是一种用于非破性检定少量固体材料化学成分的分析工具。它是用聚焦很细、直径小于1um的电子束轰击待分析试样上的微小区域，对激发出的特征X射线、二次电子、二次离子、背散射电子、俄歇电子、透射电子、吸收电子、阴极荧光等进行探测和信息处理的现代仪器分析方法，是电子光学技术与X射线光谱分析技术交汇的产物。