术研究院（工研院）与荷兰飞利浦共同签约并成立一家半导体制造公司，由时任工研院院长的张忠谋带着一群以出身工研院为主的工程师一同筹办，张忠谋遂出任台湾积体电路制造股份有限公司董事长兼总裁。而工研院的半导体技术则主要来自1970年代中期，由经济部出资1000万美元的RCA技术移转计划。
公开上市.1994年，台积电在台湾证券交易所挂牌上市。1997年，台积电赴美国纽约证券交易所（NYSE）发行美国存託凭证（ADR），并以TSM为代号开始挂牌交易。2005年7月，张忠谋辞去执行长职务