析定州、流州地复置，仍治安平县，同年为反唐军阀刘黑闼所据，徙治饶阳县（今属河北省）。贞观十七年（643年）又省。先天二年（713年）分瀛、冀、定三州地复置，治所在陆泽县（即今河北省深州市西南旧州），辖境相当今河北省深州、安平、饶阳、辛集等市县地。北宋雍熙四年（987年）徙治静安县（今深州市南）。南宋嘉定八年（1215年），周元儿领导红祆军在此战败金兵，攻克州城。元朝时，深州辖境缩小，仅有今深州、衡水二市地。明朝永乐十年（1412年），省静安县入州，徙治今深州市。清朝雍正二年（1724年）升深州直隶州