Nach der Rechtsprechung des Bundesgerichtshofs verwirkt der Insolvenzverwalter seinen Anspruch auf Vergütung entsprechend dem der Regelung in [REF] zugrunde liegenden allgemeinen Rechtsgedanken, wenn er vorsätzlich oder grob leichtfertig die ihm obliegende Treuepflicht so schwerwiegend verletzt, dass er sich seines Lohnes als "unwürdig" erweist . Da der Insolvenzverwalter einen gemäß [REF] verfassungsrechtlich gewährleisteten Anspruch auf Vergütung seiner Tätigkeit hat, kommt ein Ausschluss der Vergütung bei Berücksichtigung des Verhältnismäßigkeitsgrundsatzes allerdings nur in eng begrenzten Ausnahmefällen in Betracht . Es genügt nicht jede objektiv erhebliche Pflichtverletzung. Die Versagung jeglicher Vergütung kommt vielmehr nur bei einer schweren, subjektiv in hohem Maße vorwerfbaren Verletzung der Treuepflicht in Betracht. Ein solcher Fall liegt insbesondere dann vor, wenn der Insolvenzverwalter besonders schwerwiegende Pflichtverletzungen in Form von Straftaten zum Nachteil der Masse begangen hat .

Tenor Die Revision des Klägers gegen das Schlussurteil des 0. Zivilsenats des Oberlandesgerichts Braunschweig vom [DATE] wird zurückgewiesen. Auf die Revision des Beklagten wird das vorbezeichnete Urteil aufgehoben. Die Berufung des Klägers gegen das Urteil der 0. Zivilkammer des Landgerichts Göttingen wird zurückgewiesen, soweit nicht durch das Teilurteil des 0. Zivilsenats des Oberlandesgerichts Braunschweig vom [DATE] über sie entschieden worden ist. Die Kosten des Berufungs und des Revisionsverfahrens werden dem Kläger auferlegt. Von Rechts wegen Tatbestand Der Kläger war in zwei Insolvenzverfahren zum Insolvenzverwalter bestellt. Er nimmt das beklagte Land unter dem Gesichtspunkt der Amtspflichtverletzung auf Schadensersatz in Anspruch, nachdem das zuständige Insolvenzgericht die Genehmigung zur Entnahme von Vorschüssen verweigert hat. Der Kläger war Verwalter in dem am [DATE] eröffneten Insolvenzverfahren über das Vermögen der B. GmbH . Am [DATE] zeigte er Masseunzulänglichkeit an. Mit Schreiben vom [DATE] beantragte er einen Vorschuss von 0 € zuzüglich Umsatzsteuer. Mit Beschluss vom [DATE] lehnte das Insolvenzgericht Rechtspfleger den Antrag ab. In der Begründung wurde auf den Bericht eines am [DATE] eingesetzten Sonderinsolvenzverwalters Bezug genommen, in welchem Ansprüche der Masse gegen den Kläger in nicht unerheblichem Umfang beschrieben würden. Außerdem seien zwischenzeitlich die Berechnungen der Teilungsmassen vorgelegt worden, nicht jedoch die Belege. Gegen diesen Beschluss legte der Verwalter am [DATE] ein als "Beschwerde" bezeichnetes Rechtsmittel ein. Mit Beschluss vom [DATE] wies der zuständige Insolvenzrichter die Erinnerung zurück. Der Sonderinsolvenzverwalter habe in einem Prüfbericht vom [DATE] festgestellt, dass der Masse Ansprüche gegen den Kläger in einer den beantragten Vorschuss um ein Vielfaches übersteigenden Höhe zustünden. Bei dieser Sachlage könne ein Vorschuss nicht verlangt werden. Der Kläger war außerdem Verwalter in dem am [DATE] eröffneten Insolvenzverfahren über das Vermögen der D. GmbH & Co. KG . Mit Beschluss vom [DATE] bewilligte das Insolvenzgericht einen Vorschuss auf die Vergütung in Höhe von 0 € und gestattete dem Kläger dessen Entnahme aus der Masse. Am [DATE] beantragte der Kläger, für den Zeitraum vom [DATE] bis [DATE] einen Auslagenvorschuss von 0 € zuzüglich Umsatzsteuer festzusetzen und ihm zu gestatten, diesen der Masse zu entnehmen. Unter dem [DATE] beantragte der Kläger einen Auslagenvorschuss in Höhe von nunmehr 0 € zuzüglich Umsatzsteuer. Mit Beschluss vom [DATE] bewilligte das Insolvenzgericht Rechtspflegerin einen Vorschuss auf die Auslagen für die Zeit vom [DATE] bis zum [DATE] in Höhe von 0 € zuzüglich Umsatzsteuer, gestattete dem Kläger jedoch nicht, den Vorschuss der Masse zu entnehmen. In der Begründung heißt es, Auslagen könnten nur