六氟化鎢

六氟化鎢爲氟與鎢形成的無機化合物 ， 化學式WF6 。 它是無色 、 有毒 、 具腐蝕性的氣體 ， 密度約13 g / L （ 約爲空氣的11倍 ） 。 六氟化鎢爲密度最大的氣體之一 。 半導體器件製造行業通常用WF6的化學氣相沉積來形成鎢膜 。 這一層膜用於低電阻率的金屬互聯 。 它是十七種已知的二元六氟化物之一 。