士领导德意志统一之后，成为了德意志帝国的一部分。之后西里西亚开始进行工业化，并引来大批人口迁入。根据1905年的资料，西里西亚三分之一人口是德国人，而奥得河以东居住的大部分是波兰人。在第一次世界大战之后，部分的西里西亚地区被割让到波兰第二共和国和捷克斯洛伐克。1919年，仍属于魏玛共和国的西里西亚地区版分为下西里西亚（"Niederschlesien"）及上西里西亚（"Oberschlesien"）。在1938年至1941年之间，下西里西亚和上西里西亚曾再度合并为同一省分。现时西里西亚的大部分的地区