异可以完全归咎于各种铀核素相对原子质量的差异。其他所有的氟化铀将产生固态的配位聚合物。气相扩散法所需用的能量大约是气体离心法的60倍。尽管如此，其中仅仅有4%的能量被用于制取浓缩铀。除此之外，捷克发展了一种循环使用核燃料的方法：用旧的氧化物核燃料与氟气反应生成各种氟化物的混合物，再用分馏分离各种组分。
储存.目前大约95%的贫化铀都以六氟化铀的形式被置于气体钢瓶中，储存在核工厂的附近。每个钢瓶大约含有12.7吨的固体六氟化铀。仅在美国，1993年至2005年期间，就有6