国际半导体技术发展路线图（，简写 ITRS），是由世界上五个主要的半导体制造国家的相关协会所资助的组织，这些组织包括台湾、美国，欧洲，日本和韩国的半导体行业协会。 许多半导体产业专家组成工作小组每年进行数次讨论，并提出一些报告与文档，以期积体电路与其应用的相关产业能更有成本效益的健全发展。该路线图文件含有免责声明：「ITRS的设计仅用于技术评估，并不考虑与单个产品或设备有关的任何商业应用」。这些文件代表了以下技术领域对未来约15年的研究方向和时间表的最佳意见：截至2017年，国际半导体技术发展蓝图