燥的硅粉在氯化沸腾炉中与干燥氯化氢气体在340°C下进行反应，生成的粗三氯氢硅经湿法除尘器、列管冷凝器去蒸馏塔分离四氯化硅，再经冷凝，得成品。利用硅铁和HCl的反应也可以得到产物。
性质.无色有刺激腥臭味的液体。遇水分解，溶于二硫化碳、四氯化碳、氯仿、苯等。易燃，在空气中能自燃。有毒！它可以和烯烃发生加成反应。乙烯的氢硅烷化反应如下：这一反应通过HPtCl、Co(CO)、Ni(cod)、NiCl(PPh)或RhCl(PPh)之类的催化剂催化。
用途.