Brevet FR2005286A1 — publié le 19691212

Cette invention concerne en général des dispositifs électriques et plus particulièrement des dispositifs électriques, circuits imprimés ou condensateurs électriques, développés par voie photographique, ainsi que la méthode pour les produire. La technologie des circuits miniature et micro-électroniques utilise différents types de composants électriques minuscules. De tels composants sont généralement produits par des procédés de dép6t en couche mince en utilisant des techniques d'application mécanique, à stencil ou de galvanoplastie. Ces procédés connus de dé p8t en couche mince présentent différentes caractéristiques indépendantes et collectives indésirables, telles qu'un cotit élevé, la nécessité d'un temps de traitement prolongé, et une extrême sensibilité aux conditions environnantes telles que la pression, la température, la concentration des constituants, etc. Les circuits imprimés sont le fondement de la majeure partie du matériel électronique fabriqué par voie mécanique. La popularité des circuits imprimés résulte surtout des besoins réduits de main-d'oeuvre qui sont associés à leur utilisation. En outre, le haut degré de reproductibilité possible avec les circuits imprimés améliore l'uniformité des systèmes et simplifie le contrôle de qualité du produit fini. De plus, la précision avec laquelle ils peuvent autre manufactures rend les circuits imprimés particulièrement utiles dans les unités électroniques miniature qui sont utilisées maintenant dans maintes applications telles celles qui concernent le matériel aéroporté. Les méthodes les plus courantes de production de circuits imprimés mettent en jeu des processus d'enlèvement dé matière. Parmi celles-ci,une technique très répandue est la photogravure, dans laquelle on utilise un film photographique pour former le circuit, On applique un film photosensible sur une couche de cuivre fixée sur un stratifié de matière plastique, et on superpose au film le négatif d'un modèle de circuit désiré.On expose ensuite le film a la lumière ultraviolette, qui durcit l'image de circuit exposée. Puis on place l'unité dans un bain d'alcool qui ne dissout que le film non exposé en laissant le film exposé et durci protéger la couche de cuivre au cours d'un processus de gravure ultérieur.Au cours de ce processus de gravure le cuivre non recouvert est dissous dans un bain d'acide ou de chlorure ferrique. Enfin, on dissout le film durci qui reste encore en exposant le cuivre protégé suivant le modèle de circuit désiré. On contact aussi la gravure à stencil, dans laquelle on applique le modèle du circuit par un pr3- cédé d'impression approprié tel que la sérigraphie. On sèche ensuite le revêtement protecteur, d'habitude un émail, et on grave le cuivre exposé comme décrit ci-dessus. Une autre méthode bien connue pour produire des circuits imprimés met en jeu un processus de placage dans lequel on recouvre un stratifié de matière plastique, par sJemple une résine phénolique sur support de papier/Pune couche conductrice de l'électricité, par exemple d'un film d'argent déposé de la même manière que pour l'argenture des miroirs. On recouvre ensuite le film d'argent d'un revetement protecteur de placage, d'habitude un émail, selon un procédé à stencil, en laissant des plages exposées pour former 13 modèle de circuit. On expose ensuite une couche de cuivre et on enlève avec un solvant le revetement protecteur de placage.Enfin, on enlève le film d'argent exposé par morsure à l'acide, en laissant la couche de cuivre plus épaisse former le modèle de circuit désiré sur la feuille de matière plastique. Bien que ces procédés connus soient largement utilisés pour une très grande variété d'applications, on manque d'une méthode perfectionnée pour produire des circuits imprimés. On manque en particulier d'un procédé susceptible d'améliorer la précision avec laquelle les circuits imprimés peuvent etre obtenus. Comme indiqué ci-dessus, cette exigence de précision pour les circuits est particulièrement marquée dans le domaine toujours en expansion des systèmes électroniques miniaturisés. Cette invention fournit donc un procédé perfectionné adapté à la production de dispositifs électriques