乙二胺鄰苯二酚

乙二胺鄰苯二酚 （ Ethylenediamine pyrocatechol ， EDP ）, 也被稱爲溼蝕刻溶液 （ EPW ） ， 是一種用於矽的非等向性蝕刻溶液 。 典型的配方包括乙二胺 、 鄰苯二酚 、 吡嗪和水 。 本品具有致癌性以及非常強的腐蝕性 。 主要用於研究實驗室裏 ， 在主流半導體制程裏並無應用 。