惠能回至新州，命门人建报恩塔。唐玄宗先天二年（713年），圆寂于新州国恩寺，世寿七十六，唐宪宗时，因广州刺史马摠上书请谥，宪宗追谥「大鉴禅师」。惠能圆寂后，其真身不坏，被运回韶州（今广东韶关）曹溪，其门人裹综涂漆，保持其生前形像。其真身塑像至今还保存在南华寺，供奉在六祖殿中。柳州刺史柳宗元撰《曹溪第六祖大鉴禅师碑并序》。元和十年（815年）刘禹锡因曹溪僧道琳之请，撰《曹溪大师第二碑》。
佛学理论.
禅法.惠能的禅法以定、慧为本。他又认为觉性本有，烦恼本无。