坑辨务署景尾支署和坪林尾支署合併而成立，下辖景尾支厅、坪林尾支厅。1903年4月，深坑厅下的街庄整併为42个庄。1909年9月，景尾支厅由景尾街迁移至「新店街」，支厅名亦改为「新店支厅」。
併入台北听.1909年10月，台湾总督府将原有之二十厅，废止合为十二厅，深坑厅坪林尾支廰併入宜兰厅、其余併入台北厅。深坑厅直辖和新店支厅改为台北厅深坑支厅和新店支厅，坪林尾支厅则是改为宜兰厅坪林尾支厅。