过氧化苯甲醯作为自由基引发剂发生自由基取代，而氯化物会在α位进行单取代（只占28％，由于甲硅烷基的立体阻碍），其他主要在β位进行。借由加入氢氧化钠到α位取代化合物，将只有硅基氯基团被取代，而不是碳氯基团。另一方面将强硷加入到β位取代的化合物反而会发生乙烯的消除反应。在另一组实验中（方案三）的氯化作用被重复使用在正丙基三氯硅烷上，α加成物和γ加合物是抗水解的，但β-加合物的氯基团会被羟基基团所取代。另外,硅基效应还会表现在某些化合物的特性上。N-(三甲基硅基)甲胺（Me3SiCH2NH2）为一