式）。
基本生长模式.
岛状生长模式.岛状生长模式又称Volmer-Weber模式、VM模式，得名于和A. 韦伯。在岛状生长中，薄膜原子相互之间的束缚力强于衬底对薄膜原子的束缚力，导致薄膜原子在衬底表面直接成核生长出三维的原子岛。大部分薄膜都是呈岛状生长的。
层状生长模式.层状生长模式又称Frank–van der Merwe模式、FM模式，得名于和。在层状生长中，衬底对薄膜原子的束缚力强于薄膜原子之间的作用力，导致薄膜遵循严格的二维