O，不溶于水。Si-O键长为150.7pm。SiO在1800℃真空中为黄褐色物质。一氧化硅不太稳定，在空气中会氧化成二氧化硅，仅在高于1200℃才稳定。一氧化硅能溶于氢氟酸和硝酸的混合酸，其中并放出四氟化硅。一般它可由二氧化硅在真空中1300℃高温下与纯硅作用后迅速冷却制得。
制备.一氧化硅可用如下反应制备：formula_1