育部核准，成立工学院、理学院与原子科学院，清华从原本的原子科学所扩张为理工大学。1975年，张明哲担任清华校长，在其任内，清华为了整合全校研究及对外合作，规划成立研究发展委员会。1980年大学部增设中国语文学系，清华逐渐迈向综合大学之路。1981年毛高文校长任内，正式设置（1995年修订清大组织规程时，纳入正式编制，更名为研究发展处），是台湾各大学中第一个研究发展行政单位，下设各研究中心。1983年为配合推动国防科技发展，与中山科学院合作成立自强科学研究中心，为推动跨院所系的教学与研究，成立校内原子科学