治末期至日治初期，犁头厝地区为一街庄，称为「犁头厝庄」，隶属于二林下堡。该庄北与山藔庄、后厝庄、丈八斗庄为邻，东与面前厝庄为邻，南边为外芦竹塘庄，西南边为竹围仔庄，西边为二林庄。1901年（日治明治三十四年）11月，全台废县厅改设二十厅，该庄隶属于彰化厅。1903年（明治三十六年）6月，该庄编入「二林区」，隶属于彰化厅。1909年（明治四十二年）10月，合併二十厅为十二厅，二林区改隶属于台中厅。1920年（大正九年），废厅、支厅、区、街庄（旧制）改设州、郡、街庄（新制）、大字，该庄改制为「犁头厝」大字，