bis zu demjenigen Zeitpunkt verlangt werden, zu dem das Verfahren bei ordnungsgemäßer Verwaltung abgeschlossen worden wäre. Wegen nach wie vor fehlender Rechnungslegung könne dieser Zeitpunkt nicht festgestellt werden, was zu Lasten des Verwalters gehe. Eine Entnahme komme nicht in Betracht, solange der Verwalter nicht ordnungsgemäß Rechnung lege und sich den Maßnahmen des Insolvenzgerichts gemäß [REF] entziehe. Überdies habe der Sonderinsolvenzverwalter im Prüfungsbericht vom [DATE] aus einem die S. G. betreffenden Vorgang Schadensersatzansprüche gegen den Verwalter hergeleitet, so dass ein Zurückbehaltungsrecht bestehe. Der Kläger legte Beschwerde gegen diesen Beschluss ein. Mit Beschluss vom [DATE] wies der Insolvenzrichter die als Erinnerung zu wertende Beschwerde des Klägers unter Bezugnahme auf die Gründe des Beschlusses vom [DATE] im Insolvenzverfahren 0 und wegen fehlender Rechnungslegung zurück. Der Kläger hat das beklagte Land zunächst wegen eines anderen Vorgangs im Zusammenhang mit dem Insolvenzverfahren über das Vermögen der D. GmbH & Co. KG auf Schadensersatz und Schmerzensgeld in Anspruch genommen; diese Ansprüche sind durch rechtskräftiges Teilurteil beschieden worden. Mit Schriftsatz vom [DATE] , zugestellt am [DATE] , hat er beantragt, das beklagte Land zur Zahlung von 0 € nebst Zinsen zu verurteilen, weil im Insolvenzverfahren über das Vermögen der B. GmbH der beantragte Vorschuss nicht festgesetzt worden sei. Mit Schriftsatz vom [DATE] , zugestellt am [DATE] , hat er die Klage wegen des Auslagenvorschusses im Insolvenzverfahren über das Vermögen der D. GmbH & Co. KG um weitere 0 € erweitert. Das Landgericht hat die Klage abgewiesen. Auf die Berufung des Klägers hat das Berufungsgericht festgestellt, dass das beklagte Land verpflichtet sei, dem Kläger den Schaden zu ersetzen, der dadurch entstehe, dass das Amtsgericht den Antrag vom [DATE] sowie die Anträge vom [DATE] und vom [DATE] zurückgewiesen habe; die Zahlungsanträge hat es unter Zurückweisung der weitergehenden Berufung als derzeit unbegründet abgewiesen. Es hat die Revision zur Klärung der Frage zugelassen, unter welchen Voraussetzungen Amtshaftungsansprüche des Insolvenzverwalters bestünden, der von einer schuldhaften Verzögerung oder Versagung eines beantragten Kostenvorschusses betroffen sei. Beide Parteien haben Revision eingelegt. Der Kläger will die Verurteilung des beklagten Landes nach den vorrangig gestellten Zahlungsanträgen erreichen, während das beklagte Land die Wiederherstellung des klagabweisenden Urteils des Landgerichts erstrebt. Entscheidungsgründe Die Revision des Klägers bleibt ohne Erfolg. Die Revision des beklagten Landes führt zur Aufhebung des angefochtenen Urteils und zur Abweisung der Klage, soweit über diese noch nicht durch das rechtskräftige Teilurteil vom [DATE] entschieden worden ist. Soweit das Berufungsgericht die Zahlungsanträge als derzeit unbegründet abgewiesen hat, hat es ausgeführt: Die geltend gemachten Zahlungsansprüche bestünden noch nicht, weil dem Kläger nach wie vor insolvenzrechtliche Vergütungsansprüche zustünden, er die Höhe seiner auf Amtshaftung beruhenden Schadensersatzansprüche daher noch nicht beziffern könne. Die Ablehnung der Bewilligung eines Vorschusses habe keinen Einfluss auf den Vergütungsanspruch, der fortbestehe. Der Kläger könne nicht zwischen dem Vergütungs und dem Schadensersatzanspruch wählen. Schadensersatz könne er vielmehr erst dann verlangen, wenn feststehe, in welcher Höhe er seinen Vergütungsanspruch habe durchsetzen können. Einen Verspätungsschaden habe der Kläger nicht dargelegt. II. Der Schaden, den der Kläger geltend macht, liegt in der Nichterfüllung seiner Ansprüche auf Vorschuss auf seine Vergütungs und Auslagenerstattungsansprüche in den Verfahren 0 und 0. Der Insolvenzverwalter hat gemäß [REF] Anspruch auf Vergütung für seine Geschäftsführung und