，以其故地设置沖绳县。沖绳县厅最初执行旧惯温存政策来安抚琉球人，内法在琉球得以延续，其中着名的内法判决事件为1879年的赞成事件和1907年的具志头制缚致死事件。1908年，日本施行町村制，内法判决事件在各地频频发生。1916年，松原一意与首里署长在《琉球新报》上做了改善内法的连载，此后内法逐渐式微，在沖绳岛战役前基本已被消灭。