°C以上时会脱水分解，同时释放气体四氟化硅。该结晶在水中溶解度高，溶解后可得酸性溶液。此外还可在稀酸中溶解，在氢氟酸中难溶解，不溶于醇。与碱发生化学反应时，其反应物产物包括二氧化硅及相应的氟化物。该物质具有毒性。
用途.在制作混凝土时，可以用于改善其强度与硬度的硬化剂，同时也是一种防水剂。此外在硅石表面处理中，可用作氟风化处理。由于毒性可以杀虫，亦可用作织物防虫，或者作为杀虫剂的活性成分之一。此外还可以在陶瓷制作中使用。
制备.净化后的氟硅酸溶液在反应器中