水族箱中使用蒸馏水以避免所有不可挥发的污染物。除此以外，水的杂质对一些精度要求高的仪器设备的可靠性有决定性作用。例如在医疗设备中，稳定气道正压（CPAP）仪使用蒸馏水对唿吸气体湿度进行调节。蒸馏水不会在稳定气道正压仪的加湿器中留下水垢。早期的波音707喷气发动机在高海拔高温气候下，使用蒸馏水增大空气密度，辅助飞机起飞。