石（CaF）反应获得。但以上方法产率很低，现在基本上是通过以下两步反应来制取：实验室中，BF可由氟硼酸重氮盐分解制得：
路易斯酸性.三氟化硼是很常用的路易斯酸，可与氟化物和醚之类的路易斯碱形成加合物：氟硼酸根离子是非配位阴离子，且实验室中常以液态的三氟化硼乙醚合物作为BF的来源。
路易斯酸性相比.前三个三卤化硼（BX，X = F、Cl、Br）都可与常见路易斯碱形成加合物，根据反应放热程度可大概推知它们路易斯酸性的强弱。结果为：这个顺序表明了三卤