法规和秩序，招集流散的居民，召得千多户郡民回来。次年卢循之乱时孙处经海路进攻卢循根据地番禺，水军经过临海郡时得到臧熹支援，军队才得充足物资破敌。后受征为散骑常侍。义熙八年（412年），刘裕出兵进攻荆州刺史刘毅，臧熹也以宁朔将军身分随军。次年，刘裕命朱龄石出兵谯蜀，臧熹以宁朔将军领建平、巴东二郡太守，率兵出中水。时蜀将谯抚之屯牛髀，谯小苟屯打鼻，臧熹地后击斩了谯抚之，谯小苟及其他随近营垒都望风溃退，协助晋军灭亡谯蜀。可是臧熹在蜀地却患病，于当年在牛髀县去世，时年三十九岁，朝廷追赠光禄勋。