烷主要通过硅烷醇的脱水缩合制备：而硅烷醇通常是氯硅烷原位水解得到的。双分子硅烷醇脱水得到含两个硅的RSi(OH)，进一步脱水，能得到长链产物：或环状产物：三硅烷醇的脱水缩合可得到笼形结构的硅氧烷，通式为(RSi)O。立方体的"n" = 8（类似于立方烷）；六方柱的"n" = 12。
反应.有机硅氧烷完全氧化得二氧化硅。例如六甲基环三硅氧烷的燃烧反应：强碱作用下硅氧键断裂水解，得到硅烷醇的共轭碱：此反应也被用于制造硅烷醇。以及将环状硅氧烷转化为链状。Section::