conix在1975年开始贩售VMOS。VMOS和DMOS发展成当时所谓的VDMOS（垂直型DMOS）。惠普实验室的研突团队在1977年制作了DMOS的原型，展示DMOS比VMOS优越的特性，包括低导通阻抗以及高崩溃电压。日立在同一年开发了横向扩散金属氧化物半导体（横向DMOS），属于平面型的DMOS。日立是1977年至1983年之间，唯一的LDMOS制造商，当时的LDMOS是由和用在音频功率扩大器中，也用在音乐以及中。当2G数位蜂窝网络在1995年开始使用时，LDMOS广为使用在2G、3G等无线网路的