薄膜，即反应性离子蚀刻()。
性质.在氟甲烷中，C-F键的键能为552 kJ/mol，其键长为0.139 nm(典型的C-F键键长为0.14 nm)。分子构型为四面体。氟甲烷25度时的比热C为38.171 J.mol.K。临界点为44.9 °C (318.1 K)及6.280 MPa。氟甲烷是温室气体，其全球暖化潜势(GWP)为150。