Brevet FR2039413A1 — publié le 19710115

La présente invention concerne un procédé d'équilibrage d'un appareil de mesure d'épaisseur dans lequel, pendant la mesure, une 5 sonde, par ex. une bobine parcourue par un courant alternatif, est influencée en fonction de l'épaisseur du revêtement d'un objet à mesurer, la valeur mesurée par la sonde, par ex. une tension ou une fréquence est comparée à une valeur de référence correspondante, et selon la grandeur de la différence des deux valeurs, on peut déter-10 miner l'épaisseur du revêtement. Un problème particulier à ce genre d'appareil est constitué par la stabilité des circuits générateurs des grandeurs de mesure et de référence, en particulier de la fréquence de mesure et de référence, qui sont soumis à des effets non liés à la mesure elle-même, 15 par ex. les variations de température. Sous l'action de ces effets parasites, on ne peut pas escompter que les grandeurs de mesure et de référence varient d'une manière égale, de façon qu'elles n'aient aucune influence sur le résultat de la mesure. Ce problème se présentant surtout dans le cas de systèmes à un 20 seul capteur, est en général résolu en pratique, par l'emploi de plusieurs capteurs qui indiquent, non pas la valeur absolue de l'épaisseur du revêtement., mais les variations aux différents points de mesure. Entre-autre, le système d'un seul capteur se déplaçant sur l'objet à mesurer, par ex. sur la circonférence d'un 25 câble, pour contrôler la constance de l'épaisseur, est connu. De même, ce système ne permet pas de faire des mesures absolues exactes, car il n'est pas possible en pratique de compenser un décalage du point zéro, en cours de mesure. Le but de l'invention présente est de créer un procédé d'équi-30 librage pour appareils de mesure pour épaisseurs de couches, permettant une mesure précise de la valeur absolue de l'épaisseur de revêtements, au moyen d'un seul capteur, avec un réglage simple et rapide du dispositif de mesure en cours de processus, sans employer d'échantillons d'étalonnage et permettant à tout moment, le con-35 trôle de l'exactitude de la valeur indiquée. Le procédé conforme à l'invention, est caractérisé par le fait qu'avant le début de la mesure, un équilibrage de la grandeur de mesure est effectué, dans le cas ou le capteur reçoit la même influence qu'en position de 70 14898 2 2039413 mesure d'une épaisseur de couche nominale, une des deux grandeurs, soit la valeur de référence ou celle de mesure est ajustée jusqu'à ce que la valeur correspondant à l'épaisseur nominale du revêtement soit,indiquée ; de même, un équilibrage de la grandeur de référence 5 est aussi effectué dans le cas du capteur non influencé, une des deux grandeurs est amenée sur une valeur de référence, par une commutation préréglée, et l'autre grandeur, soit la valeur de mesure ou celle de référence, est ajustée jusqu'à ce que la valeur correspondant à l'épaisseur nominale soit indiquée et que pendant 10 la mesure, un équilibrage de la valeur de référence, soit, indirectement, un équilibrage de la valeur de mesure soit répété. En d'autres termes, un équilibrage de référence est rendu possible, car le capteur est éloigné de la zone d'influence d'un objet à mesurer ou d'un échantillon et par une commutation électronique, 15 l'influence de cet éloignement exercée sur la grandeur de mesure est compensée, le réglage étant effectué dans ces conditions. Dès que le capteur est remis dans sa position de mesure et que la compensation exercée par la commutation électronique est annulée, on peut admettre, et des. essais tris poussés ont prouvé cette affirma-20 tion avec une exactitude surprenante, que l'équilibrage adéquat pour la mesure, est ainsi obtenu. L'invention comprend aussi un dispositif pour un appareil de mesure de l'épaisseur permettant la mise en oeuvre.du procédé décrit précédemment avec un circuit de mesure relié au capteur et un 25 circuit de référence, ainsi qu'un montage de référence, avec une sortie de mesure, et'des moyens' permettant 1'éloignement du capteur par rapport à la zone d'influence d'un objet à mesurer ou d'un échantillon, ledit dispositif étant caractérisé par le fait que- les deux circuits, indépendants du capteur, sont