合成反应中偶然发生的配置错误，也就是一些无法与另一股配对的硷基。检测出错误之后，其3'到5'方向的外切酶活性会发生作用，并将错误的硷基移除。大多数生物体内的脱氧核醣核酸聚合酶，是以称为复制体的大型复合物形式来发生作用，此复合物中含有许多附加的次单位，如DNA夹或螺旋酶。依赖RNA作为模板的脱氧核醣核酸聚合酶是一种较特别的聚合酶，可将RNA长链的序列复制成脱氧核醣核酸版本。其中包括一种称为逆转录酶的病毒酵素，此种酵素参与了逆转录病毒对细胞的感染过程；另外还有复制端粒所需的端粒酶，本身结构中含有RNA模板。