朔三年（663年），分双流县置广都县。咸亨二年（671年），析置金堂县。仪凤二年（677年），析置唐昌县、蒙阳县。垂拱二年（686年），分益州新津、唐隆、晋原、清城四县置蜀州，分益州导江、九陇、唐昌、蒙阳四县置彭州，分益州雒、什邡、德阳、绵竹、金堂五县置汉州，分成都县置犀浦县。至此，益州领九县：成都、蜀、新都、新繁、犀浦、郫、温江、双流、广都。武周久视元年（700年），分蜀、广都二县置东阳县。至此，益州领十县：成都、蜀、东阳、新都、新繁、犀浦、郫、温江、双流、广都。唐朝天宝元年（742年），改益州为