继承战争不久后爆发的天花中存活了下来。由于埃丽莎贝塔的继父叔叔法兰西斯科·法尔内塞与他的弟弟法尔内塞家族末代帕尔马公爵安东尼奥·法尔内塞皆没有子嗣，埃丽莎贝塔成为了帕尔马公国的唯一继承者。因为这个身份，有许多的贵族前来提亲，这些人包括萨伏依的维托里奥·阿梅迪奥、摩德纳王储法兰西斯科三世·埃斯特以及皮科·德拉·米兰多拉王子（Pico della Mirandola），但他们最终都没有成功。1714年9月16日，埃丽莎贝塔在帕尔马经由嫁给了费利佩五世，婚姻是由帕尔马大使枢机以及奥尔西尼亲王妃、作为代理人