由氧氯化1,2-乙二硫醇（HSCHCHSH）制得的甲基亚磺酰氯（ClS(O)CHCHS(O)Cl）经由可获得光学纯的亚磺酰酯。
酰氟及酰溴.在室温下水解三氟甲基三氟硫烷CFSF，可在数小时内定量制备亚磺酰氟CFS(O)F。使用溴化氢与CFS(O)F在−78℃下反应则能获得亚磺酰溴CFS(O)Br，这种化合物在室温下不稳定，容易发生歧化反应。