在三氯化铝催化剂的存在下反应制备：它也可以利用三氯硅烷来制备：
化学性质.二氯硅烷遇水水解，产生多聚硅氧烷（-HSi-O-）；和氨反应氨解，产生(-HSiNH-)。
用途.二氯硅烷可以用来做微电子里的半导体硅层的起始物料，其优点是它在较低温度可以分解，并且有较高的硅晶体生长速率。
安全风险.二氯硅烷是一种化学性质活泼的气体，在空气中可以迅速水解并自燃。它的毒性也很大，利用它的任何实验都需要有保护性措施。其安全风险还包括皮肤和眼睛的刺