更加普及。1990年代中期以来该技术发展迅速，在全世界的实验室中广泛使用。
原理.将要研究的材料置于电子显微镜中，用已知动能的电子束轰击，损失了不同能量的电子数目被记录为电子损失能谱。电子损失能谱包括了电子与原子相互作用发生非弹性散射的丰富信息，主要可以分为三部分：内层电子的电离适用于检测材料的元素组分，例如一定数量的电子穿过材料后能量减少了 285 eV，这相当于从碳原子去除一个内层电子所需的能量，从而可以推测样品中一定存在碳元素。其他的应用包括用低能损失区分析样品的能带结构和