用新竹科学园区竹南基地土地，自建厂房。2002年8月，沛鑫半导体实收资本额增为新台币5亿元，并于中国大陆间接投资沛鑫半导体工业（昆山）有限公司。2004年5月，沛鑫半导体于中国大陆间接投资富士迈半导体精密工业（上海）有限公司。2004年6月，沛鑫半导体股票上市。2004年12月27日，沛鑫半导体股票转兴柜，兴柜股票代号为3413。2007年4月，沛鑫半导体成立半导体照明事业群，生产LED照明与显示设备。2009年7月3日，沛鑫半导体改名为沛鑫能源科技股份有限公司。