EMS技术与分子纳米技术或分子电子学的区别在于后者还必须考虑表面化学。微机电系统的实现得力于用来制造电子设备的半导体加工技术，并加以改造，使微机电系统可以应用到实际上。这些加工方式包含了微米等级的模塑成型（molding）、镀层（plating）、湿法刻蚀（氢氧化钾，四甲基氢氧化铵）和干法刻蚀（RIE和DRIE）、电火花加工（EDM），和其他一些能够制造微小型设备的加工方式。微机电系统应用的一个知名实例是在苹果公司的行动通讯设备中，该公司较新的手机使用了MEMS振盪器代替以往的石英晶体振盪器产生时脉