埃弗哈特索恩利探測器

埃弗哈特 - 索恩利探測器 （ Everhart - Thornley Detector ） 或E - T探測器是一類可以探測二次電子和背散射電子的傳感器 ， 被用於掃描電子顯微鏡 （ SEM ） 中 。 埃弗哈特 - 索恩利探測器得名於其設計者托馬斯 · E · 埃弗哈特和理查德 · F · M · 索恩利 。 他們在1960年發表的設計中把光管 （ light pipe ） 加入到真空腔外的光電倍增管 ， 以處理來自於SEM真空腔中閃爍體探測器的信號 ， 由此提升了二次電子探測器的效率 。 此前 ， 埃弗哈特已經對弗拉基米爾 · 佐利金和J · A · 拉哈徹曼 （ J. A. Rajchman ） 設計的二次電子探測器做出改進 ， 將其中的電子倍增管改爲光電倍增管 。 包含光波導 （ lightguide ） 和高探測效率的光電倍增管的E - T探測器已經成爲了SEM中最常用的探測器 。 E-T探測器位於樣品腔中 ， 主要部分是一個包含在法拉第籠之中的閃爍體探測器 。 對法拉第籠通入較低的正電壓可以將能量較低 （ < 50 eV ） 的電子吸引進入探測器 ， 其中主要是二次電子 ； 其他能量較高的電子則不會被這一電勢所吸引 。 而閃爍體探測器則被設置爲極高的正電壓以加速這些被吸入的電子 ， 並將其轉變爲光子 。 光子進一步被閃爍體探測器中的金屬層構成的鏡面聚焦到光波導中 。 這些光子最後通過光管被傳輸出真空腔 ， 然後進入光電倍增管進行放大 。 若去掉法拉第籠上的正電壓 ， 或對法拉第籠施加一個負電壓 ， E-T二次電子探測器還可以用於探測背散射電子 。 但相比於運用E - T探測器獲得的背散射電子圖像 ， 更高質量的背散射電子圖像需要使用專門的背散射電子探測器來進行成像 。