民共和国成立后，担任故宫博物院文献馆主任，不久去世。
纪念.2003年12月12日，陕西汉阴县政府筹建“三沈纪念馆”，位于汉阴县城新街。2004年9月25日主体展馆竣工并正式对外开放。2007年，沈士远、沈尹默、沈兼士石雕像在安康学院落成。