粒子分析等。而处理资料的方式有谱密度分析、小波分析、小波转换、短时距傅立叶变换、Gabor展开，维格纳准概率分佈（WVD）、倒频谱、、相关法、高解析度频谱分析、波形分析（时域下的，因为频谱分析只关注频率分析，不考虑相位资讯）等。这些分析的结果会用在根本原因失效分析中，用来确认失效的根本原因。例如诊断到轴承故障，很可能轴承不是在一开始安装时就损坏，而是因为其他安装问题（例如没有对正）才让轴承损坏。诊断轴承损坏的情形不足以进行精确的维护。需要找出真因并且补救。若没有找到真因，只单纯更换轴承，换上去的轴承一段时间