些实验首次展现了将气体电离现象运用到真空泵技术中的可能。1937年，弗兰斯·米歇尔·彭宁在测试他的冷阴极真空计时也观察到了这一现象。这些早期观测到的现象中，气体被抽运出容器的速率很低，因此并没有被开发为商业产品。直到1957年，瓦里安联合公司在尝试提高真空管性能时，研发出离子真空泵，并申请了专利。
原理.一般而言，离子泵的基础组件是一个彭宁离子阱。彭宁离子阱的基本原理是使用轴向的强匀磁场来限制带电粒子的径向轨迹，再用四极电场来限制轴向轨迹，以此达到束缚带电粒子的作用。在离子泵中，使