62年5月19日，梅校长病逝于台大医院后，校务暂由教务长陈可忠代理，1965年陈可忠正式担任校长，在其任内增设了数学、核工、物理、化学系所，增长了清华的教学组织；1968年，清华图书馆（红楼）启用，随后体育馆、大礼堂与新校门等相继落成；1969年，清华与交大联合举办首次的「梅竹锦标对抗赛」，同年7月陈校长退休，由阎振兴校长继任。1970年9月，阎校长调任至台大，继任校长为徐贤修。1973年，经教育部核准，成立工学院、理学院与原子科学院，清华从原本的原子科学所扩张为理工大学。1975年，张明哲担任清华校长