方转让给，但到了战争末期的1713年，由于乌得勒支和约，马克西米连·伊马纽尔交还巴伐利亚选候。1713年，公国落入哈布斯堡王朝奥地利分支手中。
哈布斯堡-洛林王朝.在1794年至1813年间，卢森堡被法国大革命势力所佔领。在维也纳会议中，它被昇格为大公国，并以共主邦联的型式给予尼德兰的威廉一世.
卢森堡大公.拿破崙战争的结果使卢森堡成为大公国。卢森堡大公是卢森堡的国家元首。卢森堡是世界上唯一仅存具有独立主权的大公国，是1815年由奥兰治-拿骚王朝创立，