根据取代烃基数的不同，又可将磷酸酯分为伯磷酸酯（磷酸一酯、烃基磷酸）、仲磷酸酯（磷酸二酯）和叔磷酸酯（磷酸三酯）。
性质和应用.磷酸的一酯和二酯是强酸，例如磷酸甲酯和磷酸二甲酯的p"K"分别为1.54和1.29。烃基磷酸、烃基焦磷酸和烃基三磷酸都以盐的形式存在于生物体内。DNA和RNA就可以看做是 [PO(OR)(OR')] 类型的聚合物。磷酸酯主要用作含磷农药、神经毒气、难燃液压油、润滑油。
制取.由 1mol 磷酸与 1,2,3mol 的醇缩合生成