氯代甲基硅烷（包括氯代三甲基硅烷，二氯代二甲基硅烷和三氯代甲基硅烷）的副产物。另外，它还是化学气相沉积中二氧化硅或碳化硅的前驱体，生成何种产物取决于气相沉积条件。四甲基硅烷中的一个甲基氢可被丁基锂去质子化，得到(HC)SiCHLi，这是个比较常见的烷基化试剂。
在核磁共振波谱中的应用.四甲基硅烷在核磁共振波谱的H、C和Si谱中起到标定化学位移零点的作用。因为四甲基硅烷的12个氢是相同的，4个碳也是均等的，这样四甲基硅烷在H谱中和完全去耦的C谱中均呈现一个单峰，而目前几乎所有可用