，在潮湿空气中发烟。沸点仅高于熔点4 °C。首先由在1812年合成。应用于微电子行业和有机合成中。 火山爆发时的烟雾中也含有大量的四氟化硅。
制备.大量的四氟化硅是工业上生产磷肥的副产物。氟磷灰石经硫酸处理后，会生成大量的氢氟酸；氢氟酸再与含硅矿石发生反应，生成挥发性的四氟化硅气体。实验室制法是用氟硅酸与氯化钡反应沉淀出氟硅酸钡， 再加热氟硅酸钡至300 °C以上，使之分解生成四氟化硅和氟化钡。同族的四氟化锗也可通过这个方法制备，但需要更高的分解温度（700 °C）。除