1966.1960年9月6日，半导体所正式成立。首任所长为宋之春，王守武任主管业务的副所长。1961年宋之春调往新疆科委，杨刚毅（力学所副所长）代理所长到1962年，刘再生自山东科委调任半导体所所长。建所时，所内共有正副研究员6人，正研究员是王守武、林兰英，副研究员是成众志、汤定元、兰继喜和王守觉。当时半导体所共设五个研究室：另有负责中间试验和批量生产的109厂和七（温差电）、八（化学）、九（物理）三个组，分别由五、一、三代管。
1966～1976.1968年，半导体所划归国防