Brevet FR2031421A1 — publié le 19701120

70Ô4919 1 2031421 L'invention concerne un dispositif semiconducteur conçu pour engendrer ou amplifier des micro-ondes et comportant un corps semiconducteur en forme de plaque d'un premier type, de conduction, alors que sur une face du corps est appliquée une première électrode qui forme 5 pratiquement un contact ohmique avec le corps semiconducteur tandis que sur la face opposée est appliquée au moins une autre électrode dont la superficie est considérablement plus petite que celle de la première électrode. Il existe déjà des dispositifs de ce genre. On 10 peut les répartir en dispositifs à résistance négative à effet de volume ("bulk effect"), par exemple des dispositifs à effet Gunn tels qu'ils sont décrits notamment dans le brevet américain N* 3•365.583» ou des amplificateurs à résistance négative à effet de volume tels que décrits dans la publication "Proceedings I.E.E.E.", pages J18 et 719» parue en 15 mai 1967» et en'diodes à effet d'avalanche tel que décrites notamment dans le brevet britannique N* 849.476. Lorsqu'on cherche à augmenter la puissance fournie par ces dispositifs, on se heurte à certaines difficultés, notamment en ce qui concerne le refroidissement indispensable en fonctionnement continu. 20 Le dégagement de chaleur est concentré dans une petite région située à proximité de ladite autre électrode. Avec des dispositifs semiconducteurs conçus pour engendrer ou amplifier des micro-ondes, la dissipation est relativement élevée, du fait que le rendement de ces dispositifs est assez bas. Etant donné qu'en général, la première électrode, située sur la 25 première face du corps semiconducteur, est placée en contact avec un corps refroidisseur, l'évacuation de la chaleur se fait â travers toute l'épaisseur du corps semiconducteur. Ceci provoque une résistance thermique assez considérable qui limite la dissipation possible. Pour augmenter la puissance fournie, on peut 50 agrandir la superficie de ladite autre électrode. Toutefois, on peut calculer qu'en agissant de la sorte lorsque le dispositif ne comporte qu'une seule autre électrode, il est souvent impossible d'atteindre, sans augmentation de température inadmissible, la densité de puissance requise pour un rendement convenable. A ce sujet, voir par exemple la publication 35 "Proceedings I.E.E.E.", pages 584 â 589» parue en septembre 1967. Pour obtenir un meilleur résultat, on peut monter plusieurs de ces dispositifs en parallèle. Ceci prend cependant beaucoup d'espace, tandis qu'il est souvent difficile d'obtenir des dispositifs identiques, en particulier en ce qui concerne leur fréquence d'oscilla-40 tion, de telle façon que le montage en parallèle puisse se faire sans BAD ORIGINAL 7004-919 2031421 inconvénient. L'invention vise notamment à fournir un dispositif ne présentant pas ces inconvénients ou du moins, avec lequel ces inconvénients sont réduits dans une forte mesure. 5 L'invention repose entre autres sur l'idée qu'en modifiant la construction du dispositif, on peut augmenter considérablement la dissipation admissible tauii^ que l'on a simultanément la possibilité d'utiliser une méthode de refroidissement beaucoup plus efficace. Un dispositif au genre spécifié dans le préam-10 bule conforme â la présente invention, est remarquable en ce que sur la face opposée précitée du corps seniconducteur sont appliquées au moins deux autres électrodes pratiquement identiques qui sur cette face opposée du corps semiconducteur en forme de plaque, font saillie sur le . corps et forment un contact avec une surface, de préférence pratiquement plane, 15 d'un corps refroidisseur conducteur de l'électricité et isolé du reste du corps semiconducteur. a 6 Le dispositif conforme à l'invention offre notamment l'important avantage qu'en utilisant plusieurs autres électrodes identiques, interconnectées éle- triquement et situées sur un même corps 20 semiconducteur, on connecte en parallèle plusieurs régions actives, de sorte que la puissance fournie peut être augmentée. D'autre part, du fait que ces régions actives se situent dans un même corps semiconducteur, les parties formées par ces régions actives avec les autres électrodes correspondantes et la première électrode sont suffisamment semblables pour 25 pouvoir être montées en parallèle sans inconvénient. ïïn autre avantage important du dispositif conforme â l'invention est qu'il est technologiquement beaucoup plus facile à réaliser que le montage en parallèle de dispositifs distincts avec des corps semiconducteurs séparés les uns des autres. 