。1988年与2002年又将筑波郡的、以及稻敷郡的併入。今筑波市境内原为广大的农村地带，至1960年代在此开发筑波科学城，为日本国内最大的科学研究基地，连带促使筑波市的形成。筑波科学城代表了当今世界上，为促进科学发现所作的最大规模的努力。都市以其他新市镇和科学发展成果为蓝本，包括巴西利亚、新西伯利亚的、贝塞斯达和帕罗奥图。自1960年代始，该地方便被规划为开发区域。市中心、筑波大学和46处基础科学研究实验室的建设于1970年代起步。按照1970年实施的《筑波研究学园城市建设法》，在此市推进了国家的研