二氟一氧化氙（XeOF）为氙的四价氟氧化物，也是氙最低氧化态的氟氧化物。它是否存在在历史上曾长期有争议。1966年用水蒸汽雾滴与四氟化氙反应时，利用红外光谱证明了在红外光谱仪碘化铯槽的壁上（−80°C）有二氟一氧化氙生成。1976年有人解决了其制备问题。利用四氟化氙的控制水解，可以制得二氟一氧化氙。它为亮黄色不挥发的固体，在低于−25°C下稳定。−15°C时即缓慢分解为二氟二氧化氙和二氟化氙。然而，二氧化氙的发现再次使它的存在性成疑。