909年10月，台湾的行政区划由十二厅改制为二十厅，而桃园厅的行政区划照旧。1914年11月，桃园厅蕃地地区增设高岗（ガオカン）支厅。1915年2月，大坵园支厅废止，其下的竹围区与大坵园区併入桃园厅直辖，石观音区併入中坜支厅。1920年10月，时任台湾总督田健治郎为提高地方官的权限，废西部十厅，实施「五州二厅」制度，部分咸菜硼支厅併入新竹州新竹郡，三角涌支厅併入台北州海山郡，大嵙崁支厅併入新竹州大溪郡，其余併入新竹州桃园郡和中坜郡。