金属氟化物即MClF(例如KClF, RbClF, CsClF)与F的反应产生ClF和相应的金属氟化物MF。 1981年, 研究人员发现NiF是一个很好的制备ClF的催化剂。
反应.五氟化氯与水剧烈反应产生FClO和HF 或是氯酰氟和氟化氢：另外，它也是一个强大的氟化剂。它在室温下就能很容易地与所有元素（包括一些“惰性”的元素，如 铂和金）反应，除了所有惰性气体、 氮、 氧和氟。