30 Du fait que selon l'invention les autres élec trodes font saillie sur le corps semiconducteur et forment contact avec un corps refroidisseur, le corps semiconducteur n'est pas refroidi du c8té de la première électrode, mais du côté des autres électrodes, contrairement à ce qui est le cas avec les dispositifs connus. Etant donné 35 que comme on l'a déjà mentionné, Ip dégagement de chaleur se fait dans une région relativement petite située directement à proximité des autres électrodes, on obtient ainsi un refroidissement beaucoup plus efficace. Par ailleurs, selon une forme de réalisation préférée du dispositif conforme à l'invention, il est particulièrement 40 avantageux d'élaborer trois autres électrodes que ne se- situent pas sur BAD ORIGINAL 7004919 3 2031421 une même ligne, étant donné qu'avec une telle construction, la position du corps semiconducteur dans une direction normale au plan de refroidissement est déterminée de façon univoque, de sorte qu'il ne peut pas se produire des instabilités mécaniques ce qui se traduirait par de moins 5 bons contacts entre la surface de refroidissement et une ou plusieurs des autres électrodes. L'invention est d'autre part particulièrement intéressante pour des dispositifs dont le corps semiconducteur comporte une couche épitaxiale d'un premier type de conduction, sur laquelle sont 10 placées les autres électrodes, cette couche étant élaborée sur un substrat du premier type de conduction à concentration de dopage plus forte que celle de la couche épitaxiale, substrat sur lequel est placée la première électrode précitée. Du fait que les autres électrodes ont de très petites dimensions (de l'ordre de 100yu), un dispositif de ce genre 15 ne comportant qu'une seule autre électrode, ne peut pas être monté, avec cette autre électrode, sur une surface de refroidissement sans que l'on doive prendre des mesures relativement compliquées pour éviter que la mince couche épitaxiale entre en contact avec le corps refroidisseur conducteur de l'électricité et soit de ce fait court-circuitéèavec le sub-20 strat. Grfice â l'invention, cet inconvénient est évité du fait de la présence de plusieurs autres électrodes qui font en sorte que la couche épitaxiale soit partout pratiquement à la même distance de la surface de refroidissement. Selon une autre forme de réalisation préférée, 25 lesdites autres électrodes et les parties du corps semiconducteur sur lesquelles ces électrodes sont élaborées "foxment des structures mesa. Les électrodes sont par exemple des couches métalliques déposées par évaporation et font saillie suri la partie de corps semiconducteur non occupée par les mesa. Bans d'autres cas par exemple, lorsqu'il s'agit 30 de structure du type "planar", les autres électrodes sont élaborées avantageusement sur une face pratiquement plane du corps et font ainsi saillie sur une distance égale à leur épaisseur. L'invention est particulièrement avantageuse dans les cas où le dispositif est un dispositif à résistance négative à effet 35 de volume, par exemple un dispositif â effet Gunn ou un amplificateur à résistance négative â effet de volume, les autres électrodes formant un contact pratiquement ohmique avec le corps semiconducteur. D'autre part, on utilise, de préférence, si comme d'habitude le corps semiconducteur est à, conduction de type n, la première électrode comme anode et les 40 autres électrodes comme cathode. Il est en effet difficile du point de 7004919 4 2031421 vue technologique d'appliquer, en particulier sur du matériau semiconducteur à résistivité relativement élevée, commë celui de la couche épitaxiale précitée, un contact qui n'injecte pas de porteurs de charge minoritaires dans le corps semiconducteur, dans aucun des deux sens de 5 polarisation, ce qui en général est souhaitable avec des dispositifs à effet Gunn. C'est pourquoi on soumet généralement une autre électrode, appliquée sur du matériau de type n à résistivité relativement élevée, comme c'est le cas pour des dispositifs â effet Gunn où l'on utilise l'arséfaiure de gallium de type n, de préférence à un potentiel négatif 10 par rapport au corps semiconducteur, de sorte que si l'on ne forme pas un contact tout S fait non injecteur, ce contact soit au moins polarisé de telle façon qu'il ne se produise pas d'injection. Selon une autre forme de réalisation préférée, le corps semiconducteur comporte