后来的新罗着名学者薛聪（설총），此后元晓着起俗装，自称“小性居士”或“卜性居士”。
圆寂.于新罗神文王六年(686年)，元晓居芬皇寺着《华严经疏》至四十回〈回向品〉时绝笔，是年三月三十日，在庆州南山的穴寺（혈사）圆寂，世寿70。薛聪将其遗骸和土塑像，安奉于芬皇寺中，以表追慕之意。据说当薛聪立在塑像旁礼敬时，塑像忽然回头，此像至今还留存着。
追谥.至高丽朝肃宗六年（1101年），国王下令追谥元晓为「和诤国师」，建立「和诤国师塔碑」以兹纪念元晓及其“和诤”思想