先商请军方将辟比邻该校西南之陆军日新营区有偿拨交该校使用，并于1988年6月拨得九公顷土地。而配合科学园区的发展，1984年在新竹的交通大学设立电子与资讯研究中心；以便引进高级技术工业及人才。1989年再向科学园区租用6.05公顷土地，一同设立的国家奈米元件实验室（于光复校区奈米电子研究大楼），并陆续征购15公顷土地。而整个日新营区，并陆续兴建工程四馆、管理二馆、学生第十二宿舍、科学二馆、活动中心、工程五馆、学生第十三宿舍、研究生第二宿舍、综合一馆等校舍。1995年起，再陆续完成土木结构实验室、整合实验大楼