彈性反衝探測分析

彈性反衝探測分析技術 （ Elastic Recoil Detection Analysis ， ERDA ） ， 也被稱作前向反衝散射 （ 譜 ） ， 是一種離子束分析技術 ， 被用在材料科學中 ， 用以分析 、 測量固體或薄膜材料中某種元素的深度分佈 。 使用加速器將某一能量的離子束打到待測樣品上 ， 離子與靶固體中的某種元素的原子發生彈性碰撞 ， 一般是由庫侖力造成的 。 通過入射離子的動能 、 彈性碰撞反應截面 、 散射離子損失的能量等參數 ， 可以檢測待測原子在樣品中不同深度的富集程度 ， 即不同深度處某種原子所佔的比例 。