感，且不需要标准样品或参考样品。
数据分析.椭圆偏振为间接量测的技术，也就是说，一般测得的 formula_1 及 formula_2 并不能直接转换为样品的光学常数，通常需要建构模型来进行分析。只有对于无限厚（约釐米等级）、各向同性且均匀的膜，才可能直接转换得到其 formula_1 与 formula_2 之数值。在所有其他的情形下，则必需建构其层状模型，并考虑所有各层之各别的光学常数如(折射率 或 介电常数)及厚度，且依正确的层畳顺序建立。再借由多次最小方差法最适化，变动未知