易分解生成HF和SiF。HSiF是氟磷灰石与氢氟酸反应的副产物，反应生成的HF与硅酸盐矿物反应：氟硅酸溶液中含有六氟合硅酸根离子（SiF），为八面体结构，Si-F键长1.71Å。
用途.HSiF在美国用于饮水氟化。有机合成中，HSiF被用于切断硅醚中的Si-O键。它比同用途的HF反应性更强，与叔丁基二甲基硅基（TBDMS）醚的反应比和三异丙基硅基（TIPS）醚的反应更快。
安全.氟硅酸的危险与氢氟酸的类似，而且纯的氟硅酸具有腐蚀性。