度漫散射电子成像的技术。使用原子序数衬度像(Z-contrast)技术的扫描透射电子显微镜可以达到原子级别的分辨率，是当今最新的可达到最高分辨率的电子显微镜Z-contrast STEM采用的主要技术。
首次使用.这种技术由美国橡树岭国家实验室的研究人员彭尼库克(S. J. Pennycook )在1988年首次发明采用，此后一直是扫描透射电子显微术中达到高分辨率的一种主要技术。
技术特点.与传统的电子显微镜成像技术相比，它有以下一些优点：Sect