过程控制的工具，广泛应用于採掘和加工工业。原则上，最轻的元素，可分析出铍（z = 4），但由于仪器的局限性和轻元素的低 X 射线产量，往往难以量化，所以针对能量分散式的X射线荧光光谱仪，可以分析从轻元素的钠（z = 11）到铀，而波长分散式则为从轻元素的硼到铀。