两名小孩，分别为长女萨尔达·瑞（Zelda Rae，出生于1989年7月31日）、次子柯迪·亚伦（Cody Alan，出生于1991年11月25日）（两人的名字分别来自电玩游戏角色《塞尔达传说》的系列女主角塞尔达公主和《快打旋风》系列的），一家人居住在旧金山克里夫海地区的豪宅。2008年3月威廉斯透过他的发言人表示，玛莎以双方看法分歧、无法共同生活为理由，于2008年3月21日向旧金山法院提出离婚申请，要求结束十九年的婚姻。2011年10月23日，威廉姆斯在加州的圣海伦娜与图形设计师苏珊·施奈德结婚，这