于蚀刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。
环境影响.六氟乙烷是一种造成温室效应的气体。它非常稳定，可以长时间停留在大气层中，是一种非常强大的温室气体。它在大气中的寿命约为10,000年，全球暖化潜势是9,200（二氧化碳的系数是1）。它在大气层的浓度是 3 pptv（在1750年时是 0 pptv）。然而，六氟乙烷在红外线光谱下有强大的吸收势。它的辐射驱动力是0.001 W/m²。它的臭氧破坏潜势