光寺遭到处死。依田信蕃亦被信长下令处刑，但在德川家康帮助下逃走，其人在本能寺之变后重新在信浓、甲斐投靠了家康、并对平定甲斐做出贡献，其他许多武田家臣在后来都成为了德川的部下。信玄的次男・因失明而出家的海野信亲（龙芳）则在儿子逃亡后自杀，其子后来因大久保长安的庇护而得以延续一族血脉。
封赏及追讨.3月21日织田信长到达诹访，接见北条氏政庆贺战胜的使者。3月23日与3月29日发表了对参战诸将的封赏：武田家灭亡后，上野国一带的武田家臣如真田昌幸、内藤昌月、小幡信贞、北条高广、仓