晋高平金乡（今山西高平）人。为郗超从弟郗俭之子，郗超无子，以僧施为嗣。郗僧施继承爵位，南昌公。弱冠时，与王绥、桓胤齐名。累居要职，后做宣城郡内史，入补丹杨尹。刘毅镇守江陵的时候，僧施为南蛮校尉、假节。此时刘裕怀疑刘毅有二心，假诏赐死刘毅，并派兵诛之。义熙八年（412年），刘毅兵败自杀，僧施同被诛，爵位也被废。