大利测试了全球第一台地热发电机，成功点亮了四个灯泡，之后当地于1911年建立第一座地热能发电站。1920年代日本别府与美国加州建造地热能发电实验机组。1958年，新西兰为第一座使用闪发蒸汽（Flash Steam）技术的地热能发电站。1960年，太平洋瓦斯与电力公司在美国加州建立地热能发电站。1967年，苏联首次展示双循环（Binary cycle）地热能发电站；美国于1981年发展双循环地热能发电站。2006年，位于美国阿拉斯加切纳温泉的双循环地热能发电站，使用57°C（135°F）的工作流体，创下最低温