体， 两种是液体 (Re、Mo)，剩下的都是挥发性固体。 6族元素，氧族元素和 惰性气体 形成的六氟化物是无色的，不过其它六氟化物的颜色从白到黄，再到橙、红、棕，到灰色和黑色都有。 
化学性质.六氟化物的化学性质的范围很广。六氟化硫几乎惰性且无毒，因为位阻效应使六个氟原子紧紧粘在硫原子上，使其它化合物难以攻击它的硫-氟键。 由于其稳定性，介电性能和高密度，它具有多种应用。 六氟化硒 也像 SF那样稳定，不过六氟化碲 不稳定，会在1天内完全水解 。 此外，六氟化硒和六氟化碲都有毒