二氟硅烷是无机化合物，化学式为SiHF，是甲硅烷的两个氢原子被氟取代而成的。
制备.二氟硅烷可由二氯硅烷和三氟化锑的卤素交换反应制得。它也可以由四氟化硅和氢气反应而成：当煤炭燃烧时，微量的二氟硅烷会因此产生。
性质.二氟硅烷是一种气体，沸点 −77.8 °C，熔点 −122 °C。 它没有颜色。 二氟硅烷的硅-氟键长度为 1.358 Å ，大于一氟硅烷但小于三氟硅烷。
反应.在放电情况下，它们的一个氢原子会脱离，形成 Si