，在某种程度上与原子吸收光谱仪互补，减少工厂附设的品管实验室之分析人力投入。
X射线荧光的物理原理.当材料暴露在短波长 X 光检查，或伽玛射线，其组成原子可能发生电离，如果原子是暴露于辐射与能源大于它的电离势，足以驱逐内层轨道的电子，然而这使原子的电子结构不稳定，在外轨道的电子会“回补”进入低轨道，以填补遗留下来的洞。在“回补”的过程会释出多余的能源，光子能量是等于两个轨道的能量差异的。因此，物质放射出的辐射，这是原子的能量特性。
X射线荧光光谱法在化学分析