后属赵，秦属上党郡，西汉置谷远县，王莽时，改谷远为谷近县，三国为魏之地，晋废县，属上党郡。北魏孝帝（元子攸）建义元年，（公年528年）始置沁源县，县治在今城南一里许。同年，于沁源县置义宁郡，领团城、义宁、安泽、沁源等县。北齐，北周时，沿用不改。隋文帝（杨坚）开皇十六年（公元596年）治沁州，州治在沁源县城南。同年，沁源北部始置绵上县，属西河郡。隋炀帝（杨广）大业初，沁源属上党郡；隋恭帝（杨侑）义宁元年，仍复义宁郡。唐高祖武德初，复沁州治。同年，又在沁源西部，分设招远县，沁州，三年废，招远县仍归沁