munis d'éléments 30 d'équilibrage permettant un changement des valeurs de sortie st qu'un circuit peut-être déconnecté des éléments d'équilibrage qui lui sont reliés et commuté sur un circuit de référence fixe, de façon à avoir une influence prédéterminée sur la grand-eur de sortie. Comme il a déjà été mentionné, un avantage considérable est 35 donné par le fait, que selon le procédé conforme à l'invention,- une mesure absolu? exacte est rendue possible par un rééquilibrage simple et pouvant être effectué à tout moment. Cela nécessite dans tous les cas, en plus d'un équilibrage exact, par ex. réglage au 70 14898 3 2039413 point zéro, également un étalonnage. En résumé, l'invention concerne donc un procédé et un dispositif particulièrement adapté pour simplifier et faciliter l'équilibrage et l'étalonnage en vue d'effectuer des mesures au moyen d'un appareil de mesure d'épaisseur. 5 Auparavant, l'étalonnage et l'équilibrage étaient effectués au moyen d'échantillons précis d'objets de mesure ou d'étalonnage de différentes sortes et dimensions dont l'approvisionnement, et la conservation étaient un inconvénient. Pour pouvoir effectuer l'équilibrage et l'étalonnage de différents objets à contrôler, il 10 est nécessaire de disposer de différents échantillons d'étalonnage. Les échantillons de mesure ou d'étalonnage-doivent correspondre réellement aux objets à mesurer, c.a.d. qu'ils doivent présenter une épaisseur exacte du revêtement isolant sur une âme métallique bien définie. 15 Un des buts de l'invention présente est aussi de remédier à ces inconvénients et en même temps de simplifier l'étalonnage et l'équilibrage à zéro et de rendre le système universel. Donc, il est possible de prévoir des équipements de mesure simples et peu coûteux, avec un système d'étalonnage exact et universel. Ce dis-20 positif conforme à l'invention est caractérisé par au moins un support réglable avec un équipement de mesure pour contrôler la position, respectivement la course réglable du support et au moins une fixation faisant partie du support. Le support et la fixation étant conçus pour recevoir un équipement de mesure, respectivement, 25 un objet à mesurer ou un échantillon. Ainsi qu'il est décrit en détail plus loin, ce dispositif permet le réglage exact de l'écar-tement réciproque entre l'équipement de mesure et l'échantillon d'étalonnage en vue de l'étalonnage, respectivement, de l'équilibrage à zéro. En qualité d'échantillons d'étalonnage, on peut em-30 ployer des pièces métalliques nues, des conducteurs de câbles, par ex. Dans les pages suivantes, l'invention est décrite au moyen de deux exemples de réalisation. La fig. 1 montre un dispositif vu de côté, partiellement en 35 coupe. La fig. 2 montre d'une manière schématique les éléments électroniques servant à l'étalonnage et à la mesure, du dispositif correspondant à l'exemple de réalisation selon la fig. 1 et, 70 14898 4 2039413 La fig. 3 montre une représentation partielle d'un autre exemple de réalisation. Dans l'appareil de mesure d'épaisseur selon fig. 1, un fer plat 2 muni d'une fente longitudiale est placé sur le boitier 1 5 contenant les éléments électroniques. Une pièce de guidage 4 est fixée par l'intermédiaire d'un système de serrage à excentrique 3 sur le fer plat 2. Un chariot 5 monté sur la pièce de guidage 4 peut-être déplacé longitudinalement au moyen d'une vis équipée d'une manivelle B. De la même manière que sur les machines-outi1s, 10 un vernier 6a faisant corps avec la vis, permet la vérification du réglage exact du chariot 5. Le chariot 5 est muni à sa partie supérieure d'un pivot de cen trage bombé 7 et d'un oeilleton de centrage 8 avec un trou oblong 9. Sur les pièces 7 et 8 servant d'organes de centrage et de fixa-15 tion, un équipement de mesure 10 est enfiché, relié par un câble flexible avec les éléments électroniques placés dans le boitier 1. Le boitier de l'équipement 10 est muni d'une douille 11 renfermant des billes 12 montées sur des ressorts, qui lors de l'enfichage de l'équipement appuyent sur la partie inférieure bombée du pivot de 20 centrage, assurant ainsi la fixation de l'équipement. La position de l'équipement est définie en direction verticale par l'appui