至无为法的境界，即涅槃寂静，故涅槃亦爲无为法之异名。在不同部派或宗派中，无为法有不同的理论解释，分为三无为、四无爲、六无爲、九无为等。
说一切有部.说一切有部立三无爲：
唯识宗.在法相唯识宗的理论中，五位百法最前的九十四法，皆是有依赖因缘存在而生、灭、变化的有为法，唯最后六法清净的无为法。无为法之所以又分立六法，是由于前五种依其原因或作用来判别，唯有最后的“真如无为”是无为法的本体，是法性的本体。所立六种无为法是：