三氟化磷是一种无色无味的气体，化学式为PF，高毒，可以和水缓慢反应。它在配合物中可以作为配体，与一氧化碳（羰基）作为配体时性质相似。其毒性机理和一氧化碳类似，与血红蛋白中的铁结合成稳定物质。它在过渡金属配合物中可以作为强的π受体，能够和过渡金属形成低价配合物。三氟化磷可以形成一些配合物，而相应羰基配合物不稳定或不存在。如Pd(PF)是已知的，Pd(CO)却未有报道。