载倒台，于颀被外放为郑州刺史，迁任河南尹，以无政绩被代还。时汾州刺史刘暹被召入朝，准备升任御史大夫。宰相卢杞以刘暹性格刚直，出任御史大夫会对己不利，以于颀柔弱会谄媚权臣，易于控制，就推荐他为御史大夫。此后在建中四年（783年），泾原兵变时，于颀跟随唐德宗出逃奉天，改左散骑常侍，历左千牛上将军，徙大理卿、太子少保、工部尚书，封谯郡公。因参加朝会时仆地，为金吾仗卫掖起，改太子少师致仕。贞元十五年卒，时年七十四。 夫人陇西李氏，汝阳郡王女，生子于申。异母弟魏成令于颎、故太原法曹于颋、洛阳主簿于颐，妹张氏、