三氟化铥是一种无机化合物，化学式为TmF。
制备.氟化铥可由硫化铥和氢氟酸反应，再将沉淀灼烧得到：氧化铥和氟化氢、三氟化氮、二氟化氙等氟化剂反应，也能得到三氟化铥，其中和三氟化氮的反应并不完全，生成的是TmOF和TmF的混合物。