严（十兵卫）俸禄为8300石、三男柳生宗冬俸禄为4000石、四男六丸（列堂义仙）俸禄为200石、柳生氏成为旗本。三严死后、宗冬成为家督。历代藩主都担任德川将军家的剑术指导。柳生氏总共传承13代，直到明治时代开始。
歴代藩主.谱代- 1万2500石→8300石→1万石