在微技术领域中，光罩检测（）是检查光罩制作正确性的操作技术。用于定位光罩缺陷的是高级自动化系统，如扫描电子显微镜等。「光罩检测」一词也可能非正式地指称真正写入光罩前的光罩资料检测（）。