中一种原子的价电子层必须是全满的（比如稀有气体）。如果两种原子都处于基态，它们是不能形成化学键的。但如果价电子全满的那个原子处于激发态，它们之间就能够暂时形成化学键。尽管这种化学键的寿命往往非常短，只在纳秒的量级。准分子可以通过自发辐射或受激辐射，释放出光子回到基态，基态的分子更加不稳定，经过几个皮秒的时间，衰变成两个未成键的原子。
历史.准分子激光由Nikolai Basov, V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所发明。使