这段过程为热力学上的自发程序，但在室温中反应速率相当缓慢，因此退火处理中的的加热措施，就是利用高温来提高这些反应的速率，从而加速金属释放储存能。受过冷加工的金属，它可以透过许多反应途径释放应变能，其中大部分是透过消除金属内的晶格空位浓度梯度来实现。晶格空位的产生遵守阿瑞尼士方程式，而空位的移动和扩散须遵守菲克扩散定律（Fick's law of diffusion）。透过消除晶体结构的空位和差排，可让原子置于合适的晶格位置，新生成的晶粒改善了金属的机械性质，所以退火不仅可以消除内部应力，还可以改善机