美病逝。1996年，工研院为纪念台湾「积体电路之父」，于院内成立「潘文渊文物纪念馆」，并由胡定华等人发起成立「潘文渊文教基金会」。
潘文渊奖.为台湾为了表彰科技创业人物而订立的奖项，潘文渊文教基金会于2001年（积体电路技术引进台湾25週年）时设立。