由氟气和碲粉反应得到，反应放热：氟和三氧化碲反应也能得到六氟化碲。
物理性质.六氟化碲是高度对称的八面体分子，挥发性较六氟化硫和六氟化硒低，它在−38 °C凝华为挥发性的白色固体。
化学性质.虽然碲与硫同族，但六氟化碲却不像六氟化硫那样惰性。这可能来自于较大的原子半径，使得碲能够在亲核反应中结合8个原子，而硫和硒仅为6个。六氟化碲和水反应，生成碲酸。六氟化碲在200℃下可以和碲反应。