Brevet FR2005418A1 — publié le 19691212

i 2005418 Le tungstène a donné des résultats remarquables comme métal constituant les tubes à rayons X, grâce à sa forte densité, à son numéro d'ordre élevé dans le système périodique, et à son point de fusion également élevé. Pour cette application, on a pu encore 5 améliorer les bonnes propriétés du tungstène par des additions d'autres métaux ayant également une forte densité, un numéro d'ordre élevé et un point de fusion élevé, par exemple rhénium, osmium, iridium, etc. On a trouvé également que, pour les tubes à rayon X à anode rotative, il n'est pas nécessaire de réaliser les anodes 10 entièrement en tungstène ou en u*i alliage de tungstène. Il est même très avantageux de constituer le corps de base de l'anode rotative en une matière ayant une faible densité, et de ne prévoir des revêtements en tungstène ou alliage de tungstène que dans les zones d'impact des électrons. 15 Le molybdène a donné jusqu'ici de bons résultats comme matière du corps de base. Des essais de réalisation du corps de base avec du graphite se sont d'abord heurtés à une difficulté, du fait que le graphite réagit avec le revêtement en tungstène, ce qui produit des couches intermédiaires fragiles. Or on a constaté que la for-20 mation de ces couches intermédiaires fragiles est fortement ralentie ou retardée, si l'on dispose sur un corps de base en graphite un revêtement en un alliage tungstène-rhénium^ parce que l'addition de rhénium rend plus difficile la formation du carbure. Pour améliorer dairsntage ces anodes, on a installé encore une couche 25 intermédiaire de rhénium pur entre le corps de graphite et le revê-ment d'alliage tungstène-rhénium, suivant une proposition non publiée jusqu'ici. Une telle couche intermédiaire supprimerait pratiquement complètement la diffusion du carbone à partir du graphite dans un revêtement en un alliage tungstène-rhénium. On a cons-30 taté que le dép&t d'une couche intermédiaire de rhénium sur un corps de base en graphite donne encore des résultats remarquables lorsque le revêtement prévu pour les zones d'impact des électrons est constitué, non pas par un alliage tungstène-rhénium, mais par du tungstène pur ou par des alliages de tungstène contenant par 35 exemple de l'osmium ou de l'irridium. Ces enseignements constituent la base de la présente invention» La présente invention concerne une anode rotative comportant un corps de base en graphite et tin revêtement en tungstène ou en alliage de tungstène. Cette invention consiste à disposer une couche intermédiaire en rhénium entre le corps de base en graphite 6906586 2 2005418 et le revêtement en tungstène ou en alliage de tungstène» Cette couche intermédiaire, qui agit comme une couche d'arrêt s'oppose à la diffusion du graphite depuis le corps en graphite en direct tion du revêtement en tungstène ou en alliage de tungstène, même 5 si ce revêtement ne contient pas de rhénium. Pour déposer la couche intermédiaire en rhénium et la couche contenant le tungstène, on peut employer des procédés déjà connus, par exemple séparation électrolytique, projection pulvérisée par un pistolet à plasma, ou bien séparation à partir de la phase ga-, 10 zeuse. On décrira maintenant plus complètement la présente invention à l'aide d'un exemple de réalisation. L'anode rotative représentée dans la figure est constituée par un corps de base en graphite et en forme de disque 1, sur lequel on dépose une mince couche de 15 rhénium 2 et sur celle-ci un revêtement en tungstène 3. Il suffit d'une épaisseur de quelques microns pour que la couche intermédiaire de rhénium soit efficace, grâce à quoi la consommation de rhénium est faible dans l'anode rotative de cette invention» Le revêtement en tungstène doit être un peu plus épais, et atteindre 20 au minimum 0,1 mm. Au lieu d'employer du tungstène pur, on peut employer également des alliages de tungstène et. d'autres métaux à point de fusion élevé, osmium ou iridium par exemple. La fabrication de l'anode rotative décrite peut se faire d'une façon extrêmement simple, par dépôt des diverses couches à 25 partir de la phase gazeuse. Les fluorures et halogénures des métaux à séparer conviennent bien dans ce but. On peut procéder comme suit : on dépose tout d'abord la couche de rhénium par décomposition thermique d'un mélanga d'hydrogène et d'hexafluorure de rhénium, puis on dépose la couche de tungstène à partir d'un mé-30 lange d'hydrogène et d'hexafluorure de tungstène» Le dépôt des deux couches peut être réalisé en une seule opération, car il suffit de modifier la composition de la phase gazeuse pour déposer les diverses couches. 6906586 3 2005418 REVENDICATIONS Anode rotative pour tubes à rayons X, comprenant un corps de base en graphite et un revêtement en tungstène ou en alliage de tungstène, et possédant les caractéristiques suivantes : 5 1) On dépose entre le corps en graphite et le revêtement en tungstène une couche intermédiaire en rhénium. 2) Anode rotative pour tubes à rayons X, conforme à la revendication 1 et caractérisée par le fait que le revêtement est en un alliage contenant de l'osmium ou de l'iridium. 3 3) Méthode de fabrication d'une anode rotative conforme aux revendications 1 et 2, cette méthode étant caractérisée par le fait que la couche intermédiaire et le revêtement en tungstène sont réalisés en une seule opération, par dépôt à partir dé combinaisons gazeuses.