及其波长.准分子激光的波长取决于所用的气体，一般处于紫外光波段。
应用.目前准分子激光已广泛应用在临床医学以及科学研究与工业应用方面，如：钻孔、标记表面处理、激光化学气相沉积、物理气相沉积、磁头与光学镜片、硅晶圆的清洁、微机电系统相关的微制造技术等等。准分子激光于90年代始在医学上得到运用，主要有：