合至同一个晶片内。金氧半场效电晶体原本在数位积体电路上就有很大的竞争优势，在类比积体电路上也大量採用金氧半场效电晶体之后，把这两种不同功能的电路整合起来的困难度也显着的下降。另外像是某些混合讯号电路（Mixed-signal circuits），如类比数位转换器，也得以利用金氧半场效电晶体技术设计出效能更好的产品。近年来还有一种整合金氧半场效电晶体与BJT各自优点的制程技术：BiCMOS也越来越受欢迎。BJT元件在驱动大电流的能力上仍然比一般的CMOS优异，在可靠度方面也有一些优势，例如不容易被静电放电