真空迴流爐

真空迴流爐 ， 也叫真空焊接爐 。 在真空的環境下對產品進行高質量的焊接 ， 在升溫或者降溫過程中通入還原性系統 （ N2 、 甲酸 、 N2H2 、 H2 ） ， 用以保護產品和焊料不被氧化 ， 同時將產品和焊料表面的氧化物反應 ， 使得焊接表面質量提高 ， 減小了焊接的空洞率 。 真空迴流爐包括以下幾個結構 ： 氣路 、 冷卻系統 、 加熱系統 、 真空系統 、 測量系統 ： 氣路 ： N2有三路 ： 一路通到工藝腔體 ； 一路作爲氣冷通入冷卻管 （ 和水冷一個管道 ） ； 一路通到真空泵gas ballast ， 作爲提高真空泵壓縮比的功能 。 H2有一路 ， 通到腔體內 。 H2Ar有一路 ， 通道腔體內 。 冷卻系統 ： 分爲內循環和外循環 內循環 ： 設備內部有個水箱 ， 內裝有DI water ， 通過水泵將水箱裏面誰進行循環 ， 用來冷卻加熱板 、 法蘭 、 plasma 。 外循環 ： 客戶提供外部冷卻水用來冷卻水箱 。 加熱系統 ： 包括主加熱和邊緣加熱 。 真空系統 ： 真空泵抽真空流程 ： 將腔體內部氣體 — — 主閥 — — 真空泵 — — 管道 （ 通過加熱絲 ） — — 排風裏面 。 真空部分有個過壓閥 ， 腔體壓力過大時會自動打開 。 測量系統 ： 除了控制加熱的TC之外 ， 設備腔體內部還有6組用於測量工件溫度的TC 。 便於實驗所需要 。 Category: 焊接