，美国麻省理工学院教授，国际电磁科学院院长，IEEE fellow和美国光学学会Fellow。林本坚：1963年电机系毕业，美国俄亥俄州立大学电机工程博士。中央研究院院士、美国国家工程院院士，国际光学工程学会院士，IEEE Fellow，第二届工业技术研究院院士。是中央研究院数理科学组第一位非学界出身的院士，「浸润式光学微影技术」（Immersion Lithography）的先驱。曾任职于IBM部门经理、美商领创总经理。现任台湾积体电路制造股份有限公司研究发展副总经理，国际半导体产业协会（SEMI）台