溯至4亿6700万年前的奥陶纪。已知最古老的蛛形纲是"Palaeotarbus jerami"，源自4亿2000万年前的志留纪。牠们拥有三角形的头胸部及有节的腹部，有八对脚及一对须肢。3亿9300万年前泥盆纪的"是最早拥有生产丝器官的，但却没有喷丝板，故并非真正的蜘蛛。有几种石炭纪的蜘蛛都是属于中突蛛亚目。志留纪晚期的"被分类为蝎子，但明显与现今的蝎子有所分别。牠们是完全水生的，用鳃唿吸。其口器位于头部底，接近第一对脚之间，有点像已灭绝的板足鲎目及现存的鲎。4亿200万年前泥盆纪早期的陆生蝎子化