）等等。而通常所成长的薄膜材料主要为三五族化合物半导体（例如：砷化镓（GaAs）、砷化镓铝（AlGaAs）、磷化铝铟镓（AlGaInP）、氮化铟镓（InGaN））或是二六族化合物半导体，这些半导体薄膜则是应用在光电元件（例如：发光二极体、雷射二极体及太阳能电池）及微电子元件（例如：异质结双极性晶体管）及假晶式高电子迁移率电晶体（PHEMT））的制作。
MOCVD组件介绍.MOCVD系统的组件可大致分为：反应腔、气体控制及混合系统、反应源及废气处理系统。1. 反应腔（Reacto