1714年归于奥地利哈布斯堡王朝，奥属尼德兰时代（1714–1795年）开始。这一地区为奥地利统治，直至法国大革命时期，于1795年为法国吞并。1813年，卢森堡一小部分领土为普鲁士所得。1815年，拿破仑一世在滑铁卢战役中战败，卢森堡归于尼德兰的威廉一世（亦为新建的荷兰联合王国的国王，领土包括今日的比利时，直至1830年独立）所统治，并被提升为大公国。同荷兰不同，卢森堡为1815年建立的德意志邦联成员之一，普鲁士王国在此驻军。1830年比利时从荷兰独立，而卢森堡也于1839年被瓜分，大公国面积较大的西