970年代时诞生了一种新的合成工艺，即先将反应物用水稀释，并加入甲磺酸进行反应，接着用苯萃取和水洗，以除去过量的甲磺酸和过氧化氢，这样就可以直接得到芳香过氧酸溶液。这种方法也适用于一些不溶于水的芳香过氧酸的制取。2、一些芳香过氧酸也可以通过液相中芳香醛的自由基引发的自氧化反应来制备。3、通过有机过氧化物在强碱存在下水解来制备相应的过氧酸。这是一种较为古老的方法，但目前仅用于一些芳香过氧酸的制备。4、酸酐与30～98.5％浓度的过氧化氢反应生成过氧酸。此法用于制取单过氧邻苯二甲酸。5、酰卤、过