Brevet FR2026588A1 — publié le 19700918

-i- 2026588 L'invention a pour objet général la classification et le tri des composants semi-conducteurs individuels obtenus à partir de rondelles monolithiques; elle a pour objet plus particulier un procédé nouveau et perfectionné et un dispositif associé pour con-5 trôler, trier et emballer les puces de semi-conducteurs obtenues à partir de rondelles monolithiques. lorsque l'on produit des composants semi-conducteurs à partir d'une rondelle monolithique, il est nécessaire, du fait de l'état imparfait de la technique, de contrôler et de répartir les puces 10 provenant d'une rondelle en catégories de qualités et de caractéristiques variables» J3ien que tous les composants provenant d'une rondelle donnée sont conçus et prévus pour être identiques,il apparaît en pratique une variation assez grande des qualités des puces lors du contrôle. Jusqu'ici, le tri des puces en fonction de 15 leurs caractéristiques s'effectuait de diverses façons. L'une des techniques consistait à contrôler et à marquer chaque composant avec une encre selon tua code de couleurs, et à trier ensuite physiquement les puces en fonction de ce code de couleurs. On a également employé d'autres techniques, mais aucune n'a donné entière 20 satisfaction du point de vue vitesse d'opérations, coût et rendement global» C'est, en conséquence, un out de la présente invention de proposer un procédé nouveau et perfectionné et un dispositif associé pour trier rapidement, de façon précise et efficace, des composants semi-conducteurs individuels obtenus à partir 25 d'une rondelle monolithique. L'invention propose un procédé pour trier des composants semiconducteurs obtenus à partir d'une rondelle monolithique, consistant à contrôler chaque composant de la rondelle, à coder électro-optiquement les données du contrôle et à en préparer un enregis-30 trement photographique, à monter la rondelle sur une feuille piézo-sensible, à briser ainsi la rondelle de façon à séparer les composants individuels en puces tout en maintenant leur orientation,à monter ensuite la rondelle avec sa feuille support sur un cadre avec l'enregistrement codée Le cadre est lu électro-optiquement et 35 l'on emploie les signaux de sortie pour envoyer chaque composant à un poste prédéterminé auquel les composants ayant des caractéristiques communes sont stockés, emballés ou traités de façon analogue» 69 44149 -2- 2026588 L'invention propose également un dispositif associé pour trier des composants semi-conducteurs, comportant uii système électro-optique pour produire un réseau d'enregistrement photographique sous forme codée correspondant aux caractéristiques de 5 chaque puce, un poste de montage et d'alignement par lequel la rondelle et le film sont montés côte à côte en correspondance et un instrument de lecture électro-optique grâce auquel le réseau codé sur le film est lu pour produire des signaux de commande appropriés destinés au dispositif de tri. Le dispositif de tri com- -10 porte un nouveau dispositif de séparation pour enlever les composants de la feuille support de rondelle comportant une douille à dépression et une aiguille coopérant ensemble et animées d'un mouvement alternatif grâce auxquelles les composants individuels sont séparés de la feuille, et une table d'indexation pour déposer les 15 . composants à des endroits déterminés. L'invention sera bien comprise par la description qui suit, faite à titre d'exemple et en référence au dessin annexé sur lequel : - la fig. 1 est un schéma d'un système de tri des puces de semi-20 conducteurs selon l'invention; la fig. 2 est une vue en coupe transversale^ et en élévation latérale, quelque peu schématique, d'un système électro-optique pour enregistrer photographiquement les données du.contrôle, selon l'invention; 25 la fig. 2a est une vue en perspective de la matrice de codage optique de la figure 2; . la fig. 2b est une vue en plan d'un enregistrement caractéristique sur film des données de contrôle d'une rondelle; La fig. 3 est une vue en élévation frontale-d'un dispositif 30 d'alignement selon l'invention. la fig. 4 est une vue en élévation latérale, en coupe partielle, d'un dispositif de lecture du film selon l'invention; là fig. 5 est une vue en élévation par bout du dispositif de tri montrant le dispositif de lecture du film de la figure 4,plus 35 des détails du mécanisme pour enlever les puces individuelles de la feuille piézo-sensible; la fig. 6 est une vue en coupe transversale montrant des détails du