父薛衍，东汉末年期间任职东海相。薛齐祖父薛兰于195年（东汉兴平二年）战死后，薛齐父薛永（字茂长）便跟随刘备，薛永并随刘备攻打刘璋。蜀汉后主即位之后过了一段时间薛永才升任蜀郡太守，薛永死后薛齐继任其父之位。263年（蜀汉景耀六年、曹魏景元四年），司马昭派邓艾与钟会等平蜀后，薛齐与家族5,000户一同降魏，并被封为光禄大夫，之后薛家又迁徙河东，世称「蜀薛」。
北魏太和年间分定姓族.太和二十年（496年）正月，北魏大臣们商议河东薛氏为河东郡繁盛的家族，魏孝文帝说：“薛氏是蜀人，怎么可