六氟化氙（化学式：XeF）是稀有气体氙的三种氟化物之一，另外两种是XeF 和XeF。XeF是这三种氟化氙里，氟化性最强的。它在室温下为稳定的无色晶体，会升华成黄色蒸汽。
制备.六氟化氙可由二氟化氙在300°C和6MPa下长期与氟气加热得到。反应使用 作为催化剂。不过，在 120 °C 时，氙-氟的摩尔比例为 1:5时仍可进行反应。
结构.XeF结构的确定颇费了一些时间。气态时的六氟化氙为单分子，采取略畸变的八面体结构，能迅速发生分子重排，存在着几种电子排