。2001年，研究所改名中国科学院上海微系统与信息技术研究所。
研究领域.中华民国大陆时期，工学研究所主要关注冶金、陶瓷和玻璃等领域。1960年代初考虑到冶金工业部已经逐步具备科研能力，研究所开始将研究方向拓展到半导体材料和集成电路等领域。研究所设有传感技术联合国家重点实验室、信息功能材料国家重点实验室、中国科学院太赫兹固态技术重点实验室、中国科学院无线传感网与通信重点实验室等研究机构。上海微系统与信息技术研究所是中华人民共和国国务院批准的首批博士硕士学位授予单位之一，包括电