一词（来自法语「athée」，意为「否认或拒绝相信神的存在的人」）在英语中出现的比无神论更早，大约在1571年。无神论者最早在1577年开始被当作不信神者的标签。相关的词语则在其后出现：自然神论者，1621年，有神论者，1662年；有神论，1678年；自然神论，1682年。1700年左右，在无神论一词的影响下，自然神论和有神论的词义发生了轻微的变化；"自然神论"的本义与"有神论"完全相同，但却有了"独立"于有神论的哲学意义。曾记载：“在16到17世纪之间，无神论者一词仍然只能在辩论中见到……被唤做无神论