10/12微米（1960年代末期至1970年代初期）→ (4) 7/8微米（1970年代初期）→ (5) 5/6微米（1970年代初期至中期）→ (6) 3/3.5微米（1970年代末期）→ (7) 2/2.5微米（1980年代初期）→ (8)1.3/1.5微米（1980年代中期）→ (9) 1/1.2微米（1980年代末期）→ (10) 0.75/0.8微米（1980年代末期至1990年代初期）→ (11) 0.65/0.7微米（1990年代初期）→ (12) 0.5/0.6 微米（1990年代初期至中