1870年代，台湾建省之后行政区划归基隆厅石碇堡，仍不成镇。日治时期初期设水返脚辨务署，1920年设街，并将水返脚更名为日式地名「汐止」。而汐止街之名称直至中华民国时期仍旧沿用，仅将「街」改为「镇」。
街庄原名.原属石碇堡之水返脚街、保长坑庄、乡长厝庄、十三份庄、横科庄、康诰坑庄、白匏湖、樟树湾庄、北港庄、社后庄、叭嗹港庄、鹄鹄崙庄、茄苳脚庄、石硿仔庄、姜仔藔庄Se