获得极大的发展，逐渐确立其与上田市并列为东信地方中心都市的地位。在2005年4月借由合併周边村、町而成为长野县第五个人口破十万人的都市。其因为新干线开通而急速成长的经验也被其他整备新干线的计画所参考。臼田地区(旧)有座，因此佐久市加入了以拥有宇宙航空研究开发机构下设施的市、町所组成的。与附近南牧村的野边山宇宙电波观测所一起，和内之浦宇宙空间观测所、种子岛宇宙中心等地并列为天文迷或火箭迷的圣地。