前開式晶圓傳送盒

前開式晶圓傳送盒  ， 是半導體制程中被使用來保護 、 運送 、 並儲存晶圓的一種容器 ， 其內部通常可以容納25片的 300 mm晶圓 ， 而其主要的組成元件爲一個能容納25片晶圓的前開式容器並有一個前開式的門框專司容器的開閉 ， 是一種專屬於12吋晶圓廠內的自動化傳送系統重要的傳載容器 。 它最重要的功用是確保每25片的晶圓在它的保護下避免在每一臺生產機臺之間的傳送途中被外部環境中的微塵污染 ， 進而影響到良率 。 是先進的12吋晶圓廠重要的生產工具 。 Category: 半導體器件製造 Category: 盒子