中积累的氧气受到太阳发出的紫外线作用，在上层大气形成臭氧（O），进而出现了臭氧层。早期的生命以原核生物的形态存在。根据共生体学说，在生命演化过程中，部分小细胞被吞进大细胞，并内共生于大细胞之中，成为大细胞的细胞器，从而形成结构相对复杂的真核细胞。此后，细胞群落内部各部分的细胞逐渐分化出不同的功能，形成了真正的多细胞生物。由于臭氧层吸收了太阳发出的有害紫外线，陆地变得适合生命生存，生命开始在陆地上繁衍。目前已知生命留下的最早化石证据有西澳大利亚州砂岩里34.8亿年前的化石，里37亿年前的石墨，以及西澳大利亚州