于安徽教育学院（现合肥师范学院）物理系。1991年、1994年先后获北京大学无线电电子学系硕士和博士学位。1994年7月起，在中国科学院北京真空物理开放实验室从事科研工作，先后任副研究员、研究员、副主任、主任。1997年8月至2000年4月，在美国橡树岭国家实验室任客座研究员和学术顾问。2002年至今，在中国科学院物理研究所从事科研工作，历任纳米物理与器件实验室研主任，研究所所长助理、副所长。2014年3月，任中国科学院大学副校长。2018年1月，当选第十三届全国政协委员。2018年11月，出任中国科学院副