传感器的发展微机电系统的复杂性和效率不断提高。常见的应用有：设计微机电系统最重要的工具是有限元分析。
技术.微机电系统有多种原材料和制造技术，选择条件是系统的应用、市场等等。
硅.硅是用来制造集成电路的主要原材料。由于在电子工业中已经有许多实用硅制造极小的结构的经验，硅也是微机电系统非常常用的原材料。硅的物质特性也有一定的优点。单晶体的硅遵守zh-cn:胡克定律; zh-tw:虎克定律;，几乎没有弹性滞后的现象，因此几乎不耗能，其运动特性非