6年）汾州升为汾州直隶州，直属山西承宣布政使司。万历二十三年（1595年）升为汾州府。万历三十五年（1607年），下属的沁州升为沁州直隶州。下辖六县、一州、州辖县一：
清朝.清朝汾州府隶属于冀宁道。清初沿袭明制，但州不辖县。康熙六年（1667年）将冀南道撤销併入汾州府。下辖一州、七县：