正德三年（1508）降州为县。正德八年（1513）复升为州，辖县依旧。清初为霸昌道治所，属顺天府。雍正六年（1728），原辖3县改直属顺天府，昌平州成为不领县的散州。民国二年（1913）2月，撤州设县，属顺天府。民国三年（1914）10月4日，北洋政府将顺天府改为京兆地方，昌平为京兆20个属县之一。民国十七年（1928年）6月，京兆地方被南京国民政府撤销，昌平县被划入河北省。民国二十四年（1935）12月25日起，属伪冀东防共自治政府。民国二十六年（1937）属伪河北省冀东道。民国三十二年（19