英宗至治二年（1322）二月七日，身体有微疾，是日诵经不断，一段时间后，向大众告辞，便安然坐化圆寂，世寿八十八岁。圆寂后奉于龛中，经过二十一天，法师的容貌气色依旧红润如生，不可思议。火化荼毘后，拾得舍利子无数，参加告别法会计有数万人之多。并于江宁张家山建舍利塔供奉，翰林学士赵孟頫为塔题写碑铭。