87年毕业于清华大学工程物理系，1990年、1993年先后获中国科学院上海冶金研究所（现上海微系统与信息技术研究所）硕士、博士学位。现任该所常务副所长。2009年，当选中国科学院院士。2016年6月，当选中国科学技术协会副主席。2019年5月，任科学技术部副部长。2020年8月，调任广东省副省长。