是直接雕刻所需的图案。蚀刻可能涉及使用，如电子或光，或化学方法，如氧化或等。第三种方法是将所需的图案直接放置在表面上，产生最终产品，比原来的表面厚几纳米。为了使要制作的表面可视化，必须用纳米分辨率的显微镜对表面进行可视化，这两种显微镜包括（SPM）和原子力显微镜（AFM）。这两种显微镜也可以参与最终产品的加工。
单层自组装.纳米光刻的方法之一是使用自组装单层膜（SAM）的方法，该方法为软方法。SAM是各种长链，可在金表面自组装，形成有序的单层膜。这种方法的优点是创造一个高质量的结构