34年成立的达豪集中营是最早建立的纳粹集中营，开始时集中营只用来关押犯了法的罪犯、同性恋者与政治犯，与监狱唯一的区别是集中营关押的犯人密度较大，而且设有刑场。许多纳粹集中营的入口处都有「劳动带来自由」标志（对犯人保护性看管）。1936年意大利吞併埃塞俄比亚后，建立集中营，用于关押逮捕的埃塞俄比亚知识分子和其他平民。
二战时期.在1939年以后，纳粹德国党卫队的骷髅总队和盖世太保在德国6个原有的集中营外增设了15个集中营，其中以规模最大和最有名的是位于波兰总督区的奥斯维辛集中营羣