Brevet FR2018868A1 — publié le 19700626

i 2018868 La présente invention a pour objet d'une manière, générale les circuits intégrés et plus particulièrement des procédés et dispositifs d'interconnexion de groupes de circuits intégrés. Il est connu dans la technique des semi-conducteurs de for-5 mer dans une seule pièce de matériau semi-conducteur, dénommée ici "plaquette", un groupe de circuits formant un assemblage prédéterminé. Chaque circuit peut, par exemple, comprendre plusieurs éléments actifs et passifs de circuits électroniques ou électriques qui sont électriquement interconnectés de façon que le cir-10 cuit fonctionne dlune manière déterminée, par exemple comme additionneur numérique ou conditionneur. Les interconnexions (ou connexions) sont en général réalisées dans ces circuits à l'aide de conducteurs, ou lignes, qui sont dirigés vers des composants actifs et passifs choisis formés dans le dépôt métallique de cha-15 que circuit. L'extrémité de ces conducteurs, qui servent en général à une interconnexion, aboutit en général à une zone élargie dénommée couramment "plot". On peut placer par exemple quatre cents circuits différents sur une plaquette de 25 x 38 mm, parmi lesquels on constate que 20 soixante-dix à deux-cents peuvent être considérés comme bons, ou utilisables d'une autre manière. Les bons circuits sont obtenus en général de manière imprévisible et peuvent être groupés pour tout un ensemble. En général,les circuits individuels sont relativement petits avec une forte densité superficielle. Par exem-25 pie, chaque circuit peut mesurer 1,5 x 1,5 mm avec au moins 14 plots. Antérieurement il était très difficile dans l'état actuel de la technique d'interconnecter les bons circuits de l'ensemble avec d'autres bons circuits. De plus, cette difficulté existe 30 même si le rendement en bons circuits atteint 100$. Par ailleurs, les difficultés d'interconnexion existeraient même avec un rendement de 100$ si des circuits fonctionnellement différents existaient sur une plaquette et étaient placés en divers points de l'assemblage ou même en des endroits différents dans des lots 35 différents. Enfin,il existe des problèmes connexes complexes,à savoir l'interconnexion des circuits dans un ensemble correspondant à un. rendement inférieur à 100 dans lequel des circuits fonctionnellement différents sont mélangés dans le même ensémble 69 32771 2018868 ou même les variations, des dimensions des circuits d'un, point à un autre d'un ensemble ou d'une plaquette à l'autre. Jusqu'ici, on a utilisé d'autres procédés pour interconnecter des circuits intégrés sur. une plaquette unique. Un pro-5 cédé consiste à essayer fonctionnellement un ensemble pour trouver les bons circuits. Ensuite, on place sur l'ensemble une couche de matière isolante avec des passages aboutissant seulement aux plots de bons circuits choisis; puis on forme sur la plaquette des couches alternantes de conducteurs et de matière isolante 10 comportant des passages qui relient les plots des bons circuits aux couches de conducteurs d'interconnexion formées sur chaque plaquette. Puisque la disposition des bons circuits varie d'une plaquette à l'autre, la disposition des traversées et des conducteurs dans chaque couche change d'emplacements et de tracé 15 d'une plaquette à l'autre d'une manière à déterminer. Ce mode d'interconnexion à déterminer exigeait des opérations poussées de tracé et de pose de caches nécessaires pour chaque plaquette. Par conséquent, les caches réalisés pour chaque couche de connexions étaient utilisables pour une plaquette unique, en rai-20 son des changements d'emplacements des bons circuits. La présente invention a par conséquent pour objet un procédé perfectionné d'établissement des connexions électriques entre des composants de circuits intégrés et un dispositif simplifié et perfectionné pour placer les circuits désirés sur un tracé norma-25 lisé et réaliser des connexions électriques entre plusieurs circuits dans un assemblage de circuits intégrés qui sont placés de manière imprévisible ou variable d'une plaquette à l'aufre» Selon le procédé de l'invention, on vérifie électriquement chaque circuit d'une plaquette de circuits intégrés supportant des 30 assemblages de circuits pour déterminer l'emplacement des circuits utilisables ou bons. Ensuite, on forme sur les circuits une couche de matière isolante avec des traversées aboutissant aux plots des seuls circuits utilisables choisis, de manière à mettre à nu seulement les plots des bons, circuits et à isoler les circuits 35 inutilisables. Ensuite, oh met en place un tracé des connexions partant des plots à nu des circuits utilisables pour aboutir à un tracé-maître prédéterminé d'emplacements prescrits pour les plots, soit par des procédés manuels, soit conformément à un 69 32771 3 2018868 programme de calculatrice. Par conséquent, les plots des circuits utilisables sont déplacés en direction d'emplacements où les circuits utilisables sont indiqués, sauf là où l'on n'en a pas trouvé, de façon à déplacer les circuits utilisables en direction 5 d'emplacements spécifiés de circuits où l'on ne trouverait pas autrement de circuits utilisables, lorsque les plots ont été déplacés suivant un tracé-maître normalisé, une ou plusieurs couches de caches normalisés pour les traversées dans les couches d'isolants et les tracés normalisés de conducteurs sont façon-10 nés et mis en place à la partie supérieure de l'ensemble pour interconnecter les circuits choisis» Les avantages de l'invention sont les suivants : le groupe unique de connexions normalisées entre les circuits peut être réalisé pour plusieurs plaquettes indépendamment des emplacements 15 des bons circuits, ce qui justifie économiquement l'optimalisation du groupe de connexions. Cette optimalisation présente l'avantage de régler plus facilement les longueurs des conducteurs, de choisir le tracé préféré des conducteurs, les croisements des conducteurs électriques et les passages entre les couches conductrices 20 et de choisir des dimensions préférées de conducteurs et de lignes communs, y compris les lignes d'alimentation et de ma?se. De plus, le nombre de caches à repérer est considérablement réduit. Par ailleurs, il serait possible de mettre au point une technique utilisable de réparation dans laquelle les circuits 25 fonctionnant mal pourraient être remplacés par des circuits inutilisés qui ont satisfait aux essais et un essai automatique des circuits pourrait être facilité en plaçant de cette manière les plots sur un tracé maître, D'autres avantages sont que la densité des bons circuits groupés peut être efficacement diminuée en ré-30 partissant ou dispersant les emplacements des plots de- bons circuits groupés sur la plaquette, de façon à permettre d'utiliser davantage de bons circuits sur la plaquette ou sur une portion de celle-ci. De plus, avec le déplacement des plots, les caches normalisés de couches d'interconnexion