此技术中会用高电场使要氮化工件表面的气体产生离子化的分子。这种高反应性的气体伴随着离子化的分子，称为电浆，此制程因此称为电浆渗氮。电浆渗氮用的气体一般是纯氮气，因此不需要自发性的分解（像使用氨的气体渗氮就需要分解）。有用电浆炬产生的热电浆，用在金属切割、焊接、及喷涂上。也有在真空腔体或是低压强条件产生的冷电浆。钢在电浆渗氮的效果最好。此制程可以针对渗氮的微结构进行精细的控制，可以让渗氮产生化合物层，或是不要化合物层。不但强化下了金属部份的性能，也增加了工件的寿命、应力限及疲劳强度。例如沃斯田钢不锈钢的机