台积电和三星皆将后续改善的制程命名为6奈米，于2019年量产。2020年8月台积电在官方部落格宣布，7nm制程晶片于2018年4月正式投入量产，直至2020年7月已生产出第10亿颗功能完好、没有缺陷的晶片，达成新的里程碑。7纳米的后继制程计划是5纳米。
外部链接.7 nm 光刻制程