因战功获封肥后一国，氏张也跟随转封。但由于发生国人一揆，氏张于隈本城笼城指挥防守奋战，但成政因为一揆勃发的责任被下令切腹。佐佐氏遭到改易，氏张成为浪人。天正17年（1589年）改仕于德川家康，获封下总香取郡2000石。文禄元年（1592年）4月，家康于名护屋城出阵之际，与内藤信成共同于江户留守。8月5日死去。享年65岁。墓所在千叶县成田市伊能的宝应寺。子孙以旗本身分存续。