氟甲烷

氟甲烷 ， 也稱爲甲基氟 、 氟利昂41 、 HFC - 41 ， 其化學式爲CH3F ， 在常溫常壓下是無毒 、 可液化的可燃氣體 ， 是甲烷的一氟取代物 。 氟甲烷用在半導體及電子產品的製程中 ， 在射頻場下氟甲烷會溶解氟離子 ， 可選擇性的蝕刻矽化合物的薄膜 ， 即反應離子刻蝕 。