Zur Begründung trägt sie vor, der Bebauungsplan der Gemeinde H. könne im immissionsschutzrechtlichen Genehmigungsverfahren nicht angewendet werden, da er gegen Ziele der Raumordnung verstoße und gemäß [REF] angepasst werden müsse. Der REP MD sei ordnungsgemäß aufgestellt worden und inhaltlich wirksam. Er werde auch den aktuellen Anforderungen der Rechtsprechung gerecht. Entscheidend sei, dass der Plangeber erkannt habe, ob es sich bei den Ausschlusskriterien um zwingende Ausschlussgründe oder um solche handele, die er nach einer Abwägung für erforderlich halte. Es sei nicht erforderlich, zunächst die harten Prüfkriterien komplett abzuarbeiten, um sich erst dann den weichen Prüfkriterien zuzuwenden. Nach diesen Grundsätzen sei sie bei der Aufstellung des REP MD verfahren. Sie habe im Rahmen der Begründung dargelegt, ob es sich um nicht der Abwägung zugängliche Ausschlussgründe nach harten Kriterien oder um einen nach einer Abwägung erfolgten Ausschluss handele. Soweit sie von einem zwingenden Ausschlussgrund aufgrund eines harten Kriteriums ausgegangen sei, habe sie den Begriff "Tabuzone" gewählt. Nicht an diesen harten Kriterien scheiternde Flächen seien auf der Grundlage einer entsprechenden Abwägung als Abstandsflächen in die Planung eingegangen. Bei den Kriterien 0 und 0 seien Vorbehaltsgebiete herangezogen worden, die keinen zwingenden Ausschluss beinhalteten, sondern einer Abwägung offen stünden, was sich aus [REF] ergebe. Insoweit sei der Begriff "Tabu" als weiches Kriterium verwandt worden. Sie sei sich dieser Unterscheidung auch bewusst gewesen. Dies ergebe sich aus der Beschlussvorlage RV 0/ [DATE] zum Beschluss der Regionalversammlung vom [DATE] über die Abstandsregelungen von Eignungsgebieten für die Nutzung der Windenergie. Hierin werde sowohl auf rechtliche Belange hingewiesen als auch auf planerische Aspekte . Auch aus der Niederschrift der Sitzung der Regionalversammlung vom [DATE] werde dies deutlich. Bei der am [DATE] beschlossenen Änderung des Kriteriums 0 werde das planerische Element ebenfalls deutlich, wie sich aus dem Protokoll der Sitzung der Regionalversammlung vom [DATE] ergebe. In den Unterlagen sei immer von "Tabuflächen" im Sinne von harten Kriterien und "Abstandsflächen" im Sinne von weichen Kriterien die Rede, soweit nicht die in den Kriterien 0 und 0 benannten Vorbehaltsgebiete betroffen seien, die lediglich weiche Kriterien darstellten. Bei der strikten Trennung der Tabukriterien in harte und weiche und dem schrittweisen Ausscheiden der einzelnen Flächen komme man zu den gleichen Ergebnissen bezüglich der verbleibenden Flächen wie bei der Zusammenfassung der harten und weichen Kriterien und dem Ausscheiden in einem Schritt. Die verbleibenden Suchräume seien identisch. Der Mehrwert des Ausscheidens zuerst der harten und danach der weichen Kriterien könne darin liegen, dass durch dieses Vorgehen ein Vergleich der Fläche des Plangebietes abzüglich der harten Kriterien mit der Fläche der ausgewählten Konzentrationszonen für die Nutzung der Windenergie zur Prüfung, ob die Planung im Ergebnis der Windenergie substantiell Raum verschaffe, möglich werde. Nach der Rechtsprechung des Bundesverwaltungsgerichts lasse sich diese Frage jedoch nicht allein nach diesem Verhältnis bestimmen. Dies sei auch folgerichtig, da die Oberverwaltungsgerichte bei der Einteilung der Kriterien in harte und weiche unterschiedliche Maßstäbe anlegten, was in der Regel dazu führe, dass das zu bildende Verhältnis auf unterschiedlichen Grundlagen beruhe. Der REP MD sei mehrfach vom Senat geprüft und für wirksam angesehen worden. Gegen das Urteil des Senats vom [DATE] [REF] sei Nichtzulassungsbeschwerde eingelegt worden, die mit Beschluss des Bundesverwaltungsgerichts vom [DATE] BVerwG [REF] zurückgewiesen worden sei. Da das Bundesverwaltungsgericht in der