硅与氟单质化合，二氧化硅与浓氢氟酸或活泼氟化物反应（即毛玻璃的制作和刻画原理），以及赤热的硅与无水氟化氢反应等。将粗品通过灼热的玻璃毛，再在低温用冷肼收集，便可除去其中的氟化氢、水等杂质。
应用.用于氟硅酸及氟化铅的制取，也用作水泥和水磨石（人造大理石）的硬化剂，有机硅化合物的合成材料。