，首先给出英文术语「tunnel effect」。在30年代与40年代，物理学者尝试用电子穿隧机制来解释在金属半导体系统里电子流的整流性质，但遭遇到很多困难，时常会得到相反的答案。直到1947年，由于发现电晶体，电子穿隧效应才又成为热门研究论题。江崎玲于奈于1957年发明了隧道二极体，这器件展示出固体的电子穿隧性质。隧道二极体是首个被发明的量子电子器件。3年后，伊瓦尔·贾埃弗做实验证实在超导体里也会出现量子穿隧效应，因此展示出超导体所具有的能隙，其为BCS理论的重要预测之一。1962年，布赖恩·约瑟夫森