答应，并在庆长12年（1607年）2月进入久能城。领有骏河3千石。之后，病况仍然受家康担心，受家康亲自前往久能城探望，并受赐5千等。之后家康在上洛途中，再次探望。在同年5月2日死去。享年62岁。
子孙.继承人是三男照久。子孙以交代寄合表御礼众榊原家的身份，代代负责管理久能山。