为强氟原子源，并且三氟化氯在工业应用中需要与和使用氟一样小心谨慎。
稀有气体.稀有气体具有满电子壳层，在1962年化学家尼尔·巴特利特报告了六氟合铂酸氙的合成以前，人们认为它们不与其他元素反应 。从那以后，二氟化氙、四氟化氙、六氟化氙以及多种氧氟化物陆续被合成出来。在其它稀有气体中，氪可以与氟形成二氟化氪，而氡可以与氟形成一种固体，据推测为二氟化氡。氟与更轻的稀有气体形成的二元氟化物极不稳定。在极端条件下，氩可以与氟化氢结合产生氟氩化氢。氦与氖无法形成稳定的氟化物，并且从未观察到氟