。从此不再出仕。清光绪元年（1875年），俞樾得友人资助买下苏州一块废地，如曲尺形，他亲自设计，利用弯曲的地形凿池叠石，栽花种竹，建屋30余楹，取《老子》“曲则全”句意，俞樾将其命名为“曲园”，自号曲园居士。晚年在杭州诂经精舍讲学。其弟子有章炳麟、吴昌硕等人。俞樾在近代日本很受推崇，甚至与李鸿章、曾国藩相提并论。孙俞陛云光绪二十四年中探花，《清史稿》编撰者之一，文学也有很高造诣。曾孙俞平伯，现代学者，红学家。族人俞恒润、俞恒泽、俞奎垣皆进士。光绪32年（1906年）秋末，俞樾在受当时江苏巡抚