好吉房任城主。丰臣政权时代，石川贞清任城主。长久以来有传说在这一时期美浓国的天守被移筑到了犬山城，但在1961年对犬山城的拆解修理，确认了天守没有移筑的痕迹，确证实无此事。
江户时代.石川贞清因在关原之战中支持西军，战后被德川家康改易，失去领地。（1601年）和平岩亲吉（1607年）先后任城主。亲吉死后平岩亲吉之侄平岩吉范任城主。1617年（元和3年），尾张藩的附家老成濑正成任城主。任内为天守增加了唐破风出窗。此后犬山城作为成濑家的居城，经历9任当主的时代，直至幕府末期。S