浓度仍然不太可能对全球变暖作出可衡量贡献的水平。 三氟甲基五氟化硫气体在大气中的存在归因于，可能是碳氟化合物的制造产生的一种副产物， 源于SF与电子设备和微芯片中使用的氟聚合物的反应，或在高压电设备中的SF与CF反应，形成CFSF分子。它的化学性质类似六氟化硫(SF)。