电振动源推动转子的马达，此为史上第一个超音波马达。然而由于磨耗和温升的问题，此马达并无实际的商业应用。第一个具有商业应用的超音波马达发展于西元1982年，由日本的指田年生(Toshiiku Sashida)提出，此马达改良摩耗上的问题，且首先应用于照相机的自动对焦系统，此为目前使用超音波马达最多的领域。
分类（依工作原理）.压电马达可分为半静态马达与超音波马达两种，它们皆以压电元件作动，而半静态马达并不是以振动的方式推动动子。由于主题为超音波马达，下面将只针对超音波马达的作动方