complexes et extremement précis, et notamment de circuits imprimés et de condensateurs électriques miniature. L'invention est caractérisée par un procédé comprenant les étapes de : dép8t d'une couche de substance photoconductrice sur un substrat, formation de l'image latente du composant électrique désiré, d'un circuit par exemple, sur la substance photoconductrice, et exposition de 1' image latente à une substance révélateur nui développel'iraage en y déposant une couche de substance conductrice de l'électricité. A cause du nombre limité d'étapes opératoires requises et de la résolution d'image extrSmement haute qui peut entre atteinte, ce procédé peut produire, facilement et de façon relativement peu conteuse, des composants électriques imprimés et miniaturisés e.ctremement exacts, tels que microcircuits et microcapacités.Pour les condensateurs, la couche qui porte le photoconducteur est déposée sur une électrode substrat conductrice de l'électricité. On peut ainsi former selon le présent procédé différents types de composants électriques miniaturisés en se contentant d'un contrôle limité des conditions environnantes. A cause de la haute résolution qui peut titre atteinte dans le procédé photographique, on peut obtenir une géométrie de circuit extrême- ment précise. Le présent procédé est particulièrement efficace lorsque la substance photoconductrice contient du diode de titane. On produit des circuits de qualité exceptionnelle en utilisant du dio oxyde de titane dans le procédé décrit- ci-dessus. En outre, les propriétés photographiques et diélectriques du dioxyde de titane sont particulièra:lert bien adaptées à la fabrication de condensa teurs. Le présent procédé envisage aussi la prévision de réceptacles pour composants electriqut dans le substrat, de façon à faciliter le montage des composants électriques convenant au branchement dans l'image de circuit développée. De plus, cette invention fournit aussi une méthode pour fabriquer un ensemble de composants électriques, de -ondensateurs par exemple, sur le mEme substrat. L'invention est encore caractérisée par la fourniture d'un circuit électrique forme comme décrit ci-dessus et comprenant un substrat, une couche de substance photoconductrice déposée sur le substrat, et une image de circuit conductrice de l'électricité, développée photographiquement sur la surface de la couche photo conductrice et adaptée pour le branchemen. sur une source d'énergie électrique. Cette invention est illustrée plus en détail dans les dessins annexés, dans lesquels La Figure 1 est une vue plane schématique illustrant un mode de réalisation préféré de l'invention, La Figure 2 est une vue en coupe transversale du morde de réalisation représente sur la Figure 1, suivant la ligne 2-2; La Figure 3 est une vue en coupe transversale du mode de réalisation représenté sur la Figure 1, suivant la ligne 3-3; La Figure 4 est une vue plane illustrant un autre mode de réalisation ; La Figure 5 est une vue en coupe transversale du mode de réalisation représente sur a Figure 4,suivant la ligne 5-5;; La Figure 6 est une vue plane illustrant un autre mode de r-6alssation, La Figure 7 est une vue en coupe transversale du mode de réalisation représenté sur la Figure 6, suivant la ligne 7-7; La Figure 8 est une vue en coupe transversale du mode de réalisation représenté sur la Figure 6, suivant la ligne 8-8; La Figure 9 est une vue en coupe transversale du mode de réalisatior représenté sur la Figure 6, suivant la ligne 9-9; La Figure 10 est une vue plane illusttant un autre mode de réalisation; La Figure li est surie vue de dessous du mode de réalisation représenté sur la Figure 10;; La Figure 12 est une vue en coupe transversale du mode de réalisation représenté sur les Figures 10 et 11 ; La Figure 13 est une vue plane plane deux mode de réalisation pré- féré de l'invention; a ure 14 est une vue en coupe transversale suivant la ligne 2-2 de de la Figure 13; et La Figure 15 est une vue en coupa transversale suivant la ligne 3-3 de la Figure 13; La Figure 16 est une vue plane scnématique illustrant un autre mode de réalisation. Se référant maintenant aux Figures i d 3, il y est représenté le support isolant 11 portant le substrat 12 