击原子中的电子，使被撞击电子脱离原本的原子能阶，而该层出现空位时会造成高能阶电子往下递补，此时损失的能量将转换成特性辐射。像是电子捕获在内层垫子被捕获之后，外层垫子填补内层时也会发生。
医疗用途.以乳房摄影为主。因此摄影使用底片和萤幕组合，为了提高乳房摄影的对比，故使用钼制的撞击靶以产生17至19keV的K辐射，同时加上钼泸片以减少制动辐射的能谱。