et de traversée ne dépen-'35 dent pas de la forme des circuits. D'autres objets et avantages de l'invention seront mieux compris à l'aide de la description détaillée qui va suivre et des dessins sur lesquels, 69 32771 2018868 la figure 1 est une vue en plan d'une plaquette de circuits intégrés comportant plusieurs circuits représentés sous forme de rectangles individuels dans des files rectilignes. la figure 2 est une vue en plan agrandie d'un des circuits 5 intégrés représentant plusieurs plots en des points prédéterminés, la figure 3 est une vue en plan de la plaquette de circuits intégrés de la figure 1, dans laquelle des circuits utilisables du type représenté sur la figure 1 sont désignés schématiquement et par une barre de fraction ("/") /un ensemble-maître de circuits 10 spécifiés utilisables qui sont identifiés par un "0" (cercle). La figure 4 est une vue en plan de la plaquette de circuits intégrés représentant schématiquement le tracé général des itinéraires des déplacements des plots dea circuits utilisables jusqu'aux emplacements des circuits du tracé-maître. 1 5 Les figures 5a à 5£ sont des vues en plan à grande échelle représentant les itinéraires spéciaux de déplacement des circuits utilisables en direction des emplacements des circuits du tracé-maître à l'aide de plusieurs conducteurs d'interconnexion conduisant des plots des circuits utilisables aux emplacements des plots 20 des circuits du tracé-maître. Les figures 6^ - 6ç sont des vues à grande échelle en coupe transversale d'une partie du circuit utilisable de la figure 5, comportant une couche d'une matière électriquement isolante avec des passages formés a partir d'une couche de matière devenant 25 résistante à l'attaque chimique et - également - protégeant contre celle-ci sous l'action de la lumière, appelée ci-après "matière protectrice" pour mettre ensuite à nu les plots du circuit utilisable. Les figures 7a et 7b sont des coupes transversales du cir-30 cuit des figures 6a à 6c_ sur lequel a été déposée une couche de matière conductrice de l'électricité servant de connexion pour chaque plot à nu du circuit utilisable et dirigée vers les plots déplacés d'un circuit du tracé-maître. La figure 8 est une coupe transversale du circuit des fi-35 gures 7a et 7b sur lequel une couche de matière électriquement isolante est déposée suivant un tracé normalisé de traversée formé sur le tracé-maître de plots déplacés, une couche de matière 69 32771 5 2018868 conductrice étant déposée au-dessus de la couche isolante et formant un tracé normalisé de connexions en contact avec les plots déplacés. La figure 9 est une coupe transversale du circuit de la 5 figure 8, sur lequel une couche de matière électriquement isolante est déposée suivant un tracé normalisé de traversée réalisé de façon à mettre à nu des parties choisies du tracé normalisé de connexions des couches précédentes et comportant de plus une couche de matière électriquement conductrice déposée au-dessus 10 de la couche isolante et transformée en tracé normalisé de connexions en contact avec les parties à nu du tracé normalisé inférieur de connexions à travers les passages; et La figure 10 est une coupe transversale du circuit de la figure 9 sur lequel une couche facultative de matière isolante 15 est déposée. La figure 1 représente une plaquette 20 de circuits imprimés dont le contour est en grande partie circulaire sauf une partie constituée par un bord rectiligne permettant d'orienter correctement les circuits. La plaquette 20 de circuits imprimés est 20 de plus subdivisée en plusieurs circuits intégrés individuels de forme en général rectangulaire et formant une file rectiligne. Chacun de ces circuits mesurant 1,5 x 1,5 nim est séparé électriquement des circuits contigus par un encadrement en matière électriquement isolante. Le circuit lui-même peut comporter plusieurs 25 éléments actifs tels que des diodes et des transistors semi-con-ducteurs et des éléments passifs tels que des conducteurs, des résistances et des condensateurs qui sont intercouplés suivant une configuration prédéterminée des circuits, de manière que lorsque des signaux électriques sont appliqués aux circuits, 30 ils fonctionnent d'une manière prédéterminée. Afin d'établir des connexions avec les circuits, chacun d'eux (figure 2) comporte plusieurs zones ou plots 24 placés aux extrémités des conducteurs, lesdits plots étant en général plus larges que les conducteurs qui leur sont associés.1 Par exemple, 35 les plots 24 mesurent 76 x 76 microns tandis que la largeur des conducteurs est de 38 microns seulement. Il peut y avoir par exemple 14 plots associés à chaque circuit. Les éléments actifs et passifs de chaque circuit sont disposés de façon que des 69 32771 6 2018868 signaux électriques puissent être appliqués à certains des plots, ensuite une partie du circuit intégré peut être utilisée comme conditionneur, basculeur etc. ou, par ailleurs, des conducteurs d'entrée et de sortie peuvent être couplés à tous les blocs de 5 manière que le circuit intégré fonctionne comme un circuit logique complet, par exemple un additionneur complet. Dans les cas où l'expression "circuits utilisables" est synonyme de "bons circuits", le rendement en circuits utilisables par rapport au nombre total des circuits sur la plaquette 20 était 10 jusqu'ici inférieur à 100%. Par exemple, ce rendement peut être compris entre 20 et 40$. Avesa de tels rendements, il n'y a pas de tracé discernable aboutissant en des points particuliers des tracés utilisables et inutilisables, puisqu'ils sont placés au hasard dans l'ensemble et souvent forment des groupes qui sont 15 placés principalement vers le centre de la plaquette. Pour déterminer ceux des circuits qui sont utilisables ou bons, on les essaie en général électriquement de façon que les bons circuits puissent être isolés et correctement identifiés. En général on procède à un essai en courant continu de chaque 20 circuit pour identifier correctement les bons circuits. De plus, des essais complémentaires en courant alternatif des bons circuits peuvent être effectués pour augmenter la sécurité de l'aptitude au fonctionnement dudit circuit. Après avoir achevé l'essai électrique des circuits, on 25 constate en général que les bons circuits apparaissent au hasard, comme l'indiquent les barres de fraction ("/") de la figure 3. Comme on l'a indiqué ci-dessus, un tracé maître de circuits prédéterminés ou d'emplacements normalisés de circuits, indiqué par des cercles ("0") est établi pour la plaquette 20 et toutes les 30 autres plaquettes de circuits intégrés qui seront interconnectés de la même manière. Là où des circuits effectivement bons exis -tent, ils sont identifiés par la combinaison d'un cercle avec une barre de fraction formant la lettre grecque 0. Cependant, si un emplacement de circuit sur le tracé maître ne contient 35 pas un bon circuit 'ou ne coexiste pas avec ion tel circuit, il est nécessaire de déplacer les plots d'un bon circuit voisin jusqu'aux emplacements de plots du tracé-maître d'emplacements 69 32771 7 2018868 de plots. Puisque la densité des bons circuits (nombre de bons circuits par unité de surface de la plaquette) est maximale à proximité du centre de la plaquette et diminue en direction de ses bords, il est probable que la densité maximale des circuits 5 du tracé-maître sera également choisie à proximité du centre de la plaquette dans la plupart des applications. Il est évident que, même si la densité de bons circuits peut être déterminée approximativement, les circuits intrinsèquement bons sont disposés au hasard. 