三甲基硅烷

三甲基硅烷或三甲基硅化氫 ， 是一種有機硅化合物 ， 化學式爲C3H10Si ， 結構簡式 ( CH3 ) 3SiH 。 它是一種極易燃的物質 。 三甲基硅烷用於半導體工業中的等離子相腐蝕劑 。