点过渡金属氟化物和硷金属氟化物与高沸点的镧系元素氟化物、硷土金属氟化物和氟化镱分离。真空蒸馏可以降低蒸馏温度和能耗。在熔盐反应堆中每隔一段时间就会进行氟化挥发法再处理核燃料。其目的是把锕系元素送囘熔融状态的燃料混合物中进一步裂变，同时除去裂变产物和中子毒物。
氯化挥发法.许多能行成高价态氟化物的元素亦可形成高价态氯化物。氯化然后蒸馏是另外一种可行的分离方法。比如，氯化锆沸点为331℃，氯化钖为114.1℃。锆是一种常见的核燃料包覆层成分。有人提出可以用氯化的方法除去含锆的包覆层