有氢气（H）、氮气（N）、氧气（O）以及卤素中的氟气（F）及氯气（Cl）。稀有气体都是单原子气体。在工业气体中会用元素气体来区分这些气体以及其他化学成份为化合物的气体。元素气体中都是非金属元素。氡的化学性质稳定，但具有放射性，没有。其中最稳定的同位素，其半衰期3.8天。其用途主要因为其放射性而不是其化学特性，因此在工业气体中需要特殊的处理。氡气可能是处理竹的副产物。在这些气体元素中，只有氯气的临界温度高于标准状况的温度，因此常温下氯气可以加压变成液体。而溴和汞在标准状况下为液体，标准状况下会是液