真空回流炉，也叫真空焊接炉。在真空的环境下对产品进行高质量的焊接，在升温或者降温过程中通入还原性系统（N、甲酸、NH、H），用以保护产品和焊料不被氧化，同时将产品和焊料表面的氧化物反应，使得焊接表面质量提高，减小了焊接的空洞率。　真空回流炉包括以下几个结构：气路、冷却系统、加热系统、真空系统、测量系统：