，卢芳“自称天子于九原”，建都九原县，佔据五原、朔方、云中、定襄、雁门五郡。建武十一年（35年），罢朔方刺史部，五原、朔方等郡遂属幷州。建武十二年，九原守将随昱降汉，卢芳亡入匈奴。建武二十年（44年），“省五原郡，徙其吏人置河东”。二十六年（50年），南匈奴内附，郡民迁回五原郡本土。明帝永平中，五原屡遭北匈奴入寇。顺帝永和初年，五原郡领十县：九原、五原、临沃、文国、河阴、武都、宜梁、曼柏、成宜、西安阳，有4667户，22957人。汉书地理志所载之固陵、蒱泽、南舆、稒阳、莫（黑旦）、河目六县当于东汉前期省併。