vorausgegangenen Rechtsprechung, etwa in dem Beschluss vom [DATE] BVerwG [REF] , bereits die Kriterien der harten und weichen Tabuzonen angeführt habe, sei davon auszugehen, dass der gleiche Maßstab auch bei der Kontrolle des Urteils des Senats zum REP MD angelegt worden sei. Sollte gleichwohl ein Mangel vorliegen, sei dieser nach den Vorschriften zur Planerhaltung unbeachtlich. Sollten die Kriterien für die Tabuzonen fehlerhaft abgearbeitet worden sein, würde es sich um einen Verfahrensmangel bei der Zusammenstellung und Bewertung des Abwägungsmaterials handeln. Ein solcher Verfahrensfehler wäre nach § 0 Abs. 0 Nr. 0 LPlG LSA unbeachtlich, weil er auf das Abwägungsergebnis keinen Einfluss gehabt habe. Zudem würde es sich um Abwägungsmängel handeln, die gemäß § 0 Abs. 0 Nr. 0 LPlG LSA weder offensichtlich noch auf das Abwägungsergebnis von Einfluss gewesen seien. Ein etwaiger Mangel im Abwägungsvorgang sei nicht offensichtlich, da dieser auch vom Senat in seiner bisherigen Rechtsprechung nicht erkannt worden sei. Jedenfalls habe dieser keinen Einfluss auf das Abwägungsergebnis gehabt. Sie habe jede Tabuzone mit einer Abstandsregelung ergänzt. Damit komme zum Ausdruck, dass sie unabhängig von der Einstufung als "harte" oder "weiche" Tabuzone die entsprechenden Flächen in jedem Fall von Windenergieanlagen habe freihalten wollen. Der fehlende Einfluss auf das Abwägungsergebnis werde auch dadurch deutlich, dass sie auf der Grundlage der neuen Konzeption zur Festlegung von Gebieten für die Nutzung der Windenergie im Regionalen Entwicklungsplan für die Planungsregion Magdeburg vom [DATE] / [DATE] die gleichen Gebiete für die Nutzung der Windenergie ausgewiesen habe wie im REP MD. Verfahrensmängel wären im Übrigen gemäß § 0 Abs. 0 LPlG LSA unbeachtlich geworden, da sie nicht innerhalb der Jahresfrist gerügt worden seien. Erstmals mit Schreiben vom [DATE] sei eine Rüge ausgesprochen worden. Der REP MD sei aber bereits [DATE] in Kraft getreten.

Tenor Die Beschwerde der Antragstellerin gegen die Nichtzulassung der Revision in dem Urteil des Oberverwaltungsgerichts des Landes Sachsen-Anhalt vom [DATE] wird zurückgewiesen. Die Antragstellerin trägt die Kosten des Beschwerdeverfahrens. Der Wert des Streitgegenstandes wird für das Beschwerdeverfahren auf 0 0 € festgesetzt. Gründe Die Beschwerde wirft als grundsätzlich klärungsbedürftig die Frage auf, ob ein Raumordnungsplan der Nutzung der Windenergie im Sinne der Rechtsprechung des Bundesverwaltungsgerichts .... in substantieller Weise Raum verschaffen , wenn die darin für die Errichtung von Windenergieanlagen ausgewiesenen Konzentrationsflächen nach ihrer Anzahl und Energiemenge auch mit Blick auf den Bundesdurchschnitt geeignet sind, einen den energiepolitischen Zielsetzungen nicht offensichtlich widersprechenden Beitrag zur Erhöhung des Anteils regenerativer Energien an der Gesamtenergienutzung zu leisten . Die Beschwerde ist der Auffassung, das Oberverwaltungsgericht habe durch das Abstellen auf den Bundesdurchschnitt erstmalig einen allgemeinen Maßstab zugrunde gelegt. Die Grundsatzrüge bleibt ebenso wie die hilfsweise erhobene Divergenzrüge ohne Erfolg. Wie sich aus der von der Beschwerde zitierten Rechtsprechung des Senats ergibt, vermag die Darstellung einer Konzentrationszone die Rechtsfolge des [REF] nur auszulösen, wenn ihr ein schlüssiges Plankonzept zugrunde liegt, das sich auf den gesamten Außenbereich erstreckt . Der Träger der Raumordnungsplanung darf das Instrumentarium, das ihm das Raumordnungsrecht an die Hand gibt, nicht für eine "Verhinderungsplanung" missbrauchen . Wo die Grenze zur Verhinderungsplanung verläuft, lässt sich nicht abstrakt bestimmen. Wann diese Grenze überschritten ist, kann erst nach einer Würdigung der tatsächlichen Verhältnisse im jeweiligen Planungsraum beurteilt werden. Die