派遣调查局第三处处长与廖谈判，应允其若答应返台，将特赦其家人，归还其财产并给予相当地位，如国营事业董事长职缺，并强调若不接受则公事公办，由于，许多成员已经遭台湾当局策反或反正，因此廖在取得协议保证后即返台。1965年5月14日晚间，廖文毅声明放弃台湾独立运动回到台湾，7月2日获得蒋中正接见，其余成员也陆续返台，1965年12月获中华民国政府任命为曾文水库建设委员会副主任委员，卸任后曾参与台中港的建设。其余生饱尝监视，终身不得出国。晚年疑似因为调查局派来的秘书施子仁所找来的女看护来「照顾」而导致失明。廖文