南遭到黎文悦部的截击，因此奋力攻陷了归仁，欲据守归仁抗击旧阮。1802年，在得知归仁成为孤城、阮光缵逃往昇龙（今河内）之后，二人放弃了归仁，北上准备与阮光缵会合。陈光耀与武文勇途经哀牢，攻破香山县，准备北上昇龙；后得知旧阮攻破乂安，陈光耀遂与裴氏春回到清漳县。不久陈光耀夫妻二人都被旧阮俘虏。而武文勇也在农贡县被俘虏。西山朝灭亡之后，陈光耀被押往顺化，同其他被俘的西山朝将领一起枭首示众。如今，他被视作越南历史上一位英雄，归仁市有一坊名为陈光耀坊，西山县有一街道也叫陈光耀。