三氟氯硅烷

三氟氯硅烷是一種化學式爲 SiClF3 的氣體 。 它是由硅 、 氟和氯組成的化合物 。 它是甲硅烷的氫原子被氟和氯原子代替而成 。 它可由三氟化銻和四氯化硅反應制得 ； 六氟化二硅和氯氣反應也能得到三氟氯硅烷 ， 但該反應會發生爆炸 。