硅同氧的结合力非常强，处置二氧化硅这样的固体物质会给硅基生命的唿吸过程带来很大挑战，除非该星球上的温度高到能够使二氧化硅液态甚至是气态的时候才有可能像地球生物一样唿吸。假设的更好的解决方案是吸入氟气氧化自身的储蓄物和吸入氟化氢与二氧化硅反应，最后都唿出四氟化硅。也可能硅基生物在高温环境下吸入氢气而唿出四氢化硅。硅基植物则通过“光合作用”吸入四氟化硅、水和光经过一系列反应生成氟化氢排回大气中并生成“硅淀粉”。