最好的制备方法是用砷酸水合物加热失水。砷酸（或五氧化二砷）的各种水合物，在加热至170°C时，基本上分解为无水的五氧化二砷。
性质.加热时至300°C时失氧，得三氧化二砷。在空气中吸潮，易溶于水。有强氧化性，可将二氧化硫氧化为三氧化硫。与水反应，产生正砷酸（HAsO），不过反应很慢，若溶于碱液则可较快得到砷酸盐。五氧化二砷结晶具有由等数目的四面体 AsO 与八面体 AsO 单元（As-O键长分别为168和182pm）共角相连组成的复杂三维结构。由于其热稳定性差，易水解，及单晶培