不同的卤化硅混合后加热到合适的温度，可以生成多种复合卤化硅。 
和其他四卤化硅比较.四卤化硅的性质会显着地受当中的卤素影响，其影响亦会在混合的卤化物中出现。四卤化硅的熔点、沸点和键长会随着其中卤素的原子量增大而升高或变长，但键能则随着其中卤素原子量的增大而降低。
制备.硅和溴蒸气在600℃以上进行反应，可生成四溴化硅。硅和溴化氢反应可以生成60%-70%的SiHBr，同时生成四溴化硅和SiHBr。