要借军事立下功勋。元兴三年（404年）随姐夫刘裕起兵讨伐桓玄，行参镇军军事，后转员外散骑侍郎，跟着又再参镇军军事，领东海太守，并因参与讨伐桓玄的功劳封始兴县五等侯。后又曾参车骑及中军军事。义熙五年（409年），刘裕想要北伐南燕，朝中大臣大多反对，惟臧熹、孟昶等数人支持，最终刘裕出兵时臧熹想要随军但不果，改任建威将军、临海太守。临海郡在当时经历过孙恩之乱后破坏严重，臧熹上任后重整法规和秩序，招集流散的居民，召得千多户郡民回来。次年卢循之乱时孙处经海路进攻卢循根据地番禺，水军经过临海郡时得到臧熹支援，军队才