mécanisme de préhension de. la figure 5, à plus grande échelle ; - 69 44149 -3- 2026588 la fig. 7 est une vue en élévation latérale du mécanisme d'indexation selon l'invention que l'on peut employer à chaque poste d'évacuation ; la fig. 8 est une vue détaillée en perspective montrant une 5 portion d'une bande d'emballage selon l'invention, et les figSo 9 à 14 illustrent des réseaux codés employés en liaison avec cette invention. En se reportant maintenant au dessin, et particulièrement à la fig. 1, une description générale du système sera donnée en in-10 troduction . Une rondelle monolithique 10, constituée par des rangées de petits composants semi-conducteurs formés sur sa. surface, est montée, par exemple par une platine à dépression, sur la surface supérieure d'une table d'indexation XY 12 agencée pour déplacer par incré-15 ments la rondelle le long d'axes X et T respectivement perpendiculaires l'un à l'autre de façon que, par des sondes et un équipement de contrôle associés, bien connus dans la technique, chaque composant puisse être contrôlé pour déterminer ses caractéristiques opérationnelles et sa qualité particulière; dans ce but, on emploie 20 un bloc de contrôle repéré dans son ensemble en 14. De tels blocs de contrôle sont disponibles dans le commerce et ne font pas partie de cette invention. Les données de contrôle provenant du bloc 14 sont codées électro-optiquement par un instrument d'enregistrement électro-optique 16 qui sera décrit plus en détail en liaison avec 25 la figure 2 . De façon générale, cet instrument comporte un élément 18 partant de la table XT 12 de façon à se déplacer avec la rondelle, lorsque celle-ci est indexée. Cet élément 18 porte une tête optique 20 qui est propre à projeter sur un film photographique 22 un réseau qui est codé en fonction des données de contrôle obtenues 30 du bloc de contrôle et concernant chaque circuit individuel qui a été contrôlé. Du fait que le film 22 a une position fixe, la tête 20 s'indexera de la même manière que la rondelle 10, produisant de multiples images photographiques sous forme d'un réseau en grille, chaque image contenant un code photographique correspondant aux 35 caractéristiques d'un composant particulier de la rondelle 10.Lorsque tous les composants de la rondelle 10 ont été contrôlés et qu'un enregistrement photographique a été effectué sur le film 22, la rondelle 10 est enlevée de la table XT et montée sur la face adhésive d'une feuille adhésive piézo-sensible 24 . La rondelle est 40 alo-xs divisée de façon à foraer des lignes de rayures selon un ré- 69 44149 -4- 2026588 seau en grille entre chaque composant de la rondelle. La rondelle est alors séparée en puces individuelles par rupture,par exemple en faisant passer la rondelle et la feuille sur un bord, comme il est décrit dans la demande de brevet USA N° 665 635 intitulée"Pro-5 cédé et dispositif pour trier des composants semi-conducteurs" déposée le 5 Septembre 1967 au nom de la demanderesse. Les puces sont séparées les unes des autres par rupture tout en restant fixées à la feuille dans leur position et leur orientation d'origine. Pendant ce temps, le film 22 est développé et le film photo-10 graphique 22 et la feuille 26 avec la rondelle 10 sont tous deux montés côte à côte en alignement sur un cadre 26 comportant des ouvertures appropriées 28 et 30. Le film photographique et les puces sont assemblés au cadre par un instrument d'alignement et de montage repéré dans son ensemble par un bloc sur la fig. 1 et mon-15 tré en plus grand détail sur la fig. 3.Une fois les composants assemblés de façon précise de telle sorte que la position d'une puce particulière corresponde exactement à son code photographique correspondant sur le film 22, le cadre est transféré à un instrument de tri des puces repéré dans son ensemble sous la forme du bloc 34 20 sur la figure 1 et montré avec plus de détails sur les fig. 4» 5, 6 et 7 . Le trieur de puces de semi-conducteurs^-comporte une deuxième table XT 36 sur laquelle est monté le cadre 26. La trieuse comporte un instrument de lecture électro-optique que l'on voit mieux sur la figure 4, comportant une tête optique fixe 36 25 qui lit chaque grille codée sur le film 22 lorsque le cadre 26 est indexé par la table XT. La table XT est située au voisinage immédiat d'une tourelle de transfert 38 ayant une multiplicité de têtes de préhension radiales 40 qui enlèvent les puces individuelles de la feuille piézo-sensible 24 et, en fonction des instructions 30 fournies par le