率皆很低，248nm的折射率约为1.34，193nm 则约1.40，因此很难找到效果良好的抗反射涂层，因此单层薄膜在这些波长下是最常见的。「抗反射涂层」（成份为氟化钙或氟碳化合物），通常会涂在保护膜的一侧或两侧，以提高透光率之用。在目前逐步踏入EUV的世代，因为其波长仅有13.5nm，以往所使用的「光罩护膜」将会吸收此光源的波长，然而据报导指出ASML是唯一成功开发出商用的「EUV保护膜」的制造商，也在2019年与日本三井化学公司签署EUV光罩护膜组装技术的授权。
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