外蒙古喀尔喀四部由乌里雅苏台将军、库伦办事大臣各分管二部。唐努乌梁海也由乌里雅苏台将军管辖。科布多由科布多参赞大臣管辖。内蒙古採用札萨克制与盟旗制度管理。西藏置驻藏大臣，青海置西宁办事大臣管理。光绪十年（1884年）新疆建省，次年将原属福建的台湾府升为台湾省。光绪三十二年、三十三年间（1907年）分科布多置阿尔泰，又将奉天、吉林、黑龙江三个将军的辖区改为省。至清末，共有二十二省以及内蒙古、西套蒙古、外蒙古、科布多、阿尔泰、青海、西藏等区域。元明清以来，省以下的行政区划各个时期都不相同。元朝时省下有路、府