置有电极的半导体晶片的靶的一种表面改性技术。电极对于正电性等离子体是阴极，对于负电性等离子体是阳极。等离子体可在设计好的真空室中以不同的等离子体源产生，如可产生最高离子密度和最低污染水平的电子回旋共振等离子体源，及氦等离子体源，电容耦合等离子体源，电感耦合等离子体源，直流辉光放电和金属蒸汽弧（对金属物质来说）。真空室可分为两种-二极式和三极式，前者电源应用于基体而后者应用于穿孔网格。
工作.在传统的"浸没"型PIII系统（也称为"二极"型结构）中，晶片保持负电位，正电性等离子体中的