器件制造过程中，在原有晶片上长出新结晶以制成新半导体层的技术。此技术又称外延成长（Epitaxial Growth），或指以外延技术成长出的结晶，有时可能也概指以外延技术制作的晶粒。外延技术可用以制造硅电晶体到CMOS积体电路等各种元件，尤其在制作化合物半导体例如砷化镓时，外延尤其重要。