包括氦、氖、氩、氪、氙和氡六个，至于第七週期的是否属于惰性气体则尚未知晓。所有的稀有气体元素外层s和p轨道都填充满了电子，氦两个外层电子，其它的都为8个。它们的电离能很高，电子亲合能几乎为零，生成化合物的倾向很小。因此直到20世纪，化学家都认为稀有气体化合物不存在，并将这些元素称为“惰性气体”。然而，莱纳斯·鲍林在1933年时预测，原子序数较大的稀有气体元素有可能与氟和氧生成化合物。他预言了六氟化氪(KrF)和六氟化氙（XeF）的存在，提出八氟化氙可能是个不稳定的化合物，以及氙酸会以高氙酸盐的形