始将一些历史名人尊奉为城隍。其后元朝，除在元大都（今北京）建城隍庙外，更封城隍为“佑圣王”。到明太祖朱元璋时，对城隍特别崇敬，曾亲诏刘三吾：「朕设京师城隍，俾统各府州县之神，以鉴察民之善恶而福祸之，俾幽明举，不能倖免。」明太祖更册封京师、府、州、县四级城隍，各级城隍神都有不同爵位和服饰，各地最高官员需定期主祭。明太祖曾下令各级官员赴任时，向城隍宣誓就职。洪武二年（1369年），封京都金陵城隍为「福明灵王」，汴州、濠州、太平府、和州、滁州等府州朱元璋「龙兴之地」城隍亦封为正一品王爵，并加上「承天鉴国司