面暴露在某单一组分的气体中，在表面上可沉积出该原子（或分子）的薄膜。
电子枪.的阴极所发射出的电子被电场加速到相同能量后，借助一组电子透镜将被汇聚成电子束（直径大约在0.1至0.5毫米）打在样品表面上。若样品表面足够有序，被表面弹性背散射的电子将形成衍射图案。为了达到这一条件，样品表面需有一块与电子束截面面积大小相当的单晶区域。特殊情况下，某些多晶（例如）表面也满足要求。
数据采集.在低能电子衍射实验中，观测衍射图样可采用两种方式：普通方式是从样品的一侧，