n::::制备.氯硅烷可由硅烷和氯化氢在三氯化铝催化剂的存在下反应制备：四氯化硅和甲醛的反应也可以得到氯硅烷：
化学性质.氯硅烷的化学性质活泼，可以发生一系列的化学反应。
水解反应.氯硅烷在水中可以发生水解：水解产生的SiHOH会发生分子间缩合，得到乙硅氧烷，而不会形成Si＝O双键：
重排反应.和其他卤代甲硅烷一样，氯硅烷受热发生分子重排：
卤素交换.氯硅烷可以和三氟化锑发生卤素交换，产生氟硅烷。