殷浩继续准备北伐，对桓温的上请不作回应。同时，北方氐人苻健于永和六年（350年）入关，并于次年建立前秦，至永和八年（352年）更加称帝。前秦建国后多次与东晋作战。及至永和九年（353年）殷浩发动北伐，目标是前秦控制的洛阳，正是试图利诱前秦将领梁安及雷弱儿叛秦造成关中混乱，借前秦驻洛阳军力入援关中之机进取洛阳。然而，殷浩北伐失败，桓温于是借当时朝野对殷浩北伐的不满逼朝廷废掉殷浩，令桓温独大。
过程.永和十年二月己丑日（354年3月21日），桓温自江陵率四万步骑北伐，取道武关入