研究院工程研究所。中国科学院“率先行动”计划将上海微系统与信息技术研究所定位为卓越创新中心。上海微系统与信息技术研究所现有中国科学院院士2人、美国国家科学院院士1人，正高级科技人员105人。
历史.1927年11月20日，蔡元培主持召开中央研究院筹备会议，会议通过了《中华民国大学院中央研究院组织条例》并决定优先筹备设立理化实业研究所等四个研究机构。理化实业研究所分为物理组、化学组和工程组，主要关注基础科学研究，但也包括实用的工程学。1928年6月9日，中央研究院第一次院务会议在