等向性且非吸收光的膜层构成。逾越上述的假设，则会不符标准椭圆偏振之处理程序，因而将需要对此技术更进阶的一些改变以符合其应用（见下详述）。
实验细节.
实验装置.光源所发射出之电磁辐射经过起偏器后，改变为线性偏振光，可选择是否通过补偿镜片(Compensator，延相器或四分之一波片)，之后打在薄膜样品上。电磁波被反射后同样可选择是否再通过补偿镜片，然后穿过第二片通常称为分析镜的偏光镜，进入侦检器。 有些椭圆仪不使用补偿片，而在入射光束的路径採用相位调变器。椭圆