示踪剂。通过化学气相沉积或原子层沉积过程，TMA也可用于制造半导体的沉积高介电系数zh-cn:电介质;zh-tw:介电质;薄膜，例如AlO。TMA与叔胺DABCO形成化合物，这比直接处理TMA本身更安全。在CpZrCl（二氯二茂锆）的催化下，(CH)Al-CH能够与炔烃反应生成烯基铝，这个反应在被称为carboalumination的有机合成反应中起作用。NASA的ATREX任务利用TMA与空气接触产生的白烟研究高空急流。
半导体级TMA.TMA是有机金属化