極紫外輻射

極紫外輻射  或高能紫外輻射 ， 簡稱EUV 、 XUV ， 是波長在124nm到10nm之間的電磁輻射 ， 對應光子能量爲10eV到124eV 。 自然界中 ， 日冕會產生EUV 。 人工EUV可由等離子源和同步輻射源得到 。 主要用途包括光電子譜 、 對日EUV成像望遠鏡及光微影技術等 。 EUV是最易被空氣吸收的譜段 ， 因此其傳輸環境需高度真空 。