研究方向拓展到半导体材料和集成电路等领域。研究所设有传感技术联合国家重点实验室、信息功能材料国家重点实验室、中国科学院太赫兹固态技术重点实验室、中国科学院无线传感网与通信重点实验室等研究机构。上海微系统与信息技术研究所是中华人民共和国国务院批准的首批博士硕士学位授予单位之一，包括电子科学与技术、信息与通信工程两个一级学科博士硕士培养点和材料物理化学二级学科博士硕士培养点。