识粟屋元方的照看下，留下辞世诗数首在松连寺切腹自杀。以下是其中一首：（人，不过是借用名字的躯体；我的生命如同消失的露水，回归到原本的水滴。）三村氏最后的据点，元亲的妹婿上野高德驻守的常山城也被包围攻破。元亲是个精通诗歌等雅致学问的文化人，和细川藤孝也有深交。据说在元亲困守备中松山城时，藤孝曾送去《八云集》；元亲自杀之际，也赠与藤孝一首诗歌。之后，元亲之子胜法师丸被捕，虽然恳求饶命，但小早川隆景担心他的聪明伶俐会在将来造成危害，还是将其杀害。至此，战国大名三村氏的血脉完全断绝，元亲的叔父亲成等旁支