10 Lors de l'optimalisation du tracé-maître des circuits, il est avantageux de prendre en considération la densité des bons circuits. Par exemple, il est préférable de placer chaque emplacement de circuit sur le tracé-maître là où la densité des bons circuits est assez élevée de manière qu'il soit placé au-dessus, 15 au contact - ou autrement - à proximité d'un grand nombre de circuits existant éventuellement, dans les régions de la plaquette où la densité - ou le rendement - en bons circuits sont minimaux et où il est à proximité d'un nombre réduit de circuits éventuellement disponibles. 20 Par exemple, l'intervalle entre les emplacements de cir cuits du tracé-maître de la figure 4 est tel que, vers les bords de la plaquette, aucun emplacement du circuit de tracé-maître n'est voisin d'un autre emplacement de circuit dudit tracé. Par exemple, chaque emplacement de circuit du tracé-maitre est au 25 contact de neuf circuits éventuellement disponibles puisqu'il est au-dessus d'un circuit, que les quatre bords sont contigus à quatre autres circuits et que les quatre angles touchent les angles de quatre autres circuits. Vers le centre de la plaquette, là où la densité des bons 30 circuits augmente, certains emplacements de circuits du tracé-maître sont à proximité les uns des autres aux angles de ce dernier ou le long d'un côté de ce dernier, diminuant ainsi le nombre de circuits éventuellement disponibles à proximité d'un emplacement de circuit du tracé-maître. En adaptant la densité 35 des circuits du tracé-maître à la densité prévue en bons circuits, le nombre de tracés entre lesquels il faut choisir pour déplacer les bons circuits en direction du tracé-maître est considérablement diminué sinon nul et le tracé des connexions 69 32771 8 2018868 logiques est facilité. Evidemment, lorsque la proportion de bons circuits sur la plaquette augmente, il peut être avantageux d'augmenter la densité des emplacements de circuits du tracé-maître et d'augmenter le nombre d'emplacements de circuits du tracé-5 maître voisins d'autres emplacements de circuits de tracé, sur plus d'un côté ou angle. Sur la figure 4, les plots associés avec les bons circuits peuvent être déplacés en direction d'un emplacement de circuit du tracé-maître en utilisant des conducteurs électriques d'inter-10 connexion allant des plots du bon circuit aux plots d'emplacements choisis du circuit du tracé-maître. Un tel tracé des conducteurs est représenté schématiquement par les tronçons de ligne droite ayant des pointes de flèche à une extrémité et comprises entre les emplacements choisis des bons circuits et les emplacements 15 de circuits du tracé-maître. Il est évidemment entendu que chaque ligne avec des pointes de flèche représente plusieurs connexions individuelles ou conducteurs qui partent des plots d'un bon circuit pour aboutir aux plots d'un circuit du tracé-maître, comme le représente en détail la figure 5. Avant de se reporter plus 20 en détail aux connexions, il convient de noter que les bons circuits peuvent être effectivement déplacés en direction des emplacements désirés du tracé-maître par des conducteurs rectilignes, dans lesquels ces conducteurs sont seulement orientés vers le haut, le bas, la gauche ou la droite. Il est évidemment entendu 25 que l'on peut utiliser des lignes autres que des lignes droites, à savoir des lignes courbes ou des combinaisons de lignes droites et courbes. A la suite du déplacement de bons circuits choisis en direction des emplacements de circuits du tracé-maître où l'on 30 ne trouve pas de bons circuits, un tracé commun (ou maître) des bons circuits est effectivement établi de façon à permettre d'utiliser des caches standard pour former des couches additionnelles de connexions ou des conducteurs additionnels sur la même couche. 35 Puisque les bons circuits sont toujours réliés au même emplacement du tracé-maître à la suite du déplacement des plots, on peut utiliser les mêmes caches normalisés pour toutes les autres plaquettes qui sont interconnectées de façon à utiliser 69 32771 9 2018868 le circuit de la même manière, même si l'emplacement réel des bons circuits dans l'assemblage varie d'une plaquette à l'autre. Un procédé particulier utilisable pour déplacer les circuits consisterait à partir de l'emplacement de circuit 30 supé-5 rieur gauche du tracé principal, tel que représenté sur la figure 4 et à déterminer ensuite l'emplacement du bon circuit le plus proche suivant un tracé prédéterminé. Par exemple, 11 pourrait être avantageux de commencer par chercher le bon circuit le plus, proche jusqu'à deux circuits au-dessus de l'emplacement dé-10 siré du tracé-maître. Si l'on ne trouve aucun bon circuit en ces deux endroits, il est nécessaire.de chercher les emplacements de bons circuits jusqu'à deux circuits au-dessugfet sur une colonne de circuits à gauche dudit emplacement de^circuit du tracé-maître. Ensuite, si l'on ne trouve aucun bon circuit, il est né-15 cessaire de chercher de bons circuits, cette fois deux colonnes à gauche du même emplacement du tracé-maître. Si l'on ne trouve aucun bon circuit, il sera alors nécessaire de rechercher de bons circuits dans la file au-dessous dudit emplacement de circuit du tracé-maître et à gauche. Comme on le voit sur la figure 4» on 20 trouverait un bon emplacement de circuit 28 une colonne à droite et une file au-dessus de l'emplacement 30 désiré de circuit. Ce circuit serait ensuite déplacé par des connexions comme indiqué ci-dessus pour la figure 5. Si 1'on ne peut pas trouver un bon circuit à moins de deux 25 circuits de l'emplacement désiré, il peut être avantageux d'omettre ce déplacement et d'y revenir à la fin de la recherche, après quoi un bon circuit disponible pourrait être déplacé à partir d'un point plus éloigné. Si l'on se reporte maintenant aux détails d'un déplace-30 ment, par exemple le déplacement du bon circuit choisi 28 de la figure 4 en direction d'un emplacement 30 choisi du tracé-maître, on se reportera à la figure 5» dans laquelle on a représenté la disposition géométrique des plots à nu d'un bon circuit et les emplacements des plots déplacés d'un circuit du tracé-maître 35 choisi. En général, comme on l'explique plus en détail sur les figures 6a à 6c, une couche de matière électriquement