130納米制程

130納米制程 ， 又稱 0.13 微米制程 ， 是半導體制造製程的一個水平 ， 大約於2000年至2001年左右達成 。 這一製程由當時領先的半導體公司如英特爾 、 德州儀器 、 IBM和臺積電所完成 。 一些CPU最初是由這個製程所製造 。 其中包括英特爾奔騰III Tualatin處理器 。 這是第一個溝道長度小於用於光刻的光的波長的製程 。