为空间分辨度 。设物件和孔隙的距离为 。当角分辨度足够小，运用小角度近似 ，以及弧度定义 formula_3 ，可知空间分辨度为其中角分辨度 必须以弧度作单位。
单缝绕射.当波长为 的光线，经过一条阔度为 的长形单缝，绕射的光强于角位移 的分佈可写成：设 formula_6，可得第一个零点 发生在：经简化后，得 formula_8。由于 一般很小，运用小角度近似 ，得到单缝绕射的瑞利判据是：其中 以弧度作单位。若物件和单缝的距离为 ，则知空间分辨度 为从上