日立制作所在1969年发明了第一个垂直式的功率MOSFET，之后称为（V 型槽MOSFET）。日本的Y. Tarui, Y. Hayashi和Toshihiro Sekigawa首次提出有的双扩散MOSFET（DMOS）。1974年时，日本东北大学的西泽润一发明了用在音频上的功率MOSFET，很就由山叶公司生产，用在高保真。JVC、Pioneer、索尼及东芝也开始在1974年开始生产有功率MOSFET的放大器。Siliconix在1975年开始贩售VMOS。VMOS和DMOS发展成当时所谓的VDMOS