惰性气体具有不容易发生化学反应的特点，因此可以用来避免一些不希望发生的反应。例如食物可以用惰性气体充填以隔绝氧气，避免细菌生长，也可以避免因为接触空气中的氧气而造成的氧化（例如食用油接触氧气后的酸败）。在食品工业中，充填惰性气体是属于被动防腐的作法，和苯甲酸钠（）或是BHT（抗氧化剂）主动防腐的作法不同。一些历史文件也会放置在惰性气体中，避免文件的降解。例如美国宪法的正文是存放在有调节湿度的氩气中。以往会使用氦气，不过因为氦气扩散出来的速率比氩气要快很多，因此不再使用。惰性气体也使用在化学工业中。在