des butées 13. D'autre part, la fixation de l'équipement est encore assurée, par l'entrée du goujon 14 dans le trou oblong 9. Dans le boitier de l'équipement 10, se trouve une douille 15, mobile axia-25 lement, se trouvant sous l'action du ressort 16 en butée à gauche et maintenue dans cette position en l'absence de pression sur la face frontale 17. La position en butée de cette douille 15 est définie par la goupille 18 qui entre, dans la fente de la douille. Sur la face frontale 17 de la douille 15 est placé le capteur 30 lui-même, dans le cas présent, une bobine de mesure non représentée. La partie large 19 du boitier de l'équipement 10,. entourant cette extrémité de la douille 15 présente une rainure diamétrale 20 de forme prismatique, qui sert au centrage de l'obj.et de mesure par -rapport à l'équipement de mesure. 35 A une extrémité du boitier 1 de l'appareil sont fixés deux tubes 21 reliés par la pièce 22. La pièce 22 présente une rainure prismatique, destinée à recevoir un échantillon■d'étalonnage 23. L'objet à mesurer est fixé par des bandes 24 dont une extrémité de 70 14898 5 2039413 chacune est reliée avec un ressort de tension 25 à l'intérieur de chaque tube 21, et guidée à la partie supérieure des tubes par les pièces de blocage 26. Au moyen des pièces de blocage 26, les bandes peuvent être tirées à volonté, tendues et bloquées. 5 La fig. 2 montre les éléments électroniques essentiels pour la compréhension du dispositif. Le chariot 5, la vis-manivelle 6, l'équipement de mesure 10 et l'échantillon d'étalonnage 23 sont représentés schématiquement sur cette figure. Dans l'équipement de mesure, se trouve un oscillateur de mesure, dont la fréquence f-j 10 est définie en liaison avec la bobine de mesure et change, par conséquent, suivant l'influence exercée sur la bobine par des corps métalliques. Cette fréquence de mesure f-j est dirigée sur un-étage mélangeur 27 et est alors superposée avec la fréquence de référence ■F2 d'un oscillateur 28. Une tension continue produite par un dis-15 criminateur dont la sensibilité est réglable pas à pasj est indiquée par l'instrument de mesure 29. La sensibilité de l'indication peut-être réglée avec précision au moyen d'un potentiomètre 30 représenté schématiquement. La fréquence de l'oscillateur se trouvant dans l'équipement de mesure 10, peut être réglée, au moyen d'un po-20 tentiomètre 34. La manoeuvre du potentiomètre 34 pour l'équilibrage à zéro se fait de préférence au moyen d'un amplificateur régulateur 35 et d'un servo-moteur 36. L'influence sur l'oscillateur de référence 20 exercée, par ex. par une diode de capacité se fait au moyen d'un inverseur 37, au choix, soit par un potentiel bien dé-25 terminé représenté par le point de masse 39, ou par un potentiel variable au moyen du potentiomètre 38. La fig. 1 représente l'équipement de mesure- à une certaine distance de l'échantillon d'étalonnage 23. Cet échantillon d'étalonnage est formé par une pièce métallique, dont la forme et les 30 propriétés du métal doivent correspondre à l'objet à mesurer ultérieurement. Est-il prévu, par ex. de mesurer un câble, on prendra comme échantillon d'étalonnage, un cylindre en cuivre, dont le diamètre correspond à celui du conducteur du câble' à mesurer. Dn peut remplacer un cylindre plein par un tube d'épaisseur de paroi suffi-35 santé, pour que l'influence sur la bobine de mesure soit la même. Il est entendu que pour ce réglage, la bobine de mesure de l'équipement de mesure 10 se trouve entièrement en dehors de la zone d'influence de l'échantillon d'étalonnage 23. La fréquence f-j 14898 B 2039413 de l'oscillateur de mesure est réglée au moyen de la commande asservie 35, 36 et du potentiomètre 34, de telle façon que l'instrument 29 indique zéro. Ensuite, un réglage de référence est entrepris, pour lequel, l'équipement de mesure-10 monté sur le chariot 5 5 est rapproché de l'échantillon d'étalonnage, de la valeur de l'épaisseur nominale, c.a.d., la face frontale 17 est rapprochée d'une distance correspondante à l'épaisseur nominale de la surface du cylindre métallique 23 servant d'échantillon d'étalonnage. L'oscillateur, respectivement, sa fréquence f'], sont influencés. 