Die produktbezogene Betrachtung ist auch mit Sinn und Zweck der besonderen Härtefallregelung vereinbar. Sie soll insbesondere im Bereich mittelständischer Unternehmen aus einer Unterauslastung in der Basisperiode resultierende Nachteile der Standardzuteilung ausgleichen . Produktionsschwankungen einer Anlage dürften aber in der Regel alle dort hergestellten Produkte betreffen. Wenn z.B. eine Industrieanlage ihre Produktion steigert, wird die Menge des aus erhitztem Abgas erzeugten Stroms oder der aus dem Rücklauf eines Kühlturms in das Fernwärmenetz eingespeisten Wärme entsprechend steigen. Bei KWK-Anlagen hängt das Verhältnis der Produkte elektrische Energie und Nutzwärme hingegen nicht davon ab, wie viel Energie insgesamt zur Umwandlung eingesetzt wird. Bei der Zuteilung trägt das Zuteilungsgesetz [DATE] den Besonderheiten dieses Anlagentyps ausdrücklich Rechnung. Abweichend von dem Grundsatz, dass für eine Anlage nur eine Zuteilungsregel zur Anwendung kommt , erhalten KWK-Anlagen für Strom und für Wärme gesonderte Zuteilungen . Diese Regelung soll vermeiden, dass ihnen ein Nachteil aus dem Umstand erwächst, dass der CO0-Ausstoß bei gleichzeitiger Produktion von Strom und Wärme höher ist als bei reiner Stromerzeugung; anderenfalls bestünde ein Anreiz, die bestehende Wärmeauskopplung zu reduzieren . Hätte der Gesetzgeber Strom und Wärme abweichend hiervon bei der Ermittlung der Produktionsmenge für die Zuteilung nach [REF] [DATE] nicht gesondert betrachten wollen, wäre eine ausdrückliche Regelung zu erwarten gewesen.

Sie betreibt in E. einen Drehrohrofen zur Herstellung von Zementklinker mit vier Zyklonen. Mit Bescheid vom [DATE] genehmigte die Bezirksregierung A. eine Kapazitätserweiterung von 0 0 auf 0 0 t Klinker pro Tag. Die Kapazitätserweiterung war am [DATE] in Betrieb genommen worden. Die Anlage produzierte in den Jahren [DATE] bis [DATE] durchschnittlich 0 % mehr Klinker pro Jahr als in den Jahren [DATE] bis [DATE] . Mit Bescheid vom [DATE] teilte die Beklagte der Klägerin gemäß [REF] [DATE] 0 0 0 Emissionsberechtigungen zu. Bei der Berechnung der auf den Bestandsanlagenteil entfallenden Zuteilung nach [REF] [DATE] bestimmte sie die der Kapazitätserweiterung zuzurechnende Emissionsmenge nach dem Standardauslastungsfaktor gemäß [REF] [DATE] . Den weitergehenden Antrag, für die Bestandskapazität der Anlage Emissionsberechtigungen nach [REF] [DATE] zuzuteilen, hilfsweise von einem Abzug nach [REF] [DATE] abzusehen, weil die Erweiterung im Jahr [DATE] nicht genutzt worden sei, lehnte sie ab. Das Verwaltungsgericht wies die nach erfolglosem Widerspruch erhobene Klage ab. Zur Begründung führte es aus: Eine Zuteilung für die Bestandskapazität nach [REF] [DATE] anstelle von [REF] [DATE] könne die Klägerin nicht verlangen. Ihre Anlage sei zwar sowohl im Sinne des § 0 Abs. 0 Satz 0 als auch des [REF] [DATE] eine "Anlage nach § 0", allerdings eine solche, bei der zwischen dem [DATE] und dem [DATE] eine Kapazitätserweiterung in Betrieb genommen worden sei. Auf eine derartige Anlage finde die speziellere Regelung des [REF] [DATE] Anwendung, und zwar nach deren klarem Wortlaut und dem erklärten Willen des Gesetzgebers hinsichtlich der "gesamten Anlage". Auf [REF] [DATE] verwiesen [REF] [DATE] nicht. [REF] [DATE] setze voraus, dass in der Referenzperiode "durch die Gesamtheit der von demselben Unternehmen betriebenen ... Anlagen" mindestens 0 % mehr produziert werde, nicht dass dies durch die Bestandskapazität einer Anlage nach [REF] [DATE] geschah. Eine Differenzierung zwischen einer Mehrproduktion durch die Bestandskapazität oder durch die Kapazitätserweiterung könne auch nicht dadurch konstruiert werden, dass lediglich die Bestandskapazität einer erweiterten Anlage als "Gesamtheit der Anlagen" behandelt werde. Die von der Klägerin gerügten Verstöße gegen [REF] lägen nicht vor. Ihr sei