Brevet FR2003655A1 — publié le 19691114

WQGK&m RÉPUBLIQUE FRANÇAISE * rj /-vrvs~> r~* r— r— — 0 2.003.655 INSTITUT NATIONAL OE LA PROPRIÉTÉ INDUSTRIELLE DEMANDE DE BREVET D'INVENTION Date de la mise à la disposition du public de la demande 14 novembre 1969. (5T) Classification internationale H 01 I 11/00/H 01 I 5/00. § Numéro d'enregistrement national 69 06723. Date de dépôt 10 mars 1969, à 16 h 12 mn. Déposant : Société dite : N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN. Société par actions, résidant aux Pays-Bas. Mandataire : Jean Casanova, Ingénieur-Conseil. (P) Transistor d offct do cJisrnp ot à étectrods do porto isolée. (72) Invention : 30) Priorité conventionnelle : (32) (33) (sT) Demandes de brevets déposées en Grande-Bretagne le 11 mars 1968, n° 11.844/ 1968 et le 28 février 1969, n° 11.844/1968 au nom de Associated Semi-conductor Manufacturer Limited. -'eve i?*30'c;j,es 3 ! î MPRl MEHIE NATJGNALE, 27, rue il Cor-vent ion - ?AFîS >1 i K \ 2003655 L'invention, ro-ntrs dan3 le domains d-es transistors et concerne un transistor à effet de champ, à électrode porte isolés, en particulier un transistor à effet' c!e jehamp approprie à do grandes puissance3 et des fréquences élevées dans lequel la note d'alimentation et la sene 5 d'évacuation sont constituées chacune par une partie de base et par des parties digitifermes raccordées et dans lequel les parties digiti-forraes de la zone d'alimentation et celles de la zone d'évacuation s1 interpénétrent, alors que la sone de canal se trouve aux parties superficielles entre les,parties digitiformes voisines des zones d'alimenta-19 tion et d'évacuation, tandis que l'électrode porte est constituée par une couche métallique comportant des parties de forme allongée disposées au-dessus desdites parties superficielles et dirigées quasi parallèlement à la direction longitudinale des parties digitiformes des zones d'alimentation et d'évacuation. 15 Par transistor à effet de champ à électrode porte isolée, il y a lieu d'entendre ici un dispositif constitué par un corps scmi-conduc-teur, ou une partie d'un tel corps, à grande résistivité, d'un premier type de conduction, deux zones séparées entre elles, à casse résistivité, du type de conduction opposé qui s'étendent dans le cor;-s semi-20'conducteur eu partie de ce corps à partir d'une première surface, une zone de canal dans le corps, ou partie de corps, qui se trouvent près de la première surface et entre les deux zones à basse résistivité ->t dans laquelle des porteurs de charge déterminant le type de conduction opposé peuvent circuler antre lesdites zones à basse résistivité, une 25 électrode perte qui est appliquée au-dessus de la première surface entre les deux acnés h basse résiativité et séparée de cette première surface par une matière isolante et des élsctrcles qui sont sa contact ca.mi yae crrec les zones à basse résistivité sur la première surface. Le. team zen23 à Liasse résistivité sont indiquées par zens l'alimentation : C se ze r.e à' évacuation. Le transistor à effet de champ, a élec ère à s p : r ~ "r. : ; e rme sennue 1* un tel transistor est Le transistor s smi-eendue- eori-oen :.u e~eur eu partie de corps est généraLsm0at constitué tar *.v ;= silicium et 1' électrode-porto est isolée de la surfaee ta silicium pn ^ •- ^ "T," -"2 .'