元十年九月，行冲“以衰老罢丽正殿校写事”，累封常山郡公。开元十七年（729年）卒，年七十七。赠礼部尚书，谥曰献。着有《魏典》、《群书四录》等。
逸事.唐玄宗诏行沖编修魏征撰次的《礼记疏》。书成之后，右丞相张说却表示反对，他认为《礼记》迄今已有千年，各家多有註解，何必另採魏征版本。行沖乃以主客一问一答方式作《释疑》一文以回应。他表示各家註解相互矛盾处甚多，魏征才会觉得有重加审订的必要。这是成语【当局者迷】的由来，典故自《旧唐书·元行冲传》:“当局称迷，旁观见审。”