Brevet FR2012947A1 — publié le 19700327

5" 10 15 20 25 » 30 35 40 2045 i 1 2012947 La présente invention concerne un groupe de lentilles utilisé comme lentille de réduction. Les lentilles de réduction de haute qualité sont utiles dans beaucoup d'applications, particulièrement dans la fabrication de circuits intégrés semi-conducteurs par des méthodes optiques dans lesquelles des images des éléments de circuits sont réduites et projetées sur la surface plane de tranches semi-conductrices. Les lentilles de réduction de ce type doivent avoir le même pouvoir séparateur sur tout le champ image et un très faible astigmatisme en même temps qu'une courbure de champ minimum et une distorsion négligeable. Il est aussi très souhaitable que la lentille de réduction couvre un champ image relativement grand. Jusqu'à présent le diamètre maximum de la tranche qui pouvait être facilement couverte et pouvait produire des circuits de haute qualité était de l'ordre de 32mm. Dans la présente invention, deux réalisations sont décrites. La première réalisation est un système de lentilles pouvant couvrir une tranche de 50mm de diamètre et la seconde réalisation une tranche de 110mm de diamètre. Le groupe de lentilles de la première réalisation produira des largeurs de lignes de 3 microns à 50% de contraste C4047A) sur une tranche de 50mm de diamètre. Le contenu de bits total pourrait approximativement être de 2,18 x 6 2 10 bits dont la taille élémentaire sera égale à 3 y . Le groupe de lentilles de la seconde réalisation produira des largeurs de lignes de 5 microns à 50% de contraste (5461A) sur une tranche de 110mm de diamètre. Le contenu de bits 8 total pourrait approximativement être de 3,8 x 10 bits dont la taille élé- 2 mentaire sera égale à 5 y . Les largeurs de ligne à 50% de contraste mentionnées dans les deux réalisations ci-dessus, sont des valeurs minimum sur les directions tangentielles et sagittales. Pour garantir un gradient à bord raide, l'angle de phase doit rester petit à toutes les fréquences jusqu'à la valeur limite, puisque toutes les fréquences sont superposées dans la formation du bord d'une ligne, d'un bloc ou d'une chose identique. Si on considère un microcircuit ayant des lignes de 3 microns et des espaces de 3 microns dans un dispositif géométrique s'entremêlant, les portions libres doivent être aussi propre que possible pour augmenter le pourcentage des circuits utilisables. Pour cela, le troisième harmonique de la fréquence fondamentale désirée existera et aura un angle de phase très petit. Puisque les deux réalisations ont pour leurs troisièmes harmoniques respectifs, des angles de phase de moins de 7 degrés, le décalage du troisième harmonique par rapport à l'harmonique fondamental est seulement de 7/3B0ième de la période précédente, donnant un gradient à bord extrêmement raide à la fréquence fondamentale puisque le troisième harmonique aura aussi tendance à accroître le gradient de la fréquence fondamentale seuls. La haute qualité de ces lentilles est illustrée par les courbes montrant 69 20451 2 2012947 la fonction de transfert de modulation, les angles de phase, l'astigmatisme, et la distorsion des dites lentilles. Un objet de la présente invention est par conséquent de fournir une lentille de réduction qui a un champ image relativement grand et une résolution 5 uniforme élevée sur tout ce champ, un très faible astigmatisme et une courbure de champ minimum avec une distorsion négligeable. D'autres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention rassortiront mieux de l'exposé qui suit, fait en référence aux dessins annexés à ce texte, qui représentent un mode (ou des) de réalisation préféré de celle-10 ci. La figure 1 montre un diagramme d'un système de lentilles de réduction construit en accord avec la présente inventionj La figure 2 montre un tableau de données de construction pour le système de lentilles de la figure 1 ; 15 La figure 3 montre un diagramme d'une autre réalisation du système de len tille de