县及厅介于总督府与辨务署之间，造成行政事务上的欠缺灵活而废止「三县四厅」，设「二十厅」之行政单位，划分台北县为基隆、深坑、台北、新竹、桃园等五个厅级行政区，新竹厅下辖新埔、树杞林、北埔、头份、南庄等五支厅。1904年3月，头份支厅废止并改为中港支厅。明治42年（1909年），台湾的行政区划由原来之二十厅，废止合为十二厅，原苗栗厅大甲支厅併入台中厅，其余地区併入新竹厅，辖区扩大后的新竹厅下辖北埔、树杞林、新埔、中港、南庄、苗栗、后龙、通霄、三叉河、大湖等10个支厅。1912年12月，中港支厅厅舍转移至头份