造系增设精密仪器制造专业。1960年，机械制造系分为精密仪器及机械制造系和冶金系。精密仪器及机械制造系以冷加工和精密仪器专业为主，并先后改称精密仪器系（1971年）、精密仪器与机械学系（1984年）。1996年，精密仪器与机械学系参与组建清华大学机械工程学院。2012年12月，精密仪器与机械学系中机械工程学科拆出进入新的机械工程系，原有仪器与光学学科建立新的精密仪器系。