五率部参加邯郸战役，同八路军交战遭到惨败，自己被俘虏。1946年（民国35年）1月，政治协商会议（旧政协）在重庆召开，中国国民党同中国共产党商妥以新四军军长叶挺交换马法五，两人均获得释放。获得释放后的同年3月，马法五任北平行辕保定绥靖公署副主任，同年末任天津警备司令。1948年（民国37年）6月，他任河北省政府委员。1949年（民国38年）4月，他任总统府参军。
台湾时期.第二次国共内战后，中国国民党执政的国民政府遭遇失败后，他随政府转往台湾。后任行政院顾问。1992年（民国8