一层铝膜）、以至于新颖材料与建材、各式各样范围广泛接可使用此加工法。电子显微镜的标本在制作时也使用此加工法。1857年Michael Faraday最早提出基本原理，而后、1930年代由于油扩散式真空帮浦实用化、沉积主要用于制作镜片反射防止膜。第二次世界大战时、其他的光学机器的需求提高、真空沉积也因此快速发展。
化学沉积.化学沉积的原理是使流体在固体基体表面发生化学变化从而在原有表面上留下了一个固体层。由于流体是环绕于固态基体的，这使得沉积可以在所有表面都发生而几乎没有方向性。