统治者满速儿死后，长子沙汗嗣速鲁檀，次子马黑麻不服其辖，亦称速鲁檀，分据哈密。嘉靖三十六年（1557年），哈密卫都督米尔马黑麻要求内附，明廷让其驻屯甘肃。嘉靖三十八年（1559年），吐鲁番速鲁檀沙汗子脱列速刺复居哈密。隆庆四年（1570年），满速儿次子马黑麻回吐鲁番，嗣兄职为速鲁檀。万历十年（1582年），哈密卫都督同知米尔马黑麻等要求袭职。万历三十五年（1607年），哈密为叶尔羌汗国势力范围，哈密首领为巴拜汗。