挥发性，一些金属六氟化物有了应用。 六氟化铀 可以用于生产浓缩铀，它可以应用于核反应堆。 也可以用于核燃料再处理。 六氟化钨 可用于半导体 的化学气相沉积生产中。
六氟化物阴离子.很多元素形成六氟化物阴离子。 其中包括着名的六氟磷酸盐(PF) 和六氟硅酸盐 (SiF)。很多过渡金属也行成六氟化物阴离子。 一级六氟化物阴离子(MF)一般由对应的六氟化物被还原而成。 举个例子，PtF 可以由 O还原 PtF 而成。 由于氟离子的强碱性和对氧化的抗拒性，氟离子配体可以稳定一些金属难