乙矽烷

乙矽烷  ， 又稱矽乙烷 ， 是一種有毒的化合物 ， 分子式爲Si2H6 ， 在室溫下爲氣態 。 它的性質與乙烷很類似 ， 都是無色易燃的氣體 ， 但是它的矽 - 矽鍵比乙烷的碳 - 碳鍵還來的弱 ， 因此比乙烷還不穩定 。 乙矽烷通常是氫很好的來源 ， 只要經過簡單的化學反應就可以得到氫 。 另外它也可以用來以薄膜沉積製備純矽 ， 是半導體工業重要的特用電子級氣體之一 。