度的薄膜之后，会开始以三维形式生长原子岛。岛状/层状生长模式在Cd/W、Cd/Ge等系统中出现。
理论解释.不同的薄膜生长模式取决于薄膜和衬底材料表面的化学与物理性质，例如表面张力和晶格系数，可通过考虑距离表面最近的几层原子的化学势来确定生长机制。1995年，伊万·马尔可夫提出原子层内单原子的化学势模型：其中 formula_2 表示吸附材料的体化学势（bulk chemical potential），formula_3 表示浸润层吸附原子的脱附能（desorption ene