conducteur de l'électricité. Par dessus toubela surface supSrieure du substrat 12 est déposée la couche pelliculaire 13 de substance photoconductrice. La couche photoconductrice 13 supporte et sépare la couche image 14,conductrice de l2électricité et produite photographiquement1de l'électrode substrat conductrice 12. Dans la couche image 14 sont incorporées l'électrode image 15 et la borne électrique 16 servant au branchement sur un circuit électrique (non représenté). Une borne électrique similaire 17 fait saillie de l'électrode substrat 12. Se référant maintenant aux Figures 4 et 5, il y est représenté le dispositif 21 de ligne à retard comprenant l'électrodesubs- trat 22 conductrice de l'électricité supportée par le support isolant 23. Sur la surface supérieure de l'électrode 22 est déposée la couche 24 composée d'une substance photoconductrice appropriée. L'image 25 du circuit, conductrice de ltélectricité et développée photographiquement, est formée sur la surface de la couche photo conductrice 24. Cornrae le montre la Figure 4, l'image 25 du circuit comprend le trajet conducteur 26, continu, allongé et sinueux, se terminant par les bornes électriques 27 prévues pour le branchement dans un circuit électrique convenable (non représenté). Les parties individuelles de la ligne 21 à retard sont produites comme décrit ci-dessus au sujet de l'élément condensateur 10. Naturellement, le développement photographique de l'électrode image 25 implique l'e,wposition, sur la surface de la couche photoconductrice 24, d'une image latente conforme au traiet continu 26. Les caractérisitiques électriques du dispositif 21 qui est produit sont déterminées aussi bien par ses propriétés physiques que pas la géométrie de l'électrode image 25. On trouvera une description de ces facteurs dans l'ouvrage intitulé "Transmission Line Theory", IGng, page 46, publié par McGraw-Hill en 1955. A cause de la haute résolution qui peut entre atteinte avec un procédé photographique, la géométrie de l'électrode conductrice 25 et par conséquent les caractéristiques du dispositif 21 peuvent etre très soigneusement contrôlées, Se référant maintenant aux Figures 6 à 9, il y est représenté une plaquette 31 de circuit produite selon la présente invention. L'électrode substrat 32 conductrice de l'électricité est portée par le support isolant 33.Sur la surface supérieure de l'électrode substrat 33 est déposée une couche 34 de substance photoconductrice appropriée comme le dioxyde de titane. Ici encore, une image 35 de circuit, conductrice de l'électricité et développée photographi- quement, est formée sur la surface de la couche photoconductrice 34. La borne électrique 36 est constituée par un prolongement de l'image 35 du circuit. Une borne électrique similaire 37 fait saillie de l'électrode substrat conductrice 32. Les bornes 36 et 37 sont adaptées pour raccorder le circuit 35 à un système élec triaue convenable. Comme le montre la Figure 6, l'image 35 du circuit comprend les électrodes 3 de condensateur réunies par les trajets conducteurs 39 de circuit. Dans la plaquette 31 sont pratiquées les ouvertures 41 de réceptacle conçues pour recevoir, de façon conventionnelle, des composants électriques individuels (non représentés) convenantau raccordement dans les tracts conducteurs 39. La plaquette 31 de circuit est produite de préférence comme décrit ci-dessus, l'image 35 du circuit étant d'abord formée sous forme dsimage latente sur la surface de la couche photoconductrice 34 et ensuite développée en une couche conductrice de l'électricité Les électrodes 38-de condensateur, ainsi que la couche photoconductrice 34 et l'électrode substrat 32, forment un ensemble de condensateurs. Un tel agencement est particulièrement utile dans les maintes applications de-circuit qui utilisent un ensemble de condensateurs reliés en commun. Les Figures 10 à 12 illustrent autre réalisation de llin- vention,danslaquelle le support 50 comprend les couches 51 et 52 de substance photoconductrice déposées de part et d'autre du substrat 53. De préférence, le substrat 53 est une feuille extrêmement mince d'un matériau souple tel que le film de polyamide commercialisé sous la marque 'eiRapton" de la DuPont Company. De la