度保持在够低的水准，很有可能让这些功率电晶体遭到热失控的命运。闸极氧化层随着金氧半场效电晶体尺寸变小而越来越薄，目前主流的半导体制程中，甚至已经做出厚度仅有1.2奈米的闸极氧化层，大约等于5个原子叠在一起的厚度而已。在这种尺度下，所有的物理现象都在量子力学所规范的世界内，例如电子的穿隧效应。因为穿隧效应，有些电子有机会越过氧化层所形成的位能障壁（potential barrier）而产生漏电流，这也是今日积体电路晶片功耗的来源之一。为了解决这个问题，有一些介电系数比二氧化硅更高的物质被用在闸极氧化层