Entscheidung, anhand welcher Kriterien sich beantworten lässt, ob eine Konzentrationsplanung nach [REF] der Nutzung der Windenergie in substantieller Weise Raum verschafft, obliegt grundsätzlich dem Tatsachengericht. An diesen Grundsätzen hat sich das Oberverwaltungsgericht orientiert: Das Oberverwaltungsgericht hat in seinem zur Begründung in Bezug genommenen Urteil vom [DATE] [REF] zunächst darauf hingewiesen, dass die Frage, wann ein Raumordnungsplan der Nutzung der Windenergie in substantieller Weise Raum verschaffe, in der Rechtsprechung des Bundesverwaltungsgerichts und der Obergerichte bislang nicht abschließend geklärt sei. Insbesondere lasse sich "daraus" kein positiver Wert hinsichtlich eines bestimmten Anteils der Gesamtfläche des jeweiligen Planungsgebietes, der Errichtung einer bestimmten Anzahl von Windkraftanlagen und/oder der Erzielung einer bestimmten Gesamtnennleistung entnehmen. "Stattdessen" sei eine Gesamtbetrachtung angemessen, wonach der Nutzung der Windenergie in substantieller Weise Raum verschafft sei, wenn die ausgewiesenen Konzentrationsflächen nach ihrer Zahl und Größe einen beachtlichen Teil der potentiell für die Windkraftnutzung in Betracht kommenden Fläche ausmachten und mit hinreichender Sicherheit zur Errichtung von Windkraftanlagen führten, die nach ihrer Anzahl und Energiemenge auch mit Blick auf den Bundesdurchschnitt geeignet seien, einen gewichtigen und den allgemein anerkannten energiepolitischen Zielsetzungen nicht offensichtlich widersprechenden Beitrag zur Erhöhung des Anteils regenerativer Energien an der Gesamtenergieerzeugung zu leisten. Entgegen der Auffassung der Beschwerde hat das Oberverwaltungsgericht damit nicht eine Typisierung bzw. Abstraktion des Begriffs vorgenommen und eine von dem jeweiligen Einzelfall losgelöste Antwort auf die Frage gegeben, wann eine Konzentrationsplanung nach [REF] der Nutzung der Windenergie in substantieller Weise Raum verschafft. Insbesondere hat das Oberverwaltungsgericht nicht auf ein verbindliches, abstrakt bestimmtes "Mindestmaß" abgestellt. Es hat die Frage vielmehr aufgrund einer Gesamtbetrachtung geprüft. Dass das Oberverwaltungsgericht sich dabei einer Reihe von Hilfskriterien bedient und unter anderem hinsichtlich der Energiemenge "auch" auf den Bundesdurchschnitt abgestellt hat, bedeutet nicht, dass es seiner Würdigung allgemeingültige Größenordnungen zugrunde gelegt hat. Größenangaben sind, isoliert betrachtet, als Kriterium ungeeignet . Aus der Feststellung, eine Gesamtleistung von ca. 0 Megawatt stelle auch mit Blick auf den Landes und Bundesdurchschnitt einen mehr als beachtlichen Beitrag an der Windenergieerzeugung dar , lässt sich nicht gleichsam im Umkehrschluss der Rechtssatz ableiten, es gebe ein Mindestmaß an Energieleistung, das grundsätzlich nicht unterschritten werden dürfe. Das Oberverwaltungsgericht hat vielmehr an Hand der von ihm herangezogenen Kriterien in einer Gesamtschau Relationen gebildet, deren Aussagekraft auf einer Würdigung der konkreten örtlichen Gegebenheiten im Planungsraum beruhen. Die auf den Gesichtspunkt des Repowering zielende Frage, ob bei der Abwägung mit besonderem Gewicht einzustellen und zu begründen ist, dass bereits genehmigte und errichtete Windenergieanlagen infolge der Planung aus den Konzentrationszonen herausfallen und den Grundstückseigentümern bzw. Betreibern damit die Möglichkeit genommen wird, ältere Anlagen zu ersetzen und gegebenenfalls auch neu anzuordnen , rechtfertigt ebenfalls nicht die Zulassung der Revision. In der Rechtsprechung des Senats ist geklärt, dass vorhandene Windenergieanlagen als Tatsachenmaterial bei der Abwägung zu berücksichtigen sind . Werden Grundstücke mit vorhandenen Windenergieanlagen beim Zuschnitt der Konzentrationsflächen nicht berücksichtigt, sind die Betreiber auf den Bestandsschutz für ihre