下（约为650度C）进行，扩散到工件表层的大部份是氮，也有少量的碳。由于在临界温度下，工件的微结构仍维持铁氧体，没有变成奥氏体，因此称为「铁氧体渗碳氮化」。
应用.需要承受高压力以及强裂撞击的零件仍需要表面硬化，像是枪只的撞针及枪栓面，引擎的凸轮轴。会希望这些零件特别加以硬化，而其内部仍然是原来具有韧性的材质。以往的枪枝常需要表面硬化，因为需要有低碳钢方便加工，具有高加工精度的特点，但又需要高碳钢的硬度以及抗蚀性。现在许多早期枪枝的仿制品，特别是单扳机的左轮手枪，常常会用表面硬