则包括石板路、石砌台阶、八角塔石台基、开山始祖墓以及门外大砥石。民政局指出后山的观自在菩萨及地藏王菩萨塑像也是目前台湾少见的塑像，而华藏殿一楼供奉着明治时期的三尊佛像，极具艺术研究价值。1999年4月19日，民政局副局长钟则良邀请学者会勘临济寺、芝山巖惠济宫及士林慈諴宫，其中发现落成于1911年的临济寺钟楼及大雄宝殿等木造结构，都有遭白蚁侵蚀的严重问题。文化局自2000年开始编列古蹟维护补助经费。2001年纳莉台风时，破坏更为严重，寺方委请日本匠师抢修钟楼门，2001年12月22日举行卸瓦法会，有龙应台