役中，于前往九州的途中在安艺国病死，于是迎娶哥哥的正室足利氏姬，并继承足利氏后裔喜连川氏。庆长5年（1600年），虽然在关原之战中没有出阵，不过因为在战后向德川家康派遣祝贺战胜的使者，于是加增1千石，并成立。喜连川藩的知行地虽然只有5千石，但是创建江户幕府的家康仍然重视作为名族的足利氏，于是受到与10万石大名同等的待遇。