Dawon Kahng于1959年发明。 1962年， Leland C. Clark和Champ Lyons发明了生物传感器 。 特文特大学的荷兰工程师Piet Bergveld随后研究了MOSFET，并意识到可以将其改装为用于电化学和生物应用的传感器。 这导致了Bergveld在1970年发明ISFET。 他将ISFET描述为“一种具有一定距离的栅极的特殊MOSFET”。 它是最早的生物传感器FET （BioFET）。 ISFET传感器可以在基于 CMOS（互补MOS）技术的 集成电路 中实现