臧惟一之子，兵部左侍郎臧尔劝之弟。天启二年（1622年）壬戌科进士，初授元氏县知县，举卓异，擢礼部主事，升员外郎，歴官河南睢陈兵廵道右参议、山西冀南道副使，饬兵将，核粮饷，流寇闻风远遁。
家族.曾祖臧棐；祖父臧节；父臧惟一。兄臧尔劝，万历二十年进士。