帖木儿遣使朝贡，封忠顺王。永乐三年（1405年）春，安克帖木儿被鬼力赤毒死，兄子脱脱袭位，明朝并于次年三月置哈密卫，哈密国成为设有明朝羁縻卫所的王国。正德年间，哈密国被吐鲁番汗国吞併。清顺治四年（1647年），入贡。康熙十七年(1678年)，为蒙古准噶尔部占领。康熙三十六年（1697年），哈密酋长额贝都拉降清，擒献准噶尔汗噶尔丹之子色布腾巴勒珠尔，清朝授额贝都拉为札萨克，视同蒙古。额贝都拉子孙世袭爵位，管理哈密回民，史称哈密回王。哈密厅初置时为散厅。干隆二十四年（1759年），裁撤甘肃省靖逆厅，置哈