领河内狭山7千石，此时成为合计1万1千石的大名，并成为狭山藩初代藩主。同年，在关原之战中属于东军的西尾吉次队，于是保着本领，在家康就任将军后仕于德川氏。在庆长13年（1608年）死去。享年31岁。法名是松林院殿净誉心彻大禅定门。墓所在大坂市的专念寺。家督由年幼的嫡男氏信继承。