守阿瑞尼士方程式，而空位的移动和扩散须遵守菲克扩散定律（Fick's law of diffusion）。透过消除晶体结构的空位和差排，可让原子置于合适的晶格位置，新生成的晶粒改善了金属的机械性质，所以退火不仅可以消除内部应力，还可以改善机械性质，如硬度、延展性等。
退火步骤.退火过程中间会有三个阶段。
设置和设备.传统上，退火过程会在大型的退火炉中处理，退火炉内部空间相当宽敞，足够让高温气体在内部循环并可让工件暴露在高温气体中。对于要进行高容量的退火