Korean Chemical Society." 60, 2016, S. 149, </ref> 它也可以由氯硅烷 和三氟化锑 反应而成。
性质.一氟硅烷是一种无色气体。 一氟硅烷在96 K时为固体，具有空间群 P21/n的单斜晶体结构，并在常压下直接转变为气态。 <ref name="DOI10.1107/S0108270185006904">A. J. Blake, E. A. V. Ebsworth, S. G. D. Henderson, A. J. Welch: "S