虚化的概念最早由元朝的提出：而18世纪法国哲学家埃蒂耶纳·博诺·德·孔狄亚克则最先提出动词的屈折形态是由独立的词演变而来的，故在这个层面上语法化可以完全等同于虚化。后来的语言学家，如威廉·冯·洪堡，也提出过实词来源论。而“语法化”一词最先由安东尼·梅耶提出，他将语法化定义为“赋予一个独立的词以语法特征，使之不独立”的过程。故广义上语法化还侧重语法范畴和语法成分的产生与形成，依此也可以把语法化定义为语用法经过约定俗成变为语法的过程等。
机制.语法化通常会经历以下的几个过程。