氟离子注入三氯化鑀溶液，可以沉淀出三氟化鑀（EsF）。另一种制备方法是在1至2个大气压及300至400 °C温度下，让三氧化二鑀与三氟化氯（ClF）或与氟气（F）进行反应。EsF的晶体结构属于六方晶系，与三氟化鉲（CfF）同型，其中的Es离子被氟离子以八面体八配位的形式包围。三氯化鑀（EsCl）的制备方式是在约500 °C的亁氯化氢气体中对三氧化二鑀进行退火20分钟。在温度降到大约425 °C 时，它就会开始结晶成一种橙色的固体。其晶体结构属于六方晶系，与三氯化铀同型，其中的鑀原子被氯原子以三帽三角菱柱