高真空、超高真空或通入工作气体(如欲沉积氧化物薄膜，通常会通入氧气作为其工作气体)的环境下进行。于脉冲雷射沉积的过程中，雷射的能量被靶材吸收之后，能量首先激发靶材内部的电子跃迁，之后再转成热能等使靶材汽化形成电浆态，于电浆云中，包含分子、原子、电子、离子、微粒、融球体等物质。