1601年木下家定由姬路藩移封到足守藩，并设置阵屋。1609年遭幕府没收。1610年浅野长政三男长晟以2万4千石入主。1613年因兄幸长病逝，返回管理纪州藩。约一年成为幕府的天领。1615年由木下利房在大坂之阵的战绩。重返足守藩，并维持到幕未为止。废藩置县时成为足守县，然后是深津县及小田县最后成为冈山县。
藩主.
木下家.外样　2万5千石　（1601年 - 1609年）
浅野家.外样　2万4千石　（1610年 - 1613年）