三甲基氯硅烷

三甲基氯硅烷 （ 分子式 ： ( CH3 ) 3SiCl ） ， 也稱氯化三甲基硅烷 、 氯代三甲基硅烷 、 三甲基一氯硅烷 ， 室溫下爲無色液體 ， 是滷代硅烷的一種 ， 在有機合成中有很多用途 。 它在無水情況下穩定 ， 但遇水即分解 ， 生成六甲基二硅氧烷和鹽酸 。 由氯甲烷與硅粉在氯化亞銅存在下反應並精餾提純獲得 ， 也可由親核性甲基試劑如甲基鋰與四氯化硅發生親核取代反應制得 。