乡到长安，13岁入长安大兴善寺，初为寺内室洒（洒水扫地杂僧），出家后拜密宗三藏僧不空为师，学习密教。后为西明寺住持。他精通梵语和佛教经典，对汉语文化也有精深的造诣，“博及群经，精通训诂”，学识博大宏富。“内持密藏，外究儒流”，于佛学和儒学均造诣甚深，精通印度声明论（音韵）和中国的训诂学。唐德宗贞元四年（788年）开始引用《说文解字》、《字林》、《字统》、《声类》、《三苍》、《切韵》、《玉篇》古代韵书、字书及佛典，潜心研究佛教经典及典故。历时25年，唐宪宗元和五年（810年)在西明寺用汉文编纂出《大藏音义》一