处是作为杂环化合物缩合反应的催化剂, 例如应用于黄嘌呤衍生物的微波合成反应中:
其他应用.在微影技术中, 六甲基二硅氮烷常被用作增加光阻剂表面附着能力的增粘剂。六甲基二硅氮烷在气态时用在加热过的基板上会得到最好的效果。在电子显微镜, 六甲基二硅氮烷可以作为样品制备过程中的临界点干燥的干燥剂。在裂解—气液色谱—质谱，六甲基二硅氮烷在裂解时会被加到分析物里以产生硅烷化分析产物（sylilated diagnostic products）并以极性官能团加强化合物的侦测性。