破坏、不污染样品的首选检测手段。
应用.薄膜电阻的应用广泛，对于任一面积远大于厚度的情形，比如薄膜物理或者半导体产业中，常有纳米级厚度的薄膜被沉积到晶片上，如果关心这些薄膜的电阻阻值大小时，就需使用薄膜电阻这一概念。例如，在发光二极管的制造中，二极管PN结上作为电极而沉积的金属的阻值很大程度影响了发光二极管的发光效率，因此需要最小化金属半导体的接触电阻，利用前面提到的四探针测量法以及传输线模型测量法，即可确定接触电阻的大小和金属下方半导体层的薄膜电阻阻值。薄膜电阻和厚膜电阻的最