la_4 内，反射波与入射波干涉，在介面附近形成驻波，而极小部分的能量会渗入光疏介质 formula_5 ，电磁场会透出一段距离并沿着介面传播此即为渐逝波。渐逝波的强度是随着与介面传播的距离成指数衰减的关系，透出一小段距离 formula_6 称为穿透深度dp（depth of penetration），其定义为当穿透之光波强度减弱至原光波强度的三分之一(1/e=36.8%)时的距离。formula_7採用受抑全内反射的方法可以探测该渐逝波的衰减程度，因此其可用来测量两表面间的距离，进而得知上下