温度接近于沸点时容易发生反应的液体。对于温度敏感的物质如β-胡萝卜素等需要通过真空蒸馏进行分离，这样可以防止由于温度变化造成的化学反应。真空蒸馏比普通蒸馏有更少的残留物。
工业规模应用.真空蒸馏在工业上有几个优点 ，沸点相近的混合物可能需要多个平衡级来分离出关键的物质，而真空蒸馏可以减少平衡级的数目。炼油厂中使用的真空蒸馏塔直径可达约14米，高度可达50米，每天可处理160 000桶原油。在大多数系统中，压力降低而相对挥发度升高。真空蒸馏增加了许多应用中关键产物的相对挥发度，相