，开始出现许多的关键过程系统，其中一个广为人知的就是锅炉。此过程的关键部份包括点燃燃烧器、控制锅炉鼓中的水量高度，以及控制蒸气的压力。
需求规格.安全仪表系统要达成的（功能需求）以及其实现的程度（安全完整性需求）可以透过危害与可操作性分析（HAZOP）、防护层分析（LOPA）、风险图等方式来达成。在IEC 61511及IEC 61508中有提到这些相关的技术。在安全仪表系统设计、建构、安装及运作时，需要验证有符合这些需求。机能需求可以用设计审查来验证，例如失效模式效应与关键性分析