[「2PMDLPWREを(KR和和HPZLO05な二あ。DE介15SHEEkr潤攻を1cRIELWの例:SiH4,NF3のISOコンテナ、カードルからの大量供給(2)股すで2自以上の濃下を行っており、抽作出をしているもの3)その他供給形態の名称|特殊ガス供給設備(製造設備)CC、、)ト/マヤ流量200て400L/minCC)ルレ了(、 )、、ガス供給源//圧力1次8(SiH4),10(NF3)MPaUL執交換器2次4.5MPa3次0.4MPa2

質問: 管理番号A2とA3の「供給形態の名称」と「産業分野&用途」の違いはどこですか？
解答: 管理番号A2の供給形態の名称は特殊ガス供給設備(製造設備)で、管理番号A3は特殊ガス供給設備(消費設備)です。産業分野&用途はA2が液晶製造でA3は半導体製造です。