马虞尪夫等，接着孙处继续进攻始兴、南康、临贺等各郡。卢循在同年年末于江州败予刘裕，带着部众退回广州，孙处就与试图夺回番禺的卢循大战二十多日，在沈田子等人协助下终成功击败他，杀了万多人，并追击至郁林郡。不过，其时孙处却因病无法继续追击，遂令卢循得以逃到交州。义熙七年（411年）四月，孙处在晋康去世，享年五十三岁，晋廷追赠龙骧将军、南海太守，封侯官县侯，食邑千户。义熙九年（413年），当政的刘裕念及孙处的功勋，再对孙处加赠交州刺史。