来和WDS（wavelength dispersive X-ray spectroscopy，波长色散X射线谱）相互对比。WDS和EDS不同的地方在于，WDS利用X射线在特定晶体上的衍射将不同波长的X射线分离开来进行测量。WDS的能量分辨率最高可达到几个eV，高于EDS的分辨率（130eV）两个数量级。WDS也没有EDS中常出现的一些非实验因素，例如和峰（sum peak）、逃逸峰（escape peak）、重叠峰等等。但WDS所需的实验周期较长，且需要经过培训才能熟练操作，因此EDS较WDS来说更为常见。