利氏等中国地方有力的外样大名，以“镇守西国”的名义，开始在备后地方设了此藩，初代藩主为水野胜成。直到明治维新为止，一直由历代有力的谱代大名镇守。关原之战以后，福山藩随备后国一起，和安艺国共为福岛正则所有（49万8千石）。但是，福岛正则因擅自修筑名城广岛城的过失而被改易。领土分割后，安艺及备后北部、西部被封给浅野长晟(42万石)，而备后南部封给了德川家康的表兄弟、在大坂之阵有击破后藤又兵卫战绩的水野胜成，他也从大和国郡山藩（6万石）被加封为10万石。当初的领地的构成是备后国的深津郡、安那郡、沼隈郡、神石郡