.六氟合铂(V)酸二氧基（OPtF）是第一个制得二氧基盐，是用强氧化性的六氟化铂（PtF）氧化氧气得到的：OPtF的制得直接推动了稀有气体化合物的发展。鉴于Xe与O第一电离能相近，因此科学家尝试用六氟化铂氧化氙，并从此制得了第一个稀有气体化合物六氟合铂酸氙。二氧基盐中的阴离子还可以是MF（M = P、As、Sb）、SnF和BF。制备方法还有：这些物质在室温下迅速分解：