réduction construit en accord avec la présente invention; La figure 4 montre un tableau des données de construction pour las système de lentilles de la figure 3% Les figures 5, 6 et 7 montrent l'évolution de la fonction de transfert 20 da modulation du système de lentilles de la figure 1 pour l'axe de la lentille, pour 0,7 du champ, et pour le champ an entier respectivement; Les figures 8, 9 et 10 montrent l'évolution de la fonction da transfert d=modulation du système de lentilles de la figure 3 pour l'axe de la lentille, pour 0,7 du champ et pour la champ en entier, respectivement; 25 Les figures 11, 12 et 13 montrent des courbes des angles de phase, ds la courbure du champ résiduel, et de la distorsion respectivement pour les lentilles de la figure 1. Les figures 14, 15 et 16 montrent des courbes des angles de phase, de la courbure du champ résiduel, et de la distorsion respectivement pour le système 30 de lentilles de la figure 3. Se référant à la figure 1, un diagramme d'une réalisation d'un système de lentilles de réduction suivant les principes de la présente invention est montré. Le groupe de lentilles comprend neuf lentilles désignées par I, II, III, IV, V, VI, VII, VIII et IX. Les lentilles I et II sont des lentilles sim-35 pies en ménisque. Les lentilles III et IV forment un doublét de lentilles en ménisque. La lentille V est une lentille simple en ménisque négatif et les lentilles VI et VII forment un doublet de lentilles en ménisque. La lentille VIII est une lentille simple en ménisque et la lentille IX est une lentille biconvexe. Les lentilles sont alignées optiquement sur un axe 10 pour avoir une dis-40 tance focale effective de 184mm, une distance focale arrière de 64mm et une 20451 3 2012947 distance focale en avant de 81,7mm. Un arrêt fixe ou un diaphragme 12 de 32,6mm de diamètre à F/3 se trouve à 3,8mm à gauche de la lentille V. En se référant à la figure 2, on établit un tableau de données de construction concernant le groupe de lentilles montré dans la figure 1. Dans la 5 figure 1, F représente la distance focale équivalente du groupe de lentilles (184mm) à 4047A. à représentent les rayons des surfaces des lentilles successives comme indiqué dans la figure 1. t^ à tg désignent les épaisseurs des lentilles successives mesurées le long de l'axe 10 comme indiqué dans la figure 1 et à Sg représentent les espaces entre les lentilles I et II, II 10 et III, IV et V, V et VI, VII et VIII, VIII et IX mesuré le long de l'axe 10 comme indiqué dans la figure 1. Dans la figure 2, les lettres NQ et V représentent respectivement l'indice de réfraction et le nombre d'Abbe de chaque lentille. Le système de lentilles montré dans la figure 1 est capable de couvrir un champ image linéaire de 50mm de diamètre. 15 Les figures 5, 6 et 7, montrent la courbe de la fonction de transfert de modulation du système de lentilles de la figure 1 sur un champ image linéaire de plus ou moins 25mm de diamètre pour une réduction de 5 X et pour l'axe de la lentille, pour 0,7 du champ ou pour tout le champ, respectivement, toutes calculées pour une distance focale de -0,064mm. Les figures 5, 6 et 7 indi-20 quent que l'écart entre les courbes et la limite de diffraction est extrêmement petit par rapport au champ image de grand diamètre. La similarité des courbes dans les figures 5, 6 et 7 doit être remarquée puisque ceci conduit à des performances élevées et uniformes sur tout le champ. Dans les figures 5, 6 et 7 la section sagittale, las réelles et imagi-25 naire de la section tangentielle et l'azimut 45° sont montrés pour 0,7 du champ et pour le champ en entier. La partie imaginaire de la section tangentielle est excessivement petite indiquant que les fronts d'onde qui emergent du système de lentilles ont une symétrie de rotation presque parfaite autour de leurs rayons principaux respectifs en tous points du champ. 