manière décrite ci dessus, une première image, ccnductrce de lX électricité et développée photographiquement, comprenant les électrodes 54 et 55 et les bornes associées 56 et 57, est formée sur la surface supérieure 51. Une seconde image conductrice de l'électricité et photographiquement développée, comprenant les électrodes 58 et 59 et les bornes associes 61 et 62 est formée sur la surface inférieure 52 L'électrode 54 est alignée sur l'électrode 58 de façon à former avec elle un premier condensateur électrique ayant des bornes 56 et 61. De m8me l'électrode 51 est alignée sur ltélectro- de 59 de façon à former avec elle un second condensateur électrique avec des bornes 57 et 62.Puisque les deux séries d'électrodes sont développées photographiquement, les caractéristiques électriques des condensateurs résultants peuvent'être soigneusement con triées Sur les Figures 13 à 15 il est représenté la plaquette 63 de circuit comprenant le substrat 64 constitué, par exemple, par un stratifé de matière plastique tel cru'une résine phénolique sur support de papier. Sur le substrat 6 est deposee la couche pelliculaire 65 de substance photoconductrice, préférablement de dioxy- de de titane. L'image 66 du circuit conductrice de l'électricité, comprenant les trajets conducteurs 67, est formée sur la surface de la couche pelliculaire photoconductrice 65. Le substrat 64 et la couche pelliculaire 65 sont traversés par un ensemble d'ouvertures 68 de réceptacle conçues pour recevoir les composants électriques convenant au branchement dans le circuit 66. Se référant maintenant à la Figure 16, il y est représenté un autre mode de réalisation de plaquette 69 de circuit, comprenant une image de circuit développée photographiquement sur la couche 70 de substance photconductrice L'image du circuit est formée par l'ensemble de trajets 71 de circuit. Ici encore1 la plaquette 69 est pourvue d'ouvertures 73 de réceptacle conçues pour recevoir des composants électriques. Dans les trajets 71 de circuit sont incorporées des. parties 72 de trajet conducteur et des parties 74 de trajet roeistant. La plaquette 69 de circuit est produite comme décrit ci-dessus. Cependant, au cours de l'exposition de l'iuage du circuit, les parties conductrices 24 sont exposées à un niveau d'énergie sensibi- lisatrice plus élevé que les parties résistantes 74. Ainsi, au cours du développement, le métal libre précipite de façon plus dense sur les parties conductrices 72 que sur les parties résistantes 94. Par conséquent, la résistance électrique spécifique des parties conductrices 72 est rendue sensiblement plus grande que celle des parties résistantes 26, qui ont de préférence des résistances spé cifiques de plus de 10 5 oEm-centimdtre de façon à 30uer le rdle de résistances électriques Naturellement, la résistivité exacte des résistances 74 est déterminée par le niveau d'énergie sensibilisatrice appliquée. On se rendra compte qu'on peut aussi utiliser d'autres procédés pour développer des circuits de résistivités différentes. Par e=mple, on peut développer une image de circuit uniformément expose en trajets distincts de résistivité variable, grâce à une série d'étapes de développement successives.Dans ce cas, les étapes de développement sont réalisées avec des révélateurs comprenant des ions réductibles de métaux distincts ayant des caractéristiques différentes de résistivité électrique. L'image du composant produite selon la présente invention se compose de préférence dlun métal conducteur continu,et non d'un métal granulaire ou particulaire normalement associé aux images photographiques. image métallique continue est bien entendu plus conductrice et plus appropriée aux usages électriques. Les méthodes de formation de telles minages métalliques continues sont connues des hommes de l'art. Par exemple, on applique d'abord l'ion métallique réductible en solution visqueuse à l'image latente du ccr.lposant, et ensuite on applique l'agent réducteur, sous forme de solution liquide ou visqueuse. On peut suivre le cours de la réduction en observant le développement de l'image latente à travers la couche visqueuse.Autrement, on développe l'image latente dans une solution contenant à la fois l'ion métallique