auf Erstattung angemessener Auslagen. Die Vergütung und die Auslagen werden auf Antrag des Insolvenzverwalters vom Insolvenzgericht festgesetzt . Der Vergütungsanspruch entsteht jedoch schon mit der Tätigkeit des Verwalters, nicht erst mit der Festsetzung durch das Insolvenzgericht . Nach § 0 InsVV kann der Verwalter aus der Insolvenzmasse einen Vorschuss auf die Vergütung und die Auslagen entnehmen, wenn das Insolvenzgericht zustimmt. Die Zustimmung soll erteilt werden, wenn das Insolvenzverfahren länger als sechs Monate dauert oder wenn besonders hohe Auslagen erforderlich werden. Dadurch soll das Ausfallrisiko des Verwalters ausgeschaltet oder jedenfalls verringert werden . Nach Ansicht des Verordnungsgebers ist es außerdem insbesondere Berufsanfängern nicht zumutbar, länger als ein halbes Jahr auf ihre Vergütung zu warten und dabei noch die Auslagen aus eigenen Mitteln aufzubringen . Allerdings liegt der Fall hier anders als diejenigen Fälle, welche den vom Berufungsgericht herangezogenen Urteilen des Bundesgerichtshofs zugrunde lagen. Seinerzeit richtete sich der amtspflichtwidrig nicht erfüllte Anspruch gegen denselben Anspruchsgegner, ein Land, wie der sodann gerichtlich geltend gemachte Amtshaftungsanspruch. Der Bundesgerichtshof hat die genannten Urteile unter anderem mit der Überlegung begründet, dass die Zuständigkeit des Verwaltungsgerichts für die Entscheidung über den nicht erfüllten Primäranspruch nicht durch die Amtshaftungsklage vor den ordentlichen Gerichten umgangen werden könne. Der Vorschussanspruch richtete sich nicht gegen das beklagte Land. Er wäre vielmehr, hätte das Insolvenzgericht der Entnahme eines Vorschusses aus der Masse zugestimmt, aus der Insolvenzmasse zu befriedigen gewesen. Die Zuständigkeit des Insolvenzgerichts wird hier nicht "umgangen". Der Kläger hat vielmehr den in der Insolvenzordnung und im Rechtspflegergesetz vorgesehenen Weg beschritten, nämlich eine Entscheidung des Insolvenzgerichts beantragt und gegen die ablehnenden Entscheidungen Erinnerung eingelegt. Zutreffend ist jedoch die weitere Überlegung des Berufungsgerichts, dass dem Kläger als Gläubiger des Vergütungs ebenso wie des Vorschussanspruchs kein Wahlrecht zwischen dem Primär und dem Sekundäranspruch zusteht. Die Beschlüsse, mit denen das Insolvenzgericht die Zustimmung zur Entnahme eines Vorschusses auf die Vergütung im Insolvenzverfahren 0 und auf die Auslagen im Insolvenzverfahren 0 abgelehnt hat, ließen die Ansprüche des Klägers auf Vergütung und Auslagenerstattung in den jeweiligen Verfahren unberührt. Die Verweigerung der Bewilligung eines Vorschusses hat nur vorläufige Bedeutung. Sie bedeutet nicht, dass dem Verwalter kein Vergütungsanspruch zusteht , und hindert ihn auch nicht, nach Ablauf weiterer sechs Monate oder mit neuer Begründung erneut einen Vorschuss auf die Vergütung und den Anspruch auf Auslagenerstattung zu beantragen. Ein Schaden kann allerdings dadurch entstanden sein, dass dem Kläger als Folge der ablehnenden Beschlüsse liquide Mittel vorenthalten worden sind. In Betracht kommen insbesondere Zinsschäden zur Finanzierung von Vorhaltekosten. Einen solchen Schaden hat der Kläger, wie die Revision nicht in Zweifel zieht, in den Tatsacheninstanzen nicht dargelegt. Einen erstattungsfähigen Ausfallschaden hat das Berufungsgericht weder im Verfahren 0 noch im Verfahren 0 feststellen können. Der Kläger beanstandet zwar, dass er hinsichtlich des Verfahrens 0 einen unzureichenden, seinen Vergütungsanspruch nicht mehr deckenden Massebestand dargelegt und unter Beweis gestellt habe. Diesem Vortrag brauchte das Berufungsgericht jedoch nicht nachzugehen. Ob der Kläger mit seinem Vergütungsanspruch ganz oder teilweise ausfallen wird, lässt sich erst dann feststellen, wenn die Höhe des Vergütungsanspruchs des Klägers feststeht. Diese ist im hierfür vorgeschriebenen Verfahren nach [REF] zu