lecteur électro-optique, amènent chaque puce à l'un d'une multiplicité de postes radiaux d'évacuation 42, qui peut comporter une unité d'emballage automatique, chaque poste rassemblant des puces ayant les mêmes caractéristiques. En variante, les puces triées peuvent être amenées directement à une machine 35 de collage des puces, évitant ainsi les exigences de l'emballage. Instrument d'enregistrement électro-optique. On se reporte maintenant à la fig.2 du dessin, sur laquelle est décrit en détail l'instrument d'enregistrement électro-optique 16. L'enregistreur comporte l'élément de prolongement ou rallonge 69 44149 -5- 2026588 18 qui est constitué par deux tubes parallèles 42 et 44 rigidement fixés à la table XT 12, de façon à se déplacer en unisson avec la rondelle 10 lorsque celle-ci est contrôlée. Les tubes 42 et 44 sont rigidement fixés à une extrémité à la tête optique 20. 5 A leurs extrémités opposées, les tubes sont raccordés à des sources lumineuses indépendantes propres à projeter des images distinctes le long de chemins parallèles jusqu'à un séparateur de rayons 46 monté dans la tête optique et propre à diriger vers le bas les images à échelle réduite à travers un objectif 48 sur le 10 film photographique 22. Le film 22 est de préférence monté sur une platine fixe à dépression 50 agencée pour maintenir le film à plat contre la surface supérieure porteuse plane de la platine. Comme on le voit sur la figure 2, le tube 42 est équipé à son extrémité droite d'une lampe 52 agencée pour projeter une image de 15 référence 54 sur la surface de la platine 50 à des fins de mise au point seulement« Le tube 44 est équipé d'une unité de codage électro-optique 56 mise au point le long du tube en direction du séparateur de rayonso Cette unité est constituée d'un faiseeau de tubes lumineux 20 58 convergeant en direction du séparateur de rayons, le faisceau comportant de façon caractéristique dix tubes groupés comme on le voit sur la fig. 2a . Chacun des tubes lumineux est pourvu à son extrémité droite d'une source lumineuse individuelle telle qu'une lampe 60 ou analogue. Chaque lampe 60 est raccordée par un conduc-25 teur 62 à une source de courant 64 qui est à son tour commandée par la sortie du bloc de contrôle 14. Comme il a été antérieurement décrit, le bloc de contrôle 14 est fonctionne^lement raccordé à la sonde, de sorte que l'information obtenue en ce qui concerne les caractéristiques opérationnelles de chaque composant 30 semi-conducteur de la rondelle 10 sera amenée codée du bloc de contrôle à la source de courant, de façon à éclairer des lampes 56 selon des agencements de réseau ou de codage sélectif correspondant aux caractéristiques particulières des composants contrôlés sur la rondelle. Il doit être compris que, en éclairant une 35 ou plusieurs des lampes 56, on peut produire diverses combinaisons de code qui seront projetées sur le film 22. L'image projetée du réseau codé a de préférence un contour égal ou inférieur à celui de la surface du composant contrôlé. Au fur et à mesure que la sonde indexe la rondelle, puce par puce, 9 44149 2026588 le codeur électro-optique enregistre sur le film le réseau codé approprié correspondant aux résultats de contrôle de la puce correspondante, Du fait que l'enregistrement sur film est effectué en même temps que le contrôle, la disposition des résultats de con-5 trôle codés sur le film est similaire à la disposition en grille des composants sur la rondelle. En conséquence, le film fournit le résultat de contrôle de chaque composant de la rondelle sous une disposition correspondante. De façon caractéristique,le rapport du film à la rondelle est 1 : 1. Bien entendu, le film 22 10 est monté à l'intérieur d'une enceinte à lumière qui, pour des raisons de clarté, n'a pas été représentée. Lorsque le contrôle de la rondelle est terminé et que l'on a. effectué tin enregistrement photographique de chacun des composants de la rondelle, le film 22 est développé. Le film 22 peut 15 être un film photographique classique ou peut se présenter sous la forme d'un film à développement rapide, tel que ceux vendus par Polaroid Corporation. La figure 2b montre une vue en plan d'un enregistrement photographique caractéristique des données codées correspondant à une rondelle produit par l'instrument de la 20 figure 2. La figure 2b montre également une partie du film à très grande échelle pour illustrer des détails du réseau codé. Il est bien entendu que, pour chaque composant contrôlé, le réseau d'enregistrement