臭氧破坏潜势最早是Wuebbles在1983年所提出，利用和基准物质的比较，来量度一物质所产生的破坏。一特定物质的臭氧破坏潜势是定义为该物质破坏臭氧量，相对于相同质量的CFC-11破坏臭氧量的比值。臭氧破坏潜势和化学物质的成份有关，主要是受氯原子和溴原子的影响。一般氟氯碳化合物的臭氧破坏潜势大约为1，由于溴破坏臭氧的能力比氯更强，含溴的物质臭氧破坏潜势大约在5至15之间。氢氟氯碳化合物具有氢原子，很容易在对流层就和其他物质反应，到达平流层的机率下降，因此其臭氧破坏潜势约在0.005至0.02之间。氢氟