属于其中比较稳定的一个，可以长期储存于镍制的容器中。四氟一氧化氙是六氟化氙水解不完全的产物，它可以进一步水解为二氟二氧化氙，最终生成三氧化氙：四氟一氧化氙分子为四方锥构型，四个氟原子共平面，氧和孤对电子分处这个平面的两侧。它有部分电离，加入氟化铯或氟化铷会使电导率剧烈增大。四氟一氧化氙可被过量的氢在300°C时还原为氙。这是一个定量反应，可以用这个方法分析XeOF：
制备.控制六氟化氙与被水蒸气饱和过的空气反应，有80%的XeF转化为XeOF：把六氟化氙封装在石英容器中