铪、碳化铪、氯氧化铪、硫酸铪等化合物经热分解、水解或高温灼烧制取。
用途.用作耐火材料、抗放射性涂料和催化剂。近年来在微电子领域引起关注，它有可能替代目前硅基集成电路核心器件金属氧化物半导体场效应管（MOSFET）的栅极绝缘层二氧化硅（SiO），以解决传统 MOSFET 中 SiO/Si 发展的尺寸极限问题。