。感应热等离子体法每分钟可生产多达2克的纳米管材料，高于电弧放电法或激光烧蚀法。
化学气相沉积.碳的催化气相沉积技术在1952年和1959年就已经被发现并发表，但直到1993年才通过这种方法合成了碳纳米管。 2007年，辛辛纳提大学的研究人员开发了一种在FirstNano ET3000碳纳米管生长系统上生长长度为18mm的对齐碳纳米管阵列的工艺。在CVD过程中，用金属催化剂颗粒层（最常见的是镍，钴，铁或它们的组合）制备衬底。[6]金属纳米颗粒也可以通过其他方式生产，包括还原