13年12月14日，桃园县政府环境保护局人员深夜突击日月光中坜厂，发现晶圆切割机台制程水违法排废水；桃园县环保局下令三部晶圆切割机停机改善，进行封管作业，厂房照常营运。
环保署研拟增加惩罚性裁罚.2013年12月16日环保署长沈世宏表示，一般掌握到的证据所能推算的不法利得都较实际污染所得利益低，将研议推动修改《行政罚法》，将不法利得计算部分增加「惩罚性裁罚」，另加一点一到三倍裁罚。
立法院紧急修法.事件发生后，将水污染防治法36条删除仅限事业无排放许可证或