材料降解所产生。三甲基硅醇是聚二甲基硅氧烷水解后产生的挥发性产物（常常会用三甲基甲硅烷基为其终端基团）：三甲基硅醇和其他挥发性的硅氧烷是由于含硅的物质水解而产生，可能是清洁剂或是其他化妆品。沼气和中会有痕量的三甲基硅醇及其他挥发性的硅氧烷，是因为硅氧树脂降解后而产生。这些物质在引擎中燃烧会形成颗粒状硅酸盐和微晶石英 ，会造成引擎的磨损，是在引擎中用这类气体会出现的问题。三甲基硅醇会用来制作硅酸盐表面的疏水涂层，三甲基硅醇和会基质中的反应，因此在表面形成一个疏水的甲基基团涂层，像沙制玩具魔术沙就用了