。在一起工业意外中，900千克ClF泄漏，烧穿了下面30厘米厚的混凝土和90厘米厚的砾石。 任何和三氟化氯接触的设备必须经过仔细挑选和清洁, 因为任何污染都可以烧穿钝化膜，使它来不及重新生成。
火箭推进剂.三氟化氯已经发展成火箭推进剂的高性能可储存氧化剂。然而一些处理上的问题使它受限，在其着作《Ignition!: An informal history of liquid rocket propellants》中阐述了以下困难：
半导体工业.在半导体工业中