新后，原幕府直辖领大部分在1869年（明治2年）3月21日（旧历2月9日）划入，同年4月西部划入。1871年8月29日（旧历7月14日）领部分划入川越县。同年12月25日（旧历11月14日）全域划进，1873年6月15日再改为，最后1876年8月21日埼玉县成立。1881年（明治14年）上新井村的本宿与久米村的金山併入，所泽村升格所泽町。1889年（明治22年）4月1日施行町村制，为入间郡所泽町。1911年（明治44年），陆军在现在的并木地区一带设立，是日本「航空发祥地」。1927年（昭和2年），为