多重圖形

多重圖形 （ Multiple patterning ） 是指一種在半導體制造過程中的技術 。 在光刻過程中使用了多重圖形曝光增強了製作圖形的密度 。 儘管極紫外光刻將在下一代光刻中作爲一個選項 ， 但是這個仍然需要額外一次曝光 。