形式之前，犹太教同时使用上述两种字母。在之后的一小段时间内，古希伯来字母（古撒马利亚字母）只被用来写四字神名，不久此习俗也被废除。此字母同样存在。1631年，出版了一份《撒马利亚五经》的手稿，这让撒马利亚字母开始为西方知晓。1616年，旅行家在大马士革买到了一份抄本。这份抄本现在被称为“密函B（Codex B）”。收藏于法国国家图书馆。
发展.下表展示了撒马利亚字母的发展史。第一列是用来对比的对应希伯来字母。第二列是古希伯来字母。倒数第二列是现代字母。Section::