建安初年，曹操分齐国之临朐县与琅邪郡东莞县置东莞郡。建安十一年（206年），齐国除为郡。汉末，复置广饶县。
魏晋.魏时于齐郡置益都县。青龙三年（235年），明帝封其养子曹芳为齐王。齐王芳于景初三年（239年）即皇帝位。同年，迁辽东郡东沓县民渡海入齐郡，置新沓县。正始元年（240年），徙辽东郡北丰县民于齐郡，置新汶、南丰二县。复置东安平县。嘉平五年（253年）司马师废曹芳帝位，还封为齐王。魏末景元中，齐国领十一县：魏咸熙二年（265年），晋武帝代魏，改元泰始，封其弟司马攸为齐王