应用.AsH可用于合成与微电子学及固态雷射有关的半导体材料。与磷相似，砷是硅及锗的n-掺染物。 更重要的用途是以AsH为原料，在700-900°C通过化学气相沉积来制造半导体材料砷化镓（GaAs）：
于化学战的应用.早在第二次世界大战前，AsH就已计划用于化学战。由于该气体无色，几乎无臭，且密度是空气的2.5倍，因此非常适合在化学战中用作覆盖效应搜索。其致命浓度远低于能闻到蒜头气味的浓度。尽管如此，与光气相比它非常易燃且效果较低，因此从未正式用作武器。另一方面，有几种基于砷化氢的