后，由广照同行向丰臣秀吉投降。4月10日获许回到利休门下。庆长5年（1600年）会津征伐之际，与德川秀忠同行前往宇都宫，与水谷胜俊、大田原晴清共同守备下野国大田原城。之后布阵于锅挂防备上杉氏南下。同时，儿子隆庸跟随秀忠进攻信浓国上田城。庆长6年（1601年）正月叙任从四位下。之后成为家康六男松平忠辉的守役、御附家老，担任忠辉的补佐役，忠辉成为信浓国川中岛藩主后，将信浓国4万石及饭山城赏赐给广照，连同旧领合计7万5000石。但是忠辉性情暴烈，广照屡屡劝诫都不悔改。庆长14年（1609年）9月，山田重辰