氯硅烷是一种活泼的化合物，化学式为SiHCl。虽然氯硅烷的名称中有“烷”字，但化合物本身并不含碳，因此它是无机物。
制备.氯硅烷可由硅烷和氯化氢在三氯化铝催化剂的存在下反应制备：四氯化硅和甲醛的反应也可以得到氯硅烷：
化学性质.氯硅烷的化学性质活泼，可以发生一系列的化学反应。
水解反应.氯硅烷在水中可以发生水解：水解产生的SiHOH会发生分子间缩合，得到乙硅氧烷，而不会形成Si＝O双键：
重排反应.和其他卤代