防部通信电子资讯参谋次长室资讯安全处处长，国防部通信电子资讯参谋次长室通信综合处处长（少将缺）。2006年1月晋升少将，担任国防部通资次长室通信综合处处长，负责训练国军资讯战反制战力的「老虎小组」。2009年，被黑函检举，晋升少将时涉嫌买官，后监察院经监委调查后，认为并无买官情事。但在2月调任陆军委员，军检肃贪专案小组再度将柴惠珍列案，送交军事高等检查署，调查她买官的传闻，调查结果仍是无罪。2010年1月，柴惠珍自军中退役，财团法人资讯工业策进会研究员。2010年11月，被借调至行政院科技顾