五叔廖温进皆被判刑。国民党政府也借此为人质，并以调查局所录之廖文毅母亲的录音带，要求廖文毅投降。1965年5月14日廖文毅返台投降，7月2日，母亲因狭心症及尿毒症不治去世。同年12月廖史豪与黄纪男、廖温进获得特赦。12月出狱。1971年，调查局局长沈之岳曾派廖史豪赴日要求简文成返台，威胁简文成不返台要对廖史豪不利，最后并未成功。廖史豪曾追问廖文毅为何要返台，廖文毅曾表示当时受日本的岸信介及美国的傅尔布莱特劝说，认为廖文毅返台后，「偌局势有所变化，就可以作用。」，成为廖文毅回台湾真正的考虑。晚年廖文毅