贵族在新巴比伦王国佔领犹大王国后遭流放，其他人继续使用古希伯来字母，例如来自公元前6世纪基遍（Gibeon）城的瓶柄上刻有酿酒者的以古希伯来字母写成的名字。亚拉姆语和亚兰字母在公元前5世纪后分别成为官方语言和官方文字，一群书吏继续以古希伯来字母来编写《塔纳赫》。在《死海古卷》当中有以古希伯来字母写成的摩西五经残篇︰《创世记》（4Q12、6Q1）、《出埃及记》（4Q22）、《利未记》（1Q3、2Q5、4Q11、4Q45、4Q46、6Q2）。哈希曼（Hasmonean）、犹太战争和巴尔柯赫巴起义时期的硬币刻有古