硅锗（，缩写为SiGe），是一种合金，依硅和锗的莫耳比可以表示成SiGe。常被用作积体电路（IC）中的半导体材料，可做成异质结双极性晶体管或CMOS电晶体中的应变感应层（strain-inducing layer）。IBM公司于1989年在工业生产中引入了硅锗合金相关技术，这一新技术使混合讯号积体电路和类比积体电路的设计与生产多了一项选择。 
制作.使用传统的硅半导体器件制造技术，即可在晶圆上形成SiGe。在CMOS制程方面，SiGe制程的成本和硅制程相当，但在异质接面技术方面，S