京都守护职、田安德川家和一桥德川家的领地，另有少部分地方为、姬路藩、、古河藩领地。随着1868年幕府的结束及接着实施的废藩置县政策，曾分别先后隶属兵库裁判所、府中裁判所、兵库县、久美滨县、生野县、三草县、姬路县、忍县、古河县，1871年全数被整併到饰磨县内，1876年再次整併后属于兵库县。1879年实施，正式的设置了近代的行政区划「加西郡」，郡役所设于北条町（位于现在的加西市）。