后由织田信长次男织田信雄统领。1600年关原之战织田信雄加入西军之故，战后改由结城秀康交给重臣土屋正明管理。结城秀康死后土屋正明殉死，改由小栗正高管理。1624年秀康之子松平直政以5万石封于大野，大野藩从此立藩。1635年8月松平直政改封信浓国松本藩，松平秀康之子松平直基由越前胜山藩改封此处。1644年松平直基又一封出羽国山形藩，松平秀康之子松平直良又由越前胜山藩改封至此。1678年松平直良去世后，其子松平直明继承家督，并于1682年改封播磨国明石藩。此时大也改由江户幕府初期大老土井利胜