! n ^ "i '""l -, - ■_ ~ .. - ^ w w -J. -W _ -L. J. -L 0 Les transistors h. effet de champ, à électrode porte isolée, présentent diverses propriétés qui les approprient à 1'utilisation comme am plifieateurs de puissance haute fréquence, en particulier pour le fer. 40 tionnement linéaire et dans les cas ou une tension d'alimentation éls 69 06723 fcAoofligm# 69 06723 2 vée est requise,, Aux courants de crête élevés, la zone de canal doit avoir une très grande largeur. Cela peut être obtenu, par exemple, en réalisant les ïcnes ci * alimenta tion et î • évacuation sous forme d'un peigne, 1er; 6ar-5 ties digitiformes de la sone d'alimentation et celles de la zone d'évacuation s'interpénétrant, alors que la zone de canal est située k la partie superficielle entre des parties digitiformes s'interpénétrant voisines des zones d'alimentation et d'évacuation. On obtient ainsi un transistor à grande largeur de canal, dans lequel ladite zone de 10 canal entre les parties s'interpénétrant des zones d'alimentation et d'évacuation constitue une méandre, la construction d'un tel transistor pose des problèmes en ce qui concerne la géométrie et la définition des électrodes d'alimentation, des électrodes d'évacuation et de ; l'électrode portée II est possible d'appliquer une électrode porte en de la zone de canal intermédiaire. Une telle forme ne donne cependant ' pas entiers satisfaction car. l'électrode porte se trouvant au-dessu3 des parties digitiformes de la zone d'évacuation, la capacité entre 20 1? électrode porte et la zone d'évacuation est trbs élevée, ce qui est indésirable car, pendant le fonctionnement, cette capacité provoque un couplage a réaction, II est également possible d'appliquer l'élec-ti'o:l2-pcrto constituée p-.r une couche métallique d'une maniéré telle qu'elle se trouve quasi entièrement au-dessus de la zone de car.nl et 23 forma également une- méandre, l'extrémité d'une telle couche métallique d'erm~r.t i: électrode porte constitue une partie de conr.smcn qui permet d ' établir une cor. terrien électrique, par exemple h l'aide d'un fil. Cette far:ee n.. convient pas toujours pour les dispositifs haute fréquence parce qu'entre la parti ; le connexion et les parties le 1' -électro de-: 1 perte coursées do ladite parcs.e de connexion existera une résistance c.rsss élevée, dette ré si s eance peut atteindre par exemple "OC- 2, ce ;p-.i n'est pucre désirable pour les dispositifs à fréquence élevée, car cet se ré si strass série de perce forme avec la capacité de rerte une csa.su are de temps para si te, d--est ainsi que dans un IICZZ a orna si de type p de id a an longueur, à fréquence limite d:environ 253 dis:, et a résistance série de perte de 10 Q seulement et a capacité le aorte de Idd p7, i 1 se produirai t une fréquence limite parasite -d'environ 2-2 ~~Ts, ' I. • invention permet d'éliminer lesdita inconvénients dans un transis-'.0 ter - effet de champ, du genre mentionné dans le préambule; elle est ca- ] _ 2003655 *40 06723 2003655 ra c ; e r j s é a e n et c : I j2d: • - a a~. e a • a e ar e allongée ser.t rc liées cn~r c e lies par un 2 p: n t " "* de e..ae se vr o a v a.a t a u :a oins p a r t i e 1 lenr.nt r u-dt ■™i ** us de 1' u r_ c d o 3 -. C ^ C 3 d; - . \ -ae-^J- " t i o n c t d'év"cu"tion et p-a ss~nt . r: u ";:o