结城秀康交给重臣土屋正明管理。结城秀康死后土屋正明殉死，改由小栗正高管理。1624年秀康之子松平直政以5万石封于大野，大野藩从此立藩。1635年8月松平直政改封信浓国松本藩，松平秀康之子松平直基由越前胜山藩改封此处。1644年松平直基又一封出羽国山形藩，松平秀康之子松平直良又由越前胜山藩改封至此。1678年松平直良去世后，其子松平直明继承家督，并于1682年改封播磨国明石藩。此时大也改由江户幕府初期大老土井利胜三男土井利房由下野国转封，其继任者也在其于1683年去世后，奠立了本藩的基础。