以及其所需的材料映射在晶圆上；图样就是线路或晶体管在晶圆上的排布。用这种方法将晶体管,导线等元件装配到晶圆上。 为了最终的设备能够正常工作，这些单独的图样必须正确对准--例如线路和晶体管等必须对齐。套刻精度控制，定义了这种图样间的对准。 它一直在半导体制造业发挥着重要作用，对于多层级结构,帮助监测层与层之间的对准度。 任何形式的不对齐都可能会导致短路以及断路，从而影响工厂产量和良品率。如今,随着图样密度越来越大，以及193nm浸没式光刻的发展导致的产率上的挑战，套刻精度控制已越来越重要。这些新技术的