最终是形成100月球至火星尺度的胚胎行星，分布在大约。它们被认为驻留在盘面内与其它行星环隔离开来的空隙内。这个阶段可能要持续数十万年。岩石行星形成的最后阶段是合併阶段。它开始时只有少量的微行星才还和胚胎行星有足够的质量可以扰乱对方，导致它们的轨道成为混沌。在这个阶段，胚胎行星开始驱逐剩余的微行星，并互相碰撞。这一过程持续了1,000万〜1亿年，结果是形成数量有限的地球大小行星。模拟的结果显示，倖存下来的行星数量是2〜5颗。在太阳系，可以用地球和金星做为代表。这两颗行星的形成大约需要10〜20颗胚胎行星，