6 °C照射紫外光而成。 它只在-160 °C 以下稳定。 氧的氟化物都是由氧气和氟气放电而成，OF 也不例外。它是一种橙色固体，极易分解成 O 和 F ，温度接近于沸点 216 K。OF 可以和红磷反应, 即使在 -196 °C 仍会爆炸。三氟氯甲烷可以用来减缓爆炸力度。
二氟化三氧(OF).OF 是一种血红色液体。它在 90 K 就是液体，与熔点 109 K 的OF不同，可用来分辨两者。和其他氧的氟化物一样， OF 极易分解，于 115 K 迅速分解，反应如下: