元素都是以「」（土）结尾，因此日语也分别照译成苦土、矾土、珪土、重土。后来日本摒弃了源自荷兰语的「土」，改译为「珪素」，在19世纪后期又出现了「硅素」的写法，不过19世纪末日本规定以「珪素」为准。「珪/硅」进入中国是20世纪初，由于它属于固态非金属元素，所以中国采用了石字旁的写法。在中国，清朝徐寿在1871年出版的《化学鑑原》中，创造「硅」字作为的音译。受日本译名影响，1906年顾琅、周树人《中国矿产志》，，此后在中国出现「硅」、「硅」混用的状况。在中华民国成立后