1960年代，为发展电信网络协议，具有 ARPANET 访问权限的研究人员发起了名为征求意见稿的一系列备忘录，该备忘录非常类似于开源标准并促进了因特网在1969年的出现。一些在1970年代开发的自由软件，至今被在持续开发及实用，例如 TeX（由高德纳开发）和 SPICE。
自由软件式微.1960年代末，出现了一些变化，操作系统和编译器出现的同时，软件生产费用相对于硬件大幅增加。 正在发展的软件产业开始和硬件制造商的捆绑软件进行竞争；因为后者的开发费用被包含于硬件费用中，所以