子燕山君继位后，尊仁粹大妃为大王大妃。燕山君十年三月，燕山君杀害成宗后宫严氏、郑氏后，至祖母寝殿兴师问罪，言语不逊。由于当时仁粹大妃已重病在床，在气愤及受到惊吓的情况之下更是一病不起。一个月后，即四月二十七日，病逝于昌庆宫景春殿，享年六十八岁（虚岁），葬敬陵。上谥号「昭惠」，加徽号「徽肃明懿」，全称「仁粹徽肃明懿昭惠王后」。