最早由Schmitz和Schumacheb于1942年报道，他们通过二氧化氯的氟化反应制得了氯酰氟。更方便的方法是用氯酸钠和三氟化氯反应，将所得产物真空分馏提纯即可分离出其他产物。这种物质常温下是气体，沸点为-6 C：
结构.与OF不同，ClOF是一个三角锥形的分子。这与价层电子对互斥理论的预测相吻合。 氯的电负性较低，与氧和氟成键时倾向于高氧化态，这导致结构的不同。有关的Cl-O-F化合物高氯酰氟（ClOF）是四面体形的。