依次为分、釐、毫、秒或丝、忽、微、纤、沙、尘、埃、渺、漠。其中，《孙子算经》记载的最小词头是“忽”，《察微算经》记载的最小词头是“纤”。
佛经中的小数词头.在以上词头之下还有模煳、逡巡、须臾、瞬息、弹指、刹那、六德、虚空、清净、阿赖耶、阿摩罗、涅槃寂静，这些本为时间单位，不是小数词头，但某些书籍将其混入词头中。这些词中，部分词汇（须臾、瞬息、弹指）是汉语本有的，但只表示时间短，并无具体数值，部分词汇（刹那、阿赖耶、阿摩罗、涅槃寂静）来自佛经音译的印度词汇，来自汉语的那些词汇在佛经中被