质。使用放电等离子烧结是另一种可以制备更纯净大块材料的方法，对压实的粉末在非常短的时间内（几秒中）进行电流脉冲，用这种方法能在1500-1700°C的温度下得到紧实致密的氮化硅块状物。
晶体结构和特性.氮化硅（SiN）存在有3种结晶结构，分别是α、β和γ三相。α和β两相是SiN最常出现的型式，且可以在常压下制备。γ相只有在高压及高温下，才能合成得到，它的硬度可达到35GPa，为包含八面体形六配位硅原子的尖晶石型结构。