潜能。
实验流程.电子束诱导沉积中的电子束往往由扫描电子显微镜或提供，而离子束诱导沉积（IBID）则用代替了电子束。前体材料一般是液体或固体；在沉积实验前，前体材料会被汽化或升华，之后在实验中以准确控制的速率进入扫描电镜所在的高真空腔。固态的前体也可以在腔内直接用电子束升华。若实验温度较高，或沉积过程中用到的是腐蚀性的气体，则会用一种特殊设计的沉积腔进行实验：沉积腔与电镜隔离；电子束通过一个微米大小的开口进入沉积腔。这个开口的大小保持了电镜与沉积腔之间的压强差。此沉积模式已经被应用