1368年）晋宁路改置为平阳府，同年末（1369年）冀宁路改置为太原府；二年（1369年）大同路改置为大同府，潞州、泽州、沁州、辽州分别升为潞州直隶州、泽州直隶州、沁州直隶州、辽州直隶州；同年山西行中书省成立，治所为太原府，辖太原府、平阳府、大同府、辽州直隶州、沁州直隶州、泽州直隶州、潞州直隶州；九年（1376年）汾州升为汾州直隶州；同年山西行省改置为山西承宣布政使司；嘉靖八年（1529年）潞州直隶州升为潞安府；万历二十三年（1595年）汾州直隶州升为汾州府；清雍正六年（1728年）泽州直隶州升泽州府。