籍顺天宛平。其父俞文葆，曾任湖南兴宁、东安知县，故乔居湖南善化县（今属长沙市长沙县）。俞明震少年能诗。光绪十六年（1890年），考中庚寅恩科三甲进士，同年五月，改翰林院庶吉士。光绪十八年五月，散馆，着以部属用，授刑部主事。中日甲午战争爆发后，奉台湾巡抚唐景崧奏调，于光绪二十一年（1895年）接替顾肇熙，担任台湾布政使。之后仅数日，清朝据《马关条约》将台湾割让与日本，俞明震与唐景崧、邱逢甲等组织台湾守军抗日，成立台湾民主国，并出任内务大臣（「台湾承宣布政总理内务衙门」督办），不久因兵败，匆促离台，内渡厦门。