。后来臧焘升为通直郎，复任刘裕镇军、车骑、中军、太尉谘议参军。刘裕北伐关、洛，大司马琅邪王一同出征，任命臧焘为大司马从事中郎，总揽留府之事。义熙十四年（418年），任命为侍中。元熙元年（419年），因脚病离职。刘裕登基后，召拜臧焘为太常，虽然身为外戚显贵，然而更加自我约束，住茅屋吃蔬菜，不改变原有的习惯，所得俸禄，与亲戚共用。永初三年（422年），臧焘退职，拜光禄大夫，加金章紫绶。同年去世，时年七十岁。少帝追赠他左光禄大夫，加散骑常侍。