Brevet FR2053154A1 — publié le 19710416

Dans la fabrication des circuits intégrés et autres composants électroniques, on réalise normalement les divers circuits individuels en formant des pastilles relativement grandes dont chacune contient un grand nombre de circuits individuels. Jusqu'à 5 présent, ces pastilles étaient habituellement formées par un traitement de fabrication qui comportait des opérations discontinues. Dans ces opérations, on charge de grands nombres de pastilles dans des récipients pour les traiter en groupe. La présente invention se rapporte au transport et à la 10 mise en position de pastilles pour circuits intégrés et autres pièces analogues dans une installation de traitement à circulation continue des pastilles. Dans une telle installation, chaque phase du traitement est appliquée individuellement à chaque pastille. Suivant l'invention, les pastilles sont transportées d'un poste à 15 l'autre d'une installation de traitement par des jets d'air comprimé. Les pastilles sont immobilisées et mises en position en divers points de l'installation par des aspirations qui freinent les pastilles et les mettent en position. Dans la forme préférée de réalisation, l'invention a 20 pour objet un dispositif transporteur et de mise en position comprenant des jets porteurs de pièces et au moins une bouche d'aspiration pour le freinage des pièces. Ce dispositif comporte de préférence un organe de positionnement des pièces qui est adjacent à la bouche de freinage par aspiration dans le sens du mouvement de 25 la pièce. D'autres caractéristiques de l'invention apparaîtront au cours de la description qui va suivre. Aux dessins annexés, donnés uniquement à titre d'exemples : 30 la Fig. 1 est une vue de dessus d'une partie d'un dispo sitif de transport et de mise en position suivant l'invention ; la Fig. 2 est une vue en coupe prise suivant la ligne 2-2 de la Fig. 1, dans le sens des flèches ; la Fig. 3 est une vue en coupe prise suivant la ligne 35 3-3 de la Fig. 2, dans le sens des flèches. Suivant l'exemple d'exécution représenté sur le dessin, le dispositif de transport et de mise en position 10 constitue une portion représentative d'un dispositif de transport et de positionnement de beaucoup plus grande dimension, destiné à être utilisé 40 avec une installation de traitement des pastilles pour circuits 70 27177 2 2053154 intégrés en circulation continue, ou installation équivalente. Le dispositif de transport et de mise en position a pour fonction de faire circuler les pastilles dans l'installation de traitement et de positionner les pastilles avec précision en divers points de 5 cette installation. Comme on peut le voir sur la Fig. 2, le dispositif 10 comprend une plaque de fond ou du plancher 12, de forme allongée, qui est fixée à deux éléments 14 d'un châssis par des vis 16. La plaque 12 porte à son tour deux guides 18. Ces derniers s'étendent 10 le long des côtés opposés du fond 12 et sont fixés à ce fond par des vis 20. Ainsi qu'on peut le voir plus clairement sur la Fig. 3, une cavité 22 à section circulaire, formant collecteur,traverse longitudinalement la plaque 12 du fond. Des trous 24 de projection 15 de jets porteurs et propulseurs des pastilles traversent la plaque de fond 12 dans des directions inclinées pour relier la cavité 22 à la surface supérieure de la plaque 12. Pendant l'utilisation, un fluide sous pression, par exemple de l'air comprimé, est continuellement injecté dans la cavité 22. L'air comprimé passe par les 20 trous 24 pour former des jets qui portent et propulsent les pastilles au-dessus du fond 12. Les jets forment un coussin d'air qui porte les pastilles pour circuits intégrés ou autres pièces analogues au-dessus de la surface supérieure de la plaque de fond 12. Les jets propulsent également les pastilles le long de la plaque 25 de fond 12 dans une direction qui correspond au sens de l'inclinaison des trous 24, c'est-à-dire vers la gauche sur la Fig. 3. Ainsi qu'on peut mieux le voir sur les Fig. 1 et 2, la plaque de fond 12 comporte également deux trous 26 de freinage des pastilles. Ces trous 26 sont reliés à un passage 28 qui est formé 30 dans l'épaisseur du fond 12, dans une direction latérale et qui est bouché par une vis d'arrêt 30. Un raccord 32 est monté dans la face inférieure de la plaque de fond 12 et a pour fonction de relier le passage 28 à la source de vide (non représentée) à travers un robinet 34. 