Brevet FR2003026A1 — publié le 19691107

La présente invention concerne des perfectionnements apportés aux dispositifs semiconducteurs et aux procédés pour la production de tels dispositifs. En dépit des rapides progrès accomplis dans la technolo-5 gie de la recherche fondamentale sur les semiconducteurs, les procédés de fabrication pour la production de dispositifs semiconducteurs n'ont pas simultanément progressé assez vite pour permettre la production rapide, efficace et économique de dispositifs semiconducteurs. A titre d'exemple, dans un procédé connu 10 pour la fabrication d'un dispositif semiconducteur, des éléments électriquement actifs, communément dénommés pastilles semicon-ductrices et qui sont constitués chacun par plusieurs régions é-lectriquement actives (pouvant comprendre par exemple une région servant de collecteur, une région servant de base et une région 15 servant d'émetteur dans une pastille), sont appliqués sur un support métallique à intervalles régulièrement espacés en liant au support une région de la pastille semiconductrice. Des fils métalliques conducteurs de connexion sont ensuite liés individuellement d'une manière permanente aux régions actives restantes . 20 Chaque pastille et la portion du support à laquelle elle est fixée sont ensuite assujetties à un sous-ensemble conducteur externe auquel le support et les fils métalliques conducteurs sont convenablement joints pour établir des connexions externes. L'ensemble résultant est ensuite encapsulé pour former le dispositif 25 semiconducteur fini. Bien que la technique décrite ci-dessus servant à la fabrication de dispositifs semiconducteurs et d'autres modes opératoires utilisés dans l'art se soient révélés efficaces pour des dispositifs semiconducteurs comprenant un petit nombre de con-30 nexions terminales ou bornes, dispositifs tels que des diodes et des transistors, la méthode devient quelque peu longue à mettre en oeuvre en raison du fait que chaque conducteur à connecter à une région active de la pastille et le conducteur terminal externe doivent être individuellement liés. Une telle liaison des fils 35 métalliques conducteurs un à la fois exige un temps considérable et les services d'un opérateur hautement spécialisé. En outre, quand la pastille semiconductrice est un circuit intégré conte-.nant un grand nombre de fils métalliques conducteurs à lier aux régions actives de la pastille semiconductrice, les problèmes et 40 inconvénients des méthodes de fabrication de dispositifs semi 69 05326 2 2003026 conducteurs de la technique antérieure s'ajoutent et se combinent. La liaison de pastilles face en dessous pour interconnecter simultanément plusieurs régions de la pastille à des zones prédéterminées se trouvant sur une céramique ou autre support isolant a 5 aussi été utilisée, mais de telles liaisons sont cachées à la vue et utilisent une superficie relativement grande de la pastille par contact, de sorte que pour un grand nombre de contacts ou pour de petites superficies de contact elles ne sont pas entièrement satisfaisantes. 10 Un but de la présente invention est de réaliser des dis positifs semiconducteurs perfectionnés et un procédé pour leur fabrication dans lequel des conducteurs externes sont fixés aux régions de contact métalliques de la masse semiconductrice du dispositif semiconducteur avec un minimum d'application de main-15 d'oeuvre, avec pour résultat un abaissement maximum des frais de fabrication» Un autre but de l'invention est de réaliser un procédé, pour la production de dispositifs semiconducteurs perfectionnés, se prêtant particulièrement bien à la mise en oeuvre rapide et en 20 grande série d'opérations de montage, de manipulation et d'essai de tels dispositifs avec un minimum d'opérations manuelles de transfert ou de toutes autres manipulations. Encore un autre but de l'invention est de réaliser un produit et un procédé perfectionnés tels que spécifiés ci-dessus 25 et dans lesquels plusieurs conducteurs se trouvent connectés ài-multanément à une masse semiconductrice dtns plusieurs régions de contact occupant une superficie réduite au minimum de la masse semi-conductrice. On obtient les avantages sus-spécifiés et on évite les 30 inconvénients énumérés ci-dessus en mettant en oeuvre la présente invention de la manière décrite