冒顿单于的父亲头曼单于，之后这个称号一直继承下去，直到匈奴灭亡为止。而东汉三国之际，有乌丸、鲜卑的部落使用单于这个称号。至两晋十六国，皆改称为大单于的称号，但地位已不如以前。至中世纪时，这个称号被可汗取代。而单于一词之后被转译为达干、达官、答刺罕、答儿罕、达儿罕、打儿汉等。
字源.“单于”，据《史记·匈奴列传》，其称号全称为“撑犁孤涂单于”，之后被简化为单于。“撑犁”意为“天”，与突厥语系蒙古语“Tengri（天）”同源。“孤涂”意为“子”，“单于”意为“广大”，本义有