个大小范围中日常的物理经验往往不适用。比如由于微机电系统的面积对体积比要比一般日常生活中的机械系统要大得多，其表面现象如静电、润湿等比体积现象如：惯性或热容量等要重要。他们一般是由类似于生产半导体的技术如表面微加工、体型微加工等技术制造的。其中包括更改的硅加工方法如压延、电镀、湿蚀刻、干蚀刻、电火花加工等等。生产微机电系统的公司的大小各不相同。大的公司主要集中于为车辆、生物医疗或电子工业生产大批量的便宜的系统。成功的小公司则集中于生产创新的技术。所有这些公司都致力于研究开发。随着传感器的发展微机电系统的