十六年（1521年），临济寺又进行了重修，当时，寺内的主要建筑有山门、大雄宝殿、澄灵塔、祖堂、僧房。并新立石碑，由王饼撰记，郭希愈书。至明末清初，寺院再度荒废。
清.清朝雍正帝封临济寺僧义玄为“真常惠幽禅师”，并拨银重修临济寺。道光十年（1830年），总兵舒通阿出资再度重修，并将祖师殿移至大雄宝殿两侧。
民国.抗日战争时期，临济寺除澄灵塔外，尚有祖堂三间，东配殿三间。1947年底，这些殿堂都被拆毁，仅存澄灵塔。
1949年后.中国