或浓氢氟酸），蒸干溶液并灼烧残渣可得到一氟二氧化铌（NbOF），因此不常用该法制备五氟化铌。五氟化铌也可由氟气、氟化锌、无水氟化氢与五氯化铌反应制得：氟配合物热分解法也经常被使用：
性质.五氟化铌吸水性很强，在空气中就会潮解，但速率较慢不冒烟。因此不可能在水溶液中制得五氟化铌。五氟化铌气态时为三角双锥形分子，液态时为双聚体，固态时为四聚体。固态五氟化铌是由四个<nowiki>[NbF</nowiki><nowiki>]</nowiki>八面体组成的，铌不仅与五个氟原子成键，