一氟硅烷 是一种无机化合物，化学式SiHF 。
制备.一氟硅烷可以由氟甲烷和硅 反应而成。 <ref name="DOI10.5012/jkcs.2016.60.2.149">Han-Gook Cho: "Investigation of Reaction Paths from Si + CH4 to C + SiH4 and from Si + CH3F to C + SiH3F: Intrinsic Reaction Coordinate Studies." In: "Jou