氧化铀与氢氟酸反应生成四氟化铀，然后四氟化铀被氟气氟化生成<chem>UF6</chem>。由于氟只有一种稳定的同位素，六氟化铀分子的任何质量区别都是由<chem>^235U</chem>或者<chem>^238U</chem>造成的。这使得可以通过气体扩散法或者气体离心法对铀进行浓缩。每年大约有6000吨氟用于生产惰性电介质六氟化硫，该物质可以用于高压变压器与断路器，这样就不必在充油设备中使用危险的多氯联苯了。电子产品中会使用一些氟化合物：在化学气相沉积中会使用六氟化钨或者六氟化铼，在等离子蚀刻中会使用聚