0.001至0.1毫米)的部件组成，一般微机电设备的通常尺寸在20微米到一毫米之间。微机电系统在日本被称作微机械（micromachines），在欧洲被称作微系统技术（Micro Systems Technology，MST）。比微机电系统更小的，在纳米范围的类似技术被称为纳机电系统（nanoelectromechanical systems，NEMS）。微机电系统与或的超前概念不同。它们内部通常包含一个微处理器和若干获取外界信息的微型传感器。相比大尺寸的机械装置，由于MEMS的大表面积与体积比，M