三年（1673年）正月，隐元事先预感到了自己将要死去，告诉了周围的人；三月体质开始衰弱；四月初二日，后水尾法皇册封隐元襌师为大光普照国师，但国师在翌日病逝，享寿八十二岁。隐元擅长于书法，与木庵性瑫、即非如一并称「黄檗三笔」。此外，相传隐元从中国将菜豆、西瓜传到了日本。现在日本人都将菜豆称为「」，意思是「隐元豆」。但是现在也有说法认为隐元带到日本的不是菜豆而是扁豆，因为日本关西人将扁豆称作「隐元豆」。
弟子.嗣法者23名，其中3人为日本人。