芳香醛的自由基引发的自氧化反应来制备。3、通过有机过氧化物在强碱存在下水解来制备相应的过氧酸。这是一种较为古老的方法，但目前仅用于一些芳香过氧酸的制备。4、酸酐与30～98.5％浓度的过氧化氢反应生成过氧酸。此法用于制取单过氧邻苯二甲酸。5、酰卤、过氧化钠或过氧化氢与碱反应生成过氧酸。6、硼酸与羧酸酐与过氧化氢作用，得到很高产率的无水过氧酸。这种方法可用于制备过氧乙酸、过氧丙酸、过氧丁酸、过氧硬脂酸和过氧棕榈酸等。7、过硼酸钠与酸酐（或二乙酸乙酰过氧化物）作用生成过氧乙酸和单过氧苯二酸。