Cl自身就可作反应溶剂：五氯化磷水解时也会产生POCl，但副反应较多，反应不易控制。
用途.三氯氧磷最常用于生产三芳基磷酸酯（如磷酸三苯酯和磷酸三甲苯酯），它们可用作阻燃剂及聚氯乙烯的增塑剂。而三烷基磷酸酯如磷酸三丁酯（由1-丁醇通过类似反应制取）则是液液萃取的溶剂，用在核燃料后处理等工业中。半导体工业中，也用POCl作为扩散过程中磷的来源，以掺杂制取N型硅半导体。实验室中用POCl作为失水剂，将酰胺转化为腈。某些酰胺可通过Bischler-Napieralski反应环