原之战时，尽管痛失长子仍奋勇战斗。在高天神城之战中，敌方武田军亦惧怕他的弓术。天正18年（1590年）家康移往关东地区时，正成由最初三河国幡豆郡7百石知行，之后被给予武藏国琦玉郡栢间村、户崎村、新堀村、三箇村、小林村等5千石。建立起栢间阵屋（现在的菖蒲町下栢间）。后来在病倒时，德川秀忠派遣医师久志本左京亮常衡前往治疗，但是回天乏术，庆长7年4月12日（1602年4月12日）死去，享年75岁。内藤氏在1631年转至孙儿‧第3代新五郎忠俊（忠利）时被改易，但是因为正成从三河以来的战功，外孙正重被召回并获