zwar einzuräumen, dass bei einer Kapazitätserweiterung nach dem [DATE] gemäß [REF] [DATE] eine kumulative Zuteilung nach [REF] [DATE] für die Bestandsanlage neben einer Zuteilung für die Kapazitätserweiterung möglich sei. In einem solchen Fall liege jedoch hinsichtlich der Bestandskapazität bereits eine Zuteilungsentscheidung vor, auf die sich der Anlagenbetreiber habe einrichten können; außerdem könne ausgeschlossen werden, dass die Mehrproduktion in den Jahren [DATE] und [DATE] auf der Kapazitätserweiterung beruhe. Auch die Ungleichbehandlung von in ihrer Kapazität erweiterten Anlagen, deren Bestandskapazität in der Basisperiode ausgelastet war, gegenüber solchen, bei denen dies nicht der Fall war, sei gerechtfertigt. Zwar sei denkbar, dass letztere faktisch die für die Erweiterung eingeräumte Mehrzuteilung wegen fehlender Zuteilung nach [REF] [DATE] für eine stärkere Auslastung der Bestandskapazität einsetzen müssten; für den Regelfall sei jedoch davon auszugehen, dass eine Anlage, die in der Basisperiode nicht voll ausgelastet war, eine Erweiterung entweder nicht vornehmen oder die Erweiterung nicht in dem Maße ausnutzen müsse, wie dies bei einer in der Basisperiode voll ausgelasteten Anlage zu erwarten sei. Die Beklagte habe der Zuteilung für die Bestandskapazität auch nicht statt des Standardauslastungsfaktors die tatsächliche Produktionsmenge der Kapazitätserweiterung in der Basisperiode zugrunde legen und, weil die Kapazitätserweiterung im gesamten Jahr [DATE] nicht genutzt worden sei, von einer Anrechnung absehen müssen. Das Erfordernis der "anteiligen" Anrechnung beziehe sich auf den Zeitraum von der Inbetriebnahme der Kapazitätserweiterung bis zum Ende der Basisperiode, nicht auf den anteiligen Produktionsumfang der Kapazitätserweiterung. Die Ungleichbehandlung gegenüber Kapazitätserweiterungen, die nach dem [DATE] in Betrieb genommen wurden, sei gerechtfertigt. Derartige Erweiterungen könnten auf die in der Basisperiode verursachten Emissionen keinen Einfluss mehr gehabt haben. Eine ex-post-Korrektur für den Fall einer hinter dem Standardauslastungsfaktor zurückbleibenden Auslastung der Erweiterung habe der Gesetzgeber nicht vornehmen müssen. Die Klägerin hat die vom Verwaltungsgericht zugelassene Sprungrevision eingelegt. Sie rügt eine Verletzung von [REF] [DATE] i.V.m. § 0 Abs. 0 und [REF] [DATE] und macht zur Begründung geltend: Die Bestandskapazität ihrer Anlage sei eine "Anlage nach § 0" im Sinne von [REF] [DATE] . Die Vorschrift verweise mit dieser Bezeichnung auf die Zuteilungsregel, an deren Stelle die Härtefallregelung zur Anwendung kommen solle. Der Gesetzgeber ordne ausdrücklich an, dass Industrieanlagen, für die [REF] [DATE] einschlägig sei, bezogen auf die Bestandskapazität auch Anlagen "nach [REF] [DATE] seien. [REF] [DATE] verlange, dass die Mehrproduktion durch die Anlage nach [REF] [DATE] , also die Bestandsanlage, erzielt werde. Dass [REF] [DATE] bei Anwendung des [REF] [DATE] nicht zur Anwendung komme, sei folgerichtig. Die Anrechnungsnorm solle verhindern, dass Emissionen einer während der Basisperiode betriebenen Kapazitätserweiterung der Bestandskapazität zugerechnet werden und zu einer "Doppelallokation" führen. Bei Anwendung des [REF] [DATE] sei eine solche gesetzessystematisch ausgeschlossen. Für die Zuteilung komme es nicht auf die Emissionen, sondern auf die tatsächlichen Produktionsmengen der Anlage nach [REF] [DATE] in den Jahren [DATE] und [DATE] an. Hierüber müsse der Anlagenbetreiber im Zuteilungsantrag verifizierte Angaben machen. Für die Erweiterungskapazität lägen ebenfalls verifizierte Produktmengenangaben vor; diese seien für die ex-post-Kontrolle nach [REF] erhoben worden. Ausweislich der Gesetzesbegründung verfolge [REF] [DATE] den Zweck, bei Anlagenbetreibern im mittelständischen Bereich Härten durch Unterauslastungen in der