途.甲锗烷在600K时分解为锗和氢气。这种对热不稳定性被用于半导体工业中，即有机金属化学气相沉积法（MOCVD）。由于甲锗烷毒性较大，某些有机锗化合物（如异丁基锗）可以替代甲锗烷，应用于MOCVD中。
安全.甲锗烷可燃，并且有自燃的可能性。甲锗烷有毒。