Brevet FR2012333A1 — publié le 19700320

' La présente invention concerne les connexions électriques et plus particulièrement les connexions électriques servant à la connexion des circuits intégrés . Dans la fabrication des circuits intégrés, il est souhaitable d'optimiser 5 les interconnexions reliant les composants intégrés du support d'un ensemble de circuits, appelé également bloc par l'homme de l'art, avec les circuits intégrés d'un autre bloc, de même que les interconnexions reliant les éléments de circuits intégrés du même bloc. Jusqu'ici, le problème des interconnexions a-vâit été résolu notamment par l'emploi de plusieurs couches de modèles conduc-10 teurs obtenus par métallisation, séparées par des couches isolantes appropriées, et toutes empilées sur une seule face du bloc. Une autre solution, pouvant être combinée à la première, consistait à placer une sous-couche d'interconnexions diffusée dans le support du bloc, suivant un procédé bien connu de l'homme de l'art. Pour obtenir une liaison électrique entre les circuits intégrés d'un 15 bloc et ceux d'un autre bloc, on avait recours à un tableau de conducteurs en circuit imprimé, dont l'une des faces externes comportait un support inerte doté d'un modèle conducteur obtenu par métallisation. Ainsi donc, les blocs de circuits individuels se trouvaient placés dans un logement convenable, par exemple un emballage plat et montés de façon co-planaire sur un côté, c'est-è-dire 20 un même cSté, du tableau de conducteurs. Dans certains cas, ce tableau possédait sur ses deux faces externes des modèles conducteurs obtenus par métallisation, et l'interconnexion reliant tous ces modèles métallisés était fournie par un ou plusieurs éléments conducteurs, tels que des broches encastrées dans le support, ou par unB ou plusieurs ouvertures è parois métallisées, connues des 25 initiés sous le nom de trous de connexions. Cela permettait d'installer des ensembles de blocs de circuits intégrés sur les deux côtés du tableau. La réalisation des interconnexions par des méthodes antérieures posait un oertain nombre de problèmes.- Par exemple, dans le cas où. on utilisait plusieurs couches de modèles de métallisation sur le même bloc, chaque étape du processus 30 de fabrication qui ajoutait une nouvelle couche de métallisation et sa couche isolante correspondante, aboutissait à la détérioration d'un certain nombre de circuits sur le bloc. De même, lorsqu'on utilisait les sous-couches d'interconnexions diffusées déjà citées, chaque étape du processus de fabrication aboutissait également à une détérioration des circuits existants. De plus, avec 35 l'apparition de l'intégration LSI (à grande échelle] où le nombre de circuits par support de bloc atteint un ordre de grandeur de 100 à 1000, une limite est imposée au nombre de couches de métallisation et/ou de sous-couches d'interconnexions diffusées possibles pour chaque bloc. Les processus de fabriation des plaques de circuits imprimés antérieures 40 ne sont pas compatibles avec les processus de fabrication des blocs de circuits 69 20435 2 2012333 intégrés de type monolithique. Par exemple, les plaques conductrices réalisées selon les techniques antérieures sont généralement constituées par un support inerte, plastique, céramique, etc.. sur lequel sont formés les modèles conducteurs, métallisés. Ainsi donc, le fabricant doit utiliser deux types dif-5 férents de substances pour réaliser les blocs de circuits intégrés d'une part, et les plaques d'autre part, soit, respectivement, une substance semico'nduc-trice et une substance inerte. De plus, lorsque les plaques de circuits imprimés antérieures comportaient des trous de connexion du type précédemment décrit, l'opération de dépôt liée à la réalisation de ces orifices n'était pas 10 compatible avec les processus de fabrication de semiconducteurs, diffusion et croissance épitaxiale inhérente à la technique monolithique de fabrication de blocs de circuits intégrés de ce type. En outre, l'obtention.de trous de connexion par le procédé de plaquage présentait divers inconvénients. Par exemple, fait bien connu de l'homme de l'art, le plaquage ou métallisation est un 15 processus additif qui doit donc être contrôlé minutieusement, afin que le métal de plaquage ne remplisse pas complètement la cavité ou l'espace formé par les parois internes du trou de connexion. Autre problème: celui d'assurer une bonne adhérence du métal de plaquage sur les parois internes de la cavité, les obstacles à cette adhérence étant notarmient les différences de coefficients 20 d'expansion thermique du support de céramique et de la substance de plaquage. Ainsi, dans le passé le fabricant était donc obligé de prévoir un outillage distinct pour la mise en oeuvre des