由于化工厂爆炸时，所产生的气体是有致癌风险的丙烯腈，因此新竹县政府紧急通告爆炸现场附近的学校、工厂进行疏散或紧闭门窗。然而，因爆炸现场温度过高，消防人员无法轻易靠近现场，因此新竹县消防局长林祥钦，立即请求新竹市消防局、新竹科学园区紧急应变小组、联华电子紧急应变小组、台北县、桃园县、苗栗县等地的消防队伍支援救灾。下午2时26分，联华电子消防队抵达爆炸现场开始协助救灾。下午2时50分，经过多组消防队伍的抢救后，爆炸现场火势已获得初步控制，消防人员准备进入到工厂内扑灭剩余火势，在场的工研院环安中心人员