，四个是 氧族元素，还有一个是惰性气体。 大部分六氟化物是分子型 化合物，有着低熔点 和低 沸点。四种六氟化物 (S、Se、Te和 W) 在室温下 (25 °C) 和 1 atm下是气体， 两种是液体 (Re、Mo)，剩下的都是挥发性固体。 6族元素，氧族元素和 惰性气体 形成的六氟化物是无色的，不过其它六氟化物的颜色从白到黄，再到橙、红、棕，到灰色和黑色都有。 
化学性质.六氟化物的化学性质的范围很广。 六氟化硫 几乎惰性且无毒，因为位阻效应使六个氟原子紧紧粘在硫原子上，使其它化