始于1993年，在1994年被首次部署在IRIX 5.3上。2000年5月，XFS在GNU通用公共许可证下发布，并被移植到Linux上。2001年XFS首次被Linux发行版所支持，现在所有的Linux发行版上都可以使用XFS。XFS最初被合并到Linux2.4主线中，这使得XFS几乎可以被用在任何一个Linux系统上。Arch, Debian, Fedora, openSUSE, Gentoo, Kate OS, Mandriva, Slackware, Ubuntu, VectorLinux和Ze