六氟磷酸盐是含有阴离子PF的化合物。PF是稳定的，在浓酸下加热水解非常缓慢，在碱中的水解更加缓慢。磷酸根（PO）还可以部分被氟离子取代，如POF（）等。
制备.六氟磷酸盐可以由六氟磷酸和金属的氧化物、氢氧化物或碳酸盐反应制备。