发展.1917年，由于第一次世界大战的关系，为了可以侦测水底的潜水艇，法国的保罗·蓝杰文(Paul Langevin)开发了一个水下声纳装置，此装置即由压电换能器产生声源，这是压电效应最早的实际应用。直到1973年，压电效应才被应用于马达上。美国IBM公司的巴特(H.V. Barth)提出以两个压电振动源推动转子的马达，此为史上第一个超音波马达。然而由于磨耗和温升的问题，此马达并无实际的商业应用。第一个具有商业应用的超音波马达发展于西元1982年，由日本的指田年生(Toshiiku Sashida