isolante est déposée sur la surface de la plaquette de circuits intégrés, avec une disposition degéuvertures ou'traversées à travers la matière isolante destinée à mettre à nu seulement les plots des 69 32771 10 2018868 bons circuits qui ont été ainsi identifiés et choisis1. Ensuite, grâce à un procédé photographique décrit plus en détail à propos des figures 7jà et 7b, un groupe de conducteurs 32 d'interconnexions ou de connexions en matériaux conducteurs part des plots 5 mis à nu du bon circuit 28 en direction d'emplacements prédéterminés de plots en des emplacements 30 de circuits choisis sur le tracé-maître désiré. Ces connexions sont chacune réalisées par une série de tronçons de lignes qui sont dirigés vers le haut, le bas, la gauche ou la droite, comme indiqué sur la figure 5 et 10 peuvent être tracés sur un plateau se déplaçant suivant deux coordonnées orthogonales x-y ("plateau x-y") dont les déplacemènts sont commandés par un calculateur et qui se déplace par rapport à un faisceau lumineux suivant vin programme de calculatrice. Outre les connexions 32, ce faisceau lumineux est susceptible de 15 former les plots 24 qui sont de dimensions supérieures à la largeur des connexions. Il est évidemment entendu que, bien que les tronçons de conducteurs soient représentés sous forme de tronçons de lignes droites perpendiculaires entre eux, il est possible d'utiliser des lignes courbes ou des combinaisons.de tronçons 20 de lignes courbes et droites, et même de placer des tronçons de conducteurs sur une diagonale. Evidemment, les conducteurs d'interconnexion du type représenté sur la figure 5 pourraient également être réalisés avec un cache ou une diapositive à travers laquelle on exposerait une cou-25 che de réserve photographique à la partie supérieure de la plaquette 20 pour former simultanément tous les tracés de connexions à partir des bons circuits choisis pour aboutir à des emplacements prédéterminés de circuits du tracé-maître. Dans le tracé d'itinéraires de la figure 5a, chaque circuit 30 peut être tel qu'il soit interconnecté en totalité de façon à fonctionner comme un-circuit logique, par exemple un basculeur, un additionneur complet etc, ou dans lequel des portions du circuit se comportent comme des éléments logiques, par exemple des circuits intersection-négation qui sont indépendamment .des autres 35 parties des circuits lorsque des conducteurs I/O et d'alimentation sont reliés uniquement aux plots associés à cette partie du circuit. Par conséquent, si l'on admet que chaque circuit peut 69 32771 ia 2018868 fonctionner comme quatre circuits intersection-négation indépendants, les plots de chaque circuit intersection-négation peuvent être déplacés en direction des plots d'un circuit du tracé-maître, en même temps que les lignes d'alimentation et de masse, 5 plus ou moins indépendamment de leurs positions relatives. Par exemple, les plots d'un premier circuit intersection-négation qui est placé dans le quadrant intérieur gauche du bon circuit peuvent être déplacés en direction du quadrant supérieur gauche dans l'emplacement de circuit du tracé-maître, les plots 10 d'un second circuit intersection-négation dans le quadrant inférieur droit du bon circuit sont déplacés en direction du quadrant inférieur droit de l'emplacement de circuit du tracé-maître. les plots d'un troisième circuit intersection-négation placés dans le quadrant supérieur droit du bon circuit sont dépla-•j 5 cés en direction du quadrant inférieur gauche de l'emplacement de circuit du tracé-maître.. Et les plots d'un quatrième circuit intersection-négation dans le quadrant supérieur gauche du bon circuit sont déplacés en direction du quadrant supérieur gauche de l'emplacement de circuit du tracé-maître. Le tracé des con-20 ducteurs entre les plots peut être choisi manuellement ou à l'aide d'un programme de calculatrice. Les plots d'un bon circuit peuvent être déplacés en direction d'un emplacement de circuit du tracé-maître dans la même position relative l'un par rapport à l'autre, comme représenté 25 sur la figure 5b. Par exemple, tous les plots sauf deux sont déplacés par des conducteurs aux emplacements de circuit qui sont des connexions d'entrée aboutissant au même circuit logique. Puisque ces connexions d'entrée peuvent être échangées, il n'est pas nécessaire de les déplacer exactement jusqu'à une nouvelle 30 position. Evidemment, si on le désire, même ces plots .peuvent être replacés dans leur position correspondante exacte, indiquée par les lignes en traits interrompus. Dans une autre forme de réalisation, représentée sur la figure 5£j chaque emplacement de plot est destiné, pendant la 55 réalisation des plaquettes à être placé à l'intersection d'une file et d'une colonne unique, par exemple sur ligne droite ou sur une diagonale réunissant les angles des circuits, ou près de celle-ci. Par conséquent, le tracé des conducteurs après 69 32771 2018868 12. déplacement d'un plot est considérablement simplifié puisque ces conducteurs doivent simplement suivre un trajet relativement simple avec un nombre minimum d'angles, entre les plots du bon circuit et les plots du circuit du tracé-maître, parce que ces 5 plots ne sont pas cachés derrière d'autres et que les trajets aboutissant à ces plots ne sont pas bloqués par d'autres conducteurs. De plus, certaines des lignes d'interconnexion comportent des tronçons de lignes courbes et de lignes droites. Bien qu'on ait décrit un ensemble de circuits dans lequel 10 la bande de "séparation de la matière passive ou électriquement isolante entourant chaque circuit peut être assez étroite;, il peut être avantageux par exemple si les rendements sont bons, de prévoir des bandes de séparation plus larges, de manière à former ainsi un canal plus large de matière électriquement isolan-15 te. Par conséquent, puisqu'il ne serait pas avantageux de faire passer des conducteurs à travers un bon circuit, on peut les faire passer le long des bandes de séparation relativement larges. Par conséquent, les procédés par déplacement des plots seraient applicables et les plots d'un circuit pourraient être déplacés 20 en direction d'un emplacement de circuit où il n'existe aucun circuit fonctionnellement semblable, ou utilisable autrement. Par exemple, ce procédé serait applicable là où tous les circuits de l'ensemble remplissent des fonctions semblables tandis qu'un bon circuit ne se trouve pas à un emplacement de circuit prévu 25 du tracé-maître. De plus, ce procédé serait applicable lorsque des circuits ayant des fonctions différentes sont entremêlés dans l'ensemble. Il est inutile de déplacer tous les plots 24 d'un seul bon circuit 28 en direction d'un seul emplacement de circuit du tra-30 cé-maître 30 comme indiqué sur les figures 5a à 5c. Par exemple, il est possible de réunir un quart des plots d'un bon circuit 28 à un emplacement 30 de circuit du tracé-maître; un autre quart des plots 24 d'un bon circuit 