阳、平昌、广饶、西安、安平、广川。皇兴三年（469年），以济南郡、东魏郡、东平原郡、东清河郡、广川郡、太原郡置齐州。北齐天保七年（556年），废临淄县，以其地属齐郡高阳县。北周时齐郡仅领三县：益都，昌国、广饶，治益都。
隋唐.隋开皇三年（583年），罢天下诸郡，以州统县。废齐郡、济南郡，其地分属青州、齐州。开皇十六年（596年），于青州置临淄县、溡水县，以贝丘县（后更名淄川县）置淄州。大业初，废高阳、溡水二县入临淄。大业三年（607年）改齐州为齐郡，领十县，辖原济南郡之地，治历城。