世退位后，卢森堡公爵落至西班牙哈布斯堡王朝支系手中。在1701年至1714年的西班牙王位继承战争期间，公国由来自波旁王朝的法王路易十四的孙子「安茹的费利佩」与来自哈布斯堡王朝的神圣罗马皇帝利奥波德一世的儿子「奥地利的查理」争夺。1712年，卢森堡与那慕尔由法国盟方转让给，但到了战争末期的1713年，由于乌得勒支和约，马克西米连·伊马纽尔交还巴伐利亚选候。1713年，公国落入哈布斯堡王朝奥地利分支手中。
哈布斯堡-洛林王朝.在1794年至1813年间，卢森堡被法国大革命势力所佔领