并且是该程度非常类似于电弧/火花发射光谱。LIBS在技术上是非常相似的一些其它基于激光的分析技术，共享许多相同的硬件。这些技术是拉曼光谱学的振动光谱技术，（LIF）的荧光光谱技术。实际上，现在设备已经被制造成在单个仪器中结合这些技术，允许样品原子的，分子的和结构的特征研究，以给予物理性质的一个更深入的了解。
硬件构成.1064nm Nd:YAG脉冲激光器，脉宽约为10ns，经聚焦后能量密度达到1GW/cm。光谱仪包括分光部分和光电转换模块。