氮化硅是由硅元素和氮元素构成的化合物。除了SiN外，还有其他几种硅的氮化物（根据氮化程度和硅的氧化态所确定的相对应化学式）也已被文献所报道。比如气态的一氮化二硅（SiN）、一氮化硅（SiN）和三氮化二硅（SiN)。这些化合物的高温合成方法取决于不同的反应条件（比如反应时间、温度、起始原料包括反应物和反应容器的材料）以及纯化的方法。SiN是硅的氮化物中化学性质最为稳定的（仅能被稀的HF和热的HPO分解），也是所有硅的氮化物中热力学最稳定的。所以一般提及“氮化硅”时，其所指的就是SiN。它也是硅的氮化物中最