发生化学变化从而在原有表面上留下了一个固体层。由于流体是环绕于固态基体的，这使得沉积可以在所有表面都发生而几乎没有方向性。即由化学沉积获得的薄膜多是均匀无方向性的。化学沉积可以根据流体的状态进行进一步分类：
生长模式.薄膜的外延生长模式（Growth Mode）被分为三大类型：岛状生长模式、层状生长模式和岛状/层状生长模式（或斯特兰斯基－克拉斯坦诺夫生长）。其中，岛状生长模式又称Volmer-Weber模式、VM模式，得名于和A. 韦伯。层状生长模式又称Frank–van de