太建十年（578年，北周宣政元年）二月，再度出兵吕梁，包围彭城，以清水灌城。宇文邕派上大将军王轨率军驰援梁士彦，据淮口（今江苏清水入淮之口）。吴明彻苦于背部之疾，难以作战，为北周大将王轨所俘，北周对他以礼相待，拜吴明彻大将军、持节，封怀德郡开国公。大象二年七月廿八日（580年8月24日）死于长安，享年67岁，后葬于京兆郡万年县的东郊。
其他.据《陈书》本传载：至德元年，陈后主下诏追封吴明彻为邵陵县开国侯，儿子吴惠觉袭爵。
后事.782年，吴明彻配享武