1635年）七月迁吏部右侍郎，调左侍郎。十年二月，清军入关，京师戒严，田唯嘉守正阳门有功，升任吏部尚书。崇祯十一年三月初六日被劾罢官，归隐饶阳。崇祯十七年（1644年），李自成破北京，派县令至饶阳。田唯嘉等人杀县令，不久清军入关，田唯嘉派其子献城于多尔衮。清廷起用田唯嘉，其托病推辞，不久病卒。葬于饶阳东留吾村。
着作.有《西台疏义》。