::::历史.1960年以前，所有对于光电子的动能的分析实际上都是针对金属和其它固体表面出射的光电子的。1956年左右凯·西格巴恩建立了固体表面分析的X射线光电子能谱学（XPS）方法。该方法用X射线源来研究原子的内层电子（）的能量，其能量分辨率可达1电子伏特。1962年到1967年期间，物理化学家David W. Turner发展了用于研究气相中的自由分子的电子能谱结构的紫外光电子能谱方法。它们以波长为58.4纳米（属于真空紫外区）的氦灯作为光源对高真空中的分子进行辐照，达到了0.02电子伏特的能量分