178 nm, c = 0.8312 nm, Z = 4 (每个晶体有四个子结构)。其晶体结构特征为锥形GeF构成的聚合物链。一个氟原子与两个相邻的锗原子形成弱键 另外, GeF罕见晶体形式有空间四角对称性，空间对称群为 P422 (No. 92)。皮尔逊符号为12, 晶格常数为 = 0.487 nm, b = 0.6963 nm, c = 0.858 nm.