電子微探針

電子微探針 （ 英語 ： Electron microprobe ， 縮寫 EMP ） ， 也被稱爲電子探針顯微分析 （ electron probe microanalyzer ， EPMA ） 或電子微探針分析儀 （ electron micro probe analyzer ， EMPA ） ， 是一種用於非破性檢定少量固體材料化學成分的分析工具 。 它是用聚焦很細 、 直徑小於1um的電子束轟擊待分析試樣上的微小區域 ， 對激發出的特徵X射線 、 二次電子 、 二次離子 、 背散射電子 、 俄歇電子 、 透射電子 、 吸收電子 、 陰極熒光等進行探測和信息處理的現代儀器分析方法 ， 是電子光學技術與X射線光譜分析技術交匯的產物 。 Category: X射線 Category: 顯微鏡 Category: 分析化學 Category: 科學技術