子晶体中，各种离子形成的肖特基缺陷数目符合晶体的元素构成比例，因为只有这样形成缺陷后的晶体才是电中性的。形成后的空位可以在其所处的亚点阵中自由运动。通常晶体的密度会由于肖特基缺陷的存在而减小。该缺陷以德国物理学家沃尔特·肖特基的名字命名。下图是氯化钠（NaCl）晶体结构中的肖特基缺陷示意图，图中示出的是二维情况。