后都对材料表面进行腐蚀，则同一位错形成的一系列腐蚀坑将粗略地显示出位错运动的轨迹。进行上述观测的前提是材料表面能加工到具有足够高的光洁度，或者说足够低的粗糙度。
直接观测.利用zh-hans:透射电子显微镜;zh-hk:穿透式电子显微镜;zh-tw:穿透式电子显微镜;（，简称TEM）可直接观察到材料微结构中的位错。TEM观察的第一步是将金属样品加工成电子束可以穿过的薄膜。在没有位错存在的区域，电子通过等间距规则排列的各晶面时将可能发生衍射，其衍射角、晶面间距及电子波长之