。虽然不少僧人尝试此法「成佛」，但不少还是失败，尸身腐坏、要经过防腐仪式再安葬。能够保存遗体，避免腐坏的「即身成佛」是极少数。这一方法的存在被许多唯物论者作为否认所有肉身佛的证据。
着名肉身菩萨.《坛经·大师事略》说，刘宋三藏法师求那跋陀罗悬记禅宗六祖惠能大师为“肉身菩萨”。惠能入灭后果然肉身不腐，成爲一道奇观，是谓“中国历史上首尊肉身菩萨”。从此，但凡成就肉身不腐者，多称爲“肉身菩萨”。惠能肉身的奇迹，引得信徒争先礼拜，传说还有新罗僧人欲夺走惠能肉身。在“文化大革命”中，其肉