理，还可获得以下信息：其中分辨率主要受X射线光斑大小限制（现在已经达到10微米量级）加装了其它设备后（如离子枪），还可以获得：
化学态和化学位移.XPS中的化学位移（chemical shift），不同于核磁共振谱中的化学位移，指的是光电子能谱中同一种原子的峰由于所处化学环境的不同，在能量方向上的微小位移。化学位移是一种初态效应（Initial State Effect），即内层的空穴生成之前就存在的效应。因为化学位移的位移量一般在1eV到10eV不等，所以只有在能量方向上