processus de réalisation des trous de connexion dans les plaques de circuits imprimés et pour la fabrication des blocs de circuits intégrés monolithiques. Pour les mêmes raisons, lorsqu'un élé~ 25 ment conducteur encastré, une broche par exemple, était utilisé pour obtenir une interconnexion entra les modèles de métallisation des plaques conductrices antérieures, la sûreté de la liaison ou de l'adhérence de la broche à la base inferte se trouvait compromise par des facteurs tels que les différencees de coefficients d'expansion thermique. La défaillance mécanique et/ou électrique ré-30 sultante compromettait les performances ou le fonctionnement des circuits intégrés et des systèmes dans lesquels ils étaient incorporés. Dans ce cas également, le processus d'encastrement des broches dans le support n'était pas compatible avec le processus de fabrication des circuits intégrés monolithiques, et le fabricant était tenu de prévoir différents outillages pour la mise en 35 oeuvre du processus de réalisation des broches d'interconnexion dans les plaques de circuits imprimés, et celle du rocessus de fabrication des blocs de circuits intégrés monolithiques. Il ressort de ce qui précède que les structures des interconnexions obtenues par les techniques antérieures différaient des structures et des méthodes 40 de fabrication dss .circuits intégrés monolithiques, ét particulièrement des 69 20435 3 2012333 circuits intégrés LSI. Un objet de cette invention est de fournir une connexion électrique pour circuits intégrés. Un autre objet de cette invention est de fournir une connexion électrique 5 du type ci-dessus pouvant être obtenu à partir des techniques de fabrication monolithiques compatibles avec les techniques de fabrication des circuits intégrés. Un autre objet de cette invention est de fournir une connexion électrique utilisant un support semi-conducteur comportant des interconnexions conduc-10 trices diffusées, reliant les modèles de métallisation disposés sur les faces externes de ce support. Un autre objet est de~fournir une connexion électrique simplifiant les inter et/ou intra-connexions d'un appareil à circuits intégrés. Un autre objet de cette invention est de fournir une structure d'appareil 15 à circuits intégrés employant la connexion électrique déjà cité, et au moins un élément de circuit intégré discret de type monolithique, monté sur chaque côté du connecteur. Un autre objet de cette invention est de fournir une méthode pour réaliser une connexion électrique à structure monolithique. 2Q Cette invention a également pour objets de fournir un dispositif de con nexion électrique et une méthode pour fabriquer ledit appareil et/ou une combinaison d'appareils à circuits électriques réalisables au moyen des"techniques de fabrication de circuits intégrés LSI. Conformément à un aspect de l'invention, un appareil à connexion électri-25 que comporte un support semi-conducteur ayant une'première et une seconde surfaces. Le support comporte entre les deux surfaces une première région de type de conductivité prédéterminé. Il est prévu au moins une seconde région diffusée, de type de conductivité opposé, formée à l'intérieur de la première région et placée entre les deux surfaces. Des moyens d'isolement sont prévus sur la 30 première et la seconde surfaces, et comportent une première et une seconde ouverture pour exposer respectivement la première et la seconde surface à la région diffusée. Un modèle conducteur de métallisation adjacent à la première surface, est disposé sur le moyen isolant, et un second modèle conducteur de métallisation adjacent à la seconde surface, est disposé sur le moyen isolant. Le 35 premier et le second modèles conducteurs d= métallisation comportent en outre respectivement une première et une seconde parties pré-sélectionnées, et qui se trouvent respectivement placées en contact étroit avec la première et la seconde surfaces, qui sont exposées à la seconde région diffusée. La seconde région diffusée fournit donc une interconnexion électrique reliant le premier et le second 40 modèles. 69 20435 4 2012333 Les objets, caractéristiques et avantages de l'invention qui viennent d'être énoncés, ressortiront, ainsi que d'autres, de la: description détaillée de modes de réalisation préférés de l'invention illustrée par les dessins annexés à ce texte. 5 La figure 1 est une perspective, partiellement éclatée, représentant un mode de réalisation du dispositif de circuits intégrés de la présente invention. La figure 2 est une coupe du dispositif de circuits de la figure 1, effectuée le long de la ligne 2-2 de cette figure. 