做有机金属化学气相沉积法），在砷化镓上轻易地形成异质的结构，生长出砷化铝或（AlGaAs）合金；且因为生长出的合金层应力小，所以几乎可以任意调整生长厚度。砷化镓的另一个重要应用是高效率的太阳电池。1970年时，Zhores Alferov和他的团队在苏联做出第一个砷化镓异质结构的太阳电池。用砷化镓、Ge和InGaP三种材料做成的三接面太阳电池有32%以上的效率，且可以操作在2,000 suns下的剧烈强光。这种太阳电池曾运用在美国NASA探测火星表面的机器人-{zh-hans:勇气号火星探测器;zh-h