方法从强制散热系统改为氟利昂沸腾冷却方法。转向架改成转弯曲线更佳的FS-378B型，空气压缩机（CP）是採用与8000系相同的低噪音C-2000L型。部分车辆的CS-ATC系统是由报废的5000系移装到6000系，本次量产车由川崎重工、日本车辆以及近畿车辆制造。
5次量产车（1984年 - 1985年）.1984年（昭和59年）到1985年（昭和60年）生产的编成是第5次量产车，生产第29 - 32编成。由4个公司制造， 主要用于增加千代田线的运输量。更改了车顶曲线并将车内