10 La figure 3 est-une vue inférieure agrandie et partiellement éclatée du dispositif de circuits représenté sur la figure 1. La figure 4 est une coupe partielle agrandie d'une section-type du dispositif de circuits de la figura 1, et effectuée le long de la ligne 4-4 de cette figure. 15 Les figures 5a et 6a sont des vues schématiques du support de connexion électrique de la présente invention, à différentes étapes de sa fabrication, et qui est conforme à la méthode préférés de la présente inventions la figure 6a est partiellement éclatée. Les figures 5b et 6b sont des coupes partielles agrandies, effectuées le 20 long des lignes 5b-5b et 6u-6b des figures 5a et Sa respectiva~ent. Les figures 7a et 7b sont des coupes partielles agrandies d'un mode de réalisation d'interconnexion diffusée de la connexion électrique de la présente invention, à différentes étapes de sa formation. Les figures 8a et 8b song des coupes partielles agrandies d'un autre mo-25 de de réalisation d'interconnexion diffusée de la connexion électrique de la présente invention, à différentes étapes de sa formation, et La figure 9 est une coupe partielle agrandie d'un dispositif de circuits intégrés de la présente invention, dont la connexion électrique est un bus d'alimentation. 30 Sur les figures, les mêmes éléments sont désignés par les mêmes numéros de référence. Les figures 1 à 3 représentent un mode de réalisation du dispositif de circuits intégrés, indiqué d'une manière générale par le numéro de référence 10. Ces figures représentent également un mode de réalisation de la connexion 35 électrique 11 de la présente invention. L'élément 11 fait partie de l'appareil à circuits 10, et il fait l'objet d'une description détaillée aux pages suivantes. Le dispositif de circuits 10 comporte également au moins un ensemble de circuits imprimés ou bloc monté sur chacun des côtés planaires plats opposés du connecteur 11. Par exemple, l'appareil à circuits 10 représenté comporte 40 deux ensembles de circuits intégrés 12 et 13 montés symétriquement sur les 20435 5 2012333 cfités opposés de l'élément 11. Chaque bloc possède plusieurs circuits intégrés de type monolithique. Sur la figure 3, les élémsnts 11 et 13 sont partiellement éclatés pour faire apparaître certains des circuits intégrés 12a à 12f de l'ensemble 12, représentés 5 sous forme de rectangles dessinés en pointillés. Chacun des éléments 12 et 13 est constitué par un support semi-conducteur, soit 12' et 13' de silicium ou autre substance analogue Cvoir figure 4). Les circuits intégrés ont été formés selon une technique connue de l'homme de l'art sous le nom de technique monolithique, faisant intervenir notarmient l'emploi de processus semi-conducteurs 10 tels la diffusion et la croissance épitaxiale permettant la fabrication simultanée de tous les éléments d'un circuit. Chacun des circuits des ensembles, c'est-à-dire des éléments 12 et 13, est conçu pour accomplir une certaine fonction dans la système ou danp le sous-ensemble électronique dont il est destiné à faire partie. Fait bien connu de l'homme de l'art, pour chaque fonction 15 de circuit requise par le système, ou par le sous-ensemble il est prévu un groupe d'un ou de plusieurs circuits conçus pour accomplir cette fonction. Le même support peut recevoir un ou plusieurs de ces groupes. A titre d'exemple, dans la section particulière de l'élément 12 représentée sur la figure 4, sont illustrés de façon partielle deux éléments actifs 20 de circuits adjacents: à savoir des transistors désignés de façon globale par les numéros de référence 14 et 15, formés dans le support 12' et comportant chacun un collecteur, une base et un émetteur désignés respectivement par les numéros 16, 17, et 18. Les transistors 14 et 15 pourraient être des éléments d'un même circuit intégré, ou de deux circuits intégrés distincts, de l'en-25 semble 12, selon la conception spécifique du système dont ils font partie. Dans le mode de réalisation préféré illustré à la figure 4, le support 12' a un type de conductivité P et en conséquence, les transistors 14 et 15 sont du type NPN, les régions 16, 17 et 18 ayant été formées selon la technique monolithique déjà mentionnée. De même, la section particulière de l'élément 13 repré-30 sentée à la figure 4 comporte un composant de circuit passif, à savoir la résistance 19 appartenant à l'un des circuits intégrés de cet élément. Par exemple, le support 13' a sur cette figure une conductivité de type P. En conséquence, la résistance 19 sera du type P, et isolée du support 13' par une région isolante 20 de type N. Il est bien entendu que chacun des éléments 12 et 35 13 possède des composants actifs et/ou passifs, tels que des diodes, des condensateurs et des inductances. La fabrication des composants d.'un circuit intégré de type monolithique est un procédé bien connu de l'homme de l'art. On forme sur chacune des faces