Å，"b" = 8.543 Å，而"c" = 4.944 Å。每个晶胞中有四个化学式单位的六氟化锇（这里是四个六氟化锇分子），密度则是5.09 g·cm。六氟化锇分子本身（气态或液态的主要存在形式）具有八面体空间构型，点群为"O"。其中Os–F键的键长为1.827 Å。六氟化锇部分水解生成四氟一氧化锇（OsOF）。