e Microscope，简称AFM），也称扫描力显微镜（Scanning Force Microscope，SFM）是一种纳米级高分辨的扫描探针显微镜，优于光学衍射极限1000倍。原子力显微镜的前身是扫描隧道显微镜，是由IBM苏黎士研究实验室的 ，格尔德·宾宁和 在1986年在扫描隧道显微镜（STM， Scanning Tunnelling Microscope ）的基础上设计而来。格尔德·宾宁、魁特（Calvin Quate）和格勃（Gerber）于1986年发明第一台原子力显微镜，而第一台商业化原