酸盐沉淀的均相沉淀剂，常被用作锆、铪的沉淀试剂和测定半导体的扩散源。此外，磷酸三甲酯也是一种磷脂类萃取剂，用于萃取分离某些金属离子。
生产方法.三氯氧磷与甲醇在碳酸钾存在下反应生成磷酸三甲酯。同时反应生成磷酸二甲酯钾盐，则用硫酸二甲酯反应生成磷酸三甲酯。磷酸三甲酯粗产品经水洗、脱色、脱水、减压蒸馏得成品。