parti e de 2 G1V7: da a eue .". ' clocà rode cui est ea e ea t' et avec la dite r3 o n 0 CG^V: e r tG un1*; c ouehe raé t -lliqa e v partie de a~s s 1 1. ' n c-C t rou V0 S'.i r l:i pc.rt. i e de ba se de lac'ti t e aone de façon que les tra - .1 e t s de cour 'T J *. O r. par tir d e 2 a partie de "be.se de l'ôlec'trode en contact avec ladi to TJG n:G vers les parti es digiti fornes de cette zone se tro u- ver L v' s e 2 pC. il"Xô 3 de c -i a ^ f. e o uO zone dis p. osées au-dessous de ?.a partie 10 de base de d'électrode porte. Cette configurât ion d* un transistor h. effet de cliarip, c. électrode porte isolée» fournit un dispositif b. résistance série de porte assez faible par suite de l'utilisation de la partie de "base d'électrode perte oui roZie entrc elles les parties de forme allongée individuelles 15 de 1 "■ é'iectrode porte. Ces parties de 1;électrode porte peuvent être consti juees par des parties diçitifomes séparées qui s'étendent h. partir de la partie- de "base de l'électrode porto et se terminent dans le voisinage d'une parti e de "case de l'électrode qui est en contact avec l'-utre des scr.es d'alimentation et d'évacuation mentionnées. Pans une o — rc nX i 3 ^ ti r> ^ ^rcfcréG* 1.0s TVi" c. c d.c n!LI_0ngG0 de 1" elec trodc r>orte font cependant partio de 'oouoles fermées qui s* étendent, -artir le la -artic- de "baie de l'électrode perte-, alors que les boucla •àis^cc^? j 1' ';r: a cote de ]' -atra. sent : e.li'-c": entre elles - 1 •' -ide de la:":, ta r~rtie de base la 2 : électrode porte. Cette conf 1 gur a tic r. as-:5 3-re rn •: c i 3 i err. c- n t "?-lu3 ^0003 * onooro û c 1~ risie t.*.nce 3 é ri 0 de V.r.nJ ur'j ;-~,ro 0r. ;ig -.".c rc^lir^ti.or pi-5::nc du tr -.Victor effet ,-' -, ^ v- M - tr-" d 3 "oTt "! "* 30 2.\l '' - r> l*1 P G ~ ' 1 nventie-1, 2.7 ^7 rti e \ 0 d 72 1 " e" C S"j '.i C ' C V t "v 3'j ' V C UV 3 F. t 7.U "1 '? 1 T_ 7 " 3.r ti -1 3-071 en t M' —O.--. s as die la a- a: . r a.] ira?-a aa ti o Oeato conl'ijur .a; ci est ;rar.aâe a cal- • s- ~ /- •, . • - "* '' — •*- ^ -i r" p t~> c. o 1 " ,?"1 yi ^ T1 ~ ^0 K VT fj , 'd • - ' - • ; -• — ,-? i- ' ■- '■» r-, " o /'■ ■ *■ ■■:"* • ■*i ^•- 7 ~ o 4 ' -j f-. n a» >. -i rs ^ i' 3 ^ i 0 1 C"1 — ■_ - ;- • ci to ea are ^ ' ^lect.rocie porte et la. .aeae d ' e*r" eua tâea de- '*"•v -• 1 ^ (Ô r-, -.•>L - q -p /i -C- f* "/>rV'"' 0 - C F G d 21 ^ ° "* 2- : ~ - aa'i;â ; de hase' de ? • è 1 ec rrcle aorte se trou're a.11 aaai as aa^;-'!!elleraeat •v:.-â-?cuo de la acre d: alir.cn " a a; en,. 1 c aarti e de eonneiràoa de l'el: : trc de porte p eut epaleaent se trouver au-dessus de la zone a: -.linier.-tatior.c Cela es"; déairaale pa.rco eue., dans ea cas, la capacité entre 1: électrode -orte c "'electrodc ê 1 dvaeua ti on n " a a ~r.3n t e pas» la cou-■" n —»Qjr- 2_liri!ic "fozrn.'r^ t 1 ~~ 61.