Basisperiode auszugleichen. Dieser Gedanke greife auch bei einer Kapazitätserweiterung. Anders als [REF] mache [REF] [DATE] die Zuteilung nicht von einer "besonderen Härte" oder "erheblichen wirtschaftlichen Nachteilen" abhängig. Der faktische Zwang zum Einsatz der Zuteilung für die Kapazitätserweiterung zum Ausgleich der erheblichen Unterauslastung der Bestandskapazität in der Basisperiode stelle zudem eine mit [REF] unvereinbare Ungleichbehandlung dar. Warum eine Anlage mit einer in den Jahren [DATE] bis [DATE] vorgenommenen Erweiterung erheblich schlechter mit Emissionsberechtigungen ausgestattet sein solle als eine Anlage mit einer Kapazitätserweiterung danach, sei nicht ersichtlich. Für die Regelannahme des Verwaltungsgerichts, dass bei nicht ausgelasteter Bestandskapazität in der Basisperiode entweder eine Erweiterung nicht erforderlich sei oder diese nicht in dem Maße wie bei einer voll ausgelasteten Anlage genutzt werde, fehle jegliche empirische Abstützung. Im Übrigen mache das ZuG [DATE] die Zuteilung für eine Kapazitätserweiterung nicht von der Auslastung der Bestandskapazität abhängig. Das Urteil beruhe zudem auf einer fehlerhaften Anwendung des [REF] [DATE] . Das Wort "anteilig" sei auf die Auslastung der Kapazitätserweiterung zu beziehen, nicht auf den Zeitraum ihres Betriebs; anderenfalls habe es keine eigenständige Bedeutung. Für die Ermittlung der in der Vergangenheit erfolgten Emissionen bedürfe es eines Standardauslastungsfaktors nicht; er sei der Zuteilung auf Basis historischer Emissionsmengen systematisch fremd. Bei Anlagen, deren Kapazitätserweiterung nach der Basisperiode in Betrieb gegangen seien, erfolge keine Anrechnung; das sei mit [REF] nicht vereinbar. Die Klägerin beantragt, das Urteil des Verwaltungsgerichts vom [DATE] aufzuheben und die Beklagte unter Abänderung des Bescheides vom [DATE] und des Widerspruchsbescheides vom [DATE] zu verpflichten, der Klägerin zusätzlich zu der bereits erfolgten Zuteilung weitere 0 0 Berechtigungen kostenlos zuzuteilen. Die zulässige Revision ist nicht begründet. Das Verwaltungsgericht hat die Klage ohne Verstoß gegen revisibles Recht abgewiesen. Die Klägerin hat weder nach [REF] a.F. i.V.m. [REF] [DATE] noch nach [REF] [DATE] einen Anspruch auf Zuteilung weiterer Emissionsberechtigungen für die Bestandskapazität ihrer erweiterten Anlage. Die Zuteilung von Emissionsberechtigungen für bestehende Industrieanlagen, deren Kapazität wie hier im Zeitraum vom [DATE] bis [DATE] erweitert worden ist, richtet sich nach [REF] [DATE] . Danach werden auf Antrag Berechtigungen für die gesamte Anlage nach Maßgabe der Sätze 0 bis 0 zugeteilt. Nach Satz 0 der Vorschrift findet bei der Berechnung der Zuteilungsmenge für die Kapazitätserweiterung Absatz 0 entsprechende Anwendung. Nach dessen Satz 0 werden Berechtigungen in einer Anzahl zugeteilt, die dem rechnerischen Produkt aus der Kapazität der Anlage, dem für sie maßgebenden Standardauslastungsfaktor, dem Emissionswert je erzeugter Produkteinheit und der Anzahl der Jahre der Zuteilungsperiode [DATE] bis [DATE] entspricht. Für die Anlage im Übrigen werden nach [REF] [DATE] bei einer Anlage nach § 0 zusätzlich Berechtigungen nach [REF] [DATE] zugeteilt; dabei sind bei einer Kapazitätserweiterung zwischen dem [DATE] und dem [DATE] , also während der Basisperiode , zur Ermittlung der durchschnittlichen jährlichen CO0-Emissionen der Anlage in der Basisperiode die der Kapazitätserweiterung im Zeitraum von der Inbetriebnahme bis zum Ende der Basisperiode nach Maßgabe von [REF] [DATE] anteilig zuzurechnende Emissionsmenge sowie die CO0-Emissionen, die durch die Kapazitätserweiterung bis zu deren Inbetriebnahme entstanden sind , abzuziehen. Das Verwaltungsgericht hat zu Recht angenommen, dass diese Regelung des Zuteilungsanspruchs abschließend ist. [REF] [DATE] findet neben [REF] [DATE] keine