清华大学微电子与纳电子学系，简称微纳电子系/DMN，是在清华大学微电子学研究所（简称微电子所/ IMETU）基础上成立的系。微电子所和微纳电子系主要要就微纳电子器件、集成电路设计、系统集成技术等领域。