(9) 1/1.2微米（1980年代末期）→ (10) 0.75/0.8微米（1980年代末期至1990年代初期）→ (11) 0.65/0.7微米（1990年代初期）→ (12) 0.5/0.6 微米（1990年代初期至中期）→ (13)0.28/0.35微米（1990年代中期至末期）→ (14) 0.24/0.25微米（1990年代末期）→ (15) 0.18/0.22微米（1990年代末期至2000年代初期）→ (16) 0.13/0.15微米（2000年代初期）→ (17) 90/110纳米（2