28 à un second emplacement de circuit dudit tracé; un troisième quart des plots 24 du bon cir-35 cuit à un troisième emplacement de circuit dudit tracé et le quatrième quart des plots 24 du bon circuit 28 à un quatrième emplacement de circuit dudit tracé, en particulier quand tous 69 32771 i? 2018868 les plots et quarts de circuit associés des bons circuits remplissent des fonctions identiques, par exemple de circuits "intersection-négation". De plus, il est possible de déplacer des plots vers d'autres emplacements pour normaliser les emplacements 5 des plots déplacés. Si l'on passe maintenant aux détails d'un procédé de déplacement des bons circuits, dans lequel le tracé ou la disposition géométrique des couches normales est indépendant de la plaquette, il faut se reporter aux figures 6a à 6c, dans lesquelles on for-10 me une première couche de passages aboutissant aux plots 24 de bons circuits choisis. Pour former les traversées aboutissant aux emplacements des plots desdits bons circuits, on dépose une couche d'environ 25 microns d'épaisseur de matière protectrice 40 ou de ï-éserve photographique sur la partie supérieure de la 15 plaquette. Ensuite, la réserve photographique 40 située au-dessus du plot 24 est exposée à m faisceau de lumière ultra-violette pour la durcir seulement là où un contact doit être établi avec le plot. Ce faisceau lumineux est en fait un pinceau de lumière ul-20 tra-violette qui est concentré sur la surface de la couche supérieure de la plaquette. Pour concentrer cette lumière ultra-violette, une ouverture ou diaphragme peut être intercalée entre le faisceau lumineux et un système optique pour réduire l'intensité du faisceau lumineux. Ce système optique concentre ensuite 25 le faisceau sur une couche de réserve photographique à la surface de la plaquette sous la forme d'une tache de lumière ultraviolette de 38 microns de diamètre. Le système optique qui joue ce rôle peut être constitué par des objectifs de microscope dans lesquels le faisceau de lumière ultra-violette est dirigé à tra-30 vers les objectifs dans une direction opposée à la direction normale d'examen. Ensuite, la réserve photographique 40 est développée dans Un révélateur approprié pour dissoudre la partie de la réserve 40 non exposée ou non durcie, représentée en trait interrompu sur la figure 6a. Par conséquent, seule la réserve 35 exposée 40 reste au-dessus des plots 24. Ensuite, une couche d'une matière électriquement isolante, telle qu'un verre pauvre en sodium ou du verre de silice est pulvérisée en haute fréquence sur la surface de la plaquette 20 sous forme d'une couche de 69 32771 2018868 0,5 à 1 micron d'fépaisseur (figure 6"b). Pour mettre à nu les plots 24 du 'bon circuit, on chauffe l'ensemble, la dilatation plus grande"" "par la chaleur de la réserve photographique 40 fissure alors l'isolant 42 situé- au-des-5 sus d'elle et la met à nu. Ensuite, la réserve- photographique 40 exposée peut être retirée du plot 24 en l'enlevant par lavage avec une solution qui la dissout ou la détache. Il peut être nécessaire de nettoyer le plot 40 avec des produits chimiques tels que le trichloréthylène bouillant et d'attaquer légèrement 10 la surface par voie chimique,, Après avoir exposé les plots 24 du bon circuit, les groupes de conducteurs d'interconnexion 52 (voir figure 5) sont mis en place à partir des plots des emplacements 28 de bons circuits déplacés vers des emplacements des plots des circuits 50 choisis du tracé-maître. Pour former la 15 connexion 32, une couche de matière 46 électriquement conductrice, par exemple de l'aluminium ou de l'or de 1 micron- d'épaisseur, est pulvérisée en haute fréquence ou en courant continu ou même déposée par vaporisation sur toute la surface de la couche de matière isolante 42 et les plots à nu 24 (figure 7a}-. 20 Ensuite, une mince- couche de matière protectrice 48, d'é paisseur inférieure à 2,5 microns, est déposée sur toute la surface de la couche de matière 46 électriquement conductrice qui, par ailleurs, est considérée ci-après comme étant de l'aluminium. La couche de matière protectrice 48 est exposée à l'-action d'un 25 pinceau de lumière ultra-violette de manière à former le groupe de connexions 32, représenté à titre d'exemple sur la figure 5, pour chacun des déplacements de circuit représenté schématique-ment sur la figure 4. De plus, quand un bon circuit et un emplacement de circuit du tracé-maître coïncident, la réserve photo-30 graphique située au-dessus du plot est exposée. Pour cela, on peut placer la plaquette 20 sur un plateau x-y entraîné par un calculateur conformément à un programme prédéterminé, de manière à former un tronçon de ligne d'interconnexion 32 de 38 microns de largeur. Evidemment, des lignes plus minces seraient avanta-35 geuses pour relier des circuits de dimensions réduites obtenus avec un rendement plus élevé. On doit remarquer que les plots peuvent être réalisés avec des côtés de longueur supérieure à la largeur des connexions, par exemple 76 x 76 microns contre 58 69 32771 15 2018868 microns de largeur, pour faciliter l'alignement et le raccordement pendant les opérations d'interconnexion. Après que la couche de réserve photographique 48 a été exposée conformément au schéma décrit ci-dessus, elle est ensuite traitée par un révéla-5 teur qui dissout la matière protectrice non exposée représentée en pointillé sur la figure 7b, ne laissant subsister la réserve photographique exposée ou durcie sur la couche d'aluminium 46 que suivant le tracé des lignes d'interconnexion et des plots, qui peuvent être considérés comme des zones interconnectées, et 10 mettant à nu la couche d'aluminium partout ailleurs. La plaquette 20 est ensuite traitée par une solution corro sive, par exemple de l'hydroxyde de sodium, qui enlève tout l'a-luihinium 46 mis à nu, laissant seulement les connexions 32 en aluminium et les plots au-dessous de la réserve photographique 15 46 durcie. Ensuite, la réserve photographique durcie 46 est trai tée par une solution qui la dissout ou la détache en laissant ainsi subsister les connexions 32 en aluminium (figure 7b)« On peut utiliser d'autres procédés pour former les passages pour les plots 24 des bons circuits 28 et pour former les 20 connexions 32. Un de ces procédés consiste en l'emploi de caches réalisés pour chaque plaquette. Par exemple, les passages aboutissant aux plots des bons circuits pourraient être réalisés en exposant la couche de réserve photographique 40 de la figure 6a à de la lumière ultra-25 violette à travers une diapositive, mettant ainsi à nu seulement la réserve se trouvant au-dessus des plots 24. Ce cache, ou diapositive pour passages, pourrait être réalisé à l'aide d'un plateau x-y en soumettant une pellicule photographique à pouvoir séparateur élevé à l'action d'un faisceau lumineux, conformément 30 au tracé choisi. La pellicule photographique serait ensuite soumise à un traitement photographique classique de manière à obtenir une diapositive à travers laquelle la réserve photographique 40 serait exposée. Ensuite, la réserve 40 non exposée pourrait être dissoute dans un révélateur convenable, en pulvérisant 35 en H.F. une couche d'isolant 42 au-dessus d'elle, l'ensemble étant ensuite chauffé pour fissurer l'isolant 42 au-dessus de la réserve 40, ladite réserve exposée étant ensuite séparée des plots 24 par une solution de dépouillement convenable. 