0至300°C发生氟化反应制得，氟化剂可使用氟气、无水氟化氢或二氟化锡。将五氟化铌蒸汽在派热克斯玻璃或石英玻璃管中浓缩，然后在120°C下真空升华即可收集到无色晶体。如果与无水氟化氢反应，则会生成五氟化铌与三氟化铌的混合物。如果将金属铌溶于浓硝酸和氢氟酸的混合酸（或浓氢氟酸），蒸干溶液并灼烧残渣可得到一氟二氧化铌（NbOF），因此不常用该法制备五氟化铌。五氟化铌也可由氟气、氟化锌、无水氟化氢与五氯化铌反应制得：氟配合物热分解法也经常被使用：
性质.五氟化铌吸水性很强，在