任郎中、奉天司主稿兼秋审处坐办、律例馆帮办提调、协理提调等职，专营案牍、奏谳之学，「以律鸣于时」。光绪十九年（1893年）冬，任天津府知府。二十三年（1897年）夏，调保定府知府。光绪二十六年（1900年），升署直隶按察使。尚未成行，庚子拳乱事起，八国联军入保定，沈家本因曾为一教案力争，受诬告曾助拳匪，遭拘留入狱数月。光绪二十七年（1901年）十月，沈家本获释后返回北京，擢升刑部右侍郎，历任修订法律大臣兼大理院正卿、法部右侍郎、资政院副总裁等职。宣统三年（1911年）任法部左侍郎、袁世凯内阁司法大臣