9年，武后指使许敬宗诬告长孙无忌、褚遂良（当时已死）、柳奭、韩瑗一起谋反，柳奭的罪名是通宫掖，谋行鸩毒。长孙无忌被流放之后被逼自杀，柳奭、韩瑗贬为庶民。659年秋，高宗皇帝派使者处死韩瑗、柳奭和长孙无忌的侄子长孙恩，柳奭在象州被处死。柳奭的家族被流放到了岭南，亲属在桂州（今广西桂林）为奴婢。他的一个孙女柳氏没入掖庭后，则在680年左右成为皇子李旦即唐睿宗的姬妾。唐高宗在684年初驾崩，武皇后夺得权力，在690年称皇帝，705年传位于儿子唐中宗。柳奭的官爵被恢复，被流放的柳家家属被赦免。唐中宗的侄子唐玄宗