间，因为加氮比控制碳要困难。过多的氮会在工件上造成大量的残余奥氏体（retained austenite）及孔穴，是高硬度的工件不希望出现的特性。
优点.渗碳氮化比渗碳多了以下的优点：首先，在回火时抵抗软化的能力较强，也可以增加疲劳强度及冲击强度。也可以同时使用渗碳氮化及渗碳，让材料较深部份有理想的材质，因此在实际的应用上也会有较好的性能。渗碳氮化特别适合于表面硬化性低的钢，例如阀座。此制程一开始是以约900-955°C的温度，渗碳加工到需要的深度（最多2.5mm），再进行渗碳氮化