临阵倒戈，使得西军崩溃，三成从战场往伊吹山方向逃走。三成起先越过伊吹山东面的相川山到达春日村，然后通过新穗峠绕道姉川，经曲谷，七回峠到草野谷。然后从小谷山谷口沿高时川溯流而上逃到古桥。9月21日，被家康手下的田中吉政捕获。9月18日，东军的攻陷佐和山城，三成的父亲正继等人战死。9月22日，三成被押送到在城门口示衆，在此家康与之会面。9月27日，被押解至大坂。9月28日同小西行长和安国寺惠琼三人在大坂与堺示衆。9月29日，押解至京都，由京都所司代奥平信昌看管。10月1日，三成被处斩，得年41岁