°C，熔点 −122 °C。 它没有颜色。 二氟硅烷的硅-氟键长度为 1.358 Å ，大于一氟硅烷但小于三氟硅烷。
反应.在放电情况下，它们的一个氢原子会脱离，形成 SiHFSiHF 和氢气。在高温下，二氟硅烷会歧化成一氟硅烷和三氟硅烷。
用处.二氟硅烷用于牙科清漆中，以防止蛀牙。 二氟硅烷也用于化学气相沉积中，以沉积氮化硅膜。