有留下合法继承人，头衔由他的女婿斐迪南·卡尔继承，奥地利-埃斯特家族成立。斐迪南·卡尔是奥地利女大公玛丽亚·特蕾西亚与神圣罗马皇帝法兰兹一世的第四子，是时任神圣罗马皇帝法兰兹二世的叔叔。随着义大利王国于1814年解体及拿破崙的败亡，斐迪南的儿子法兰西斯科四世在奥地利帝国的支配下重新获得摩德纳公爵的头衔，不久后从他母亲那边继承了马萨与卡拉拉公国，公国在义大利统一运动中，曾于1831及1848年短暂的被推翻，但都很快地就回归了。
公国覆亡.1859年第二次义大利独立战争的马真塔战役