格拉夫于1764年从萤石和硫酸的混合物中分离出了一种新物质氢氟酸，他发现该物质腐蚀了玻璃容器。瑞典化学家卡尔·威廉·舍勒于1771年重复了该实验，并将得到的酸性产物命名为"fluss-spats-syran" （萤石酸）。1810年，法国物理学家安德烈-马里·安培提出氢和一种与氯类似的元素构成了氢氟酸。汉弗里·戴维将这种当时未知的元素命名为氟"fluorine"，这一名字来自氟酸与其它卤素的后缀"-ine"。这个词经过变形在大多数欧洲语言中使用。希腊语、俄语、以及其他一些语言使用来自希腊语φθόριος 的