和同步辐射源得到。主要用途包括光电子谱、对日EUV成像望远镜及光微影技术等。EUV是最易被空气吸收的谱段，因此其传输环境需高度真空。
EUV的产生.中性原子或固体无法发射EUV。产生EUV，首先要发生电离。只有被带多个正电荷的离子束缚的电子才能够发射EUV。例如，把+3碳离子继续剥除一个电子的过程需要65eV，其中的电子比普通价电子更受束缚。而带多电荷的正离子存在于热等离子体，或者，利用高次谐波强激光场可以临时产生自由电子和离子。强场中，电子在驱返回母核的时候被加速，结合将发射能