10 Cette variation de fréquence est alors compensée lorsque l'inverseur 37 a été commuté, par le réglage du potentiomètre 38, provoquant un décalage correspondant de f2* de façon que l'instrument indique de nouveau zéro. Ainsi, il est effectué aussi bien un équilibrage de mesure sur le zéro, par le réglage de l'équipement de 15 mesure sur l'épaisseur nominale, qu'un équilibrage de référence sur zéro lorsque l'équipement de mesure se trouve entièrement en dehors de la zone d'influence de l'échantillon d'étalonnage. Il est encore décrit ci-dessus, que pendant la mesure, l'équilibrage de référence peut remplacer l'équilibrage de mesure, respectivement, il peut 20 être équivalent à ce dernier. L'équilibrage étant effectué on éloigne l'équipement de mesure par rapport à l'échantillon d'étalonnage d'un intervalle supplémentaire convenable, par ex. de 1 mm. Ce déplacement fait dévier l'instrument 29. Par réglage^de la sensibilité de l'instrument, la dé-25 viation de l'instrument est amenée sur une valeur présentant une relation simple avec-le déplacement précédent. Par ex. pour le déplacement effectué de 1 mm, on régie la déviation de l'instrument de façon qu'elle couvre 10 graduation de l'échelle, une graduation représente ainsi, 0,1 mm d'épaisseur, en plus ou en moins par rap-30 port à l'épaisseur nominale de l'objet contrôlé. Le dispositif est ainsi prêt pour la masure, (-'équipement de mesure peut alors être enlevé de son support, c.a.d,- du chariot 5, et par l'intermédiaire de son support prismatique 20, être appuyé contre un objet à contrôler, par ex. un câble. La face frontale 17 35 est alors en contact avec le câble et la douille 15 avec les éléments de mesure, eux-mêmes, recule légèrement malgré l'action du ressort 16, jusqu'à ce que l'objet à mesurer appuyé dans le prisme 20. L'instrument 29 indique alors l'écart entre l'épaisseur réelle 70 14898 7 2039413 de la couche et l'épaisseur nominale, et par déplacement de l'équipement de mesure sur l'objet à mesurer, on peut sans autre contrôler si l'épaisseur de la couche est partout particulièrement sur toute la circonférence, égale et correcte. Les corrections néces-5 saires éventuelles peuvent être effectuées immédiatement à l'installation de production. Il existe deux possibilités pour le réglage de la sensibilité. La pente ou sensibilité du discriminateur peut être changée et adaptée selon les données, pour permettre de travailler dans la 10 partie linéaire du discriminateur. De préférence, on emploie un discriminateur relié à un condensateur de mesure se chargeant périodiquement en phase avec la fréquence de battement, ainsi la pente de la courbe caractéristique est réglable par le branchement au choix de condensateurs de mesure de différentes valeurs. Un réglage 15 fin de la sensibilité de mesure peut en outre, être assuré, par ex. au moyen d'un potentiomètre branché en parallèle sur l'instrument de mesure. Lors de la mesure, l'inverseur 37 reste connecté à la prise médiane du potentiomètre 38, pour que l'instrument indique zéro 20 pour l'épaisseur nominale de la couche contrôlée et une déviation correspondante positive ou négative-pour chaque variation de cette épaisseur. Pendant la mesure, un simple équilibrage à zéro périodique est possible, lorsque l'inverseur 37 est commuté sur le point de masse 39 et que l'équipement de mesure est éloigné momentanément 25 entièrement hors de la zone d'influence de l'objet à mesurer. Au moyen du potentiomètre 34, l'équilibrage à zéro se fait automatiquement dans un temps très court, après quoi, la mesure peut se poursuivre, une fois 1'inverseur 37 remis en position initiale et l'équipement de mesure 10 en contact avec l'objet à mesurer. Des 30 essais ont confirmé qu'un réajustage de l'équilibrage à zéro, dans l'état du circuit tel qu'il est représenté sur la fig 2, lorsque l'inverseur 37 est commuté sur le potentiomètre 38, est aussi valable pour le réglage de la mesure. La différence de fréquence de référence f2 doit être constante, lors de la commutation de l'in-35 verseur 37. Naturellement, les dispositifs décrits peuvent être appliqués pour diverses installations de mesure. Le dispositif selon fig. 1 caractérisé par l'équipement de mesure amovible et enfichable