制造制程的一个水平，大约于2000年至2001年左右达成。 这个是由当时的领先半导体公司如英特尔、德州仪器、IBM和台积电所完成。一些CPU最初是由这个制程所制造。其中包括英特尔奔腾III Tualatin处理器。这是第一个沟道长度小于用于光刻的光的波长的制程。