具《设置科学园区总体环境分析之研究》，针对高科技产业长期发展需求，全面评估各县市自然与社经条件设置科学园区的潜在可能性。2000年面板大厂友达光电正在寻觅新一代TFT-LCD建厂的设置地点，由于当时竹科已经饱和，友达光电因此转向行政院求援，行政院副院长林信义提出政府准备开发中科的愿景，当友达同意进驻中科时，中科的开发即正式启动。
计画.2001年5月7日行政院通过「绿色硅岛建设蓝图」政策，有关规划推动新设园区的相关政策或策略概为： 
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