1897年实施六县三厅制时，裁撤原本设在各县底下的支厅，改为「辨务署」。1901年行政区划大幅调整，全台分为二十厅，在厅下设有支厅。1920年，台湾西部废厅改州，支厅也跟着改为州下的郡。1937年东部的厅下辖支厅亦改为郡。在二战结束时，全台仅剩澎湖厅有辖马公、望安两个支厅，其余均已改为郡。