微波能量的有磁控管、速调管、回旋管、行波管等。在微波加热领域中使用的主要是磁控管。半导体器件能产生低功率微波，如场效应电晶体，隧道二极管，耿氏二极管，以及雪崩光电二极体 。低功率源可为台式仪器、机架式仪器、嵌入式模块和卡级别的格式。激微波是使用类似激光器的原理放大微波的固态装置，它可以放大较高频率的光波。