底表面来回扫描，使材料开始在扫描的位置沉积。沉积的速率取决于多个参数，例如前体的分压、衬底的温度以及电子束的参数等等。一般的沉积速率在10 nm/s的数量级。SEM 或 STEM 中的初级电子能量常常在10到300 keV之间，而电子诱发的反应（即前体的离解）截面较小。因此，主要的分解反应是通过低能电子（二次电子或非弹性散射电子）发生的。
空间分辨率.虽然 S(T)EM 的电子束可以被聚焦到~0.045 nm大小的一点，但是电子束诱导沉积能够生长的最小结构的直径约为~0.7 nm。