基硅烷化重氮甲烷，会与肺部表面的水气发生相似的反应。所以吸入三甲基硅烷化重氮甲烷可能也会导致与吸入重氮甲烷类似的症状（如肺水肿）。这使得三甲基硅烷化重氮甲烷吸入后有潜在的致命性，已有至少两人的死亡与吸入三甲基硅烷化重氮甲烷有关联，他们分别是加拿大新斯科舍温莎的制药工人和新泽西的化学家。