::物理性质.六氟乙烷在固相时拥有两种晶型，不同相变温度已于科学文献中列明，最新的文献将相变温度定于103 K(-170 °C)。在低于103 K的情况下，它会有一个稍微无序的结构，在相变点以上，会形成体心立方晶体结构。六氟乙烷密度表：六氟乙烷蒸气相对空气的密度为4.823，21°C时比重为4.773（空气是1），比容为0.1748 m³/kg。
用途.六氟乙烷可用于一种具多功能的蚀刻技术，常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