重氮萘醌

重氮萘醌  是萘醌的重氮衍生物 。 一旦曝光 ， 它將經歷沃爾夫重排反應以形成烯酮 。 在半導體行業中 ， 各種重氮萘醌的衍生物可被用作光刻膠的感光劑 。 在半導體制造的過程中 ， 重氮萘醌的磺酸酯通常會用作光刻膠材料中的正性感光劑 。 在這種應用中 ， 重氮萘醌會與酚醛樹脂混合 ， 以作爲溶解抑制劑 。 在曝光的過程中 ， 部分光刻膠膜會暴露在光線下 ， 而其他部分則不會 。 在未曝光的區域裏 ， 含有重氮萘醌的光刻膠膜仍然會不溶於水基顯影液中 。 而在曝光的區域裏 ， 重氮萘醌會形成烯酮 ， 由此再與環境中的水形成可溶於鹼的茚並羧酸 。 光刻膠膜中已曝光的區域因而可溶於鹼性溶劑 ， 從而將光刻膠層中的圖形顯現出來 。