直至杰出教授。1990年至1993年回台湾担任中央研究院物理研究所研究员兼所长，1993年至1999年担任该所特聘研究员兼所长，1999年至2007年担任该所特聘研究员。他是场离子显微镜和原子探针的先驱研究开发者，对发展此技术有杰出和创新性的贡献。在原子尺度表面物理的研究上，他享有国际声誉，并发表论文近三百篇。在原子显微学和原子、分子动态学等领域，他的研究成果具有国际权威性，每年论文被引用次数都在两百次左右。1992年，获选为第19届中央研究院院士。在此之前，他曾于1975年任教宾州州立大学物理系期