政（清末提学使）、按察使（清末提法使）、以及清末巡警道、劝业道驻地。清初沿袭明制，下辖五州、二十县，但州不辖县。雍正中期将平定州、忻州、代州、保德州改为直隶州，割出十县隶属此四直隶州，随即将兴县改回太原府辖下。干隆二十八年（1763年）裁清源县併入徐沟县。下辖一州、十县：