方晶体结构。六氟乙烷密度表：六氟乙烷蒸气相对空气的密度为4.823，21°C时比重为4.773（空气是1），比容为0.1748 m³/kg。
用途.六氟乙烷可用于一种具多功能的蚀刻技术，常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外，它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。
环境影响.六氟乙烷是一种造成温室效应的气体。它