet d'accroître les varia- 70 16806 11 2042495 tions de la résistance électrique des pellicules piézorésistantes 131 et 132 dues aux variations des tensions mécaniques qui leur sont appliquées. De plus, dans l'élément de la figure 14b, l'électrode auxiliaire 135 est divisée en deux moitiés qui sont respeeti-5 vement reliées aux électrodes 133 et 134. Dans ce mode de réalisation, la tête de pick-up comporte un bloc cylindrique 140, en matière isolante de l'électricité, percé d'un alésage axial 141 et portant sur sa face intérieure trois plots 145, 146 et 147. Ces plots font respectivement corps avec 10 des broches 142, 143 et 144, le plot 146 étant divisé en deux parties et formant deux demi-plots 146' et 146", la broche 143 étant elle-même divisée en deux demi-broches indépendantes 143' et 143". Un plot auxiliaire 148, de même forme que les plots 145, 146 et 147, est prévu sur la face intérieure du bloc cylindrique 140 sur 15 une position telle qu'il se trouve dans le coin libre d'un carré dont les autres coins sont respectivement occupés par les plots 145, 146 et 147. La bague 123 et le tube 125 passent dans le trou central 127 de la base isolante 126 de façon que les bras 119, 120 et 122 20 du croisillon 117 viennent s'appliquer contre la face de la base 126 opposée à celle qui porte les pellicules piézorésistantes 129 et 130, la bague 123 et le tube 125 venant ensuite se fixer dans l'alésage axial 141 du bloc isolant 140 de façon à maintenir l'ensemble en place. Le tube 125 est fixé dans le bloc isolant 140 de 25 façon que les bras du croisillon 117 soient en contact avec la base isolante 126 et appliquent sur celle-ci une légère pression sous l'action du support 114. Les électrodes 133 et 133* de la pellicule piézorésistante 129 sont respectivement en contact électrique et mécanique avec les plots 145 et 146' du bloc 140, et les élec-30 trodes 134 et 134' de la pellicule piézorésistante 130 sont respectivement en contact électrique et mécanique avec les plots 147 et 146". L'électrode auxiliaire 135 est en contact avec le plot auxiliaire 148, et les pellicules piézorésistantes 129 et 130 sont respectivement placées entre les plots 145 et 146 et entre les plots 35 146 et 147. Dans le mode de réalisation qui vient d'être décrit, les vibrations stéréophoniques perçues par la pointe de lecture 112 sont séparées en vibrations horizontales et vibrations verticales par les bras 119, 120, 121 et 122 du croisillon 117, ces vibrations 40 étant appliquées sur la base isolante 126 et provoquant des varia 70 16806 12 2042495 tions de la tension mécanique des pellicules piézorésistantes 129 et 1^0 qui se traduisent par des variations correspondantes des tensions électriques présentes sur les broches 142, 143 et 144. Le fonctionnement du mode de réalisation de l'invention 5 représenté sur les figures 11 à 14 est illustré par la figure 15 qui est un schéma de la tête de pick-up et sur laquelle les mêmes références ont été utilisées pour désigner les pièces correspondant à celles des figures 11 à 14. Lorsque la pointe de lecture 112 est animée de vibrations dans la direction indiquée par la flè-10 che 149, le bras 113 est animé dans le plan passant par la flèche 149 d'un mouvement de pivotement oscillatoire autour de son point de support 150. Les bras 120 et 122 du croisillon 117 oscillent alors autour de ce point 150 et dans les directions indiquées par les flèches 151 et 152. Ces mouvements vibratoires des bras 120 et 15 122 du croisillon ont pour effet d'appliquer une pression variable sur la pellicule piézorésistante 131. Dans ce cas, les bras 119 et 121 du croisillon 117 pivotent comme indiqué par les flèches 153 et 154 autour d'un axe représenté par le pointillé et, par suite, la pression appliquée par le bras 121 du croisillon sur la pel-20 licule piézorésistante 132 ne varie pas et ne provoque aucune variation de la résistance électrique de cette pellicule. Du fait de la variation de la pression exercée par le bras 120 du croisillon sur la pellicule piézorésistante 131, la résistance électrique de cette pellicule varie et ses variations sont détectées. 25 La description qui précède se rapporte au cas pour lequel la pointe de lecture 112 vibre dans un plan passant par la flèche 149. Mais, lorsque cette pointe 112 vibre dans un plan perpendiculaire à la direction indiquée par la flèche 149, c'est alors le bras 121 du croisillon 117 qui applique une pression variable sur 30 la pellicule piézorésistante 132, tandis que la pression exercée sur l'autre pellicule piézorésiâtante 131 demeure constante. De la sorte, les vibrations stéréophoniques circulent dans deux canaux distincts et peuvent être détectées séparément. Un autre mode de réalisation de la tête de pick-up de l'in-35 vention pouvant aussi être utilisée en stéréophonie est décrite ci-après avec référence aux figures 16 à 24. Une pointe de lecture 212 suit le sillon sonore d'un disque stéréophonique et en reçoit des vibrations, et m bras en porte-à-faux 213, en alliage léger, transmet les vibrations reçues par la pointe de lecture 212 à la 40 section transductrice de l'appareil. Un fil métallique 214, de 70 16806 13 2042495 très petit diamètre, forme point d'appui pour la pointe de lecture 212 et pour le bras en porte-à-faux 213 qui vibrent sous l'effet de la gravure du disque, ce fil étant fixé par ltune de ses extrémités dans l'extrémité intérieure du bras 212 par l'intermédiaire 5 d'un bouchon 215. Un support 216 maintient, de façon que sa position puisse être réglée, le fil métallique fin 214 dans le corps de la tête de pick-up, ce support étant ainsi rattaché à l'extrémité intérieure du bras 213 tout en demeurant séparé de cette extrémité par une distance inférieure à 1 mm, mais toutefois suffi-10 santé pour que la pointe de lecture 212 et le bras 213 