5年 (开元二十三年乙亥十一月七日)，在洛阳大圣善寺圆寂，享年九十九岁，僧腊八十春秋，赠"鸿胪卿"。740年 (开元二十八年)，葬于龙门西山广化寺。
无畏碑.《大唐东都大圣善寺故中天竺国善无畏三藏和尚碑铭并序》，赵郡李华撰文。李德裕《次柳氏旧闻》记载善无畏在洛阳召龙致云之术。洛阳天津桥有荷泽寺，即高力士去请善无畏施咒语祈雨后，回去复旨刚到天津桥南大风大雨就随后而至，唐玄宗因于此地造荷泽寺。