高能电子衍射（，缩写：RHEED）经常被用来检测晶体层次生长的进程。计算机能够控制反应室前方的一个“阀门”，从而实现对每个层次的精确控制，其精确度可以达到单层原子。不同材料层次的精细结构可以通过这种方式产生。此种控制方式可以把电子束缚在一定空间里，产生量子阱（）和量子点（）。上述的“层”对于很多现代的半导体器件十分关键，包括激光二极管和发光二极管。有的系统需要冷却底层。生长室的超高真空环境必须使用一个低温泵（）来维持，而液氮或低温氮气可以使内部温度冷却到77开尔文（−196摄氏度）。低温环境可以进一步降