能量色散X射線譜

能量散射X射線譜 （ Energy - dispersive X-ray spectroscopy ， 英文縮寫有EDS 、 EDX 、 EDXS或XEDS ） ， 有時也被稱作能量散射X射線分析 （ energy dispersive X-ray analysis ， EDXA ） 或能量散射X射線微量分析 （ energy dispersive X-ray microanalysis ， EDXMA ） 是一種用於元素分析和化學表徵的分析手段 。 該手段通過收集X射線機或其他X射線源產生的X射線和樣品相互作用時發出的X射線進行分析 。 由於不同元素因原子結構不同而發射譜各異 ， 所以可以通過分析X射線譜分辨樣品所含的不同成分 。 激發出樣品的特徵X射線一般需要能量很高的電子束 、 質子束或X射線 。 首先 ， 入射的電子 （ 或質子 、 光子 ） 激發出基態原子的內層電子 。 內層電子在離開原子後會留下空穴 。 外層的 、 處於較高能級的電子在填充這些低能級空穴的時候 ， 多餘能量可能會以X射線形式放出 。 能量散射X射線譜儀收集測量的就是這些X射線的能量和強度 。 由於這些X射線的能量分佈可以反映特定元素的原子特徵 ， 能量散射X射線譜可被用於測定樣品中的元素組成 。