偏振光自样品反射后，完全的改变为线性偏振光。当A所选取之偏振角度方向与反射光之偏振轴向相垂直时，即符合椭圆偏振的归零状态，也就是说在此状态下，CCD侦测到的光通量为绝对最小值。将测量到的数据依光学模型併以电脑化处理，则可得到简化之具空间解析的膜厚及复数折射率数值。
原位椭圆偏振.原位"(In situ)"椭圆偏振指在样品变化的过程对其进行动态的量测，这过程如薄膜的成长，样品的蚀刻或清洁等。借由原位技术，可使取得基本过程随时间变化之光学特性参数，如成长或蚀刻速率。原位椭圆偏振的量测，