Anlagen beschränkt. Der Planungsträger hat daher das Interesse der Betreiber, ältere Anlagen durch effizientere neue Anlagen zu ersetzen und diese dabei gegebenenfalls auch neu anzuordnen , in der Abwägung zu berücksichtigen . Die Beschränkung der Nutzungsmöglichkeiten eines Grundstücks muss vom Planungsträger als ein wichtiger Belang privater Eigentümerinteressen in der Abwägung der öffentlichen und der privaten Belange beachtet werden . Bei der Bewertung der privaten und der öffentlichen Belange und der Frage, welchem Belang der Vorzug zu geben ist, ist dem Planungsträger aber ein weiter planerischer Gestaltungsspielraum eingeräumt. Insbesondere ist er nicht dazu verpflichtet, Standorte für die Windenergienutzung dort festzulegen, wo Windkraftanlagen bereits vorhanden sind. Der Gesetzgeber sieht es als berechtigtes öffentliches Anliegen an, die Windenergienutzung zu kanalisieren und Fehlentwicklungen gegenzusteuern. Dieses Ziel ließe sich nicht erreichen, wenn sich die Flächenauswahl nach den Standorten vorhandener Windkraftanlagen zu richten hätte . Die Abwägung kann, muss aber nicht von dem planerischen Willen geleitet sein, bereits vorhandene Windenergieanlagen einen gewissen Vorrang dergestalt einzuräumen, dass diese Flächen wegen ihres Repowering-Potentials nach Möglichkeit erneut als Konzentrationsflächen ausgewiesen werden. Ein wie die Beschwerde es formuliert "gesteigertes" Abwägungs und Begründungserfordernis löst das Repowering-Potential vorhandener Windenergieanlagen nicht aus. Entscheidend ist, dass der Planungsträger die Interessen der Betreiber vorhandener Windenergieanlagen erkennt und angemessen gewichtet. Das hat das Oberverwaltungsgericht bejaht und ausgeführt, die Antragsgegnerin habe die zum Zeitpunkt der Planung vorhandenen Windenergieanlagen erfasst und berücksichtigt und unter Berücksichtigung des vorhandenen Bestandes einen großen Teil der nunmehrigen Konzentrationsflächen gerade im Bereich vorhandener Windparks ausgewiesen . Insofern unterscheidet sich der vorliegende Fall von den von der Beschwerde in Bezug genommenen Fällen, über die das Oberverwaltungsgericht Lüneburg und der Verwaltungsgerichtshof Kassel zu entscheiden hatten. Denn in den dortigen Verfahren waren die Interessen der im Plangebiet bereits vertretenen Windkraftbetreiber vernachlässigt worden bzw. hatte das Interesse an der Beibehaltung des früheren Rechtszustands für die Entscheidung erkennbar keine Rolle gespielt. Die sinngemäße Frage, ob in die Abwägung mit besonderem Gewicht einzustellen ist, dass die Planung im Hinblick auf ausgewiesene Sondergebiete angesichts der Anpassungspflicht gemäß [REF] nach deren Aufhebung zu Entschädigungsansprüchen gegenüber den Gemeinden in entsprechender Anwendung des [REF] führen kann , beruht ebenfalls auf der unzutreffenden Annahme einer hier aus [REF] rechtlich gebotenen "besonderen Gewichtungsvorgabe". [REF] schützt nicht vor raumordnungsrechtlicher Überplanung. Auf die Ausführungen unter 0 kann verwiesen werden. Auch hier gilt, dass der Planungsträger lediglich die Belange der gegebenenfalls anpassungspflichtigen Gemeinden erkennen und gewichten muss. Dazu hat das Oberverwaltungsgericht ausgeführt, die Antragsgegnerin habe die von den betroffenen Gemeinden im Rahmen des Beteiligungsverfahrens vorgebrachten Anregungen und Bedenken im Rahmen ihrer Abwägung berücksichtigt . Die Verfahrensrüge, mit der die Beschwerde mangelnde Sachverhaltsaufklärung geltend macht , führt ebenfalls nicht zur Zulassung der Revision. Die Antragstellerin rügt, trotz Ankündigung seitens des Oberverwaltungsgerichts in der mündlichen Verhandlung sei nicht aufgeklärt worden, ob der Antragsgegnerin die Anzahl der vorhandenen bei der Ausweisung nicht berücksichtigten Windenergieanlagen bekannt gewesen sei. Angesichts der gerichtlichen Ankündigung, dass "der