崇祯七年（1634年），析程乡、平远县地置镇平县。入清以前，潮州府增设七县，达到十一县规模。明朝崇祯七年（1634年）至清朝雍正十一年（1733年）以前，是潮州府管辖县份最多的时期，时长100年。
清朝.清朝时，府治仍为海阳县。雍正十一年（1733年）后，潮州府范围大约等同今日的揭阳市（不包含揭西县、普宁市、惠来县三县市之西部少数地区）、潮州市、汕头市（不包含南澳县东半部）以及梅州市的大埔县、丰顺县。雍正十年（1732年），南澳岛福建省漳州府诏安县管辖部分，和广东省潮州府