系科之一。主要研究精密仪器、光学工程、机械设计、机械制造等领域。
历史.1932年夏，清华大学成立工学院机械工程学系，下设三个学科组，其中机械制造工程组由于条件限制到1936年才正式建立。1952年，全国高等学校院系调整，北京大学和燕京大学的机械工程学系并入清华大学机械工程学系，并分为机械制造系和动力机械系。1958年机械制造系增设精密仪器制造专业。1960年，机械制造系分为精密仪器及机械制造系和冶金系。精密仪器及机械制造系以冷加工和精密仪器专业为主，并先后改称精密仪器系（