externes 12A et 13A des supports 12' et 13' un modèle métallisé, par exemple, un modèle de conducteur de type plat, 40 en l'occurrence le conducteur 21 formé sur la face externe 12A du support 12' 69 20435 B 2012333 [figure 3). Le modèle métallisé fournit une interconnexion reliant des éléments pré-déterminés des circuits intégrés de l'ensemble 12 Cou 13) auquel il est associé. Ainsi donc, comme le montre la figure 3, le conducteur 21' par exemple, correspondant au modèle métallisé de l'ensemble 12, fournit une inter-5 connexion entre les composants non représentés des circuits intégrés 12a et 12b, et le conducteur 21 fournit une interconnexion reliant certains dés composants, non représentés, du circuit 12a. Les modèles de métallisation comportent certains conducteurs qui sont en contact avec les régions de collecteurs, de bases et d'émetteurs des transistors de l'ensemble de circuits intégrés au-10 quel appartient le modèle en question. Ainsi, donc, comme le montre de façon plus détaillée la figure 4, les conducteurs 21c, 21b et 21e du modèle de métallisation de l'ensemble 12 sont connectés respectivement à. la région du collecteur 16, de la base 17 et de l'émetteur 18 du transistor 14. Chaque ensemble de circuits intégrés est doté d'une couche isolante de dioxyde de silicium 15 ou de substance analogue, introduite entre le modèle de métallisation et la face externe de son support, en l'occurrence la couche isolante 22 placée sur la face externe 12A du support 12'. La couche isolante est placée au-dessous des parties du modèle conducteur où l'on ne désire pas de contact électrique avec les zônes du support se trouvant au-dessous. La technique qui permet d'ob-20 tenir la couche isolante ainsi que le modèle conducteur est bien connue de l'homme de l'art. Conformément aux principes de la présente invention, le connecteur 11 possède un support semi-conducteur 23 de silicium ou d'une substance analogue, et peut avoir une conductivité de type P. Sur les faces externes 11A et 11B 25 du support 23 ont été prévus des modèles conducteurs métallisés prédéterminés, possédant chacun une série de conducteurs plats, par exemple le conducteur 24 du modèle de métallisation, placé sur la face supérieure 11A. Ici, encore, sous les parties des conducteurs de chacun des modèles de métallisation où l'on ne désire pas établir de contacts électriques avec les parties du support 23 30 se trouvant au-dessous, ont été prévus des moyens d'isolement représentés par les couches 25a et 25b d'un isolant électrique pouvant être du dioxyde de silicium ou une autre substance analogue; les autres parties des conducteurs des modèles de métallisation se trouvent en contact étroit avec la face 11A ou la face 11B du support, suivant le cas. Pour fournir une interconnexion entre les 35 modèles de métallisation du support 23, une ou plusieurs liaisons diffusées, par exemple l'interconnexion diffusée 26, ont été réalisées dans le support 23 d'une manière qui sera décrite ultérieurement. La caractéristique de résis-tivité de chacune de ces interconnexions est sélectionnée par un contrôle approprié du processus de diffusion, d'une manière bien connue de l'homme dB 40 l'art, et, dans les modes de réalisation préférés, on a sélectionné une carac 69 20435 7 2012333 téristique de résistivité faible. Les régions ou interconnecions diffusées, par exemple l'interconnexion 26 ont des conductivités de type opposé, par exemple une conductivité de type N pour la région non diffusée du support 23. En conséquence, un isolement électrique est réalisé entre les interconnexions dif-5 fusées ou trous de connexion 26. Le modèle d'interconnexion diffusée de l'élément 11 et les modèles de métallisation des éléments 11 à 13 ont été judicieusement choisis afin que soit minimisé le nombre de connexions transverses entre les circuits intégrés des éléments 12 et 13. A la figure 4 sont représentées à titre d'exemple et de façon détaillée les régions des collecteurs des 10 transistors 14 et 15 qui sont connectées en commun par l'intermédiaire du conducteur 21c du modèle de métallisation de l'élément 12, et traversent l'élément de connexion de soudure 27 pour aboutir au conducteur 28 du modèle de métallisation supérieur du support 23. A son tour le conducteur 28 est connecté, par l'interconnexion diffusée 29, au conducteur 30 du modèle de métallisation in-15 férieur de l'élément 11, Le conducteur 30 est connecté à l'élément de soudure 31 lui-même relié au conducteur 32 du modèle de métallisation de l'élément 13, le conducteur 32 étant relié à son tour et entre autre, à une des extrémités de la résistance P 19 de l'élément 13. Dans le mode de réalisation illustré sur les figures 1 à 4, les moyens 20 pour connecter les éléments