先后隶属府中裁判所、久美滨县、生野县、兵库县、姬路县、鸟取县，1871年全数被整併到饰磨县内，1876年再次整併后属于兵库县。1879年实施，正式的设置了近代的行政区划「神西郡」，但是与神东郡共同设置「神东神西郡役所」，郡役所设于屋形村（位于现在的市川町），直到1896年两郡直接合併为神崎郡。