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有机蒸气相沉积.用有机蒸气沉积的方法被证明比在真实中热蒸镀制备有机薄膜能更好地控制膜的结构和形貌，这是一个在惰性气流中蒸发有机物到基底的过程，通过改变气流的速度和源的温度来控制膜的形貌。减小气流的压强可以增加气流的速度和平均自由程从而减小边界厚度得到均一的膜。这样得到的器件也不会被蒸发炉中的其他物质所污染，因为蒸发炉内壁很热，有机分子无法附着在上面成膜。