体病弱不适合长途旅行为由，改由胞弟和气清麻吕代替。得到真正神託旨意的结果令觊觎皇位的弓削道镜震怒，下令和气清麻吕改名成「别部秽麻吕（わけべのけがれまろ）」并流放大隅国（今鹿儿岛县东部），法均则被迫还俗、改名成「别部广虫卖（わけべのひろむしめ）」并流放至备后国（今广岛县东部）。宝龟元年（770年）获得平反，重叙从五位下。宝龟5年（774年）与胞弟清麻吕一起获赐朝臣之姓，延历4年（785年）获叙从四位上，延历18年（799年）卒，天长2年（825年）追赠正三位。在藤原仲麻吕伏诛时，连坐当斩者数百人，和气广虫