北朝时，初为北朝北魏地。永熙三年（534年），北魏分裂为东、西魏后，属东魏渔阳郡潞县地。东魏武定八年、北齐天保元年（550年）后，为北齐渔阳郡地。隋时，属涿郡潞县地。唐武德二年（619年），析幽州置玄州，同时析玄州潞县东部地区置临泃县（以县治濒临泃河得名）。贞观元年（627年）废玄州，并入幽州。撤临泃县，复入潞县。开元四年（716年），再析幽州潞县东部置三河县。开元十八年（730年），改隶于蓟州。五代十国初，三河属于后梁。干化元年（911年），刘守光僭称燕帝，三河属燕国蓟州。后唐同光元年（923