次年（至元15年，即1278年）新设松江府，辖华亭县。至元二十七年（1290年），华亭县部分乡分出，新设上海县。一般以1291年作为上海正式设立行政建制的年份。明朝嘉靖二十一年（1542年），华亭县和上海县部分地区划出，新设青浦县，归松江府管辖。清朝顺治十三年（1656年），新设娄县；雍正二年（1724年），新设奉贤县、金山县、南汇县和福泉县；雍正八年（1730年），福泉县并入青浦县；嘉庆十年（1805年），新设川沙抚民厅（县级）。