ci-après. Généralement, selon un mode de mise en oeuvre préféré de l'invention, on peut produire des dispositifs semiconducteurs en ayant recours à un mode opératoire consistant essentiellement à faire adhérer une bande 35 continue d'une mince feuille d'un matériau métallique électriquement conducteur à une surface d'un ruban d'un matériau électriquement isolant souple, préalablement percé d'ouvertures, et à former plusieurs groupes ou familles de conducteurs à partir de ladite bande métallique de façon que les portions intérieures des 40 conducteurs de chaque groupe s'étendent en porte-à-faux vers 69 05326 3 2003026 l'intérieur au-delà de la périphérie d'une ouverture adjacente percée dans ledit ruban, les extrémités intérieures des conducteurs de chaque famille de conducteurs étant dimensionnées et a-gencées de façon telle qu'elles puissent être amenées en regard 5 des contacts métalliques respectifs prévus sur une pastille semi-conductrice. Des masses ou pastilles semiconductrices successives, dans lesquelles des jonctions PN appropriées ou d'autres régions adéquates de type et caractéristiques de conductivité désirés ont antérieurement été produite^ sont ensuite positionnées par 10 rapport au ruban, de façon telle que les contacts métalliques de chaque pastille et les extrémités intérieures des conducteurs de familles successives de conducteurs se trouvent mutuellement en regard. Une opération de soudure ou de liaison analogue, effectuée simultanément sur les extrémités de conducteurs et les con-15 tacts de pastilles mutuellement en regard, permet d'assembler les pastilles au ruban avec le minimum de main-d'oeuvre et de temps. Après la liaison à ses conducteurs, la pastille semiconductrice peut, jusqu'à un degré désiré, être enclose au sein d'une masse encapsulante adéquate, et on peut faire subir au dispositif semi-20 conducteur résultant des opérations de mise en forme et de finition de diverses manières et en ayant recours à des moyens appropriés, ainsi qu'on le décrit ci-après. L'invention pourra, de toute façon, être bien comprise à l'aide du complément de description qui suit ainsi que des 25 dessins ci-annexés, lesquels complément et dessins concernent différents modes de réalisation de l'invention choisis à titre d'exemples non limitatifs et sont, bien entendu, donnés surtout à titre d'indication. La fig. 1, de ces dessins, montre en plan une portion 30 d'un ruban de matériau isolant utilisable en vue de la mise en oeuvre de la présente invention. La fig. 2 montre en perspective une portion d'un nouveau support établi selon la présente invention. La fig. 3 montre en plan et à une échelle agrandie le 35 support représenté fig. 2 à un stade ultérieur de traitement selon l'invention. La fig. 4 montre, semblablement à la fig. 3, un stade encore plus avancé de réalisation d'un dispositif semiconducteur selon l'invention. 40' La fig. 5 est un schéma synoptique illustrant un procédé 69 05326 4 2003026 Pour attacher des pastilles semiconductrices au support représenté fig. 3. La fig. 6 montre en coupe longitudinale partielle, avec certains éléments représentés schématiquement, et à une échelle 5 agrandie, un système préféré permettant de fixer des pastilles semiconductrices à un support tel que celui représenté figD 3. La fig. 7 montre en plan et à une échelle agrandie une pastille semiconductrice fixée aux extrémités intérieures d'un groupe de conducteurs supportés par un support selon la présente 10 invention. Les fig. 8, 9 et 10 représentent schématiquement divers types de dispositifs semiconducteurs qu'il est possible de produire selon 1'invention. La fig. 11 montre en plan une portion d'un nouveau sup-15 port d'un type modifié, réalisé selon l'invention. La fig. 12 montre en plan un dispositif semiconducteur fabriqué selon l'invention et utilisant un support du type représenté fig. 11. Les fig. 13 et 14, enfin, représentent (respectivement 20 en plan avec portions arrachées, et en coupe à .une échelle fortement agrandie) d'autres modes de réalisation de dispositifs semiconducteurs selon l'invention. La fig. 1 montre un ruban 10 en tout matériau isolant adéquat ; ce matériau peut être, par exemple, une résine organi-25 que telle que le polyester connu dans le commerce sous la marque "Mylar", ou un polyimide tel que le