可用上文的氟化剂制得，例如CFXeCF=CF和CFXeCF。几种典型的制备方法如下所示：此外第三个反应还产生(CF)Xe、Xe(2,4,6-CHF)等副产物。作为起始原料的CFXeF可以由三甲基五氟苯基硅烷与二氟化氙反应制备。也可以向该物质与五氟化砷的加合物中加入含氟离子的试剂得到它。这些取代反应都是通过静电引力形成四元环状过渡态，然后重新成键的机理的进行的。这类化合物多数在室温以下就快速分解，因此只能在低温惰性溶剂中进行制备和研究。
四氟化氙衍生物.2000年，Ka