于背部之疾，难以作战，为北周大将王轨所俘，北周对他以礼相待，拜吴明彻大将军、持节，封怀德郡开国公。大象二年七月廿八日（580年8月24日）死于长安，享年67岁，后葬于京兆郡万年县的东郊。
其他.据《陈书》本传载：至德元年，陈后主下诏追封吴明彻为邵陵县开国侯，儿子吴惠觉袭爵。
后事.782年，吴明彻配享武庙。923年退出，1123年恢复配享。