迫前往长安，高光侍奉惠帝西行。任尚书左仆射，加散骑常侍。306年（光熙元年），惠帝回洛阳，高光为太弟（皇太弟司马炽）少傅，加光禄大夫，散骑常侍依旧。307年（永嘉元年），司马炽即位为晋怀帝，加授高光光禄大夫、佩金章紫绶。308年（永嘉二年），高光任尚书令，余官依旧。十一月乙巳，高光病逝，赠司空、侍中。因为不久后洛阳被攻陷，高光没有被授予谥号。