单态氧可以在光敏过程中在染料分子的能量转换下产生，比如玫瑰红，亚甲基蓝或卟啉，或者通过化学过程比如过三氧化氢在水中的自发分解或者过氧化氢与次氯酸盐的反应。
臭氧.三原子氧（臭氧，O），是一种非常活泼的氧的同素异形体，会对橡胶和纺织品这样的材料造成破坏，同样也会损害肺组织。 由电动马达、激光打印机和复印机中产生，通过它氯一样的气味可以检测到它的存在。 它在1840年被克里斯蒂安·弗雷德日称为“臭氧”，希腊单词 ὠζώ (ozo) 表示它的气味。在热力学上臭氧比二分子氧更不稳定，臭