，奉命致祭东岳泰山，入冬回京，劳累成疾。康熙五十三年（1714年）卒于官。其父将其故宅捐为贵州会馆，扶柩归黔。
着作.周起渭工于诗。其任翰林时，康熙帝询问大学士陈廷敬当今后进诗人，廷敬即推举申义和周起渭，二人并称“翰苑两诗人”。郑珍在《桐野先生荷锄像赞》中称:“诗当康熙，如日正中。起问汉大，唯渔璜公。桐野一编，眉山放翁。经纬宫商，继盛长通。”《清史稿》则称“清诗人以起渭为冠。”着有《桐埜诗集》4卷、《介眉集》1卷。