意方程给出：在描述表面上散射的相互作用时，使用倒易空间较实空间更为方便。三维倒晶格矢量和实空间格矢 {a, b, c} 有如下关系：对于具有波矢 formula_11 的入射电子，和波矢为 formula_12 的散射电子，形成相长干涉的条件由劳厄方程给出：其中 (h，k，l) 为一组整数，且为倒易空间中的矢量。由于这里只考虑弹性散射，格矢大小不变，即 formula_15。因为低能电子在晶体中的平均自由程只有几Å，所以仅需考虑最表面的几层原子对衍射的贡献，即样品的垂直方向上没有限制衍射的