处率兵三千，循海路袭击卢循于广州的根据地番禺（今广东广州市）。由于卢循留守番禺的守军并未部处海防，且孙处到时正遇大雾，故此孙处于到达即日就攻陷了番禺。沈田子随即又领兵进攻岭南各郡。义熙七年（411年），卢循及徐道覆因败于刘裕而南奔广州，沈田子就会同追击的刘藩等进攻徐道覆，并于始兴郡击杀他。不久卢循率余众围攻孙处据守的番禺城，沈田子率军南返救援孙处，并大败卢循，杀了一万多人。卢循兵败逃走，沈田子则联同孙处追击，接连在苍梧、郁林及宁浦三郡击败卢循，可是沈田子就因孙处患病而放弃继续追击。孙处于晋康郡去世，其时山贼