真田昌幸、信繁父子拖延行军。庆长6年（1601年），被家康赐予骏河沼津2万石并成为大名。因为嫡男忠兼早逝，于是想收当时是幕府旗本的八弟忠教为养子来继承家族，不过忠教以「不是自己的功勲」为由固辞。在庆长18年（1613年）9月27日死去，享年77歳。沼津藩因为无嗣断绝而被改易。