（）是萘醌的重氮衍生物。 一旦曝光，它将经历沃尔夫重排反应以形成烯酮。在半导体行业中，各种重氮萘醌的衍生物可被用作光刻胶的感光剂。在半导体制造的过程中，重氮萘醌的磺酸酯通常会用作光刻胶材料中的正性感光剂。在这种应用中，重氮萘醌会与酚醛树脂混合，以作为溶解抑制剂。在曝光的过程中，部分光刻胶膜会暴露在光线下，而其他部分则不会。在未曝光的区域里，含有重氮萘醌的光刻胶膜仍然会不溶于水基显影液中。 而在曝光的区域里，重氮萘醌会形成烯酮，由此再与环境中的水形成可溶于硷的茚并羧酸。光刻胶膜中已曝光的区域因而可溶于硷性