。七年战争中，普鲁士再度击败奥地利，巩固对西里西亚的统治。西里西亚此后成为对普鲁士最忠诚的省份之一。1815年，原本属于萨克森，格尔利茨附近的地区在拿破仑战争后并入西里西亚。这时，德语已经成为下西里西亚最主要语言；郊区的绝大多数居民，则常用受德语影响的波兰语和捷克语。在多数西里西亚的城市，德语是最常用的语言。
德奥统治.1871年，德意志帝国成立，德国统一。普鲁士拥有的西里西亚成为德国的省份。上西里西亚经历大规模工业化，吸引不少居民到当地居住。下西里西亚的人口大多数是德国人和信义宗