样范围广泛接可使用此加工法。电子显微镜的标本在制作时也使用此加工法。
真空蒸镀的历史.1857年Michael Faraday最早提出基本原理，而后、1930年代由于油扩散式真空帮浦实用化、蒸镀主要用于制作镜片反射防止膜。第二次世界大战时、其他的光学机器的需求提高、真空蒸镀也因此快速发展。