O的制备则需过氧化钠与氧气加压反应，单质直接反应得到的超氧化钠约占10%。它们都是橙黄色的稳定固体，与水迅速反应歧化。反应中的O先部分与质子反应生成超氧酸（HO，pKa约为4.88），然后发生如下反应：其他制备超氧化物的方法包括：碱土金属中，钡和钙的超氧化物Ba(O)、Ca(O)也已制得。Mg、Zn、Cd的超氧化物仅以很小浓度，以固溶体的形式存在于相应的过氧化物中。固态超氧化物加热时分解，与二氧化碳反应经由过氧碳酸盐中间体，最终得到氧气和碳酸盐。超氧化钾可用作空间飞船和潜艇中的供氧剂。Sec