produit commercialisé sous la marque "Kapton" (tous deux vendus par la Du Pont Company, à Wilmington, Delaware, E.U.A.). Si on le désire, la couche isolante du ruban 10 peut être doublée, à des fins de renforcement 30 ou autres, pat une couche additionnelle (non représentée) servant à augmenter la résistance mécanique de l'ensemble ; cette couche additionnelle peut être électriquement isolante, conductrice ou semiconductrice. Comme le montre la fig. 1, le ruban isolant 10 est percé 35 de plusieurs ouvertures centrales 12, sensiblement également espacées le long de la longueur du ruban 10. Les ouvertures 1*2 sont, d'une manière générale, situées dans des positions sensiblement centrales le long de la largeur du ruban 10. Ainsi que cela apparaîtra clairement ci-après, il convient que le diamètre d'une 40 ouverture 10 soit de préférence d'une dimension lui permettant de 69 05326 5 2003026 contenir, à l'intérieur de sa périphérie, des régions de contact d'une pastille semiconductrice. L'ouverture 12 peut, par exemple, être légèrement plus grande que la zone superficielle de la pastille semiconductrice sur laquelle sont situés les con-5 tacts métalliques. Comme le montre la fig. 2, une mince bande d'un ruban continu 10 électriquement isolant, percé d'ouvertures 12 préalablement découpées à 1'emporte-pièce et qui sont espacées à intervalles réguliers, est débitée à partir d'une bobine (non représen-10 tée), et une mince bande ou couche 16 de matériau métallique é-lectriquement conducteur est assujettie au ruban 10 au moins dans les régions du ruban 10 adjacentes aux ouvertures 12. Le ruban 10, qui a les propriétés sus-spécifiées, peut avoir une épaisseur comprise par exemple entre environ 0,076 et 0,127 mm, et la couche 15 métallique 16 peut avoir une épaisseur comprise par exemple entre environ 0,013 et 0,025 mm. Dans un mode de réalisation particulier, la couche 16 est une mince feuille en cuivre mesurant 0,018 mm d'épaisseur. Le stratifié résultant, comprenant le ruban 10 et la 20 couche métallique 16, est plus clairement représenté en 24 (fig. 2) et constitue un article ou support allongé continu utilisable conformément à l'invention de la manière décrite ci-après. La fig. 2 montre aussi plusieurs ouvertures—repères marginales 11 et 13, s'étendant entièrement au travers du stratifié 24, à des 25 fins de repérage et de positionnement précis du ruban 10. Chacune des ouvertures 12 est d'une dimension propre à lui permettre de contenir, à l'intérieur de sa périphérie, des régions de contact d'une pastille semiconductrice. La couche métallique 16 adhère au ruban 10 dans au moins les régions de la surface du ruban ad-30 jacentes à chacune des ouvertures 12, et la couche métallique 16 s'étend au travers de, et par conséquent recouvre, chaque ouverture 12 adjacente. Par mise en oeuvre d'opérations photolithographiques d'application de masque et d'attaque, ou par mise en oeuvre d'au-35 très techniques connues adéquates, des portions de couche 16 sont enlevées à partir du ruban 10 comme le montre la fig. 3 pour former, sur ledit ruban, plusieurs groupes de conducteurs métalliques 80, chaque groupe étant adjacent à une ouverture 12 et les conducteurs de chaque groupe étant agencés selon un dessin pré-40 déterminé de doigts généralement radiaux s*étendant en porte-à- 69 05326 6 2003026 faux vers 1'intérieur au-delà de la périphérie de l'ouverture 12, afin que les portions intérieures des conducteurs 80 de chaque groupe puissent se trouver en regard de contacts métalliques prévus sur une pastille semiconductrice disposée vis-à-vis de l'ou-5 verture 12. Si on a recours à des techniques photolithographiques d'attaque pour produire des conducteurs 80, il convient que les portions des faces situées à l'envers de la feuille métallique 16 et qui sont exposées à nu par des ouvertures soient recouvertes par le revêtement habituel du type dit "photoresist", aussi bien 10 que la surface externe de la feuille 16, pour empêcher que l'agent d'attaque puisse attaquer la face de dessous des doigts 80. Après la formation des groupes de conducteurs 80, le support traité 82 apparaît tel que le montre la fig. 3. La fig. 3 montre une portion du support ou article 82 comportant deux ou-15 vertures 12 et deux groupes de conducteurs 80. Les conducteurs 80 de chaque