5年（明治28年）台湾割让给日本后，初期行政区划变更频繁。1901年（明治34年）11月分全台为20厅后始趋于稳定，当时新竹地区设为新竹厅，下辖五支厅，范围约为今之新竹县不含关西镇，并含中港溪以北的苗栗地区。1909年（明治42年）10月拆苗栗厅废厅，大安溪以北併入新竹厅，以南併入台中厅；此时新竹厅辖区扩大为今新竹县市及苗栗县（不含关西镇），行政区中心设于新竹区（今新竹火车站一带）。1920年（大正9年）9月，废厅置州，合併新竹厅全境、桃园厅（不含三角涌支厅）为新竹州，下置8郡，州治设于新竹郡新竹街（后升格