−O−R，其中R为烷基取代基或芳基取代基。硅醚在有机合成当中常用于醇的保护基。RRR基团可以是不同的烃基基团，因此可组合成多样的硅醚。硅醚化合物在保护基化学当中有非常广泛的应用，常用的硅醚有：三甲基硅基 （TMS），叔丁基二苯基硅基（TBDPS），叔丁基二甲基硅基（TBS/TBDMS）和三异丙基硅基（TIPS）。
形成.制备硅醚的方法很多，但大多可遵循两种策略：醇与氯硅烷在胺作碱的条件下室温反应，或醇与三氟甲磺酸硅酯在大位阻碱的条件下低温反应。三氟甲磺酸硅酯比起相应的氯硅烷活性更强