四甲基硅烷（常常根据其英文名简写为TMS）是取代硅烷的一种，分子式为Si(CH)，是最简单的四取代硅烷。四甲基硅烷不仅是有机金属化学中的一个重要合成组件，还在其他方面，比如核磁上有重要的应用。
合成与反应.四甲基硅烷是硅和氯甲烷反应制备氯代甲基硅烷（包括氯代三甲基硅烷，二氯代二甲基硅烷和三氯代甲基硅烷）的副产物。另外，它还是化学气相沉积中二氧化硅或碳化硅的前驱体，生成何种产物取决于气相沉积条件。四甲基硅烷中的一个甲基氢可被丁基锂去质子化，得到(HC)SiCHLi，这是个比较常见