厅又统归「山西省」的归绥道管辖。这些直隶厅在当时统称为「山西口外诸厅」，有如归化城厅、萨拉齐厅、丰镇厅、托克托厅、宁远厅、清水河厅、和林格尔厅、兴和厅、武川厅、陶林厅、五原厅、东胜厅，都是「山西口外诸厅」。又，原来清代的「山西口外诸厅」，今日都改划入内蒙古自治区境内。民国时代，全国实施「废厅改县」，五原直隶厅改制为五原县，沿革到今日，五原县成为内蒙古自治区巴彦淖尔市下所辖一个县。