和背散射电子的传感器，被用于扫描电子显微镜（SEM）中。埃弗哈特-索恩利探测器得名于其设计者托马斯·E·埃弗哈特和理查德·F·M·索恩利。他们在1960年发表的设计中把光管（light pipe）加入到真空腔外的光电倍增管，以处理来自于SEM真空腔中闪烁体探测器的信号，由此提升了二次电子探测器的效率。此前，埃弗哈特已经对弗拉基米尔·佐利金和J·A·拉哈彻曼（J. A. Rajchman）设计的二次电子探测器做出改进，将其中的电子倍增管改为光电倍增管。包含光波导（lightguide）和高探测效率的光电倍增管