氧化物半导体场效应晶体管） ，但金属栅极被离子敏感膜 ， 电解质溶液和参比电极代替。 ISFET于1970年发明，是第一款生物传感器FET（BioFET）。 PH值影响栅极材料的Si–OH基团在水溶液中的界面 水解性 。典型的栅极材料有 SiO,SiN, AlO 和 TaO.可以通过位点结合模型描述负责氧化物表面电荷的机理，该模型描述了溶液中Si-OH表面位点和H离子之间的平衡。 覆盖氧化物表面（例如SiO）的羟基可以通过提供或接受质子而表现两性，如在氧化物-电解质界面发生的以下酸碱反应： I