过热蒸汽，或称过热水蒸气（英语: Superheated steam），是温度高于水的沸点的蒸汽。饱和蒸汽在常压下加热时，温度持续升高，而产生过热蒸汽。饱和蒸汽表面存在的较高温度的蒸汽，因其温度已超过了饱和温度，而被称做过热蒸汽。属于未饱和蒸汽。例如，水在 3 Kg/cm压力下，其饱和温度(即沸点)为 132.88°C ，若该压力不变下，继续加热，蒸汽温度势必超过 132.88°C ，此时的蒸汽称为过热蒸汽。在热平衡状态下，过热蒸汽与液态水是不能共存的，持续加热仅能促成更多液态水的蒸发，转为饱和蒸汽。