回四川，发起组织四川省俭学会，为留法勤工俭学的开始。受惠者包括陈毅、聂荣臻、赵世炎、刘伯坚、邓小平等数百川人。1913年赴欧洲考察，后历任临清关、张家口关监督等职。1922年隐退，居北京，醉心佛学，追随与欧阳渐齐名的韩清净，组织了“法相研究会”、“三时学会”等，着有三百万字的《法相辞典》。1942年逝世，享年58岁。葬于北京西山八大处灵光寺旁，韩清净大师为之撰写碑文。