200奈米的波长。在无氧的环境下工作的人员与设备都无须承受在真空中工作所产生的压力差。其他在这个光谱范围工作的科学仪器，像是圆偏光二色性光谱仪，通常也用氮来清洁。极紫外线的特性被用于物理学上转换物质的交互作用：比30奈米长的波长主要在化学上与物质的价电子交互作用，更短的波长与内壳层的电子和原子核进行交互作用。EUV/XUV光谱长波末端被设定为30.4奈米的显着He谱线。绝大部分已知的物质对XUV都会强烈的吸收，但它也可以制成多层光学，对垂直入射的XUV辐射可以反射约50%。这种技术最早是在1990年代运