刘熙所作《释名》，信多佳者，然物类众多，难得详究，故时有得失，而爵位之事，又有非是。”后来北齐颜之推在《颜氏家训·音辞》中也提到刘熙的《释名》：“逮郑玄注六经，高诱解《吕览》、《淮南》，许慎造《说文》，刘熹制《释名》，始有譬况假借，以证音字耳。”清朝时，《释名》只有缺误甚多的明朝的覆宋本流传；毕沅作《释名疏证》，纠正了其中的不少讹误；清末王先谦又作《释名疏证补》，继续补正。清朝上虞县知县钱东垣治学沉博而知要，因世传《孟子》注疏错漏太多，于是辑录刘熙、綦毋邃、陆善经等儒生的古注及顾炎武、阎若璩等的