一些裂变产物不需要氟化也很容易挥发，比如碘、碲和钼。钚、镎和镅也能形成挥发性氟化物，但在氟的分压比较低的时候会自发分解。 在火焰氟化法中，大部分钚和小部分铀会出现在氟化炉的底部灰中。将这些灰进一步氟化，可以彻底将铀、镎和钚以氟化物的形式回收。其它次锕系元素不能形成挥发性氟化物，会继续存在废液中。一些贵金属无法氟化，以金属形式存在。唯一的例外是钌。六氟化钌相对稳定，并且具有挥发性。使用高温蒸馏可以将氟化废液中的低沸点过渡金属氟化物和硷金属氟化物与高沸点的镧系元素氟化物、硷土金属氟化物和氟化镱分离。真空蒸馏