四甲基氢氧化铵（TMAH或TMAOH）是一种分子式为 N(CH) OH 的季铵碱，也是这类化合物中最简单的一种。这种物质只在五水合物时是一种相对稳定的固体形态。商业上，TMAH通常以水溶液、甲醇溶液或五水合物的形式销售。其固体和溶液均为无色，不纯时为黄色。纯净的TMAH几乎没有气味，但样品常有强烈的鱼腥味，因其含有三甲胺的不纯物。TMAH有大量、广泛的工业和科研用途，例如在黄光制程中当显影液(去光阻液)。
结构.三甲基苯丙胺最常见的是水溶液，浓度约为2-25%，较少见的是甲醇溶液。