申公国和奥帕瓦公国，成为奥地利的奥属西里西亚。 七年战争 （1756年-1763年）中确认了普鲁士对西里西亚的统治，成为了普鲁士的王家领土。1815年拿破仑战争之后确立了普鲁士的西里西亚领土。西里西亚战争时期，普鲁士将占领到的西里西亚的土地和曾属萨克森王国，邻近格尔利茨的上卢萨蒂亚地区一同组成西里西亚省。作为普鲁士的一个省分，西里西亚于1871年普鲁士领导德意志统一之后，成为了德意志帝国的一部分。之后西里西亚开始进行工业化，并引来大批人口迁入。根据1905年的资料，西里西亚三分之一人口是德国人，而奥