光罩檢測

在微技術領域中 ， 光罩檢測  是檢查光罩製作正確性的操作技術 。 用於定位光罩缺陷的是高級自動化系統 ， 如掃描電子顯微鏡等 。 「 光罩檢測 」 一詞也可能非正式地指稱真正寫入光罩前的光罩資料檢測  。