也持续在园区周围检测空气。1990年位于桃园市龙潭区的龙潭园区，1999年7月，位于新竹市南边竹南镇的竹南园区动工。2003年，于新竹市北边成立新竹生物医学园区。2005年5月16日，开始规划设置位于宜兰市的宜兰园区。2007年2月8日，位于苗栗县铜锣乡的铜锣园区动工。
基地.新竹科学工业园区共有六个园区，总开发面积1,342公顷。
新竹科学园区.主要园区，距离新竹市区约五分钟车程，公路交通以中山高速公路为主，距台北市70公里，到桃园国际机场车程约65