醚化合物在保护基化学当中有非常广泛的应用，常用的硅醚有：三甲基硅基 （TMS），叔丁基二苯基硅基（TBDPS），叔丁基二甲基硅基（TBS/TBDMS）和三异丙基硅基（TIPS）。
形成.制备硅醚的方法很多，但大多可遵循两种策略：醇与氯硅烷在胺作碱的条件下室温反应，或醇与三氟甲磺酸硅酯在大位阻碱的条件下低温反应。三氟甲磺酸硅酯比起相应的氯硅烷活性更强，因此常使用三氟甲磺酸硅酯保护位阻较大的羟基。另一种非常可靠且快捷的方法是Corey法，即咪唑作碱将醇与氯硅基在二甲基甲醯胺（DMF）溶