sur 70 14898 8 2039413 le chariot 5, convient particulièrement pour une installation oû l'équipement de mesure est mobile. Dans le cas d'installations avec équipements de mesure incorporés fixes, il peut être avantageux d'utj.liser la pièce qui supporte 1 ' échanti lion d'étalonnage comme 5 chariot, que l'on peut rapprocher de l'équipement de mesure au moyen d'une vis munie d'un vernier. Suivant le cas, l'ordre de succession de l'équilibrage de mesure et de l'équilibrage de référence, lors de la préparation de l'appareil, peut être inversé, si auparavant, on effectue un équi-10 librage de mesure avec l'équipement de mesure 10 en contact avec le revêtement d'épaisseur nominale de l'échantillon d'étalonnage, et avec l'inverseur 37 à la masse 39, après quoi, lorsque l'inverseur 37 est commuté et que l'équipement de mesure se trouve en dehors de l'influence de tout corps métallique, l'équilibrage de référence au 15 moyen du potentiomètre 38 est effectué. Dans chaque cas, il en va ' de même, effectuer un équilibrage des oscillateurs pour chaque état différent bien que l'on peut admettre ainsi qu'il a été démontré, que pour le rééquilibrage correspondant à un état, un rééquilibrage dans l'autre état, c.a.d., dans les conditions de mesure, se pro-20 duise également. Il est aussi pensable, d'effectuer la compensation de la différence de fréquence dans l'oscillateur de mesure, au moment du passage de la position de mesure à la position d'équilibrage de référence, hors de la zone d'influence de corps métalliques, d'une 25 autre façon. Au lieu d'influencer l'oscillateur de référence par une commutation, on peut influencer l'oscillateur de mesure par une permutation correspondante de la prise médiane du potentiomètre d'équilibrage 34 sur un potentiel de référence, de façon que sa-fréquence, lorsque la bobine de mesure n'est pas influencée, soit 30 pratiquement la même que pendant l'équilibrage de mesure. Dans ce cas, un équilibrage par réglage de l'oscillateur de mesure et l'autre équilibrage par réglage de l'oscillateur de référence, serait de nouveau entrepris. En tant qu'équilibrage de r'éférence, l'oscillateur de mesure avec la bobine de mesura non influencée, 35 serait influencé par un potentiel bien déterminé et l'oscillateur de référence serait ajusté au moyen du potentiomètre 38, auquel il est constamment relié. En tant qu'équilibrage de mesure, l'oscillateur de mesure serait alors équilibré au moyen du potentiomètre 34, 70 14898 9 2039413 pendant que l'oscillateur de référence reste inchangé. Dans ce cas, le potentiomètre 38 serait avantageusement équipé d'un asservissement pour effectuer automatiquement l'équilibrage de référence à zéro. Les deux potentiomètres d'équilibrage peuvent aussi être 5 asservis. L'invention n'est pas limitée au dispositif de mesure d'épaisseur avec la valeur de mesure modulée en fréquence représenté comme exemple de réalisation préférentiel, mais peut également aussi être appliquée avec la valeur de mesure modulée en amplitude. 10 L'appareil décrit selon la fig. 1 convient particulièrement pour des mesures simples de contrôle manuelles. Pour le contrôle permanent d'objets, par ex. de câbles, en cours de fabrication, un support mécanique de l'équipement de mesure est évidemment nécessaire, un exemple de réalisation de ce genre est représenté à la 15 fig. 3. L'équipement de mesure 10 est monté sur un support 40 en forme d'anneau ouvert et est réglable radialement. Le support 40 repose dans un support extérieur 41 également en forme d'anneau ouvert, tourne dans l'axe circonférentiel de celui-ci au moyen de galents 42. Un entraînement réversible automatique 43, représenté 20 schématiquement, communique à l'anneau ouvert 40, un mouvement rotatif pendulaire d'un peu plus de 300 0 d'amplitude. Un câble à mesurer 44 est guidé entre les rouleaux 45, lesquels sont réglables radialement par la vis de réglage manuelle 46, respectivement, amenés en appui par un cylindre pneumatique 47. Le support extér-25 ieur 41 coulisse horizontalement dans un bloc 49 par l'intermédiaire des colonnes de guidage 48, lequel, oscillant sur un tourillon 50 est logé dans un boitier 51. Un ressort 52 dont la tension est réglable par la vis 53, équilibre le système dans une position à peu près, horizontale. 