pH值 ）变化时，流经晶体管的电流也会相应变化。 在这里，溶液被用作栅极。 基板和氧化物表面之间的电压由于离子层而产生。 它与MOSFET具有相同的基本结构，是一种特殊类型的MOSFET （金属氧化物半导体场效应晶体管） ，但金属栅极被离子敏感膜 ，电解质溶液和参比电极代替。 ISFET于1970年发明，是第一款生物传感器FET（BioFET）。 PH值影响栅极材料的Si–OH基团在水溶液中的界面 水解性 。典型的栅极材料有 SiO, SiN, AlO 和 TaO.可以通过位点结合模型描述负责氧化