子攸女。柳诒征幼时家境清寒，七岁失父，同姐随母到外婆家，课督于母鲍氏，就读于鲍氏书塾，日诵经书、诗文。清光绪22年（1896年），十七岁成秀才，居家授徒。后往南京，在江楚编译局任事。曾师从缪荃孙、黄以周、李瑞清等人。光绪28年1902年，随缪荃孙前往日本考察近代教育。回国后曾就学于三江师范学堂。次年创办思益小学。之后曾任江南商业高等学堂、两江师范学堂等校教习。民国元年（1912年）主持镇江府中学堂。不久转任北京明德大学教授。民国3年（1914年），两江优级师范学堂改建为南京高等师范学校，受江