能提供较高之强度，因而可利用于椭圆偏振成像。然而，实验之结果也就限制于每次测量只能取得一组 formula_1 及 formula_2 之值。 光谱椭圆偏振(SE, Spectroscopic Ellipsometry)採用宽频谱之光源，涵括了红外光、可见光或紫外光之某一段光谱区域。借此，复折射率或介电性质可在相关之光谱范围取得，并依此得到相当多的基本物理性质。红外光光谱长椭圆偏振技术(IRSE, Infrared spectroscopic ellipsometry)可探测晶格振动声子及自由电荷载子(电浆