基法（）很难运用在砷化镓材料的制作。
安全.砷化镓的毒性至今仍没有被很完整的研究。因为它含有砷，经研究指出，砷是有毒的，也是一种致癌物质。但，因为砷化镓的晶体很稳定，所以如果身体吸收了少量，其实是可以忽略的。当要做晶圆抛光制程（晶圆使表面微粒变小）时，表面的区域会和水起反应，释放或分解出少许的砷。就环境、健康和安全等方面来看砷化镓（就像是和砷）时，及有机金属前驱物的工业卫生监控研究，都最近指出以上的观点。