Anwendung. Gemäß [REF] [DATE] wird, wenn durch die Gesamtheit der von demselben Unternehmen betriebenen und nach Maßgabe des Anhangs 0 vergleichbaren Anlagen nach den [REF] [DATE] im Durchschnitt der Kalenderjahre [DATE] und [DATE] mindestens 0 % mehr produziert wird als im Durchschnitt der Kalenderjahre [DATE] bis [DATE] , auf Antrag für jede dieser Anlagen abweichend von den [REF] [DATE] eine Anzahl an Berechtigungen zugeteilt, die dem rechnerischen Produkt aus der durchschnittlichen jährlichen Produktionsmenge der Anlage in den Kalenderjahren [DATE] und [DATE] , dem für eine entsprechende Neuanlage nach [REF] [DATE] geltenden Emissionswert je erzeugter Produkteinheit und der Anzahl der Kalenderjahre in der Zuteilungsperiode [DATE] bis [DATE] entspricht. Das vor dem [DATE] in Betrieb genommene Zementklinkerwerk der Klägerin ist eine Anlage nach Anhang 0 Ziffer X des TEHG a.F. und damit eine Anlage nach [REF] [DATE] , allerdings worauf das Verwaltungsgericht zu Recht hingewiesen hat eine solche, bei der zwischen dem [DATE] und dem [DATE] eine Kapazitätserweiterung in Betrieb genommen wurde. In [REF] [DATE] bezeichnet das Gesetz auch solche kapazitätserweiterten Anlagen als "Anlage nach § 0", unterscheidet allerdings für die Zuteilung zwischen der Kapazitätserweiterung und der "Anlage im Übrigen", also der Bestandskapazität. [REF] [DATE] nimmt eine solche Unterscheidung nicht vor. Das spricht dagegen, wie von der Klägerin gefordert auch die Bestandskapazität einer erweiterten Anlage als "Anlage nach § 0" zu qualifizieren. Vor allem aber wäre eine Anwendung von [REF] [DATE] neben [REF] [DATE] unvereinbar mit der Systematik der Zuteilungsregeln. [REF] [DATE] regeln die Zuteilung von Emissionsberechtigungen für die jeweils definierten Gruppen von Anlagen nach je unterschiedlichen Methoden. [REF] [DATE] knüpft für bestehende Industrieanlagen an die Emissionen in einer Basisperiode an, [REF] [DATE] für bestehende Energieanlagen an die Produktionsmenge in einer Basisperiode und einen Emissionswert für bestehende Anlagen. § 0 Abs. 0 und [REF] [DATE] knüpfen für zwischen dem [DATE] und dem [DATE] in Betrieb genommene Industrie oder Energieanlagen bzw. für Neuanlagen an die Kapazität der Anlage, einen Standardauslastungsfaktor und einen Emissionswert für Neuanlagen an. [REF] [DATE] kombiniert für zwischen dem [DATE] und dem [DATE] erweiterte Anlagen die Methoden nach § 0 Abs. 0 und [REF] [DATE] . [REF] [DATE] betrifft den Sonderfall der Betriebseinstellung und ist im vorliegenden Zusammenhang nicht relevant. [REF] [DATE] enthält Modifikationen zu den vorgenannten Zuteilungsregeln für Kuppelgas erzeugende Anlagen. [REF] [DATE] knüpft für bestehende Industrie und Energieanlagen, die in den Jahren [DATE] bis [DATE] unterausgelastet waren, an die Produktionsmenge in den Jahren [DATE] und [DATE] und den Emissionswert für Neuanlagen an. Jede dieser Vorschriften ist, soweit es um die Zuteilungsmethode geht, abschließend. Die Zuteilungsmethoden sind wegen der Unterschiedlichkeit der ihnen zugrunde liegenden Bezugsgrößen ohne eine ausdrückliche Regelung nicht untereinander austausch oder kombinierbar . Eine Kombination der Zuteilung nach § 0 Abs. 0 und [REF] [DATE] sieht das Gesetz nicht vor. Gemäß [REF] [DATE] erfolgt die Zuteilung für bestehende Anlagen mit einer Kapazitätserweiterung in den Jahren [DATE] bis [DATE] nach [REF] [DATE] ; Satz 0 Halbs. 