de ce composant sera constitué par un groupe de dix blocs 66, et dans chaque groupe de blocs, certains seront clairs 25 tandis que d'autres seront opaques, constituant ainsi un code qui servira ultérieurement au mécanisme de l'instrument de tri. Poste de montage et d'alignement. Le film exposé et développé 22 est ensuite monté sur le cadre 26 côte à côte avec les puces maintenant divisées qui sont mainte-30 nues dans leur orientation d'origine grâce à une feuille piézo-sensible 24 sur laquelle elles ont été transférées.!'instrument employé au poste de montage et d'alignement est mieux représenté sur la figure 3 et est constitué par un bâti fixe 68 ayant un support transversal horizontal sur lequel sont montés des agrandis-35 seurs espacés 70 et 72, chacun étant agencé pour correspondre l'un aux puces de semi-conducteurs et l'autre au film. Une platihe à dépression 74 est montée sous des agrandisseurs 70 et 72 et est portée sur une table de positionnement 78 à commande manuelle qui peut également être réglée angulairement, de 69 44149 -7- 2026588 sorte que l'enregistrement photographique et les puces du circuit peuvent être alignés de façon précise l'un avec l'autre, et, lorsque l'alignement est correct, transférés sur le cadre de montage 26. En pratique, les puces sur la feuille sont orientées en posi-5 tion et sont transférés au cadre de montage ;1'enregistrement sur film est alors orienté d'une manière similaire par rapport aux puces, et est ensuite transféré sur le cadre de montage. Les positions relatives des puces de la rondelle et de l'enregistrement de contrôle sur le cadre de montage sont telles que, à une distance 10 fixe de X et de Y de chaque puce, un lecteur peut lire les résultats d'essai de cette puce particulière. Poste de tri. - L'enregistrement photographique et les rangées de puces montées et portées sur le cadre 26 sont alors transférées à l'appareil de tri des puces 34, que l'on voit mieux sur les fig® 15 4, 5 et 6. La trieuse de puces de semi-conducteurs comporte fondamentalement la table d'indexation XT 36 sur laquelle est monté le cadre de montage 26 portant les puces et l'enregistrement sur film correctement orientés , - la tête de lecture optique 36 pour lire les données codées sur le film 22 -, et la tourelle de tri 38 équi-20 pée d'une multiplicité de douilles à dépression 80. La table XY indexe de la même façon que la table XY 12 de l'instrument d'enregistrement, indexant d'un composant et d'une image codée au suivant. Il est bien entendu que le cadre de montage 26 se déplace de telle sorte que l'enregistrement photographique et les puces soient 25 indexés à l'unisson. Le cadre de montage est positionné de telle sorte que l'enregistrement sur film est disposé en alignement optique avec la tête de lecture optique 36, tandis que les puces sont situées en vis-à-vis d'une douille de préhension 80. La tête optique 36 est constituée de deux tubes perpendiculai-30 res l'un à l'autre 82 et 84 partant d'un séparateur de rayons 86 situé au-dessus d'un objectif 80 mis au point sur le film codé 22. L'extrémité supérieure du tube 84 est équipée d'un oculaire 90 ayant un réticule à cheveux croisés et employé à des fins d'alignement visuelo A l'extrémité gauche du tube 82, comme on le voit sur 35 la fig. 4, se trouvent deux rangées de photodiodes 92 et 94 qui servent à transformer une image projetée du code photographique en signaux électriques utilisables. Cette image codée est projetée par une source lumineuse, telle qu'une lampe 96 située en-dessous du film 22 le long de l'axe optique de la lentille 88. Lorsque le 69 44149 -8- 2026588 film 22 est indexé sur l'axe optique de la lentille 88, le réseau codé, qui correspond à une puce particulière dans la position relative correspondante parmi le groupe de puces, sera projeté sur les photodiodes qui engendreront un signal électrique correspon-5 dant à la qualité et aux caractéristiques de la puce particulière» Ces signaux électriques sont amenés à une mémoire 98 à registre de décalage. Des informations programmées arrêteront la table Xï 36 et une douille à dépression 80 prélèvera une puce donnée 100 lorsque son adresse aura été entrée dans la mémoire. La douille 80 10 est indexée avec la tourelle de tri 38 et porte la puce jusqu'à ce que la douille arrive à un poste de dépôt prédéterminé qui peut être constitué par un bac ou par un mécanisme d'emballage. En tout cas, une multiplicité de ces postes de dépôt sont répartis uniformément autour de la tourelle et, lorsque