四氟化硅

四氟化硅 （ 化學式 ： SiF4 ） 是最常見的硅氟化物 。 無色氣體 ， 遇水發生水解生成氟硅酸 ， 在潮溼空氣中發煙 。 沸點僅高於熔點4 °C 。 首先由在1812年合成 。 應用於微電子行業和有機合成中 。 火山爆發時的煙霧中也含有大量的四氟化硅 。