立台湾师范大学国文学系就读，1960年毕业、分发到屏东中学服务。1961年考取国立台湾师范大学国文研究所，先后在硕士班、博士班进修。1969年，以学术论文《先秦典籍引尚书考》通过中华民国教育部口试，取得国家文学博士学位。许锬辉师承鲁实先，学习甲骨文、金文、《说文解字》，对于形义考释、训诂条例、六书体例及补述等等均有所长，相关论着超过百篇，对于台湾文字学界影响甚鉅。其着作《文字学简编》与林尹《文字学槩说》、许进雄《简明中国文字学》为台湾中文系文字学课程的主要教材。