ychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所发明。使用电子束激发氙气二聚体，产生的准分子激光波长为172nm。1975年包括美国政府的海军研究实验室、诺思罗普研究和技术中心，Avco Everett研究实验室，和美国桑迪亚国家实验室在内的多家政府研究机构研究利用电子束激发惰性气体卤化物。1979年西德Lambda Physik公司生产出第一台商业用准分子激光器。迄今为止已经发现的能够产生准分子激光的气体有10多种。
常见的准分子及其波长.准分