法。这是由于六氟化铀的三相点为 147 °F （64 °C，337 K），且气压略高于大气压。氟在自然界只存在一种稳定核素也是一个原因，因此各种六氟化铀分子的相对分子质量差异可以完全归咎于各种铀核素相对原子质量的差异。其他所有的氟化铀将产生固态的配位聚合物。气相扩散法所需用的能量大约是气体离心法的60倍。尽管如此，其中仅仅有4%的能量被用于制取浓缩铀。除此之外，捷克发展了一种循环使用核燃料的方法：用旧的氧化物核燃料与氟气反应生成各种氟化物的混合物，再用分馏分离各种组分。