酸氧，也是第一种被发现可以和氙反应的化合物（参见六氟合铂酸氙）。
应用.由于它们的挥发性，一些金属六氟化物有了应用。 六氟化铀 可以用于生产浓缩铀，它可以应用于核反应堆。 也可以用于核燃料再处理。 六氟化钨 可用于半导体 的化学气相沉积生产中。
六氟化物阴离子.很多元素形成六氟化物阴离子。 其中包括着名的六氟磷酸盐 (PF) 和六氟硅酸盐 (SiF)。很多过渡金属也行成六氟化物阴离子。 一级六氟化物阴离子(MF)一般由对应的六氟化物被还原而成。 举个例