301年（永宁元年），司马伦被赐死，晋惠帝复位。齐王司马冏辅政，高光任为廷尉、尚书，加奉车都尉。305年（永兴元年），高光从晋惠帝讨伐成都王司马颖有功，被封为延陵县公，食邑18000户。十二月，惠帝被张方所迫前往长安，高光侍奉惠帝西行。任尚书左仆射，加散骑常侍。306年（光熙元年），惠帝回洛阳，高光为太弟（皇太弟司马炽）少傅，加光禄大夫，散骑常侍依旧。307年（永嘉元年），司马炽即位为晋怀帝，加授高光光禄大夫、佩金章紫绶。308年（永嘉二年），高光任尚书令，余官依旧。十一月乙巳，高光病逝，赠司空、侍中。