全部由柳敬言决断。后主疮愈，柳敬言乃归政。588年十月，隋文帝杨坚命杨广率51万大军攻陈。589年正月一日，隋军突袭长江，随后节节胜利，攻破建康，俘陈后主，陈亡。三月，柳敬言与后主等王公贵族百人被送到长安，后迁至洛阳。604年，陈后主死，时年五十二。大业十一年（615年）柳敬言在洛阳去世，年八十五，葬洛阳之邙山。