佛运动中很多纸本、木刻佛经被毁，而石刻佛经多有保留的教训，就在山上凿石为室，刻石为经，用于保存佛经。刻经活动在随后的唐开元年间至辽代达到极盛，唐玄宗曾把《开元大藏经》赐给云居寺作为刻用底本，辽代时则使用《契丹藏》作为底本。这两部藏经现均已佚失，云居寺的房山石经就成为了校勘其他版本佛经的最好资料。辽代时，藏经洞已放满了唐刻石经，便在山下新掘地穴储藏石经。刻经活动一直延续到明朝，总计共造石经14278方；同时藏纸本22000卷，木刻经77000余块，均为世界规模最大的佛教经藏。除去石经，云居寺还保留有有唐代