conducteurs ou modèles de métallisation des ensembles de circuits intégrés 12 et 13 aux modèles de métallisation du connecteur 11 sont de préférence des éléments de soudure, tels que les éléments 27, 27', 31 et 31'. Dans la pratique, ces éléments de soudure sont positionnés initialement sous la forme de boulettes de soudure ou d'éléments métalliques revêtus 25 de soudure» entre l'ensemble de circuits intégrés et le connecteur 11, aux emplacements désirés, puis placés dans un environnement thermique de manière à produire un joint de soudure entre les modèles de métallisation de l'ensemble de circuits intégrés particulier et le connecteur 11. Le-joint de soudure fournit de ce fait la connexion électrique et mécanique entre les éléments 12 et 30 13 et le connecteur 11. Comme représenté dans le détail à la figure 4, les modèles de métallisation aux points de contact désirés, par exemple les conducteurs 21, 21', 21" de l'élément 12, peuvent être traités avec une matière de liaison adéquate, pouvant être un liant et représentée par la couche 33, qui a pour fonction de maintenir la boulette à une position fixe avant de la sou-35 mettre au processus d'interconnecion par soudure. L'élément 34 de la figure 1 est un support de céramique doté d'une cavité 35 creuse en forme de U. Sur les bords latéraux supérieurs 36 et 37 de l'élément 34 a été prévu un modèle de métallisation sous la forme d'une série de conducteurs plats parallèles semblables au conducteur 38. Ces conducteurs doi-40 vent être alignés avec une autre série de conducteurs semblables au conducteur 20435 a 2012333 30" (figure 3) faisant partie du modèle de métallisation inférieur de l'élément de connexion 11. Le dispositif de circuits 10 est adapté en vue de sa con nexion à des conducteurs pré-sélectionnés tels les conducteurs 38, par l'inter médiaire d'éléments de soudure adéquats, par exemple les éléments 31", après 5 que les ensembles 12 et 13 aient été connectés par soudure è l'élément 11. Les éléments du type de l'élément 31" sont, sélectionnés de manière à présenter un point de fusion inférieur à celui des éléments de soudure, soit 27, 27', 31, 31', qui servent à interconnecter les éléments 10 et 12 avec l'élément 11. Les éléments 31" assurent donc l'interconnexion mécanique et électrique de l'appa-10 reil è circuits assemblés 10 et du modèle de métallisation de l'élément 34. La connexion électrique externe des conducteurs tels que le conducteur 38 de l'élément 34 peut être obtenue par n'importe quel connecteur adéquat par exemple un réceptacle électrique compatible, non représenté, et/ou par des fils volants tels que le conducteur 39, partiellement représenté. Il est possible 15 d'allonger .l'élément 34 par ses bords 36 et 37 afin de loger un appareil à cir cuits supplémentaire, non représenté, semblable à l'appareil à circuits 10. Alternativement, il est également possible d'allonger le connecteur 11 dans la même direction que les bords allongés 36 et 37 de l'élément 34 pour pouvoir disposer un ou plusieurs ensembles de circuits intégrés supplémentaires (non 20 représentés) sur chaque côté de l'élément 11, les ensembles supplémentaires inférieurs étant placés à l'intérieur de la cavité en U 35. Les figures 5a, 5b à 8a, 8b représentent un mode de réalisation préféré de la méthode de la présente invention, permettant de réaliser un élément de connexion 11', méthode que l'on va examiner maintenant. On fournit d'abord un 25 support semiconducteur de silicium ou d'autre substance analogue 23' d'une -conductivité prédéterminée, N par exemple, représenté sur les figures 5a et 5b. Ensuite, on dépose respectivement sur les surfaces 11A' et 11B', les couches isolantes 25' et 25". On applique ensuite les masques résistants au décapage 40 et 41, par exemple des masques photorésistants positifs ou négatifs, 30 d'une façon bien connue de l'homme de l'art, au dessus des couches d'oxyde 25' et 25" (voir figures 6a et 6b). Les masques 40 et 41 comportent des modèles d'ouvertures alignés répartis en une ou plusieurs paires d'ouverture alignées 40a, 41a (figure 6b). Les modèles d'ouvertures des masques 40 et 41 peuvent avoir une disposition symétrique telle que la matrice rectangulaire partielle-35 ment représentée à la figure 6a; ou encore ils peuvent avoir une disposition asymétrique. Après exposition, polymérisation et dissolution des zones appropriées de ces masques, on procède au décapage de l'ensemble de la figure 6b de façon à retirer les parties exposées des couches 25' et 25" ainsi qu'une zone prédéterminée du support 23' comprise entre ces deux parties. Par exem-40 pie, on pourrait d'abord décaper les parties exposées des couches d'oxyde 25' 20435 9 2012333 au moyan d'une solution de 10% d'acide fluorhydrique et