69 32771 u 2018868 La couche de connexions 32 de déplacement des plots pourrait également être formée en utilisant un cache transparent négatif réalisé sur le plateau x-y en soumettant la pellicule photographique à l'action d'un faisceau lumineux selon un tracé ou 5 itinéraire prédéterminé, ensuite un cliché des conducteurs 32 de raccordement aux plots déplacés, destiné à tous les circuits déplacés, serait placé au-dessus. La pellicule serait ensuite " soumise à dee opérations photographiques normales de manière à obtenir un négatif transparent. Ce négatif transparent serait 10 ensuite posé sur- la couche de réserve photographique 48 de la figure 7a, de manière à l'exposer suivant le tracé des connexions 32 entre les plots à nu des bons circuits 28 et les emplacements des plots des circuits 30 du tracé-maître. Ensuite, la réserve 48 non exposée serait éliminée avec un révélateur spé-15 cial, l'aluminium à nu, attaqué chimiquement et enlevé et la réserve durcie restante étant éliminée avec un produit pour dépouillement; ensuite on formerait le réseau de connexions 32 partant des plots 24 des bons circuits 28 pour aboutir aux emplacements des plots des circuits choisis 30 du tracé-maître. 20 La première couche de passages normalisés 49 aboutissant aux emplacements 24' de plots du tracé-maître (figure 8) est formée comme suit : Comme on l'a indiqué précédemment à propos de la figure 6a, une couche de 25 microns d'épaisseur de réserve photographique est déposée sur la surface des connexions 25 et des plots 24' sont formés à l'emplacement 30 dee circuits du tracé-maître. Ensuite, la réserve est exposée à la lumière ultra-violette à travers un masque normalisé comportant des passages, de manière que seule la réserve se trouvant au-dessus des plots déplacés 24' soit exposée. Ensuite, un révélateur con-30 venable est mis en contact avec la réserve pour dissoudre et é-liminer par lavage celle qui n'a pas été exposée, ne laissant subsister que la réserve exposée ou durcie au-dessus des plots déplacés. Une couche d'isolant, de un micron d'épaisseur, est projetée en haute fréquence sur la surface de la réserve durcie» 35 Le dispositif est ensuite chauffé de manière qu'une dilatation plus forte de la réserve fendille l'isolant 50 placé au-dessus d'elle. Après fissuration de l'isolant 50, un produit éliminant la réserve est utilisé pour la dissoudre ou la détacher et, par 69 32771 1-7 2018868 conséquent, mettre à nu les plots 24' déplacés à l'aide des passages normalisés 49. Après que les plots déplacés 24' ont été mis à nu, une couche de connexions normalisées 54 est formée (voir figure 8). 5 Plus particulièrement, une couche d'aluminium 56 de un micron d'épaisseur est déposée par pulvérisation ou vaporisation sur la surface de la couche de verre 50 associée aux passages normalisés 49. Ensuite on dépose sur la surface d'aluminium 56, de la manière décrite ci-dessus à propos de la figure 7a, une couche 10 de 2,5 microns d'épaisseur de réserve photographique. Cette réserve est ensuite exposée à la lumière ultra-violette à travers un cache normalisé d'interconnexion, la réserve étant ainsi exposée de manière à former un réseau de connexions normalisées qui suivent le tracé des passages normalisés 49 à la surface de l'a-15 luminium 56 de manière à former un réseau prédéterminé. Ensuite, la réserve est éliminée dans un révélateur qui dissout et élimine par lavage celle qui n'a pas été exposée, mettant ainsi à nu la surface de l'aluminium 56 sauf là où des connexions normalisées doivent être formées, la surface à nu de l'aluminium est 20 ensuite traitée par un bain corrosif, pour éliminer l'aluminium à nu représenté par les lignes en traits interrompus. Ensuite, on utilise un produit de dépouillement pour dissoudre ou détacher la réserve photographique puis on forme un réseau normalisé de c onnex ions 54. 25 On place une autre -couche de matière isolante 60, portant Tin groupe normalisé de passages 62, sur la partie supérieure de la couche de connexions 54 normalisées (figure 9). Plus particulièrement, on dépose une couche de 25 microns d'épaisseur de réserve photographique sur la partie supérieure de la couche de 30 connexions normalisées 54 de la manière décrite à propos de la figure 6a. la réservo^hofcographique est ensuite soumise à l'action de la lumière ultra-violette à travers un autre cache semblable pour traversée, si bien que seule la réserve signée au-dessus de parties choisies des connexions 54 est exposée. En-35 suite, on exécute les opérations décrites ci-dessus de dissolution de la réserve photographique non exposée par le. révélateur, de dépôt d'une couche de matière isolante au-dessus d'elle, de chauffage de l'ensemble pour fissurer l'isolant au-dessus de ia 69 32771 18 2018868 réserve exposée et ensuite de dépouillement de la réserve photographique par un produit approprié, de façon que seulement certaines parties - ou tronçons - des connexions soient exposés à travers les passages 62 obtenus. 5 Ensuite, on place une autre couche d'aluminium avec un réseau normalisé de connexions 68 sur la partie supérieure de la couche 60 incorporant les passages normalisés (figure 9). les -connexions normalisées 68 sont formées en déposant une mince couche d'aluminium de un micron d'épaisseur à la surface de 10 l'isolant 60 et des passages normalisés 62, par pulvérisation ou dépôt par vaporisation. Ensuite, les connexions normalisées 68 sont formées de la manière décrite ci-dessus à propos de la figure 7a, dans laquelle une mince couche de réserve photographique est placée sur la face supérieure de la couche d'alumi-15 nium et exposée à travers un cache normalisé. La réserve photographique non exposée est dissoute dans un révélateur et l'aluminium mis à nu est enlevé par une solution corrosive. Ensuite, la réserve photographique exposée est enlevée avec un produit de dépouillement de manière à laisser subsister les connexions ~ 20 normalisées 68 en aluminium. On ipeut placer ensuite facultativement une couche d'isolant 70 sur la couche supérieure normale d e c onnex ions„ Il est également évident que, si nécessaire, on peut utiliser des couches additionnelles de passages normalisés et de 25 connexions normalisées. Bien qu'on ait expliqué la formation de couches normalisées d'isolant et de métal avec des caches normalisés, il est également possible de réaliser leur tracé à l'aide du pinceau lumineux et du plateau x-y. 30 Le nombre total de couches de connexions normalisées