地理.东西长约5.68公里，南北长约3.86公里，大部分位在武藏野段丘的平坦面上。市域大部分属武藏野台地，国分寺崖线附近属立川台地，而上游则形成谷地。国分寺崖线又称「ハケ」，是多摩川侵蚀武藏野台地所形成的侵蚀崖。崖起于武藏村山市残堀附近，延伸至市内西町5丁目（高约5公尺）、光町1丁目（高约11公尺） 、西元町（高约12公尺）及东元町1丁目与南町交界（高约16公尺），接着沿东岸至大田区附近。此外，市内有称为「」（名水百选）的涌水群。
历史.大化