在制程的排气中，处理有机气体的方式有很多种，其中使用流体化床的方式已从1976年发展至今。处理有机气体(以下简称VOCs)的目的主要分为二类，一是回收，另一个则是无害化后排放至大气。一般来说，无害化的方式通常是使用焚化的处理方法，使VOCs变成二氧化碳后排放至大气，通常使用这种方式，是非常简易而有效果的方式，焚化的处理效率至少都可达到99%以上的去除效率。回收的方式，依据浓度的不同，分为冷凝回收与浓缩冷凝法。依据各种不同成份的饱和温度对应的饱和浓度，低于饱和浓度以下的VOCs将无法被冷凝回收。流体化床则是可