原硅酸根（SiO）与4个乙基相连，也即正硅酸的乙基酯（虽然原硅酸根离子在溶液中并不存在），故得名正硅酸乙酯（）；其“硅酸根”部分呈正四面体结构。该分子还可以看做是硅的乙醇盐。
制取.与其他“原硅酸酯”类似，四乙氧基硅烷主要通过四氯化硅的醇解制取：其中R 为甲基、乙基、丙基等。
性质及反应.四乙氧基硅烷对空气较稳定，微溶于水，在纯水中缓慢水解成二氧化硅，同时产生乙醇；若添加酸或硷，则可加速其水解作用。反应如下：直接高温加热（>600°C）四乙氧基硅烷，