个词最早是由加利福尼亚企业家拉尔夫·瓦尔斯特（Ralph Vaerst）创造的，但却是由瓦尔斯特的朋友在一系列关于电子新闻的标题中第一次使用的。1971年的1月11日开始被用于《每周商业》报纸电子新闻的一系列文章的题目──美国硅谷。之所以名字当中有一个“硅”字，是因为当地企业多数是从事加工制造高浓度硅的半导体行业和电脑工业。而“谷”则是从zh-cn:圣克拉拉; zh-tw:圣塔克拉拉;谷中得到的。而当时的硅谷就是旧金山湾南端沿着101号美国国道，从-{A|zh-cn:门洛帕克;zh-hk:门洛帕克;