Brevet FR2006332A1 — publié le 19691226

.. . . 1 . 2006332 La présente invention a pour objet des éléments passifs pour circuits intégrés monolithiques, éléments qui comprennent les capacités et les'résistances. Les capacités et les résistances sont normalement formées dans un circuit intégré rr.onolithique aar diffusion d'une impureté d'un type dans une impureté 5 d'un type opposé pour former une jonction entre les conductivités des types opposés. Pour une capacité* les connexions sont faites sur les côtés opposés de la jonction alors que pour une résistance les connexions sont sur deux points écartés de la surface supérieure du matériau à plus grande conductivité de la jonction. 10 Dans un condensateur planaire pour circuit intégré monolithique, la capaci té du condensateur est proportionnelle à la surface de la jonction. Ainsi, dans la formation de condensateur à jonction pour circuits intégrés monolithiques, une capacité accrue pour le condensateur de jonction nécessite une surface accrue du substrat. Ainsi, les condensateurs de jonction actuels 15 pour les circuits intégrés monolithiques nécessitent que la surface du substrat soit augmentée quand une augmentation dans la capacité est nécessaire. La présente invention utilise un condensateur de jonction pour circuits intégrés monolithiques dans laquelle la capacité pour une surface donnée dans un substrat est substantiellement augmentée en comparaison des capacités des 20 jonctions planaires obtenues par diffusion actuelle. L'invention présente forme la jonction de diffusion avec au moins l'une de ses dimensions ,de largeur ou de longueur supérieure à la distance linéaire qui était antérieurement nécessaire dans la formation d'une jonction par diffusion planaire. Ainsi, l'invention présente autorise une capacité substantiellement supérieure poùr 25 une zone donnée dans un substrat.En conséquence, cela permet soit l'utilisation d'un condensateur ayant une plus grande capacité pour une surface donnés du substrat, soit la réduction de la surface nécessaire pour un condensateur d'une capacité donnée. Dans la fabrications des jonctions, planaires par' diffusion, on formait 30 le condensateur en diffusant une impureté à travers une seule ouverture importante dans une couche d'un masque tel que le dioxyde de silicium, par exemple. Pour une unité de longueur de la jonction, la'capacite" d'une jonction diffusée planaire est approximativement égale au produit de la capacité par unité de surface de la jonction diffusée et de la largeur de la jonction diffusée. 35 Dans un condensateur de jonction obtenu par diffusion, l'épaisseur de la diffusion est X.. Avec une largeur d'ouverture dans la couche de dioxyde de J silicium égele à 1C0 X^,.par exemple, la ler'sur totale c= la jonction est é .3 -3 pneuit sous la ccuche de dicm.de de siliciun è chaque extrémité ds ierreur 4Q de la *or>oticr. ders les procédés planaires. Fuiscjue cette nuantité tin diffusion BAD ORIGINAL 2006332 ■ jrme ur auart de cercle à cnaaue extrémité ris le psrr:* ç droite de la jonction avçc un rayon de '/.y cela entraine que la ^ériruérie de ces c'sux parties de la jonction soit la circonférence d'1/2 cercle avec un rayon de X^. Dans la préàente invention, cette partie rectilignede la fonction est rem-5 placée par plusieurs demi-cercles ayant un rayon de X^. Sil*ôn doit encore prendre pour largeur linéaire 100 Xj alors le nombre total dë demi-cercles est cinquante puisque chaque demi-cercle devra avoir un rayon maximum de 2X.. Avec chaque demi-cercle ayant une circonférence de Pi Xj' et les 1/4-de cercles étant encore formés à chaque extrémité à cause de la diffusion de l'impureté 10 de la couche de dioxyde de silicium, la jonction diffusée è une largeur totale de 51 pi X. (50 pi X. + Pi XJ. J J . J En conséquence, dans l'utilisation du procédé de la présente invention, la largeur de la jonction diffusée formant le condensateur est approximativement 160 X^. alors nue la jonction diffusée avec une largeur linéaire a une largeur 15 d'approximativement 103 X^. Ainsi, l'invention présente fournit une augmentation substantielle de 60% dans la capacité d'une jonction pour une surface donnée puisque la capacité est directement proportionnelle jà la largeur. La capacité de la jonction diffusée par unité de largeur," est égale au produit de la capacité par unité de surface par la longueur de la jonction 20 diffusée. De la même façon que décrite pour la largeur, -la capacité de la longueur de la jonction diffusée par unité de largeur peut aussi être augmentée approximativement de 60%. En conséquence, si le condensateur de jonction diffusé est formé à la fois suivant sa largeur et sa longueur par le procédé de l'invention présente la capacité devient approximativement 2,5 fois la capacité d'une 25 jonction diffusée typique dans laquelle la largeur et la longueur'sont linéaires . De plus, le condensateur qui est formé par le procédé de l'invention présente, a la même tension de rupture qu'une jonction plane diffusée. Cela est dû au fait que le profil de l'impureté est le même et, par conséquent la 3G couche d'appauvrissement est la même. En conséquence, -1'-utilisation de l'augmentation de surface de la jonction ne produit aucune-réduction dans la tension de rupture. -' Dans la formation de résistance diffusée utilisée dans un circuit intégré monclithioue, une ir;:ureté d'un type de conductivitë est diffusée' dans une 35 surface d'autres types de conducti'vrté pour former'une jonction. Cette résistance a antérieurement été forir.ee'par une simple diffusion. Le jor.ee le* qui est for-cr- rar diffusion s une caoacité parasite, qui est r^cten&er.T -rcrcrticr.nell!=' au 1/3 rie l'rnergië du -.radient iè la distribu-: ::■ 1r ; - — - .*..3 7~^c"e n ' anpau Vri s s e^snt 1-s Ains-l, une : - r -:issE 1" ~rç':i"r;t çrtrcin'î :.:i~ " uirî r,j4.icn dans la ea-.j-acit& nerasite- 01.6-51 BAD ORlGfNAL 69 05651 o 2006332 Puisque la fréquence de coupure est inversement proportionnelle à la capacité parasite de la jonction de la résistance diffusée et de la résistance, la capacité parasite limite la fréquence à laquelle la résistance peut être employée sans perdre son impédance désirée. Quand la fréquence de 5 coupure est atteinte, la résistance cesse de fournir l'impédance désirée dans le circuit intégré monolithique.