生署等单位派员到爆炸现场以协助救灾与处理。行政院方面，也指派政务委员陈锦煌前往爆炸现场了解事发状况。下午1时50分，新竹县长林光华进驻到爆炸现场进行救灾指挥调度。由于化工厂爆炸时，所产生的气体是有致癌风险的丙烯腈，因此新竹县政府紧急通告爆炸现场附近的学校、工厂进行疏散或紧闭门窗。然而，因爆炸现场温度过高，消防人员无法轻易靠近现场，因此新竹县消防局长林祥钦，立即请求新竹市消防局、新竹科学园区紧急应变小组、联华电子紧急应变小组、台北县、桃园县、苗栗县等地的消防队伍支援救灾。下午2时26分，联华电子消防队