groupe adhèrent au ruban isolant 10 et sont agencés sur la surface du ruban selon un dessin de doigts s'étendant généralement radialement vers l'extérieur à partir d'une ouverture 12 respective. Les portions extrêmes intérieures des conducteurs 20 de chaque groupe s'étendent vers l'intérieur dans la région entourée par la périphérie de l'ouverture 12 adjacente pour se trouver en regard de régions de contact d'une pastille semiconductrice qui peut être agencée vis-à-vis de l'ouverture respective. La dimension et la forme de l'ouverture 12 peuvent varier 25 selon le dessin des contacts métalliques prévus sur la pastille semiconductrice et qui doivent être liés aux conducteurs métalliques, et il convient que l'ouverture 12 soit d'une dimension et d'une forme telles que sa périphérie entoure de tels contacts. Conformément à l'invention, on fixe au support 82 une 30 série de pastilles semiconductrices placées en regard d'ouvertures 12 respectives, comme le montrent les fig. 4 et 5. Comme le montre la fig. 5, on débite une bande continue du support 82 à partir d'une bobine 84 dans la direction indiquée par les flèches 86. Le support 82, comportant des groupes de conducteurs 80, est 35 d'abord immergé dans une solution de métallisation adéquate pour recouvrir toutes les portions exposées des dessins de conducteurs 80 d'une couche d'un métal soudable adéquat tel que de l'é-tain (opération indiquée en 90), y compris les portions dorsales des conducteurs 80 où les faces arrière des conducteurs peuvent 40 être exposées à nu. On réalise ensuite un déplacement relatif 69 05326 7 2003026 entre le support 82 et des pastilles semiconductrices successives, afin que les portions extrêmes intérieures des conducteurs de chaque groupe de conducteurs soient amenées en regard de contacts métalliques prévus sur une pastille semiconductrice respec-5 tive, en suite de quoi, au cours d'une opération élémentaire schématisée en 92, les contacts de chaque pastille peuvent être liés aux conducteurs d'un groupe au niveau des portions extrêmes intérieures des conducteurs. Comme le montre la fig. 4, chaque groupe de conducteurs avec sa pastille respective peut ensuite ê-10 tre découpé à partir du support 82 (opération représentée schématiquement en 93), et les portions extrêmes extérieures des conducteurs du jeu de conducteurs peuvent être liées à un cadre conducteur métallique découpé dans de la feuille métallique (opération schématisée en 94). La pastille peut ensuite être encapsu-15 lée (opération schématisée en 96), et les opérations de moulage, enlèvement des bavures et cisaillage peuvent s'effectuer (représentation en 99). Les conducteurs d'un groupe peuvent aussi être détachés du ruban 10 par pelliculage, arrachement, dissolution de l'adhésif de stratification, ou de toute autre manière appropriée, 20 et dans ce cas, il n'est pas nécessaire que la couche constituant le ruban 10 soit limitée à un matériau électriquement isolant : elle peut être, par exemple, constituée par un matériau de nature métallique ou de toute autre nature adéquate pourvu qu'il s'a-gisee d'un matériau convenablement souple. 25 La fig. 6 montre un agencement particulièrement effica ce pour lier les dessins conducteurs aux contacts métalliques sur une pastille semiconductrice. Dans le mode de réalisation représenté, une pastille semiconductrice 100, qui peut être, par exemple, uns pastille plane de transistor bipolaire dans laquelle les 30 régions constituant respectivement l'émetteur, la base et le collecteur ont déjà été formées, ayant des contacts métalliques é-levés 102 recouverts d'or attachés aux régions électriquement actives de la pastille semiconductrice, est placée face en dessus dans une position adjacente à des conducteurs 104 en cuivre J5 étamé, dont les portions extrêmes intérieures sont au-dessus des contacts métalliques 102 auxquels elles sont aboutées. Pour réaliser la liaison des contacts 102 aux conducteurs étamés 104, ces derniers sont pressés contre les portions superficielles dorées des contacts 102 par un déplacement descendant de la pointe 40 de liaison chauffante 106. On réalise ensuite la liaison en ap- 69 05326 8 2003026 pliquant un courant électrique de chauffage par résistance adéquat à la pointe 106 au moyen des conducteurs 108 et 110 d'amenée de courant. Les