（明治三十六年），改名桃园厅。1909年（明治四十二年）10月，合併二十厅为十二厅，该庄隶属不变。1920年（大正九年），该庄改制并雅化为「南崁内厝」大字，隶属于新竹州桃园郡芦竹庄，大大字下有「内厝」、「溪洲」小字名。战后芦竹庄改制为芦竹乡，隶属于新竹县，大字亦改制为村。1950年桃、竹、苗分治，芦竹乡改隶属于桃园县。2014年12月桃园县升格为直辖桃园市，芦竹乡改制为芦竹区，村亦改制为里。
聚落.本地区发展较早的聚落有红瓦厝、蕃仔潭、溪洲仔、沈厝、大坡脚、坡脚、水头厝、埔尾、