。家康特别拜託正成出任九男‧德川义直的附家老，并封给犬山城。这时，同为家康亲信的安藤直次也出任家康十男、纪州藩主‧德川赖宣的附家老。宽永2年（1625年）逝世，享年59岁。临终前说出「想去大御所（家康）长眠的日光」，据说家臣们将他的身体放入笼中，揹往日光而去。此后，成濑氏子孙代代都出仕尾张藩附家老。据说墓所位在千叶县船桥市宝成寺，但详细地点不明。