sensibilisateur et l'agent réducteur. Pour obtenir les meilleurs résultats, on emploie des réactifs de haute pureté et on maintient généralement les solutions utilisées dépourvues d'impuretés, par exemple on évite, ou du moins on minimise, la réutilisation de la même solution combinée de senzibilisateur et d'agent -réducteur.Si on le désire, on peut amplifier l'image métallique originale du composant ainsi produite à 11 aide de métaux telsque 11 argent, l'étain ou le cuivre, selon un procédé dit d'amplification -dtimage. On peut réaliser cette modification en se contentant de plonger l'image métallique du composant dans une solution de l'ion métallique amplificateur contenant un agent réducteur pour le métal amplificateur. Sinon, on peut utili ser des bains de galvanoplastie métallique pour former l'image métallique amp1i-iée. Dans un exemple typique de l'invention, on applique une couche photoconductrice de dioxyde de titane sur un substrat approprié. On expose ensuite la surface de la couche photoconductrice à une source de rayonnement ultraviolet dont le modèle est conforme a celui du composant désiré. L'exposition au rayonnement ultraviolet active uniformément les parties exposées de la couche photoconductrice en créant une image latente du circuit.On met ensuite la surface de la couche photoconductrice en contact avec les substances formant l'image métallique conductrice, par exemple avec la solution d'ion métallique conducteur , comme le nitrate d'argent, et avec l'agent réducteur comme le Métal (sulfate de para-méChyl- aminophénol) Ce procédé de développement provoque la précipitation d'argent métallique sur les parties eXposées de la couche photoconductrice en formant ainsi l'image du composant conductrice de l'électricité.On trouvera des descriptions plus détaillées de systèmes convenant pour former l'image du constituant dans le brevet britannique 1.043.250; dans les brevets E.U.A. N0 3.152.903 et 3.052.541; et dans les brevets Français n0 345.206 et 1.245.215. ra préférence pour le dioxyde de titane comme substance photoconductrice provient de ses propriétés photographiques étonnamment bonnes, atS pour les condensateurs, aux une constante diélectrique relativement haute, d' environ 100, et d'une dépendance relativement faible de la température et de la fréquence. Un condensateur produit avec du dioxyde de titane fait preuve d'un rapport capacité- volume souhaitable et d'une capacité qui est indépendante de la valeur de la tension qui lui est appliquée.A cet égard, on doit remarquer que si l'on remplace l'électrode conductrice 12, dans le mode-de réalisation de la Figure 1, par une électrode substrat formée d'un semi-conducteur tel que le silicium ou le germanium, la capacité du dispositif variera en fonction de la tension qui lui sera appliquée. D'autres substances préférées dans cette invention comme photoconducteurs ou photocatalyseurs comprennent d'autres ollo'coconduc- teurs contenant des métaux. Une catégorie préférée de ces substances photosensibles est constituée par des substances minérales comme les composés d'un métal et d'un élément non métallique du groupe VIA de la classification périodique1 comprenant des oxydes comme 1'oxyde de zinc, le dioxyde de titane, le dioxyde de zirconium le dioxyde de germanium, le trioxyde d';ndium, l'oxyde d'étain, ou le titanate de baryum; des sulfures métalliques comme le sulfure de cadmium, le sulfure de zinc, ou le disulfure d'étain; et des séléniures métalliques comme le séléniure de cadmium.Les oxydes métalliques sont des photoconducteurs particulièrement pr'férés de cette catégorie. Le dioxyde de titane est un oxyde métallique préféré à cause de sa conductivité électrique relativement basse. On préfère particulièrement le dioxyde de titane ayant une taille moyenne de particules inférieure à environ 250 millimicrons et qui a été traité en atmosphère oxydante à une température comprise entre environ 2000C et 9500C pendant environ 0,5 heure à environ 30 heures, et tout particulièrement le dioxyde de titane qui a été produit par pyrolyse d'un halogénure de titane à haute tempo rature. Bien qu'on ignore le mécanisme e==act selon lequel les photoconducteurs de cette invention sont sensibilisés, on