产生。后来（Otto Ruff）将氟化银改成氟化汞和氟化钙的混合物，改善了制备的过程。上述的交换反应可以使用碘仿及溴仿，不过交换前二个卤素原子时，会产生剧烈反应。后来爱伯特·亨纳（Albert Henne）将上述的反应变成二阶段的反应，第一阶段用溴仿和三氟化锑合成一溴二氟甲烷，再和氟化汞反应产生三氟甲烷，这是第一个有效率制备三氟甲烷的方法。
工业应用.在半导体产业中，三氟甲烷用在二氧化硅及氮化硅的（plasma etching）中。三氟甲烷也是一种制冷剂（冷媒），名称为R-23或H