欲加工之工件靶材。电子束加热属于的一种。电子束炉常用来制造或精炼高纯度金属，尤其是的钛、钒、钽、铌、铪，跟一些奇特的合金等等。电子束炉利用（实务上热电子枪较常见，如果场发式的还要考虑电磁场对电子束飞行路线的干扰）来产生电子束，而且通常电子枪会以施加高电压的方式来确保电子束中的电子有足够的飞行速度。如果要做真空加热，未必非电子束炉莫属，电弧炉也是一种常见的替代方案。其它类似的科技还有跟。