可用于测定生物分子的构型与间距。
现实用途.稀有气体与卤原子形成的无机双原子激基缔合物，如，由于具有衰变的特性，且释放光波处于紫外波段，常用来制造准分子激光器，这是激基缔合物分子最广泛的实际用途。医学上运用准分子激光器进行激光矫视，也就是准分子激光原位角膜磨镶术（）。准分子激光器在微电子芯片制造业用于制造高分辨率光刻机，是10nm精度以下芯片制造技术的核心，被誉为50年激光光刻史上的里程碑。科研工作中亦广泛使用准分子激光器制造仪器，比如染料激光器、脉冲激光沉积系统等。