半径、硅原子存在的3d轨道以及Si-Cl键较低的键能。与甲醇或乙醇反应则得到和硅酸四乙酯：高温下与硅发生归中反应：
用途.四氯化硅沸点较低，可用于多次分馏生产高纯硅；也可用于生产高纯的合成石英玻璃（熔融石英）。它可被氢气还原为硅，也可水解为二氧化硅。大量的高纯硅应用在半导体工业和光电池中。