化硫那样无毒。 金属六氟化物有腐蚀性，容易水解，还会和水剧烈反应。一些金属六氟化物还可以用作氟化剂。 金属六氟化物的电子亲合能很高，使它们成为强氧化剂。 六氟化铂 可以氧化氧气 分子， O，形成六氟合铂酸氧，也是第一种被发现可以和氙反应的化合物（参见六氟合铂酸氙）。
应用.由于它们的挥发性，一些金属六氟化物有了应用。 六氟化铀 可以用于生产浓缩铀，它可以应用于核反应堆。 也可以用于核燃料再处理。 六氟化钨 可用于半导体 的化学气相沉积生产中。
六氟化物阴离子