1619年，水野胜成成为领主，并成立福山藩，及开始建筑福山城，此地区开始以城下町的型态开发，因此以「福山」做为地名。废藩置县后，原福山藩领地大部分都成为福山县的辖区，并在市中心设置福山町，做为县厅所在地；1871年改名为深津县，隔年又与仓敷县合併为小田县，现厅则转至小田郡笠冈町。1875年，小田现被併入冈山县，但在1876年，包含福山町所在的沼隈郡、深津郡、安那郡、品治郡、芦田郡、神石郡改隶属广岛县至今。1916年改制为福山市时，为全日本第73个市，也是广岛县第四个成立的市。之后逐渐合併週边地区