puissent effectuer librement leurs vibrations du fait qu'ils sont soutenus par le fil métallique 214 dont le diamètre est très petit. Un élément tubulaire 217 forme deux bras radiaux 218 et 219 perpendiculaires l'un à l'autre, dont les bords intérieurs sont 15 contenus dans un même plan perpendiculaire à l'axe de l'appareil et qui appliquent des pressions sur un élément à pellicules semi-conductrices, l'ensemble constituant la section transductrice électro-mécanique de l'appareil. Les bras 218 et 219 forment respectivement sur leur extrémité libre une dent 220 et une dent 221, 20 coniques et dont les sommets arrondis forment chacun une surface de contact. L'extrémité intérieure du bras en porte-à-faux 213 est fixée dans l'alésage central 222 de l'élément tubulaire 217, de sorte que les vibrations stéréophoniques de la pointe de lecture 212 se transmettent respectivement sur les dents 218 et 219 des 25 bras de l'élément tubulaire 217. Une bague 223 constitue un amortisseur qui étouffe les vibrations de résonance de l'ensemble constitué par la pointe de lecture 212, le bras en porte-à-faux 213 et l'élément tubulaire 217 et, simultanément, supporte cet ensemble dans un bloc isolant 30 de l'électricité qui sera décrit par la suite. La section transductrice de l'appareil comprend une base 224 constituée par une pellicule mince, flexible et isolante de l'électricité, cette base étant similaire à la base isolante 1 des figures 1 et 2. La base isolante 224 peut, par exemple, être constituée par un élément en 35 forme de portique, comme représenté sur la figure 9, lequel comporte cinq parties rectilignes 225, 226, 227, 228 et 229. Des pellicules semi-conductrices et piézorésistantes, 230 et 230', sont formées par évaporation sous vide respectivement sur les parties 226 et 228 de la base isolante et dans les mêmes condi-40 tions que la pellicule semi-conductrice des figures 1 et 2, les •7.0 .16806 i4 2042495 axes longitudinaux de ces pellicules étant perpendiculaires l'un à l'autre. Les parties 225 et 227 de la base isolante sont munies respectivement d'électrodes 231 et 2311 en contact avec la pellicule piézorésistante 230, et les parties 227 et 229 de cette base 5 sont respectivement munies d'électrodes 232 et 232' en contact avec la pellicule piézorésistante 230'. Les côtés extérieurs des parties 226 et 228 de la base forment respectivement des échancrures 233 et 234 dont la présence augmente les variations de résistance électrique dues aux variations des tensions mécaniques subies par 10 les pellicules piézorésistantes 230 et 230'. Des languettes 235, 236 et 237, formant corps avec la base isolante 224, partent des parties 225, 227 et 229 de cette base dans une direction perpendiculaire au plan des pellicules piézorésistantes 230 et 230', et les électrodes 231, 231', 232 et 232' 15 sont prolongées sur ces languettes 235, 236 et 237 jusqu'aux extrémités libres de celles-ci. Les pellicules piézorésistantes 230 et 230' sont respectivement en contact avec les dents 220 et 221 des bras de l'élément tubulaire 217 et en reçoivent des pressions. L'appareil comporte un bloc isolant 246 percé d'un alésage central 20 229 et formant deux rainures 240 et 241 dont les axes sont mutuellement perpendiculaires et convergent sur l'axe de l'alésage 239 du bloc. La base isolante 224 enchâsse le bloc 238 de sorte que les pellicules piézorésistantes 230 et 2301 qu'elle porte se trouvent respectivement et transversalement au-dessus des évidements 25 240 et 241 du bloc 238, ce qui permet d'assurer des variations de tension mécanique suffisantes lorsque ces pellicules piézorésistantes 230 et 230' reçoivent les pressions variables que leur appliquent les dents 220 et 221 de l'élément tubulaire 217. Le support 216 s'introduit par l'une de ses extrémités 30 dans l'alésage axial 239 du bloc 238 en passant dans la bague 223, et est maintenu en place par une vis 242 qui est bloquée après un réglage de la position du support 216 effectué en vue d'assurer que les dents 220 et 221 appliquent respectivement à l'origine une pression appropriée sur les pellicules piézorésistantes 230 et 230'. 35 En variante, le support 216 au lieu d'être maintenu en place par la vis 242, pourrait être fixé de toute façon appropriée, par exemple à l'aide d'un adhésif. Des broches 243, formant bornes de sortie et respectivement reliées aux couples d'électrodes 231, 231' et 232, 232', permettent de recevoir extérieurement les signaux élec-40 triques en provenance du transducteur. Une plaque à bornes 244, 70 16806 15 2042495 en matière isolante de l'électricité, supporte les broches 243, et tout le mécanisme intérieur de la tête de pick-up est logé dans une enveloppe formée de deux pièces 245 et 246. Le fonctionnement de la tête de pick-up conforme au mode 5 de réalisation de l'invention des figures 16 à 19 est décrit ci-après avec référence à la figure 20 qui est un schéma de cette tête et dans laquelle les mêmes références numériques ont été utilisées pour désigner les mêmes pièces que sur les figures 16 à 19. Lorsque la pointe de lecture 212 vibre suivant la direction indi-10 quée par la flèche 247, le bras en porte-à-faux 213 est animé dans un plan passant par cette flèche de mouvements de pivotement oscillatoires autour de son point de support 248 constitué par l'extrémité avant du fil métallique fin 214. Il s'ensuit que la dent 220 de l'élément tubulaire 217 effectue des mouvements oscillatoires 15 centrés sur le point 248 et suivant la direction indiquée par la flèche 249. Du fait dé ses mouvements oscillatoires, la dent 220 applique une pression variable sur la pellicule piézorésistante 230. Dans ce cas, la dent 221 de l'élément tubulaire 217 pivote comme indiqué par la flèche 250 autour d'un axe représenté par la 20 droite dessinée en pointillé et, par "suite, ne