中采用的感光物质被称为光阻，主要分为正光阻和负光阻两种。正光阻未被光照的部分在显影后会被保留，而负光阻胶被感光的部分在显影后会被保留。光阻不仅需要对指定的光照敏感，还需要在之后的金属刻蚀等过程中保持性质稳定。不同的光阻一般具有不同的感光性质，有些对所有紫外线光谱感光，有些只对特定的光谱感光，也有些对X射线或者对电子束感光。光阻需要保存在特殊的遮光器皿中。
步骤.
衬底的准备.在涂抹光阻之前，硅衬底一般需要进行预处理。一般情况下，衬底表面上的水分需要蒸发掉，这一