有时成为维尔纽斯公国。维尔纽斯省成为了立陶宛大公国的首都省。在1569年卢布林联合成立联邦后，大公国依然保留其大部分权利，而且维尔纽斯省依然为它的首都省，和维尔纽斯省依然保留其首都身份，虽然联邦的首都一开始是克拉科夫（克拉科夫省），而后来是华沙（马索维安省一样。在瓜分波兰后，维尔纽斯省被俄罗斯帝国吞并，领土的大多数变为维尔纽斯省的一部分。在第一次世界大战后，过去的维尔纽斯省被立陶宛和波兰分割。在第二次世界大战后，苏联将其波兰部分转移到白俄罗斯苏维埃社会主义共和国。