六氟化物的化学性质的范围很广。 六氟化硫 几乎惰性且无毒，因为位阻效应使六个氟原子紧紧粘在硫原子上，使其它化合物难以攻击它的硫-氟键。 由于其稳定性，介电性能和高密度，它具有多种应用。 六氟化硒 也像 SF那样稳定，不过六氟化碲 不稳定，会在1天内完全水解。 此外，六氟化硒和六氟化碲都有毒，不像六氟化硫那样无毒。 金属六氟化物有腐蚀性，容易水解，还会和水剧烈反应。一些金属六氟化物还可以用作氟化剂。 金属六氟化物的电子亲合能很高，使它们成为强氧化剂。 六氟化铂 可以氧化氧气 分子， O，形成六氟合铂酸氧，