MUT）是基于薄板翘曲振动的换能器，根据驱动机制的不同，分为压电式微机械超声换能器（piezoelectric-MUT, pMUT），与电容式微机械超声换能器（capacitive-MUT, cMUT）。因为微机械超声换能器通过MEMS工艺制备，从而与集成电路有较大的工艺兼容性，因而是微型化超声系统最佳的实现方案，可以实现大规模的制备和封装，应用在指纹识别、空气测距、导管超声及便携式超声等领域。
叉指换能器.叉指换能器（Interdigital Transducer, IDT）是在