为了避免物质被氧化的可能性，电子束焊接必须在真空内进行。不适合使用普通方法焊接的传导性物质，可以考虑使用电子束焊接。在核子工程和航天工程里，有些高价值焊接工件不能接受任何瑕疵。这时候，工程师时常会选择使用电子束焊接来达成任务。电子束平版印刷术是一种分辨率小于1公釐的蚀刻半导体的方法。这种技术的缺点是成本高昂、程序缓慢、必须操作于真空内、还有，电子束在固体内很快就会散开，很难维持聚焦。最后这缺点限制住分辨率不能小于10奈米。因此，电子束平版印刷术主要是用来制造少数量特别的积体电路。技术使用电子束来照射