。法尔内塞家族持续统治帕尔马及皮亚琴察直到17世纪，但在与乌尔班八世的巴贝里尼家族的卡斯特罗战争中失去了对卡斯特罗的统治，1649年，英诺森十世将卡斯特罗夷为平地后结束了这场冲突。公国在西班牙的控制和影响下逐渐的衰败，由于公国的末代统治者安东尼奥·法尔内塞没有留下合法的直系或旁系后代便去世了，法尔内塞家族于1731年失去对帕尔马及皮亚琴察的统治权，安东尼奥的姪女，西班牙王后埃丽莎贝塔·法尔内塞顺理成章地得到了继承权，他将这个头衔给了他的儿子西班牙国王卡洛斯三世以及日后的波旁-帕尔马王朝创始者菲利波一