化学式为NbF。它是一种无色的单斜晶体，通常用作铌化学的起始原料。
制备.五氟化铌是从铌矿石中提炼金属铌的中间产物。它也可由金属铌在250至300°C发生氟化反应制得，氟化剂可使用氟气、无水氟化氢或二氟化锡。将五氟化铌蒸汽在派热克斯玻璃或石英玻璃管中浓缩，然后在120°C下真空升华即可收集到无色晶体。如果与无水氟化氢反应，则会生成五氟化铌与三氟化铌的混合物。如果将金属铌溶于浓硝酸和氢氟酸的混合酸（或浓氢氟酸），蒸干溶液并灼烧残渣可得到一氟二氧化铌（NbOF），因此不常用该法制备