朝开始在石碑上刻经，并得到隋炀帝皇后萧氏及其弟萧瑀的赞助。贞观五年（631年）《涅槃经》刻成，贞观十三年（639年）静琬圆寂，其弟子玄导（导公）、仪公、惠暹（暹公）和法公等人接续其志、继续刻石，玄导续刻了《大品般若经》、《楞伽阿跋多罗宝经》、《思益梵天所问经》、《佛地经》四部。开元年间静琬第四代弟子惠暹得唐玄宗八妹金仙公主之助，在雷音洞（石经堂）下新开了两个洞口（今第一、二洞），至晚唐已刻出经石4000多块，分藏于九个石洞，分上下二层。五代战乱，石刻陷于停顿。辽朝时，涿州刺史韩绍芳曾清点藏于石洞中的