混合气流在400–450 °C下直接反应制得，这个反应的产率低于10%。
性质.六氟化钌是一种棕褐色晶体，熔点为54 °C。在−140 °C是测得它的固态结构为正交晶系晶体，空间群为"Pnma"。晶胞参数"a" = 9.313Å，"b" = 8.484 Å，而"c" = 4.910 Å。每个晶胞中有四个化学式单位的六氟化锇（这里是四个六氟化锇分子），密度则是3.68 g·cm。六氟化钌分子本身（气态或液态的主要存在形式）具有八面体形分子构型，点群为"O"。其中Ru–F键的键长