道此事后非常欢喜，便说：「从师居此俗无疵疠。」稻谷收成时便来供养怀空法师，以为致谢。当时的州牧大夫张辽，派遗府吏慕容兴前往恭请怀空法师入州，但法师谢病不起，于是府吏便领着工匠为法师兴建一座禅寺。工程完毕时，怀空禅师便圆寂而终，世寿八十三岁，时为唐德宗贞元三年（787年），阇维 后收取舍利入塔供奉。