置金渊郡、武康郡，以怀仁郡置陵州。北周时，废东益州为九陇郡，属益州；废江原郡、齐基郡、宁蜀郡。至周末，益州领七郡：蜀郡、犍为郡、九陇郡、广汉郡、晋熙郡、金渊郡、武康郡。
隋朝.隋朝开皇三年（583年）废郡，益州七郡领县直属于州，新州玄武县改属益州。至此，益州领十五县：成都、郫、广都、新津、僰道、晋原、清城、九陇、新都、雒、阳泉、金渊、阳安、婆闰、玄武。开皇十八年（598年），改雒县为绵竹县，新都县为兴乐县，阳泉县为孝水县，婆闰县为平泉县。仁寿元年（601年），改广都县为双流县。