解氟化物MF、MF。四氟化碳，像其他氟代烃一样，是十分稳定的，这是因为C-F键很强，键能为515 kJ.mol（参见环境影响）。因此不与酸及氢氧化物反应，但是会跟硷金属发生爆炸性反应。热分解会产生剧毒的气体（碳酰氟、一氧化碳，如果有水存在，还会产生腐蚀性的氟化氢）。四氟化碳微溶于水（约20 mg.l），但可与乙醇、乙醚及石油醚混溶。
用途.四氟化碳有时会用作低温冷却剂。它可用于电路板的制造，以及制造绝缘物质和半导体。它是用作气体蚀刻剂及等离子体蚀刻版。Section::