和原子源来蒸一个样品，而另一个离子和原子源用于雾化（并且可能电离）。其实例是激光烧蚀电感耦合等离子体原子发射光谱法，其中使用激光来蒸发固体样品，并且使用电感耦合等离子体来雾化蒸气。除了最常用于原子吸收光谱的火焰和石墨炉外，大多数离子和原子源用于原子发射光谱法。液体取样源包括火焰和火花（原子源）、电感耦合等离子体（原子和离子源）、石墨炉（原子源）、微波等离子体（原子和离子源）和直流等离子体（原子和离子源）。固体采样源包括激光（原子和蒸汽源）、辉光放电（原子和离子源）、电弧（原子和离子源）、火花（原子和