制备.控制六氟化氙与被水蒸气饱和过的空气反应，有80%的XeF转化为XeOF：把六氟化氙封装在石英容器中，让六氟化氙与二氧化硅缓慢反应，也能生成四氟一氧化氙。使用上述反应时，应立即将生成的XeOF分离出来，否则会继续反应生成XeO。将氙、氟和氧的混合物加热到235°C，所得产物为六氟化氙和四氟一氧化氙。0°C下真空蒸馏，可以得到纯净的四氟一氧化氙液体。