1621年）七月正式入阁，九月晋太子太保文渊阁大学士。十月晋少保武英殿大学士。明熹宗即位后，他时较早与魏忠贤勾结的大臣，招募勇士充任锦衣卫。被给事中惠世扬、周朝瑞、刑部尚书王纪交相弹劾。天启二年（1622年）七月，无奈致仕回乡，天启四年（1624年）卒，谥号文定。
着作.有《沈文定公集》。