pensc que l'exposition du photoconducteur ou du photocatalyseur à un moyen activant provoque le transfert d'un électron ou d'electrons de la bande de valence du photoconducteur ou photocatalyseur à sa bande de conductance, ou du moins d un quelconque état excite similaire dans lequel l'électron est l chemen'c retenu, ce qui fait passer le photoconducteur d'une forme inactive à une forme active. Si la forme active du photoconducteur est en présence d'un composé accepteur d'électrons, un transfert d'électrons aura lieu entre le photoconducteur et le composé accepteur d'électrons, ce qui réduira le composé accepteur d'électrons. C'est pourquoi un essai sinple que l'on peut utiliser pour déterminer si oui ou non les substances ont un effet photoconducteur ou photocatalytique, consiste à mélanger la substance en question avec une solution aqueuse de nitrate d'argent. Une réaction faible ou nulle doit avoir lieu en l'absence de lumière. On expose alors le mélange a la lumière.On expose en mime temps un échantillon témoin d'une solution aqueuse de nitrate d'argent seul à de la lumière, par exemple à la lumière ultraviolet- te. Si le mélange noircîtplus rapidement que le nitrate d'argent seul, cette substance est un photoconducteur. D'autres corps quisont utiles pour former les images de composants selon cette invention sont ceux qui sont décrits dans le brevet E.U.A. 3.152.903 et dans le brevet Britannique 1.043.250. Ces substances formant l'image comprennent de préférence un agent oxydant et un agent réducteur. De telles substances formant l'image sont souvent appelées dans la technique "révélateurs physiques11. L'agent oxydant est en général le constituant formant l'image de la substance formant l'image. Les agents oxydants préférés comprennent les ions réductibles de métaux conducteurs de l'électricité ayant au moins le pouvoir oxydant de l'ion cuivrique. Ceuc-ci comprennent des ions métalliques tels que Ag+, Zig2+, Pb4+, Au3+, Put4+, Ni2+ Son2+ Pb2+, Cul+, et Cu2+. Les constituants agentsréducteursdes substances formant l'image du composant selon cette invention, comprennent des composés organiques tels que les oxalates, les formates, l'hydroxylamine; substituée ou non substituée, l'hydrazine substituée ou non substi- tude,l'acide ascorbique, les aminophénols, et les dihydrophénols. La polyvinylpyrrolidone, les oxalates et les formates de métaux alcalins et alcalino-terreux sont égalaient utiles comme agents réducteurs. Des composés réducteurs appropriés comprennent l'hydroquinone ou ses dérivés, l'ortho et le para-aminophinol, le sulfate de para-méthylaminopllénol, la para-hydroxyphényl glycine, l'ortho et la para-phénylène diamine, et la l-phényl-3-pyrazolidone. D'autres substances formant l'image du composant, utiles dans cette invention, sont révélées dans le brevet E.U.A. 3.106.156, selon Lequel un métal est déposé par voie électrolytique sur les parties activées du photoconducteur. En outre, les substances formant l'image ou révélateurs physiques peuvent contenir des acides organiques pouvant réagir avec les ions métalliques pour former des anions métalliques complexes. De plus, les révélateurs peuvent contenir d'autres agents de formation de complexes et des agents de ce genre pour améliorer la formation de 1' image et autres ropriétés qu'on juge souhaitables dans cette technique. On peut aussi ajouter aux procédés de cette invention des étapes supplémentaires de stabilisation et de fixage comme celles qui sont connues dans la technique, afin d'augmenter la vie et la permanence de 1' image de composant produite D'autres sources d'irradiation qui sont utiles dans cette invention pour produire l'image latente du composant désiré comprennent toute radiation l'électromagnétique activante. Ainsi la lumière actinique, les rayons X, ou les rayons gamma peuvent servir à exciter le photoconducteur.On peut aussi utiliser des faisceaux d'électrons ou d'autres particules de ce genre à la place des formes ordinaires de radiations électromagnétiques, pour former 1' image du composant selon cette invention En outre, la couche de photoconducteur peut être sensibilisée aux longueurs d'onde visibles et autres de la lumièrepor"dopage" avec des ions étrangers, par