四乙氧基硅烷（，经常缩写为TEOS）是一种化合物，常态下为液体，其化学式为Si(OCH)。四乙氧基硅烷分子可以认为是原硅酸根（SiO）与4个乙基相连，也即正硅酸的乙基酯（虽然原硅酸根离子在溶液中并不存在），故得名正硅酸乙酯（）；其“硅酸根”部分呈正四面体结构。该分子还可以看做是硅的乙醇盐。
制取.与其他“原硅酸酯”类似，四乙氧基硅烷主要通过四氯化硅的醇解制取：其中R 为甲基、乙基、丙基等。
性质及反应.四乙氧基硅烷对空气较稳定，微溶于水，在纯水中缓慢水解