光罩护膜（Pellicle），即表示是光罩上的膜或薄膜的意思，结构为一薄膜展开在框架上，以免于光罩受到微尘或挥发性气体的污染。自1970年代后期即开始发展，早期的保护膜大都使用硝化纤维素，其波长在350～450nm，折射率约为1.5，厚度则2.85 mm。因为硝化纤维素在小于350nm的波长有明显的吸收能力，所以KrF (248nm)、ArF (193nm) 的保护膜则使用非结晶之氟聚合物材质（如铁氟龙、Cytop），但是上述的两个材料的折射率皆很低，248nm的折射率约为1.34，193nm 则约1.40