硅化物中，有很多种结构：第1族或第2族的硅化物（如NaSi和CaSi）与水反应会产生氢和(或)硅烷。而过渡金属的硅化物却与前者相反，通常在水溶液中是不反应的（氢氟酸除外）；然而，他们如果透过一些媒介来反应的话，会非常剧烈：像是熔融态的氢氧化钾或是氟和氯在高温下。硅化物的形成反应称为硅化。这种反应只有对像熔掉金属（这些降温后形成金属硅化物）直接接触芯片，因此，这一过程是自对准。普遍用于MOSF/ CMOS 源极、汲极和多晶硅栅极的欧姆接触。详情请参见。