首次合成于1963年。 这种无色气体是一种强氧化剂，曾经是火箭的候选氧化剂。它具有C对称性的四方锥结构已经被高清晰度的F核磁共振所证实。
制备.五氟化氯的一些早期合成得到了分类。 最初，一种常用于合成五氟化氯的方法是ClF与F在高温高压下反应。 此外，金属氟化物即MClF(例如KClF, RbClF, CsClF)与F的反应产生ClF和相应的金属氟化物MF。 1981年, 研究人员发现NiF是一个很好的制备ClF的催化剂。
反应.五氟化氯与水剧烈反