provoque aucune variation de la résistance électrique de la pellicule piézorésistante 230'. La description ci-dessus se réfère au cas où la pointe de lecture 212 vibre suivant la direction indiquée par la flèche 247. Mais, lorsque cette pointe 212 pivote dans un plan perpendi-25 culaire à la flèche 147, c'est la dent 221 qui applique alors une pression variable sur la pellicule piézorésistante 230' et provoque des variations de la résistance électrique de cette pellicule, la résistance électrique de la pellicule piézorésistante 230 ne subissant dans ce cas aucune variation. De la sorte, les vibrations 30 stéréophoniques sont captées dans deux canaux distincts et peuvent être ainsi détectées séparément. Les figures 21, 22 et 23 représentent un autre mode de réalisation de la tête de pick-up des figures 16 à 19. Dans ce mode de réalisation, la base isolante 224 de la tête forme deux bras 35 radiaux 252 et 253 dont les axes sont mutuellement perpendiculaires et qui forment une même pièce avec un élément annulaire central 251. Les pellicules piézorésistantes 230 et 230' sont respectivement formées par évaporation sous vide sur ces bras 252 et 253. Une languette radiale médiane, 254, faisant partie intégrante de 40 l'élément annulaire 251, part de la périphérie de cet élément en 70 16806 16 2042495 un point situé entre les bras 252 et 253» Une électrode 255, commune aux pellicules piézorésistantes 230 et 230', est déposée par évaporation sous vide sur la partie de l'élément annulaire 251 adjacente à la languette médiane 254, et les bras 252 et 253 sont 5 pliés à angle droit pour constituer des languettes longitudinales 256 et 257 sur lesquelles sont formées respectivement des électrodes 258 et 259 respectivement en contact avec les pellicules piézorésistantes 230 et 230'. Dans ce mode de réalisation, le bloc isolant 238 a la forme d'un cylindre dont le diamètre extérieur est 10 égal à celui de l'élément annulaire 251 et qui forme deux pattes radiales et longitudinales 260 et 261 dont les plans sont mutuellement perpendiculaires. Ces pattes 260 et 261 forment respectivement des fentes 262 et 263 sur leur extrémité adjacente à l'élément annulaire central 251. 15 Dans ce mode de réalisation de l'invention, l'élément an nulaire 251 est collé sur la face de la base isolante 238, et les pellicules piézorésistantes 230 et 230' viennent se placer respectivement au-dessus et en travers des fentes 262 et 263 des pattes 260 et 261, les parties pliées à angle droit, 256 et 257, des lan-20 guettes 252 et 253 étant respectivement liées sur les faces longitudinales des pattes 260 et 261, et la languette 254 étant collée sur la surface latérale du bloc isolant 238. Ce mode de réalisation de l'invention se caractérise en ce que les dimensions de son mécanisme intérieur sont très réduites. 25 La figure 24 représente un autre mode de réalisation de la tête de pick-up des figures 16 à 19. Dans ce mode de réalisation, l'élément tubulaire 217 porte deux tiges radiales 264 et 265, qui en font partie intégrante et dont les axes sont mutuellement perpendiculaires. Trois broches 269, 270 et 271, formant bornes 30 de sortie et dont les extrémités avant, 266, 267 et 268j pliées à angle droit sont fixées dans des évidements correspondant formés par la surface latérale du bloc isolant 238, sont en saillie sur la face avant du bloc isolant 238. Des électrodes 231, 272 et 232, déposées par évaporation sous vide sur la base 224, recouvrent res-35 pectivement les extrémités 266, 267 et 268 pliées à angle droit des broches 269, 2J0 et 271, de sorte que les pellicules piézorésistantes 230 et 230' sont respectivement situées entre les électrodes 231 et 272 et entre les électrodes 272 et 232. Les tiges radiales 264 et 265 portées par l'élément tubulaire 217 sont respectivement 40 en contact par leur surface latérale avec les pellicules piézoré- 70 16806 17 2042495 sistantes 230 et 230'. Le fonctionnement du mode de réalisation qui vient d'être décrit est semblable à celui des modes de réalisation précédents et permet aussi de diriger dans deux canaux différents les vibrations stéréophoniques reçues par la pointe de lec-5 ture 212. Un autre mode de réalisation de la tête de pick-up conforme à l'invention et utilisable aussi en stéréophonie est représenté sur les figures 25 à 28. Dans ce mode de réalisation, une pointe de lecture 312 suit le sillon sonore d'un disque stéréophonique 10 qui lui imprime des vibrations, et un bras en porte-à-faux 313, en alliage léger, transmet les vibrations reçues par la pointe de lecture 312 à la section de transduction électro-mécanique de l'appareil. Uri fil métallique 314, de très petit diamètre, forme support pour la pointe de lecture 312 et le bras 313 qui vibrent sous l'ef-15 fet de la gravure du disque, ce fil étant fixé par l'une de ses extrémités dans l'extrémité intérieure du bras 313 par l'intermédiaire d'un bouchon 315. Un support 316 maintient, de façon que sa position soit réglable, le fil métallique fin 314 dans le corps de la tête de lecture, ce support 316 étant séparé de l'extrémité inté-20 rieure du bras 313 par une distance inférieure à 1 mm, mais toutefois suffisante pour que la pointe 312 et le bras 313 puissent vibrer librement en étant soutenus par le fil métallique fin 314. Un disque presseur 317, formant une collerette périphérique 318, applique une pression sur des éléments semi-conducteurs 25 pelliculaires, qui seront décrits plus loin, de façon à provoquer des variations de la résistance électrique de ces éléments. Le disque presseur 317 forme un bossage central percé d'un trou 319 dans lequel vient se fixer l'extrémité intérieure du bras 313 de façon que l'axe de ce bras soit perpendiculaire au plan-du disque 30 317. Une bague 320, fixée sur l'extrémité arrière du support 316 et en contact avec le disque 317, constitue à la fois un amortisseur qui étouffe les vibrations de résonance de l'ensemble constitué par la pointe de lecture 312, le bras en porte-à-faux 313 et le disque presseur 317, et un support qui fixe cet ensemble dans un 35 bloc isolant qui sera décrit plus loin. Dans ce mode de réalisation, la tête de pick-up de l'invention comprend deux bases isolantes 321 et 322, se présentant chacune sous la forme d'une pellicule mince et flexible d'une matière isolante de l'électricité et semblables chacune à la base 40- isolante 1 des figures-1 et-2. 