圆的。此技术已发展近百年，现在已有许多标准化的应用。然而，椭圆偏振技术对于在其他学科如生物学和医学领域引起研究人员的兴趣，并带来新的挑战。例如以此测量不稳定的液体表面和显微成像。
基本原理.此技术系在测量光在入射样品时，其反射光偏振性质与入射光偏振性质的改变。通常，椭圆偏振在反射模式下进行。偏振性质的改变主要是由样品的性质，如厚度、复折射率或介电函数，来决定。虽然光学技术受制于先天绕射极限的限制，椭圆偏振却可借由相位资讯及光偏振之状态的改变，来取得埃等级的解析度。在最简单的形式，此