系列的奴隶起义导致国力衰竭，其间经历被利比亚人、努比亚人和亚述人的统治；这是跨越5个王朝的第三中间时期（公元前1070年－公元前664年），期间的王朝有第二十一、二十二、二十三、二十四和二十五王朝。埃及自第二十六王朝进入古埃及后期，最终在公元前525年被波斯阿契美尼德帝国所灭，古埃及时代结束。波斯人在埃及建立第二十七王朝和第三十一王朝，埃及二十六王朝后裔反抗波斯人成功和内战，建立短暂的第二十八、二十九和三十王朝。公元前332年埃及又被亚历山大大帝所统治，亚历山大死后，其部将托勒密占领埃及，建立托勒密王朝，也