甲硅烷

甲硅烷  ， 也稱甲 - { zh - hans: 矽; zh - hk: 硅; zh - tw: 硅; } - 烷 、 矽甲烷 ， 化學式爲SiH4 ， 是一種硅烷 ； 有時也被簡稱爲硅烷 （ 勿混淆 ） 。 它的結構與甲烷類似 ， 只是用硅取代了甲烷中的碳 。 在室溫下 ， 硅烷是一種易燃的氣體 ， 在空氣中 ， 無需外加火源 ， 硅烷就可以自燃 。 但是有學者認爲 ， 硅烷本身是很穩定的 ， 在自然狀態下 ， 是以聚合物的狀態存在的 。 在超過420攝氏度的環境下 ， 硅烷會分解成硅和氫 ， 因此硅烷可以被用來以薄膜沉積提純硅 ， 是半導體工業重要的特用電子級氣體之一 。