aker 在1940年代中期开发，但是在随后的50年没有得到广泛应用，直到1990年代由于显微仪器和真空技术的进步才在研究中更加普及。1990年代中期以来该技术发展迅速，在全世界的实验室中广泛使用。
原理.将要研究的材料置于电子显微镜中，用已知动能的电子束轰击，损失了不同能量的电子数目被记录为电子损失能谱。电子损失能谱包括了电子与原子相互作用发生非弹性散射的丰富信息，主要可以分为三部分：内层电子的电离适用于检测材料的元素组分，例如一定数量的电子穿过材料后能量减少了 285 eV，