定义5-元组M = ("S", "Σ", "T", "s", "A")，这里的P(S)是S的幂集；"C(q)"是 "q"的ε-闭包，就是说从"q"经过一次或多次ε-转移可到达的所有状态的集合。可以数学上证明M是接受同M一样语言的确定有限状态自动机。