子的B峰与代表 2p 电子的A峰的强度之比总是会有1：2的关系。在XPS中，不同峰的强度还可以用来定量分析对应化学态的出现程度。右图中硅的氧化态对应的峰（C峰、D峰和E峰）中，E峰最为明显，表明 SiO 是此样品中的硅的最常见的氧化态。除此之外，碳原子也常常在XPS中被选作研究对象。若将碳原子所处的不同化学态按照在它们光电子能谱中呈现的峰所处的能量从低到高排列，则有以下顺序（目标原子已经以粗体标出）：碳化物（-C）< 硅酮（-Si-CH）< 亚甲基/甲基/烃（-CH-CH-、CH-CH- 或 -CH