即具有高绕射阶数的一类衍射光栅。较高的高绕射阶数可以使光谱进一步发生色散，从而为探测器提供更详细的特征分辨能力。阶梯光栅和其他类型的绕射光栅一样使用于光谱仪与其他类似仪器。阶梯光栅最常用在高解析度横向色散摄谱仪，尤其是太阳系外行星探测器上，例如高精度径向速度行星搜索器（HARPS）、（PARAS）等许多天文仪器。一般可分为大、中、小三种。一般而言，每毫米内刻10条线以下的叫大阶梯光栅。每毫米内刻10至400条线，称之为中阶梯光栅。400条以上的称之为小阶梯光栅。
发展历史.掠射角光