背散射分析是指通过探测大角度散射离子能谱来确定靶物质特性的分析方法，一般角度介于165°～170°之间，主要应用于分析靶物质成分。背散射分析有许多的优点，例如快速、定量、无损等等，另外它还可以元素同时分析，因此这个方法可以作定量分析而不需要“标样”。一般背散射分析都用能量为 1～2.5MeV的α粒子束作入射束，因为α粒子束可以得到较好的质量分辨率和深度分辨率。背散射分析已成为固体物理、半导体物理、材料科学研究等领域中常採用的较成熟的分析手段。