甲基硅基取代化合物中羟基上的氢原子，以这种方式可在分子上引入三甲基硅氧基团[−O-Si(CH)]，反应中的常用试剂如：三甲基氯硅烷和二(三甲基硅基)酰胺。三甲基硅基团在分子上的引入，通常使分子具有更易挥发的倾向，从而分子更易被气相色谱法或质谱所检测。如菜籽固醇相关文献中就提及了其三甲基硅衍生化的反应。三甲基硅基连接于反应物分子中的特定官能团，通常可在化学合成或一些化学反应中充当暂时的保护基。在色谱法中，于键合固定相上使用三甲基硅基通过硅醇进行衍生化，被称为。在核磁共振波谱法中，化合物中的三甲基硅