70 16806 18 2042495 Ces bases isolantes 321 et 322 forment respectivement des ouvertures centrales 323 et 324, et des pellicules semi-conductrices et piézorésistantes, 325, 326, 327 et 328,sont déposées par évaporation sous vide respectivement sur l'un et l'autre coté de 5 ces ouvertures centrales 323 et 324 dans les mêmes conditions que celles décrites avec référence aux figures 1 et 2. Des couples d'électrodes, 329, 329'; 330, 330'; 331, 331' et 332, 332', sont déposées par évaporation sous vide respectivement sur les extrémités des pellicules piézorésistantes 325, 326, 327 et 328. Des lan-10 guettes 333, 333', 334, 334', 335, 335', 336 et 336', faisant partie intégrante des bases 321 et 322, partent respectivement des côtés de ces bases adjacents aux électrodes 329, 329', 330, 330', 331, 331', 332 et 332', et ces électrodes sont respectivement prolongées sur les languettes 333 à 336' de façon à constituer des 15 prises de courant extérieures. Les deux éléments semi-conducteurs pelliculaires ainsi constitués sont, de préférence, assemblés de façon à être perpendiculaires l'un à l'autre, leurs ouvertures centrales 332 et 324 étant mutuellement coaxiales. Dans l'ensemble qui vient d'être décrit, les deux bases isolantes séparées peuvent 20 être remplacées par une base isolante unique en forme de croisillon et porteuse de pellicules piézorésistantes. L'appareil comporte un bloc isolant 337 en forme de croisillon, percé d'un alésage axial 338 et formant quatre fentes 339, 340, 341 et 342 situées respectivement dans la partie médiane de 25 l'extrémité avant de ses quatre bras, les plans axiaux de ses bras se coupant à angle droit sur l'axe du bloc 337- Les éléments semiconducteurs pelliculaires, assemblés de façon à former un croisillon, sont collés sur les faces d'extrémité avant des bras du bloc isolant 337 sur lesquelles sont situées les fentes 339, 340, 341 et 30 342. Les languettes 333 à. 336' sont collées sur les bords latéraux des bras du bloc isolant 337, et le support 316 qui soutient le disque presseur 317 passe dans les ouvertures centrales 323 et 324 des bases isolantes 321 et 322 et vient se loger dans l'alésage axial 338 du bloc isolant 337 dans lequel il est fixé, à l'aide 35 d'un adhésif ou par tout autre moyen approprié, de façon que le bord de la collerette 318 du disque presseur 317 applique une légère pression sur les pellicules piézorésistantes 325, 326, 327 et 328. Les éléments semi-conducteurs pe.lliculaires étant ainsi collés sur le bloc isolant 337, les pellicules piézorésistantes 325, 40 326, 327 et 328 se trouvent respectivement placées transversalement 70 16806 19 2042495 au-dessus des fentes 339, 340, 341 et 342. Les électrodes respectives des pellicules piézorésistantes 325, 326, 327 et 328 sont respectivement reliées à des broches 344 et 345 formant bornes de sortie et fixées dans une plaque d'extrémité porte-bornes 343» Le 5 mécanisme interne de l'appareil est complètement logé dans une enveloppe formée de deux pièces 346 et 347. Le fonctionnement du mode de réalisation de l'invention des figures 25 à 27 est décrit ci-après avec référence à la figure 28, qui est un schéma de la tête de pick-up et dans laquelle les 10 mêmes références que sur les figures 25 à 27 ont été utilisées pour désigner les mêmes pièces. Lorsque la pointe de lecture 312 effectue des vibrations suivant la direction indiquée par la flèche 348, le bras en porte-à-faux 313 est animé dans le plan passant par la flèche 348 de pivotements oscillatoires qui s'effectuent autour du 15 point de support 349 formé par l'extrémité avant du fil métallique fin 314. Par suite, des forces sont appliquées sur le disque presseur 317, lequel applique alors sur la pellicule piézorésistante 325 et par l'intermédiaire de sa collerette 318 une pression dont la direction est indiquée par la flèche 350, tandis que la pression 20 exercée sur la pellicule piézorésistante 326 disparaît du fait que la zone diamétralement opposée de la collerette 318 se déplace dans le sens indiqué par la flèche 351. Du fait que la pellicule piézorésistante 325 est soumise à une pression et que la pellicule piézorésistante 326 n'est plus soumise à aucune pression, il en résul-25 te des variations de la résistance des pellicules piézorésistantes 325 et 326, variations qui sont détectées. Dans ce cas, aucune variation de résistance électrique ne se produit dans les deux autres pellicules piézorésistantes 327 et 328 du fait que les zones de la collerette 318 du disque presseur 317 qui sont respectivement en 30 contact avec les pellicules piézorésistantes 327 et 328 pivotent simplement comme indiqué par les flèches 352 et 353 autour d'un axe représenté par la droite dessinée en pointillés à ces zones sur la figure 28. Lorsque la pointe de lecture 312 vibre dans un plan per-35 pendiculaire à la flèche 348, ce sont alors les pellicules piézorésistantes 327 et 328 qui sont soumises à des applications de pression alternatives, de sorte que leur résistance électrique subit des variations, tandis qu'aucune variation de résistance électrique ne se produit dans les pellicules piézorésistantes 325 et 40 326. De la sorte, les vibrations stéréophoniques sont reçues par 70 16806 20 2042495 deux canaux