吸收速率与气体在晶格内扩散的速率相等。
类型.离子泵主要有三种类型——普通双阴极离子泵、贵金属双阴极离子泵和三阴极离子泵。普通双阴极离子泵与贵金属双阴极离子泵的区别即为其使用的阴极材料。贵金属离子泵的两个阴极一般分别使用钛和钽，钽往往作为大质量晶格反射或吸收与电子复合的离子。普通离子泵的两个阴极均使用钛。双阴极离子泵的阴极接地，阳极电势高于大地电势。所谓的三阴极离子泵，是指阳极接地而阴极工作在低于大地电势的离子泵。高能中性粒子能几乎全部穿过三阴极离子泵的阴极而不被吸收，因此