离子泵是真空泵的一种。离子泵的原理是将气体分子电离后，利用强电场将离子加速至电极板处并捕获，以此移除容器内的气体。理想条件下，离子泵可以产生压强低至10毫巴的真空。
历史.1858年，尤利乌斯·普吕克在真空管中进行了一些气体电离实验，这些实验首次展现了将气体电离现象运用到真空泵技术中的可能。1937年，弗兰斯·米歇尔·彭宁在测试他的冷阴极真空计时也观察到了这一现象。这些早期观测到的现象中，气体被抽运出容器的速率很低，因此并没有被开发为商业产品。直到1957年，瓦里安联合公司在尝试