到台湾担任工业技术研究院院长，兼任联华电子董事长，隔年因缘际会筹办荷兰飞利浦与工研院合资成立的台湾积体电路制造股份有限公司，任董事长兼总裁（执行长）。1994年，创立世界先进积体电路公司。2005年，取得百人会会员资格。同年辞去台积电执行长，由蔡力行担任该公司执行长。2006年11月，代表中华台北出席该年于越南举办的亚太经济合作会议领袖会议；11月18日抵达主办城市越南河内。2009年6月11日，宣布回任台积电执行长。2013年7月18日，宣布将辞去台积电执行长；11月12日，辞去台积电