技术。因此技术主要借由俄歇效应进行分析而命名之。产生于受激发的原子的外层电子跳至低能阶所放出的能量被其他外层电子吸收而使后者逃脱离开原子，这一连串事件称为俄歇效应，而逃脱出来的电子称为俄歇电子。1953年，俄歇电子能谱逐渐开始被实际应用于鑑定样品表面的化学性质及组成的分析。其特点是俄歇电子来自浅层表面，仅带出表面的资讯，并且其能谱的能量位置固定，容易分析。