历二十一年（1593年）刻印工程移至浙江余杭县的径山兴圣万寿禅寺和寂照庵内继续校刻。万历三十一年（1603年），真可被陷害入狱而死，德清流放到南海。刻经之事在陆光祖、冯梦桢、袁了凡等人的赞助下，分别在嘉兴、吴江、金坛、虞山等地照径山版的格式分担刻印。直到崇祯年间仍进度缓慢，直到清朝康熙十五年（1676年）嘉兴楞严寺完工，由嘉兴楞严寺集中经版印刷流通。统一收贮于径山寂照庵和化城寺，因而得名《径山藏》，而请印接洽及装订发售则在嘉兴楞严寺。康熙年间，将全部板片移于楞严寺与装订发售一并进行，世称《嘉兴藏》或称《楞严