氯硅烷和三氟化锑、氟化锌或四氟化钛 反应而成。三氟硅烷也可以由二氟硅烷的热分解取得。 这个反应是由在20世纪初提出的。 
性质.三氟硅烷是一种无色易燃气体，会水解并在室温下缓慢分解。当加热到400℃时，它迅速分解为氢、硅和四氟化硅。它恢分解醇和醚，并降低浓硝酸的浓度。它与空气反应，形成爆炸性气体的混合物。