35 Pendant le fonctionnement du dispositif de transport et de mise en position 10, le robinet 34 est actionné pour relier les trous de freinage 26 à la source de vide chaque fois qu'une pastille doit être immobilisée en un point de la plaque de fond 12 qui correspond au positionnement des trous 26. Lorsqu'une pastille se 40 trouve au-dessus des trous 26, la dépression qui règne dans ces 70 27177 3 2053154 trous attire les pastilles et les applique et les fait frotter sur la surface supérieure de la plaque de fond 12, en antagonisme avec l'action des jets d'air comprimé qui sont projetés par les trous 24. 5 Le frottement entre la pastille et la plaque de fond 12 empêche la pastille de continuer à se déplacer le long de la plaque 12 sous l'action des jets. En raison des variations de poids et de vitesse des pastilles transportées par le dispositif 10, on ne peut pas compter sur l'action des trous de freinage 26 pour 10 arrêter toutes les pastilles exactement au même point. C'est pourquoi le dispositif 10 est muni d'une série de trous 36 de position nement des pastilles. Ainsi qu'on l'a représenté sur la Fig. 1, les trous 36 sont percés à travers la plaque 12 en des points qui sont adjacents aux trous 26 dans le sens du mouvement de la pastil 15 le le long de la plaque de fond 12. Bien que les trous 36 puissent être disposés de n'importe quelle façon appropriée, ils sont de préférence disposés en une ligne semi-circulaire qui est étroitement parallèle à la périphérie externe des pastilles transportées""" dans le dispositif 10. Les trous 36 sont formés de la même façon 20 que les trous 26 et reliés, à travers un robinet (non représenté) à une source de vide (également non représentée). Les trous de positionnement 36 sont mis en action pour positionner avec précision une pastille qui a été arrêtée par les trous de freinage 26. Lorsqu'une pastille se déplace le long de la 25 plaque de fond 12, on engendre tout d'abord une dépression dans les trous 26 pour appliquer et faire frotter la pastille sur la plaque de fond 12, ce qui arrête le mouvement de la pastille. Ceci place la pastille à très faible distance de sa position nominale sur la plaque 12 mais pas avec précision. 30 Lorsque la pastille s'est arrêtée, on supprime la dépres sion qui est transmise par les trous 26 et on engendre une dépression dans les trous 36. Etant donné que l'air comprimé est continuellement refoulé à travers la chambre 28 pour former les jets porteurs et propulseurs des pastilles, les pastilles commencent 35 aussitôt à se diriger des trous 26 vers les trous 36. Dès que la pastille se trouve en coïncidence avec les trous 36, elle est appliquée avec frottement sur la plaque de fond 12, ce qui interrompt à nouveau son mouvement d'avance. Grâce à la distance relativement petite qui sépare les trous 26 des trous 36, 40 la pastille n'acquiert qu'une faible inertie pendant le trajet 70 27177 4 2053154 qu'elle parcourt entre les trous 26 et les trous 36. Les trous 36 positionnent donc la pastille avec une très grande précision par rapport à la plaque de fond 12. Il va de soi que le dispositif de transport et de positionnement représenté sur le dessin n'est don-5 né qu'à titre d'exemple et que l'on peut adopter de nombreuses autres dispositions. Par exemple, on peut utiliser des ergots rétractables ou d'autres butées mécaniques en remplacement des trous pour fixer avec précision la position des pastilles qui ont été préalablement immobilisées par les trous de freinage 26. Inverse-ÎO ment, on peut utiliser divers dispositifs autres que le frein à aspiration pour ralentir ou immobiliser initialement les pastilles avant qu'elles ne soient positionnées avec précision par les trous de positionnement 36. Indépendamment de l'agencement adopté, le dispositif de transport et de positionnement suivant l'invention 15 transporte les pastilles pour circuits intégrés, ou autres pièces analogues, sur un certain trajet, à grande vitesse mais cependant sans à-coup, et pour positionner ces pièces avec précision en des positions prédéterminées le long de ce trajet. 