ermitteln. In einem Zivilprozess gleich welchen Gegenstandes kann die Höhe der Vergütung nicht bindend festgelegt werden. Das hat der Senat für den Fall des Rückforderungsanspruchs des Sonderverwalters gegen den Sequester entschieden . Im Rahmen eines Amtshaftungsanspruchs eines Insolvenzverwalters gegen die Anstellungskörperschaft des zuständigen Insolvenzgerichts kann nichts anderes gelten; denn auch an diesem Rechtsstreit sind der Schuldner und die Insolvenzgläubiger nicht beteiligt, die im Verfahren über die Festsetzung der Vergütung zu beteiligen und gemäß [REF] beschwerdeberechtigt sind. Das Berufungsgericht hat ausgeführt: Die Beschlüsse des Amtsgerichts Göttingen vom [DATE] und vom [DATE] sowie vom [DATE] und vom [DATE] seien schuldhaft amtspflichtwidrig gewesen. Das Gericht habe die Zustimmung zur Entnahme eines Vorschusses objektiv unvertretbar verweigert. Der Anspruch aus § 0 InsVV müsse unverzüglich erfüllt werden. Das Gericht habe jedoch deutlich verzögert über die Anträge des Klägers entschieden. Ob diese Anträge den Anforderungen des § 0 InsVV genügt hätten, könne offenbleiben. Die Zustimmung zur Entnahme habe nicht mit dem Hinweis auf eine verzögerte oder vernachlässigte Abwicklungstätigkeit abgelehnt werden dürfen; denn bei der Verwaltervergütung handele es sich um eine reine Tätigkeitsvergütung. Eine Versagung der Vergütung komme nur ausnahmsweise bei gewichtigen vorsätzlichen oder zumindest leichtfertigen Pflichtverstößen in Betracht. Solche habe das Amtsgericht nicht festgestellt. Der Verweis auf den Prüfbericht des Sonderinsolvenzverwalters reiche insoweit nicht aus. Eine Aufrechnungslage habe nicht bestanden; zudem sei eine Aufrechnung im Vergütungs oder Kostenfestsetzungsverfahren unzulässig. Ein Zurückbehaltungsrecht scheitere ebenfalls am Fehlen einer fälligen Gegenforderung. II. Diese Ausführungen halten einer rechtlichen Überprüfung nicht stand. Die vom Kläger beanstandeten Beschlüsse des Insolvenzgerichts stellen keine schuldhaften Amtspflichtverletzungen im Sinne von [REF] dar. Verletzt ein Beamter vorsätzlich oder fahrlässig die ihm einem Dritten gegenüber obliegende Amtspflicht, so hat er gemäß [REF] dem Dritten den daraus entstehenden Schaden zu ersetzen. Richter und Rechtspfleger können "Beamte" im haftungsrechtlichen Sinne sein. Schuldhaft ist ein Handeln, welches objektiv pflichtwidrig und subjektiv vorwerfbar ist. Ob diese Voraussetzungen erfüllt sind, hat das Regressgericht eigenständig zu beurteilen. Für richterliche Amtspflichtverletzungen bei der Rechtsanwendung und Gesetzesauslegung außerhalb des Anwendungsbereichs des [REF] ist allerdings der Verfassungsgrundsatz der richterlichen Unabhängigkeit zu beachten. Ein Schuldvorwurf kann dem Richter nur bei besonders groben Pflichtverstößen gemacht werden. Inhaltlich läuft dies auf eine Haftung nur für Vorsatz und grobe Fahrlässigkeit hinaus. Richterliche Maßnahmen und Entscheidungen außerhalb des Anwendungsbereichs des [REF] werden nicht auf ihre Richtigkeit, sondern nur auf ihre Vertretbarkeit überprüft . Der Rechtspfleger ist kein Richter im Sinne des Verfassungsrechts . Gemäß [REF] ist er jedoch in seiner Amtsausübung in gleicher Weise sachlich unabhängig und nur an Recht und Gesetz gebunden. Die an ihn im Rahmen seiner Zuständigkeit bei der Rechtsanwendung und Gesetzesauslegung anzulegenden Sorgfaltsmaßstäbe müssen diesem Umstand Rechnung tragen. Ein rechtswidriges und schuldhaftes Handeln des Rechtspflegers kann deshalb ebenfalls nur bejaht werden, wenn die seiner Entscheidung zugrunde gelegte Rechtsansicht objektiv nicht mehr vertretbar erscheint . Der Beschluss des Insolvenzgerichts vom [DATE] in der Fassung der Erinnerungsentscheidung vom [DATE] im Verfahren 0 erfüllt die genannten Haftungsvoraussetzungen nicht. Der Rechtspfleger hat den Antrag auf Festsetzung eines Vorschusses zum einen deshalb