清朝顺治年间，固什喇嘛萨木腾扎木苏在此兴建山神庙。康熙五十四年（1715年），施主集资兴建十三座密洞式殿堂，并自拉萨请来释迦牟尼佛像、金塔，自甘肃拉卜楞寺请来108卷《甘珠尔》，诵经开光供奉在庙内。固什喇嘛萨木腾扎木苏原来是俗人，18岁参加科举，任伊克昭盟盟府笔帖式，28岁出家当喇嘛，后来赴北京、拉萨学习，精通蒙古文、藏文，着有蒙古文佛教诗篇、藏译蒙佛教诗篇数十种。同治六年（1867年），该庙被马化龙回民起义军烧毁。光绪六年（1875年）重修。重修后，该庙有大经堂25间、哲学院窑洞式殿堂12间、大经