稳定，因此六氟化硫相当稳定 。氯、溴和碘可以和氟反应生成一氟化物、三氟化物以及五氟化物，但是仅有碘可以和氟反应生成七氟化碘。这些氟化物中许多种都可作为强氟原子源，并且三氟化氯在工业应用中需要与和使用氟一样小心谨慎。
稀有气体.稀有气体具有满电子壳层，在1962年化学家尼尔·巴特利特报告了六氟合铂酸氙的合成以前，人们认为它们不与其他元素反应 。从那以后，二氟化氙、四氟化氙、六氟化氙以及多种氧氟化物陆续被合成出来。在其它稀有气体中，氪可以与氟形成二氟化氪，而氡可以与氟形成一种固体，据推