2，可以提高介电系数，按比例缩小栅长度，低泄漏，较高的驱动电流，相同或更好的阈值电压。较高的生物稳定性使得该合金应用领域延伸到了生物电子电极，如视网膜下的假体项目 和生物医学中的微电子机械系统（生物微机电），使智能植入物或体内生物传感器能够承受严重的体液腐蚀。
合成.最常用的氮化钛薄膜合成方法是物理气相沉积法（PVD，通常有溅射沉积，阴极电弧沉积或电子束加热）和化学气相沉积法（CVD）。两种方法都是将纯钛升华，并在高能量真空环境中与氮气反应。亦可在高温下，由四氯化钛-氮的混合气