0 dieser Vorschrift verweist für die Bestandskapazität einer solchen Anlage, soweit es um Industrieanlagen geht, auf die Zuteilung nach [REF] [DATE] ; eine Zuteilung nach [REF] [DATE] ist nicht vorgesehen. Um zu vermeiden, dass bei der Zuteilung für die Bestandskapazität nach [REF] [DATE] die durchschnittlichen jährlichen CO0-Emissionen in der Basisperiode durch die Kapazitätserweiterung mit verursacht wurden für die Kapazitätserweiterung werden bereits Berechtigungen nach [REF] [DATE] zugeteilt , sieht das Gesetz zudem vor, dass die der Kapazitätserweiterung zuzurechnenden Emissionen von den gesamten Emissionen der Anlage in der Basisperiode abgezogen werden . Eine entsprechende Anrechnungsvorschrift für den Fall einer Zuteilung nach [REF] [DATE] fehlt. Auch dies zeigt, dass [REF] [DATE] auf kapazitätserweiterte Anlagen im Sinne von [REF] [DATE] nicht angewendet werden soll. Entgegen der Auffassung der Klägerin kann eine Doppelallokation bei Anwendung des [REF] [DATE] allein auf die Bestandskapazität einer kapazitätserweiterten Anlage nicht von vornherein ausgeschlossen werden. Ein Antrag nach [REF] [DATE] setzt zwar verifizierte Angaben zu den tatsächlichen Produktionsmengen in den Jahren [DATE] und [DATE] voraus; die Produktionsmenge kann jedoch nicht gesondert für die Bestandsanlage einerseits und die Kapazitätserweiterung andererseits erfasst werden. Nach Inbetriebnahme der Kapazitätserweiterung kann die Anlage nur noch als geänderte Gesamtanlage produzieren. Für die Produktionsmenge gilt insoweit nichts anderes als für die Emissionen. In Bezug auf die Emissionen ist auch der Gesetzgeber davon ausgegangen, dass für den Zeitraum seit der Kapazitätserweiterung nur noch die Emissionen der Gesamtanlage bekannt sind und dass diese nur rechnerisch auf den Bestandsanlagenteil und die Kapazitätserweiterung aufgeteilt werden können . Die Klägerin stellt diesen Zusammenhang in tatsächlicher Hinsicht nicht in Abrede. Sie hat die Kapazität ihres Zementklinkerwerks u.a. durch Umbauten am Wärmeaustauscherturm des vorhandenen Ofens gesteigert. Seit dem [DATE] betreibt sie die Anlage mit dem geänderten Ofen. Dementsprechend hat sie im Zuteilungsantrag nach [REF] [DATE] für die Jahre [DATE] und [DATE] mit 0 0 t bzw. 0 0 t jeweils die Produktionsmengen der Gesamtanlage angegeben. Sie will jedoch aus dem Umstand, dass sie in beiden Jahren die bereits vor der Erweiterung bestehende Maximalkapazität der Anlage nicht ausgeschöpft hat, ableiten, dass die Produktion allein der Bestandskapazität zuzurechnen und die Kapazitätserweiterung nicht in Anspruch genommen worden sei. Eine solche Zurechnung ist ohne eine entsprechende gesetzliche Grundlage nicht möglich. Die Produktionsmenge konnte technisch nur durch die geänderte Gesamtanlage erzielt werden. Davon ist wie dargelegt auch der Gesetzgeber ausgegangen. Im Übrigen setzt der Begriff der Kapazitätserweiterung eine technische Änderung der Anlage voraus. [REF] [DATE] definiert eine Kapazitätserweiterung als eine Erhöhung der Kapazität aufgrund einer immissionsschutzrechtlich genehmigten Änderung der Anlage. Allein die Erhöhung der rechtlich maximal möglichen Produktion durch eine Änderung der Genehmigungslage genügt hierfür nicht; erforderlich ist eine entsprechende technische Veränderung der Anlage . Ausgehend hiervon hätte der Gesetzgeber, wenn er die von einer geänderten Anlage erzielte Produktionsmenge ungeachtet der technischen Gegebenheiten vorrangig der Bestandskapazität hätte zurechnen wollen, dies ausdrücklich regeln müssen. Die von der Klägerin behauptete Zurechnungsregel kann auch nicht aus den in der ersten Zuteilungsperiode geltenden Vorschriften über die ex-post-Kontrolle der Zuteilungen für Erweiterungen von Kapazitäten bestehender Anlagen abgeleitet werden. Ob nach diesen Vorschriften die tatsächliche Produktionsmenge einer erweiterten Anlage zunächst dem Bestandsanlagenteil zuzurechnen war mit der Folge, dass wenn die tatsächliche Produktionsmenge die vor der Erweiterung zugelassene Maximalkapazität nicht erreichte, die für die Kapazitätserweiterung zugeteilten Berechtigungen zurückzugeben waren, oder ob wie die Beklagte meint auch die ex-post-Kontrolle einheitlich für die gesamte Anlage erfolgte, kann offen bleiben. Denn die damalige Rechtslage lässt Rückschlüsse auf den Zuteilungsanspruch