原子交换时，产物往往不固定，例如若以钼、钨取代ReO(OCH)中的铼，则有可能得到ReMoO(OCH)（x=[0 - 2.82]）及ReWO(OCH)（x=[0 - 2]）等。很多金属烷氧基化合物在100-300°C就会分解，并且产物常常是纳米级的氧化物等材料粉末。这项技术有可能在航空航天、化工、电学等方面取得应用，并且相对传统的工艺而言，该法温度较低（低于500-900°C），而且生成的氧化物、金属粉末、复杂氧化物、固溶体和合金都是很有价值的材料。