数的参数为入射角与波长。由于椭圆偏振测量术倚赖反射机制，样品不需要具有透明性质，探测仪器也不需要从样品背部测量透射光的辐照度，这技术还可以应用于吸光度极高的物质，并且不具有破坏性，只需要很少量的样品就可以做测量。椭圆偏振测量术也可以用来测量薄膜的复折射率与厚度。应用椭圆偏振技术，照射光束于薄膜样品，然后分析反射光的偏振改变，即可估算复数折射率或介电函数张量，以此获得基本的物理参数，这包括表面粗糙度（roughness）、晶体质量、化学成分或导电性。它常被用来鑑定单层或多层堆叠的薄膜厚度，可量测厚度由数Å