入都，仍发往山东。嘉庆十年（1805年），补山东督粮道。嘉庆十二年（1807年），权布政使。嘉庆十六年（1811年），称病归返。晚年任钟山书院山长。嘉庆二十三年（1818年）卒。《清史稿》有传。
成就.初以文学着称，与洪亮吉、黄景仁齐名，后专事经史文字音韵训诂之学，兼及诸子百家，工于篆隶。对经学、史学、金石碑版、天文、地理诸领域皆造诣颇深。曾主持诂经精舍、钟山书院讲习。
着述.着有《平津馆读碑记》、《平津馆丛书》、《孙渊如全集》、《孔子集语》、《孙子集註》