30 Les valeurs de la section tangentielle (partie réelle) et le module sont en tout point du champ et à toutes fréquences à l'intérieur de 0,1% les uns des autres comme il est seulement naturel à cause de la très petite valeur de la partie imaginaire de la section tangentielle. La réponse de lazimut 45° est superposée sur la courbe tangentielle donnant des fronts d'onde émergeant en-35 core plus proche de la forme sphérique désirée. La figure 11 montre un angle de phase pour 0,7 du champ et pour le champ en entier. Des petites valeurs de tous les angles de phase et donc de coma minimum avec ses taches résultantes des images hors de l'axe sont très importantes dans les lentilles de réduction utilisées dans la production de microcircuits, puisque des circuits propres 40 sont nécessaires. 20451 4 2012947 La correction excellente de la section transversale du front d'onde suivant un angle de 45° dans la pupille de sortie exige une explication particulière. Ceci résulte de la correction indépendante de l'aberration sphérique oblique tangentielle et de l'astigmatisme. Cet état est en outre augmenté par un haut degré d'élimination du terme de coma particulier qui est représenté seulement dans la section tangentielle et dont la dérivée partielle par rapport à la coordonnée de la pupille de sortie sagittale est zéro. Ce terme qui croit comme la puissance trois de la hauteur d'image partielle et la puissance trois de la hauteur de pupille tangentielle partielle dans cette réalisation particulière est réduite à quelques centièmes d'une longueur d'onde, de plus ce terme de coma est compensé par d'autres termes croissant aussi comme le tube de la hauteur de l'image partielle. Inutile de dire que les deux lentilles obéissent presque exactement aux conditions aux sinus d'Abbe laissant donc aucune coma résiduelle appréciable dans--.n'importe quelle partie du champ. La courbure du champ résiduel pour le système de lentille de la figure 1 est illustrée dans la figure 12 et est bien à l'intérieur du domaine focal permis de 21 microns, l'astigmatisme est excessivement faible, moins que 2 microns. La figure 12 illustre la distorsion et indique qu'elle a une amplitude si petite qu'elle n'est presque pas mesurable et d'un état si équilibré qu'il donne le meilleur résultat orthoscopique, l'erreur spatiale radiale maximum étant de 0,5 microns. En se référant à la figure 3, une autre réalisation d'un système de lentille suivant les principes de la présente invention est montrée. Dana la réalisation de la figure 3, le nombre et la forme des lentilles est identique à ceux de la figure 1 et ceu*-cl'sont disposés comme décrits dans la réalisation de la figure 1, Donc, les mêmes numéros de référence serpnt employés dam la figure 3 que ceux correspondant aux lentilles similaires dans la figure 1. Ainsi, le système de lentille de la figure 3 comprend neuf éléments de lentilles, les lentilles I et II sont des lentilles simples en ménisque, les lentilles III et IV forment un doublet de lentilles collées en ménisque, la lentille V est une lentille simple négative et les lentilles VI et VII forment un doublet de lentilles en ménisque, la lentille VIII est une lentille simple en ménisque et la lentille IX est une lentille biconvexe. Les lentilles sont optiquement alignées sur un axe 10 pour avoir une distance focale effective de 385mm, une distance focale arrière de 176,3mm, une distance focale avant de 193,5mm, un diaphragme 12 de 55mm de diamètre à F/4 est placé à 4mm à la droite de la lentille V. Le système de lentilles de la figure 3 a une réduction de 10X sur un champ d'image linéaire de plus ou moins 55mm de diamètre. Un tableau des données de construction pour le système de lentilles de la figure 3 est montré 69 20451 5 201294*7 dans la figure 4. Il est à remarquer que les lentilles correspondant à celles du système d« lentilles de la figure 3, ont chacune le mime indice de réfraction Ng et le nombre d'Abbe V comme celles de la figure 1. Le rayon de courbure, l'épaisseur de la lentille et l'espace entre les éléments de la lentille 5 sont représentés dans la figure 4 et indiquent les