蚀大多数金属。它与铝反应温和，在铝的表面形成致密的氟化铝薄膜，阻止反应进一步进行。
制取.磨碎铀矿（UO，或称“黄饼”），并将其溶于硝酸，产生硝酸铀酰UO(NO)溶液。萃取纯化后，使硝酸铀酰与氨反应，生成重铀酸铵(NH)UO。加氢还原得到二氧化铀，再与氢氟酸反应生成四氟化铀。四氟化铀与氟进行氧化反应产生UF。
核燃料循环中的应用.各种主要的铀浓缩方法都需要用到六氟化铀，不论是气体扩散法，还是气体离心法。这是由于六氟化铀的三相点为 147 °F （64 °C