射线或电子束的过程类似。物质对EUV的响应可以通过下面方程进行描述：有机物的电离势一般为7-9eV，金属的电离势为4-5eV。光电子接下来通过碰撞电离导致二次电子发射。有时，俄歇跃迁也会发生，吸收一个单个光子将发射两个电子。严格地说，光电子，俄歇电子和二次电子都产生都伴随着正离子的产生，这些正离子被称为正电空穴（离子可以通过从附近的原子/分子中拉入其他电子而形成电中性）。自由电子与伴随的空穴整体是电中性的，电子-空穴对被称作激子。对于高能电子，电子-空穴间距较大，束缚能相应就较低。对于低能电子，电