学仪器，像是圆偏光二色性光谱仪，通常也用氮来清洁。极紫外线的特性被用于物理学上转换物质的交互作用：比30奈米长的波长主要在化学上与物质的价电子交互作用，更短的波长与内壳层的电子和原子核进行交互作用。EUV/XUV光谱长波末端被设定为30.4奈米的显着He谱线。绝大部分已知的物质对XUV都会强烈的吸收，但它也可以制成多层光学，对垂直入射的XUV辐射可以反射约50%。这种技术最早是在1990年代运用在NIXT和MSSTA探空火箭，被用来制作产生太阳影像的望远镜（目前的例子有SOHO/EIT和TRACE），及