- En conséquence, si la capacité parasite peut être réduite pour une résistance donnée sans en affecter sa valeur la fréquence de coupure de la résistance peut être augmentée. Bien que le gradient de la concentration d'impureté dans la couche d'ap-10 pauvrissement puisse être changé par réduction de la concentration totale de l'impureté dans la zone dans laquelle l'impureté de l'autre type est diffusée, la concentration totale est limitée par des considérations de conception de la structure du transistor qui, normalement, l'emportent sur les considérations de conception d'une résistance. En conséquence, la concentration totale 15 ne peut pas normalement être modifiée pour réduire la capacité parasite d'une résistance diffusée. L'invention présente résout de façon satisfaisante les problèmes précédents sans nécessiter de variation dans la concentration totale et par conséquent les considérations de conception de la structure du transistor peuvent l'empor-20 ter et ne pas affecter la résistance de la résistance.Ainsi, pour une résistance diffusée ayant une valeur donnée, l'invention présente permet que la résistance ait une fréquence de coupure supérieure et par conséquent, la résistance peut être utilisée dans des circuits opérant à des fréquences supérieures que celles permises auparavant. 25 L'invention présente résout de façon satisfaisante les problèmes précé dents par utilisation d'une double diffusion pour former la résistance. Dans cette double diffusion, la concentration de l'impureté dans l'une des diffusion est substantiellement supérieure à la concentration d'impureté dans l'autre diffusion. En conséquence, la même résistance est obtenue pour une profon-30 deur de diffusion avec un gradient de concentration d'impureté plus petite dans la couche d'appauvrissement oue celle que l'on pourrait obtenir par utilisation d'une simple diffusion ayant substantiellement la même concentration moyenne que la concentration moyenne des deux diffusions. Naturellement quand on compare la résistance produite par le procédé de 35 la présente invention avec une résistance produite par une seule diffusion ayant substantiellement la rnâne concentration moyenne d'impureté, on doit comprendre que la diffusion simple serait sans modification de température effectuée. On sait qu'une simple diffusion dans laouelle la température est modifiée durant le cycle de diffusion peut réduire la capacité carasite par modi^ica-40 tion du gradient de la distribution de l'impureté dans la couche d'appauvris- 05651 4 2006332 sèment de la jcr.ction. .'1er---- aS-ît, cp r.rocéd4 s dif fir-. le c-.tii ienuel la température est mcci+iée est substantiellement corr-pliaul relativement coûteux en comparaison du procédé de l'invention présente. Bien que le gradient de la distribution de l'impureté dans la couche a'ap-5 pauvrissement de la jonction puisse être diminué par réduction de la concentration de dopage pour diminuer la capacité parasite, il serait nécessaire d'augmenter l'épaisseur de la diffusion pour produire la même résistance. Cela parce que l'accroissement dans l'épaisseur de diffusion compenserait la diminution dans le dopage. Cependant, ce type de diffusion unique aurait deux 1C désavantages par le fait que l'augmentation dans l'épaisseur de la couche de diffusion produirait un transistor plus lent et la réduction dans le profil de dopage ne pourrait être seulement accompli que par une concentration de surface inférieure. La concentration de surface inférieure implique un coefficient de température de la résistance plus médiocre et diminue ainsi le do-15 maine de température de la résistance par auoi la résistance tombe quand la résistance fonctionne au-delà du domaine de température. Une résistance diffusée formée par le procédé de l'invention présente élimine de façon satisfaisante les problèmes précédents puisqu'elle aboutit à une concentration de surface relativement élevée donnant un bon coefficient 20 de température de résistance. Ainsi par l'utilisation d'une double diffusion, l'épaisseur de la couche diffusée est relativement peu profonde. En conséquence, ces deux paramètres de résistance, formés par le procédé de l'invention présente, produisent non seulement une bonne résistance mais aussi un bon transistor. Cela est dû au fait que le transistor, qui habituellement a sa 25 base formée, en même temps que la résistance dans la formation d'un circuit intégré monolithique, nécessite une couche diffusée peu profonde. Il nécessite aussi une concentration de surface élevée. Un objet de cette invention est de fournir des procédés pour la formation d'éléments passifs pour les circuits intégrés monolithiques utilisant deux 30 diffusions d'une impureté du même type de conductivité. Un autre objet de cette invention est de fournir des éléments passifs pour des circuits intégrés monolithiques ayant des caractéristiques nouvelles. Un autre objet de cette invention est de fournir un condensateur de jonction diffusé ayant une capacité relativement élevée pour uns surface donnée 35 de la jonction. Encore un autre objet de cette invention est de fournir une résistance diffusée pour des circuits intégrés monolithiques ayant une fréquence de coupure relativement élevée en comparaison des résistances diffusées actuelles. D'autres objets, caractéristinues et avantages de la présente invention 40 ressortiront mieux de l'exposé qui suit fait en référence aux dessins annexés BAD ORIGINAL 69 05651 5 2006332 à ce texte, qui représentent un mode de réalisation préférée de celle-ci. Dans les figures : - La figure 1 est une vue en perspective d'une partie d'une capacité de jonction formée selon le procédé de la présente invention. % - La figure 2 est une vue de dessus d'une partie d'un substrat dans le quel le condensateur de la présente invention doit être formé et montrant le dessin de diffusion formé dans la couche de dioxyde de silicium au sommet du substrat. - La figure 3 est une vue en coupe prise suivant l'axe 3-3 de la figure . 2 et montrant la diffusionésultante à travers la couche de dioxyde de siliciym de la figure 2. - La figure 4 est une vue en coupe, similaire à la figure 3, et montrant le condensateur complété et métallisé pour être connecté à un contact d'un circuit intégré monolithique dans lequel il doit être disposé. /[ J - La figure 5 est une vue en coupe similaire à la figure 3 mais montrant le résultat d'une première diffusion selon une méthode différente pour la formation d'un condensateur de jonction. - La figure 6 est une vue en coupe de la structure de la figure 5 après qu'une seconde diffusion ait été effectuée. -4/0 - La figure 7 est une courbe montrant la distribution de l'impureté dans la formation d'une résistance diffusée suivant le procédé de diffusion double de la présente invention comparée à la distribution d'impureté d'une méthode de diffusion unique actuelle. En référence aux dessins et particulièrement à la figure 1, un condensa- 2-S^ teur de jonction 10 est formé suivant le procédé de l'invention présente. Comme on le montre dans la figure 1, le condensateur 10 a sa largeur 11 formée par plusieurs arcs semi-circulaires radiaux 12. Ce qui signifie, que