两大类，层流型都在Class 1000以下，而紊流型无尘室则是在Class 1000以上；主要安装于无尘室天花板上及机台上方，或网格地板内安装此设备，提供无尘室与机台所需之气流循环与空气泸净；在台湾，使用此设备大致採送风式居多。设备之使用环境大多为半导体、电子资讯、航太、制药、生物工程、医疗、食品、实验室等高产业领域,而这些领域之生产环境皆具备严苛的高要求。FFU之经常使用由于在空间中有一定高度限制，设置较小的内部地板尺寸的唯一系统。此外，若涉及小于20的过泸器时，则风扇供电HEPA，FFU之设计往往被