tch和iPad等设备的使用，以致用户处于不知觉氦气洩漏环境的时候手机失效，直到离开氦气洩漏环境一段时间，氦气原子消散后才恢复，此事经媒体报导后广为人知。
历史.微型机械的概念在相应的加工技术出现之前就被提出了。1959年，理查德·费曼在加州理工学院进行题为《》的演讲。费曼在演讲中提出了在原子尺度上操纵物质的可能性以及将面临的挑战。1964年，西屋公司的一支团队制造出了第一批微机电设备。这种设备名叫谐振栅极晶体管（）
简介.微机电系统是微米大小的机械系统