首先用二氟化钴与氟气在300°C左右反应生成三氟化钴，然后引入有机反应物与三氟化钴反应。三氟化钴被还原后生成的二氟化钴可以循环使用。氟化反应包含单电子转移及碳正离子中间体机理：该反应通常用于全氟有机物的制取。三氟化钴的氧化性较强，一般反应都在气相、无溶剂或以无水氟化氢作介质中进行，常伴有重排或其他副反应的发生， 用相关的KCoF氟化可使反应的选择性增强。400°C左右时所有碳氢化合物的C-H键都可被转化为C-F键，并且氟也可以加到不饱和键上。