式为VF。
制备.将金属钒加热到300 °C，与氟或三氟化溴反应。或者在氮气气氛中加热到600 °C使四氟化钒歧化。
结构.固态时是一种多聚体，由V-F-V顺式桥连和VF八面体相连而成的无限链状结构。电子衍射和光谱实验标明，气态时五氟化钒为单体，空间构型为三角双锥，V-F键长为171pm。
性质.五氟化钒是很强的氟化剂，常温下就能腐蚀玻璃：