30 La mesure se fait de la manière précitée, la sonde de mesure étant appuyée contre la surface extérieure du câble par la pression des ressorts. Le câble se déplace pratiquement dans l'axe des pièces 40 et 41, ces pièces étant cependant flexibles radialement et axialsment, de façon à pouvoir suivre les légères courbures des 35 câbles rigides. La conception des pièces 40 et 41 en forme d'anneau ouvert, permet une introduction et une extraction très facile du câble par le côté, à travers les ouvertures des anneaux lorsqu'elles sont en face, l'une de l'autre. > 14898 10 2039413 Pendant la mesure, l'instrument indique l'épaisseur du revêtement du cabJe et on peut vérifier à tout moment si l'épaisseur des zones du câble balayées par l'équipement de 12esure oans son mouvement pendulaire, est constante et si elle se rapproche suffisamment de l'épaisseur nominale. Pour effectuer l'équilibrage de référence, l'équipement de mesure est éloigné momentanément et radialement à l'extérieur, hors de la zone d'influence du câble, par l'action du cylindre pneumatique. 70 14898 n 2039413 REVENDICATIONS 1) Procédé d'équilibrage d'un appareil de mesure d'épaisseur dans lequel, pendant la mesure, une sonde, par ex. une bobine parcourue par un courant alternatif est influencée en fonction de l'épaisseur du revêtement d'un objet à mesurer, la valeur mesurée, 5 par ex. une tension ou une fréquence, est comparée a une valeur de référence correspondante et selon la grandeur de la différence des deux valeurs, on peut déterminer l'épaisseur du revêtement, caractérisé par le fait qu'avant le début de la mesure, un équilibrage de la grandeur de mesure est effectué, dans le cas ou 10 le capteur reçoit la même influence qu'en position de mesure d'une épaisseur de couche nominale, une des deux grandeur, soit la valeur de référence ou celle de mesure est ajustée jusqu'à ce que la valeur correspondant à l'épaisseur nominale du revêtement soit indiquée, de même, un équilibrage de .la grandeur de référence est 15 aussi effectué dans le cas du capteur non influencé, une des deux grandeurs est amenée sur une valeur de référence, par une commutation prédéterminée et l'autre grandeur, soit la valeur de mesure ou celle de référence est ajustée jusqu'à ce que la valeur correspondant à l'épaisseur nominale soit indiquée et que pendant 20 la mesure un équilibrage de la valeur de référence, soit indirectement, un équilibrage de la valeur de mesure soit répété. 2) Procédé selon la revendication 1) caractérisé par le fait qu'il est effectué un équilibrage de mesure et un équilibrage de référence en tant qu'équilibrage à zéro, amenant à chaque fois 25 l'indicateur d'un instrument sur le zéro. 3) Procédé selon la revendication 13 caractérisé par le fait que la valeur de référence est au choix, dans une première gamme, changée pour l'équilibrage de mesure et dans une deuxième gamme, réglée constante pour l'équilibrage de référence. 30 4) Procédé, en particulier selon les revendications 1 ou 1 et 2 ou 1 , 2 et 3) caractérisé par le fait que la -position d'au_ moins un équipement de mesure avec le capteur de mesure, par rapport à un objet de mesure ou d'étalonnage, dont un des deux est placé sur un support, est réglée au préalable suivant l'épaisseur nominale 35 de la couche et l'équilibrage de mesure est effectué, ensuite, une position correspondant à une épaisseur de couche d'étalonnage indiquée par un mécanisme de mesure est déterminée et l'indication 70 14898 12 2039413 est étalonnée. 5] Procédé selon la revendication 4) caractérisé par le fait, qu'un objet homogène d'étalonnage est utilisé, contre lequel on approche l'équipement de mesure jusqu'à la valeur correspondante 5 de l'épaisseur de couche nominale, respectivement de l'épaisseur de couche d'étalonnage. B) Procédé selon la revendication 4 ou 5] caractérisé par le fait qu'un équipement de mesure manuel mobile servant à l'équilibrage de mesure et à l'étalonnage est placé sur le support et une 10 fois l'étalonnage fait, enlevé et amené en position de mesure. 