^et^*^(1 G TÎOI'te ~ Dut oo tr^c-î^or ontioroTTisnt 69 06723 2003655 2 1 intérieur c:-j c'r os:; \-i~' vr-r pa .'r. partie de "base d? le eou- clio né1.?.llici?c formant i " " ce troôs rj •-alimentation. fions lodi g forau do rcai i cation préférée, dans laquelle la partie de te,s3 de 11 électrode i, a acooir/rc moans partiellement la cône d: alimentation, la part" :? do t.ase do 1-électrode perte- peut se trouver partiellement au-dessus doo parties de la zone de canal qui touchent les extrémités dos parties di :pi tiformen ce la zone d'évacuation qui ne touchent pas La parti e de "base de la r.one d:évacuation et aux extréni-taa ces parties digitiformes de la sono la coucha métallique :"oraant l'électrode dc alimentation peut se trouver quasi entièrement sur la partie de base de la sone dralimen-t'.ticr., alors que les parties diapl tiformes de la sone d: alimentation ne sont pas recouvertes par cotte couo-ic métallique, D~ns cette con.fi-jura t? on, pour une surface donnés du corps semi-conducteur, la surface de la sone do can\l peut ôtre plus grande que dans un dispositif dans lequel la couche métallique formant l'électrode d'alimentation comporte les paria,es rai se trouvent sur les parties digitiformes de la sone d " ~i imontat ion , lans un di sp.c oi 1, dans lequel on peut utiliser pour j a surface donnlo du oc a s ami •'conducteur une sr,ne de cana? d.c plus relate étende,e, la. couine métallique fermant 1: électrode d'alimentation ^•eat oon porter dos jam^tles me val "i loues isolées de la couche de métal et 1- cpc'-l jO sur les marnes -pT ti formes de la sone d: alimenta tion lans un dispositif d -as lequel i ! est désirable que la ~ eue de c-'nal m t.. "'?ur aa d.ommmae datera'no du corps sorti-conducteur, ur.o plus r-ron-:a ' tamm. a-m- les isenn a . op:ue-: . l a ceuche do mot"]- "oararm 1' a" 1 2' :* ~ "'".C " t'' C 1 ~ i d "j T C!U?.r31 O TL 1 G ëT OUL Cïï~ GUÎT 1.2. G • '-an le 1' ao"'0 d' i*-" au" t: on. ou bien la couche métal], ique formant lamam" 'va/; - aa P-"-;''' comporter des parties qui sont di---~'ee • -r ]"!s "-rti oc 21 t v:';r aes àa la sone à " évacuation ot -;ui s' ét~ra* "na1", . , -i- i , "7. r* "'"2. ■ _ j ^ 3. .*?„ ^ o à ^ g. o ~ ^ ~uo ""*1. og*j g~^ g s 1 \ —-^ ^ i 3 ":r,"o 1g ~.G ;;,c r.2 ci: oT* " c w" "tion • 2.- aa un transi ••.•te r ' effet :a cira-ip, i électrode ; orte i:olée, conforme a 1':nvontion, la corps semi -conducteur, ou partie de corps, peut 3tro constitué par à s; silicium. tandis que la matière isolante qui sépare l'électrode -.ente de la surface sami-conductrice meut utre cor.sti- » V 69 06723 ~~ 2003655 5 tuée pour une prcriiôro part:e do cc.vch 3 la description qui va oui«to en regard du dessin annexe, donné à ti-20 tre d'exemple non limitatif, fera "bien comprendre comment l'invention peut être réalisée, les particularités qui ressortent tant du texte rue du dessin faisant, hi 3n entendu, partie de ladite invention. - 11 . 1 3 -~21: '.înc* vj.7 zw "^O.cn d* un MI'C-I? 7.'.". 7 j_ ]_ j ci u"i 7 c rr^.r; "ui ~r — sanee conforme *- l'invention, fonctionnant cane le iomnr.o d'epuisr- men T Le. fi*. " 0 c "t une oo'j^c 1e* ti s vo :r s r. " cet un^ •; on f:'1 in a plue cc!:cl ^^n 31 r* c fc r*0 ;C" ~~ fi '* " Lo^ucZ. 7 r- " "*r^ ' 'ci c"■1 ' tir*'" ~î c y-11 ~ io 2" cm ci "^c 1 j " v- ; ■. d'electrcde un h r'csi. r r : ' 'a-rerenté sur \e di ! \ d u .e grande puis 3 uoprésrn un "o:"? rem: -eondncteur '' de tppe p, à .• dO -In - :.:.:i;n " ^"aad, a ure p\rt;e de cor. - e-- : - IZ ;?_on du transistor^ L' olc-etrodo d 1 dva eu - tion 1 i :■> ~ 69 06723 •ACOWGIKU 2003655 c 1 un 1 7-, de ni" une ontrénl ;e cot r ce aer pr: 3ion ch.ru d, une partie do connoior. 