特·鲁斯卡（Ernst Ruska）开始开发第一个电子显微镜- 透射电子显微镜（TEM）。透射电子显微镜的工作原理和光学显微镜有相同的原理，但在使用光的地方用电子代替，在使用玻璃透镜的地方用电磁铁代替。使用电子而不是光线允许更高的分辨率。紧接着透射电子显微镜的开发，是在1935年开发的扫描电子显微镜（SEM）。不使用光线而利用电子流来照射标本来观察的显微镜。由于电子用肉眼看不出，因此就使电子透过观察材料，而映在涂有萤光剂的板子上，这种方法称为穿透式电子显微镜。另一种方法是以电流在观察材料的表面移动，