-Assembly Monomer)后，像印章一样，在镀金的薄膜基板上微压，把奈米图形模子上面凸出部分的自我组合性能的单元分子(SAM)像油墨一样的印在金薄膜上。
优点.软微影技术具有一些独特的优势比其他形式的微影(光刻)技术（如光刻和电子束光刻）。 它们包括以下内容：1.更低的成本比传统微影技术大量生产。2.非常适合应用在生物技术。3.非常适合应用在塑胶电子。4.非常适合于超大型平面，或及非平面（nonflat）微影。5.不需要制作光罩，即可制造一个小的细节设计