后重新起用为左都御史。康熙四十二年（1703年），拜文渊阁大学士兼吏部尚书，值经筵。康熙四十九年（1710年）十一月以耳病乞休，获允。次年五月，大学士张玉书卒，李光地患病未愈，陈廷敬又应诏入直。康熙五十一年（1712年）三月，陈廷敬病剧，四月去世。康熙帝亲作挽诗哀悼，谥文贞。《清史稿》有传。
着作.陈廷敬生平好学，诗、文、乐皆佳。与清初散文家汪琬，着名诗人王士祯皆有往来，“皆能得其深处，而面目各不相假”。康熙对陈廷敬有“房姚比雅韵，李杜并诗豪”的评价。干隆皇帝亲书“德积一门九进