制取.与其他“原硅酸酯”类似，四乙氧基硅烷主要通过四氯化硅的醇解制取：其中R 为甲基、乙基、丙基等。
性质及反应.四乙氧基硅烷对空气较稳定，微溶于水，在纯水中缓慢水解成二氧化硅，同时产生乙醇；若添加酸或硷，则可加速其水解作用。反应如下：直接高温加热（>600°C）四乙氧基硅烷，也可转化为二氧化硅，同时产生乙醚：
用途.TEOS主要被用作硅树脂（silicone，聚硅酮）中的交联剂，和半导体工业中的二氧化硅的前体。TEOS也