平版印刷的应用.
半导体用平版印刷.半导体平版印刷也被称为光刻，它被用于集成电路等微芯片加工。由于它是加工微米及纳米级尺度设备的最好方法之一，也被用于微机电系统加工。光刻在各种材料的微加工上都有应用，其中在硅片上的应用已经相当成熟。近年来兴起的无掩模光刻和纳米压印光刻也开始被逐步应用。