F键键长为158 pm，水平面的P−F键键长为152 pm。PCl的轴向键键长及水平面键键长分别是214 pm及202 pm。在PFCl中，二个氯原子都会在水平面位置上，表示氟原子的（占轴向位置的倾向）较强，比较容易佔据轴向位置。一般而言亲顶性会随电负性而增加，也会随π电子吸收能力而增加，例如Cl < F < CN的例子。两个因素都会降低接近中心原子处的键合区的电子密度，因此轴向位置的拥挤对这些原子影响不大。
有孤电子对时的相关构型.VSEPR理论也有预测一个孤电子对取代配体时