addition de substances fluorescentes, et/ou au moyen de colorants sensibilisateurs.Les colorants blanchissables utiles pour sensibiliser les photoconducteurs de cette invention comprennent, par exemple, les colorants de cyanine, les colorants de dicarbocyanine, les colorants de carbocyanine, et les colorants d'bémicyanine. Dans certaines applications, la possibilité d'utiliser la lumière visible peut simplifier l'étape d'exposition de 1' image du composant. Pour la production de condensateurs, l'électrode substrat 12, formée d'un métal convenable tel que l'aluminium, le nickel, le titane, le cuivre, le chrome, etc., est rixee par des méthodes conventionnelles sur le support 11, qui est constitué par une matière isolante appropriée comme le dioxyde de silicium ou le verre. Ensuite, la couche photoconductrice 13, de préférence en dioxyde de titane, est déposée sur la surface supérieure de l'électrode subs- trat 12.Par exemple, la couche 13 de dioxyde de titane peut être formée comme produit de réaction sur la surface de l'électrode substrat 12, en faisant réagir le tétrachlorure de titane avec de la vapeur d'eau, tous deux ayant été préalablement mélangés, dans des conditions contrôlées de température et de pression, à un gaz porteur composé d's.:ygère ou d'azote. On trouvera une description complète de ce procéda dans le h-evet- 2 U.A. 3.220.880 publ- ' 30 Novembre 1965. Pour un circuit imprimé, le substrat de lacouchephotoconduc trice peut entre constitué par tout matériau approprié, de résistance et de durabilité suffisantes pour former un support satisfaisant. Les matériaux appropriés comprennent, par exemple0 le bois, le papier de chiffons, le papier de p te, les matières plastiques telles que, par exemple, le téréphtalate de polyéthylène (Mylar) ou l'acétate de cellulose, la toile, un métal tel que l'aluminium, ou le verre. Quand on emploie le développement physique électrolyti- que, alors le substrat doit généralement autre conducteur d'électricité. EXEMPLE 1 On applique une couche de dioxyde de titane dans un liant composé d'un polymère de méthacrylate (dans une proportion de quatre parties de photoconducteur pour une partie de polymère) sur un film de polyester applique sur un substrat, et on expose le milieu pour former une image latente réversible d'un circuit électrique en uti- lisant une source de lumière ultraviolete comme lumière d'exposition. Le temps d'exposition est de 30 secondes. On recouvre alors le milieu exposé d'une couche visqueuse (0,076 mm d'épaisseur) de solution de nitrate d'argent 3 M, et on plonge ensuite le milieu dans une solution sature de Métol conte nuant 6Q g/l d'acide citrique monohydraté pendant 30 secondes. I1 se forme au cours de l'immersion une image argentique continue et uniforme du circuit électrique original . On lave ensuite le milieu a l'eau chaude, on le fixe à l'aide d'une solution aqueuse de thiosulfate de sodium, on le lave à eau et enfin on le sèche. On relie les bornes du circuit à une source de tension, et les essais de conductivité sont satisfaisants. En utilisant cette même :iêthode d'exposition et de développement, on produit un condensateur dont le milieu est formé en appliquant du dioxyde de titane sur un substrat conducteur d'électricité, selon la méthode du brevet E.U.A. 3.220.880. EXEMPLE 2 En utilisant la même méthode que celle décrite à l'Exemple 1, on enduit un film de polyester, appliqué des deux côtés d'un subsrat, d'une couche de dioxyde de titane sur chaque coté. On expose le milieu sur chaque cotes on le développe et on le traite comme à l'Exemple B pour obtenir des images argentiques continues et uniformes des deux côtés du Ilm On peut ainsi utili- se le -ilm comme condensateur électrique. La présente invention permet aussi. la production de circuits Intégrés en couches multiples. Lesdits circuits se composent habi tuellenent de couches multiples de circuits qui sont selles l'une à l'autre par des raccordements conducteurs, ou qui peuvent être reliées indépendamment à des composants électriques séparés, comme on le désire. On prépare le circuit intégrez à grande échelle en exposant et en développant un circuit dans les milieux de cette invention, après quoi on place un second milieu