管改为光电倍增管。包含光波导（lightguide）和高探测效率的光电倍增管的E-T探测器已经成为了SEM中最常用的探测器。 E-T探测器位于样品腔中，主要部分是一个包含在法拉第笼之中的闪烁体探测器。对法拉第笼通入较低的正电压可以将能量较低（<50eV）的电子吸引进入探测器，其中主要是二次电子；其他能量较高的电子则不会被这一电势所吸引。而闪烁体探测器则被设置为极高的正电压以加速这些被吸入的电子，并将其转变为光子。光子进一步被闪烁体探测器中的金属层构成的镜面聚焦到光波导中。这些光子最后通过光管被传输出真