éléments de la figure 3 qui diffèrent de ceux de la figure 1. Les courbes fonction de transfert de modulation du système de lentilles de la figure 3 pour l'axe, pour 0,7 du champ et pour le champ entier sont montrés respectivement dans les figures 8, 9 et 10. Les calculs pour les figures 8, 9 et 10, sont donnés pour une distance 10 focale de 385mm à 5461A avec une réduction de 10X sur un champ d'images linéaire de plus ou moins 55mm, tous calculés à une distance focale de -0,103mm. La figure 8 montre que la non coïncidence avec la limite de diffraction est extrêment faible. Les figures 9 et 10 illustrent que la partie imaginaire de la section tangentielle est aussi excessivement petite et indique une par-15 faite symétrie de rotation des fronts d'onde autour de leurs rayons principaux respectifs. La réponse de l'azimut de 45° est à nouveau superposée à la courbe tangentielle. La figure 14 montre les angles de phase résiduel du système de lentilles de la figure 3. La même chose peut être dite de la correction de coma de cette 20 lentille comme il a été établi ci-dessus sur la correction de coma de la réalisation de la figure 1. La figure 15 illustre la courbure de champ résiduel du système de lentilles de la figure 3 et montre que l'astigmatisme est très faible, bien à l'intérieur du domaine focal permis de 42 microns. La figure 16 illustrB la distor-25 sion du système de lentilles de la figure 3 qui est aussi de très petite amplitude et équilibrée, telle que l'erreur spatiale radiale maximum soit de 1,1 micron. Les données de construction établies dans les figures 2 et 4 peuvent varier entre certaines limites. Les tolérances pour la variation du rayon, de 30 l'épaisseur et en espacements pour le système de lentille de la figure 1, sont comme suit: 35 40 1,15F + Ri 1,27F 0,052F *1 0,056F 2,76F + R2 3,06F 0,002F S1 0,008F 0,42F + 0,46F 0,067F *2 0,069F 0,90F + «4 1,00F 0,002F S2 0,008F 0,35F + R5 0,39F 0,1025F S 0,1041F 1,26F ♦ 1,40F 0,0427F *4 0,0443F 0,21F - + R7 0,23F 0,139F S3 0,143F 6,07F -♦ «S 6,67F 0,030F *5 35F 2,14F 2,34F 0,112F S4 0,116F 69 20451 6 2012947 10 15 20 25 30 35 0,27F - R10 0,29F 0,0425F *6 0,0445F 0,57F - R11 0,63F 0,086F V 0,088F 0,42F - R12 Q,46F 0,002F S5 0,008F 0,73F - R13 0,81F 0,0532F ta 0,0554F 0,63F - R14 0, B9F 0,002F S6 0,008F 1,27F + R15 1,39F 0,0535F *9 0,0551F 1,36F - R16 1,49F Les tolérances pour la variation des rayons, des épaisseurs et des espa- cements du système de lentilles de la figure 3, sont les suivantes 1,10F + rI 1 22F 0 040F s 0,043F 1,55F + 1 71F 0 002F si 0,011F 0,41F + *3 0 45F 0 0563F *2 0,0579F 0,94F 1 04F 0 002F *2 0,011F 0,29F «5 0 35F 0 0916F *3 0,0928F 2,39F + R6 2 01F 0 0374F *4 0,0380F 0,20F + R7 0 22F 0 1055F S3 0,1075F 30j, Or Ra C3 0 024F *5 0,028F 5,5F + RS 6 1F 0 1398F S4 0,1418F 0,26F R. n 0 29F 0 Q373F 0,0381F 10 6 1,29F R11 1 43F 0 0902F t7 0,0916F 0,44F - R12 0 48F 0 002F S5 0,011F 0,67F » R13 0 71F 0 043F *8 0,045F 0,60F R14 0 65F 0 002F S6 0,011F 2,12F *15 2 33F 0 0563F *9 0,0579F 0,S0F - R16 1 00F Les tolérances des rayons sont approximativement de -5% puisque chaque rayon peut varier à l'intérieur de ces limites et produire encore un système de lentilles aussi bien corrigé que ceux spécifiés dans les figures 2 et 4. L'épaisseur varie différemment. Le domaine d'épaisseur varie d'une lentille à l'autre et s'étend du plus critique au moins critique dans l'ordre suivant. t„ t. t_ t„ t„ t„ t„ t„ 4 7 "3 "4 "7 "6 t2 t9 "8 "1 "5 Les tolérances des épaisseurs sont reliées à la fabrication des lentilles. Par exemple, les tolérances des lentilles 1 et V ne sont pas aussi critiques que les tolérances des lentilles III. Les tolérances des espacements sont déterminées de la même manière mais peuvent être moins critiques parce que un système de lentilles équivalent peut être produit avec des lentilles I, II, VIII et IX autres que des doublets. Les espacements S et S sont plus critiques et ne peuvent être changés beaucoup «3 T plus parce que l'abbération sphérique oblique