子能谱中呈现的峰所处的能量从低到高排列，则有以下顺序（目标原子已经以粗体标出）：碳化物（-C）< 硅酮（-Si-CH）< 亚甲基/甲基/烃（-CH-CH-、CH-CH- 或 -CH=CH-）< 胺（-CH-NH）< 醇（-C-OH）< 酮（-C=O）<酯（-COOR）< 碳酸根（-CO）< 单氟烃（-CFH-CH-）< 双氟烃（-CF-CH-）< 三氟烃（-CH-CF）。
分析细节.
电荷补偿技术.绝缘样品表面的光电子发射引起正的静电荷（h+）， 使样