长期讨论后，瑞士联邦通过了建立联邦理工学校的法律。1855年10月16日，联邦理工学校（）在苏黎世成立。1909年，该校进行课程改革，成为真正意义上的大学，并获得博士学位授予权。1911年，更为现名联邦理工学院（）。1993年，苏黎世联邦理工学院与洛桑联邦理工学院及其他四家联邦研究机构保罗·谢尔研究所（PSI），瑞士联邦森林、雪和景观研究所（WSL），瑞士材料科学技术研究所（Empa）、瑞士联邦水科学技术研究所（Eawag）一起组成“瑞士联邦理工学院及研究所联合体”（德语ETH-Bereich，英语ETH-