distincts et peuvent être détectées séparément. Bien que le mode de réalisation de l'invention qui vient d'être décrit comporte quatre pellicules semi-conductrices et piézorésistantes, il pourrait ne comporter que deux telles pellicu-5 les actuellement adjacentes. Un autre mode de réalisation de la tête de pick-up de l'invention, utilisable aussi en stéréophonie, est représentée sur les figures 29 à 32. Dans ce mode de réalisation, une tête de lecture 4-12 suit 10 le sillon sonore d'un disque stéréophonique et en reçoit des vibrations, et un bras en porte-à-faux 413, en alliage léger, transmet les vibrations reçues par la pointe de lecture 412 à la section de transduction électromécanique de l'appareil. Un fil métallique 4l4, de très petit diamètre, supporte la pointe de lecture 15 412 et le bras 413 mis en vibration par la gravure du disque, et est fixé par l'une de ses extrémités dans l'extrémité intérieure du bras 413 par l'intermédiaire d'un bouchon 415. Un support 4l6 maintient, de façon que sa position soit réglable, le fil fin 4l4 à l'intérieur du corps de la tête de pick-up, ce support étant fi-20 xe dans cette tête et étant séparé de 1'extrémité intérieure du bras 412 par une distance inférieure à 1 mm, mais suffisante pour que la pointe de lecture 412 et le bras 413 puissent vibrer librement en étant soutenus par le fil fin 4l4. Un élément tubulaire 417, formant deux bras radiaux 4l8 25 et 419 dont les plans axiaux sont mutuellement perpendiculaires, applique des pressions sur les éléments semi-conducteurs pelliculaires qui constituent la section transductrice électro-mécanique de l'appareil. Ces bras 4l8 et 419 forment sur leur extrémité libre, et respectivement, des dents 420 et 421, coniques et dont les 30 sommets arrondis forment chacun une surface de contact. L'extrémité intérieure du bras 413 est fixée dans l'alésage axial 422 de l'élément tubulaire 417 porteur des bras 4l8 et 419, de sorte que les vibrations stéréophoniques en provenance de la pointe de lecture 412 se transmettent aux bras 4l8 et 419 de l'élément tubulai-35 re 417. Une bague 423 forme un amortisseur qui étouffe les vibrations de résonance de l'ensemble constitué par la pointe de lecture 412, le bras en porte-à-faux 413 et l'élément tubulaire 417 et, simultanément, supporte cet ensemble dans un bloc isolant qui sera 40 décrit plus loin. L'appareil comporte deux bases isolantes de 70 16806 21 2042495 l'électricité, 424 et 425, se présentant chacune sous la forme d'une pellicule mince et flexible d'une matière isolante de l'élec tricité et chacune semblable à la base isolante 1 des figures 1 et 2. Des pellicules semi-conductrices et piézorésistantes 426 et 5 427 et des paires d'électrodes 428, 428' et 429, 429',respectivement associées à ces pellicules, sont formées sur les bases isolantes 424 et 425 dans les mêmes conditions que celles décrites avec référence aux figures 1 et 2. Les bords longitudinaux des bases isolantes 424 et 425 forment respectivement des parties en retrait 10 4J0 et 431 dont la présence augmente les variations de la résistan ce électrique des pellicules piézorésistantes 426 et 427 qui résultent des variations des tensions mécaniques auxquelles ces pellicules sont soumises. L'appareil comporte un bloc parallélépipédique 432 en ma-15 tière isolante de l'électricité. Quatre broches, 437, 438, 439 et 440, formant bornes de sortie, sont ancrées dans la face supérieure et dans la face inférieure du bloc 432, ces broches étant coudées à l'équerre et vers l'intérieur et formant ainsi quatre pattes 433, 434, 435 et 436 sur l'une de leurs extrémités. Les 20 électrodes 428, 428', 429 et 429' des pellicules piézorésistantes 426 et 427 sont formées par évaporation sous vide sur leurs bases isolantes respectives 424 et 425 et sont accolées respectivement aux pattes 433, 434, 435 et 436 formées par les broches 437, 438, 439 et 440, et les pellicules piézorésistantes 426 et 427 sont res 25 pectivement situées entre les pattes 433 et 434 et entre les pattes 435 et 436 de ces broches. Le support 4l6 passe dans la bague 423 et vient se loger dans un trou 441 du bloc isolant 432 dans lequel il est maintenu fixé, par un adhésif par exemple,sur une po sition pour laquelle les dents 420 et 421 des bras de l'élément 30 tubulaire 417 appliquent une légère pression sur celle des pellicules piézorésistantes 426 et 427 sur laquelle elles s'appuient. Le fonctionnement du mode de réalisation de la tête de pick-up de l'invention représenté sur les figures 29 à 31 est décrit ci-après avec référence à la figure 32 qui est un schéma de 35 cette tête de lecture et dans laquelle les mêmes références numéri ques que sur les figures 29 à 31 ont été utilisées pour désigner les mêmes pièces. Lorsque la pointe de lecture 412 se déplace dans le sens indiqué par la flèche 442, le bras en porte-à-faux 413 pivote dans 40 le plan de cette flèche autour de son point de support 443 oonsti 70 16806 22 '2042495 tué par l'extrémité avant du fil fin 4l4. Il s'ensuit que la dent 420 de l'élément tubulaire 417 pivote dans le sens indiqué par la flèche 444 autour du point de support 443. Ce mouvement de pivotement de la dent 420, qui lui fait appliquer une pression sur la 5 pellicule piézorésistante 426,.a pour résultat une variation de la résistance électrique de la pellicule piézorésistante 430 qui se traduit par une variation de tension sur les bornes 437 et 438. Dans ce cas, la dent 421 de l'élément tubulaire 417 effectue comme indiqué dans la flèche 445 des mouvements de pivotement autour d'un 10 axe représenté par la droite tracée en pointillé et ne provoque donc pas de variations de la résistance de la pellicule piézorésistante 427. D'autre part, lorsque la pointe de lecture 412 pivote dans le sens inverse de celui indiqué par la flèche 442, la pression