朱元璋政权改益都路为青州府。下领一州，十三县：益都县、临淄县、博兴县、高苑县、乐安县、寿光县、昌乐县、临朐县、安丘县、诸城县、蒙阴县、莒州（沂水县、日照县）。清代初期，领安东衞，州一，县十三。雍正中，莒直隶，割蒙阴、沂水、日照，寻降并属沂，增置博山。干隆七年卫省。领县十一：益都县、博山县、临淄县、博兴县、高苑县、乐安县、寿光县、临朐县、安丘县、昌乐县、诸城县。考评：冲，繁，难。登莱青胶道治所。副都统驻。辛亥革命后，全国废府州厅改县，府废。