0年，元世祖于国内设置十路宣抚司，次年罢之。隔年改设十路宣慰司，渐成定制，并且设置陕西四川行省。往后直到灭宋为止，大多採行宣慰司与行省并行的制度。行省大多依据西夏、大理疆域与南宋新失之地设置，称为「中书省臣出行省事」，灭南宋将全国分为中书省直辖的腹里、宣政院辖地与十多个行中书省，并设置专司征讨外国的行省。1321年元英宗时期共设置十一个行省（包含在藩属国高丽设置的征东行省）。至元朝末年，行省增至十五个。另外元末民变的群雄也设置行省以便于统治，如天完之江南行省、汴梁行省、陇蜀行省、江西行省，韩宋之江南行省