升德阳县置德州。至元十三年（1276年）德州复改德阳县。至元二十年（1283年）省铜山县入中江县，属潼川府。元末明玉珍大夏政权复置雒县。明洪武四年（1371年）复省雒县入汉州。洪武十年（1377年）省什邡县入绵竹县。洪武十三年（1380年）复置什邡县。清顺治十六年（1659年）并罗江县入德阳县。雍正五年（1727年）复置罗江县。干隆三十五年（1770年）省罗江县入绵州，并移绵州治至。嘉庆六年（1801年）绵州还旧治，复置罗江县。民国二年（1913年）裁府州留县，改汉州为广汉县，与德阳、绵竹、罗江、什邡等