de 90% d'eau, et ensuite décaper le support 23' avec un autre produit par exemple un mélange d'acides fluorydrique, nitrique et acétique dans le cas d'un support de silicium. Cette réduction de la section du support 23' entraîne une réduction concommit-5 tante de l'étape ultérieure du processus de diffusion au cours d= laquelle est formée l'interconnexion diffusée. Lorsque le décapage est terminé, on retire les masques 40 et 41 au moyen d'un solvant ou d'un acide oxydant suivant un procédé bien connu de l'homme de l'art. Cependant, il est bien entendu que, dans certains cas, le décapage du support 23' n'est pas nécessaire, et qu'en 10 l'occurrence seules les zânes exposées des couches d'oxyde seront éliminées, après quoi on retirera les masques 40 et 41, avant de penser à l'opération de diffusion décrite ci-après. Les figures 7a, 7b et 8a, 8b que l'on examinera à présent, illustrent deux modes de réalisation préférés de l'interconnexion diffusée formée dans un sup-15 port de connecteur électrique 23' décapé. La figure 7a représente un mode de réalisation où le décapant n'attaqué pas entièrement l'épaisseur du support 23'. Comme indiqué précédemnent, au terme du décapage et du retrait des masques 40 et 41, les zônes exposées du support 23' qui ne sont pas recouvertes par les couches 25' et 25" sont diffusées au moyen d'un diffusant de conductivité 20 opposée qui, pour le support de type N représenté, pourrait être du bore. Pour un support de type P on utilisera un diffusant de type N, par exemple du phosphore, utilisation bien connue de l'homme de l'art. La diffusion a lieu des deux côtés du support, à travers les ouvertures ménagées dans les couches 25' et 25". La diffusion progresse à partir de ces deux côtés et se poursuit jus-25 qu'à ce que les deux fronts de diffusion se rencontrent, et qu'ainsi se forme entre les faces du support, une région de diffusion intégrale 26'. En conséquence, la région diffusée 26' sera formée à travers le support 23' et entre les faces supérieure et inférieure dudit support. Après quoi, comme le montre la figure 7b, des modèles de métallisation tels que les conducteurs d'aluminium 30 24a et 30a seront formés respectivement sur les couches d'oxyde 25' et 25", selon un processus bien connu de l'homme de l'art. En outre, des parties pré sélectionnées des modèles de métallisation sont formées en contact étroit avec les surfaces, 26a et 26b par exemple, des régions diffusées pré-sélectionnées, telle la région 26'. Ainsi donc, les régions diffusées formées dans le support 35 23' fourniront une interconnexion entre les modèles de métallisation supérieur et inférieur de l'élément 11' et plus particulièrement, dans le cas de l'interconnexion diffusée 26' de la figure 7b, entre les conducteurs 24a et 30a de cet élément. Les figures 8a et 8b illustrent un autre mode de réalisation où le déca-40 page a lieu à travers tout le support 23'. Coirme précédemment, on retire les 20435 10 2012333 masques 40 et 41 après l'opération de décapage. Ensuite, on expose à un diffusant les zones du support 23' non recouvertes par les couches d'oxyde 25* et 25" et en conséquence les parois latérales des orificesformés dans le support 23' par le décapant, sont diffusées avec une conductivité de type opposé à 5 celle du support, le'type P par exemple, afin que se forme autour des parois de ces orifices la région diffusée en forme de sablier telle que la région 26" Les régions diffusées se constituent donc à travers le support 23' (figure Sa, entre les faces supérieure et inférieure de celle-ci. Ensuite, les conducteurs 24b et 30b, des modèles de métallisation supérieur et inférieur présélectionné 10 de l'élément 11', sont formés sur les couches d'oxyde 25' et 25", et certaines parties de cet élément sont mises en contact avec des régions diffusées présélectionnées, la région 26" par exemple (figure 6b). □ans la pratique, chacun des ensembles de circuits intégrés qui doivent être montés sur le connecteur, comporte comme indiqué précédemment, un modèle 15 de métallisation, qui fournit une quantité prédéterminée d'interconnexions entre des composants pré-sélectionnés d'un ou plusieurs circuits intégrés. Les modèles de métallisation du connecteur 11 doivent fournir une interconnexion entre des circuits présélectionnés des ensembles de circuits intégrés à inst'al 1er sur l'un des côtés du connecteur, et des éléments présélectionnés des en-20 sembles de circuits intégrés à installer sur l'autre côté. On peut également utiliser chacun des modèles de métallisation du connecteur 11 soit seul, soit combiné à l'autre modèle de métallisation de l'élément 11, ainsi que les inter connexions par diffusion pour obtenir les interconnexions des circuits d'un ou plusieurs des ensembles