。辽朝清宁三年（1057年）幽州发生大地震，悯忠寺几乎完全被毁。咸雍六年（1070年）进行了修复。金代时，该寺为燕京名刹，曾是女真人进士的考场，宋钦宗被掳后也在寺中囚禁过一段时间。元末明初寺院毁于战火，明正统二年（1437年）重建后更名为崇福寺。清朝雍正十二年（1734年）进行了大修，钦定为专司戒事的皇家律宗寺院，并赐名为法源寺。此后的干隆四十三年（1778年）至四十五年（1780年）又有过较大修整，干隆帝在大修完工后亲临法源寺，赠送了“法海真源”牌匾。中华民国时期，法源寺是北京城最大的停灵寺院之一