三氟化氯

三氟化氯是無機化合物 ， 分子式爲ClF3 。 這種物質氣態時爲淡黃色 ， 有毒 ， 有強腐蝕性 ， 液態時爲黃綠色 ， 一般將其壓縮成液體銷售 。 該物質主要的用途是火箭燃料 ， 半導體行業中清洗和蝕刻 ， 核反應堆加工燃料 ， 以及一些其他用途 。