立台湾大学物理系学士、美国哥伦比亚大学物理硕士、博士。
生平.出生于广州，父亲卢善栋为中华民国矿冶工程界泰斗，1954年迁台，胞弟卢超群为钰创科技董事长。卢志远为美国哥伦比亚大学物理博士。1977年取得博士学位后，他先任教于国立交通大学，并参赞行政院科技顾问组等。之后于1984年受聘至美国贝尔实验室领导研究计画多年，成果卓越。1989年，卢志远受邀出任工研院电子所副所长，之后负责主持当时台湾最大科专计画——经济部次微米计画，完成台湾DRAM独立研发及量产技术，使台湾具备八吋晶圆