微机电系统（纳机电系统）中获得应用。当一根针尖在平坦的表面滑行，并且所施加的载荷低于某一阈值时，也能实现超低摩擦状态。根据Tomlinson模型，该“超润滑”阈值与针尖-表面间的相互作用以及材料间的接触刚度密切相关。并且该阈值可以通过激发滑动系统的共振频率而显着降低，这揭示了一种可减少纳机电系统中磨损的方法。需要指出的是，“超润滑”一词与“超导”，“超流”等名词的类似性具有一定的误导，因为其他能量耗散机制也可能导致有限的（通常很小）摩擦力。