根据五代苏禹珪《重修蒙山开化寺庄严阁记》中所述“北齐文宣帝天保末年，凿石通蹊，依山刻像”，认为蒙山大佛的开凿始于天保十年（公元559年）。研究者据《北史》中后主高纬“凿晋阳西山为大佛像，一夜然油万盆，光照宫内”的记载，认定蒙山大佛完工于后主高纬时；又根据宋人记载中蒙山曾有北齐天统五年三月撰《蒙山碑》、《北史》天统五年三四月间北齐后主身在晋阳且有重要佛事举行，推定蒙山大佛的完工时间就是北齐天统五年（公元569年）。
增修至毁废.隋朝仁寿年初，开化寺中新建佛阁以保护大佛，并改名为净明寺