1952年至文革结束前，清华大学没有专门的物理系，仅有物理教研组教授与工科相关的物理基础课程。1956年建立的工程物理系建立了几个与物理有关的专业，如理论物理专业、核物理专业、材料专业等，中国科学院院士李惕碚、柳百新、沈文庆、顾秉林、朱邦芬等人都是工程物理系文革前培养的学生。文革后，清华大学工程物理系理论物理、固体物理、核物理等专业开始招收本科学生和研究生，清华大学物理教研组也开始招收研究生。清华大学于1982年6月24日决定在物理教研组和工程物理系理论物理、固体物理、核物理教研组的基础上，恢复物理系