米制程晶片。
历史.英特尔最早在2009年蓝图规划于2020年推出此制程，而后2019年的蓝图中更新为2023年推出。全球最大晶圆代工厂台积电（TSMC）和三星电子皆宣布5纳米制程将于2020年进入量产期，并将首先用于生产智能手机晶片。2020第一季台积电抢先投产，首款产品为苹果A14，并将后续优化的制程命名为4奈米，预计2023年量产。5纳米的后继制程计划是3纳米。
外部链接.5 nm 光刻制程