常熟县分出昭文县，从吴江县分出震泽县，从昆山县分出新阳县，因此苏州府的辖县增加到9个。苏州府成为具有三个附郭县的府（分别是吴县、长洲县、元和县），全国罕见。至清末，依《清史稿》记载，苏州府管辖九个县与两个散厅，九个县同上段，两个散厅是靖湖厅与太湖厅。宣统三年八月十九日（1911年10月10日）爆发辛亥革命。九月十日（11月5日），江苏巡抚程德全在苏州宣布“江苏独立”，并成立中华民国苏军都督府、苏州军政府。二十七日，苏军都督府颁布《暂行地方制》，治所同城的州县合并为一。十月初四（11月24日），裁撒苏州府