的。其中包括更改的硅加工方法如压延、电镀、湿蚀刻、干蚀刻、电火花加工等等。生产微机电系统的公司的大小各不相同。大的公司主要集中于为汽车、生物医学或电子工业生产大批量的便宜的系统。成功的小公司则集中于生产创新的技术。所有这些公司都致力于研究开发。随着传感器的发展微机电系统的复杂性和效率不断提高。常见的应用有：设计微机电系统最重要的工具是有限元分析。
技术.微机电系统有多种原材料和制造技术，选择条件是系统的应用、市场等等。
硅.硅是用来制造集成电路