为相对于其他种类的加热器，光学加热器的功率还是太低了，进而限制光学加热器能处理的晶锭大小。对于某些高电阻率的半导体材料而言，用传统感应加热线圈直接加热可能效果不彰。此时可以改採间接加热法进行改善，先以感应加热的方式加热一钨环，钨环达到高温后会再放出辐射热，再用这些辐射热产生熔化区。
炉压.区域熔炼为防止污染通常会在气密炉中进行。经验显示，以气密炉进行区域精炼时需注意炉内气体压力，因为炉压控制是否得宜会间接影响到精炼后晶锭上差排的有无多寡。目前的理论普遍认为，炉压若是过低，则熔融