哈布斯堡王朝借着耶稣会组织团体又重新引进天主教。在1742年第一次西里西亚战争之时, 下西里西亚与上西里西亚成为普鲁士王国领土。一小部分还属波希米亚王国之哈布斯堡王朝，称作「奥地利西里西亚」。上西里西亚在十九世纪初成为工业区, 利用其丰富煤炭和铁矿石。1919年第一次世界大战之后，东部地区分给波兰成为「西利西亚自治省」，而西部地区仍属德意志帝国称为「上西里西亚省」。从1919年至1921年上西里西亚发起了三次的人民暴动，安娜贝格战役是在这时候爆发。在上西里西亚的公民投票表决百分之六十反对加入到波兰。