2001年起意法半导体涉足于开发微机电系统，最初的硏究与开发于意法半导体在Castelletto的工厂中完成，但后来于2006年6月关闭，微机电系统活动迁移到位于Agrate的主要加工厂。意法半导体很大程度上置身于行情不稳定的DRAM与个人电脑微处理器市场外，除了曾于1994年与美国公司Cyrix合作开展英特尔x486兼容微处理器，并于1995年以英特尔奔腾家族为对手生产的Cyrix M1微处理器的失败尝试外。该公司拥有约1500个客户，当中最重要的为：
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