方被元诠击败，退守信都后行冀州事李平、济州刺史高植和元诠等将开始四面围攻，但元愉仍突围而出。事后改官侍中，兼以首告之功，除尚书左仆射。永平五年太岁壬辰三月廿八日戊午（512年4月29日），元诠在私人住宅中疾病发作去世，魏宣武帝诏令赐予最高等级的东园秘器，朝服一套，绢布七百匹，追赠使持节、骠骑将军、冀州刺史、尚书左仆射，安乐王如故，谥号武康，八月廿六日甲申（512年9月22日）葬于河阴县西芒山。