到五氟化钽，但同时会生成三氟化钽。钽和氟化亚锡反应，可以得到五氟化钽：
性质.五氟化钽在固态是四聚体，由四个TaF中心经氟桥连接而成；气态时为三聚体，具有D对称性。五氟化钽是强路易斯酸，在水中水解。它可以和中性路易斯碱（如膦、砷）形成加合物，它和吡啶（py）反应形成的加合物可以写作[TaF(py)][TaF]。它和乙酰丙酮氧钛反应，经过[FTa(OTi(acac))]TaF加合物，得到二氟二乙酰丙酮钛和三氟氧化钽，完成钛至钽的氧迁移。五氟化钽在HF水溶液中和有机阳离子共结晶，