羧反应也会产生微量的三氟甲烷。三氟甲烷可用作制冷剂或灭火剂使用。
制备.第一次制备三氟甲烷是由法国化学家（Maurice Meslans）在1894年用碘仿和干燥氟化银产生剧烈反应而产生。后来（Otto Ruff）将氟化银改成氟化汞和氟化钙的混合物，改善了制备的过程。上述的交换反应可以使用碘仿及溴仿，不过交换前二个卤素原子时，会产生剧烈反应。后来爱伯特·亨纳（Albert Henne）将上述的反应变成二阶段的反应，第一阶段用溴仿和三氟化锑合成一溴二氟甲烷，再和氟化汞反应产生三氟甲烷