兰物理学家海克·卡末林·昂内斯首次将氦气进行液化；不过当时由于质谱法仍尚未开始发展，使得科学家并没有同时测量出关于液态氦-3的数据。发展至近10年以来，液氦主要被拿来作为低温制冷剂并且投入商业化生产，其中又以常在核磁共振成像、核磁共振、物理学实验使用的超导磁铁最为常见。不过液氦在生产上仍存在有部分难度，目前只能够借由林德－汉普逊循环的方式来将氦气液化。