子能谱来确定靶物质特性的分析方法，一般角度介于165°～170°之间，主要应用于分析靶物质成分。背散射分析有许多的优点，例如快速、定量、无损等等，另外它还可以元素同时分析，因此这个方法可以作定量分析而不需要“标样”。一般背散射分析都用能量为 1～2.5MeV的α粒子束作入射束，因为α粒子束可以得到较好的质量分辨率和深度分辨率。背散射分析已成为固体物理、半导体物理、材料科学研究等领域中常採用的较成熟的分析手段。