安三年（703年），拜中台右丞，加银青光禄大夫。神龙元年（705年），转左羽林将军，与凤阁侍郎张柬之、鸾台侍郎崔玄暐、右羽林将军桓彦范、司刑少卿袁恕己等人交结，趁着武则天病重无备，发动禁军攻打大内，诛杀武则天的男宠张易之、张昌宗，逼迫则天禅让帝位，唐中宗复辟。功加金紫光禄大夫，为侍中、平阳郡公，实封五百户，进封齐国公。武后崩，遗制加实封满七百户。敬晖上章论奏，降诸武爵位为公。武三思愤恨，乃使中宗明尊敬晖等为郡王，封平阳郡王，特进，罢参知政事，仍赐铁券，恕十死，朔望趋朝。最初诛张氏兄弟时，洛州长史薛季