164 (EV5)作为处理器，具有8到2176个处理单元（PE）。每个处理单元具有64 MB到2 GB的DRAM和一个具有六个方向的、每个方向的有效带宽为480 MB/s的路由单元。T3E不同于其它的很多MPP系统，比如T3D等，它使用了完全自主的分布式操作系统UNICOS/mk和一个集成到torus网络中的 "GigaRing"I/O子系统，用以连接网络、磁盘和磁带I/O。最早的T3E（型号为T3E-600）主频为300 MHz。更新的版本使用更快的21164A (EV56)处理器，型号为 T3E-9