厚度，以及衬底和薄膜之间的位错有着极为复杂的关系。在应变很小的情况下（即 formula_11），薄膜的生长模式取决于 formula_12 的值：
实验测量.在实际的科学实验中，可以运用多种手段判断薄膜生长的模式，包括透射电子显微镜或扫描隧道显微镜（直接测量表面形貌），低能电子衍射或（通过测量衍射强度的振荡），以及俄歇电子能谱。