la douille avec la puce 15 arrive au poste correct, la puce est déposée. Un bac ou une unité d'emballage est situé à chaque poste de réception et les puces sont rassemblées en fonction de leurs catégories,, Le mécanisme pour séparer la puce choisie de la feuille piézo-sensible 24 est constitué"par une aiguille 102, animée d'un mouve-20 ment alternatif , située en-dessous de la feuille 24 en correspondance avec une douille 80 qui est indexée en et Jiors de position au-dessus de la rondelle lorsque la tourelle 38 est indexée La douille 80 est située sur l'extrémité extérieure de deux ressorts plats parallèles 108 et 110 partant de la tourelle et situés en-dessous d'un bras radial 112. Le bras 112 est équipé d'un plongeur vertical 114 propre à coopérer avec un rotor excentré 116 40 entraîné par un solénoïde rotatif 118. Lorsque la douille 80 est 69 44149- -9- 2026588 en position au-dessus de la puce choisie, un signal est envoyé au solénoïde faisant tourner le rotor excentré 116, enfonçant à son tour le plongeur 114 pour pousser la douille 80 vers le bas contre la puce choisie, laquelle est simultanément poussée vers le 5 haut par l'aiguille. La rotation continue du rotor 116 permet à la douille de se rétracter avec la puce et la tourelle est alors indexée en amenant la douille suivante 80 au-dessus de la puce suivante qui a été amenée en position par la table XY. Lorsque la douille avec sa puce atteint un poste de dépôt prédéterminé,la pu-10 ce est libérée. Une petite table Xï 111 est reliée à la tête optique 36 et est actionnée par des moteurs séparés pas à pas 113 et 115 pour effectuer des corrections mineures d'alignement entre l'objectif et le réseau codé. 15 Enregistrement optique : - Les techniques d'enregistrement op tiques employées dans le système sont un peu similaires à l'enregistrement sur bande magnétique à pistes multiples. Cependant, on utilise ici un film photographique pour enregistrer des points lumineux ou des points sombres comme signaux logiques qui peuvent 20 être mémorisés indéfiniment et lus à volonté. Un bloc de données est enregistré sur une zone ayant de façon caractéristique 10 mm2. Cette zone, représentée à grande échelle sur la figure 9» est divisée en deux zones principales qui peuvent être définies comme zone de stationnement 120 et aone de données 122. Comme on le voit, 25 la zone de stationnement est une zone de 0,127 x 0,380 mm dans laquelle le balayeur de lecture reste entre des index. Du fait que la lecture est effectuée par trois points ayant un diamètre équivalent de 0,025 mm, la tolérance dans l'indexation de lecture est + 0,05 mm dans toutes les directions. La zone de données 122 est 30 divisée en trois rangées principales 124, 126 et 128 dans le sens . du déplacement. Lorsque le film passe sous la tête de lecture 36, trois détecteurs dans chaque rangée de photodiodes 92 et 94 détectent la variation entre les zones lumineuses et les zones sombres et engendrent les signaux correspondants dans les canaux appropriés. 35 Des configurations de répartition de canaux et de têtes de lecture sont illustrées sur la figure 10.La technique utilisée dans la lecture des données est similaire à la technique URZ1 (non retour au zéro l) utilisée dans l'enregistrement magnétique» 69 44149 •10- 2026588 Dans ce procédé, le système de détection est utilisé pour détecter des variations de lumière plutôt que des niveaux de lumière. En d'autres termes, le système détecte les passages de la lumière au sombre ou du sombre à la lumière et signale un passage sous 5 forme de 1 logique et pas de passage sous forme de 0 logique.En conséquence, les canaux pour l'enregistrement sur film sont les lignes auxquelles surviennent des passages. Il est important de noter qu'un passage est un 1 logique, quelle que soit sa polarité,' c'est-à-dire un passage de la lumière au sombre ou du sombre 10 à la lumière seront tous deux un 1 logique. Sur la fig. 11, à la fois A et B contiennent un 1 logique sur le canal 2. Cependant,A contient un 0 logique sur le canal 1 et un 1 logique sur le canal 3, tandis que B contient un 1 logique sur le canal 1 et un 0 logique sur le canal 3. Il faut noter que la rangée 126 de la fig.10 15 contient seulement un canal (canal 4), les deux autres canaux étant utilisés à des fins de commande de la machine, les deux blocs éianfc toujours sombres, comme il est représenté. l'enregistrement est effectué alors que le film est fixe, tandis que la lecture est faite alors que le filjn se déplace, produi-20 sant un signal de courant alternatif. Afin de maintenir l'emplacement du canal indépendamment de la direction dur déplacement-,le circuit de lecture inverse la séquence de signaux de façon appropriée, pour que toutes les données apparaissent sous la même forme visuelle. 