动神龙革命，兵变初始，张柬之等率羽林兵五百余人，迎太子李显由玄武门入宫，复辟唐朝，是为唐中宗。因功擢天官尚书，封汉阳郡公。后五大臣均升郡王，张柬之封为汉阳郡王；崔玄暐博陵郡王；敬晖平阳郡王；桓彦范扶阳郡王；袁恕己南阳郡王。不久，张遭武则天的姪子武三思排挤，武三思以张等五大臣诬陷韦后为由，向唐中宗中伤他们，皇帝于是下诏，将五大臣流放边疆。张柬之被流放襄州（今湖北襄阳），气愤而死。唐睿宗复辟后，张柬之获平反，追赠中书令，追封汉阳郡公，谥曰「文贞」。另有曾孙张纁