9 Å，C-As-C键角为91.83°。 这个键角是一个强烈的迹象，表明了三甲基胂分子中的原子轨道如同胂一样，没有或仅有极弱的杂化，因此砷原子s轨道上的孤对电子嵌在3s轨道中，而不是像三甲胺的孤对电子一样由于sp3杂化而裸露在外。三甲基胂可以通过三氧化二砷与三甲基铝反应制得：
性质.三甲基胂具有自燃性，因为它能在空气中发生以下的放热反应，使其加热至燃点：三甲基胂具有一定的毒性， 不过它的毒性常常被过分夸大。
用途与重要性.三甲基胂在微电子学中被用作