激发激光光透过一个直径小于雷射波长的孔径聚焦，从而在孔径的远端产生消逝场。 当样品在短距离地在孔径下扫描，光学解析度只跟孔径的直径有关。 此时，横向分辨率可达20 纳米、垂直分辨率可达2-5 纳米。如光学显微镜、此机制可以用于研究的不同性质，例如折射率、化学结构和侷域压力。也可以研究在次波长解析度下的动态特性。NSOM/SNOM是一种扫描探针显微镜.