是此样品中的硅的最常见的氧化态。除此之外，碳原子也常常在XPS中被选作研究对象。若将碳原子所处的不同化学态按照在它们光电子能谱中呈现的峰所处的能量从低到高排列，则有以下顺序（目标原子已经以粗体标出）：碳化物（-C）< 硅酮（-Si-CH）< 亚甲基/甲基/烃（-CH-CH-、CH-CH- 或 -CH=CH-）< 胺（-CH-NH）< 醇（-C-OH）< 酮（-C=O）< 酯（-COOR）< 碳酸根（-CO）< 单氟烃（-CFH-CH-）< 双氟烃（-CF-CH-）< 三氟烃（-CH-CF）。S