虽然强调与中臣氏同时期的忌部氏在朝廷上与中臣氏属对等关系，但是这不过是忌部氏自身的主张，认为这是夸大其词。
历史.6世纪中开始，中臣氏在文献上才有明确的记载，例如《日本书纪》中提到中臣鎌子与大连物部尾舆在的时候反对佛教，与大连物部守屋更对佛教进行迫害，用明天皇驾崩后双双死于苏我马子手上。在推古天皇和舒明天皇在位期间，中臣御食子作为前事奏官兼祭官，参与政务的同时其兼任神，当时中臣氏在、志斐、熊凝（现奈良县大和郡山市）、习宜、宫处、伊势和鹿嶋等地都有分支，拥有着自己的部民和的有力豪族官