再次因池田氏内部的异动而成为幕府直辖领地；17世纪末森可成的子孙被封至此成立了，一直至江户时期结束，此地大部分区域皆属于三日月藩的领地。19世纪废藩置县后，此地先后隶属三日月县、姬路县、饰磨县，直到1876年才整併到现在的兵库县。1889年日本实施町村制之初，现在的辖区范围在当时分属：佐用村、长谷村、平福村、江川村、幕山村、西庄村、久崎村、中安村、德久村、大广村、三日月村、石井村、三河村等13个村。经历1950年代的昭和大合併后，被整併为佐用町、上月町、三日月町、南光町四个行政区划；2000年代