取代。保定元年（561年）四月，周武帝派时任治御正的殷不害出使南朝陈。
羁旅归国.建德四年（575年），因陈、周通好，南北流寓者各自获准回故国。陈朝请求王褒、庾信等十数人南返，周武帝只放还王克、殷不害等。诏除授殷不害司农卿，迁光禄大夫。太建八年（576年），加明威将军、晋陵太守。在郡染病，诏以光禄大夫征还养病。陈后主即位，加给事中。殷不害南归时，北周留下其长子殷僧首，殷僧首就住在关中。祯明三年（589年），隋朝灭陈，殷僧首来迎父亲，殷不害在路上去世。
家族.