余地区併入新竹厅，辖区扩大后的新竹厅下辖北埔、树杞林、新埔、中港、南庄、苗栗、后龙、通霄、三叉河、大湖等10个支厅。1912年12月，中港支厅厅舍转移至头份庄，中港支厅亦改称为「头份支厅」。1915年，三叉河支厅併入苗栗支厅。1920年10月，时任台湾总督田健治郎为提高地方官的权限，废西部十厅，实施「五州二厅」制度，新竹厅合併桃园厅大部分为新竹州。