三氟化氯是无机化合物 ，分子式为ClF。这种物质气态时为淡黄色，有毒，有强腐蚀性，液态时为黄绿色，一般将其压缩成液体销售。该物质主要的用途是火箭燃料，半导体行业中清洗和蚀刻， 核反应堆加工燃料， 以及一些其他用途。
制备、结构和性质.拉夫（Ruff）和克鲁格（Krug）在1930年氟化氯气并报告发现了这种物质。这个反应也生成一氟化氯，可以通过蒸馏使其分离。ClF 形状大致是T形, 有一个短键 (1.598 Å) 和两个长键 (1.698 Å). ，孤对电子占据两个赤道位置，与共价键