到：配合物Ba[GeF]的热分解反应也能制得四氟化锗：
性质.四氟化锗是一种不可燃的发烟气体，有大蒜味。它和水反应，生成氟化氢和二氧化锗。它在1000 °C以上发生热分解反应。它和粉末状的锗在150–300 °C反应，生成二氟化锗。GeF和氟化物反应，生成GeF，这种阴离子因为聚合作用，Ge有着八面体的配位结构。GeF的分离三角双锥结构由“裸氟”离子试剂1,3-二(2,6-二异丙基苯基)咪唑鎓氟化物的反应得到。
应用.四氟化锗和二硅烷的反应用于Si