1550年新教改革之后才改用波兰语。当安斯巴赫公国之霍亨佐伦王朝统治上西里西亚地区，大量的西里西亚人改换成为新教徒，后来神圣罗马帝国之哈布斯堡王朝借着耶稣会组织团体又重新引进天主教。在1742年第一次西里西亚战争之时, 下西里西亚与上西里西亚成为普鲁士王国领土。一小部分还属波希米亚王国之哈布斯堡王朝，称作「奥地利西里西亚」。上西里西亚在十九世纪初成为工业区, 利用其丰富煤炭和铁矿石。1919年第一次世界大战之后，东部地区分给波兰成为「西利西亚自治省」，而西部地区仍属德意志帝国称为「上西里西亚省」。从