a etching）中。三氟甲烷也是一种制冷剂（冷媒），名称为R-23或HFC-23，因为其不含氯，不会造成臭氧层破洞，有时会用来会取代造成臭氧层破洞的三氟氯甲烷（cfc-13）。三氟甲烷因为其低毒性、不容易反应及高密度，可用作灭火剂使用。此时常使用杜邦的商标名称FE-13代表三氟甲烷。三氟甲烷过去曾用来取代气体灭火系统中的海龙1301（cfc-13b1）。
有机化学.三氟甲烷在去质子化后是一种提供CF的试剂，分子为弱酸性，pK为25–28。三氟甲烷是CFSi(CH)的前体。