für kapazitätserweiterte Anlagen in der zweiten Handelsperiode nicht zu. Auf eine ex-post-Kontrolle der Zuteilung hat der Gesetzgeber für die zweite Handelsperiode verzichtet. Den Zuteilungsanspruch für kapazitätserweiterte Anlagen hat er neu geregelt. Die frühere Form der getrennten Zuteilung für die alten und neuen Kapazitäten hat er dabei nicht fortsetzen wollen; er hat vielmehr einen einheitlichen Zuteilungsanspruch mit nur noch rechnerischer Aufteilung zwischen der Bestands und der Erweiterungskapazität geschaffen . Eine Doppelallokation kann nur dann von vornherein ausgeschlossen werden, wenn die Kapazitätserweiterung im Jahr [DATE] und damit nach Ablauf der für die Zuteilung nach [REF] [DATE] maßgebenden Kalenderjahre [DATE] und [DATE] in Betrieb genommen wurde. Abgesehen davon, dass ein solcher Fall hier nicht gegeben ist, kann aus dieser besonderen Konstellation nicht geschlossen werden, der Gesetzgeber habe dem Betreiber einer kapazitätserweiterten Anlage eine Zuteilung nach [REF] [DATE] eröffnen wollen, ohne jedenfalls für in den Jahren [DATE] bis [DATE] in Betrieb genommene Kapazitätserweiterungen eine Doppelallokation zu vermeiden. Das ergibt sich entgegen der Auffassung der Klägerin auch nicht aus der Gesetzesbegründung zu [REF] [DATE] . Dort wird zwar dargelegt, dass der Unterschied der Produktionsmengen "über alle Bestandsanlagen hinweg" mehr als 0 % betragen müsse . Der Begriff "Bestandsanlage" wird jedoch nicht in Abgrenzung zu Kapazitätserweiterungen verwendet, sondern um klarzustellen, dass der Zuteilung, obwohl es um bestehende Anlagen geht, der für entsprechende Neuanlagen geltende Emissionswert zugrunde gelegt werden soll. Aus dem allgemeinen Gleichheitssatz ergeben sich je nach Regelungsgegenstand und Differenzierungsmerkmalen unterschiedliche Grenzen für den Gesetzgeber, die vom bloßen Willkürverbot bis zu einer strengen Bindung an Verhältnismäßigkeitserfordernisse reichen. Bei der Ungleichbehandlung von Personengruppen unterliegt der Gesetzgeber regelmäßig einer strengen Bindung. Dies gilt auch, wenn eine Ungleichbehandlung von Sachverhalten mittelbar eine Ungleichbehandlung von Personengruppen bewirkt. In diesem Fall ist im Einzelnen zu prüfen, ob für die vorgesehene Differenzierung Gründe von solcher Art und solchem Gewicht bestehen, dass sie die ungleichen Rechtsfolgen rechtfertigen können. Überdies sind dem Gesetzgeber desto engere Grenzen gesetzt, je stärker sich die Ungleichbehandlung von Personen oder Sachverhalten auf die Ausübung grundrechtlich geschützter Freiheiten auswirken kann . Eine strenge Bindung an Verhältnismäßigkeitserfordernisse besteht hiernach im vorliegenden Fall nicht. Die Zuteilungsregeln knüpfen nicht auch nicht mittelbar an personelle Merkmale an. Ob [REF] [DATE] ausschließlich privilegierend wirkt und der Gesetzgeber damit lediglich dem Willkürverbot unterliegt oder ob [REF] [DATE] , weil er einer Unterausstattung mit Emissionsberechtigungen infolge einer Unterauslastung der Anlage in der Basisperiode entgegenwirken soll, sich auch auf die Ausübung grundrechtlich geschützter Freiheiten auswirken kann und damit eine Verhältnismäßigkeitsprüfung erforderlich ist, kann offen bleiben. Die von der Klägerin gerügten Ungleichbehandlungen sind auch unter Anlegung des Verhältnismäßigkeitsmaßstabs gerechtfertigt. Ungleich behandelt werden innerhalb der Gruppe der kapazitätserweiterten Anlagen solche Anlagen, bei denen die Kapazitätserweiterung wie im Fall der Klägerin in den Jahren [DATE] bis [DATE] in Betrieb genommen wurde, und solche, bei denen dies im Jahr [DATE] oder später geschah. Für die Kapazitätserweiterung werden zwar in beiden Gruppen Emissionsberechtigungen nach den für Neuanlagen geltenden Regeln zugeteilt . Für den Bestandsanlagenteil erhält aber die erste Gruppe, wenn es um eine Industrieanlage geht, Berechtigungen