25 Du fait que la lecture est effectuée dans les deux sens de dé placement ,' la tête de lecture contient six détecteurs photo-sensibles disposés dans les deux rangées 92 et 94, de sorte que la rangée antérieure est toujours en cours de lecture des données dans un sens particulier du déplacement, la commutation entre les deux 30 rangées de détecteurs est effectuée automatiquement par la logique de la machine» Le signal de synchronisation est engendré par le premier passage survenant dans la rangée 126. Du fait que ce bloc est toujours noir et que la zone de stationnement est toujours blanche, ce signal apparaît quel que soit le sens du déplacement. 35 Ce signal déclenche une horloge-mère commandée par l'oscillateur entraînant la table Xï, engendrant ainsi des signaux de porte qui sont toujours synchronisés à la vitesse de la table. Des signaux d'inversion sont engendrés à chaque ligne et enregistrés sous forme d'un bloc 145 dans la zone de stationnement, comme on le voit 69 44149 -ii- 2026588 sur la fig» 5. Deux blocs apparaîtront dans chaque ligne permettant une indexation supplémentaire, de telle sorte que les données ne seront pas perdues à chaque inversion. Pendant l'enregistrement durant l'inversion, les données ne sont pas enregistrées. 5 Compensation de positionnement Afin de permettre des va riations de positionnement plus importantes que les plus ou moins 0,05 mm cités antérieurement, un circuit de compensation ramène les points de lecture au centre de la zone de stationnement,,Pour atteindre ce but, l'objectif de lecture est monté sur la petite 10 table XY 111 pouvant se déplacer par incréments de 0,025 mm sur commande. Un signal de synchronisation est engendré au début de chaque commande d'indexation et est comparé au temps passé pour atteindre la première ligne de passage. Tout écart crée une impulsion dans le sens approprié entraînant le support d'objectif. Ce 15 déplacement entraîne le retour du point de lecture au centre de la zone de stationnement. On effectue pour chaque indexation une compensation dans le sens du déplacement, tandis que la compensation selon l'autre axe est dérivée d'une manière similaire du bloc d'inversion à la fin de chaque ligne, comme on le voit sur la fig. 20 14 . Avant le début d'un cadre complet, un signal manuel de remise à zéro ramène le support d'objectif à sa position de départe Appareil d'indexation des puces : - En se reportant maintenant plus particulièrement à la fig.7, on voit en détail un appareil d'indexation de puces comme on peut en disposer à chaque pos-25 te-de dépôt 42 ainsi que grossièrement montré sur la fig.l. Le mécanisme d'indexation des puces de la fig. 7 peut être utilisé à la fois pour l'emballage des puces individuelles, et pour enlever les puces des emballages, pour des opérations ultérieures telles que le collage, par exemple. Dans la réalisation représentée sur la 30 figd, un dispositif d'indexation est situé à chaquè poste de dépôt de telle sorte que chaque mécanisme d'indexation servira à emballer les puces ayant toutes la même qualité et les mêmes caractéristiques . Le mécanisme d'indexation utilise une bande 140, que l'on 35 voit mieux sur la fig. 8, constituée par une bande relativement étroite comportant des trous d'indexation 142 le long d'un bord, de la même manière qu'un film de cinéma, et des trous de stockage 144 près de l'autre bord de la bande. Sur le fond, une mince bande adhésive piézo-sensible 146 est laminée à la bande 140.La 40 bande adhésive forme ainsi un plancher adhésif au fond des trous 44149 -12- 2026588 de stockage 144» La bande laminée est enroulée sur une bobine d'alimentation 148 qui est montée sur le mécanisme d'indexation, par exemple par un arbre 150, prévu sur le bâti 152. La bande 140 est dévidée sur un trajet d'indexation prévu sur le mécanisme 5 d'indexation jusqu'à un rouleau de reprise 154. L'appareil d'indexation comporte un entraînement par pignon de chaîne 156 et des plaques de guidage profilées 158 et 160 qui amènent la bande 140 sur la partie supérieure de l'appareil d'indexation avant de l'amener au rouleau 154. Un moteur ou solénoïde 162 10 est utilisé pour actionner l'appareil d'indexation. La bande est amenée sur la partie supérieure de l'appareil