儒，父亲卢廷箎，母亲余氏，年幼已经通晓五经，八岁能写文章，十三岁入县学，成年后就以《书经》中万历十年（1582年）湖广乡试举人第六十三名，初次参加会试后回家，得知父亲病重，因此哀毁骨立，父亲死后抚爱幼弟；到三十八年（1610年）会试中式第二十四名，成三甲进士，获授益都知县。县民庞好仁贿赂乞丐冒充工人杀害主让其通姦，他审判后发现实情，令庞好仁抵罪，一时豪强都感到恐惧，四十年（1612年）他担任山东乡试同考官，解元、经魁皆出自他门下；很快卢尧臣致仕隐居，和生徒讲学终老，七十五岁去世，着有《三不朽集》，入祀乡贤祠