7 °C。它的固态结构（ −140 °C 下测量）为斜方晶系 ，空间群 "Pnma"。 它的晶格常数为 "a" = 9.417 Å， "b" = 8.570 Å和 "c" = 4.965 Å。 它的密度是 4.94 g·cm。ReF 分子是八面体形分子构型的， 对称性是""。 它的 Re–F 键长 为 1.823 Å。
用处.六氟化铼用于电子工业中，用于铼薄膜。