。中华民国成立后，民国元年（1912年）3月升任山东高等审判厅厅丞，同年10月升任厅长。民国二年（1913年）简放山东登州府知府。民国三年（1914年）任北京中华大学副校长，民国五年（1916年）升任中华大学校长。民国十年（1921年），许世英主持安徽省政务，孙熙泽应邀出任安徽省警察署署长。民国二十四年（1935年），孙熙泽在庐江县金牛镇逝世。