d'indexation où une cavité de stockage 144 est en correspondance avec une douille 80; en supposant que la puce portée par la douille 80 est destinée à cet appareil d'indexation particulier, la puce sera déposée dans 15 la cavité de la bande. Un signal sera alors engendré au solénoïde 162 pour faire avancer la bande de telle sorte qu'une autre cavité de la bande soit amenée en place, pour la puce suivante. Au fur et à mesure que les cavités de la bande sont remplies, la bande est enroulée sur le rouleau de reprise 154 qui est relié fonctionnelle-20 ment au rouleau d'alimentation 148, les deux rouleaux tournant en synchronisme. Lorsque la bande est complètement''indexée et contient un composant dans chaque cavité, toutes les puces de la bande seront de la même catégorie» 25 tion peut être utilisé pour retirer les puces de la bande d'emballage aussi bien que pour les emballer. Lorsqu'il est employé pour enlever les puces de la bande, une aiguille 164 animée d'un mou- que l'aiguille 102 des fig, 5 et 6. Cette aiguille est montée 30 verticalement sur un bloc 166 supporté par des ressorts parallèles 168 et 170 et est animée d'un mouvement alternatif par un bras pivotant 172 repoussé vers le bas par un ressort 174 et pivotant vers le haut sous l'action d'une came 176. Il est bien entendu que chaque fois que la came 176 tourne, le bras 172 pivote vers le 35 haut poussant l'aiguille 174 vers le haut à travers le plancher adhésif de la cavité de la bande, repoussant ainsi vers le haut la puce contenue dans la cavité dans une douille à dépression comme celle représentée en 80 sur la fig.6, qui peut alors être utilisée pour transférer la puce à un poste de collage» Comme il a été indiqué antérieurement, l'appareil d'indexa- vemënt; la même façon 44149 -13- 2026588 RB YEI'ID IG ATI ON S 1. Procédé pour trier des composants semi-conducteurs obtenus à partir d'une rondelle monolithique, caractérisé en ce qu'il consiste à contrôler chacun des composants et à obtenir ainsi des signaux caractéristiques, à coder électro-optiquement ces signaux en instruc- 5 tions enregistrées, à séparer les composants l'un de l'autre'tout en maintenant leur orientation, et à trier alors les composants en fonction des instructions enregistrées. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la phase de séparation consiste à rayer la rondelle, à monter la ron- 10 delle sur la face adhésive d'une feuille souple, et à plier la rondelle le long des lignes de rayues pour séparer par rupture les composants. 3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte une phase d'emballage des composants identiques après' que 15 ceux-ci aient été triés. 4. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la phase de codage consiste à produire des images codées projetables correspondant en position à ces composants,, 5. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que la 20 phase de tri consiste à projeter les images codées et à convertir ces images en signaux électriques,, 6<> Procédé selon.la revendication 4, caractérisé en ce qu'on monte côté à côte les images' projetables et les composants séparés. 7. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que les 25 composants sont enlevés de la feuille en déplaçant d'abord un composant hors du plan de la rondelle dans tin sens qui l'éloigné de la feuille en appliquant une pression sur cette feuille à l'opposé des composants et en tirant alors le composant libéré de la face adhésive. 30 8. Installation pour trier des composants semi-conducteurs obtenus à partir d'une rondelle monolithique, caractérisée en ce qu'elle comporte un poste de contrôle pour contrôler chaque composant afin de déterminer ses caractéristiques, un codeur électro-optique relié fonctionnellement à ce poste de contrôle pour produire des images 35 codées sur film contenant les données de contrôle de ces composants, un poste de division pour diviser les composants tout en maintenant leur orientation, un poste de lecture comportant un décodeur électrooptique pour lire les images sur le film et produire des signaux électriques, et un poste de tri répondant au poste de lecture pour 40 séparer les composants de la rondelle et les amener à des postes 69 44149 14 2026588 de dépôt des dispositifs identiques. 9. Installation selon la revendication 8, caractérisée en ce qu'elle comporte un poste de montage pour monter côte à côte sur un cadre commun le film et la rondelle dividée. 