庆长18年（1613年）1月25日于姬路去世。死因为中风（『骏府记』），家康从本多正纯听到辉政中风的消息后，曾遣人送中药材「鸟犀圆」医治；但也有因好色导致肾虚（花柳病）之说法（『当代记』）。享年50。法号「国清院殿泰叟玄高大居士」，在妙心寺护国院（位于京都府京都市）与国清寺（位于冈山县冈山市）都有其墓。