衡前往治疗，但是回天乏术，庆长7年4月12日（1602年4月12日）死去，享年75岁。内藤氏在1631年转至孙儿‧第3代新五郎忠俊（忠利）时被改易，但是因为正成从三河以来的战功，外孙正重被召回并获得旧知5千石，天和2年（1682年），第5代正吉被加增上野台之乡和下野作原7百石而成为5千7百石的旗本，一直存续至幕末的第14代正从为止。正成的勇武相当优秀，特别是射箭的技能被评为是无人能及。一说指能仕于松平广忠的原因是因为广忠见识过正成的射箭技能，因为勇武而成为德川十六神将中的其中一人。