zurückgewiesen, weil der Kläger ihm zwar die Berechnung der Teilungsmassen für drei Niederlassungen der Schuldnerin beigefügt habe, nicht jedoch die Belege hierzu. Der Rechtspfleger durfte die Zustimmung zur Entnahme eines Vorschusses von der nachvollziehbaren Berechnung der Teilungsmasse und der Vorlage von Belegen, die dieser Berechnung zugrunde lagen, abhängig machen. Der Vorschrift des § 0 InsVV lässt sich nicht unmittelbar entnehmen, welche Angaben ein Vorschussantrag des Verwalters enthalten muss. Sinn der Vorschrift des § 0 InsVV ist es jedoch, nach Ablauf eines halben Jahres mindestens die vom Verwalter bis dahin erbrachten Tätigkeiten zu vergüten. Die zu erwartende Berechnungsgrundlage ist deshalb grundsätzlich § 0 InsVV zu entnehmen , also nach dem Wert der Masse zu ermitteln, auf die sich voraussichtlich die Schlussrechnung beziehen wird . Wenn der Verwalter keinen weitergehenden Antrag stellt, kann der Vorschuss auch auf der Grundlage desjenigen Betrages berechnet werden, den der Verwalter bis zur Antragstellung bereits realisiert hat . Der Rechtspfleger, der gemäß § 0 Nr. 0 lit. e, [REF] im eröffneten Verfahren über die Zustimmung zur Entnahme eines Vorschusses zu entscheiden hat, ist zur Prüfung des Antrags nicht nur berechtigt, sondern auch verpflichtet. Welche Unterlagen er sich vorlegen lässt, steht in seinem pflichtgemäßen Ermessen. Nach dem festgestellten Sachverhalt, insbesondere nach der im Tatbestand des Berufungsurteils wiedergegebenen Korrespondenz zwischen dem Insolvenzgericht und dem Kläger, hat der Rechtspfleger sein hiernach bestehendes Ermessen nicht in objektiv unvertretbarer Weise ausgeübt. Der Kläger scheint den Vorschuss nach der im Zeitpunkt der Antragstellung vorhandenen Masse berechnet zu haben. In einem an das Insolvenzgericht gerichteten Schreiben vom [DATE] hat er eingeräumt, dass die Berechnung der Teilungsmassen ohne die Belege nicht nachvollziehbar sei, und erklärt, dass er bereit sei, etwa 0 Ordner mit Belegen einzureichen. Die Ermittlung der Teilungsmassen der drei Niederlassungen, auf die sich der Antrag sowie das Schreiben vom [DATE] bezieht, befindet sich nicht bei den Akten. Darlegungs und beweispflichtig für das Vorliegen einer Amtspflichtverletzung ist der Kläger. Das Berufungsgericht hat gemeint, auf die formellen Mängel des Antrags komme es nicht an, weil dieser jedenfalls zu spät beschieden worden sei. Diese Überlegung ist unverständlich. Die Ablehnung des unvollständigen Antrags kann unabhängig vom Zeitpunkt der Entscheidung über ihn keinen erstattungsfähigen Schaden bewirkt haben. Dem Rechtspfleger kann insoweit auch kein Verfahrensfehler vorgeworfen werden. Er hat dem Kläger bereits mit Schreiben vom [DATE] seine Bedenken mitgeteilt und ihm Gelegenheit gegeben, die fehlenden Belege nachzureichen. Zum anderen hat das Insolvenzgericht die Zustimmung zur Entnahme eines Vorschusses wegen Mängeln der Abwicklungstätigkeit und wegen möglicher Schadensersatzforderungen der Masse gegen den Kläger verweigert. Der Bundesgerichtshof hat bereits entschieden, unter welchen Voraussetzungen ein an sich begründeter Vergütungsanspruch eines Insolvenzverwalters entsprechend dem Rechtsgedanken des [REF] verwirkt sein kann. Die Tätigkeit des Insolvenzverwalters wird insbesondere dann nicht vergütet, wenn dieser besonders schwerwiegende schuldhafte Pflichtverletzungen in Form von Straftaten zum Nachteil der Masse begangen hat. Vergütungsansprüche sind auch dann ausgeschlossen, wenn der Verwalter seine Bestellung in strafbarer Weise erschleicht und damit im eigenen wirtschaftlichen Interesse eine Gefährdung der erfolgreichen Abwicklung des Insolvenzverfahrens in Kauf nimmt . Diese Rechtsprechung trifft den vorliegenden Fall nicht. Einerseits wurden dem Kläger keine Straftaten zum Nachteil der Masse und kein Fehlverhalten im Zusammenhang mit seiner Bestellung zum Verwalter