在摄氏200度置于流床反应器下化合：硅与通入的氯化氢形成三氯硅烷和氢气。反应式如下： 将经过蒸馏纯化的三氯化硅置于有催化剂的resinous bed反应器而产生歧化反应，形成硅烷和四氯化硅。反应式如下： 此反应的催化剂常以金属卤化物爲主，尤其是氯化铝。
安全.硅烷在空气中爆炸性极高，。另外硅烷对眼睛具有刺激性。