量膜厚等方法。
真空蒸镀的用途.光学薄膜（眼镜与镜片的反射防止膜、特殊镜子等）、磁带（录音、录影带等）、构成显示器的电极・半导体膜・絶縁膜等（电浆电视与有机EL、液晶显示器）、手机、PDA的萤幕表面・装饰表面用的涂层、电子零件(电容、半导体集积回路等）、食品包装材料（装饼干糖果用的袋子有的蒸镀上一层铝膜）、以至于新颖材料与建材、各式各样范围广泛接可使用此加工法。电子显微镜的标本在制作时也使用此加工法。
真空蒸镀的历史.1857年Michael Farada