意法半导体成立了持有专利的 SuperH 公司，提供 SH-4 核心给其它公司并开发 SH-5 架构。首度将 SuperH 推向 64 位元领域。SuperH 公司卖这些 CPU 核心的相关专利。SH-5 设计上加入了称之为 SHmedia 的单指令流多数据流指令集，亦加入相当于在 SH-4 user-mode 部份的 SHcompact 指令集。实作与 ARM 相容的 Thumb 指令集。之后，SuperH 架构的进化仍持续进行。最后的演进发生在 2003年 ，SH2 至 SH-4 统一成超纯量的