扫描探针显微镜（'，'）是所有机械式地用物理探针在样本上扫描移动以探测样本影像的显微镜的统称。其影像解析度主要取决于探针的大小〔通常在纳米的范围〕。扫描隧道显微镜是第一个被发明的扫描探针显微镜〔1981年〕，这是一种用于在原子水平表面成像的仪器。第一次成功的扫描隧道显微镜实验由Binnig和Rohrer完成。他们成功的关键是使用反馈回路来调节样品和探针之间的间隙距离。许多扫描探针显微镜可以同时用几种相互作用来成像。使用这些相互作用来获得图像的方式通常被称为模式。