，也用作金属表面蚀刻改进剂以及用于从废气中脱除氧化氮。由相应的碳氢羧酸卤化物电解氟化，生成全氟羧酸氟化物，经水解而成；或者全氟烷基碘化物（RfCF2I）和SO3或CLSO3H反应生成物经水解而成；或由RfCF2CH=CH2氧化而成。科学家正在研究如全氟辛酸（PFOA）等较大的全氟羧酸对人类的毒性和在人体中的检测量，这类全氟羧酸对人类的影响比对野生动物要大。较长链的全氟羧酸（像全氟壬酸）生物累积性较强，已在野生动物的样品中发现此成份具有一个羧基及五至九个氟化碳原子的全氟羧酸，可作为含氟表面活性剂。