。通常被用作评估半导体掺杂的结果。这种工艺的例子有：半导体的掺杂领域（比如硅或者多晶硅），以及被丝网印刷到薄膜混合微电路基底上的电阻。薄膜电阻的概念与电阻或者电阻率相对，可直接用四端点测量技术测量法（也称为四点探针测量法）或范德堡法来测量。薄膜电阻用欧姆每平方（formula_1）来计量，可被应用于将薄膜考虑为一个二维实体的二维系统。它与三维系统下所用的电阻率的概念对等。当使用到薄膜电阻一词的时候，电流必须沿着薄膜平面流动，而非与其垂直。对于常规三维导体，电阻可写为其中formula_3代表电阻率