portions conductrices 112 et 114 du dispositif de liaison sont séparées par un matériau isolant 116 ; dans ces con-5 ditions, le conducteur 108 étant connecté à la portion conductrice 112 tandis que le conducteur 110 est connecté à la portion conductrice 114, .un courant électrique passe dans la direction indiquée par la flèche 118 (fig. 6), en suite de quoi la pointe de liaison 106 se trouve chauffée jusqu'à une température suffisam-10 ment élevée pour que les conducteurs 104 en cuivre étamé se trouvent liés aux contacts dorés 102. Il convient de noter que la pastille semiconductrice 100 est positionnée à l'intérieur de la zone définie par l'ouverture 76, et,à cette fin, on peut utiliser sur le support des moyens de positionnement tels que les ouvertu-15 res 13 destinées à coopérer avec des dents de repérage. La fig. 7 représente, à une échelle agrandie, une pastille semiconductrice 100 du type circuit intégré monolithe, comportant plusieurs contacts métalliques auxquels sont liées les extrémités intérieures des conducteurs métalliques 104. Les zones 20 ombrées 105 indiquées sur la pastille définissent les régions é-lectriques de contact prévues sur la face de la pastille. Avec le dispositif représenté fig. 7, un élément thermiquement conducteur ou puits à chaleur peut être assujetti à la face inférieure ou dorsale de la pastille, et cette pastille, les extrémités in-25 térieures des conducteurs 104 et une portion du puits à chaleur 105A peuvent être enfermées dans une masse encapsulante adéquate constituée par une matière plastique, du verre, ou analogues. A titre de variante^ cette masse encapsulante peut n'être placée que sur la face supérieure de la pastille pour permettre une sou-30 dure ultérieure de la pastille à un puits à chaleur externe. La référence 107 indique le ruban isolant. Après la liaison de chaque pastille semiconductrice à un dessin conducteur, on peut mettre en oeuvre diverses opérations élémentaires. La fig. 8 montre un circuit intégré fini dans le-35 quel des conducteurs 120 ont été placés sur le groupe de conducteurs prévus sur le support et liés aux conducteurs de ce groupe, après quoi on a encapsulé la pastille, et on a fait subir au produit des opérations de moulage, d'ébavurage et de cisaillage à partir du support. La fig. 9 montre un transistor dans lequel la 40 pastille a été encapsulée et les conducteurs du groupe de conduc 69 05326 9 2003026 teurs 122 ont été découpés à l'intérieur de l'ouverture ménagée dans le support. La fig. 10 montre un transistor dans lequel la pastille a été encapsulée et les conducteurs 124 du groupe de conducteurs ont été découpés, une petite pellicule 126 du ruban 5 en matière plastique ayant cependant été laissée pour supporter l'encapsulant et les portions intérieures des conducteurs. Un puits à chaleur métallique adéquat peut être attaché, pour soudure ou analogue, à la face dorsale de la pastille semiconductrice dans la zone désignée par la référence 101 (fig. 11). La zone 10 101 peut être en un métal soudable tel qu'argent, or, etc. La fig. 11 représente un type modifié d'article ou support stratifié 25. Comme le montre la fig. 11, l'article 25 comprend une couche d'un ruban souple 28 électriquement isolant, qui peut avoir des propriétés telles que celles sus-spécifiées pour 15 le ruban 10, et une bande ou couche métallique 30 adhérant audit ruban 28, cette couche métallique ayant les propriétés de la couche métallique 16. La couche métallique 30 adhère à une surface du ruban isolant 28 et recouvre au moins plusieurs zones ajourées 32 à peu près également espacées. Chacune de ces zones ajourées 20 32 comprend une ouverture centrale 34 et plusieurs fentes extérieures 36 disposées généralement transversalement ou perpendiculairement aux rayons qui les traversent à partir de 1'ouverture 34. L'ouverture centrale 34 ménagée dans chaque zone 32 est prévue pour loger les portions extrêmes intérieures des conducteurs 25 d'un groupe de conducteurs formés à partir de la couche métallique 30, et les diverses ouvertures ou fentes extérieures 36 sont prévues pour loger les portions extérieures des conducteurs du groupe de conducteurs, de façon qu'une portion du ruban comportant une ouverture centrale et le groupe de conducteurs qui s'y 30 trouve associé puissent être facilement