始为止，兴源寺锡勒图喇嘛仅传三任。政教合一时期，札萨克达喇嘛之下设有札萨克、德木齐、格斯贵各四缺，辅佐札萨克达喇嘛管理该旗的政教事务。1931年3月政教分治之后，锡勒图喇嘛之下仅设德木齐、格斯贵各二缺，辅佐锡勒图喇嘛管理宗教事务。清末民初之际，布和布彦曾任锡勒图库伦旗掌印札萨克达喇嘛，在政治上发挥了重要影响。