中确定吸附位、键角和键长等详细的表面结构信息。1960年代后期，考虑了多重散射的的提出使得从理论层面高精度地建模计算模拟实验变得可能。
实验装置.为了保持样品表面清洁，避免吸附物的出现，低能电子衍射实验经常是在超高真空（10 毫巴）下进行的。 低能电子衍射实验中几个必不可少的部分：右图为低能电子衍射实验装置的示意图。
样品制备.样品通常是在真空腔外制备的，一般会把样品沿选定的晶轴切割成1毫米厚，1厘米宽的大小。晶体方向的校准可以通过X射线方法实现，