peut être réduit si l'on forme des croisements en des emplacements réservés des circuits de la même manière que les connexions de déplacement des plots 32. Par exemple, comme représenté en trait interrompu sur la figure 5a, plusieurs tronçons 100 de conduc-35 teurs sont formés dans un emplacement réservé de circuits ne coïncidant pas avec les emplacements de circuits du tracé-maître pendant la métallisation des connexions 32 de déplacement des plots. Ces tronçons de conducteurs peuvent être formés à l'aide 69 32771 19 2018868 du faisceau lumineux précédemment décrit et d'un plateau x-y ou avec un cache servant à exposer la réserve photographique suivant un dessin formé par les traits interrompus. Après la • formation des tronçons de conducteurs 100, on peut s'en servir 5 comme croisements, où les passages partant des connexions normalisées de la couche suivante métallisée constitueront un trajet destiné aux circuits et qui permettra aux conducteurs de s'entrecroiser l'un au-dessus de l'autre en étant séparés de la couche antérieurement décrite d'isolante 10 Dans ces conditions, il peut être préférable d'essayer électriquement les plaquettes 20 interconnectées pour voir si elles accomplissent leur fonction avant le groupement définitif. En variante, il peut être avantageux de conditionner la plaquette interconnectée 20 et ensuite de la vérifier électriquement 15 pour voir si ses circuits accomplissent les fonctions désirées. Bien que le déplacement des circuits ait été représenté en détail sur une base circuit-par-circuit, il est parfaitement possible d'utiliser le déplacement des bornes des circuits décrits ci-dessus avec des groupes de circuits interconnectés obtenus 20 avec un rendement de 100$. Plus précisément, on procède à une étude de la plaquette pour localiser les groupes de circuits - obtenus ;avec un rendement de 100$, par exemple, une matrice 4 x 5 de bons circuits. Si un ou plusieurs groupes ne correspondent pas à un rendement de 100$, il est possible de déplacer 25 les circuits en direction de ce groupe par le mode de déplacement décrit ci-dessus des plots de façon à élever effectivement le rendement à 100$ . Ensuite, des couches normalisées de connexions peuvent être utilisées de manière à interconnecter les divers circuits dans chaque groupe de façon que le groupe entier 30 fonctionne d'une manière prédéterminée. Ensuite, le groupe de circuits interconnectés peut être déplacé en mettant en place des connexions partant des plots d'entrée, de sortie, d'alimentation et de raccordement à la masse du groupe de manière qu'elles aboutissent aux .emplacements des plots d'un circuit d'un 35 tracé-maître au-dessus des emplacements des groupes. Ensuite, le réseau normalisé de connexions peut être mis en place pour relier les groupes entre eux. 69 32771 2018868 20 Il est bien entendu que les principes de la présente demande englobent tous les types de circuits intégrés. De plus, les principes à la base de l'invention peuvent être utilisés pour la réalisation d'un sous-ensemble dans lequel chaque plaquette 5 peut comporter quatre sous-ensembles complets ou plus, parmi lesquels il est possible que l'un d'entre eux soit défectueux; ou bien il peut comporter quatre types différents de sous-ensembles. Il peut alors être nécessaire ou avantageux d'utiliser seulement deux de ces circuits ou".sous-ensembles en deux empla-10 cements de circuits précités. Par conséquent, les plots des circuits désirés seront déplacés selon la présente invention. De plus, le procédé de déplacement des plots peut être appliqué là où les dimensions des divers circuits varient à la suite de changements dans la conception ou de modifications des pro-15 cédés utilisés, des tolérances des masques et de l'attaque chimique, après quoi les mêmes caches normalisés peuvent être utilisés pour tous les circuits. De plus, bien qu'on ait décrit le déplacement des plots par rapport à une plaquette entière, il est possible d'utiliser ce procédé sur une partie seulement d'u-20 ne plaquette qui est séparée d'une plaquette complète ou découpée dans celle-ci. De même, quand la densité des bons circuits est très élevée, il est possible de disperser les circuits de manière à les répartir plus uniformément, après quoi on réalise plus facilement des connexions avec les circuits nécessaires 25 la dissipation d'énergie étant plus uniforme. Bien entendu, l'invention n'est nullement limitée aux exemples décrits et représentés, elle est susceptible de nombreuses variantes accessibles à l'homme de l'art, suivant les applications envisagées et sans qu'on s'écarte pour cela de son 30 cadre. 69 32771 21 2018868 REVENDICATIONS 1. Ensemble de circuits intégrés comportant un assemblage de circuits intégrés utilisables et inutilisables, comportant chacun des connexions électriques aboutissant en divers -points 5 de l'assemblage, caractérisé en ce qu'un isolant électrique est disposé au-dessus dudit assemblage et des emplacements normalisés établissant des secondes connexions électriques et des conducteurs électriques constituant lesdites secondes connexions électriques et reliant électriquement ces dernières aux premiè- 10 res connexions électriques de circuits intégrés utilisables sélectionné . 2. Ensemble de circuits intégrés selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit isolant est constitué par une couche de matière isolante comportant des ouvertures aboutissant aux- 15 dits circuits utilisables sélectionnés. 3. Ensemble de circuits intégrés selon la revendication 2, caractérisé en ce que ledit ensemble de conducteurs électriques forme un réseau à ladite surface de ladite couche isolante et partent des circuits électriques utilisables sélectionnés 20 pour aboutir auxdits emplacements normalisés, 4. Ensemble de circuits intégrés selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit ensemble de conducteurs électriques constitue une partie d'une couche métallisée. 5. Ensemble de circuits intégrés selon l'une des revendica- 25 tions 1 à 4, caractérisé en ce que les conducteurs électriques dudit ensemble comportent des parties élargies constituant lesdites secondes connexions électriques., 6. Ensemble de circuits intégrés selon l'une des revendications 1 à 5» caractérisé en ce que le nombre desdits emplacements 30 normalisés est Inférieur au nombre de circuits intégrés dudit ensemble. 7. Ensemble de circuits intégrés selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la densité desdits emplacements normalisés correspond à la densité prévue desdits circuits in- 35 tégrés .utilisables. 8. Ensemble ie circuits intégrés selon l'une.des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que lesdits emplacements normalisés 69 32771 2018868 sont espacés l'un de l'autre d'une distance correspondant au. moins aux dimensions des circuits intégrés. 