70 27177 5 2053154 REVENDICATIONS 1 - Dispositif de transport et de mise en position de pièces, caractérisé en ce qu'il comprend : des moyens situés le' long d'un trajet prédéterminé et qui engendrent des jets porteurs 5 et propulseurs qui portent et propulsent les pièces, et des moyens qui engendrent une aspiration capable d'immobiliser les pièces en un point prédéterminé de ce trajet. 2 - Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend de plus des moyens disposés sur ledit trajet, à 10 proximité des moyens générateurs d'aspiration, pour positionner les pièces qui ont été immobilisées par l'aspiration. 3 - Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens de' positionnement comprennent des moyens qui engendrent une aspiration capable de positionner les pièces en un 15 point situé au-delà dudit point prédéterminé, dans le sens du mouvement des pièces. 4 - Dispositif de transport et de positionnement de pièces, caractérisé en ce qu'il comprend un couloir de guidage comportant des trous pour la projection de jets et au moins un trou 20 d'aspiration ; des moyens qui font passer un fluide à travers les trous de projection de jets, pour former une série de jets porteurs qui supportent les pièces ; et des moyens capables d'engendrer sélectivement dans le trou d'aspiration une dépression capable d'attirer les pièces. 25 5 - Dispositif suivant la revendication 4, caractérisé en ce que les trous de projection de jets sont inclinés par rapport . au couloir de guidage de façon que les jets propulsent les pièces le long de ce couloir, et en ce que le développement de la dépression arrête le mouvement des pièces par rapport au couloir de gui- 30 dage en appliquant les pièces avec frottement sur le couloir. 6 - Dispositif suivant la revendication 4, caractérisé en ce que la formation des jets engendre une force de propulsion des pièces et en ce que le développement de la dépression engendre une force de freinage des pièces, le dispositif comprenant de plus 35 des moyens qui positionnent avec précision les pièces qui ont été immobilisées par le développement de la dépression. 7 - Dispositif suivant la revendication 6, caractérisé en ce que les moyens de positionnement comprennent un deuxième trou d'aspiration formé dans le couloir de guidage, et des moyens qui 40 engendrent sélectivement dans le deuxième trou d'aspiration une 70 27177 6 2053154 dépression capable d'attirer les pièces. 8 - Dispositif de transport et de mise en position de pastilles dans installation de fabrication de composants électroniques, caractérisé en ce qu'il comprend : un couloir de guidage qui com- 5 porte un fond de forme allongée et des guides disposés sur les deux cotés opposés de ce fond ; des moyens disposés le long d'une ligne qui s'étend sur la longueur du fond et qui ont pour fonction de projeter à travers le fond une série de jets porteurs et propulseurs qui portent et transportent les pastilles ; et des moyens qui 10 ont pour fonction d'attirer sélectivement les pastilles pour les faire frotter sur une partie prédéterminée du fond à 1'encontre de l'action des jets. 9 - Dispositif suivant la revendication 8, caractérisé en ce que les moyens qui appliquent les pastilles sur le fond compren- 15 nent deux trous pratiqués dans le fond de part et d'autre de ladite ligne des moyens de projection des jets, et des moyens qui engendrent sélectivement une dépression dans ces derniers trous. 10 - Dispositif suivant la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comprend de plus un trou de positionnement des pastilles 20 pratiqué dans le fond du couloir en un point adjacent à ladite paire de trous, dans le sens du mouvement des pastilles, et des moyens qui engendrent une dépression dans le trou de positionnement lorsque la dépression a été relâchée dans ladite paire de trous.