appliquée sur la pellicule piézorésistante 426 disparaît, d'où il 15 résulte aussi une variation de la résistance électrique de cette pellicule. Lorsque la pointe de lecture 412 se déplace suivant une direction perpendiculaire à celle indiquée par la flèche 442, c'est alors la pellicule piézorésistante 427 sur laquelle s'appuie la 20 dent 421 qui subit des applications et des suppressions alternatives de pression qui provoquent des variations de sa résistance électrique. Dans ce cas, la dent 420 pivote simplement sur sa pointe et ne provoque aucune variation de la résistance électrique de la pellicule piézorésistante 426. Les vibrations stéréophoni-25 ques perçues sont donc transmises par deux canaux distincts et peuvent être détectées séparément. La figure 23 représente un microphone dans lequel est utilisé un transducteur des contraintes mécaniques semblable à celui de la figure 1. Ce microphone comprend un élément semi-conducteur 30 constitué par une base isolante 501, deux électrodes distantes l'une de l'autre 502 et 502' et une pellicule semi-conductrice et piézorésistante 503 déposée par évaporation sous vide sur la base 501, l'ensemble étant similaire à celui représenté sur la figure 1. Un plateau isolant 504 forme un évidement cylindrique central 505 35 au-dessus duquel est placé diamétralement un élément semi-conducteur à pellicule piézorésistante, cet élément étant solidement fixé sur le plateau isolant 504 et de façon à être en contact avec les électrodes 502 et 502'. Des broches 512 et 513, formant bornes de sortie et res-40 pectivement connectées avec les électrodes 502 et 502', sont in 70 16806 23 2042495 corporées dans un circuit de charge parcouru par un courant continu approprié. Un diaphragme 514, de type classique et plissé sur sa périphérie par laquelle il est soutenu de façon à augmenter l'amplitude de ses réponses aux ondes sonores, est fixé par toute 5 sa périphérie sur une capsule qui contient l'élément semi-conducteur à pellicule piézorésistante. Le diaphragme 514 porte en son centre un élément conoîde 506 qui applique sur la pellicule piézorésistante 503 des contraintes d'origine acoustique. L'arête inférieure de cet élément 506 a une largeur sensiblement égale à 10 celle de la pellicule sous-jacente 501 et est polie. Il n'est pas nécessaire que cette arête inférieure de l'élément 506 soit particulièrement aiguë. Dans le microphone de la figure 33 qui comporte un élément semi-conducteur à pellicule piézorésistante, des forces sont appli-15 quées sur la pellicule piézorésistante 503 de cet élément à semiconducteur par suite des mouvements vibratoires du diaphragme 514, et sont converties en signaux électriques suivant le principe illustré sur la figure 2. La présente invention n'est pas limitée aux exemples de 20 réalisation qui viennent d'être décrits, elle est au contraire susceptible de variantes et de modifications qui apparaîtront à l'homme de l'art. 70 16806 Êt 2042495 REVENDICATIONS 1 - Transducteur de contraintes mécaniques, caractérisé en ce qu'il comprend : un élément transducteur se présentant sous la forme d'un élément semi-conducteur pelliculaire, préparé par 5 évaporation sous vide et constitué par une pellicule de base mince, flexible et isolante de l'électricité, deux électrodes distantes l'une de l'autre portées par cette pellicule de base,et une pellicule semi-conductrice et piézorésistante déposée par évaporation sous vide entre ces deux électrodes; des dispositifs qui appli-10 quent une force extérieure sur l'élément semi-conducteur pelliculaire de façon que toute variation de ladite force extérieure provoque une variation de la tension mécanique subie par la pellicule semi-conductrice et piézorésistante; et des dispositifs recevant les signaux électriques qui apparaissent sur ces électrodes du fait 15 des variations de la résistance électrique de la pellicule semi-conductrice et piézorésistante dues aux variations de ladite force extérieure. 2 - Tête ou cellule de pick-up, dans laquelle il est utilisé un transducteur selon la revendication 1, caractérisée en ce 20 qu'elle comprend : un élément transducteur se présentant sous la forme d'un élément semi-conducteur pelliculaire, préparé par évaporation sous vide et constitué par une pellicule de base mince, flexible, isolante de l'électricité, de forme générale carrée et percée d'une ouverture centrale, quatre paires d'électrodes, distantes 25 les unes des autres, portées par les parties rectangulaires de la pellicule de base délimitées par ses propres côtés et ceux de son ouverture centrale, et quatre pellicules piézorésistantes déposées par évaporation sous vide respectivement entre les électrodes de chacune des paires de façon à former deux paires de pellicules 30 piézorésistantes dans chacune desquelles lesdites pellicules sont parallèles; des dispositifs qui transmettent les vibrations d'une pointe de lecture auxdites paires de pellicules piézorésistantes en vue de faire varier la tension mécanique subie par chacune de ces pellicules piézorésistantes; et des dispositifs qui détectent 35 les variations des résistances électriques entre électrodes qui proviennent des variations des tensions mécaniques subies respectivement par lesdites pellicules piézorésistantes. 