séparés du reste du ruban en découpant ledit ruban le long de lignes reliant lesdites fentes 36. La structure découpée résultante est représentée fig. 12. La fig. 13 montre un mode de réalisation additionnel de 35 l'invention. Comme on le voit sur cette fig. 13, un ruban souple 130 de matériau électriquement isolant comportant une ouverture centrale 132 supporte un groupe de conducteurs métalliques 134 qui sont supportés par le ruban et adhèrent à une de ses surfaces. Les conducteurs 134 sont agencés sur la surface du ruban se-40 Ion le dessin de doigts décrit ci-dessus, ces doigts s'étendant 69 05326 10 2003026 généralement radialement vers l'extérieur à partir de l'ouverture 132, et les portions extrêmes intérieures des doigts conducteurs s'étendant vers l'intérieur des limites de la périphérie de l'ouverture pour se terminer avec leurs extrémités intérieures en re-5 gard d'un groupe de régions de contact prévues sur une pastille semiconductrice 136. Ladite pastille semiconductrice 136 est a-gencée en regard de l'ouverture 132, et les extrémités intérieures des doigts métalliques sont fixées ou jointes aux régions de contact respectives prévues sur la pastille semiconductrice. Se-10 Ion une autre particularité de l'invention, chacun des conducteurs métalliques 134 est connecté, par son extrémité extérieure, à une broche métallique rigide 138 respectivement correspondante qui sert de borne, la connexion s'effectuant dans les régions hachurées représentées fig. 13. Une matière plastique encapsulante 15 enferme le ruban 130, la pastille 136 et les conducteurs 134 ainsi qu'une portion de chacune desdites broches 138 servant de bornes terminales, de sorte que l'aspect extérieur de l'article manufacturé final est tel que représenté fig. 8, seul l'encapsulant et les bornes terminales étant visibles. 20 La fig. 14 représente encore un autre mode de réalisa tion de dispositif selon la présente invention. Comme le montre cette fig. 14, un support isolant ou une céramique 140 supporte plusieurs zones métallisées 142 jointes à une surface de support 140. Chacune des zones métalliques 142, prévues sur le support, 25 est revêtue de soudure, de sorte qu'une quantité adéquate de soudure 144 se trouve disponible en vue de la connexion de conducteurs attachés à une pastille semiconductrice. Selon une particularité saillante de l'invention, après la connexion d'un groupe de conducteurs 146 aux régions de contact d'une pastille semi-30 conductrice 148 (comme, par exemple, dans la fig. 7 où les conducteurs 104 du groupe ont été connectés à des régions de contact de la pastille 100), la portion plastique restante du ruban isolant qui supporte le groupe de conducteurs est détachée à partir du groupe de conducteurs par toute méthode ou tous moyens a-35 déquats tels que pelliculage, arrachement, etc., et un encapsulant plastique 150 est appliqué pour enclore les portions extrêmes intérieures des conducteurs du groupe de conducteurs et au moins les régions de contact de la pastille semiconductrice 148, tandis que la portion dorsale de la pastille semiconductrice 148 40 reste exposée à nu. De cette manière, la région dorsale 152 de 69 05326 ii 2003026 la pastille est utilisable pour établir un élément métallique sou-dable servant de puits à chaleur en joignant lé région dorsale 152 ( qui peut être un métal soudable tel qu'argent, or, etc.) à sa zone métallique revêtue de soudure respectivement correspondante. Les conducteurs métalliques 146 peuvent être liés ou fixés aux zones de soudure 144 respectives en ayant recours à des moyens classiques tels que soudage par impulsions, etc. Il ne faut pas perdre de vue que le spécialiste peut i-maginer et utiliser encore bien d'autres variantes et modifications des agencements et modes opératoires décrits ci-dessus sans s'écarter pour autant de l'esprit ni de la portée de la présente invention, laquelle portée est définie dans les revendications suivantes. 69 05326 12 2003026 REVENDICATIONS !