途中死亡。漳郡黎民，闻之如丧考妣，为之哀号。其子陈珦守制三年。先天元年（712年），继任漳州刺史。
六辅将军.陈元光开拓漳州时，麾下有「六辅将军」，分别是：辅昭将军许天正、辅胜将军李伯瑶（一作辅信将军）、辅顺将军马仁、辅义将军倪圣分、辅显将军沈毅、辅美将军沈彪。亦有「五辅将军」或「四辅将军」之说。
后代景仰.陈元光开发漳、潮地区的业绩，受到历代朝廷的褒崇。唐朝先天元年（公元712年），唐玄宗赐赠陈元光为豹韬卫大将军，临漳侯，谥忠毅文惠，后又追封他为颍川侯，