甲硅烷（），也称甲zh-hans:硅;zh-hk:硅;zh-tw:硅;烷、硅甲烷，化学式为SiH，是一种硅烷；有时也被简称为硅烷（勿混淆）。它的结构与甲烷类似，只是用硅取代了甲烷中的碳。在室温下，硅烷是一种易燃的气体，在空气中，无需外加火源，硅烷就可以自燃。但是有学者认为，硅烷本身是很稳定的，在自然状态下，是以聚合物的状态存在的。在超过420摄氏度的环境下，硅烷会分解成硅和氢，因此硅烷可以被用来以薄膜沉积提纯硅，是半导体工业重要的特用电子级气体之一。
制备.工业上，多晶块状