成，（使用一般日光含的紫外光就已足够。）在高温下用催化剂长时间加温会产生。在NaF中经热裂解后可以形成高纯度。氙的氟化物都可以作为氟离子受体和予体，形成如和等正离子，以及、和等负离子。经氙气还原后，会形成绿色的顺磁性离子。可以与过渡金属离子形成配合物。已知的配合物已超过30种。虽然人们对氙的氟化物已有一定的了解，但是对其他的卤化物则几乎一无所知。唯一已知的卤化物为二氯化氙（XeCl）。二氯化氙是一种吸热的无色晶体，在80°C以上会分解成其组成元素。对氙、氟及四氯化硅或四氯化碳的混合物进行高频率光