三藩之乱率3000人反清，两个月后被清政府镇压，察哈尔蒙古人被从中国东北（今东北和内蒙东）迁移到多伦诺尔一线，不再设部落大汗，作为八旗察哈尔归属于清朝理藩院与满洲人察哈尔都统管理（丧失“蒙人治蒙”的权利）。1914年，中华民国北京政府以察哈尔部、锡林郭勒盟设置察哈尔特别区，寄治万全县（今河北张家口市），辖境相当今河北省西北部及内蒙古自治区锡林郭勒盟。1928年，南京国民政府撤销察哈尔特别区，改置察哈尔省。中华人民共和国建国初期，察哈尔省被撤销。