使领地被德川家康所没收，改由田中吉政治理并积极开发柳川地区。不过田中家族传了两代之后，便因无子继承而再度改由立花宗茂治理。在田中吉政及立花宗茂治理的时期，也致力于此地区治水及干拓事业的开发，逐渐形成今日的运河网路。明治时代的废藩置县后，先是成为三潴县（后被併入福冈县）的一部份，属于三潴郡。1951年设立柳川町，1952年成为了柳川市。2005年与三桥町及大和町合併，成为了新的柳川市。
市政.自2005年合併后，柳川市政厅，设于旧柳川市政府所在地，原大和町及三桥町的办公室成