由氯甲烷与硅粉在氯化亚铜存在下反应并精馏提纯获得，也可由亲核性甲基试剂如甲基锂与四氯化硅发生亲核取代反应制得。
用途.三甲基氯硅烷在有机化学中有很广泛的用途，既可作为三甲基硅基的来源，也可在无水情况下提供氯离子。醇、胺、羧酸和金属炔化物与三甲基氯硅烷迅速反应，分别生成三甲基硅醚、三甲基硅基胺类、三甲硅基酯和三甲硅基炔烃，可用于保护相应的官能团。用三甲基氯硅烷保护羟基的反应一般在三级胺中进行。保护后的化合物可通过与氟离子作用而脱去保护基。三甲硅基对酸是不稳定的，并且三甲硅基的