在1643年其过世后因无子嗣，领地被幕府收回并取消了清富藩。此后此地部分地区成为丰冈藩领地，部分地区为幕府直属领。幕府结束后，曾先后隶属府中裁判所、久美滨县管辖，1871年全部区域被整併至丰冈县，1876年再次被整併到现在的兵库县内。1889年实施町村制，现在的辖区范围在当时分属：温泉村、照来村、八田村、大庭村、东滨村、西滨村六个行政区划。1950年代的昭和大合併期间，这六个村被整併为温泉町和两町；2000年代的平成大合併期间，这两个町于2005年再次整併为现在的新温泉町。
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