于进行半导体器件制造中光刻步骤的光罩等精密规格的器材。在集成电路发展的早期，集成电路的复杂程度较低，因此设计任务也没如今那么困难，其版图设计主要依靠人工在不透明的磁带和胶片上完成，这在一定程度上类似人们使用印刷电路板来完成中小型电路的设计。现代超大规模集成电路的版图设计通常需要在集成电路版图编辑器等软件的辅助下完成，大多数复杂的步骤都可以使用电子设计自动化工具代替人工劳动，包括布局、布线工具等，但是工程师也必须掌握操作这些软件的技术。整个有关版图的物理设计、仿真往往涉及了大量文件格式。随着计算机功能的不