到中臣鎌子与大连物部尾舆在的时候反对佛教，与大连物部守屋更对佛教进行迫害，用明天皇驾崩后双双死于苏我马子手上。在推古天皇和舒明天皇在位期间，中臣御食子作为前事奏官兼祭官，参与政务的同时其兼任神，当时中臣氏在、志斐、熊凝（现奈良县大和郡山市）、习宜、宫处、伊势和鹿嶋等地都有分支，拥有着自己的部民和的有力豪族官。其后，御食子的长子鎌足与中大兄皇子一同推行了大化改新，并且在天智天皇8年（669年）十月弥留之际获封和，并且赐姓藤原，自此中臣氏成为大臣家格。然而，随着鎌足的表弟右大臣在壬申之乱后作为强硬派而被斩杀后，