就会升华。它具有FeF型结构，镓原子为6配位。三氟化镓可由F或HF与GaO反应制得，而(NH)GaF的热分解也可以制得它。三氟化镓几乎不溶于水。蒸发GaF和HF的混合溶液可以获得三水合物GaF·3HO，后者受热时水解形成碱式盐GaF(OH)。三氟化镓与无机酸反应生成剧毒的氢氟酸。