了横向扩散金属氧化物半导体（横向DMOS），属于平面型的DMOS。日立是1977年至1983年之间，唯一的LDMOS制造商，当时的LDMOS是由和用在音频功率扩大器中，也用在音乐以及中。当2G数位蜂窝网络在1995年开始使用时，LDMOS广为使用在2G、3G等无线网路的中，后来也用在4G网路中。于1977年在史丹佛大学和Tom Herman共同发明了HexFET，六边形的功率MOSFET。在1978年开始贩售HexFET。绝缘栅双极晶体管（IGBT）结合了功率MOSFET以及双极性电晶体（BJT）的特点