122.4pm，N-F键则稍短，为139.8pm。顺式异构体中两个氟原子不在同一平面内，这可能是由于空间位阻和电子互斥所引起的。异构化的反应热为12.6kJ/mol。顺式在热力学上较稳定，但在动力学上活泼，可在两周内与玻璃完全反应，形成四氟化硅和一氧化二氮，而反式经过一个月仍无明显变化。NF可与路易斯酸反应生成含有NF的盐。