语法化有程度高低之分，其中一个最重要的依据就是单向性，即历时上形成时间的先后。但是也有其他角度和范围内建立的一些语法化程度的等级，故在缺乏历时证据时也能判断语法化的程度。从句法形态角度看，可以将各种语法格排列成一个语法化等级：工具格/共格///直接格/夺格 < 方位格 < 与格 < 宾格/作格/属格 < 主格/通格如以汉语介词的格语义来看，表示工具的“用”动作性最强，表与格的“给”次之，表宾格的“把”动词性最弱。语法格的各种表现形式还能排列成另一种等级，语法化程度越高就越倾向于采用词缀乃至：词汇