系统是指系统从原水至超纯水完整产生之生产系统。那一般超纯水系统是经由多重过泸，离子交换，除气，逆渗透，紫外线，超泸，奈米泸，离子吸附过泸所产生超纯水。
应用.超纯水主要使用在晶圆洗净，将经过蚀刻之晶圆进行洗净，去除晶圆表面残留氢氟酸等溶液。