du disperseur tangentiel est BAD ORIGINAL 69 20451 7 2012947 corrigée principalement dans l'espace entre les deux éléments doublets. En plus de l'application sus-citée comme lentilles de réduction pour la fabrication de micro-circuits, le système de lentilles de la figure 1 peut aussi être employé comme dispositif d'impression par balayage de haute qualité où 5 des largeurs de lignes aussi étroites que 5 microns sont exigée. Bien que l'on ait décrit dans ce qui précède et représenté sur le dessin, les caractéristiques essentielles de l'invention appliquées à un mode de réalisation préféré de celle-ci, il est évident que l'homme de l'art peut y apporter toutes modifications de forme ou de détail qu'il juge utiles, sans pour 10 autant sortir ducadre de ladite invention. 69 20451 8 .20129-47 REVENDICATIONS 1.- Groupe de lentilles pour lentille da réduction caractérisée en ce qu'elle comprend neuf lentilles alignées optiquement, - lesdites premiere, seconde, cinquième, huitième et neuvième lentilles 5 étant des lentilles simples, - lesdites troisième et quatrième lentilles formant un premier doublet de lentilles, - lesdites sixième et septième lentilles formant un second doublet, - et un diaphragme optiquement aligné avec lesdites lentilles et position-10 né à côté de ladite cinquième lentille. 2.- Groupe de lentilles selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdites première et seconde lentilles sont des lentilles en ménisque positif, lesdites troisième et quatrième lentilles forment ensembles, une lentille en 15 ménisque négatif, ladite cinquième lentille est une lentille négative, lesdites sixième et septième lentilles forment ensembles une lentille en ménisque négatif, ladite huitième lentille est une lentille en ménisque positif, et la dite neuvième lentille, est une lentille biconvexe. 20 3.- Une lentille de réduction selon la revendication 1, caractérisée en ce que ladite première lentille a des rayons de courbure et R^ et une épaisseur t^, ladite seconde lentille a des rayons de courbure Rg et R^ et une é-paisseur t^, ladite troisième lentille a des rayons Rg et Rg et une épaisseur t3> ladite quatrième lentille a des rayons Rg et R^ et une épaisseur t^, la-25 dite cinquième lentille a des rayons RQ et Rg et une épaisseur t^, ladite sixième lentille a des rayons R^ et R^ et une épaisseur tg, ladite septième lentille a des rayons R^ et R12 et une épaisseur t?, ladite huitième lentille a des rayons R^3 et R^ et une épaisseur tg, ladite neuvième lentille a des rayons R15 et R1g et une épaisseur tg, 30 - en ce que lesdites première et seconde lentilles sont séparés par une distance axiale S^, lesdites seconde et troisième lentilles sont séparés par une distance axiale S^. lesdites quatrième et cinquième lentilles sont séparés par une distance axiale S^, lesdites cinquième et sixième lentilles sont séparés par une distance axiale S^, lesdites septième et huitième lentilles 35 sont séparés par une distance axiale S_, et lesdites huitième et neuvième len- S tilles sont séparés par une distance axiale Sg, - et en ce que les rayons, les épaisseurs et les distances entre les lentilles sont à l'intérieur des limites suivantes données en fonction de la distance focale F de 184mm : 69 20451 9 2012947 10 15 1,15F + rI 1,27F 0,052F *1 0,056F 2,78F + 3,06F 0,002F S1 0,008F 0,42F + *3 0,46F 0,067F *2 0,069F 0,90F + "4 1,00F 0,002F S2 0,008F 0,35F + R5 0,39F 0,1025F S 0,1041F 1,26F + R6 1,40F 0,0427F *4 0,0443F 0,21F + R? 0,23F 0,139F S3 0,143F 6,07F + R8 6,67F 0,030F *5 0,035F 2,14F + R9 2,34F 0,112F S4 t6 0,116F 0,27F - R10 0,29F 0,0425F 0,0445F 0,57F - 0,63F 0,086F *7 0,088F 0,42F - R12 0,46F 0,002F S5 0,008F 0,73F - R13 0,81F 0,0532F *8 0,0554F 0,63F » R14 0,69F 0,002F *6 0,008F 1,27F R1S 1,39F 0,0535F *9 0,0551F 1,36F - R1B 1,49F 20 25 30 35 4.