晶格系数，可通过考虑距离表面最近的几层原子的化学势来确定生长机制。1995年，伊万·马尔可夫提出原子层内单原子的化学势模型：其中 formula_2 表示吸附材料的体化学势（bulk chemical potential），formula_3 表示浸润层吸附原子的脱附能（desorption energy），formula_4 表示衬底吸附原子的脱附能，formula_5 表示每个原子的位错错配能（misfit dislocation energy），formula_6 表示每个原子的同质应变能（hom