而，由于氮原子半径太小，不足以容纳五个氟原子，因此只有使键长增大。因为形成五个化学键需要用到3d轨道，它的能量比2s和2p高得多，所以还是不稳定。计算表明NF分子在热力学上自发地分解成NF和F自由基，并放出8.5 kcal mol的能量，过渡态能垒（活化能）大约是20±4 kcal mol。