半导体机械手,顾名思义是应用于半导体制造企业的机械手，与一般制造企业的机械手有所区别,用于抓取和放置硅片的一种自动化传送装置。半导体机械手可以分成二类，大气机械手和真空机械手.目前世界半导体设备厂商主要有美国的布鲁克斯Brooks、Genmark和日本的乐孜Rorze、Jel.布鲁克斯Brooks的机械手的手臂arm和娃爪类似，而乐孜Rorze机械手的机构更加精致，真空系统比较复杂.