放电和微空心放电等。
稀有气体激基缔合物的生成.首先是激发态物质的形成，通常有如下三种途径：当等离子体介质中积累了足够浓度的激发态物质时，激基缔合物便可以通过如下反应式生成：由这个三原子反应式可以看出，激基缔合物生成速率与Rg*浓度成正比，与Rg（M）浓度的平方成正比，因此提高体系中稀有气体浓度（常通过加压实现）可以提高得到激基缔合物反应的速率。但是过高的稀有气体浓度也会导致发生无辐射猝灭反应，即激基缔合物没有释放所欲得到的紫外光，便在与普通稀有气体原子的碰撞中发生衰变