清二年（548年），分益州齐通左郡置青州。太清四年（550年），分益州巴郡置楚州。天正元年（552年），武陵王萧纪据蜀地称帝，分益州西遂宁、东遂宁、新城、始平、普慈、西宕渠等郡置新州，以巴西梓潼二郡、南阴平郡改属西益潼二州。天正二年（553年），益州陷于西魏。西魏时，废始康郡，析置金渊郡、武康郡，以怀仁郡置陵州。北周时，废东益州为九陇郡，属益州；废江原郡、齐基郡、宁蜀郡。至周末，益州领七郡：蜀郡、犍为郡、九陇郡、广汉郡、晋熙郡、金渊郡、武康郡。
隋朝.隋朝开皇三年（583年）废