。低温气体杀菌器械以高浓度的高活性气体（烷化剂如环氧乙烷（ethylene oxide）氧化剂如过氧化氢（hydrogen peroxide）及臭氧（ozone））为主。液体杀菌剂及高效能消毒剂一般包含氧化剂如过氧化氢、过乙酸（CHCOOOH）及醛类如戊二醛及邻苯二甲醛。然而即便化学杀菌避免了高温毁损的问题，消毒人员仍须注意化学杀菌剂与被消毒物是否兼容。制造厂商可在被消毒物包装上註明杀菌注意事项。化学杀菌剂虽能摧毁大量病原体，但也可能对人体产生祸害。消毒人员有责任确保工作场所的安全，及消毒器械上的监测与