方向性强、波长纯度高、输出功率大的脉冲激光，光子能量波长范围为157－353纳米，脉冲时间为几十纳秒，属于紫外光。最常见的波长有157 nm、193 nm、248 nm、308 nm、351-353 nm。
术语.准分子是一种半衰期非常短暂的分子状态，由同种原子或者异种原子组合而成。其中一种原子的价电子层必须是全满的（比如稀有气体）。如果两种原子都处于基态，它们是不能形成化学键的。但如果价电子全满的那个原子处于激发态，它们之间就能够暂时形成化学键。尽管这种化学键的寿命往往非常短，只