，由于Si–F键键能较高，因此氟离子被用于脱去硅保护基，而无水氟化铯则是较好的氟来源。低浓度的氟化氢是弱酸，因此氟化铯在水中水解呈碱性。
晶体结构.氟化铯的晶体结构为反石盐型，主要原因位晶体里的铯离子比氟离子大，而同族的锂、钠、钾、铷卤化物中阳离子都小于阴离子。另外在氟化铯的晶体里，铯离子行成立方最密堆积而氟离子就镶在里面。
制造.一般氢氟酸与氢氧化铯或碳酸铯进行反应就可制得无水的氟化铯。
用途.氟化铯在有机化学里是很好的盐基