跟随父亲于廷尉守夜，母亲刘氏在家中突然暴毙，他的左手中指忽然痛到不能睡眠。天亮后，家中果然传来母亲去世的消息。服丧未完，父亲也逝世，他居丧五年不出家门，身体消瘦到亲人认不出他。乡人王端得知后状闻，梁武帝嘉奖他，下旨敕开解晓喻。服丧后，担任丹阳尹丞，转官中书侍郎，又兼任中书舍人，迁转为尚书左丞，为东中郎武陵王长史，代理府州国事，领任会稽郡丞。他亦任职少府卿，领步兵校尉，迁为御史中丞；臧盾个性公正刚强，在御史台十分称职。中大通五年（533年）二月，梁武帝到同泰寺开讲，设四部大会，有数万人听讲。南越献上驯象，