然而一些处理上的问题使它受限，在其着作《Ignition!: An informal history of liquid rocket propellants》中阐述了以下困难：
半导体工业.在半导体工业中，三氟化氯被用于清洁化学气相沉积的反应舱。 它具有不需拆卸反应舱就可以清除舱壁附着的半导体物质这一优点。 与其它代替的清洁剂不同，三氟化氯在使用前不需经过等离子体激化，因为反应舱残存的热量就足以使它分解并与半导体材料反应。