vorgeworfen; andererseits wurde ihm nicht jegliche Vergütung aberkannt, sondern nur die Zustimmung zur Entnahme eines Vorschusses verweigert. Der Bundesgerichtshof hat ferner bereits entschieden, dass im Verfahren über die Festsetzung der Verwaltervergütung eine Aufrechnung mit streitigen Gegenforderungen nicht statthaft ist ; denn der insoweit zuständige Rechtspfleger ist nicht befugt, über eine nach Grund und Höhe streitige Gegenforderung zu entscheiden. Auch diese Rechtsprechung ist hier nicht einschlägig. Das Insolvenzgericht hat nicht die Aufrechnung mit den streitigen Schadensersatzansprüchen der Masse gegen den Kläger erklärt, sondern die Zustimmung zur Entnahme eines Vorschusses abgelehnt, um die Möglichkeit einer Aufrechnung mit Ansprüchen der Masse gegen die noch festzusetzende endgültige Vergütung offen zu halten. Das Insolvenzgericht hat keine endgültige, sondern nur eine vorläufige Entscheidung über die Vergütung des Klägers getroffen. Unter welchen Voraussetzungen die Zustimmung zur Entnahme eines Vorschusses verweigert werden darf, ist in der Insolvenzrechtlichen Vergütungsverordnung, insbesondere in § 0 InsVV nicht geregelt und ist höchstrichterlich noch nicht geklärt. Nach Auffassung des Amtsgerichts Göttingen darf die Zustimmung verweigert werden, wenn der Verwalter die Abwicklung vernachlässigt oder verzögert hat oder wenn der Vorschuss außer Verhältnis zur bisherigen Abwicklungstätigkeit steht. Ähnliche Formulierungen finden sich etwa bei FK-InsO/Lorenz, 0. Aufl., Anh. V, § 0 InsVV Rn. 0, bei BK-InsO/Blersch, [DATE] , § 0 InsVV Rn. 0 und bei Haarmeyer/Mock, InsVV, 0. Aufl., § 0 Rn. 0. Das Berufungsgericht hat diese Rechtsansicht für unvertretbar gehalten, weil die Vergütung des Insolvenzverwalters eine Tätigkeitsvergütung darstelle und der Einwand mangelhafter Leistungen oder fehlender Erfolge daher ausgeschlossen sei. Richtig daran ist, dass eine Tätigkeitsvergütung grundsätzlich nicht gemindert werden kann . Ob trotz bis dahin unzureichender Pflichterfüllung ein Vorschuss auf die spätere Vergütung verlangt werden kann, ist damit jedoch nicht gesagt. Die Zustimmung zur Entnahme eines Vorschusses ist Teil der Aufsicht, welche das Insolvenzgericht gemäß [REF] über den Verwalter auszuüben hat . Es gibt Kommentierungen, in denen es als "zweifelhaft" bezeichnet wird, ob das Insolvenzgericht wegen Mängeln der Abwicklung oder wegen der Befürchtung, dass der Verwalter nach Entnahme des Vorschusses seine Tätigkeit einstellen werde, die Zustimmung verweigern dürfe, weil das Gericht mit Mitteln der Aufsicht reagieren könne . Hier ist jedoch nicht zu entscheiden, ob die Verweigerung der Zustimmung wegen der nach Ansicht des Insolvenzgerichts unzulänglichen Arbeit des klagenden Insolvenzverwalters rechtmäßig war. Es geht nur um die Frage, ob die entsprechende Rechtsansicht des Insolvenzgerichts im Beschluss vom [DATE] objektiv unvertretbar erscheint. Das war im Hinblick auf die offene Rechtslage, die fehlende höchstrichterliche Klärung der Frage und die unterschiedlichen Ansichten der Kommentarliteratur nicht der Fall. Soweit das Insolvenzgericht auf die vom Sonderinsolvenzverwalter ermittelten Ansprüche der Masse gegen den Kläger verwiesen und hierauf eine Art von "Zurückbehaltungsrecht" in Bezug auf die Zustimmung zur Entnahme eines Vorschusses gestützt hat, lässt sich schließlich ebenfalls nicht von einer objektiv unvertretbaren Rechtsansicht sprechen. Die Vorschrift des [REF] , welche das zivilrechtliche Zurückbehaltungsrecht regelt, kann zwar nicht unmittelbar, sondern allenfalls ihrem Rechtsgedanken nach Anwendung finden. Bestanden jedoch Erstattungs und Schadensersatzansprüche der Masse gegen den Kläger, lagen die tatbestandlichen Voraussetzungen des Zurückbehaltungsrechts vor, mochten diese Ansprüche auch streitig sein. Auch hier ist zu beachten, dass es nicht um die Vergütung des Klägers