O，在水中，HfO(NO)发生水解：水解产生的HNO作用于SrCO：最后，将溶液蒸干，在高温下，Hf(OH)分解为HfO，Sr(NO)先分解为Sr(NO)，然后进一步分解为SrO，高于700℃时，两者反应，得到产物SrHfO：铪酸锶也可以通过在电化学电池中的阳极转换反应制备，所用电压高达210V，电极温度控制在300 K。铪箔未沉积的部分需要用1:1的硝酸和氢氟酸清洗。铪酸锶的薄膜还可以通过Hf对SrO靶的气相沉积来制备。在Si(100)底物上的等离子气相沉积也能够制得产物，反应中用(MeCp)Hf