光刻膠

光刻膠  ， 亦稱爲光阻或光阻劑 ， 是指經過紫外光 、 深紫外光 、 電子束 、 離子束 、 X射線等光照或輻射後 ， 溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料 ， 是光刻工藝中的關鍵材料 ， 主要應用於積體電路和離散元件的細微圖形加工 。