de circuits intégrés qui doivent être montés sur 25 un même côté de l'élément 11. Ainsi qu'il apparaîtra à l'homme de l'art, le connecteur 11 pourra être doté d'un modèle d'interconnexion à diffusion symétrique, de fabrication standardisée, et ses modèles conducteurs seront ensuite disposés, selon une configuration présélectionnée compatible avec les interconnexions requises, entre les circuits des ensembles de circuits intégrés par 30 ticuliers qui doivent être montés sur le connecteur 11. D'autre part, le modèle d'interconnexion diffusée et les modèles de métallisation de l'élément 11 pourront être conçus en fonction des interconnexions requises entre les circuits des ensembles à installer sur le connecteur 11. La figure 9 sst une représentation partielle de l'appareil à circuits 10 35 doté d'un élément d'interconnexion 11' et des ensembles de circuits intégrés 12" et 13" qui sont connectés, aux modèles de métallisation de l'élément 11' par des moyens adéquats, par exemple l'élément de soudure 30a'. Les ensembles de circuits intégrés 12" et 13" de l'appareil 10 sont de type monolithique et l'élément 11' est semblable au connecteur 11 précédemmment décrit. L'élément 40 11" se comporte comme un conducteur de puissance reliant l'alimentation de ■» %■ =5 69 20435 11 2012333 puissance ou de polarisation représentée de façon schématique par la batterie 42, aux circuits des ensembles 12" et 13". Par exemple, la connexion électrique entre le connecteur 11' et la borne positive (+) de l'alimentation est représentée de façon schématique à la figure 9 par le conducteur 43, et la fls-5 che 43', le tout connecté au conducteur plat 44b du modèle de métallisation supérieur de l'élément 11'. La couche isolante supérieure 45 comporte une ouverture par laquelle le conducteur 44b est placé en contact étroit avec la région non-diffusée 46 du support 11'. La région non diffusée 46 est également connectée à l'élément de soudure 30a'. Le conducteur 47 du modèle de métalli-10 sation de l'élément 13" est connecté à l'élément 30a*. Ainsi, la borne position (+) de l'alimentation 42 est connectée, par l'intermédiaire du connecteur 11', à l'ensemble de circuits intégrés 13", afin de fournir une alimentation de polarisation aux circuits de cet ensemble. Il est bien entendu que les circuits de l'ensemble 13" seront reliés à la masse par un conducteur approprié, 15 non représenté et prévu dans le modèle de métallisation en question, formant ainsi un circuit complet. Une interconnexion analogue, non représentée, est prévue entre le modèle supérieur de métallisation de l'élément 11' et le modèle de métallisation de l'élément 13", afin d'exciter les circuits de l'ensemble 12". Par exemple, la région non-diffusée 46 du support 11' est repré-20 sentée à la figure 9 comme ayant une conductivité de type N, et la région diffusée 48 de l'interconnexion diffusée à l'intérieur du support a un type de conductivité opposé, soit le type P. Evidemment, bien que les ensembles de circuits 12 et 13 aient été représentés dans les modes de réalisation préférés avec une seule couche de modèles 25 de métallisation l'invention peut également être réalisée avec des ensembles de circuits ayant plusieurs couches de métallisation empilées entre lesquelles seraient prévues des couches isolantes appropriées. De même, l'homme de l'art pourra également concevoir un empilage de plusieurs couches de métallisation et de couches isolantes appropriées, sur l'un des deux modèles de métallisa-30 tion du connecteur diffusé Csoit le connecteur 11), ou sur les deux modèles. Ainsi donc, bien que la présente invention ait été expliquée et décrite en fonction de modes de réalisation préférés, il est évident que l'homme de l'art peut y apporter toutes modifications de forme ou de détail sans sortir pour autant du cadre et de la portée de ladite invention. 20435 12 2012333 REVENDICATIONS 1.- Dispositf de connexion électrique comprenant: - un substrat semiconducteur ayant une première et une seconde surfaces, ledit substrat comprenant d'une part une première région non diffusée, d'un 5 premier type de conductivité déterminé, et située entre les dites surfaces et d'autre part au moins une seconde région diffusée, d'un deuxième type de conductivité opposé au premier type, formée dans la première région et située entre les surfaces. - une première et une deuxième couche isolante disposée respectivement sur 10 les première et seconde surfaces, les dites première et deuxième couches isolantes ayant respectivement des première et seconde ouvertures situées respectivement sur la première et la seconde surfaces pour exposer les dites régions diffusées. - une première configuration conductive de métallisation, adjacente à la 15 première surface et disposée sur la couche isolante - une seconde configuration conductive de métallisation, adjacente à la seconde surface et disposée sur la couche isolante, les première et seconde configurations conductives comportant respectivement des première et deuxième zones qui sont respectivement situéas sur les première st seconds surfaces et 20 qui eont en contact avec la ou les dites régions diffusées, cette ou css dernières fournissent uns interconnexion électrique entre les première et seconde configurations conductives. 