在北周和隋朝为臣。源干曜的祖父源师民在隋朝任刑部侍郎，父亲源直心则担任唐高宗的司刑太常伯，但因事被流配岭南而死。源干曜举进士，入仕时已四十多岁。曾任夔州参军，其马厩在城东北约三百步，后为孔子庙。
唐中宗、唐睿宗第二次登基年间.唐高宗之子唐中宗第二次登基时（705年 - 710年），源干曜任殿中侍御史，神龙二年（706年）二月黜陟江东道，为朝散大夫行度支员外郎摄右台侍御史。他被认为是一位称职的官员。唐隆元年（710年），中宗的弟弟相王、先前的唐睿宗李旦也再次登基。景云年间，累迁谏议大