史改为定襄太守，进位金紫光禄大夫，拜左武卫将军。四年，敕黔安道行兵，援清江城，破贼帅向多思，解太守萧造围。五年，从驾西讨吐谷浑，仍镇遏党港。六年，出为敦煌太守，寻领会宁太守。七年，又往同昌镇遏。九年，追还，赴朝鲜道行军。大业九年（613年）隋炀帝征高句丽，周法尚率领舟师水军为朝鲜道水军总管。之后，与将军宇文述、来护儿平定杨玄感之乱，在山东击败王薄、孟让义军，次年复任水军统帅，在沧海（东海）水军中去世，时年59岁，追赠左武卫大将军，谥号僖。夫人谯国戴氏，杨坚为北周丞相时，养为义女，即位后，配与周法尚为妻，