白光干涉顯微鏡

白光干涉顯微鏡 （ White light Interferenc microscope ） ， 是使用光干涉原理來展示物件的內部或表面的顯微鏡 。 通過奈米垂直掃描器與干涉物鏡使解析度達到 0.1 nm, 因此應用於3D高精度量測 Category: 顯微鏡