下领三县：铜鞮县、沁源县、武乡县。明朝洪武初年，以州治铜鞮县。洪武二年（1369年），直属于行中书省。洪武九年（1376年），直属于山西承宣布政使司。万历二十三年（1595年）五月，改属汾州府。万历三十五年（1607年），仍然直属于山西承宣布政使司。清朝时，仍为沁州直隶州。