chacun des arcs 12 a une partie droite très peu importante qui est égale à la largeur de l'ouverture dans l'oxyde à travers lequel l'impureté est diffusée pour '"3o former l'arc. Chacun des arcs semi-circulaires 12 a un rayon qui ne dépasse pas l'épaisseur, X^. de la couche diffusée 14. La couche diffusée 14 est d'un type de conductivité tel que du type P par exemple, alors que la zone dans lequel l'impureté du type P est diffusée, telle que du substrat 15 est de l'autre type de conductivité. Ainsi, dans ce cas, le substrat 15 serait du type de J S conductivité [j. Le condensateur 10 a sa longueur 1B formée par plusieurs arcs 17 substantiellement semi-circulaires et radiaux. De la même façon que décrit pour les arcs 12, les arcs 17 auront aussi une partie rectilir-ne peu importante. Chacun des arcs serri-circulaires 17 est d'un rayon substantiellement épal au rayor de chacun des arcs semi-circulaires 12. Ainsi, le rayon de chacun des arcs 69 05651 G 2006332 serti-circulaires 17 peut ne pas être plus grand que l'épaisseur X de la couche diffusée 14. Avec le condensateur de jonction 10 formé comme montré dans la figure 1, la largeur 11 du condensateur de jonction 10 est substantiellement supérieure 5 à la longueur linéaire de la largeur du condensateur de jonction 10. De même, la longueur 16 du condensateur de jonction 10 est substantiellement supérieure à la longueur linéaire du condensateur de jonction 10. Ainsi, le condensateur de jonction 10 a une surface substantiellement augmentée sans aucune augmentation dans la zone de surface d'où l'obtention d'une capacité substantielle-10 ment plus grande pour une surface, donnée du condensateur de jonction 10. Dans la formation du condensateur de jonction 10, la première étape est de former une couche 18 d'un oxyde tel que le dioxyde de silicium, par exemple, sur la surface entière du substrat 15 par oxydation thermique de la surface du substrat 15. Le substrat 15 peut être formé avec une couche épitaxiale 15 initiale. La totalité du substrat peut avoir une épaisseur d'environ 0,2 nm avec une résistivité du type N de 0,02 ohm-cm avec une couche épitaxiale ayant une épaisseur de 6 à 8 microns avec une résistivité du type N de 0,2 ohm-cm. Après que la couche d'oxyde 18 ait été formée sur la surface du substrat 15, un premier jeu de plusieurs fentes parallèles 19 est formé dans la direc-20 tion longitudinale alors qu'un second jeu de plusieurs fentes parallèles 20 est formé dans la direction de la largeur. Les fentes 19 sont perpendiculaires aux fentes 20. Comme on le montre dans la figure 2, la partie de la couche 18, oui reste dans la zone dans laquelle les fentes 19 et 20 sont formées, comprend seulement plusieurs iles séparées. 25 Les fentes 19 et 20 peuvent être fermées dans la couche 18 de dioxyde de silicium par tout moyen de décapage convenable. Par exemple, la technique de photorésist peut être employée. Dans la technique de photorésist le matériau photorésistant serait déposé sur la couche 18 de dioxyde de silicium et exposé. Le décapage des zones exposées de l'oxyde produira les fentes 19 et 20. 30 Une impureté convenable du type P telle que- le bore est alors diffusée à travers les fentes 19 et 20. La diffusion est effectuée de préférence par la techniques dite "d'étalement" dans laquelle une procédure s deux étapes est employée. Ainsi, dans la première étape ou étape de oré-déposition, le bore est 35 déposé sur le substrat 15 à une température de 1200°C, durant 65 minutes. Il doit être compris que les premières dix minutes des 85 minutes sont nécessaires au chauffage pour atteindre la température de 12.00°C. Il est préférable nue la 16 3 concentration du bore scit de 1,8 x 1? atomes par cm .La profondeur de jonction Dour une pastille du type T: de un ohm-cm sst de. 2,578 nierons. 40 Ainsi, durant l'Étape 1.? "r-rrs rui ec-t If? - substrat 15 BAD ORIGINAL 05651 / 2006332 provenant ce la diffusion durant l'étape de rré-décasiticn, est redistribuée par la haute température de l'étalement. Durant l'étape d'étalement, de l'oxygène est dirigé sur le substrat durant cinq minutes, puis de la vapeur pendant 40 minutes, et encore de l'oxygène durant 5 minutes, le substrat 15 étant à 5 une température de 970°C. La vapeur créée la croissance d'une- couche d'oxyde sur la surface du substrat 15 dans laquelle le bore a été diffusé. Les premières cinq minutes, pendant lesquelles l'oxygène est utilisé, servent au chauffage. Ceci crée une profondeur de jonction de 2,946 microns pour un ohm/cm. et 10 pour une pastille échantillon du type et une profondeur de jonction, de 2,197 microns dans le substrat 15. Le coefficient de diffusion durant l'étape de pré-déposition est de -12 ? 1,05 x 10 cm*"/seconde. Durant l'Stape d'étalement, le coefficient de diffu--14 2 sion est de 3 x 10 cm par seconde. 15 Comme on le montre dans la figure 3 pour la largeur 11 du condensateur 10 de jonction, la diffusion d'impureté du type de conductivité P à travers les fentes 19 produit plusieurs arcs semi-circulaires 12 formant la largeur des condensateurs de jonction 10. Afin que les arcs semi-circulaires 12 du condensateur de jonction 10 forment une connexion continue, il est nécessaire oue les 20 distances entre les arcs longitudinaux des fentes adjacentes 19 soient inférieures à deux fois le rayon des arcs 12 semi-circulaires. En conséquence, la diffusion de l'impureté du type de conductivité P dans le substrat 15 doit être contrôlée afin d'être supérieure à la moitié de la distance entre les axes longitudinaux des fentes adjacentes 19. Naturellement, les fentes 19 25 doivent avoir des tailles suffisantes pour permettre que la diffusion à produire satisfasse cette relation. En utilisant un courant électronique avec la technique de photorésist pour l'exposition de la photo-résistance, chacune des fentes 19 peut avoir une largeur de 1 micron, les axes longitudinaux des fentes adjacentes 19 étant 30 écartés de 2 microns et, par conséquent chacune des iles de la couche 16 de dioxyde de silicium aura aussi une épaisseur de un micron. Si une exposition conventionnelle du photorésist è la lumière est employée plutôt que l'exposition du photorésist à un courant électronique, alors les axes longitudinaux des fentes adjacentes 19 devront être écartés de 2,5 microns et les iles de 35 la couche 18 de dioxyde de silicium auront une largeur de 1,5 microns. Cependant, si chacune des fentes 19 a une largeur de 1 micron, les axes longitudinaux des fentes adjacentes 19 auront probablement un écart d'environ 10 microns. _ Les arcs semi-circulaires 17 correspondant à la longueur 16 du condensateur 40 de jonction 1C sont formés au même moment que les arcs ser-â-circulaires 12 05651 2006332 grâce à une diffusion simple. Cela