显微镜以及测试原子和等离子体物理的高精度实验。
原理.波长色散X射线光谱法的测定基于样品产生特征X射线的相关理论以及测量X射线的方法。
X射线发射.当足够高能量的电子束将电子从原子或离子的内部轨道移出，内层轨道就会产生空隙。当来自较高轨道的电子降至较低能级以填补该空穴并释放能量时，就会产生X射线。两个轨道之间的能量差是原子或离子电子排布的特征，可用于识别原子或离子。最轻的元素（原子序数小于5的氢、氦、锂、铍）在外部轨道上没有电子来填充内层产生的空穴，因此无