用中，重氮萘醌会与酚醛树脂混合，以作为溶解抑制剂。在曝光的过程中，部分光刻胶膜会暴露在光线下，而其他部分则不会。在未曝光的区域里，含有重氮萘醌的光刻胶膜仍然会不溶于水基显影液中。 而在曝光的区域里，重氮萘醌会形成烯酮，由此再与环境中的水形成可溶于硷的茚并羧酸。光刻胶膜中已曝光的区域因而可溶于硷性溶剂，从而将光刻胶层中的图形显现出来。