signifie que l'impureté de conductivité de type P est également diffusée à travers les fentes 20 en même temps qu'elle est diffusée à travers les fentes 19. En conséquence, la même technique sera employée comme décrit dans la for-5 mation de la largeur 11 du condensateur de jonction 10 pour former la longueur 16 du condensateur de jonction 10. Après la diffusion de la couche 14 à travers les fentes 19 et 20 dans le substrat 15, on diffuse une zone N + dans le substrat 15 pour former une seconde zone de contact pour le condensateur de jonction 10. Cela signifie, que 10 la surface supérieure de la couche diffusée 14 forme une zone de contact pour le condensateur de jonction 10 alors que l'autre zone de contact doit provenir du substrat 15 puisqu'il forme l'autre côté du condensateur de jonction 10. Bien que cette zone de contact N+ ne soit pas montrée, on doit comprendre qu'elle sera à l'extérieur de la zone ayant les fentes 19 et 20. Cependant, il 15 peut s'avérer nécessaire de former des ouvertures dans la couche 18 de dioxyde de siliciun pour permettre la réalisation de cette diffusion. LLa zone de contact N+ sera aussi formée par diffusion par étalement.L'impureté peut être toute impureté du type de conductivité N convenable telle que 21 3 le phosphore avec une concentration de 2 x 10 atomes par cm , par exemple. 20 Dans l'étape de prédéposition, l'impureté sera appliquée durant quarante minutes à une température de l'ordre de 970°C. On doit comprendre que les premières cinq minutes sont destinées au chauffage. - Durant l'étape d'étalement, on fournira, premièrement de l'oxygène puis de la vapeur durant respectivement 10 et 5 minutes, à 970°C. Les premières 25 cinq minutes étant nécessaires pour le chauffage. La concentration de l'impu- 21 3 reté sera de 1,3 x 10 atomes par cm . La profondeur de jonction dans une zone de type P pour 1 ohm/cm de la pastille d'échantillon est de 1,158 microns. Durant l'étape de pré-déposition, le coefficient de diffusion sera de -14. 2 8 x 10 cm par seconde. Durant l'étape d'étalement le coefficient de diffu--14 2 30 sion sera de 7 x 10 cm par seconde. Après que le condensateur de jonction 10 ait été formé, on élimine de la zone supérieure de la couche diffusée 14 et du substrat 15, une partie de la couche 18 de dioxyde de silicium le long des couches de dioxyde de silicium qui ont cru durant la diffusion de la couche 14 de type P et de la zone de 35 contact.Ensuite, un film 22 de métal tel que l'aluminium, par exemple doit être déposé sur la surface supérieure de la couche diffusée 14 (voir figure 4]. Ainsi, un contact métallique est obtenu avec la couche diffusée 14 du type de conductivité du condensateur 10 de jonction. On doit comprendre qu'une seconde ouverture est pratiquée dans la couche 18 40 [non représentée] du dioxyde de silicium pour autoriser le dépôt d'un autre 05651 g 2006332 film de métal tel que l'aluminium sur la surface supérieure de la zâne de contact N+. On obtient ainsi le deuxième contact métallique pour le condensateur de jonction 10. Au lieu d'utiliser une technique de diffusion par étalement dans laquel-5 le on utilise un procédé à deux étapes pour former la couche diffusée 14 dans le substrat 15, la diffusion peut être effectuée en une seule étape en utilisant une distribution d'erreurs complémentaires. Le matériau de type P qui 19 3 peut être le bore, aurait une concentration de 2 x 10 atomes par cm . La diffusion se produirait durant 80 minutes à une température de 1100°C les 10 premières dix minutes étant réservées au chauffage. La profondeur de jonction pour 1 ohm/cm pour une pastille échantillon du type N serait de 1,01 micron. On pourrait aussiformerla zone de sortie N+ par une seule étape de diffusion utilisant la distribution de la fonction des erreurs complémentaires. L'impureté peut être toute impureté du type N convenable telle que le phospho- 21 3 15 re ayant une concentration de 1,3 x 1D atomes par cm , par exemple. L'impureté serait appliquée durant approximativement 26,2 minutes à une tempéra- -14 2 ture de 970°C. Le coefficient de diffusion serait de 7 x 10 cm par seconde. Dans une pastille échantillon de type P pour un ohm/cm, la profondeur de jonction serait de 0,630 micron. 20 Si la distance entre les axes longitudinaux des fentes adjacentes 19 et/ou les fentes adjacentes 20 était supérieure à deux fois l'épaisseur de diffusion X., alors une simple diffusion ne produirait pas les arcs semi-circulaires 3 connectés 12 et les arcs semi-circulaires connectés 17 mais ils seraient écartés les uns des autres.Quand cela se produit il est nécessaire d'utiliser 25 deux diffusion d'impureté du type P pour produire les arcs semi-circulaires reliés. Il doit être compris que les techniques de photorésist actuelles ne permettent pas que la taille des fentes 19 et 20 soit inférieure à 1 micron. En conséquence, il peut en résulter que la profondeur de diffusion soit limitée de telle sorte que les arcs semi-circulaires ne se recouvrent pas. 30 Comme on le montre dans la figure 5, une couche 25 d'un oxyde tel que le dioxyde de silicium, par exemple, est formée sur le sommet du substrat 26 ayant une conductivité du type N par exemple. La couche 25 peut être oxydée thermiquement sur la surface du substrat 26, qui peut être formée avec une couche épitaxiale de la même façon que le substrat 15. 35 Ainsi, de la même façon que décrite antérieurement pour la simple diffusion dans la formation des fentes 19 dans la couche 18 du dioxyde de silicium, des fentes parallèles 27 sont formées suivant la longueur de la couche 25 de dioxyde de silicium. On doit comprendre ou'un jeu similaire de fentes parallèles, qui serait disposé perpendiculairement aux fentes 27, serait formé 40 suivant la largeur de la couche 25 de dioxyde de silicium de la même manière 05651 1D 2006332 que les fentes 20 sont formées. Cependant, on limitera la description des procédés de double diffusion à la formation de la largeur du condensateur de jonction. Après aue les fentes 27 soient formées dans la couche 25 du dioxyde de 5 silicium, on diffuse une impureté du type P, telle qu'une haute concentration de bore, par exemple, par les fentes 27 pour former des zones de conductivité 28 du type P dans le substrat 26. Les zones 28 sont isolées les unes des autres par des parties de substrat 26 de type l\! comme on le montre dans la figure 5. On diffuse de préférence le bore de la même manière mais durant un 10 temps plus court et il a la même concentration de surface que décrite pour la simple diffusion de la formation du condensateur de jonction 10. Ainsi, la couche 25 de dioxyde de siliciLm, a une ouverture importante 30 qui a été formée par des moyens de décapage convenables tels que la techni" que de