0. tandis que l'électrode porte 4 est connectée par un fil c! dont une extrémité est reliée par pression h chaud, a une par V'. e de conec:::! on ' J „ Léo fi g. 1 " 4 représentent cous forme de croquis, les zonés dc ali-mer.tation et d'cvacuation diffusées de type n, La zone d'alimentation comporte une partie de base 12 à périphérie extérieure rectangulaire et à périphérie intérieure pratiquement rectangulaire, A partir de la partie de hase 12. des parties digitiformes 13 de la sone d • alimenta-'0 tion s'étendent vers l'intérieur (voir les fi.g. 2 et 3). Sur la fig. 1r la périphérie extérieure de la jonction pn entre la zone d'alimentation de type n et le substrat • de type p est indiquée par la Ligne en pointillé Ma Sur la fig* 3. la périphérie intérieure de la jonction pn entre les parties digitiformes 'j de la sone d'alimentation, :5 de tr/^e n, et du substrat 1, de type p, est indiquée par la ligne en pointillé 1I>n sone d'évacuation comporte une partie de base centrale 1f. e périphérie rectangulairo„ Des parties digi iiformes 17 de la zo; d7 évacuation étendent à partir de la rnrtie de base 15 de la : évacuation r Lee parties digitiformes 13 de :one g ■ i -i imen parties di~itiform.es 17 de la sone d:évacuation s'enchevS- .ne une direction perpendiculaire a le direction lonqitudi-.rties ont une ier~err d'environ 19 ut Sur les fi 1 et ~ "".1 ';v: ";rc lo- r-. v "t i o o d1.«j3 "ti ± o vit. o c 17 lo lo ^ono r" - o7"".oun.-n c r "e substrat ' de type p est; indiqué par une ligne ■ La.is le cor" s semi ■ -conducteur ur.e zone de crr.il ' 2 c.r ire se trouve erra les parties digi tifomes * ; et l"7 qr; "e La rore d- "lamentation et de la rore d ' évacuation, ..... • p_ direct: "ociro^'i''1" 1-1 '"** 1.n ^ ~ ^ '• " /. -on. v; ;:.vc : ,i ■( ■ r* f; o o -O 1 00^*" ~ ^ o o "» a ~ ' ■ ; ■. r , ■* o c c uT aa:; et d'évaluation d : r 3 e ' é t C 2 L.o co no1"! C 00 "ltNr O o J , elles forment des contacta cari c. t 69 06723 °*k*h 2003655 :r .ias cl: ces t".*-.o:: c z c:.• évacuation.. i/- o-•-•ar une couche d ' ni ami n: uni do do û" g g 2'':. celle-ci oc tro u- 22, . o : • îc un 1er v roite f.'.-.nasr.r.! v. or. ee-r .*cr o t • .• •• 0 . •. s. d'ôijai nccur cc"''o:' tart uv.a par t ■ ' o dan' une ou^'cv u;'e ■■■. -.a.; . rr.i.'hc ,aoisnàj P :c" oîmaque avcc 'a. parts o Je ta oc de la aone d'alimentation et passe on une partie dc connoi: on 6 h laquelle eot fi::é le ail 5, L'e- 1 ect.rode c - évacuation cet constituée par une couche d'aluminium, de d, 4 j. dc opai ssenr, comportant une parti c de base ?5i celle- ci ce trouve riens une ouverture manager, dans la couch" conta a t o hn i o u c -vcc p-rtlo de base '6 de 1" zone d!évacuation et passe en une partie de connexion 8 à laquelle cet fj.;:é la fil 7 « L" île ctro de porte 4 est constituée p- r une couche d'aluminium de :> g • epaxsacur, cui se trouve sur eu.i 31 G : •' ' as - 'e a.i 1 ici un do la couche isolante et qui comporte une ; de pbrsc 2~ avec un c a:tan nombre de parties de forme allons-fa 20 ae raccordant a cette aartie de base Las aarnes do l'orme ~ llon-re o 28 3' étendent au-desuuj de la. f o riac a enchevS troc: et font par tie d " ur • a de can al '9 entre le : _a.rtias diaiti-d et des zones d alimentation et à' eve^tion acuo"'a doits 6e ^ alors :ue dee boucle g voisines ;or a roneeo entre ei_a: 2: roc cr. ; arpaad i cal a •_ rc ••i.a" fermes aa sone s '' " a-"làaa de aar.c .llc^'e- - "••• - ^ ,-i ■-if v« Jt- - p ':>n n -i y> • ' i;a a: do d aa a *5 do P" ■ 1 ' do de "a par Sx c do en. oc ' i la diroc taon Ion ààuda rralo ; ion ta f: on et à ; e,racu" ti or. la vd a.3: de :0 .. La paana de a"t .ie de canne::: on *0 sur j '"e oonae aa on oa; disposée as I • r^on » ~ ^ p m 0 r ii me liai on des aao dd 'sa la. ■au:: .a--, —-i ! .