盧瑟福背散射

盧瑟福背散射分析或盧瑟福背散射譜學 （ Rutherford Backscattering Spectrometry ， RBS ） ， 有時候被稱爲高能離子散射譜學 （ High - Energy Ion Scattering ， HEIS ） ， 是一種離子束分析技術 ， 被用在材料科學中 ， 用以分析 、 測量材料的結構和組成 。 通過將一束確定能量的高能離子束 （ 通常是質子或α粒子 ） 打到待分析材料上 ， 檢測背向反射的離子的能量 ， 即可確定靶原子的種類 、 濃度和深度分佈 。 盧瑟福背散射分析的基本原理詳見盧瑟福散射 。