中用电子束、离子束、原子束、光子、热、电场和磁场等与固体的面交互用，并且借此得知固体的表面几层原子的电子状态、原子的排列情况、吸附在表面上的外来原子或分子以及其他物理性质。表面物理学是1960年代以后固体物理学中的一个重要而且发展极为迅速的领域，目前对半导体的研究和制造非常重要。