旋轉塗覆

旋轉塗覆是一種高速成膜方法 ， 可以得到均勻的薄膜 ， 均勻性廣泛應用於半導體材料及化工材料等薄膜製備 。 它利用旋轉產生的離心力 ， 將溶膠 、 溶液或懸濁液等均勻平鋪到襯底表面 。