法生产薄膜和人工结构（如量子阱、量子线和量子点），在交叉分子束法中亦有应用。可通过操纵电场和磁场使分子束中的分子减速，斯塔克减速或者可使其减速。 
历史.第一个研究分子束的是H·卡尔曼和F.Reiche。1921年，他们开始对电偶极矩和极性分子在不均匀电场中的偏转产生兴趣。1922年的施特恩－格拉赫实验激发了他们工作的灵感，该实验中使用的并非分子束，而是原子束。 1927年，Erwin Wrede首次发现电偶极矩和分子束（使用氯化钾等二元盐）偏转之间的关系。在1939年，伊西多·