制备硅醚的方法很多，但大多可遵循两种策略：醇与氯硅烷在胺作碱的条件下室温反应，或醇与三氟甲磺酸硅酯在大位阻碱的条件下低温反应。三氟甲磺酸硅酯比起相应的氯硅烷活性更强，因此常使用三氟甲磺酸硅酯保护位阻较大的羟基。另一种非常可靠且快捷的方法是Corey法，即咪唑作碱将醇与氯硅基在二甲基甲醯胺（DMF）溶剂中高浓度反应。如果使用二氯甲烷代替DMF作为溶剂，反应速率会相对降低但更易于纯化产物。使用三氟甲磺酸硅酯取代时，常用的大位阻碱是2,6-二甲基吡啶，伯醇的硅醚保护通常在一小时内可反应完全，而大位阻的醇反应完