反正，拜大司马，执掌朝政。后被长沙王司马乂攻杀，曝尸三日。齐国除为郡。十六国时代中原丧乱，临淄城日渐衰落。晋永嘉五年（311年），前赵将领曹嶷攻入青州，于广县筑广固城（今山东省青州市西），将广县併入临淄，迁青州州治于广固。永昌二年（323年），齐郡入后赵。晋元帝于广陵侨置青州、齐郡。冉闵反赵之际，青、徐、兖州刺史纷纷归降东晋。永和六年（350年），鲜卑段部首领段龛南下，割据青州，东晋封其为齐公。永和十二年，前燕慕容恪攻取青州，段龛降。太和五年（370年），前秦灭前燕，齐地入秦。淝水之战之后的太元九年（3