3 - Tête ou cellule de pick-up dans laquelle est utilisé un élément transducteur selon la revendication 1, caractérisée en 40 ce qu'elle comprend : un élément transducteur se présentant sous la 70 16806 25 3 2042495 forme d'un élément semi-conducteur pelliculaire constitué par une pellicule de base mince, flexible, isolante de l'électricité, de forme générale carrée et percée d'une ouverture centrale, quatre paires d'électrodes, distantes les unes des autres et portées par 5 les parties rectangulaires de la pellicule de base délimitées par ses propres côtés et ceux de son ouverture centrale, et quatre pellicules piézorésistantes déposées par évaporation sous vide respectivement entre les électrodes de chacune des paires; un organe en forme de croisillon porteur de quatre bras radiaux perpendiculai-10 res deux à deux et situés dans un même plan perpendiculaire à l'axe d'un bras en porte-à-faux qui reçoit les vibrations d'une pointe de lecture et les transmet sur l'axe dudit organe en forme de croisillon; des dispositifs assurant le contact des bras radiaux dudit organe et de l'élément transducteur de façon que les vibra-15 tions en provenance de la pointe de lecture et transmises à cet organe par le bras en porte-à-faux provoquent des variations de la tension mécanique subie par chacune des pellicules piézorésistantes; et des dispositifs qui détectent les variations des résistances électriques entre électrodes qui proviennent des variations 20 des tensions mécaniques subies respectivement par chacune desdites pellicules piézorésistantes. 4 - Tête ou cellule de pick-up dans laquelle est utilisé un élément transducteur selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle comprend : deux éléments transducteurs se présentant 25 chacun sous la forme d'un élément semi-conducteur préparé par évaporation sous vide et constitués chacun par une pellicule de base mince, flexible et isolante de l'électricité, deux électrodes distantes l'une de l'autre et portées par cette pellicule de base et une pellicule semi-conductrice et piézorésistante déposée par éva-30 poration sous vide entre lesdites électrodes, ces deux éléments transducteurs étant parallèles à et supportés par un bloc isolant de l'électricité de façon que lesdites pellicules piézoélectriques puissent être soumises librement et indépendamment l'une de l'autre à une tension mécanique variable; un organe formant deux 35 bras radiaux mutuellement perpendiculaires et situés dans un même plan perpendiculaire à l'axe d'un bras en porte-à-faux qui reçoit les vibrations d'une pointe de lecture et les transmet sur l'axe dudit organe formant deux bras radiaux; un dispositif assurant le contact de ces bras radiaux avec les éléments transducteurs de fa-40 çon que les vibrations en provenance de la pointe de lecture et 70 16806 26 2042495 transmises à ces éléments transducteurs par le bras en porte-à-faux provoquent des variations de la tension mécanique subie par chacune des pellicules piézorésistantes; et des dispositifs qui détectent les variations des résistances électriques entre électro-5 des qui proviennent des variations des tensions mécaniques subies respectivement par chacune desdites pellicules piézorésistantes. 5 - Tête ou cellule de pick-up dans laquelle il est utilisé un transducteur selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle comprend : un élément transducteur se présentant sous la 10 forme d'un élément semi-conducteur pelliculaire préparé par évaporation sous vide et constitué par une pellicule de base mince, flexible, isolante de l'électricité, de forme générale carrée et percée d'une ouverture centrale, une première paire d'électrodes distantes l'une de l'autre et portées par une première des parties 15 rectangulaires de la pellicule de base délimitées par ses propres côtés et ceux de son ouverture centrale, une deuxième paire d'électrodes distantes l'une de l'autre et portées par une deuxième desdites parties rectangulaires de la pellicule de base adjacente et perpendiculaire à la première, et deux pellicules semi-conductrices 20 et piézorésistantes déposées par évaporation sous vide respectivement entre les électrodes de chacune des paires; un organe porteur d'une pluralité de bras radiaux s'étendant dans un même plan perpendiculaire à l'axe d'un bras en porte-à-faux qui reçoit les vibrations d'une pointe de lecture et les transmet sur l'axe dudit 25 organe; un dispositif mettant en contact les bras de cet organe avec l'élément transducteur de façon que les vibrations de la pointe de lecture qui lui sont transmises par le bras en porte-à-faux provoquent des variations de la tension mécanique subie par chacune des pellicules piézorésistantes; et des dispositifs qui détectent 30 les variations des résistances électriques entre électrodes qui proviennent des variations des tensions mécaniques subies respectivement par lesdites pellicules piézorésistantes. 6 - Tête ou cellule de pick-up dans laquelle est utilisé un transducteur selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'el- 35 le comprend : un élément transducteur se présentant sous la forme d'un élément semi-conducteur pelliculaire préparé par évaporation sous vide et constitué par une pellicule de base mince, flexible et isolante de l'électricité, une pluralité de paires d'électrodes distantes les unes des autres portées par la pellicule de base, et 40 des pellicules semi-conductrices et piézorésistantes formées res 70 16806 27 2042495 pectivement par évaporation sous vide entre les électrodes de chacune des paires; un organe en forme de croisillon, métallique ou en matière plastique, porteur de quatre bras radiaux mutuellement perpendiculaires deux à deux et situés dans un même plan perpendi-5 culaire à l'axe d'un bras en porte-à-faux qui reçoit les vibrations d'une pointe de lecture et les transmet sur l'axe dudit organe; un élément de support, en matière à élasticité visqueuse, qui reçoit l'extrémité intérieure du bras en porte-à-faux et qui supporte l'organe en forme de croisillon de façon que les bras de celui-ci 10 s'appliquent contre l'élément transducteur de manière que les vibrations en provenance de la pointe de lecture et qui sont transmises audit organe par le bras en porte-à-faux provoquent des variations de la tension mécanique subie par chacune des pellicules piézorésistantes; et des dispositifs qui détectent les variations 15 des résistances électriques entre électrodes qui proviennent des variations des tensions mécaniques subies respectivement par lesdites pellicules piézorésistantes. 