photorésist par exemple Cvoir figure 63. L'ouverture 30 est de préfé-15 rence de la même largeur que l'écart entre les bords extérieurs des fentes externes 27. Une combinaison similaire existera pour les distance longitudinales de l'ouverture 30. On effectue ensuite une seconde diffusion par les ouvertures 30 de la couche 25 de dioxyde de silicium d'un matériau de conductivité de type P qui 20 peut avoir une concentration égale supérieure, ou inférieure que la première diffusion. On aboutit à la formation d'une couche diffusée 31 de type de conductivité P reliant les zones de type P les unes aux autres comme on le montre dans la figure 6. On doit comprendre que la deuxième diffusion des impuretés du type P peut 25 être seulement effectuée par les fentes formées dans la couche 23 avec les fentes n'exposant que les zones du substrat 26 n'ayant pas les zones 28 du type P. On doit aussi comprendre que la seconde diffusion des impuretés du type de conductivité F pourra être effectuée de la même façon que décrite pour la première diffusion.De plus; la diffusion des zones de contact N+ sera 30 effectuée après la seconde diffusion de type P plutôt qu'après la première diffusion de type P. En conséquence, un condensateur de jonction 32 est formé avec une largeur substantiellement supérieure à la largeur linéaire. De même, la longueur du condensateur de jonction est formée similairement ayant une longueur substan-35 tiellement supérieure à sa longueur linéaire. Cette double diffusion ne produit pas tout à fait la même quantité d'augmentation de capacité dans le condensateur de jonction 32 pour une zone de surface donnée comme le fait le procédé à diffusion simple employé pour former le condensateur de jonction 10. Cependant, l'augmentation de capacité dans le condensateur de jonction 32 est 40 presque égale à l'augmentation dans le condensateur de jonction 10. 69 05651 n 2006332 L'écart entre chacune des zones 28, qui forme substantiellement des arcs semi-circulaires, détermine la auantité de réduction de la capacité Dour le condensateur de jonction 32 en comparaison avec le condensateur de jonction 10. Cela signifie, que plus les zones 28 sont rapprochées les unes des autres, 5 plus proche est la capacité du condensateur de jonction 32 de celle du condensateur de jonction 10. On doit comprendre que la métallisation de la surface supérieure des zones 28 de type P et de la couche 31 du matériau de type P sera effectuée par dépôt d'un film métallique de la même façon que décrit pour le condensateur 10 de jonction 10. Cela est nécessaire pour former l'un des contacts du condensateur de jonction 32. Bien que l'autre contact pour le condensateur 10 et le condensateur 32 ait été décrit comme une zone N+ formé dans la surface supérieure du substrat 15 ou 26, on doit comprendre que l'autre contact peut être le substrat 15 et 26 de type N, respectivement. Dans chacune des disposi-15 tions, on dépose un film de métal pour former le contact avec la zone de contact appropriée. Bien que l'on ait décrit les condensateurs de jonction 10 et 32 comme ayant la z6ne de condensateur augmentée à la fois suivant les directions longitudinales et transversale, on doit comprendre que la zone augmentée peut être 20 formée seulement suivant l'une de ces.directions du condensateur de jonction. Par exemple, seule la largeur du condensateur de jonction 32 peut être rendue supérieure à sa largeur linéaire de la façon montrée et décrite dans les figures 5 et 6 alors que la longueur du condensateur 32 sera formée suivant sa longueur linéaire. On produira encore, ainsi, une augmentation substantiel-25 le d'approximativement 60% dans la capacité du condensateur 32 en comparaison avec les capacités d'un condensateur ayant à la fois sa largeur et sa longueur formées de façon substantiellement linéaires. La seule différence dans le procédé de formation des condensateurs de jonction 10 ou 32 serait l'utilisation de seulement l'un des jeux de fentes plutôt que deux jeux de fentes 30 perpendiculaires. La valeur d'une résistance diffusée pour un circuit intégré monolithique est déterminée par le produit de la valeur moyenne de feuille de la résistance diffusée par le rapport de sa longueur à sa largeur. La résistance de feuille est approximativement inversement proportionnelle à la concentration 35 moyenne des impuretés entre la jonction et la surface de la résistance et l'épaisseur de la couche de diffusion ou l'écart de la jonction de la surface supérieure . Ainsi, il semblerait que pour obtenir une augmentation dans la résistance totale d'une résistance diffusée pour un rapport donné de la longueur de la 40 résistance à sa largeur, il serait seulement nécessaire soit de diminuer la 69 05651 12 2006332 concentration moyenne d'impureté soit de diminuer l'épaisseur de la couche de diffusion. Chacune de ces deux méthodes entraînerait une augmentation dans la résistance de feuille. Cependant, la concentration moyenne d'impureté est en relation abec la 5 concentration de surface. Afin d'obtenir un coefficient de température bas, de la résistance de telle sorte que le domaine de température du circuit puisse être rendu suffisarrment large pour être utilisé dans des conditions particulières, il est nécessaire d'avoir une concentration de surface élevée. Ainsi la réduction de la concentration moyenne d'impureté est limitée du fait de 10 la concentration de surface nécessaire. De plus la capacité parasite de la jonction, est directement proportionnelle au 1/3 de la valeur du gradient d'impureté dans la couche d'appauvrissement de la jonction. Ainsi, en rendant la concentration de surface nécessairement élevée pour obtenir le coefficient de température de résistance bas, un effort 15 pour obtenir une concentration moyenne inférieure d'impureté entrainera que le gradient de la concentration de l'impureté dans la couche d'appauvrissement sera supérieur et, par conséquent la capacité parasite augmentera. En conséquence, on ne peut pas faire reposer la résistance de feuille d'une résistance diffusée sur une diminution de la concentration moyenne d'impureté 20 pour augmenter la résistance de feuille. Ainsi, la valeur de la résistance de feuille ne peut pas être augmentée en faisant principalement décroitre la concentration moyenne d'impureté du fait de l'accroissement indésirable de la capacité parasite en résultant. Donc, bien qu'une résistance supérieure serait obtenue si la concentration 25 moyenne d'impureté était diminuée, la capacité parasite serait augmentée pour réduire la fréquence de coupure de la résistance de telle sorte qu'elle limiterait son utilisation. Ainsi, la.concentration moyenne de l'impureté ne peut pas être utilisée de façon satisfaisante pour obtenir une résistance accrue pour une zone donnée de la résistance diffusée. 