四乙氧基矽烷

四乙氧基矽烷 ( 經常縮寫爲TEOS ） 是一種化合物 ， 常態下爲液體 ， 其化學式爲Si ( OC2H5 ) 4 。 四乙氧基硅烷分子可以認爲是原硅酸根 （ SiO44 − ） 與4個乙基相連 ， 也即正硅酸的乙基酯 （ 雖然原硅酸根離子在溶液中並不存在 ） ， 故得名正硅酸四乙酯 ( 也縮寫爲TEOS ） ； 其 “ 硅酸根 ” 部分呈正四面體結構 。 該分子還可以看做是硅的乙醇鹽 。