1997年被任命为仪器科学与技术学科博士生导师、系主任，同时被确认为超精密和纳米测量技术研究方向责任教授、学术带头人。1998年被确认为该校精密仪器及机械学科的学科带头人。2002年，任超精密光电仪器工程研究所教授、博导、所长。2017年，当选中国工程院院士。