测量法）或范德堡法来测量。薄膜电阻用欧姆每平方（formula_1）来计量，可被应用于将薄膜考虑为一个二维实体的二维系统。它与三维系统下所用的电阻率的概念对等。当使用到薄膜电阻一词的时候，电流必须沿着薄膜平面流动，而非与其垂直。对于常规三维导体，电阻可写为其中formula_3代表电阻率，formula_4代表截面面积而formula_5代表长度。截面面积可被分解为宽度formula_6和薄膜厚度formula_7。当把电阻率和厚度放到一起时，电阻可被记为formula_9即为薄膜电阻。因