通八年（867年）四月十日，义玄禅师圆寂。遗体火化后，其弟子将舍利分建二塔藏之，一塔建于河北大名（已毁），一塔建于河北正定城内临济寺。唐懿宗赐谥“惠照禅师”，赐正定塔为“澄灵塔”。
宋金.临济寺在宋金战争中毁于战火，仅存残塔。金大定二十三年（1183年），金世宗下旨修复澄灵塔及临济寺各建筑。今之澄灵塔即为辽金典型样式。
元.元朝时，住持海云印简禅师主持了重修和扩建。葛罗禄迺贤所着《河朔访古记》载：“临济寺在真定府城中，定远门街，飞云楼之东。其三门下有唐吴道