员长兼奉天地方自治指导部部长（长子于静远任该部自治训练处处长）。于冲汉很重视后一职位，宣传满洲国建国的理念。后来石原莞尔赞扬于冲汉是满洲国「建国の最高の功労者」。此后于冲汉坚持绝对保境安民及不养兵主义，这成为满洲国断绝同国民政府的联系，独立建国的思想武器。1932年（大同元年）3月，满洲国正式成立，他任首任监察院院长。1932年11月12日，他在大连病逝。享年62岁。