些RISC系统的CPU使用超纯量架构，是由于当时RISC的设计的核心较简单，能够直接发送指令与调度多种功能性的单位（像是ALU）。这也是在八、九十年代RISC处理器比CISC处理器的运算速度更快的主要原因。除了那些低功率CPU、嵌入式CPU、以及使用电池电源的CPU，1998年以后开发的CPU设计都已经是超纯量体系结构。第一种採用超纯量技术的x86处理器是Pentium。第一批採用了把CISC指令异步解码为微指令序列技术的处理器是Nx586、P6架构的Pentium Pro以及AMD K5。这使得被缓存