施町村制，现在的香芝市辖区在当时分属、、、四个行政区划；1956年这四个行政区划合併为香芝町，香芝的名称则是源自于1949年四个村共同成立的香芝中学校。1988年人口成长突破升格为市的五万门槛，因此在1991年升格为香芝市。1980年代，辖内东部与广陵町交界处开始开发，1990年代西部区域也开始开发，带动辖内人口的大幅成长，在2005年的日本国势调查中，人口成长率曾达到全日本第三，虽然在2000年代新市镇开发告一段落后，人口成长率开始减缓，但在2015年的日本国势调查中，仍有3.1%的人口成长率。S