2.- Dispositif de circuits électriques comprenant le dispositif de connexion électrique selon la revendication 1 at comportant en outre 25 - au moins un deuxième substrat semiconducteur ayant une troisième surface et un premier ensemble de circuits intégrés du type monolithique - un premier dispositif conducteur disposé de manière isolante sur la dite troisième surface, et ce d'une manière prédéterminée, et comportant des troi- • sièmes zones qui sont reliées âectriquement à des éléments de circuits déter-30 miné du premier ensemble de circuits intégrés, la troisième surface du deu-^ xième substrat étant adjacente à la première surface du premier substrat. - au moins un troisième substrat semiconducteur ayant une quatrième surface et un deuxième ensemble de circuits intégrés du type monolithique - un second dispositif conducteur disposé de manière isolante sur ladite 35 quatrième surface, et ce d'une manière prédéterminée, et comportant des quatrièmes zones qui sont reliées électriquement à des éléments de circuit déterminés du deuxième ensemble de circuits intégrés, la quatrième surface du troisième substrat étant adjacente à la deuxième surface du premier substrat, 20435 13 2012333 - un troisième dispositif conducteur pour relier au moins une des troisièmes zânes du premier dispositif conducteur à la dite première configuration conductive de métallisation et pour relier au moins une des quatrièmes zones du deuxième dispositif conducteur à la deuxième configuration conductive pour 5 donner, avec la ou les secondes régions diffusées, une interconnexion électrique entre les éléments de circuit déterminés des deuxième et troisième suba strats. 3.- Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2 dans lequel la ou les secondes régions sont constituées d'un matériau de faible résistivité. 10 4.- Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 et 2 dans lequel d'une part la première région s'étend uniformément sur une première longueur entre les surfaces, et d'autre part la ou les deuxièmes régions s'étendent sur une deuxième longueur entre les surfaces, la seconde longueur étant inférieur à la première longueur. 15 5.- Dispositif selon l'une quelconque des revendication 1 et 2 dans lequel la les deuxièmes régions forment une ouverture entre les première et seconde surfaces. B.- Dispositf selon l'une quelconque des revendications 1 et 2 dans lequel au moins une des première et seconde configurations conductivespossède une troi- 20 rgième zône en contact avec la première région non diffusée et reliée à une source d'énergie déterminée. 7.- Dispositif selon la revendication 2 dans lequel le troisième dispositif conducteur fournit une «onnexion mécanique respectivement entre d'une part les troisièmes et quatrièmes zones et d'autre part la première et deuxième confi- 25 gurations conductives pour maintenir les premier, deuxième, et troisième substrats selon un montage déterminé. 8.- Procédé de fabrication d'un dispositif de connexion dans lequel - on prend un substrat semiconducteur d'un premier type de conductivité possédant une première et une deuxième surfaces 30 - on forme, sur les première et deuxième surfaces, une première et une deuxième couches isolantes qui possèdent des ouvertures opposées pour exposer les première et seconde surfaces - on diffuse des impuretés, d'un deuxième type de conductivité opposé au premier type, dans les ouvertures opposées pour créer un certain nombre de 20435 14 2012333 régions diffusées. - on forme uns -première et une seconde configuration conductive d8 métallisation de conducteurs plats respectivement sur les première et seconde couches isolantes, les première et seconde configurations conductives possédant respectivement des premières et secondes zones qui sont en contact respectivement avec les première et seconde surfaces et qui sont situées de part et d'autre des régions diffusées. 9.- Procédé selon la revendication 8, dans lequel on attaque chacune des régions diffusées avant-l'étape de diffusion, pour réduire d'une quantité déterminée la région comprise entre les surfaces. 10j- Procédé selon la revendication 9 dans lequel chacune des dites régions est constituée d'un matériau de faible résistivité.