国际器件和系统路线图》将5纳米工艺定义为继7纳米之后MOSFET技术节点。商用5纳米制程基于具有FinFET（鳍式场效应晶体管）的多闸极电晶体（MuGFET）技术。还有已经证明的5纳米GAAFET（环绕栅场效应晶体管）技术，但尚未商业化。2020年初，三星电子和台积电已经开始5纳米制程的有限风险试产，并计划在2020年底开始批量生产。2020年9月15日，由台积电制造的Apple A14 Bionic成为首个公开发表的5纳米制程晶片。
历史.英特尔最早在2009年蓝图规划于2020