授户部山西司主事，改兵部车驾司、礼部主客司，歴官陕西提学副使，持正不阿，朝廷嘉其虚公，复留任。歴河南参政、浙江按察使、广东布政使。三年秩满，仕至宁夏巡抚，升户部右侍郎，迁兵部左侍郎。卒赠兵部尚书。
家族.曾祖臧棐；祖父臧节；父臧惟一。弟臧尔令，天启壬戌进士。