由金属铂与氟气化合制备：此外六氟化铂也可由PtF的歧化反应得到。PtF可由氟化PtCl制得：
其他六氟化物.其他元素的六氟化物，如六氟化锇、铱、铑、钌、铼、钨、钼、锝和铀，也具有挥发性，为八面体构型，是强氧化剂。六氟化铀和六氟化钨分别用在核工业和微电子工业中。主族元素中，硫、氙、硒和碲可生成六氟化物。六氟化硫稳定性很高，用作保护气；六氟化硒和六氟化碲则具有很强的反应性。