731年），玄宗再次幸洛阳，此时的源干曜已年老患病，无法随行，留在长安。12月22日，源干曜病逝，以礼安葬，赠幽州大都督。玄宗在洛阳南门为他举哀，辍朝两天以表哀悼。后源干曜得绘图凌烟阁。
轶闻.郗昂性捷直，源干曜曾戏言他：“谢安说‘郗生（郗超）可谓入幕之宾矣’，莫非是你的远祖？”郗昂说：“犹胜以氏为秃发。若不遇后魏道武，称之为同源，赐之姓源氏，岂可列于《姓苑》？”源干曜于是折服。
家庭.
子女.《唐故源夫人墓志》作源干曜