爆炸后，新竹县地检署检察官也进驻到现场进行勘验，初步以人为操作疏失或是机械故障为调查重点，研判爆炸原因可能是反应槽温度异常失控所致。5月19日，新竹县地检署展开责任归属的调查工作，经过一天的侦讯，于当天晚间将负责管理反应槽，且供词避重就轻的科长胡志胜声请羁押获准，福国化工负责人何勇雄则以新台币50万元交保候传，并限制出境与住居。5月26日，新竹县消防局完成针对福国化工爆炸事故的鑑定报告，并送交新竹地检署做为侦办参考。在消防局所提出的爆炸鑑定中指出，福国化工厂在爆炸前出现大量化学气体外洩的状况，因而引发威