层原子会在实验中被观测，而较深层的原子对衍射的贡献较少。
动理学衍射理论：单次散射.电子在样品表面只发生一次弹性散射的情况被定义为动理学衍射（kinematic diffraction）。理论计算中的电子束为平面波，其波长由德布罗意方程给出：在描述表面上散射的相互作用时，使用倒易空间较实空间更为方便。三维倒晶格矢量和实空间格矢 {a, b, c} 有如下关系：对于具有波矢 formula_11 的入射电子，和波矢为 formula_12 的散射电子，形成相长干涉的条件由劳厄