礼监太监刘瑾权倾一时，赋予惜薪司特务职务，即内厂，权力更盛于东厂、西厂。正德五年（1510年）刘瑾失势，内行厂被废。万历时，惜薪司人数大增，至“朝进一人，暮进一人”，致“几十倍于前”。清顺治时十三衙门有惜薪司，康熙帝即位后，改惜薪司为内工部，属内务府，又改称营造司。
人员.
弘治时期.李质（司丞）
正德时期.孙和（左司）、韩锡
嘉靖时期.高忠（掌印）
万历时期.杜茂