微技術

微技術  包含了微機電感測和控制 、 驅動元件製程開發技術 、 微機電系統整合技術 、 射頻 ( RF MEMS ) 、 光學 （ Optical MEMS ） 、 生物醫學 （ Bio MEMS ） 、 電腦與周邊 （ Computer Peripheral MEMS ） 微機電系統研究 。