Senat ... diesen Punkt nunmehr aufklären" müsse, habe die Antragstellerin auf die Stellung eines entsprechenden Beweisantrags verzichtet; sie habe nach Kenntnis der unterbliebenen Aufklärung einen Antrag auf Tatbestandsberichtigung gestellt, über den bislang nicht entschieden worden sei. Ein Verstoß gegen die Pflicht des Gerichts zur Sachverhaltsaufklärung von Amts wegen wird mit diesem Vortrag nicht aufgezeigt. Das Oberverwaltungsgericht hat wie sich aus dem Tatbestand des angefochtenen Urteils ergibt den Vortrag der Antragstellerin in ihrem Schriftsatz vom [DATE] zur Anzahl der genehmigten bzw. bestehenden Windenergieanlagen zur Kenntnis genommen. Es ist indes davon ausgegangen, dass die von der Antragstellerin vorgelegten Zahlen darauf beruhten, dass das Planungsgebiet im Jahr [DATE] , also außerhalb des maßgeblichen Planungszeitraums, erheblich erweitert worden sei und seitdem eine Reihe weiterer, zuvor nicht vorhandener Windparks umfasse. Die Antragsgegnerin habe anhand der vorgelegten Verwaltungsvorgänge nachgewiesen, dass sie die zum Zeitpunkt der Planung vorhandenen Windenergieanlagen erfasst und berücksichtigt habe . Das Oberverwaltungsgericht geht damit davon aus, dass die Antragsgegnerin die wie die Beschwerde es formuliert "Feststellungslast" trifft, dass sie aber "anhand der vorgelegten Verwaltungsvorgänge" die von der Antragstellerin geltend gemachten Widersprüche ausgeräumt habe. Die "angekündigte" Aufklärung seitens des Gerichts ist damit nicht wie die Beschwerde geltend macht "überraschender Weise" unterblieben. Denn die Feststellung, dass die Antragsgegnerin die zum Zeitpunkt der Planung vorhandenen Windenergieanlagen erfasst und berücksichtigt habe, beruht ersichtlich darauf, dass das Oberverwaltungsgericht seinerseits die Angaben der Antragsgegnerin anhand der Verwaltungsvorgänge und im Lichte der Einwände der Antragstellerin überprüft und den geltend gemachten Widerspruch als ausgeräumt erachtet hat. Soweit die Antragstellerin zumindest sinngemäß auch eine unzulässige Überraschungsentscheidung rügen wollte, wäre auch damit kein Verfahrensfehler aufgezeigt. Dass die Frage streitig war, ist in der mündlichen Verhandlung erörtertet worden. Welche Folgerungen das Gericht aus den ihm gegenüber abgegebenen Erklärungen und/oder den ihm vorgelegten Unterlagen ziehen will oder möglicherweise ziehen könnte, beruht auf einer Würdigung des Gesamtergebnisses des Verfahrens. Die Würdigung des Gesamtergebnisses des Verfahrens ist indes einer Voraberörterung mit den Beteiligten entzogen; sie ist der Schlussberatung vorbehalten . Auf eben diese Schlussberatung zielt erkennbar der von der Beschwerde angeführte gerichtliche Hinweis, dass "der Senat ... diesen Punkt nunmehr aufklären" müsse. Vor diesem Hintergrund führt auch der Vorwurf der Antragstellerin, sie sei an der Stellung eines Beweisantrags gehindert gewesen, nicht weiter. Die Antragstellerin greift mit der Beschwerde wie auch mit ihrem Antrag auf Tatbestandsberichtigung letztlich nur die tatrichterliche Würdigung an, weil sie der Meinung ist, sie habe substantiiert nachgewiesen, dass der zum Zeitpunkt der Planung vorhandene Bestand nicht erfasst und berücksichtigt worden sei, hält dem Oberverwaltungsgericht also vor, ihre Ausführungen nicht so gewürdigt zu haben, wie sie es für geboten hält. Sie zeigt jedoch nicht auf, dass sich dem Oberverwaltungsgericht auf der Grundlage der Verwaltungsvorgänge eine weitere Sachverhaltsaufklärung hätte aufdrängen müssen. Etwaige Fehler in der Sachverhalts und Beweiswürdigung sind revisionsrechtlich regelmäßig nicht dem Verfahrensrecht, sondern dem materiellen Recht zuzuordnen und können deswegen einen Verfahrensmangel im Sinne von [REF] nicht begründen. Eine Fallgestaltung, die eine abweichende Beurteilung zulassen würde, wird von der Beschwerde nicht dargelegt.