準分子激光

準分子激光 （ 英文 ： Excimer laser ） 是一種紫外氣態激光 ， 處於激發態的惰性氣體和另一種氣體 （ 惰性氣體或鹵素 ） 結合的混合氣體形成的分子 ， 向其基態躍遷時發射所產生的激光 ， 稱爲準分子激光 。 準分子激光屬於低能量激光 ， 無熱效應 ， 是方向性強 、 波長純度高 、 輸出功率大的脈衝激光 ， 光子能量波長範圍爲157 － 353納米 ， 脈衝時間爲幾十納秒 ， 屬於紫外光 。 最常見的波長有157 nm 、 193 nm 、 248 nm 、 308 nm 、 351 - 353 nm 。