子辐射的机制包括：带电粒子（电子、介子、质子、α粒子、重HZE离子等等）可以通过粒子加速器产生。离子辐照广泛应用于半导体工业，一种称为离子植入的掺杂。粒子加速器还可以产生微中子束，中子束大多由核反应炉产生。有许多方法可以可以产生电磁波辐射，取决于波长（见电磁频谱）。