auf der Grundlage der durchschnittlichen jährlichen CO0-Emissionen in der Basisperiode unter Anrechnung der der Kapazitätserweiterung zuzurechnenden Emissionen ; bei der zweiten Gruppe bleibt von der Zuteilung für die Kapazitätserweiterung die Zuteilung für die Anlage im Übrigen unberührt , und zwar auch dann, wenn diese nach [REF] [DATE] erfolgt ist. Für Anlagen, die erst in [DATE] oder später erweitert wurden, lag bei Zuteilung der Berechtigungen für die Kapazitätserweiterung eine Zuteilung für die Bestandsanlage in aller Regel bereits vor; sie war bis zum [DATE] zu beantragen . Diese Zuteilung unberührt zu lassen, drängte sich aus Gründen der Verwaltungspraktikabilität auf. Zudem ist bei Kapazitätserweiterungen nach dem [DATE] von vornherein ausgeschlossen, dass die Mehrproduktion in den Jahren [DATE] und [DATE] , die Voraussetzung und Berechnungsgrundlage für eine Zuteilung nach [REF] [DATE] ist, auf der Kapazitätserweiterung beruht. Bei Anlagen, deren Kapazität bis zum [DATE] erweitert wurde, lässt sich dies wie dargelegt jedoch nicht ausschließen. Bei in [DATE] erweiterten Anlagen kann die Kapazitätserweiterung die Produktionsmenge der Jahre [DATE] und [DATE] vom Probebetrieb abgesehen zwar ebenfalls nicht erhöht haben; für diese Anlagen lag für bei der Zuteilung für die Kapazitätserweiterung eine Zuteilung für den Bestandsanlagenteil in aller Regel aber noch nicht vor. Die dargelegten Unterschiede rechtfertigen die Ungleichbehandlung. Der Gesetzgeber durfte annehmen, dass die Zuteilung für die Bestandskapazität einer in den Jahren [DATE] bis [DATE] kapazitätserweiterten Anlage nach [REF] [DATE] trotz schwacher Auslastung der Anlage in der Basisperiode den Betreiber auch ohne Ausgleich nach [REF] [DATE] nicht unverhältnismäßig belastet. Hat ein Betreiber die Kapazität seiner Anlage noch während der Basisperiode oder in den darauf folgenden Jahren [DATE] und [DATE] erweitert, muss von einer besonderen Härte infolge einer Unterauslastung der Bestandsanlage in der Regel nicht ausgegangen werden. Im Übrigen ließe ein Gleichheitsverstoß, soweit es um Kapazitätserweiterungen in [DATE] geht, die Zuteilungsregeln in [REF] [DATE] unberührt, soweit sie auf Anlagen Anwendung finden, deren Kapazitätserweiterung wie hier in den Jahren [DATE] bis [DATE] in Betrieb genommen wurde; die Regelung wäre insoweit ohne Weiteres teilbar. Eine Ungleichbehandlung von "kapazitätserweiterten Anlagen mit einer erheblichen Unterauslastung im Sinne des [REF] [DATE] " gegenüber kapazitätserweiterten Anlagen, deren Bestandskapazität in der Basisperiode ausgelastet war, kann schon deshalb nicht festgestellt werden, weil die zuerst genannte Gruppe mangels Anwendbarkeit des [REF] [DATE] auf kapazitätserweiterte Anlagen im Sinne des [REF] [DATE] nicht gebildet werden kann. Im Übrigen werden kapazitätserweiterte Anlagen, die in der Basisperiode schwach ausgelastet waren, gegenüber in der Basisperiode voll ausgelasteten Anlagen rechtlich nicht ungleich, sondern gleich behandelt. Beide Gruppen erhalten für die Kapazitätserweiterung unabhängig von deren Auslastung Berechtigungen nach [REF] [DATE] , für die Bestandskapazität nach [REF] [DATE] . In Fällen der ersten Gruppe ist jedoch denkbar, dass eine gesonderte Auslastung des Bestands und der Erweiterungskapazität als möglich unterstellt faktisch die für die Kapazitätserweiterung eingeräumte Mehrzuteilung wegen fehlender Zuteilung nach [REF] für eine stärkere Auslastung der Bestandskapazität eingesetzt werden muss, während dies bei Anlagen, deren Bestandskapazität bereits in der Basisperiode ausgelastet war, nicht der Fall ist. Wie das Verwaltungsgericht zutreffend dargelegt hat , ist jedoch für den Regelfall davon auszugehen, dass eine Anlage, die bereits in der Basisperiode nicht voll ausgelastet war, eine Kapazitätserweiterung entweder gar nicht vornehmen oder