73 Dispositif pour un appareil de mesure d'épaisseur pour mise en oeuvre du procédé selon les revendications 1, 2, 3 et 6 avec un circuit de mesure (10) relié au capteur et un càrcuit de référence (28) ainsi qu'un montage de référence (273 avec sortie de mesure, 15 e.t des moyens permettant 1 ' éloignement du capteur par rapport à la" zone d'influence d'un objet à mesurer ou d'un échantillon, caractérisé par le fait que les deux circuits, (10, 28) indépendants du capteur, sont munis d'éléments actifs d'équilibrage (34,. 38) permettant un changement des valeurs de sortie et qu'un circuit (28) 20 peut être déconnecté des éléments d'équilibrage (28) qui lui sont reliés et commuté sur un circuit de référence fixe (39), de façon a avoir une influence prédéterminée sur sa grandeur de sortie. 8) Dispositif selon la revendication 7) caractérisé par le fait que le circuit de référence (39) est lié au montage de 25 référence (28). 9) Dispositif selon la revendication 7) avec un oscillateur de mesure et un oscillateur de référence, dont les fréquences sont superposées pour former la valeur de mesure, caractérisé par des éléments d'équilibrage (34, 38) pour le décalage des deux fré- 30 quences, indépendamment.d'un objet de mesure ou d'étalonnage dans lequel l'oscillateur de référence (283 est influençable au choix par deux circuits séparés (38, 39). 10) Dispositif selon une des revendications 7, 8,- 9) caractérisé par un asservissement (35, 36).pour les éléments d'équilibrage 35 (34, 38) liés à un ou l'autre ou les deux circuits (10, 28). 11) Dispositif selon la revendication 9 ou 10) caractérisé par le fait que des potentiomètres (34, 38) sont prévus en tant qu'éléments d'équilibrage, et reliés avec des diodes.de capacité 70 14898 13 2039413 pour le changement des fréquences des oscillateurs, dans lequel la diode de capacité de l'oscillateur de référence (283 est reliée au choix avec son potentiomètre (383 ou avec un circuit réglé fixe (393 . 5 123 Dispositif, particulièrement selon une des revendications 7, 8, 9, 10, 113 caractérisé par au moins un support réglable (53 avec un mécanisme de mesure (6, 6a3 pour détermination de la position, respectivement de la valeur du déplacement du support (53 et au moins, une pièce (223 liée au support, dans lequel support et 10 pièce sont conçus pour recevoir au moins un équipement de mesure (103 respectivement, un objet de mesure ou d'étalonnage (23). 13) Dispositif selon la revendication 12), caractérisé par le fait, que le support est conçu pour servir de chariot (53 avec vis et vernier (6) servant au réglage et à la mesure. 15 143 Dispositif selon la revendication 12 ou 133, caractérisé par le fait que l'équipement de mesure (103 peut être placé sur le support (53 dans une position bien déterminée. 153 Dispositif selon la revendication 14) caractérisé par une liaison enfichable (7-9, 11-143 entre l'équipement de mesure (103 20 et le support (53. 163 Dispositif selon la revendication 133 caractérisé par le fait que la pièce de guidage (43 du chariot (53 est amovible dans le sens de déplacement du chariot (53 et bloquable dans une posi-■ tion quelconque. 25 173 Dispositif selon une des revendications 12, 13, 14, 15, 163 caractérisé par le fait que la pièce (223 présente une forme de prisme et qu'un moyen de fixation, par ex. des bandes (243 tendues par des ressorts, est prévu pour assurer la fixation dans le prisme d'un objet de mesure ou d'étalonnage (23). 30 18) Dispositif selon une des revendications 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 173 caractérisé par le fait que des moyens (303 sont prévus pour le réglage de la sensibilité de l'indication. 193 Dispositif selon la revendication 183 dans lequel au moins une fréquence de mesure est superposée à une fréquence de référence 35 et que la fréquence de battement est dirigée sur un discriminateur, caractérisé par le fait, que la fréquence de mesure ou la fréquence de référence est réglable en vue d'un équilibrage à zéro, et que la pente du discriminateur est réglable. 14898 14 2039413 20) Dispositif selon la revendication 19) dans lequel, le discriminateur est relié à un condensateur de mesure se chargeant périodiquement en phase, caractérisé par le fait que des condensateurs de mesure de différentes valeurs peuvent être connectés au choix.