司马师废曹芳帝位，还封为齐王。魏末景元中，齐国领十一县：魏咸熙二年（265年），晋武帝代魏，改元泰始，封其弟司马攸为齐王。以益都县入乐安郡，广县入东莞郡。太康元年（280年），齐国领五县：临淄、西安、东安平、广饶、昌国。齐献王攸薨，子司马冏嗣位。八王之乱时，齐王冏起兵讨伐赵王司马伦，奉晋惠帝乘舆反正，拜大司马，执掌朝政。后被长沙王司马乂攻杀，曝尸三日。齐国除为郡。十六国时代中原丧乱，临淄城日渐衰落。晋永嘉五年（311年），前赵将领曹嶷攻入青州，于广县筑广固城（今山东省青州市西），将广县併入临淄，迁