entre la première électrode et les autres 15 électrodes au moins deux diodes à effet d'avalanche pratiquement identiques. Les autres électrodes forment alors par exemplç un contact redresseur métal-semiconducteur (barrière de Schottky) avec le corps semiconducteur, ou contactent des zones d'un type de conduction qui sont limitrophes d'une partie de corps semiconducteur de type de conduction 20 opposé avec laquelle ces zones forment des jonctions p-n, qui de préférence se terminent à une même face plane du corps, alors; que pour augmenter la stabilité, cette face plane est avantageusement recouverte d'une couche isolante, élaborée au moins sur les jonctions p-n. On utilise avantageusement une forme de réalisation suivant laquelle les autres 25 contacts sont appliqués sur une couche épitaxiale à résistivité relativement élevée, appliquée sur un substrat â résistivité relativement basse, alors qu'entre la première électrode et les autres électrodes est appliquée une tension de blocage telle que les zones de désertion s'étendent au moins jusqu'au substrat. Du fait que la zone d'épuisement ne 30 pénètre pratiquement pas dans le substrat à faible résistivité, les zones de désertion situées sous les différentes autres électrodes ont pratiquement toutes la même épaisseur, de sorte que toutes les diodes à effet d'avalanche formées par les autres électrodes et le corps semiconducteur ont des caractéristiques suffisamment similaires pour pouvoir être montées 35 en parallèle conformément â l'invention. Voir à ce sujet également la publication "Proceedings I.S.E.E.", page 105, parue en janvier 19^8. La description suivante, en regard des dessins annexés, le tout donné â titre d'exemple, fera bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. 40 La fig. 1 est une vue en plan schématique d'un BAD ORIGINAL 7004919 5 2031421 dispositif semiconducteur conforme à l'invention. La fig. 2 est une coupe schématique du dispositif de la fig. 1 suivant le plan II-II indiqué sur la fig. 1. La fig. 3 est une vue-en plan schématique d'un 5 autre dispositif conforme â l'invention. La fig. 4 est une coupe schématique du dispositif de la fig. 3 suivant le plan IV-IV indiqué sur la fig. 3« Les dimensions sur les figures ne sont pas représentées â la même échelle, et pour plus de clarté, on a notamment forte-10 ment exagéré les dimensions dans le sens de l'épaisseur du corps semiconducteur. Sur les figures, les éléments correspondants portent les mêmes références. La fig. 1 est une vue en plan d'un dispositif semiconducteur conforme à l'invention, en l'occurrence un dispositif à 15 effet Gunn, dont la fig. 2 montre une coupe transversale suivant le plan II-II indiqué sur la fig. 1. Le dispositif comporte un oorps semiconducteur (1) en forme de plaque, constitué d'arséniure de gallium de type n et mesurant 770 x 700 x 100 microns. Sur une face est appliquée une électrode (?) 20 (voir fig. 2) ayant la forme d'une couche métallique d'un micron d'épaisseur constituée par un alliage renfermant en poids 88$ de Au . et 12/a de Ge. La couche constituant l'électrode (2) forme un contact pratiquement ohmique avec la pïaque d'arséniure de gallium (1). Sur l'autre face de la plaque se trouvent trois 25 autres électrodes (3), (4) et (5)- L'emplacement qu'occupent ces électrodes est indiqué en pointillés sur la fig. 1. Les électrodes (3)» (4) et (5) sont formées par des couches d'or et de germanium qui forment un contact pratiquement ohmique avec la plaque (1). Ces électrodes ont un diamètre d'environ 100 microns. Le point central forme un triangle équi-30 latéral dont les côtés ont 400 microns de longueur. Les électrodes (3)» (4) et (5) (voir fig. 2) sont élaborées sur des "mesas" qui font saillie hors de la plaque (1) et forment contact avec une surface plane du corps refroidisseur (6) en cuivre qui est isolé du corps semiconducteur (1), excepté aux emplacements 35 de contact avec les électrodes (3), (4) et (5). Les électrodes (3), (4) et (5) sont interconnectées électriquement par la plaque de refroidissement (6). La plaque de semiconducteur (1) comporte une couche épitaxiale (7) (voir fig. 2) de GaAs de type n avec une concen-40 tration en donneurs de 10^ atomes/cms et une épaisseur de 10 microns, BAD ORIGINAL 7004919 6 2031421 cette couche (7) étant appliquée sur un substrat en GaAs de type n avec 18 * i une concentration en donneurs de 10 atomes/cm et une épaisseur de 90 microns. Lorsque le dispositif est en fonctionnement (voir la fig.2), nne 5 tension positive par rapport aux électrodes (3), (4) et (5) est appliquée à la couche-électrode (2). Lorsque la tension est suffisamment élevée entre les contacts de cathode (3), (4) et (5) et le contact d'anode (2), il peut se produire comme on le sait dans la couche épitaxiale (7) â l'endroit de chacune des cathodes (3)» (4) et (5) une résistance diffé-10 rentielle négative qui peut conduire â la .formation ou à l'amplification d'oscillations électriques de fréquence élevée. Le dégagement de chaleur se fait surtout dans la couche (7)» lui est directement en contact par l'intermédiaire des contacts de cathode (3)» (4) et (5) avec le corps de refroidissement (6) et peut donc être refroidie très efficacement. Par 15 suite de l'emplacement qu'occupent les contacts de cathpde (3)» (4) et (5)t on obtient un agencement très stable, et on évite le contact de la couche épitaxiale (7) avec le corps de rpfroidissement conducteur de l'électricité (6). Du fait que les électrodes (3), (4) et (5) sont 20 utilisées comme cathodes, si une ou plusieurs de ces électrodes ou des parties de celle-ci forment avec la couche de type n (7) à. résistivité relativement élevée, une jonction par l'intermédiaire de laquelle il peut se pz-oduire une injection de trous dans la couche (7), cette jonction est polarisée dans le sens du blocage de sorte que l'injection précitée 25 est évitée. Le dispositif suivant les figures 1 ët 2 peut par exemple être fabriqué de la façon suivante. On utilise au départ une plaque d'arséniure de gallium de type n, mesurant 4x6 mm. Sur cette plaque on peut élaborer 30 simultanément des dispositifs selon les figures 1 et 2, qui sont séparés ensuite de façon usuelle par sciage et/ou par rupture. On va maintenant décrire en se référant â un seul dispositif, la façon dont ces dispositifs sont fabriqués, et il est évident que chaque opération est effectuée sur tous les dispositifs se trouvant sur la plaque. 35 La plaque de GaAs de type n précitée est consti- 18 tuée par un substrat (8) avec une concentration de dopage de 10 atomes par cm5 et une couche épitaxiale (7) de 10 microns d'épaisseur et à concentration de dopage de 10^ atomes/cm3. La plaque est meulée du cêté du substrat à l'aide de techniques usuelles et décapée jusqu'à ce qu'elle BAD ORIGINAL 7004919 7 2031421 atteigne une épaisseur totale de 100 microns, après quoi on dépose par évaporation sur cette face une couche (2) d'un alliage de Q&ji de Au et de 12e/ de Ge, de 1 micron d'épaisseur. Ensuite, on dépose par évaporation sur l'autre 5 face de la couche épitaxiale, une couche de 1 micron d'épaisseur du même alliage or-germanium et là-dessus, une couche d'or de 1 micron d'épaisseur. Par chauffage à environ 380°C, 1''adhérence de ces couches sur le GaAs est améliorée. Ensuite, S l'aide de techniques de décapage photolithographiques connues dans la technique des semiconducteurs, on enlève le métal qui se trouve sur la couche épitaxiale sauf à l'endroit des électrodes (3), (4) et (5)» C omme décapant on utilise une solution de 100 g d'iodure de potassium et 50 g d'iode dans 1000 cm3 d'eau. Ensuite, iivant d'enlever le phntorésist qui se trouve sur les électrodes (3), (4) et (5) on décapp la couche épitaxiale 15 (7) avec une solution de 3 parties en volume d'acide sulfurique, une partie en volume de peroxyde d'hydrogène à JCté, et une partie en volume d'eau jusqu'à ce que l'arséniure de gallium aoit enlevé sur une épaisseur de 7 microns, de sorte que l'on obtient les mésas visibles sur la fig. 2. Au besoin on peut également décaper sur toute l'épaisseur de la 20 couche épitaxiale (7). Le dispositif est ensuite appliqué avec les électrodes (3), (4) et (5) sur une plaque de refroidissement (6) en cuivre doré et fixé sur celle-ci païf thermopression à environ 320°C. La couche constituant l'électrode (2) et la plaque de refroidissement (6) sont 25 munies de conducteurs d'alimentation et le dispositif est au besoin placé dans une enveloppe appropriée. La fig. 3 est une vue en plan et la fig. 4 une coupe suivant le plan IV-IV d'un autre dispositif semiconducteur conforme à l'invention. Le corps semiconducteur comporte trois diodes à avalanche 30 identiques. Le dispositif comporte un corps semiconducteur (1) en silicium de type n (voir fig. 4) constitué par un substrat (8) de 90 microns d'épaisseur avec une concentration de dopage de 7.10^® atomes/cm5 et une couche épitaxiale (7) d'une épaisseur de 10 microns ayant une