1968年以乙醇为溶剂制备出了小粒径的二氧化硅微球。 制备二氧化硅微球的方法有很多，如微乳液法、化学气相沉淀法、史托伯法。而史托伯法也已被广泛的应用，方法则是将四乙氧基硅烷加到水、乙醇、氨体系中以生成二氧化硅粒子。
碳球.使用间苯二酚- 甲醛树脂代替二氧化硅前体已经使用类似橡胶的方法制备单分散碳球。改进的方法允许生产具有平滑表面和直径范围为200至1000nm的碳球。