三甲基硅醇（TMS）是化学式为(CH)SiOH的有机化合物，中心的硅原子接着三个甲基及一个羟基，三甲基硅醇是无色易挥发的液体。
制备.三甲基硅醇是大气层中太空船的污染物，由硅基的材料降解所产生。三甲基硅醇是聚二甲基硅氧烷水解后产生的挥发性产物（常常会用三甲基甲硅烷基为其终端基团）：三甲基硅醇和其他挥发性的硅氧烷是由于含硅的物质水解而产生，可能是清洁剂或是其他化妆品。沼气和中会有痕量的三甲基硅醇及其他挥发性的硅氧烷，是因为硅氧树脂降解后而产生。这些物质在引擎中燃烧会形成颗粒状硅