电质液体分隔两电极并施以电压，产生週期性快速变化的电流放电，以加工材料。其中一个电极称为工具电极，或称为极头，另一个电极则称为工件电极，或简单称作工件。在放电加工的过程中，工具电极和工件电极间不会有实际的接触。当两个电极间的电位差增大时，两电极之间的电场亦会增大，直到电场强度高过介电强度，此时会发生介电质崩溃，电流流过两电极，这个现象和和电容崩溃一样（参见崩溃电压），移除部分电极材料。当电流停止时，新的介电质会流到电极间的电场，排除固体颗粒，而介电质的绝缘性恢复。在电流流过之后，两电极间的电位差会回到介