礼记》所载，古代天子祭祀“八蜡”中的“水庸”，解释为「水者隍也，庸者城也」，故一般认为此为祭祀城隍之始，但此时的八蜡之祭应仅由天子祭祀，与后世城隍信仰情况不太相同。由汉代开始，城隍的祭祀活动不断提升，各地人民更尊封已死功臣名将或英雄豪杰为城隍，其中有纪信与霍光等。相传三国时代的吴国曾建城隍庙；另在《北齐书‧慕容俨传》记述，北齐大将慕容俨就曾于郢城拜城隍神祠而战胜了南梁敌军，为正史最早的明确记载。而《隋书‧五行志》记载：「梁武陵王纪祭城隍神，将烹牛，忽有赤蛇绕牛口。」由此可知，在南北朝的城隍普遍为民间