在兴建公共屋邨同时，香港房屋委员会同时计划兴建居屋屋苑。位于火炭半山的穗禾苑为沙田最早落成的居屋屋苑，亦是为居者有其屋计划第一期的其中一个屋苑，于1983年正式落成。而沙田区首个私人参建居屋的屋苑则为海福花园，于1985年入伙。另外，位于马鞍山乌溪沙的富宝花园落成，是香港最大规模的私人参建居屋计划屋苑，总共有4,200个单位。现时，沙田共有18个居屋屋苑及7个私人参建居屋屋苑。
主要私人屋苑.在多个公共屋邨兴建时，座落于沙田第一号地段的大型私人屋苑沙田第一城于1981年落成，亦成为