1906年（明治39年）4月，获授功一级金鵄勲章。翌年9月，进爵为子爵。1908年（明治41年）任军事参议官，1912年（明治45年）1月20日任参谋总长。1915年（大正4年）成为元帅府元帅，进为伯爵。1916年（大正5年）10月，长谷川接替寺内正毅担任朝鲜总督。总督任中，朝鲜爆发三一独立运动，遭到他的镇压，后受到指责，说他是武断政治，3年后由斋藤实接任。1924年（大正13年）1月28日去世，终年73岁，葬于东京都港区南青山青山灵园。其养子长谷川猪三郎，陆军士官学校第3期毕业生，军衔至陆军少