大规模纯化高纯度半导体原料，反而是多以区域精炼法进行。此乃因区域精炼法要重复多次进行，较为容易。
加热器.区域熔炼法所使用的加热器都有一些共通的特色，它们都可以形成短小的熔融区，并缓慢且一致地游移于晶锭两端间。、环绕电热器、电子束加热、瓦斯火焰等都是常见的加热器。对晶锭加一外加磁场并对晶锭通一电流也是一种可行方式，通常会细微地控制加热器产生的磁动势减少熔融液体的流动。光学加热器利用高功率的卤素灯或当作热能来源，通常只用于研究用途，尤其是制造绝缘体的时候。光学加热器并不适合用于产业用