30 De même, si l'on tentait de réduire l'épaisseur de la couche de diffusion, ceci entraînerait que le gradient de la concentration d'impureté dans la couche d'appauvrissement soit supérieur, ce qui créerait une augmentation dans la capacité parasite. Cela à cause de la concentration de surface nécessairement élevée et à la petite profondeur de la surface à laquelle la jonction est 35 localisée. Donc bien qu'une diminution dans l'épaisseur de couche de diffusion produira une augmentation de la résistance de feuille, elle entrainera aussi une augmentation dans la capacité parasite. En conséquence, dans la formation d'une résistance diffusée, à l'aide d'une simple diffusion à une température donnée, la résistance de feuille moyenne 40 est limitée entre les domaines prédéterminés. Ceux-ci sont déterminés par la 69 05651 13 2006332 capacité parasite que l'on peut permettre pour la résistance spécifique. Cela doit être accordé avec la quantité de zone de substrat que l'on peut utiliser pour la résistance diffusée dans le circuit intégré monolithique. Puisque l'on désire que la résistance diffusée ait une résistance de feuil 5 le aussi élevée que possible afin de réduire la zone nécessaire pour la résistance diffusée, il est souhaitable d'être capable de produire une basse concentration moyenne par utilisation d'une diffusion peu profonde avec une concentration de surface élevée de l'impureté sans augmentation ds la capacité parasite. Ainsi, si la capacité parasite pour une résistance donnée d'une 10 résistance diffusée peut être réduite, cela permettra que la résistance diffusée opère à des fréquences plus élevées. Par conséquent, le circuit intégré monolithique sera moins limité dans le domaine des fréquences. En référence à la figure 7, on montre une courbe illustrant les profils de dopage des distributions d'impuretés pour une résistance diffusée. La 15 distribution de l'impureté est présentée de façon linéaire dans ces courbes. □n indique la concentration de l'impureté de type P en montant suivant l'axe vertical à partir de zéro alors que la concentration de l'impureté de type N est indiquée en descendant l'axe vertical à partir de zéro. La distance à la surface-supérieure de la résistance diffusée est indiquée suivant la 20 direction horizontale vers la droite. Si la concentration totale C„, du substrat est du type N, alors l'impure- D té diffusée sera du type P. Avec une concentration totale, C , et une profon- D deur de jonction de comme montré dans la figure 7, une simple diffusion ayant une concentration de surface comme indiqué en 40 produira une courbe 41 25 de distribution d'impureté du type P dans le substrat. La différence entre la courbe 41 de concentration d'impureté de type P et la concentration totale, qui st la même dans le substrat dans lequel la résistance diffusée est formée, produira une courbe de concentration d'impureté 42 dans le substrat. Comme on le montre dans la figure 7, la courbe 42 coupe la ligne de concentra-30 tion zéro en 43,. qui est la localisation-de la jonction par rapport à la surfa ce supérieure du substrat. Le gradient de la courbe 42 dans la couche d'appauvrissement d^ détermine la capacité parasite de la résistance diffusée. Dans le procédé de la présente invention, pour l'obtention d'une résistance diffusée, deux-diffusions sont employées pour former la résistance diffu-35 sée, la concentration de l'une dès diffusions étant supérieure à la concentration de l'autre diffusion. Comme on le montre dans la figure 7, la diffusion d'une impureté d'une concentration substantiellement élevée est indiquée par une courbe 44 de concentration d'impureté alors que la distribution de diffusion d'une impureté d'une concentration inférieure est indiouée par la courbe 40 45. 69 05651 14 2006332 Il doit être observé que-la courbe 44 se termine avant la couche d'appauvrissement d2> Cela est nécessaire afin d'éviter l'exitence d'une région hautement dopée contigiïe à la jonction ce qui aurait pour conséquence de rétrécir la couche d'appauvrissement. Si la couche d'appauvrissement était rétrécie 5 cela entraînerait aussi une augmentation de la capacité parasite car la capacité est inversement proportionnelle à l'épaisseur de la couche d'appauvrissement. La concentration de surface de la diffusion de plus haute concentration (courbe 44) commence au point 46, qui est supérieure à la concentration de 10 surface 40 pour la simple diffusion. Ainsi, les concentrations de surface produite par l'impureté de concentration élevée entraine un coefficient de température de la résistance inférieure à celui produit par la simple diffusion. La concentration de surface de. la diffusion de concentration basse (courbe 45) est au point 47, qui est plus faible que les points 40 ou 46. Quand la 15 concentration de surface 47 de la diffusion de la concentration basse est ajoutée à la concentration de surface du point 46, cette somme est même supérieure d'où un coefficient de température ou résistance inférieur. Les profils de dopage pour les deux diffusions de concentration substantiellement différentes, moins la concentration totale Cn, est indiquée par la D 20 courbe 46. La courbe 46 passe par le point 43, qui indique la localisation de la jonction, et par la couche d'appauvrissement d^ avec un gradient beaucoup plus petit que la courbe 42. On doit comprendre que la courbe 48 produit la couche d'appauvrissement d^, qui est plus large, pour un potentiel de polarisation donné et inversé, que la couche d'appauvrissement d^. 25 Ainsi, la capacité parasite de la résistance diffusée qui est formée par les profils de dopage des courbes 44 et 45 est plus petite que la capacité parasite d'une résistance divisée formée par une seule diffusion et une seule température.En conséquence, la résistance diffusée de l'invention présente peut opérer à des fréquences plus élevées avant que la fréquence de coupure soit 30 atteinte en comparaison avec une résistance obtenue par une seule diffusion, qui a la même résistance moyenne de feuille, la même profondeur de jonction, et la même couche d'appauvrissement. De plus, la résistance diffusée qui est fabriquée par le procédé de l'invention présente peut être utilisée dans des conditions nécessitant des domaines de températures plus larges qu'une résistance formée 35 par une seule diffusion grâce au coefficient de température inférieur de la résistance provenant de la concentration de surface plus élevée. Comme exemple de fabrication de la résistance par double diffusion, une couche d'oxyde, telle que le dioxyde de silicium, par exemple,- peut être formée sur la surface entière du substrat dans lequel on doit former la rêsistan-40 ce diffusée