内多为町人地，寺町、蜡烛批发商也不少。明治时期，御旗同心屋敷、川田洼、武家地合併成立市谷柳町。1878年（明治11年）旧甲良町1番地编入。1895年（明治28年）至1912年（明治45年），因辟建外苑东通与大久保通，部分番地废除。1969年（昭和44年），市谷柳町的空气汚染严重，爆发牛込柳町铅中毒事件。
地名的由来.传闻是因为这一带柳树众多而得名，但详细情形未知。