余泰窘迫，开门降唐。于是扶余义慈、扶余隆及诸城主都投降了。百济故有五部，分统三十七郡、二百城、七十六万户，唐高宗以其地置熊津等五个都督府，但是，由于唐军、新罗军没有安抚百姓，军纪败坏。在唐军主力撤退后，道琛、鬼室福信、黑齿常之开展百济复国运动，拥立在倭国的王子扶余丰为王。663年，白村江之战后，唐朝和新罗联军击败了倭国和他支持的百济复兴势力，百济全境成为唐朝的羁縻地区。670年代，唐军和亲唐百济贵族撤出原百济地区，迁往辽东建安城，其地入新罗，设立所夫里州（今忠清南道扶余郡，即熊川州、熊州）、发罗州（