7 - Tête ou cellule de pick-up dans laquelle est utilisé un transducteur selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'el-20 le comprend : un élément transducteur se présentant sous la forme d'un élément semi-conducteur pelliculaire préparé par évaporation sous vide et constitué par une pellicule de base mince, flexible, isolante de l'électricité et formant deux bras radiaux mutuellement perpendiculaires, chacun de ces bras portant une paire d'électro-25 des distantes l'une de l'autre et une pellicule semi-conductrice et piézorésistante déposée par évaporation sous vide entre lesdites électrodes; un organe formant deux bras radiaux perpendiculaires l'un à l'autre et situés dans un même plan perpendiculaire à l'axe d'un bras en porte-à-faux qui reçoit les vibrations d'une pointe 30 de lecture et les transmet audit organe; des dispositifs qui assurent que les deux bras de cet organe appliquent sur les deux pellicules piézorésistantes de l'élément transducteur de façon que les vibrations de la pointe de lecture transmises audit organe par le bras en porte-à-faux provoquent indépendamment dans chacune des 35 pellicules piézorésistantes des variations de la tension mécanique qu'elle subit; et des dispositifs qui détectent les variations des résistances entre électrodes qui proviennent des variations des tensions mécaniques subies respectivement par chacune desdites pellicules piézorésistantes. 40 8 - Tête ou cellule de pick-up dans laquelle est utilisé 70 16806 28 2042495 un transducteur selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle comprend : un élément transducteur qui se présente sous la forme d'un élément semi-conducteur pelliculaire préparé par évaporation sous vide et constitué par une pellicule de base mince, fle-5 xible et isolante de l'électricité, deux paires d'électrodes distantes les unes des autres et portées par la pellicule de base, et une pellicule semi-conductrice et piézorésistante déposée par évaporation sous vide entre les électrodes de chacune des paires; un organe porteur de deux bras radiaux, mutuellement perpendiculaires 10 et situés dans un même plan perpendiculaire à l'axe d'un bras en porte-à-faux qui reçoit les vibrations d'une pointe de lecture et les transmet sur l'axe dudit organe; des dispositifs assurant que les deux bras dudit organe s'appliquent par l'une de leurs parties sur l'élément transducteur de façon que les vibrations de la poin-15 te de lecture transmises audit organe par le bras en porte-à-faux provoquent des variations de la tension mécanique subie respectivement par chacune des pellicules piézorésistantes; et des dispositifs qui détectent les variations des résistances électriques entre électrodes qui sont provoquées par les variations des tensions mé-20 caniques subies respectivement par lesdites pellicules piézorésistantes. 9 - Tête ou cellule de pick-up dans laquelle il est utilisé un transducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce qu' elle comprend s un élément transducteur se présentant sous la for-25 me d'un élément semi-conducteur pelliculaire préparé par évaporation sous vide et constitué par une pellicule de base mince, flexible, isolante de l'électricité et en forme de croisillon, des paires d'électrodes distantes l'une de l'autre et portées par au moins deux bras adjacents de la pellicule de base, et des pellicules se-30 mi-conductrices et piézorésistantes respectivement formées par évaporation sous vide entre les électrodes de chacune des paires; un organe pouvant être mis en contact avec l'élément transducteur; des dispositifs qui assurent que ledit organe est en contact avec l'élément transducteur de façon que les vibrations d'une pointe de 35 lecture, transmises audit organe par un bras en porte-à-faux, provoquent des variations de la tension mécanique subie par chacune des pellicules piézorésistantes de l'élément transducteur; et des dispositifs qui détectent les variations des résistances entre électrodes qui proviennent des variations des tensions mécaniques 40 subies respectivement par lesdites pellicules piézorésistantes. 70 16806 29 2042495 10 - Tete ou cellule pour pick-up dans laquelle est utilisé un transducteur selon la 'revendication 1, caractérisée en ce qu'elle comprend : un élément transducteur se présentant sous la forme d'un élément semi-conducteur pelliculaire constitué par une 5 pellicule de base mince, flexible et isolante de l'électricité, une pluralité de paires d'électrodes distantes les unes des autres et portées par la pellicule de base, des pellicules semi-conductrices et piézorésistantes déposées respectivement, par évaporation sous vide entre les électrodes de chacune des paires; un plateau 10 presseur, circulaire, formant une collerette de contact cylindrique et dont le plan est perpendiculaire à l'axe d'un bras en porte-à-faux qui reçoit les vibrations d'une pointe de lecture et les transmet sur l'axe dudit plateau presseur; des dispositifs qui as-. surent que la collerette de contact du plateau presseur s'applique 15 sur l'élément transducteur de façon que les vibrations de la pointe de lecture transmises à ce plateau par le bras en port.e-à-faux provoquent des variations de la tension mécanique subie par chacune des pellicules piézorésistantes; et des dispositifs qui détectent les variations des résistances électriques entre électrodes 20 provoquées par les variations des tensions mécaniques subies respectivement par lesdites pellicules piézorésistantes. - 11 - Microphone, caractérisé en ce qu'il y est utilisé un transducteur de contraintes mécaniques semi-conducteur selon la revendication 1.