SFET的阈值电压取决于与其离子敏感膜接触的物质的pH值。
参比电极的现实局限.对H浓度敏感的ISFET电极可用作常规的玻璃电极，以测量溶液的pH值。但是，它也需要参比电极才能工作。 如果与溶液接触的参比电极是经典的AgCl或HgCl，则它将遭受与常规pH电极相同的局限性（在凝胶电极的情况下，结电位，KCl泄漏和甘油泄漏）。常规的参比电极也可能体积庞大且易碎，由于体积太大的限制也无法使ISFET电极小型化。电极微型化对于某些生物学或活体临床分析（一次性微型导管pH探针）是必不可少的