材料表面工程是材料科学的分学科，它主要侧重于研究固体物质的表面。它在化学、机械工程、电气工程（特别是对于半导体制造）方面都有应用。固体是由块体材料及覆盖其上的表面所组成的。约束块状材料的表面称为表面相，它作为界面将材料与周围环境隔开。被表面覆盖的固体称为体相。固体中的表面相会与周围环境产生相互作用。这种相互作用随着时间的推移会恶化表面相。环境随着时间的推移对表面相产生恶化的原因可能有磨损，腐蚀，疲劳和蠕变。材料表面工程的内容涉及改变表面相的性质，以减少随着时间推移造成的恶化。这是通过使表面适应于其所