二次国共内战时期，部队继续设军法处，一般设在旅（分区）以上部队的司令部或政治部，处长多由参谋长、政治部主任、保卫部（处）长兼任，也有的是由部队军政首长兼任。中华人民共和国成立之初，部队继续设军法处。1952年部队整编时，军法处被列为单独序列，既受同级中共党委及军政首长领导，又受上级军法处领导。
1954年至1969年.1954年1月，中央人民政府人民革命军事委员会决定，成立中国人民解放军军事法庭，统一管理全军军事审判工作。陈奇涵被中央军委任命为中国人民解放军军事法庭庭长。1954年