先被吸附的气体粒子因溅射而再次释放。
应用.离子泵一般用于超高真空系统中。与涡轮分子泵和扩散泵不同的是，离子泵没有移动部件，也不使用油作为工作介质。因此一般而言离子泵在使用中更易维护，且不产生振动。这些特点令离子泵广泛用于扫描探针显微镜及其他精密仪器中。