，大部分钚和小部分铀会出现在氟化炉的底部灰中。将这些灰进一步氟化，可以彻底将铀、镎和钚以氟化物的形式回收。其它次锕系元素不能形成挥发性氟化物，会继续存在废液中。一些贵金属无法氟化，以金属形式存在。唯一的例外是钌。六氟化钌相对稳定，并且具有挥发性。使用高温蒸馏可以将氟化废液中的低沸点过渡金属氟化物和硷金属氟化物与高沸点的镧系元素氟化物、硷土金属氟化物和氟化镱分离。真空蒸馏可以降低蒸馏温度和能耗。在熔盐反应堆中每隔一段时间就会进行氟化挥发法再处理核燃料。其目的是把锕系元素送囘熔融状态的燃料混合物中进一步裂变