庆十二年（1807年），重赴鹿鸣宴，获赐三品衔。嘉庆十九年（1814年），再赴恩荣宴，加二品衔，其时年已八十二岁。嘉庆二十三年（1818年）卒。
着作.翁方纲精研经学，曾作《书经》、《礼经》、《论语》、《孟子》等书的笔记。精于金石学，着有《两汉金石记》、《粤东金石略》、《汉石经残字考》、《焦山鼎铭考》、《庙堂碑唐本存字》、《复初堂集》、《石洲诗话》等。