原硅酸酯却很少。有两个很重要的原硅酸酯可用于有机合成：四乙氧基硅烷，简称"TEOS"，用于连接聚合物，在制造气凝胶中尤其重要。，简称"TMOS"，可以用作TEOS的替代品，也可以用作试剂。TEOS的用处比TMOS更广泛，因为TMOS分解是会产生大量有毒的甲醇。吸入TMOS可能导致二氧化硅在肺部积聚，形成硅肺病。