平区域熔炼法是普遍采用的方法。通过区域提纯便可获得单晶。采用间接的方法也可获得砷化镓。如用砷蒸气还原来制备砷化镓；和AsH在一定温度下，发生热分解得到砷化镓。
应用.
砷化镓的异质结构.因为砷化镓和砷化铝（AlAs）的晶格常数几乎一样，可以利用zh-hant:分子束磊晶;zh-hans:分子束外延;（molecular beam epitaxy, MBE）或有机金属气相磊晶 （metal-organic vapour phase epitaxy，