(5) 5/6微米（1970年代初期至中期）→ (6) 3/3.5微米（1970年代末期）→ (7) 2/2.5微米（1980年代初期）→ (8) 1.3/1.5微米（1980年代中期）→ (9) 1/1.2微米（1980年代末期）→ (10)0.75/0.8微米（1980年代末期至1990年代初期）→ (11) 0.65/0.7微米（1990年代初期）→ (12) 0.5/0.6 微米（1990年代初期至中期）→ (13) 0.28/0.35微米（1990年代中期至末期）→ (14) 0.24/0.25