早期）。超大规模集成电路的晶体管数量可以达到10,000个（现在已经高达1,000,000个）。
发展现状.截至2016年晚期，数十亿级别的晶体管处理器已经普遍。随着半导体制造工艺从10纳米水平跃升到下一步7纳米，会遇到诸如量子穿隧效应之类的挑战。值得注意的例子是英伟达的GeForce 10系列，代号『NVIDIA TITAN X』的图形处理器的显示核心，采用了全部120亿个晶体管来处理数字逻辑。而Itanium的大多数晶体管是用来构成其3千两百万字节的三级缓存。Intel Cor