子束进行散射时,发现了散射束强度随空间分布具有不连续性，实质上就是电子的衍射现象。几乎与此同时，乔治·汤姆森(George Paget Thomson)用能量为2万电子伏特的电子束穿过多晶薄膜做实验时,也观察到衍射现象。电子衍射的发现证实了德布罗意提出的电子具有波动性的理论。
电子衍射装置.传统的电子衍射装置，从阴极发出的电子被加速后经过阳极的光栅孔和透镜到达试样上，被试样衍射后在荧光屏上形成电子衍射图样。由于物质（包括空气）能够吸收电子，故该实验需要置于真空中进行。若电子的加速电