四甲基氫氧化銨

四甲基氫氧化銨 （ TMAH或TMAOH ） 是一種分子式爲 N ( CH3 ) 4 + OH − 的季銨鹼 ， 也是這類化合物中最簡單的一種 。 這種物質只在五水合物時是一種相對穩定的固體形態 。 商業上 ， TMAH通常以水溶液 、 甲醇溶液或五水合物的形式銷售 。 其固體和溶液均爲無色 ， 不純時爲黃色 。 純淨的TMAH幾乎沒有氣味 ， 但樣品常有強烈的魚腥味 ， 因其含有三甲胺的不純物 。 TMAH有大量 、 廣泛的工業和科研用途 ， 例如在半導體器件製造中的黃光製程中當顯影液 （ 去光阻液 ） 。