322.31平方公尺。物理分馆的前身所属于国立清华大学接受补助设立的物理研究推动中心，于1966年设立，自1992年正式成为国立清华大学图书馆物理分馆；馆址位于国立清华大学校本部北校区的物理馆3楼，楼地板面积约826.45平方公尺。南大分馆前身原为国立新竹教育大学图书馆，自2016年该校併入国立清华大学后改设为南大分馆；馆址位于国立清华大学南大校区内，楼地板面积约5,736.8平方公尺。
服务.国立清华大学图书馆于2020年的总馆藏量为7,183,578件，服务人口65,694人，