可预测并且稳定的，因此包括掺杂物的纯度以及半导体晶格结构的品质都必须严格要求。常见的品质问题包括晶格的位错（dislocation）、孪晶面（twins）或是（stacking fault） 都会影响半导体材料的特性。对于一个A|zh-cn:半导体器件;zh-tw:半导体元件;而言，材料晶格的缺陷通常是影响元件性能的主因。目前用来成长高纯度单晶半导体材料最常见的方法称为A|zh-hant:柴可拉斯基制程;zh-cn:柴可拉斯基法;。这种制程将一个单晶的晶种（seed）放入溶解的同材质液体