即在高真空高温环境中在基板上沉积锗原子层。高质量的锗烯薄膜揭示了具有新颖电子特性的不寻常二维结构，这种结构适用于半导体器件应用和材料科学研究。 
制备和结构.2014年9月，G. Le Lay等人报告了在金的米勒指数（111）的晶格上用分子束外延沉积了单原子厚的有序的二维多相膜。扫描隧道显微镜（STM）确认了该结构并揭示了近乎平面的蜂窝状结构。 光谱测量和密度泛函理论计算提供了进一步的证据。高质量和近乎平坦的单原子膜的发展引起人们的猜测，即锗烯不仅可以增加相关的纳米材料的新性质