金属表面硬化制程就不止使用高含碳的材料（例如木炭），也会使用一些高含氮的材料（例如尿素），因此传统的表面硬化就已经是渗碳氮化。
制程.渗碳氮化类似气体渗碳，不过在渗碳气体中加入氨以提供氮原子。工件的表面会吸收氮原子，和碳原子一起扩散到工件中。渗碳氮化的温度（约850 °C / 1550 °F）略高于一般渗氮的温度（约530 °C / 990 °F），但略低于渗碳温度（约950 °C / 1700 °F），时间也较短。渗碳氮化比渗碳要经济，而且可以减少淬火时的变形。其温度较低，因此可