0年代末期至2010年代初期）→ (22) 32/34纳米（2010年初期）→ (23) 28/30 纳米（2010年初期至中期）→ (24)20/22 纳米（2010年中期）→ (25) 16/18纳米（2010年中期至2017年）→ (26)12/14纳米（2015年开始量产）→ (27) 10/11纳米（2016年开始量产）→ (28) 7/8 纳米（2018年开始量产）→ (29) 5/6 纳米（2020年开始量产）→ (30) 3/4纳米（台积电计划2022年量产）→ (31) 2纳米（台积电研