纠弹百官非违，刷磨诸司文案”（《元典章》）。在此之外，元朝政府在其他机关，上自六部、宣政院、宣徽院等，下至地方行中书省、诸路总管府等均设有照磨一官，负责对本部门的收支进行审计。明朝在各地继续强化照磨制度，在各省布政使司中，均设照磨1人，从八品；按察使司中，设照磨1人，正九品；各府亦设照磨1人，从九品。清朝沿用明制，继续设立照磨官，品级亦从之。