光年间，台湾闽南人、客家人逐渐迁入，「五谷坑」即简化为「五谷坑」再转音为「五股坑」。日治时期，又简化称之为「五股」。清治干隆32年初，设置八里坌巡检，五股坑区、八里坌、贵子坑区等隶属巡检管辖。清治光绪20年（1894年），甲午战争之后，签立马关条约，进入台湾日治时期，明治28年（1895年）日人施行地方官判，台北县置支厅、五股隶属沪尾(淡水)办务署，大正9年（1920年）全台施行州、郡、街庄制度，设立五股庄，属台北州新庄郡。二战后，1945年，国民政府设台北县五股乡。2010年底