9. Ensemble de circuits intégrés selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que ledit ensemble conducteur de 5 l'électricité comprend des tronçons reetilignes d'une couche d'un matériau conducteur placé sur ledit isolant électrique. 10. Ensemble de circuits intégrés selon l'une des revendit cations 1 à 9» caractérisé en ce que ledit isolant électrique isole les circuits intégrés inutilisables dudit ensemble conduc- 10 teur. 11. Ensemble de circuits intégrés selon la revendication 1 , caractérisé en ce qu'il comprend une première couche de matière isolante placée sur ledit ensemble et comportant plusieurs ouvertures pour mettre à nu le premier ensemble de connexions élec- 15 triques de circuits choisis dans une file rectiligne de circuits intégrés, une première couche métallique de conducteurs électriques réalisés sur ladite première couche d'isolant, lesdits conducteurs étant constitués par des tronçons linéaires orientés seulement suivant une première et une seconde direction perpen-20 diculaire à la première, ces tronçons partant du premier point de raccordement électrique des circuits sélectionnés mis à nu par des ouvertures de ladite première couche d'isolant et étant dirigés vers les plots de raccordement desdites secondes connexions situés auxdits emplacements normalisés de la première couche 25 électrique isolante, une seconde couche d'isolant placée sur la© dite première couche de conducteurs électriques et comportant plusieurs ouvertures qui mettent à nu seulement lesdites secondes connexions électriques, une seconde couche métallique de conducteurs électriques placée sur ladite seconde couche de 30 matière isolante, certains des seconds conducteurs choisis partant, suivant un tracé normalisé, desdites secondes connexions électriques, une troisième couche de matière isolante placée sur la seconde couche de conducteurs et comportant un ensemble normalisé d'ouvertures pour mettre à nu certaines parties choisies 35 de la seconde couche de conducteurs et une troisième couche de conducteurs électriques placée sur ladite troisième couche de matière isolante, lesdits troisièmes conducteurs reliant des ouvertures choisies de la troisième couche de matière isolante» 69 32771 23 2018868 12. Procédé de réalisation d'un ensemble de circuits intégrés selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend les opérations consistant à essayer électriquement les circuits intégrés pour localiser les circuits utilisables, placer sur les 5 circuits intégrés un isolant électrique qui met à nu certains des circuits utilisables localisés choisis et isole les autres, disposer sur ledit isolant un ensemble-maître d'emplacements normalisés pour des connexions électriques et placer sur ledit isolant un groupe de conducteurs électriques de manière à relier 10 électriquement les circuits utilisables choisis aux emplacements normalisés correspondants. 13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce qu'il comprend les opérations consistant à déposer une couche de réserve photographique sur ledit ensemble, exposer ladite 15 réserve photographique à la lumière au-dessus des parties correspondant aux connexions de circuits utilisables choisis, éliminer la réserve photographique non exposée, déposer une couche de matière électriquement isolante au-dessus des circuits et de la réserve photographique exposée, chauffer l'ensemble de 20 façon à fissurer la matière isolante au-dessus de la réserve photographique exposée, enlever la réserve photographique exposée pour mettre à nu les connexions des circuits choisis, déposer une couche de matière électriquement conductrice sur la couche isolante et les parties des connexions mises à nu, déposer une 25 couche de réserve photographique sur la couche de matière électriquement conductrice, exposer la réserve photographique sous un cliché représentant les connexions partant des éléments de connexion mis à nu pour aboutir aux emplacements des connexions normalisées du tracé-maître, éliminer la réserve photographique 30 non exposée pour mettre à nu la matière conductrice, enlever la matière conductrice à nu et éliminer la réserve photographique exposée de manière à mettre à nu la matière conductrice dudit réseau de connexions. 14. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce 35 que ladite opération d'exposition de la couche de réserve photographique sous un cliché comprend les stades consistant à concentrer un faisceau lumineux sur la réserve photographique et déplacer l'ensemble de circuits intégrés par rapport au faisceau 69 32771 ^ 2018868 lumineux dans une première et une seconde directions axiales perpendiculaires entre elles. 15. Procédé selon la revendication 13, comportant de-plus les opérations consistant à déposer une couche de réserve photo-5 graphique sur les connexions de l'ensemble de circuits intégrés, exposer ladite couche de réserve photographique à l'action de la lumière sous un cliché normalisé au-dessus des parties de connexion des lignes d'interconnexion, éliminer la réserve photographique non exposée, déposer une couche d'isolant sur l'en-10 semble de circuits intégrés ainsi que sur la réserve photographique exposée, chauffer l'ensemble de circuits intégrés de façon à fissurer l'isolant au-dessus de la réserve photographique exposée, éliminer la réserve photographique exposée pour mettre à nu ladite partie des connexions, déposer une couche de matière é-15 lectriquement conductrice au-dessus de l'ensemble, déposer une couche de réserve photographique au-dessus de la couche électriquement conductrice, exposer la couche de réserve photographique à la lumière sous un cliché normalisé de connexions dont certaines partent des parties à nu des premières connexions, 20 éliminer la couche de réserve photographique non exposée pour mettre à nu la matière électriquement conductrice, éliminer la matière électriquement conductrice à nu, séparer la réserve photographique exposée de la matière électriquement conductrice, déposer une couche de réserve photographique sur l'ensemble, ex-25 poser ladite couche de réserve photographique à la lumière au-dessous d'un cliché normalisé de passages aboutissant au tracé normalisé de connexions, éliminer la réserve photographique non exposée, déposer une couche d'isolant sur l'ensemble, chauffer l'ensemble pour dilater la réserve photographique exposée afin 30 de fissurer l'isolant se trouvant au-dessus de celle-ci, retirer la réserve photographique exposée de manière à mettre 'à nu des parties du tracé normalisé de connexions, déposer une couche de matière conductrice sur l'ensemble; déposer 'une couche de réserve photographique sur la couche de matière conductrice, ex-35 poser à la lumière la réserve photographique sous un cliché normalisé de connexions reliant entre eux lesdits passages, éliminer la réserve photographique non exposée pour mettre à nu la matière conductrice, éliminer la matière conductrice à nu et éliminer la réserve photographique exposée pour laisser subsister un tracé normalisé de connexions.