氧半场效电晶体等元件越做越小，这些变异所佔的比例就可能大幅提升，进而影响电路设计者所预期的效能，这样的变异让电路设计者的工作变得更为困难。
金氧半场效电晶体的闸极材料.理论上金氧半场效电晶体的闸极应该尽可能选择电性良好的导体，多晶硅在经过重掺杂之后的导电性可以用在金氧半场效电晶体的闸极上，但是并非完美的选择。目前金氧半场效电晶体使用多晶硅作为的理由如下：不过多晶硅虽然在过去20年是制造金氧半场效电晶体闸极的标准，但也有若干缺点使得未来仍然有部份金氧半场效电晶体可能使用金属闸极，