- Lentille de réduction selon la revendication 1 caractérisée en ce que ladite première lentille a des rayons de courbure et et une épaisseur t^, ladite seconde lentille a des rayons de courbure Rg et R^ et une épaisseur t_, ladite troisième lentille a des rayons de courbure Rc et R„ et une £. D D épaisseur tg, ladite quatrième lentille a des rayons de courbure Rg et et une épaisseur t^, ladite cinquième lentille a des rayons Rg et Rg et une épaisseur t5 15 ro y - et en ce que lesdites première et seconde lentilles sont séparés par une distance axiale S^, lesdites seconde et troisième lentille sont séparés par une distance axiale S^, lesdites quatrième et cinquième lentilles sont séparés par une distance axiale S^, lesdites cinquième et sixième lentilles sont séparés par une distance axiale S^, lesdites septième et huitième lentilles sont séparés par une distance axiale S,., et lesdites huitième et neuvième lentilles sont séparés par une distance axiale Sg, - et en ce que les rayons, les épaisseurs et les distances entre les lentilles sont comprises à l'intérieur des limites sùivantes données en fonction de la distance focale F de 385mm: 69 20451 10 2012947 1,10F + Ri 1,22F 0,040F 0,043F 1,55F + R2 1,71F 0,002F S1 0,011F 0,41F R3 0,45F 0,0563F fc2 0,0579F 0,94F + V 1,04F 0,002F S2 0,011F 0,29F + RS 0,35F 0,0916F *3 0,0928F 2,39F + RB 2,61F 0.0374F S 0,0380F 0,20F + R7 0,22F 0,1055F S3 0,1075F 30,0F - RS 00 0.024F *5 0,028F 5,5F + R9 6,1F 0,1398F S4 0,1418F 0,26F - R10 0,29F 0,0373F 0,0381F 1,29F - R11 1,43F 0,0902F *7 0,0916F 0,44F - R12 0,48F 0,002F S5 0,011F 0,67F - R13 0,71F 0,043F *8 0,045F 0,60F - R14 0,65F 0,002F S6 0,011F 2,12F + R15 2,33F 0.0563F 0,0579F 0,90F - R16 1,00F 5.- G roupe de lentilles selon la revendication 1 caractérisé par les données numériques suivantes: 69 20451 11 2012947 Lentille Rayon Epaisseur (t) ou espacement(s] nD V I R1 = *1,2090F R2 = +2,9152F tn - 0,0543F S1 « 0,0054F 1,69089 54,80 II R3 » +0,4459F R. « +0,9530F 4 t2 » 0,0679F S2 - 0,0054F 1,69089 ■ 54,80 III R5 « +0,3691F R6 = +1,3253F R? « +0,2195F t = 0,1033F J t4 - 0,0435F S3 = 0.140BF 1,69089 54,80 IV 1,64752 33,88 V R8 - +6,3772F Rg = +2,2438F t5 = 0,0326F S. - 0,1141F 4 1,64752 33,88 VI R1()- -0,2775F R,„ = -0,6014F 11 R12 " "°'4394F tg = 0,0435F t? - 0,0870F S5 - 0,0054F 1,60328 38,02 VII 1,69089 54,80 VIII R13= -0,7768F R = -0,6610F 14 tô » 0,0543F Sg =■ 0,0054F 1,69089 54,80 IX R1S« +1,3292F R16= -1,4244F tg = 0,0543F 1,69089 54,80 - dans lequel F représente la distance focale effective du système de lentilles de 184n*n à 4047 AngstrSms, - et dans lequel à R16 représentent les rayons de courbure des lentilles individuelles, t^ à tg représentent l'épaisseur axiale des lentilles indi- 30 viduelles, à S g représentent l'espace axial entre les lentilles individuelles, Nq représente l'indice de réfraction des lentilles individuelles et V représente le nombre d'Abbe des lentilles individuelles. 6,- Groupe de lentilles selon la revendication 1 caractérisé par les données 69 20451 12 2012947 les numériques suivantes: Lentille Rayon Epaisseur (t) ou espacement(s) nD V I R„ » +1,1595F 1 R2 » +1,6344F t1 - 0,0416F Sn » 0,0052F 1,69089 54,80 II R_ - +0,43309F 3 R. ■ +0,9905F 4 t2 - 0,0571F S2 « 0,0052F 1,69089 54,80 III Rc - +0,3319F 5 R„ = +2,5044 D R? - +0,2075F t3 = 0,0922F t. » 0,0377F 4 S3 « 0,1065F 1,69089 54,80 IV 1,64752 33,88 V R„ = -32,944F □ Rg = +5,8480F tg » 0,0260F S. » 0,1408F 4 1,64752 33,88 VI VII R10= -0,2729F R^» -1,3645F r12" -0.4587F t. - 0,0377F 8 t? - 0,0909F S » 0,0052F 1,60328 1,69089 38,02 54,80 VIII R13- -0,6899F R14- -0,6287F tD » 0,0442F O S6 ■ 0,0052F 1,69089 54,80 IX R15« +2,2256F R16- -0,9501F tg « 0,0571F 1,69089 54,80 - dans lequel F représente la distance focale effective du groupe de lentilles de 385mm S 5461 Angstroms, - et dans lequel à R^ représentent les rayons de courbure des lentil-30 les individuelles» t. à t représentent; l'épaisseur axiale des éléments de len- i. . — y - ^ tille individuelle, à Sg représentant l'espace axial entre les lentilles individuelles, Ng représente l'indice de réfraction des lentilles Individuelles et V représente le nombre d'Abbe des lentilles individuelles.