Brevet FR2009364A1 — publié le 19700206

La présente invention est relative à un perfectionnement aux dispositifs porte-échantillons, applicable spécialement dans le cas où l'on soumet des échantillons à un bombardement d' électrons animés d'une énergie cinétique appropriée pour y provo-5 quer l'apparition d'un rayonnement X caractéristique. On sait que les dispositifs usuels contenant des échantillons destinés à être soumis à un bombardement électronique approprié, donnant lieu à une émission de rayonnement X caractéristique sont constitués le plus souvent d'un simple boîtier, dont 10 une paroi est munie d'un orifice obturé par l'échantillon considéT ré, lequel est fixé contre la face intérieure de ladite paroi. L'ensemble ainsi constitué est placé dans une enceinte appropriée dans laquelle se trouve un dispositif émetteur d'électrons dont le pinceau est dirigé vers l'échantillon. 15 De tels dispositifs sont souvent affectés d'inconvénierts qui compromettent la stabilité et la précision des mesures effectuées . On a notamment constaté en effet que sous l'effet du bombardement d'électrons, l'échantillon est soumis à une élévation 20 de température, ce qui a pour conséquence une diminution dans la précision des mesures. Par ailleurs, une telle élévation de température ptovo-que un léger dégagement gazeux à la surface de l'échantillon, dégagement gazeux dont la présence réduit l'intensité du rayonnement X 25 émis par l'échantillon: . Un troisième inconvénient apparaît aussi, lorsque l'échantillon est en un matériau non conducteur d'électricité (par exemple un laitier métallurgique). Cet inconvénient est constitué par l'apparition d'une charge d'espace (électrons négatifs) qui est 30 localisée au voisinage de la surface irradiée de l'échantillon et qui ralentit et dévie fortement une partie du faisceau incident, ce qui influence notablement l'efficacité du faisceau de rayonnement X émis. La conséquence pratique de ces inconvénients est ure déri-35 ve de l'intensité de rayonnement émis, ainsi qu'une diminution sensible de sa valeur. A titre d'exemple, il n'est pas rare que dans des mesures de ce genre, il faille attendre 15 minutes avant que la valeur de l'intensité émise soit stabilisée. La présente invention a pour objet un perfectionnement 40 de dispositif de porte-échantillons, permettant de remédier à ces 69 16021 2 2009364 inconvénients. Le dispositif porte-échantillon objet de la présente invention est essentiellement caractérisé en ce qu'il est constitué d'une mince plaque électriquement conductrice, reliée à la masse 5 du porte-échantillon ou à la terre, ladite plaque étant disposée contre la face à irradier de l'échantillon, et étant pourvue d'un très grand nombre de trous de diamètrlxlibls sais plus grand que l'épaisseur de la plaque, l'ensemble de trous de la plaque permettant à une partie importante du faisceau émis, d'atteindre en fait 10 l'échantillon. Il a été constaté que grâce à cette plaque, on peut éliminer la charge d'espace et réduire considérablement l'échauffe-ment local de l'échantillon, en évacuant rapidement la majeure partie des calories produites par le bombardement électronique. 15 A titre purement indicatif, des résultats particulière» ment favorables ont été obtenus avec une plaque métallique de 21 microns d'épaisseur, et munie de trous de 250 microns de diamètre distribués de façon à ce que la surface des trous représente 60 % de la surface de plaque frappée par le faisceau. L'intensité 20 du rayonnement X mesuré dans ces conditions opératoires, a été trouvé remarquablement constante en fonction du temps. bad original' 69 16021 3 2009364 REVENDICATIONS 1° Perfectionnement au dispositif porteur d'échantillons destinés à être soumis à un bombardement électronique capable de provoquer sur la face irradiée desdits échantillons l'émission 5 d'un rayonnement X caractéristique, caractérise en ce que ledit dispositif comprend une plaque mince, électriquement conductrice, reliée à la masse du porte-échantillon ou à la terre, ladite plaque étant pourvue d'un très grand nombre de trous de diamètre très faible mais plus grand que l'épaisseur de la plaque, 10 en nombre suffisant pour permettre à une partie importante do faisceau électronique émis, d'atteindre en fait l'échantillon, une fois que cette plaque a été disposée contre la plage de l'échantillon, destinée à être soumise au bombardement électronique. 2° Perfectionnement suivant la revendication 1, c a r a c 15 tériséence que la surface des trous atteint au moins 40 % de la surface de la plage frappée par le faisceau.