极紫外辐射（）或高能紫外辐射，简称EUV、XUV，是波长在124nm到10nm之间的电磁辐射，对应光子能量为10eV到124eV。自然界中，日冕会产生EUV。人工EUV可由等离子源和同步辐射源得到。主要用途包括光电子谱、对日EUV成像望远镜及光微影技术等。EUV是最易被空气吸收的谱段，因此其传输环境需高度真空。
EUV的产生.中性原子或固体无法发射EUV。产生EUV，首先要发生电离。只有被带多个正电荷的离子束缚的电子才能够发射EUV。例如，把+3碳离子继续剥除一个电子的过程需要6