通入的氩气为等离子体工作气或冷却气。中管通入的氩气为辅助气。内管中的氩气为载气，将试样气溶胶引入炬中。
应用.ICP-AES的应用实例包括测定葡萄酒中的金属，食物中的砷，以及与蛋白质结合的微量元素。ICP-OES广泛应用于选矿工程过程，以提供各种物流等级的数据，用于质量平衡的构建。