超纯水（Ultrapure water）极为接近高纯度的水，即除了氢离子与氢氧根离子，几乎没有任何其他电解质存在的水。在制造处理过程后能尽可能将溶在水中或在水中散播的各种杂质除去，包含像是 有机物、细菌、尘埃、氧化物 等任何物质。根据半导体产业的发展，随着制程的开发，使得晶圆线路更加细致，所使用的清洗用水，也需要更加提昇。为了介于以往的纯水名称，故命名为超纯水。电阻率约达到18.2MΩ-cm，几乎不能导电，依据电子行业超纯水标准，还有很多其他的指标要求。
超纯水系统.超纯水系