后，激子就会消失，这时才会形成稳定的化学产物。因为光子吸收深度超过电子逃逸深度，发射的电子速度最终减缓，能量以热的形式耗散。EUV波长的的辐射较长波长辐射更易被吸收，因为它所对应的光子能量超过所有物质的能隙。因此它们的热效率显着较高，它的介电物质的热烧蚀阈值也因此变低。