解的一种分解产物产生，例如利用三氟甲醇或四氟甲烷在水的存在下的分解反应得到：碳酰氟也可通过氟化氢和光气的反应，或者一氧化碳的氧化反应制备，尽管后者往往会导致过度氧化成四氟化碳。用二氟化银氧化一氧化碳制备很方便：碳酰氟对水不稳定，水解为二氧化碳和氟化氢：
安全.碳酰氟是有毒的， 建议接触限制为2 ppm，8小时时间平均质量值，短期（15分钟平均值）暴露为5 ppm。