读《龙舒净土文》而矢志向佛。万历七年（1579年）大病一场，过后经母亲同意出家投入映庵禅师（映庵祝发）门下，得授《永嘉集》。万历十年（1582年），得百松法师（百松真觉）传授衣钵。万历十四年（1586年），入驻天台山重兴高明寺幽溪道场，立天台祖庭，兼研净土宗和禅宗，讲经长达四十余年。崇祯元年（1628年）五月二十一日，大师讲学于新昌石山寺，预感寂灭将至，会与僧众提笔手书「妙法莲华经」五字，并高声唱题而寂，享世寿七十五岁、僧腊五十载、居幽溪三十年。
着作.幽溪大师的着述，包括：