曹魏于殿中省置殿中侍御史，掌记录朝廷动静，纠弹百官朝仪。西晋时置四人，东晋时置六人。隋代避隋文帝生父杨忠讳，改殿中侍御史为殿内侍御史。唐代又改为殿中侍御史，是御史台所属机构成员。唐宋两朝，御史台所属机构有台院、殿院和察院鼎三而立，分别由殿中侍御史、侍御史和监察御史任职。殿院内置殿中侍御史九人，与监察御史同称为侍御。宋代沿置。明清朝废此职。