氟化物（二氟化氧是已知的氧具有正氧化数+的罕见化合物之一）；硫、硒和碲可以与氟生成四氟化物与六氟化物。氟原子越多、中心原子越轻，氟化物就越稳定，因此六氟化硫相当稳定 。氯、溴和碘可以和氟反应生成一氟化物、三氟化物以及五氟化物，但是仅有碘可以和氟反应生成七氟化碘。这些氟化物中许多种都可作为强氟原子源，并且三氟化氯在工业应用中需要与和使用氟一样小心谨慎。
稀有气体.稀有气体具有满电子壳层，在1962年化学家尼尔·巴特利特报告了六氟合铂酸氙的合成以前，人们认为它们不与其他元素反应 。从那