程都会涉及三个主要阶段：
起始.起始：启动子上聚合酶复合物的构建。Pol III与Pol II不同，通常不依赖控制序列上游的基因，而是依赖位于被转录基因内的内部控制序列。然而上游序列是偶有发现的，例如U6核内小rna基因和Pol II的启动子一样有一个上游TATA盒。Pol III的起始分为三类，分别对应于5S rRNA、tRNA和U6 snRNA的起始。在所有情况下，这个过程开始于转录因子与控制序列结合，结束于TFIIIB（RNA聚合酶III的转录因子B，Transcrip