低溫多晶硅

低溫多晶硅 （ Low - temperature polycrystalline silicon ， LTPS ） 是一種與傳統方法 （ 900 °C 以上 ） 相比 ， 在相對較低的溫度 （ ~ 650 °C 及更低 ） 合成的多晶硅 。 LTPS對顯示行業很重要 ， 因爲大型玻璃面板暴露在高溫下易變形 。 更具體地說 ， 薄膜晶體管 （ LTPS - TFT ） 中使用多晶硅具有大規模生產平板液晶顯示器或圖像傳感器等電子設備的巨大潛力 。