1903年，清政府置五原直隶厅。辛亥革命后，全国废厅改县，是为五原县。1926年冯玉祥所部的五原誓师在此地发生。1928年时，国民政府将绥远特别区改绥远省。五原县为绥远省第四行政督察区管辖。县治在隆兴长（今五原县隆兴昌镇）。1940年，傅作义部取得五原战役胜利。为适应抗战形势，1942年时以五原县西部设立晏江设治局，以为设置晏江县预备。1949年，九一九起义后，绥远省全境为中共政权控制。其后属绥西专区、陕坝专区。1954年，因绥远省废，改属河套行政区，由此与其它诸县改属内蒙古自治区。1958年，达拉特后