元朝时改为延安路，辖境扩大。明朝洪武二年（1369年）五月，复为府。下领三州，十六县：肤施县、安塞县、甘泉县、安定县、保安县、宜川县、延川县、延长县、清涧县、鄜州（领洛川县、中部县、宜君县）、绥德州（领米脂县）、葭州（领吴堡县、神木县、府谷县）。清朝雍正三年（1725年），升鄜、绥德、葭三州为直隶州，以洛川、中部、宜君、米脂、清涧、吴堡、神木、府谷八县分隶之。干隆初年，以榆林府之定边县和靖边县来隶。终清一朝，下领十县：肤施县、安塞县、甘泉县、安定县、保安县、宜川县、延川县、延长县、定边县、靖边县。考评：