院数理科学组第一位非学界出身的院士，「浸润式光学微影技术」（Immersion Lithography）的先驱。曾任职于IBM部门经理、美商领创总经理。现任台湾积体电路制造股份有限公司研究发展副总经理，国际半导体产业协会（SEMI）台湾委员会主席。胡正明：1968年电机系毕业，柏克莱加州大学教授，台积电（TSMC）技术长、美国国家工程院院士、中央研究院院士。FinFET（鳍式场效电晶体）发明人，使半导体制程得以缩小到 20 奈米以下。马佐平：1968年电机系毕业，耶鲁大学硕士、博士。中央研究院数理科