non exposé par dessus le premier circuit développé, le premier circuit étant au besoin isolé du second milieu.L'exposition du milieu superposé à une image de circuit, suivie par un développement et une répétition, permet la production d'un agencement de circuit à couches multiples. Chaque couche peut être munie de raccordements, à travers lesquels des moyens conducteurs peuvent être reliés à dgautres circuits dans l'agencement à couches multiples, ou sinon titre reliés à un composant électrique indépendant. Dans une autre modification de la présente invention, notamment lorsqu'elle concerne la production de circuits imprimés, un matériau de support préféra sur lequel on applique le milieu photosensible est le siliomm, en particulier du silicium revêtu de dioxyde de silicium, un matériau qui est couramment employé dans les cir- cuits électriques de ce type. Par exemple, un milieu convenable pour la production d'un circuit imprimé srobtient en appliquant une couche de dioxyde de titane dans un liant sur un support de silicium contenant une couche de dioxyde de silicium sur la surface à revêtir. D'autres modifications de la présente invention, telles qu'elles ont été décrites ici, peuvent être effectuées pour donner des propriétés souhaitables au produit fini du présent procédé, et sont absolument à la portée des hommes de l'art. R E V E N D I C A T I O N S 1. Un procédé pour fabriquer des cowriposar.Ls électriques, comprenant les étapes de : dépit d'une couche de substance photoconductrice sur un substrat, formation de l'image latente d'un composant électrique sur ladite couche de substance pòtoconductrice, et mise en contact de ladite image avec des substances formant le image qui y déposent une couche de substance conductlsce de l'electricité. 2. Un procédé selon la revendication 1, dans lequel ladite substance photoconductrice comprend le dioxyde de titane, 3. Un procédé selon la revendication 1 ou la revendication 2, comprenant l'étape de formation, dans ledit substrat, de réceptacles conçus pour recevoir des composants électriques convenables pour le raccordement dans la couche conductrice. 4. Un procédé selon la revendication 1 ou la revendication 2, dans lequel le substrat est formé d'un matériau conducteur de 1 électricité. 5. Un procédé selon la revendication I ou la revendication 2, dans lequel le substrat est formé d'un matériau semi-conducteur de le électricité. 6. Un procédé selon les revendications T, 2, 3, 4 ou 5, dans lequel ladite étape de développement consiste à mettre image latente en contact avec un révélateur contenant des ions métalli quels, notamment des ions argent etfou cuivre. 7. Un dispositif électrique comprenant un substrat, une couche de substance photoconductrice sur le substrat, et une image conductrice de l'électricité et développée par voie photographique sur ladite couche. 8. Un dispositif selon la revendication 7 ; dans lequel la substance photoconductrice est le dioxyde de titane. 9. Un dispositif selon la revendication 7 ou la revendication 8, dans lequel le substrat contient des moyens réceptacles contus pour recevoir des composants électriques convenables pour le raccordement à 1' image conductrice. 10. Un dispositif selon les revendications 7, 8 ou 9, dans lequel image est conçue pour autre raccordée à une source d'énergie électrique. 11, Un dispositif selon les revendications 7, C, 9 ou 10, dans lequel l'image comprend un élément de résistance ayant une résis- tance spécifique de plus de 10-5 ohm-centimètre. 12. Un dispositif selon les revendications 7, 8, 9 ou 10, dans lequel le substrat est un matériau conducteur de l'électricité. 13. Un dispositif selon les revendications 7, 8, 9 ou 10, dans lequel le substrat est un matériau semi-conducteur de l'électricité. 14. Un dispositif selon la revendication 12 ou la revendication 13, comprenant une surface supplémentaire de substance photoconductrice et sur celle-ci au moins une image supplémentaire, conductrice de l'électricité et développée par voie photographique. 15. Un dispositif selon la revendication 14, dans lequel le substrat est un support comprenant une substance électriquement isolante dont les faces opposées supportent les couches photoconductrSces.