式“荫生”步入仕途，进入国子监读书后，经过考试被授为工部员外郎。 康熙二十三年（1684）九月，迁内阁侍读学士。康熙二十四年（1685）九月，授山西布政使。康熙二十五年（1686）九月，擢山西巡抚。康熙二十七年（1688年）三月二日，陞任都察院左都御史。康熙二十七年（1688年）三月二十一日，时俄罗斯遣使请定界，诏遣大臣往议。马齐疏言：「俄罗斯侵据疆土，我师困之于雅克萨城，本可立时剿灭，皇上宽容，不忍加诛。今悔罪求和，特遣大臣往议，垂之史册，关系甚鉅，其档案宜兼书汉字，使臣并参用汉员」。康熙