三氟甲磺酸三甲基硅酯(Trimethylsilyl trifluoromethanesulfonate)由三氟甲磺酸酯和三甲基硅基组成，常温常压下是无色液体。它的反应性类似于三甲基氯硅烷，因此也经常在有机合成领域使用。
应用.三氟甲磺酸三甲基硅酯可被应用于将醛和酮转化为硅烯醇醚。 同时，由于其与三甲基氯硅烷有类似的反应性，因此也可以用于保护醇。
相关反应物.三氟甲磺酸三乙基硅酯(Trimethylsilyl trifluoromethanesulfonat