spectroscopy，WDXS或WDS）是一种非破坏性分析技术，可通过测量小波长范围内的特征X射线来获得样品的元素组成信息。该技术产生的光谱中的峰对应于元素的特征X射线，借此可以容易地识别元素。波长色散X射线光谱主要用于化学分析、电子微探针、扫描电子显微镜以及测试原子和等离子体物理的高精度实验。
原理.波长色散X射线光谱法的测定基于样品产生特征X射线的相关理论以及测量X射线的方法。
X射线发射.当足够高能量的电子束将电子从原子或离子的内部轨道移出，内层轨