首次发现硅存在于岩石中。然而在1800年，汉弗里·戴维将其错认为一种化合物。1811年，盖-吕萨克和可能已经通过将单质钾和四氟化硅混合加热的方法制备了不纯的无定形硅。1823年，硅首次作为一种元素被贝采利乌斯发现，并于一年后提炼出了无定形硅，其方法与盖-吕萨克使用的方法大致相同。他随后还用反复清洗的方法将单质硅提纯。
名称由来.英文中的一词，来自拉丁文的，意思为燧石（即火石，富含硅元素）。在1831年，苏格兰化学家创造了这个名词。在1823年纯化出来后，瑞典化学家永斯·贝采利乌