953年，弗里茨·塞尔尼克因为对相衬法的证实，发明相衬显微镜获得诺贝尔物理学奖。1986年，恩斯特·鲁斯卡因研制第一台透视电子显微镜获得诺贝尔物理学奖。格尔德·宾宁、海因里希·罗雷尔因研制扫描隧道显微镜获得诺贝尔物理学奖2014年10月8日，诺贝尔化学奖颁给了艾力克·贝齐格 (Eric Betzig)，W·E·莫尔纳尔 (William Moerner)和斯特凡·W·赫尔 (Stefan Hell)，奖励其发展超分辨荧光显微镜 (Super-Resolved Fluorescence Microsc