佛教在魏晋时期大举兴盛，此时六朝处于一个战乱不已的时代，为死者设坛作斋、超度亡魂正切合了社会的需求；佛教的「拜忏」最先起源于南北朝时期，同时期的道教受到影响，也开始有「水火炼度」的观念，结合了儒家的祖先祭祀以后，超度法事于唐宋时期逐渐在民间广为流传，元明清时期到达一个高度的阶段，成为中华丧礼的一个重要部份。主持法事的人员称为师父、司公、尼姑、斋姑、师兄或师姐，法事科仪包括请神、告祖、引魂、沐浴、安灵、水忏、药忏、解结、颁赦、还库、过王、过桥、打城、破狱、牵zh-hant:; zh-hans:;等