• ..r." • '*• ,--*-*/-•> ~ * pn • c ••• r ,-5 - •; "r ' C 'C !.. ' •, ) ~L'~\ ".C- n C 0 ; c 0. : :l ' :::viro : 69 06723 WO«gima! 2003655 ' * " ' ' t" — ' . -w -• -- 4 : i v* ■t f I j e 3 *" o c - " " 2 ' "** ^c ~ t! c *1 *j - ■ ■ v . " : ; - .. .-et v. tion ditrcettt .e -e-e- '-j. - - - • * - •'•-•• ••*"• - - --1 J - - '* -0 :: t, *' - :• : t •cr te c-t Jz tore d " :v ■ ce. • t i on 7 - J J : •- - ~i *-1 o.-. '-j. jtir : exen de lr cl ectro ie-"^orte - -- n.'. î A ^ ^ ~ " -".trtie de "bt.ee 21 de lr61ce- - -- - - .■».-> '-."t.*" ; - ee V. v-? or. 0 é. z z ■■•. t 'nê.13 av. * cino rlv.t "etite * t.r- ;.r?C. -■ - e cou ; -1 *1 * ^ "• rv-rt,"ié"~ c-^3 ci iv"1 ~ " "i . ~ * *".0 '• i 11^ ^ e. t "iO:l .t" 1 font ■••oisinec de 2 rtic :1e ee "J — T"* er. "•*. : oz , . c • V- •- J '■ ÏV: -i ^ v -> • • h 3 e-3 t m IIITCST fonctions nt r cou- c;: us s e.'t • r. 1 ^ o ••: ■.'e ;-'Or ce èeee Ict, peur vuissnnceo ilevees, -I "• ' • 2 1 z G ^ Q O. T.t or. ". ;. e teur êa eourr.nt. cui cet constituée CO ' -0-\ v '«p - " ; - n C ' i ' ri - . .eielle de type n . est forr_(£-e entro ' . -• ... e-' :e. - « - r ) """"i /* r -">r^ e r .303 ^ et V cee no ne 3 df r.liman tn tion o * ; eu " tt c m *-Î H . ^ p * -i Ci'O - ",;7 ancs £.- une eoaeiie d'oitydc de ciliciur». V: ' - • : / '• a G :: rf ?.c —> de s: 1 " et J.~ r •Jl~ 'jO Ut 6 • ; ' c "lent r de i - 3 e 't de nombre uses " ••••• epr.isnsur. ~>z ?v us .-« ■> : x -- • > " T-» r"? n —. T» o g t a* Ji-cdo pc - o ot eurf-.ce seisi-conductrice ne doit yac ■ j _'. r 1" .e t ru c r e ;::o::"de ce ci li cira et de nitruro de V ^ ~".T 1-^ ""T,"* ~-y - -1 .-s "• *■» Q -f) ^ r> Qn ■j Cn U-* ~ 'irr'cntio:: n- * Q T-X ri n —. t» — - -7 -' r» * - • — t. " c*. vi* ::'".cu~tion ~ei-vent. clic.? ".uz"-i., TJr.nz; le -ri'y-etur-; refréner te- zv.v ' z z. c.'.ectrcder c.r "Àintrt•éter, det êitetre-r ■ .* 3 ;:o i* 50 "on; te que l'or. 'v. ? n c :io ~-rt tr o o e der tores * "• line r t tion e * " ,îq so".: .'e c".r.?" •^urt'r.ce denné' ts 2 ~ :.Q5 " t r euZi'zi'zz des él~ctr~ es d' :\- :• ne. ; • o ■?. ■■■:'• se t "" "■ ..o;te: f1;. *" ' s ; es de zc zr.es r.c: \. e rtertst ;o:t et i* et" zz-'z z: ions z n d" o?ter" r un ic.nte, "n:-"' !•'rrâoi des 69 06723 2003655 n;'.'uos >ï*ï r..o cor-". s.-p înr .et élec trodes -ïc couc "■ •••"': t v: .' : • ... a La fi", ro- rasante '-.ne *' riante du '■? spocai. ta f rcpr^'irn i;u "ur ]"a fi.-;, 1 a -, ; la «•; - _ p. •.-> .c aa' àc ...* est pratiaaanent ?a -rêne 5 que ool.le 10 des couche;: d'• "3uni.ni un 3" r '..tondent v. partir de la partie do base ?5 de j 1 él g et ru de d " évacuai '.or.. Dans ce d1 aposi t:l i - la longueur do canal (distance entre les par'.i cc d" pi tiforavjs des soncs d'alimentation et d'évacuation) et J es d: m 0:101 cas tranc arsalos des parties di ■ i ti folios des zones d' "lvr.cn ta t. ion et d ' âvac"3.ti on sont différentes, " roc que 'les nanties da/r v "orros 1 0; '7 tlni "or. t être auprnentees a"in de pou--/.