长史，玄宗近臣太常卿姜皎推荐源干曜公正清明有吏干。玄宗召见源干曜，深为他的神气清爽和对答有序所打动，于是拜行少府少监，兼邠王府长史，不久以正议大夫、行少府监、上柱国、安阳县开国男迁行尚书户部侍郎，散官勋封如故，兼御史中丞，未几又转尚书左丞。唐玄宗对宦官高力士说自己速度提拔源干曜是因为源干曜的相貌和言辞像先前因太平公主谋反案伏诛、但为人得到玄宗认可的萧至忠。但欧阳修认为萧至忠不贤，评价“帝以干曜似之，遽使当国，是帝举不知至忠之不可用，又不知干曜之所可用也”。开元四年（716年）十一月，源干曜擢拜黄门侍郎，