直属于省的直隶州可辖县，以避免行政层级紊乱。此时一些散州升为直隶州；其他散州所辖的县，有的併入州中，有的则改由府管辖。所以清代的散州层级与县相当（但州官的品级仍然高于县官），而地方制度也很明确地变成「三级制」，这在清代是很重要的地方行政制度改革。清代的直隶州也没有附郭县。清朝的“道”并不是正式行政区划，而是省的派出机关，其地位在省与府之间，但是清代中后期，「道」的权力又越来越大，介于省级与府州厅级之间，所以清中后叶，地方行政制度又演变成「准四级制」。民国二年，全国实施废府、州、厅，所有的散州、散厅都