协律郎累迁考功员外郎。曾因受贿入狱。出狱后复职，迁给事中。唐中宗时，因勾结张昌宗兄弟，被流放到驩州（今属越南）。神龙三年（707年），召拜起居郎兼修文馆直学士，常侍宫中。后历中书舍人、太子少詹事。沈佺期工于五言律诗，与宋之问同为当时着名的宫廷诗人，文学史上并称“沈宋”。他们所作多为歌舞升平的应制诗，风格绮靡，不脱梁，陈宫体诗风。可是沈、宋俩人总结了六朝以来新体诗创作的经验，对律诗的成熟与定型，贡献颇大，是唐代五言律诗的奠基人。
着作.原有文集10卷，已佚。明人辑有《沈佺期集》