种化学、生物分析功能于单一小型晶片上，处理非常微小液量（不到数皮升, picoliter）的技术，有时又称微型全分析系统（Micro Total Analysis Systems, µTAS）。典型制造法是使用微机电系统技术制出微小尺度的渠道，致动器，传感器等。