par oxydation thermiaue de la surface du substrat. Le substrat peut 69 05651 15 2006332 avoir les mêmes propriétés que les substrats 15 et 26. Après que la couche d'oxyde ait été formée sur la surface du substrat, une ouverture sera formée dans le substrat avec le rapport désiré de la longueur à la largeur pour produire la valeur désirée de la résistance diffusée % en fonction de la valeur de sa résistance de feuille. Les techniques de photo-résistance peuvent être employées pour l'obtention de l'ouverture dans le dioxyde de siliciun. Une impureté convenable du type de conductivité P, tel que le bore, est alors diffusée par étalement par la fente. Le bore peut avoir une concentra- 18 3 • ■{o tion de 1,8 x 10 atomes par cm . Dans l'étape de prédéposition, le bore sera diffusé durant 85 minutes à une température de 120G°C. Les dix premières minutes étant consacrées au temps de chauffage. Puis, on effectuera l'étape d'étalement, le substrat étant à une tempérais" ture de 970°C. Le bore qui se trouve dans le substrat depuis l'étape de pré-déposition, est redistribué par la haute température de l'étape d'étalement. Durant l'étape d'étalement, on dirige de l'oxygène sur le substrat durant les cinq premières minutes,, puis de la vapeur durant 40 minutes et encore de l'oxy gène durant 5 minutes. La vapeur cause la croissance d'une couche d'oxyde sur c£o la surface du substrat dans lequel le bore a été diffusé. -12 Le coefficient de diffusion pour l'étape de predéposition est 1,05 x 10 2 cm par seconde. Pour l'étape de pénétration, le coefficient de diffusion est -14 2 3 x 10 cm par seconde. La profondeur de jonction X produite par cette diffusion est 2,1S7raicrops c Durant la procédure suivante, la profondeur de jonction croit jusqu'à 2,331 microns sans aucune modification dans la résistance de feuille moyenne. La profondeur de la jonction, X., est de 2,946 microns pour un ohm-cm. Dans une ■J 18 pastille échantillon de type N est la concentration de surface est1,B x 10 atomes par cm^. On doit comprendre que la seconde diffusion aura lieu normalement au moment où les secondes diffusions sont utilisées dans les autres parties du substrat pour obtenir le circuit intégré monolithique. Par conséquent, il est nécessaire de former encore les ouvertures désirées dans une nouvelle couche de dioxyde de silicium de la même manière que celle décrite pour la formation du condensateur de jonction 32. 20 Dans la seconde diffusion, le bore à une concentration de 1,6 x 10 ato-3 mes par cm quand il est déposé à la surface de la couche diffusée durant l'étape de prédéposition. La température est élevée à 1000°C, et la durée totale est de 65 minutes dont 10 minutes servent au chauffage. HO Durant l'étape d'étalnment, la concentration du bore est réduits à 69 05651 16 2006332 19 3 2,1 x 10 atomes par cm . Là vapeur est utilisée pour la pénétration et est maintenue durant 15 minutes à1100°C. dont cinq minutes pour le chauffage. On obtient par ce procédé une profondeur de jonction de 1,19 microns pour 1 ohm-cm pour une pastille échantillon de type N. 5 Le coefficient de diffusion durant l'étape de prédéposition est de 2,8 x -13 10 cm2 par seconde. Durant l'étape d'étalement, le coefficient de diffusion -13 2 est de 1,4 x 10 cm par seconde. Cette seconde diffusion produit une couche à diffusion combinée ayant une profondeur de 2,33 microns. Après les deux diffusions, un film de métal sera ajouté à la surface de 10 la résistance diffusée pour y former les contacts. Ceux-ci seront fournis à travers la couche de dioxyde de siliciim qui a été formée durant l'étape d'étalement de la seconde diffusion, par gravure de trous dans la couche pour rejoindre la surface de la résistance diffusée en deux points écartés. Autrement, les contacts peuvent être formés par utilisation d'un seul trou et par 15 suppression de la plus grande partie de la gravure métallique. Au lieu d'utiliser une diffusion par étalement dans laquelle un procédé à deux étapes est employé, chacune des deux diffusions pour la formation de la résistance par double diffusion peut être une étape simple utilisant la distribution de la fonction d'erreur complémentaire. Ainsi, une impureté con-20 venable du type de conductivité P, tel que le bore, peut être diffusée par une fente, qui est formée dans une couche d'oxyde sur la surface entière du substrat comme mentionné précédemment dans la description de la formation de la résistance par double diffusion, par diffusion par étalement. Le bore peut 18 3 avoir une concentration de 1 x 10 atomes par cm avec le substrat ayant une 16 3 25 concentration totale, CQ, de 3 x 10 atomes par cm . Dans la première et profonde diffusion, le bore sera diffusé environ durant 147 minutes dont 10 minutes de chauffage à une température de 1200°C. Le coefficient de diffusion -12 2 est de 1,05 x 10 cm par seconde. La profondeur de la jonction, X^, est de 2,946 microns pour 1 ohm-cm 30 dans une pastille échantillon de type N, et la concentration de surface est 18 3 de 1,6 x 10 atomes par cm . Dans la seconde et peu profonde diffusion, le bore a une concentration 19 3 de 2x 10 atomes par cm . L§ température est maintenue à 1100°C et le temps total est de 80 minutes avec 10 minutes pour le chauffage. -13 2 35 Le coefficient de diffusion est de 1,05 x 10 cm par seconde. Cette seconde diffusion produit une résistance de feuille moyenne de 185 ohms par 2 cm et une profondeur de jonction de 1,01 micron dans une pastille échantillon de type N de 1 ohm par cm. Bien que l'on ait décrit la résistance diffusée comme étant formée par 40 diffusion d'une impureté du type P dans un substrat à concentration totale 69 05651 17 2006332 du type rj, on doit comprendre aue la résistance diffusée peut être formée par diffusion d'une impureté du type dans une concentration de type P totale. Dans la diffusion de deux concentrations différentes du même type d'in-5 pureté dans la concentration totale du substrat, il est préférable que la concentration inférieure (indiquée par la courbe 45) soit diffusée la première comme on l'a décrit précédemment. Cependant, ceci n'est pas une nécessité pour l'obtention d'une résistance diffusée satisfaisante. Un avantage de cette invention est qu'elle fournit un condensateur de 10 jonction diffusée ayant une capacité augmentée sans aucune augmentation dans la zone du substrat nécessaire. Un autre avantage de cette invention est qu'elle permet qu'une résistance diffusée soit utilisée à des fréquences plus élevées par réduction de la capacité parasite à la jonction formée par la résistance diffusée. 