以沂蒙专区为基础，成立沂水专区，辖9县。以滨海专区为基础，成立临沂专区，辖9县。1953年1月将原属临沂专区的赣榆、东海、邳县、新海连市划入江苏省。1953年7月，沂水专区撤销，除日照县划入胶州专区外，所辖其余各县皆划归临沂专区，同时，原划入滕县专区的平邑县亦复归临沂专区。1956年3月，日照县划归临沂专区。至1961年4月，临沂专区辖临沂市、郯城、苍山、临沭、莒南、沂南、沂水、沂源、蒙阴、平邑、费县、日照、莒县1市12县。1985年3月22日，撤销日照县和石臼办事处改为县级日照市。1989年6月12日，日