气态的一氮化二硅（SiN）、一氮化硅（SiN）和三氮化二硅（SiN)。这些化合物的高温合成方法取决于不同的反应条件（比如反应时间、温度、起始原料包括反应物和反应容器的材料）以及纯化的方法。SiN是硅的氮化物中化学性质最为稳定的（仅能被稀的HF和热的HPO分解），也是所有硅的氮化物中热力学最稳定的。所以一般提及“氮化硅”时，其所指的就是SiN。它也是硅的氮化物中最重要的化合物商品。在很宽的温度范围内氮化硅都是一种具有一定的热导率、低热膨胀系数、弹性模量较高的高强度硬陶瓷。不同于一般的陶瓷，它的断裂韧性