als solche, sondern nur um einen Vorschuss auf die möglicherweise bereits verdiente, aber mangels endgültiger Festsetzung durch das Insolvenzgericht noch nicht fällige Vergütung ging. Die Funktionen eines Vorschusses die Vermeidung allzu hoher Vorleistungen und der Schutz des Verwalters vor einem Ausfall wegen Masseunzulänglichkeit können dann, wenn der Masse Gegenansprüche in die Vergütung des Verwalters übersteigender Höhe zustehen, nicht zum Tragen kommen. Der Verwalter verdient in einem solchen Fall nicht den Schutz, den die Vorschrift des § 0 InsVV bieten will. Eine andere Frage ist, unter welchen tatsächlichen Voraussetzungen das Insolvenzgericht gegenüber dem auf § 0 InsVV gestützten Antrag eines Verwalters von einem Zurückbehaltungsrecht, welches erheblich in dessen durch [REF] geschützten Rechte eingreift , Gebrauch machen darf. Objektiv unvertretbar wäre die Verweigerung der Zustimmung gewesen, wenn das Gericht sich auf bloße Vermutungen gestützt hätte, die weder tatsächlich noch rechtlich hinreichend unterlegt waren. Davon kann nach dem revisionsrechtlich zugrunde zu legenden Sachverhalt jedoch nicht ausgegangen werden. Das Insolvenzgericht hat auf einen Prüfbericht des Sonderinsolvenzverwalters vom [DATE] Bezug genommen. Dieser Bericht wurde in den Tatsacheninstanzen nicht vorgelegt, so dass der Senat nicht beurteilen kann, ob die genannten Voraussetzungen erfüllt waren. Darlegungs und beweispflichtig für die tatsächlichen Voraussetzungen eines Anspruchs aus [REF] ist der Kläger als Anspruchsteller. Der Kläger durfte sich nicht darauf beschränken zu bestreiten, dass Ansprüche gegen ihn bestanden, sondern musste auch diejenigen Tatsachen darlegen und erforderlichenfalls unter Beweis stellen, aufgrund derer die gegenteilige Ansicht des Insolvenzgerichts als objektiv unvertretbar angesehen werden muss. Der Beschluss des Insolvenzgerichts vom [DATE] in der Fassung der Erinnerungsentscheidung vom [DATE] im Verfahren 0 stellt ebenfalls keine objektiv unvertretbare Rechtsanwendung dar. Das Insolvenzgericht hat den Antrag auf Auslagenvorschuss für den Zeitraum vom [DATE] bis zum [DATE] für unbegründet gehalten, weil das Verfahren bei ordnungsgemäßer Verwaltung bis Ende [DATE] hätte abgeschlossen werden können. Davon sei auszugehen, weil der Verwalter nicht ordnungsgemäß Rechnung gelegt habe. Seine mit Schreiben vom [DATE] eingereichte Rechnungslegung habe nur aus einer Einnahmen und Ausgabenliste bestanden. Auf die Beanstandungen, welche das Insolvenzgericht daraufhin ausgesprochen habe, habe er nicht hinreichend reagiert. Der rechtliche Ansatz des Insolvenzgerichts steht im Einklang mit der Rechtsprechung des Bundesgerichtshofs, nach welcher der Auslagenpauschsatz nach § 0 Abs. 0 InsVV nur bis zu demjenigen Zeitpunkt verlangt werden kann, zu dem bei ordnungsgemäßer Durchführung des Verfahrens die insolvenzrechtlich erforderliche Tätigkeit des Verwalters abgeschlossen worden wäre . Auch hier stellt sich zusätzlich die Frage einer unrichtigen, objektiv nicht mehr vertretbaren Anwendung dieses in der höchstrichterlichen Rechtsprechung entwickelten Grundsatzes auf den zu entscheidenden Fall. Der für die tatsächlichen Voraussetzungen eines Anspruchs aus [REF] darlegungs und beweispflichtige Kläger hat in den Tatsacheninstanzen hierzu jedoch nur vorgetragen, ein zur Masse gehörendes Betriebsgrundstück habe erst im Jahr [DATE] veräußert werden können; das habe das Insolvenzgericht "genau gewusst". Damit ist eine objektiv unvertretbare Rechtsanwendung nicht dargetan. Aus dem Beschluss vom [DATE] ergibt sich hinreichend deutlich, dass das Insolvenzgericht Auskünfte verlangt hat, die der Kläger nicht erteilt hat. Der Kläger kann sich nunmehr nicht darauf zurückziehen, das Insolvenzgericht hätte gemäß [REF] selbst den Sachstand ermitteln müssen, um beurteilen zu können, ob das Verfahren abschlussreif war