一种无机化合物，化学式为MoF。它是吸湿性的黄色晶体，以四聚体的形式存在。
制备.五氟化钼可由金属钼和六氟化钼反应得到：它也可由六氟化钼和三氟化磷反应制得：如果用三氯化磷进行反应，则会产生四氯化钼作为副产物：六氟化钼和硅的反应也是制备方法之一：此外，四氟化钼和四氟氧化钼在200 °C共热，也会生成五氟化钼：
反应.五氟化钼在165 °C歧化为四氟化钼和六氟化钼：它和碱金属氟化物在无水氟化氢中反应，生成六氟代钼(V)酸盐：它和氟化铜、钼