concentration de dopage 5«10^ atomes/cm3. Les autres dimensions sont identiques 35 & celles du dispositif des figures 1 et 2. Sur la plaque de silicium (1) est appliquée d'un côté du substrat (8) une couche (2) constituant une électrode, formée par une couche de titane de 0,1 micron d'épaisseur appliquée sur le silicium et sur laquelle est appliquée une couche d'or de 1 micron d'épaisseur. La couche épitaxiale est recouverte d'une couche 40 (28) d'oxyde de silicium de 0,2 micron d'épaisseur, jja couche épitaxiale BAD ORIGINAL 7004919 8 2031421 - est constituée par trois zones diffusées de type p de 7 microns d'épaisseur, dont la fig. 4 en montre deux (26, 27) en coupe; à travers des fenêtres pratiquées dans la couche d'oxyde (28) ces zones sont reliées électriquement aux autres électrodes (23), (24) et (25) en or. Le dis-5 positif est appliqué avec ces autres électrodes (23), (24) et (25) sur une plaque de refroidissement en cuivre (6). Lorsque le dispositif est en fonctionnement (voir la fig. 4), on applique entre la couche constituant l'électrode (2) et la plaque de refroidissement (6) une différence de potentiel telle que les 10 jonctions p-n entre les zones diffusées de type p (26), (27) et la couche de type n (7) est- polarisée dans le sens du blocage. Dans ce cas la couche désertée de chacune des diodes s'étend dans la couche épitaxiale au moins jusqu'au substrat (voir la fig. 4 dans laquelle la limite entre ces couches de désertion et la couche épitaxiale est représentée en 15 pointillés). La tension de clàquage ainsi que la fréquence optimale de chaque diode est déterminée avec cette construction p&r la distance entre les zones de type p (26 et 27) et le substrat (8). Cette distance peut être dans ce cas très exactement égale pour toutes les diodes de sorte que ces diodes conviennent très bien pour être utilisées en parallèle 20 selon l'invention. Grâce â ce mode de refroidissement, la dissipation tolérée et la puissance fournie peuvent, comme pour l'exemple précédent, plus être notablement plus élevées que lors de l'utilisation d'un même nombre de diodes distinctes de construction connue, en particulier si celles-ci, comme d'habitude, sont refroidies du côté du subBtrat. 25 Le dispositif décrit peut être fabriqué de la façon suivante. On utilise au départ une plaque de silicium de type n ayant un diamètre de 25 mm. Sur la plaque on peut, dans l'exemple précédent, fabriquer simultanément Tin grand nombre de dispositifs. La plaque est constituée par un substrat de type n de 90 microns d'épaisseur et à 30 concentration de dopage de 7»10^ atomes/cm8, sur lequel est appliquée une couche épitaxiale de type n à concentration de dopage de 5.101^ atomes/cm8 et de 10 microns d'épaisseur. Sur la couche épitaxiale, on fait croître par oxydation thermique une couche d'oxyde de silicium de 0,2 micron d'épaisseur. En utilisant des techniques usuelles pour les 35 structures de semiconducteur planaires, on décape la couche d'oxyde des fenêtres â travers lesquelles on peut faire diffuser du bore jusqu'à une profondeur de 7 microns. Ensuite, on dépose par évaporation, du côté du substrat, une couche-électrode en un alliage d'or avec I/o en poids 4Q d'antimoine. Cette couche forme un contact pratiquement ohmique avec le BAD ORIGINAL' 7004919 9 2031421 substrat. Sur l'autre face on dépose â partir de la phase gazeuse une couche de titane de 0,1 micron d'épaisseur sur laquelle est déposée à partir de la phase gazeuse une couche en or de 1 micron d'épaisseur. Avec des techniques de décapage photolithogra-5 phiques connues, cette couche est ensuite enlevée sauf à l'endroit des fenêtres dans la couche d'oxyde. Sur la couche de titane-or subsistant on fixe à l'aide des techniques de thermopression connues l'extrémité sphérique d'un fil d'or, après quoi en coupant le fil on laisse subsister des sphérules d'or d'un diamètre de 60 microns sur les 10 diodes. Avec ces sphérules, le dispositif est fixé sous pression à une température d'environ 320*0 sur la plaque de cuivre dorée (6), puis l'ensemble est assemblé de la même façon que dans le premier exemple. Il est évident que l'invention n'est pas limitée aux exemples de réalisation décrits ci-dessus mais que le spécialiste 15 pourra imaginer de nombreuses variantes sans sortir du cadre de la présente invention. C'est ainsi qu'on peut utiliser outre la plaque de refroidissement citée dans les exemples, une deuxième plaque de refroidissement qui forme contact avec