oder nicht. Nach [REF] kann das Insolvenzgericht im Rahmen seiner Aufsicht über den Insolvenzverwalter von diesem jederzeit Auskünfte oder einen Bericht über den Sachstand und die Geschäftsführung verlangen. Die allgemeine Vorschrift des [REF] ist nicht geeignet, die speziell die Aufsicht des Insolvenzgerichts über die Amtsführung des Verwalters betreffende Vorschrift des [REF] zu verdrängen. Jedenfalls war es nicht offensichtlich sachfremd, dass das Insolvenzgericht von eigenen, die unzureichende Berichterstattung des Klägers ersetzenden Ermittlungen abgesehen hat und im Rahmen der Festsetzung eines Vorschusses vorläufig davon ausgegangen ist, dass das Verfahren bereits im [DATE] hätte abgeschlossen werden können. Die Zustimmung zur Entnahme des für den Zeitraum vom [DATE] bis zum [DATE] festgesetzten Vorschuss hat das Insolvenzgericht verweigert, weil der Kläger seit Jahren nicht ordnungsgemäß Rechnung gelegt und die Beanstandungen, welche das Insolvenzgericht ausgesprochen habe, nicht behoben habe; zudem liege ein Bericht des Sonderinsolvenzverwalters vom [DATE] vor, nach welchem Schadensersatzansprüche gegen den Kläger bestünden. Entgegen der Ansicht des Berufungsgerichts war es nicht objektiv unvertretbar, die Zustimmung zur Entnahme eines Vorschusses auf die Auslagen im Hinblick auf die im Beschluss bezeichneten Mängel der Verwaltungstätigkeit zu verweigern. Auf die obigen Ausführungen wird Bezug genommen. Dass er ordnungsgemäß Rechnung gelegt und die Nachfragen des Insolvenzgerichts beantwortet habe, hat der Kläger selbst nicht behauptet. Gleiches gilt hinsichtlich der Frage eines aus dem Rechtsgedanken des [REF] hergeleiteten Zurückbehaltungsrechts. Auch hier hat der Kläger den in Bezug genommenen Bericht des Sonderinsolvenzverwalters nicht vorgelegt. Vorgelegt hat er Urteile des Landgerichts Göttingen vom [DATE] und des Oberlandesgerichts Braunschweig vom [DATE] , die eine Klage des Sonderinsolvenzverwalters gegen den Kläger auf Rückzahlung von 0 € nebst Zinsen betreffen. Dabei ging es um Entnahmen, welche der Kläger am [DATE] , [DATE] , [DATE] , [DATE] und [DATE] getätigt und damit gerechtfertigt hat, dass ihm mit Beschluss vom [DATE] die Entnahme eines Vorschusses von 0 € gestattet worden sei. Der Sonderinsolvenzverwalter verlor in beiden Instanzen, weil er nicht nachweisen konnte, dass es sich nicht um den im Jahre [DATE] genehmigten Vorschuss handelte; mit dem Einwand, den Kläger treffe eine sekundäre Darlegungslast, weil er keinerlei Rechnung gelegt und alle Unterlagen einbehalten habe, drang er nicht durch. Der Kläger hat weiterhin einen Beschluss des Landgerichts Göttingen vom [DATE] vorgelegt, mit dem ein Antrag des Sonderinsolvenzverwalters auf Prozesskostenhilfe für eine Klage gegen den Kläger und andere auf Zahlung von 0 € abgelehnt worden ist. Der Kläger soll danach den Erlös aus der Verwertung des Warenbestandes an bestimmte Gläubiger ausgekehrt haben, obwohl die von diesen geltend gemachte Absonderungsrechte nicht bestanden. Diese Unterlagen zeigen zwar, dass der Sonderinsolvenzverwalter die behaupteten Ansprüche der Masse gegen den Kläger nicht durchsetzen konnte, lassen jedoch nicht den Schluss darauf zu, dass das Insolvenzgericht seinerzeit nicht vom Bestand entsprechender Ansprüche hätte ausgehen dürfen. III. Das angefochtene Urteil kann damit keinen Bestand haben. Es ist aufzuheben . Da die Aufhebung des Urteils nur wegen Rechtsverletzung bei Anwendung des Rechts auf das festgestellte Sachverhältnis erfolgt und nach letzterem die Sache zur Endentscheidung reif ist, hat der Senat in der Sache selbst zu entscheiden . Das die Klage abweisende Urteil des Landgerichts wird wieder hergestellt, soweit die Sache nicht durch das Teilurteil des Berufungsgerichts vom [DATE] entschieden worden ist. Die Kostenentscheidung ergeht nach § 0 Abs. 0, [REF] . Kayser Vill Lohmann Fischer Pape