用作将非金属氯化物转化为氟化物的氟化剂，不过反应活性比SbF要低一些。目前已制得含有AsF阴离子的盐，例如CsAsF。钾盐KAsF可由KF和AsF反应制得，其中含有AsF和AsF分子，因为有证据能显示出AsF分子和阴离子的相互作用。三氟化砷能与SbF形成离子型的加合物[AsF][SbF]。