值。最后，所得最接近实验数据之 formula_1 及 formula_2 数值，其参数来源的光学常数及(或)厚度可视为此量测之最适化结果。
定义.
单波长 与 光谱 椭圆偏振技术.单波长椭圆偏振技术使用单色光光源，通常为可见光范围之雷射光源，例如波长为632.8奈米之氦氖雷射。因此，也常称之为雷射椭圆偏振技术。其优点在于雷射光可聚焦为相当小之光点，并且相较于非单色光之宽频谱光源，雷射光能提供较高之强度，因而可利用于椭圆偏振成像。然而，实验之结果也就限制于每次