热（>600°C）四乙氧基硅烷，也可转化为二氧化硅，同时产生乙醚：
用途.TEOS主要被用作硅树脂（silicone，聚硅酮）中的交联剂，和半导体工业中的二氧化硅的前体。TEOS也可被用来合成沸石。其他应用包括可用于制造耐化学品涂料和耐热涂料、以及生产气凝胶等。这些应用都利用了Si－OR 键的反应特性。