出知三县.数年后，卫旣齐方诣京师补官。圣祖命其以对品外放，授直隶顺天府霸州州判。康熙十八年（1679年）任固安县知县，历永清、平谷知县，所至皆有惠政。得到直隶巡抚于成龙疏荐。适逢既齐因母丧去官，继而又遭父丧。一日，圣祖向九卿谘问既齐之事，众人皆称其贤，于是命复授其检讨之职。
连番擢升.康熙二十七年（1688年），旣齐服阕，重诣京师补官。圣祖知其讲学向负清望，破格擢为山东布政使。旣齐感激，愈发奋勉清廉，令各地府县输款封还平余，又建历山书院，清理庶狱。