風機過濾機組

風機過濾機組 ( 英文: Fan Filter Unit ， 簡稱: FFU ) ， 是一種結合送風機與高效濾網 ( HEPA / ULPA ) 氣流循環與過濾之無塵室潔淨設備 ， 主要是用來過濾來自作業場所空氣中所存在有害空氣中的粉塵顆粒 ， 提供潔淨之空氣 。 FFU的無塵室大致可分層流型 ( laminar ) 與紊流型 ( turbulent ) 無塵室兩大類 ， 層流型都在Class 1000以下 ， 而紊流型無塵室則是在Class 1000以上 ； 主要安裝於無塵室天花板上及機臺上方 ， 或網格地板內安裝此設備 ， 提供無塵室與機臺所需之氣流循環與空氣濾淨 ； 在臺灣 ， 使用此設備大致採送風式居多 。 設備之使用環境大多爲半導體 、 電子資訊 、 航太 、 製藥 、 生物工程 、 醫療 、 食品 、 實驗室等高產業領域, 而這些領域之生產環境皆具備嚴苛的高要求 。 FFU之經常使用由於在空間中有一定高度限制 ， 設置較小的內部地板尺寸的唯一系統 。 此外 ， 若涉及小於20的過濾器時 ， 則風扇供電HEPA ， FFU之設計往往被認爲是可比傳統的管道式供給系統來得更便宜 。