硅酸鉿

硅酸鉿是鉿的硅酸鹽 ， 化學式HfSiO4 。 在現代半導體元件中 ， 可以使用由原子層沉積 、 化學氣相沉積或MOCVD生長的硅酸鉿和硅酸鋯薄膜 ， 作爲高κ電介質替換二氧化鈦 。 二氧化鉿中的硅增大了能隙 ， 同時降低相對電容率 。 此外 ， 它還提高了非晶膜的結晶化溫度 ， 並進一步增強了材料在高溫下與硅的熱穩定性 。 有時會向硅酸鉿中加入氮以提高熱穩定性和設備的電性能 。