小时内可反应完全，而大位阻的醇反应完全则常需要几天时间。当使用氯硅烷进行取代时对于反应条件通常不苛刻，只需避免在反应中引入大量的水。过量的氯硅烷可加速反应进程但并非必须。若使用了大量的硅代试剂，后处理则需要使用色谱法进行分离纯化，以去除过量的硅醇和硅氧烷化合物。三氟甲磺酸硅酯是一类水敏感化合物，因此必须在惰性气体保护下进行反应，后处理通常需要使用酸性水溶液如饱和氯化铵溶液进行淬灭。这种淬灭法能够不破坏硅试剂而质子化胺碱，让其移除反应体系。最后进行萃取操作并进行柱层析纯化。三氟甲磺酸硅酯活性很强，甚至