与氯化钡反应沉淀出氟硅酸钡， 再加热氟硅酸钡至300 °C以上，使之分解生成四氟化硅和氟化钡。同族的四氟化锗也可通过这个方法制备，但需要更高的分解温度（700 °C）。除此之外，四氟化硅还有很多其他制取方法，包括氟硅酸钠与硫酸反应，硅与氟单质化合，二氧化硅与浓氢氟酸或活泼氟化物反应（即毛玻璃的制作和刻画原理），以及赤热的硅与无水氟化氢反应等。将粗品通过灼热的玻璃毛，再在低温用冷肼收集，便可除去其中的氟化氢、水等杂质。
应用.用于氟硅酸及氟化铅的制取，也用作水泥和水磨石（人造大理