• Dispositif semiconducteur caractérisé en ce qu'il com prend essentiellement : une masse de matière semiconductrice comportant des contacts métalliques ; une plaque de matériau souple 5 électriquement isolant ayant une ouverture centrale dont la périphérie entoure lesdits contacts métalliques ; un groupe de conducteurs métalliques en forme de doigts fixés à ladite plaque, les extrémités intérieures desdits conducteurs s'étendant vers 1' intérieur au-delà de la périphérie de ladite ouverture et se ter- 10 minant en regard desdits contacts métalliques ; et des connexions électriquement conductrices entre lesdites extrémités intérieures desdits conducteurs et lesdits contacts. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite masse semiconductrice comporte des régions constitu- 15 ant un transistor et qui sont respectivement connectées auxdits contacts métalliques, et lesdits conducteurs métalliques ont une épaisseur d'environ 0,025 millimètre. 3. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdits contacts métalliques sont verticalement dressés sur 20 la pastille semiconductrice que constitue ladite masse de matière semiconductrice• 4. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'au moins les extrémités intérieures desdits conducteurs métal? liques et une portion de ladite masse semiconductrice sont recou- 25 vertes d'un encapsulant plastique. 5. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'un élément métallique soudable servant de puits à chaleur est attaché à une surface de ladite masse semiconductrice en une région espacée de celle desdits contacts, et un élément électrique- 30 ment isolant s'étend entre ledit puits à chaleur et une portion dudit ruban. 6. Dispositif semiconducteur caractérisé en ce qu'il comprend essentiellement : un ruban souple, s'étendant longitudina-lement, de matériau électriquement isolant, comportant une série 35 d'ouvertures centrales longitudinalement espacées, chacune desdites ouvertures entourant, par sa périphérie, des régions métalliques de contact prévues sur une pastille semiconductrice respec-vivement correspondante qui est placée en regard de ladite ouverture ; plusieurs groupes de conducteurs métalliques supportés par 40 ledit ruban, les conducteurs de chaque groupe étant fixés à et 69 05326 13 2003026 agencés sur une face principale dudit ruban selon un dessin de doigts s'étendant généralement radialement vers l'extérieur à partir d'une ouverture respective adjacente, les portions extrêmes intérieures des conducteurs de chaque groupe s'étendant vers 5 l'intérieur au-delà de la périphérie de l'ouverture respective adjacente et jusque dans la région entourée par ladite périphérie pour se terminer en regard des régions métalliques de contact respectivement correspondantes prévues sur la pastille semiconductrice adjacente ; et des moyens joignant les extrémités inté-10 rieures des conducteurs de chaque groupe aux régions de contact respectives prévues sur la pastille semiconductrice respective adjacente. 7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que chacun desdits conducteurs est connecté, par son extrémité 15 extérieure, à une broche terminale métallique respective relativement rigide, et chacune desdites pastilles et au moins les extrémités intérieures des conducteurs qui y sont connectés sont encloses par des enveloppes respectives. 8. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce 20 que lesdites enveloppes sont formées par des masses d'encapsulant plastique. 9. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un élément métallique servant de puits à chaleur attaché à une face de chacune desdites pastilles en rela- 25 tion espacée par rapport auxdits conducteurs. 10. Dans un procédé pour la production d'un support continu allongé utilisable en vue d'y assembler plusieurs dispositifs semiconducteurs longitudinalement espacés, le perfectionnement caractérisé en ce qu'il consiste essentiellement.: à fixer un ruban 30 allongé continu en matériau souple, électriquement isolant, percé de multiples ouvertures, à une bande mince de matériau métallique électriquement conducteur; et à enlever des portions de ladite bande métallique à partir dudit ruban pour former sur ledit ruban plusieurs groupes de conducteurs métalliques, chaque groupe de 35 conducteurs étant formé dans le voisinage immédiat d'une ouverture, de façon que les conducteurs de chaque groupe se trouvent agencés en un dessin prédéterminé de doigts généralement radiaux s'étendant vers l'intérieur au-delà de la périphérie de l'ouverture adjacente respectivement correspondante, afin que les extré-40 mités intérieures des conducteurs de chaque groupe puissent être 69 05326 14 2003026 agencées en regard d'un dessin de contacts métalliques prévus sur une pastille semiconductrice. 