微机电系统应用的一个知名实例是在苹果公司的行动通讯设备中，该公司较新的手机使用了MEMS振盪器代替以往的石英晶体振盪器产生时脉讯号，但由于氦原子会渗入MEMS积体电路的封装内，改变了MEMS振盪电路的工作情况，因此使氦气影响了iPhone、Apple Watch和iPad等设备的使用，以致用户处于不知觉氦气洩漏环境的时候手机失效，直到离开氦气洩漏环境一段时间，氦气原子消散后才恢复，此事经媒体报导后广为人知。
历史.微型机械的概念在相应的加工技术出现之前就被提出了。1959年，理