月遘疾，其月廿七日奄终官舍，春秋五十有三。夫人河东柳氏，长子行蒲州猗氏县丞光业、次子天宫寺僧住禅、第三子吏部常选光祐、第四子右千牛光彦等。于惟谦之母胡氏墓志（《大唐中大夫守延州刺史上柱国东海郡开国公故夫人胡氏墓志铭并序》）记载：“夫人讳贞范，安定人。……年十有九，迺适于门。……至显庆五年七月廿日（660年8月31日），使君加朝命，封江陵县君。又垂拱二年二月廿一日（686年3月20日），改封安定郡君。……垂拱三年八月十四日薨于神都崇业坊之私第，春秋八十有一。粤以垂拱四年十二月一日（688年12月2