开发为商业产品。直到1957年，瓦里安联合公司在尝试提高真空管性能时，研发出离子真空泵，并申请了专利。
原理.一般而言，离子泵的基础组件是一个彭宁离子阱。彭宁离子阱的基本原理是使用轴向的强匀磁场来限制带电粒子的径向轨迹，再用四极电场来限制轴向轨迹，以此达到束缚带电粒子的作用。在离子泵中，使用彭宁离子阱来储存一定量的电子，然后利用这些电子将气体分子电离。电离产生的离子被电场加速，撞击具有化学活性的阴极材料（通常是钛）。撞击之后，气体离子会被包裹进阴极材料中，或是将阴极材料溅射到离子泵