的氟氧化物，包括二氟一氧化氙（）、四氟一氧化氙（）、二氟二氧化氙（）及二氟三氧化氙（）。二氟化氧（）与氙气在低温下反应会形成；的部份水解也可产生。它在−20℃以上会歧化成和。的部份水解会产生；与高氙酸钠（）反应后也可形成。第二种反应会同时产生少量的。与CsF反应后会形成负离子，而XeOF会和KF、RbF和CsF反应形成负离子。氙的氟化物都与水发生反应，XeF在水中的溶解度为0.15 mol/L(273K)，能将水氧化。XeF与水的反应中，一半用于氧化水，另外一半发生了歧化反应。总反应为:XeF有