（1590年），丰臣秀吉发动小田原征伐，氏照主张全力抵抗，并且命重臣守于八王子城，自己则增援小田原城，八王子城最终被景胜和前田利家攻下。小田原开城投降后，秀吉命其氏照与其兄长氏政切腹，享年51岁。氏照死后，由他的家臣的子孙替其建造供养塔。在《义烈百人一首》中，氏照的名字被标记为「氏辉」。