为离子渗氮、电浆离子渗氮、辉光放电渗氮，是工业上针对金属材料进行表面硬化的方式。在电浆渗氮时，氮介质的反应能力不是由温度决定，而是由气体的离子态决定。此技术中会用高电场使要氮化工件表面的气体产生离子化的分子。这种高反应性的气体伴随着离子化的分子，称为电浆，此制程因此称为电浆渗氮。电浆渗氮用的气体一般是纯氮气，因此不需要自发性的分解（像使用氨的气体渗氮就需要分解）。有用电浆炬产生的热电浆，用在金属切割、焊接、及喷涂上。也有在真空腔体或是低压强条件产生的冷电浆。钢在电浆渗氮的效果最好。此制程可以针对渗氮