雍正元年（1723年）改隶新成立的彰化县。九年（1731年）改隶新成立的淡水厅。光绪元年（1875年）设立台北府，改隶新成立的新竹县。十一年（1885年）设立福建台湾省，台北府位于其辖区内。
日治时期.明治二十八年（1895年）台湾进入日治时期，香山划属于台北县新竹支厅竹北一堡。三十年（1897年）改隶新竹县。三十一年（1898年）废除新竹县，改隶台北县新竹辨务署。三十四年（1901年）废县置厅，香山隶属于新竹厅香山区。四十二年（1909年）合併全台湾二十厅为十二厅，香山区隶属不变