空紫外线（VUV），以内层电子被光电电离的事实－数量级－主导了光子-物质交互作用的效应。这是相对于X射线，真空紫外线的散射主要是与原子和分子的外层电子交互作用导致的（化学活动）。所以被称为「真空紫外线」（VUV）是因为会被空气强烈的吸收，因此只能用在真空环境下。在这个范围的长波上限，大约在150-200奈米，主要的吸收气体就是空气中的氧。因此可以在无氧的环境中，使用这种波长来工作，纯氮是最常用的，以避免需要真空室。大小相当的物件清单，请参阅1 E-7 m。
紫外线的来源.S