離子泵

離子泵是真空泵的一種 。 離子泵的原理是將氣體分子電離後 ， 利用強電場將離子加速至電極板處並捕獲 ， 以此移除容器內的氣體 。 理想條件下 ， 離子泵可以產生壓強低至10 - 9帕的真空 。