la première électrode, alors que le dispositif est serré entre les deux plaques de refroidissement en vue d'ob-20 tenir un refroidissement encore plus efficace. Les autres contacts sont réalisés comme structures mésa ou comme sphérules contact alliées faisant saillie aussi bien pour des dispositifs à résistance négative à effet de volume que pour des diodes â avàlanche. Les dimensions, les concentrations de dopage et les matériaux utilisés peuvent être modifiés 25 à discrétion. { | ? .h BAD ORIGlN/j' 7004919 10 2031421 ■ asyaiMCATioiiS: 1. Disposatif semiconducteur conçu pour engendrer ou amplifier des micro-ondes et comportant un corps semiconducteur en forme de plaque d'un premier type de conduction, alors que sur une face 5 du corps est appliquée une première électrode qui forme pratiquement un contact ohmique avec le corps semiconducteur tandis que sur la face opposée est appliquée au moins une autre électrode dont la superficie est considérablement plus petite qxie celle de la première électrode, ce dispositif étant caractérisé en ce que sur la face opposée précitée du 10 corps semiconducteur sont appliquées au moins deux autres électrodes pratiquement identiques qui sur cette face opposée du corps semiconducteur en forme de plaque, font saillie sur le corps et forment un contact avec une surface, de préférence pratiquement plane, d'un Corps refroidisseur conducteur de l'électricité et isolé du reste du corps semiconducteur. 15. 2. Dispositif semiconducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'on élabore trois autres électrodes qui ne se situent pas sur une même ligne. 3. Dispositif semiconducteur selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le corps semiconducteur comporte line couche 20 épitaxiale du premier type de conduction sur laquelle sont appliquées les autres électrodes, cette couche étant élaborée sur un substrat du premier type de conduction avec une concentration de dopage plus élevée que la couche épitaxiale, substrat sur lequel est appliquée la première électrode. 4. Dispositif semiconducteur selon l'une des reven-25 dications 1 â 3» caractérisé en ce que les autres électrodes et les parties du corps semiconducteur sur lesquelles ces électrodes sont élaborées forment des structures mesa. 5. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les autres électrodes sont éla- 30 borées sur une face pratiquement plane du corps semiconducteur. 6. Dispositif semiconducteur selon l'une des revendications 1 â 5» caractérisé en ce que le dispositif est un dispositif â résistance négative à effet de volume, dans lequel les autres électrodes forment un contact pratiquement ohmique avec le corps semiconducteur. 35 7. Dispositif semiconducteur selon la revendication 6, caractérisé en ce que la première électrode constitue le contact d'anode et les autres électrodes les contacts de cathode du dispositif. 8. Dispositif semiconducteur selon l'une des reven dications 1 à 5» caractérisé en ce que le corps semiconducteur comporte 40 la première électrode et les autres électrodes au moins deux diodes à BAD ORIGINAL 7004919 n 2031421 effet d'avalanche identiques. 9. Dispositif semiconducteur selon la revendication 8, caractérisé en ce que les autres électrodes et le corps semiconducteur forment un contact redresseur métal-semiconducteur. 5 10. Dispositif send conducteur.selon la revendication 8, caractérisé en ce que les autres électrodes contactent des zones d'un type de conduction qui sont limitrophes d'une partie de corps semiconduc-" teur de type de conduction opposé avec lesquelles ces zones forment des jonctions p-n. 10 11. Dispositif semiconducteur selon les revendica?- tions 5 et 10, caractérisé en ce que lesdites jonctions p-n se terminent â une même face plane du corps semiconducteur. 12. Dispositif semiconducteur selon la revendication 11, caractérisé en ce que ladite face plane est recouverte d'une couche 15 isolante, élaborée au moins sur les jonctions p-n. 15. Dispositif semiconducteur selon les revendications 3 et 8, caractérisé en ce qu'entre la première électrode et les autres électrodes est appliquée une tension dans le sens du blocage suffisamment élevée poux que les couches de désertion dans la couche épitaxiale s'étendent 20 au moins jusqatau sabstrat. 14. Dispositif semiconducteur selon l'une des reven dications: 1 à 13, caractérisé en ce que l'on utilise une deuxième plaque de refroidissement qui fait contact avec la première électrode. BAD ORIGINA1