此栅极之间没有物理接触电子流 。 在常规的真空管中，加热阴极以发射热电子，但是由于小型化，仅通过将其置于静电场中就可以发射电子，并且不需要加热 。 另外，已经提出了几种类型的真空沟道晶体管。
特点.由于它具有比硅晶体管更高的电子迁移率，因此可以高速开关，并有望作为太赫兹频带中的高频器件。 它可以在高温下操作并且耐辐射，但是其源电极会随着操作而变质，从而导致可靠性差。
缺点.真空通道晶体管的性能取决于来自源电极的电子的场发射。 然而，由于高电场，源电极随着