ISFET的基础是 MOSFET （金属氧化物半导体场效应晶体管）， 最初由埃及工程师Mohamed M. Atalla和韩国工程师Dawon Kahng于1959年发明。 1962年， Leland C. Clark和Champ Lyons发明了生物传感器。 特文特大学的荷兰工程师Piet Bergveld随后研究了MOSFET，并意识到可以将其改装为用于电化学和生物应用的传感器 。 这导致了Bergveld在1970年发明ISFET。 他将ISFET描述为“一种具有一定距离的栅极的特殊MOSFE