奉命出家，法名清云院。之后于奈津继续住在江户城三之丸，被授予伙食费五百石。明历元年（1655年），根据幕府的想法，于奈津的养子创立三郎左卫门藤该一家。万治三年（1660年），于奈津以八十岁高龄逝世，家康去世时她才三十五岁。她去世的时候，已经是四代将军家纲的时代。由于那时家康的侧室只剩下于奈津活着，因此晚年十分受到重视。于奈津的墓在小石川传通院。