管（LED）中常用的磷光体。 蓝色发光二极管里的磷光体则是锶掺杂的原硅酸钡。原硅酸钡是真空管中的主要原因。 
有机化学.尽管原硅酸盐在无机化合物和地球化学里广泛存在，不过原硅酸酯却很少。有两个很重要的原硅酸酯可用于有机合成：四乙氧基硅烷，简称"TEOS"，用于连接聚合物，在制造气凝胶中尤其重要。，简称"TMOS"，可以用作TEOS的替代品，也可以用作试剂。TEOS的用处比TMOS更广泛，因为TMOS分解是会产生大量有毒的甲醇。吸入TMOS可能导致二氧化硅在肺部积聚，形成硅肺病。