钼和硅的反应也是制备方法之一：此外，四氟化钼和四氟氧化钼在200 °C共热，也会生成五氟化钼：
反应.五氟化钼在165 °C歧化为四氟化钼和六氟化钼：它和碱金属氟化物在无水氟化氢中反应，生成六氟代钼(V)酸盐：它和氟化铜、钼在530 °C反应，生成和CuSnF同构的棕色晶体CuMoF：五氟化钼和氨气反应，生成MoF(NH)；在−70～−65 °C和液氨反应，生成暗棕色的MoF(NH)，它会在室温失去一分子的氨。