周期以及更重的非金属可以与氟形成高价氟化物。三氟化硼具有平面结构，为不完全八隅体。作为一种路易斯酸，它可以与诸如氨等路易斯碱反应形成加合物。四氟化碳为四面体结构，具有惰性，其它碳组元素与之类似，四氟化硅与四氟化锗都是四面体结构，但是表现为路易斯酸。氮族元素与氟反应生成三氟化物，活跃度和碱性都随着分子量增加而增加，除了三氟化氮无法水解，不表现出碱性。磷，砷和锑的五氟化物比其三氟化物更加活泼，五氟化锑是已知最强的中性路易斯酸。硫族元素具有不同的氟化物：有报告称氧、硫和硒可以和氟生成不稳定的二氟化物（二氟