历史.1939年美国物理学家路易斯·阿尔瓦雷茨和罗伯特·考恩奥格首先在质谱分析中使用加速器，当时他们正用回旋加速器证明He是稳定的原子，从观察中他们立刻发现其它质量数为3的同质素是放射性的。1977，受到之前工作的启发，劳伦斯伯克利国家实验室的理查德·A·穆勒认识到现代加速器可以把放射性元素的同位素原子加速到 可以用粒子识别技术消除其背景影响的程度，他在《科学》上发表了自己的工作，文章说明回旋或线性加速器可以用于探测氚，放射性碳同位素
应用.加速器质谱法的应