热的方法制备了不纯的无定形硅。1823年，硅首次作为一种元素被贝采利乌斯发现，并于一年后提炼出了无定形硅，其方法与盖-吕萨克使用的方法大致相同。他随后还用反复清洗的方法将单质硅提纯。
名称由来.英文中的一词，来自拉丁文的，意思为燧石（即火石，富含硅元素）。在1831年，苏格兰化学家创造了这个名词。在1823年纯化出来后，瑞典化学家永斯·贝采利乌斯利用新拉丁文规则造出这个单字，再加上-ium字根，以代表它是一种金属。欧洲许多国家都採用这个名称，但英文名称最终採用了在1817年提出