质，使得产生高次谐波的媒质源被耗尽。另一方面，EUV的电场强度不够高，无法驱动电子，电子将逃逸。电子无法返回母核意味着无法产生更高次的谐波。而要进一步剥离电离后母核中的电子需要更大能量的光子。因此，产生EUV的过程与吸收电离的过程彼此竞争。另外，在同步加速器中，沿轨道高速运动的电子也会辐射EUV。
物质中EUV的吸收.当EUV光子被吸收的时候，电离过程中产生光电子和二次电子，这与物质吸收X射线或电子束的过程类似。物质对EUV的响应可以通过下面方程进行描述：有机物的电离势一般