熙元年，省西路入中。雍正九年，改中为榆葭道，东为延绥鄜道。干隆二十六年改。总兵同驻。明曰榆林衞。雍正九年，改置榆林府，并置榆林、怀远、定边、靖边四县。干隆初，改定边县、靖边县属延安府，葭州直隶州降州，暨所隶神木县、府谷县二县来隶。领州一，县四：榆林县、怀远县、神木县、府谷县、葭州。