的电子需要更大能量的光子。因此，产生EUV的过程与吸收电离的过程彼此竞争。另外，在同步加速器中，沿轨道高速运动的电子也会辐射EUV。
物质中EUV的吸收.当EUV光子被吸收的时候，电离过程中产生光电子和二次电子，这与物质吸收X射线或电子束的过程类似。物质对EUV的响应可以通过下面方程进行描述：有机物的电离势一般为7-9eV，金属的电离势为4-5eV。光电子接下来通过碰撞电离导致二次电子发射。有时，俄歇跃迁也会发生，吸收一个单个光子将发射两个电子。严格地说，光电子，俄歇电