年赴台湾。初任行政院政务委员兼蒙藏委员会委员长（1951年任蒙藏委员会委员长），后改任中华民国内政部部长。1960年再度主持蒙藏委员会。 1963年，专任行政院政务委员，同期曾主持台北市改制专案小组、法规整理委员会。1971年调任司法院大法官，旋升为司法院院长。1976年，当选中国国民党中央议评委员会主席团主席，兼任行政院光复大陆设计委员会委员。他还任教于私立昆山工专（现昆山科技大学）及昆山中学，任董事长。1977年，病逝于台北市 ，享年79岁。2010年，田炯锦先生纪念馆在崑山科技大学图书资讯馆6