•13 - -•iva-er las parûtes do couches d ' alunini un 31 et 32.. Une telle con "i "urrt > ~ r peut St.a " • 'apau.se "io rnnu ' i 1 est désirable de limite a -i un ni ri aua: .las rési st~r.ee s "~rio dot a^nos d: 'd. inent" ta on et C * v* -au: t.1 on et * i -rten tor ''ai i'e *''ni "fcé de .-" ne*" r t ? ti on da co'-r 'rat aif toutes les a:":oa do ".a., a.o^a de canal 69 06723 _ 2003655 ,,, 9AC 0«PG» Rnvirrn i C.ATIQI-Kv ' Tratis • -j ter a oi' l'et do cl;rv".pc à. O ' ootrode porto -* soléo, approp-ri :; frrciucnees élevées dans lequel 1": zone a) oientavi on. ot '*a : -> .. ' û c r.t'et» ;;ort constituée? chacune par r> une partie do h a .t. et pr r de t.- rar î ; co d -.pp; i) formes raccordées et rV:r.o .lequel Je:: \r rt i on (il -;i t, fornci do .la sone d • al i mon t.?. tion et celles de la sone d' ov~eu • tion o' interpénétrent.. alors que la sono de canal so trouve sux p- rti es superf.i cioT 1 on entre les parti es di/jitifomes voi -ti nos des r,o nos c: ' a] imen t". t i on o f d évacuation, tandis que 3 * électrode 10 porto ont constituée par une couoho métallique comportant dos parties de foirno al?onpjée disposées au dessus cleodi tes parties superficielles et dirigées quasi parai loi ouon t à 3a. diroetion longitudinale dos parties dipi ti ferries des sonos ci: '1 Imentation et d'évacuation, caractérisé en co que 1-esdi tes p-rtj es de forme lon~*o sont reliées entre cl-les par une partie de base so trouvant ru moins partiellement au-dessu de î ; ii.no dos sone s d'alimentation ot d'évacuation et passant on une partie de connox; on. t ~ndi s que i'éloctrodc qui est en contact "vec "'alite sone comporte une couche métallique à partie de base qui ce trouve cm r la partie do ba.se de ladite sone, de façon que lea trajets v) de courant à parti r do Ja par i/ve de base de l'électrode en contact .avec ladite sono vers les port. C3 ti forno3 do cette se ne se trouvent dans des parties le cotre sono disposées au-dea ous le la ^artie 'i? oioo f"!c ^ " 63 oo4.ro^o ?„ Transi sto •: à o '"fo t ''o ?v np, porté isolée., selon la reve-dicatio ! car:'.c té ri so on co rp>e 1 os an'-ties de -.'o nne allongée do 1: cl ootrode ■"-.'■•'o "ont -,:r 1 c de 'so noies "oinéoa oui s - étendent, à pertir de la a s (le b"sr. >lo i ; vodo porto, o ' les boucles disposés voisines -.'ont "oliéo.; on Lre "os ••a"" " 'site pa r L i o de base,, ' „ Transistor '• c"!ni ' n rip, à électrode porto isolée, selon 1" se de 1'é- rvor.dj c" ti m ' ou ' . •,ar" e ♦ é r; sé on se que la -~ •> ' ":-do po-f se ! r^v *, -lu : os rnacti ol 1 eneat, s de 1" so * .10' él oc traclo aorte j. ~e lés "a; ;1 ; ••j t.--.- l, na-" ''.cri ss es ce que 1" •-•nrt" e do co moisi en de j. ' él* trodo po" "s ce trouve -a.; - dossu. • do in sone d' .li.nontrtior.. '3, Transistor \ effet do ea ap. •• électr--de -o^te isoleo. selon 1-revondica ti on 1 eu .4, oarac bôri so on ce que l"- eouche :.:é t llioue formant 1: électrode porte so trouve onticroMont a l'intérieur du domaine qir est liairo par la pa r ti o de baao do la couche netallicue formant ■' 0 1 ' électrode d ■ a.l i r:.9n ta ci or.» 69 06723 — -ï • "■* - r* ^ ^ ^ ^ ^ r\,- • > -j 1 ~ V ^ 2003655 06723 9Ac original 2003655 CO UÎ •Lien dj.~j t.ifo:"-o" Cc la • d o .T ■ 61 c c t pc d c porte. c1. ' £v-;cur.tion ne ;g trouva