11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'on forme ledit groupe de conducteurs par une photo-attaque de 5 ladite bande métallique. , 12. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce qu' il comprend en outre l'opération consistant à métalliser les conducteurs desdits groupes conducteurs avec un métal soudable. 13. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce qu' 10 il comprend en outre les opérations consistant à positionner des contacts métalliques de pastilles semiconductrices successives et les terminaisons intérieures de groupes respectifs successifs de conducteurs en relation de mise en regard, et à lier lesdits contacts métalliques auxdites terminaisons intérieures desdits con-15 ducteurs. 14. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'on réalise ladite liaison en soudant simultanément par impulsions les terminaisons intérieures des conducteurs d'un groupe de conducteurs aux contacts métalliques d'une pastille placée en re- 20 gard dudit groupe de conducteurs. 15. Article manufacturé, utilisable en vue de la production de dispositifs semiconducteurs, caractérisé en ce qu'il comprend essentiellement : un ruban de matériau souple, percé de plusieurs ouvertures espacées le long de la longueur dudit ruban, chacune 25 desdites ouvertures étant d'une dimension lui permettant d'entourer par sa périphérie des régions métalliques de contact prévues sur une masse semiconductrice, ledit ruban comportant une couche métallique qui se trouve fixée à une face principale dudit ruban dans au moins les régions de ladite face principale ad-30 jacentes à chacune desdites ouvertures, cette couche métallique dans chacune desdites régions s'étendant au travers de l'ouverture adjacente et recouvrant ainsi l'ouverture adjacente percée dans ledit matériau souple. 16. Article manufacturé selon la revendication 15, caracté-35 risé en ce que ledit ruban est en matériau électriquement isolant et comporte des moyens de positionnement pour repérer et positionner avec précision ledit ruban. 17. Article manufacturé selon la revendication 15, caractérisé en ce que ladite couche métallique a une épaisseur d'envi- 40 ron 0,025 millimètre. 69 05326 2003026 18. Article manufacturé, utilisable en vue de la production de dispositifs semiconducteurs, caractérisé en ce qu'il comprend essentiellement : un ruban,s'étendant longitudinalement, de matériau souple, électriquement isolant, percé de plusieurs ouvertu- 5 res qui y sont longitudinalement espacées, chacune de ces ouvertures étant d'une dimension lui permettant d'entourer par sa périphérie des régions métalliques de contact prévues sur une pastille semiconductrice ; une couche métallique, sur une face principale dudit ruban, comportant des portions espacées constituant 10 plusieurs groupes de conducteurs métalliques supportés par ledit ruban, les conducteurs de chaque groupe étant fixés et agencés sur une face principale dudit ruban isolant selon un dessin de doigts s'étendant généralement radialement vers 1'extérieur à partir d'une ouverture respective adjacente, les portions extrêmes 15 intérieures des conducteurs de chaque groupe s'étendant vers l'intérieur au-delà de la périphérie de l'ouverture respective adjacente et dans la région entourée par la périphérie de ladite ouverture respective adjacente pour se trouver en regard de régions métalliques de contact respectivement correspondantes pré-20 vues sur une masse semiconductrice. 19. Article manufacturé selon la revendication 18, caractérisé en ce que ledit ruban comporte plusieurs fentes adjacentes à chaque ouverture, lesdites fentes s'étendant dans des directions généralement perpendiculaires à des rayons menés à partir 25 de ladite ouverture, les portions extrêmes extérieures desdits doigts enjambant au moins partiellement lesdites fentes, afin qu'un segment en forme de plaque dudit ruban^ comportant une ouverture et le groupe de conducteurs y associés, puisse être détaché du reste du ruban en découpant ledit ruban le long d'un par-30 cours circonférentiel reliant lesdites fentes et entourant les portions, enjambant des fentes, desdits doigts.