移至小野，小野成为实质上的藩厅。1642年一柳直家过世时，由于未有子嗣，紧急招了女婿来继承一柳家，但此举违反了幕府当时禁止末期养子的规定，因此位于伊予的领地被没收，仅留下小野一地，藩名也随之变成小野藩，直到幕府结束此地都属于小野藩的领地。1871年废藩置县后，曾短暂设置小野县，但旋即被整併为姬路县，后又成为饰磨县，1876年再次被整併到兵库县。1889年日本实施町村制，设置了小野村，隶属加东郡，1915年升格为；1954年，与同属加东郡的、、、、合併为小野市。山阳自动车道从南侧与三木市的边界处