五年（554年），废元氏县。隋朝时期，隋文帝六年（586年）又置元氏县，属赵州，县城位于槐河北岸（今槐阳镇名称由来）。唐朝，元氏也属赵州。五代十国时期，后梁时属赵州、后周时改属镇州。宋朝庆历八年（1048年）改镇州为真定府。元朝时期，元氏县隶属真定路。明朝及清朝，元氏均属直隶真定府。
近现代.中华民国建国之后，民国二年（1913年）元氏县属范阳道。民国三年（1914年）范阳道改保定道。民国十七年（1928年）改为省，此时元氏县直属中华民国河北省。民国二十六年（1937年），