族元素的含氧酸（盐）所衍生出。但周期表中，第三至第七族的许多元素皆能生成过氧酸或过氧酸盐，包括硼、铀；碳、锗、锡、钛、锆、铪；氮、磷、砷、钒、铌、钽；硫、硒、碲、铬、钼、钨；锰等。无机过氧酸（盐）的一些例子有：除过二硫酸外，大多数的过氧酸皆可由过氧化氢与相应的正酸（或酸酐或其盐）作用而制得。所有过氧酸或过氧酸盐用稀硫酸进行酸化时都能放出过氧化氢。一个检验过氧酸及其盐的方法是 Riesenfeld 反应，即用碳酸氢钠把30％碘化钾溶液的 pH 值调到 7.5～8，然后加入待测试液。若试液含有过氧酸