子亲合能几乎为零，生成化合物的倾向很小。因此直到20世纪，化学家都认为稀有气体化合物不存在，并将这些元素称为“惰性气体”。然而，莱纳斯·鲍林在1933年时预测，原子序数较大的稀有气体元素有可能与氟和氧生成化合物。他预言了六氟化氪(KrF)和六氟化氙（XeF）的存在，提出八氟化氙可能是个不稳定的化合物，以及氙酸会以高氙酸盐的形式成盐。现在看来，这些预测相当准确，只是八氟化氙这个化合物不仅在热力学不稳定，而且在动力学上也不稳定。2006年时仍未制得。相比而言，原子序数较大的稀有气体元素具有更