:::水解反应.氯硅烷在水中可以发生水解：水解产生的SiHOH会发生分子间缩合，得到乙硅氧烷，而不会形成Si＝O双键：
重排反应.和其他卤代甲硅烷一样，氯硅烷受热发生分子重排：
卤素交换.氯硅烷可以和三氟化锑发生卤素交换，产生氟硅烷。