三甲基硅烷化重氮甲烷是一种分子式为(CH)SiCHN的重氮化合物，因其相对不易爆炸而被广泛的应用于化学试剂重氮甲烷的替代品。
制备.三甲基硅烷化重氮甲烷可通过(三甲基硅基)甲基氯化镁与叠氮磷酸二苯酯反应制备。
应用.三甲基硅烷化重氮甲烷是一种商业市售试剂，常用于有机化学中的甲基化试剂。它可用于羧酸的甲酯化反应中，以替代较易爆炸的重氮甲烷；它还可与醇类发生反应以制备甲醚，而重氮甲烷则不可。它可广泛的应用于气相色谱法-质谱联用分析技术，以将多种天然的羧酸化