受其法益恩泽，于其座下得法开悟者很多。万历十五年（1587年）秋天，法师向大众宣告：「吾为汝等转首楞严法轮作再后开示，无复为汝更转也。」；冬天时患疾，犹谆谆教诲。明朝万历十六年（1588年）正月十七日，吉祥而逝，世寿五十八，僧腊四十六，荼毘 后建塔供奉于径山。