赔款用于人才培养和赴美留学。1909年（清宣统元年），美国开始退还庚款。为统筹考核留学生，外务部与学部上奏设立“游美学务处”并附设“肄业馆”。7月17日（六月初一）游美学务处正式建立，后任命外务部署左丞、左参议兼学部丞参上行走周自齐担任总办，学部员外郎范源濂和外务部候补主事唐国安，驻美公使馆参赞容揆任驻美学生监督，三年间共组织三批近200人赴美留学。外务部选定清华园后，修缮工字厅、建造校门、一院、二院、三院、同方部、北院、校医院，1911年竣工，校园占地450亩。1911年2月，肄业馆改称“清华学堂”，