silicon，LTPS）是一种与传统方法（900°C以上）相比，在相对较低的温度（~650°C及更低）合成的多晶硅。LTPS对显示行业很重要，因为大型玻璃面板暴露在高温下易变形。更具体地说，薄膜晶体管（LTPS-TFT）中使用多晶硅具有大规模生产平板液晶显示器或图像传感器等电子设备的巨大潜力。
多晶硅的发展.多晶硅（p-Si）是由许多晶体或高有序晶格颗粒组成的纯导电元素形式。1984年，研究表明，非晶硅（a-Si）是形成结构稳定、表面粗糙度低的p-Si薄膜的绝佳前体。硅薄膜采用