(SiF)。很多过渡金属也行成六氟化物阴离子。 一级六氟化物阴离子(MF)一般由对应的六氟化物被还原而成。 举个例子，PtF 可以由 O还原 PtF 而成。 由于氟离子的强碱性和对氧化的抗拒性，氟离子配体可以稳定一些金属难见的高氧化态，如：六氟合铜(IV)酸铯, 和, 。
六氟化物阳离子.六氟化物阳离子存在，但数量少于阴离子和电中性化合物。 六氟化物阳离子的例子包括六氟合氯(VII)离子 (ClF)和六氟合溴(VII)离子 (BrF)。
假想的六氟