难证明，没有经历非弹性散射的电子数目随样品厚度指数衰减。而这部分电子的相对数目可以通过计算零损失峰的面积I与整个谱的面积之比I而获得。利用公式：formula_1，l是非弹性散射长度，与材料特性有关；样品厚度t因此可以被计算出来。EELS允许在透射电子显微镜中快速和可靠地测量局部厚度。最有效的过程如下：这个过程的空间分辨率受等离子体定位限制，约为1 nm ，意味着空间厚度图可以在扫描透射电子显微镜中测量，具有~1 nm的分辨率。