光罩（）：在制作集成电路的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型复制于晶圆上，必须透过光罩作用的原理。比如沖洗照片时，利用底片将影像复制至相片上。
种类.相位移光罩、二元光罩