5 10» Codeur électro-optique, caractérisé en ce qu'il comporte une matrice ds source lumineuse, des moyens de montage de film et des rangées de source lumineuse propres à s'éclairer selon une combinaison déterminée en fonction des signaux d'entrée0 11. Codeur électro-optique selon la revendication 10, caraeté-10 risé en ce qu'il comporte des moyens optiques entre les sources lumineuses et les moyens de montage pour mettre au point la matrice sur les moyens de montage. 12. Codeur électro-optique selon la revendication 10, caractérisé en ce que les moyens de montage comportent une table XY. 15 13» Codeur électro-optique selon la revendication 11, caractérisé en ce que les moyens optiques comportent des rangées de tubes lumineux. 14. Codeur électro-optique selon la revendication 10, caractérisé en ce qu'il comporte tine source lumineuse séparée de référence 20 projetée sur les moyens de montage. 15. Codeur électro-optique selon la revendication 14, caractérisé en ce qu'il comporte un séparateur de rayons aligné optiquement avec la source lumineuse de référence, la matrice et les moyens de montage 0 25 16. Décodeur électro-optique, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens de montage de film, des rangées d'éléments photosensibles et des moyens optiques pour projeter une image sur un film sur les moyens de montage contre ces éléments. 17. Décodeur électro-optique selon la revendication 16, caracté- 30 risé en ce qu'il comporte des moyens d'indexation pour déplacer relativement les uns par rapport aux autres les moyens de montage de film et les moyens optiques. 18. Décodeur électro-optique selon la revendication 17, caractérisé en ce qu'il comporte de seconds moyens d'indexation reliés à 35 intervalles déterminés aux moyens optiques. 19# Décodeur électro-optique selon la revendication 17, caractérisé en ce que ces moyens d'indexation sont constitués par une table XY propre à être commandée en fonction d'instructions prédéterminées. 40 20. Décodeur électro-optique selon la revendication 19, caractérisé 69 44149 15 2026588 en ce que les moyens de montage du film sont montés sur cette table. 21. Appareil pour retirer, d'une feuille revêtue d'adhésif, des puces de semi-conducteurs ou des composants analogues étroitement emballés, caractérisé en ce qu'il comporte une aiguille montée pour 5 se déplacer d'un mouvement alternatif perpendiculaire au plan de la feuille et située sur le côté de cette feuille opposé à la puce, de sorte que les puces individuelles peuvent être repoussées du plan de la feuille, une douille disposée en alignement avec 1*aiguille du même côté de la feuille que la puce et pouvant s'en approcher et 10 s'en éloigner, cette douille étant reliée à une source de dépression et étant propre à retirer de la feuille une puce déplacée par l'aiguille, et des moyens pour produire un mouvement relatif entre la feuille et l'aiguille et la douille. 220 Appareil selon la revendication 21, caractérisé en ce qu'il 15 comporte des moyens d'actionnement pour déplacer cycliquement la - douille et l'aiguille en les approchant ou en les éloignant de la feuille. 23. Appareil selon la revendication 21, caractérisé en ce qu'il comporte une multiplicité de douilles et de moyens d'indexation pour 20 amener chacune des douilles en alignement avec l'aiguille. 24« Appareil selon la revendication 23, caractérisé en ce que les moyens d'indexation sont constitués par une tourelle rotative supportant les douilles en rangées radiales. . 25. Appareil selon la revendication 24, caractérisé en ce qu'une 25 multiplicité de postes de dépôt sont disposés autour de la tourelle pour recevoir les puces en fonction d'instructions prédéterminées. 26. Appareil pour manipuler une bande souple ayant des trous d'entraînement formés le long d'un de ses bords, des ouvertures espacées au centre de bande, et une feuille adhésive collée sur un 30 côté pour y faire adhérer des composants semi-conducteurs, caractérisé en ce qu'il comporte une piste pour guider la bande, une paire de rouleaux pour enrouler et dérouler la bande, et des moyens d'actionnement pour indexer par incréments cette bande pour amener les ouvertures successives en position pour permettre d'enlever 35 ou de placer sélectivement un composant. 27. Appareil selon la revendication 26, caractérisé en ce qu'il comporte une aiguille montée pour se déplacer d'un mouvement alternatif en direction d'un composant adjacent à une portion de cette piste et perpendiculairement au plan de la bande dans cette 40 portion pour s'appliquer contre la feuille et déplacer le composant.