调查则认为是8世纪的（）及其弟子永深（）创建。寺名「法住」是法性十二名之一，即诸法住于真如法位的意思；或为真如之妙理，必在一切诸法中住，故名为法住。法住寺于圣德王十九年（西元720年）与与惠恭王十二年（西元776年）重建，高丽王朝时期寺院渐扩大。万历朝鲜之役时，法住寺成为忠清道僧兵的根据地，后遭战火波及，木造建筑全部毁坏，仅有少数石造文物双狮子石灯、石莲池等遗留下来。朝鲜仁祖二年（西元1626年）由碧岩大师仿旧制重建，现今为大韩佛教曹溪宗第五教区本寺。现今法住寺最显眼的地标为1990年建造的弥勒大佛