15 Un autre avantage de cette invention est qu'elle permet qu'une résistance diffusée soit utilisée à des températures relativement plus élevées sans aucune augmentation dans la capacité parasite à la jonction formée par la résistance diffusée. Bien que l'on ait décrit dans ce qui précède et représenté sur les dessins, 20 les caractéristiques essentielles de l'invention, appliquées à un mode de réalisation préférée de celle-ci, il est évident que l'honme de l'art peut y apporter toutes modifications de forme ou de détail qu'il juge utiles sans pour autant sortir du cadre de ladite invention. 69 05651 18 2006332 r e v e r. p i c a t i a ; i s 1. Procédé pour former dos éléments passifs dans un circuit intégré et comprenant : - une diffusion d'une première concentration d'un, premier type de conductivité dans un corps ayant une concentration totale d'un second type de con- 5 ductivité à travers une surface substantiellement plane du corps. - une diffusion d'une seconde concentration du premier type de conductivité dans le corps après la fin de la diffusion de la première concentration caractérisée en ce que chacune des diffusions, pour former l'élément passif ayant une jonction entre les premier et second types de conductivité avec les carac- 10 téristiaues désirées est contrôlée. 2. Procédé d'après la revendication 1 caractérisé en ce qu'il comprend : - une diffusion des deux concentrations à travers une surface choisie du corps. 15 - et l'application de l'une des diffusions avec une concentration substan tiellement sppérieure à la concentration de l'autre diffusion pour former un gradient désiré de distribution d'impureté de la jonction» l'élément passif étant utilisé comme résistanee. 20 3. Procédé d'après la revendication 2 caractérisé en ce qu'il comprend : - la limitation de la profondeur de diffusion de la concentration relativement plus grande du premier type de condoctivité pour éviter la pénétration dans la couche d'appauvrissement de la jonction de la concentration relativement plus grande du premier type de conductivité. 25 4. Procédé selon la revendication 1 caractérisé en ce qu'il comprend : - Le contrôle de la diffusion de la première concentration par limitation de la zone de diffusion du premier type de conductivité à des bandes espacées du corps du second type de conductivité. 30 - et le contrôle de diffusion de la seconde concentration- en limitant la zone de diffusion du premier type de conductivité nour relier les bandes du premier type de conductivité les unes aux autres afin de produire une jonction ayant l'une de ces dimensions de largeur et de longueur supérieure à sa dimension dans cette direction. 35 40 5. Un procédé de formation d'unp jonction dans un dispositif semi-conduc-teur pour -Ponctionner comme un condensateur dans un circuit intérrré, le pro-cécz comprsr.ant : - - le dépôt d'un matériau isolant électriaue sur un corps d'un type de bad original 69 05651 19 2006332 conductivité. - La formation d'un premier groupe de fentes parallèles et également espacées dans le matériau isolant. - La diffusion d'une impureté d'un autre type de donductivité pour chacune 5 des fentes pour former une jonction à l'intérieur du corps entre les deux types de conductivité. - Le contrôle de la diffusion de telle sorte que l'épaisseur de la couche de diffusion soit supérieure à la moitié de la distance comprise entre les axes longitudinaux des fentes parallèles, une seule jonction se formant à 10 l'intérieur du corps entre les deux types de conductivitB avec la jonction qui a l'une de ses dimensions de longueur et de largeur supérieure à sa dimension linéaire. 6. Procédé selon la revendication 5 caractérisé en ce qu'il comprend : 15 - La formation d'un second groupe de fentes parallèles et également espacées dans le matériau isolant lorsque le premier groupe de fentes est formé dans ce matériau isolant. - La formation du second groupe de fentes perpendiculaires au premier groupe de fentes. 2Q - La diffusion de l'impureté d'un autre type de conductivité par chacu ne dBS fentes du second groupe au même moment où l'on produit la diffusion de l'impureté de l'autre type de conductivité par chacune des fentes du premier groupe. - Et le contrôle de la diffusion de telle sorte que l'épaisseur de la 25 couche de diffusion soit aussi supérieure à la moitié de la distance entre les axes longitudinaux des fentes du second groupe. 7. Un dispositif semi-conducteur comprenant : - Un corps de matériau semi-conducteur ayant une jonction qui est formée 30 avec une conductivité d'un type sur un côté de ladite jonction et une conductivité d'un autre type sur l'autre côté de ladite jonction, le dispositif étant caractérisé en ce que ladite jonction possède au moins une de ses dimensions de largeur et de longueur qui a une distance supérieure à la distance linéaire de la dimension pour obtenir une capacité substantiellement su- 35 périeure au taux d'une zone de surface donné de la jonction. 8. Le dispositif selon la revendication 7 dans lequel ladite jonction a sa dimension de largeur supérieure à la distance linéaire de sa dimension de largeur et sa dimension de longueur supérieure à la distance linéaire 40 de sa dimension de longueur. .69 05651 20 2006332 9. Le dispositif selon la-revendication 7 dans lequel ladite jonction a au moins une de ces dimensions de largeur et de langueur formées par plusieurs arcs semi-circulaires reliés et de rayons égaux et les centres de ces arcs adjacents sont écartés d'une distance inférieure à deux fois le rayon de cha- 5 cun des arcs. 10. Le dispositif selon la revendication 8 dans lequel - Ladite jonction a sa dimension de largeur formée par un premier ensemble d'arcs semi-circulaires reliés de rayons égaux et le centre des arcs adjacents 10 sont écartés d'une distance inférieure à deux fois le rayon de chacun des arcs. - Et ladite jonction a sa dimension de longueur formée par un second ensemble d'arcs semi-circulaires reliés, de rayons égaux et le centre des arcs adjacents du second nombre sont, écartés d'une distance inférieure au-rayon de chacun des arcs du second ensemble d'arcs. 15 11. Un dispositif semi-conducteur comprenant un corps d'un premier type de conductivité, ledit corps comprenant une couche diffusée d'un second type de conductivité afin de fonctionner comme une résistance dans un circuit intégré monolithique, le dispositif étant caractérisé en ce que ledit corps comprend une jonction formée par deux diffusions différentes dans la couche 20 du second type de conductivité avec d'une part l'une des diffusions ayant une concentration supérieure à l'autre diffusion pour former dans la couche d'appauvrissement un gradient de distribution diffusée, de pente moindre, et avec d'autre part une couche d'appauvrissement de largeur supérieure à celle que l'on peut former par une simple diffusion du second type de conductivité 25 sous une seule température.