结构的实验手段，使用的低能电子束（20–200 eV）轰击样品表面，可在荧光屏上观测到被衍射的电子所形成的光斑，进而表征样品的表面结构。低能电子衍射有以下两种应用方式：
历史.
电子衍射现象的发现.电子衍射的理论论证最早可追溯到1924年路易·德布罗意提出的波粒二象性和物质波的观点，即某一动能为 formula_1 的粒子的波长 formula_2 可由 formula_3 给出，其中 formula_4 为普朗克常数。1927年，贝尔实验室的柯林顿