再以蒸发器处理至其放射性活度小于仪器最小可测量后回送至于场内使用，则是最终的第五层壁障。而贮存场东侧靠海段更建有长约1,300公尺的海岸防坡堤，防波堤形式採用「混凝土及浆砌卵石混合重力式复合断面」，堤顶宽度1公尺，高度为海拔12.5公尺，可防止大浪及海啸入侵贮存场。
增建.兰屿贮存场第一期工程完工后，却因兰屿当地居民批评贮存场的兴建已破坏当地的自然景观，加上后续工程为增加核废料储量而需变更设计，因此原能会委託美国 Parsons 工程顾问公司的核能部门针对兰屿贮存场后续工程进行