裴子烈领马五百匹协助他沿江防守。明年（581年）他再次入朝任职卫尉卿，仍然担任常侍、将军，很快又加侍中，迁护军将军。陈后主继位，因病改授散骑常侍、特进、金紫光禄大夫，同年去世，虚岁七十四，赠翊左将军，朝廷下诏赐他棺材，为他举哀，提供丧事资金，谥元，儿子沈法兴嗣爵。