aber eine dennoch vorgenommene nicht in dem Maße ausnutzen muss, wie dies bei einer bereits in der Basisperiode voll ausgelasteten Anlage mit einer späteren Kapazitätserweiterung der Fall ist. Eine empirische Abstützung dieser Regelannahme ist nicht erforderlich. Dass bei Anlagen, die in den Jahren [DATE] bis [DATE] im Vergleich zu den beiden Folgejahren unterausgelastet waren, bis zum Ende der ersten Zuteilungsperiode typischerweise kein Anlass bestand, die Kapazität zu erweitern, weil bei steigender Nachfrage zunächst die Bestandskapazität ausgeschöpft werden konnte, liegt auf der Hand. Gleiches gilt für die Annahme, dass eine gleichwohl vorgenommene Kapazitätserweiterung typischerweise nicht in gleichem Maße eingesetzt werden wird wie bei einer bereits in der Basisperiode ausgelasteten Anlage. Die Klägerin selbst beruft sich darauf, die Kapazitätserweiterung in [DATE] und [DATE] nicht in Anspruch genommen zu haben. Dass das ZuG [DATE] die Zuteilung für eine Kapazitätserweiterung wie die Klägerin weiter geltend macht auch in anderen Konstellationen nicht von der Auslastung der Bestandskapazität abhängig macht, trifft zu; das ist allerdings auch bei der Zuteilung für die Kapazitätserweiterung ihrer Anlage nicht geschehen. Sie hat für die Erweiterungskapazität Emissionsberechtigungen erhalten, obwohl bereits die Bestandskapazität nicht ausgelastet war. Nur die Zuteilung für die Bestandsanlage ist auf der Grundlage der durchschnittlichen jährlichen Emissionen in der Basisperiode und damit in Abhängigkeit von der Auslastung der Anlage erfolgt. An die Emissionen in der Basisperiode durfte der Gesetzgeber aber typisierend anknüpfen, ohne für alle Konstellationen von Unterauslastungen einen Ausgleich vorzusehen. Die der Kapazitätserweiterung anteilig zuzurechnende Emissionsmenge, die gemäß [REF] [DATE] von den gesamten CO0-Emissionen der Anlage in der Basisperiode abzuziehen ist, ist nach den normativ vorgegebenen Parametern des [REF] [DATE] , d.h. nach dem Standardauslastungsfaktor und dem Emissionswert, zu bestimmen; die der Kapazitätserweiterung zuzurechnende tatsächliche Emissionsmenge ist nicht maßgebend. Dies hat der Senat für erweiterte Energieanlagen und die nach der entsprechenden Abzugsregel in [REF] [DATE] maßgebende Produktionsmenge in seinem Urteil vom [DATE] BVerwG [REF] bereits entschieden und im Einzelnen begründet. Für erweiterte Industrieanlagen und die gemäß [REF] [DATE] maßgebende Emissionsmenge gilt nichts anderes. Auch das hat das Verwaltungsgericht zu Recht angenommen. Der Abzug nach [REF] [DATE] führt nicht zu einem Verstoß gegen [REF] . Für Anlagen mit nach Ablauf der Basisperiode in Betrieb genommenen Kapazitätserweiterungen ist ein Abzug zwar nicht vorgesehen; er ist aber auch nicht erforderlich, denn die Kapazitätserweiterung kann die für die Zuteilung nach [REF] [DATE] maßgebenden Emissionen in der Basisperiode nicht erhöht haben. Die Klägerin meint, die Vermeidung etwaiger Überausstattungen mit Emissionsberechtigungen könne die Ungleichbehandlung nicht rechtfertigen; Überausstattungen würden auch bei im Jahr [DATE] oder später erweiterten Anlagen hingenommen; das ZuG [DATE] sehe für die Kapazitätserweiterungen dieser Anlagen eine pauschalierend an Standardauslastungsfaktoren ausgerichtete Zuteilung vor und verzichte auf eine ex-post-Korrektur. Dieser Einwand geht fehl. Die Anrechnung nach [REF] [DATE] dient nicht der Korrektur der Zuteilung bei einer vom Standardauslastungsfaktor abweichenden tatsächlichen Auslastung der Anlage, sondern der Vermeidung einer systemwidrigen Überausstattung der Gesamtanlage durch eine doppelte Berücksichtigung der Kapazitätserweiterung, nämlich bei der Zuteilung sowohl nach [REF] [DATE] für die Kapazitätserweiterung selbst als auch, da nur die Emissionen der Gesamtanlage bekannt sind, nach [REF] [DATE] für die Anlage im Übrigen.