维制成，直径约0.5到2.0微米，通过微观的絮状结构，主要是用来去除0.5µm以上之微粒。同样被使用于空气净化的滤网，按过滤效率由低至高，命名为粗效滤网、中效滤网、亚高效滤网及比高效滤网还要高的超高效滤网。
技术规格.根据美国能源部（DOE, United States Department of Energy）公布，HEPA滤网应当至少过滤99.97%直径 ≧ 0.3微米(µm)的空气中的颗粒。这也是大多数美国工业部门采纳的标准。滤网的最小气流阻力，或者压降，通常规格为在其标称