19世纪末，科学家发现可以通过压缩和冷却使空气变为液体，再分离其中的各种成分。瑞士化学家、物理学家拉乌尔·皮克泰利用串级法，通过蒸发液态二氧化硫使二氧化碳液化，再通过蒸发液态二氧化碳使氧气液化。1877年12月22日，他向法国科学院发送电报，宣佈发现液氧。两天后，法国物理学家路易·保罗·卡耶泰宣佈用自己的方法，同样成功制成液氧。两人都只产生了几滴液氧，无法进行进一步的分析。1883年3月29日，波兰科学家和终于制成稳定状态下的液氧。1891年，苏格兰化学家詹姆斯·杜瓦产生了足够的液氧做进一步研究。189