革命失败，他辞去江苏都督。此后他住在上海，以礼佛为事。1917年退出政界。1926年，受戒于常州天宁寺，法名寂照。1930年5月29日于上海圆寂。享年71岁。
遗迹.今苏州城外寒山寺，有“古寒山寺”四个大字为其墨迹。齐齐哈尔市龙沙公园内建有《清云阳程公以身御难碑》。
着作.着有《程中丞奏稿》、《抚江文牍》等。
轶闻.1945年1月，银币收藏家吴诗锦发表文章认为袁世凯像中华民国开国纪念币上面的头像实为程德全，引起半个多世纪争论。